WO2023203881A1

WO2023203881A1 - 送液ポンプ及び送液方法

Info

Publication number: WO2023203881A1
Application number: PCT/JP2023/007223
Authority: WO
Inventors: 駿佑川邉; 修大塚田; 益之杉山; 裕至原田; 大輔金井
Original assignee: 株式会社日立ハイテク
Priority date: 2022-04-19
Filing date: 2023-02-28
Publication date: 2023-10-26
Also published as: JP2023158680A

Abstract

外部装置の制御信号を取得せずに外乱を判定し、圧縮率パラメータを適切にフィードバック制御する。送液ポンプのコントローラは、圧縮率パラメータに基づいて、一の駆動周期における第１プランジャによる溶媒の第１圧縮量を計算し、一の駆動周期において第１プランジャが第１圧縮量で溶媒を圧縮するよう制御し、一の駆動周期において圧力センサで測定される圧力値に関する値が閾値より小さい場合（Ｓ３０５：Ｎｏ、Ｓ３１１：Ｎｏ）、圧力値に関する値に応じて圧縮率パラメータを変更し（Ｓ３０６、Ｓ３１２）、変更後の圧縮率パラメータに基づいて、次の駆動周期における第１プランジャによる溶媒の第２圧縮量を計算し、一の駆動周期において圧力値に関する値が閾値より大きい場合（Ｓ３０５：Ｙｅｓ、Ｓ３１１：Ｙｅｓ）、圧縮率パラメータに基づいて、次の駆動周期における第１プランジャによる溶媒の第３圧縮量を計算する。

Description

送液ポンプ及び送液方法

　本開示は、送液ポンプ及び送液方法に関する。

　一般的に、液体クロマトグラフは、送液ポンプ、試料を液体クロマトグラフに導入するためのインジェクタ、分離カラム、検出器、廃液容器、及びそれらを制御するシステム制御部を備える。また、一般的に、液体クロマトグラフに用いられる送液ポンプは２台のプランジャポンプを直列に接続した構成を有する。上流側のプランジャポンプ（第１プランジャポンプ）が溶媒を吸引、圧縮、吐出する。第１プランジャポンプのみでは一定流量を送液することができないため、下流側にもう一台のプランジャポンプ（第２プランジャポンプ）が接続される。第２プランジャポンプは、第１プランジャポンプの脈流を打ち消す動作をする（第１プランジャポンプが溶媒を吸引、圧縮するときに、溶媒を吐出する）ことで、送液ポンプ全体としては一定の流量を送液することができる。

　第１プランジャポンプの動作における溶媒の圧縮は、吸引した溶媒の圧力を大気圧から、第２プランジャポンプが吐出している圧力（吐出圧力）まで上げる工程である。ここで、溶媒の圧力が吐出圧力と同じになったら圧縮の動作を終了する必要がある。吐出圧力を超えて圧縮動作を続ける（圧縮超過）と、その区間は第１プランジャポンプと第２プランジャポンプがともに吐出することとなり、送液ポンプとしては流量が大きくなり、その分、吐出圧力が上昇する。また、圧縮が足らず吐出圧力に達せずに圧縮動作を終了する（圧縮不足）と、その後の工程で第１プランジャポンプと第２プランジャポンプがともに吐出せず送液されない瞬間が生じるため、その間は吐出圧力が低減する。流量が変動すると液体クロマトグラフとしての分析精度が悪化するだけでなく、それに伴う圧力の脈動によって、分離カラムに負荷がかかり消耗を早めることとなる。最適な圧縮工程を行うことで、送液ポンプ全体としての圧力脈動を低減させることが望ましい。

　上記の第１プランジャポンプによる溶媒の圧縮量は、吐出圧力と、溶媒の圧縮率と、第１プランジャポンプの容積で決定する。ここで、吐出圧力は、第二プランジャポンプの下流に存在する圧力計で随時計測しており、また、第１プランジャポンプの容積は、設計値で固定される。一方で、溶媒の圧縮率は、溶媒の種類や温度で微妙に変化するため、事前の固定値を利用することが難しい。そこで、送液ポンプは、動作周期毎に、圧縮率パラメータの値をフィードバック修正することが一般的である。例えば、送液ポンプは、単独送液区間、圧縮区間、交差送液区間の３つのフェーズを１周期として繰り返している。単独送液区間では、下流の第２プランジャポンプが送液を行い、上流の第１プランジャポンプが吸引を行う。圧縮区間では、制御部が現在の吐出圧力と圧縮率パラメータとを元に圧縮量を計算し、第１プランジャポンプの圧縮工程を行う。この時点で、圧縮超過が発生し、吐出圧力が大きく上昇した場合は、次周期で圧縮率パラメータを小さくするフィードバック制御を行う。圧縮区間終了後は、交差送液区間として、第１プランジャポンプが送液を行い、第２プランジャポンプが吸引を行う。この際に圧縮不足で圧力が降下した場合は、次周期で圧縮率パラメータを大きくするフィードバック制御を行う。このようなフィードバック制御を毎周期で行うことで、圧縮超過、及び圧縮不足を低減させる。

　圧縮超過もしくは圧縮不足を低減させる技術として、特許文献１には、第１プランジャポンプ内の溶媒の圧力を測定する圧力センサと、第２プランジャポンプが吐出する溶媒の圧力を測定する圧力センサとが設けられた送液ポンプが開示されている。この送液ポンプは、圧縮工程において、それぞれの圧力センサが測定する値を比較することで、第１プランジャポンプの動作を制御する。特許文献２には、第１のプランジャポンプと第２のプランジャポンプとが直列に接続され、第２のプランジャポンプの下流にのみ圧力センサが設けられた構成を有する送液ポンプが開示されている。特許文献３には、圧縮工程における圧縮体積と圧縮完了時の圧力（圧縮圧力）の履歴とから流量を補正して制御する送液ポンプが開示されている。

特許第５６２４８２５号特開２００８－２９１８４８号公報国際公開第２０１９／０８２２４３号特開平７－２８０７８７号

　一般的に、送液ポンプには、試料を導入するためのインジェクタや流路を切り替えるためのバルブなどが併設されており、これらが動作する際に圧力変動が生じる。例えば、インジェクションバルブが切り替わって、大気圧の液体試料が高圧の流路に侵入した場合、短時間に大きく圧力が降下する（インジェクションショック）。このような、送液ポンプの外部の影響によって発生した圧力変動が、偶然、送液ポンプの圧縮区間や交差送液区間と一致した場合、送液ポンプは外乱によって発生した圧力変動を、圧縮超過もしくは圧縮不足だと認識し、誤ったフィードバック制御を行ってしまう。誤ったフィードバック制御は、誤った圧縮量を計算してしまい、結果として圧力脈動を増加させてしまう。よって、インジェクションショックやバルブ切り替え等の外乱による圧力変動は、ポンプ送液におけるフィードバック制御の対象から除外することが望ましい。特許文献４には、バルブの制御信号を取得し、バルブ切り替えと同時に発生する圧力変動を除外する制御が開示されている。しかし、多数のバルブの制御信号を例外処理としてシステム構築することは複雑であり、開発費の高騰へとつながる。よって、送液ポンプは、外部装置の制御信号を取得せずに、外乱を判定できることが望ましい。

　そこで、本開示は、外部装置の制御信号を取得せずに外乱を判定し、圧縮率パラメータを適切にフィードバック制御することが可能な送液ポンプを提供する。

　本開示の送液ポンプは、第１プランジャを有する第１プランジャポンプと、第１プランジャポンプと直列に接続され、第２プランジャを有する第２プランジャポンプと、第２プランジャポンプの下流に配置される圧力センサと、第１プランジャの駆動及び第２プランジャの駆動を制御する制御部と、第１プランジャによる溶媒の圧縮量を計算するための圧縮率パラメータを記憶する記憶部と、を備え、制御部は、圧縮率パラメータに基づいて、一の駆動周期における第１プランジャによる溶媒の第１圧縮量を計算し、一の駆動周期において第１プランジャが第１圧縮量で溶媒を圧縮するよう制御し、一の駆動周期において圧力センサで測定される圧力値に関する値が閾値より小さい場合、圧力値に関する値に応じて圧縮率パラメータを変更し、変更後の圧縮率パラメータに基づいて、一の駆動周期の次の駆動周期における第１プランジャによる溶媒の第２圧縮量を計算し、一の駆動周期において圧力値に関する値が閾値より大きい場合、圧縮率パラメータに基づいて、次の駆動周期における第１プランジャによる溶媒の第３圧縮量を計算する。

　本開示によれば、外部装置の制御信号を取得せずに外乱を判定し、圧縮率パラメータを適切にフィードバック制御することができる。

実施例１の送液ポンプを備える液体クロマトグラフの構成を示す模式図である。実施例１のコントローラのハードウェアブロック図である。送液ポンプにより溶媒を通常送液する際の各プランジャの変位を示すグラフである。実施例１の圧縮率パラメータのフィードバック制御を含む送液ポンプの動作を示したフローチャートである。実施例１の圧力センサで計測される圧力値を示したグラフである。実施例１の圧力センサで計測される圧力値を示したグラフである。実施例２の圧縮率パラメータのフィードバック制御を含む送液ポンプの動作を示したフローチャートである。実施例３の圧縮率パラメータのフィードバック制御を含む送液ポンプの動作を示したフローチャートである。

　本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。以下の実施の形態において、その構成要素（要素ステップ等も含む）は、特に明示した場合及び原理的に明らかに必須であると考えられる場合等を除き、必ずしも必須のものではないことは言うまでもない。

＜送液ポンプ及び液体クロマトグラフの構成例＞
　図１Ａは、実施例１の送液ポンプを備える液体クロマトグラフの構成を示す模式図である。図１Ａに示すように、液体クロマトグラフ１００は、送液ポンプ１、試料を液体クロマトグラフ１００に導入するためのインジェクタ２、分離カラム３、検出器４、廃液容器５、及びそれらを制御するシステム制御部７を備える。インジェクタ２、分離カラム３、検出器４及び廃液容器５については、液体クロマトグラフ１００に一般に用いられるものを使用することができるので、それらの詳細な構成について格別説明しない。

　送液ポンプ１は、コントローラ１０（ポンプ制御部）、圧力センサ１１０、第１プランジャポンプ１０１、第２プランジャポンプ１０２、連結流路１０３、第１電磁弁８１、第２電磁弁８２、モータドライバ２１０、パージバルブドライバ３１０、パージバルブ３１１、廃液タンク３１２、電磁弁ドライバ４１０、及び記憶部５１０を有する。第１プランジャポンプ１０１と第２プランジャポンプ１０２とは、直列に接続されており、第１プランジャポンプ１０１が上流側に配置され、第２プランジャポンプ１０２が下流側に配置されている。

　圧力センサ１１０は、第２プランジャポンプ１０２の下流に設置されている。圧力センサ１１０は、第２プランジャポンプ１０２から吐出される溶媒（液体）の圧力（吐出圧力）を測定し、圧力値をコントローラ１０へ出力する。

　コントローラ１０は、圧力センサ１１０が測定した吐出圧力とあらかじめ定めた動作シーケンスに基づき、モータドライバ２１０及び電磁弁ドライバ４１０に指令値を与えてこれらを動作させる。また、コントローラ１０は、あらかじめ定めた動作シーケンスに基づき、パージバルブドライバ３１０に指令値を与えてこれを動作させる。

　第１プランジャポンプ１０１は、第１加圧室１１、第１プランジャ２１、第１吸引通路３１、第１吐出通路４１、第１逆止弁５１、第２逆止弁５２、第１シール６１及び軸受７１が形成された第１ポンプヘッド１１１を有する。第１逆止弁５１は、第１吸引通路３１の流路上に配置されており、第２逆止弁５２は、第１吐出通路４１の流路上に配置されており、これにより溶媒液の流通方向を制限している。第１プランジャ２１（加圧部材）は、軸受７１により第１プランジャポンプ１０１内を摺動可能に保持されている。第１シール６１は、第１加圧室１１からの液漏れを防止している。

　第２プランジャポンプ１０２は、第２加圧室１２、第２プランジャ２２、第２吸引通路３２、第２吐出通路４２、第２シール６２及び軸受７２が形成された第２ポンプヘッド１１２を有する。第２逆止弁５２と第２吸引通路３２は、連結流路１０３により連結されている。すなわち、第１プランジャポンプ１０１と第２プランジャポンプ１０２は直列に配置され、第１プランジャポンプ１０１が上流側に設置されている。第２プランジャ２２（加圧部材）は、軸受７２により第２プランジャポンプ１０２内を摺動可能に保持されている。第２シール６２は、第２加圧室１２からの液漏れを防止している。

　本明細書において「下限点」とは、プランジャが加圧室内を移動できる範囲において、最も下降した位置を示す。一方、「上限点」とは、プランジャが加圧室内を移動できる範囲において、最も上昇した位置を示す。また、プランジャの「上昇」とは、加圧室内の溶媒が圧縮もしくは吐出される方向の動き（図１Ａにおける右向きの動き）を表し、プランジャの「下降」とは、加圧室内に溶媒が吸引される方向の動き（図１Ａにおける左向きの動き）を表す。

　第１プランジャ２１の往復運動は、第１電動モータ２１１、減速装置２２１及び直動装置２３１により制御される。より具体的には、モータドライバ２１０は、コントローラ１０の指令値に基づいて第１電動モータ２１１に駆動電力を与えて回転させる。第１電動モータ２１１の回転は、減速装置２２１により減速され、直動装置２３１により直線運動に変換されて、第１プランジャ２１が往復運動する。

　同様に、第２プランジャ２２の往復運動は、第２電動モータ２１２、減速装置２２２及び直動装置２３２により制御される。より具体的には、モータドライバ２１０は、コントローラ１０の指令値に基づいて第２電動モータ２１２に駆動電力を与えて回転させる。第２電動モータ２１２の回転は、減速装置２２２により減速され、直動装置２３２により直線運動に変換されて、第２プランジャ２２が往復運動する。

　減速装置２２１及び直動装置２３１は、これらを組み合わせることによって第１電動モータ２１１の回転動力を増幅して直線運動力に変換することから、広義に動力伝達機構装置と呼ぶことができる。このことは減速装置２２２及び直動装置２３２についても同様である。

　減速装置２２１及び２２２の具体例としては、平歯車、プーリー、遊星歯車、ウォームギヤなどが挙げられる。減速装置２２１及び２２２を設ける主な理由は、第１及び第２電動モータ２１１及び２１２のトルクを増大させるためである。もし第１及び第２電動モータ２１１及び２１２が十分なトルクを発生する能力があるならば、必ずしも減速装置２２１及び２２２を設置する必要はない。直動装置２３１及び２３２の具体例としては、ボールねじ、カム、ラックピニオンなどが挙げられる。

　パージバルブドライバ３１０は、コントローラ１０の指令値に基づいてパージバルブ３１１に駆動電力を与える。パージバルブ３１１は、第２プランジャポンプ１０２の下流に接続されている。パージバルブ３１１は、送液ポンプ１から吐出される溶媒が流れる方向を、インジェクタ２側もしくは廃液タンク３１２側のどちらかに切り替える。

　電磁弁ドライバ４１０は、コントローラ１０の指令値に基づいて第１電磁弁８１及び第２電磁弁８２に駆動電力を与える。送液ポンプ１の外部には、第１溶媒５１１を収容する溶媒容器と、第２溶媒５１２を収容する溶媒容器が設置されている。第１電磁弁８１及び第２電磁弁８２の開閉、第１プランジャポンプ１０１及び第２プランジャポンプ１０２（第１プランジャ２１及び第２プランジャ２２）の駆動により、第１溶媒５１１又は第２溶媒５１２が送液ポンプ１へ送液される。

　第１プランジャポンプ１０１が溶媒を吸引するとき、第１電磁弁８１及び第２電磁弁８２のうちどちらか一方が開いた状態で他の一方は閉じた状態となり、第１溶媒５１１及び第２溶媒５１２のどちらか一方が吸引される。吸引された溶媒は、合流部９０、第１逆止弁５１及び第１吸引通路３１を通過して第１加圧室１１に吸引される。第１加圧室１１内に吸引された溶媒は、第１プランジャ２１の上昇に伴って圧縮される。

　溶媒が圧縮されることで第１加圧室１１内部の圧力が第２加圧室１２内部の圧力より大きくなり、溶媒は、第１吐出通路４１、第２逆止弁５２、連結流路１０３及び第２吸引通路３２を通過して第２加圧室１２に流入し、第２吐出通路４２から吐出される。

　送液ポンプ１から吐出された溶媒には、インジェクタ２によって、分析対象である試料が注入される。試料が注入された溶媒は分離カラム３に導入されて成分ごとに分離され、その後、検出器４により、試料成分に応じた吸光度、蛍光強度、屈折率などが検出される。分離カラム３には微小粒子が充填されており、溶媒が微小粒子の隙間を流れる際の流体抵抗によって、送液ポンプ１には数十メガパスカルから百メガパスカル超の負荷圧力が発生する。この負荷圧力の大きさは、分離カラム３の径と通過流量に応じて異なる。

＜コントローラ１０のハードウェア構成＞
　図１Ｂは、実施例１のコントローラのハードウェアブロック図である。図１Ｂを参照して、実施例１のコントローラ１０の構成を説明する。コントローラ１０は、記憶部５１０に記憶されたプログラムを読み出し、実行することにより、後述するフローチャートの各処理を実行する。コントローラ１０は、プロセッサ４１１と、主記憶部４１２と、補助記憶部４１３と、入出力インタフェース（以下、インタフェースをＩ／Ｆと略記する）４１４と、通信Ｉ／Ｆ４１５と、上記した各モジュールを通信可能に接続するバス４１６と、を有する。

　プロセッサ４１１は、中央処理演算装置である。プロセッサ４１１は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＤＳＰ（Digital Signal Processor）、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）等である。プロセッサ４１１は、記憶部５１０に記憶されるプログラムを主記憶部４１２の作業領域に実行可能に展開して実行する。主記憶部４１２は、プロセッサ４１１が実行するプログラム、当該プロセッサが処理するデータ（例えば、圧縮率パラメータ）等を一時的に記憶する。主記憶部４１２は、フラッシュメモリ、ＲＡＭ（Random Access Memory）等である。補助記憶部４１３は、例えば、コントローラ１０のブートプログラム等を記憶し、ＲＯＭ（Read Only Memory）等である。また、記憶部５１０は、例えば、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）、ＳＳＤ（Solid State Drive）等である。

　入出力Ｉ／Ｆ４１４は、圧力センサ１１０、モータドライバ２１０、電磁弁ドライバ４１０及びパージバルブドライバ３１０と通信可能に接続される。通信Ｉ／Ｆ４１５は、ネットワークを介して外部機器と通信可能に接続される。

　コントローラ１０は、送液ポンプ１の内部に組み込まれた組み込みコントローラであってもよいし、クラウド上のコントローラであってもよい。

＜送液方法＞
　実施例１の送液ポンプ１を用いて溶媒を通常送液する際の送液方法の概略を説明する。ここで、「通常送液」とは、送液ポンプ１から吐出する溶媒をインジェクタ２、分離カラム３及び検出器４へ流し、試料を分析する場合の送液方法である。なお、試料を分析しない場合（溶媒を廃液タンク３１２に送液する場合）も同様の動作となるため、説明を省略する。

　図２は、送液ポンプにより溶媒を通常送液する際の各プランジャの変位を示すグラフである。図２に示される２つのグラフは、いずれも横軸は時間を示し、縦軸は、上から順に、第１プランジャ２１の変位、第２プランジャ２２の変位を示す。第１プランジャ２１の変位及び第２プランジャ２２の変位は、上昇方向（図１Ａの右方向）を正方向とし、下降方向（図１Ａの左方向）を負方向とする。通常送液において、第１プランジャ２１及び第２プランジャ２２は、ともに下限点を基準として動作する。

　通常送液において、第１プランジャポンプ１０１及び第２プランジャポンプ１０２は、ともに周期的な動作をする。図２においては、２周期分が示されている。駆動周期ａは、３つの区間ｂ、ｃ、ｄで構成され、繰り返される。駆動周期ａの長さは、例えば２秒、４秒、６秒などである。それぞれの区間について説明する。

　区間ｂは、単独送液区間と呼ぶ。この区間では、装置使用者が指定した送液量を、第２プランジャポンプ１０２が吐出する。第１プランジャ２１は、下限点に移動し、その後、区間ｂが終了するまで停止する。第１プランジャ２１は、負方向に変位するが、第２逆止弁５２が流路を閉じるため、第１プランジャ２１の動きは吐出流量に影響を与えない。

　区間ｃは、圧縮区間と呼ぶ。この区間では、装置使用者が指定した送液量を、第２プランジャポンプ１０２が吐出する。コントローラ１０は、記憶部５１０に格納されている圧縮率パラメータを呼び出し、圧力センサ１１０から受信する圧力値と共に、第１プランジャポンプ１０１の圧縮に必要な第１プランジャ２１による溶媒の圧縮量（プランジャ変位量）を計算する。その後、コントローラ１０の制御のもと、第１プランジャ２１は、計算された圧縮量を正方向に移動する。第１プランジャポンプ１０１の第１加圧室１１の圧力が吐出圧力を超えるまでは、第２逆止弁５２が閉じているため、第１プランジャ２１の動きは吐出流量に影響を与えない。圧縮超過が発生すると、第２逆止弁５２が開放され、吐出流量及び吐出圧力が上昇し始める。

　詳細なフィードバック制御方法は後述するが、計算した圧縮量を第１プランジャ２１が移動した際に圧縮超過が発生し、圧力センサ１１０の圧力値が上昇した場合は、必要に応じてコントローラ１０は記憶部５１０に格納される圧縮率パラメータを小さくする。

　区間ｄは、交差送液区間と呼ぶ。この区間では、第２プランジャ２２は下限点まで移動する。第２プランジャ２２が負方向に移動することによって発生する第２プランジャポンプ１０２が吸引を行う流量と、装置使用者が指定した流量を合計した流量値を、第１プランジャ２１が正方向に移動し、第１プランジャポンプ１０１が吐出することで、送液ポンプ全体として、装置使用者が指定した送液量を吐出する。詳細なフィードバック制御方法は後述するが、圧縮区間ｃから交差送液区間ｄへと移行した際に、第１加圧室１１の圧縮不足で圧力センサ１１０から受信する圧力値が下降した場合、必要に応じて、コントローラ１０は記憶部５１０に格納されている圧縮率パラメータを大きくする。

　交差送液区間ｄの終了後は単独送液区間ｂへと移行し、同様の周期動作を繰り返す。

＜フィードバック制御＞
　実施例１の圧縮率パラメータのフィードバック制御を説明する。前記の＜送液方法＞で記述したように、送液ポンプ１は、単独送液区間ｂ、圧縮区間ｃ、及び交差送液区間ｄを含む駆動周期ａを繰り返す。圧縮区間ｃにおける圧縮量を正しく計算するために、圧縮率パラメータをフィードバック制御する必要がある。フィードバック制御は、圧縮超過及び圧縮不足の２つであり、圧縮区間ｃでは圧縮超過が発生し、交差送液区間ｄ移行時には圧縮不足が発生する。圧縮超過が発生した場合は、圧縮率パラメータを小さくし、圧縮不足が発生した場合は、圧縮率パラメータを大きくする。圧縮超過の場合は、瞬間的な圧力上昇が、圧縮不足の場合は瞬間的な圧力降下が発生するが、各々の変化量（増加量、減少量）が、圧力変動閾値を超える場合には、外乱であるという判定を行い、外乱判定時間以内に１回目の判定であった場合は、圧縮率パラメータの修正を行わない。ただし、外乱判定時間以内に２回以上発生した場合は、２回目以降は圧縮率パラメータを修正することになる。

　圧力変動閾値は、例えば、１０ミリ秒間に０．５メガパスカル以上の変化、２０ミリ秒間に１メガパスカル以上の変化などを設定する。圧力変動閾値は、インジェクタ２や切り替えバルブの動作によって発生する外乱の大きさを事前に計測し、装置使用者の使用条件に合わせて、経験的に想定される外乱の圧力変動を設定することが好ましい。

　外乱判定時間は、駆動周期時間よりも数倍～数十倍は長い時間を設定することが好ましい。例えば、３０秒間や１分間などの所定時間が設定される。圧縮率パラメータの修正量は、圧縮超過によって発生した圧力上昇値、又は圧縮不足によって発生した圧力降下値と、事前に設定されている修正係数とを元に、線形的に圧縮率パラメータを変化させるのが一般的である。

＜フィードバック制御のフローチャート＞
　図３は、実施例１の圧縮率パラメータのフィードバック制御を含む送液ポンプの動作を示したフローチャートである。このフローチャートの各ステップは、記憶部５１０に記憶されるプログラムを実行するコントローラ１０によって実行される。

（ステップＳ３０１）
　コントローラ１０は、単独送液区間ｂにおいて、第２電動モータ２１２等の動作を制御して、第２プランジャ２２を下限点から正方向に移動させ、装置使用者が指定した送液量を吐出させる。また、コントローラ１０は、第１電動モータ２１１等の動作を制御して、第１プランジャ２１を下限点に移動させ、その後、区間ｂが終了するまで停止する。

（ステップＳ３０２）
　コントローラ１０は、記憶部５１０に格納されている圧縮率パラメータを呼び出し、圧力センサ１１０から受信する圧力値と共に、第１プランジャポンプ１０１の圧縮に必要な第１プランジャ２１の圧縮量（プランジャ変位量）を計算する。

（ステップＳ３０３）
　コントローラ１０は、圧縮区間ｃにおいて、第２電動モータ２１２等の動作を制御して、第２プランジャ２２をさらに正方向に移動させ、装置使用者が指定した送液量を吐出させる。また、コントローラ１０は、第１電動モータ２１１等の動作を制御して、第１プランジャ２１を計算した圧縮量だけ正方向に移動させる。

（ステップＳ３０４）
　コントローラ１０は、圧力センサ１１０から受信する圧力値に基づいて、圧縮超過が発生したか否かを判定する。例えば、コントローラ１０は、圧力センサ１１０から受信した圧力値が閾値より大きくなった場合に圧縮超過が発生したと判定してもよいし、圧力センサ１１０から受信した圧力値の変化量（増加量）が閾値より大きくなった場合に圧縮超過が発生したと判定してもよい。

（ステップＳ３０５）
　コントローラ１０は、圧縮超過が発生したと判定すると（ステップＳ３０４：Ｙｅｓ）、この圧縮超過に係る圧力変化量が圧力変動閾値以上の変化か否かを判定する。

（ステップＳ３０６）
　コントローラ１０は、圧縮超過に係る圧力変化量が圧力変動閾値以上の変化でないと判定すると（ステップＳ３０５：Ｎｏ）、第１プランジャ２１による溶媒の圧縮量が小さくなるように、圧縮率パラメータを小さくする。

（ステップＳ３０７）
　コントローラ１０は、圧縮超過に係る圧力変化量が圧力変動閾値以上の変化であると判定すると（ステップＳ３０５：Ｙｅｓ）、この圧縮超過に係る圧力変化が外乱判定時間内での初めて（１回目）の変化か否かを判定する。外乱判定時間内に複数回の圧力変化が発生するならば、送液ポンプ１の内部要因によって発生する圧力変化だと判定し、外乱判定時間内に１回だけ圧力変化が発生するならば、送液ポンプ１の外部要因によって発生する圧力変化だと判定する。コントローラ１０は、圧縮超過に係る圧力変化が外乱判定時間内での初めての変化でない（２回目以降の変化である）と判定すると（ステップＳ３０７：Ｎｏ）、上記したステップＳ３０６の圧縮率パラメータを小さくする処理を実行する。一方で、コントローラ１０は、圧縮超過に係る圧力変化が外乱判定時間内での初めての変化であると判定すると（ステップＳ３０７：Ｙｅｓ）、圧縮率パラメータを変更しない。

（ステップＳ３０８）
　コントローラ１０は、第１プランジャ２１による圧縮が終了したか否かを判定する。第１プランジャ２１による圧縮が終了するまで（ステップＳ３０８：Ｎｏ）、コントローラ１０は、圧縮超過が発生したか否かを判定する処理（ステップＳ３０４）を繰り返す。

（ステップＳ３０９）
　第１プランジャ２１による圧縮が終了すると（ステップＳ３０８：Ｙｅｓ）、コントローラ１０は、交差送液区間ｄにおいて、第２電動モータ２１２等の動作を制御して、第２プランジャ２２を下限点まで負方向に移動させる。また、コントローラ１０は、第１電動モータ２１１等の動作を制御して、第１プランジャ２１を正方向に移動させ、第２プランジャポンプ１０２が吸引を行う流量と装置使用者が指定した流量とを合計した流量を吐出させる。

（ステップＳ３１０）
　コントローラ１０は、圧力センサ１１０から受信する圧力値に基づいて、圧縮不足が発生したか否かを判定する。例えば、コントローラ１０は、圧力センサ１１０から受信した圧力値が閾値より小さくなった場合に圧縮不足が発生したと判定してもよいし、圧力センサ１１０から受信した圧力値の変化量（減少量）が閾値より大きくなった場合に圧縮不足が発生したと判定してもよい。

（ステップＳ３１１）
　コントローラ１０は、圧縮不足が発生したと判定すると（ステップＳ３１０：Ｙｅｓ）、この圧縮不足に係る圧力変化量が圧力変動閾値以上の変化か否かを判定する。なお、ステップＳ３１１で用いた圧力変動閾値と、上記したステップＳ３０５で用いた圧力変動閾値とは、共通であってもよいし、別々の値であってもよい。

（ステップＳ３１２）
　コントローラ１０は、圧縮不足に係る圧力変化量が圧力変動閾値以上の変化でないと判定すると（ステップＳ３１１：Ｎｏ）、第１プランジャ２１による溶媒の圧縮量が大きくなるように、圧縮率パラメータを大きくする。

（ステップＳ３１３）
　コントローラ１０は、圧縮不足に係る圧力変化量が圧力変動閾値以上の変化であると判定すると（ステップＳ３１１：Ｙｅｓ）、この圧縮不足に係る圧力変化が外乱判定時間内での初めて（１回目）の変化か否かを判定する。外乱判定時間内に複数回の圧力変化が発生するならば、送液ポンプ１の内部要因によって発生する圧力変化だと判定し、外乱判定時間内に１回だけ圧力変化が発生するならば、送液ポンプ１の外部要因によって発生する圧力変化だと判定する。コントローラ１０は、圧縮不足に係る圧力変化が外乱判定時間内での初めての変化でない（２回目以降の変化である）と判定すると（ステップＳ３１３：Ｎｏ）、上記したステップＳ３１２の圧縮率パラメータを大きくする処理を実行する。一方で、コントローラ１０は、圧縮不足に係る圧力変化が外乱判定時間内での初めての変化であると判定すると（ステップＳ３１３：Ｙｅｓ）、圧縮率パラメータを変更しない。

（ステップＳ３１４）
　コントローラ１０は、交差送液が終了したか否かを判定する。交差送液が終了するまで（ステップＳ３１４：Ｎｏ）、コントローラ１０は、圧縮不足が発生したか否かを判定する処理（ステップＳ３１０）を繰り返す。

＜フィードバック制御の効果（圧縮不足が外乱判定時間内で初めて発生した場合）＞
　次に、圧縮不足が外乱判定時間内で初めて発生した場合について、圧縮率パラメータのフィードバック制御の効果を説明する。図４は、実施例１の圧力センサで計測される圧力値を示したグラフである。横軸は時間であり、縦軸は圧力センサ１１０で計測される圧力値である。前述までの通り、送液ポンプ１は、単独送液区間ｂ、圧縮区間ｃ、交差送液区間ｄで構成される駆動周期ａを繰り返す。正しい動作を繰り返す場合、圧力センサ１１０で計測される圧力値は一定である。ここで、ある駆動周期ａ１における交差送液区間ｄ１の開始時に、インジェクタ２におけるインジェクションバルブが切り替わり、大気圧の試料が流路へ注入されたとする。その場合、インジェクションショック６００として、大きく圧力降下が発生する。

　一般的な送液ポンプのフィードバック制御によれば、交差送液区間ｄの開始時に圧力降下が発生した場合、圧縮不足の判定が行われ、圧縮率パラメータが修正される。しかし、インジェクションショック６００は、送液ポンプ１の外部に存在するバルブの切り替えが原因で発生したものであり、圧縮不足による圧力降下ではない。よって、理想的には、インジェクションショック６００は、フィードバック制御の対象外にすることが好ましい。

　そこで、実施例１では、図３のステップＳ３１１に示したように、圧縮不足の判定（ステップＳ３１０：Ｙｅｓ）の後に、圧縮不足に係る圧力変化量が圧力変動閾値以上の変化か否かの判定を行う。インジェクションショック６００は、明らかに大きな圧力降下であり、圧力変動閾値以上の変化量となる。よって、図３に示したフィードバック制御では、ステップＳ３１３のＹｅｓの判定に従い、圧縮率パラメータは修正されない。よって、図４における駆動周期ａ２では、駆動周期ａ１で使用した圧縮率パラメータに基づいて、圧縮量が計算される。これにより、インジェクションショック６００に不要に追随することなく、駆動周期ａ２以降も、正しいポンプ制御が行われる。

　なお、図４の例では、インジェクションショック６００のみが発生したケースについて説明したが、インジェクションショック６００に加えて、圧縮超過や圧縮不足が発生した場合には、圧縮率パラメータが修正される可能性がある。例えば、上記のように圧縮率パラメータを修正しない場合であっても（ステップＳ３１３：Ｙｅｓ）、圧縮不足の判定の前に圧縮超過が発生し（ステップＳ３０４：Ｙｅｓ）、ステップＳ３０６において圧縮率パラメータを修正している場合には、この修正した圧縮率パラメータを使用して、駆動周期ａ２における圧縮量を計算する。すなわち、駆動周期ａ１で使用した圧縮率パラメータに基づいて圧縮量を計算するとは、駆動周期ａ１で使用した圧縮率パラメータと同じパラメータを使って圧縮量を計算すること、及び駆動周期ａ１で使用した圧縮率パラメータを外乱判定以外の要因で修正した圧縮率パラメータを使って圧縮率を計算すること、を含む。

＜フィードバック制御の効果（圧縮不足が外乱判定時間内で２回以上発生した場合）＞
　また、圧縮不足が外乱判定時間内で２回以上発生した場合について、圧縮率パラメータのフィードバック制御の効果を説明する。図５は、図４と同様で、実施例１の圧力センサで計測される圧力値を示したグラフである。前述までの通り、送液ポンプ１は、単独送液区間ｂ、圧縮区間ｃ、交差送液区間ｄで構成される駆動周期ａを繰り返す。正しい動作を繰り返す場合、圧力センサ１１０で計測される圧力値は一定である。

　ここで、ある駆動周期ａ３で、装置使用者が送液ポンプ１の設定値を間違えて変更したとする。例えば、送液ポンプ１には純水が設置されているのに、溶媒の設定を間違えてメタノールへと変更したとする。メタノールの圧縮率は水よりも小さいため、装置内部での圧縮率パラメータは、一時的に小さな値へと変更される。駆動周期ａ３における圧縮区間ｃ３では、メタノールの圧縮率パラメータを元に圧縮量が計算及び実行されるが、実際に送液ポンプに接続されている溶媒は純水であるため圧縮不足が発生し、結果として交差送液区間ｄ３の開始時に、大きな圧力降下７０１が発生する。

　図３で説明されるように、大きな圧力降下７０１は圧力変動閾値以上の変化であるため、フィードバック制御の対象外となり、圧縮率パラメータは変更されない。そのため、次の駆動周期ａ４では、駆動周期ａ３と同様の圧縮率パラメータを使用して、制御が行われる。結果として、圧縮区間ｃ４では圧縮区間ｃ３と同様の圧縮工程が行われ、交差送液区間ｄ４の開始時に、大きな圧力降下７０１と同様の大きな圧力降下７０２が発生する。

　ここで、大きな圧力降下７０２は、大きな圧力降下７０１から駆動周期時間、例えば４秒間、経過して発生する。２回目の大きな圧力降下７０２は、外乱判定時間（例えば３０秒間）が経過する前に検出されるので、図３のフローチャートに従い、外乱判定時間内の初めての変化ではないと判定される（ステップＳ３１３：Ｎｏ）。よって、大きな圧力降下７０２は、フィードバック制御の対象となり、圧力降下量に基づいて圧縮率パラメータを大きくする。これにより、次の駆動周期ａ５では、駆動周期ａ４よりも大きな圧縮率パラメータを用いて制御される。

　圧縮率パラメータの修正は、一度で最適な値へと変更しきれない場合もある。駆動周期ａ５では、未だに圧縮不足が残存し、小さな圧縮降下７０３が発生している。そこで、実施例１では、図３のステップＳ３１１（Ｎｏ）及びステップＳ３１２を実行して、小さな圧縮降下７０３に基づいて圧縮率パラメータを大きくする。これにより、駆動周期ａ６以降では、さらに正しく、送液ポンプ１が制御されることを期待される。

　このように、実施例１によれば、インジェクションショック６００等の外乱をフィードバック制御の対象から除外することが可能となる。

　また、送液ポンプ１が内部要因として大きな圧縮ミスを行っていた場合は、２周期目以降からフィードバック制御の対象となるため、圧縮率パラメータが修正されていく効果がある。これは、インジェクションショック６００等の外乱は発生頻度が小さく、圧縮超過及び圧縮不足は駆動周期間隔（おおよそ数秒間隔）で発生することを利用している。

　さらに、実施例１では、圧力センサ１１０によって測定される圧力値に基づいて、インジェクションショック６００等の外乱の発生を判定することができる。つまり、実施例１では、特許文献４のように外部装置からバルブの制御信号を受信することなく、圧力センサ１１０によって測定される圧力値に基づいて、外乱の発生を判定することができる。

　実施例１では、圧力値の変化量が圧力変動閾値以上の変動であれば圧縮率パラメータを変更しなかったが、実施例２では、圧力変動値の変化量に伴って変更される圧縮率パラメータの変動量が圧縮率パラメータ変更可能閾値以上の変動であれば、圧縮率パラメータを変更しない。

　例えば、圧縮率パラメータ変更可能閾値をプラスマイナス３０％とした場合、１度のフィードバック制御で圧縮率パラメータが３０％以上変動する場合は、外乱であると判定し、圧縮率パラメータを変更しない。圧縮率パラメータ変更可能閾値は、装置使用者の使用条件から決定されるのが好ましく、例えば、３０％、５０％、７０％などが好ましい。また、割合に限らず、絶対値で圧縮率パラメータ変更可能閾値を決定しても良い。

　図６は、実施例２の圧縮率パラメータのフィードバック制御を含む送液ポンプの動作を示したフローチャートである。実施例１と重複する説明は、適宜省略する。

　（ステップＳ６０１）
　コントローラ１０は、圧縮超過が発生したと判定すると（ステップＳ３０４：Ｙｅｓ）、圧力センサ１１０によって検出された圧力値に基づいて圧縮率パラメータを計算する。そして、コントローラ１０は、計算した圧縮率パラメータと計算前の圧縮率パラメータとの差分を計算する。なお、コントローラ１０は、圧力センサ１１０によって検出された圧力値の変化量に基づいて圧縮率パラメータを計算してもよい。

（ステップＳ６０２）
　コントローラ１０は、圧縮率パラメータの差分が圧縮率パラメータ変更可能閾値以上の変化か否かを判定する。

（ステップＳ３０６）
　コントローラ１０は、圧縮率パラメータの差分が圧縮率パラメータ変更可能閾値以上の変化でないと判定すると（ステップＳ６０２：Ｎｏ）、第１プランジャ２１による溶媒の圧縮量が小さくなるように、圧縮率パラメータを小さくする。一方で、コントローラ１０は、圧縮率パラメータの差分が圧縮率パラメータ変更可能閾値以上の変化であると判定すると（ステップＳ６０２：Ｙｅｓ）、圧縮率パラメータを変更しない。

（ステップＳ６０３）
　コントローラ１０は、圧縮不足が発生したと判定すると（ステップＳ３１０：Ｙｅｓ）、圧力センサ１１０によって検出された圧力値に基づいて圧縮率パラメータを計算する。そして、コントローラ１０は、計算した圧縮率パラメータと計算前の圧縮率パラメータとの差分を計算する。なお、コントローラ１０は、圧力センサ１１０によって検出された圧力値の変化量に基づいて圧縮率パラメータを計算してもよい。

（ステップＳ６０４）
　コントローラ１０は、圧縮率パラメータの差分が圧縮率パラメータ変更可能閾値以上の変化か否かを判定する。

（ステップＳ３１２）
　コントローラ１０は、圧縮率パラメータの差分が圧縮率パラメータ変更可能閾値以上の変化でないと判定すると（ステップＳ６０４：Ｎｏ）、第１プランジャ２１による圧縮量が大きくなるように、圧縮率パラメータを大きくする。一方で、コントローラ１０は、圧縮率パラメータの差分が圧縮率パラメータ変更可能閾値以上の変化であると判定すると（ステップＳ６０４：Ｙｅｓ）、圧縮率パラメータを変更しない。

　なお、実施例２においても、図３のステップＳ３０７やＳ３１３のような判定を行い、外乱判定時間内での圧縮率パラメータの差分の閾値以上の変化が初めての場合に圧縮率パラメータを変更せずに、２回目以降の場合に圧縮率パラメータを変更してもよい。

　実施例２では、実施例１と同様に、外部装置から制御信号を取得せずに外乱を判定し、圧縮率パラメータを適切にフィードバック制御することができる。

　実施例１では、図３のステップＳ３０７やＳ３１３のように、外乱判定時間内における閾値以上の圧力変動が初回か否かを判定したが、実施例３では、これらの判定を省略する。図７は、実施例３の圧縮率パラメータのフィードバック制御を含む送液ポンプの動作を示したフローチャートである。実施例１と重複する説明は、適宜省略する。

（ステップＳ３０６）
　コントローラ１０は、圧縮超過に係る圧力変化量が圧力変動閾値以上の変化でないと判定すると（ステップＳ３０５：Ｎｏ）、第１プランジャ２１による圧縮量が小さくなるように、圧縮率パラメータを小さくする。一方で、コントローラ１０は、圧縮超過に係る圧力変化量が圧力変動閾値以上の変化であると判定すると（ステップＳ３０５：Ｙｅｓ）、圧縮率パラメータを変更しない。

（ステップＳ３１１）
　また、コントローラ１０は、圧縮不足が発生したと判定すると（ステップＳ３１０：Ｙｅｓ）、この圧縮不足に係る圧力変化量が圧力変動閾値以上の変化か否かを判定する。

（ステップＳ３１２）
　コントローラ１０は、圧縮不足に係る圧力変化量が圧力変動閾値以上の変化でないと判定すると（ステップＳ３１１：Ｎｏ）、第１プランジャ２１による圧縮量が大きくなるように、圧縮率パラメータを大きくする。一方で、コントローラ１０は、圧縮不足に係る圧力変化量が圧力変動閾値以上の変化であると判定すると（ステップＳ３１１：Ｙｅｓ）、圧縮率パラメータを変更しない。

　実施例３では、周期的に外乱が発生したとしても、外部装置から制御信号を取得せずに外乱を判定し、圧縮率パラメータを適切にフィードバック制御することができる。

＜変形例＞
　なお、本発明は、上記の実施例に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。上記の実施例は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施例の構成の一部を他の実施例の構成に置き換えることも可能であり、また、ある実施例の構成に他の実施例の構成を加えることも可能である。また、各実施例の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることも可能である。

　実施例１及び２では、圧縮区間ｃでの圧縮超過時及び交差送液区間ｄでの圧縮不足時に圧縮率パラメータをフィードバック制御する例について説明した。すなわち、実施例１及び２では、単独送液区間ｂでの圧縮超過時及び圧縮不足時、圧縮区間ｃでの圧縮不足時、並びに交差送液区間ｄでの圧縮超過時では、圧縮率パラメータをフィードバック制御しない。しかし、本開示は、
　・単独送液区間ｂでの圧縮超過時に、図３のステップＳ３０５～Ｓ３０７に倣って圧縮率パラメータをフィードバック制御してもよいし、
　・単独送液区間ｂでの圧縮不足時に、図３のステップＳ３１１～Ｓ３１３に倣って圧縮率パラメータをフィードバック制御してもよいし、
　・圧縮区間ｃでの圧縮不足時に、図３のステップＳ３１１～Ｓ３１３に倣って圧縮率パラメータをフィードバック制御してもよいし、
　・交差送液区間ｄでの圧縮超過時に、図３のステップＳ３０５～Ｓ３０７に倣って圧縮率パラメータをフィードバック制御してもよい。

　また、実施例１では、ステップＳ３０５やＳ３１１において、圧力変化量を圧力変動閾値と比較したが、圧力センサ１１０によって測定された圧力値を圧力閾値と比較してもよい。すなわち、本開示は、圧力センサ１１０で測定される圧力値に関する値（圧力変化量及び圧力値を含む）が閾値より小さい場合、圧縮率パラメータを変更してもよい。

　また、実施例１では、外乱判定時間内に１回目（初めて）の圧力変動が発生した場合は、圧縮率パラメータの修正を行わず、外乱判定時間以内に２回以上の圧力変動が発生した場合は、２回目以降は圧縮率パラメータを修正した。しかし、上記した回数は１回に限らず、外乱判定時間内において所定数Ｎ（Ｎは２以上の整数）回以内の圧力変動であれば、圧縮率パラメータの修正を行わず、外乱判定時間以内に（Ｎ＋１）回以上の圧力変動が発生した場合に、圧縮率パラメータを修正してもよい。

　また、実施例１～３では、圧縮超過が発生した場合及び圧縮不足が発生した場合の両方で、圧縮率パラメータをフィードバック制御する例について説明した。しかし、本開示は圧縮超過が発生した場合のみ圧縮率パラメータをフィードバック制御してもよいし、圧縮不足が発生した場合のみ圧縮率パラメータをフィードバック制御してもよい。

　また、実施例１～３において、圧力変動が大きい場合に検出器４によって検出された測定値を通常時の測定値と区別して通知してもよい。

１…送液ポンプ、　２…インジェクタ、　３…分離カラム、　４…検出器、　５…廃液容器、　１０…コントローラ、　１１…第１加圧室、　１２…第２加圧室、　２１…第１プランジャ、　２２…第２プランジャ、　３１…第１吸引通路、　３２…第２吸引通路、　４１…第１吐出通路、　４２…第２吐出通路、　５１…第１逆止弁、　５２…第２逆止弁、　１００…液体クロマトグラフ、　１０１…第１プランジャポンプ、　１０２…第２プランジャポンプ、　１０３…連結流路、　１１０…圧力センサ、　２１０…モータドライバ、　３１０…パージバルブドライバ、　４１０…電磁弁ドライバ、　５１０…記憶部

Claims

　第１プランジャを有する第１プランジャポンプと、
　前記第１プランジャポンプと直列に接続され、第２プランジャを有する第２プランジャポンプと、
　前記第２プランジャポンプの下流に配置される圧力センサと、
　前記第１プランジャの駆動及び前記第２プランジャの駆動を制御する制御部と、
　前記第１プランジャによる溶媒の圧縮量を計算するための圧縮率パラメータを記憶する記憶部と、を備え、
　前記制御部は、
　前記圧縮率パラメータに基づいて、一の駆動周期における前記第１プランジャによる前記溶媒の第１圧縮量を計算し、前記一の駆動周期において前記第１プランジャが前記第１圧縮量で前記溶媒を圧縮するよう制御し、
　前記一の駆動周期において前記圧力センサで測定される圧力値に関する値が閾値より小さい場合、前記圧力値に関する値に応じて前記圧縮率パラメータを変更し、変更後の前記圧縮率パラメータに基づいて、前記一の駆動周期の次の駆動周期における前記第１プランジャによる前記溶媒の第２圧縮量を計算し、
　前記一の駆動周期において前記圧力値に関する値が前記閾値より大きい場合、前記圧縮率パラメータに基づいて、前記次の駆動周期における前記第１プランジャによる前記溶媒の第３圧縮量を計算する
　ことを特徴とする送液ポンプ。
　前記制御部は、
　所定時間中に前記圧力値に関する値が前記閾値より大きくなった回数が所定数より小さい場合、前記圧縮率パラメータを変更しない
　ことを特徴とする請求項１に記載の送液ポンプ。
　前記制御部は、
　前記所定時間中に前記圧力値に関する値が前記閾値より大きくなった回数が前記所定数より大きい場合、前記圧縮率パラメータを変更する
　ことを特徴とする請求項２に記載の送液ポンプ。
　前記所定時間は、前記駆動周期より長い
　ことを特徴とする請求項２又は３に記載の送液ポンプ。
　前記駆動周期は、前記第１プランジャが前記溶媒を圧縮する圧縮区間を含み、
　前記制御部は、
　前記一の駆動周期の前記圧縮区間において前記圧力センサで測定される前記圧力値の増加量が前記閾値より小さい場合、前記次の駆動周期における前記第１プランジャによる前記溶媒の圧縮量が小さくなるように前記圧縮率パラメータを変更する
　ことを特徴とする請求項１に記載の送液ポンプ。
　前記駆動周期は、前記第１プランジャが前記溶媒を圧縮する圧縮区間と前記圧縮区間で圧縮された前記溶媒を下流側に送液する送液区間とを含み、
　前記制御部は、
　前記一の駆動周期の前記送液区間において前記圧力センサで測定される前記圧力値の減少量が前記閾値より小さい場合、前記次の駆動周期における前記第１プランジャによる前記溶媒の圧縮量が大きくなるように前記圧縮率パラメータを変更する
　ことを特徴とする請求項１に記載の送液ポンプ。
　第１プランジャを有する第１プランジャポンプと、前記第１プランジャポンプと直列に接続され、第２プランジャを有する第２プランジャポンプと、前記第２プランジャポンプの下流に配置される圧力センサと、を備える送液ポンプにおける溶媒の送液方法であって、
　前記第１プランジャによる前記溶媒の圧縮量を計算するための圧縮率パラメータに基づいて、一の駆動周期における前記第１プランジャによる前記溶媒の第１圧縮量を計算し、前記一の駆動周期において前記第１プランジャが前記第１圧縮量で前記溶媒を圧縮するよう制御すること、
　前記一の駆動周期において前記圧力センサで測定される圧力値に関する値が閾値より小さい場合、前記圧力値に関する値に応じて前記圧縮率パラメータを変更し、変更後の前記圧縮率パラメータに基づいて、前記一の駆動周期の次の駆動周期における前記第１プランジャによる前記溶媒の第２圧縮量を計算すること、及び
　前記一の駆動周期において前記圧力値に関する値が前記閾値より大きい場合、前記圧縮率パラメータに基づいて、前記次の駆動周期における前記第１プランジャによる前記溶媒の第３圧縮量を計算すること、を含む
　ことを特徴とする送液方法。
　第１プランジャを有する第１プランジャポンプと、
　前記第１プランジャポンプと直列に接続され、第２プランジャを有する第２プランジャポンプと、
　前記第２プランジャポンプの下流に配置される圧力センサと、
　前記第１プランジャの駆動及び前記第２プランジャの駆動を制御する制御部と、
　前記第１プランジャによる溶媒の圧縮量を計算するための圧縮率パラメータを記憶する記憶部と、を備え、
　前記制御部は、
　前記圧縮率パラメータに基づいて、一の駆動周期における前記第１プランジャによる前記溶媒の第１圧縮量を計算し、前記一の駆動周期において前記第１プランジャが前記第１圧縮量で前記溶媒を圧縮するよう制御し、
　前記一の駆動周期において前記圧力センサで測定される圧力値に応じて変更される前記圧縮率パラメータの変更量が閾値より小さい場合、前記圧力値に応じて前記圧縮率パラメータを変更し、変更後の前記圧縮率パラメータに基づいて、前記一の駆動周期の次の駆動周期における前記第１プランジャによる前記溶媒の第２圧縮量を計算し、
　前記圧縮率パラメータの前記変更量が前記閾値より大きい場合、前記圧縮率パラメータに基づいて、前記次の駆動周期における前記第１プランジャによる前記溶媒の第３圧縮量を計算する
　ことを特徴とする送液ポンプ。
　前記制御部は、
　所定時間中に前記圧縮率パラメータの前記変更量が前記閾値より大きくなった回数が所定数より小さい場合、前記圧縮率パラメータを変更しない
　ことを特徴とする請求項８に記載の送液ポンプ。
　前記制御部は、
　前記所定時間中に前記圧縮率パラメータの前記変更量が前記閾値より大きくなった回数が前記所定数より大きい場合、前記圧縮率パラメータを変更する
　ことを特徴とする請求項９に記載の送液ポンプ。
　前記所定時間は、前記駆動周期より長い
　ことを特徴とする請求項９又は１０に記載の送液ポンプ。
　前記駆動周期は、前記第１プランジャが前記溶媒を圧縮する圧縮区間を含み、
　前記制御部は、
　前記一の駆動周期の前記圧縮区間において前記圧力センサで測定される前記圧力値に応じて変更される前記圧縮率パラメータの増加量が前記閾値より小さい場合、前記次の駆動周期における前記第１プランジャによる前記溶媒の圧縮量が小さくなるように前記圧縮率パラメータを変更する
　ことを特徴とする請求項８に記載の送液ポンプ。
　前記駆動周期は、前記第１プランジャが前記溶媒を圧縮する圧縮区間と前記圧縮区間で圧縮された前記溶媒を下流側に送液する送液区間とを含み、
　前記制御部は、
　前記一の駆動周期の前記送液区間において前記圧力センサで測定される前記圧力値に応じて変更される前記圧縮率パラメータの減少量が前記閾値より小さい場合、前記次の駆動周期における前記第１プランジャによる前記溶媒の圧縮量が大きくなるように前記圧縮率パラメータを変更する
　ことを特徴とする請求項８に記載の送液ポンプ。
　第１プランジャを有する第１プランジャポンプと、前記第１プランジャポンプと直列に接続され、第２プランジャを有する第２プランジャポンプと、前記第２プランジャポンプの下流に配置される圧力センサと、を備える送液ポンプにおける溶媒の送液方法であって、
　前記第１プランジャによる前記溶媒の圧縮量を計算するための圧縮率パラメータに基づいて、一の駆動周期における前記第１プランジャによる前記溶媒の第１圧縮量を計算し、前記一の駆動周期において前記第１プランジャが前記第１圧縮量で前記溶媒を圧縮するよう制御すること、
　前記一の駆動周期において前記圧力センサで測定される圧力値に応じて変更される前記圧縮率パラメータの変更量が閾値より小さい場合、前記圧力値に応じて前記圧縮率パラメータを変更し、変更後の前記圧縮率パラメータに基づいて、前記一の駆動周期の次の駆動周期における前記第１プランジャによる前記溶媒の第２圧縮量を計算すること、及び
　前記圧縮率パラメータの前記変更量が前記閾値より大きい場合、前記圧縮率パラメータに基づいて、前記次の駆動周期における前記第１プランジャによる前記溶媒の第３圧縮量を計算すること、を含む
　ことを特徴とする送液方法。