WO2023181472A1 - レンズ検査装置 - Google Patents

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WO2023181472A1
WO2023181472A1 PCT/JP2022/039519 JP2022039519W WO2023181472A1 WO 2023181472 A1 WO2023181472 A1 WO 2023181472A1 JP 2022039519 W JP2022039519 W JP 2022039519W WO 2023181472 A1 WO2023181472 A1 WO 2023181472A1
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WO
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section
lens
inspection device
camera
lens inspection
Prior art date
Application number
PCT/JP2022/039519
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English (en)
French (fr)
Inventor
慎也 谷口
Original Assignee
株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス filed Critical 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for

Definitions

  • the disclosure herein relates to a lens inspection device.
  • an intraocular lens (500) is imaged from the Z direction and Y direction with two CCD cameras (50A, 50B), and the dimensions of the intraocular lens (500) are determined based on the obtained images. and optical properties are measured.
  • Patent Document 1 is provided with an X-axis motor (45a, 47a), a Y-axis motor (45b, 47b), and a Z-axis motor, and these drives move the CCD camera (50A, 50B) in X, Y, and Z directions. It is possible to move in any direction.
  • An object of the present invention is to provide a technique that can reduce the possibility that even if a foreign object is generated in a drive unit that moves a camera, the foreign object will fall and adhere to the lens.
  • a first aspect is a lens inspection device, which includes a lens holding part that holds a lens, a camera that images the lens held in the lens holding part, and a camera held in the lens holding part.
  • the camera is provided with a drive unit located below the lens to move the camera, and a connection unit that connects the camera and the drive unit.
  • a second aspect is the lens inspection device of the first aspect, in which the camera is located above and apart from the lens holding section.
  • a third aspect is the lens inspection device according to the first aspect or the second aspect, including a housing part that can house the lens holding part, the camera, the driving part, and the connecting part, and a housing part that can house the lens holding part, the camera, the driving part, and the connecting part; an airflow generation section that generates an airflow from above the camera to a side below the camera; and an exhaust section that is located below the drive section and discharges air inside the accommodation section to the outside of the accommodation section. Furthermore, it is equipped with.
  • a fourth aspect is the lens inspection device according to the third aspect, wherein the lens holding section is movable between an imaging position and a carry-out position horizontally distant from the imaging position, and the camera is configured to The lens held by the lens holding part at the imaging position can be imaged, and the housing part has an exit for carrying out the lens from the lens holding part at the carrying out position.
  • a fifth aspect is the lens inspection device according to the fourth aspect, in which the accommodating section includes a first accommodating section that accommodates the camera, the lens holding section at the imaging position, the driving section, and the connecting section; a second housing part communicating with the first housing part, accommodating the lens holding part at the carry-out position, and having the discharge port, and the airflow generating part is located above the first housing part. do.
  • a sixth aspect is the lens inspection device of the fifth aspect, in which the outlet is located above the second storage section.
  • a seventh aspect is the lens inspection device according to the fifth aspect or the sixth aspect, in which the exhaust section is located in the second housing section.
  • An eighth aspect is the lens inspection apparatus according to any one of the fifth to seventh aspects, wherein the exhaust section includes a first exhaust section located in the first housing section and a first exhaust section located in the second housing section. and a second exhaust section.
  • a ninth aspect is the lens inspection apparatus of the eighth aspect, in which the amount of exhaust from the second exhaust section is larger than the amount of exhaust from the first exhaust section.
  • a tenth aspect is the lens inspection device according to any one of the fifth to ninth aspects, in which the upper part of the second accommodating part is located below the upper part of the first accommodating part.
  • An eleventh aspect is the lens inspection apparatus according to any one of the first to tenth aspects, further comprising an illumination section that illuminates the lens held by the lens holding section, and the driving section is configured to Move the lighting section.
  • the drive unit that moves the camera since the drive unit that moves the camera is located below the lens, foreign matter generated in the drive unit is reduced from falling and adhering to the lens. Ru. Therefore, lens contamination can be reduced.
  • the lens can be photographed from above. Furthermore, even if the camera is located above the lens, the drive section is located below the lens, so that it is possible to reduce the attachment of foreign matter generated in the drive section to the lens.
  • foreign matter generated in the drive unit can be discharged to the outside of the storage unit by the exhaust unit.
  • the lens inspection device of the fifth aspect it is possible to reduce the possibility that foreign matter generated in the drive section rises and attaches to the lens.
  • the lens can be carried out from the lens holding part at the carrying out position via the carrying out port in the upper part of the second storage part.
  • the air can be evacuated in the second storage section. Thereby, airflow can be generated from the first housing part to the second housing part, so that air accumulation in the second housing part can be reduced.
  • air can be discharged from the first housing part and the second housing part.
  • air accumulation in the second storage portion can be reduced.
  • the airflow generated in the first housing section is directed toward the exhaust section of the second housing section, thereby reducing air accumulation near the top of the second housing section.
  • the lens can be illuminated in accordance with the imaging conditions. Furthermore, even if foreign matter is generated from the drive unit by moving the illumination unit, it is possible to reduce the possibility that the foreign matter will adhere to the lens.
  • FIG. 1 is a perspective view of a lens inspection device according to an embodiment.
  • FIG. 2 is a side view showing the inside of the housing section of the lens inspection device shown in FIG. 1.
  • FIG. FIG. 2 is a plan view schematically showing the inside of the housing section of the lens inspection device shown in FIG. 1.
  • FIG. FIG. 2 is a side view conceptually showing an airflow formed within the housing section of the lens inspection device shown in FIG. 1.
  • FIG. 1 is a perspective view of a lens inspection device 1 according to an embodiment.
  • FIG. 2 is a side view showing the inside of the housing section 3 of the lens inspection apparatus 1 shown in FIG.
  • FIG. 3 is a plan view schematically showing the inside of the housing section 3 of the lens inspection apparatus 1 shown in FIG.
  • arrows indicating the X, Y, and Z axes that intersect with each other may be illustrated.
  • the X, Y and Z axes are preferably orthogonal.
  • the direction toward which the tip of each arrow points is defined as the + (plus) side, and the side opposite to the + side is defined as the - (minus) side.
  • the direction along the Z-axis is defined as a vertical direction, and the directions along the X-axis and Y-axis are defined as horizontal directions parallel to the horizontal plane.
  • the +Z side will be described as the "upper side” and the -Z side will be described as the "lower side.”
  • these directions do not limit the positional relationship of the device configuration.
  • the lens inspection device 1 is a device that inspects the lens 9 to be inspected based on images obtained by a first camera 611 and a second camera 621.
  • the lens 9 is something that is worn on the eye, such as an intraocular lens or a contact lens.
  • the lens 9 may be a lens other than a lens worn on the eye (for example, a lens that can be used in an optical device (such as a camera)).
  • the lens inspection device 1 includes a housing section 3, an inspection section 5, a fan filter unit 7, and a control section 8.
  • the accommodating section 3 is a casing, and can accommodate the inspection section 5 inside.
  • the accommodating part 3 has a first accommodating part 31 and a second accommodating part 33.
  • the first accommodating part 31 and the second accommodating part 33 have a substantially rectangular parallelepiped shape.
  • the second accommodating part 33 is located adjacent to the first accommodating part 31 on the +X side.
  • the inside of the first accommodating part 31 communicates with the inside of the second accommodating part 33.
  • the upper part 33u of the second accommodating part 33 is located below the upper part 31u of the first accommodating part 31.
  • the second housing section 33 has a loading/unloading port 331 for loading and unloading the lens 9, and a shutter 333.
  • the loading/unloading port 331 is located at the upper part 33u of the second storage section 33.
  • the shutter 333 opens and closes the loading/unloading port 331.
  • the shutter 333 is opened when inserting the lens 9 into the housing section 3 or when carrying out the lens 9 from the housing section 3. Furthermore, when inspecting the lens 9 within the housing section 3, the shutter 333 is closed.
  • the inspection section 5 includes a lens holding section 51, a stage 53, a stage driving section 55, and a pedestal 57. Furthermore, the inspection section 5 includes a first camera 611, a first drive section 613, a first arm 615, and a first illumination section 617. Furthermore, the inspection section 5 includes a second camera 621, a second drive section 623, a second arm 625, and a second illumination section 627.
  • the lens holding section 51 holds the lens 9 that is the object of inspection.
  • the lens holding part 51 has transparency.
  • the lens holder 51 is attached to the upper surface of a substantially rectangular parallelepiped stage 53 via a support frame 511.
  • the lens inspection apparatus 1 includes a transmitted illumination section 513.
  • the transmitted illumination section 513 is located below the lens holding section 51.
  • the transmitted illumination section 513 illuminates the lens 9 held by the lens holding section 51 from the -Z side.
  • the stage drive unit 55 reciprocates the stage 53 in the X-axis direction along a guide rail (not shown) provided on the top surface of the pedestal 57 and extending in the X-axis direction.
  • the stage driving section 55 moves the lens holding section 51 between the imaging position P1 and the loading/unloading position P2 by moving the stage 53 between the first housing section 31 and the second housing section 33. move it.
  • the stage 53 is movable in the Y direction and rotatable in the ⁇ direction around the axis by the stage drive unit 55. By moving the stage 53 in the Y direction and rotating in the ⁇ direction, the position in the Y direction or the orientation in the ⁇ direction of the lens 9 held by the lens holder 51 is adjusted as appropriate.
  • the first camera 611 and the second camera 621 can image the lens 9 held by the lens holding section 51 at the imaging position P1.
  • the loading/unloading port 331 is located directly above the lens holder 51 at the loading/unloading position P2.
  • the lens 9 before inspection is placed in the lens holder 51 at the loading/unloading position P2 via the loading/unloading port 331. Further, the lens 9 that has been inspected is carried out from the lens holder 51 at the loading/unloading position P2 to the outside of the storage unit 3 via the loading/unloading port 331.
  • the loading and unloading of the lens 9 may be performed by a machine such as a transfer robot, or may be performed manually.
  • the first camera 611 is located away from the lens holding section 51 at the imaging position P1 in the +Z direction.
  • the first camera 611 images the top surface (+Z side surface) of the lens 9.
  • the first camera 611 transmits the captured image to the control unit 8.
  • the first camera 611 is connected to the first drive unit 613 via a first arm 615 extending in the Z direction.
  • the first arm 615 is a connecting part that connects the first camera 611 and the first driving part 613.
  • the first drive unit 613 moves the first camera 611. Specifically, the first drive unit 613 moves the first camera 611 in the Z direction by moving the first arm 615 in the Z direction. By moving the first camera 611 in the Z direction, the focal position of the first camera 611 is adjusted as appropriate in accordance with the lens 9 held by the lens holding section 51.
  • the second camera 621 is located away from the lens holding section 51 at the imaging position P1 in the ⁇ X direction. Further, the second camera 621 is located away from the lens holding section 51 at the imaging position P1 in the +Z direction. The second camera 621 images the side surface ( ⁇ X side surface) of the lens 9. The second camera 621 transmits the captured image to the control unit 8.
  • the second camera 621 is connected to the second drive unit 623 via a second arm 625.
  • the second arm 625 is a connecting portion that connects the second camera 621 and the second drive unit 623.
  • the second drive unit 623 moves the second camera 621 by moving the second arm 625.
  • the second arm 625 extends from the second drive section 623 in the +Z direction. More specifically, the second arm 625 extends from the second drive section 623 in the +Z direction and the -X direction.
  • the second drive unit 623 moves the second camera 621 by moving the second arm 625.
  • the second drive unit 623 rotates the second arm 625 by a predetermined angle about a predetermined axis parallel to the Y direction.
  • the tilt angle of the second camera 621 (the angle ⁇ between the optical axis OA of the second camera 621 and the horizontal axis) is adjusted.
  • the second drive unit 623 moves the second camera 621 in the approaching and separating directions.
  • the approach/separation direction is a direction in which the second camera 621 approaches the lens holder 51 and a direction in which the second camera 621 moves away from the lens holder 51.
  • the approaching and separating direction is, for example, a direction along the optical axis OA of the second camera 621.
  • the contact/separation direction is inclined toward the ⁇ Z side toward the +X direction.
  • the second drive unit 623 moves the second arm 625 in the Y direction.
  • the first drive unit 613 and the second drive unit 623 are actuators, and include a drive source such as a motor or a piston, a conversion mechanism that converts the motion of the drive source into motion in a desired direction, and a guide member that defines the direction of movement. It consists of The conversion mechanism includes, for example, a ball screw and a rack and pinion.
  • the conversion mechanism includes, for example, a ball screw and a rack and pinion.
  • the first drive section 613 and the second drive section 623 are located below the upper end of the lens holding section 51.
  • the first drive section 613 and the second drive section 623 are located below the lens 9 with the lens holding section 51 holding the lens 9 . Therefore, even if foreign matter occurs in the first drive section 613 and the second drive section 623, it is possible to reduce the possibility that the foreign matter will fall and adhere to the lens 9. Therefore, contamination of the lens 9 can be reduced.
  • the first illumination section 617 is located away from the lens holding section 51 at the imaging position P1 in the +Z direction.
  • the first illumination unit 617 illuminates the lens 9 held by the lens holding unit 51 at the imaging position P1 from the +Z side.
  • the first illumination unit 617 is connected to the first camera 611. That is, the first lighting section 617 is connected to the first driving section 613 via the first camera 611 and the first arm 615. Therefore, the first illumination section 617 moves together with the first camera 611 by driving the first driving section 613.
  • the second illumination section 627 is located away from the lens holding section 51 at the imaging position P1 in the +Z direction and the -X direction.
  • the second illumination section 627 illuminates the lens 9 held by the lens holding section 51 at the imaging position P1 from the -X side.
  • the second illumination unit 627 is connected to the second camera 621. That is, the second lighting section 627 is connected to the second driving section 623 via the second camera 621 and the second arm 625. Therefore, the second illumination section 627 moves together with the second camera 621 by the drive of the second driving section 623.
  • the first illumination unit 617 be moved by the first drive unit 613 that moves the first camera 611.
  • the first lighting section 617 may be moved by a lighting driving section different from the first driving section 613.
  • the second camera 621 may also be moved by a lighting drive unit different from the second drive unit 623.
  • the illumination drive section is preferably arranged below the lens holding section 51 at the imaging position P1. Thereby, even if foreign matter is generated in the illumination drive section, it is possible to reduce the amount of foreign matter adhering to the lens 9.
  • the fan filter unit (hereinafter referred to as "FFU") 7 is located at the upper part 31u of the first housing section 31.
  • the FFU 7 uses a filter to purify the air taken in from outside the housing section 3 and supplies the purified air into the housing section 3 .
  • the FFU 7 forms a downflow within the housing section 3 .
  • the FFU 7 generates an airflow from above the first camera 611 to below the first camera 611.
  • the FFU 7 is an example of an airflow generator. Since the FFU 7 forms a downflow, even if foreign matter is generated in the first drive section 613 and the second drive section 623, the rise of the foreign matter can be suppressed, so that contamination of the lens 9 can be reduced. Further, since the downflow can suppress the rise of foreign substances that may be generated from the stage 53, contamination of the lens 9 can be reduced.
  • the lens inspection apparatus 1 has a first exhaust section 35 and a second exhaust section 37.
  • the first exhaust section 35 and the second exhaust section 37 exhaust the air inside the housing section 3 to the outside of the housing section 3 .
  • the first exhaust section 35 is located below the first housing section 31 .
  • the second exhaust section 37 is located below the second housing section 33.
  • the first exhaust section 35 and the second exhaust section 37 are located below the first drive section 613 and the second drive section 623.
  • the first exhaust section 35 has a plurality of exhaust ports 351 formed at equal intervals in the X direction.
  • the plurality of exhaust ports 351 are located on the ⁇ Y side, the +Y side, and the ⁇ X side of the first housing portion 31, respectively.
  • Each exhaust port 351 is a through hole that penetrates the first housing portion 31 .
  • the second exhaust section 37 has a plurality of exhaust ports 371 and a plurality of exhaust ports 373.
  • the plurality of exhaust ports 371 are located on the ⁇ Y side and the +Y side of the second housing portion 33, respectively. Further, the plurality of exhaust ports 373 are located on the +X side side of the second accommodating portion 33.
  • Each exhaust port 371 and each exhaust port 373 are through holes that penetrate the second accommodating portion 33.
  • FIG. 4 is a side view conceptually showing the airflow formed within the housing section 3 of the lens inspection device 1 shown in FIG. 1.
  • the upper part 33u of the second accommodating part 33 is located below the upper part 31u of the first accommodating part 31. Therefore, simply by forming a downflow in the first accommodating part 31, it is difficult to form an airflow near the upper part 33u of the second accommodating part 33.
  • the lens inspection apparatus 1 since the lens inspection apparatus 1 has the second exhaust part 37 in the second housing part 33, as shown in FIG. It can be guided toward the storage section 33 side and can be efficiently discharged from the second exhaust section 37. Therefore, air accumulation in the second accommodating portion 33 can be suppressed.
  • the opening area of the exhaust ports 371 and 373 of the second exhaust section 37 may be larger than the opening area of the exhaust port 351 of the first exhaust section 35.
  • the second exhaust section 37 can exhaust more air than the first exhaust section 35.
  • air flow can be well guided from the first housing part 31 side to the second housing part 33 side, so that air accumulation near the upper part 33u of the second housing part 33 can be reduced.
  • the opening area of the exhaust port 373 may be larger than the opening area of the exhaust port 371.
  • the amount of air discharged from the exhaust port 373 (the amount of air discharged per unit time) can be made larger than the amount of air discharged from the exhaust port 371. Therefore, it is possible to effectively reduce air accumulation on the +X side side of the second housing portion 33.
  • the control unit 8 includes a storage device, a processing circuit, an input device, and an output device.
  • Storage devices include, for example, hard disk drives (HDD), random access memory (RAM), read-only memory (ROM), flash memory, volatile or nonvolatile semiconductor memory, magnetic disks, flexible disks, optical disks, compact disks, mini disks, etc. It consists of a memory (storage medium) including a disk or DVD.
  • the processing circuit includes, for example, a central processing unit (CPU) that executes a program stored in a storage device.
  • the input device is configured of a device capable of inputting information, such as a mouse, keyboard, touch panel, or various switches.
  • the output device is constituted by a device capable of outputting information, such as a display, a liquid crystal display, or a lamp.
  • the control unit 8 controls each drive unit included in the lens inspection device 1. For example, the control unit 8 moves the first camera 611 by controlling the first drive unit 613. Further, the control unit 8 moves the second camera 621 by controlling the second drive unit 623. Further, the control section 8 moves the stage 53 and the lens holding section 51 by controlling the stage driving section 55. Further, the control unit 8 controls opening and closing of the shutter 333 and controls the FFU 7 .
  • the control unit 8 controls the positions of the first camera 611 and the second camera 621 by controlling the first drive unit 613 and the second drive unit 623 based on the images acquired by the first camera 611 and the second camera 621. may be adjusted. Further, the control unit 8 performs an external appearance inspection of the lens 9 based on images acquired by the first camera 611 and the second camera 621. The appearance inspection is performed, for example, by comparing the images obtained by the first camera 611 and the second camera 621 with a previously prepared image of the lens 9 with no defects (a so-called non-defective image) to check for scratches and scratches on the lens 9. It may also be used to detect defects such as foreign objects. In addition, the appearance inspection calculates the pixel value, brightness value, etc.
  • the visual inspection may be one in which the control unit 8 displays images acquired by the first camera 611 and the second camera 621 on an output device, and the operator visually observes the displayed images.
  • the control unit 8 may measure the dimensions of the lens 9 based on images acquired by the first camera 611 and the second camera 621. For example, when the lens 9 is an intraocular lens, as described in Patent Document 1, the optical part diameter, total length, effective optical part diameter, optical part center, support part angle, sagitta, vault height, and optical part center Thickness etc. may be measured.
  • Lens inspection device 3 Housing section 7 Fan filter unit (airflow generation section) 9 Lens 31 First storage section 33 Second storage section 35 First exhaust section 37 Second exhaust section 51 Lens holding section 53 Stage 55 Stage drive section 331 Input/export port 611 First camera 613 First drive section 615 First arm (Connection part) 617 First illumination section 621 Second camera 623 Second drive section 625 Second arm (connection section) 627 Second lighting section

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)

Abstract

カメラを移動させる駆動部で異物が発生した場合でも、当該異物が落下してレンズに付着することを低減できる技術を提供する。レンズ検査装置は、レンズ保持部（５１）と、第１カメラ（６１１）と、第１駆動部（６１３）と、第１アーム（６１５）とを有する。レンズ保持部（５１）は、レンズ（９）を保持する。第１カメラ（６１１）は、レンズ保持部（５１）に保持されるレンズ（９）を撮像する。第１駆動部（６１３）は、レンズ保持部（５１）よりも下側に位置し、第１カメラ（６１１）を移動させる。第１アーム（６１５）は、第１カメラ（６１１）と第１駆動部（６１３）を連結する。

Description

レンズ検査装置
　本明細書の開示は、レンズ検査装置に関する。
　従来、カメラで撮影された画像に基づいて、レンズを検査する場合がある。例えば、特許文献１では、眼内レンズ（５００）を２台のＣＣＤカメラ（５０Ａ，５０Ｂ）でＺ方向およびＹ方向から撮像し、得られた画像に基づいて、眼内レンズ（５００）の寸法および光学的特性が測定される。
　特許文献１では、Ｘ軸モータ（４５ａ，４７ａ）、Ｙ軸モータ（４５ｂ，４７ｂ）およびＺ軸モータが備えられており、これらの駆動によって、ＣＣＤカメラ（５０Ａ，５０Ｂ）をＸ，Ｙ，Ｚ方向へ移動させることが可能となっている。
特開２００７－７１６３８号公報
　しかしながら、カメラが検査対象のレンズよりも上方に配置されている場合、カメラを移動させる駆動部で異物が発生すると、当該異物が落下して検査対象であるレンズに付着する可能性があった。異物が検査対象のレンズに付着すると、当該レンズが汚染されることにより、検査を適切に行うことが困難となるおそれがあった。
　本発明の目的は、カメラを移動させる駆動部で異物が発生した場合でも、当該異物が落下してレンズに付着することを低減できる技術を提供することにある。
　上記課題を解決するため、第１態様は、レンズ検査装置であって、レンズを保持するレンズ保持部と、前記レンズ保持部に保持される前記レンズを撮像するカメラと、前記レンズ保持部に保持される前記レンズよりも下側に位置し、前記カメラを移動させるための駆動部と、前記カメラと前記駆動部を連結する連結部とを備える。
　第２態様は、第１態様のレンズ検査装置であって、前記カメラは、前記レンズ保持部よりも上側に離れて位置する。
　第３態様は、第１態様または第２態様のレンズ検査装置であって、前記レンズ保持部、前記カメラ、前記駆動部および前記連結部を収容可能な収容部と、前記収容部内において、前記カメラよりも上側から前記カメラよりも下側へ向かう気流を発生させる気流発生部と、前記駆動部よりも下側に位置し、かつ、前記収容部内のエアを前記収容部外へ排出する排気部とをさらに備える。
　第４態様は、第３態様のレンズ検査装置であって、前記レンズ保持部は、撮像位置と、前記撮像位置から水平方向に離れた搬出位置との間で移動可能であり、前記カメラは、前記撮像位置の前記レンズ保持部に保持されている前記レンズを撮像可能であり、前記収容部は、前記搬出位置の前記レンズ保持部から前記レンズを搬出するための搬出口を有する。
　第５態様は、第４態様のレンズ検査装置であって、前記収容部は、前記カメラ、前記撮像位置の前記レンズ保持部、前記駆動部および前記連結部を収容する第１収容部と、前記第１収容部と連通し、前記搬出位置の前記レンズ保持部を収容し、前記搬出口を有する第２収容部と、を有し、前記気流発生部は、前記第１収容部の上部に位置する。
　第６態様は、第５態様のレンズ検査装置であって、前記搬出口は、前記第２収容部の上部に位置する。
　第７態様は、第５態様または第６態様のレンズ検査装置であって、前記排気部は、前記第２収容部に位置する。
　第８態様は、第５態様から第７態様のいずれか１つのレンズ検査装置であって、前記排気部は、前記第１収容部に位置する第１排気部と、前記第２収容部に位置する第２排気部とを有する。
　第９態様は、第８態様のレンズ検査装置であって、前記第２排気部からの排気量は、前記第１排気部からの排気量よりも大きい。
　第１０態様は、第５態様から第９態様のいずれか１つのレンズ検査装置であって、前記第２収容部の上部が、前記第１収容部の上部よりも下側に位置する。
　第１１態様は、第１態様から第１０態様のいずれか１つのレンズ検査装置であって、前記レンズ保持部に保持される前記レンズを照明する照明部、をさらに備え、前記駆動部は、前記照明部を移動させる。
　第１態様から第１１態様のレンズ検査装置によれば、カメラを移動させる駆動部がレンズよりも下側に位置するため、駆動部で発生した異物が落下してレンズに付着することが低減される。したがって、レンズの汚染を低減できる。
　第２態様のレンズ検査装置によれば、レンズを上側から撮影できる。また、カメラがレンズよりも上側に位置していても、駆動部がレンズよりも下側に位置するため、駆動部で発生した異物がレンズに付着することを低減できる。
　第３態様のレンズ検査装置によれば、排気部によって、駆動部で発生した異物を収容部外へ排出できる。
　第５態様のレンズ検査装置によれば、駆動部で発生した異物が上昇してレンズに付着することを低減できる。
　第６態様のレンズ検査装置によれば、第２収容部の上部の搬出口を介して、搬出位置のレンズ保持部からレンズを搬出できる。
　第７態様のレンズ検査装置によれば、第２収容部で排気できる。これにより、第１収容部から第２収容部へ向けて気流を発生させることができるため、第２収容部におけるエア溜まりを低減できる。
　第８態様のレンズ検査装置によれば、第１収容部および第２収容部からエアを排出できる。
　第９態様のレンズ検査装置によれば、第２収容部におけるエア溜まりを低減できる。
　第１０態様のレンズ検査装置によれば、第１収容部で発生した気流が、第２収容部の排気部に向かうことによって、第２収容部の上部付近におけるエア溜まりを低減できる。
　第１１態様のレンズ検査装置によれば、撮像条件に合わせてレンズを照明できる。また、照明部を移動させることで駆動部から異物が発生した場合でも、当該異物がレンズに付着することを低減できる。
実施形態に係るレンズ検査装置の斜視図である。 図１に示されるレンズ検査装置の収容部内を示す側面図である。 図１に示されるレンズ検査装置の収容部内を概略的に示す平面図である。 図１に示されるレンズ検査装置の収容部内に形成される気流を概念的に示す側面図である。
　以下、添付の図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。なお、この実施形態に記載されている構成要素はあくまでも例示であり、本発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。図面においては、理解容易のため、必要に応じて各部の寸法や数が誇張又は簡略化して図示されている場合がある。
　＜１．　実施形態＞
　図１は、実施形態に係るレンズ検査装置１の斜視図である。図２は、図１に示されるレンズ検査装置１の収容部３内を示す側面図である。図３は、図１に示されるレンズ検査装置１の収容部３内を概略的に示す平面図である。
　図１およびそれ以降の各図には、互いに交差するＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸をそれぞれ示す矢印が図示されている場合がある。Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸は、好ましくは直交する。また、各矢印の先端が向く方を＋（プラス）側とし、＋側の反対側を－（マイナス）側とする。また、以下の説明では、Ｚ軸に沿う方向を鉛直方向とし、Ｘ軸およびＹ軸に沿う各方向を、水平面と平行な水平方向とする。また、＋Ｚ側を「上側」とし、－Ｚ側を「下側」として説明する。ただし、これらの各方向は、装置構成の位置関係を限定するものではない。
　レンズ検査装置１は、検査対象であるレンズ９を、第１カメラ６１１および第２カメラ６２１によって得られる画像に基づいて検査する装置である。レンズ９は、例えば眼内レンズまたはコンタクトレンズなど、目に装着されるものである。ただし、レンズ９は、目に装着されるレンズ以外のもの（例えば、光学機器等（カメラなど）に用いることが可能なレンズ）であってもよい。
　図１および図２に示されるように、レンズ検査装置１は、収容部３と、検査部５と、ファンフィルターユニット７と、制御部８とを備える。
　収容部３は、筐体であって、内部に検査部５を収容可能である。収容部３は、第１収容部３１と、第２収容部３３とを有する。第１収容部３１および第２収容部３３は、略直方体状である。第２収容部３３は、第１収容部３１の＋Ｘ側に隣接して位置する。第１収容部３１の内部は、第２収容部３３の内部と連通している。第２収容部３３の上部３３ｕは、第１収容部３１の上部３１ｕよりも下側に位置する。
　図２に示されるように、第２収容部３３は、レンズ９を投入および搬出するための投入・搬出口３３１と、シャッター３３３とを有する。投入・搬出口３３１は、第２収容部３３の上部３３ｕに位置する。シャッター３３３は、投入・搬出口３３１を開閉する。収容部３内にレンズ９を投入する際、または、収容部３からレンズ９を搬出する際、シャッター３３３が開けられる。また、収容部３内でレンズ９を検査する際、シャッター３３３が閉じられる。
　図２に示されるように、検査部５は、レンズ保持部５１と、ステージ５３と、ステージ駆動部５５と、架台５７とを有する。また、検査部５は、第１カメラ６１１と、第１駆動部６１３と、第１アーム６１５と、第１照明部６１７とを有する。さらに、検査部５は、第２カメラ６２１と、第２駆動部６２３と、第２アーム６２５と、第２照明部６２７とを有する。
　レンズ保持部５１は、検査対象であるレンズ９を保持する。レンズ保持部５１は、透明性を有する。レンズ保持部５１は、支持フレーム５１１を介して、略直方体状であるステージ５３の上面に取り付けられている。図２に示されるように、レンズ検査装置１は、透過照明部５１３を備える。透過照明部５１３は、レンズ保持部５１の下側に位置する。透過照明部５１３は、レンズ保持部５１に保持されているレンズ９を－Ｚ側から照明する。
　ステージ駆動部５５は、架台５７の上面に設けられた、Ｘ軸方向に延びるガイドレール（不図示）に沿って、ステージ５３をＸ軸方向に往復移動させる。ステージ駆動部５５は、ステージ５３を、第１収容部３１と第２収容部３３との間を、移動させることによって、レンズ保持部５１を撮像位置Ｐ１と、投入・搬出位置Ｐ２との間で移動させる。
　また、ステージ５３は、ステージ駆動部５５によって、Ｙ方向に移動可能であるとともに、軸まわりのθ方向に回転可能である。ステージ５３がＹ方向に移動およびθ方向に回転することによって、レンズ保持部５１に保持されたレンズ９のＹ方向における位置、または、θ方向の向きが適宜調整される。
　図２に示されるように、第１カメラ６１１および第２カメラ６２１は、撮像位置Ｐ１のレンズ保持部５１に保持されているレンズ９を撮像可能である。
　投入・搬出口３３１は、投入・搬出位置Ｐ２のレンズ保持部５１の直上に位置する。検査前のレンズ９は、投入・搬出口３３１を介して、投入・搬出位置Ｐ２のレンズ保持部５１に設置される。また、検査が完了したレンズ９は、投入・搬出口３３１を介して、投入・搬出位置Ｐ２のレンズ保持部５１から収容部３外に搬出される。レンズ９の投入および搬出は、搬送ロボットなどの機械によって行われてもよいし、手作業で行われてもよい。
　第１カメラ６１１は、撮像位置Ｐ１のレンズ保持部５１から＋Ｚ方向に離れて位置する。第１カメラ６１１は、レンズ９の上面（＋Ｚ側面）を撮像する。第１カメラ６１１は、撮像した画像を制御部８へ送信する。
　第１カメラ６１１は、Ｚ方向に延びる第１アーム６１５を介して、第１駆動部６１３に連結されている。第１アーム６１５は、第１カメラ６１１と第１駆動部６１３を連結する連結部である。
　第１駆動部６１３は、第１カメラ６１１を移動させる。詳細には、第１駆動部６１３は、第１アーム６１５をＺ方向に移動させることにより、第１カメラ６１１をＺ方向に移動させる。第１カメラ６１１をＺ方向に移動させることによって、レンズ保持部５１に保持されているレンズ９に合わせて、第１カメラ６１１の焦点位置が適宜調整される。
　第２カメラ６２１は、撮像位置Ｐ１のレンズ保持部５１から－Ｘ方向に離れて位置する。また、第２カメラ６２１は、撮像位置Ｐ１のレンズ保持部５１から＋Ｚ方向に離れて位置する。第２カメラ６２１は、レンズ９の側面（－Ｘ側面）を撮像する。第２カメラ６２１は、撮像した画像を制御部８へ送信する。
　第２カメラ６２１は、第２アーム６２５を介して第２駆動部６２３に連結されている。第２アーム６２５は、第２カメラ６２１と第２駆動部６２３を連結する連結部である。第２駆動部６２３は、第２アーム６２５を移動させることによって、第２カメラ６２１を移動させる。
　第２アーム６２５は、第２駆動部６２３から＋Ｚ方向に延びている。より詳細には、第２アーム６２５は、第２駆動部６２３から＋Ｚ方向および－Ｘ方向に延びている。
　第２駆動部６２３は、第２アーム６２５を移動させることによって、第２カメラ６２１を移動させる。例えば、第２駆動部６２３は、Ｙ方向と平行な所定軸を中心として、第２アーム６２５を所定の角度だけ回転させる。これにより、第２カメラ６２１の煽り角（第２カメラ６２１の光軸ＯＡと、水平軸との成す角度α）が調整される。また、第２駆動部６２３は、第２カメラ６２１を、接離方向に移動させる。接離方向は、第２カメラ６２１がレンズ保持部５１に接近する方向、および、レンズ保持部５１から離れる方向である。接離方向は、例えば第２カメラ６２１の光軸ＯＡに沿う方向である。図２に示される例では、接離方向は、＋Ｘ方向に向かって－Ｚ側へ傾いている。また、図３に示されるように、第２駆動部６２３は、第２アーム６２５をＹ方向に移動させる。
　第１駆動部６１３および第２駆動部６２３は、アクチュエータであって、モータまたはピストンなどの駆動源と、駆動源の運動を所望方向の運動に変換する変換機構と、移動方向を規定するガイド部材とで構成される。変換機構は、例えば、ボールねじおよびラック・アンド・ピニオンなどで構成される。第１駆動部６１３および第２駆動部６２３が動作すると、部材の摺動（例えば、モータの軸受における摺動、変換機構またはガイド部材における摺動等）によって、異物（ゴミ）が発生する場合がある。
　図２に示されるように、第１駆動部６１３および第２駆動部６２３は、レンズ保持部５１の上端よりも下側に位置する。すなわち、レンズ保持部５１がレンズ９を保持した状態で、第１駆動部６１３および第２駆動部６２３は、レンズ９よりも下側に位置する。このため、第１駆動部６１３および第２駆動部６２３において異物が発生した場合でも、当該異物が落下してレンズ９に付着することを低減できる。したがって、レンズ９の汚染を低減できる。
　図２に示されるように、第１照明部６１７は、撮像位置Ｐ１のレンズ保持部５１から＋Ｚ方向に離れて位置する。第１照明部６１７は、撮像位置Ｐ１のレンズ保持部５１に保持されているレンズ９を、＋Ｚ側から照明する。
　第１照明部６１７は、第１カメラ６１１に連結されている。すなわち、第１照明部６１７は、第１カメラ６１１および第１アーム６１５を介して第１駆動部６１３に連結されている。このため、第１照明部６１７は、第１駆動部６１３の駆動によって、第１カメラ６１１とともに移動する。
　図２に示されるように、第２照明部６２７は、撮像位置Ｐ１のレンズ保持部５１から、＋Ｚ方向および－Ｘ方向に離れて位置する。第２照明部６２７は、撮像位置Ｐ１のレンズ保持部５１に保持されているレンズ９を、－Ｘ側から照明する。
　第２照明部６２７は、第２カメラ６２１に連結されている。すなわち、第２照明部６２７は、第２カメラ６２１および第２アーム６２５を介して、第２駆動部６２３に連結されている。このため、第２照明部６２７は、第２駆動部６２３の駆動によって、第２カメラ６２１とともに移動する。
　なお、レンズ検査装置１において、第１カメラ６１１を移動させる第１駆動部６１３によって、第１照明部６１７を移動させることは必須ではない。例えば、第１駆動部６１３とは別の照明駆動部によって第１照明部６１７を移動させてもよい。第２カメラ６２１についても、第２駆動部６２３とは別の照明駆動部によって移動させてもよい。照明駆動部を設ける場合、当該照明駆動部は、好ましくは、撮像位置Ｐ１のレンズ保持部５１よりも下側に配置される。これにより、照明駆動部で異物が発生しても、異物がレンズ９に付着することを低減できる。
　図１および図２に示されるように、ファンフィルターユニット（以下、「ＦＦＵ」と称する。）７は、第１収容部３１の上部３１ｕに位置する。ＦＦＵ７は、収容部３外から取り込まれたエアをフィルターで浄化するとともに、浄化されたエアを収容部３内に供給する。ＦＦＵ７は、収容部３内にダウンフローを形成する。具体的には、ＦＦＵ７は、第１カメラ６１１よりも上側から第１カメラ６１１よりも下側へ向かう気流を発生させる。ＦＦＵ７は、気流発生部の一例である。ＦＦＵ７がダウンフローを形成することによって、第１駆動部６１３および第２駆動部６２３で異物が発生した場合でも、当該異物の上昇を抑制できるため、レンズ９の汚染を低減できる。また、ダウンフローによって、ステージ５３から発生し得る異物の上昇を抑制できるため、レンズ９の汚染を低減できる。
　図１に示されるように、レンズ検査装置１は、第１排気部３５および第２排気部３７を有する。第１排気部３５および第２排気部３７は、収容部３内のエアを収容部３外に排出する。第１排気部３５は、第１収容部３１の下部に位置する。第２排気部３７は、第２収容部３３の下部に位置する。第１排気部３５および第２排気部３７は、第１駆動部６１３および第２駆動部６２３よりも下側に位置する。
　第１排気部３５は、Ｘ方向に等間隔で形成された複数の排気口３５１を有する。複数の排気口３５１は、第１収容部３１における－Ｙ側の側部、＋Ｙ側の側部、および－Ｘ側の側部にそれぞれ位置する。各排気口３５１は、第１収容部３１を貫通する貫通穴である。
　第２排気部３７は、複数の排気口３７１と、複数の排気口３７３とを有する。複数の排気口３７１は、第２収容部３３における－Ｙ側の側部および＋Ｙ側の側部にそれぞれ位置する。また、複数の排気口３７３は、第２収容部３３における＋Ｘ側の側部に位置する。各排気口３７１および各排気口３７３は、第２収容部３３を貫通する貫通穴である。
　図４は、図１に示されるレンズ検査装置１の収容部３内に形成される気流を概念的に示す側面図である。図４に示されるように、第２収容部３３の上部３３ｕは、第１収容部３１の上部３１ｕよりも下側に位置する。このため、第１収容部３１でダウンフローを形成しただけでは、第２収容部３３の上部３３ｕ付近にエアフローが形成され難い。これに対して、レンズ検査装置１は、第２収容部３３に第２排気部３７を有するため、図４に示されるように、ＦＦＵ７によって第１収容部３１側で発生した気流を、第２収容部３３側へ誘導し、第２排気部３７から良好に排出できる。したがって、第２収容部３３におけるエア溜まりを抑制できる。
　第２排気部３７が有する排気口３７１，３７３の開口面積を、第１排気部３５が有する排気口３５１の開口面積よりも大きくしてもよい。これにより、第２排気部３７は、第１排気部３５よりも多くのエアを排出することが可能である。この場合、図４に示されるように、第１収容部３１側から第２収容部３３側へエアフローを良好に誘導できるため、第２収容部３３の上部３３ｕ付近におけるエア溜まりを低減できる。
　複数の排気口３７３を設けることにより、ＦＦＵ７から離れた第２収容部３３の＋Ｘ側の下部においても、エアを良好に排出可能である。また、排気口３７３の開口面積を、排気口３７１の開口面積よりも大きくしてもよい。これにより、排気口３７３から排気量（単位時間当たりのエアの排出量）を、排気口３７１からの排気量よりも大きくすることができる。したがって、第２収容部３３内の＋Ｘ側の側部におけるエア溜まりを有効に低減できる。
　制御部８は、記憶装置と、処理回路と、入力装置と、出力装置とを有する。記憶装置は、たとえば、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）、リードオンリーメモリ（ＲＯＭ）、フラッシュメモリ、揮発性または不揮発性の半導体メモリ、磁気ディスク、フレキシブルディスク、光ディスク、コンパクトディスク、ミニディスクまたはＤＶＤなどを含むメモリ（記憶媒体）で構成される。処理回路は、例えば、記憶装置に格納されたプログラムを実行する中央演算処理装置（ＣＰＵ）で構成される。入力装置は、たとえば、マウス、キーボード、タッチパネルまたは各種スイッチなどの、情報を入力可能な装置で構成される。出力装置は、たとえばディスプレイ、液晶表示装置またはランプなどの、情報を出力可能な装置で構成される。
　制御部８は、レンズ検査装置１が備える各駆動部を制御する。例えば、制御部８は、第１駆動部６１３を制御することにより、第１カメラ６１１を移動させる。また、制御部８は、第２駆動部６２３を制御することにより、第２カメラ６２１を移動させる。さらに、制御部８は、ステージ駆動部５５を制御することにより、ステージ５３およびレンズ保持部５１を移動させる。また、制御部８は、シャッター３３３の開閉制御、ＦＦＵ７の制御を行う。
　制御部８は、第１カメラ６１１および第２カメラ６２１が取得する画像に基づいて、第１駆動部６１３および第２駆動部６２３を制御することにより、第１カメラ６１１および第２カメラ６２１の位置を調整してもよい。また、制御部８は、第１カメラ６１１および第２カメラ６２１が取得する画像に基づいて、レンズ９の外観検査を行う。外観検査は、例えば、第１カメラ６１１および第２カメラ６２１によって取得される画像と、予め用意される欠陥の無いレンズ９の画像（いわゆる良品画像）との比較処理によって、レンズ９上の傷や異物等の欠陥を検出するものであってもよい。また、外観検査は、第１カメラ６１１および第２カメラ６２１によって取得される画像中の各画素に関して、画素値や輝度値等を算出し、これらの値に関する所定の条件に基づきレンズ９中の欠陥を検出するものであってもよい。また、外観検査は、制御部８が第１カメラ６１１および第２カメラ６２１によって取得される画像を出力装置に表示し、作業者が表示された画像を目視するものであってもよい。
　制御部８は、第１カメラ６１１および第２カメラ６２１が取得する画像に基づいて、レンズ９の寸法を計測してもよい。例えば、レンズ９が眼内レンズの場合、特許文献１に記載されているように、光学部径、全長、有効光学部径、光学部中心、支持部角度、サジッタ、ボールトハイト、及び光学部中心厚さ等が計測されてもよい。
　この発明は詳細に説明されたが、上記の説明は、すべての局面において、例示であって、この発明がそれに限定されるものではない。例示されていない無数の変形例が、この発明の範囲から外れることなく想定され得るものと解される。上記各実施形態及び各変形例で説明した各構成は、相互に矛盾しない限り適宜組み合わせたり、省略したりすることができる。
　１　　　レンズ検査装置
　３　　　収容部
　７　　　ファンフィルターユニット（気流発生部）
　９　　　レンズ
　３１　　第１収容部
　３３　　第２収容部
　３５　　第１排気部
　３７　　第２排気部
　５１　　レンズ保持部
　５３　　ステージ
　５５　　ステージ駆動部
　３３１　投入・搬出口
　６１１　第１カメラ
　６１３　第１駆動部
　６１５　第１アーム（連結部）
　６１７　第１照明部
　６２１　第２カメラ
　６２３　第２駆動部
　６２５　第２アーム（連結部）
　６２７　第２照明部

Claims (11)

  1. 　レンズ検査装置であって、
    　レンズを保持するレンズ保持部と、
    　前記レンズ保持部に保持される前記レンズを撮像するカメラと、
    　前記レンズ保持部に保持される前記レンズよりも下側に位置し、前記カメラを移動させるための駆動部と、
    　前記カメラと前記駆動部を連結する連結部と、
    を備える、レンズ検査装置。
  2. 　請求項１に記載のレンズ検査装置であって、
    　前記カメラは、前記レンズ保持部よりも上側に離れて位置する、レンズ検査装置。
  3. 　請求項１または請求項２に記載のレンズ検査装置であって、
    　前記レンズ保持部、前記カメラ、前記駆動部および前記連結部を収容可能な収容部と、
    　前記収容部内において、前記カメラよりも上側から前記カメラよりも下側へ向かう気流を発生させる気流発生部と、
    　前記駆動部よりも下側に位置し、かつ、前記収容部内のエアを前記収容部外へ排出する排気部と、
    をさらに備える、レンズ検査装置。
  4. 　請求項３に記載のレンズ検査装置であって、
    　前記レンズ保持部は、撮像位置と、前記撮像位置から水平方向に離れた搬出位置との間で移動可能であり、
    　前記カメラは、前記撮像位置の前記レンズ保持部に保持されている前記レンズを撮像可能であり、
    　前記収容部は、前記搬出位置の前記レンズ保持部から前記レンズを搬出するための搬出口を有する、レンズ検査装置。
  5. 　請求項４に記載のレンズ検査装置であって、
    　前記収容部は、
    　　前記カメラ、前記撮像位置の前記レンズ保持部、前記駆動部および前記連結部を収容する第１収容部と、
    　　前記第１収容部と連通し、前記搬出位置の前記レンズ保持部を収容し、前記搬出口を有する第２収容部と、
    を有し、
    　前記気流発生部は、前記第１収容部の上部に位置する、レンズ検査装置。
  6. 　請求項５に記載のレンズ検査装置であって、
    　前記搬出口は、前記第２収容部の上部に位置する、レンズ検査装置。
  7. 　請求項５または請求項６に記載のレンズ検査装置であって、
    　前記排気部は、前記第２収容部に位置する、レンズ検査装置。
  8. 　請求項５から請求項７のいずれか１項に記載のレンズ検査装置であって、
    　前記排気部は、前記第１収容部に位置する第１排気部と、前記第２収容部に位置する第２排気部とを有する、レンズ検査装置。
  9. 　請求項８に記載のレンズ検査装置であって、
    　前記第２排気部からの排気量は、前記第１排気部からの排気量よりも大きい、レンズ検査装置。
  10. 　請求項５から請求項９のいずれか１項に記載のレンズ検査装置であって、
    　前記第２収容部の上部が、前記第１収容部の上部よりも下側に位置する、レンズ検査装置。
  11. 　請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載のレンズ検査装置であって、
    　前記レンズ保持部に保持される前記レンズを照明する照明部、
    をさらに備え、
    　前記駆動部は、前記照明部を移動させる、レンズ検査装置。
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Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1019725A (ja) * 1996-07-03 1998-01-23 Asahi Optical Co Ltd 光学部材検査装置
JPH10507272A (ja) * 1995-03-20 1998-07-14 ボシュ アンド ロム インコーポレイテッド コンピュータビジョン検査ステーション
US5818573A (en) * 1997-02-06 1998-10-06 Pbh, Inc. Opthalmic lens inspection system
JP2006329714A (ja) * 2005-05-24 2006-12-07 Olympus Corp レンズ検査装置
JP2007071638A (ja) * 2005-09-06 2007-03-22 Menicon Co Ltd 眼内レンズの形状計測方法、眼内レンズ検査装置、及び検査トレイ
WO2020137646A1 (ja) * 2018-12-28 2020-07-02 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板処理装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10507272A (ja) * 1995-03-20 1998-07-14 ボシュ アンド ロム インコーポレイテッド コンピュータビジョン検査ステーション
JPH1019725A (ja) * 1996-07-03 1998-01-23 Asahi Optical Co Ltd 光学部材検査装置
US5818573A (en) * 1997-02-06 1998-10-06 Pbh, Inc. Opthalmic lens inspection system
JP2006329714A (ja) * 2005-05-24 2006-12-07 Olympus Corp レンズ検査装置
JP2007071638A (ja) * 2005-09-06 2007-03-22 Menicon Co Ltd 眼内レンズの形状計測方法、眼内レンズ検査装置、及び検査トレイ
WO2020137646A1 (ja) * 2018-12-28 2020-07-02 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板処理装置

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