WO2023180241A1

WO2023180241A1 - Anordnung und projektionsbelichtungsanlage

Info

Publication number: WO2023180241A1
Application number: PCT/EP2023/057038
Authority: WO
Inventors: Henner Baitinger
Original assignee: Carl Zeiss Smt Gmbh
Priority date: 2022-03-24
Filing date: 2023-03-20
Publication date: 2023-09-28
Also published as: DE102022202938A1

Abstract

Eine Anordnung (100) für eine Projektionsbelichtungsanlage (1), aufweisend eine erste Komponente (102), eine zweite Komponente (108), und eine die erste Komponente (102) mit der zweiten Komponente (108) wirkverbindende justierbare Schnittstelle (114, 116, 118, 120, 122), wobei die Schnittstelle (114, 116, 118, 120, 122) eine Justiereinrichtung (152) umfasst, welche die erste Komponente (102) mit der zweiten Komponente (108) flächig verspannt und welche dazu eingerichtet ist, die zweite Komponente (108) in mehreren Freiheitsgraden relativ zu der ersten Komponente (102) zu justieren, und wobei die Schnittstelle (114, 116, 118, 120, 122) einen Abstandshalter (140) umfasst, der flächig an der ersten Komponente (102) und an der zweiten Komponente (108) anliegt und der mit Hilfe der Justiereinrichtung (152) zwischen der ersten Komponente (102) und der zweiten Komponente (108) verspannt ist.

Description

ANORDNUNG UND PROJEKTIONSBELICHTUNGSANLAGE

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Anordnung für eine Projektionsbelichtungsanlage und eine Projektionsbelichtungsanlage mit einer derartigen Anordnung.

Der Inhalt der Prioritätsanmeldung DE 10 2022 202 938.0 wird durch Bezugnahme vollumfänglich miteinbezogen (incorporation by reference).

Die Mikrolithographie wird zur Herstellung mikrostrukturierter Bauelemente, wie beispielsweise integrierter Schaltkreise, angewendet. Der Mikrolithogra- phieprozess wird mit einer Lithographieanlage durchgeführt, welche ein Beleuchtungssystem und ein Projektionssystem aufweist. Das Bild einer mittels des Beleuchtungssystems beleuchteten Maske (Retikel) wird hierbei mittels des Projektionssystems auf ein mit einer hchtempfindlichen Schicht (Photoresist) beschichtetes und in der Bildebene des Projektionssystems angeordnetes Substrat, beispielsweise einen Siliziumwafer, projiziert, um die Maskenstruktur auf die lichtempfindliche Beschichtung des Substrats zu übertragen.

Getrieben durch das Streben nach immer kleineren Strukturen bei der Herstellung integrierter Schaltungen werden derzeit EUV'Lithographieanlagen entwickelt, welche Licht mit einer Wellenlänge im Bereich von 0,1 nm bis 30 nm, insbesondere 13,5 nm, verwenden. Bei solchen EUV'Lithographieanlagen müssen wegen der hohen Absorption der meisten Materialien von Licht dieser Wellenlänge reflektierende Optiken, das heißt Spiegel, anstelle von - wie bisher - brechenden Optiken, das heißt, Linsen, eingesetzt werden.

In einem wie zuvor erläuterten Beleuchtungssystem oder Projektionssystem ist es erforderlich, Komponenten, wie beispielsweise Sensoren oder Optiken, mit hohen Anforderungen an die Positionsstabilität bei gleichzeitig hohen dynami- sehen Anforderungen zueinander auszurichten. Hierzu können nach betriebsinternen Erkenntnissen beispielsweise sogenannte Hexapoden oder Kugel-V- Nuten verwendet werden, um die Komponenten zueinander auszurichten.

Derartige Hexapoden umfassen üblicherweise sechs Stäbe, deren Anordnung so gewählt wird, dass alle sechs Freiheitsgrade im Raum gesperrt werden können. Pro Stab wird ein Freiheitsgrad in einer jeweiligen Stabrichtung gesperrt. Bei wie zuvor erwähnten Kugel-V'Nuten werden üblicherweise drei V'Nuten an einem ersten Körper mit drei Kugelflächen an einem zweiten Körper gepaart. Jede Kugel liegt in einer V'Nut mit je zwei Kugel-zu-Ebene-Berührungen, wodurch je zwei Freiheitsgrade gesperrt werden.

Sowohl bei Hexapoden als auch bei Kugel-V-Nuten kann sich jedoch das Problem der geringen Steifigkeit der Verbindung, insbesondere niedrige Eigenfrequenzen, und der hohen lokalen Spannungen in einer Schnittstelle zwischen den Komponenten, insbesondere Gelenkspannungen im Hexapod oder Hertzsche Spannungen in den Kugel-V'Nuten, ergeben. Die hohen Spannungen verstärken das Risiko, dass an der Schnittstelle Positionsdrifts entstehen können. Dies gilt es zu verbessern.

Vor diesem Hintergrund besteht eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung darin, eine verbesserte Anordnung für eine Projektionsbelichtungsanlage bereitzustellen.

Demgemäß wird eine Anordnung für eine Projektionsbelichtungsanlage vorgeschlagen. Die Anordnung umfasst eine erste Komponente, eine zweite Komponente, und eine die erste Komponente mit der zweiten Komponente wirkverbin- dende justierbare Schnittstelle, wobei die Schnittstelle eine Justiereinrichtung umfasst, welche die erste Komponente mit der zweiten Komponente flächig verspannt und welche dazu eingerichtet ist, die zweite Komponente in mehreren Freiheitsgraden relativ zu der ersten Komponente zu justieren, und wobei die Schnittstelle einen Abstandshalter umfasst, der flächig an der ersten Komponente und an der zweiten Komponente anliegt und der mit Hilfe der Justiereinrichtung zwischen der ersten Komponente und der zweiten Komponente verspannt ist.

Dadurch, dass die Justiereinrichtung die erste Komponente mit der zweiten Komponente flächig verspannt, wird das Auftreten von hohen lokalen Spannungen vermieden, wodurch sich Positionsdrifts an der Schnittstelle vermeiden lassen.

Die Anordnung kann Teil einer Beleuchtungsoptik oder einer Projektionsoptik der Projektionsbelichtungsanlage sein. Beispielsweise kann die erste Komponente ein sogenannter Sensorrahmen (EnglJ Sensor Frame) sein. Die zweite Komponente kann beispielsweise ein Messgerät oder Messinstrument, insbesondere ein Interferometer, sein. Die zweite Komponente kann jedoch beispielsweise auch ein optisches Element, insbesondere ein Spiegel, sein. Die erste Komponente und die zweite Komponente können grundsätzlich beliebige Komponenten der Projektionsbelichtungsanlage sein. Dass die Schnittstelle die erste Komponente mit der zweiten Komponente "wirkverbindet", bedeutet vorliegend insbesondere, dass die Schnittstelle die erste Komponente fest mit der zweiten Komponente verbindet. Dies kann beispielsweise mit Hilfe einer Schraubverbindung erfolgen.

Vorzugsweise ist der Anordnung ein Koordinatensystem mit einer ersten Raumrichtung oder x-Richtung, einer zweiten Raumrichtung oder y-Richtung und einer dritten Raumrichtung oder z-Richtung zugeordnet. Die Richtungen sind senkrecht zueinander orientiert. Jede Komponente weist sechs Freiheitsgrade, nämlich drei translatorische Freiheitsgrade jeweils entlang der x-Richtung, der y-Richtung und der z-Richtung sowie drei rotatorische Freiheitsgrade jeweils um die x-Richtung, die y-Richtung und die z-Richtung auf. Unter der "Position" der jeweiligen Komponente sind deren Koordinaten oder die Koordinaten eines an der jeweiligen Komponente angebrachten Messpunkts bezüglich der x-Richtung, der y-Richtung und der z-Richtung zu verstehen. Unter der "Orientierung" der jeweiligen Komponente sind insbesondere deren Verkippung oder die Verkippung des an der jeweiligen Komponente angebrachten Messpunkts bezüglich der x-Richtung, der y-Richtung und der z-Richtung zu verstehen. Unter der "Lage" ist vorliegend sowohl die Position als auch die Orientierung der jeweiligen Komponente zu verstehen. Unter "Justieren" oder "Ausrichten" ist vorliegend zu verstehen, dass die jeweilige Komponente von einer Ist-Lage in eine Soll-Lage verbracht wird. Das heißt insbesondere, dass es mit Hilfe der justierbaren Schnittstelle möglich ist, die zweite Komponente gegenüber der ersten Komponente von einer Ist-Lage in eine Soll-Lage zu verbringen.

Die Justiereinrichtung kann auch als Ausrichteinrichtung oder als Spacer- Einrichtung bezeichnet werden. Die Justiereinrichtung kann auch als Fixier- und Spacersystem bezeichnet werden. Die Justiereinrichtung ist bevorzugt zumindest abschnittsweise innerhalb der Komponenten platziert. Daher kann die Justiereinrichtung auch als interne Justiereinrichtung bezeichnet werden. Dass die Justiereinrichtung die erste Komponente mit der zweiten Komponente "flächig" verspannt, bedeutet vorliegend insbesondere, dass die zweite Komponente mit ihrer gesamten Fläche, beispielsweise mit einer Unterseite auf einer Oberseite der ersten Komponente aufliegt. Unter "flächig" ist vorliegend insbesondere kein punktförmiger oder linienförmiger Kontakt zu verstehen.

Die Schnittstelle umfasst einen Abstandshalter, der flächig an der ersten Komponente und an der zweiten Komponente anliegt und der mit Hilfe der Justiereinrichtung zwischen der ersten Komponente und der zweiten Komponente verspannt ist. Der Abstandshalter kann auch als Spacer bezeichnet werden. Der Abstandshalter liegt bevorzugt jeweils mit seiner gesamten Oberfläche an der ersten Komponente und an der zweiten Komponente auf.

Gemäß einer Ausführungsform ist der Abstandshalter dazu eingerichtet, die zweite Komponente in einem translatorischen Freiheitsgrad und in zwei rotatorischen Freiheitsgraden relativ zu der ersten Komponente zu justieren.

Der eine translatorische Freiheitsgrad ist insbesondere entlang der z-Richtung orientiert. Dieser translatorische Freiheitsgrad kann durch eine Dicke des Abstandshalters beeinflusst werden. Die zwei rotatorischen Freiheitsgrade umfassen jeweils einen rotatorischen Freiheitsgrad um die x-Richtung und einen rotatorischen Freiheitsgrad um die y-Richtung. Die beiden rotatorischen Freiheitsgrade können durch eine keilförmige Ausgestaltung des Abstandshalters verwirklicht werden.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform sind mehrere Schnittstellen vorgesehen, die einen gemeinsamen Abstandshalter umfassen.

Für den Fall, dass nur eine Schnittstelle vorgesehen ist, ist die Justiereinrichtung mittig durch den Abstandshalter hin durch geführt. Die Anordnung kann beispielsweise genau eine Schnittstelle, drei Schnittstellen, vier Schnittstellen oder fünf oder mehr als fünf Schnittstellen umfassen. So ist beispielsweise eine Anordnung mit drei Schnittstellen vorteilhaft, da breiter abgestützt werden kann und dadurch eine steifere Verbindung erhalten werden kann. Jedoch ist die Überbestimmtheit bei dem Vorsehen von drei Schnittstellen noch gering, wodurch die Deformation der zweiten Komponente gering gehalten wird. Vorteilhafterweise befinden sich sämtliche Schnittstellen in einer Ebene. Dies erleichtert die Fertigung der Kontaktflächen der ersten Komponente und der zweiten Komponente, da diese als Ebenen ausgestaltet werden können. Ferner ist dies auch vorteilhaft hinsichtlich des Ausdehnungsverhaltens bei Erwärmung, da keine seitlichen Kräfte auf die Komponenten ein wirken und diese deformieren könnten. Hierdurch wird verhindert, dass Verspannungen oder Störkräfte entstehen, die aus unterschiedlichen Wärmeausdehnungskoeffizienten resultieren.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform umfasst der Abstandshalter eine plattenförmige oder eine keilförmige Geometrie, wobei der Abstandshalter bevorzugt einteilig oder mehrteilig ist.

Unter "plattenförmig" ist vorliegend eine Geometrie zu verstehen, die durchgehend dieselbe Dicke aufweist. In diesem Fall ist eine Oberseite des Abstandshalters parallel zu einer Unterseite desselben angeordnet. Der Abstandshalter kann beispielsweise aus einem beliebigen Werkstoff gefertigt sein. Unter einer "keilförmigen" Geometrie ist vorliegend eine Geometrie zu verstehen, bei der die Oberseite des Abstandshalters schräg zu der Unterseite orientiert ist. Die Schräge kann dabei in zwei Raumrichtungen verkippt sein, so dass zwei rotatorische Freiheitsgrade justiert werden können.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist die Justiereinrichtung durch einen in dem Abstandshalter vorgesehenen Durchbruch hin durch geführt.

Für den Fall, dass einem Abstandshalter mehrere Justiereinrichtungen zugeordnet sind, umfasst der Abstandshalter mehrere Durchbrüche, durch die die Justiereinrichtungen hin durch geführt sind. Es kann alternativ auch für jede Justiereinrichtung ein eigener Abstandshalter vorgesehen sein. Alternativ können beispielsweise auch für zwei Justiereinrichtungen ein gemeinsamer Abstandshalter und für eine weitere Justiereinrichtung ein eigener Abstandshalter vorgesehen werden. Gemäß einer weiteren Ausführungsform umfasst die Justiereinrichtung ein durch die erste Komponente hindurchgeführtes Schraubeninsert und eine durch die zweite Komponente hindurchgeführte Schraube, die in das Schraubeninsert eingeschraubt ist, um die erste Komponente mit der zweiten Komponente zu verspannen.

Mit Hilfe der Justiereinrichtung kann somit eine Vorspannkraft auf die Komponenten und den Abstandshalter aufgebracht werden. Das Schraubeninsert kann darüber hinaus auch durch einen in dem Abstandshalter vorgesehenen Durchbruch und zumindest teilweise durch einen in der zweiten Komponente vorgesehenen Durchbruch hin durch geführt werden. Die Schraube hingegen kann durch den in der zweiten Komponente vorgesehenen Durchbruch, den Durchbruch des Abstandshalters und den Durchbruch der ersten Komponente hin durch geführt werden.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform liegt das Schraubeninsert mit einem Flanschabschnitt an der ersten Komponente an und ist mit einem sich aus dem Flanschabschnitt heraus erstreckenden Gewinde ab schnitt berührungsfrei durch einen in der ersten Komponente vorgesehenen Durchbruch hin durch geführt.

Der Flanschabschnitt ist vorzugsweise scheibenförmig. Insbesondere liegt der Flanschabschnitt an einer Unterseite der ersten Komponente an. Der Flanschabschnitt kann mit der Unterseite verklebt werden, wie es beispielsweise bei keramischen Werkstoffen, Glaswerkstoffen oder glaskeramischen Werkstoffen sinnvoll sein kann. Bei metallischen Werkstoffen kann das Schraubeninsert auch angeschraubt oder monolithisch in einer Komponente gefertigt werden. Der Gewindeabschnitt ist vorzugsweise zylinderförmig und umfasst ein Innengewinde, in das die Schraube eingeschraubt ist. Ein Außendurchmesser des Gewindeabschnitts ist kleiner als ein Innendurchmesser des Durchbruchs der ersten Komponente, so dass der Gewindeabschnitt nicht in Kontakt mit dem Durch- bruch der ersten Komponente gerät. Der Gewindeabschnitt wird somit berührungsfrei durch den Durchbruch hin durch geführt.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist die Schraube berührungsfrei durch einen in der zweiten Komponente vorgesehenen Durchbruch hindurchgeführt und in den Gewindeabschnitt eingeschraubt.

Der in der zweiten Komponente vorgesehene Durchbruch ist vorzugsweise stufenförmig und umfasst einen ersten Abschnitt sowie einen zweiten Abschnitt, wobei der zweite Abschnitt einen größeren Durchmesser aufweist als der erste Abschnitt. Der zweite Abschnitt grenzt an den Abstandshalter an. Ein Durchmesser der Schraube ist derart bemessen, dass dieser kleiner ist als ein Durchmesser des ersten Abschnitts des Durchbruchs der zweiten Komponente. Somit kontaktiert die Schraube den Durchbruch der zweiten Komponente nicht. Die Schraube umfasst vorzugsweise einen Schraubenkopf, welcher sich an der zweiten Komponente abstützt, einen Schraubenschaft und einen sich an den Schraubenschaft anschließenden Gewindeabschnitt, welcher in den Gewinde ab schnitt des Schraubeninserts eingeschraubt ist.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform umfasst das Schraubeninsert einen Kugelabschnitt, der zumindest abschnittsweise in einer mit der zweiten Komponente verbundenen Hülse aufgenommen ist.

Der Kugelabschnitt umfasst zumindest abschnittsweise die Form einer Kugel. Die Verwendung einer kugelförmigen Geometrie ist dahingehend vorteilhaft, dass diese nicht sensitiv auf Verkippungen ist. Der Kugelabschnitt kann auch als kugelkalottenförmig bezeichnet werden. Der Kugelabschnitt ist rohrförmig, so dass die Schraube durch den Kugelabschnitt hin durch geführt werden kann. Der Kugelabschnitt ist mit Hilfe eines im Vergleich zu dem Gewindeabschnitt dünnwandigen Verbindungsabschnitts mit dem Gewindeabschnitt des Schrau- beninserts verbunden. Die Hülse ist vorzugsweise eine Metallhülse. Die Hülse ist in dem zweiten Abschnitt des Durchbruchs der zweiten Komponente aufgenommen. Dabei ist die Hülse derart bemessen, dass diese Seitenwände des zweiten Abschnitts des Durchbruchs der zweiten Komponente nicht kontaktiert. Die Hülse ist beispielsweise aus Stahl, insbesondere aus Edelstahl, gefertigt. Der Kugelabschnitt kontaktiert eine Innenwand der Hülse, wodurch an dem Kugelabschnitt und an der Hülse Störkräfte entstehen können. Diese Störkräfte entstehen jedoch lokal nur an dem Kugelabschnitt und an der Hülse und sind durch die Verspannung der Komponenten und des Abstandshalters mit Hilfe der Schraube und des Schraubeninserts klein genug, um nicht zu einer Drift der zweiten Komponente zu führen.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform umfasst der Kugelabschnitt relativ zu der Hülse drei rotatorische Freiheitsgrade und zwei translatorische Freiheitsgrade.

Durch die kugelförmige Geometrie kann der Kugelabschnitt gegenüber der Hülse um die x-Richtung und die y-Richtung verkippen und sich um die z-Richtung verdrehen. Ferner umfasst der Kugelabschnitt einen translatorischen Freiheitsgrad entlang der z-Richtung. Die Hülse beziehungsweise die Innenwand der Hülse umfasst vorzugsweise eine langlochförmige Geometrie, so dass sich die Hülse gegenüber dem Kugelabschnitt je nach Orientierung der Hülse in einem translatorischen Freiheitsgrad, beispielsweise entlang der x-Richtung, verlagern kann. Mit Hilfe dreier Hülsen kann eine statische Bestimmtheit erreicht werden.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform umfasst die Hülse eine Innenwand, mit welcher der Kugelabschnitt in Kontakt ist, wobei die Innenwand eine langlochförmige Geometrie aufweist, so dass die Hülse relativ zu dem Kugelabschnitt translatorisch verschiebbar ist. Die Hülse kann in federndem Kontakt mit dem Kugelabschnitt sein. Alternativ kann zwischen der Innenwand der Hülse und dem Kugelabschnitt auch ein Spiel vorgesehen sein. Die Innenwand weist in der Aufsicht vorzugsweise eine ovale Geometrie auf.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist die Hülse zum Justieren der zweiten Komponente relativ zu der ersten Komponente austauschbar oder zumindest teilweise austauschbar.

Die Hülse kann mehrteilig ausgeführt sein. Beispielsweise kann ein in der Hülse vorgesehener Durchbruch, der von der Innenwand begrenzt ist, in der Hülse seitlich verschoben sein. Je nach Anordnung und Orientierung des Durchbruchs kann durch einen Austausch der Hülse oder durch einen Austausch eines Teils der Hülse die zweite Komponente beliebig justiert werden.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform umfasst die Anordnung mehrere Schnittstellen, wobei jede Schnittstelle eine Justiereinrichtung aufweist, und wobei die zweite Komponente mit Hilfe der Justiereinrichtungen in drei translatorischen Freiheitsgraden und in drei rotatorischen Freiheitsgraden relativ zu der ersten Komponente justierbar ist.

Beim Verschieben der Hülse entlang dem Kugelabschnitt ergibt sich beispielsweise ein translatorischer Freiheitsgrad entlang der Innenwand der Hülse. Eine keilige Ausgestaltung des Abstandshalters ergibt zwei rotatorische Freiheitsgrade. Durch das Zusammenspiel mehrerer Justiereinrichtungen ergeben sich ein weiterer rotatorischer Freiheitsgrade und zwei translatorische Freiheitsgrade, die justiert werden können. Ferner wird eine Projektionsbelichtungsanlage mit einer derartigen Anordnung vor geschlagen.

Die Projektionsbelichtungsanlage kann mehrere derartige Anordnungen umfassen. Die Projektionsbelichtungsanlage kann eine EUV-Lithographieanlage sein. EUV steht für "Extreme Ultraviolet" und bezeichnet eine Wellenlänge des Arbeitslichts zwischen 0,1 nm und 30 nm. Die Projektionsbelichtungsanlage kann auch eine DUV-Lithographieanlage sein. DUV steht für "Deep Ultraviolet" und bezeichnet eine Wellenlänge des Arbeitslichts zwischen 30 nm und 250 nm.

"Ein" ist vorhegend nicht zwingend als beschränkend auf genau ein Element zu verstehen. Vielmehr können auch mehrere Elemente, wie beispielsweise zwei, drei oder mehr, vorgesehen sein. Auch jedes andere hier verwendete Zählwort ist nicht dahingehend zu verstehen, dass eine Beschränkung auf genau die genannte Anzahl von Elementen gegeben ist. Vielmehr sind zahlenmäßige Abweichungen nach oben und nach unten möglich, soweit nichts Gegenteiliges angegeben ist.

Die für die Anordnung beschriebenen Ausführungsformen und Merkmale gelten für die vorgeschlagene Projektionsbelichtungsanlage entsprechend und umgekehrt.

Weitere mögliche Implementierungen der Erfindung umfassen auch nicht explizit genannte Kombinationen von zuvor oder im Folgenden bezüglich der Ausführungsbeispiele beschriebenen Merkmalen oder Ausführungsformen. Dabei wird der Fachmann auch Einzelaspekte als Verbesserungen oder Ergänzungen zu der jeweiligen Grundform der Erfindung hinzufügen.

Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen und Aspekte der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche sowie der im Folgenden beschriebenen Ausführungs- beispiele der Erfindung. Im Weiteren wird die Erfindung anhand von bevorzugten Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die beigelegten Figuren näher erläutert.

Fig. 1 zeigt einen schematischen Meridionalschnitt einer Projektionsbelichtungsanlage für die EUV-Projektionslithographie!

Fig. 2 zeigt eine schematische Schnittansicht sowie eine schematische Aufsicht einer Ausführungsform einer Anordnung für die Projektionsbelichtungsanlage gemäß Fig. 1;

Fig. 3 zeigt eine schematische Schnittansicht sowie eine schematische Aufsicht einer weiteren Ausführungsform einer Anordnung für die Projektionsbelichtungsanlage gemäß Fig. 1;

Fig. 4 zeigt eine schematische Schnittansicht sowie eine schematische Aufsicht einer weiteren Ausführungsform einer Anordnung für die Projektionsbelichtungsanlage gemäß Fig. 1;

Fig. 5 zeigt eine schematische Schnittansicht sowie eine schematische Aufsicht einer weiteren Ausführungsform einer Anordnung für die Projektionsbelichtungsanlage gemäß Fig. 1;

Fig. 6 zeigt eine schematische Schnittansicht einer weiteren Ausführungsform einer Anordnung für die Projektionsbelichtungsanlage gemäß Fig. 1;

Fig. 7 zeigt eine schematische Schnittansicht einer weiteren Ausführungsform einer Anordnung für die Projektionsbelichtungsanlage gemäß Fig. 1; Fig. 8 zeigt eine schematische Schnittansicht einer weiteren Ausführungsform einer Anordnung für die Projektionsbelichtungsanlage gemäß Fig. 1;

Fig. 9 zeigt eine schematische Schnittansicht einer weiteren Ausführungsform einer Anordnung für die Projektionsbelichtungsanlage gemäß Fig. 1;

Fig. 10 zeigt eine schematische Schnittansicht einer weiteren Ausführungsform einer Anordnung für die Projektionsbelichtungsanlage gemäß Fig. 1;

Fig. 11 zeigt eine schematische Schnittansicht einer Ausführungsform einer Schnittstelle für die Anordnungen gemäß Fig. 2 bis Fig. 10;

Fig. 12 zeigt eine schematische Aufsicht einer weiteren Ausführungsform einer Anordnung für die Projektionsbelichtungsanlage gemäß Fig. 1;

Fig. 13 zeigt eine weitere schematische Aufsicht der Anordnung gemäß Fig. 12; und

Fig. 14 zeigt eine schematische Aufsicht einer Ausführungsform einer Hülse für die Schnittstelle gemäß Fig. 11.

In den Figuren sind gleiche oder funktionsgleiche Elemente mit denselben Bezugszeichen versehen worden, soweit nichts Gegenteiliges angegeben ist. Ferner sollte beachtet werden, dass die Darstellungen in den Figuren nicht notwendigerweise maßstabsgerecht sind.

Fig. 1 zeigt eine Ausführungsform einer Projektionsbelichtungsanlage 1 (Litho- graphieanlage), insbesondere einer EUV-Lithographieanlage. Eine Ausführung eines Beleuchtungssystems 2 der Projektionsbelichtungsanlage 1 hat neben einer Licht- beziehungsweise Strahlungsquelle 3 eine Beleuchtungsoptik 4 zur Be- leuchtung eines Objektfeldes 5 in einer Objektebene 6. Bei einer alternativen Ausführung kann die Lichtquelle 3 auch als ein zum sonstigen Beleuchtungssystem 2 separates Modul bereitgestellt sein. In diesem Fall umfasst das Beleuchtungssystem 2 die Lichtquelle 3 nicht.

Belichtet wird ein im Objektfeld 5 angeordnetes Retikel 7. Das Retikel 7 ist von einem Retikelhalter 8 gehalten. Der Retikelhalter 8 ist über einen Retikelverla- gerungsantrieb 9, insbesondere in einer Scanrichtung, verlagerbar.

In der Fig. 1 ist zur Erläuterung ein kartesisches Koordinatensystem mit einer x-Richtung x, einer y-Richtung y und einer z-Richtung z eingezeichnet. Die x- Richtung x verläuft senkrecht in die Zeichenebene hinein. Die y-Richtung y verläuft horizontal und die z-Richtung z verläuft vertikal. Die Scanrichtung verläuft in der Fig. 1 längs der y-Richtung y. Die z-Richtung z verläuft senkrecht zur Objektebene 6.

Die Projektionsbelichtungsanlage 1 umfasst eine Projektionsoptik 10. Die Projektionsoptik 10 dient zur Abbildung des Objektfeldes 5 in ein Bildfeld 11 in einer Bildebene 12. Die Bildebene 12 verläuft parallel zur Objektebene 6. Alternativ ist auch ein von 0° verschiedener Winkel zwischen der Objektebene 6 und der Bildebene 12 möglich.

Ab gebildet wird eine Struktur auf dem Retikel 7 auf eine lichtempfindliche Schicht eines im Bereich des Bildfeldes 11 in der Bildebene 12 angeordneten Wafers 13. Der Wafer 13 wird von einem Waferhalter 14 gehalten. Der Waferhalter 14 ist über einen Waferverlagerungsantrieb 15 insbesondere längs der y-Richtung y verlagerbar. Die Verlagerung einerseits des Retikels 7 über den Retikelverlagerungsantrieb 9 und andererseits des Wafers 13 über den Wafer- Verlagerungsantrieb 15 kann synchronisiert zueinander erfolgen. Bei der Lichtquelle 3 handelt es sich um eine EUV-Strahlungs quelle. Die Lichtquelle 3 emittiert insbesondere EUV- Strahlung 16, welche im Folgenden auch als Nutzstrahlung, Beleuchtungsstrahlung oder Beleuchtungslicht bezeichnet wird. Die Nutzstrahlung 16 hat insbesondere eine Wellenlänge im Bereich zwischen 5 nm und 30 nm. Bei der Lichtquelle 3 kann es sich um eine Plasmaquelle handeln, zum Beispiel um eine LPP-Quelle (EnglJ Laser Produced Plasma, mit Hilfe eines Lasers erzeugtes Plasma) oder um eine DPP-Quelle (EnglJ Gas Discharged Produced Plasma, mittels Gasentladung erzeugtes Plasma). Es kann sich auch um eine synchrotronbasierte Strahlungsquelle handeln. Bei der Lichtquelle 3 kann es sich um einen Freie-Elektronen-Laser (EnglJ Free-Electron- Laser, FEL) handeln.

Die Beleuchtungsstrahlung 16, die von der Lichtquelle 3 ausgeht, wird von einem Kollektor 17 gebündelt. Bei dem Kollektor 17 kann es sich um einen Kollektor mit einer oder mit mehreren ellipsoidalen und/oder hyperboloiden Reflexionsflächen handeln. Die mindestens eine Reflexionsfläche des Kollektors 17 kann im streifenden Einfall (EnglJ Grazing Incidence, Gl), also mit Einfallswinkeln größer als 45°, oder im normalen Einfall (Normal Incidence, NI), also mit Einfallwinkeln kleiner als 45°, mit der Beleuchtungsstrahlung 16 beaufschlagt werden. Der Kollektor 17 kann einerseits zur Optimierung seiner Reflektivität für die Nutzstrahlung und andererseits zur Unterdrückung von Falschlicht strukturiert und/oder beschichtet sein.

Nach dem Kollektor 17 propagiert die Beleuchtungsstrahlung 16 durch einen Zwischenfokus in einer Zwischenfokusebene 18. Die Zwischenfokusebene 18 kann eine Trennung zwischen einem Strahlungsquellenmodul, aufweisend die Lichtquelle 3 und den Kollektor 17, und der Beleuchtungsoptik 4 darstellen.

Die Beleuchtungsoptik 4 umfasst einen Umlenkspiegel 19 und diesem im Strahlengang nachgeordnet einen ersten Facettenspiegel 20. Bei dem Umlenkspiegel 19 kann es sich um einen planen Umlenkspiegel oder alternativ um einen Spiegel mit einer über die reine Umlenkungswirkung hinaus bündelbeeinflussenden Wirkung handeln. Alternativ oder zusätzlich kann der Umlenkspiegel 19 als Spektralfilter ausgeführt sein, der eine Nützlich twellenlänge der Beleuchtungsstrahlung 16 von Falschlicht einer hiervon abweichenden Wellenlänge trennt. Sofern der erste Facettenspiegel 20 in einer Ebene der Beleuchtungsoptik 4 angeordnet ist, die zur Objektebene 6 als Feldebene optisch konjugiert ist, wird dieser auch als Feldfacettenspiegel bezeichnet. Der erste Facettenspiegel 20 umfasst eine Vielzahl von einzelnen ersten Facetten 21, welche im auch als Feldfacetten bezeichnet werden können. Von diesen ersten Facetten 21 sind in der Fig. 1 nur beispielhaft einige dargestellt.

Die ersten Facetten 21 können als makroskopische Facetten ausgeführt sein, insbesondere als rechteckige Facetten oder als Facetten mit bogenförmiger oder teilkreisförmiger Randkontur. Die ersten Facetten 21 können als plane Facetten oder alternativ als konvex oder konkav gekrümmte Facetten ausgeführt sein.

Wie beispielsweise aus der DE 10 2008 009 600 Al bekannt ist, können die ersten Facetten 21 selbst jeweils auch aus einer Vielzahl von Einzelspiegeln, insbesondere einer Vielzahl von Mikrospiegeln, zusammengesetzt sein. Der erste Facettenspiegel 20 kann insbesondere als mikroelektromechanisches System (MEMS'System) ausgebildet sein. Für Details wird auf die DE 10 2008 009 600 Al verwiesen.

Zwischen dem Kollektor 17 und dem Umlenkspiegel 19 verläuft die Beleuchtungsstrahlung 16 horizontal, also längs der y-Richtung y.

Im Strahlengang der Beleuchtungsoptik 4 ist dem ersten Facettenspiegel 20 nachgeordnet ein zweiter Facettenspiegel 22. Sofern der zweite Facettenspiegel 22 in einer Pupillenebene der Beleuchtungsoptik 4 angeordnet ist, wird dieser auch als Pupillenfacettenspiegel bezeichnet. Der zweite Facettenspiegel 22 kann auch beabstandet zu einer Pupillenebene der Beleuchtungsoptik 4 angeordnet sein. In diesem Fall wird die Kombination aus dem ersten Facettenspiegel 20 und dem zweiten Facettenspiegel 22 auch als spekularer Reflektor bezeichnet. Spekulare Reflektoren sind bekannt aus der US 2006/0132747 Al, der EP 1 614 008 Bl und der US 6,573,978.

Der zweite Facettenspiegel 22 umfasst eine Mehrzahl von zweiten Facetten 23. Die zweiten Facetten 23 werden im Falle eines Pupillenfacettenspiegels auch als Pupillenfacetten bezeichnet.

Bei den zweiten Facetten 23 kann es sich ebenfalls um makroskopische Facetten, die beispielsweise rund, rechteckig oder auch hexagonal berandet sein können, oder alternativ um aus Mikrospiegeln zusammengesetzte Facetten handeln. Diesbezüglich wird ebenfalls auf die DE 10 2008 009 600 Al verwiesen.

Die zweiten Facetten 23 können plane oder alternativ konvex oder konkav gekrümmte Reflexionsflächen aufweisen.

Die Beleuchtungsoptik 4 bildet somit ein doppelt facettiertes System. Dieses grundlegende Prinzip wird auch als Wabenkondensor (EnglJ Fly's Eye Integrator) bezeichnet.

Es kann vorteilhaft sein, den zweiten Facettenspiegel 22 nicht exakt in einer Ebene, welche zu einer Pupillenebene der Projektionsoptik 10 optisch konjugiert ist, anzuordnen. Insbesondere kann der zweite Facettenspiegel 22 gegenüber einer Pupillenebene der Projektionsoptik 10 verkippt angeordnet sein, wie es zum Beispiel in der DE 10 2017 220 586 Al beschrieben ist. Mit Hilfe des zweiten Facettenspiegels 22 werden die einzelnen ersten Facetten 21 in das Objektfeld 5 abgebildet. Der zweite Facettenspiegel 22 ist der letzte bündelformende oder auch tatsächlich der letzte Spiegel für die Beleuchtungsstrahlung 16 im Strahlengang vor dem Objektfeld 5.

Bei einer weiteren, nicht dargestellten Ausführung der Beleuchtungsoptik 4 kann im Strahlengang zwischen dem zweiten Facettenspiegel 22 und dem Objektfeld 5 eine Übertragungsoptik angeordnet sein, die insbesondere zur Abbildung der ersten Facetten 21 in das Objektfeld 5 beiträgt. Die Übertragungsoptik kann genau einen Spiegel, alternativ aber auch zwei oder mehr Spiegel aufweisen, welche hintereinander im Strahlengang der Beleuchtungsoptik 4 angeordnet sind. Die Übertragungsoptik kann insbesondere einen oder zwei Spiegel für senkrechten Einfall (Ni-Spiegel, Normal Incidence Spiegel) und/oder einen oder zwei Spiegel für streifenden Einfall (Gl-Spiegel, Gracing Incidence Spiegel) umfassen.

Die Beleuchtungsoptik 4 hat bei der Ausführung, die in der Fig. 1 gezeigt ist, nach dem Kollektor 17 genau drei Spiegel, nämlich den Umlenkspiegel 19, den ersten Facettenspiegel 20 und den zweiten Facettenspiegel 22.

Bei einer weiteren Ausführung der Beleuchtungsoptik 4 kann der Umlenkspiegel 19 auch entfallen, so dass die Beleuchtungsoptik 4 nach dem Kollektor 17 dann genau zwei Spiegel aufweisen kann, nämlich den ersten Facettenspiegel 20 und den zweiten Facettenspiegel 22.

Die Abbildung der ersten Facetten 21 mittels der zweiten Facetten 23 beziehungsweise mit den zweiten Facetten 23 und einer Übertragungsoptik in die Objektebene 6 ist regelmäßig nur eine näherungsweise Abbildung. Die Projektionsoptik 10 umfasst eine Mehrzahl von Spiegeln Mi, welche gemäß ihrer Anordnung im Strahlengang der Projektionsbelichtungsanlage 1 durchnummeriert sind.

Bei dem in der Fig. 1 dargestellten Beispiel umfasst die Projektionsoptik 10 sechs Spiegel Ml bis M6. Alternativen mit vier, acht, zehn, zwölf oder einer anderen Anzahl an Spiegeln Mi sind ebenso möglich. Bei der Projektionsoptik 10 handelt es sich um eine doppelt obskurierte Optik. Der vorletzte Spiegel M5 und der letzte Spiegel M6 haben jeweils eine Durchtrittsöffnung für die Beleuchtungsstrahlung 16. Die Projektionsoptik 10 hat eine bildseitige numerische Apertur, die größer ist als 0,5 und die auch größer sein kann als 0,6 und die beispielsweise 0,7 oder 0,75 betragen kann.

Reflexionsflächen der Spiegel Mi können als Freiformflächen ohne Rotationssymmetrieachse ausgeführt sein. Alternativ können die Reflexionsflächen der Spiegel Mi als asphärische Flächen mit genau einer Rotationssymmetrieachse der Reflexionsflächenform gestaltet sein. Die Spiegel Mi können, genauso wie die Spiegel der Beleuchtungsoptik 4, hochreflektierende Beschichtungen für die Beleuchtungsstrahlung 16 aufweisen. Diese Beschichtungen können als Multilayer- Beschichtungen, insbesondere mit alternierenden Lagen aus Molybdän und Silizium, gestaltet sein.

Die Projektionsoptik 10 hat einen großen Objekt-Bildversatz in der y-Richtung y zwischen einer y-Koordinate eines Zentrums des Objektfeldes 5 und einer y Koordinate des Zentrums des Bildfeldes 11. Dieser Objekt-Bild-Versatz in der y Richtung y kann in etwa so groß sein wie ein z-Abstand zwischen der Objektebene 6 und der Bildebene 12.

Die Projektionsoptik 10 kann insbesondere anamorphotisch ausgebildet sein. Sie weist insbesondere unterschiedliche Abbildungsmaßstäbe ßx, ßy in x- und y Richtung x, y auf. Die beiden Abbildungsmaßstäbe ßx, ßy der Projektionsoptik 10 liegen bevorzugt bei (ßx, ßy) = (+/- 0,25, /+- 0,125). Ein positiver Abbildungsmaß- stab ß bedeutet eine Abbildung ohne Bildumkehr. Ein negatives Vorzeichen für den Abbildungsmaßstab ß bedeutet eine Abbildung mit Bildumkehr.

Die Projektionsoptik 10 führt somit in x-Richtung x, das heißt in Richtung senkrecht zur Scanrichtung, zu einer Verkleinerung im Verhältnis 4 .

Die Projektionsoptik 10 führt in y-Richtung y, das heißt in Scanrichtung, zu einer Verkleinerung von 84.

Andere Abbildungsmaßstäbe sind ebenso möglich. Auch vorzeichengleiche und absolut gleiche Abbildungsmaßstäbe in x- und y-Richtung x, y, zum Beispiel mit Absolutwerten von 0,125 oder von 0,25, sind möglich.

Die Anzahl von Zwischenbildebenen in der x- und in der y-Richtung x, y im Strahlengang zwischen dem Objektfeld 5 und dem Bildfeld 11 kann gleich sein oder kann, je nach Ausführung der Projektionsoptik 10, unterschiedlich sein. Beispiele für Projektionsoptiken mit unterschiedlichen Anzahlen derartiger Zwischenbilder in x- und y-Richtung x, y sind bekannt aus der US 2018/0074303 Al.

Jeweils eine der zweiten Facetten 23 ist genau einer der ersten Facetten 21 zur Ausbildung jeweils eines Beleuchtungskanals zur Ausleuchtung des Objektfeldes 5 zugeordnet. Es kann sich hierdurch insbesondere eine Beleuchtung nach dem Köhlerschen Prinzip ergeben. Das Fernfeld wird mit Hilfe der ersten Facetten 21 in eine Vielzahl an Objektfeldern 5 zerlegt. Die ersten Facetten 21 erzeugen eine Mehrzahl von Bildern des Zwischenfokus auf den diesen jeweils zugeordneten zweiten Facetten 23. Die ersten Facetten 21 werden jeweils von einer zugeordneten zweiten Facette 23 einander überlagernd zur Ausleuchtung des Objektfeldes 5 auf das Retikel 7 abgebildet. Die Ausleuchtung des Objektfeldes 5 ist insbesondere möglichst homogen. Sie weist vorzugsweise einen Uniformitätsfehler von weniger als 2 % auf. Die Felduniformität kann über die Überlagerung unterschiedlicher Beleuchtungskanäle erreicht werden.

Durch eine Anordnung der zweiten Facetten 23 kann geometrisch die Ausleuchtung der Eintrittspupille der Projektionsoptik 10 definiert werden. Durch Auswahl der Beleuchtungskanäle, insbesondere der Teilmenge der zweiten Facetten 23, die Licht führen, kann die Intensitätsverteilung in der Eintrittspupille der Projektionsoptik 10 eingestellt werden. Diese Intensitätsverteilung wird auch als Beleuchtungssetting oder Beleuchtungspupillenfüllung bezeichnet.

Eine ebenfalls bevorzugte Pupillenuniformität im Bereich definiert ausgeleuchteter Abschnitte einer Beleuchtungspupille der Beleuchtungsoptik 4 kann durch eine Umverteilung der Beleuchtungskanäle erreicht werden.

Im Folgenden werden weitere Aspekte und Details der Ausleuchtung des Objektfeldes 5 sowie insbesondere der Eintrittspupille der Projektionsoptik 10 beschrieben.

Die Projektionsoptik 10 kann insbesondere eine homozentrische Eintrittspupille aufweisen. Diese kann zugänglich sein. Sie kann auch unzugänglich sein.

Die Eintrittspupille der Projektionsoptik 10 lässt sich regelmäßig mit dem zweiten Facettenspiegel 22 nicht exakt ausleuchten. Bei einer Abbildung der Projektionsoptik 10, welche das Zentrum des zweiten Facettenspiegels 22 telezentrisch auf den Wafer 13 abbildet, schneiden sich die Aperturstrahlen oftmals nicht in einem einzigen Punkt. Es lässt sich jedoch eine Fläche finden, in welcher der paarweise bestimmte Abstand der Aperturstrahlen minimal wird. Diese Fläche stellt die Eintrittspupille oder eine zu ihr konjugierte Fläche im Ortsraum dar. Insbesondere zeigt diese Fläche eine endliche Krümmung.

Es kann sein, dass die Projektionsoptik 10 unterschiedliche Lagen der Eintrittspupille für den tangentialen und für den sagittalen Strahlengang aufweist. In diesem Fall sollte ein abbildendes Element, insbesondere ein optisches Bauelement der Übertragungsoptik, zwischen dem zweiten Facettenspiegel 22 und dem Retikel 7 bereitgestellt werden. Mit Hilfe dieses optischen Elements kann die unterschiedliche Lage der tangentialen Eintrittspupille und der sagittalen Eintrittspupille berücksichtigt werden.

Bei der in der Fig. 1 dargestellten Anordnung der Komponenten der Beleuchtungsoptik 4 ist der zweite Facettenspiegel 22 in einer zur Eintrittspupille der Projektionsoptik 10 konjugierten Fläche angeordnet. Der erste Facettenspiegel 20 ist verkippt zur Objektebene 6 angeordnet. Der erste Facettenspiegel 20 ist verkippt zu einer Anordnungsebene angeordnet, die vom Umlenkspiegel 19 definiert ist. Der erste Facettenspiegel 20 ist verkippt zu einer Anordnungsebene angeordnet, die vom zweiten Facettenspiegel 22 definiert ist.

In einer wie zuvor erläuterten Beleuchtungsoptik 4 oder Projektionsoptik 10 ist es erforderlich, Komponenten, wie beispielsweise Sensoren oder optische Elemente, mit hohen Anforderungen an die Positionsstabilität bei gleichzeitig hohen dynamischen Anforderungen zueinander auszurichten. Hierzu können beispielsweise sogenannte Hexapoden oder KugeLV-Nuten verwendet werden, um die Komponenten zueinander auszurichten oder zu justieren. Hier kann sich jedoch das Problem der geringen Steifigkeit der Verbindung, insbesondere niedrige Eigenfrequenzen, und der hohen lokalen Spannungen in einer Schnittstelle zwischen den Komponenten, insbesondere Gelenkspannungen im Hexapod oder Hertzsche Spannungen in der Kugel- V'Nuten, ergeben. Die hohen Spannungen verstärken das Risiko, dass an der Schnittstelle Positionsdrifts entstehen können.

Fig. 2 zeigt eine schematische Schnittansicht sowie eine schematische Aufsicht einer Ausführungsform einer Anordnung 100 für eine Beleuchtungsoptik 4 oder eine Projektionsoptik 10. Die Anordnung 100 umfasst eine erste Komponente 102. Die erste Komponente 102 kann beispielsweise ein sogenannter Sensorrahmen (EnglJ Sensor Frame) sein. Die erste Komponente 102 umfasst eine Unterseite 104 und eine Oberseite 106. Die erste Komponente 102 kann plattenförmig sein. Die erste Komponente 102 kann jedoch grundsätzlich jede beliebige Geometrie aufweisen.

Neben der ersten Komponente 102 umfasst die Anordnung 100 eine zweite Komponente 108. Die zweite Komponente 108 kann beispielsweise ein Sensor oder ein Messinstrument sein. Die zweite Komponente 108 kann jedoch auch ein optisches Element der Beleuchtungsoptik 4 oder der Projektionsoptik 10 sein. Die zweite Komponente 108 umfasst eine Unterseite 110 und eine Oberseite 112. Die zweite Komponente 108 kann beispielsweise mit ihrer Unterseite 110 auf der Oberseite 106 der ersten Komponente 102 auf.

Zwischen der ersten Komponente 102 und der zweiten Komponente 108 ist genau eine Schnittstelle 114 vorgesehen, welche die Komponenten 102, 108 miteinander verbindet. Die Schnittstelle 114 kann eine Verschraubung sein oder eine Verschraubung umfassen. Die Schnittstelle 114 kann auch als Verbindungspunkt, Verbindungsstelle oder als Verbindungseinrichtung bezeichnet werden. Der Aufbau der Schnittstelle 114 wird nachfolgend noch erläutert.

Fig. 3 zeigt eine schematische Schnittansicht sowie eine schematische Aufsicht einer weiteren Ausführungsform einer Anordnung 100. Die Anordnung 100 gemäß der Fig. 3 unterscheidet sich von der Anordnung 100 gemäß der Fig. 2 nur dadurch, dass nicht eine Schnittstelle 114, sondern drei Schnittstellen 114, 116, 118 vorgesehen sind, die dreieckförmig angeordnet sind.

Fig. 4 zeigt eine schematische Schnittansicht sowie eine schematische Aufsicht einer weiteren Ausführungsform einer Anordnung 100. Die Anordnung 100 gemäß der Fig. 4 unterscheidet sich von der Anordnung 100 gemäß der Fig. 2 nur dadurch, dass nicht eine Schnittstelle 114, sondern vier Schnittstellen 114, 116, 118, 120 vorgesehen sind, die in Form eines Rechtecks angeordnet sind. Drei der Schnittstellen 114, 116, 118, 120 können auch in Form eines Dreiecks angeordnet sein, wobei die vierte der Schnittstellen 114, 116, 118, 120 in einer Mitte des Dreiecks platziert ist. Die Schnittstellen 114, 116, 118, 120 können grundsätzlich beliebig angeordnet werden.

Fig. 5 zeigt eine schematische Schnittansicht sowie eine schematische Aufsicht einer weiteren Ausführungsform einer Anordnung 100. Die Anordnung 100 gemäß der Fig. 5 unterscheidet sich von der Anordnung 100 gemäß der Fig. 2 nur dadurch, dass nicht eine Schnittstelle 114, sondern fünf Schnittstellen 114, 116, 118, 120, 122 vorgesehen sind.

Die Lösung des einführend genannten Problems des Auftretens von hohen Spannungen wird erreicht durch ein planares Anschrauben (EnglJ Plane Mounting) mit Hilfe der Schnittstellen 114, 116, 118, 120, 122 und einem nachfolgend noch zu erläuternden innenliegendes Spacersystem beziehungsweise einer Justiereinrichtung zur Justage der Komponenten 102, 108.

Das planare Anschrauben erfolgt, wie zuvor erwähnt, an verschiedenen Schnittstellen 114, 116, 118, 120, 122. Beispielsweise ist, wie in der Fig. 2 gezeigt, eine Ein-Punkt'Verschraubung möglich. Diese ist erweiterbar um beliebig viele Schnittstellen 114, 116, 118, 120, 122. Besonders günstig ist zum einem das Vor- sehen nur einer Schnittstelle 114, da dadurch wenig Deformationen in den Komponenten 102, 108 erzeugt werden.

Auch eine wie in der Fig. 3 gezeigte Drei-Punkt-Verschraubung ist günstig, da eine breitere Abstützung möglich ist und dadurch eine steifere Verbindung erhalten werden kann. Jedoch ist die Überbestimmtheit einer derartigen Verbindung noch gering, wodurch die Deformationen der Komponenten 102, 108 gering gehalten werden kann. Das Vorsehen nur einer Schnittstelle 114 ist günstig ausgestaltet, wenn eine Schraube zur Krafterbringung zentral angeordnet ist und axial um die Schraube Auflagepads der beiden Komponenten 102, 108 vorgesehen sind, damit die Schraubenkraft die beiden Komponenten 102, 108 symmetrisch über die Auflagepads verspannt.

Vorteilhaft ist auch, wenn sich die Schnittstellen 114, 116, 118, 120, 122 alle in einer gemeinsamen Ebene befinden. Dies erleichtert zum einem die Fertigung der Kontaktflächen der Komponenten 102, 108, insbesondere die Oberseite 106 und die Unterseite 110. Ferner ist dies jedoch auch hinsichtlich des Ausdehnungsverhaltens der Komponenten 102, 108 bei Erwärmung vorteilhaft, da keine seitlichen Kräfte die Komponenten 102, 108 deformieren können und sich beide Komponenten 102, 108 gleichmäßig ohne Verspannungen und/oder Störkräfte zusammen thermal ausdehnen können. Verspannungen und/oder Störkräfte können durch unterschiedliche thermale Zeitkonstanten, unterschiedlich verwendete Materialien oder dergleichen entstehen.

Fig. 6 zeigt eine schematische Schnittansicht einer weiteren Ausführungsform einer Anordnung 100. Die Fig. 6 veranschaulicht das zuvor erläuterte thermische Ausdehnungsverhalten der Komponenten 102, 108. In einem, beispielsweise wärmebedingt, ausgedehnten Zustand sind die Komponenten in der Fig. 6 mit den Bezugszeichen 102', 108' versehen. Da die Kontaktflächen zwischen den Komponenten 102, 108, nämlich die Oberseite 106 und die Unterseite 110 eben sind, beeinträchtigen sich die Komponenten 102, 108 nicht gegenseitig und können sich gemeinsam homogen ausdehnen, wie in der Fig. 6 mit Hilfe von Pfeilen 124, 126, 128, 130, 132, 134 angedeutet ist. Die Komponenten 102, 108 können sich weniger gegeneinander verspannen. Hierdurch wird das Auftreten von Störkräften an wie zuvor erwähnten Schnittstellen 114, 116, 118, 120, 122 zwischen den Komponenten 102, 108 reduziert.

Fig. 7 zeigt eine schematische Schnittansicht einer weiteren Ausführungsform einer Anordnung 100. Hierbei wird angenommen, dass die zweite Komponente 108 ein Messgerät, insbesondere ein Positionsmessgerät, beispielsweise ein Interferometer, ist, das einen Messstrahl 136 mit einer Messrichtung entlang der y-Richtung y zu einem optischen Element 138, beispielsweise einem Spiegel, sendet. Die zweite Komponente 108 kann auch ein kapazitiver Sensor sein, der eine Position eines kapazitiven Targets anstelle des optischen Elements 138 entlang der y-Richtung y misst.

Fig. 8 zeigt eine schematische Schnittansicht einer weiteren Ausführungsform einer Anordnung 100. In diesem Fall wird davon ausgegangen, dass die zweite Komponente 108 ein Positionsmessgerät, wie beispielsweise ein Encoder oder ein kapazitiver Sensor, ist. Ein Messstrahl 136 kann entlang der z-Richtung z, der x- Richtung x und/oder der y-Richtung y verlaufen. Ein Encodermaßstab ist mit dem Bezugszeichen 138 versehen. Der Messstrahl 136 verläuft besonders bevorzugt entlang der z-Richtung z.

Fig. 9 zeigt eine schematische Schnittansicht einer weiteren Ausführungsform einer Anordnung 100. In diesem Fall wird davon ausgegangen, dass die zweite Komponente 108 ein optisches Element, wie beispielsweise ein Spiegel der Beleuchtungsoptik 4 oder der Projektionsoptik 10, ist. An beliebigen Flächen der zweiten Komponente 108 können Messstrahlen 136 oder ganz allgemein Lichtstrahlen, insbesondere Beleuchtungsstrahlung 16, reflektiert werden. Die zweite Komponente 108 weist grundsätzlich sechs Freiheitsgrade, nämlich drei laterale oder translatorische Freiheitsgrade jeweils entlang der x-Richtung x, der y-Richtung y und der z-Richtung z auf und drei rotatorische Freiheitsgrade oder Kippfreiheitsgrade jeweils um die x-Richtung x, die y-Richtung y und die z- Richtung z auf.

Unter der "Position" der zweiten Komponente 108 sind demgemäß die Koordinaten der zweiten Komponente oder eines an der zweiten Komponente 108 vorgesehenen Messpunkts bezüglich der x-Richtung x, der y-Richtung y und der z- Richtung z zu verstehen. Unter der "Orientierung" der zweiten Komponente 108 ist demgemäß deren Verkippung um die x-Richtung x, die y-Richtung y und/oder die z-Richtung z zu verstehen. Mit anderen Worten ist unter der "Orientierung" eine Rotation im Vergleich zu einer Lateralposition zu verstehen. Unter der "Lage" der zweiten Komponente 108 ist sowohl deren Position als auch deren Orientierung zu verstehen. Unter "Justieren" oder "Ausrichten" der zweiten Komponente 108 ist ein Verbringen derselben von einer Ist-Lage in eine Soll-Lage zu verstehen. Entsprechendes gilt für die erste Komponente 102.

Um nun die zweite Komponente 108 zu justieren oder auszurichten, ist ein Spacer oder Abstandshalter 140 zwischen der Oberseite 106 der ersten Komponente 102 und der Unterseite 110 der zweiten Komponente 108 platziert. Mit Hilfe des Abstandshalters 140 lassen sich bis zu drei Freiheitsgrade, nämlich im Maximalfall zwei rotatorische Freiheitsgrade und ein translatorischer Freiheitsgrad, justieren.

Die rotatorischen Freiheitsgrade können durch eine Heiligkeit des Abstandshalters 140 in die jeweilige Richtung erreicht werden. Der translatorische Freiheitsgrad kann durch eine Dicke des Abstandshalters 140 beeinflusst werden. Vorliegend können mit Hilfe des in den Fig. 7 bis 9 gezeigten Abstandshalters 140 zwei rotatorische Freiheitsgrade um die x-Richtung x sowie um die y Richtung y und ein translatorischer Freiheitsgrad entlang der z-Richtung z justiert werden. Der Anordnung 100 können die zuvor erläuterten Schnittstellen 114, 116, 118, 120, 122 zugeordnet sein, die durch den Abstandshalter 140 hindurchgeführt sind.

Fig. 10 zeigt eine schematische Schnittansicht einer weiteren Ausführungsform einer Anordnung 100. Im Unterschied zu den Ausführungsformen der Anordnung 100 gemäß den Fig. 7 bis 9 umfasst die Anordnung 100 gemäß der Fig. 10 einen keilförmigen Abstandshalter 140. Mit Hilfe dieses keilförmigen Abstandshalters 140 ist eine Justierung der zweiten Komponente 108 um einen rotatorischen Freiheitsgrad um die x-Richtung x, einen rotatorischen Freiheitsgrad um die y-Richtung y und einen translatorischen Freiheitsgrad entlang der z- Richtung z möglich.

Vorzugsweise wird für alle Schnittstellen 114, 116, 118, 120, 122 genau ein Abstandshalter 140 in Form einer monolithische Platte (EnglJ Monospacer) verwendet, da dadurch im Vergleich zu mehreren individuellen Abstandshaltern 140 bei einem einteiligen Abstandshalter 140 die Toleranzen reduziert werden können. Es können jedoch auch einzelne Abstandshalter 140 pro Schnittstelle 114, 116, 118, 120, 122 verwendet werden. Das heißt, dass auch ein mehrteiliger Aufbau vorgesehen sein kann. In diesem Fall ist jedoch für eine richtige Orientierung der Kipps der Abstandshalter 140 zu sorgen. Auch Mischformen mit verschiedenen Anordnungen von Abstandshaltern 140 sind möglich. Beispielsweise kann ein Abstandshalter 140 für zwei Schnittstellen 114, 116 und ein weiterer Abstandshalter für eine dritte Schnittstelle 118 vorgesehen sein.

Durch das vollflächige Aufliegen des Abstandshalters 140 zwischen den Komponenten 102, 108 ist die Steifigkeit der Anbindung kaum beeinträchtigt und es können sehr hohe Eigenfrequenzen der Anordnung 100 erreicht werden. Es ist ferner vorteilhaft, die Komponenten 102, 108 und den oder die Abstandshalter 140 aus demselben Werkstoff oder einem thermal angepassten Material zu fertigen, so dass es zu keinen thermalen Verspannungen kommen kann. Thermale Verspannungen können bei Überschreiten einer Schraubenkraft durch verschiedene Betriebs- und Montagezustände zu einer nicht komplett reversiblen Verschiebung der Komponenten 102, 108 führen, bei der Verspannungen in der Verbindung eingefroren werden. Lösen sich diese eingefrorenen Verspannungen, kommt es zu ungewollten, sprunghaften Positionsverschiebungen (EnglJ Thermal Snapping).

Fig. 11 zeigt eine schematische Schnittansicht einer Ausführungsform einer wie zuvor erwähnten Schnittstelle 114. Die Schnittstellen 116, 118, 120, 122 können identisch wie die Schnittstelle 114 aufgebaut sein. Nachfolgend wird jedoch nur auf die Schnittstelle 114 eingegangen.

Die erste Komponente 102 umfasst eine Bohrung oder einen Durchbruch 142, der die erste Komponente 102 vollständig durchbricht. Der Durchbruch 142 kann eine zylinderförmige Innenwandung aufweisen. Auch der Abstandshalter 140 weist eine Bohrung oder einen Durchbruch 144 auf. Der Durchbruch 144 kann ein Langloch sein, dessen Hauptausdehnungsrichtung sich entlang der x- Richtung x erstreckt. Die Form des Durchbruchs 144 ist jedoch grundsätzlich beliebig. Beispielsweise kann der Durchbruch 144 auch kreisrund oder rechteckig sein. Ferner weist auch die zweite Komponente 108 einen Durchbruch 146 auf. Der Durchbruch 146 kann ebenfalls ein Langloch sein. Auch die Geometrie des Durchbruchs 146 ist beliebig. Der Durchbruch 146 ist gestuft aufgebaut und umfasst einen ersten Abschnitt 148 sowie einen zweiten Abschnitt 150. Der zweite Abschnitt 150 ist von seinem Querschnitt her größer als der erste Abschnitt 148. Die Schnittstelle 114 umfasst eine Einstelleinrichtung oder Justiereinrichtung 152. Die Justiereinrichtung 152 kann auch als Fixier- und Spacersystem bezeichnet werden. Die Justiereinrichtung 152 umfasst ein Schraubeninsert 154, das zumindest abschnittsweise in den Durchbrüchen 142, 144, 146 aufgenommen ist. Das Schraubeninsert 154 ist rotationssymmetrisch zu einer Mittel- oder Symmetrieachse 156 aufgebaut. Die Symmetrieachse 156 kann gleichzeitig auch eine Symmetrieachse des Durchbruchs 142 der ersten Komponente 102 sein. Das Schraubeninsert 154 ist derart in dem Durchbruch 142 aufgenommen, dass es diesen nicht kontaktiert.

Das Schraubeninsert 154 umfasst einen plattenförmigen oder flachen kreiszyli- derförmigen Flanschabschnitt 158, der an der Unterseite 104 der ersten Komponente 102 anliegt. Der Flanschabschnitt 158 kann mit der Unterseite 104 verklebt sein. Aus dem Flanschabschnitt 158 erstreckt sich ein zylinderförmiger Gewindeabschnitt 160 in den Durchbruch 142 hinein. Der Gewindeabschnitt 160 weist eine rotationssymmetrisch zu der Symmetrieachse 156 aufgebaute Gewindebohrung 162 auf. Der Gewinde ab schnitt 160 endet auf Höhe eines außenseitig an dem Gewinde ab schnitt 160 vorgesehenen umlaufenden Absatzes 164. Auch innenseitig weist der Gewinde ab schnitt 160 einen derartigen Absatz 166 auf, an dem die Gewindebohrung 162 endet.

Auf Höhe des Absatzes 164 verjüngt sich ein Querschnitt des Schraubeninserts 154 derart, dass sich ein Außendurchmesser des Schraubeninserts 154 verkleinert. An den Gewindeabschnitt 160 schließt sich somit ein im Vergleich zu dem Gewinde ab schnitt 160 dünnwandigerer Verbindungsabschnitt 168 an, der rohrförmig ist. Der Verbindungsabschnitt 168 ist rotationssymmetrisch zu der Symmetrieachse 156 aufgebaut.

An den Verbin dungs ab schnitt 168 schließt sich ein Kugelabschnitt 170 an. Der Kugelabschnitt 170 ist außenseitig zumindest abschnittsweise kugelförmig oder kugelkalottenförmig. Unter einer "Kugelkalotte" ist vorliegend ein Kugelabschnitt zu verstehen. Innenseitig ist der Kugelabschnitt 170 zylinderförmig. Der Kugelabschnitt 170 bildet zusammen mit dem Verbin dungs ab schnitt 168 eine kreiszylinderförmige Innenfläche 172, die rotationssymmetrisch zu der Symmetrieachse 156 aufgebaut ist. Der Verbindungsabschnitt 168 und der Kugelabschnitt 170 sind somit hohl. Der Kugelabschnitt 170 ragt in den zweiten Abschnitt 150 des Durchbruchs 146 hinein.

Das Schraubeninsert 154 kann ein einteiliges, insbesondere ein materialeinstückiges Bauteil, sein. "Einteilig" oder "einstückig" bedeutet vorhegend, dass das Schraubeninsert 154 nicht aus mehreren Bauteilen zusammengesetzt ist, sondern ein durchgehendes Bauteil bildet. "Materialeinstückig" bedeutet vorliegend, dass das Schraubeninsert 154 durchgehend aus demselben Material gefertigt ist. Dies ist jedoch nicht zwingend erforderlich. Das Schraubeninsert 154 kann auch mehrteilig aufgebaut sein. Beispielsweise ist das Schraubeninsert 154 oder dessen Einzelteile aus Stahl, insbesondere aus Edelstahl, gefertigt. Es können auch Invar, Nickelbasislegierungen, wie beispielsweise Inconel™, Titan oder Molybdänbasislegierungen, wie beispielsweise Titanzirkonmolybdän (TZM), Anwendung finden.

Neben dem Schraubeninsert 154 umfasst die Justiereinrichtung 152 eine Schraube 174, die in der Fig. 11 nur abschnittsweise gezeigt ist. Die Schraube 174 umfasst einen nicht gezeigten Schraubenkopf, einen zylinderförmigen Schaftabschnitt 176, der durch den Durchbruch 146, den Kugelabschnitt 170 und den Verbin dungs ab schnitt 168 hindurchgeführt ist, und einen Gewindeabschnitt 178, der in die Gewindebohrung 162 des Schraubeninserts 154 eingeschraubt ist. Der Gewindeabschnitt 178 endet an einer ringförmig umlaufenden Stirnfläche 180. Die Schraube 174 ist ebenfalls aus Stahl, insbesondere aus Edelstahl, gefertigt. Die Schraube 174 ist so durch den Durchbruch 146 hindurchgeführt, dass sie diesen nicht kontaktiert. Die Justiereinrichtung 152 weist ferner eine Hülse 182 auf, die in dem zweiten Abschnitt 150 des Durchbruchs 146 der zweiten Komponente 108 aufgenommen ist. Beispielsweise ist die Hülse 182 in den zweiten Abschnitt 150 eingeklebt. Die Hülse 182 ist derart ausgestaltet, dass diese eine Innenwandung des zweiten Abschnitts 150 nicht kontaktiert, so dass zwischen der Hülse 182 und dem zweiten Abschnitt 150 radial ein Spalt 184, insbesondere ein Luftspalt, vorgesehen ist.

Die Hülse 182 ist mit einer Stirnseite 186 des zweiten Abschnitts 150 fest verbunden. Die Hülse 182 weist eine Innenwand 188 auf. Die Hülse 182 kann im einfachsten Fall zylinderförmig sein. Die Hülse 182 kann jedoch auch eine ovale Geometrie oder eine rechteckförmige Geometrie mit abgerundeten Ecken aufweisen. Die Innenwand 188 kann demgemäß eine langgestreckte oder langlochförmige Geometrie aufweisen. Der Kugelabschnitt 170 ist in Kontakt mit der Innenwand 188. Es kann jedoch auch ein gewisses Spiel zwischen dem Kugelabschnitt 170 und der Innenwand 188 vorgesehen sein.

Die Funktionalität der Justiereinrichtung 152 beziehungsweise der Schnittstelle 114 wird nachfolgend erläutert. Der Kugelabschnitt 170 weist aufgrund seiner Kugelform gegenüber der Hülse 182 drei rotatorische Freiheitsgrade, nämlich um die x-Richtung x, die y-Richtung y und die z-Richtung z auf. Ferner weist der Kugelabschnitt 170 einen translatorischen Freiheitsgrad entlang der z-Richtung z auf.

Zum Justieren der zweiten Komponente 108 gegenüber der ersten Komponente 102 kann, wie in der Fig. 7 gezeigt, ein Messstrahl 136 zum Einsatz kommen. Mit Hilfe eines geeigneten Abstandshalters 140, dessen Geometrie beispielsweise berechnet werden kann, wird die zweite Komponente 108 dann justiert und so von ihrer Ist-Lage in ihre Soll-Lage verbracht. Aufgrund des Kugelabschnitts 170 kann sich die Hülse 182 mitsamt der zweiten Komponente 108 im Rahmen der Freiheitsgrade des Kugelabschnitts 170 gegenüber dem Kugelabschnitt 170 bewegen. Zwischen dem Kugelabschnitt 170 und der Hülse 182 können Störkräfte F wirken, die jedoch nur lokal auf die Hülse 182 und den Kugelabschnitt 170 wirken. Die Störkräfte F können aufgrund von unterschiedlichen wärmebedingten Ausdehnungen oder aufgrund von Verspannungen bei der Montage auftreten.

Durch ein Anziehen der Schraube 174 werden die Komponenten 102, 108 und der Abstandshalter 140 miteinander verspannt. Auf die Schraube 174 wirkende Vorspannkräfte FV pressen die Komponenten 102, 108 und den Abstandshalter 140 zusammen. Die an der Hülse 182 entstehenden Störkräfte F wirken nur lokal, können aufgrund der wirkenden Vorspannkräfte FV jedoch die Lage der zweiten Komponente 108 nicht beeinflussen. Ein großer Vorteil dieser innenliegenden Justiereinrichtung 152 ist, dass die Störkräfte F, beispielsweise aufgrund einer wärmebedingten Ausdehnung, in der Justiereinrichtung 152 nicht zu einem Drift der zweiten Komponente 108 führen können, wenn die Vorspannkräfte FV groß genug sind und die zweite Komponente 108 umhüllend um die Justiereinrichtung 152 auf die erste Komponente 102 verspannen.

Fig. 12 und 13 zeigen jeweils eine weitere schematische Aufsicht der Anordnung 100 gemäß Fig. 3 mit drei Schnittstellen 114, 116, 118. Jede Schnittstelle 114, 116, 118 umfasst eine wie zuvor erläuterte Justiereinrichtung 152 mit einem Kugelabschnitt 170 und einer Hülse 182, die in diesem Fall langlochförmig ausgebildet sind. Die Kugelabschnitte 170 können jeweils Spiel in den Hülsen 182 haben oder mit Hilfe einer Anfederung spielfrei sein.

Wie in der Fig. 13 gezeigt, kann beispielsweise durch einen Austausch der Hülse

182 an der Schnittstelle 114 oder eines Austauschs aller Hülsen 182 an allen

Schnittstellen 114, 116, 118 eine Verkippung der zweiten Komponente 108 um die z-Richtung z erzielt werden. Die verkippte zweite Komponente ist in der Fig. 11 mit dem Bezugszeichen 108' versehen.

Fig. 14 zeigt eine derartige auswechselbare Hülse 182, die unsymmetrisch auf- gebaut ist. Bei der Hülse 182 begrenzt die Innenwand 188 einen die Hülse 182 durchbrechenden Durchbruch 190. Der Durchbruch 190 kann je nach gewollter Sollposition beliebig entlang der y-Richtung y verschoben sein. Die Hülse 182 kann mehrteilig sein, wobei dann nur Teile der Hülse 182 ausgetauscht werden. Die Justiereinrichtung 152 kann durch ein sogenanntes Spacern mit Hilfe tauschbarer Hülsen 182 mit jeweils verschobenen Langlochpositionen verstellt werden. Aber auch tauschbare Teile mit verschobenen Positionen der Kugelabschnitte 170 sind möglich. Je nach benötigter Anzahl an justierbaren Freiheitsgraden können an den Schnittstellen 114, 116, 118 ein bis drei tauschbare Teile verwendet werden.

Obwohl die vorhegende Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen beschrieben wurde, ist sie vielfältig modifizierbar.

BEZUGSZEICHENLISTE

1 Projektionsbelichtungsanlage

2 Beleuchtungssystem

3 Lichtquelle

4 Beleuchtungsoptik

5 Objektfeld

6 Objektebene

7 Retikel

8 Retikelhalter

9 Retikelverlagerungsantrieb

10 Projektionsoptik

11 Bildfeld

12 Bildebene

13 Wafer

14 Waferhalter

15 Waferverlagerungsantrieb

16 Beleuchtungsstrahlung

17 Kollektor

18 Zwischenfokusebene

19 Umlenkspiegel

20 erster Facettenspiegel

21 erste F acette

22 zweiter Facettenspiegel

23 zweite Facette

100 Anordnung

102 Komponente

102' Komponente

104 Unterseite

106 Oberseite 108 Komponente

108' Komponente

110 Unterseite

112 Oberseite

114 Schnittstelle

116 Schnittstelle

118 Schnittstelle

120 Schnittstelle

122 Schnittstelle

124 Pfeil

126 Pfeil

128 Pfeil

130 Pfeil

132 Pfeil

134 Pfeil

136 Messstrahl

138 optisches Element

140 Abstandshalter

142 Durchbruch

144 Durchbruch

146 Durchbruch

148 Abschnitt

150 Abschnitt

152 Justiereinrichtung

154 Schraubeninsert

156 Symmetrieachse

158 Flanschabschnitt

160 Gewinde ab schnitt

162 Ge win deb ohrun g

164 Absatz 166 Absatz

168 Verbin dungs ab schnitt

170 Kugelabschnitt

172 Innenfläche

174 Schraube

176 Schaftabschnitt

178 Gewinde ab schnitt

180 Stirnfläche

182 Hülse

184 Spalt

186 Stirnseite

188 Innenwand

190 Durchbruch

F Störkraft

FV Vorspannkraft

Ml Spiegel

M2 Spiegel

M3 Spiegel

M4 Spiegel

M5 Spiegel

M6 Spiegel

Claims

PATENTANSPRÜCHE

1. Anordnung (100) für eine Projektionsbelichtungsanlage (1), aufweisend eine erste Komponente (102), eine zweite Komponente (108), und eine die erste Komponente (102) mit der zweiten Komponente (108) wirk- verbindende justierbare Schnittstelle (114, 116, 118, 120, 122), wobei die Schnittstelle (114, 116, 118, 120, 122) eine Justiereinrichtung (152) umfasst, welche die erste Komponente (102) mit der zweiten Komponente (108) flächig verspannt und welche dazu eingerichtet ist, die zweite Komponente (108) in mehreren Freiheitsgraden relativ zu der ersten Komponente (102) zu justieren, und wobei die Schnittstelle (114, 116, 118, 120, 122) einen Abstandshalter (140) umfasst, der flächig an der ersten Komponente (102) und an der zweiten Komponente (108) anliegt und der mit Hilfe der Justiereinrichtung (152) zwischen der ersten Komponente (102) und der zweiten Komponente (108) verspannt ist.

2. Anordnung nach Anspruch 1, wobei der Abstandshalter (140) dazu eingerichtet ist, die zweite Komponente (108) in einem translatorischen Freiheitsgrad und in zwei rotatorischen Freiheitsgraden relativ zu der ersten Komponente (102) zu justieren.

3. Anordnung nach Anspruch 1 oder 2, wobei mehrere Schnittstellen (114, 116, 118, 120, 122) vorgesehen sind, die einen gemeinsamen Abstandshalter (140) umfassen.

4. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 - 3, wobei der Abstandshalter (140) eine plattenförmige oder eine keilförmige Geometrie umfasst, und wobei der Abstandshalter (140) bevorzugt einteilig oder mehrteilig ist.

5. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 - 4, wobei die Justiereinrichtung (152) durch einen in dem Abstandhalter (140) vorgesehenen Durchbruch (142) hin durch geführt ist.

6. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 - 5, wobei die Justiereinrichtung (152) ein durch die erste Komponente (102) hindurchgeführtes Schraubeninsert (154) und eine durch die zweite Komponente (108) hin durch geführte Schraube (174) umfasst, die in das Schraubeninsert (154) eingeschraubt ist, um die erste Komponente (102) mit der zweiten Komponente (108) zu verspannen.

7. Anordnung nach Anspruch 6, wobei das Schraubeninsert (154) mit einem Flanschabschnitt (158) an der ersten Komponente (102) anliegt und mit einem sich aus dem Flanschabschnitt (158) herauserstreckenden Gewinde ab schnitt (160) berührungsfrei durch einen in der ersten Komponente (102) vorgesehenen Durchbruch (142) hin durch geführt ist.

8. Anordnung nach Anspruch 7, wobei die Schraube (174) berührungsfrei durch einen in der zweiten Komponente (108) vorgesehenen Durchbruch (146) hin durch geführt und in den Gewinde ab schnitt (160) eingeschraubt ist.

9. Anordnung nach einem der Ansprüche 6 - 8, wobei das Schraubeninsert (154) einen Kugelabschnitt (170) umfasst, der zumindest abschnittsweise in einer mit der zweiten Komponente (108) verbundenen Hülse (182) aufgenommen ist.

10. Anordnung nach Anspruch 9, wobei der Kugelabschnitt (170) relativ zu der Hülse (182) drei rotatorische Freiheitsgrade und zwei translatorische Freiheitsgrade umfasst.

11. Anordnung nach Anspruch 9 oder 10, wobei die Hülse (182) eine Innenwand (188) umfasst, mit welcher der Kugelabschnitt (170) in Kontakt ist, und wobei die Innenwand (188) eine langlochförmige Geometrie aufweist, so dass die Hülse (182) relativ zu dem Kugelabschnitt (170) translatorisch verschiebbar ist.

12. Anordnung nach einem der Ansprüche 9 - 11, wobei die Hülse (182) zum Justieren der zweiten Komponente (108) relativ zu der ersten Komponente (102) austauschbar oder zumindest teilweise austauschbar ist.

13. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 - 12, ferner umfassend mehrere Schnittstellen (114, 116, 118, 120, 122), wobei jede Schnittstelle (114, 116, 118, 120, 122) eine Justiereinrichtung (152) aufweist, und wobei die zweite Komponente (108) mit Hilfe der Justiereinrichtungen (152) in drei translatorischen Freiheitsgraden und in drei rotatorischen Freiheitsgraden relativ zu der ersten Komponente (102) justierbar ist.

14. Projektionsbelichtungsanlage (1) mit einer Anordnung (100) nach einem der Ansprüche 1 - 13.