WO2023145178A1 - 照射ユニット、ランプユニット、ランプホルダ - Google Patents

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邦雄 笠木
肇 石原
新司 山下
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    • H10P72/0436—Apparatus for thermal treatment mainly by radiation

Definitions

  • the present invention relates to an irradiation unit, a lamp unit mounted on the irradiation unit, and a lamp holder mounted on the irradiation unit.
  • Patent Literature 1 describes an ultraviolet light irradiation device used for ink drying in printing, microexposure in semiconductors, and adhesive curing in liquid crystals.
  • ultraviolet light irradiation devices are sometimes equipped with long ultraviolet lamps with a total length exceeding 1 m so that large workpieces (for example, display panels, etc.) can be irradiated with ultraviolet light.
  • the ultraviolet lamp may hit the wall surface of the ultraviolet light irradiation device or the like, and in some cases, the ultraviolet light irradiation device may be dropped on the floor.
  • the ultraviolet light irradiation device may be dropped on the floor.
  • Patent Document 1 discloses an ultraviolet light irradiation device in which the ultraviolet lamp can be pulled out from the lamp house by a member called a carrier and the ultraviolet lamp can be replaced outside the lamp house. is suggesting.
  • the ultraviolet light irradiation device described in Patent Document 1 has a step of removing the old ultraviolet lamp to be replaced from the hook and engaging the new ultraviolet lamp with the hook, in addition to the step of inserting and removing the ultraviolet lamp by the carrier. It requires a process of fixing with an anti-loosening material. For this reason, in the ultraviolet light irradiation device having this configuration, when the ultraviolet lamp is replaced, the ultraviolet lamp may be damaged by hitting the inner wall surface or the hook of the lamp house with the ultraviolet lamp.
  • an object of the present invention is to provide an irradiation unit and a lamp unit in which lamp replacement work is facilitated and the risk of lamp damage is reduced.
  • the irradiation unit of the present invention is an elongated excimer lamp extending in the first direction; a lamp holder for mounting the excimer lamp; a housing having an insertion opening into which the lamp holder is inserted; a light extraction part provided in the housing for extracting, to the outside of the housing, ultraviolet light emitted from the excimer lamp mounted in the lamp holder; a plate member provided in the lamp holder and closing the insertion opening;
  • the excimer lamp in the housing is formed so as to protrude from a first main surface of the plate member located inside the housing when the plate member closes the insertion port. a regulating member that regulates movement; a power supply unit that is provided on a second main surface side of the plate member located outside the housing and that supplies power to the excimer lamp in a state where the plate member closes the insertion opening.
  • An excimer lamp is a dielectric barrier discharge lamp that has a light emitting tube filled with a light emitting gas inside and emits light with a wavelength corresponding to the discharge gas by applying a voltage between electrodes.
  • the excimer lamp has a shape called a single-tube shape or a double-tube shape with a cylindrical arc tube, or a flat-tube shape with a rectangular cross-sectional shape when cut along a plane perpendicular to the tube axis. There is a shape called .
  • the excimer lamp mounted in the irradiation unit of the present invention may have any shape.
  • electrically connected means direct connection or indirect connection via a circuit component such as a metal plate, lead wire, resistance element, or transformer to conduct electricity between the respective members. It means that a possible state is formed.
  • the second main surface side of the plate material that is, the power supply section arranged outside the housing can be connected to the power supply. , the mounting operation to the irradiation unit is completed.
  • Both ends of the excimer lamp are supported by a pair of regulating members provided on the plate.
  • the center of gravity of the arc tube is closer to the operator than in the case of holding one end of the excimer lamp, and the operability is improved.
  • the excimer lamp includes an arc tube formed with a pair of flat outer wall surfaces facing each other, and a first lamp formed on the pair of outer wall surfaces of the arc tube so as to face each other with the arc tube interposed therebetween.
  • An electrode and a second electrode may be provided.
  • UV light with a wavelength of 100 nm to 200 nm, which is highly effective in breaking down dirt such as oil, is often used.
  • Ultraviolet light in such a wavelength band is easily absorbed by oxygen in the air, and the distance that it can propagate in the air is about several millimeters to several centimeters.
  • the excimer lamp mounted on the irradiation unit is arranged as close to the object to be irradiated (hereinafter referred to as "work") as much as possible.
  • the irradiation unit configured as described above, it is possible to place the excimer lamps in close proximity to plate-like workpieces such as semiconductor wafers and display panels over a wide range. That is, the irradiation unit configured as described above can suppress the above-described uneven irradiation of the plate-like workpiece with ultraviolet light.
  • the regulating member includes a base member that protrudes from the first main surface of the plate in the second direction that is normal to the first main surface; a first strut projecting from the base member in a third direction orthogonal to the first direction and the second direction; a second support projecting from the base member in the same direction as the first support at a position farther from the plate than the first support; a first clamping member and a second clamping member for clamping an end of the excimer lamp between the first support and the second support;
  • the second clamping member may be fixed so as to connect the first support and the second support.
  • the irradiation unit a current-carrying member made of a metal material sandwiched between the first clamping member and the excimer lamp and in contact with one first electrode of a pair of electrodes of the excimer lamp; a lead wire wired inside a groove or a through hole formed in the base member for electrically connecting the second support and a second electrode of the excimer lamp that is different from the first electrode of the excimer lamp;
  • the first holding member is made of a ceramic material, and at least a part of the second holding member and the second support is made of a metal material, When the first holding member and the second holding member are fixed in a state of holding the excimer lamp, one of the power feeding portions and the first electrode are connected to each other through the current-carrying member. and a second power supply portion of the power supply portion, which is separate from the first power supply portion, and the second electrode are electrically connected through the second holding member, the second support, and the lead wire. It doesn't matter if they are directly connected.
  • the excimer lamp is sandwiched between the first sandwiching member and the second sandwiching member, and the connection between the electrode and the power supply section is completed only by fixing the second sandwiching member to each support. . This eliminates the need for wiring work when mounting the excimer lamp on the lamp unit.
  • the lead wire connecting the second support and the second power supply part is protected by a ceramic material that hardly conducts electricity, so the occurrence of leakage current and short circuit during operation is suppressed. .
  • the plate member may have a handle protruding from the second main surface.
  • a guide insertion portion formed in the housing and extending in a second direction normal to the first principal surface;
  • a guide member extending in the second direction provided on the plate member may be provided.
  • the lamp unit is guided to be inserted in the second direction at a predetermined position of the housing by the guide member and the guide insertion portion, so that the lamp unit is displaced in a direction different from the second direction.
  • the light extraction part of the housing is covered with a material that transmits ultraviolet light emitted from the excimer lamp, and the lamp holder is inserted and the insertion opening is closed by the plate member,
  • the space inside the housing may be configured to be sealed.
  • the irradiation unit can fill the inside of the housing with an inert gas during operation, and can suppress the absorption of the ultraviolet light emitted from the excimer lamp in the housing by oxygen. can. Therefore, the irradiation unit configured as described above can more efficiently irradiate the workpiece with ultraviolet light.
  • the lamp unit of the present invention is It comprises the excimer lamp and the lamp holder applied to the irradiation unit.
  • the lamp holder of the present invention is It is a lamp holder with which the said irradiation unit is provided.
  • an irradiation unit and a lamp unit are realized in which lamp replacement work is facilitated and the risk of lamp damage is reduced.
  • FIG. 1 is a perspective view schematically showing an embodiment of an ultraviolet light irradiation device; FIG. It is a perspective view which shows the structure of an irradiation unit.
  • FIG. 4 is a perspective view showing a state in which the lamp unit is being inserted into the housing; It is a perspective view which shows the structure of a housing
  • 2 is a perspective view showing the configuration of a lamp unit; FIG. It is drawing when an excimer lamp is seen in a Y direction.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view of the excimer lamp cut along the YZ plane; FIG.
  • FIG. 4 is a perspective view showing a state in which an excimer lamp and a regulating member are removed from the lamp unit; It is drawing when a lamp unit is seen from a X direction. It is drawing which shows the state which decomposed
  • FIG. 10 is a drawing of the periphery of the base member of FIG. 9;
  • FIG. 10 is a drawing of the periphery of the base member of FIG. 9;
  • FIG. FIG. 11 is a perspective view schematically showing a lamp unit included in another embodiment of the irradiation unit;
  • FIG. 11 is a perspective view schematically showing a lamp unit included in another embodiment of the irradiation unit;
  • FIG. 1 is a perspective view schematically showing one embodiment of the ultraviolet light irradiation device 1.
  • the ultraviolet light irradiation device 1 includes a transport path 2 in which a work W1 to be irradiated with ultraviolet light is transported, and an irradiation apparatus which is one main surface of the work W1 transported in the transport path 2. and an irradiation unit 10 for irradiating the surface W1a with ultraviolet light.
  • FIG. 1 for the convenience of illustration, a plate-like work W1 having a rectangular main surface is illustrated, but the work W1 to which the ultraviolet light irradiation device 1 irradiates ultraviolet light is a member of this shape. is not limited to Specifically, the ultraviolet light irradiation device 1 may be configured to irradiate ultraviolet light onto semiconductor wafers, film materials that are sequentially conveyed, printed matter, and the like.
  • FIG. 2 is a perspective view showing the configuration of the irradiation unit 10
  • FIG. 3 is a perspective view showing a state in which the lamp unit 30 is being inserted into the housing 20 to configure the irradiation unit 10.
  • FIG. . 4 is a perspective view showing the structure of the housing 20, and
  • FIG. 5 is a perspective view showing the structure of the lamp unit 30. As shown in FIG. In FIG. 4, the light extraction part 23, which will be described later, is not hatched so that the structure inside the housing 20 can be easily confirmed.
  • the irradiation unit 10 includes a housing 20 and a lamp unit 30 as shown in FIGS. 2 and 3, and is configured by inserting the lamp unit 30 into the housing 20 as shown in FIG.
  • the direction in which the ultraviolet light L1 is emitted from the irradiation unit 10 is the Z direction, and as shown in FIG. is the Y direction, and the direction orthogonal to the Y and Z directions is the X direction.
  • the X direction corresponds to the "first direction”, the Y direction to the "second direction”, and the Z direction to the "third direction”.
  • the housing 20 includes an insertion opening 21, a guide insertion portion 22, and a light extraction portion 23, as shown in FIG.
  • the light extraction part 23 in this embodiment is an emission window covered with quartz glass.
  • the light extraction part 23 may be an emission window covered with a material that transmits vacuum ultraviolet light, such as magnesium fluoride, instead of silica glass. Further, when it is desired to make the distance between the excimer lamp 31 mounted on the lamp unit 30 and the workpiece W1 closer than sealing the inside of the housing 20 and filling it with an inert gas, the light extraction part 23 is It may be a simple opening that is not covered with quartz glass or the like.
  • the lamp unit 30 as shown in FIG. , and a handle 36 .
  • the configuration of the lamp unit 30 excluding the excimer lamp 31 corresponds to the lamp holder 30a.
  • Both ends (31e, 31e) of the excimer lamp 31 in this embodiment are supported by a pair of regulating members (33, 33) provided to protrude in the +Y direction from the first main surface 32a of the plate member 32.
  • the arc tube 31c is configured to extend along the X direction.
  • FIG. 6A is a drawing when the excimer lamp 31 is viewed in the Y direction
  • FIG. 6B is a cross-sectional view when the excimer lamp 31 is cut along the YZ plane.
  • the excimer lamp 31 has a rectangular cross-sectional shape when cut along the YZ plane.
  • a pair of electrodes (31b, 31c) facing each other in the Z direction via 31c are formed.
  • the ⁇ Z side electrode corresponds to the first electrode 31a
  • the +Z side electrode corresponds to the second electrode 31b.
  • a luminescent gas G1 containing Xe is sealed inside an arc tube 31c having a length of 0.4 m in the X direction, and the first electrode 31a and the second electrode 31b are separated from each other.
  • ultraviolet light with a main emission wavelength of 172 nm is emitted.
  • main emission wavelength refers to a wavelength showing a peak in an intensity spectrum.
  • the lamp unit 30 in this embodiment may be mounted with an excimer lamp having a shape different from that of the excimer lamp 31 shown in FIGS. 6A and 6B.
  • An excimer lamp having a shape called shape may be mounted.
  • the luminescence gas G1 enclosed in the arc tube 31c may be a gas that does not contain Xe, and may be arbitrarily selected according to the intended use.
  • the ultraviolet light emitted by the excimer lamp 31 preferably has a wavelength of 150 nm to 200 nm from the viewpoint of decomposing dirt such as oil and generating ozone.
  • the excimer lamp 31 of the present embodiment emits ultraviolet light generated inside the arc tube 31c and propagating toward the ⁇ Z side on the inner wall surface 31q of the arc tube.
  • a reflective film 31d made of silica (SiO 2 ) is formed. If the ultraviolet light generated in the arc tube 31c and traveling directly toward the +Z side can sufficiently perform the desired treatment, the excimer lamp 31 does not need to be formed with the reflective film 31d.
  • the plate member 32 closes the insertion opening 21 of the housing 20 and seals the space inside the housing 20 when the lamp unit 30 is inserted into the housing 20 .
  • the housing 20 whose inner space is sealed by the plate member 32 is filled with an inert gas (for example, nitrogen gas) during operation.
  • an inert gas for example, nitrogen gas
  • the housing 20 does not have to be sealed by the plate member 32 when the light extraction section 23 is not covered with quartz glass or the like and is an opening.
  • the first power supply portion 34a and the second power supply portion 34b are provided so as to be aligned on the second main surface 32b side (-Y side) of the plate member 32, as shown in FIG.
  • the first power supply portion 34a and the second power supply portion 34b are supplied with a high voltage from a power supply device (not shown) mounted in the ultraviolet light irradiation device 1.
  • a power supply device not shown mounted in the ultraviolet light irradiation device 1.
  • side terminal and low voltage side terminal, respectively. 5 the first power supply portion 34a and the second power supply portion 34b may be configured to be positioned on the -Y side of the plate member 32 via lead wires.
  • a power supply terminal may be provided so as to protrude from the second main surface 32b to the -Y side.
  • FIG. 7 is a perspective view showing a state in which the excimer lamp 31 and the restricting member 33 are removed from the lamp unit 30, and FIG. 8 is a drawing when the lamp unit 30 is viewed from the X side.
  • the guide member 35 in this embodiment is a rod-shaped member provided so as to protrude in the +Y direction from the first main surface 32a of the plate member 32, and is spaced apart in the X direction. and two are provided.
  • the housing 20 is provided with two guide insertion portions 22 spaced apart in the X direction.
  • the lamp unit 30 With the configuration in which the guide member 35 is inserted into the guide insertion portion 22 of the housing 20, the lamp unit 30 is guided to a predetermined insertion position of the housing 20 as shown in FIG. It is inserted straight in the Y direction without movement.
  • the configuration of the guide insertion portion 22 shown in FIG. 4 and the configuration of the guide member 35 shown in FIG. 7 are merely examples, and the shape, number, etc. of the guide member 35 and the guide insertion portion 22 are arbitrary. Further, for example, when the housing 20 is configured to be sufficiently large and there is no possibility that the excimer lamp 31 and the housing 20 come into contact when the lamp unit 30 is inserted, the guide member 35 and the guide insertion portion 22 is optional.
  • the grip portion 36 is a bar-shaped member having a length of 200 mm and protruding in the -Y direction from the second main surface 32b of the plate member 32. It is a part that an operator holds by hand when putting in and out of 20 . More preferably, the length of the handle portion 36 is 100 mm to 400 mm so that it is easy for a person to grip and does not get in the way.
  • the handle portion 36 may be bent or curved so as to be easily gripped by a person, and may be partially provided with a convex portion or a concave portion so that a person's hand or fingers can easily be caught. I don't mind. Further, for example, if the plate member 32 has a portion for hooking a finger in order to pull out the lamp unit 30 from the housing 20, the handle portion 36 may not be provided. Furthermore, the grip portion 36 may be detachable from the housing 20 .
  • FIG. 9 is a drawing showing a state in which the regulation member 33 is disassembled.
  • the regulating member 33 in this embodiment includes a base member 70, a first strut 71a, a second strut 71b, a first clamping member 72a and a second clamping member 72b.
  • the base member 70 is provided so as to protrude in the +Y direction from the first main surface 32a of the plate member 32, and is provided with a first support 71a so as to protrude in the +Z direction.
  • the base member 70 also includes a second support 71b partially extending in the +Z direction, on the +Y side of the first support 71a, that is, at a position farther than the plate member 32. As shown in FIG.
  • the regulating member 33 includes a first clamping member 72a and a second clamping member 72b that clamp the arc tube 31c of the excimer lamp 31 between the first support 71a and the second support 71b.
  • the first holding member 72a and the second holding member 72b are configured such that the end portion of the arc tube 31c of the excimer lamp 31 is placed on the first holding member 72a, and the second holding member 72b is connected to the first support 71a and the second support.
  • 71b is screwed and fixed to sandwich and support the arc tube 31c.
  • the base member 70, the first strut 71a and the first holding member 72a are made of an insulating ceramic material, and the second strut 71b and the second holding member 72b are made of a metal material.
  • the second strut 71b and the second clamping member 72b specifically, the second strut 71b is made of aluminum and the second clamping member 72b is made of stainless steel.
  • the first holding member 72a is made of beryllium copper, which is a metallic material, and is in contact with the first electrode 31a (not shown in FIG. 9) when the arc tube 31c is placed.
  • a plate spring 71c is mounted as a current-carrying member.
  • the second support 71b in the present embodiment is entirely made of hard alumite, when the excimer lamp 31 is supported, the second electrode 31b and the second power supply portion 34b are electrically connected. , only a part thereof may be made of a metal material.
  • FIG. 10A is a drawing of the periphery of the base member 70 of FIG. 9, and FIG. 10B is a drawing of the periphery of the base member 70 of FIG. 9 when viewed from an angle different from that of FIG. 10A.
  • 10A and 10B do not show the first clamping member 72a and the second clamping member 72b for convenience of explanation.
  • the first holding member 72a is not shown, and only the leaf spring 71c is virtually shown so that the current path from the first power supply portion 34a can be grasped.
  • the base member 70 is formed with a groove 70a inside which the lead wire 80a is wired.
  • the lead wire 80a is wired in the groove 70a of the base member 70 to electrically connect the second support 71b and the second power supply portion 34b.
  • a metal plate 80c is connected between the second power supply portion 34b and the lead wire 80a for convenience of device configuration.
  • the base member 70 in this embodiment is formed with a groove 70a for inserting the lead wire 80a, but may be formed with a through hole for inserting the lead wire 80a.
  • the plate spring 71c is a member formed by bending a plate material made of beryllium copper, which is a metal material, and is electrically connected to the first power supply portion 34a via a lead wire 80b as shown in FIG. 10B. It is
  • the irradiation unit 10 in this embodiment is mounted below the transport path 2 along which the work W1 is transported in the ultraviolet light irradiation device 1. 2 may be mounted above. [Another embodiment] Another embodiment will be described below.
  • FIG. 11 is a perspective view schematically showing a lamp unit 30 provided in another embodiment of the irradiation unit 10.
  • the regulating member 33 has a grip portion 33a, protrudes in the Y direction from the first main surface 32a of the plate member 32, and extends from both ends (31e, 31e) may be held.
  • the grip portion 33a is made of an insulating member such as a ceramic material, and the electrodes (32a, 32b) and the power supply portions (34a, 34b) of the excimer lamp 31 are separated from each other by the regulating member. 33 are electrically connected via a lead wire, a metal plate, or the like (not shown) provided separately.
  • the above configuration can be adopted when the voltage applied to the excimer lamp is relatively low, and even if the wiring inside the housing 20 is slightly misaligned, leakage current or the like will not occur in the wiring tube.
  • FIG. 12 is a perspective view schematically showing a lamp unit 30 provided in another embodiment of the irradiation unit 10.
  • the lamp unit 30 may have a plurality of excimer lamps 31 mounted thereon.
  • the lamp unit 30 includes, for example, as shown in FIG. 12, a regulating member 33 in which the length of the base member 70 is adjusted according to the width at which the excimer lamp 31 is mounted.
  • a lead wire 80d is provided for connecting a leaf spring 71c (not shown) mounted on a first holding member 72a provided for each excimer lamp 31.
  • the second holding members 72b are connected to the corresponding second struts 71b, and the second struts 71b are connected by lead wires (not shown) wired inside the base member 70.

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Abstract

ランプの交換作業が容易化されて、ランプを破損してしまうリスクが低減された照射ユニット及びランプユニットを提供することを目的とする。　第一方向に延伸する発光管と、発光管の径方向において対向するように設けられた第一電極及び第二電極とを有するエキシマランプが搭載されたランプユニットと、ランプユニットが挿入されることによって、前記エキシマランプが収容される筐体とを備え、ランプユニットは、板材と、第一主面から突出するように形成された、筐体内におけるエキシマランプの移動を規制する規制部材と、板材が挿入口を閉塞する状態の下で、筐体の外側に位置する板材の第二主面側に設けられた、エキシマランプに対して給電を行う給電部とを備える。

Description

照射ユニット、ランプユニット、ランプホルダ
　本発明は、照射ユニット、照射ユニットに搭載されるランプユニット、及び照射ユニットに搭載されるランプホルダに関する。
　従来、紫外光を半導体ウエハ又はディスプレイパネル等に照射してドライ洗浄する技術や、印刷物に照射してインク硬化を行う技術が知られている。そして、所定の位置に配置した半導体ウエハに紫外光を照射する紫外光照射装置や、順次搬送されてくる印刷物に紫外光を照射する紫外光照射装置等が知られている。例えば、下記特許文献１には、印刷関連でのインク乾燥、半導体関連での微細露光、液晶関連での接着剤硬化等に用いられる紫外光照射装置が記載されている。
特開２０１１－１７７６２５号公報
　近年、紫外光照射装置は、大型のワーク（例えば、ディスプレイパネル等）に紫外光を照射できるように、全長が１ｍを超える長尺な紫外線ランプを搭載される場合がある。
　ところが、長尺な紫外線ランプは、非常に重く、操作性が悪いため、幅が狭い通路における持ち運びや、狭小な空間での交換作業が難しい。このため、作業者が紫外線照射装置のメンテナンス作業を行う際に、紫外線ランプを紫外光照射装置の壁面等に当ててしまうことがあり、場合によっては床に落としてしまうことあった。特に、紫外光照射装置内に体を潜り込ませて作業を行うことが必要な場合や、紫外光照射装置が作業場の隅に配置されて作業スペースが十分確保されていない場合等は、特に上記のような課題が発生しやすかった。
　そこで、上記特許文献１は、紫外線ランプの交換作業を容易化するために、キャリアと称される部材によって紫外線ランプをランプハウスから引き出し、ランプハウスの外側で紫外線ランプを交換できる紫外光照射装置を提案している。
　しかしながら、上記特許文献１に記載の紫外光照射装置は、キャリアによって紫外線ランプを出し入れする工程とは別に、交換対象である古い紫外線ランプをフックから外す工程、及び新しい紫外線ランプをフックに係合させて抜け防止材で固定する工程を要する。
このため、当該構成の紫外光照射装置では、紫外線ランプの交換時等に、ランプハウスの内壁面やフックに紫外線ランプを当ててしまい、紫外線ランプを破損してしまうことがあった。
　本発明は、上記課題に鑑み、ランプの交換作業が容易化されて、ランプを破損してしまうリスクが低減された照射ユニット及びランプユニットを提供することを目的とする。
　本発明の照射ユニットは、
　第一方向に延伸する長尺状のエキシマランプと、
　前記エキシマランプを搭載するランプホルダと、
　挿入口を有し、前記ランプホルダが当該挿入口から挿入される筐体と、
　前記筐体に設けられ、前記ランプホルダに搭載された前記エキシマランプから出射された紫外光を前記筐体の外側に取り出す光取り出し部と、
　前記ランプホルダに設けられ、前記挿入口を閉塞する板材と、
　前記板材が前記挿入口を閉塞する状態の下で、前記板材の主面のうち前記筐体の内側に位置する第一主面から突出するように形成された、前記筐体内における前記エキシマランプの移動を規制する規制部材と、
　前記板材が前記挿入口を閉塞する状態の下で、前記筐体の外側に位置する前記板材の第二主面側に設けられ、前記エキシマランプに対して給電を行う給電部とを備えることを特徴とする。
　エキシマランプは、内側に発光ガスが封入された発光管を有し、電極間に電圧を印加することで当該放電ガスに応じた波長の光を出射する誘電体バリア放電ランプである。エキシマランプの形状は、円筒状の発光管を備えた一重管形状や二重管形状と称される形状や、管軸に直交する平面で切断したときの断面形状が矩形状を呈する扁平管形状と称される形状等が存在する。本発明の照射ユニットに搭載されるエキシマランプは、いずれの形状であっても構わない。
　本明細書において、「電気的に接続される」とは、直接接続、又は金属板やリード線、抵抗素子やトランスといった回路部品等を介して間接的に接続されて、それぞれの部材間で通電可能な状態が形成されることをいう。
　筐体に挿入された状態のランプユニットは、板材等に人が指を引掛ける部分等が存在しない場合、筐体から引き抜くことが難しい。そこで、上記構成とすることで、作業者又はロボットが、筐体からランプユニットを引っぱることでエキシマランプを照射ユニットから取り外すことができる。そして、ランプユニットに搭載されたエキシマランプの交換作業は、作業がしやすいスペースにランプユニットを移動させて実施することができる。
　そして、エキシマランプが交換されたランプユニットは、筐体の挿入口から挿入した後、板材の第二主面側、すなわち、筐体の外側に配置される給電部を電源装置と接続することで、照射ユニットへの装着作業が完了する。
　また、エキシマランプは、板材に設けられた一対の規制部材によって両端部が支持される。このため、エキシマランプの一端を持って作業する場合と比べて、発光管の重心が作業者に近くなり、操作性が良くなる。
　したがって、上記構成の照射ユニットは、エキシマランプの交換作業のために十分広いスペースを確保できるとともに、筐体内でエキシマランプを頻繁に動かしたり、位置の調整をしたりする必要がないため、メンテナンス作業等においてエキシマランプを破損してしまうリスクが低減される。
　上記照射ユニットにおいて、
　前記エキシマランプは、相互に対向する平坦な一対の外壁面が形成された発光管と、前記発光管の当該一対の外壁面上に、前記発光管を介して対向するように形成された第一電極及び第二電極とを備えていても構わない。
　半導体ウエハやディスプレイパネルのドライ洗浄には、油分等の汚れを分解する効果が高い波長が１００ｎｍ～２００ｎｍの紫外光が利用されることが多い。このような波長帯の紫外光は、空気中の酸素によって吸収されやすく、空気中を伝搬できる距離は数ｍｍから数ｃｍ程度である。このため、照射ユニットに搭載されるエキシマランプは、できる限り照射対象物（以下、「ワーク」と称する。）と近接して配置されることが好ましい。
　上記構成のエキシマランプは、発光管の平坦面から紫外光が出射される。したがって、照射ユニットは、上記構成とすることで、板状のワークである半導体ウエハやディスプレイパネル等と、広範囲にわたってエキシマランプを近接配置することができる。つまり、上記構成の照射ユニットは、上述したような板状ワークに対する紫外光の照射ムラを抑制することができる。
　上記照射ユニットにおいて、
　前記規制部材は、前記板材の前記第一主面から、前記第一主面の法線方向である前記第二方向に突出する土台部材と、
　前記第一方向及び前記第二方向に直交する第三方向に、前記土台部材から突出する第一支柱と、
　前記第一支柱よりも前記板材から遠い位置において、前記土台部材から前記第一支柱と同じ方向に突出する第二支柱と、
　前記第一支柱と前記第二支柱との間で、前記エキシマランプの端部を挟持する第一挟持部材及び第二挟持部材とを備え、
　前記第二挟持部材が前記第一支柱及び前記第二支柱を接続するように固定される構成であっても構わない。
　さらに、上記照射ユニットは、
　前記第一挟持部材と前記エキシマランプとの間に挟まれて前記エキシマランプが備える一対の電極のうちの一方の第一電極と接触する、金属材料で形成された通電部材と、
　前記第二支柱と前記エキシマランプの前記第一電極とは別の第二電極とを電気的に接続する、前記土台部材に形成された溝又は貫通孔の内側で配線されたリード線とを備え、
　前記第一挟持部材がセラミック材料、前記第二挟持部材及び前記第二支柱の少なくとも一部が金属材料で形成され、
　前記第一挟持部材と前記第二挟持部材とが前記エキシマランプを挟持した状態で固定されると、前記給電部のうちの一方の第一給電部と前記第一電極とが前記通電部材を介して電気的に接続され、前記給電部の前記第一給電部とは別の第二給電部と前記第二電極とが、前記第二挟持部材、前記第二支柱及び前記リード線を介して電気的に接続されていても構わない。
　上記構成とすることで、ランプユニットは、第一挟持部材と第二挟持部材によってエキシマランプを挟持し、第二挟持部材を各支柱に固定するだけで、電極と給電部との接続が完了する。このため、エキシマランプをランプユニットに搭載する際の配線作業が不要となる。
　また、上記構成によれば、第二支柱と第二給電部とを接続するリード線は、ほとんど電気を通さないセラミック材料によって保護されるため、動作時におけるリーク電流やショートの発生が抑制される。
　上記照射ユニットにおいて、
　前記板材は、前記第二主面から突出する把手部を備えていても構わない。
　上記構成によれば、把手部が設けられていないランプユニットと比べると、作業者又はロボットが筐体からランプユニットを引き抜きやすくなる。
　上記照射ユニットにおいて、
　前記筐体に形成された、前記第一主面の法線方向である第二方向に延伸するガイド挿入部と、前記ガイド挿入部に挿入されることで前記ランプホルダの移動を規制する、前記板材に設けられた前記第二方向に延伸するガイド部材とを備えていても構わない。
　上記構成によれば、ガイド部材とガイド挿入部とによって、ランプユニットが筐体の所定の位置で第二方向に挿入されるように導かれるため、ランプユニットが第二方向とは異なる方向にずれるおそれや、誤って筐体とエキシマランプとを衝突させるおそれがより少なくなる。つまり、エキシマランプの発光管を破損してしまうリスクがより低減される。
　上記照射ユニットにおいて、
　前記筐体は、前記光取り出し部が、前記エキシマランプから出射される紫外光を透過する材料で覆われており、前記ランプホルダが挿入されて前記板材によって前記挿入口が閉塞されることで、前記筐体の内側の空間が密閉されるように構成されていても構わない。
　上記構成とすることで、照射ユニットは、動作時に筐体内部を不活性ガスで充満させることができ、筐体内におけるエキシマランプから出射された紫外光が酸素によって吸収されることを抑制することができる。このため、上記構成の照射ユニットは、より効率的にワークに対して紫外光を照射することができる。
　本発明のランプユニットは、
　上記照射ユニットに適用される、前記エキシマランプと前記ランプホルダとを備える。
　また、本発明のランプホルダは、
　上記照射ユニットが備えるランプホルダである。
　本発明によれば、ランプの交換作業が容易化されて、ランプを破損してしまうリスクが低減された照射ユニット及びランプユニットが実現される。
紫外光照射装置の一実施形態を模式的に示す斜視図である。 照射ユニットの構成を示す斜視図である。 ランプユニットを筐体に挿入している途中の状態を示す斜視図である。 筐体の構成を示す斜視図である。 ランプユニットの構成を示す斜視図である。 エキシマランプをＹ方向に見たときの図面である。 エキシマランプをＹＺ平面で切断したときの断面図である。 ランプユニットからエキシマランプと規制部材を取り除いた状態を示す斜視図である。 ランプユニットをＸ方向から見たときの図面である。 規制部材を分解した状態を示す図面である。 図９の土台部材の周辺の図面である。 図９の土台部材の周辺の図面である。 照射ユニットの別実施形態が備えるランプユニットを模式的に示す斜視図である。 照射ユニットの別実施形態が備えるランプユニットを模式的に示す斜視図である。
　以下、本発明の照射ユニット、ランプユニット及びランプホルダについて、図面を参照して説明する。なお、以下の各図面は、いずれも模式的に図示されたものであり、図面上の寸法比や個数は、実際の寸法比や個数と必ずしも一致していない。
　図１は、紫外光照射装置１の一実施形態を模式的に示す斜視図である。紫外光照射装置１は、図１に示すように、紫外光を照射する対象であるワークＷ１が搬送される搬送路２と、搬送路２内を搬送されるワークＷ１の一主面である照射面Ｗ１ａに対して紫外光を照射する照射ユニット１０とを備える。
　なお、図１においては、図示の都合上、主面が長方形状を呈する板状のワークＷ１が図示されているが、紫外光照射装置１が紫外光を照射するワークＷ１は、当該形状の部材に限られない。具体的には、紫外光照射装置１は、半導体ウエハや、順次搬送されてくるフィルム材、印刷物等に対して紫外光を照射するように構成されても構わない。
　図２は、照射ユニット１０の構成を示す斜視図であり、図３は、照射ユニット１０を構成するために、ランプユニット３０を筐体２０に挿入している途中の状態を示す斜視図である。そして、図４は、筐体２０の構成を示す斜視図であり、図５は、ランプユニット３０の構成を示す斜視図である。なお、図４においては、筐体２０の内側の構造を確認しやすいように、後述される光取り出し部２３はハッチングを付していない。
　照射ユニット１０は、図２及び図３に示すように、筐体２０と、ランプユニット３０とを備え、図３に示すように、筐体２０にランプユニット３０が挿入されて構成される。
　以下の説明においては、図２に示すように、照射ユニット１０から紫外光Ｌ１が出射される方向をＺ方向、図３に示すように、筐体２０に対してランプユニット３０が挿入される方向をＹ方向とし、Ｙ方向及びＺ方向に直交する方向をＸ方向として説明される。なお、Ｘ方向は「第一方向」、Ｙ方向は「第二方向」、Ｚ方向は「第三方向」にそれぞれ対応する。
　また、方向を表現する際に、正負の向きを区別する場合には、「＋Ｚ方向」、「－Ｚ方向」のように、正負の符号を付して記載され、正負の向きを区別せずに方向を表現する場合には、単に「Ｚ方向」と記載される。
　筐体２０は、図４に示すように、挿入口２１と、ガイド挿入部２２と、光取り出し部２３とを備える。本実施形態における光取り出し部２３は、石英ガラスによって覆われた出射窓である。
　なお、光取り出し部２３は、石英ガラスの他に、例えば、フッ化マグネシウム等の真空紫外光を透過する部材で覆われた出射窓であっても構わない。また、光取り出し部２３は、筐体２０内を密閉して不活性ガスで充満させるより、ランプユニット３０に搭載されるエキシマランプ３１とワークＷ１との距離をより近接させたいような場合には、石英ガラス等で覆われていない単なる開口であっても構わない。
　ランプユニット３０は、図５に示すように、エキシマランプ３１と、板材３２と、一対の規制部材（３３，３３）と、第一給電部３４ａと、第二給電部３４ｂと、ガイド部材３５と、把手部３６とを備える。なお、ランプユニット３０を構成する部材から、エキシマランプ３１を除いた構成がランプホルダ３０ａに相当する。
　本実施形態におけるエキシマランプ３１は、板材３２の第一主面３２ａから＋Ｙ方向に突出するように設けられた一対の規制部材（３３，３３）によって両端部（３１ｅ，３１ｅ）が支持されて、発光管３１ｃの延伸する方向がＸ方向に沿うように構成されている。
　図６Ａは、エキシマランプ３１をＹ方向に見たときの図面であって、図６Ｂは、エキシマランプ３１をＹＺ平面で切断したときの断面図である。図６Ｂに示すように、エキシマランプ３１は、ＹＺ平面で切断したときの断面形状が矩形状を呈し、Ｚ方向（径方向）において対向する発光管３１ｃの平坦な外壁面３１ｐ上に、発光管３１ｃを介してＺ方向において対向する一対の電極（３１ｂ，３１ｃ）が形成されている。なお、本実施形態においては、－Ｚ側の電極が第一電極３１ａに対応し、＋Ｚ側の電極が第二電極３１ｂに対応している。
　そして、本実施形態におけるエキシマランプ３１は、Ｘ方向における長さが０．４ｍの発光管３１ｃの内側にＸｅを含む発光ガスＧ１が封入されており、第一電極３１ａと第二電極３１ｂとの間に電圧を印加することで、主たる発光波長が１７２ｎｍの紫外光を出射する。ここでの、「主たる発光波長」とは、強度スペクトルにおいてピークを示す波長をいう。
　本実施形態におけるランプユニット３０は、図６Ａ及び図６Ｂに示すようなエキシマランプ３１とは異なる形状のエキシマランプが搭載されていてもよく、例えば、上述したような、一重管形状や二重管形状と称される形状のエキシマランプが搭載されていてもよい。
　また、発光管３１ｃに封入される発光ガスＧ１は、Ｘｅを含まないガスであってもよく、使用用途に応じて任意に選択し得る。なお、照射ユニット１０において、エキシマランプ３１が出射する紫外光は、油分等の汚れを分解処理できることと、オゾンを生成する観点から、波長が１５０ｎｍ～２００ｎｍであることが好ましい。
　さらに、本実施形態のエキシマランプ３１は、図６Ａ及び図６Ｂに示すように、発光管の内壁面３１ｑ上に、発光管３１ｃ内で発生して、－Ｚ側に向かって進行する紫外光を、＋Ｚ側に向かって進行するように反射させるシリカ（ＳｉＯ2）による反射膜３１ｄが形成されている。発光管３１ｃ内で発生し、直接＋Ｚ側に向かって進行する紫外光で十分所望の処理が可能である場合には、エキシマランプ３１は、反射膜３１ｄが形成されていなくても構わない。
　板材３２は、図２に示すように、ランプユニット３０が筐体２０に挿入されると、筐体２０の挿入口２１を閉塞し、筐体２０の内側の空間を密閉する。板材３２により内側の空間が密閉された筐体２０は、動作時に不活性ガス（例えば、窒素ガス）が充填される。なお、上述したように、光取り出し部２３を石英ガラス等で覆うことなく、開口とするような場合等においては、筐体２０は、板材３２によって密閉されなくても構わない。
　第一給電部３４ａ及び第二給電部３４ｂは、図５に示すように、板材３２の第二主面３２ｂ側（－Ｙ側）に揃うように設けられている。第一給電部３４ａ及び第二給電部３４ｂは、図２に示すように、ランプユニット３０が筐体２０に挿入されると、紫外光照射装置１に搭載されている図示されない電源装置の高電圧側端子及び低電圧側端子それぞれに接続される。なお、第一給電部３４ａ及び第二給電部３４ｂは、図５に示すように、それぞれリード線を介して板材３２の－Ｙ側に位置するように構成されていてもよく、板材３２の第二主面３２ｂから－Ｙ側に突出するように設けられた給電端子であっても構わない。
　図７は、ランプユニット３０からエキシマランプ３１と規制部材３３を取り除いた状態を示す斜視図であって、図８は、ランプユニット３０をＸ側から見たときの図面である。
図７及び図８に示すように、本実施形態におけるガイド部材３５は、板材３２の第一主面３２ａから＋Ｙ方向に突出するように設けられていた棒状の部材であって、Ｘ方向に離間して二つ設けられている。そして、筐体２０は、図４に示すように、Ｘ方向に離間した二つのガイド挿入部２２が設けられている。
　ガイド部材３５が筐体２０のガイド挿入部２２に挿入される構成により、ランプユニット３０は、図３に示すように、筐体２０の所定の挿入位置に導かれ、Ｘ方向やＺ方向に揺動することなくＹ方向に真っすぐ挿入される。
　なお、図４に示すガイド挿入部２２の構成と、図７に示すガイド部材３５の構成は単なる一例であって、ガイド部材３５及びガイド挿入部２２の形状、設けられる数等は任意である。また、例えば、筐体２０が十分に大きく構成されており、ランプユニット３０を挿入する際にエキシマランプ３１と筐体２０とが接触するおそれがない場合には、ガイド部材３５及びガイド挿入部２２は、設けられていなくても構わない。
　把手部３６は、図５に示すように、板材３２の第二主面３２ｂから－Ｙ方向に突出するように設けられた長さが２００ｍｍの棒状の部材であって、ランプユニット３０を筐体２０に対して出し入れする際に、作業者が手で握る部分である。人が握りやすく、かつ、邪魔にならないように、把手部３６の長さは、１００ｍｍ～４００ｍｍであることがより好ましい。
　なお、把手部３６は、人が握りやすいように屈曲、湾曲している形状であってもよく、人の手や手指が引っ掛りやすくなるように一部に凸部、又は凹部が設けられていても構わない。また、例えば、筐体２０からランプユニット３０を引き出すために、板材３２に人が指を引っ掛ける部分が形成されている場合には、把手部３６が設けられていなくても構わない。さらに、把手部３６は、筐体２０に対して着脱可能であっても構わない。
　図９は、規制部材３３を分解した状態を示す図面である。本実施形態における規制部材３３は、図９に示すように、土台部材７０と、第一支柱７１ａと、第二支柱７１ｂと、第一挟持部材７２ａと第二挟持部材７２ｂとを備える。
　土台部材７０は、板材３２の第一主面３２ａから＋Ｙ方向に突出するように設けられており、＋Ｚ方向に突出するように第一支柱７１ａが設けられている。また、土台部材７０は、第一支柱７１ａよりも＋Ｙ側、すなわち、板材３２よりも遠い位置に、一部が＋Ｚ方向に延伸する第二支柱７１ｂを備える。
　そして、規制部材３３は、第一支柱７１ａと第二支柱７１ｂとの間に、エキシマランプ３１の発光管３１ｃを挟持する第一挟持部材７２ａと第二挟持部材７２ｂとを備える。第一挟持部材７２ａと第二挟持部材７２ｂは、第一挟持部材７２ａにエキシマランプ３１の発光管３１ｃの端部が載置されて、前記第二挟持部材７２ｂが第一支柱７１ａ及び第二支柱７１ｂとネジ止めされて固定されることで、発光管３１ｃを挟持して支持する。
　本実施形態においては、土台部材７０、第一支柱７１ａ及び第一挟持部材７２ａが絶縁性材料であるセラミック材料で形成され、第二支柱７１ｂ及び第二挟持部材７２ｂが金属材料で形成されている。第二支柱７１ｂ及び第二挟持部材７２ｂに関し、具体的には、第二支柱７１ｂがアルミニウム、第二挟持部材７２ｂがステンレス鋼で形成されている。
　また、図９に示すように、第一挟持部材７２ａは、発光管３１ｃが載置されたときに、第一電極３１ａ（図９において不図示）と接触する、金属材料であるベリリウム銅で形成された通電部材としての板バネ７１ｃが搭載されている。
　なお、本実施形態における第二支柱７１ｂは、全体が硬質アルマイトで形成されているが、エキシマランプ３１を支持したときに、第二電極３１ｂと第二給電部３４ｂとが電気的に接続されるように、一部のみが金属材料で形成されていても構わない。
　図１０Ａは、図９の土台部材７０の周辺の図面であり、図１０Ｂは、図１０Ａとは異なる角度から見たときの図９の土台部材７０の周辺の図面である。なお、図１０Ａ及び図１０Ｂは、説明の便宜のため、第一挟持部材７２ａ及び第二挟持部材７２ｂが図示されていない。なお、図１０Ｂにおいては、第一給電部３４ａからの通電経路が把握できるように、第一挟持部材７２ａを図示せず、板バネ７１ｃのみが仮想的に図示されている。
　図１０Ａ及び図１０Ｂに示すように、土台部材７０には、リード線８０ａが内側に配線される溝７０ａが形成されている。リード線８０ａは、土台部材７０の溝７０ａ内に配線されて、第二支柱７１ｂと第二給電部３４ｂとを電気的に接続する。本実施形態におけるランプユニット３０では、図１０Ｂに示すように、装置構成の都合上、第二給電部３４ｂとリード線８０ａとの間には金属板８０ｃが接続されている。
　つまり、第一挟持部材７２ａと第二挟持部材７２ｂとがエキシマランプ３１の発光管３１ｃを挟持することで、第二支柱７１ｂと第二挟持部材７２ｂとが接触して電気的に接続される。なお、本実施形態における土台部材７０は、リード線８０ａを挿通するための溝７０ａが形成されているが、リード線８０ａを挿通するための貫通孔が形成されていても構わない。
　板バネ７１ｃは、金属材料であるベリリウム銅を材料とする板材を折り曲げて形成された部材であって、図１０Ｂに示すように、リード線８０ｂを介して第一給電部３４ａと電的に接続されている。
　上記構成とすることで、ランプユニット３０の装着後のエキシマランプ３１の位置調整と、筐体２０内での複雑な配線接続作業とが不要となる。また、発光管３１ｃの一端側のみを支えて作業を行う場合と比較して、エキシマランプ３１の交換作業時における作業者、及び発光管３１ｃ自体にかかる負荷が小さくなる。したがって、エキシマランプ３１の交換作業が容易化されて、エキシマランプ３１を破損してしまうリスクが低減される。
　なお、本実施形態における照射ユニット１０は、図１に示すように、紫外光照射装置１において、ワークＷ１が搬送される搬送路２の下方に搭載されているが、例えば、ワークＷ１の搬送路２の上方に搭載されていても構わない。
　［別実施形態］
　以下、別実施形態につき説明する。
　〈１〉　図１１は、照射ユニット１０の別実施形態が備えるランプユニット３０を模式的に示す斜視図である。ランプユニット３０は、図１１に示すように、規制部材３３が把持部３３ａを備え、板材３２の第一主面３２ａからＹ方向に突出して、エキシマランプ３１の発光管３１ｃの両端部（３１ｅ，３１ｅ）を把持する構成であっても構わない。なお、当該構成の場合は、把持部３３ａがセラミック材料等の絶縁性部材で構成されており、エキシマランプ３１の各電極（３２ａ，３２ｂ）と各給電部（３４ａ，３４ｂ）とは、規制部材３３とは別に設けられた不図示のリード線や金属板等を介して電気的に接続されている。
　上記構成は、エキシマランプに印加する電圧が比較的低く、筐体２０内における配線が多少ズレたとしても、配線管でリーク電流等が発生しないような場合に採用し得る。
　〈２〉　図１２は、照射ユニット１０の別実施形態が備えるランプユニット３０を模式的に示す斜視図である。図１２に示すように、ランプユニット３０は、エキシマランプ３１が複数搭載されていても構わない。なお、当該構成の場合、ランプユニット３０は、例えば、図１２に示すように、エキシマランプ３１が搭載される幅に応じて、土台部材７０の長さが調整された規制部材３３を備える。
　図１２に示す構成においては、各エキシマランプ３１に対して設けられた第一挟持部材７２ａに搭載される不図示の板バネ７１ｃを接続するためのリード線８０ｄが設けられている。なお、第二挟持部材７２ｂについては、それぞれ対応する第二支柱７１ｂと接続しており、各第二支柱７１ｂが土台部材７０の内側で配線されたリード線（不図示）によって接続されている。
　〈３〉　上述した照射ユニット１０、ランプユニット３０及びランプホルダ３０ａが備える構成は、あくまで一例であり、本発明は、図示された各構成に限定されない。
　　　　１　　　　：　　紫外光照射装置
　　　　２　　　　：　　搬送路
　　　１０　　　　：　　照射ユニット
　　　２０　　　　：　　筐体
　　　２１　　　　：　　挿入口
　　　２２　　　　：　　ガイド挿入部
　　　２３　　　　：　　光取り出し部
　　　３０　　　　：　　ランプユニット
　　　３０ａ　　　：　　ランプホルダ
　　　３１　　　　：　　エキシマランプ
　　　３１ａ　　　：　　第一電極
　　　３１ｂ　　　：　　第二電極
　　　３１ｃ　　　：　　発光管
　　　３１ｄ　　　：　　反射膜
　　　３１ｅ　　　：　　端部
　　　３１ｐ　　　：　　外壁面
　　　３１ｑ　　　：　　内壁面
　　　３２　　　　：　　板材
　　　３２ａ　　　：　　第一主面
　　　３２ｂ　　　：　　第二主面
　　　３３　　　　：　　規制部材
　　　３３ａ　　　：　　把持部
　　　３４ａ　　　：　　第一給電部
　　　３４ｂ　　　：　　第二給電部
　　　３５　　　　：　　ガイド部材
　　　３６　　　　：　　把手部
　　　７０　　　　：　　土台部材
　　　７０ａ　　　：　　溝
　　　７１ａ　　　：　　第一支柱
　　　７１ｂ　　　：　　第二支柱
　　　７１ｃ　　　：　　板バネ
　　　７２ａ　　　：　　第一挟持部材
　　　７２ｂ　　　：　　第二挟持部材
　　　８０ａ，８０ｂ，８０ｄ　　　：　　リード線
　　　８０ｃ　　　：　　金属板
　　　　Ｇ１　　　：　　発光ガス
　　　　Ｌ１　　　：　　紫外光
　　　　Ｗ１　　　：　　ワーク
　　　　Ｗ１ａ　　：　　照射面
 

Claims (9)

  1. 　第一方向に延伸する長尺状のエキシマランプと、
    　前記エキシマランプを搭載するランプホルダと、
    　挿入口を有し、前記ランプホルダが当該挿入口から挿入される筐体と、
    　前記筐体に設けられ、前記ランプホルダに搭載された前記エキシマランプから出射された紫外光を前記筐体の外側に取り出す光取り出し部と、
    　前記ランプホルダに設けられ、前記挿入口を閉塞する板材と、
    　前記板材が前記挿入口を閉塞する状態の下で、前記板材の主面のうち前記筐体の内側に位置する第一主面から突出するように形成された、前記筐体内における前記エキシマランプの移動を規制する規制部材と、
    　前記板材が前記挿入口を閉塞する状態の下で、前記筐体の外側に位置する前記板材の第二主面側に設けられた、前記エキシマランプに対して給電を行う給電部とを備えることを特徴とする照射ユニット。
  2. 　前記エキシマランプは、相互に対向する平坦な一対の外壁面が形成された発光管と、前記発光管の当該一対の外壁面上に、前記発光管を介して対向するように形成された第一電極及び第二電極とを備えることを特徴とする請求項１に記載の照射ユニット。
  3. 　前記規制部材は、前記板材の前記第一主面から、前記第一主面の法線方向である第二方向に突出する土台部材と、
    　前記第一方向及び前記第二方向に直交する第三方向に、前記土台部材から突出する第一支柱と、
    　前記第一支柱よりも前記板材から遠い位置において、前記土台部材から前記第一支柱と同じ方向に突出する第二支柱と、
    　前記第一支柱と前記第二支柱との間で、前記エキシマランプの端部を挟持する第一挟持部材及び第二挟持部材とを備え、
    　前記第二挟持部材が前記第一支柱及び前記第二支柱を接続するように固定されることを特徴とする請求項１に記載の照射ユニット。
  4. 　前記第一挟持部材と前記エキシマランプとの間に挟まれて前記エキシマランプが備える一対の電極のうちの一方の第一電極と接触する、金属材料で形成された通電部材と、
    　前記第二支柱と前記エキシマランプの前記第一電極とは別の第二電極とを電気的に接続する、前記土台部材に形成された溝又は貫通孔の内側で配線されたリード線とを備え、
    　前記第一挟持部材がセラミック材料、前記第二挟持部材及び前記第二支柱の少なくとも一部が金属材料で形成され、
    　前記第一挟持部材と前記第二挟持部材とが前記エキシマランプを挟持した状態で固定されると、前記給電部のうちの一方の第一給電部と前記第一電極とが前記通電部材を介して電気的に接続され、前記給電部の前記第一給電部とは別の第二給電部と前記第二電極とが、前記第二挟持部材、前記第二支柱及び前記リード線を介して電気的に接続されることを特徴とする請求項３に記載の照射ユニット。
  5. 　前記板材は、前記第二主面から突出する把手部を備えることを特徴とする請求項１に記載の照射ユニット。
  6. 　前記筐体に形成された、前記第一主面の法線方向である第二方向に延伸するガイド挿入部と、前記ガイド挿入部に挿入されることで前記ランプホルダの移動を規制する、前記板材に設けられた前記第二方向に延伸するガイド部材とを備えることを特徴とする請求項１に記載の照射ユニット。
  7. 　前記筐体は、前記光取り出し部が、前記エキシマランプから出射される紫外光を透過する材料で覆われており、前記ランプホルダが挿入されて前記板材によって前記挿入口が閉塞されることで、前記筐体の内側の空間が密閉されることを特徴とする請求項１に記載の照射ユニット。
  8. 　請求項１～７のいずれか一項に記載の照射ユニットが有する、前記エキシマランプと前記ランプホルダとを備えるランプユニット。
  9. 　請求項１～７のいずれか一項に記載の照射ユニットが備えるランプホルダ。
     
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