WO2023105950A1 - 荷重センサ - Google Patents

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WO2023105950A1
WO2023105950A1 PCT/JP2022/039371 JP2022039371W WO2023105950A1 WO 2023105950 A1 WO2023105950 A1 WO 2023105950A1 JP 2022039371 W JP2022039371 W JP 2022039371W WO 2023105950 A1 WO2023105950 A1 WO 2023105950A1
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WO
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wires
base member
conductor
wire
load sensor
Prior art date
Application number
PCT/JP2022/039371
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English (en)
French (fr)
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進 浦上
敬史 濱野
祐太 森浦
玄 松本
博伸 浮津
洋大 松村
Original Assignee
パナソニックＩｐマネジメント株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00—Measuring force or stress, in general
    • G01L1/14—Measuring force or stress, in general by measuring variations in capacitance or inductance of electrical elements, e.g. by measuring variations of frequency of electrical oscillators
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L5/00—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes

Definitions

  • the present invention relates to a load sensor that detects an externally applied load based on changes in capacitance.
  • Load sensors are widely used in fields such as industrial equipment, robots and vehicles. 2. Description of the Related Art In recent years, along with the development of computer control technology and the improvement of design, the development of electronic devices such as humanoid robots and interior parts of automobiles that use free-form surfaces in various ways is progressing. Accordingly, it is required to mount high-performance load sensors on each free-form surface.
  • Patent Literature 1 discloses a sheet-like base material having an elastic conductive portion, a plurality of conductor wires arranged so as to intersect the elastic conductive portion, and between the plurality of conductor wires and the elastic conductive portion.
  • a pressure-sensitive element is described that includes a plurality of dielectrics respectively arranged on the substrate and a thread-like member for sewing a plurality of conductor wires to a substrate.
  • an object of the present invention is to provide a load sensor capable of properly sewing a plurality of conductor wires to a base member.
  • a main aspect of the present invention relates to a load sensor.
  • the load sensor according to this aspect includes a first base member, a second base member arranged to face the first base member, and a surface facing at least one of the first base member and the second base member.
  • a plurality of conductive elastic bodies arranged side by side; a plurality of conductor wires arranged so as to cross the plurality of conductive elastic bodies; and a dielectric arranged between the conductive elastic bodies and the conductor wires. and a thread for sewing the plurality of conductor wires to the first base member or the second base member by a stitch line extending in a direction intersecting the direction in which the plurality of conductive elastic bodies are arranged.
  • the plurality of conductor lines are arranged such that one of the conductor lines crosses or approaches another of the conductor lines at the position of the sewing row, and the threads cross each other. Alternatively, it is sewn to the first base member or the second base member so as to straddle the approaching one conductor wire and the other conductor wire.
  • a plurality of conductor lines that intersect or approach each other at the position of the stitching row can be collectively sewn to the first base member or the second base member.
  • the distance between positions (stitching positions) where the plurality of conductor wires cross or approach each other is wider than the distance when the plurality of conductor wires are simply arranged.
  • sewing machines for sewing threads have a minimum needle hole pitch based on machine accuracy. Therefore, even if it is not possible to simply sew a plurality of conductor wires one by one due to the relationship with the minimum needle hole pitch, according to the load sensor according to this aspect, the sewing position can be adjusted as described above. , the conductor wires can be properly sewn together.
  • FIG. 1 is a plan view schematically showing the configuration of a structure in a manufacturing process according to Embodiment 1.
  • FIG. FIG. 2 is a plan view schematically showing the configuration of the structure in the manufacturing process according to Embodiment 1.
  • FIG. FIG. 3 is a plan view schematically showing the configuration of the structure in the manufacturing process according to the first embodiment.
  • FIG. 4 is a plan view showing the configuration of the wire structure according to Embodiment 1.
  • FIG. 1 is a plan view schematically showing the configuration of a structure in a manufacturing process according to Embodiment 1.
  • FIG. FIG. 2 is a plan view schematically showing the configuration of the structure in the manufacturing process according to Embodiment 1.
  • FIG. 3 is a plan view
  • FIG. 7(a) and 7(b) schematically show a cross section near the crossing position when cut along a plane parallel to the XZ plane at the crossing position of the conductive elastic body and the wire according to the first embodiment.
  • It is a diagram. 8 is a plan view schematically showing the internal configuration of the load sensor according to the first embodiment;
  • FIG. 9(a) is a plan view schematically showing the interval between thread stitches according to a comparative example.
  • FIG. 9(b) is a plan view schematically showing intervals between thread stitches according to the first embodiment.
  • 10 is a plan view showing a configuration of a wire structure according to Modification 1 of Embodiment 1.
  • FIG. 11 is a plan view showing a configuration of a wire structure according to Modification 2 of Embodiment 1.
  • FIG. 12 is a plan view showing a configuration of a wire structure according to Modification 3 of Embodiment 1.
  • FIG. 13 is a plan view showing the configuration of a wire structure according to Embodiment 2.
  • FIG. 14 is a plan view schematically showing intervals between thread stitches according to the second embodiment.
  • 15 is a plan view showing a configuration of a wire structure according to Modification 1 of Embodiment 2.
  • FIG. 16 is a plan view showing a configuration of a wire structure according to Modification 2 of Embodiment 2.
  • FIG. 17 is a plan view showing a configuration of a wire structure according to Modification 3 of Embodiment 2.
  • FIG. FIG. 18 is a diagram schematically showing a cross section in the vicinity of the crossing position of the conductive elastic body and the wire when cut along a plane parallel to the XZ plane at the crossing position of the conductive elastic body and the wire, according to another modification.
  • the load sensor according to the present invention can be applied to a management system that performs processing according to the applied load and a load sensor for electronic equipment.
  • management systems include inventory management systems, driver monitoring systems, coaching management systems, security management systems, nursing care and childcare management systems.
  • a load sensor installed on the inventory shelf detects the load of the loaded inventory, and detects the type and number of products on the inventory shelf.
  • a load sensor provided in the refrigerator detects the load of the food in the refrigerator, and detects the type of food in the refrigerator and the number and amount of the food. As a result, it is possible to automatically propose a menu using the food in the refrigerator.
  • a load sensor provided in the steering device monitors the driver's load distribution on the steering device (eg gripping force, gripping position, pedaling force).
  • a load sensor provided on the vehicle seat monitors the load distribution (for example, the position of the center of gravity) of the driver on the vehicle seat while the driver is seated. As a result, the driver's driving state (drowsiness, psychological state, etc.) can be fed back.
  • the load distribution on the soles of the feet is monitored by load sensors provided on the soles of the shoes. As a result, it is possible to correct or guide the user to an appropriate walking state or running state.
  • a load sensor installed on the floor detects the load distribution when a person passes through, and detects the weight, stride length, passing speed, shoe sole pattern, and so on. This makes it possible to identify a passing person by collating this detection information with the data.
  • load sensors installed on bedding and toilet seats monitor the load distribution of the human body on bedding and toilet seats. As a result, it is possible to estimate what kind of action the person is trying to take at the position of the bedding and toilet seat, and prevent overturning and falling.
  • Examples of electronic devices include in-vehicle devices (car navigation systems, audio equipment, etc.), home appliances (electric pots, IH cooking heaters, etc.), smartphones, electronic paper, e-book readers, PC keyboards, game controllers, smart watches, wireless Examples include earphones, touch panels, electronic pens, penlights, glowing clothes, and musical instruments.
  • An electronic device is provided with a load sensor in an input section that receives an input from a user.
  • the load sensors in the following embodiments are capacitive load sensors that are typically provided in the management systems and load sensors of electronic devices as described above. Such a load sensor may also be called a “capacitive pressure sensor element”, a “capacitive pressure detection sensor element”, a “pressure sensitive switch element”, or the like. Also, the load sensor in the following embodiments is connected to a detection circuit, and the load sensor and the detection circuit constitute a load detection device.
  • the following embodiment is one embodiment of the present invention, and the present invention is not limited to the following embodiment.
  • the Z-axis direction is the height direction of the load sensor 1 .
  • FIG. 1 is a plan view schematically showing the configuration of the structure 1a in the manufacturing process.
  • the structure 1 a includes a first base member 11 , multiple conductors 12 , multiple conductive elastic bodies 13 , multiple wirings 14 , and multiple electrodes 15 .
  • the first base member 11 is a plate-like member having elasticity.
  • the first base member 11 has a rectangular shape in plan view.
  • the thickness of the first base member 11 is constant. When the thickness of the first base member 11 is small, the first base member 11 may be called a sheet member or a film member.
  • the first base member 11 has insulating properties and is made of, for example, a non-conductive resin material or a non-conductive rubber material.
  • the resin material used for the first base member 11 is, for example, a group consisting of a styrene-based resin, a silicone-based resin (for example, polydimethylpolysiloxane (PDMS), etc.), an acrylic-based resin, a rotaxane-based resin, a urethane-based resin, and the like.
  • Rubber materials used for the first base member 11 include, for example, silicone rubber, isoprene rubber, butadiene rubber, styrene-butadiene rubber, chloroprene rubber, nitrile rubber, polyisobutylene, ethylene-propylene rubber, chlorosulfonated polyethylene, acrylic rubber, and fluorine. At least one rubber material selected from the group consisting of rubber, epichlorohydrin rubber, urethane rubber, natural rubber, and the like.
  • the conductor 12 is formed on the facing surface 11a (surface on the Z-axis negative side) of the first base member 11 .
  • five conductors 12 are arranged on the facing surface 11a of the first base member 11 so as to extend in the X-axis direction.
  • the conductor 12 is made of a material having a lower resistance than the conductive elastic body 13 .
  • the conductor 12 is a conductive member having elasticity, and the thickness of the conductor 12 is smaller than the thickness of the conductive elastic body 13 .
  • a wiring 14 is drawn from the end of each conductor 12 on the negative side of the X axis.
  • the conductive elastic body 13 is formed on the facing surface 11 a of the first base member 11 so as to cover the conductor 12 .
  • the conductive elastic body 13 is formed on the facing surface 11a so that the conductor 12 is positioned substantially in the middle of the conductive elastic body 13 in the Y-axis direction.
  • five conductive elastic bodies 13 are arranged on the facing surface 11 a of the first base member 11 .
  • the five conductive elastic bodies 13 have the same width, length and thickness.
  • Each conductive elastic body 13 has a belt-like shape that is long in the X-axis direction, and is arranged in the Y-axis direction with a predetermined gap. That is, the long sides of the conductive elastic bodies 13 are parallel to the X-axis, and the alignment direction of the conductive elastic bodies 13 is parallel to the Y-axis.
  • the conductive elastic body 13 is a conductive member having elasticity.
  • the conductor 12 and the conductive elastic body 13 formed to cover the conductor 12 are electrically connected.
  • the conductor 12 and the conductive elastic body 13 are formed on the facing surface 11a of the first base member 11 by a printing method such as screen printing, gravure printing, flexographic printing, offset printing, and gravure offset printing.
  • the conductive elastic body 13 is formed so as to overlap the conductor 12 after the conductor 12 is formed.
  • the conductor 12 and the conductive elastic body 13 can be formed on the facing surface 11a of the first base member 11 with a thickness of about 0.001 mm to 0.5 mm.
  • the method of forming the conductor 12 and the conductive elastic body 13 is not limited to the printing method.
  • the conductor 12 and the conductive elastic body 13 are composed of a resin material and conductive filler dispersed therein, or a rubber material and conductive filler dispersed therein.
  • the resin material used for the conductor 12 and the conductive elastic body 13 is similar to the resin material used for the first base member 11 described above. ), acrylic resin, rotaxane resin, urethane resin, and the like.
  • the rubber material used for the conductor 12 and the conductive elastic body 13 is the same as the rubber material used for the first base member 11, such as silicone rubber, isoprene rubber, butadiene rubber, styrene-butadiene rubber, chloroprene rubber, and nitrile.
  • At least one rubber material selected from the group consisting of rubber, polyisobutylene, ethylene propylene rubber, chlorosulfonated polyethylene, acrylic rubber, fluororubber, epichlorohydrin rubber, urethane rubber, natural rubber, and the like.
  • Conductive fillers used for the conductor 12 and the conductive elastic body 13 include, for example, Au (gold), Ag (silver), Cu (copper), C (carbon), ZnO (zinc oxide), In 2 O 3 (oxidized indium (III)), and SnO 2 (tin (IV) oxide), and PEDOT:PSS (that is, poly 3,4-ethylenedioxythiophene) (PEDOT) and polystyrene sulfonic acid (PSS) It is at least one material selected from the group consisting of conductive polymer materials such as composites) and conductive fibers such as metal-coated organic fibers and metal wires (in fiber state).
  • the conductive filler used for the conductor 12 is Ag (silver), and the conductive filler that constitutes the conductive elastic body 13 is C (carbon).
  • the wiring 14 is formed on the facing surface 11a (surface on the Z-axis negative side) of the first base member 11 .
  • the electrode 15 is formed near the end on the Y-axis positive side of the facing surface 11 a of the first base member 11 .
  • five electrodes 15 are arranged in the X-axis direction with a predetermined gap.
  • the wiring 14 and the electrodes 15 are made of a conductive material.
  • the wiring 14 electrically connects one conductor 12 and one electrode 15 that form a pair.
  • FIG. 2 is a plan view schematically showing the configuration of the structure 1b in the manufacturing process.
  • the structure 1b includes a substrate 21, a plurality of electrodes 22, a plurality of electrodes 23, and a plurality of wires 30.
  • the substrate 21 has a rectangular shape extending in the X-axis direction.
  • the electrode 22 is formed on the surface of the substrate 21 on the Z-axis positive side near the end on the Y-axis negative side.
  • five electrodes 22 are arranged in the X-axis direction with a predetermined gap.
  • the electrode 23 is formed near the end on the positive Y-axis side of the surface of the substrate 21 on the positive Z-axis side.
  • five electrodes 23 are arranged in the X-axis direction with a predetermined gap.
  • the size and pitch in the X-axis direction of the five electrodes 23 are the same as those of the five electrodes 15 shown in FIG.
  • the substrate 21 has a terminal (not shown) at the end on the Y-axis positive side. This terminal is connected to electrodes 22, 23 and is used to connect each electrode 22, 23 to an external detection circuit.
  • a plurality of wires 30 are arranged to extend in the Y-axis direction.
  • 40 wires 30 are arranged.
  • Each wire 30 is arranged to be inclined in the X-axis direction by a predetermined angle with respect to the Y-axis.
  • the wire 30 is composed of a conductor wire 31 and a dielectric 32 covering its surface (see FIGS. 5A and 5B).
  • Eight wires 30 constitute one wire structure ST.
  • five wire structures ST are arranged in the X-axis direction with a predetermined gap.
  • Eight wires 30 included in one wire structure ST are connected at their ends to form a series.
  • Eight wires 30 included in one wire structure ST intersect in a mesh pattern on the XY plane.
  • the end of the wire structure ST on the Y-axis positive side is connected to the electrode 22 using solder.
  • the dielectric 32 is removed from the ends of the wires 30 and the exposed conductor wires 31 are soldered to the electrodes 22 .
  • FIG. 3 is a plan view schematically showing the configuration of the structure 1c in the manufacturing process.
  • the structure 1b of FIG. 2 is turned upside down and covered.
  • the Z-axis positive side surface of the substrate 21 abuts against the facing surface 11 a (Z-axis negative side surface) of the first base member 11 , and the wire structure ST made of the wires 30 is brought into contact with the conductive elastic body 13 . abut.
  • Each wire 30 of the wire structure ST intersects the five conductive elastic bodies 13 while obliquely crossing them.
  • the wire 30 group of each wire structure ST is sewn to the facing surface 11 a of the first base member 11 with the thread 40 .
  • Sewing with thread 40 is performed, for example, by a sewing machine.
  • the sewing machine forms needle holes 11c (see FIGS. 5A and 5B) at a predetermined pitch in the X-axis direction, and stitches 43 (see FIGS. 5A and 5B) in the needle holes 11c. )) is formed, and the wire 30 is sewn to the first base member 11 .
  • a stitch row 40a of the thread 40 extends in the X-axis direction. On the stitch row 40 a , the thread 40 straddles all the wires 30 and sews each wire 30 to the first base member 11 . In FIG. 3 , a stitch row 40 a of six threads 40 is arranged on the first base member 11 .
  • the stitching rows 40a of the four inner threads 40 are located in the gap between the two conductive elastic bodies 13 adjacent to each other in the Y-axis direction, and the stitching rows 40a of the two outer threads 40 are located on the outer side in the Y-axis direction. located outside the two conductive elastic bodies 13 of .
  • the wire 30 can move in the Y-axis direction while being sewn by the thread 40 , and its movement in the X-axis direction is restricted by the thread 40 .
  • the thread 40 is composed of chemical fibers, natural fibers, mixed fibers thereof, or the like.
  • the electrode 15 on the first base member 11 side and the electrode 23 on the substrate 21 side come into contact with each other.
  • the first base member 11 and the substrate 21 are sewn together with the thread 50 at the positions of the electrodes 15 and 23 . This joins the electrodes 15 and 23 together.
  • FIG. 4 is a plan view showing the configuration of the wire structure ST.
  • a plurality of meshes are formed by arranging a plurality of wires 30 along a plurality of straight lines inclined with respect to the Y-axis direction. That is, the mesh of the wire structure ST is formed by arranging the plurality of wires 30 non-parallel to the direction in which the conductive elastic bodies 13 are arranged (the Y-axis direction).
  • the Y-axis direction There are two types of tilt directions of the wire 30, the X-axis positive direction and the X-axis negative direction, and the tilt angles of the two types of tilt directions are the same.
  • the ends of the wires 30 adjacent to each other are connected to each other at the ends in the Y-axis direction, thereby forming a series of eight wires 30 .
  • the route from the end portion 30a to the end portion 30b when the eight wires 30 are arranged in series is indicated by solid arrows. By arranging eight wires 30 in series along this route, a mesh of wire structures ST is formed.
  • two wires 30 intersect at a position P1 on the stitch row 40a.
  • the positions P1 are arranged with a predetermined gap in the X-axis direction.
  • the thread 40 is sewn to the first base member 11 so as to straddle the two wires 30 crossing at each position P1.
  • two wires 30 are close to each other at a position P2 on the stitch row 40a.
  • the positions P2 are arranged with a predetermined gap in the X-axis direction.
  • a thread 40 is sewn to the first base member 11 so as to straddle two wires 30 approaching each position P2.
  • a seam 43 is formed between two adjacent positions P1, and a seam 43 is formed between two adjacent positions P2.
  • a plurality of stitching rows 40a of threads 40 extending in the X-axis direction are formed with a predetermined gap in the Y-axis direction.
  • FIG. 5(a) and 5(b) are schematic cross-sections of the structure 1c in FIG. 3 when cut along a plane parallel to the XZ plane at the positions of the threads 40 passing through the positions P1 and P2, respectively.
  • FIG. 4 is a diagram showing;
  • the wire 30 is composed of a conductor wire 31 and a dielectric 32 formed on the conductor wire 31 .
  • the dielectric 32 is formed around the conductor wire 31 and covers the entire surface of the conductor wire 31 .
  • the conductor wire 31 is a member having conductivity and having a linear shape.
  • Conductor line 31 is made of, for example, a conductive metal material.
  • the conductor wire 31 may be composed of a core wire made of glass and a conductive layer formed on its surface, or may be composed of a core wire made of resin and a conductive layer formed on its surface.
  • aluminum (Al), titanium (Ti), tantalum (Ta), niobium (Nb), zirconium (Zr), hafnium (Hf) and other valve metals, tungsten (W), molybdenum (Mo), copper (Cu), nickel (Ni), silver (Ag), gold (Au), and the like are used.
  • the conductor wire 31 is made of copper.
  • the conductor wire 31 may be a twisted wire in which wires made of a conductive metal material are twisted.
  • the dielectric 32 has electrical insulation and is made of, for example, a resin material, a ceramic material, a metal oxide material, or the like.
  • Dielectric 32 is at least one selected from the group consisting of polypropylene resin, polyester resin (eg, polyethylene terephthalate resin), polyimide resin, polyphenylene sulfide resin, polyvinyl formal resin, polyurethane resin, polyamideimide resin, polyamide resin, and the like. It may be at least one kind of resin material, or at least one kind of metal oxide material selected from the group consisting of Al 2 O 3 and Ta 2 O 5 .
  • the diameter of the conductor wire 31 is, for example, 0.01 mm or more and 1.5 mm or less, or may be 0.05 mm or more and 0.8 mm or less. Such a configuration of the conductor wire 31 is preferable from the viewpoint of strength and resistance of the conductor wire 31 .
  • the thickness of the dielectric 32 is preferably 5 nm or more and 100 ⁇ m or less, and can be appropriately selected depending on the design such as sensor sensitivity.
  • the thread 40 is composed of a needle thread 41 arranged along the upper surface (opposing surface 11a) of the first base member 11 and a thread below the first base member 11. and a bobbin thread 42 arranged along the side surface (upper surface 11b).
  • the needle thread 41 and the bobbin thread 42 intersect each other at the position of the needle hole 11c that penetrates the first base member 11 in the Z-axis direction, and a seam 43 is formed at this intersecting position.
  • a thread 40 is sewn to the first base member 11 along the X-axis direction so as to straddle the positions P1 and P2 shown in FIG. Thereby, a plurality of seams 43 are arranged in the X-axis direction.
  • a plurality of stitches 43 arranged in the X-axis direction and the thread 40 between adjacent stitches 43 form a stitch row 40a of the thread 40.
  • a plurality of stitching rows 40a of the thread 40 are formed on the facing surface 11a of the first base member 11 at a predetermined pitch in the Y-axis direction.
  • the wire 30 is sewn to the first base member 11 with a thread 40 between adjacent stitches 43 on each stitch row 40a.
  • FIG. 5(a) at position P1, two intersecting wires 30 are sewn to the first base member 11 with thread 40 between adjacent seams 43.
  • FIG. 5(b) at position P2, two adjacent wires 30 are sewn to the first base member 11 by thread 40 between adjacent seams 43.
  • FIG. 6 is a perspective view schematically showing the configuration of the load sensor 1.
  • the load sensor 1 includes the structure 1c and the second base member 61 shown in FIG.
  • the second base member 61 is a flat member.
  • the second base member 61 is arranged to face the lower surface (facing surface 11a) of the first base member 11 .
  • the second base member 61 has the same shape as the first base member 11 in plan view.
  • the thickness of the second base member 61 is constant. When the thickness of the second base member 61 is small, the second base member 61 may be called a sheet member or a film member.
  • the second base member 61 has insulating properties and is made of, for example, a non-conductive resin material or a non-conductive rubber material.
  • the second base member 61 is made of, for example, a material that can be used for the first base member 11 described above.
  • the second base member 61 may be made of a hard material that is difficult to elastically deform.
  • the second base member 61 covers the structure 1c of FIG. 3 from below (Z-axis negative side). As a result, the wire 30 comes into contact with the facing surface 61a (the surface on the Z-axis positive side) of the second base member 61 . Then, the outer periphery of the first base member 11 is connected to the second base member 61 with a thread (not shown). Thereby, the first base member 11 is fixed to the second base member 61 . Thus, the load sensor 1 is completed as shown in FIG.
  • the load sensor 1 is used with the first base member 11 directed upward (positive side of the Z axis) and the second base member 61 directed downward (negative side of the Z axis).
  • the upper surface 11b of the first base member 11 is the surface to which the load is applied
  • the lower surface 61b of the second base member 61 is installed on the installation surface.
  • a plurality of element portions A1 arranged in a matrix are formed in plan view.
  • a total of 25 element portions A1 arranged in the X-axis direction and the Y-axis direction are formed in the load sensor 1 of FIG.
  • One element portion A1 corresponds to a region including an intersection point between one conductive elastic body 13 and one wire structure ST arranged below the conductive elastic body 13 . That is, one element portion A1 includes the first base member 11, the conductor 12, the conductive elastic body 13, the wire structure ST and the second base member 61 near the intersection.
  • the lower surface of the load sensor 1 (the lower surface 61b of the second base member 61) is installed on a predetermined installation surface, and a load is applied to the upper surface of the load sensor 1 (the upper surface 11b of the first base member 11) that constitutes the element portion A1. Then, the capacitance between the conductive elastic body 13 and the conductor wire 31 changes, and the load is detected based on the capacitance.
  • FIGS. 7(a) and 7(b) are diagrams schematically showing cross sections near the crossing position when the conductive elastic body 13 and the wire 30 are cut along a plane parallel to the XZ plane at the crossing position.
  • Fig. 7(a) shows a state where no load is applied
  • Fig. 7(b) shows a state where a load is applied.
  • the lower surface 61b of the second base member 61 on the Z-axis negative side is installed on the installation surface.
  • FIG. 8 is a plan view schematically showing the internal configuration of the load sensor 1 when viewed in the Z-axis negative direction. In FIG. 8, only outlines of the first base member 11, the conductive elastic body 13 and the substrate 21 are shown for convenience.
  • the element portions A1 are formed in the regions of intersections between the conductive elastic bodies 13 and the wire structures ST, and the plurality of element portions A1 are arranged in a matrix. Electrodes 15 , 22 , 23 are connected through substrate 21 to a detection circuit (not shown) including a load detection circuit.
  • the detection circuit detects the value of the capacitance for each element part A1 while switching the conductive elastic body 13 and the wire structure ST corresponding to the element part A1 to be detected. Specifically, the detection circuit applies a DC voltage via a resistor to the conductive elastic body 13 and the wire structure ST that intersect in the element portion A1 to be detected, and measures the voltage value at the intersection position. .
  • the voltage value at the intersection point is determined by the time constant defined by this resistance and the capacitance at the intersection point (the capacitance between the conductive elastic body 13 and the eight conductor lines 31 arranged in the X-axis direction). Rise.
  • the capacitance at the crossing point has a magnitude corresponding to the load applied to the crossing point. That is, the contact area of the dielectric 32 with respect to the conductive elastic body 13 changes according to the load applied to the intersection position.
  • the capacitance at the intersection point has a value corresponding to this contact area.
  • the detection circuit measures the voltage value at the intersection position at a predetermined timing after a certain period of time has passed since the start of applying the DC voltage, and acquires the load of the element portion A1 corresponding to the intersection position based on the measured voltage value. do. Thus, the load on each element portion A1 is detected.
  • each element portion A1 By the way, by increasing the number of wires 30 arranged in each element portion A1, the change in the contact area when a load is applied increases. Thereby, the sensitivity of each element portion A1 can be enhanced, and the dynamic range can be widened. On the other hand, however, when the number of wires 30 arranged in each element portion A1 increases, the distance between the wires 30 in the X-axis direction becomes narrower, making it difficult to sew the wires 30 to the base member.
  • FIG. 9(a) is a plan view schematically showing the interval between the seams 43 of the thread 40 according to the comparative example.
  • the eight wires 30 are arranged in one element portion A1.
  • the eight wires 30 each extend linearly parallel to the Y-axis and are arranged in the X-axis direction with a predetermined gap.
  • one wire 30 needs to be sewn by the thread 40 between adjacent seams 43. Therefore, if the width of the element portion A1 in the X-axis direction is w1, the pitch of the needle hole 11c of the comparative example is (Needle hole pitch) w2 becomes w1/8. Therefore, if the width w1 of the element portion A1 is 10 mm, the needle hole pitch w2 of the comparative example is 1.25 mm.
  • the minimum pitch of the needle holes 11c is generally about 2 mm due to the machine accuracy of the sewing machine. Therefore, when the wire 30 is arranged as shown in FIG. 9(a), it becomes difficult to provide two needle holes 11c with one wire 30 interposed therebetween. 1 It becomes difficult to properly sew the wire 30 to the base member 11 .
  • Embodiment 1 As shown in FIG. 4, a plurality of wires 30 are arranged in the X-axis direction so that one wire 30 crosses another wire 30 at position P1.
  • FIG. 9(b) is a plan view schematically showing the spacing of the seams 43 of the thread 40 according to the first embodiment.
  • Embodiment 1 eight wires 30 are included in one element portion A1, as in the comparative example.
  • the two wires 30 intersect in the gap between the two conductive elastic bodies 13 unlike the comparative example.
  • the pitch w3 of the needle holes 11c is w1/4
  • the width w1 of the element portion A1 is 10 mm.
  • the hole pitch w3 is 2.5 mm.
  • the needle hole pitch w3 of the needle hole 11c in the X-axis direction passing through the position P1 is larger than 2 mm, which is the minimum pitch of the needle hole 11c based on the machine accuracy of the sewing machine.
  • the stitch row 40a passing through P1 it is possible to provide two stitches 43 with two intersecting wires 30 sandwiched therebetween. Therefore, the wire 30 can be properly sewn to the first base member 11 at the stitch line 40a passing through the position P1.
  • a plurality of wires 30 are arranged in the X-axis direction so that one wire 30 and another wire 30 are close to each other.
  • Embodiment 1 According to Embodiment 1, the following effects are achieved.
  • a plurality of wires 30 (conductor wires 31) that intersect at position P1 of the stitch row 40a can be sewn together to the first base member 11.
  • the intervals at the positions (stitching positions) where the plurality of wires 30 (conductor wires 31) intersect are the same as when the plurality of wires 30 (conductor wires 31) are simply arranged as in the comparative example shown in FIG. wide compared to the interval.
  • sewing machines for sewing threads have a minimum needle hole pitch based on machine accuracy.
  • the load sensor 1 of Embodiment 1 can be used as described above.
  • each wire 30 (conductor wire 31) can be properly sewn.
  • the stitch row 40a is arranged in the gap between the adjacent conductive elastic bodies 13 (for example, the gaps 13a and 13b in FIG. 9(b)) in plan view.
  • the stitching line 40a does not overlap the element portion A1, so that the effect of the stitching line 40a on load detection can be suppressed. Therefore, the load can be detected with high accuracy.
  • a plurality of wires 30 are arranged along a plurality of straight lines inclined with respect to the direction in which the conductive elastic bodies 13 are arranged (the Y-axis direction) in plan view. form a mesh of This makes it easier to line up the vertices of the mesh, that is, the positions P1 where the two wires 30 (conductor lines 31) intersect in a straight line at a predetermined pitch. Therefore, the wire 30 (conductor wire 31) can be easily sewn onto the first base member 11. As shown in FIG.
  • a plurality of wires 30 are connected to each other at their ends to form a series.
  • a plurality of wires 30 can be arranged more easily than when the wires 30 (conductor lines 31) are arranged individually.
  • the pitch of the seams 43 on the seam row 40a is 2 mm or more.
  • the needle hole pitch of a sewing machine is at least about 2 mm in terms of machine accuracy.
  • a plurality of wires 30 can be sewn together between adjacent seams with a pitch of 2 mm or more. Therefore, each wire 30 (conductor wire 31) can be properly sewn.
  • a set of a plurality of conductive elastic bodies 13 and a wire structure ST made up of a plurality of wires 30 (conductor wires 31) intersects the direction in which the conductive elastic bodies 13 are arranged (Y-axis direction). A plurality of them are arranged in the direction (X-axis direction). Thereby, the number of element parts A1 can be increased, and the load can be detected in a wider range.
  • the dielectric 32 is installed so as to cover the surface of the conductor wire 31. As shown in FIG. According to this configuration, the dielectric 32 can be arranged between the conductive elastic body 13 and the conductor wire 31 only by covering the surface of the conductor wire 31 with the dielectric 32 .
  • the wire structure ST is composed of the wires 30 that are not parallel to the direction in which the conductive elastic bodies 13 are arranged (the Y-axis direction).
  • the axial direction may not be non-parallel, and some wires 30 or a portion of wires 30 may be parallel to the Y-axis direction.
  • FIG. 10 is a plan view showing the configuration of the wire structure ST according to Modification 1 of Embodiment 1.
  • FIG. 10 is a plan view showing the configuration of the wire structure ST according to Modification 1 of Embodiment 1.
  • a plurality of meshes are formed by a plurality of linearly extending wires 30 in the wire structure ST.
  • each wire 30 extending from the Y-axis positive side to the Y-axis negative side has a portion parallel to the Y-axis direction and a portion not parallel to the Y-axis direction.
  • There are two types of inclination directions of the wire 30 in the portion not parallel to the Y-axis direction, the X-axis positive direction and the X-axis negative direction, and the inclination angles of the two types of inclination directions are the same.
  • the ends of the wires 30 adjacent to each other are connected to each other at the ends in the Y-axis direction, so that the eight wires 30 are connected.
  • the route from the end portion 30a to the end portion 30b when the eight wires 30 are arranged in a row is indicated by a solid arrow.
  • the wire structure ST is composed of the wires 30 extending linearly, but not all the wires 30 necessarily extend linearly.
  • the wire 30 or part of the wire 30 may extend in a curved shape.
  • FIG. 11 is a plan view showing the configuration of the wire structure ST according to Modification 2 of Embodiment 1.
  • FIG. 11 is a plan view showing the configuration of the wire structure ST according to Modification 2 of Embodiment 1.
  • a plurality of meshes are formed by arranging a plurality of meandering wires 30 in the wire structure ST.
  • the ends of the wires 30 adjacent to each other are connected to each other at the ends in the Y-axis direction, thereby forming a series of eight wires 30 .
  • the route from the end portion 30a to the end portion 30b when the eight wires 30 are arranged in a row is indicated by a solid arrow.
  • Embodiment 1 As shown in FIG. 4, the ends of the wires 30 adjacent to each other at the ends in the Y-axis direction are connected to form a series of eight wires 30. However, the wires 30 may be separated from each other.
  • FIG. 12 is a plan view showing the configuration of the wire structure ST according to Modification 3 of Embodiment 1.
  • FIG. 12 is a plan view showing the configuration of the wire structure ST according to Modification 3 of Embodiment 1.
  • the wire structure ST of this modified example is not composed of a continuous wire 30, unlike the first embodiment shown in FIG. That is, in this modification, eight wires 30 that are not parallel to the Y-axis direction are arranged independently.
  • the mesh shape in plan view of this modification is the same as that of the first embodiment.
  • the plurality of wires 30 are arranged independently as in this modified example, the plurality of wires 30 need to be arranged individually when the load sensor 1 is assembled. Therefore, the plurality of wires 30 can be arranged more easily when the plurality of wires 30 are continuously configured as in the first embodiment.
  • Embodiment 2 In Embodiment 1, the two wires 30 intersect in the gaps between the adjacent conductive elastic bodies 13, but the plurality of wires 30 are arranged so that the two wires 30 approach each other in the gaps between the adjacent conductive elastic bodies 13. good too.
  • the configuration of the second embodiment is the same as that of the first embodiment except for the wire structure ST.
  • FIG. 13 is a plan view showing the configuration of the wire structure ST according to Embodiment 2.
  • FIG. 13 is a plan view showing the configuration of the wire structure ST according to Embodiment 2.
  • the wire structure ST of Embodiment 2 has a wavy shape in which a plurality of wires 30 meander in the direction of the stitch row 40a (X-axis direction).
  • the amplitude directions of adjacent wires 30 are opposite to each other, and the amplitudes of adjacent wires 30 are the same.
  • the ends of adjacent wires 30 are connected to each other to form a series of wires 30 .
  • the route from the end portion 30a to the end portion 30b when the eight wires 30 are arranged in a row is indicated by a solid arrow.
  • the two wires 30 are close to each other at the position P2 on the stitch row 40a.
  • the positions P2 are arranged with a predetermined gap in the X-axis direction.
  • a thread 40 is sewn to the first base member 11 so as to straddle two wires 30 approaching each position P2. At this time, a seam 43 is formed between two adjacent positions P2.
  • a plurality of stitching rows 40a of threads 40 extending in the X-axis direction are formed with a predetermined gap in the Y-axis direction.
  • FIG. 14 is a plan view schematically showing intervals between seams 43 of thread 40 according to the second embodiment.
  • the pitch of the pinholes 11c is w1/4 as in the first embodiment, and if the width w1 of the element portion A1 is 10mm, the pinhole pitch w3 of the embodiment is 2.5mm. .
  • the needle hole pitch w3 of the needle hole 11c in the X-axis direction passing through the position P2 is larger than 2 mm, which is the minimum pitch of the needle hole 11c based on the machine accuracy of the sewing machine. It is possible to provide two stitches 43 on both sides of two wires 30 that are close to each other in the passing stitch row 40a. Therefore, the wire 30 can be properly sewn to the first base member 11 at the stitch line 40a passing through the position P2.
  • a plurality of wires 30 (conductor wires 31) approaching at the position P2 of the stitch row 40a can be sewn together to the first base member 11, as in the first embodiment. Therefore, since the intervals between the stitching positions can be widened, each wire 30 (conductor wire 31) can be properly stitched.
  • the plurality of wires 30 (conductor lines 31) have a meandering wave shape in the direction of the stitch row 40a.
  • the plurality of wires 30 can be arranged so that the wires 30 (conductor wires 31) do not overlap at the position of the stitch row 40a, so that the wires 30 can be prevented from rubbing against each other when a load is applied. Therefore, it is possible to suppress the occurrence of a short circuit between the conductive elastic body 13 and the conductor wire 31 due to damage to the dielectric 32 covering the conductor wire 31 .
  • the wire structure ST is configured such that the curved meandering wire 30 approaches at position P2, but the straight meandering wire 30 approaches at position P2. may be configured to be in close proximity.
  • FIG. 15 is a plan view showing the configuration of the wire structure ST according to Modification 1 of Embodiment 2.
  • FIG. 15 is a plan view showing the configuration of the wire structure ST according to Modification 1 of Embodiment 2.
  • a plurality of wires 30 meander in the direction of the stitch row 40a (X-axis direction).
  • each wire 30 has a linear shape having a linear portion that is not parallel to the Y-axis direction.
  • the ends of the wires 30 adjacent to each other are connected to each other at the ends in the Y-axis direction, so that the eight wires 30 are connected.
  • the route from the end portion 30a to the end portion 30b when the eight wires 30 are arranged in series is indicated by solid arrows.
  • the plurality of wires 30 (conductor lines 31) have a meandering shape in the direction of the stitch row 40a.
  • the plurality of wires 30 can be arranged so that the wires 30 (conductor wires 31) do not overlap at the position of the stitch row 40a, so that the wires 30 can be prevented from rubbing against each other when a load is applied. Therefore, it is possible to suppress the occurrence of a short circuit between the conductive elastic body 13 and the conductor wire 31 due to damage to the dielectric 32 covering the conductor wire 31 .
  • FIG. 16 is a plan view showing the configuration of the wire structure ST according to Modification 2 of Embodiment 2.
  • FIG. 16 is a plan view showing the configuration of the wire structure ST according to Modification 2 of Embodiment 2.
  • the wire structure ST of this modified example is not composed of a continuous wire 30, unlike the second embodiment shown in FIG. That is, in this modified example, eight wires 30 meandering in the X-axis direction are arranged independently.
  • the shape of this modified example in plan view is the same as that of the second embodiment.
  • Embodiment 1 a plurality of wires 30 are arranged so that two wires 30 intersect in the gaps between adjacent conductive elastic bodies 13.
  • two wires 30 are arranged in gaps between adjacent conductive elastic bodies 13.
  • a plurality of wires 30 were placed in close proximity.
  • the present invention is not limited to this, and two wires 30 may intersect or approach each gap between adjacent conductive elastic bodies 13 .
  • FIG. 17 is a plan view showing the configuration of the wire structure ST according to Modification 3 of Embodiment 2.
  • FIG. 17 is a plan view showing the configuration of the wire structure ST according to Modification 3 of Embodiment 2.
  • the eight wires 30 meander in the X-axis direction while extending in the Y-axis direction.
  • Each stitch line 40a is provided at a position that does not overlap with the conductive elastic body 13, as in the first and second embodiments. Referring to FIG. 17, a position P1 where two wires 30 intersect is provided in the second and fourth stitch rows 40a from the Y-axis positive side, and in the third and fifth stitch rows 40a from the Y-axis positive side, A position P2 is provided where the two wires 30 approach each other.
  • the ends of the wires 30 adjacent to each other are connected to each other at the ends in the Y-axis direction, so that the eight wires 30 are connected.
  • the route from the end portion 30a to the end portion 30b when the eight wires 30 are arranged in series is indicated by solid arrows.
  • each wire 30 has either a straight or curved shape, but may have both straight and curved portions. Also, in one wire structure ST, some wires 30 may be straight and other wires 30 may be curved.
  • Embodiment 1 Modifications 1 and 3 of Embodiment 1, and Modification 1 of Embodiment 2
  • the tilt angles of the two types of tilt directions are the same, but this is not restrictive, and the tilt angles of the two types of tilt directions may not be the same.
  • the amplitudes of adjacent wires 30 are the same. The amplitudes do not have to be the same.
  • the position where the wire 30 crosses or approaches is a position that does not overlap the conductive elastic body 13 in plan view. good.
  • the wire 30 crosses or approaches at the position overlapping the conductive elastic body 13, and the wire 30 is sewn with the thread 40 at this position. Therefore, in order to suppress the influence of the stitching line 40a on the load detection, it is preferable that the position where the wire 30 intersects or approaches does not overlap with the conductive elastic body 13 as described above.
  • the conductive elastic body 13 is arranged on the facing surface 11 a of the first base member 11 in the above embodiment and modification, it may be arranged on the facing surface 61 a of the second base member 61 . Alternatively, they may be arranged on both the facing surface 11 a of the first base member 11 and the facing surface 61 a of the second base member 61 .
  • the thread 40 is sewn to the first base member 11 in the above embodiment and modification, it is not limited to this and may be sewn to the second base member 61 .
  • the dielectric 32 is installed so as to cover the entire circumference of the conductor wire 31, but at least only the range of the surface of the conductor wire 31 where the contact area changes according to the load is covered.
  • a dielectric 32 may be placed overlying.
  • the dielectric 32 is made of one kind of material in the thickness direction, it may have a structure in which two or more kinds of materials are laminated in the thickness direction.
  • the dielectric 32 is arranged on the surface of the conductor wire 31. It may be arranged between the conductive elastic body 13 and the conductive elastic body 13 .
  • dielectric 32 may be placed on the surface of conductive elastic body 13 .
  • the dielectric 32 is made of an elastically deformable material so that the contact area with the conductor wire 31 changes according to the load.
  • the dielectric 32 is made of a material having an elastic modulus similar to that of the conductive elastic body 13 .
  • five wire structures ST are arranged and eight wires 30 are arranged in one element portion A1. is not limited to this.
  • the number of wire structures ST may be 1 to 4 or 6 or more, and the number of wires 30 included in one element portion A1 may be 1 to 7 or 9 or more.
  • the number of conductive elastic bodies 13 arranged in the load sensor 1 is not limited to this.
  • the number of conductive elastic bodies 13 may be 1 to 4 or 6 or more.
  • the method of arranging the conductive elastic body 13 on the facing surface 11a of the first base member 11 is not necessarily limited to printing, but may be other methods such as a method of adhering foil. may
  • the wire structure ST extends in a direction parallel to the direction in which the conductive elastic bodies 13 are arranged (the Y-axis direction), but extends in a direction non-parallel to the direction in which the conductive elastic bodies 13 are arranged. good too.
  • the wire structure ST and the conductive elastic body 13 may cross each other obliquely.
  • the width of the conductive elastic body 13 is not necessarily constant.
  • the width of 13 may be narrow.
  • the conductor 12 may be omitted, and the wiring 14 may be connected to the conductive elastic body 13 .
  • Reference Signs List 1 load sensor 11 first base member 11a facing surface 12 conductor (conductive elastic body) REFERENCE SIGNS LIST 13 conductive elastic body 13a, 13b gap 31 conductor wire 32 dielectric 40 thread 40a stitch row 43 seam 61 second base member 61a facing surface

Landscapes

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Abstract

荷重センサ（１）は、第１ベース部材（１１）と、第１ベース部材（１１）に対向して配置された第２ベース部材（６１）と、第１ベース部材（１１）の対向面に並んで配置された複数の導電弾性体（１３）と、複数の導電弾性体（１３）に交差するように配置された複数のワイヤ（３０）と、複数の導電弾性体（１３）の並び方向に交差する方向に延びる縫い列（４０ａ）によって、複数のワイヤ（３０）を第１ベース部材（１１）に縫い留める糸（４０）と、を備える。縫い列（４０ａ）の位置において、一のワイヤ（３０）が他のワイヤ（３０）と交差するよう、複数のワイヤ（３０）が配置される。糸（４０）は、互いに交差する一のワイヤ（３０）および他のワイヤ（３０）を跨ぐように、第１ベース部材（１１）に縫い付けられる。

Description

荷重センサ
　本発明は、外部から付与される荷重を静電容量の変化に基づいて検出する荷重センサに関する。
　荷重センサは、産業機器、ロボットおよび車両などの分野において、幅広く利用されている。近年、コンピュータによる制御技術の発展および意匠性の向上とともに、人型のロボットおよび自動車の内装品等のような自由曲面を多彩に使用した電子機器の開発が進んでいる。それに合わせて、各自由曲面に高性能な荷重センサを装着することが求められている。
　以下の特許文献１には、弾性導電部を備えるシート状の基材と、弾性導電部に対して交差するように配置された複数の導体線と、複数の導体線と弾性導電部との間にそれぞれ配置された複数の誘電体と、複数の導体線を基材に縫い付ける糸状部材と、を備える感圧素子（荷重センサ）が記載されている。
国際公開第２０２０／１５３０２９号
　上記のような荷重センサでは、複数の導体線を基材に縫い留めるために、ミシンが用いられる。しかしながら、荷重センサに多数の導体線が配置されると、隣り合う導体線の間隔が狭くなり、各導体線を適正に基材に縫い留めることが困難になる。
　かかる課題に鑑み、本発明は、複数の導体線をベース部材に適正に縫い留めることが可能な荷重センサを提供することを目的とする。
　本発明の主たる態様は、荷重センサに関する。本態様に係る荷重センサは、第１ベース部材と、前記第１ベース部材に対向して配置された第２ベース部材と、前記第１ベース部材および前記第２ベース部材の少なくとも一方の対向面に並んで配置された複数の導電弾性体と、前記複数の導電弾性体に交差するように配置された複数の導体線と、前記導電弾性体と前記導体線との間に配置された誘電体と、前記複数の導電弾性体の並び方向に交差する方向に延びる縫い列によって、前記複数の導体線を前記第１ベース部材または前記第２ベース部材に縫い留める糸と、を備える。前記縫い列の位置において、一の前記導体線が、他の前記導体線と交差し、あるいは、他の前記導体線に接近するよう、前記複数の導体線が配置され、前記糸は、互いに交差または接近する前記一の導体線および前記他の導体線を跨ぐように、前記第１ベース部材または前記第２ベース部材に縫い付けられる。
　本態様に係る荷重センサによれば、縫い列の位置において交差または接近する複数の導体線をまとめて第１ベース部材または第２ベース部材に縫い留めることができる。この場合、複数の導体線が交差または接近する位置（縫い留め位置）の間隔は、複数の導体線を単に並べるときの間隔と比較して広くなる。一般に、糸を縫い留めるためのミシンには、機械精度に基づいて最小となる針孔ピッチが存在する。したがって、最小の針孔ピッチとの関係から、単に並べられた複数の導体線を１本ずつ縫い留めることができない場合でも、本態様に係る荷重センサによれば、上記のように、縫い留め位置の間隔が広いため、各導体線を適正に縫い留めることができる。
　以上のとおり、本発明によれば、複数の導体線をベース部材に適正に縫い留めることが可能な荷重センサを提供できる。
　本発明の効果ないし意義は、以下に示す実施形態の説明により更に明らかとなろう。ただし、以下に示す実施形態は、あくまでも、本発明を実施化する際の一つの例示であって、本発明は、以下の実施形態に記載されたものに何ら制限されるものではない。
図１は、実施形態１に係る、製造工程における構造体の構成を模式的に示す平面図である。 図２は、実施形態１に係る、製造工程における構造体の構成を模式的に示す平面図である。 図３は、実施形態１に係る、製造工程における構造体の構成を模式的に示す平面図である。 図４は、実施形態１に係る、ワイヤ構造体の構成を示す平面図である。 図５は、実施形態１に係る、糸の位置でＸ－Ｚ平面に平行な面で切断したときの、構造体の断面を模式的に示す図である。 図６は、実施形態１に係る、荷重センサの構成を模式的に示す斜視図である。 図７（ａ）、（ｂ）は、実施形態１に係る、導電弾性体とワイヤの交差位置でＸ－Ｚ平面に平行な面で切断したときの、交差位置近傍の断面を模式的に示す図である。 図８は、実施形態１に係る、荷重センサの内部の構成を模式的に示す平面図である。 図９（ａ）は、比較例に係る、糸の縫い目の間隔を模式的に示す平面図である。図９（ｂ）は、実施形態１に係る、糸の縫い目の間隔を模式的に示す平面図である。 図１０は、実施形態１の変更例１に係る、ワイヤ構造体の構成を示す平面図である。 図１１は、実施形態１の変更例２に係る、ワイヤ構造体の構成を示す平面図である。 図１２は、実施形態１の変更例３に係る、ワイヤ構造体の構成を示す平面図である。 図１３は、実施形態２に係る、ワイヤ構造体の構成を示す平面図である。 図１４は、実施形態２に係る、糸の縫い目の間隔を模式的に示す平面図である。 図１５は、実施形態２の変更例１に係る、ワイヤ構造体の構成を示す平面図である。 図１６は、実施形態２の変更例２に係る、ワイヤ構造体の構成を示す平面図である。 図１７は、実施形態２の変更例３に係る、ワイヤ構造体の構成を示す平面図である。 図１８は、その他の変更例に係る、導電弾性体とワイヤの交差位置でＸ－Ｚ平面に平行な面で切断したときの、交差位置近傍の断面を模式的に示す図である。
　ただし、図面はもっぱら説明のためのものであって、この発明の範囲を限定するものではない。
　本発明に係る荷重センサは、付与された荷重に応じて処理を行う管理システムや電子機器の荷重センサに適用可能である。
　管理システムとしては、たとえば、在庫管理システム、ドライバーモニタリングシステム、コーチング管理システム、セキュリティー管理システム、介護・育児管理システムなどが挙げられる。
　在庫管理システムでは、たとえば、在庫棚に設けられた荷重センサにより、積載された在庫の荷重が検出され、在庫棚に存在する商品の種類と商品の数とが検出される。これにより、店舗、工場、倉庫などにおいて、効率よく在庫を管理できるとともに省人化を実現できる。また、冷蔵庫内に設けられた荷重センサにより、冷蔵庫内の食品の荷重が検出され、冷蔵庫内の食品の種類と食品の数や量とが検出される。これにより、冷蔵庫内の食品を用いた献立を自動的に提案できる。
　ドライバーモニタリングシステムでは、たとえば、操舵装置に設けられた荷重センサにより、ドライバーの操舵装置に対する荷重分布（たとえば、把持力、把持位置、踏力）がモニタリングされる。また、車載シートに設けられた荷重センサにより、着座状態におけるドライバーの車載シートに対する荷重分布（たとえば、重心位置）がモニタリングされる。これにより、ドライバーの運転状態（眠気や心理状態など）をフィードバックすることができる。
　コーチング管理システムでは、たとえば、シューズの底に設けられた荷重センサにより、足裏の荷重分布がモニタリングされる。これにより、適正な歩行状態や走行状態へ矯正または誘導することができる。
　セキュリティー管理システムでは、たとえば、床に設けられた荷重センサにより、人が通過する際に、荷重分布が検出され、体重、歩幅、通過速度および靴底パターンなどが検出される。これにより、これらの検出情報をデータと照合することにより、通過した人物を特定することが可能となる。
　介護・育児管理システムでは、たとえば、寝具や便座に設けられた荷重センサにより、人体の寝具および便座に対する荷重分布がモニタリングされる。これにより、寝具や便座の位置において、人がどのような行動を取ろうとしているかを推定し、転倒や転落を防止することができる。
　電子機器としては、たとえば、車載機器（カーナビゲーション・システム、音響機器など）、家電機器（電気ポット、ＩＨクッキングヒーターなど）、スマートフォン、電子ペーパー、電子ブックリーダー、ＰＣキーボード、ゲームコントローラー、スマートウォッチ、ワイヤレスイヤホン、タッチパネル、電子ペン、ペンライト、光る衣服、楽器などが挙げられる。電子機器では、ユーザからの入力を受け付ける入力部に荷重センサが設けられる。
　以下の実施形態における荷重センサは、上記のような管理システムや電子機器の荷重センサにおいて典型的に設けられる静電容量型荷重センサである。このような荷重センサは、「静電容量型感圧センサ素子」、「容量性圧力検出センサ素子」、「感圧スイッチ素子」などと称される場合もある。また、以下の実施形態における荷重センサは、検出回路に接続され、荷重センサおよび検出回路により、荷重検出装置が構成される。以下の実施形態は、本発明の一実施形態あって、本発明は、以下の実施形態に何ら制限されるものではない。
　以下、本発明の実施形態について、図を参照して説明する。便宜上、各図には互いに直交するＸ、Ｙ、Ｚ軸が付記されている。Ｚ軸方向は、荷重センサ１の高さ方向である。
　＜実施形態１＞
　図１は、製造工程における構造体１ａの構成を模式的に示す平面図である。
　構造体１ａは、第１ベース部材１１と、複数の導電体１２と、複数の導電弾性体１３と、複数の配線１４と、複数の電極１５と、を備える。
　第１ベース部材１１は、弾性を有する平板状の部材である。第１ベース部材１１は、平面視において矩形の形状を有する。第１ベース部材１１の厚みは一定である。第１ベース部材１１の厚みが小さい場合、第１ベース部材１１は、シート部材またはフィルム部材と呼ばれることもある。
　第１ベース部材１１は、絶縁性を有し、たとえば、非導電性の樹脂材料や非導電性のゴム材料により構成される。第１ベース部材１１に用いられる樹脂材料は、たとえば、スチレン系樹脂、シリコーン系樹脂（たとえば、ポリジメチルポリシロキサン（ＰＤＭＳ）など）、アクリル系樹脂、ロタキサン系樹脂、およびウレタン系樹脂等からなる群から選択される少なくとも１種の樹脂材料である。第１ベース部材１１に用いられるゴム材料は、たとえば、シリコーンゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム、スチレン・ブタジエンゴム、クロロプレンゴム、ニトリルゴム、ポリイソブチレン、エチレンプロピレンゴム、クロロスルホン化ポリエチレン、アクリルゴム、フッ素ゴム、エピクロルヒドリンゴム、ウレタンゴム、および天然ゴム等からなる群から選択される少なくとも１種のゴム材料である。
　導電体１２は、第１ベース部材１１の対向面１１ａ（Ｚ軸負側の面）に形成される。ここでは、５つの導電体１２がＸ軸方向に延びるように、第１ベース部材１１の対向面１１ａに配置されている。導電体１２は、導電弾性体１３よりも低抵抗の材料からなっている。実施形態１では、導電体１２は、弾性を有する導電性の部材であり、導電体１２の厚みは、導電弾性体１３の厚みよりも小さい。各導電体１２のＸ軸負側の端部から、配線１４が引き出されている。
　導電弾性体１３は、導電体１２を覆うように、第１ベース部材１１の対向面１１ａに形成される。導電弾性体１３は、Ｙ軸方向における導電弾性体１３の略中間位置に導電体１２が位置づけられるように、対向面１１ａに形成される。ここでは、５つの導電弾性体１３が、第１ベース部材１１の対向面１１ａに配置されている。５つの導電弾性体１３の幅、長さおよび厚みは、互いに同じである。
　各導電弾性体１３は、Ｘ軸方向に長い帯状の形状を有し、所定の隙間をもってＹ軸方向に並んでいる。すなわち、導電弾性体１３の長辺はＸ軸に平行であり、導電弾性体１３の並び方向はＹ軸に平行である。導電弾性体１３は、弾性を有する導電性の部材である。導電体１２と、当該導電体１２を覆うように形成された導電弾性体１３とは、電気的に繋がった状態である。
　導電体１２および導電弾性体１３は、第１ベース部材１１の対向面１１ａに対して、スクリーン印刷、グラビア印刷、フレキソ印刷、オフセット印刷、およびグラビアオフセット印刷などの印刷工法により形成される。導電弾性体１３は、導電体１２が形成された後で、導電体１２に重なるようにして形成される。これらの印刷工法によれば、第１ベース部材１１の対向面１１ａに０．００１ｍｍ～０．５ｍｍ程度の厚みで、導電体１２および導電弾性体１３を形成することが可能となる。ただし、導電体１２および導電弾性体１３の形成方法は、印刷工法に限られるものではない。
　導電体１２および導電弾性体１３は、樹脂材料とその中に分散した導電性フィラー、またはゴム材料とその中に分散した導電性フィラーから構成される。
　導電体１２および導電弾性体１３に用いられる樹脂材料は、上述した第１ベース部材１１に用いられる樹脂材料と同様、たとえば、スチレン系樹脂、シリコーン系樹脂（ポリジメチルポリシロキサン（たとえば、ＰＤＭＳ）など）、アクリル系樹脂、ロタキサン系樹脂、およびウレタン系樹脂等からなる群から選択される少なくとも１種の樹脂材料である。導電体１２および導電弾性体１３に用いられるゴム材料は、上述した第１ベース部材１１に用いられるゴム材料と同様、たとえば、シリコーンゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム、スチレン・ブタジエンゴム、クロロプレンゴム、ニトリルゴム、ポリイソブチレン、エチレンプロピレンゴム、クロロスルホン化ポリエチレン、アクリルゴム、フッ素ゴム、エピクロルヒドリンゴム、ウレタンゴム、および天然ゴム等からなる群から選択される少なくとも１種のゴム材料である。
　導電体１２および導電弾性体１３に用いられる導電性フィラーは、たとえば、Ａｕ（金）、Ａｇ（銀）、Ｃｕ（銅）、Ｃ（カーボン）、ＺｎＯ（酸化亜鉛）、Ｉｎ２Ｏ３（酸化インジウム（III））、およびＳｎＯ２（酸化スズ（IV））等の金属材料や、ＰＥＤＯＴ：ＰＳＳ（すなわち、ポリ３，４－エチレンジオキシチオフェン）（ＰＥＤＯＴ）とポリスチレンスルホン酸（ＰＳＳ）からなる複合物）等の導電性高分子材料や、金属コート有機物繊維、金属線（繊維状態）等の導電性繊維からなる群から選択される少なくとも１種の材料である。
　実施形態１では、導電体１２に用いられる導電性フィラーはＡｇ（銀）であり、導電弾性体１３を構成する導電性フィラーはＣ（カーボン）である。
　配線１４は、第１ベース部材１１の対向面１１ａ（Ｚ軸負側の面）に形成される。電極１５は、第１ベース部材１１の対向面１１ａにおいてＹ軸正側の端部付近に形成される。ここでは、５つの電極１５が、所定の隙間をもってＸ軸方向に並んでいる。配線１４および電極１５は、導電性の材料により構成される。配線１４は、対となる１つの導電体１２と１つの電極１５とを電気的に接続する。
　図２は、製造工程における構造体１ｂの構成を模式的に示す平面図である。
　構造体１ｂは、基板２１と、複数の電極２２と、複数の電極２３と、複数のワイヤ３０と、を備える。
　基板２１は、Ｘ軸方向に延びた矩形の形状を有している。電極２２は、基板２１のＺ軸正側の面においてＹ軸負側の端部付近に形成される。ここでは、５つの電極２２が、所定の隙間をもってＸ軸方向に並んでいる。電極２３は、基板２１のＺ軸正側の面においてＹ軸正側の端部付近に形成される。ここでは、５つの電極２３が、所定の隙間をもってＸ軸方向に並んでいる。５つの電極２３の大きさおよびＸ軸方向のピッチは、図１に示した５つの電極１５と同様である。基板２１は、Ｙ軸正側の端部に、図示しない端子を備える。この端子は、電極２２、２３と繋がっており、各電極２２、２３を外部の検出回路に接続するために用いられる。
　複数のワイヤ３０は、Ｙ軸方向に延びるように配置される。ここでは、４０本のワイヤ３０が配置されている。各ワイヤ３０は、Ｙ軸に対して所定の角度だけＸ軸方向に傾いて配置されている。後述のように、ワイヤ３０は、導体線３１と、その表面を被覆する誘電体３２とからなっている（図５（ａ）、（ｂ）参照）。
　８つのワイヤ３０によって、１つのワイヤ構造体ＳＴが構成される。ここでは、５つのワイヤ構造体ＳＴが、所定の隙間をもってＸ軸方向に並んでいる。１つのワイヤ構造体ＳＴに含まれる８つのワイヤ３０は、端部が接続されて一続きになっている。１つのワイヤ構造体ＳＴに含まれる８つのワイヤ３０は、Ｘ－Ｙ平面において、網目状に交差している。ワイヤ構造体ＳＴのＹ軸正側の端部は、半田を用いて電極２２に接続される。この際、ワイヤ３０の端部から誘電体３２が除去され、露出した導体線３１が電極２２に半田付けされる。
　ワイヤ構造体ＳＴの構成については、追って図４を参照してさらに詳しく説明する。また、ワイヤ３０の構成については、追って図５（ａ）、（ｂ）を参照して説明する。
　図３は、製造工程における構造体１ｃの構成を模式的に示す平面図である。
　図１の構造体１ａのＺ軸負側から、図２の構造体１ｂが、表裏反転されて被せられる。これにより、基板２１のＺ軸正側の面が、第１ベース部材１１の対向面１１ａ（Ｚ軸負側の面）に当接し、ワイヤ３０からなるワイヤ構造体ＳＴが、導電弾性体１３に当接する。ワイヤ構造体ＳＴの各ワイヤ３０は、５つの導電弾性体１３を斜めに横切った状態で、これら導電弾性体１３に交差する。
　この状態で、各ワイヤ構造体ＳＴのワイヤ３０群が、糸４０で第１ベース部材１１の対向面１１ａに縫い留められる。糸４０の縫い付けは、たとえばミシンにより行われる。後述するように、ミシンは、Ｘ軸方向に所定のピッチで針孔１１ｃ（図５（ａ）、（ｂ）参照）を形成し、針孔１１ｃにおいて縫い目４３（図５（ａ）、（ｂ）参照）を形成して、ワイヤ３０を第１ベース部材１１に縫い留める。
　糸４０の縫い列４０ａは、Ｘ軸方向に延びている。縫い列４０ａ上において、糸４０は、全てのワイヤ３０を跨いで、各ワイヤ３０を第１ベース部材１１に縫い留めている。図３では、６つの糸４０の縫い列４０ａが第１ベース部材１１に配置されている。
　平面視において、内側の４つの糸４０の縫い列４０ａは、Ｙ軸方向に隣り合う２つの導電弾性体１３の隙間に位置し、外側の２つの糸４０の縫い列４０ａは、Ｙ軸方向外側の２つの導電弾性体１３の外側に位置する。ワイヤ３０は、糸４０により縫い留められた状態でＹ軸方向に移動可能であり、Ｘ軸方向の移動が糸４０により規制されている。糸４０は、化学繊維、天然繊維、またはそれらの混合繊維などにより構成される。
　また、構造体１ａに構造体１ｂが被せられることにより、第１ベース部材１１側の電極１５と、基板２１側の電極２３とが当接する。この状態で、電極１５、２３の位置において、糸５０により第１ベース部材１１と基板２１とが縫い留められる。これにより、電極１５、２３が互いに接合される。
　図４は、ワイヤ構造体ＳＴの構成を示す平面図である。
　ワイヤ構造体ＳＴにおいて、複数のワイヤ３０がＹ軸方向に対して傾いた複数の直線に沿って配置されることにより複数の網目が形成されている。すなわち、複数のワイヤ３０が導電弾性体１３の並び方向（Ｙ軸方向）に非平行に配置されることにより、ワイヤ構造体ＳＴの網目が形成されている。ワイヤ３０の傾き方向はＸ軸正方向およびＸ軸負方向の２種類あり、２種類の傾き方向の傾き角は同じである。
　実施形態１では、Ｙ軸方向の端部において隣り合うワイヤ３０の端部が互いに接続されることにより、８つのワイヤ３０が一続きとなっている。図４には、８つのワイヤ３０を一続きで配置する際の端部３０ａから端部３０ｂまでのルートが、実線の矢印で示されている。このルートに従って８つのワイヤ３０を一続きで配置することにより、ワイヤ構造体ＳＴの網目が形成される。
　ここで、縫い列４０ａ上の位置Ｐ１において、２本のワイヤ３０が交差している。位置Ｐ１は、Ｘ軸方向に所定の隙間をもって並んでいる。糸４０は、各位置Ｐ１において交差する２本のワイヤ３０を跨ぐように、第１ベース部材１１に縫い付けられる。また、縫い列４０ａ上の位置Ｐ２において、２本のワイヤ３０が接近している。位置Ｐ２は、Ｘ軸方向に所定の隙間をもって並んでいる。糸４０は、各位置Ｐ２において接近する２本のワイヤ３０を跨ぐように、第１ベース部材１１に縫い付けられる。このとき、隣り合う２つの位置Ｐ１の間に縫い目４３が形成され、隣り合う２つの位置Ｐ２の間に縫い目４３が形成される。Ｘ軸方向に延びる糸４０の縫い列４０ａは、Ｙ軸方向に所定の隙間をもって複数形成される。
　図５（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、位置Ｐ１、Ｐ２を通る糸４０の位置でＸ－Ｚ平面に平行な面で切断したときの、図３の構造体１ｃの断面を模式的に示す図である。
　図５（ａ）、（ｂ）に示すように、ワイヤ３０は、導体線３１と、導体線３１に形成された誘電体３２と、により構成される。誘電体３２は、導体線３１の外周に形成されており、導体線３１の表面を全周に亘って被覆している。
　導体線３１は、導電性を有し、線状の形状を有する部材である。導体線３１は、たとえば、導電性の金属材料により構成される。この他、導体線３１は、ガラスからなる芯線およびその表面に形成された導電層により構成されてもよく、樹脂からなる芯線およびその表面に形成された導電層などにより構成されてもよい。たとえば、導体線３１としては、アルミニウム（Ａｌ）、チタン（Ｔｉ）、タンタル（Ｔａ）、ニオブ（Ｎｂ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、ハフニウム（Ｈｆ）などの弁作用金属や、タングステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）、銅（Ｃｕ）、ニッケル（Ｎｉ）、銀（Ａｇ）、金（Ａｕ）などが用いられる。実施形態１では、導体線３１は、銅により構成される。導体線３１は、導電性の金属材料からなる線材が撚られた撚線であってもよい。
　誘電体３２は、電気絶縁性を有し、たとえば、樹脂材料、セラミック材料、金属酸化物材料などにより構成される。誘電体３２は、ポリプロピレン樹脂、ポリエステル樹脂（たとえば、ポリエチレンテレフテレート樹脂）、ポリイミド樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂、ポリビニルホルマール樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリアミド樹脂などからなる群から選択される少なくとも１種の樹脂材料でもよく、Ａｌ２Ｏ３およびＴａ２Ｏ５などからなる群から選択される少なくとも１種の金属酸化物材料でもよい。
　導体線３１の直径は、たとえば、０．０１ｍｍ以上１．５ｍｍ以下であり、あるいは、０．０５ｍｍ以上０．８ｍｍ以下でもよい。このような導体線３１の構成は、導体線３１の強度と抵抗の観点から好ましい。誘電体３２の厚みは、５ｎｍ以上１００μｍ以下が好ましく、センサ感度等の設計により適宜選択することができる。
　図５（ａ）、（ｂ）に示すように、糸４０は、第１ベース部材１１の上側の面（対向面１１ａ）に沿って配置される上糸４１と、第１ベース部材１１の下側の面（上面１１ｂ）に沿って配置される下糸４２とからなっている。上糸４１および下糸４２は、第１ベース部材１１をＺ軸方向に貫通する針孔１１ｃの位置で互いに交差しており、この交差位置に縫い目４３が形成される。図４で示した位置Ｐ１、Ｐ２を跨ぐようにＸ軸方向に沿って、糸４０が第１ベース部材１１に縫い付けられる。これにより、複数の縫い目４３がＸ軸方向に並ぶ。
　Ｘ軸方向に並ぶ複数の縫い目４３と、隣り合う縫い目４３との間の糸４０とによって、糸４０の縫い列４０ａが形成される。糸４０の縫い列４０ａは、図４に示したように、Ｙ軸方向に所定ピッチで第１ベース部材１１の対向面１１ａに複数形成される。各々の縫い列４０ａ上の隣り合う縫い目４３の間において、ワイヤ３０が糸４０により第１ベース部材１１に縫い留められる。図５（ａ）に示すように、位置Ｐ１では、交差する２本のワイヤ３０が、隣り合う縫い目４３の間で、糸４０により第１ベース部材１１に縫い留められる。図５（ｂ）に示すように、位置Ｐ２では、接近する２本のワイヤ３０が、隣り合う縫い目４３の間で、糸４０により第１ベース部材１１に縫い留められる。
　図６は、荷重センサ１の構成を模式的に示す斜視図である。
　荷重センサ１は、図３の構造体１ｃと、第２ベース部材６１とを備える。
　第２ベース部材６１は、平板状の部材である。第２ベース部材６１は、第１ベース部材１１の下側の面（対向面１１ａ）に対向して配置される。第２ベース部材６１は、平面視において第１ベース部材１１と同様の形状を有する。第２ベース部材６１の厚みは一定である。第２ベース部材６１の厚みが小さい場合、第２ベース部材６１は、シート部材またはフィルム部材と呼ばれることもある。
　第２ベース部材６１は、絶縁性を有し、たとえば、非導電性の樹脂材料や非導電性のゴム材料により構成される。第２ベース部材６１は、たとえば、上述した第１ベース部材１１に用いることができる材料により構成される。第２ベース部材６１は、弾性変形しにくい硬質の材料からなってもよい。
　第２ベース部材６１は、図３の構造体１ｃに下方（Ｚ軸負側）から被せられる。これにより、ワイヤ３０が、第２ベース部材６１の対向面６１ａ（Ｚ軸正側の面）に接触する。そして、第１ベース部材１１の外周が、第２ベース部材６１に対して糸（図示せず）で接続される。これにより、第１ベース部材１１が第２ベース部材６１に固定される。こうして、図６に示すように、荷重センサ１が完成する。
　荷重センサ１は、第１ベース部材１１が上側（Ｚ軸正側）に向けられ、第２ベース部材６１が下側（Ｚ軸負側）に向けられた状態で使用される。この場合、第１ベース部材１１の上面１１ｂは、荷重が付与される面となり、第２ベース部材６１の下面６１ｂは、設置面に設置される。
　ここで、荷重センサ１には、平面視において、マトリクス状に並んだ複数の素子部Ａ１が形成される。図６の荷重センサ１には、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に並んだ計２５個の素子部Ａ１が形成される。１つの素子部Ａ１は、１つの導電弾性体１３と、当該導電弾性体１３の下方に配置された１つのワイヤ構造体ＳＴとの交点を含む領域に相当する。すなわち、１つの素子部Ａ１は、当該交点付近における、第１ベース部材１１、導電体１２、導電弾性体１３、ワイヤ構造体ＳＴおよび第２ベース部材６１を含む。荷重センサ１の下面（第２ベース部材６１の下面６１ｂ）が所定の設置面に設置され、素子部Ａ１を構成する荷重センサ１の上面（第１ベース部材１１の上面１１ｂ）に荷重が付与されると、導電弾性体１３と導体線３１との間の静電容量が変化し、当該静電容量に基づいて荷重が検出される。
　図７（ａ）、（ｂ）は、導電弾性体１３とワイヤ３０の交差位置でＸ－Ｚ平面に平行な面で切断したときの、交差位置近傍の断面を模式的に示す図である。
　図７（ａ）は、荷重が加えられていない状態を示し、図７（ｂ）は、荷重が加えられている状態を示している。図７（ａ）、（ｂ）では、第２ベース部材６１のＺ軸負側の下面６１ｂが設置面に設置されている。
　図７（ａ）に示すように、荷重が加えられていない場合、導電弾性体１３とワイヤ３０との間にかかる力は、ほぼゼロである。この状態から、図７（ｂ）に示すように、第１ベース部材１１の上面１１ｂに対して下方向に荷重が加えられると、ワイヤ３０によって、導電弾性体１３が変形する。このとき、ワイヤ３０は、導電弾性体１３に包まれるように導電弾性体１３に近付けられ、ワイヤ３０と導電弾性体１３との間の接触面積が増加する。これにより、導体線３１と導電弾性体１３との間の静電容量が変化する。そして、この静電容量の変化を反映した電位が検出回路において測定されることにより、荷重が算出される。
　図８は、Ｚ軸負方向に見た場合の荷重センサ１の内部の構成を模式的に示す平面図である。図８では、便宜上、第１ベース部材１１、導電弾性体１３および基板２１については、輪郭のみが図示されている。
　上述したように、荷重センサ１には、導電弾性体１３とワイヤ構造体ＳＴとの交点の領域に素子部Ａ１が形成されており、複数の素子部Ａ１がマトリクス状に並んでいる。電極１５、２２、２３は、基板２１を介して、荷重検出回路を含む検出回路（図示せず）に接続される。
　検出回路は、検出対象の素子部Ａ１に対応する導電弾性体１３およびワイヤ構造体ＳＴを切り替えながら、素子部Ａ１ごとに静電容量の値を検出する。具体的には、検出回路は、検出対象の素子部Ａ１において交差する導電弾性体１３およびワイヤ構造体ＳＴに対し、抵抗を介して、直流電圧を印加し、この交差位置の電圧値を計測する。交差位置の電圧値は、この抵抗と、交差位置の静電容量（導電弾性体１３とＸ軸方向に並ぶ８本の導体線３１との間の静電容量）とで規定される時定数により上昇する。
　交差位置の静電容量は、交差位置に付与されている荷重に応じた大きさとなる。すなわち、交差位置に付与される荷重に応じて、導電弾性体１３に対する誘電体３２の接触面積が変化する。交差位置の静電容量は、この接触面積に応じた値となる。検出回路は、直流電圧の印加開始から一定期間が経過した所定のタイミングにおいて、交差位置の電圧値を計測し、計測した電圧値に基づいて、当該交差位置に対応する素子部Ａ１の荷重を取得する。こうして、各素子部Ａ１における荷重が検出される。
　ところで、各素子部Ａ１に配置されるワイヤ３０の数を増やすことにより、荷重付与時の接触面積の変化が大きくなる。これにより、各素子部Ａ１の感度を高めることができ、且つ、ダイナミックレンジを広げることができる。しかしながら、その一方で、各素子部Ａ１に配置されるワイヤ３０の数が増加すると、ワイヤ３０のＸ軸方向の間隔が狭くなるため、ワイヤ３０をベース部材に縫い留めることが困難になる。
　実施形態１では、ワイヤ３０を上記のように配置することで、この問題が解消される。以下、この点について、比較例と対照しながら説明する。
　図９（ａ）は、比較例に係る、糸４０の縫い目４３の間隔を模式的に示す平面図である。
　比較例では、素子部Ａ１の感度およびダイナミックレンジを向上させる観点から、実施形態１と同様、１つの素子部Ａ１に、８本のワイヤ３０が配置される。ただし、比較例では、８本のワイヤ３０は、それぞれ、Ｙ軸に平行に直線状に延びており、Ｘ軸方向に所定の隙間をもって並んでいる。この場合、１本のワイヤ３０は、隣り合う縫い目４３の間において糸４０により縫い留められる必要があるため、素子部Ａ１のＸ軸方向の幅をｗ１とすると、比較例の針孔１１ｃのピッチ（針孔ピッチ）ｗ２はｗ１／８となる。したがって、素子部Ａ１の幅ｗ１を１０ｍｍとすると、比較例の針孔ピッチｗ２は１．２５ｍｍとなる。
　しかしながら、上述したように、第１ベース部材１１に対する糸４０の縫い付けがミシンにより行われる場合、ミシンの機械精度から、一般的に、針孔１１ｃの最小ピッチは２ｍｍ程度となる。したがって、図９（ａ）のようにワイヤ３０が配置される場合、１本のワイヤ３０を挟んで２つの針孔１１ｃを設けることが困難になり、図９（ａ）に示すように、第１ベース部材１１に適正にワイヤ３０を縫い付けることが困難になる。
　これに対し、実施形態１では、図４に示したように、位置Ｐ１において一のワイヤ３０が他のワイヤ３０に交差するよう、Ｘ軸方向に複数のワイヤ３０が配置される。
　図９（ｂ）は、実施形態１に係る、糸４０の縫い目４３の間隔を模式的に示す平面図である。
　実施形態１では、比較例と同様、１つの素子部Ａ１に８本のワイヤ３０が含まれている。ただし、実施形態１では、比較例と異なり、２つの導電弾性体１３間の隙間において２本のワイヤ３０が交差している。図９（ｂ）の例では、上側の隙間１３ａにおいてワイヤ３０が交差する位置Ｐ１は４つであり、下側の隙間１３ｂにおいてワイヤ３０の交差する位置Ｐ１は５つである。したがって、これらの位置で２つのワイヤ３０を纏めて縫い留める場合、針孔１１ｃのピッチ（針孔ピッチ）ｗ３はｗ１／４となり、素子部Ａ１の幅ｗ１を１０ｍｍとすると、実施形態１の針孔ピッチｗ３は２．５ｍｍとなる。
　このように、実施形態１によれば、位置Ｐ１を通るＸ軸方向の針孔１１ｃの針孔ピッチｗ３が、ミシンの機械精度に基づく針孔１１ｃの最小ピッチは２ｍｍよりも大きくなるため、位置Ｐ１を通る縫い列４０ａにおいて、交差する２本のワイヤ３０を挟んで２つの縫い目４３を設けることが可能となる。よって、位置Ｐ１を通る縫い列４０ａにおいて、第１ベース部材１１に適正にワイヤ３０を縫い付けることができる。
　なお、位置Ｐ２（図４参照）では、一のワイヤ３０と他のワイヤ３０が接近するよう、Ｘ軸方向に複数のワイヤ３０が配置される。これにより、Ｙ軸方向の外側の２つの導電弾性体１３の外側において、ワイヤ３０が接近する位置Ｐ２は４つまたは５つになる。したがって、この場合も、上記と同様、針孔ピッチｗ３はｗ１／４となるため、位置Ｐ２を通る縫い列４０ａにおいて、第１ベース部材１１に適正にワイヤ３０を縫い付けることができる。
　＜実施形態１の効果＞
　実施形態１によれば、以下の効果が奏される。
　縫い列４０ａの位置Ｐ１において交差する複数のワイヤ３０（導体線３１）をまとめて第１ベース部材１１に縫い留めることができる。この場合、複数のワイヤ３０（導体線３１）が交差する位置（縫い留め位置）の間隔は、図９（ａ）の比較例のように複数のワイヤ３０（導体線３１）を単に並べるときの間隔と比較して広くなる。一般に、糸を縫い留めるためのミシンには、機械精度に基づいて最小となる針孔ピッチが存在する。したがって、最小の針孔ピッチとの関係から、単に並べられた複数のワイヤ（導体線３１）を１本ずつ縫い留めることができない場合でも、実施形態１の荷重センサ１によれば、上記のように、縫い留め位置の間隔が広いため、各ワイヤ３０（導体線３１）を適正に縫い留めることができる。
　図３に示したように、縫い列４０ａは、平面視において、隣り合う導電弾性体１３の隙間（たとえば、図９（ｂ）の隙間１３ａ、１３ｂ）に配置される。これにより、縫い列４０ａが素子部Ａ１に重ならなくなるため、荷重検出に対する縫い列４０ａの影響を抑制できる。よって、荷重を精度よく検出できる。
　図４に示したように、複数のワイヤ３０（導体線３１）は、平面視において、導電弾性体１３の並び方向（Ｙ軸方向）に対して傾いた複数の直線に沿って配置されて複数の網目を形成する。これにより、網目の頂点、すなわち、２つのワイヤ３０（導体線３１）が交差する位置Ｐ１を所定のピッチで直線状に並べやすくなる。よって、第１ベース部材１１に対してワイヤ３０（導体線３１）を容易に縫い付けることができる。
　図４に示したように、複数のワイヤ３０（導体線３１）は、端部が互いに接続されて一続きに構成されている。これにより、個別にワイヤ３０（導体線３１）を配置する場合に比べて容易に複数のワイヤ３０（導体線３１）を配置できる。
　縫い列４０ａ上における縫い目４３のピッチは、２ｍｍ以上である。一般的にミシンの針孔ピッチは、機械精度から最小でも２ｍｍ程度である。このようにミシンの針孔ピッチが２ｍｍ程度までしか小さく設定できない場合でも、ピッチが２ｍｍ以上の隣り合う縫い目の間に、複数のワイヤ３０（導体線３１）をまとめて縫い留めることができる。よって、各ワイヤ３０（導体線３１）を適正に縫い留めることができる。
　図８に示したように、複数の導電弾性体１３と複数のワイヤ３０（導体線３１）からなるワイヤ構造体ＳＴとの組が、導電弾性体１３の並び方向（Ｙ軸方向）に交差する方向（Ｘ軸方向）に複数配置されている。これにより、素子部Ａ１の数を増やすことができ、より広範囲で荷重を検出できる。
　図５（ａ）、（ｂ）に示したように、誘電体３２は、導体線３１の表面を被覆するように設置されている。この構成によれば、導体線３１の表面を誘電体３２で被覆するだけで、導電弾性体１３と導体線３１との間に誘電体３２を配置できる。
　＜実施形態１の変更例１＞
　実施形態１では、図４に示したように、ワイヤ構造体ＳＴは、導電弾性体１３の並び方向（Ｙ軸方向）に非平行なワイヤ３０により構成されたが、必ずしも全てのワイヤ３０がＹ軸方向に非平行でなくてもよく、一部のワイヤ３０またはワイヤ３０の一部がＹ軸方向に平行であってもよい。
　図１０は、実施形態１の変更例１に係る、ワイヤ構造体ＳＴの構成を示す平面図である。
　本変更例においても、実施形態１と同様、ワイヤ構造体ＳＴにおいて、直線状に延びた複数のワイヤ３０により複数の網目が形成されている。ただし、本変更例では、Ｙ軸正側からＹ軸負側まで延びる各ワイヤ３０において、Ｙ軸方向に平行な部分と、Ｙ軸方向に非平行な部分とが設けられている。Ｙ軸方向に非平行な部分のワイヤ３０の傾き方向には、Ｘ軸正方向およびＸ軸負方向の２種類があり、２種類の傾き方向の傾き角は同じである。
　本変更例においても、Ｙ軸方向の端部において隣り合うワイヤ３０の端部が互いに接続されることにより、８つのワイヤ３０が一続きとなっている。図１０には、８つのワイヤ３０を一続きで配置する際の端部３０ａから端部３０ｂまでのルートが、実線の矢印で示されている。
　また、本変更例の位置Ｐ１においても、図５（ａ）に示した構成と同様、隣り合う２つの縫い目４３の間に、交差する２本のワイヤ３０が挟まれ、これら２本のワイヤ３０が、糸４０によって第１ベース部材１１に縫い留められる。また、変更例２の縫い列４０ａの位置Ｐ２においても、図５（ｂ）に示した構成と同様、隣り合う２つの縫い目４３の間に、接近する２本のワイヤ３０が挟まれ、これら２本のワイヤ３０が、糸４０によって第１ベース部材１１に縫い留められる。
　以上、実施形態１の変更例１においても、実施形態１と同様、縫い列４０ａの位置Ｐ１において交差する複数の導体線３１をまとめて第１ベース部材１１に縫い留めることができる。よって、縫い留め位置の間隔を広くできるため、各導体線３１を適正に縫い留めることができる。
　＜実施形態１の変更例２＞
　実施形態１では、図４に示したように、ワイヤ構造体ＳＴは、直線状に延びたワイヤ３０により構成されたが、必ずしも全てのワイヤ３０が直線状に延びていなくてもよく、一部のワイヤ３０またはワイヤ３０の一部が曲線状に延びていてもよい。
　図１１は、実施形態１の変更例２に係る、ワイヤ構造体ＳＴの構成を示す平面図である。
　本変更例においても、ワイヤ構造体ＳＴにおいて、蛇行する複数のワイヤ３０が配置されることにより複数の網目が形成されている。本変更例においても、Ｙ軸方向の端部において隣り合うワイヤ３０の端部が互いに接続されることにより、８つのワイヤ３０が一続きとなっている。図１１には、８つのワイヤ３０を一続きで配置する際の端部３０ａから端部３０ｂまでのルートが、実線の矢印で示されている。
　以上、実施形態１の変更例２においても、実施形態１と同様、縫い列４０ａの位置Ｐ１において交差する複数の導体線３１をまとめて第１ベース部材１１に縫い留めることができる。よって、縫い留め位置の間隔を広くできるため、各導体線３１を適正に縫い留めることができる。
　＜実施形態１の変更例３＞
　実施形態１では、図４に示したように、Ｙ軸方向の端部において隣り合うワイヤ３０の端部が互いに接続されることにより、８つのワイヤ３０が一続きとなっていたが、これに限らず、各ワイヤ３０は互いに分断されていてもよい。
　図１２は、実施形態１の変更例３に係る、ワイヤ構造体ＳＴの構成を示す平面図である。
　本変更例のワイヤ構造体ＳＴは、図４に示した実施形態１と比較して、一続きのワイヤ３０により構成されていない。すなわち、本変更例では、Ｙ軸方向に非平行な８本のワイヤ３０が、それぞれ独立して配置される。本変更例の平面視における網目の形状は、実施形態１と同様である。
　なお、本変更例のように、複数のワイヤ３０が独立して配置される場合、荷重センサ１の組み立て時に、個別に複数のワイヤ３０を配置する必要が生じる。したがって、実施形態１のように複数のワイヤ３０が一続きに構成されるほうが、容易に複数のワイヤ３０を配置できる。
　＜実施形態２＞
　実施形態１では、隣り合う導電弾性体１３の隙間において２つのワイヤ３０が交差したが、隣り合う導電弾性体１３の隙間において２つのワイヤ３０が接近するように、複数のワイヤ３０が配置されてもよい。実施形態２の構成は、ワイヤ構造体ＳＴを除いて、実施形態１と同様である。
　図１３は、実施形態２に係る、ワイヤ構造体ＳＴの構成を示す平面図である。
　実施形態２のワイヤ構造体ＳＴは、複数のワイヤ３０が縫い列４０ａの方向（Ｘ軸方向）に蛇行する波形状を有する。隣り合うワイヤ３０の振幅方向は互いに逆であり、隣り合うワイヤ３０の振幅は同じである。実施形態２では、隣り合うワイヤ３０の端部が互いに接続されることにより、複数のワイヤ３０が一続きとなっている。図１３には、８つのワイヤ３０を一続きで配置する際の端部３０ａから端部３０ｂまでのルートが、実線の矢印で示されている。
　ここで、縫い列４０ａ上の位置Ｐ２においては、２本のワイヤ３０が接近している。位置Ｐ２は、Ｘ軸方向に所定の隙間をもって並んでいる。糸４０は、各位置Ｐ２において接近する２本のワイヤ３０を跨ぐように、第１ベース部材１１に縫い付けられる。このとき、隣り合う２つの位置Ｐ２の間に縫い目４３が形成される。Ｘ軸方向に延びる糸４０の縫い列４０ａが、Ｙ軸方向に所定の隙間をもって複数形成される。
　また、実施形態２の位置Ｐ２においても、図５（ｂ）に示した構成と同様、隣り合う２つの縫い目４３の間に、接近する２本のワイヤ３０が挟まれ、これら２本のワイヤ３０が、糸４０によって第１ベース部材１１に縫い留められる。
　図１４は、実施形態２に係る、糸４０の縫い目４３の間隔を模式的に示す平面図である。
　実施形態２においても、実施形態１と同様、素子部Ａ１に８本のワイヤ３０が含まれている。変更例１では、位置Ｐ２において２本のワイヤ３０が接近している。これにより、２つの導電弾性体１３間の上側の隙間１３ａでは、位置Ｐ２が４つになり、下側の隙間１３ｂでは、位置Ｐ２が５つになる。したがって、針孔１１ｃのピッチ（針孔ピッチ）ｗ３は、実施形態１と同様、ｗ１／４となり、素子部Ａ１の幅ｗ１を１０ｍｍとすると、実施形態の針孔ピッチｗ３は２．５ｍｍとなる。
　このように、実施形態２においても、位置Ｐ２を通るＸ軸方向の針孔１１ｃの針孔ピッチｗ３が、ミシンの機械精度に基づく針孔１１ｃの最小ピッチは２ｍｍよりも大きいため、位置Ｐ２を通る縫い列４０ａにおいて、接近する２本のワイヤ３０を挟んで２つの縫い目４３を設けることが可能となる。よって、位置Ｐ２を通る縫い列４０ａにおいて、第１ベース部材１１に適正にワイヤ３０を縫い付けることができる。
　以上、実施形態２によれば、実施形態１と同様、縫い列４０ａの位置Ｐ２において接近する複数のワイヤ３０（導体線３１）をまとめて第１ベース部材１１に縫い留めることができる。よって、縫い留め位置の間隔を広くできるため、各ワイヤ３０（導体線３１）を適正に縫い留めることができる。
　また、図１３に示したように、複数のワイヤ３０（導体線３１）は、縫い列４０ａの方向に蛇行する波形状を有する。これにより、縫い列４０ａの位置においてワイヤ３０（導体線３１）が重ならないよう、複数のワイヤ３０（導体線３１）を配置できるため、荷重付与時にワイヤ３０が擦れ合うことを抑制できる。よって、導体線３１を被覆する誘電体３２が損傷して、導電弾性体１３と導体線３１との間に短絡が生じることを抑制できる。
　＜実施形態２の変更例１＞
　実施形態２では、図１３に示したように、ワイヤ構造体ＳＴは、曲線状に蛇行したワイヤ３０が位置Ｐ２において接近するように構成されたが、直線状に蛇行したワイヤ３０が位置Ｐ２において接近するように構成されてもよい。
　図１５は、実施形態２の変更例１に係る、ワイヤ構造体ＳＴの構成を示す平面図である。
　本変更例においても、実施形態２と同様、複数のワイヤ３０が縫い列４０ａの方向（Ｘ軸方向）に蛇行する形状を有する。ただし、本変更例では、各ワイヤ３０は、Ｙ軸方向に非平行な直線部分を有する直線形状である。Ｙ軸方向に非平行な部分のワイヤ３０の傾き方向には、Ｘ軸正方向およびＸ軸負方向の２種類があり、２種類の傾き方向の傾き角は同じである。
　本変更例においても、Ｙ軸方向の端部において隣り合うワイヤ３０の端部が互いに接続されることにより、８つのワイヤ３０が一続きとなっている。図１５には、８つのワイヤ３０を一続きで配置する際の端部３０ａから端部３０ｂまでのルートが、実線の矢印で示されている。
　また、本変更例の位置Ｐ２においても、図５（ｂ）に示した構成と同様、隣り合う２つの縫い目４３の間に、接近する２本のワイヤ３０が挟まれ、これら２本のワイヤ３０が、糸４０によって第１ベース部材１１に縫い留められる。
　以上、実施形態２の変更例１においても、実施形態２と同様、縫い列４０ａの位置Ｐ２において接近する複数の導体線３１をまとめて第１ベース部材１１に縫い留めることができる。よって、縫い留め位置の間隔を広くできるため、各導体線３１を適正に縫い留めることができる。
　また、図１５に示したように、複数のワイヤ３０（導体線３１）は、縫い列４０ａの方向に蛇行する形状を有する。これにより、縫い列４０ａの位置においてワイヤ３０（導体線３１）が重ならないよう、複数のワイヤ３０（導体線３１）を配置できるため、荷重付与時にワイヤ３０が擦れ合うことを抑制できる。よって、導体線３１を被覆する誘電体３２が損傷して、導電弾性体１３と導体線３１との間に短絡が生じることを抑制できる。
　＜実施形態２の変更例２＞
　実施形態２では、図１３に示したように、Ｙ軸方向の端部において隣り合うワイヤ３０の端部が互いに接続されることにより、８つのワイヤ３０が一続きとなっていたが、各ワイヤ３０は互いに分断されていてもよい。
　図１６は、実施形態２の変更例２に係る、ワイヤ構造体ＳＴの構成を示す平面図である。
　本変更例のワイヤ構造体ＳＴは、図１３に示した実施形態２と比較して、一続きのワイヤ３０により構成されていない。すなわち、本変更例では、Ｘ軸方向に蛇行する８本のワイヤ３０が、それぞれ独立して配置される。本変更例の平面視における形状は、実施形態２と同様である。
　＜実施形態２の変更例３＞
　実施形態１では、隣り合う導電弾性体１３の隙間において２つのワイヤ３０が交差するように複数のワイヤ３０が配置され、実施形態２では、隣り合う導電弾性体１３の隙間において２つのワイヤ３０が接近するように複数のワイヤ３０が配置された。しかしながら、これに限らず、隣り合う導電弾性体１３の隙間ごとに、２つのワイヤ３０が交差または接近してもよい。
　図１７は、実施形態２の変更例３に係る、ワイヤ構造体ＳＴの構成を示す平面図である。
　本変更例では、８本のワイヤ３０は、Ｙ軸方向に向かって延びながらＸ軸方向に蛇行している。各縫い列４０ａは、実施形態１、２と同様、導電弾性体１３と重ならない位置に設けられる。図１７を参照して、Ｙ軸正側から２、４番目の縫い列４０ａにおいて、２つのワイヤ３０が交差する位置Ｐ１が設けられ、Ｙ軸正側から３、５番目の縫い列４０ａにおいて、２つのワイヤ３０が接近する位置Ｐ２が設けられている。
　本変更例においても、Ｙ軸方向の端部において隣り合うワイヤ３０の端部が互いに接続されることにより、８つのワイヤ３０が一続きとなっている。図１７には、８つのワイヤ３０を一続きで配置する際の端部３０ａから端部３０ｂまでのルートが、実線の矢印で示されている。
　＜その他の変更例＞
　上記実施形態および変更例では、各ワイヤ３０は、直線状および曲線状のいずれかの形状により構成されたが、直線状の部分と曲線状の部分の両方を備えてもよい。また、１つのワイヤ構造体ＳＴにおいて、一部のワイヤ３０が直線状に構成され、他のワイヤ３０が曲線状に構成されてもよい。
　上記実施形態１、実施形態１の変更例１、３、および実施形態２の変更例１では、Ｙ軸方向に非平行なワイヤ３０の傾き方向は２種類あり、２種類の傾き方向の傾き角は同じであったが、これに限らず、２種類の傾き方向の傾き角は同じでなくてもよい。また、上記実施形態１の変更例２、実施形態２、および実施形態２の変更例１～３では、隣り合うワイヤ３０の振幅は同じであったが、これに限らず、隣り合うワイヤ３０の振幅は同じでなくてもよい。
　上記実施形態および変更例では、ワイヤ３０が交差または接近する位置が、平面視において導電弾性体１３と重ならない位置とされたが、これに限らず、平面視において導電弾性体１３と重なる位置でもよい。この場合、導電弾性体１３に重なる位置でワイヤ３０が交差または接近することになり、この位置で糸４０によりワイヤ３０が縫い留められる。したがって、荷重検出に対する縫い列４０ａの影響を抑制するためには、上記のように、ワイヤ３０が交差または接近する位置が導電弾性体１３と重ならない位置とされるのが好ましい。
　上記実施形態および変更例では、導電弾性体１３は、第１ベース部材１１の対向面１１ａに配置されたが、これに限らず、第２ベース部材６１の対向面６１ａに配置されてもよい。また、第１ベース部材１１の対向面１１ａおよび第２ベース部材６１の対向面６１ａの両方に配置されてもよい。
　上記実施形態および変更例では、糸４０は、第１ベース部材１１に縫い付けられたが、これに限らず、第２ベース部材６１に縫い付けられてもよい。
　上記実施形態および変更例では、導体線３１の全周を被覆するように誘電体３２が設置されたが、導体線３１の表面のうち、少なくとも、荷重に応じて接触面積が変化する範囲のみを被覆するように、誘電体３２が配置されてもよい。また、誘電体３２は、厚み方向において１種類の材料により構成されたが、厚み方向において２種類以上の材料が積層された構造を有してもよい。
　上記実施形態および変更例では、導体線３１の表面に誘電体３２が配置されたが、導体線３１と導電弾性体１３との間で静電容量を規定する誘電体３２は、導体線３１と導電弾性体１３との間に配置されればよい。たとえば、図１８に示すように、誘電体３２は、導電弾性体１３の表面に配置されてもよい。この場合、誘電体３２は、荷重に応じて導体線３１との接触面積が変化するよう、弾性変形可能な材料により構成される。たとえば、誘電体３２は、導電弾性体１３と同様の弾性率を有する材料により構成される。
　上記実施形態および変更例では、５つのワイヤ構造体ＳＴが配置され、１つの素子部Ａ１に８本のワイヤ３０が配置されたが、ワイヤ構造体ＳＴの数および素子部Ａ１に含まれるワイヤ３０の数は、これに限らない。たとえば、ワイヤ構造体ＳＴの数は、１～４または６つ以上でもよく、１つの素子部Ａ１に含まれるワイヤ３０の数は、１～７または９本以上でもよい。
　上記実施形態および変更例では、５つの導電弾性体１３が配置されたが、荷重センサ１に配置される導電弾性体１３の数は、これに限らない。たとえば、導電弾性体１３の数は、１～４または６以上でもよい。
　上記実施形態および変更例において、第１ベース部材１１の対向面１１ａに導電弾性体１３を配置する方法は、必ずしも、印刷に限られるものではなく、箔を接着する方法等、他の方法であってもよい。
　上記実施形態および変更例では、ワイヤ構造体ＳＴは、導電弾性体１３の並び方向（Ｙ軸方向）に平行な方向に延びたが、導電弾性体１３の並び方向に非平行な方向に延びてもよい。たとえば、ワイヤ構造体ＳＴおよび導電弾性体１３は、互いに斜め方向に交差してもよい。
　上記実施形態および変更例において、導電弾性体１３の幅は必ずしも一定でなくてもよく、たとえば、導電弾性体１３が延びる方向（Ｘ軸方向）における素子部Ａ１の間の範囲において、導電弾性体１３の幅が狭くなっていてもよい。
　上記実施形態および変更例において、導電体１２が省略され、導電弾性体１３に配線１４が接続されてもよい。
　この他、本発明の実施形態は、特許請求の範囲に示された技術的思想の範囲内において、適宜、種々の変更が可能である。
　１　荷重センサ
　１１　第１ベース部材
　１１ａ　対向面
　１２　導電体（導電弾性体）
　１３　導電弾性体
　１３ａ、１３ｂ　隙間
　３１　導体線
　３２　誘電体
　４０　糸
　４０ａ　縫い列
　４３　縫い目
　６１　第２ベース部材
　６１ａ　対向面

Claims (8)

  1. 　第１ベース部材と、
    　前記第１ベース部材に対向して配置された第２ベース部材と、
    　前記第１ベース部材および前記第２ベース部材の少なくとも一方の対向面に並んで配置された複数の導電弾性体と、
    　前記複数の導電弾性体に交差するように配置された複数の導体線と、
    　前記導電弾性体と前記導体線との間に配置された誘電体と、
    　前記複数の導電弾性体の並び方向に交差する方向に延びる縫い列によって、前記複数の導体線を前記第１ベース部材または前記第２ベース部材に縫い留める糸と、を備え、
    　前記縫い列の位置において、一の前記導体線が、他の前記導体線と交差し、あるいは、他の前記導体線に接近するよう、前記複数の導体線が配置され、
    　前記糸は、互いに交差または接近する前記一の導体線および前記他の導体線を跨ぐように、前記第１ベース部材または前記第２ベース部材に縫い付けられる、
    ことを特徴とする荷重センサ。
     
  2. 　請求項１に記載の荷重センサにおいて、
    　前記縫い列は、平面視において、隣り合う前記導電弾性体の隙間に配置される、
    ことを特徴とする荷重センサ。
     
  3. 　請求項１または２に記載の荷重センサにおいて、
    　前記複数の導体線は、平面視において、前記並び方向に対して傾いた複数の直線に沿って配置されて複数の網目を形成する、
    ことを特徴とする荷重センサ。
     
  4. 　請求項１または２に記載の荷重センサにおいて、
    　前記複数の導体線は、前記縫い列の方向に蛇行する波形状を有する、
    ことを特徴とする荷重センサ。
     
  5. 　請求項１ないし４の何れか一項に記載の荷重センサにおいて、
    　前記複数の導体線は、端部が互いに接続されて一続きに構成されている、
    ことを特徴とする荷重センサ。
     
  6. 　請求項１ないし５の何れか一項に記載の荷重センサにおいて、
    　前記縫い列上における縫い目のピッチは、２ｍｍ以上である、
    ことを特徴とする荷重センサ。
     
  7. 　請求項１ないし６の何れか一項に記載の荷重センサにおいて、
    　前記複数の導電弾性体と前記複数の導体線との組が、前記並び方向に交差する方向に複数配置されている、
    ことを特徴とする荷重センサ。
     
  8. 　請求項１ないし７の何れか一項に記載の荷重センサにおいて、
    　前記誘電体は、前記導体線の表面を被覆するように設置されている、
    ことを特徴とする荷重センサ。
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