WO2023075145A1 - 유로 길이 가변형 초음파 워터폴 방식 검사장치 - Google Patents

유로 길이 가변형 초음파 워터폴 방식 검사장치 Download PDF

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WO2023075145A1
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guide
ultrasonic
discharge passage
water
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최정일
문주영
송성우
김태욱
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(주)피아이이
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Definitions

  • the present invention relates to an ultrasonic inspection apparatus, and more particularly, by dropping water on an inspection object such as a display panel such as an OLED panel, a wafer, or an ingot, and irradiating the inspection object with ultrasonic waves using the falling water as a medium to perform a non-destructive inspection.
  • the present invention relates to an ultrasonic waterfall type inspection device capable of inspecting an object to be inspected for abnormalities.
  • OLED organic light emitting display
  • semiconductor devices etc.
  • glass, wafers, ingots, which are parts of display devices or semiconductor devices, and display panels, which are finished products, are inspected for defects. It improves performance and reliability.
  • an organic light emitting display (OLED) device has advantages of a wide viewing angle, excellent contrast, and a fast response speed, and thus has attracted attention as a next-generation display device.
  • Display panels such as organic light emitting display devices may have various types of defects during manufacturing, and foreign matter, smudges (stains), surface scratches, and air bubbles on the display panel adversely affect the performance of the display, so they are thoroughly detected through preliminary inspection. /should be removed.
  • a method of inspecting a display panel As a method of inspecting a display panel, a macro inspection method in which foreign substances are detected with the naked eye and a micro inspection method in which defective states are precisely detected using a microscope are mainly used.
  • An ultrasonic inspection apparatus is an apparatus that irradiates an object to be inspected with ultrasonic waves, receives reflected or transmitted ultrasonic waves with an ultrasonic transducer (also referred to as 'probe'), and images them.
  • an ultrasonic transducer also referred to as 'probe'
  • the inspection object is a display panel such as an OLED panel
  • the ultrasonic inspection apparatus can obtain a higher resolution as the frequency of the ultrasonic wave used increases, but on the other hand, the higher the frequency of the ultrasonic wave used, the greater the attenuation and the lower the S/N ratio.
  • a conventional ultrasonic inspection apparatus is configured to submerge an object to perform ultrasonic inspection in a state in which water is filled between the tip of the probe and the surface of the object to be inspected. .
  • the ultrasonic inspection apparatus focuses on the interface to be observed inside the inspection object, irradiates ultrasonic waves while maintaining a constant distance between the tip of the probe and the surface of the inspection object, and visualizes the obtained result, It is designed to know the location and depth of the defect.
  • the ultrasonic waterfall type OLED panel inspection device is an oil film forming unit that forms an oil film by flowing water to the inspection subject, transmits ultrasonic waves to the inspection subject on which the oil film is formed, and detects the signal reflected by the difference in density of the inspection subject
  • ultrasonic waterfall non-destructive testing including a bubble detection unit that outputs as a signal and an image processor that converts the bubble detection signal detected by the bubble detection unit into an image, the water layer is equalized to promote accuracy in OLED panel inspection.
  • the present invention is to solve the above problems, and an object of the present invention is to form a flow path through which water is discharged on the ultrasonic irradiation path so that an oil film can always be formed at the ultrasonic irradiation position on the test object, and in the ultrasonic transducer It is possible to adjust the length of the passage through which water is discharged according to the focusing position of the ultrasonic beam to be irradiated, so that no inspection errors occur and accurate inspection can be performed regardless of the shape of the inspection object. To provide an ultrasonic waterfall type inspection device will be.
  • An ultrasonic waterfall inspection apparatus for achieving the above object includes a module head in which a transducer installation hole penetrates downward; An inlet chamber disposed below the module head and receiving water from a water supply device, and an inlet chamber disposed coaxially below the converter installation hole and extending downward while communicating with the inlet chamber with an upper end supplied to the inlet chamber.
  • Water fall guide including a discharge passage for discharging water to the test object on the lower side; And, an ultrasonic transducer installed in the transducer installation hole of the module head to irradiate ultrasonic waves to the object to be inspected through the discharge passage and detect a signal reflected from the object to be inspected;
  • the discharge passage of the waterfall guide includes It is characterized in that the length in the vertical direction is variable according to the focusing position of the ultrasonic beam irradiated from the ultrasonic transducer.
  • At least one water supply passage may be formed in the module head to guide water supplied from the water supply device to the inlet chamber while having one end connected to the water supply device and the other end communicating with the inlet chamber.
  • a periphery of the inlet chamber communicates with a lower end of the water supply passage, and a vortex prevention bump for preventing vortex flow of water supplied through the water supply passage may be formed on a lower surface of the periphery of the inlet chamber to protrude at a predetermined height.
  • the waterfall guide is connected to the lower end of the module head, the inlet chamber is formed at the upper end, and the first discharge passage communicating with the inlet chamber extends vertically in the central part.
  • the total length of the first discharge passage and the second discharge passage may be varied.
  • a second discharge passage is formed at the lower end of the first discharge passage so that the lower end of the first discharge passage and the upper end of the second discharge passage maintain a continuous state.
  • An overlap flow path overlapping the upper end of may be formed to extend downward, or an overlap flow path overlapping the lower end of the first discharge flow path may be formed to extend downward at the upper end of the second discharge flow path.
  • a female screw part and a male screw part helically coupled to the female screw part are formed between the lower end of the first waterfall guide and the upper end of the second waterfall guide, and as the second waterfall guide is rotated, the female screw part and the male screw part are formed.
  • the second waterfall guide can move up and down while rotating with respect to the first waterfall guide.
  • the first waterfall guide has a hollow cylindrical shape with an open lower surface, and the second waterfall guide is inserted into the first waterfall guide so as to slide up and down with respect to the first waterfall guide. And, the second waterfall guide can be fixed to or released from the first waterfall guide by the locking unit to slide.
  • the waterfall guide is connected to the lower end of the module head, the inlet chamber is formed at the upper end, and the first discharge passage communicating with the inlet chamber extends vertically in the central part.
  • a first water pole guide formed to be formed, and a second water pole detachably installed at the bottom of the first waterfall guide and having a second discharge passage communicating with the first discharge passage coaxially formed in the central portion.
  • a guide may be included.
  • a female screw part and a male screw part threadedly coupled to the female screw part may be formed between the lower end of the first waterfall guide and the upper end of the second waterfall guide.
  • the lower end of the ultrasonic transducer may have a curved surface concave upward.
  • the periphery of the upper inlet of the discharge passage may be made of a curved surface having a curvature corresponding to that of the lower end of the ultrasonic transducer.
  • the periphery of the upper inlet of the discharge passage may be formed horizontally with respect to the ground.
  • the lower end of the waterfall guide is made of a tapered surface inclined downward from the outside toward the outlet of the discharge passage, and a plurality of laser irradiators are installed on the tapered surface to irradiate lasers toward the focusing point of the ultrasonic transducer,
  • the inspection may be performed by matching the surface to the focal position of the laser irradiated from the plurality of laser irradiators.
  • a falling water correction passage may be formed at a lower end of the discharge passage to be inclined downward in a direction in which the waterfall guide moves.
  • two partition plates spaced apart at an interval of 180 degrees are vertically installed on the inner surface of the inlet chamber to divide the inlet chamber into left and right directions, and water is supplied from the water supply device to the space on both sides of the inlet chamber partitioned by the partition plate.
  • a plurality of flow prevention plates for suppressing the flow of water to one side may be arranged vertically in a zigzag pattern.
  • the length of the discharge passage is smaller than the focusing distance of the ultrasonic transducer, and the diameter or width of the discharge passage is larger than the ultrasonic beam width at the focusing position of the ultrasonic transducer and smaller than the diameter of the lower end of the ultrasonic transducer.
  • the discharge passage of the waterfall module through which water is discharged toward the test object is arranged coaxially with the ultrasonic transducer, so that the ultrasonic beam irradiated from the ultrasonic transducer is always discharged through the discharge passage to the test object as a medium. It can be reflected after irradiation. Therefore, even if no effort is made to form a uniform oil film on the surface of the object to be inspected, an accurate inspection can always be performed.
  • the inspection device of the present invention has an advantage in that ultrasonic non-destructive inspection can be accurately performed regardless of the shape of the inspection object because the ultrasonic beam is irradiated through the discharge passage of the waterfall module.
  • the length of the passage through which water is discharged can be adjusted according to the focusing position of the ultrasonic beam irradiated from the ultrasonic transducer, the accuracy of the inspection can be further improved.
  • FIG. 1 is a perspective view showing an ultrasonic waterfall type inspection device according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a longitudinal cross-sectional view of an ultrasonic waterfall type inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view showing some configurations and operating principles of an ultrasonic waterfall type inspection device according to the present invention.
  • Figure 4 is a cross-sectional view of main parts showing another embodiment of the waterfall guide constituting the ultrasonic waterfall type inspection device according to the present invention.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view showing a main part of another embodiment of the waterfall guide constituting the ultrasonic waterfall type inspection device according to the present invention.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view showing a main part of another embodiment of a waterfall guide constituting an ultrasonic waterfall type inspection device according to the present invention.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view showing a main part of another embodiment of the waterfall guide constituting the ultrasonic waterfall type inspection device according to the present invention.
  • FIG. 8 is a cross-sectional view showing a main part of an ultrasonic waterfall type inspection device according to another embodiment of the present invention.
  • FIG. 9 is a cross-sectional view showing a main part of an ultrasonic waterfall type inspection device according to another embodiment of the present invention.
  • FIG. 10 is a diagram showing an example of performing a non-destructive test on a cylindrical test object using an ultrasonic waterfall type test device according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 11 is a cross-sectional view of a main part of an ultrasonic waterfall type inspection device according to another embodiment of the present invention.
  • FIG. 12 is a cross-sectional view showing main parts of the water falling state according to the low-speed and high-speed movement of the ultrasonic waterfall inspection device according to the present invention.
  • FIG. 13 is a cross-sectional view of a main part of an ultrasonic waterfall type inspection device according to another embodiment of the present invention.
  • FIG. 14A is a longitudinal sectional view of an ultrasonic waterfall type inspection apparatus according to another embodiment of the present invention.
  • FIG. 14B is a cross-sectional view along line II of FIG. 14A.
  • the ultrasonic waterfall inspection apparatus includes a waterfall module 100 including a module head 110 and a waterfall guide 120, and a module head It includes an ultrasonic transducer 200 installed in the center of (110).
  • a transducer installation hole 111 in which the ultrasonic transducer 200 is installed is formed in the central portion of the module head 110 so as to penetrate downward. Also, on both sides of the module head 110, a plurality of water supply passages 112 connected to a water supply device (not shown) are formed to extend downward by being bent in an approximate 'L' shape. The upper end of the water supply passage 112 is connected to a water supply device (not shown) through a hose of the water supply device (not shown) to receive water. The lower end of the water supply passage 112 communicates with the inlet chamber 121 partitioned between the lower end of the module head 110 and the upper end of the waterfall guide 120 to allow water supplied from a water supply device (not shown) to flow in. It is guided into the chamber 121.
  • the module head 110 is connected to the linear movement device configured above the test stage (S) on which the test object (P) is placed, and the module head 110 is connected to the linear movement device while the test stage (S) is fixed. It may be configured to cause relative movement between the object P and the ultrasound transducer 200 of the module head 110 by moving in up and down, front and back and / or left and right directions.
  • the module head 110 is fixed to a support structure such as a frame fixedly installed on the upper side of the inspection stage (S), and the inspection stage (S) is configured to be movable in up and down, front and back and / or left and right directions, so that the inspection target Relative motion may occur between (P) and the ultrasonic transducer 200 of the module head 110.
  • the waterfall guide 120 has a substantially cylindrical shape and is coupled to the lower end of the module head 110 .
  • an inlet chamber 121 communicating with the lower end of the water supply passage 112 and receiving water is formed, and a discharge passage 122 communicating with the central part of the inlet chamber 121 is formed at the central part. ) is formed to penetrate vertically.
  • the discharge passage 122 is disposed coaxially with the ultrasonic transducer 200 and has a predetermined length and diameter from the upper end to the lower end of the waterfall guide 120 .
  • the ultrasonic wave irradiated from the ultrasonic transducer 200 is irradiated to the object P through the discharge passage 122, regardless of the shape of the object P, the ultrasonic wave is transmitted through the discharge passage 122 through which water is always discharged. Investigations can be performed.
  • the length of the discharge passage 122 is smaller than the focusing distance of the ultrasonic transducer 200, and the diameter of the discharge passage 122 (when the discharge passage has a non-circular cross section, the width of the discharge passage)
  • the smallest width is greater than the ultrasonic beam width at the focusing position of the ultrasonic transducer 200 and smaller than the diameter of the lower end of the ultrasonic transducer 200.
  • the ultrasonic beam width irradiated from the ultrasonic transducer 200 is focused based on the focusing position and then spreads.
  • the ultrasonic signal is generated by the interference of the discharge passage 122. Distortion may occur, which may significantly degrade the accuracy of inspection.
  • the diameter of the discharge passage 122 is formed to be larger than the ultrasonic beam width irradiated from the ultrasonic transducer 200 to completely exclude interference of the ultrasonic beam by the discharge passage 122 .
  • the focusing position of the ultrasonic beam may change.
  • the waterfall guide 120 can be divided into a plurality of upper and lower parts so that they can move relative to each other in the vertical direction, or the lower part can be detached from the upper part so that the length of the discharge passage 122 can be varied and adjusted to a desired length. .
  • the waterfall guide 120 is connected to the lower end of the module head 110, and the first discharge passage 122a is formed in the center to extend vertically.
  • a waterfall guide 120a and a second discharge passage 122b movably installed in the first waterfall guide 120a and communicating with the first discharge passage 122a are formed coaxially at the center, It can be configured by dividing into two parts of the second waterfall guide 120b. Therefore, as the second waterfall guide 120b moves up and down with respect to the first waterfall guide 120a, the total length of the first discharge passage 122a and the second discharge passage 122b can be varied. .
  • An inlet chamber 121 is formed at the upper end of the first waterfall guide 120a.
  • the first waterfall guide 120a has a hollow cylindrical shape with an open lower surface, and the second waterfall guide 120b is inserted into the hollow of the first waterfall guide 120a. It can be installed to be slidable up and down with respect to the first waterfall guide (120a).
  • a locking unit is configured to fix the second waterfall guide 120b in an adjusted position with respect to the first waterfall guide 120a.
  • the locking unit is for fixing or releasing the second waterfall guide 120b from the first waterfall guide 120a, in this embodiment, by penetrating the outer surface of the first waterfall guide 120a. It may be composed of a plurality of fixing screws 120e that are fastened and the inner end is pressed to the outer surface of the second waterfall guide 120b, but, of course, various known locking devices can be applied in addition to it.
  • the second waterfall guide 120b is formed in a cylindrical shape with an open upper surface, and the first waterfall guide 120a is installed to be inserted into the space of the second waterfall guide 120b.
  • the second waterfall guide 120b may be installed to be slidable up and down with respect to the first waterfall guide 120a.
  • a guide unit for guiding movement in the vertical direction may be formed between the second waterfall guide 120b and the first waterfall guide 120a.
  • a female screw portion 120c is screwed into the female screw portion 120c between the lower end of the first waterfall guide 120a and the upper end of the second waterfall guide 120b.
  • the second waterfall guide 120b is formed by the female threaded portion 120c and the male threaded portion 120d to form the first waterfall guide 120b.
  • the length of the passage formed by the first discharge passage 122a and the second discharge passage 122b may be adjusted while moving up and down while rotating with respect to (120a).
  • the female screw part 120c and the male screw part 120d may be formed at the center of the upper end of the second waterfall guide 120b and the center of the lower end of the first waterfall guide 120a, as shown in FIG. As shown in FIG. 6, it may be formed on the upper side of the second waterfall guide 120b and the lower side of the first waterfall guide 120a.
  • the first discharge passage 122a and the second discharge passage 122b When adjusting the length of the first discharge passage (122a) and the second discharge passage (122b) to form a continuous passage without being cut in the middle, the first discharge passage at the upper end of the second discharge passage (122b)
  • the overlap flow passage 122c overlapping the lower end of 122a is formed to extend downward, or, conversely, the overlap flow passage overlapping the upper end of the second discharge passage 122b extends downward at the lower end of the first discharge passage 122a. It can be formed elongated.
  • the second waterfall guide 120b is movable up and down on the lower side of the first waterfall guide 120a, and is formed by the first discharge channel 122a and the second discharge channel 122b.
  • the length of the entire discharge passage can be adjusted, but differently, the waterfall guide 120 can be divided into a plurality of upper and lower parts so that the lower waterfall guide 120 can be detached from the upper waterfall guide 120. There will be.
  • the waterfall guide 120 is connected to the lower end of the module head 110, the inlet chamber 121 is formed at the upper end, and the first discharge passage ( 122a) is formed to extend in the vertical direction, and is detachably installed in the lower part of the first waterfall guide 120a and communicates with the first discharge passage 122a at the center.
  • the second discharge passage 122b may include a second waterfall guide 120b formed coaxially.
  • the second waterfall guide 120b having an appropriate length of the second discharge passage 122b can be replaced by mounting it on the first waterfall guide 120a. there is.
  • a female screw portion 120c and a male screw portion 120d screwed to the female screw portion 120c may be formed.
  • the female screw part 120c and the male screw part 120d may be formed at the center of the upper end of the second waterfall guide 120b and the center of the lower end of the first waterfall guide 120a, as shown in FIG. However, it may be formed on the upper side of the second waterfall guide 120b and the lower side of the first waterfall guide 120a (see FIG. 6).
  • module head 110 and the first waterfall guide 120a may be made integrally, after being manufactured as individual bodies, a known fastening means such as a screw, bolt, clamp mechanism, or welding is used. can be used in conjunction with each other.
  • the inlet chamber 121 may be formed in the shape of a concave disc-shaped groove at the upper end of the waterfall guide 120, and the upper surface of the inlet chamber 121 may be closed by the lower surface of the module head 110. That is, the lower surface of the module head 110 may become the upper surface of the inflow chamber 121 .
  • the central part of the inflow chamber 121 communicates with the upper end of the discharge passage 122, and the water supplied into the inlet chamber 121 is discharged to the outside through the discharge passage 122 in the central part.
  • the bottom surface of the inflow chamber 121 may be formed horizontally with respect to the ground as a whole.
  • a dam 129 is formed at a predetermined height along the periphery of the upper inlet of the discharge passage 122 so that a sufficient amount of water is stored in the inflow chamber 121 and then introduced into the discharge passage 122. desirable.
  • the periphery of the inflow chamber 121 communicates with the lower end of the water supply passage 112, and the water supply passage 112 communicates with the lower surface of the periphery of the inlet chamber 121 communicating with the water supply passage 112.
  • the vortex prevention bump 123 for preventing may be formed to protrude at a certain height. Therefore, the water supplied into the inlet chamber 121 through the water supply passage 112 flows over the vortex barrier 123 toward the discharge passage 122 and falls through the discharge passage 122 to be discharged.
  • a plurality of posts 121a supporting an upper surface of the inlet chamber 121 may be additionally formed inside the inlet chamber 121 so as to maintain a constant space inside the inlet chamber 121 .
  • the ultrasonic transducer 200 is installed in the transducer installation hole 111 of the module head 110, is coaxially disposed above the discharge passage 122 of the waterfall guide 120, and passes through the discharge passage 122. It is designed to irradiate the test object (P) with ultrasonic waves using water discharged to the outside as a medium and detect the signal reflected from the test object (P), and can be configured by applying a known transducer.
  • the signal received from the ultrasonic transducer 200 is converted into a digital signal and transmitted to an image processor (not shown), then an image is created in the image processor (not shown), and the image made by the image processor (not shown) is analyzed and inspected. Defects of the object P are detected.
  • the lower end of the ultrasonic transducer 200 is disposed immediately above the upper inlet of the discharge passage 122, and the water supplied into the inlet chamber 121 passes through the inlet at the upper end of the discharge passage 122. ), the lower end of the ultrasonic transducer 200 may be formed as an upwardly concave curved surface as shown in FIGS.
  • the lower end of the ultrasonic transducer 200 is made of a curved surface concave upward, and the periphery of the upper inlet of the discharge passage 122 also has a curvature corresponding to the curved surface of the lower end of the ultrasonic transducer 200. It may be made of a curved surface. However, as shown in FIG. 9 , even when the lower end of the ultrasonic transducer 200 has an upwardly concave curved surface, the periphery of the upper inlet of the discharge passage 122 may be formed horizontally with respect to the ground. At this time, it is preferable that the dam 129 is formed at a predetermined height along the rim of the upper inlet of the discharge passage 122 .
  • the ultrasonic waterfall type inspection device configured as described above operates as follows.
  • the test object P is placed on the test stage S, and the waterfall guide 120 of the waterfall module 100 is positioned to be spaced apart from the test object P by a predetermined distance. Subsequently, when water is supplied from a water supply device (not shown), water is supplied into the inlet chamber 121 through the water supply passage 112 of the module head 110 .
  • the water supplied into the inflow chamber 121 is introduced into the discharge passage 122 through the upper inlet of the central discharge passage 122 and then flows downward to fall onto the object P.
  • ultrasonic waves are irradiated downward through the ultrasonic transducer 200. Since the ultrasonic transducer 200 and the discharge passage 122 are arranged coaxially, the ultrasonic beam converts the water falling through the discharge passage 122 into a medium. and is irradiated as the inspection target (P).
  • the ultrasonic transducer 200 receives a signal reflected from the test object P, converts it into an electrical signal, and transmits the signal to an image processor (not shown).
  • the module head 110 and the waterfall guide 120 are attached to the linear motion device configured on the upper side of the test stage S.
  • the entire surface of the object P is inspected while relatively moving left and right and/or forward and backward with respect to the object P.
  • the discharge passage 122 of the waterfall module 100 through which water is discharged toward the inspection object P is arranged coaxially with the ultrasonic transducer 200, so that the ultrasonic wave
  • the ultrasonic beam irradiated from the transducer 200 is always irradiated to the test object P using water discharged through the discharge passage 122 as a medium and then reflected. Therefore, even if no effort is made to form a uniform oil film on the surface of the inspection object P, an accurate inspection can always be performed.
  • the inspection device of the present invention irradiates the water falling through the discharge passage 122 of the waterfall module 100 with an ultrasonic beam, so that the inspection object (P ), ultrasonic non-destructive testing can be performed accurately regardless of the shape.
  • the ultrasonic beam width irradiated from the ultrasonic transducer 200 is focused based on the focusing position and then spreads, if the length of the discharge passage 122 is formed longer than the focusing distance of the ultrasonic transducer 200 The interference of the discharge passage 122 may cause a distortion of the ultrasonic signal, and thus the accuracy of the inspection may be significantly deteriorated. Therefore, as shown in FIGS. 4 to 6, by moving the second waterfall guide 120b up and down with respect to the first waterfall guide 120a, the first discharge passage 122a and the second discharge passage 122b Adjust the length of the entire discharge passage formed by or, as shown in FIG. 120b) is used to vary the length of the discharge passage 122 according to the ultrasonic beam focusing position of the ultrasonic transducer 200, thereby obtaining accurate inspection results.
  • the ultrasonic transducer 200 and the discharge passage 122 are arranged coaxially and the ultrasonic beam is irradiated to the object P to perform the inspection in the waterfall method, the ultrasonic transducer 200 irradiates In order to accurately position the inspection object P at the focusing position of the ultrasonic beam, the second waterfall guide 120b of the waterfall guide 120, as shown in FIG.
  • Form a tapered surface 124 inclined downward toward the outlet of the , and install a plurality of laser irradiators 130 for irradiating lasers toward the focusing point of the ultrasonic beam irradiated from the ultrasonic transducer 200 on the tapered surface 124 can Therefore, the user can visually check the focusing position of the ultrasonic beam through the focusing position of the laser irradiated from the plurality of laser irradiators 130 and match the surface of the object P to the ultrasonic beam focusing position to accurately perform the inspection. there is.
  • FIG. 12 As described above, when discharging water through the discharge passage 122 while moving the waterfall module 100 relative to the upper side of the test object P, when the moving speed of the waterfall module 100 is fast, FIG. 12 As shown in the drawing of (B), the water column falling from the discharge passage 122 is bent in the opposite direction of the moving direction and falls to the test object P, and the ultrasonic beam irradiated from the ultrasonic transducer 200 pours water into the medium. Therefore, it may not be possible to irradiate the test object P.
  • a falling water correction passage 126 inclined downward in the moving direction of the waterfall module 100 is formed at the lower end of the discharge passage 122 to correct the falling direction of water.
  • the discharge direction adjusting unit ( 125) is rotatably installed around a vertical axis, and the discharge direction adjusting unit 125 rotates according to the moving direction of the waterfall module 100 to change the direction of the falling water correction passage 126 to that of the waterfall module 100. It can be adjusted to match the direction of movement.
  • the discharge direction adjusting unit 125 is automatically rotated by an automatic rotation means including a motor (not shown) and a power transmission member (not shown) such as a gear or belt that transmits power of the motor to the discharge direction adjusting unit 125. It is possible to change the direction of the dripping water correction passage 126 by rotating to .
  • FIGS. 14A and 14B two separator plates 127 spaced apart at intervals of 180 degrees are placed on the inner surface of the inlet chamber 121 to divide the inlet chamber 121 into left and right directions in the vertical direction.
  • the water supplied from both upper ends of the inlet chamber 121 flows by arranging a plurality of flow prevention plates 128 vertically in a zigzag form in a space partitioned vertically and separated from each other by the separator 127.
  • the plurality of flow prevention plates 128 are alternately attached to and spaced apart from each other on the inner surface of the inlet chamber 121 and the outer surface of the converter installation hole 111 to form a zigzag water flow path.
  • the present invention is a display panel such as an OLED panel, a wafer, an ultrasonic waterfall type inspection device that inspects an object for abnormalities in a nondestructive manner by dropping water on an object to be tested, such as a wafer, and irradiating ultrasonic waves using the falling water as a medium.
  • a display panel such as an OLED panel, a wafer, an ultrasonic waterfall type inspection device that inspects an object for abnormalities in a nondestructive manner by dropping water on an object to be tested, such as a wafer, and irradiating ultrasonic waves using the falling water as a medium.

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Abstract

본 발명은 초음파의 조사 경로 상에 물이 토출되는 유로를 형성함으로써 검사 대상체 상의 초음파 조사 위치에 항상 유막이 형성될 수 있도록 하여 검사 오류가 발생하지 않으며, 검사 대상체의 형상에 상관없이 정확한 검사가 이루어질 수 있는 초음파 워터폴 방식 검사장치에 관한 것으로, 본 발명에 따른 초음파 워터폴 방식 검사장치는, 물 공급장치로부터 물을 공급받는 유입챔버와, 상기 유입챔버에 하측으로 소정의 길이로 연장되게 형성되어 물을 하측으로 배출하는 토출유로가 형성되어 있는 워터폴모듈; 및, 상기 워터폴모듈의 토출유로의 상측에 동축상으로 설치되어, 토출유로를 통해 검사 대상체에 초음파를 조사하고, 검사 대상체에서 반사된 신호를 검출하는 초음파 변환기;를 포함할 수 있다.

Description

유로 길이 가변형 초음파 워터폴 방식 검사장치
본 발명은 초음파 검사장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 OLED 패널과 같은 디스플레이패널, 웨이퍼, 잉곳 등의 검사 대상체에 물을 낙하시키고, 낙하하는 물을 매체로 검사 대상체에 초음파를 조사하여 비파괴방식으로 검사 대상체의 이상 여부를 검사할 수 있는 초음파 워터폴 방식 검사장치에 관한 것이다.
일반적으로 액정 디스플레이장치 또는 유기 발광 디스플레이(OLED) 장치, 반도체 소자 등의 제조 과정에서는 디스플레이 장치 또는 반도체 소자의 부품이 되는 글라스, 웨이퍼, 잉곳을 비롯하여, 완제품인 디스플레이 패널 등의 결함을 검사함으로써 제품의 성능과 신뢰도를 높이고 있다.
종래에 디스플레이 패널 또는 반도체 웨이퍼, 잉곳을 검사하는 방법으로는 광원을 이용하여 디스플레이 패널을 구성하는 글라스 또는 액정표시판 등과 같은 투명 부재, 웨이퍼, 잉곳 등에 빛을 조사하면, 결함 또는 이물이 발생된 부분에서 빛의 반사가 발생하고, 이를 검출하여 디스플레이 패널, 또는 웨이퍼, 잉곳 등의 검사 대상체의 불량 유무를 판단하는 방식이 있다.
디스플레이 장치들 중, 유기 발광 디스플레이(OLED) 장치는 시야각이 넓고 콘트라스트가 우수할 뿐만 아니라 응답속도가 빠르다는 장점을 가지고 있어 차세대 디스플레이 장치로서 주목을 받고 있다.
유기 발광 디스플레이 장치와 같은 디스플레이 패널은 제작 시 다양한 형태의 결함이 발생할 수 있으며, 디스플레이 패널의 이물이나 번짐(얼룩) 및 표면 흠집, 기포 등은 디스플레이의 성능에 악영향을 끼치므로 사전검사를 통해 철저히 검출/제거되어야 한다.
디스플레이 패널의 검사 방법은 육안으로 이물 등을 찾아내는 매크로(Macro) 검사 방법과 현미경을 이용하여 불량 상태를 세밀하게 찾아내는 마이크로(Micro) 검사 방법을 주로 이용한다.
그러나 육안 검사는 정밀성이 떨어지고, 현미경 검사는 검사 시간이 많이 소요되는 단점이 있어, 초음파를 이용한 비파괴 방식의 검사 방법 등 새로운 검사 방법들이 요구되고 있다.
초음파 검사 장치는, 검사 대상체에 초음파를 조사하고, 반사 또는 투과해 온 초음파를 초음파 탐촉자('프로브'라고도 함)로 수신하여 영상화하는 장치이다.
예를 들어, 검사 대상체가 OLED 패널과 같은 디스플레이 패널일 경우, 미세한 결함을 검출할 필요가 있고, 초음파 검사 장치에는, 높은 분해능이 요구된다. 초음파 검사 장치는, 사용하는 초음파의 주파수가 높을수록 높은 분해능을 얻을 수 있지만, 한편으로 사용하는 초음파의 주파수가 높을수록 감쇠가 커져 S/N비가 저하한다. 물은 공기에 비해 초음파의 감쇠의 정도가 작으므로, 통상의 초음파 검사 장치는, 검사 대상체를 수몰시켜서 프로브 선단과 검사 대상체 표면과의 사이를 물로 채운 상태에서 초음파 검사를 수행할 수 있도록 구성되어 있다.
그리고, 초음파 검사 장치는, 검사 대상체 내부의 관찰 대상이 되어 있는 계면에 초점을 맞추고, 프로브 선단과 검사 대상체 표면과의 사이의 거리를 일정하게 유지한 상태에서 초음파를 조사하여 얻어진 결과를 영상화함으로써, 결함의 위치나 깊이를 알 수 있도록 되어 있다.
이러한 초음파 검사 장치의 일례로 국내 등록특허 제10-2132673호에 개시된 초음파 워터폴 방식의 OLED 패널 검사장치가 있다. 상기 초음파 워터폴 방식의 OLED 패널 검사장치는, 검사 대상에 물을 흘려주어 유막을 형성하는 유막 형성부, 유막이 형성된 검사 대상에 초음파를 발신하고 검사 대상의 밀도 차에 의해 반사된 신호를 기포 검출 신호로 출력하는 기포 검출부, 및 기포 검출부에서 검출된 기포 검출 신호를 영상으로 변환하는 영상 처리기를 포함하여, 초음파 워터폴 비파괴 검사를 이용하여 OLED 패널 내부의 기포를 검사할 때, 유막(water layer)을 균등화하여 OLED 패널의 검사에 정확성을 도모할 수 있도록 한 것이다.
그러나 상기 등록특허의 검사장치를 비롯한 종래의 초음파 워터폴 방식의 검사장치들은 물을 흘려서 유막을 형성하는 유막 형성부와 검사 대상체 간의 거리가 가까워야 유막이 형성될 수 있기 때문에 검사 대상체가 편평한 평면인 경우에만 균일한 유막이 형성되어 검사가 가능하며, 검사 대상체가 평면이 아닌 구형상이나 실린더 형상 등 입체 형상을 가질 경우에는 유막에 빈 공간이 형성되어 정확한 초음파 비파괴 검사가 이루어지지 않게 되므로 검사 대상체의 종류에 한계가 있다.
또한 검사 대상체가 디스플레이 패널과 같은 평면 형태를 갖는 경우라도, 검사 대상체의 평면 상에 유막이 균일하게 형성되지 않고 빈 공간이 형성하는 경우가 종종 발생하게 되며, 이 경우 검사에 오류가 발생하게 된다.
본 발명은 상기한 문제를 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 초음파의 조사 경로 상에 물이 토출되는 유로를 형성함으로써 검사 대상체 상의 초음파 조사 위치에 항상 유막이 형성될 수 있도록 하고, 초음파 변환기에서 조사되는 초음파 빔의 포커싱 위치에 따라 물이 토출되는 유로의 길이를 조정할 수 있도록 하여 검사 오류가 발생하지 않으며, 검사 대상체의 형상에 상관없이 정확한 검사가 이루어질 수 있는 초음파 워터폴 방식 검사장치를 제공하는 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 초음파 워터폴 방식 검사장치는, 변환기설치공이 하측으로 관통되게 형성되는 모듈헤드; 상기 모듈헤드의 하측에 배치되며, 물 공급장치로부터 물을 공급받는 유입챔버와, 상기 변환기설치공의 하측에 동축상으로 배치되며 상단부가 상기 유입챔버에 연통되면서 하측으로 연장되어 유입챔버에 공급된 물을 하측의 검사 대상체로 배출하는 토출유로를 포함하는 워터폴가이드; 및, 상기 모듈헤드의 변환기설치공 내에 설치되어 상기 토출유로를 통해 검사 대상체에 초음파를 조사하고, 검사 대상체에서 반사된 신호를 검출하는 초음파 변환기;를 포함하며, 상기 워터폴가이드의 토출유로는 상기 초음파 변환기에서 조사되는 초음파 빔의 포커싱 위치에 따라 상하방향으로의 길이가 가변되는 것을 특징으로 한다.
상기 모듈헤드에 일단부가 물 공급장치와 연결되고 다른 일단부가 상기 유입챔버와 연통되면서 물 공급장치로부터 공급되는 물을 유입챔버로 안내하는 적어도 1개 이상의 급수유로가 형성될 수 있다.
상기 유입챔버의 주변부는 상기 급수유로의 하단부와 연통되며, 상기 유입챔버의 주변부의 하부면에는 상기 급수유로를 통해 공급되는 물의 와류를 방지하기 위한 와류방지턱이 일정한 높이로 돌출되게 형성될 수 있다.
본 발명의 다른 한 형태에 따르면, 상기 워터폴가이드는, 상기 모듈헤드의 하단부에 연결되며 상단부에는 상기 유입챔버가 형성되어 있으며 중앙부에는 상기 유입챔버와 연통되는 제1토출유로가 상하방향으로 연장되게 형성되어 있는 제1워터폴가이드와, 상기 제1워터폴가이드에 상하로 이동 가능하게 설치되며 중앙부에 상기 제1토출유로와 연통되는 제2토출유로가 동축상으로 형성되어 있는 제2워터폴가이드를 포함하여, 상기 제2워터폴가이드가 제1워터폴가이드에 대해 상하방향으로 이동함에 따라 제1토출유로와 제2토출유로의 전체 길이가 가변될 수 있다.
상기 제2워터폴가이드가 제1워터폴가이드에 대해 상하로 이동할 때 상기 제1토출유로의 하단부와 제2토출유로의 상단부가 연속된 상태를 유지하도록 제1토출유로의 하단부에 제2토출유로의 상단부와 겹쳐지는 오버랩유로가 하측으로 연장되게 형성되거나, 상기 제2토출유로의 상단부에 제1토출유로의 하단부와 겹쳐지는 오버랩유로가 하측으로 연장되게 형성될 수 있다.
상기 제1워터폴가이드의 하단부와 상기 제2워터폴가이드의 상단부 사이에 암나사부와 상기 암나사부에 나선 결합되는 수나사부가 형성되어, 상기 제2워터폴가이드를 회전시킴에 따라 암나사부와 수나사부에 의해 제2워터폴가이드가 제1워터폴가이드에 대해 회전하면서 상하로 이동할 수 있다.
상기 제1워터폴가이드는 하부면이 개방된 중공의 통형상으로 이루어지며, 상기 제2워터폴가이드는 상기 제1워터폴가이드 내측으로 삽입되어 제1워터폴가이드에 대해 상하로 슬라이딩 가능하게 설치되며, 상기 제2워터폴가이드는 록킹유닛에 의해 제1워터폴가이드에 대해 고정되거나 해제되어 슬라이딩할 수 있다. \
본 발명의 또 다른 한 형태에 따르면, 상기 워터폴가이드는, 상기 모듈헤드의 하단부에 연결되며 상단부에는 상기 유입챔버가 형성되어 있으며 중앙부에는 상기 유입챔버와 연통되는 제1토출유로가 상하방향으로 연장되게 형성되어 있는 제1워터폴가이드와, 상기 제1워터폴가이드의 하부에 분리가능하게 설치되며 중앙부에 상기 제1토출유로와 연통되는 제2토출유로가 동축상으로 형성되어 있는 제2워터폴가이드를 포함할 수 있다.
상기 제1워터폴가이드의 하단부와 상기 제2워터폴가이드의 상단부 사이에 암나사부와 상기 암나사부에 나선 결합되는 수나사부가 형성될 수 있다.
상기 초음파 변환기의 하단부는 상측으로 오목한 곡면으로 이루어질 수 있다.
상기 토출유로의 상단 입구부의 주변부는 상기 초음파 변환기의 하단부의 곡면과 대응하는 곡률의 곡면으로 이루어질 수 있다.
또는 상기 토출유로의 상단 입구부의 주변부는 지면(地面)에 대해 수평하게 형성될 수 있다.
상기 워터폴가이드의 하단부는 외곽에서부터 토출유로의 출구부를 향해 하향 경사진 테이퍼면으로 이루어지며, 상기 테이퍼면에 초음파 변환기의 포커싱 지점을 향해 레이저를 조사하는 복수의 레이저 조사기가 설치되어, 검사 대상체의 표면을 상기 복수의 레이저 조사기에서 조사되는 레이저의 집속 위치에 일치시켜 검사를 수행할 수 있다.
상기 토출유로의 하단부에 워터폴가이드의 이동 방향으로 하향 경사지게 형성된 낙수보정유로가 형성될 수 있다.
상기 유입챔버의 내측면에 유입챔버를 좌우로 분할하도록 180도 간격으로 이격되는 2개의 분리판이 상하방향으로 연직하게 설치되고, 상기 분리판에 의해 구획된 유입챔버의 양측 공간에 물 공급장치에서 공급된 물이 한 쪽으로 쏠리는 것을 억제하기 위한 복수의 유동방지판이 상하로 지그재그 형태로 배열될 수 있다.
상기 토출유로의 길이는 초음파 변환기의 포커싱 거리보다 작고, 토출유로의 직경 또는 폭은 초음파 변환기의 포커싱 위치에서의 초음파 빔 폭보다는 크며 초음파 변환기의 하단부 직경보다는 작은 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면, 검사 대상체를 향해 물이 배출되는 워터폴모듈의 토출유로가 초음파 변환기와 동축상으로 배열되어 초음파 변환기에서 조사된 초음파 빔이 항상 토출유로를 통해 배출되는 물을 매체로 검사 대상체에 조사된 후 반사될 수 있다. 따라서 검사 대상체의 표면에 균일한 유막을 형성하려는 노력을 하지 않더라도 항상 정확한 검사가 이루어질 수 있다.
특히 검사 대상체가 원통형 등의 곡면이나 3차원 입체 형상을 가질 경우, 기존의 검사 장치에서는 검사 대상체의 표면으로 낙하한 물이 검사 대상체에서 흘러내려 초음파 변환기의 바로 아래쪽에서는 유막이 형성되지 않을 수 있지만, 본 발명의 검사 장치는 워터폴모듈의 토출유로를 통해 초음파 빔이 조사되므로 검사 대상체의 형태와 상관없이 초음파 비파괴 검사가 정확하게 실시될 수 있는 이점이 있다.
또한 초음파 변환기에서 조사되는 초음파 빔의 포커싱 위치에 따라 물이 토출되는 유로의 길이를 조정할 수 있으므로 검사의 정확도를 더욱 향상시킬 수 있는 이점이 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 워터폴 방식 검사장치를 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 워터폴 방식 검사장치의 종단면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 초음파 워터폴 방식 검사장치의 일부 구성 및 작동원리를 나타낸 단면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 초음파 워터폴 방식 검사장치를 구성하는 워터폴가이드의 다른 실시예를 나타낸 요부 단면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 초음파 워터폴 방식 검사장치를 구성하는 워터폴가이드의 또 다른 실시예를 나타낸 요부 단면도이다.
도 6은 본 발명에 따른 초음파 워터폴 방식 검사장치를 구성하는 워터폴가이드의 또 다른 실시예를 나타낸 요부 단면도이다.
도 7은 본 발명에 따른 초음파 워터폴 방식 검사장치를 구성하는 워터폴가이드의 또 다른 실시예를 나타낸 요부 단면도이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 초음파 워터폴 방식 검사장치를 나타낸 요부 단면도이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 초음파 워터폴 방식 검사장치를 나타낸 요부 단면도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 워터폴 방식 검사장치를 이용하여 원통형으로 된 검사 대상체를 비파괴 검사하는 예를 나타낸 도면이다.
도 11은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 초음파 워터폴 방식 검사장치의 요부 단면도이다.
도 12는 본 발명에 따른 초음파 워터폴 방식 검사장치의 저속 이동 및 고속 이동에 따른 물 낙하 상태를 나타낸 요부 단면도이다.
도 13은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 초음파 워터폴 방식 검사장치의 요부 단면도이다.
도 14a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 초음파 워터폴 방식 검사장치의 종단면도이다.
도 14b는 도 14a의 I-I 선 단면도이다.
본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 개시된 발명의 바람직한 일 예에 불과할 뿐이며, 본 출원의 출원시점에 있어서 본 명세서의 실시예와 도면을 대체할 수 있는 다양한 변형 예들이 있을 수 있다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 초음파 워터폴 방식 검사장치를 후술된 실시예들에 따라 구체적으로 설명하도록 한다. 도면에서 동일한 부호는 동일한 구성 요소를 나타낸다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 워터폴 방식 검사장치는, 모듈헤드(110)와 워터폴가이드(120)를 포함하는 워터폴모듈(100)과, 모듈헤드(110)의 중앙부에 설치되는 초음파 변환기(200)를 포함한다.
모듈헤드(110)의 중앙부에는 초음파 변환기(200)가 설치되는 변환기설치공(111)이 하측으로 관통되게 형성되어 있다. 그리고 모듈헤드(110)의 양 측부에는 물 공급장치(미도시)와 연결되는 복수의 급수유로(112)가 대략 'ㄱ' 형태로 절곡되어 하측으로 연장되게 형성되어 있다. 상기 급수유로(112)의 상단부는 물 공급장치(미도시)의 호스를 통해 물 공급장치(미도시)에 연결되어 물을 공급받는다. 그리고 급수유로(112)의 하단부는 모듈헤드(110)의 하단부와 워터폴가이드(120)의 상단부 사이에 구획되는 유입챔버(121)와 연통되어 물 공급장치(미도시)로부터 공급되는 물을 유입챔버(121) 내부로 안내한다.
모듈헤드(110)는 검사 대상체(P)가 놓여지는 검사스테이지(S)의 상부에 구성되는 선형운동장치에 연결되어 검사스테이지(S)가 고정된 상태에서 모듈헤드(110)가 선형운동장치에 의해 상하, 전후 및/또는 좌우 방향으로 이동하여 검사 대상체(P)와 모듈헤드(110)의 초음파 변환기(200) 간에 상대 운동이 발생하게 구성될 수 있다. 또는 모듈헤드(110)를 검사스테이지(S)의 상측에 고정되게 설치되는 프레임 등의 지지 구조물에 고정하고, 검사스테이지(S)가 상하, 전후 및/또는 좌우 방향으로 이동할 수 있게 구성하여 검사 대상체(P)와 모듈헤드(110)의 초음파 변환기(200) 간에 상대 운동이 발생하게 할 수도 있다.
워터폴가이드(120)는 대략 원통형으로 이루어져 모듈헤드(110)의 하단부에 결합된다. 워터폴가이드(120)의 상단부에는 상기 급수유로(112)의 하단부에 연통되어 물을 공급받는 유입챔버(121)가 형성되고, 중앙부에 상기 유입챔버(121)의 중앙부와 연통되는 토출유로(122)가 상하로 관통되게 형성된다. 상기 토출유로(122)는 초음파 변환기(200)와 동축상으로 배치되며, 워터폴가이드(120)의 상단부에서부터 하단부까지 소정의 길이와 직경으로 형성된다. 따라서 초음파 변환기(200)에서 조사되는 초음파는 토출유로(122)를 통해서 검사 대상체(P)로 조사되므로 검사 대상체(P)의 형태와 상관없이 항상 물이 배출되는 토출유로(122)를 통해서 초음파를 조사하여 검사를 수행할 수 있다.
도 3에 도시한 것과 같이, 토출유로(122)의 길이는 초음파 변환기(200)의 포커싱 거리보다 작고, 토출유로(122)의 직경(토출유로가 비원형 횡단면을 가질 경우에는 토출유로의 폭 중 가장 작은 폭)은 초음파 변환기(200)의 포커싱 위치에서의 초음파 빔 폭보다는 크며 초음파 변환기(200)의 하단부 직경보다는 작다. 초음파 변환기(200)에서 조사된 초음파 빔 폭은 포커싱 위치를 기준으로 집속되었다가 퍼지는 양상을 보인다. 따라서 토출유로(122)의 길이가 초음파 변환기(200)의 포커싱 거리보다 길거나, 토출유로(122)의 직경이 포커싱 위치에서의 초음파 빔 폭보다 작게 형성되면 토출유로(122)의 간섭에 의해 초음파 신호가 왜곡되는 현상이 발생하여 검사의 정확도가 현저하게 저하될 수 있다. 바람직하게는 토출유로(122)의 직경을 초음파 변환기(200)에서 조사되는 초음파 빔 폭보다 크게 형성하여 초음파 빔이 토출유로(122)에 의해 간섭되는 것을 완전히 배제한다.
모듈헤드(110)에 장착되는 초음파 변환기(200)의 종류나 사양에 따라 초음파 빔의 포커싱 위치가 변할 수 있는데, 이 때 초음파 변환기(200)의 초음파 빔의 포커싱 위치 변화에 대응하여 토출유로(122)의 길이가 가변되는 것이 바람직하다. 이를 위해 워터폴가이드(120)를 상하로 복수로 분할하여 서로 상하방향으로 상대 이동이 가능하거나, 하부를 상부에 대해 착탈 가능하게 하여 토출유로(122)의 길이를 원하는 길이로 가변시켜 조정할 수 있다.
예를 들어, 도 4에 도시한 것과 같이, 워터폴가이드(120)를, 모듈헤드(110)의 하단부에 연결되며 중앙부에 제1토출유로(122a)가 상하방향으로 연장되게 형성되어 있는 제1워터폴가이드(120a)와, 제1워터폴가이드(120a)에 상하로 이동 가능하게 설치되며 중앙부에 상기 제1토출유로(122a)와 연통되는 제2토출유로(122b)가 동축상으로 형성되어 있는 제2워터폴가이드(120b)의 2 부분으로 분할하여 구성할 수 있다. 따라서 제2워터폴가이드(120b)가 제1워터폴가이드(120a)에 대해 상하방향으로 이동함에 따라 제1토출유로(122a)와 제2토출유로(122b)의 전체 길이가 가변될 수 있게 된다.
상기 제1워터폴가이드(120a)의 상단부에는 유입챔버(121)가 형성되어 있다. 이 실시예에서 제1워터폴가이드(120a)는 하부면이 개방된 중공의 원통체 형상으로 이루어지며, 제2워터폴가이드(120b)는 제1워터폴가이드(120a)의 중공부 내측으로 삽입되어 제1워터폴가이드(120a)에 대해 상하로 슬라이딩 가능하게 설치될 수 있다. 이 때 제1워터폴가이드(120a)에 대해 제2워터폴가이드(120b)를 조정된 위치에서 고정하기 위하여 록킹유닛이 구성된다. 상기 록킹유닛은 제2워터폴가이드(120b)를 제1워터폴가이드(120a)에 대해 고정되거나 해제할 수 있도록 하기 위한 것으로, 이 실시예에서는 제1워터폴가이드(120a)의 외면을 관통하여 체결되어 내측 단부가 제2워터폴가이드(120b)의 외면에 가압되는 복수의 고정나사(120e)로 구성될 수 있으나, 이외에도 다양한 공지의 록킹장치를 적용할 수 있음은 물론이다.
또한 이 실시예와 반대로 제2워터폴가이드(120b)가 상부면이 개방된 원통형으로 이루어지고, 제1워터폴가이드(120a)가 제2워터폴가이드(120b)의 공간 내측에 삽입되게 설치된 상태에서 제2워터폴가이드(120b)가 제1워터폴가이드(120a)에 대해 상하로 슬라이딩 가능하게 설치될 수도 있을 것이다.
전술한 실시예와 같이 제2워터폴가이드(120b)가 제1워터폴가이드(120a)에 대해 상하로 슬라이딩하면서 제1토출유로(122a) 및 제2토출유로(122b)에 형성되는 토출유로 전체 길이가 가변되는 경우, 제2워터폴가이드(120b)와 제1워터폴가이드(120a) 사이에는 상하방향으로의 이동을 안내하기 위한 가이드부가 형성될 수 있다.
또는 전술한 실시예와 다르게 도 5에 제1워터폴가이드(120a)의 하단부와 상기 제2워터폴가이드(120b)의 상단부 사이에 암나사부(120c)와 상기 암나사부(120c)에 나선 결합되는 수나사부(120d)가 형성되어, 상기 제2워터폴가이드(120b)를 회전시킴에 따라 암나사부(120c)와 수나사부(120d)에 의해 제2워터폴가이드(120b)가 제1워터폴가이드(120a)에 대해 회전하면서 상하로 이동하면서 제1토출유로(122a) 및 제2토출유로(122b)에 의해 형성되는 유로 길이를 조정할 수 있다.
여기서 상기 암나사부(120c)와 수나사부(120d)는 도 5에 도시한 것과 같이 제2워터폴가이드(120b)의 상단부 중심부와 제1워터폴가이드(120a)의 하단부 중심부에 형성될 수 있지만, 도 6에 도시한 것과 같이 제2워터폴가이드(120b)의 상단부 측면과 제1워터폴가이드(120a)의 하단부 측면에 형성될 수도 있을 것이다.
한편 도 4 내지 도 6에 도시한 것과 같이, 제2워터폴가이드(120b)가 제1워터폴가이드(120a)에 대해 상하로 이동하면서 제1토출유로(122a)와 제2토출유로(122b)의 길이를 조정할 때 제1토출유로(122a)와 제2토출유로(122b)가 중간에서 끊어지지 않고 연속된 유로를 형성할 수 있도록 하기 위하여 제2토출유로(122b)의 상단부에 제1토출유로(122a)의 하단부와 겹쳐지는 오버랩유로(122c)가 하측으로 연장되게 형성되거나, 이와 반대로 제1토출유로(122a)의 하단부에 제2토출유로(122b)의 상단부와 겹쳐지는 오버랩유로가 하측으로 연장되게 형성될 수 있다.
전술한 것과 같이 제1워터폴가이드(120a)의 하측에 제2워터폴가이드(120b)를 상하로 이동 가능하게 구성하여 제1토출유로(122a)와 제2토출유로(122b)에 의해 형성되는 전체 토출유로 길이를 조정할 수 있지만, 이와 다르게 워터폴가이드(120)를 상하로 복수로 분할하여 하부의 워터폴가이드(120)를 상부의 워터폴가이드(120)에 대해 착탈이 가능하게 구성할 수도 있을 것이다.
즉, 도 7에 도시한 것과 같이 워터폴가이드(120)가, 모듈헤드(110)의 하단부에 연결되며 상단부에는 유입챔버(121)가 형성되어 있으며 중앙부에는 유입챔버와 연통되는 제1토출유로(122a)가 상하방향으로 연장되게 형성되어 있는 제1워터폴가이드(120a)와, 상기 제1워터폴가이드(120a)의 하부에 분리가능하게 설치되며 중앙부에 상기 제1토출유로(122a)와 연통되는 제2토출유로(122b)가 동축상으로 형성되어 있는 제2워터폴가이드(120b)를 포함할 수 있다.
따라서 초음파 변환기(200)의 초음파 빔의 포커싱 위치 변화에 따라 적절한 제2토출유로(122b)의 길이를 갖는 제2워터폴가이드(120b)를 제1워터폴가이드(120a)에 장착하여 교체할 수 있다.
제2워터폴가이드(120b)를 제1워터폴가이드(120a)에 용이하게 착탈할 수 있도록 하기 위하여, 제1워터폴가이드(120a)의 하단부와 제2워터폴가이드(120b)의 상단부 사이에 암나사부(120c)와 상기 암나사부(120c)에 나선 결합되는 수나사부(120d)가 형성될 수 있다.
이 때, 상기 암나사부(120c)와 수나사부(120d)는 도 7에 도시한 것과 같이 제2워터폴가이드(120b)의 상단부 중심부와 제1워터폴가이드(120a)의 하단부 중심부에 형성될 수 있지만, 제2워터폴가이드(120b)의 상단부 측면과 제1워터폴가이드(120a)의 하단부 측면에 형성될 수도 있을 것이다(도 6 참조).
한편, 다시 도 2를 참조하면 모듈헤드(110)와 제1워터폴가이드(120a)는 일체로 만들어질 수도 있지만, 서로 개별체로 제작된 후 나사나 볼트, 클램프기구, 용접 등 공지의 체결수단을 이용하여 서로 결합되어 사용될 수 있다.
유입챔버(121)는 워터폴가이드(120)의 상단부에 오목한 원반형 홈 형태로 형성될 수 있으며, 유입챔버(121)의 상부면은 모듈헤드(110)의 하부면에 의해 폐쇄될 수 있다. 즉, 모듈헤드(110)의 하부면이 유입챔버(121)의 상부면이 될 수 있다. 유입챔버(121)의 중앙부는 토출유로(122)의 상단부와 연통되어 유입챔버(121) 내부로 공급되는 물이 중앙부의 토출유로(122)를 통해서 외부로 배출된다. 유입챔버(121)의 바닥면은 전체적으로 지면(地面)에 대해 수평하게 형성될 수 있다. 하지만 유입챔버(121) 내부로 유입된 물이 곧바로 토출유로(122)의 상단부를 통해 토출유로(122) 내로 흘러들어갈 경우 유량이 적어서 토출유로(122)를 통해 배출되는 물이 토출유로(122) 전체를 채우지 못하고 공동이 형성되어 초음파를 이용한 계측에 정확도가 저하될 수 있다. 이에 토출유로(122)의 상단 입구부의 주변부를 따라 소정의 높이로 댐(129)을 형성하여 유입챔버(121) 내부에 충분한 양의 물이 저장된 후 토출유로(122)로 유입될 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
유입챔버(121)의 주변부는 상기 급수유로(112)의 하단부와 연통되며, 급수유로(112)와 연통되는 유입챔버(121)의 주변부의 하부면에는 급수유로(112)를 통해 공급되는 물의 와류를 방지하기 위한 와류방지턱(123)이 일정한 높이로 돌출되게 형성될 수 있다. 따라서 급수유로(112)를 통해 유입챔버(121) 내부로 공급된 물은 와류방지턱(123)을 넘어서 토출유로(122) 쪽으로 유동하여 토출유로(122)를 통해 낙하하여 배출된다.
또한 유입챔버(121) 내부에는 유입챔버(121) 내부가 일정한 공간을 유지하도록 유입챔버(121)의 상부면을 지탱하는 복수의 포스트(121a)가 추가로 형성될 수 있다.
초음파 변환기(200)는 모듈헤드(110)의 변환기설치공(111) 내에 설치되며, 워터폴가이드(120)의 토출유로(122)의 상측에 동축상으로 배치되어, 토출유로(122)를 통해 외부로 배출되는 물을 매체로 하여 검사 대상체(P)에 초음파를 조사하고, 검사 대상체(P)에서 반사된 신호를 검출하도록 된 것으로, 공지의 트랜스듀서(Transducer)를 적용하여 구성할 수 있다. 초음파 변환기(200)에서 수신된 신호는 디지털 신호로 변환되어 영상처리기(미도시)로 전송된 다음 영상처리기(미도시)에서 영상이 만들어지고, 영상처리기(미도시)에서 만들어진 영상을 분석하여 검사 대상체(P)의 불량을 검출한다.
초음파 변환기(200)의 하단부는 토출유로(122)의 상단 입구부의 바로 상측에 인접하게 배치되는데, 유입챔버(121) 내부로 공급된 물이 토출유로(122) 상단의 입구부를 통해 토출유로(122) 내로 유동하면서 초음파 빔을 조사할 때, 집속 성능을 향상시키기 위하여 도 8 및 도 9에 도시한 것과 같이 초음파 변환기(200)의 하단부가 상측으로 오목한 곡면으로 이루어질 수 있다.
이 때 도 8에 도시한 것과 같이 초음파 변환기(200)의 하단부가 상측으로 오목한 곡면으로 이루어지고, 토출유로(122)의 상단 입구부의 주변부도 초음파 변환기(200)의 하단부의 곡면과 대응하는 곡률의 곡면으로 이루어질 수 있다. 하지만 도 9에 도시한 것과 같이 초음파 변환기(200)의 하단부가 상측으로 오목한 곡면으로 이루어지는 경우에도 토출유로(122)의 상단 입구부의 주변부가 지면(地面)에 대해 수평하게 형성될 수도 있다. 이 때 토출유로(122)의 상단 입구의 테두리를 따라 소정의 높이로 댐(129)이 형성되는 것이 바람직하다.
상술한 것과 같은 구성으로 이루어진 초음파 워터폴 방식 검사장치는 다음과 같이 작동한다.
검사 대상체(P)가 검사스테이지(S) 상에 놓여지고, 워터폴모듈(100)의 워터폴가이드(120)가 검사 대상체(P)와 소정 거리 이격되게 위치된다. 이어서 물 공급장치(미도시)로부터 물 공급이 개시되면 모듈헤드(110)의 급수유로(112)를 통해 유입챔버(121) 내부로 물이 공급된다.
유입챔버(121) 내부로 공급된 물은 중앙의 토출유로(122) 상단 입구부를 통해서 토출유로(122) 내로 유입된 후 하측으로 유동하여 검사 대상체(P)로 낙하하게 된다. 이 때 초음파 변환기(200)를 통해서 초음파가 하측으로 조사되는데, 초음파 변환기(200)와 토출유로(122)가 동축상으로 배치되어 있으므로 초음파 빔이 토출유로(122)를 통해 낙하하는 물을 매체로 하여 검사 대상체(P)로 조사된다. 초음파 변환기(200)는 검사 대상체(P)에서 반사된 신호를 수신하여 전기신호로 변환하여 영상처리기(미도시)로 전송한다.
이와 같이 초음파 변환기(200)에서 검사 대상체(P)에 초음파 빔을 조사하여 검사를 수행할 때, 모듈헤드(110) 및 워터폴가이드(120)가 검사스테이지(S) 상측에 구성된 선형운동장치에 의해 검사 대상체(P)에 대해 좌우 및/또는 전후로 상대 이동하면서 검사 대상체(P)의 전면(全面)을 검사하게 된다.
상술한 것과 같은 본 발명의 초음파 워터폴 방식 검사장치는 검사 대상체(P)를 향해 물이 배출되는 워터폴모듈(100)의 토출유로(122)가 초음파 변환기(200)와 동축상으로 배열되어 초음파 변환기(200)에서 조사된 초음파 빔이 항상 토출유로(122)를 통해 배출되는 물을 매체로 검사 대상체(P)에 조사된 후 반사된다. 따라서 검사 대상체(P)의 표면에 균일한 유막을 형성하려는 노력을 하지 않더라도 항상 정확한 검사가 이루어질 수 있다.
특히 도 10에 도시한 것과 같이 검사 대상체(P)가 원통형 등의 곡면이나 3차원 입체 형상을 가질 경우, 기존의 검사 장치에서는 검사 대상체(P)의 표면으로 낙하한 물이 검사 대상체(P)에서 흘러내려 초음파 변환기(200)의 바로 아래쪽에서는 유막이 형성되지 않지만, 본 발명의 검사 장치는 워터폴모듈(100)의 토출유로(122)를 통해 낙하하는 물에 초음파 빔이 조사되므로 검사 대상체(P)의 형태와 상관없이 초음파 비파괴 검사가 정확하게 실시될 수 있다.
한편 전술한 것과 같이 초음파 변환기(200)에서 조사된 초음파 빔 폭은 포커싱 위치를 기준으로 집속되었다가 퍼지는 양상을 보이기 때문에 토출유로(122)의 길이가 초음파 변환기(200)의 포커싱 거리보다 길게 형성되면 토출유로(122)의 간섭에 의해 초음파 신호가 왜곡되는 현상이 발생하여 검사의 정확도가 현저하게 저하될 수 있다. 따라서 도 4 내지 도 6에 도시한 것과 같이, 제1워터폴가이드(120a)에 대해 제2워터폴가이드(120b)를 상하로 이동시켜 제1토출유로(122a)와 제2토출유로(122b)에 의해 형성되는 전체 토출유로 길이를 조정하거나, 도 7에 도시한 것과 같이 제1워터폴가이드(120a)의 하단에 소정의 길이를 갖는 제2토출유로(122b)가 형성된 제2워터폴가이드(120b)를 결합시켜 초음파 변환기(200)의 초음파 빔 포커싱 위치에 따라 토출유로(122) 길이를 가변시켜 사용함으로써 정확한 검사 결과를 얻을 수 있다.
상술한 것과 같이 초음파 변환기(200)와 토출유로(122)를 동축상으로 배치하고, 검사 대상체(P)에 초음파 빔을 조사하여 워터폴 방식으로 검사를 수행할 때 초음파 변환기(200)에서 조사되는 초음파 빔의 포커싱 위치에 검사 대상체(P)를 정확하게 위치시킬 수 있도록 하기 위하여 도 11에 도시한 것과 같이 워터폴가이드(120)의 제2워터폴가이드(120b) 하단부에 외곽에서부터 토출유로(122)의 출구부를 향해 하향 경사진 테이퍼면(124)을 형성하고, 테이퍼면(124)에 초음파 변환기(200)에서 조사되는 초음파 빔의 포커싱 지점을 향해 레이저를 조사하는 복수의 레이저 조사기(130)를 설치할 수 있다. 따라서 사용자가 복수의 레이저 조사기(130)에서 조사되는 레이저의 집속 위치를 통해 초음파 빔의 포커싱 위치를 육안으로 확인하면서 검사 대상체(P)의 표면을 초음파 빔 포커싱 위치에 일치시켜 정확하게 검사를 수행할 수 있다.
전술한 것과 같이 워터폴모듈(100)을 검사 대상체(P)의 상측에서 상대 이동시키면서 토출유로(122)를 통해 물을 배출할 때, 워터폴모듈(100)의 이동 속도가 빠를 경우에 도 12의 (B) 도면에 도시한 것과 같이 토출유로(122)에서 낙하하는 물기둥이 이동 방향의 반대로 휘어지면서 검사 대상체(P)로 낙하하게 되며, 초음파 변환기(200)에서 조사된 초음파 빔이 물을 매체로 검사 대상체(P)에 조사되지 못할 수 있다.
따라서 도 13에 도시한 것과 같이 토출유로(122)의 하단의 출구부에 워터폴모듈(100)의 이동 방향으로 하향 경사진 낙수보정유로(126)를 형성하여 물의 낙하 방향을 보정할 수 있다.
이 때, 워터폴모듈(100)의 이동 방향이 바뀌게 되면 낙수보정유로(126)의 경사 방향도 바뀌어야 하므로, 워터폴모듈(100)의 하단부에 낙수보정유로(126)가 경사지게 형성된 토출방향조정부(125)를 연직한 축을 중심으로 회전 가능하게 설치하여, 워터폴모듈(100)의 이동 방향에 따라 토출방향조정부(125)가 회전하여 낙수보정유로(126)의 방향을 워터폴모듈(100)의 이동 방향과 일치되게 조정할 수 있다. 이 때, 토출방향조정부(125)는 모터(미도시) 및 모터의 동력을 토출방향조정부(125)로 전달하는 기어나 벨트와 같은 동력전달부재(미도시)를 포함하는 자동회전수단에 의해 자동으로 회전하여 낙수보정유로(126)의 방향을 변경할 수 있다.
또한 워터폴모듈(100)이 이동하면서 토출유로(122)를 통해 물을 낙하시킬 때, 워터폴가이드(120) 상단의 유입챔버(121) 내부의 물이 한 쪽으로 쏠려서 토출유로(122) 내로 물이 원활하게 유입되지 않는 경우가 발생할 수 있다. 이를 방지하기 위하여, 도 14a 및 도 14b에 도시한 것과 같이 유입챔버(121)의 내측면에 유입챔버(121)를 좌우로 분할하도록 180도 간격으로 이격되는 2개의 분리판(127)이 상하방향으로 연직하게 설치되고, 분리판(127)에 의해 서로 분리되게 구획된 공간 내에 복수의 유동방지판(128)을 상하로 지그재그 형태로 배열함으로써 유입챔버(121)의 양측 상단부에서 공급되는 물이 유동방지판(128)의 복잡한 경로를 따라 유동하도록 하고, 이로써 워터폴모듈(100)이 고속으로 이동하더라도 물이 한 쪽으로 쏠리는 것을 효과적으로 억제할 수 있다. 상기 복수의 유동방지판(128)은 상하로 지그재그의 물 유동 경로를 형성하도록 유입챔버(121)의 내측면과 변환기설치공(111)의 외측면에 교대로 부착 및 이격되게 설치된다.
이상에서 본 발명은 실시예를 참조하여 상세히 설명되었으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기에서 설명된 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 부가 및 변형이 가능할 것임은 당연하며, 이와 같은 변형된 실시 형태들 역시 아래에 첨부한 특허청구범위에 의하여 정하여지는 본 발명의 보호 범위에 속하는 것으로 이해되어야 할 것이다.
본 발명은 OLED 패널과 같은 디스플레이패널, 웨이퍼, 잉곳 등의 검사 대상체에 물을 낙하시키고, 낙하하는 물을 매체로 초음파를 조사하여 비파괴방식으로 검사 대상체의 이상 여부를 검사하는 초음파 워터폴 방식 검사장치로서 이용될 수 있다.

Claims (16)

  1. 변환기설치공이 하측으로 관통되게 형성되는 모듈헤드;
    상기 모듈헤드의 하측에 배치되며, 물 공급장치로부터 물을 공급받는 유입챔버와, 상기 변환기설치공의 하측에 동축상으로 배치되며 상단부가 상기 유입챔버에 연통되면서 하측으로 연장되어 유입챔버에 공급된 물을 하측의 검사 대상체로 배출하는 토출유로를 포함하는 워터폴가이드; 및,
    상기 모듈헤드의 변환기설치공 내에 설치되어 상기 토출유로를 통해 검사 대상체에 초음파를 조사하고, 검사 대상체에서 반사된 신호를 검출하는 초음파 변환기;
    를 포함하며,
    상기 워터폴가이드의 토출유로는 상기 초음파 변환기에서 조사되는 초음파 빔의 포커싱 위치에 따라 상하방향으로의 길이가 가변되는 초음파 워터폴 방식 검사장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 모듈헤드에 일단부가 물 공급장치와 연결되고 다른 일단부가 상기 유입챔버와 연통되면서 물 공급장치로부터 공급되는 물을 유입챔버로 안내하는 적어도 1개 이상의 급수유로가 형성된 초음파 워터폴 방식 검사장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 유입챔버의 주변부는 상기 급수유로의 하단부와 연통되며, 상기 유입챔버의 주변부의 하부면에는 상기 급수유로를 통해 공급되는 물의 와류를 방지하기 위한 와류방지턱이 일정한 높이로 돌출되게 형성된 초음파 워터폴 방식 검사장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 워터폴가이드는, 상기 모듈헤드의 하단부에 연결되며 상단부에는 상기 유입챔버가 형성되어 있으며 중앙부에는 상기 유입챔버와 연통되는 제1토출유로가 상하방향으로 연장되게 형성되어 있는 제1워터폴가이드와, 상기 제1워터폴가이드에 상하로 이동 가능하게 설치되며 중앙부에 상기 제1토출유로와 연통되는 제2토출유로가 동축상으로 형성되어 있는 제2워터폴가이드를 포함하여,
    상기 제2워터폴가이드가 제1워터폴가이드에 대해 상하방향으로 이동함에 따라 제1토출유로와 제2토출유로의 전체 길이가 가변되는 초음파 워터폴 방식 검사장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 제2워터폴가이드가 제1워터폴가이드에 대해 상하로 이동할 때 상기 제1토출유로의 하단부와 제2토출유로의 상단부가 연속된 상태를 유지하도록 제1토출유로의 하단부에 제2토출유로의 상단부와 겹쳐지는 오버랩유로가 하측으로 연장되게 형성되거나, 상기 제2토출유로의 상단부에 제1토출유로의 하단부와 겹쳐지는 오버랩유로가 하측으로 연장되게 형성된 초음파 워터폴 방식 검사장치.
  6. 제4항에 있어서, 상기 제1워터폴가이드의 하단부와 상기 제2워터폴가이드의 상단부 사이에 암나사부와 상기 암나사부에 나선 결합되는 수나사부가 형성되어, 상기 제2워터폴가이드를 회전시킴에 따라 암나사부와 수나사부에 의해 제2워터폴가이드가 제1워터폴가이드에 대해 회전하면서 상하로 이동하도록 된 초음파 워터폴 방식 검사장치.
  7. 제4항에 있어서, 상기 제1워터폴가이드는 하부면이 개방된 중공의 통형상으로 이루어지며, 상기 제2워터폴가이드는 상기 제1워터폴가이드 내측으로 삽입되어 제1워터폴가이드에 대해 상하로 슬라이딩 가능하게 설치되며, 상기 제2워터폴가이드는 록킹유닛에 의해 제1워터폴가이드에 대해 고정되거나 해제되어 슬라이딩하는 초음파 워터폴 방식 검사장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 워터폴가이드는, 상기 모듈헤드의 하단부에 연결되며 상단부에는 상기 유입챔버가 형성되어 있으며 중앙부에는 상기 유입챔버와 연통되는 제1토출유로가 상하방향으로 연장되게 형성되어 있는 제1워터폴가이드와, 상기 제1워터폴가이드의 하부에 분리가능하게 설치되며 중앙부에 상기 제1토출유로와 연통되는 제2토출유로가 동축상으로 형성되어 있는 제2워터폴가이드를 포함하는 초음파 워터폴 방식 검사장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 제1워터폴가이드의 하단부와 상기 제2워터폴가이드의 상단부 사이에 암나사부와 상기 암나사부에 나선 결합되는 수나사부가 형성된 초음파 워터폴 방식 검사장치.
  10. 제1항에 있어서, 상기 초음파 변환기의 하단부는 상측으로 오목한 곡면으로 이루어진 초음파 워터폴 방식 검사장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 토출유로의 상단 입구부의 주변부는 상기 초음파 변환기의 하단부의 곡면과 대응하는 곡률의 곡면으로 된 초음파 워터폴 방식 검사장치.
  12. 제10항에 있어서, 상기 토출유로의 상단 입구부의 주변부는 지면(地面)에 대해 수평하게 형성된 초음파 워터폴 방식 검사장치.
  13. 제1항에 있어서, 상기 워터폴가이드의 하단부는 외곽에서부터 토출유로의 출구부를 향해 하향 경사진 테이퍼면으로 이루어지며, 상기 테이퍼면에 초음파 변환기의 포커싱 지점을 향해 레이저를 조사하는 복수의 레이저 조사기가 설치되어, 검사 대상체의 표면을 상기 복수의 레이저 조사기에서 조사되는 레이저의 집속 위치에 일치시켜 검사를 수행하는 초음파 워터폴 방식 검사장치.
  14. 제1항에 있어서, 상기 토출유로의 하단부에 워터폴가이드의 이동 방향으로 하향 경사지게 형성된 낙수보정유로가 형성된 초음파 워터폴 방식 검사장치.
  15. 제1항에 있어서, 상기 유입챔버의 내측면에 유입챔버를 좌우로 분할하도록 180도 간격으로 이격되는 2개의 분리판이 상하방향으로 연직하게 설치되고, 상기 분리판에 의해 구획된 유입챔버의 양측 공간에 물 공급장치에서 공급된 물이 한 쪽으로 쏠리는 것을 억제하기 위한 복수의 유동방지판이 상하로 지그재그 형태로 배열된 초음파 워터폴 방식 검사장치.
  16. 제1항에 있어서, 상기 토출유로의 길이는 초음파 변환기의 포커싱 거리보다 작고, 토출유로의 직경 또는 폭은 초음파 변환기의 포커싱 위치에서의 초음파 빔 폭보다는 크며 초음파 변환기의 하단부 직경보다는 작은 초음파 워터폴 방식 검사장치.
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