WO2023048117A1 - Solar cell - Google Patents

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WO2023048117A1
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暢 入江
良太 三島
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株式会社カネカ
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    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy
    • Y02E10/549Organic PV cells

Abstract

A solar cell 1 according to an aspect of the present invention has high production efficiency and receives light on a side opposite to a base material. The solar cell 1 comprises, in the following order, a base material 10, a first electrode layer 21, a first charge transport layer 22, a photoelectric conversion layer 23 including a perovskite compound, a second charge transport layer 24, a buffer layer 25 made of an organic material, a contact layer 26 made of a polycrystal ITO, and a second electrode layer 27 made of an amorphous ITO.

Description

太陽電池solar cell
 本発明は、太陽電池に関する。 The present invention relates to solar cells.
 環境負荷が小さいエネルギー源として、太陽電池の利用が拡大している。様々な機器、車両、建築物等に太陽電池を配設する場合、設置可能面積が限定されるため、太陽電池の光電変換効率が重要となり得る。光電変換効率が高い太陽電池として、有機材料を使用するペロブスカイト太陽電池が研究されている。基本的なペロブスカイト太陽電池は、基材に、第1電極(陽極又は陰極)、第1電荷輸送層(正孔輸送層又は電子輸送層)、光電変換層(ペロブスカイト層)、第2電荷輸送層(電子輸送層又は正孔輸送層)、及び第2電極(陰極又は陽極)がこの順番に積層されてなる。さらに、第1電極と第1電荷輸送層との間に第1バッファ層を設けることや、第2電荷輸送層と第2電極との間に第2バッファ層を設けることによって、光電変換効率を向上し得ることも知られている。 The use of solar cells is expanding as an energy source with a low environmental impact. When arranging solar cells in various devices, vehicles, buildings, etc., the photoelectric conversion efficiency of the solar cells can be important because the installation area is limited. Perovskite solar cells using organic materials have been studied as solar cells with high photoelectric conversion efficiency. A basic perovskite solar cell consists of a substrate, a first electrode (anode or cathode), a first charge transport layer (hole transport layer or electron transport layer), a photoelectric conversion layer (perovskite layer), a second charge transport layer. (electron transport layer or hole transport layer) and a second electrode (cathode or anode) are laminated in this order. Furthermore, by providing a first buffer layer between the first electrode and the first charge transport layer, or providing a second buffer layer between the second charge transport layer and the second electrode, the photoelectric conversion efficiency can be improved. It is also known that it can be improved.
 光電変換層に光が入射できるようにするために、ペロブスカイト太陽電池の第1電極及び第2電極の少なくとも一方は、例えばITO等の金属酸化物から形成され得る透明電極とされる。このような透明電極は、例えばスパッタリング等の物理蒸着法により形成され得るが、有機物を含む層に物理蒸着法により材料を積層すると、有機物がダメージを受けて太陽電池の性能が低下するおそれがある。このため、一般的なペロブスカイト太陽電池は、透明基材の上に第1電極として透明電極を積層してから、光電変換層等の有機物を含み得る層を積層し、最後に第2電極を銀ペースト等により形成したものとされ、基材側から受光するよう構成されることが多い。 In order to allow light to enter the photoelectric conversion layer, at least one of the first and second electrodes of the perovskite solar cell is a transparent electrode that can be made of metal oxide such as ITO. Such a transparent electrode can be formed, for example, by a physical vapor deposition method such as sputtering. However, when a material is laminated on a layer containing an organic substance by a physical vapor deposition method, the organic substance may be damaged and the performance of the solar cell may be deteriorated. . For this reason, in a general perovskite solar cell, a transparent electrode is laminated as a first electrode on a transparent base material, a layer that can contain an organic substance such as a photoelectric conversion layer is laminated, and finally a second electrode is laminated with silver. It is formed of paste or the like, and is often configured to receive light from the substrate side.
 しかしながら、基材と反対側の面から受光するペロブスカイト太陽電池も存在する。例として、特許文献1には、基材として結晶シリコン太陽電池を使用するタンデム型太陽電池が記載されている。タンデム型太陽電池は、ペロブスカイト太陽電池と結晶シリコン太陽電池が光電変換する光の波長が異なることを利用するものであり、先ずペロブスカイト太陽電池により光電変換を行い、ペロブスカイト太陽電池が電力に変換できなかった波長の光を結晶シリコン太陽電池によって光電変換する。この場合、ペロブスカイト太陽電池の第1電極及び第2電極は、いずれも透明電極とする必要がある。 However, there are also perovskite solar cells that receive light from the opposite side of the substrate. By way of example, US Pat. No. 6,300,001 describes a tandem solar cell using a crystalline silicon solar cell as the substrate. The tandem solar cell utilizes the fact that the wavelengths of light photoelectrically converted by the perovskite solar cell and the crystalline silicon solar cell are different. A crystalline silicon solar cell photoelectrically converts the light of the wavelength. In this case, both the first electrode and the second electrode of the perovskite solar cell need to be transparent electrodes.
特開2018-163959号公報JP 2018-163959 A
 ペロブスカイト太陽電池の基材と反対側の第2電極を透明電極とする場合、第2バッファ層として、例えばSnO等の薄膜を、被着層へのダメージが比較的小さい原子層堆積(ALD:Atomic Layer Deposition)により形成することで、光電変換効率の低下を抑制することができる。しかしながら、原子層堆積はプロセス時間が長いため、生産効率を向上することが難しい。 When the second electrode on the opposite side of the substrate of the perovskite solar cell is a transparent electrode, a thin film such as SnO 2 is deposited as the second buffer layer by atomic layer deposition (ALD: Atomic Layer Deposition) can suppress a decrease in photoelectric conversion efficiency. However, since atomic layer deposition takes a long process time, it is difficult to improve production efficiency.
 本発明は、生産効率が高く、基材と反対側で受光する太陽電池を提供することを目的とする。 An object of the present invention is to provide a solar cell that has high production efficiency and receives light on the side opposite to the substrate.
 本発明の一態様に係る太陽電池は、基材と、第1電極層と、第1電荷輸送層と、ペロブスカイト化合物を含む光電変換層と、第2電荷輸送層と、有機材料から形成されるバッファ層と、多結晶ITOから形成されるコンタクト層と、アモルファスITOから形成される第2電極層と、をこの順番に備える。 A solar cell according to an aspect of the present invention includes a substrate, a first electrode layer, a first charge transport layer, a photoelectric conversion layer containing a perovskite compound, a second charge transport layer, and an organic material. A buffer layer, a contact layer made of polycrystalline ITO, and a second electrode layer made of amorphous ITO are provided in this order.
 上述の太陽電池において、前記コンタクト層における酸化錫のドープ量よりも前記第2電極層における酸化錫のドープ量が多くてもよい。 In the solar cell described above, the doping amount of tin oxide in the second electrode layer may be larger than the doping amount of tin oxide in the contact layer.
 上述の太陽電池において、前記第2電荷輸送層は、フラーレンを含んでもよい。 In the solar cell described above, the second charge transport layer may contain fullerene.
 上述の太陽電池において、前記コンタクト層の厚みは、3nm以上20nm以下であり、前記第2電極層の厚みは、10nm以上200nm以下であってもよい。 In the solar cell described above, the contact layer may have a thickness of 3 nm or more and 20 nm or less, and the second electrode layer may have a thickness of 10 nm or more and 200 nm or less.
 上述の太陽電池において、前記基材は、結晶シリコン太陽電池であってもよい。 In the solar cell described above, the substrate may be a crystalline silicon solar cell.
 本発明によれば、生産効率が高く、基材と反対側で受光する太陽電池を提供できる。 According to the present invention, it is possible to provide a solar cell that has high production efficiency and receives light on the side opposite to the substrate.
本発明の一実施形態に係る太陽電池の層構造を示す模式断面図である。1 is a schematic cross-sectional view showing a layer structure of a solar cell according to one embodiment of the present invention; FIG. 本発明の実施例の出力特性を示すグラフである。4 is a graph showing output characteristics of an example of the present invention;
 以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。図1は、本発明の一実施形態に係る太陽電池1の層構造を示す模式断面図である。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing the layer structure of a solar cell 1 according to one embodiment of the invention.
 太陽電池1は、基材10と、基材10の表面に積層されるペロブスカイト太陽電池部20と、基材10の裏面に積層される裏面収集電極31と、ペロブスカイト太陽電池部20の表面に部分的に積層される表面収集電極32と、ペロブスカイト太陽電池部20及び表面収集電極32の表面を覆う反射防止層33と、を備える。太陽電池1は、反射防止層33を通して光が入射し、ペロブスカイト太陽電池部20において光電変換を行う。 The solar cell 1 includes a base material 10, a perovskite solar cell part 20 laminated on the surface of the base material 10, a back surface collection electrode 31 laminated on the back surface of the base material 10, and a part on the surface of the perovskite solar cell part 20. and an antireflection layer 33 covering the surface of the perovskite solar cell section 20 and the surface collector electrode 32 . Light enters the solar cell 1 through the antireflection layer 33 and performs photoelectric conversion in the perovskite solar cell section 20 .
 基材10は、ペロブスカイト太陽電池部20を支持する構造体であり、光電変換機能を備えてもよい。具体的には、基材10は、例えばガラス基板、樹脂シート等であってもよいが、本実施形態の太陽電池1において、基材10は、結晶シリコン太陽電池である。太陽電池1では、反射防止層33を通して入射する光を先ずペロブスカイト太陽電池部20により光電変換し、ペロブスカイト太陽電池部20を透過する波長の光を結晶シリコン太陽電池10により光電変換する。結晶シリコン太陽電池は、十分な強度を有するため、ペロブスカイト太陽電池部20を支持する基材10として機能することができるとともに、ペロブスカイト太陽電池部20を透過した光を電気に変換することで、光電変換効率を向上できる。太陽電池1は、基材10となる結晶シリコン太陽電池にペロブスカイト太陽電池部20が積層されることで、結晶シリコン太陽電池とペロブスカイト太陽電池部20とが直列に接続されたものとなっている。 The base material 10 is a structure that supports the perovskite solar cell part 20, and may have a photoelectric conversion function. Specifically, the substrate 10 may be, for example, a glass substrate, a resin sheet, or the like, but in the solar cell 1 of this embodiment, the substrate 10 is a crystalline silicon solar cell. In the solar cell 1 , light incident through the antireflection layer 33 is first photoelectrically converted by the perovskite solar cell section 20 , and light having a wavelength transmitted through the perovskite solar cell section 20 is photoelectrically converted by the crystalline silicon solar cell 10 . Since the crystalline silicon solar cell has sufficient strength, it can function as the base material 10 that supports the perovskite solar cell portion 20, and converts the light that has passed through the perovskite solar cell portion 20 into electricity. Conversion efficiency can be improved. In the solar cell 1, the crystalline silicon solar cell and the perovskite solar cell portion 20 are connected in series by laminating the perovskite solar cell portion 20 on the crystalline silicon solar cell serving as the substrate 10.
 本実施形態の基材10は、半導体基板11と、半導体基板11の表面側に積層される第1半導体層12と、半導体基板11の裏面側に積層される第2半導体層13とを備える。 The base material 10 of the present embodiment includes a semiconductor substrate 11, a first semiconductor layer 12 laminated on the front surface side of the semiconductor substrate 11, and a second semiconductor layer 13 laminated on the back surface side of the semiconductor substrate 11.
 ペロブスカイト太陽電池部20は、基材10側から、第1電極層21と、第1電荷輸送層22と、光電変換層23と、第2電荷輸送層24と、バッファ層25と、コンタクト層26と、第2電極層27と、をこの順番に備える。 The perovskite solar cell section 20 includes, from the substrate 10 side, a first electrode layer 21, a first charge transport layer 22, a photoelectric conversion layer 23, a second charge transport layer 24, a buffer layer 25, and a contact layer 26. , and the second electrode layer 27 are provided in this order.
 第1電極層21は、ペロブスカイト太陽電池部20の一方の電極であり、本実施形態では正極である。第1電極層21は、導電性及び光透過性を有する透明導電性酸化物(TCO:Transparent Conductive Oxide)、半導体薄層等により形成され得る。第1電極層21を形成する透明導電性酸化物としては、例えば、酸化インジウム、酸化スズ、酸化亜鉛、酸化チタン及びそれらの複合酸化物等を用いることができる。これらの中でも、酸化インジウムを主成分とするインジウム系複合酸化物が好ましい。高い導電率と透明性の観点からは、インジウム酸化物が特に好ましい。さらに、信頼性又はより高い導電率を確保するために、インジウム酸化物にドーパントを添加することが好ましい。ドーパントとしては、例えば、Sn、W、Zn、Ti、Ce、Zr、Mo、Al、Ga、Ge、As、Si、S等が挙げられる。例えば、インジウム酸化物にスズが添加されたITO(Indium Tin Oxide)が広く知られている。 The first electrode layer 21 is one electrode of the perovskite solar cell section 20, and is a positive electrode in this embodiment. The first electrode layer 21 can be formed of a transparent conductive oxide (TCO) having electrical conductivity and optical transparency, a thin semiconductor layer, or the like. As the transparent conductive oxide forming the first electrode layer 21, for example, indium oxide, tin oxide, zinc oxide, titanium oxide, composite oxides thereof, and the like can be used. Among these, an indium-based composite oxide containing indium oxide as a main component is preferable. Indium oxide is particularly preferred from the viewpoint of high electrical conductivity and transparency. Additionally, it is preferable to add dopants to the indium oxide to ensure reliability or higher conductivity. Examples of dopants include Sn, W, Zn, Ti, Ce, Zr, Mo, Al, Ga, Ge, As, Si, S and the like. For example, ITO (Indium Tin Oxide), in which tin is added to indium oxide, is widely known.
 第1電極層21は、例えばスパッタリング法、真空蒸着法などの方法で基材10上に積層され得る。第1電極層の厚みとしては、ペロブスカイト太陽電池部20から基材10に面で電力を出力する場合(厚み方向に電流が流れる場合)には例えば1nm以上200nm以下とすることができる。 The first electrode layer 21 can be laminated on the substrate 10 by a method such as sputtering or vacuum deposition. The thickness of the first electrode layer can be, for example, 1 nm or more and 200 nm or less when electric power is output from the perovskite solar cell section 20 to the base material 10 (when current flows in the thickness direction).
 第1電荷輸送層22は、光電変換層23で発生する第1の極性の電荷を通過させる層であり、本実施形態では正孔を第1電極層21に伝達する正孔輸送層(HTL)である。正孔輸送層である第1電荷輸送層22の主材料としては、例えば酸化ニッケル(NiO)、酸化銅(CuO)等の金属酸化物、例えばPTAA(Poly(bis(4-phenyl)(2,4,6-trimethylphenyl)amine))、Spiro-MeOTAD等の有機物が挙げられる。また、第1電荷輸送層22は、例えば2PACz([2-(9H-Carbazol-9-yl)ethyl]phosphonic Acid)、MeO-2PACz([2-(3,6-Dimethoxy-9H-carbazol-9-yl)ethyl]phosphonic Acid)、Me-4PACz([4-(3,6-Dimethyl-9H-carbazol-9-yl)butyl]phosphonic Acid)等により形成される自己組織化単分子膜(SAM:Self-Assembled Monolayers)であってもよい。また、第1電荷輸送層22は、多層構造を有してもよい。 The first charge transport layer 22 is a layer that allows passage of charges of the first polarity generated in the photoelectric conversion layer 23, and in this embodiment, a hole transport layer (HTL) that transmits holes to the first electrode layer 21. is. As the main material of the first charge transport layer 22 which is a hole transport layer, metal oxides such as nickel oxide (NiO) and copper oxide (Cu 2 O), for example, PTAA (Poly(bis(4-phenyl)( 2,4,6-trimethylphenyl)amine)) and Spiro-MeOTAD. Further, the first charge transport layer 22 includes, for example, 2PACz ([2-(9H-Carbazol-9-yl)ethyl]phosphonic Acid), MeO-2PACz ([2-(3,6-Dimethoxy-9H-carbazol-9 SAM: Self-Assembled Monolayers). Also, the first charge transport layer 22 may have a multilayer structure.
 第1電荷輸送層22は、例えばスパッタリング法、真空蒸着法などの方法により形成され得る。また、有機物を含む第1電荷輸送層22は、例えば有機物の溶液の塗工及び乾燥等の方法により形成され得る。第1電荷輸送層22の厚みは、その材料、隣接する層の構成等により大きく異なり得るが、例えば1nm以上200nm以下とすることができ、特に自己組織化単分子膜である場合には材料分子の厚みとされ得る。 The first charge transport layer 22 can be formed by a method such as sputtering or vacuum deposition. Also, the first charge transport layer 22 containing an organic substance can be formed by a method such as applying a solution of an organic substance and drying it. The thickness of the first charge transport layer 22 may vary greatly depending on the material, the structure of adjacent layers, etc., but can be, for example, 1 nm or more and 200 nm or less. thickness.
 光電変換層23は、ペロブスカイト化合物を含む。ペロブスカイト化合物としては、1価の有機アンモニウムイオン及びアミジニウム系イオンのうちの少なくとも1種を含む有機原子A、2価の金属イオンを生成する金属原子B、及びヨウ化物イオンI、臭化物イオンBr、塩化物イオンCl、及びフッ化物イオンFのうちの少なくとも1種を含むハロゲン原子Xを含み、ABXで表される化合物を用いることができる。中でも、光電変換層23を蒸着法(ドライプロセス)により形成する場合、有機原子AとしてはメチルアンモニウムMA(CHNH)が好ましく、金属原子Bとしては鉛Pbが好ましく、ハロゲン原子Xとしてはヨウ化物I、臭化物イオンBr及び塩化物イオンClのうちの少なくとも1つが好ましい。 Photoelectric conversion layer 23 contains a perovskite compound. As the perovskite compound, an organic atom A containing at least one of monovalent organic ammonium ions and amidinium ions, a metal atom B that generates a divalent metal ion, an iodide ion I, a bromide ion Br, and a chloride A compound represented by ABX 3 containing a halogen atom X containing at least one of a compound ion Cl and a fluoride ion F can be used. Among them, when the photoelectric conversion layer 23 is formed by a vapor deposition method (dry process), the organic atom A is preferably methylammonium MA(CH 3 NH 3 ), the metal atom B is preferably lead Pb, and the halogen atom X is preferably At least one of iodide I, bromide ion Br and chloride ion Cl is preferred.
 具体的に、好ましいペロブスカイト化合物としては、メチルアンモニウムハロゲン化鉛MAPbX(CHNHPbX)、MAPbI、MAPbBr、MAPbCl等が挙げられる。なお、ハロゲン原子Xとしては複数種類を含んでもよい。ヨウ化物Iと他のハロゲン原子Xとを含むペロブスカイト化合物としては、例えばメチルアンモニウムヨウ化鉛MAPbI(3-y)(CHNHPbI(3-y))、MAPbIBr(3-y)、MAPbICl(3-y)等が挙げられる(yは任意の正の整数)。 Specifically, preferred perovskite compounds include methylammonium lead halide MAPbX 3 (CH 3 NH 3 PbX 3 ), MAPbI 3 , MAPbBr 3 and MAPbCl 3 . In addition, as the halogen atom X, multiple types may be included. Examples of perovskite compounds containing iodide I and other halogen atoms X include methylammonium lead iodide MAPbI y X (3-y) (CH 3 NH 3 PbI y X (3-y) ), MAPbI y Br ( 3-y) , MAPbI y Cl (3-y) , etc. (y is any positive integer).
 ペロブスカイト化合物がメチルアンモニウムハロゲン化鉛(MAPbX(CHNHPbX))である場合、光電変換層23は、ハロゲン化鉛(PbX)材料及びハロゲン化メチルアンモニウム(MAX)材料を順に製膜し、これらの材料の薄膜を反応温度で反応させることにより形成され得る。例えば、ペロブスカイト化合物がメチルアンモニウムヨウ化鉛(MAPbI(3-y)(CHNHPbI(3-y)))である場合、光電変換層23は、例えばハロゲン化鉛(PbX2)材料及びヨウ化メチルアンモニウム(MAI)材料を順に製膜し、これらの材料の薄膜を反応温度で反応させることにより形成される。また、光電変換層23は、例えば液相の塗膜内でペロブスカイト化合物を合成するゾルゲル法、予め合成されたペロブスカイト化合物を含む溶液を塗布する塗布法等の方法によっても形成され得る。 When the perovskite compound is methylammonium lead halide (MAPbX 3 (CH 3 NH 3 PbX 3 )), the photoelectric conversion layer 23 is made of lead halide (PbX 2 ) material and methylammonium halide (MAX) material in order. can be formed by coating and reacting thin films of these materials at reaction temperatures. For example, when the perovskite compound is methylammonium lead iodide (MAPbI y X (3-y) (CH 3 NH 3 PbI y X (3-y) )), the photoelectric conversion layer 23 is, for example, a lead halide (PbX2 ) material and a methylammonium iodide (MAI) material, and reacting thin films of these materials at the reaction temperature. The photoelectric conversion layer 23 can also be formed by a method such as a sol-gel method for synthesizing a perovskite compound in a liquid-phase coating film, or a coating method for applying a solution containing a pre-synthesized perovskite compound.
 光電変換層23の厚みとしては、形成材料等にもよるが、光の吸収率を大きくしつつ、生成する電荷の移動距離を小さくするために、100nm以上1000nm以下とすることが好ましい。 The thickness of the photoelectric conversion layer 23 is preferably 100 nm or more and 1000 nm or less in order to increase the light absorptivity and reduce the travel distance of the generated charges, although it depends on the forming material.
 第2電荷輸送層24は、光電変換層23で発生する第2の極性の電荷を通過させる層であり、本実施形態では電子をバッファ層25及びコンタクト層26を通して第2電極層27に伝達する電子輸送層(ETL)である。電子輸送層である第2電荷輸送層24の主材料としては、例えば、フラーレン等が挙げられる。フラーレンとしては、例えばC60、C70、これらの水素化物、酸化物、金属錯体、アルキル基等を付加した誘導体、例えば、PCBM([6,6]-Phenyl-C61-Butyric Acid Methyl Ester)などが挙げられる。第2電荷輸送層24をリチウムLiを内包させたフラーレンを含む材料から形成することにより、電子の輸送効率を向上することができる。 The second charge transport layer 24 is a layer that allows passage of charges of the second polarity generated in the photoelectric conversion layer 23. In this embodiment, the second charge transport layer 24 transfers electrons to the second electrode layer 27 through the buffer layer 25 and the contact layer 26. An electron transport layer (ETL). Examples of the main material of the second charge transport layer 24, which is an electron transport layer, include fullerene. Examples of fullerenes include C60, C70, their hydrides, oxides, metal complexes, alkyl group-added derivatives such as PCBM ([6,6]-Phenyl-C61-Butyric Acid Methyl Ester). be done. By forming the second charge transport layer 24 from a material containing fullerene in which lithium Li is included, the electron transport efficiency can be improved.
 第2電荷輸送層24は、例えばゾルゲル法、塗布法等の方法により形成され得る。第2電荷輸送層24の厚みとしては、例えば3nm以上30nm以下とされ得る。 The second charge transport layer 24 can be formed, for example, by a sol-gel method, a coating method, or the like. The thickness of the second charge transport layer 24 may be, for example, 3 nm or more and 30 nm or less.
 バッファ層25は、第1の極性の電荷の通過を阻止、本実施形態では正孔をブロックすることにより、第1の電荷と第2の電荷の再結合を防止する。また、バッファ層25は、コンタクト層26及び第2電極層27の金属が第2電荷輸送層24に拡散することひいてはそれによる電荷の再結合を防止する。さらに、バッファ層25は、コンタクト層26及び第2電極層27をスパッタリング等で形成する際に第2電荷輸送層24にダメージを及ぼさないための緩衝層としても機能する。 The buffer layer 25 prevents recombination of the first charge and the second charge by blocking passage of charges of the first polarity, and blocking holes in this embodiment. In addition, the buffer layer 25 prevents the metals of the contact layer 26 and the second electrode layer 27 from diffusing into the second charge transport layer 24 and thus from recombination of charges. Further, the buffer layer 25 also functions as a buffer layer for preventing damage to the second charge transport layer 24 when the contact layer 26 and the second electrode layer 27 are formed by sputtering or the like.
 バッファ層25は、第1の極性の電荷をブロックする有機材料から、例えばHOMO(価電子帯)が第2電荷輸送層24のHOMOよりエネルギー準位が低いことにより正孔ブロック機能を有する有機材料から形成され得る。また、バッファ層25の形成材料として、HOMO-LUMO(バンド)ギャップが広く絶縁性の高い材料を用いることで良好な特性が得られる傾向がある。バッファ層25を形成する具体的な有機材料としては、例えばバソクプロイン(2,9-Dimethyl-4,7-diphenyl-1,10-phenanthroline)、Bphen(4,7-Diphenyl-1,10-phenanthroline)、TPBi(1,3,5-Tris(1-phenyl-1Hbenzimidazol-2-yl)benzene)、TMPyPB(1,3,5-Tris(3-pyridyl-3-phenyl)benzene)、FPI(フッ化ポリイミド)等が挙げられる。特に、バソクプロインから形成されるバッファ層25をフラーレンを含む第2電荷輸送層24に積層することにより、光電変換層23から第2電極層27に電子を取り出す効率を向上する効果が顕著となる。 The buffer layer 25 is made of an organic material that blocks charges of the first polarity, for example, an organic material that has a hole blocking function due to its HOMO (valence band) having a lower energy level than the HOMO of the second charge transport layer 24 . can be formed from In addition, good characteristics tend to be obtained by using a material having a wide HOMO-LUMO (band) gap and high insulating properties as a material for forming the buffer layer 25 . Specific organic materials for forming the buffer layer 25 include, for example, bathocuproine (2,9-Dimethyl-4,7-diphenyl-1,10-phenanthroline) and Bphen (4,7-Diphenyl-1,10-phenanthroline). , TPBi (1,3,5-Tris(1-phenyl-1Hbenzimidazol-2-yl)benzene), TMPyPB (1,3,5-Tris(3-pyridyl-3-phenyl)benzene), FPI (fluorinated polyimide ) and the like. In particular, by laminating the buffer layer 25 made of bathocuproine on the second charge transport layer 24 containing fullerene, the effect of improving the efficiency of extracting electrons from the photoelectric conversion layer 23 to the second electrode layer 27 becomes remarkable.
 バッファ層25は、真空蒸着法などの方法により形成され得る。バッファ層25の厚みとしては、例えば3nm以上30nm以下、好ましくは10nm以下とされ得る。バッファ層25の厚みを前記下限以上とすることにより、バッファ層25のピンホールを防止できる。また、バッファ層25の厚みを前記上限以下とすることによって、キャリアの伝達効率を向上できる。 The buffer layer 25 can be formed by a method such as vacuum deposition. The thickness of the buffer layer 25 can be, for example, 3 nm or more and 30 nm or less, preferably 10 nm or less. By making the thickness of the buffer layer 25 equal to or greater than the lower limit, pinholes in the buffer layer 25 can be prevented. Further, by setting the thickness of the buffer layer 25 to be equal to or less than the upper limit, the carrier transmission efficiency can be improved.
 コンタクト層26は、バッファ層25と第2電極層27との密着性を改善するために設けられる。コンタクト層26は、多結晶ITOから形成される。多結晶ITOは、In-planeのXRD測定において、30~31°の間に、アモルファスITOでは生じないシングルピークが生じる。このような多結晶ITOは、バソクプロインから形成されるバッファ層25に対しても十分な密着力を発揮できる。 The contact layer 26 is provided to improve adhesion between the buffer layer 25 and the second electrode layer 27 . Contact layer 26 is formed from polycrystalline ITO. Polycrystalline ITO produces a single peak between 30 and 31° in the in-plane XRD measurement, which does not occur with amorphous ITO. Such polycrystalline ITO can exhibit sufficient adhesion to the buffer layer 25 made of bathocuproine.
 コンタクト層26は、スパッタリング法により形成することができる。つまり、スパッタリングの条件により、ITOを多結晶とするか、アモルファスとするかを制御することができる。具体的には、プロセスチャンバーの背圧を低く設定することで、ITOを多結晶化することができる。また、ITOへの酸化錫のドープ量が少ない程、ITOが結晶化しやすい。コンタクト層26の酸化錫のドープ量としては、例えば2質量%以上4質量%以下とされ得る。また、スパッタリング装置の出力を大きくすることで、ITOの結晶化を促進することができる。ただし、スパッタリング装置の出力を大きくし過ぎると第2電荷輸送層24等の有機物を含む層にダメージを与えるおそれがある。さらに、スパッタリング時の酸素流量をITOのシート抵抗が最も低くなる酸素量(ボトム酸素量)より少なくすることで、ITOの結晶化を促進することができる。また、コンタクト層26を複数回に分けて成膜すると、ITOの結晶化が阻害されるため、コンタクト層26は一度に成膜することが好ましい。 The contact layer 26 can be formed by a sputtering method. In other words, it is possible to control whether the ITO is polycrystalline or amorphous depending on the sputtering conditions. Specifically, ITO can be polycrystallized by setting the back pressure of the process chamber to be low. Also, the smaller the amount of tin oxide doped into ITO, the easier it is to crystallize ITO. The doping amount of tin oxide in the contact layer 26 can be, for example, 2% by mass or more and 4% by mass or less. In addition, crystallization of ITO can be promoted by increasing the output of the sputtering apparatus. However, if the output of the sputtering device is increased too much, there is a risk of damaging the layers containing organic matter such as the second charge transport layer 24 . Furthermore, the crystallization of ITO can be promoted by setting the flow rate of oxygen during sputtering to be less than the amount of oxygen (bottom oxygen amount) at which the sheet resistance of ITO becomes the lowest. In addition, if the contact layer 26 is formed in a plurality of steps, the crystallization of ITO is inhibited. Therefore, it is preferable to form the contact layer 26 at one time.
 コンタクト層26の厚みの下限としては、3nmが好ましく、5nmがより好ましい。一方、コンタクト層26の厚みの上限としては、25nmが好ましく、20nmがより好ましい。コンタクト層26の厚みを前記下限以上とすることによって、バッファ層25の全面を覆って第2電極層27との密着力を確実に向上できる。また、コンタクト層26の厚みを前記上限以下とすることによって、コンタクト層26の電気抵抗に起因するペロブスカイト太陽電池部20の出力低下を抑制できる。 The lower limit of the thickness of the contact layer 26 is preferably 3 nm, more preferably 5 nm. On the other hand, the upper limit of the thickness of the contact layer 26 is preferably 25 nm, more preferably 20 nm. By setting the thickness of the contact layer 26 to be equal to or greater than the lower limit, the entire surface of the buffer layer 25 can be covered and the adhesion to the second electrode layer 27 can be reliably improved. Further, by setting the thickness of the contact layer 26 to be equal to or less than the upper limit, it is possible to suppress the reduction in the output of the perovskite solar cell section 20 due to the electrical resistance of the contact layer 26 .
 第2電極層27は、ペロブスカイト太陽電池部20の第1電極層21と対をなす電極であり、本実施形態では負極である。第2電極層27は反射防止層33を通して入射する光を透過する透明電極であり、アモルファスITOから形成される。 The second electrode layer 27 is an electrode paired with the first electrode layer 21 of the perovskite solar cell section 20, and is a negative electrode in this embodiment. The second electrode layer 27 is a transparent electrode that transmits incident light through the antireflection layer 33, and is made of amorphous ITO.
 第2電極層27は、スパッタリング法により形成することができる。より詳しくは、第2電極層27は、コンタクト層26を形成するスパッタリングと同じスパッタリング装置を用い、例えばプロセスチャンバーの背圧、酸化錫のドープ量、スパッタリング装置の出力、酸素流量等の条件を異ならせることによって形成できる。第2電極層27の形成時とコンタクト層26形成時とでは複数の条件を異ならせ得るが、特に第2電極層27における酸化錫のドープ量をコンタクト層26における酸化錫のドープ量よりも多くすることによって、コンタクト層26を形成するITOを多結晶化し、第2電極層27を形成するITOをアモルファス化することが容易となる。 The second electrode layer 27 can be formed by a sputtering method. More specifically, the second electrode layer 27 is formed by using the same sputtering apparatus as the sputtering for forming the contact layer 26, and the conditions such as the back pressure of the process chamber, the doping amount of tin oxide, the output of the sputtering apparatus, and the oxygen flow rate are different. can be formed by A plurality of conditions may be different between the formation of the second electrode layer 27 and the formation of the contact layer 26 . By doing so, it becomes easy to polycrystallize the ITO forming the contact layer 26 and to make the ITO forming the second electrode layer 27 amorphous.
 第2電極層27の厚みの下限としては、10nmが好ましく、20nmがより好ましい。一方、第2電極層27の厚みの上限としては、200nmが好ましく、100nmがより好ましい。第2電極層27の厚みを前記下限以上とすることによって、表面収集電極32までの電気抵抗(ペロブスカイト太陽電池部20の内部抵抗)を十分に小さくできる。また、第2電極層27の厚みを前記上限以下とすることによって、第2電極層27の光透過率を大きくして太陽電池1全体としての光電変換効率を向上できる。 The lower limit of the thickness of the second electrode layer 27 is preferably 10 nm, more preferably 20 nm. On the other hand, the upper limit of the thickness of the second electrode layer 27 is preferably 200 nm, more preferably 100 nm. By making the thickness of the second electrode layer 27 equal to or greater than the lower limit, the electrical resistance up to the surface collector electrode 32 (the internal resistance of the perovskite solar cell section 20) can be made sufficiently small. Moreover, by making the thickness of the second electrode layer 27 equal to or less than the upper limit, the light transmittance of the second electrode layer 27 can be increased, and the photoelectric conversion efficiency of the solar cell 1 as a whole can be improved.
 裏面収集電極31及び表面収集電極32は、結晶シリコン太陽電池とペロブスカイト太陽電池の積層体から電力を取り出して外部に出力するための電極対である。裏面収集電極31は、全面に積層されてもよいが、表面収集電極32は、ペロブスカイト太陽電池部20への光の入射を可能にするため、間隔を空けて配置される複数の線状の部分、いわゆるフィンガー電極を有するものとされる。 The back collector electrode 31 and the front collector electrode 32 are electrode pairs for extracting electric power from the laminate of the crystalline silicon solar cell and the perovskite solar cell and outputting it to the outside. The back collector electrode 31 may be laminated over the entire surface, while the front collector electrode 32 is composed of a plurality of linear portions arranged at intervals to allow light to enter the perovskite solar cell portion 20 . , so-called finger electrodes.
 裏面収集電極31及び表面収集電極32は導電性を有する材料により形成される。裏面収集電極31及び表面収集電極32の形成方法としては、例えばスパッタリング、めっき等の公知の方法を用いることができるが、表面収集電極32については、ペロブスカイト太陽電池部20にダメージを与えず、所望のパターン状に形成できる方法として、例えば銀ペースト等の導電性ペーストの印刷及び焼成により形成することが好ましい。裏面収集電極31及び表面収集電極32の厚みとしては、例えば100nm以上300nm以下とすることができる。 The back collector electrode 31 and the front collector electrode 32 are made of a conductive material. As a method for forming the back surface collection electrode 31 and the front surface collection electrode 32, for example, a known method such as sputtering or plating can be used. As a method for forming the pattern, it is preferable to form by printing and baking a conductive paste such as a silver paste. The thickness of the back collector electrode 31 and the front collector electrode 32 can be, for example, 100 nm or more and 300 nm or less.
 反射防止層33は、太陽電池1の受光面における光の反射を低減する。反射防止層33は、例えば、フッ化マグネシウム(MgF)、酸化ケイ素(SiO)、酸化アルミニウム(Al)、フッ化セリウム(CeF)などの低屈折率材料から形成することができる。また、反射防止層33は、低屈折率材料と高屈折率材料とを交互に積層した多層膜であってもよい。反射防止層33の厚みとしては、例えば50nm以上200nm以下とされ得る。 Antireflection layer 33 reduces reflection of light on the light receiving surface of solar cell 1 . The antireflection layer 33 can be made of a low refractive index material such as magnesium fluoride (MgF 2 ), silicon oxide (SiO 2 ), aluminum oxide (Al 2 O 3 ), cerium fluoride (CeF 2 ), or the like. can. Also, the antireflection layer 33 may be a multilayer film in which a low refractive index material and a high refractive index material are alternately laminated. The thickness of the antireflection layer 33 can be, for example, 50 nm or more and 200 nm or less.
 以上の構成を備える太陽電池1では、ペロブスカイト太陽電池部20の基材10と反対側に透明なアモルファスITOから形成される第2電極層27を備え、第2電極層27側で受光して光電変換を行うことができる。また、太陽電池1は、バソクプロインから形成されるバッファ層25とアモルファスITOから形成される第2電極層27との間に、バッファ層25及び第2電極層27の両方に対して比較的高い密着力を発揮し得る多結晶ITOから形成されるコンタクト層26が介設されているので、第2電極層27の剥離を防止できる。また、バソクプロインから形成されるバッファ層25、多結晶ITOから形成されるコンタクト層26及びアモルファスITOから形成される第2電極層27は、一般的な成膜装置により、形成することができるため、太陽電池1は生産効率が高い。 In the solar cell 1 having the above configuration, the second electrode layer 27 formed of transparent amorphous ITO is provided on the side of the perovskite solar cell portion 20 opposite to the substrate 10, and the second electrode layer 27 side receives light to generate photoelectric conversion. Transformation can be done. Also, in the solar cell 1, between the buffer layer 25 made of bathocuproine and the second electrode layer 27 made of amorphous ITO, relatively high adhesion to both the buffer layer 25 and the second electrode layer 27 is achieved. Since the contact layer 26 made of polycrystalline ITO that can exert force is interposed, the peeling of the second electrode layer 27 can be prevented. Further, the buffer layer 25 made of bathocuproine, the contact layer 26 made of polycrystalline ITO, and the second electrode layer 27 made of amorphous ITO can be formed by a general film forming apparatus. The solar cell 1 has high production efficiency.
 以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述した実施形態に限定されることなく、種々の変更及び変形が可能である。例として、本発明に係る太陽電池は、電荷又は材料の好ましくない層間の移動を防止する層(例えば第1電極層と第1電荷輸送層との間に設けられ得るバッファ層、基材と第1電極層との間に設けられ得る中間層)、特定の層にドーパントを提供するための層(例えばフラーレンを含む電子輸送層にフッ化リチウムを提供するために設けられ得るフッ化リチウム薄層)等をさらに有してもよい。 Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various changes and modifications are possible. By way of example, solar cells according to the invention may include layers that prevent undesired inter-layer migration of charges or materials (e.g. a buffer layer that may be provided between the first electrode layer and the first charge transport layer, a substrate and a second layer). an intermediate layer that may be provided between one electrode layer), a layer for providing a dopant to a particular layer (e.g. a thin lithium fluoride layer that may be provided for providing lithium fluoride to an electron-transporting layer comprising fullerenes). ) and the like.
 以下、実施例に基づいて本発明を具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。 The present invention will be specifically described below based on examples, but the present invention is not limited to the following examples.
(実施例1)
 ガラス基材上に、ITOから形成される第1電極層、2PACz含む自己組織化単分子膜からなる第1電荷輸送層、ペロブスカイト化合物を含む光電変換層、フラーレンを含む第2電荷輸送層、バソクプロインから形成されるバッファ層、多結晶ITOから形成されるコンタクト層、アモルファスITOから形成される第2電極層、及び銀ペーストの焼成体から形成される表面収集電極をこの順番に積層することにより、太陽電池の実施例1を試作した。
(Example 1)
A first electrode layer made of ITO, a first charge transport layer made of a self-assembled monolayer containing 2PACz, a photoelectric conversion layer containing a perovskite compound, a second charge transport layer containing fullerene, and bathocuproine on a glass substrate. A buffer layer made of polycrystalline ITO, a contact layer made of polycrystalline ITO, a second electrode layer made of amorphous ITO, and a surface collection electrode made of a sintered silver paste are laminated in this order, Example 1 of a solar cell was produced as a trial.
(比較例1)
 ガラス基材上に、ITOから形成される第1電極層、2PACz含む自己組織化単分子膜からなる第1電荷輸送層、ペロブスカイト化合物を含む光電変換層、フラーレンを含む第2電荷輸送層、原子層堆積した酸化錫から形成されるバッファ層、アモルファスITOから形成される第2電極層、及び銀ペーストの焼成体から形成される表面収集電極をこの順番に積層することにより、太陽電池の比較例1を試作した。
(Comparative example 1)
A first electrode layer made of ITO, a first charge transport layer made of a self-assembled monolayer containing 2PACz, a photoelectric conversion layer containing a perovskite compound, a second charge transport layer containing fullerene, and atoms on a glass substrate A comparative example of a solar cell was obtained by laminating in this order a buffer layer formed of layer-deposited tin oxide, a second electrode layer formed of amorphous ITO, and a surface collection electrode formed of a sintered body of silver paste. 1 was prototyped.
(比較例2)
 ガラス基材上に、ITOから形成される第1電極層、2PACz含む自己組織化単分子膜からなる第1電荷輸送層、ペロブスカイト化合物を含む光電変換層、フラーレンを含む第2電荷輸送層、バソクプロインから形成されるバッファ層、アモルファスITOから形成される第2電極層、及び銀ペーストの焼成体から形成される表面収集電極をこの順番に積層することにより、太陽電池の比較例2を試作した。
(Comparative example 2)
A first electrode layer made of ITO, a first charge transport layer made of a self-assembled monolayer containing 2PACz, a photoelectric conversion layer containing a perovskite compound, a second charge transport layer containing fullerene, and bathocuproine on a glass substrate. Comparative Example 2 of a solar cell was fabricated by laminating in this order a buffer layer formed of , a second electrode layer formed of amorphous ITO, and a surface collection electrode formed of a sintered body of silver paste.
 太陽電池の実施例1、比較例2及び比較例3について、表面収集電極側から光を照射して、第1電極層と表面収集電極との間の出力特性を測定した。この結果を図2に示す。図示するように、バッファ層と第2電極層との間に多結晶ITOからなるコンタクト層を形成した実施例1は、第2電極層の積層時にバソクプロインから形成されるバッファ層にダメージがあったと考えられる比較例2よりも高い光電変換効率が得られただけでなく、原子層堆積により形成したバッファ層を有する比較例1と比較しても最大効率において9.3%高い光電変換効率が得られた。 For Example 1, Comparative Example 2, and Comparative Example 3 of the solar cell, light was irradiated from the surface collecting electrode side, and the output characteristics between the first electrode layer and the surface collecting electrode were measured. This result is shown in FIG. As shown in the figure, in Example 1 in which a contact layer made of polycrystalline ITO was formed between the buffer layer and the second electrode layer, the buffer layer formed from bathocuproine was damaged during lamination of the second electrode layer. Not only was a photoelectric conversion efficiency higher than that of Comparative Example 2 conceivable, but even compared to Comparative Example 1 having a buffer layer formed by atomic layer deposition, a photoelectric conversion efficiency higher than the maximum efficiency by 9.3% was obtained. was taken.
 1 太陽電池
 10 基材
 11 半導体基板
 12 第1半導体層
 13 第2半導体層
 20 ペロブスカイト太陽電池部
 21 第1電極層
 22 第1電荷輸送層
 23 光電変換層
 24 第2電荷輸送層
 25 バッファ層
 26 コンタクト層
 27 第2電極層
 31 裏面収集電極
 32 表面収集電極
 33 反射防止層
Reference Signs List 1 solar cell 10 substrate 11 semiconductor substrate 12 first semiconductor layer 13 second semiconductor layer 20 perovskite solar cell portion 21 first electrode layer 22 first charge transport layer 23 photoelectric conversion layer 24 second charge transport layer 25 buffer layer 26 contact Layer 27 Second electrode layer 31 Back collector electrode 32 Front collector electrode 33 Antireflection layer

Claims (5)

  1.  基材と、第1電極層と、第1電荷輸送層と、ペロブスカイト化合物を含む光電変換層と、第2電荷輸送層と、有機材料から形成されるバッファ層と、多結晶ITOから形成されるコンタクト層と、アモルファスITOから形成される第2電極層と、をこの順番に備える、太陽電池。 A substrate, a first electrode layer, a first charge transport layer, a photoelectric conversion layer containing a perovskite compound, a second charge transport layer, a buffer layer made of an organic material, and a polycrystalline ITO. A solar cell comprising, in that order, a contact layer and a second electrode layer formed of amorphous ITO.
  2.  前記コンタクト層における酸化錫のドープ量よりも前記第2電極層における酸化錫のドープ量が多い、請求項1に記載の太陽電池。 2. The solar cell according to claim 1, wherein the doping amount of tin oxide in the second electrode layer is larger than the doping amount of tin oxide in the contact layer.
  3.  前記第2電荷輸送層は、フラーレンを含む、請求項1又は2に記載の太陽電池。 The solar cell according to claim 1 or 2, wherein the second charge transport layer contains fullerene.
  4.  前記コンタクト層の厚みは、3nm以上25nm以下であり、
     前記第2電極層の厚みは、10nm以上200nm以下である、請求項1から3のいずれかに記載の太陽電池。
    The contact layer has a thickness of 3 nm or more and 25 nm or less,
    The solar cell according to any one of claims 1 to 3, wherein the second electrode layer has a thickness of 10 nm or more and 200 nm or less.
  5.  前記基材は、結晶シリコン太陽電池である、請求項1から4のいずれかに記載に太陽電池。 The solar cell according to any one of claims 1 to 4, wherein the substrate is a crystalline silicon solar cell.
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