WO2023047536A1 - 光モジュール及び光モジュールの製造方法 - Google Patents

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WO2023047536A1
WO2023047536A1 PCT/JP2021/035096 JP2021035096W WO2023047536A1 WO 2023047536 A1 WO2023047536 A1 WO 2023047536A1 JP 2021035096 W JP2021035096 W JP 2021035096W WO 2023047536 A1 WO2023047536 A1 WO 2023047536A1
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optical
lens
substrate
optical axis
optical module
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PCT/JP2021/035096
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太郎 金子
林太郎 野村
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日本電気株式会社
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/26Optical coupling means
    • G02B6/32Optical coupling means having lens focusing means positioned between opposed fibre ends
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements

Definitions

  • the present invention relates to an optical module and an optical module manufacturing method. More particularly, the present invention relates to an optical module comprising a lens and an optical waveguide and a method for manufacturing the optical module.
  • An optical waveguide formed on an optical substrate is incorporated into an optical module and used as an optical modulator or optical amplifier.
  • optical modulator or optical amplifier an optical modulator or optical amplifier.
  • FIG. 6 is a plan view schematically showing the internal configuration of a general optical module 900.
  • the optical module 900 comprises an optical substrate 920 and a lens 910 .
  • Optical substrate 920 and lens 910 are mounted in storage area 931 inside package 930 .
  • the optical substrate 920 is a rectangular substrate having short sides 922 and long sides 923, and includes an optical waveguide 925 inside.
  • the optical waveguide 925 is formed inclined with respect to the long side 923 of the optical substrate 920 in order to suppress reflected return light from the end face on the short side 922 of the optical substrate 920 .
  • the optical substrate 920 has a plurality of electrodes 940 formed on the long sides of the optical substrate 920 to drive the optical waveguides 925 .
  • a plurality of electrodes 940 and a plurality of electrodes 941 provided in the storage area 931 are connected by a plurality of wirings 942 .
  • Lens 910 is positioned such that optical axis 911 is parallel to long side 932 of storage area 931, which is shown as a rectangle in FIG.
  • Light emitted from optical waveguide 925 couples into lens 910 and travels in the direction of optical axis 911 parallel to long side 932 of storage area 931 .
  • Patent Document 1 and Patent Document 2 are known as reference technologies for the present invention.
  • the optical waveguide 925 is not perpendicular to the short side 922 of the optical substrate 920, so the optical axis of the light output from the optical waveguide 925 is in a direction that is not perpendicular to the short side 922 due to refraction.
  • the lens 910 In order to combine the light having the optical axis in the direction not perpendicular to the short side 922 with the lens 910, as shown in FIG. should be placed at an angle. With such an arrangement, the light output from the optical waveguide 925 can be coupled with the lens 910 with low loss.
  • the optical substrate 920 is tilted with respect to the long side 932 of the storage area 931 in this way, the optical substrate 920 is arranged in the area indicated by the dashed line in FIG. As a result, the width of the storage area 931 (the length in the direction perpendicular to the long side 932 in FIG. 6) increases, making it difficult to reduce the size of the optical module 900 .
  • An object of the present invention is to provide a technique for miniaturizing an optical module having an optical waveguide.
  • the optical module of the present invention is a lens having a first optical axis; an optical substrate having a rectangular outline including a first side and a second side that are perpendicular to each other; an optical waveguide formed on the optical substrate and optically coupled to a second optical axis forming a predetermined angle with the first optical axis in a cross section including the first side of the optical substrate; a package comprising a storage area having a rectangular top surface for storing the lens and the optical substrate; The lens and the optical substrate are optically coupled, and both the second side and the first optical axis are arranged substantially parallel to one side of the rectangular storage area.
  • the optical module manufacturing method of the present invention comprises: storing a lens having a first optical axis and an optical substrate including a rectangular outer shape including first and second sides perpendicular to each other in a package having a storage area having a rectangular top surface;
  • a method of manufacturing a module comprising: forming the optical substrate so as to have an optical waveguide optically coupled to a second optical axis forming a predetermined angle with the first optical axis in a cross section including the first side; optically coupling the lens and the optical substrate; arranging the optical substrate so that both the second side and the first optical axis are substantially parallel to one side of the rectangular storage area; It is characterized by
  • the present invention provides a technique for miniaturizing an optical module equipped with an optical waveguide.
  • FIG. 2 is a plan view showing an example of the internal configuration of the optical module 100 of the first embodiment;
  • FIG. 2 is a side view showing an example of the internal configuration of the optical module 100 of the first embodiment;
  • FIG. 11 is a plan view showing an example of the internal configuration of an optical module 200 according to the second embodiment;
  • FIG. 11 is a plan view showing an example of the internal configuration of an optical module 300 according to a third embodiment;
  • FIG. 14 is a plan view showing an example of the internal configuration of an optical module 400 according to the fourth embodiment;
  • FIG. 4 is a plan view schematically showing the internal configuration of a general optical module 900;
  • FIG. 1 is a plan view showing an example of the internal configuration of the optical module 100 of the first embodiment.
  • FIG. 2 is a side view showing an example of the internal configuration of the optical module 100 of the first embodiment.
  • the optical module 100 includes a lens 110 , an optical substrate 120 and a package 130 .
  • the optical axis 111 of lens 110 is indicated by a dashed line in FIG.
  • the optical substrate 120 is a rectangular substrate including short sides 122 and long sides 123 perpendicular to the short sides 122 .
  • the optical substrate 120 is, for example, a semiconductor substrate, in which an optical waveguide 125 is formed.
  • the optical waveguide 125 is formed so as to be inclined with respect to the long side 123 of the optical substrate 120 in the cross section that is in contact with the short side 122 of the optical substrate 120 .
  • the long side 123 is drawn to be longer than the short side 122 .
  • the rectangular shape of the optical substrate 120 is not limited to that shown in FIG.
  • optical substrate 120 may be a square semiconductor substrate.
  • the shape of the optical waveguide 125 other than the cross-sectional portion in contact with the short side 122 is not limited to a straight line.
  • the optical waveguide 125 may have curved portions.
  • the optical waveguide 125 outputs light generated by the optical waveguide 125 or light input from the cross section of the other short side of the optical waveguide 125 at the short side 122 .
  • the optical axis 121 in FIG. 1 is the optical axis of light output from the optical waveguide 125 .
  • An optical axis 121 indicates a direction in which light output from the optical waveguide 125 is coupled with an optical system outside the optical waveguide 125 with low loss.
  • Light propagating inside the optical waveguide 125 in the direction of the long side 123 that is, from the right to the left of the optical waveguide 125 in FIG. 1) is emitted in the direction of the optical axis 121 toward the lens 110 .
  • the optical axis 121 and the optical axis 111 of the lens 110 form a predetermined angle A.
  • Lens 110 is positioned within package 130 so as to be optically coupled with optical axis 121 .
  • the optical waveguide 125 is parallel to the bottom surface of the package 130, and the heights of the optical axis 121 and the optical axis 111 from the bottom surface of the package 130 are the same.
  • the package 130 is a housing whose main material is, for example, metal or ceramics.
  • the package 130 has a rectangular storage area 131 inside it.
  • the storage area 131 stores the lens 110 and the optical substrate 120 .
  • the storage area 131 is a rectangular parallelepiped space having the depth of the package 130, as shown in FIGS.
  • Storage area 131 is shown in FIG. 1 as an area with a rectangular top surface.
  • the package 130 inputs or outputs light propagating through the optical waveguide 125 between the outside and inside of the optical module 100 .
  • Package 130 may include a transparent window for that purpose.
  • the optical module 100 may optically connect the inside and outside of the package 130 using an optical fiber passing through the package 130 .
  • the package 130 may include terminals that electrically connect the inside and outside of the optical module 100 .
  • the lens 110 and the optical substrate 120 are fixed to the inner bottom surface of the package 130 by pedestals 133 and 134 shown in FIG. 2, respectively.
  • description of the base is abbreviate
  • the long side 132 indicates the long side of the storage area 131 .
  • the long side 123 of the optical substrate 120 is arranged in the package 130 so as to be substantially parallel to the long side 132 of the storage area 131 .
  • the optical axis 111 of the lens 110 is also arranged within the package 130 so as to be substantially parallel to the long side 132 of the storage area 131 .
  • the optical waveguide 125 outputs light in the direction of the optical axis 121 , and the light output from the optical waveguide 125 propagates through the lens 110 .
  • the optical module 100 can be miniaturized as an optical module having an optical waveguide.
  • the optical axis 111 of the lens 110 and the long side 123 of the optical substrate 120 are both arranged substantially parallel to the long side 132 of the storage area 131, and the optical axis 121 extends from the optical waveguide 125 in the direction of the optical axis 121.
  • the output light can be optically coupled with the lens 110 having the optical axis 111 forming a predetermined angle A with the optical axis 121 .
  • the optical module 100 is not arranged with the optical substrate 120 tilted with respect to the package 130 . Efficient internal implementation.
  • the optical module (100) comprises a lens (110), an optical substrate (120), an optical waveguide (125) formed on the optical substrate (120), and a package (130).
  • the lens (110) has a first optical axis (111).
  • the optical substrate (120) has a rectangular outline including a first side (122) and a second side (123) which are perpendicular to each other.
  • the optical waveguide (125) has a second optical axis (121) forming a predetermined angle (A) with the first optical axis (111) in the cross section of the optical substrate (120) including the first side (122).
  • the package (130) comprises a storage area (131) with a rectangular top surface.
  • the storage area (131) stores the lens (110) and the optical substrate (120); Then, the lens (110) and the optical substrate (120) are optically coupled, and the second side (123) and the first optical axis (111) of the optical substrate (120) form a rectangular storage area. It is arranged so as to be substantially parallel to one side (132) of (131).
  • the angle A shown in FIG. 1 is an angle A that is considered preferable from the viewpoint of reducing the coupling loss with the lens 110 while taking into account the amount of attenuation required for the reflected return light to the optical waveguide 125 at the end face of the optical waveguide 125.
  • angle A may be a non-zero (ie, non-zero) value.
  • the optical waveguide 125 may be designed such that the angle A is 5 degrees or more and 30 degrees or less.
  • the aperture ratio of lens 110 may be set to 0.5 or more and 1 or less.
  • the optical substrate 120 and the lens 110 can be stored in the package 130 as small as possible while considering the accuracy of their mounting positions with respect to the storage area 131 . Therefore, the angle formed by the long side 123 of the optical substrate 120 and the long side 132 of the storage area 131 may be 5 degrees or less. Also, the angle formed by the optical axis 111 of the lens 110 and the long side 132 of the storage area 131 of the package 130 may be 10 degrees or less.
  • FIG. 3 is a plan view showing an example of the internal configuration of the optical module 200 according to the second embodiment of the invention.
  • the optical module 200 is a light emitting module on which the light emitting element 140 is mounted.
  • the optical module 200 includes a light emitting element 140 , an optical isolator 150 , a lens 160 and an optical fiber 170 in addition to the configuration of the optical module 100 .
  • the optical substrate 120 is a semiconductor substrate, and the optical waveguide 125 is a semiconductor optical waveguide.
  • the optical waveguide 125 has functions of, for example, an optical resonator, an optical amplifier, and an optical modulator. However, the functions of the optical waveguide 125 are not limited to these.
  • Light emitting element 140 generates light that couples with optical waveguide 125 .
  • the light emitting element 140 is, for example, a laser diode and formed on the optical substrate 120 .
  • the light emitting element 140 is driven by a drive current supplied from the outside of the optical module 200 .
  • Light generated by the light emitting element 140 is input to the optical fiber 170 via the optical waveguide 125 , the lens 110 , the optical isolator 150 and the lens 160 .
  • Light (transmitting light) output from the optical waveguide 125 in the direction of the optical axis 121 is converted into parallel light (collimated light) by the lens 110 .
  • the collimated light passes through the optical isolator 150 with low loss.
  • the optical isolator 150 is an optical component optically coupled with the optical waveguide 125 via the lens 110 .
  • the optical isolator 150 is provided to reduce return light to the light emitting element 140 and stabilize operations of the optical waveguide 125 and the light emitting element 140 .
  • Lens 160 couples the transmission light that has passed through optical isolator 150 to optical fiber 170 .
  • the lenses 160 and 110 may have different specifications, or may have the same specifications.
  • the optical fiber 170 is, for example, a single-mode optical fiber, and outputs transmission light to the outside of the optical module 200 . That is, optical fiber 170 is the pigtail fiber of optical module 200 .
  • the optical isolator 150 may be omitted if it is unnecessary to reduce the return light to the light emitting element 140 .
  • lens 160 may be omitted if lens 110 is capable of coupling the transmitted light to optical fiber 170 .
  • both the optical axis 111 of the lens 110 and the long side 123 of the optical substrate 120 are arranged substantially parallel to the long side 132 of the storage area 131 of the package 130. . Therefore, the optical module 200, like the optical module 100, can be miniaturized with an optical waveguide.
  • the optical substrate 120 of this embodiment has a plurality of electrodes 80
  • the package 130 has a plurality of electrodes 81 and input/output terminals 83 .
  • the electrodes 80 are provided along the long side 123 of the optical substrate 120 and the electrodes 81 are provided along the long side 132 of the storage area 131 .
  • the electrodes 81 and the input/output terminals 83 electrically connect the inside and the outside of the package 130 for each electrode.
  • the electrodes 80 and 81 are connected by wires 82, respectively.
  • the wiring 82 is formed by wire bonding, for example, when the optical module 200 is manufactured.
  • the electrode 80 is connected to the light emitting element 140 and the optical waveguide 125 by wiring formed on the optical substrate 120 .
  • the light emitting element 140 and the optical waveguide 125 are driven by an external drive circuit (not shown) connected to the input/output terminal 83 .
  • the light emitting element 140 emits light by driving current applied from the driving circuit to the input/output terminal 83 connected to the light emitting element 140 .
  • the optical waveguide 125 operates, for example, as an optical modulator by a driving signal applied to the input/output terminal 83 connected to the optical waveguide 125 .
  • the storage area 131 has a rectangular upper surface, and its long side 132 and the long side 132 of the optical substrate 120 are substantially parallel. Therefore, the lengths of the wirings 82 between the plurality of electrodes 80 of the optical substrate 120 and the plurality of electrodes 81 of the package 130 facing them are substantially the same in all wirings.
  • the optical waveguide 125 is a high-speed optical modulator
  • a high-speed drive signal for driving the optical waveguide 125 is applied from an external drive circuit to the multiple electrodes 80 via the multiple wirings 82 .
  • the optical substrate 920 is mounted with a large inclination with respect to the storage area 931 as in the general optical module 900 described with reference to FIG. length) varies greatly depending on the position of the electrode. This causes delay amount variations and inductance variations among the plurality of drive signals applied to the optical waveguide 925 . Such variations in the amount of delay and inductance of the drive signal may lead to deterioration of the waveform of the optical signal propagating through the optical waveguide 925 (that is, deterioration of quality).
  • each wiring 82 connecting between the plurality of electrodes 80 of the optical substrate 120 and the plurality of electrodes 81 of the package 130 for driving the optical waveguide 125 and the light emitting element 140 mounted on the optical substrate 120 is arranged.
  • the length can be substantially the same.
  • the optical module 200 has the effect of suppressing deterioration in the function of the optical waveguide 125 and deterioration in the quality of the transmitted light due to the difference in wiring length between the plurality of wirings 82 .
  • the wiring length from the electrode 80 of the optical substrate 120 to the light emitting element 140 and the optical waveguide 125 is fixed regardless of the state in which the optical substrate 120 is mounted. Therefore, the wiring length in the optical substrate 120 can be set to the same value in advance when the optical substrate 120 is designed.
  • the light emitting element 140 may be formed on an optical substrate different from the optical substrate 120 .
  • the light emitting element 140 and the optical substrate 120 may be arranged close to each other so as to be directly optically coupled (butt joint).
  • the optical component arranged between the lens 110 and the lens 160 is not limited to the optical isolator 150 . Between lens 110 and lens 160 may be one or more optical components optically couplable with these lenses.
  • FIG. 4 is a plan view showing an example of the internal configuration of an optical module 300 according to the third embodiment of the invention.
  • the optical module 300 is a light receiving module on which the light receiving element 180 is mounted.
  • the optical module 300 receives light from the outside of the optical module 300 unlike the optical modules 100 and 200 .
  • the optical module 300 includes a light receiving element 180 and an optical filter 190 instead of the light emitting element 140 and optical isolator 150 of the optical module 200 .
  • the differences from the optical module 200 will be mainly described below.
  • Light (received light) input from the optical fiber 170 to the optical module 300 is input to the light receiving element 180 via the lens 160 , the optical filter 190 , the lens 110 and the optical waveguide 125 .
  • a light receiving element 180 is formed on the optical substrate 120 .
  • the light receiving element 180 is, for example, a photodiode, and converts received light input from the optical waveguide 125 into photocurrent.
  • the optical filter 190 is an optical component optically coupled with the optical waveguide 125 via the lens 110 .
  • the optical filter 190 removes light in wavelength bands unnecessary for reception by transmitting only part of the spectrum of received light.
  • the optical filter 190 may be omitted if it is unnecessary to remove unnecessary wavelength bands contained in the received light. If lens 110 is couplable with optical fiber 170, lens 160 may be omitted.
  • the received light may be input to the optical waveguide 125 only through the optical fiber 170 and the lens 110.
  • the functions of the optical waveguide 125 are, for example, an optical attenuator, an optical amplifier, a wavelength tunable optical filter, and an optical modulator, but are not limited to these.
  • the optical waveguide 125 is controlled by a control circuit (not shown) connected to the input/output terminal 83 .
  • the storage area 131 has a rectangular upper surface, and its long side 132 and the long side 123 of the optical substrate 120 are substantially parallel. Also, the long side 132 of the storage area 131 and the optical axis 111 of the lens 110 are substantially parallel. Therefore, the optical module 300 having such a configuration can also be miniaturized as with the optical modules 100 and 200.
  • the optical module has an optical waveguide.
  • the optical substrate 120 has a plurality of electrodes 80 and the package 130 has a plurality of electrodes 81 and input/output terminals 83, like the optical module 200 of the second embodiment.
  • the light receiving element 180 outputs photocurrent to the outside of the optical module 300 via the electrode 80 , the wiring 82 and the electrode 81 .
  • the distance of the wiring 82 between the plurality of electrodes 80 of the optical substrate 120 and the plurality of electrodes 81 of the package 130 facing them is almost identical.
  • the optical module 300 receives high-speed received light or drives the optical waveguide 125 at high speed, the deterioration of the quality of the photocurrent caused by the difference in wiring length between the plurality of wirings 82 can be prevented. It has the effect of being able to suppress it.
  • the light receiving element 180 may be formed on an optical substrate different from the optical substrate 120 .
  • the light receiving element 180 and the optical substrate 120 may be arranged close to each other so as to be directly optically coupled.
  • the optical component arranged between the lens 110 and the lens 160 is not limited to the optical filter 190 . Between lens 110 and lens 160 may be one or more optical components optically couplable with these lenses.
  • FIG. 5 is a plan view showing an example of the internal configuration of an optical module 400 according to the fourth embodiment of the invention.
  • the optical module 400 does not include the light emitting element 140 and the light receiving element 180 as compared with the optical module 200 of FIG. 3 and the optical module 300 of FIG.
  • the optical module 400 includes a lens 410 , a lens 460 and an optical fiber 470 on the short side 124 opposite to the short side 122 of the optical substrate 120 .
  • Optical fiber 470 is a single-mode optical fiber that couples with lens 460 .
  • the optical module 400 processes light input from the optical fiber 170 in the optical waveguide 125 and outputs the light to the optical fiber 470 .
  • Light input from the outside of the optical module 400 is input to the optical waveguide 125 from one cross section of the optical waveguide 125 (that is, the cross section of the short side 122) after passing through the lens 160 and the lens 110.
  • Light output from the other cross section of the optical waveguide 125 (that is, the cross section of the short side 124 ) is output to the outside of the optical module 400 .
  • the functions of the optical waveguide 125 are, for example, an optical attenuator, an optical amplifier, a wavelength tunable optical filter, and an optical modulator, but are not limited to these.
  • optical axis 411 indicates the optical axis of lens 410 .
  • the specifications of lenses 410 and 460 may be the same as those of lenses 110 and 160, respectively. Collimated light is coupled between lens 110 and lens 160 and between lens 410 and lens 460, respectively.
  • Optical components such as an optical filter and an optical isolator may be provided between the lens 110 and the lens 160 and between the lens 410 and the lens 460, if necessary.
  • lenses 160 and 460 may be omitted if lenses 110 and 410 can be coupled to optical fibers 170 and 470, respectively, without another lens.
  • the optical module 400 having such a configuration has a storage area 131 with a rectangular upper surface, and the long side 132 of the storage area 131 is substantially parallel to the long side 123 of the optical substrate 120. . Also, the long side 132 of the storage area 131 and the optical axis 111 of the lens 110 are substantially parallel. Furthermore, the long side 132 of the storage area 131 and the optical axis 411 of the lens 410 are also substantially parallel. Therefore, the optical module 400 can also be miniaturized as an optical module having an optical waveguide.
  • the optical substrate 120 has a plurality of electrodes 80 and the package 130 has a plurality of electrodes 81 and input/output terminals 83, like the optical modules 200 and 300 of the second and third embodiments.
  • the electrode 80 is connected to the optical waveguide 125 by wiring formed on the optical substrate 120 . Therefore, similarly to the optical modules 200 and 300, the optical module 400 has the effect of suppressing deterioration in the function of the optical waveguide 125 due to the difference in wiring length between the plurality of wirings 82.
  • a lens having a first optical axis (Appendix 1) a lens having a first optical axis; an optical substrate having a rectangular outline including a first side and a second side that are perpendicular to each other; an optical waveguide formed on the optical substrate and optically coupled to a second optical axis forming a predetermined angle with the first optical axis in a cross section including the first side of the optical substrate; a package comprising a storage area having a rectangular top surface for storing the lens and the optical substrate; The lens and the optical substrate are optically coupled, and both the second side and the first optical axis are arranged substantially parallel to one side of the rectangular storage area, optical module.
  • Appendix 2 The optical module according to Appendix 1, wherein the first optical axis and the second optical axis form a non-zero angle.
  • Appendix 4 The optical module according to any one of appendices 1 to 3, wherein the lens has a numerical aperture of 0.5 or more and 1 or less.
  • Appendix 7 The optical module according to any one of Appendices 1 to 6, comprising an optical component optically coupled to the optical waveguide through the lens.
  • Appendix 8 The optical module according to any one of Appendices 1 to 7, wherein the optical substrate includes a light-emitting element that generates light to be coupled with the optical waveguide.
  • Appendix 9 The optical module according to any one of Appendices 1 to 8, wherein the optical substrate includes a light-receiving element that converts light propagating through the optical waveguide into a photocurrent.
  • Appendix 10 Light input from the outside of the package is input to the optical waveguide from one cross section of the optical waveguide, 10.
  • the optical module according to any one of Appendices 1 to 9, wherein light output from the other cross section of the optical waveguide is output to the outside of the package.
  • the optical substrate comprises a plurality of first electrodes for driving the optical waveguide;
  • the package comprises a plurality of second electrodes electrically connected to the outside of the package; 11.
  • Appendix 12 storing a lens having a first optical axis and an optical substrate having a rectangular outer shape including a first side and a second side perpendicular to each other in a package having a storage area having a rectangular upper surface;
  • a method of manufacturing a module comprising: forming the optical substrate so as to have an optical waveguide optically coupled to a second optical axis forming a predetermined angle with the first optical axis in a cross section including the first side; optically coupling the lens and the optical substrate; arranging the optical substrate so that both the second side and the first optical axis are substantially parallel to one side of the rectangular storage area; A method for manufacturing an optical module.
  • optical module 110 160, 410, 460, 910 lens 111, 411, 911 optical axis 120, 920 optical substrate 121 Optical axis 122, 124, 922 Short side 123, 132, 923, 932 Long side 125, 925 Optical waveguide 130, 930 Package 131, 931 Storage area 133, 134 Pedestal 140 Light emitting element 150 Optical isolator 170, 470 Optical fiber 180 Light receiving element 190 optical filter 900 optical module

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Abstract

光導波路(125)を備える光モジュール(100)を小型化するために、光モジュール(100)は、第1の光軸(111)を持つレンズ(110)と、互いに直角をなす第1の辺(122)及び第2の辺(123 )を含む矩形の外形を持つ光基板(120)と、光基板(120)に形成され、光基板(120)の前記第1の辺(122)を含む断面において、第1の光軸(111)と所定の角度(A)をなす第2の光軸(121)と光学的に結合する光導波路(125)と、矩形の上面を持つ格納領域(131)を備え、レンズ(110)及び光基板(120)を格納するパッケージ(130)と、を備え、レンズ(110)と光基板(120)とが光学的に結合されるとともに、第2の辺(123)及び第1の光軸(111)がいずれも矩形の格納領域(131)の一辺と略平行となるように配置される。

Description

光モジュール及び光モジュールの製造方法
 本発明は、光モジュール及び光モジュールの製造方法に関する。本発明は、特に、レンズ及び光導波路を備える光モジュール及び光モジュールの製造方法に関する。
 光基板に形成された光導波路は、光モジュールに組み込まれて光変調器や光増幅器として用いられる。一方、光通信装置の大規模化及び高機能化に伴い、光通信装置で用いられる光モジュールには小型化が求められている。このため、光導波路を備える光モジュールの設計に際しても、光モジュールが小型となるように光基板を配置することが望ましい。
 図6は、一般的な光モジュール900の内部構成を模式的に示す平面図である。光モジュール900は、光基板920とレンズ910とを備える。光基板920及びレンズ910は、パッケージ930の内部の格納領域931に実装される。
 光基板920は短辺922と長辺923を持つ矩形の基板であり、内部に光導波路925を備える。光導波路925は、光基板920の短辺922における端面からの反射戻り光を抑制するために、光基板920の長辺923に対して傾いて形成される。光基板920は、光導波路925を駆動するために、光基板920の長辺に形成された複数の電極940を備える。複数の電極940と、格納領域931に備えられた複数の電極941とは、複数の配線942によって接続される。
 レンズ910の光軸911は図6に一点鎖線で示される。レンズ910は、光軸911が、図6に矩形で示される格納領域931の長辺932と平行となるように配置される。光導波路925から放射された光は、レンズ910と結合し、格納領域931の長辺932と平行な光軸911の方向へ進む。
 なお、特許文献1および特許文献2に記載の技術が本願発明の参考技術として知られている。
特開2011-075978号公報 特開2003-241005号公報
 図6に示すように、光導波路925は光基板920の短辺922と垂直でないため、光導波路925から出力される光の光軸は、屈折によって、短辺922とは垂直でない方向となる。このような、短辺922と垂直でない方向の光軸を持つ光をレンズ910と結合させるためには、図6に示すように、光基板920を、格納領域931の内部で長辺932に対して傾けて配置する必要がある。このような配置により、光導波路925から出力される光を、レンズ910と低損失で結合させることができる。
 しかしながら、このように光基板920を格納領域931の長辺932に対して傾けると、光基板920を図6の破線で示される領域に配置される。その結果、格納領域931の幅(図6においては長辺932と垂直な方向の長さ)が増加し、光モジュール900の小型化が困難となるという課題が生じる。
 (発明の目的)
 本発明は、光導波路を備える光モジュールを小型化するための技術を提供することを目的とする。
 本発明の光モジュールは、
 第1の光軸を持つレンズと、
 互いに直角をなす第1の辺及び第2の辺を含む矩形の外形を持つ光基板と、
 前記光基板に形成され、前記光基板の前記第1の辺を含む断面において、前記第1の光軸と所定の角度をなす第2の光軸と光学的に結合する光導波路と、
 矩形の上面を持つ格納領域を備え、前記レンズ及び前記光基板を格納するパッケージと、を備え、
 前記レンズと前記光基板とが光学的に結合されるとともに、前記第2の辺及び前記第1の光軸がいずれも前記矩形の格納領域の一辺と略平行となるように配置される。
 本発明の光モジュールの製造方法は、
 第1の光軸を持つレンズと、互いに直角をなす第1の辺及び第2の辺を含む矩形の外形を含む光基板と、を矩形の上面を持つ格納領域を備えるパッケージに格納する、光モジュールの製造方法であって、
 前記光基板を、前記第1の辺を含む断面において、前記第1の光軸と所定の角度をなす第2の光軸と光学的に結合する光導波路を備えるように形成し、
 前記レンズと前記光基板とを光学的に結合し、
 前記第2の辺及び前記第1の光軸が、いずれも前記矩形の格納領域の一辺と略平行となるように前記光基板を配置する、
 ことを特徴とする。
 本発明は、光導波路を備える光モジュールを小型化する技術を提供する。
第1の実施形態の光モジュール100の内部構成の例を示す平面図である。 第1の実施形態の光モジュール100の内部構成の例を示す側面図である。 第2の実施形態の光モジュール200の内部構成の例を示す平面図である。 第3の実施形態の光モジュール300の内部構成の例を示す平面図である。 第4の実施形態の光モジュール400の内部構成の例を示す平面図である。 一般的な光モジュール900の内部構成を模式的に示す平面図である。
 本発明の実施形態について図面を参照して以下に説明する。図中に示された矢印の方向は例示であり、方向の限定を意図しない。各実施形態及び図面では既出の要素には同一の参照符号を付して、重複する説明は省略する。
 (第1の実施形態)
 図1は、第1の実施形態の光モジュール100の内部構成の例を示す平面図である。図2は、第1の実施形態の光モジュール100の内部構成の例を示す側面図である。光モジュール100は、レンズ110、光基板120及びパッケージ130を備える。レンズ110の光軸111は、図1に一点鎖線で示される。光基板120は、短辺122と、短辺122と直角な長辺123とを含む矩形状の基板である。光基板120は例えば半導体基板であり、その内部に光導波路125が形成される。光導波路125は、光基板120の短辺122と接する断面において、光基板120の長辺123に対して傾いて形成される。図1では長辺123は短辺122よりも長いように描かれている。しかし、光基板120の矩形の形状は図1に限定されない。例えば、光基板120は正方形の半導体基板でもよい。また、光導波路125の、短辺122と接する断面部分以外の形状は、直線に限定されない。例えば、光導波路125は、曲線の部分を有してもよい。
 光導波路125は、短辺122において、光導波路125が生成した光、あるいは光導波路125の他方の短辺の断面から入力された光を出力する。図1の光軸121は光導波路125が出力する光の光軸である。光軸121は、光導波路125が出力する光が、光導波路125の外部の光学系と低損失で結合する方向を示す。光導波路125の内部を長辺123の方向(すなわち、図1の光導波路125の右から左の方向)に伝搬した光は、レンズ110に向かう光軸121の方向に放射される。
 図1において、光軸121とレンズ110の光軸111とは所定の角度Aをなす。レンズ110は、光軸121と光学的に結合されるようにパッケージ130内に配置される。また、図2及び以降の実施形態において、光導波路125はパッケージ130の底面と平行であり、光軸121と光軸111との、パッケージ130の底面からの高さは一致する。
 パッケージ130は、例えば金属やセラミックスを主な材料とする筐体である。パッケージ130は、その内部に矩形の格納領域131を備える。格納領域131は、レンズ110及び光基板120を格納する。格納領域131は、図1及び図2に示されるように、パッケージ130の深さを持つ直方体状の空間である。格納領域131は、図1では矩形の上面を持つ領域として示される。
 パッケージ130は、光モジュール100の外部と内部との間で光導波路125を伝搬する光を入力あるいは出力する。パッケージ130は、そのための透明な窓を備えてもよい。あるいは、光モジュール100は、パッケージ130を貫通する光ファイバを用いて、パッケージ130の内部と外部を光学的に接続してもよい。パッケージ130は、光モジュール100の内部と外部とを電気的に接続する端子を備えてもよい。レンズ110及び光基板120は、それぞれ、図2に示される台座133及び台座134によってパッケージ130の内部の底面と固定される。なお、図1では台座の記載は省略されている。パッケージ130は、レンズ110及び光基板120等の必要な部品が格納されたのち、カバー(不図示)によって開口部が気密封止される。
 図1において、長辺132は、格納領域131の長辺を示す。光基板120の長辺123は、格納領域131の長辺132と略平行となるように、パッケージ130内に配置される。さらに、レンズ110の光軸111も、格納領域131の長辺132と略平行となるように、パッケージ130内に配置される。そして、光導波路125は光軸121の方向へ光を出力し、光導波路125から出力された光はレンズ110を介して伝搬する。
 光基板120をこのように配置することにより、矩形の光基板120を矩形の格納領域131に効率的に格納できる。すなわち、光モジュール100は、光導波路を備える光モジュールを小型化することができる。その理由は、レンズ110の光軸111及び光基板120の長辺123が、いずれも格納領域131の長辺132に対して略平行に配置されるとともに、光導波路125から光軸121の方向に出力された光を、光軸121と所定の角度Aをなす光軸111を持つレンズ110と光学的に結合できるからである。このような構成により、光モジュール100は、光軸111と光軸121とが所定の角度Aをなす場合でも光基板120をパッケージ130に対して傾けて配置されないため、光基板120をパッケージ130の内部に効率よく実装できる。
 (第1の実施形態の他の表現)
 図1で説明した光モジュール100の構成は、以下のようにも表現されうる。従って、下記の光モジュールも、光モジュール100と同様の効果を奏する。括弧内に、図1における、対応する構成要素の参照符号を示す。
 光モジュール(100)は、レンズ(110)と、光基板(120)と、光基板(120)に形成された光導波路(125)と、パッケージ(130)と、を備える。
 レンズ(110)は第1の光軸(111)を持つ。光基板(120)は、互いに直角をなす第1の辺(122)及び第2の辺(123)を含む矩形の外形を持つ。
 光導波路(125)は、第1の辺(122)を含む光基板(120)の断面において、第1の光軸(111)と所定の角度(A)をなす第2の光軸(121)と光学的に結合する。パッケージ(130)は、矩形の上面を持つ格納領域(131)を備える。格納領域(131)は、レンズ(110)及び光基板(120)を格納する、
 そして、レンズ(110)と光基板(120)とが光学的に結合されるとともに、光基板(120)の第2の辺(123)及び第1の光軸(111)は、矩形の格納領域(131)の一辺(132)と略平行となるように配置される。
 (第1の実施形態の変形例)
 図1に示す角度Aは、光導波路125の端面における光導波路125への反射戻り光に求められる減衰量を考慮しつつ、レンズ110との結合損失の低減の観点から好ましいと考えられる角度Aによって規定される。例えば、角度Aは非零の(すなわち、ゼロでない)値でもよい。レンズ110と光導波路125との間の結合損失を低減するために、角度Aが5度以上かつ30度以下となるように光導波路125が設計されてもよい。
 また、一般に、レンズ110の開口率(Numerical Aperture、NA)が高いほど、レンズ110の光軸111と異なる角度をなす光軸に沿って伝搬する光と、レンズ110と、を低い結合損失で結合できる。すなわち、開口率を高くすることにより、角度Aが大きい場合でも光導波路125とレンズ110との結合損失を低減できる。好ましい結合損失を得るために、レンズ110の開口率を、0.5以上かつ1以下としてもよい。
 また、光基板120及びレンズ110は、格納領域131に対するこれらの実装位置の精度を考慮しつつ、できるだけ小型のパッケージ130に格納可能なことが好ましい。このため、光基板120の長辺123と格納領域131の長辺132とのなす角を5度以下としてもよい。また、レンズ110の光軸111とパッケージ130の格納領域131の長辺132とのなす角を10度以下としてもよい。
 (第2の実施形態)
 図3は、本発明の第2の実施形態の光モジュール200の内部構成の例を示す平面図である。光モジュール200は、発光素子140を搭載した発光モジュールである。光モジュール200は、光モジュール100の構成に加えて、発光素子140、光アイソレータ150、レンズ160、光ファイバ170を備える。
 光基板120は半導体基板であり、光導波路125は半導体光導波路である。光導波路125は、例えば、光共振器、光増幅器、光変調器の機能を備える。しかし、光導波路125の機能はこれらに限定されない。発光素子140は、光導波路125と結合する光を生成する。発光素子140は例えばレーザダイオードであり、光基板120上に形成される。発光素子140は、光モジュール200の外部から供給される駆動電流によって駆動される。発光素子140が生成した光は、光導波路125、レンズ110、光アイソレータ150及びレンズ160を介して光ファイバ170に入力される。
 光導波路125から光軸121の方向へ出力された光(送信光)はレンズ110によって平行光(コリメート光)に変換される。コリメート光は光アイソレータ150を低損失で透過する。光アイソレータ150は、レンズ110を介して光導波路125と光学的に結合する光部品である。光アイソレータ150は、発光素子140への戻り光を低減し、光導波路125及び発光素子140の動作を安定化するために設けられる。レンズ160は、光アイソレータ150を透過した送信光を光ファイバ170と結合させる。レンズ160とレンズ110とは異なる仕様のレンズでもよく、同一の仕様のレンズでもよい。光ファイバ170は例えばシングルモード光ファイバであり、送信光を光モジュール200の外部へ出力する。すなわち、光ファイバ170は光モジュール200のピグテールファイバである。
 発光素子140への戻り光の低減が不要な場合には、光アイソレータ150は省略されてもよい。また、レンズ110が送信光を光ファイバ170と結合させることが可能である場合には、レンズ160は省略されてもよい。
 このような構成を備える光モジュール200も、レンズ110の光軸111及び光基板120の長辺123は、いずれも、パッケージ130の格納領域131の長辺132と略平行となるように配置される。このため、光モジュール200は、光モジュール100と同様に、光導波路を備える光モジュールを小型化できる。
 また、本実施形態の光基板120は、複数の電極80を備え、パッケージ130は複数の電極81及び入出力端子83を備える。電極80は、光基板120の長辺123に沿って設けられ、電極81は格納領域131の長辺132に沿って設けられる。電極81と入出力端子83とによって、パッケージ130の内部と外部とが、電極毎に電気的に接続される。電極80と電極81とはそれぞれ配線82によって接続される。配線82は、例えば、光モジュール200の製造時にワイヤボンディングによって形成される。電極80は、光基板120に形成された配線によって発光素子140及び光導波路125に接続される。
 発光素子140及び光導波路125は入出力端子83に接続された外部の駆動回路(不図示)によって駆動される。例えば、発光素子140は、発光素子140に接続された入出力端子83に駆動回路から印加された駆動電流により発光する。光導波路125は、光導波路125に接続された入出力端子83に印加された駆動信号により、例えば光変調器として動作する。ここで、第1の実施形態で説明したように、格納領域131は矩形の上面を持ち、その長辺132と光基板120の長辺132は略平行である。このため、光基板120の複数の電極80と、それらに対向するパッケージ130の複数の電極81との間の配線82の長さは、いずれの配線においてもほぼ同一となる。
 光導波路125が高速の光変調器である場合には、光導波路125を駆動するための高速の駆動信号が、複数の配線82を介して外部の駆動回路から複数の電極80に印加される。しかしながら、図6で説明した一般的な光モジュール900のように、光基板920が格納領域931に対して大きく傾いて実装されると、電極940と電極941との間の距離(すなわち、配線942の長さ)が電極の位置によって大きく異なるものとなる。これは、光導波路925に印加される複数の駆動信号の間に、遅延量のばらつきとインダクタンスのばらつきとを生じさせる。このような、駆動信号の遅延量及びインダクタンスのばらつきは、光導波路925を伝搬する光信号の波形の劣化(すなわち、品質の低下)を招く恐れがある。発光素子140を高速の駆動電流によって直接変調する場合も、発光素子に接続された2本の配線82の配線長の差により、光信号の波形が劣化する恐れがある。
 しかし、本実施形態の光モジュール200では、図3に示されるように、光基板120の長辺が格納領域131の長辺132と略平行となるように光基板120が配置される。このため、光基板120に搭載された光導波路125や発光素子140を駆動するために光基板120の複数の電極80とパッケージ130の複数の電極81との間を接続するそれぞれの配線82の配線長を略同一とすることができる。その結果、光モジュール200は、複数の配線82の間の配線長の違いによる光導波路125の機能の低下、及び、送信光の品質の低下を抑制できるという効果を奏する。
 光基板120の電極80から発光素子140及び光導波路125までの配線長は、光基板120の実装される状態に依存せず固定である。このため、光基板120内の配線長はあらかじめ光基板120の設計の際に同一の値とすることができる。
 なお、発光素子140は、光基板120とは異なる光基板に形成されてもよい。この場合、発光素子140と光基板120とは直接光学的に結合(バットジョイント)するように近接して配置されてもよい。また、レンズ110とレンズ160との間に配置される光部品は、光アイソレータ150に限定されない。レンズ110とレンズ160との間には、これらのレンズと光学的に結合可能な1個または複数の光部品が配置されてもよい。
 (第3の実施形態)
 図4は、本発明の第3の実施形態の光モジュール300の内部構成の例を示す平面図である。光モジュール300は、受光素子180を搭載した受光モジュールである。光モジュール300は、光モジュール100及び200とは異なり、光モジュール300の外部から光を受信する。光モジュール300は、光モジュール200の発光素子140及び光アイソレータ150に代えて、受光素子180及び光フィルタ190を備える。光モジュール300について、以下では光モジュール200との相違点について主に説明する。
 光ファイバ170から光モジュール300に入力された光(受信光)は、レンズ160、光フィルタ190、レンズ110及び光導波路125を介して受光素子180に入力される。受光素子180は光基板120上に形成される。受光素子180は例えばフォトダイオードであり、光導波路125から入力された受信光を光電流に変換する。
 光フィルタ190は、レンズ110を介して光導波路125と光学的に結合する光部品である。光フィルタ190は、受信光のスペクトルの一部のみを透過することで、受信に不要な波長帯域の光を除去する。受信光に含まれる不要な波長帯域の除去が不要な場合には、光フィルタ190は省略されてもよい。レンズ110が光ファイバ170と結合可能である場合には、レンズ160は省略されてもよい。
 すなわち、受信光は光ファイバ170及びレンズ110のみを介して光導波路125へ入力されてもよい。本実施形態において、光導波路125の機能は、例えば光減衰器、光増幅器、波長可変光フィルタ、光変調器であるが、これらには限定されない。光導波路125は、入出力端子83に接続された制御回路(不図示)によって制御される。
 光モジュール100及び200と同様に、格納領域131は矩形の上面を持ち、その長辺132と光基板120の長辺123とは略平行である。また、格納領域131の長辺132とレンズ110の光軸111とは略平行である。従って、このような構成を備える光モジュール300も、光モジュール100及び200と同様に、光導波路を備える光モジュールを小型化できる。
 第2の実施形態の光モジュール200と同様に、光モジュール300において、光基板120は複数の電極80を備えるとともにパッケージ130は複数の電極81及び入出力端子83を備える。受光素子180は、電極80、配線82、電極81を介して光電流を光モジュール300の外部へ出力する。
 また、光モジュール300では、光モジュール200と同様に、光基板120の複数の電極80と、それらに対向するパッケージ130の複数の電極81との間の配線82の距離は、いずれの配線においてもほぼ同一となる。その結果、光モジュール300は、高速の受信光を受信する場合や光導波路125を高速で駆動する場合でも、複数の配線82の間の配線長の違いに起因する、光電流の品質の低下を抑制できるという効果を奏する。
 なお、受光素子180は、光基板120とは異なる光基板に形成されてもよい。この場合、受光素子180と光基板120とは直接光学的に結合するように近接して配置されてもよい。また、レンズ110とレンズ160との間に配置される光部品は、光フィルタ190に限定されない。レンズ110とレンズ160との間には、これらのレンズと光学的に結合可能な1個または複数の光部品が配置されてもよい。
 (第4の実施形態)
 図5は、本発明の第4の実施形態の光モジュール400の内部構成の例を示す平面図である。光モジュール400は、図3の光モジュール200及び図4の光モジュール300と比較して、発光素子140及び受光素子180を備えない。そして、光モジュール400は、光基板120の短辺122の反対側の短辺124の側にレンズ410、レンズ460及び光ファイバ470を備える。光ファイバ470は、レンズ460と結合するシングルモード光ファイバである。光モジュール400は、光ファイバ170から入力された光を、光導波路125において処理し、光ファイバ470へ出力する。
 光モジュール400の外部から入力された光は、レンズ160及びレンズ110を透過した後に、光導波路125の一方の断面(すなわち、短辺122の断面)から光導波路125に入力される。そして、光導波路125の他方の断面(すなわち、短辺124の断面)から出力された光は、光モジュール400の外部へ出力される。光導波路125の機能は、例えば光減衰器、光増幅器、波長可変光フィルタ、光変調器であるが、これらには限定されない。
 図5において、光軸411はレンズ410の光軸を示す。レンズ410及び460の仕様は、それぞれ、レンズ110及び160の仕様と同一でもよい。レンズ110とレンズ160との間、及び、レンズ410とレンズ460との間はそれぞれ、コリメート光で結合される。レンズ110とレンズ160との間、及び、レンズ410とレンズ460との間には、必要に応じて、光フィルタ、光アイソレータ等の光部品が備えられてもよい。また、レンズ110及び410がそれぞれ光ファイバ170及び470と、他のレンズを介することなく結合可能である場合には、レンズ160及び460は省略されてもよい。
 このような構成を備える光モジュール400も、光モジュール100、200及び300と同様に、格納領域131は矩形の上面を持ち、その長辺132と光基板120の長辺123とは略平行である。また、格納領域131の長辺132とレンズ110の光軸111とは略平行である。さらに、格納領域131の長辺132とレンズ410の光軸411とも略平行である。このため、光モジュール400も、光導波路を備える光モジュールを小型化できる。
 第2及び第3の実施形態の光モジュール200及び300と同様に、光モジュール400において、光基板120は複数の電極80を備えるとともにパッケージ130は複数の電極81及び入出力端子83を備える。電極80は光基板120に形成された配線によって光導波路125に接続される。従って、光モジュール400は、光モジュール200及び300と同様に、複数の配線82の間の配線長の違いによる、光導波路125の機能の低下を抑制できるという効果を奏する。
 なお、本発明の実施形態は以下の付記のようにも記載されうるが、以下には限定されない。
 (付記1)
 第1の光軸を持つレンズと、
 互いに直角をなす第1の辺及び第2の辺を含む矩形の外形を持つ光基板と、
 前記光基板に形成され、前記光基板の前記第1の辺を含む断面において、前記第1の光軸と所定の角度をなす第2の光軸と光学的に結合する光導波路と、
 矩形の上面を持つ格納領域を備え、前記レンズ及び前記光基板を格納するパッケージと、を備え、
 前記レンズと前記光基板とが光学的に結合されるとともに、前記第2の辺及び前記第1の光軸がいずれも前記矩形の格納領域の一辺と略平行となるように配置された、
 光モジュール。
 (付記2)
 前記第1の光軸と前記第2の光軸とは非零の角度をなす、付記1に記載された光モジュール。
 (付記3)
 前記第1の光軸と前記第2の光軸とは5度以上かつ30度の角度をなす、付記1又は2に記載された光モジュール。
 (付記4)
 前記レンズの開口率は0.5以上かつ1以下である、付記1乃至3のいずれか1項に記載された光モジュール。
 (付記5)
 前記矩形の格納領域の一辺と前記第2の辺とは5度以下の角度をなす、付記1乃至4のいずれか1項に記載された光モジュール。
 (付記6)
 前記矩形の格納領域の一辺と前記第1の光軸とは10度以下の角度をなす、付記1乃至5のいずれか1項に記載された光モジュール。
 (付記7)
 前記レンズを介して前記光導波路と光学的に結合する光部品を備える、付記1乃至6のいずれか1項に記載された光モジュール。
 (付記8)
 前記光基板は前記光導波路と結合する光を生成する発光素子を含む、付記1乃至7のいずれか1項に記載された光モジュール。
 (付記9)
 前記光基板は前記光導波路を伝搬した光を光電流に変換する受光素子を含む、付記1乃至8のいずれか1項に記載された光モジュール。
 (付記10)
 前記パッケージの外部から入力された光が前記光導波路の一方の断面から前記光導波路に入力され、
 前記光導波路の他方の断面から出力された光が前記パッケージの外部へ出力される、付記1乃至9のいずれか1項に記載された光モジュール。
 (付記11)
 前記光基板は前記光導波路を駆動する複数の第1の電極を備え、
 前記パッケージは前記パッケージの外部と電気的に接続された複数の第2の電極を備え、
 前記複数の第1の電極のそれぞれと前記複数の第2の電極のそれぞれとの間が、略同一の配線長の導体で接続された、付記1乃至10のいずれか1項に記載された光モジュール。
 (付記12)
 第1の光軸を持つレンズと、互いに直角をなす第1の辺及び第2の辺を含む矩形の外形を持つ光基板と、を矩形の上面を持つ格納領域を備えるパッケージに格納する、光モジュールの製造方法であって、
 前記光基板を、前記第1の辺を含む断面において、前記第1の光軸と所定の角度をなす第2の光軸と光学的に結合する光導波路を備えるように形成し、
 前記レンズと前記光基板とを光学的に結合し、
 前記第2の辺及び前記第1の光軸が、いずれも前記矩形の格納領域の一辺と略平行となるように前記光基板を配置する、
 光モジュールの製造方法。
 以上、実施形態を参照して本願発明を説明したが、本願発明は上記の実施形態に限定されない。本願発明の構成や詳細には、本願発明のスコープ内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。
 また、それぞれの実施形態に記載された構成は、必ずしも互いに排他的なものではない。本発明の作用及び効果は、上述の実施形態の全部又は一部を組み合わせた構成によって実現されてもよい。
 80、81、940、941 電極
 82、942 配線
 83 入出力端子
 100、200、300、400、900 光モジュール
 110、160、410、460、910 レンズ
 111、411、911 光軸
 120、920 光基板
 121 光軸
 122、124、922 短辺
 123、132、923、932 長辺
 125、925 光導波路
 130、930 パッケージ
 131、931 格納領域
 133、134 台座
 140 発光素子
 150 光アイソレータ
 170、470 光ファイバ
 180 受光素子
 190 光フィルタ
 900 光モジュール

Claims (12)

  1.  第1の光軸を持つレンズと、
     互いに直角をなす第1の辺及び第2の辺を含む矩形の外形を持つ光基板と、
     前記光基板に形成され、前記光基板の前記第1の辺を含む断面において、前記第1の光軸と所定の角度をなす第2の光軸と光学的に結合する光導波路と、
     矩形の上面を持つ格納領域を備え、前記レンズ及び前記光基板を格納するパッケージと、を備え、
     前記レンズと前記光基板とが光学的に結合されるとともに、前記第2の辺及び前記第1の光軸がいずれも前記矩形の格納領域の一辺と略平行となるように配置された、
     光モジュール。
  2.  前記第1の光軸と前記第2の光軸とは非零の角度をなす、請求項1に記載された光モジュール。
  3.  前記第1の光軸と前記第2の光軸とは5度以上かつ30度の角度をなす、請求項1又は2に記載された光モジュール。
  4.  前記レンズの開口率は0.5以上かつ1以下である、請求項1乃至3のいずれか1項に記載された光モジュール。
  5.  前記矩形の格納領域の一辺と前記第2の辺とは5度以下の角度をなす、請求項1乃至4のいずれか1項に記載された光モジュール。
  6.  前記矩形の格納領域の一辺と前記第1の光軸とは10度以下の角度をなす、請求項1乃至5のいずれか1項に記載された光モジュール。
  7.  前記レンズを介して前記光導波路と光学的に結合する光部品を備える、請求項1乃至6のいずれか1項に記載された光モジュール。
  8.  前記光基板は前記光導波路と結合する光を生成する発光素子を含む、請求項1乃至7のいずれか1項に記載された光モジュール。
  9.  前記光基板は前記光導波路を伝搬した光を光電流に変換する受光素子を含む、請求項1乃至8のいずれか1項に記載された光モジュール。
  10.  前記パッケージの外部から入力された光が前記光導波路の一方の断面から前記光導波路に入力され、
     前記光導波路の他方の断面から出力された光が前記パッケージの外部へ出力される、請求項1乃至9のいずれか1項に記載された光モジュール。
  11.  前記光基板は前記光導波路を駆動する複数の第1の電極を備え、
     前記パッケージは前記パッケージの外部と電気的に接続された複数の第2の電極を備え、
     前記複数の第1の電極のそれぞれと前記複数の第2の電極のそれぞれとの間が、略同一の配線長の導体で接続された、請求項1乃至10のいずれか1項に記載された光モジュール。
  12.  第1の光軸を持つレンズと、互いに直角をなす第1の辺及び第2の辺を含む矩形の外形を含む光基板と、を矩形の上面を持つ格納領域を備えるパッケージに格納する、光モジュールの製造方法であって、
     前記光基板を、前記第1の辺を含む断面において、前記第1の光軸と所定の角度をなす第2の光軸と光学的に結合する光導波路を備えるように形成し、
     前記レンズと前記光基板とを光学的に結合し、
     前記第2の辺及び前記第1の光軸が、いずれも前記矩形の格納領域の一辺と略平行となるように前記光基板を配置する、
     光モジュールの製造方法。
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