WO2022218750A1 - Aktuator-sensor-vorrichtung und lithographieanlage - Google Patents

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WO2022218750A1
WO2022218750A1 PCT/EP2022/058953 EP2022058953W WO2022218750A1 WO 2022218750 A1 WO2022218750 A1 WO 2022218750A1 EP 2022058953 W EP2022058953 W EP 2022058953W WO 2022218750 A1 WO2022218750 A1 WO 2022218750A1
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actuator
control unit
sensor
sensor device
circuit board
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PCT/EP2022/058953
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Holger SONTAG
Stefan Seitz
Mario Muetzel
Philipp TORRES DA SILVA
Stefan Krone
Petra LINZMAYER
Waldemar Lange
Kai Kunze
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Carl Zeiss Smt Gmbh
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    • G03F7/70891—Temperature

Definitions

  • the present invention relates to an actuator-sensor device for a lithography system and a lithography system with such an actuator- sensor device.
  • Microlithography is used to produce microstructured components such as integrated circuits.
  • the microlithography process is carried out using a lithography system which has a lighting system and a projection system.
  • the image of a mask (reticle) illuminated by means of the illumination system is projected by means of the projection system onto a substrate, for example a silicon wafer, coated with a light-sensitive layer (photoresist) and arranged in the image plane of the projection system, in order to place the mask structure on the light-sensitive coating of the substrate to transfer.
  • a mask reticle
  • photoresist light-sensitive layer
  • EUV lithography systems are currently being developed which use light with a wavelength in the range from 0.1 nm to 30 nm, in particular 13.5 nm.
  • reflective optics ie mirrors
  • ie lenses must be used instead of--as before--refractive optics , ie lenses.
  • the mirrors can B. on a support frame (Engl7 force frame) and configured at least partially manipulable in order to move a respective mirror in up to six degrees of freedom and thus a highly precise positioning of the mirrors to one another, especially in the pm range, to allow ⁇ chen. Changes in the optical properties, e.g. B. due to thermal influences are compensated.
  • the lithography system can have an actuator-sensor device. This includes actuator-sensor units with a sensor and an actuator, as well as control units that control the actuator-sensor units.
  • the actuator-sensor units and the control units are arranged in a vacuum-tight housing.
  • the actuator-sensor units are first arranged in the housing and then the control units are integrated into the housing from the same side. Seals for vacuum sealing are provided between the actuator-sensor units and the housing.
  • an object of the present invention is to provide an improved actuator sensor device.
  • an actuator-sensor device for an optical module of a lithography system.
  • the actuator-sensor device comprises: an actuator-sensor unit with an actuator and a sensor; a control unit electrically connected to the actuator-sensor unit; and a support element which supports the actuator-sensor unit on a first support side thereof and the control unit on a second support side thereof, the second support side being opposite to the first support side.
  • the actuator-sensor unit and the control unit are carried in particular by different carrying sides of the carrying element.
  • the actuator-sensor unit can be repaired and/or replaced without removing the control unit from the support element.
  • the control unit can be repaired and/or replaced without removing the actuator-sensor unit from the supporting element.
  • the electronic components (actuator-sensor unit and control unit) held by the support element can be repaired and/or replaced with little effort.
  • a non-operational time during which the actuator sensor device is not operational can be reduced.
  • the optics module is preferably part of the lighting system of the lithography system.
  • the optics module comprises a plurality of optical elements which can be controlled individually by an associated actuator.
  • Mirrors or lenses can be used as optical elements.
  • the optics module can be a facet mirror with a plurality of mirror facets, which are optical elements. Each mirror facet can be controlled individually with regard to its position.
  • the actuator-sensor unit comprises at least one sensor and one actuator. However, it can also include multiple sensors and/or actuators.
  • the actuator-sensor unit is preferably assigned to an optical element of the lithography system, for example a mirror facet.
  • the sensor is particularly suitable for detecting the position of the associated optical element.
  • Each optical element preferably has six degrees of freedom, namely three translational degrees of freedom in each case along a first spatial direction or c-direction, a second spatial direction or y-direction and a third spatial direction or z-direction and three rotational degrees of freedom in each case around the c-direction , the y-direction and the z-direction.
  • This means that the sensor can determine or describe a position and an orientation of the optical element using the six degrees of freedom.
  • the position designates the position and orientation of the optical element
  • the actuator is particularly suitable for moving the associated optical element.
  • the actuator can change both the position and the orientation of the optical element.
  • the control unit can be used to control the actuator-sensor unit.
  • the control unit is preferably communicatively connected to the actuator-sensor unit in order to receive sensor data from the sensor and/or to send control data to the actuator.
  • the control unit can be suitable for determining the control data using the received sensor data.
  • the control unit and the actuator-sensor unit are electronic modules.
  • control unit is electrically connected to the actuator-sensor unit means in particular that there is permanent or detachable electrical contact between the control unit and the actuator-sensor unit.
  • This electrical connection can be made by directly contacting contact points of the control unit and the actuator-sensor unit. It is also conceivable that the electrical connection is made using a cable and/or an electrically conductive element of the support element.
  • the electrical connection or contact between the control unit and the actuator-sensor unit can be used to supply the units with electricity and/or for communication between the two units.
  • the support element can also be referred to as a support frame or support housing.
  • “carrying” means in particular "holding”.
  • the fact that the actuator-sensor unit is carried by the first carrying side means in particular that the actuator-sensor unit is arranged on the first carrying side and is preferably connected to the first carrying side.
  • the actuator-sensor unit can be arranged at least partially in a first receptacle of the first support side and/or can be fastened to the first support side with a fastening element (e.g. with screws).
  • the support element can have fits for screwing the actuator-sensor unit to the first support side and/or for positioning the screw connection.
  • control unit is carried by the second carrying side means in particular that the control unit is arranged on the second carrying side and is preferably connected to the second carrying side.
  • control unit can be at least partially arranged in a second receptacle of the second support side and/or with a Fastening element (e.g. with screws) must be fastened to the second supporting side.
  • the support element can have fits for screwing the control unit to the second support side and/or for positioning the screw connection.
  • the actuator sensor unit and the control unit In a state where the actuator sensor unit and the control unit are supported by the support member, the actuator sensor unit and the control unit preferably contact each other.
  • the actuator-sensor unit and the control unit can also be connected to one another in this state.
  • the actuator-sensor unit and the control unit are in particular electrically connected to one another by being arranged on the respective carrying sides of the carrying element.
  • the fact that the second support side is opposite the first support side means in particular that the first and second support sides are opposite sides of the support element.
  • the support element preferably supports the control unit and the actuator-sensor unit in such a way that the support element is at least partially between the control unit and the actuator-sensor unit.
  • the actuator-sensor unit can be attached to the supporting element from below, while the control unit can be attached to the supporting element from above.
  • An installation direction of the actuator-sensor unit runs, in particular, parallel but in the opposite direction to the installation direction of the control unit. The actuator-sensor unit and the control unit can therefore be taken out individually from the support elements.
  • the actuator-sensor device comprises at least one actuator-sensor unit and a control unit. However, it preferably comprises a number of actuator-sensor units and/or a number of control units.
  • the supporting element can carry a plurality of actuator-sensor units arranged next to one another on the first supporting side and/or carry a plurality of control units arranged next to one another on the second supporting side.
  • Each actuator-sensor unit can have an associated control unit. However, it is also possible to to electrically connect and control the unit with several actuator-sensor units.
  • the support element has at least one opening that pierces the support element from the first support side to the second support side.
  • the actuator-sensor unit and the control unit make contact through the opening and are thus electrically connected to one another.
  • the opening enables direct contact between the actuator-sensor unit and the control unit.
  • the contact point of the actuator-sensor unit and the control unit preferably touch through the opening, as a result of which the electrical connection is made possible.
  • the support element has a first receptacle on the first support side, into which the actuator- sensor unit is at least partially inserted.
  • the support element On the second support side, the support element has a second receptacle into which the control unit is at least partially inserted, the first receptacle lying opposite the second receptacle .
  • the recordings can be used to position the actuator-sensor unit and/or the control unit on the support element.
  • the receptacles are in particular shaped in such a way that the actuator-sensor unit and/or the control unit can only be inserted into the support element in a single orientation. This prevents incorrect assembly of the actuator-sensor device before ⁇ geous.
  • the receptacles can also be used to hold the actuator-sensor unit and/or the control unit on the support element.
  • the senor is suitable for detecting a physical property, in particular a position, of an optical element of the lithography system.
  • the actuator is suitable for changing the position of the optical element.
  • the actuator-sensor unit is detachably connected to the first carrying side of the carrying element, and/or the control unit is detachably connected to the second carrying side of the carrying element.
  • a detachable connection is to be understood in particular as a connection that can be released without damaging and/or destroying the connected components.
  • Such a detachable connection is made possible, for example, using the plug-in connection described above, in which the actuator-sensor unit and/or the control unit is plugged into a corresponding receptacle, and/or using a screw connection. Because of the detachable connection, the actuator-sensor unit and/or the control unit can be removed from the support element and/or replaced as often as desired . This results in a modular actuator-sensor device.
  • the optics module is preferably located in a vacuum environment. However, at least the control unit is preferably located in an ambient pressure environment.
  • the actuator-sensor device preferably serves to seal the control unit in a vacuum-tight manner in relation to the optical module.
  • the actuator-sensor unit has a first contact element
  • the control unit has a printed circuit board with a second contact element
  • the supporting element supports the actuator-sensor unit and the control unit in such a way that the first contact element contacts the second contact element.
  • the second contact element can be designed as a gold-coated area on the printed circuit board.
  • a surface of the second contact element is in particular larger than a surface of the first contact element in order to allow tolerance compensation. This ensures the electrical connection between the control unit and the actuator-sensor unit, even after one of the units has been replaced.
  • the first contact element is designed as a pin, in particular as a spring contact pin.
  • the first contact element designed as a pin, can protrude through the opening in the support element in order to touch the second contact element of the printed circuit board and thus enable the electrical connection between the actuator-sensor unit and the control unit.
  • Spring contact probes are contacting pins with a spring that enables an axial displacement of an end piece of the pin.
  • the use of such spring contact pins enables reliable electrical contacting of the first and second contact elements without applying too much pressure to the contact elements.
  • the spring contact pins enable tolerance compensation in an axial direction of the spring contact pins. Pogo pins, for example, can be used as spring contact pins.
  • control unit has a main body with a circuit board connection for supporting the circuit board, the circuit board connection comprises at least two pins! the circuit board has at least two holes into which the pins are inserted, at least one of the holes being a slotted hole.
  • the circuit board is preferably assembled with the main body to form the control unit.
  • the circuit board and the main body thus form separate components.
  • the main body may include a heat sink. Such heat sinks are described in more detail below.
  • the circuit board connection may be integrally formed with the main body. "Material in one piece" means in particular that the main ⁇ body and the circuit board connection are made of one component and a single material.
  • the positions and sizes of the respective holes in the circuit board preferably correspond to those of the pins of the circuit board connection. This means in particular that the respective holes are opposite the pins and that the diameters of the respective holes are the same size as or slightly larger than the diameter of the pins.
  • the hole other than an elongated hole is preferably a circular hole. Through this hole, translational movement of the circuit board on the main body can be blocked.
  • Tolerance compensation is made possible by forming one of the holes as an elongated hole. This is because the elongated hole allows the pin inserted therein to move along the longitudinal direction of the elongated hole.
  • the slotted hole and pin combination locks the PCB from rotating on the heatsink about an axis perpendicular to the PCB.
  • the positioning of the circuit board is not overdetermined by the use of the elongated hole on the circuit board. Therefore, printed circuit boards whose holes do not have exactly the desired dimensions or positions due to manufacturing tolerances can still be attached to the main body.
  • the printed circuit board can also be fixed to the main body using fastening screws.
  • the support element has a metal strip for heat dissipation
  • the control unit has a metal heat sink
  • the supporting member supports the actuator-sensor unit and the control unit in such a way that the heat sink contacts the metal strip.
  • the heat sink and the metal strip are preferably made of a material with a high thermal conductivity, such as aluminum or copper.
  • the heatsink is used to dissipate heat from the control unit. This can prevent the control unit from getting too hot and being damaged by the heat.
  • the heat is dissipated through the metal strip, which is in contact with the heatsink.
  • the metal bar can be part of the support frame. In particular, heat sinks of several control units are contacted with the metal strip.
  • the heat sink has at least two lugs; the metal strip has at least two nose mounts; and the supporting member supports the actuator sensor unit and the control unit in such a manner that the two lugs of the heat sink are received by the two lug receivers.
  • the two tabs may be integrally formed with the heat sink.
  • the nose recordings can be gebil det as recesses in the metal bar.
  • the nose receptacles are preferably sized and positioned to accommodate the two noses. For example, the lugs are inserted into the lug receptacles along a direction that runs perpendicularly to the printed circuit board and/or to the second support side.
  • lugs and corresponding lug receptacles are provided, rotation of the control unit relative to the support element about an axis that runs perpendicularly to the printed circuit board and/or to the second support side can be prevented. Furthermore, the lugs and corresponding lug receptacles generally serve to position the control unit on the second carrying side.
  • the control unit has at least one positioning pin
  • the support element has at least one pin receptacle
  • the supporting member supports the control unit in such a manner that the pivot receiver receives the positioning pivot.
  • the positioning pin can be provided on the circuit board or on the main body. It may be integrally formed with the main body. The positioning pin can be passed through a corresponding hole in the circuit board. Since the positioning pin is guided into the pin receptacle, it is ensured that the control unit is correctly positioned relative to the support frame.
  • the main body of the control unit has circuit board protection elements which protrude beyond the circuit board at the side thereof.
  • the circuit board protection elements can be formed in one piece with the main body, in particular with the heat sink. These may be protrusions of the main body that protrude farther from the main body than the printed circuit board.
  • the printed circuit board When mounting the control unit on the support element, the printed circuit board is usually covered. Circuit board protection elements are provided to prevent the circuit board from being damaged by bumping during assembly, which is only partially carried out.
  • the printed circuit board protection elements preferably protect the printed circuit board in the event of a translatory displacement of the printed circuit board relative to the support element and/or in the event of a twisting of the printed circuit board relative to the support element.
  • the main body has two printed circuit board protection elements which are arranged at diagonally opposite corners of the printed circuit board.
  • the two circuit board protection elements arranged at diagonally opposite corners of the circuit board offer optimal protection of the circuit board.
  • control unit for the actuator sensor device according to the first aspect or according to an embodiment of the first aspect.
  • the control unit includes a printed circuit board with a second contact element, a heat sink and/or a positioning pin.
  • a support element for the actuator sensor device according to the first aspect or according to an embodiment of the first aspect is provided.
  • the support element comprises opposite first and second support sides, first and/or second receptacles and/or an opening.
  • an actuator-sensor unit for the actuator-sensor device according to the first aspect or according to an embodiment of the first aspect is provided.
  • the actuator-sensor unit includes a sensor and an actuator, first contact element, and/or a pin receptacle.
  • a lithography system is provided with an actuator-sensor device according to the first aspect or according to an embodiment of the first aspect.
  • the lithography system is in particular an EUV or DUV lithography system.
  • EUV stands for "extreme ultraviolet” and describes a working light wavelength between 0.1 and 30 nm.
  • DUV stands for "deep ultraviolet” and designates a working light wavelength between 30 and 250 nm.
  • FIG. 1 schematically shows a projection exposure system for EUV projection lithography in a meridional section
  • Fig. 3 shows a control unit for the actuator sensor device from Fig.
  • Fig. 4 shows the control unit of Fig. 3 in plan view
  • FIG. 5 shows a coupling between the control unit and a support element for the actuator-sensor device from FIG. 2;
  • FIG. 6 schematically shows a section through the actuator-sensor device from FIG. 2;
  • FIG. 7 shows a detail from FIG. 6 showing the connection between the control unit and an actuator-sensor unit.
  • an illumination system 2 of the projection exposure system (lithography system) 1 has, in addition to a light or radiation source 3, illumination optics 4 for illuminating an object field 5 in an object plane 6.
  • the light source 3 can also be used as an illumination system that is separate from the other term module be provided. In this case, the lighting system 2 does not include the light source 3 .
  • a reticle 7 arranged in the object field 5 is exposed.
  • the reticle 7 is held by a reticle holder 8 .
  • the reticle holder 8 can be displaced via a reticle displacement drive 9, in particular in a scanning direction.
  • FIG. 1 A Cartesian xyz coordinate system is shown in FIG. 1 for explanation.
  • the c-direction runs perpendicular to the plane of the drawing.
  • the y-direction is horizontal and the z-direction is vertical.
  • the scanning direction runs in FIG. 1 along the y-direction.
  • the z-direction is perpendicular to the object plane 6.
  • the projection exposure system 1 comprises projection optics 10.
  • the projection optics 10 are used to image the object field 5 in an image field 11 in a ner image plane 12.
  • the image plane 12 runs parallel to the object plane 6. Alternatively, an angle different from 0° between the object plane 6 and the image plane 12 is also possible.
  • a structure on the reticle 7 is imaged onto a light-sensitive layer of a wafer 13 arranged in the region of the image field 11 in the image plane 12 .
  • the wafer 13 is held by a wafer holder 14 .
  • the wafer holder 14 can be displaced in particular along the y-direction via a wafer displacement drive 15 .
  • the displacement of the reticle 7 on the one hand via the reticle displacement drive 9 and on the other hand of the wafer 13 via the wafer displacement drive 15 can be synchronized with one another.
  • the radiation source 3 is an EUV radiation source.
  • the radiation source 3 emits in particular EUV radiation 16, which is also referred to as useful radiation, illumination radiation or illumination light in the following.
  • the useful radiation has a wavelength in the range between 5 nm and 30 nm.
  • the radiation source 3 can be a plasma source, for example an LPP source (laser produced plasma, plasma generated using a laser) or around a DPP (Gas Discharged Produced Plasma) source. It can also be a synchrotron-based radiation source.
  • the radiation source 3 can be a free-electron laser (free-electron laser, FEL).
  • the illumination radiation 16 emanating from the radiation source 3 is bundled by a collector 17 .
  • the collector 17 can be a collector with one or more ehipsoidal and/or hyperboloidal reflection surfaces .
  • the at least one reflection surface of the collector 17 can in grazing incidence (Grazing Incidence, Gl), i.e. with angles of incidence greater than 45°, or in normal incidence (Normal Incidence, NI), i.e. with angles of incidence smaller than 45°, with the illumination radiation 16 are applied to the ⁇ .
  • Gl grazing Incidence
  • NI normal incidence
  • the collector 17 can be structured and/or coated on the one hand to optimize its reflectivity for the useful radiation and on the other hand to suppress stray light.
  • the intermediate focal plane 18 can be a separation between a radiation source module, comprising the radiation source 3 and the collector 17, and the illumination optics 4.
  • the illumination optics 4 comprises a deflection mirror 19 and a first facet mirror 20 arranged downstream of this in the beam path.
  • the deflection mirror 19 can be designed as a spectral filter which separates a useful light wavelength of the illumination radiation 16 from stray light of a different wavelength.
  • the first facet mirror 20 is arranged in a plane of the illumination optics 4 which is optically conjugate to the object plane 6 as a field plane, it is also referred to as a field facet mirror.
  • the first facet mirror 20 includes a multiplicity of individual first facets 21, which are also referred to below as field facets. Some of these facets 21 are shown in FIG. 1 only by way of example.
  • the first facets 21 can be embodied as macroscopic facets, in particular as rectangular facets or as facets with an arc-shaped or part-circular edge contour.
  • the first facets 21 can be embodied as planar facets or alternatively as convexly or concavely curved facets.
  • the first facets 21 themselves can each also be composed of a large number of individual mirrors , in particular a large number of micro-mirrors.
  • the first facet mirror 20 can be designed in particular as a microelectromechanical system (MEMS system). Reference is made to DE 10 2008 009 600 A1 for details.
  • MEMS system microelectromechanical system
  • the illumination radiation 16 runs horizontally between the collector 17 and the deflection mirror 19, ie along the y-direction.
  • a second facet mirror 22 is arranged downstream of the first facet mirror 20 in the beam path of the illumination optics 4. If the second facet mirror 22 is arranged in a pupil plane of the illumination optics 4, it is also referred to as a pupil facet mirror.
  • the second facet mirror 22 can also be arranged at a distance from a pupil plane of the illumination optics 4 .
  • the combination of the first facet mirror 20 and the second facet mirror 22 is also referred to as a specular reflector. Specular reflectors are known from US 2006/0132747 A1, EP 1 614 008 B1 and US Pat. No. 6,573,978.
  • the second facet mirror 22 includes a plurality of second facets 23.
  • the second facets 23 are also referred to as pupil facets.
  • the second facets 23 can also be macroscopic facets, which can have round, rectangular or hexagonal borders, for example, or alternatively they can be facets composed of micromirrors. In this regard, reference is also made to DE 10 2008 009 600 A1.
  • the second facets 23 can have plane or alternatively convex or concave curved reflection surfaces.
  • the illumination optics 4 thus forms a double-faceted system.
  • This basic principle is also known as a honeycomb condenser (fly's eye integrator).
  • the second facet mirror 22 can be arranged tilted relative to a pupil plane of the projection optics 7, as is described in DE 10 2017 220 586 A1, for example.
  • the individual first facets 21 are imaged in the object field 5 with the aid of the second facet mirror 22 .
  • the second facet mirror 22 is the last bundle-forming or actually the last mirror for the illumination radiation 16 in the beam path in front of the object field 5.
  • transmission optics can be arranged in the beam path between the second facet mirror 22 and the object field 5 , which contributes in particular to the imaging of the first facets 21 in the object field 5 .
  • the transmission optics can have exactly one mirror, but alternatively also two or more mirrors, which are arranged one behind the other in the beam path of the illumination optics 4 .
  • the transmission optics can include, in particular, one or two mirrors for perpendicular incidence (NF mirrors, normal incidence mirrors) and/or one or two mirrors for grazing incidence (GF mirrors, gracing incidence mirrors).
  • the illumination optics 4 has exactly three mirrors after the collector 17, namely the deflection mirror 19, the field facet mirror 20 and the pupil facet mirror 22.
  • the deflection mirror 19 can also be omitted, so that the illumination optics 4 can then have exactly two mirrors after the collector 17, namely the first facet mirror 20 and the second facet mirror 22.
  • the imaging of the first facets 21 by means of the second facets 23 or with the second facets 23 and transmission optics in the object plane 6 is regularly only an approximate imaging.
  • the projection optics 10 includes a plurality of mirrors Mi, which are numbered according to their arrangement in the beam path of the projection exposure system 1 .
  • the projection optics 10 includes six mirrors M1 to M6. Alternatives with four, eight, ten, twelve or a different number of mirrors Mi are also possible.
  • the projection optics 10 are doubly obscured optics.
  • the penultimate mirror M5 and the last mirror M6 each have a passage opening for the illumination radiation 16.
  • the projection optics 10 has an image-side numerical aperture which is greater than 0.5 and which can also be greater than 0.6 and which, for example, is 0.7 or 0. can be 75.
  • Reflective surfaces of the mirrors Mi can be designed as free-form surfaces without a rotational axis of symmetry.
  • the reflection surfaces of the mirrors Mi can be designed as aspherical surfaces with exactly one axis of rotational symmetry of the reflection surface shape.
  • the mirrors Mi can have highly reflective coatings for the illumination radiation 16. These coatings can be designed as multilayer coatings, in particular with alternating layers of molybdenum and silicon.
  • the projection optics 10 has a large object-image offset in the y-direction between a y-coordinate of a center of the object field 5 and a y-coordinate of the center of the image field 11.
  • This object-image offset in the y-direction can be something like this be as large as a z-distance between the object plane 6 and the image plane 12.
  • the projection optics 10 can in particular be anamorphic. In particular, it has different image scales ⁇ x, ⁇ y in the x and y directions.
  • a positive image scale ß means an image without image reversal.
  • a negative sign for the imaging scale ß means imaging with image reversal.
  • the projection optics 10 thus leads in the c-direction, i.e. in the direction perpendicular to the scanning direction, to a reduction in the ratio 4 1.
  • the projection optics 10 lead to a reduction of 8D in the y-direction, ie in the scanning direction.
  • Other imaging scales are also possible. Magnifications with the same sign and absolutely the same in the x and y directions, for example with absolute values of 0.125 or 0.25, are also possible.
  • the number of intermediate image planes in the x and y directions in the beam path between the object field 5 and the image field 11 can be the same or, depending on the design of the projection optics 10, can be different. Examples of projection optics with different numbers of such intermediate images in the x and y directions are known from US 2018/0074303 A1.
  • one of the pupil facets 23 is assigned to precisely one of the field facets 21 in order to form a respective illumination channel for illuminating the object field 5 .
  • lighting can result according to Köhler's principle.
  • the far field is broken down into a large number of object fields 5 with the aid of the field facets 21 .
  • the field facets 21 generate a plurality of images of the intermediate focus on the pupil facets 23 assigned to them.
  • the field facets 21 are each formed by an associated pupil facet 23 superimposed on one another to illuminate the object field 5 on the reticle 7 .
  • the illumination of the object field 5 is as homogeneous as possible. It preferably has a uniformity error of less than 2%. Field uniformity can be achieved by superimposing different lighting channels.
  • the illumination of the entrance pupil of the projection optics 10 can be defined geometrically by an arrangement of the pupil facets.
  • the intensity distribution in the entrance pupil of the projection optics 10 can be set by selecting the illumination channels, in particular the subset of the pupil facets that guide light. This intensity distribution is also referred to as illumination setting or illumination pupil filling.
  • An equally preferred pupil uniformity in the area of defined illuminated sections of an illumination pupil of the illumination optics 4 can be achieved by redistributing the illumination channels. Further aspects and details of the illumination of the object field 5 and in particular the entrance pupil of the projection optics 10 are described below.
  • the projection optics 10 can in particular have a homocentric entrance pupil. This can be accessible. It can also be inaccessible.
  • the entrance pupil of the projection optics 10 cannot regularly be illuminated exactly with the pupil facet mirror 22 .
  • the aperture rays often do not intersect at a single point.
  • a surface can be found in which the distance between the aperture rays, which is determined in pairs, is minimal. This surface represents the entrance pupil or a surface conjugate to it in position space. In particular, this surface shows a finite curvature.
  • the projection optics 10 may have different positions of the entrance pupil for the tangential and for the sagittal beam path.
  • an imaging element in particular an optical construction element of the transmission optics, should be provided between the second facet mirror 22 and the reticle 7 . With the help of this optical element, the different positions of the tangential entrance pupil and the sagittal entrance pupil can be taken into account.
  • the pupil facet mirror 22 is arranged in a surface conjugate to the entrance pupil of the projection optics 10 .
  • the field facet mirror 20 is arranged tilted to the object plane 6 .
  • the first facet mirror 20 is tilted to an arrangement plane, which is defined by the deflection mirror 19 defi ned.
  • the first facet mirror 20 is tilted relative to an arrangement plane that is defined by the second facet mirror 22 .
  • Fig. 2 shows an actuator-sensor device 200 for the lithography system 1.
  • the actuator-sensor device 200 comprises an actuator-sensor unit 300 with an actuator 301 and a sensor 302.
  • the actuator-sensor unit 300 is assigned to a facet 21, 23 of the facet mirror 20, 22.
  • the facet 21, 23 can also be referred to as an optical element and the facet mirror 20, 22 as an optical module.
  • the sensor 302 is suitable for detecting the location (position and orientation) of the associated facet 21, 23.
  • the actuator 301 is suitable for changing the position of the associated facet 21, 23.
  • the actuator-sensor device 200 also includes a control unit 400.
  • the control unit 400 controls the actuator-sensor unit 300.
  • the actuator-sensor unit 300 is electrically connected to the control unit 400 for this purpose.
  • the control unit 400 can receive the sensor data that is detected by the sensor 302 and, taking into account the received sensor data, generate control data and send it to the actuator 301, which changes the position of the facet 21, 23 accordingly.
  • the actuator-sensor device 200 also includes a support element 500 which supports the actuator-sensor unit 300 and the control unit 400 .
  • the actuator-sensor unit 300 is inserted into first receptacles 504 of the support element 500 from below (opposite the Z-direction).
  • a first receptacle 504 is provided for the actuator-sensor unit 300 and is designed as an opening for receiving the actuator-sensor unit 300 .
  • the first receptacle 504 is provided on a first support side 501 of the support element 500 .
  • the control unit 400 is arranged on a second support side 502 of the support element 500 .
  • the second support face 502 faces the first support face 501 .
  • the support element 500 lies at least partially between the actuator-sensor unit 300 and the control unit 400.
  • the second support side 502 includes a second receptacle 505, which is explained in more detail below.
  • 505 When assembling the control unit 400, it is inserted into the second receptacle 505 from above (along the Z direction).
  • 505 is an opening 503 hen vorgese in the support member 500, which pierces the support member 500 from the first support side 501 to the second support side 502 (Fig. 6).
  • the actuator sensor unit 300 is supported by the first supporting side 501 and the control unit 400 is supported by the second supporting side 502, the two units 300, 400 are in contact with each other through the opening 503.
  • FIG. This contact creates an electrical connection between the units 300, 400.
  • the control unit 400 is arranged in a vacuum-tight area. Normal pressure prevails in this area, while outside of the area (ie where the optics module 20, 22 is arranged) there is a vacuum.
  • the control unit 400 can be removed from the supporting element 500 without being damaged.
  • the control unit 400 to be repaired, checked and/or replaced can be removed from the second receptacle 505 in the opposite direction to the Z direction.
  • a new control unit 400 can be inserted into the second seat 505 in place of the one taken out along the Z-direction.
  • the actuator-sensor unit 300 which can also be removed from the support element 500 without being damaged. Only the actuator-sensor unit 300 to be repaired, checked and/or replaced is taken out of the first receptacle 504 along the Z-direction. A new actuator-sensor unit 300 can be inserted into the first receptacle 504 in the opposite direction to the Z-direction instead of being removed.
  • the actuator sensor unit 300 can advantageously be exchanged without having to remove the control unit 400 and vice versa. This significantly reduces maintenance costs.
  • the control unit 400 is described in more detail below with reference to FIGS.
  • the control unit 400 includes a main body 401, which is essentially cuboid and electronic components around closes. On an outer periphery of the main body 401, it includes a heat sink 402 formed of copper.
  • the control unit 400 On one side of the control unit 400, which faces the second support side 502 when it is inserted into the support element 500, the control unit 400 includes a printed circuit board 403. This is shown in FIG. 8 in a plan view.
  • the circuit board 403 includes a contact area 416 (second contact element). In other embodiments, circuit board 403 may also include multiple contact areas 416 .
  • the second contact element 416 is an area of the circuit board 403 that is coated with gold. Contact area 416 is used to make electrical contact with actuator-sensor unit 300.
  • Circuit board 403 When assembling the control unit 400, the circuit board 403 is placed on the main body 401 in the opposite direction to the Z direction.
  • the printed circuit board 403 is connected to the main body 401 by means of a printed circuit board connection 405 .
  • Circuit board connection 405 includes pins 406, holes 407, 408 and screws 413.
  • the pins 406 are provided on the main body 401, here on the heat sink 402, and are formed in one piece with it.
  • the pins 406 are milled out of the cooling body.
  • the holes 407, 408 in the printed circuit board 403 are provided in such a way that they correspond to the pins 406 .
  • the pins 406 are inserted into the holes 407, 408.
  • the printed circuit board 403 is positioned using the two pins 406.
  • hole 407 is a round hole (bore) while hole 408 is an oblong hole.
  • the hole 407 blocks translational movement of the printed circuit board 403 in the X and Y directions along the heat sink 402 .
  • the combination of pin 406 and slot 408 on the left side blocks the rotation of the printed circuit board 403 on the heat sink 402 about the axis of the Z direction (Rz) by the pin 406 on the left.
  • the use of a slot 408 means that the positioning of the printed circuit board 403 is not overdetermined . This means that small deviations in the dimensions and positioning of the holes 407, 408 can be compensated for by the slot 408.
  • the translational movement of the printed circuit board 403 in the Z direction is prevented by two fastening screws 413. These firmly connect the circuit board 403 to the main body 401.
  • the heatsink 402 further includes a locating post 410 milled from the heatsink 402. As shown in FIG. The positioning pin 410 is guided through a pin hole 414 in the printed circuit board 403 and when inserted into the support element 500 in a pin receptacle 512 (FIG. 6). This aligns control unit 400 relative to support element 500.
  • two diagonally opposite printed circuit board protection elements 411 are provided on the heat sink 402. These are overhangs milled out of heatsink 402.
  • the printed circuit board protection element 411 protected the printed circuit board 403 from touching and thus damage to a surface or edge running parallel to the printed circuit board 403 when the assembly was only partially performed.
  • only rotation about the X and Z axes must be prevented.
  • the circuit board 403 is protected against damage by the circuit board protection elements 411 shown.
  • the printed circuit board 403 with the heat sink 402 is introduced into the support element 500 from above.
  • the printed circuit board 403 is protected from a collision with a contact surface of the support element 500 by the special shape of the heat sink 402 .
  • more printed circuit board protective elements 411 for example four printed circuit board protective elements 411) can also be arranged on the heat sink 402.
  • the support element 500 includes a metal strip 507 made of copper on the second support side 502 . This serves to dissipate the heat from the heat sink 402.
  • a projection 417 is provided on the side of the heat sink 402 (FIG. 3).
  • lugs 409 which are milled out of the heat sink 402 and a bore 415 are arranged on both sides.
  • connection of the lugs 409 to the lug receptacles 508 prevents the control unit 400 from rotating about the Z axis relative to the support element 500 .
  • the nose mounts 508 are designed as bores 518 so that a screw 517 can be guided through the nose mount 508 .
  • the connection of lugs 409 and lug receptacles 508 is in the illustration of FIGS. 2 and 6 higher than the connection of pin 413 and pin receptacle 512.
  • FIG. 6 shows a schematic sectional representation of the actuator-sensor device 200.
  • a connection between an actuator-sensor unit 300 and a control unit 400 via the supporting element 500 can be seen.
  • the actuator-sensor device 200 shown is suitable for the detachable electrical connection of the actuator-sensor unit 300 and the control unit 400 if these have tolerances in the relative positioning to one another due to their connection.
  • the actuator-sensor unit 300 is introduced into the support element 500 from below (opposite to the Z-direction), whereas the control unit 400 is introduced from above (along the Z-direction). Both units 300, 400 are aligned and screwed to the support element 500 with the aid of fits.
  • An electrical connection is established between the units 300, 400, which can compensate for tolerances in the positioning of the individual components in any direction.
  • a first contact element 303 which is designed as a spring contact pin 307, is provided on the actuator-sensor unit 300 for electrical contacting of the actuator-sensor unit 300 and the control unit 400.
  • the contact pin (pin) 307 touches the second contact element 416 of the circuit board 403.
  • the area of the second contact element 416 along the XY plane is larger than the area of the first contact element 307 along the XY plane. This results in a tolerance margin equalization along the x and y directions. Due to the resilience of the spring contact pin 307, tolerances in the Z direction can be compensated up to a certain extent.
  • the actuator-sensor unit 300 is fastened to the supporting frame 500 with two fastening elements (screws) 513 .
  • the vacuum-tight area in which the control unit 400 is arranged is sealed airtight by the optics module 20, 22.
  • the present invention has been described on the basis of exemplary embodiments, it can be modified in many ways. For example, it is possible to provide multiple actuator-sensor units 300 and/or multiple control units 400 in an actuator-sensor device 200 .
  • the actuator sensor device 200 can also be used in a DUV lithography system.

Abstract

Eine Aktuator-Sensor-Vorrichtung (200) für ein Optikmodul (20, 22) einer Litho-graphieanlage (1), umfassend: eine Aktuator-Sensor-Einheit (300) mit einem Aktuator (301) und einem Sensor (302); eine Steuereinheit (400), die mit der Aktuator-Sensor-Einheit (300)elektrisch verbunden ist; und ein Tragelement (500), das an einer ersten Tragseite (501) desselben die Aktuator-Sensor-Einheit (300) und an einer zweiten Tragseite (502) desselben die Steuereinheit (400) trägt, wobei die zweite Tragseite (502) der ersten Trag-seite (501) gegenüberliegt.

Description

AKTUATOR-SENSOR-VORRICHTUNG UND LITHOGRAPHIE ANLAGE
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Aktuator-Sensor-Vorrichtung für eine Lithographieanlage sowie eine Lithographieanlage mit einer derartigen Aktua¬ tor-Sensor-Vorrichtung.
Der Inhalt der Prioritätsanmeldung DE 10 2021 203 721.6 wird durch Bezug¬ nahme vollumfänglich mit einbezogen.
Die Mikrolithographie wird zur Herstellung mikrostrukturierter Bauelemente, wie beispielsweise integrierter Schaltkreise, angewendet. Der Mikrolithogra- phieprozess wird mit einer Lithographieanlage durchgeführt, welche ein Be¬ leuchtungssystem und ein Projektionssystem aufweist. Das Bild einer mittels des Beleuchtungssystems beleuchteten Maske (Retikel) wird hierbei mittels des Projektionssystems auf ein mit einer lichtempfindlichen Schicht (Photoresist) beschichtetes und in der Bildebene des Projektionssystems angeordnetes Sub¬ strat, beispielsweise einen Siliziumwafer, projiziert, um die Maskenstruktur auf die lichtempfindliche Beschichtung des Substrats zu übertragen.
Getrieben durch das Streben nach immer kleineren Strukturen bei der Herstel¬ lung integrierter Schaltungen werden derzeit EUV-Lithographieanlagen entwi¬ ckelt, welche Licht mit einer WeUenlänge im Bereich von 0,1 nm bis 30 nm, ins¬ besondere 13,5 nm verwenden. Bei solchen EUV-Lithographieanlagen müssen wegen der hohen Absorption der meisten Materiahen von Licht dieser Wellen¬ länge reflektierende Optiken, das heißt Spiegel, anstelle von - wie bisher - bre¬ chenden Optiken, das heißt Linsen, eingesetzt werden.
Die Spiegel können z. B. an einem Tragrahmen (Engl7 force frame) befestigt und wenigstens teilweise manipulierbar ausgestaltet sein, um eine Bewegung eines jeweiligen Spiegels in bis zu sechs Freiheitsgraden und damit eine hochgenaue Positionierung der Spiegel zueinander, insbesondere im pm-Bereich, zu ermögli¬ chen. Somit können etwa im Betrieb der Lithographieanlage auftretende Ände¬ rungen der optischen Eigenschaften, z. B. infolge von thermischen Einflüssen, kompensiert werden. Zur Erfassung und Veränderung der Lage der Spiegel, kann die Lithographiean lage eine Aktuator-Sensor-Vorrichtung aufweisen. Diese umfasst Aktuator- Sensor-Einheiten mit einem Sensor und einem Aktuator, sowie Steuereinheiten, die die Aktuator-Sensor-Einheiten ansteuern.
Um eine Vakuumabdichtung der Spiegel gegenüber den Steuereinheiten zu schaffen, werden die Aktuator-Sensor-Einheiten und die Steuereinheiten in ei nem vakuumdichten Gehäuse angeordnet. Hierzu werden zunächst die Aktua tor-Sensor-Einheiten im Gehäuse angeordnet und anschließend von derselben Seite die Steuereinheiten in das Gehäuse integriert. Zwischen den Aktuator- Sensor-Einheiten und dem Gehäuse sind Dichtungen zur Vakuumabdichtung vorgesehen.
Bei der Reparatur, der Wartung und/oder dem Tausch der Aktuator-Sensor- Einheiten stellt sich insbesondere das Problem, dass zuerst die Steuereinheiten herausgenommen werden müssen, um auf die Aktuator-Sensor-Einheiten zu greifen zu können.
Vor diesem Hintergrund besteht eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung darin, eine verbesserte Aktuator-Sensor-Vorrichtung bereitzustellen.
Gemäß einem ersten Aspekt wird eine Aktuator-Sensor-Vorrichtung für ein Op tikmodul einer Lithographieanlage vorgeschlagen. Die Aktuator-Sensor- Vorrichtung umfasst^ eine Aktuator-Sensor-Einheit mit einem Aktuator und einem Sensor; eine Steuereinheit, die mit der Aktuator-Sensor-Einheit elektrisch verbun den ist; und ein Tragelement, das an einer ersten Tragseite desselben die Aktuator- Sensor-Einheit und an einer zweiten Tragseite desselben die Steuereinheit trägt, wobei die zweite Tragseite der ersten Tragseite gegenüberliegt.
Die Aktuator-Sensor-Einheit und die Steuereinheit werden insbesondere durch unterschiedliche Tragseiten des Tragelements getragen. Dadurch kann die Ak tuator-Sensor-Einheit repariert und/oder ersetzt werden, ohne die Steuereinheit aus dem Tragelement herauszunehmen. Ferner kann die Steuereinheit repariert und/oder ersetzt werden, ohne die Aktuator-Sensor-Einheit aus dem Tragele ment herauszunehmen. Dadurch kann eine Reparatur und/oder ein Ersatz der durch das Tragelement gehaltenen Elektronikbauteile (Aktuator-Sensor-Einheit und Steuereinheit) mit geringem Aufwand erfolgen. Eine Nichtbetriebszeit, während der die Aktuator-Sensor-Vorrichtung nicht in Betrieb ist, kann redu ziert werden.
Das Optikmodul ist vorzugsweise Teil des Beleuchtungssystems der Lithogra phieanlage. Das Optikmodul umfasst insbesondere mehrere optische Elemente, die einzeln durch einen zugeordneten Aktuator steuerbar sind. Als optische Elemente kommen Spiegel oder Linsen in Frage. Bei dem Optikmodul kann es sich um einen Facettenspiegel mit mehreren Spiegelfacetten, welche optische Elemente sind, handeln. Jede Spiegelfacette ist einzeln hinsichtlich ihrer Lage ansteuerbar.
Die Aktuator-Sensor-Einheit umfasst mindestens einen Sensor und einen Aktu ator. Sie kann jedoch auch mehrere Sensoren und/oder Aktuatoren umfassen. Die Aktuator-Sensor-Einheit ist vorzugsweise einem optischen Element der Li thographieanlage zugeordnet, zum Beispiel einer Spiegelfacette.
Der Sensor ist insbesondere geeignet, die Lage des zugehörigen optischen Ele ments zu erfassen. Jedes optische Element weist bevorzugt sechs Freiheitsgrade, nämlich drei translatorische Freiheitsgrade jeweils entlang einer ersten Raum richtung oder c-Richtung, einer zweiten Raumrichtung oder y-Richtung und ei ner dritten Raumrichtung oder z-Richtung sowie drei rotatorische Freiheits grade jeweils um die c-Richtung, die y-Richtung und die z-Richtung auf. Das heißt, der Sensor kann eine Position sowie eine Orientierung des optischen Elements mit Hilfe der sechs Freiheitsgrade bestimmen oder beschreiben. Die Lage bezeichnet hier die Position und Orientierung des optischen Elements
Der Aktuator ist insbesondere geeignet, das zugehörige optische Element zu be wegen. Der Aktuator kann dabei sowohl die Position als auch die Orientierung des optischen Elements verändern. Die Steuereinheit kann der Steuerung der Aktuator-Sensor-Einheit dienen. Die Steuereinheit ist vorzugsweise kommunikativ mit der Aktuator-Sensor-Einheit verbunden, um Sensordaten von dem Sensor zu empfangen und/oder Steuerda ten an den Aktuator zu senden. Die Steuereinheit kann geeignet sein, die Steu erdaten anhand der empfangenen Sensordaten zu bestimmen. Bei der Steuer einheit und der Aktuator-Sensor-Einheit handelt es sich um Elektronikmodule.
Dass die Steuereinheit elektrisch mit der Aktuator-Sensor-Einheit verbunden ist, bedeutet insbesondere, dass ein dauerhafter oder lösbarer elektrischer Kon takt zwischen der Steuereinheit und der Aktuator-Sensor-Einheit vorliegt. Diese elektrische Verbindung kann durch eine direkte Kontaktierung von Kontaktstel len der Steuereinheit und der Aktuator-Sensor-Einheit erfolgen. Es ist auch denkbar, dass die elektrische Verbindung anhand eines Kabels und/oder eines elektrisch leitfähigen Elements des Tragelements erfolgt. Die elektrische Ver bindung oder Kontaktierung der Steuereinheit mit der Aktuator-Sensor-Einheit kann der Bestromung der Einheiten und/oder der Kommunikation zwischen den beiden Einheiten dienen.
Das Tragelement kann auch als Tragrahmen oder Traggehäuse bezeichnet wer den. "Tragen" bedeutet im Zusammenhang mit dem Tragelement insbesondere "halten". Dass die Aktuator-Sensor-Einheit durch die erste Tragseite getragen wird, bedeutet insbesondere, dass die Aktuator-Sensor-Einheit an der ersten Tragseite angeordnet und vorzugsweise mit der ersten Tragseite verbunden ist. Zur Verbindung der Aktuator-Sensor-Einheit mit der ersten Tragseite kann die Aktuator-Sensor-Einheit zumindest teilweise in eine erste Aufnahme der ersten Tragseite angeordnet sein und/oder mit einem Befestigungselement (zum Bei spiel mit Schrauben) an der ersten Tragseite befestigt sein. Hierzu kann das Tragelement Passungen zum Anschrauben der Aktuator-Sensor-Einheit an die ersten Tragseite und/oder zum Positionieren der Verschraubung aufweisen.
Dass die Steuereinheit durch die zweite Tragseite getragen wird, bedeutet insbe sondere, dass die Steuereinheit an der zweite Tragseite angeordnet und vor zugsweise mit der zweiten Tragseite verbunden ist. Zur Verbindung der Steuer einheit mit der zweiten Tragseite kann die Steuereinheit zumindest teilweise in eine zweite Aufnahme der zweiten Tragseite angeordnet sein und/oder mit einem Befestigungselement (zum Beispiel mit Schrauben) an der zweiten Tragseite be festigt sein. Hierzu kann das Tragelement Passungen zum Anschrauben der Steuereinheit an die zweiten Tragseite und/oder zum Positionieren der Ver schraubung aufweisen.
In einem Zustand, in dem die Aktuator-Sensor-Einheit und die Steuereinheit durch das Tragelement getragen werden, berühren sich die Aktuator-Sensor- Einheit und die Steuereinheit vorzugsweise. Die Aktuator-Sensor-Einheit und die Steuereinheit können in diesem Zustand ferner miteinander verbunden sein. Die Aktuator-Sensor-Einheit und die Steuereinheit werden insbesondere elektrisch miteinander verbunden, indem sie an den jeweiligen Tragseiten des Tragelements angeordnet werden.
Dass die zweite Tragseite der ersten Tragseite gegenüberliegt bedeutet insbe sondere, dass die erste und zweite Tragseite entgegengesetzte Seiten des Tra gelements sind. Das Tragelement trägt die Steuereinheit und die Aktuator- Sensor-Einheit vorzugsweise derart, dass das Tragelement zumindest teilweise zwischen der Steuereinheit und der Aktuator-Sensor-Einheit vorliegt. In einer Anordnung der Aktuator-Sensor-Vorrichtung, in der die erste Tragseite unten und die zweite Tragseite oben liegt, kann die Aktuator-Sensor-Einheit von unten an dem Tragelement befestigt werden, während die Steuereinheit von oben an dem Tragelement befestigt werden kann. Eine Einbaurichtung der Aktuator- Sensor-Einheit verläuft insbesondere parallel aber in entgegen gesetzter Rich tung zur Einbaurichtung der Steuereinheit. Die Aktuator-Sensor-Einheit und die Steuereinheit können daher einzeln aus dem Tragelemente herausgenom men werden.
Die Aktuator-Sensor-Vorrichtung umfasst mindestens eine Aktuator-Sensor- Einheit und eine Steuereinheit. Vorzugsweise umfasst sie jedoch mehrere Aktu- ator-Sensor-Einheiten und/oder mehrere Steuereinheiten. Das Tragelement kann mehrere nebeneinander angeordnete Aktuator-Sensor-Einheiten auf der ersten Tragseite tragen und/oder mehrere nebeneinander angeordnete Steuer einheiten an der zweiten Tragseite tragen. Jede Aktuator-Sensor-Einheit kann eine zugeordnete Steuereinheit aufweisen. Es ist jedoch auch möglich, eine Steu- ereinheit mit mehreren Aktuator-Sensor-Einheiten elektrisch zu verbinden und zu steuern.
Gemäß einer Ausführungsform weist das Tragelement zumindest eine Öffnung auf, die das Tragelement von der ersten Tragseite zu der zweiten Tragseite durchbohrt. Die Aktuator-Sensor-Einheit und die Steuereinheit kontaktieren sich durch die Öffnung hindurch und sind so elektrisch miteinander verbunden.
Die Öffnung ermöglicht insbesondere einen unmittelbaren Kontakt zwischen der Aktuator-Sensor-Einheit und der Steuereinheit. Vorzugsweise berühren sich Kontaktstelle der Aktuator-Sensor-Einheit und der Steuereinheit durch die Öff¬ nung, wodurch die elektrische Verbindung ermöglicht wird.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform weist das Tragelement auf der ersten Tragseite eine erste Aufnahme auf, in die die Aktuator-Sensor-Einheit zumin¬ dest teilweise hineingesteckt ist. Das Tragelement weist auf der zweiten Trag¬ seite eine zweite Aufnahme auf, in die die Steuereinheit zumindest teilweise hineingesteckt ist, wobei die erste Aufnahme der zweiten Aufnahme gegenüber¬ liegt.
Die Aufnahmen können der Positionierung der Aktuator-Sensor-Einheit und/oder die Steuereinheit am Tragelement dienen. Die Aufnahmen sind insbe¬ sondere derart geformt, dass die Aktuator-Sensor-Einheit und/oder die Steuer¬ einheit nur in einer einzigen Ausrichtung in das Tragelement einsetzbar sind. Dadurch wird eine fehlerhafte Montage der Aktuator-Sensor-Vorrichtung vor¬ teilhaft verhindert.
Die Aufnahmen können ferner dazu dienen, die Aktuator-Sensor-Einheit und/oder die Steuereinheit am Tragelement zu halten.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist der Sensor geeignet, eine physikali¬ sche Eigenschaft, insbesondere eine Lage, eines optischen Elements der Litho¬ graphieanlage zu erfassen. Alternativ oder zusätzlich ist der Aktuator geeignet ist, die Lage des optischen Elements zu verändern. Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist die Aktuator-Sensor-Einheit lösbar mit der ersten Tragseite des Tragelements, und/oder die Steuereinheit ist lösbar mit der zweiten Tragseite des Tragelements verbunden.
Unter einer lösbaren Verbindung ist insbesondere eine Verbindung zu verste hen, die ohne Beschädigung und/oder Zerstörung der verbundenen Bauteile ge löst werden kann. Solch eine lösbare Verbindung wird zum Beispiel anhand der zuvor beschriebenen Steckverbindung, bei der die Aktuator-Sensor-Einheit und/oder die Steuereinheit in eine entsprechende Aufnahme gesteckt wird, und/oder anhand einer Schraubverbindung, ermöglicht. Die Aktuator-Sensor- Einheit und/oder die Steuereinheit können aufgrund der lösbaren Verbindung beliebig oft aus dem Tragelement herausgenommen und/oder ausgetauscht wer¬ den. Dadurch ergibt sich eine modulare Aktuator-Sensor-Vorrichtung.
Das Optikmodul ist vorzugsweise in einer Vakuumumgebung angeordnet. Zu mindest die Steuereinheit befindet sich jedoch vorzugsweise in einer Umgebung, in der Normaldruck herrscht. Die Aktuator-Sensor-Vorrichtung dient vorzugs weise dem vakuumdichten Verschließen der Steuereinheit gegenüber dem Op tikmodul.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform: weist die Aktuator-Sensor-Einheit ein erstes Kontaktelement auf; weist die Steuereinheit eine Leiterplatte ein zweites Kontaktelement auf; und trägt das Tragelement die Aktuator-Sensor-Einheit und die Steuereinheit derart, dass das erste Kontaktelement das zweite Kontaktelement kontaktiert.
Das zweite Kontaktelement kann als eine mit Gold beschichtete Fläche auf der Leiterplatte ausgeführt sein. Eine Fläche des zweiten Kontaktelements ist ins¬ besondere größer als eine Fläche des ersten Kontaktelements, um einen Tole¬ ranzausgleich zu ermöglichen. Dadurch wird die elektrische Verbindung zwi schen der Steuereinheit und der Aktuator-Sensor-Einheit gewährleistet, auch nachdem eine der Einheiten ausgetauscht wurde. Eine Anzahl an ersten Kontaktelementen kann einer Anzahl an zweiten Kontak- telementen entsprechen. Wenn nur eine einzige Aktuator-Sensor-Einheit mit einer Steuereinheit verbunden ist, können N erste Kontaktelemente und N zwei te Kontaktelemente vorgesehen sein (wobei N>1, beispielsweise 40>N>l). Falls M (M>2) Aktuator-Sensor-Einheiten mit einer Steuereinheit verbunden sind, können N erste Kontaktelemente und P=M*N zweite Kontaktelemente vorgese hen sein.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist das erste Kontaktelement als ein Pin, insbesondere als ein Federkontaktstift, ausgeführt.
Das als Pin ausgebildete erste Kontaktelement kann durch die Öffnung in dem Tragelement ragen, um das zweite Kontaktelement der Leiterplatte zu berühren und somit die elektrische Verbindung zwischen der Aktuator-Sensor-Einheit und der Steuereinheit zu ermöglichen.
Federkontaktstifte sind Kontaktierungspins mit einer Feder, die eine axiale Ver schiebung eines Endstücks des Pins ermöghchen. Die Verwendung solcher Fe- derkontaktstifte ermöglicht eine zuverlässige elektrische Kontaktierung der ers ten und zweiten Kontaktelemente, ohne zu viel Druck auf die Kontaktelemente aufzubringen. Die Federkontaktstifte ermöglichen einen Toleranzausgleich in einer axialen Richtung der Federkontaktstifte. Als Federkontaktstifte kommen beispielsweise Pogo-Pins in Frage.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform: weist die Steuereinheit einen Hauptkörper mit einer Leiterplattenverbin dung zum Tragen der Leiterplatte auf umfasst die Leiterplattenverbindung mindestens zwei Stifte! weist die Leiterplatte mindestens zwei Löcher auf, in die die Stifte einge führt sind, wobei mindestens eines der Löcher ein Langloch ist.
Zur Ausbildung der Steuereinheit wird die Leiterplatte vorzugsweise mit dem Hauptkörper zusammengesetzt. Die Leiterplatte und der Hauptkörper bilden somit separate Bauteile. Der Hauptkörper kann einen Kühlkörper umfassen. Solche Kühlkörper werden im Folgenden näher beschrieben. Die Leiterplattenverbindung kann materialeinstückig mit dem Hauptkörper ausgebildet sein. "Materialeinstückig" bedeutet insbesondere, dass der Haupt¬ körper und die Leiterplattenverbindung aus einem Bauteil und einem einzigen Material gefertigt sind.
Die Positionen und Größen der jeweiligen Löcher in der Leiterplatte entsprechen vorzugsweise denen der Stifte der Leiterplattenverbindung. Dies bedeutet insbe¬ sondere, dass die jeweiligen Löcher den Stiften ge genüb erbe gen, und dass die Durchmesser der jeweiligen Löcher gleich groß wie oder etwas größer als die Durchmesser der Stifte sind.
Das Loch, welches kein Langloch ist, ist vorzugsweise ein kreisförmiges Loch. Durch dieses Loch kann eine translatorische Bewegung der Leiterplatte auf dem Hauptkörper gesperrt werden.
Durch die Ausbildung eines der Löcher als Langloch wird ein Toleranzausgleich ermöglicht. Das Langloch ermöglicht nämlich eine Bewegung des darin einge¬ setzten Stifts entlang der Längsrichtung des Langlochs. Durch die Kombination aus Langloch und Stift wird die Rotation der Leiterplatte auf dem Kühlkörper um eine Achse, die Senkrecht zur Leiterplatte verläuft, gesperrt. Durch die Ver¬ wendung des Langlochs auf der Leiterplatte ist die Positionierung der Leiter¬ platte jedoch nicht überbestimmt. Daher können auch Leiterplatten, deren Lö¬ cher aufgrund von Fertigungstoleranzen nicht genau die gewünschten Maße oder Positionen haben, trotzdem am Hauptkörper angebracht werden.
Die Leiterplatte kann ferner anhand von Befestigungsschrauben am Hauptkör¬ per fixiert werden.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform: weist das Tragelement eine Metallleiste zur Wärmeabfuhr auf; weist die Steuereinheit einen Kühlkörper aus Metall auf; und trägt das Tragelement die Aktuator-Sensor-Einheit und die Steuereinheit derart, dass der Kühlkörper die Metallleiste berührt. Der Kühlkörper und die Metallleiste sind vorzugsweise aus einem Material mit einer hohen Wärmeleitfähigkeit, wie zum Beispiel Aluminium oder Kupfer gefer tigt. Der Kühlkörper dient dazu, Wärme von der Steuereinheit abzuführen. Dadurch kann verhindert werden, dass die Steuereinheit zu heiß wird und durch die Wärme beschädigt wird. Die Wärme wird durch die Metallleiste, welche in Kontakt mit dem Kühlkörper steht, abgeleitet. Die Metallleiste kann Teil des Tragrahmens sein. Insbesondere werden Kühlkörper mehrerer Steuereinheiten mit der Metallleiste kontaktiert.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform: weist der Kühlkörper mindestens zwei Nasen auf; weist die Metallleiste mindestens zwei Nasenaufnahmen auf; und trägt das Tragelement die Aktuator-Sensor-Einheit und die Steuereinheit derart, dass die zwei Nasen des Kühlkörpers durch die zwei Nasenaufnahmen aufgenommen sind.
Die zwei Nasen können materialeinstückig mit dem Kühlkörper ausgebildet sein. Die Nasenaufnahmen können als Aussparrungen in der Metallleiste gebil det sein. Die Nasenaufnahmen sind vorzugsweise derart dimensioniert und posi tioniert, dass sie die zwei Nasen aufnehmen können. Die Nasen werden bei spielsweise entlang einer Richtung, die senkrecht zur Leiterplatte und/oder zur zweiten Tragseite verläuft, in die Nasenaufnahmen gesteckt.
Dadurch, dass mindestens zwei Nasen und korrespondierende Nasenaufnahmen vorgesehen sind, kann eine Rotation der Steuereinheit relativ zum Tragelement um eine Achse, die senkrecht zur Leiterplatte und/oder zur zweiten Tragseite verläuft, verhindert werden. Ferner dienen die Nasen und korrespondierende Nasenaufnahmen allgemein der Positionierung der Steuereinheit auf der zwei ten Tragseite.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform: weist die Steuereinheit mindestens einen Positionierungszapfen auf; weist das Tragelement mindestens eine Zapfenaufnahme; und trägt das Tragelement die Steuereinheit derart, dass die Zapfenaufnahme den Positionierungszapfen aufnimmt. Der Positionierungszapfen kann an der Leiterplatte oder an dem Hauptkörper vorgesehen sein. Er kann materialeinstückig mit dem Hauptkörper gebildet sein. Der Positionierungszapfen kann durch ein korrespondierendes Loch in der Lei terplatte durch diese geführt werden. Da der Positionierungszapfen in die Zap fenaufnahme geführt wird, wird sichergestellt, dass die Steuereinheit bestim mungsgemäß relativ zum Tragrahmen positioniert wird.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform weist der Hauptkörper der Steuerein heit Leiterplattenschutzelemente auf, die seitlich der Leiterplatte über diese hinausragen.
Die Leiterplattenschutzelemente können materialeinstückig mit dem Hauptkör per, insbesondere mit dem Kühlkörper, ausgebildet sein. Es kann sich dabei um Vorsprünge des Hauptkörpers handeln, die weiter von dem Hauptkörper abste hen als die Leiterplatte.
Bei der Montage der Steuereinheit an dem Tragelement ist die Leiterplatte übli cherweise verdeckt. Um zu verhindern, dass die Leiterplatte bei der nur teilwei se geführten Montage durch Anstoßen beschädigt wird, werden die Leiterplat tenschutzelemente vorgesehen. Die Leiterplattenschutzelemente schützen die Leiterplatte bevorzugt bei einem translatorischen Versatz der Leiterplatte rela tiv zum Tragelement und/oder bei einer Verdrehung der Leiterplatte relativ zum Tragelement.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform weist der Hauptkörper zwei Leiterplat tenschutzelemente auf, die an diagonal entgegengesetzten Ecken der Leiterplat te angeordnet sind.
Die zwei an diagonal entgegengesetzten Ecken der Leiterplatte angeordneten Leiterplattenschutzelemente bieten einen optimalen Schutz der Leiterplatte.
Gemäß einem zweiten Aspekt wird eine Steuereinheit für die Aktuator-Sensor- Vorrichtung gemäß dem ersten Aspekt oder gemäß einer Ausführungsform des ersten Aspekts bereitgestellt. Die im Rahmen der Beschreibung des ersten Aspekts beschriebenen Merkmale, die die Steuereinheit betreffen, gelten für die Steuereinheit gemäß dem zweiten Aspekt entsprechend. Insbesondere umfasst die Steuereinheit eine Leiterplatte mit einem zweiten Kontaktelement, einen Kühlkörper und/oder einen Positionie rungspin.
Gemäß einem dritten Aspekt wird ein Tragelement für die Aktuator-Sensor- Vorrichtung gemäß dem ersten Aspekt oder gemäß einer Ausführungsform des ersten Aspekts bereitgestellt.
Die im Rahmen der Beschreibung des ersten Aspekts beschriebenen Merkmale, die das Tragelement betreffen, gelten für das Tragelement gemäß dem dritten Aspekt entsprechend. Insbesondere umfasst das Tragelement gegenüberliegende erste und zweite Tragseiten, erste und/oder zweite Aufnahmen und/oder eine Öffnung.
Gemäß einem vierten Aspekt wird eine Aktuator-Sensor-Einheit für die Aktua- tor-Sensor-Vorrichtung gemäß dem ersten Aspekt oder gemäß einer Ausfüh rungsform des ersten Aspekts bereitgestellt.
Die im Rahmen der Beschreibung des ersten Aspekts beschriebenen Merkmale, die die Aktuator-Sensor-Einheit betreffen, gelten für die Aktuator-Sensor- Einheit gemäß dem vierten Aspekt entsprechend. Insbesondere umfasst die Ak tuator-Sensor-Einheit einen Sensor und einen Aktuator, erste Kontaktelement, und/oder eine Zapfenaufnahme.
Gemäß einem fünften Aspekt wird eine Lithographieanlage mit einer Aktuator- Sensor-Vorrichtung gemäß dem ersten Aspekt oder gemäß einer Ausführungs form des ersten Aspekts bereitgestellt.
Bei der Lithographieanlage handelt es sich insbesondere um eine EUV- oder DUV-Lithographieanlage. EUV steht für „extreme ultraviolet“ und bezeichnet eine Wellenlänge des Arbeitslichts zwischen 0,1 und 30 nm. DUV steht für „deep ultraviolet“ und bezeichnet eine Wellenlänge des Arbeitslichts zwischen 30 und 250 nm.
Die für die Aktuator-Sensor-Vorrichtung beschriebenen Ausführungsformen und Merkmale gelten für die vorgeschlagene Lithographieanlage entsprechend und umgekehrt.
"Ein" ist vorliegend nicht zwingend als beschränkend auf genau ein Element zu verstehen. Vielmehr können auch mehrere Elemente, wie beispielsweise zwei, drei oder mehr, vorgesehen sein. Auch jedes andere hier verwendete Zählwort ist nicht dahingehend zu verstehen, dass eine Beschränkung auf genau die genann te Anzahl von Elementen gegeben ist. Vielmehr sind zahlenmäßige Abweichun gen nach oben und nach unten möglich, soweit nichts Gegenteiliges angegeben ist.
Weitere möghche Implementierungen der Erfindung umfassen auch nicht expli zit genannte Kombinationen von zuvor oder im Folgenden bezüglich der Ausfüh rungsbeispiele beschriebenen Merkmalen oder Ausführungsformen. Dabei wird der Fachmann auch Einzelaspekte als Verbesserungen oder Ergänzungen zu der jeweiligen Grundform der Erfindung hinzufügen.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen und Aspekte der Erfindung sind Gegen stand der Unteransprüche sowie der im Folgenden beschriebenen Ausführungs beispiele der Erfindung. Im Weiteren wird die Erfindung anhand von bevorzug ten Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die beigelegten Figuren näher erläutert.
Fig. 1 zeigt schematisch im Meridionalschnitt eine Projektionsbelichtungsanlage für die EUV-Projektionslithographie;
Fig. 2 zeigt eine Aktuator-Sensor-Vorrichtung;
Fig. 3 zeigt eine Steuereinheit für die Aktuator-Sensor-Vorrichtung aus der Fig.
2; Fig. 4 zeigt die Steuereinheit der Fig. 3 in Draufsicht;
Fig. 5 zeigt eine Kopplung zwischen der Steuereinheit und einem Tragelement für die Aktuator-Sensor-Vorrichtung aus der Fig. 2;
Fig. 6 zeigt schematisch einen Schnitt durch die Aktuator-Sensor-Vorrichtung aus der Fig. 2; und
Fig. 7 zeigt einen Ausschnitt aus der Fig. 6, der die Verbindung zwischen der Steuereinheit und einer Aktuator-Sensor-Einheit zeigt.
In den Figuren sind gleiche oder funktionsgleiche Elemente mit denselben Be zugszeichen versehen worden, soweit nichts Gegenteihges angegeben ist. Ferner sollte beachtet werden, dass die Darstellungen in den Figuren nicht notwendi gerweise maßstabsgerecht sind.
Eine Ausführung eines Beleuchtungssystems 2 der Projektionsbelichtungsanlage (Lithographieanlage) 1 hat neben einer Licht- bzw. Strahlungsquelle 3 eine Be leuchtungsoptik 4 zur Beleuchtung eines Objektfeldes 5 in einer Objektebene 6. Bei einer alternativen Ausführung kann die Lichtquelle 3 auch als ein zum sons tigen Beleuchtungssystem separates Modul bereitgestellt sein. In diesem Fall umfasst das Beleuchtungssystem 2 die Lichtquelle 3 nicht.
Belichtet wird ein im Objektfeld 5 angeordnetes Retikel 7. Das Retikel 7 ist von einem Retikelhalter 8 gehalten. Der Retikelhalter 8 ist über einen Retikelverla- gerungsantrieb 9 insbesondere in einer Scanrichtung verlagerbar.
In der Figur 1 ist zur Erläuterung ein kartesisches xyz-Koordinatensystem ein gezeichnet. Die c-Richtung verläuft senkrecht zur Zeichenebene hinein. Die y- Richtung verläuft horizontal und die z-Richtung verläuft vertikal. Die Scanrich tung verläuft in der Fig. 1 längs der y-Richtung. Die z-Richtung verläuft senk recht zur Objektebene 6.
Die Projektionsbelichtungsanlage 1 umfasst eine Projektionsoptik 10. Die Pro jektionsoptik 10 dient zur Abbildung des Objektfeldes 5 in ein Bildfeld 11 in ei- ner Bildebene 12. Die Bildebene 12 verläuft parallel zur Objektebene 6. Alterna¬ tiv ist auch ein von 0° verschiedener Winkel zwischen der Objektebene 6 und der Bildebene 12 möglich.
Abgebildet wird eine Struktur auf dem Retikel 7 auf eine lichtempfindliche Schicht eines im Bereich des Bildfeldes 11 in der Bildebene 12 angeordneten Wafers 13. Der Wafer 13 wird von einem Waferhalter 14 gehalten. Der Waferhalter 14 ist über einen Waferverlagerungsantrieb 15 insbesondere längs der y-Richtung verlagerbar. Die Verlagerung einerseits des Retikels 7 über den Retikelverlagerungsan trieb 9 und andererseits des Wafers 13 über den Wafer- verlagerungsan trieb 15 kann synchronisiert zueinander erfolgen.
Bei der Strahlungsquehe 3 handelt es sich um eine EUV-Strahlungsquelle. Die Strahlungsquehe 3 emittiert insbesondere EUV-Strahlung 16, welche im Fol¬ genden auch als Nutzstrahlung, Beleuchtungsstrahlung oder Beleuchtungshcht bezeichnet wird. Die Nutzstrahlung hat insbesondere eine Wellenlänge im Be¬ reich zwischen 5 nm und 30 nm. Bei der Strahlungsquelle 3 kann es sich um ei¬ ne Plasmaquelle handeln, zum Beispiel um eine LPP-Quelle (Laser Produced Plasma, mithilfe eines Lasers erzeugtes Plasma) oder um eine DPP-Quelle (Gas Discharged Produced Plasma, mittels Gasentladung erzeugtes Plasma). Es kann sich auch um eine synchrotronbasierte Strahlungsquelle handeln. Bei der Strah¬ lungsquelle 3 kann es sich um einen Freie-Elektronen-Laser (Free-Electron- Laser, FEL) handeln.
Die Beleuchtungsstrahlung 16, die von der Strahlungsquelle 3 ausgeht, wird von einem Kollektor 17 gebündelt. Bei dem Kollektor 17 kann es sich um einen Kol¬ lektor mit einer oder mit mehreren ehipsoidalen und/oder hyperboloiden Reflexi¬ onsflächen handeln. Die mindestens eine Reflexionsfläche des Kollektors 17 kann im streifenden Einfall (Grazing Incidence, Gl), also mit Einfallswinkeln größer als 45°, oder im normalen Einfall (Normal Incidence, NI), also mit Ein¬ fallwinkeln kleiner als 45°, mit der Beleuchtungsstrahlung 16 beaufschlagt wer¬ den. Der Kollektor 17 kann einerseits zur Optimierung seiner Reflektivität für die Nutzstrahlung und andererseits zur Unterdrückung von Falschlicht struktu¬ riert und/oder beschichtet sein. Nach dem Kollektor 17 propagiert die Beleuchtungsstrahlung 16 durch einen Zwischenfokus in einer Zwischenfokusebene 18. Die Zwischenfokusebene 18 kann eine Trennung zwischen einem Strahlungsquellenmodul, aufweisend die Strahlungsquelle 3 und den Kollektor 17, und der Beleuchtungsoptik 4 darstel¬ len.
Die Beleuchtungsoptik 4 umfasst einen Umlenkspiegel 19 und diesem im Strah¬ lengang nachgeordnet einen ersten Facettenspiegel 20. Bei dem Umlenkspiegel 19 kann es sich um einen planen Umlenkspiegel oder alternativ um einen Spie¬ gel mit einer über die reine Umlenkungswirkung hinaus bündelbeeinflussenden Wirkung handeln. Alternativ oder zusätzhch kann der Umlenkspiegel 19 als Spektralfilter ausgeführt sein, der eine Nutzlichtwellenlänge der Beleuchtungs¬ strahlung 16 von Falschlicht einer hiervon abweichenden Wellenlänge trennt. Sofern der erste F acettenspiegel 20 in einer Ebene der Beleuchtungsoptik 4 an¬ geordnet ist, die zur Objektebene 6 als Feldebene optisch konjugiert ist, wird dieser auch als Feldfacettenspiegel bezeichnet. Der erste Facettenspiegel 20 um- fasst eine Vielzahl von einzelnen ersten Facetten 21, welche im Folgenden auch als Feldfacetten bezeichnet werden. Von diesen Facetten 21 sind in der Fig. 1 nur beispielhaft einige dargestellt.
Die ersten Facetten 21 können als makroskopische Facetten ausgeführt sein, insbesondere als rechteckige Facetten oder als Facetten mit bogen-förmiger oder teilkreisförmiger Randkontur. Die ersten Facetten 21 können als plane Facetten oder alternativ als konvex oder konkav gekrümmte Facetten ausgeführt sein.
Wie beispielsweise aus der DE 10 2008 009 600 Al bekannt ist, können die ers¬ ten Facetten 21 selbst jeweils auch aus einer Vielzahl von Einzelspiegeln, insbe¬ sondere einer Vielzahl von Mikrospiegeln, zusammengesetzt sein. Der erste Fa¬ cettenspiegel 20 kann insbesondere als mikroelektromechanisches System (MEMS-System) ausgebildet sein. Für Details wird auf die DE 10 2008 009 600 Al verwiesen.
Zwischen dem Kollektor 17 und dem Umlenkspiegel 19 verläuft die Beleuch¬ tungsstrahlung 16 horizontal, also längs der y-Richtung. Im Strahlengang der Beleuchtungsoptik 4 ist dem ersten Facettenspiegel 20 nachgeordnet ein zweiter Facettenspiegel 22. Sofern der zweite Facettenspiegel 22 in einer Pupillenebene der Beleuchtungsoptik 4 angeordnet ist, wird dieser auch als Pupillenfacettenspiegel bezeichnet. Der zweite F acettenspiegel 22 kann auch beabstandet zu einer Pupillenebene der Beleuchtungsoptik 4 angeordnet sein. In diesem Fall wird die Kombination aus dem ersten Facettenspiegel 20 und dem zweiten Facettenspiegel 22 auch als spekularer Reflektor bezeichnet. Spekulare Reflektoren sind bekannt aus der US 2006/0132747 Al, der EP 1 614 008 Bl und der US 6,573,978.
Der zweite Facettenspiegel 22 umfasst eine Mehrzahl von zweiten Facetten 23. Die zweiten Facetten 23 werden im Falle eines Pupillenfacettenspiegels auch als Pupillenfacetten bezeichnet.
Bei den zweiten Facetten 23 kann es sich ebenfalls um makroskopische Facet ten, die beispielsweise rund, rechteckig oder auch hexagonal berandet sein kön nen, oder alternativ um aus Mikrospiegeln zusammengesetzte Facetten handeln. Diesbezüglich wird ebenfalls auf die DE 10 2008 009 600 Al verwiesen.
Die zweiten Facetten 23 können plane oder alternativ konvex oder konkav ge krümmte Reflexionsflächen aufweisen.
Die Beleuchtungsoptik 4 bildet somit ein doppelt facettiertes System. Dieses grundlegende Prinzip wird auch als Wabenkondensor (Fly‘s Eye Integrator) be zeichnet.
Es kann vorteilhaft sein, den zweiten Facettenspiegel 22 nicht exakt in einer Ebene, welche zu einer Pupillenebene der Projektionsoptik 10 optisch konjugiert ist, anzuordnen. Insbesondere kann der Pupillenfacettenspiegel 22 gegenüber einer Pupillenebene der Projektionsoptik 7 verkippt angeordnet sein, wie es zum Beispiel in der DE 10 2017 220 586 Al beschrieben ist.
Mit Hilfe des zweiten Facettenspiegels 22 werden die einzelnen ersten Facetten 21 in das Objektfeld 5 abgebildet. Der zweite Facettenspiegel 22 ist der letzte bündelformende oder auch tatsächlich der letzte Spiegel für die Beleuchtungs strahlung 16 im Strahlengang vor dem Objektfeld 5.
Bei einer weiteren, nicht dargestellten Ausführung der Beleuchtungsoptik 4 kann im Strahlengang zwischen dem zweiten Facettenspiegel 22 und dem Ob jektfeld 5 eine Übertragungsoptik angeordnet sein, die insbesondere zur Abbil dung der ersten Facetten 21 in das Objektfeld 5 beiträgt. Die Übertragungsoptik kann genau einen Spiegel, alternativ aber auch zwei oder mehr Spiegel aufwei sen, welche hintereinander im Strahlengang der Beleuchtungsoptik 4 angeord net sind. Die Übertragungsoptik kann insbesondere einen oder zwei Spiegel für senkrechten Einfall (NFSpiegel, Normal Incidence Spiegel) und/oder einen oder zwei Spiegel für streifen-den Einfall (GFSpiegel, Gracing Incidence Spiegel) um fassen.
Die Beleuchtungsoptik 4 hat bei der Ausführung, die in der Fig. 1 gezeigt ist, nach dem Kollektor 17 genau drei Spiegel, nämlich den Umlenkspiegel 19, den Feldfacettenspiegel 20 und den Pupillenfacettenspiegel 22.
Bei einer weiteren Ausführung der Beleuchtungsoptik 4 kann der Umlenkspiegel 19 auch entfallen, so dass die Beleuchtungsoptik 4 nach dem KoUektor 17 dann genau zwei Spiegel aufweisen kann, nämlich den ersten Facettenspiegel 20 und den zweiten Facettenspiegel 22.
Die Abbildung der ersten Facetten 21 mittels der zweiten Facetten 23 bezie hungsweise mit den zweiten Facetten 23 und einer Übertragungsoptik in die Ob jektebene 6 ist regelmäßig nur eine näherungsweise Abbildung.
Die Projektionsoptik 10 umfasst eine Mehrzahl von Spiegeln Mi, welche gemäß ihrer Anordnung im Strahlengang der Projektionsbelichtungsanlage 1 durch nummeriert sind.
Bei dem in der Figur 1 dargestellten Beispiel umfasst die Projektionsoptik 10 sechs Spiegel Ml bis M6. Alternativen mit vier, acht, zehn, zwölf oder einer an deren Anzahl an Spiegeln Mi sind ebenso möglich. Bei der Projektionsoptik 10 handelt es sich um eine doppelt obskurierte Optik. Der vorletzte Spiegel M5 und der letzte Spiegel M6 haben jeweils eine Durchtrittsöffnung für die Beleuch tungsstrahlung 16. Die Projektionsoptik 10 hat eine bildseitige numerische Apertur, die größer ist als 0,5 und die auch größer sein kann als 0,6 und die bei spielsweise 0,7 oder 0,75 betragen kann.
Reflexionsflächen der Spiegel Mi können als Frei form fl ächen ohne Rotations symmetrieachse ausgeführt sein. Alternativ können die Reflexionsflächen der Spiegel Mi als asphärische Flächen mit genau einer Rotationssymmetrieachse der Reflexionsflächenform gestaltet sein. Die Spiegel Mi können, genauso wie die Spiegel der Beleuchtungsoptik 4, hoch reflektierende Beschichtungen für die Be leuchtungsstrahlung 16 aufweisen. Diese Beschichtungen können als Multilayer- Beschichtungen, insbesondere mit alternierenden Lagen aus Molybdän und Sili zium, gestaltet sein.
Die Projektionsoptik 10 hat einen großen Objekt-Bildversatz in der y-Richtung zwischen einer y-Koordinate eines Zentrums des Objektfeldes 5 und einer y- Koordinate des Zentrums des Bildfeldes 11. Dieser Objekt-Bild-Versatz in der y- Richtung kann in etwa so groß sein wie ein z-Abstand zwischen der Objektebene 6 und der Bildebene 12.
Die Projektionsoptik 10 kann insbesondere anamorphotisch ausgebildet sein. Sie weist insbesondere unterschiedliche Abbildungsmaßstäbe ßx, ßy in x- und y- Richtung auf. Die beiden Abbildungsmaßstäbe ßx, ßy der Projektionsoptik 10 liegen bevorzugt bei (ßx, ßy) = (+/- 0,25, /+- 0,125). Ein positiver Abbildungsmaß- stab ß bedeutet eine Abbildung ohne Bildumkehr. Ein negatives Vorzeichen für den Abbildungsmaßstab ß bedeutet eine Abbildung mit Bildumkehr.
Die Projektionsoptik 10 führt somit in c-Richtung, das heißt in Richtung senk recht zur Scanrichtung, zu einer Verkleinerung im Verhältnis 4 1.
Die Projektionsoptik 10 führt in y-Richtung, das heißt in Scanrichtung, zu einer Verkleinerung von 8D. Andere Abbildungsmaßstäbe sind ebenso möglich. Auch vorzeichengleiche und absolut gleiche Abbildungsmaßstäbe in x- und y-Richtung, zum Beispiel mit Ab solutwerten von 0,125 oder von 0,25, sind möglich.
Die Anzahl von Zwischenbildebenen in der x- und in der y-Richtung im Strah lengang zwischen dem Objektfeld 5 und dem Bildfeld 11 kann gleich sein oder kann, je nach Ausführung der Projektionsoptik 10, unterschiedlich sein. Beispie le für Projektionsoptiken mit unterschiedlichen Anzahlen derartiger Zwischen bilder in x- und y-Richtung sind bekannt aus der US 2018/0074303 Al.
Jeweils eine der Pupillenfacetten 23 ist genau einer der Feldfacetten 21 zur Ausbildung jeweils eines Beleuchtungskanals zur Ausleuchtung des Objektfeldes 5 zugeordnet. Es kann sich hierdurch insbesondere eine Beleuchtung nach dem Köhlerschen Prinzip ergeben. Das Fernfeld wird mit Hilfe der Feldfacetten 21 in eine Vielzahl an Objektfeldern 5 zerlegt. Die Feldfacetten 21 erzeugen eine Mehrzahl von Bildern des Zwischenfokus auf den diesen jeweils zugeordneten PupiUenfacetten 23.
Die Feldfacetten 21 werden jeweils von einer zugeordneten Pupillenfacette 23 einander überlagernd zur Ausleuchtung des Objektfeldes 5 auf das Retikel 7 ab gebildet. Die Ausleuchtung des Objektfeldes 5 ist insbesondere möglichst homo gen. Sie weist vorzugsweise einen Uniformitätsfehler von weniger als 2 % auf. Die Felduniformität kann über die Überlagerung unterschiedlicher Beleuch tungskanäle erreicht werden.
Durch eine Anordnung der Pupillenfacetten kann geometrisch die Ausleuchtung der Eintrittspupille der Projektionsoptik 10 definiert werden. Durch Auswahl der Beleuchtungskanäle, insbesondere der Teilmenge der Pupillenfacetten, die Licht führen, kann die Intensitätsverteilung in der Eintrittspupille der Projekti onsoptik 10 eingestellt werden. Diese Intensitätsverteilung wird auch als Be- leuchtungssetting oder Beleuchtungspupillenfüllung bezeichnet.
Eine ebenfahs bevorzugte Pupillenuniformität im Bereich definiert ausgeleuch teter Abschnitte einer Beleuchtungspupille der Beleuchtungsoptik 4 kann durch eine Umverteilung der Beleuchtungskanäle erreicht werden. Im Folgenden werden weitere Aspekte und Details der Ausleuchtung des Objekt feldes 5 sowie insbesondere der Eintrittspupille der Projektionsoptik 10 be schrieben.
Die Projektionsoptik 10 kann insbesondere eine homozentrische Eintrittspupille aufweisen. Diese kann zugänglich sein. Sie kann auch unzugänglich sein.
Die Eintrittspupille der Projektionsoptik 10 lässt sich regelmäßig mit dem Pupil lenfacettenspiegel 22 nicht exakt ausleuchten. Bei einer Abbildung der Projekti onsoptik 10, welche das Zentrum des Pupillenfacettenspiegels 22 telezentrisch auf den Wafer 13 abbildet, schneiden sich die Apertur-strahlen oftmals nicht in einem einzigen Punkt. Es lässt sich jedoch eine Fläche finden, in welcher der paarweise bestimmte Abstand der Apertur-strahlen minimal wird. Diese Fläche stellt die Eintrittspupille oder eine zu ihr konjugierte Fläche im Ortsraum dar. Insbesondere zeigt diese Fläche eine endliche Krümmung.
Es kann sein, dass die Projektionsoptik 10 unterschiedliche Lagen der Ein trittspupille für den tangentialen und für den sagittalen Strahlengang aufweist. In diesem Fall sollte ein abbildendes Element, insbesondere ein optisches Bau element der Übertragungsoptik, zwischen dem zweiten Facettenspiegel 22 und dem Retikel 7 bereitgestellt werden. Mit Hilfe dieses optischen Elements kann die unterschiedliche Lage der tangentialen Eintrittspupille und der sagittalen Eintrittspupille berücksichtigt werden.
Bei der in der Figur 1 dargestellten Anordnung der Komponenten der Be leuchtungsoptik 4 ist der Pupillenfacettenspiegel 22 in einer zur Eintrittspupille der Projektionsoptik 10 konjugierten Fläche angeordnet. Der Feldfacettenspiegel 20 ist verkippt zur Objektebene 6 angeordnet. Der erste Facettenspiegel 20 ist verkippt zu einer Anordnungsebene angeordnet, die vom Umlenkspiegel 19 defi niert ist. Der erste Facettenspiegel 20 ist verkippt zu einer Anordnungsebene angeordnet, die vom zweiten Facettenspiegel 22 definiert ist. Die Fig. 2 zeigt eine Aktuator-Sensor-Vorrichtung 200 für die Lithographieanla ge 1. Die Aktuator-Sensor-Vorrichtung 200 umfasst eine Aktuator-Sensor- Einheit 300 mit einem Aktuator 301 und einem Sensor 302.
Die Aktuator-Sensor-Einheit 300 ist einer Facette 21, 23 des Facettenspiegels 20, 22 zugeordnet. Die Facette 21, 23 kann auch als optisches Element und der Facettenspiegel 20, 22 als optisches Modul bezeichnet werden. Der Sensor 302 ist geeignet, die Lage (Position und Orientierung) der zugehörigen Facette 21, 23 zu erfassen. Der Aktuator 301 ist geeignet, die Lage der zugehörigen Facette 21, 23 zu verändern.
Die Aktuator-Sensor-Vorrichtung 200 umfasst ferner eine Steuereinheit 400. Die Steuereinheit 400 steuert die Aktuator-Sensor-Einheit 300. Hierzu ist die Aktu- ator-Sensor-Einheit 300 elektrisch mit der Steuereinheit 400 verbunden. Die Steuereinheit 400 kann die Sensordaten, die durch den Sensor 302 erfasst wer den, empfangen, und unter Berücksichtigung der empfangenen Sensordaten Steuerdaten erzeugen und an den Aktuator 301 senden, der die Position der Fa cette 21, 23 entsprechend verändert.
Die Aktuator-Sensor-Vorrichtung 200 umfasst zudem ein Tragelement 500, das die Aktuator-Sensor-Einheit 300 sowie die Steuereinheit 400 trägt. Die Aktua tor-Sensor-Einheit 300 werden dabei von unten (entgegen der Z-Richtung) in erste Aufnahmen 504 des Tragelements 500 gesteckt. Für die Aktuator-Sensor- Einheit 300 ist eine erste Aufnahme 504 vorgesehen, die als eine Öffnung zur Aufnahme der Aktuator-Sensor-Einheit 300 ausgebildet ist. Die erste Aufnahme 504 ist an einer ersten Tragseite 501 des Tragelements 500 vorgesehen.
Die Steuereinheit 400 ist auf einer zweiten Tragseite 502 des Tragelements 500 angeordnet. Die zweite Tragseite 502 hegt der ersten Tragseite 501 gegenüber. Das Tragelement 500 liegt zumindest teilweise zwischen der Aktuator-Sensor- Einheit 300 und der Steuereinheit 400. Zur Aufnahme der Steuereinheit 400 umfasst die zweite Tragseite 502 eine zweite Aufnahme 505, welche im Folgen den näher erläutert wird. Bei der Montage der Steuereinheit 400 wird diese von oben (entlang der Z- Richtung) in die zweite Aufnahme 505 gesteckt. Zwischen der ersten und zwei ten Aufnahme 504, 505 ist in dem Tragelement 500 eine Öffnung 503 vorgese hen, welche das Tragelement 500 von der ersten Tragseite 501 zur zweiten Trag seite 502 durchbohrt (Fig. 6). Wenn die Aktuator-Sensor-Einheit 300 durch die erste Tragseite 501 getragen wird und die Steuereinheit 400 durch die zweite Tragseite 502 getragen wird, stehen die beiden Einheiten 300, 400 durch die Öffnung 503 miteinander in Kontakt. Durch diesen Kontakt erfolgt eine elektri sche Verbindung zwischen den Einheiten 300, 400.
Die Steuereinheit 400 ist in einem vakuumdichten Bereich angeordnet. In die sem Bereich herrscht Normaldruck, während außerhalb des Bereichs (also dort, wo das Optikmodul 20, 22 angeordnet ist) Vakuum vorhegt.
Die Steuereinheit 400 ist aus dem Tragelement 500 herausnehmbar, ohne be schädigt zu werden. Hierzu kann die zu reparierende, zu prüfende und/oder zu ersetzende Steuereinheit 400 entgegen der Z-Richtung aus der zweiten Aufnah me 505 herausgenommen werden. Eine neue Steuereinheit 400 kann anstelle der herausgenommen entlang der Z-Richtung in die zweite Aufnahme 505 einge setzt werden.
Dasselbe gilt für die Aktuator-Sensor-Einheit 300, welche ebenfalls aus dem Tragelement 500 herausnehmbar ist, ohne beschädigt zu werden. Es wird ledig lich die zu reparierende, zu prüfende und/oder zu ersetzende Aktuator-Sensor- Einheit 300 entlang der Z-Richtung aus der ersten Aufnahme 504 herausge nommen. Eine neue Aktuator-Sensor-Einheit 300 kann anstelle der herausge nommen entgegen der Z-Richtung in die erste Aufnahme 504 eingesetzt werden.
Die Aktuator-Sensor-Einheit 300 kann vorteilhaft ohne die Steuereinheit 400 herausnehmen zu müssen, ausgetauscht werden und umgekehrt. Dadurch wird ein Wartungsaufwand deutlich reduziert.
Im Folgenden wird die Steuereinheit 400 unter Bezugnahme auf die Fig. 3 und 4 näher beschrieben. Die Steuereinheit 400 umfasst einen Hauptkörper 401, der im Wesentlichen quaderförmig ausgebildet ist und Elektronikkomponenten um- schließt. An einem Außenumfang des Hauptkörpers 401 umfasst dieser einen Kühlkörper 402, der aus Kupfer gebildet ist.
An einer Seite der Steuereinheit 400, die beim Einsetzen in das Tragelement 500 der zweiten Tragseite 502 zugewandt ist, umfasst die Steuereinheit 400 eine Lei¬ terplatte 403. Diese ist in der Fig. 8 in Draufsicht dargestellt. Die Leiterplatte 403 umfasst einen Kontaktbereich 416 (zweites Kontaktelement). In anderen Ausführungsformen kann die Leiterplatte 403 auch mehrere Kontaktbereiche 416 umfassen. Das zweite Kontaktelement 416 ist ein Bereich der Leiterplatte 403, der mit Gold beschichtet ist. Der Kontaktbereich 416 dient der elektrischen Kontaktierung der Aktuator-Sensor-Einheit 300.
Bei Zusammensetzen der Steuereinheit 400 wird die Leiterplatte 403 entgegen der Z-Richtung auf den Hauptkörper 401 gelegt. Die Leiterplatte 403 wird an¬ hand einer Leiterplattenverbindung 405 mit dem Hauptkörper 401 verbunden. Die Leiterplattenverbindung 405 umfasst Stifte 406, Löcher 407, 408 und Schrauben 413.
Die Stifte 406 sind am Hauptkörper 401, hier am Kühlkörper 402, vorgesehen und materialeinteilig mit diesem gebildet. Die Stifte 406 werden aus dem Kühl¬ körper ausgefräst. Die Löcher 407, 408 in der Leiterplatte 403 sind derart kor¬ respondierend zu den Stiften 406 vorgesehen. Beim Zusammensetzen der Lei¬ terplatte 403 und des Hauptkörpers 401 werden die Stifte 406 in die Löcher 407, 408 gesteckt. Die Positionierung der Leiterplatte 403 erfolgt anhand der zwei Stifte 406.
Wie in den Fig. 2 und 3 dargestellt, ist das Loch 407 ein rundes Loch (Bohrung), während es sich bei dem Loch 408 um ein Langloch handelt. Durch das Loch 407 wird eine translatorische Bewegung der Leiterplatte 403 in den X- und Y- Richtungen entlang des Kühlkörpers 402 gesperrt. Durch die Kombination von Stift 406 und Langloch 408 auf der linken Seite wird die Rotation der Leiterplat¬ te 403 auf dem Kühlkörper 402 um die Achse der Z-Richtung (Rz) durch den lin¬ ken Stift 406 gesperrt. Durch die Verwendung eines Langlochs 408 ist die Positi¬ onierung der Leiterplatte 403 nicht überbestimmt. Das heißt, dass geringe Ab- weichungen in den Dimensionen und Positionierungen der Löcher 407, 408 durch das Langloch 408 kompensiert werden können.
Die translatorische Bewegung der Leiterplatte 403 in Z-Richtung wird durch zwei Befestigungsschrauben 413 verhindert. Diese verbinden die Leiterplatte 403 fest mit dem Hauptkörper 401.
Wie in der Fig. 3 dargestellt, umfasst der Kühlkörper 402 ferner einen Positio nierungszapfen 410, der aus dem Kühlkörper 402 gefräst ist. Der Positionie rungszapfen 410 wird durch ein Zapfenloch 414 in der Leiterplatte 403 geführt und beim Einsatz in das Tragelement 500 in eine Zapfenaufnahme 512 (Fig. 6) geführt. Dadurch erfolgt eine Ausrichtung der Steuereinheit 400 relativ zum Tragelement 500.
Zum Schutz der Leiterplatte 403 bei senkrechter verdeckter Montage in das Tragelement 500 sind am Kühlkörper 402 zwei diagonal gegenüberhegende Lei terplattenschutzelemente 411 vorgesehen. Diese sind Überstände, die aus dem Kühlkörper 402 gefräst sind. Die Leiterplattenschutzelement 411 schützten die Leiterplatte 403 bei einer nur teilweise geführten Montage vor Berührungen und somit Beschädigungen mit einer parallel zur Leiterplatte 403 verlaufenden Flä che oder Kante. Bei der Montage der Steuereinheit 400 muss somit nur eine Verdrehung um die X- und Z-Achsen verhindert werden. Bei einem translatori schen Versatz oder einer Verdrehung um die Y-Achse ist die Leiterplatte 403 durch die gezeigten Leiterplattenschutzelemente 411 gegen Beschädigungen ge schützt. In der Darstellung der Fig. 2 wird die Leiterplatte 403 mit Kühlkörper 402 von oben in das Tragelement 500 eingebracht. Dabei ist die Leiterplatte 403 durch die besondere Form des Kühlkörpers 402 vor einer Kollision mit einer Auf lagefläche des Tragelements 500 geschützt. Anstelle der zwei Leiterplatten schutzelemente 411 können auch mehr Leiterplattenschutzelemente 411 (zum Beispiel vier Leiterplattenschutzelemente 411) am Kühlkörper 402 angeordnet sein.
Wie in der Fig. 2 dargestellt, umfasst das Tragelement 500 auf der zweiten Tragseite 502 eine Metallleiste 507 aus Kupfer. Diese dient der Ableitung der Wärme von dem Kühlkörper 402. Zur Verbindung des Kühlkörpers 402 mit der Metallleiste 507, ist am Kühlkörper 402 seitlich ein Vorsprung 417 vorgesehen (Fig. 3). An dessen Oberseite befinden sich zwei Nasen 409, die aus dem Kühl körper 402 ausgefräst sind und beidseitig einer Bohrung 415 angeordnet sind. Die Nasen 409 werden bei der Montage der Steuereinheit 400 in Naseaufnah men 508, die in der Metallleiste 507 vorgesehen sind, gesteckt. Dies ist in der Fig. 5 dargestellt. Durch die Verbindung der Nasen 409 mit den Nasenaufnah men 508 wird eine Rotation der Steuereinheit 400 um die Z -Achse relativ zum Tragelement 500 verhindert. Die Nasenaufnahmen 508 sind als Bohrungen 518 ausgeführt, sodass eine Schraube 517 durch die Nasenaufnahme 508 führbar ist. Die Verbindung aus Nasen 409 und Nasenaufnahmen 508 befindet sich in der Darstellung der Fig. 2 und 6 höher als die Verbindung aus Zapfen 413 und Zap fenaufnahme 512.
Die Fig. 6 zeigt eine schematische Schnittdarstellung der Aktuator-Sensor- Vorrichtung 200. In der Darstellung der Fig. 6 ist eine Verbindung zwischen ei ner Aktuator-Sensor-Einheit 300 und einer Steuereinheit 400 über das Tragele ment 500 zu sehen. Die dargestellte Aktuator-Sensor-Vorrichtung 200 ist geeig net zur lösbaren elektrischen Verbindung der Aktuator-Sensor-Einheit 300 und der Steuereinheit 400, wenn diese aufgrund ihrer Verb au -Situation Toleranzen in der relativen Positionierung zueinander aufweisen. In der Darstellung der Fig. 6 wird die Aktuator-Sensor-Einheit 300 von unten (entgegen der Z- Richtung) in das Tragelement 500 eingebracht, die Steuereinheit 400 hingegen von oben (entlang der Z-Richtung). Beide Einheiten 300, 400 werden mit Hilfe von Passungen am Tragelement 500 ausgerichtet und verschraubt. Zwischen den Einheiten 300, 400 wird eine elektrische Verbindung hergestellt, welche To leranzen bei der Positionierung der einzelnen Komponenten in beliebiger Rich tung ausgleichen kann.
Wie in der Fig. 6 dargestellt, ist zur elektrischen Kontaktierung der Aktuator- Sensor-Einheit 300 und der Steuereinheit 400 an der Aktuator-Sensor-Einheit 300 ein erstes Kontaktelemente 303 vorgesehen, das als ein Federkontaktstift 307 ausgeführt sind. Der Kontaktstift (Pin) 307 berührt das zweite Kontaktele ment 416 der Leiterplatte 403. Wie in der Fig. 7 dargestellt, ist die Fläche des zweiten Kontaktelements 416 entlang der XY-Ebene größer als die Fläche des ersten Kontaktelements 307 entlang der XY-Ebene. Dadurch erfolgt ein Tole- ranzausgleich entlang der X- und Y- Richtungen. Durch die Federung des Feder- kontaktstifts 307 können Toleranzen in der Z -Richtung bis zu einem bestimmten Maß ausgeglichen werden. Die Aktuator-Sensor-Einheit 300 wird mit zwei Befestigungselementen (Schrau¬ ben) 513 an dem Tragrahmen 500 befestigt. Es erfolgt eine luftdichte Abdichtung des vakuumdichten Bereichs, in dem die Steuereinheit 400 angeordnet ist, von dem Optikmodul 20, 22. Obwohl die vorliegende Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen beschrie¬ ben wurde, ist sie vielfältig modifizierbar. Es ist zum Beispiel möglich, in einer Aktuator-Sensor-Vorrichtung 200 mehrere Aktuator-Sensor-Einheiten 300 und/oder mehrere Steuereinheiten 400 vorzusehen. Die Aktuator-Sensor- Vorrichtung 200 kann auch in eine DUV-Lithographieanlage eingesetzt werden.
BEZUGSZEICHENLISTE
1 Projektionsbelichtungsanlage
2 Beleuchtungssystem
3 Lichtquelle
4 B eleuchtun gsop tik
5 Objektfeld
6 Objektebene
7 Retikel
8 Retikelhalter
9 Retikelverlagerungsantrieb
10 Projektionsoptik 11 Bildfeld 12 Bildebene
13 Wafer
14 Waferhalter
15 W aferverlagerungsan trieb
16 Beleuchtungsstrahlung
17 Kollektor
18 Zwischenfokusebene
19 Umlenkspiegel
20 erster Facettenspiegel 21 erste F acette 22 zweiter Facettenspiegel 23 zweite F acette 200 Aktuator-Sensor-Vorrichtung
300 Aktu ator-Sensor - Einheit
301 Aktuator
302 Sensor
303 erstes Kontaktelement 307 F ederkontaktstift
400 Steuereinheit
401 Hauptkörper
402 Kühlkörper
403 Leiterplatte 405 Leiterplattenverbindung
406 Stift
407 Loch
408 Langloch
409 Nase
410 Positionierungszapfen
411 Leiterplattenschutzelement
413 Schraube
414 Zapfenloch
415 Bohrung
416 zweites Kontaktelement
417 Vorsprung
500 Tragelement
501 erste Tragseite
502 zweite Tragseite
503 Öffnung
504 erste Aufnahme
505 zweite Aufnahme
507 Metallleiste
508 N asenaufnahme
512 Zapfenaufnahme
513 Befestigungselement
517 Schraube
518 Bohrung Ml Spiegel M2 Spiegel M3 Spiegel M4 Spiegel M5 Spiegel M6 Spiegel

Claims

PATENTANSPRÜCHE
1. Aktuator-Sensor-Vorrichtung (200) für ein Optikmodul (20, 22) einer Litho¬ graphieanlage (l), umfassend: eine Aktuator-Sensor-Einheit (300) mit einem Aktuator (301) und einem Sensor (302); eine Steuereinheit (400), die mit der Aktuator-Sensor-Einheit (300) elektrisch verbunden ist; und ein Tragelement (500), das an einer ersten Tragseite (501) desselben die Aktuator-Sensor-Einheit (300) und an einer zweiten Tragseite (502) desselben die Steuereinheit (400) trägt, wobei die zweite Tragseite (502) der ersten Trag¬ seite (501) gegenüberliegt.
2. Aktuator-Sensor-Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei das Tragelement (500) zumindest eine Öffnung (503) aufweist, die das Tra¬ gelement (500) von der ersten Tragseite (501) zu der zweiten Tragseite (502) durchbohrt; und die Aktuator-Sensor-Einheit (300) und die Steuereinheit (400) sich durch die Öffnung (503) hindurch kontaktieren und so elektrisch miteinander verbun¬ den sind.
3. Aktuator-Sensor-Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, wobei das Tragelement (500) auf der ersten Tragseite (501) eine erste Aufnahme (504) aufweist, in die die Aktuator-Sensor-Einheit (300) zumindest teilweise hin¬ eingesteckt ist; und das Tragelement (500) auf der zweiten Tragseite (502) eine zweite Aufnah¬ me (505) aufweist, in die die Steuereinheit (400) zumindest teilweise hineinge¬ steckt ist, wobei die erste Aufnahme (504) der zweiten Aufnahme (505) gegen¬ überliegt.
4. Aktuator-Sensor-Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei der Sensor (302) geeignet ist, eine physikalische Eigenschaft, insbesondere eine Lage, eines optischen Elements (21, 23) des Optikmoduls (20, 22) zu erfas¬ sen; und/oder der Aktuator (301) geeignet ist, die Lage des optischen Elements (21, 23) zu verändern.
5. Aktuator-Sensor-Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei die Aktuator-Sensor-Einheit (300) lösbar mit der ersten Tragseite (501) des Tragelements (500) verbunden ist; und/oder die Steuereinheit (400) lösbar mit der zweiten Tragseite (502) des Tragele ments (500) verbunden ist.
6. Aktuator-Sensor-Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei die Aktuator-Sensor-Einheit (300) ein erstes Kontaktelement (303) auf weist; die Steuereinheit (400) eine Leiterplatte (403) mit einem zweiten Kontakte lement (416) aufweist; und das Tragelement (500) die Aktuator-Sensor-Einheit (300) und die Steuer einheit (400) derart trägt, dass das erste Kontaktelement (303) das zweite Kon taktelement (416) kontaktieren.
7. Aktuator-Sensor-Vorrichtung nach Anspruch 6, wobei das erste Kontakte lement (303) als ein Pin, insbesondere als ein Federkontaktstift (307), ausge führt ist.
8. Aktuator-Sensor-Vorrichtung nach Anspruch 6 oder 7, wobei: die Steuereinheit (400) einen Hauptkörper (401) mit einer Leiterplatten - Verbindung (405) zum Tragen der Leiterplatte (403) aufweist; die Leiterplattenverbindung (405) mindestens zwei Stifte (406) umfasst; die Leiterplatte (403) mindestens zwei Löcher (407, 408) aufweist, in die die Stifte (406) eingeführt sind, wobei mindestens eines der Löcher (407, 408) ein Langloch (408) ist.
9. Aktuator-Sensor-Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, wobei das Tragelement (500) eine Metallleiste (507) zur Wärmeabfuhr aufweist; die Steuereinheit (400) einen Kühlkörper (402) aus Metall aufweist; und das Tragelement (500) die Aktuator-Sensor-Einheit (300) und die Steuer einheit (400) derart trägt, dass der Kühlkörper (402) die Metallleiste (507) be rührt.
10. Aktuator-Sensor-Vorrichtung nach Anspruch 9, wobei der Kühlkörper (402) mindestens zwei Nasen (409) aufweist; die Metallleiste (507) mindestens zwei Nasenaufnahmen (508) aufweist; und das Tragelement (500) die Aktuator-Sensor-Einheit (300) und die Steuer einheit (400) derart trägt, dass die zwei Nasen (409) des Kühlkörpers (402) durch die zwei Nasenaufnahmen (508) aufgenommen sind.
11. Aktuator-Sensor-Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, wobei die Steuereinheit (400) mindestens einen Positionierungszapfen (410) auf weist; das Tragelement (500) mindestens eine Zapfenaufnahme (512) aufweist; das Tragelement (500) die Steuereinheit (400) derart trägt, dass die Zap fenaufnahme (512) den Positionierungszapfen (410) aufnimmt.
12. Aktuator-Sensor-Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 11, wobei der Hauptkörper (401) der Steuereinheit (400) Leiterplattenschutzelemente (41l) aufweist, die seithch der Leiterplatte (403) über diese hinausragen.
13. Lithographieanlage (l) mit einer Aktuator-Sensor-Vorrichtung (200) nach einem der Ansprüche 1 bis 12.
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