WO2022209372A1 - 磁気記録媒体 - Google Patents

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WO2022209372A1
WO2022209372A1 PCT/JP2022/005871 JP2022005871W WO2022209372A1 WO 2022209372 A1 WO2022209372 A1 WO 2022209372A1 JP 2022005871 W JP2022005871 W JP 2022005871W WO 2022209372 A1 WO2022209372 A1 WO 2022209372A1
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magnetic recording
recording medium
magnetic
underlayer
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PCT/JP2022/005871
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French (fr)
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淳一 立花
弘幸 小林
輝夫 齋
寛之 村上
聡 兒玉
颯吾 及川
隆嗣 相澤
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ソニーグループ株式会社
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    • G11B5/84Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers

Definitions

  • This technology relates to magnetic recording media.
  • Magnetic recording tapes and hard disk media are typical magnetic recording media.
  • the former magnetic recording tape has attracted renewed attention as a data storage tape.
  • the reason for this is the spread of the Internet, the use of cloud computing, and the progress in the accumulation and analysis of big data. is required.
  • this magnetic recording tape has advantages in terms of cost, energy saving, long life, reliability, and the like.
  • Patent Document 1 a magnetic film mainly composed of Co--Pt--Cr and containing Si oxide is formed on a substrate, and the content of the Si oxide is converted to Si atoms, Co-- A magnetic recording medium is disclosed which is characterized by 8 atomic % or more and 16 atomic % or less with respect to Pt--Cr.
  • the main object of the present technology is to provide a magnetic recording medium that exhibits a high SNR and is excellent in thermal stability.
  • the recording layer has an average atomic number ratio represented by the following formula, [Co (100-XY) PtXCrY ] (100-Z) - ( MON ) Z (I) (In formula (I) above, 10 ⁇ X ⁇ 25, 8 ⁇ Y ⁇ 16, and 6 ⁇ Z ⁇ 11 , and MON represents a metal oxide.)
  • the ratio ⁇ 50 /(p+q) composed of the average thickness q [nm] and the half width ⁇ 50 of the rocking curve of the CoPtCr hcp (0002) peak in the out-of-plane X-ray diffraction of the recording layer is 0.360 or more and 0.545 or less, and
  • the average thickness of the CAP layer is 4 nm
  • the magnetic recording medium may have a base layer, a seed layer, and an underlayer in this order, and the recording layer may be provided on the underlayer.
  • the underlayer may have a first underlayer and a second underlayer, and the recording layer may be provided on the first underlayer.
  • the seed layer may have a first seed layer and a second seed layer, and the underlayer may be provided on the first seed layer.
  • the magnetic recording medium may have an intermediate layer, and the intermediate layer may be provided between the underlayer and the recording layer.
  • the magnetic recording medium may have a SUL, and the SUL may be provided between the base layer and the seed layer.
  • MON in the formula (I) may be at least one selected from B 2 O 3 , SiO 2 and TiO 2 .
  • the CAP layer may comprise an alloy containing Co, Pt, Cr and B.
  • the underlayer may contain ruthenium.
  • the first seed layer may comprise a nickel-tungsten alloy.
  • the second seed layer may comprise an alloy containing Ti, Cr and O.
  • the average thickness of the recording layer may be 10 nm or more and 20 nm or less.
  • the average thickness of the protective layer may be 1 nm or more and 10 nm or less.
  • the average thickness of the first underlayer may be 1 nm or more and 30 nm or less.
  • the average thickness of the second underlayer may be 1 nm or more and 50 nm or less.
  • the average thickness of the first seed layer may be 1.0 nm or more and 20.0 nm or less.
  • the average thickness of the second seed layer may be 0.1 nm or more and 5.0 nm or less.
  • the recording layer has an average atomic number ratio represented by the following formula, [Co (100-XY) PtXCrY ] (100-Z) - ( MON ) Z (I) (In formula (I) above, 10 ⁇ X ⁇ 25, 8 ⁇ Y ⁇ 16, and 6 ⁇ Z ⁇ 11 , and MON represents a metal oxide.)
  • the height p [nm] of the 0.1% area in the surface convex direction in the bearing curve created based on the height data of the protective layer side surface obtained using an atomic force microscope, and the protective layer The ratio ⁇ 50 /(p+q) composed of the average thickness q [nm] and the half width ⁇ 50 of the rocking curve of the CoPtCr hcp (0002) peak in the out-of-plane X-ray diffraction of the recording layer
  • FIG. 1 is a schematic diagram showing a recording head and a magnetic recording medium
  • FIG. FIG. 3 is a schematic diagram showing a recording magnetic field generated by a recording head
  • 1 is a diagram showing an example of a layer structure of a magnetic recording medium according to a first embodiment
  • FIG. 4 is a graph showing an example of a bearing curve
  • FIG. 5 is a diagram showing an example of the layer structure of a magnetic recording medium according to a second embodiment
  • FIG. 10 is a diagram showing an example of the layer structure of a magnetic recording medium according to a third embodiment
  • 1 is a schematic diagram showing the configuration of a recording/reproducing device
  • FIG. 1 is an exploded perspective view showing an example of the configuration of a magnetic recording cartridge
  • FIG. 4 is a block diagram showing an example of the configuration of a cartridge memory
  • FIG. FIG. 11 is an exploded perspective view showing an example of the configuration of a modification of the magnetic recording cartridge;
  • Magnetic Recording Medium of Present Technology (1) Overview (2) Composition of Recording Layer (3) Ratio ⁇ 50 /(p+q) (4) Average thickness of CAP layer (5) Layer structure2.
  • First Embodiment (1) Configuration of magnetic recording medium (2) Description of each layer (3) Effect 3.
  • Second Embodiment (1) Structure of Magnetic Recording Medium (2) Description of Each Layer4.
  • Third Embodiment (1) Structure of Magnetic Recording Medium (2) Description of Each Layer5.
  • Recording/reproducing device 7 7 .
  • a magnetic recording medium of the present technology has a recording layer, a CAP layer, and a protective layer in this order.
  • the recording layer has an average atomic ratio represented by the following formula (I). [Co (100-XY) PtXCrY ] (100-Z) - ( MON ) Z (I) (In formula (I) above, 10 ⁇ X ⁇ 25, 8 ⁇ Y ⁇ 16, and 6 ⁇ Z ⁇ 11 , and MON represents a metal oxide.)
  • the magnetic recording medium of the present technology has a high signal-to-noise ratio (SNR) and excellent thermal stability because the recording layer has a specific composition as described above.
  • SNR signal-to-noise ratio
  • the magnetic recording medium of the present technology has a height p[ nm], the average thickness q [nm] of the protective layer, and the half width ⁇ 50 of the rocking curve of the CoPtCr hcp (0002) peak in the out-of-plane direction X-ray diffraction of the recording layer ⁇ 50 /(p+q) is 0.360 or more and 0.545 or less.
  • the magnetic recording medium of the present technology exhibits a high SNR because the ratio ⁇ 50 /(p+q) is within the numerical range.
  • the CAP layer has an average thickness of 4 nm or more.
  • the magnetic recording medium of the present technology can exhibit a high SNR and reduce the saturation magnetic field (Hs) by having the CAP layer have an average thickness of 4 nm or more. Reduction of the saturation magnetic field (Hs) can prevent difficulty in recording information on the magnetic recording medium.
  • the magnetic recording medium of this technology is tape-shaped, and can be, for example, a long magnetic recording tape.
  • the tape-shaped magnetic recording medium of the present technology may be housed, for example, in a magnetic recording cartridge. More specifically, it may be accommodated in the cartridge while being wound around a reel in the magnetic recording cartridge.
  • composition of the recording layer the ratio ⁇ 50 /(p+q), the average thickness of the CAP layer, and the layer structure in the magnetic recording medium of the present technology are further described below.
  • a magnetic recording medium with low noise and high SNR is required.
  • the magnetization recorded in the magnetic recording medium (specifically, the recording layer) tends to be attenuated by thermal energy. Attenuation of the magnetization can make it difficult to stably retain information recorded in the magnetic recording medium (specifically, the recording layer).
  • thermal stability the stability against heat of the magnetic recording medium
  • magnetic recording media are also required to have excellent thermal stability.
  • K u V act /k B T is an index value of the thermal stability of magnetic recording media.
  • K u is the magnetic anisotropy energy of the magnetic material
  • V act is the activation volume of the magnetic material
  • k B is the Boltzmann constant
  • T is the absolute temperature.
  • K u V act /k B T the higher the thermal stability of the magnetic recording medium.
  • the value of K u V act /k B T of the magnetic recording medium is at least a certain value.
  • the present inventors have studied a magnetic recording medium that exhibits a high SNR required for realizing a high areal recording density and has excellent thermal stability.
  • the present inventors have found that in order to stably retain recorded information in a magnetic recording medium having an areal recording density of 100 Gb/in 2 or more, for example, KuVact / kBT must be 80 or more. considered desirable. Therefore, the present inventors demonstrated a high SNR required for realizing a high areal recording density (for example, an areal recording density of 100 Gb /in 2 or more) and KuVact / kBT of 80 or more.
  • a certain magnetic recording medium was further investigated.
  • the present inventors have found that the recording layer of the magnetic recording medium has an average atomicity ratio represented by the following formula (I), thereby improving SNS and reducing KuVact / kBT . It has been found that it is possible to increase it to 80 or more.
  • [Co (100-XY) PtXCrY ] (100-Z) - ( MON ) Z (I) (In formula (I) above, 10 ⁇ X ⁇ 25, 8 ⁇ Y ⁇ 16, and 6 ⁇ Z ⁇ 11 , and MON represents a metal oxide.)
  • HDD Hard Disk Drives
  • magnetic tapes tape-shaped magnetic recording media
  • HDD employs a disk medium having a so-called CAP layer that reduces the saturation magnetic field on top of a magnetic film structure with high magnetic isolation realized by a material with high magnetic anisotropy. sell. It is important to reduce the magnetic spacing (magnetic gap) in order to achieve a high recording density in an HDD equipped with the disk medium. Magnetic spacing is the distance between the recording head element and the magnetic layer surface of the disk medium. In HDDs, magnetic spacings of 10 nm or less have been realized by conventional technologies.
  • This technique is a technique for maximizing the characteristics of perpendicular magnetic recording by providing an SUL on a disk medium and generating a strong perpendicular magnetic field through interaction between the SUL and the SPT recording head.
  • the protective layers provided on the magnetic tape and the recording head are required to have a thickness capable of preventing wear due to contact between the magnetic tape and the magnetic head, unlike the HDD. Therefore, the protective layer of magnetic tapes and recording heads must be thicker than that of HDDs. Therefore, it is difficult to make the protective layers of magnetic tapes and recording heads as thin as in HDDs.
  • the present inventors have studied a technique for improving the SNR of tape-shaped magnetic recording media, and focused on the three parameters ⁇ 50 , p, and q.
  • the parameter ⁇ 50 (also referred to as “half width ⁇ 50 ”) is the half width of the rocking curve of the CoPtCr hcp (0002) peak in out-of-plane X-ray diffraction of the recording layer.
  • the parameter p (also referred to as “height p of 0.1% area in the surface convex direction”) is created based on the height data of the protective layer side surface of the magnetic recording medium obtained using an atomic force microscope. It is the height (unit: nm) of 0.1% area in the surface convex direction in the bearing curve to be measured.
  • the 0.1% area height p in the surface convex direction is a parameter that reflects the tendency of the height of the protrusions present on the surface of the recording layer in the magnetic recording medium of the present technology. It is considered that the smaller the height p of 0.1% area in the surface convex direction, the lower the number of projections present on the surface of the recording layer as a whole.
  • the parameter q (also referred to as “average thickness q of the protective layer”) is the average thickness (unit: nm) of the protective layer.
  • the total value (p+q) of the 0.1% area height p in the surface convex direction and the average thickness q of the protective layer is the distance between the surface of the recording head and the recording layer of the magnetic recording medium. It is a parameter that reflects the trend of long and short. It is considered that the smaller the value of (p+q), the shorter the distance between the recording head and the recording layer.
  • FIG. 1 is a schematic diagram showing a recording head 510 and a magnetic recording medium 520.
  • the magnetic recording medium 520 is an example of a general tape-shaped magnetic recording medium.
  • the magnetic recording medium 520 has a protective layer 530 and a magnetic layer 540 in order from the recording head 510 side.
  • the protective layer 530 corresponds to the protective layer in the magnetic recording medium of the present technology
  • the magnetic layer 540 corresponds to the recording layer in the magnetic recording medium of the present technology.
  • the magnetic recording medium 520 further has a base layer (not shown) below the magnetic layer 540 .
  • a plurality of projections 541 are formed on the surface of the magnetic layer 540 by a plurality of projections existing on the surface of the base layer, and a plurality of projections 531 are also formed on the surface of the protective layer 530 .
  • a surface 510 a of the recording head 510 is in contact with the protective layer 530 .
  • the protrusion 541 shown in FIG. 1 is one of the plurality of protrusions present on the surface of the magnetic layer 540
  • the protrusion 531 is one of the plurality of protrusions present on the surface of the protective layer 530. is exemplified.
  • FIG. 2 is a schematic diagram showing a recording magnetic field generated by the recording head 510, and illustrates a case where the recording head 510 records information on a perpendicular magnetic recording medium.
  • the recording head 510 is an example of a ring-type recording head.
  • arrows D h1 to D h5 indicate recording magnetic fields generated by the recording head 510
  • arrow D m indicates the c-axis direction of the magnetic crystal grains 542 included in the recording layer of the perpendicular magnetic recording medium.
  • the recording magnetic field generated by the recording head 510 includes a horizontal component as indicated by arrow D h1 and oblique components as indicated by D h2 to D h5 .
  • the magnetic field component in the horizontal direction with respect to the recording layer decreases with increasing distance from the surface 510a of the recording head 510 (that is, closer to the recording layer of the perpendicular magnetic recording medium).
  • the magnetic field component in the oblique direction increases. Therefore, it is considered that the recording efficiency is higher when the recording magnetization direction of the recording layer is partially oblique to the recording layer than when the entire recording magnetization direction is perpendicular to the recording layer (thickness direction of the recording layer). be done.
  • the recording efficiency is higher when the c-axis direction Dm of the magnetic crystal grains 542 contained in the recording layer is partially oblique to the recording layer than when the entire c-axis direction Dm is perpendicular to the recording layer. it is conceivable that. Therefore, it is considered that the degree of dispersion of the c-axis orientation of the magnetic crystal grains affects the recording efficiency. In order to improve the recording efficiency, it is considered effective to adjust the degree of dispersion of the c-axis orientation.
  • the ratio of the oblique magnetic field component contained in the recording magnetic field can vary depending on the distance between the surface 510a of the recording head 510 and the recording layer of the magnetic recording medium. Therefore, the degree of distribution of the c-axis orientation that can increase the recording efficiency can be affected by the distance between the surface 510a of the recording head 510 and the recording layer of the magnetic recording medium.
  • the half-value width ⁇ 50 is a parameter that indicates the degree of dispersion of the c-axis orientation of the CoPtCr-based alloy contained in the recording layer, and (p+q) is the distance between the surface of the recording head and the recording layer of the magnetic recording medium. It is a parameter that reflects the tendency of the length of the distance. Based on the above, it is considered that adjusting the values of the half width ⁇ 50 and (p+q) will improve the recording efficiency. Improvement in recording efficiency can contribute to improvement in SNR of the magnetic recording medium.
  • the magnetic recording medium of this technology has a CAP layer.
  • the average thickness of the CAP layer is 4 nm or more. If the CAP layer is less than 4 nm, it becomes difficult to obtain excellent SNR.
  • the magnetic recording medium of the present technology can reduce the saturation magnetic field (Hs) of the recording layer because the CAP layer is 4 nm or more.
  • a saturation magnetic field (Hs) is a magnetic field required to saturate the magnetization of the magnetic material contained in the recording layer. In order to perform saturation recording with the write head, it is necessary to make the write magnetic field generated by the write head larger than the saturation magnetic field. Therefore, if the saturation magnetic field is too high, recording (writing) by the recording head may become difficult. A reduction in the saturation magnetic field (Hs) contributes to preventing recording from becoming difficult.
  • the magnetic recording medium of this technology has a recording layer, a CAP layer, and a protective layer in this order.
  • the magnetic recording medium of the present technology may further have a base layer, a seed layer, and an underlayer in this order, and the recording layer may be provided on the underlayer.
  • the underlying layer has one or more layers.
  • the underlayer preferably has a two-layer structure having a first underlayer and a second underlayer. That is, the underlayer preferably consists of a first underlayer and a second underlayer.
  • the recording layer may be provided on the first underlayer.
  • the seed layer has one or more layers.
  • the seed layer is preferably a bilayer structure having a first seed layer and a second seed layer. That is, the seed layer preferably consists of a first seed layer and a second seed layer.
  • the underlayer may be provided on the first seed layer.
  • the magnetic recording medium of the present technology may further have an intermediate layer.
  • the intermediate layer may be provided between the underlayer and the recording layer.
  • the magnetic recording medium of the present technology may further have a SUL (soft magnetic underlayer).
  • the SUL may be provided between the base layer and the seed layer.
  • the protective layer side of the magnetic recording medium is the upper side
  • the back layer side of the magnetic recording medium is the lower side.
  • Layers common to all embodiments according to the present technology are indicated using the same reference numerals in all the attached drawings, and redundant description of common configurations, materials, and the like is omitted as appropriate.
  • the magnetic recording medium T1 is, for example, a magnetic recording medium for perpendicular magnetic recording.
  • the magnetic recording medium T1 includes a back layer 6, a base layer 5, a second seed layer 42, a first seed layer 41, a second underlayer 32, a first underlayer 31, a recording layer 1, a CAP layer C, a protective layer P, and a lubricant layer L in this order. That is, in the magnetic recording medium T1, the second seed layer 42 and the first seed layer 41 are provided in this order on one main surface of the elongated base layer 5 . A second underlayer 32 and a first underlayer 31 are provided in this order on the first seed layer 41 .
  • a recording layer 1 functioning as a magnetic recording layer is provided on the first underlayer 31 .
  • a CAP layer C, a protective layer P, and a lubricant layer L are provided on the recording layer 1 in this order.
  • a back layer 6 is provided on the main surface on the other side of the base layer 5 .
  • the seed layer 4 has a two-layer structure consisting of a first seed layer 41 and a second seed layer.
  • the underlayer 3 has a two-layer structure consisting of a first underlayer 31 and a second underlayer 32 .
  • the second seed layer 42, the first seed layer 41, the second underlayer 32, the first underlayer 31, the recording layer 1, the CAP layer C, and the protective layer P are layers formed by, for example, sputtering (hereinafter referred to as “sputtering (also referred to as a "layer”).
  • sputtering also referred to as a "layer”
  • the magnetic recording medium T1 has an elongated shape and runs in the longitudinal direction during recording and reproduction.
  • the magnetic recording medium T1 is suitable for use as a storage medium for data archiving, which is expected to be in increasing demand in the future.
  • This magnetic recording medium T1 can achieve, for example, an areal recording density of 100 Gb/in 2 or more, which is ten times or more that of the current coated magnetic recording medium for storage.
  • a general linear recording type data cartridge is constructed using the magnetic recording medium T1 having such surface recording density, a large capacity recording of 200 TB or more per data cartridge becomes possible.
  • the magnetic recording medium T1 is a recording/reproducing apparatus (for recording data) having a ring-type recording head and a giant magnetoresistive (GMR) type or tunneling magnetoresistive (TMR) type reproducing head. recording/playback device for playback). That is, the magnetic recording medium T1 may be a magnetic recording medium for a recording/reproducing apparatus having a ring-shaped recording head and a GMR-type or TMR-type reproducing head. The magnetic recording medium T1 preferably uses a ring-shaped recording head as a servo signal writing head. A data signal may be perpendicularly recorded on the recording layer 1 by, for example, a ring-type recording head.
  • GMR giant magnetoresistive
  • TMR tunneling magnetoresistive
  • a servo signal may be perpendicularly recorded on the recording layer 1 by, for example, a ring-type recording head. That is, the magnetic recording medium T1 may be a magnetic recording medium having a recording layer 1 on which data signals and servo signals are perpendicularly recorded by a ring-shaped recording head.
  • the average thickness t T of the magnetic recording medium T1 is preferably 5.6 ⁇ m or less, more preferably 5.5 ⁇ m or less, still more preferably 5.3 ⁇ m or less, 5.2 ⁇ m or less, or 5.0 ⁇ m or less. It can be 6 ⁇ m or less. Since the magnetic recording medium T1 is so thin, it is possible, for example, to increase the tape length wound up in one magnetic recording cartridge, thereby increasing the recording capacity per magnetic recording cartridge. can.
  • the average thickness tT of the magnetic recording medium T1 may be, for example, 3.0 ⁇ m or more, 3.2 ⁇ m or more, 3.4, or 3.5 ⁇ m or more.
  • the average thickness tT of the magnetic recording medium T1 is obtained as follows. First, a magnetic recording medium T1 having a width of 1/2 inch accommodated in a cartridge is unwound, and a length of 250 mm is measured from each of three positions of 10 to 20 m, 30 to 40 m, and 50 to 60 m from one end of the outermost peripheral side. Cut into 3 pieces to make 3 samples. Next, using a laser hologram (LGH-110C) manufactured by Mitutoyo as a measuring device, the thickness of each sample was measured at 5 points, and the measured values (15 points in total) were simply averaged. (arithmetic mean) to calculate the average value t T [ ⁇ m]. It is assumed that the measurement position is randomly selected from the sample.
  • LGH-110C laser hologram manufactured by Mitutoyo
  • the width of the magnetic recording medium T1 can be, for example, 5 mm to 30 mm, particularly 7 mm to 25 mm, more particularly 10 mm to 20 mm, still more particularly 11 mm to 19 mm.
  • the length of the magnetic recording medium T1 may be, for example, 500m to 1500m, and may be, for example, 1000m or more.
  • the tape width according to the LTO8 standard is 12.65 mm and the length is 960 m.
  • the magnetic recording medium T1 has a ratio ⁇ 50 / ( p+q) is 0.360 or more and 0.545 or less, preferably 0.380 or more and 0.540 or less, more preferably 0.400 or more and 0.500 or less. SNR can be improved by setting the ratio ⁇ 50 /(p+q) within the above numerical range. The three parameters that make up the ratio ⁇ 50 /(p+q) are described below.
  • the half width ⁇ 50 is the half width of the rocking curve of the CoPtCr hcp (0002) peak in the out-of-plane X-ray diffraction of the recording layer 1 . That is, the half-value width ⁇ 50 is determined by rocking curve measurement on the (0002) plane of the hexagonal close-packed (hcp) structure of the CoPtCr-based alloy using X-ray diffraction in the out-of-plane direction of the recording layer 1. FWHM of the resulting rocking curve.
  • the half width ⁇ 50 is a value that satisfies 0.360 ⁇ 50/(p+q) ⁇ 0.545, preferably a value that satisfies 0.380 ⁇ ⁇ 50 /(p+q) ⁇ 0.540, and more preferably is a value that satisfies 0.400 ⁇ 50 /(p+q) ⁇ 0.500.
  • the half width ⁇ 50 can be adjusted according to the values of other parameters (p and q) so that the ratio ⁇ 50 /(p+q) satisfies the above numerical range.
  • the half width ⁇ 50 may be, for example, 3.5° or more and 7.5° or less, 4.0° or more and 7.0° or less, or 4.0° or more and 6.5° or less.
  • the half width ⁇ 50 can be adjusted, for example, by changing the average thickness of the underlayer 3 or the average thickness of the seed layer 4 .
  • the half width ⁇ 50 is obtained as follows. First, a magnetic recording medium T1 having a width of 12.7 mm is cut into a length of 30 mm to prepare a rectangular sample of 12.7 mm ⁇ 30 mm. Furthermore, samples of the same shape are prepared at two locations every 10 m to obtain a total of three samples. Next, using an X-ray diffractometer (RINT 2000 manufactured by Rigaku Corporation), Out-of Plane measurement, which is a method of evaluating a lattice plane parallel to the sample surface of each sample, was performed as shown in Table 1 below. ( ⁇ -2 ⁇ ) characteristics are measured under the condition
  • Incident X-rays are fixed at 2 ⁇ : 43.7° (CoPtCr hcp (0002 plane)) and the X-ray detector is scanned in a range of ⁇ 15°.
  • a diffraction X-ray curve (rocking curve) obtained by scanning obtains a value that is 1/2 of the peak intensity.
  • the values obtained for the three samples are simply averaged (arithmetic mean) to give ⁇ 50 .
  • Attached peak search software and XRD analysis processing software JADE can be used as data processing software used to calculate the value of ⁇ 50 from the diffraction X-ray curve.
  • the 0.1% area height p in the surface convex direction is a numerical value in a bearing curve created based on height data of the protective layer side surface of the magnetic recording medium T1 obtained using an atomic force microscope.
  • the "protective layer side surface of the magnetic recording medium” means the surface of the tape-shaped magnetic recording medium that is closest to the protective layer. For example, even if a layer other than the protective layer (for example, a lubricant layer) exists on the outermost surface of the magnetic recording medium, the surface close to the protective layer is referred to herein as the "protective layer side surface".
  • the height p of the 0.1% area in the surface convex direction is a numerical value that satisfies 0.360 ⁇ 50 /(p+q) ⁇ 0.545, preferably 0.380 ⁇ 50 /(p+q) ⁇ 0. 540, more preferably 0.400 ⁇ 50 /(p+q) ⁇ 0.500.
  • the 0.1% area height p in the surface convex direction can be adjusted according to the values of other parameters ( ⁇ 50 and q) so that the ratio ⁇ 50 /(p+q) satisfies the above numerical range.
  • the 0.1% area height p in the surface convex direction may be, for example, 1 nm or more and 15 nm or less, 2 nm or more and 12 nm or less, or 3 nm or more and 10 nm or less.
  • the 0.1% area height p in the surface convex direction can be adjusted, for example, by changing the number of reciprocating motions in the surface treatment of the magnetic recording medium T1.
  • the 0.1% area height p in the surface convex direction is obtained as follows. First, a magnetic recording medium T1 having a width of 12.7 mm is cut into a length of 10 mm to prepare a rectangular sample of 12.7 mm ⁇ 10 mm. Furthermore, samples of the same shape are prepared at two locations every 10 m to obtain a total of three samples. Three measurement areas on the protective layer side surface of each sample are observed with an atomic force microscope (AFM) to obtain two-dimensional (2D) surface profile data in a total of nine measurement areas. AFM measurement conditions are shown below.
  • AFM atomic force microscope
  • AFM Digital Instruments Dimension 3100 microscope (with Nanoscope IV controller) Cantilever: NanoWorld NCH-10T Measurement area: 30 ⁇ m ⁇ 30 ⁇ m square area Resolution: 512 ⁇ 512 Scan direction of AFM probe: MD (machine direction) direction of magnetic tape (longitudinal direction) Measurement mode: tapping mode scan ratio: 1Hz
  • Measurement data pAFM x, y at each measurement point (x, y) in the above F surface x, y , and sensitivity Sens.Zscan [nm / V] in the height direction and measurement range Z Scale [ V], the height AFM x,y [nm] of each measurement point is calculated by the following formula. "65536" in the following formula is the total number of measurement points (256 ⁇ 256 65536).
  • AFM x,y [nm] (pAFM x,y ⁇ Sens.Zscan [nm/V] ⁇ Z Scale [V]) / 65536
  • the above “protective layer side surface height data obtained using an atomic force microscope” (hereinafter also simply referred to as “protective layer side surface height data”) is obtained by the above formula means the height AFM x,y of each measurement point determined by
  • the height difference H d of each measurement point is arranged as a one-dimensional array.
  • the one-dimensional array is sorted in ascending order (descending order).
  • the height difference Hd of the rearranged one-dimensional array is the Y-coordinate value of each point that draws the bearing curve. That is, the value of the Y coordinate of the bearing curve is the height difference Hd .
  • the height difference Hd is referred to as the height in the bearing curve.
  • the ratio of the data number (element number of the one-dimensional array) of the one-dimensional array after sorting in descending order to the total number of data (number of all measurement points) is the value of the X coordinate of each point that draws the bearing curve. . That is, the value of the X coordinate of the bearing curve is obtained by the following formula.
  • X coordinate value [%] Data Number/total number of data x 100
  • FIG. 4 is a graph showing an example of bearing curves.
  • the X axis indicates the area ratio
  • the Y axis indicates the height (specifically, the height difference H d ).
  • the area ratio is obtained by accumulating frequencies in descending order of height (height difference H d ), and expressing the number of all measurement points (65,536) measured by AFM as 100 as a percentage.
  • the height at which the area ratio is 0.1% in the bearing curve is the "height p of 0.1% area in the convex direction of the surface".
  • the height p of 0.1% area in the surface convex direction is the height (height difference H d ) of p [nm] or more at 0.1% of all measurement points. It means that there is For example, when there is a point P whose X coordinate is 0.1 (%) and whose Y coordinate is 5 (nm) on the bearing curve, the height p of the 0.1% area in the surface convex direction is 5 nm, This means that the height (height difference H d ) is 5 nm or more at 0.1% of all measurement points.
  • the 0.1% area height p in the surface convex direction is an index for evaluating the tendency of the height of the convex shapes (projections) present on the protective layer side surface of the magnetic recording medium T1. It is considered that the protrusions present on the protective layer side surface of the magnetic recording medium T1 reflect the protrusions present on the surface of the layer positioned below the protective layer P. FIG. Therefore, it is considered that the height of the protrusions present on the protective layer side surface reflects the height of the protrusions present on the surface of the recording layer 1 located below the protective layer P. FIG. Therefore, the 0.1% area height p in the surface convex direction can be a parameter that reflects the tendency of the height of the protrusions present on the surface of the recording layer 1 . It is considered that the smaller the height p of 0.1% area in the surface convex direction, the smaller the number of projections present on the surface of the recording layer 1 as a whole.
  • the average thickness q of the protective layer P is a value satisfying 0.360 ⁇ 50 /(p+q) ⁇ 0.545, preferably 0.380 ⁇ 50 /(p+q) ⁇ 0.540. , more preferably a value that satisfies 0.400 ⁇ 50 /(p+q) ⁇ 0.500.
  • the average thickness q of the protective layer P can be adjusted according to the values of other parameters ( ⁇ 50 and p) so that the ratio ⁇ 50 /(p+q) satisfies the above numerical range.
  • the average thickness q of the protective layer may be, for example, 1 nm or more and 10 nm or less, 2 nm or more and 8 nm or less, or 3 nm or more and 6 nm or less.
  • the average thickness q of the protective layer P is obtained as follows.
  • the magnetic recording medium T1 accommodated in the cartridge was unwound, and required lengths were cut from three positions of 10 m to 20 m, 30 m to 40 m, and 50 m to 60 m from one end of the outermost circumference side to prepare three samples. do.
  • each sample is processed by FIB (Focused Ion Beam) method or the like to be thinned.
  • FIB method Flucused Ion Beam
  • a carbon film and a tungsten thin film are formed as protective films as a pretreatment for observing a cross-sectional TEM image, which will be described later.
  • the carbon film is formed on the protective layer side surface and the back layer side surface of the magnetic recording medium T1 by a vapor deposition method, and the tungsten thin film is further formed on the protective layer side surface by a vapor deposition method or a sputtering method.
  • the protective layer P is made of carbon
  • the protective layer P may not be distinguishable from the protective film. In this case, it is not necessary to form a carbon film as a protective film on the protective layer side surface of the sample.
  • the thinning is performed along the length direction (longitudinal direction) of the magnetic recording medium T1. That is, by the thinning, a cross section parallel to both the longitudinal direction and the thickness direction of the magnetic recording medium T1 is formed.
  • the thickness of the protective layer P is measured at 10 positions aligned in the longitudinal direction of the magnetic recording medium T1 of each thinned sample.
  • the average value obtained by simply averaging (arithmetic mean) the measured values of each obtained thinned sample (measured values of 30 points in total) is defined as the average thickness of the protective layer P q [nm].
  • the position where the measurement is performed shall be randomly selected from the test piece.
  • Each layer of the magnetic recording medium T1 will be described with reference to FIG. 3 again.
  • the recording layer 1 is a layer containing magnetic crystal grains, and can function as a layer for recording or reproducing signals using magnetism.
  • the recording layer 1 may be a perpendicular magnetic recording layer in which magnetic crystal grains are vertically oriented. Furthermore, from the viewpoint of improving the recording density, it is preferable that the granular magnetic layer has a granular structure containing a Co-based alloy.
  • the recording layer 1 having a granular structure is composed of ferromagnetic crystal grains containing a Co-based alloy and non-magnetic grain boundaries (non-magnetic substances) surrounding the ferromagnetic crystal grains. More specifically, the granular structure recording layer 1 includes columns (columnar crystals) containing a Co-based alloy, non-magnetic grain boundaries surrounding the columns and separating the columns physically and magnetically. consists of With such a granular structure, the recording layer 1 presents a structure in which each columnar magnetic crystal grain is magnetically separated.
  • a Co-based alloy has a hexagonal close-packed (hcp) structure, and its c-axis can be oriented in the direction perpendicular to the film surface (thickness direction of the magnetic recording medium).
  • the recording layer 1 having the hexagonal close-packed structure further enhances the orientation characteristics of the recording layer 1 .
  • the Co-based alloy it is preferable to employ a CoPtCr-based alloy containing at least Co, Cr and Pt.
  • the CoPtCr-based alloy is not particularly narrowly limited, and may further contain additional elements. Examples of additive elements include one or more elements selected from Ni, Ta, and the like.
  • the recording layer 1 may have a granular structure in which particles containing Co, Pt and Cr are separated by oxides.
  • the non-magnetic grain boundaries surrounding ferromagnetic crystal grains contain non-magnetic metal materials.
  • metal shall include semimetal.
  • the non-magnetic metal material may be, for example, a non-magnetic oxide, and the non-magnetic oxide may be at least one of a metal oxide and a metal nitride, and the granular structure is more stable. From the viewpoint of maintaining a
  • the recording layer 1 has an average atomic ratio (also referred to as average composition) represented by the following formula (I).
  • the formula (I) below does not indicate a specific crystal structure, but simply indicates the average atomic number ratio of the elements. That is, the following formula (I) represents values obtained from the results of measuring the atomic number ratios of the elements.
  • the recording layer 1 may contain elements other than the element represented by the following formula (I). That is, the recording layer 1 may have an average atomic ratio represented by the following formula (I), and may contain other elements (for example, impurities and components diffused from other layers). OK.
  • X is preferably 12 or more, more preferably 14 or more, still more preferably 16 or more, and particularly preferably 18 or more.
  • the X is preferably 23 or less.
  • the numerical range of X may be defined by any of the above upper limits and any of the above lower limits, preferably 12 ⁇ X ⁇ 23, more preferably 14 ⁇ X ⁇ 23, and even more preferably 16 ⁇ X ⁇ 23. , particularly preferably 18 ⁇ X ⁇ 23.
  • Y is preferably 10 or more.
  • the magnetic recording medium T1 can exhibit a higher SNR.
  • the Y is preferably 14 or less, more preferably 12 or less.
  • the value of K u V act /k B T is increased, and the thermal stability is improved.
  • the numerical range of Y may be defined by any of the above upper limits and any of the above lower limits, preferably 8 ⁇ Y ⁇ 14, more preferably 8 ⁇ X ⁇ 12, still more preferably 10 ⁇ X ⁇ 12 is.
  • Z is preferably 7 or more. With Z being 7 or more, the magnetic recording medium T1 can exhibit a higher SNR.
  • the Z is preferably 10 or less, more preferably 9 or less. By setting Z within this numerical range, the magnetic recording medium T1 can exhibit a higher SNR.
  • the numerical range of Z may be defined by any of the above upper limits and any of the above lower limits, preferably 6 ⁇ Z ⁇ 10, more preferably 6 ⁇ Z ⁇ 9, and even more preferably 7 ⁇ Z ⁇ 9. is.
  • the above metal oxides suitable for non - magnetic grain boundaries include, for example, Si, Cr, Cr, Al, Ti, Ta, Zr, Ce, Y, B and Hf.
  • Metal oxides containing at least one selected element are included. Specific examples thereof include SiO 2 , Cr 2 O 3 , CuO, Al 2 O 3 , TiO 2 , Ta 2 O 5 , ZrO 2 , B 2 O 3 and HfO 2 .
  • the metal oxide preferably comprises one, two or three selected from B2O3, SiO2 and TiO2 , more preferably B2O3 , SiO2 and TiO2 is at least one selected from, and more preferably B 2 O 3 .
  • metal nitrides suitable for non-magnetic grain boundaries include metal nitrides containing at least one element selected from Si, Cr, Co, Al, Ti, Ta, Zr, Ce, Y and Hf. Specific examples thereof include SiN, TiN, AlN, and the like.
  • the role of the non-magnetic grain boundaries in the granular structure is determined by separating the columns of the Co-based alloy, that is, by spatially separating the ferromagnetic crystal grains, as described above. The aim is to reduce the effect of interaction.
  • the process in which sputtered particles reach the base film and precipitate out greatly affects the state of this granular structure, and it is preferable that the melting point of the material that makes up the non-magnetic grain boundaries is lower than the melting point of the material that makes up the ferromagnetic crystal grains. It has been shown that this leads to a granular structure.
  • Co 80 Pt 20 when Co 80 Pt 20 is considered as the material of ferromagnetic crystal grains, its melting point is 1450°C.
  • the respective melting points are 1600°C and 1843 °C, which are higher than Co80Pt20 . is much lower than the melting point of
  • the ferromagnetic crystal grains first precipitate at the tips of the underlayer columns, and after cooling progresses and the temperature drops, the non-magnetic grain boundaries A good granular structure is realized by depositing the material between the ferromagnetic grains.
  • B 2 O 3 is considered to be suitable as an oxide in the recording layer (Reference: K. K. Tham, R. Kushibiki, S. Hinata, and S. Saito, “B 2 O 3 : Grain boundary material for high -Ku CoPt-oxide granular media with low degree of intergranular exchange coupling,” Jpn. J. Appl. Phys., vol. 55, p. 07MC06, Jun. 2016.).
  • the recording layer 1 is preferably a granular structure composed of magnetic crystal grains (especially columnar magnetic crystal grains) and non-magnetic grain boundaries surrounding the magnetic crystal grains.
  • the melting point of the material forming the nonmagnetic grain boundary is preferably lower than the melting point of the material forming the magnetic crystal grain, for example, 100°C or more lower, more preferably 300°C or more lower, and even more preferably 500°C. above, 600° C. or higher, or 700° C. or lower.
  • the difference between the former melting point and the latter melting point may be, for example, 1200° C. or less, 1100° C. or less, or 1000° C. or less.
  • the melting point of the material forming the non-magnetic grain boundary is preferably, for example, 100° C. to 1200° C. lower, more preferably 300° C. to 1100° C. lower than the melting point of the material forming the magnetic crystal grain. More preferably, it may be lower by 500°C to 1000°C.
  • the average atomic number ratio of the recording layer 1 is obtained as follows. First, the magnetic recording medium T1 accommodated in the cartridge is unwound, and required sizes are cut out from three positions of 10 m to 20 m, 30 m to 40 m, and 50 m to 60 m from one end of the outermost periphery, and three samples are obtained. to make. Subsequently, the back layer on the back surface (back layer 5 side surface) of each sample is removed with methyl ethyl ketone to obtain three samples.
  • FIB Fluorine Beam
  • FIB Fluorine Beam
  • the back surface of each sample the surface from which the back layer 5 was removed
  • the base layer 6, the second seed layer 42, the first seed layer 41, the second underlayer 32, and the The first underlayer 31 is removed.
  • three samples for analysis in which only the recording layer 1, the CAP layer C, the protective layer P, and the lubricant layer L remain are obtained.
  • EDX energy dispersive X-ray spectroscopy
  • the average atomic number ratio of each element contained in layer 1 is identified. Below, the measurement conditions of the TEM and the elemental analyzer, and the more detailed identification procedure of the average atomic number ratio are shown.
  • the volume ratio of the oxide is obtained from the area ratio. From the volume ratio, the element ratio of the oxide to the metal is obtained. This gives the value of Z in formula (I) above. Details of the above processing using ImageJ are given below. (Measuring step of black area by binarization processing) ImageJ is used to process as follows. In this process, the image processing range is set to 80 nm ⁇ 80 nm. A specific operation procedure of the software is shown in parentheses of each step below. Step 1: Open an image file. (File ⁇ Open) Step 2: Enter dimensions. (Analyze ⁇ Set Scale) The dimensions are set as follows.
  • Step 7 Perform Steps 1 to 6 above on the images at five locations in the sample for analysis, and calculate the average value (simple average) of the obtained Area Functions (percentage of area occupied by particles). These average values correspond to the area ratio of the metal element ((100-Z) in the above formula (I)).
  • the bulk value of each element is used as the oxide specific gravity and the metal specific gravity used when determining the element ratio from the volume ratio.
  • the average thickness tm of the recording layer 1 is preferably 10 nm or more and 20 nm or less, more preferably 11 nm or more and 19 nm or less, still more preferably 12 nm or more and 18 nm or less.
  • the average thickness tm of the recording layer 1 is obtained in the same manner as the average thickness of the protective layer P. However, the magnification of the TEM image is appropriately adjusted according to the thickness of the recording layer 1 .
  • the CAP layer C is a layer containing a material with a strong magnetic interaction.
  • a laminated structure consisting of the recording layer 1 having a granular structure and the CAP layer C is generally called Coupled Granular Continuous (CGC).
  • the CAP layer C may contain a CoPtCr-based material.
  • the CoPtCr-based materials include CoPtCr materials, CoPtCrB materials, and materials obtained by further adding metal oxides to these materials (CoPtCr-metal oxides, CoPtCrB-metal oxides).
  • the metal oxide for example, MON in the following formula (2)
  • the metal oxide at least one selected from the group consisting of Si, Ti, Mg, Ta, and Cr can be used. can. Specific examples thereof include SiO 2 , TiO 2 , MgO, Ta 2 O 5 , Cr 2 O 3 and mixtures of two or more thereof.
  • CAP layer C preferably comprises a CoPtCrB material. That is, the CAP layer C is preferably a layer containing an alloy containing Co, Pt, Cr, and B.
  • the CAP layer C preferably has an average atomic number ratio represented by, for example, the following formula (1) or (2).
  • Co 100-xyz Pt x Cr y B z (1) (However, in formula (1), x is 5 ⁇ x ⁇ 30, y is 5 ⁇ y ⁇ 20, and z is 0 ⁇ z ⁇ 15, preferably 10 ⁇ z ⁇ 30.) ⁇ [Co 100-xyz Pt x Cr y B z ⁇ 100-p- (MO N ) p (2) (However, in formula (2), x is 5 ⁇ x ⁇ 30, y is 5 ⁇ y ⁇ 20, z is 0 ⁇ z ⁇ 15, preferably 5 ⁇ z ⁇ 12, and MON is the above metal oxide, and p is 5 ⁇ p ⁇ 15.)
  • the average thickness of the CAP layer C is 4 nm or more, preferably 5 nm or more. By setting the average thickness of the CAP layer C to 4 nm or more, the SNR can be increased and the saturation magnetic field (Hs) of the recording layer 1 can be reduced.
  • the average thickness of the CAP layer C is preferably 10 nm or less. A higher SNR can be obtained by setting the average thickness of the CAP layer C to 10 nm or less.
  • the average thickness of the CAP layer C is obtained in the same manner as the average thickness of the protective layer P. However, the magnification of the TEM image is appropriately adjusted according to the thickness of the CAP layer C.
  • the protective layer P is a layer that plays a role of protecting the recording layer 1 and the CAP layer C. As shown in FIG.
  • the protective layer P contains, for example, a carbon material or silicon dioxide ( SiO2 ). From the viewpoint of the film strength of the protective layer P, it is preferable that the protective layer P contains a carbon material.
  • Carbon materials include, for example, graphite, diamond-like carbon (abbreviated as DLC), diamond, and the like.
  • the magnetic recording medium T1 may have a lubricant layer L above the protective layer P.
  • the lubricant layer L is a layer containing a lubricant, and mainly plays a role of reducing friction of the magnetic recording medium T1 during running.
  • the lubricant layer L contains at least one kind of lubricant.
  • the lubricant layer L may further contain various additives, such as an antirust agent, as necessary.
  • the lubricant has at least two carboxyl groups and one ester bond and contains at least one carboxylic acid compound represented by the following general chemical formula (1).
  • the lubricant may further contain a lubricant other than the carboxylic acid compound represented by the following general chemical formula (1).
  • Rf is an unsubstituted or substituted, saturated or unsaturated, fluorine-containing hydrocarbon group or hydrocarbon group
  • Es is an ester bond
  • R is optional, but non- It is a substituted or substituted, saturated or unsaturated hydrocarbon group.
  • the above carboxylic acid compound is preferably represented by the following general chemical formula (2) or general chemical formula (3).
  • Rf is an unsubstituted or substituted, saturated or unsaturated fluorine-containing hydrocarbon group or hydrocarbon group.
  • Rf is an unsubstituted or substituted, saturated or unsaturated fluorine-containing hydrocarbon group or hydrocarbon group.
  • the lubricant preferably contains one or both of the carboxylic acid compounds represented by the general chemical formulas (2) and (3) above.
  • a lubricant containing a carboxylic acid compound represented by the general chemical formula (1) When a lubricant containing a carboxylic acid compound represented by the general chemical formula (1) is applied to the recording layer 1 or the protective layer P or the like, lubrication occurs due to the cohesive force between the hydrophobic fluorine-containing hydrocarbon groups or the hydrocarbon groups Rf. It takes action.
  • the Rf group is a fluorine-containing hydrocarbon group, the total carbon number is preferably 6-50, and the total carbon number of the fluorohydrocarbon group is preferably 4-20.
  • the Rf group may be saturated or unsaturated, straight or branched chain or cyclic, but is preferably saturated and straight chain.
  • Rf group is a hydrocarbon group
  • it is preferably a group represented by the following general chemical formula (4).
  • l is an integer selected from the range of 8 to 30, more preferably 12 to 20.
  • Rf group is a fluorine-containing hydrocarbon group, it is preferably a group represented by the following general chemical formula (5).
  • the fluorohydrocarbon groups may be concentrated in one location as described above, or may be dispersed as in the following general chemical formula (6), and may be -CF 3 or -CF 2 - as well as -CHF It may be 2 , -CHF-, or the like.
  • the number of carbon atoms in the general chemical formulas (4), (5) and (6) is limited as described above because the number of carbon atoms (l or the sum of m and n) constituting the alkyl group or fluorine-containing alkyl group is This is because when the length is at least the above lower limit, the length becomes a suitable length, the cohesive force between the hydrophobic groups is effectively exhibited, a good lubricating action is exhibited, and the resistance to friction and wear is improved. Further, when the number of carbon atoms is equal to or less than the above upper limit, the solubility of the lubricant composed of the carboxylic acid compound in a solvent is maintained satisfactorily.
  • the Rf group when the Rf group contains a fluorine atom, it is effective in reducing the coefficient of friction and improving running performance. However, it is preferable to provide a hydrocarbon group between the fluorine-containing hydrocarbon group and the ester bond, and to separate the fluorine-containing hydrocarbon group and the ester bond to ensure the stability of the ester bond and prevent hydrolysis. good.
  • the Rf group may have a fluoroalkyl ether group or a perfluoropolyether group. The R group may be absent, but in some cases may be a relatively low carbon hydrocarbon chain.
  • Rf group or R group contains elements such as nitrogen, oxygen, sulfur, phosphorus, and halogen as constituent elements, and in addition to the functional groups described above, hydroxyl group, carboxyl group, carbonyl group, amino group, and ester It may further have bonds and the like.
  • the carboxylic acid compound represented by the general chemical formula (1) is preferably at least one of the compounds shown below. That is, the lubricant preferably contains at least one compound shown below.
  • the carboxylic acid compound represented by the above general chemical formula (1) is soluble in non-fluorine-based solvents with low environmental impact, and is widely used in hydrocarbon-based solvents, ketone-based solvents, alcohol-based solvents, ester-based solvents, and the like. It has the advantage that operations such as coating, dipping, and spraying can be performed using a solvent.
  • solvents such as hexane, heptane, octane, decane, dodecane, benzene, toluene, xylene, cyclohexane, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, methanol, ethanol, isopropanol, diethyl ether, tetrahydrofuran, dioxane, and cyclohexanone.
  • solvents such as hexane, heptane, octane, decane, dodecane, benzene, toluene, xylene, cyclohexane, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, methanol, ethanol, isopropanol, diethyl ether, tetrahydrofuran, dioxane, and cyclohexanone.
  • solvents such as
  • the protective layer P contains a carbon material
  • the carboxylic acid compound when applied as a lubricant onto the protective layer P, two carboxyl groups, which are polar groups of the lubricant molecule, and at least one The ester bond groups are adsorbed, and the cohesive force between the hydrophobic groups can form a particularly durable lubricant layer L.
  • the lubricant is not only held as the lubricant layer L on the surface of the magnetic recording tape T as described above, but is also contained in layers such as the recording layer 1 and the protective layer P that constitute the magnetic recording medium T1. may be held.
  • an underlayer 3 is provided directly below the recording layer 1.
  • the underlayer 3 may have a two-layer structure consisting of a first underlayer 31 on the recording layer 1 side and a second underlayer 32 on the base layer 5 side.
  • the first underlayer 31 preferably contains elemental ruthenium, a ruthenium alloy, or a Co-based alloy, more preferably elemental ruthenium, and even more preferably elemental ruthenium.
  • Ruthenium crystals have a hexagonal close-packed (hcp) structure.
  • the Co-based alloy preferably contains Cr and a metal oxide.
  • the metal oxide contained in the Co-based alloy is preferably silicon dioxide (SiO 2 ) or titanium dioxide (TiO 2 ).
  • the Co-based alloy more preferably has an average atomic number ratio represented by the following formula. [Co (100-y) Cr y ] (100-z) (MO 2 ) z (However, within the range of 35 ⁇ y ⁇ 45, within the range of z ⁇ 10, and M is Si or Ti.)
  • the average thickness of the first underlayer 31 is preferably 1 nm or more and 30 nm or less, more preferably 5 nm or more and 25 nm or less.
  • the average thickness of the first underlayer 31 is more preferably 10 nm or more and 20 nm or less, and particularly preferably 15 nm or more and 20 nm or less.
  • the average thickness of the first underlayer 31 is preferably 1 nm or more and 30 nm or less, more preferably 5 nm or more and 25 nm or less.
  • the first underlayer 31 serves to make the columns of the recording layer 1 convex.
  • the average thickness of the first underlayer 31 is preferably as thick as possible in order to form convex columns, but the thicker the layer, the lower the crystal orientation. In order to balance the function of making the columns convex and the crystal orientation, it is preferable to set the average thickness within the above numerical range. Moreover, since the above balance changes depending on the material forming the first underlayer 31, the preferred numerical range of the average thickness may differ depending on the material.
  • the second underlayer 32 provided directly under the first underlayer 31 preferably contains ruthenium alone, a ruthenium alloy, or a Co-based alloy, more preferably ruthenium alone, and even more preferably ruthenium alone.
  • ruthenium, a ruthenium alloy, or a Co-based alloy is used for the second underlayer 32, lattice matching with the CoCrPt-based alloy contained in the recording layer 1 is enhanced. Thereby, the orientation characteristics of the recording layer 1 can be improved.
  • the second underlayer 32 preferably contains only ruthenium or a ruthenium alloy.
  • the second underlayer 32 preferably contains a Co-based alloy.
  • the Co-based alloy preferably has an average atomic number ratio represented by the following formula. Co (100-y) Cr y (However, within the range of 35 ⁇ y ⁇ 45.)
  • the average thickness of the second underlayer 32 is preferably 1 nm or more and 50 nm or less, more preferably 5 nm or more and 50 nm or less.
  • the average thickness of the second underlayer 32 is more preferably 2 nm or more and 20 nm or less, particularly preferably 2 nm or more and 8 nm or less, or 3 nm or more and 7 nm or less.
  • the average thickness of the second underlayer 32 is more preferably 10 nm or more and 50 nm or less, still more preferably 20 nm or more and 50 nm or less, and particularly preferably 25 nm or more and 45 nm or less.
  • the second underlayer 32 has a role of enhancing crystal orientation.
  • the state of crystallographic alignment with the crystals forming the layer immediately below the second underlayer 32 may differ. Therefore, the preferred average thickness for enhancing the crystal orientation may differ depending on the material forming the second underlayer 32 .
  • the average thickness of the underlayer 3 is preferably 10 nm or more and 60 nm or less, more preferably 15 nm or more and 55 nm or less.
  • the average thickness of the underlayer 3 is more preferably 15 nm or more and 40 nm or less, and particularly preferably 20 nm or more and 40 nm or less, or 20 nm or more and 35 nm or less.
  • the underlying layer 3 contains a Co-based alloy
  • the average thickness of the underlying layer 3 is more preferably 40 nm or more and 55 nm or less, and particularly preferably 45 nm or more and 55 nm or less.
  • the average thickness of the underlayer 3 (the first underlayer 31 and the second underlayer 32) is obtained in the same manner as the average thickness of the protective layer P.
  • the magnification of the TEM image is appropriately adjusted according to the thickness of the underlayer 3 (the first underlayer 31 and the second underlayer 32).
  • the seed layer 4 is a layer that is positioned below the underlying layer 3 and is formed directly on one main surface of the base layer 5 (described later). According to one embodiment of the present technology, a first seed layer 41 may be provided directly below the underlayer 3 and a second seed layer 42 may be provided directly below the first seed layer 41 . That is, the seed layer 4 may have a two-layer structure consisting of the first seed layer 41 and the second seed layer 42 .
  • This seed layer 4 is preferably provided from the viewpoint of ensuring a good SNR when the intermediate layer 2 described later is formed thin, or even in a layer structure in which the intermediate layer 2 is not provided.
  • the seed layer 4 also serves to adhere the base layer 5 and the upper layers above the underlayer 3, that is, the underlayer 3 (the first underlayer 31 and the second underlayer 32) and the recording layer 1 to the base layer 5. Fulfill.
  • the first seed layer 41 preferably contains a nickel-tungsten alloy, and more preferably consists of a nickel-tungsten alloy.
  • the nickel-tungsten alloy may have, for example, an average atomic number ratio represented by the following formula (7).
  • the first seed layer 41 may in particular be made of Ni 94 W 6 .
  • the second seed layer 42 preferably contains three atoms of Ti, Cr, and O, and may have a composition with an average atomic number ratio represented by the following formula (8), for example.
  • Ti has a hexagonal close-packed (hcp) structure like Co-based alloys.
  • the seed layer 4 (especially the second seed layer 42) contains three atoms of Ti, Cr, and O, the crystal structures of the recording layer 1, which also contains Cr, and the seed layer 4 are well matched. Become. When the underlayer 3 contains Cr, the seed layer 4 (especially the second seed layer 42) contains three atoms of Ti, Cr, and O, thereby matching the crystal structures of the underlayer 3 and the seed layer 4. gets better too.
  • the seed layer 4 contains oxygen. This is because oxygen originating from or resulting from the film forming the base layer 5 described later enters the seed layer 4 . That is, the seed layer 4 of the magnetic recording medium T1 has an atomic composition different from that of a hard disk (HDD) in which the base layer 5 made of film is not used.
  • HDD hard disk
  • the average thickness of the first seed layer 41 is preferably 1.0 nm or more and 20.0 nm or less, more preferably 3.0 nm or more and 18.0 nm or less, and even more preferably 5.0 nm or more and 15.0 nm or less.
  • the average thickness of the second seed layer 42 is preferably 0.1 nm or more and 5.0 nm or less, more preferably 1.5 nm or more and 3.0 nm or less, still more preferably 1.7 nm or more and 3.0 nm or less, and particularly preferably It is 1.7 nm or more and 2.5 nm or less.
  • the average thickness of the seed layer 4 is preferably 1.1 nm or more and 25.0 nm or less, more preferably 5.0 nm or more and 20.0 nm or less, even more preferably 7.0 nm or more and 15.0 nm or less, and particularly preferably 10 nm or more. 0 nm or more and 15.0 nm or less.
  • the average thickness of the seed layer 4 (the first seed layer 41 and the second seed layer 42) is obtained in the same manner as the average thickness of the protective layer P.
  • the magnification of the TEM image is appropriately adjusted according to the thickness of the seed layer 4 (the first seed layer 41 and the second seed layer 42).
  • the base layer 5 is a flexible, elongated non-magnetic support, and mainly functions as a layer that serves as the foundation of the magnetic recording medium T1.
  • the base layer 5 is sometimes referred to as a base film layer or substrate, and is a film layer that imparts proper rigidity to the entire magnetic recording medium T1.
  • the average thickness of the base layer 5 is preferably 5.0 ⁇ m or less or less than 5.0 ⁇ m, 4.8 ⁇ m or less or less than 4.8 ⁇ m, 4.5 ⁇ m or less or less than 4.5 ⁇ m, more preferably 4.2 ⁇ m or less, and even more preferably is 3.6 ⁇ m or less, and even more preferably 3.3 ⁇ m or less. Since the average thickness of the base layer 5 is within the above numerical range (for example, 5.0 ⁇ m or less), the recording capacity that can be recorded in one data cartridge can be increased compared to a general magnetic recording medium. can.
  • the lower limit of the average thickness of the base layer 5 may be determined from the viewpoint of film production limits and the function of the base layer 5, and may be, for example, 2 ⁇ m or more, particularly 2.5 ⁇ m or more. .
  • the average thickness of the base layer 5 can be obtained as follows. First, the magnetic recording medium T1 accommodated in the cartridge was unwound, and cut into 250 mm lengths from three positions of 10 m to 20 m, 30 m to 40 m, and 50 m to 60 m from one end on the outermost circumference side, and samples were obtained. make. Subsequently, layers other than the base layer 5 of each sample are removed with a solvent such as MEK (methyl ethyl ketone) or dilute hydrochloric acid.
  • MEK methyl ethyl ketone
  • each sample base layer 5
  • the measured values (15 points in total) are simply averaged (arithmetic average ) to calculate the average thickness of the base layer 5 . It is assumed that the measurement position is randomly selected from the sample.
  • the base layer 5 contains, for example, at least one of polyesters, polyolefins, cellulose derivatives, vinyl resins, and other polymer resins.
  • the two or more materials may be mixed, copolymerized, or laminated.
  • Polyesters include, for example, PET (polyethylene terephthalate), PEN (polyethylene naphthalate), PBT (polybutylene terephthalate), PBN (polybutylene naphthalate), PCT (polycyclohexylene dimethylene terephthalate), PEB (polyethylene-p- oxybenzoate) and polyethylene bisphenoxycarboxylate.
  • Polyolefins include, for example, at least one of PE (polyethylene) and PP (polypropylene).
  • Cellulose derivatives include, for example, at least one of cellulose diacetate, cellulose triacetate, CAB (cellulose acetate butyrate) and CAP (cellulose acetate propionate).
  • Vinyl-based resins include, for example, at least one of PVC (polyvinyl chloride) and PVDC (polyvinylidene chloride).
  • PA polyamide, nylon
  • aromatic PA aromatic PA
  • PAI polyamideimide
  • aromatic PAI aromatic polyamideimide
  • PBO polybenzoxazole, e.g. Zylon®
  • polyether PEK (polyetherketone), PEEK (polyetheretherketone), polyetherester, PES (polyethersulfone) , PEI (polyetherimide), PSF (polysulfone), PPS (polyphenylene sulfide), PC (polycarbonate), PAR (polyarylate) and PU (polyurethane).
  • PEK polyetherketone
  • PEEK polyetheretherketone
  • PES polyethersulfone
  • PEI polyetherimide
  • PSF polysulfone
  • PPS polyphenylene sulfide
  • PC polycarbonate
  • PAR polyarylate
  • PU polyurethane
  • the back layer 6 is formed on the lower main surface of the base layer 5 .
  • the back layer 6 plays a role of controlling friction generated when the magnetic recording medium T1 runs at high speed while facing the magnetic head, and a role of preventing winding disturbance. In other words, it plays a fundamental role in allowing the magnetic recording medium T1 to run stably at high speed.
  • the back layer 6 may contain a binder and non-magnetic powder.
  • the back layer 6 may further contain at least one additive such as a lubricant, a curing agent and an antistatic agent, if necessary.
  • a binder a resin having a structure obtained by imparting a cross-linking reaction to a polyurethane-based resin, a vinyl chloride-based resin, or the like is preferable.
  • the binder is not limited to these, and other resins may be blended as appropriate depending on the physical properties required for the magnetic recording medium T1.
  • the resin to be blended is not particularly limited as long as it is a resin commonly used in coating type magnetic recording media.
  • Binders that can be contained in the back layer 6 include, for example, polyvinyl chloride, polyvinyl acetate, vinyl chloride-vinyl acetate copolymer, vinyl chloride-vinylidene chloride copolymer, vinyl chloride-acrylonitrile copolymer, and acrylic acid.
  • ester-acrylonitrile copolymer acrylate-vinyl chloride-vinylidene chloride copolymer, acrylate-vinylidene chloride copolymer, methacrylate-vinylidene chloride copolymer, methacrylate-vinyl chloride copolymer, Methacrylate ester-ethylene copolymer, polyvinyl fluoride, vinylidene chloride-acrylonitrile copolymer, acrylonitrile-butadiene copolymer, polyamide resin, polyvinyl butyral, cellulose derivatives (cellulose acetate butyrate, cellulose diacetate, cellulose triacetate, cellulose propionate, nitrocellulose), styrene-butadiene copolymers, polyester resins, amino resins, and synthetic rubbers.
  • Thermosetting resins or reactive resins may be used as the binder, and examples thereof include phenol resins, epoxy resins, urea resins, melamine resins, alkyd resins, silicone resins, polyamine resins, and urea formaldehyde resin.
  • polar functional groups such as —SO 3 M, —OSO 3 M, —COOM, and P ⁇ O(OM) 2 are introduced into each of the binders described above for the purpose of improving the dispersibility of the magnetic powder.
  • M is a hydrogen atom or an alkali metal such as lithium, potassium, and sodium.
  • Examples of the polar functional group include side chain types having terminal groups of —NR1R2, —NR1R2R3 + X — , and main chain types of >NR1R2 + X — .
  • R1, R2 and R3 are hydrogen atoms or hydrocarbon groups
  • X- is a halogen element ion such as fluorine, chlorine, bromine or iodine, or an inorganic or organic ion.
  • Polar functional groups also include -OH, -SH, -CN, and epoxy groups.
  • the non-magnetic powder that can be contained in the back layer 6 can contain, for example, at least one selected from inorganic particles and organic particles.
  • One type of non-magnetic powder may be used alone, or two or more types of non-magnetic powder may be used in combination.
  • Inorganic particles include, for example, one or a combination of two or more selected from metals, metal oxides, metal carbonates, metal sulfates, metal nitrides, metal carbides, and metal sulfides. More specifically, the inorganic particles may be one or more selected from, for example, iron oxyhydroxide, hematite, titanium oxide, and carbon black.
  • Examples of the shape of the non-magnetic F powder include various shapes such as acicular, spherical, cubic, and plate-like, but are not particularly limited to these.
  • the average particle size of the non-magnetic powder that can be contained in the back layer 6 is preferably 10 nm or more and 150 nm or less, more preferably 15 nm or more and 110 nm or less.
  • the non-magnetic powder may contain non-magnetic powder having two or more particle size distributions.
  • polyisocyanate can be applied as a curing agent.
  • polyisocyanates include aromatic polyisocyanates such as adducts of tolylene diisocyanate (TDI) and active hydrogen compounds, and aliphatic polyisocyanates such as adducts of hexamethylene diisocyanate (HMDI) and active hydrogen compounds. be done.
  • the lubricant that can be contained in the back layer 6 is the same as in the case of the lubricant layer L described above. In other words, the description given for the lubricant contained in the lubricant layer L also applies to the lubricant that may be contained in the back layer 6 .
  • an antistatic agent that can be contained in the back layer 6 a commercially available antistatic agent can be used.
  • the upper limit of the average thickness of the back layer 6 is preferably 0.6 ⁇ m or less. By setting the upper limit of the average thickness of the back layer 6 to 0.6 ⁇ m or less, the running stability of the magnetic recording medium T1 in the recording/reproducing apparatus can be maintained.
  • the lower limit of the average thickness of the back layer 6 is not particularly limited, it is, for example, 0.2 ⁇ m or more. If the thickness is less than 0.2 ⁇ m, the running stability of the magnetic recording medium T1 in the recording/reproducing apparatus may be hindered.
  • the recording layer 1 of the magnetic recording medium T1 has the specific average atomic number ratio described above. As a result, the magnetic recording medium T1 can increase the SNR and achieve KuVact / kBT , which is an index value of thermal stability, of 80 or more.
  • the magnetic recording medium T1 has a ratio ⁇ 50 /(p+q) of 0.360 or more and 0.545 or less. As a result, the magnetic recording medium T1 exhibits a high SNR.
  • the average thickness of the CAP layer C of the magnetic recording medium T1 is 4 nm or more. Thereby, the magnetic recording medium T1 can exhibit a high SNR and reduce the saturation magnetic field (Hs).
  • the magnetic anisotropy energy Ku, KuVact / kBT , and saturation magnetic field (Hs) are obtained as follows.
  • the magnetic recording medium T1 After reinforcing the front and back surfaces of the magnetic recording medium T1 with an adhesive tape, the magnetic recording medium T1 is punched out with a punch of ⁇ 6.39 mm to prepare a measurement sample. At this time, marking is performed with any non-magnetic ink so that the longitudinal direction (running direction) of the magnetic recording medium T1 can be recognized. Then, using a magnetic anisotropic torque meter, the torque curve of the measurement sample (entire magnetic recording medium T1) corresponding to the perpendicular direction (thickness direction) of the magnetic recording medium T1 is measured. In measuring the torque curve, a magnetic anisotropic torque meter "TRT-2 type" manufactured by Toei Kogyo Co., Ltd. is used.
  • TRT-2 type manufactured by Toei Kogyo Co., Ltd.
  • Measurement conditions are measurement mode: Torqe-Angle, magnet rotation speed: 4 min./360. The same measurement is performed with applied magnetic fields of 10,000 Oe, 12,500 Oe, and 15,000 Oe, respectively.
  • L2 (dyne-cm) and L4 (dyne-cm) obtained by the measurement, the respective magnetic anisotropic energy constants Ku1 (erg/cm 3 ) and Ku2 (erg/cm 3 ) are calculated from the following formula.
  • Ask. r (mm) is the radius of the measurement sample, and t is the average thickness (nm) of the recording layer.
  • A4 L4/( ⁇ r2 *t)* 109
  • Ku1 (erg/cm 3 ) and Ku2 (erg/cm 3 ) in each applied magnetic field are plotted against (1/applied magnetic field), and each value obtained by extrapolation when the applied magnetic field is ⁇
  • Ku1' (erg/cm 3 ) and Ku2' (erg/cm 3 ) be the sum (Ku1'+ Ku2 ') as magnetic anisotropic energy Ku (erg/cm 3 ).
  • K u V act /k B T K u V act /k B T (K u : magnetic anisotropy energy of magnetic powder, V act : activation volume of magnetic powder, k B : Boltzmann constant, T: absolute temperature) is expressed by Sherlock's equation shown below. (References: IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS, VOL. 50, NO.11, NOVEMBER 2014, and J. Flanders and M. P. Sharrock: J. Appl. Phys., 62, 2918 (1987)).
  • H r (t′) H 0 [1 ⁇ k B T/(K u V act )ln(f 0 t′/0.693) n ⁇ ] (However, H r : residual coercive force, t ′: magnetization attenuation, H 0 : magnetic field variation, k B : Boltzmann constant, T: absolute temperature, Ku: magnetic anisotropic energy of magnetic powder, V act : Activation volume of magnetic powder, f 0 : frequency factor, n: coefficient)
  • the frequency factor f 0 is assumed to be 5.0 ⁇ 10 9 Hz.
  • the absolute temperature T is 298K.
  • the value of H 0 corresponds to the value of H r in frequency factors, meaning the value of H r after subtracting the effects of thermal disturbances.
  • t' means the time required for the average magnetization to become 0 due to thermal disturbance of the magnetization when a magnetic field having the same magnitude as H r is applied.
  • Thermal stability evaluation requires the remanent coercive force at two types of magnetic field change rates, and the remanent magnetization curve at a magnetization change rate of the order of 10 Oe/s is obtained using a vibrating sample magnetometer (VSM) using an electromagnet. ), and measurements at a high magnetic field change rate of the order of 10 8 Oe/s are made by VSM using a pulse magnetic field.
  • VSM vibrating sample magnetometer
  • t′ is calculated using a phenomenological analysis formula and fitted to the above Sherlock equation to obtain H 0 and K u V act /k B T are determined.
  • the saturation magnetic field (Hs) is obtained as follows. First, the magnetic recording medium T1 accommodated in the cartridge is unwound, and three samples are cut out from each of three positions of 10 m to 20 m, 30 m to 40 m, and 50 m to 60 m from one end on the outermost circumference side. Three samples cut out from each position were superimposed with double-sided tape so that the longitudinal direction of the magnetic recording medium T1 was the same, and then punched out with a punch of ⁇ 6.39 mm to obtain a measurement sample. It is produced for each sample cutting position. At this time, marking is performed with any non-magnetic ink so that the longitudinal direction (running direction) of the magnetic tape can be recognized.
  • the MH loop of the measurement sample (entire magnetic recording medium T1) corresponding to the perpendicular direction (thickness direction) of the magnetic recording medium T1 is measured using VSM for each measurement sample.
  • the back layer is wiped off with acetone, ethanol, or the like, and the layers other than the back layer are wiped off with hydrochloric acid, leaving only the base layer 5.
  • it is punched out with a punch of ⁇ 6.39 mm to obtain a sample for background correction (hereinafter simply referred to as "correction sample").
  • the MH loop of the correction sample (base layer) corresponding to the perpendicular direction of the base layer (perpendicular direction of the magnetic recording medium T1) is measured using VSM for each correction sample cut out from each position.
  • the MH loop of the measurement sample (entire magnetic recording medium T1) and the MH loop of the correction sample (base layer) were measured using Lakeshore vibrating sample magnetometer "7400-0R". be done. Measurement conditions are measurement mode: full loop, maximum magnetic field: 15 kOe, magnetic field step: 500 Oe, time constant: 0.1 sec, MH average number: 10.
  • the configuration of the magnetic recording medium T2 according to the second embodiment will be described with reference to FIG.
  • the magnetic recording medium T2 is, for example, a magnetic recording medium for perpendicular magnetic recording.
  • the magnetic recording medium T2 is the same as described in 2. above.
  • An intermediate layer 2 is provided between the recording layer 1 and the underlayer 3 described in (more specifically, between the recording layer 1 and the first underlayer 31).
  • the second seed layer 42 and the first seed layer 41 are provided in this order on one main surface of the elongated base layer 5 .
  • a second underlayer 32 and a first underlayer 31 are provided in this order on the first seed layer 41 .
  • An intermediate layer 2 is provided on the first underlayer 31 .
  • a recording layer 1 functioning as a magnetic recording layer is provided on the intermediate layer 2 .
  • a CAP layer C, a protective layer P, and a lubricant layer L are provided on the recording layer 1 in this order.
  • a back layer 6 is provided on the main surface on the other side of the base layer 5 .
  • the configuration of the magnetic recording medium T2 is the same as in 2. above except that the intermediate layer 2 is provided. This is as described in (1), and the description also applies to this embodiment.
  • Lubricant layer L, protective layer P, CAP layer C, recording layer 1, underlayer 3 (first underlayer 31 and second underlayer 32), seed layer 4 (first seed layer 41 and second seed layer 42) , the base layer 5 and the back layer 6 are described in 2. above. This is as described in (2), and the description also applies to this embodiment.
  • the intermediate layer 2 is a layer that mainly plays a role of enhancing the orientation characteristics (granularity) of the recording layer 1 formed directly above the intermediate layer 2 .
  • the intermediate layer 2 preferably has the same crystal structure as the main component of the recording layer 1 in contact with the intermediate layer 2 .
  • the intermediate layer 2 contains a material having a hexagonal close-packed structure similar to a Co-based alloy, and the c-axis of the structure is oriented in the direction perpendicular to the film surface (thickness direction of the magnetic recording tape). is preferred. Thereby, the crystal orientation characteristics of the recording layer 1 can be further enhanced, and the matching of the lattice constants of the intermediate layer 2 and the recording layer 1 can be made relatively good.
  • the hexagonal close-packed structure material used as the material for the intermediate layer 2 preferably contains ruthenium.
  • the intermediate layer 2 preferably contains Ru (ruthenium) alone or its alloy. More preferably, the intermediate layer 2 is made of ruthenium alone or a ruthenium alloy.
  • the ruthenium alloy may be, for example, a Ru alloy oxide such as RuCoCr ( TiO2 ), Ru-- SiO2 , RuTiO2 , or Ru--ZrO2.
  • the ruthenium alloy may preferably have an average atomic number ratio given by the following formula.
  • the Ru material is a rare metal, and from the viewpoint of cost, it is preferable to make the intermediate layer 2 as thin as possible, preferably 6.0 nm or less, more preferably 5.0 nm or less, and even more preferably 2.0 nm or less. . Alternatively, from the viewpoint of the same cost, it is more preferable to adopt a configuration in which the intermediate layer 2 is completely eliminated (for example, the configuration of the first embodiment).
  • the underlayer 4 and the seed layer 3 are provided on the base layer 5, even if the thickness of the intermediate layer 2 is reduced, or the layer configuration without the intermediate layer 2 (for example, even in the case of the first embodiment), a magnetic recording medium with a good SNR can be obtained.
  • the material constituting the recording layer 1 formed on the intermediate layer 2 by vacuum deposition can easily diffuse when crystallized. Column size can be increased.
  • the thickness must be at least 0.5 nm or more.
  • the configuration of the magnetic recording medium T3 according to the third embodiment will be described with reference to FIG.
  • the magnetic recording medium T3 is, for example, a magnetic recording medium for perpendicular magnetic recording.
  • the magnetic recording medium T3 has a soft magnetic underlayer (SUL) 7 between the seed layer 4 and the base layer 5 (more specifically, between the second seed layer 42 and the base layer 5). is doing. More specifically, in the magnetic recording medium T3, the SUL7 is provided on one main surface of the elongated base layer 5. As shown in FIG. A second seed layer 42 and a first seed layer 41 are provided in this order on the SUL 7 . A second underlayer 32 and a first underlayer 31 are provided in this order on the first seed layer 41 .
  • a recording layer 1 functioning as a magnetic recording layer is provided on the first underlayer 31 .
  • a CAP layer C, a protective layer P, and a lubricant layer L are provided on the recording layer 1 in this order.
  • a back layer 6 is provided on the main surface on the other side of the base layer 5 .
  • the configuration of the magnetic recording medium T3 is the same as in 2. above except that it has an SUL. This is as described in (1), and the description also applies to this embodiment.
  • Lubricant layer L, protective layer P, CAP layer C, recording layer 1, underlayer 3 (first underlayer 31 and second underlayer 32), seed layer 4 (first seed layer 41 and second seed layer 42) , the base layer 5 and the back layer 6 are described in 2. above. This is as described in (2), and the description also applies to this embodiment.
  • the SUL7 shown in FIG. 6 is a single-layer SUL.
  • the SUL 7 is a layer provided to efficiently draw into the recording layer 1 leakage magnetic flux generated from the perpendicular magnetic head when performing magnetic recording on the recording layer 1 . That is, by providing the SUL 7, the strength of the magnetic field from the magnetic head can be increased, and a magnetic recording medium suitable for higher density recording can be obtained.
  • the magnetic recording medium T3 including SUL7 can also be referred to as a "two-layer perpendicular magnetic recording medium".
  • SUL7 contains a soft magnetic material in an amorphous state.
  • it can be formed of a Co-based material, CoZrNb alloy, and other materials such as CoZrTa or CoZrTaNb can be used.
  • Fe-based materials such as FeCoB, FeCoZr, and FeCoTa may also be used.
  • SUL7 has a structure in which two soft magnetic layers are formed with a thin intervening layer sandwiched between them, and antiparallel coupled SUL (APC -SUL).
  • the magnetic recording medium T3 may include APC-SUL (Antiparallel Coupled SUL) instead of the single layer SUL7.
  • APC-SUL has two soft magnetic layers sandwiching a thin intervening layer, and has a structure in which the magnetization is positively antiparallel by utilizing exchange coupling through the intervening layer.
  • the magnetic recording medium of the present technology can be manufactured, for example, as follows. First, a seed layer, an underlayer, a recording layer, a CAP layer, and a protective layer are deposited in this order by sputtering on one main surface of the base layer. The atmosphere in the film formation chamber during sputtering is set to about 1 ⁇ 10 ⁇ 5 Pa to 5 ⁇ 10 ⁇ 5 Pa, for example.
  • the thickness and properties (e.g., magnetic properties) of the seed layer, underlayer, recording layer, CAP layer, and protective layer are determined by the tape line speed at which the film constituting the base layer is wound, Ar (argon) gas introduced during sputtering, and the like. It can be controlled by adjusting the gas pressure (sputtering gas pressure), input power, and the like.
  • the layers are deposited in order from the layer located on the lower side (that is, the base layer side). For example, when the seed layers have a second seed layer and a first seed layer in order from the bottom, the second seed layer is deposited first, and then the first seed layer is deposited.
  • the underlayer has a plurality of layers, the layers are deposited in order from the lower layer. For example, when the underlayer has a second underlayer and a first underlayer in order from the bottom, the second underlayer is formed first, and then the first underlayer is formed.
  • the intermediate layer may be sputter deposited as described above.
  • a seed layer, an underlayer, an intermediate layer, a recording layer, a CAP layer, and a protective layer are deposited in this order by sputtering on one main surface of the base layer.
  • the SUL may be sputter deposited as described above.
  • the SUL, the seed layer, the underlayer, the recording layer, the CAP layer, and the protective layer are deposited in this order by sputtering on one main surface of the base layer.
  • a binder, inorganic particles, a lubricant, etc. are kneaded and dispersed in a solvent to prepare a paint for the back layer. and dried to form a backing layer.
  • a lubricant is applied onto the already formed protective layer to form a lubricant layer.
  • Various coating methods such as gravure coating and dip coating can be used as the coating method of the lubricant, and there is no particular limitation.
  • a hot roll treatment may be performed in which the original roll is brought into contact with a metal roll having a surface temperature of about 150 to 230°C and is run.
  • the wide magnetic recording medium obtained as described above is cut into magnetic recording medium widths that match the specifications of the types of magnetic recording media (cutting step). For example, it is cut to a width of 1/2 inch (12.65 mm) and wound on a predetermined roll. Thereby, a long magnetic recording medium having a desired magnetic recording medium width can be obtained. Any necessary inspection may be performed in this cutting process.
  • the magnetic recording medium cut into a predetermined width is cut into a predetermined length according to the product type to form a magnetic recording cartridge. Specifically, a magnetic recording medium of a predetermined length is wound around a reel provided in a cartridge case and accommodated.
  • the product is packed and shipped.
  • a pre-shipment inspection such as electromagnetic conversion characteristics and running durability is performed to confirm the final quality of the magnetic recording medium.
  • the recording/reproducing device 80 has a configuration in which the tension applied to the magnetic recording medium T in the longitudinal direction can be adjusted. Also, the recording/reproducing device 80 has a configuration in which the magnetic recording cartridge 10A can be loaded. Here, for ease of explanation, the case where the recording/reproducing device 80 can be loaded with one magnetic recording cartridge 10A will be described. You may have the structure which can be loaded with 10A.
  • the recording/reproducing device 80 is connected to information processing devices such as a server 91 and a personal computer (hereinafter referred to as "PC") 92 via a network 93, and stores data supplied from these information processing devices in a magnetic recording cartridge. 10A can be recorded.
  • the shortest recording wavelength of the recording/reproducing device 80 is preferably 100 nm or less, more preferably 75 nm or less, still more preferably 60 nm or less, and particularly preferably 50 nm or less.
  • the recording/reproducing device 80 includes a spindle 81, a reel 82 on the side of the recording/reproducing device, a spindle driving device 83, a reel driving device 84, a plurality of guide rollers 85, a head unit 86, A communication interface (hereinafter, I/F) 87 and a control device 88 are provided.
  • I/F communication interface
  • the spindle 81 is configured to be mountable with the magnetic recording cartridge 10A.
  • the magnetic recording cartridge 10A conforms to the LTO (Linear Tape Open) standard, and rotatably accommodates a single reel 10C around which a magnetic recording medium T is wound in a cartridge case 10B.
  • a V-shaped servo pattern is recorded in advance on the magnetic recording medium T as a servo signal.
  • the reel 82 is configured to be able to fix the leading end of the magnetic recording medium T pulled out from the magnetic recording cartridge 10A.
  • the spindle driving device 83 is a device that drives the spindle 81 to rotate.
  • the reel drive device 84 is a device that drives the reel 82 to rotate.
  • the spindle driving device 83 and the reel driving device 84 rotate the spindle 81 and the reel 82 to drive the magnetic recording medium T.
  • the guide roller 85 is a roller for guiding the running of the magnetic recording medium T. As shown in FIG.
  • the head unit 86 includes a plurality of recording heads for recording data signals on the magnetic recording medium T, a plurality of reproducing heads for reproducing the data signals recorded on the magnetic recording medium T, and a plurality of servo heads for reproducing recorded servo signals.
  • a ring-type head can be used as the recording head, but the type of recording head is not limited to this.
  • the communication I/F 87 is for communicating with information processing devices such as the server 91 and the PC 92, and is connected to the network 93.
  • the control device 88 controls the recording/reproducing device 80 as a whole. For example, the control device 88 records a data signal supplied from the information processing device on the magnetic recording medium T by the head unit 86 in response to a request from the information processing device such as the server 91 and the PC 92 . Further, the control device 88 reproduces the data signal recorded on the magnetic recording medium T by the head unit 86 in response to a request from the information processing device such as the server 91 and the PC 92, and supplies it to the information processing device.
  • the magnetic recording cartridge 10A is mounted in the recording/reproducing device 80, the leading end of the magnetic recording medium T is pulled out, and the leading end of the magnetic recording medium T is transported to the reel 82 via a plurality of guide rollers 85 and the head unit 86. Attach to reel 82 .
  • the spindle driving device 83 and the reel driving device 84 are driven under the control of the control device 88 so that the magnetic recording medium T is driven from the reel 10C toward the reel 82.
  • Spindle 81 and reel 82 are rotated in the same direction.
  • the head unit 86 records information on the magnetic recording medium T or reproduces information recorded on the magnetic recording medium T.
  • the spindle 81 and the reel 82 are driven to rotate in the direction opposite to the above, so that the magnetic recording medium T travels from the reel 82 to the reel 10C. .
  • the head unit 86 also records information on the magnetic recording medium T or reproduces information recorded on the magnetic recording medium T.
  • the present technology also provides a magnetic recording cartridge (also referred to as a tape cartridge) that includes a magnetic recording medium according to the present technology. That is, the magnetic recording medium included in the magnetic recording cartridge is the magnetic recording medium of the present technology described above. Within the magnetic recording cartridge, the magnetic recording medium may be wound, for example, on a reel.
  • the magnetic recording cartridge includes, for example, a communication unit that communicates with a recording/reproducing device, a storage unit, and a storage unit that stores information received from the recording/reproducing device via the communication unit. and a control unit that reads out information from the storage unit and transmits the information to the recording/reproducing device via the communication unit in response to the request.
  • the information may include adjustment information for adjusting the tension applied to the magnetic recording medium in the longitudinal direction.
  • FIG. 10A An embodiment of the magnetic recording cartridge of the present technology will be described with reference to FIG. Specifically, a magnetic recording cartridge 10A including the magnetic recording medium T of the present technology will be described.
  • FIG. 8 is an exploded perspective view showing an example of the configuration of the magnetic recording cartridge 10A.
  • the magnetic recording cartridge 10A is a magnetic recording cartridge conforming to the LTO (Linear Tape-Open) standard, and a magnetic tape (tape-shaped magnetic recording A reel 10C on which a medium T is wound, a reel lock 214 and a reel spring 215 for locking the rotation of the reel 10C, a spider 216 for releasing the locked state of the reel 10C, a lower shell 212A and an upper shell 212B.
  • LTO Linear Tape-Open
  • the reel 10C has a substantially disc shape with an opening in the center, and is composed of a reel hub 213A and a flange 213B made of a hard material such as plastic.
  • a leader pin 220 is provided at one end of the magnetic tape T. As shown in FIG.
  • the cartridge memory 211 is provided near one corner of the magnetic recording cartridge 10A.
  • the cartridge memory 211 faces a reader/writer (not shown) of the recording/reproducing device 80 when the magnetic recording cartridge 10A is loaded into the recording/reproducing device 80 .
  • the cartridge memory 211 communicates with the recording/reproducing device 30, more specifically, a reader/writer (not shown) in accordance with the wireless communication standard conforming to the LTO standard.
  • FIG. 9 is a block diagram showing an example of the configuration of the cartridge memory 211.
  • the cartridge memory 211 has an antenna coil (communication unit) 331 that communicates with a reader/writer (not shown) according to a prescribed communication standard, and generates and rectifies electric waves received by the antenna coil 331 using induced electromotive force.
  • a rectification/power supply circuit 332 that generates power, a clock circuit 333 that generates a clock using the same induced electromotive force from radio waves received by the antenna coil 331, and detection of the radio waves received by the antenna coil 331 and the antenna coil 331
  • a controller (control unit) 335 and a memory (storage unit) 336 for storing information.
  • the cartridge memory 211 also includes a capacitor 337 connected in parallel with the antenna coil 331, and the antenna coil 331 and the capacitor 337 constitute a resonance circuit.
  • the memory 336 stores information related to the magnetic recording cartridge 10A.
  • the memory 336 is non-volatile memory (NVM).
  • the storage capacity of memory 336 is preferably about 32 KB or greater.
  • the memory 336 has a first storage area 336A and a second storage area 336B.
  • the first storage area 336A is an area for storing information such as manufacturing information (for example, the unique number of the magnetic recording cartridge 10A, etc.), usage history (for example, the number of times the tape is pulled out (Thread Count), etc.).
  • the second storage area 336B is an area for storing additional information.
  • additional information include tension adjustment information, management ledger data, index information, thumbnail information of moving images stored on the magnetic tape T, and the like, but are not limited to these data.
  • the tension adjustment information includes the distance between adjacent servo bands (distance between servo patterns recorded on adjacent servo bands) during data recording on the magnetic tape T.
  • FIG. The distance between adjacent servo bands is an example of width-related information related to the width of the magnetic tape T. FIG. Details of the distance between servo bands will be described later.
  • the information stored in the first storage area 336A may be called “first information”
  • the information stored in the second storage area 336B may be called "second information”.
  • the memory 336 may have multiple banks. In this case, part of the plurality of banks may constitute the first storage area 336A, and the remaining banks may constitute the second storage area 336B. Specifically, for example, the memory 336 has two banks having a storage capacity of approximately 16 KB, one of the two banks forming a first storage area 336A, and the other bank forming a second storage area 336A. of storage area 336B may be configured.
  • the antenna coil 331 induces an induced voltage by electromagnetic induction.
  • the controller 335 communicates with the recording/reproducing device 80 via the antenna coil 331 according to a specified communication standard. Specifically, for example, mutual authentication, command transmission/reception, or data exchange is performed.
  • the controller 335 stores information received from the recording/reproducing device 80 via the antenna coil 331 in the memory 336 .
  • the controller 335 reads information from the memory 336 in response to a request from the recording/reproducing device 80 and transmits the information to the recording/reproducing device 80 via the antenna coil 331 .
  • the magnetic recording cartridge of the present technology may be a two-reel type cartridge. That is, the magnetic recording cartridge of the present technology may have one or more (eg, two) reels on which the magnetic tape is wound.
  • An example magnetic recording cartridge of the present technology having two reels is described below with reference to FIG.
  • FIG. 10 is an exploded perspective view showing an example of the configuration of a two-reel type cartridge 421.
  • the cartridge 421 includes an upper half 402 made of synthetic resin, a transparent window member 423 fitted and fixed in a window portion 402 a opened in the upper surface of the upper half 402 , and a reel 406 fixed inside the upper half 402 .
  • the reel 406 has a lower flange 406b having a cylindrical hub portion 406a in the center on which the magnetic tape MT1 is wound, an upper flange 406c having approximately the same size as the lower flange 406b, and a flange between the hub portion 406a and the upper flange 406c. and a reel plate 411 sandwiched therebetween.
  • Reel 407 has the same configuration as reel 406 .
  • the window member 423 is provided with mounting holes 423a at positions corresponding to the reels 406 and 407 for mounting reel holders 422, which are reel holding means for preventing the reels from floating.
  • the magnetic tape MT1 is the same as the magnetic tape T in the first embodiment.
  • Step of forming first seed layer A first seed layer made of Ni 94 W 6 was deposited on the second seed layer by sputtering so as to have a thickness of 10.0 nm.
  • Film formation method DC magnetron sputtering method
  • Target Ni94W6 target
  • Gas type Ar Gas pressure: 0.3 Pa
  • Step of forming second underlayer Next, on the first seed layer, a second underlayer made of Ru was formed by sputtering so as to have a thickness of 5 nm under the following film formation conditions.
  • Film formation method DC magnetron sputtering method
  • Target Ru target Gas type: Ar Gas pressure: 0.3 Pa
  • Step of forming first underlayer a first underlayer made of Ru was deposited on the second underlayer by sputtering to a thickness of 17 nm under the following deposition conditions.
  • Target Ru target Gas type: Ar Gas pressure: 13Pa Input power: 90 mW/mm 2 Feeding speed: 4m/s
  • Step of forming protective layer a protective layer made of carbon was deposited on the recording layer by sputtering so as to have a thickness of 5 nm.
  • Film formation method DC magnetron sputtering method
  • Target Carbon target Gas type: Ar Gas pressure: 0.8 Pa
  • the lubricant paint was applied onto the protective layer to form a lubricant layer.
  • the lubricant paint was prepared by mixing 0.11% by mass of carboxylic acid perfluoroalkyl ester and 0.06% by mass of fluoroalkyldicarboxylic acid derivative in a general-purpose solvent.
  • a coating for forming a back layer was applied to the main surface of the other side of the polymer film forming the base layer and dried to form a back layer. More specifically, a back layer composed of non-magnetic powder composed of carbon and calcium carbonate and a polyurethane binder was formed with a thickness of 0.3 ⁇ m. Thus, a tape-shaped magnetic recording medium (magnetic recording tape) was obtained.
  • the resulting magnetic recording tape was reciprocated 500 times with an LTO8 drive at a tension of 1N to carry out surface treatment.
  • the magnetic tape after the surface treatment was used as the magnetic recording tape of Example 1.
  • Example 2 A magnetic recording tape was obtained in the same manner as in Example 1 except that the target of the recording layer was changed to (Co 80 Pt 10 Cr 10 ) 92 --(B 2 O 3 ) 8 .
  • Example 3 A magnetic recording tape was obtained in the same manner as in Example 1 except that the target of the recording layer was changed to (Co 76 Pt 14 Cr 10 ) 92 --(B 2 O 3 ) 8 .
  • Example 4 A magnetic recording tape was obtained in the same manner as in Example 1 except that the target of the recording layer was changed to (Co 67 Pt 23 Cr 10 ) 92 -(B 2 O 3 ) 8 .
  • Example 5 A magnetic recording tape was obtained in the same manner as in Example 1 except that the target of the recording layer was changed to (Co 65 Pt 25 Cr 10 ) 92 -(B 2 O 3 ) 8 .
  • Example 6 A magnetic recording tape was obtained in the same manner as in Example 1 except that the target of the recording layer was changed to (Co 74 Pt 18 Cr 8 ) 92 --(B 2 O 3 ) 8 .
  • Example 7 A magnetic recording tape was obtained in the same manner as in Example 1 except that the target of the recording layer was changed to (Co 70 Pt 18 Cr 12 ) 92 --(B 2 O 3 ) 8 .
  • Example 8 A magnetic recording tape was obtained in the same manner as in Example 1 except that the target of the recording layer was changed to (Co 66 Pt 18 Cr 16 ) 92 --(B 2 O 3 ) 8 .
  • Example 9 A magnetic recording tape was obtained in the same manner as in Example 1 except that the target of the recording layer was changed to (Co 72 Pt 18 Cr 10 ) 94 --(B 2 O 3 ) 6 .
  • Example 10 A magnetic recording tape was obtained in the same manner as in Example 1 except that the target of the recording layer was changed to (Co 72 Pt 18 Cr 10 ) 89 -(B 2 O 3 ) 11 .
  • Example 11 A magnetic recording tape was obtained in the same manner as in Example 1 except that the target of the recording layer was changed to (Co 72 Pt 18 Cr 10 ) 92 --(SiO 2 ) 8 .
  • Example 12 A magnetic recording tape was obtained in the same manner as in Example 1 except that the target of the recording layer was changed to (Co 72 Pt 18 Cr 10 ) 92 --(TiO 2 ) 8 .
  • Example 13 A magnetic recording tape was obtained in the same manner as in Example 1 except that the power applied to the CAP layer was changed to 10.8 mW/mm 2 and the thickness was changed to 4 nm.
  • Example 14 In the film forming process of the protective layer, the feeding speed was set to 7.5 m/min. A magnetic recording tape was obtained in the same manner as in Example 1 except that the thickness of the protective layer was changed to 6 nm, and the tape was reciprocated 2000 times with an LTO8 drive at a tension of 1 N in the surface treatment.
  • Example 15 In the film forming process of the protective layer, the feeding speed was set to 15 m/min. A magnetic recording tape was obtained in the same manner as in Example 1 except that the thickness of the protective layer was changed to 3 nm, and the tape was reciprocated 200 times with an LTO8 drive at a tension of 1 N in the surface treatment.
  • Example 16 The same procedure as in Example 1 was performed except that the input power of the second underlayer was changed to 14.4 mW/mm 2 , the thickness was set to 3 nm, and the tension was set to 1 N in the surface treatment, and the surface was reciprocated 200 times. A magnetic recording tape was obtained.
  • Example 17 A magnetic recording tape was obtained in the same manner as in Example 1 except that the power applied to the second underlayer was changed to 9.6 mW/mm 2 , the film thickness was set to 2 nm, and the surface treatment was not performed.
  • Example 18 A magnetic recording tape was obtained in the same manner as in Example 1 above, except that the power supplied to the second underlayer was changed to 33.6 mW/mm 2 and the film thickness was changed to 7 nm.
  • Example 19 An intermediate layer of (Ru 25 Co 37.5 Cr 37.5 ) 86 -(TiO 2 ) 14 was sputtered to a thickness of 2 nm between the first underlayer and the recording layer.
  • Film formation method DC magnetron sputtering method
  • Target (Ru 25 Co 37.5 Cr 37.5 ) 86 -(TiO 2 ) 14 target
  • Gas type Ar Gas pressure: 0.5 Pa
  • a magnetic recording tape was obtained in the same manner as in Example 1 except for the above.
  • the first underlayer was formed of (Co 60 Cr 40 ) 94 --(TiO 2 ) 6 and sputtered to a thickness of 5 nm.
  • Film formation method DC magnetron sputtering method
  • Target (Co 60 Cr 40 ) 94 -(TiO 2 ) 6 target
  • Gas type Ar Gas pressure: 7 Pa
  • the second underlayer was formed of Co 60 Cr 40 and deposited by sputtering so as to have a thickness of 45 nm.
  • the first underlayer was formed of (Co 60 Cr 40 ) 94 --(TiO 2 ) 6 and was sputtered to a thickness of 25 nm.
  • Film formation method DC magnetron sputtering method
  • Target (Co 60 Cr 40 ) 94 -(TiO 2 ) 6 target
  • Gas type Ar Gas pressure: 7 Pa
  • the second underlayer was formed of Co 60 Cr 40 and deposited by sputtering so as to have a thickness of 25 nm.
  • Example 22 A soft magnetic underlayer (SUL) made of Co 87 Zr 5 Nb 8 was sputtered to a thickness of 20.0 nm between the base film and the second seed layer.
  • Film formation method DC magnetron sputtering method
  • Target Co 87 Zr 5 Nb 8 target
  • Gas type Ar Gas pressure: 0.5 Pa
  • Input power 95 mW/mm 2
  • a magnetic recording tape was obtained in the same manner as in Example 1 except for the above.
  • Example 1 A magnetic recording tape was obtained in the same manner as in Example 1 except that the target of the recording layer was changed to (Co 82 Pt 8 Cr 10 ) 92 --(B 2 O 3 ) 8 .
  • Example 2 A magnetic recording tape was obtained in the same manner as in Example 1 except that the target of the recording layer was changed to (Co 64 Pt 26 Cr 10 ) 92 -(B 2 O 3 ) 8 .
  • Example 3 A magnetic recording tape was obtained in the same manner as in Example 1 except that the target of the recording layer was changed to (Co 75 Pt 18 Cr 7 ) 92 --(B 2 O 3 ) 8 .
  • Example 4 A magnetic recording tape was obtained in the same manner as in Example 1 except that the target of the recording layer was changed to (Co 65 Pt 18 Cr 17 ) 92 --(B 2 O 3 ) 8 .
  • Example 5 A magnetic recording tape was obtained in the same manner as in Example 1 except that the target of the recording layer was changed to (Co 72 Pt 18 Cr 10 ) 95 --(B 2 O 3 ) 5 .
  • Example 6 A magnetic recording tape was obtained in the same manner as in Example 1 except that the target of the recording layer was changed to (Co 72 Pt 18 Cr 10 ) 88 -(B 2 O 3 ) 12 .
  • Example 7 A magnetic recording tape was obtained in the same manner as in Example 1 except that the power applied to the CAP layer was changed to 8.1 mW/mm 2 and the thickness was changed to 3 nm.
  • Example 8 A magnetic recording tape was obtained in the same manner as in Example 1, except that in the surface treatment, the tape was reciprocated 2,000 times with a tension of 1 N using an LTO8 drive.
  • Example 9 In the film forming process of the protective layer, the feeding speed was set to 11.3 m/min. A magnetic recording tape was obtained in the same manner as in Example 1, except that the thickness of the protective layer was changed to 4 nm, and the tape was reciprocated 2000 times with an LTO8 drive at a tension of 1 N in the surface treatment.
  • Example 10 In the film forming process of the protective layer, the feeding speed was set to 5.6 m/min. A magnetic recording tape was obtained in the same manner as in Example 1 except that the thickness of the protective layer was changed to 8 nm and the surface treatment was not performed.
  • Example 11 In the film forming process of the protective layer, the feeding speed was set to 7.5 m/min. A magnetic recording tape was obtained in the same manner as in Example 1 except that the thickness of the protective layer was changed to 6 nm and the surface treatment was not performed.
  • Example 12 A magnetic recording tape was obtained in the same manner as in Example 1 above, except that the power supplied to the second seed layer was changed to 16.1 mW/mm 2 and the film thickness was changed to 1.5 nm.
  • Example 13 A magnetic recording tape was obtained in the same manner as in Example 1, except that the power applied to the second seed layer was changed to 10.8 mW/mm 2 and the film thickness was changed to 1.0 nm.
  • Example 14 A magnetic recording tape was obtained in the same manner as in Example 1 above, except that the power supplied to the second underlayer was changed to 48 mW/mm 2 and the film thickness was changed to 10 nm.
  • the magnetic recording tapes of Examples 1-22 and Comparative Examples 1-14 were evaluated. Specifically, for each magnetic recording tape, the height p of 0.1% area in the surface convex direction, the saturation magnetic field (Hs), the magnetic anisotropic energy Ku , KuV act / kBT , half The value range ⁇ 50 and BB-SNR (broad-band SNR) were measured. For each magnetic recording tape, the ratio ⁇ 50 /(p+q) was calculated from the 0.1% area height p in the convex direction of the surface, the average thickness q of the protective layer, and the half width ⁇ 50 .
  • magnetic recording tapes with KuVact / kBT of 80 or more were judged to be magnetic recording tapes with excellent thermal stability.
  • the average atomic number ratio of the recording layer was the same as in 2. above. It is obtained by the measurement method described in .
  • the average atomicity ratio of the CAP layer is obtained in the same manner as the average atomicity ratio of the recording layer.
  • the average atomic number ratio of the layers other than the recording layer was obtained as follows. First, a sample of 10 mm ⁇ 10 mm was cut out from the magnetic tape. While etching the sample from the surface layer of the film, depth direction analysis (depth profile measurement) of each layer was performed at three arbitrary points by Auger Electron Spectroscopy (AES). Next, from the obtained depth profile, the average atomic number ratio of Ru, Co, Cr, Ni, W, Ti, Cr, and O in the thickness direction was obtained.
  • the AES measurement conditions were as follows. Device name: PHI-710 type manufactured by ULVAC-PHI Measurement area: 10 ⁇ 20 ⁇ m 2 Electronic acceleration: 5 kV Etching rate: 1.3 nm/min.
  • BB-SNR (simply referred to as SNR) was obtained as follows. First, a loop tester (manufactured by Microphysics) was used to obtain a reproduced signal from the magnetic tape. The conditions for acquiring the reproduced signal are shown below.
  • the recording wavelength was 400 kFCI (kilo flux changes per inch), and the SNR was obtained by calculating the ratio of the voltage of the reproduced waveform and the voltage obtained from the value obtained by integrating the noise spectrum in the band of 0 kFCI to 1000 kFCI. From the error rate evaluation with the head used in this evaluation, it was confirmed that the error rate of the product level can be obtained at an SNR of 10 dB in the case of the same head. Therefore, 10.0 dB or more was defined as a good SNR level.
  • Table 2 below shows the evaluation results of the magnetic recording tapes of Examples 1 to 22 and Comparative Examples 1 to 14.
  • All of the magnetic recording tapes of Examples 1 to 22 had an SNR of 10.0 dB or more, indicating a high SNR. All of the magnetic recording tapes of Examples 1 to 22 had K u V act /k B T of 80 or more and exhibited high thermal stability. These results show that the magnetic recording medium of the present technology exhibits high SNR and excellent thermal stability.
  • Comparing Examples 1, 16-18, and Comparative Example 14 it can be seen that adjusting the ratio ⁇ 50 /(p+q) affects the SNR. For example, it can be seen that a high SNR can be obtained when 0.360 ⁇ 50 /(p+q) ⁇ 0.540.
  • the average thickness of the second underlayer can be increased, and by increasing the average thickness of the second underlayer, the half width ⁇ 50 is reduced. I know you can. That is, it can be seen that the half width ⁇ 50 can be adjusted by changing the average thickness of the underlayer (for example, the second underlayer).
  • the average thickness of the second seed layer can be increased.
  • ⁇ 50 /(p+q) can be reduced. That is, it can be seen that the half width ⁇ 50 and the ratio ⁇ 50 /(p+q) can be adjusted by changing the average thickness of the seed layer (for example, the second seed layer).
  • the recording layer has an average atomic number ratio represented by the following formula, [Co (100-XY) PtXCrY ] (100-Z) - ( MON ) Z (I) (In formula (I) above, 10 ⁇ X ⁇ 25, 8 ⁇ Y ⁇ 16, and 6 ⁇ Z ⁇ 11 , and MON represents a metal oxide.)
  • the ratio ⁇ 50 /(p+q) composed of the average thickness q [nm] and the half width ⁇ 50 of the rocking curve of the CoPtCr hcp (0002) peak in the out-of-plane X-ray diffraction of the recording layer is 0.360 or more and 0.545 or less, and The average atomic number ratio represented by the following formula, [Co (100-XY) PtXCrY ] (100-Z)
  • the magnetic recording medium has a base layer, a seed layer, and an underlayer in this order, The magnetic recording medium according to [1], wherein the recording layer is provided on the underlayer.
  • the underlayer has a first underlayer and a second underlayer, The magnetic recording medium according to [2], wherein the recording layer is provided on the first underlayer.
  • the seed layer has a first seed layer and a second seed layer; The magnetic recording medium according to [2] or [3], wherein the underlayer is provided on the first seed layer.
  • the magnetic recording medium has an intermediate layer, The magnetic recording medium according to any one of [2] to [4], wherein the intermediate layer is provided between the underlayer and the recording layer.
  • the magnetic recording medium has a SUL; The magnetic recording medium according to any one of [2] to [5], wherein the SUL is provided between the base layer and the seed layer.
  • MO 3 N in formula (I) is at least one selected from B 2 O 3 , SiO 2 and TiO 2 .
  • the magnetic recording medium of [4], wherein the second seed layer comprises an alloy containing Ti, Cr, and O.
  • the magnetic recording medium according to [3], wherein the second underlayer has an average thickness of 1 nm or more and 50 nm or less.
  • the recording layer has an average atomic number ratio represented by the following formula, [Co (100-XY) PtXCrY ] (100-Z) - ( MON ) Z (I) (In formula (I) above, 10 ⁇ X ⁇ 25, 8 ⁇ Y ⁇ 16, and 6 ⁇ Z ⁇ 11 , and MON represents a metal oxide.)
  • the ratio ⁇ 50 /(p+q) composed of the average thickness q [nm] and the half width ⁇ 50 of the rocking curve of the CoPtCr hcp (0002) peak in the out-of-plane X-ray diffraction of the recording layer is 0.360 or more and 0.545 or less, and

Landscapes

  • Magnetic Record Carriers (AREA)

Abstract

本技術は、高いSNRを示し、且つ、熱安定性に優れている磁気記録媒体を提供することを目的とする。 本技術は、記録層、CAP層、及び保護層をこの順に有し、前記記録層が、下記式で表される平均原子数比率を有し、 [Co(100-X-Y)PtXCrY](100-Z)-(MON)Z ・・・(I) (前記式(I)中、10≦X≦25、8≦Y≦16、6≦Z≦11であり、MONは金属酸化物を示す。) 原子間力顕微鏡を用いて取得された前記保護層側表面の高さデータに基づいて作成されるベアリングカーブにおける表面凸方向の0.1%面積の高さp[nm]と、前記保護層の平均厚みq[nm]と、前記記録層の面外方向のX線回析におけるCoPtCr hcp(0002)ピークのロッキングカーブの半値幅Δθ50と、から構成される比Δθ50/(p+q)が、0.360以上0.545以下であり、且つ、前記CAP層の平均厚みが4nm以上である、テープ状の磁気記録媒体を提供する。

Description

磁気記録媒体
 本技術は、磁気記録媒体に関する。
 代表的な磁気記録媒体として、磁気記録テープ及びハードディスク媒体がある。近年では、前者の磁気記録テープが、データアップ用として改めて注目されている。その理由は、インターネットの普及、クラウドコンピューティングの利用、並びにビッグデータの蓄積及び解析が進んでいるため、長期的に記録すべき情報量が爆発的に増加し、磁気記録媒体に高記録容量化が求められているからである。さらに、この磁気記録テープは、コスト、省エネルギー、長寿命、及び信頼性などの観点でも有利な点を備えている。
 磁気記録媒体の高記録容量化に伴い、より高い記録密度を実現するために、シグナルノイズ比(Signal-to-Noise Ratio:SNR)の向上が求められる。磁気記録媒体のSNRを高めるための技術がこれまでにいくつか提案されてきている。例えば、下記特許文献1には、基板上にCo-Pt-Crを主体とし、Si酸化物を含有する磁性膜が形成され、前記Si酸化物の含有量がSi原子に換算して、Co-Pt-Crに対して8原子%以上、16原子%以下であることを特徴とする磁気記録媒体が開示されている。
特開2002-342908号公報
 ノイズを低減してSNRを向上させるために、磁気記録媒体に含まれる磁性体を微細化することが考えられる。しかしながら、磁性体が微細化されると、磁気記録媒体の熱に対する安定性(熱安定性)が低下して、記録情報が安定的に保持されない場合がある。記録情報を安定的に保持するため、磁気記録媒体には、優れた熱安定性も求められる。
 そこで、本技術は、高いSNRを示し、且つ、熱安定性に優れている磁気記録媒体を提供することを主な目的とする。
 本技術は、
 記録層、CAP層、及び保護層をこの順に有し、
 前記記録層が、下記式で表される平均原子数比率を有し、
[Co(100-X-Y)PtCr(100-Z)-(MO ・・・(I)
(前記式(I)中、10≦X≦25、8≦Y≦16、6≦Z≦11であり、MOは金属酸化物を示す。)
 原子間力顕微鏡を用いて取得された前記保護層側表面の高さデータに基づいて作成されるベアリングカーブにおける表面凸方向の0.1%面積の高さp[nm]と、前記保護層の平均厚みq[nm]と、前記記録層の面外方向のX線回析におけるCoPtCr hcp(0002)ピークのロッキングカーブの半値幅Δθ50と、から構成される比Δθ50/(p+q)が、0.360以上0.545以下であり、且つ、
 前記CAP層の平均厚みが4nm以上である、
 テープ状の磁気記録媒体を提供する。
 前記磁気記録媒体が、ベース層、シード層、及び下地層をこの順に有し、前記記録層が、前記下地層上に設けられていてよい。
 前記下地層が、第1下地層及び第2下地層を有し、前記記録層が、前記第1下地層上に設けられていてよい。
 前記シード層が、第1シード層及び第2シード層を有し、前記下地層が、前記第1シード層上に設けられていてよい。
 前記磁気記録媒体が、中間層を有し、前記中間層が、前記下地層と前記記録層との間に設けられていてよい。
 前記磁気記録媒体が、SULを有し、前記SULが、前記ベース層と前記シード層との間に設けられていてよい。
 前記式(I)中のMOが、B、SiO、及びTiOから選ばれる少なくとも1つであってよい。
 前記CAP層が、Co、Pt、Cr、及びBを含む合金を含んでよい。
 前記下地層が、ルテニウムを含んでよい。
 前記第1シード層が、ニッケルタングステン合金を含んでよい。
 前記第2シード層が、Ti、Cr、及びOを含む合金を含んでよい。
 前記記録層の平均厚みが、10nm以上20nm以下であってよい。
 前記保護層の平均厚みが、1nm以上10nm以下であってよい。
 前記第1下地層の平均厚みが、1nm以上30nm以下であってよい。
 前記第2下地層の平均厚みが、1nm以上50nm以下であってよい。
 前記第1シード層の平均厚みが、1.0nm以上20.0nm以下であってよい。
 前記第2シード層の平均厚みが、0.1nm以上5.0nm以下であってよい。
 本技術は、
 記録層、CAP層、及び保護層をこの順に有し、
 前記記録層が、下記式で表される平均原子数比率を有し、
[Co(100-X-Y)PtCr(100-Z)-(MO ・・・(I)
(前記式(I)中、10≦X≦25、8≦Y≦16、6≦Z≦11であり、MOは金属酸化物を示す。)
 原子間力顕微鏡を用いて取得された前記保護層側表面の高さデータに基づいて作成されるベアリングカーブにおける表面凸方向の0.1%面積の高さp[nm]と、前記保護層の平均厚みq[nm]と、前記記録層の面外方向のX線回析におけるCoPtCr hcp(0002)ピークのロッキングカーブの半値幅Δθ50と、から構成される比Δθ50/(p+q)が、0.360以上0.545以下であり、且つ、
 前記CAP層の平均厚みが4nm以上である、テープ状の磁気記録媒体を含み、
 前記磁気記録媒体が、リールに巻き取られた状態で収容された、
 磁気記録カートリッジも提供する。
記録ヘッド及び磁気記録媒体を示す模式図である。 記録ヘッドで発生する記録磁界を示す模式図である。 第1の実施形態に係る磁気記録媒体の層構造の一例を示す図である。 ベアリングカーブの一例を示すグラフである 第2の実施形態に係る磁気記録媒体の層構造の一例を示す図である。 第3の実施形態に係る磁気記録媒体の層構造の一例を示す図である。 記録再生装置の構成を示す概略図である。 磁気記録カートリッジの構成の一例を示す分解斜視図である。 カートリッジメモリの構成の一例を示すブロック図である。 磁気記録カートリッジの変形例の構成の一例を示す分解斜視図である。

 以下、本技術を実施するための好適な実施形態例について、添付の図面を参照しながら説明する。なお、以下に説明する実施形態例は、本技術に好適な実施形態や変形形態を例示するものであるため、これらに狭く限定されるものではなく、本技術の技術的思想に基づく各種の変形が可能である。例えば、以下の実施形態例及びその変形例において挙げる構成、方法、工程、形状、材料、及び数値等はあくまでも例に過ぎず、必要に応じてこれと異なる構成、方法、工程、形状、材料、及び数値等を用いてもよい。また、化合物等の化学式を挙げる場合は、この化学式は代表的なものであって、同じ化合物の一般名称であれば、記載された価数等に限定されない。また、以下に説明する実施形態例及びその変形例の構成、方法、工程、形状、材料、及び数値等は、本技術の主旨を逸脱しない限り、互いに組み合わせることが可能である。説明は、以下の順序で行う。
1.本技術の磁気記録媒体
(1)概要
(2)記録層の組成(3)比Δθ50/(p+q)

(4)CAP層の平均厚み
(5)層構成
2.第1の実施形態
(1)磁気記録媒体の構成
(2)各層の説明
(3)効果
3.第2の実施形態
(1)磁気記録媒体の構成
(2)各層の説明
4.第3の実施形態
(1)磁気記録媒体の構成
(2)各層の説明
5.磁気記録媒体の製造方法
6.記録再生装置
7.磁気記録カートリッジ
8.磁気記録カートリッジの変形例
9.実施例
1.本技術の磁気記録媒体
(1)概要
本技術の磁気記録媒体は、記録層、CAP層、及び保護層をこの順に有する。当該記録層は、下記式(I)で表される平均原子数比率を有する。
[Co(100-X-Y)PtCr(100-Z)-(MO ・・・(I)
(上記式(I)中、10≦X≦25、8≦Y≦16、6≦Z≦11であり、MOは金属酸化物を示す。)
 本技術の磁気記録媒体は、記録層が上記のとおり特定の組成を有することにより、シグナルノイズ比(Signal-to-Noise Ratio:SNR)が高く、且つ、熱安定性に優れている。
 本技術の磁気記録媒体は、原子間力顕微鏡を用いて取得された上記保護層側表面の高さデータに基づいて作成されるベアリングカーブにおける表面凸方向の0.1%面積の高さp[nm]と、上記保護層の平均厚みq[nm]と、上記記録層の面外方向のX線回析におけるCoPtCr hcp(0002)ピークのロッキングカーブの半値幅Δθ50と、から構成される比Δθ50/(p+q)が、0.360以上0.545以下である。本技術の磁気記録媒体は、当該比Δθ50/(p+q)が当該数値範囲内であることにより、高いSNRを示す。
 本技術の磁気記録媒体は、上記CAP層の平均厚みが4nm以上である。本技術の磁気記録媒体は、CAP層の平均厚みが4nm以上であることにより、高いSNRを示し、且つ、飽和磁界(Hs)を低減できる。当該飽和磁界(Hs)の低減は、磁気記録媒体への情報の記録が困難になることを防止しうる。
 本技術の磁気記録媒体はテープ状であり、例えば長尺状の磁気記録テープでありうる。本技術のテープ状磁気記録媒体は、例えば磁気記録カートリッジ内に収容されていてよい。より具体的には、当該磁気記録カートリッジ内のリールに巻き付けられた状態で、当該カートリッジ内に収容されていてよい。
 本技術の磁気記録媒体における、記録層の組成、比Δθ50/(p+q)、CAP層の平均厚み、及び層構成について、以下にてさらに説明する。
(2)記録層の組成
 高い面記録密度(例えば100Gb/in以上の面記録密度)を実現するためには、ノイズが低くSNRの高い磁気記録媒体が求められる。ノイズを低減するために、磁気記録媒体に含まれる磁性体を微細化することが考えられる。しかしながら、磁性体を微細化すると、磁気記録媒体(具体的には記録層)に記録された磁化が、熱エネルギーによって減衰しやすくなる。当該磁化の減衰は、磁気記録媒体(具体的には記録層)に記録された情報の安定的な保持を困難にさせうる。このように、磁性体が微細化されると、磁気記録媒体の熱に対する安定性(熱安定性)が低下して、記録情報が安定的に保持されないことがある。そのため、磁気記録媒体には、優れた熱安定性も求められる。
 磁気記録媒体の熱安定性の指標値として、Kuact/kBTがある。Kuは磁性体の磁気異方性エネルギー、Vactは磁性体の活性化体積、kBはボルツマン定数、Tは絶対温度である。Kuact/kBTの値が高いほど、磁気記録媒体の熱安定性が高い。磁気記録媒体において、記録情報を安定的に保持するためには、上記熱安定性の低下を防止する必要がある。そのため、磁気記録媒体のKuact/kBTの値は、一定値以上であることが望ましい。
 このように、磁気記録媒体の面記録密度を高めるためには、ノイズの低減(すなわちSNRの向上)が求められるが、ノイズを低減するために(SNRを向上させるために)磁性体を微細化すると、熱安定性が低下しやすくなる。したがって、SNRの向上と熱安定性の向上を両立することは容易ではない。
本発明者らは、高い面記録密度を実現するために求められる高いSNRを示し、且つ、熱安定性に優れている磁気記録媒体について、検討を行った。本発明者らは、例えば100Gb/in以上の面記録密度を有する磁気記録媒体において、記録情報を安定的に保持するためには、Kuact/kBTが80以上であることが望ましいと考えた。そこで、本発明者らは、高い面記録密度(例えば100Gb/in以上の面記録密度)を実現するために求められる高いSNRを示し、且つ、Kuact/kBTが80以上である磁気記録媒体についてさらに検討を行った。その結果、本発明者らは、磁気記録媒体の記録層が下記式(I)で表される平均原子数比率を有することによって、SNSを向上させ、且つ、Kuact/kBTを80以上に高めることが可能であることを見出した。
[Co(100-X-Y)PtCr(100-Z)-(MO ・・・(I)
(前記式(I)中、10≦X≦25、8≦Y≦16、6≦Z≦11であり、MOは金属酸化物を示す。)
(3)比Δθ50/(p+q)
 高い記録密度を実現するためには、磁気記録媒体のSNRの向上が求められる。磁気記録媒体の代表例として、HDD(Hard Disk Drive)と磁気テープ(テープ状の磁気記録媒体)とがある。HDDにおいては、SNRの向上のために、磁気異方性の高い材料によって実現された磁気的孤立性の高い磁性膜構造の上に、飽和磁界を低減させるいわゆるCAP層を有するディスク媒体が採用されうる。当該ディスク媒体を搭載したHDDにおいて、高記録密度を実現するためには、磁気スペーシング(磁気隙間)を小さくすることが重要である。磁気スペーシングとは、記録ヘッド素子とディスク媒体の磁性層表面との間の距離である。HDDにおいては、これまでの技術によって10nm以下の磁気スペーシングが実現されている。また、高記録密度を実現するためには、軟磁性裏打ち層(soft magnetic underlayer:SUL)とシングルポール型(single pole type:SPT)記録ヘッドとを組み合わせた垂直磁気記録の技術を用いることも重要である。当該技術は、ディスク媒体にSULを設けて、SULとSPT記録ヘッドとの相互作用により強力な垂直磁界を発生させて、垂直磁気記録の特性を最大化させるための技術である。
 一方、磁気テープにおいては、HDDと同程度にまで磁気スペーシングを小さくすることは困難である。これは、磁気スペーシングに含まれる磁気テープの保護層の厚みと記録ヘッドの保護層の厚みとを、HDDの場合と同程度にまで薄くすることが難しいためである。磁気テープ及びHDDにおけるこれら保護層の厚みの違いは、磁気テープとHDDとで異なる記録方式が採用されていることに起因する。具体的には、磁気テープの場合、磁気テープと記録ヘッドとが接触した状態で情報の記録が行われる。一方、HDDの場合、メディア媒体と記録ヘッドとが非接触の状態で(すなわち、メディア媒体と記録ヘッドとの間に隙間(浮上隙間)が維持された状態で)情報の記録が行われる。そのため、磁気テープ及び記録ヘッドのそれぞれに設けられる保護層は、HDDの場合と異なり、磁気テープ及び磁気ヘッドの接触による摩耗を防止可能な厚みであることが求められる。そのため、磁気テープ及び記録ヘッドの保護層は、HDDの場合よりも厚い必要がある。したがって、磁気テープ及び記録ヘッドの保護層を、HDDの場合と同程度にまで薄くすることは困難である。
 また、磁気テープにおいて、SULとSPT記録ヘッドとの組み合わせを直ちに採用することは、技術及びコストの両面から困難と考えられる。
 このように、SNRの向上のためにHDDにおいて採用されている構成をテープ状の磁気記録媒体に直ちに適用することは困難な場合がある。そこで、本発明者らは、テープ状の磁気記録媒体のSNRを向上させる技術について検討を行い、3つのパラメータΔθ50、p、及びqに着目した。
上記3つのパラメータについて説明する。パラメータΔθ50(「半値幅Δθ50」ともいう)は、記録層の面外方向のX線回析におけるCoPtCr hcp(0002)ピークのロッキングカーブの半値幅である。半値幅Δθ50の値が小さいほど、記録層に含まれるCoPtCr系合金のc軸配向の分散度合が小さい。
 パラメータp(「表面凸方向の0.1%面積の高さp」ともいう)は、原子間力顕微鏡を用いて取得された、磁気記録媒体の保護層側表面の高さデータに基づいて作成されるベアリングカーブにおける、表面凸方向の0.1%面積の高さ(単位:nm)である。表面凸方向の0.1%面積の高さpは、本技術の磁気記録媒体において、記録層の表面に存在する突起の高低の傾向を反映するパラメータである。表面凸方向の0.1%面積の高さpが小さいほど、記録層の表面に存在する突起は全体的に低いと考えられる。パラメータq(「保護層の平均厚みq」ともいう)は、保護層の平均厚み(単位:nm)である。表面凸方向の0.1%面積の高さpと、保護層の平均厚みqと、の合計値(p+q)は、記録ヘッドの表面と、磁気記録媒体の記録層と、の間の距離の長短の傾向を反映するパラメータである。(p+q)の値が小さいほど、記録ヘッドと記録層との間の距離は短いと考えられる。
 図1を参照して、表面凸方向の0.1%面積の高さpと、保護層の平均厚みqについてさらに説明する。図1は、記録ヘッド510及び磁気記録媒体520を示す模式図である。磁気記録媒体520は、一般的なテープ状の磁気記録媒体の一例である。図1において、磁気記録媒体520は、記録ヘッド510側から順に保護層530と磁性層540とを有している。保護層530は、本技術の磁気記録媒体における保護層に相当し、磁性層540は、本技術の磁気記録媒体における記録層に相当する。磁気記録媒体520は、磁性層540よりも下にベース層(図示せず)をさらに有している。ベース層の表面に存在する複数の突起によって、磁性層540の表面には突起541が複数形成されており、保護層530の表面にも突起531が複数形成されている。記録ヘッド510の表面510aは、保護層530と接触している。なお、図1に示される突起541は、磁性層540の表面に存在する複数の突起の1つを例示するものであり、突起531は、保護層530の表面に存在する複数の突起の1つを例示するものである。
 本技術の磁気記録媒体における表面凸方向の0.1%面積の高さpを、図1の磁気記録媒体520に当てはめて説明すると、pの値が小さいほど、磁性層540の表面に存在する突起は全体的に低いと考えられる。本技術の磁気気記録媒体における保護層の平均厚みqを、図1の磁気記録媒体520に当てはめて説明すると、qは保護層530の平均厚みである。p及びqの合計値(p+q)を、図1の磁気記録媒体520に当てはめて説明すると、(p+q)の値が小さいほど、記録ヘッド510の表面510aと磁性層540との間の距離は短いと考えられる。
 図2を参照して、半値幅Δθ50及び(p+q)について説明する。図2は、記録ヘッド510で発生する記録磁界を示す模式図であり、記録ヘッド510によって垂直磁気記録媒体に情報を記録する場合を例示している。記録ヘッド510は、リング型の記録ヘッドの一例である。図2において、矢印Dh1~Dh5は、記録ヘッド510で発生する記録磁界を示し、矢印Dは、垂直磁気記録媒体の記録層に含まれる磁性結晶粒子542のc軸方向を示す。記録ヘッド510で発生する記録磁界は、矢印Dh1で示されるような水平成分と、Dh2~Dh5で示されるような斜め成分と、を含む。図2に示されるように、記録層に対して水平方向の磁界成分は、記録ヘッド510の表面510aから離れるほど(すなわち垂直磁気記録媒体の記録層に近いほど)減少し、一方で記録層に対して斜め方向の磁界成分が増加する。そのため、記録層の記録磁化方向は、全てが記録層に対して垂直(記録層の厚み方向)であるよりも、一部が記録層に対して斜めである方が、記録効率が高いと考えられる。すなわち、記録層に含まれる磁性結晶粒子542のc軸方向Dは、全てが記録層に対して垂直であるよりも、一部が記録層に対して斜めである方が、記録効率が高いと考えられる。したがって、磁性結晶粒子のc軸配向の分散度合が、記録効率に影響を与えると考えられる。記録効率を高めるためには、c軸配向の分散度合を調整することが有効と考えられる。
 また、記録磁界に含まれる斜め方向の磁界成分の割合は、記録ヘッド510の表面510aと、磁気記録媒体の記録層と、の間の距離によって変動しうる。そのため、記録効率を高めることが可能なc軸配向の分散度合は、記録ヘッド510の表面510aと、磁気記録媒体の記録層と、の間の距離の影響を受けうる。
 上記で述べたとおり、半値幅Δθ50は記録層に含まれるCoPtCr系合金のc軸配向の分散度合を示すパラメータであり、(p+q)は記録ヘッドの表面と磁気記録媒体の記録層との間の距離の長短の傾向を反映するパラメータである。以上を踏まえると、半値幅Δθ50及び(p+q)の値を調整することが、記録効率の向上をもたらすと考えられる。そして、記録効率の向上は、磁気記録媒体のSNRの向上に寄与しうる。本発明者らは、さらに検討を行った結果、半値幅Δθ50と(p+q)との比であるΔθ50/(p+q)が、0.360以上0.545以下であることによって、高いSNRを示す磁気記録媒体が得られることを見出した。
(4)CAP層の平均厚み
 本技術の磁気記録媒体は、CAP層を有する。CAP層の平均厚みは、4nm以上である。CAP層が4nm未満であると、優れたSNRを得ることが困難となる。
 また、本技術の磁気記録媒体は、CAP層が4nm以上であることにより、記録層の飽和磁界(Hs)を低減できる。飽和磁界(Hs)は、記録層に含まれる磁性体の磁化を飽和させるために必要な磁界である。記録ヘッドにより飽和記録を行うためには、記録ヘッドで発生する記録磁界を飽和磁界よりも大きくする必要がある。そのため、飽和磁界が高すぎると、記録ヘッドによる記録(書き込み)が困難となる場合がある。飽和磁界(Hs)の低減は、記録が困難になることを防止することに寄与する。
(5)層構成
 本技術の磁気記録媒体は、記録層、CAP層、及び保護層をこの順に有する。本技術の磁気記録媒体は、さらに、ベース層、シード層、及び下地層をこの順に有してよく、記録層が、下地層上に設けられていてよい。
 下地層は、1又は複数の層を有する。下地層は、好ましくは、第1下地層及び第2下地層を有する二層構造である。すなわち、下地層は、好ましくは、第1下地層及び第2下地層からなる。下地層が第1下地層及び第2下地層を有する場合、記録層は、第1下地層上に設けられていてよい。
 シード層は、1又は複数の層を有する。シード層は、好ましくは、第1シード層及び第2シード層を有する二層構造である。すなわち、シード層は、好ましくは、第1シード層及び第2シード層からなる。シード層が第1シード層及び第2シード層を有する場合、下地層は、第1シード層上に設けられていてよい。
 本技術の磁気記録媒体が、ベース層、シード層、及び下地層をこの順に有する場合、当該磁気記録媒体は、さらに中間層を有してよい。中間層は、下地層と記録層の間に設けられていてよい。
 本技術の磁気記録媒体が、ベース層、シード層、及び下地層をこの順に有する場合、当該磁気記録媒体は、さらにSUL(軟磁性裏打ち層)を有してよい。SULは、ベース層とシード層の間に設けられていてよい。
2.第1の実施形態
(1)磁気記録媒体の構成
 第1の実施形態に係る磁気記録媒体の構成について説明する。本明細書内の説明において、磁気記録媒体の保護層側を上側、磁気記録媒体のバック層側を下側とする。本技術に係るすべての実施形態に共通する層については、添付したすべての図面において同一の符号を用いて示し、共通の構成及び材料等についての重複説明は適宜省略する。
(1-1)全体構成
 図3を参照して、第1の実施形態に係る磁気記録媒体T1の全体構成について説明する。磁気記録媒体T1は、例えば、垂直磁気記録用磁気記録媒体である。磁気記録媒体T1は、バック層6、ベース層5、第2シード層42、第1シード層41、第2下地層32、第1下地層31、記録層1、CAP層C、保護層P、及び潤滑剤層Lをこの順に有している。すなわち、磁気記録媒体T1において、長尺状のベース層5の一方側の主面上に第2シード層42、第1シード層41がこの順に設けられている。当該第1シード層41の上に第2下地層32、第1下地層31がこの順に設けられている。当該第1下地層31の上に磁気記録層として機能する記録層1が設けられている。当該記録層1の上に、CAP層C、保護層P、及び潤滑剤層Lがこの順に設けられている。そして、ベース層5の他方側の主面にはバック層6が設けられている。シード層4は、第1シード層41及び第2シード層からなる二層構造を有している。下地層3は、第1下地層31及び第2下地層32からなる二層構造を有している。
 第2シード層42、第1シード層41、第2下地層32、第1下地層31、記録層1、CAP層C、及び保護層Pは、例えば、スパッタリングにより形成された層(以下「スパッタ層」ともいう)などの真空薄膜でありうる。磁気記録媒体T1は長尺状を有し、記録再生の際には長手方向に走行される。
 磁気記録媒体T1は、今後ますます需要が高まることが期待されるデータアーカイブ用ストレージメディアとして用いて好適なものである。この磁気記録媒体T1は、例えば、現在のストレージ用塗布型磁気記録媒体の10倍以上の面記録密度、すなわち100Gb/in以上の面記録密度を実現することが可能である。このような面記録密度を有する磁気記録媒体T1を用いて、一般のリニア記録方式のデータカートリッジを構成した場合には、データカートリッジ1巻当たり200TB以上の大容量記録が可能になる。
 磁気記録媒体T1は、リング型の記録ヘッドと、巨大磁気抵抗効果(Giant Magnetoresistive:GMR)型又はトンネル磁気抵抗効果(Tunneling Magnetoresistive:TMR)型の再生ヘッドと、を有する記録再生装置(データを記録再生するための記録再生装置)に用いて好適なものである。すなわち、磁気記録媒体T1は、リング型の記録ヘッドと、GMR型又はTMR型の再生ヘッドと、を有する記録再生装置用の磁気記録媒体であってよい。磁気記録媒体T1は、サーボ信号書込ヘッドとしてリング型の記録ヘッドが用いられるものであることが好ましい。記録層1には、例えばリング型の記録ヘッドによりデータ信号が垂直記録されてよい。また、記録層1には、例えばリング型の記録ヘッドによりサーボ信号が垂直記録されてよい。すなわち、磁気記録媒体T1は、リング型の記録ヘッドによりデータ信号及びサーボ信号が垂直記録される記録層1を有する磁気記録媒体であってよい。 
 磁気記録媒体T1の平均厚みtは、好ましくは5.6μm以下であり、より好ましくは5.5μm以下、さらにより好ましくは5.3μm以下、5.2μm以下、5.0μm以下、又は4.6μm以下でありうる。磁気記録媒体T1はこのように薄いものであるので、例えば1つの磁気記録カートリッジ中に巻き取られるテープ長をより長くすることができ、これにより1つの磁気記録カートリッジ当たりの記録容量を高めることができる。磁気記録媒体T1の平均厚みtは、例えば、3.0μm以上、3.2μm以上、3.4、又は3.5μm以上であってよい。
 磁気記録媒体T1の平均厚みtは以下のようにして求められる。まず、カートリッジに収容された1/2インチ幅の磁気記録媒体T1を巻き出し、最外周側の一端から10から20m、30mから40m、及び50mから60mの3か所の位置からそれぞれ250mmの長さに切り出し、3つのサンプルを作製する。次に、測定装置としてMitutoyo社製レーザーホロゲージ(LGH-110C)を用いて、各サンプルについて、サンプルの厚みを5点の位置で測定し、それらの測定値(合計15点)を単純に平均(算術平均)して、平均値t[μm]を算出する。なお、測定位置は、サンプルから無作為に選ばれるものとする。 
 磁気記録媒体T1の幅は、例えば5mm~30mmであり、特には7mm~25mmであり、より特には10mm~20mm、さらにより特には11mm~19mmでありうる。
 磁気記録媒体T1の長さは、例えば500m~1500mであってよく、例えば1000m以上であってよい。例えばLTO8規格に従うテープ幅は12.65mmであり、長さは960mである。
(1-2)比Δθ50/(p+q)
 磁気記録媒体T1は、半値幅Δθ50と、表面凸方向の0.1%面積の高さp[nm]と、保護層の平均厚みq[nm]と、から構成される比Δθ50/(p+q)が、0.360以上0.545以下であり、好ましくは0.380以上0.540以下、より好ましくは0.400以上0.500以下である。比Δθ50/(p+q)が当該数値範囲であることによって、SNRを向上できる。以下、比Δθ50/(p+q)を構成する3つのパラメータについて説明する。
(1-2-1)半値幅Δθ50
 半値幅Δθ50は、記録層1の面外方向のX線回析におけるCoPtCr hcp(0002)ピークのロッキングカーブの半値幅である。すなわち、半値幅Δθ50は、記録層1の面外方向におけるX線回折を用いて、CoPtCr系合金の六方最密充填(hcp)構造の(0002)面におけるロッキングカーブ測定を行い、当該測定によって得られるロッキングカーブの半値幅である。
 半値幅Δθ50は、0.360≦Δθ50/(p+q)≦0.545を満たす数値であり、好ましくは0.380≦Δθ50/(p+q)≦0.540を満たす値であり、より好ましくは0.400≦Δθ50/(p+q)≦0.500を満たす値である。半値幅Δθ50は、比Δθ50/(p+q)が上記数値範囲を満たすように、他のパラメータ(p及びq)の値に応じて調整されうる。半値幅Δθ50は、例えば3.5°以上7.5°以下、4.0°以上7.0°以下、又は4.0°以上6.5°以下であってよい。半値幅Δθ50は、例えば、下地層3の平均厚み又はシード層4の平均厚みを変化させることによって調整されうる。
 半値幅Δθ50は、以下のようにして求められる。まず、12.7mm幅の磁気記録媒体T1を長さ30mmに切り出し、12.7mm×30mmの長方形のサンプルを作製する。さらに、10mごとに2箇所で同一形状のサンプルを作製し、合計3つのサンプルを得る。次に、X線回折装置(リガク社製 RINT 2000)を用いて、各サンプルの試料表面に対して平行な格子面を評価する手法であるOut-of Plane測定にて、下記表1に記載されている条件で(θ-2θ)特性を測定する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
 2θ:43.7°(CoPtCr hcp(0002面))にて、入射X線を固定し、X線検出器を±15°の範囲でスキャンする。スキャンにより得られる回折X線カーブ(ロッキングカーブ)において、ピーク強度の1/2となる値を得る。3つのサンプルについて得られた当該値を単純に平均(算術平均)して、Δθ50とする。当該回析X線カーブからΔθ50の値を算出するために使用するデータ処理ソフトとしては、付属のピークサーチソフトとXRD解析処理ソフトJADEを使用することができる。
(1-2-2)表面凸方向の0.1%面積の高さp
 表面凸方向の0.1%面積の高さpは、原子間力顕微鏡を用いて取得された磁気記録媒体T1の保護層側表面の高さデータに基づいて作成されるベアリングカーブにおける数値である。なお、「磁気記録媒体の保護層側表面」とは、テープ状の磁気記録媒体の両表面のうち、保護層が近い表面を意味する。例えば、磁気記録媒体の最表面に保護層以外の層(例えば潤滑剤層)が存在する場合であっても、保護層が近い表面を、本明細書において「保護層側表面」という。
 表面凸方向の0.1%面積の高さpは、0.360≦Δθ50/(p+q)≦0.545を満たす数値であり、好ましくは0.380≦Δθ50/(p+q)≦0.540を満たす値であり、より好ましくは0.400≦Δθ50/(p+q)≦0.500を満たす値である。表面凸方向の0.1%面積の高さpは、比Δθ50/(p+q)が上記数値範囲を満たすように、他のパラメータ(Δθ50及びq)の値に応じて調整されうる。表面凸方向の0.1%面積の高さpは、例えば1nm以上15nm以下、2nm以上12nm以下、又は3nm以上10nm以下であってよい。表面凸方向の0.1%面積の高さpは、例えば、磁気記録媒体T1の表面処理において往復走行回数を変化させることによって調整されうる。 
 表面凸方向の0.1%面積の高さpは、以下のようにして求められる。まず、12.7mm幅の磁気記録媒体T1を長さ10mmに切り出し、12.7mm×10mmの長方形のサンプルを作製する。さらに、10mごとに2箇所で同一形状のサンプルを作製し、合計3つのサンプルを得る。各サンプルの保護層側表面について、3か所の測定エリアを原子間力顕微鏡(Atomic Force Microscope:AFM)により観察し、合計9か所の測定エリアにおける2次元(2D)表面プロファイルデータを得る。以下に、AFMの測定条件を示す。
 AFM:Digital Instruments社製 Dimension 3100顕微鏡(NanoscopeIV コントローラを有する)
 カンチレバー:NanoWorld社 NCH-10T
 測定エリア:30μm×30μmの正方形状エリア
 分解能:512×512
 AFMのブローブのscan方向:磁気テープのMD(Machine Direction)方向(長手方向)
 測定mode:タッピングモード
 scan ratio:1Hz
 次に、得られた2D表面プロファイルデータsurface x,y(nm)(xは0~511の整数、yは0~511の整数)に対して、下記のフィルタ処理を施した。以下では、フィルタ処理後の2D表面プロファイルデータを「F surface x,y」という。
 Flatten:3次
 Planefit:MD方向のみ3次
 上記F surface x,y中の各測定点(x,y)での測定データpAFMx,y、並びに、高さ方向の感度Sens.Zscan[nm/V]及び高さ方向の測定レンジZ Scale[V]を用いて、下記式により各測定点の高さAFMx,y[nm]を算出する。なお、下記式中の「65536」は、全測定点の個数(256×256=65536)である。
 AFMx,y[nm] =(pAFMx,y×Sens.Zscan [nm/V]×Z Scale [V])/65536
 本技術の磁気記録媒体において、上記「原子間力顕微鏡を用いて取得された保護層側表面の高さデータ」(以下、単に「保護層側表面の高さデータ」ともいう)は、上記式により求められる各測定点の高さAFMx,yを意味する。
 次に、上記保護層側表面の高さデータに基づいてベアリングカーブを作成する。具体的には、まず、上記式により求めた各測定点の高さAFMx,yの平均(平均高さHa)を算出する。各測定点の高さAFMx,yの値から、平均高さHaの値を差し引いて、各測定点の高さ差分Hdを算出する。すなわち、各測定点の高さ差分Hdは、以下の式により求められる。
 各測定点の高さ差分Hd[nm]=(各測定点の高さAFMx,y)-(平均高さHa
 各測定点の高さ差分Hdを一次元配列として並べる。当該一次元配列を値が大きい順(降順)に並び替える。当該並び替え後の一次元配列の高さ差分Hdが、ベアリングカーブを描く各点のY座標の値である。すなわち、ベアリングカーブのY座標の値は、上記高さ差分Hdである。本明細書において、当該高さ差分Hdを、ベアリングカーブにおける高さという。
 降順に並べ替えた後の一次元配列のData number(一次元配列の要素番号)の、全データ数(全測定点の数)に対する割合が、ベアリングカーブを描く各点のX座標の値である。すなわち、ベアリングカーブのX座標の値は、以下の式により求められる。
 X座標の値[%]=Data Number/全データ数×100
 最後に、得られたX座標の値とY座標の値とをXY座標にプロットとして、ベアリングカーブを作成する。図4は、ベアリングカーブの一例を示すグラフである。当該XY座標において、X軸は面積率を示し、Y軸は高さ(具体的には高さ差分Hd)を示す。当該面積率は、高さ(高さ差分Hd)の高い順に頻度を累積し、AFMにより測定された全測定点の数(65,536個)を100として百分率で表したものである。
 上記ベアリングカーブにおいて面積率が0.1%となる高さが、上記「表面凸方向の0.1%面積の高さp」である。表面凸方向の0.1%面積の高さpは、具体的には、全測定点のうち0.1%の測定点において、高さ(高さ差分Hd)がp[nm]以上であることを意味する。例えば、ベアリングカーブ上にX座標が0.1(%)、Y座標が5(nm)である点Pが存在する場合、表面凸方向の0.1%面積の高さpは5nmであり、これは、全測定点のうち0.1%の測定点において、高さ(高さ差分Hd)が5nm以上であることを意味する。
 表面凸方向の0.1%面積の高さpは、磁気記録媒体T1の保護層側表面に存在する凸形状(突起)の高低の傾向を評価する指標である。磁気記録媒体T1における保護層側表面に存在する突起は、保護層Pよりも下に位置する層の表面に存在する突起を反映していると考えられる。そのため、保護層側表面に存在する突起の高低は、保護層Pよりも下に位置する記録層1の表面に存在する突起の高低を反映していると考えられる。したがって、表面凸方向の0.1%面積の高さpは、記録層1の表面に存在する突起の高低の傾向を反映するパラメータでありうる。表面凸方向の0.1%面積の高さpが小さいほど、記録層1の表面に存在する突起は全体的に低い傾向にあると考えられる。
(1-2-3)保護層の平均厚みq
 保護層Pの平均厚みqは、0.360≦Δθ50/(p+q)≦0.545を満たす数値であり、好ましくは0.380≦Δθ50/(p+q)≦0.540を満たす値であり、より好ましくは0.400≦Δθ50/(p+q)≦0.500を満たす値である。保護層Pの平均厚みqは、比Δθ50/(p+q)が上記数値範囲を満たすように、他のパラメータ(Δθ50及びp)の値に応じて調整されうる。保護層の平均厚みqは、例えば1nm以上10nm以下、2nm以上8nm以下、又は3nm以上6nm以下であってよい。
保護層Pの平均厚みqは、以下のようにして求められる。カートリッジに収容された磁気記録媒体T1を巻き出し、最外周側の一端から10mから20m、30mから40m、及び50mから60mの3か所の位置からそれぞれ必要な長さを切り出し3つのサンプルを作製する。続いて、各サンプルをFIB(Focused Ion Beam)法等により加工して薄片化を行う。FIB法を使用する場合には、後述の断面のTEM像を観察する前処理として、保護膜としてカーボン膜及びタングステン薄膜を形成する。当該カーボン膜は蒸着法により磁気記録媒体T1の保護層側表面及びバック層側表面に形成され、そして、当該タングステン薄膜は蒸着法又はスパッタリング法により保護層側表面にさらに形成される。なお、保護層Pがカーボンにより形成されているサンプルについて、上記TEM像を観察する前処理で保護膜としてカーボン膜を形成すると、保護層Pと当該保護膜とを区別できなくなる場合がある。この場合、サンプルの保護層側表面に保護膜としてのカーボン膜を形成しなくてよい。当該薄片化は磁気記録媒体T1の長さ方向(長手方向)に沿って行われる。すなわち、当該薄片化によって、磁気記録媒体T1の長手方向及び厚み方向の両方に平行な断面が形成される。
 得られた各薄片化サンプルの上記断面を、透過型電子顕微鏡(Transmission Electron Microscope:TEM)により、下記の条件で観察し、TEM像を得る。なお、装置の種類に応じて、倍率及び加速電圧は適宜調整されてよい。
 装置:TEM(日立製作所製H9000NAR)
 加速電圧:300kV
 倍率:100,000倍
 次に、得られた各薄片化サンプルのTEM像を用い、各薄片化サンプルの磁気記録媒体T1の長手方向に並ぶ10点の位置で保護層Pの厚みを測定する。得られた各薄片化サンプルの測定値(合計で30点の測定値)を単純に平均(算術平均)して得られた平均値を保護層Pの平均厚みq[nm]とする。なお、当該測定が行われる位置は、試験片から無作為に選ばれるものとする。
(2)各層の説明
 再度図3を参照して、磁気記録媒体T1の各層について説明する。
 (記録層)
 記録層1は、磁性結晶粒子を含む層であり、磁気を用いて、信号を記録したり、あるいは再生をしたりする層として機能しうるものである。記録層1は、磁性結晶粒子が垂直配向した垂直磁気記録層でありうる。さらに、記録密度を向上する観点からすると、Co系合金を含むグラニュラ構造を有するグラニュラ磁性層であることが好ましい。
 グラニュラ構造を有する記録層1は、Co系合金を含む強磁性結晶粒子と、この強磁性結晶粒子を取り巻くように存在する非磁性粒界(非磁性体)とから構成されている。より具体的には、グラニュラ構造の記録層1は、Co系合金を含むカラム(柱状結晶)と、このカラムを取り囲み、それぞれのカラムを物理的に、かつ磁気的に分離する非磁性粒界とから構成されている。このようなグラニュラ構造によって、記録層1は、それぞれのカラム状の磁性結晶粒子が磁気的に分離した構造を呈する。
 Co系合金は、六方最密充填(hcp)構造を有しており、そのc軸は膜面に対して垂直方向(磁気記録媒体厚み方向)に配向しうる。このように、記録層1が六方最密充填構造を有することによって、記録層1の配向特性がさらに高められている。Co系合金としては、少なくともCo、Cr及びPtを含有するCoPtCr系合金を採用することが好ましい。CoPtCr系合金は、特に狭く限定されるものではなく、さらに添加元素を含んでいてもよい。添加元素としては、例えば、Ni、Taなどから選択される一種以上の元素を挙げることができる。好ましくは、記録層1は、Co、Pt及びCrを含む粒子が酸化物で分離されたグラニュラ構造を有しうる。
 強磁性結晶粒子を取り巻く非磁性粒界は、非磁性金属材料を含んでいる。ここで、金属には半金属を含むものとする。非磁性金属材料としては、例えば非磁性酸化物であってよく、当該非磁性酸化物は、金属酸化物及び金属窒化物のうちの少なくとも一つを採用することができ、上記グラニュラ構造をより安定に維持する観点からすると、金属酸化物を用いることが好ましい。
磁気記録媒体T1において、記録層1は、下記式(I)で表される平均原子数比率(平均組成ともいう)を有している。なお、下記式(I)は、特定の結晶構造を示すものではなく、元素の平均原子数比率を単純に表すものである。すなわち、下記式(I)は、元素の原子数比率を測定した結果から得られる値を表すものである。また、記録層1は、下記式(I)で表される元素以外の元素を含んでよい。すなわち、記録層1は、下記式(I)で表される平均原子数比率を有しているものであれよく、他の元素(例えば、不純物、及び他の層からの拡散成分など)を含んでよい。
[Co(100-X-Y)PtCr(100-Z)-(MO ・・・(I)
(上記式(I)中、10≦X≦25、8≦Y≦16、6≦Z≦11であり、MOは金属酸化物を示す。)
 上記Xが10未満であると、高いSNRが得られにくく、また、Kuact/kBTが80未満となり、熱安定性が低下する。上記Xが25超であると、高いSNRが得られにくい。上記Yが8未満であると、高いSNRが得られにくい。上記Yが16超であると、高いSNRが得られにくく、また、Kuact/kBTが80未満となり、熱安定性が低下する。上記Zが6未満であると、高いSNRが得られにくい。上記Zが11超であると、高いSNRが得られにくい。
 上記式(I)において上記Xは、好ましくは12以上であり、より好ましくは14以上であり、さらにより好ましくは16以上であり、特に好ましくは18以上である。Xが当該数値範囲であることによって、Kuact/kBTの値が大きくなり、熱安定性が向上する。当該Xは、好ましくは23以下である。Xが23以下であることによって、磁気記録媒体T1はより高いSNRを示しうる。Xの数値範囲は、上記上限値のいずれかと上記下限値のいずれかとにより規定されてよく、好ましくは12≦X≦23、より好ましくは14≦X≦23、さらにより好ましくは16≦X≦23、特に好ましくは18≦X≦23である。
 上記式(I)において上記Yは、好ましくは10以上である。Yが10以上であることによって、磁気記録媒体T1はより高いSNRを示しうる。当該Yは、好ましくは14以下、より好ましくは12以下である。Yが当該数値範囲であることによって、Kuact/kBTの値が大きくなり、熱安定性が向上する。Yの数値範囲は、上記上限値のいずれかと上記下限値のいずれかとにより規定されてよく、好ましくは8≦Y≦14、より好ましくは8≦X≦12、さらにより好ましくは10≦X≦12である。
 上記式(I)において上記Zは、好ましくは7以上である。Zが7以上であることによって、磁気記録媒体T1はより高いSNRを示しうる。当該Zは、好ましくは10以下、より好ましくは9以下である。Zが当該数値範囲であることによって、磁気記録媒体T1はより高いSNRを示しうる。Zの数値範囲は、上記上限値のいずれかと上記下限値のいずれかとにより規定されてよく、好ましくは6≦Z≦10、より好ましくは6≦Z≦9、さらにより好ましくは7≦Z≦9である。

 非磁性粒界に適する上記金属酸化物、すなわち、上記式(I)中のMOとしては、例えば、Si、Cr、Cr、Al、Ti、Ta、Zr、Ce、Y、B及びHfなどから選ばれる少なくとも一種以上の元素を含む金属酸化物が挙げられる。その具体例としては、SiO、Cr、CuO、Al、TiO、Ta、ZrO2、3又はHfOなどを挙げることができる。当該金属酸化物は、好ましくは、B、SiO、及びTiOから選ばれる1つ、2つ、又は3つを含み、より好ましくは、B、SiO、及びTiOから選ばれる少なくとも1つであり、さらにより好ましくは、Bである。
 非磁性粒界に適する上記金属窒化物としては、Si、Cr、Co、Al、Ti,Ta、Zr、Ce、Y及びHfなどから選ばれる少なくとも一種以上の元素を含む金属窒化物が挙げられる。その具体例としては、SiN、TiN又はAlNなどを挙げることができる。
 上記金属酸化物がBであることが好ましいと考えられる理由を以下に説明する。グラニュラ構造における非磁性粒界の役割は、上記で述べたとおりCo系合金のカラムを分離することにより、すなわち強磁性結晶粒子を空間的に分離することにより、強磁性結晶粒子間に作用する交換相互作用の効果を低減することにある。スパッタ粒子がベースフィルムに到達し析出する過程がこのグラニュラ構造の状態に大きく影響し、非磁性粒界を構成する材料の融点が強磁性結晶粒子を構成する材料の融点に比べて低いことが良好なグラニュラ構造に繋がることが明らかとなっている。例えば、強磁性結晶粒子の材料として、Co80Pt20を考えた場合、その融点は1450℃である。非磁性粒界がSiO2およびTiO2の場合、それぞれの融点は、1600℃、1843℃でありCo80Pt20よりも高くなるが、B2O3の融点は470℃でありCo80Pt20の融点よりも極めて低くなる。強磁性結晶粒子の融点よりも非磁性粒界の材料の融点が低い場合、先に強磁性結晶粒子が下地層カラムの先端部分に析出し、冷却が進み温度が低下した後に、非磁性粒界の材料が強磁性粒子間に析出することにより、良好なグラニュラ構造が実現される。これより、記録層中の酸化物としてB2O3が好適と考えられる(参考文献:K. K. Tham, R. Kushibiki, S. Hinata, and S. Saito, “B2O3: Grain boundary material for high-Ku CoPt-oxide granular media with low degree of intergranular exchange coupling,” Jpn. J. Appl. Phys., vol. 55,p. 07MC06, Jun. 2016.)。
以上で述べた理由から、本技術において、記録層1は、好ましくは磁性結晶粒子(特にはカラム状の磁性結晶粒子)と、当該磁性結晶粒子を取り囲む非磁性粒界と、から構成されるグラニュラ構造を有しうる。当該非磁性粒界を形成する材料の融点は、好ましくは、当該磁性結晶粒子を形成する材料の融点よりも低く、例えば100℃以上低く、より好ましくは300℃以上低く、さらにより好ましくは500℃以上、600℃以上、又は700℃以上低くてもよい。前者の融点と後者の融点の差は、例えば1200℃以下、1100℃以下、又は1000℃以下であってよい。すなわち、当該非磁性粒界を形成する材料の融点は、好ましくは、当該磁性結晶粒子を形成する材料の融点よりも、例えば100℃~1200℃低く、より好ましくは300℃~1100℃低く、さらにより好ましくは500℃~1000℃低くてよい。
 記録層1の平均原子数比率は、以下のようにして求められる。まず、カートリッジに収容された磁気記録媒体T1を巻き出し、最外周側の一端から10mから20m、30mから40m、及び50mから60mの3か所の位置からそれぞれ必要なサイズを切り出し、3つのサンプルを作製する。続いて、各サンプルの裏面(バック層5側表面)のバック層をメチルエチルケトンにより除去し、3つの試料を得る。各試料の裏面(バック層5が除去された側の表面)からFIB(Focused Ion Beam)処理を施し、ベース層6、第2シード層42、第1シード層41、第2下地層32、及び第1下地層31を除去する。これにより、記録層1、CAP層C、保護層P、及び潤滑剤層Lのみが残る3つの分析用試料を得る。各分析用試料について、TEMを用いて、金属カラム内、及び金属カラムと酸化物との境界を、それぞれ5か所ずつ観察し、エネルギー分散型X線分光法(EDX)により分析して、記録層1に含まれる各元素の平均原子数比率を同定する。以下に、TEM及び元素分析装置の測定条件、並びに平均原子数比率のより詳細な同定手順を示す。
(TEMの測定条件)
 走査透過電子顕微鏡:日本電子社製 JEM-ARM200F
  加速電圧:200kV
  ビーム径:約0.2nmΦ
  倍率:200万倍
(元素分析装置の測定条件)
 元素分析装置:日本電子社製 JED-2300T
  X線検出器:Si ドリフト検出器
  エネルギー分解能:約140eV
  X線取出角:21.9°
  立体角:0.98sr
(平均原子数比率の同定手順)
(1)Co、Pt、及びCrの比率
 上記分析用試料の記録層1の断面のTEM像を用いて、金属カラム内5か所で、EDXによる分析を行い、Co、Pt、及びCrの平均原子数比率を同定する。これにより、上記式(I)中のX及びYの値が得られる。
(2)Mの定性
 上記分析用試料の記録層1の断面のTEM像を用いて、金属カラムと酸化物との境界5か所で、EDXにより、上記式(I)中のMの定性分析を行う。
(3)金属と酸化物との比率
 画像解析ソフトウェア「ImageJ」(米国国立衛生研究所から入手可能)を用いた処理により、平面TEM像(カラムが100個以上含まれる視野)中の金属カラム(黒い箇所)と酸化物(白い箇所)との面積比率を求める。当該面積比率より、酸化物の体積比率を求める。当該体積比率より、酸化物の金属に対する元素比率を求める。これにより、上記式(I)中のZの値が得られる。
 ImageJを用いた上記処理の詳細を以下に示す。
(2値化処理による黒色面積の測定工程)
 ImageJを用いて、以下のとおりに処理する。当該処理において、画像処理範囲は80nm×80nmと設定される。以下の各工程の括弧内には、当該ソフトウェアの具体的な操作手順が示されている。
工程1:画像ファイルを開く。(File→Open)
工程2:寸法を入力する。(Analyze→Set Scale)
    寸法は以下のとおりに設定される。
     Distance in pixels : 640
     Known distance : 64
     Pixel aspect ratio : 1.0
     Unit of length : um
工程3:画像タイプを8ビットグレイスケール画像に変換する。(Image(画像メニュー)>Type(画像タイプ)>8bit)
工程4:ノイズを除去する。(Prosess(処理メニュー)>Smooth(スムージング))
工程5:二値化する。(Process(処理メニュー)>Binary(二値化)>Make Binary(画像を白黒に作製する))
工程6:解析する。(Analyze(解析メニュー)→Analyze Particles(粒子解析))
    当該解析において閾値は以下のとおりに設定される。
     Size (Pixel^2) : 100-10000
     Circularity : 0.00-1.00
     Show : Masks
 当該閾値の設定後、Summarizeをチェックすることで、Summary画面が表示される。当該Summary画面において、Count(粒子数)、Total Area(面積の合計)、Average size(粒子数)、Area Function(粒子の占める面積の割合)、及びMean(平均)が表示される。
工程7:上記分析用試料中の5か所の画像について、以上の工程1~6を行い、得られたArea Function(粒子の占める面積の割合)の平均値(単純平均)を算出する。これらの平均値が、金属元素の面積比率(上記式(I)中の(100-Z))に相当する。
 平均原子数比率の同定において、奥行き方向に同じ面積比の断面が重なっている前提とし、面積比率=体積比率とする。また、体積比率から元素比率を求めるときに用いる酸化物比重と金属比重は、各元素のバルクの値を用いる。
 記録層1の平均厚みtは、好ましくは10nm以上20nm以下であり、より好ましくは11nm以上19nm以下、さらに好ましくは12nm以上18nm以下である。
記録層1の平均厚みtは、保護層Pの平均厚みと同様にして求められる。但し、TEM像の倍率は、記録層1の厚みに応じて適宜調整される。

(CAP層)
 CAP層Cは、磁気的相互作用の強い材料を含む層である。グラニュラ構造を有する記録層1と、CAP層Cと、からなる積層構造は、一般にCoupled Granular Continuous(CGC)と呼ばれている。
 CAP層Cは、CoPtCr系材料を含んでいてもよい。当該CoPtCr系材料は、例えば、CoPtCr材料、CoPtCrB材料、又はこれら材料に金属酸化物をさらに添加した材料(CoPtCr-金属酸化物、CoPtCrB-金属酸化物)などが挙げられる。当該材料に添加される金属酸化物(例えば下記式(2)中のMO)としては、例えば、Si、Ti、Mg、Ta、及びCrなどからなる群より選ばれる少なくとも1種を用いることができる。その具体例としては、SiO、TiO、MgO、Ta、Cr、それらの2種以上の混合体などが挙げられる。CAP層Cは、好ましくは、CoPtCrB材料含む。すなわち、CAP層Cは、Co、Pt、Cr、及びBを含む合金を含む層であることが好ましい。
 CAP層Cは、例えば以下の式(1)又は(2)に示される平均原子数比率を有していることが好ましい。
 Co100-x-y-zPtCr ・・・(1)
 (但し、式(1)において、xは、5≦x≦30、yは、5≦y≦20、zは、0≦z≦15であり、好ましくは10≦z≦30である。)
 {[Co100-x-y-zPtCr100-p-(MO ・・・(2)
 (但し、式(2)において、xは、5≦x≦30、yは、5≦y≦20、zは、0≦z≦15であり、好ましくは5≦z≦12であり、MOは上記金属酸化物であり、pは、5≦p≦15である。)
 CAP層Cの平均厚みは、4nm以上であり、好ましくは5nm以上である。CAP層Cの平均厚みが4nm以上であることによって、SNRを高めることができ、さらに、記録層1の飽和磁界(Hs)を低減できる。CAP層Cの平均厚みは、好ましくは10nm以下である。CAP層Cの平均厚みを10nm以下とすることで、より高いSNRが得られうる。
 CAP層Cの平均厚みは、保護層Pの平均厚みと同様にして求められる。但し、TEM像の倍率は、CAP層Cの厚みに応じて適宜調整される。
(保護層)
 保護層Pは、記録層1及びCAP層Cを保護する役割を果たす層である。保護層Pは、例えば、炭素材料又は二酸化ケイ素(SiO)を含む。この保護層Pの膜強度の観点からは炭素材料を含んでいることが好ましい。炭素材料としては、例えば、グラファイト、ダイヤモンド状炭素(Diamond-Like Carbon:略称DLC)又はダイヤモンドなどを挙げることができる。
(潤滑剤層)
 磁気記録媒体T1は、保護層Pの上層に、潤滑剤層Lを有していてよい。潤滑剤層Lは、潤滑剤を含む層であり、走行時の磁気記録媒体T1の摩擦を軽減する役割を主に果たす。
 潤滑剤層Lは、少なくとも1種の潤滑剤を含んでいる。潤滑剤層Lは、必要に応じて各種添加剤、例えば、防錆剤をさらに含んでいてもよい。潤滑剤は、少なくとも2つのカルボキシル基と1つのエステル結合とを有し、下記の一般化学式(1)で表されるカルボン酸系化合物の少なくとも1種を含んでいる。潤滑剤は、下記の一般化学式(1)で表されるカルボン酸系化合物以外の種類の潤滑剤をさらに含んでいてもよい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000002
 
(上記一般化学式(1)中、Rfは非置換若しくは置換の、また、飽和若しくは不飽和の、含フッ素炭化水素基或いは炭化水素基、Esはエステル結合、Rは、なくてもよいが、非置換若しくは置換の、また、飽和若しくは不飽和の炭化水素基である。)
 上記カルボン酸系化合物は、下記の一般化学式(2)または一般化学式(3)で表されるものが好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000003
 
(上記一般化学式(2)中、Rfは、非置換若しくは置換の、また、飽和若しくは不飽和の、含フッ素炭化水素基或いは炭化水素基である。)
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000004
 
(上記一般化学式(3)中、Rfは、非置換若しくは置換の、また、飽和若しくは不飽和の、含フッ素炭化水素基或いは炭化水素基である。)
 潤滑剤は、上記の一般化学式(2)および一般化学式(3)で表されるカルボン酸系化合物の一方または両方を含んでいることが好ましい。
 一般化学式(1)で示されるカルボン酸系化合物を含む潤滑剤を記録層1または保護層Pなどに塗布すると、疎水性基である含フッ素炭化水素基又は炭化水素基Rf間の凝集力により潤滑作用が発現する。Rf基が含フッ素炭化水素基である場合には、総炭素数が6~50であり、且つフッ化炭化水素基の総炭素数が4~20であるのが好ましい。Rf基は、飽和又は不飽和、直鎖又は分岐鎖又は環状であってよいが、とくに飽和で直鎖であるのが好ましい。
 例えば、Rf基が炭化水素基である場合には、下記一般化学式(4)で表される基であることが望ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000005
 
(但し、一般化学式(4)において、lは、8~30、より望ましくは12~20の範囲から選ばれる整数である。)
 また、Rf基が含フッ素炭化水素基である場合には、下記一般化学式(5)で表される基であることが望ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000006
 
(但し、一般化学式(5)において、mとnは、それぞれ次の範囲から選ばれる整数で、m=2~20、n=3~18、より望ましくは、m=4~13、n=3~10である。)
 フッ化炭化水素基は、上記のように1箇所に集中していても、また下記一般化学式(6)のように分散していてもよく、-CFや-CF-ばかりでなく-CHFや-CHF-等であってもよい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000007
 
(但し、一般化学式(6)において、n1+n2=n、m1+m2=mである。)
 一般化学式(4)、(5)および(6)において炭素数を上記のように限定したのは、アルキル基または含フッ素アルキル基を構成する炭素数(l、又は、mとnの和)が上記下限以上であると、その長さが適度の長さとなり、疎水性基間の凝集力が有効に発揮され、良好な潤滑作用が発現し、摩擦・摩耗耐久性が向上するからである。また、その炭素数が上記上限以下であると、上記カルボン酸系化合物からなる潤滑剤の、溶媒に対する溶解性が良好に保たれるからである。
 特に、Rf基は、フッ素原子を含有すると、摩擦係数の低減、さらには走行性の改善等に効果がある。但し、含フッ素炭化水素基とエステル結合との間に炭化水素基を設け、含フッ素炭化水素基とエステル結合との間を隔てて、エステル結合の安定性を確保して加水分解を防ぐのがよい。また、Rf基がフルオロアルキルエーテル基、又はパーフルオロポリエーテル基を有するものであるのもよい。R基は、なくてもよいが、ある場合には、比較的炭素数の少ない炭化水素鎖であるのがよい。また、Rf基又はR基は、構成元素として窒素、酸素、硫黄、リン、ハロゲンなどの元素を含み、既述した官能基に加えて、ヒドロキシル基、カルボキシル基、カルボニル基、アミノ基、及びエステル結合等を更に有していてもよい。
 上記一般化学式(1)で示されるカルボン酸系化合物は、具体的には以下に示す化合物の少なくとも1種であることが好ましい。すなわち、潤滑剤は、以下に示す化合物を少なくとも1種含んでいることが好ましい。
CF3(CF2)7(CH2)10COOCH(COOH)CH2COOH
CF3(CF2)3(CH2)10COOCH(COOH)CH2COOH
C17H35COOCH(COOH)CH2COOH
CF3(CF2)7(CH2)2OCOCH2CH(C18H37)COOCH(COOH)CH2COOH
CF3(CF2)7COOCH(COOH)CH2COOH
CHF2(CF2)7COOCH(COOH)CH2COOH
CF3(CF2)7(CH2)2OCOCH2CH(COOH)CH2COOH
CF3(CF2)7(CH2)6OCOCH2CH(COOH)CH2COOH
CF3(CF2)7(CH2)11OCOCH2CH(COOH)CH2COOH
CF3(CF2)3(CH2)6OCOCH2CH(COOH)CH2COOH
C18H37OCOCH2CH(COOH)CH2COOH
CF3(CF2)7(CH2)4COOCH(COOH)CH2COOH
CF3(CF2)3(CH2)4COOCH(COOH)CH2COOH
CF3(CF2)3(CH2)7COOCH(COOH)CH2COOH
CF3(CF2)9(CH2)10COOCH(COOH)CH2COOH
CF3(CF2)7(CH2)12COOCH(COOH)CH2COOH
CF3(CF2)5(CH2)10COOCH(COOH)CH2COOH
CF3(CF2)7CH(C9H19)CH2CH=CH(CH2)7COOCH(COOH)CH2COOH
CF3(CF2)7CH(C6H13)(CH2)7COOCH(COOH)CH2COOH
CH3(CH2)3(CH2CH2CH(CH2CH2(CF2)9CF3))2(CH2)7COOCH(COOH)CH2COOH
 上記一般化学式(1)で示されるカルボン酸系化合物は、環境への負荷の小さい非フッ素系溶剤に可溶であり、炭化水素系溶剤、ケトン系溶剤、アルコール系溶剤、エステル系溶剤などの汎用溶剤を用いて、塗布、浸漬、噴霧などの操作を行えるという利点を備えている。具体的には、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、デカン、ドデカン、ベンゼン、トルエン、キシレン、シクロヘキサン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、メタノール、エタノール、イソプロパノール、ジエチルエーテル、テトラヒドロフラン、ジオキサン、シクロヘキサノンなどの溶媒を挙げることができる。
 保護層Pが炭素材料を含む場合には、潤滑剤として上記カルボン酸系化合物を保護層P上に塗布すると、保護層P上に潤滑剤分子の極性基部である2つのカルボキシル基と少なくとも1つのエステル結合基が吸着され、疎水性基間の凝集力により特に耐久性の良好な潤滑剤層Lを形成することができる。
なお、潤滑剤は、上述のように磁気記録テープTの表面に潤滑剤層Lとして保持されるのみならず、磁気記録媒体T1を構成する記録層1および保護層Pなどの層に含まれ、保有されていてもよい。
(下地層)
 磁気記録媒体T1において、記録層1の直下に、下地層3が設けられている。下地層3は、記録層1側の第1下地層31と、ベース層5側の第2下地層32からなる二層構造を備えていてよい。
 第1下地層31は、好ましくはルテニウム単体、ルテニウム合金、又はCo系合金を含み、より好ましくはルテニウム単体を含み、さらにより好ましくはルテニウム単体からなる。ルテニウム結晶は六方最密充填(hcp)構造を有する。第1下地層31にルテニウム、ルテニウム合金、又はCo系合金を用いると、記録層1に含まれるCoCrPt系合金との格子整合性が高くなる。これにより、記録層1の配向特性を高めることができる。
 上記Co系合金は、好ましくはCr及び金属酸化物を含む。当該Co系合金に含まれる当該金属酸化物は、好ましくは二酸化ケイ素(SiO)又は二酸化チタン(TiO)である。当該Co系合金は、より好ましくは、以下の式で表される平均原子数比率を有する。[Co(100-y)Cr(100-z)(MO
(但し、35≦y≦45の範囲内であり、z≦10の範囲内であり、且つ、MはSi又はTiである。)
 第1下地層31に関する上記式において、zが10を超える場合は、Co系合金の磁性柱状結晶(カラム)と、このカラムを取り囲み、それぞれのカラムを物理的に、かつ磁気的に分離している非磁性粒界が過剰となり、それぞれのカラム状の磁性結晶粒子が磁気的に過度に分離した構造を呈してしまうので、好ましくない。
 第1下地層31の平均厚みは、好ましくは1nm以上30nm以下であり、より好ましくは5nm以上25nm以下である。第1下地層31がルテニウム単体又はルテニウム合金を含む場合、第1下地層31の平均厚みは、さらにより好ましくは10nm以上20nm以下、特に好ましくは15nm以上20nm以下である。第1下地層31がCo系合金を含む場合、第1下地層31の平均厚みは、好ましくは1nm以上30nm以下であり、より好ましくは5nm以上25nm以下である。第1下地層31は、記録層1のカラムを凸状とする役割を有する。第1下地層31の平均厚みは、カラムを凸状とするためには厚い方が好ましいが、厚くなるほど結晶配向が低下する。カラムを凸状とする機能と、結晶配向とのバランスを取るためには、平均厚みを上記数値範囲とすることが好ましい。また、第1下地層31を形成する材料によって上記バランスが変化するため、材料によって平均厚みの好適な数値範囲は異なりうる。
 第1下地層31の直下に設けられる第2下地層32は、好ましくはルテニウム単体、ルテニウム合金、又はCo系合金を含み、より好ましくはルテニウム単体を含み、さらにより好ましくはルテニウム単体からなる。第2下地層32にルテニウム、ルテニウム合金、又はCo系合金を用いると、記録層1に含まれるCoCrPt系合金との格子整合性が高くなる。これにより、記録層1の配向特性を高めることができる。第1下地層31がルテニウム単体又はルテニウム合金を含む場合、第2下地層32は、ルテニウム単体又はルテニウム合金を含むことが好ましい。第1下地層31がCo系合金を含む場合、第2下地層32は、Co系合金を含むことが好ましい。
 上記Co系合金は、以下の式で示される平均原子数比率を有していることが好ましい。Co(100-y)Cr
(但し、35≦y≦45の範囲内である。)
 第2下地層32の厚平均みは、好ましくは1nm以上50nm以下であり、より好ましくは5nm以上50nm以下である。第2下地層32がルテニウム単体又はルテニウム合金を含む場合、第2下地層32の平均厚みは、さらにより好ましくは2nm以上20nm以下、特に好ましくは2nm以上8nm以下、又は3nm以上7nm以下である。第2下地層32がCo系合金を含む場合、第2下地層32の平均厚みは、さらに好ましくは10nm以上50nm以下、さらにより好ましくは20nm以上50nm以下、特に好ましくは25nm以上45nm以下である。第2下地層32は、結晶配向を高める役割を有する。第2下地層32を形成する材料によって、第2下地層32直下の層を構成する結晶(例えば、後述する第1シード層のNiW結晶)との結晶学的な整合状態が異なりうる。そのため、結晶配向を高めるために好ましい平均厚みは、第2下地層32を構成する材料によって異なりうる。
 下地層3の平均厚みは、好ましくは10nm以上60nm以下のであり、より好ましくは15nm以上55nm以下である。シード層4がルテニウム単体又はルテニウム合金を含む場合、下地層3の平均厚みは、さらにより好ましくは15nm以上40nm以下であり、特に好ましくは20nm以上40nm以下、又は20nm以上35nm以下である。下地層3がCo系合金を含む場合、下地層3の平均厚みは、さらに好ましくは40nm以上55nm以下であり、特に好ましくは45nm以上55nm以下である。
下地層3(第1下地層31及び第2下地層32)の平均厚みは、保護層Pの平均厚みと同様にして求められる。但し、TEM像の倍率は、下地層3(第1下地層31及び第2下地層32)の厚みに応じて適宜調整される。
(シード層)
 シード層4は、下地層3の下層に位置し、かつ、ベース層5(後述)の一方の主面の直上に形成される層である。本技術の一つの実施形態に従い、下地層3の直下に第1シード層41、さらに当該第1シード層41の直下に第2シード層42が設けられていてよい。即ち、シード層4は、第1シード層41と第2シード層42からなる二層構造を備えていてよい。
 このシード層4は、後述する中間層2が薄く形成された場合、あるいは、当該中間層2が設けられない層構成であっても、良好なSNRを確保する観点から、設けられるのが好ましい。また、このシード層4は、ベース層5に対して下地層3以上の上層部、即ち、下地層3(第1下地層31及び第2下地層32)、並びに記録層1を密着させる役割も果たす。
 第1シード層41は、好ましくはニッケルタングステン合金を含み、より好ましくはニッケルタングステン合金からなる。当該ニッケルタングステン合金は、例えば次の式(7)により表される平均原子数比率を有してよい。第1シード層41は、特には、Ni94から形成されてよい。
 Ni(100-x) ・・・(7)
(但し、xは、1≦x≦10であり、好ましくは2≦x≦10、より好ましくは4≦x≦8、さらにより好ましくはx=6である。)
 第2シード層42は、好ましくはTi、Cr、及びOの三つの原子を含み、例えば次の式(8)で表される平均原子数比率の組成を有してよい。第2シード層42は、特には、(TiCr)98から形成されてよい。
 (TiCr)(100-x)x ・・・(8)
(但し、xは、1≦x≦10であり、好ましくは1≦x≦5、より好ましくは1≦x≦3、さらにより好ましくはx=2である。)
 上記式(8)において、xが大きすぎる場合(例えば10を超える場合)、シード層中にTiO結晶が生成されるようになり、アモルファス膜としての機能が著しく低下するので好ましくない。
 Tiは、Co系合金と同様に六方最密充填(hcp)構造を備えている。シード層4(特には第2シード層42)がTiを含むことによって、同様に六方最密充填(hcp)構造を備える記録層1と、シード層4と、の結晶構造のマッチングが良くなる。
 シード層4(特には第2シード層42)がTi、Cr、及びOの三つの原子を含むことによって、同様にCrを含む記録層1と、シード層4と、の結晶構造のマッチングが良くなる。下地層3がCrを含む場合、シード層4(特には第2シード層42)がTi、Cr、及びOの三つの原子を含むことによって、下地層3とシード層4との結晶構造のマッチングも良くなる。
 シード層4には酸素が含有されている。これは、後述するベース層5を構成するフィルムに由来又は起因する酸素がシード層4に入り込むからである。すなわち、磁気記録媒体T1のシード層4は、フィルムからなるベース層5が使用されないハードディスク(HDD)のシード層とは異なった原子構成となっている。
 第1シード層41の平均厚みは、好ましくは1.0nm以上20.0nm以下であり、より好ましくは3.0nm以上18.0nm以下、さらにより好ましくは5.0nm以上15.0nm以下である。
 第2シード層42の平均厚みは、好ましくは0.1nm以上5.0nm以下であり、より好ましくは1.5nm以上3.0nm以下、さらに好ましくは1.7nm以上3.0nm以下、特に好ましくは1.7nm以上2.5nm以下である。
 シード層4の平均厚みは、好ましくは1.1nm以上25.0nm以下であり、より好ましくは5.0nm以上20.0nm以下、さらにより好ましくは7.0nm以上15.0nm以下、特に好ましくは10.0nm以上15.0nm以下である。
シード層4(第1シード層41及び第2シード層42)の平均厚みは、保護層Pの平均厚みと同様にして求められる。但し、TEM像の倍率は、シード層4(第1シード層41及び第2シード層42)の厚みに応じて適宜調整される。
(ベース層)
 ベース層5は、可撓性を有する長尺状の非磁性支持体であり、磁気記録媒体T1の土台となる層としての機能を主に果たしている。ベース層5は、ベースフィルム層、あるいは基体と称されることがあり、磁気記録媒体T1全体に適正な剛性を付与するフィルム層である。
 ベース層5の平均厚みは、好ましくは5.0μm以下若しくは5.0μm未満、4.8μm以下若しくは4.8μm未満、4.5μm以下若しくは4.5μm未満、より好ましくは4.2μm以下、さらに好ましくは3.6μm以下、さらにより好ましくは3.3μm以下である。ベース層5の平均厚みが、上記数値範囲内にあることによって(例えば5.0μm以下などであることによって)、1データカートリッジ内に記録できる記録容量を一般的な磁気記録媒体よりも高めることができる。なお、ベース層5の平均厚みの下限値は、フィルムの製膜上の限界や当該ベース層5の機能の観点から定められてよいが、例えば2μm以上、特には2.5μm以上であってよい。
 ベース層5の平均厚みは、以下のようにして求めることができる。まず、カートリッジに収容された磁気記録媒体T1を巻き出し、最外周側の一端から10mから20m、30mから40m、及び50mから60mの3か所の位置からそれぞれ250mmの長さに切り出し、サンプルを作製する。続いて、各サンプルのベース層5以外の層をMEK(メチルエチルケトン)または希塩酸等の溶剤で除去する。次に、測定装置としてMitutoyo社製レーザーホロゲージを用いて、各サンプル(ベース層5)の厚みを5点の位置で測定し、それらの測定値(合計15点)を単純に平均(算術平均)して、ベース層5の平均厚みを算出する。なお、測定位置は、サンプルから無作為に選ばれるものとする。
 ベース層5は、例えば、ポリエステル類、ポリオレフィン類、セルロース誘導体、ビニル系樹脂、およびその他の高分子樹脂のうちの少なくとも1種を含む。ベース層5が上記材料のうちの2種以上を含む場合、それらの2種以上の材料は混合されていてもよいし、共重合されていてもよいし、積層されていてもよい。ポリエステル類は、例えば、PET(ポリエチレンテレフタレート)、PEN(ポリエチレンナフタレート)、PBT(ポリブチレンテレフタレート)、PBN(ポリブチレンナフタレート)、PCT(ポリシクロヘキシレンジメチレンテレフタレート)、PEB(ポリエチレン-p-オキシベンゾエート)およびポリエチレンビスフェノキシカルボキシレートのうちの少なくとも1種を含む。ポリオレフィン類は、例えば、PE(ポリエチレン)およびPP(ポリプロピレン)のうちの少なくとも1種を含む。セルロース誘導体は、例えば、セルロースジアセテート、セルローストリアセテート、CAB(セルロースアセテートブチレート)およびCAP(セルロースアセテートプロピオネート)のうちの少なくとも1種を含む。ビニル系樹脂は、例えば、PVC(ポリ塩化ビニル)およびPVDC(ポリ塩化ビニリデン)のうちの少なくとも1種を含む。その他の高分子樹脂は、例えば、PA(ポリアミド、ナイロン)、芳香族PA(芳香族ポリアミド、アラミド)、PI(ポリイミド)、芳香族PI(芳香族ポリイミド)、PAI(ポリアミドイミド)、芳香族PAI(芳香族ポリアミドイミド)、PBO(ポリベンゾオキサゾール、例えばザイロン(登録商標))、ポリエーテル、PEK(ポリエーテルケトン)、PEEK(ポリエーテルエーテルケトン)、ポリエーテルエステル、PES(ポリエーテルサルフォン)、PEI(ポリエーテルイミド)、PSF(ポリスルフォン)、PPS(ポリフェニレンスルフィド)、PC(ポリカーボネート)、PAR(ポリアリレート)およびPU(ポリウレタン)のうちの少なくとも1種を含む。
(バック層)
 バック層6は、ベース層5の下側の主面に形成されている。このバック層6は、磁気記録媒体T1が磁気ヘッドに対向しながら高速走行する際に発生する摩擦を制御する役割、巻き乱れを防止する役割などを担っている。すなわち、磁気記録媒体T1を高速で安定走行させるための基本的な役割を担っている。
 バック層6は、結着剤および非磁性粉を含んでいてもよい。バック層6は、必要に応じて潤滑剤、硬化剤および帯電防止剤等のうちの少なくとも1種の添加剤をさらに含んでいてもよい。結着剤としては、ポリウレタン系樹脂又は塩化ビニル系樹脂などに架橋反応を付与した構造の樹脂が好ましい。しかしながら結着剤はこれらに限定されるものではなく、磁気記録媒体T1に対して要求される物性などに応じて、その他の樹脂を適宜配合してもよい。配合する樹脂としては、通常、塗布型の磁気記録媒体において一般的に用いられる樹脂であれば、特に限定されない。
 バック層6に含まれうる結着剤として、例えば、ポリ塩化ビニル、ポリ酢酸ビニル、塩化ビニル-酢酸ビニル共重合体、塩化ビニル-塩化ビニリデン共重合体、塩化ビニル-アクリロニトリル共重合体、アクリル酸エステル-アクリロニトリル共重合体、アクリル酸エステル-塩化ビニル-塩化ビニリデン共重合体、アクリル酸エステル-塩化ビニリデン共重合体、メタクリル酸エステル-塩化ビニリデン共重合体、メタクリル酸エステル-塩化ビニル共重合体、メタクリル酸エステル-エチレン共重合体、ポリ弗化ビニル、塩化ビニリデン-アクリロニトリル共重合体、アクリロニトリル-ブタジエン共重合体、ポリアミド樹脂、ポリビニルブチラール、セルロース誘導体(セルロースアセテートブチレート、セルロースダイアセテート、セルローストリアセテート、セルロースプロピオネート、ニトロセルロース)、スチレンブタジエン共重合体、ポリエステル樹脂、アミノ樹脂、及び合成ゴムなどが挙げられる。

 また、前記結着剤として、熱硬化性樹脂又は反応型樹脂が用いられてもよく、これらの例としては、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、アルキッド樹脂、シリコーン樹脂、ポリアミン樹脂、及び尿素ホルムアルデヒド樹脂などが挙げられる。
 また、上述した各結着剤には、磁性粉の分散性を向上させる目的で、-SOM、-OSOM、-COOM、P=O(OM)などの極性官能基が導入されていてもよい。ここで、式中Mは、水素原子、又は、リチウム、カリウム、及びナトリウムなどのアルカリ金属である。

 上記極性官能基としては、-NR1R2、-NR1R2R3の末端基を有する側鎖型のもの、>NR1R2の主鎖型のものが挙げられる。ここで、式中R1、R2、R3は、水素原子又は炭化水素基であり、Xは、弗素、塩素、臭素、若しくはヨウ素などのハロゲン元素イオン、又は、無機若しくは有機イオンである。また、極性官能基としては、-OH、-SH、-CN、及びエポキシ基なども挙げられる。
 バック層6に含まれうる非磁性粉は、例えば、無機粒子及び有機粒子から選ばれる少なくとも1種を含みうる。1種の非磁性粉を単独で用いてもよいし、又は、2種以上の非磁性粉を組み合わせて用いてもよい。無機粒子は、例えば、金属、金属酸化物、金属炭酸塩、金属硫酸塩、金属窒化物、金属炭化物、及び金属硫化物から選ばれる1種又は2種以上の組み合わせを含む。より具体的には、無機粒子は、例えばオキシ水酸化鉄、ヘマタイト、酸化チタン、及びカーボンブラックから選ばれる1種又は2種以上でありうる。非磁性F粉の形状としては、例えば、針状、球状、立方体状、及び板状などの各種形状が挙げられるが、これらに特に限定されるものではない。
 バック層6に含まれうる非磁性粉の平均粒子サイズは、好ましくは10nm以上150nm以下、より好ましくは15nm以上110nm以下である。非磁性粉が、2以上の粒度分布を有する非磁性粉を含んでいてもよい。
 硬化剤としては、例えばポリイソシアネートを適用できる。ポリイソシアネートとしては、例えばトリレンジイソシアネート(TDI)と活性水素化合物との付加体等の芳香族ポリイソシアネートや、ヘキサメチレンジイソシアネート(HMDI)と活性水素化合物との付加体等の脂肪族ポリイソシアネートが挙げられる。
 バック層6に含まれうる潤滑剤は、上述の潤滑剤層Lの場合と同様である。すなわち、潤滑剤層Lに含まれる潤滑剤について述べた説明が、バック層6に含まれうる潤滑剤についても当てはまる。バック層6に含まれうる帯電防止剤として、市販の帯電防止剤を使用でき、帯電防止剤を添加すると、バック層6にゴミや埃の付着を防止することができる。
 バック層6の平均厚みの上限値は、好ましくは0.6μm以下である。バック層6の平均厚みの上限値が0.6μm以下であることによって、磁気記録媒体T1の記録再生装置内での走行安定性を保つことができる。バック層6の平均厚みの下限値は特に限定されるものではないが、例えば、0.2μm以上である。0.2μm未満であると、磁気記録媒体T1の記録再生装置内での走行安定性に支障をきたす恐れが生じる。
 バック層6の平均厚みは、以下のようにして求められる。まず、磁気記録媒体T1の平均厚みt[μm]を測定する。磁気記録媒体T1の平均厚みtの測定方法は本明細書内以下に記載されているとおりである。続いて、サンプルのバック層6をMEK(メチルエチルケトン)または希塩酸等の溶剤で除去する。その後、再び上記のレーザーホロゲージを用いてサンプルの厚みを5点の位置で測定し、それらの測定値を単純に平均(算術平均)して、バック層6を除去した磁気記録媒体T1の平均値t[μm]を算出する。なお、測定位置は、サンプルから無作為に選ばれるものとする。その後、以下の式によりバック層6の平均厚みt[μm]を求める。
 t[μm]=t[μm]-t[μm]
(3)効果
磁気記録媒体T1が有する記録層1は、上記で述べた特定の平均原子数比率を有する。これにより、磁気記録媒体T1は、SNRを高め、且つ、熱安定性の指標値であるKuact/kBTを80以上とすることができる。
 磁気記録媒体T1は、比Δθ50/(p+q)が0.360以上0.545以下である。これにより、磁気記録媒体T1は、高いSNRを示す。
 磁気記録媒体T1が有するCAP層Cの平均厚みは、4nm以上である。これにより、磁気記録媒体T1は、高いSNRを示し、且つ、飽和磁界(Hs)を低減できる。
 磁気記録媒体T1において、磁気異方性エネルギーKu、Kuact/kBT、及び飽和磁界(Hs)は、以下のようにして求められる。
(磁気異方性エネルギーKu
 磁気記録媒体T1の表裏に粘着テープを貼り補強した後、φ6.39mmのパンチで打ち抜き、測定サンプルを作製する。この際に、磁気記録媒体T1の長手方向(走行方向)が認識できるように、磁性を持たない任意のインクでマーキングを行う。そして、磁気異方性トルク計を用いて磁気記録媒体T1の垂直方向(厚み方向)に対応する測定サンプル(磁気記録媒体T1全体)のトルクカーブを測定する。トルクカーブの測定においては、東英工業社製の磁気異方性トルク計「TRT-2型」を用いる。測定条件は、測定モード:Torqe-Angle、マグネット回転速度:4min./360である。印加磁界 10000Oe、12500Oe、15000 Oe、それぞれで同測定を行う。当該測定により得られるパラメータL2(dyne-cm)およびL4(dyne-cm)を用いて、それぞれの磁気異方性エネルギー定数Ku1(erg/cm3)およびKu2(erg/cm3)を下記式より求める。r(mm)は測定試料の半径、tは記録層の平均厚み(nm)である。
 Ku1=A2-Ku2-2πMs2
 Ku2=2*A4
 A2=L2/(πr*t)*109
 A4=L4/(πr*t)*109
 それぞれの印加磁界におけるKu1(erg/cm3)およびKu2(erg/cm3)を(1/印加磁界)に対してプロットし、印加磁界を∞とした場合に外挿より求められるそれぞれの値をKu1’(erg/cm3)およびKu2’(erg/cm3)として、その和(Ku1’+Ku2’)を磁気異方性エネルギーKu (erg/cm3)とする。
(Kuact/kBT)
 Kuact/kBT(Ku:磁性粉の磁気異方性エネルギー、Vact:磁性粉の活性化体積、kB:ボルツマン定数、T:絶対温度)は、以下に示すシャーロックの式を用いて算出される(参考文献:IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS, VOL. 50, NO.11, NOVEMBER 2014、及び、J. Flanders and M. P.Sharrock: J. Appl. Phys., 62, 2918 (1987))。
r(t’)=H0[1-{kBT/(Kuact)ln(f0t’/0.693)n}]
(但し、Hr:残留保磁力、t’:磁化減衰量、H0:磁場変化量、kB:ボルツマン定数、T:絶対温度、Ku:磁性粉の磁気異方性エネルギー、Vact:磁性粉の活性化体積、f0:周波数因子、n:係数)
 周波数因子f0は、5.0×109Hzとする。
 係数nは、磁性体の結晶磁気異方性に応じた値に設定される。磁性体が一軸結晶磁気異方性を有し、且つ磁気テープを垂直配向した場合、n=0.5に設定される。一方、磁性体が多軸結晶磁気異方性(3軸結晶磁気異方性)を有する場合、もしくは磁性体が一軸結晶磁気異方性だが磁気テープが無配向の場合、n=0.77に設定される。
 絶対温度Tは、298Kである。
 H0の値は、周波数因子におけるHrの値に対応し、熱擾乱の影響を差し引いた場合のHrの値を意味する。
 t’は、Hrと同じ大きさの磁界を印加した際に、磁化の熱擾乱により平均的な磁化が0となるために必要な時間を意味する。
 熱的安定性評価には2種類の磁界変化速度における残留保磁力が必要であり、10Oe/s台の磁化変化速度における残留磁化曲線は電磁石を用いた振動試料型磁力計(Vibrating Sample Magnetometer:VSM)で測定し、10Oe/s台の高速な磁界変化速度における測定はパルス磁界を用いたVSMにより測定する。これら2種類の磁界変化速度における残留保磁力Hr及びHrの測定値を基に、現象論的な解折式を用いてt’を算出し、上記シャーロックの式にフィッティングすることで、H0及びKuact/kBTの値を求める。
(飽和磁界(Hs))
 飽和磁界(Hs)は、以下のようにして求められる。まず、カートリッジに収容された磁気記録媒体T1を巻き出し、最外周側の一端から10mから20m、30mから40m、及び50mから60mの3か所の位置のそれぞれから3枚ずつサンプルを切り出す。各位置から切り出された各3枚のサンプルが、磁気記録媒体T1の長手方向の向きが同じになるように、両面テープで重ね合わされた後、φ6.39mmのパンチで打ち抜かれて、測定サンプルがサンプル切り出し位置ごとに作製される。この際に、磁気テープの長手方向(走行方向)が認識できるように、磁性を持たない任意のインクでマーキングを行う。そして、各測定サンプルについてVSMを用いて磁気記録媒体T1の垂直方向(厚み方向)に対応する測定サンプル(磁気記録媒体T1全体)のM-Hループが測定される。次に、上記の各位置から切り出したサンプルそれぞれについて、アセトン又はエタノールなどが用いられてバック層が払拭され、さらに塩酸が用いられてバック層以外の層が払拭されて、ベース層5のみが残される。そして、得られたベース層の表裏に粘着テープを貼り補強した後、φ6.39mmのパンチで打ち抜かれて、バックグラウンド補正用のサンプル(以下、単に「補正用サンプル」)とされる。その後、各位置から切り出した補正用サンプルそれぞれについてVSMを用いてベース層の垂直方向(磁気記録媒体T1の垂直方向)に対応する補正用サンプル(ベース層)のM-Hループが測定される。
 測定サンプル(磁気記録媒体T1の全体)のM-Hループ、補正用サンプル(ベース層)のM-Hループの測定においては、Lakeshore社製の振動試料型磁力計「7400-0R型」が用いられる。測定条件は、測定モード:フルループ、最大磁界:15kOe、磁界ステップ:500 Oe、Time constant:0.1sec、MH平均数:10とされる。
 測定サンプル(磁気記録媒体T1の全体)のM-Hループ及び補正用サンプル(ベース層)のM-Hループが得られた後、測定サンプル(磁気記録媒体T1の全体)のM-Hループから補正用サンプル(ベース層)のM-Hループが差し引かれることで、バックグラウンド補正が行われ、バックグラウンド補正後のM-Hループが得られる。このバックグラウンド補正の計算には、「7400-0R型」に付属されている測定・解析プログラムが用いられる。
 得られたバックグラウンド補正後のM-Hループの第1象限において、保磁力(Hc)に接線を引き、当該接線が飽和磁界量と交わる点の磁界強さを飽和磁界(Hs)とする。なお、保持力(Hc)の計算には、上記測定・解析プログラムが用いられる。上記のM-Hループの測定はいずれも、25℃にて行われるものとする。また、M-Hループを磁気記録媒体T1の垂直方向に測定する際の“反磁界補正”は行わないものとする。
3.第2の実施形態
(1)磁気記録媒体の構成
 図5を参照して、第2の実施形態に係る磁気記録媒体T2の構成について説明する。磁気記録媒体T2は、例えば、垂直磁気記録用磁気記録媒体である。磁気記録媒体T2は、上記2.において説明した記録層1と下地層3との間に(詳細には記録層1と第1下地層31との間に)、中間層2を有している。具体的には、磁気記録媒体T2において、長尺状のベース層5の一方側の主面上に第2シード層42、第1シード層41がこの順に設けられている。当該第1シード層41の上に第2下地層32、第1下地層31がこの順に設けられている。当該第1下地層31の上に中間層2が設けられている。当該中間層2の上に磁気記録層として機能する記録層1が設けられている。当該記録層1の上に、CAP層C、保護層P、及び潤滑剤層Lがこの順に設けられている。そして、ベース層5の他方側の主面にはバック層6が設けられている。磁気記録媒体T2の構成は、中間層2を有すること以外、上記2.(1)において説明したとおりであり、その説明が本実施形態にも当てはまる。
(2)各層の説明
 潤滑剤層L、保護層P、CAP層C、記録層1、下地層3(第1下地層31及び第2下地層32)、シード層4(第1シード層41及び第2シード層42)、ベース層5、及びバック層6については、上記2.(2)において説明したとおりであり、その説明が本実施形態にも当てはまる。
(中間層)
 中間層2は、当該中間層2の直上に形成された記録層1の配向特性(グラニュラ性)を高める役割を主に果たす層である。中間層2は、中間層2と接している記録層1の主成分と同様の結晶構造を有していることが好ましい。例えば、中間層2は、Co系合金と同様の六方最密充填構造を有する材料を含み、その構造のc軸が膜面に対して垂直方向(磁気記録テープ厚み方向)に配向していることが好ましい。これにより、記録層1の結晶配向特性を一層高め、かつ、中間層2と記録層1との格子定数のマッチングを比較的良好にすることができる。
 中間層2の材料として用いられる六方最密充填構造の材料は、ルテニウムを含有することが好ましい。中間層2は、Ru(ルテニウム)単体又はその合金を含有することが好ましい。中間層2は、ルテニウム単体又はルテニウム合金から形成されていることがより好ましい。当該ルテニウム合金は、例えば、RuCoCr(TiO)、Ru-SiO、RuTiO、又はRu-ZrOなどのRu合金酸化物であってよい。当該ルテニウム合金は、好ましくは、以下の式で示される平均原子数比率を有しうる。
 [RuCoCr100-x-y100-z(MO
(但し、xは、10≦x≦40であり、好ましくは15≦x≦35であり、yは、20≦y≦50であり、好ましくは25≦y≦45であり、zは、1≦z≦30であり、より好ましくは5≦z≦25であり、且つ、MはTi又はSiである。)
 Ru材料は希少金属であり、コスト視点では中間層2は可能な限り薄くすることが好ましく、好ましくは6.0nm以下、より好ましくは5.0nm以下、さらに好ましくは2.0nm以下の厚みが好ましい。あるいは、同コスト視点では、この中間層2を全く無くす構成(例えば、第1の実施形態の構成)にした方がより好ましい。
 第2の実施形態では、ベース層5の上に、下地層4、シード層3を設けていることにより、中間層2の厚さを薄くした場合でも、あるいは、中間層2が無い層形態(例えば第1の実施形態)とした場合でも、良好なSNRの磁気記録媒体を得ることができる 。
 なお、中間層2が有する「濡れ性」を利用すると、中間層2の上に真空成膜にて形成される記録層1を構成する材料が結晶化する時の拡散がし易くなり、結晶のカラムサイズを大きくすることができる。例えば、Ruを含有する中間層2に濡れ性を発揮させるためには、最低でも0.5nm以上の厚みが必要である。
4.第3の実施形態
(1)磁気記録媒体の構成
 図6を参照して、第3の実施形態に係る磁気記録媒体T3の構成について説明する。磁気記録媒体T3は、例えば、垂直磁気記録用磁気記録媒体である。磁気記録媒体T3は、シード層4とベース層5との間に(詳細には第2シード層42とベース層5との間に)、軟磁性裏打ち層(soft magnetic underlayer:SUL)7を有している。より具体的には、磁気記録媒体T3において、長尺状のベース層5の一方側の主面上にSUL7が設けられている。当該SUL7の上に第2シード層42、第1シード層41がこの順に設けられている。当該第1シード層41の上に第2下地層32、第1下地層31が順に設けられている。当該第1下地層31の上に磁気記録層として機能する記録層1が設けられている。当該記録層1の上に、CAP層C、保護層P、及び潤滑剤層Lがこの順に設けられている。そして、ベース層5の他方側の主面にはバック層6が設けられている。磁気記録媒体T3の構成は、SULを有すること以外、上記2.(1)において説明したとおりであり、その説明が本実施形態にも当てはまる。
(2)各層の説明
 潤滑剤層L、保護層P、CAP層C、記録層1、下地層3(第1下地層31及び第2下地層32)、シード層4(第1シード層41及び第2シード層42)、ベース層5、及びバック層6については、上記2.(2)において説明したとおりであり、その説明が本実施形態にも当てはまる。
 (SUL)
 図6で示されるSUL7は、単層のSULである。SUL7は、記録層1に磁気記録を行う際に、垂直磁気ヘッドから発生する漏れ磁束を、記録層1に効率よく引き込むために設けられる層である。すなわち、SUL7を設けることで、磁気ヘッドからの磁界強度を高めることができ、より高密度記録に適した磁気記録媒体が得られうる。なお、SUL7を備える磁気記録媒体T3を「二層垂直磁気記録媒体」と称することもできる。
 SUL7は、アモルファス状態の軟磁性材料を含んでいる。例えば、Co系材料であるCoZrNb合金で形成でき、他には、CoZrTa、又はCoZrTaNbなども採用可能である。また、Fe系材料である、FeCoB、FeCoZr、又はFeCoTaなどを採用してもよい。SUL7は、薄い介在層を挟んで二つの軟磁性層が形成されており、当該介在層を介した交換結合を利用して積極的に磁化を反平行にした構造を備える、Antiparallel Coupled SUL(APC-SUL)を備えるようにしてもよい。
 磁気記録媒体T3は、単層のSUL7に代えて、APC?SUL(Antiparallel Coupled SUL)を備えていてもよい。APC?SULは、薄い介在層を挟んで二つの軟磁性層を有しており、当該介在層を介した交換結合を利用して積極的に磁化を反平行にした構造を備える。
5.磁気記録媒体の製造方法
 本技術の磁気記録媒体は、例えば、以下のようにして製造することができる。まず、ベース層の一方の主面に対して、シード層、下地層、記録層、CAP層、及び保護層をこの順にスパッタ成膜する。スパッタ時の成膜室の雰囲気は、例えば、1×10-5Pa~5×10-5Pa程度に設定する。シード層、下地層、記録層、CAP層、及び保護層の厚み及び特性(例えば磁気特性)は、ベース層を構成するフィルムを巻き取るテープライン速度、スパッタ時に導入するAr(アルゴン)ガスなどのガス圧力(スパッタガス圧)、及び投入電力などを調整することにより制御することができる。
 シード層が複数の層を有する場合、下側(すなわちベース層側)に位置する層から順に製膜する。例えば、シード層が、下から順に第2シード層及び第1シード層を有する場合、第2シード層を先に製膜し、その後に第1シード層を製膜する。下地層が複数の層を有する場合、下側に位置する層から順に製膜する。例えば、下地層が、下から順に第2下地層及び第1下地層を有する場合、第2下地層を先に製膜し、その後に第1下地層層を製膜する。
 本技術の磁気記録媒体が、下地層と記録層との間に中間層を有する場合、当該中間層は、上述のようにスパッタ成膜されてよい。この場合、ベース層の一方の主面に対して、シード層、下地層、中間層、記録層、CAP層、及び保護層をこの順にスパッタ成膜する。本技術の磁気記録媒体が、ベース層とシード層との間にSULを有する場合、当該SULは、上述のようにスパッタ成膜されてよい。この場合、ベース層の一方の主面に対して、SUL、シード層、下地層、記録層、CAP層、及び保護層をこの順にスパッタ成膜する。
 次に、結着剤、無機粒子及び潤滑剤などを溶剤に混錬、分散させることにより、バック層用の塗料を調製しておき、ベース層の他方の主面上に、この調製した前記塗料を塗工し、これを乾燥させて、バック層を形成する。
 次に、潤滑剤をすでに成膜されている保護層の上に塗布し、潤滑剤層を形成する。潤滑剤の塗布方法としては、例えば、グラビアコーティング、ディップコーティングなどの各種塗布方法を採用することができ、特に限定されない。
 続く工程として、磁気テープのテープ幅方向における反りを調整するため、表面温度が150~230℃程度である金属ロールに原反ロールを接触させて走行させるホットロール処理を施してもよい。
 上述のようにして得られた幅広の磁気記録媒体を、例えば、磁気記録媒体の品種の規格に合わせた磁気記録媒体幅に裁断する(裁断工程)。例えば、1/2インチ(12.65mm)幅に裁断し、所定のロールに巻き取る。これにより、目的の磁気記録媒体幅を備える長尺状の磁気記録媒体を得ることができる。この裁断工程で、必要な検査を行ってもよい。
 次に、所定の幅に裁断された磁気記録媒体を品種に合わせた所定の長さに切断し、磁気記録カートリッジの形態とする。具体的には、カートリッジケースに設けられたリールに所定長の磁気記録媒体を巻き付けて収容する。
 最終の製品検査工程を経て梱包を行い出荷する。検査工程では、例えば、電磁変換特性、走行耐久性等の出荷前検査を行って、磁気記録媒体の最終品質確認を行う。
6.記録再生装置
(記録再生装置の構成)
 次に、図7を参照して、本技術の磁気記録媒体Tの記録及び再生を行う記録再生装置80の構成の一例について説明する。なお、本技術の磁気記録媒体の記録及び再生を行う記録再生装置は、以下で説明する構成を有するものに限定されない。
 記録再生装置80は、磁気記録媒体Tの長手方向に加わるテンションを調整可能な構成を有している。また、記録再生装置80は、磁気記録カートリッジ10Aを装填可能な構成を有している。ここでは、説明を容易とするために、記録再生装置80が、1つの磁気記録カートリッジ10Aを装填可能な構成を有している場合について説明するが、記録再生装置80が、複数の磁気記録カートリッジ10Aを装填可能な構成を有していてもよい。
 記録再生装置80は、ネットワーク93を介してサーバ91及びパーソナルコンピュータ(以下「PC」という。)92等の情報処理装置に接続されており、これらの情報処理装置から供給されたデータを磁気記録カートリッジ10Aに記録可能に構成されている。記録再生装置80の最短記録波長は、好ましくは100nm以下、より好ましくは75nm以下、更により好ましくは60nm以下、特に好ましくは50nm以下である。
 記録再生装置80は、図7に示すように、スピンドル81と、記録再生装置側のリール82と、スピンドル駆動装置83と、リール駆動装置84と、複数のガイドローラ85と、ヘッドユニット86と、通信インターフェース(以下、I/F)87と、制御装置88とを備えている。
 スピンドル81は、磁気記録カートリッジ10Aを装着可能に構成されている。磁気記録カートリッジ10Aは、LTO(Linear Tape Open)規格に準拠しており、カートリッジケース10Bに磁気記録媒体Tを巻装した単一のリール10Cを回転可能に収容している。磁気記録媒体Tには、サーボ信号としてハの字状のサーボパターンが予め記録されている。リール82は、磁気記録カートリッジ10Aから引き出された磁気記録媒体Tの先端を固定可能に構成されている。
 スピンドル駆動装置83は、スピンドル81を回転駆動させる装置である。リール駆動装置84は、リール82を回転駆動させる装置である。磁気記録媒体Tに対してデータの記録又は再生を行う際には、スピンドル駆動装置83とリール駆動装置84とが、スピンドル81とリール82とを回転駆動させることによって、磁気記録媒体Tを走行させる。ガイドローラ85は、磁気記録媒体Tの走行をガイドするためのローラである。
 ヘッドユニット86は、磁気記録媒体Tにデータ信号を記録するための複数の記録ヘッドと、磁気記録媒体Tに記録されているデータ信号を再生するための複数の再生ヘッドと、磁気記録媒体Tに記録されているサーボ信号を再生するための複数のサーボヘッドとを備える。記録ヘッドとしては例えばリング型ヘッドを用いることができるが、記録ヘッドの種類はこれに限定されるものではない。
 通信I/F87は、サーバ91及びPC92等の情報処理装置と通信するためのものであり、ネットワーク93に対して接続される。
 制御装置88は、記録再生装置80の全体を制御する。例えば、制御装置88は、サーバ91及びPC92等の情報処理装置の要求に応じて、情報処理装置から供給されるデータ信号をヘッドユニット86により磁気記録媒体Tに記録する。また、制御装置88は、サーバ91及びPC92等の情報処理装置の要求に応じて、ヘッドユニット86により、磁気記録媒体Tに記録されたデータ信号を再生し、情報処理装置に供給する。
(記録再生装置の動作)
 次に、上記構成を有する記録再生装置80の動作について説明する。
 まず、磁気記録カートリッジ10Aを記録再生装置80に装着し、磁気記録媒体Tの先端を引き出して、複数のガイドローラ85及びヘッドユニット86を介してリール82まで移送し、磁気記録媒体Tの先端をリール82に取り付ける。
 次に、図示しない操作部を操作すると、スピンドル駆動装置83とリール駆動装置84とが制御装置88の制御により駆動され、リール10Cからリール82へ向けて磁気記録媒体Tが走行されるように、スピンドル81とリール82とが同方向に回転される。これにより、磁気記録媒体Tがリール82に巻き取られつつ、ヘッドユニット86によって、磁気記録媒体Tへの情報の記録または磁気記録媒体Tに記録された情報の再生が行われる。
 また、リール10Cに磁気記録媒体Tを巻き戻す場合は、上記とは逆方向に、スピンドル81とリール82とが回転駆動されることにより、磁気記録媒体Tがリール82からリール10Cに走行される。この巻き戻しの際にも、ヘッドユニット86による、磁気記録媒体Tへの情報の記録または磁気記録媒体Tに記録された情報の再生が行われる。
7.磁気記録カートリッジ
(カートリッジの構成)
 本技術は、本技術に従う磁気記録媒体を含む磁気記録カートリッジ(テープカートリッジともいう)も提供する。すなわち、当該磁気記録カートリッジに含まれる磁気記録媒体は、上記で説明した本技術の磁気記録媒体である。当該磁気記録カートリッジ内において、前記磁気記録媒体は、例えばリールに巻き付けられていてよい。当該磁気記録カートリッジは、例えば、記録再生装置と通信を行う通信部と、記憶部と、前記通信部を介して前記記録再生装置から受信した情報を記憶部に記憶し、かつ、前記記録再生装置の要求に応じて、前記記憶部から情報を読み出し、通信部を介して記録再生装置に送信する制御部と、を備えていてよい。前記情報は、磁気記録媒体の長手方向にかかるテンションを調整するための調整情報を含みうる。
 図8を参照して、本技術の磁気記録カートリッジの一実施形態について説明する。具体的には、本技術の磁気記録媒体Tを備える磁気記録カートリッジ10Aについて説明する。
 図8は、磁気記録カートリッジ10Aの構成の一例を示す分解斜視図である。磁気記録カートリッジ10Aは、LTO(Linear Tape-Open)規格に準拠した磁気記録カートリッジであり、下シェル212Aと上シェル212Bとで構成されるカートリッジケース10Bの内部に、磁気テープ(テープ状の磁気記録媒体)Tが巻かれたリール10Cと、リール10Cの回転をロックするためのリールロック214およびリールスプリング215と、リール10Cのロック状態を解除するためのスパイダ216と、下シェル212Aと上シェル212Bに跨ってカートリッジケース10Bに設けられたテープ引出口212Cを開閉するスライドドア217と、スライドドア217をテープ引出口212Cの閉位置に付勢するドアスプリング218と、誤消去を防止するためのライトプロテクト219と、カートリッジメモリ211とを備える。リール10Cは、中心部に開口を有する略円盤状であって、プラスチック等の硬質の材料からなるリールハブ213Aとフランジ213Bとにより構成される。磁気テープTの一端部には、リーダーピン220が設けられている。
 カートリッジメモリ211は、磁気記録カートリッジ10Aの1つの角部の近傍に設けられている。磁気記録カートリッジ10Aが記録再生装置80にロードされた状態において、カートリッジメモリ211は、記録再生装置80のリーダライタ(図示せず)と対向するようになっている。カートリッジメモリ211は、LTO規格に準拠した無線通信規格で記録再生装置30、具体的にはリーダライタ(図示せず)と通信を行う。
(カートリッジメモリの構成)
 図9を参照して、カートリッジメモリ211の構成の一例について説明する。
 図9は、カートリッジメモリ211の構成の一例を示すブロック図である。カートリッジメモリ211は、規定の通信規格でリーダライタ(図示せず)と通信を行うアンテナコイル(通信部)331と、アンテナコイル331により受信した電波から、誘導起電力を用いて発電、整流して電源を生成する整流・電源回路332と、アンテナコイル331により受信した電波から、同じく誘導起電力を用いてクロックを生成するクロック回路333と、アンテナコイル331により受信した電波の検波およびアンテナコイル331により送信する信号の変調を行う検波・変調回路334と、検波・変調回路334から抽出されるデジタル信号から、コマンドおよびデータを判別し、これを処理するための論理回路等で構成されるコントローラ(制御部)335と、情報を記憶するメモリ(記憶部)336とを備える。また、カートリッジメモリ211は、アンテナコイル331に対して並列に接続されたキャパシタ337を備え、アンテナコイル331とキャパシタ337により共振回路が構成される。
 メモリ336は、磁気記録カートリッジ10Aに関連する情報等を記憶する。メモリ336は、不揮発性メモリ(Non Volatile Memory:NVM)である。メモリ336の記憶容量は、好ましくは約32KB以上である。
 メモリ336は、第1の記憶領域336Aと第2の記憶領域336Bとを有する。第1の記憶領域336Aは、例えば、製造情報(例えば磁気記録カートリッジ10Aの固有番号等)、使用履歴(例えばテープ引出回数(Thread Count)等)等の情報を記憶するための領域である。
 第2の記憶領域336Bは、付加情報を記憶するための領域である。付加情報の例としては、テンション調整情報、管理台帳データ、Index情報、または磁気テープTに記憶された動画のサムネイル情報等が挙げられるが、これらのデータに限定されるものではない。テンション調整情報は、磁気テープTに対するデータ記録時における、隣接するサーボバンド間の距離(隣接するサーボバンドに記録されたサーボパターン間の距離)を含む。隣接するサーボバンド間の距離は、磁気テープTの幅に関連する幅関連情報の一例である。サーボバンド間の距離の詳細については後述する。以下の説明において、第1の記憶領域336Aに記憶される情報を「第1の情報」といい、第2の記憶領域336Bに記憶される情報を「第2の情報」ということがある。
 メモリ336は、複数のバンクを有していてもよい。この場合、複数のバンクのうちの一部のバンクにより第1の記憶領域336Aが構成され、残りのバンクにより第2の記憶領域336Bが構成されてもよい。具体的には、例えば、メモリ336は約16KBの記憶容量を有する2つのバンクを有し、2つのバンクのうちの一方のバンクにより第1の記憶領域336Aが構成され、他のバンクにより第2の記憶領域336Bが構成されてもよい。
 アンテナコイル331は、電磁誘導により誘起電圧を誘起する。コントローラ335は、アンテナコイル331を介して、規定の通信規格で記録再生装置80と通信を行う。具体的には、例えば、相互認証、コマンドの送受信またはデータのやり取り等を行う。
 コントローラ335は、アンテナコイル331を介して記録再生装置80から受信した情報をメモリ336に記憶する。コントローラ335は、記録再生装置80の要求に応じて、メモリ336から情報を読み出し、アンテナコイル331を介して記録再生装置80に送信する。

8.磁気記録カートリッジの変形例 
(カートリッジの構成)
 上述の磁気記録カートリッジの一実施形態では、磁気テープカートリッジが、1リールタイプのカートリッジである場合について説明したが、本技術の磁気記録カートリッジは、2リールタイプのカートリッジであってもよい。すなわち、本技術の磁気記録カートリッジは、磁気テープが巻き取られるリールを1つ又は複数(例えば2つ)有してよい。以下で、図10を参照しながら、2つのリールを有する本技術の磁気記録カートリッジの例を説明する。
 図10は、2リールタイプのカートリッジ421の構成の一例を示す分解斜視図である。カートリッジ421は、合成樹脂製の上ハーフ402と、上ハーフ402の上面に開口された窓部402aに嵌合されて固着される透明な窓部材423と、上ハーフ402の内側に固着されリール406、407の浮き上がりを防止するリールホルダー422と、上ハーフ402に対応する下ハーフ405と、上ハーフ402と下ハーフ405を組み合わせてできる空間に収納されるリール406、407と、リール406、407に巻かれた磁気テープMT1と、上ハーフ402と下ハーフ405を組み合わせてできるフロント側開口部を閉蓋するフロントリッド409およびこのフロント側開口部に露出した磁気テープMT1を保護するバックリッド409Aとを備える。
 リール406は、磁気テープMT1が巻かれる円筒状のハブ部406aを中央部に有する下フランジ406bと、下フランジ406bとほぼ同じ大きさの上フランジ406cと、ハブ部406aと上フランジ406cの間に挟み込まれたリールプレート411とを備える。リール407はリール406と同様の構成を有している。
 窓部材423には、リール406、407に対応した位置に、これらリールの浮き上がりを防止するリール保持手段であるリールホルダー422を組み付けるための取付孔423aが各々設けられている。磁気テープMT1は、第1の実施形態における磁気テープTと同様である。
9.実施例
 以下、実施例によって、本技術をより具体的に説明するが、本技術はこれらの実施例のみに限定されるものではない。なお、本実施例において、「平均厚み」を単に「厚み」ともいう。
(実施例1)
(第2シード層の成膜工程)
 まず、以下の成膜条件にて、非磁性のベース層をなす長尺の高分子フィルムの表面上に、(TiCr)(100-x)(但し、x=2である。)からなるシード層を厚み2nmになるようにスパッタ成膜した。
 成膜方法:DCマグネトロンスパッタリング方式
 ターゲット:Ti50Cr50ターゲット
 ガス種:Ar
 ガス圧:0.5Pa
 投入電力:21.5mW/mm
 送り速度:4m/s
(第1シード層の成膜工程)
 第2シード層上に、Ni94で形成された第1シード層を厚み10.0nmになるようにスパッタ成膜した。
 成膜方法:DCマグネトロンスパッタリング方式
 ターゲット:Ni946ターゲット
 ガス種:Ar
 ガス圧:0.3Pa
 投入電力:47mW/mm
 送り速度:4m/s
(第2下地層の成膜工程)
 次に、以下の成膜条件にて、前記第1シード層上に、Ruからなる第2下地層を厚み5nmになるようにスパッタ成膜した。
 成膜方法:DCマグネトロンスパッタリング方式
 ターゲット:Ruターゲット
 ガス種:Ar
 ガス圧:0.3Pa
 投入電力:24mW/mm
 送り速度:4m/s
(第1下地層の成膜工程)
 次に、以下の成膜条件にて、前記第2下地層上に、Ruからなる第1下地層を厚み17nmになるようにスパッタ成膜した。
 ターゲット:Ruターゲット
 ガス種:Ar
 ガス圧:13Pa
 投入電力:90mW/mm
 送り速度:4m/s
(記録層の成膜工程)
 次に、以下の成膜条件にて、前記第1下地層上に(Co72Pt18Cr1092.-(B238からなる記録層を14nm成膜した。
 成膜方法:DCマグネトロンスパッタリング方式
 ターゲット:(Co80Pt10Cr1092-(B238ターゲット
 ガス種:Ar
 ガス圧:6Pa
 投入電力:90mW/mm
 送り速度:4m/s
(CAP層の成膜工程)
 次に、以下の成膜条件にて、前記記録層上にCo60Pt20Cr1010からなるCAP層を5nm成膜した。
 成膜方法:DCマグネトロンスパッタリング方式
 ターゲット:Co60Pt20Cr1010 ターゲット 
 ガス種:Ar
 ガス圧:1.5Pa
 投入電力:13.5mW/mm
 送り速度:4m/s
(保護層の成膜工程)
 次に、以下の成膜条件にて、記録層上にカーボンからなる保護層を厚み5nmになるようにスパッタ成膜した。
 成膜方法:DCマグネトロンスパッタリング方式
 ターゲット:カーボンターゲット
 ガス種:Ar
 ガス圧:0.8Pa
 投入電力:90mW/mm ×3カソード
 送り速度:9m/s
(潤滑剤層の成膜工程)
 次に、調製した潤滑剤塗料を前記保護層上に塗布し、潤滑剤層を成膜した。なお、潤滑剤塗料は、汎用の溶剤に、カルボン酸パーフルオロアルキルエステル0.11質量%、およびフルオロアルキルジカルボン酸誘導体0.06質量%を混合して作製した。
(バック層の成膜工程)
 次に、ベース層をなす高分子フィルムの他方側の主面にバック層成膜用の塗料を塗布、乾燥することにより、バック層を形成した。より詳しくは、カーボンおよび炭酸カルシウムで構成される非磁性粉とポリウレタン系結着材で構成されるバック層を0.3μm厚で形成した。以上により、テープ状の磁気記録媒体(磁気記録テープ)が得られた。
(表面処理)
 得られた磁気記録テープをLTO8ドライブにてテンションを1Nとして500回往復走行させて、表面処理を行った。表面処理後の磁気テープを実施例1の磁気記録テープとした。
(実施例2)
 記録層のターゲットを(Co80Pt10Cr1092-(B238ターゲットに変更した以外は、上記実施例1と同様にして磁気記録テープを得た。
(実施例3)
 記録層のターゲットを(Co76Pt14Cr1092-(B238ターゲットに変更した以外は、上記実施例1と同様にして磁気記録テープを得た。
(実施例4)
 記録層のターゲットを(Co67Pt23Cr1092-(B238ターゲットに変更した以外は、上記実施例1と同様にして磁気記録テープを得た。
(実施例5)
 記録層のターゲットを(Co65Pt25Cr1092-(B238ターゲットに変更した以外は、上記実施例1と同様にして磁気記録テープを得た。
(実施例6)
 記録層のターゲットを(Co74Pt18Cr892-(B238ターゲットに変更した以外は、上記実施例1と同様にして磁気記録テープを得た。
(実施例7)
 記録層のターゲットを(Co70Pt18Cr1292-(B238ターゲットに変更した以外は、上記実施例1と同様にして磁気記録テープを得た。
(実施例8)
 記録層のターゲットを(Co66Pt18Cr1692-(B238ターゲットに変更した以外は、上記実施例1と同様にして磁気記録テープを得た。
(実施例9)
 記録層のターゲットを(Co72Pt18Cr1094-(B236ターゲットに変更した以外は、上記実施例1と同様にして磁気記録テープを得た。
(実施例10)
 記録層のターゲットを(Co72Pt18Cr1089-(B2311ターゲットに変更した以外は、上記実施例1と同様にして磁気記録テープを得た。
(実施例11)
 記録層のターゲットを(Co72Pt18Cr1092-(SiO28ターゲットに変更した以外は、上記実施例1と同様にして磁気記録テープを得た。
(実施例12)
 記録層のターゲットを(Co72Pt18Cr1092-(TiO28ターゲットに変更し以外は、上記実施例1と同様にして磁気記録テープを得た。
(実施例13)
 CAP層の投入電力を10.8mW/mmに変更して厚みを4nmに変更した以外は、上記実施例1と同様にして磁気記録テープを得た。
(実施例14)
 保護層の成膜工程において送り速度を7.5m/min.とし、保護層の厚みを6nmに変更して、表面処理においてLTO8ドライブにてテンションを1Nとして2000回往復走行させた以外は、上記実施例1と同様にして磁気記録テープを得た。
(実施例15)
 保護層の成膜工程において送り速度を15m/min.とし、保護層の厚みを3nmに変更して、表面処理においてLTO8ドライブにてテンションを1Nとして200回往復走行させた以外は、上記実施例1と同様にして磁気記録テープを得た。
(実施例16)
 第2下地層の投入電力を14.4mW/mmに変更し、厚みを3nmとして、表面処理においてLTO8ドライブにてテンションを1Nとして200回往復走行させた以外は、上記実施例1と同様にして磁気記録テープを得た。
(実施例17)
 第2下地層の投入電力を9.6mW/mmに変更し、膜厚を2nmとして、表面処理を施さなかった以外は、上記実施例1と同様にして磁気記録テープを得た。
(実施例18)
 第2下地層の投入電力を33.6mW/mmに変更し、膜厚を7nmとした以外は、上記実施例1と同様にして磁気記録テープを得た。
(実施例19)
 第1下地層と記録層の間に、(Ru25Co37.5Cr37.586-(TiO214で形成された中間層を厚み2nmになるようにスパッタ成膜した。
 成膜方法:DCマグネトロンスパッタリング方式
 ターゲット:(Ru25Co37.5Cr37.586-(TiO214ターゲット
 ガス種:Ar
 ガス圧:0.5Pa
 投入電力:21.5mW/mm
 送り速度:4m/s
 上記以外は、上記実施例1と同様にして磁気記録テープを得た。
(実施例20)
 第1下地層を、(Co60Cr4094-(TiO26で形成し、厚み5nmになるようにスパッタ成膜した。
 成膜方法:DCマグネトロンスパッタリング方式
 ターゲット:(Co60Cr4094-(TiO26ターゲット
 ガス種:Ar
 ガス圧:7Pa
 投入電力:60mW/mm
 送り速度:4 m/s
 また、第2下地層を、Co60Cr40で形成し、厚み45nmになるようにスパッタ成膜した。
 成膜方法:DCマグネトロンスパッタリング方式
 ターゲット:Co60Cr40ターゲット
 ガス種:Ar
 ガス圧:0.5Pa
 投入電力:130mW/mm
 送り速度:4m/s
 上記以外は、上記実施例1と同様にして磁気記録テープを得た。
(実施例21)
 第1下地層を、(Co60Cr4094-(TiO26で形成し、厚み25nmになるようにスパッタ成膜した。
 成膜方法:DCマグネトロンスパッタリング方式
 ターゲット:(Co60Cr4094-(TiO26ターゲット
 ガス種:Ar
 ガス圧:7Pa
 投入電力:100mW/mm
 送り速度:4m/s
 また、第2下地層を、Co60Cr40で形成し、厚み25nmになるようにスパッタ成膜した。
 成膜方法:DCマグネトロンスパッタリング方式
 ターゲット:Co60Cr40ターゲット
 ガス種:Ar
 ガス圧:0.5Pa
 投入電力:100mW/mm
送り速度:4m/s
 上記以外は、上記実施例1と同様にして磁気記録テープを得た。
(実施例22)
 ベースフィルムと第2シード層の間に、Co87Zr5Nb8で形成された軟磁性裏打ち層(SUL)を厚み20.0nmになるようにスパッタ成膜した。
 成膜方法:DCマグネトロンスパッタリング方式
 ターゲット:Co87Zr5Nb8ターゲット
 ガス種:Ar
 ガス圧:0.5Pa
 投入電力:95mW/mm
 送り速度:4m/s
 上記以外は、上記実施例1と同様にして磁気記録テープを得た。
(比較例1)
 記録層のターゲットを(Co82Pt8Cr1092-(B238ターゲットに変更した以外は、上記実施例1と同様にして磁気記録テープを得た。
(比較例2)
 記録層のターゲットを(Co64Pt26Cr1092-(B238ターゲットに変更した以外は、上記実施例1と同様にして磁気記録テープを得た。
(比較例3)
 記録層のターゲットを(Co75Pt18Cr792-(B238ターゲットに変更した以外は、上記実施例1と同様にして磁気記録テープを得た。
(比較例4)
 記録層のターゲットを(Co65Pt18Cr1792-(B238ターゲットに変更した以外は、上記実施例1と同様にして磁気記録テープを得た。
(比較例5)
 記録層のターゲットを(Co72Pt18Cr1095-(B235ターゲットに変更した以外は、上記実施例1と同様にして磁気記録テープを得た。
(比較例6)
 記録層のターゲットを(Co72Pt18Cr1088-(B2312ターゲットに変更した以外は、上記実施例1と同様にして磁気記録テープを得た。
(比較例7)
 CAP層の投入電力を8.1mW/mmに変更して厚みを3nmに変更した以外は、上記実施例1と同様にして磁気記録テープを得た。
(比較例8)
 表面処理においてLTO8ドライブにてテンションを1Nとして2000回往復走行させた以外は、上記実施例1と同様にして磁気記録テープを得た。
(比較例9)
 保護層の成膜工程において送り速度を11.3m/min.とし、保護層の厚みを4nmに変更して、表面処理においてLTO8ドライブにてテンションを1Nとして2000回往復走行させた以外は、上記実施例1と同様にして磁気記録テープを得た。
(比較例10)
 保護層の成膜工程において送り速度を5.6m/min.とし、保護層の厚みを8nmに変更して、表面処理を実施しなかった以外は、上記実施例1と同様にして磁気記録テープを得た。
(比較例11)
 保護層の成膜工程において送り速度を7.5m/min.とし、保護層の厚みを6nmに変更して、表面処理を実施しなかった以外は、上記実施例1と同様にして磁気記録テープを得た。
(比較例12)
 第2シード層の投入電力を16.1mW/mmに変更し、膜厚を1.5nmとした以外は、上記実施例1と同様にして磁気記録テープを得た。
(比較例13)
 第2シード層の投入電力を10.8mW/mmに変更し、膜厚を1.0nmとした以外は、上記実施例1と同様にして磁気記録テープを得た。
(比較例14)
 第2下地層の投入電力を48mW/mmに変更し、膜厚を10nmとした以外は、上記実施例1と同様にして磁気記録テープを得た。
 実施例1~22、及び比較例1~14の各磁気記録テープについて、評価を行った。具体的には、当該各磁気記録テープについて、表面凸方向の0.1%面積の高さp、飽和磁界(Hs)、磁気異方性エネルギーKu、Kuact/kBT、半値幅Δθ50、及びBB‐SNR(broad-band SNR)を測定した。また、当該各磁気記録テープについて、表面凸方向の0.1%面積の高さp、保護層の平均厚みq、及び半値幅Δθ50の値から、比Δθ50/(p+q)を算出した。
 本実施例において、保護層の平均厚み、CAP層の平均厚み、記録層の平均厚み、中間層の平均厚み、下地層の平均厚み、シード層の平均厚み、SULの平均厚み、表面凸方向の0.1%面積の高さp、飽和磁界(Hs)、磁気異方性エネルギーKu、Kuact/kBT、及び半値幅Δθ50は、上記2.において説明した測定方法により求められたものである。なお、本評価において、Kuact/kBTが80以上である磁気記録テープを、熱安定性が優れる磁気記録テープであると判断した。
 本実施例において、記録層の平均原子数比率は、上記2.において説明した測定方法により求められたものである。CAP層の平均原子数比率は、記録層の平均原子数比率と同様にして求められたものである。記録層以外の層の平均原子数比率は、以下のようにして求められた。まず、磁気テープから10mm×10mmのサンプルを切り出した。サンプルを膜表層よりエッチングしながら、オージェ電子分光法(Auger Electron Spectroscopy:AES)により、各層の深さ方向分析(デプスプロファイル測定)を、任意の3か所で行った。次に、得られたデプスプロファイルから、厚み方向におけるRu、Co、Cr、Ni、W、Ti、Cr、及びO平均原子数比率を求めた。
 AESの測定条件は以下のとおりであった。
 機器名:アルバック・ファイ社製 PHI-710型
 測定領域:10×20μm
 電子加速:5kV
 エッチングレート:1.3nm/min.
 本実施例において、BB‐SNR(単にSNRともいう)は以下のようにして求めた。まず、ループテスター(Microphysics社製)を用いて、磁気テープの再生信号を取得した。以下に、再生信号の取得条件について示す。
 Writer: Ring Type head
 Reader:TMR head
 Reader幅:800nm
 Speed:1.5m/s
 Signal:単一記録周波数(400kfci)
 記録電流:最適記録電流
 記録波長を400kFCI(kilo Flux Changes per Inch)とし、SNRを、再生波形の電圧と、ノイズスペクトラムを0kFCI~1000kFCIの帯域で積分した値から求めた電圧と、の比により計算して求めた。本評価に用いたヘッドによるエラーレート評価から、同ヘッドの場合、SNR10dBにて製品レベルのエラーレートが得られることを確認している。よって、10.0dB以上を良好なSNRレベルとした。
 実施例1~22、及び比較例1~14の各磁気記録テープの評価結果を、下記表2に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000008
 
 表2に示される結果より、以下のことが分かる。
 実施例1~22の磁気記録テープはいずれも、SNRが10.0dB以上であり、高いSNRを示した。実施例1~22の磁気記録テープはいずれも、Kuact/kBTが80以上であり、高い熱安定性を示した。これらの結果より、本技術の磁気記録媒体は、高いSNRを示し、且つ、熱安定性に優れていることが分かる。
 実施例1~10と比較例1~6とを比較すると、記録層の平均原子数比率を示す上述の式(I)において、10≦X≦25、8≦Y≦16、及び6≦Z≦11であることが、高いSNRと優れた熱安定性に寄与していることが分かる。具体的には、10≦X、及びY≦16であることがSNRと熱安定性の向上に寄与しており、X≦25、8≦Y、及び6≦Z≦11であることがSNRの向上に寄与していることが分かる。
 実施例1、11、及び12を比較すると、記録層に含まれる金属酸化物の種類を変更しても、高いSNR示し、且つ、熱安定性に優れている磁気記録媒体を得られることが分かる。
 実施例1及び13、並びに比較例7を比較すると、CAP層が厚くなるにつれて、SNRが向上し、飽和磁界(Hs)が低減することが分かる。また、CAP層が4nm以上であることが、高いSNRに寄与していることが分かる。
 実施例1、14、及び15、並びに比較例8~11を比較すると、表面凸方向の0.1%面積の高さpと、保護層の平均厚みqと、を変化させることにより比Δθ50/(p+q)を調整することが、SNRに影響を与えることが分かる。例えば、0.360≦Δθ50/(p+q)≦0.540であることによって、高いSNRを得られることが分かる。また、磁気記録テープの表面処理における往復走行回数を変化させることによって、表面凸方向の0.1%面積の高さpを調整できることが分かる。
 実施例1、16~18、並びに比較例14を比較すると、比Δθ50/(p+q)を調整することが、SNRに影響を与えることが分かる。例えば、0.360≦Δθ50/(p+q)≦0.540であることによって、高いSNRを得られることが分かる。また、第2下地層をスパッタ成膜する際の投入電力を高めることによって、第2下地層の平均厚みを厚くでき、第2下地層の平均厚みを厚くすることによって、半値幅Δθ50を低減できることが分かる。すなわち、下地層(例えば第2下地層)の平均厚みを変化させることによって、半値幅Δθ50を調整できることが分かる。
 実施例1及び19を比較すると、下地層(第1下地層)と記録層との間に中間層を設けた場合も、高いSNR示し、且つ、熱安定性に優れている磁気記録媒体を得られることが分かる。
 実施例1、20、及び21を比較すると、第1下地層及び第2下地層の材料を変更しても、高いSNR示し、且つ、熱安定性に優れている磁気記録媒体を得られることが分かる。
 実施例1及び22を比較すると、ベース層とシード層(第2シード層)との間にSULを設けた場合も、高いSNR示し、且つ、熱安定性に優れている磁気記録媒体を得られることが分かる。
 実施例1、並びに比較例12及び13を比較すると、半値幅Δθ50を変化させることにより比Δθ50/(p+q)を調整することが、SNRに影響を与えることが分かる。また、第2シード層をスパッタ成膜する際の投入電力を高めることによって、第2シード層の平均厚みを厚くでき、第2シード層の平均厚みを厚くすることによって、半値幅Δθ50及び比Δθ50/(p+q)を低減できることが分かる。すなわち、シード層(例えば第2シード層)の平均厚みを変化させることによって、半値幅Δθ50及び比Δθ50/(p+q)を調整できることが分かる。
 本技術は、以下のような構成をとることもできる。
[1]
 記録層、CAP層、及び保護層をこの順に有し、
 前記記録層が、下記式で表される平均原子数比率を有し、
[Co(100-X-Y)PtCr(100-Z)-(MO ・・・(I)
(前記式(I)中、10≦X≦25、8≦Y≦16、6≦Z≦11であり、MOは金属酸化物を示す。)
 原子間力顕微鏡を用いて取得された前記保護層側表面の高さデータに基づいて作成されるベアリングカーブにおける表面凸方向の0.1%面積の高さp[nm]と、前記保護層の平均厚みq[nm]と、前記記録層の面外方向のX線回析におけるCoPtCr hcp(0002)ピークのロッキングカーブの半値幅Δθ50と、から構成される比Δθ50/(p+q)が、0.360以上0.545以下であり、且つ、
 前記CAP層の平均厚みが4nm以上である、
 テープ状の磁気記録媒体。
[2]
 前記磁気記録媒体が、ベース層、シード層、及び下地層をこの順に有し、
 前記記録層が、前記下地層上に設けられている、[1]に記載の磁気記録媒体。
[3]
 前記下地層が、第1下地層及び第2下地層を有し、
 前記記録層が、前記第1下地層上に設けられている、[2]に記載の磁気記録媒体。
[4]
 前記シード層が、第1シード層及び第2シード層を有し、
 前記下地層が、前記第1シード層上に設けられている、[2]又は[3]に記載の磁気記録媒体。
[5]
 前記磁気記録媒体が、中間層を有し、
 前記中間層が、前記下地層と前記記録層との間に設けられている、[2]~[4]のいずれか一つに記載の磁気記録媒体。
[6]
 前記磁気記録媒体が、SULを有し、
 前記SULが、前記ベース層と前記シード層との間に設けられている、[2]~[5]のいずれか一つに記載の磁気記録媒体。
[7]
 前記式(I)中のMOが、B、SiO、及びTiOから選ばれる少なくとも1つである、[1]~[6]のいずれか一つに記載の磁気記録媒体。
[8]
 前記CAP層が、Co、Pt、Cr、及びBを含む合金を含む、[1]~[7]のいずれか一つに記載の磁気記録媒体。
[9]
 前記下地層が、ルテニウムを含む、[2]に記載の磁気記録媒体。
[10]
 前記第1シード層が、ニッケルタングステン合金を含む、[4]に記載の磁気記録媒体。
[11]
 前記第2シード層が、Ti、Cr、及びOを含む合金を含む、[4]に記載の磁気記録媒体。
[12]
 前記記録層の平均厚みが、10nm以上20nm以下である、[1]~[11]のいずれか一つに記載の磁気記録媒体。
[13]
 前記保護層の平均厚みが、1nm以上10nm以下である、[1]~[12]のいずれか一つに記載の磁気記録媒体。
[14]
 前記第1下地層の平均厚みが、1nm以上30nm以下である、[3]に記載の磁気記録媒体。
[15]
 前記第2下地層の平均厚みが、1nm以上50nm以下である、[3]に記載の磁気記録媒体。
[16]
 前記第1シード層の平均厚みが、1.0nm以上20.0nm以下である、[4]に記載の磁気記録媒体。
[17]
 前記第2シード層の平均厚みが、0.1nm以上5.0nm以下である、[4]に記載の磁気記録媒体。
[18]
 記録層、CAP層、及び保護層をこの順に有し、
 前記記録層が、下記式で表される平均原子数比率を有し、
[Co(100-X-Y)PtCr(100-Z)-(MO ・・・(I)
(前記式(I)中、10≦X≦25、8≦Y≦16、6≦Z≦11であり、MOは金属酸化物を示す。)
 原子間力顕微鏡を用いて取得された前記保護層側表面の高さデータに基づいて作成されるベアリングカーブにおける表面凸方向の0.1%面積の高さp[nm]と、前記保護層の平均厚みq[nm]と、前記記録層の面外方向のX線回析におけるCoPtCr hcp(0002)ピークのロッキングカーブの半値幅Δθ50と、から構成される比Δθ50/(p+q)が、0.360以上0.545以下であり、且つ、
 前記CAP層の平均厚みが4nm以上である、テープ状の磁気記録媒体を含み、
 前記磁気記録媒体が、リールに巻き取られた状態で収容された、
 磁気記録カートリッジ。
1 記録層
2 中間層
3 下地層
31 第1下地層
32 第2下地層
4 シード層
41 第1シード層
42 第2シード層
5 ベース層
6 バック層
7 軟磁性裏打ち層(SUL)
10A 磁気記録カートリッジ
10B カートリッジケース
10C リール
C CAP層
L 潤滑剤層
P 保護層
T、T1、T2、T3 テープ状の磁気記録媒体

Claims (18)

  1.  記録層、CAP層、及び保護層をこの順に有し、
     前記記録層が、下記式で表される平均原子数比率を有し、
    [Co(100-X-Y)PtCr(100-Z)-(MO ・・・(I)
    (前記式(I)中、10≦X≦25、8≦Y≦16、6≦Z≦11であり、MOは金属酸化物を示す。)
     原子間力顕微鏡を用いて取得された前記保護層側表面の高さデータに基づいて作成されるベアリングカーブにおける表面凸方向の0.1%面積の高さp[nm]と、前記保護層の平均厚みq[nm]と、前記記録層の面外方向のX線回析におけるCoPtCr hcp(0002)ピークのロッキングカーブの半値幅Δθ50と、から構成される比Δθ50/(p+q)が、0.360以上0.545以下であり、且つ、
     前記CAP層の平均厚みが4nm以上である、
     テープ状の磁気記録媒体。
  2.  前記磁気記録媒体が、ベース層、シード層、及び下地層をこの順に有し、
     前記記録層が、前記下地層上に設けられている、請求項1に記載の磁気記録媒体。
  3.  前記下地層が、第1下地層及び第2下地層を有し、
     前記記録層が、前記第1下地層上に設けられている、請求項2に記載の磁気記録媒体。
  4.  前記シード層が、第1シード層及び第2シード層を有し、
     前記下地層が、前記第1シード層上に設けられている、請求項2に記載の磁気記録媒体。
  5.  前記磁気記録媒体が、中間層を有し、
     前記中間層が、前記下地層と前記記録層との間に設けられている、請求項2に記載の磁気記録媒体。
  6.  前記磁気記録媒体が、SULを有し、
     前記SULが、前記ベース層と前記シード層との間に設けられている、請求項2に記載の磁気記録媒体。
  7.  前記式(I)中のMOが、B、SiO、及びTiOから選ばれる少なくとも1つである、請求項1に記載の磁気記録媒体。
  8.  前記CAP層が、Co、Pt、Cr、及びBを含む合金を含む、請求項1に記載の磁気記録媒体。
  9.  前記下地層が、ルテニウムを含む、請求項2に記載の磁気記録媒体。
  10.  前記第1シード層が、ニッケルタングステン合金を含む、請求項4に記載の磁気記録媒体。
  11.  前記第2シード層が、Ti、Cr、及びOを含む合金を含む、請求項4に記載の磁気記録媒体。
  12.  前記記録層の平均厚みが、10nm以上20nm以下である、請求項1に記載の磁気記録媒体。
  13.  前記保護層の平均厚みが、1nm以上10nm以下である、請求項1に記載の磁気記録媒体。
  14.  前記第1下地層の平均厚みが、1nm以上30nm以下である、請求項3に記載の磁気記録媒体。
  15.  前記第2下地層の平均厚みが、1nm以上50nm以下である、請求項3に記載の磁気記録媒体。
  16.  前記第1シード層の平均厚みが、1.0nm以上20.0nm以下である、請求項4に記載の磁気記録媒体。
  17.  前記第2シード層の平均厚みが、0.1nm以上5.0nm以下である、請求項4に記載の磁気記録媒体。
  18.  記録層、CAP層、及び保護層をこの順に有し、
     前記記録層が、下記式で表される平均原子数比率を有し、
    [Co(100-X-Y)PtCr(100-Z)-(MO ・・・(I)
    (前記式(I)中、10≦X≦25、8≦Y≦16、6≦Z≦11であり、MOは金属酸化物を示す。)
     原子間力顕微鏡を用いて取得された前記保護層側表面の高さデータに基づいて作成されるベアリングカーブにおける表面凸方向の0.1%面積の高さp[nm]と、前記保護層の平均厚みq[nm]と、前記記録層の面外方向のX線回析におけるCoPtCr hcp(0002)ピークのロッキングカーブの半値幅Δθ50と、から構成される比Δθ50/(p+q)が、0.360以上0.545以下であり、且つ、
     前記CAP層の平均厚みが4nm以上である、テープ状の磁気記録媒体を含み、
     前記磁気記録媒体が、リールに巻き取られた状態で収容された、
     磁気記録カートリッジ。
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000348325A (ja) * 1999-06-04 2000-12-15 Sony Corp 磁気記録媒体
JP2009289360A (ja) * 2008-05-30 2009-12-10 Fujitsu Ltd 垂直磁気記録媒体及び磁気記憶装置
JP2010044842A (ja) * 2008-08-18 2010-02-25 Showa Denko Kk 磁気記録媒体、その製造方法および磁気記録再生装置
JP2015197937A (ja) * 2014-03-31 2015-11-09 ソニー株式会社 磁気記録媒体
JP2017130249A (ja) * 2015-09-30 2017-07-27 Hoya株式会社 磁気ディスク用ガラス基板、磁気ディスク、ガラス基板中間体、及び磁気ディスク用ガラス基板の製造方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000348325A (ja) * 1999-06-04 2000-12-15 Sony Corp 磁気記録媒体
JP2009289360A (ja) * 2008-05-30 2009-12-10 Fujitsu Ltd 垂直磁気記録媒体及び磁気記憶装置
JP2010044842A (ja) * 2008-08-18 2010-02-25 Showa Denko Kk 磁気記録媒体、その製造方法および磁気記録再生装置
JP2015197937A (ja) * 2014-03-31 2015-11-09 ソニー株式会社 磁気記録媒体
JP2017130249A (ja) * 2015-09-30 2017-07-27 Hoya株式会社 磁気ディスク用ガラス基板、磁気ディスク、ガラス基板中間体、及び磁気ディスク用ガラス基板の製造方法

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