WO2022186245A1 - 流体制御装置 - Google Patents

流体制御装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2022186245A1
WO2022186245A1 PCT/JP2022/008742 JP2022008742W WO2022186245A1 WO 2022186245 A1 WO2022186245 A1 WO 2022186245A1 JP 2022008742 W JP2022008742 W JP 2022008742W WO 2022186245 A1 WO2022186245 A1 WO 2022186245A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
pump
control device
fluid control
opening
flow rate
Prior art date
Application number
PCT/JP2022/008742
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
伸拓 田中
Original Assignee
株式会社村田製作所
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社村田製作所 filed Critical 株式会社村田製作所
Priority to JP2023503888A priority Critical patent/JPWO2022186245A1/ja
Publication of WO2022186245A1 publication Critical patent/WO2022186245A1/ja

Links

Images

Classifications

    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61MDEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROM THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR
    • A61M11/00Sprayers or atomisers specially adapted for therapeutic purposes
    • A61M11/02Sprayers or atomisers specially adapted for therapeutic purposes operated by air or other gas pressure applied to the liquid or other product to be sprayed or atomised
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B35/00Piston pumps specially adapted for elastic fluids and characterised by the driving means to their working members, or by combination with, or adaptation to, specific driving engines or motors, not otherwise provided for
    • F04B35/04Piston pumps specially adapted for elastic fluids and characterised by the driving means to their working members, or by combination with, or adaptation to, specific driving engines or motors, not otherwise provided for the means being electric
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B49/00Control, e.g. of pump delivery, or pump pressure of, or safety measures for, machines, pumps, or pumping installations, not otherwise provided for, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B47/00
    • F04B49/06Control using electricity

Definitions

  • the present invention relates to a fluid control device that supplies fluid at a predetermined flow rate.
  • Patent Document 1 describes a nebulizer that sprays a liquid such as a drug solution.
  • a nebulizer described in Patent Document 1 includes an ultrasonic transducer as a driving unit for atomization.
  • a pump can be employed as a drive unit for such a nebulizer.
  • the air supplied from the pump must have an appropriate flow rate and an appropriate pressure.
  • an object of the present invention is to provide a fluid control device that can effectively utilize the workload of the pump to achieve an appropriate flow rate and an appropriate pressure.
  • a fluid control device of the present invention includes a pump and a connection path.
  • the pump has a first opening and a second opening and conveys fluid from the second opening to the first opening.
  • the connecting path has one end connected to the first opening or the second opening, and connects the outside of the pump and the inside of the pump.
  • the connecting path has a constriction.
  • the fluid conveyed by the pump is controlled to a predetermined flow rate by passing through the narrow passage. Therefore, the influence of the relationship between the pressure and the flow rate of the pump is suppressed, and the predetermined flow rate and the predetermined pressure are realized at the same time.
  • FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of the fluid control device according to the first embodiment.
  • FIG. 2 is a diagram showing an example of on-time and off-time of a drive signal.
  • 3A and 3B are graphs showing the relationship between the flow rate and power efficiency of the fluid control device and the back pressure of the pump.
  • FIG. 4 is a block diagram showing the configuration of the fluid control device according to the second embodiment.
  • FIG. 5 is a block diagram showing the configuration of a fluid control device according to the third embodiment.
  • FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of the fluid control device according to the first embodiment.
  • the fluid control device 10 includes a pump 20 , a narrow passage 30 , a connecting passage 41 , a connecting passage 42 and a drive circuit 200 .
  • the narrow passage 30 corresponds to the "narrow portion" of the present invention, and the portion composed of the narrow passage 30 and the connecting passage 41 corresponds to the "connecting passage” of the present invention.
  • Pump 20 has a first opening 21 and a second opening 22 .
  • Pump 20 is realized, for example, by a piezoelectric pump.
  • the pump 20 conveys fluid in a predetermined direction.
  • the fluid is, for example, air, and the following description will use air as an example of the fluid.
  • the narrow passage 30, the connecting passage 41, and the connecting passage 42 are tubular members each having a hollow portion with a predetermined cross-sectional area.
  • the cross-sectional area means the area of the tubular member (hollow portion) cut along a plane orthogonal to the extending direction.
  • the cross-sectional area S30 of the hollow portion of the narrow passage 30 is smaller than the cross-sectional area S41 of the hollow portion of the connection path 41 .
  • a cross-sectional area S41 of the hollow portion of the connection path 41 is equal to or larger than the opening area S21 of the first opening 21 of the pump 20 .
  • the cross-sectional area S30 of the hollow portion of the narrow passage 30 is smaller than the opening area S21 of the first opening 21 of the pump 20 .
  • connection path 41 One end in the extending direction of the connection path 41 is connected to the first opening 21 side of the pump 20 .
  • a hollow portion of the connection path 41 communicates with the first opening 21 of the pump 20 .
  • the other end in the direction in which connection path 41 extends is connected to one end in the direction in which narrow path 30 extends.
  • the hollow portion of the connecting passage 41 connects to the hollow portion of the narrow passage 30 .
  • the other end in the direction in which the narrow passage 30 extends is open to the outside of the fluid control device 10 .
  • connection path 42 One end in the extending direction of the connection path 42 is connected to the second opening 22 side of the pump 20 .
  • a hollow portion of the connection path 42 communicates with the second opening 22 of the pump 20 .
  • the other end in the extending direction of connection path 42 is open to the outside of fluid control device 10 .
  • the space surrounded by the housing of the pump 20, the walls of the tubular members forming the connection paths 41 and 42, and the wall of the tubular member forming the narrow passage 30 serves as an air transport path.
  • the air transport path is opened to the outside of the fluid control device 10 by the other end in the direction in which the narrow path 30 extends and the other end in the direction in which the connection path 42 extends.
  • connection path 42, the pump 20, the connection path 41, and the narrow path 30 are connected in series in this order along the air transport direction.
  • the drive circuit 200 is implemented, for example, by a circuit board on which electronic components such as ICs are mounted.
  • a drive circuit 200 electrically connects to the pump 20 .
  • the drive circuit 200 generates a drive signal for the pump 20 and supplies it to the pump 20 .
  • the pump 20 operates upon receiving a drive signal from the drive circuit 200 . Thereby, the pump 20 conveys air in a predetermined direction. More specifically, for example, the pump 20 sucks air through the second opening 22 and discharges the sucked air through the first opening 21 . As a result, the fluid control device 10 sucks air from the other end of the connection path 42 , conveys the air through the pump 20 , the connection path 41 , and the narrow path 30 in this order, and discharges the air from the other end of the narrow path 30 .
  • the air discharged from the pump 20 has a high flow rate (flow velocity) due to the narrow passage 30 .
  • the pressure of the air discharged through the narrow passage 30 is a pressure corresponding to the pump characteristics of the pump 20 .
  • the amount of work represented by the product of the flow rate and pressure of the discharged air can be increased.
  • the power for driving the pump 20 is kept constant, the amount of work can be increased compared to the configuration without the narrow passage 30 .
  • FIG. 2 is a diagram showing an example of on-time and off-time of a drive signal.
  • the drive circuit 200 sets the on-time Ton and off-time Toff of the drive signal.
  • the drive circuit 200 supplies the pump 20 with an AC drive signal.
  • the drive circuit 200 does not supply the drive signal to the pump 20 . That is, the drive circuit 200 drives the pump 20 intermittently.
  • the pump 20 operates during the period during which the drive signal is supplied (corresponding to the on-time Ton), and stops during the period during which the drive signal is not supplied (corresponding to the off-time Toff).
  • the on-time Ton and the off-time Toff are set at a predetermined ratio. That is, the drive circuit 200 sets the cycle period Tcyc of drive control, and allocates the on-time Ton and the off-time Toff to the cycle period Tcyc at a predetermined ratio. The drive circuit 200 continuously executes drive control in this cycle period Tcyc.
  • the ratio between the ON time Ton and the OFF time Toff is set by the flow rate (desired flow rate FRt) and pressure (desired pressure) of the air discharged from the narrow passage 30 and the pump characteristics of the pump 20 .
  • the pump characteristics here are the maximum flow rate and the maximum pressure when the pump 20 is operated at rated operation.
  • the fluid control device 10 can increase the amount of work and further improve the power efficiency.
  • FIG. 3A is a graph showing a case where intermittent drive is performed at rated drive and a case where it is not performed.
  • the solid line indicates the power efficiency
  • the dashed line indicates the flow rate when intermittent drive of the present application is performed
  • the two-dot chain line indicates the flow rate when rated drive is performed (when intermittent drive is not performed).
  • FIG. 3A shows a case where the pump is driven at rated power.
  • the flow rate can be reduced by intermittently driving the pump 20 .
  • the discharge flow rate of the pump 20 can be reduced according to the desired flow rate FRt and the discharge pressure of the narrow passage 30 .
  • the power efficiency can be improved under the condition that the desired flow rate FRt and desired pressure can be achieved.
  • the ratio of the intermittent drive ON time Ton and OFF time Toff so that the desired flow rate FRt and the desired pressure are achieved under the condition of high power efficiency of the pump 20,
  • the device 10 can be more power efficient while still achieving the desired amount of work.
  • FIG. 3(B) shows the case of changing the drive voltage, more specifically, the case of rated drive (rated voltage) and low output drive (low voltage).
  • the solid line indicates power efficiency under rated drive
  • the dashed double-dotted line indicates power efficiency under low output drive
  • the dashed line indicates flow rate when intermittent drive is performed under rated drive of the present application
  • the dash-dotted line indicates the flow rate for low power drive.
  • Low-output driving is driving in which the driving voltage is lowered constantly over time without performing intermittent driving.
  • intermittent driving according to the present invention can increase power efficiency compared to constant low voltage.
  • FIG. 4 is a block diagram showing the configuration of the fluid control device according to the second embodiment.
  • the fluid control device 10A according to the second embodiment differs from the fluid control device 10 according to the first embodiment in that a valve 50 is provided.
  • the rest of the configuration of the fluid control device 10A is the same as that of the fluid control device 10, and the description of the similar portions will be omitted.
  • a portion composed of the narrow path 30 and the connecting path 41 corresponds to the "first connecting path" of the present invention, and the connecting path 42 corresponds to the "second connecting path" of the present invention.
  • the valve 50 is arranged in the air flow path in the connection path 42 .
  • the valve 50 opens (passes through) the flow path when the pump 20 is driven, and shuts off the flow path when the pump 20 is not driven (stopped).
  • the fluid control device 10A can suppress backflow of air when the pump 20 is not driven. As a result, the fluid control device 10A can achieve a large amount of work more efficiently.
  • valve 50 is arranged at a midway position in the direction in which the connection path 42 extends, but it may be arranged at an end in the direction in which the connection path 42 extends. Furthermore, the valve 50 may be arranged in the connecting passage 41 .
  • FIG. 5 is a block diagram showing the configuration of a fluid control device according to the third embodiment.
  • the fluid control device 10B according to the third embodiment differs from the fluid control device 10 according to the first embodiment in that a pump 20B with a valve is used.
  • the rest of the configuration of the fluid control device 10B is the same as that of the fluid control device 10, and the description of the similar portions will be omitted.
  • the fluid control device 10B includes a pump 20B with a valve instead of the pump 20.
  • the valved pump 20B conveys air in one direction and prevents backflow of air.
  • the valved pump 20 ⁇ /b>B conveys air from the second opening 22 to the first opening 21 and prevents air from flowing back from the first opening 21 to the second opening 22 .
  • the fluid control device 10B can realize a large amount of work more efficiently, like the fluid control device 10A.
  • the fluid control device 10B may further include a valve 50 like the fluid control device 10A.
  • the air is conveyed in the direction from the second opening 22 to the first opening 21 of the pump, but it may be in the opposite direction.
  • the pump is not limited to the piezoelectric pump, and may be another pump.
  • 10, 10A, 10B fluid control device 20: pump 20B: pump with valve 21: first opening 22: second opening 30: narrow passages 41, 42: connecting passage 50: valve 200: drive circuit

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Anesthesiology (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Heart & Thoracic Surgery (AREA)
  • Hematology (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Animal Behavior & Ethology (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Veterinary Medicine (AREA)
  • Reciprocating Pumps (AREA)

Abstract

流体制御装置(10)は、ポンプ(20)と狭隘路(30)とを備える。ポンプ(20)は、流体を所定方向に搬送する。狭隘路(30)は、流体の流路に沿って、ポンプ(20)に直列に接続される。

Description

流体制御装置
 本発明は、流体を所定流量で供給する流体制御装置に関する。
 特許文献1には、薬液等の液体を噴霧するネブライザが記載されている。特許文献1に記載のネブライザは、噴霧のための駆動部として、超音波振動子を備える。
 このようなネブライザに対して、駆動部として、ポンプを採用することが可能である。そして、ネブライザとして所定の噴霧性能を実現するため、ポンプから供給する空気を適正流量および適正圧力にする必要がある。
特開2019-76243号公報
 しかしながら、ポンプの性能によっては、適正流量および適正圧力を実現する際に、流量と圧力からなるポンプの行う仕事量を有効に活用できないことがある。
 したがって、本発明の目的は、ポンプの仕事量を有効に活用して適正流量および適正圧力を実現できる流体制御装置を提供することにある。
 この発明の流体制御装置は、ポンプと接続路とを備える。ポンプは、第1開口と第2開口とを備え、流体を前記第2開口から第1開口に搬送する。接続路は、一方端が第1開口また第2開口に接続し、ポンプ外とポンプ内とを接続する。接続路は、狭隘部を備える。
 この構成では、ポンプが搬送した流体は、狭隘路を通ることによって、所定流量に制御される。したがって、ポンプの圧力と流量との関係の影響を抑制して、所定流量と所定圧力とが同時に実現される。
 この発明によれば、ポンプの仕事量を有効に活用して適正流量および適正圧力を実現できる。
図1は、第1の実施形態に係る流体制御装置の構成を示すブロック図である。 図2は、駆動信号のオン時間とオフ時間との一例を示す図である。 図3(A)、図3(B)は、流体制御装置の流量および電力効率とポンプの背圧との関係を示すグラフである。 図4は、第2の実施形態に係る流体制御装置の構成を示すブロック図である。 図5は、第3の実施形態に係る流体制御装置の構成を示すブロック図である。
 [第1の実施形態]
 本発明の第1の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図1は、第1の実施形態に係る流体制御装置の構成を示すブロック図である。
 図1に示すように、流体制御装置10は、ポンプ20、狭隘路30、接続路41、接続路42、および、駆動回路200を備える。狭隘路30が、本発明の「狭隘部」に対応し、狭隘路30と接続路41とから構成される部分が、本発明の「接続路」に対応する。また、
 ポンプ20は、第1開口21および第2開口22を有する。ポンプ20は、例えば、圧電ポンプによって実現される。ポンプ20は、流体を所定方向に搬送する。流体は、例えば、空気であり、以下、流体の一例として空気を用いて説明する。
 狭隘路30、接続路41、および、接続路42は、それぞれに所定断面積を有する中空部を備える管状部材である。ここでの断面積とは、管状部材(中空部)の延びる方向に対して直交する面で切って見た面積を意味する。
 狭隘路30の中空部の断面積S30は、接続路41の中空部の断面積S41よりも小さい。接続路41の中空部の断面積S41は、ポンプ20の第1開口21の開口面積S21以上である。また、狭隘路30の中空部の断面積S30は、ポンプ20の第1開口21の開口面積S21よりも小さい。
 接続路41の延びる方向の一方端は、ポンプ20の第1開口21側に接続する。接続路41の中空部は、ポンプ20の第1開口21に連通する。接続路41の延びる方向の他方端は、狭隘路30の延びる方向の一方端に接続する。接続路41の中空部は、狭隘路30の中空部に接続する。
 狭隘路30の延びる方向の他方端は、流体制御装置10の外部に開放している。例えば、狭隘路30の延びる方向の他方端の先には、流体制御装置10が装着されるネブライザの霧化部がある。
 接続路42の延びる方向の一方端は、ポンプ20の第2開口22側に接続する。接続路42の中空部は、ポンプ20の第2開口22に連通する。接続路42の延びる方向の他方端は、流体制御装置10の外部に開放している。
 このような構成によって、ポンプ20の筐体、接続路41、42を形成する管状部材の壁、狭隘路30を形成する管状部材の壁によって囲まれる空間部が、空気の搬送路となる。そして、この空気の搬送路は、狭隘路30の延びる方向の他方端と、接続路42の延びる方向の他方端によって、流体制御装置10の外部に開放される。
 言い換えれば、空気の搬送方向に沿って、接続路42、ポンプ20、接続路41、および、狭隘路30は、この順で直列に接続される。
 駆動回路200は、例えば、IC等の電子部品が実装された回路基板によって実現される。駆動回路200は、ポンプ20に電気的に接続する。駆動回路200は、ポンプ20の駆動信号を生成して、ポンプ20に供給する。
 ポンプ20は、駆動回路200の駆動信号を受けて動作する。これにより、ポンプ20は、空気を所定方向に搬送する。より具体的には、例えば、ポンプ20は、第2開口22から空気を吸入して、第1開口21から、吸入した空気を吐出する。これにより、流体制御装置10は、接続路42の他方端から空気を吸入し、ポンプ20、接続路41、および、狭隘路30の順に搬送して、狭隘路30の他方端から吐出する。
 このような構成によって、ポンプ20から吐出された空気は、狭隘路30によって、流量(流速)が高くなる。この際、狭隘路30を通じて吐出される空気の圧力は、ポンプ20のポンプ特性に応じた圧力となる。
 これにより、吐出される空気の流量と圧力との乗算によって表される仕事量を大きくできる。言い換えれば、ポンプ20を駆動する電力を一定のまま、狭隘路30を備えない構成よりも、仕事量を大きくできる。
 さらに、流体制御装置10の駆動回路200は、次に示すように、駆動信号を制御する。図2は、駆動信号のオン時間とオフ時間との一例を示す図である。図2に示すように、駆動回路200は、駆動信号のオン時間Tonとオフ時間Toffとを設定する。オン時間Tonでは、駆動回路200は、交流からなる駆動信号をポンプ20に供給する。オフ時間Toffでは、駆動回路200は、駆動信号をポンプ20に供給しない。すなわち、駆動回路200は、ポンプ20を間欠駆動する。これにより、ポンプ20は、駆動信号が供給される期間(オン時間Tonに対応)は動作し、駆動信号が供給されない期間(オフ時間Toffに対応)は停止する。
 オン時間Tonとオフ時間Toffとは、所定比で設定される。すなわち、駆動回路200は、駆動制御のサイクル周期Tcycを設定し、サイクル周期Tcycにオン時間Tonとオフ時間Toffとを、所定比で割り当てる。駆動回路200は、このサイクル周期Tcycで継続的に駆動制御を実行する。
 このオン時間Tonとオフ時間Toffとの比は、狭隘路30から吐出する空気の流量(所望流量FRt)および圧力(所望圧力)と、ポンプ20のポンプ特性とによって設定される。ここでのポンプ特性とは、ポンプ20を定格動作させたときの最大流量、最大圧力である。
 このようなオンオフ制御を行うことによって、流体制御装置10は、仕事量を大きくできるとともに、さらに電力効率を向上できる。
 図3(A)、図3(B)は、流体制御装置の流量および電力効率とポンプの背圧との関係を示すグラフである。図3(A)は、定格駆動時の間欠駆動を行った場合と行わなかった場合とを示すグラフである。図3(A)において、実線は電力効率を示し、破線は本願の間欠駆動を行った場合の流量を示し、二点鎖線は定格駆動の場合(間欠駆動を行わなかった場合)の流量を示す。また、図3(A)は、ポンプを定格駆動した場合を示す。
 図3(A)に示すように、ポンプ20の間欠駆動を行うことによって、流量を小さくできる。言い換えれば、ポンプ20の吐出流量を、狭隘路30の所望流量FRtおよび吐出圧力に合わせて小さくできる。
 このため、図3(A)に示すように、所望流量FRtおよび所望圧力を実現可能な条件下において、電力効率を向上できる。逆に言えば、ポンプ20の電力効率の高い条件下において、所望流量FRtと所望圧力とが実現されるように、間欠駆動のオン時間Tonとオフ時間Toffの比を設定することで、流体制御装置10は、所望の仕事量を実現しながら、さらに電力効率を高くできる。
 図3(B)は、駆動電圧を変化させた場合、より具体的には、定格駆動(定格電圧)時と低出力駆動(低電圧)との場合を示す。図3(B)において、実線は定格駆動での電力効率を示し、二点破線は低出力駆動での電力効率を示し、破線は本願の定格駆動で間欠駆動を行った場合の流量を示し、一点鎖線は低出力駆動の流量を示す。低出力駆動とは、間欠駆動を行うことなく、時間的に一定に駆動電圧を低下させた駆動である。
 図3(B)に示すように、低出力駆動を行っても、電力効率は高くなり難い。このように、本願発明の間欠駆動を行うことによって、一定に低電圧にするよりも、電力効率を高くできる。
 [第2の実施形態]
 本発明の第2の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図4は、第2の実施形態に係る流体制御装置の構成を示すブロック図である。
 図4に示すように、第2の実施形態に係る流体制御装置10Aは、第1の実施形態に係る流体制御装置10に対して、弁50を備える点で異なる。流体制御装置10Aの他の構成は、流体制御装置10と同様であり、同様の箇所の説明は省略する。狭隘路30と接続路41とから構成される部分が、本発明の「第1接続路」に対応し、接続路42が、本発明の「第2接続路」に対応する。
 弁50は、接続路42における空気の流路に配置される。弁50は、ポンプ20の駆動時に流路を開放(挿通)し、ポンプ20の非駆動時(停止時)に流路を遮断する。
 このような構成によって、流体制御装置10Aは、ポンプ20の非駆動時における空気の逆流を抑制できる。これにより、流体制御装置10Aは、より効率的に、大きな仕事量を実現できる。
 なお、図4の例では、弁50は、接続路42の延びる方向の途中位置に配置されているが、接続路42の延びる方向の端部に配置されていてもよい。さらには、弁50は、接続路41に配置されていてもよい。
 [第3の実施形態]
 本発明の第3の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図5は、第3の実施形態に係る流体制御装置の構成を示すブロック図である。
 図5に示すように、第3の実施形態に係る流体制御装置10Bは、第1の実施形態に係る流体制御装置10に対して、バルブ付きポンプ20Bを用いる点で異なる。流体制御装置10Bの他の構成は、流体制御装置10と同様であり、同様の箇所の説明は省略する。
 流体制御装置10Bは、ポンプ20に代えて、バルブ付きポンプ20Bを備える。バルブ付きポンプ20Bは、空気を一方向に搬送し、空気の逆流を防ぐ。具体的に、例えば、バルブ付きポンプ20Bは、第2開口22から第1開口21へ空気を搬送し、第1開口21から第2開口22への空気の逆流を防ぐ。
 このような構成によって、流体制御装置10Bは、流体制御装置10Aと同様に、より効率的に、大きな仕事量を実現できる。
 なお、この流体制御装置10Bは、流体制御装置10Aのような弁50を、さらに備えてもよい。
 また、上述の各実施形態では、空気の搬送方向が、ポンプの第2開口22から第1開口21に向かう方向であるが、逆方向であってもよい。また、ポンプは、圧電ポンプに限るものではなく、他のポンプであってもよい。
10、10A、10B:流体制御装置
20:ポンプ
20B:バルブ付きポンプ
21:第1開口
22:第2開口
30:狭隘路
41、42:接続路
50:弁
200:駆動回路

Claims (6)

  1.  第1開口と第2開口を備え、流体を前記第2開口から前記第1開口に搬送するポンプと、
     一方端が前記第1開口または前記第2開口に接続し、ポンプ外とポンプ内を接続する接続路とを備え、
     前記接続路は狭隘部を備える、
     流体制御装置。
  2.  前記ポンプを駆動する駆動回路を備え、
     前記駆動回路は、前記ポンプを間欠駆動する、
     請求項1に記載の流体制御装置。
  3.  前記接続路は弁を備え、
     前記弁は、前記ポンプの駆動時に開放し、前記ポンプの非駆動時に遮蔽する、
     請求項2に記載の流体制御装置。
  4.  前記第1開口に接続する第1接続路と前記第2開口に接続する第2接続路を備え、
     前記狭隘部は前記第1接続路に備わり、前記弁は、前記第2接続路に備わる、
     請求項3に記載の流体制御装置。
  5.  前記狭隘部を備える接続路の他方端は、大気に開放されている、
     請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の流体制御装置。
  6.  前記ポンプの駆動時に、前記狭隘部を備える接続路が前記ポンプの下流側となる、
     請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の流体制御装置。
PCT/JP2022/008742 2021-03-03 2022-03-02 流体制御装置 WO2022186245A1 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2023503888A JPWO2022186245A1 (ja) 2021-03-03 2022-03-02

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021-033083 2021-03-03
JP2021033083 2021-03-03

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2022186245A1 true WO2022186245A1 (ja) 2022-09-09

Family

ID=83154458

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2022/008742 WO2022186245A1 (ja) 2021-03-03 2022-03-02 流体制御装置

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JPWO2022186245A1 (ja)
WO (1) WO2022186245A1 (ja)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005315225A (ja) * 2004-04-30 2005-11-10 Konica Minolta Holdings Inc マイクロポンプの駆動回路および台形波発生回路
JP2014180664A (ja) * 2013-03-18 2014-09-29 Kyung Ok Yang 薬剤ディスペンサ

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005315225A (ja) * 2004-04-30 2005-11-10 Konica Minolta Holdings Inc マイクロポンプの駆動回路および台形波発生回路
JP2014180664A (ja) * 2013-03-18 2014-09-29 Kyung Ok Yang 薬剤ディスペンサ

Also Published As

Publication number Publication date
JPWO2022186245A1 (ja) 2022-09-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2008527233A (ja) ベローズとして接合されたダイヤフラムを有するポンプ
US9616660B2 (en) Liquid ejection device and printing device
JP7287439B2 (ja) 霧化器
US20210404460A1 (en) Atomizer
WO2022186245A1 (ja) 流体制御装置
US20090232681A1 (en) Ultrasonic piezoelectric pump
US20230415178A1 (en) Atomizer
WO2018142975A1 (ja) 流体制御装置および血圧計
US6357727B1 (en) Ozonized water generating apparatus
US20210170427A1 (en) Alternating water delivery device
US11773835B2 (en) Fluid control device and sphygmomanometer
JP6075532B2 (ja) 容量性負荷駆動回路、液体噴射型印刷装置、液体噴射装置、流体輸送装置および医療機器
US20210332811A1 (en) Driving system for driving piezoelectric pump
WO2022202730A1 (ja) 霧化装置
US6790010B2 (en) Switching system for a reciprocating piston pump
KR101576472B1 (ko) 유로에 노즐을 갖는 전동 진공 펌프
WO2018055780A1 (ja) 流体誘引ユニット及び真空ポンプの寿命を延ばす運用方法
JP6061068B2 (ja) スイッチング回路及び医療機器
JP2004298765A (ja) 気液混合装置
JP2009203822A (ja) ダイヤフラムポンプ
EP2101060B1 (en) Ultrasonic piezoelectric pump
US9539390B2 (en) Medical instrument
JP2008014278A (ja) 増圧可能なエア駆動による往復動ポンプ
JPH10326674A (ja) El素子の駆動回路
CN113399141B (zh) 液体喷射装置

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 22763299

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2023503888

Country of ref document: JP

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 22763299

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1