WO2022139041A1 - 다중관 버너를 이용한 글래스 수트 제조방법 - Google Patents

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WO2022139041A1
WO2022139041A1 PCT/KR2020/019136 KR2020019136W WO2022139041A1 WO 2022139041 A1 WO2022139041 A1 WO 2022139041A1 KR 2020019136 W KR2020019136 W KR 2020019136W WO 2022139041 A1 WO2022139041 A1 WO 2022139041A1
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WO
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inert gas
port
ejected
flow rate
tube burner
Prior art date
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PCT/KR2020/019136
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French (fr)
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최성순
도문현
양진성
구석수
노승윤
이해범
Original Assignee
대한광통신 주식회사
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    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B19/00—Other methods of shaping glass
    • C03B19/10—Forming beads
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    • C03B19/102—Forming solid beads by blowing a gas onto a stream of molten glass or onto particulate materials, e.g. pulverising
    • C03B19/1025—Bead furnaces or burners
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
    • Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
    • Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates

Definitions

  • the present invention relates to a method for manufacturing a glass suit using a multi-tube burner, and more particularly, to a method for manufacturing a glass suit by depositing glass particles by a gas phase synthesis method using a concentric multi-tube burner. .
  • a gaseous glass raw material and a gas for flame formation are ejected by a burner, and glass raw material gas is hydrolyzed in the formed flame to form glass particles, and the glass particles are It is a method of manufacturing a glass soot by depositing it around or on the tip of a rotating starting material.
  • a glass suit is a precursor for manufacturing various glass articles, such as optical fibers, glass substrates for photomasks, and optical devices.
  • Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 04-147965 discloses a method for manufacturing a glass suit using a concentric multi-tube burner.
  • the burner is formed concentrically and includes multiple layers of flame forming ports.
  • Each flame forming port has a plurality of jets, and combustible gas and combustion support gas are jetted from the jets of each port and mixed with each other to form a flame.
  • the glass source gas is ejected only from the central port.
  • An object of the present invention is to provide a method for manufacturing glass soot with high raw material yield using a concentric multi-tube burner.
  • the multi-tube burner includes a glass raw material gas and a primary - a central port through which a gas for forming a flame is ejected.
  • a second-flame forming port disposed outside the central port and from which a gas for forming a secondary-flame is ejected
  • a second-flame forming port disposed outside of the secondary-flame forming port, and forming a tertiary-flame a tertiary-flame forming port from which gas is ejected for
  • the flow rate of the glass source gas to be used is 3.25 to 3.75 times the flow rate of the inert gas ejected from the second inert gas outlet of the central port.
  • the tertiary-flame forming port is provided with two or more inert gas outlets, and the flow rate of the inert gas ejected from each inert gas outlet of the tertiary-flame forming port is from the second inert gas outlet of the central port. It is preferable that it is 3.5 to 6.5 times the flow rate of the ejected inert gas.
  • Each port has one or more combustible gas outlets, and the flow rate of the combustible gas ejected from each combustible gas outlet of the central port is 2.4 ⁇ of the flow rate of the inert gas ejected from the second inert gas outlet of the central port 2.6 times, and the flow rate of the combustible gas ejected from each combustible gas outlet of the secondary-flame forming port is 20 to 35 times the flow rate of the inert gas ejected from the second inert gas outlet of the central port, and the third - The flow rate of the combustible gas ejected from each fuel gas outlet of the flame forming port is preferably 35 to 40 times the flow rate of the inert gas ejected from the second inert gas outlet of the central port.
  • FIG. 1 is a diagram schematically illustrating a method for manufacturing a glass suit by a gas phase synthesis method.
  • FIG. 2 is a diagram schematically showing the structure of a multi-tube burner used in a method for manufacturing a glass suit according to the present invention.
  • FIG 3 is a graph comparing the collection rate according to the method for manufacturing a glass suit according to the present invention and the collection rate in the conventional method.
  • FIG. 1 is a diagram schematically illustrating a method for manufacturing a glass suit by a gas phase synthesis method.
  • the concentric multi-tube burner 100 includes a plurality of flame-forming ports, each flame-forming port having a plurality of jets.
  • the flame F is formed by mixing the combustible gas and combustion support gas ejected from the jetting port. Glass raw material gas is hydrolyzed in the formed flame to form glass fine particles, and the glass soot GS is manufactured by depositing the glass fine particles on the tip of a rotating starting material (not shown).
  • FIG. 2 schematically shows an example of a multi-tube burner used in a method for manufacturing a glass suit according to the present invention.
  • the multi-tube burner 100 includes 17 jets forming three flame forming ports 110 , 120 , 130 .
  • the order of the jets is indicated on the left side of each jet, and the type of gas ejected from the jet is described on the right side.
  • Reference symbol S indicates a glass raw material gas such as SiO 2
  • reference symbol H indicates a combustible gas such as hydrogen
  • reference symbol O indicates, for example, oxygen as a combustion support gas
  • reference symbol A indicates an inert gas, such as For example, argon (Ar) gas is represented.
  • the number attached to each reference sign indicates the order from the inside of the corresponding gas.
  • the outlet indicated by reference numeral A8 is out of order, which will be described later in the embodiment of the method for manufacturing a glass suit according to the present invention.
  • the central port 110 has five jets from which the glass source gas and the gas for forming a primary-flame are jetted.
  • the mixed gas outlet (S1+H1) of the glass raw material gas and the combustible gas In order from the inside of the center port 110, the mixed gas outlet (S1+H1) of the glass raw material gas and the combustible gas, the combustible gas outlet (H2), the first inert gas outlet (A1), the combustion support gas outlet (O1) and a second inert gas outlet A8 is disposed.
  • the second-flame forming port 120 is disposed on the outside of the central port 110, and has four outlets through which a gas for forming a secondary-flame and an inert gas are ejected.
  • the tertiary-flame forming port 130 is disposed on the outside of the secondary-flame forming port 120, and has eight outlets through which gas for forming a tertiary-flame and an inert gas are ejected.
  • the tertiary-flame forming port has four inert gas vents.
  • the 16-pipe multi-tube burner used in the comparative example is a burner in which the second inert gas outlet of the central port indicated by reference numeral A8 among the outlets of the burner shown in FIG. 2 is omitted.
  • a glass suit was manufactured using a 16 tube multi-tube burner
  • apparatus 3 and apparatus 4 a glass suit was manufactured using a 17-layer multi-tube burner according to the present invention.
  • a case in which a glass suit was manufactured using a 16 tube multi-tube burner in apparatus 4 is shown in the graph.
  • the Si collection rate was higher than that of manufacturing the glass suit using the 16-layer multi-tube burner.
  • Tables 1 to 4 show the relationship between the flow rates at each gas outlet of the 17 double-tube burner used in the apparatus 4.
  • the flow rate at each outlet was expressed based on the flow rate (V) of the second inert gas outlet of the central port 110 .
  • the Si collection rate is shown as 47.
  • the flow volume of the glass raw material gas ejected from the center port 110 is 3.5 times the flow volume of the inert gas ejected from the 2nd inert gas outlet A8. It was found that even if the glass raw material gas was supplied within a range of about 0.25 times up and down from this flow rate, an appropriate Si collection rate could be achieved.
  • the flow rate of the combustible gas ejected from each combustible gas outlet of the central port 110 is approximately 2.4 to 2.6 times the flow rate of the inert gas ejected from the second inert gas outlet of the center port 110 .
  • the flow rate of the combustible gas ejected from the combustible gas outlet of the secondary-flame forming port 120 is about 20 to 35 times the flow rate of the inert gas ejected from the second inert gas outlet of the central port 110. Able to know.
  • the flow rate of the combustible gas ejected from the combustible gas outlet of the tertiary-flame forming port 130 is about 35-40 times the flow rate of the inert gas ejected from the second inert gas outlet of the central port 110. Able to know.

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Abstract

동심 다중관 버너를 이용하여 기체상 합성법에 의해 글래스 미립자를 퇴적시켜 글래스 수트를 제조하는 방법이 제공된다. 동심 다중관 버너는 3개의 화염 형성 포트를 구비한다. 중심 포트의 두 번째 불활성 가스 분출구의 유량을 기준으로 동심 다중관 버너의 다른 분출구로부터 분출되는 가스들의 유량이 결정된다. 동심 다중관 버너를 이용하여 글래스 수트를 제조할 때 원료 수율을 높일 수 있다.

Description

다중관 버너를 이용한 글래스 수트 제조방법
본 발명은 다중관 버너를 이용하여 글래스 수트를 제조하는 방법에 관한 것으로서, 더 구체적으로는, 동심 다중관 버너를 이용하여 기체상 합성법에 의해 글래스 미립자를 퇴적시켜 글래스 수트를 제조하는 방법에 관한 것이다.
기체상 합성법(vapor phase synthesis method)은, 기체 상태의 유리 원료 및 화염 형성을 위한 가스를 버너로 분출시키고, 형성된 화염 중에서 유리 원료 가스를 가수분해 하는 것에 의해 글래스 미립자를 형성하고, 이 글래스 미립자를 회전하는 출발재료의 주위 또는 선단에 퇴적시켜 글래스 수트(soot)를 제조하는 방법이다. 이러한 글래스 수트는 광섬유, 포토마스크용 유리 기판, 광학 디바이스 등 다양한 글래스 물품을 제조하기 위한 전구체(precursor)이다.
일본공개특허 특개평04-147965호에는 동심 다중관 버너를 이용하여 글래스 수트를 제조하는 방법이 개시되어 있다. 개시된 방법에서, 버너는 동심원상으로 형성되며, 복수층의 화염 형성 포트를 포함한다. 각 화염 형성 포트는 복수개의 분출구를 구비하며, 가연성 가스 및 연소지지 가스가 각 포트의 분출구로부터 분출되어 서로 혼합됨으로써 화염을 형성한다. 일반적으로 유리 원료 가스는 중심 포트에서만 분출된다.
이러한 기체상 합성법에서, 원료 등의 효과적인 혼합은 입자 유리 생성 효율의 개선 및 원료 수율의 개선에 필수적이다.
본 발명은, 동심 다중관 버너를 이용하여 글래스 수트를 원료 수율이 높게 제조하는 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
전술한 과제를 해결하기 위하여, 본 발명에 따른 다중관 버너를 이용하여 글래스 수트를 제조하는 방법으로서, 상기 다중관 버너는, 유리 원료 가스 및 1차-화염을 형성하기 위한 가스가 분출되는 중심 포트, 상기 중심 포트의 바깥쪽에 배치되고, 2차-화염을 형성하기 위한 가스가 분출되는 제2-화염 형성 포트, 및, 상기 2차-화염 형성 포트의 바깥쪽에 배치되고, 3차-화염을 형성하기 위한 가스가 분출되는 3차-화염 형성 포트를 포함하며, 상기 중심 포트는 2개의 불활성 가스 분출구를 구비하고, 2번째 불활성 가스 분출구는 상기 중심 포트의 가장 바깥쪽에 배치되며, 상기 중심 포트에서 분출되는 유리 원료 가스의 유량은 상기 중심 포트의 상기 2번째 불활성 가스 분출구로부터 분출되는 불활성 가스의 유량의 3.25~3.75배인 다중관 버너를 이용하는 글래스 수트 제조방법이 제공된다.
상기 3차-화염 형성 포트는 2개 이상의 불활성 가스 분출구를 구비하는 것이고, 상기 3차-화염 형성 포트의 각 불활성 가스 분출구로부터 분출되는 불활성 가스의 유량은 상기 중심 포트의 상기 2번째 불활성 가스 분출구로부터 분출되는 불활성 가스의 유량의 3.5~6.5배인 것이 좋다.
상기 각 포트는 1개 이상의 가연성 가스 분출구를 구비하고, 상기 중심 포트의 각 가연성 가스 분출구로부터 분출되는 가연성 가스의 유량은 상기 중심 포트의 상기 2번째 불활성 가스 분출구로부터 분출되는 불활성 가스의 유량의 2.4~2.6배이며, 상기 2차-화염 형성 포트의 각 가연성 가스 분출구로부터 분출되는 가연성 가스의 유량은 상기 중심 포트의 상기 2번째 불활성 가스 분출구로부터 분출되는 불활성 가스의 유량의 20~35배이고, 상기 3차-화염 형성 포트의 각 연료 가스 분출구로부터 분출되는 가연성 가스의 유량은 상기 중심 포트의 상기 2번째 불활성 가스 분출구로부터 분출되는 불활성 가스의 유량의 35~40배인 것이 바람직하다.
본 발명에 의하여, 동심 다중관 버너를 이용하여 글래스 수트를 제조할 때 원료 수율을 높일 수 있다.
도 1은 기체상 합성법에 의하여 글래스 수트를 제조하는 방법을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 글래스 수트 제조방법에서 이용되는 다중관 버너의 구조를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명에 따른 글래스 수트 제조방법에 따른 포집율 및 종래의 방법에서의 포집율을 비교하는 그래프이다.
이하에서, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다. 동일하거나 유사한 구성요소에 대해서는 동일 또는 유사한 참조부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략한다. 본 명세서에 개시된 실시예를 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 명세서에 개시된 실시예의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. 첨부된 도면은 본 명세서에 개시된 실시예를 쉽게 이해할 수 있도록 하기 위한 것일 뿐, 첨부된 도면에 의해 본 명세서에 개시된 기술적 사상이 제한되지 않는다.
“제1”, “제2” 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 이러한 용어들은 하나의 요소를 다른 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용되며 해당되는 요소들은 이러한 용어들에 의해 한정되지 않는다. 단수의 표현은, 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
본 명세서에서 사용된 "포함한다", "구비한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 단계, 요소 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 한정하려는 것으로 이해되어야 하며, 하나 이상의 다른 특징들이나 단계, 요소 또는 이들을 조합한 것들이 존재할 또는 부가될 가능성을 배제하려는 것은 아니다.
도 1은 기체상 합성법에 의하여 글래스 수트를 제조하는 방법을 개략적으로 도시한 도면이다.
동심 다중관 버너(100)는 복수개의 화염 형성 포트를 포함하고, 각 화염 형성 포트는 복수개의 분출구를 구비한다. 분출구로부터 분출되는 가연성 가스 및 연소 지지 가스가 서로 혼합됨으로써 화염(F)을 형성한다. 형성된 화염 중에서 유리 원료 가스가 가수분해되어 글래스 미립자가 형성되고, 이 글래스 미립자를 회전하는 출발재료(도시되지 않음)의 선단에 퇴적시켜 글래스 수트(GS)가 제조된다.
도 2는 본 발명에 따른 글래스 수트 제조방법에서 이용되는 다중관 버너의 일 예가 개략적으로 도시되어 있다.
도시된 실시예에서, 다중관 버너(100)는 3개의 화염 형성 포트(110, 120, 130)를 이루는 17개의 분출구를 포함한다. 도면에서, 각 분출구의 좌측에는 해당 분출구의 순번이 표시되어 있고, 우측에는 해당 분출구로부터 분출되는 가스의 종류가 기재되어 있다. 참조부호 S는 SiO 2와 같은 유리 원료 가스를 나타내고, 참조부호 H는 수소 등의 가연성 가스를 나타내며, 참조부호 O는 연소지지 가스로서 예를 들어 산소를 나타내고, 참조부호 A는 불활성 가스, 예를 들어 아르곤(Ar) 가스를 나타낸다. 각 참조부호에 붙은 숫자는 해당 가스의 안쪽으로부터의 순서를 나타낸다. 중심 포트의 불활성 가스 분출구로서 참조부호 A8으로 표시된 분출구는 순서에서 벗어나 있는데, 이에 대해서는 후술하는 본 발명에 따른 글래스 수트 제조방법의 실시예에서 설명한다.
다중관 버너의 각 포트에 대하여 설명하면 다음과 같다.
중심 포트(110)는 유리 원료 가스 및 1차-화염을 형성하기 위한 가스가 분출되는 5개의 분출구를 구비한다. 중심 포트(110)의 안쪽으로부터 순서대로, 유리원료 가스와 가연성 가스의 혼합 가스 분출구(S1+H1), 가연성 가스 분출구(H2), 첫 번째 불활성 가스 분출구(A1), 연소지지 가스 분출구(O1) 및 두번째 불활성 가스 분출구(A8)가 배치된다.
제2-화염 형성 포트(120)는 중심 포트(110)의 바깥쪽에 배치되고, 2차-화염을 형성하기 위한 가스 및 불활성 가스가 분출되는 4개의 분출구를 구비한다.
3차-화염 형성 포트(130)는 2차-화염 형성 포트(120)의 바깥쪽에 배치되고, 3차-화염을 형성하기 위한 가스 및 불활성 가스가 분출되는 8개의 분출구를 구비한다. 도시된 실시예에서, 3차-화염 형성 포트는 4개의 불활성 가스 분출구를 구비한다.
도 2에 도시된 17중관 다중관 버너를 이용한 2개의 제조장치 및 이의 비교예로서 16중관 다중관 버너를 이용하는 다른 2개의 제조장치에서 각각 글래스 수트를 제조한 경우의 Si 포집율이 도 3에 도시되어 있다. 그래프에서, 수평축은 Si 포집율을 나타내며, 수직축은 해당 포집율을 나타낸 글래스 수트 제품의 수를 나타낸다. 비교예에서 이용된 16중관 다중관 버너는, 도 2에 도시된 버너의 분출구 중에서 참조부호 A8로 표시된 중심 포트의 두 번째 불활성 가스 분출구가 생략된 버너이다. 장치 1 및 장치 2에서는 16중관 다중관 버너를 이용하여 글래스 수트를 제조하였으며, 장치 3 및 장치 4에서는 본 발명에 따른 17중관 다중관 버너를 이용하여 글래스 수트를 제조하였다. 또한, 동일한 제조장치에서의 비교를 위하여, 장치 4에서 16중관 다중관 버너를 이용하여 글래스 수트를 제조한 경우를 그래프에 나타내었다.
그래프에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 17중관 다중관 버너를 이용하여 글래스 수트를 제조하는 경우에 16중관 다중관 버너를 이용하여 글래스 수트를 제조하는 것에 비하여 Si 포집율이 높게 나타났다.
아래 표들에서는 장치 4에서 각 분출구의 유량 간의 관계를 정리하여 나타내었다.
표 1 내지 표 4는, 장치 4에서 이용된 17중관 버너의 각 가스 분출구에서 유량의 관계를 나타낸다. 각 분출구에서의 유량은 중심 포트(110)의 두 번째 불활성 가스 분출구의 유량(V)을 기준으로 표시하였다. 장치 4에서 16중관 버너를 이용한 경우는 Si 포집율이 47로 나타나 있다.
포트 S1 H1 H2
Si 포집률 3.5V 4.0V 2.2V 2.6V 2.1V 2.4V
47 1 1 1
52 1 1 1
54 1 1 1
1 1 1
55 1 1 1
1 1 1
56 1 1 1
1 1 1
1 1 1
1 1 1
1 1 1
1 1 1
58 1 1 1
표 1로부터, 중심 포트(110)에서 분출되는 유리 원료 가스의 유량은 2번째 불활성 가스 분출구(A8)로부터 분출되는 불활성 가스의 유량의 3.5배임을 알 수 있다. 이 유량으로부터 위아래로 0.25배 정도의 범위 내에서 유리 원료 가스가 공급되더라도 적당한 Si 포집율을 달성할 수 있는 것으로 파악되었다. 또한, 중심 포트(110)의 각 가연성 가스 분출구로부터 분출되는 가연성 가스의 유량은 중심 포트(110)의 2번째 불활성 가스 분출구로부터 분출되는 불활성 가스의 유량의 약 2.4~2.6배로 나타난다.
포트 A8 A4 A5 A6 A7
Si 포집률 V 3.5V 4.75V 5.0V 6.5V 3.0V 3.5V 3.0V 3.5V
47 - 1 1 1 1
52 1 1 1 1 1
54 1 1 1 1 1
1 1 1 1 1
55 1 1 1 1 1
1 1 1 1 1
56 1 1 1 1 1
1 1 1 1 1
1 1 1 1 1
1 1 1 1 1
1 1 1 1 1
1 1 1 1 1
58 1 1 1 1 1
표 2로부터, 3차-화염 형성 포트(130)의 각 불활성 가스 분출구(A4-A7)로부터 분출되는 불활성 가스의 유량은 중심 포트(110)의 2번째 불활성 가스 분출구로부터 분출되는 불활성 가스의 유량의 약 3.5~6.5배임을 알 수 있다.
포트 H3
Si 포집률 20.9V 21.0V 21.1V 21.2V 21.3V 34.6V
47 1
52 1
54 1
1
55 1
1
56 1
1
1
1
1
1
58 1
표 3으로부터, 2차-화염 형성 포트(120)의 가연성 가스 분출구로부터 분출되는 가연성 가스의 유량은 중심 포트(110)의 2번째 불활성 가스 분출구로부터 분출되는 불활성 가스의 유량의 약 20~35배임을 알 수 있다.
포트 H4 H5
Si 포집률 34.8V 35.0V 35.3V 36.1V 37.4V 37.8V 37.9V 37.9V 38.1V 39.0V 40.5V
47 1 1
52 1 1
54 1 1
1 1
55 1 1
1 1
56 1 1
1 1
1 1
1 1
1 1
1 1
58 1 1
표 4로부터, 3차-화염 형성 포트(130)의 가연성 가스 분출구로부터 분출되는 가연성 가스의 유량은 중심 포트(110)의 2번째 불활성 가스 분출구로부터 분출되는 불활성 가스의 유량의 약 35~40배임을 알 수 있다.
전술한 상세한 설명은 어떤 면에서도 제한적으로 해석되어서는 아니되며 예시적인 것으로 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 첨부된 청구항의 합리적 해석에 의해 결정되어야 하고, 본 발명의 등가적 범위 내에서의 모든 변경은 본 발명의 범위에 포함된다.

Claims (3)

  1. 다중관 버너를 이용하여 글래스 수트를 제조하는 방법으로서,
    상기 다중관 버너는, 유리 원료 가스 및 1차-화염을 형성하기 위한 가스가 분출되는 중심 포트, 상기 중심 포트의 바깥쪽에 배치되고, 2차-화염을 형성하기 위한 가스가 분출되는 제2-화염 형성 포트, 및 상기 2차-화염 형성 포트의 바깥쪽에 배치되고, 3차-화염을 형성하기 위한 가스가 분출되는 3차-화염 형성 포트를 포함하며,
    상기 중심 포트는 2개의 불활성 가스 분출구를 구비하고, 2번째 불활성 가스 분출구는 상기 중심 포트의 가장 바깥쪽에 배치되며,
    상기 중심 포트에서 분출되는 유리 원료 가스의 유량은 상기 중심 포트의 상기 2번째 불활성 가스 분출구로부터 분출되는 불활성 가스의 유량의 3.25~3.75배인
    다중관 버너를 이용하는 글래스 수트 제조방법.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 3차-화염 형성 포트는 2개 이상의 불활성 가스 분출구를 구비하고,
    상기 3차-화염 형성 포트의 각 불활성 가스 분출구로부터 분출되는 불활성 가스의 유량은 상기 중심 포트의 상기 2번째 불활성 가스 분출구로부터 분출되는 불활성 가스의 유량의 3.5~6.5배인 것
    을 특징으로 하는 다중관 버너를 이용하는 글래스 수트의 제조방법.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 각 포트는 1개 이상의 가연성 가스 분출구를 구비하고,
    상기 중심 포트의 각 가연성 가스 분출구로부터 분출되는 가연성 가스의 유량은 상기 중심 포트의 상기 2번째 불활성 가스 분출구로부터 분출되는 불활성 가스의 유량의 2.4~2.6배이며,
    상기 2차-화염 형성 포트의 각 가연성 가스 분출구로부터 분출되는 가연성 가스의 유량은 상기 중심 포트의 상기 2번째 불활성 가스 분출구로부터 분출되는 불활성 가스의 유량의 20~35배이고,
    상기 3차-화염 형성 포트의 각 연료 가스 분출구로부터 분출되는 가연성 가스의 유량은 상기 중심 포트의 상기 2번째 불활성 가스 분출구로부터 분출되는 불활성 가스의 유량의 35~40배인 것
    을 특징으로 하는 다중관 버너를 이용하는 글래스 수트의 제조방법.
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