WO2022038858A1 - ファイバレーザ装置 - Google Patents

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WO2022038858A1
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fiber
axis
bridge
angle
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PCT/JP2021/021048
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方俊 佐藤
大岳 福岡
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浜松ホトニクス株式会社
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Definitions

  • One aspect of this disclosure relates to a fiber laser device.
  • a fiber laser device As a fiber laser device, a device that generates an ultrashort pulse laser by causing a mode lock by using a non-linear effect of an optical fiber is known (see, for example, Patent Document 1).
  • the fiber laser device As described above, it is necessary to use an optical fiber having a certain length or longer in order to generate a sufficient non-linear effect. Therefore, the length of the resonator becomes long, and it is difficult to increase the frequency of the output light (high repetition). In addition, it is necessary to sufficiently increase the internal power density of the resonator in order to self-start the mode lock. However, when the optical fiber is short, the internal power for obtaining a sufficient nonlinear effect as compared with the case where the optical fiber is long is obtained. It becomes denser and requires higher excitation power. Further, the fiber laser device is required to output light having a good waveform.
  • One aspect of the present disclosure is to provide a fiber laser apparatus capable of outputting light having a good waveform and achieving high repetition rate and low excitation power.
  • the fiber laser apparatus includes a first optical fiber composed of a polarization-retaining fiber, a second optical fiber composed of a polarization-retaining fiber and connected to one end of the first optical fiber. It comprises a third optical fiber configured by a polarization retaining fiber and connected to the other end of the first optical fiber, the first optical fiber being staggered with at least one first portion and the first portion. It has at least two second parts, and the adjacent first and second parts are connected to each other so that the speed axis of the first part coincides with the slow axis of the second part at the connection point.
  • the length of the first part is equal to the total length of the second part, and the mode field diameter of the first optical fiber is larger than the mode field diameter of the second optical fiber and the mode field diameter of the third optical fiber. small.
  • the first optical fiber has at least one first portion and at least two second portions alternately arranged with the first portion.
  • the adjacent first portion and the second portion are connected to each other so that the speed axis of the first portion coincides with the slow axis of the second portion at the connection point.
  • Mode lock can be generated by passing light through such a first optical fiber.
  • the total length of the first portion is equal to the total length of the second portion. This makes it possible to compensate for the difference in propagation velocity between the component propagating along the fast axis and the component propagating along the slow axis.
  • the first optical fiber has at least one first portion and at least two second portions.
  • the first optical fiber can be shortened, and high repetition rate and low excitation power can be achieved.
  • this fiber laser apparatus it is possible to output light having a good waveform, and it is possible to achieve high repetition rate and low excitation power.
  • At least one of the second optical fiber and the third optical fiber may be connected to the first optical fiber by fusion splicing. In this case, the number of parts can be reduced and the manufacturing can be facilitated.
  • the second optical fiber has a first portion and a second portion, and in the first portion of the second optical fiber, the speed axis of the first portion of the second optical fiber is the first optical fiber at the connection point. It is connected to one end of the first optical fiber so as to coincide with the slow axis, and the second part of the second optical fiber is connected to the speed axis of the second part of the second optical fiber and the second optical fiber at the connection point. It may be connected to the first portion of the second optical fiber so that the angle between the first portion and the speed axis is an angle other than 0 degrees or 90 degrees.
  • the first optical fiber and the second optical fiber having different mode field diameters are aligned with each other's fast axis and slow axis (the angle between the fast axes is 90). (To be connected). As a result, the connection between the first optical fiber and the second optical fiber can be facilitated, and the yield can be improved.
  • the third optical fiber has a first portion and a second portion, and in the first portion of the third optical fiber, the speed axis of the first portion of the third optical fiber is the first optical fiber at the connection point. It is connected to the other end of the first optical fiber so as to coincide with the speed axis, and the second part of the third optical fiber is the speed axis and the third optical fiber of the second part of the third optical fiber at the connection point. It may be connected to the first portion of the third optical fiber so that the angle between the first portion and the speed axis of the third optical fiber is an angle other than 0 degrees or 90 degrees. In this case, the connection between the first optical fiber and the third optical fiber can be facilitated, and the yield can be further improved.
  • the length of the first portion of the second optical fiber may be equal to the length of the first portion of the third optical fiber.
  • the difference in propagation speed between the component propagating along the fast axis and the component propagating along the slow axis is compensated. can do.
  • the second optical fiber has a first portion, and the first portion of the second optical fiber has a speed axis of the first portion of the second optical fiber at the connection point so as to coincide with the slow axis of the first optical fiber.
  • the third optical fiber is connected to one end of the first optical fiber, the third optical fiber has the first part, and the first part of the third optical fiber is the speed axis of the first part of the third optical fiber at the connection point. Is connected to the other end of the first optical fiber so that May be equal to. In this case, the connection between the first optical fiber and the second optical fiber and the connection between the first optical fiber and the third optical fiber can be facilitated. Further, for the first part of the second optical fiber and the first part of the third optical fiber, the difference in propagation speed between the component propagating along the fast axis and the component propagating along the slow axis is compensated. be able to.
  • the fiber laser apparatus comprises a polarization holding fiber, further comprising a first bridge fiber connected between the first optical fiber and the second optical fiber, and a mode of the first bridge fiber.
  • the field diameter may be larger than the mode field diameter of the first optical fiber and smaller than the mode field diameter of the second optical fiber.
  • the fiber laser apparatus comprises a polarization holding fiber, further includes a second bridge fiber connected between the first optical fiber and the third optical fiber, and a mode of the second bridge fiber.
  • the field diameter may be larger than the mode field diameter of the first optical fiber and smaller than the mode field diameter of the third optical fiber. In this case, the loss at the connection point can be further reduced.
  • the first optical fiber has an even number of first and second portions in total, and the angle between the speed axis of the first bridge fiber and the speed axis of the first optical fiber at the connection point and the first at the connection point.
  • the difference between the angle between the speed axis of the two-bridge fiber and the speed axis of the first optical fiber may be 90 degrees.
  • the first optical fiber has an odd number of first and second parts in total, and the angle between the speed axis of the first bridge fiber and the speed axis of the first optical fiber at the connection point and the first at the connection point.
  • the difference between the speed axis of the two-bridge fiber and the speed axis of the first optical fiber may be 0 degrees. In this case, for the first bridge fiber and the second bridge fiber, it is possible to compensate for the difference in propagation speed between the component propagating along the fast axis and the component propagating along the slow axis.
  • the difference may be 0 degrees.
  • the length of the first bridge fiber may be equal to the length of the second bridge fiber. In this case, for the first bridge fiber and the second bridge fiber, it is possible to compensate for the difference in propagation speed between the component propagating along the fast axis and the component propagating along the slow axis.
  • the fiber laser apparatus further includes a light source that outputs excitation light and an optical fiber that absorbs excitation light and emits laser light, and the laser light is a first optical fiber and a second optical fiber. It may be guided by an optical fiber and a third optical fiber. In this case, it is possible to output light having a good waveform, and it is possible to achieve high repetition rate and low excitation power.
  • a fiber laser device capable of outputting light having a good waveform and achieving high repetition rate and low excitation power.
  • FIG. 7 is a block diagram of the fiber laser apparatus of the comparative example. It is a graph which shows the spectral waveform acquired by the structure of FIG. (A) and (b) are graphs showing the frequency spectrum acquired by the configuration of FIG. It is a block diagram of the fiber laser apparatus of the 2nd modification. It is a graph which shows the spectral waveform acquired by the structure of FIG. It is a graph which shows the pulse waveform and the instantaneous wavelength acquired by the structure of FIG. It is a figure which shows the angle region where the mode lock occurred in the configuration of FIG. It is a block diagram of the fiber laser apparatus of the 3rd modification. It is a graph which shows the spectral waveform acquired by the structure of FIG. (A) and (b) are graphs showing the frequency spectrum acquired by the configuration of FIG.
  • the fiber laser apparatus 1 includes a light source 11, a WDM (Wavelength Division Multiplexing) coupler 12, a doped fiber 13, an isolator 14, a mode lock unit 15, and a polarization. It includes a controller 16, a polarizing element 17, an output coupler 18, and an ASE (Amplified Spontaneous Emission) filter 19. Further, the fiber laser apparatus 1 further includes a plurality of optical fibers 21 to 28 for connecting those elements to each other.
  • the mode lock unit 15 includes a first optical fiber 30, a second optical fiber 40, and a third optical fiber 50.
  • Each of the dope fiber 13, the optical fibers 21 to 28, the first optical fiber 30, the second optical fiber 40, and the third optical fiber 50 is composed of a polarization maintaining (PM) fiber.
  • the polarization holding fiber is an optical fiber in which the polarization plane holding characteristic of the transmitted light is enhanced by making the refractive index different between the fast axis and the slow axis orthogonal to each other.
  • each of the doped fiber 13, the optical fibers 21 to 28, the first optical fiber 30, the second optical fiber 40, and the third optical fiber 50 is made of a stress-applied polarization-retaining fiber using a photoelastic effect.
  • it may be configured by a structural type polarization-retaining fiber having a core shape that is non-axially symmetric.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view of the first optical fiber 30.
  • the first optical fiber 30 has a fast axis X1 and a slow axis X2 orthogonal to each other.
  • the first optical fiber 30 includes a core 30a, a clad 30b, and a pair of stress applying materials 30c.
  • the core 30a is located at the center of 31 of the first optical fiber.
  • the refractive index of the core 30a is higher than that of the clad 30b.
  • the clad 30b surrounds the core 30a.
  • the pair of stress applying materials 30c are arranged in the clad 30b so as to be located on both sides of the core 30a on the slow axis X2.
  • the core 30a has birefringence by applying a tensile stress to the core 30a by utilizing the fact that the heat shrinkage of the stress applying material 30c is larger than the heat shrinkage of the clad 30b. I'm letting you.
  • the component propagating along the fast axis X1 propagates faster than the component propagating along the slow axis X2.
  • the doped fiber 13, the optical fibers 21 to 28, the second optical fiber 40, and the third optical fiber 50 also have the same cross-sectional structure as the first optical fiber 30.
  • the light source 11 outputs the excitation light L1.
  • the light source 11 is, for example, a laser diode that outputs a laser beam having a wavelength of 979 nm.
  • the WDM coupler 12 reflects the excitation light L1 input from the light source 11 via the optical fiber 21 and outputs it to the optical fiber 22, and also transmits the signal light L2 input via the optical fiber 28 to the optical fiber. Output to 22.
  • the doped fiber 13 absorbs the excitation light L1 input via the optical fiber 22 and emits the laser light (signal light L2).
  • the signal light L2 emitted from the doped fiber 13 is input to the isolator 14 via the optical fiber 23.
  • the doped fiber 13 is, for example, an erbium-added fiber (EDF: Erbium-Doped Fiber) in which erbium (Er) is added to the core, and emits laser light having a wavelength in the 1.5 ⁇ m band.
  • EDF Erbium-Doped Fiber
  • the dope fiber 13 may be a ytterbium-added fiber to which ytterbium (Yb) is added to the core. In this case, the doped fiber 13 emits a laser beam having a wavelength in the 1.0 ⁇ m band.
  • the isolator 14 propagates light in the forward direction from the doped fiber 13 toward the mode lock portion 15, but does not propagate light in the direction opposite to the forward direction.
  • the mode lock unit 15 has a second optical fiber 40, a first optical fiber 30, and a third optical fiber 50 in this order from the upstream side in the light propagation direction, and guides the signal light L2 by these optical fibers. .. The details of the mode lock unit 15 will be described later.
  • the polarization controller 16 has a mechanism for adjusting the polarization state of the signal light L2 output from the mode lock unit 15.
  • the polarization controller 16 is configured to include, for example, a rotatably held ⁇ / 4 wave plate 16a and a ⁇ / 2 wave plate 16b.
  • the signal light L2 output from the polarization controller 16 is input to the polarizing element 17 via the optical fiber 24.
  • the splitter 17 transmits the component propagating along the slow axis of the signal light L2 propagating in the optical fiber 24, while reflecting the component propagating along the fast axis.
  • the output coupler 18 divides the signal light L2 input from the polarizing element 17 via the optical fiber 25 at a predetermined ratio, outputs a part of the signal light L2 to the optical fiber 26, and outputs the rest to the optical fiber 27. do. For example, the output coupler 18 outputs 25% of the signal light L2 to the optical fiber 26 and outputs the remaining 75% to the optical fiber 27.
  • the signal light L2 output to the optical fiber 26 is, for example, output to the outside as output light.
  • the output coupler 18 may be provided with an isolator so as not to return the return light from the outside that has entered through the optical fiber 26 into the resonator. In this case, it is possible to prevent the oscillation in the resonator from becoming unstable due to the return light.
  • the ASE filter 19 transmits only a component in a predetermined wavelength range of the signal light L2 propagating in the optical fiber 27 and outputs the signal light to the optical fiber 28.
  • the ASE filter 19 transmits only light having a wavelength of 1545 nm or more. This makes it possible to suppress oscillation in the wavelength region near 1530 nm.
  • the fiber laser apparatus 1 includes a fully polarized wave holding fiber resonator (oscillator) which is a ring-shaped resonator composed of a polarization holding fiber.
  • a fully polarized wave holding fiber resonator oscillator
  • the mode lock unit 15 by causing the mode lock in the mode lock unit 15, for example, an ultrashort pulse laser having a pulse width of 50 femtoseconds to 10 picoseconds is output.
  • the mode lock unit 15 includes a first optical fiber 30, a second optical fiber 40 connected to one end of the first optical fiber 30, and the other end of the first optical fiber 30. It has a third optical fiber 50 connected to the.
  • the mode lock unit 15 shown in FIG. 1 and the mode lock unit 15 shown in FIG. 3 have slightly different configurations.
  • the first optical fiber 30 has a first portion 31 and two second portions 32.
  • Each of the first portion 31 and the two second portions 32 is composed of a polarization-retaining fiber.
  • the first portion 31 and the two second portions 32 are staggered.
  • the two second portions 32 are connected to both ends of the first portion 31, respectively.
  • Each second portion 32 is connected to the first portion 31 so that the speed axis 32X1 of the second portion 32 coincides with the slow axis 31X2 of the first portion 31 at the connection point C1.
  • the angle between the speed axis 32X1 of the second part 32 and the speed axis 31X1 of the first part 31 at the connection point C1 between each second part 32 and the first part 31 is 90 degrees.
  • Each second portion 32 is directly connected to the first portion 31, for example by fusion. Although it is drawn as if there is a gap between the fibers in FIG. 3, the fibers are actually connected to each other without a gap.
  • the fast axis coincides with the slow axis (or the fast axis) means that the fast axis coincides with the slow axis (along the slow axis) when viewed from the light propagation direction (the extending direction of the fiber). Meaning.
  • the total length L31 of the first part 31 is equal to the total length L32 of the second part 32.
  • the total lengths L31 and L32 are lengths along the extending direction (light propagation direction) of the first optical fiber 30.
  • the total length L32 of the second portion 32 is the sum of the lengths L32a of each second portion 32.
  • the total length L31 of the first portion 31 is equal to the total length L32 of the second portion 32" includes the case where there is an acceptable slight error between the total length L31 and the total length L32.
  • the amount of error that can be tolerated is set, for example, depending on whether or not a mode lock occurs.
  • the permissible error is, for example, a beat length (about 2 mm) or less.
  • the beat length is an index of the magnitude of birefringence, and is a distance at which the phase difference between the light propagating on the fast axis and the light propagating on the slow axis is 2 ⁇ .
  • the acceptable error is 5 mm or less.
  • This point includes the length L41 of the first portion 41 of the second optical fiber 40 and the length L51 of the first portion 51 of the third optical fiber 50, and the length L60 and the second of the first bridge fiber 60, which will be described later. The same applies to the length L70 of the bridge fiber 70.
  • the second optical fiber 40 has a first portion 41 and a second portion 42.
  • the first portion 41 is connected to the second portion 32 of the first optical fiber 30 so that the speed axis 41X1 of the first portion 41 coincides with the slow axis 32X2 of the second portion 32 at the connection point C2.
  • the angle between the speed axis 41X1 of the first part 41 and the speed axis 32X1 of the second part 32 at the connection point C2 between the first part 41 and the second part 32 is 90 degrees.
  • the first portion 41 is directly connected to the second portion 32, for example by fusion.
  • the second portion 42 is the first portion so that the angle between the speed axis 42X1 of the second part 42 and the speed axis 41X1 of the first part 41 at the connection point C3 is an angle ⁇ 1 other than 0 degrees or 90 degrees. It is connected to one end of 41. That is, the angle ⁇ 1 is neither 0 degrees nor 90 degrees. The angle ⁇ 1 is an angle other than 45 degrees. The angle ⁇ 1 can be set, for example, experimentally so that mode lock occurs, as will be described later. The angle ⁇ 1 is an angle when viewed from the light propagation direction (the extending direction of the first optical fiber 30 and the second optical fiber 40). This point is the same for the angle ⁇ 2 described later.
  • the second portion 42 is directly connected to the first portion 41, for example by fusion. The other end of the second portion 42 is connected to the isolator 14 described above.
  • the third optical fiber 50 has a first portion 51 and a second portion 52.
  • the first portion 51 is connected to the second portion 32 of the first optical fiber 30 so that the speed axis 51X1 of the first portion 51 coincides with the speed shaft 32X1 of the second portion 32 at the connection point C4.
  • the angle between the speed axis 51X1 of the first portion 51 and the speed axis 32X1 of the second portion 32 at the connection point C4 between the first portion 51 and the second portion 32 is 0 degrees.
  • the angle between the speed axis 51X1 of the first portion 51 and the speed axis 32X1 of the second portion 32 at the connection point C4 is the speed axis 41X1 and the second part of the first part 41 of the second optical fiber 40 at the connection point C2. It differs by 90 degrees from the angle between the 32 speed axes 32X1.
  • the first portion 51 is directly connected to the second portion 32, for example by fusion.
  • the second portion 52 is the first portion so that the angle between the speed axis 52X1 of the second part 52 and the speed axis 51X1 of the first part 51 at the connection point C5 is an angle ⁇ 2 other than 0 degrees or 90 degrees. It is connected to one end of 51. That is, the angle ⁇ 2 is neither 0 degrees nor 90 degrees. The angle ⁇ 2 is an angle other than 45 degrees, for example, an angle obtained by adding 90 degrees to the angle ⁇ 1.
  • One end of the second portion 52 is directly connected to the first portion 51, for example by fusion.
  • the other end of the second portion 52 is connected to the above-mentioned polarizing element 17.
  • the length L41 of the first portion 41 of the second optical fiber 40 is equal to the length L51 of the first portion 51 of the third optical fiber 50.
  • the lengths L41 and L51 are lengths along the extending direction (light propagation direction) of the second optical fiber 40 and the third optical fiber 50.
  • the third optical fiber 50 has only the first portion 51.
  • One end of the first portion 51 is connected to the second portion 32, and the other end of the first portion 51 is connected to the polarization controller 16 described above.
  • the angle between the speed axis 51X1 of the first portion 51 and the speed axis 52X1 of the second portion 52 at the connection portion C5 is an angle ⁇ 2, so that the polarization state of light is changed. It will be adjusted.
  • the polarization state of light is adjusted by the polarization controller 16 provided with a rotatable wave plate, similarly to the mode lock unit 15 shown in FIG. In this way, the second portion 52 of the third optical fiber 50 may be replaced with an adjustment mechanism using a wave plate.
  • the mode field diameter (MFD) of the first optical fiber 30 is smaller than each of the MFD of the second optical fiber 40 and the MFD of the third optical fiber 50.
  • the mode field diameter is an index indicating the degree to which light propagating in the optical fiber leaks from the core to the cladding.
  • the mode field diameter can be measured by incidenting light on one end of the fiber and acquiring an image of the light emitted from the other end.
  • the MFD of the first optical fiber 30 is, for example, 2 ⁇ m to 4 ⁇ m.
  • the MFD of the second optical fiber 40 and the third optical fiber 50 is, for example, 4 ⁇ m to 10 ⁇ m.
  • the MFD is uniform throughout the first optical fiber 30. This point is the same for the second optical fiber 40 and the third optical fiber 50.
  • the first optical fiber 30 is composed of a highly non-linear fiber having a higher non-linear effect than the polarization holding fiber constituting the second optical fiber 40 and the third optical fiber 50.
  • the core diameter of the first optical fiber 30 may be smaller than or larger than the core diameter of the second optical fiber 40 and the core diameter of the third optical fiber 50, respectively.
  • the core diameter of the first optical fiber 30 is the diameter D of the core 30a of the polarization-retaining fiber constituting the first optical fiber 30.
  • the core diameter of the second optical fiber 40 and the third optical fiber 50 is the diameter D of the core 30a of the polarization holding fiber constituting them.
  • the first optical fiber 30 has a first portion 31 and two second portions 32 arranged alternately with the first portion 31.
  • the adjacent first portion 31 and second portion 32 are connected to each other so that the speed axis 31X1 of the first portion 31 coincides with the slow axis 32X2 of the second portion 32 at the connection point C1.
  • Mode lock can be generated by passing light through such a first optical fiber 30 and providing a necessary optical element (for example, a splitter 17) in a subsequent stage.
  • the angle between the speed axis 42X1 of the second portion 42 of the second optical fiber 40 and the speed axis 41X1 of the first portion 41 of the second optical fiber 40 at the connection point C3 is an angle other than 0 degrees or 90 degrees. It is ⁇ 1.
  • the light propagating in the second portion 42 propagates along the speed axis 41X1 of the first portion 41 and along the slow axis 41X2 of the first portion 41 when incident on the first portion 41. It is divided into propagating components. Since the angle ⁇ 1 is set to an angle other than 45 degrees, the intensity of the component propagating along the fast axis 41X1 and the intensity of the component propagating along the slow axis 41X2 are different from each other.
  • the light output from the first portion 41 is guided by the first optical fiber 30 and the first portion 51 of the third optical fiber 50, and reaches the second portion 52 of the third optical fiber 50.
  • the component propagating along the fast axis and the component propagating along the slow axis are subjected to different magnitudes of non-linear effects as in the case of propagating in the first portion 41.
  • the angle between the speed axis 51X1 of the first portion 51 and the speed axis 52X1 of the second portion 52 at the connection point C5 is an angle ⁇ 2 other than 0 degrees or 90 degrees.
  • the polarization state of light is similarly adjusted by the polarization controller 16.
  • the components propagating on each axis are combined with each other, and a phase difference is generated due to the difference in the non-linear effect. Since the phase difference differs depending on the intensity, mode lock can be generated by increasing the transmittance of high-intensity light and decreasing the transmittance of low-intensity light.
  • the total length L31 of the first portion 31 is equal to the total length L32 of the second portion 32. That is, the lengths of the first portion 31 and the second portion 32 are set so that the distance propagating along the fast axis and the length propagating along the slow axis are equal. This makes it possible to compensate for the difference in propagation velocity between the component propagating along the fast axis and the component propagating along the slow axis.
  • the first optical fiber 30 has a first portion 31 and two second portions 32.
  • the waveform of the output light is due to the interaction between the component propagating along the fast axis and the component propagating along the slow axis. Can be suppressed from being disturbed. As a result, it is possible to output light having a good waveform.
  • the first optical fiber 30 consists of only two fiber elements connected so that the angle between the speed axes of each other is 90 degrees, mode lock can occur.
  • the waveform of the output light is disturbed due to the interaction between the posterior portion of the component that propagates earlier in the fiber element and the front portion of the component that propagates later in the fiber element (mutual phase modulation). It may end up.
  • the first optical fiber 30 has a first portion 31 and two second portions 32. As a result, the distance at which the difference in propagation speed occurs can be shortened, and the disturbance of the waveform due to the difference in propagation speed can be suppressed.
  • the time difference generated in the second portion 32 on the upstream side is compensated by the front portion of the first portion 31, and the time difference generated in the rear portion of the first portion 31 is compensated by the second portion 32 on the downstream side.
  • the second portion 32 on the downstream side it is possible to suppress the waveform of the output light from being disturbed, and it is possible to output light having a good waveform (cross-splashing method).
  • the MFD of the first optical fiber 30 is smaller than each of the MFD of the second optical fiber 40 and the MFD of the third optical fiber 50, and the non-linear effect of the first optical fiber 30 is exhibited. It has been enhanced. As a result, the first optical fiber 30 can be shortened, and high repetition rate can be achieved. In addition, the excitation power required to self-initiate the mode lock can be reduced. From the above, according to the fiber laser apparatus 1, it is possible to output light having a good waveform, and it is possible to achieve high repetition rate and low excitation power.
  • the semiconductor saturable absorption mirror is easily damaged by light and the life of the fiber laser may vary widely, which may cause a problem. Since the device 1 does not use the semiconductor saturable absorption mirror, such a situation can be avoided.
  • the second optical fiber 40 and the third optical fiber 50 are connected to the first optical fiber 30 by fusion splicing.
  • the number of parts can be reduced and the manufacturing can be facilitated as compared with the case of coupling using an optical element (lens or the like) in space.
  • an optical element lens or the like
  • a loss is likely to occur at the connection point due to the difference in MFD and the difference in susceptibility to deformation during heating. Such a loss can lead to instability such as noise and distortion in the light circulating in the resonator.
  • the second optical fiber 40 and the third optical fiber 50 are connected to the first optical fiber 30 by fusion splicing to reduce the number of parts and facilitate manufacturing. I'm trying.
  • the first optical fiber 40 has the first optical fiber 40 so that the speed axis 41X1 of the first portion 41 coincides with the slow axis 32X2 of the second portion 32 at the connection point C2. It is connected to the second portion 32 of the fiber 30, and the second portion 42 of the second optical fiber 40 is located between the speed shaft 42X1 of the second portion 42 and the speed shaft 41X1 of the first portion 41 at the connection point C3. It is connected to the first portion 41 so that the angle ⁇ 1 is an angle other than 0 degrees or 90 degrees. It is difficult to connect polarization-retaining fibers having different MFDs so that the angle between the speed axes of each fiber is other than 0 degrees or 90 degrees, and the yield may decrease.
  • the first optical fiber 30 and the second optical fiber 40 having different MFDs are aligned with each other's fast axes and slow axes (angles between the fast axes of each other). Is connected (so that it is 90 degrees).
  • the connection between the first optical fiber 30 and the second optical fiber 40 can be facilitated, and the yield can be improved.
  • the effect of improving the yield becomes particularly remarkable when the first optical fiber 30 and the second optical fiber 40 are connected by fusion as in the present embodiment.
  • the polarization holding fibers having the same MFD are connected to each other like the connection points C3 and C5
  • the success probability is high even if the angle between the speed axes is an angle other than 0 degrees or 90 degrees.
  • the yield is almost 100%.
  • the first portion 51 of the third optical fiber 50 is connected to the second portion 32 of the first optical fiber 30 so that the speed axis 51X1 of the first portion 51 coincides with the speed shaft 32X1 of the second portion 32 at the connection point C4.
  • the second portion 52 of the third optical fiber 50 is connected, and the angle ⁇ 2 between the speed shaft 52X1 of the second portion 52 and the speed shaft 51X1 of the first portion 51 at the connection point C5 is 0 degrees or 90 degrees. It is connected to the first portion 51 so as to have an angle other than the above.
  • the connection between the first optical fiber 30 and the third optical fiber 50 can be facilitated, and the yield can be further improved.
  • the effect of improving the yield becomes particularly remarkable when the first optical fiber 30 and the third optical fiber 50 are connected by fusion as in the present embodiment.
  • the length L41 of the first portion 41 of the second optical fiber 40 is equal to the length L51 of the first portion 51 of the third optical fiber 50. This makes it possible to compensate for the difference in propagation speed between the component propagating along the fast axis and the component propagating along the slow axis for the first portion 41 and the first portion 51.
  • Mode lock oscillation was performed by the fiber laser apparatus 1 shown in FIG.
  • the fiber laser device 1 was configured so that a laser beam having a wavelength in the 1.5 ⁇ m band was output.
  • the MFD of the first optical fiber 30 was set to about 4.9 ⁇ m.
  • the length of the first optical fiber 30 was set to about 2 m.
  • the MFD of the second optical fiber 40 and the third optical fiber 50 was set to about 10.1 ⁇ m.
  • the dispersion value of the entire resonator was ⁇ 0.014 ps 2 .
  • the excitation power (output power of the light source 11) at the time of self-start of the mode lock was about 105 mW.
  • FIG. 4 is a graph showing a pulse waveform and an instantaneous wavelength.
  • FIG. 5 is a graph showing a spectral waveform and a phase. As shown in FIG. 4, an ultrashort pulse wave having a good waveform was output. The pulse width was 127 fs. As shown in FIG. 5, the spectral width was 32 nm, and a sufficient spectral width was obtained. Since the phase is low in the wavelength region where the peaks of the spectrum are formed, it can be seen that the pulse width is well compressed.
  • FROG Frequency-Resolved Optical Gating
  • the frequency spectrum of the output light was measured using a high frequency spectrum analyzer.
  • 6 (a) and 6 (b) are graphs showing frequency spectra.
  • the scale interval on the horizontal axis is 100 kHz
  • the scale interval on the horizontal axis is 100 MHz.
  • the vertical axis spacing is 10 dB.
  • 6 (a) and 6 (b) are graphs showing frequency spectra.
  • the repetition frequency of the output light was 40.6 MHz.
  • the S / N ratio of the frequency spectrum of the output light was 70 dB or more.
  • the peak heights were uniform even when the band was expanded to 1 GHz, and sufficient frequency stability was obtained.
  • the mode lock unit 15 further includes a first bridge fiber 60 and a second bridge fiber 70.
  • the first bridge fiber 60 is composed of a polarization-retaining fiber and is connected between the second portion 32 of the first optical fiber 30 and the first portion 41 of the second optical fiber 40.
  • One end of the first bridge fiber 60 is connected to the second portion 32 so that the speed axis 60X1 of the first bridge fiber 60 coincides with the slow axis 32X2 of the second portion 32 at the connection point C6.
  • the other end of the first bridge fiber 60 is connected to the first portion 41 so that the speed shaft 60X1 of the first bridge fiber 60 coincides with the speed shaft 41X1 of the first portion 41 at the connection point C7.
  • the first bridge fiber 60 is directly connected to the second portion 32 and the first portion 41, for example by fusion.
  • the second bridge fiber 70 is composed of a polarization-retaining fiber and is connected between the second portion 32 of the first optical fiber 30 and the first portion 51 of the third optical fiber 50.
  • One end of the second bridge fiber 70 is connected to the second portion 32 so that the speed axis 70X1 of the second bridge fiber 70 coincides with the speed axis 32X1 of the second portion 32 at the connection point C8.
  • the other end of the second bridge fiber 70 is connected to the first portion 51 so that the speed shaft 70X1 of the second bridge fiber 70 coincides with the speed shaft 51X1 of the first portion 51 at the connection point C9.
  • the second bridge fiber 70 is directly connected to the second portion 32 and the first portion 51, for example by fusion.
  • the length L60 of the first bridge fiber 60 is equal to the length L70 of the second bridge fiber 70.
  • the lengths L60 and L70 are lengths along the extending direction (light propagation direction) of the first bridge fiber 60 and the second bridge fiber 70.
  • the MFD of the first bridge fiber 60 is larger than the MFD of the first optical fiber 30 and smaller than the MFD of the second optical fiber 40.
  • the MFD of the second bridge fiber 70 is larger than the MFD of the first optical fiber 30 and smaller than the MFD of the third optical fiber 50.
  • the MFD of the first bridge fiber 60 is equal to, for example, the MFD of the second bridge fiber 70.
  • the MFD of the first bridge fiber 60 and the second bridge fiber 70 is, for example, 4 ⁇ m to 5 ⁇ m.
  • the polarization controller 90 is provided between the isolator 14 and the mode lock unit 15.
  • the polarization controller 90 has a mechanism for adjusting the polarization state of the signal light L2 input to the mode lock unit 15.
  • the polarization controller 90 is configured to include, for example, a rotatably held ⁇ / 4 wave plate 90a and a ⁇ / 2 wave plate 90b.
  • the polarization controller 16 and the polarizing element 17 are integrally configured as one element.
  • the polarization controller 16 includes only the ⁇ / 2 wave plate 16b.
  • the first bridge fiber 60 having an MFD larger than the MFD of the first optical fiber 30 and smaller than the MFD of the second optical fiber 40 is the first optical fiber 30 and the second optical fiber 40. Is connected to. Thereby, the loss at the connection point between the first optical fiber 30 and the second optical fiber 40 can be reduced.
  • a second bridge fiber 70 having an MFD larger than the MFD of the first optical fiber 30 and smaller than the MFD of the third optical fiber 50 is connected between the first optical fiber 30 and the third optical fiber 50. .. This makes it possible to further reduce the loss at the connection point.
  • the first bridge fiber 60 is connected to the second portion 32 of the first optical fiber 30 so that the speed axis 60X1 of the first bridge fiber 60 coincides with the slow axis 32X2 of the second portion 32 at the connection point C6.
  • the second bridge fiber 70 is connected to the second portion 32 so that the speed axis 70X1 of the second bridge fiber 70 coincides with the speed shaft 32X1 of the second portion 32 at the connection point C8.
  • the length L60 of the first bridge fiber 60 is equal to the length L70 of the second bridge fiber 70. This makes it possible to compensate for the difference in propagation speed between the component propagating along the fast axis and the component propagating along the slow axis for the first bridge fiber 60 and the second bridge fiber 70.
  • the first modification may be configured as shown in FIG.
  • the speed axis 60X1 of the first bridge fiber 60 coincides with the speed axis 32X1 of the second portion 32 at the connection point C6, and the speed axis 60X1 of the first bridge fiber 60 coincides with the speed axis 32X1 of the first portion 41 at the connection point C7. It corresponds to the axis 41X2.
  • the speed axis 70X1 of the second bridge fiber 70 coincides with the slow axis 32X2 of the second portion 32, and at the connection point C9, the speed axis 70X1 of the second bridge fiber 70 coincides with the slow axis 51X2 of the first part 51. I am doing it.
  • the first optical fiber 30 has an odd number of first portions 31 and second portions 32 in total as shown in FIG. 9 (for example, when it has one first portion 31 and two second portions 32).
  • the difference from the angle to 32X1 is 90 degrees, then for the first bridge fiber 60 and the second bridge fiber 70, the component propagating along the fast axis and the component propagating along the slow axis
  • the difference in propagation velocity between them can be compensated.
  • the difference between the angles of the portion 51 with the speed axis 51X1 is 0 degrees, then for the first portion 41 and the first portion 51, a component propagating along the speed axis and a component propagating along the slow axis.
  • the first optical fiber 30 has an even number of the first portion 31 and the second portion 32 in total (for example, when the first optical fiber 30 has two first portions 31 and two second portions 32).
  • Mode lock oscillation was performed by the fiber laser device 1A shown in FIG. 7.
  • the fiber laser device 1A was configured so that a laser beam having a wavelength in the 1.5 ⁇ m band was output.
  • the MFD of the first optical fiber 30 was set to about 4 ⁇ m.
  • the length of the first optical fiber 30 was set to about 1.5 m.
  • the MFD of the second optical fiber 40 and the third optical fiber 50 was set to about 10.1 ⁇ m.
  • the dispersion value of the entire resonator was ⁇ 0.081 ps 2 .
  • the loss at the connection point was 0.8 dB.
  • the first bridge fiber 60 was connected between the first optical fiber 30 and the second optical fiber 40, the loss was 0.4 dB. From this, it can be seen that the loss at the connection point can be reduced by providing the first bridge fiber 60.
  • FIG. 10 is a graph showing a spectral shape
  • FIGS. 11 (a) and 11 (b) are graphs showing a frequency spectrum.
  • the scale interval on the horizontal axis is 200 kHz
  • the scale interval on the horizontal axis is 100 MHz.
  • the vertical axis spacing is 10 dB.
  • the spectral width was 6.9 nm, and a sufficient spectral width was obtained.
  • the repetition frequency of the output light was 36.1 MHz.
  • the S / N ratio of the frequency spectrum of the output light was 70 dB or more.
  • the peak heights were uniform even when the band was expanded to 1 GHz, and sufficient frequency stability was obtained. [Comparison example]
  • the mode lock unit 115 is composed of three fiber elements 115a composed of polarization-holding fibers having the same MFD.
  • a polarization controller 116 is connected to one end of the mode lock unit 115, and a polarization controller 117 is connected to the other end of the mode lock unit 115.
  • the fiber laser device 100 of such a comparative example is configured so that laser light having a wavelength in the 1.5 ⁇ m band is output at a repeating frequency of about 40 MHz.
  • the MFD of the fiber element 115a was set to about 10.1 ⁇ m.
  • the total length of the mode lock portion 115 was set to about 2 m.
  • the dispersion value of the entire resonator was ⁇ 0.110 ps 2 .
  • FIG. 13 is a graph showing a spectral shape
  • FIGS. 14 (a) and 14 (b) are graphs showing a frequency spectrum.
  • the scale interval on the horizontal axis is 200 kHz
  • the scale interval on the horizontal axis is 100 MHz.
  • the vertical axis spacing is 10 dB.
  • the spectral width was 5.8 nm.
  • the repetition frequency of the output light was 40.9 MHz.
  • the S / N ratio of the frequency spectrum of the output light was 70 dB or more.
  • the peak heights were uniform even when the band was expanded to 1 GHz, and sufficient frequency stability was obtained.
  • the excitation power at the time of self-start of the mode lock was about 105 mW.
  • the excitation power at the time of self-start of the mode lock was about 225 mW.
  • the fiber laser device 1 shown in FIG. 1 is the fiber laser device 100 of the comparative example shown in FIG. It was possible to oscillate an ultrashort pulse laser with about half the excitation power.
  • a polarization controller 90 is provided between the isolator 14 and the mode lock unit 15 as in the first modification.
  • the polarization controller 16 and the polarizing element 17 are integrally configured as one element.
  • the second optical fiber 40 has only the first portion 41. One end of the first portion 41 is connected to the second portion 32 of the first optical fiber 30, and the other end of the first portion 41 is connected to the polarization controller 90. Even with such a second modification, it is possible to output light having a good waveform, and to achieve high repetition rate and low excitation power, as in the above embodiment. [Mode lock condition]
  • the polarization controller 90 is used to adjust the polarization state of the light input to the second optical fiber 40 (hereinafter, also referred to as “inlet side fiber”) located on the most upstream side, and the polarization controller 16 is used to obtain the most. While adjusting the polarization state of light at the output end of the third optical fiber 50 (hereinafter, also referred to as “outlet side fiber”) located on the downstream side, the angular region where mode lock occurs was confirmed. It should be noted that the excitation power is increased and confirmed in order to make the angle region easy to understand, and the angle may shift during actual operation.
  • FIG. 16 is a graph showing a spectral shape
  • FIG. 17 is a graph showing a pulse waveform and an instantaneous wavelength. 16 and 17 show the results when the rotation angle of the inlet fiber (the angle between the fast axis and the slow axis) is 12 degrees (192 degrees) and the rotation angle of the outlet fiber is 100 degrees. Has been done.
  • the spectral width was 50 nm.
  • the pulse width was 635 fs.
  • the scale interval on the horizontal axis is 200 fs.
  • FIG. 18 is a diagram showing an angular region where mode lock occurs.
  • the scale interval on the vertical axis is 10 degrees
  • the scale interval on the horizontal axis is 2 degrees.
  • the colored areas indicate that mode lock has occurred at the combination of angles corresponding to the area. From FIG. 18, it can be seen that there is a region where mode lock occurs in the vicinity of the angle region where the angle obtained by adding 90 degrees to the rotation angle of the inlet side fiber and the rotation angle of the outlet side fiber are equal. Based on such experimental results, the rotation angles of the inlet side fiber and the outlet side fiber can be set. Further, by using the experimental result, the angles ⁇ 1 and ⁇ 2 at the connection points C3 and C4 described above can be set so that the mode lock occurs. [Third modification example]
  • the fiber laser apparatus 1C of the third modification shown in FIG. 19 is configured to output a laser beam having a wavelength in the 1.0 ⁇ m band.
  • the MFD of the first optical fiber 30 was set to about 3.5 ⁇ m.
  • the length of the first optical fiber 30 was set to about 6 m.
  • the MFD of the second optical fiber 40 and the third optical fiber 50 was set to about 6.9 ⁇ m.
  • the dispersion value of the entire resonator was 0.304 ps 2 .
  • a bandpass filter BF is provided instead of the ASE filter 19.
  • the dispersion value becomes normal dispersion and the pulse continues to spread. Therefore, it is necessary to limit the spread of the pulse by the bandpass filter BF.
  • Even with such a third modification it is possible to output light having a good waveform, and to achieve high repetition rate and low excitation power, as in the above embodiment.
  • FIG. 20 is a graph showing a spectral shape
  • FIGS. 21 (a) and 21 (b) are graphs showing a frequency spectrum.
  • the spectral width was 10.9 nm, and a sufficient spectral width was obtained.
  • the repetition frequency of the output light was 19.9 MHz.
  • the S / N ratio of the frequency spectrum of the output light was 70 dB or more.
  • the peak heights were uniform even when the band was expanded to 1 GHz, and sufficient frequency stability was obtained.
  • the second optical fiber 40 has only the second portion 42, and the angle of the second portion 42 between the speed shaft 42X1 of the second portion 42 and the speed shaft 32X1 of the second portion 32 is 0. It may be connected to the second portion 32 of the first optical fiber 30 so as to have an angle ⁇ 1 other than degrees or 90 degrees.
  • the third optical fiber 50 has only the second portion 52, and the second portion 52 has an angle of 0 degrees between the speed axis 52X1 of the second portion 52 and the speed axis 32X1 of the second portion 32. It may be connected to the second portion 32 so as to have an angle ⁇ 2 other than 90 degrees.
  • the angle (first angle) between the speed axis 41X1 of the first portion 41 and the speed axis 32X1 of the second portion 32 at the connection portion C2 is 90 degrees, and the first portion 51 at the connection portion C4.
  • the angle (second angle) between the speed axis 51X1 and the speed axis 32X1 of the second portion 32 was 0 degrees, but conversely, the first angle was 0 degrees and the second angle was 0 degrees. It may be 90 degrees. That is, the first angle and the second angle may differ by 90 degrees. Even in this case, as in the above embodiment, it is possible to output light having a good waveform, and it is possible to achieve high repetition rate and low excitation power.
  • the second optical fiber 40 can be regarded as the third optical fiber
  • the third optical fiber 50 can be regarded as the second optical fiber.
  • the second optical fiber 40 is regarded as the third optical fiber
  • the third optical fiber 50 is regarded as the second optical fiber
  • the first bridge fiber 60 is regarded as the second bridge fiber
  • the second The bridge fiber 70 can also be regarded as the first bridge fiber.
  • the first optical fiber 30 may have two or more first portions 31.
  • the plurality of first portions 31 and the plurality of second portions 32 are arranged alternately (alternately). Also in this case, the adjacent first portion 31 and the second portion 32 are connected to each other so that the speed axis 32X1 of the second portion 32 coincides with the slow axis 31X2 of the first portion 31 at the connection point.
  • the total length L31 of the first portions 31 is the sum of the lengths of the first portions 31.
  • the first optical fiber 30 may have three or more second portions 32.

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Abstract

ファイバレーザ装置は、偏波保持ファイバにより構成された第1光ファイバ(30)、第2光ファイバ(40)及び第3光ファイバ(50)を備える。第1光ファイバ(30)は、少なくとも1つの第1部分(31)と、第1部分(31)と互い違いに配置された少なくとも2つの第2部分(32)と、を有する。隣り合う第1部分(31)と第2部分(32)とは、接続箇所において第1部分(31)の速軸(31X1)が第2部分(32)の遅軸(32X2)に一致するように、互いに接続されている。第1部分(31)の総長さは、第2部分(32)の総長さと等しい。第1光ファイバ(30)のモードフィールド径は、第2光ファイバ(40)のモードフィールド径及び第3光ファイバ(50)のモードフィールド径の各々よりも小さい。

Description

ファイバレーザ装置
 本開示の一側面は、ファイバレーザ装置に関する。
 ファイバレーザ装置として、光ファイバの非線形効果を用いてモードロックを生じさせることにより、超短パルスレーザを発生させるものが知られている(例えば特許文献1参照)。
欧州特許出願公開第3300191号
 上述したようなファイバレーザ装置では、十分な非線形効果を生じさせるために、ある程度以上の長さの光ファイバを用いる必要がある。そのため、共振器長が長くなり、出力光の周波数を高めること(高繰り返し化)が難しい。また、モードロックを自己開始させるためには共振器の内部パワー密度を十分に高める必要があるが、光ファイバが短いと、光ファイバが長い場合と比べて十分な非線形効果を得るための内部パワー密度が高くなり、高い励起パワーが必要となる。また、ファイバレーザ装置には、良好な波形の光を出力することが求められる。
 本開示の一側面は、良好な波形の光を出力することができると共に、高繰り返し化や低励起パワー化を図ることができるファイバレーザ装置を提供することを目的とする。
 本開示の一側面に係るファイバレーザ装置は、偏波保持ファイバにより構成された第1光ファイバと、偏波保持ファイバにより構成され、第1光ファイバの一端に接続された第2光ファイバと、偏波保持ファイバにより構成され、第1光ファイバの他端に接続された第3光ファイバと、を備え、第1光ファイバは、少なくとも1つの第1部分と、第1部分と互い違いに配置された少なくとも2つの第2部分と、を有し、隣り合う第1部分と第2部分とは、接続箇所において第1部分の速軸が第2部分の遅軸に一致するように、互いに接続されており、第1部分の長さは、第2部分の総長さと等しく、第1光ファイバのモードフィールド径は、第2光ファイバのモードフィールド径及び第3光ファイバのモードフィールド径の各々よりも小さい。
 このファイバレーザ装置では、第1光ファイバが、少なくとも1つの第1部分と、第1部分と互い違いに配置された少なくとも2つの第2部分と、を有している。隣り合う第1部分と第2部分とは、接続箇所において第1部分の速軸が第2部分の遅軸に一致するように、互いに接続されている。このような第1光ファイバに光を通すことにより、モードロックを生じさせることできる。また、第1部分の総長さが、第2部分の総長さと等しくなっている。これにより、速軸に沿って伝搬する成分と遅軸に沿って伝搬する成分との間の伝搬速度の差を補償することができる。また、第1光ファイバが、少なくとも1つの第1部分及び少なくとも2つの第2部分を有している。これにより、例えば第1光ファイバが2つのファイバ要素のみからなる場合と比べて、速軸に沿って伝搬する成分と遅軸に沿って伝搬する成分との間の相互作用により出力光の波形が乱れるのを抑制することができる。その結果、良好な波形の光を出力することができる。また、第1光ファイバのモードフィールド径が、第2光ファイバのモードフィールド径及び第3光ファイバのモードフィールド径の各々よりも小さくなっており、第1光ファイバの非線形効果が高められている。これにより、第1光ファイバを短くすることができ、高繰り返し化や低励起パワー化を図ることが可能となる。このように、このファイバレーザ装置によれば、良好な波形の光を出力することができると共に、高繰り返し化や低励起パワー化を図ることができる。
 第2光ファイバ及び第3光ファイバの少なくとも一方は、融着により第1光ファイバに接続されていてもよい。この場合、部品点数を削減すると共に、製造を容易化することができる。
 第2光ファイバは、第1部分と、第2部分と、を有し、第2光ファイバの第1部分は、接続箇所において第2光ファイバの第1部分の速軸が第1光ファイバの遅軸に一致するように、第1光ファイバの一端に接続されており、第2光ファイバの第2部分は、接続箇所において第2光ファイバの第2部分の速軸と第2光ファイバの第1部分の速軸との間の角度が0度又は90度以外の角度となるように、第2光ファイバの第1部分に接続されていてもよい。互いに異なるモードフィールド径を有する偏波保持ファイバ同士を互いの速軸間の角度が0度又は90度以外の角度となるように接続することは難しく、歩留まりが低下するおそれがある。これに対し、この構成では、互いに異なるモードフィールド径を有する第1光ファイバと第2光ファイバとが、互いの速軸と遅軸とが一致するように(互いの速軸間の角度が90度となるように)接続される。これにより、第1光ファイバと第2光ファイバとの間の接続を容易化することができ、歩留まりを向上することができる。
 第3光ファイバは、第1部分と、第2部分と、を有し、第3光ファイバの第1部分は、接続箇所において第3光ファイバの第1部分の速軸が第1光ファイバの速軸に一致するように、第1光ファイバの他端に接続されており、第3光ファイバの第2部分は、接続箇所において第3光ファイバの第2部分の速軸と第3光ファイバの第1部分の速軸との間の角度が0度又は90度以外の角度となるように、第3光ファイバの第1部分に接続されていてもよい。この場合、第1光ファイバと第3光ファイバとの間の接続を容易化することができ、歩留まりを一層向上することができる。
 第2光ファイバの第1部分の長さは、第3光ファイバの第1部分の長さと等しくてもよい。この場合、第2光ファイバの第1部分、及び第3光ファイバの第1部分について、速軸に沿って伝搬する成分と遅軸に沿って伝搬する成分との間の伝搬速度の差を補償することができる。
 第2光ファイバは、第1部分を有し、第2光ファイバの第1部分は、接続箇所において第2光ファイバの第1部分の速軸が第1光ファイバの遅軸に一致するように、第1光ファイバの一端に接続されており、第3光ファイバは、第1部分を有し、第3光ファイバの第1部分は、接続箇所において第3光ファイバの第1部分の速軸が第1光ファイバの速軸に一致するように、第1光ファイバの他端に接続されており、第2光ファイバの第1部分の長さは、第3光ファイバの第1部分の長さと等しくてもよい。この場合、第1光ファイバと第2光ファイバとの間の接続、及び第1光ファイバと第3光ファイバとの間の接続を容易化することができる。また、第2光ファイバの第1部分、及び第3光ファイバの第1部分について、速軸に沿って伝搬する成分と遅軸に沿って伝搬する成分との間の伝搬速度の差を補償することができる。
 本開示の一側面に係るファイバレーザ装置は、偏波保持ファイバにより構成され、第1光ファイバと第2光ファイバとの間に接続された第1ブリッジファイバを更に備え、第1ブリッジファイバのモードフィールド径は、第1光ファイバのモードフィールド径よりも大きく、且つ第2光ファイバのモードフィールド径よりも小さくてもよい。互いに異なるモードフィールド径を有する偏波保持ファイバ同士を接続すると、接続箇所において損失が発生し易い。これに対し、この構成では、第1光ファイバと第2光ファイバとの間に、第1光ファイバのモードフィールド径よりも大きく且つ第2光ファイバのモードフィールド径よりも小さいモードフィールド径を有する第1ブリッジファイバが接続されている。これにより、接続箇所における損失を低減することができる。
 本開示の一側面に係るファイバレーザ装置は、偏波保持ファイバにより構成され、第1光ファイバと第3光ファイバとの間に接続された第2ブリッジファイバを更に備え、第2ブリッジファイバのモードフィールド径は、第1光ファイバのモードフィールド径よりも大きく、且つ第3光ファイバのモードフィールド径よりも小さくてもよい。この場合、接続箇所における損失を一層低減することができる。
 第1光ファイバは、第1部分及び第2部分を合計で偶数個有し、接続箇所における第1ブリッジファイバの速軸と第1光ファイバの速軸との間の角度と、接続箇所における第2ブリッジファイバの速軸と第1光ファイバの速軸との間の角度との差が90度であってもよい。この場合、第1ブリッジファイバ及び第2ブリッジファイバについて、速軸に沿って伝搬する成分と遅軸に沿って伝搬する成分との間の伝搬速度の差を補償することができる。
 第1光ファイバは、第1部分及び第2部分を合計で奇数個有し、接続箇所における第1ブリッジファイバの速軸と第1光ファイバの速軸との間の角度と、接続箇所における第2ブリッジファイバの速軸と第1光ファイバの速軸との間の角度との差が0度であってもよい。この場合、第1ブリッジファイバ及び第2ブリッジファイバについて、速軸に沿って伝搬する成分と遅軸に沿って伝搬する成分との間の伝搬速度の差を補償することができる。
 接続箇所における第1ブリッジファイバの速軸と第2光ファイバの速軸との間の角度と、接続箇所における第2ブリッジファイバの速軸と第3光ファイバの速軸との間の角度との差が0度であってもよい。この場合、第2光ファイバ及び第3光ファイバについて、速軸に沿って伝搬する成分と遅軸に沿って伝搬する成分との間の伝搬速度の差を補償することができる。
 第1ブリッジファイバの長さは、第2ブリッジファイバの長さと等しくてもよい。この場合、第1ブリッジファイバ及び第2ブリッジファイバについて、速軸に沿って伝搬する成分と遅軸に沿って伝搬する成分との間の伝搬速度の差を補償することができる。
 本開示の一側面に係るファイバレーザ装置は、励起光を出力する光源と、励起光を吸収し、レーザ光を放出する光ファイバと、を更に備え、レーザ光は、第1光ファイバ、第2光ファイバ及び第3光ファイバによって導光されてもよい。この場合、良好な波形の光を出力することができると共に、高繰り返し化及び低励起パワー化を図ることができる。
 本本開示の一側面によれば、良好な波形の光を出力することができると共に、高繰り返し化や低励起パワー化を図ることができるファイバレーザ装置を提供することが可能となる。
[規則91に基づく訂正 09.06.2021] 
実施形態に係るファイバレーザ装置の構成図である。 第1光ファイバの断面図である。 モードロック部の模式図である。 パルス波形及び瞬時波長を示すグラフである。 スペクトル波形及び位相を示すグラフである。 (a)及び(b)は、周波数スペクトルを示すグラフである。 第1変形例のファイバレーザ装置の構成図である。 第1変形例のモードロック部の模式図である。 ブリッジファイバの接続態様を説明するための図である。 図7の構成により取得されたスペクトル波形を示すグラフである。 (a)及び(b)は、図7の構成により取得された周波数スペクトルを示すグラフである。 比較例のファイバレーザ装置の構成図である。 図12の構成により取得されたスペクトル波形を示すグラフである。 (a)及び(b)は、図12の構成により取得された周波数スペクトルを示すグラフである。 第2変形例のファイバレーザ装置の構成図である。 図15の構成により取得されたスペクトル波形を示すグラフである。 図15の構成により取得されたパルス波形及び瞬時波長を示すグラフである。 図15の構成においてモードロックが生じた角度領域を示す図である。 第3変形例のファイバレーザ装置の構成図である。 図19の構成により取得されたスペクトル波形を示すグラフである。 (a)及び(b)は、図19の構成により取得された周波数スペクトルを示すグラフである。
 以下、本開示の一実施形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の説明において、同一又は相当要素には同一符号を用い、重複する説明を省略する。
[ファイバレーザ装置]
 図1に示されるように、ファイバレーザ装置1は、光源11と、WDM(Wavelength Division Multiplexing)(波長分割多重)カプラ12と、ドープファイバ13と、アイソレータ14と、モードロック部15と、偏波コントローラ16と、偏光子17と、出力カプラ18と、ASE(Amplified Spontaneous Emission)(自然放射増幅光)フィルタ19と、を備えている。また、ファイバレーザ装置1は、それらの要素同士を接続するための複数の光ファイバ21~28を更に備えている。モードロック部15は、第1光ファイバ30と、第2光ファイバ40と、第3光ファイバ50と、を有している。
 ドープファイバ13、光ファイバ21~28、第1光ファイバ30、第2光ファイバ40及び第3光ファイバ50の各々は、偏波保持(PM:Polarization Maintaining)ファイバにより構成されている。偏波保持ファイバは、互いに直交する速軸と遅軸との間で屈折率を異ならせることにより、伝送する光の偏波面保持特性が高められた光ファイバである。この例では、ドープファイバ13、光ファイバ21~28、第1光ファイバ30、第2光ファイバ40及び第3光ファイバ50の各々は、光弾性効果を用いた応力付与型の偏波保持ファイバにより構成されているが、非軸対称なコア形状を有する構造型の偏波保持ファイバにより構成されてもよい。
 図2は、第1光ファイバ30の断面図である。第1光ファイバ30は、互いに直交する速軸X1及び遅軸X2を有している。第1光ファイバ30は、コア30aと、クラッド30bと、一対の応力付与材30cと、を備えている。コア30aは、第1光ファイバの31の中心に位置している。コア30aの屈折率は、クラッド30bの屈折率よりも高い。クラッド30bは、コア30aを囲んでいる。一対の応力付与材30cは、遅軸X2上におけるコア30aの両側に位置するように、クラッド30b内に配置されている。
 第1光ファイバ30では、応力付与材30cの熱収縮率がクラッド30bの熱収縮率よりも大きいことを利用してコア30aに引張応力を作用させることにより、コア30aに複屈折率性を持たせている。この屈折率差により、第1光ファイバ30内を光が伝搬する場合、速軸X1に沿って伝搬する成分は、遅軸X2に沿って伝搬する成分よりも速く伝搬する。ドープファイバ13、光ファイバ21~28、第2光ファイバ40及び第3光ファイバ50についても第1光ファイバ30と同様の断面構造を有している。
 再び図1を参照して、光源11は、励起光L1を出力する。光源11は、例えば、979nmの波長のレーザ光を出力するレーザダイオードである。WDMカプラ12は、光源11から光ファイバ21を介して入力された励起光L1を反射して光ファイバ22に出力すると共に、光ファイバ28を介して入力された信号光L2を透過させて光ファイバ22に出力する。
 ドープファイバ13は、光ファイバ22を介して入力された励起光L1を吸収し、レーザ光(信号光L2)を放出する。ドープファイバ13において放出された信号光L2は、光ファイバ23を介してアイソレータ14に入力される。ドープファイバ13は、例えば、エルビウム(Er)がコアに添加されたエルビウム添加ファイバ(EDF:Erbium-Doped Fiber)であり、1.5μm帯の波長のレーザ光を放出する。ドープファイバ13は、イッテルビウム(Yb)がコアに添加されたイッテルビウム添加ファイバであってもよい。この場合、ドープファイバ13は1.0μm帯の波長のレーザ光を放出する。
 アイソレータ14は、ドープファイバ13からモードロック部15に向かう順方向には光を伝搬させる一方、順方向とは逆の方向には光を伝搬させない。モードロック部15は、光の伝搬方向における上流側から、第2光ファイバ40、第1光ファイバ30、第3光ファイバ50をこの順に有し、これらの光ファイバによって信号光L2を導光する。モードロック部15の詳細については後述する。
 偏波コントローラ16は、モードロック部15から出力された信号光L2の偏光状態を調整するための機構を有している。偏波コントローラ16は、例えば、回転可能に保持されたλ/4波長板16a及びλ/2波長板16bを含んで構成されている。偏波コントローラ16から出力された信号光L2は、光ファイバ24を介して偏光子17に入力される。偏光子17は、光ファイバ24内を伝搬する信号光L2のうち、遅軸に沿って伝搬する成分を透過させる一方、速軸に沿って伝搬する成分を反射させる。
 出力カプラ18は、偏光子17から光ファイバ25を介して入力された信号光L2を所定の比率で分割し、信号光L2の一部を光ファイバ26に出力し、残りを光ファイバ27に出力する。例えば、出力カプラ18は、信号光L2の25%を光ファイバ26に出力し、残りの75%を光ファイバ27に出力する。光ファイバ26に出力された信号光L2は、例えば、出力光として外部に出力される。出力カプラ18には、光ファイバ26を介して進入した外部からの戻り光を共振器内に戻さないように、アイソレータが設けられていてもよい。この場合、戻り光に起因して共振器における発振が不安定になるのを抑制することができる。
 ASEフィルタ19は、光ファイバ27を伝搬する信号光L2のうち所定の波長範囲の成分のみを透過させて光ファイバ28に出力する。この例では、ASEフィルタ19は、1545nm以上の波長の光のみを透過させる。これにより、1530nm付近の波長領域での発振を抑制することができる。
 以上のとおり、ファイバレーザ装置1は、偏波保持ファイバにより構成されたリング状の共振器である全偏波保持ファイバ共振器(発振器)を備えている。ファイバレーザ装置1においては、モードロック部15においてモードロックを生じさせることにより、例えばパルス幅が50フェムト秒から10ピコ秒である超短パルスレーザが出力される。
[モードロック部]
 図1及び図3に示されるように、モードロック部15は、第1光ファイバ30と、第1光ファイバ30の一端に接続された第2光ファイバ40と、第1光ファイバ30の他端に接続された第3光ファイバ50と、を有している。後述するように、図1に示されるモードロック部15と図3に示されるモードロック部15とでは、構成が少し異なっている。
 第1光ファイバ30は、第1部分31及び2つの第2部分32を有している。第1部分31及び2つの第2部分32の各々は、偏波保持ファイバにより構成されている。第1部分31及び2つの第2部分32は、互い違いに配置されている。2つの第2部分32は、第1部分31の両端にそれぞれ接続されている。
 各第2部分32は、接続箇所C1において第2部分32の速軸32X1が第1部分31の遅軸31X2に一致するように、第1部分31に接続されている。換言すれば、各第2部分32と第1部分31との間の接続箇所C1における第2部分32の速軸32X1と第1部分31の速軸31X1との間の角度は、90度となっている。各第2部分32は、例えば融着により、第1部分31に直接に接続されている。なお、図3ではファイバ同士の間に隙間が空いているように描かれているが、実際にはファイバ同士は隙間無く接続されている。「速軸が遅軸(又は速軸)に一致する」とは、光の伝搬方向(ファイバの延在方向)から見た場合に速軸が遅軸に一致する(遅軸に沿う)との意味である。
 第1部分31の総長さL31は、第2部分32の総長さL32と等しい。総長さL31,L32は、第1光ファイバ30の延在方向(光の伝搬方向)に沿っての長さである。第2部分32の総長さL32は、各第2部分32の長さL32aを足し合わせた長さである。「第1部分31の総長さL31が第2部分32の総長さL32と等しい」ことには、総長さL31と総長さL32との間に許容可能な僅かな誤差が存在する場合が含まれる。許容可能な誤差の大きさは、例えばモードロックが生じるかどうかに応じて設定される。許容可能な誤差は、例えばビート長(2mm程度)以下である。ビート長とは、複屈折の大きさの指標であり、速軸を伝搬する光と遅軸を伝搬する光の位相差が2πとなる距離である。或いは、許容可能な誤差は5mm以下である。この点は、後述する第2光ファイバ40の第1部分41の長さL41及び第3光ファイバ50の第1部分51の長さL51、並びに、第1ブリッジファイバ60の長さL60及び第2ブリッジファイバ70の長さL70についても同様である。
 第2光ファイバ40は、第1部分41及び第2部分42を有している。第1部分41は、接続箇所C2において第1部分41の速軸41X1が第2部分32の遅軸32X2に一致するように、第1光ファイバ30の第2部分32に接続されている。換言すれば、第1部分41と第2部分32との間の接続箇所C2における第1部分41の速軸41X1と第2部分32の速軸32X1との間の角度は、90度となっている。第1部分41は、例えば融着により、第2部分32に直接に接続されている。
 第2部分42は、接続箇所C3において第2部分42の速軸42X1と第1部分41の速軸41X1との間の角度が0度又は90度以外の角度θ1となるように、第1部分41の一端に接続されている。すなわち、角度θ1は0度ではなく90度でもない。角度θ1は、45度以外の角度である。角度θ1は、後述するように、モードロックが生じるように、例えば実験的に設定され得る。角度θ1は、光の伝搬方向(第1光ファイバ30及び第2光ファイバ40の延在方向)から見た場合の角度である。この点は後述する角度θ2についても同様である。第2部分42は、例えば融着により、第1部分41に直接に接続されている。第2部分42の他端は、上述したアイソレータ14に接続されている。
 図3に示されるモードロック部15では、第3光ファイバ50は、第1部分51及び第2部分52を有している。第1部分51は、接続箇所C4において第1部分51の速軸51X1が第2部分32の速軸32X1に一致するように、第1光ファイバ30の第2部分32に接続されている。換言すれば、第1部分51と第2部分32との間の接続箇所C4における第1部分51の速軸51X1と第2部分32の速軸32X1との間の角度は、0度となっている。接続箇所C4における第1部分51の速軸51X1と第2部分32の速軸32X1との間の角度は、接続箇所C2における第2光ファイバ40の第1部分41の速軸41X1と第2部分32の速軸32X1との間の角度から、90度異なっている。第1部分51は、例えば融着により、第2部分32に直接に接続されている。
 第2部分52は、接続箇所C5において第2部分52の速軸52X1と第1部分51の速軸51X1との間の角度が0度又は90度以外の角度θ2となるように、第1部分51の一端に接続されている。すなわち、角度θ2は0度ではなく90度でもない。角度θ2は、45度以外の角度であり、例えば角度θ1に90度を加算した角度である。第2部分52の一端は、例えば融着により、第1部分51に直接に接続されている。第2部分52の他端は、上述した偏光子17に接続されている。
 第2光ファイバ40の第1部分41の長さL41は、第3光ファイバ50の第1部分51の長さL51と等しい。長さL41,L51は、第2光ファイバ40及び第3光ファイバ50の延在方向(光の伝搬方向)に沿っての長さである。
 図1に示されるモードロック部15では、第3光ファイバ50は、第1部分51のみを有している。第1部分51の一端は第2部分32に接続されており、第1部分51の他端は上述した偏波コントローラ16に接続されている。図3に示されるモードロック部15では、接続箇所C5における第1部分51の速軸51X1と第2部分52の速軸52X1との間の角度が角度θ2であることにより、光の偏光状態が調整される。これに対し、図1に示されるモードロック部15では、回転可能な波長板を備える偏波コントローラ16により、図3に示されるモードロック部15と同様に、光の偏光状態が調整される。このように、第3光ファイバ50の第2部分52は、波長板を用いた調整機構に置き換えられてもよい。
 第1光ファイバ30のモードフィールド径(MFD:Mode Field Diameter)は、第2光ファイバ40のMFD及び第3光ファイバ50のMFDの各々よりも小さい。モードフィールド径とは、光ファイバ内を伝搬する光がコアからクラッドへ漏れ出す程度を表す指標である。例えば、ファイバの一端に光を入射させて他端から出射する光の像を取得することで、モードフィールド径を計測することができる。第1光ファイバ30のMFDは、例えば2μm~4μmである。第2光ファイバ40及び第3光ファイバ50のMFDは、例えば4μm~10μmである。第1光ファイバ30の全体にわたってMFDは一様である。この点は第2光ファイバ40及び第3光ファイバ50についても同様である。偏波保持ファイバにおいては、MFDが小さいほど、非線形効果が大きくなる。すなわち、第1光ファイバ30は、第2光ファイバ40及び第3光ファイバ50を構成する偏波保持ファイバよりも非線形効果が高められた高非線形ファイバにより構成されている。なお、第1光ファイバ30のコア径は、第2光ファイバ40のコア径及び第3光ファイバ50のコア径の各々よりも小さくてもよいが、それら以上であってもよい。第1光ファイバ30のコア径とは、図2に示されるように、第1光ファイバ30を構成する偏波保持ファイバのコア30aの直径Dである。第2光ファイバ40及び第3光ファイバ50のコア径とは、それらを構成する偏波保持ファイバのコア30aの直径Dである。
[作用及び効果]
 以上説明したとおり、ファイバレーザ装置1では、第1光ファイバ30が、第1部分31と、第1部分31と互い違いに配置された2つの第2部分32と、を有している。隣り合う第1部分31と第2部分32とは、接続箇所C1において第1部分31の速軸31X1が第2部分32の遅軸32X2に一致するように、互いに接続されている。このような第1光ファイバ30に光を通すと共に、必要な光学要素(例えば偏光子17)を後段に設けることにより、モードロックを生じさせることできる。
 すなわち、接続箇所C3における第2光ファイバ40の第2部分42の速軸42X1と第2光ファイバ40の第1部分41の速軸41X1との間の角度は、0度又は90度以外の角度θ1となっている。これにより、第2部分42を伝搬する光は、第1部分41に入射する際に、第1部分41の速軸41X1に沿って伝搬する成分と、第1部分41の遅軸41X2に沿って伝搬する成分とに分かれる。角度θ1は45度以外の角度に設定されているため、速軸41X1に沿って伝搬する成分の強度と、遅軸41X2に沿って伝搬する成分の強度とは、互いに異なる。偏波保持ファイバ内を伝搬する光は、強度が高いほど、より大きな非線形効果を受ける。そのため、速軸41X1に沿って伝搬する成分と遅軸41X2に沿って伝搬する成分との間には、異なる大きさの非線形効果が生じる。第1部分41から出力された光は、第1光ファイバ30、及び第3光ファイバ50の第1部分51により導光され、第3光ファイバ50の第2部分52に至る。この導光の間にも、第1部分41内を伝搬する際と同様に、速軸に沿って伝搬する成分と遅軸に沿って伝搬する成分では異なる大きさの非線形効果を受ける。接続箇所C5における第1部分51の速軸51X1と第2部分52の速軸52X1との間の角度は、0度又は90度以外の角度θ2となっている。或いは、図1に示されるモードロック部15では、偏波コントローラ16により光の偏光状態が同様に調整される。これにより、第1部分51から第2部分52に光が入射する際に、各軸を伝搬していた成分が互いに合成され、非線形効果の差により位相差が生じる。強度の高低により位相差が異なることから、高強度の光の透過率を高くすると共に低強度の光の透過率を低くすることでモードロックを生じさせることができる。
 ここで、偏波保持ファイバ内を光が伝搬する場合、屈折率差により、速軸に沿って伝搬する成分と遅軸に沿って伝搬する成分との間に伝搬速度の差が生じる。この点、ファイバレーザ装置1では、第1部分31の総長さL31が、第2部分32の総長さL32と等しくなっている。すなわち、速軸に沿って伝搬する距離と遅軸に沿って伝搬する長さとが等しくなるように第1部分31及び第2部分32の長さが設定されている。これにより、速軸に沿って伝搬する成分と遅軸に沿って伝搬する成分との間の伝搬速度の差を補償することができる。
 また、ファイバレーザ装置1では、第1光ファイバ30が、第1部分31及び2つの第2部分32を有している。これにより、例えば第1光ファイバ30が2つのファイバ要素のみからなる場合と比べて、速軸に沿って伝搬する成分と遅軸に沿って伝搬する成分との間の相互作用により出力光の波形が乱れるのを抑制することができる。その結果、良好な波形の光を出力することができる。
 すなわち、第1光ファイバ30が、互いの速軸間の角度が90度となるように接続された2つのファイバ要素のみからなる場合でも、モードロックを生じさせ得る。しかしながら、ファイバ要素内を先行して伝搬する成分の後側部分と、ファイバ要素内を遅れて伝搬する成分の前側部分とが互いに相互作用すること(相互位相変調)により、出力光の波形が乱れてしまうことがある。これに対し、ファイバレーザ装置1では、第1光ファイバ30が、第1部分31及び2つの第2部分32を有している。これにより、伝搬速度に差が生じる距離を短くすることができ、伝搬速度差による波形の乱れを抑制することができる。すなわち、上流側の第2部分32で生じた時間差を第1部分31の前側部分で補償し、第1部分31の後側部分で生じた時間差を下流側の第2部分32で補償する。これにより、出力光の波形が乱れるのを抑制することができ、良好な波形の光を出力することができる(クロススプライジング法)。
 また、ファイバレーザ装置1では、第1光ファイバ30のMFDが、第2光ファイバ40のMFD及び第3光ファイバ50のMFDの各々よりも小さくなっており、第1光ファイバ30の非線形効果が高められている。これにより、第1光ファイバ30を短くすることができ、高繰り返し化を図ることが可能となる。また、モードロックを自己開始させるために必要な励起パワーを低減することが可能となる。以上より、ファイバレーザ装置1によれば、良好な波形の光を出力することができると共に、高繰り返し化及び低励起パワー化を図ることができる。また、半導体可飽和吸収ミラー(SESAM:Semiconductor Saturable Absorber Mirror)を用いたファイバレーザ装置では、半導体可飽和吸収ミラーが光損傷を受け易く、また寿命のばらつきが大きいため問題が生じ得るが、ファイバレーザ装置1では、半導体可飽和吸収ミラーを用いないため、そのような事態を回避することができる。
 第2光ファイバ40及び第3光ファイバ50が、融着により第1光ファイバ30に接続されている。これにより、空間上で光学素子(レンズ等)を用いて結合する場合と比較して、部品点数を削減できると共に、製造を容易化することができる。通常、互いに異なるMFDを有する偏波保持ファイバ同士を融着により接続すると、MFDの違い及び加熱時の変形し易さの違いに起因して、接続箇所において損失が発生し易い。このような損失は、共振器内を周回する光にノイズ、歪みが生じる等の不安定性に繋がり得る。ファイバレーザ装置1では、そのような点を考慮した上で、第2光ファイバ40及び第3光ファイバ50を融着により第1光ファイバ30に接続し、部品点数の削減及び製造の容易化を図っている。
 また、ファイバレーザ装置1では、第2光ファイバ40の第1部分41が、接続箇所C2において第1部分41の速軸41X1が第2部分32の遅軸32X2に一致するように、第1光ファイバ30の第2部分32に接続されており、第2光ファイバ40の第2部分42が、接続箇所C3において第2部分42の速軸42X1と第1部分41の速軸41X1との間の角度θ1が0度又は90度以外の角度となるように、第1部分41に接続されている。互いに異なるMFDを有する偏波保持ファイバ同士を互いの速軸間の角度が0度又は90度以外の角度となるように接続することは難しく、歩留まりが低下するおそれがある。この点は、互いに異なるMFDを有する偏波保持ファイバ同士を融着により接続する場合に特に顕著となる。これは、速軸間の角度が0度又は90度以外の角度である場合、応力の対称性が取れない状態で融着する必要があると共に、ドーパント及び構造が異なるため加熱時の変形の仕方が異なるためである。例えば、速軸間の角度が0度又は90度以外の角度である場合、速軸間の角度が0度又は90度である場合と比べて成功確率が低く、歩留まりが50%以下となる。これに対し、ファイバレーザ装置1では、互いに異なるMFDを有する第1光ファイバ30と第2光ファイバ40とが、互いの速軸と遅軸とが一致するように(互いの速軸間の角度が90度となるように)接続される。これにより、第1光ファイバ30と第2光ファイバ40との間の接続を容易化することができ、歩留まりを向上することができる。この歩留まりを向上できるとの作用効果は、本実施形態のように第1光ファイバ30と第2光ファイバ40とが融着により接続される場合に、特に顕著となる。なお、接続箇所C3,C5のように同一のMFDを有する偏波保持ファイバ同士を接続する場合には、速軸間の角度が0度又は90度以外の角度であっても成功確率は高く、歩留まりはほぼ100%となる。
 第3光ファイバ50の第1部分51が、接続箇所C4において第1部分51の速軸51X1が第2部分32の速軸32X1に一致するように、第1光ファイバ30の第2部分32に接続されており、第3光ファイバ50の第2部分52が、接続箇所C5において第2部分52の速軸52X1と第1部分51の速軸51X1との間の角度θ2が0度又は90度以外の角度となるように、第1部分51に接続されている。これにより、第1光ファイバ30と第3光ファイバ50との間の接続を容易化することができ、歩留まりを一層向上することができる。この歩留まりを向上できるとの作用効果は、本実施形態のように第1光ファイバ30と第3光ファイバ50とが融着により接続される場合に、特に顕著となる。
 第2光ファイバ40の第1部分41の長さL41が、第3光ファイバ50の第1部分51の長さL51と等しい。これにより、第1部分41及び第1部分51について、速軸に沿って伝搬する成分と遅軸に沿って伝搬する成分との間の伝搬速度の差を補償することができる。
[実施例]
 図1に示されるファイバレーザ装置1によりモードロック発振を行った。1.5μm帯の波長のレーザ光が出力されるようにファイバレーザ装置1を構成した。第1光ファイバ30のMFDは4.9μm程度とした。第1光ファイバ30の長さは2m程度とした。第2光ファイバ40及び第3光ファイバ50のMFDは10.1μm程度とした。共振器全体の分散値は、-0.014psであった。モードロックの自己開始時の励起パワー(光源11の出力パワー)は、105mW程度であった。
 周波数分解光ゲート法(FROG:Frequency-Resolved Optical Gating)により出力光のパルス幅を測定した。図4は、パルス波形及び瞬時波長を示すグラフである。図5は、スペクトル波形及び位相を示すグラフである。図4に示されるように、良好な波形を有する超短パルス波が出力された。パルス幅は127fsであった。図5に示されるように、スペクトル幅は32nmであり、十分なスペクトル幅が得られた。スペクトルの山が形成されている波長領域において位相が低くなっていることから、パルス幅が良好に圧縮されていることが分かる。
 高周波スペクトルアナライザを用いて出力光の周波数スペクトルを測定した。図6(a)及び図6(b)は、周波数スペクトルを示すグラフである。図6(a)では、横軸の目盛り間隔が100kHzであり、図6(b)では、横軸の目盛り間隔が100MHzである。両方のグラフにおいて、縦軸の目盛り間隔は10dBである。図6(a)及び図6(b)は、周波数スペクトルを示すグラフである。出力光の繰り返し周波数は40.6MHzであった。図6(a)に示されるように、出力光の周波数スペクトルのS/N比は70dB以上となっていた。図6(b)に示されるように、1GHzまで帯域を広げてもピークの高さが揃っており、十分な周波数安定性が得られていた。
[第1変形例]
 図7及び図8に示される第1変形例のファイバレーザ装置1Aでは、モードロック部15が、第1ブリッジファイバ60と、第2ブリッジファイバ70と、を更に備えている。
 第1ブリッジファイバ60は、偏波保持ファイバにより構成され、第1光ファイバ30の第2部分32と第2光ファイバ40の第1部分41との間に接続されている。第1ブリッジファイバ60の一端は、接続箇所C6において第1ブリッジファイバ60の速軸60X1が第2部分32の遅軸32X2に一致するように、第2部分32に接続されている。第1ブリッジファイバ60の他端は、接続箇所C7において第1ブリッジファイバ60の速軸60X1が第1部分41の速軸41X1に一致するように、第1部分41に接続されている。第1ブリッジファイバ60は、例えば融着により、第2部分32及び第1部分41に直接に接続されている。
 第2ブリッジファイバ70は、偏波保持ファイバにより構成され、第1光ファイバ30の第2部分32と第3光ファイバ50の第1部分51との間に接続されている。第2ブリッジファイバ70の一端は、接続箇所C8において第2ブリッジファイバ70の速軸70X1が第2部分32の速軸32X1に一致するように、第2部分32に接続されている。第2ブリッジファイバ70の他端は、接続箇所C9において第2ブリッジファイバ70の速軸70X1が第1部分51の速軸51X1に一致するように、第1部分51に接続されている。第2ブリッジファイバ70は、例えば融着により、第2部分32及び第1部分51に直接に接続されている。
 第1ブリッジファイバ60の長さL60は、第2ブリッジファイバ70の長さL70と等しい。長さL60,L70は、第1ブリッジファイバ60及び第2ブリッジファイバ70の延在方向(光の伝搬方向)に沿っての長さである。
 第1ブリッジファイバ60のMFDは、第1光ファイバ30のMFDよりも大きく、且つ第2光ファイバ40のMFDよりも小さい。第2ブリッジファイバ70のMFDは、第1光ファイバ30のMFDよりも大きく、且つ第3光ファイバ50のMFDよりも小さい。第1ブリッジファイバ60のMFDは、例えば第2ブリッジファイバ70のMFDと等しい。第1ブリッジファイバ60及び第2ブリッジファイバ70のMFDは、例えば4μm~5μmである。
 第1変形例では、アイソレータ14とモードロック部15との間に偏波コントローラ90が設けられている。偏波コントローラ90は、モードロック部15に入力される信号光L2の偏光状態を調整するための機構を有している。偏波コントローラ90は、例えば、回転可能に保持されたλ/4波長板90a及びλ/2波長板90bを含んで構成されている。図7に示される例では、偏波コントローラ16と偏光子17とが1つの要素として一体的に構成されている。偏波コントローラ16は、λ/2波長板16bのみを含んでいる。
 第1変形例によっても、上記実施形態と同様に、良好な波形の光を出力することができると共に、高繰り返し化及び低励起パワー化を図ることができる。また、第1変形例では、第1光ファイバ30のMFDよりも大きく且つ第2光ファイバ40のMFDよりも小さいMFDを有する第1ブリッジファイバ60が、第1光ファイバ30と第2光ファイバ40との間に接続されている。これにより、第1光ファイバ30と第2光ファイバ40との間の接続箇所における損失を低減することができる。
 第1光ファイバ30のMFDよりも大きく且つ第3光ファイバ50のMFDよりも小さいMFDを有する第2ブリッジファイバ70が、第1光ファイバ30と第3光ファイバ50との間に接続されている。これにより、接続箇所における損失を一層低減することができる。
 第1ブリッジファイバ60が、接続箇所C6において第1ブリッジファイバ60の速軸60X1が第2部分32の遅軸32X2に一致するように、第1光ファイバ30の第2部分32に接続されており、第2ブリッジファイバ70が、接続箇所C8において第2ブリッジファイバ70の速軸70X1が第2部分32の速軸32X1に一致するように、第2部分32に接続されている。第1ブリッジファイバ60の長さL60が、第2ブリッジファイバ70の長さL70と等しい。これにより、第1ブリッジファイバ60及び第2ブリッジファイバ70について、速軸に沿って伝搬する成分と遅軸に沿って伝搬する成分との間の伝搬速度の差を補償することができる。
第1変形例は、図9に示されるように構成されてもよい。この例では、接続箇所C6において第1ブリッジファイバ60の速軸60X1が第2部分32の速軸32X1に一致し、接続箇所C7において第1ブリッジファイバ60の速軸60X1が第1部分41の遅軸41X2に一致している。接続箇所C8において第2ブリッジファイバ70の速軸70X1が第2部分32の遅軸32X2に一致し、接続箇所C9において第2ブリッジファイバ70の速軸70X1が第1部分51の遅軸51X2に一致している。この場合でも、速軸に沿って伝搬する成分と遅軸に沿って伝搬する成分との間の伝搬速度の差を補償することができる。すなわち、図9のように第1光ファイバ30が第1部分31及び第2部分32を合計で奇数個有する場合(例えば、1つの第1部分31及び2つの第2部分32を有する場合)、接続箇所C6における第1ブリッジファイバ60の速軸60X1と第2部分32の速軸32X1との間の角度と、接続箇所C8における第2ブリッジファイバ70の速軸70X1と第2部分32の速軸32X1との間の角度との間の差が90度であれば、第1ブリッジファイバ60及び第2ブリッジファイバ70について、速軸に沿って伝搬する成分と遅軸に沿って伝搬する成分との間の伝搬速度の差を補償することができる。また、その場合、接続箇所C7における第1ブリッジファイバ60の速軸60X1と第1部分41の速軸41X1との間の角度と、接続箇所C9における第2ブリッジファイバ70の速軸70X1と第1部分51の速軸51X1との間の角度の間の差が0度であれば、第1部分41及び第1部分51について、速軸に沿って伝搬する成分と遅軸に沿って伝搬する成分との間の伝搬速度の差を補償することができる。一方、図9とは異なり、第1光ファイバ30が第1部分31及び第2部分32を合計で偶数個有する場合(例えば、2つの第1部分31及び2つの第2部分32を有する場合)、接続箇所C6における第1ブリッジファイバ60の速軸60X1と第2部分32の速軸32X1との間の角度と、接続箇所C8における第2ブリッジファイバ70の速軸70X1と第2部分32の速軸32X1との間の角度との間の差が0度であれば、第1ブリッジファイバ60及び第2ブリッジファイバ70について、速軸に沿って伝搬する成分と遅軸に沿って伝搬する成分との間の伝搬速度の差を補償することができる。その場合にも、接続箇所C7における第1ブリッジファイバ60の速軸60X1と第1部分41の速軸41X1との間の角度と、接続箇所C9における第2ブリッジファイバ70の速軸70X1と第1部分51の速軸51X1との間の角度の間の差が0度であれば、第1部分41及び第1部分51について、速軸に沿って伝搬する成分と遅軸に沿って伝搬する成分との間の伝搬速度の差を補償することができる。
 第1変形例の実施例について説明する。図7に示されるファイバレーザ装置1Aによりモードロック発振を行った。1.5μm帯の波長のレーザ光が出力されるようにファイバレーザ装置1Aを構成した。第1光ファイバ30のMFDは4μm程度とした。第1光ファイバ30の長さは1.5m程度とした。第2光ファイバ40及び第3光ファイバ50のMFDは10.1μm程度とした。共振器全体の分散値は、-0.081psであった。第1光ファイバ30と第2光ファイバ40とを融着により直接に接続した場合、接続箇所における損失は0.8dBであった。第1光ファイバ30と第2光ファイバ40との間に第1ブリッジファイバ60を接続した場合、損失は0.4dBであった。このことから、第1ブリッジファイバ60を設けることによって接続箇所における損失を低減できることが分かる。
 図10は、スペクトル形状を示すグラフであり、図11(a)及び図11(b)は、周波数スペクトルを示すグラフである。図11(a)では、横軸の目盛り間隔が200kHzであり、図11(b)では、横軸の目盛り間隔が100MHzである。両方のグラフにおいて、縦軸の目盛り間隔は10dBである。図10に示されるように、スペクトル幅は6.9nmであり、十分なスペクトル幅が得られた。図11(a)において、出力光の繰り返し周波数は36.1MHzであった。出力光の周波数スペクトルのS/N比は70dB以上となっていた。図11(b)に示されるように、1GHzまで帯域を広げてもピークの高さが揃っており、十分な周波数安定性が得られていた。
[比較例]
 図12に示される比較例のファイバレーザ装置100では、モードロック部115が、同一のMFDを有する偏波保持ファイバにより構成された3つのファイバ要素115aからなる。モードロック部115の一端には偏波コントローラ116が接続され、モードロック部115の他端には偏波コントローラ117が接続されている。このような比較例のファイバレーザ装置100を、実施形態のファイバレーザ装置1と同様に、1.5μm帯の波長のレーザ光が40MHz程度の繰り返し周波数で出力されるように構成した。ファイバ要素115aのMFDは10.1μm程度とした。モードロック部115の総長さは2m程度とした。共振器全体の分散値は、-0.110psであった。
 図13は、スペクトル形状を示すグラフであり、図14(a)及び図14(b)は、周波数スペクトルを示すグラフである。図14(a)では、横軸の目盛り間隔が200kHzであり、図14(b)では、横軸の目盛り間隔が100MHzである。両方のグラフにおいて、縦軸の目盛り間隔は10dBである。図13に示されるように、スペクトル幅は5.8nmであった。図14(a)において、出力光の繰り返し周波数は40.9MHzであった。出力光の周波数スペクトルのS/N比は70dB以上となっていた。図14(b)に示されるように、1GHzまで帯域を広げてもピークの高さが揃っており、十分な周波数安定性が得られていた。
 上述したように、図1に示されるファイバレーザ装置1では、モードロックの自己開始時の励起パワーは105mW程度であった。一方、図12に示される比較例のファイバレーザ装置100では、モードロックの自己開始時の励起パワーは225mW程度であった。このように、両者の条件を揃え、ファイバ長さを2mとし、繰り返し周波数を40MHz程度とした場合、図1に示されるファイバレーザ装置1では、図12に示される比較例のファイバレーザ装置100の約半分の励起パワーで超短パルスレーザを発振させることができた。
[第2変形例]
 図15に示される第2変形例のファイバレーザ装置1Bでは、第1変形例と同様に、アイソレータ14とモードロック部15との間に偏波コントローラ90が設けられている。偏波コントローラ16と偏光子17とが1つの要素として一体的に構成されている。第2光ファイバ40は、第1部分41のみを有している。第1部分41の一端は第1光ファイバ30の第2部分32に接続されており、第1部分41の他端は偏波コントローラ90に接続されている。このような第2変形例によっても、上記実施形態と同様に、良好な波形の光を出力することができると共に、高繰り返し化及び低励起パワー化を図ることができる。
[モードロック条件]
 図15に示される構成を用いてモードロックが生じる条件を確認した。偏波コントローラ90を用いて最も上流側に位置する第2光ファイバ40(以下、「入口側ファイバ」ともいう)に入力される光の偏光状態を調整すると共に、偏波コントローラ16を用いて最も下流側に位置する第3光ファイバ50(以下、「出口側ファイバ」ともいう)の出力端における光の偏光状態を調整しつつ、モードロックが生じる角度領域を確認した。なお、角度領域を分かり易くするために励起パワーを高めて確認しており、実際の動作時には角度がずれる可能性がある。
 図16は、スペクトル形状を示すグラフであり、図17は、パルス波形及び瞬時波長を示すグラフである。図16及び図17では、入口側ファイバの回転角度(速軸と遅軸との間の角度)を12度(192度)とし、出口側ファイバの回転角度を100度とした場合の結果が示されている。図16に示されるように、スペクトル幅は50nmであった。図17に示されるように、パルス幅は635fsであった。図17では、横軸の目盛り間隔は200fsである。
 図18は、モードロックが生じた角度領域を示す図である。図18において、縦軸の目盛り間隔は10度であり、横軸の目盛り間隔は2度である。着色された領域は、当該領域に対応する角度の組み合わせにおいてモードロックが生じたことを示している。図18から、入口側ファイバの回転角度に90度を加算した角度と出口側ファイバの回転角度とが等しくなる角度領域の近傍に、モードロックが生じる領域が存在していることが分かる。このような実験結果に基づいて、入口側ファイバ及び出口側ファイバの回転角度を設定することができる。また、当該実験結果を用いることで、上述した接続箇所C3,C4における角度θ1,θ2をモードロックが生じるように設定することができる。
[第3変形例]
 図19に示される第3変形例のファイバレーザ装置1Cは、1.0μm帯の波長のレーザ光が出力されるように構成されている。第1光ファイバ30のMFDは3.5μm程度とした。第1光ファイバ30の長さは6m程度とした。第2光ファイバ40及び第3光ファイバ50のMFDは6.9μm程度とした。共振器全体の分散値は、0.304psであった。ファイバレーザ装置1Cでは、ASEフィルタ19に代えて、バンドパスフィルタBFが設けられている。1.0μm帯のレーザ光を出力する場合、分散値が正常分散となりパルスが広がり続けてしまうため、バンドパスフィルタBFによりパルスの広がりを制限する必要がある。このような第3変形例によっても、上記実施形態と同様に、良好な波形の光を出力することができると共に、高繰り返し化及び低励起パワー化を図ることができる。
 図20は、スペクトル形状を示すグラフであり、図21(a)及び図21(b)は、周波数スペクトルを示すグラフである。図20に示されるように、スペクトル幅は10.9nmであり、十分なスペクトル幅が得られた。図21(a)において、出力光の繰り返し周波数は19.9MHzであった。出力光の周波数スペクトルのS/N比は70dB以上となっていた。図21(b)に示されるように、1GHzまで帯域を広げてもピークの高さが揃っており、十分な周波数安定性が得られていた。
 本開示は、上述した実施形態及び変形例に限られない。上記実施形態において、第2光ファイバ40が第2部分42のみを有し、第2部分42が、第2部分42の速軸42X1と第2部分32の速軸32X1との間の角度が0度又は90度以外の角度θ1となるように、第1光ファイバ30の第2部分32に接続されていてもよい。同様に、第3光ファイバ50が第2部分52のみを有し、第2部分52が、第2部分52の速軸52X1と第2部分32の速軸32X1との間の角度が0度又は90度以外の角度θ2となるように、第2部分32に接続されていてもよい。
 上記実施形態では、接続箇所C2における第1部分41の速軸41X1と第2部分32の速軸32X1との間の角度(第1角度)が90度であり、接続箇所C4における第1部分51の速軸51X1と第2部分32の速軸32X1との間の角度(第2角度)が0度であったが、これとは逆に、第1角度が0度であり、第2角度が90度であってもよい。すなわち、第1角度と第2角度とが90度異なっていればよい。この場合でも、上記実施形態と同様に、良好な波形の光を出力することができると共に、高繰り返し化及び低励起パワー化を図ることができる。換言すれば、上記実施形態では、第2光ファイバ40を第3光ファイバとみなし、第3光ファイバ50を第2光ファイバとみなすこともできる。同様に、第1変形例では、第2光ファイバ40を第3光ファイバとみなし、第3光ファイバ50を第2光ファイバとみなし、第1ブリッジファイバ60を第2ブリッジファイバとみなし、第2ブリッジファイバ70を第1ブリッジファイバとみなすこともできる。
 第1光ファイバ30は、2つ以上の第1部分31を有していてもよい。この場合、複数の第1部分31及び複数の第2部分32が互い違いに(交互に)配置される。この場合にも、隣り合う第1部分31と第2部分32とは、接続箇所において第2部分32の速軸32X1が第1部分31の遅軸31X2に一致するように、互いに接続される。第1光ファイバ30が2つ以上の第1部分31を有する場合、第1部分31の総長さL31は、各第1部分31の長さを足し合わせた長さである。第1光ファイバ30は、3つ以上の第2部分32を有していてもよい。
 1,1A,1B,1C…ファイバレーザ装置、11…光源、30…第1光ファイバ、31…第1部分、32…第2部分、40…第2光ファイバ、41…第1部分、42…第2部分、50…第3光ファイバ、51…第1部分、52…第2部分、60…第1ブリッジファイバ、70…第2ブリッジファイバ、L1…励起光、31X1,32X1,41X1,42X1,51X1,52X1,60X1,70X1,X1…速軸,32X2,X2…遅軸、C1,C2,C4,C6,C8…接続箇所、θ1,θ2…角度。

Claims (13)

  1.  偏波保持ファイバにより構成された第1光ファイバと、
     偏波保持ファイバにより構成され、前記第1光ファイバの一端に接続された第2光ファイバと、
     偏波保持ファイバにより構成され、前記第1光ファイバの他端に接続された第3光ファイバと、を備え、
     前記第1光ファイバは、少なくとも1つの第1部分と、前記第1部分と互い違いに配置された少なくとも2つの第2部分と、を有し、
     隣り合う前記第1部分と前記第2部分とは、接続箇所において前記第1部分の速軸が前記第2部分の遅軸に一致するように、互いに接続されており、
     前記第1部分の総長さは、前記第2部分の総長さと等しく、
     前記第1光ファイバのモードフィールド径は、前記第2光ファイバのモードフィールド径及び前記第3光ファイバのモードフィールド径の各々よりも小さい、ファイバレーザ装置。
  2.  前記第2光ファイバ及び前記第3光ファイバの少なくとも一方は、融着により前記第1光ファイバに接続されている、請求項1に記載のファイバレーザ装置。
  3.  前記第2光ファイバは、第1部分と、第2部分と、を有し、
     前記第2光ファイバの前記第1部分は、接続箇所において前記第2光ファイバの前記第1部分の速軸が前記第1光ファイバの遅軸に一致するように、前記第1光ファイバの前記一端に接続されており、
     前記第2光ファイバの前記第2部分は、接続箇所において前記第2光ファイバの前記第2部分の速軸と前記第2光ファイバの前記第1部分の速軸との間の角度が0度又は90度以外の角度となるように、前記第2光ファイバの前記第1部分に接続されている、請求項1又は2に記載のファイバレーザ装置。
  4.  前記第3光ファイバは、第1部分と、第2部分と、を有し、
     前記第3光ファイバの前記第1部分は、接続箇所において前記第3光ファイバの前記第1部分の速軸が前記第1光ファイバの速軸に一致するように、前記第1光ファイバの前記他端に接続されており、
     前記第3光ファイバの前記第2部分は、接続箇所において前記第3光ファイバの前記第2部分の速軸と前記第3光ファイバの前記第1部分の速軸との間の角度が0度又は90度以外の角度となるように、前記第3光ファイバの前記第1部分に接続されている、請求項3に記載のファイバレーザ装置。
  5.  前記第2光ファイバの前記第1部分の長さは、前記第3光ファイバの前記第1部分の長さと等しい、請求項4に記載のファイバレーザ装置。
  6.  前記第2光ファイバは、第1部分を有し、
     前記第2光ファイバの前記第1部分は、接続箇所において前記第2光ファイバの前記第1部分の速軸が前記第1光ファイバの遅軸に一致するように、前記第1光ファイバの前記一端に接続されており、
     前記第3光ファイバは、第1部分を有し、
     前記第3光ファイバの前記第1部分は、接続箇所において前記第3光ファイバの前記第1部分の速軸が前記第1光ファイバの速軸に一致するように、前記第1光ファイバの前記他端に接続されており、
     前記第2光ファイバの前記第1部分の長さは、前記第3光ファイバの前記第1部分の長さと等しい、請求項1又は2に記載のファイバレーザ装置。
  7.  偏波保持ファイバにより構成され、前記第1光ファイバと前記第2光ファイバとの間に接続された第1ブリッジファイバを更に備え、
     前記第1ブリッジファイバのモードフィールド径は、前記第1光ファイバのモードフィールド径よりも大きく、且つ前記第2光ファイバのモードフィールド径よりも小さい、請求項1に記載のファイバレーザ装置。
  8.  偏波保持ファイバにより構成され、前記第1光ファイバと前記第3光ファイバとの間に接続された第2ブリッジファイバを更に備え、
     前記第2ブリッジファイバのモードフィールド径は、前記第1光ファイバのモードフィールド径よりも大きく、且つ前記第3光ファイバのモードフィールド径よりも小さい、請求項7に記載のファイバレーザ装置。
  9.  前記第1光ファイバは、前記第1部分及び前記第2部分を合計で偶数個有し、
     接続箇所における前記第1ブリッジファイバの速軸と前記第1光ファイバの速軸との間の角度と、接続箇所における前記第2ブリッジファイバの速軸と前記第1光ファイバの速軸との間の角度との差が90度である、請求項8に記載のファイバレーザ装置。
  10.  前記第1光ファイバは、前記第1部分及び前記第2部分を合計で奇数個有し、
     接続箇所における前記第1ブリッジファイバの速軸と前記第1光ファイバの速軸との間の角度と、接続箇所における前記第2ブリッジファイバの速軸と前記第1光ファイバの速軸との間の角度との差が0度である、請求項8に記載のファイバレーザ装置。
  11.  接続箇所における前記第1ブリッジファイバの速軸と前記第2光ファイバの速軸との間の角度と、接続箇所における前記第2ブリッジファイバの速軸と前記第3光ファイバの速軸との間の角度との差が0度である、請求項9又は10に記載のファイバレーザ装置。
  12.  前記第1ブリッジファイバの長さは、前記第2ブリッジファイバの長さと等しい、請求項8~11のいずれか一項に記載のファイバレーザ装置。
  13.  励起光を出力する光源と、
     前記励起光を吸収し、レーザ光を放出する光ファイバと、を更に備え、
     前記レーザ光は、前記第1光ファイバ、前記第2光ファイバ及び前記第3光ファイバによって導光される、請求項1~12のいずれか一項に記載のファイバレーザ装置。
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