WO2022013680A1 - 半導体装置、及び電子機器 - Google Patents

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木村肇
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Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
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Definitions

  • One aspect of the present invention relates to a semiconductor device and an electronic device.
  • one aspect of the present invention is not limited to the above technical fields.
  • the technical field of the invention disclosed in the present specification and the like relates to a product, a driving method, or a manufacturing method.
  • one aspect of the invention relates to a process, machine, manufacture, or composition (composition of matter). Therefore, more specifically, the technical fields of one aspect of the present invention disclosed in the present specification include semiconductor devices, display devices, liquid crystal display devices, light emitting devices, power storage devices, image pickup devices, storage devices, signal processing devices, and processors. , Electronic devices, systems, their driving methods, their manufacturing methods, or their inspection methods.
  • the mechanism of the brain is incorporated as an electronic circuit, and it has a circuit corresponding to "neurons” and "synapses" of the human brain. Therefore, such integrated circuits are sometimes called “neuromorphic”, “brainmorphic”, “brain-inspired” and the like.
  • the integrated circuit has a non-von Neumann architecture, and is expected to be able to perform parallel processing with extremely low power consumption as compared with the von Neumann architecture in which the power consumption increases as the processing speed increases.
  • Non-Patent Document 1 and Non-Patent Document 2 disclose an arithmetic unit in which an artificial neural network is configured by using SRAM (Static Random Access Memory).
  • a calculation is performed by multiplying the synaptic connection strength (sometimes called a weighting factor) that connects two neurons with the signal transmitted between the two neurons.
  • the connection strength of each synapse between the plurality of first neurons in the first layer and one of the second neurons in the second layer, and the plurality of first neurons in the first layer. It is necessary to multiply and add each signal input to one of the second neurons of the second layer from, that is, it is necessary to perform a product-sum operation, for example, depending on the scale of the artificial neural network.
  • the number of bond strengths and the number of parameters indicating the signal are determined.
  • the second neuron performs an operation by the activation function using the result of the product-sum calculation of the synaptic connection strength and the signal output by the first neuron, and uses the calculation result as a signal in the third layer.
  • a convolutional neural network is a type of neural network that exhibits excellent performance in the field of image recognition, but the amount of calculation is determined by the resolution of the image, the size of the filter, and the like. Specifically, for example, the higher the resolution of the image, the larger the size of the filter, and the smaller the stride, the larger the amount of computation in the convolutional neural network, which may increase the power consumption of the circuit.
  • the circuit constituting the chip has circuit elements that are not easily affected by temperature. Moreover, if the characteristics of the transistor, current source, etc. contained in the chip vary, the calculation result also varies.
  • One aspect of the present invention is to provide a semiconductor device or the like that performs product-sum calculation and / or function calculation. Alternatively, one aspect of the present invention is to provide a semiconductor device or the like that performs a convolution process. Alternatively, one aspect of the present invention is to provide a semiconductor device or the like for AI. Alternatively, one aspect of the present invention is to provide a semiconductor device or the like for DNN. Alternatively, one aspect of the present invention is to provide a semiconductor device or the like having low power consumption. Alternatively, one aspect of the present invention is to provide a semiconductor device or the like that is not easily affected by the temperature of the environment. Alternatively, one aspect of the present invention is to provide a semiconductor device or the like that is not easily affected by variations in transistor characteristics. Alternatively, one aspect of the present invention is to provide a semiconductor device or the like that is not easily affected by variations in the characteristics of a current source. Alternatively, one aspect of the present invention is to provide a new semiconductor device or the like.
  • the problem of one aspect of the present invention is not limited to the problems listed above.
  • the issues listed above do not preclude the existence of other issues.
  • Other issues are issues not mentioned in this item, which are described below. Issues not mentioned in this item can be derived from the description of the description, drawings, etc. by those skilled in the art, and can be appropriately extracted from these descriptions.
  • one aspect of the present invention solves at least one of the above-listed problems and other problems. It should be noted that one aspect of the present invention does not need to solve all of the above-listed problems and other problems.
  • One aspect of the present invention is a semiconductor device including a first circuit and a second circuit.
  • the first circuit has a first holding unit and a first driving transistor
  • the second circuit has a second holding unit and a second driving transistor.
  • the first circuit is electrically connected to the first input wiring, the second input wiring, the first wiring, and the second wiring
  • the second circuit is the first input wiring and the second input wiring.
  • the first wiring and the second wiring are electrically connected to each other.
  • the first holding unit has a function of holding the first potential corresponding to the first current flowing between the source and the drain of the first driving transistor from the first wiring
  • the second holding unit has a function of holding the first potential from the second wiring to the second.
  • the first circuit has a function of holding a second potential according to a second current flowing between the source and drain of the drive transistor.
  • the first circuit has a function of outputting the first current to the first wiring when the first level potential is input to the first input wiring and the second level potential is input to the second input wiring.
  • the second circuit has a function of outputting a second current to the second wiring when the first level potential is input to the first input wiring and the second level potential is input to the second input wiring.
  • the respective current amounts of the first current and the second current are quantities corresponding to the filter values included in the filter used in the convolution process. Further, the first level potential and the second level potential input to each of the first input wiring and the second input wiring are determined according to the image data to be convolved.
  • one aspect of the present invention is a semiconductor device having a first circuit and a second circuit, and having different components from the above (1).
  • the first circuit has a first holding unit and a first driving transistor
  • the second circuit has a second holding unit and a second driving transistor.
  • the first circuit is electrically connected to the first input wiring, the second input wiring, the first wiring, and the second wiring
  • the second circuit is the first input wiring and the second input wiring.
  • the first wiring and the second wiring are electrically connected to each other.
  • the first holding unit has a function of holding the first potential corresponding to the first current flowing between the source and the drain of the first driving transistor from the first wiring
  • the second holding unit has a function of holding the first potential from the second wiring to the second.
  • the first drive transistor has a function of passing a first current corresponding to the held first potential between the source and drain of the first drive transistor
  • the second drive transistor is the source and drain of the second drive transistor. It has a function of passing a second current according to the held second potential.
  • the first circuit transfers the first current to the first wiring when the first level potential is input to the first input wiring and the second level potential is input to the second input wiring in the first period. Output function and output the first current to the second wiring when the second level potential is input to the first input wiring and the first level potential is input to the second input wiring during the first period.
  • the first current is transferred to the first wiring and the second wiring. It has a function that does not output to.
  • the second circuit when the first level potential is input to the first input wiring and the second level potential is input to the second input wiring in the first period, the second circuit transfers the second current to the second wiring. Output function and output the second current to the first wiring when the second level potential is input to the first input wiring and the first level potential is input to the second input wiring during the first period.
  • the second current is sent to the first wiring and the second wiring. It has a function that does not output to.
  • the respective current amounts of the first current and the second current are the amounts corresponding to the filter values included in the filter used for the convolution process, and are applied to the first input wiring and the second input wiring, respectively.
  • the input first level potential, second level potential, and length of the first period are determined according to the image data to be convolved.
  • one aspect of the present invention may be a configuration in which the first period has a second period and a third period in the configuration of the above (2).
  • the first input wiring has a function of giving a first level potential or a second level potential to both the first circuit and the second circuit in the second period.
  • the second input wiring has a function of giving a first level potential or a second level potential to both the first circuit and the second circuit in the second period.
  • the first input wiring has a function of giving a first level potential or a second level potential to both the first circuit and the second circuit in the third period.
  • the second input wiring has a function of giving a first level potential or a second level potential to both the first circuit and the second circuit in the third period.
  • the length of the third period is preferably 1.8 times or more and 2.2 times or less the length of the second period.
  • the first circuit includes a first transistor, a second transistor, a third transistor, and a first capacitance.
  • the second circuit may have a configuration including a fourth transistor, a fifth transistor, a sixth transistor, and a second capacitance.
  • the first holding unit has a first transistor and a first capacitance
  • the second holding section has a fourth transistor and a second capacitance. The first terminal of the first transistor is electrically connected to the first terminal of the first capacitance and the gate of the first drive transistor, and the second terminal of the first transistor is electrically connected to the first wiring.
  • first terminal of the first drive transistor is electrically connected to the first terminal of the second transistor and the first terminal of the third transistor, and the second terminal of the second transistor is connected to the first wiring. Electrically connected, the gate of the second transistor is electrically connected to the first input wiring, the second terminal of the third transistor is electrically connected to the second wiring, and the gate of the third transistor is. It is electrically connected to the second input wiring. Further, the first terminal of the fourth transistor is electrically connected to the first terminal of the second capacitance and the gate of the second drive transistor, and the second terminal of the fourth transistor is electrically connected to the second wiring. Has been done.
  • first terminal of the second drive transistor is electrically connected to the first terminal of the fifth transistor and the first terminal of the sixth transistor, and the second terminal of the fifth transistor is connected to the second wiring. Electrically connected, the gate of the 5th transistor is electrically connected to the 1st input wiring, the 2nd terminal of the 6th transistor is electrically connected to the 1st wiring, and the gate of the 6th transistor is. It is electrically connected to the second input wiring.
  • the first circuit may have a seventh transistor
  • the second circuit may have an eighth transistor.
  • the first terminal of the seventh transistor is electrically connected to the first terminal of the first drive transistor, the first terminal of the second transistor, and the first terminal of the third transistor, and is the first terminal.
  • the second terminal of the 7-transistor is electrically connected to either the first terminal or the second terminal of the first transistor.
  • the first terminal of the eighth transistor is electrically connected to the first terminal of the second drive transistor, the first terminal of the fifth transistor, and the first terminal of the sixth transistor, and is of the eighth transistor.
  • the second terminal is electrically connected to either the first terminal or the second terminal of the fourth transistor.
  • the gate of the first transistor is electrically connected to the gate of the fourth transistor, the gate of the seventh transistor, and the gate of the eighth transistor.
  • the first circuit includes a first transistor, a second transistor, a third transistor, and a first capacitance.
  • the second circuit may have a configuration including a fourth transistor, a fifth transistor, a sixth transistor, and a second capacitance.
  • the first holding unit has a first transistor and a first capacitance
  • the second holding section has a fourth transistor and a second capacitance.
  • the first terminal of the first transistor is electrically connected to the first terminal of the first capacitance and the gate of the first drive transistor, and the first terminal of the first drive transistor is the second terminal of the first transistor.
  • the first terminal of the second transistor and the first terminal of the third transistor are electrically connected.
  • the second terminal of the second transistor is electrically connected to the first wiring
  • the gate of the second transistor is electrically connected to the first input wiring
  • the second terminal of the third transistor is the second terminal. It is electrically connected to the wiring and the gate of the third transistor is electrically connected to the second input wiring.
  • the first terminal of the fourth transistor is electrically connected to the first terminal of the second capacitance and the gate of the second drive transistor, and the first terminal of the second drive transistor is the second terminal of the fourth transistor.
  • the first terminal of the fifth transistor and the first terminal of the sixth transistor are electrically connected.
  • the second terminal of the fifth transistor is electrically connected to the second wiring
  • the gate of the fifth transistor is electrically connected to the first input wiring
  • the second terminal of the sixth transistor is the first terminal. It is electrically connected to the wiring and the gate of the sixth transistor is electrically connected to the second input wiring.
  • the first circuit has a third holding unit and a third drive transistor
  • the second circuit is a second circuit.
  • the configuration may include a four-holding unit and a fourth drive transistor.
  • the first circuit is electrically connected to the third wiring
  • the second circuit is electrically connected to the third wiring.
  • the third holding portion has a function of holding the third potential according to the third current flowing between the source and the drain of the first wiring to the third drive transistor
  • the fourth holding portion is from the second wiring. It has a function of holding a fourth potential according to a fourth current flowing between the source and drain of the fourth drive transistor.
  • the third drive transistor has a function of passing a third current corresponding to the held third potential between the source and drain of the third drive transistor
  • the fourth drive transistor is the source of the fourth drive transistor. It has a function of passing a fourth current according to the held fourth potential between the drains.
  • the semiconductor device switches the first current flowing through one of the first wiring or the second wiring to the third current according to the signal input to the third wiring, and switches to the other of the first wiring or the second wiring. It has a function to switch the flowing second current to the fourth current.
  • one aspect of the present invention may be configured to include a third circuit, a fourth circuit, and a fifth circuit in any one of the above (1) to (7).
  • the third circuit has a function of supplying a first current according to the filter value to the first circuit via the first wiring and a second circuit corresponding to the filter value to the second circuit via the second wiring. It has a function of supplying an electric current.
  • the fourth circuit has a function of inputting a first level potential or a second level potential to the first input wiring according to the image data, and a first level potential to the second input wiring according to the image data. Alternatively, it has a function of inputting a second level potential.
  • the fifth circuit has a function of comparing the currents flowing from the first wiring and the second wiring, and outputting the potential according to the product of the filter value and the image data from the output terminal of the fifth circuit. Has.
  • one aspect of the present invention is an electronic device having the semiconductor device according to any one of (1) to (8) above and a housing. Further, in the electronic device, the feature extraction of the image may be performed by the convolution process.
  • the semiconductor device is a device that utilizes semiconductor characteristics, and refers to a circuit including a semiconductor element (transistor, diode, photodiode, etc.), a device having the same circuit, and the like. It also refers to all devices that can function by utilizing semiconductor characteristics.
  • a semiconductor element transistor, diode, photodiode, etc.
  • the storage device, the display device, the light emitting device, the lighting device, the electronic device, and the like may be a semiconductor device itself, and may have a semiconductor device.
  • an element for example, a switch, a transistor, a capacitive element, an inductor, a resistance element, a diode, a display
  • One or more devices, light emitting devices, loads, etc. can be connected between X and Y.
  • the switch has a function of controlling on / off. That is, the switch is in a conducting state (on state) or a non-conducting state (off state), and has a function of controlling whether or not a current flows.
  • a circuit that enables functional connection between X and Y for example, a logic circuit (inverter, NAND circuit, NOR circuit, etc.), signal conversion) Circuits (digital-analog conversion circuit, analog-to-digital conversion circuit, gamma correction circuit, etc.), potential level conversion circuit (power supply circuit (boost circuit, step-down circuit, etc.), level shifter circuit that changes the potential level of the signal, etc.), voltage source, current source , Switching circuit, amplifier circuit (circuit that can increase signal amplitude or current amount, operational amplifier, differential amplifier circuit, source follower circuit, buffer circuit, etc.), signal generation circuit, storage circuit, control circuit, etc.) are X and Y. It is possible to connect one or more to and from. As an example, even if another circuit is sandwiched between X and Y, if the signal output from X is transmitted to Y, it is assumed that X and Y are functionally connected. do.
  • X and Y are electrically connected, it means that X and Y are electrically connected (that is, another element between X and Y). Or when they are connected by sandwiching another circuit) and when X and Y are directly connected (that is, they are connected without sandwiching another element or another circuit between X and Y). If there is) and.
  • X and Y, the source (or the first terminal, etc.) and the drain (or the second terminal, etc.) of the transistor are electrically connected to each other, and the X, the source (or the second terminal, etc.) of the transistor are connected to each other. (1 terminal, etc.), the drain of the transistor (or the 2nd terminal, etc.), and Y are electrically connected in this order.
  • the source of the transistor (or the first terminal, etc.) is electrically connected to X
  • the drain of the transistor (or the second terminal, etc.) is electrically connected to Y
  • the first terminal, etc.), the drain of the transistor (or the second terminal, etc.), and Y are electrically connected in this order.
  • X is electrically connected to Y via the source (or first terminal, etc.) and drain (or second terminal, etc.) of the transistor, and X, the source (or first terminal, etc.) of the transistor.
  • the terminals, etc.), the drain of the transistor (or the second terminal, etc.), and Y are provided in this connection order.
  • the source (or first terminal, etc.) and drain (or second terminal, etc.) of the transistor can be separated. Separately, the technical scope can be determined. It should be noted that these expression methods are examples, and are not limited to these expression methods.
  • X and Y are objects (for example, devices, elements, circuits, wirings, electrodes, terminals, conductive films, layers, etc.).
  • the circuit diagram shows that the independent components are electrically connected to each other, the case where one component has the functions of a plurality of components together.
  • one conductive film has both the function of the wiring and the function of the component of the function of the electrode. Therefore, the electrical connection in the present specification also includes the case where one conductive film has the functions of a plurality of components in combination.
  • the “resistance element” can be, for example, a circuit element having a resistance value higher than 0 ⁇ , wiring, or the like. Therefore, in the present specification and the like, the “resistance element” includes wiring having a resistance value, a transistor in which a current flows between a source and a drain, a diode, a coil, and the like. Therefore, the term “resistance element” may be paraphrased into terms such as “resistance”, “load”, and “region having a resistance value”. On the contrary, the terms “resistance”, “load”, and “region having a resistance value” may be paraphrased into terms such as “resistance element”.
  • the resistance value can be, for example, preferably 1 m ⁇ or more and 10 ⁇ or less, more preferably 5 m ⁇ or more and 5 ⁇ or less, and further preferably 10 m ⁇ or more and 1 ⁇ or less. Further, for example, it may be 1 ⁇ or more and 1 ⁇ 10 9 ⁇ or less.
  • the “capacitance element” means, for example, a circuit element having a capacitance value higher than 0F, a wiring region having a capacitance value, a parasitic capacitance, a transistor gate capacitance, and the like. Can be. Therefore, in the present specification and the like, the terms “capacitive element”, “parasitic capacitance”, “gate capacitance” and the like may be paraphrased into terms such as “capacity”. Conversely, the term “capacity” may be paraphrased into terms such as “capacitive element”, “parasitic capacitance”, and “gate capacitance”.
  • the term “pair of electrodes” of “capacity” can be paraphrased as “pair of conductors", “pair of conductive regions", “pair of regions” and the like.
  • the value of the capacitance can be, for example, 0.05 fF or more and 10 pF or less. Further, for example, it may be 1 pF or more and 10 ⁇ F or less.
  • the transistor has three terminals called a gate, a source, and a drain.
  • the gate is a control terminal that controls the conduction state of the transistor.
  • the two terminals that function as sources or drains are the input and output terminals of the transistor.
  • One of the two input / output terminals becomes a source and the other becomes a drain depending on the high and low potentials given to the conductive type (n-channel type and p-channel type) of the transistor and the three terminals of the transistor. Therefore, in the present specification and the like, the terms source and drain can be paraphrased.
  • the transistor when explaining the connection relationship of transistors, "one of the source or drain” (or the first electrode or the first terminal), “the other of the source or drain” (or the second electrode, or the second electrode, or The notation (second terminal) is used.
  • it may have a back gate in addition to the above-mentioned three terminals.
  • one of the gate or the back gate of the transistor may be referred to as a first gate
  • the other of the gate or the back gate of the transistor may be referred to as a second gate.
  • the terms “gate” and “backgate” may be interchangeable.
  • the respective gates When the transistor has three or more gates, the respective gates may be referred to as a first gate, a second gate, a third gate, and the like in the present specification and the like.
  • the circuit element may have a plurality of circuit elements.
  • one resistance is described on the circuit diagram, it includes the case where two or more resistances are electrically connected in series.
  • one capacity is described on the circuit diagram, it includes a case where two or more capacities are electrically connected in parallel.
  • one transistor is described on the circuit diagram, two or more transistors are electrically connected in series, and the gates of the respective transistors are electrically connected to each other.
  • Shall include.
  • the switch has two or more transistors, and two or more transistors are electrically connected in series, respectively. It is assumed that the case where the gates of the transistors of the above are electrically connected to each other is included.
  • a node can be paraphrased as a terminal, a wiring, an electrode, a conductive layer, a conductor, an impurity region, etc., depending on a circuit configuration, a device structure, and the like.
  • terminals, wiring, etc. can be paraphrased as nodes.
  • ground potential ground potential
  • the potentials are relative, and when the reference potential changes, the potential given to the wiring, the potential applied to the circuit, the potential output from the circuit, and the like also change.
  • the terms “high level potential” and “low level potential” do not mean a specific potential.
  • the high level potentials provided by both wirings do not have to be equal to each other.
  • the low-level potentials provided by both wirings do not have to be equal to each other. ..
  • the "current” is a charge transfer phenomenon (electrical conduction).
  • the description “electrical conduction of a positively charged body is occurring” means “electrical conduction of a negatively charged body in the opposite direction”. Is happening. " Therefore, in the present specification and the like, “current” refers to a charge transfer phenomenon (electrical conduction) associated with carrier transfer, unless otherwise specified.
  • the carrier here include electrons, holes, anions, cations, complex ions, and the like, and the carriers differ depending on the system in which the current flows (for example, semiconductor, metal, electrolyte, in vacuum, etc.).
  • the "current direction” in wiring or the like is the direction in which the carrier that becomes a positive charge moves, and is described as a positive current amount.
  • the direction in which the carrier that becomes a negative charge moves is opposite to the direction of the current, and is expressed by the amount of negative current. Therefore, in the present specification and the like, if there is no disclaimer regarding the positive or negative current (or the direction of the current), the description such as “current flows from element A to element B” means “current flows from element B to element A”. Can be rephrased as. Further, the description such as “a current is input to the element A” can be rephrased as "a current is output from the element A” or the like.
  • the ordinal numbers “1st”, “2nd”, and “3rd” are added to avoid confusion of the components. Therefore, the number of components is not limited. Moreover, the order of the components is not limited. For example, the component referred to in “first” in one of the embodiments of the present specification and the like may be the other embodiment or the component referred to in “second” in the scope of claims. There can also be. Further, for example, the component referred to in “first” in one of the embodiments of the present specification and the like may be omitted in other embodiments or in the scope of claims.
  • the terms “upper” and “lower” do not limit the positional relationship of the components to be directly above or directly below and to be in direct contact with each other.
  • the terms “electrode B on the insulating layer A” it is not necessary that the electrode B is formed in direct contact with the insulating layer A, and another configuration is formed between the insulating layer A and the electrode B. Do not exclude those that contain elements.
  • words such as “membrane” and “layer” can be interchanged with each other depending on the situation.
  • the terms “insulating layer” and “insulating film” may be changed to the term "insulator”.
  • Electrode may be used as part of a “wiring” and vice versa.
  • the term “electrode” or “wiring” includes a case where a plurality of “electrodes”, “wiring” and the like are integrally formed.
  • a “terminal” may be used as part of a “wiring”, “electrode”, etc., and vice versa.
  • the term “terminal” includes a case where a plurality of "electrodes", “wiring”, “terminals” and the like are integrally formed.
  • the "electrode” can be a part of “wiring” or “terminal”, and for example, “terminal” can be a part of “wiring” or “electrode”. Further, terms such as “electrode”, “wiring”, and “terminal” may be replaced with terms such as "area” in some cases.
  • terms such as “wiring”, “signal line”, and “power line” can be interchanged with each other in some cases or depending on the situation.
  • the reverse is also true, and it may be possible to change terms such as “signal line” and “power line” to the term “wiring”.
  • a term such as “power line” may be changed to a term such as "signal line”.
  • a term such as “signal line” may be changed to a term such as “power line”.
  • the term “potential” applied to the wiring may be changed to a term such as “signal” in some cases or depending on the situation.
  • the reverse is also true, and terms such as “signal” may be changed to the term “potential”.
  • the semiconductor impurities refer to, for example, other than the main components constituting the semiconductor layer.
  • an element having a concentration of less than 0.1 atomic% is an impurity.
  • the inclusion of impurities may result in, for example, an increase in the defect level density of the semiconductor, a decrease in carrier mobility, a decrease in crystallinity, and the like.
  • the impurities that change the characteristics of the semiconductor include, for example, group 1 element, group 2 element, group 13 element, group 14 element, group 15 element, and other than the main component.
  • the impurities that change the characteristics of the semiconductor include, for example, Group 1 elements, Group 2 elements, Group 13 elements, Group 15 elements and the like (however, oxygen, Does not contain hydrogen).
  • the switch means a switch that is in a conductive state (on state) or a non-conducting state (off state) and has a function of controlling whether or not a current flows.
  • the switch means a switch having a function of selecting and switching a path through which a current flows.
  • an electric switch, a mechanical switch, or the like can be used. That is, the switch is not limited to a specific switch as long as it can control the current.
  • Examples of electrical switches include transistors (for example, bipolar transistors, MOS transistors, etc.), diodes (for example, PN diodes, PIN diodes, shotkey diodes, MIM (Metal Insulator Metal) diodes, and MIS (Metal Insulator Semiconductor) diodes. , Diode-connected transistors, etc.), or logic circuits that combine these.
  • transistors for example, bipolar transistors, MOS transistors, etc.
  • diodes for example, PN diodes, PIN diodes, shotkey diodes, MIM (Metal Insulator Metal) diodes, and MIS (Metal Insulator Semiconductor) diodes. , Diode-connected transistors, etc.
  • the "conduction state" of the transistor means a state in which the source electrode and the drain electrode of the transistor can be regarded as being electrically short-circuited.
  • non-conducting state means a state in which the source electrode and the drain electrode of the transistor can be
  • An example of a mechanical switch is a switch that uses MEMS (Micro Electro Mechanical System) technology.
  • the switch has an electrode that can be moved mechanically, and by moving the electrode, conduction and non-conduction are controlled and operated.
  • parallel means a state in which two straight lines are arranged at an angle of -10 ° or more and 10 ° or less. Therefore, the case of ⁇ 5 ° or more and 5 ° or less is also included.
  • substantially parallel or approximately parallel means a state in which two straight lines are arranged at an angle of -30 ° or more and 30 ° or less.
  • vertical means a state in which two straight lines are arranged at an angle of 80 ° or more and 100 ° or less. Therefore, the case of 85 ° or more and 95 ° or less is also included.
  • substantially vertical or “approximately vertical” means a state in which two straight lines are arranged at an angle of 60 ° or more and 120 ° or less.
  • a semiconductor device or the like that performs a product-sum calculation and / or a function calculation.
  • a semiconductor device or the like that performs a convolution process.
  • a semiconductor device or the like having low power consumption it is possible to provide a semiconductor device or the like that is not easily affected by the temperature of the environment.
  • a semiconductor device or the like that is not easily affected by variations in the characteristics of the transistor.
  • a semiconductor device or the like that is not easily affected by variations in the characteristics of the current source.
  • a novel semiconductor device or the like can be provided.
  • the effect of one aspect of the present invention is not limited to the effects listed above.
  • the effects listed above do not preclude the existence of other effects.
  • the other effects are the effects not mentioned in this item, which are described below. Effects not mentioned in this item can be derived from the description in the specification, drawings, etc. by those skilled in the art, and can be appropriately extracted from these descriptions.
  • one aspect of the present invention has at least one of the above-listed effects and other effects. Therefore, one aspect of the present invention may not have the effects listed above in some cases.
  • FIGS. 1A and 1B are diagrams illustrating a hierarchical neural network.
  • FIG. 2 is a circuit diagram showing a configuration example of a semiconductor device.
  • FIG. 3 is a circuit diagram showing a configuration example of a semiconductor device.
  • FIG. 4 is a circuit diagram showing a configuration example of a semiconductor device.
  • Each of FIGS. 5A to 5F is a circuit diagram showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device.
  • FIGS. 6A to 6F is a circuit diagram showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device.
  • FIG. 7 is a circuit diagram showing a configuration example of a semiconductor device.
  • FIGS. 8A to 8D is a circuit diagram showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device.
  • FIGS. 8A to 8D is a circuit diagram showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device.
  • FIGS. 15A to 15C is a circuit diagram showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device.
  • 16A and 16B are circuit diagrams showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device.
  • FIGS. 15A to 15C is a circuit diagram showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device.
  • FIG. 17A to 17C is a circuit diagram showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device.
  • FIGS. 18A to 18C is a timing chart illustrating an operation example of the semiconductor device.
  • FIGS. 19A to 19C is a timing chart illustrating an operation example of the semiconductor device.
  • 20A to 20C are timing charts illustrating operation examples of the semiconductor device.
  • 21A and 21B are circuit diagrams showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device.
  • 22A and 22B are circuit diagrams showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device.
  • 23A and 23B are circuit diagrams showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device.
  • FIG. 24 is a circuit diagram showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device.
  • FIG. 25 is a circuit diagram showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device.
  • FIG. 26 is a circuit diagram showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device.
  • FIG. 27 is a circuit diagram showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device.
  • FIG. 28 is a circuit diagram showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device.
  • FIG. 29 is a circuit diagram showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device.
  • 30A and 30B are circuit diagrams showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device.
  • FIG. 31 is a circuit diagram showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device.
  • FIG. 32 is a circuit diagram showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device.
  • FIG. 33 is a circuit diagram showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device.
  • FIG. 34 is a circuit diagram showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device.
  • FIG. 35 is a circuit diagram showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device.
  • FIG. 36 is a circuit diagram showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device.
  • FIG. 37 is a circuit diagram showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device.
  • FIG. 38 is a circuit diagram showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device.
  • FIG. 39 is a circuit diagram showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device.
  • FIG. 40 is a circuit diagram showing a configuration example of a circuit included in a semiconductor device.
  • FIG. 41A to 41C is a circuit diagram showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device.
  • FIG. 42 is a circuit diagram showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device.
  • FIG. 43 is a circuit diagram showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device.
  • FIG. 44 is a circuit diagram showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device.
  • FIG. 45 is a circuit diagram showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device.
  • FIG. 46 is a circuit diagram showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device.
  • 47A and 47B are circuit diagrams showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device.
  • FIG. 48 is a circuit diagram showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device. Each of FIGS.
  • FIG. 49A to 49C is a timing chart illustrating an operation example of the semiconductor device.
  • FIGS. 50A to 50C is a timing chart illustrating an operation example of the semiconductor device.
  • FIG. 51 is a circuit diagram showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device.
  • FIG. 52 is a circuit diagram showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device.
  • FIG. 53 is a circuit diagram showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device.
  • FIG. 54 is a circuit diagram showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device.
  • 55A and 55B are circuit diagrams showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device.
  • FIGS. 56A to 56C is a circuit diagram showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device.
  • FIG. 57A and 57B are circuit diagrams showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device.
  • FIG. 58 is a circuit diagram showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device.
  • 59A and 59B are circuit diagrams showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device.
  • 60A and 60B are circuit diagrams showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device.
  • 61A and 61B are diagrams showing voltage-current characteristics of a transistor included in a semiconductor device.
  • FIG. 62 is a circuit diagram showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device.
  • FIG. 63 is a circuit diagram showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device.
  • FIG. 64 is a circuit diagram showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device.
  • FIG. 65 is a circuit diagram showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device.
  • FIG. 66 is a block diagram showing a configuration example of CNN.
  • FIG. 67A is a diagram showing a configuration example of pixels
  • FIG. 67B is a diagram showing a configuration example of a filter.
  • 68A and 68B are diagrams illustrating an example of the convolution process.
  • FIG. 69 is a diagram illustrating an example of the convolution process.
  • FIG. 70 is a diagram showing a configuration example of a feature map.
  • FIG. 71 is a block diagram illustrating an example of a semiconductor device that performs an operation of a convolution process.
  • FIG. 72 is a block diagram illustrating an example of a semiconductor device that performs an operation of a convolution process.
  • FIG. 73 is a block diagram illustrating an example of a semiconductor device that performs an operation of a convolution process.
  • FIG. 74 is a block diagram illustrating an example of a semiconductor device that performs an operation of a convolution process.
  • 75A and 75B are circuit diagrams showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device.
  • 76A to 76D are circuit diagrams showing a configuration example of a circuit included in the semiconductor device.
  • FIG. 77 is a schematic cross-sectional view showing a configuration example of a semiconductor device.
  • 78A to 78C are schematic cross-sectional views showing a configuration example of a transistor.
  • FIG. 79 is a schematic cross-sectional view showing a configuration example of a semiconductor device.
  • 80A and 80B are schematic cross-sectional views showing a configuration example of a transistor.
  • FIG. 81 is a schematic cross-sectional view showing a configuration example of a transistor.
  • FIG. 82A is a diagram for explaining the classification of the crystal structure of IGZO
  • FIG. 82B is a diagram for explaining the XRD spectrum of crystalline IGZO
  • FIG. 82C is a diagram for explaining the microelectron diffraction pattern of crystalline IGZO.
  • .. 83A is a perspective view showing an example of a semiconductor wafer
  • FIG. 83B is a perspective view showing an example of a chip
  • FIGS. 83C and 83D are perspective views showing an example of an electronic component.
  • FIG. 84 is a perspective view showing an example of an electronic device.
  • 85A to 85C are perspective views showing an example of an electronic device.
  • the synaptic connection strength can be changed by giving existing information to the neural network.
  • the process of giving existing information to the neural network and determining the bond strength may be called "learning”.
  • neural network models include Hopfield type and hierarchical type.
  • a neural network having a multi-layer structure may be referred to as a “deep neural network” (DNN), and machine learning by a deep neural network may be referred to as “deep learning”.
  • DNN deep neural network
  • machine learning by a deep neural network may be referred to as “deep learning”.
  • a metal oxide is a metal oxide in a broad sense. Metal oxides are classified into oxide insulators, oxide conductors (including transparent oxide conductors), oxide semiconductors (also referred to as Oxide Semiconductor or simply OS) and the like. For example, when a metal oxide is contained in the channel forming region of a transistor, the metal oxide may be referred to as an oxide semiconductor. That is, when a metal oxide can form a channel forming region of a transistor having at least one of an amplification action, a rectifying action, and a switching action, the metal oxide is referred to as a metal oxide semiconductor. be able to. Further, when the term "OS transistor" is used, it can be rephrased as a transistor having a metal oxide or an oxide semiconductor.
  • a metal oxide having nitrogen may also be collectively referred to as a metal oxide. Further, the metal oxide having nitrogen may be referred to as a metal oxynitride.
  • the configuration shown in each embodiment can be appropriately combined with the configuration shown in other embodiments to form one aspect of the present invention. Further, when a plurality of configuration examples are shown in one embodiment, the configuration examples can be appropriately combined with each other.
  • the content described in one embodiment (may be a part of the content) is different from the content described in the embodiment (may be a part of the content) and one or more different implementations. It is possible to apply, combine, or replace at least one content with the content described in the form of (may be a part of the content).
  • figure (which may be a part) described in one embodiment is different from another part of the figure, another figure (which may be a part) described in the embodiment, and one or more different figures.
  • the figure (which may be a part) described in the embodiment is different from another part of the figure, another figure (which may be a part) described in the embodiment, and one or more different figures.
  • more figures can be formed.
  • the code is used for identification such as "_1", “[n]”, “[m, n]”. May be added and described. Further, in the drawings and the like, when the reference numerals such as “_1”, “[n]” and “[m, n]” are added to the reference numerals, when it is not necessary to distinguish them in the present specification and the like, when it is not necessary to distinguish them.
  • the identification code may not be described.
  • a hierarchical neural network has one input layer, one or more intermediate layers (hidden layers), and one output layer, and is composed of a total of three or more layers.
  • the hierarchical neural network 100 shown in FIG. 1A shows an example thereof, and the neural network 100 has a first layer to an R layer (R here can be an integer of 4 or more). ing.
  • R can be an integer of 4 or more
  • the first layer corresponds to the input layer
  • the R layer corresponds to the output layer
  • the other layers correspond to the intermediate layer.
  • FIG. 1A illustrates the (k-1) th layer and the kth layer (here, k is an integer of 3 or more and R-1 or less) as the intermediate layer, and the other intermediate layers. Is not shown.
  • Each layer of the neural network 100 has one or more neurons.
  • the first layer has neurons N 1 (1) to neurons N p (1) (where p is an integer of 1 or more), and the layer (k-1) has neurons N 1. (K-1) to neuron N m (k-1) (where m is an integer of 1 or more), and the kth layer is neuron N 1 (k) to neuron N n (k) ( Here, n is an integer of 1 or more), and the layer R has neurons N 1 (R) to neurons N q (R) (where q is an integer of 1 or more). ..
  • Figure 1B is a neuron N j of the k-th layer (k), shows the signal which is input to the neuron N j (k), a signal output from the neuron N j (k), the.
  • the degree of signal transmission is determined by the strength of synaptic connections (hereinafter referred to as weighting factors) that connect these neurons.
  • weighting factors the strength of synaptic connections that connect these neurons.
  • the signal output from the neurons in the previous layer is multiplied by the corresponding weighting factor and input to the neurons in the next layer.
  • i an integer 1 or m
  • the signal input to the neuron Nj (k) in the kth layer can be expressed by the equation (1.1).
  • the signal is used.
  • a weighting coefficient w 1 (k-1) j (k) to w m (k-1) j (k) corresponding to each signal is used. Is multiplied.
  • the neurons N j (k) in the k-th layer have w 1 (k-1) j (k) ⁇ z 1 (k-1) to w m (k-1) j (k) ⁇ z m (k-1).
  • k-1) is input.
  • the total sum u j (k) of the signals input to the neurons N j (k) in the k-th layer is given by Eq. (1.2).
  • the result of the sum of products may be biased as a bias.
  • the bias is b
  • the equation (1.2) can be rewritten as the following equation.
  • the neuron N j (k) produces an output signal z j (k) in response to u j (k).
  • the output signal z j (k) from the neuron N j (k) is defined by the following equation.
  • the function f (u j (k) ) is an activation function in a hierarchical neural network, and a step function, a ramp function (ReLU function), a sigmoid function, a tanh function, a softmax function, and the like can be used.
  • the activation function may be the same or different in all neurons.
  • the activation function of neurons may be the same or different in each layer.
  • the signal output by the neurons in each layer, the weighting factor w, or the bias b may be an analog value or a digital value.
  • the digital value may be, for example, a binary value or a ternary value. A value with a larger number of bits may be used.
  • an analog value for example, a linear ramp function, a sigmoid function, or the like may be used as the activation function.
  • binary digital values for example, a step function with an output of -1 or 1 or 0 or 1 may be used.
  • the signal output by the neuron in each layer may have three or more values.
  • the activation function that outputs three values is, for example, a step function having three or more values, for example, an output of -1, 0, or 1.
  • a step function or the like with 0, 1, or 2 may be used.
  • a step function of -2, -1, 0, 1, or 2 may be used.
  • the neural network 100 By inputting an input signal to the first layer (input layer), the neural network 100 is sequentially input from the front layer in each layer from the first layer (input layer) to the last layer (output layer). Based on the signal, an output signal is generated using the equation (1.1), the equation (1.2) (or the equation (1.3)), and the equation (1.4), and the output signal is transferred to the next layer. Perform the operation to output to. The signal output from the last layer (output layer) corresponds to the result calculated by the neural network 100.
  • the weight coefficient of the synapse circuit of the neural network 100 is binary (a combination of “-1” and “+1”, a combination of “0”, “+1”, etc.), and 3 A value (a combination of "-1", “0”, “1”, etc.) or a multi-value of 4 or more values (in the case of 5 values, "-2", “-1", “0”, “1” , “2” combination, etc.), and the activation function of the neuron is binary ("-1", "+1” combination, or "0", "+1” combination, etc.), trivalent (“-1").
  • weighting coefficient and the calculated value of the synaptic circuit of the neural network 100 are not limited to digital values, and analog values can be used for at least one of them.
  • the arithmetic circuit 110 shown in FIG. 2 is, for example, a semiconductor device including an array unit ALP, a circuit ILD, a circuit WLD, a circuit XLD, and a circuit AFP.
  • the arithmetic circuit 110 transmits signals z 1 (k-1) to z m (k-1) input to neurons N 1 (k) to neurons N n (k) in the kth layer in FIGS. 1A and 1B. It is a circuit which processes and generates the signal z 1 (k) to z n (k) output from each of the neuron N 1 (k) to the neuron N n (k).
  • the entire or part of the arithmetic circuit 110 may be used for purposes other than neural networks, AI, and the like.
  • the entire operation circuit 110 or a part thereof. May be used for processing. That is, not only the calculation for AI but also the whole or a part of the arithmetic circuit 110 may be used for general calculation.
  • the circuit ILD is electrically connected to the wiring IL [1] to the wiring IL [n] and the wiring ILB [1] to the wiring ILB [n].
  • the circuit WLD is electrically connected to the wiring WLS [1] to the wiring WLS [m].
  • the circuit XLD is electrically connected to the wiring XLS [1] to the wiring XLS [m].
  • the circuit AFP is electrically connected to the wiring OL [1] to the wiring OL [n] and the wiring OLB [1] to the wiring OLB [n].
  • the array unit ALP has m ⁇ n circuit MPs as an example.
  • the circuit MP is arranged in a matrix of m rows and n columns in the array unit ALP.
  • the circuit MP located in the i-row j column (where i is an integer of 1 or more and m or less and j is an integer of 1 or more and n or less) is referred to as a circuit MP [i, It is written as j].
  • FIG. 2 only the circuit MP [1,1], the circuit MP [m, 1], the circuit MP [i, j], the circuit MP [1, n], and the circuit MP [m, n] are shown.
  • Other circuit MPs are not shown.
  • the circuit MP [i, j] includes wiring IL [j], wiring ILB [j], wiring WLS [i], wiring XLS [i], wiring OL [j], and wiring OLB [ j] and are electrically connected to.
  • the circuit MP [i, j] may be referred to as a weighting coefficient (either the first data or the second data ) between the neuron N i (k-1) and the neuron N j (k).
  • it has a function of holding (referred to as first data).
  • the circuit MP [i, j] has information (for example, potential, resistance value, current) according to the first data (weight coefficient) input from the wiring IL [j] and the wiring ILB [j]. (Value, etc.) is retained.
  • the circuit MP [i, j] may be referred to as neuron N i (k-1) signal is output from the z i (k-1) (the first data or the other of the second data.
  • the second data has a function of outputting the product of the first data (referred to as the second data).
  • the second data z i (k-1) is input from the wiring XLS [i], so that the product of the first data and the second data is obtained.
  • the corresponding information for example, current, voltage, etc.
  • the information related to the product of the first data and the second data for example, current, voltage, etc.
  • the wiring IL [j] and the wiring ILB [j] are arranged is shown, one aspect of the present invention is not limited to this. Only one of the wiring IL [j] and the wiring ILB [j] may be arranged.
  • the circuit ILD has a circuit MP [1, 1] to a circuit MP [m, via a wiring IL [1] to a wiring IL [n] and a wiring ILB [1] to a wiring ILB [n].
  • information eg, potential, resistance value, etc.
  • w 1 (k-1) 1 (k) to w m (k-1) n (k) which is a weighting coefficient. It has a function to input the current value etc.).
  • the circuit ILD the information with respect to the circuit MP [i, j], corresponding to the first data w i is a weighting factor (k-1) j (k ) ( e.g., potential, resistance The value, current value, etc.) is supplied by the wiring IL [j] and the wiring ILB [j].
  • k-1 j (k ) e.g., potential, resistance
  • circuit XLD has a neuron N 1 (k-1 ) for each of the circuits MP [1, 1] to the circuit MP [m, n] via the wiring XLS [1] to the wiring XLS [m]. ) To the second data z 1 (k-1) to z m (k-1) corresponding to the calculated value output from the neuron N m (k-1) .
  • circuit XLD is circuit MP [i, 1] to circuit MP [i, n] relative to neuron N i (k-1) second data z i outputted from the (k-1) Information corresponding to (for example, potential, current value, etc.) is supplied by the wiring XLS [i].
  • the wiring XLS [i] may be a plurality of wirings.
  • FIG. 3 shows an arithmetic circuit having a configuration in which the wiring XLS [i] electrically connected to the circuit MP [i, j] of the arithmetic circuit 110 is replaced with two wirings X1L and X2L. Shows 120.
  • the wiring XLS [i] is arranged is shown, one aspect of the present invention is not limited to this.
  • a wiring for transmitting an inverted signal of the signal input to the wiring XLS [i] may be separately arranged.
  • the circuit WLD has a function of selecting a circuit MP to which information (for example, potential, resistance value, current value, etc.) corresponding to the first data input from the circuit ILD is written. For example, when writing information (for example, potential, resistance value, current value, etc.) to the circuit MP [i, 1] to the circuit MP [i, n] located in the i-th row of the array unit ALP, the circuit WLD For example, a signal for turning the write switching element included in the circuit MP [i, 1] to the circuit MP [i, n] into an on state or an off state is supplied to the wiring WLS [i], except for the i-th line.
  • information for example, potential, resistance value, current value, etc.
  • the potential for turning off the writing switching element included in the circuit MP of the above circuit MP may be supplied to the wiring WLS.
  • the wiring WLS [i] is arranged, one aspect of the present invention is not limited to this.
  • a wiring for transmitting an inverted signal of the signal input to the wiring WLS [i] may be separately arranged.
  • the wiring WLS [i] may be replaced with a plurality of wirings.
  • the wiring X1L [i] of the arithmetic circuit 120 of FIG. 3 may also be used as a selection signal line for writing information to the circuit MP [i, 1] to the circuit MP [i, n].
  • the wiring X1L [i] of the arithmetic circuit 120 is regarded as the wiring WX1L [i], and the wiring WX1L is electrically connected to the circuit WLD and the circuit XLD. It may have been done.
  • the wiring WX1L [i] is supplied with a signal for turning on or off the writing switching element included in the circuit MP [i, 1] to the circuit MP [i, n] from the circuit WLD.
  • the circuit XLD preferably has a function of making a non-conducting state between the circuit XLD and the wiring WX1L.
  • the second data z 1 (k-1) to z m corresponding to the calculated values output from the neurons N 1 (k-1) to the neurons N m (k-1) via the wiring WX1L [i].
  • the circuit WLD has a function of making the circuit WLD and the wiring WX1L non-conducting. It is preferable to have.
  • the circuit AFP has, for example, a circuit ACTF [1] to a circuit ACTF [n].
  • the circuit ACTF [j] is electrically connected to each of the wiring OL [j] and the wiring OLB [j].
  • the circuit ACTF [j] generates a signal corresponding to each information (for example, potential, current value, etc.) input from the wiring OL [j] and the wiring OLB [j].
  • the respective information for example, potential, current value, etc.
  • the wiring OL [j] and the wiring OLB [j] is compared, and a signal corresponding to the comparison result is generated.
  • the signal corresponds to the signal z j (k) output from the neuron N j (k) .
  • the circuit ACTF [1] to the circuit ACTF [n] functions, for example, as a circuit for performing the calculation of the activation function of the neural network described above.
  • the circuit ACTF [1] to the circuit ACTF [n] may have a function of converting an analog signal into a digital signal.
  • the circuit ACTF [1] to the circuit ACTF [n] may have a function of amplifying and outputting an analog signal, that is, a function of converting an output impedance.
  • the circuit ACTF [1] to the circuit ACTF [n] may have a function of converting a current or an electric charge into a voltage.
  • the circuit ACTF [j] may have a function of initializing the potentials of the wiring OL [j] and the wiring OLB [j].
  • the circuit ACTF In the arithmetic circuit 110, the arithmetic circuit 120, and the arithmetic circuit 130 shown in FIGS. 2 to 4, examples of the case where the circuit ACTF is arranged are shown, but one aspect of the present invention is not limited thereto. ..
  • the circuit ACTF may not be arranged in the circuit AFP.
  • FIG. 5A is a circuit that generates a signal z j (k) according to a current input from the wiring OL [j] and the wiring OLB [j].
  • FIG. 5A shows an example of an operation circuit of an activation function that outputs an output signal z j (k) represented by a binary value.
  • the circuit ACTF [j] has, for example, a resistor RE, a resistor REB, and a comparator CMP.
  • the resistance RE and the resistance REB have a function of converting a current into a voltage. Therefore, any element or circuit having a function of converting a current into a voltage is not limited to a resistor.
  • the wiring OL [j] is electrically connected to the first terminal of the resistor RE and the first input terminal of the comparator CMP, and the wiring OLB [j] is connected to the first terminal of the resistor REB and the comparator CMP. It is electrically connected to the second input terminal.
  • the second terminal of the resistance RE is electrically connected to the wiring VAL
  • the second terminal of the resistance REB is electrically connected to the wiring VAL.
  • the second terminal of the resistance RE and the second terminal of the resistance REB may be connected to the same wiring. Alternatively, it may be connected to another wiring having the same potential.
  • the resistance values of the resistance RE and the resistance REB are equal to each other.
  • the difference between the resistance values of the resistance RE and the resistance REB is within 10%, more preferably within 5% of the resistance value of the resistance RE.
  • one aspect of the present invention is not limited to this. In some cases, or depending on the situation, the resistance values of the resistors RE and the resistors REB may be different from each other.
  • Wiring VAL functions as wiring that gives a constant voltage, for example.
  • the constant voltage may be, for example, VDD, which is a high level potential, VSS, which is a low level potential, or ground potential (GND). Further, it is preferable to appropriately set the constant voltage according to the configuration of the circuit MP. Further, for example, a pulse signal may be supplied to the wiring VAL instead of a constant voltage.
  • the voltage between the first terminal and the second terminal of the resistance RE is determined according to the current flowing from the wiring OL [j]. Therefore, the resistance value of the resistor RE and the voltage corresponding to the current are input to the first input terminal of the comparator CMP.
  • the voltage between the first terminal and the second terminal of the resistor REB is determined according to the current flowing from the wiring OLB [j]. Therefore, the resistance value of the resistor REB and the voltage corresponding to the current are input to the second input terminal of the comparator CMP.
  • the comparator CMP has a function of comparing the voltages input to each of the first input terminal and the second input terminal and outputting a signal from the output terminal of the comparator CMP according to the comparison result.
  • the comparator CMP outputs a high level potential from the output terminal of the comparator CMP when the voltage input to the second input terminal is higher than the voltage input to the first input terminal, and the second input terminal.
  • the low level potential can be output from the output terminal of the comparator CMP.
  • the output signal z j (k) output by the circuit ACTF [j] should be a binary value.
  • each of the high level potential and the low level potential output from the output terminal of the comparator CMP can correspond to "+1" and "-1” as the output signal zj (k).
  • the high level potential and the low level potential output from the output terminal of the comparator CMP may correspond to "+1" and "0” as the output signal zj (k), respectively.
  • the resistance RE and the resistance REB are used, but the resistance is not limited as long as it is an element or circuit having a function of converting a current into a voltage. Therefore, the resistance RE and the resistance REB of the circuit ACTF [j] of FIG. 5A can be replaced with another circuit element.
  • the circuit ACTF [j] shown in FIG. 5B is a circuit in which the resistance RE and the resistance REB included in the circuit ACTF [j] of FIG. 5A are replaced with the capacitance CE and the capacitance CEB, and the circuit ACTF [j] of FIG. ], Almost the same operation can be performed.
  • the capacitance values of the capacitance CE and the capacitance CEB are equal to each other.
  • the difference between the capacitance values of the capacitance CE and the capacitance CEB is within 10%, more preferably within 5% of the capacitance value of the capacitance CE.
  • a circuit for initializing the electric charge accumulated in the capacitance CE and the capacitance CEB may be provided.
  • a switch may be provided in parallel with the capacitance CE.
  • the second terminal of the switch is connected to the wiring VAL, and the first terminal of the switch is connected to the first terminal of the capacitance CE, the wiring OL [j], and the first input terminal of the comparator CMP. May be good.
  • the second terminal of the switch is connected to a wiring different from the wiring VAL, and the first terminal of the switch is connected to the first terminal of the capacitance CE, the wiring OL [j], and the first input terminal of the comparator CMP. It may be connected.
  • the circuit ACTF [j] shown in FIG. 5C is a circuit in which the resistor RE and the resistor REB included in the circuit ACTF [j] of FIG.
  • comparator CMP included in the circuit ACTF [j] of FIGS. 5A to 5C can be replaced with an operational amplifier OP as an example.
  • the circuit ACTF [j] shown in FIG. 5D shows a circuit diagram in which the comparator CMP of the circuit ACTF [j] of FIG. 5A is replaced with an operational amplifier OP.
  • the switch S01a and the switch S01b may be provided in the circuit ACTF [j] of FIG. 5B.
  • the circuit ACTF [j] can hold the potential corresponding to the current input from the wiring OL [j] and the wiring OLB [j] to the capacitance CE and the capacitance CEB, respectively.
  • the wiring OL [j] is electrically connected to the first terminal of the switch S01a, and the second terminal of the switch S01a is compared with the first terminal of the capacitance CE.
  • the first input terminal of the CMP is electrically connected
  • the wiring OLB [j] is electrically connected to the first terminal of the switch S01b
  • the first terminal of the capacitance CEB and the comparison device are connected to the second terminal of the switch S01b.
  • the configuration may be such that the second input terminal of the CMP is electrically connected.
  • the switches S01a and the switch S01b are used. This can be done by turning each on.
  • the potentials input to the first input terminal and the second input terminal of the comparator CMP can be held in the capacitance CE and the capacitance CEB.
  • the switch S01a and the switch S01b for example, an electric switch such as an analog switch or a transistor can be applied. Further, as the switch S01a and the switch S01b, for example, a mechanical switch may be applied.
  • the transistor can be an OS transistor or a transistor having silicon in the channel forming region (hereinafter referred to as a Si transistor).
  • the voltage values of the capacitance CE and the capacitance CEB can be controlled by controlling the period in which each of the switch S01a and the switch S01b is kept on. For example, when the current values flowing through the capacitance CE and the capacitance CEB are large, the voltage values of the capacitance CE and the capacity CEB become large by shortening the period in which each of the switch S01a and the switch S01b is kept on. You can prevent it from going too far.
  • the comparator CMP included in the circuit ACTF [j] of FIGS. 5A to 5C and 5E can be, for example, a chopper type comparator.
  • the comparator CMP shown in FIG. 5F shows a chopper type comparator, and the comparator CMP has a switch S02a, a switch S02b, a switch S03, a capacitance CC, and an inverter circuit INV3.
  • the switch S02a, the switch S02b, and the switch S03 can be a transistor such as a mechanical switch, an OS transistor, or a Si transistor, similarly to the switch S01a and the switch S01b described above.
  • the first terminal of the switch S02a is electrically connected to the terminal VinT
  • the first terminal of the switch S02b is electrically connected to the terminal VrefT
  • the second terminal of the switch S02a is the second terminal of the switch S02b. It is electrically connected to the first terminal of the capacity CC.
  • the second terminal of the capacitance CC is electrically connected to the input terminal of the inverter circuit INV3 and the first terminal of the switch S03.
  • the terminal VoutT is electrically connected to the output terminal of the inverter circuit INV3 and the second terminal of the switch S03.
  • the terminal VinT functions as a terminal for inputting an input potential to the comparator CMP
  • the terminal VrefT functions as a terminal for inputting a reference potential to the comparator CMP
  • the terminal VoutT functions as an output potential from the comparator CMP. Functions as a terminal for outputting.
  • the terminal VinT corresponds to either the first terminal or the second terminal of the comparator CMP of FIGS. 5A to 5C and 5E
  • the terminal VrefT corresponds to the first terminal of the comparator CMP of FIGS. 5A to 5C and 5E. It can correspond to one terminal or the other of the second terminal.
  • the circuit ACTF [j] of FIGS. 5A to 5E is an operation circuit of an activation function that outputs an output signal z j (k) represented by a binary value, whereas the circuit ACTF [j] is an output signal z j ( It may be configured to output k) as 3 or more values or as an analog value.
  • 6A to 6F are circuits that generate a signal z j (k) according to the current input from the wiring OL [j] and the wiring OLB [j], and are output signals z j represented by three values.
  • An example of an arithmetic circuit of an activation function that outputs (k) is shown.
  • the circuit ACTF [j] shown in FIG. 6A has a resistance RE, a resistance REB, a comparator CMPa, and a comparator CMPb.
  • the wiring OL [j] is electrically connected to the first terminal of the resistor RE and the first input terminal of the comparator CMPA, and the wiring OLB [j] is connected to the first terminal of the resistor REB and the comparator CMPb. It is electrically connected to the first input terminal.
  • the second input terminal of the comparator CMPA and the second input terminal of the comparator CMPb are electrically connected to the wiring VrefL.
  • the second terminal of the resistance RE is electrically connected to the wiring VAL
  • the second terminal of the resistance REB is electrically connected to the wiring VAL.
  • the wiring Vref L functions as a voltage line that gives a constant voltage Vref, and the Vref is preferably, for example, GND or more and VDD or less. Further, depending on the situation, the V ref may have a potential of less than GND or a potential of higher than VDD. V ref is treated as a reference potential (potential for comparison) in the comparator CMPa and the comparator CMPb.
  • the voltage between the first terminal and the second terminal of the resistance RE is determined according to the current flowing from the wiring OL [j]. Therefore, the resistance value of the resistor RE and the voltage corresponding to the current are input to the first input terminal of the comparator CMPa.
  • the voltage between the first terminal and the second terminal of the resistor REB is determined according to the current flowing from the wiring OLB [j]. Therefore, the resistance value of the resistor REB and the voltage corresponding to the current are input to the first input terminal of the comparator CMPb.
  • the comparator CMPa compares the voltages input to each of the first input terminal and the second input terminal, and outputs a signal from the output terminal of the comparator CMPa according to the comparison result. For example, the comparator CMPa outputs a high level potential from the output terminal of the comparator CMPa when the voltage (V ref ) input to the second input terminal is higher than the voltage input to the first input terminal. When the voltage input to the first input terminal is higher than the voltage (V ref ) input to the second input terminal, the low level potential can be output from the output terminal of the comparator CMPa.
  • the comparator CMPb compares the voltages input to each of the first input terminal and the second input terminal, and outputs a signal from the output terminal of the comparator CMPb according to the comparison result. do. For example, the comparator CMPb outputs a high level potential from the output terminal of the comparator CMPb when the voltage (V ref ) input to the second input terminal is higher than the voltage input to the first input terminal. When the voltage input to the first input terminal is higher than the voltage (V ref ) input to the second input terminal, the low level potential can be output from the output terminal of the comparator CMPb.
  • the potentials output from the respective output terminals of the comparator CMPa and the comparator CMPb can be expressed as , for example, a ternary output signal z j (k).
  • a ternary output signal z j (k) For example, the comparator high level voltage from the output terminal of CMPa is output, the comparator when the low-level potential from the output terminal of CMPb is output, the output signal z j (k) is "+1", and the output of the comparator CMPa low level potential is outputted from the terminal, when the high level potential is output from the output terminal of the comparator CMPb, the output signal z j (k) is set to "-1", a low-level potential from the output terminal of the comparator CMPa is output, when the low-level potential is output from the output terminal of the comparator CMPb, the output signal z j (k) may be a "0".
  • the circuit ACTF [j] is not limited to the circuit configuration shown in FIG. 6A, and can be changed depending on the situation.
  • a conversion circuit TRF may be provided in the circuit ACTF [j].
  • the circuit ACTF [j] of FIG. 6B is a configuration example in which the conversion circuit TRF is provided in the circuit ACTF [j] of FIG. 6, and the output terminals of the comparator CMPa and the comparator CMPb are the input terminals of the converter circuit TRF. Is electrically connected to.
  • a digital-to-analog conversion circuit in this case, the signal zj (k) is an analog value
  • the like can be used.
  • the wiring VrefL electrically connected to the second input terminals of the comparator CMPa and the comparator CMPb may be replaced with separate wirings of the wiring Vref1L and the wiring Vref2L.
  • the second input terminal of the comparator CMPa included in the circuit ACTF [j] of FIG. 6A is electrically connected not to the wiring VrefL but to the wiring Vref1L, and the second input terminal of the comparator CMPb is electrically connected.
  • the two input terminals are electrically connected to the wiring Vref2L instead of the wiring VrefL.
  • an amplifier circuit, an impedance conversion circuit, or the like may be used as a configuration different from the circuit ACTF [j] of FIGS. 6A to 6C.
  • the circuit ACTF [j] shown in FIG. 6D can be applied to the circuit AFP of the arithmetic circuit 110 of FIG.
  • the circuit ACTF [j] of FIG. 6D has a resistor RE, a resistor REB, an operational amplifier OPa, and an operational amplifier OPb, and functions as an amplifier circuit.
  • the wiring OL [j] is electrically connected to the first terminal of the resistor RE and the non-inverting input terminal of the operational amplifier OPa
  • the wiring OLB [j] is the first terminal of the resistance REB and the non-inverting input terminal of the operational amplifier OPb. It is electrically connected to the input terminal.
  • the inverting input terminal of the operational amplifier OPa is electrically connected to the output terminal of the operational amplifier OPa
  • the inverting input terminal of the operational amplifier OPb is electrically connected to the output terminal of the operational amplifier OPb.
  • the second terminal of the resistance RE is electrically connected to the wiring VAL
  • the second terminal of the resistance REB is electrically connected to the wiring VAL.
  • the operational amplifier OPa and the operational amplifier OPb included in the circuit ACTF [j] of FIG. 6D have a voltage follower connection configuration.
  • the potential output from the output terminal of the operational amplifier OPa becomes almost equal to the potential input to the non-inverting input terminal of the operational amplifier OPa
  • the potential output from the output terminal of the operational amplifier OPb is the non-inverting input of the operational amplifier OPb. It is almost equal to the potential input to the terminal.
  • the output signal z j (k) is output from the circuit ACTF [j] as two analog values.
  • the output terminal of the operational amplifier OPa and the output terminal of the operational amplifier OPb may be connected to the input terminal of the comparator CMP, respectively. Then, the output from the comparator CMP may be used as an output signal z j (k).
  • an integrator circuit, a current-voltage conversion circuit, or the like may be used as a configuration different from the circuit ACTF [j] of FIGS. 6A to 6D.
  • an operational amplifier may be used to configure an integrator circuit or a current-voltage conversion circuit.
  • the circuit ACTF [j] shown in FIG. 6E can be applied to the circuit AFP of the arithmetic circuit 110 of FIG.
  • the circuit ACTF [j] of FIG. 6E has an operational amplifier OPa, an operational amplifier OPb, a load LEa, and a load LEb.
  • the wiring OL [j] is electrically connected to the first input terminal (for example, the inverting input terminal) of the operational amplifier OPa and the first terminal of the load LEa, and the wiring OLB [j] is the first terminal of the operational amplifier OPb.
  • the input terminal (for example, the inverting input terminal) and the first terminal of the load LEb are electrically connected.
  • the second input terminal (for example, non-inverting input terminal) of the operational amplifier OPa is electrically connected to the wiring Vref1L
  • the second input terminal (for example, the non-inverting input terminal) of the operational amplifier OPb is electrically connected to the wiring Vref2L. It is connected to the.
  • the second terminal of the load LEa is electrically connected to the output terminal of the operational amplifier OPa
  • the second terminal of the load LEb is electrically connected to the output terminal of the operational amplifier OPb.
  • the wiring Vref1L and the wiring Vref2L here function as wirings that supply equal or different voltages to each other. Therefore, the wiring Vref1L and the wiring Vref2L may be combined into one wiring.
  • the load LEa and the load LEb may be, for example, a resistance or a capacitance.
  • the operational amplifier OPa and the load LEa, and the operational amplifier OPb and the load LEb each function as an integrator circuit. That is, electric charges are stored in the respective capacities (load LEa, load LEb) according to the amount of current flowing through the wiring OL [j] or the wiring OLB [j]. That is, the current flowing from the wiring OL [j] and the wiring OLB [j] is converted into a voltage by the integrated circuit and output as a signal z j (k).
  • the output terminal of the operational amplifier OPa and the output terminal of the operational amplifier OPb may be connected to the input terminal of the comparator CMP, respectively. Then, the output from the comparator CMP may be used as an output signal z j (k).
  • a circuit for initializing the charges accumulated in the capacities of the load LEa and the load LEb may be provided.
  • a switch may be provided in parallel with the load LEa (capacity). That is, the second terminal of the switch is connected to the output terminal of the operational amplifier OPa, and the first terminal of the switch is connected to the wiring OL [j] and the first input terminal (for example, the inverting input terminal) of the operational amplifier OPa. May be.
  • the load LEa and the load LEb have resistances other than the capacitance. Can be used.
  • the circuit ACTF [j] shown in FIG. 6F can be applied to the circuit AFP of the arithmetic circuit 110 of FIG. 2 as a configuration different from the circuit ACTF [j] of FIGS. 6A to 6E.
  • the circuit ACTF [j] of FIG. 6F has a resistor RE, a resistor REB, an analog-to-digital conversion circuit ADCa, and an analog-to-digital conversion circuit ADCb.
  • the wiring OL [j] is electrically connected to the input terminal of the analog-to-digital conversion circuit ADCa and the first terminal of the resistor RE, and the wiring OLB [j] is connected to the input terminal of the analog-to-digital conversion circuit ADCb and the resistor. It is electrically connected to the first terminal of the REB.
  • the second terminal of the resistance RE is electrically connected to the wiring VAL, and the second terminal of the resistance REB is electrically connected to the wiring VAL.
  • the potentials of the first terminals of the resistance RE and the resistance REB are determined according to the currents flowing from the wiring OL [j] and the OLB [j]. Then, the circuit ACTF [j] converts the potential, which is an analog value, into a digital value of two values or three or more values (for example, 256 values) by the analog digital conversion circuit ADCa and the analog digital conversion circuit ADCb. , Has a function of outputting as a signal z j (k).
  • the resistance RE and resistance REB shown in FIGS. 6A to 6D and 6F can be replaced with the capacitance CE, the capacitance CEB, or the diode element DE and the diode element DEB, as in FIGS. 5B and 5C.
  • the wiring OL [j] is further provided by providing the switch S01a and the switch S01b in the same manner as in FIG. 5E. , The potential input from the wiring OLB [j] can be held.
  • each of the arithmetic circuit 110, the arithmetic circuit 120, and the arithmetic circuit 130 shown in FIGS. 2 to 4 examples of cases where the wiring IL, the wiring ILB, the wiring OL, and the wiring OLB are arranged are shown.
  • the embodiment is not limited to this.
  • each of the arithmetic circuit 110, the arithmetic circuit 120, and the arithmetic circuit 130 may be configured such that the wiring IL and the wiring OL are combined as one wiring, and the wiring ILB and the wiring OLB are combined as one wiring. ..
  • FIG. 7 shows the specific configuration.
  • the arithmetic circuit 140 shown in FIG. 7 has a switching circuit TW [1] to a switching circuit TW [n].
  • Each of the switching circuit TW [1] to the switching circuit TW [n] has a terminal TSa, a terminal TSaB, a terminal TSb, a terminal TSbB, a terminal TSc, and a terminal TScB.
  • the terminal TSa is electrically connected to the wiring OL [j]
  • the terminal TSb is electrically connected to the circuit ILD
  • the terminal TSc is electrically connected to the circuit ACTF [j].
  • the terminal TSaB is electrically connected to the wiring OLB [j]
  • the terminal TSbB is electrically connected to the circuit ILD
  • the terminal TScB is electrically connected to the circuit ACTF [j].
  • the switching circuit TW [j] has a function of making the terminal TSa conductive between one of the terminal TSb or the terminal TSc and making the terminal TSa non-conducting between the terminal TSb or the other terminal TSc. .. Further, the switching circuit TW [j] has a function of making a conductive state between the terminal TSaB and one of the terminal TSbB or the terminal TScB, and making a non-conducting state between the terminal TSaB and the other of the terminal TSbB or the terminal TScB. Have.
  • the terminal TSa and the terminal TSb are made conductive, and the terminal TSaB and the terminal TSbB are connected.
  • the circuit MP [1, j] to the circuit MP [m, j] can be selected from the circuit ILD via the wiring OL [j] or the wiring OLB [j].
  • Information corresponding to 1 data w 1 (k-1) 1 (k) to w m (k-1) n (k) (for example, potential, resistance value, current value, etc.) can be supplied.
  • the circuit ACTF [j] obtains the result of the product sum (equation (1.2)) of the weighting coefficient and the signal of the neuron calculated by the circuit MP [1, j] to the circuit MP [m, j]. If this is the case, in the switching circuit TW [j], the wiring OL [j] and the wiring OLB [j] are made to be in a conductive state between the terminal TSa and the terminal TSc and in a conductive state between the terminal TSaB and the terminal TScB. Information (for example, potential, current value, etc.) according to the result of the sum of products can be supplied from [j] to the circuit ACTF [j]. Further, in the circuit ACTF [j], the value of the activation function is calculated from the result of the input sum of products, and the signal z j (k) can be obtained as the output signal of the neuron.
  • Information for example, potential, current value, etc.
  • FIG. 8A shows a configuration example of the switching circuit TW [j] and the circuit ILD, which can be applied to the arithmetic circuit 140. Note that FIG. 8A also illustrates the wiring OL [j], the wiring OLB [j], and the circuit AFP in order to show the configuration of the electrical connection between the switching circuit TW [j] and the circuit ILD. ing.
  • the changeover circuit TW [j] has, for example, a switch SWI, a switch SWIB, a switch SWO, a switch SWOB, a switch SWL, a switch SWLB, a switch SWH, and a switch SWHB.
  • the circuit ILD has a current source circuit ISC as an example.
  • the current source circuit ISC may not be provided and a voltage source circuit may be arranged instead.
  • the current source circuit ISC has a function of passing a current corresponding to a weighting coefficient (first data) input to the circuit MP to the wiring OL [j] and / or the wiring OLB [j].
  • at least one current source circuit ISC may be arranged as a circuit for wiring OL [j] and a circuit for wiring OLB [j] as separate circuits.
  • at least one current source circuit ISC may be provided for a set of wiring OL [j] and wiring OLB [j].
  • the current source circuit ISC has one or a plurality of constant current sources, and in FIG. 8A, as an example, the constant current source circuit ISC1 and the constant current source circuit ISC2 are used as a plurality of constant current sources. It has a constant current source circuit ISC3. Further, as an example, the current source circuit ISC has a plurality of switches for selecting a plurality of constant current sources. In FIG. 8A, the switch SWC1, the switch SWC2, and the switch SWC3 are used as the plurality of switches. And have. When the current source circuit ISC has only one constant current source, the current source circuit ISC does not have to have a switch.
  • the switch SWC1 and the switch SWC2 are used.
  • the switch SWC3 may not be provided.
  • the current flowing through each of the wiring OL [j] and the wiring OLB [j] is generated by the same current source circuit ISC as shown in FIG. 8A.
  • the characteristics of the transistor may vary due to the manufacturing process of the transistor, which is different. Performance may differ between current source circuits.
  • the same current source circuit it is possible to supply a current of the same magnitude to the wiring OL [j] and the wiring OLB [j], and the calculation accuracy can be improved.
  • the switch SWI, switch SWIB, switch SWO, switch SWOB, switch SWL, switch SWLB, switch SWH, switch SWHB, switch SWC1, switch SWC2, and switch SWC3 described with reference to FIG. 8A include, for example, switch S01a and switch S01b.
  • analog switches, electric switches such as transistors, mechanical switches, and the like can be applied.
  • the terminal TSa electrically connects to the first terminal of the switch SWI, the first terminal of the switch SWO, the first terminal of the switch SWL, and the first terminal of the switch SWH. It is connected.
  • the terminal TSaB is electrically connected to the first terminal of the switch SWIB, the first terminal of the switch SWOB, the first terminal of the switch SWLB, and the first terminal of the switch SWHB.
  • the second terminal of the switch SWI is electrically connected to the terminal TSb1.
  • the second terminal of the switch SWIB is electrically connected to the terminal TSbB1.
  • the second terminal of the switch SWO is electrically connected to the terminal TSc.
  • the second terminal of the switch SWOB is electrically connected to the terminal TScB.
  • the second terminal of the switch SWL is electrically connected to the terminal TSb2.
  • the second terminal of the switch SWLB is electrically connected to the terminal TSbB2.
  • the second terminal of the switch SWH is electrically connected to the terminal TSb3.
  • the second terminal of the switch SWHB is electrically connected to the terminal TSbB3.
  • the terminal TSb1, terminal TSb2, and terminal TSb3 shown in FIG. 8A correspond to the terminal TSb shown in FIG. 7. Further, the terminal TSbB1, the terminal TSbB2, and the terminal TSbB3 shown in FIG. 8A correspond to the terminal TSbB shown in FIG. 7.
  • the terminal TSb1 is electrically connected to the first terminal of the switch SWC1, the first terminal of the switch SWC2, and the first terminal of the switch SWC3. Further, the terminal TSbB1 is electrically connected to the first terminal of the switch SWC1, the first terminal of the switch SWC2, and the first terminal of the switch SWC3.
  • the second terminal of the switch SWC1 is electrically connected to the output terminal of the constant current source circuit ISC1, the second terminal of the switch SWC2 is electrically connected to the output terminal of the constant current source circuit ISC2, and the second terminal of the switch SWC3 is connected.
  • the two terminals are electrically connected to the output terminal of the constant current source circuit ISC3.
  • the input terminal of the constant current source circuit ISC1, the input terminal of the constant current source circuit ISC2, and the input terminal of the constant current source circuit ISC3 are each electrically connected to the wiring VSO.
  • the output terminals of the constant current source circuit ISC1, the constant current source circuit ISC2, and the constant current source circuit ISC3 are electrically connected to the terminals of the respective switches, and the input terminals are electrically connected to the wiring VSO.
  • the input terminal is electrically connected to the terminal of each switch, and the output terminal is electrically connected to the wiring VSO. It may be configured as such.
  • the wiring VCN2 Before outputting the current from the circuit MP, the wiring VCN2 may be arranged in order to input a constant potential to the wiring OL [j] and the wiring OLB [j].
  • the wiring VCN2 is connected to the wiring OL [j] via the switch SWH. Further, the wiring VCN2 is connected to the wiring OLB [j] via the switch SWHB.
  • the wiring VCN2 can supply a potential different from that of the wiring VCS described later. For example, when VSS or a ground potential is supplied to the wiring VCS, VDD or the like may be supplied to the wiring VCS2.
  • VSS or a ground potential may be supplied to the wiring VCS2.
  • the constant current source circuit ISC1 (constant current source circuit ISC2, constant current source circuit ISC3) shown in FIG. 8B has a p-channel transistor, and the first terminal of the transistor is electrically connected to the wiring VSO. The second terminal of the transistor is electrically connected to the second terminal of the switch SWC1 (switch SWC2, switch SWC3), and the gate of the transistor is electrically connected to the wiring VB. Further, the constant current source circuit ISC1 (constant current source circuit ISC2, constant current source circuit ISC3) shown in FIG.
  • the wiring VB functions as a wiring for inputting a bias voltage to the gate of each transistor. ..
  • a pulse signal may be supplied to the wiring VB. This makes it possible to control whether or not a current is output from each constant current source circuit. In that case, the switch SWC1, the switch SWC2, and the switch SWC3 may not be provided. Alternatively, an analog voltage may be supplied to the wiring VB. As a result, an analog current can be supplied from the constant current source circuit.
  • the wiring VSO functions as wiring that supplies a constant voltage to each of the constant current source circuit ISC1, the constant current source circuit ISC2, and the constant current source circuit ISC3.
  • the constant voltage is set to a potential higher than the ground potential (for example, VDD).
  • the constant current source circuit ISC1 constant current source circuit ISC2, constant current source circuit ISC3 shown in FIG. 8B.
  • the constant voltage is higher than the ground potential and lower than the high level potential, ground.
  • the constant current source circuit ISC1 constant current source circuit ISC2, constant current source circuit ISC3 shown in FIG. 8C.
  • the current flowing from the circuit ILD to the wiring OL or the wiring OLB via the switching circuit TW [j] may be described as a positive current. Therefore, the current flowing from the wiring OL or the wiring OLB to the circuit ILD via the switching circuit TW [j] may be described as a negative current.
  • Examples of circuits other than those shown in FIGS. 8B and 8C that can be applied to the constant current source circuit ISC1, the constant current source circuit ISC2, and the constant current source circuit ISC3 include the circuit configuration shown in FIG. 8D.
  • the constant current source circuit ISC1 constant current source circuit ISC2, constant current source circuit ISC3 shown in FIG. 8D has an n-channel transistor having a back gate, and the first terminal of the transistor is electrically connected to the wiring VSO. The second terminal of the transistor is connected, and the gate and back gate of the transistor are electrically connected to the second terminal of the switch SWC1 (switch SWC2, switch SWC3).
  • the high level potential is input to the first terminal of the transistor shown in FIG. 8D.
  • the potential of the second terminal of the transistor is set to a potential lower than the high level potential.
  • the first terminal of the transistor functions as a drain
  • the second terminal of the transistor functions as a source.
  • the gate-source voltage of the transistor is 0V. Therefore, when the threshold voltage of the transistor is within an appropriate range, the transistor operates in the subthreshold region, and the current (drain) in the subthreshold region is between the first terminal and the second terminal of the transistor. Current) flows.
  • the amount of the current is preferably 1.0 ⁇ 10 -8 A or less, and more preferably 1.0 ⁇ 10 -12 A or less. Further, it is more preferably 1.0 ⁇ 10 -15 A or less. Further, for example, it is more preferable that the current is within a range in which the current increases exponentially with respect to the gate-source voltage. That is, the transistor functions as a current source for passing a current in the current range when operating in the subthreshold region.
  • the potential of the wiring VB may be the same as the potential of the wiring VSO or higher than the potential of the wiring VSO. .. That is, by reducing the absolute value of the gate-source voltage, it is possible to operate in the subthreshold region. Alternatively, by setting the gate-source voltage to a positive value or setting the voltage to be larger than the threshold voltage, it is possible to operate in the subthreshold region.
  • the transistor shown in FIG. 8B may be operated in the saturation region.
  • the transistor shown in FIG. 8B may be operated near the boundary between the saturation region and the subthreshold region.
  • the gate-source voltage is Vth ⁇ 1.0V or more, Vth. It shall include the case where it is ⁇ 0.5V or more, or Vth ⁇ 0.1V or more, and Vth +0.1V or less, Vth +0.5V or less, or Vth +1.0V or less.
  • the above-mentioned lower limit value and upper limit value can be combined with each other.
  • the case of FIG. 8C is the same as that of FIG. 8B. That is, in the case of FIG. 8C, assuming that the wiring VSO side is the source in the transistor of FIG. 8C, the potential of the wiring VB may be the same as the potential of the wiring VSO or lower than the potential of the wiring VSO. .. That is, by reducing the absolute value of the gate-source voltage, it is possible to operate in the subthreshold region. Alternatively, by setting the gate-source voltage to a negative value or setting the voltage to be smaller than the threshold voltage, it is possible to operate in the subthreshold region. However, one aspect of the present invention is not limited to this. For example, the transistor shown in FIG. 8C may be operated in the saturation region. Alternatively, the transistor shown in FIG. 8C may be operated near the boundary between the saturation region and the subthreshold region.
  • the current is constant current source circuit ISC1 flow was I ut
  • the current is constant current source circuit ISC2 flow is preferably set to 2I ut
  • current is constant current source circuit ISC3 flow is a 4I ut It is preferable to do so. That is, when the current source circuit ISC has P constant current sources (P is an integer of 1 or more), the p-th constant current source (p is an integer of 1 or more and P or less) flows.
  • the current is preferably 2 (p-1) ⁇ ut. In this way, the magnitude of the current flowing from the current source circuit ISC can be changed.
  • the current output from the current source circuit ISC has eight values (“0”, “I ut ”, “2 I ut ”, “3 I ut ”, “4 I ut ”, “5 I ut ”, “6 I ut ”, It can be any one of "7I ut”). If it is desired to output a current having a value larger than 8 values, the number of constant current sources may be 4 or more. Similarly, by turning off the switch SWI and turning on the switch SWIB, any one of the eight values can be passed through the wiring OLB [j].
  • the switch SWI and the switch SWIB of the switching circuit TW may be turned off without turning off the switches SWC1 to SWC3 of the current source circuit ISC.
  • the current source circuit ISC can output the amount of current according to the control signal (digital value) for switching the on state and the off state of each switch.
  • the current source circuit ISC performs digital-to-analog (DA) conversion from the control signal to the amount of current.
  • the current source circuit may be configured such that the current value output from the current source circuit can be freely changed as an analog value, and the circuit ILD may be configured to have only one current source circuit.
  • the current source circuit ISC is, if having a P-number of constant current sources, the current p-th constant current source flow is, 2 (p-1) has been described as ⁇ I ut, the present invention
  • the magnitudes of the current flowing through the constant current source circuit ISC1, the current flowing through the constant current source circuit ISC2, and the current flowing through the constant current source circuit ISC3 may all be the same.
  • the magnitude of the current output from the current source circuit ISC may be controlled by making all the magnitudes of the currents of the sources the same and controlling how many current sources the currents are output from.
  • the terminal TSb2 is electrically connected to the wiring VCS, and the terminal TSbB2 is electrically connected to the wiring VCS.
  • the wiring VCN functions as a wiring that supplies a constant voltage to the wiring OL [j] and / or the wiring OLB [j].
  • the constant voltage given by the wiring VCS is a low level potential (for example, VSS). Is preferable.
  • the constant potential given by the wiring VCN may be a high level potential. preferable. As shown in FIGS.
  • the capacitance C3 when the capacitance C3 is connected to a source terminal such as a transistor M1 and the source terminal is not connected to a power supply line or the like, a switching circuit is used from the circuit ILD.
  • the constant voltage given by the wiring VCN is preferably a high level potential (for example, VDD). That is, when a constant voltage is supplied from the wiring VCN, it is desirable that the potential difference between both ends of the capacitance C3 is close to zero. In other words, it is desirable to supply the wiring VCN with a potential such that no current is output from the circuit MC.
  • the terminal TSb3 is electrically connected to the wiring VCN2, and the terminal TSbB3 is electrically connected to the wiring VCN2.
  • the wiring VCN2 functions as a wiring that supplies a constant voltage to the wiring OL [j] and / or the wiring OLB [j].
  • the constant voltage given by the wiring VCN is a high level potential (for example, VDD). Is preferable.
  • the constant potential given by the wiring VCN is a low level potential. preferable.
  • the changeover circuit TW [j] switches the wiring OL [j] and the wiring OL [j] by switching each of the switch SWI, the switch SWIB, the switch SWO, the switch SWOB, the switch SWL, the switch SWLB, the switch SWH, and the switch SWHB into the on state or the off state.
  • the circuit that becomes conductive with the wiring OLB [j] can be changed.
  • a current corresponding to the weighting coefficient may be input to the wiring OL [j], and a constant potential given by the wiring VCN may be input to the wiring OLB [j].
  • the current source circuit ISC and the wiring OL [j] are made conductive, the current source circuit ISC and the wiring OLB [j] are made non-conducting, and the circuit AFP and the wiring OL [j] are connected.
  • the space between the circuit AFP and the wiring OLB [j] is made non-conducting, the wiring VCN and the wiring OL [j] are made non-conducting, and the wiring VCN and the wiring OLB [j] are made non-conducting.
  • the wiring between the wiring VCN2 and the wiring OL [j] may be made a non-conducting state, and the wiring between the wiring VCN2 and the wiring OLB [j] may be made a non-conducting state. That is, in the changeover circuit TW [j], the switch SWI and SWLB may be turned on, and the switch SWIB, switch SWO, switch SWOB, switch SWL, switch SWH, and switch SWHB may be turned off. As a result, the current source circuit ISC and the wiring OL [j] are in a conductive state, so that a current can flow from the current source circuit ISC to the circuit MP via the wiring OL [j].
  • the current is any one of 2 P- 1 values (excluding zero current). Since the positive weighting factor input to the circuit MP is determined according to the current, the weighting factor can be any one of the 2 P-1 values. Further, since the wiring VCN and the wiring OLB [j] are in a conductive state, a constant voltage from the wiring VCN is input to the wiring OLB [j].
  • a current corresponding to the weighting coefficient may be input to the wiring OLB [j], and a constant potential given by the wiring VCN may be input to the wiring OL [j].
  • the current source circuit ISC and the wiring OL [j] are made non-conducting, the current source circuit ISC and the wiring OLB [j] are made conductive, and the circuit AFP and the wiring OL [j] are connected.
  • the switch SWIB and the switch SWL may be turned on, and the switch SWI, the switch SWO, the switch SWOB, the switch SWLB, the switch SWH, and the switch SWHB may be turned off.
  • the current source circuit ISC and the wiring OLB [j] are in a conductive state, so that a current can flow from the current source circuit ISC to the circuit MP via the wiring OLB [j].
  • the current is any one of 2 P- 1 values (excluding zero current). Since the negative weighting factor input to the circuit MP is determined according to the current, the weighting factor can be any one of the 2 P-1 values. Further, since the wiring VCN and the wiring OL [j] are in a conductive state, a constant voltage from the wiring VCN is input to the wiring OL [j].
  • the constant potential given by the wiring VCN may be input to each of the wiring OL [j] and the wiring OLB [j].
  • the current source circuit ISC and the wiring OL [j] are made non-conducting
  • the current source circuit ISC and the wiring OLB [j] are made non-conducting
  • the circuit AFP and the wiring OL [j] are made non-conducting.
  • the circuit AFP and the wiring OLB [j] are made non-conducting
  • the wiring VCN and the wiring OL [j] are made conductive
  • the wiring VCN and the wiring OLB [j] are made non-conducting.
  • the wiring between the wiring VCN2 and the wiring OL [j] may be made a non-conducting state, and the wiring between the wiring VCN2 and the wiring OLB [j] may be made a non-conducting state. That is, in the changeover circuit TW [j], the switch SWL and the switch SWLB may be turned on, and the switch SWI, the switch SWIB, the switch SWO, the switch SWOB, the switch SWH, and the switch SWHB may be turned off. As a result, the wiring VCN and the wiring OL [j] are in a conductive state, and the wiring VCN and the wiring OLB [j] are in a conductive state. A constant voltage from the wiring VCS is input.
  • the number of weighting factors (positive weighting factor, negative weighting factor, 0 weighting factor) that can be input to the circuit MP is 2 P + 1 ⁇ . It will be one.
  • the wiring OL [j] and the wiring OLB [j] are predetermined potentials.
  • the predetermined potential is preferably a high level potential.
  • the predetermined potential is preferably a low level potential.
  • the current source circuit ISC and the wiring OL [j] are made non-conducting, and the current source circuit ISC is used.
  • the conduction state may be established between the VCS2 and the wiring OLB [j]. That is, in the changeover circuit TW [j], the switch SWH and the switch SWHB may be turned on, and the switch SWI, the switch SWIB, the switch SWO, the switch SWOB, the switch SWL, and the switch SWLB may be turned off. As a result, the wiring OL [j] and the wiring VCN2 are in a conductive state, and the wiring OLB [j] and the wiring VCN2 are in a conductive state. , The constant voltage from the wiring VCN2 is input.
  • the current source circuit ISC and the wiring OL [j] are made non-conducting to be a current source.
  • make the circuit ISC and the wiring OLB [j] non-conducting make the circuit AFP and the wiring OL [j] conductive, make the circuit AFP and the wiring OLB [j] conductive, and wire.
  • the non-conducting state is set between the VCS and the wiring OL [j]
  • the non-conducting state is set between the wiring VCN and the wiring OLB [j]
  • the non-conducting state is set between the wiring VCN 2 and the wiring OL [j].
  • the non-conducting state may be set between the wiring VCN2 and the wiring OLB [j]. That is, in the changeover circuit TW [j], the switch SWO and the switch SWOB may be turned on, and the switch SWI, the switch SWIB, the switch SWL, the switch SWLB, the switch SWH, and the switch SWHB may be turned off. As a result, the circuit AFP and the circuit MP [i, j] are in a conductive state, so that information (for example, potential, current, etc.) can be supplied from the circuit MP [i, j] to the circuit AFP.
  • information for example, potential, current, etc.
  • the same current source is used when a predetermined current is passed through the wiring OL [j] and the wiring OLB [j]. Since the circuit ISC can be used, it is possible to reduce the influence of the characteristic variation of the current source on each of the wiring OL [j] and the wiring OLB [j].
  • Circuit MP [i, j] included in the arithmetic circuit 110, the arithmetic circuit 120, the arithmetic circuit 130, and the arithmetic circuit 140 will be described.
  • FIG. 9A shows a configuration example of a circuit MP [i, j] applicable to the arithmetic circuit 140, and the circuit MP [i, j] has a circuit MC and a circuit MCr as an example.
  • the circuit MC and the circuit MCr are circuits that calculate the product of the weighting coefficient and the input signal (calculated value) of the neuron in the circuit MP.
  • the circuit MC may have the same configuration as the circuit MCr or a configuration different from the circuit MCr. Therefore, in order to distinguish the circuit MCr from the circuit MC, "r" is added to the reference numeral. Further, "r” is also added to the code of the circuit element described later, which is included in the circuit MCr.
  • the circuit MC has, for example, the circuit HC, and the circuit MCr has the circuit HCr.
  • the circuit HC and the circuit HCr each have a function of holding information (for example, potential, resistance value, current value, etc.).
  • the first data w i (k-1) set in the circuit MP [i, j] j ( k) is the information held in the respective circuits HC, and circuits HCr (e.g., potential, resistance, It is determined according to the current value, etc.).
  • each of the circuits HC and circuit HCr each information corresponding to the first data w i (k-1) j (k) (e.g., potential, resistance, current, etc.) to the wire OL [j] And is electrically connected to the wiring OLB [j].
  • the circuit MP [i, j] is electrically connected to the wiring VE [j] and the wiring VEr [j].
  • the wiring VE [j] and the wiring VEr [j] function as wiring for supplying a constant voltage. Further, the wiring VE [j] also functions as a wiring for discharging the current from the wiring OL via the circuit MC. Further, the wiring VEr [j] also functions as a wiring for discharging the current from the wiring OLB via the circuit MCr.
  • the wiring WL [i] shown in FIG. 9A corresponds to the wiring WL [i] in FIG. 7.
  • the wiring WL [i] is electrically connected to each of the circuit HC and the circuit HCr.
  • the wiring OL [j] and the circuit HC are brought into a conductive state
  • the wiring OLB [j] and the circuit HCr are brought into a conductive state.
  • the wiring OL [j], OLB such as by supplying a potential corresponding to each of the [j] first data w i (k-1) j (k), circuit HC, and the each of the circuits HCr You can input the electric potential and so on. After that, a predetermined potential is supplied to the wiring WL [i] so that the wiring OL [j] and the circuit HC are in a non-conducting state, and the wiring OLB [j] and the circuit HCr are in a non-conducting state. do.
  • the circuit HC, and the first data w i to each of the circuits HCr (k-1) such as the current corresponding to the j (k) is maintained.
  • the first data w i (k-1) j (k) is "-1", "0", a case of taking one of three values of "1".
  • a current corresponding to “1” is applied to the wiring VE [j] from the wiring OL [j] via the circuit MC. as flows, the circuit HC predetermined potential is maintained, and the wiring OLB [j] from the so no current flows through the circuit MCr wiring VEr [j], potential V 0 which is held in the circuit HCr Ru.
  • the potential V 0 is held in the circuit HCr so that the potential V 0 is held in the circuit HC and no current flows from the wiring OLB [j] to the wiring VEr [j] via the circuit MCr.
  • the potential V 0 can be the potential given by the wiring VCN in the description of FIG. 8A.
  • the first data w i (k-1) j (k) is an analog value, specifically, "negative analog value", "0", or, "the positive analog values”
  • the wiring VE [j] is connected to the “positive analog value” from the wiring OL [j] via the circuit MC.
  • the circuit HC holds a predetermined potential so that the analog current corresponding to the above can flow, and the circuit HCr does not allow the current to flow from the wiring OLB [j] to the wiring VEr [j] via the circuit MCr. Holds the potential V 0.
  • the wiring VE from the wiring OL [j] through the circuit MC [j] flows
  • the circuit HC holds the potential V 0 and allows the analog current corresponding to the "negative analog value" to flow from the wiring OLB [j] to the wiring VEr [j] via the circuit MCr.
  • a predetermined potential is held in the HCr.
  • the potential V 0 is held in the circuit HCr so that the potential V 0 is held in the circuit HC and no current flows from the wiring OLB [j] to the wiring VEr [j] via the circuit MCr.
  • the potential V 0 can be the potential given by the wiring VCN in the description of FIG. 8A, as in the previous example.
  • the circuit MC transfers a current or the like corresponding to the information held in the circuit HC (for example, a potential, a resistance value, a current value, etc.) to one of the wiring OL [j] and the wiring OLB [j].
  • the circuit MCr has a function of outputting to the wiring OL [j] or the wiring OLB [j], and the circuit MCr transfers a current or the like according to the information held in the circuit HCr (for example, a potential, a resistance value, or a current value). ] Has a function to output to the other side.
  • the circuit MC when the first potential is held in the circuit HC, the circuit MC is assumed to pass a current having the first current value from the wiring OL [j] or the wiring OLB [j] to the wiring VE, and the second current is passed through the circuit HC.
  • the circuit MC causes a current having a second current value to flow from the wiring OL [j] or the wiring OLB [j] to the wiring VE.
  • the circuit MCr is assumed to pass a current having the first current value from the wiring OL [j] or the wiring OLB [j] to the wiring VEr, and the circuit HCr is the first.
  • the circuit MCr shall pass a current having a second current value from the wiring OL [j] or the wiring OLB [j] to the wiring VEr.
  • the first current value each of the magnitude of the second current value is determined by the value of the first data w i (k-1) j (k).
  • the first current value may be larger or smaller than the second current value.
  • one of the first current value and the second current value may be zero current, that is, the current value may be zero.
  • the direction in which the current flows may differ between the current having the first current value and the current having the second current value.
  • the first data w i (k-1) j (k) is "-1", “0", if the take any of three values "1", the first current value or second current value It is preferable to configure the circuit MC and the circuit MCr so that one of them becomes zero.
  • the first data w i (k-1) j (k) is an analog value, for example, "negative analog value", "0", or, in the case of taking a "positive analog value" is the first current As for the value or the second current value, as an example, an analog value can be taken.
  • the current flowing from the wiring OL [j] or the wiring OLB [j] to the wiring VE via the circuit MC, and the current flowing from the wiring OL [j] or the wiring OLB [j] to the wiring VEr via the circuit MCr When and are equal to each other, the characteristics of the transistor may vary due to the manufacturing process of the transistor and the like, so that the potential held in the circuit MC and the potential held in the circuit MCr may not be equal.
  • the amount of current flowing from the wiring OL [j] or the wiring OLB [j] to the wiring VE via the circuit MC is determined by the wiring OL [ It can be made substantially equal to the amount of current flowing from the wiring OLB [j] to the wiring VEr via the circuit MCr.
  • the current or voltage according to the information held in the circuit HC and the circuit HCr may be regarded as a positive current or voltage. It may be a negative current or a voltage, a zero current or a zero voltage, or a mixture of positive, negative, and zero. That is, for example, one of the wiring OL [j] and the wiring OLB [j], for example, the current or voltage according to the above-mentioned "information held in the circuit HC (for example, potential, resistance value, current value, etc.)".
  • the circuit MCr has a function of outputting to the circuit HCr, and the circuit MCr transfers the current or voltage according to the information held in the circuit HCr (for example, potential, resistance value, or current value, etc.) to the wiring OL [j] or the wiring OLB.
  • the description "has a function to output to the other side of [j]” means that the current, voltage, etc.
  • the circuit HC according to the information held in the circuit HC (for example, potential, resistance value, current value, etc.) are connected to the wiring OL [ It has a function of discharging from either j] or the wiring OLB [j], and the circuit MCr has a current, a voltage, or the like according to the information held in the circuit HCr (for example, a potential, a resistance value, or a current value).
  • the circuit MCr has a current, a voltage, or the like according to the information held in the circuit HCr (for example, a potential, a resistance value, or a current value).
  • the wiring X1L [i] and the wiring X2L [i] shown in FIG. 9A correspond to the wiring XLS [i] in FIG. 7.
  • the second data z i (k-1) input to the circuit MP [i, j] is, for example, determined by the potentials or currents of the wiring X1L [i] and the wiring X2L [i]. Be done. Therefore, circuit MC, and the circuit MCr, for example, via a wire X1L [i] and the wiring X2L [i], the potential corresponding to the second data z i (k-1) is input.
  • the circuit MC is electrically connected to the wiring OL [j] and the wiring OLB [j]
  • the circuit MCr is electrically connected to the wiring OL [j] and the wiring OLB [j].
  • the circuit MC and the circuit MCr are, for example, in the wiring OL [j] and the wiring OLB [j] according to the potential or the current input to the wiring X1L [i] and the wiring X2L [i].
  • the current or potential corresponding to the product of the data w i (k-1) j (k) and the second data z i (k-1) is output.
  • the output destination of the current from the circuit MC and the circuit MCr is determined by the potentials of the wiring X1L [i] and the wiring X2L [i].
  • the current output from the circuit MC flows to either the wiring OL [j] or the wiring OLB [j]
  • the current output from the circuit MCr is the wiring OL [j] or the wiring OLB.
  • the circuit configuration is such that it flows to the other side of [j]. That is, the currents output from the circuit MC and the circuit MCr flow not in the same wiring but in different wirings.
  • a current may not flow from the circuit MC and the circuit MCr to either the wiring OL [j] or the wiring OLB [j].
  • the second data z i (k-1) takes any of the three values of "-1", "0", and "1".
  • the circuit MP makes the circuit MC and the wiring OL [j] conductive, and the circuit MCr and the wiring OLB [j] are connected to each other.
  • the interval conductive.
  • the circuit MP makes the circuit MC and the wiring OLB [j] conductive, and causes the circuit MCr and the wiring OL [j] to be in a conductive state. Make the space between them conductive.
  • the circuit MP puts the circuit MC and the wiring OL [j] in a non-conducting state and between the circuit MC and the wiring OLB [j] in a non-conducting state, and makes the circuit MCr and the wiring OL [j] non-conducting. And between the circuit MC and the wiring OLB [j] are made non-conducting.
  • a current may flow from the wiring OL [j] or the wiring OLB [j] to the wiring VEr [j] via the circuit MCr.
  • the circuit MC and the wiring OL [j] and the circuit MCr and the wiring OLB [j] are in a conductive state.
  • the second data z i (k-1) is “-1”
  • the circuit MC and the wiring OLB [j] and the circuit MCr and the wiring OL [j] are in a conductive state. ..
  • the wiring through a circuit MC OL [j] A current flows through the wiring VE [j], or a current flows from the wiring OL [j] to the wiring VEr [j] via the circuit MCr.
  • the wiring VE When the product of the first data w i (k-1) j (k) and the second data z i (k-1) is a value of zero, the wiring VE from the wiring OL [j] or the wiring OLB [j]. No current flows through [j], and no current flows from the wiring OL [j] or the wiring OLB [j] to the wiring VEr [j].
  • the first data w i (k-1) j (k) is a "1”
  • the second data z i (k-1) is "1"
  • a current I1 [i, j] having a first current value flows from the circuit MC to the wiring OL [j]
  • a current I2 [i, j] having a second current value flows from the circuit MCr to the wiring OLB [j].
  • the magnitude of the second current value is zero as an example.
  • the wiring OL [j from the circuit MC ] When the first data w i (k-1) j (k) is “-1” and the second data z i (k-1) is “1”, for example, the wiring OL [j from the circuit MC ], The current I1 [i, j] having the second current value flows, and the current I2 [i, j] having the first current value flows from the circuit MCr to the wiring OLB [j]. At this time, the magnitude of the second current value is zero as an example.
  • the first data w i (k-1) j (k) is “0” and the second data z i (k-1) is “1”
  • the first data is from the circuit MC to the wiring OL [j].
  • the magnitude of the second current value is zero as an example.
  • the first data w i (k-1) j (k) is a "1", when the second data z i (k-1) is "-1", the wiring from the circuit MC OLB [j ], The current I1 [i, j] having the first current value flows, and the current I2 [i, j] having the second current value flows from the circuit MCr to the wiring OL [j]. At this time, the magnitude of the second current value is zero as an example.
  • the first data w i (k-1) j (k) is “-1” and the second data z i (k-1) is “-1”, the wiring OLB [j] from the circuit MC.
  • the current I1 [i, j] having the second current value flows through the circuit MCr, and the current I2 [i, j] having the first current value flows from the circuit MCr to the wiring OL [j].
  • the magnitude of the second current value is zero as an example.
  • the circuit MC is changed to the wiring OLB [j].
  • the current I1 [i, j] having the second current value flows, and the current I2 [i, j] having the second current value flows from the circuit MCr to the wiring OL [j].
  • the magnitude of the second current value is zero as an example.
  • the circuit MC when the value of the product of the first data w i (k-1) j (k) and the second data z i (k-1) takes a positive value, the circuit MC Alternatively, a current flows from any of the circuits MCr to the wiring OL [j]. At this time, if the first data w i (k-1) j (k) is a positive value, a current flows from the circuit MC wiring OL [j], first data w i (k-1) j When (k) is a negative value, a current flows from the circuit MCr to the wiring OL [j].
  • the sum of the currents output from the plurality of circuits MC or circuits MCr connected to the wiring OL [j] will flow to the wiring OL [j]. That is, in the wiring OL [j], a current that is the sum of the positive values flows.
  • the sum of the currents output from the plurality of circuits MC or circuits MCr connected to the wiring OLB [j] will flow to the wiring OLB [j]. That is, in the wiring OLB [j], a current having a value obtained by summing the negative values flows.
  • the total current value flowing through the wiring OL [j] that is, the sum of the positive values and the total current value flowing through the wiring OLB [j], that is, the sum of the negative values are used.
  • the product-sum operation process can be performed. For example, if the total current value flowing through the wiring OL [j] is larger than the total current value flowing through the wiring OLB [j], it is determined that the product-sum calculation results in a positive value. Can be done. If the total current value flowing through the wiring OL [j] is smaller than the total current value flowing through the wiring OLB [j], it can be determined that a negative value is taken as a result of the product-sum calculation. .. If the total current value flowing through the wiring OL [j] and the total current value flowing through the wiring OLB [j] are approximately the same value, it is determined that the value of zero is taken as the result of the product-sum calculation. Can be done.
  • the second data z i (k-1) is “-1", “0", of “1", any two values, for example, “- 1", when the binary "1", Alternatively, the two values of "0” and “1” can be operated in the same manner.
  • the first data w i (k-1) j (k) is "-1", "0", "1", among the at either binary, e.g., "- 1", "1 In the case of two values of "” or in the case of two values of "0” and “1", the operation can be performed in the same manner.
  • the first data w i (k-1) j (k) is an analog value, or may take the digital values of multi-bit (multilevel).
  • a "negative analog value” may be used instead of "-1”
  • a "positive analog value” may be used instead of "1”.
  • the magnitude of the current flowing from the circuit MC or circuit MCr also, as an example, an analog value corresponding to the absolute value of the value of the first data w i (k-1) j (k).
  • the circuit MP [i, j] shown in FIG. 9B has a configuration in which the wiring X1L is replaced with the wiring WX1L. That is, in the circuit MP [i, j] of FIG. 9B, the wiring WX1L and the wiring WL switch between the conductive state or the non-conducting state between the wiring OL [j] and the circuit HC, and the wiring OLB [j]. It functions as a wiring that supplies a predetermined potential in order to switch between a conductive state and a non-conducting state with the circuit HCr.
  • the circuit MP [i, j] of FIG. 9B in the wiring WX1L wiring X2L are circuit MP [i, j] current corresponding to the second data z i that is input to the (k-1), voltage, etc. Functions as giving wiring.
  • the circuit MP [i, j] of FIG. 9B has the wiring WX1L like the arithmetic circuit 130 shown in FIG. 4, and does not have the wiring IL and the wiring ILB like the arithmetic circuit 140 shown in FIG. It can be applied to arithmetic circuits. Specifically, for example, the circuit MP [i, j] of FIG. 9B can be applied to the circuit MP [i, j] of the arithmetic circuit 150 shown in FIG.
  • the circuit MP [i, j] shown in FIG. 9C is a modification of the circuit MP [i, j] of FIG. 9A.
  • the circuit MP [i, j] of FIG. 9C has a circuit MC and a circuit MCr, similarly to the circuit MP [i, j] of FIG. 9A.
  • the circuit MP [i, j] of FIG. 9C is different from the circuit MP [i, j] of FIG. 9A in that the circuit MCr does not include the circuit HCr.
  • the circuit MCr does not have the circuit HCr, the arithmetic circuit to which the circuit MP [i, j] of FIG. 9C is applied has the wiring ILB [j] for supplying the potential held in the circuit HCr. It does not have to be. In addition, the circuit MCr may not be electrically connected to the wiring WL [i].
  • the circuit HC included in the circuit MC is electrically connected to the circuit MCr. That is, the circuit MP [i, j] of FIG. 9C is configured such that the circuit MCr and the circuit MC share the circuit HC with each other.
  • an inverted signal can be supplied from the circuit HC to the circuit MCr with respect to the signal held by the circuit HC. This makes it possible for the circuit MC and the circuit MCr to perform different operations.
  • the internal circuit configuration is different between the circuit MC and the circuit MCr, and as a result, the magnitude of the current output by the circuit MC and the circuit MCr for the same signal held by the circuit HC. Can be different.
  • the first data w i to the circuit HC (k-1) holds the potential corresponding to the j (k), wiring potential corresponding to the second data z i (k-1) X1L [i] and wiring by supplying X2L [i],
  • the circuit MP [i, j] is the wiring OL [j] and the wiring OLB [j], first data w i (k-1) j (k) and the second data It is possible to output a current corresponding to the product of z i (k-1).
  • the arithmetic circuit 110 to which the circuit MP of FIG. 9C is applied can be changed to, for example, the circuit configuration of the arithmetic circuit 140 shown in FIG.
  • the circuit MP [i, j] shown in FIG. 9D is a modification of the circuit MP [i, j] of FIG. 9A, and specifically, the circuit MP [i, j] applicable to the arithmetic circuit 160 of FIG. j] is a configuration example.
  • the arithmetic circuit 160 has a configuration in which the wiring ILB [1] to the wiring ILB [n] are removed from the arithmetic circuit 110 of FIG.
  • the circuit MP [i, j] of FIG. 9D has a circuit MC and a circuit MCr, similarly to the circuit MP [i, j] of FIG. 9A.
  • the circuit MP [i, j] of FIG. 9D and the circuit MP [i, j] of FIG. 9A have different wiring configurations that are electrically connected.
  • the wiring W1L [i] and the wiring W2L [i] shown in FIG. 9D correspond to the wiring WLS [i] in FIG.
  • the wiring W1L [i] is electrically connected to the circuit HC, and the wiring W2L [i] is electrically connected to the circuit HCr.
  • the wiring IL [j] is electrically connected to the circuit HC and the circuit HCr.
  • circuit MP [i, j] of FIG. 9D when different information (for example, voltage, resistance value, current, etc.) is held in the circuit HC and the circuit HCr, the information holding operation in the circuit HC and the circuit HCr is performed. , It is preferable to perform them in order, not simultaneously.
  • circuit MP [i, j] first data w i of (k-1) j (k ) , the first information to the circuit HC, and if that can be expressed by holding the second information circuit HCr think.
  • a predetermined potential is applied to each of the wiring W1L [i] and the wiring W2L [i] to make the circuit HC and the wiring IL [j] conductive, and the circuit HCr and the wiring IL [j] are connected. Make the space non-conducting.
  • the first information can be given to the circuit HC by supplying the wiring IL [j] with a current, a voltage, or the like corresponding to the first information.
  • a predetermined potential is applied to each of the wiring W1L [i] and the wiring W2L [i] to make the circuit HC and the wiring IL [j] non-conducting, and the circuit HCr and the wiring IL [j]. Make the connection between and.
  • circuit MP [i, j] may be set w i (k-1) j (k) as the first data.
  • each of the circuit HC and circuit HCr e.g., voltage, resistance, current, etc.
  • the circuit HC and the wiring IL [j] are in a conductive state
  • the circuit HCr and the wiring IL [j] are connected.
  • a predetermined potential is applied to each of the wiring W1L [i] and the wiring W2L [i] so as to be in a conductive state between the wiring IL [j] and the circuit HC and the circuit HCr.
  • the current, voltage, etc. corresponding to the information may be supplied.
  • Circuit MP in FIG. 9D [i, j] is a circuit HC, and the circuit first data w i (k-1) holds the potential corresponding to the j (k) in HCr, second data z i (k-1 )
  • the circuit first data w i (k-1) holds the potential corresponding to the j (k) in HCr, second data z i (k-1 )
  • the circuit MP [i, j] shown in FIG. 9E is a modification of the circuit MP [i, j] of FIG. 9D.
  • the circuit MP [i, j] of FIG. 9E has a circuit MC and a circuit MCr, similarly to the circuit MP [i, j] of FIG. 9D.
  • the circuit MP [i, j] of FIG. 9E and the circuit MP [i, j] of FIG. 9D have different wiring configurations that are electrically connected.
  • the wiring ILB [j] is added to the circuit MP of FIG. 9D, and the wiring W1L [i] and the wiring W2L [i] are electrically connected to the circuit MP of FIG. 9D. ] Is replaced with the wiring WL [i].
  • the wiring IL [j] is electrically connected to the circuit HC
  • the wiring ILB [j] is electrically connected to the circuit HCr. That is, in the circuit MP of FIG. 9D, the wiring IL [j] functions as wiring for supplying current, voltage, etc. according to information (for example, voltage, resistance value, current, etc.) to the circuit HC and the circuit HCr, respectively.
  • the wiring IL [j] functions as a wiring for supplying the circuit HC with a current, a voltage, etc. according to the information
  • the wiring ILB [j] functions as a wiring corresponding to the information to the circuit HCr. , Functions as wiring to supply voltage, etc.
  • the wiring W1L [i] is illustrated as the wiring for controlling the switching between the circuit HC and the wiring IL [j] in the conduction state or the non-conduction state, and the circuit HCr and the wiring ILB [j] are shown.
  • Wiring W2L [i] is shown as wiring for controlling switching between the conduction state and the non-conduction state, but in the circuit MP of FIG. 9E, the wiring W1L [i] and the wiring W2L [i] are used.
  • Wiring WL [i] is shown as a grouped wiring.
  • circuit MP of FIG. 9E can be applied to, for example, the arithmetic circuit 110 of FIG. 2 and the arithmetic circuit 120 of FIG.
  • the circuit MP [i, j] shown in FIG. 9F is a modification of the circuit MP [i, j] in FIG. 9A.
  • the circuit MP [i, j] of FIG. 9F has a circuit MC and a circuit MCr, similarly to the circuit MP [i, j] of FIG. 9A.
  • the circuit MC is not electrically connected to the wiring OLB [j] and the circuit MCr is not electrically connected to the wiring OL [j]. And, it is different from the circuit MP [i, j] of FIG. 9A.
  • the wiring WL [i] shown in FIG. 9F is electrically connected to the circuit HC and the circuit HCr. Further, the wiring XL [i] shown in FIG. 9F is electrically connected to the circuit MC and the circuit MCr.
  • the circuit MC is not electrically connected to the wiring OLB [j]
  • the circuit MCr is not electrically connected to the wiring OL [j]. .. That is, unlike the circuit MP [i, j] of FIGS. 9A to 9E, the circuit MP [i, j] of FIG. 9F does not allow the current output from the circuit MC to flow to the wiring OLB [j] and is transmitted from the circuit MCr. The output current does not flow to the wiring OL [j].
  • the circuit MP [i, j] of FIG. 9F is preferably applied to the arithmetic circuit when the second data z i (k-1) has a binary value of “0” or “1”.
  • the circuit MP makes the circuit MC and the wiring OL [j] conductive, and the circuit MCr and the wiring OLB [j] are connected to each other. Make the interval conductive.
  • the current output by each of the circuit MC and the circuit MCr can be transferred to either the wiring OL [j] or the wiring OLB [j].
  • the circuit MP makes the circuit MC and the wiring OL [j] non-conducting, and the circuit MC and the wiring OLB [j] in a non-conducting state, and the circuit MCr and the wiring OL [j]. And between the circuit MCr and the wiring OLB [j] are made non-conducting.
  • the first data w i (k-1) j (k) is "-1", "0", " The operation can be performed when any of the three values of "1” is taken and the second data z i (k-1) takes two values of "0” and "1".
  • the first data w i (k-1) j (k) is "-1", "0", "1", of, any two values, for example, "- 1", "1” It can be operated even in the case of two values or in the case of two values of "0” and "1".
  • the first data w i (k-1) j (k) is an analog value, or may take the digital values of multi-bit (multilevel).
  • a "negative analog value” may be used instead of "-1”
  • a "positive analog value” may be used instead of "1”.
  • the magnitude of the current flowing from the circuit MC or circuit MCr also, as an example, an analog value corresponding to the absolute value of the value of the first data w i (k-1) j (k).
  • Circuit MP [i, j] shown in FIG. 10A similar to FIG. 9A, the wiring OL [j] and the wiring OLB [j], first data w i (k-1) j (k) and the second data It is a circuit capable of outputting a current corresponding to the product of z i (k-1).
  • the circuit MP [i, j] of FIG. 10A can be applied to, for example, the arithmetic circuit 110 of FIG.
  • the circuit MP [i, j] of FIG. 10A has a transistor MZ in addition to the circuit MC and the circuit MCr.
  • the first terminal of the transistor MZ is electrically connected to the first terminal of the circuit MC and the first terminal of the circuit MCr.
  • the second terminal of the transistor MZ is electrically connected to the wiring VL.
  • the gate of the transistor MZ is electrically connected to the wiring XL [i].
  • the wiring VL functions as a wiring that gives a constant voltage, for example.
  • the constant voltage is preferably determined by the configuration of the circuit MP [i, j], the arithmetic circuit 110, and the like.
  • VDD which is a high level potential
  • VSS which is a low level potential
  • ground potential and the like can be used as the constant voltage.
  • the wiring WL [i] shown in FIG. 10A corresponds to the wiring WLS [i] in the arithmetic circuit 110 of FIG.
  • the wiring WL [i] is electrically connected to the circuit HC and the circuit HCr.
  • the wiring OL [j] is electrically connected to the second terminal of the circuit MC. Further, the wiring OLB [j] is electrically connected to the second terminal of the circuit MCr.
  • the wiring IL [j] is electrically connected to the circuit HC
  • the wiring ILB [j] is electrically connected to the circuit HCr.
  • the circuit MC applies a current corresponding to the potential held in the circuit HC when the constant voltage given by the wiring VL is supplied to the first terminal of the circuit MC. It has a function of flowing between the first terminal and the second terminal of the circuit MC. Further, in the circuit MCr, when the constant voltage given by the wiring VL is supplied to the first terminal of the circuit MC, the current corresponding to the potential held in the circuit HCr is applied to the first terminal and the second terminal of the circuit MCr. It has a function to flow between and.
  • the circuit MP [i, j] circuit HC for by holding the potential corresponding to the first data w i (k-1) j (k) to the respective circuit HCr, first the first terminal of the circuit MC
  • the amount of current flowing between the two terminals and the amount of current flowing between the first terminal and the second terminal of the circuit MCr can be determined.
  • the circuit MC (circuit MCr) may be, for example, the first terminal and the second terminal of the circuit MC (circuit MCr). It may be assumed that no current flows between the and.
  • circuit HC when the potential corresponding to the first data w i of "1" to each of the circuits HCr (k-1) j ( k) is maintained, giving a constant voltage to provide the wiring VL circuit MC
  • the circuit MC causes a predetermined current to flow between the first terminal and the second terminal of the circuit MC. Therefore, a current flows between the circuit MC and the wiring OL.
  • the circuit MCr does not allow a current to flow between the first terminal and the second terminal of the circuit MCr. Therefore, no current flows between the circuit MCr and the wiring OLB.
  • circuit HC when the potential corresponding to the first data w i of "-1", respectively (k-1) j (k ) of the circuit HCr is held constant to provide the wiring VL circuit MC
  • the circuit MCr causes a predetermined current to flow between the first terminal and the second terminal of the circuit MCr. Therefore, a current flows between the circuit MCr and the wiring OLB.
  • the circuit MC does not pass a current between the first terminal and the second terminal of the circuit MC. Therefore, no current flows between the circuit MC and the wiring OL.
  • circuit HC when the first data w i (k-1) potential corresponding to j (k) for each "0" of the circuit HCr held, wiring VL circuit MC and a circuit MCr Regardless of whether a constant voltage is applied, the circuit MC does not pass current between the first and second terminals of the circuit MC, and the circuit MCr is between the first and second terminals of the circuit MCr. Do not pass current. That is, no current flows between the circuit MC and the wiring OL, and no current flows between the circuit MCr and the wiring OLB.
  • circuit HC is held in the circuit HCr, a specific example of a potential corresponding to the first data w i (k-1) j (k) is, 9A
  • the circuit HC and the circuit HCr have a function of holding information such as a current and a resistance value instead of a potential, like the circuit MP [i, j] of FIG. 9A.
  • the circuit MC and the circuit MCr may have a function of passing a current according to the information.
  • the wiring XL [i] shown in FIG. 10A corresponds to the wiring XLS [i] in the arithmetic circuit 110 of FIG.
  • the second data z i (k-1) input to the circuit MP [i, j] is, for example, determined by the potential, current, and the like of the wiring XL [i]. Therefore, the gate of the transistor MZ, for example, via the wiring XL [i], a potential corresponding to the second data z i (k-1) is input.
  • the second data z i (k-1) takes either of two values of “0” and “1”.
  • the second data z i (k-1) is “1”
  • the wiring XL [i] is given a high level potential.
  • the circuit MP makes the wiring VL and the first terminal of the circuit MC conductive, and makes the wiring VL and the first terminal of the circuit MCr conductive. .. That is, when the second data z i (k-1) is “1”, a constant voltage from the wiring VL is given to the circuit MC and the circuit MCr.
  • the circuit MP puts the circuit MC and the wiring OL [j] in a non-conducting state, and puts the circuit MCr and the wiring OL [j] in a non-conducting state. That is, when the second data z i (k-1) is “0”, the circuit MC and the circuit MCr are not given a constant voltage from the wiring VL.
  • the first data w i (k-1) j (k) is a "1", when the second data z i (k-1) is "1", the circuit MC and the wiring OL The result is that no current flows between the circuit MCr and the wiring OLB.
  • the first data w i (k-1) j (k) is a "-1”, if the second data z i (k-1) is "1", the circuit MC and the wiring OL No current flows between the circuit MCr and the current flows between the circuit MCr and the wiring OLB.
  • the first data w i (k-1) j (k) is a "0"
  • the second data z i (k-1) is "1”
  • the circuit MC and wire OL As a result, no current flows between the circuits MCr and the wiring OLB.
  • the second data z i (k-1) is "0”
  • the first data w i (k-1) j (k) is "-1", "0", "1” In either case, no current flows between the circuit MC and the wiring OL, and between the circuit MCr and the wiring OLB.
  • the circuit MP in Figure 10A [i, j] similarly to the circuit MP [i, j] of FIG. 9F, as an example, the first data w i (k-1) j (k) is "-1" , "0", "1” takes one of three values, the second data z i (k-1) is "0", in the case of taking two values of "1", it is possible to perform an operation.
  • the circuit MP in Figure 10A [i, j] is the first data w i (k-1) j (k) is "-1", "0 , “1", any two values, for example, "-1", "1", or "0", "1” can be operated. can.
  • the first data w i (k-1) j (k) is an analog value, or may take the digital values of multi-bit (multilevel).
  • a "negative analog value” may be used instead of "-1”
  • a "positive analog value” may be used instead of "1”.
  • the magnitude of the current flowing from the circuit MC or circuit MCr also, as an example, an analog value corresponding to the absolute value of the value of the first data w i (k-1) j (k).
  • the wiring IL [j] and the wiring OL [j] are combined into one wiring OL [j] as shown in the circuit MP [i, j] shown in FIG. 10B.
  • the configuration may be changed so that the wiring ILB [j] and the wiring OLB [j] are combined into one wiring OLB [j].
  • the arithmetic circuit 140 of FIG. 13 is shown focusing on the circuit located in the j-th column of the arithmetic circuit 140 of FIG. That is, the arithmetic circuit 140 of FIG. 13 is from the neuron N 1 (k-1) to the neuron N m (k-1) input to the neuron N j (k) in the neural network 100 shown in FIG. 1A. Multiply-accumulate operation of signals z 1 (k-1) to z m (k-1) and weight coefficients w 1 (k-1) j (k) to w m (k-1) j (k) , Corresponds to the calculation of the activation function using the result of the product-sum operation and the circuit to be performed. Further, it is assumed that the circuit MP included in the array unit ALP of the arithmetic circuit 140 of FIG. 13 applies the circuit MP of FIG. 9B.
  • the first data w 1 (k-1) j (k) to w m (k-1) j (k) is input to the circuit MP [1, j] to the circuit MP [m, j]. Is set.
  • a predetermined potential is sequentially input to the wiring WLS [1] to the wiring WLS [m] by the circuit WLD, and the circuit MP [1] is used.
  • J] to circuit MP [m, j] are selected in order, and for each circuit HC and circuit HCr of the circuit MC and circuit MCr included in the selected circuit MP, from the circuit ILD.
  • the potential, the current, etc. according to the first data are supplied via the switching circuit TW [j], the wiring OL [j], and the OLB [j]. Then, after supplying the potential, current, etc., the circuit MP [1, j] to the circuit MP [m] is deselected by the circuit WLD to deselect each of the circuit MP [1, j] to the circuit MP [m, j].
  • J] has the first data w 1 (k-1) j (k) to w m (k-1) j (k) in each circuit MC of the circuit MCr and each circuit HC and circuit HCr. It is possible to hold the corresponding potential, current, etc.
  • the circuit HC has the positive value. A value corresponding to the value of is input, and a value corresponding to zero is input to the circuit HCr.
  • each of the first data w 1 (k-1) j (k) to w m (k-1) j (k) takes a negative value, it corresponds to zero in the circuit HC. A value is input, and a value corresponding to the absolute value of the negative value is input to the circuit HCr.
  • the second data z 1 (k-1) to z m (k- ) are applied to the wiring X1L [1] to the wiring X1L [m] and the wiring X2L [1] to the wiring X2L [m] by the circuit XLD. 1) is supplied.
  • the second data z 1 (k-1) is supplied to the wiring X1L [i] and the wiring X2L [i].
  • the wiring X1L [i] and the wiring X2L [i] correspond to the wiring XLS [i] of the arithmetic circuit 140 shown in FIG.
  • Circuit MP [1, j] according to the second data z 1 (k-1) to z m (k-1) input to each of the circuit MP [1, j] to the circuit MP [m, j].
  • the conduction state between the circuit MC included in the circuit MP [m, j] and the circuit MCr and the wiring OL [j] and the wiring OLB [j] is determined.
  • the state of "the circuit MC and the circuit MCr become non-conducting with the wiring OL [j] and the wiring OLB [j], respectively” is taken.
  • the wiring X1L [1] when a positive value is taken for the second data z 1 (k-1) , the wiring X1L [1] is in a conductive state between the circuit MC and the wiring OL [j], and the wiring X1L [1] is in a conductive state.
  • the value of the wiring X2L [1] is such that the circuit MC and the wiring OLB [j] can be in a non-conducting state, and the circuit MCr and the wiring OL [j] can be in a non-conducting state. Enter.
  • the wiring X1L [1] When a negative value is taken for the second data z 1 (k-1) , the wiring X1L [1] is in a conductive state between the circuit MC and the wiring OLB [j], and the circuit Enter a value that allows the conduction state between the MCr and the wiring OL [j].
  • the value of the wiring X2L [1] is such that the circuit MC and the wiring OL [j] can be in a non-conducting state, and the circuit MCr and the wiring OLB [j] can be in a non-conducting state. Enter.
  • the wiring X1L [1] is in a non-conducting state between the circuit MC and the wiring OLB [j], and the wiring X1L [1] is in a non-conducting state.
  • the value of the wiring X2L [1] is such that the circuit MC and the wiring OL [j] can be in a non-conducting state, and the circuit MCr and the wiring OLB [j] can be in a non-conducting state. Enter.
  • the current is input and output between the circuit MCr and the wiring OL [j] and the wiring OLB [j]. .. Furthermore, the amount of the current is dependent on the circuit MP [i, j] first data w i set to (k-1) j (k ) and / or the second data z i (k-1) ..
  • the current flowing from the wiring OL [j] to the circuit MC or the circuit MCr is I [i, j]
  • the current flowing from the wiring OLB [j] to the circuit MC or the circuit MCr Let IB [i, j]. Then, if the current flowing from the circuit ACTF [j] to the wiring OL [j] is I out [j] and the current flowing from the wiring OLB [j] to the circuit ACTF [j] is I Bout [j], then I out [. j] and I Bout [j] can be expressed by the following equations.
  • Circuit MP [i, j] in, as an example, when the first data w i (k-1) j (k) is "+1", circuit MC is discharged I (+1), circuit MCr is I ( shall discharging -1), when the first data w i (k-1) j (k) is "-1", the circuit MC is discharged I (-1), circuit MCr is I (+1 ) shall discharging, when the first data w i (k-1) j (k) is "0”, circuit MC is discharged I (-1), circuit MCr is I (-1) It shall be discharged.
  • the current I [i, j] flowing from the wiring OL [j] to the circuit MC or the circuit MCr and the current flowing from the wiring OLB [j] to the circuit MC or the circuit MCr. and I B [i, j], is as shown in the table below.
  • the circuit MP [i, j] may be configured so that the amount of current of I (-1) becomes 0.
  • the current I [i, j] may be a current flowing from the circuit MC or the circuit MCr to the wiring OL [j].
  • current I B [i, j] may be a current flowing from the circuit MC or circuit MCr wiring OLB [j].
  • each of I out [j] and I Bout [j] flowing from each of the wiring OL [j] and the wiring OLB [j] is input to the circuit ACTF [j], whereby the circuit ACTF [ As an example, j] compares I out [j] and I Bout [j]. As an example, the circuit ACTF [j] outputs a signal z j (k) transmitted by the neuron N j (k) to the neurons in the (k + 1) layer, depending on the result of the comparison.
  • the signal z 1 (k-1) from the neuron N 1 (k-1) to the neuron N m (k-1) input to the neuron N j (k) by the arithmetic circuit 140 of FIG. 13 The product-sum operation of to z m (k-1) and the weight coefficient w 1 (k-1) j (k) to w m (k-1) j (k), and the result of the product-sum operation. It is possible to perform the calculation of the activation function used. Further, by providing n rows of circuit MPs in the array unit ALP of the arithmetic circuit of FIG. 13, a circuit equivalent to the arithmetic circuit 140 of FIG. 7 can be configured. That is, the arithmetic circuit 140 of FIG. 7 simultaneously performs the product-sum operation and the operation of the activation function using the result of the product-sum operation in each of the neurons N 1 (k) to N n (k). It can be carried out.
  • Equation (1.3) corresponds to an operation in which the result of the sum of products in equation (1.2) is biased.
  • a circuit that gives a bias value to the wiring OL and the wiring OLB may be provided.
  • the arithmetic circuit 170 shown in FIG. 14 has a circuit configuration in which the circuit BS [1] to the circuit BS [n] are added to the array portion ALP of the arithmetic circuit 150 of FIG.
  • the circuit BS [j] is electrically connected to the wiring OL [j], the wiring OLB [j], the wiring WLBS, and the wiring WXBS.
  • the wiring WLBS is the same as the wiring WLS [1] to the wiring WLS [m] of the arithmetic circuit 110 of FIG. 2 and the wiring WL [1] to the wiring WL [m] of the arithmetic circuit 140 of FIG. 1] to circuit BS [n] functions as wiring for supplying a signal for turning on or off the writing switching element. Therefore, the wiring WLBS can supply the signal from the circuit WLD to the wiring WLBS by being electrically connected to the circuit WLD.
  • Wiring WXBS similarly to the wiring XLS [1] to the wiring XLS [m] of the arithmetic circuit 110 in FIG. 2, the neuron N i (k-1) second data z i outputted from the (k-1) It functions as wiring that supplies the corresponding information (for example, potential, current value, etc.) to the circuit BS [1] to the circuit BS [n]. Therefore, the wiring WXBS can supply the information from the circuit XLD to the wiring WXBS by being electrically connected to the circuit XLD.
  • the wiring WXBS is used as a selection signal line for writing information to the circuit BS [1] to the circuit BS [n], similarly to the wiring WX1L [1] to the wiring WX1L [n] of the arithmetic circuit 140 in FIG. It may be combined.
  • the wiring WXBS shows an example of being electrically connected to the circuit WLD.
  • the circuit WLD sends a signal to each of the wiring WLBS and the wiring WXBS to turn on or off the writing switching element included in the circuit BS [1] to the circuit BS [n]. Can be supplied.
  • the amount of current flowing from the circuit MP [1, j] to the circuit MP [m, j] to the wiring OL [j] or the wiring OLB [j] is the equation (1. 5) can be expressed by the equation (1.6).
  • the current flowing from the circuit BS [j] to the wiring OL [j] is IBIAS [.
  • IBIASB [j] the current flowing from the circuit BS [j] to the wiring OLB [j]
  • each of the equations (1.5) and (1.6) can be rewritten as the following equations. can.
  • I out [j] and I Bout [j] including the bias can be generated as the operation of the equation (1.3). Further, the biased I out [j] and I Bout [j] are biased by being input to the circuit ACTF [j], and the output signal z j (k ) from the neuron N j (k) is biased. ) Can be generated.
  • the circuit BS [1] to the circuit BS [n] are configured to be provided for one line with respect to the array unit ALP, but one aspect of the present invention is not limited to this.
  • the circuit BS [1] to the circuit BS [n] may be provided with two or more rows with respect to the array unit ALP.
  • a part or all of the transistors included in each of the above-mentioned array unit ALP, circuit ILD, circuit WLD, circuit XLD, circuit AFP, circuit MP, switching circuit TW, etc. are, for example, OS transistors. It is preferable to have.
  • the transistor having a function of holding the electric charge accumulated in a capacitive element or the like is preferably an OS transistor.
  • the OS transistor has the structure of the transistor described in the fifth embodiment.
  • one or a plurality of materials may be selected from indium, element M (element M is aluminum, gallium, yttrium, or tin), and zinc.
  • a metal oxide composed of indium, gallium, and zinc is a semiconductor having a high band gap and is intrinsic (also referred to as type I) or substantially intrinsic, and the carrier concentration of the metal oxide is 1. It is preferably x10 18 cm -3 or less, more preferably less than 1 x 10 17 cm -3 , even more preferably less than 1 x 10 16 cm -3 , and even more preferably 1 x 10 13 cm -3. It is more preferably less than 1 ⁇ 10 12 cm -3 .
  • the off-current of the OS transistor in which the metal oxide is contained in the channel forming region is 10 aA (1 ⁇ 10 -17 A) or less per 1 ⁇ m of the channel width, preferably 1 aA (1 ⁇ 10 -18 A) per 1 ⁇ m of the channel width.
  • 10 zA (1 ⁇ 10 -20 A) or less per 1 ⁇ m of channel width still more preferably 1 zA (1 ⁇ 10 -21 A) or less per 1 ⁇ m of channel width, still more preferably 100 yA (1 ⁇ ) per 1 ⁇ m of channel width. 10-22 A) It can be less than or equal to.
  • the carrier concentration of the metal oxide of the OS transistor is low, the off current remains low even when the temperature of the OS transistor changes. For example, even if the temperature of the OS transistor is 150 ° C., the off current can be set to 100 zA per 1 ⁇ m of channel width.
  • the transistor included in the array unit ALP, circuit ILD, circuit WLD, circuit XLD, circuit AFP, circuit MP, switching circuit TW, etc. may not be an OS transistor. good.
  • a transistor (Si transistor) containing silicon in the channel forming region may be used.
  • the silicon for example, single crystal silicon, amorphous silicon (sometimes referred to as hydride amorphous silicon), microcrystalline silicon, polycrystalline silicon, or the like can be used.
  • the transistor other than the OS transistor and the Si transistor for example, a transistor in which Ge and the like are included in the channel forming region, and a compound semiconductor such as ZnSe, CdS, GaAs, InP, GaN, and SiGe are included in the channel forming region.
  • Transistors, transistors in which carbon nanotubes are contained in the channel forming region, transistors in which organic semiconductors are contained in the channel forming region, and the like can be used.
  • an n-type semiconductor can be produced by using a metal oxide containing indium (for example, In oxide) or a metal oxide containing zinc (for example, Zn oxide).
  • the arithmetic circuit 110, the arithmetic circuit 120, the arithmetic circuit 130, the arithmetic circuit 140, the arithmetic circuit 150, the arithmetic circuit 160, and the arithmetic circuit 170 include an array unit ALP, a circuit ILD, a circuit WLD, a circuit XLD, a circuit AFP, and a circuit MP.
  • An OS transistor may be applied as the n-channel transistor included in the above, and a Si transistor may be applied as the p-channel transistor.
  • [1,1], [i, j], [m, n] and the like indicating the positions in the array unit ALP are added to the code of the circuit MP, but in the present embodiment, they are added. Unless otherwise specified, the description of [1,1], [i, j], [m, n], etc. is omitted for the code of the circuit MP.
  • the circuit MP shown in FIG. 15A is an example of the configuration of the circuit MP of FIG. 9B, and the circuit MC included in the circuit MP of FIG. 15A includes transistors M1 to M4 and a capacitance C1 as an example.
  • the circuit HC is composed of the transistor M2 and the capacitance C1.
  • the circuit MCr has almost the same circuit configuration as the circuit MC. Therefore, in order to distinguish the circuit element of the circuit MCr from the circuit element of the circuit MC, "r" is added to the reference numeral.
  • the transistors M1 to M4 shown in FIG. 15A are n-channel transistors having a multi-gate structure having gates above and below the channel, and the transistors M1 to M4 are the first gate and the second, respectively.
  • Has a gate it is preferable that the transistors M3 and the transistor M4 have the same size.
  • the first gate is described as a gate (sometimes referred to as a front gate) and the second gate is described as a back gate, but the first gate is described as an example.
  • the second gate can be interchanged with each other. Therefore, in the present specification and the like, the phrase "gate" can be replaced with the phrase "back gate".
  • the phrase “backgate” can be replaced with the phrase “gate”.
  • the connection configuration that "the gate is electrically connected to the first wiring and the back gate is electrically connected to the second wiring” is "the back gate is electrically connected to the first wiring”.
  • the gate is electrically connected to the second wiring.
  • the back gate of the transistor M1 may be electrically connected to the first terminal of the capacitance C1 and the first terminal of the transistor M2.
  • the semiconductor device of one aspect of the present invention does not depend on the connection configuration of the back gate of the transistor.
  • a back gate is shown in the transistors M1 to M4 shown in FIG. 15A, and the connection configuration of the back gate is not shown.
  • the electrical connection destination of the back gate is at the design stage. You can decide.
  • the gate and the back gate may be electrically connected in order to increase the on-current of the transistor. That is, for example, the gate of the transistor M2 and the back gate may be electrically connected.
  • a wiring electrically connected to an external circuit or the like is provided in order to fluctuate the threshold voltage of the transistor or to reduce the off current of the transistor. Therefore, a fixed potential or a variable potential may be applied to the back gate of the transistor by the external circuit or the like. The same applies not only to FIG. 15A but also to the transistors described in other parts of the specification or the transistors shown in other drawings.
  • the semiconductor device of one aspect of the present invention does not depend on the structure of the transistor included in the semiconductor device.
  • the transistors M1 to M4 shown in FIG. 15A may have a configuration that does not have a back gate, that is, a transistor having a single gate structure, as shown in FIG. 15C.
  • some transistors may have a configuration having a back gate, and some other transistors may have a configuration having no back gate. The same applies not only to the circuit diagram shown in FIG. 15A, but also to the transistors described in other parts of the specification or the transistors shown in other drawings.
  • transistors having various structures can be used as the transistors. Therefore, the type of transistor used is not limited.
  • a transistor or the like can be used.
  • a thin film transistor (TFT) obtained by thinning those semiconductors can be used.
  • TFT thin film transistor
  • the manufacturing equipment can be made large, it can be manufactured on a large substrate. Therefore, since a large number of display devices can be manufactured at the same time, it can be manufactured at low cost. Alternatively, since the production temperature is low, a substrate having weak heat resistance can be used. Therefore, a transistor can be manufactured on a translucent substrate. Alternatively, the transmission of light in the display element can be controlled by using a transistor on a transparent substrate. Alternatively, since the film thickness of the transistor is thin, a part of the film forming the transistor can transmit light. Therefore, the aperture ratio can be improved.
  • a compound semiconductor for example, SiGe, GaAs, etc.
  • an oxide semiconductor for example, Zn-O, In-Ga-Zn-O, In-Zn-O, In-Sn-O
  • a transistor having (ITO), Sn—O, Ti—O, Al—Zn—Sn—O (AZTO), In—Sn—Zn—O, etc.) can be used.
  • these compound semiconductors or thin film transistors obtained by thinning these oxide semiconductors can be used. As a result, the manufacturing temperature can be lowered, so that the transistor can be manufactured at room temperature, for example.
  • the transistor can be directly formed on a substrate having low heat resistance, for example, a plastic substrate or a film substrate.
  • these compound semiconductors or oxide semiconductors can be used not only for the channel portion of the transistor but also for other purposes.
  • these compound semiconductors or oxide semiconductors can be used as wirings, resistance elements, pixel electrodes, translucent electrodes, and the like. Since they can be formed or formed at the same time as the transistor, the cost can be reduced.
  • a transistor formed by an inkjet method or a printing method can be used. These allow it to be manufactured at room temperature, at a low degree of vacuum, or on a large substrate. Therefore, since it can be manufactured without using a mask (reticle), the layout of the transistor can be easily changed. Alternatively, since it can be manufactured without using a resist, the material cost can be reduced and the number of processes can be reduced. Alternatively, since the film can be attached only to the necessary part, the material is not wasted and the cost can be reduced as compared with the manufacturing method in which the film is formed on the entire surface and then etched.
  • a transistor having an organic semiconductor, carbon nanotubes, or the like can be used as an example of the transistor. These make it possible to form a transistor on a bendable substrate. Devices using transistors having organic semiconductors, carbon nanotubes, etc. can be made strong against impact.
  • a transistor having various structures can be used.
  • a MOS type transistor, a junction type transistor, a bipolar transistor, or the like can be used as the transistor.
  • MOS transistor the size of the transistor can be reduced. Therefore, a large number of transistors can be mounted.
  • bipolar transistor as a transistor, a large current can flow. Therefore, the circuit can be operated at high speed.
  • the MOS transistor and the bipolar transistor may be mixed and formed on one substrate. As a result, low power consumption, miniaturization, high-speed operation, and the like can be realized.
  • a transistor having a structure in which gate electrodes are arranged above and below the active layer can be applied.
  • the circuit configuration is such that a plurality of transistors are connected in parallel. Therefore, since the channel formation region increases, the current value can be increased.
  • a depletion layer can be easily formed, so that the S value can be improved.
  • a structure in which a gate electrode is arranged on an active layer a structure in which a gate electrode is arranged under an active layer, a normal stagger structure, a reverse stagger structure, and a plurality of channel regions are used.
  • Transistors such as a structure divided into two, a structure in which active layers are connected in parallel, or a structure in which active layers are connected in series can be used.
  • the transistor can have various configurations such as a planar type, a FIN type, a TRI-GATE type, a top gate type, a bottom gate type, and a double gate type (gates are arranged above and below the channel). ..
  • a transistor having a structure in which at least one of the source electrode and the drain electrode overlaps the active layer (or a part thereof) can be used.
  • a structure in which at least one of the source electrode and the drain electrode overlaps the active layer (or a part thereof) it is possible to prevent the operation from becoming unstable due to the accumulation of electric charges in a part of the active layer.
  • a structure provided with an LDD region can be applied.
  • the LDD region By providing the LDD region, it is possible to reduce the off-current or improve the withstand voltage of the transistor (improve the reliability).
  • the drain current does not change so much, and voltage / current characteristics with a flat slope can be obtained. can.
  • various substrates can be used to form transistors.
  • the type of substrate is not limited to a specific one.
  • the substrate include a semiconductor substrate (for example, a single crystal substrate or a silicon substrate), an SOI substrate, a glass substrate, a quartz substrate, a plastic substrate, a sapphire glass substrate, a metal substrate, a stainless steel substrate, and a stainless steel still foil.
  • a semiconductor substrate for example, a single crystal substrate or a silicon substrate
  • SOI substrate SOI substrate
  • a glass substrate for example, a single crystal substrate or a silicon substrate
  • quartz substrate for example, a quartz substrate, a plastic substrate, a sapphire glass substrate, a metal substrate, a stainless steel substrate, and a stainless steel still foil.
  • substrates tungsten substrates, substrates with tungsten foil, flexible substrates, bonded films, paper containing fibrous materials, base films, and the like.
  • glass substrates include barium borosilicate glass, aluminoborosilicate glass, and
  • Examples of flexible substrates, laminated films, base films, etc. include the following.
  • plastics typified by polyethylene terephthalate (PET), polyethylene naphthalate (PEN), polyether sulfone (PES), and polytetrafluoroethylene (PTFE).
  • PET polyethylene terephthalate
  • PEN polyethylene naphthalate
  • PES polyether sulfone
  • PTFE polytetrafluoroethylene
  • a synthetic resin such as acrylic.
  • polypropylene polyester, polyvinyl fluoride, polyvinyl chloride and the like.
  • polyamide, polyimide, aramid epoxy resin, inorganic thin-film film, papers and the like.
  • a transistor using a semiconductor substrate, a single crystal substrate, an SOI substrate, or the like, it is possible to manufacture a transistor having a high current capacity and a small size with little variation in characteristics, size, or shape. ..
  • a circuit is configured with such transistors, it is possible to reduce the power consumption of the circuit or increase the integration of the circuit.
  • a flexible substrate may be used as the substrate, and the transistor may be formed directly on the flexible substrate.
  • a release layer may be provided between the substrate and the transistor. The release layer can be used to separate a part or all of the semiconductor device from the substrate and transfer it to another substrate. At that time, the transistor can be reprinted on a substrate having inferior heat resistance, a flexible substrate, or the like.
  • a structure in which an inorganic film of a tungsten film and a silicon oxide film is laminated, a structure in which an organic resin film such as polyimide is formed on a substrate, or the like can be used.
  • a transistor may be formed using one substrate, then the transistor may be transposed to another substrate, and the transistor may be arranged on another substrate.
  • the substrate on which the transistor is translocated in addition to the substrate capable of forming the above-mentioned transistor, a paper substrate, a cellophane substrate, an aramid film substrate, a polyimide film substrate, a stone substrate, a wood substrate, and a cloth substrate (natural fiber). (Including silk, cotton, linen), synthetic fibers (nylon, polyurethane, polyester) or recycled fibers (including acetate, cupra, rayon, recycled polyester), leather substrates, rubber substrates, etc.
  • a transistor having good characteristics to form a transistor having low power consumption, to manufacture a device that is hard to break, to impart heat resistance, to reduce the weight, or to reduce the thickness.
  • a part of the circuit necessary for realizing a predetermined function is formed on one board, and another part of the circuit necessary for realizing a predetermined function is formed on another board. It is possible. For example, a part of the circuit necessary to realize a predetermined function is formed on a glass substrate, and another part of the circuit necessary to realize a predetermined function is a single crystal substrate (or SOI substrate). Can be formed into. Then, a single crystal substrate (also referred to as an IC chip) on which another part of the circuit necessary for realizing a predetermined function is formed is connected to the glass substrate by COG (Chip On Glass) to be connected to the glass substrate.
  • COG Chip On Glass
  • the IC chip can be placed in the glass.
  • the IC chip can be connected to a glass substrate using a TAB (Tape Automated Bonding), COF (Chip On Film), SMT (Surface Mount Technology), a printed circuit board, or the like.
  • TAB Transmission Automated Bonding
  • COF Chip On Film
  • SMT Surface Mount Technology
  • a printed circuit board or the like.
  • a circuit having a large drive voltage or a circuit having a high drive frequency often consumes a large amount of power. Therefore, such a circuit is formed on a substrate (for example, a single crystal substrate) different from the pixel portion to form an IC chip. By using this IC chip, it is possible to prevent an increase in power consumption.
  • the first terminal of the transistor M1 is electrically connected to the wiring VE.
  • the second terminal of the transistor M1 is electrically connected to the first terminal of the transistor M3 and the first terminal of the transistor M4.
  • the gate of the transistor M1 is electrically connected to the first terminal of the capacitance C1 and the first terminal of the transistor M2.
  • the second terminal of the capacitance C1 is electrically connected to the wiring VE.
  • the second terminal of the transistor M2 is electrically connected to the wiring OL.
  • the gate of the transistor M2 is electrically connected to the wiring WL.
  • the second terminal of the transistor M3 is electrically connected to the wiring OL, and the gate of the transistor M3 is electrically connected to the wiring WX1L.
  • the second terminal of the transistor M4 is electrically connected to the wiring OLB, and the gate of the transistor M4 is electrically connected to the wiring X2L.
  • the connection configuration different from the circuit MC in the circuit MCr will be described.
  • the second terminal of the transistor M3r is electrically connected to the wiring OL instead of the wiring OL, and the second terminal of the transistor M4r is electrically connected to the wiring OL instead of the wiring OLB.
  • the first terminal of the transistor M1r and the first terminal of the capacitance C1r are electrically connected to the wiring VEr.
  • the first terminal of the transistor M1 may be electrically connected to the wiring VEm as another wiring instead of the wiring VE.
  • the first terminal of the transistor M1r may be electrically connected to the wiring VEmr as another wiring instead of the wiring VEr.
  • the first terminal of the transistor M1 is electrically connected to another wiring VEm instead of the wiring VE, and / or the transistor.
  • the first terminal of M1r may be configured to be electrically connected to another wiring VEmr instead of the wiring VEr.
  • the electrical connection point between the gate of the transistor M1, the first terminal of the capacitance C1, and the first terminal of the transistor M2 is a node n1.
  • the circuit HC has a function of holding a potential according to the first data as an example.
  • the potential in the circuit HC included in the circuit MC of FIG. 15A when the transistor M2 and the transistor M3 are turned on, the potential is input from the wiring OL, written to the capacitance C1, and then written. This is done by turning off the transistor M2. Thereby, the potential of the node n1 can be held as the potential corresponding to the first data.
  • a current can be input from the wiring OL, and a potential having a magnitude corresponding to the magnitude of the current can be held in the capacitance C1. Therefore, it is possible to reduce the influence of variations in the current characteristics of the transistor M1.
  • the transistor M1 holds the potential of the node n1 for a long time, it is preferable to apply a transistor having a small off current.
  • a transistor having a small off current for example, an OS transistor can be used.
  • a transistor having a back gate may be applied, and a low level potential may be applied to the back gate to shift the threshold voltage to the positive side to reduce the off current.
  • both ends of the wiring OL shown in FIG. 15A are designated as node ina and node outa, and both ends of the wiring OL are referred to as node inb and node outb, respectively. ..
  • the wiring VE functions as a wiring that supplies a constant voltage, for example.
  • the constant voltage is when the transistor M3, the transistor M3r, the transistor M4, or the transistor M4r is an n-channel type transistor, and / or when the potential given by the wiring VSO in FIGS. 8A to 8D is a high level potential. Can be, for example, a low level potential, VSS, a ground potential, or a low level potential other than these.
  • each of the wiring VEm, the wiring VEr, and the wiring VEm functions as a voltage line for supplying a constant voltage like the wiring VE, and the constant voltage is a low level potential other than the low level potentials VSS and VSS. , Ground potential, etc.
  • the constant voltage may be VDD, which is a high level potential.
  • FIGS. 5A to 5E and FIGS. 6A to 6A are shown as circuits ACTF [1] to circuit ACTF [n] of the arithmetic circuit 110, the arithmetic circuit 120, the arithmetic circuit 130, the arithmetic circuit 140, the arithmetic circuit 150, and the arithmetic circuit 160.
  • the constant voltage given by the wiring VAL electrically connected to the circuit ACTF [1] to the circuit ACTF [n] is the potential VDD given by the wiring VE and the wiring VEr. It is preferable that the potential is higher than that.
  • the constant voltages supplied by each of the wiring VE, the wiring VEm, the wiring VEr, and the wiring VEm may be different from each other, or may be partially or all the same. Further, when the voltage supplied by each wiring is the same, those wirings may be selected and used as the same wiring. For example, when the constant voltages given by the wiring VE, the wiring VEm, the wiring VEr, and the wiring VEm are substantially the same, the wiring VEm, the wiring VEr, and the wiring VEm are the same wiring as the wiring VE as shown in the circuit MP of FIG. 16B. can do.
  • the wiring VE and the wiring VEr can be one and the same wiring.
  • the wiring VEm and the wiring VEmr can be one and the same wiring.
  • the wiring VE and the wiring VEr may be one and the same wiring, and the wiring VEm and the wiring VEmr may be one and the same wiring.
  • the wiring VE and the wiring VEmr may be one and the same wiring, and the wiring VEm and the wiring VEr may be one and the same wiring.
  • each of the transistor M1, the transistor M1r, the transistor M3, the transistor M3r, the transistor M4, and the transistor M4r of the circuit MP of FIG. It may be replaced with M3pr, a transistor M4p, and a transistor M4pr.
  • the transistor M3p, the transistor M3pr, the transistor M4p, and the transistor M4pr as an example, a p-channel transistor having an SOI (Silicon On Insulator) structure can be applied. Further, in this case, it is preferable that the constant voltage given by the wiring VE and the wiring VEr is VDD, which is a high level potential.
  • FIGS. 5A to 5E are used as circuits ACTF [1] to circuit ACTF [n] of the arithmetic circuit 110, the arithmetic circuit 120, the arithmetic circuit 130, the arithmetic circuit 140, the arithmetic circuit 150, and the arithmetic circuit 160.
  • the constant voltage given by the wiring VAL electrically connected to the circuit ACTF [1] to the circuit ACTF [n] is the ground potential or the ground potential. It is preferably VSS. In this way, when the potential of the wiring is changed, the direction in which the current flows is also changed.
  • the transistor M2 may be replaced with a p-channel type transistor (not shown).
  • the transistors M4 and M4r of the circuit MP of FIG. 15A may be replaced with the transistors M4p and M4pr which are p-channel type transistors, respectively.
  • the circuit MP has the first data other than 0 (for example, a weighting coefficient or the like). Can be retained.
  • each of the transistor M3, the transistor M3r, the transistor M4, and the transistor M4r of the circuit MP of FIG. 15A may be replaced with an analog switch AS3, an analog switch AS4, an analog switch AS3r, and an analog switch AS4r. ..
  • FIG. 17C also shows the wiring WX1LB and the wiring X2LB for operating the analog switch AS3, the analog switch AS4, the analog switch AS3r, and the analog switch AS4r.
  • the wiring WX1LB is electrically connected to the analog switch AS3 and the analog switch AS3r
  • the wiring X2LB is electrically connected to the analog switch AS4 and the analog switch AS4r.
  • an inverted signal of the signal input to the wiring WX1L is input to the wiring WX1LB
  • an inverted signal of the signal input to the wiring X2L is input to the wiring X2LB.
  • the wiring WX1L and the wiring X2L may be combined as one wiring
  • the wiring WX1LB and the wiring X2LB may be combined as one wiring (not shown).
  • the analog switch AS3, the analog switch AS4, the analog switch AS3r, and the analog switch AS4r may have a CMOS configuration using an n-channel transistor and a p-channel transistor.
  • the sizes of the transistor M3, the transistor M3r, the transistor M4, and the transistor M4r shown in FIGS. 15A to 15C and 16A and 16B, for example, the channel length and the channel width are the same. With such a circuit configuration, there is a possibility that the layout can be performed efficiently. Further, there is a possibility that the currents flowing through the transistor M3, the transistor M3r, the transistor M4, and the transistor M4r can be made uniform. Similarly, it is preferable that the transistors M1 and the transistor M1r shown in FIGS. 15A to 15C, 16A and 16B have the same size. Similarly, it is preferable that the transistors M2 and M2r shown in FIGS.
  • the transistors M1p and the transistor M1pr shown in FIG. 17A have the same size.
  • the transistors M3p, the transistor M3pr, the transistor M4p, and the transistor M4pr shown in FIG. 17A have the same size.
  • FIGS. 18A to 18C, FIGS. 19A to 19C, and FIGS. 20A to 20C are timing charts showing operation examples of the circuit MP, and the potentials of the wiring WL, the wiring WX1L, the wiring X2L, the node n1, and the node n1r, respectively. Shows fluctuations in. It should be noted that high shown in FIGS. 18A to 18C, FIGS. 19A to 19C, and FIGS. 20A to 20C indicates a high level potential, and low indicates a low level potential.
  • the amount of current output is set to I OL. Further, the amount of current output from the wiring OLB to the node outb (or from the node outb to the wiring OLB) is defined as IOLB .
  • Figure 18A to Figure 18C, FIGS. 19A to FIG. 19C, the timing charts shown in FIGS. 20A to 20C is, I OL, also illustrates the variation of I OLB.
  • the constant voltage given by the wiring VE and the wiring VEr is VSS (low level potential).
  • VSS low level potential
  • a high level potential is given to the wiring VSO, and a current flows from the wiring VSO to the wiring VE or the wiring VEr via the switching circuit TW and the wiring OL.
  • a current flows from the wiring VSO to the wiring VE or the wiring VEr via the switching circuit TW and the wiring OLB.
  • the potential given by the wiring VCS is defined as VSS.
  • VSS is given to the second terminal of the transistor M1 by making the wiring VCN and the second terminal of the transistor M1 conductive.
  • the potential of the gate of the transistor M1 is also VSS, so that the transistor M1 is turned off.
  • the potential of the second terminal of the transistor M1r and the gate becomes VSS, so that the transistor M1r is turned off.
  • the transistor M1 when the transistor M2 and the transistor M3 are in the ON state, the transistor M1 has a diode connection configuration. Therefore, when a current flows from the wiring OL to the circuit MC, the potentials of the second terminal of the transistor M1 and the gate of the transistor M1 become substantially equal. The potential is determined by the amount of current flowing from the wiring OL to the circuit MC, the potential of the first terminal of the transistor M1 (here, VSS), and the like.
  • the transistor M1 functions as a current source through which a current corresponding to the potential of the gate of the transistor M1 flows. Therefore, it is possible to reduce the influence of variations in the current characteristics of the transistor M1.
  • the transistors M2, and transistor M3 is on, when the current amount of I 1 to the wiring VE from the wiring OL via the circuit MC flows, the potential of the gate (node n1) of the transistor M1 is made as V 1 And.
  • V 1 is held by the circuit HC. Accordingly, transistor M1, the potential VSS of the first terminal of the transistor M1, the I 1 is a current amount corresponding to the potential V 1 of the gate of the transistor M1 source of the transistor M1 - can flow between the drain.
  • transistor M1 the source of the transistor M1 - the amount of current flowing between the drain is set to I 1
  • transistor M1 the source of the transistor M1 - flowing between the drain The amount of current is programmed to I 1 "and so on.
  • the amount of current flowing from the wiring OL to the circuit MC is 0, I 1 , and I 2 . Therefore, the amount of current set in the transistor M1 is 0, I 1 , and I 2 .
  • the potential of the gate of the transistor M1 held in the circuit HC is VSS
  • the potentials of the first terminal and the second terminal of the transistor M1 are also VSS, so that the threshold voltage of the transistor M1 is set. If it is higher than 0, the transistor M1 is turned off. Therefore, since no current flows between the source and drain of the transistor M1, it can be said that the amount of current flowing between the source and drain of the transistor M1 is set to 0.
  • the transistor M1 held in the circuit HC when the potential of the gate of the transistor M1 held in the circuit HC is V 1 , if the threshold voltage of the transistor M1 is lower than V 1 ⁇ VSS, the transistor M1 is turned on. At this time, the amount of current flowing through the transistor M1 to I 1. Therefore, when the potential of the gate of the transistor M1 is V 1 , it can be said that the amount of current flowing between the source and the drain of the transistor M1 is set to I 1. Further, for example, held in the circuit HC, when the potential of the gate of the transistor M1 is V 2, if the threshold voltage of the transistor M1 is lower than V 2 -VSS, transistor M1 is turned on. At this time, the amount of current flowing through the transistor M1 is I 2 . Therefore, it can be said that when the potential of the gate of the transistor M1 is V 2 , the amount of current flowing between the source and drain of the transistor M1 is set to I 2.
  • I 1 the amount of current of I 1 is larger than 0 and smaller than I 2.
  • the potential V 1 is higher than VSS and lower than V 2.
  • the threshold voltage of the transistor M1 is higher than 0, and lower than V 1 -VSS.
  • I 1 for example, in the description of FIG. 8A, can be replaced with I ut generated by the constant current source circuit ISC1, also, I 2, for example, in the description of FIG. 8A, a constant current source circuit ISC2 It can be replaced with the generated 2 Iut.
  • the first data held by the circuit MP (for example, here, it is referred to as a weighting coefficient) is defined as follows.
  • VSS is held in the node n1 of the circuit HC and VSS is held in the node n1r of the circuit HCr, it is assumed that the circuit MP holds "0" as the first data (weight coefficient).
  • V 1 to the node n1 of the circuit HC the VSS to the node n1r circuit HCr held, circuit MP is assumed to hold the "+1" as the first data (weight coefficient).
  • the circuit MP When the node n1 of the circuit HC V 2, VSS to the node n1r circuit HCr is held, the circuit MP is assumed to hold the "+2" as the first data (weight coefficient).
  • V 1 is stored in the node n1 of the circuit HC VSS, the nodes of the circuit HCr N1R, circuit MP is assumed to hold the "-1" as the first data (weight coefficient).
  • V 2 is held in the node n1 of the circuit HC VSS, the nodes of the circuit HCr N1R, circuit MP is assumed to hold the "-2" as the first data (weight coefficient).
  • the second data input to the circuit MP (for example, here, the value of the signal of the neuron (calculated value)) is defined as follows as an example.
  • “+1” is input to the circuit MP as the second data (neuron signal value).
  • “-1” is input to the circuit MP as the second data (neuron signal value).
  • the transistor M1 and the transistor M1r include the case where the transistor M1 and the transistor M1r finally operate in the saturated region when they are in the ON state. That is, it is assumed that the gate voltage, the source voltage, and the drain voltage of each of the above-mentioned transistors are appropriately biased to the voltage in the range of operation in the saturation region.
  • one aspect of the present invention is not limited to this.
  • the transistor M1 and the transistor M1r may operate in a linear region. Further, in order to reduce the amount of current flowing through the transistor M1 and the transistor M1r, the transistor M1 and the transistor M1r may operate in the subthreshold region.
  • the transistor M1 and the transistor M1r may be operated near the boundary between the saturation region and the subthreshold region.
  • the transistor M1 and the transistor M1r operate in a linear region depending on the size of the first data (weighting factor).
  • the case of operating in the saturated region and the case of operating in the subthreshold region may be mixed.
  • the transistor M1 and the transistor M1r may be operated in a linear region and a saturated region in a mixed manner, or may be operated in a subthreshold region and in a linear region. , May be mixed, or the case of operating in the saturated region and the case of operating in the subthreshold region may be mixed.
  • the transistor M2, the transistor M2r, the transistor M3, the transistor M3r, the transistor M4, and the transistor M4r may finally operate in the linear region in the ON state unless otherwise specified. It shall include. That is, it is assumed that the gate voltage, the source voltage, and the drain voltage of each of the above-mentioned transistors are appropriately biased to the voltage in the range of operation in the linear region. However, one aspect of the present invention is not limited to this.
  • the transistor M2, the transistor M2r, the transistor M3, the transistor M3r, the transistor M4, and the transistor M4r may operate in the saturation region or the subthreshold region when in the ON state.
  • the transistor M2, the transistor M2r, the transistor M3, the transistor M3r, the transistor M4, and the transistor M4r may be operated near the boundary between the saturation region and the subthreshold region.
  • the transistor M2, the transistor M2r, the transistor M3, the transistor M3r, the transistor M4, and the transistor M4r may operate in the linear region and in the saturation region, or in the saturation region.
  • the case of operating and the case of operating in the subthreshold region may be mixed, or the case of operating in the subthreshold region and the case of operating in the linear region may be mixed, or the linear region may be mixed.
  • the case of operating in the subthreshold region, the case of operating in the saturation region, and the case of operating in the subthreshold region may be mixed.
  • the first data for example, hereinafter referred to as a weighting coefficient
  • the second data for example, hereinafter, a neuron signal value (calculated value), etc.
  • FIG. 18A is a timing chart of the circuit MP in that case.
  • the initial potential is held in the circuit HC and the circuit HCr.
  • the node n1 and the node n1r hold a potential higher than the potential VSS as the initial potential.
  • a low level potential is applied to the wiring WL, the wiring WX1L, and the wiring X2L.
  • a low level potential is input to each gate of the transistor M2, the transistor M2r, the transistor M3, the transistor M3r, the transistor M4, and the transistor M4r, so that the transistor M2, the transistor M2r, the transistor M3, the transistor M3r, and the transistor Each of M4 and the transistor M4r is turned off.
  • a high level potential is applied to the wiring WL and the wiring WX1L between the time T2 and the time T3.
  • a high level potential is input to each gate of the transistor M2, the transistor M2r, the transistor M3, and the transistor M3r, so that each of the transistor M2, the transistor M2r, the transistor M3, and the transistor M3r is turned on.
  • Vini is applied as an initialization potential to each of the wiring OL and the wiring OLB. Since each of the transistor M2, the transistor M2r, the transistor M3, and the transistor M3r is in the ON state, the potentials of the node n1 of the circuit HC and the node n1r of the circuit HCr are V ini . That is, between the time T2 and the time T3, the potentials of the node n1 of the circuit HC and the node n1r of the circuit HCr are initialized.
  • the initialization potential Vini is preferably, for example, the ground potential. Further, the Vini of the initialization potential may be VSS, a potential higher than the ground potential, or a potential lower than the ground potential. Further, the initialization potential Vini given to each of the wiring OL and the wiring OLB may be different potentials from each other. The wiring OL, and may not enter the initialization potential V ini to the respective wiring OLB. It is not always necessary to provide a period from time T2 to time T3. Alternatively, it is not always necessary to perform initialization between the time T2 and the time T3.
  • the potential VSS is input from the wiring OL to the circuit MC, and the potential VSS is input from the wiring OLB to the circuit MCr.
  • the potential of the node n1 of the circuit HC becomes VSS
  • the potential of the node n1r of the circuit HCr becomes VSS.
  • the transistor M1 since the transistor M1 is set to pass 0 as the amount of current, no current flows from the wiring OL to the wiring VE via the circuit MC.
  • the transistor M1r since the transistor M1r is set to pass 0 as the amount of current, no current flows from the wiring OLB to the wiring VEr via the circuit MCr.
  • the transistor M1 and the transistor M1r are turned off between the time T3 and the time T4, the wiring OL and the wiring VE are in a non-conducting state, and the wiring OLB and the wiring VEr are non-conducting. It becomes a state.
  • a low level potential is applied to the wiring WL and the wiring WX1L between the time T4 and the time T5.
  • a low level potential is input to each of the gates of the transistor M2, the transistor M2r, the transistor M3, and the transistor M3r, so that each of the transistor M2, the transistor M2r, the transistor M3, and the transistor M3r is turned off.
  • the transistor M2 and the transistor M2r are turned off, the potential VSS of the node n1 of the circuit HC is held, and the potential VSS of the node n1r of the circuit HCr is held.
  • the transistor M3 is turned off, no current flows from the wiring OL to the wiring VE via the circuit MC.
  • the transistor M3r is turned off, no current flows from the wiring OLB to the wiring VEr via the circuit MCr.
  • the switch SWI, the switch SWIB, the switch SWO, the switch SWOB, the switch SWL, and the switch SWLB may be turned off in FIG. 8A.
  • the switch SWH and the switch SWHB are turned on, and the potentials of the wiring OL and the wiring OLB are set to the wiring VCN2. May be precharged to the potential provided by (eg, high level potential). After precharging the wiring OL and the wiring OLB to a high level potential, the switch SWH and the switch SWHB may be turned off.
  • a high level potential is input to the wiring WX1L and a low level potential is input to the wiring X2L as the input of the neuron signal (calculated value) "+1" to the circuit MP.
  • a high level potential is input to each gate of the transistor M3 and the transistor M3r, and a low level potential is input to each gate of the transistor M4 and the transistor M4r. Therefore, each of the transistor M3 and the transistor M3r is turned on, and each of the transistor M4 and the transistor M4r is turned off.
  • the circuit MC and the wiring OL and the circuit MCr and the wiring OLB are in a conductive state, and the circuit MC and the wiring OLB and the circuit MCr and the wiring OL are in a conductive state. It becomes a non-conducting state.
  • the switch SWI and the switch SWOB are turned on, the switch SWI, the switch SWIB, the switch SWL, the switch SWLB, the switch SWH, and the switch SWHB are turned off, and the wiring OL and the wiring OLB are respectively.
  • the transistor M1 Since the transistor M1 is in the off state (because it is set to allow 0 to flow as the amount of current), no current flows between the wiring OL and the wiring OLB and the wiring VE in the circuit MC.
  • the transistor M1r is in the off state (because the current amount is set to flow 0), no current flows between the wiring OL and the wiring OLB and the wiring VEr in the circuit MCr. ..
  • the current I OL outputted from the node outa wiring OL, and current I OLB outputted from the node outb wiring OLB does not change before and after the time T5. Therefore, the current I OL does not flow between the circuit AFP and the wiring OL, and the current I OLB does not flow between the circuit AFP and the wiring OLB.
  • the first data (weight coefficient) is "0” and the second data (neuron signal value (calculated value)) input to the circuit MP is "+1", so that the equation (1).
  • the product of the first data (weight coefficient) and the second data becomes “0”.
  • a first data (weighting factor) results which the product is "0" of the second data (the value of the neurons of the signal), the operation of the circuit MP, each change of the current I OL and the current I OLB after the time T5 Correspond to the case of not doing.
  • the result that the product of the first data (weight coefficient) and the second data (neuron signal value) is “0” is output as a signal z j (k) from the circuit AFP in FIG. 8A.
  • the first data for example, weighting factor
  • the second data neuro signal value, calculated value, etc.
  • Multiple product-sum operations can be performed. In this case, it is not necessary to update the first data (weight coefficient), so that the power consumption can be reduced.
  • FIG. 18B is a timing chart of the circuit MP in that case.
  • the potential VSS is inputted from the wiring OLB circuit MCr.
  • FIG. 8A This is done in FIG. 8A by turning on the switch SWI and SWLB and turning off the switch SWIB, switch SWO, switch SWOB, switch SWH, and switch SWHB.
  • V 1 next to V 1 was the potential of the node n1 in the circuit HC, the potential of the node n1r circuit HCr becomes VSS.
  • the transistors M1 is to be configured to stream I 1 as the current amount, I 1 flows as the current amount of wiring VE from the wiring OL via the circuit MC.
  • the transistor M1r since the transistor M1r is set to pass 0 as the amount of current, no current flows from the wiring OLB to the wiring VEr via the circuit MCr.
  • a low level potential is applied to the wiring WL and the wiring WX1L.
  • a low level potential is input to each gate of the transistor M2, the transistor M2r, the transistor M3, and the transistor M3r, so that each of the transistor M2, the transistor M2r, the transistor M3, and the transistor M3r is turned off.
  • Transistor M2, and transistor M2r is by turned off is held potential V 1 of the node n1 in the circuit HC, the potential VSS of the nodes of the circuit HCr N1R is held.
  • the transistor M3 is turned off, no current flows from the wiring OL to the wiring VE via the circuit MC.
  • the transistor M3r is turned off, no current flows from the wiring OLB to the wiring VEr via the circuit MCr.
  • the switch SWI, the switch SWIB, the switch SWO, the switch SWOB, the switch SWL, and the switch SWLB may be turned off in FIG. 8A.
  • the switch SWH and the switch SWHB are turned on, and the wiring OL and the wiring OLB are set to the potentials given by the wiring VCN2 (for example, high level potentials). Can be done.) May be precharged. After precharging the wiring OL and the wiring OLB to a high level potential, the switch SWH and the switch SWHB may be turned off.
  • a high level potential is input to the wiring WX1L and a low level potential is input to the wiring X2L as the input of the second data (neuron signal value (calculated value)) "+1" to the circuit MP.
  • a high level potential is input to each gate of the transistor M3 and the transistor M3r, and a low level potential is input to each gate of the transistor M4 and the transistor M4r. Therefore, each of the transistor M3 and the transistor M3r is turned on, and each of the transistor M4 and the transistor M4r is turned off.
  • the circuit MC and the wiring OL and the circuit MCr and the wiring OLB are in a conductive state, and the circuit MC and the wiring OLB and the circuit MCr and the wiring OL are in a conductive state. It becomes a non-conducting state.
  • the switch SWI and the switch SWOB are turned on, the switch SWI, the switch SWIB, the switch SWL, the switch SWLB, the switch SWH, and the switch SWHB are turned off, and the wiring OL and the wiring OLB are respectively.
  • the transistors M3 is turned on and the potential of the wiring OL to the second terminal of the transistor M1 is turned on (is set to stream I 1 as the current amount, and the transistor M1 is input Therefore, a current flows between the wiring OL and the wiring VE.
  • the transistor M4 since the transistor M4 is in the off state, no current flows between the wiring OLB and the wiring VE.
  • the transistor M3r is in the ON state, but the transistor M1r is in the OFF state (because the current amount is set to flow 0), so that the wiring from the wiring OLB to the wiring VEr No current flows between them.
  • the transistor M4r since the transistor M4r is in the off state, no current flows from the wiring OL to the wiring VEr.
  • current I OL outputted from the node outa wiring OL is I 1 increased after time T5
  • the current I OLB outputted from the node outb wiring OLB does not change before and after the time T5. Therefore, the current I OL of the current amount I 1 flows between the circuit AFP and the wiring OL, and the current I OLB does not flow between the circuit AFP and the wiring OLB.
  • the first data (weight coefficient) is set to "+1” and the second data (value of the neuron signal) input to the circuit MP is set to "+1", so the equation (1.1) is used.
  • the product of the first data (weighting factor) and the second data (neuron signal value) is "+1".
  • a first data (weighting factor) results which the product is "+1” of the second data (the value of the neurons of the signal), the operation of the circuit MP, a current I OL is I 1 increased in subsequent time T5, the current I Corresponds to the case where the OLB does not change.
  • the result that the product of the first data (weight coefficient) and the second data (neuron signal value) is “+1” is output as a signal z j (k) from the circuit AFP in FIG. 8A.
  • FIG. 18C is a timing chart of the circuit MP in that case.
  • the potential VSS is input from the wiring OL to the circuit MC
  • I 1 is input from the wiring OLB to the circuit MCr as the amount of current.
  • This is done by turning on the switch SWIB and the switch SWL and turning off the switch SWI, the switch SWO, the switch SWOB, the switch SWLB, the switch SWH, and the switch SWHB in FIG. 8A.
  • the potential of the node n1 of the circuit HC potential of VSS, and the node of the circuit HCr N1R becomes V 1.
  • transistor M1r is to be configured to stream I 1 as the current amount, I 1 flows as the current amount of wiring VEr from the wiring OLB through the circuit MCr.
  • a low level potential is applied to the wiring WL and the wiring WX1L.
  • a low level potential is input to each gate of the transistor M2, the transistor M2r, the transistor M3, and the transistor M3r, so that each of the transistor M2, the transistor M2r, the transistor M3, and the transistor M3r is turned off.
  • Transistor M2, and transistor M2r is by turned off is held the potential VSS of the node n1 in the circuit HC, the potential V 1 of the nodes of the circuit HCr N1R is held.
  • the transistor M3 is turned off, no current flows from the wiring OL to the wiring VE via the circuit MC.
  • the transistor M3r is turned off, no current flows from the wiring OLB to the wiring VEr via the circuit MCr.
  • "-1" is set as the first data (weighting factor) of the circuit MP.
  • the switch SWI, the switch SWIB, the switch SWO, the switch SWOB, the switch SWL, and the switch SWLB may be turned off in FIG. 8A.
  • the switch SWH and the switch SWHB are turned on, and the wiring OL and the wiring OLB are set to the potentials given by the wiring VCN2 (for example, high level potentials). Can be done.) May be precharged. After precharging the wiring OL and the wiring OLB to a high level potential, the switch SWH and the switch SWHB may be turned off.
  • a high level potential is input to the wiring WX1L and a low level potential is input to the wiring X2L as the input of the second data (neuron signal value (calculated value)) "+1" to the circuit MP.
  • a high level potential is input to each gate of the transistor M3 and the transistor M3r, and a low level potential is input to each gate of the transistor M4 and the transistor M4r. Therefore, each of the transistor M3 and the transistor M3r is turned on, and each of the transistor M4 and the transistor M4r is turned off.
  • the circuit MC and the wiring OL and the circuit MCr and the wiring OLB are in a conductive state, and the circuit MC and the wiring OLB and the circuit MCr and the wiring OL are in a conductive state. It becomes a non-conducting state.
  • the switch SWI and the switch SWOB are turned on, the switch SWI, the switch SWIB, the switch SWL, the switch SWLB, the switch SWH, and the switch SWHB are turned off, and the wiring OL and the wiring OLB are respectively.
  • the transistor M3 is in the on state, but the transistor M1 is in the off state (because the current amount is set to flow 0), so that between the wiring OL and the wiring VE. No current flows.
  • the transistor M4 since the transistor M4 is in the off state, no current flows between the wiring OLB and the wiring VE.
  • transistor M3r is turned on, the transistor M1r is because the ON state (has been configured to stream I 1 as the current amount, and the potential of the wiring OLB to the second terminal of the transistor M1r input Therefore, a current flows between the wiring OLB and the wiring VEr.
  • the transistor M4r since the transistor M4r is in the off state, no current flows from the wiring OL to the wiring VEr. From the above, the current I OL outputted from the node outa wiring OL does not change before and after the time T5, the current I OLB outputted from the node outb wiring OLB is I 1 increases after the time T5. Therefore, between the circuit AFP and wiring OL current I OL does not flow, and between the circuit AFP and wiring OLB current flows I OLB current amount I 1.
  • the first data (weight coefficient) is set to "-1” and the second data (value of the neuron signal (calculated value)) input to the circuit MP is set to "+1".
  • the product of the first data (weight coefficient) and the second data becomes “-1”.
  • the result that the product of the first data (weight coefficient) and the second data (value of the signal of the neuron) is "-1” is that the current IOL does not change after the time T5 in the operation of the circuit MP, and the current I The OLB corresponds to the case where I 1 increases.
  • the result that the product of the first data (weight coefficient) and the second data (neuron signal value) is “-1” is output as a signal z j (k) from the circuit AFP in FIG. 8A.
  • FIG. 19A is a timing chart of the circuit MP in that case.
  • a low level potential is input to the wiring WX1L and a high level potential is input to the wiring X2L as the input of the second data (neuron signal value (calculated value)) "-1" to the circuit MP.
  • a low level potential is input to each gate of the transistor M3 and the transistor M3r, and a high level potential is input to each gate of the transistor M4 and the transistor M4r. Therefore, each of the transistor M3 and the transistor M3r is turned off, and each of the transistor M4 and the transistor M4r is turned on.
  • the circuit MC and the wiring OL and the circuit MCr and the wiring OLB are in a non-conducting state, and the circuit MC and the wiring OLB and the circuit MCr and the wiring OL are in a non-conducting state. Becomes a conductive state.
  • the switch SWO and the switch SWOB are turned on, the switch SWI, the switch SWIB, the switch SWL, and the switch SWLB are turned off, and each of the wiring OL and the wiring OLB is placed between the circuit AFP. Make it conductive. Since the transistor M1 is in the off state (because it is set to allow 0 to flow as the amount of current), no current flows between the wiring OL and the wiring OLB and the wiring VE in the circuit MC. That is, the current I OL output from the node outa of the wiring OL and the current I OLB output from the node outb of the wiring OL do not change before and after the time T5.
  • the first data (weight coefficient) is set to "0" and the second data (value of the neuron signal (calculated value)) input to the circuit MP is set to "-1".
  • the product of the first data (weight coefficient) and the second data becomes “0”.
  • a first data (weighting factor) results which the product is "0" of the second data (the value of the neurons of the signal), the operation of the circuit MP, each change of the current I OL and the current I OLB after the time T5 This corresponds to the case where it does not correspond to the case, which is consistent with the result of the circuit operation of the condition 1.
  • the result that the product of the first data (weight coefficient) and the second data (neuron signal value) is "0" is the same as in condition 1, in FIG. 8A, from the circuit AFP to the signal z j (k). Is output as.
  • a low level potential is input to the wiring WX1L and a high level potential is input to the wiring X2L as the input of the second data (neuron signal value (calculated value)) "-1" to the circuit MP.
  • a low level potential is input to each gate of the transistor M3 and the transistor M3r, and a high level potential is input to each gate of the transistor M4 and the transistor M4r. Therefore, each of the transistor M3 and the transistor M3r is turned off, and each of the transistor M4 and the transistor M4r is turned on.
  • the circuit MC and the wiring OL and the circuit MCr and the wiring OLB are in a non-conducting state, and the circuit MC and the wiring OLB and the circuit MCr and the wiring OL are in a non-conducting state. Becomes a conductive state.
  • the switch SWI and the switch SWOB are turned on, the switch SWI, the switch SWIB, the switch SWL, the switch SWLB, the switch SWH, and the switch SWHB are turned off, and the wiring OL and the wiring OLB are respectively.
  • the wiring OL and the wiring OLB are respectively.
  • the transistors M4 is turned on, the transistor M1 is turned on (is set to stream I 1 as the current amount, and the potential of the wiring OL to the second terminal of the transistor M1 is input Therefore, a current flows from the wiring OLB to the wiring VE.
  • the transistor M3r since the transistor M3r is in the off state, no current flows from the wiring OLB to the wiring VEr. Further, in the circuit MCr, the transistor M4r is in the ON state, but the transistor M1r is in the OFF state (because the current amount is set to flow 0), so that the wiring OL to the wiring VEr No current flows between them. From the above, the current I OL outputted from the node outa wiring OL does not change before and after the time T5, the current I OLB outputted from the node outb wiring OLB is I 1 increases after the time T5. Therefore, between the circuit AFP and wiring OL current I OL does not flow, and between the circuit AFP and wiring OLB current flows I OLB current amount I 1.
  • the first data (weight coefficient) is set to "+1" and the second data (value of the neuron signal (calculated value)) input to the circuit MP is set to "-1".
  • the product of the first data (weight coefficient) and the second data becomes “-1”.
  • the result that the product of the first data (weight coefficient) and the second data (value of the signal of the neuron) is "-1" is that in the operation of the circuit MP, the current IOL does not change after the time T5, and the current I The OLB corresponds to the case where I 1 is increased, which is consistent with the result of the circuit operation of condition 3.
  • the current flowing from the wiring OL to the circuit MC is set to I 2 instead of I 1 between the time T3 and the time T4 of this condition, and V 2 is set in the circuit HC. You may hold it.
  • "+2" is set as the first data (weighting factor) of the circuit MP.
  • the first data (weighting factor) and the second data (weighting factor) and the second from the equation (1.1) are set.
  • the product of the data (value of the signal of the neuron) is "-2".
  • a low level potential is input to the wiring WX1L and a high level potential is input to the wiring X2L as the input of the second data (neuron signal value (calculated value)) "-1" to the circuit MP.
  • a low level potential is input to each gate of the transistor M3 and the transistor M3r, and a high level potential is input to each gate of the transistor M4 and the transistor M4r. Therefore, each of the transistor M3 and the transistor M3r is turned off, and each of the transistor M4 and the transistor M4r is turned on.
  • the circuit MC and the wiring OL and the circuit MCr and the wiring OLB are in a non-conducting state, and the circuit MC and the wiring OLB and the circuit MCr and the wiring OL are in a non-conducting state. Becomes a conductive state.
  • the switch SWI and the switch SWOB are turned on, the switch SWI, the switch SWIB, the switch SWL, the switch SWLB, the switch SWH, and the switch SWHB are turned off, and the wiring OL and the wiring OLB are respectively.
  • the wiring OL and the wiring OLB are respectively.
  • the transistor M3 since the transistor M3 is in the off state, no current flows from the wiring OL to the wiring VE.
  • the transistor M4 is in the ON state, but the transistor M1 is in the OFF state (because the current amount is set to flow 0), so that the wiring from the wiring OLB to the wiring VE No current flows between them.
  • the first data (weight coefficient) is set to "-1" and the second data (value of the neuron signal (calculated value)) input to the circuit MP is set to "-1".
  • the product of the first data (weight coefficient) and the second data becomes “+1”.
  • a first data (weighting factor) results which the product is "+1" of the second data (the value of the neurons of the signal), the operation of the circuit MP, a current I OL is changed in the following time T5, the current I OLB Corresponds to the case where it does not change, which is consistent with the result of the circuit operation of condition 2.
  • the result that the product of the first data (weight coefficient) and the second data (neuron signal value) is "+1” is the same as in condition 2, in FIG. 8A, from the circuit AFP to the signal z j (k). Is output as.
  • the current flowing from the wiring OLB to the circuit MCr is set to I 2 instead of I 1 between the time T3 and the time T4 of this condition, and V 2 is set to the circuit HCr. You may hold it.
  • "-2" is set as the first data (weighting factor) of the circuit MP.
  • the product of the data (weight coefficient) and the second data (value of the signal of the neuron) is "+2".
  • a first data (weighting factor) results which the product is "+2" of the second data (the value of the neurons of the signal), the operation of the circuit MP, does not change the current I OL at later time T5, the current I OLB Corresponds to the case where I 2 increases.
  • the VSS to the circuit HC in the circuit MC, and by setting the non-current amount I 1 in the circuit MCr, to set a negative value other than "-1" as the weighting factor of the circuit MP can.
  • a low level potential is input to the wiring WX1L and a low level potential is input to the wiring X2L as the input of the second data (neuron signal value (calculated value)) "0" to the circuit MP.
  • a low level potential is input to each gate of the transistor M3, the transistor M3r, the transistor M4, and the transistor M4r. Therefore, each of the transistor M3, the transistor M3r, the transistor M4, and the transistor M4r is turned off. That is, by this operation, the circuit MC and the wiring OL, the circuit MCr and the wiring OLB, the circuit MC and the wiring OLB, and the circuit MCr and the wiring OL are in a non-conducting state.
  • the switch SWW and the switch SWOB are turned on, and the switch SWI, the switch SWIB, the switch SWL, the switch SWLB, the switch SWH, and the switch SWHB are turned off, so that the wiring OL and the switch SWHB are turned on.
  • the current I OL does not flow between the circuit AFP and the wiring OL, and the current I OLB does not flow.
  • the first data (weight coefficient) is set to “0” and the second data (value of the neuron signal (calculated value)) input to the circuit MP is set to "0", so that the equation (1).
  • the product of the first data (weight coefficient) and the second data (value of the signal of the neuron) becomes “0”.
  • a first data (weighting factor) results which the product is "0" of the second data (the value of the neurons of the signal), the operation of the circuit MP, each change of the current I OL and the current I OLB after the time T5 This corresponds to the case where it does not correspond to the case, which is consistent with the result of the circuit operation of the conditions 1 and 4.
  • the first data (weighting factor) results which the product is "0" of the second data (the value of the neurons of the signal), the condition 1, similarly to the condition 4, in Figure 8A, the signal z j from the circuit AFP It is output as (k).
  • a low level potential is input to the wiring WX1L and a low level potential is input to the wiring X2L as the input of the second data (value of the signal of the neuron (calculated value)) “0” to the circuit MP.
  • a low level potential is input to each gate of the transistor M3, the transistor M3r, the transistor M4, and the transistor M4r. Therefore, each of the transistor M3, the transistor M3r, the transistor M4, and the transistor M4r is turned off. That is, as in condition 7, by this operation, regardless of the amount of the set current flowing through each of the transistor M1 and the transistor M1r, between the circuit MC and the wiring OL, and between the circuit MCr and the wiring OLB.
  • the circuit MC and the wiring OLB, and the circuit MCr and the wiring OL are in a non-conducting state. Therefore, no current flows from the wiring OL to one of the wiring VE or the wiring VEr, and no current flows from the wiring OLB to the other of the wiring VE or the wiring VEr.
  • the switch SWO and the switch SWOB are turned on, and the switch SWI, the switch SWIB, the switch SWL, and the switch SWLB are turned off, so that the wiring OL and the wiring OLB are respectively and the circuit.
  • the switch SWI, the switch SWIB, the switch SWL, and the switch SWLB are turned off, so that the wiring OL and the wiring OLB are respectively and the circuit.
  • the first data (weight coefficient) is "+1" and the second data (neuron signal value (calculated value)) input to the circuit MP is "0", so that the equation (1).
  • the product of the first data (weight coefficient) and the second data becomes “0”.
  • a first data (weighting factor) results which the product is "0" of the second data (the value of the neurons of the signal), the operation of the circuit MP, each change of the current I OL and the current I OLB after the time T5
  • the result that the product of the first data (weight coefficient) and the second data (neuron signal value) is "0" is obtained from the circuit AFP in FIG. 8A as in the conditions 1, 4, and 7. It is output as a signal z j (k).
  • a low level potential is input to the wiring WX1L and a low level potential is input to the wiring X2L as the input of the second data (value of the signal of the neuron (calculated value)) “0” to the circuit MP.
  • a low level potential is input to each gate of the transistor M3, the transistor M3r, the transistor M4, and the transistor M4r. Therefore, each of the transistors M3, M3r, the transistor M4, and the transistor M4r is turned off. That is, as in condition 7, by this operation, regardless of the amount of the set current flowing through each of the transistor M1 and the transistor M1r, between the circuit MC and the wiring OL, and between the circuit MCr and the wiring OLB.
  • the circuit MC and the wiring OLB, and the circuit MCr and the wiring OL are in a non-conducting state. Therefore, no current flows from the wiring OL to one of the wiring VE or the wiring VEr, and no current flows from the wiring OLB to the other of the wiring VE or the wiring VEr.
  • the switch SWW and the switch SWOB are turned on, and the switch SWI, the switch SWIB, the switch SWL, the switch SWLB, the switch SWH, and the switch SWHB are turned off, so that the wiring OL and the switch SWHB are turned on.
  • the current I OL does not flow between the circuit AFP and the wiring OL, and the current I OLB does not flow.
  • the first data (weight coefficient) is set to "-1" and the second data (value of the neuron signal (calculated value)) input to the circuit MP is set to "0".
  • the product of the first data (weight coefficient) and the second data becomes “0”.
  • a first data (weighting factor) results which the product is "0" of the second data (the value of the neurons of the signal), the operation of the circuit MP, each change of the current I OL and the current I OLB after the time T5 This corresponds to the case where the condition is not satisfied, which is consistent with the result of the circuit operation of condition 1, condition 4, condition 7, and condition 8.
  • the case where one circuit MC and one circuit MCr are connected to the wiring OL and the wiring OLB is shown as an example.
  • a plurality of circuits MC and circuits MCr are connected to the wiring OL and the wiring OLB.
  • the currents output from each circuit MC and circuit MCr are added together based on Kirchhoff's current law.
  • the sum operation is performed. That is, the product is calculated in the circuit MC and the circuit MCr, and the sum is calculated by adding the currents from the plurality of circuits MC and the circuit MCr.
  • the product-sum calculation process is performed.
  • the first data is set to only two values of "+1" and "-1"
  • the second data value of the signal of the neuron
  • the circuit MP can perform the same operation as the circuit (matching circuit) in which the exclusive OR is negated.
  • the first data (weight coefficient) is set to only two values of "+1” and “0”
  • the second data value of the signal of the neuron
  • the circuit MP can perform the same operation as the circuit of the logical product by performing the calculation only.
  • the circuit HCr may hold a potential indicating a binary value or an analog value. For example, in the case of a "positive analog value" as the first data (weight coefficient), a high-level analog potential is held in the node n1 of the circuit HC, and a low-level potential is held in the node n1r of the circuit HCr.
  • a low level potential is held in the node n1 of the circuit HC
  • a high level analog potential is held in the node n1r of the circuit HCr.
  • the magnitude of the current of the current I OL and the current I OLB is a magnitude corresponding to the analog potential. Further, holding the potential indicating an analog value in the circuit HC and the circuit HCr is not limited to the operation example of the circuit MP of FIG. 15A, and is also performed for other circuit MPs shown in the present specification and the like. May be good.
  • the circuit MP shown in FIG. 21A shows a configuration example of the circuit MP of FIG. 9B, and the difference from the circuit MP of FIG. 15A is that the second terminal of the transistor M2 is not the wiring OL but the second terminal of the transistor M1.
  • the point that is electrically connected to the first terminal of the transistor M3 and the first terminal of the transistor M4, and the second terminal of the transistor M2r is not the wiring OLB but the second terminal of the transistor M1r and the transistor M3r. It is a point that is electrically connected to the first terminal of the transistor M4r and the first terminal of the transistor M4r.
  • the circuit MP of FIG. 21A can operate in the same manner as the circuit MP of FIG. 15A.
  • the circuit MP shown in FIG. 21B shows a configuration example of the circuit MP of FIG. 9B, and the difference from the circuit MP of FIG. 15A is that the circuit MC includes the transistor M1c and the first terminal of the transistor M4 is a transistor.
  • the circuit MCr includes the transistor M1cr, and the first terminal of the transistor M4r is the second terminal of the transistor M1r. The point is that the two terminals are electrically connected to the transistor M1cr instead of the second terminal of the transistor M3r.
  • the transistor M1c and the transistor M1cr include the case where they finally operate in the saturated region when they are in the ON state. That is, it is assumed that the gate voltage, the source voltage, and the drain voltage of each of the above-mentioned transistors are appropriately biased to the voltage in the range of operation in the linear region.
  • one aspect of the present invention is not limited to this.
  • the transistor M1c and the transistor M1cr may operate in the linear region.
  • the transistor M1c and the transistor M1cr may operate in the subthreshold region.
  • the transistor M1c and the transistor M1cr are linear depending on the size of the first data (weighting factor).
  • the case of operating in the region, the case of operating in the saturated region, and the case of operating in the subthreshold region may be mixed.
  • the transistor M1c and the transistor M1cr may be operated in the linear region and in the saturated region, or may be operated in the subthreshold region and in the linear region. , May be mixed, or the case of operating in the saturated region and the case of operating in the subthreshold region may be mixed.
  • the first terminal of the transistor M1c is electrically connected to the wiring VE. Further, the gate of the transistor M1c is electrically connected to the gate of the transistor M1, the first terminal of the transistor M2, and the first terminal of the capacitance C1. In addition, the second terminal of the transistor M1c is electrically connected to the first terminal of the transistor M4.
  • the circuit MCr has almost the same circuit configuration as the circuit MC. Therefore, in order to distinguish the circuit element of the circuit MCr from the circuit element of the circuit MC, "r" is added to the reference numeral.
  • the current flowing through the transistor M3 and the transistor M4 is determined by the potential of the gate of the transistor M1 and the transistor M1c, respectively.
  • the sizes of the transistor M1 and the transistor M1c, for example, the channel length and the channel width are equal to each other.
  • the circuit MP of FIG. 21B can operate in the same manner as the circuit MP of FIG. 15A.
  • the circuit MP shown in FIG. 22A shows a configuration example of the circuit MP of FIG. 9E, and the difference from the circuit MP of FIG. 15A is that the circuit MC includes the transistor M5 and the circuit MCr includes the transistor M5r. The point is that the circuit MP is electrically connected to the wiring IL and the wiring ILB.
  • the transistor M5 and the transistor M5r include the case where they finally operate in the linear region when they are in the ON state. That is, it is assumed that the gate voltage, the source voltage, and the drain voltage of each of the above-mentioned transistors are appropriately biased to the voltage in the range of operation in the linear region.
  • the transistor M5 and the transistor M5r may operate in the saturation region or may operate in the subthreshold region. Alternatively, it may be operated near the boundary between the saturation region and the subthreshold region.
  • the transistor M5 and the transistor M5r may, for example, have a mixture of operating in a linear region, operating in a saturated region, and operating in a subthreshold region.
  • the transistor M5 and the transistor M5r may be operated in a linear region and a saturated region in a mixed manner, or may be operated in a saturated region and a subthreshold region. And may be mixed, or may be mixed with the case of operating in the subthreshold region and the case of operating in the linear region.
  • the first terminal of the transistor M5 is electrically connected to the second terminal of the transistor M2 and the wiring IL.
  • the second terminal of the transistor M5 is electrically connected to the second terminal of the transistor M1, the first terminal of the transistor M3, and the first terminal of the transistor M4.
  • the gate of the transistor M5 is electrically connected to the wiring WL.
  • the circuit MCr has almost the same circuit configuration as the circuit MC. Therefore, in order to distinguish the circuit element of the circuit MCr from the circuit element of the circuit MC, "r" is added to the reference numeral.
  • the sizes of the transistor M1, the transistor M2, the transistor M3, and the transistor M4, for example, the channel length and the channel width are set to the transistor M1r and the transistor M2r, respectively, as in the configuration example 1 and the configuration example 2. It is preferably equal to the size of the transistor M3r and the transistor M4r. With such a circuit configuration, there is a possibility that the layout can be performed efficiently.
  • the size of the transistor M5 is preferably equal to the size of the transistor M5r.
  • the setting of the current to the circuit MC and the circuit MCr is performed by giving a high level potential to the wiring WL and turning on the transistor M2, the transistor M2r, the transistor M5, and the transistor M5r. Further, after the current is set in the circuit MC and the circuit MCr, a low level potential is applied to the wiring WL in order to maintain the potential set in the circuit HC and the circuit HCr, and the transistor M2, the transistor M2r, and the transistor M5 are applied. , And the transistor M5r may be turned off.
  • the wiring for transmitting the second data (for example, the value of the signal of the neuron here) and the first data (for example, here, the weighting coefficient) are used for the circuit MP.
  • the wiring for supplying or holding information for example, voltage, current, etc.
  • the wiring for transmitting the signal value) is defined as the wiring X1L
  • the wiring for supplying or holding the information (for example, voltage, current, etc.) according to the first data (weight coefficient) to the circuit MP is defined as the wiring WL. be able to. That is, the circuit MP of FIG. 22A can be said to have a configuration in which the wiring WX1L of the circuit MP of the configuration example 1 and the configuration example 2 is divided for each function.
  • FIG. 22B shows a circuit configuration different from the circuit MP of FIG. 22A.
  • the circuit MP shown in FIG. 22B has a configuration in which the electrical connection of the first terminal of each of the transistor M5 and the transistor M5r of the circuit MP of FIG. 22A is changed. Specifically, in the circuit MP of FIG. 22B, the first terminal of the transistor M5 is electrically connected to the first terminal of the transistor M2, the gate of the transistor M1, and the first terminal of the capacitance C1. ..
  • the circuit MP operates in almost the same manner as the circuit MP of FIG. 22A.
  • the circuit MP shown in FIGS. 22A and 22B may have a configuration in which the wiring IL is grouped in the wiring OL and the wiring ILB is grouped in the wiring OLB.
  • the wiring IL is grouped in the wiring OL and the wiring ILB is grouped in the wiring OLB, so that the circuit MP shown in FIG. 23A can be configured.
  • the wiring IL is grouped in the wiring OL and the wiring ILB is grouped in the wiring OLB, so that the circuit MP shown in FIG. 23B can be configured.
  • the circuit MPs of FIGS. 23A and 23B have a circuit configuration applicable to the circuit MP shown in FIG. 9A, and the operation of the respective circuit MPs of FIGS. 23A and 23B is the circuit MP of FIG. 15A. Refer to the explanation of the operation of.
  • the circuit MP shown in FIG. 24 is an example of a circuit having not only the circuit HC and the circuit HCr but also the circuit HCs and the circuit HCsr, unlike the circuit MP of FIG. 15A.
  • the circuit MC included in the circuit MP of FIG. 24 has a transistor M1s, a transistor M2s, a transistor M6, a transistor M6s, and a capacitance C1s in addition to the circuit element of the circuit MP of FIG. 21A. Further, since the circuit MCr included in the circuit MP of FIG. 24 has the same circuit elements as the circuit MC, it corresponds to each of the transistor M1s, the transistor M2s, the transistor M6, the transistor M6s, and the capacitance C1s of the circuit MC. , Transistor M1sr, transistor M2sr, transistor M6r, transistor M6sr, and capacitance C1sr. The transistor M2s and the capacitance C1s are included in the circuit HCs, and the transistor M2sr and the capacitance C1sr are included in the circuit HCsr.
  • the transistor M1s and the transistor M1sr include the case where the transistor M1s and the transistor M1r finally operate in the saturation region when they are in the ON state, like the transistor M1 and the transistor M1r. .. That is, it is assumed that the gate voltage, the source voltage, and the drain voltage of each of the above-mentioned transistors are appropriately biased to the voltage in the range of operation in the saturation region.
  • the transistor M1s and the transistor M1sr may operate in the linear region.
  • the transistor M1s and the transistor M1sr may operate in the subthreshold region. Alternatively, it may be operated near the boundary between the saturation region and the subthreshold region.
  • the first data (weighting factor) is an analog value
  • the transistor M1s and the transistor M1sr operate in a linear region depending on the size of the first data (weighting factor).
  • the case of operating in the saturated region and the case of operating in the subthreshold region may be mixed.
  • the transistor M1s and the transistor M1sr may operate in the linear region and in the saturated region, or may operate in the subthreshold region and in the linear region. , May be mixed, or the case of operating in the saturated region and the case of operating in the subthreshold region may be mixed.
  • the transistor M2s, the transistor M2sr, the transistor M6, the transistor M6s, the transistor M6r, and the transistor M6sr are in the ON state like the transistor M2, the transistor M3, and the transistor M4 unless otherwise specified.
  • the case shall include the case where it finally operates in the linear region. That is, it is assumed that the gate voltage, the source voltage, and the drain voltage of each of the above-mentioned transistors are appropriately biased to the voltage in the range of operation in the linear region.
  • one aspect of the present invention is not limited to this.
  • the transistor M2s, the transistor M2sr, the transistor M6, the transistor M6s, the transistor M6r, and the transistor M6sr may operate in the saturation region or the subthreshold region when they are on.
  • the transistor M2s, the transistor M2sr, the transistor M6, the transistor M6s, the transistor M6r, and the transistor M6sr may be operated near the boundary between the saturation region and the subthreshold region.
  • the transistor M2s, the transistor M2sr, the transistor M6, the transistor M6s, the transistor M6r, and the transistor M6sr may operate in the linear region and in the saturation region, or in the saturation region.
  • the case of operating and the case of operating in the subthreshold region may be mixed, or the case of operating in the subthreshold region and the case of operating in the linear region may be mixed, or the linear region may be mixed.
  • the case of operating in the subthreshold region, the case of operating in the saturation region, and the case of operating in the subthreshold region may be mixed.
  • the second terminal of the transistor M1 is electrically connected to the second terminal of the transistor M2 and the first terminal of the transistor M6.
  • the second terminal of the transistor M6 is electrically connected to the first terminal of the transistor M3 and the first terminal of the transistor M4.
  • the gate of the transistor M6 is electrically connected to the wiring S1L.
  • the first terminal of the transistor M1s is electrically connected to the wiring VE.
  • the second terminal of the transistor M1s is electrically connected to the first terminal of the transistor M6s.
  • the gate of the transistor M1s is electrically connected to the first terminal of the capacitance C1s and the first terminal of the transistor M2s.
  • the second terminal of the capacitance C1s is electrically connected to the wiring VE.
  • the second terminal of the transistor M2s is electrically connected to the second terminal of the transistor M1s and the first terminal of the transistor M6s.
  • the second terminal of the transistor M6s is electrically connected to the first terminal of the transistor M3 and the first terminal of the transistor M4.
  • the gate of the transistor M6s is electrically connected to the wiring S2L.
  • the circuit MCr has almost the same circuit configuration as the circuit MC. Therefore, in order to distinguish the circuit element of the circuit MCr from the circuit element of the circuit MC, "r" is added to the reference numeral.
  • the wiring S1L functions as a voltage line for supplying a potential for turning the transistor M6 and the transistor M6r into an on state or an off state
  • the wiring S2L is for turning the transistor M6s and the transistor M6sr into an on state or an off state. It functions as a voltage line that supplies an electric potential.
  • the sizes of the transistor M6, the transistor M6s, the transistor M6r, and the transistor M6sr, for example, the channel length and the channel width are preferably equal to each other. With such a circuit configuration, there is a possibility that the layout can be performed efficiently.
  • the circuit MP of the arithmetic circuit 150 uses the first data (for example, a weighting coefficient here). Two can be held. Specifically, in the circuit MP of FIG. 24, the potential corresponding to the first first data (weight coefficient) is held in the circuit HC of the circuit MC and the circuit HCr of the circuit MCr, and the second circuit MP. The potential corresponding to the first data (weight coefficient) of the above can be held in the circuit HCs of the circuit MC and the circuit HCsr of the circuit MCr. Further, the circuit MP of FIG.
  • the 24 can switch the first data (weight coefficient) used for the calculation by the potential given from the wiring S1L and the wiring S2L.
  • the first data (weight coefficient) w 1 (k-1) h (k) to w m (k-1) h (k) in HCsr (h here is an integer greater than or equal to 1 and not j).
  • a high level potential is applied to the wiring S1L to turn on the transistor M6 and the transistor M6r, and a low level potential is applied to the wiring S2L to turn off the transistor M6s and the transistor M6sr.
  • the circuit MP [1, j] to the circuit MP [m, j] of the arithmetic circuit 150 has a weighting potential w 1 (k-1) j (k) to w m (k-1) j (k) and a signal z 1. (k-1) to be able to perform the calculation of the sum-of-products and activation function of z m (k-1). Further, a low level potential is applied to the wiring S1L to turn off the transistor M6 and the transistor M6r, and a high level potential is applied to the wiring S2L to turn the transistor M6s and the transistor M6sr on.
  • the circuit MP [1, j] to the circuit MP [m, j] of the circuit 150 has a weight coefficient w 1 (k-1) h (k) to w m (k-1) h (k) and a signal z 1 ( k-1) to be able to perform the calculation of the sum-of-products and activation function of z m (k-1).
  • the arithmetic circuit 150 constituting the circuit MP of FIG. 24 is effective, for example, when the number of neurons in the kth layer is larger than n, or when an arithmetic is performed in an intermediate layer different from the kth layer.
  • the circuit MC and the circuit MCr each have two holding portions, but each of the circuit MC and the circuit MCr has three or more holding portions depending on the situation. You may.
  • circuit MP included in the semiconductor device of one aspect of the present invention is not limited to the circuit MP of FIG. 24.
  • the circuit configuration of the circuit MP of FIG. 24 can be changed depending on the situation.
  • the circuit MP shown in FIG. 25 has a circuit configuration in which the circuit MP of FIG. 24 is changed.
  • a transistor M3s, a transistor M4s, a transistor M3sr, and a transistor M4sr are added to the circuit MP of FIG. 24, and the electrical connection is changed.
  • the first terminal of the transistor M3s is electrically connected to the second terminal of the transistor M6s and the first terminal of the transistor M4s, and the second terminal of the transistor M3s is electrically connected to the wiring OL.
  • the gate of is electrically connected to the wiring WX1L.
  • the second terminal of the transistor M4s is electrically connected to the wiring OLB, and the gate of the transistor M4s is electrically connected to the wiring X2L.
  • the circuit MCr has almost the same circuit configuration as the circuit MC. Therefore, in order to distinguish the circuit element of the circuit MCr from the circuit element of the circuit MC, "r" is added to the reference numeral. Further, in the circuit MCr, the second terminal of the transistor M3sr is electrically connected to the wiring OLB, and the second terminal of the transistor M4sr is electrically connected to the wiring OL.
  • the sizes of the transistor M3, the transistor M3s, the transistor M3r, the transistor M3sr, the transistor M4, the transistor M4s, the transistor M4r, and the transistor M4sr for example, the channel length and the channel width are preferably equal to each other. With such a circuit configuration, there is a possibility that the layout can be performed efficiently.
  • the circuit MP of FIG. 25 can hold two first data (weighting factors) by performing the same operation as the circuit MP of FIG. 24, and the first data (weighting factors) can be switched. You can perform operations on the sum of products and the activation function. Further, in the circuit MP of FIG. 25, the circuit MC and the circuit MCr each have two holding portions, but each of the circuit MC and the circuit MCr has three or more holding portions depending on the situation. You may.
  • the circuit MP shown in FIG. 26 is different from the circuit MP of FIG. 21A in that the ratio of the channel width (hereinafter referred to as W length) and the channel length (hereinafter referred to as L length) is different in the circuit MC. It has a transistor M1, a transistor M1-2b, and a transistor M1-3b as an example. In addition to the transistor M1, the transistor M1-2b, and the transistor M1-3b, it may have more transistors, or it may not have the transistor M1-3b, the transistor M1-2b, and the like.
  • the circuit MC included in the circuit MP of FIG. 26 further includes a transistor M3-2b, a transistor M4-2b, a transistor M3-3b, and a transistor M4-3b in addition to the circuit elements of the circuit MP of FIG. 21A. ..
  • the transistor M1-2b and the transistor M1-3b include the case where the transistor M1-2b and the transistor M1-3b finally operate in the saturated region when they are in the ON state, unless otherwise specified. That is, it is assumed that the gate voltage, the source voltage, and the drain voltage of each of the above-mentioned transistors are appropriately biased to the voltage in the range of operation in the saturation region. However, one aspect of the present invention is not limited to this. In order to reduce the amplitude value of the supplied voltage, the transistors M1-2b and the transistors M1-3b may operate in the linear region.
  • the transistor M1-2b and the transistor M1-3b may operate in the subthreshold region. Alternatively, it may be operated near the boundary between the saturation region and the subthreshold region.
  • the first data for example, the weighting factor is used here
  • the transistor M1-2b and the transistor M1- depending on the size of the first data (weighting factor).
  • 3b may be a mixture of a case where it operates in a linear region, a case where it operates in a saturated region, and a case where it operates in a subthreshold region.
  • the transistors M1-2b and the transistors M1-3b may be operated in a linear region and in a saturated region, or may be operated in a subthreshold region and in a linear region.
  • the case of operating and the case of operating in the subthreshold region may be mixed, and the case of operating in the saturated region and the case of operating in the subthreshold region may be mixed.
  • the transistor M3-2b, the transistor M4-2b, the transistor M3-3b, and the transistor M4-3b are in the ON state, like the transistor M3 and the transistor M4, unless otherwise specified.
  • the case shall include the case where it finally operates in the linear region. That is, it is assumed that the gate voltage, the source voltage, and the drain voltage of each of the above-mentioned transistors are appropriately biased to the voltage in the range of operation in the linear region.
  • the transistor M3-2b, the transistor M4-2b, the transistor M3-3b, and the transistor M4-3b may operate in the saturation region or the subthreshold region when in the ON state.
  • the transistor M3-2b, the transistor M4-2b, the transistor M3-3b, and the transistor M4-3b may be operated near the boundary between the saturation region and the subthreshold region.
  • the transistor M3-2b, the transistor M4-2b, the transistor M3-3b, and the transistor M4-3b may operate in the linear region and in the saturation region, or may be saturated.
  • the case of operating in the region and the case of operating in the subthreshold region may be mixed, or the case of operating in the subthreshold region and the case of operating in the linear region may be mixed, or
  • the case of operating in the linear region, the case of operating in the saturated region, and the case of operating in the subthreshold region may be mixed.
  • the first terminal of the transistor M1-2b is electrically connected to the wiring VE.
  • the second terminal of the transistor M1-2b is electrically connected to the first terminal of the transistor M3-2b and the first terminal of the transistor M4-2b.
  • the gate of the transistor M1-2b is electrically connected to the first terminal of the transistor M2 and the first terminal of the capacitance C1.
  • the second terminal of the transistor M3-2b is electrically connected to the wiring OL.
  • the gate of the transistor M3-2b is electrically connected to the wiring X1L2b.
  • the second terminal of the transistor M4-2b is electrically connected to the wiring OLB.
  • the gate of the transistor M4-2b is electrically connected to the wiring X2L2b.
  • the first terminal of the transistor M1-3b is electrically connected to the wiring VE.
  • the second terminal of the transistor M1-3b is electrically connected to the first terminal of the transistor M3-3b and the first terminal of the transistor M4-3b.
  • the gate of the transistor M1-3b is electrically connected to the first terminal of the transistor M2 and the first terminal of the capacitance C1.
  • the second terminal of the transistor M3-3b is electrically connected to the wiring OL.
  • the gate of the transistor M3-3b is electrically connected to the wiring X1L3b.
  • the second terminal of the transistor M4-3b is electrically connected to the wiring OLB.
  • the gate of the transistor M4-3b is electrically connected to the wiring X2L3b.
  • the circuit MCr has almost the same circuit configuration as the circuit MC. Therefore, in order to distinguish the circuit element of the circuit MCr from the circuit element of the circuit MC, "r" is added to the reference numeral. Further, the second terminal of the transistor M3-2br is electrically connected to the wiring OLB, the second terminal of the transistor M4-2br is electrically connected to the wiring OL, and the second terminal of the transistor M3-3br is. It is electrically connected to the wiring OL, and the second terminal of the transistor M4-3br is electrically connected to the wiring OL.
  • the sizes of the M4-2br and the transistor M4-3br, for example, the channel length and the channel width are equal to each other.
  • the wiring X1L2b is a wiring for switching the transistor M3-2b and the transistor M3-2br from the on state and the off state
  • the wiring X2L2b is the wiring for switching the transistor M4-2b and the transistor M4-2br into the on state and the off state
  • the wiring X1L3b is the wiring for switching the transistor M3-3b and the transistor M3-3br from the on state and the off state
  • the wiring X2L3b is the wiring for switching the transistor M3-3b and the transistor M3-3b. This is wiring for switching the transistor M4-3br between the on state and the off state.
  • the ratio of the W length to the L length of the transistor M1 is W / L
  • the ratio of the W length to the L length of the transistor M1-2b is preferably 2 ⁇ W / L, and the W of the transistor M1-3b.
  • the ratio of length to L length is preferably 4 ⁇ W / L. Since the current flowing between the source and drain of the transistor is proportional to the channel width / channel length, if the structures and configuration conditions other than the channel width / channel length of the transistor M1, the transistor M1-2b, and the transistor M1-3b are the same, The currents flowing through the transistors M1-2b and the transistors M1-3b are approximately twice and four times the currents flowing through the transistor M1, respectively.
  • the ratio of the amount of current flowing through the transistor M1, the transistor M1-2b, and the transistor M1-3b is approximately 1: 2: 4.
  • the circuit MC included in the circuit MP of FIG. 26 has, for example, Q (Q is an integer of 4 or more) as a transistor corresponding to the transistor M1.
  • the first transistor is the transistor M1
  • the second transistor is the transistor M1-2b
  • the third transistor is the transistor M1-3b
  • the Qth is an integer of 4 or more and Q or less
  • the circuit MC included in the circuit MP of FIG. 26 may have Q transistors so that the amount of current flowing through each transistor is a power ratio of 2.
  • the ratio of the W length to the L length of the transistor M1r is preferably equal to the ratio of the W length to the L length of the transistor M1
  • the ratio of the W length to the L length of the transistor M1-2br is the W of the transistor M1-2b. It is preferable that it is equal to the ratio of the length and the L length
  • the ratio of the W length and the L length of the transistor M1-3br is preferably equal to the ratio of the W length and the L length of the transistor M1-3b.
  • positive first data (positive weighting coefficient) is set in the circuit MP, and at least one of the transistor M3, the transistor M3-2b, and the transistor M3-3b is turned on, and the transistor M4 and the transistor M4- 2b and the transistor M4-3b may be turned off.
  • the amount of current flowing from the wiring OL to the circuit MC changes depending on the combination of the on state and the off state of the transistor M3, the transistor M3-2b, and the transistor M3-3b.
  • the transistor M3 is formed by applying a high level potential to the wiring WX1L, applying a low level potential to the wiring X2L, and further applying a low level potential to the wiring X1L2b, the wiring X2L2b, the wiring X1L3b, and the wiring X2L3b.
  • the on state can be turned on, and the transistor M3-2b, the transistor M3-3b, the transistor M4, the transistor M4-2b, and the transistor M4-3b can be turned off.
  • the amount of current flowing in the circuit MC from the wiring OL becomes I ut.
  • the source of the transistor M1 - the amount of current flowing between the drain is set to I ut, and a high level voltage is applied to the wiring WX1L, and the wiring X1L2b, a low-level potential is applied to the wiring X2L, and wiring X2L2b Further, a low level potential is applied to the wiring X1L3b and the wiring X2L3b.
  • the transistor M3 and the transistor M3-2b can be turned on, and the transistor M3-3b, the transistor M4, the transistor M4-2b, and the transistor M4-3b can be turned off, and the current flows from the wiring OL to the circuit MC.
  • the amount of current is 3 Trans .
  • the source of the transistor M1 - the amount of current flowing between the drain is set to I ut, and a high level voltage is applied to the wiring X1L2b, and the wiring X1L3b, a low-level potential is applied to the wiring X2L2b, and wiring X2L3b Further, a low level potential is applied to the wiring WX1L and the wiring X2L.
  • the transistor M3-2b and the transistor M3-3b can be turned on, and the transistor M3, the transistor M4, the transistor M4-2b, and the transistor M4-3b can be turned off, and the current flowing from the wiring OL to the circuit MC can be turned off.
  • the amount will be 6I ut.
  • the transistor M3 is formed by applying a high level potential to the wiring WX1L, applying a low level potential to the wiring X2L, and further applying a low level potential to the wiring X1L2b, the wiring X2L2b, the wiring X1L3b, and the wiring X2L3b.
  • the on state can be turned on, and the transistor M3-2b, the transistor M3-3b, the transistor M4, the transistor M4-2b, and the transistor M4-3b can be turned off.
  • the amount of current flowing from the wiring OL to the circuit MC is 2 Mut .
  • the amount of current flowing between the source and drain of the transistor M1 is set to 2 ut , a high level potential is applied to the wiring WX1L and the wiring X1L2b, and a low level potential is applied to the wiring X2L and the wiring X2L2b. Further, a low level potential is applied to the wiring X1L3b and the wiring X2L3b.
  • the transistor M3 and the transistor M3-2b can be turned on, and the transistor M3-3b, the transistor M4, the transistor M4-2b, and the transistor M4-3b can be turned off, and the current flows from the wiring OL to the circuit MC.
  • current amount is 6I ut.
  • the amount of current flowing between the source and drain of the transistor M1 is set to 2 ut , a high level potential is applied to the wiring X1L2b and the wiring X1L3b, and a low level potential is applied to the wiring X2L2b and the wiring X2L3b. Further, a low level potential is applied to the wiring WX1L and the wiring X2L.
  • the transistor M3-2b and the transistor M3-3b can be turned on, and the transistor M3, the transistor M4, the transistor M4-2b, and the transistor M4-3b can be turned off, and the current flows from the wiring OL to the circuit MC.
  • current amount is 12I ut.
  • the current set between the source and the drain of the transistor M1 is approximately multiplied by an integral number according to the potentials of the wiring WX1L, the wiring X1L2b, and the wiring X1L3b, and the current multiplied by the integral number is wired. It has a function to flow from OL to circuit MC.
  • the current set between the source and the drain of the transistor M1 is not an integral multiple but a real multiple. Then, it can flow from the wiring OL to the circuit MC.
  • the amount of current flowing from the wiring OL to the circuit MC has been dealt with, but the amount of current flowing from the wiring OLB to the circuit MC can also be considered in the same manner.
  • positive first data (positive weighting coefficient) is set in the circuit MP, and at least one of the transistor M4, the transistor M4-2b, and the transistor M4-3b is turned on, and the transistor M3 and the transistor M3-2b are turned on. , And the transistor M3-3b may be turned off.
  • the amount of current flowing from the wiring OLB to the circuit MC changes depending on the combination of the on state and the off state of the transistor M4, the transistor M4-2b, and the transistor M4-3b.
  • the current flowing from the wiring OLB to the circuit MCr can be considered in the same manner.
  • negative first data negative weighting coefficient
  • the transistor M3r, the transistor M3-2br, and the transistor M3-3br is turned on, and the transistor M4r and the transistor M4- 2br and the transistor M4-3br may be turned off.
  • the amount of current flowing from the wiring OLB to the circuit MCr changes depending on the combination of the on state and the off state of the transistor M3r, the transistor M3-2br, and the transistor M3-3br.
  • the current flowing from the wiring OL to the circuit MCr can be considered in the same manner.
  • negative first data (negative weighting coefficient) is set in the circuit MP, and at least one of the transistor M4r, the transistor M4-2br, and the transistor M4-3br is turned on, and the transistor M3r and the transistor M3- 2br and the transistor M3-3br may be turned off.
  • the amount of current flowing from the wiring OL to the circuit MCr changes depending on the combination of the on state and the off state of the transistor M4r, the transistor M4-2br, and the transistor M4-3br.
  • the set amount of current is multiplied by an integral number (real number multiple) according to the respective potentials of the wiring WX1L, the wiring X2L, the wiring X1L2b, the wiring X2L2b, the wiring X1L3b, and the wiring X2L3b. Then, a current can be passed from the wiring OL to the circuit MC or the circuit MCr, or a current can be passed from the wiring OLB to the circuit MC or the circuit MCr.
  • the second data (for example, here, it is the value of the signal of the neuron) is determined according to the combination of the potentials of the wiring WX1L, the wiring X2L, the wiring X1L2b, the wiring X2L2b, the wiring X1L3b, and the wiring X2L3b. Therefore, the second data (value of the signal of the neuron) can be treated as a multi-value (15 value in the configuration of the circuit MP in FIG. 26). That is, the circuit MP of FIG. 26 can be a circuit capable of calculating the product of the multi-valued first data (weighting factor) and the multi-valued second data (neuron signal).
  • the potential of the node n1 circuit HC and V 1 is set to VSS.
  • the second data the value of the neurons of the signal
  • a current I OL flowing through the circuit MC or circuit MCr from wire OL flows through the circuit MC or circuit MCr from the wiring OLB
  • the table below shows the changes in the amount of current IOLB and the amount of current. In the table below, the high level potential is described as high, and the low level potential is described as low.
  • the first data (weighting factor) set in the circuit MP is set to "-1" (the amount of current set between the source and drain of the transistor M1 is 0, and the current set between the source and drain of the transistor M1r). the amount of the I ut.
  • the potential of the node n1 circuit HC and VSS, and the potential of the node n1r circuit HCr and V 1. corresponding to the second data (the value of the neurons of the signal), line WX1L, wiring X2L, wiring X1L2b, wiring X2L2b, wiring X1L3b, and when the potential of the wiring X2L3b entered into circuit MP, a current I OL flowing through the circuit MC or circuit MCr from the wiring OL, circuit MC or circuit from the wiring OLB a current I OLB flowing through the MCr, a change in the amount of current in the table below. In the table below, the high level potential is described as high, and the low level potential is described as low.
  • the potential of the node n1 may be, for example, VSS.
  • the amount of current flowing between the source and drain of each of the transistor M1-2b and the transistor M1-3b can be set to zero. Therefore, the current from the wiring OL or the wiring OLB to the circuit MC regardless of whether the transistor M3, the transistor M3-2b, the transistor M3-3b, the transistor M4, the transistor M4-2b, and the transistor M4-3b are on or off. Does not flow.
  • the second data is obtained by setting each of the wiring WX1L, the wiring X2L, the wiring X1L2b, the wiring X2L2b, the wiring X1L3b, and the wiring X2L3b to a low level potential or a high level potential.
  • (Signal value of) can be expressed as 15 values, and the product of the multi-valued first data (weight coefficient) and the multi-valued second data (neuron signal value) can be calculated. ..
  • circuit MP included in the semiconductor device of one aspect of the present invention is not limited to the circuit MP of FIG. 26.
  • the circuit configuration of the circuit MP of FIG. 26 can be changed depending on the situation.
  • the circuit MP shown in FIG. 27 has a circuit configuration in which the circuit MP of FIG. 26 is changed.
  • the circuit MP of FIG. 27 has a configuration in which a circuit HC-2b, a circuit HC-3b, a circuit HC-2br, and a circuit HC-3br are added to the circuit MP of FIG. 26. .. Since the configurations of the circuit HC-2b, the circuit HC-3b, the circuit HC-2br, and the circuit HC-3br are the same as those of the circuit HC and the circuit HCr, the description of the circuit HC and the circuit HCr is taken into consideration. do.
  • the electrical connection configuration around the transistor M1-2b, the transistor M3-2b, and the transistor M4-2b, and the circuit HC-2b is the peripheral of the transistor M1, the transistor M3, the transistor M4, and the circuit HC. It has a similar electrical connection configuration. Further, the electrical connection configuration around the transistor M1-3b, the transistor M3-3b, the transistor M4-3b, and the circuit HC-3b is the same as that around the transistor M1, the transistor M3, the transistor M4, and the circuit HC. Connection configuration.
  • the electrical connection configuration around the transistor M1-2br, the transistor M3-2br, the transistor M4-2br, and the circuit HC-2br is the periphery of the transistor M1r, the transistor M3r, the transistor M4r, and the circuit HCr. It has the same electrical connection configuration as. Further, the electrical connection configuration around the transistor M1-3br, the transistor M3-3br, the transistor M4-3br, and the circuit HC-3br is the same as that around the transistor M1r, the transistor M3r, the transistor M4r, and the circuit HCr. Connection configuration.
  • circuit HC-2b is electrically connected to the wiring WL2b
  • circuit HC-3b is electrically connected to the wiring WL3b
  • circuit HC-2br is electrically connected to the wiring WL2b
  • circuit HC- The 3br is electrically connected to the wiring WL3b.
  • the ratio of the W length to the L length of each of the transistor M1, the transistor M1-2b, and the transistor M1-3b is set to W / L, 2 ⁇ W. / L, 4 ⁇ W / L
  • the circuit HC holds a potential that sets the amount of current flowing between the source and drain of the transistor M1 to Auto
  • the circuit HC-2b which has almost the same potential as the potential. And by holding it in the circuit HC-3b, it can operate in the same manner as the circuit MP of FIG.
  • the wiring WL, the wiring WL2b, and the wiring WL3b may be combined into one wiring (not shown). ..
  • the ratio of the W length and the L length of each of the transistor M1, the transistor M1-2b, and the transistor M1-3b is made equal, and the amount of current flowing between the source and drain of the transistor M1 is set to I.
  • the same operation as the circuit MP of FIG. 26 is performed. can do.
  • the circuit MP of FIG. 28 has a configuration in which a transistor M2-2b, a transistor M2-3b, a transistor M2-2br, and a transistor M2-3br are added to the circuit MP of FIG. 26.
  • the ratio of the W length to the L length of each of the transistor M1, the transistor M1-2b, and the transistor M1-3b is, for example, W / L, 2 ⁇ W / L, 4 ⁇ W /, as in FIG. 26. Let it be L.
  • the amount of current is determined by the magnitude at the time of setting, and may not depend on the W length and the L length. Therefore, the ratios of the W length and the L length of the transistors M1, the transistors M1-2b, and the transistors M1-3b may all be the same. However, in that case, the potential of the gate of each transistor may differ depending on the amount of current. When it is desired to make the potentials of the gates of the transistors substantially the same, it is desirable that the ratio of W length to L length is W / L, 2 ⁇ W / L, and 4 ⁇ W / L.
  • the transistor M2-2b, the transistor M2-3b, the transistor M2-2br, and the transistor M2-3br are in the ON state like the transistor M2 and the transistor M2r unless otherwise specified.
  • the case of finally operating in the linear region is included. That is, it is assumed that the gate voltage, the source voltage, and the drain voltage of each of the above-mentioned transistors are appropriately biased to the voltage in the range of operation in the linear region.
  • the transistor M2-2b, the transistor M2-3b, the transistor M2-2br, and the transistor M2-3br may operate in the saturation region or the subthreshold region when in the ON state.
  • the transistor M2-2b, the transistor M2-3b, the transistor M2-2br, and the transistor M2-3br may be operated near the boundary between the saturation region and the subthreshold region.
  • the transistor M2-2b, the transistor M2-3b, the transistor M2-2br, and the transistor M2-3br may be operated in a linear region and may be operated in a saturated region, or may be saturated.
  • the case of operating in the region and the case of operating in the subthreshold region may be mixed, or the case of operating in the subthreshold region and the case of operating in the linear region may be mixed or linear.
  • the case of operating in the region, the case of operating in the saturated region, and the case of operating in the subthreshold region may be mixed.
  • the first terminal of the transistor M2-2b is the first terminal of the transistor M2-3b, the first terminal of the transistor M2, the gate of the transistor M1, the gate of the transistor M1-2b, and the transistor M1-3b. Is electrically connected to the gate of No. 1 and the first terminal of the capacitance C1.
  • the second terminal of the transistor M2-2b is electrically connected to the second terminal of the transistor M1-2b, the first terminal of the transistor M3-2b, and the first terminal of the transistor M4-2b.
  • the second terminal of the transistor M2-3b is electrically connected to the second terminal of the transistor M1-3b, the first terminal of the transistor M3-3b, and the first terminal of the transistor M4-3b.
  • the gate of the transistor M2-2b and the gate of the transistor M2-3b are electrically connected to the wiring WL.
  • the first terminal of the transistor M2-2br includes the first terminal of the transistor M2-3br, the first terminal of the transistor M2r, the gate of the transistor M1r, and the gate of the transistor M1-2br. , Is electrically connected to the gate of the transistor M1-3br and the first terminal of the capacitance C1.
  • the second terminal of the transistor M2-2br is electrically connected to the second terminal of the transistor M1-2br, the first terminal of the transistor M3-2br, and the first terminal of the transistor M4-2br.
  • the second terminal of the transistor M2-3br is electrically connected to the second terminal of the transistor M1-3br, the first terminal of the transistor M3-3br, and the first terminal of the transistor M4-3br.
  • the gate of the transistor M2-2br and the gate of the transistor M2-3br are electrically connected to the wiring WL.
  • each of the wiring WX1L2b and the wiring WX1L3b shown in FIG. 28 corresponds to the wiring X1L2b and the wiring X1L3b in the circuit MP of FIG. 26.
  • a low level potential is input to the wiring X2L, the wiring X2L2b, and the wiring X2L3b to turn off the transistor M4, the transistor M4-2b, the transistor M4-3b, the transistor M4r, the transistor M4-2br, and the transistor M4-3br. do.
  • the circuit MC from the wiring OL, the transistor M1, the transistor M1-2b, and by flowing a sum of the current to be set to each of the transistors M1-3b, for example, by flowing 7I ut, circuit HC node n1 Becomes a predetermined potential.
  • a predetermined potential is held at the node n1 of the circuit HC.
  • the circuit MCr from the wiring OLB, transistor M1r, transistors M1-2br, and by flowing a sum of the current to be set to each of the transistors M1-3br, for example, by flowing 7I ut, the circuit HCr
  • the node n1r has a predetermined potential. Then, by inputting a low level potential to the wiring WL and holding a predetermined potential at the node n1r of the circuit HCr, between the source and drain of the transistor M1r, the transistor M1-2br, and the transistor M1-3br. , I ut, 2I ut, current 4I ut is set to flow.
  • the same operation as in the circuit MP in FIG. 26 can be performed. Further, by adopting the circuit MP having the configuration of FIG. 28, it is possible to reduce the influence of the structural variation generated at the time of forming the transistor M1, the transistor M1-2b, and the transistor M1-3b in the circuit MC. Similarly, in the circuit MCr, it is possible to reduce the influence of structural variations that occur during the formation of the transistor M1r, the transistor M1-2br, and the transistor M1-3br.
  • the circuit HC and the circuit HCr may have different configurations.
  • the circuit MP shown in FIG. 29 has a configuration in which the circuit HC and the circuit HCr included in the circuit MP of FIG. 26 are replaced with the circuit HCS and the circuit HCSr, respectively.
  • the ratio of the W length to the L length of each of the transistor M1, the transistor M1-2b, and the transistor M1-3b is W / L, 2 ⁇ W / L, and 4 ⁇ W / L, as in FIG. 26. ..
  • the circuit HCS is electrically connected to, for example, a wiring OL and a wiring OLB.
  • the circuit HCS has a function of receiving information (potential, current, etc.) input from one or both of the wiring OL and the wiring OLB, and holding the potential according to the information. Further, the circuit HCS is electrically connected to each gate of the transistor M1, the transistor M1-2b, and the transistor M1-3b.
  • the circuit HCS has a function of applying the held potential to the respective gates of the transistor M1, the transistor M1-2b, and the transistor M1-3b. Therefore, a source-drain current corresponding to the potential given by the circuit HCS and the ratio of the W length to the L length flows through each of the transistor M1, the transistor M1-2b, and the transistor M1-3b.
  • the circuit HCSr has the same function as the circuit HCS, and each of the transistor M1r, the transistor M1-2br, and the transistor M1-3br has the potential given by the circuit HCSr, and the W length and the L length.
  • the source-drain current flows according to the ratio of.
  • FIG. 30A A specific example of the circuit HCS included in the circuit MP shown in FIG. 29 and the circuit HCSr is shown in FIG. 30A.
  • the circuit HCS and the circuit HCSr shown in FIG. 30A have a configuration having a SRAM (Static Random Access Memory).
  • FIG. 30A shows the entire circuit MP in order to show the electrical connection configuration of the circuit HCS and the circuit elements included in the circuit HCSr.
  • the SRAM holds either a high level potential or a low level potential, so that the first data (weight coefficient) set in the circuit MP is, for example, It is limited to two values (combination of "-1", “+1”, etc.) and three values (combination of "-1", "0", “+1”, etc.).
  • the first data (weighting factor) set in the circuit MP is “+1”
  • the circuit HCS may hold a high level potential and the circuit HCSr may hold a low level potential.
  • the circuit HCS may hold a low level potential and the circuit HCSr may hold a high level potential.
  • the circuit HCS may hold a low level potential and the circuit HCSr may hold a low level potential.
  • the circuit HCS has a transistor M7, a transistor M7s, and an inverter loop circuit IVR.
  • the inverter loop circuit IVR has an inverter circuit IV1 and an inverter circuit IV2.
  • the transistor M7 and the transistor M7s include the case where they finally operate in the linear region when they are in the ON state. That is, it is assumed that the gate voltage, the source voltage, and the drain voltage of each of the above-mentioned transistors are appropriately biased to the voltage in the range of operation in the linear region.
  • the transistor M7 and the transistor M7s may operate in the saturation region or the subthreshold region when in the ON state.
  • the transistor M7 and the transistor M7s may be operated near the boundary between the saturation region and the subthreshold region.
  • the transistor M7 and the transistor M7s may be operated in a linear region and a saturated region in a mixed manner, or may be operated in a saturated region and a subthreshold region. And may be mixed, or when they operate in the subthreshold region and when they operate in the linear region, and when they operate in the linear region and when they operate in the saturated region. And the case of operating in the subthreshold region may be mixed.
  • Each of the inverter circuit IV1 and the inverter circuit IV2 has a function of outputting an inverted signal of the input signal from the output terminal when the input signal is input to the input terminal. Therefore, for example, an inverter circuit can be used as each of the inverter circuit IV1 and the inverter circuit IV2.
  • a configuration example of the inverter circuit IV1 and the inverter circuit IV2 is shown in FIG. 30B.
  • the inverter circuit IV1 and the inverter circuit IV2 can be configured as a CMOS (Complementary MOS) circuit.
  • CMOS Complementary MOS
  • one aspect of the present invention is not limited to this, and for example, a unipolar circuit having only n-channel type transistors or only p-channel type transistors may be configured instead of a CMOS circuit.
  • the inverter circuit IV1 and the inverter circuit IV2 can be, for example, a NAND circuit, a NOR circuit, an XOR circuit, a circuit combining these, or the like.
  • the NAND circuit can function as an inverter circuit by inputting a high level potential as a fixed potential to one of the two input terminals of the NAND circuit.
  • the NOR circuit can function as an inverter circuit by inputting a low level potential as a fixed potential to one of the two input terminals of the NOR circuit.
  • the XOR circuit can function as an inverter circuit by inputting a high level potential as a fixed potential to one of the two input terminals of the XOR circuit.
  • inverter circuit As described above, the inverter circuit described in the present specification and the like can be replaced with a logic circuit such as a NAND circuit, a NOR circuit, an XOR circuit, or a circuit combining these. Therefore, in the present specification and the like, the term “inverter circuit” can be referred to as "logic circuit”.
  • the first terminal of the transistor M7 is electrically connected to the wiring OL, and the second terminal of the transistor M7 is an input terminal of the inverter circuit IV1, an output terminal of the inverter circuit IV2, a gate of the transistor M1, and a transistor M1-. It is electrically connected to the gate of 2b and the gate of the transistor M1-3b, and the gate of the transistor M7 is electrically connected to the wiring WL.
  • the first terminal of the transistor M7s is electrically connected to the wiring OLB, and the second terminal of the transistor M7s is electrically connected to the output terminal of the inverter circuit IV1 and the input terminal of the inverter circuit IV2.
  • the gate of is electrically connected to the wiring WL.
  • the wiring VEH is electrically connected to the high power potential input terminal of the inverter circuit IV1 and the inverter circuit IV2, and the wiring VE is electrically connected to the low power potential input terminal of the inverter circuit IV1 and the inverter circuit IV2. Has been done.
  • Wiring VEH functions as wiring that gives a constant voltage, for example.
  • the constant voltage may be, for example, VDD which is a high level potential, or potential VDDL which is higher than the low level potential VSS and lower than VDD. Further, it is preferable to appropriately set the constant voltage according to the configuration of the circuit MP. Further, for example, a pulse signal may be supplied to the wiring VAL instead of a constant voltage.
  • the wiring VEH functions as a wiring that gives the potential VDD.
  • the circuit HCS has almost the same circuit configuration as the circuit HCSr. Therefore, in order to distinguish the circuit element of the circuit HCSr from the circuit element of the circuit HCS, "r" is added to the reference numeral. Further, the first terminal of the transistor M7r is electrically connected to the wiring OLB, and the first terminal of the transistor M7sr is electrically connected to the wiring OL.
  • a high level potential is applied to the wiring WL to turn on the transistor M7, the transistor M7s, the transistor M7r, and the transistor M7sr.
  • the high level potential or the low level potential is input to the wiring OL, and the other of the high level potential or the low level potential is input to the wiring OLB.
  • the high level potential is substantially the same as the potential given by the wiring VEH.
  • the high level potential will be referred to as the potential VDDL
  • the low level potential will be referred to as the potential VSS.
  • the circuit HCS After one of VDDL or VSS is written in the circuit HCS and the other of VDDL or VSS is written in the circuit HCSr, a low level potential is applied to the wiring WL to apply a low level potential to the transistor M7, the transistor M7s, the transistor M7r, and the transistor M7sr. Turn off. Thereby, the circuit HCS can hold one of VDDL or VSS in the inverter loop circuit IVR, and the circuit HCSr can hold the other of VDDL or VSS in the inverter loop circuit IVRr.
  • wiring X1L (wiring WX1L in FIG. 26), wiring X2L, wiring X1L2b, wiring X2L2b, wiring X1L3b, and wiring X1L2b, as in the circuit MP of FIG.
  • the amount of current flowing from the circuit MC or the circuit MCr to the wiring OL or the wiring OLB is divided into a binary or ternary first data (weight coefficient) and a multi-value (weight coefficient). In the configuration example of FIG. 30A, it can be treated as a product of the second data (value of the neuron signal) of 15 values).
  • the circuit MP of FIG. 30A can be transformed into the circuit MP shown in FIG. 31, for example.
  • the circuit MP of FIG. 31 has a configuration in which the circuit HCSr is removed from the circuit MP of FIG. 30A.
  • the output terminals of the inverter circuit IV1 included in the inverter loop circuit IVR are the gate of the transistor M1r of the circuit MCr, the gate of the transistor M1-2br of the circuit MCr, and the transistor M1- of the circuit MCr. It is electrically connected to the 3br gate.
  • circuit MP in FIG. 31 By configuring the circuit MP in FIG. 31, it can operate in the same manner as the circuit MP in FIG. 30A. Since the circuit MP of FIG. 31 has a configuration in which the circuit HCSr is removed from the circuit MP of FIG. 30A, the power consumption can be lower than that of the circuit MP of FIG. 30A.
  • circuit MP of FIG. 30A can be transformed into the circuit MP shown in FIG. 32, for example. Similar to the circuit MP of FIGS. 22A and 22B, the circuit MP of FIG. 32 has a configuration in which a wiring IL and a wiring ILB are added to the circuit MP of FIG. 30A.
  • the circuit MP of FIG. 32 has a configuration in which the functions of the wiring OL and the wiring OLB of the circuit MP of FIG. 30A are separated.
  • the wiring OL of the circuit MP of FIG. 30A functions as a wiring for inputting a high level potential or a low level potential to the circuit HCS, and also supplies a current to the wiring VE via the circuit MC. Also functions as wiring for supplying current to the wiring VEr via the circuit MCr. Further, the wiring OLB of the circuit MP of FIG. 30A functions as a wiring for inputting a high level potential or a low level potential to the circuit HCSr, and is a wiring for supplying a current to the wiring VE via the circuit MC. Also functions as wiring for supplying current to the wiring VEr via the circuit MCr.
  • the wiring OL of the circuit MP in FIG. 32 functions as a wiring for supplying a current to the wiring VE via the circuit MC, and also as a wiring for supplying a current to the wiring VEr via the circuit MCr. do.
  • the wiring OLB of the circuit MP in FIG. 32 functions as a wiring for supplying a current to the wiring VE via the circuit MC, and also as a wiring for supplying a current to the wiring VEr via the circuit MCr. do.
  • the wiring IL of the circuit MP of FIG. 32 functions as a wiring for inputting either a high level potential or a low level potential to the circuit HCS, and the wiring ILB of the circuit MP of FIG. 32 has a high level to the circuit HCSr. It functions as a wiring for inputting the potential or the other of the low level potentials.
  • circuit MP in FIG. 32 By configuring the circuit MP in FIG. 32, it can operate in the same manner as the circuit MP in FIG. 30A.
  • the circuit MP of FIG. 32 is, for example, the transistor M7s as shown in the circuit MP of FIG. And the transistor M7sr may be excluded.
  • the circuit MP of FIG. 33 it is possible to operate in the same manner as the circuit MP of FIG. 30A.
  • FIG. 34 shows a specific example of the circuit HCS included in the circuit MP shown in FIG. 29 and the circuit HCSr, which are different from those in FIG. 30A.
  • the circuit MP shown in FIG. 34 has a configuration having a storage circuit called NOSRAM (Nonvolatile Oxide Semiconductor Random Access Memory) (registered trademark). Note that FIG. 34 shows the entire circuit MP in order to show the electrical connection configuration of the circuit HCS and the circuit elements included in the circuit HCSr.
  • NOSRAM Nonvolatile Oxide Semiconductor Random Access Memory
  • the circuit HCS has a transistor M8 and a capacitance C2.
  • the transistor M8 includes the case where it finally operates in the linear region when it is in the ON state. That is, it is assumed that the gate voltage, the source voltage, and the drain voltage of each of the above-mentioned transistors are appropriately biased to the voltage in the range of operation in the linear region.
  • the transistor M8 may operate in a saturation region or a subthreshold region when it is in the ON state.
  • the transistor M8 may be operated near the boundary between the saturation region and the subthreshold region.
  • the transistor M8 may operate in a linear region and a saturated region, or may operate in a saturated region and a subthreshold region.
  • the first terminal of the transistor M8 is electrically connected to the wiring IL, and the second terminal of the transistor M8 is the first terminal of the capacitance C2, the gate of the transistor M1, the gate of the transistor M1-2b, and the transistor M1-. It is electrically connected to the gate of 3b, and the gate of the transistor M8 is electrically connected to the wiring WL.
  • the second terminal of the capacitance C2 is electrically connected to the wiring VE.
  • the electrical connection point between the second terminal of the transistor M8 and the first terminal of the capacitance C2 is a node n2.
  • the circuit HCSr has almost the same circuit configuration as the circuit HCS. Therefore, in order to distinguish the circuit element of the circuit HCSr from the circuit element of the circuit HCS, "r" is added to the reference numeral. Further, the first terminal of the transistor M8r is electrically connected to the wiring ILB.
  • the first data (weighting factor) set in the circuit MP is, for example, binary (“-1”, “+1”, etc.), tertiary value (“-1”, “0”, “+1”, etc.). ) And so on.
  • the circuit HCS may hold a high level potential and the circuit HCSr may hold a low level potential.
  • the circuit HCS may hold a low level potential and the circuit HCSr may hold a high level potential.
  • the circuit HCS may hold a low level potential and the circuit HCSr may hold a low level potential.
  • the circuit HCS and the circuit HCSr may hold a digital value or an analog value of 3 or more values instead of a binary value (digital value) of a high level potential or a low level potential.
  • a high level potential is applied to the wiring WL to turn on the transistor M8 and the transistor M8r.
  • one of the high level potential or the low level potential is input to the wiring IL, and the other of the high level potential or the low level potential is input to the wiring ILB.
  • the high level potential will be referred to as the potential VDDL
  • the low level potential will be referred to as the potential VSS.
  • wiring X1L (wiring WX1L in FIG. 26), wiring X2L, wiring X1L2b, wiring X2L2b, wiring X1L3b, and wiring X1L2b, as in the circuit MP of FIG.
  • the amount of current flowing from the circuit MC or the circuit MCr to the wiring OL or the wiring OLB can be treated as 3-bit data.
  • circuit MP in FIG. 34 By configuring the circuit MP in FIG. 34, it can operate in the same manner as the circuit MP in FIG. 30A.
  • the circuit MP shown in FIGS. 29 to 34 has one circuit HCS and one circuit HCSr, respectively, but the circuit MP may have a plurality of circuit HCS and circuit HCSr.
  • the circuit MP shown in FIG. 35 has a circuit HCS-2b having the same function as the circuit HCS, a circuit HCS-3b, a circuit HCS-2br having the same function as the circuit HCSr, and a circuit HCS-3br. .. Specifically, the circuit HCS-2b, the circuit HCS-3b, the circuit HCS-2br, and the circuit HCS-3br receive information (potential, current, etc.) input from one or both of the wiring OL and the wiring OLB. It has a function of receiving and holding a potential according to the information.
  • the circuit HCS-2b has a function of applying a potential held in the gate of the transistor M1-2b
  • the circuit HCS-3b has a function of applying a potential held in the gate of the transistor M1-3b
  • the circuit HCS-2br has a function of applying a potential held in the gate of the transistor M1-2br
  • the circuit HCS-3br has a function of applying a potential held in the gate of the transistor M1-3br.
  • the configuration of the circuit HCS the circuit HCS-2b, the circuit HCS-3b, the circuit HCSr, the circuit HCS-2br, and the circuit HCS-3br, for example, all of them may have an SRAM or have a NOSRAM. It may be configured. Further, one or more circuits selected from the circuit HCS, the circuit HCS-2b, the circuit HCS-3b, the circuit HCSr, the circuit HCS-2br, and the circuit HCS-3br have a configuration having SRAM, and the remaining circuits have NO SRAM. It may be configured.
  • the circuit HCS, the circuit HCS-2b, the circuit HCS-3b, the circuit HCSr, the circuit HCS-2br, and the circuit HCS-3br included in the circuit MP of FIG. 35 are electrically connected to the wiring OL and the wiring OLB, respectively.
  • the configuration of the circuit MP according to one aspect of the present invention is not limited to this.
  • the circuit MP of FIG. 35 is provided with a wiring IL and an ILB, and the circuit HCS, the circuit HCS-2b, and the HCS-3b are connected to the wiring IL and the wiring ILB, similarly to the circuit MP of FIG. May be connected.
  • circuit 35 is provided with a wiring IL and a wiring ILB in the same manner as the circuit MP of FIGS. 33 and 34, and the circuit HCS, the circuit HCS-2b, and the HCS-3b are electrically connected to the wiring IL.
  • the circuit HCSr, the circuit HCS-2br, and the circuit HCS-3br may be electrically connected to the wiring ILB.
  • the circuit MP shown in FIG. 36 has a circuit HCS, a circuit HCS-2b, a circuit HCS-3b, a circuit HCSr, a circuit HCS-2br, and a circuit HCS-3br as a plurality of holding portions, and has the circuit MP of FIG. This is an example of a different circuit configuration.
  • the ratio of the W length to the L length of the transistor M1 included in the circuit MP of FIG. 36 is W / L
  • the ratio of the W length to the L length of the transistor M1-2b is preferably 2 ⁇ W / L.
  • the ratio of the W length to the L length of the transistors M1-3b is preferably 4 ⁇ W / L.
  • the size of the transistor M1r is preferably equal to the transistor M1
  • the size of the transistor M1-2br is preferably equal to the transistor M1-2b
  • the size of the transistor M1-3br is equal to the transistor M1-3b. preferable.
  • the circuit HCS is electrically connected to the wiring OL and the gate of the transistor M1
  • the circuit HCS-2b is electrically connected to the wiring OL and the gate of the transistor M1-2b. Is electrically connected to the wiring OL and the gate of the transistor M1-3b.
  • the first terminals of the transistor M1, the transistor M1-2b, and the transistor M1-3b are electrically connected to the wiring VE, and the first terminal of the transistor M3 is the first terminal of the transistor M4, the transistor M1, and the transistor M1. -2b and the second terminals of the transistors M1-3b are electrically connected to each other.
  • the second terminal of the transistor M3 is electrically connected to the wiring OL, and the gate of the transistor M3 is electrically connected to the wiring X1L.
  • the second terminal of the transistor M4 is electrically connected to the wiring OLB, and the gate of the transistor M4 is electrically connected to the wiring X2L.
  • the circuit MCr has almost the same circuit configuration as the circuit MC. Therefore, in order to distinguish the circuit element of the circuit MCr from the circuit element of the circuit MC, "r" is added to the reference numeral. Further, the second terminal of the transistor M3r is electrically connected to the wiring OLB, and the second terminal of the transistor M4r is electrically connected to the wiring OL.
  • each of the transistor M1r, the transistor M1-2br, and the transistor M1-3br is turned off. can do.
  • a high level potential or a low level potential in each of the circuit HCS, the circuit HCS-2b, and the circuit HCS-3b included in the circuit MC the circuit HCS, the circuit HCS-2b, and the circuit HCS-3b are held.
  • the amount of current flowing through each of the transistor M1, the transistor M1-2b, and the transistor M1-3b is determined according to the potential held in each of the above.
  • the current can be passed from the wiring OL to the wiring VE via the circuit MC. Further, by turning off the transistor M3 and turning on the transistor M4, the current can be passed from the wiring OLB to the wiring VE via the circuit MC.
  • each of the transistor M1, the transistor M1-2b, and the transistor M1-3b is turned off. Can be in a state.
  • a high level potential or a low level potential in each of the circuit HCSr, the circuit HCS-2br, and the circuit HCS-3br included in the circuit MCr the circuit HCSr, the circuit HCS-2br, and the circuit HCS-3br are held.
  • the amount of current flowing through each of the transistor M1r, the transistor M1-2br, and the transistor M1-3br is determined according to the potential held in each of the above.
  • the current can be passed from the wiring OLB to the wiring VEr via the circuit MCr. Further, by turning off the transistor M3r and turning on the transistor M4r, the current can be passed from the wiring OL to the wiring VEr via the circuit MCr.
  • the circuit HCSr, the circuit HCS-2br, and the circuit HCS-3br hold low-level potentials. It is assumed that each of the circuit HCS, the circuit HCS-2b, and the circuit HCS-3b holds a combination of potentials corresponding to the positive first data (weighting coefficient). Further, when the circuit MP of FIG. 36 holds, for example, positive first data (for example, a weighting factor is used here), the circuit HCSr, the circuit HCS-2br, and the circuit HCS-3br hold low-level potentials. It is assumed that each of the circuit HCS, the circuit HCS-2b, and the circuit HCS-3b holds a combination of potentials corresponding to the positive first data (weighting coefficient). Further, when the circuit MP of FIG.
  • each of -2br and the circuit HCS-3br holds a combination of potentials corresponding to the negative first data (weighting factor).
  • FIG. 37 Specific examples of the circuit HCS, the circuit HCS-2b, the circuit HCS-3b, the circuit HCSr, the circuit HCS-2br, and the circuit HCS-3br included in the circuit MP shown in FIG. 36 are shown in FIG. 37.
  • the circuit HCS, the circuit HCS-2b, the circuit HCS-3b, the circuit HCSr, the circuit HCS-2br, and the circuit HCS-3br shown in FIG. 37 have an SRAM.
  • FIG. 37 the description of the high power potential input terminal and the low power potential input terminal of the inverter circuit IV1 and the inverter circuit IV2 is omitted.
  • circuit HCS the circuit HCS-2b, the circuit HCS-3b, the circuit HCSr, the circuit HCS-2br, and the circuit HCS-3br shown in FIG. 37
  • the description of the HCSr is taken into consideration.
  • the configuration may have a NOSRAM.
  • the configurations of the circuit HCS, the circuit HCS-2b, the circuit HCS-3b, the circuit HCSr, the circuit HCS-2br, and the circuit HCS-3br shown in FIG. 38 the circuit HCS and the circuit included in the circuit MP of FIG. 34 The description of the HCSr is taken into consideration.
  • the circuit MP of FIG. 36 can be transformed into the circuit MP shown in FIG. 39 as an example.
  • the circuit MP of FIG. 39 is a circuit capable of handling multi-valued second data (for example, here, it is a value (calculated value) of a neuron signal) like the circuit MP shown in FIGS. 26 to 35. Is.
  • the circuit MP of FIG. 39 has a configuration in which a transistor M3-2x, a transistor M4-2x, a transistor M1x, a transistor M1x-2b, and a transistor M1x-3b are added to the circuit MC included in the circuit MP of FIG. There is.
  • the circuit HCS, circuit HCS-2b, circuit HCS-3b, circuit HCSr, circuit HCS-2br, and circuit HCS-3br included in the circuit MP of FIG. 39 include SRAM as an example. It has a structure to have.
  • the transistor M1x, the transistor M1x-2b, and the transistor M1x-3b are the same as the transistor M1 when they finally operate in the saturation region in the ON state unless otherwise specified.
  • Shall include. That is, it is assumed that the gate voltage, the source voltage, and the drain voltage of each of the above-mentioned transistors are appropriately biased to the voltage in the range of operation in the saturation region.
  • one aspect of the present invention is not limited to this.
  • the transistor M1x, the transistor M1x-2b, and the transistor M1x-3b may operate in a linear region.
  • the transistor M1x, the transistor M1x-2b, and the transistor M1x-3b may operate in the subthreshold region.
  • the transistor M1x, the transistor M1x-2b, and the transistor M1x-3b may be operated near the boundary between the saturation region and the subthreshold region.
  • the first data is an analog value
  • the transistor M1x, the transistor M1x-2b, and the transistor M1x-3b are in a linear region according to the size of the first data (weighting coefficient).
  • the case of operating in the subthreshold region, the case of operating in the saturation region, and the case of operating in the subthreshold region may be mixed.
  • the transistor M1x, the transistor M1x-2b, and the transistor M1x-3b may be operated in a linear region and may be operated in a saturated region, or may be linear in a subthreshold region.
  • the case of operating in the region may be mixed, or the case of operating in the saturated region and the case of operating in the subthreshold region may be mixed.
  • the transistor M3-2x and the transistor M4-2x may finally operate in the linear region in the ON state unless otherwise specified, as in the case of the transistor M3 and the transistor M4. It shall include. That is, it is assumed that the gate voltage, the source voltage, and the drain voltage of each of the above-mentioned transistors are appropriately biased to the voltage in the range of operation in the linear region.
  • the transistor M3-2x and the transistor M4-2x may operate in the saturation region or the subthreshold region when they are in the ON state.
  • the transistor M3-2x and the transistor M4-2x may be operated near the boundary between the saturation region and the subthreshold region.
  • the transistor M3-2x and the transistor M4-2x may be operated in a linear region and a saturated region in a mixed manner, or may be operated in a saturated region and in a subthreshold region.
  • the ratio of the W length to the L length of the transistor M1x included in the circuit MP of FIG. 39 is preferably 2 ⁇ W / L. Further, the ratio of the W length to the L length of the transistor M1x-2b is preferably 4 ⁇ W / L. Further, the ratio of the W length to the L length of the transistor M1x-3b is preferably 8 ⁇ W / L. Similarly, when arranging more transistors, the ratio of W length to L length may be increased by a power of 2.
  • the first terminals of each of the transistor M1x, the transistor M1x-2b, and the transistor M1x-3b are electrically connected to the wiring VE.
  • the gate of the transistor M1x is electrically connected to the circuit HCS
  • the gate of the transistor M1x-2b is electrically connected to the circuit HCS-2b
  • the gate of the transistor M1x-3b is electrically connected to the circuit HCS-3b. It is connected.
  • the first terminal of the transistor M3-2x is electrically connected to the first terminal of the transistor M4-2x and the second terminals of the transistor M1x, the transistor M1x-2b, and the transistor M1x-3b.
  • the second terminal of the transistor M3-2x is electrically connected to the wiring OL, and the gate of the transistor M3-2x is electrically connected to the wiring X1L2x.
  • the second terminal of the transistor M4-2x is electrically connected to the wiring OLB, and the gate of the transistor M4-2x is electrically connected to the wiring X2L2x.
  • the circuit HCSr has almost the same circuit configuration as the circuit HCS. Therefore, in order to distinguish the circuit element of the circuit HCSr from the circuit element of the circuit HCS, "r" is added to the reference numeral. Further, the second terminal of the transistor M3-2xr is electrically connected to the wiring OL, and the second terminal of the transistor M4-2xr is electrically connected to the wiring OL.
  • the wiring X1L2x is a wiring for switching the transistor M3-2x and the transistor M3-2xr from the on state and the off state, and the wiring X2L2x switches the transistors M4-2x and M4-2xr from the on state and the off state. Wiring to do.
  • the transistor M1 When the high level potential to the circuit HCS, for example VDDL is held, the transistor M1 is a source - shall flow I ut as the current amount between the drain.
  • the ratio of the W length to the L length of the transistor M1-2b is twice the ratio of the W length to the L length of the transistor M1.
  • the source of the transistor M1-2b - flows 2I ut as the current amount between the drain.
  • the ratio of the W length to the L length of the transistor M1-3b is four times the ratio of the W length to the L length of the transistor M1.
  • the source of the transistor M1-3b - flows 4I ut as the current amount between the drain.
  • the first terminal of the transistor M3 and the first terminal of the transistor M4 are electrically connected to each other via the circuit MC.
  • current flowing through the wiring VE changes from 0 in increments of I ut to 7I ut.
  • the amount of current is referred to as IX1.
  • the ratio of the W length to the L length of the transistor M1x is twice the ratio of the W length to the L length of the transistor M1, so that the source of the transistor M1x. - 2I ut flows as the current amount between the drain.
  • the ratio of the W length to the L length of the transistor M1x-2b is four times the ratio of the W length to the L length of the transistor M1.
  • transistors M1x-2b source - flow 4I ut as the current amount between the drain.
  • the ratio of the W length to the L length of the transistor M1x-3b is eight times the ratio of the W length to the L length of the transistor M1.
  • 8 ITO flows as the amount of current between the source and drain of the transistor M1x-3b.
  • a circuit is formed from the electrical connection point between the first terminal of the transistor M3-2x and the first terminal of the transistor M4-2x according to the potentials held in each of the circuit HCS, the circuit HCS-2b, and the circuit HCS-3b.
  • current flowing through the MC to the wiring VE changes from 0 in increments 2I ut to 14I ut.
  • the transistor M4 is turned on in the circuit MC, and the transistor M3, the transistor M3-2x, The transistor M4-2x is turned off.
  • the wiring OLB, the wiring VE via the circuit MC, I X1 flows as the current amount.
  • the transistor M3-2x is turned on in the circuit MC, and the transistor M3, the transistor M4, The transistor M4-2x is turned off.
  • the transistor M4-2x is turned on in the circuit MC, and the transistor M3, the transistor M4, The transistor M3-2x is turned off.
  • the transistor M3 and the transistor M3-2x are turned on in the circuit MC, and the transistor M4, The transistor M4-2x is turned off.
  • the wiring OL, the wiring VE via the circuit MC, I X1 + I X2 3I X1 flows as the current amount.
  • the circuit MC included in the circuit MP of FIG. 39 draws a current corresponding to the potential held in each of the circuit HCS, the circuit HCS-2b, and the circuit HCS-3b from the wiring OL or the wiring OLB.
  • the current is passed through the circuit MC to the wiring VE, and the current is multiplied by 0, 1, 2, or 3 and output according to the potentials input to the wiring X1L, the wiring X2L, the wiring X1L2x, and the wiring X2L2x. be able to.
  • the circuit MP causes a current to flow from the wiring OL or the wiring OLB to the wiring VEr via the circuit MCr, and the current is multiplied by 0 according to the potentials input to the wiring X1L, the wiring X2L, the wiring X1L2x, and the wiring X2L2x. It can be output at 1x, 2x, and 3x.
  • each of the circuit HCS, the circuit HCS-2b, the circuit HCS-3b, the circuit HCSr, the circuit HCS-2br, and the circuit HCS-3br is set.
  • a low level potential eg VSS, may be applied.
  • the amount of current flowing between the source and drain of each of the transistors M1x-3br can be set to 0.
  • the potential held in each of the circuit HCS, the circuit HCS-2b, and the circuit HCS-3b is set as the potential corresponding to the first data (weight coefficient), and the wiring X1L and the wiring
  • the potential input to the X2L, the wiring X1L2x, and the wiring X2L2x is set as the potential corresponding to the second data (the value of the signal of the neuron)
  • the current flowing from the wiring OL or the wiring OLB to the wiring VE via the circuit MC the amount of can be treated as the product of the first data (weight coefficient) and the second data (value of the signal of the neuron).
  • the circuit MP shown in FIG. 40 is a circuit obtained by removing the transistor M4 and the transistor M4r from the circuit MP of FIG. 16A. Further, since the transistor M4 and the transistor M4r are excluded, in FIG. 40, the wiring X2L for inputting the potential to each gate of the transistor M4 and the transistor M4r is also excluded. Further, the wiring corresponding to the wiring X1L is described as wiring WXL in FIG. 40. Note that FIG. 40 shows an example in which the circuit MC and the circuit MCr are arranged, but one aspect of the present invention is not limited to this. For example, when a negative value is not used as the weight, or when a positive value is not used, at least one of the circuit MC and the circuit MCr may not be provided. Although an example is shown here when applied to FIG. 16A, one aspect of the present invention is not limited thereto. Similarly, in other drawings, the transistor M4 and the transistor M4r can be excluded.
  • the first data (weight coefficient) set in the circuit MP of FIG. 40 is the same as the first data (weight coefficient) set in the circuit MP of FIG. 15A. Therefore, the first data (weighting factor) set in the circuit MP of FIG. 40 takes into consideration the description of the circuit MP of FIG. 15A.
  • the first data (weight coefficient) can be, for example, "-2", "-1", "0", "+1", "+2".
  • the second data (value of the signal of the neuron) input to the circuit MP of FIG. 40 is set to “+1” when the high level potential is applied to the wiring WXL, and the low level potential is applied to the wiring WXL. If it is, set it to "0".
  • the second data is applied to the circuit MP.
  • data values of neurons of the signal
  • the change in current I OL outputted from the node outa wiring OL and presence or absence of a change in the current I OLB outputted from the node outb wiring OLB is , It is as shown in the table below. In the table below, the high level potential is described as high, and the low level potential is described as low.
  • the first data (weight coefficient) is a positive multi-value or a negative multi-value
  • the second data (neuron signal value) is “+1” or “0”.
  • the product of two values can be calculated.
  • the first data (weighting coefficient) may be a binary value instead of a five-valued value, or may be a multi-valued value other than the five-valued value.
  • the two values may be, for example, two values of "+1" and "0", or two values of "+1" and "-1”.
  • the first data (weight coefficient) may be, for example, an analog value or a multi-bit (multi-value) digital value.
  • the current set in each of the circuit MC of the circuit MP, the circuit HC of the circuit MCr, and the circuit HCr is set to a multi-value, but the set current may be an analog value.
  • an analog value current is set in the node n1 of the circuit HC, the potential corresponding to the current is held in the node n1, and the circuit.
  • a low level potential is held at the node n1r of the HCr.
  • a low level potential is held in the node n1 of the circuit HC
  • the analog value current is set in the node n1r of the circuit HCr, and the node.
  • the potential corresponding to the current is held in n1r.
  • the magnitude of the current of the current I OL and the current I OLB is a magnitude corresponding to the analog potential.
  • constant current source circuit ISC1 constant current source circuit ISC2, constant current source circuit ISC3 included in the current source circuit ISC of the circuit ILD is configured to have the n-channel transistor of FIG. 8C
  • a configuration example of a circuit MP in which all the included transistors are n-channel transistors will be described.
  • the circuit MP shown in FIG. 41A is a circuit in which the configuration of the circuit MP of FIG. 21A is changed, and the circuit MP of FIG. 41A relates to the configuration of the circuit HC and the connection destination of the back gate of the transistor M1. It is different from the circuit MP of. Therefore, the description of the circuit MP of FIG. 21A and the portion having the same connection configuration as the circuit MP of FIG. 41A will be omitted.
  • the circuit HC has a transistor M9 and a capacitance C3.
  • the transistor M9 includes the case where it finally operates in the linear region in the case of the ON state. That is, it is assumed that the gate voltage, the source voltage, and the drain voltage of each of the above-mentioned transistors are appropriately biased to the voltage in the range of operation in the linear region.
  • the transistor M9 may operate in a saturation region or a subthreshold region when it is in the ON state.
  • the transistor M9 may operate in a linear region and a saturated region, or may operate in a saturated region and a subthreshold region.
  • the gate of the transistor M1 is electrically connected to the first terminal of the transistor M9 and the first terminal of the capacitance C3.
  • the second terminal of the transistor M9 is electrically connected to the wiring VE.
  • the back gate of the transistor M1 is electrically connected to the second terminal of the transistor M1, the second terminal of the capacitance C3, the first terminal of the transistor M3, and the first terminal of the transistor M4.
  • the transistor M1 By electrically connecting the back gate of the transistor M1 and the second terminal of the transistor M1 and giving a high level potential to the first terminal of the transistor M1, the transistor M1 raises the threshold voltage of the transistor M1. May be possible.
  • the semiconductor device according to one aspect of the present invention is not limited to this, and for example, in the circuit MP of FIG. 41A, the back gate of the transistor M1 is electrically connected to a wiring or the like that gives a low level potential. May be. Further, for example, the circuit MP of FIG. 41A may have a configuration in which the transistor M1 does not have a back gate.
  • the electrical connection point between the gate of the transistor M1, the first terminal of the transistor M9, and the first terminal of the capacitance C3 is a node n3.
  • the circuit MCr has almost the same circuit configuration as the circuit MC. Therefore, in order to distinguish the circuit element of the circuit MCr from the circuit element of the circuit MC, "r" is added to the reference numeral.
  • the potential given by the wiring VE and the wiring VEr is preferably, for example, a high level potential.
  • the constant current source circuit ISC1 constant current source circuit ISC2, constant current source circuit ISC3 shown in FIG. 8C
  • the potentials given by the wiring VE and the wiring VEr are set to high level potentials.
  • a current can be passed from the circuit MC or the circuit MCr to the circuit ILD via the wiring OL and the wiring OLB.
  • the potential given by the wiring VE and the wiring VEr will be described as VDD.
  • the wiring WX1L and the wiring WL have a high level.
  • a potential is applied to turn on the transistor M3 and the transistor M9.
  • the potential of the node n3 of the circuit HC becomes VDD.
  • the current source circuit ISC of FIG. 8A by generating a current, the current is generated from the wiring VE via the source-drain of the transistor M1, the source-drain of the transistor M3 of the circuit MC, and the wiring OL. , The current flows through the current source circuit ISC.
  • the potential of the second terminal of the capacitance C3 (the potential of the second terminal of the transistor M1) is determined by the current.
  • the voltage between the gate of the transistor M1 and the second terminal of the transistor M1 is increased by the capacitance C3. Can be retained. Thereby, the current can be set between the source and the drain of the transistor M1.
  • a predetermined potential is applied to each of the wiring WX1L and the wiring X2L to turn one of the transistor M3 or the transistor M4 into the on state and the other of the transistor M3 or the transistor M4 to the off state, thereby causing the circuit MC from the wiring VE.
  • a current set in the wiring OL or the wiring OLB can be passed through the wiring OL or the wiring OLB.
  • FIG. 41B an example of changing the configuration of the circuit MP of FIG. 41A is shown in FIG. 41B.
  • the second terminal of the transistor M9 is electrically connected to the wiring VA instead of the wiring VE
  • the second terminal of the transistor M9r is electrically connected to the wiring VA instead of the wiring VEr. It differs from the circuit MP of FIG. 41A in that it is connected.
  • the wiring VA functions, for example, as wiring that applies a constant voltage.
  • the constant voltage is preferably a ground potential, a low level potential, a potential higher than VSS and a high level potential given by the wiring VE, and a potential lower than VDD.
  • the constant voltage wiring VA is given as V M
  • the potential V M is the ground potential
  • the high level potential wiring VE give, and it is a potential lower than VDD.
  • the source of the transistor M1 - drain voltage becomes VDD-V S.
  • V M to the gate of the transistor M1 is inputted, the gate of the transistor M1 - source voltage becomes V M -V S.
  • VDD-V S> V M -V S -V th it should satisfy the relationship VDD-V S> V M -V S -V th.
  • the transistor M1 when the transistor M1 is normally on, the gate - even when the source voltage V M -V S is a negative value, the gate - to-source voltage VDD-V S is a positive value, the transistor M1 can operate as a saturation region.
  • the normally-on characteristic means that a channel exists even if a voltage is not applied to the gate of the transistor, and a current flows through the transistor.
  • the wiring VA and the wiring VAr may be combined as one wiring.
  • the wiring VA and the wiring VA may be combined as a wiring VA and provided along the column direction.
  • the wiring VA may be provided along the row direction instead of the column direction (not shown).
  • the circuit MP shown in FIG. 42 is a circuit obtained by modifying the circuit MP of FIG. 41A so as to be able to handle multi-valued second data (for example, here, the value (calculated value) of a neuron signal).
  • the circuit MC included in the circuit MP of FIG. 42 has a transistor M1-2b, a transistor M3-2b, a transistor M4-2b, a transistor M10, and a circuit HC-2b in addition to the circuit elements of the circuit MP of FIG. 41A. ..
  • the transistor M1-2b includes the case where the transistor M1-2b finally operates in the saturated region in the on state, unless otherwise specified, like the transistor M1. That is, it is assumed that the gate voltage, the source voltage, and the drain voltage of each of the above-mentioned transistors are appropriately biased to the voltage in the range of operation in the saturation region.
  • the transistor M1-2b may operate in the linear region.
  • the transistor M1-2b may operate in the subthreshold region.
  • the transistor M1-2b may be operated near the boundary between the saturation region and the subthreshold region.
  • the transistor M1-2b When the first data (weight coefficient) is an analog value, for example, the transistor M1-2b operates in a linear region and a saturation region depending on the size of the first data (weight coefficient).
  • the case of operating in the subthreshold region and the case of operating in the subthreshold region may be mixed.
  • the transistor M1-2b may be operated in a linear region and a saturated region in a mixed manner, or may be operated in a subthreshold region and in a linear region. It may be mixed, or it may be mixed in the case of operating in the saturated region and the case of operating in the subthreshold region.
  • the transistor M3-2b, the transistor M4-2b, and the transistor M10 include the case where they finally operate in the linear region when they are in the ON state. That is, it is assumed that the gate voltage, the source voltage, and the drain voltage of each of the above-mentioned transistors are appropriately biased to the voltage in the range of operation in the linear region.
  • the transistor M3-2b, the transistor M4-2b, and the transistor M10 may operate in the saturation region or the subthreshold region when in the ON state. Alternatively, it may be operated near the boundary between the saturation region and the subthreshold region.
  • the transistor M3-2b, the transistor M4-2b, and the transistor M10 may operate in a linear region and in a saturated region, or may operate in a saturated region.
  • the case of operating in the subthreshold region and the case of operating in the subthreshold region may be mixed, or the case of operating in the subthreshold region and the case of operating in the linear region may be mixed, and the case of operating in the linear region may be mixed.
  • the case of operating in the saturation region and the case of operating in the subthreshold region may be mixed.
  • the circuit HC-2b has the same configuration as the circuit HC. Therefore, when the circuit element included in the circuit HC-2b is described, the reference numeral of the circuit element included in the circuit HC may be used for the description.
  • the first terminal of the transistor M1-2b is electrically connected to the wiring VE.
  • the second terminal of the transistor M1-2b is electrically connected to the back gate of the transistor M1-2b, the first terminal of the transistor M3-2b, and the first terminal of the transistor M4-2b.
  • the gate of the transistor M1-2b is electrically connected to the first terminal of the transistor M9 of the circuit HC-2b and the first terminal of the capacitance C3 of the circuit HC-2b.
  • the second terminal of the capacitance C3 of the circuit HC-2b is electrically connected to the first terminal of the transistor M10 and the second terminal of the transistor M1-2b.
  • the second terminal of the transistor M3-2b is electrically connected to the wiring OL.
  • the gate of the transistor M3-2b is electrically connected to the wiring X1L2b.
  • the second terminal of the transistor M4-2b is electrically connected to the wiring OLB.
  • the gate of the transistor M4-2b is electrically connected to the wiring X2L2b.
  • the second terminal of the transistor M10 is electrically connected to the second terminal of the transistor M1, the first terminal of the transistor M3, the first terminal of the transistor M4, and the second terminal of the capacitance C3 of the circuit HC.
  • the second terminal of the transistor M9 of the circuit HC-2b is electrically connected to the first terminal of the transistor M9 of the circuit HC.
  • the gate of the transistor M9 of the circuit HC-2b and the gate of the transistor M10 are electrically connected to the wiring WL.
  • the circuit MCr of the circuit MP in FIG. 42 has almost the same circuit configuration as the circuit MC. Therefore, in order to distinguish the circuit element of the circuit MCr from the circuit element of the circuit MC, "r" is added to the reference numeral. Further, the second terminal of the transistor M3-2br is electrically connected to the wiring OLB, and the second terminal of the transistor M4-2br is electrically connected to the wiring OL.
  • the sizes of the transistor M3, the transistor M3-2b, the transistor M3r, the transistor M3-2br, the transistor M4, the transistor M4-2b, the transistor M4r, and the transistor M4-2br are, for example, the channel length and the channel width. It is preferable that they are equal to each other. With such a circuit configuration, there is a possibility that the layout can be performed efficiently.
  • the sizes of the respective transistors M9r included in the circuit HCr and the circuit HC-2br for example, the channel length and the channel width are included in the circuit HC and the circuit HC-2b, respectively. It is preferably equal to the transistor M9 of. Further, the size of the transistor M10r is preferably equal to that of the transistor M10.
  • the ratio of the W length to the L length of the transistor M1 is W / L
  • the ratio of the W length to the L length of the transistor M1-2b is preferably 2 W / L.
  • the size of the transistor M1r is preferably equal to that of the transistor M1
  • the size of the transistor M1-2br is preferably equal to that of the transistor M1-2b.
  • the wiring X1L2b is a wiring for switching the transistor M3-2b and the transistor M3-2br from the on state and the off state
  • the wiring X2L2b is the wiring for switching the transistor M4-2b and the transistor M4-2br from the on state and the off state. It is a wiring for performing.
  • a high level potential is applied to the wiring WX1L and the wiring WL to turn on the transistor M3, the transistor M10, the transistor M9 of the circuit HC, and the transistor M9 of the circuit HC-2b.
  • the potential of the node n3 of the circuit HC becomes VDD
  • the potential of the node n3 of the circuit HC-2b becomes VDD.
  • the ratio of the W length to the L length of the transistor M1-2b is twice the ratio of the W length to the L length of the transistor M1
  • the amount of current flowing between the source and drain of the transistor M1 is I. It becomes ut
  • the amount of the current flowing between the source and the drain of the transistor M1-2b is 2 I ut .
  • the current flowing between the source and drain of the transistor M1 and the transistor M1-2b flows to the current source circuit ISC via the source and drain of the transistor M3 and the wiring OL.
  • the potential of the second terminal of the capacitance C3 of the circuit HC (the potential of the second terminal of the transistor M1) is determined by the current flowing between the source and the drain of the transistor M1 and is the second potential of the capacitance C3 of the circuit HC-2b.
  • the potential of the terminal (potential of the second terminal of the transistor M1-2b) is determined by the current flowing between the source and the drain of the transistor M1-2b.
  • the capacitance C3 of the circuit HC causes the wiring WX1L and the wiring WL to be turned off.
  • the voltage between the gate of the transistor M1 and the second terminal of the transistor M1 can be held, and the capacitance C3 of the circuit HC-2b between the gate of the transistor M1-2b and the second terminal of the transistor M1-2b.
  • the source of the transistor M1 - it is possible to set the amount of current flowing between the drain 2I ut - the amount of current flowing between the drain can be set to I ut, the source of the transistor M1-2b.
  • the first data (1st data) set in the circuit MP by applying a predetermined potential to each of the wiring WX1L, the wiring X2L, the wiring X1L2b, and the wiring X2L2b according to the second data (value of the signal of the neuron), the first data (1st data) set in the circuit MP.
  • the product of the weighting factor) and the second data (value of the signal of the neuron) can be calculated.
  • the details of the calculation of the product of the multi-valued first data (weighting coefficient) and the multi-valued second data (neuron signal value) will be described in Configuration Example 5.
  • the configuration of the circuit MP of FIG. 42 can be changed to the circuit MP of FIG. 43.
  • the connection destination of the second terminal of the transistor M9 of the circuit HC-2b is changed from the first terminal of the transistor M9 of the circuit HC to the wiring VE
  • the circuit HC- This corresponds to a configuration in which the connection destination of the second terminal of the transistor M9r of 2br is changed from the first terminal of the transistor M9r of the circuit HCr to the wiring VEr.
  • the circuit MP of FIG. 43 can operate in the same manner as the circuit MP of FIG. 42.
  • the wiring VE is separated into the wiring VE and the wiring VA
  • the wiring VEr is divided into the wiring VEr and the wiring VAr, as in the circuit MP of FIG. 41B. It may be separated into and.
  • the circuit MP shown in FIG. 44 has a configuration in which the wiring VE is separated into the wiring VE and the wiring VA in the circuit MP of FIG. 42
  • the circuit MP shown in FIG. 45 has the wiring VE in the circuit MP of FIG. , Wiring VE and wiring VA are separated.
  • the circuit MP of FIG. 44 and the circuit MP of FIG. 45 can operate in the same manner as the circuit MPs of FIGS. 42 and 43, respectively.
  • the capacitance C3 is connected to a source terminal such as a transistor M1, the source terminal is not connected to a power line or the like, and the drain terminal is connected to the power line or the like.
  • the constant voltage given by the wiring VCS is supplied to the wiring VE, the wiring VA, etc.
  • the voltage it is preferable to set the voltage to be high, for example, a high level potential (for example, VDD).
  • the wiring VCN when a constant voltage is supplied from the wiring VCN, it is desirable that the potential difference between both ends of the capacitance C3 is close to zero. That is, it is desirable that the transistor M1 is turned off. In other words, it is desirable to supply the wiring VCN with a potential such that no current is output from the circuit MC. On the other hand, it is desirable that the wiring VCN2 has a low level potential such as VSS and ground potential. By making the potential given by the wiring VCN and the wiring VCN2 appropriate, a current can be passed from the circuit MP to the wiring OL and / or the wiring OLB.
  • FIG. 46 shows an example of a circuit BS and a circuit MP that can be applied to the arithmetic circuit 170 of FIG.
  • the circuit MP of FIG. 40 can be applied.
  • the circuit BMC corresponds to the circuit MC of the circuit MP of FIG. 40
  • the circuit BMCr corresponds to the circuit MCr of the circuit MP of FIG. 40.
  • the transistor M11 corresponds to the transistor M1 of the circuit MP of FIG. 40
  • the transistor M12 corresponds to the transistor M2 of the circuit MP of FIG. 40
  • the transistor M13 corresponds to the transistor M3 of the circuit MP of FIG. 40
  • the capacitance C4 corresponds to the node n1 of the circuit MP of FIG. 40.
  • the wiring WXBS corresponds to the wiring WXL of the circuit MP of FIG. 40
  • the wiring WLBS corresponds to the wiring WL of the circuit MP of FIG. 40
  • the wiring VF corresponds to the wiring VE of the circuit MP of FIG. 40. Therefore, for the configuration of the circuit BS shown in FIG. 46, the description of the circuit MP in FIG. 40 is taken into consideration.
  • the circuit MP for example, as shown in FIG. 46, the circuit MP of FIG. 15A can be applied. Therefore, for the configuration of the circuit MP shown in FIG. 46, the description of the circuit MP in FIG. 15A is referred to.
  • the circuit BMCr has almost the same circuit configuration as the circuit BMC. Further, in the circuit MP, the circuit MCr has almost the same circuit configuration as the circuit MC. Therefore, in order to distinguish the circuit elements of the circuit BMCr from the circuit elements of the circuit BMC, "r" is added to the reference numerals, and the circuit elements of the circuit MCr have the circuit MC. An “r” is added to the code to distinguish it from a circuit element or the like.
  • a “positive bias” is set in the circuit BS, a high level potential is applied to the wiring WXBS and the wiring WLBS in the same manner as in the operation of the circuit MP in FIG. It should be turned on.
  • the current source circuit ISC of FIG. 8A a current corresponding to the bias is selected, and a conduction state is established between the wiring OL and the current source circuit ISC.
  • the current flows from the current source circuit ISC to the wiring VF via the wiring OL and the circuit BMC, and the potential of the node n4 becomes a potential corresponding to the current.
  • the potential VSS from the wiring VCS is given to the node n4r on the circuit BMCr side, so that the potential of the node n4r becomes VSS.
  • the potentials of the node n4 and the node n4r can be maintained by applying a low level potential to the wiring WXBS and the wiring WLBS to turn off the transistor M12, the transistor M13, the transistor M12r, and the transistor M13r. This makes it possible to set a "positive bias" in the circuit BS.
  • a high level potential is applied to the wiring WXBS and the wiring WLBS to turn on the transistor M12, the transistor M13, the transistor M12r, and the transistor M13r.
  • a current corresponding to the bias is selected, and a conduction state is established between the wiring OLB and the current source circuit ISC.
  • the current flows from the current source circuit ISC to the wiring VFr via the wiring OLB and the circuit BMCr, and the potential of the node n4r becomes a potential corresponding to the current.
  • the potential VSS from the wiring VCS is given to the node n4 on the circuit BMC side, so that the potential of the node n4 becomes VSS.
  • the potentials of the node n4 and the node n4r can be maintained by applying a low level potential to the wiring WXBS and the wiring WLBS to turn off the transistor M12, the transistor M13, the transistor M12r, and the transistor M13r. This makes it possible to set a "negative bias" in the circuit BS.
  • a high level potential is applied to the wiring WXBS and the wiring WLBS to turn on the transistor M12, the transistor M13, the transistor M12r, and the transistor M13r, and the wiring OL and the wiring OLB.
  • the potential of the node n4 and the node n4r is set to VSS by making a conduction state between the wiring and the wiring VCN.
  • a low level potential is applied to the wiring WXBS and the wiring WLBS, the transistor M12, the transistor M13, the transistor M12r, and the transistor M13r are turned off, and the potential VSS of each of the node n4 and the node n4r is held to hold the circuit BS. Can be set to "0 bias".
  • a potential other than VSS may be applied to each of the node n4 and the node n4r.
  • the first data (for example, the weighting coefficient is used here) is held in the circuit MP, and the second data (for example, the signal value of the neuron is used here) is used in the circuit MP.
  • a current corresponding to the weighting factor is set in the circuit MP, and a potential corresponding to the second data (neuron signal value) is given to the circuit MP from each of the wiring WX1L and the wiring X2L.
  • the circuit BS by setting the wiring WXBS to a high level potential, the product of the first data (weight coefficient) and the second data (neuron signal value) calculated by the circuit MP is set in the circuit BS. Can be biased.
  • the first data (weight coefficient) is first held in the circuit MP, the product of the first data (weight coefficient) and the second data (neuron signal value) is calculated once in the circuit MP, and then.
  • a bias may be set in the circuit BS according to the calculation result, and the calculation may be performed again. That is, the operation of changing the bias as appropriate according to the calculation result may be performed.
  • the wiring VF, the wiring VFr, the wiring VE, and the wiring VEr are shown in the configuration example of FIG. 46, one aspect of the present invention is not limited to this.
  • the wiring VF and the wiring VE may be combined as one wiring, and the wiring VFr and the wiring VEr may be combined as one wiring.
  • the wiring VF and the wiring VFr may be combined as one wiring, and the wiring VE and the wiring VEr may be combined as one wiring.
  • the wiring VF, the wiring VFr, the wiring VE, and the wiring VEr may be combined as one wiring.
  • two or more wirings selected from the wiring VF, the wiring VFr, the wiring VE, and the wiring VEr may be combined as one wiring.
  • the circuit MP shown in FIG. 47A shows, for example, a configuration example of the circuit MP of FIG. 10B that can be applied to the arithmetic circuit 140 of FIG. 7.
  • the circuit MP of FIG. 47A corresponds to a circuit in which the transistor M3 and the transistor M3r are combined as one transistor, and the wiring VE and the wiring VEr are combined as one wiring in the circuit MP shown in FIG. 40.
  • the transistor M3 and the transistor M3r of the circuit MP shown in FIG. 40 are grouped as the transistor MZ in the circuit MP of FIG. 47A, and the wiring VE and the wiring VEr of the circuit MP shown in FIG. 40 are shown in FIG.
  • wiring VL In the circuit MP of 47A, it is summarized as wiring VL.
  • the circuit MCr of the circuit MP in FIG. 47A has almost the same circuit configuration as the circuit MC. Therefore, in order to distinguish the circuit element of the circuit MCr from the circuit element of the circuit MC, "r" is added to the reference numeral.
  • the transistor MZ includes the case where it finally operates in the linear region in the case of the ON state. That is, it is assumed that the gate voltage, the source voltage, and the drain voltage of each of the above-mentioned transistors are appropriately biased to the voltage in the range of operation in the linear region.
  • the transistor MZ may operate in the saturation region or the subthreshold region when it is in the ON state. Alternatively, it may be operated near the boundary between the saturation region and the subthreshold region. Alternatively, the transistor MZ may operate in a linear region and a saturated region, or may operate in a saturated region and a subthreshold region.
  • circuit MC has a circuit HC and a transistor M20
  • circuit MCr has a circuit HCr and a transistor M20r.
  • the first terminal of the transistor M20 is electrically connected to the first terminal of the transistor MZ, and the gate of the transistor M20 is electrically connected to the second terminal of the transistor M2 and the first terminal of the capacitance C1.
  • the second terminal of the transistor M20 is electrically connected to the wiring OL.
  • the second terminal of the capacitance C1 is electrically connected to the wiring VL.
  • the first terminal of the transistor M2 is electrically connected to the wiring OL.
  • the first terminal of the transistor M20r is electrically connected to the first terminal of the transistor MZ
  • the gate of the transistor M20r is electrically connected to the second terminal of the transistor M2r and the first terminal of the capacitance C1r.
  • the second terminal of the transistor M20r is electrically connected to the wiring OLB.
  • the second terminal of the capacitance C1r is electrically connected to the wiring VL.
  • the first terminal of the transistor M2r is electrically connected to the wiring OLB.
  • the wiring VL functions as a wiring that gives a constant voltage, for example.
  • the constant voltage may be, for example, VSS, which is a low level potential, a ground potential (GND), or the like.
  • the circuit HC and the circuit HCr included in the circuit MP of FIG. 47A set a current amount corresponding to the weighting coefficient in the same manner as the circuit HC and the circuit HCr included in the circuit MP shown in FIG. 15A and the like. be able to.
  • a predetermined potential is applied to the wiring XL to turn on the transistor MZ
  • a predetermined potential is applied to the wiring W1L to turn on the transistor M2
  • An amount of current corresponding to the weighting coefficient is passed through the first terminal and the second terminal of the transistor M20.
  • the gate-source voltage of the transistor M20 is determined according to the current amount (the amount of current flowing between the source and drain).
  • the potential of the source of the transistor M20 is the potential given by the wiring VL
  • the potential of the gate of the transistor M20 is determined.
  • the potential of the gate of the transistor M20 can be maintained.
  • the potential corresponding to the current amount is set to the transistor M20r. Can be held at the gate of.
  • the weighting coefficient set to the circuit MP in FIG. 47A is set current I ut the transistor M20 of the circuit MC, when it is set such that no current flows through the transistor circuit MCr M20r " +1 and -1 "", and is set such that no current flows through the transistor M20 of the circuit MC, when the current I ut is set to the transistor circuit MCr M20r ", circuit MC, each of the transistors of the circuit MCr It is set to "0" when it is set so that no current flows through the M20 and the transistor M20r.
  • the potentials of the respective gates of the transistor M20 and the transistor M20r are determined.
  • the wiring XL a potential corresponding to, for example, the value of the signal of the neuron
  • the current flowing between the wiring OL and / or the wiring OLB and the circuit MP is determined.
  • the constant voltage given by the wiring VL is given to the first terminal of the transistor M20 and the first terminal of the transistor M20r.
  • the constant voltage given by the wiring VL is given to the first terminal of the transistor M20 and the first terminal of the transistor M20r. No. That is, no current flows through the transistor M20 and the transistor M20r.
  • the potential from the wiring VL is applied to the source of the transistor M20, so that the amount of current is between the first terminal and the second terminal of the transistor M20. It flows I ut as. Further, when the transistor M20 is set so that no current flows, even if a potential from the wiring VL is applied to the source of the transistor M20, a current is generated between the first terminal and the second terminal of the transistor M20. Not flowing.
  • I ut is set as the current amount of the transistor M20r, that potential is applied from the wiring VL to the source of the transistor M20r, the current amount between the first terminal and the second terminal of the transistor M20r It flows I ut as. Further, when the transistor M20r is set so that no current flows, even if the potential from the wiring VL is applied to the source of the transistor M20r, the current is generated between the first terminal and the second terminal of the transistor M20r. Not flowing.
  • the weighting coefficients are three values of "+1", “-1” and "0", and the signal (calculated value) of the neuron is two values of "+1" and "0".
  • the product of can be calculated.
  • the first data (weight coefficient) is changed by changing the amount of current set in the transistor M20 and the transistor M20r as an example. It is possible to calculate the product of "positive multi-value", "0", “negative multi-value” and the two values of the second data (neuron signal value) "+1", "0".
  • the circuit MP shown in FIG. 47A may be changed to, for example, the circuit MP shown in FIG. 47B.
  • the circuit MP shown in FIG. 47B differs from the circuit MP of FIG. 47A in that the second terminal of the capacitance C1 and the second terminal of the capacitance C1r are electrically connected to the wiring CVL instead of the wiring VL. ..
  • the second terminal of the capacitance C1 may be connected to the first terminal of the transistor M20 or the first terminal of the transistor MZ.
  • the second terminal of the capacitance C1r may be connected to the first terminal of the transistor M20r or the first terminal of the transistor MZ.
  • FIG. 48 the circuit MP in which the second terminal of the capacitance C1 is electrically connected to the first terminal of the transistor M20 and the second terminal of the capacitance C1r is electrically connected to the first terminal of the transistor M20r. Is illustrated.
  • the wiring CVL functions as a wiring that gives a constant voltage as an example.
  • the constant voltage can be, for example, a high level potential, a low level potential, a ground potential, or the like.
  • the first multi-valued data eg, one of the weighting factors or the signal of the neuron
  • the second multi-valued data eg, the other of the weighting factor or the signal of the neuron (calculated value)
  • the first multi-valued data for example, one of the weighting factors or the signal of the neuron
  • the second multi-valued data for example, the weighting factor or the neuron
  • each of the circuits ACTF [1] to ACTF [n] included in the circuit ACFP is, as an example, a circuit ACTF having a configuration of an integrator circuit (or a current charge (IQ) conversion circuit).
  • the circuit ACTF having an integrator circuit may be configured such that the load LEa and the load LEb are capacitances in the circuit ACTF [j] of FIG. 6E.
  • FIG. 49A is a timing chart showing an example of the operation method. Specifically, in each of FIG. 49A, the potential of the node n1 of the circuit HC, the potential of the node n1r of the circuit HCr, and the potential of the wiring WX1L during and near the time T11 to the time T14. It shows changes in the amount of current IOL flowing in the wiring OL , the amount of current IOLB flowing in the wiring OLB, and the amount of electric charge stored in the capacity of the integrating circuit of the circuit ACTF. In particular, in FIG. 49A, the amount of charge accumulated by the current flowing to the capacitor that is included from the wiring OL load LEa described as Q OL, accumulated by the current flowing through the capacitor included from the wiring OLB load LEb The amount of charge is described as QOLB.
  • the current corresponding to the multi-valued first data (for example, here, the weighting factor) is set at the time before the time T11.
  • the description of the second embodiment is referred to.
  • the weight coefficient of “+1” is set in advance in the circuit MP. Specifically, at time before time T11, it is set so that the current amount I 1 flows through the transistor M1, the transistor M1r is set so that no current flows. Further, V 1 is held in the node n1 of the circuit HC, the node of the circuit HCr N1R assumed that VSS is held. The potential V 1 has a higher potential than VSS. Further, in FIG. 49A, it is assumed that the weight coefficient of “+1” is set in advance in the circuit MP. Specifically, at time before time T11, it is set so that the current amount I 1 flows through the transistor M1, the transistor M1r is set so that no current flows. Further, V 1 is held in the node n1 of the circuit HC, the node of the circuit HCr N1R assumed that VSS is held. The potential V 1 has a higher potential than VSS. Further, in FIG.
  • the switch SWH and the switch SWHB are turned on, the switch SWI, the switch SWIB, the switch SWO, the switch SWOB, the switch SWL, and the switch SWLB are turned off, and the wiring OL, the wiring OLB, and the wiring VCN2 are set.
  • the wiring OL and the wiring OLB are set to a high level potential by making the space conductive.
  • the switch SWO and the switch SWOB are turned on in FIG. 8A, and the switch SWI, the switch SWIB, the switch SWL, and the switch SWLB, It is assumed that the switch SWH and the switch SWHB are turned off.
  • the input of the second data (for example, here, it is the value of the signal of the neuron) to the circuit MP is performed.
  • the input time between the time T12 and the time T13 is defined as tu .
  • the length of this input time corresponds to the magnitude of the signal value of the neuron. That is, the calculation result can be changed by changing the length of the input time.
  • a high level potential is input to the wiring WX1L and a low level potential is input to the wiring X2L as the input of the second data (the value of the signal of the neuron) to the circuit MP. Therefore, a high level potential is input to each gate of the transistor M3 and the transistor M3r, a low level potential is input to each gate of the transistor M4 and the transistor M4r, each of the transistor M3 and the transistor M3r is turned on, and the transistor is turned on. Each of M4 and the transistor M4r is turned off.
  • the circuit MC and the wiring OL and the circuit MCr and the wiring OLB become conductive, and the circuit MC and the wiring OLB and the circuit MCr and the wiring OL are not connected. It becomes a conductive state.
  • the transistor M1 because they are set the amount of current to flow current to I 1, the circuit ACTF, switching circuit TW, wire OL, through the circuit MC, the current amount I 1 to the wiring VE Current flows. Further, since the transistor M1r is in the off state (because it is set to pass 0 as the amount of current), a current is applied from the circuit ACTF to the wiring VEr via the switching circuit TW, the wiring OLB, and the circuit MCr. Does not flow.
  • the integrator circuit of the circuit ACTF Since the second data (value of the signal of the neuron) is input between the time T12 and the time T13, the capacity of the integrating circuit included in the circuit ACTF, which is in a conductive state with the wiring OL ( Charges continue to be accumulated in the load LEa) between the time T12 and the time T13. Ideally, at the time point T13, the said volume, the charge of t ut ⁇ I 1 is accumulated. In the timing chart of FIG. 49A, during the period from the time T12 to time T13, and the amount of charge stored in the capacitor is described as Q 1.
  • circuit ACTF can output a signal z j neuron corresponding to the charge amount 0 flowing in the wiring OLB and the charge amount Q 1 flowing in the wiring OL (k).
  • FIG. 49A shows the case where the input time of the neuron signal to the circuit MP is changed from tut to 2 tuts.
  • the timing chart shown in FIG. 49B shows an operation example in the timing chart of FIG. 49A when the input time of the neuron signal to the circuit MP is changed from tut to 2 tut.
  • the operation before the time T12 in the timing chart of FIG. 49B is the same as the operation example before the time T12 in the timing chart of FIG. 49A. Therefore, for the operation before the time T12 in the timing chart of FIG. 49B, the description of the operation before the time T12 in the timing chart of FIG. 49A is taken into consideration.
  • the input of the neuron signal to the circuit MP is performed between the time T12 and the time T14 in the operation example of FIG. 49B. As described above, the input time between the time T12 and the time T14 is 2 tut.
  • a high level potential is input to the wiring WX1L and a low level potential is input to the wiring X2L as the input of the second data (the value of the signal of the neuron) to the circuit MP.
  • a current having a current amount of I 1 flows from the circuit ACTF to the wiring VE via the switching circuit TW, the wiring OL, and the circuit MC.
  • no current flows from the circuit ACTF to the wiring VEr via the switching circuit TW, the wiring OLB, and the circuit MCr.
  • the operation before the time T12 in the timing chart of FIG. 49C is the same as the operation example before the time T12 in the timing chart of FIG. 49A. Therefore, for the operation before the time T12 in the timing chart of FIG. 49C, the description of the operation before the time T12 in the timing chart of FIG. 49A is taken into consideration.
  • the neuron signal is input to the circuit MP between the time T12 and the time T13 in the operation example of FIG. 49C. As described above, the input time between the time T12 and the time T13 is defined as tut.
  • a high level potential is input to the wiring WX1L and a low level potential is input to the wiring X2L as the input of the second data (value of the signal of the neuron) to the circuit MP.
  • Ru Therefore, a current having a current amount of I 2 flows from the circuit ACTF to the wiring VEr via the switching circuit TW, the wiring OLB, and the circuit MCr. Further, no current flows from the circuit ACTF to the wiring VE via the switching circuit TW, the wiring OL, and the circuit MC.
  • circuit ACTF can output a signal z j neuron corresponding to the charge amount Q 2 to which a charge amount 0 flowing in the wiring OL flows in the wiring OLB (k).
  • the second data can be determined according to the input period of the second data to the circuit MP, and depends on the length of the input period. Therefore, the calculation result output from the circuit ACTF is determined. Therefore, by defining the second data (value of the signal of the neuron) according to the length of the input period and the potential applied to the wiring WX1L and the wiring X2L, the circuit MP can perform the second data (values of 3 or more). It can handle the value of the signal of the neuron), and the product-sum operation of the first data of multiple values (weight coefficient) and the second data of three or more values (value of the signal of the neuron), and / or the activation function. Can perform operations.
  • the second data (value of the signal of the neuron) input to the circuit MP can be defined as follows as an example. High level potential to the wiring WX1L, wires enter the low-level potential to X2L, and an input period and second data (value of the neurons of the signal) "+1" when a t ut, high-level potential to the wiring WX1L, When the low level potential is input to the wiring X2L and the input period is 2 ut , the second data (neuron signal value) is set to "+2", the high level potential is set to the wiring WX1L, and the low level potential is set to the wiring X2L.
  • the second data (value of the signal of the neuron) when input is performed and the input period is set to 3 ut is set to “+3”.
  • the low-level potential to the wiring WX1L enter the high level potential to the wiring X2L, and an input period and second data (value of the neurons of the signal) "-1" when the t ut, low wiring WX1L
  • the second data (value of the signal of the neuron) when the high level potential is input to the level potential and the wiring X2L and the input period is 2 ut is set to "-2", and the low level potential is set to the wiring WX1L and the wiring X2L.
  • the second data (value of the signal of the neuron) when the high level potential is input and the input period is 3 ut is set to “-3”. Further, the second data (value of the signal of the neuron) when the low level potential is input to the wiring WX1L and the low level potential is input to the wiring X2L is set to "0".
  • the first data (weight coefficient) “+1” and the second data ( "+1” can be calculated as the product of the neuron signal value) "+1".
  • “+2” can be calculated as the product of the first data (weight coefficient) “+1” and the second data (neuron signal value) “+2”.
  • "-2" can be calculated as the product of the first data (weight coefficient) "-2” and the second data (neuron signal value) "+1". can.
  • the first data is set to any one of "-2", “-1”, “0”, “+1”, and “+2”, and the second data (value of the signal of the neuron).
  • the "-2", “- 1”, “0”, “+1”, “+2” any definitive when the one, and the charge amount Q OL flowing in wire OL charge amount Q OLB flowing through the wiring OLB It is described in the table below. In the table below, the high level potential is described as high and the low level potential is described as low.
  • positive multi-value, negative multi-value, and 0 are defined as the second data (neuron signal value), but by taking the input period as a continuous value instead of a discrete value (a). Is a positive real number and the input period is a ⁇ tu), and the second data (value of the signal of the neuron) can be treated as an analog value.
  • the first data (weight coefficient) set in the circuit MP is set to “+1”, and in the operation example shown in FIG. 49C, the first data set in the circuit MP is set.
  • the data (weight coefficient) is set to "-2"
  • the calculation may be performed using the first data (weight coefficient) other than "+1" and "-2".
  • the first data (weight coefficient) set in the circuit MP can be set to an analog value or the like, so that the integrator circuit included in the circuit ACTF.
  • the amount of electric charge stored in the capacity of the above can also be calculated according to the first data (weight coefficient) which is an analog value or the like.
  • the change in the potential of the wiring WX1L is started from the time T12. That is, in each of FIGS. 49A to 49C, the time of change from the low level potential to the high level potential is the same (time T12) even when the period during which the potential of the wiring WX1L becomes the high level potential is different.
  • one aspect of the present invention is not limited to this. For example, even when the potentials of the wirings WX1L shown in FIGS. 49A to 49C have different periods of high level potential, the times when the high level potential changes to the low level potential are the same. You may. Alternatively, even when the potentials of the wirings WX1L of FIGS. 49A to 49C have different periods of high level potential, the time at the center of the period of high level potential may be the same. good.
  • the arithmetic circuit 150 of FIG. 11 is taken as an example, but the same operation as this operation example can be performed by changing to another arithmetic circuit depending on the situation.
  • each of the circuits ACTF [1] to ACTF [n] included in the circuit AFP has a configuration (or current charge (IQ) of an integrating circuit. )
  • IQ current charge
  • the amount of current flowing through each of the transistor M20 and the transistor M20r is set according to the first data (weight coefficient), and the wiring XL is set according to the second data (neuron signal value).
  • the first data which is one of "positive multi-value”, “negative multi-value”, and "0" and "positive multi-value” are set as in this operation example.
  • the product of the second data which is "value" or "0" can be calculated. Further, the calculation may be performed using the first data and / or the second data as analog values.
  • each of the circuits ACTF [1] to ACTF [n] included in the circuit ACFP is, as an example, a circuit ACTF having a configuration of an integrator circuit (or a current charge (IQ) conversion circuit).
  • the integrator circuit may be configured such that the load LEa and the load LEb are capacitances in the circuit ACTF [j] of FIG. 6E.
  • FIG. 50A is a timing chart showing an example of the operation method. Specifically, in each of FIG. 50A, the potential of the node n1 of the circuit HC, the potential of the node n1r of the circuit HCr, and the potential of the wiring WX1L during and near the time T21 to the time T25. It shows changes in the amount of current IOL flowing in the wiring OL , the amount of current IOLB flowing in the wiring OLB, and the amount of electric charge stored in the capacity of the integrator circuit of the circuit ACTF. In particular, in FIG. 50A, the amount of charge accumulated by the current flowing to the capacitor that is included from the wiring OL load LEa described as Q OL, accumulated by the current flowing through the capacitor included from the wiring OLB load LEb The amount of charge is described as QOLB.
  • the current corresponding to the multi-valued first data (for example, here, the weighting factor) is set at the time before the time T21.
  • the description of the second embodiment is referred to.
  • the first data of “+1” (here, for example, a weighting coefficient) is set in advance in the circuit MP. Specifically, at time before time T21, it is set so that the current amount I 1 flows through the transistor M1, the transistor M1r is set so that no current flows. Further, V 1 is held in the node n1 of the circuit HC, the node of the circuit HCr N1R assumed that VSS is held. The potential V 1 has a higher potential than VSS. Further, in FIG.
  • the switch SWH and the switch SWHB are turned on, the switch SWI, the switch SWIB, the switch SWO, the switch SWOB, the switch SWL, and the switch SWLB are turned off, and the wiring OL, the wiring OLB, and the wiring VCN2 are set.
  • the wiring OL and the wiring OLB are set to a high level potential by making the space conductive.
  • the switch SWO and the switch SWOB are turned on in FIG. 8A, and the switch SWI, the switch SWIB, the switch SWL, and the switch SWLB, It is assumed that the switch SWH and the switch SWHB are turned off.
  • the second data (for example, here, it is the value of the signal of the neuron) is input to the circuit MP.
  • the input of the second data (neuron signal value) to the circuit MP is between time T22 and time T23, between time T23 and time T24, and from time T24. It is divided into the period until time T25 and the time. Specifically, the input time from time T22 to time T23 and t ut, 4t input time between the input time from time T23 to time T24 and 2t ut, from time T24 to time T25 It is ut .
  • each period is referred to as a first sub-period, a second sub-period, and a third sub-period.
  • the length of the second sub-period is preferably 1.8 times or more, or 1.9 times or more, and 2.1 times or less, or 2.2 times or less the length of the first sub-period. Is preferable.
  • the length of the third sub-period is preferably 3.6 times or more, or 3.8 times or more, and 4.2 times or less, or 4.4 times or less, the length of the first sub-period. Is preferable.
  • each of the above-mentioned lower limit value and upper limit value can be combined with each other.
  • the wiring WX1L has a high level potential and the wiring X2L has a low level potential. Is entered. Therefore, a high level potential is input to each gate of the transistor M3 and the transistor M3r, a low level potential is input to each gate of the transistor M4 and the transistor M4r, each of the transistor M3 and the transistor M3r is turned on, and the transistor is turned on. Each of M4 and the transistor M4r is turned off.
  • the circuit MC and the wiring OL and the circuit MCr and the wiring OLB become conductive, and the circuit MC and the wiring OLB and the circuit MCr and the wiring OL are not connected. It becomes a conductive state.
  • the transistor M1 is set to pass I 1 as the amount of current
  • the circuit ACTF, the switching circuit TW, the wiring OL, and the circuit MC are set to flow in the first sub period and the third sub period.
  • a current with a current amount of I 1 flows through the wiring VE.
  • a low level potential is input to the wiring WX1L and the wiring X2L
  • a low level potential is input to each gate of the transistor M3, the transistor M3r, the transistor M4, and the transistor M4r.
  • Each of the transistor M3r, the transistor M4, and the transistor M4r is turned off, and no current flows from the circuit ACTF to the wiring VE via the switching circuit TW, the wiring OL, and the circuit MC.
  • the circuit ACTF No current flows through the wiring VEr via the switching circuit TW, the wiring OLB, and the circuit MCr.
  • the integrator circuit of the circuit ACTF Since the second data (neuron signal) is input after the time T22, the capacity (load LEa) of the integrating circuit included in the circuit ACTF, which is in a conductive state with the wiring OL, is the time. Charges continue to accumulate after T22. Ideally, in the first sub-period, the charge of tut ⁇ I 1 is accumulated in the capacity, and in the third sub-period, the charge of 4 tut ⁇ I 1 is accumulated. In the timing chart of FIG. 50A, in the first sub-period, the amount of charge stored in the capacitor and Q 1, the third sub-period, and the amount of charge stored in the capacitor as the Q 4.
  • the amount of electric charge accumulated in the capacity after the time T25 is described as Q 1 + Q 4.
  • the timing chart shown in FIG. 50B shows an operation example in the timing chart of FIG. 50A when the input of the neuron signal to the circuit MP is changed from the first sub-period and the third sub-period to the second sub-period. ing.
  • the operation before the time T22 in the timing chart of FIG. 50B is the same as the operation example before the time T22 in the timing chart of FIG. 50A. Therefore, for the operation before the time T22 in the timing chart of FIG. 50B, the description of the operation before the time T22 in the timing chart of FIG. 50A is taken into consideration.
  • the signal of the neuron is input to the circuit MP. Specifically, as described above, the input of the neuron signal to the circuit MP takes place during the second sub-period.
  • a high level potential is input to the wiring WX1L and a low level potential is input to the wiring X2L as input of the neuron signal (calculated value) to the circuit MP in the second sub-period. Therefore, in the second sub-period, a current having a current amount of I 1 flows from the circuit ACTF to the wiring VE via the switching circuit TW, the wiring OL, and the circuit MC. Since the low level potentials are input to the wiring WX1L and the wiring X2L in the first sub period and the third sub period, each of the transistor M3, the transistor M3r, the transistor M4, and the transistor M4r is turned off, and the circuit ACTF. Therefore, no current flows through the wiring VE via the switching circuit TW, the wiring OL, and the circuit MC.
  • the circuit ACTF No current flows through the wiring VEr via the switching circuit TW, the wiring OLB, and the circuit MCr.
  • the second data (neuron signal) is input after time T22
  • charges continue to be accumulated in the capacitance (load LEa) of the integrator circuit that is in a conductive state with the wiring OL after time T22. ..
  • a charge of 2 tut x I 1 is accumulated in the capacitance.
  • time T22 the amount of charge stored in the capacitor since described as Q 2.
  • no charge is accumulated in the capacitance (load LEb) of the integrating circuit included in the circuit ACTF, which is in a conductive state with the wiring OLB.
  • the weighting coefficient set in the circuit MP is changed from “+1" to "-2", and the input of the second data (neuron signal) is input to the first sub-period and the first sub-period.
  • the input of the second data is input to the first sub-period and the first sub-period.
  • the operation before the time T22 in the timing chart of FIG. 50C is the same as the operation example before the time T22 in the timing chart of FIG. 50A. Therefore, for the operation before the time T22 in the timing chart of FIG. 50C, the description of the operation before the time T22 in the timing chart of FIG. 50A is taken into consideration.
  • the signal of the neuron is input to the circuit MP.
  • the input of the neuron signal to the circuit MP takes place during the first and second sub-periods.
  • the wiring WX1L has a high level potential and the wiring X2L has a low level potential as the input of the second data (neuron signal value) to the circuit MP. Entered. Therefore, in the first sub period and the second sub period, a current of the current amount I 2 flows from the circuit ACTF to the wiring VEr via the switching circuit TW, the wiring OLB, and the circuit MCr.
  • each of the transistor M3, the transistor M3r, the transistor M4, and the transistor M4r is turned off, and the switching circuit TW from the circuit ACTF. No current flows through the wiring VEr via the wiring OLB and the circuit MCr.
  • the circuit ACTF No current flows through the wiring VE via the switching circuit TW, the wiring OL, and the circuit MC.
  • the second data has a plurality of sub-periods during the period in which the second data (neuron signal value) can be input to the circuit MP.
  • the second data (neuron signal value) input to the circuit MP can be defined as follows as an example.
  • the second data (neuron signal value) when a high level potential is input to the wiring WX1L and a low level potential is input to the wiring X2L is set to "+1" only in the first sub period, and the wiring WX1L is set only in the second sub period.
  • the second data (value of the signal of the neuron) when the high level potential is input to the wiring X2L and the low level potential is input to the wiring X2L is set to "+2".
  • the second data (value of the signal of the neuron) when the level potential is input is set to "+4".
  • the second data (neuron signal value) when a low level potential is input to the wiring WX1L and a high level potential is input to the wiring X2L is set to "-1" only in the first sub period, and wiring is performed only in the second sub period.
  • the second data (value of the signal of the neuron) when the low level potential is input to WX1L and the high level potential is input to the wiring X2L is set to "-2", and the low level potential to the wiring WX1L and the wiring X2L are set only in the third sub-period.
  • the second data (value of the signal of the neuron) when the high level potential is input to is set to "-4". Further, in the first sub period, the second sub period, and the third sub period, the second data (neuron signal value) when the low level potential is input to the wiring WX1L and the low level potential is input to the wiring X2L is “0”. And.
  • the second data value of the signal of the neuron
  • the second data value of the signal of the neuron
  • a high level potential may be input to the wiring WX1L and a low level potential may be input to the wiring X2L during the first sub-period and the third sub-period. ..
  • the second data value of the signal of the neuron
  • the second data neuroon signal value
  • the wiring WX1L has a low level potential
  • the wiring X2L has a high potential during the first sub-period, the second sub-period, and the third sub-period. All you have to do is enter the level potential.
  • the first data (weight coefficient) “+1” and the second data ( "+5" can be calculated as the product of the neuron signal value) "+5".
  • “+2” can be calculated as the product of the first data (weight coefficient) "+1” and the second data (neuron signal value) "+2”.
  • "-6" can be calculated as the product of the first data (weight coefficient) "-2” and the second data (neuron signal value) "+3". can.
  • the first sub-period, the second sub-period, and the third sub-period are provided as the period during which the second data (neuron signal value) can be input, but four or more sub-periods may be provided. ..
  • the period in which the second data (the value of the signal of the neuron) can be input is divided into the first sub-period to the T-sub period (T is an integer of 4 or more), and the s-sub period (s is 4).
  • the length of (which is an integer equal to or less than T) may be defined as 2 (s-1) ⁇ tut.
  • the period in which the second data (the value of the signal of the neuron) can be input is divided into the first sub-period to the T-sub period (T is an integer of 4 or more), and the s-sub period (s). Is an integer of 4 or more and T or less.)
  • the length may be defined as s ⁇ tu.
  • the second data (value of the signal of the neuron) when the high level potential is input to the wiring WX1L and the low level potential is input to the wiring X2L only in the first sub period is set to "+0.1", and the second sub is set.
  • the second data (neuron signal value) when a high level potential is input to the wiring WX1L and a low level potential is input to the wiring X2L is set to "+0.2" only during the period, and the wiring WX1L is used only during the third sub-period.
  • the second data (neuron signal value) is defined as a real number, such as setting the second data (neuron signal value) to "+0.4" when the high level potential and low level potential are input to the wiring X2L. You may.
  • the first data (weight coefficient) set in the circuit MP is set to "+1", and in the operation example shown in FIG. 50C, the first data set in the circuit MP is set.
  • the data (weight coefficient) is set to "+2"
  • the calculation may be performed using the first data (weight coefficient) other than "+1" and "+2".
  • the first data (weighting factor) set in the circuit MP can be set to a negative value, a multi-value, an analog value, or the like, and thus the circuit ACTF.
  • the amount of charge stored in the capacitance of the integrating circuit included in the above can also be calculated according to the first data (weighting factor) having a negative value, a multi-value, an analog value, or the like.
  • a plurality of sub-periods are provided as the period during which the second data (neuron signal value) can be input, and one or more of the plurality of sub-periods is selected.
  • the arithmetic circuit may be laid out more simply and / or more efficiently than the circuit configuration required for the operation examples of FIGS. 49A to 49C.
  • the arithmetic circuit 150 of FIG. 11 is taken as an example, but the same operation as this operation example can be performed by changing to another arithmetic circuit depending on the situation.
  • the change of the current flowing through the wiring OL and the wiring OLB is one that is electrically connected to the wiring OL and the wiring OLB. It shall be performed only by the circuit MP. Further, it is assumed that each of the wiring VE and the wiring VEr electrically connected to the circuit MP gives VSS as a constant voltage to the circuit MP. Further, each of the circuits ACTF [1] to ACTF [n] included in the circuit ACFP is, for example, a circuit ACTF having a configuration of an integrator circuit (or a current charge (IQ) conversion circuit). For example, the circuit ACTF may be configured such that the load LEa and the load LEb are capacities in the circuit ACTF [j] of FIG. 6E.
  • FIG. 51 shows the same circuit configuration as the circuit MP shown in FIG. 26.
  • the respective sizes of the transistor M1, the transistor M1r, the transistor M1-2b, the transistor M1-2br, the transistor M1-3b, and the transistor M1-3br, for example, the W length and the L length are the same.
  • the example of this operation method is different from the operation example of the circuit MP of FIG. 26 described in the second embodiment.
  • second data circuit MP (e.g., now to. The value of the neurons of the signal) at the time of entering the wiring WX1L, or input time of the high level potential to one of the wiring X2L t ut
  • the input time of the high level potential to one of the wiring X1L2b or the wiring X2L2b is 2 ut
  • the input time of the high level potential to one of the wiring X1L3b or the wiring X2L3b is 4 ut. ..
  • the transistor M3, the transistor M3r is turned on, or the transistor M4, when a time that transistor M4r is turned on and the t ut, transistor M3-2b, the transistor M3-2br is turned on, or transistor M4-2b, transistor
  • the time for M4-2br to be on is 2 ut
  • the time for transistor M3-3b and transistor M3-3br to be on, or transistor M4-3b and transistor M4-3br to be on is 4 ut.
  • the first data (for example, a weighting coefficient is used here) is set in the circuit MP, and the time during which the transistor M3 or the transistor M4 is in the ON state is set. By determining, the amount of charge flowing from the wiring OL or the wiring OLB to the wiring VE via the transistor M1 is determined. Further, by setting the first data (weight coefficient) in the circuit MP and determining the time during which the transistor M3r or the transistor M4r is in the ON state, the data flows from the wiring OL or the wiring OLB to the wiring VEr via the transistor M1r. The amount of charge is determined.
  • a weighting coefficient is used here
  • the amount of charge flowing from the wiring OL or the wiring OLB to the wiring VE via the transistor M1-2b and the amount of charge flowing from the wiring OL or the wiring OLB to the wiring VEr via the transistor M1-2br are also determined. It is determined by determining the on-state time in each of the transistor M3-2b, the transistor M3-2br, the transistor M4-2b, and the transistor M4-2br. Further, the amount of charge flowing from the wiring OL or the wiring OLB to the wiring VE via the transistor M1-3b and the amount of charge flowing from the wiring OL or the wiring OLB to the wiring VEr via the transistor M1-3br are also transistors. It is determined by determining the on-state time in each of the M3-3b, the transistor M3-3br, the transistor M4-3b, and the transistor M4-3br.
  • the second data (neuron signal value) set in the circuit MP can be defined as shown in the following table.
  • the first data (weighting coefficient) of "+1" is set in advance in the circuit MP.
  • the transistor M1 is set so that the amount of current I 1 flows, and the transistor M1r, the transistor M1-2br, and the transistor M1-3br are in the off state.
  • the sizes of the transistors M1, the transistors M1-2b, and the transistors M1-3b are the same, and the gates of the transistors M1, the transistors M1-2b, and the transistors M1-3b are electrically connected to the node n1 of the circuit HC. Since the first terminals of the transistor M1, the transistor M1-2b, and the transistor M1-3b are electrically connected to the wiring VE, the respective sources of the transistor M1, the transistor M1-2b, and the transistor M1-3b-. Currents that are almost equal to each other flow between the drains. Let the amount of the current be It.
  • the transistor M3 When “+7" is input to the circuit MP as the second data (value of the signal of the neuron), the transistor M3 is turned on for the time tut and the transistor M4 is turned off, so that the transistor M1 is turned on from the wiring OL.
  • the amount of charge flowing through the wiring VE via the transistor is ut ⁇ I ut .
  • t ut ⁇ I ut Qut .
  • the transistor M3-2b is turned on for a time of 2 ut and the transistor M4-2b is turned off, the amount of charge flowing from the wiring OL to the wiring VE via the transistor M1-2b is 2 ut.
  • the amount of electric charge flowing from the wiring OLB to the wiring VEr via the circuit MCr is 0 because the transistor M1r, the transistor M1-2br, and the transistor M1-3br are in the off state.
  • the first data (weighting coefficient) of "-1" is set in advance in the circuit MP.
  • the transistor M1r is set so that the amount of current I 1 flows, and the transistor M1, the transistor M1-2b, and the transistor M1-3b are in the off state.
  • the respective sizes of the transistor M1r, the transistor M1-2br, and the transistor M1-3br are equal, and the respective gates of the transistor M1r, the transistor M1-2br, and the transistor M1-3br are electrically connected to the node n1r of the circuit HCr. Since the first terminals of the transistor M1r, the transistor M1-2br, and the transistor M1-3br are electrically connected to the wiring VEr, the respective sources of the transistor M1r, the transistor M1-2br, and the transistor M1-3br-. Currents that are approximately equal to each other flow between the drains. The source of the transistor M1 - like the current flowing between the drain, the amount of the current and I ut.
  • the amount of electric charge flowing from the wiring OL to the wiring VE via the circuit MC is 0 because the transistor M1, the transistor M1-2b, and the transistor M1-3b are in the off state.
  • the first data (weight coefficient) of "+1" is set in the circuit MP, and the transistor M3 and the transistor M3- are included in the circuit MP according to the positive second data (value of the signal of the neuron).
  • the transistor M3-3b by selecting one or more transistors to be turned on, from the wiring OL, the amount of charge flowing through the wiring VE via the circuit MC, Q ut, 2Q ut, 3Q ut, 4Q ut It can be any one of 5Q ut , 6Q ut , and 7Q ut. At this time, the amount of electric charge flowing from the wiring OLB to the wiring VEr via the circuit MCr becomes 0.
  • the first data (weight coefficient) of "-1" is set in the circuit MP, and the transistor M3r and the transistor M3- are included in the circuit MP according to the positive second data (value of the signal of the neuron).
  • 2br, transistors M3-3br by selecting one or more transistors to be turned on, from the wiring OLB, the amount of charge flowing through the wiring VEr through the circuit MCr, Q ut, 2Q ut, 3Q ut, 4Q ut It can be any one of 5Q ut , 6Q ut , and 7Q ut. At this time, the amount of electric charge flowing from the wiring OL to the wiring VE via the circuit MC becomes 0.
  • the first data (weight coefficient) of "+1" is set in the circuit MP, and the transistor M4 and the transistor M4-2b included in the circuit MP are set according to the negative second data (value of the signal of the neuron).
  • transistors M4-3b by selecting one or more transistors to be turned on, from the wiring OLB, the amount of charge flowing through the wiring VE via the circuit MC, Q ut, 2Q ut, 3Q ut, 4Q ut, It can be any one of 5Q ut , 6Q ut , and 7Q ut. At this time, the amount of electric charge flowing from the wiring OL to the wiring VEr via the circuit MCr becomes 0.
  • the first data (weight coefficient) of "-1" is set in the circuit MP, and the transistor M4r and the transistor M4- included in the circuit MP are set according to the negative second data (value of the signal of the neuron).
  • 2br, transistors M4-3br by selecting one or more transistors to be turned on, from the wiring OL, the amount of charge flowing through the wiring VEr through the circuit MCr, Q ut, 2Q ut, 3Q ut, 4Q ut It can be any one of 5Q ut , 6Q ut , and 7Q ut. At this time, the amount of electric charge flowing from the wiring OLB to the wiring VE via the circuit MC becomes zero.
  • the first data (weighting coefficient) set in the circuit MP is changed from “+1" to "A" which is a positive integer.
  • I A current amount
  • the transistor M1-2b respective sources of the transistors M1-3b - the amount of current flowing between the drain also becomes I A. Therefore, one or more transistors to be turned on should be selected from the transistor M3, the transistor M3-2b, and the transistor M3-3b included in the circuit MP according to the second data (value of the signal of the neuron).
  • the wiring OL the amount of charge flowing through the wiring VE via the circuit MC is, AQ ut, 2AQ ut, 3QA ut, 4AQ ut, 5AQ ut, 6AQ ut, made with any one of 7AQ ut.
  • the wiring VEr through the circuit MCr, AQ ut, 2AQ ut, 3QA ut, 4AQ ut, 5AQ ut, 6AQ ut, either 7AQ ut one The amount of electric charge will flow.
  • the first data (weighting factor) of "0" is set in the circuit MP in advance, it is assumed that each of the transistor M1 and the transistor M1r is in the off state. Therefore, no current flows from the wiring OL or the wiring OLB to the wiring VE via the circuit MC, and no current flows from the wiring OL or the wiring OLB to the wiring VEr via the circuit MCr. In other words, the amount of electric charge flowing through each of the wiring OL and the wiring OLB can be said to be zero.
  • the integrator circuit of the circuit ACTF When a current flows from the wiring OL or the wiring OLB to the wiring VE via the circuit MC, or when a current flows from the wiring OL or the wiring OLB to the wiring VEr via the circuit MCr, in FIG. 8A, the switches SWO and SWOB. Is turned on, the switch SWI, the switch SWIB, the switch SWL, the switch SWLB, the switch SWH, and the switch SWHB are turned off, and the wiring OL and the wiring OLB and the circuit AFP are connected to each other to make the circuit ACTF.
  • the amount of charge flowing through the wiring OL and the wiring OLB can be accumulated in the capacity of the included integrating circuit.
  • the circuit ACTF can output a neuron signal z j (k) according to the charge amount QOL flowing through the wiring OL and the charge amount QOLB flowing through the wiring OLB.
  • the electric charge flowing through the wiring OL when the first data (weight coefficient) is set to "+1" or "-1" and the second data (value of the signal of the neuron) is defined as described above, the electric charge flowing through the wiring OL. the charge amount Q OLB flowing to the amount Q OL wiring OLB described in the table below.
  • the product of the first data (weight coefficient) and the second data (neuron signal value) depending on the result, the charge amount Q OL flowing from the wiring OL circuit MC or circuit MCr, and the charge amount Q OLB is determined from the wiring OLB flowing through the circuit MC or circuit MCr. If the result of the product of the first data (weight coefficient) and the second data (neuron signal value) is a positive value, a current flows from the wiring OL to the circuit MC or circuit MCr, and the first data (weight).
  • the result of the product of the coefficient) and the second data (the value of the signal of the neuron) is a negative value
  • a current flows from the wiring OLB to the circuit MC or the circuit MCr. That is, it is possible to calculate the product of the charge amount Q OL, and the charge amount Q OLB, and the first data (weighting coefficient) second data (the value of the neurons of the signal).
  • the first data (weight coefficient) is set to "-1" or "+1”
  • the second data (value of the signal of the neuron) is set to any one of "-7" to "+7”
  • the first data is set to "-1" or "+1”
  • the second data value of the signal of the neuron
  • the charge amount Q OL current flows from the wiring OL circuit MC or circuit MCr, Q
  • the product of the first data (weight coefficient) and the second data can be obtained from the charge amount QOL.
  • the first data (weight coefficient) is set to "-1" or "+1”
  • the second data (value of the signal of the neuron) is set to any one of "-7" to "+7”
  • the first data is set.
  • the charge amount Q OLB current flows from the wiring OLB circuit MC or circuit MCr , Qut can be replaced with "-1" to obtain the product of the first data (weight coefficient) and the second data (neuron signal value) from the charge amount QOLB.
  • the first data (weighting factor) set in the circuit MP is set to "+1" and "-1", but the first data (weighting factor) such as "0" and analog value is used. It may be calculated using.
  • the circuit MP performs a multiply-accumulate operation between the first data (weighting factor) such as binary, multi-value, and analog values and the second multi-value data (neuron signal value), and / or an activation function. Can be calculated.
  • positive multi-value, negative multi-value, and 0 are defined as the second data (value of the signal of the neuron), but for example, by taking a continuous value instead of a discrete value for the input period.
  • the second data (value of the signal of the neuron) can be treated as an analog value (by setting a as a positive real number and the input period as a ⁇ tu).
  • the time when M4-2br is in the ON state is 2 ut and the time when the transistor M3-3b and the transistor M3-3br are in the ON state, or the time when the transistor M4-3b and the transistor M4-3br are in the ON state is 4 ut .
  • the second data when a high level potential is input to the wiring WX1L, a low level potential is input to the wiring X2L, and a low level potential is input to the wiring X1L2b, the wiring X2L2b, the wiring X1L3b, and the wiring X2L3b. It may be defined as a real number such as "+0.1" instead of "+1".
  • the semiconductor device is not limited to the configuration of the circuit MP shown in FIG.
  • the circuit MP of FIG. 51 three transistors M1, a transistor M1-2b, and a transistor M1-3b are set in the circuit MC as transistors for setting the current amount, and the transistor M1r and the transistor M1 are in the circuit MCr.
  • the number is set to -2br and the transistors M1-3br, the number of transistors for setting the current amount may be two or four or more in each of the circuit MC and the circuit MCr.
  • the semiconductor device according to one aspect of the present invention and the operation method of the semiconductor device are not limited to the above.
  • the sizes of the transistor M1, the transistor M1r, the transistor M1-2b, the transistor M1-2br, the transistor M1-3b, and the transistor M1-3br of the circuit MP of FIG. 51 have been described as being equal.
  • the ratio of the W length to the L length of the transistor M1r is W / L
  • the ratio of the W length to the L length of the transistor M1-2b, the transistor M1-2br, the transistor M1-3b, and the transistor M1-3br is 2W / L. May be.
  • the source of the transistor M1 - By setting as current I 1 flows as the current amount between the drain, and the ratio of W length and L length of the transistor M1-2b, W length of the transistor M1-3b and L Since each of the length ratio is twice the ratio of the W length and the L length of the transistor M1, 2I 1 flows as the amount of current between the source and drain of the transistors M1-2b and the transistor M1-3b. ..
  • the source of the transistor M1r - by setting so that the current of I 1 flows as the current amount between the drain, and the ratio of W length and L length of the transistor M1-2br, W length of the transistor M1-3br and L Since each of the length ratio is twice the ratio of the W length and the L length of the transistor M1r, 2I 1 flows as the amount of current between the source and drain of the transistor M1-2br and the transistor M1-3br. ..
  • the transistor M3, the transistor M3r is turned on, or the transistor M4, the time that transistor M4r is turned on and t ut, transistor M3-2b, the transistor M3-2br is turned on, or transistor M4-2b, the transistor M4
  • the time during which -2br is in the on state is 2 ut
  • the time during which the transistor M3-3b and the transistor M3-3br are in the on state, or the transistor M4-3b and the transistor M4-3br are in the on state is 2 ut .
  • a wiring WX1L, or one input time of the high level potential to the wiring X2L is a t ut, one wiring X1L2b, or wiring X2L2b
  • the input time of the high level potential to is 2 ut
  • the input time of the high level potential to one of the wiring X1L3b or the wiring X2L3b is 2 ut
  • the circuit MP of FIG. 52 shows a schematic diagram of a pulse voltage and an input time different from those of FIG. 51 in the vicinity of the reference numerals of the wiring WX1L, the wiring X2L, the wiring X1L2b, the wiring X2L2b, the wiring X1L3b, and the wiring X2L3b.
  • the source of the transistor M1 - when current I ut is set to flow a current amount between the drain, only one time 2t ut transistor M3-3b or transistor M4-3b ON state, the transistor M3-3b or transistor M4 by other -3b is turned off, the wiring OL or wiring OLB, the amount of charge flowing through the wiring VE via the transistor M1-3b becomes 2t ut ⁇ 2I ut 4Q ut . Since the conditions of the amount of charge flowing from the wiring OL to the wiring VE via the transistor M1 and the amount of charge flowing from the wiring OL to the wiring VE via the transistor M1-2b are the same as those in the above operation example, the conditions are the same. The explanation is omitted.
  • the source of the transistor M1r - when current I ut is set to flow a current amount between the drain, only one time 2t ut transistor M3-3br or transistor M4-3br ON state, the transistor M3-3br or by other transistor M4-3br is turned off, the wiring OL or wiring OLB, the amount of charge flowing through the wiring VEr through transistor M1-3br becomes 2t ut ⁇ 2I ut 4Q ut .
  • the amount of electric charge flowing from the wiring OL or the wiring OLB to the wiring VEr via the transistor M1r and the amount of electric charge flowing from the wiring OL or the wiring OLB to the wiring VEr via the transistor M1-2br are the above-mentioned operation examples and conditions. Are the same, so the description is omitted.
  • the circuit MP can be operated in the same manner as the operation example of the circuit MP shown in FIG. 51.
  • the semiconductor device of one aspect of the present invention is not limited to the configuration of the circuit MP of FIGS. 51 and 52.
  • the circuit MP of FIG. 51 three transistors M1, a transistor M1-2b, and a transistor M1-3b are set in the circuit MC as transistors for setting the current amount, and the transistor M1r and the transistor M1 are in the circuit MCr.
  • the number is set to -2br and the transistors M1-3br, the number of transistors for setting the current amount may be two or four or more in each of the circuit MC and the circuit MCr. Further, the number of holding portions and the number of wirings may be increased or decreased depending on the transistor.
  • the operation method of the semiconductor device is not limited to the above-mentioned operation method.
  • the input period of the signal input to each of the wiring WX1L, the wiring X2L, the wiring X1L2b, the wiring X2L2b, the wiring X1L3b, and the wiring X2L3b may be divided into a plurality of sub-periods.
  • the circuit MP considers the case where only one circuit MP is electrically connected to the wiring OL and the wiring OLB, but FIG. 11 shows.
  • a plurality of circuits MP may be electrically connected to the wiring OL and the wiring OLB.
  • the total amount of electric charges input to the plurality of circuit MPs from each of the wiring OL and the wiring OLB can be accumulated in the capacity of the integrating circuit included in the circuit ACTF, and the circuit ACTF can store the wiring OL and the wiring OLB. It is possible to output the signal zj (k) of the neuron according to the amount of each charge flowing in.
  • the arithmetic circuit 150 of FIG. 11 is taken as an example, but the same operation as this operation example can be performed by changing to another arithmetic circuit depending on the situation.
  • the change of the current flowing through the wiring OL and the wiring OLB is one that is electrically connected to the wiring OL and the wiring OLB. It shall be performed only by the circuit MP. Further, it is assumed that each of the wiring VE and the wiring VEr electrically connected to the circuit MP gives VSS as a constant voltage to the circuit MP. Further, each of the circuit ACTF [1] to the circuit ACTF [n] included in the circuit ACFP is, for example, a circuit ACTF having a configuration of an integrator circuit (or a current charge (IQ) conversion circuit). The circuit ACTF may be configured such that the load LEa and the load LEb are capacities in the circuit ACTF [j] of FIG. 6E, for example.
  • FIG. 53 shows the transistor M1-3b, the transistor M1-3br, the transistor M3-3b, the transistor M3-3br, the transistor M4-3b, the transistor M4-3br, the circuit HC-3b, and the circuit HC in the circuit MP shown in FIG.
  • the configuration is such that -3br is not provided. Therefore, the circuit MP of FIG. 53 is not provided with the wiring WX1L3b, the wiring X2L3b, and the wiring WL3b. Further, it is preferable that the respective sizes of the transistor M1, the transistor M1r, the transistor M1-2b, and the transistor M1-2br, for example, the W length and the L length are the same. Further, the example of this operation method is different from the operation example of the circuit MP of FIG. 27 described in the second embodiment.
  • a wiring WX1L or as an input time t ut high level potential to one of the wires X2L, wiring WX1L2b, or high level to one of the wiring X2L2b
  • the potential input time shall be 2 tut . That is, the transistor M3, the transistor M3r is turned on, or the transistor M4, when a time that transistor M4r is turned on and the t ut, transistor M3-2b, the transistor M3-2br is turned on, or transistor M4-2b, transistor M4-2br operates the time which is turned so that 2t ut. Therefore, in order to show that the operation of the circuit MP of FIG. 53 is different from that of the circuit MP of FIG. It is shown in the figure.
  • the first data (for example, a weighting coefficient is used here) is set in the circuit MP, and the time during which the transistor M3 or the transistor M4 is in the ON state is set. By determining, the amount of charge flowing from the wiring OL or the wiring OLB to the wiring VE via the transistor M1 is determined. Further, by setting the first data (weight coefficient) in the circuit MP and determining the time during which the transistor M3r or the transistor M4r is in the ON state, the data flows from the wiring OL or the wiring OLB to the wiring VEr via the transistor M1r. The amount of charge is determined.
  • a weighting coefficient is used here
  • the amount of charge flowing from the wiring OL or the wiring OLB to the wiring VE via the transistor M1-2b and the amount of charge flowing from the wiring OL or the wiring OLB to the wiring VEr via the transistor M1-2br are also transistors. It is determined by determining the time during which each of the M3-2b, the transistor M3-2br, the transistor M4-2b, and the transistor M4-2br is in the ON state.
  • the wiring VCS in FIG. 8A and the node n1 of the circuit HC and / or the node n1 of the circuit HC-2b in FIG. 53 are brought into a conductive state. It is done by.
  • the transistors M1 when set as the current amount I 1 to each of the transistors M1-2b, transistors M1, due to variations in transistor characteristics to be caused and manufacturing process of the transistor M1-2b, circuit HC, the circuit HC-2b
  • the voltages held in each may differ from each other.
  • Circuit HCr the respective circuit HC-2br, like above, as a digital value (binary), it is assumed that VSS, or V 1 is held.
  • the first data (weighting factor) set in the circuit MP is defined.
  • the transistors M1 when setting the "+3" as the first data (weighting factor) on the circuit MP, the transistors M1, set so that the current amount I 1 flows in the transistor M1-2b, circuit HCr, the circuit HC-2br VSS Shall be retained.
  • the wiring WX1L or if the high level potential to one of the wiring X2L is input, via the transistor M1 from the wiring OL or wiring OLB, the amount of charge flowing through the wiring VE is t ut ⁇ I 1, and the wiring WX1L2b
  • the amount of charge flowing from the wiring OL or the wiring OLB to the wiring VE via the transistor M1 is 2 ut ⁇ I 1 .
  • transistor M1r when setting the "-3" as the first data (weighting factor) on the circuit MP, transistor M1r, set so that the current amount I 1 flows in the transistor M1-2br, circuit HC, to a circuit HC-2b is VSS shall be retained. From above, the wiring WX1L, or if the high level potential to one of the wiring X2L is input, via the transistor M1r from the wiring OL or wiring OLB, the amount of charge flowing through the wiring VEr the t ut ⁇ I 1, and the wiring WX1L2b Or, when a high level potential is input to one of the wiring X2L2b, the amount of charge flowing from the wiring OL or the wiring OLB to the wiring VEr via the transistor M1r-2br is 2 ut ⁇ I 1 .
  • VSS is held in the circuit HC, the circuit HCr, the circuit HC-2b, and the circuit HC-2br. Therefore, the amount of current flowing between the source and drain of each of the transistor M1, the transistor M1r, the transistor M1-2b, and the transistor M1-2br becomes zero.
  • the second data here, for example, a neuron signal
  • the second data when the second data is “+1”, the wiring WX1L, It is assumed that a high level potential is input to the wiring X1L2b and a low level potential is input to the wiring X2L and the wiring X2L2b.
  • the second data is "-1"
  • the low level potential is input to the wiring WX1L and the wiring X1L2b.
  • the high level potential is input to the wiring X2L and the wiring X2L2b, and when the second data is "0", the low level potential is input to each of the wiring WX1L, the wiring X1L2b, the wiring X2L, and the wiring X2L2b. It shall be.
  • the switch SWO the switch
  • SWOB is turned on
  • switch SWI, switch SWIB, switch SWL, switch SWLB, switch SWH, and switch SWHB are turned off, and the circuit ACTF is made conductive between the wiring OL and wiring OLB and the circuit AFP.
  • the amount of charge flowing through the wiring OL and the wiring OLB can be accumulated in the capacitance of the integrating circuit included in the wiring OL.
  • the circuit ACTF can output a neuron signal z j (k) according to the charge amount QOL flowing through the wiring OL and the charge amount QOLB flowing through the wiring OLB.
  • the first data (weight coefficient) is set to any one of "+3", “+2”, “+1”, “0”, “-1”, “-2”, and “-3”.
  • the second data value of the signal of the neuron
  • the charge amount QOL flowing through the wiring OL and the charge amount QOLB flowing through the wiring OLB are shown in the table below.
  • the product of the first data (weight coefficient) and the second data (neuron signal value) depending on the result, the charge amount Q OL current flows through the circuit MC or circuit MCr from wire OL, and a charge amount Q OLB from wiring OLB current flows in the circuit MC or circuit MCr is determined. If the result of the product of the first data (weight coefficient) and the second data (neuron signal value) is a positive value, a current flows from the wiring OL to the circuit MC or circuit MCr, and the first data (weight).
  • the first data is set to "-3" to "+3”
  • the second data value of the signal of the neuron
  • the product of the first data (weight coefficient) and the second data can be obtained from the charge amount QOL.
  • the first data is set to "-1" or "+1”
  • the second data value of the signal of the neuron
  • the first data is set. If the product of 1 data (the weight coefficient) and the second data (the value of the neurons of the signal) is a negative number, in the above table, the charge amount Q OLB current flows from the wiring OLB circuit MC or circuit MCr , Qut can be replaced with "-1" to obtain the product of the first data (weight coefficient) and the second data (neuron signal value) from the charge amount QOLB.
  • the first data (weight coefficient) set in the circuit MP is set to "+3", “+2", “+1”, “0”, “-1", “-2”, “-”. Although it is set to 3 ”, the first data (weight coefficient) may be used as an analog value or the like by adjusting the time for inputting a high level potential to the wiring WX1L, the wiring X2L, the wiring WX1L2b, and the wiring X2L2b.
  • the circuit MP can perform a product-sum operation of the first data (weight coefficient) such as an analog value and a multi-valued second data (neuron signal value), and / or an activation function operation. can.
  • the semiconductor device of one aspect of the present invention is not limited to the configuration of the circuit MP of FIG. 53.
  • the circuit MP of FIG. 53 as transistors for setting the amount of current, two transistors M1 and M1-2b are used in the circuit MC, and two transistors M1r and M1-2br are used in the circuit MCr.
  • the number of transistors for setting the current amount may be three or more. Further, the number of holding portions and the number of wirings may be increased or decreased depending on the transistor.
  • the operation method of the semiconductor device is not limited to the above.
  • the input period of the signal input to each of the wiring WX1L, the wiring X2L, the wiring WX1L2b, and the wiring X2L2b may be divided into a plurality of sub-periods, and may be shortened or lengthened. May be good.
  • the product-sum operation of the first data and the second data can be performed as a multi-value or an analog value.
  • the circuit MP considers the case where only one circuit MP is electrically connected to the wiring OL and the wiring OLB, but FIG. 11 shows.
  • a plurality of circuits MP may be electrically connected to the wiring OL and the wiring OLB.
  • the total amount of electric charges input to the plurality of circuit MPs from each of the wiring OL and the wiring OLB can be accumulated in the capacity of the integrating circuit included in the circuit ACTF, and the circuit ACTF can store the wiring OL and the wiring OLB. It is possible to output the signal zj (k) of the neuron according to the amount of each charge flowing in.
  • the arithmetic circuit 150 of FIG. 11 is taken as an example, but the same operation as this operation example can be performed by changing to another arithmetic circuit depending on the situation.
  • the change of the current flowing through the wiring OL and the wiring OLB is one that is electrically connected to the wiring OL and the wiring OLB. It shall be performed only by the circuit MP. Further, it is assumed that each of the wiring VE and the wiring VEr electrically connected to the circuit MP gives VSS as a constant voltage to the circuit MP. Further, each of the circuit ACTF [1] to the circuit ACTF [n] included in the circuit ACFP is, for example, a circuit ACTF having a configuration of an integrator circuit (or a current charge (IQ) conversion circuit). For example, the circuit ACTF may be configured such that the load LEa and the load LEb are capacities in the circuit ACTF [j] of FIG. 6E.
  • FIG. 54 shows the transistor M1-2b, the transistor M1-2br, the transistor M1-3b, the transistor M1-3br, the transistor M3-2b, the transistor M3-2br, the transistor M3-3b, and the transistor M3 in the circuit MP shown in FIG. -3br, transistor M4-2b, transistor M4-2br, transistor M4-3b, transistor M4-3br, circuit HC-2b, circuit HC-2br, circuit HC-3b, circuit HC-3br are not provided. There is. Therefore, the circuit MP of FIG. 54 is not provided with the wiring X1L2b, the wiring X2L2b, the wiring X1L3b, and the wiring X2L3b. Further, the example of this operation method is different from the operation example of the circuit MP of FIG. 29 described in the second embodiment.
  • the wiring X1L or the wiring is used according to the second data (the value of the neuron signal).
  • the input time of the high level potential to one of X2L is set. That is, the time during which the transistor M3 and the transistor M3r are in the ON state or the transistor M4 and the transistor M4r are in the ON state is set.
  • wiring is performed by setting the first data (for example, a weighting coefficient here) in the circuit MP and determining the time during which the transistor M3 or the transistor M4 is in the ON state. The amount of charge flowing from the OL or the wiring OLB to the wiring VE via the transistor M1 is determined. Further, by setting the first data (weight coefficient) in the circuit MP and determining the time during which the transistor M3r or the transistor M4r is in the ON state, the data flows from the wiring OL or the wiring OLB to the wiring VEr via the transistor M1r. The amount of charge is determined.
  • the first data for example, a weighting coefficient here
  • the input period of the high level potential of the wiring X1L and t ut, high-level potential to the wiring X1L, low-level potential to the wiring X2L can be defined as shown in the following table.
  • the table below shows only integers of "-3" to "+3".
  • the circuit HCS and the circuit HCSr as described in the configuration example 5 of the second embodiment, a configuration having an SRAM or a configuration having a NO SRAM can be used.
  • the circuit HCS and the circuit HCSr hold a binary (digital value) potential. Therefore, as an example, when the first data (weighting factor) set in the circuit MP is "+1", the circuit HCS has a high level potential (here, for example, VDDL), and the circuit HCSr has a low level potential (.
  • VSS the first data (weighting factor) set in the circuit MP is “-1”, the circuit HCS has a low level potential and the circuit HCSr has a high level.
  • the level potential is held, and when the first data (weighting factor) set in the circuit MP is "0", the low level potential is held in the circuit HCS and the low level potential is held in the circuit HCSr. And.
  • the amount of current flowing through the transistor M1 to I 1 is set to 0.
  • the amount of current flowing through the transistor M1r and I 1 if the voltage VSS to the circuit HCSr is held, and 0 the amount of current flowing through the transistor M1r .
  • the first data (weighting coefficient) of "+1" is set in advance in the circuit MP, for example.
  • the circuit MP as the second data (the value of the neurons of the signal) "+3" is input, when the transistor M3 is time 3t ut only on state, the transistor M4 is turned off, the wiring OL, the transistor M1
  • the amount of electric charge flowing through the wiring VE via the above is 3 ut ⁇ I ut .
  • t ut ⁇ I ut Qut .
  • the amount of electric charge flowing from the wiring OLB to the wiring VEr via the circuit MCr is 0 because the transistor M1r is in the off state.
  • the amount of electric charge flowing from the wiring OL to the wiring VE via the circuit MC is 0 because the transistor M1 is in the off state.
  • the switch SWO the switch
  • SWOB is turned on
  • switch SWI, switch SWIB, switch SWL, switch SWLB, switch SWH, and switch SWHB are turned off, and the circuit ACTF is made conductive between the wiring OL and wiring OLB and the circuit AFP.
  • the amount of charge flowing through the wiring OL and the wiring OLB can be accumulated in the capacitance of the integrating circuit included in the wiring OL.
  • the circuit ACTF can output a neuron signal z j (k) according to the charge amount QOL flowing through the wiring OL and the charge amount QOLB flowing through the wiring OLB.
  • the electric charge flowing through the wiring OL when the first data (weight coefficient) is set to "+1" or "-1" and the second data (value of the signal of the neuron) is defined as described above, the electric charge flowing through the wiring OL. the charge amount Q OLB flowing to the amount Q OL wiring OLB described in the table below.
  • the second data (value of the signal of the neuron) is an integer other than "-3", “-2", “-1”, “0”, “+1”, “+2", “+3”, or a real number.
  • the input time of the high level potential to either the wiring X1L or the wiring X2L may be set according to an integer or a real number. For example, by setting a as a positive real number and the input period as a ⁇ tu , the second data (neuron signal value) can be treated as an analog value.
  • the second data (value of the signal of the neuron) can be given to the circuit MP as a multi-value.
  • FIG. 55A shows a specific example showing the details of the circuit MP of FIG. 54 as a configuration in which the circuit HCS and the circuit HCSr have SRAM.
  • the reference numerals shown in FIG. 55A the method of holding the first data (weight data), and the like, the description of the circuit MP in FIG. 30 is taken into consideration.
  • the potential held in the circuit HCS is one of the low level potential or the high level potential
  • the potential held in the circuit HCSr is the other of the low level potential or the high level potential. That is, when the circuit HCS and the circuit HCSr do not have to hold the same potential, the circuit MP of FIG. 55A can be changed to the circuit MP of FIG. 55B.
  • the circuit MP of FIG. 55B has a circuit HCS in the circuit MC, and is configured to give an inverted signal of a signal given to the gate of the transistor M1 to the transistor M1r by an inverter loop circuit IVR included in the circuit HCS. There is.
  • the first data (weight) set in the circuit MP when a high level potential is applied to the gate of the transistor M1 (when a low level potential is applied to the gate of the transistor M1r), the first data (weight) set in the circuit MP.
  • the coefficient) can be set to "+1", and when a low level potential is applied to the gate of the transistor M1 (when a high level potential is applied to the gate of the transistor M1r), the first set in the circuit MP.
  • One data (weight coefficient) can be set to "-1".
  • FIG. 56A shows a configuration example in which the circuit HCS and the circuit HCSr have an inverter loop circuit IVR and are different from the circuit MP of FIG. 55A.
  • the circuit MP shown in FIG. 56A includes a circuit HCS including an inverter loop circuit IVR in the circuit MC, a transistor M3 and a transistor M4, and a circuit HCSr including an inverter loop circuit IVRr in the circuit MCr, and a transistor M3r and a transistor M4r.
  • the inverter loop circuit IVR has an inverter circuit IV1 and an inverter circuit IV2
  • the inverter loop circuit IVRr has an inverter circuit IV1r and an inverter circuit IV2r.
  • the output terminal of the inverter circuit IV1 is electrically connected to the input terminal of the inverter circuit IV2, the first terminal of the transistor M3, and the first terminal of the transistor M4, and the output terminal of the inverter circuit IV2 is the inverter circuit IV1. It is electrically connected to the input terminal of.
  • the second terminal of the transistor M3 is electrically connected to the wiring OL, and the gate of the transistor M3 is electrically connected to the wiring WX1L.
  • the second terminal of the transistor M4 is electrically connected to the wiring OLB, and the gate of the transistor M4 is electrically connected to the wiring X2L.
  • the output terminal of the inverter circuit IV1r is electrically connected to the input terminal of the inverter circuit IV2r, the first terminal of the transistor M3r, and the first terminal of the transistor M4r, and the output terminal of the inverter circuit IV2r is the inverter circuit IV1r. It is electrically connected to the input terminal of.
  • the second terminal of the transistor M3r is electrically connected to the wiring OLB, and the gate of the transistor M3r is electrically connected to the wiring WX1L.
  • the second terminal of the transistor M4r is electrically connected to the wiring OL, and the gate of the transistor M4r is electrically connected to the wiring X2L.
  • the circuit HCS has a function of holding either a high level potential or a low level potential at the output terminal of the inverter circuit IV1 by the inverter loop circuit IVR, and the circuit HCSr is the output of the inverter circuit IV1r by the inverter loop circuit IVRr.
  • the terminal has a function of holding either a high level potential or a low level potential. Therefore, as in FIGS. 54 and 55A, as an example, when the first data (weighting factor) set in the circuit MP is set to “+1”, a high level potential (here, here,) is applied to the output terminal of the inverter circuit IV1.
  • a low level potential here, it is assumed to be VSS
  • the first data (weighting factor) set in the circuit MP is set to "VDDL.”
  • VSS low level potential
  • the first data (weighting factor) set in the circuit MP is set to "VDDL.”
  • -1 is set
  • the output terminal of the inverter circuit IV1 holds the low level potential and the output terminal of the inverter circuit IV1r holds the high level potential
  • the first data (weight coefficient) set in the circuit MP is set.
  • set to "0” it is assumed that the output terminal of the inverter circuit IV1 holds the low level potential and the output terminal of the inverter circuit IV1r holds the low level potential.
  • the input time of the high level potential to one of the wiring WX1L or the wiring X2L is set in the same manner as in FIGS. 54 and 55A. do it.
  • the circuit MP of FIG. 56A uses a transistor included in the inverter loop circuit IVR of the circuit HCS to generate a current from the wiring OL or the wiring OLB to the circuit MC.
  • the current is passed from the wiring OL or the wiring OLB to the circuit MCr by using the transistor included in the inverter loop circuit IVRr of the circuit HCSr.
  • the circuit MP of FIG. 56A can be changed to the configuration of the circuit MP shown in FIG. 56B.
  • the circuit MP of FIG. 56B has a configuration in which the circuit MCr included in the circuit MP of FIG. 56A is not provided. That is, the current is passed from the wiring OL or the wiring OLB to the circuit MC by using the transistor included in the inverter loop circuit IVR of the circuit HCS.
  • the first data (weight coefficient) set in the circuit MP can be set to "+1", and the inverter circuit can be set to "+1".
  • the first data (weight coefficient) set in the circuit MP can be set to “0”.
  • the wiring X2L is not provided in the circuit MP of FIG. 56B, and the first terminal of the transistor M4 is electrically connected to the input terminal of the inverter circuit IV1 and the output terminal of the inverter circuit IV2. It is configured to be.
  • the potential of the wiring WX1L is a high level potential
  • the reverse signal is output to the wiring OL or the wiring OLB.
  • the first data (weight coefficient) set in the circuit MP can be set to “+1”, and the inverter circuit IV1 can be set to “+1”.
  • the first data (weight coefficient) set in the circuit MP can be set to "-1".
  • the second data (neuron) input to the circuit MP when supplying information (for example, current, voltage, etc.) from the circuit MP to the circuit AFP, when a high level potential is input to the wiring WX1L, the second data (neuron) input to the circuit MP.
  • the value of the signal of) can be set to “+1”, and the second data (value of the signal of the neuron) input to the circuit MP can be set to “0” when the low level potential is input to the wiring WX1L.
  • circuit MPs of FIGS. 56A to 56C can be applied to, for example, the circuit MP of the arithmetic circuit 140 shown in FIG. 7.
  • FIG. 57A shows a specific example showing the details of the circuit MP of FIG. 54 as a configuration in which the circuit HCS and the circuit HCSr have a NOSRAM.
  • the circuit HCS is electrically connected to the wiring OL and the wiring OLB
  • the circuit HCSr is electrically connected to the wiring OL and the wiring OLB.
  • the circuit MP of 57A is provided with a wiring IL and a wiring ILB with respect to the circuit MP of FIG.
  • the circuit HCS is electrically connected to the wiring IL
  • the circuit HCSr is electrically connected to the wiring ILB. It is configured to be. Further, regarding the reference numerals shown in FIG. 57A, the method of holding the first data (weight data), and the like, the description of the circuit MP in FIG. 34 is taken into consideration.

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Abstract

少ない消費電力で畳み込み処理が可能な半導体装置を提供する。 第1回路が第1保持部と、第1トランジスタと、を有し、第2回路が第2保持部と、第2トランジスタと、を有する半導体装置である。第1、第2回路は、第1、第2入力配線と、第1、第2配線と、に電気的に接続されている。第1保持部は、第1トランジスタに流れる第1電流を保持する機能を有し、第2保持部は、第2トランジスタに流れる第2電流を保持する機能を有する。また、第1、第2電流は、畳み込み処理に用いられるフィルタ値に応じて定まる。第1、第2入力配線に、畳み込み処理が施される画像データに応じた電位が入力されることで、第1回路は、第1配線又は第2配線の一方に電流を出力し、第2回路は、第1配線又は第2配線の他方に電流を出力する。第1、第2回路が第1配線又は第2配線に出力する電流の量は、フィルタ値と画像データと、に応じて決まる。

Description

半導体装置、及び電子機器
 本発明の一態様は、半導体装置、及び電子機器に関する。
 なお本発明の一態様は、上記の技術分野に限定されない。本明細書等で開示する発明の技術分野は、物、駆動方法、又は、製造方法に関するものである。又は、本発明の一態様は、プロセス、マシン、マニュファクチャ、又は、組成物(コンポジション・オブ・マター)に関するものである。そのため、より具体的に本明細書で開示する本発明の一態様の技術分野としては、半導体装置、表示装置、液晶表示装置、発光装置、蓄電装置、撮像装置、記憶装置、信号処理装置、プロセッサ、電子機器、システム、それらの駆動方法、それらの製造方法、又はそれらの検査方法を一例として挙げることができる。
 現在、人間の脳の仕組みを模した集積回路の開発が盛んに進められている。当該集積回路は、脳の仕組みが電子回路として組み込まれており、人間の脳の「ニューロン」と「シナプス」に相当する回路を有する。そのため、そのような集積回路を、「ニューロモーフィック」、「ブレインモーフィック」、「ブレインインスパイア」などと呼ぶこともある。当該集積回路は、非ノイマン型アーキテクチャを有し、処理速度の増加に伴って消費電力が大きくなるノイマン型アーキテクチャと比較して、極めて少ない消費電力で並列処理を行えると期待されている。
「ニューロン」と「シナプス」とを有する神経回路網を模した情報処理のモデルは、人工ニューラルネットワーク(ANN)と呼ばれる。例えば、非特許文献1、及び非特許文献2には、SRAM(Static Random Access Memory)を用いて、人工ニューラルネットワークを構成した演算装置について開示されている。
M.Kang et al.,"IEEE Journal Of Solid−State Circuits",2018,Volume 53,No.2,p.642−655. J.Zhang et al.,"IEEE Journal Of Solid−State Circuits",2017,Volume 52,No.4,p.915−924.
 人工ニューラルネットワークでは、2つのニューロン同士を結合するシナプスの結合強度(重み係数という場合がある。)と、2つのニューロン間で伝達する信号と、を乗じる計算が行われる。特に、階層型の人工ニューラルネットワークでは、第1層の複数の第1ニューロンと第2層の第2ニューロンの一との間のそれぞれのシナプスの結合強度と、第1層の複数の第1ニューロンから第2層の第2ニューロンの一に入力されるそれぞれの信号と、を乗じて足し合わせる必要があり、つまり積和演算を行う必要があり、人工ニューラルネットワークの規模に応じて、例えば、当該結合強度の数、当該信号を示すパラメータの数が決まる。また、第2ニューロンは、シナプスの結合強度と第1ニューロンが出力した信号との積和演算の結果を用いて、活性化関数による演算を行って、当該演算結果を信号として、第3層目の第3ニューロンに対して出力する。つまり、人工ニューラルネットワークは、階層の数、ニューロン数などが多くなる程、「ニューロン」及び「シナプス」のそれぞれに相当する回路の数が多くなり、演算量も膨大になることがある。これにより、回路の消費電力が大きくなり、回路からの発熱量も大きくなることがある。
 また、人工ニューラルネットワークにも様々なモデルが存在するが、例えば、画像分析に使われているモデルとして、畳み込みニューラルネットワーク(CNN)と呼ばれるものがある。畳み込みニューラルネットワークは、画像認識の分野で優れた性能を発揮するニューラルネットワークの一種であるが、画像の解像度、フィルタの大きさなどによって、演算量が決まってくる。具体的には、例えば、画像の解像度が高くなるほど、フィルタの大きさが大きくなるほど、ストライドが小さいほど、畳み込みニューラルネットワークにおける演算量は大きくなるため、回路の消費電力が大きくなる場合がある。
 また、チップを構成する回路の数が増えると消費電力が高くなり、装置の駆動時に発生する発熱量も大きくなる。特に、発熱量が高くなるほど、チップに含まれている回路素子の特性に影響が出るため、チップを構成する回路は温度による影響を受けにくい回路素子を有することが好ましい。また、チップに含まれているトランジスタ、電流源などの特性がばらつくと、演算結果もばらついてしまう。
 本発明の一態様は、積和演算、及び/又は関数演算を行う半導体装置などを提供することを課題の一とする。又は、本発明の一態様は、畳み込み処理を行う半導体装置などを提供することを課題の一とする。又は、本発明の一態様は、AI向けの半導体装置などを提供することを課題の一とする。又は、本発明の一態様は、DNN向けの半導体装置などを提供することを課題の一とする。又は、本発明の一態様は、消費電力が低い半導体装置などを提供することを課題の一とする。又は、本発明の一態様は、環境の温度の影響を受けにくい半導体装置などを提供することを課題の一とする。又は、本発明の一態様は、トランジスタの特性ばらつきの影響を受けにくい半導体装置などを提供することを課題の一とする。又は、本発明の一態様は、電流源の特性ばらつきの影響を受けにくい半導体装置などを提供することを課題の一とする。又は、本発明の一態様は、新規な半導体装置などを提供することを課題の一とする。
 なお本発明の一態様の課題は、上記列挙した課題に限定されない。上記列挙した課題は、他の課題の存在を妨げるものではない。なお他の課題は、以下の記載で述べる、本項目で言及していない課題である。本項目で言及していない課題は、当業者であれば明細書又は図面等の記載から導き出せるものであり、これらの記載から適宜抽出することができる。なお、本発明の一態様は、上記列挙した課題、及び他の課題のうち、少なくとも一つの課題を解決するものである。なお、本発明の一態様は、上記列挙した課題、及び他の課題の全てを解決する必要はない。
(1)
 本発明の一態様は、第1回路と、第2回路と、を有する半導体装置である。第1回路は、第1保持部と、第1駆動トランジスタと、を有し、第2回路は、第2保持部と、第2駆動トランジスタと、を有する。第1回路は、第1入力配線と、第2入力配線と、第1配線と、第2配線と、に電気的に接続され、第2回路は、第1入力配線と、第2入力配線と、第1配線と、第2配線と、に電気的に接続されている。第1保持部は、第1配線から第1駆動トランジスタのソース−ドレイン間に流れる第1電流に応じた第1電位を保持する機能を有し、第2保持部は、第2配線から第2駆動トランジスタのソース−ドレイン間に流れる第2電流に応じた第2電位を保持する機能を有する。また、第1回路は、第1入力配線に第1レベル電位が入力され、かつ第2入力配線に第2レベル電位が入力されたときに、第1電流を第1配線に出力する機能と、第1入力配線に第2レベル電位が入力され、かつ第2入力配線に第1レベル電位が入力されたときに、第1電流を第2配線に出力する機能と、第1入力配線に第2レベル電位が入力され、かつ第2入力配線に第2レベル電位が入力されたときに、第1電流を第1配線、及び第2配線に出力しない機能と、を有する。また、第2回路は、第1入力配線に第1レベル電位が入力され、かつ第2入力配線に第2レベル電位が入力されたときに、第2電流を第2配線に出力する機能と、第1入力配線に第2レベル電位が入力され、かつ第2入力配線に第1レベル電位が入力されたときに、第2電流を第1配線に出力する機能と、第1入力配線に第2レベル電位が入力され、かつ第2入力配線に第2レベル電位が入力されたときに、第2電流を第1配線、及び第2配線に出力しない機能と、を有する。第1電流と、第2電流と、のそれぞれの電流量は、畳み込み処理に用いられるフィルタに含まれるフィルタ値に応じた量である。また、第1入力配線と、第2入力配線と、のそれぞれに入力される第1レベル電位、及び第2レベル電位は、畳み込み処理が施される画像データに応じて決められる。
(2)
 又は、本発明の一態様は、第1回路と、第2回路と、を有し、上記(1)とは構成要素が異なる半導体装置である。第1回路は、第1保持部と、第1駆動トランジスタと、を有し、第2回路は、第2保持部と、第2駆動トランジスタと、を有する。第1回路は、第1入力配線と、第2入力配線と、第1配線と、第2配線と、に電気的に接続され、第2回路は、第1入力配線と、第2入力配線と、第1配線と、第2配線と、に電気的に接続されている。第1保持部は、第1配線から第1駆動トランジスタのソース−ドレイン間に流れる第1電流に応じた第1電位を保持する機能を有し、第2保持部は、第2配線から第2駆動トランジスタのソース−ドレイン間に流れる第2電流に応じた第2電位を保持する機能を有する。第1駆動トランジスタは、第1駆動トランジスタのソース−ドレイン間において、保持された第1電位に応じた第1電流を流す機能を有し、第2駆動トランジスタは、第2駆動トランジスタのソース−ドレイン間において、保持された第2電位に応じた第2電流を流す機能を有する。また、第1回路は、第1期間に、第1入力配線に第1レベル電位が入力され、かつ第2入力配線に第2レベル電位が入力されたときに、第1電流を第1配線に出力する機能と、第1期間に、第1入力配線に第2レベル電位が入力され、かつ第2入力配線に第1レベル電位が入力されたときに、第1電流を第2配線に出力する機能と、第1期間に、第1入力配線に第2レベル電位が入力され、かつ第2入力配線に第2レベル電位が入力されたときに、第1電流を第1配線、及び第2配線に出力しない機能と、を有する。また、第2回路は、第1期間に、第1入力配線に第1レベル電位が入力され、かつ第2入力配線に第2レベル電位が入力されたときに、第2電流を第2配線に出力する機能と、第1期間に、第1入力配線に第2レベル電位が入力され、かつ第2入力配線に第1レベル電位が入力されたときに、第2電流を第1配線に出力する機能と、第1期間に、第1入力配線に第2レベル電位が入力され、かつ第2入力配線に第2レベル電位が入力されたときに、第2電流を第1配線、及び第2配線に出力しない機能と、を有する。第1電流と、第2電流と、のそれぞれの電流量は、畳み込み処理に用いられるフィルタに含まれるフィルタ値に応じた量であり、第1入力配線と、第2入力配線と、のそれぞれに入力される第1レベル電位、及び第2レベル電位と、第1期間の長さと、は、畳み込み処理が施される画像データに応じて決められる。
(3)
 又は、本発明の一態様は、上記(2)の構成において、第1期間が、第2期間と、第3期間と、を有する構成としてもよい。具体的には、第1入力配線は、第2期間において、第1回路及び第2回路の両方に第1レベル電位又は第2レベル電位を与える機能を有する。また、第2入力配線は、第2期間において、第1回路及び第2回路の両方に第1レベル電位又は第2レベル電位を与える機能を有する。また、第1入力配線は、第3期間において、第1回路及び第2回路の両方に第1レベル電位又は第2レベル電位を与える機能を有する。また、第2入力配線は、第3期間において、第1回路及び第2回路の両方に第1レベル電位又は第2レベル電位を与える機能を有する。なお、第3期間の長さは、第2期間の長さの1.8倍以上2.2倍以下であることが好ましい。
(4)
 又は、本発明の一態様は、上記(1)乃至(3)のいずれか一において、第1回路は、第1トランジスタと、第2トランジスタと、第3トランジスタと、第1容量と、を有し、第2回路は、第4トランジスタと、第5トランジスタと、第6トランジスタと、第2容量と、を有する構成としてもよい。具体的には、第1保持部は、第1トランジスタと、第1容量と、を有し、第2保持部は、第4トランジスタと、第2容量と、を有する。第1トランジスタの第1端子は、第1容量の第1端子と、第1駆動トランジスタのゲートに電気的に接続され、第1トランジスタの第2端子は、第1配線に電気的に接続されている。また、第1駆動トランジスタの第1端子は、第2トランジスタの第1端子と、第3トランジスタの第1端子と、に電気的に接続され、第2トランジスタの第2端子は、第1配線に電気的に接続され、第2トランジスタのゲートは、第1入力配線に電気的に接続され、第3トランジスタの第2端子は、第2配線に電気的に接続され、第3トランジスタのゲートは、第2入力配線に電気的に接続されている。また、第4トランジスタの第1端子は、第2容量の第1端子と、第2駆動トランジスタのゲートに電気的に接続され、第4トランジスタの第2端子は、第2配線に電気的に接続されている。また、第2駆動トランジスタの第1端子は、第5トランジスタの第1端子と、第6トランジスタの第1端子と、に電気的に接続され、第5トランジスタの第2端子は、第2配線に電気的に接続され、第5トランジスタのゲートは、第1入力配線に電気的に接続され、第6トランジスタの第2端子は、第1配線に電気的に接続され、第6トランジスタのゲートは、第2入力配線に電気的に接続されている。
(5)
 又は、本発明の一態様は、上記(4)において、第1回路は、第7トランジスタを有し、第2回路は、第8トランジスタを有する構成としてもよい。具体的には、第7トランジスタの第1端子は、第1駆動トランジスタの第1端子と、第2トランジスタの第1端子と、第3トランジスタの第1端子と、に電気的に接続され、第7トランジスタの第2端子は、第1トランジスタの第1端子、又は第2端子の一方に電気的に接続されている。また、第8トランジスタの第1端子は、第2駆動トランジスタの第1端子と、第5トランジスタの第1端子と、第6トランジスタの第1端子と、に電気的に接続され、第8トランジスタの第2端子は、第4トランジスタの第1端子、又は第2端子の一方に電気的に接続されている。また、第1トランジスタのゲートは、第4トランジスタのゲートと、第7トランジスタのゲートと、第8トランジスタのゲートと、に電気的に接続されている。
(6)
 又は、本発明の一態様は、上記(1)乃至(3)のいずれか一において、第1回路が、第1トランジスタと、第2トランジスタと、第3トランジスタと、第1容量と、を有し、第2回路が、第4トランジスタと、第5トランジスタと、第6トランジスタと、第2容量と、を有する構成としてもよい。具体的には、第1保持部は、第1トランジスタと、第1容量と、を有し、第2保持部は、第4トランジスタと、第2容量と、を有する。第1トランジスタの第1端子は、第1容量の第1端子と、第1駆動トランジスタのゲートと、に電気的に接続され、第1駆動トランジスタの第1端子は、第1トランジスタの第2端子と、第2トランジスタの第1端子と、第3トランジスタの第1端子と、に電気的に接続されている。また、第2トランジスタの第2端子は、第1配線に電気的に接続され、第2トランジスタのゲートは、第1入力配線に電気的に接続され、第3トランジスタの第2端子は、第2配線に電気的に接続され、第3トランジスタのゲートは、第2入力配線に電気的に接続されている。また、第4トランジスタの第1端子は、第2容量の第1端子と、第2駆動トランジスタのゲートに電気的に接続され、第2駆動トランジスタの第1端子は、第4トランジスタの第2端子と、第5トランジスタの第1端子と、第6トランジスタの第1端子と、に電気的に接続されている。また、第5トランジスタの第2端子は、第2配線に電気的に接続され、第5トランジスタのゲートは、第1入力配線に電気的に接続され、第6トランジスタの第2端子は、第1配線に電気的に接続され、第6トランジスタのゲートは、第2入力配線に電気的に接続されている。
(7)
 又は、本発明の一態様は、上記(1)乃至(3)のいずれか一において、第1回路は、第3保持部と、第3駆動トランジスタと、を有し、第2回路は、第4保持部と、第4駆動トランジスタと、を有する構成としてもよい。具体的には、第1回路は、第3配線に電気的に接続され、第2回路は、第3配線に電気的に接続されている。また、第3保持部は、第1配線から第3駆動トランジスタのソース−ドレイン間に流れる第3電流に応じた第3電位を保持する機能を有し、第4保持部は、第2配線から第4駆動トランジスタのソース−ドレイン間に流れる第4電流に応じた第4電位を保持する機能を有する。また、第3駆動トランジスタは、第3駆動トランジスタのソース−ドレイン間において、保持された第3電位に応じた第3電流を流す機能を有し、第4駆動トランジスタは、第4駆動トランジスタのソース−ドレイン間において、保持された第4電位に応じた第4電流を流す機能を有する。また、半導体装置は、第3配線に入力される信号に応じて、第1配線又は第2配線の一方に流れる第1電流を第3電流に切り替え、かつ第1配線又は第2配線の他方に流れる第2電流を第4電流に切り替える機能を有する。
(8)
 又は、本発明の一態様は、上記(1)乃至(7)のいずれか一において、第3回路と、第4回路と、第5回路と、を有する構成としてもよい。第3回路は、第1配線を介して、第1回路に、フィルタ値に応じた第1電流を供給する機能と、第2配線を介して、第2回路に、フィルタ値に応じた第2電流を供給する機能と、を有する。また、第4回路は、画像データに応じて、第1入力配線に、第1レベル電位又は第2レベル電位を入力する機能と、画像データに応じて、第2入力配線に、第1レベル電位又は第2レベル電位を入力する機能と、を有する。また、第5回路は、第1配線と、第2配線と、のそれぞれから流れる電流を比較して、第5回路の出力端子から、フィルタ値と画像データの積に応じた電位を出力する機能を有する。
(9)
 又は、本発明の一態様は、上記(1)乃至上記(8)のいずれか一の半導体装置と、筐体と、を有する電子機器である。また、電子機器は、畳み込み処理によって、画像の特徴抽出が行われてもよい。
 なお、本明細書等において、半導体装置とは、半導体特性を利用した装置であり、半導体素子(トランジスタ、ダイオード、フォトダイオード等)を含む回路、同回路を有する装置等をいう。また、半導体特性を利用することで機能しうる装置全般をいう。例えば、集積回路、集積回路を備えたチップ、パッケージにチップを収納した電子部品などは半導体装置の一例である。また、記憶装置、表示装置、発光装置、照明装置及び電子機器等は、それ自体が半導体装置である場合があり、半導体装置を有している場合がある。
 また、本明細書等において、XとYとが接続されていると記載されている場合は、XとYとが電気的に接続されている場合と、XとYとが機能的に接続されている場合と、XとYとが直接接続されている場合とが、本明細書等に開示されているものとする。したがって、所定の接続関係、例えば、図又は文章に示された接続関係に限定されず、図又は文章に示された接続関係以外のものも、図又は文章に開示されているものとする。X、Yは、対象物(例えば、装置、素子、回路、配線、電極、端子、導電膜、層など)であるとする。
 XとYとが電気的に接続されている場合の一例としては、XとYとの電気的な接続を可能とする素子(例えば、スイッチ、トランジスタ、容量素子、インダクタ、抵抗素子、ダイオード、表示デバイス、発光デバイス、負荷など)が、XとYとの間に1個以上接続されることが可能である。なお、スイッチは、オンオフが制御される機能を有している。つまり、スイッチは、導通状態(オン状態)、又は、非導通状態(オフ状態)になり、電流を流すか流さないかを制御する機能を有している。
 XとYとが機能的に接続されている場合の一例としては、XとYとの機能的な接続を可能とする回路(例えば、論理回路(インバータ、NAND回路、NOR回路など)、信号変換回路(デジタルアナログ変換回路、アナログデジタル変換回路、ガンマ補正回路など)、電位レベル変換回路(電源回路(昇圧回路、降圧回路など)、信号の電位レベルを変えるレベルシフタ回路など)、電圧源、電流源、切り替え回路、増幅回路(信号振幅又は電流量などを大きく出来る回路、オペアンプ、差動増幅回路、ソースフォロワ回路、バッファ回路など)、信号生成回路、記憶回路、制御回路など)が、XとYとの間に1個以上接続されることが可能である。なお、一例として、XとYとの間に別の回路を挟んでいても、Xから出力された信号がYへ伝達される場合は、XとYとは機能的に接続されているものとする。
 なお、XとYとが電気的に接続されている、と明示的に記載する場合は、XとYとが電気的に接続されている場合(つまり、XとYとの間に別の素子又は別の回路を挟んで接続されている場合)と、XとYとが直接接続されている場合(つまり、XとYとの間に別の素子又は別の回路を挟まずに接続されている場合)とを含むものとする。
 また、例えば、「XとYとトランジスタのソース(又は第1の端子など)とドレイン(又は第2の端子など)とは、互いに電気的に接続されており、X、トランジスタのソース(又は第1の端子など)、トランジスタのドレイン(又は第2の端子など)、Yの順序で電気的に接続されている。」と表現することができる。又は、「トランジスタのソース(又は第1の端子など)は、Xと電気的に接続され、トランジスタのドレイン(又は第2の端子など)はYと電気的に接続され、X、トランジスタのソース(又は第1の端子など)、トランジスタのドレイン(又は第2の端子など)、Yは、この順序で電気的に接続されている」と表現することができる。又は、「Xは、トランジスタのソース(又は第1の端子など)とドレイン(又は第2の端子など)とを介して、Yと電気的に接続され、X、トランジスタのソース(又は第1の端子など)、トランジスタのドレイン(又は第2の端子など)、Yは、この接続順序で設けられている」と表現することができる。これらの例と同様な表現方法を用いて、回路構成における接続の順序について規定することにより、トランジスタのソース(又は第1の端子など)と、ドレイン(又は第2の端子など)とを、区別して、技術的範囲を決定することができる。なお、これらの表現方法は、一例であり、これらの表現方法に限定されない。ここで、X、Yは、対象物(例えば、装置、素子、回路、配線、電極、端子、導電膜、層、など)であるとする。
 なお、回路図上は独立している構成要素同士が電気的に接続しているように図示されている場合であっても、1つの構成要素が、複数の構成要素の機能を併せ持っている場合もある。例えば配線の一部が電極としても機能する場合は、一の導電膜が、配線の機能、及び電極の機能の両方の構成要素の機能を併せ持っている。したがって、本明細書における電気的に接続とは、このような、一の導電膜が、複数の構成要素の機能を併せ持っている場合も、その範疇に含める。
 また、本明細書等において、「抵抗素子」とは、例えば、0Ωよりも高い抵抗値を有する回路素子、配線などとすることができる。そのため、本明細書等において、「抵抗素子」は、抵抗値を有する配線、ソース−ドレイン間に電流が流れるトランジスタ、ダイオード、コイルなどを含むものとする。そのため、「抵抗素子」という用語は、「抵抗」、「負荷」、「抵抗値を有する領域」などの用語に言い換えることができる場合がある。逆に「抵抗」、「負荷」、「抵抗値を有する領域」という用語は、「抵抗素子」などの用語に言い換えることができる場合がある。抵抗値としては、例えば、好ましくは1mΩ以上10Ω以下、より好ましくは5mΩ以上5Ω以下、更に好ましくは10mΩ以上1Ω以下とすることができる。また、例えば、1Ω以上1×10Ω以下としてもよい。
 また、本明細書等において、「容量素子」とは、例えば、0Fよりも高い静電容量の値を有する回路素子、静電容量の値を有する配線の領域、寄生容量、トランジスタのゲート容量などとすることができる。そのため、本明細書等において、「容量素子」、「寄生容量」、「ゲート容量」などという用語は、「容量」などの用語に言い換えることができる場合がある。逆に、「容量」という用語は、「容量素子」、「寄生容量」、「ゲート容量」などの用語に言い換えることができる場合がある。また、「容量」の「一対の電極」という用語は、「一対の導電体」、「一対の導電領域」、「一対の領域」などに言い換えることができる。なお、静電容量の値としては、例えば、0.05fF以上10pF以下とすることができる。また、例えば、1pF以上10μF以下としてもよい。
 また、本明細書等において、トランジスタは、ゲート、ソース、及びドレインと呼ばれる3つの端子を有する。ゲートは、トランジスタの導通状態を制御する制御端子である。ソース又はドレインとして機能する2つの端子は、トランジスタの入出力端子である。2つの入出力端子は、トランジスタの導電型(nチャネル型、pチャネル型)及びトランジスタの3つの端子に与えられる電位の高低によって、一方がソースとなり他方がドレインとなる。このため、本明細書等においては、ソース、及びドレインの用語は、言い換えることができるものとする。また、本明細書等では、トランジスタの接続関係を説明する際、「ソース又はドレインの一方」(又は第1電極、又は第1端子)、「ソース又はドレインの他方」(又は第2電極、又は第2端子)という表記を用いる。なお、トランジスタの構造によっては、上述した3つの端子に加えて、バックゲートを有する場合がある。この場合、本明細書等において、トランジスタのゲート又はバックゲートの一方を第1ゲートと呼称し、トランジスタのゲート又はバックゲートの他方を第2ゲートと呼称することがある。更に、同じトランジスタにおいて、「ゲート」と「バックゲート」の用語は互いに入れ換えることができる場合がある。また、トランジスタが、3以上のゲートを有する場合は、本明細書等においては、それぞれのゲートを第1ゲート、第2ゲート、第3ゲートなどと呼称することがある。
 また、回路図上では、単一の回路素子が図示されている場合でも、当該回路素子が複数の回路素子を有する場合がある。例えば、回路図上に1個の抵抗が記載されている場合は、2個以上の抵抗が直列に電気的に接続されている場合を含むものとする。また、例えば、回路図上に1個の容量が記載されている場合は、2個以上の容量が並列に電気的に接続されている場合を含むものとする。また、例えば、回路図上に1個のトランジスタが記載されている場合は、2個以上のトランジスタが直列に電気的に接続され、かつそれぞれのトランジスタのゲート同士が電気的に接続されている場合を含むものとする。また、同様に、例えば、回路図上に1個のスイッチが記載されている場合は、当該スイッチが2個以上のトランジスタを有し、2個以上のトランジスタが直列に電気的に接続され、それぞれのトランジスタのゲート同士が電気的に接続されている場合を含むものとする。
 また、本明細書等において、ノードは、回路構成、デバイス構造等に応じて、端子、配線、電極、導電層、導電体、不純物領域等と言い換えることが可能である。また、端子、配線等をノードと言い換えることが可能である。
 また、本明細書等において、「電圧」と「電位」は、適宜言い換えることができる。「電圧」は、基準となる電位からの電位差のことであり、例えば基準となる電位をグラウンド電位(接地電位)とすると、「電圧」を「電位」に言い換えることができる。なお、グラウンド電位は必ずしも0Vを意味するとは限らない。また、電位は相対的なものであり、基準となる電位が変わることによって、配線に与えられる電位、回路などに印加される電位、回路などから出力される電位なども変化する。
 また、本明細書等において、「高レベル電位」、「低レベル電位」という用語は、特定の電位を意味するものではない。例えば、2本の配線において、両方とも「高レベル電位を供給する配線として機能する」と記載されていた場合、両方の配線が与えるそれぞれの高レベル電位は、互いに等しくなくてもよい。また、同様に、2本の配線において、両方とも「低レベル電位を供給する配線として機能する」と記載されていた場合、両方の配線が与えるそれぞれの低レベル電位は、互いに等しくなくてもよい。
 「電流」とは、電荷の移動現象(電気伝導)のことであり、例えば、「正の荷電体の電気伝導が起きている」という記載は、「その逆向きに負の荷電体の電気伝導が起きている」と換言することができる。そのため、本明細書等において、「電流」とは、特に断らない限り、キャリアの移動に伴う電荷の移動現象(電気伝導)をいうものとする。ここでいうキャリアとは、電子、正孔、アニオン、カチオン、錯イオン等が挙げられ、電流の流れる系(例えば、半導体、金属、電解液、真空中など)によってキャリアが異なる。また、配線等における「電流の向き」は、正電荷となるキャリアが移動する方向とし、正の電流量で記載する。換言すると、負電荷となるキャリアが移動する方向は、電流の向きと逆の方向となり、負の電流量で表現される。そのため、本明細書等において、電流の正負(又は電流の向き)について断りがない場合、「素子Aから素子Bに電流が流れる」等の記載は「素子Bから素子Aに電流が流れる」等に言い換えることができるものとする。また、「素子Aに電流が入力される」等の記載は「素子Aから電流が出力される」等に言い換えることができるものとする。
 また、本明細書等において、「第1」、「第2」、「第3」という序数詞は、構成要素の混同を避けるために付したものである。従って、構成要素の数を限定するものではない。また、構成要素の順序を限定するものではない。例えば、本明細書等の実施の形態の一において「第1」に言及された構成要素が、他の実施の形態、あるいは特許請求の範囲において「第2」に言及された構成要素とすることもありうる。また例えば、本明細書等の実施の形態の一において「第1」に言及された構成要素を、他の実施の形態、あるいは特許請求の範囲において省略することもありうる。
 また、本明細書等において、「上に」、「下に」などの配置を示す語句は、構成同士の位置関係を、図面を参照して説明するために、便宜上用いている場合がある。また、構成同士の位置関係は、各構成を描写する方向に応じて適宜変化するものである。従って、明細書等で説明した語句に限定されず、状況に応じて適切に言い換えることができる。例えば、「導電体の上面に位置する絶縁体」の表現では、示している図面の向きを180度回転することによって、「導電体の下面に位置する絶縁体」と言い換えることができる。
 また、「上」、又は「下」の用語は、構成要素の位置関係が直上又は直下で、かつ、直接接していることを限定するものではない。例えば、「絶縁層A上の電極B」の表現であれば、絶縁層Aの上に電極Bが直接接して形成されている必要はなく、絶縁層Aと電極Bとの間に他の構成要素を含むものを除外しない。
 また、本明細書等において、「膜」、「層」などの語句は、状況に応じて、互いに入れ替えることが可能である。例えば、「導電層」という用語を、「導電膜」という用語に変更することが可能な場合がある。又は、例えば、「絶縁膜」という用語を、「絶縁層」という用語に変更することが可能な場合がある。又は、場合によっては、又は、状況に応じて、「膜」、「層」などの語句を使わずに、別の用語に入れ替えることが可能である。例えば、「導電層」又は「導電膜」という用語を、「導電体」という用語に変更することが可能な場合がある。又は、例えば、「絶縁層」、「絶縁膜」という用語を、「絶縁体」という用語に変更することが可能な場合がある。
 また、本明細書等において「電極」、「配線」、「端子」などの用語は、これらの構成要素を機能的に限定するものではない。例えば、「電極」は「配線」の一部として用いられることがあり、その逆もまた同様である。さらに、「電極」又は「配線」の用語は、複数の「電極」、「配線」などが一体となって形成されている場合なども含む。また、例えば、「端子」は「配線」、「電極」などの一部として用いられることがあり、その逆もまた同様である。更に、「端子」の用語は、複数の「電極」、「配線」、「端子」などが一体となって形成されている場合なども含む。そのため、例えば、「電極」は「配線」又は「端子」の一部とすることができ、また、例えば、「端子」は「配線」又は「電極」の一部とすることができる。また、「電極」、「配線」、「端子」などの用語は、場合によって、「領域」などの用語に置き換える場合がある。
 また、本明細書等において、「配線」、「信号線」、「電源線」などの用語は、場合によっては、又は、状況に応じて、互いに入れ替えることが可能である。例えば、「配線」という用語を、「信号線」という用語に変更することが可能な場合がある。また、例えば、「配線」という用語を、「電源線」などの用語に変更することが可能な場合がある。また、その逆も同様で、「信号線」、「電源線」などの用語を、「配線」という用語に変更することが可能な場合がある。「電源線」などの用語は、「信号線」などの用語に変更することが可能な場合がある。また、その逆も同様で「信号線」などの用語は、「電源線」などの用語に変更することが可能な場合がある。また、配線に印加されている「電位」という用語を、場合によっては、又は、状況に応じて、「信号」などという用語に変更することが可能な場合がある。また、その逆も同様で、「信号」などの用語は、「電位」という用語に変更することが可能な場合がある。
 本明細書等において、半導体の不純物とは、例えば、半導体層を構成する主成分以外をいう。例えば、濃度が0.1原子%未満の元素は不純物である。不純物が含まれることにより、例えば、半導体の欠陥準位密度が高くなること、キャリア移動度が低下すること、結晶性が低下すること、などが起こる場合がある。半導体が酸化物半導体である場合、半導体の特性を変化させる不純物としては、例えば、第1族元素、第2族元素、第13族元素、第14族元素、第15族元素、主成分以外の遷移金属などがあり、特に、例えば、水素(水にも含まれる)、リチウム、ナトリウム、シリコン、ホウ素、リン、炭素、窒素などがある。具体的には、半導体がシリコン層である場合、半導体の特性を変化させる不純物としては、例えば、第1族元素、第2族元素、第13族元素、第15族元素など(但し、酸素、水素は含まない)がある。
 本明細書等において、スイッチとは、導通状態(オン状態)、又は、非導通状態(オフ状態)になり、電流を流すか流さないかを制御する機能を有するものをいう。又は、スイッチとは、電流を流す経路を選択して切り替える機能を有するものをいう。一例としては、電気的なスイッチ、機械的なスイッチなどを用いることができる。つまり、スイッチは、電流を制御できるものであればよく、特定のものに限定されない。
 電気的なスイッチの一例としては、トランジスタ(例えば、バイポーラトランジスタ、MOSトランジスタなど)、ダイオード(例えば、PNダイオード、PINダイオード、ショットキーダイオード、MIM(Metal Insulator Metal)ダイオード、MIS(Metal Insulator Semiconductor)ダイオード、ダイオード接続のトランジスタなど)、又はこれらを組み合わせた論理回路などがある。なお、スイッチとしてトランジスタを用いる場合、トランジスタの「導通状態」とは、トランジスタのソース電極とドレイン電極が電気的に短絡されているとみなせる状態をいう。また、トランジスタの「非導通状態」とは、トランジスタのソース電極とドレイン電極が電気的に遮断されているとみなせる状態をいう。なおトランジスタを単なるスイッチとして動作させる場合には、トランジスタの極性(導電型)は特に限定されない。
 機械的なスイッチの一例としては、MEMS(マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム)技術を用いたスイッチがある。そのスイッチは、機械的に動かすことが可能な電極を有し、その電極が動くことによって、導通と非導通とを制御して動作する。
 本明細書において、「平行」とは、二つの直線が−10°以上10°以下の角度で配置されている状態をいう。したがって、−5°以上5°以下の場合も含まれる。また、「略平行」又は「概略平行」とは、二つの直線が−30°以上30°以下の角度で配置されている状態をいう。また、「垂直」とは、二つの直線が80°以上100°以下の角度で配置されている状態をいう。したがって、85°以上95°以下の場合も含まれる。また、「略垂直」又は「概略垂直」とは、二つの直線が60°以上120°以下の角度で配置されている状態をいう。
 本発明の一態様によって、積和演算、及び/又は関数演算を行う半導体装置などを提供することができる。又は、本発明の一態様によって、畳み込み処理を行う半導体装置などを提供することができる。又は、本発明の一態様によって、消費電力が低い半導体装置などを提供することができる。又は、本発明の一態様によって、環境の温度の影響を受けにくい半導体装置などを提供することができる。又は、本発明の一態様によって、トランジスタの特性ばらつきの影響を受けにくい半導体装置などを提供することができる。又は、本発明の一態様によって、電流源の特性ばらつきの影響を受けにくい半導体装置などを提供することができる。又は、本発明の一態様によって、新規な半導体装置などを提供することができる。
 なお本発明の一態様の効果は、上記列挙した効果に限定されない。上記列挙した効果は、他の効果の存在を妨げるものではない。なお他の効果は、以下の記載で述べる、本項目で言及していない効果である。本項目で言及していない効果は、当業者であれば明細書又は図面等の記載から導き出せるものであり、これらの記載から適宜抽出することができる。なお、本発明の一態様は、上記列挙した効果、及び他の効果のうち、少なくとも一つの効果を有するものである。従って本発明の一態様は、場合によっては、上記列挙した効果を有さない場合もある。
図1A、及び図1Bは、階層型のニューラルネットワークを説明する図である。
図2は、半導体装置の構成例を示す回路図である。
図3は、半導体装置の構成例を示す回路図である。
図4は、半導体装置の構成例を示す回路図である。
図5A乃至図5Fのそれぞれは、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図6A乃至図6Fのそれぞれは、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図7は、半導体装置の構成例を示す回路図である。
図8A乃至図8Dのそれぞれは、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図9A乃至図9Fのそれぞれは、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図10A、及び図10Bは、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図11は、半導体装置の構成例を示す回路図である。
図12は、半導体装置の構成例を示す回路図である。
図13は、半導体装置の構成例を示す回路図である。
図14は、半導体装置の構成例を示す回路図である。
図15A乃至図15Cのそれぞれは、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図16A、及び図16Bは、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図17A乃至図17Cのそれぞれは、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図18A乃至図18Cのそれぞれは、半導体装置の動作例を説明するタイミングチャートである。
図19A乃至図19Cのそれぞれは、半導体装置の動作例を説明するタイミングチャートである。
図20A乃至図20Cのそれぞれは、半導体装置の動作例を説明するタイミングチャートである。
図21A、及び図21Bは、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図22A、及び図22Bは、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図23A、及び図23Bは、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図24は、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図25は、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図26は、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図27は、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図28は、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図29は、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図30A、及び図30Bは、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図31は、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図32は、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図33は、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図34は、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図35は、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図36は、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図37は、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図38は、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図39は、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図40は、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図41A乃至図41Cのそれぞれは、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図42は、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図43は、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図44は、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図45は、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図46は、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図47A、及び図47Bは、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図48は、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図49A乃至図49Cのそれぞれは、半導体装置の動作例を説明するタイミングチャートである。
図50A乃至図50Cのそれぞれは、半導体装置の動作例を説明するタイミングチャートである。
図51は、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図52は、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図53は、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図54は、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図55A、及び図55Bは、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図56A乃至図56Cのそれぞれは、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図57A、及び図57Bは、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図58は、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図59A、及び図59Bは、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図60A、及び図60Bは、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図61A、及び図61Bは、半導体装置が有するトランジスタの電圧−電流特性を示す図である。
図62は、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図63は、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図64は、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図65は、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図66は、CNNの構成例を示すブロック図である。
図67Aは画素の構成例を示す図であり、図67Bはフィルタの構成例を示す図である。
図68A及び図68Bは、畳み込み処理の例を説明する図である。
図69は、畳み込み処理の例を説明する図である。
図70は、特徴マップの構成例を示す図である。
図71は、畳み込み処理の演算を行う半導体装置の一例を説明するブロック図である。
図72は、畳み込み処理の演算を行う半導体装置の一例を説明するブロック図である。
図73は、畳み込み処理の演算を行う半導体装置の一例を説明するブロック図である。
図74は、畳み込み処理の演算を行う半導体装置の一例を説明するブロック図である。
図75A、及び図75Bは、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図76A乃至図76Dは、半導体装置が有する回路の構成例を示す回路図である。
図77は、半導体装置の構成例を示す断面模式図である。
図78A乃至図78Cは、トランジスタの構成例を示す断面模式図である。
図79は、半導体装置の構成例を示す断面模式図である。
図80A、及び図80Bは、トランジスタの構成例を示す断面模式図である。
図81は、トランジスタの構成例を示す断面模式図である。
図82AはIGZOの結晶構造の分類を説明する図であり、図82Bは結晶性IGZOのXRDスペクトルを説明する図であり、図82Cは結晶性IGZOの極微電子線回折パターンを説明する図である。
図83Aは半導体ウェハの一例を示す斜視図であり、図83Bはチップの一例を示す斜視図であり、図83C及び図83Dは電子部品の一例を示す斜視図である。
図84は、電子機器の一例を示す斜視図である。
図85A乃至図85Cは、電子機器の一例を示す斜視図である。
 人工ニューラルネットワーク(以後、ニューラルネットワークと呼称する。)において、シナプスの結合強度は、ニューラルネットワークに既存の情報を与えることによって、変化することができる。このように、ニューラルネットワークに既存の情報を与えて、結合強度を決める処理を「学習」と呼ぶ場合がある。
 また、「学習」を行った(結合強度を定めた)ニューラルネットワークに対して、何らかの情報を与えることにより、その結合強度に基づいて新たな情報を出力することができる。このように、ニューラルネットワークにおいて、与えられた情報と結合強度に基づいて新たな情報を出力する処理を「推論」又は「認知」と呼ぶ場合がある。
 ニューラルネットワークのモデルとしては、例えば、ホップフィールド型、階層型などが挙げられる。特に、多層構造としたニューラルネットワークを「ディープニューラルネットワーク」(DNN)と呼称し、ディープニューラルネットワークによる機械学習を「ディープラーニング」と呼称する場合がある。
 本明細書等において、金属酸化物(metal oxide)とは、広い意味での金属の酸化物である。金属酸化物は、酸化物絶縁体、酸化物導電体(透明酸化物導電体を含む)、酸化物半導体(Oxide Semiconductor又は単にOSともいう)などに分類される。例えば、トランジスタのチャネル形成領域に金属酸化物が含まれている場合、当該金属酸化物を酸化物半導体と呼称する場合がある。つまり、金属酸化物が増幅作用、整流作用、及びスイッチング作用の少なくとも1つを有するトランジスタのチャネル形成領域を構成し得る場合、当該金属酸化物を、金属酸化物半導体(metal oxide semiconductor)と呼称することができる。また、OSトランジスタと記載する場合においては、金属酸化物又は酸化物半導体を有するトランジスタと換言することができる。
 また、本明細書等において、窒素を有する金属酸化物も金属酸化物(metal oxide)と総称する場合がある。また、窒素を有する金属酸化物を、金属酸窒化物(metal oxynitride)と呼称してもよい。
 また、本明細書等において、各実施の形態に示す構成は、他の実施の形態に示す構成と適宜組み合わせて、本発明の一態様とすることができる。また、1つの実施の形態の中に、複数の構成例が示される場合は、互いに構成例を適宜組み合わせることが可能である。
 なお、ある一つの実施の形態の中で述べる内容(一部の内容でもよい)は、その実施の形態で述べる別の内容(一部の内容でもよい)と、一つ若しくは複数の別の実施の形態で述べる内容(一部の内容でもよい)との少なくとも一つの内容に対して、適用、組み合わせ、又は置き換えなどを行うことができる。
 なお、実施の形態の中で述べる内容とは、各々の実施の形態において、様々な図を用いて述べる内容、又は明細書に記載される文章を用いて述べる内容のことである。
 なお、ある一つの実施の形態において述べる図(一部でもよい)は、その図の別の部分、その実施の形態において述べる別の図(一部でもよい)と、一つ若しくは複数の別の実施の形態において述べる図(一部でもよい)との少なくとも一つの図に対して、組み合わせることにより、さらに多くの図を構成させることができる。
 本明細書に記載の実施の形態について図面を参照しながら説明している。但し、実施の形態は多くの異なる態様で実施することが可能であり、趣旨及びその範囲から逸脱することなく、その形態及び詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は、実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。なお、実施の形態の発明の構成において、同一部分又は同様な機能を有する部分には同一の符号を異なる図面間で共通して用い、その繰り返しの説明は省略する場合がある。また、斜視図などにおいて、図面の明確性を期すために、一部の構成要素の記載を省略している場合がある。
 本明細書等において、複数の要素に同じ符号を用いる場合、特に、それらを区別する必要があるときには、符号に“_1”、“[n]”、“[m,n]”等の識別用の符号を付記して記載する場合がある。また、図面等において、符号に“_1”、“[n]”、“[m,n]”等の識別用の符号を付記している場合、本明細書等において区別する必要が無いときには、識別用の符号を記載しない場合がある。
 また、本明細書の図面において、大きさ、層の厚さ、又は領域は、明瞭化のために誇張されている場合がある。よって、必ずしもそのスケールに限定されない。なお図面は、理想的な例を模式的に示したものであり、図面に示す形状又は値などに限定されない。例えば、ノイズによる信号、電圧、若しくは電流のばらつき、又は、タイミングのずれによる信号、電圧、若しくは電流のばらつきなどを含むことが可能である。
(実施の形態1)
 本実施の形態では、本発明の一態様の半導体装置である、積和演算、及び/又は関数演算を行う演算回路について説明する。
<階層型のニューラルネットワーク>
 初めに、階層型のニューラルネットワークについて説明する。階層型のニューラルネットワークは、一例としては、一の入力層と、一又は複数の中間層(隠れ層)と、一の出力層と、を有し、合計3以上の層によって構成されている。図1Aに示す階層型のニューラルネットワーク100はその一例を示しており、ニューラルネットワーク100は、第1層乃至第R層(ここでのRは4以上の整数とすることができる。)を有している。特に、第1層は入力層に相当し、第R層は出力層に相当し、それら以外の層は中間層に相当する。なお、図1Aには、中間層として第(k−1)層、第k層(ここでのkは3以上R−1以下の整数とする。)を図示しており、それ以外の中間層については図示を省略している。
 ニューラルネットワーク100の各層は、一又は複数のニューロンを有する。図1Aにおいて、第1層はニューロンN (1)乃至ニューロンN (1)(ここでのpは1以上の整数である。)を有し、第(k−1)層はニューロンN (k−1)乃至ニューロンN (k−1)(ここでのmは1以上の整数である。)を有し、第k層はニューロンN (k)乃至ニューロンN (k)(ここでのnは1以上の整数である。)を有し、第R層はニューロンN (R)乃至ニューロンN (R)(ここでのqは1以上の整数である。)を有する。
 なお、図1Aには、ニューロンN (1)、ニューロンN (1)、ニューロンN (k−1)、ニューロンN (k−1)、ニューロンN (k)、ニューロンN (k)、ニューロンN (R)、ニューロンN (R)に加えて、第(k−1)層のニューロンN (k−1)(ここでのiは1以上m以下の整数である。)、第k層のニューロンN (k)(ここでのjは1以上n以下の整数である。)も図示しており、それ以外のニューロンについては図示を省略している。
 次に、前層のニューロンから次層のニューロンへの信号の伝達、及びそれぞれのニューロンにおいて入出力される信号について説明する。なお、本説明では、第k層のニューロンN (k)に着目する。
 図1Bは、第k層のニューロンN (k)と、ニューロンN (k)に入力される信号と、ニューロンN (k)から出力される信号と、を示している。
 具体的には、第(k−1)層のニューロンN (k−1)乃至ニューロンN (k−1)のそれぞれの出力信号であるz (k−1)乃至z (k−1)が、ニューロンN (k)に向けて出力されている。そして、ニューロンN (k)は、z (k−1)乃至z (k−1)に応じてz (k)を生成して、z (k)を出力信号として第(k+1)層(図示しない。)の各ニューロンに向けて出力する。
 前層のニューロンから次層のニューロンに入力される信号は、それらのニューロン同士を接続するシナプスの結合強度(以後、重み係数と呼称する。)によって、信号の伝達の度合いが定まる。ニューラルネットワーク100では、前層のニューロンから出力された信号は、対応する重み係数を乗じられて、次層のニューロンに入力される。iを1以上m以下の整数として、第(k−1)層のニューロンN (k−1)と第k層のニューロンN (k)との間のシナプスの重み係数をw (k−1) (k)としたとき、第k層のニューロンN (k)に入力される信号は、式(1.1)で表すことができる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000001
 つまり、第(k−1)層のニューロンN (k−1)乃至ニューロンN (k−1)のそれぞれから第k層のニューロンN (k)に信号が伝達するとき、当該信号であるz (k−1)乃至z (k−1)には、それぞれの信号に対応する重み係数w (k−1) (k)乃至w (k−1) (k)が乗じられる。そして、第k層のニューロンN (k)には、w (k−1) (k)・z (k−1)乃至w (k−1) (k)・z (k−1)が入力される。このとき、第k層のニューロンN (k)に入力される信号の総和u (k)は、式(1.2)となる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000002
 また、重み係数w (k−1) (k)乃至w (k−1) (k)と、ニューロンの信号z (k−1)乃至z (k−1)と、の積和の結果には、偏りとしてバイアスを与えてもよい。バイアスをbとしたとき、式(1.2)は、次の式に書き直すことができる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000003
 ニューロンN (k)は、u (k)に応じて、出力信号z (k)を生成する。ここで、ニューロンN (k)からの出力信号z (k)を次の式で定義する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000004
 関数f(u (k))は、階層型のニューラルネットワークにおける活性化関数であり、ステップ関数、ランプ関数(ReLU関数)、シグモイド関数、tanh関数、ソフトマックス関数などを用いることができる。なお、活性化関数は、全てのニューロンにおいて同一でもよいし、又は異なっていてもよい。加えて、ニューロンの活性化関数は、層毎において、同一でもよいし、異なっていてもよい。
 ところで、各層のニューロンが出力する信号、重み係数w、または、バイアスbは、アナログ値としてもよいし、デジタル値としてもよい。デジタル値としては、例えば、2値としてもよいし、3値としてもよい。さらに大きなビット数の値でもよい。一例として、アナログ値の場合、活性化関数として、例えば、線型ランプ関数、シグモイド関数などを用いればよい。デジタル値の2値の場合、例えば、出力を−1若しくは1、又は、0若しくは1、とするステップ関数を用いればよい。また、各層のニューロンが出力する信号は3値以上としてもよく、例えば、3値を出力する活性化関数としては、例えば3値以上、例えば出力は−1、0、若しくは1とするステップ関数、又は、0、1、若しくは2とするステップ関数などを用いればよい。また、例えば、5値を出力する活性化関数として、−2、−1、0、1、若しくは2とするステップ関数などを用いてもよい。各層のニューロンが出力する信号、重み係数w、または、バイアスbについて、少なくとも一つについて、デジタル値を用いることにより、回路規模を小さくすること、消費電力を低減すること、または、演算スピードを速くすること、などができる。また、各層のニューロンが出力する信号、重み係数w、または、バイアスbについて、少なくとも一つについて、アナログ値を用いることにより、演算の精度を向上させることができる。
 ニューラルネットワーク100は、第1層(入力層)に入力信号が入力されることによって、第1層(入力層)から最後の層(出力層)までの各層において順次に、前層から入力された信号を基に、式(1.1)、式(1.2)(又は式(1.3))、式(1.4)を用いて出力信号を生成して、当該出力信号を次層に出力する動作を行う。最後の層(出力層)から出力された信号が、ニューラルネットワーク100によって計算された結果に相当する。
<演算回路の構成例>
 ここでは、上述のニューラルネットワーク100において、式(1.2)(又は式(1.3))、及び式(1.4)の演算を行うことができる演算回路の例について説明する。なお、当該演算回路において、一例として、ニューラルネットワーク100のシナプス回路の重み係数を、2値(“−1”、“+1”の組み合わせ、又は“0”、“+1”の組み合わせ等。)、3値(“−1”、“0”、“1”の組み合わせ等。)、又は4値以上の多値(5値の場合、“−2”、“−1”、“0”、“1”、“2”の組み合わせ等)とし、ニューロンの活性化関数が2値(“−1”、“+1”の組み合わせ、又は“0”、“+1”の組み合わせ等。)、3値(“−1”、“0”、“1”の組み合わせ等。)、4値以上の多値(4値の場合、“0”、“1”、“2”、“3”の組み合わせ等)を出力する関数とする。また、本明細書等において、重み係数と、前層のニューロンから次層のニューロンに入力される信号の値(演算値と呼称する場合がある)とについて、そのいずれか一方を第1データと呼称し、他方を第2データと呼称する場合がある。なお、ニューラルネットワーク100のシナプス回路の重み係数、及び演算値は、デジタル値に限定されず、少なくとも一方について、アナログ値を用いることも可能である。
 図2に示す演算回路110は、一例として、アレイ部ALPと、回路ILDと、回路WLDと、回路XLDと、回路AFPと、を有する半導体装置である。演算回路110は、図1A、及び図1Bにおける第k層のニューロンN (k)乃至ニューロンN (k)に入力される信号z (k−1)乃至z (k−1)を処理して、ニューロンN (k)乃至ニューロンN (k)のそれぞれから出力される信号z (k)乃至z (k)を生成する回路である。
 なお、演算回路110の全体、または、その一部について、ニューラルネットワーク、AIなど以外の用途で使用してよい。例えば、グラフィック向けの計算(画像の特徴抽出を行うための畳み込み処理など)、科学計算などにおいて、積和演算処理、行列演算処理などを行う場合に、演算回路110の全体、または、その一部を用いて、処理を行ってもよい。つまり、AI向けの計算だけでなく、一般的な計算のために、演算回路110の全体、または、その一部を用いてもよい。
 回路ILDは、一例として、配線IL[1]乃至配線IL[n]と、配線ILB[1]乃至配線ILB[n]と、に電気的に接続される。回路WLDは、一例として、配線WLS[1]乃至配線WLS[m]に電気的に接続される。回路XLDは、一例として、配線XLS[1]乃至配線XLS[m]に電気的に接続されている。回路AFPは、一例として、配線OL[1]乃至配線OL[n]と、配線OLB[1]乃至配線OLB[n]と、に電気的に接続されている。
<<アレイ部ALP>>
 アレイ部ALPは、一例として、m×n個の回路MPを有している。回路MPは、一例として、アレイ部ALP内において、m行n列のマトリクス状に配置されている。なお、図2では、i行j列(ここでのiは1以上m以下の整数であって、jは1以上n以下の整数である。)に位置する回路MPを、回路MP[i,j]と表記している。但し、図2では、回路MP[1,1]、回路MP[m,1]、回路MP[i,j]、回路MP[1,n]、回路MP[m,n]のみ図示しており、それ以外の回路MPについては図示を省略している。
 回路MP[i,j]は、一例として、配線IL[j]と、配線ILB[j]と、配線WLS[i]と、配線XLS[i]と、配線OL[j]と、配線OLB[j]と、に電気的に接続されている。
 回路MP[i,j]は、一例として、ニューロンN (k−1)とニューロンN (k)との間の重み係数(第1データ又は第2データの一方と呼称する場合がある。ここでは第1データと呼称する)を保持する機能を有する。具体的には、回路MP[i,j]は、配線IL[j]及び配線ILB[j]から入力される、第1データ(重み係数)に応じた情報(例えば、電位、抵抗値、電流値など)の保持を行う。また、回路MP[i,j]は、ニューロンN (k−1)から出力される信号z (k−1)(第1データ又は第2データの他方と呼称する場合がある。ここでは第2データと呼称する)と第1データとの積を出力する機能を有する。具体的な例としては、回路MP[i,j]は、配線XLS[i]から第2データz (k−1)が入力されることで、第1データと第2データとの積に応じた情報(例えば、電流、電圧など)、又は第1データと第2データとの積に関連した情報(例えば、電流、電圧など)を配線OL[j]及び配線OLB[j]に出力する。なお、配線IL[j]及び配線ILB[j]が配置されている場合の例を示したが、本発明の一態様は、これに限定されない。配線IL[j]及び配線ILB[j]のいずれか一方のみが配置されていてもよい。
<<回路ILD>>
 回路ILDは、一例として、配線IL[1]乃至配線IL[n]と、配線ILB[1]乃至配線ILB[n]と、を介して、回路MP[1,1]乃至回路MP[m,n]のそれぞれに対して、重み係数である第1データw (k−1) (k)乃至w (k−1) (k)に対応する情報(例えば、電位、抵抗値、電流値など)を入力する機能を有する。具体的な例としては、回路ILDは、回路MP[i,j]に対して、重み係数である第1データw (k−1) (k)に対応する情報(例えば、電位、抵抗値、または、電流値など)を、配線IL[j]、配線ILB[j]によって供給する。
<<回路XLD>>
 回路XLDは、一例として、配線XLS[1]乃至配線XLS[m]を介して、回路MP[1,1]乃至回路MP[m,n]のそれぞれに対して、ニューロンN (k−1)乃至ニューロンN (k−1)から出力された演算値に相当する第2データz (k−1)乃至z (k−1)を供給する機能を有する。具体的には、回路XLDは、回路MP[i,1]乃至回路MP[i,n]に対して、ニューロンN (k−1)から出力された第2データz (k−1)に対応する情報(例えば、電位、電流値など)を、配線XLS[i]によって供給する。なお、配線XLS[i]が配置されている場合の例を示したが、本発明の一態様は、これに限定されない。例えば、図2の演算回路110において、配線XLS[i]を複数本の配線としてもよい。具体例として、図3には、演算回路110の回路MP[i,j]に電気的に接続されている配線XLS[i]を、配線X1L、配線X2Lの2本に置き換えた構成の演算回路120を示している。なお、配線XLS[i]が配置されている場合の例を示したが、本発明の一態様は、これに限定されない。配線XLS[i]の他に、例えば、配線XLS[i]に入力される信号の反転信号を送信する配線が別途配置されていてもよい。
<<回路WLD>>
 回路WLDは、一例として、回路ILDから入力される第1データに応じた情報(例えば、電位、抵抗値、電流値など)の書き込む先となる回路MPを選択する機能を有する。例えば、アレイ部ALPのi行目に位置する回路MP[i,1]乃至回路MP[i,n]に情報(例えば、電位、抵抗値、電流値など)の書き込みを行う場合、回路WLDは、例えば、回路MP[i,1]乃至回路MP[i,n]に含まれる書き込み用スイッチング素子をオン状態又はオフ状態にするための信号を配線WLS[i]に供給し、i行目以外の回路MPに含まれる書き込み用スイッチング素子をオフ状態にする電位を配線WLSに供給すればよい。なお、配線WLS[i]が配置されている場合の例を示したが、本発明の一態様は、これに限定されない。配線WLS[i]の他に、例えば、配線WLS[i]に入力される信号の反転信号を送信する配線が別途配置されていてもよい。
 なお、図2の演算回路110には、配線WLS[i]が配置されている構成例を示したが、本発明の一態様は、これに限定されない。例えば、配線WLS[i]を複数の配線として置き換えてもよい。また、例えば、図3の演算回路120の配線X1L[i]を、回路MP[i,1]乃至回路MP[i,n]に情報を書き込むための選択信号線として兼用してもよい。具体的には、図4に示す演算回路130のように、演算回路120の配線X1L[i]を配線WX1L[i]として、配線WX1Lは、回路WLDと、回路XLDと、に電気的に接続されていてもよい。なお、配線WX1L[i]に、回路MP[i,1]乃至回路MP[i,n]に含まれる書き込み用スイッチング素子をオン状態又はオフ状態にするための信号を回路WLDから供給する場合、回路XLDは、回路XLDと配線WX1Lとの間を非導通状態にする機能を有するのが好ましい。また、配線WX1L[i]を介して、ニューロンN (k−1)乃至ニューロンN (k−1)から出力された演算値に相当する第2データz (k−1)乃至z (k−1)の信号を回路XLDから回路MP[i,1]乃至回路MP[i,n]に供給する場合、回路WLDは、回路WLDと配線WX1Lとの間を非導通状態にする機能を有するのが好ましい。
<<回路AFP>>
 回路AFPは、一例としては、回路ACTF[1]乃至回路ACTF[n]を有する。回路ACTF[j]は、一例としては、配線OL[j]と、配線OLB[j]と、のそれぞれに電気的に接続されている。回路ACTF[j]は、一例としては、配線OL[j]と配線OLB[j]から入力されるそれぞれの情報(例えば、電位、電流値など)に応じた信号を生成する。一例としては、配線OL[j]と配線OLB[j]から入力されるそれぞれの情報(例えば、電位、電流値など)を比較し、その比較結果に応じた信号を生成する。当該信号は、ニューロンN (k)から出力される信号z (k)に相当する。つまり、回路ACTF[1]乃至回路ACTF[n]は、一例としては、上述したニューラルネットワークの活性化関数の演算を行う回路として機能する。ただし、本発明の一態様は、これに限定されない。例えば、回路ACTF[1]乃至回路ACTF[n]は、アナログ信号をデジタル信号に変換する機能を有していてもよい。又は、例えば、回路ACTF[1]乃至回路ACTF[n]は、アナログ信号を増幅して出力する機能、つまり、出力インピーダンスを変換する機能を有していてもよい。または、例えば、回路ACTF[1]乃至回路ACTF[n]は、電流、又は電荷を電圧に変換する機能を有していてもよい。または例えば、回路ACTF[j]は、配線OL[j]及び配線OLB[j]の電位を初期化する機能を有していてもよい。
 なお、図2乃至図4のそれぞれに示す演算回路110、演算回路120、演算回路130では、回路ACTFが配置されている場合の例を示したが、本発明の一態様は、これに限定されない。例えば、回路AFPには、回路ACTFが配置されていなくてもよい。
 次に、回路ACTF[1]乃至回路ACTF[n]について説明する。回路ACTF[1]乃至回路ACTF[n]は、一例として、図5Aに示す回路構成とすることができる。図5Aは、一例として、配線OL[j]、配線OLB[j]から入力された電流に応じて、信号z (k)を生成する回路である。具体的には、図5Aには、2値によって表される出力信号z (k)を出力する活性化関数の演算回路の一例を示している。
 図5Aにおいて、回路ACTF[j]は、一例として、抵抗RE、抵抗REB、比較器CMPを有する。抵抗RE、抵抗REBは、電流を電圧に変換する機能を有する。したがって、電流を電圧に変換する機能を有する素子または回路であれば、抵抗に限定されない。配線OL[j]は、抵抗REの第1端子と、比較器CMPの第1入力端子と、電気的に接続され、配線OLB[j]は、抵抗REBの第1端子と、比較器CMPの第2入力端子と、電気的に接続されている。また、抵抗REの第2端子は、配線VALに電気的に接続され、抵抗REBの第2端子は、配線VALに電気的に接続されている。なお、抵抗REの第2端子と抵抗REBの第2端子とは、同一の配線に接続されていてもよい。または、電位が同じである別の配線に接続されていてもよい。
 抵抗RE、抵抗REBのそれぞれの抵抗値は、互いに等しいことが好ましい。例えば、抵抗RE、抵抗REBのそれぞれの抵抗値の差は、抵抗REの抵抗値の10%以内、より好ましくは、5%以内に収まっていることが望ましい。ただし、本発明の一態様は、これに限定されない。場合によっては、又は、状況に応じて、抵抗RE、抵抗REBのそれぞれの抵抗値は互いに異なる値としてもよい。
 配線VALは、一例としては、定電圧を与える配線として機能する。当該定電圧としては、例えば、高レベル電位であるVDD、低レベル電位であるVSS、接地電位(GND)などとすることができる。また、当該定電圧は、回路MPの構成に応じて、適宜設定するのが好ましい。また、例えば、配線VALには、定電圧ではなく、パルス信号が供給されていてもよい。
 抵抗REの第1端子と第2端子との間の電圧は、配線OL[j]から流れてくる電流に応じて定まる。このため、比較器CMPの第1入力端子には、抵抗REの抵抗値と当該電流に応じた電圧が入力される。同様に、抵抗REBの第1端子と第2端子との間の電圧は、配線OLB[j]から流れてくる電流に応じて定まる。このため、比較器CMPの第2入力端子には、抵抗REBの抵抗値と当該電流に応じた電圧が入力される。
 比較器CMPは、一例としては、第1入力端子、第2入力端子のそれぞれに入力された電圧を比較して、その比較結果に応じて、比較器CMPの出力端子から信号を出力する機能を有する。例えば、比較器CMPは、第1入力端子に入力された電圧よりも第2入力端子に入力された電圧が高い場合に、高レベル電位を比較器CMPの出力端子から出力し、第2入力端子に入力された電圧よりも第1入力端子に入力された電圧が高い場合に、低レベル電位を比較器CMPの出力端子から出力することができる。つまり、比較器CMPの出力端子から出力される電位は、高レベル電位と低レベル電位の2通りであるため、回路ACTF[j]が出力する出力信号z (k)は2値とすることができる。例えば、比較器CMPの出力端子から出力される高レベル電位、低レベル電位のそれぞれは、出力信号z (k)として“+1”、“−1”に対応することができる。また、場合によっては、比較器CMPの出力端子から出力される高レベル電位、低レベル電位のそれぞれは、出力信号z (k)として“+1”、“0”と対応してもよい。
 また、図5Aの回路ACTF[j]では、抵抗RE、抵抗REBを用いたが、電流を電圧に変換する機能を有する素子または回路であれば、抵抗に限定されない。そのため、図5Aの回路ACTF[j]の抵抗RE、抵抗REBは、別の回路素子に置き換えることができる。例えば、図5Bに示す回路ACTF[j]は、図5Aの回路ACTF[j]に含まれる抵抗RE、抵抗REBを、容量CE、容量CEBに置き換えた回路であり、図5Aの回路ACTF[j]とほぼ同様の動作を行うことができる。なお、容量CE、容量CEBのそれぞれの静電容量の値は、互いに等しいことが好ましい。例えば、容量CE、容量CEBのそれぞれの静電容量の値の差は、容量CEの静電容量値の10%以内、より好ましくは、5%以内に収まっていることが望ましい。ただし、本発明の一態様は、これに限定されない。なお、容量CE、容量CEBに蓄積された電荷を初期化する回路が設けられていてもよい。例えば、容量CEと並列に、スイッチが設けられていてもよい。つまり、スイッチの第2端子が、配線VALに接続され、スイッチの第1端子が、容量CEの第1端子、配線OL[j]、および、比較器CMPの第1入力端子と接続されていてもよい。または、スイッチの第2端子が、配線VALとは異なる配線に接続され、スイッチの第1端子が、容量CEの第1端子、配線OL[j]、および、比較器CMPの第1入力端子と接続されていてもよい。また、図5Cに示す回路ACTF[j]は、図5Aの回路ACTF[j]に含まれる抵抗RE、抵抗REBを、ダイオード素子DE、ダイオード素子DEBに置き換えた回路であり、図5Aの回路ACTF[j]とほぼ同様の動作を行うことができる。ダイオード素子DE、ダイオード素子DEBの向き(アノードとカソードの接続箇所)は、配線VALの電位の大きさにより、適宜変更することが望ましい。
 また、図5A乃至図5Cの回路ACTF[j]に含まれる比較器CMPは、一例として、オペアンプOPに置き換えることができる。図5Dに示す回路ACTF[j]は、図5Aの回路ACTF[j]の比較器CMPをオペアンプOPに置き換えた回路図を示している。
 また、図5Bの回路ACTF[j]にスイッチS01a、スイッチS01bを設けてもよい。これにより、回路ACTF[j]は、容量CE、容量CEBのそれぞれに配線OL[j]、配線OLB[j]から入力された電流に応じた電位を保持することができる。その具体的な回路の一例としては、図5Eに示すとおり、スイッチS01aの第1端子に配線OL[j]が電気的に接続され、スイッチS01aの第2端子に容量CEの第1端子と比較器CMPの第1入力端子とが電気的に接続され、スイッチS01bの第1端子に配線OLB[j]が電気的に接続され、スイッチS01bの第2端子に容量CEBの第1端子と比較器CMPの第2入力端子とが電気的に接続された構成とすればよい。図5Eの回路ACTF[j]において、比較器CMPの第1入力端子、第2入力端子のそれぞれに配線OL[j]、配線OLB[j]の電位を入力するとき、スイッチS01a、スイッチS01bのそれぞれをオン状態にすることによって行うことができる。また、その後、スイッチS01a、スイッチS01bのそれぞれをオフ状態にすることによって、比較器CMPの第1入力端子、第2入力端子のそれぞれに入力された電位を容量CE、容量CEBに保持することができる。なお、スイッチS01a、スイッチS01bとしては、例えば、アナログスイッチ、トランジスタなどの電気的なスイッチを適用することができる。また、スイッチS01a、スイッチS01bとしては、例えば、機械的なスイッチを適用してもよい。なお、スイッチS01a、スイッチS01bにトランジスタを適用する場合、当該トランジスタは、OSトランジスタ、またはチャネル形成領域にシリコンを有するトランジスタ(以後、Siトランジスタと呼称する。)とすることができる。または、スイッチS01a、スイッチS01bのそれぞれをオン状態にしておく期間を制御することにより、容量CE、容量CEBの電圧値を制御することができる。例えば、容量CE、容量CEBに流れる電流値が大きい場合には、スイッチS01a、スイッチS01bのそれぞれをオン状態にしておく期間を短くしておくことにより、容量CE、容CEBの電圧値が大きくなりすぎることを防ぐことができる。
 また、図5A乃至図5C、図5Eの回路ACTF[j]に含まれる比較器CMPは、例えば、チョッパ型の比較器とすることができる。図5Fに示す比較器CMPは、チョッパ型の比較器を示しており、比較器CMPはスイッチS02a、スイッチS02b、スイッチS03と、容量CCと、インバータ回路INV3と、を有する。なお、スイッチS02a、スイッチS02b、スイッチS03は、前述したスイッチS01a、スイッチS01bと同様に、機械的なスイッチ、OSトランジスタ、Siトランジスタなどのトランジスタとすることができる。
 スイッチS02aの第1端子は、端子VinTに電気的に接続され、スイッチS02bの第1端子は、端子VrefTに電気的に接続され、スイッチS02aの第2端子は、スイッチS02bの第2端子と、容量CCの第1端子と、に電気的に接続されている。容量CCの第2端子は、インバータ回路INV3の入力端子と、スイッチS03の第1端子と、に電気的に接続されている。端子VoutTは、インバータ回路INV3の出力端子と、スイッチS03の第2端子と、に電気的に接続されている。
 端子VinTは、比較器CMPに入力電位を入力するための端子として機能し、端子VrefTは、比較器CMPに参照電位を入力するための端子として機能し、端子VoutTは、比較器CMPから出力電位を出力するための端子として機能する。なお、端子VinTは、図5A乃至図5C、図5Eの比較器CMPの第1端子又は第2端子の一方に対応し、端子VrefTは、図5A乃至図5C、図5Eの比較器CMPの第1端子又は第2端子の他方に対応することができる。
 図5A乃至図5Eの回路ACTF[j]は、2値によって表される出力信号z (k)を出力する活性化関数の演算回路であるが、回路ACTF[j]は出力信号z (k)を3値以上、又はアナログ値として出力する構成としてもよい。
 図6A乃至図6Fは、配線OL[j]、配線OLB[j]から入力された電流に応じて、信号z (k)を生成する回路であり、3値によって表される出力信号z (k)を出力する活性化関数の演算回路の一例を示している。
 図6Aに示す回路ACTF[j]は、抵抗RE、抵抗REB、比較器CMPa、比較器CMPbを有する。配線OL[j]は、抵抗REの第1端子と、比較器CMPaの第1入力端子と、電気的に接続され、配線OLB[j]は、抵抗REBの第1端子と、比較器CMPbの第1入力端子と、電気的に接続されている。また、比較器CMPaの第2入力端子と、比較器CMPbの第2入力端子と、は、配線VrefLに電気的に接続されている。更に、抵抗REの第2端子は、配線VALに電気的に接続され、抵抗REBの第2端子は、配線VALに電気的に接続されている。
 配線VrefLは、定電圧Vrefを与える電圧線として機能し、Vrefは、例えば、GND以上、VDD以下であることが好ましい。また、状況に応じて、Vrefは、GND未満の電位、又はVDDより高い電位としてもよい。Vrefは、比較器CMPa、比較器CMPbにおける参照電位(比較用の電位)として扱われる。
 抵抗REの第1端子と第2端子との間の電圧は、配線OL[j]から流れてくる電流に応じて定まる。このため、比較器CMPaの第1入力端子には、抵抗REの抵抗値と当該電流に応じた電圧が入力される。同様に、抵抗REBの第1端子と第2端子との間の電圧は、配線OLB[j]から流れてくる電流に応じて定まる。このため、比較器CMPbの第1入力端子には、抵抗REBの抵抗値と当該電流に応じた電圧が入力される。
 比較器CMPaは、第1入力端子、第2入力端子のそれぞれに入力された電圧を比較して、その比較結果に応じて、比較器CMPaの出力端子から信号を出力する。例えば、比較器CMPaは、第1入力端子に入力された電圧よりも第2入力端子に入力された電圧(Vref)が高い場合に、高レベル電位を比較器CMPaの出力端子から出力し、第2入力端子に入力された電圧(Vref)よりも第1入力端子に入力された電圧が高い場合に、低レベル電位を比較器CMPaの出力端子から出力することができる。
 比較器CMPbは、比較器CMPaと同様に、第1入力端子、第2入力端子のそれぞれに入力された電圧を比較して、その比較結果に応じて、比較器CMPbの出力端子から信号を出力する。例えば、比較器CMPbは、第1入力端子に入力された電圧よりも第2入力端子に入力された電圧(Vref)が高い場合に、高レベル電位を比較器CMPbの出力端子から出力し、第2入力端子に入力された電圧(Vref)よりも第1入力端子に入力された電圧が高い場合に、低レベル電位を比較器CMPbの出力端子から出力することができる。
 このとき、比較器CMPa、比較器CMPbのそれぞれの出力端子から出力された電位は、例えば、3値の出力信号z (k)として表すことができる。例えば、比較器CMPaの出力端子から高レベル電位が出力され、比較器CMPbの出力端子から低レベル電位が出力された場合、出力信号z (k)は“+1”とし、比較器CMPaの出力端子から低レベル電位が出力され、比較器CMPbの出力端子から高レベル電位が出力された場合、出力信号z (k)は“−1”とし、比較器CMPaの出力端子から低レベル電位が出力され、比較器CMPbの出力端子から低レベル電位が出力された場合、出力信号z (k)は“0”とすることができる。
 また、回路ACTF[j]は、図6Aに示した回路構成に限定されず、状況に応じて、変更することができる。例えば、図6Aの回路ACTF[j]において、比較器CMPa、比較器CMPbの2つの出力結果を、1つの信号としてまとめたい場合、回路ACTF[j]に変換回路TRFを設ければよい。図6Bの回路ACTF[j]は、図6Aの回路ACTF[j]に変換回路TRFを設けた構成例であり、比較器CMPa、比較器CMPbのそれぞれの出力端子は、変換回路TRFの入力端子に電気的に接続されている。変換回路TRFの具体的な例としては、デジタルアナログ変換回路(この場合、信号z (k)はアナログ値となる。)などとすることができる。
 また、例えば、図6Aにおいて、比較器CMPa、比較器CMPbのそれぞれの第2入力端子に電気的に接続されている配線VrefLを、配線Vref1L、配線Vref2Lの別々の配線に置き換えてもよい。図6Cの回路ACTF[j]は、図6Aの回路ACTF[j]に含まれている比較器CMPaの第2入力端子が配線VrefLでなく配線Vref1Lと電気的に接続され、比較器CMPbの第2入力端子が配線VrefLでなく配線Vref2Lと電気的に接続された構成となっている。配線Vref1L、配線Vref2Lに入力される電位を互いに異なる値にすることによって、比較器CMPa、比較器CMPbにおける参照電位を別々に設定することができる。
 また、例えば、図6A乃至図6Cの回路ACTF[j]とは別の構成として、増幅回路、または、インピーダンス変換回路などを用いてもよい。例えば、図6Dに示す回路ACTF[j]を図2の演算回路110の回路AFPに適用することができる。図6Dの回路ACTF[j]は、抵抗RE、抵抗REB、オペアンプOPa、オペアンプOPbを有しており、増幅回路として機能する。
 配線OL[j]は、抵抗REの第1端子と、オペアンプOPaの非反転入力端子と、電気的に接続され、配線OLB[j]は、抵抗REBの第1端子と、オペアンプOPbの非反転入力端子と、電気的に接続されている。また、オペアンプOPaの反転入力端子は、オペアンプOPaの出力端子に電気的に接続され、オペアンプOPbの反転入力端子は、オペアンプOPbの出力端子に電気的に接続されている。更に、抵抗REの第2端子は、配線VALに電気的に接続され、抵抗REBの第2端子は、配線VALに電気的に接続されている。
 つまり、図6Dの回路ACTF[j]に含まれているオペアンプOPa、オペアンプOPbはボルテージフォロワの接続構成となっている。これによって、オペアンプOPaの出力端子から出力される電位は、オペアンプOPaの非反転入力端子に入力された電位とほぼ等しくなり、オペアンプOPbの出力端子から出力される電位は、オペアンプOPbの非反転入力端子に入力された電位とほぼ等しくなる。この場合、出力信号z (k)は、2つのアナログ値として回路ACTF[j]から出力される。なお、オペアンプOPaの出力端子と、オペアンプOPbの出力端子とを、比較器CMPの入力端子にそれぞれ接続してもよい。そして、比較器CMPからの出力を出力信号z (k)としてもよい。
 また、例えば、図6A乃至図6Dの回路ACTF[j]とは別の構成として、積分回路、または、電流電圧変換回路などを用いてもよい。さらに、オペアンプを用いて、積分回路、または、電流電圧変換回路を構成してもよい。一例として、図6Eに示す回路ACTF[j]を図2の演算回路110の回路AFPに適用することができる。図6Eの回路ACTF[j]は、オペアンプOPa、オペアンプOPb、負荷LEa、負荷LEbを有する。
 配線OL[j]は、オペアンプOPaの第1入力端子(例えば、反転入力端子)と、負荷LEaの第1端子と、に電気的に接続され、配線OLB[j]は、オペアンプOPbの第1入力端子(例えば、反転入力端子)と、負荷LEbの第1端子と、電気的に接続されている。また、オペアンプOPaの第2入力端子(例えば、非反転入力端子)は、配線Vref1Lに電気的に接続され、オペアンプOPbの第2入力端子(例えば、非反転入力端子)は、配線Vref2Lに電気的に接続されている。負荷LEaの第2端子は、オペアンプOPaの出力端子に電気的に接続され、負荷LEbの第2端子は、オペアンプOPbの出力端子に電気的に接続されている。
 なお、ここでの配線Vref1L、配線Vref2Lは、互いに等しい電圧、又は異なる電圧を供給する配線として機能する。したがって、配線Vref1L、配線Vref2Lは、1本の配線にまとめることができる場合がある。
 図6Eの回路ACTF[j]において、負荷LEa、負荷LEbとしては、例えば、抵抗、容量とすることができる。特に、負荷LEa、負荷LEbとして容量を用いることによって、オペアンプOPaと負荷LEa、オペアンプOPbと負荷LEb、はそれぞれ積分回路として機能する。つまり、配線OL[j]または配線OLB[j]に流れる電流量に応じて、それぞれの容量(負荷LEa、負荷LEb)に電荷が蓄えられる。つまり、配線OL[j]、配線OLB[j]から流れる電流は、積分回路によって、積分された電流量が電圧に変換されて、信号z (k)として出力される。なお、オペアンプOPaの出力端子と、オペアンプOPbの出力端子とを、比較器CMPの入力端子にそれぞれ接続してもよい。そして、比較器CMPからの出力を出力信号z (k)としてもよい。なお、負荷LEa、負荷LEbの容量に蓄積された電荷を初期化する回路が設けられていてもよい。例えば、負荷LEa(容量)と並列に、スイッチが設けられていてもよい。つまり、スイッチの第2端子が、オペアンプOPaの出力端子に接続され、スイッチの第1端子が、配線OL[j]、および、オペアンプOPaの第1入力端子(例えば、反転入力端子)と接続されていてもよい。
 また、図6Eの回路ACTF[j]において、配線OL[j]、配線OLB[j]から流れる電流を電圧に変換して出力したい場合、負荷LEa、負荷LEbとしては、容量以外としては抵抗を用いることができる。
 また、例えば、図6A乃至図6Eの回路ACTF[j]とは別の構成として、図6Fに示す回路ACTF[j]を図2の演算回路110の回路AFPに適用することができる。図6Fの回路ACTF[j]は、抵抗RE、抵抗REB、アナログデジタル変換回路ADCa、アナログデジタル変換回路ADCbを有する。
 配線OL[j]は、アナログデジタル変換回路ADCaの入力端子と、抵抗REの第1端子と、に電気的に接続され、配線OLB[j]は、アナログデジタル変換回路ADCbの入力端子と、抵抗REBの第1端子と、に電気的に接続されている。抵抗REの第2端子は、配線VALに電気的に接続され、抵抗REBの第2端子は、配線VALに電気的に接続されている。
 図6Fの回路ACTF[j]において、配線OL[j]、OLB[j]から流れる電流に応じて、抵抗RE、抵抗REBのそれぞれの第1端子の電位が定められる。そして、回路ACTF[j]は、アナログ値である当該電位をアナログデジタル変換回路ADCa、アナログデジタル変換回路ADCbによって、2値、又は3値以上(例えば、256値など)のデジタル値に変換して、信号z (k)として出力する機能を有する。
 なお、図6A乃至図6D、図6Fに示した抵抗RE、抵抗REBは、図5B、図5Cと同様に、容量CE、容量CEB、又はダイオード素子DE、ダイオード素子DEBに置き換えることができる。特に、図6A乃至図6D、図6Fに示した抵抗RE、抵抗REBを容量CE、容量CEBに置き換えた場合、さらに図5Eと同様にスイッチS01a、スイッチS01bを設けることで、配線OL[j]、配線OLB[j]から入力された電位を保持することができる。
 なお、図2乃至図4のそれぞれに示す演算回路110、演算回路120、演算回路130では、配線IL、配線ILB、配線OL、配線OLBを配置した場合の例を示したが、本発明の一態様は、これに限定されない。例えば、演算回路110、演算回路120、演算回路130のそれぞれは、配線ILと配線OLとは一本の配線としてまとめ、かつ配線ILBと配線OLBとは一本の配線としてまとめた構成としてもよい。図7はその具体的な構成を示している。図7に示す演算回路140は、切り替え回路TW[1]乃至切り替え回路TW[n]を有する。
 切り替え回路TW[1]乃至切り替え回路TW[n]のそれぞれは、端子TSaと、端子TSaBと、端子TSbと、端子TSbBと、端子TScと、端子TScBと、を有する。
 端子TSaは配線OL[j]に電気的に接続され、端子TSbは回路ILDに電気的に接続され、端子TScは回路ACTF[j]に電気的に接続されている。端子TSaBは配線OLB[j]に電気的に接続され、端子TSbBは回路ILDに電気的に接続され、端子TScBは回路ACTF[j]に電気的に接続されている。
 切り替え回路TW[j]は、端子TSaと、端子TSb又は端子TScの一方との間を導通状態にし、端子TSaと、端子TSb又は端子TScの他方との間を非導通状態にする機能を有する。また、切り替え回路TW[j]は、端子TSaBと、端子TSbB又は端子TScBの一方との間を導通状態にし、端子TSaBと、端子TSbB又は端子TScBの他方との間を非導通状態にする機能を有する。
 つまり、回路MP[1,j]乃至回路MP[m,j]のいずれか一に重み係数である第1データw (k−1) (k)乃至w (k−1) (k)に対応する情報(例えば、電位、抵抗値、電流値など)を入力したい場合、切り替え回路TW[j]において、端子TSaと端子TSbとの間を導通状態にし、かつ端子TSaBと端子TSbBとの間を導通状態にすることで、回路ILDから配線OL[j]、又は配線OLB[j]を介して回路MP[1,j]乃至回路MP[m,j]のいずれか一に第1データw (k−1) (k)乃至w (k−1) (k)に対応する情報(例えば、電位、抵抗値、電流値など)を供給することができる。
 また、回路ACTF[j]が回路MP[1,j]乃至回路MP[m,j]によって計算された、重み係数とニューロンの信号との積和(式(1.2))の結果を取得したい場合、切り替え回路TW[j]において、端子TSaと端子TScとの間を導通状態にし、かつ端子TSaBと端子TScBとの間を導通状態にすることで、配線OL[j]、配線OLB[j]から回路ACTF[j]に積和の結果に応じた情報(例えば、電位、電流値など)を供給することができる。また、回路ACTF[j]において、入力された積和の結果から活性化関数の値が計算されて、ニューロンの出力信号として信号z (k)を得ることができる。
 次に、演算回路140に含まれる切り替え回路TW[j]と、回路ILDと、について説明する。図8Aには、演算回路140に適用することができる、切り替え回路TW[j]と、回路ILDと、の構成例を示している。なお、図8Aでは、切り替え回路TW[j]と、回路ILDと、の電気的な接続の構成を示すため、配線OL[j]と、配線OLB[j]と、回路AFPと、も図示している。
 切り替え回路TW[j]は、一例として、スイッチSWIと、スイッチSWIBと、スイッチSWOと、スイッチSWOBと、スイッチSWLと、スイッチSWLBと、スイッチSWHと、スイッチSWHBと、を有する。
 回路ILDは、一例として、電流源回路ISCを有する。ただし、本発明の一態様は、これに限定されない。例えば、電流源回路ISCを有さず、その代わりに、電圧源回路を配置してもよい。電流源回路ISCは、配線OL[j]、及び/又は配線OLB[j]に対して、回路MPに入力する重み係数(第1データ)に応じた電流を流す機能を有する。なお、電流源回路ISCは、配線OL[j]のための回路と、配線OLB[j]のための回路として、それぞれ別々の回路として、少なくとも1個ずつ配置されていてもよい。または、図8Aに示すように、配線OL[j]、および、配線OLB[j]という一組の配線に対して、少なくとも1個の電流源回路ISCを有していてもよい。
 また、電流源回路ISCは、一つ又は複数の定電流源を有しており、図8Aでは、一例として、複数の定電流源として、定電流源回路ISC1と、定電流源回路ISC2と、定電流源回路ISC3と、を有する。また、電流源回路ISCは、一例として、複数の定電流源を選択するために、複数のスイッチを有しており、図8Aでは、複数のスイッチとして、スイッチSWC1と、スイッチSWC2と、スイッチSWC3と、を有する。なお、電流源回路ISCが1つの定電流源のみを有する場合、電流源回路ISCはスイッチを有さなくてもよい。または、定電流源回路ISC1と、定電流源回路ISC2と、定電流源回路ISC3とが、それぞれ、電流を出力するか否かを制御する機能を有する場合には、スイッチSWC1と、スイッチSWC2と、スイッチSWC3は、設けなくてもよい。
 ところで、配線OL[j]、配線OLB[j]のそれぞれに流す電流は、図8Aに示すとおり、同じ電流源回路ISCで生成されることが好ましい。配線OL[j]、配線OLB[j]のそれぞれに流す電流を異なる電流源回路で生成する場合、トランジスタの作製工程時などを起因とする当該トランジスタの特性のバラつきが生じることがあるため、異なる電流源回路同士では性能に差が現れることがある。一方、同一の電流源回路を用いる場合には、配線OL[j]と、配線OLB[j]とに、同じ大きさの電流を供給することが可能となり、演算精度を向上させることができる。
 なお、図8Aで説明するスイッチSWI、スイッチSWIB、スイッチSWO、スイッチSWOB、スイッチSWL、スイッチSWLB、スイッチSWH、スイッチSWHB、スイッチSWC1、スイッチSWC2、スイッチSWC3としては、例えば、スイッチS01a、及びスイッチS01bと同様に、アナログスイッチ、トランジスタなどの電気的なスイッチ、機械的なスイッチなどを適用することができる。
 切り替え回路TW[j]の一例において、端子TSaは、スイッチSWIの第1端子と、スイッチSWOの第1端子と、スイッチSWLの第1端子と、スイッチSWHの第1端子と、に電気的に接続されている。端子TSaBは、スイッチSWIBの第1端子と、スイッチSWOBの第1端子と、スイッチSWLBの第1端子と、スイッチSWHBの第1端子と、に電気的に接続されている。スイッチSWIの第2端子は、端子TSb1に電気的に接続されている。スイッチSWIBの第2端子は、端子TSbB1に電気的に接続されている。スイッチSWOの第2端子は、端子TScに電気的に接続されている。スイッチSWOBの第2端子は、端子TScBに電気的に接続されている。スイッチSWLの第2端子は、端子TSb2に電気的に接続されている。スイッチSWLBの第2端子は、端子TSbB2に電気的に接続されている。スイッチSWHの第2端子は、端子TSb3に電気的に接続されている。スイッチSWHBの第2端子は、端子TSbB3に電気的に接続されている。
 図8Aに図示している端子TSb1、端子TSb2、端子TSb3は、図7に図示している端子TSbに相当する。また、図8Aに図示している端子TSbB1、端子TSbB2、端子TSbB3は、図7に図示している端子TSbBに相当する。
 回路ILDに含まれている電流源回路ISCにおいて、端子TSb1は、スイッチSWC1の第1端子と、スイッチSWC2の第1端子と、スイッチSWC3の第1端子と、に電気的に接続されている。また、端子TSbB1は、スイッチSWC1の第1端子と、スイッチSWC2の第1端子と、スイッチSWC3の第1端子と、に電気的に接続されている。スイッチSWC1の第2端子は、定電流源回路ISC1の出力端子に電気的に接続され、スイッチSWC2の第2端子は、定電流源回路ISC2の出力端子に電気的に接続され、スイッチSWC3の第2端子は、定電流源回路ISC3の出力端子に電気的に接続されている。定電流源回路ISC1の入力端子と、定電流源回路ISC2の入力端子と、定電流源回路ISC3の入力端子と、のそれぞれは、配線VSOに電気的に接続されている。
 なお、図8Aでは、定電流源回路ISC1、定電流源回路ISC2、定電流源回路ISC3のそれぞれは、出力端子がそれぞれのスイッチの端子に電気的に接続され、入力端子が配線VSOに電気的に接続されている構成となっているが、本発明の一態様はこれに限定されない。例えば、定電流源回路ISC1、定電流源回路ISC2、定電流源回路ISC3のそれぞれは、入力端子がそれぞれのスイッチの端子に電気的に接続され、出力端子を配線VSOに電気的に接続されている構成としてもよい。なお、回路MPから電流を出力する前に、配線OL[j]、配線OLB[j]に定電位を入力するために、配線VCN2を配置してもよい。配線VCN2は、スイッチSWHを介して、配線OL[j]と接続されている。また、配線VCN2は、スイッチSWHBを介して、配線OLB[j]と接続されている。配線VCN2は、後述する配線VCNとは異なる電位を供給することができる。例えば、配線VCNに、VSS、または、接地電位が供給されている場合には、配線VCN2には、VDDなどが供給されていてもよい。配線OL[j]、配線OLB[j]に配線VCN2の定電位を与えることによって、回路MPに含まれる各回路素子に当該定電位を与えることができる。
 定電流源回路ISC1、定電流源回路ISC2、定電流源回路ISC3の具体的な構成例を図8B、及び図8Cに示す。図8Bに示す定電流源回路ISC1(定電流源回路ISC2、定電流源回路ISC3)は、pチャネル型トランジスタを有し、当該トランジスタの第1端子は、配線VSOに電気的に接続され、当該トランジスタの第2端子は、スイッチSWC1(スイッチSWC2、スイッチSWC3)の第2端子に電気的に接続され、当該トランジスタのゲートは、配線VBに電気的に接続されている。また、図8Cに示す定電流源回路ISC1(定電流源回路ISC2、定電流源回路ISC3)は、nチャネル型トランジスタを有し、当該トランジスタの第1端子は、配線VSOに電気的に接続され、当該トランジスタの第2端子は、スイッチSWC1(スイッチSWC2、スイッチSWC3)の第2端子に電気的に接続され、当該トランジスタのゲートは、配線VBに電気的に接続されている。図8B、及び図8Cのそれぞれの定電流源回路ISC1(定電流源回路ISC2、定電流源回路ISC3)において、配線VBは、それぞれのトランジスタのゲートにバイアス電圧を入力するための配線として機能する。なお、配線VBに、パルス信号を供給してもよい。これにより、それぞれの定電流源回路から電流を出力するか否かを制御することができる。その場合、スイッチSWC1と、スイッチSWC2と、スイッチSWC3は、設けなくてもよい。または、配線VBに、アナログ電圧を供給してもよい。これにより、定電流源回路から、アナログ電流を供給することができる。
 配線VSOは、定電流源回路ISC1、定電流源回路ISC2、定電流源回路ISC3のそれぞれに対して、定電圧を供給する配線として機能する。例えば、回路ILDから、切り替え回路TW[j]を介して配線OL又は配線OLBに電流を供給する場合、当該定電圧としては、接地電位よりも高い電位(例えば、VDDなど。)とするのが好ましく、更に、図8Bに示す定電流源回路ISC1(定電流源回路ISC2、定電流源回路ISC3)を用いるのが好ましい。また、例えば、回路ILDから、切り替え回路TW[j]を介して配線OL又は配線OLBに電流を供給する場合、当該定電圧としては、接地電位よりも高く当該高レベル電位よりも低い電位、接地電位などとするのが好ましく、更に、図8Cに示す定電流源回路ISC1(定電流源回路ISC2、定電流源回路ISC3)を用いるのが好ましい。なお、本明細書において、回路ILDから、切り替え回路TW[j]を介して配線OL又は配線OLBに流れる電流を正の電流と記載する場合がある。そのため、配線OL又は配線OLBから、切り替え回路TW[j]を介して回路ILDに流れる電流を負の電流と記載する場合がある。
 また、定電流源回路ISC1、定電流源回路ISC2、定電流源回路ISC3に適用できる、図8B、及び図8C以外の回路としては、例えば、図8Dに示す回路構成が挙げられる。図8Dに示す定電流源回路ISC1(定電流源回路ISC2、定電流源回路ISC3)は、バックゲートを有するnチャネル型トランジスタを有し、当該トランジスタの第1端子は、配線VSOに電気的に接続され、当該トランジスタの第2端子は、当該トランジスタのゲート及びバックゲートと、スイッチSWC1(スイッチSWC2、スイッチSWC3)の第2端子に電気的に接続されている。
 ここで、配線VSOが与える定電圧を高レベル電位としたとき、図8Dに図示されたトランジスタの第1端子には高レベル電位が入力される。また、当該トランジスタの第2端子の電位は、当該高レベル電位よりも低い電位とする。このとき、当該トランジスタの第1端子はドレインとして機能し、当該トランジスタの第2端子はソースとして機能する。また、当該トランジスタのゲート、及び第2端子は、互いに電気的に接続されているため、当該トランジスタのゲート−ソース間電圧は0Vとなる。このため、当該トランジスタのしきい値電圧が適切な範囲内である場合、当該トランジスタはサブスレッショルド領域で動作し、当該トランジスタの第1端子−第2端子間には、サブスレッショルド領域の電流(ドレイン電流)が流れる。当該電流の量としては、当該トランジスタがOSトランジスタである場合、例えば、1.0×10−8A以下であることが好ましく、また、1.0×10−12A以下であることがより好ましく、また、1.0×10−15A以下であることがより好ましい。また、例えば、当該電流はゲート−ソース間電圧に対して指数関数的に増大する範囲内であることがより好ましい。つまり、当該トランジスタは、サブスレッショルド領域で動作するときの電流範囲の電流を流すための電流源として機能する。
 または、図8Bの場合には、図8Bのトランジスタにおいて配線VSO側をソースであるとすると、配線VBの電位を、配線VSOの電位と同じ、または、配線VSOの電位よりも高くしてもよい。つまり、ゲート−ソース間電圧の絶対値を小さくすることにより、サブスレッショルド領域で動作させることが可能となる。または、ゲート−ソース間電圧を正の値にすること、又はしきい値電圧よりも大きな電圧にすることにより、サブスレッショルド領域で動作させることが可能となる。ただし、本発明の一態様はこれに限定されない。例えば、図8Bに示すトランジスタを飽和領域で動作させてもよい。または、図8Bに示すトランジスタを飽和領域とサブスレッショルド領域の境界付近で動作させてもよい。
 ところで、本明細書などにおいて、飽和領域とサブスレッショルド領域の境界付近としては、例えば、トランジスタのしきい値電圧をVthとしたとき、ゲートソース間電圧がVth−1.0V以上、Vth−0.5V以上、又はVth−0.1V以上であり、かつVth+0.1V以下、Vth+0.5V以下、又はVth+1.0V以下である場合を含むものとする。なお、上述した下限値、上限値は互いに組み合わせることができるものとする。
 次に、図8Cの場合にも、図8Bの場合と同様である。つまり、図8Cの場合には、図8Cのトランジスタにおいて配線VSO側をソースであるとすると、配線VBの電位を、配線VSOの電位と同じ、または、配線VSOの電位よりも低くしてもよい。つまり、ゲート−ソース間電圧の絶対値を小さくすることにより、サブスレッショルド領域で動作させることが可能となる。または、ゲート−ソース間電圧を負の値にすること、しきい値電圧よりも小さな電圧にすることにより、サブスレッショルド領域で動作させることが可能となる。ただし、本発明の一態様はこれに限定されない。例えば、図8Cに示すトランジスタを飽和領域で動作させてもよい。または、図8Cに示すトランジスタを飽和領域とサブスレッショルド領域の境界付近で動作させてもよい。
 ところで、定電流源回路ISC1が流す電流をIutとしたとき、一例としては、定電流源回路ISC2が流す電流は2Iutとすることが好ましく、定電流源回路ISC3が流す電流は4Iutとすることが好ましい。つまり、電流源回路ISCが、P個(Pは1以上の整数である。)の定電流源を有する場合、p番目(pは1以上P以下の整数である。)の定電流源が流す電流は、2(p−1)×Iutとするのが好ましい。このようにして、電流源回路ISCから流れる電流の大きさを変更することができる。
 例えば、電流源回路ISCの定電流源の個数を3個(P=3)とする。配線OL[j]にIutの電流を流したい場合は、スイッチSWIをオン状態、スイッチSWIBをオフ状態にした上で、スイッチSWC1をオン状態にし、スイッチSWC2、スイッチSWC3をオフ状態にすればよい。また、配線OL[j]に5Iutの電流を流したい場合は、スイッチSWC1、スイッチSWC3をオン状態にし、スイッチSWC2をオフ状態にすればよい。つまり、電流源回路ISCから出力される電流は、8値(“0”、“Iut”、“2Iut”、“3Iut”、“4Iut”、“5Iut”、“6Iut”、“7Iut”)のいずれか一とすることができる。なお、8値よりも大きな値の電流を出力したい場合には、定電流源の個数を4個以上にすればよい。また、同様に、スイッチSWIをオフ状態、スイッチSWIBをオン状態にすることによって、配線OLB[j]に8値のいずれか一の電流を流すことができる。なお、電流源回路ISCから電流の出力をしない場合、電流源回路ISCのスイッチSWC1乃至スイッチSWC3をオフ状態にせず、切り替え回路TWのスイッチSWI、スイッチSWIBをオフ状態にしてもよい。このように複数の定電流源を配置することにより、電流源回路ISCは、各スイッチのオン状態、オフ状態の切り替えを行う制御信号(デジタル値)に応じた電流量を出力することができる。換言すると、電流源回路ISCは、当該制御信号から電流量へのデジタルアナログ(DA)変換を行っているということができる。なお、電流源回路を、当該電流源回路から出力される電流値をアナログ値として自由に変更できるような構成として、回路ILDは当該電流源回路を1個のみ有する構成としてもよい。
 ただし、上記の例では、電流源回路ISCが、P個の定電流源を有する場合、p番目の定電流源が流す電流は、2(p−1)×Iutとして説明したが、本発明の一態様はこれに限定されない。例えば、定電流源回路ISC1が流す電流、定電流源回路ISC2が流す電流、定電流源回路ISC3が流す電流の大きさを、全て同じ大きさにしてもよい。例えば、電流源回路ISCから出力される電流を、8値とする場合、電流源回路ISCの中の定電流源の個数を7個(P=7)として、電流源回路ISCの中の定電流源の電流の大きさを全て同じにして、何個の電流源から電流を出力するのかを制御することにより、電流源回路ISCから出力される電流の大きさを制御してもよい。
 また、回路ILDにおいて、端子TSb2は、配線VCNに電気的に接続され、端子TSbB2は、配線VCNに電気的に接続されている。
 配線VCNは、配線OL[j]及び/又は配線OLB[j]に対して、定電圧を供給する配線として機能する。例えば、回路ILDから、切り替え回路TW[j]を介して配線OL又は配線OLBに電流(正の電流)を供給する場合、配線VCNが与える定電圧としては、低レベル電位(例えばVSSなど。)とすることが好ましい。また、例えば、配線OL又は配線OLBから、切り替え回路TW[j]を介して回路ILDに電流(負の電流)を供給する場合、配線VCNが与える定電位としては、高レベル電位とすることが好ましい。なお、後述する図42乃至図45などに示すように、容量C3がトランジスタM1などのソース端子に接続され、そのソース端子が電源線などに接続されていない場合には、回路ILDから、切り替え回路TW[j]を介して配線OL又は配線OLBに正の電流を供給するとき、配線VCNが与える定電圧としては、高レベル電位(例えばVDDなど。)とすることが好ましい。つまり、配線VCNから定電圧を供給するときに、容量C3の両端の電位差がゼロに近くなるようにすることが望ましい。言い換えると、回路MCより、電流が出力されなくなるような電位を配線VCNに供給することが望ましい。
 また、回路ILDにおいて、端子TSb3は、配線VCN2に電気的に接続され、端子TSbB3は、配線VCN2に電気的に接続されている。
 配線VCN2は、配線OL[j]及び/又は配線OLB[j]に対して、定電圧を供給する配線として機能する。例えば、回路ILDから、切り替え回路TW[j]を介して配線OL又は配線OLBに電流(正の電流)を供給する場合、配線VCNが与える定電圧としては、高レベル電位(例えばVDDなど。)とするのが好ましい。また、例えば、配線OL又は配線OLBから、切り替え回路TW[j]を介して回路ILDに電流(負の電流)を供給する場合、配線VCNが与える定電位としては、低レベル電位とするのが好ましい。
 切り替え回路TW[j]は、スイッチSWI、スイッチSWIB、スイッチSWO、スイッチSWOB、スイッチSWL、スイッチSWLB、スイッチSWH、スイッチSWHBのそれぞれをオン状態又はオフ状態に切り替えることによって、配線OL[j]及び配線OLB[j]と導通状態となる回路を変更することができる。
 ここで、回路MPに入力される重み係数について説明する。
 回路MPに正の重み係数を入力したいとき、配線OL[j]に当該重み係数に応じた電流を入力し、配線OLB[j]に配線VCNが与える定電位を入力すればよい。一例としては、電流源回路ISCと配線OL[j]との間を導通状態にし、電流源回路ISCと配線OLB[j]との間を非導通状態にし、回路AFPと配線OL[j]との間を非導通状態にし、回路AFPと配線OLB[j]との間を非導通状態にし、配線VCNと配線OL[j]との間を非導通状態にし、配線VCNと配線OLB[j]との間を導通状態にし、配線VCN2と配線OL[j]との間を非導通状態にし、配線VCN2と配線OLB[j]との間を非導通状態にすればよい。すなわち、切り替え回路TW[j]において、スイッチSWI、SWLBをオン状態とし、スイッチSWIB、スイッチSWO、スイッチSWOB、スイッチSWL、スイッチSWH、スイッチSWHBのそれぞれをオフ状態とすればよい。これにより、電流源回路ISCと配線OL[j]との間が導通状態となるので、電流源回路ISCから、配線OL[j]を介して、回路MPに電流を流すことができる。ところで、電流源回路ISCの定電流源の個数をP個としたとき、当該電流は、2−1値のいずれか一となる(ゼロ電流を含まない)。回路MPに入力される正の重み係数は当該電流に応じて決まるため、当該重み係数は2−1値のいずれか一とすることができる。また、配線VCNと配線OLB[j]との間が導通状態となるので、配線OLB[j]には、配線VCNからの定電圧が入力される。
 また、回路MPに負の重み係数を入力したいとき、配線OLB[j]に当該重み係数に応じた電流を入力し、配線OL[j]に配線VCNが与える定電位を入力すればよい。一例としては、電流源回路ISCと配線OL[j]との間を非導通状態にし、電流源回路ISCと配線OLB[j]との間を導通状態にし、回路AFPと配線OL[j]との間を非導通状態にし、回路AFPと配線OLB[j]との間を非導通状態にし、配線VCNと配線OL[j]との間を導通状態にし、配線VCNと配線OLB[j]との間を非導通状態にし、配線VCN2と配線OL[j]との間を非導通状態にし、配線VCN2と配線OLB[j]との間を非導通状態にすればよい。すなわち、切り替え回路TW[j]において、スイッチSWIB、スイッチSWLをオン状態とし、スイッチSWI、スイッチSWO、スイッチSWOB、スイッチSWLB、スイッチSWH、スイッチSWHBのそれぞれをオフ状態とすればよい。これにより、電流源回路ISCと配線OLB[j]との間が導通状態となるので、電流源回路ISCから、配線OLB[j]を介して、回路MPに電流を流すことができる。ところで、電流源回路ISCの定電流源の個数をP個としたとき、当該電流は、2−1値のいずれか一となる(ゼロ電流を含まない)。回路MPに入力される負の重み係数は当該電流に応じて決まるため、当該重み係数は2−1値のいずれか一とすることができる。また、配線VCNと配線OL[j]との間が導通状態となるので、配線OL[j]には、配線VCNからの定電圧が入力される。
 また、回路MPに0の重み係数を入力したいとき、配線OL[j]、配線OLB[j]のそれぞれに配線VCNが与える定電位を入力すればよい。一例としては、電流源回路ISCと配線OL[j]との間を非導通状態にし、電流源回路ISCと配線OLB[j]との間を非導通状態にし、回路AFPと配線OL[j]との間を非導通状態にし、回路AFPと配線OLB[j]との間を非導通状態にし、配線VCNと配線OL[j]との間を導通状態にし、配線VCNと配線OLB[j]との間を導通状態にし、配線VCN2と配線OL[j]との間を非導通状態にし、配線VCN2と配線OLB[j]との間を非導通状態にすればよい。すなわち、切り替え回路TW[j]において、スイッチSWL、スイッチSWLBをオン状態とし、スイッチSWI、スイッチSWIB、スイッチSWO、スイッチSWOB、スイッチSWH、スイッチSWHBのそれぞれをオフ状態とすればよい。これにより、配線VCNと配線OL[j]との間が導通状態となり、配線VCNと配線OLB[j]との間が導通状態となるので、配線OL[j]、OLB[j]には、配線VCNからの定電圧が入力される。
 つまり、電流源回路ISCの定電流源の個数をP個とすることによって、回路MPに入力できる重み係数の数(正の重み係数、負の重み係数、0の重み係数)は、2P+1−1個となる。
 次に、回路MPから回路AFPに情報(例えば、電位、電流など)を供給する場合について説明する。
 回路MPから回路AFPに情報(例えば、電位、電流など)を供給する前には、配線OL[j]、配線OLB[j]を所定の電位にしておくことが好ましい。例えば、回路AFPから、配線OL又は配線OLBを介して回路MPに正の電流が流れる場合、所定の電位としては、高レベル電位とするのがよい。また、例えば、回路MPから、配線OL又は配線OLBを介して回路AFPに正の電流が流れる場合、所定の電位としては、低レベル電位とするのがよい。そのため、回路MPから回路AFPに情報(例えば、電位、電流など)を供給する前では、一例としては、電流源回路ISCと配線OL[j]との間を非導通状態にし、電流源回路ISCと配線OLB[j]との間を非導通状態にし、回路AFPと配線OL[j]との間を非導通状態にし、回路AFPと配線OLB[j]との間を非導通状態にし、配線VCNと配線OL[j]との間を非導通状態にし、配線VCNと配線OLB[j]との間を非導通状態にし、配線VCN2と配線OL[j]との間を導通状態にし、配線VCN2と配線OLB[j]との間を導通状態にすればよい。すなわち、切り替え回路TW[j]において、スイッチSWH、スイッチSWHBをオン状態とし、スイッチSWI、スイッチSWIB、スイッチSWO、スイッチSWOB、スイッチSWL、スイッチSWLBのそれぞれをオフ状態とすればよい。これにより、配線OL[j]と配線VCN2との間が導通状態となり、配線OLB[j]と配線VCN2との間が導通状態となるので、配線OL[j]、配線OLB[j]には、配線VCN2からの定電圧が入力される。
 回路MP[i,j]から回路AFPに情報(例えば、電位、電流など)を供給する時には、一例としては、電流源回路ISCと配線OL[j]との間を非導通状態にし、電流源回路ISCと配線OLB[j]との間を非導通状態にし、回路AFPと配線OL[j]との間を導通状態にし、回路AFPと配線OLB[j]との間を導通状態にし、配線VCNと配線OL[j]との間を非導通状態にし、配線VCNと配線OLB[j]との間を非導通状態にし、配線VCN2と配線OL[j]との間を非導通状態にし、配線VCN2と配線OLB[j]との間を非導通状態にすればよい。すなわち、切り替え回路TW[j]において、スイッチSWO、スイッチSWOBをオン状態とし、スイッチSWI、スイッチSWIB、スイッチSWL、スイッチSWLB、スイッチSWH、スイッチSWHBのそれぞれをオフ状態とすればよい。これにより、回路AFPと回路MP[i,j]との間が導通状態となるので、回路MP[i,j]から回路AFPに情報(例えば、電位、電流など)を供給することができる。
 以上のとおり、回路ILDと、切り替え回路TW[j]と、を図8Aに示す構成とすることにより、配線OL[j]、及び配線OLB[j]に所定の電流を流す際、同じ電流源回路ISCを用いることができるため、配線OL[j]、及び配線OLB[j]のそれぞれに与える電流源の特性ばらつきの影響を小さくすることができる。
<<回路MP>>
 次に、演算回路110、演算回路120、演算回路130、演算回路140に含まれる回路MP[i,j]の構成例について説明する。
 図9Aは、演算回路140に適用できる回路MP[i,j]の構成例を示しており、回路MP[i,j]は、一例としては、回路MCと、回路MCrと、を有する。回路MC及び回路MCrは、回路MPにおいて、重み係数と、ニューロンの入力信号(演算値)と、の積を計算する回路である。回路MCは、回路MCrと同様の構成、又は回路MCrと異なる構成とすることができる。そのため、回路MCrは、回路MCと区別をするため、符号に「r」を付している。また、回路MCrに含まれている、後述する回路素子の符号にも「r」を付している。
 回路MCは、一例としては、回路HCを有し、回路MCrは、回路HCrを有する。回路HC、及び回路HCrは、それぞれ情報(例えば、電位、抵抗値、電流値など)を保持する機能を有する。なお、回路MP[i,j]に設定される第1データw (k−1) (k)は、回路HC、及び回路HCrのそれぞれに保持される情報(例えば、電位、抵抗値、電流値など)に応じて定められる。そのため、回路HC及び回路HCrのそれぞれは、第1データw (k−1) (k)に応じた各情報(例えば、電位、抵抗値、電流値など)を供給する配線OL[j]及び配線OLB[j]に電気的に接続されている。
 図9Aにおいて、回路MP[i,j]は、配線VE[j]と、配線VEr[j]と、に電気的に接続されている。配線VE[j]、配線VEr[j]は、定電圧を供給する配線として機能する。また、配線VE[j]は、回路MCを介して配線OLからの電流を排出する配線としても機能する。また、配線VEr[j]は、回路MCrを介して配線OLBからの電流を排出する配線としても機能する。
 図9Aに示した配線WL[i]は、図7における配線WL[i]に相当する。配線WL[i]は、回路HC及び回路HCrのそれぞれに電気的に接続されている。回路MP[i,j]に含まれる回路HC、及び回路HCrに第1データw (k−1) (k)に応じた情報(例えば、電位、抵抗値、電流値など)を書き込むとき、配線WL[i]に所定の電位を供給することによって、配線OL[j]と回路HCとの間を導通状態にし、かつ配線OLB[j]と回路HCrとの間を導通状態にする。そして、配線OL[j]、OLB[j]のそれぞれに第1データw (k−1) (k)に応じた電位などを供給することによって、回路HC、及び回路HCrのそれぞれに当該電位などを入力することができる。その後、配線WL[i]に所定の電位を供給して、配線OL[j]と回路HCとの間を非導通状態にし、かつ配線OLB[j]と回路HCrとの間を非導通状態にする。そして、回路HC、及び回路HCrのそれぞれに第1データw (k−1) (k)に応じた各電流などが保持される。
 例えば、第1データw (k−1) (k)が“−1”、“0”、“1”の3値のいずれかをとる場合を考える。第1データw (k−1) (k)が“1”である場合、一例として、配線OL[j]から回路MCを介して配線VE[j]に“1”に応じた電流が流れるように、回路HCには所定の電位が保持され、かつ配線OLB[j]から回路MCrを介して配線VEr[j]に電流が流れないように、回路HCrには電位Vが保持される。また、第1データw (k−1) (k)が“−1”である場合、一例として、配線OL[j]から回路MCを介して配線VE[j]に電流が流れないように、回路HCには電位Vが保持され、かつ配線OLB[j]から回路MCrを介して配線VEr[j]に“−1”に応じた電流が流れるように、回路HCrには所定の電位が保持される。そして、第1データw (k−1) (k)が“0”である場合、一例として、配線OL[j]から回路MCを介して配線VE[j]に電流が流れないように、回路HCに電位Vが保持され、かつ配線OLB[j]から回路MCrを介して配線VEr[j]に電流が流れないように、回路HCrに電位Vが保持される。なお、電位Vは、図8Aの説明において、配線VCNが与える電位とすることができる。
 なお、別の例として、第1データw (k−1) (k)がアナログ値、具体的には、“負のアナログ値”、“0”、または、“正のアナログ値”をとる場合を考える。第1データw (k−1) (k)が“正のアナログ値”である場合、一例として、配線OL[j]から回路MCを介して配線VE[j]に“正のアナログ値”に応じたアナログ電流が流れるように、回路HCには所定の電位が保持され、かつ配線OLB[j]から回路MCrを介して配線VEr[j]に電流が流れないように、回路HCrには電位Vが保持される。また、第1データw (k−1) (k)が“負のアナログ値”である場合、一例として、配線OL[j]から回路MCを介して配線VE[j]に電流が流れないように、回路HCには電位Vが保持され、かつ配線OLB[j]から回路MCrを介して配線VEr[j]に“負のアナログ値”に応じたアナログ電流が流れるように、回路HCrには所定の電位が保持される。そして、第1データw (k−1) (k)が“0”である場合、一例として、配線OL[j]から回路MCを介して配線VE[j]に電流が流れないように、回路HCに電位Vが保持され、かつ配線OLB[j]から回路MCrを介して配線VEr[j]に電流が流れないように、回路HCrに電位Vが保持される。なお、電位Vは、先の例と同様に、図8Aの説明において、配線VCNが与える電位とすることができる。
 また、一例として、回路MCは、回路HCに保持された情報(例えば、電位、抵抗値、または、電流値など)に応じた電流などを、配線OL[j]又は配線OLB[j]の一方に出力する機能を有し、回路MCrは、回路HCrに保持された情報(例えば、電位、抵抗値、または、電流値など)に応じた電流などを、配線OL[j]又は配線OLB[j]の他方に出力する機能を有する。例えば、回路HCに第1電位が保持されている場合、回路MCは配線OL[j]又は配線OLB[j]から配線VEに第1電流値を持つ電流を流すものとし、回路HCに第2電位が保持されている場合、回路MCは配線OL[j]又は配線OLB[j]から配線VEに第2電流値を持つ電流を流すものする。同様に、回路HCrに第1電位が保持されている場合、回路MCrは配線OL[j]又は配線OLB[j]から配線VErに第1電流値を持つ電流を流すものとし、回路HCrに第2電位が保持されている場合、回路MCrは配線OL[j]又は配線OLB[j]から配線VErに第2電流値を持つ電流を流すものとする。なお、第1電流値、第2電流値のそれぞれの大きさは、第1データw (k−1) (k)の値によって定められる。一例としては、第1電流値は第2電流値よりも大きい場合もあり、又は小さい場合もある。更に、一例としては、第1電流値又は第2電流値の一方はゼロ電流、つまり電流値が0の場合もある。または、第1電流値を持つ電流と第2電流値を持つ電流とで、電流が流れる向きが異なる場合もある。
 特に、例えば、第1データw (k−1) (k)が“−1”、“0”、“1”の3値のいずれかをとる場合、第1電流値又は第2電流値の一方がゼロとなるように、回路MC、及び回路MCrを構成するのが好ましい。なお、第1データw (k−1) (k)がアナログ値、例えば、“負のアナログ値”、“0”、または、“正のアナログ値”をとる場合には、第1電流値又は第2電流値についても、一例としては、アナログ値をとることができる。
 ところで、配線OL[j]又は配線OLB[j]から、回路MCを介して配線VEに流す電流と、配線OL[j]又は配線OLB[j]から、回路MCrを介して配線VErに流す電流と、を等しくする場合、トランジスタの作製工程などを起因として当該トランジスタの特性がバラつくことがあるため、回路MCに保持する電位と、回路MCrに保持する電位と、は等しくならないことがある。本発明の一態様の半導体装置は、トランジスタの特性にバラつきがあっても、配線OL[j]又は配線OLB[j]から、回路MCを介して配線VEに流す電流の量を、配線OL[j]又は配線OLB[j]から、回路MCrを介して配線VErに流す電流の量に、ほぼ等しくすることができる。
 なお、本明細書などにおいて、回路HC、及び回路HCrに保持された情報(例えば、電位、抵抗値、または、電流値など)に応じた電流または電圧などは、正の電流または電圧などとしてもよいし、負の電流または電圧などとしてもよいし、ゼロ電流またはゼロ電圧などとしてもよいし、正と負と0とが混在していてもよい。つまり、例えば、上述の「回路HCに保持された情報(例えば、電位、抵抗値、または、電流値など)に応じた電流または電圧などを、配線OL[j]又は配線OLB[j]の一方に出力する機能を有し、回路MCrは、回路HCrに保持された情報(例えば、電位、抵抗値、または、電流値など)に応じた電流または電圧などを、配線OL[j]又は配線OLB[j]の他方に出力する機能を有する」という記載は、「回路HCに保持された情報(例えば、電位、抵抗値、または、電流値など)に応じた電流、電圧などを、配線OL[j]又は配線OLB[j]の一方から排出する機能を有し、回路MCrは、回路HCrに保持された情報(例えば、電位、抵抗値、または、電流値など)に応じた電流、電圧などを、配線OL[j]又は配線OLB[j]の他方から排出する機能を有する」という記載に換言することができる。
 図9Aに示した配線X1L[i]、及び配線X2L[i]は、図7における配線XLS[i]に相当する。なお、回路MP[i,j]に入力される第2データz (k−1)は、一例としては、配線X1L[i]、及び配線X2L[i]のそれぞれの電位または電流などによって定められる。そのため、回路MC、及び回路MCrには、例えば、配線X1L[i]及び配線X2L[i]を介して、第2データz (k−1)に応じた各電位が入力される。
 回路MCは、配線OL[j]と、配線OLB[j]と、に電気的に接続され、回路MCrは、配線OL[j]と、配線OLB[j]と、に電気的に接続されている。回路MC、及び回路MCrは、一例としては、配線X1L[i]及び配線X2L[i]に入力された電位または電流などに応じて、配線OL[j]及び配線OLB[j]に、第1データw (k−1) (k)と第2データz (k−1)との積に応じた電流または電位などを出力する。具体的な例としては、回路MC、及び回路MCrからの電流の出力先は、配線X1L[i]及び配線X2L[i]の電位によって定められる。例えば、回路MC、及び回路MCrは、回路MCから出力される電流が配線OL[j]又は配線OLB[j]の一方に流れ、回路MCrから出力される電流が配線OL[j]又は配線OLB[j]の他方に流れるような回路構成となっている。つまり、回路MC、及び回路MCrから出力されたそれぞれの電流は、同一の配線でなく、互いに異なる配線に流れる。なお、一例としては、回路MC、及び回路MCrから、配線OL[j]又は配線OLB[j]のいずれにも電流が流れない場合もある。
 例えば、第2データz (k−1)が“−1”、“0”、“1”の3値のいずれかをとる場合を考える。例えば、第2データz (k−1)が“1”である場合、回路MPは、回路MCと配線OL[j]との間を導通状態とし、回路MCrと配線OLB[j]との間を導通状態とする。例えば、第2データz (k−1)が“−1”である場合、回路MPは、回路MCと配線OLB[j]との間を導通状態とし、回路MCrと配線OL[j]との間を導通状態とする。例えば、第2データz (k−1)が“0”である場合、回路MC、及び回路MCrのそれぞれが出力した電流を、配線OL[j]、及び配線OLB[j]のいずれにも流さないようにするため、回路MPは、回路MCと配線OL[j]との間、及び、回路MCと配線OLB[j]との間を非導通状態にし、回路MCrと配線OL[j]との間、及び、回路MCと配線OLB[j]との間を非導通状態にする。
 以上の動作をまとめた場合の例を示す。第1データw (k−1) (k)が“1”の場合には、回路MCを介して配線OL[j]または配線OLB[j]から配線VE[j]に電流が流れる場合があり、回路MCrを介して配線OL[j]または配線OLB[j]から配線VEr[j]に電流が流れない。第1データw (k−1) (k)が“−1”の場合には、回路MCを介して配線OL[j]または配線OLB[j]から配線VE[j]に電流が流れず、回路MCrを介して配線OL[j]または配線OLB[j]から配線VEr[j]に電流が流れる場合がある。そして、第2データz (k−1)が“1”の場合には、回路MCと配線OL[j]との間、および、回路MCrと配線OLB[j]との間が導通状態になる。第2データz (k−1)が“−1”の場合には、回路MCと配線OLB[j]との間、および、回路MCrと配線OL[j]との間が導通状態になる。以上より、第1データw (k−1) (k)と第2データz (k−1)の積が正の値の場合には、回路MCを介して配線OL[j]から配線VE[j]に電流が流れる、又は、回路MCrを介して配線OL[j]から配線VEr[j]に電流が流れる、の一方となる。第1データw (k−1) (k)と第2データz (k−1)の積が負の値の場合には、回路MCrを介して配線OL[j]から配線VEr[j]に電流が流れる、又は、回路MCを介して配線OLB[j]から配線VE[j]に電流が流れる、の一方となる。第1データw (k−1) (k)と第2データz (k−1)の積がゼロの値の場合には、配線OL[j]または配線OLB[j]から配線VE[j]に電流が流れず、配線OL[j]または配線OLB[j]から配線VEr[j]に電流が流れない。
 上述した例を具体的な例として記すと、第1データw (k−1) (k)が“1”であって、第2データz (k−1)が“1”である場合、例えば、回路MCから配線OL[j]に第1電流値を持つ電流I1[i、j]が流れ、回路MCrから配線OLB[j]に第2電流値を持つ電流I2[i、j]が流れる。このとき、第2電流値の大きさは、一例としては、ゼロである。第1データw (k−1) (k)が“−1”であって、第2データz (k−1)が“1”である場合、例えば、回路MCから配線OL[j]に第2電流値を持つ電流I1[i、j]が流れ、回路MCrから配線OLB[j]に第1電流値を持つ電流I2[i、j]が流れる。このとき、第2電流値の大きさは、一例としては、ゼロである。第1データw (k−1) (k)が“0”であって、第2データz (k−1)が“1”である場合、回路MCから配線OL[j]に第2電流値を持つ電流I1[i、j]が流れ、回路MCrから配線OLB[j]に第2電流値を持つ電流I2[i、j]が流れる。このとき、第2電流値の大きさは、一例としては、ゼロである。
 また、第1データw (k−1) (k)が“1”であって、第2データz (k−1)が“−1”である場合、回路MCから配線OLB[j]に第1電流値を持つ電流I1[i、j]が流れ、回路MCrから配線OL[j]に第2電流値を持つ電流I2[i、j]が流れる。このとき、第2電流値の大きさは、一例としては、ゼロである。第1データw (k−1) (k)が“−1”であって、第2データz (k−1)が“−1”である場合、回路MCから配線OLB[j]に第2電流値を持つ電流I1[i、j]が流れ、回路MCrから配線OL[j]に第1電流値を持つ電流I2[i、j]が流れる。このとき、第2電流値の大きさは、一例としては、ゼロである。第1データw (k−1) (k)が“0”であって、第2データz (k−1)が“−1”である場合、回路MCから配線OLB[j]に第2電流値を持つ電流I1[i、j]が流れ、回路MCrから配線OL[j]に第2電流値を持つ電流I2[i、j]が流れる。このとき、第2電流値の大きさは、一例としては、ゼロである。
 また、第2データz (k−1)が“0”である場合、一例としては、回路MCと配線OL[j]との間、及び、回路MCと配線OLB[j]との間が非導通状態となる。同様に、回路MCrと配線OL[j]との間、及び、回路MCrと配線OLB[j]との間が非導通状態となる。そのため、第1データw (k−1) (k)がどんな値であっても、回路MC及び回路MCrから配線OL[j]及び配線OLB[j]に電流は出力されない。
 このように、一例としては、第1データw (k−1) (k)と第2データz (k−1)との積の値が正の値を取る場合には、回路MCまたは回路MCrのいずれかから、配線OL[j]に電流が流れる。このとき、第1データw (k−1) (k)が正の値の場合には、回路MCから配線OL[j]に電流が流れ、第1データw (k−1) (k)が負の値の場合には、回路MCrから配線OL[j]に電流が流れる。一方、第1データw (k−1) (k)と第2データz (k−1)との積の値が、負の値を取る場合には、回路MCまたは回路MCrのいずれかから、配線OLB[j]に電流が流れる。このとき、第1データw (k−1) (k)が正の値の場合には、回路MCから配線OLB[j]に電流が流れ、第1データw (k−1) (k)が負の値の場合には、回路MCrから配線OLB[j]に電流が流れる。そのため、配線OL[j]に接続された複数の回路MCまたは回路MCrから出力された電流の総和が、配線OL[j]に流れることになる。つまり、配線OL[j]では、正の値の和をとった値となる電流が流れることになる。一方、配線OLB[j]に接続された複数の回路MCまたは回路MCrから出力された電流の総和が、配線OLB[j]に流れることになる。つまり、配線OLB[j]では、負の値の和をとった値となる電流が流れることになる。以上のような動作の結果、配線OL[j]に流れる総電流値、つまり、正の値の総和と、配線OLB[j]に流れる総電流値、つまり、負の値の総和とを利用することにより、積和演算処理を行うことができる。例えば、配線OL[j]に流れる総電流値の方が、配線OLB[j]に流れる総電流値よりも大きい場合には、積和演算の結果としては、正の値をとると判断することができる。配線OL[j]に流れる総電流値の方が、配線OLB[j]に流れる総電流値よりも小さい場合には、積和演算の結果としては、負の値をとると判断することができる。配線OL[j]に流れる総電流値と、配線OLB[j]に流れる総電流値とが概ね同じ値である場合には、積和演算の結果としては、ゼロの値をとると判断することができる。
 なお、第2データz (k−1)が“−1”、“0”、“1”のうちの、いずれか2値、例えば、“−1”、“1”の2値の場合、または、“0”、“1”の2値の場合も、同様に動作させることができる。同様に、第1データw (k−1) (k)が“−1”、“0”、“1”、でのうちの、いずれか2値、例えば、“−1”、“1”の2値の場合、または、“0”、“1”の2値の場合も、同様に動作させることができる。
 なお、第1データw (k−1) (k)は、アナログ値、または、多ビット(多値)のデジタル値を取ってもよい。具体的な例としては、“−1”の代わりに“負のアナログ値”、および、“1”の代わりに“正のアナログ値”をとっても良い。この場合、回路MCまたは回路MCrから流れる電流の大きさも、一例としては、第1データw (k−1) (k)の値の絶対値に応じたアナログ値となる。
 次に、図9Aの回路MP[i,j]を変形した例について、説明する。なお、回路MP[i,j]の変形例については、図9Aの回路MP[i,j]と異なる部分を主に説明し、図9Aの回路MP[i,j]と共通する部分については説明を省略することがある。
 図9Bに示す回路MP[i,j]は、配線X1Lを配線WX1Lに置き換えた構成となっている。すなわち、図9Bの回路MP[i,j]において、配線WX1Lと配線WLは、配線OL[j]と回路HCとの間を導通状態、又は非導通状態の切り替えと、配線OLB[j]と回路HCrとの間を導通状態、又は非導通状態の切り替えを行うために、所定の電位を供給する配線として機能する。また、図9Bの回路MP[i,j]において、配線WX1Lと配線X2Lは、回路MP[i,j]に入力される第2データz (k−1)に応じた電流、電圧などを与える配線として機能する。
 図9Bの回路MP[i,j]は、図4に示す演算回路130のように、配線WX1Lを有し、かつ図7に示す演算回路140のように、配線IL、配線ILBを有さない演算回路に適用することができる。具体的には、例えば、図9Bの回路MP[i,j]は、図11に示す演算回路150の回路MP[i,j]に適用することができる。
 次に、図9Bとは異なる、図9Aの回路MP[i,j]を変形した例について、説明する。図9Cに示す回路MP[i,j]は、図9Aの回路MP[i,j]の変形例である。図9Cの回路MP[i,j]は、図9Aの回路MP[i,j]と同様に、回路MCと、回路MCrと、を有する。但し、図9Cの回路MP[i,j]は、回路MCrに回路HCrが含まれていない点で、図9Aの回路MP[i,j]と異なる。
 また、回路MCrは回路HCrを有していないため、図9Cの回路MP[i,j]を適用した演算回路は、回路HCrに保持する電位を供給するための配線ILB[j]を有さなくてもよい。加えて、回路MCrは配線WL[i]に電気的に接続されていなくてもよい。
 図9Cの回路MP[i,j]において、回路MCに含まれる回路HCは、回路MCrに電気的に接続されている。つまり、図9Cの回路MP[i,j]は、回路MCrと回路MCとが互いに回路HCを共有するような構成となっている。一例としては、回路HCで保持された信号に対して、反転した信号を、回路HCから回路MCrに供給することができる。これにより、回路MCと回路MCrとで、異なる動作をすることが可能となる。または、回路MCと回路MCrとで、内部の回路構成が異なるようにして、その結果、回路HCで保持された同一の信号に対して、回路MCと回路MCrとで、出力する電流の大きさが異なるようにすることも可能である。ここで、回路HCに第1データw (k−1) (k)に応じた電位を保持し、第2データz (k−1)に応じた電位を配線X1L[i]及び配線X2L[i]に供給することによって、回路MP[i,j]は、配線OL[j]及び配線OLB[j]に、第1データw (k−1) (k)と第2データz (k−1)との積に応じた電流を出力することができる。
 なお、図9Cの回路MPを適用した演算回路110は、例えば、図7に示す演算回路140の回路構成に変更することができる。
 図9Dに示す回路MP[i,j]は、図9Aの回路MP[i,j]の変形例であり、具体的には、後述する図12の演算回路160に適用できる回路MP[i,j]の構成例である。なお、演算回路160は、図2の演算回路110から配線ILB[1]乃至配線ILB[n]を除いた構成となっている。図9Dの回路MP[i,j]は、図9Aの回路MP[i,j]と同様に、回路MCと、回路MCrと、を有する。但し、図9Dの回路MP[i,j]と図9Aの回路MP[i,j]は、電気的に接続されている配線の構成が異なっている。
 図9Dに示した配線W1L[i]、及び配線W2L[i]は、図12における配線WLS[i]に相当する。配線W1L[i]は回路HCに電気的に接続され、配線W2L[i]は回路HCrに電気的に接続されている。
 また、配線IL[j]は、回路HCと、回路HCrと、に電気的に接続されている。
 図9Dの回路MP[i,j]において、回路HCと回路HCrのそれぞれに異なる情報(例えば、電圧、抵抗値、電流など)を保持するとき、回路HCと回路HCrへの情報の保持動作は、同時ではなく、順に行うことが好ましい。例えば、回路MP[i,j]の第1データw (k−1) (k)は、回路HCに第1の情報、回路HCrに第2の情報を保持することによって表現できる場合を考える。初めに、配線W1L[i]及び配線W2L[i]のそれぞれに所定の電位を与えて、回路HCと配線IL[j]との間を導通状態にし、かつ回路HCrと配線IL[j]との間を非導通状態にする。次に、配線IL[j]に第1情報に応じた電流、電圧などを供給することで、回路HCに第1の情報を与えることができる。その後に、配線W1L[i]及び配線W2L[i]のそれぞれに所定の電位を与えて、回路HCと配線IL[j]との間を非導通状態にし、かつ回路HCrと配線IL[j]との間を導通状態にする。そして、配線IL[j]に第2の情報に応じた電流、電圧などを供給することで、回路HCrに第2の情報を与えることができる。これにより、回路MP[i,j]は、第1データとしてw (k−1) (k)を設定することができる。
 なお、回路HCと回路HCrのそれぞれにほぼ等しい情報(例えば、電圧、抵抗値、電流など)を保持する場合(回路MP[i,j]の第1データw (k−1) (k)が、回路HCと回路HCrのそれぞれにほぼ等しい情報を保持することによって設定される場合)、回路HCと配線IL[j]との間を導通状態とし、かつ回路HCrと配線IL[j]との間を導通状態となるように、配線W1L[i]及び配線W2L[i]のそれぞれに所定の電位を与えて、その後に、配線IL[j]から回路HC、及び回路HCrに対して当該情報に応じた電流、電圧などを供給すればよい。
 図9Dの回路MP[i,j]は、回路HC、及び回路HCrに第1データw (k−1) (k)に応じた電位を保持し、第2データz (k−1)に応じた電位を配線X1L[i]及び配線X2L[i]に供給することによって、図9Aの回路MP[i,j]と同様に、配線OL[j]及び配線OLB[j]に、第1データw (k−1) (k)と第2データz (k−1)との積に応じた電流を出力することができる。
 図9Eに示す回路MP[i,j]は、図9Dの回路MP[i,j]の変形例である。図9Eの回路MP[i,j]は、図9Dの回路MP[i,j]と同様に、回路MCと、回路MCrと、を有する。但し、図9Eの回路MP[i,j]と図9Dの回路MP[i,j]は、電気的に接続されている配線の構成が異なっている。
 具体的には、図9Eの回路MPは、図9Dの回路MPに配線ILB[j]を加え、かつ図9Dの回路MPに電気的に接続されている配線W1L[i]、配線W2L[i]を配線WL[i]に置き換えた構成となっている。
 図9Eの回路MPにおいて、配線IL[j]は回路HCに電気的に接続され、配線ILB[j]は回路HCrに電気的に接続されている。つまり、図9Dの回路MPにおいて、配線IL[j]は、回路HCと回路HCrのそれぞれに情報(例えば、電圧、抵抗値、電流など)に応じた電流、電圧などを供給する配線として機能するが、図9Eの回路MPにおいて、配線IL[j]は、回路HCに情報に応じた電流、電圧などを供給する配線として機能し、配線ILB[j]は、回路HCrに情報に応じた電流、電圧などを供給する配線として機能する。
 また、図9Eの回路MPにおいて、回路HC、及び回路HCrにそれぞれ配線IL[j]、及び配線ILB[j]が電気的に接続されているため、回路HC、及び回路HCrのそれぞれに同時に情報(例えば、電圧、抵抗値、電流など)に応じた電流、電圧などを供給することができる。そのため、回路HCと配線IL[j]との間を導通状態、又は非導通状態の切り替えと、回路HCrと配線ILB[j]との間を導通状態、又は非導通状態の切り替えと、を同時に行うことができる。図9Dの回路MPでは、回路HCと配線IL[j]との間を導通状態、又は非導通状態の切り替えを制御する配線として配線W1L[i]を図示し、回路HCrと配線ILB[j]との間を導通状態、又は非導通状態の切り替えを制御する配線として配線W2L[i]を図示しているが、図9Eの回路MPでは、配線W1L[i]と配線W2L[i]とをまとめた配線として、配線WL[i]を図示している。
 なお、図9Eの回路MPは、例えば、図2の演算回路110、図3の演算回路120に適用することができる。
 図9Fに示す回路MP[i,j]は、図9Aの回路MP[i,j]の変形例である。図9Fの回路MP[i,j]は、図9Aの回路MP[i,j]と同様に、回路MCと、回路MCrと、を有する。但し、図9Fの回路MP[i,j]は、回路MCが配線OLB[j]に電気的に接続されていない点と、回路MCrが配線OL[j]に電気的に接続されていない点と、で図9Aの回路MP[i,j]と異なっている。
 図9Fに示した配線WL[i]は、回路HCと、回路HCrと、に電気的に接続されている。また、図9Fに示した配線XL[i]は、回路MCと、回路MCrと、に電気的に接続されている。
 図9Fの回路MP[i,j]は、前述した通り、回路MCが配線OLB[j]に電気的に接続されていなく、かつ回路MCrが配線OL[j]に電気的に接続されていない。つまり、図9Fの回路MP[i,j]は、図9A乃至図9Eの回路MP[i,j]と異なり、回路MCから出力された電流は配線OLB[j]に流れず、回路MCrから出力された電流は配線OL[j]に流れない構成となっている。
 そのため、図9Fの回路MP[i,j]は、第2データz (k−1)が“0”、又は“1”の2値である場合に、演算回路に適用するのが好ましい。例えば、第2データz (k−1)が“1”である場合、回路MPは、回路MCと配線OL[j]との間を導通状態にし、回路MCrと配線OLB[j]との間を導通状態にする。また、例えば、第2データz (k−1)が“0”である場合、回路MC、及び回路MCrのそれぞれが出力した電流を、配線OL[j]、及び配線OLB[j]のいずれにも流さなくするため、回路MPは、回路MCと配線OL[j]との間、及び、回路MCと配線OLB[j]との間を非導通状態にし、回路MCrと配線OL[j]との間、及び、回路MCrと配線OLB[j]との間を非導通状態にする。
 図9Fの回路MP[i,j]は、演算回路110に適用することによって、一例としては、第1データw (k−1) (k)が“−1”、“0”、“1”の3値のいずれかをとり、第2データz (k−1)が“0”、“1”の2値をとる場合における、演算を行うことができる。なお、第1データw (k−1) (k)が“−1”、“0”、“1”、のうちの、いずれか2値、例えば、“−1”、“1”の2値の場合、または、“0”、“1”の2値の場合も、動作させることができる。なお、第1データw (k−1) (k)は、アナログ値、または、多ビット(多値)のデジタル値を取ってもよい。具体的な例としては、“−1”の代わりに“負のアナログ値”、および、“1”の代わりに“正のアナログ値”をとっても良い。この場合、回路MCまたは回路MCrから流れる電流の大きさも、一例としては、第1データw (k−1) (k)の値の絶対値に応じたアナログ値となる。
 図10Aに示す回路MP[i,j]は、図9Aと同様に、配線OL[j]及び配線OLB[j]に、第1データw (k−1) (k)と第2データz (k−1)との積に応じた電流を出力することが可能な回路である。なお、図10Aの回路MP[i,j]は、例えば、図2の演算回路110に適用することができる。
 図10Aの回路MP[i,j]は、回路MCと、回路MCrと、に加えて、トランジスタMZを有する。
 トランジスタMZの第1端子は、回路MCの第1端子と、回路MCrの第1端子と、に電気的に接続されている。トランジスタMZの第2端子は、配線VLに電気的に接続されている。トランジスタMZのゲートは、配線XL[i]に電気的に接続されている。
 配線VLは、一例としては、定電圧を与える配線として機能する。当該定電圧は、回路MP[i,j]、演算回路110などの構成によって決めることが好ましい。当該定電圧としては、例えば、高レベル電位であるVDD、低レベル電位であるVSS、接地電位などとすることができる。
 また、図10Aに示した配線WL[i]は、図2の演算回路110における配線WLS[i]に相当する。配線WL[i]は、回路HCと、回路HCrと、に電気的に接続されている。
 また、配線OL[j]は、回路MCの第2端子に電気的に接続されている。また、配線OLB[j]は、回路MCrの第2端子に電気的に接続されている。
 また、配線IL[j]は、回路HCに電気的に接続され、配線ILB[j]は、回路HCrに電気的に接続されている。
 図10Aの回路MP[i,j]において、回路HCと回路HCrのそれぞれに第1データに応じた電位を保持する場合の動作については、図9Aの回路MP[i,j]における第1データに応じた電位を保持する動作の説明を参酌する。
 図10Aの回路MP[i,j]において、回路MCは、回路MCの第1端子に配線VLが与える定電圧が供給されているときに、回路HCに保持された電位に応じた電流を、回路MCの第1端子と第2端子との間に流す機能を有する。また、回路MCrは、回路MCの第1端子に配線VLが与える定電圧が供給されているときに、回路HCrに保持された電位に応じた電流を、回路MCrの第1端子と第2端子との間に流す機能を有する。つまり、回路MP[i,j]の回路HC、回路HCrのそれぞれに第1データw (k−1) (k)に応じた電位を保持することによって、回路MCの第1端子と第2端子との間に流れる電流量と、回路MCrの第1端子と第2端子との間に流れる電流量を定めることができる。なお、回路MC(回路MCr)の第1端子に配線VLが与える定電圧が供給されていない場合、回路MC(回路MCr)は、例えば、回路MC(回路MCr)の第1端子と第2端子との間に電流を流さないものとしてもよい。
 例えば、回路HC、回路HCrのそれぞれに“1”の第1データw (k−1) (k)に応じた電位が保持されているとき、回路MCに配線VLが与える定電圧が与えられることによって、回路MCは、回路MCの第1端子と第2端子との間に所定の電流を流す。そのため、回路MCと配線OLとの間に電流が流れる。なお、このとき、回路MCrは回路MCrの第1端子と第2端子との間に電流を流さないものとする。そのため、回路MCrと配線OLBとの間には電流は流れない。また、例えば、回路HC、回路HCrのそれぞれに“−1”の第1データw (k−1) (k)に応じた電位が保持されているとき、回路MCに配線VLが与える定電圧が与えられることによって、回路MCrは、回路MCrの第1端子と第2端子との間に所定の電流を流す。そのため、回路MCrと配線OLBとの間に電流が流れる。なお、このとき、回路MCは回路MCの第1端子と第2端子との間に電流を流さないものとする。そのため、回路MCと配線OLとの間には電流は流れない。また、例えば、回路HC、回路HCrのそれぞれに“0”の第1データw (k−1) (k)に応じた電位が保持されているとき、回路MC及び回路MCrに配線VLの定電圧が与えられるかどうかに関わらず、回路MCは回路MCの第1端子と第2端子との間に電流を流さず、回路MCrは回路MCrの第1端子と第2端子との間に電流を流さない。つまり、回路MCと配線OLとの間には電流は流れず、回路MCrと配線OLBとの間には電流は流れない。
 なお、図10Aの回路MP[i,j]において、回路HC、回路HCrに保持される、第1データw (k−1) (k)に応じた電位の具体例については、図9Aの回路MP[i,j]の記載を参酌する。また、図10Aの回路MP[i,j]において、回路HC、回路HCrは、図9Aの回路MP[i,j]と同様に、電位でなく、電流、抵抗値などの情報を保持する機能を有し、回路MC、回路MCrは当該情報に応じた電流を流す機能を有してもよい。
 図10Aに示した配線XL[i]は、図2の演算回路110における配線XLS[i]に相当する。なお、回路MP[i,j]に入力される第2データz (k−1)は、一例としては、配線XL[i]の電位、電流などによって定められる。そのため、トランジスタMZのゲートには、例えば、配線XL[i]を介して、第2データz (k−1)に応じた電位が入力される。
 例えば、第2データz (k−1)が“0”、“1”の2値のいずれかをとる場合を考える。例えば、第2データz (k−1)が“1”である場合、配線XL[i]には高レベル電位が与えられるものとする。このとき、トランジスタMZがオン状態となるので、回路MPは、配線VLと回路MCの第1端子との間を導通状態にし、配線VLと回路MCrの第1端子との間を導通状態にする。つまり、第2データz (k−1)が“1”であるとき、回路MCと、回路MCrと、に配線VLからの定電圧が与えられる。また、例えば、第2データz (k−1)が“0”である場合、配線XL[i]には低レベル電位が与えられるものとする。このとき、回路MPは、回路MCと配線OLB[j]との間を非導通状態とし、回路MCrと配線OL[j]との間を非導通状態とする。つまり、第2データz (k−1)が“0”であるとき、回路MCと、回路MCrと、には、配線VLからの定電圧が与えられない。
 ここで、例えば、第1データw (k−1) (k)が“1”であって、第2データz (k−1)が“1”である場合、回路MCと配線OLとの間には電流は流れ、回路MCrと配線OLBとの間には電流は流れない結果となる。また、例えば、第1データw (k−1) (k)が“−1”であって、第2データz (k−1)が“1”である場合、回路MCと配線OLとの間には電流は流れず、回路MCrと配線OLBとの間には電流は流れる結果となる。また、例えば、第1データw (k−1) (k)が“0”であって、第2データz (k−1)が“1”である場合、回路MCと配線OLとの間、及び回路MCrと配線OLBとの間には電流は流れない結果となる。また、例えば、第2データz (k−1)が“0”である場合、第1データw (k−1) (k)が“−1”、“0”、“1”のいずれかであっても、回路MCと配線OLとの間、及び回路MCrと配線OLBとの間には電流は流れない結果となる。
 つまり、図10Aの回路MP[i,j]は、図9Fの回路MP[i,j]と同様に、一例として、第1データw (k−1) (k)が“−1”、“0”、“1”の3値のいずれかをとり、第2データz (k−1)が“0”、“1”の2値をとる場合における、演算を行うことができる。また、図9Fの回路MP[i,j]と同様に、図10Aの回路MP[i,j]は、第1データw (k−1) (k)が“−1”、“0”、“1”のうちの、いずれか2値、例えば、“−1”、“1”の2値の場合、または、“0”、“1”の2値の場合も、動作させることができる。なお、第1データw (k−1) (k)は、アナログ値、または、多ビット(多値)のデジタル値を取ってもよい。具体的な例としては、“−1”の代わりに“負のアナログ値”、および、“1”の代わりに“正のアナログ値”をとってもよい。この場合、回路MCまたは回路MCrから流れる電流の大きさも、一例としては、第1データw (k−1) (k)の値の絶対値に応じたアナログ値となる。
 なお、図10Aに示す回路MP[i,j]は、図10Bに示す回路MP[i,j]のとおり、配線IL[j]と配線OL[j]を1本の配線OL[j]にまとめ、かつ配線ILB[j]と配線OLB[j]を1本の配線OLB[j]にまとめた構成に変更してもよい。
<演算回路の動作例>
 次に、図7の演算回路140の動作例について説明する。なお、本動作例の説明では、一例として、図13に示す演算回路140を用いる。
 図13の演算回路140は、図7の演算回路140のj列目に位置する回路に着目して図示されたものである。つまり、図13の演算回路140は、図1Aに示したニューラルネットワーク100における、ニューロンN (k)に入力される、ニューロンN (k−1)乃至ニューロンN (k−1)からの信号z (k−1)乃至z (k−1)と、重み係数w (k−1) (k)乃至w (k−1) (k)と、の積和演算と、当該積和演算の結果を用いた活性化関数の演算と、行う回路に相当する。更に、図13の演算回路140のアレイ部ALPに含まれている回路MPは、図9Bの回路MPを適用しているものとする。
 初めに、演算回路140において、回路MP[1,j]乃至回路MP[m,j]に第1データw (k−1) (k)乃至w (k−1) (k)が設定される。第1データw (k−1) (k)の設定の方法としては、回路WLDによって、配線WLS[1]乃至配線WLS[m]に順に所定の電位を入力して、回路MP[1,j]乃至回路MP[m,j]を順に選択していき、選択された回路MPに含まれている回路MC、及び回路MCrのそれぞれの回路HC、及び回路HCrに対して、回路ILDから、切り替え回路TW[j]、配線OL[j]、OLB[j]を介して、第1データに応じた電位、電流などを供給する。そして、電位、電流などの供給後に、回路WLDによって回路MP[1,j]乃至回路MP[m,j]のそれぞれを非選択にすることにより、回路MP[1,j]乃至回路MP[m,j]のそれぞれが有する回路MC、及び回路MCrのそれぞれの回路HC、及び回路HCrに第1データw (k−1) (k)乃至w (k−1) (k)に応じた電位、電流などを保持することができる。一例としては、第1データw (k−1) (k)乃至w (k−1) (k)のそれぞれについて、正の値を取る場合には、回路HCには、その正の値に応じた値を入力し、回路HCrには、ゼロに相当する値を入力する。一方、第1データw (k−1) (k)乃至w (k−1) (k)のそれぞれについて、負の値を取る場合には、回路HCには、ゼロに相当する値を入力し、回路HCrには、負の値の絶対値に応じた値を入力する。
 次に、回路XLDによって、配線X1L[1]乃至配線X1L[m]、配線X2L[1]乃至配線X2L[m]のそれぞれに、第2データz (k−1)乃至z (k−1)を供給する。具体的な一例としては、配線X1L[i]及び配線X2L[i]に第2データz (k−1)が供給される。なお、配線X1L[i]、及び配線X2L[i]は、図7に示す演算回路140の配線XLS[i]に相当する。
 回路MP[1,j]乃至回路MP[m,j]のそれぞれに入力される第2データz (k−1)乃至z (k−1)に応じて、回路MP[1,j]乃至回路MP[m,j]に含まれる回路MC、及び回路MCrと配線OL[j]、及び配線OLB[j]との導通状態が決まる。具体的な例としては、回路MP[i,j]は、第2データz (k−1)に応じて、「回路MCと配線OL[j]との間が導通となり、回路MCrと配線OLB[j]との間が導通となる」状態と、「回路MCと配線OLB[j]との間が導通となり、回路MCrと配線OL[j]との間が導通となる」状態と、「回路MC、及び回路MCrはそれぞれ配線OL[j]、及び配線OLB[j]と非導通となる」状態と、のいずれか一をとる。一例としては、第2データz (k−1)について、正の値を取る場合には、配線X1L[1]には、回路MCと配線OL[j]との間が導通状態となり、かつ、回路MCrと配線OLB[j]との間が導通状態とすることができる値を入力する。そして、配線X2L[1]には、回路MCと配線OLB[j]との間が非導通状態となり、かつ、回路MCrと配線OL[j]との間が非導通状態となることができる値を入力する。そして、第2データz (k−1)について、負の値を取る場合には、配線X1L[1]には、回路MCと配線OLB[j]との間が導通状態となり、かつ、回路MCrと配線OL[j]との間が導通状態とすることができる値を入力する。そして、配線X2L[1]には、回路MCと配線OL[j]との間が非導通状態となり、かつ、回路MCrと配線OLB[j]との間が非導通状態となることができる値を入力する。そして、第2データz (k−1)について、ゼロの値を取る場合には、配線X1L[1]には、回路MCと配線OLB[j]との間が非導通状態となり、かつ、回路MCrと配線OL[j]との間が非導通状態となることができる値を入力する。そして、配線X2L[1]には、回路MCと配線OL[j]との間が非導通状態となり、かつ、回路MCrと配線OLB[j]との間が非導通状態となることができる値を入力する。
 回路MP[i,j]に入力される第2データz (k−1)に応じて、回路MP[i,j]に含まれる回路MC、及び回路MCrと配線OL[j]、及び配線OLB[j]との間の導通状態、又は非導通状態が決まることによって、回路MC、及び回路MCrと配線OL[j]、及び配線OLB[j]との間で電流の入出力が行われる。更に、当該電流の量は、回路MP[i,j]に設定された第1データw (k−1) (k)及び/又は第2データz (k−1)に応じて決まる。
 例えば、回路MP[i,j]において、配線OL[j]から、回路MC又は回路MCrに流れる電流をI[i,j]とし、配線OLB[j]から、回路MC又は回路MCrに流れる電流をI[i,j]とする。そして、回路ACTF[j]から配線OL[j]に流れる電流をIout[j]とし、配線OLB[j]から回路ACTF[j]に流れる電流をIBout[j]とすると、Iout[j]及びIBout[j]は、次の式で表すことができる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000005
 回路MP[i,j]において、一例として、第1データw (k−1) (k)が“+1”であるとき、回路MCはI(+1)を排出し、回路MCrはI(−1)を排出するものとし、第1データw (k−1) (k)が“−1”であるとき、回路MCはI(−1)を排出し、回路MCrはI(+1)を排出するものとし、第1データw (k−1) (k)が“0”であるとき、回路MCはI(−1)を排出し、回路MCrはI(−1)を排出するものとする。
 更に、回路MP[i,j]は、第2データz (k−1)が“+1”であるときに、「回路MCと配線OL[j]との間が導通となり、回路MCrと配線OLB[j]との間が導通となり、回路MCと配線OLB[j]との間が非導通となり、回路MCrと配線OL[j]との間が非導通となる」状態をとり、第2データz (k−1)が“−1”であるときに、「回路MCと配線OLB[j]との間が導通となり、回路MCrと配線OL[j]との間が導通となり、回路MCと配線OL[j]との間が非導通となり、回路MCrと配線OLB[j]との間が非導通となる」状態をとり、第2データz (k−1)が“0”であるときに、「回路MCと配線OL[j]との間、および、回路MCと配線OLB[j]との間は、非導通となり、回路MCrと配線OL[j]との間、および、回路MCrとOLB[j]との間は、非導通となる」状態をとるものとする。
 このとき、回路MP[i,j]において、配線OL[j]から、回路MC又は回路MCrに流れる電流I[i,j]と、配線OLB[j]から、回路MC又は回路MCrに流れる電流I[i,j]と、は、下表に示すとおりとなる。なお、場合によっては、I(−1)の電流量が0となるように、回路MP[i,j]を構成してもよい。なお、電流I[i,j]は、回路MC又は回路MCrから配線OL[j]に流れる電流であってもよい。同様に、電流I[i,j]は、回路MC又は回路MCrから配線OLB[j]に流れる電流であってもよい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000006
 そして、配線OL[j]、及び配線OLB[j]のそれぞれから流れてくるIout[j]及びIBout[j]のそれぞれが、回路ACTF[j]に入力されることによって、回路ACTF[j]は、一例としては、Iout[j]及びIBout[j]の比較などを行う。回路ACTF[j]は、一例としては、当該比較の結果に応じて、ニューロンN (k)が第(k+1)層のニューロンに送信する信号z (k)を出力する。
 図13の演算回路140によって、一例としては、ニューロンN (k)に入力される、ニューロンN (k−1)乃至ニューロンN (k−1)からの信号z (k−1)乃至z (k−1)と、重み係数w (k−1) (k)乃至w (k−1) (k)と、の積和演算と、当該積和演算の結果を用いた活性化関数の演算と、を行うことができる。更に、図13の演算回路のアレイ部ALPにおいて、回路MPをn列設けることで、図7の演算回路140と同等の回路を構成できる。つまり、図7の演算回路140によって、ニューロンN (k)乃至ニューロンN (k)のそれぞれにおける、積和演算と、当該積和演算の結果を用いた活性化関数の演算と、を同時に行うことができる。
<<演算回路に含まれる回路などの変更例>>
 上述した演算回路110、演算回路120、演算回路130、演算回路140、演算回路150、演算回路160のそれぞれは、式(1.2)の演算ではなく式(1.3)の演算を行う回路に変更することができる。式(1.3)は、式(1.2)の積和の結果にバイアスを与えた演算に相当する。そのため、演算回路110、演算回路120、演算回路130、演算回路140、演算回路150、演算回路160のそれぞれにおいて、配線OL、及び配線OLBにバイアスの値を与える回路を設けてもよい。
 図14に示す演算回路170は、図11の演算回路150のアレイ部ALPに回路BS[1]乃至回路BS[n]を加えた回路構成となっている。
 回路BS[j]は、配線OL[j]と、配線OLB[j]と、配線WLBSと、配線WXBSと、に電気的に接続されている。
 配線WLBSは、図2の演算回路110などの配線WLS[1]乃至配線WLS[m]、図7の演算回路140などの配線WL[1]乃至配線WL[m]と同様に、回路BS[1]乃至回路BS[n]に含まれる書き込み用スイッチング素子をオン状態又はオフ状態にするための信号を供給するための配線として機能する。そのため、配線WLBSは、回路WLDに電気的に接続されることによって、回路WLDから配線WLBSに対して、当該信号を供給することができる。
 配線WXBSは、図2の演算回路110などの配線XLS[1]乃至配線XLS[m]と同様に、ニューロンN (k−1)から出力された第2データz (k−1)に対応する情報(例えば、電位、電流値など)を、回路BS[1]乃至回路BS[n]に供給する配線として機能する。そのため、配線WXBSは、回路XLDに電気的に接続されることによって、回路XLDから配線WXBSに対して、当該情報を供給することができる。
 また、配線WXBSは、図7の演算回路140などの配線WX1L[1]乃至配線WX1L[n]と同様に、回路BS[1]乃至回路BS[n]に情報を書き込むための選択信号線として兼用してもよい。図14の演算回路170では、配線WXBSは、回路WLDに電気的に接続されている例を示している。このような構成の場合、回路WLDは、配線WLBS、配線WXBSのそれぞれに、回路BS[1]乃至回路BS[n]に含まれる書き込み用スイッチング素子をオン状態又はオフ状態にするための信号を供給することができる。
 演算回路170のアレイ部ALPのj列において、回路MP[1,j]乃至回路MP[m,j]から配線OL[j]又は配線OLB[j]に流れる電流量は、それぞれ式(1.5)、式(1.6)で表すことができる。また、配線OL[j]、配線OLB[j]のそれぞれは、回路BS[j]に電気的に接続されているため、回路BS[j]から配線OL[j]に流れる電流をIBIAS[j]、回路BS[j]から配線OLB[j]に流れる電流をIBIASB[j]としたとき、式(1.5)、式(1.6)のそれぞれは下の式に書き直すことができる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000007
 これにより、式(1.3)の演算として、バイアスが含まれるIout[j]及びIBout[j]を生成することができる。また、バイアスが含まれるIout[j]及びIBout[j]は、回路ACTF[j]に入力されることによって、バイアスがかかった、ニューロンN (k)からの出力信号z (k)を生成することができる。
 図14の演算回路170では、回路BS[1]乃至回路BS[n]は、アレイ部ALPに対して1行分設けた構成としたが、本発明の一態様は、これに限定されない。例えば、回路BS[1]乃至回路BS[n]は、アレイ部ALPに対して2行以上設けてもよい。
 上述した、アレイ部ALP、回路ILD、回路WLD、回路XLD、回路AFP、回路MP、切り替え回路TWなどのそれぞれに含まれているトランジスタの一部、または、全部は、一例としては、OSトランジスタであることが好ましい。例えば、オフ電流を低くすることが望ましいようなトランジスタの場合、具体例としては、容量素子などに蓄積された電荷を保持する機能を有するトランジスタは、OSトランジスタであることが好ましい。特に、当該トランジスタとしてOSトランジスタを適用する場合、OSトランジスタは、特に実施の形態5に記載するトランジスタの構造であることがより好ましい。OSトランジスタのチャネル形成領域に含まれる金属酸化物としては、例えば、インジウム、元素M(元素Mはアルミニウム、ガリウム、イットリウム、またはスズ)、亜鉛から一又は複数選ばれる材料とすることができる。特に、インジウム、ガリウム、亜鉛からなる金属酸化物は、バンドギャップが高く、真性(I型ともいう。)、又は実質的に真性である半導体であって、当該金属酸化物のキャリア濃度は、1×1018cm−3以下であることが好ましく、1×1017cm−3未満であることがより好ましく、1×1016cm−3未満であることがさらに好ましく、1×1013cm−3未満であることがさらに好ましく、1×1012cm−3未満であることがさらに好ましい。また、当該金属酸化物がチャネル形成領域に含まれるOSトランジスタのオフ電流は、チャネル幅1μmあたり10aA(1×10−17A)以下、好ましくはチャネル幅1μmあたり1aA(1×10−18A)以下、さらには好ましくはチャネル幅1μmあたり10zA(1×10−20A)以下、さらに好ましくはチャネル幅1μmあたり1zA(1×10−21A)以下、さらに好ましくはチャネル幅1μmあたり100yA(1×10−22A)以下とすることができる。また当該OSトランジスタは、金属酸化物のキャリア濃度が低いため、OSトランジスタの温度が変化した場合でも、オフ電流は低いままとなる。例えば、OSトランジスタの温度が150℃であっても、オフ電流を、チャネル幅1μmあたり100zAとすることもできる。
 ただし、本発明の一態様は、上記に限定されず、アレイ部ALP、回路ILD、回路WLD、回路XLD、回路AFP、回路MP、切り替え回路TWなどに含まれるトランジスタは、OSトランジスタでなくてもよい。OSトランジスタ以外では、一例としては、チャネル形成領域にシリコンを含むトランジスタ(Siトランジスタ)としてもよい。また、シリコンとしては、例えば、単結晶シリコン、非晶質シリコン(水素化アモルファスシリコンという場合がある)、微結晶シリコン、または多結晶シリコン等を用いることができる。また、OSトランジスタ、Siトランジスタ以外のトランジスタとしては、例えば、Geなどがチャネル形成領域に含まれているトランジスタ、ZnSe、CdS、GaAs、InP、GaN、SiGeなどの化合物半導体がチャネル形成領域に含まれているトランジスタ、カーボンナノチューブがチャネル形成領域に含まれるトランジスタ、有機半導体がチャネル形成領域に含まれるトランジスタ等を用いることができる。
 なお、OSトランジスタの半導体層の金属酸化物において、インジウムを含む金属酸化物(例えば、In酸化物)、あるいは亜鉛を含む金属酸化物(例えば、Zn酸化物)では、n型半導体は作製できているが、p型半導体は移動度及び信頼性の点で作製が難しい場合もある。そのため、演算回路110、演算回路120、演算回路130、演算回路140、演算回路150、演算回路160、演算回路170は、アレイ部ALP、回路ILD、回路WLD、回路XLD、回路AFP、回路MPなどに含まれるnチャネル型トランジスタとしてOSトランジスタを適用し、pチャネル型トランジスタとしてSiトランジスタを適用した構成としてもよい。
 なお、本実施の形態は、本明細書で示す他の実施の形態と適宜組み合わせることができる。
(実施の形態2)
 本実施の形態では、実施の形態1で説明した回路MPの具体的な構成例について説明する。
 なお、実施の形態1では、回路MPの符号に、アレイ部ALP内の位置を示す[1,1]、[i,j]、[m,n]等を付記したが、本実施の形態では、特に断らない限り、回路MPの符号に対して[1,1]、[i,j]、[m,n]等の記載を省略する。
<構成例1>
 初めに、図9Bの回路MPに適用できる回路構成の例について説明する。図15Aに示す回路MPは、図9Bの回路MPの構成の一例であり、図15Aの回路MPに含まれている回路MCは、一例としては、トランジスタM1乃至トランジスタM4と、容量C1と、を有する。なお、例えば、トランジスタM2と、容量C1とによって、回路HCが構成されている。
 図15Aの回路MPにおいて、回路MCrは、回路MCとほぼ同様の回路構成となっている。そのため、回路MCrの有する回路素子などには、回路MCの有する回路素子などと区別をするため、符号に「r」を付している。
 図15Aに図示しているトランジスタM1乃至トランジスタM4は、一例としては、チャネルの上下にゲートを有するマルチゲート構造のnチャネル型トランジスタとしており、トランジスタM1乃至トランジスタM4のそれぞれは第1ゲートと第2ゲートとを有する。特に、一例としては、トランジスタM3、及びトランジスタM4のそれぞれのサイズは等しいことが好ましい。但し、本明細書等において、便宜上、一例として、第1ゲートをゲート(フロントゲートと記載する場合がある。)、第2ゲートをバックゲートとして区別するように記載しているが、第1ゲートと第2ゲートは互いに入れ替えることができる。そのため、本明細書等において、「ゲート」という語句は「バックゲート」という語句と入れ替えて記載することができる。同様に、「バックゲート」という語句は「ゲート」という語句と入れ替えて記載することができる。具体例としては、「ゲートは第1配線に電気的に接続され、バックゲートは第2配線に電気的に接続されている」という接続構成は、「バックゲートは第1配線に電気的に接続され、ゲートは第2配線に電気的に接続されている」という接続構成として置き換えることができる。例えば、図15Bに示すとおり、トランジスタM1のバックゲートが容量C1の第1端子と、トランジスタM2の第1端子と、に電気的に接続される構成としてもよい。
 また、本発明の一態様の半導体装置は、トランジスタのバックゲートの接続構成に依らない。図15Aに図示されているトランジスタM1乃至トランジスタM4には、バックゲートが図示され、当該バックゲートの接続構成については図示されていないが、当該バックゲートの電気的な接続先は、設計の段階で決めることができる。例えば、バックゲートを有するトランジスタにおいて、そのトランジスタのオン電流を高めるために、ゲートとバックゲートとを電気的に接続してもよい。つまり、例えば、トランジスタM2のゲートとバックゲートとを電気的に接続してもよい。また、例えば、バックゲートを有するトランジスタにおいて、そのトランジスタのしきい値電圧を変動させるため、または、そのトランジスタのオフ電流を小さくするために、外部回路などと電気的に接続されている配線を設けて、当該外部回路などによってトランジスタのバックゲートに固定電位、又は可変電位を与えてもよい。なお、これについては、図15Aだけでなく、明細書の他の箇所に記載されているトランジスタ、又は他の図面に図示されているトランジスタについても同様である。
 また、本発明の一態様の半導体装置は、当該半導体装置に含まれるトランジスタの構造に依らない。例えば、図15Aに図示しているトランジスタM1乃至トランジスタM4は、図15Cに示すとおり、バックゲートを有さないような構成、つまり、シングルゲート構造のトランジスタとしてもよい。また、一部のトランジスタはバックゲートを有している構成であり、別の一部のトランジスタは、バックゲートを有さない構成であってもよい。なお、これについては、図15Aに示す回路図だけでなく、明細書の他の箇所に記載されているトランジスタ、又は他の図面に図示されているトランジスタについても同様である。
 また、本明細書等において、トランジスタとして、様々な構造のトランジスタを用いることができる。よって、用いるトランジスタの種類に限定はない。トランジスタの一例としては、単結晶シリコンを有するトランジスタ、または、非晶質シリコン、多結晶シリコン、微結晶(マイクロクリスタル、ナノクリスタル、セミアモルファスとも言う)シリコンなどに代表される非単結晶半導体膜を有するトランジスタなどを用いることができる。または、それらの半導体を薄膜化した薄膜トランジスタ(TFT)などを用いることができる。TFTを用いる場合、様々なメリットがある。例えば、単結晶シリコンの場合よりも低い温度で製造できるため、製造コストの削減、又は製造装置の大型化を図ることができる。製造装置を大きくできるため、大型基板上に製造できる。そのため、同時に多くの個数の表示装置を製造できるため、低コストで製造できる。または、製造温度が低いため、耐熱性の弱い基板を用いることができる。そのため、透光性を有する基板上にトランジスタを製造できる。または、透光性を有する基板上のトランジスタを用いて表示素子での光の透過を制御することができる。または、トランジスタの膜厚が薄いため、トランジスタを形成する膜の一部は、光を透過させることができる。そのため、開口率が向上させることができる。
 なお、トランジスタの一例としては、化合物半導体(例えば、SiGe、GaAsなど)、又は酸化物半導体(例えば、Zn−O、In−Ga−Zn−O、In−Zn−O、In−Sn−O(ITO)、Sn−O、Ti−O、Al−Zn−Sn−O(AZTO)、In−Sn−Zn−Oなど)などを有するトランジスタを用いることができる。または、これらの化合物半導体、又は、これらの酸化物半導体を薄膜化した薄膜トランジスタなどを用いることができる。これらにより、製造温度を低くできるので、例えば、室温でトランジスタを製造することが可能となる。その結果、耐熱性の低い基板、例えばプラスチック基板又はフィルム基板などに直接トランジスタを形成することができる。なお、これらの化合物半導体又は酸化物半導体を、トランジスタのチャネル部分に用いるだけでなく、それ以外の用途で用いることもできる。例えば、これらの化合物半導体又は酸化物半導体を配線、抵抗素子、画素電極、又は透光性を有する電極などとして用いることができる。それらをトランジスタと同時に成膜又は形成することが可能なため、コストを低減できる。
 なお、トランジスタの一例としては、インクジェット法又は印刷法を用いて形成したトランジスタなどを用いることができる。これらにより、室温で製造、低真空度で製造、又は大型基板上に製造することができる。よって、マスク(レチクル)を用いなくても製造することが可能となるため、トランジスタのレイアウトを容易に変更することができる。または、レジストを用いらずに製造することが可能なので、材料費が安くなり、工程数を削減できる。または、必要な部分にのみ膜を付けることが可能なので、全面に成膜した後でエッチングする、という製法よりも、材料が無駄にならず、低コストにできる。
 なお、トランジスタの一例としては、有機半導体、カーボンナノチューブなどを有するトランジスタを用いることができる。これらにより、曲げることが可能な基板上にトランジスタを形成することができる。有機半導体、カーボンナノチューブなどを有するトランジスタを用いた装置は、衝撃に強くすることができる。
 なお、トランジスタとしては、他にも様々な構造のトランジスタを用いることができる。例えば、トランジスタとして、MOS型トランジスタ、接合型トランジスタ、バイポーラトランジスタなどを用いることができる。トランジスタとしてMOS型トランジスタを用いることにより、トランジスタのサイズを小さくすることができる。よって、多数のトランジスタを搭載することができる。トランジスタとしてバイポーラトランジスタを用いることにより、大きな電流を流すことができる。よって、高速に回路を動作させることができる。なお、MOS型トランジスタとバイポーラトランジスタとを1つの基板に混在させて形成してもよい。これにより、低消費電力、小型化、高速動作などを実現することができる。
 なお、トランジスタの一例としては、活性層の上下にゲート電極が配置されている構造のトランジスタを適用することができる。活性層の上下にゲート電極が配置される構造にすることにより、複数のトランジスタが並列に接続されたような回路構成となる。よって、チャネル形成領域が増えるため、電流値の増加を図ることができる。または、活性層の上下にゲート電極が配置されている構造にすることにより、空乏層ができやすくなるため、S値の改善を図ることができる。
 なお、トランジスタの一例としては、活性層の上にゲート電極が配置されている構造、活性層の下にゲート電極が配置されている構造、正スタガ構造、逆スタガ構造、チャネル領域を複数の領域に分けた構造、活性層を並列に接続した構造、又は活性層が直列に接続する構造などのトランジスタを用いることができる。または、トランジスタとして、プレーナ型、FIN型、TRI−GATE型、トップゲート型、ボトムゲート型、ダブルゲート型(チャネルの上下にゲートが配置されている)、など、様々な構成をとることができる。
 なお、トランジスタの一例としては、活性層(もしくはその一部)にソース電極、又はドレイン電極の少なくとも一が重なっている構造のトランジスタを用いることができる。活性層(もしくはその一部)にソース電極又はドレイン電極の少なくとも一が重なる構造にすることによって、活性層の一部に電荷が溜まることにより動作が不安定になることを防ぐことができる。
 なお、トランジスタの一例としては、LDD領域を設けた構造を適用できる。LDD領域を設けることにより、オフ電流の低減、又はトランジスタの耐圧向上(信頼性の向上)を図ることができる。または、LDD領域を設けることにより、飽和領域で動作する時に、ドレインとソースとの間の電圧が変化しても、ドレイン電流があまり変化せず、傾きがフラットな電圧・電流特性を得ることができる。
 例えば、本明細書等において、様々な基板を用いて、トランジスタを形成することができる。基板の種類は、特定のものに限定されることはない。その基板の一例としては、半導体基板(例えば単結晶基板又はシリコン基板)、SOI基板、ガラス基板、石英基板、プラスチック基板、サファイアガラス基板、金属基板、ステンレス・スチル基板、ステンレス・スチル・ホイルを有する基板、タングステン基板、タングステン・ホイルを有する基板、可撓性基板、貼り合わせフィルム、繊維状の材料を含む紙、又は基材フィルムなどがある。ガラス基板の一例としては、バリウムホウケイ酸ガラス、アルミノホウケイ酸ガラス、又はソーダライムガラスなどがある。可撓性基板、貼り合わせフィルム、基材フィルムなどの一例としては、以下のものがあげられる。例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリエーテルサルフォン(PES)、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)に代表されるプラスチックがある。または、一例としては、アクリル等の合成樹脂などがある。または、一例としては、ポリプロピレン、ポリエステル、ポリフッ化ビニル、又はポリ塩化ビニルなどがある。または、一例としては、ポリアミド、ポリイミド、アラミド、エポキシ樹脂、無機蒸着フィルム、又は紙類などがある。特に、半導体基板、単結晶基板、又はSOI基板などを用いてトランジスタを製造することによって、特性、サイズ、又は形状などのばらつきが少なく、電流能力が高く、サイズの小さいトランジスタを製造することができる。このようなトランジスタによって回路を構成すると、回路の低消費電力化、又は回路の高集積化を図ることができる。
 また、基板として、可撓性基板を用い、可撓性基板上に直接、トランジスタを形成してもよい。または、基板とトランジスタの間に剥離層を設けてもよい。剥離層は、その上に半導体装置を一部あるいは全部完成させた後、基板より分離し、他の基板に転載するために用いることができる。その際、トランジスタは耐熱性の劣る基板、可撓性の基板などにも転載できる。なお、上述の剥離層には、例えば、タングステン膜と酸化シリコン膜との無機膜の積層構造の構成、基板上にポリイミド等の有機樹脂膜が形成された構成等を用いることができる。
 つまり、ある基板を用いてトランジスタを形成し、その後、別の基板にトランジスタを転置し、別の基板上にトランジスタを配置してもよい。トランジスタが転置される基板の一例としては、上述したトランジスタを形成することが可能な基板に加え、紙基板、セロファン基板、アラミドフィルム基板、ポリイミドフィルム基板、石材基板、木材基板、布基板(天然繊維(絹、綿、麻)、合成繊維(ナイロン、ポリウレタン、ポリエステル)若しくは再生繊維(アセテート、キュプラ、レーヨン、再生ポリエステル)などを含む)、皮革基板、又はゴム基板などがある。これらの基板を用いることにより、特性のよいトランジスタの形成、消費電力の小さいトランジスタの形成、壊れにくい装置の製造、耐熱性の付与、軽量化、又は薄型化を図ることができる。
 なお、所定の機能を実現させるために必要な回路の全てを、同一の基板(例えば、ガラス基板、プラスチック基板、単結晶基板、又はSOI基板など)に形成することが可能である。こうして、部品点数の削減によるコストの低減、又は回路部品との接続点数の低減による信頼性の向上を図ることができる。
 なお、所定の機能を実現させるために必要な回路の全てを同じ基板に形成しないことが可能である。つまり、所定の機能を実現させるために必要な回路の一部は、ある基板に形成され、所定の機能を実現させるために必要な回路の別の一部は、別の基板に形成されていることが可能である。例えば、所定の機能を実現させるために必要な回路の一部は、ガラス基板に形成され、所定の機能を実現させるために必要な回路の別の一部は、単結晶基板(又はSOI基板)に形成されることが可能である。そして、所定の機能を実現させるために必要な回路の別の一部が形成される単結晶基板(ICチップともいう)を、COG(Chip On Glass)によって、ガラス基板に接続して、ガラス基板にそのICチップを配置することが可能である。または、ICチップを、TAB(Tape Automated Bonding)、COF(Chip On Film)、SMT(Surface Mount Technology)、又はプリント基板などを用いてガラス基板と接続することが可能である。このように、回路の一部が画素部と同じ基板に形成されていることにより、部品点数の削減によるコストの低減、又は回路部品との接続点数の低減による信頼性の向上を図ることができる。特に、駆動電圧が大きい部分の回路、又は駆動周波数が高い部分の回路などは、消費電力が大きくなってしまう場合が多い。そこで、このような回路を、画素部とは別の基板(例えば単結晶基板)に形成して、ICチップを構成する。このICチップを用いることによって、消費電力の増加を防ぐことができる。
 図15Aの回路MPにおいて、トランジスタM1の第1端子は、配線VEに電気的に接続されている。トランジスタM1の第2端子は、トランジスタM3の第1端子と、トランジスタM4の第1端子と、に電気的に接続されている。トランジスタM1のゲートは、容量C1の第1端子と、トランジスタM2の第1端子と、に電気的に接続されている。容量C1の第2端子は、配線VEに電気的に接続されている。トランジスタM2の第2端子は、配線OLに電気的に接続されている。トランジスタM2のゲートは配線WLに電気的に接続されている。トランジスタM3の第2端子は配線OLに電気的に接続され、トランジスタM3のゲートは、配線WX1Lに電気的に接続されている。トランジスタM4の第2端子は配線OLBに電気的に接続され、トランジスタM4のゲートは、配線X2Lに電気的に接続されている。
 回路MCrにおいて、回路MCと異なる接続構成について説明する。トランジスタM3rの第2端子は、配線OLでなく、配線OLBに電気的に接続され、トランジスタM4rの第2端子は、配線OLBでなく、配線OLに電気的に接続されている。トランジスタM1rの第1端子と、容量C1rの第1端子と、は、配線VErに電気的に接続されている。
 なお、図16Aに示すように、トランジスタM1の第1端子は、配線VEではなく、別の配線として配線VEmに電気的に接続されていてもよい。また、同様に、トランジスタM1rの第1端子は、配線VErではなく、別の配線として配線VEmrに電気的に接続されていてもよい。なお、図16Aだけでなく、他の図面の回路図においても、トランジスタM1の第1端子が、配線VEではなく、別の配線VEmに電気的に接続されるような構成、及び/又は、トランジスタM1rの第1端子が、配線VErではなく、別の配線VEmrに電気的に接続されるような構成にしてもよい。
 なお、図15Aに示す回路HCにおいて、トランジスタM1のゲートと、容量C1の第1端子と、トランジスタM2の第1端子と、の電気的接続点をノードn1としている。
 回路HCは、実施の形態1で説明したとおり、一例としては、第1データに応じた電位を保持する機能を有する。図15Aの回路MCに含まれている回路HCへの当該電位の保持は、トランジスタM2、及びトランジスタM3をオン状態としたときに、配線OLから電位を入力して、容量C1に書き込み、その後にトランジスタM2をオフ状態にすることで行われる。これによって、ノードn1の電位を、第1データに応じた電位として保持することができる。このとき、配線OLから電流を入力し、その電流の大きさに応じた大きさの電位を容量C1に保持することができる。そのため、トランジスタM1の電流特性のばらつきの影響を低減することができる。
 また、トランジスタM1は、ノードn1の電位を長時間保持するため、オフ電流が小さいトランジスタを適用するのが好ましい。オフ電流が小さいトランジスタとしては、例えば、OSトランジスタを用いることができる。また、トランジスタM1として、バックゲートを有するトランジスタを適用し、バックゲートに低レベル電位を印加して、閾値電圧をプラス側にシフトさせて、オフ電流を小さくする構成としてもよい。
 後述する動作例において、回路MPに入出する電流について簡易的に説明するため、図15Aに示す配線OLの両端をそれぞれノードina、ノードoutaとし、配線OLBの両端をそれぞれノードinb、ノードoutbとする。
 配線VEは、一例としては、定電圧を供給する配線として機能する。当該定電圧としては、トランジスタM3、トランジスタM3r、トランジスタM4、または、トランジスタM4rがnチャネル型トランジスタである場合、及び/又は図8A乃至図8Dにおいて配線VSOが与える電位が高レベル電位である場合には、例えば、低レベル電位であるVSS、接地電位、または、それら以外の低レベル電位などとすることができる。また、配線VEm、配線VEr、配線VEmrのそれぞれは、配線VEと同様に、定電圧を供給する電圧線として機能し、当該定電圧としては、低レベル電位であるVSS、VSS以外の低レベル電位、接地電位などとすることができる。また、当該定電圧としては、高レベル電位であるVDDとしてもよい。この場合、演算回路110、演算回路120、演算回路130、演算回路140、演算回路150、演算回路160の回路ACTF[1]乃至回路ACTF[n]として、図5A乃至図5E、図6A乃至図6D、図6Fのいずれかを適用している場合、回路ACTF[1]乃至回路ACTF[n]に電気的に接続されている配線VALが与える定電圧は、配線VE、配線VErが与える電位VDDよりも高い電位とするのが好ましい。
 また、配線VE、配線VEm、配線VEr、及び配線VEmrのそれぞれが供給する定電圧は、互いに異なってもよいし、一部又は全てが同一であってもよい。また、それぞれの配線が供給する電圧が同一である場合には、それらの配線を選択して、同一の配線としてもよい。例えば、配線VE、配線VEm、配線VEr、及び配線VEmrのそれぞれの与える定電圧がほぼ等しい場合、図16Bの回路MPのとおり、配線VEm、配線VEr、及び配線VEmrは配線VEと同一の配線とすることができる。または、例えば、配線VE、及び配線VErのそれぞれの与える定電圧がほぼ等しい場合、配線VEと配線VErとを一本の同一の配線とすることができる。または、例えば、配線VEm、配線VEmrのそれぞれの与える定電圧がほぼ等しい場合、配線VEmと配線VEmrとを一本の同一の配線とすることができる。同様に、図16Aにおいても、例えば、配線VEと配線VErとを一本の同一の配線として、配線VEmと配線VEmrとを一本の同一の配線としてもよい。または例えば、配線VEと配線VEmrとを一本の同一の配線として、配線VEmと配線VErとを一本の同一の配線としてもよい。
 また、図15Aの回路MPの構成は、状況に応じて、変更することができる。例えば、図17Aに示すとおり、図15Aの回路MPのトランジスタM1、トランジスタM1r、トランジスタM3、トランジスタM3r、トランジスタM4、トランジスタM4rのそれぞれをpチャネル型トランジスタであるトランジスタM1p、トランジスタM1pr、トランジスタM3p、トランジスタM3pr、トランジスタM4p、トランジスタM4prに置き換えてもよい。トランジスタM3p、トランジスタM3pr、トランジスタM4p、トランジスタM4prとしては、一例としては、SOI(Silicon On Insulator)構造のpチャネル型トランジスタを適用することができる。また、この場合、配線VE、及び配線VErが与える定電圧は、高レベル電位であるVDDとするのが好ましい。また、この場合に加え、演算回路110、演算回路120、演算回路130、演算回路140、演算回路150、及び演算回路160の回路ACTF[1]乃至回路ACTF[n]として、図5A乃至図5E、図6A乃至図6D、図6Fのいずれかを適用している場合、回路ACTF[1]乃至回路ACTF[n]に電気的に接続されている配線VALが与える定電圧は、接地電位、又はVSSとするのが好ましい。このように、配線の電位を変更した場合には、電流が流れる向きも変更されることとなる。
 また、同様に、トランジスタM2についてもpチャネル型のトランジスタに置き換えてもよい(図示しない)。
 また、例えば、図17Bに示す通り、図15Aの回路MPのトランジスタM4、M4rのそれぞれをpチャネル型トランジスタであるトランジスタM4p、M4prに置き換えてもよい。また、トランジスタM3、トランジスタM3r、トランジスタM4p、トランジスタM4prのそれぞれのゲートに接続する配線を、配線WXLとして1本にまとめることによって、回路MPは、0以外の第1データ(例えば、重み係数など)を保持することができる。
 また、例えば、図17Cに示す通り、図15Aの回路MPのトランジスタM3、トランジスタM3r、トランジスタM4、トランジスタM4rのそれぞれをアナログスイッチAS3、アナログスイッチAS4、アナログスイッチAS3r、アナログスイッチAS4rに置き換えてもよい。なお、図17Cには、アナログスイッチAS3、アナログスイッチAS4、アナログスイッチAS3r、及びアナログスイッチAS4rを動作させるため、配線WX1LB、及び配線X2LBも図示している。配線WX1LBは、アナログスイッチAS3、及びアナログスイッチAS3rに電気的に接続され、配線X2LBは、アナログスイッチAS4、及びアナログスイッチAS4rに電気的に接続されている。配線WX1LBには、配線WX1Lに入力される信号の反転信号が入力され、配線X2LBには、配線X2Lに入力される信号の反転信号が入力される。また、配線WX1L、及び配線X2Lを1本の配線としてまとめ、かつ配線WX1LB、及び配線X2LBを1本の配線としてまとめてもよい(図示しない)。なお、一例としては、アナログスイッチAS3、アナログスイッチAS4、アナログスイッチAS3r、及びアナログスイッチAS4rは、nチャネル型トランジスタとpチャネル型トランジスタとを用いたCMOS構成としてもよい。
 また、図15A乃至図15C、図16A乃び図16Bに示したトランジスタM3、トランジスタM3r、トランジスタM4、及びトランジスタM4rのサイズ、例えば、チャネル長及びチャネル幅はそれぞれ等しいことが好ましい。このような回路構成とすることにより、効率的にレイアウトできる可能性がある。また、トランジスタM3、トランジスタM3r、トランジスタM4、及びトランジスタM4rに流れる電流を揃えることができる可能性がある。また、同様に、図15A乃至図15C、図16A乃び図16Bに示したトランジスタM1、及びトランジスタM1rのサイズはそれぞれ等しいことが好ましい。また、同様に、図15A乃至図15C、図16A乃び図16Bに示したトランジスタM2、トランジスタM2rのサイズはそれぞれ等しいことが好ましい。また、同様に、図17Aに示したトランジスタM1p、及びトランジスタM1prのサイズはそれぞれ等しいことが好ましい。また、同様に、図17Aに示したトランジスタM3p、トランジスタM3pr、トランジスタM4p、及びトランジスタM4prのサイズはそれぞれ等しいことが好ましい。
<<動作例>>
 次に、図15Aに示した回路MPの動作例について説明する。図18A乃至図18C、図19A乃至図19C、図20A乃至図20Cは、回路MPの動作例を示したタイミングチャートであり、それぞれ、配線WL、配線WX1L、配線X2L、ノードn1、ノードn1rの電位の変動を示している。なお、図18A乃至図18C、図19A乃至図19C、図20A乃至図20Cに記載しているhighは高レベル電位を示し、lowは低レベル電位を示している。また、本動作例において、配線OLからノードoutaに(または、ノードoutaから配線OLに)出力される電流量をIOLとしている。また、配線OLBからノードoutbに(または、ノードoutbから配線OLBに)出力される電流量をIOLBとしている。図18A乃至図18C、図19A乃至図19C、図20A乃至図20Cに示すタイミングチャートでは、IOL、IOLBの変化量も図示している。
 なお、本動作例では、配線VE、及び配線VErが与える定電圧はVSS(低レベル電位)とする。この場合、図8A乃至図8Dにおいて、配線VSOには高レベル電位が与えられ、配線VSOから切り替え回路TW、配線OLを介して、配線VE又は配線VErに電流が流れることになる。同様に、配線VSOから切り替え回路TW、配線OLBを介して、配線VE又は配線VErに電流が流れることになる。
 また、本動作例では、図8Aにおいて、配線VCNが与える電位をVSSとする。配線VCNとトランジスタM1の第2端子との間を導通状態にすることによって、トランジスタM1の第2端子にはVSSが与えられる。詳しくは後述するが、このとき、トランジスタM1のゲートの電位もVSSになるため、トランジスタM1はオフ状態となる。同様に、配線VCNとトランジスタM1rの第2端子との間を導通状態にすることによって、トランジスタM1rの第2端子とゲートの電位はVSSとなるため、トランジスタM1rはオフ状態となる。
 図15Aに示した回路MPにおいて、トランジスタM2、及びトランジスタM3がオン状態のとき、トランジスタM1はダイオード接続の構成となる。そのため、配線OLから回路MCに電流が流れるとき、トランジスタM1の第2端子とトランジスタM1のゲートと、のそれぞれの電位はほぼ等しくなる。当該電位は、配線OLから回路MCに流れる電流量とトランジスタM1の第1端子の電位(ここではVSS)などによって定められる。ここで、トランジスタM1のゲートの電位を容量C1に保持し、その後にトランジスタM2をオフ状態にすることによって、トランジスタM1は、トランジスタM1のゲートの電位に応じた電流を流す電流源として機能する。そのため、トランジスタM1の電流特性のばらつきの影響を低減することができる。
 例えば、トランジスタM2、及びトランジスタM3がオン状態で、配線OLから回路MCを介して配線VEにIの電流量が流れたとき、トランジスタM1のゲート(ノードn1)の電位はVとなるものとする。ここで、トランジスタM2をオフ状態にすることによって、Vは回路HCによって保持される。これにより、トランジスタM1は、トランジスタM1の第1端子の電位VSSと、トランジスタM1のゲートの電位Vに応じた電流量であるIをトランジスタM1のソース−ドレイン間に流すことができる。本明細書等では、このような動作を「トランジスタM1は、トランジスタM1のソース−ドレイン間に流れる電流量をIに設定された」、「トランジスタM1は、トランジスタM1のソース−ドレイン間に流れる電流量をIにプログラミングされた」などと呼称する。
 本動作例では、配線OLから回路MCに流れる電流量を0、I、Iの3種類とする。このため、トランジスタM1に設定される電流量は0、I、Iの3種類となる。例えば、回路HCに保持されている、トランジスタM1のゲートの電位がVSSであるとき、トランジスタM1の第1端子、第2端子のそれぞれの電位もVSSであるため、トランジスタM1のしきい値電圧が0より高ければ、トランジスタM1はオフ状態となる。このため、トランジスタM1のソース−ドレイン間に電流は流れないので、トランジスタM1のソース−ドレイン間に流れる電流量は0に設定されている、ということができる。また、例えば、回路HCに保持されている、トランジスタM1のゲートの電位がVであるとき、トランジスタM1のしきい値電圧がV−VSSよりも低ければ、トランジスタM1はオン状態となる。このとき、トランジスタM1に流れる電流量をIとする。このため、トランジスタM1のゲートの電位がVであるとき、トランジスタM1のソース−ドレイン間に流れる電流量はIに設定されている、ということができる。また、例えば、回路HCに保持されている、トランジスタM1のゲートの電位がVであるとき、トランジスタM1のしきい値電圧がV−VSSよりも低ければ、トランジスタM1はオン状態となる。このとき、トランジスタM1に流れる電流量をIとする。このため、トランジスタM1のゲートの電位がVであるとき、トランジスタM1のソース−ドレイン間に流れる電流量はIに設定されている、ということができる。
 なお、Iの電流量は、0よりも大きく、Iよりも小さいものとする。また、電位Vは、VSSよりも高く、Vよりも低いものとする。また、トランジスタM1のしきい値電圧は、0よりも高く、V−VSSよりも低いものとする。また、Iは、例えば、図8Aの説明における、定電流源回路ISC1が生成するIutに置き換えることができ、また、Iは、例えば、図8Aの説明における、定電流源回路ISC2が生成する2Iutに置き換えることができる。
 また、動作例を説明する前に、回路MPが保持する第1データ(例えば、ここでは重み係数とする。)を次の通りに定義する。回路HCのノードn1にVSS、回路HCrのノードn1rにVSSが保持されているとき、回路MPは第1データ(重み係数)として“0”を保持しているものとする。回路HCのノードn1にV、回路HCrのノードn1rにVSSが保持されているとき、回路MPは第1データ(重み係数)として“+1”を保持しているものとする。回路HCのノードn1にV、回路HCrのノードn1rにVSSが保持されているとき、回路MPは第1データ(重み係数)として“+2”を保持しているものとする。回路HCのノードn1にVSS、回路HCrのノードn1rにVが保持されているとき、回路MPは第1データ(重み係数)として“−1”を保持しているものとする。回路HCのノードn1にVSS、回路HCrのノードn1rにVが保持されているとき、回路MPは第1データ(重み係数)として“−2”を保持しているものとする。
 また、回路MPに入力される第2データ(例えば、ここではニューロンの信号の値(演算値)とする。)を一例として次の通りに定義する。配線WX1Lに高レベル電位、配線X2Lに低レベル電位が印加されているとき、回路MPには、第2データ(ニューロンの信号の値)として“+1”が入力されている。配線WX1Lに低レベル電位、配線X2Lに高レベル電位が印加されているとき、回路MPには、第2データ(ニューロンの信号の値)として“−1”が入力されている。配線WX1Lに低レベル電位、配線X2Lに低レベル電位が印加されているとき、回路MPには、第2データ(ニューロンの信号の値)として“0”が入力されるものとする。なお、一例としては、高レベル電位としては、VDD、または、VDDよりも10%以上、もしくは、20%以上高い電位をとるものとする。
 また、本明細書などにおいて、トランジスタM1、及びトランジスタM1rは、特に断りの無い場合は、オン状態の場合は最終的に飽和領域で動作する場合を含むものとする。すなわち、上述したそれぞれのトランジスタのゲート電圧、ソース電圧、及びドレイン電圧は、飽和領域で動作する範囲での電圧に適切にバイアスされている場合を含むものとする。ただし、本発明の一態様は、これに限定されない。供給される電圧の振幅値を小さくするために、トランジスタM1、及びトランジスタM1rは、線形領域で動作してもよい。また、トランジスタM1、及びトランジスタM1rに流れる電流量を小さくするため、トランジスタM1、及びトランジスタM1rは、サブスレッショルド領域で動作してもよい。又は、トランジスタM1、及びトランジスタM1rは、飽和領域とサブスレッショルド領域の境界付近で動作させてもよい。なお、第1データ(重み係数)をアナログ値とする場合には、第1データ(重み係数)の大きさに応じて、例えば、トランジスタM1、及びトランジスタM1rは、線形領域で動作する場合と、飽和領域で動作する場合と、サブスレッショルド領域で動作する場合と、が混在していてもよい。又は、トランジスタM1、及びトランジスタM1rは、線形領域で動作する場合と、飽和領域で動作する場合と、が混在してもよく、又は、サブスレッショルド領域で動作する場合と線形領域で動作する場合と、が混在してもよく、又は、飽和領域で動作する場合と、サブスレッショルド領域で動作する場合と、が混在してもよい。
 また、本明細書などにおいて、トランジスタM2、トランジスタM2r、トランジスタM3、トランジスタM3r、トランジスタM4、及びトランジスタM4rは、特に断りの無い場合は、オン状態の場合は最終的に線形領域で動作する場合を含むものとする。すなわち、上述したそれぞれのトランジスタのゲート電圧、ソース電圧、及びドレイン電圧は、線形領域で動作する範囲での電圧に適切にバイアスされている場合を含むものとする。ただし、本発明の一態様は、これに限定されない。例えば、トランジスタM2、トランジスタM2r、トランジスタM3、トランジスタM3r、トランジスタM4、及びトランジスタM4rは、オン状態のときは飽和領域で動作してもよく、又はサブスレッショルド領域で動作してもよい。又は、トランジスタM2、トランジスタM2r、トランジスタM3、トランジスタM3r、トランジスタM4、及びトランジスタM4rは、飽和領域とサブスレッショルド領域の境界付近で動作させてもよい。又は、トランジスタM2、トランジスタM2r、トランジスタM3、トランジスタM3r、トランジスタM4、及びトランジスタM4rは、線形領域で動作する場合と、飽和領域で動作する場合と、が混在してもよく、又は、飽和領域で動作する場合と、サブスレッショルド領域で動作する場合と、が混在してもよく、又は、サブスレッショルド領域で動作する場合と線形領域で動作する場合と、が混在してもよく、又は、線形領域で動作する場合と、飽和領域で動作する場合と、サブスレッショルド領域で動作する場合と、が混在してもよい。
 以下では、第1データ(例えば、以下では重み係数とする。)、及び第2データ(例えば、以下では、ニューロンの信号の値(演算値)など)のそれぞれが取り得る値の組み合わせ毎に、回路MPの動作例を説明する。
〔条件1〕
 初めに、一例として、第1データ(重み係数)が“0”であって、回路MPに入力される第2データ(ニューロンの信号の値(演算値))が“+1”である場合を考える。図18Aは、その場合における回路MPのタイミングチャートである。
 時刻T1から時刻T2までの間では、回路HC、及び回路HCrには、初期の電位が保持されている。図18Aでは、例えば、ノードn1、ノードn1rには、初期の電位として、電位VSSよりも高い電位が保持されているものとする。
 また、配線WL、配線WX1L、配線X2Lには、低レベル電位が印加されている。これによって、トランジスタM2、トランジスタM2r、トランジスタM3、トランジスタM3r、トランジスタM4、及びトランジスタM4rのそれぞれのゲートには、低レベル電位が入力されるため、トランジスタM2、トランジスタM2r、トランジスタM3、トランジスタM3r、トランジスタM4、及びトランジスタM4rのそれぞれはオフ状態となる。
 時刻T2から時刻T3までの間において、配線WLと、配線WX1Lには、高レベル電位が印加される。これにより、トランジスタM2、トランジスタM2r、トランジスタM3、トランジスタM3rのそれぞれのゲートには、高レベル電位が入力されるため、トランジスタM2、トランジスタM2r、トランジスタM3、及びトランジスタM3rのそれぞれはオン状態となる。
 また、図18Aには図示していないが、配線OL、及び配線OLBのそれぞれには、初期化電位としてViniが印加される。トランジスタM2、トランジスタM2r、トランジスタM3、及びトランジスタM3rのそれぞれはオン状態となっているため、回路HCのノードn1、及び回路HCrのノードn1rのそれぞれの電位はViniとなる。つまり、時刻T2から時刻T3までの間では、回路HCのノードn1、及び回路HCrのノードn1rのそれぞれの電位の初期化が行われる。
 なお、初期化電位のViniとしては、例えば、接地電位とするのが好ましい。また、初期化電位のViniとしては、VSS、接地電位よりも高い電位、又は接地電位よりも低い電位としてもよい。また、配線OL、及び配線OLBのそれぞれに与える初期化電位Viniは互いに異なる電位としてもよい。なお、配線OL、及び配線OLBのそれぞれに初期化電位Viniを入力しなくてもよい。なお、必ずしも、時刻T2から時刻T3までの期間を設けなくてもよい。または、必ずしも、時刻T2から時刻T3までの間において、初期化を行わなくてもよい。
 時刻T3から時刻T4までの間において、配線OLから回路MCに電位VSSが入力され、配線OLBから回路MCrに電位VSSが入力される。これは、図8Aにおいて、スイッチSWL、及びスイッチSWLBをオン状態にし、スイッチSWI、スイッチSWIB、スイッチSWO、スイッチSWOB、スイッチSWH、及びスイッチSWHBをオフ状態にすることによって行われる。これによって、回路HCのノードn1の電位はVSSとなり、回路HCrのノードn1rの電位はVSSとなる。これにより、回路MCにおいて、トランジスタM1は電流量として0を流すように設定されるため、配線OLから回路MCを介して配線VEに電流は流れない。また、回路MCrにおいて、トランジスタM1rは電流量として0を流すように設定されるため、配線OLBから回路MCrを介して配線VErに電流は流れない。換言すると、時刻T3から時刻T4までの間において、トランジスタM1、トランジスタM1rはオフ状態となるため、配線OLと配線VEとの間は非導通状態となり、配線OLBと配線VErとの間は非導通状態となる。
 時刻T4から時刻T5までの間において、配線WLと、配線WX1Lには、低レベル電位が印加される。これにより、トランジスタM2、トランジスタM2r、トランジスタM3、トランジスタM3rのそれぞれのゲートには、低レベル電位が入力されるため、トランジスタM2、トランジスタM2r、トランジスタM3、トランジスタM3rのそれぞれはオフ状態となる。トランジスタM2、トランジスタM2rがオフ状態になることにより、回路HCのノードn1の電位VSSが保持され、回路HCrのノードn1rの電位VSSが保持される。また、トランジスタM3がオフ状態になることによって、配線OLから回路MCを介して配線VEに電流は流れなくなる。また、同様に、トランジスタM3rがオフ状態になることによって、配線OLBから回路MCrを介して配線VErに電流は流れなくなる。
 時刻T1から時刻T5までの動作によって、回路MPの第1データ(重み係数)として“0”が設定される。また、回路MPに第1データ(重み係数)が設定された後は、図8Aにおいて、スイッチSWI、スイッチSWIB、スイッチSWO、スイッチSWOB、スイッチSWL、及びスイッチSWLBをオフ状態としてもよい。なお、回路MPに重み係数が設定された後(例えば、時刻T4から時刻T5までの間など)に、スイッチSWH、及びスイッチSWHBをオン状態にして、配線OL、及び配線OLBの電位を配線VCN2が与える電位(例えば、高レベル電位とすることができる。)にプリチャージしてもよい。配線OL、及び配線OLBを高レベル電位にプリチャージした後は、スイッチSWH、及びスイッチSWHBをオフ状態としてもよい。
 時刻T5以降において、回路MPへのニューロンの信号(演算値)“+1”の入力として、配線WX1Lに高レベル電位、配線X2Lに低レベル電位が入力される。このとき、トランジスタM3、及びトランジスタM3rのそれぞれのゲートに高レベル電位が入力され、トランジスタM4、及びトランジスタM4rのそれぞれのゲートに低レベル電位が入力される。このため、トランジスタM3、及びトランジスタM3rのそれぞれはオン状態となり、トランジスタM4、及びトランジスタM4rのそれぞれはオフ状態になる。つまり、この動作によって、回路MCと配線OLとの間、及び、回路MCrと配線OLBとの間が導通状態となり、回路MCと配線OLBとの間、及び、回路MCrと配線OLとの間が非導通状態となる。
 このとき、図8Aにおいて、スイッチSWO、及びスイッチSWOBをオン状態とし、スイッチSWI、スイッチSWIB、スイッチSWL、スイッチSWLB、スイッチSWH、及びスイッチSWHBをオフ状態として、配線OL、及び配線OLBのそれぞれと回路AFPとの間を導通状態にする。なお、トランジスタM1はオフ状態となっているため(電流量として0を流すように設定されているため)、回路MCにおいて、配線OL、及び配線OLBから配線VEまでの間に電流は流れない。同様に、トランジスタM1rはオフ状態となっているため(電流量として0を流すように設定されているため)、回路MCrにおいて、配線OL、及び配線OLBから配線VErまでの間に電流は流れない。以上より、配線OLのノードoutaから出力される電流IOL、及び配線OLBのノードoutbから出力される電流IOLBは、時刻T5の前後で変化しない。そのため、回路AFPと配線OLとの間には電流IOLは流れず、かつ回路AFPと配線OLBとの間には電流IOLBは流れない。
 ところで、本条件は、第1データ(重み係数)を“0”とし、回路MPに入力される第2データ(ニューロンの信号の値(演算値))を“+1”としているため、式(1.1)を用いると、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)の積は、“0”となる。第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)の積が“0”となる結果は、回路MPの動作では、時刻T5以降において電流IOL及び電流IOLBのそれぞれが変化しない場合に対応する。なお、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)の積が“0”となる結果は、図8Aにおいて、回路AFPから信号z (k)として出力される。
 なお、第1データ(例えば、重み係数など)は、一旦入力すると、その値を更新せずに、第2データ(ニューロンの信号の値、又は演算値など)の方のみを変更することによって、複数の積和演算処理を行うことができる。この場合、第1データ(重み係数)の更新が不要となるため、消費電力を低減することができる。なお、第1データ(重み係数)の更新を少なくするためには、第1データ(重み係数)を長期間保持する必要がある。このとき、例えば、OSトランジスタを用いると、オフ電流が低いことを利用して、第1データ(重み係数)を長期間保持することが可能となる。
〔条件2〕
 次に、一例として、第1データ(重み係数)が“+1”であって、回路MPに入力される第2データ(ニューロンの信号の値(演算値))が“+1”である場合を考える。図18Bは、その場合における回路MPのタイミングチャートである。
 時刻T1から時刻T3までの間の動作については、条件1の時刻T1から時刻T3までの間の動作と同様であるため、条件1の時刻T1から時刻T3までの間の動作の説明を参酌する。
 時刻T3から時刻T4までの間において、配線OLから回路MCに電流量してIが入力され、配線OLBから回路MCrに電位VSSが入力される。これは、図8Aにおいて、スイッチSWI、及びスイッチSWLBをオン状態にし、スイッチSWIB、スイッチSWO、スイッチSWOB、スイッチSWH、及びスイッチSWHBをオフ状態にすることによって行われる。これによって、回路HCのノードn1の電位はVとなり、回路HCrのノードn1rの電位はVSSとなる。これにより、回路MCにおいて、トランジスタM1は電流量としてIを流すように設定されるため、配線OLから回路MCを介して配線VEに電流量としてIが流れる。また、回路MCrにおいて、トランジスタM1rは電流量として0を流すように設定されるため、配線OLBから回路MCrを介して配線VErに電流は流れない。
 時刻T4から時刻T5までの間において、配線WLと、配線WX1Lには、低レベル電位が印加される。これにより、トランジスタM2、トランジスタM2r、トランジスタM3、及びトランジスタM3rのそれぞれのゲートには、低レベル電位が入力されるため、トランジスタM2、トランジスタM2r、トランジスタM3、及びトランジスタM3rのそれぞれはオフ状態となる。トランジスタM2、及びトランジスタM2rがオフ状態になることにより、回路HCのノードn1の電位Vが保持され、回路HCrのノードn1rの電位VSSが保持される。また、トランジスタM3がオフ状態になることによって、配線OLから回路MCを介して配線VEに電流は流れなくなる。また、同様に、トランジスタM3rがオフ状態になることによって、配線OLBから回路MCrを介して配線VErに電流は流れなくなる。
 時刻T1から時刻T5までの動作によって、回路MPの第1データ(重み係数)として“+1”が設定される。また、回路MPに第1データ(重み係数)が設定された後は、図8Aにおいて、スイッチSWI、スイッチSWIB、スイッチSWO、スイッチSWOB、スイッチSWL、スイッチSWLBをオフ状態としてもよい。なお、回路MPに第1データ(重み係数)が設定された後に、スイッチSWH、及びスイッチSWHBをオン状態にして、配線OL、及び配線OLBを配線VCN2が与える電位(例えば、高レベル電位とすることができる。)にプリチャージしてもよい。配線OL、及び配線OLBを高レベル電位にプリチャージした後は、スイッチSWH、及びスイッチSWHBをオフ状態としてもよい。
 時刻T5以降において、回路MPへの第2データ(ニューロンの信号の値(演算値))“+1”の入力として、配線WX1Lに高レベル電位、配線X2Lに低レベル電位が入力される。このとき、トランジスタM3、及びトランジスタM3rのそれぞれのゲートに高レベル電位が入力され、トランジスタM4、及びトランジスタM4rのそれぞれのゲートに低レベル電位が入力される。このため、トランジスタM3、及びトランジスタM3rのそれぞれはオン状態となり、トランジスタM4、及びトランジスタM4rのそれぞれはオフ状態になる。つまり、この動作によって、回路MCと配線OLとの間、及び、回路MCrと配線OLBとの間が導通状態となり、回路MCと配線OLBとの間、及び、回路MCrと配線OLとの間が非導通状態となる。
 このとき、図8Aにおいて、スイッチSWO、及びスイッチSWOBをオン状態とし、スイッチSWI、スイッチSWIB、スイッチSWL、スイッチSWLB、スイッチSWH、及びスイッチSWHBをオフ状態として、配線OL、及び配線OLBのそれぞれと回路AFPとの間を導通状態にする。回路MCにおいて、トランジスタM3がオン状態となり、トランジスタM1がオン状態となるため(電流量としてIを流すように設定されており、かつトランジスタM1の第2端子に配線OLの電位が入力されるため)、配線OLから配線VEまでの間に電流が流れる。また、回路MCにおいて、トランジスタM4がオフ状態になっているため、配線OLBから配線VEまでの間に電流は流れない。一方、回路MCrにおいて、トランジスタM3rがオン状態になっているが、トランジスタM1rがオフ状態になっているため(電流量として0を流すように設定されているため)、配線OLBから配線VErまでの間に電流は流れない。また、回路MCrにおいて、トランジスタM4rがオフ状態になっているため、配線OLから配線VErまでの間に電流は流れない。以上より、配線OLのノードoutaから出力される電流IOLは、時刻T5以降にI増加し、配線OLBのノードoutbから出力される電流IOLBは、時刻T5の前後で変化しない。そのため、回路AFPと配線OLとの間には電流量Iの電流IOLが流れ、かつ回路AFPと配線OLBとの間には電流IOLBは流れない。
 ところで、本条件は、第1データ(重み係数)を“+1”とし、回路MPに入力される第2データ(ニューロンの信号の値)を“+1”としているため、式(1.1)を用いると、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)の積は、“+1”となる。第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)の積が“+1”となる結果は、回路MPの動作では、時刻T5以降において電流IOLがI増加し、電流IOLBが変化しない場合に対応する。なお、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)の積が“+1”となる結果は、図8Aにおいて、回路AFPから信号z (k)として出力される。
 なお、本条件の時刻T3から時刻T4までの間において、例えば、配線OLから回路MCに流れる電流をIでなくIに設定することで、回路HCにVを保持することができる。これにより、回路MPの第1データ(重み係数)として“+2”が設定される。第1データ(重み係数)を“+2”とし、回路MPに入力されるニューロンの信号を“+1”とすることにより、式(1.1)から、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)の積は、“+2”となる。第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)の積が“+2”となる結果は、回路MPの動作では、時刻T5以降において電流IOLがI増加し、電流IOLBが変化しない場合に対応する。このように、回路MCrにおいて回路HCrにVSSを保持し、かつ回路MCにおいて電流量I以外を設定することで、回路MPの第1データ(重み係数)として“+1”以外の正の値を設定することができる。
〔条件3〕
 次に、一例として、第1データ(重み係数)が“−1”であって、回路MPに入力される第2データ(ニューロンの信号の値(演算値))が“+1”である場合を考える。図18Cは、その場合における回路MPのタイミングチャートである。
 時刻T1から時刻T3までの間の動作については、条件1の時刻T1から時刻T3までの間の動作と同様であるため、条件1の時刻T1から時刻T3までの間の動作の説明を参酌する。
 時刻T3から時刻T4までの間において、配線OLから回路MCに電位VSSが入力され、配線OLBから回路MCrに電流量としてIが入力される。これは、図8Aにおいて、スイッチSWIB、及びスイッチSWLをオン状態にし、スイッチSWI、スイッチSWO、スイッチSWOB、スイッチSWLB、スイッチSWH、及びスイッチSWHBをオフ状態にすることによって行われる。これによって、回路HCのノードn1の電位はVSSとなり、回路HCrのノードn1rの電位はVとなる。これにより、回路MCにおいて、トランジスタM1は電流量として0を流すように設定されるため、配線OLから回路MCを介して配線VEに電流は流れない。また、回路MCrにおいて、トランジスタM1rは電流量としてIを流すように設定されるため、配線OLBから回路MCrを介して配線VErに電流量としてIが流れる。
 時刻T4から時刻T5までの間において、配線WLと、配線WX1Lには、低レベル電位が印加される。これにより、トランジスタM2、トランジスタM2r、トランジスタM3、及びトランジスタM3rのそれぞれのゲートには、低レベル電位が入力されるため、トランジスタM2、トランジスタM2r、トランジスタM3、及びトランジスタM3rのそれぞれはオフ状態となる。トランジスタM2、及びトランジスタM2rがオフ状態になることにより、回路HCのノードn1の電位VSSが保持され、回路HCrのノードn1rの電位Vが保持される。また、トランジスタM3がオフ状態になることによって、配線OLから回路MCを介して配線VEに電流は流れなくなる。また、同様に、トランジスタM3rがオフ状態になることによって、配線OLBから回路MCrを介して配線VErに電流は流れなくなる。
 時刻T1から時刻T5までの動作によって、回路MPの第1データ(重み係数)として“−1”が設定される。また、回路MPに第1データ(重み係数)が設定された後は、図8Aにおいて、スイッチSWI、スイッチSWIB、スイッチSWO、スイッチSWOB、スイッチSWL、及びスイッチSWLBをオフ状態としてもよい。なお、回路MPに第1データ(重み係数)が設定された後に、スイッチSWH、及びスイッチSWHBをオン状態にして、配線OL、及び配線OLBを配線VCN2が与える電位(例えば、高レベル電位とすることができる。)にプリチャージしてもよい。配線OL、及び配線OLBを高レベル電位にプリチャージした後は、スイッチSWH、及びスイッチSWHBをオフ状態としてもよい。
 時刻T5以降において、回路MPへの第2データ(ニューロンの信号の値(演算値))“+1”の入力として、配線WX1Lに高レベル電位、配線X2Lに低レベル電位が入力される。このとき、トランジスタM3、及びトランジスタM3rのそれぞれのゲートに高レベル電位が入力され、トランジスタM4、及びトランジスタM4rのそれぞれのゲートに低レベル電位が入力される。このため、トランジスタM3、及びトランジスタM3rのそれぞれはオン状態となり、トランジスタM4、及びトランジスタM4rのそれぞれはオフ状態になる。つまり、この動作によって、回路MCと配線OLとの間、及び、回路MCrと配線OLBとの間が導通状態となり、回路MCと配線OLBとの間、及び、回路MCrと配線OLとの間が非導通状態となる。
 このとき、図8Aにおいて、スイッチSWO、及びスイッチSWOBをオン状態とし、スイッチSWI、スイッチSWIB、スイッチSWL、スイッチSWLB、スイッチSWH、及びスイッチSWHBをオフ状態として、配線OL、及び配線OLBのそれぞれと回路AFPとの間を導通状態にする。回路MCにおいて、トランジスタM3がオン状態になっているが、トランジスタM1がオフ状態になっているため(電流量として0を流すように設定されているため)、配線OLから配線VEまでの間に電流が流れない。また、回路MCにおいて、トランジスタM4がオフ状態になっているため、配線OLBから配線VEまでの間に電流は流れない。一方、回路MCrにおいて、トランジスタM3rがオン状態となり、トランジスタM1rがオン状態となるため(電流量としてIを流すように設定されており、かつトランジスタM1rの第2端子に配線OLBの電位が入力されるため)、配線OLBから配線VErまでの間に電流が流れる。また、回路MCrにおいて、トランジスタM4rがオフ状態になっているため、配線OLから配線VErまでの間に電流は流れない。以上より、配線OLのノードoutaから出力される電流IOLは、時刻T5の前後で変化せず、配線OLBのノードoutbから出力される電流IOLBは、時刻T5以降にI増加する。そのため、回路AFPと配線OLとの間には電流IOLは流れず、かつ回路AFPと配線OLBとの間には電流量Iの電流IOLBが流れる。
 ところで、本条件は、第1データ(重み係数)を“−1”とし、回路MPに入力される第2データ(ニューロンの信号の値(演算値))を“+1”としているため、式(1.1)を用いると、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)の積は、“−1”となる。第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)の積が“−1”となる結果は、回路MPの動作では、時刻T5以降において電流IOLが変化せず、電流IOLBはI増加する場合に対応する。なお、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)の積が“−1”となる結果は、図8Aにおいて、回路AFPから信号z (k)として出力される。
 なお、本条件の時刻T3から時刻T4までの間において、例えば、配線OLBから回路MCrに流れる電流をIでなくIに設定することで、回路HCrにVを保持することができる。これにより、回路MPの第1データ(重み係数)として“−2”が設定される。第1データ(重み係数)を“−2”とし、回路MPに入力される第2データ(ニューロンの信号の値)を“+1”とすることにより、式(1.1)から、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)の積は、“−2”となる。第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)の積が“−2”となる結果は、回路MPの動作では、時刻T5以降において電流IOLが変化せず、電流IOLBがI増加する場合に対応する。このように、回路MCにおいて回路HCにVSSを保持し、かつ回路MCrにおいて電流量としてI以外を設定することで、回路MPの重み係数として“−1”以外の負の値を設定することができる。
〔条件4〕
 本条件では、一例として、第1データ(重み係数)を“0”とし、回路MPに入力される第2データ(ニューロンの信号の値(演算値))を“−1”とする場合の回路MPの動作を考える。図19Aは、その場合における回路MPのタイミングチャートである。
 時刻T1から時刻T5までの間の動作については、条件1の時刻T1から時刻T5までの間の動作と同様であるため、条件1の時刻T1から時刻T5までの間の動作の説明を参酌する。
 時刻T5以降において、回路MPへの第2データ(ニューロンの信号の値(演算値))“−1”の入力として、配線WX1Lに低レベル電位、配線X2Lに高レベル電位が入力される。このとき、トランジスタM3、及びトランジスタM3rのそれぞれのゲートに低レベル電位が入力され、トランジスタM4、及びトランジスタM4rのそれぞれのゲートに高レベル電位が入力される。このため、トランジスタM3、及びトランジスタM3rのそれぞれはオフ状態となり、トランジスタM4、及びトランジスタM4rのそれぞれはオン状態になる。つまり、この動作によって、回路MCと配線OLとの間、及び、回路MCrと配線OLBとの間が非導通状態となり、回路MCと配線OLBとの間、及び、回路MCrと配線OLとの間が導通状態となる。
 このとき、図8Aにおいて、スイッチSWO、及びスイッチSWOBをオン状態とし、スイッチSWI、スイッチSWIB、スイッチSWL、及びスイッチSWLBをオフ状態として、配線OL、及び配線OLBのそれぞれと回路AFPとの間を導通状態にする。なお、トランジスタM1はオフ状態となっているため(電流量として0を流すように設定されているため)、回路MCにおいて、配線OL、及び配線OLBから配線VEまでの間に電流は流れない。つまり、配線OLのノードoutaから出力される電流IOL、及び配線OLBのノードoutbから出力される電流IOLBは、時刻T5の前後で変化しない。同様に、トランジスタM1rはオフ状態となっているため(電流量として0を流すように設定されているため)、回路MCrにおいて、配線OL、及び配線OLBから配線VErまでの間に電流は流れない。つまり、配線OLのノードoutaから出力される電流IOL、及び配線OLBのノードoutbから出力される電流IOLBも、時刻T5の前後で変化しない。そのため、回路AFPと配線OLとの間には電流IOLは流れず、かつ回路AFPと配線OLBとの間には電流IOLBは流れない。
 ところで、本条件は、第1データ(重み係数)を“0”とし、回路MPに入力される第2データ(ニューロンの信号の値(演算値))を“−1”としているため、式(1.1)を用いると、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)の積は、“0”となる。第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)の積が“0”となる結果は、回路MPの動作では、時刻T5以降において電流IOL及び電流IOLBのそれぞれが変化しない場合に対応し、これは条件1の回路動作の結果と一致する。なお、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)の積が“0”となる結果は、条件1と同様に、図8Aにおいて、回路AFPから信号z (k)として出力される。
〔条件5〕
 本条件では、一例として、第1データ(重み係数)を“+1”とし、回路MPに入力される第2データ(ニューロンの信号の値(演算値))を“−1”とする場合の回路MPの動作を考える。図19Bは、その場合における回路MPのタイミングチャートである。
 時刻T1から時刻T5までの間の動作については、条件2の時刻T1から時刻T5までの間の動作と同様であるため、条件2の時刻T1から時刻T5までの間の動作の説明を参酌する。
 時刻T5以降において、回路MPへの第2データ(ニューロンの信号の値(演算値))“−1”の入力として、配線WX1Lに低レベル電位、配線X2Lに高レベル電位が入力される。このとき、トランジスタM3、及びトランジスタM3rのそれぞれのゲートに低レベル電位が入力され、トランジスタM4、及びトランジスタM4rのそれぞれのゲートに高レベル電位が入力される。このため、トランジスタM3、及びトランジスタM3rのそれぞれはオフ状態となり、トランジスタM4、及びトランジスタM4rのそれぞれはオン状態になる。つまり、この動作によって、回路MCと配線OLとの間、及び、回路MCrと配線OLBとの間が非導通状態となり、回路MCと配線OLBとの間、及び、回路MCrと配線OLとの間が導通状態となる。
 このとき、図8Aにおいて、スイッチSWO、及びスイッチSWOBをオン状態とし、スイッチSWI、スイッチSWIB、スイッチSWL、スイッチSWLB、スイッチSWH、及びスイッチSWHBをオフ状態として、配線OL、及び配線OLBのそれぞれと回路AFPとの間を導通状態にする。回路MCにおいて、トランジスタM3がオフ状態になっているため、配線OLから配線VEまでの間に電流は流れない。また、回路MCにおいて、トランジスタM4がオン状態となり、トランジスタM1がオン状態となるため(電流量としてIを流すように設定されており、かつトランジスタM1の第2端子に配線OLの電位が入力されるため)、配線OLBから配線VEまでの間に電流が流れる。一方、回路MCrにおいて、トランジスタM3rがオフ状態になっているため、配線OLBから配線VErまでの間に電流は流れない。また、回路MCrにおいて、トランジスタM4rがオン状態になっているが、トランジスタM1rがオフ状態になっているため(電流量として0を流すように設定されているため)、配線OLから配線VErまでの間に電流が流れない。以上より、配線OLのノードoutaから出力される電流IOLは、時刻T5の前後で変化せず、配線OLBのノードoutbから出力される電流IOLBは、時刻T5以降にI増加する。そのため、回路AFPと配線OLとの間には電流IOLは流れず、かつ回路AFPと配線OLBとの間には電流量Iの電流IOLBが流れる。
 ところで、本条件は、第1データ(重み係数)を“+1”とし、回路MPに入力される第2データ(ニューロンの信号の値(演算値))を“−1”としているため、式(1.1)を用いると、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)の積は、“−1”となる。第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)の積が“−1”となる結果は、回路MPの動作では、時刻T5以降において電流IOLが変化せず、電流IOLBはI増加する場合に対応し、これは条件3の回路動作の結果と一致する。なお、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)の積が“−1”となる結果は、条件3と同様に、図8Aにおいて、回路AFPから信号z (k)として出力される。
 なお、条件2でも記載した通り、本条件の時刻T3から時刻T4までの間において、例えば、配線OLから回路MCに流れる電流をIでなくIに設定して、回路HCにVを保持してもよい。これにより、回路MPの第1データ(重み係数)として“+2”が設定される。第1データ(重み係数)を“+2”とし、回路MPに入力されるニューロンの信号を“−1”とすることにより、式(1.1)から、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)の積は、“−2”となる。第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)の積が“−2”となる結果は、回路MPの動作では、時刻T5以降において電流IOLが変化せず、電流IOLBがI増加する場合に対応する。このように、回路MCrにおいて回路HCrにVSSを保持し、かつ回路MCにおいて電流量I以外を設定することで、回路MPの重み係数として“+1”以外の正の値を設定することができる。
〔条件6〕
 本条件では、一例として、第1データ(重み係数)を“−1”とし、回路MPに入力される第2データ(ニューロンの信号の値(演算値))を“−1”とする場合の回路MPの動作を考える。図19Cは、その場合における回路MPのタイミングチャートである。
 時刻T1から時刻T5までの間の動作については、条件3の時刻T1から時刻T5までの間の動作と同様であるため、条件3の時刻T1から時刻T5までの間の動作の説明を参酌する。
 時刻T5以降において、回路MPへの第2データ(ニューロンの信号の値(演算値))“−1”の入力として、配線WX1Lに低レベル電位、配線X2Lに高レベル電位が入力される。このとき、トランジスタM3、及びトランジスタM3rのそれぞれのゲートに低レベル電位が入力され、トランジスタM4、及びトランジスタM4rのそれぞれのゲートに高レベル電位が入力される。このため、トランジスタM3、及びトランジスタM3rのそれぞれはオフ状態となり、トランジスタM4、及びトランジスタM4rのそれぞれはオン状態になる。つまり、この動作によって、回路MCと配線OLとの間、及び、回路MCrと配線OLBとの間が非導通状態となり、回路MCと配線OLBとの間、及び、回路MCrと配線OLとの間が導通状態となる。
 このとき、図8Aにおいて、スイッチSWO、及びスイッチSWOBをオン状態とし、スイッチSWI、スイッチSWIB、スイッチSWL、スイッチSWLB、スイッチSWH、及びスイッチSWHBをオフ状態として、配線OL、及び配線OLBのそれぞれと回路AFPとの間を導通状態にする。回路MCにおいて、トランジスタM3がオフ状態になっているため、配線OLから配線VEまでの間に電流は流れない。また、回路MCにおいて、トランジスタM4がオン状態になっているが、トランジスタM1がオフ状態になっているため(電流量として0を流すように設定されているため)、配線OLBから配線VEまでの間に電流は流れない。一方、回路MCrにおいて、トランジスタM3rがオフ状態になっているため、配線OLBから配線VErまでの間に電流は流れない。また、回路MCrにおいて、トランジスタM4rがオン状態となり、トランジスタM1rがオン状態となるため(電流量としてIを流すように設定されており、かつトランジスタM1rの第2端子に配線OLBの電位が入力されるため)、配線OLから配線VErまでの間に電流が流れる。以上より、配線OLのノードoutaから出力される電流IOLは、時刻T5以降にI増加し、配線OLBのノードoutbから出力される電流IOLBは、時刻T5の前後で変化しない。そのため、回路AFPと配線OLとの間には電流量Iの電流IOLが流れ、かつ回路AFPと配線OLBとの間には電流IOLBは流れない。
 ところで、本条件は、第1データ(重み係数)を“−1”とし、回路MPに入力される第2データ(ニューロンの信号の値(演算値))を“−1”としているため、式(1.1)を用いると、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)の積は、“+1”となる。第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)の積が“+1”となる結果は、回路MPの動作では、時刻T5以降において電流IOLが変化し、電流IOLBが変化しない場合に対応し、これは条件2の回路動作の結果と一致する。なお、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)の積が“+1”となる結果は、条件2と同様に、図8Aにおいて、回路AFPから信号z (k)として出力される。
 なお、条件3でも記載した通り、本条件の時刻T3から時刻T4までの間において、例えば、配線OLBから回路MCrに流れる電流をIでなくIに設定して、回路HCrにVを保持してもよい。これにより、回路MPの第1データ(重み係数)として“−2”が設定される。第1データ(重み係数)を“−2”とし、回路MPに入力される第2データ(ニューロンの信号の値)を“−1”とすることにより、式(1.1)から、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)の積は、“+2”となる。第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)の積が“+2”となる結果は、回路MPの動作では、時刻T5以降において電流IOLが変化せず、電流IOLBがI増加する場合に対応する。このように、回路MCにおいて回路HCにVSSを保持し、かつ回路MCrにおいて電流量I以外を設定することで、回路MPの重み係数として“−1”以外の負の値を設定することができる。
〔条件7〕
 本条件では、一例として、第1データ(重み係数)が“0”であって、回路MPに入力される第2データ(ニューロンの信号の値(演算値))が“0”である場合を条件7として、回路MPの動作を考える。図20Aは、その場合における回路MPのタイミングチャートである。
 時刻T1から時刻T5までの間の動作については、条件1の時刻T1から時刻T5までの間の動作と同様であるため、条件1の時刻T1から時刻T5までの間の動作の説明を参酌する。
 時刻T5以降において、回路MPへの第2データ(ニューロンの信号の値(演算値))“0”の入力として、配線WX1Lに低レベル電位、配線X2Lに低レベル電位が入力される。このとき、トランジスタM3、トランジスタM3r、トランジスタM4、及びトランジスタM4rのそれぞれのゲートに低レベル電位が入力される。このため、トランジスタM3、トランジスタM3r、トランジスタM4、及びトランジスタM4rのそれぞれはオフ状態となる。つまり、この動作によって、回路MCと配線OLとの間、回路MCrと配線OLBとの間、回路MCと配線OLBとの間、及び、回路MCrと配線OLとの間が非導通状態となる。
 このため、回路MCにおいて、トランジスタM1に流れる、設定された電流の量に関わらず、配線OLから配線VE又は配線VErの一方までの間に電流は流れない。同様に、回路MCrにおいて、トランジスタM1rに流れる、設定された電流の量に関わらず、配線OLBから配線VE又は配線VErの他方までの間にも電流は流れない。つまり、配線OLのノードoutaから出力される電流IOL、及び、配線OLBのノードoutbから出力される電流IOLBのそれぞれは、時刻T5の前後で変化しない。
 また、このとき、図8Aにおいて、スイッチSWO、及びスイッチSWOBをオン状態とし、スイッチSWI、スイッチSWIB、スイッチSWL、スイッチSWLB、スイッチSWH、及びスイッチSWHBをオフ状態にすることで、配線OL、及び配線OLBのそれぞれと回路AFPとの間を導通状態としても、上述の通り、回路AFPと配線OLとの間には電流IOLは流れず、かつ回路AFPと配線OLBとの間には電流IOLBは流れない。
 ところで、本条件は、第1データ(重み係数)を“0”とし、回路MPに入力される第2データ(ニューロンの信号の値(演算値))を“0”としているため、式(1.1)を用いると、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)の積は、“0”となる。第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)の積が“0”となる結果は、回路MPの動作では、時刻T5以降において電流IOL及び電流IOLBのそれぞれが変化しない場合に対応し、これは条件1、条件4の回路動作の結果と一致する。なお、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)の積が“0”となる結果は、条件1、条件4と同様に、図8Aにおいて、回路AFPから信号z (k)として出力される。
〔条件8〕
 本条件では、一例として、第1データ(重み係数)が“+1”であって、回路MPに入力される第2データ(ニューロンの信号の値(演算値))が“0”である場合を条件8として、回路MPの動作を考える。図20Bは、その場合における回路MPのタイミングチャートである。
 時刻T1から時刻T5までの間の動作については、条件2の時刻T1から時刻T5までの間の動作と同様であるため、条件2の時刻T1から時刻T5までの間の動作の説明を参酌する。
 時刻T5以降において、回路MPへの第2データ(ニューロンの信号の値(演算値))“0”の入力として、配線WX1Lに低レベル電位、配線X2Lに低レベル電位が入力される。このとき、トランジスタM3、トランジスタM3r、トランジスタM4、及びトランジスタM4rのそれぞれのゲートに低レベル電位が入力される。このため、トランジスタM3、トランジスタM3r、トランジスタM4、及びトランジスタM4rのそれぞれはオフ状態となる。つまり、条件7と同様に、この動作によって、トランジスタM1、及びトランジスタM1rのそれぞれに流れる、設定された電流の量に関わらず、回路MCと配線OLとの間、回路MCrと配線OLBとの間、回路MCと配線OLBとの間、及び、回路MCrと配線OLとの間が非導通状態となる。このため、配線OLから配線VE又は配線VErの一方までの間に電流は流れず、かつ配線OLBから配線VE又は配線VErの他方までの間にも電流は流れないため、配線OLのノードoutaから出力される電流IOL、及び、配線OLBのノードoutbから出力される電流IOLBのそれぞれは、時刻T5の前後で変化しない。
 また、このとき、図8Aにおいて、スイッチSWO、及びスイッチSWOBをオン状態とし、スイッチSWI、スイッチSWIB、スイッチSWL、及びスイッチSWLBをオフ状態にすることで、配線OL、及び配線OLBのそれぞれと回路AFPとの間を導通状態としても、上述の通り、回路AFPと配線OLとの間には電流IOLは流れず、かつ回路AFPと配線OLBとの間には電流IOLBは流れない。
 ところで、本条件は、第1データ(重み係数)を“+1”とし、回路MPに入力される第2データ(ニューロンの信号の値(演算値))を“0”としているため、式(1.1)を用いると、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)の積は、“0”となる。第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)の積が“0”となる結果は、回路MPの動作では、時刻T5以降において電流IOL及び電流IOLBのそれぞれが変化しない場合に対応し、これは条件1、条件4、条件7の回路動作の結果と一致する。なお、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)の積が“0”となる結果は、条件1、条件4、条件7と同様に、図8Aにおいて、回路AFPから信号z (k)として出力される。
〔条件9〕
 本条件では、一例として第1データ(重み係数)が“−1”であって、回路MPに入力される第2データ(ニューロンの信号の値(演算値))が“0”である場合を条件9として、回路MPの動作を考える。図20Cは、その場合における回路MPのタイミングチャートである。
 時刻T1から時刻T5までの間の動作については、条件3の時刻T1から時刻T5までの間の動作と同様であるため、条件3の時刻T1から時刻T5までの間の動作の説明を参酌する。
 時刻T5以降において、回路MPへの第2データ(ニューロンの信号の値(演算値))“0”の入力として、配線WX1Lに低レベル電位、配線X2Lに低レベル電位が入力される。このとき、トランジスタM3、トランジスタM3r、トランジスタM4、及びトランジスタM4rのそれぞれのゲートに低レベル電位が入力される。このため、トランジスタM3、M3r、トランジスタM4、及びトランジスタM4rのそれぞれはオフ状態となる。つまり、条件7と同様に、この動作によって、トランジスタM1、及びトランジスタM1rのそれぞれに流れる、設定された電流の量に関わらず、回路MCと配線OLとの間、回路MCrと配線OLBとの間、回路MCと配線OLBとの間、及び、回路MCrと配線OLとの間が非導通状態になる。このため、配線OLから配線VE又は配線VErの一方までの間に電流は流れず、かつ配線OLBから配線VE又は配線VErの他方までの間にも電流は流れないため、配線OLのノードoutaから出力される電流IOL、及び、配線OLBのノードoutbから出力される電流IOLBのそれぞれは、時刻T5の前後で変化しない。
 また、このとき、図8Aにおいて、スイッチSWO、及びスイッチSWOBをオン状態とし、スイッチSWI、スイッチSWIB、スイッチSWL、スイッチSWLB、スイッチSWH、及びスイッチSWHBをオフ状態にすることで、配線OL、及び配線OLBのそれぞれと回路AFPとの間を導通状態としても、上述の通り、回路AFPと配線OLとの間には電流IOLは流れず、かつ回路AFPと配線OLBとの間には電流IOLBは流れない。
 ところで、本条件は、第1データ(重み係数)を“−1”とし、回路MPに入力される第2データ(ニューロンの信号の値(演算値))を“0”としているため、式(1.1)を用いると、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)の積は、“0”となる。第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)の積が“0”となる結果は、回路MPの動作では、時刻T5以降において電流IOL及び電流IOLBのそれぞれが変化しない場合に対応し、これは条件1、条件4、条件7、条件8の回路動作の結果と一致する。なお、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)の積が“0”となる結果は、条件1、条件4、条件7、条件8と同様に、図8Aにおいて、回路AFPから信号z (k)として出力される。
 上述した条件1乃至条件9の動作例の結果を下表にまとめる。なお、下表では、高レベル電位をhighと記載し、低レベル電位をlowと記載している。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000008
 ここでは、配線OL、及び配線OLBに、回路MC、回路MCrが1個ずつ接続されている場合を一例として示した。これについて、図2、図3、図4、図7、図11、図12、図14などに示すように、配線OL、及び配線OLBに、回路MC、回路MCrが複数個ずつ接続されている場合には、各回路MC、回路MCrから出力される電流が、キルヒホッフの電流則に基づいて、足し合わせられることになる。その結果、和の演算が行われることとなる。つまり、回路MC、回路MCrにおいて、積の演算が行われ、複数の回路MC、回路MCrからの電流の足し合わせにより、和の演算が行われる。以上の結果、積和演算処理が行われることとなる。
 ところで、回路MPの動作において、第1データ(重み係数)を“+1”、“−1”の2値のみとし、第2データ(ニューロンの信号の値)を“+1”、“−1”の2値のみとした計算を行うことで、回路MPは排他的論理和の否定の回路(一致回路)と同様の動作を行うことができる。
 また、回路MPの動作において、第1データ(重み係数)を“+1”、“0”の2値のみとし、第2データ(ニューロンの信号の値)を“+1”、“0”の2値のみとした計算を行うことで、回路MPは論理積の回路と同様の動作を行うことができる。
 ところで、本動作例では、回路MPの回路MC、及び回路MCrが有する回路HC、回路HCrに保持されている電位を、VSS、V、Vなどのように多値としたが、回路HC、回路HCrには2値、又はアナログ値を示す電位を保持してもよい。例えば、第1データ(重み係数)として“正のアナログ値”の場合には、回路HCのノードn1に高レベルのアナログ電位、回路HCrのノードn1rに低レベル電位が保持されている。第1データ(重み係数)として“負のアナログ値”の場合には、例えば、回路HCのノードn1に低レベル電位、回路HCrのノードn1rに高レベルのアナログ電位が保持されている。そして、電流IOL及び電流IOLBの電流の大きさは、アナログ電位に応じた大きさとなる。また、回路HC、回路HCrにはアナログ値を示す電位を保持することについては、図15Aの回路MPの動作例に限定されず、本明細書等に示す他の回路MPに対しても行ってもよい。
 なお、本構成例は、本明細書で示す他の構成例などと適宜組み合わせることができる。
<構成例2>
 次に、図15A乃至図15C、図16A、図16Bのそれぞれの回路構成とは異なる、図9Bに図示した回路MPに適用できる回路構成の例について説明する。
 図21Aに示す回路MPは、図9Bの回路MPの構成例を示しており、図15Aの回路MPとの違いは、トランジスタM2の第2端子が、配線OLでなくトランジスタM1の第2端子と、トランジスタM3の第1端子と、トランジスタM4の第1端子と、に電気的に接続されている点と、トランジスタM2rの第2端子が、配線OLBでなくトランジスタM1rの第2端子と、トランジスタM3rの第1端子と、トランジスタM4rの第1端子と、に電気的に接続されている点、とである。
 図21Aの回路MPは、図15Aの回路MPと同様に動作することができる。
 また、図21Aとは異なる、図9Bに図示した回路MPに適用できる回路構成の別の例について説明する。図21Bに示す回路MPは、図9Bの回路MPの構成例を示しており、図15Aの回路MPとの違いは、回路MCにトランジスタM1cが含まれ、かつトランジスタM4の第1端子が、トランジスタM1の第2端子とトランジスタM3の第2端子でなく、トランジスタM1cに電気的に接続されている点と、回路MCrにトランジスタM1crが含まれ、かつトランジスタM4rの第1端子が、トランジスタM1rの第2端子とトランジスタM3rの第2端子でなく、トランジスタM1crに電気的に接続されている点である。
 なお、本明細書などにおいて、トランジスタM1c、及びトランジスタM1crは、特に断りの無い場合は、オン状態の場合は最終的に飽和領域で動作する場合を含むものとする。すなわち、上述したそれぞれのトランジスタのゲート電圧、ソース電圧、及びドレイン電圧は、線形領域で動作する範囲での電圧に適切にバイアスされている場合を含むものとする。ただし、本発明の一態様は、これに限定されない。供給される電圧の振幅値を小さくするために、トランジスタM1c、及びトランジスタM1crは、線形領域で動作してもよい。または、トランジスタM1c、及びトランジスタM1crに流れる電流量を小さくするため、トランジスタM1c、及びトランジスタM1crは、サブスレッショルド領域で動作してもよい。又は、飽和領域とサブスレッショルド領域の境界付近で動作させてもよい。なお、第1データ(例えば、ここでは重み係数とする。)をアナログ値とする場合には、第1データ(重み係数)の大きさに応じて、例えば、トランジスタM1c、及びトランジスタM1crは、線形領域で動作する場合と、飽和領域で動作する場合と、サブスレッショルド領域で動作する場合と、が混在していてもよい。又は、トランジスタM1c、及びトランジスタM1crは、線形領域で動作する場合と、飽和領域で動作する場合と、が混在してもよく、又は、サブスレッショルド領域で動作する場合と線形領域で動作する場合と、が混在してもよく、又は、飽和領域で動作する場合と、サブスレッショルド領域で動作する場合と、が混在してもよい。
 図21Bの回路MPにおいて、トランジスタM1cの第1端子は、配線VEに電気的に接続されている。また、トランジスタM1cのゲートは、トランジスタM1のゲートと、トランジスタM2の第1端子と、容量C1の第1端子と、に電気的に接続されている。加えて、トランジスタM1cの第2端子は、トランジスタM4の第1端子に電気的に接続されている。
 なお、図21Bの回路MPにおいて、回路MCrは、回路MCとほぼ同様の回路構成となっている。そのため、回路MCrの有する回路素子などには、回路MCの有する回路素子などと区別をするため、符号に「r」を付している。
 また、図21Bの回路MPと、図15Aの回路MPと同様の接続構成となっている箇所については説明を省略する。
 図21Bの回路MPにおいて、トランジスタM3、及びトランジスタM4に流れる電流は、それぞれトランジスタM1、及びトランジスタM1cのゲートの電位によって決められる。なお、一例としては、トランジスタM1、及びトランジスタM1cのサイズ、例えば、チャネル長及びチャネル幅は互いに等しいことが好ましい。このような回路構成とすることにより、効率的にレイアウトできる可能性がある。また、トランジスタM3、及びトランジスタM4に流れる電流を揃えることができる可能性がある。
 図21Bの回路MPは、図15Aの回路MPと同様に動作することができる。
 なお、本構成例は、本明細書で示す他の構成例などと適宜組み合わせることができる。
<構成例3>
 次に、図9Eに図示した回路MPに適用できる回路構成の例について説明する。
 図22Aに示す回路MPは、図9Eの回路MPの構成例を示しており、図15Aの回路MPとの違いは、回路MCにトランジスタM5が含まれ、かつ回路MCrにトランジスタM5rが含まれている点と、回路MPは配線ILと配線ILBとに電気的に接続されている点である。
 なお、本明細書などにおいて、トランジスタM5、及びトランジスタM5rは、特に断りの無い場合は、オン状態の場合は最終的に線形領域で動作する場合を含むものとする。すなわち、上述したそれぞれのトランジスタのゲート電圧、ソース電圧、及びドレイン電圧は、線形領域で動作する範囲での電圧に適切にバイアスされている場合を含むものとする。但し、本発明の一態様は、これに限定されない。トランジスタM5、及びトランジスタM5rは、飽和領域で動作してもよく、またはサブスレッショルド領域で動作してもよい。または、飽和領域とサブスレッショルド領域の境界付近で動作させてもよい。または、トランジスタM5、及びトランジスタM5rは、例えば、線形領域で動作する場合と、飽和領域で動作する場合と、サブスレッショルド領域で動作する場合と、が混在していてもよい。又は、トランジスタM5、及びトランジスタM5rは、線形領域で動作する場合と、飽和領域で動作する場合と、が混在してもよく、または、飽和領域で動作する場合と、サブスレッショルド領域で動作する場合と、が混在してもよく、又は、サブスレッショルド領域で動作する場合と線形領域で動作する場合と、が混在してもよい。
 図22Aの回路MPにおいて、トランジスタM5の第1端子は、トランジスタM2の第2端子と、配線ILと、に電気的に接続されている。トランジスタM5の第2端子は、トランジスタM1の第2端子と、トランジスタM3の第1端子と、トランジスタM4の第1端子と、に電気的に接続されている。トランジスタM5のゲートは、配線WLに電気的に接続されている。
 なお、図22Aの回路MPにおいて、回路MCrは、回路MCとほぼ同様の回路構成となっている。そのため、回路MCrの有する回路素子などには、回路MCの有する回路素子などと区別をするため、符号に「r」を付している。
 また、図22Aの回路MPと、図15Aの回路MPと同様の接続構成となっている箇所については説明を省略する。
 図22Aの回路MPにおいて、構成例1、及び構成例2と同様に、トランジスタM1、トランジスタM2、トランジスタM3、及びトランジスタM4のサイズ、例えば、チャネル長及びチャネル幅は、それぞれトランジスタM1r、トランジスタM2r、トランジスタM3r、及びトランジスタM4rのサイズと等しいことが好ましい。このような回路構成とすることにより、効率的にレイアウトできる可能性がある。加えて、トランジスタM5のサイズは、トランジスタM5rのサイズと等しいことが好ましい。
 回路MC、及び回路MCrへの電流の設定は、配線WLに高レベル電位を与えて、トランジスタM2、トランジスタM2r、トランジスタM5、及びトランジスタM5rをオン状態にすることによって行われる。また、回路MC、及び回路MCrに電流を設定した後は、回路HC、及び回路HCrに設定された電位を保持するため、配線WLに低レベル電位を与えて、トランジスタM2、トランジスタM2r、トランジスタM5、及びトランジスタM5rをオフ状態にすればよい。
 構成例1、構成例2で説明した回路MPでは、第2データ(例えば、ここではニューロンの信号の値)を送信する配線と、回路MPに第1データ(例えば、ここでは重み係数とする。)に応じた情報(例えば、電圧、電流など)を供給、又は保持するための配線と、をまとめて配線WX1Lとしたが、回路MPを図22Aの構成とすることによって、第2データ(ニューロンの信号の値)を送信する配線を配線X1Lとして、回路MPに第1データ(重み係数)に応じた情報(例えば、電圧、電流など)を供給、又は保持するための配線を配線WLとすることができる。つまり、図22Aの回路MPは、構成例1、構成例2の回路MPの配線WX1Lを、機能毎に分けた構成ということができる。
 また、図22Aの回路MPと異なる、回路構成を図22Bに示す。
 図22Bに示す回路MPは、図22Aの回路MPのトランジスタM5、及びトランジスタM5rのそれぞれの第1端子の電気的な接続を変更した構成となっている。具体的には、図22Bの回路MPにおいて、トランジスタM5の第1端子は、トランジスタM2の第1端子と、トランジスタM1のゲートと、容量C1の第1端子と、に電気的に接続されている。
 図22Bに示す構成とすることによって、回路MPは、図22Aの回路MPとほぼ同様に動作する。
 なお、図22A、及び図22Bのそれぞれに示した回路MPは、配線ILを配線OLにまとめ、かつ配線ILBを配線OLBにまとめた構成としてもよい。例えば、図22Aに示す回路MPにおいて、配線ILを配線OLにまとめ、かつ配線ILBを配線OLBにまとめることによって、図23Aに示す回路MPの構成にすることができる。また、例えば、図22Bに示す回路MPにおいて、配線ILを配線OLにまとめ、かつ配線ILBを配線OLBにまとめることによって、図23Bに示す回路MPの構成にすることができる。なお、図23A、及び図23Bのそれぞれの回路MPは、図9Aに図示した回路MPに適用できる回路構成であり、図23A、及び図23Bのそれぞれの回路MPの動作は、図15Aの回路MPの動作の説明を参酌する。
 なお、本構成例は、本明細書で示す他の構成例などと適宜組み合わせることができる。
<構成例4>
 図24に示す回路MPは、図15Aの回路MPと異なり、回路HC、及び回路HCrだけでなく、回路HCs、及び回路HCsrも有する回路の一例である。
 図24の回路MPに含まれている回路MCは、図21Aの回路MPが有する回路素子に加え、トランジスタM1s、トランジスタM2s、トランジスタM6、トランジスタM6s、及び容量C1sを有する。また、図24の回路MPに含まれている回路MCrは、回路MCと同様の回路素子を有するため、回路MCのトランジスタM1s、トランジスタM2s、トランジスタM6、トランジスタM6s、及び容量C1sのそれぞれに対応する、トランジスタM1sr、トランジスタM2sr、トランジスタM6r、トランジスタM6sr、及び容量C1srを有する。なお、トランジスタM2sと、容量C1sと、は、回路HCsに含まれ、トランジスタM2srと、容量C1srと、は、回路HCsrに含まれている。
 なお、本明細書などにおいて、トランジスタM1s、及びトランジスタM1srは、特に断りの無い場合は、トランジスタM1、及びトランジスタM1rと同様に、オン状態の場合は最終的に飽和領域で動作する場合を含むものとする。すなわち、上述したそれぞれのトランジスタのゲート電圧、ソース電圧、及びドレイン電圧は、飽和領域で動作する範囲での電圧に適切にバイアスされている場合を含むものとする。ただし、本発明の一態様は、これに限定されない。供給される電圧の振幅値を小さくするために、トランジスタM1s、及びトランジスタM1srは、線形領域で動作してもよい。また、トランジスタM1s、及びトランジスタM1srに流れる電流量を小さくするため、トランジスタM1s、及びトランジスタM1srは、サブスレッショルド領域で動作してもよい。または、飽和領域とサブスレッショルド領域の境界付近で動作させてもよい。なお、第1データ(重み係数)をアナログ値とする場合には、第1データ(重み係数)の大きさに応じて、例えば、トランジスタM1s、及びトランジスタM1srは、線形領域で動作する場合と、飽和領域で動作する場合と、サブスレッショルド領域で動作する場合と、が混在していてもよい。又は、トランジスタM1s、及びトランジスタM1srは、線形領域で動作する場合と、飽和領域で動作する場合と、が混在してもよく、又は、サブスレッショルド領域で動作する場合と線形領域で動作する場合と、が混在してもよく、又は、飽和領域で動作する場合と、サブスレッショルド領域で動作する場合と、が混在してもよい。
 また、本明細書などにおいて、トランジスタM2s、トランジスタM2sr、トランジスタM6、トランジスタM6s、トランジスタM6r、トランジスタM6srは、特に断りの無い場合は、トランジスタM2、トランジスタM3、トランジスタM4などと同様に、オン状態の場合は最終的に線形領域で動作する場合を含むものとする。すなわち、上述したそれぞれのトランジスタのゲート電圧、ソース電圧、及びドレイン電圧は、線形領域で動作する範囲での電圧に適切にバイアスされている場合を含むものとする。ただし、本発明の一態様は、これに限定されない。例えば、トランジスタM2s、トランジスタM2sr、トランジスタM6、トランジスタM6s、トランジスタM6r、及びトランジスタM6srは、オン状態のときは飽和領域で動作してもよく、または、サブスレッショルド領域で動作してもよい。又は、トランジスタM2s、トランジスタM2sr、トランジスタM6、トランジスタM6s、トランジスタM6r、及びトランジスタM6srは、飽和領域とサブスレッショルド領域の境界付近で動作させてもよい。又は、トランジスタM2s、トランジスタM2sr、トランジスタM6、トランジスタM6s、トランジスタM6r、及びトランジスタM6srは、線形領域で動作する場合と、飽和領域で動作する場合と、が混在してもよく、又は、飽和領域で動作する場合と、サブスレッショルド領域で動作する場合と、が混在してもよく、又は、サブスレッショルド領域で動作する場合と線形領域で動作する場合と、が混在してもよく、又は、線形領域で動作する場合と、飽和領域で動作する場合と、サブスレッショルド領域で動作する場合と、が混在していてもよい。
 次に、図24の回路MPの構成について説明する。なお、図24の回路MPにおいて、図21Aの回路MPと同様の構成となっている箇所については省略する。
 図24の回路MPにおいて、トランジスタM1の第2端子は、トランジスタM2の第2端子と、トランジスタM6の第1端子と、に電気的に接続されている。トランジスタM6の第2端子は、トランジスタM3の第1端子と、トランジスタM4の第1端子と、に電気的に接続されている。トランジスタM6のゲートは、配線S1Lに電気的に接続されている。トランジスタM1sの第1端子は、配線VEに電気的に接続されている。トランジスタM1sの第2端子は、トランジスタM6sの第1端子に電気的に接続されている。トランジスタM1sのゲートは、容量C1sの第1端子と、トランジスタM2sの第1端子と、に電気的に接続されている。容量C1sの第2端子は、配線VEに電気的に接続されている。トランジスタM2sの第2端子は、トランジスタM1sの第2端子と、トランジスタM6sの第1端子に電気的に接続されている。トランジスタM6sの第2端子は、トランジスタM3の第1端子と、トランジスタM4の第1端子と、に電気的に接続されている。トランジスタM6sのゲートは、配線S2Lに電気的に接続されている。
 図24の回路MPにおいて、回路MCrは、回路MCとほぼ同様の回路構成となっている。そのため、回路MCrの有する回路素子などには、回路MCの有する回路素子などと区別をするため、符号に「r」を付している。
 配線S1Lは、トランジスタM6、及びトランジスタM6rをオン状態又はオフ状態にするための電位を供給する電圧線として機能し、配線S2Lは、トランジスタM6s、及びトランジスタM6srをオン状態又はオフ状態にするための電位を供給する電圧線として機能する。
 図24の回路MPにおいて、トランジスタM6、トランジスタM6s、トランジスタM6r、及びトランジスタM6srのサイズ、例えば、チャネル長及びチャネル幅は、互いに等しいことが好ましい。このような回路構成とすることにより、効率的にレイアウトできる可能性がある。
 例えば、図11に示した演算回路150に、図24の回路MPに示した構成を適用することによって、演算回路150の回路MPは、第1データ(例えば、ここでは重み係数とする。)を2個保持することができる。具体的には、図24の回路MPは、1個目の第1データ(重み係数)に応じた電位を、回路MCの回路HCと、回路MCrの回路HCrと、に保持し、2個目の第1データ(重み係数)に応じた電位を、回路MCの回路HCsと、回路MCrの回路HCsrと、に保持することができる。また、図24の回路MPは、配線S1L、及び配線S2Lから与える電位によって、演算に用いる第1データ(重み係数)の切り替えを行うことができる。例えば、演算回路150の回路MP[1,j]乃至回路MP[m,j]に含まれるそれぞれの回路HC、及び回路HCrに第1データ(重み係数)w (k−1) (k)乃至w (k−1) (k)に相当する電位を保持し、演算回路150の回路MP[1,j]乃至回路MP[m,j]に含まれるそれぞれの回路HCs、及び回路HCsrに第1データ(重み係数)w (k−1) (k)乃至w (k−1) (k)(ここでのhは、1以上でjでない整数とする。)に相当する電位を保持して、配線XLS[1]乃至配線XLS[m](図24の回路MPにおける配線WX1L、及び配線X2L)に信号z (k−1)乃至z (k−1)に応じた電位を入力する。このとき、配線S1Lに高レベル電位を印加して、トランジスタM6、及びトランジスタM6rをオン状態とし、配線S2Lに低レベル電位を印加して、トランジスタM6s、及びトランジスタM6srをオフ状態とすることで、演算回路150の回路MP[1,j]乃至回路MP[m,j]は、重み係数w (k−1) (k)乃至w (k−1) (k)と信号z (k−1)乃至z (k−1)との積和と活性化関数の演算を行うことができる。また、配線S1Lに低レベル電位を印加して、トランジスタM6、及びトランジスタM6rをオフ状態とし、配線S2Lに高レベル電位を印加して、トランジスタM6s、及びトランジスタM6srをオン状態とすることで、演算回路150の回路MP[1,j]乃至回路MP[m,j]は、重み係数w (k−1) (k)乃至w (k−1) (k)と信号z (k−1)乃至z (k−1)との積和と活性化関数の演算を行うことができる。
 上述の通り、演算回路150に図24の回路MPを適用することによって、重み係数を2個保持することができ、かつ当該重み係数を切り替えて、積和と活性化関数の演算を行うことができる。図24の回路MPを構成した演算回路150は、例えば、第k層のニューロンの個数がnより大きい場合、第k層と異なる中間層における演算を行う場合、などに有効である。また、図24の回路MPでは、回路MC、及び回路MCrが有する保持部はそれぞれ2個としたが、回路MC、及び回路MCrのそれぞれは、状況に応じて、3個以上の保持部を有してもよい。
 また、本発明の一態様の半導体装置に含まれている回路MPは、図24の回路MPに限定されない。本発明の一態様の半導体装置の回路MPとしては、図24の回路MPの回路構成を状況に応じて変更することができる。
 例えば、図25に示す回路MPは、図24の回路MPを変更した回路構成となっている。具体的には、図25の回路MPは、図24の回路MPに対して、トランジスタM3s、トランジスタM4s、トランジスタM3sr、及びトランジスタM4srが加えられ、かつ電気的な接続の変更がされている。トランジスタM3sの第1端子は、トランジスタM6sの第2端子と、トランジスタM4sの第1端子と、に電気的に接続され、トランジスタM3sの第2端子は、配線OLに電気的に接続され、トランジスタM3sのゲートは、配線WX1Lに電気的に接続されている。トランジスタM4sの第2端子は、配線OLBに電気的に接続され、トランジスタM4sのゲートは、配線X2Lに電気的に接続されている。
 なお、図25の回路MPにおいて、回路MCrは、回路MCとほぼ同様の回路構成となっている。そのため、回路MCrの有する回路素子などには、回路MCの有する回路素子などと区別をするため、符号に「r」を付している。また、回路MCrにおいて、トランジスタM3srの第2端子は、配線OLBに電気的に接続され、トランジスタM4srの第2端子は、配線OLに電気的に接続されている。
 図25の回路MPにおいて、トランジスタM3、トランジスタM3s、トランジスタM3r、トランジスタM3sr、トランジスタM4、トランジスタM4s、トランジスタM4r、及びトランジスタM4srのサイズ、例えば、チャネル長及びチャネル幅は、互いに等しいことが好ましい。このような回路構成とすることにより、効率的にレイアウトできる可能性がある。
 図25の回路MPは、図24の回路MPと同様の動作を行うことで、第1データ(重み係数)を2個保持することができ、かつ当該第1データ(重み係数)を切り替えて、積和と活性化関数の演算を行うことができる。また、図25の回路MPでは、回路MC、及び回路MCrが有する保持部はそれぞれ2個としたが、回路MC、及び回路MCrのそれぞれは、状況に応じて、3個以上の保持部を有してもよい。
 なお、本構成例は、本明細書で示す他の構成例などと適宜組み合わせることができる。
<構成例5>
 図26に示す回路MPは、図21Aの回路MPと異なり、回路MCにおいて、チャネル幅(以下、W長と呼称する。)とチャネル長(以下、L長と呼称する。)の比がそれぞれ異なるトランジスタM1、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−3bを一例として有している。なお、トランジスタM1、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−3bだけでなく、更に多くのトランジスタを有していてもよいし、トランジスタM1−3b、トランジスタM1−2bなどを有していなくてもよい。
 図26の回路MPに含まれている回路MCは、更に、図21Aの回路MPが有する回路素子に加え、トランジスタM3−2b、トランジスタM4−2b、トランジスタM3−3b、及びトランジスタM4−3bを有する。
 本明細書などにおいて、トランジスタM1−2b、及びトランジスタM1−3bは、トランジスタM1と同様に、特に断りの無い場合は、オン状態の場合は最終的に飽和領域で動作する場合を含むものとする。すなわち、上述したそれぞれのトランジスタのゲート電圧、ソース電圧、及びドレイン電圧は、飽和領域で動作する範囲での電圧に適切にバイアスされている場合を含むものとする。ただし、本発明の一態様は、これに限定されない。供給される電圧の振幅値を小さくするために、トランジスタM1−2b、及びトランジスタM1−3bは、線形領域で動作してもよい。また、トランジスタM1−2b、及びトランジスタM1−3bに流れる電流量を小さくするため、トランジスタM1−2b、及びトランジスタM1−3bは、サブスレッショルド領域で動作してもよい。または、飽和領域とサブスレッショルド領域の境界付近で動作させてもよい。なお、第1データ(例えば、ここでは重み係数とする。)をアナログ値とする場合には、第1データ(重み係数)の大きさに応じて、例えば、トランジスタM1−2b、及びトランジスタM1−3bは、線形領域で動作する場合と、飽和領域で動作する場合と、サブスレッショルド領域で動作する場合と、が混在していてもよい。又は、トランジスタM1−2b、及びトランジスタM1−3bは、線形領域で動作する場合と、飽和領域で動作する場合と、が混在してもよく、又は、サブスレッショルド領域で動作する場合と線形領域で動作する場合と、が混在してもよく、又は、飽和領域で動作する場合と、サブスレッショルド領域で動作する場合と、が混在してもよい。
 また、本明細書などにおいて、トランジスタM3−2b、トランジスタM4−2b、トランジスタM3−3b、及びトランジスタM4−3bは、トランジスタM3、及びトランジスタM4と同様に、特に断りの無い場合は、オン状態の場合は最終的に線形領域で動作する場合を含むものとする。すなわち、上述したそれぞれのトランジスタのゲート電圧、ソース電圧、及びドレイン電圧は、線形領域で動作する範囲での電圧に適切にバイアスされている場合を含むものとする。ただし、本発明の一態様は、これに限定されない。例えば、トランジスタM3−2b、トランジスタM4−2b、トランジスタM3−3b、及びトランジスタM4−3bは、オン状態のときは飽和領域で動作してもよく、またはサブスレッショルド領域で動作してもよい。又は、トランジスタM3−2b、トランジスタM4−2b、トランジスタM3−3b、及びトランジスタM4−3bは、飽和領域とサブスレッショルド領域の境界付近で動作させてもよい。又は、トランジスタM3−2b、トランジスタM4−2b、トランジスタM3−3b、及びトランジスタM4−3bは、線形領域で動作する場合と、飽和領域で動作する場合と、が混在してもよく、又は、飽和領域で動作する場合と、サブスレッショルド領域で動作する場合と、が混在してもよく、又は、サブスレッショルド領域で動作する場合と線形領域で動作する場合と、が混在してもよく、又は、線形領域で動作する場合と、飽和領域で動作する場合と、サブスレッショルド領域で動作する場合と、が混在していてもよい。
 次に、図26の回路MPの構成について説明する。なお、図26の回路MPにおいて、図21Aの回路MPと同様の構成となっている箇所については省略する。
 図26の回路MPの回路MCにおいて、トランジスタM1−2bの第1端子は、配線VEに電気的に接続されている。トランジスタM1−2bの第2端子は、トランジスタM3−2bの第1端子と、トランジスタM4−2bの第1端子と、に電気的に接続されている。トランジスタM1−2bのゲートは、トランジスタM2の第1端子と、容量C1の第1端子と、に電気的に接続されている。トランジスタM3−2bの第2端子は、配線OLに電気的に接続されている。トランジスタM3−2bのゲートは、配線X1L2bに電気的に接続されている。トランジスタM4−2bの第2端子は、配線OLBに電気的に接続されている。トランジスタM4−2bのゲートは、配線X2L2bに電気的に接続されている。トランジスタM1−3bの第1端子は、配線VEに電気的に接続されている。トランジスタM1−3bの第2端子は、トランジスタM3−3bの第1端子と、トランジスタM4−3bの第1端子と、に電気的に接続されている。トランジスタM1−3bのゲートは、トランジスタM2の第1端子と、容量C1の第1端子と、に電気的に接続されている。トランジスタM3−3bの第2端子は、配線OLに電気的に接続されている。トランジスタM3−3bのゲートは、配線X1L3bに電気的に接続されている。トランジスタM4−3bの第2端子は、配線OLBに電気的に接続されている。トランジスタM4−3bのゲートは、配線X2L3bに電気的に接続されている。
 なお、図26の回路MPにおいて、回路MCrは、回路MCとほぼ同様の回路構成となっている。そのため、回路MCrの有する回路素子などには、回路MCの有する回路素子などと区別をするため、符号に「r」を付している。また、トランジスタM3−2brの第2端子は、配線OLBに電気的に接続され、トランジスタM4−2brの第2端子は、配線OLに電気的に接続され、トランジスタM3−3brの第2端子は、配線OLBに電気的に接続され、トランジスタM4−3brの第2端子は、配線OLに電気的に接続されている。
 図26の回路MPにおいて、トランジスタM3、トランジスタM3−2b、トランジスタM3−3b、トランジスタM3r、トランジスタM3−2br、トランジスタM3−3br、トランジスタM4、トランジスタM4−2b、トランジスタM4−3b、トランジスタM4r、トランジスタM4−2br、及びトランジスタM4−3brのサイズ、例えば、チャネル長及びチャネル幅は、互いに等しいことが好ましい。このような回路構成とすることにより、効率的にレイアウトできる可能性がある。
 配線X1L2bは、トランジスタM3−2b、及びトランジスタM3−2brをオン状態とオフ状態の切り替えを行うための配線であり、配線X2L2bは、トランジスタM4−2b、及びトランジスタM4−2brをオン状態とオフ状態の切り替えを行うための配線であり、配線X1L3bは、トランジスタM3−3b、及びトランジスタM3−3brをオン状態とオフ状態の切り替えを行うための配線であり、配線X2L3bは、トランジスタM4−3b、及びトランジスタM4−3brをオン状態とオフ状態の切り替えを行うための配線である。
 トランジスタM1のW長とL長の比をW/Lとしたとき、トランジスタM1−2bのW長とL長の比は、2×W/Lとするのが好ましく、かつトランジスタM1−3bのW長とL長の比は、4×W/Lとするのが好ましい。トランジスタのソース−ドレイン間に流れる電流はチャネル幅/チャネル長に比例するため、トランジスタM1、トランジスタM1−2b、及びトランジスタM1−3bのチャネル幅/チャネル長以外の構造、構成条件などが同じ場合、トランジスタM1−2b、及びトランジスタM1−3bに流れる電流は、それぞれトランジスタM1に流れる電流の概ね2倍、概ね4倍となる。つまり、トランジスタM1、トランジスタM1−2b、及びトランジスタM1−3bに流れる電流量の比は、概ね1:2:4となる。なお、図26の回路MPに含まれる回路MCが、トランジスタM1に相当するトランジスタとして、例えばQ個(Qは4以上の整数とする)有する場合を考える。1番目のトランジスタをトランジスタM1とし、2番目のトランジスタをトランジスタM1−2bとし、3番目のトランジスタをトランジスタM1−3bとして、q番目(qは4以上Q以下の整数)のトランジスタのW長とL長の比を、トランジスタM1のW長とL長の比の2(q−1)倍とすると、1番目のトランジスタ、2番目のトランジスタ、3番目のトランジスタ、q番目のトランジスタのそれぞれに流れる電流量の比は、1:2:4:2(q−1)となる。つまり、図26の回路MPに含まれる回路MCは、Q個のトランジスタを、それぞれに流れる電流の量を2のべき乗の比となるように有してもよい。
 例えば、トランジスタM1のソース−ドレイン間に流れる電流量をIutとしたとき、上述のトランジスタM1、トランジスタM1−2b、及びトランジスタM1−3bのそれぞれのチャネル幅/チャネル長より、トランジスタM1−2b、及びトランジスタM1−3bに流れる電流量は、それぞれ2Iut、4Iutとなる。
 また、トランジスタM1rのW長とL長の比は、トランジスタM1のW長とL長の比と等しいことが好ましく、トランジスタM1−2brのW長とL長の比は、トランジスタM1−2bのW長とL長の比と等しいことが好ましく、トランジスタM1−3brのW長とL長の比は、トランジスタM1−3bのW長とL長の比と等しいことが好ましい。
 ここで、配線OLから回路MCに流れる電流量を考える。この場合、回路MPには正の第1データ(正の重み係数)が設定され、かつトランジスタM3、トランジスタM3−2b、及びトランジスタM3−3bの少なくとも一をオン状態とし、トランジスタM4、トランジスタM4−2b、及びトランジスタM4−3bをオフ状態とすればよい。このとき、トランジスタM3、トランジスタM3−2b、及びトランジスタM3−3bのそれぞれのオン状態、オフ状態の組み合わせによって、配線OLから回路MCに流れる電流量が変化する。
 例えば、トランジスタM1のソース−ドレイン間に流れる電流量をIutに設定したとき、トランジスタM1−2bに流れる電流量は2Iutとなり、トランジスタM1−3bに流れる電流量は4Iutとなる。ここで、配線WX1Lに高レベル電位を印加し、配線X2Lに低レベル電位を印加し、更に、配線X1L2b、配線X2L2b、配線X1L3b、及び配線X2L3bに低レベル電位を印加することによって、トランジスタM3をオン状態にし、トランジスタM3−2b、トランジスタM3−3b、トランジスタM4、トランジスタM4−2b、及びトランジスタM4−3bをオフ状態にすることができる。このとき、配線OLから回路MCに流れる電流量はIutとなる。また、例えば、トランジスタM1のソース−ドレイン間に流れる電流量をIutに設定し、かつ配線WX1L、及び配線X1L2bに高レベル電位を印加し、配線X2L、及び配線X2L2bに低レベル電位を印加し、更に、配線X1L3b、及び配線X2L3bに低レベル電位を印加する。このとき、トランジスタM3、及びトランジスタM3−2bをオン状態にし、トランジスタM3−3b、トランジスタM4、トランジスタM4−2b、及びトランジスタM4−3bをオフ状態にすることができ、配線OLから回路MCに流れる電流量は3Iutとなる。また、例えば、トランジスタM1のソース−ドレイン間に流れる電流量をIutに設定し、かつ配線X1L2b、及び配線X1L3bに高レベル電位を印加し、配線X2L2b、及び配線X2L3bに低レベル電位を印加し、更に、配線WX1L、及び配線X2Lに低レベル電位を印加する。このとき、トランジスタM3−2b、トランジスタM3−3bをオン状態にし、トランジスタM3、トランジスタM4、トランジスタM4−2b、及びトランジスタM4−3bをオフ状態にすることができ、配線OLから回路MCに流れる電流量は6Iutとなる。
 更に、例えば、トランジスタM1のソース−ドレイン間に流れる電流量を2Iutに設定したとき、トランジスタM1−2bに流れる電流量は4Iutとなり、トランジスタM1−3bに流れる電流量は8Iutとなる。ここで、配線WX1Lに高レベル電位を印加し、配線X2Lに低レベル電位を印加し、更に、配線X1L2b、配線X2L2b、配線X1L3b、及び配線X2L3bに低レベル電位を印加することによって、トランジスタM3をオン状態にし、トランジスタM3−2b、トランジスタM3−3b、トランジスタM4、トランジスタM4−2b、及びトランジスタM4−3bをオフ状態にすることができる。このとき、配線OLから回路MCに流れる電流量は2Iutとなる。また、例えば、トランジスタM1のソース−ドレイン間に流れる電流量を2Iutに設定し、かつ配線WX1L、及び配線X1L2bに高レベル電位を印加し、配線X2L、及び配線X2L2bに低レベル電位を印加し、更に、配線X1L3b、及び配線X2L3bに低レベル電位を印加する。このとき、トランジスタM3、及びトランジスタM3−2bをオン状態にし、トランジスタM3−3b、トランジスタM4、トランジスタM4−2b、及びトランジスタM4−3bをオフ状態にすることができ、配線OLから回路MCに流れる電流量は6Iutとなる。また、例えば、トランジスタM1のソース−ドレイン間に流れる電流量を2Iutに設定し、かつ配線X1L2b、及び配線X1L3bに高レベル電位を印加し、配線X2L2b、及び配線X2L3bに低レベル電位を印加し、更に、配線WX1L、及び配線X2Lに低レベル電位を印加する。このとき、トランジスタM3−2b、及びトランジスタM3−3bをオン状態にし、トランジスタM3、トランジスタM4、トランジスタM4−2b、及びトランジスタM4−3bをオフ状態にすることができ、配線OLから回路MCに流れる電流量は12Iutとなる。
 つまり、図26の回路MPは、トランジスタM1のソース−ドレイン間に設定した電流を、配線WX1L、配線X1L2b、及び配線X1L3bのそれぞれの電位に応じて概ね整数倍して、整数倍した電流を配線OLから回路MCに流す機能を有する。なお、トランジスタM1、トランジスタM1−2b、及びトランジスタM1−3bのそれぞれのW長とL長の比を変更することによって、トランジスタM1のソース−ドレイン間に設定した電流を整数倍でなく実数倍にして、配線OLから回路MCに流すことができる。
 上述の例では、配線OLから回路MCに流れる電流量について扱ったが、配線OLBから回路MCに流れる電流量についても同様に考えることができる。この場合、回路MPには正の第1データ(正の重み係数)が設定され、かつトランジスタM4、トランジスタM4−2b、トランジスタM4−3bの少なくとも一をオン状態とし、トランジスタM3、トランジスタM3−2b、及びトランジスタM3−3bをオフ状態とすればよい。このとき、トランジスタM4、トランジスタM4−2b、及びトランジスタM4−3bのそれぞれのオン状態、オフ状態の組み合わせによって、配線OLBから回路MCに流れる電流量が変化する。また、配線OLBから回路MCrに流れる電流についても同様に考えることができる。この場合、回路MPには負の第1データ(負の重み係数)が設定され、かつトランジスタM3r、トランジスタM3−2br、及びトランジスタM3−3brの少なくとも一をオン状態とし、トランジスタM4r、トランジスタM4−2br、及びトランジスタM4−3brをオフ状態とすればよい。このとき、トランジスタM3r、トランジスタM3−2br、及びトランジスタM3−3brのそれぞれのオン状態、オフ状態の組み合わせによって、配線OLBから回路MCrに流れる電流量が変化する。更に、配線OLから回路MCrに流れる電流についても同様に考えることができる。この場合、回路MPには負の第1データ(負の重み係数)が設定され、かつトランジスタM4r、トランジスタM4−2br、及びトランジスタM4−3brの少なくとも一をオン状態とし、トランジスタM3r、トランジスタM3−2br、及びトランジスタM3−3brをオフ状態とすればよい。このとき、トランジスタM4r、トランジスタM4−2br、及びトランジスタM4−3brのそれぞれのオン状態、オフ状態の組み合わせによって、配線OLから回路MCrに流れる電流量が変化する。
 上述の通り、図26の回路MPは、設定した電流の量を、配線WX1L、配線X2L、配線X1L2b、配線X2L2b、配線X1L3b、及び配線X2L3bのそれぞれの電位に応じて、整数倍(実数倍)にして、配線OLから回路MC又は回路MCrに電流を流し、又は配線OLBから回路MC又は回路MCrに電流を流すことができる。ここで、配線WX1L、配線X2L、配線X1L2b、配線X2L2b、配線X1L3b、及び配線X2L3bのそれぞれの電位の組み合わせに応じて第2データ(例えば、ここではニューロンの信号の値とする。)を定めることによって、第2データ(ニューロンの信号の値)を多値(図26の回路MPの構成では15値)として、扱うことができる。つまり、図26の回路MPは、多値の第1データ(重み係数)と、多値の第2データ(ニューロン信号)と、の積を計算することができる回路とすることができる。
 回路MPに設定される第1データ(重み係数)を“+1”として(トランジスタM1のソース−ドレイン間に設定される電流量をIut、トランジスタM1rのソース−ドレイン間に設定される電流量を0とする。なお、回路HCのノードn1の電位をVとし、回路HCrのノードn1rの電位をVSSとしている。)、第2データ(ニューロンの信号の値)に応じた、配線WX1L、配線X2L、配線X1L2b、配線X2L2b、配線X1L3b、及び配線X2L3bの電位を回路MPに入力したときの、配線OLから回路MC又は回路MCrに流れる電流IOLと、配線OLBから回路MC又は回路MCrに流れる電流IOLBと、の電流量の変化を下表に示す。なお、下表では、高レベル電位をhighと記載し、低レベル電位をlowと記載している。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000009
 また、回路MPに設定される第1データ(重み係数)を“−1”として(トランジスタM1のソース−ドレイン間に設定される電流量を0、トランジスタM1rのソース−ドレイン間に設定される電流量をIutとする。なお、回路HCのノードn1の電位をVSSとし、回路HCrのノードn1rの電位をVとしている。)、第2データ(ニューロンの信号の値)に応じた、配線WX1L、配線X2L、配線X1L2b、配線X2L2b、配線X1L3b、及び配線X2L3bの電位を回路MPに入力したときの、配線OLから回路MC又は回路MCrに流れる電流IOLと、配線OLBから回路MC又は回路MCrに流れる電流IOLBと、の電流量の変化を下表に示す。なお、下表では、高レベル電位をhighと記載し、低レベル電位をlowと記載している。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000010
 ところで、トランジスタM1のソース−ドレイン間に流れる電流量を0としたとき、ノードn1の電位としては、例えば、VSSとすればよい。これにより、トランジスタM1に加え、トランジスタM1−2b、及びトランジスタM1−3bのそれぞれのソース−ドレイン間に流れる電流量も0にすることができる。このため、トランジスタM3、トランジスタM3−2b、トランジスタM3−3b、トランジスタM4、トランジスタM4−2b、及びトランジスタM4−3bのオン状態又はオフ状態に関わらず、配線OL又は配線OLBから回路MCへの電流は流れない。
 このように、図26の回路MPは、配線WX1L、配線X2L、配線X1L2b、配線X2L2b、配線X1L3b、及び配線X2L3bのそれぞれを、低レベル電位又は高レベル電位にすることによって、第2データ(ニューロンの信号の値)を15値として表現することができ、多値の第1データ(重み係数)と、多値の第2データ(ニューロンの信号の値)と、の積を計算することができる。
 また、本発明の一態様の半導体装置に含まれている回路MPは、図26の回路MPに限定されない。本発明の一態様の半導体装置の回路MPとしては、図26の回路MPの回路構成を状況に応じて変更することができる。
 例えば、図27に示す回路MPは、図26の回路MPを変更した回路構成となっている。具体的には、図27の回路MPは、図26の回路MPに対して、回路HC−2b、回路HC−3b、回路HC−2br、及び回路HC−3brが加えられた構成となっている。回路HC−2b、回路HC−3b、回路HC−2br、及び回路HC−3brの構成は、回路HC、及び回路HCrと同様の構成であるため、回路HC、及び回路HCrの説明の記載を参酌する。
 回路MCにおいて、トランジスタM1−2b、トランジスタM3−2b、及びトランジスタM4−2b、及び回路HC−2bの周辺の電気的な接続構成は、トランジスタM1、トランジスタM3、トランジスタM4、及び回路HCの周辺と同様の電気的な接続構成となっている。また、トランジスタM1−3b、トランジスタM3−3b、トランジスタM4−3b、及び回路HC−3bの周辺の電気的な接続構成は、トランジスタM1、トランジスタM3、トランジスタM4、及び回路HCの周辺と同様の電気的な接続構成となっている。また、回路MCrにおいて、トランジスタM1−2br、トランジスタM3−2br、トランジスタM4−2br、及び回路HC−2brの周辺の電気的な接続構成は、トランジスタM1r、トランジスタM3r、トランジスタM4r、及び回路HCrの周辺と同様の電気的な接続構成となっている。また、トランジスタM1−3br、トランジスタM3−3br、トランジスタM4−3br、及び回路HC−3brの周辺の電気的な接続構成は、トランジスタM1r、トランジスタM3r、トランジスタM4r、及び回路HCrの周辺と同様の電気的な接続構成となっている。
 更に、回路HC−2bは、配線WL2bに電気的に接続され、回路HC−3bは、配線WL3bに電気的に接続され、回路HC−2brは、配線WL2bに電気的に接続され、回路HC−3brは、配線WL3bに電気的に接続されている。
 図27の回路MPにおいて、例えば、図26の回路MPと同様に、トランジスタM1、トランジスタM1−2b、及びトランジスタM1−3bのそれぞれのW長とL長の比を、W/L、2×W/L、4×W/Lとし、トランジスタM1のソース−ドレイン間に流れる電流量をIutに設定するような電位を回路HCに保持し、かつ当該電位とほぼ同じ電位を回路HC−2b、及び回路HC−3bに保持することによって、図26の回路MPと同様に動作することができる。
 また、回路HC、回路HC−2b、及び回路HC−3bにはほぼ同じ電位を書き込めばよいので、配線WL、配線WL2b、及び配線WL3bはそれぞれ一本の配線にまとめてもよい(図示しない)。
 また、例えば、トランジスタM1、トランジスタM1−2b、及びトランジスタM1−3bのそれぞれのW長とL長の比をそれぞれ等しくし、かつトランジスタM1のソース−ドレイン間に流れる電流量をIに設定した場合、トランジスタM1−2bのソース−ドレイン間に流れる電流量として2Iに設定し、トランジスタM1−3bのソース−ドレイン間に流れる電流量を4Iに設定することによって、図26の回路MPと同様に動作することができる。
 また、図27の回路MPと異なる、図26の回路MPを変更した回路構成として、例えば、図28に示す回路MPとしてもよい。図28の回路MPは、図26の回路MPに対して、トランジスタM2−2b、トランジスタM2−3b、トランジスタM2−2br、及びトランジスタM2−3brが加えられた構成となっている。なお、トランジスタM1、トランジスタM1−2b、及びトランジスタM1−3bのそれぞれのW長とL長の比は、一例として、図26と同様に、W/L、2×W/L、4×W/Lとする。ただし、電流量は、設定されたときの大きさによって決定され、W長、及びL長には、依存しない場合がある。そのため、トランジスタM1、トランジスタM1−2b、及びトランジスタM1−3bのそれぞれのW長とL長の比は、全て同じとしてもよい。ただしその場合には、電流量に応じて、各トランジスタのゲートの電位が異なることがある。各トランジスタのゲートの電位を概ね同じにしたい場合には、W長とL長の比は、W/L、2×W/L、4×W/Lとすることが望ましい。
 また、本明細書などにおいて、トランジスタM2−2b、トランジスタM2−3b、トランジスタM2−2br、及びトランジスタM2−3brとしては、特に断りの無い場合は、トランジスタM2、及びトランジスタM2rと同様に、オン状態の場合は最終的に線形領域で動作する場合を含むものとする。すなわち、上述したそれぞれのトランジスタのゲート電圧、ソース電圧、及びドレイン電圧は、線形領域で動作する範囲での電圧に適切にバイアスされている場合を含むものとする。ただし、本発明の一態様は、これに限定されない。例えば、トランジスタM2−2b、トランジスタM2−3b、トランジスタM2−2br、及びトランジスタM2−3brは、オン状態のときは飽和領域で動作してもよく、またはサブスレッショルド領域で動作してもよい。又は、トランジスタM2−2b、トランジスタM2−3b、トランジスタM2−2br、及びトランジスタM2−3brは、飽和領域とサブスレッショルド領域の境界付近で動作させてもよい。又は、トランジスタM2−2b、トランジスタM2−3b、トランジスタM2−2br、及びトランジスタM2−3brは、線形領域で動作する場合と、飽和領域で動作する場合と、が混在してもよく、又は、飽和領域で動作する場合と、サブスレッショルド領域で動作する場合と、が混在してもよく、又は、サブスレッショルド領域で動作する場合と線形領域で動作する場合と、が混在してもよく、又は線形領域で動作する場合と、飽和領域で動作する場合と、サブスレッショルド領域で動作する場合と、が混在していてもよい。
 回路MCにおいて、トランジスタM2−2bの第1端子は、トランジスタM2−3bの第1端子と、トランジスタM2の第1端子と、トランジスタM1のゲートと、トランジスタM1−2bのゲートと、トランジスタM1−3bのゲートと、容量C1の第1端子と、に電気的に接続されている。トランジスタM2−2bの第2端子は、トランジスタM1−2bの第2端子と、トランジスタM3−2bの第1端子と、トランジスタM4−2bの第1端子と、に電気的に接続されている。トランジスタM2−3bの第2端子は、トランジスタM1−3bの第2端子と、トランジスタM3−3bの第1端子と、トランジスタM4−3bの第1端子と、に電気的に接続されている。トランジスタM2−2bのゲートと、トランジスタM2−3bのゲートと、は、配線WLに電気的に接続されている。
 また、同様に、回路MCrにおいて、トランジスタM2−2brの第1端子は、トランジスタM2−3brの第1端子と、トランジスタM2rの第1端子と、トランジスタM1rのゲートと、トランジスタM1−2brのゲートと、トランジスタM1−3brのゲートと、容量C1の第1端子と、に電気的に接続されている。トランジスタM2−2brの第2端子は、トランジスタM1−2brの第2端子と、トランジスタM3−2brの第1端子と、トランジスタM4−2brの第1端子と、に電気的に接続されている。トランジスタM2−3brの第2端子は、トランジスタM1−3brの第2端子と、トランジスタM3−3brの第1端子と、トランジスタM4−3brの第1端子と、に電気的に接続されている。トランジスタM2−2brのゲートと、トランジスタM2−3brのゲートと、は、配線WLに電気的に接続されている。
 また、図28に示す配線WX1L2b、及び配線WX1L3bのそれぞれは、図26の回路MPにおける配線X1L2b、及び配線X1L3bに相当する。
 トランジスタM1、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−3b、トランジスタM1r、トランジスタM1−2br、及びトランジスタM1−3brのそれぞれに流れる電流を設定するとき、配線WLと、配線WX1Lと、配線WX1L2bと、配線WX1L3bと、に高レベル電位を入力して、トランジスタM2、トランジスタM2−2b、トランジスタM2−3b、トランジスタM3、トランジスタM3−2b、及びトランジスタM3−3bのそれぞれをオン状態にする。また、配線X2L、配線X2L2b、及び配線X2L3bに低レベル電位を入力して、トランジスタM4、トランジスタM4−2b、トランジスタM4−3b、トランジスタM4r、トランジスタM4−2br、及びトランジスタM4−3brをオフ状態にする。
 このとき、配線OLから回路MCに、トランジスタM1、トランジスタM1−2b、及びトランジスタM1−3bのそれぞれに設定する電流の総和を流すことによって、例えば、7Iutを流すことによって、回路HCのノードn1は所定の電位になる。ここで、配線WLに低レベル電位を入力して、トランジスタM2をオフ状態にすることで、回路HCのノードn1に所定の電位を保持する。これによって、トランジスタM1、トランジスタM1−2b、及びトランジスタM1−3bのそれぞれのソース−ドレイン間には、Iut、2Iut、4Iutの電流が流れるように設定される。
 また、同様に、配線OLBから回路MCrに、トランジスタM1r、トランジスタM1−2br、及びトランジスタM1−3brのそれぞれに設定する電流の総和を流すことによって、例えば、7Iutを流すことによって、回路HCrのノードn1rは所定の電位になる。そして、配線WLに低レベル電位を入力して、回路HCrのノードn1rに所定の電位を保持することで、トランジスタM1r、トランジスタM1−2br、及びトランジスタM1−3brのそれぞれのソース−ドレイン間には、Iut、2Iut、4Iutの電流が流れるように設定される。
 回路MPを図28の構成とすることにより、図26の回路MPと同様の動作を行うことができる。更に、回路MPを図28の構成とすることにより、回路MCにおいて、トランジスタM1、トランジスタM1−2b、及びトランジスタM1−3bの形成時に発生する構造のばらつきによる影響を少なくすることができる。また、同様に、回路MCrにおいて、トランジスタM1r、トランジスタM1−2br、及びトランジスタM1−3brの形成時に発生する構造のばらつきによる影響を少なくすることができる。
 また、図26の回路MPの変更例として、回路HC、及び回路HCrのそれぞれを別の構成としてもよい。図29に示す回路MPは、図26の回路MPに含まれている回路HC、及び回路HCrのそれぞれを、回路HCS、及び回路HCSrに置き換えた構成となっている。なお、トランジスタM1、トランジスタM1−2b、及びトランジスタM1−3bのそれぞれのW長とL長の比は、図26と同様に、W/L、2×W/L、4×W/Lとする。
 回路HCSは、例えば、配線OLと、配線OLBと、に電気的に接続されている。回路HCSは、配線OL、又は配線OLBの一方、又は両方から入力される情報(電位、電流など)を受け取って、当該情報に応じた電位を保持する機能を有する。また、回路HCSは、トランジスタM1、トランジスタM1−2b、及びトランジスタM1−3bのそれぞれのゲートに電気的に接続されている。回路HCSは、保持した当該電位をトランジスタM1、トランジスタM1−2b、及びトランジスタM1−3bのそれぞれのゲートに印加する機能を有する。したがって、トランジスタM1、トランジスタM1−2b、及びトランジスタM1−3bのそれぞれには、回路HCSから与えられた電位と、W長とL長の比と、に応じたソース−ドレイン電流が流れる。なお、回路HCSrは、回路HCSと同様の機能を有しており、トランジスタM1r、トランジスタM1−2br、及びトランジスタM1−3brのそれぞれには、回路HCSrから与えられた電位と、W長とL長の比と、に応じたソース−ドレイン電流が流れる。
 図29に示す回路MPに含まれている回路HCS、及び回路HCSrの具体例を図30Aに図示している。図30Aに示す回路HCS、及び回路HCSrは、一例としては、SRAM(Static Random Access Memory)を有する構成となっている。なお、図30Aには、回路HCS、及び回路HCSrの有する回路素子の電気的な接続構成を示すため、回路MPの全体を示している。
 なお、回路HCS、及び回路HCSrがSRAMを有する構成である場合、SRAMは、高レベル電位、低レベル電位の一方を保持するため、回路MPに設定される第1データ(重み係数)は、例えば、2値(“−1”、“+1”の組み合わせなど)、3値(“−1”、“0”、“+1”の組み合わせなど)などに限定される。例えば、回路MPに設定される第1データ(重み係数)を“+1”とするとき、回路HCSには高レベル電位を保持し、回路HCSrには低レベル電位を保持すればよい。また、例えば、回路MPに設定される第1データ(重み係数)を“−1”とするとき、回路HCSには低レベル電位を保持し、回路HCSrには高レベル電位を保持すればよい。また、例えば、回路MPに設定される第1データ(重み係数)を“0”とするとき、回路HCSには低レベル電位を保持し、回路HCSrには低レベル電位を保持すればよい。
 回路HCSは、トランジスタM7、トランジスタM7s、インバータループ回路IVRを有している。インバータループ回路IVRは、インバータ回路IV1と、インバータ回路IV2と、を有する。
 本明細書などにおいて、トランジスタM7、及びトランジスタM7sは、特に断りの無い場合は、オン状態の場合は最終的に線形領域で動作する場合を含むものとする。すなわち、上述したそれぞれのトランジスタのゲート電圧、ソース電圧、及びドレイン電圧は、線形領域で動作する範囲での電圧に適切にバイアスされている場合を含むものとする。ただし、本発明の一態様は、これに限定されない。例えば、トランジスタM7、及びトランジスタM7sは、オン状態のときは飽和領域で動作してもよく、またはサブスレッショルド領域で動作してもよい。又は、トランジスタM7、及びトランジスタM7sは、飽和領域とサブスレッショルド領域の境界付近で動作させてもよい。又は、トランジスタM7、及びトランジスタM7sは、線形領域で動作する場合と、飽和領域で動作する場合と、が混在してもよく、又は、飽和領域で動作する場合と、サブスレッショルド領域で動作する場合と、が混在してもよく、又は、サブスレッショルド領域で動作する場合と線形領域で動作する場合と、が混在してもよく、又は、線形領域で動作する場合と、飽和領域で動作する場合と、サブスレッショルド領域で動作する場合と、が混在していてもよい。
 インバータ回路IV1と、インバータ回路IV2と、のそれぞれは、入力端子に入力信号が入力されたとき、当該入力信号の反転信号を出力端子から出力する機能を有する。そのため、インバータ回路IV1と、インバータ回路IV2と、のそれぞれとしては、例えば、インバータ回路を用いることができる。なお、インバータ回路IV1、及びインバータ回路IV2と、の構成例を図30Bに示す。図30Bに示すとおり、インバータ回路IV1、及びインバータ回路IV2は、CMOS(Complementary MOS)回路として構成することができる。ただし、本発明の一態様はこれに限定されず、例えば、CMOS回路ではなく、nチャネル型トランジスタのみ、または、pチャネル型トランジスタのみの単極性回路で構成してもよい。
 また、インバータ回路IV1、及びインバータ回路IV2としては、例えば、NAND回路、NOR回路、XOR回路、これらを組み合わせた回路等とすることができる。具体的には、インバータ回路をNAND回路に置き換える場合、NAND回路の2入力端子の一方に固定電位として高レベル電位を入力することで、NAND回路をインバータ回路として機能することができる。また、インバータ回路をNOR回路に置き換える場合、NOR回路の2入力端子の一方に固定電位として低レベル電位を入力することで、NOR回路をインバータ回路として機能することができる。また、インバータ回路をXOR回路に置き換える場合、XOR回路の2入力端子の一方に固定電位として高レベル電位を入力することで、XOR回路をインバータ回路として機能することができる。
 上述の通り、本明細書等に記載されているインバータ回路は、NAND回路、NOR回路、XOR回路、又はこれらを組み合わせた回路などの論理回路に置き換えることができる。そのため、本明細書などにおいて、「インバータ回路」という用語は、「論理回路」と呼称することができる。
 トランジスタM7の第1端子は、配線OLに電気的に接続され、トランジスタM7の第2端子は、インバータ回路IV1の入力端子と、インバータ回路IV2の出力端子と、トランジスタM1のゲートと、トランジスタM1−2bのゲートと、トランジスタM1−3bのゲートと、に電気的に接続され、トランジスタM7のゲートは、配線WLに電気的に接続されている。トランジスタM7sの第1端子は、配線OLBに電気的に接続され、トランジスタM7sの第2端子は、インバータ回路IV1の出力端子と、インバータ回路IV2の入力端子と、に電気的に接続され、トランジスタM7sのゲートは、配線WLに電気的に接続されている。インバータ回路IV1、及びインバータ回路IV2の高電源電位入力端子には、配線VEHが電気的に接続され、インバータ回路IV1、及びインバータ回路IV2の低電源電位入力端子には、配線VEが電気的に接続されている。
 配線VEHは、一例としては、定電圧を与える配線として機能する。当該定電圧としては、例えば、高レベル電位であるVDD、又は低レベル電位VSSより高くVDDよりも低い電位VDDLなどとすることができる。また、当該定電圧は、回路MPの構成に応じて、適宜設定するのが好ましい。また、例えば、配線VALには、定電圧ではなく、パルス信号が供給されていてもよい。なお、本構成例の説明では、配線VEHは、電位VDDを与える配線として機能するものとする。
 なお、図30Aの回路MPにおいて、回路HCSは、回路HCSrとほぼ同様の回路構成となっている。そのため、回路HCSrの有する回路素子には、回路HCSの有する回路素子と区別をするため、符号に「r」を付している。また、トランジスタM7rの第1端子は、配線OLBに電気的に接続され、トランジスタM7srの第1端子は、配線OLに電気的に接続されている。
 回路HCS、及び回路HCSrに情報(例えば、電位、電流など)を書き込むとき、配線WLに高レベル電位を印加して、トランジスタM7、トランジスタM7s、トランジスタM7r、トランジスタM7srをオン状態にする。その後、配線OLに高レベル電位又は低レベル電位の一方を入力し、配線OLBに高レベル電位又は低レベル電位の他方を入力する。特に、高レベル電位は、配線VEHが与える電位とほぼ同じであることが好ましい。ここでは、例えば、高レベル電位を電位VDDLとし、低レベル電位を電位VSSとして説明する。
 回路HCSにVDDL又はVSSの一方が書き込まれ、回路HCSrにVDDL又はVSSの他方が書き込まれた後は、配線WLに低レベル電位を印加して、トランジスタM7、トランジスタM7s、トランジスタM7r、及びトランジスタM7srをオフ状態にする。これによって、回路HCSは、VDDL又はVSSの一方をインバータループ回路IVRに保持し、回路HCSrは、VDDL又はVSSの他方をインバータループ回路IVRrに保持することができる。
 回路HCS、及び回路HCSrのそれぞれに所定の電位を保持した後は、図26の回路MPと同様に、配線X1L(図26では配線WX1L)、配線X2L、配線X1L2b、配線X2L2b、配線X1L3b、及び配線X2L3bのそれぞれに入力される電位の組み合わせによって、回路MC、又は回路MCrから配線OL、又は配線OLBに流れる電流量を、2値又は3値の第1データ(重み係数)と、多値(図30Aの構成例では、15値)の第2データ(ニューロン信号の値)と、の積として扱うことができる。
 また、図30Aの回路MPは、例えば、図31に示す回路MPに変形することができる。図31の回路MPは、図30Aの回路MPから、回路HCSrを除いた構成となっている。具体的な構成としては、インバータループ回路IVRに含まれているインバータ回路IV1の出力端子は、回路MCrのトランジスタM1rのゲートと、回路MCrのトランジスタM1−2brのゲートと、回路MCrのトランジスタM1−3brのゲートと、に電気的に接続されている。
 回路MPを図31の構成とすることによって、図30Aの回路MPと同様に動作することができる。なお、図31の回路MPは、図30Aの回路MPから回路HCSrを除いた構成となっているので、図30Aの回路MPよりも消費電力を低くすることができる。
 また、図30Aの回路MPは、例えば、図32に示す回路MPに変形することができる。図32の回路MPは、図22A、及び図22Bの回路MPと同様に、図30Aの回路MPに、配線ILと、配線ILBと、を加えた構成となっている。
 図32の回路MPは、図30Aの回路MPの配線OL、及び配線OLBが有する機能を分離した構成となっている。
 具体的には、図30Aの回路MPの配線OLは、回路HCSに高レベル電位、又は低レベル電位を入力するための配線として機能し、また、回路MCを介して配線VEに電流を供給するための配線として機能し、また、回路MCrを介して配線VErに電流を供給するための配線として機能する。また、図30Aの回路MPの配線OLBは、回路HCSrに高レベル電位、又は低レベル電位を入力するための配線として機能し、また、回路MCを介して配線VEに電流を供給するための配線として機能し、また、回路MCrを介して配線VErに電流を供給するための配線として機能する。
 一方、図32の回路MPの配線OLは、回路MCを介して配線VEに電流を供給するための配線として機能し、また、回路MCrを介して配線VErに電流を供給するための配線として機能する。また、図32の回路MPの配線OLBは、回路MCを介して配線VEに電流を供給するための配線として機能し、また、回路MCrを介して配線VErに電流を供給するための配線として機能する。また、図32の回路MPの配線ILは、回路HCSに高レベル電位、又は低レベル電位の一方を入力するための配線として機能し、図32の回路MPの配線ILBは、回路HCSrに高レベル電位、又は低レベル電位の他方を入力するための配線として機能する。
 回路MPを図32の構成とすることによって、図30Aの回路MPと同様に動作することができる。
 また、図32の回路MPの構成を、図2の演算回路110、図3の演算回路120に適用する場合、図32の回路MPは、例えば、図33に示す回路MPのとおり、トランジスタM7s、及びトランジスタM7srは除いた構成としてもよい。図33の回路MPの構成とすることによって、図30Aの回路MPと同様に動作することができる。
 また、図30Aとは異なる、図29に示す回路MPに含まれている回路HCS、及び回路HCSrの具体例を図34に示す。図34に示す回路MPは、NOSRAM(Nonvolatile Oxide Semiconductor Random Access Memory)(登録商標)と呼ばれる記憶回路を有する構成となっている。なお、図34には、回路HCS、及び回路HCSrの有する回路素子の電気的な接続構成を示すため、回路MPの全体を示している。
 回路HCSは、トランジスタM8、容量C2と、を有する。
 本明細書などにおいて、トランジスタM8は、特に断りの無い場合は、オン状態の場合は最終的に線形領域で動作する場合を含むものとする。すなわち、上述したそれぞれのトランジスタのゲート電圧、ソース電圧、及びドレイン電圧は、線形領域で動作する範囲での電圧に適切にバイアスされている場合を含むものとする。ただし、本発明の一態様は、これに限定されない。例えば、トランジスタM8は、オン状態のときは飽和領域で動作してもよく、またはサブスレッショルド領域で動作してもよい。又は、トランジスタM8は、飽和領域とサブスレッショルド領域の境界付近で動作させてもよい。又は、トランジスタM8は、線形領域で動作する場合と、飽和領域で動作する場合と、が混在してもよく、又は、飽和領域で動作する場合と、サブスレッショルド領域で動作する場合と、が混在してもよく、又は、サブスレッショルド領域で動作する場合と線形領域で動作する場合と、が混在してもよく、又は、線形領域で動作する場合と、飽和領域で動作する場合と、サブスレッショルド領域で動作する場合と、が混在していてもよい。
 トランジスタM8の第1端子は、配線ILに電気的に接続され、トランジスタM8の第2端子は、容量C2の第1端子と、トランジスタM1のゲートと、トランジスタM1−2bのゲートと、トランジスタM1−3bのゲートと、に電気的に接続され、トランジスタM8のゲートは、配線WLに電気的に接続されている。容量C2の第2端子は配線VEに電気的に接続されている。
 なお、図34に示す回路HCSにおいて、トランジスタM8の第2端子と、容量C2の第1端子と、の電気的接続点をノードn2としている。
 また、図34の回路MPにおいて、回路HCSrは、回路HCSとほぼ同様の回路構成となっている。そのため、回路HCSrの有する回路素子などには、回路HCSの有する回路素子などと区別をするため、符号に「r」を付している。また、トランジスタM8rの第1端子は、配線ILBに電気的に接続されている。
 なお、回路HCS、及び回路HCSrがNOSRAMを有する構成である場合、回路HCS、及び回路HCSrのそれぞれには、高レベル電位、又は低レベル電位の一方を保持することができる。このため、回路MPに設定される第1データ(重み係数)は、例えば、2値(“−1”、“+1”など)、3値(“−1”、“0”、“+1”など)などに限定される。例えば、回路MPに設定される第1データ(重み係数)を“+1”とするとき、回路HCSには高レベル電位を保持し、回路HCSrには低レベル電位を保持すればよい。また、例えば、回路MPに設定される第1データ(重み係数)を“−1”とするとき、回路HCSには低レベル電位を保持し、回路HCSrには高レベル電位を保持すればよい。また、例えば、回路MPに設定される第1データ(重み係数)を“0”とするとき、回路HCSには低レベル電位を保持し、回路HCSrには低レベル電位を保持すればよい。なお、回路HCS、回路HCSrには、高レベル電位、又は低レベル電位の2値(デジタル値)でなく、3値以上のデジタル値、又はアナログ値を保持してもよい。
 回路HCS、及び回路HCSrに情報(ここでは電位とする。)を書き込むとき、配線WLに高レベル電位を印加して、トランジスタM8、及びトランジスタM8rをオン状態にする。その後、配線ILに高レベル電位又は低レベル電位の一方を入力し、配線ILBに高レベル電位又は低レベル電位の他方を入力する。ここでは、例えば、高レベル電位を電位VDDLとし、低レベル電位を電位VSSとして説明する。
 回路HCSの容量C2の第1端子にVDDL又はVSSの一方が書き込まれ、回路HCSrの容量C2rの第1端子にVDDL又はVSSの他方が書き込まれた後は、配線WLに低レベル電位を印加して、トランジスタM8、及びトランジスタM8rをオフ状態にする。これによって、回路HCSは、VDDL又はVSSの一方をノードn2に保持し、回路HCSrは、VDDL又はVSSの他方をノードn2rに保持することができる。
 回路HCS、及び回路HCSrのそれぞれに所定の電位を保持した後は、図26の回路MPと同様に、配線X1L(図26では配線WX1L)、配線X2L、配線X1L2b、配線X2L2b、配線X1L3b、及び配線X2L3bのそれぞれに入力される電位の組み合わせによって、回路MC、又は回路MCrから配線OL、又は配線OLBに流れる電流量を、3ビットのデータとして扱うことができる。
 回路MPを図34の構成とすることによって、図30Aの回路MPと同様に動作することができる。
 図29乃至図34のそれぞれに示す回路MPは、回路HCS、及び回路HCSrをそれぞれ1つずつ有する構成であるが、回路MPは、回路HCS、及び回路HCSrを複数有する構成であってもよい。
 図35に示す回路MPは、回路HCSと同様の機能を有する回路HCS−2bと、回路HCS−3bと、回路HCSrと同様の機能を有する回路HCS−2brと、回路HCS−3brと、を有する。具体的には、回路HCS−2b、回路HCS−3b、回路HCS−2br、及び回路HCS−3brは、配線OL、又は配線OLBの一方、又は両方から入力される情報(電位、電流など)を受け取って、当該情報に応じた電位を保持する機能を有する。特に、回路HCS−2bは、トランジスタM1−2bのゲートに保持した電位を印加する機能を有し、回路HCS−3bは、トランジスタM1−3bのゲートに保持した電位を印加する機能を有し、回路HCS−2brは、トランジスタM1−2brのゲートに保持した電位を印加する機能を有し、回路HCS−3brは、トランジスタM1−3brのゲートに保持した電位を印加する機能を有する。
 また、回路HCS、回路HCS−2b、回路HCS−3b、回路HCSr、回路HCS−2br、及び回路HCS−3brの構成としては、例えば、その全てがSRAMを有する構成としてもよいし、NOSRAMを有する構成としてもよい。また、回路HCS、回路HCS−2b、回路HCS−3b、回路HCSr、回路HCS−2br、及び回路HCS−3brから選ばれた一以上の回路はSRAMを有する構成とし、残りの回路はNOSRAMを有する構成としてもよい。
 なお、図35の回路MPに含まれる、回路HCS、回路HCS−2b、回路HCS−3b、回路HCSr、回路HCS−2br、及び回路HCS−3brのそれぞれは、配線OL及び配線OLBに電気的に接続されているが、本発明の一態様に係る回路MPの構成は、これに限定されない。例えば、図35の回路MPは、図32の回路MPと同様に、配線IL、ILBを設けて、回路HCS、回路HCS−2b、及びHCS−3bを、配線ILと、配線ILBと、に電気的に接続してもよい。また、例えば、図35の回路MPは、図33、図34の回路MPと同様に、配線IL、及び配線ILBを設けて、回路HCS、回路HCS−2b、及びHCS−3bを配線ILに電気的に接続し、回路HCSr、回路HCS−2br、及び回路HCS−3brを配線ILBに電気的に接続してもよい。
 なお、本構成例は、本明細書で示す他の構成例などと適宜組み合わせることができる。
<構成例6>
 図36に示す回路MPは、複数の保持部として、回路HCS、回路HCS−2b、回路HCS−3b、回路HCSr、回路HCS−2br、回路HCS−3brを有し、かつ図35の回路MPと異なる、回路構成の一例である。
 図36の回路MPに含まれるトランジスタM1のW長とL長の比をW/Lとしたとき、トランジスタM1−2bのW長とL長の比は2×W/Lとすることが好ましく、トランジスタM1−3bのW長とL長の比は4×W/Lとすることが好ましい。更に、トランジスタM1rのサイズは、トランジスタM1と等しいことが好ましく、トランジスタM1−2brのサイズは、トランジスタM1−2bと等しいことが好ましく、トランジスタM1−3brのサイズは、トランジスタM1−3bと等しいことが好ましい。
 回路HCSは、配線OLと、トランジスタM1のゲートと、に電気的に接続され、回路HCS−2bは、配線OLと、トランジスタM1−2bのゲートと、に電気的に接続され、回路HCS−3bは、配線OLと、トランジスタM1−3bのゲートと、に電気的に接続されている。
 トランジスタM1、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−3bのそれぞれの第1端子は、配線VEに電気的に接続され、トランジスタM3の第1端子は、トランジスタM4の第1端子と、トランジスタM1、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−3bのそれぞれの第2端子と、に電気的に接続されている。トランジスタM3の第2端子は、配線OLに電気的に接続され、トランジスタM3のゲートは、配線X1Lに電気的に接続されている。トランジスタM4の第2端子は、配線OLBに電気的に接続され、トランジスタM4のゲートは、配線X2Lに電気的に接続されている。
 図36の回路MPにおいて、回路MCrは、回路MCとほぼ同様の回路構成となっている。そのため、回路MCrの有する回路素子などには、回路MCの有する回路素子などと区別をするため、符号に「r」を付している。また、トランジスタM3rの第2端子は、配線OLBに電気的に接続され、トランジスタM4rの第2端子は、配線OLに電気的に接続されている。
 回路MCrに含まれている回路HCSr、回路HCS−2br、回路HCS−3brに低レベル電位、例えばVSSを保持することによって、トランジスタM1r、トランジスタM1−2br、トランジスタM1−3brのそれぞれをオフ状態にすることができる。このとき、回路MCに含まれている回路HCS、回路HCS−2b、回路HCS−3bのそれぞれに高レベル電位又は低レベル電位を保持することで、回路HCS、回路HCS−2b、回路HCS−3bのそれぞれに保持された電位に応じて、トランジスタM1、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−3bのそれぞれに流れる電流の量が決まる。その後、トランジスタM3をオン状態にし、トランジスタM4をオフ状態にすることによって、配線OLから、回路MCを介して、配線VEに当該電流を流すことができる。また、トランジスタM3をオフ状態にし、トランジスタM4をオン状態にすることによって、配線OLBから、回路MCを介して、配線VEに当該電流を流すことができる。
 また、回路MCに含まれている回路HCS、回路HCS−2b、回路HCS−3bに低レベル電位、例えばVSSを保持することによって、トランジスタM1、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−3bのそれぞれをオフ状態にすることができる。このとき、回路MCrに含まれている回路HCSr、回路HCS−2br、回路HCS−3brのそれぞれに高レベル電位又は低レベル電位を保持することで、回路HCSr、回路HCS−2br、回路HCS−3brのそれぞれに保持された電位に応じて、トランジスタM1r、トランジスタM1−2br、トランジスタM1−3brのそれぞれに流れる電流の量が決まる。その後、トランジスタM3rをオン状態にし、トランジスタM4rをオフ状態にすることによって、配線OLBから、回路MCrを介して、配線VErに当該電流を流すことができる。また、トランジスタM3rをオフ状態にし、トランジスタM4rをオン状態にすることによって、配線OLから、回路MCrを介して、配線VErに当該電流を流すことができる。
 図36の回路MPに、例えば、正の第1データ(例えば、ここでは重み係数とする。)を保持する場合、回路HCSr、回路HCS−2br、回路HCS−3brに低レベル電位を保持し、回路HCS、回路HCS−2b、回路HCS−3bのそれぞれに正の第1データ(重み係数)に応じた電位の組み合わせを保持するものとする。また、図36の回路MPに、例えば、負の第1データ(重み係数)を保持する場合、回路HCS、回路HCS−2b、回路HCS−3bに低レベル電位を保持し、回路HCSr、回路HCS−2br、回路HCS−3brのそれぞれに負の第1データ(重み係数)に応じた電位の組み合わせを保持するものとする。
 図36に示す回路MPに含まれている回路HCS、回路HCS−2b、回路HCS−3b、回路HCSr、回路HCS−2br、回路HCS−3brの具体例を図37に図示している。図37に示す回路HCS、回路HCS−2b、回路HCS−3b、回路HCSr、回路HCS−2br、回路HCS−3brは、SRAMを有する構成となっている。なお、図37では、インバータ回路IV1、インバータ回路IV2のそれぞれの高電源電位入力端子、低電源電位入力端子の記載を省略している。また、図37に示す回路HCS、回路HCS−2b、回路HCS−3b、回路HCSr、回路HCS−2br、回路HCS−3brの構成については、図30Aの回路MPに含まれている回路HCS、回路HCSrの説明の記載を参酌する。
 また、図37とは異なる具体例として、図36に示す回路MPに含まれている回路HCS、回路HCS−2b、回路HCS−3b、回路HCSr、回路HCS−2br、回路HCS−3brは、図38に示すとおり、NOSRAMを有する構成としてもよい。なお、図38に示す回路HCS、回路HCS−2b、回路HCS−3b、回路HCSr、回路HCS−2br、回路HCS−3brの構成については、図34の回路MPに含まれている回路HCS、回路HCSrの説明の記載を参酌する。
 また、図36の回路MPは、一例として、図39に示す回路MPに変形することができる。図39の回路MPは、図26乃至図35に示す回路MPのように、多値の第2データ(例えば、ここではニューロンの信号の値(演算値)とする。)を扱うことができる回路である。図39の回路MPは、図36の回路MPに含まれている回路MCに、トランジスタM3−2x、トランジスタM4−2x、トランジスタM1x、トランジスタM1x−2b、トランジスタM1x−3bを加えた構成となっている。なお、図39の回路MPに含まれている回路HCS、回路HCS−2b、回路HCS−3b、回路HCSr、回路HCS−2br、回路HCS−3brは、一例として、図37に示すとおり、SRAMを有する構成となっている。
 また、本明細書などにおいて、トランジスタM1x、トランジスタM1x−2b、及びトランジスタM1x−3bは、トランジスタM1と同様に、特に断りの無い場合は、オン状態の場合は最終的に飽和領域で動作する場合を含むものとする。すなわち、上述したそれぞれのトランジスタのゲート電圧、ソース電圧、及びドレイン電圧は、飽和領域で動作する範囲での電圧に適切にバイアスされている場合を含むものとする。ただし、本発明の一態様は、これに限定されない。供給される電圧の振幅値を小さくするために、トランジスタM1x、トランジスタM1x−2b、トランジスタM1x−3bは、線形領域で動作してもよい。また、トランジスタM1x、トランジスタM1x−2b、及びトランジスタM1x−3bに流れる電流量を小さくするため、トランジスタM1x、トランジスタM1x−2b、及びトランジスタM1x−3bは、サブスレッショルド領域で動作してもよい。又は、トランジスタM1x、トランジスタM1x−2b、及びトランジスタM1x−3bは、飽和領域とサブスレッショルド領域の境界付近で動作させてもよい。なお、第1データ(重み係数)をアナログ値とする場合には、第1データ(重み係数)の大きさに応じて、例えば、トランジスタM1x、トランジスタM1x−2b、トランジスタM1x−3bは、線形領域で動作する場合と、飽和領域で動作する場合と、サブスレッショルド領域で動作する場合と、が混在していてもよい。又は、トランジスタM1x、トランジスタM1x−2b、トランジスタM1x−3bは、線形領域で動作する場合と、飽和領域で動作する場合と、が混在してもよく、又は、サブスレッショルド領域で動作する場合と線形領域で動作する場合と、が混在してもよく、又は、飽和領域で動作する場合と、サブスレッショルド領域で動作する場合と、が混在してもよい。
 また、本明細書などにおいて、トランジスタM3−2x、トランジスタM4−2xは、トランジスタM3、トランジスタM4と同様に、特に断りの無い場合は、オン状態の場合は最終的に線形領域で動作する場合を含むものとする。すなわち、上述したそれぞれのトランジスタのゲート電圧、ソース電圧、及びドレイン電圧は、線形領域で動作する範囲での電圧に適切にバイアスされている場合を含むものとする。ただし、本発明の一態様は、これに限定されない。例えば、トランジスタM3−2x、トランジスタM4−2xは、オン状態のときは飽和領域で動作してもよく、又はサブスレッショルド領域で動作してもよい。又は、トランジスタM3−2x、トランジスタM4−2xは、飽和領域とサブスレッショルド領域の境界付近で動作させてもよい。又は、トランジスタM3−2x、トランジスタM4−2xは、線形領域で動作する場合と、飽和領域で動作する場合と、が混在してもよく、又は、飽和領域で動作する場合と、サブスレッショルド領域で動作する場合と、が混在してもよく、又は、サブスレッショルド領域で動作する場合と線形領域で動作する場合と、が混在してもよく、又は、線形領域で動作する場合と、飽和領域で動作する場合と、サブスレッショルド領域で動作する場合と、が混在してもよい。
 図39の回路MPに含まれるトランジスタM1xのW長とL長の比は、2×W/Lとすることが好ましい。また、トランジスタM1x−2bのW長とL長の比は、4×W/Lとすることが好ましい。また、トランジスタM1x−3bのW長とL長の比は、8×W/Lとすることが好ましい。トランジスタをさらに多く配置する場合も、同様に、2のべき乗でW長とL長の比を大きくしていけばよい。
 トランジスタM1x、トランジスタM1x−2b、トランジスタM1x−3bのそれぞれの第1端子は、配線VEに電気的に接続されている。トランジスタM1xのゲートは、回路HCSに電気的に接続され、トランジスタM1x−2bのゲートは、回路HCS−2bに電気的に接続され、トランジスタM1x−3bのゲートは、回路HCS−3bに電気的に接続されている。トランジスタM3−2xの第1端子は、トランジスタM4−2xの第1端子と、トランジスタM1x、トランジスタM1x−2b、トランジスタM1x−3bのそれぞれの第2端子と、に電気的に接続されている。トランジスタM3−2xの第2端子は、配線OLに電気的に接続され、トランジスタM3−2xのゲートは、配線X1L2xに電気的に接続されている。トランジスタM4−2xの第2端子は、配線OLBに電気的に接続され、トランジスタM4−2xのゲートは、配線X2L2xに電気的に接続されている。
 なお、図39の回路MPにおいて、回路HCSrは、回路HCSとほぼ同様の回路構成となっている。そのため、回路HCSrの有する回路素子などには、回路HCSの有する回路素子などと区別をするため、符号に「r」を付している。また、トランジスタM3−2xrの第2端子は、配線OLBに電気的に接続され、トランジスタM4−2xrの第2端子は、配線OLに電気的に接続されている。
 配線X1L2xは、トランジスタM3−2x、トランジスタM3−2xrをオン状態とオフ状態の切り替えを行うための配線であり、配線X2L2xは、トランジスタM4−2x、M4−2xrをオン状態とオフ状態の切り替えを行うための配線である。
 回路HCSに高レベル電位、例えばVDDLが保持されているとき、トランジスタM1はソース−ドレイン間に電流量としてIutが流れるものとする。このとき、回路HCS−2bに高レベル電位、例えばVDDLが保持されているき、トランジスタM1−2bのW長とL長の比はトランジスタM1のW長とL長の比の2倍であるため、トランジスタM1−2bのソース−ドレイン間に電流量として2Iutが流れる。また、回路HCS−3bに高レベル電位、例えばVDDLが保持されているとき、トランジスタM1−3bのW長とL長の比はトランジスタM1のW長とL長の比の4倍であるため、トランジスタM1−3bのソース−ドレイン間に電流量として4Iutが流れる。
 つまり、回路HCS、回路HCS−2b、回路HCS−3bのそれぞれに保持されている電位に応じて、トランジスタM3の第1端子とトランジスタM4の第1端子の電気的接続点から回路MCを介して配線VEに流れる電流は、Iut刻みで0から7Iutまで変化する。ここでは、当該電流量をIX1と呼称する。
 また、回路HCSに高レベル電位、例えばVDDLが保持されているとき、トランジスタM1xのW長とL長の比はトランジスタM1のW長とL長の比の2倍であるため、トランジスタM1xのソース−ドレイン間に電流量として2Iutが流れる。また、回路HCS−2bに高レベル電位、例えばVDDLが保持されているとき、トランジスタM1x−2bのW長とL長の比はトランジスタM1のW長とL長の比の4倍であるため、トランジスタM1x−2bのソース−ドレイン間に電流量として4Iutが流れる。また、回路HCS−3bに高レベル電位、例えばVDDLが保持されているとき、トランジスタM1x−3bのW長とL長の比はトランジスタM1のW長とL長の比の8倍であるため、トランジスタM1x−3bのソース−ドレイン間に電流量として8Iutが流れる。
 つまり、回路HCS、回路HCS−2b、回路HCS−3bのそれぞれに保持されている電位に応じて、トランジスタM3−2xの第1端子とトランジスタM4−2xの第1端子の電気的接続点から回路MCを介して配線VEに流れる電流は、2Iut刻みで0から14Iutまで変化する。ここでは、当該電流量をIX2と呼称する。つまり、IX2=2IX1が成り立つ。
 ここで、図39の回路MPに正の第1データ(重み係数)が設定されているときにおいて、配線X1L、配線X2L、配線X1L2x、配線X2L2xのそれぞれに、高レベル電位又は低レベル電位が与えられる場合を考える。
 配線X1L、配線X2L、配線X1L2x、配線X2L2xのそれぞれに低レベル電位を与えたとき、回路MCにおいて、トランジスタM3、トランジスタM3−2x、トランジスタM4、トランジスタM4−2xはオフ状態になる。このとき、配線OLから、回路MCを介して配線VEに、電流は流れない。
 配線X1Lに高レベル電位を与え、配線X2L、配線X1L2x、配線X2L2xのそれぞれに低レベル電位を与えたとき、回路MCにおいて、トランジスタM3はオン状態になり、トランジスタM3−2x、トランジスタM4、トランジスタM4−2xはオフ状態になる。このとき、配線OLから、回路MCを介して配線VEに、電流量としてIX1が流れる。
 また、配線X2Lに高レベル電位を与え、配線X1L、配線X1L2x、配線X2L2xのそれぞれに低レベル電位を与えたとき、回路MCにおいて、トランジスタM4はオン状態になり、トランジスタM3、トランジスタM3−2x、トランジスタM4−2xはオフ状態になる。このとき、配線OLBから、回路MCを介して配線VEに、電流量としてIX1が流れる。
 また、配線X1L2xに高レベル電位を与え、配線X1L、配線X2L、配線X2L2xのそれぞれに低レベル電位を与えたとき、回路MCにおいて、トランジスタM3−2xはオン状態になり、トランジスタM3、トランジスタM4、トランジスタM4−2xはオフ状態になる。このとき、配線OLから、回路MCを介して配線VEに、電流量としてIX2=2IX1が流れる。
 また、配線X2L2xに高レベル電位を与え、配線X1L、配線X1L2x、配線X2Lのそれぞれに低レベル電位を与えたとき、回路MCにおいて、トランジスタM4−2xはオン状態になり、トランジスタM3、トランジスタM4、トランジスタM3−2xはオフ状態になる。このとき、配線OLBから、回路MCを介して配線VEに、電流量としてIX2=2IX1が流れる。
 更に、配線X1L、配線X1L2xに高レベル電位を与え、配線X2L、配線X2L2xのそれぞれに低レベル電位を与えたとき、回路MCにおいて、トランジスタM3、トランジスタM3−2xはオン状態になり、トランジスタM4、トランジスタM4−2xはオフ状態になる。このとき、配線OLから、回路MCを介して配線VEに、電流量としてIX1+IX2=3IX1が流れる。
 同様に、配線X2L、配線X2L2xに高レベル電位を与え、配線X1L、配線X1L2xのそれぞれに低レベル電位を与えたとき、回路MCにおいて、トランジスタM4、トランジスタM4−2xはオン状態になり、トランジスタM3、トランジスタM3−2xはオフ状態になる。このとき、配線OLBから、回路MCを介して配線VEに、電流量としてIX1+IX2=3IX1が流れる。
 上述の通り、図39の回路MPに含まれている回路MCは、回路HCS、回路HCS−2b、回路HCS−3bのそれぞれに保持されている電位に応じた電流を、配線OL又は配線OLBから、回路MCを介して配線VEに流し、かつ配線X1L、配線X2L、配線X1L2x、配線X2L2xに入力される電位に応じて、当該電流を0倍、1倍、2倍、3倍にして出力することができる。
 上述では、図39の回路MPに正の第1データ(重み係数)を設定した例について説明したが、図39の回路MPに負の第1データ(重み係数)を設定した場合でも同様に、回路MPは、配線OL又は配線OLBから、回路MCrを介して配線VErに電流を流し、かつ配線X1L、配線X2L、配線X1L2x、配線X2L2xに入力される電位に応じて、当該電流を0倍、1倍、2倍、3倍にして出力することができる。
 また、図39の回路MPに0の第1データ(重み係数)を設定する場合、回路HCS、回路HCS−2b、回路HCS−3b、回路HCSr、回路HCS−2br、回路HCS−3brのそれぞれに低レベル電位、例えばVSSを与えればよい。これにより、トランジスタM1、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−3b、トランジスタM1r、トランジスタM1−2br、トランジスタM1−3br、トランジスタM1x、トランジスタM1x−2b、トランジスタM1x−3b、トランジスタM1xr、トランジスタM1x−2br、トランジスタM1x−3brのそれぞれのソース−ドレイン間に流れる電流量を0に設定することができる。このため、配線X1L、配線X2L、配線X1L2x、配線X2L2xが与える電位に関わらず、配線OLから回路MC又は回路MCrに電流は流れず、配線OLBから回路MC又は回路MCrに電流は流れない。
 上述したとおり、図39の回路MPにおいて、回路HCS、回路HCS−2b、回路HCS−3bのそれぞれに保持されている電位を、第1データ(重み係数)に応じた電位とし、配線X1L、配線X2L、配線X1L2x、配線X2L2xに入力される電位を、第2データ(ニューロンの信号の値)に応じた電位とすることで、配線OL又は配線OLBから、回路MCを介して配線VEに流れる電流の量は、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)の積として扱うことができる。
 なお、本構成例は、本明細書で示す他の構成例などと適宜組み合わせることができる。
<構成例7>
 構成例1乃至構成例6では、回路MPが保持する第1データ(例えば、ここでは重み係数とする。)を、“正の多値”、“0”、“負の多値”として、第2データ(例えば、ここではニューロンの信号の値とする。)との積を計算することができる回路MPについて説明したが、本構成例では、一例として、第1データ(重み係数)が“正の多値”、“0”、“負の多値”と、第2データ(ニューロンの信号の値)が“+1”、“0”の2値と、の積を計算することができる回路MPについて説明する。
 図40に示す回路MPは、図16Aの回路MPからトランジスタM4、トランジスタM4rを除いた回路である。また、トランジスタM4、トランジスタM4rを除いたため、図40では、トランジスタM4、トランジスタM4rのそれぞれのゲートに電位を入力するための配線X2Lも除いている。また、配線X1Lに相当する配線は、図40では配線WXLと記載している。なお、図40では、回路MCと回路MCrとを配置した場合の例を示すが、本発明の一態様は、これに限定されない。例えば、重みとして負の値を用いない場合、又は正の値を用いない場合などにおいて、回路MCと回路MCrの少なくとも一方を設けないようにしてもよい。なお、ここでは、図16Aに適用した場合の例を示すが、本発明の一態様は、これに限定されない。他の図面においても、同様に、トランジスタM4、トランジスタM4rを除くことが可能である。
 図40の回路MPに設定される第1データ(重み係数)は、図15Aの回路MPに設定される第1データ(重み係数)と同様とする。そのため、図40の回路MPに設定される第1データ(重み係数)は、図15Aの回路MPの説明の記載を参酌する。当該第1データ(重み係数)としては、例えば、“−2”、“−1”、“0”、“+1”、“+2”とすることができる。
 また、図40の回路MPに入力される第2データ(ニューロンの信号の値)は、配線WXLに高レベル電位が印加されている場合に“+1”とし、配線WXLに低レベル電位が印加されている場合に“0”とする。
 なお、図40の回路MPの動作については、構成例1の動作例の説明を参酌する。
 図40の回路MPにおいて、上述のとおり、第1データ(重み係数)と入力される第2データ(ニューロンの信号の値)を定義したとき、それぞれの重み係数の場合において、回路MPに第2データ(ニューロンの信号の値)が入力されたことによって、配線OLのノードoutaから出力される電流IOLの変化の有無、及び配線OLBのノードoutbから出力される電流IOLBの変化の有無は、以下の表のとおりとなる。なお、下表では、高レベル電位をhighと記載し、低レベル電位をlowと記載している。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000011
 上表のとおり、図40の回路MPは、第1データ(重み係数)が正の多値又は負の多値と、第2データ(ニューロンの信号の値)が“+1”、“0”の2値と、の積を計算することができる。なお、第1データ(重み係数)は、5値ではなく、2値でもよいし、5値以外の多値であってもよい。2値としては、例えば、“+1”、“0”の2値、または、“+1”、“−1”の2値、でもよい。また、第1データ(重み係数)は、例えば、アナログ値でもよいし、多ビット(多値)のデジタル値でもよい。
 なお、本動作例では、回路MPの回路MC、回路MCrの回路HC、回路HCrにおいて、それぞれで設定する電流は多値としたが、設定する電流はアナログ値としてもよい。例えば、第1データ(重み係数)として“正のアナログ値”の場合には、回路HCのノードn1においてアナログ値の電流が設定されて、ノードn1に当該電流に応じた電位が保持され、回路HCrのノードn1rに低レベル電位が保持される。第1データ(重み係数)として“負のアナログ値”の場合には、例えば、回路HCのノードn1に低レベル電位が保持され、回路HCrのノードn1rにおいてアナログ値の電流が設定されて、ノードn1rに当該電流に応じた電位が保持される。そして、電流IOL及び電流IOLBの電流の大きさは、アナログ電位に応じた大きさとなる。
 なお、本構成例は、本明細書で示す他の構成例などと適宜組み合わせることができる。
<構成例8>
 次に、回路ILDに含まれているトランジスタと、回路MPに含まれているトランジスタと、が同じ極性である場合の回路MPの構成例について説明する。
 ここでは、回路ILDの電流源回路ISCに含まれている定電流源回路ISC1(定電流源回路ISC2、定電流源回路ISC3)を、図8Cのnチャネル型トランジスタを有する構成とした場合において、含まれているトランジスタを全てnチャネル型トランジスタとした回路MPの構成例について説明する。
 図41Aに示す回路MPは、図21Aの回路MPの構成を変更した回路であって、図41Aの回路MPは、回路HCの構成と、トランジスタM1のバックゲートの接続先と、に関して、図21Aの回路MPと異なっている。そのため、図21Aの回路MPと、図41Aの回路MPと同様の接続構成となっている箇所については説明を省略する。
 図41Aの回路MPにおいて、回路HCは、トランジスタM9と、容量C3と、を有する。
 また、本明細書などにおいて、トランジスタM9は、特に断りの無い場合は、オン状態の場合は最終的に線形領域で動作する場合を含むものとする。すなわち、上述したそれぞれのトランジスタのゲート電圧、ソース電圧、及びドレイン電圧は、線形領域で動作する範囲での電圧に適切にバイアスされている場合を含むものとする。ただし、本発明の一態様は、これに限定されない。例えば、トランジスタM9は、オン状態のときは飽和領域で動作してもよく、又はサブスレッショルド領域で動作してもよい。又は、トランジスタM9は、線形領域で動作する場合と、飽和領域で動作する場合と、が混在してもよく、又は、飽和領域で動作する場合と、サブスレッショルド領域で動作する場合と、が混在してもよく、又は、サブスレッショルド領域で動作する場合と線形領域で動作する場合と、が混在してもよく、又は、線形領域で動作する場合と、飽和領域で動作する場合と、サブスレッショルド領域で動作する場合と、が混在してもよい。
 トランジスタM1のゲートは、トランジスタM9の第1端子と、容量C3の第1端子と、に電気的に接続されている。トランジスタM9の第2端子は、配線VEに電気的に接続されている。トランジスタM1のバックゲートは、トランジスタM1の第2端子と、容量C3の第2端子と、トランジスタM3の第1端子と、トランジスタM4の第1端子と、に電気的に接続されている。
 トランジスタM1のバックゲートと、トランジスタM1の第2端子と、を電気的に接続し、トランジスタM1の第1端子に高レベル電位を与えることによって、トランジスタM1は、トランジスタM1のしきい値電圧を高くすることができる場合がある。なお、本発明の一態様の半導体装置は、これに限定されず、例えば、図41Aの回路MPは、トランジスタM1のバックゲートが、低レベル電位を与える配線などに電気的に接続されている構成としてもよい。また、例えば、図41Aの回路MPは、トランジスタM1がバックゲートを有さない構成としてもよい。
 なお、図41Aに示す回路HCにおいて、トランジスタM1のゲートと、トランジスタM9の第1端子と、容量C3の第1端子と、の電気的接続点をノードn3としている。
 図41Aの回路MPにおいて、回路MCrは、回路MCとほぼ同様の回路構成となっている。そのため、回路MCrの有する回路素子などには、回路MCの有する回路素子などと区別をするため、符号に「r」を付している。
 図41Aの回路MPにおいて、配線VE、配線VErが与える電位としては、例えば、高レベル電位であることが好ましい。図8Cに示す定電流源回路ISC1(定電流源回路ISC2、定電流源回路ISC3)において、配線VSOが低レベル電位となっているため、配線VE、配線VErが与える電位を高レベル電位とすることによって、回路MC又は回路MCrから配線OL、配線OLBを介して回路ILDに電流を流すことができる。ここでは、配線VE、配線VErが与える電位をVDDとして説明する。
 図41Aの回路MCにおいて、トランジスタM1のソース−ドレイン間に流れる電流を設定するとき(第1データ(例えば、ここでは重み係数とする。)を設定するとき)、配線WX1L、配線WLに高レベル電位を与えて、トランジスタM3、トランジスタM9をオン状態にする。これにより、回路HCのノードn3の電位はVDDとなる。その後、図8Aの電流源回路ISCにおいて、電流を生成することで、配線VEから、トランジスタM1のソース−ドレイン間と、回路MCのトランジスタM3のソース−ドレイン間と、配線OLと、を介して、電流源回路ISCに当該電流が流れる。このとき、容量C3の第2端子の電位(トランジスタM1の第2端子の電位)は、当該電流によって定められる。ここで、配線WX1L、配線WLに低レベル電位を与えて、トランジスタM3、トランジスタM9をオフ状態にすることによって、容量C3によって、トランジスタM1のゲートとトランジスタM1の第2端子との間の電圧を保持することができる。これにより、トランジスタM1のソース−ドレイン間に当該電流を設定することができる。その後に、配線WX1L、配線X2Lのそれぞれに所定の電位を与えて、トランジスタM3又はトランジスタM4の一方をオン状態、トランジスタM3又はトランジスタM4の他方をオフ状態にすることによって、配線VEから、回路MCを介して配線OL又は配線OLBに設定された電流を流すことができる。
 また、図41Aの回路MPの構成の変更例を、図41Bに示す。図41Bの回路MPは、トランジスタM9の第2端子が配線VEでなく、配線VAに電気的に接続されている点と、トランジスタM9rの第2端子が配線VErでなく、配線VArに電気的に接続されている点と、で図41Aの回路MPと異なる。
 配線VAは、一例としては、定電圧を与える配線として機能する。特に、当該定電圧としては、接地電位、低レベル電位、VSSよりも高く、配線VEが与える高レベル電位、VDDよりも低い電位であることが好ましい。ここで、配線VAが与える定電圧をVとして、電位Vは、接地電位、低レベル電位、VSSよりも高く、配線VEが与える高レベル電位、VDDよりも低い電位であるとする。
 図41Bの回路MPにおいて、トランジスタM1の第2端子の電位をVとしたとき、トランジスタM1のソース−ドレイン間電圧は、VDD−Vとなる。また、トランジスタM1のゲートにVが入力されている場合、トランジスタM1のゲート−ソース間電圧は、V−Vとなる。トランジスタM1を飽和領域として動作させるためには、トランジスタM1のしきい値電圧をVthとおくと、VDD−V>V−V−Vthの関係を満たせばよい。ところで、トランジスタM1がノーマリーオン特性である場合、ゲート−ソース間電圧V−Vが負の値となっても、ゲート−ソース間電圧VDD−Vが正の値となるため、トランジスタM1は飽和領域として動作することができる。
 なお、ノーマリーオン特性とは、トランジスタのゲートに電圧を印加しなくてもチャネルが存在し、当該トランジスタに電流が流れてしまう状態のことをいう。
 また、図41Bの回路MPにおいて、配線VAと配線VArとは、一本の配線としてまとめてもよい。例えば、図41Cに示す回路MPのとおり、配線VAと配線VArとを配線VAとして一本にまとめて、列方向に沿って設けてもよい。なお、配線VAは、列方向ではなく、行方向に沿って設けてもよい(図示しない。)。
 次に、図41A乃至図41Cとは異なる、定電流源回路ISC1(定電流源回路ISC2、定電流源回路ISC3)と回路MPと、をnチャネル型トランジスタの単極性回路とした場合の、回路MPの構成例について説明する。
 図42に示す回路MPは、図41Aの回路MPを、多値の第2データ(例えば、ここではニューロンの信号の値(演算値)とする。)を扱えるように変形した回路である。
 図42の回路MPに含まれている回路MCは、図41Aの回路MPが有する回路素子に加え、トランジスタM1−2b、トランジスタM3−2b、トランジスタM4−2b、トランジスタM10、回路HC−2bを有する。
 本明細書などにおいて、トランジスタM1−2bは、トランジスタM1と同様に、特に断りの無い場合は、オン状態の場合は最終的に飽和領域で動作する場合を含むものとする。すなわち、上述したそれぞれのトランジスタのゲート電圧、ソース電圧、及びドレイン電圧は、飽和領域で動作する範囲での電圧に適切にバイアスされている場合を含むものとする。ただし、本発明の一態様は、これに限定されない。供給される電圧の振幅値を小さくするために、トランジスタM1−2bは、線形領域で動作してもよい。また、トランジスタM1−2bに流れる電流量を小さくするため、トランジスタM1−2bは、サブスレッショルド領域で動作してもよい。又は、トランジスタM1−2bは、飽和領域とサブスレッショルド領域の境界付近で動作させてもよい。なお、第1データ(重み係数)をアナログ値とする場合には、第1データ(重み係数)の大きさに応じて、例えば、トランジスタM1−2bは、線形領域で動作する場合と、飽和領域で動作する場合と、サブスレッショルド領域で動作する場合と、が混在していてもよい。又は、トランジスタM1−2bは、線形領域で動作する場合と、飽和領域で動作する場合と、が混在してもよく、又は、サブスレッショルド領域で動作する場合と線形領域で動作する場合と、が混在してもよく、又は、飽和領域で動作する場合と、サブスレッショルド領域で動作する場合と、が混在してもよい。
 また、本明細書などにおいて、トランジスタM3−2b、トランジスタM4−2b、及びトランジスタM10は、特に断りの無い場合は、オン状態の場合は最終的に線形領域で動作する場合を含むものとする。すなわち、上述したそれぞれのトランジスタのゲート電圧、ソース電圧、及びドレイン電圧は、線形領域で動作する範囲での電圧に適切にバイアスされている場合を含むものとする。ただし、本発明の一態様は、これに限定されない。例えば、トランジスタM3−2b、及びトランジスタM4−2b、トランジスタM10は、オン状態のときは飽和領域で動作してもよく、又はサブスレッショルド領域で動作してもよい。または、飽和領域とサブスレッショルド領域の境界付近で動作させてもよい。又は、トランジスタM3−2b、トランジスタM4−2b、及びトランジスタM10は、線形領域で動作する場合と、飽和領域で動作する場合と、が混在してもよく、又は、飽和領域で動作する場合と、サブスレッショルド領域で動作する場合と、が混在してもよく、又は、サブスレッショルド領域で動作する場合と線形領域で動作する場合と、が混在してもよく、又は、線形領域で動作する場合と、飽和領域で動作する場合と、サブスレッショルド領域で動作する場合と、が混在してもよい。
 次に、図42の回路MPの構成について説明する。なお、図42の回路MPにおいて、図41Aの回路MPと同様の構成となっている箇所については省略する。
 回路HC−2bは、回路HCと同様の構成となっている。そのため、回路HC−2bに含まれる回路素子などを説明するときは、回路HCに含まれる回路素子の符号を用いて説明する場合がある。
 図42の回路MPの回路MCにおいて、トランジスタM1−2bの第1端子は、配線VEに電気的に接続されている。トランジスタM1−2bの第2端子は、トランジスタM1−2bのバックゲートと、トランジスタM3−2bの第1端子と、トランジスタM4−2bの第1端子と、に電気的に接続されている。トランジスタM1−2bのゲートは、回路HC−2bのトランジスタM9の第1端子と、回路HC−2bの容量C3の第1端子と、に電気的に接続されている。回路HC−2bの容量C3の第2端子は、トランジスタM10の第1端子と、トランジスタM1−2bの第2端子と、に電気的に接続されている。トランジスタM3−2bの第2端子は、配線OLに電気的に接続されている。トランジスタM3−2bのゲートは、配線X1L2bに電気的に接続されている。トランジスタM4−2bの第2端子は、配線OLBに電気的に接続されている。トランジスタM4−2bのゲートは、配線X2L2bに電気的に接続されている。トランジスタM10の第2端子は、トランジスタM1の第2端子と、トランジスタM3の第1端子と、トランジスタM4の第1端子と、回路HCの容量C3の第2端子に電気的に接続されている。回路HC−2bのトランジスタM9の第2端子は、回路HCのトランジスタM9の第1端子に電気的に接続されている。回路HC−2bのトランジスタM9のゲートと、トランジスタM10のゲートと、は、配線WLに電気的に接続されている。
 なお、図42の回路MPの回路MCrは、回路MCとほぼ同様の回路構成となっている。そのため、回路MCrの有する回路素子などには、回路MCの有する回路素子などと区別をするため、符号に「r」を付している。また、トランジスタM3−2brの第2端子は、配線OLBに電気的に接続され、トランジスタM4−2brの第2端子は、配線OLに電気的に接続されている。
 図42の回路MPにおいて、トランジスタM3、トランジスタM3−2b、トランジスタM3r、トランジスタM3−2br、トランジスタM4、トランジスタM4−2b、トランジスタM4r、トランジスタM4−2brのサイズ、例えば、チャネル長及びチャネル幅は、互いに等しいことが好ましい。このような回路構成とすることにより、効率的にレイアウトできる可能性がある。
 また、図42の回路MPにおいて、回路HCr、回路HC−2brに含まれているそれぞれのトランジスタM9rのサイズ、例えば、チャネル長及びチャネル幅は、回路HC、回路HC−2bに含まれているそれぞれのトランジスタM9と等しいことが好ましい。また、トランジスタM10rのサイズは、トランジスタM10と等しいことが好ましい。
 また、トランジスタM1のW長とL長の比をW/Lとしたとき、トランジスタM1−2bのW長とL長の比は、2W/Lとするのが好ましい。また、トランジスタM1rのサイズは、トランジスタM1と等しいことが好ましく、トランジスタM1−2brのサイズは、トランジスタM1−2bと等しいことが好ましい。
 配線X1L2bは、トランジスタM3−2b、トランジスタM3−2brをオン状態とオフ状態の切り替えを行うための配線であり、配線X2L2bは、トランジスタM4−2b、トランジスタM4−2brをオン状態とオフ状態の切り替えを行うための配線である。
 次に、図42の回路MPにおける、電流の設定の方法(第1データ(重み係数)の設定方法)について説明する。
 初めに、配線WX1L、配線WLに高レベル電位を与えて、トランジスタM3、トランジスタM10、回路HCのトランジスタM9、回路HC−2bのトランジスタM9をオン状態にする。これにより、回路HCのノードn3の電位はVDDとなり、回路HC−2bのノードn3の電位はVDDとなる。その後、図8Aの電流源回路ISCにおいて、電流量として3Iutの電流を生成することで、配線VEから、トランジスタM1のソース−ドレイン間と、トランジスタM1−2bのソース−ドレイン間と、に異なる電流が流れる。具体的には、トランジスタM1−2bのW長とL長の比は、トランジスタM1のW長とL長の比の2倍であるため、トランジスタM1のソース−ドレイン間に流れる電流の量はIutとなり、トランジスタM1−2bのソース−ドレイン間に流れる電流の量は2Iutとなる。トランジスタM1とトランジスタM1−2bのそれぞれのソース−ドレイン間に流れる電流は、トランジスタM3のソース−ドレイン間と、配線OLと、を介して、電流源回路ISCに流れる。このとき、回路HCの容量C3の第2端子の電位(トランジスタM1の第2端子の電位)は、トランジスタM1のソース−ドレイン間に流れる電流によって定められ、回路HC−2bの容量C3の第2端子の電位(トランジスタM1−2bの第2端子の電位)は、トランジスタM1−2bのソース−ドレイン間に流れる電流によって定められる。ここで、配線WX1L、配線WLに低レベル電位を与えて、トランジスタM3、トランジスタM10、回路HCのトランジスタM9、回路HC−2bのトランジスタM9をオフ状態にすることによって、回路HCの容量C3によって、トランジスタM1のゲートとトランジスタM1の第2端子との間の電圧を保持することができ、回路HC−2bの容量C3によって、トランジスタM1−2bのゲートとトランジスタM1−2bの第2端子との間の電圧を保持することができる。これにより、トランジスタM1のソース−ドレイン間に流れる電流の量をIutに設定することができ、トランジスタM1−2bのソース−ドレイン間に流れる電流の量を2Iutに設定することができる。
 その後に、第2データ(ニューロンの信号の値)に応じて、配線WX1L、配線X2L、配線X1L2b、配線X2L2bのそれぞれに所定の電位を与えることで、回路MPにおいて、設定された第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)との積を計算することができる。なお、多値の第1データ(重み係数)と、多値の第2データ(ニューロンの信号の値)との積の計算についての詳細は、構成例5で説明している。
 なお、図42の回路MPは、図43の回路MPに構成を変更することができる。図43の回路MPは、図42の回路MPにおいて、回路HC−2bのトランジスタM9の第2端子の接続先を、回路HCのトランジスタM9の第1端子から、配線VEに変更し、回路HC−2brのトランジスタM9rの第2端子の接続先を、回路HCrのトランジスタM9rの第1端子から、配線VErに変更した構成に相当する。図43の回路MPは、図42の回路MPと同様に動作することができる。
 また、図42の回路MPと、図43の回路MPと、は、図41Bの回路MPのように、配線VEを、配線VEと配線VAとに分離し、配線VErを、配線VErと配線VArとに分離してもよい。図44に示す回路MPは、図42の回路MPにおいて、配線VEを、配線VEと配線VAとに分離した構成であり、図45に示す回路MPは、図43の回路MPにおいて、配線VEを、配線VEと配線VAとに分離した構成である。
 図44の回路MP、図45の回路MPは、図42、図43のそれぞれの回路MPと同様に動作することができる。なお、図42乃至図45などに示すように、容量C3がトランジスタM1などのソース端子に接続され、そのソース端子が電源線などに接続されておらず、そのドレイン端子が電源線などに接続されている場合には、回路ILDから、切り替え回路TW[j]を介して配線OL又は配線OLBに正の電流を供給する場合、配線VCNが与える定電圧としては、配線VE、配線VAなどに供給されている電圧、例えば、高レベル電位(例えばVDDなど。)とすることが好ましい。つまり、配線VCNから定電圧を供給するときに、容量C3の両端の電位差がゼロに近くなるようにすることが望ましい。つまり、トランジスタM1がオフ状態になるようにすることが望ましい。言い換えると、回路MCより、電流が出力されなくなるような電位を配線VCNに供給することが望ましい。一方、配線VCN2は、VSS、接地電位などの低レベルの電位とすることが望ましい。配線VCN、及び配線VCN2が与える電位を適切にすることによって、回路MPから電流を配線OL、及び/又は配線OLBに電流を流すことができる。
 なお、本構成例は、本明細書で示す他の構成例などと適宜組み合わせることができる。
<構成例9>
 図46には、図14の演算回路170に適用できる回路BSと回路MPの一例を示している。
 回路BSとしては、例えば、図46に示すとおり、図40の回路MPを適用することができる。回路BMCは、図40の回路MPの回路MCに相当し、回路BMCrは、図40の回路MPの回路MCrに相当する。トランジスタM11は、図40の回路MPのトランジスタM1に相当し、トランジスタM12は、図40の回路MPのトランジスタM2に相当し、トランジスタM13は、図40の回路MPのトランジスタM3に相当し、容量C4は、図40の回路MPの容量C1に相当し、ノードn4は、図40の回路MPのノードn1に相当する。また、配線WXBSは、図40の回路MPの配線WXLに相当し、配線WLBSは、図40の回路MPの配線WLに相当し、配線VFは、図40の回路MPの配線VEに相当する。そのため、図46に示す回路BSの構成については、図40の回路MPの説明の記載を参酌する。
 回路MPとしては、例えば、図46に示すとおり、図15Aの回路MPを適用することができる。そのため、図46に示す回路MPの構成については、図15Aの回路MPの説明の記載を参酌する。
 図46の回路BSにおいて、回路BMCrは、回路BMCとほぼ同様の回路構成となっている。また、回路MPにおいて、回路MCrは、回路MCとほぼ同様の回路構成となっている。そのため、回路BMCrの有する回路素子などには、回路BMCの有する回路素子などと区別をするため、符号に「r」を付し、また、回路MCrの有する回路素子などには、回路MCの有する回路素子などと区別をするため、符号に「r」を付している。
 回路BSに“正のバイアス”を設定するときは、図40の回路MPの動作と同様に、配線WXBS、配線WLBSに高レベル電位を与えて、トランジスタM12、トランジスタM13、トランジスタM12r、トランジスタM13rをオン状態にすればよい。その後に、図8Aの電流源回路ISCにおいて、当該バイアスに応じた電流を選択し、配線OLと電流源回路ISCとの間を導通状態する。これにより、電流源回路ISCから、配線OL及び回路BMCを介して配線VFに当該電流が流れ、ノードn4の電位は、当該電流に応じた電位となる。また、このとき、配線OLBと配線VCNとの間を導通状態にすることで、回路BMCr側のノードn4rには配線VCNからの電位VSSが与えられるため、ノードn4rの電位はVSSとなる。その後、配線WXBS、配線WLBSに低レベル電位を与えて、トランジスタM12、トランジスタM13、トランジスタM12r、トランジスタM13rをオフ状態にすることで、ノードn4、ノードn4rの電位を保持することができる。これによって、回路BSに“正のバイアス”を設定することができる。
 また、回路BSに“負のバイアス”を設定するときは、配線WXBS、配線WLBSに高レベル電位を与えて、トランジスタM12、トランジスタM13、トランジスタM12r、トランジスタM13rをオン状態にする。その後に、図8Aの電流源回路ISCにおいて、当該バイアスに応じた電流を選択し、配線OLBと電流源回路ISCとの間を導通状態する。これにより、電流源回路ISCから、配線OLB及び回路BMCrを介して配線VFrに当該電流が流れ、ノードn4rの電位は、当該電流に応じた電位となる。また、このとき、配線OLと配線VCNとの間を導通状態にすることで、回路BMC側のノードn4には配線VCNからの電位VSSが与えられるため、ノードn4の電位はVSSとなる。その後、配線WXBS、配線WLBSに低レベル電位を与えて、トランジスタM12、トランジスタM13、トランジスタM12r、トランジスタM13rをオフ状態にすることで、ノードn4、ノードn4rの電位を保持することができる。これによって、回路BSに“負のバイアス”を設定することができる。
 また、回路BSに“0のバイアス”を設定するときは、配線WXBS、配線WLBSに高レベル電位を与えて、トランジスタM12、トランジスタM13、トランジスタM12r、トランジスタM13rをオン状態にし、配線OL及び配線OLBと配線VCNとの間を導通状態にして、ノードn4、及びノードn4rの電位をVSSにする。その後、配線WXBS、配線WLBSに低レベル電位を与えて、トランジスタM12、トランジスタM13、トランジスタM12r、トランジスタM13rをオフ状態にして、ノードn4、ノードn4rのそれぞれの電位VSSを保持することで、回路BSに“0のバイアス”を設定することができる。
 また、場合によっては、回路BSにバイアスを設定するとき、ノードn4、及びノードn4rのそれぞれにVSS以外の電位を与えてもよい。
 回路BSにバイアスを設定した後は、回路MPに第1データ(例えば、ここでは重み係数とする。)を保持し、回路MPに第2データ(例えば、ここではニューロンの信号の値とする。)を与えればよい。具体的には、回路MPに当該重み係数に応じた電流を設定し、回路MPに配線WX1L、配線X2Lのそれぞれから第2データ(ニューロンの信号の値)に応じた電位を与える。更に、回路BSにおいて、配線WXBSを高レベル電位にすることによって、回路MPで計算された第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)との積に、回路BSに設定されたバイアスを与えることができる。
 また、先に回路MPに第1データ(重み係数)を保持して、一度、回路MPで第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)との積を計算し、その後にその計算結果に応じて回路BSにバイアスを設定して、再度演算を行ってもよい。つまり、演算結果に応じて適宜バイアスを変更する動作を行ってもよい。
 なお、図46の構成例では、配線VF、配線VFr、配線VE、配線VErを図示したが、本発明の一態様は、これに限定されない。例えば、図46の構成において、配線VFと配線VEを一本の配線としてまとめ、配線VFrと配線VErを一本の配線としてまとめてもよい。また、例えば、図16Bの回路MPのとおり、図46の構成において、配線VFと配線VFrを一本の配線としてまとめ、配線VEと配線VErを1本の配線としてまとめてもよい。また、例えば、図46の構成において、配線VF、配線VFr、配線VE、配線VErを一本の配線としてまとめてもよい。例えば、図46の構成において、配線VF、配線VFr、配線VE、配線VErから選ばれた2本以上の配線を一本の配線としてまとめてもよい。
 なお、本構成例は、本明細書で示す他の構成例などと適宜組み合わせることができる。
<構成例10>
 次に、図10Bに図示した回路MPに適用できる回路構成の例について説明する。
 図47Aに示す回路MPは、例えば、図7の演算回路140に適用できる図10Bの回路MPの構成例を示している。なお、図47Aの回路MPは、図40に示す回路MPにおいて、トランジスタM3とトランジスタM3rとを1つのトランジスタとしてまとめ、配線VEと配線VErとを1本の配線としてまとめた回路に相当する。具体的には、図40に示している回路MPのトランジスタM3及びトランジスタM3rは、図47Aの回路MPではトランジスタMZとしてまとめられ、図40に示している回路MPの配線VE及び配線VErは、図47Aの回路MPでは配線VLとしてまとめられている。
 なお、図47Aの回路MPの回路MCrは、回路MCとほぼ同様の回路構成となっている。そのため、回路MCrの有する回路素子には、回路MCの有する回路素子と区別をするため、符号に「r」を付している。
 なお、本明細書などにおいて、トランジスタMZは、特に断りの無い場合は、オン状態の場合は最終的に線形領域で動作する場合を含むものとする。すなわち、上述したそれぞれのトランジスタのゲート電圧、ソース電圧、及びドレイン電圧は、線形領域で動作する範囲での電圧に適切にバイアスされている場合を含むものとする。ただし、本発明の一態様は、これに限定されない。例えば、トランジスタMZは、オン状態のときは飽和領域で動作してもよく、又はサブスレッショルド領域で動作してもよい。または、飽和領域とサブスレッショルド領域の境界付近で動作させてもよい。又は、トランジスタMZは、線形領域で動作する場合と、飽和領域で動作する場合と、が混在してもよく、又は、飽和領域で動作する場合と、サブスレッショルド領域で動作する場合と、が混在してもよく、又は、サブスレッショルド領域で動作する場合と線形領域で動作する場合と、が混在してもよく、又は、線形領域で動作する場合と、飽和領域で動作する場合と、サブスレッショルド領域で動作する場合と、が混在してもよい。
 また、回路MCは、回路HCと、トランジスタM20と、を有し、回路MCrは、回路HCrと、トランジスタM20rと、を有する。
 トランジスタM20の第1端子は、トランジスタMZの第1端子に電気的に接続され、トランジスタM20のゲートは、トランジスタM2の第2端子と、容量C1の第1端子と、に電気的に接続され、トランジスタM20の第2端子は、配線OLに電気的に接続されている。容量C1の第2端子は、配線VLに電気的に接続されている。トランジスタM2の第1端子は、配線OLに電気的に接続されている。
 また、トランジスタM20rの第1端子は、トランジスタMZの第1端子に電気的に接続され、トランジスタM20rのゲートは、トランジスタM2rの第2端子と、容量C1rの第1端子と、に電気的に接続され、トランジスタM20rの第2端子は、配線OLBに電気的に接続されている。容量C1rの第2端子は、配線VLに電気的に接続されている。トランジスタM2rの第1端子は、配線OLBに電気的に接続されている。
 配線VLは、一例としては、定電圧を与える配線として機能する。当該定電圧としては、例えば、低レベル電位であるVSS、接地電位(GND)などとすることができる。
 図47Aの回路MPに含まれている回路HC、回路HCrは、図15Aなどに示している回路MPに含まれている回路HC、回路HCrと同様に、重み係数に相当する電流量を設定することができる。具体的には、例えば、回路MPにおいて、配線XLに所定の電位を与えてトランジスタMZをオン状態にし、配線W1Lに所定の電位を与えてトランジスタM2をオン状態にして、配線OLから容量C1の第1端子、及びトランジスタM20の第2端子に、重み係数に相当する電流量を流す。このとき、トランジスタM20は、ダイオード接続となっているため、トランジスタM20のゲート−ソース間電圧は、当該電流量(ソース−ドレイン間に流れる電流の量)に応じて定められる。このとき、トランジスタM20のソースの電位は配線VLが与える電位とすると、トランジスタM20のゲートの電位が定められる。ここで、トランジスタM2をオフ状態にすることによって、トランジスタM20のゲートの電位を保持することができる。なお、回路HCrについても同様に、配線OLBから容量C1rの第1端子、及びトランジスタM20rの第2端子に、重み係数に相当する電流量を流すことによって、当該電流量に応じた電位をトランジスタM20rのゲートに保持することができる。
 ここで、例えば、図47Aの回路MPに設定される重み係数は、回路MCのトランジスタM20にIutの電流が設定され、回路MCrのトランジスタM20rに電流が流れないように設定されたときに“+1”とし、回路MCのトランジスタM20に電流が流れないように設定され、回路MCrのトランジスタM20rにIutの電流が設定されたときに“−1”とし、回路MC、回路MCrのそれぞれのトランジスタM20、トランジスタM20rに電流が流れないように設定されたときに“0”とする。
 回路HC、及び回路HCrのそれぞれに重み係数に応じた電流が設定されることによって、トランジスタM20及びトランジスタM20rのそれぞれのゲートの電位が定まる。ここで、配線XLに、例えば、ニューロンの信号の値に応じた電位を与えることによって、配線OL、及び/又は配線OLBと回路MPとの間に流れる電流が定まる。例えば、配線XLに“+1”の第2データとして高レベル電位が与えられたとき、配線VLが与える定電圧がトランジスタM20の第1端子と、トランジスタM20rの第1端子と、に与えられる。また、例えば、配線XLに“0”の第2データとして低レベル電位が与えられたとき、配線VLが与える定電圧はトランジスタM20の第1端子と、トランジスタM20rの第1端子と、に与えられない。つまり、トランジスタM20、及びトランジスタM20rには電流が流れない。
 ここで、トランジスタM20に電流量としてIutが設定されているとき、トランジスタM20のソースに配線VLからの電位が与えられることで、トランジスタM20の第1端子と第2端子との間に電流量としてIutが流れる。また、トランジスタM20に電流が流れないように設定されているとき、トランジスタM20のソースに配線VLからの電位が与えられても、トランジスタM20の第1端子と第2端子との間には電流が流れない。同様に、トランジスタM20rに電流量としてIutが設定されているとき、トランジスタM20rのソースに配線VLからの電位が与えられることで、トランジスタM20rの第1端子と第2端子との間に電流量としてIutが流れる。また、トランジスタM20rに電流が流れないように設定されているとき、トランジスタM20rのソースに配線VLからの電位が与えられても、トランジスタM20rの第1端子と第2端子との間には電流が流れない。
 つまり、上記をまとめると、重み係数とニューロンの信号の値との積が“+1”であるとき、回路MCと配線OLとの間にIutの電流量が流れ、回路MCrと配線OLBとの間に電流が流れない。また、重み係数とニューロンの信号の値との積が“−1”であるとき、回路MCrと配線OLBとの間にIutの電流量が流れ、回路MCと配線OLとの間に電流が流れない。また、重み係数とニューロンの信号の値との積が“0”であるとき、回路MCと配線OLとの間に電流が流れず、回路MCrと配線OLBとの間に電流が流れない。
 以上より、図47Aの回路MPは、重み係数が“+1”、“−1”、“0”の3値と、ニューロンの信号(演算値)が“+1”、“0”の2値と、の積を計算することができる。また、図47Aの回路MPは、構成例7で説明した回路MPと同様に、一例として、トランジスタM20、及びトランジスタM20rに設定する電流量を変更することによって、第1データ(重み係数)が“正の多値”、“0”、“負の多値”と、第2データ(ニューロンの信号の値)が“+1”、“0”の2値と、の積を計算することができる。
 また、図47Aに示した回路MPは、例えば、図47Bに示した回路MPに変更してもよい。図47Bに示す回路MPは、容量C1の第2端子と、容量C1rの第2端子と、が配線VLでなく、配線CVLに電気的に接続されている点で、図47Aの回路MPと異なる。なお、容量C1の第2端子は、トランジスタM20の第1端子、または、トランジスタMZの第1端子と接続されてもよい。同様に、容量C1rの第2端子は、トランジスタM20rの第1端子、または、トランジスタMZの第1端子と接続されてもよい。また、図48には、容量C1の第2端子がトランジスタM20の第1端子に電気的に接続され、容量C1rの第2端子がトランジスタM20rの第1端子に電気的に接続されている回路MPについて図示している。
 配線CVLは、一例として、定電圧を与える配線として機能する。当該定電圧としては、例えば、高レベル電位、低レベル電位、接地電位などとすることができる。
 なお、本構成例は、本明細書で示す他の構成例などと適宜組み合わせることができる。
 なお、本実施の形態は、本明細書で示す他の実施の形態と適宜組み合わせることができる。
(実施の形態3)
 本実施の形態では、多値の第1データ(例えば、重み係数又はニューロンの信号の一方など)と多値の第2データ(例えば、重み係数又はニューロンの信号(演算値)の他方など)との積和演算を行うことができる半導体装置、又は当該半導体装置の動作方法について説明する。
<動作方法例1>
 初めに、上記実施の形態で説明した半導体装置などを用いて、多値の第1データ(例えば、重み係数又はニューロンの信号の一方など)と多値の第2データ(例えば、重み係数又はニューロンの信号(演算値)の他方など)との積和演算を行う動作方法の一例について説明する。
 一例として、図21Aの回路MPを適用した図11の演算回路150の動作方法を考える。また、説明の煩雑さを避けるため、配線OL、配線OLBに流れる電流の変化については、配線OL、配線OLBに電気的に接続されている1個の回路MPのみによって行われるものとする。また、回路MPに電気的に接続されている配線VE、配線VErのそれぞれは、回路MPに対して、定電圧としてVSSを与えるものとする。また、回路AFPに含まれている回路ACTF[1]乃至ACTF[n]のそれぞれは、一例として、積分回路(または、電流電荷(IQ)変換回路)の構成を有する回路ACTFとする。例えば、積分回路を有する回路ACTFは、図6Eの回路ACTF[j]において、負荷LEa、負荷LEbを容量などとした構成としてもよい。
 図49Aは、当該動作方法の例を示したタイミングチャートである。具体的には、図49Aのそれぞれは、時刻T11から時刻T14までの間、及びその近傍の時刻における、回路HCのノードn1の電位と、回路HCrのノードn1rの電位と、配線WX1Lの電位と、配線OLに流れる電流IOLの電流量と、配線OLBに流れる電流IOLBの電流量と、回路ACTFの積分回路の容量に蓄積される電荷量の変化を示している。特に、図49Aにおいて、配線OLから負荷LEaに含まれている容量に流れる電流によって蓄積される電荷量をQOLと記載し、配線OLBから負荷LEbに含まれている容量に流れる電流によって蓄積される電荷量をQOLBと記載する。
 また、図49Aに示すタイミングチャートは、それぞれ時刻T11より前の時刻において、多値の第1データ(例えば、ここでは重み係数とする。)に応じた電流が設定されたものとする。なお、当該電流の設定の方法については、実施の形態2の説明の記載を参酌する。
 図49Aのタイミングチャートの動作例では、あらかじめ、回路MPに“+1”の重み係数が設定されているものとする。具体的には、時刻T11より前の時刻において、トランジスタM1に電流量Iが流れるように設定され、トランジスタM1rには電流が流れないように設定される。また、回路HCのノードn1にはVが保持され、回路HCrのノードn1rにはVSSが保持されているものとする。なお、電位Vは、VSSよりも高い電位とする。また、あらかじめ、図8Aにおいて、スイッチSWH、スイッチSWHBをオン状態とし、スイッチSWI、スイッチSWIB、スイッチSWO、スイッチSWOB、スイッチSWL、スイッチSWLBをオフ状態として、配線OL及び配線OLBと配線VCN2との間を導通状態にして、配線OL、配線OLBの電位を高レベル電位としている。
 時刻T11以降では、配線OL及び配線OLBと回路AFPとの間を導通状態にするため、図8Aにおいて、スイッチSWO、スイッチSWOBはオン状態になり、スイッチSWI、スイッチSWIB、スイッチSWL、スイッチSWLB、スイッチSWH、スイッチSWHBはオフ状態になるものとする。
 時刻T12から時刻T13までの間において、回路MPへの第2データ(例えば、ここではニューロンの信号の値とする。)の入力が行われる。なお、時刻T12から時刻T13までの間の入力時間を、tutとする。この入力時間の長さが、ニューロンの信号の値の大きさに対応する。つまり、この入力時間の長さを変えることにより、演算結果を変えることができるようになる。
 図49Aの動作例では、回路MPへの第2データ(ニューロンの信号の値)の入力として、配線WX1Lに高レベル電位、配線X2Lに低レベル電位が入力される。そのため、トランジスタM3、トランジスタM3rのそれぞれのゲートに高レベル電位が入力され、トランジスタM4、トランジスタM4rのそれぞれのゲートに低レベル電位が入力されて、トランジスタM3、トランジスタM3rのそれぞれはオン状態となり、トランジスタM4、トランジスタM4rのそれぞれはオフ状態になる。この動作によって、回路MCと配線OLとの間、及び、回路MCrと配線OLBとの間が導通状態になり、回路MCと配線OLBとの間、及び、回路MCrと配線OLとの間が非導通状態になる。
 このとき、トランジスタM1は、電流量をIとする電流を流すように設定されているため、回路ACTFから、切り替え回路TW、配線OL、回路MCを介して、配線VEに電流量Iの電流が流れる。また、トランジスタM1rは、オフ状態となっているため(電流量として0を流すように設定されているため)、回路ACTFから、切り替え回路TW、配線OLB、回路MCrを介して、配線VErに電流は流れない。
 ここで、回路ACTFの積分回路に着目する。時刻T12から時刻T13までの間に第2データ(ニューロンの信号の値)の入力が行われているため、配線OLと導通状態になっている、回路ACTFに含まれている積分回路の容量(負荷LEa)には、時刻T12から時刻T13までの間に電荷が蓄積され続ける。理想的には、時刻T13の時点において、当該容量には、tut×Iの電荷が蓄積される。なお、図49Aのタイミングチャートでは、時刻T12から時刻T13までの間に、当該容量に蓄積された電荷量をQと記載している。一方、配線OLBと導通状態となっている、回路ACTFに含まれている積分回路の容量(負荷LEb)には、電荷の蓄積は起こらない。この結果、回路ACTFは、配線OLに流れた電荷量Qと配線OLBに流れた電荷量0に応じたニューロンの信号z (k)を出力することができる。
 次に、図49Aのタイミングチャートにおいて、回路MPへのニューロンの信号の入力時間をtutから2tutに変化した場合を考える。図49Bに示すタイミングチャートは、図49Aのタイミングチャートにおいて、回路MPへのニューロンの信号の入力時間をtutから2tutに変化させた場合の動作例を示している。
 図49Bのタイミングチャートの時刻T12より前の動作については、図49Aのタイミングチャートの時刻T12より前の動作例と同様である。そのため、図49Bのタイミングチャートの時刻T12より前の動作については、図49Aのタイミングチャートの時刻T12より前の動作の説明を参酌する。
 図49Bの動作例の時刻T12から時刻T14までの間において、回路MPへのニューロンの信号の入力が行われる。上述したとおり、時刻T12から時刻T14までの間の入力時間を、2tutとしている。
 図49Bの動作例では、図49Aの動作例と同様に、回路MPへの第2データ(ニューロンの信号の値)の入力として、配線WX1Lに高レベル電位、配線X2Lに低レベル電位が入力される。このため、回路ACTFから、切り替え回路TW、配線OL、回路MCを介して、配線VEに電流量Iの電流が流れる。また、回路ACTFから、切り替え回路TW、配線OLB、回路MCrを介して、配線VErに電流は流れない。
 時刻T12から時刻T14までの間に第2データ(ニューロンの信号の値)の入力が行われているため、配線OLと導通状態となっている、積分回路の容量(負荷LEa)には、時刻T12から時刻T14までの間に電荷が蓄積され続ける。理想的には、時刻T14の時点において、当該容量には、2tut×I(=2Q)の電荷が蓄積される。なお、図49Bのタイミングチャートでは、時刻T12から時刻T14までの間に、当該容量に蓄積された電荷量をQと記載している。一方、配線OLBと導通状態となっている、回路ACTFに含まれている積分回路の容量(負荷LEb)には、電荷の蓄積は起こらない。この結果、回路ACTFは、配線OLに流れた電荷量Qと配線OLBに流れた電荷量0とに応じたニューロンの信号z (k)を出力することができる。
 次に、図49Aのタイミングチャートにおいて、回路MPに設定されている重み係数を“+1”から“−2”に変更した場合を考える。具体的には、図49Cに示すタイミングチャートは、あらかじめ、時刻T11より前の時刻において、トランジスタM1には電流が流れないように設定され、トランジスタM1rに電流I(=2I)が流れるように設定される。また、回路HCrのノードn1rにはVが保持され、回路HCのノードn1にはVSSが保持されているものとする。なお、電位Vは、V及びVSSよりも高い電位とする。
 図49Cのタイミングチャートの時刻T12より前の動作については、図49Aのタイミングチャートの時刻T12より前の動作例と同様である。そのため、図49Cのタイミングチャートの時刻T12より前の動作については、図49Aのタイミングチャートの時刻T12より前の動作の説明を参酌する。
 図49Cの動作例の時刻T12から時刻T13までの間において、回路MPへのニューロンの信号の入力が行われる。上述したとおり、時刻T12から時刻T13までの間の入力時間を、tutとしている。
 図49Cの動作例では、図49Aの動作例と同様に、回路MPへの第2データ(ニューロンの信号の値)の入力として、配線WX1Lに高レベル電位、配線X2Lに低レベル電位が入力される。このため、回路ACTFから、切り替え回路TW、配線OLB、回路MCrを介して、配線VErに電流量Iの電流が流れる。また、回路ACTFから、切り替え回路TW、配線OL、回路MCを介して、配線VEに電流は流れない。
 時刻T12から時刻T13までの間に第2データ(ニューロンの信号の値)の入力が行われているため、配線OLBと導通状態となっている、積分回路の容量(負荷LEb)には、時刻T12から時刻T13までの間に電荷が蓄積され続ける。理想的には、時刻T13の時点において、当該容量には、tut×I(=2tut×I=2Q)の電荷が蓄積される。なお、図49Cのタイミングチャートでは、時刻T12から時刻T13までの間に、当該容量に蓄積された電荷量をQと記載している。一方、配線OLと導通状態となっている、回路ACTFに含まれている積分回路の容量(負荷LEa)には、電荷の蓄積は起こらない。この結果、回路ACTFは、配線OLに流れた電荷量0と配線OLBに流れた電荷量Qに応じたニューロンの信号z (k)を出力することができる。
 図49A乃至図49Cに示した動作例の通り、第2データ(ニューロンの信号の値)は、回路MPへの第2データの入力期間に応じて定めることができ、入力期間の長さに応じて、回路ACTFから出力される演算結果が決まる。そのため、第2データ(ニューロンの信号の値)を、入力期間の長さ、及び配線WX1L、配線X2Lに印加する電位に応じて定義することによって、回路MPは、3値以上の第2データ(ニューロンの信号の値)を扱うことができ、多値の第1データ(重み係数)と3値以上の第2データ(ニューロンの信号の値)との積和演算、及び/又は活性化関数の演算を行うことができる。
 本動作例において、回路MPに入力される第2データ(ニューロンの信号の値)は、一例として、次の通りに定義することができる。配線WX1Lに高レベル電位、配線X2Lに低レベル電位を入力し、かつ入力期間をtutとしたときの第2データ(ニューロンの信号の値)を“+1”とし、配線WX1Lに高レベル電位、配線X2Lに低レベル電位を入力し、かつ入力期間を2tutとしたときの第2データ(ニューロンの信号の値)を“+2”とし、配線WX1Lに高レベル電位、配線X2Lに低レベル電位を入力し、かつ入力期間を3tutとしたときの第2データ(ニューロンの信号の値)を“+3”とする。また、配線WX1Lに低レベル電位、配線X2Lに高レベル電位を入力し、かつ入力期間をtutとしたときの第2データ(ニューロンの信号の値)を“−1”とし、配線WX1Lに低レベル電位、配線X2Lに高レベル電位を入力し、かつ入力期間を2tutとしたときの第2データ(ニューロンの信号の値)を“−2”とし、配線WX1Lに低レベル電位、配線X2Lに高レベル電位を入力し、かつ入力期間を3tutとしたときの第2データ(ニューロンの信号の値)を“−3”とする。また、配線WX1Lに低レベル電位、配線X2Lに低レベル電位を入力したときの第2データ(ニューロンの信号の値)を“0”とする。
 回路MPに入力される第2データ(ニューロンの信号の値)を上述の通り、定義することによって、図49Aに示した動作例では、第1データ(重み係数)“+1”と第2データ(ニューロンの信号の値)“+1”との積として、“+1”を算出することができる。また、図49Bに示した動作例では、第1データ(重み係数)“+1”と第2データ(ニューロンの信号の値)“+2”との積として、“+2”を算出することができる。また、図49Cに示した動作例では、第1データ(重み係数)“−2”と第2データ(ニューロンの信号の値)“+1”との積として、“−2”を算出することができる。本動作例において、第1データ(重み係数)を“−2”、“−1”、“0”、“+1”、“+2”のいずれか一として、第2データ(ニューロンの信号の値)を“−2”、“−1”、“0”、“+1”、“+2”のいずれか一としたときにおける、配線OLに流れた電荷量QOLと配線OLBに流れる電荷量QOLBを下の表に記す。なお、下表において、高レベル電位をhigh、低レベル電位をlowと記載している。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000012
 また、本発明の一態様は、上述の定義に限定されない。上述では、第2データ(ニューロンの信号の値)として、正の多値、負の多値、0を定義したが、入力期間を離散的な値でなく連続的な値をとることによって(aを正の実数として、入力期間をa×tutとすることによって)、第2データ(ニューロンの信号の値)をアナログ値として扱うことができる。
 また、図49A、図49Bに示した動作例では、回路MPに設定された第1データ(重み係数)を“+1”とし、図49Cに示した動作例では、回路MPに設定された第1データ(重み係数)を“−2”としたが、“+1”、“−2”以外の第1データ(重み係数)を用いて計算を行ってもよい。実施の形態1、及び実施の形態2で説明したとおり、回路MPに設定される第1データ(重み係数)は、アナログ値などを設定することができるため、回路ACTFに含まれている積分回路の容量に蓄積される電荷量も、アナログ値などとする第1データ(重み係数)に応じて算出することができる。
 また、図49A乃至図49Cに示した動作例では、回路MPは、説明の煩雑さを避けるため、配線OL、配線OLBには1個の回路MPのみが電気的に接続されている場合を考えたが、図11の演算回路150のとおり、配線OL、配線OLBには複数の回路MPを電気的に接続してもよい。これにより、配線OL、配線OLBのそれぞれから複数の回路MPに入力された電荷量の合計を、回路ACTFに含まれる積分回路の容量に蓄積することができ、回路ACTFは、配線OL、配線OLBに流れたそれぞれの電荷量に応じたニューロンの信号z (k)を出力することができる。なお、図49A乃至図49Cでは、時刻T12から配線WX1Lの電位の変化が開始されている。つまり、図49A乃至図49Cのそれぞれでは、配線WX1Lの電位が高レベル電位となる期間が異なっている場合においても、低レベル電位から高レベル電位へ変化する時刻が同じ(時刻T12)となっているが、本発明の一態様は、これに限定されない。例えば、図49A乃至図49Cのそれぞれの配線WX1Lの電位が高レベル電位となる期間が異なっている場合においても、高レベル電位から低レベル電位へ変化する時刻が、同じになるように動作さぜてもよい。または、図49A乃至図49Cのそれぞれの配線WX1Lの電位が高レベル電位となる期間が異なっている場合においても、高レベル電位となる期間の中心の時刻が、同じになるように動作させてもよい。
 なお、本動作例では、図11の演算回路150を例としたが、状況に応じて、別の演算回路に変更することでも、本動作例と同様の動作を行うことができる。例えば、図47Bの回路MPを図7の演算回路140に適用して、回路AFPに含まれている回路ACTF[1]乃至ACTF[n]のそれぞれが積分回路の構成(または、電流電荷(IQ)変換回路)を有している場合を考える。この場合の回路構成においても、第1データ(重み係数)に応じてトランジスタM20、及びトランジスタM20rのそれぞれに流れる電流量を設定し、第2データ(ニューロンの信号の値)に応じて配線XLに高レベル電位を与える期間を設定することにより、本動作例と同様に、“正の多値”、“負の多値”、“0”のいずれかである第1データと、“正の多値”又は“0”である第2データと、の積を計算することができる。また、第1データ及び/又は第2データをアナログ値として計算を行ってもよい。
 なお、本動作方法例は、本明細書で示す他の動作方法例などと適宜組み合わせることができる。
<動作方法例2>
 次に、図49A乃至図49Cに示した動作例とは異なる、別の動作方法の例について説明する。
 一例として、図49A乃至図49Cと同様に、図21Aの回路MPを適用した図11の演算回路150の動作方法を考える。また、説明の煩雑さを避けるため、配線OL、配線OLBに流れる電流の変化については、配線OL、配線OLBに電気的に接続されている1個の回路MPのみによって行われるものとする。また、回路MPに電気的に接続されている配線VE、配線VErのそれぞれは、回路MPに対して、定電圧としてVSSを与えるものとする。また、回路AFPに含まれている回路ACTF[1]乃至ACTF[n]のそれぞれは、一例として、積分回路(または、電流電荷(IQ)変換回路)の構成を有する回路ACTFとする。例えば、積分回路は、図6Eの回路ACTF[j]において、負荷LEa、負荷LEbを容量などとした構成としてもよい。
 図50Aは、当該動作方法の例を示したタイミングチャートである。具体的には、図50Aのそれぞれは、時刻T21から時刻T25までの間、及びその近傍の時刻における、回路HCのノードn1の電位と、回路HCrのノードn1rの電位と、配線WX1Lの電位と、配線OLに流れる電流IOLの電流量と、配線OLBに流れる電流IOLBの電流量と、回路ACTFの積分回路の容量に蓄積される電荷量の変化を示している。特に、図50Aにおいて、配線OLから負荷LEaに含まれている容量に流れる電流によって蓄積される電荷量をQOLと記載し、配線OLBから負荷LEbに含まれている容量に流れる電流によって蓄積される電荷量をQOLBと記載する。
 また、図50Aに示すタイミングチャートは、それぞれ時刻T21より前の時刻において、多値の第1データ(例えば、ここでは重み係数とする。)に応じた電流が設定されたものとする。なお、当該電流の設定の方法については、実施の形態2の説明の記載を参酌する。
 図50Aのタイミングチャートの動作例では、あらかじめ、回路MPに“+1”の第1データ(ここでは、例えば、重み係数とする。)が設定されているものとする。具体的には、時刻T21より前の時刻において、トランジスタM1に電流量Iが流れるように設定され、トランジスタM1rには電流が流れないように設定される。また、回路HCのノードn1にはVが保持され、回路HCrのノードn1rにはVSSが保持されているものとする。なお、電位Vは、VSSよりも高い電位とする。また、あらかじめ、図8Aにおいて、スイッチSWH、スイッチSWHBをオン状態とし、スイッチSWI、スイッチSWIB、スイッチSWO、スイッチSWOB、スイッチSWL、スイッチSWLBをオフ状態として、配線OL及び配線OLBと配線VCN2との間を導通状態にして、配線OL、配線OLBの電位を高レベル電位としている。
 時刻T21以降では、配線OL及び配線OLBと回路AFPとの間を導通状態にするため、図8Aにおいて、スイッチSWO、スイッチSWOBはオン状態になり、スイッチSWI、スイッチSWIB、スイッチSWL、スイッチSWLB、スイッチSWH、スイッチSWHBはオフ状態になるものとする。
 時刻T22以降において、回路MPへの第2データ(例えば、ここではニューロンの信号の値とする。)の入力が行われる。なお、図50Aの動作例では、回路MPへの第2データ(ニューロンの信号の値)の入力は、時刻T22から時刻T23までの間と、時刻T23から時刻T24までの間と、時刻T24から時刻T25までの間と、に分けて行われる。具体的には、時刻T22から時刻T23までの間の入力時間をtutとし、時刻T23から時刻T24までの間の入力時間を2tutとし、時刻T24から時刻T25までの間の入力時間を4tutとしている。なお、本明細書などでは、それぞれの期間を第1サブ期間、第2サブ期間、第3サブ期間、と呼称する。また、第2サブ期間の長さは、第1サブ期間の長さの1.8倍以上、又は1.9倍以上とすることが好ましく、かつ2.1倍以下、又は2.2倍以下とすることが好ましい。また、第3サブ期間の長さは、第1サブ期間の長さの3.6倍以上、又は3.8倍以上とすることが好ましく、かつ4.2倍以下、又は4.4倍以下とすることが好ましい。なお、上述したそれぞれの下限値と上限値は互いに組み合わせることができるものとする。
 図50Aの動作例では、第1サブ期間と、第3サブ期間において、回路MPへの第2データ(ニューロンの信号の値)の入力として、配線WX1Lに高レベル電位、配線X2Lに低レベル電位が入力される。そのため、トランジスタM3、トランジスタM3rのそれぞれのゲートに高レベル電位が入力され、トランジスタM4、トランジスタM4rのそれぞれのゲートに低レベル電位が入力されて、トランジスタM3、トランジスタM3rのそれぞれはオン状態となり、トランジスタM4、トランジスタM4rのそれぞれはオフ状態になる。この動作によって、回路MCと配線OLとの間、及び、回路MCrと配線OLBとの間が導通状態になり、回路MCと配線OLBとの間、及び、回路MCrと配線OLとの間が非導通状態になる。
 このとき、トランジスタM1は、電流量としてIを流すように設定されているため、第1サブ期間と、第3サブ期間において、回路ACTFから、切り替え回路TW、配線OL、回路MCを介して、配線VEに電流量Iの電流が流れる。なお、第2サブ期間では、配線WX1L、配線X2Lに低レベル電位が入力されて、トランジスタM3、トランジスタM3r、トランジスタM4、トランジスタM4rのそれぞれのゲートに低レベル電位が入力されるため、トランジスタM3、トランジスタM3r、トランジスタM4、トランジスタM4rのそれぞれはオフ状態となり、回路ACTFから、切り替え回路TW、配線OL、回路MCを介して、配線VEに電流は流れない。
 また、第1サブ期間と、第2サブ期間と、第3サブ期間において、トランジスタM1rは、オフ状態となっているため(電流量として0を流すように設定されているため)、回路ACTFから、切り替え回路TW、配線OLB、回路MCrを介して、配線VErに電流は流れない。
 ここで、回路ACTFの積分回路に着目する。時刻T22以降に第2データ(ニューロンの信号)の入力が行われているため、配線OLと導通状態となっている、回路ACTFに含まれている積分回路の容量(負荷LEa)には、時刻T22以降に電荷が蓄積され続ける。理想的には、第1サブ期間において、当該容量には、tut×Iの電荷が蓄積され、第3サブ期間において、4tut×Iの電荷が蓄積される。なお、図50Aのタイミングチャートでは、第1サブ期間において、当該容量に蓄積された電荷量をQとし、第3サブ期間において、当該容量に蓄積された電荷量をQとしている。そのため、時刻T25以降の当該容量に蓄積された電荷量をQ+Qと記載している。一方、配線OLBと導通状態となっている、回路ACTFに含まれている積分回路の容量(負荷LEb)には、電荷の蓄積は起こらない。この結果、回路ACTFは、配線OLに流れた電荷量Q+Q(=5Q)と配線OLBに流れた電荷量0とに応じたニューロンの信号z (k)を出力することができる。
 次に、図50Aのタイミングチャートにおいて、回路MPへのニューロンの信号の入力を、第1サブ期間及び第3サブ期間から、第2サブ期間に変更した場合を考える。図50Bに示すタイミングチャートは、図50Aのタイミングチャートにおいて、回路MPへのニューロンの信号の入力を、第1サブ期間及び第3サブ期間から、第2サブ期間に変化した場合の動作例を示している。
 図50Bのタイミングチャートの時刻T22より前の動作については、図50Aのタイミングチャートの時刻T22より前の動作例と同様である。そのため、図50Bのタイミングチャートの時刻T22より前の動作については、図50Aのタイミングチャートの時刻T22より前の動作の説明を参酌する。
 図50Bの動作例の時刻T22以降において、回路MPへのニューロンの信号の入力が行われる。具体的には、上述したとおり、回路MPへのニューロンの信号の入力は、第2サブ期間に行われる。
 図50Bの動作例では、第2サブ期間において、回路MPへのニューロンの信号(演算値)の入力として、配線WX1Lに高レベル電位、配線X2Lに低レベル電位が入力される。このため、第2サブ期間では、回路ACTFから、切り替え回路TW、配線OL、回路MCを介して、配線VEに電流量Iの電流が流れる。なお、第1サブ期間と、第3サブ期間では、配線WX1L、配線X2Lに低レベル電位が入力されているため、トランジスタM3、トランジスタM3r、トランジスタM4、トランジスタM4rのそれぞれはオフ状態となり、回路ACTFから、切り替え回路TW、配線OL、回路MCを介して、配線VEに電流は流れない。
 また、第1サブ期間と、第2サブ期間と、第3サブ期間において、トランジスタM1rは、オフ状態となっているため(電流量として0を流すように設定されているため)、回路ACTFから、切り替え回路TW、配線OLB、回路MCrを介して、配線VErに電流は流れない。
 時刻T22以降に第2データ(ニューロンの信号)の入力が行われているため、配線OLと導通状態となっている積分回路の容量(負荷LEa)には、時刻T22以降に電荷が蓄積され続ける。理想的には、時刻T25の時点において、当該容量には、2tut×Iの電荷が蓄積される。なお、図50Bのタイミングチャートでは、時刻T22以降に当該容量に蓄積された電荷量をQと記載している。一方、配線OLBと導通状態となっている、回路ACTFに含まれている積分回路の容量(負荷LEb)には、電荷の蓄積は起こらない。この結果、回路ACTFは、配線OLに流れた電荷量Q(=2Q)と配線OLBに流れた電荷量0とに応じたニューロンの信号z (k)を出力することができる。
 次に、図50Aのタイミングチャートにおいて、回路MPに設定されている重み係数を“+1”から“−2”に変更し、かつ第2データ(ニューロンの信号)の入力を第1サブ期間及び第3サブ期間から、第1サブ期間及び第2サブ期間に変更した場合を考える。
 図50Cに示すタイミングチャートは、あらかじめ、時刻T21より前の時刻において、トランジスタM1には電流が流れないように設定され、トランジスタM1rに電流I(=2I)が流れるように設定されている。また、回路HCのノードn1にはVSSが保持され、回路HCrのノードn1rにはVが保持されているものとする。なお、電位Vは、V及びVSSよりも高い電位とする。
 図50Cのタイミングチャートの時刻T22より前の動作については、図50Aのタイミングチャートの時刻T22より前の動作例と同様である。そのため、図50Cのタイミングチャートの時刻T22より前の動作については、図50Aのタイミングチャートの時刻T22より前の動作の説明を参酌する。
 図50Cの動作例の時刻T22以降において、回路MPへのニューロンの信号の入力が行われる。上述したとおり、回路MPへのニューロンの信号の入力は、第1サブ期間及び第2サブ期間に行われる。
 図50Cの動作例では、第1サブ期間及び第2サブ期間において、回路MPへの第2データ(ニューロンの信号の値)の入力として、配線WX1Lに高レベル電位、配線X2Lに低レベル電位が入力される。このため、第1サブ期間及び第2サブ期間では、回路ACTFから、切り替え回路TW、配線OLB、回路MCrを介して、配線VErに電流量Iの電流が流れる。なお、第3サブ期間では、配線WX1L、配線X2Lに低レベル電位が入力されているため、トランジスタM3、トランジスタM3r、トランジスタM4、トランジスタM4rのそれぞれはオフ状態となり、回路ACTFから、切り替え回路TW、配線OLB、回路MCrを介して、配線VErに電流は流れない。
 また、第1サブ期間と、第2サブ期間と、第3サブ期間において、トランジスタM1は、オフ状態となっているため(電流量として0を流すように設定されているため)、回路ACTFから、切り替え回路TW、配線OL、回路MCを介して、配線VEに電流は流れない。
 時刻T22以降に第2データ(ニューロンの信号)の入力が行われているため、配線OLBと導通状態となっている積分回路の容量(負荷LEb)には、時刻T22以降に電荷が蓄積され続ける。理想的には、時刻T25の時点において、当該容量には、6tut×I(=tut×2I+2tut×2I)の電荷が蓄積される。なお、図50Cのタイミングチャートでは、時刻T25以降に当該容量に蓄積された電荷量を2(Q+Q)と記載している。一方、配線OLと導通状態となっている、回路ACTFに含まれている積分回路の容量(負荷LEa)には、電荷の蓄積は起こらない。この結果、回路ACTFは、配線OLに流れた電荷量0と配線OLBに流れた電荷量2(Q+Q)(=6Q)と、に応じたニューロンの信号z (k)を出力することができる。
 図50A乃至図50Cに示した動作例の通り、第2データ(ニューロンの信号の値)は、回路MPへの第2データ(ニューロンの信号の値)の入力が可能な期間において複数のサブ期間を設けて、複数のサブ期間から一以上の選択された期間に応じて定めることができ、選択された期間に応じて、回路ACTFから出力される演算結果が決まる。そのため、第2データ(ニューロンの信号の値)を、選択されたサブ期間、及び配線WX1L、配線X2Lに印加する電位に応じて定義することによって、回路MPは、3値以上の第2データ(ニューロンの信号の値)を扱うことができ、多値の第1データ(重み係数)と3値以上の第2データ(ニューロンの信号の値)との積和演算、及び/又は活性化関数の演算を行うことができる。
 本動作例において、回路MPに入力される第2データ(ニューロンの信号の値)は、一例として、次の通りに定義することができる。第1サブ期間にのみ、配線WX1Lに高レベル電位、配線X2Lに低レベル電位を入力したときの第2データ(ニューロンの信号の値)を“+1”とし、第2サブ期間にのみ、配線WX1Lに高レベル電位、配線X2Lに低レベル電位を入力したときの第2データ(ニューロンの信号の値)を“+2”とし、第3サブ期間にのみ、配線WX1Lに高レベル電位、配線X2Lに低レベル電位を入力したときの第2データ(ニューロンの信号の値)を“+4”とする。第1サブ期間にのみ、配線WX1Lに低レベル電位、配線X2Lに高レベル電位を入力したときの第2データ(ニューロンの信号の値)を“−1”とし、第2サブ期間にのみ、配線WX1Lに低レベル電位、配線X2Lに高レベル電位を入力したときの第2データ(ニューロンの信号の値)を“−2”とし、第3サブ期間にのみ、配線WX1Lに低レベル電位、配線X2Lに高レベル電位を入力したときの第2データ(ニューロンの信号の値)を“−4”とする。また、第1サブ期間、第2サブ期間、第3サブ期間において、配線WX1Lに低レベル電位、配線X2Lに低レベル電位を入力したときの第2データ(ニューロンの信号の値)を“0”とする。
 なお、第2データ(ニューロンの信号の値)を“+3”としたい場合、第1サブ期間及び第2サブ期間にのみ、配線WX1Lに高レベル電位、配線X2Lに低レベル電位を入力すればよく、また、第2データ(ニューロンの信号の値)を“+5”としたい場合、第1サブ期間及び第3サブ期間に、配線WX1Lに高レベル電位、配線X2Lに低レベル電位を入力すればよい。また、第2データ(ニューロンの信号の値)を“−6”としたい場合、第2サブ期間及び第3サブ期間にのみ、配線WX1Lに低レベル電位、配線X2Lに高レベル電位を入力すればよく、また、第2データ(ニューロンの信号の値)を“−7”としたい場合、第1サブ期間、第2サブ期間及び第3サブ期間に、配線WX1Lに低レベル電位、配線X2Lに高レベル電位を入力すればよい。
 回路MPに入力される第2データ(ニューロンの信号の値)を上述の通り、定義することによって、図50Aに示した動作例では、第1データ(重み係数)“+1”と第2データ(ニューロンの信号の値)“+5”との積として、“+5”を算出することができる。また、図50Bに示した動作例では、第1データ(重み係数)“+1”と第2データ(ニューロンの信号の値)“+2”との積として、“+2”を算出することができる。また、図50Cに示した動作例では、第1データ(重み係数)“−2”と第2データ(ニューロンの信号の値)“+3”との積として、“−6”を算出することができる。
 また、本発明の一態様は、上述の定義に限定されない。上述では、第2データ(ニューロンの信号の値)の入力可能な期間として、第1サブ期間、第2サブ期間、第3サブ期間を設けたが、4つ以上のサブ期間を設けてもよい。例えば、第2データ(ニューロンの信号の値)の入力可能な期間を第1サブ期間乃至第Tサブ期間(Tは4以上の整数である。)に分けて、第sサブ期間(sは4以上T以下の整数である。)の長さを2(s−1)×tutと定めればよい。また、例えば、第2データ(ニューロンの信号の値)の入力可能な期間を第1サブ期間乃至第Tサブ期間(Tは4以上の整数である。)に分けて、第sサブ期間(sは4以上T以下の整数である。)の長さをs×tutと定めてもよい。また、例えば、第1サブ期間にのみ、配線WX1Lに高レベル電位、配線X2Lに低レベル電位を入力したときの第2データ(ニューロンの信号の値)を“+0.1”とし、第2サブ期間にのみ、配線WX1Lに高レベル電位、配線X2Lに低レベル電位を入力したときの第2データ(ニューロンの信号の値)を“+0.2”とし、第3サブ期間にのみ、配線WX1Lに高レベル電位、配線X2Lに低レベル電位を入力したときの第2データ(ニューロンの信号の値)を“+0.4”とするなど、第2データ(ニューロンの信号の値)を実数として定義してもよい。
 また、図50A、図50Bに示した動作例では、回路MPに設定された第1データ(重み係数)を“+1”とし、図50Cに示した動作例では、回路MPに設定された第1データ(重み係数)を“+2”としたが、“+1“、“+2”以外の第1データ(重み係数)を用いて計算を行ってもよい。実施の形態1、及び実施の形態2で説明したとおり、回路MPに設定される第1データ(重み係数)は、負の値、多値、アナログ値などを設定することができるため、回路ACTFに含まれている積分回路の容量に蓄積される電荷量も、負の値、多値、アナログ値などとする第1データ(重み係数)に応じて算出することができる。
 また、図50A乃至図50Cに示した動作例では、回路MPは、説明の煩雑さを避けるため、配線OL、配線OLBには1個の回路MPのみが電気的に接続されている場合を考えたが、図11の演算回路150のとおり、配線OL、配線OLBには複数の回路MPを電気的に接続してもよい。これにより、配線OL、配線OLBのそれぞれから複数の回路MPに入力された電荷量の合計を、回路ACTFに含まれる積分回路の容量に蓄積することができ、回路ACTFは、配線OL、配線OLBに流れたそれぞれの電荷量に応じたニューロンの信号z (k)を出力することができる。
 また、図50A乃至図50Cの動作例のとおり、第2データ(ニューロンの信号の値)の入力可能な期間として、複数のサブ期間を設けて、複数のサブ期間から1つ以上を選択して、選択された期間に信号を入力する構成としては、例えば、それぞれのサブ期間の長さを、回路設計の段階からあらかじめ決めることが好ましい。このような回路構成にすることにより、図49A乃至図49Cの動作例に求められる回路構成よりも、演算回路を簡易的及び/又は効率的にレイアウトできる場合がある。
 なお、本動作例では、図11の演算回路150を例としたが、状況に応じて、別の演算回路に変更することでも、本動作例と同様の動作を行うことができる。
 なお、本動作方法例は、本明細書で示す他の動作方法例などと適宜組み合わせることができる。
<動作方法例3>
 ここでは、図51の回路MPを適用した図11の演算回路150の動作方法について、説明する。
 動作方法例1及び動作方法例2と同様に、説明の煩雑さを避けるため、配線OL、配線OLBに流れる電流の変化については、配線OL、配線OLBに電気的に接続されている1個の回路MPのみによって行われるものとする。また、回路MPに電気的に接続されている配線VE、配線VErのそれぞれは、回路MPに対して、定電圧としてVSSを与えるものとする。また、回路AFPに含まれている回路ACTF[1]乃至ACTF[n]のそれぞれは、一例としては、積分回路(または、電流電荷(IQ)変換回路)の構成を有する回路ACTFとする。例えば、回路ACTFは、図6Eの回路ACTF[j]において、負荷LEa、負荷LEbを容量などとした構成としてもよい。
 図51は、図26に示した回路MPと同様の回路構成を示している。但し、トランジスタM1、トランジスタM1r、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−2br、トランジスタM1−3b、トランジスタM1−3brのそれぞれのサイズ、例えば、W長とL長は等しいことが好ましい。また、本動作方法の例は、実施の形態2で説明した図26の回路MPの動作例と異なる。
 具体的には、回路MPに第2データ(例えば、ここではニューロンの信号の値とする。)を入力する際において、配線WX1L、又は配線X2Lの一方への高レベル電位の入力時間をtutとしたとき、配線X1L2b、又は配線X2L2bの一方への高レベル電位の入力時間は2tutとし、配線X1L3b、又は配線X2L3bの一方への高レベル電位の入力時間は4tutとして動作させるものとする。つまり、トランジスタM3、トランジスタM3rがオン状態、又はトランジスタM4、トランジスタM4rがオン状態となる時間をtutとしたとき、トランジスタM3−2b、トランジスタM3−2brがオン状態、又はトランジスタM4−2b、トランジスタM4−2brがオン状態となる時間が2tutとなり、トランジスタM3−3b、トランジスタM3−3brがオン状態、又はトランジスタM4−3b、トランジスタM4−3brがオン状態となる時間を4tutとなるように動作させる。なお、図51の回路MPには、図26の回路MPと動作が異なることを示すため、配線WX1L、配線X2L、配線X1L2b、配線X2L2b、配線X1L3b、配線X2L3bの符号の付近に、パルス電圧の模式図と入力時間を図示している。
 動作方法例1、動作方法例2で説明したとおり、回路MPに第1データ(例えば、ここでは重み係数とする。)を設定して、かつトランジスタM3、又はトランジスタM4がオン状態となる時間を定めることによって、配線OL又は配線OLBから、トランジスタM1を介して配線VEに流れる電荷量が決まる。また、回路MPに第1データ(重み係数)を設定して、トランジスタM3r、又はトランジスタM4rがオン状態となる時間を定めることによって、配線OL又は配線OLBから、トランジスタM1rを介して配線VErに流れる電荷量が決まる。
 同様に、配線OL又は配線OLBから、トランジスタM1−2bを介して配線VEに流れる電荷量と、配線OL又は配線OLBから、トランジスタM1−2brを介して配線VErに流れる電荷量と、についても、トランジスタM3−2b、トランジスタM3−2br、トランジスタM4−2b、トランジスタM4−2brのそれぞれにおいて、オン状態となる時間を定めることによって決まる。また、配線OL又は配線OLBから、トランジスタM1−3bを介して配線VEに流れる電荷量と、配線OL又は配線OLBから、トランジスタM1−3brを介して配線VErに流れる電荷量と、についても、トランジスタM3−3b、トランジスタM3−3br、トランジスタM4−3b、トランジスタM4−3brのそれぞれにおいて、オン状態となる時間を定めることによって決まる。
 そのため、回路MPに設定する第2データ(ニューロンの信号の値)を次の表の通りに定義することができる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000013
 ここで、例えば、回路MPには、あらかじめ、“+1”の第1データ(重み係数)が設定されているものとする。具体的には、トランジスタM1には電流量Iが流れるように設定されているものとし、かつトランジスタM1r、トランジスタM1−2br、トランジスタM1−3brはオフ状態になっているものとする。
 回路MCにおいて、トランジスタM1、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−3bのそれぞれのサイズが等しく、トランジスタM1、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−3bのそれぞれのゲートが回路HCのノードn1に電気的に接続され、トランジスタM1、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−3bのそれぞれの第1端子が配線VEに電気的に接続されているため、トランジスタM1、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−3bのそれぞれのソース−ドレイン間には互いにほぼ等しい電流が流れる。当該電流の量をIutとする。
 回路MPに第2データ(ニューロンの信号の値)として“+7”が入力されている場合、トランジスタM3が時間tutだけオン状態、トランジスタM4がオフ状態となることで、配線OLから、トランジスタM1を介して配線VEに流れる電荷量は、tut×Iutとなる。なお、ここで、tut×Iut=Qutとする。また、同様に、トランジスタM3−2bが時間2tutだけオン状態、トランジスタM4−2bがオフ状態となることで、配線OLから、トランジスタM1−2bを介して配線VEに流れる電荷量は、2tut×Iut=2Qutとなり、トランジスタM3−3bが時間4tutだけオン状態、トランジスタM4−3bがオフ状態となることで、配線OLから、トランジスタM1−3bを介して配線VEに流れる電荷量は、4tut×Iut=4Qutとなる。そのため、配線OLから、回路MCを介して配線VEに流れる電荷量は、Qut+2Qut+4Qut=7Qutとなる。一方、配線OLBから、回路MCrを介して配線VErに流れる電荷量は、トランジスタM1r、トランジスタM1−2br、トランジスタM1−3brがオフ状態であるため、0となる。
 なお、回路MPに第2データ(ニューロンの信号の値)として“−7”が入力されている場合、配線OLBと回路MCとの間、配線OLと回路MCrとの間がそれぞれ導通状態となり、配線OLBと回路MCrとの間、配線OLと回路MCとの間が非導通状態となるため、配線OLBから、回路MCを介して配線VEに流れる電荷量がQut+2Qut+4Qut=7Qutとなり、配線OLから、回路MCrを介して配線VErに流れる電荷量が、0となる。
 また、例えば、回路MPには、あらかじめ、“−1”の第1データ(重み係数)が設定されているものとする。具体的には、トランジスタM1rには電流量Iが流れるように設定されているものとし、かつトランジスタM1、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−3bはオフ状態になっているものとする。
 回路MCrにおいて、トランジスタM1r、トランジスタM1−2br、トランジスタM1−3brのそれぞれのサイズが等しく、トランジスタM1r、トランジスタM1−2br、トランジスタM1−3brのそれぞれのゲートが回路HCrのノードn1rに電気的に接続され、トランジスタM1r、トランジスタM1−2br、トランジスタM1−3brのそれぞれの第1端子が配線VErに電気的に接続されているため、トランジスタM1r、トランジスタM1−2br、トランジスタM1−3brのそれぞれのソース−ドレイン間には互いにほぼ等しい電流が流れる。トランジスタM1のソース−ドレイン間に流れる電流と同様に、当該電流の量をIutとする。
 回路MPに第2データ(ニューロンの信号の値)として“+7”が入力されている場合、トランジスタM3rが時間tutだけオン状態、トランジスタM4rがオフ状態となることで、配線OLBから、トランジスタM1rを介して配線VErに流れる電荷量は、tut×Iut=Qutとなる。また、同様に、トランジスタM3−2brが時間2tutだけオン状態、トランジスタM4−2brがオフ状態となることで、配線OLBから、トランジスタM1−2brを介して配線VErに流れる電荷量は、2tut×Iut=2Qutとなり、トランジスタM3−3brが時間4tutだけオン状態、トランジスタM4−3brがオフ状態となることで、配線OLBから、トランジスタM1−3brを介して配線VErに流れる電荷量は、4tut×Iut=4Qutとなる。そのため、配線OLBから、回路MCrを介して配線VErに流れる電荷量は、Qut+2Qut+4Qut=7Qutとなる。一方、配線OLから、回路MCを介して配線VEに流れる電荷量は、トランジスタM1、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−3bがオフ状態であるため、0となる。
 なお、回路MPに第2データ(ニューロンの信号の値)として“−7”が入力されている場合、配線OLBと回路MCとの間、配線OLと回路MCrとの間がそれぞれ導通状態となり、配線OLBと回路MCrとの間、配線OLと回路MCとの間が非導通状態となるため、配線OLから、回路MCrを介して配線VErに流れる電荷量がQut+2Qut+4Qut=7Qutとなり、配線OLBから、回路MCを介して配線VEに流れる電荷量が、0となる。
 このため、回路MPに“+1”の第1データ(重み係数)を設定し、正の第2データ(ニューロンの信号の値)に応じて、回路MPに含まれているトランジスタM3、トランジスタM3−2b、トランジスタM3−3bから、オン状態にするトランジスタを一つ以上選択することによって、配線OLから、回路MCを介して配線VEに流れる電荷量を、Qut、2Qut、3Qut、4Qut、5Qut、6Qut、7Qutのいずれか一とすることができる。なお、このとき、配線OLBから、回路MCrを介して、配線VErに流れる電荷量は0となる。また、回路MPに“−1”の第1データ(重み係数)を設定し、正の第2データ(ニューロンの信号の値)に応じて、回路MPに含まれているトランジスタM3r、トランジスタM3−2br、トランジスタM3−3brから、オン状態にするトランジスタを一つ以上選択することによって、配線OLBから、回路MCrを介して配線VErに流れる電荷量を、Qut、2Qut、3Qut、4Qut、5Qut、6Qut、7Qutのいずれか一とすることができる。なお、このとき、配線OLから、回路MCを介して、配線VEに流れる電荷量は0となる。
 また、回路MPに“+1”の第1データ(重み係数)を設定し、負の第2データ(ニューロンの信号の値)に応じて、回路MPに含まれているトランジスタM4、トランジスタM4−2b、トランジスタM4−3bから、オン状態にするトランジスタを一つ以上選択することによって、配線OLBから、回路MCを介して配線VEに流れる電荷量を、Qut、2Qut、3Qut、4Qut、5Qut、6Qut、7Qutのいずれか一とすることができる。なお、このとき、配線OLから、回路MCrを介して、配線VErに流れる電荷量は0となる。また、回路MPに“−1”の第1データ(重み係数)を設定し、負の第2データ(ニューロンの信号の値)に応じて、回路MPに含まれているトランジスタM4r、トランジスタM4−2br、トランジスタM4−3brから、オン状態にするトランジスタを一つ以上選択することによって、配線OLから、回路MCrを介して配線VErに流れる電荷量を、Qut、2Qut、3Qut、4Qut、5Qut、6Qut、7Qutのいずれか一とすることができる。なお、このとき、配線OLBから、回路MCを介して、配線VEに流れる電荷量は0となる。
 また、例えば、回路MPに設定されている第1データ(重み係数)を“+1”から正の整数である“A”に変更したとする。具体的には、トランジスタM1には電流量I(=AI)が流れるように設定されているものとし、かつトランジスタM1r、トランジスタM1−2br、トランジスタM1−3brはオフ状態になっているものとする。このとき、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−3bのそれぞれのソース−ドレイン間に流れる電流量もIとなる。このため、第2データ(ニューロンの信号の値)に応じて、回路MPに含まれているトランジスタM3、トランジスタM3−2b、トランジスタM3−3bから、オン状態にするトランジスタを一つ以上選択することによって、配線OLから、回路MCを介して配線VEに流れる電荷量は、AQut、2AQut、3QAut、4AQut、5AQut、6AQut、7AQutのいずれか一となる。また、“A”を負の整数としたとき、配線OLBから、回路MCrを介して配線VErに、AQut、2AQut、3QAut、4AQut、5AQut、6AQut、7AQutのいずれか一の電荷量が流れることになる。
 なお、回路MPには、あらかじめ、“0”の第1データ(重み係数)が設定されている場合、トランジスタM1、トランジスタM1rのそれぞれはオフ状態になっているものとする。そのため、配線OL又は配線OLBから、回路MCを介して配線VEに電流は流れず、配線OL又は配線OLBから、回路MCrを介して配線VErに電流は流れない。換言すると、配線OL、配線OLBのそれぞれに流れる電荷量は0ということができる。
 ここで、回路ACTFの積分回路に着目する。配線OL又は配線OLBから、回路MCを介して配線VEに電流が流れるとき、又は、配線OL又は配線OLBから、回路MCrを介して配線VErに電流が流れるとき、図8Aにおいて、スイッチSWO、SWOBはオン状態にし、スイッチSWI、スイッチSWIB、スイッチSWL、スイッチSWLB、スイッチSWH、スイッチSWHBはオフ状態にして、配線OL及び配線OLBと回路AFPとの間を導通状態にすることで、回路ACTFに含まれている積分回路の容量に配線OL、配線OLBに流れる電荷量を蓄積することができる。この結果、回路ACTFは、配線OLに流れた電荷量QOLと配線OLBに流れた電荷量QOLBに応じたニューロンの信号z (k)を出力することができる。
 上述の動作例より、第1データ(重み係数)を“+1”又は“−1”として、第2データ(ニューロンの信号の値)を上述の通りに定義した場合の、配線OLに流れた電荷量QOLと配線OLBに流れた電荷量QOLBを下の表に記載する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000014
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000015
 上記の通り、第1データ(重み係数)と、第2データ(ニューロンの信号の値)を定めることにより、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)との積の結果に応じて、配線OLから回路MC又は回路MCrに流れる電荷量QOL、及び配線OLBから回路MC又は回路MCrに流れる電荷量QOLBが決まる。また、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)との積の結果が正の値の場合、配線OLから回路MC又は回路MCrに電流が流れ、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)との積の結果が負の値の場合、配線OLBから回路MC又は回路MCrに電流が流れる。つまり、電荷量QOL、及び電荷量QOLBから、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)との積を算出することができる。例えば、第1データ(重み係数)を“−1”又は“+1”とし、第2データ(ニューロンの信号の値)を“−7”乃至“+7”のいずれか一とし、かつ、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)との積が正の数である場合、上述の表において、配線OLから回路MC又は回路MCrに電流が流れる電荷量QOLにおいて、Qutを“+1”に置き換えることで、電荷量QOLから第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)との積を求めることができる。また、例えば、第1データ(重み係数)を“−1”又は“+1”とし、第2データ(ニューロンの信号の値)を“−7”乃至“+7”のいずれか一とし、かつ、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)との積が負の数である場合、上述の表において、配線OLBから回路MC又は回路MCrに電流が流れる電荷量QOLBにおいて、Qutを“−1”に置き換えることで、電荷量QOLBから第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)との積を求めることができる。
 なお、上述の動作例では、回路MPに設定された第1データ(重み係数)を“+1”、“−1”としたが、“0”、アナログ値などの第1データ(重み係数)を用いて計算してもよい。これにより、回路MPは、2値、多値、アナログ値などの第1データ(重み係数)と多値の第2データ(ニューロンの信号の値)との積和演算、及び/又は活性化関数の演算を行うことができる。
 また、本発明の一態様は、上述の定義に限定されない。上述では、第2データ(ニューロンの信号の値)として、正の多値、負の多値、0を定義したが、例えば、入力期間を離散的な値でなく連続的な値をとることによって(aを正の実数として、入力期間をa×tutとすることによって)、第2データ(ニューロンの信号の値)をアナログ値として扱うことができる。
 また、例えば、トランジスタM3、トランジスタM3rがオン状態、又はトランジスタM4、トランジスタM4rがオン状態となる時間をtutとし、トランジスタM3−2b、トランジスタM3−2brがオン状態、又はトランジスタM4−2b、トランジスタM4−2brがオン状態となる時間を2tutとし、トランジスタM3−3b、トランジスタM3−3brがオン状態、又はトランジスタM4−3b、トランジスタM4−3brがオン状態となる時間を4tutとしたとき、配線WX1Lに高レベル電位、配線X2Lに低レベル電位が入力され、かつ配線X1L2b、配線X2L2b、配線X1L3b、配線X2L3bに低レベル電位が入力されたときの第2データ(ニューロンの信号の値)を“+1”ではなく“+0.1”などの実数として定義してもよい。
 また、本発明の一態様の半導体装置は、図51の回路MPの構成に限定されない。例えば、図51の回路MPでは、電流量を設定するトランジスタとして、回路MC内には、トランジスタM1、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−3bの3個とし、回路MCr内は、トランジスタM1r、トランジスタM1−2br、トランジスタM1−3brの3個としたが、回路MC、回路MCrのそれぞれにおいて、電流量を設定するトランジスタは2個でもよいし、4個以上としてもよい。
 また、本発明の一態様の半導体装置及び当該半導体装置の動作方法は、上述に限定されない。上述では、図51の回路MPのトランジスタM1、トランジスタM1r、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−2br、トランジスタM1−3b、トランジスタM1−3brのそれぞれのサイズを等しいものとして説明したが、例えば、トランジスタM1、トランジスタM1rのW長とL長との比をW/Lとし、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−2br、トランジスタM1−3b、トランジスタM1−3brのW長とL長との比を2W/Lとしてもよい。このとき、トランジスタM1のソース−ドレイン間に電流量としてIの電流が流れるように設定することによって、トランジスタM1−2bのW長とL長の比と、トランジスタM1−3bのW長とL長の比と、のそれぞれはトランジスタM1のW長とL長の比の2倍であるため、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−3bのそれぞれのソース−ドレイン間には電流量として2Iが流れる。同様に、トランジスタM1rのソース−ドレイン間に電流量としてIの電流が流れるように設定することによって、トランジスタM1−2brのW長とL長の比と、トランジスタM1−3brのW長とL長の比と、のそれぞれはトランジスタM1rのW長とL長の比の2倍であるため、トランジスタM1−2br、トランジスタM1−3brのそれぞれのソース−ドレイン間には電流量として2Iが流れる。
 ここで、トランジスタM3、トランジスタM3rがオン状態、又はトランジスタM4、トランジスタM4rがオン状態となる時間をtutとし、トランジスタM3−2b、トランジスタM3−2brがオン状態、又はトランジスタM4−2b、トランジスタM4−2brがオン状態となる時間を2tutとし、トランジスタM3−3b、トランジスタM3−3brがオン状態、又はトランジスタM4−3b、トランジスタM4−3brがオン状態となる時間を2tutとする。つまり、回路MPに第2データ(ニューロンの信号の値)を入力する際において、配線WX1L、又は配線X2Lの一方への高レベル電位の入力時間はtutとし、配線X1L2b、又は配線X2L2bの一方への高レベル電位の入力時間は2tutとし、配線X1L3b、又は配線X2L3bの一方への高レベル電位の入力時間は2tutとする。図52の回路MPには、配線WX1L、配線X2L、配線X1L2b、配線X2L2b、配線X1L3b、配線X2L3bの符号の付近に、図51とは異なる、パルス電圧の模式図と入力時間を示している。
 トランジスタM1のソース−ドレイン間に電流量としてIutの電流が流れるように設定されたとき、トランジスタM3−3b又はトランジスタM4−3bの一方が時間2tutだけオン状態、トランジスタM3−3b又はトランジスタM4−3bの他方がオフ状態となることで、配線OL又は配線OLBから、トランジスタM1−3bを介して配線VEに流れる電荷量は、2tut×2Iut=4Qutとなる。なお、配線OLからトランジスタM1を介して配線VEに流れる電荷量と、配線OLからトランジスタM1−2bを介して配線VEに流れる電荷量と、については上述の動作例と条件が同じであるため、説明を省略する。
 また、トランジスタM1rのソース−ドレイン間に電流量としてIutの電流が流れるように設定されたとき、トランジスタM3−3br又はトランジスタM4−3brの一方が時間2tutだけオン状態、トランジスタM3−3br又はトランジスタM4−3brの他方がオフ状態となることで、配線OL又は配線OLBから、トランジスタM1−3brを介して配線VErに流れる電荷量は、2tut×2Iut=4Qutとなる。なお、配線OL又は配線OLBからトランジスタM1rを介して配線VErに流れる電荷量と、配線OL又は配線OLBからトランジスタM1−2brを介して配線VErに流れる電荷量と、については上述の動作例と条件が同じであるため、説明を省略する。
 上述の通り、トランジスタM1、トランジスタM1r、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−2br、トランジスタM1−3b、トランジスタM1−3brのそれぞれのサイズと、配線WX1L、配線X2L、配線X1L2b、配線X2L2b、配線X1L3b、配線X2L3bのそれぞれへの高レベル電位の入力時間と、を適切に変更することによって、図51に示した回路MPの動作例と同様に、動作することができる。
 また、本発明の一態様の半導体装置は、図51、図52の回路MPの構成に限定されない。例えば、図51の回路MPでは、電流量を設定するトランジスタとして、回路MC内には、トランジスタM1、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−3bの3個とし、回路MCr内は、トランジスタM1r、トランジスタM1−2br、トランジスタM1−3brの3個としたが、回路MC、回路MCrのそれぞれにおいて、電流量を設定するトランジスタは2個、又は4個以上としてもよい。また、当該トランジスタに応じて、保持部の個数、配線の数も増減してもよい。
 また、本発明の一態様の半導体装置の動作方法は、上述の動作方法に限定されない。例えば、動作方法例2で説明した通り、配線WX1L、配線X2L、配線X1L2b、配線X2L2b、配線X1L3b、配線X2L3bのそれぞれに入力される信号の入力期間を、複数のサブ期間に分けてもよい。
 また、本動作方法例では、回路MPは、説明の煩雑さを避けるため、配線OL、配線OLBには1個の回路MPのみが電気的に接続されている場合を考えたが、図11の演算回路150のとおり、配線OL、配線OLBには複数の回路MPを電気的に接続してもよい。これにより、配線OL、配線OLBのそれぞれから複数の回路MPに入力された電荷量の合計を、回路ACTFに含まれる積分回路の容量に蓄積することができ、回路ACTFは、配線OL、配線OLBに流れたそれぞれの電荷量に応じたニューロンの信号z (k)を出力することができる。
 なお、本動作例では、図11の演算回路150を例としたが、状況に応じて、別の演算回路に変更することでも、本動作例と同様の動作を行うことができる。
 なお、本動作方法例は、本明細書で示す他の動作方法例などと適宜組み合わせることができる。
<動作方法例4>
 ここでは、図53の回路MPを適用した図11の演算回路150の動作方法について、説明する。
 動作方法例1乃至動作方法例3と同様に、説明の煩雑さを避けるため、配線OL、配線OLBに流れる電流の変化については、配線OL、配線OLBに電気的に接続されている1個の回路MPのみによって行われるものとする。また、回路MPに電気的に接続されている配線VE、配線VErのそれぞれは、回路MPに対して、定電圧としてVSSを与えるものとする。また、回路AFPに含まれている回路ACTF[1]乃至回路ACTF[n]のそれぞれは、一例としては、積分回路(または、電流電荷(IQ)変換回路)の構成を有する回路ACTFとする。回路ACTFは、例えば、図6Eの回路ACTF[j]において、負荷LEa、負荷LEbを容量などとした構成としてもよい。
 図53は、図27に示した回路MPにおいて、トランジスタM1−3b、トランジスタM1−3br、トランジスタM3−3b、トランジスタM3−3br、トランジスタM4−3b、トランジスタM4−3br、回路HC−3b、回路HC−3brを設けていない構成となっている。また、そのため、図53の回路MPには、配線WX1L3b、配線X2L3b、配線WL3bも設けられていない。また、トランジスタM1、トランジスタM1r、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−2brのそれぞれのサイズ、例えば、W長とL長は等しいことが好ましい。また、本動作方法の例は、実施の形態2で説明した図27の回路MPの動作例と異なる。
 具体的には、回路AFPから回路MPに電流が流れる際において、配線WX1L、又は配線X2Lの一方への高レベル電位の入力時間はtutとして、配線WX1L2b、又は配線X2L2bの一方への高レベル電位の入力時間は2tutとして動作させるものとする。つまり、トランジスタM3、トランジスタM3rがオン状態、又はトランジスタM4、トランジスタM4rがオン状態となる時間をtutとしたとき、トランジスタM3−2b、トランジスタM3−2brがオン状態、又はトランジスタM4−2b、トランジスタM4−2brがオン状態となる時間を2tutとなるように動作させる。そのため、図53の回路MPには、図27の回路MPと動作が異なることを示すため、配線WX1L、配線X2L、配線WX1L2b、配線X2L2bの符号の付近に、パルス電圧の模式図と入力時間を図示している。
 動作方法例1、動作方法例2で説明したとおり、回路MPに第1データ(例えば、ここでは重み係数とする。)を設定して、かつトランジスタM3、又はトランジスタM4がオン状態となる時間を定めることによって、配線OL又は配線OLBから、トランジスタM1を介して配線VEに流れる電荷量が決まる。また、回路MPに第1データ(重み係数)を設定して、トランジスタM3r、又はトランジスタM4rがオン状態となる時間を定めることによって、配線OL又は配線OLBから、トランジスタM1rを介して配線VErに流れる電荷量が決まる。
 同様に、配線OL又は配線OLBから、トランジスタM1−2bを介して配線VEに流れる電荷量と、配線OL又は配線OLBから、トランジスタM1−2brを介して配線VErに流れる電荷量と、についてもトランジスタM3−2b、トランジスタM3−2br、トランジスタM4−2b、トランジスタM4−2brのそれぞれがオン状態となる時間を定めることによって決まる。
 ところで、図53の回路HC、回路HC−2bのそれぞれには、デジタル値(2値)として、VSS、又はVが保持されるものとする。回路HC、回路HC−2bのそれぞれへの電位VSSの保持は、図8Aにおける配線VCNと、図53の回路HCのノードn1及び/又は回路HC−2bのノードn1と、を導通状態にすることによって行われる。また、回路HC、回路HC−2bのそれぞれへの電位Vの保持は、トランジスタM1及び/又はトランジスタM1−2bのソース−ドレイン間に電流を電流量Iとして設定を行うことによって行われるものとする。なお、トランジスタM1、トランジスタM1−2bのそれぞれに電流量Iとして設定したとき、トランジスタM1、トランジスタM1−2bの作製工程などを起因とするトランジスタ特性のばらつきによって、回路HC、回路HC−2bのそれぞれに保持されている電圧は互いに異なる場合がある。
 回路HCr、回路HC−2brのそれぞれには、上述と同様に、デジタル値(2値)として、VSS、又はVが保持されるものとする。
 ここで、回路MPに設定される第1データ(重み係数)について定義する。
 一例として、回路MPに第1データ(重み係数)として“+1”を設定する場合、トランジスタM1において電流量Iが流れるように設定し、回路HC−2b、回路HCr、回路HC−2brにはVSSを保持するものとする。トランジスタM1の第1端子は、トランジスタM3を介して配線OLに電気的に接続され、トランジスタM4を介して配線OLBに電気的に接続されているため、配線WX1L、又は配線X2Lの一方に高レベル電位が入力されている場合、配線OL又は配線OLBからトランジスタM1を介して、配線VEに流れる電荷量はtut×Iとなる。ここで、tut×I=Qutとする。なお、トランジスタM1r、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−2brはオフ状態となるため、トランジスタM1r、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−2brのそれぞれのソース−ドレイン間に流れる電流量は0となる。
 また、回路MPに第1データ(重み係数)として“+2”を設定する場合、トランジスタM1−2bにおいて電流量Iが流れるように設定し、回路HC、回路HCr、回路HC−2brにはVSSを保持するものとする。トランジスタM1−2bの第1端子は、トランジスタM3−2bを介して配線OLに電気的に接続され、トランジスタM4−2bを介して配線OLBに電気的に接続されているため、配線WX1L2b、又は配線X2L2bの一方に高レベル電位が入力されている場合、配線OL又は配線OLBからトランジスタM1−2bを介して、配線VEに流れる電荷量は2tut×I=2Qutとなる。なお、トランジスタM1、トランジスタM1r、トランジスタM1−2brはオフ状態となるため、トランジスタM1、トランジスタM1r、トランジスタM1−2brのそれぞれのソース−ドレイン間に流れる電流量は0となる。
 また、回路MPに第1データ(重み係数)として“+3”を設定する場合、トランジスタM1、トランジスタM1−2bにおいて電流量Iが流れるように設定し、回路HCr、回路HC−2brにはVSSを保持するものとする。上述より、配線WX1L、又は配線X2Lの一方に高レベル電位が入力されている場合、配線OL又は配線OLBからトランジスタM1を介して、配線VEに流れる電荷量はtut×Iとなり、配線WX1L2b、又は配線X2L2bの一方に高レベル電位が入力されている場合、配線OL又は配線OLBからトランジスタM1を介して、配線VEに流れる電荷量は2tut×Iとなる。このため、配線OL又は配線OLBから回路MCを介して配線VEに流れる電荷量は、tut×I+2tut×I=3Qutとなる。なお、トランジスタM1r、トランジスタM1−2brはオフ状態となるため、トランジスタM1r、トランジスタM1−2brのそれぞれのソース−ドレイン間に流れる電流量は0となる。
 また、第1データ(重み係数)を“−1”とする場合、トランジスタM1rにおいて電流量Iが流れるように設定し、回路HC、回路HC−2b、回路HC−2brにはVSSを保持するものとする。トランジスタM1rの第1端子は、トランジスタM3rを介して配線OLBに電気的に接続され、トランジスタM4rを介して配線OLに電気的に接続されているため、配線WX1L、又は配線X2Lの一方に高レベル電位が入力されている場合、配線OL又は配線OLBからトランジスタM1rを介して、配線VErに流れる電荷量はtut×Iとなる。ここで、tut×I=Qutとする。なお、トランジスタM1r、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−2brはオフ状態となるため、トランジスタM1、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−2brのそれぞれのソース−ドレイン間に流れる電流量は0となる。
 また、回路MPに第1データ(重み係数)として“−2”を設定する場合、トランジスタM1−2brにおいて電流量Iが流れるように設定し、回路HC、回路HCr、回路HC−2bにはVSSを保持するものとする。トランジスタM1−2brの第1端子は、トランジスタM3−2brを介して配線OLBに電気的に接続され、トランジスタM4−2brを介して配線OLに電気的に接続されているため、配線WX1L2b、又は配線X2L2bの一方に高レベル電位が入力されている場合、配線OL又は配線OLBからトランジスタM1−2brを介して、配線VErに流れる電荷量は2tut×I=2Qutとなる。なお、トランジスタM1、トランジスタM1r、トランジスタM1−2bはオフ状態となるため、トランジスタM1、トランジスタM1r、トランジスタM1−2bのそれぞれのソース−ドレイン間に流れる電流量は0となる。
 また、回路MPに第1データ(重み係数)として“−3”を設定する場合、トランジスタM1r、トランジスタM1−2brにおいて電流量Iが流れるように設定し、回路HC、回路HC−2bにはVSSを保持するものとする。上述より、配線WX1L、又は配線X2Lの一方に高レベル電位が入力されている場合、配線OL又は配線OLBからトランジスタM1rを介して、配線VErに流れる電荷量はtut×Iとなり、配線WX1L2b、又は配線X2L2bの一方に高レベル電位が入力されている場合、配線OL又は配線OLBからトランジスタM1r−2brを介して、配線VErに流れる電荷量は2tut×Iとなる。このため、配線OL又は配線OLBから回路MCrを介して配線VErに流れる電荷量は、tut×I+2tut×I=3Qutとなる。なお、トランジスタM1、トランジスタM1−2bはオフ状態となるため、トランジスタM1、トランジスタM1−2bのそれぞれのソース−ドレイン間に流れる電流量は0となる。
 また、第1データ(重み係数)を“0”とする場合、回路HC、回路HCr、回路HC−2b、回路HC−2brにはVSSを保持するものとする。そのため、トランジスタM1、トランジスタM1r、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−2brのそれぞれのソース−ドレイン間に流れる電流量は0となる。
 つまり、回路HC、回路HCr、回路HC−2b、回路HC−2brにデジタル値(2値)を保持して、配線WX1L、配線X2Lの一方への高レベル電位の入力期間をtutとし、配線WX1L2b、配線X2L2bの一方への高レベル電位の入力期間を2tutとすることで、多値(本動作例では“−3”、“−2”、“−1”、“0”、“+1”、“+2”、“+3”の7値)の第1データ(重み係数)を表すことができる。
 なお、本動作例では、回路MPに入力される第2データ(ここでは、例えば、ニューロンの信号とする。)の定義として、一例として、第2データが“+1”のときは、配線WX1L、配線X1L2bに高レベル電位が入力され、かつ配線X2L、配線X2L2bに低レベル電位が入力されるものとし、第2データが“−1”のときは、配線WX1L、配線X1L2bに低レベル電位が入力され、かつ配線X2L、配線X2L2bに高レベル電位が入力されるものとし、第2データが“0”のときは、配線WX1L、配線X1L2b、配線X2L、配線X2L2bのそれぞれに低レベル電位が入力されるものとする。
 ここで、回路ACTFの積分回路に着目する。配線OL又は配線OLBから、回路MCを介して配線VEに電流が流れるとき、又は、配線OL又は配線OLBから、回路MCrを介して配線VErに電流が流れるとき、図8Aにおいて、スイッチSWO、スイッチSWOBはオン状態にし、スイッチSWI、スイッチSWIB、スイッチSWL、スイッチSWLB、スイッチSWH、スイッチSWHBはオフ状態にして、配線OL及び配線OLBと回路AFPとの間を導通状態にすることで、回路ACTFに含まれている積分回路の容量に配線OL、配線OLBに流れる電荷量を蓄積することができる。この結果、回路ACTFは、配線OLに流れた電荷量QOLと配線OLBに流れた電荷量QOLBに応じたニューロンの信号z (k)を出力することができる。
 上述の動作例より、第1データ(重み係数)を“+3”、“+2”、“+1”、“0”、“−1”、“−2”、“−3”のいずれか一に設定し、第2データ(ニューロンの信号の値)を上述の通りに定義した場合の、配線OLに流れた電荷量QOLと配線OLBに流れた電荷量QOLBを下の表に記載する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000016
 上記の通り、第1データ(重み係数)と、第2データ(ニューロンの信号の値)を定めることにより、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)との積の結果に応じて、配線OLから回路MC又は回路MCrに電流が流れる電荷量QOL、及び配線OLBから回路MC又は回路MCrに電流が流れる電荷量QOLBが決まる。また、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)との積の結果が正の値の場合、配線OLから回路MC又は回路MCrに電流が流れ、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)との積の結果が負の値の場合、配線OLBから回路MC又は回路MCrに電流が流れる。つまり、電荷量QOL、及び電荷量QOLBから、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)との積を算出することができる。例えば、第1データ(重み係数)を“−3”乃至“+3”とし、第2データ(ニューロンの信号の値)を“−1”、“0”、“+1”のいずれか一とし、かつ、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)との積が正の数である場合、上述の表において、配線OLから回路MC又は回路MCrに電流が流れる電荷量QOLにおいて、Qutを“+1”に置き換えることで、電荷量QOLから第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)との積を求めることができる。また、例えば、第1データ(重み係数)を“−1”又は“+1”とし、第2データ(ニューロンの信号の値)を“−7”乃至“+7”のいずれか一とし、かつ、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)との積が負の数である場合、上述の表において、配線OLBから回路MC又は回路MCrに電流が流れる電荷量QOLBにおいて、Qutを“−1”に置き換えることで、電荷量QOLBから第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)との積を求めることができる。
 なお、上述の動作例では、回路MPに設定された第1データ(重み係数)を“+3”、“+2”、“+1”、“0”、“−1”、“−2”、“−3”としたが、配線WX1L、配線X2L、配線WX1L2b、配線X2L2bへの高レベル電位を入力する時間を調節して、第1データ(重み係数)をアナログ値などとして用いてもよい。これにより、回路MPは、アナログ値などの第1データ(重み係数)と多値の第2データ(ニューロンの信号の値)との積和演算、及び/又は活性化関数の演算を行うことができる。
 また、本発明の一態様の半導体装置は、図53の回路MPの構成に限定されない。例えば、図53の回路MPでは、電流量を設定するトランジスタとして、回路MC内には、トランジスタM1、トランジスタM1−2bの2個とし、回路MCr内は、トランジスタM1r、トランジスタM1−2brの2個としたが、回路MC、回路MCrのそれぞれにおいて、電流量を設定するトランジスタは3個以上としてもよい。また、当該トランジスタに応じて、保持部の個数、配線の数も増減してもよい。
 また、本発明の一態様の半導体装置の動作方法は、上述に限定されない。例えば、動作方法例2で説明した通り、配線WX1L、配線X2L、配線WX1L2b、配線X2L2bのそれぞれに入力される信号の入力期間を、複数のサブ期間に分けてもよいし、短く又は長くしてもよい。後者において、具体的には、例えば、上記の動作例で、配線WX1L、及び配線X2Lに入力される信号の入力時間をAtut(Aは0よりも大きい実数とする)、配線WX1L2b、及び配線X2L2bに入力される信号の入力時間を2Atutとすることにより、第2データ(ニューロンの信号の値)を“−1”、“0”、“+1”の3値でなく、3値以外の多値、又はアナログ値として、第1データと第2データとの積和演算を行うことができる。
 また、本動作方法例では、回路MPは、説明の煩雑さを避けるため、配線OL、配線OLBには1個の回路MPのみが電気的に接続されている場合を考えたが、図11の演算回路150のとおり、配線OL、配線OLBには複数の回路MPを電気的に接続してもよい。これにより、配線OL、配線OLBのそれぞれから複数の回路MPに入力された電荷量の合計を、回路ACTFに含まれる積分回路の容量に蓄積することができ、回路ACTFは、配線OL、配線OLBに流れたそれぞれの電荷量に応じたニューロンの信号z (k)を出力することができる。
 なお、本動作例では、図11の演算回路150を例としたが、状況に応じて、別の演算回路に変更することでも、本動作例と同様の動作を行うことができる。
 なお、本動作方法例は、本明細書で示す他の動作方法例などと適宜組み合わせることができる。
<動作方法例5>
 ここでは、図54の回路MPを適用した図11の演算回路150の動作方法について、説明する。
 動作方法例1乃至動作方法例4と同様に、説明の煩雑さを避けるため、配線OL、配線OLBに流れる電流の変化については、配線OL、配線OLBに電気的に接続されている1個の回路MPのみによって行われるものとする。また、回路MPに電気的に接続されている配線VE、配線VErのそれぞれは、回路MPに対して、定電圧としてVSSを与えるものとする。また、回路AFPに含まれている回路ACTF[1]乃至回路ACTF[n]のそれぞれは、一例としては、積分回路(または、電流電荷(IQ)変換回路)の構成を有する回路ACTFとする。例えば、回路ACTFは、図6Eの回路ACTF[j]において、負荷LEa、負荷LEbを容量などとした構成としてもよい。
 図54は、図29に示した回路MPにおいて、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−2br、トランジスタM1−3b、トランジスタM1−3br、トランジスタM3−2b、トランジスタM3−2br、トランジスタM3−3b、トランジスタM3−3br、トランジスタM4−2b、トランジスタM4−2br、トランジスタM4−3b、トランジスタM4−3br、回路HC−2b、回路HC−2br、回路HC−3b、回路HC−3brを設けていない構成となっている。また、そのため、図54の回路MPには、配線X1L2b、配線X2L2b、配線X1L3b、配線X2L3bを設けていない。また、本動作方法の例は、実施の形態2で説明した図29の回路MPの動作例と異なる。
 具体的には、回路MPに第2データ(例えば、ここではニューロンの信号の値とする。)を入力する際において、第2データ(ニューロンの信号の値)に応じて、配線X1L、又は配線X2Lの一方への高レベル電位の入力時間を設定する。つまり、トランジスタM3、トランジスタM3rがオン状態、又はトランジスタM4、トランジスタM4rがオン状態となる時間を設定する。
 動作方法例1で説明したとおり、回路MPに第1データ(例えば、ここでは重み係数とする。)を設定して、かつトランジスタM3、又はトランジスタM4がオン状態となる時間を定めることによって、配線OL又は配線OLBから、トランジスタM1を介して配線VEに流れる電荷量が決まる。また、回路MPに第1データ(重み係数)を設定して、トランジスタM3r、又はトランジスタM4rがオン状態となる時間を定めることによって、配線OL又は配線OLBから、トランジスタM1rを介して配線VErに流れる電荷量が決まる。
 一例として、第2データ(ニューロンの信号の値)が“+1”のときは、配線X1Lへの高レベル電位の入力期間をtutして、配線X1Lに高レベル電位、配線X2Lに低レベル電位を印加するものとしたとき、他の第2データ(ニューロンの信号の値)を次の表の通りに定義することができる。なお、下の表は、“−3”乃至“+3”の整数のみを図示している。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000017
 また、回路HCS、回路HCSrとしては、実施の形態2の構成例5で説明したとおり、SRAMを有する構成、又はNOSRAMを有する構成とすることができる。ここでは、回路HCS、回路HCSrには、2値(デジタル値)の電位を保持するものとする。そのため、一例として、回路MPに設定される第1データ(重み係数)を“+1”とするとき、回路HCSに高レベル電位(ここでは、例えばVDDLとする。)、回路HCSrに低レベル電位(ここでは、例えばVSSとする。)が保持されているものとし、回路MPに設定される第1データ(重み係数)を“−1”とするとき、回路HCSに低レベル電位、回路HCSrに高レベル電位が保持されているものとし、回路MPに設定される第1データ(重み係数)を“0”とするとき、回路HCSに低レベル電位、回路HCSrに低レベル電位が保持されているものとする。
 なお、回路HCSに電圧VDDLが保持されている場合、トランジスタM1に流れる電流の量をIとする。また、回路HCSに電圧VSSが保持されている場合、トランジスタM1に流れる電流の量を0とする。同様に、回路HCSrに電圧VDDLが保持されている場合、トランジスタM1rに流れる電流の量をIとし、回路HCSrに電圧VSSが保持されている場合、トランジスタM1rに流れる電流の量を0とする。
 次に、図54の回路MPの具体的な動作例について説明する。
 回路MPには、例えば、あらかじめ、“+1”の第1データ(重み係数)が設定されているものとする。
 回路MPに第2データ(ニューロンの信号の値)として“+3”が入力されている場合、トランジスタM3が時間3tutだけオン状態、トランジスタM4がオフ状態となることで、配線OLから、トランジスタM1を介して配線VEに流れる電荷量は、3tut×Iutとなる。なお、ここで、tut×Iut=Qutとする。一方、配線OLBから、回路MCrを介して配線VErに流れる電荷量は、トランジスタM1rがオフ状態であるため、0となる。
 また、回路MPに第2データ(ニューロンの信号の値)として“−3”が入力されている場合、配線OLBと回路MCとの間、配線OLと回路MCrとの間がそれぞれ導通状態となり、配線OLBと回路MCrとの間、配線OLと回路MCとの間が非導通状態となるため、配線OLBから、回路MCを介して配線VEに流れる電荷量が3tut×Iut=3Qutとなり、配線OLから、回路MCrを介して配線VErに流れる電荷量が、0となる。
 また、回路MPには、例えば、あらかじめ、“−1”の第1データ(重み係数)が設定されている場合を考える。
 回路MPに第2データ(ニューロンの信号の値)として“+3”が入力されている場合、トランジスタM3rが時間3tutだけオン状態、トランジスタM4rがオフ状態となることで、配線OLBから、トランジスタM1rを介して配線VErに流れる電荷量は、3tut×Iut=3Qutとなる。一方、配線OLから、回路MCを介して配線VEに流れる電荷量は、トランジスタM1がオフ状態であるため、0となる。
 また、回路MPに第2データ(ニューロンの信号の値)として“−3”が入力されている場合、配線OLBと回路MCとの間、配線OLと回路MCrとの間がそれぞれ導通状態となり、配線OLBと回路MCrとの間、配線OLと回路MCとの間が非導通状態となるため、配線OLから、回路MCrを介して配線VErに流れる電荷量が3tut×Iut=3Qutとなり、配線OLBから、回路MCを介して配線VEに流れる電荷量が、0となる。
 ここで、回路ACTFの積分回路に着目する。配線OL又は配線OLBから、回路MCを介して配線VEに電流が流れるとき、又は、配線OL又は配線OLBから、回路MCrを介して配線VErに電流が流れるとき、図8Aにおいて、スイッチSWO、スイッチSWOBはオン状態にし、スイッチSWI、スイッチSWIB、スイッチSWL、スイッチSWLB、スイッチSWH、スイッチSWHBはオフ状態にして、配線OL及び配線OLBと回路AFPとの間を導通状態にすることで、回路ACTFに含まれている積分回路の容量に配線OL、配線OLBに流れる電荷量を蓄積することができる。この結果、回路ACTFは、配線OLに流れた電荷量QOLと配線OLBに流れた電荷量QOLBに応じたニューロンの信号z (k)を出力することができる。
 上述の動作例より、第1データ(重み係数)を“+1”又は“−1”として、第2データ(ニューロンの信号の値)を上述の通りに定義した場合の、配線OLに流れた電荷量QOLと配線OLBに流れた電荷量QOLBを下の表に記載する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000018
 なお、第2データ(ニューロンの信号の値)を“−3”、“−2”、“−1”、“0”、“+1”、“+2”、“+3”以外の整数、又は実数とするとき、整数又は実数に応じて、配線X1L、又は配線X2Lの一方への高レベル電位の入力時間を設定すればよい。例えば、aを正の実数として、入力期間をa×tutとすることによって、第2データ(ニューロンの信号の値)をアナログ値として扱うことができる。
 これにより、動作方法例1乃至動作方法例3と同様に、第2データ(ニューロンの信号の値)を多値として、回路MPに与えることができる。
 なお、上述した通り、図54の回路MPに含まれている回路HCS、回路HCSrは、SRAMを有する構成とすることができる。図55Aは、回路HCS、回路HCSrがSRAMを有する構成として、図54の回路MPの詳細を示した具体例を示している。なお、図55Aに記載している符号、第1データ(重みデータ)の保持方法などについては、図30の回路MPの説明の記載を参酌する。
 また、図55Aの回路MPにおいて、回路HCSに保持されている電位を低レベル電位、又は高レベル電位の一方とし、回路HCSrに保持されている電位を低レベル電位、又は高レベル電位の他方とする場合、つまり、回路HCS、回路HCSrにそれぞれ同じ電位を保持しなくてもよい場合、図55Aの回路MPは、図55Bの回路MPに構成を変更することができる。図55Bの回路MPは、回路MCに回路HCSを有しており、回路HCSに含まれているインバータループ回路IVRによって、トランジスタM1のゲートに与える信号の反転信号をトランジスタM1rに与える構成となっている。なお、この場合、一例として、トランジスタM1のゲートに高レベル電位が与えられているとき(トランジスタM1rのゲートに低レベル電位が与えられているとき)、回路MPに設定される第1データ(重み係数)を“+1”とすることができ、トランジスタM1のゲートに低レベル電位が与えられているとき(トランジスタM1rのゲートに高レベル電位が与えられているとき)、回路MPに設定される第1データ(重み係数)を“−1”とすることができる。
 また、回路HCS、回路HCSrにインバータループ回路IVRを有し、かつ図55Aの回路MPとは異なる構成例を、図56Aに示す。図56Aに示す回路MPは、回路MCにおいて、インバータループ回路IVRを含む回路HCSと、トランジスタM3、トランジスタM4と、回路MCrにおいて、インバータループ回路IVRrを含む回路HCSrと、トランジスタM3r、トランジスタM4rと、を有する。インバータループ回路IVRは、インバータ回路IV1と、インバータ回路IV2と、を有し、インバータループ回路IVRrは、インバータ回路IV1rと、インバータ回路IV2rと、を有する。
 インバータ回路IV1の出力端子は、インバータ回路IV2の入力端子と、トランジスタM3の第1端子と、トランジスタM4の第1端子と、に電気的に接続され、インバータ回路IV2の出力端子は、インバータ回路IV1の入力端子に電気的に接続されている。トランジスタM3の第2端子は、配線OLに電気的に接続され、トランジスタM3のゲートは、配線WX1Lに電気的に接続されている。トランジスタM4の第2端子は、配線OLBに電気的に接続され、トランジスタM4のゲートは、配線X2Lに電気的に接続されている。インバータ回路IV1rの出力端子は、インバータ回路IV2rの入力端子と、トランジスタM3rの第1端子と、トランジスタM4rの第1端子と、に電気的に接続され、インバータ回路IV2rの出力端子は、インバータ回路IV1rの入力端子に電気的に接続されている。トランジスタM3rの第2端子は、配線OLBに電気的に接続され、トランジスタM3rのゲートは、配線WX1Lに電気的に接続されている。トランジスタM4rの第2端子は、配線OLに電気的に接続され、トランジスタM4rのゲートは、配線X2Lに電気的に接続されている。
 回路HCSは、インバータループ回路IVRによって、インバータ回路IV1の出力端子に高レベル電位、又は低レベル電位の一方を保持する機能を有し、回路HCSrは、インバータループ回路IVRrによって、インバータ回路IV1rの出力端子に高レベル電位、又は低レベル電位の一方を保持する機能を有する。このため、図54、図55Aと同様に、一例として、回路MPに設定される第1データ(重み係数)を“+1”とするとき、インバータ回路IV1の出力端子に高レベル電位(ここでは、例えばVDDLとする。)、インバータ回路IV1rの出力端子に低レベル電位(ここでは、例えばVSSとする。)が保持されているものとし、回路MPに設定される第1データ(重み係数)を“−1”とするとき、インバータ回路IV1の出力端子に低レベル電位、インバータ回路IV1rの出力端子に高レベル電位が保持されているものとし、回路MPに設定される第1データ(重み係数)を“0”とするとき、インバータ回路IV1の出力端子に低レベル電位、インバータ回路IV1rの出力端子に低レベル電位が保持されているものとする。
 また、図56Aの回路MPへの第2データ(ニューロンの信号の値)の入力は、図54、図55Aと同様に、配線WX1L、又は配線X2Lの一方への高レベル電位の入力時間を設定すればよい。
 図56Aの回路MPは、図54、図55A、及び図55Bのそれぞれの回路MPと異なり、回路HCSのインバータループ回路IVRに含まれているトランジスタを用いて配線OL又は配線OLBから回路MCに電流を流し、回路HCSrのインバータループ回路IVRrに含まれているトランジスタを用いて、配線OL又は配線OLBから回路MCrに電流を流す構成となっている。
 また、図56Aの回路MPは、図56Bに示す回路MPの構成に変更することができる。図56Bの回路MPは、図56Aの回路MPに含まれている回路MCrを設けていない構成となっている。つまり、回路HCSのインバータループ回路IVRに含まれているトランジスタを用いて配線OL又は配線OLBから回路MCに電流を流す構成となっている。なお、この場合、一例として、インバータ回路IV1の出力端子に高レベル電位が与えられているとき、回路MPに設定される第1データ(重み係数)を“+1”とすることができ、インバータ回路IV1の出力端子に低レベル電位が与えられているとき、回路MPに設定される第1データ(重み係数)を“0”とすることができる。
 また、図56Cの回路MPは、図56Bの回路MPにおいて、配線X2Lを設けず、かつトランジスタM4の第1端子がインバータ回路IV1の入力端子と、インバータ回路IV2の出力端子とに電気的に接続されている構成となっている。配線WX1Lの電位が高レベル電位となっているときに、配線OL又は配線OLBには、逆の信号が出力されることとなる。この場合、一例として、インバータ回路IV1の出力端子に高レベル電位が与えられているとき、回路MPに設定される第1データ(重み係数)を“+1”とすることができ、インバータ回路IV1の出力端子に低レベル電位が与えられているとき、回路MPに設定される第1データ(重み係数)を“−1”とすることができる。また、一例として、回路MPから回路AFPに情報(例えば、電流、電圧など)を供給する際において、配線WX1Lに高レベル電位が入力されているとき、回路MPに入力される第2データ(ニューロンの信号の値)を“+1”とし、配線WX1Lに低レベル電位が入力されているとき、回路MPに入力される第2データ(ニューロンの信号の値)を“0”とすることができる。
 なお、図56A乃至図56Cの回路MPは、例えば、図7に示す演算回路140の回路MPに適用することができる。
 また、上述した通り、図54の回路MPに含まれている回路HCS、回路HCSrは、NOSRAMを有する構成とすることができる。図57Aは、回路HCS、回路HCSrがNOSRAMを有する構成として、図54の回路MPの詳細を示した具体例を示している。但し、図54の回路MPでは、回路HCSは、配線OL及び配線OLBに電気的に接続され、回路HCSrは、配線OL及び配線OLBに電気的に接続されている構成を示しているが、図57Aの回路MPは、図54の回路MPに対して配線IL及び配線ILBが設けられており、回路HCSは、配線ILに電気的に接続され、回路HCSrは配線ILBに電気的に接続されている構成となっている。また、図57Aに記載している符号、第1データ(重みデータ)の保持方法などについては、図34の回路MPの説明の記載を参酌する。
 また、図57Aの回路MPにおいて、配線ILと配線OLとを一本の配線にまとめ、及び/又は、配線ILBと配線OLBとを一本の配線にまとめてもよい。図57Bの回路MPは、配線ILと配線OLとを、配線OLとして一本の配線にまとめ、配線ILBと配線OLBとを、配線OLBとして一本の配線にまとめた構成となっている。
 また、図57Aの回路MPにおいて、配線ILと配線ILBとを一本の配線まとめてもよい。図58の回路MPは、配線ILと配線ILBとを、配線ILとして一本にまとめた構成となっている。ただし、図58に示す回路MPには、図57の回路MPの配線WLに相当する配線として、配線W1L、及び配線W2Lが電気的に接続されている。具体的には、回路MCのトランジスタM8のゲートには、配線W1Lが電気的に接続され、回路MCrのトランジスタM8rのゲートには、配線W2Lが電気的に接続されている。配線W1L、及び配線W2Lは、配線ILから回路MC、又は回路MCrの一方にデータを書き込む際に、回路MC、又は回路MCrの一方を選択する信号線として機能する。なお、トランジスタM8をnチャネル型トランジスタ又はpチャネル型トランジスタの一方とし、トランジスタM8rをnチャネル型トランジスタ又はpチャネル型トランジスタの他方とすることで、配線W1L、及び配線W2Lは一本の配線としてまとめてもよい場合がある(図示しない)。
 また、図57Aの回路MPにおいて、容量C2の第2端子と、トランジスタM1の第1端子と、のそれぞれに異なる電圧を与えたい場合は、図57Aの回路MPを図59Aに示す回路MPの構成に変更すればよい。図59Aの回路MPは、図16Aの回路MPと同様に、容量C2の第2端子に配線VEが電気的に接続され、トランジスタM1の第1端子に配線VEmが電気的に接続され、容量C2rの第2端子に配線VErが電気的に接続され、トランジスタM1の第1端子に配線VEmrが電気的に接続された構成となっている。この構成によって、トランジスタM1の第1端子、容量C2の第2端子、トランジスタM1rの第1端子、及び容量C2rの第2端子のそれぞれに異なる電位を与えることができる。また、図57Bの回路MPにおいても、同様に、容量C2の第2端子と、トランジスタM1の第1端子と、のそれぞれに異なる電圧を与えたい場合は、図59Bに示す回路MPの構成に変更すればよい。なお、図59Bの回路MPの回路構成は、図16Aの回路MPと同じ構成になる場合がある。
 また、本発明の一態様の半導体装置の動作方法は、上述に限定されない。例えば、動作方法例2で説明した通り、図54乃至図58の回路MPにおいて、配線X1L(図56A、及び図56Bでは配線WX1L)、配線X2Lのそれぞれに入力される信号の入力期間を、複数のサブ期間に分けてもよい。
 また、本動作方法例では、回路MPは、説明の煩雑さを避けるため、配線OL、配線OLBには1個の回路MPのみが電気的に接続されている場合を考えたが、図11の演算回路150のとおり、配線OL、配線OLBには複数の回路MPを電気的に接続してもよい。これにより、配線OL、配線OLBのそれぞれから複数の回路MPに入力された電荷量の合計を、回路ACTFに含まれる積分回路の容量に蓄積することができ、回路ACTFは、配線OL、配線OLBに流れたそれぞれの電荷量に応じたニューロンの信号z (k)を出力することができる。
 なお、本動作例では、図11の演算回路150を例としたが、状況に応じて、別の演算回路に変更することでも、本動作例と同様の動作を行うことができる。
 なお、本動作方法例は、本明細書で示す他の動作方法例などと適宜組み合わせることができる。
<動作方法例6>
 ここでは、図60Aの回路MPを適用した図3の演算回路120の動作方法について、説明する。
 動作方法例1乃至動作方法例5と同様に、説明の煩雑さを避けるため、配線OL、配線OLBに流れる電流の変化については、配線OL、配線OLBに電気的に接続されている1個の回路MPのみによって行われるものとする。また、回路MPに電気的に接続されている配線VEは、回路MPに対して、定電圧としてVSSを与えるものとする。また、回路AFPに含まれている回路ACTF[1]乃至回路ACTF[n]のそれぞれは、一例としては、積分回路(または、電流電荷(IQ)変換回路)の構成を有する回路ACTFとする。例えば、回路ACTFは、図6Eの回路ACTF[j]において、負荷LEa、負荷LEbを容量などとした構成としてもよい。
 図60Aは、回路MPに含まれている回路MCが、トランジスタM3と、トランジスタM4と、回路HCSと、を有する構成となっている。具体的には、トランジスタM3の第1端子は、トランジスタM4の第1端子と、回路HCSと、に電気的に接続されている構成となっている。また、トランジスタM3のゲートは、配線X1Lに電気的に接続され、トランジスタM3のバックゲートは、回路HCSに電気的に接続され、トランジスタM3の第2端子は、配線OLに電気的に接続されている。また、トランジスタM4のゲートは、配線X2Lに電気的に接続され、トランジスタM4のバックゲートは、回路HCSに電気的に接続され、トランジスタM4の第2端子は、配線OLBに電気的に接続されている。また、回路HCSは、配線ILと、配線WLと、に電気的に接続されている。
 また、図60Aの回路MPにおいて、回路MCrは、回路MCとほぼ同様の回路構成となっている。そのため、回路MCrの有する回路素子などには、回路MCの有する回路素子などと区別をするため、符号に「r」を付している。また、トランジスタM3rは、配線OLBに電気的に接続され、トランジスタM4rは、配線OLに電気的に接続されている。
 トランジスタM3、トランジスタM4、トランジスタM3r、及びトランジスタM4rのそれぞれの構成については、別の個所に記載のトランジスタM3、トランジスタM4、トランジスタM3r、及びトランジスタM4rの説明の記載を参酌する。
 回路HCS、及び回路HCSrとしては、例えば、図29の回路MPが有する回路HCS、及び回路HCSrと同様にSRAM、NOSRAMなどとすることができる。また、回路HCS、及び回路HCSrは、回路MPに設定される第1データ(例えば、重み係数など)に応じた電位を保持する機能を有する。
 具体例として、回路HCS、及び回路HCSrのそれぞれにNOSRAMを適用した場合の回路構成を図60Bに示す。回路HCSは、トランジスタM8と、容量C3と、を有する。トランジスタM8の第1端子は、配線ILに電気的に接続され、トランジスタM8の第2端子は、容量C3の第1端子と、トランジスタM3のバックゲートと、トランジスタM4のバックゲートと、に電気的に接続され、トランジスタM8のゲートは、配線WLに電気的に接続されている。また、容量C3の第2端子は、配線VEに電気的に接続されている。
 図60A、及び図60Bに示す配線X1L、及び配線X2Lは、例えば、図3に示す演算回路120の配線X1L[i]、及び配線X2L[i]とすることができる。また、図60A、及び図60Bに示す配線WLは、例えば、図3に示す演算回路120の配線WLS[i]とすることができる。また、図60A、及び図60Bに示す配線IL、及び配線ILBは、例えば、図3に示す演算回路120の配線IL[j]、及び配線IL[j]とすることができる。また、図60A、及び図60Bに示す配線OL、及び配線OLBは、例えば、図3に示す演算回路120の配線OL[j]、及び配線OLB[j]とすることができる。
 配線VEは、定電圧を与える配線として機能する。当該定電圧としては、例えば、接地電位、低レベル電位などとすることができる。
 ここで、回路MPに含まれるトランジスタM3、トランジスタM3r、トランジスタM4、及びトランジスタM4rの動作特性について説明する。図61Aは、図60Aの回路MPに含まれるトランジスタM3、トランジスタM3r、トランジスタM4、トランジスタM4rのいずれか一のトランジスタのゲート−ソース間電圧とドレイン電流との特性を簡易的に示したグラフである。横軸は、当該トランジスタのゲート−ソース間電圧Vgsを示し、縦軸は、当該トランジスタのドレイン電流Idを示している。なお、図60Aに示す縦軸は、線形スケールとしている。
 また、図60Aにおいて、一例として、当該トランジスタのゲートに印加される電位をVgとし、当該トランジスタのバックゲートに印加される電位をVbgとする。また、当該トランジスタのソースに印加されている定電位を、一例として、0Vとする。
 図61Aには、2本の曲線を示しており、一方の曲線は当該トランジスタのVbgが高レベル電位(図61AではHighと図示している。)である場合のゲート−ソース間電圧Vgsとドレイン電流Idとの特性を示しており、他方の曲線は当該トランジスタのVbgが低レベル電位(図61AではLowと図示している。)である場合のゲート−ソース間電圧Vgsとドレイン電流Idとの特性を示している。図61Aより、Vbgが高レベル電位であるときの当該トランジスタのしきい値電圧Vth2は、Vbgが低レベル電位であるときの当該トランジスタのしきい値電圧Vth1よりも低くなることが分かる。つまり、当該トランジスタのVbgを変動させることによって、当該トランジスタをオン状態にするのに必要なVgs(ソースの電位を0Vとしているため、Vgに言い換えることができる。)を変化させることができる。
 ここで、当該トランジスタのVbgが高レベル電位であるとき、当該トランジスタがオン状態となり、かつ当該トランジスタのVbgが低レベル電位であるとき、当該トランジスタがオフ状態となるように、当該トランジスタのVgを定める。図61Aでは、そのトランジスタのVgをVg1と図示している。つまり、Vg1は、Vbgが高レベル電位である当該トランジスタのしきい値電圧Vth2より高く、Vbgが低レベル電位である当該トランジスタのしきい値電圧Vth1より低い電位とすればよい。
 また、当該トランジスタのVbgが高レベル電位であるとき、当該トランジスタがオフ状態となり、かつ当該トランジスタのVbgが低レベル電位であるとき、当該トランジスタがオフ状態となるように、当該トランジスタのVgを定める。図61Aでは、そのトランジスタのVgをVg2と図示している。つまり、Vg2は、Vbgが高レベル電位であるトランジスタM3(トランジスタM4)のしきい値電圧Vth2より低い電位とすればよい。
 また、例えば、図60Aより、トランジスタM3、トランジスタM3rのゲートの電位Vgは、配線X1Lから与えられる。そのため、Vg1、Vg2は、配線X1Lから与えられる電位とすることができる。また、同様に、トランジスタM4、トランジスタM4rのゲートの電位Vgは、配線X2Lから与えられる。そのため、Vg1、Vg2は、配線X2Lから与えられる電位とすることができる。本明細書等において、Vg1、Vg2はそれぞれ高レベル電位、低レベル電位と言い換えることができるものとする。
 本明細書などにおいて、「低レベル電位」、「高レベル電位」という用語は、特定の電位を意味するものではなく、配線が異なれば、具体的な電位も異なる場合がある。そのため、トランジスタM3、トランジスタM3r、トランジスタM4、トランジスタM4rのバックゲートに印加される高レベル電位は、配線X1L、配線X2Lに印加される高レベル電位(Vg1)と異なる電位であってもよい。同様に、トランジスタM3、トランジスタM3r、トランジスタM4、トランジスタM4rのバックゲートに印加される低レベル電位は、配線X1L、配線X2Lに印加される低レベル電位(Vg2)と異なる電位であってもよい。例えば、トランジスタM3、トランジスタM3r、トランジスタM4、及びトランジスタM4rのバックゲートに印加される高レベル電位は、トランジスタM3、トランジスタM3r、トランジスタM4、及びトランジスタM4rのソース電位と同じとしてもよい。また例えば、トランジスタM3、トランジスタM3r、トランジスタM4、及びトランジスタM4rのバックゲートに印加される低レベル電位は、トランジスタM3、トランジスタM3r、トランジスタM4、及びトランジスタM4rのソース電位よりも低い電位としてもよい。そのため例えば、トランジスタM3、トランジスタM3r、トランジスタM4、及びトランジスタM4rのソース電位が0Vの場合には、トランジスタM3、トランジスタM3r、トランジスタM4、及びトランジスタM4rのバックゲートに印加される低レベル電位は、マイナスの電位となり、例えば、−11V以上−2V以下、より好ましくは、−3V程度であってもよい。
 なお、上記の動作例では、配線X1L、配線X2Lに与えられる電位(Vg1又はVg2)と、トランジスタM3、トランジスタM3r、トランジスタM4、及びトランジスタM4rのバックゲートの電位は、2値(デジタル値)として説明しているが、本発明の一態様は、これに限定されない。例えば、図61Bに示すとおり、トランジスタのゲートをVga1とした場合に、トランジスタのバックゲートの電位をVbg1、Vbg2、Vbg3のいずれか一に変動させることによって、トランジスタのドレイン電流Idを増減することができる。ここで、図60Aの回路MPの場合を考える。トランジスタM3、トランジスタM3r、トランジスタM4、及びトランジスタM4rのゲートの電位を一定とし、トランジスタM3、トランジスタM3r、トランジスタM4、及びトランジスタM4rのバックゲートの電位を変動させて、トランジスタM3、トランジスタM3r、トランジスタM4、及びトランジスタM4rのドレイン電流Idを変化させることで、配線OL、配線OLBに流れる電流量を増減することができる。つまり、トランジスタM3、トランジスタM3r、トランジスタM4、及びトランジスタM4rのバックゲートの電位をアナログ値として変動させることによって、回路MPはアナログ値を利用した演算を行うことができる。
 図60A及び図60Bより、トランジスタM3、及びトランジスタM4のバックゲートに与えられる電位は、回路HCSで保持された電位とすることができる。また、トランジスタM3r、及びトランジスタM4rのバックゲートに与えられる電位は、回路HCSrで保持された電位とすることができる。つまり、回路HCS、及び回路HCSrのそれぞれには、回路MPに設定される第1データ(例えば、重み係数など)に応じた電位を保持すればよい。
 また、例えば、図61Bに示すとおり、トランジスタのバックゲートの電位をVbg1、Vbg2、Vbg3のいずれか一に定めた場合に、当該トランジスタのゲートの電位をVga1、Vga2、Vga3のいずれか一に変動させることによって、当該トランジスタのドレイン電流Idを増減することができる。図60Aの回路MPの場合を考えたとき、トランジスタM3、トランジスタM3r、トランジスタM4、及びトランジスタM4rのバックゲートの電位を一定とし、トランジスタM3、トランジスタM3r、トランジスタM4、及びトランジスタM4rのゲートの電位を変動させて、トランジスタM3、トランジスタM3r、トランジスタM4、及びトランジスタM4rのドレイン電流Idを変化させることで、配線OL、配線OLBに流れる電流量を増減することができる。つまり、トランジスタM3、トランジスタM3r、トランジスタM4、及びトランジスタM4rのゲートの電位をアナログ値として変動させることによって、回路MPはアナログ値を利用した演算を行うことができる。また、トランジスタM3、トランジスタM3r、トランジスタM4、及びトランジスタM4rのゲート及びバックゲートの電位を一定とし、ソース電極の電位をナログ値として変動させて、トランジスタM3、トランジスタM3r、トランジスタM4、及びトランジスタM4rのドレイン電流Idを変化させる構成としてもよい(図示しない。)。
 又は、図60Aの回路MPに第2データ(例えば、ここではニューロンの信号の値とする。)を入力する際において、前述した動作方法例と同様に、第2データ(ニューロンの信号の値)に応じて、配線X1L、又は配線X2Lの一方に高レベル電位を入力し、配線X1L、又は配線X2Lの他方には低レベル電位を入力し、かつ配線X1L、又は配線X2Lの一方に入力される高レベル電位の入力時間を設定してもよい。また、例えば、高レベル電位の入力期間を、複数のサブ期間に分けてもよい。この方法でも、第2データを多値、又はアナログ値として扱うことができるため、2値、多値、又はアナログ値の第1データと、2値、多値、又はアナログ値の第2データとの積を計算することができる。
 なお、図60Bにおいて、配線VEは、トランジスタM3の第1端子と、トランジスタM4の第1端子と、トランジスタM3rの第1端子と、トランジスタM4rの第1端子と、容量C3の第2端子と、容量C3rの第2端子と、に電気的に接続されているが、それぞれの回路素子に異なる電位を与えたい場合は、図59A、図59Bなどの配線VE、配線VEm、配線VEr、配線VEmrなどのように、それぞれの回路素子に異なる配線を電気的に接続すればよい。
 また、図59A、図59Bにおいて、トランジスタM3のゲートと、バックゲートと、は互いに入れ替えても、上記と同様の動作を行うことができる場合がある。また、トランジスタM3r、トランジスタM4、及びトランジスタM4rのそれぞれについても、ゲートと、バックゲートと、は互いに入れ替えても、上記と同様の動作を行うことができる場合がある。
 また、本動作方法例では、回路MPは、説明の煩雑さを避けるため、配線OL、配線OLBには1個の回路MPのみが電気的に接続されている場合を考えたが、図3の演算回路120のとおり、配線OL、配線OLBには複数の回路MPを電気的に接続してもよい。これにより、配線OL、配線OLBのそれぞれから複数の回路MPに入力された電荷量の合計を、回路ACTFに含まれる積分回路の容量に蓄積することができ、回路ACTFは、配線OL、配線OLBに流れたそれぞれの電荷量に応じたニューロンの信号z (k)を出力することができる。
 なお、本動作例では、図3の演算回路120を例としたが、状況に応じて、別の演算回路に変更することでも、本動作例と同様の動作を行うことができる。例えば、図59A、図59Bの回路MPは、配線ILと配線OLとを一本の配線OLとしてまとめて、配線ILBと配線OLBとを一本の配線OLBとしてまとめることで、図7の演算回路140、図11の演算回路150などにも適用することができる。
 なお、本動作方法例は、本明細書で示す他の動作方法例などと適宜組み合わせることができる。
<動作方法例7>
 ここでは、図62の回路MPを適用した図11の演算回路150の動作方法について、説明する。
 動作方法例1乃至動作方法例6と同様に、説明の煩雑さを避けるため、配線OL、配線OLBに流れる電流の変化については、配線OL、配線OLBに電気的に接続されている1個の回路MPのみによって行われるものとする。また、回路MPに電気的に接続されている配線VE、配線VErのそれぞれは、回路MPに対して、定電圧としてVSSを与えるものとする。また、回路AFPに含まれている回路ACTF[1]乃至ACTF[n]のそれぞれは、一例としては、積分回路(または、電流電荷(IQ)変換回路)の構成を有する回路ACTFとする。例えば、回路ACTFは、図6Eの回路ACTF[j]において、負荷LEa、負荷LEbを容量などとした構成としてもよい。
 図62は、図36に示した回路MPと同様の回路構成を示している。なお、図62の回路MPは、回路HCS、回路HCS−2b、回路HCS−3bのそれぞれは、配線OLBに電気的に接続され、回路HCSr、回路HCS−2br、回路HCS−3brのそれぞれは、配線OLに電気的に接続されている構成となっている。また、本動作方法の例は、実施の形態2で説明した図36の回路MPの動作例と異なる。
 具体的には、動作方法例5と同様に、回路MPに第2データ(例えば、ここではニューロンの信号の値とする。)に応じて、配線X1L、又は配線X2Lの一方への高レベル電位の入力時間を設定する。つまり、トランジスタM3、トランジスタM3rがオン状態、又はトランジスタM4、トランジスタM4rがオン状態となる時間を設定する。
 動作方法例1で説明したとおり、回路MPに第1データ(例えば、ここでは重み係数とする。)を設定して、かつトランジスタM3、又はトランジスタM4がオン状態となる時間を定めることによって、配線OL又は配線OLBから、トランジスタM1を介して配線VEに流れる電荷量が決まる。また、回路MPに第1データ(重み係数)を設定して、トランジスタM3r、又はトランジスタM4rがオン状態となる時間を定めることによって、配線OL又は配線OLBから、トランジスタM1rを介して配線VErに流れる電荷量が決まる。
 また、配線OL又は配線OLBから、トランジスタM1−2bを介して配線VEに流れる電荷量と、配線OL又は配線OLBから、トランジスタM1−2brを介して配線VErに流れる電荷量と、についてもトランジスタM3、トランジスタM3r、トランジスタM4、トランジスタM4rのそれぞれがオン状態となる時間を定めることによって決まる。
 そのため、図62の回路MPにおける、第2データ(ニューロンの信号の値)については、図54の回路MPにおける第2データ(ニューロンの信号の値)の定義と同様とすることができる。
 また、図62に示す回路HCS、回路HCS−2b、回路HCS−3b、回路HCSr、回路HCS−2br、回路HCS−3brとしては、実施の形態2の構成例6で説明したとおり、一例として、SRAMを有する構成、又はNOSRAMを有する構成とすることができる。ここでは、回路HCS、回路HCS−2b、回路HCS−3b、回路HCSr、回路HCS−2br、回路HCS−3brには、2値(デジタル値)の電位を保持するものとする。
 また、トランジスタM1、トランジスタM1rのW長とL長との比をW/Lとしたとき、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−2brのW長とL長との比を2W/Lとし、トランジスタM1−3b、トランジスタM1−3brのW長とL長との比を4W/Lとする。
 そのため、回路MPに設定される第1データ(ここでは、例えば、重み係数とする。)は、実施の形態2の構成例6の内容を参酌することができる。具体的には、例えば、回路MPに設定される第1データ(重み係数)は、トランジスタM1、トランジスタM1r、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−2br、トランジスタM1−3b、トランジスタM1−3brのそれぞれに流れる電流に応じて決まる。換言すると、回路MPに設定される第1データ(重み係数)は、回路HCS、回路HCS−2b、回路HCS−3b、回路HCSr、回路HCS−2br、回路HCS−3brのそれぞれに保持される電位に応じて決まる。上記より、一例として、次の表のとおりに、回路HCS、回路HCS−2b、回路HCS−3b、回路HCSr、回路HCS−2br、回路HCS−3brのそれぞれに電位を保持することによって、回路MPに設定される第1データ(重み係数)を設定することができる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000019
 なお、回路HCSに電圧VDDLが保持されている場合、トランジスタM1に流れる電流の量をIとする。また、トランジスタM1−2bのW長とL長の比は、トランジスタM1のW長とL長の比の2倍であるため、回路HCS−2bに電圧VDDLが保持されている場合、トランジスタM1−2bに流れる電流の量は2Iとなる。また、トランジスタM1−3bのW長とL長の比は、トランジスタM1のW長とL長の比の4倍であるため、回路HCS−3bに電圧VDDLが保持されている場合、トランジスタM1−3bに流れる電流の量は4Iとなる。また、同様に、回路HCSrに電圧VDDLが保持されている場合、トランジスタM1rに流れる電流の量はIとなり、回路HCS−2brに電圧VDDLが保持されている場合、トランジスタM1−2brに流れる電流の量は2Iとなり、回路HCS−3brに電圧VDDLが保持されている場合、トランジスタM1−3brに流れる電流の量は4Iとなる。なお、回路HCS、回路HCSr、回路HCS−2b、回路HCS−2br、回路HCS−3b、回路HCS−2brのそれぞれに電圧VSSが保持されている場合、トランジスタM1、トランジスタM1r、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−2br、トランジスタM1−3b、トランジスタM1−3brに流れる電流の量を0とする。
 次に、図62の回路MPの具体的な動作例について説明する。
 回路MPには、例えば、あらかじめ、“+7”の第1データ(重み係数)が設定されているものとする。このとき、トランジスタM1のソース−ドレイン間には電流Iutが流れ、トランジスタM1−2bのソース−ドレイン間には電流2Iutが流れ、トランジスタM1−3bのソース−ドレイン間には電流4Iutが流れる。
 回路MPに第2データ(ニューロンの信号の値)として“+3”が入力されている場合、トランジスタM3が時間3tutだけオン状態、トランジスタM4がオフ状態となることで、配線OLから、回路MCを介して配線VEに流れる電荷量は、3tut×Iut+3tut×2Iut+3tut×4Iut=21tut×Iutとなる。なお、ここで、tut×Iut=Qutとする。つまり、配線OLから、回路MCを介して配線VEに流れる電荷量は、21tut×Iut=21Qutとなる。一方、配線OLBから、回路MCrを介して配線VErに流れる電荷量は、トランジスタM1r、トランジスタM1−2br、トランジスタM1−3brがオフ状態であるため、0となる。
 また、回路MPに第2データ(ニューロンの信号の値)として“−3”が入力されている場合、配線OLBと回路MCとの間、配線OLと回路MCrとの間がそれぞれ導通状態となり、配線OLBと回路MCrとの間、配線OLと回路MCとの間が非導通状態となるため、配線OLBから、回路MCを介して配線VEに流れる電荷量が21tut×Iut=21Qutとなり、配線OLから、回路MCrを介して配線VErに流れる電荷量が、0となる。
 また、回路MPには、例えば、あらかじめ、“−7”の第1データ(重み係数)が設定されている場合を考える。このとき、トランジスタM1rのソース−ドレイン間には電流Iが流れ、トランジスタM1−2brのソース−ドレイン間には電流2Iが流れ、トランジスタM1−3brのソース−ドレイン間には電流4Iが流れる。
 回路MPに第2データ(ニューロンの信号の値)として“+3”が入力されている揚合、トランジスタM3rが時間3tutだけオン状態、トランジスタM4rがオフ状態となることで、配線OLBから、回路MCrを介して配線VErに流れる電荷量は、3tut×Iut+3tut×2Iut+3tut×4Iut=21tut×Iutとなる。つまり、配線OLBから、回路MCrを介して配線VErに流れる電荷量は、21tut×Iut=21Qutとなる。一方、配線OLから、回路MCを介して配線VEに流れる電荷量は、トランジスタM1、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−3bがオフ状態であるため、0となる。
 また、回路MPに第2データ(ニューロンの信号の値)として“−3”が入力されている場合、配線OLBと回路MCとの間、配線OLと回路MCrとの間がそれぞれ導通状態となり、配線OLBと回路MCrとの間、配線OLと回路MCとの間が非導通状態となるため、配線OLから、回路MCrを介して配線VErに流れる電荷量が21tut×Iut=21Qutとなり、配線OLBから、回路MCを介して配線VEに流れる電荷量が、0となる。
 また、回路MPに設定される第1データ(重み係数)を変更することによって、回路HCS、回路HCS−2b、回路HCS−3b、回路HCSr、回路HCS−2br、回路HCS−3brのそれぞれに保持される電位の組み合わせが変化するため、これにより、トランジスタM1、トランジスタM1r、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−2br、トランジスタM1−3b、トランジスタM1−3brのそれぞれに流れる電流の量が変化する。したがって、配線OL又は配線OLBから、回路MCを介して配線VEに流れる電荷量と、配線OL又は配線OLBから、回路MCrを介して配線VErに流れる電荷量と、第1データ(重み係数)に応じて決めることができる。
 また、回路MPには、あらかじめ、“0”の第1データ(重み係数)が設定されている場合、トランジスタM1、トランジスタM1r、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−2br、トランジスタM1−3b、トランジスタM1−3brのそれぞれはオフ状態になっている。そのため、配線OL又は配線OLBから、回路MCを介して配線VEに電流は流れず、配線OL又は配線OLBから、回路MCrを介して配線VErに電流は流れない。換言すると、配線OL、配線OLBのそれぞれに流れる電荷量は0ということができる。
 また、回路MPに第2データ(ニューロンの信号の値)として“0”が入力されている場合、配線X1L、配線X2Lのそれぞれには低レベル電位が入力されているため、トランジスタM3、トランジスタM3r、トランジスタM4、トランジスタM4rはオフ状態となる。そのため、配線OL又は配線OLBから、回路MCを介して配線VEに電流は流れず、配線OL又は配線OLBから、回路MCrを介して配線VErに電流は流れない。換言すると、配線OL、配線OLBのそれぞれに流れる電荷量は0ということができる。
 配線OL又は配線OLBから、回路MCを介して配線VEに電流が流れるとき、又は、配線OL又は配線OLBから、回路MCrを介して配線VErに電流が流れるとき、図8Aにおいて、スイッチSWO、スイッチSWOBはオン状態にし、スイッチSWI、スイッチSWIB、スイッチSWL、スイッチSWLB、スイッチSWH、スイッチSWHBはオフ状態にして、配線OL及び配線OLBと回路AFPとの間を導通状態にすることで、回路ACTFに含まれている積分回路の容量に配線OL、配線OLBに流れる電荷量を蓄積することができる。この結果、回路ACTFは、配線OL、配線OLBのそれぞれに流れた電荷量に応じたニューロンの信号z (k)を出力することができる。
 上記の通り、第1データ(重み係数)と、第2データ(ニューロンの信号の値)を定めることにより、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)との積の結果に応じて、配線OLから回路MC又は回路MCrに電流が流れる電荷量QOL、及び配線OLBから回路MC又は回路MCrに電流が流れる電荷量QOLBが決まる。また、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)との積の結果が正の値の場合、配線OLから回路MC又は回路MCrに電流が流れ、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)との積の結果が負の値の場合、配線OLBから回路MC又は回路MCrに電流が流れる。つまり、電荷量QOL、及び電荷量QOLBから、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)との積を算出することができる。例えば、第1データ(重み係数)を“+7”とし、第2データ(ニューロンの信号の値)を“+3”としたとき、QOL=21Qut、QOLB=0となる。この場合、配線OLから回路MC又は回路MCrに電流が流れるため、積の結果は正の値となる。このため、一例として、配線OLから回路MC又は回路MCrに電流が流れる電荷量QOLにおいて、Qutを“+1”に置き換えることによって、電荷量QOLから第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)との積の結果として、“+21”を求めることができる。また、例えば、第1データ(重み係数)を“−7”とし、第2データ(ニューロンの信号の値)を“+3”としたとき、QOL=0、QOLB=21Qutとなる。この場合、配線OLBから回路MC又は回路MCrに電流が流れるため、積の結果は負の値となる。このため、一例として、配線OLBから回路MC又は回路MCrに電流が流れる電荷量QOLBにおいて、Qutを“−1”に置き換えることによって、電荷量QOLBから第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)との積の結果として、“−21”を求めることができる。
 また、第2データ(ニューロンの信号の値)を“−3”、“−2”、“−1”、“0”、“+1”、“+2”、“+3”以外の整数、又は実数とするとき、整数又は実数に応じて、配線X1L、又は配線X2Lの一方への高レベル電位の入力時間を設定すればよい。例えば、aを正の実数として、入力期間をa×tutとすることによって、第2データ(ニューロンの信号の値)をアナログ値として扱うことができる。
 これにより、動作方法例1乃至動作方法例3、動作方法例5と同様に、第2データ(ニューロンの信号の値)を多値として、回路MPに与えることができる。
 また、本発明の一態様の半導体装置は、図62の回路MPの構成に限定されない。例えば、図62の回路MPでは、電流量を設定するトランジスタとして、回路MC内には、トランジスタM1、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−3bの3個とし、回路MCr内は、トランジスタM1r、トランジスタM1−2br、トランジスタM1−3brの3個としたが、回路MC、回路MCrのそれぞれにおいて、電流量を設定するトランジスタは2個、又は4個以上としてもよい。また、当該トランジスタに応じて、保持部の個数、配線の数も増やしてもよい。
 また、本発明の一態様の半導体装置の動作方法は、上述に限定されない。例えば、動作方法例2で説明した通り、図62の回路MPにおいて、配線X1L、X2Lのそれぞれに入力される信号の入力期間を、複数のサブ期間に分けてもよい。
 また、本動作方法例では、回路MPは、説明の煩雑さを避けるため、配線OL、配線OLBには1個の回路MPのみが電気的に接続されている場合を考えたが、図11の演算回路150のとおり、配線OL、配線OLBには複数の回路MPを電気的に接続してもよい。これにより、配線OL、配線OLBのそれぞれから複数の回路MPに入力された電荷量の合計を、回路ACTFに含まれる積分回路の容量に蓄積することができ、回路ACTFは、配線OL、配線OLBに流れたそれぞれの電荷量に応じたニューロンの信号z (k)を出力することができる。
 なお、本動作例では、図11の演算回路150を例としたが、状況に応じて、別の演算回路に変更することでも、本動作例と同様の動作を行うことができる。
 なお、本動作方法例は、本明細書で示す他の動作方法例などと適宜組み合わせることができる。
<動作方法例8>
 ここでは、図63の回路MPを適用した図11の演算回路150の動作方法について、説明する。
 動作方法例1乃至動作方法例7と同様に、説明の煩雑さを避けるため、配線OL、配線OLBに流れる電流の変化については、配線OL、配線OLBに電気的に接続されている1個の回路MPのみによって行われるものとする。また、回路MPに電気的に接続されている配線VE、配線VErのそれぞれは、回路MPに対して、定電圧としてVSSを与えるものとする。また、回路AFPに含まれている回路ACTF[1]乃至ACTF[n]のそれぞれは、一例としては、積分回路(又は、電流電荷(IQ)変換回路)の構成を有する回路ACTFとする。例えば、回路ACTFは、図6Eの回路ACTF[j]において、負荷LEa、負荷LEbを容量などとした構成としてもよい。
 図63は、図29に示した回路MPと同様の回路構成を示している。但し、トランジスタM1、トランジスタM1r、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−2br、トランジスタM1−3b、トランジスタM1−3brのそれぞれのサイズ、例えば、W長とL長は等しいことが好ましい。また、本動作方法の例は、実施の形態2で説明した図29の回路MPの動作例と異なる。
 具体的には、図51の回路MPと同様に、回路MPに第2データ(例えば、ここではニューロンの信号の値とする。)を入力する際において、配線X1L、又は配線X2Lの一方への高レベル電位の入力時間をtutとしたとき、配線X1L2b、又は配線X2L2bの一方への高レベル電位の入力時間は2tutとし、配線X1L3b、又は配線X2L3bの一方への高レベル電位の入力時間は4tutとして動作させるものとする。つまり、トランジスタM3、トランジスタM3rがオン状態、又はトランジスタM4、トランジスタM4rがオン状態となる時間がtutとしたとき、トランジスタM3−2b、トランジスタM3−2brがオン状態、又はトランジスタM4−2b、トランジスタM4−2brがオン状態となる時間を2tutとなり、トランジスタM3−3b、トランジスタM3−3brがオン状態、又はトランジスタM4−3b、トランジスタM4−3brがオン状態となる時間を4tutとなるように動作させる。そのため、図63の回路MPには、図29の回路MPと動作が異なることを示すため、配線X1L、配線X2L、配線X1L2b、配線X2L2b、配線X1L3b、配線X2L3bの符号の付近に、パルス電圧の模式図と入力時間を図示している。
 動作方法例1、動作方法例2で説明したとおり、回路MPに第1データ(例えば、ここでは重み係数とする。)を設定して、かつトランジスタM3、又はトランジスタM4がオン状態となる時間を定めることによって、配線OL又は配線OLBから、トランジスタM1を介して配線VEに流れる電荷量が決まる。また、回路MPに第1データ(重み係数)を設定して、トランジスタM3r、又はトランジスタM4rがオン状態となる時間を定めることによって、配線OL又は配線OLBから、トランジスタM1rを介して配線VErに流れる電荷量が決まる。
 同様に、配線OL又は配線OLBから、トランジスタM1−2bを介して配線VEに流れる電荷量と、配線OL又は配線OLBから、トランジスタM1−2brを介して配線VErに流れる電荷量と、についても、トランジスタM3−2b、トランジスタM3−2br、トランジスタM4−2b、トランジスタM4−2brのそれぞれにおいて、オン状態となる時間を定めることによって決まる。また、配線OL又は配線OLBから、トランジスタM1−3bを介して配線VEに流れる電荷量と、配線OL又は配線OLBから、トランジスタM1−3brを介して配線VErに流れる電荷量と、についても、トランジスタM3−3b、トランジスタM3−3br、トランジスタM4−3b、トランジスタM4−3brのそれぞれにおいて、オン状態となる時間を定めることによって決まる。
 そのため、図63の回路MPにおける、第2データ(ニューロンの信号の値)については、一例としては、動作方法例3で説明した図51の回路MPにおける第2データ(ニューロンの信号の値)の定義と同様とすることができる。
 また、図63に示す回路HCS、回路HCSrとしては、実施の形態2の構成例5で説明したとおり、一例として、SRAMを有する構成、又はNOSRAMを有する構成とすることができる。ここでは、回路HCS、回路HCSrは、2値(デジタル値)の電位を保持するものとする。そのため、一例として、回路MPに設定される第1データ(重み係数)を“+1”とするとき、回路HCSに高レベル電位(ここでは、例えばVDDLとする。)、回路HCSrに低レベル電位(ここでは、例えばVSSとする。)が保持されているものとし、回路MPに設定される第1データ(重み係数)を“−1”とするとき、回路HCSに低レベル電位、回路HCSrに高レベル電位が保持されているものとし、回路MPに設定される第1データ(重み係数)を“0”とするとき、回路HCSに低レベル電位、回路HCSrに低レベル電位が保持されているものとする。
 なお、回路HCSに電圧VDDLが保持されている場合、トランジスタM1に流れる電流の量をIとする。また、回路HCSに電圧VSSが保持されている場合、トランジスタM1に流れる電流の量を0とする。同様に、回路HCSrに電圧VDDLが保持されている場合、トランジスタM1rに流れる電流の量をIutとし、回路HCSrに電圧VSSが保持されている場合、トランジスタM1rに流れる電流の量を0とする。
 また、回路MCにおいて、トランジスタM1、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−3bのそれぞれのサイズは互いに等しく、トランジスタM1、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−3bのそれぞれのゲートが回路HCSに電気的に接続され、トランジスタM1、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−3bのそれぞれの第1端子が配線VEに電気的に接続されているため、トランジスタM1、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−3bのそれぞれのソース−ドレイン間には互いにほぼ等しい電流が流れる。そのため、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−3bのそれぞれのソース−ドレイン間に流れる電流量は、トランジスタM1と同じIutとなる。また、トランジスタM1r、トランジスタM1−2br、トランジスタM1−3brのそれぞれは、トランジスタM1のサイズと等しく、トランジスタM1r、トランジスタM1−2br、トランジスタM1−3brのゲートが回路HCSrに電気的に接続され、トランジスタM1r、トランジスタM1−2br、トランジスタM1−3brのそれぞれの第1端子が配線VErに電気的に接続されているため、トランジスタM1r、トランジスタM1−2br、トランジスタM1−3brのそれぞれのソース−ドレイン間に流れる電流は、トランジスタM1のソース−ドレイン間に流れる電流と等しくなる。そのため、トランジスタM1r、トランジスタM1−2br、トランジスタM1−3brのそれぞれのソース−ドレイン間に流れる電流量は、トランジスタM1と同じIutとなる。
 次に、図63の回路MPの具体的な動作例について説明する。
 回路MPには、例えば、あらかじめ、“+1”の第1データ(重み係数)が設定されているものとする。
 回路MPに第2データ(ニューロンの信号の値)として“+7”が入力されている場合、トランジスタM3が時間tutだけオン状態、トランジスタM4がオフ状態となることで、配線OLから、トランジスタM1を介して配線VEに流れる電荷量は、tut×Iutとなる。なお、ここで、tut×Iut=Qutとする。また、同様に、トランジスタM3−2bが時間2tutだけオン状態、トランジスタM4−2bがオフ状態となることで、配線OLから、トランジスタM1−2bを介して配線VEに流れる電荷量は、2tut×Iut=2Qutとなり、トランジスタM3−3bが時間4tutだけオン状態、トランジスタM4−3bがオフ状態となることで、配線OLから、トランジスタM1−3bを介して配線VEに流れる電荷量は、4tut×Iut=4Qutとなる。そのため、配線OLから、回路MCを介して配線VEに流れる電荷量は、Qut+2Qut+4Qut=7Qutとなる。一方、配線OLBから、回路MCrを介して配線VErに流れる電荷量は、トランジスタM1r、トランジスタM1−2br、トランジスタM1−3brがオフ状態であるため、0となる。
 なお、回路MPに第2データ(ニューロンの信号の値)として“−7”が入力されている場合、配線OLBと回路MCとの間、配線OLと回路MCrとの間がそれぞれ導通状態となり、配線OLBと回路MCrとの間、配線OLと回路MCとの間が非導通状態となるため、配線OLBから、回路MCを介して配線VEに流れる電荷量がQut+2Qut+4Qut=7Qutとなり、配線OLから、回路MCrを介して配線VErに流れる電荷量が、0となる。
 また、回路MPには、例えば、あらかじめ、“−1”の第1データ(重み係数)が設定されている場合を考える。
 回路MPに第2データ(ニューロンの信号の値)として“+7”が入力されている場合、トランジスタM3rが時間tutだけオン状態、トランジスタM4rがオフ状態となることで、配線OLBから、トランジスタM1rを介して配線VErに流れる電荷量は、tut×Iut=Qutとなる。また、同様に、トランジスタM4−2brが時間2tutだけオン状態、トランジスタM3−2brがオフ状態となることで、配線OLBから、トランジスタM1−2brを介して配線VErに流れる電荷量は、2tut×Iut=2Qutとなり、トランジスタM4−3brが時間4tutだけオン状態、トランジスタM3−3brがオフ状態となることで、配線OLBから、トランジスタM1−3brを介して配線VErに流れる電荷量は、4tut×Iut=4Qutとなる。そのため、配線OLBから、回路MCrを介して配線VErに流れる電荷量は、Qut+2Qut+4Qut=7Qutとなる。一方、配線OLから、回路MCを介して配線VEに流れる電荷量は、トランジスタM1、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−3bがオフ状態であるため、0となる。
 なお、回路MPに第2データ(ニューロンの信号の値)として“−7”が入力されている場合、配線OLBと回路MCとの間、配線OLと回路MCrとの間がそれぞれ導通状態となり、配線OLBと回路MCrとの間、配線OLと回路MCとの間が非導通状態となるため、配線OLから、回路MCrを介して配線VErに流れる電荷量がQut+2Qut+4Qut=7Qutとなり、配線OLBから、回路MCを介して配線VEに流れる電荷量が、0となる。
 このため、回路MPに“+1”の第1データ(重み係数)を設定し、正の第2データ(ニューロンの信号の値)に応じて、回路MPに含まれているトランジスタM3、トランジスタM3−2b、トランジスタM3−3bから、オン状態にするトランジスタを一つ以上選択することによって、配線OLから、回路MCを介して配線VEに流れる電荷量を、Qut、2Qut、3Qut、4Qut、5Qut、6Qut、7Qutのいずれか一とすることができる。なお、このとき、配線OLBから、回路MCrを介して、配線VErに流れる電荷量は0となる。また、回路MPに“−1”の第1データ(重み係数)を設定し、正の第2データ(ニューロンの信号の値)に応じて、回路MPに含まれているトランジスタM3r、トランジスタM3−2br、トランジスタM3−3brから、オン状態にするトランジスタを一つ以上選択することによって、配線OLBから、回路MCrを介して配線VErに流れる電荷量を、Qut、2Qut、3Qut、4Qut、5Qut、6Qut、7Qutのいずれか一とすることができる。なお、このとき、配線OLから、回路MCを介して、配線VEに流れる電荷量は0となる。
 また、回路MPに“+1”の第1データ(重み係数)を設定し、負の第2データ(ニューロンの信号の値)に応じて、回路MPに含まれているトランジスタM4、トランジスタM4−2b、トランジスタM4−3bから、オン状態にするトランジスタを一つ以上選択することによって、配線OLBから、回路MCを介して配線VEに流れる電荷量を、Qut、2Qut、3Qut、4Qut、5Qut、6Qut、7Qutのいずれか一とすることができる。なお、このとき、配線OLから、回路MCrを介して、配線VErに流れる電荷量は0となる。また、回路MPに“−1”の第1データ(重み係数)を設定し、負の第2データ(ニューロンの信号の値)に応じて、回路MPに含まれているトランジスタM4r、トランジスタM4−2br、トランジスタM4−3brから、オン状態にするトランジスタを一つ以上選択することによって、配線OLから、回路MCrを介して配線VErに流れる電荷量を、Qut、2Qut、3Qut、4Qut、5Qut、6Qut、7Qutのいずれか一とすることができる。なお、このとき、配線OLBから、回路MCを介して、配線VEに流れる電荷量は0となる。
 なお、回路MPには、あらかじめ、“0”の第1データ(重み係数)が設定されている場合、トランジスタM1、トランジスタM1r、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−2br、トランジスタM1−3b、トランジスタM1−3brのそれぞれはオフ状態となる。そのため、配線OL又は配線OLBから、回路MCを介して配線VEに電流は流れず、配線OL又は配線OLBから、回路MCrを介して配線VErに電流は流れない。換言すると、配線OL、配線OLBのそれぞれに流れる電荷量は0ということができる。
 また、回路MPに“0”の第2データ(ニューロンの信号の値)が入力される場合、トランジスタM3、トランジスタM3−2b、トランジスタM3−3b、トランジスタM4、トランジスタM4−2b、トランジスタM4−3b、トランジスタM3r、トランジスタM3−2br、トランジスタM3−3br、トランジスタM4r、トランジスタM4−2br、トランジスタM4−3brのそれぞれはオフ状態となる。そのため、配線OL又は配線OLBから、回路MCを介して配線VEに電流は流れず、配線OL又は配線OLBから、回路MCrを介して配線VErに電流は流れない。換言すると、配線OL、配線OLBのそれぞれに流れる電荷量は0ということができる。
 ここで、回路ACTFの積分回路に着目する。配線OL又は配線OLBから、回路MCを介して配線VEに電流が流れるとき、又は、配線OL又は配線OLBから、回路MCrを介して配線VErに電流が流れるとき、図8Aにおいて、スイッチSWO、スイッチSWOBはオン状態にし、スイッチSWI、スイッチSWIB、スイッチSWL、スイッチSWLB、スイッチSWH、スイッチSWHBはオフ状態にして、配線OL及び配線OLBと回路AFPとの間を導通状態にすることで、回路ACTFに含まれている積分回路の容量に配線OL、配線OLBに流れる電荷量を蓄積することができる。この結果、回路ACTFは、配線OLに流れた電荷量QOLと配線OLBに流れた電荷量QOLBに応じたニューロンの信号z (k)を出力することができる。
 上述の動作例より、第1データ(重み係数)を“+1”又は“−1”として、第2データ(ニューロンの信号の値)を上述の通りに定義した場合の、配線OLに流れた電荷量QOLと配線OLBに流れた電荷量QOLBを下の表に記載する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000020
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000021
 上記の通り、第1データ(重み係数)と、第2データ(ニューロンの信号の値)を定めることにより、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)との積の結果に応じて、配線OLから回路MC又は回路MCrに電流が流れる電荷量QOL、及び配線OLBから回路MC又は回路MCrに電流が流れる電荷量QOLBが決まる。また、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)との積の結果が正の値の場合、配線OLから回路MC又は回路MCrに電流が流れ、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)との積の結果が負の値の場合、配線OLBから回路MC又は回路MCrに電流が流れる。つまり、電荷量QOL、及び電荷量QOLBから、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)との積を算出することができる。例えば、第1データ(重み係数)を“−1”又は“+1”とし、第2データ(ニューロンの信号の値)を“−7”乃至“+7”のいずれか一とし、かつ、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)との積が正の数である場合、上述の表において、配線OLから回路MC又は回路MCrに電流が流れる電荷量QOLにおいて、Qutを“+1”に置き換えることで、電荷量QOLから第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)との積を求めることができる。また、例えば、第1データ(重み係数)を“−1”又は“+1”とし、第2データ(ニューロンの信号の値)を“−7”乃至“+7”のいずれか一とし、かつ、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)との積が負の数である場合、上述の表において、配線OLBから回路MC又は回路MCrに電流が流れる電荷量QOLBにおいて、Qutを“−1”に置き換えることで、電荷量QOLBから第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)との積を求めることができる。
 また、本発明の一態様は、上述の定義に限定されない。上述では、第2データ(ニューロンの信号の値)として、正の多値、負の多値、0を定義したが、例えば、入力期間を離散的な値でなく連続的な値をとることによって(aを正の実数として、入力期間をa×tutとすることによって)、第2データ(ニューロンの信号の値)をアナログ値として扱うことができる。
 また、例えば、トランジスタM3、トランジスタM3rがオン状態、又はトランジスタM4、トランジスタM4rがオン状態となる時間をtutとし、トランジスタM3−2b、M3−2brがオン状態、又はトランジスタM4−2b、トランジスタM4−2brがオン状態となる時間を2tutとし、トランジスタM3−3b、トランジスタM3−3brがオン状態、又はトランジスタM4−3b、トランジスタM4−3brがオン状態となる時間を4tutとしたとき、配線X1Lに高レベル電位、配線X2Lに低レベル電位が入力され、かつ配線X1L2b、配線X2L2b、配線X1L3b、配線X2L3bに低レベル電位が入力されたときの第2データ(ニューロンの信号の値)を“+1”ではなく“+0.1”などの実数として定義してもよい。
 また、本発明の一態様の半導体装置は、図63の回路MPの構成に限定されない。例えば、図63の回路MPでは、電流量を設定するトランジスタとして、回路MC内には、トランジスタM1、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−3bの3個とし、回路MCr内は、トランジスタM1r、トランジスタM1−2br、トランジスタM1−3brの3個としたが、回路MC、回路MCrのそれぞれにおいて、電流量を設定するトランジスタは2個でもよいし、4個以上としてもよい。
 また、本発明の一態様の半導体装置及び当該半導体装置の動作方法は、上述に限定されない。上述では、図63の回路MPのトランジスタM1、トランジスタM1r、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−2br、トランジスタM1−3b、トランジスタM1−3brのそれぞれのサイズを等しいものとして説明したが、例えば、図52の回路MPのとおり、トランジスタM1、トランジスタM1rのW長とL長との比をW/Lとし、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−2br、トランジスタM1−3b、トランジスタM1−3brのW長とL長との比を2W/Lとしてもよい。回路HCSに電位VDDLが保持されている場合、トランジスタM1のソース−ドレイン間に電流量としてIの電流が流れるものとすると、トランジスタM1−2bのW長とL長の比と、トランジスタM1−3bのW長とL長の比と、のそれぞれはトランジスタM1のW長とL長の比の2倍であるため、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−3bのそれぞれのソース−ドレイン間には電流量として2Iが流れる。同様に、回路HCSrに電位VDDLが保持されている場合、トランジスタM1rのソース−ドレイン間に電流量としてIの電流が流れるものとすると、トランジスタM1−2brのW長とL長の比と、トランジスタM1−3brのW長とL長の比と、のそれぞれはトランジスタM1rのW長とL長の比の2倍であるため、トランジスタM1−2br、トランジスタM1−3brのそれぞれのソース−ドレイン間には電流量として2Iが流れる。
 ここで、トランジスタM3、トランジスタM3rがオン状態、又はトランジスタM4、トランジスタM4rがオン状態となる時間をtutとし、トランジスタM3−2b、トランジスタM3−2brがオン状態、又はトランジスタM4−2b、トランジスタM4−2brがオン状態となる時間を2tutとし、トランジスタM3−3b、トランジスタM3−3brがオン状態、又はトランジスタM4−3b、トランジスタM4−3brがオン状態となる時間を2tutとする。つまり、回路MPに第2データ(ニューロンの信号の値)を入力する際において、配線X1L、又は配線X2Lの一方への高レベル電位の入力時間はtutとし、配線X1L2b、又は配線X2L2bの一方への高レベル電位の入力時間は2tutとし、配線X1L3b、又は配線X2L3bの一方への高レベル電位の入力時間は2tutとする。図64の回路MPには、配線X1L、配線X2L、配線X1L2b、配線X2L2b、配線X1L3b、配線X2L3bの符号の付近に、図63とは異なる、パルス電圧の模式図と入力時間を示している。
 回路HCSに電位VDDLが保持されて、トランジスタM1のソース−ドレイン間に電流量としてIutの電流が流れるとき、トランジスタM3−3b又はトランジスタM4−3bの一方が時間2tutだけオン状態、トランジスタM3−3b又はトランジスタM4−3bの他方がオフ状態となることで、配線OL又は配線OLBから、トランジスタM1−3bを介して配線VEに流れる電荷量は、2tut×2Iut=4Qutとなる。なお、配線OLからトランジスタM1を介して配線VEに流れる電荷量と、配線OLからトランジスタM1−2bを介して配線VEに流れる電荷量と、については上述の動作例と条件が同じであるため、説明を省略する。
 回路HCSrに電位VDDLが保持されて、トランジスタM1rのソース−ドレイン間に電流量としてIの電流が流れるとき、トランジスタM3−3br又はトランジスタM4−3brの一方が時間2tutだけオン状態、トランジスタM3−3br又はトランジスタM4−3brがオフ状態となることで、配線OL又は配線OLBから、トランジスタM1−3brを介して配線VErに流れる電荷量は、2tut×2Iut=4Qutとなる。なお、配線OLBからトランジスタM1rを介して配線VErに流れる電荷量と、配線OLBからトランジスタM1−2brを介して配線VErに流れる電荷量と、については上述の動作例と条件が同じであるため、説明を省略する。
 上述の通り、トランジスタM1、トランジスタM1r、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−2br、トランジスタM1−3b、トランジスタM1−3brのそれぞれのサイズと、配線X1L、配線X2L、配線X1L2b、配線X2L2b、配線X1L3b、配線X2L3bのそれぞれへの高レベル電位の入力時間と、を適切に変更することによって、図63に示した回路MPの動作例と同様に、動作することができる。
 また、本発明の一態様の半導体装置は、図63、図64の回路MPの構成に限定されない。例えば、図63の回路MPでは、回路HCSに保持されている電位に応じた電流を流すトランジスタを、トランジスタM1、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−3bの3個とし、回路HCSrに保持されている電位に応じた電流を流すトランジスタを、トランジスタM1r、トランジスタM1−2br、トランジスタM1−3brの3個としたが、回路MC、回路MCrのそれぞれにおいて保持されている電位に応じた電流量を設定するトランジスタは2個、又は4個以上としてもよい。また、当該トランジスタに応じて、保持部の個数、配線の数も増減してもよい。
 また、本発明の一態様の半導体装置の動作方法は、上述に限定されない。例えば、動作方法例2で説明した通り、図63、図64の回路MPにおいて、配線X1L、配線X2L、配線X1L2b、配線X2L2b、配線X1L3b、配線X2L3bのそれぞれに入力される信号の入力期間を、複数のサブ期間に分けてもよい。
 また、本動作方法例では、回路MPは、説明の煩雑さを避けるため、配線OL、配線OLBには1個の回路MPのみが電気的に接続されている場合を考えたが、図11の演算回路150のとおり、配線OL、配線OLBには複数の回路MPを電気的に接続してもよい。これにより、配線OL、配線OLBのそれぞれから複数の回路MPに入力された電荷量の合計を、回路ACTFに含まれる積分回路の容量に蓄積することができ、回路ACTFは、配線OL、配線OLBに流れたそれぞれの電荷量に応じたニューロンの信号z (k)を出力することができる。
 なお、本動作例では、図11の演算回路150を例としたが、状況に応じて、別の演算回路に変更することでも、本動作例と同様の動作を行うことができる。
 なお、本動作方法例は、本明細書で示す他の動作方法例などと適宜組み合わせることができる。
<動作方法例9>
 ここでは、図65の回路MPを適用した図11の演算回路150の動作方法について、説明する。
 動作方法例1乃至動作方法例8と同様に、説明の煩雑さを避けるため、配線OL、配線OLBに流れる電流の変化については、配線OL、配線OLBに電気的に接続されている1個の回路MPのみによって行われるものとする。また、回路MPに電気的に接続されている配線VE、配線VErのそれぞれは、回路MPに対して、定電圧としてVSSを与えるものとする。また、回路AFPに含まれている回路ACTF[1]乃至回路ACTF[n]のそれぞれは、一例としては、積分回路(または、電流電荷(IQ)変換回路)の構成を有する回路ACTFとする。例えば、回路ACTFは、図6Eの回路ACTF[j]において、負荷LEa、負荷LEbを容量などとした構成としてもよい。なお、例えば、1つの保持部(例として、回路HCS)に接続されたトランジスタは、3個(例として、トランジスタM1、トランジスタM1−2x、トランジスタM1−3xという3個)の場合を示したが、本発明の一態様は、これに限定されない。各保持部には、任意の数のトランジスタを配置してもよい。同様に、回路MCに含まれ、配線OL(配線OLB)に電気的に接続されているトランジスタについても、3個(トランジスタM3、トランジスタM3−2x、トランジスタM3−3x、及びトランジスタM4、トランジスタM4−2x、トランジスタM4−3x)の場合を示したが、本発明の一態様は、これに限定されず、任意の数のトランジスタを配置してもよい。また、保持部は、3個(例として、回路HCS、回路HCS−2b、回路HCS−3b)の場合を示したが、本発明の一態様は、これに限定されない。任意の数の保持部を配置してもよい。
 図65の回路MPにおいて、回路MCは、トランジスタM1、トランジスタM1−2x、トランジスタM1−3x、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−2x−2b、トランジスタM1−3x−2b、トランジスタM1−3b、トランジスタM1−2x−3b、トランジスタM1−3x−2b、トランジスタM3、トランジスタM3−2x、トランジスタM3−3x、トランジスタM4、トランジスタM4−2x、トランジスタM4−3x、回路HCS、回路HCS−2b、回路HCS−3bを有する。
 なお、トランジスタM1、トランジスタM1−2x、トランジスタM1−3xのそれぞれのサイズ、例えば、W長とL長は、互いに等しいことが好ましい。また、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−2x−2b、トランジスタM1−3x−2bのサイズは、互いに等しいことが好ましい。また、トランジスタM1−3b、トランジスタM1−2x−3b、トランジスタM1−3x−3bのサイズは、互いに等しいことが好ましい。
 更に、トランジスタM1、トランジスタM1−2x、トランジスタM1−3xのそれぞれのW長とL長の比をW/Lとしたとき、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−2x−2b、トランジスタM1−3x−2bのそれぞれのW長とL長の比を2W/Lとし、トランジスタM1−3b、トランジスタM1−2x−3b、トランジスタM1−3x−3bのそれぞれのW長とL長の比を4W/Lとするのが好ましい。つまり、保持部(例として、回路HCS、回路HCS−2b、回路HCS−3bなど)と、ゲートに電気的に接続されているトランジスタ(例として、トランジスタM1、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−3bなど)のW長とL長の比W/Lは、保持部の数に応じて2のべき乗で大きくしていけばよい。
 また、本明細書などにおいて、トランジスタM1、トランジスタM1−2x、トランジスタM1−3x、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−2x−2b、トランジスタM1−3x−2b、トランジスタM1−3b、トランジスタM1−2x−3b、及びトランジスタM1−3x−3bは、特に断りの無い場合は、オン状態の場合は最終的に飽和領域で動作する場合を含むものとする。すなわち、上述したそれぞれのトランジスタのゲート電圧、ソース電圧、及びドレイン電圧は、飽和領域で動作する範囲での電圧に適切にバイアスされている場合を含むものとする。ただし、本発明の一態様は、これに限定されない。供給される電圧の振幅値を小さくするために、これらのトランジスタは、線形領域で動作してもよい。また、これらのトランジスタに流れる電流量を小さくするため、上述したトランジスタは、サブスレッショルド領域で動作してもよい。又は、トランジスタM1、トランジスタM1−2x、トランジスタM1−3x、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−2x−2b、トランジスタM1−3x−2b、トランジスタM1−3b、トランジスタM1−2x−3b、及びトランジスタM1−3x−3bは、飽和領域とサブスレッショルド領域の境界付近で動作させてもよい。なお、第1データ(重み係数)をアナログ値とする場合には、第1データ(重み係数)の大きさに応じて、例えば、上述したトランジスタは、線形領域で動作する場合と、飽和領域で動作する場合と、サブスレッショルド領域で動作する場合と、が混在していてもよい。又は、トランジスタM1、トランジスタM1−2x、トランジスタM1−3x、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−2x−2b、トランジスタM1−3x−2b、トランジスタM1−3b、トランジスタM1−2x−3b、及びトランジスタM1−3x−3bは、線形領域で動作する場合と、飽和領域で動作する場合と、が混在してもよく、又は、サブスレッショルド領域で動作する場合と線形領域で動作する場合と、が混在してもよく、又は、飽和領域で動作する場合と、サブスレッショルド領域で動作する場合と、が混在してもよい。
 また、本明細書などにおいて、トランジスタM3、トランジスタM3−2x、トランジスタM3−3x、トランジスタM4、トランジスタM4−2x、及びトランジスタM4−3xは、特に断りの無い場合は、オン状態の場合は最終的に線形領域で動作する場合を含むものとする。すなわち、上述したそれぞれのトランジスタのゲート電圧、ソース電圧、及びドレイン電圧は、線形領域で動作する範囲での電圧に適切にバイアスされている場合を含むものとする。ただし、本発明の一態様は、これに限定されない。例えば、トランジスタM3、トランジスタM3−2x、トランジスタM3−3x、トランジスタM4、トランジスタM4−2x、及びトランジスタM4−3xは、オン状態のときは飽和領域で動作してもよく、またはサブスレッショルド領域で動作してもよい。または、飽和領域とサブスレッショルド領域の境界付近で動作させてもよい。又は、トランジスタM3、トランジスタM3−2x、トランジスタM3−3x、トランジスタM4、トランジスタM4−2x、及びトランジスタM4−3xは、線形領域で動作する場合と、飽和領域で動作する場合と、が混在してもよく、又は、飽和領域で動作する場合と、サブスレッショルド領域で動作する場合と、が混在してもよく、又は、サブスレッショルド領域で動作する場合と線形領域で動作する場合と、が混在してもよく、又は、線形領域で動作する場合と、飽和領域で動作する場合とサブスレッショルド領域で動作する場合と、が混在してもよい。
 回路HCS、回路HCS−2b、回路HCS−3bのそれぞれは、図29の回路MPに含まれている回路HCSと同様に、配線OL、又は配線OLBの一方、又は両方から入力される情報(電位、電流など)を受け取って、当該情報に応じた電位を保持する機能を有する。また、回路HCSは、電気的に接続されているトランジスタのゲートに保持した当該電位を印加する機能を有する。回路HCS、回路HCS−2b、回路HCS−3bとしては、例えば、SRAMを有する構成、又はNOSRAMを有する構成とすることができる。図65の回路MPに含まれている回路HCS、回路HCS−2b、回路HCS−3bのそれぞれは、デジタル値(2値)として、高レベル電位(ここでは、例えばVDDL)又は低レベル電位(ここでは、例えば、VSS)の一方を保持するものとする。
 なお、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−2x−2b、トランジスタM1−3x−2bのそれぞれのゲートは、回路HCS−2bに電気的に接続されている。トランジスタM1−3b、トランジスタM1−2x−3b、トランジスタM1−3x−2bのそれぞれのゲートは、回路HCS−3bに電気的に接続されている。
 トランジスタM1、トランジスタM1−2x、トランジスタM1−3xのそれぞれのゲートに、回路HCSに保持されているVDDLが入力されているとき、トランジスタM1、トランジスタM1−2x、トランジスタM1−3xのそれぞれのソース−ドレイン間に流れる電流量をIutとする。トランジスタM1−2b、トランジスタM1−2x−2b、トランジスタM1−3x−2bのそれぞれのW長とL長の比は、トランジスタM1のW長とL長の比の2倍であるため、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−2x−2b、トランジスタM1−3x−2bのゲートに、回路HCS−2bに保持されているVDDLが入力されているとき、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−2x−2b、トランジスタM1−3x−2bのそれぞれのソース−ドレイン間に流れる電流量は2Iutとなる。また、トランジスタM1−3b、トランジスタM1−2x−3b、トランジスタM1−3x−3bのそれぞれのW長とL長の比は、トランジスタM1のW長とL長の比の4倍であるため、トランジスタM1−3b、トランジスタM1−2x−3b、トランジスタM1−3x−3bのゲートに、回路HCS−3bに保持されているVDDLが入力されているとき、トランジスタM1−3b、トランジスタM1−2x−3b、トランジスタM1−3x−3bのそれぞれのソース−ドレイン間に流れる電流量は4Iutとなる。
 トランジスタM1、トランジスタM1−2x、トランジスタM1−3x、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−2x−2b、トランジスタM1−3x−2b、トランジスタM1−3b、トランジスタM1−2x−3b、トランジスタM1−3x−2bのそれぞれの第1端子は、配線VEに電気的に接続されている。トランジスタM1、トランジスタM1−2x、トランジスタM1−3xのそれぞれのゲートは、回路HCSに電気的に接続されている。
 トランジスタM1、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−3bのそれぞれの第2端子は、トランジスタM3の第1端子と、トランジスタM4の第1端子と、に電気的に接続されている。トランジスタM1−2x、トランジスタM1−2x−2b、トランジスタM1−2x−3bのそれぞれの第2端子は、トランジスタM3−2xの第1端子と、トランジスタM4−2xの第1端子と、に電気的に接続されている。トランジスタM1−3x、トランジスタM1−3x−2b、トランジスタM1−3x−3bのそれぞれの第2端子は、トランジスタM3−3xの第1端子と、トランジスタM4−3xの第1端子と、に電気的に接続されている。
 トランジスタM3のゲートは、配線X1Lに電気的に接続され、トランジスタM4のゲートは、配線X2Lに電気的に接続されている。トランジスタM3−2xのゲートは、配線X1L2xに電気的に接続され、トランジスタM4−2xのゲートは、配線X2L2xに電気的に接続されている。トランジスタM3−3xのゲートは、配線X1L3xに電気的に接続され、トランジスタM4−3xのゲートは、配線X2L3xに電気的に接続されている。
 トランジスタM3、トランジスタM3−2x、トランジスタM3−3xのそれぞれの第2端子は、配線OLに電気的に接続され、トランジスタM4、トランジスタM4−2x、トランジスタM4−3xのそれぞれの第2端子は、配線OLBに電気的に接続されている。
 なお、図65の回路MPにおいて、回路MCrは、回路MCとほぼ同様の回路構成となっている。そのため、回路MCrの有する回路素子などには、回路MCの有する回路素子などと区別をするため、符号に「r」を付している。また、トランジスタM3r、トランジスタM3−2xr、トランジスタM3−3xrのそれぞれの第2端子は、配線OLBに電気的に接続され、トランジスタM4、トランジスタM4−2x、トランジスタM4−3xのそれぞれの第2端子は、配線OLに電気的に接続されている。
 図65の回路MPに設定される第1データ(ここでは、例えば、重み係数とする。)について説明する。図65の回路MPに設定される第1データ(重み係数)は、回路HCS、回路HCS−2b、回路HCS−3b、回路HCSr、回路HCS−2br、回路HCS−3brのそれぞれに保持されている電位の組み合わせによって、定義することができる。具体的には、動作方法例7で説明した図62の回路MPのとおり、回路HCS、回路HCS−2b、回路HCS−3b、回路HCSr、回路HCS−2br、回路HCS−3brのそれぞれに所定の電位を保持して、第1データ(重み係数)を設定すればよい。上記より、図65の回路MPにおける、第1データ(重み係数)については、一例として、動作方法例7で説明した図62の回路MPにおける第1データ(重み係数)の定義と同様とすることができる。
 次に、回路MPに入力される第2データ(ここでは、例えば、ニューロンの信号の値とする。)について説明する。前提として、回路MPに第2データ(ニューロンの信号の値)を入力する際において、配線X1L、又は配線X2Lの一方への高レベル電位の入力時間をtutとしたとき、配線X1L2x、又は配線X2L2xの一方への高レベル電位の入力時間は2tutとし、配線X1L3x、又は配線X2L3xの一方への高レベル電位の入力時間は4tutとして動作させるものとする。つまり、トランジスタM3、トランジスタM3rがオン状態、又はトランジスタM4、トランジスタM4rがオン状態となる時間がtutとしたとき、トランジスタM3−2x、トランジスタM3−2xrがオン状態、又はトランジスタM4−2x、トランジスタM4−2xrがオン状態となる時間を2tutとし、トランジスタM3−3x、トランジスタM3−3xrがオン状態、又はトランジスタM4−3x、トランジスタM4−3xrがオン状態となる時間を4tutとするように動作させる。
 動作方法例1、動作方法例2で説明したとおり、回路MPに第1データ(例えば、ここでは重み係数とする。)を設定して、かつトランジスタM3、又はトランジスタM4がオン状態となる時間を定めることによって、配線OL又は配線OLBから、トランジスタM1、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−3bを介して配線VEに流れる電荷量が決まる。また、回路MPに第1データ(重み係数)を設定して、トランジスタM3r、又はトランジスタM4rがオン状態となる時間を定めることによって、配線OL又は配線OLBから、トランジスタM1r、トランジスタM1−2br、トランジスタM1−3brを介して配線VErに流れる電荷量が決まる。
 同様に、配線OL又は配線OLBから、トランジスタM1−2x、トランジスタM1−2x−2b、トランジスタM1−2x−3bを介して配線VEに流れる電荷量と、配線OL又は配線OLBから、トランジスタM1−2xr、トランジスタM1−2x−2br、トランジスタM1−2x−3brを介して配線VErに流れる電荷量と、についても、トランジスタM3−2x、トランジスタM3−2xr、トランジスタM4−2x、トランジスタM4−2xrのそれぞれにおいて、オン状態となる時間を定めることによって決まる。また、配線OL又は配線OLBから、トランジスタM1−3x、トランジスタM1−3x−2b、トランジスタM1−3x−3bを介して配線VEに流れる電荷量と、配線OL又は配線OLBから、トランジスタM1−3xr、トランジスタM1−3x−2br、トランジスタM1−3x−3brを介して配線VErに流れる電荷量と、についても、トランジスタM3−3x、トランジスタM3−3xr、トランジスタM4−3x、トランジスタM4−3xrのそれぞれにおいて、オン状態となる時間を定めることによって決まる。
 そのため、図65の回路MPにおける、第2データ(ニューロンの信号の値)については、一例としては、動作方法例3で説明した図51の回路MPにおける第2データ(ニューロンの信号の値)の定義と同様とすることができる。
 上述の通り、第1データ(重み係数)と、第2データ(ニューロンの信号の値)を定めることにより、配線OLから回路MC又は回路MCrに電流が流れる電荷量、及び配線OLBから回路MC又は回路MCrに電流が流れる電荷量によって、第1データ(重み係数)と、第2データ(ニューロンの信号の値)との積を表現することができる。
 次に、図65の回路MPの具体的な動作例について説明する。
 回路MPには、例えば、あらかじめ、“+7”の第1データ(重み係数)が設定されているものとする。このとき、トランジスタM1、トランジスタM1−2x、トランジスタM1−3xのソース−ドレイン間には電流Iutが流れ、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−2x−2b、トランジスタM1−3x−2bのソース−ドレイン間には電流2Iutが流れ、トランジスタM1−3b、トランジスタM1−2x−3b、トランジスタM1−3x−3bのソース−ドレイン間には電流4Iutが流れる。一方、トランジスタM1r、トランジスタM1−2xr、トランジスタM1−3xr、トランジスタM1−2br、トランジスタM1−2x−2br、トランジスタM1−3x−2br、トランジスタM1−3br、トランジスタM1−2x−3br、トランジスタM1−3x−3brのそれぞれのソース−ドレイン間に流れる電流量は0となる。
 回路MPに第2データ(ニューロンの信号の値)として“+7”が入力されている場合、トランジスタM3が時間tutだけオン状態、トランジスタM4がオフ状態となることで、配線OLから、トランジスタM1、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−3bのそれぞれを介して配線VEに流れる電荷量は、tut×Iut+tut×2Iut+tut×4Iut=7tut×Iutとなる。なお、ここで、tut×Iut=Qutとする。また、トランジスタM3−2xが時間2tutだけオン状態、トランジスタM4−2xがオフ状態となることで、配線OLから、トランジスタM1−2x、トランジスタM1−2x−2b、トランジスタM1−2x−3bのそれぞれを介して配線VEに流れる電荷量は、2tut×Iut+2tut×2Iut+2tut×4Iut=14tut×Iutとなる。また、トランジスタM3−3xが時間4tutだけオン状態、トランジスタM4−3xがオフ状態となることで、配線OLから、トランジスタM1−3x、トランジスタM1−3x−2b、トランジスタM1−3x−3bのそれぞれを介して配線VEに流れる電荷量は、4tut×Iut+4tut×2Iut+4tut×4Iut=28tut×Iutとなる。そのため、配線OLから、回路MCを介して配線VEに流れる電荷量は、7Qut+14Qut+28Qut=49Qutとなる。一方、配線OLBから、回路MCrを介して配線VErに流れる電荷量は、トランジスタM1r、トランジスタM1−2xr、トランジスタM1−3xr、トランジスタM1−2br、トランジスタM1−2x−2br、トランジスタM1−3x−2br、トランジスタM1−3br、トランジスタM1−2x−3br、トランジスタM1−3x−3brのそれぞれがオフ状態であるため、0となる。
 なお、回路MPに第2データ(ニューロンの信号の値)として“−7”が入力されている場合、配線OLBと回路MCとの間、配線OLと回路MCrとの間がそれぞれ導通状態となり、配線OLBと回路MCrとの間、配線OLと回路MCとの間が非導通状態となるため、配線OLBから、回路MCを介して配線VEに流れる電荷量が7Qut+14Qut+28Qut=49Qutとなり、配線OLから、回路MCrを介して配線VErに流れる電荷量が、0となる。
 また、回路MPには、例えば、あらかじめ、“−7”の第1データ(重み係数)が設定されているものとする。このとき、トランジスタM1r、トランジスタM1−2xr、トランジスタM1−3xrのソース−ドレイン間には電流Iutが流れ、トランジスタM1−2br、トランジスタM1−2x−2br、トランジスタM1−3x−2brのソース−ドレイン間には電流2Iutが流れ、トランジスタM1−3br、トランジスタM1−2x−3br、トランジスタM1−3x−3brのソース−ドレイン間には電流4Iutが流れる。一方、トランジスタM1、トランジスタM1−2x、トランジスタM1−3x、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−2x−2b、トランジスタM1−3x−2b、トランジスタM1−3b、トランジスタM1−2x−3b、トランジスタM1−3x−3bのそれぞれのソース−ドレイン間に流れる電流量は0となる。
 回路MPに第2データ(ニューロンの信号の値)として“+7”が入力されている場合、トランジスタM3rが時間tutだけオン状態、トランジスタM4rがオフ状態となることで、配線OLBから、トランジスタM1r、トランジスタM1−2br、トランジスタM1−3brのそれぞれを介して配線VErに流れる電荷量は、tut×Iut+tut×2Iut+tut×4Iut=7tut×Iutとなる。なお、ここで、tut×Iut=Qutとする。また、トランジスタM3−2xrが時間2tutだけオン状態、トランジスタM4−2xrがオフ状態となることで、配線OLから、トランジスタM1−2xr、トランジスタM1−2x−2br、トランジスタM1−2x−3brのそれぞれを介して配線VErに流れる電荷量は、2tut×Iut+2tut×2Iut+2tut×4Iut=14tut×Iutとなる。また、トランジスタM3−3xrが時間4tutだけオン状態、トランジスタM4−3xrがオフ状態となることで、配線OLBから、トランジスタM1−3xr、トランジスタM1−3x−2br、トランジスタM1−3x−3brのそれぞれを介して配線VErに流れる電荷量は、4tut×Iut+4tut×2Iut+4tut×4Iut=28tut×Iutとなる。そのため、配線OLBから、回路MCrを介して配線VErに流れる電荷量は、7Qut+14Qut+28Qut=49Qutとなる。一方、配線OLから、回路MCを介して配線VEに流れる電荷量は、トランジスタM1、トランジスタM1−2x、トランジスタM1−3x、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−2x−2b、トランジスタM1−3x−2b、トランジスタM1−3b、トランジスタM1−2x−3b、トランジスタM1−3x−3bのそれぞれがオフ状態であるため、0となる。
 なお、回路MPに第2データ(ニューロンの信号の値)として“−7”が入力されている場合、配線OLBと回路MCとの間、配線OLと回路MCrとの間がそれぞれ導通状態となり、配線OLBと回路MCrとの間、配線OLと回路MCとの間が非導通状態となるため、配線OLBから、回路MCを介して配線VEに流れる電荷量が7Qut+14Qut+28Qut=49Qutとなり、配線OLから、回路MCrを介して配線VErに流れる電荷量が、0となる。
 上記より、回路MPに正の第1データ(重み係数)として“+1”乃至“+7”の7値のいずれか一を設定し、正の第2データ(ニューロンの信号の値)に応じて、回路MPに含まれているトランジスタM3、トランジスタM3−2x、トランジスタM3−3xから、オン状態にするトランジスタを一つ以上選択することによって、配線OLから、回路MCを介して配線VEに流れる電荷量を、Qut刻みで“Qut”乃至“49Qut”のいずれか一とすることができる。なお、このとき、配線OLBから、回路MCrを介して、配線VErに流れる電荷量は0となる。また、回路MPに負の第1データ(重み係数)として“−7”乃至“−1”の7値のいずれか一を設定し、正の第2データ(ニューロンの信号の値)に応じて、回路MPに含まれているトランジスタM3r、トランジスタM3−2xr、トランジスタM3−3xrから、オン状態にするトランジスタを一つ以上選択することによって、配線OLBから、回路MCrを介して配線VErに流れる電荷量を、Qut刻みで“Qut”乃至“49Qut”のいずれか一とすることができる。なお、このとき、配線OLから、回路MCを介して、配線VEに流れる電荷量は0となる。
 また、回路MPに正の第1データ(重み係数)として“+1”乃至“+7”の7値のいずれか一を設定し、負の第2データ(ニューロンの信号の値)に応じて、回路MPに含まれているトランジスタM4、トランジスタM4−2x、トランジスタM4−3xから、オン状態にするトランジスタを一つ以上選択することによって、配線OLBから、回路MCを介して配線VEに流れる電荷量を、Qut刻みで“Qut”乃至“49Qut”のいずれか一とすることができる。なお、このとき、配線OLから、回路MCrを介して、配線VErに流れる電荷量は0となる。また、回路MPに負の第1データ(重み係数)として“−7”乃至“−1”の7値のいずれか一を設定し、負の第2データ(ニューロンの信号の値)に応じて、回路MPに含まれているトランジスタM4r、トランジスタM4−2xr、トランジスタM4−3xrから、オン状態にするトランジスタを一つ以上選択することによって、配線OLから、回路MCrを介して配線VErに流れる電荷量を、Qut刻みで“Qut”乃至“49Qut”のいずれか一とすることができる。なお、このとき、配線OLBから、回路MCを介して、配線VEに流れる電荷量は0となる。
 なお、回路MPには、あらかじめ、“0”の第1データ(重み係数)が設定されている場合、トランジスタM1、トランジスタM1−2x、トランジスタM1−3x、トランジスタM1−2b、トランジスタM1−2x−2b、トランジスタM1−3x−2b、トランジスタM1−3b、トランジスタM1−2x−3b、トランジスタM1−3x−3b、トランジスタM1r、トランジスタM1−2xr、トランジスタM1−3xr、トランジスタM1−2br、トランジスタM1−2x−2br、トランジスタM1−3x−2br、トランジスタM1−3br、トランジスタM1−2x−3br、トランジスタM1−3x−3brのそれぞれはオフ状態となる。そのため、配線OL又は配線OLBから、回路MCを介して配線VEに電流は流れず、配線OL又は配線OLBから、回路MCrを介して配線VErに電流は流れない。換言すると、配線OL、配線OLBのそれぞれに流れる電荷量は0ということができる。
 また、回路MPに“0”の第2データ(ニューロンの信号の値)が入力される場合、トランジスタM3、トランジスタM3−2x、トランジスタM3−3x、トランジスタM4、トランジスタM4−2x、トランジスタM4−3x、トランジスタM3r、トランジスタM3−2xr、トランジスタM3−3xr、トランジスタM4r、トランジスタM4−2xr、トランジスタM4−3xrのそれぞれはオフ状態となる。そのため、配線OL又は配線OLBから、回路MCを介して配線VEに電流は流れず、配線OL又は配線OLBから、回路MCrを介して配線VErに電流は流れない。換言すると、配線OL、配線OLBのそれぞれに流れる電荷量は0ということができる。
 ここで、回路ACTFの積分回路に着目する。配線OL又は配線OLBから、回路MCを介して配線VEに電流が流れるとき、又は、配線OL又は配線OLBから、回路MCrを介して配線VErに電流が流れるとき、図8Aにおいて、スイッチSWO、スイッチSWOBはオン状態にし、スイッチSWI、スイッチSWIB、スイッチSWL、スイッチSWLB、スイッチSWH、スイッチSWHBはオフ状態にして、配線OL及び配線OLBと回路AFPとの間を導通状態にすることで、回路ACTFに含まれている積分回路の容量に配線OL、配線OLBに流れる電荷量を蓄積することができる。この結果、回路ACTFは、配線OLに流れた電荷量QOLと配線OLBに流れた電荷量QOLBに応じたニューロンの信号z (k)を出力することができる。
 上述の動作例より、第1データ(重み係数)を“0”を除く“−7”乃至“+7”のいずれか一として、第2データ(ニューロンの信号の値)を“0”を除く“−7”乃至“+7”のいずれか一とした場合の、配線OLに流れた電荷量QOLと配線OLBに流れた電荷量QOLBを下の表に記載する。なお、第1データ(重み係数)、第2データ(ニューロンの信号の値)の少なくとも一方が“0”のときは、QOL=0、QOLB=0となる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000022
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000023
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000024
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000025
 上記の通り、第1データ(重み係数)と、第2データ(ニューロンの信号の値)を定めることにより、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)との積の結果に応じて、配線OLから回路MC又は回路MCrに電流が流れる電荷量QOL、及び配線OLBから回路MC又は回路MCrに電流が流れる電荷量QOLBが決まる。また、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)との積の結果が正の値の場合、配線OLから回路MC又は回路MCrに電流が流れ、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)との積の結果が負の値の場合、配線OLBから回路MC又は回路MCrに電流が流れる。つまり、電荷量QOL、及び電荷量QOLBから、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)との積を算出することができる。例えば、第1データ(重み係数)を“−7”乃至“+7”のいずれか一とし、第2データ(ニューロンの信号の値)を“−7”乃至“+7”のいずれか一とし、かつ、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)との積が正の数である場合、上述の表において、配線OLから回路MC又は回路MCrに電流が流れる電荷量QOLにおいて、Outを“+1”に置き換えることで、電荷量QOLから第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)との積を求めることができる。また、例えば、第1データ(重み係数)を“−7”乃至“+7”のいずれか一とし、第2データ(ニューロンの信号の値)を“−7”乃至“+7”のいずれか一とし、かつ、第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)との積が負の数である場合、上述の表において、配線OLBから回路MC又は回路MCrに電流が流れる電荷量QOLBにおいて、Qutを“−1”に置き換えることで、電荷量QOLBから第1データ(重み係数)と第2データ(ニューロンの信号の値)との積を求めることができる。
 また、本発明の一態様は、上述の定義に限定されない。上述では、第2データ(ニューロンの信号の値)として、正の多値、負の多値、0を定義したが、例えば、入力期間を離散的な値でなく連続的な値をとることによって(aを正の実数として、入力期間をa×tutとすることによって)、第2データ(ニューロンの信号の値)をアナログ値として扱うことができる。
 また、本発明の一態様の半導体装置は、図65の回路MPの構成に限定されない。例えば、図65の回路MPでは、電位を保持する回路を、回路HCS、回路HCS−2b、回路HCS−3b、回路HCSr、回路HCS−2br、回路HCS−3brの6個とし、それぞれの回路にゲートを電気的に接続しているトランジスタ(トランジスタM1、トランジスタM1−2x、トランジスタM1−3x)の数を3個としたが、第1データ(重み係数)及び第2データ(ニューロンの信号の値)の取り得る値に応じて、電位を保持する回路及び当該トランジスタの数を増減してもよい。また、当該トランジスタに応じて、保持部の個数、配線の数も増減してもよい。
 また、本発明の一態様の半導体装置の動作方法は、上述に限定されない。例えば、動作方法例2で説明した通り、図65の回路MPにおいて、配線X1L、配線X2L、配線X1L2b、配線X2L2b、配線X1L3b、配線X2L3bのそれぞれに入力される信号の入力期間を、複数のサブ期間に分けてもよい。
 また、本動作方法例では、回路MPは、説明の煩雑さを避けるため、配線OL、配線OLBには1個の回路MPのみが電気的に接続されている場合を考えたが、図11の演算回路150のとおり、配線OL、配線OLBには複数の回路MPを電気的に接続してもよい。これにより、配線OL、配線OLBのそれぞれから複数の回路MPに入力された電荷量の合計を、回路ACTFに含まれる積分回路の容量に蓄積することができ、回路ACTFは、配線OL、配線OLBに流れたそれぞれの電荷量に応じたニューロンの信号z (k)を出力することができる。
 なお、本動作例では、図11の演算回路150を例としたが、状況に応じて、別の演算回路に変更することでも、本動作例と同様の動作を行うことができる。
 なお、本動作方法例は、本明細書で示す他の動作方法例などと適宜組み合わせることができる。
 なお、本実施の形態は、本明細書で示す他の実施の形態と適宜組み合わせることができる。
(実施の形態4)
 本実施の形態では、一例として、畳み込みニューラルネットワーク(CNN)で行われる演算を行うため半導体装置の構成例について説明する。なお、当該半導体装置としては、上記実施の形態で説明した半導体装置を用いることができる。
<畳み込みニューラルネットワーク>
 CNNは、画像などを特徴抽出する場合において使用される計算モデルの一である。図66に、CNNの構成例を示す。CNNは、畳み込み層CL、プーリング層PL、全結合層FCLなどによって構成されている。CNNは、画像データIPDが入力されることによって、画像データIPDに対する特徴抽出を行う。
 畳み込み層CLは、画像データに対して畳み込み処理を行う機能を有する。畳み込み処理は、画像データの一部の領域と重みフィルタのフィルタ値との積和演算を繰り返すことにより行われる。畳み込み層CLにおける畳み込みにより、画像の特徴が抽出される。
 畳み込み処理には、一又は複数の重みフィルタを用いることができる。複数の重みフィルタを用いる場合、画像データに含まれる複数の特徴を抽出することが可能となる。図66には、重みフィルタとして3つのフィルタ(フィルタfil、フィルタfil、フィルタfil)が用いられる例を示している。畳み込み層CLに入力された画像データには、フィルタfil、fil、filを用いたフィルタ処理が施され、画像データD、D、Dが生成される。
 畳み込みが施された画像データD、D、Dは、例えば、活性化関数による演算が行われてもよい。活性化関数としては、一例として、ReLU(Rectified Linear Units)などを用いることができる。ReLUは、入力値が負である場合は“0”を出力し、入力値が“0”以上である場合は入力値をそのまま出力する関数である。また、別の活性化関数として、シグモイド関数、tanh関数などを用いることもできる。
 畳み込みが施された画像データD、D、D(活性化関数による演算が行われたかどうかは問わない。)は、例えば、プーリング層PLに出力される。プーリング層PLは、畳み込み層CLから入力された画像データに対してプーリングを行う機能を有する。プーリングは、画像データを複数の領域に分割し、当該領域ごとに所定のデータを抽出して新たにマトリクス状に配置する処理である。プーリングによって、畳み込み層CLによって抽出された特徴を残しつつ、画像データを縮小することができる。なお、プーリングとしては、最大プーリング、平均プーリング、Lpプーリングなどを用いることができる。
 CNNは、例えば、上記の畳み込み処理、プーリング処理などにより特徴抽出を行う。なお、CNNは、複数の畳み込み層CL、及び/又は複数のプーリング層PLを有してもよい。図66では、一例として、畳み込み層CLとプーリング層PLを有する層Lがz層(ここでのzは1以上の整数である。)設けられ(層L乃至層L)、畳み込み処理及びプーリング処理がz回行われる構成を示している。これにより、各層Lにおいて特徴抽出を行うことができ、より高度な特徴抽出が可能となる場合がある。なお、図66には、層L、層L、層Lを図示しており、それ以外の層Lについては、省略している。
 なお、図66では、層L乃至層Lのそれぞれは、畳み込み層CLと、プーリング層PLと、を有する例を示したが、CNNの構成は、これに限定されない。例えば、CNNに含まれる層L乃至層Lから選ばれた一以上の層は、畳み込み層CLと、プーリング層PLと、のどちらか一方のみを有する構成としてもよい。例えば、CNNは、畳み込み層CLが連続して設けられていてもよいし、プーリング層PLが連続して設けられていてもよい。
 全結合層FCLは、例えば、畳み込み及びプーリングが行われた画像データを用いて、画像の判定を行う機能を有する。全結合層FCLは、ある層の全てのノードが、次の層の全てのノードと接続された構成を有する。畳み込み層CL又はプーリング層PLから出力された画像データは2次元の特徴マップであり、全結合層FCLに入力されると1次元に展開される。そして、全結合層FCLによる推論によって得られたデータOPDが出力される。
 なお、CNNの構成は図66の構成に限定されない。例えば、プーリング層PLが複数の畳み込み層CLごとに設けられていてもよい。また、抽出された特徴の位置情報を極力残したい場合は、プーリング層PLを少なめに設ければよい。
 また、全結合層FCLの出力データから画像の分類を行う場合は、全結合層FCLと電気的に接続された出力層が設けられていてもよい。出力層は、尤度関数としてソフトマックス関数などを用い、分類クラスを出力することができる。
 また、CNNは、画像データを学習データ及び教師データとして用いた教師あり学習を行うことができる。教師あり学習には、例えば誤差逆伝播法を用いることができる。CNNの学習により、重みフィルタのフィルタ値、全結合層の重み係数などを最適化することができる。
<畳み込み処理>
 次に、畳み込み層CLにおいて行われる畳み込み処理の具体例について説明する。
 図67Aに、マトリクス状に配置された、n行m列(ここでのn、mのそれぞれは1以上の整数である。)の複数の画素pixを示す。画素pix[1,1]乃至pix[n,m]には、それぞれ画像データとしてg[1,1]乃至g[n,m]が取り込まれる。
 畳み込みは、画像データgと重みフィルタのフィルタ値との積和演算によって行われる。図67Bに、t行s列(ここでのtは1以上n以下の整数であり、sは1以上m以下の整数である。)のフィルタfilを示す。フィルタfilのそれぞれのアドレスには、フィルタ値f[1,1]乃至フィルタ値f[t,s]が割り振られている。
 畳み込みによって特徴抽出を行う場合、フィルタ値f[1,1]乃至フィルタ値f[t,s]として、所定の特徴を示すデータ(特徴データと呼称する。)を格納することができる。そして、特徴抽出の際は、当該データと画像データの比較が行われる。また、畳み込みによってエッジ処理、又はぼかし処理などの画像処理を行う場合、フィルタ値f[1,1]乃至フィルタ値f[t,s]として、画像処理に必要なパラメータを格納することができる。以下では一例として、特徴抽出を行う場合の動作の詳細について説明する。
 図68Aは、画素pix[1,1]と、画素pix[1,s]と、画素pix[t,1]と、画素pix[t,s]と、を角とする画素領域P[1,1]に対して、フィルタfilを用いたフィルタ処理を行うことにより、データD[1,1]を取得する様子を示している。このフィルタ処理は、図67Bに示すように、画素領域P[1,1]が有する一の画素pixの画像データと、当該画素pixのアドレスに対応するフィルタfilのフィルタ値fを乗算し、各画素pixにおける乗算結果を足し合わせる処理である。すなわち、画素領域P[1,1]が有する全ての画素pixにおいて、画像データg[v,w](ここでのvは1以上t以下の整数であり、wは1以上s以下の整数である。)とフィルタ値f[v,w]を用いた積和演算が行われる。データD[1,1]は、下式で表すことができる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000026
 その後、上記の積和演算が他の画素領域についても順次行われる。具体的には、例えば、図69に示すように、画素pix[1,2]と、画素pix[1,s+1]と、画素pix[t,2]と、画素pix[t,s+1]と、を角とする画素領域P[1,2]に対してフィルタ処理を行い、データD[1,2]を取得する。その後も同様に、画素領域Pを画素1列分ずつ移動させ、各画素領域PにおいてデータDを取得する。
 そして、画素pix[1,m−s+1]と、画素pix[1,m]と、画素pix[t,m−s+1]と、画素pix[t,m]と、を角とする画素領域P[1,m−s+1]からデータD[1,m−s+1]を取得する。1行分の画素領域、つまり画素領域P[1,1]乃至画素領域P[1,m−s+1]のそれぞれにおいてデータDの取得が完了した後は、一例として、画素領域Pを画素1行分移動させ、同様に1行分のデータDを順次取得する。図69には、画素領域P[2,1]乃至画素領域P[2,m−s+1]からデータD[2,1]乃至データD[2,m−s+1]が取得される様子を示している。
 以上の動作を繰り返し、画素pix[n−t+1,m−s+1]と、画素pix[n−t+1,m]と、画素pix[n,m−s+1]と、画素pix[n,m]と、を角とする画素領域P[n−t+1,m−s+1]からデータD[n−t+1,m−s+1]が取得されると、全ての画素領域Pに対する、フィルタfilを用いたフィルタ処理が終了する。
 このように、画素pix[1,1]乃至画素pix[n,m]から、t行s列のマトリクス状の画素領域Pが選択され、当該画素領域Pに対してフィルタfilを用いたフィルタ処理が行われる。画素pix[x,y](ここでのxは1以上n−t+1以下の整数であり、yは1以上m−s+1以下の整数である。)と、画素pix[x,y+s−1]と、画素pix[x+t−1,y]と、画素pix[x+t−1,y+s−1]と、を角とする画素領域Pに対して、フィルタfilを用いたフィルタ処理を行うことにより得られるデータD[x,y]は、下式で表すことができる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000027
 上記の通り、画素pix[1,1]乃至画素pix[n,m]から選択することができる全てのt行s列の画素領域Pに対して、フィルタfilを用いたフィルタ処理を行うことにより、データD[1,1]乃至D[n−t+1,m−s+1]を得ることができる。そして、データD[1,1]乃至データD[n−t+1,m−s+1]をアドレスに従ってマトリクス状に配置することにより、図70に示す特徴マップ(場合によっては、深度マップ)が得られる。
 以上のように、画像データとフィルタ値を用いた積和演算により、畳み込み処理が行われ、画像の特徴抽出が行われる。
 なお、図66に示すよう、畳み込み層CLに複数のフィルタfilが設けられる場合は、フィルタfilごとに上記の畳み込み処理を行う。
 また、ここでは画素領域Pを画素1列分、及び画素1行分ずつ移動させる例について説明したが、画素領域Pの移動距離(ストライドと呼ばれる場合がある。)は自由に設定することができる。例えば、画素領域Pは、2行分及び2列分移動させてもよいし、1行分及び3列分移動させてもよい。また、例えば、画素領域Pは、その画素領域Pの列の数以上の数だけ列方向に移動、及び/又は、その画素領域Pの行の数以上の数だけ行方向に移動させてもよい。つまり、移動した画素領域Pが元の位置の画素領域Pと重ならないように、移動距離を設定してもよい。
 また、画像データの大きさとしては、例えば、「8K UHD」(7680×4320)、「4K UHD」(3840×2160)、「FHD」(1920×1080)、「HD」(1280×720)、「SD」(720×480)などとすることができる。また、画像データの大きさとしては、行数を0よりも大きい数、50以上の数、100以上の数、又は500以上の数とし、かつ列数を0よりも大きい数、50以上の数、100以上の数、又は500以上の数としてもよい。なお、行数の下限値と、列数の下限値と、は、それぞれ独立に任意に選択できるものとする。
 また、畳み込み処理に用いるフィルタの大きさ(画素領域の範囲)としては、例えば、行数を0よりも大きい数、3以上の数、5以上の数、10以上の数、50以上の数、又は100以上の数とし、かつ列数を0よりも大きい数、3以上の数、5以上の数、10以上の数、50以上の数、又は100以上の数としてもよい。なお、行数の下限値と、列数の下限値と、は、それぞれ独立に任意に選択できるものとする。
<半導体装置の動作例>
 次に、上記の実施の形態で説明した半導体装置において、上述した畳み込み処理を行う場合について、説明する。
 ここでは、一例として、図71に示すブロック図を用いて、実施の形態1で説明した図2の演算回路110が、上述した畳み込み処理を行う動作例について説明する。なお、ここでは図71に示すブロック図を用いて述べるが、図71に示すブロック図に限定されず、上記の実施の形態で説明した様々な回路を用いることが出来る。なお、ここでの畳み込み処理は、t行s列の重みフィルタを用いて、n行m列の画像データ(g[1,1]乃至g[n,m])に対して行われるものとする。なお、t行s列の重みフィルタについては、図67Bの説明を参酌し、n行m列の画像データについては、図67Aの説明を参酌する。
 また、ここでの畳み込み処理は、u個(uは1以上の整数とする。)の重みフィルタによって行われるものとする。そのため、u個の重みフィルタのそれぞれを、フィルタfil乃至フィルタfilと呼称する。
 図71の演算回路110において、アレイ部ALPに含まれている回路MPは、例えば、列方向(縦方向)に少なくともt×s個配置されている。また、アレイ部ALPの行方向(横方向)に配置されている回路MPの数は、例えば、重みフィルタの数とすることができる。そのため、重みフィルタの数をu個としたとき、図71の演算回路110のアレイ部ALPに含まれている回路MPは、(t×s)行u列のマトリクス状に配置されることになる。また、各回路MPには、一例としては、重みフィルタの値が保存される。例えば、1列分として縦方向に配置されたt×s個の回路MPには、t行s列の重みフィルタの1個分の値が保存される。1列分として縦方向に配置されたt×s個の回路MPが、t行s列の重みフィルタの1個分に相当するため、u列分の回路MPに保存される重みフィルタは、u個分の重みフィルタに対応することになる。
 なお、図2では、回路MPの符号にアドレスとして[x,y]を付記したが、図71では、回路MPの符号には[x,y]を付記していない。
 図71の演算回路110には、一例としては、アレイ部ALPがt×s行の回路MPを有するため、t×s本の配線WLSと、t×s本の配線XLSが設けられている。図71では、t×s本の配線WLSの一部の配線として、配線WLS[1]と、配線WLS[s]と、配線WLS[(t−1)s+1]と、配線WLS[t×s]と、を図示し、t×s本の配線XLSの一部の配線として、配線XLS[1]と、配線XLS[s]と、配線XLS[(t−1)s+1]と、配線XLS[t×s]と、を図示している。
 配線WLS[1]乃至配線WLS[t×s]のそれぞれは、回路WLDに電気的に接続されている。また、配線XLS[1]乃至配線WLS[t×s]のそれぞれは、回路XLDに電気的に接続されている。なお、図71の演算回路110に含まれる回路WLD、及び回路XLDについては、図2の回路WLD、及び回路XLDのそれぞれの説明を参酌する。
 特に、図71の演算回路110の回路XLDは、配線XLS[1]乃至配線XLS[t×s]のそれぞれに対して、画像データを入力する機能を有する。具体的には、図71では、回路XLDは、配線XLS[1]乃至配線XLS[t×s]のそれぞれに対して、図68Aに示す画素領域P[1,1]に含まれる画像データg[1,1]乃至g[t,s]を出力する例を示している。
 また、図71の演算回路110には、アレイ部ALPがu列の回路MPを有するため、一例としては、u本の配線ILと、u本の配線ILBと、u本の配線OLと、u本の配線OLBと、が設けられている。図71では、u本の配線ILの一部として、配線IL[1]と、配線IL[h](ここでのhは、1以上u以下の整数である。)と、配線IL[u]と、を図示し、u本の配線ILBの一部として、配線ILB[1]と、配線ILB[h]と、配線ILB[u]と、を図示している。また、図71では、u本の配線OLの一部として、配線OL[1]と、配線OL[h]と、配線OL[u]と、を図示し、u本の配線OLBの一部として、配線OLB[1]と、配線OLB[h]と、配線OLB[u]と、を図示している。なお、例えば、重みフィルタの値が、負の値を有していない場合、又は正の値を有していない場合には、配線OLまたは配線OLBのいずれか1つを有していなくてもよい。または、例えば、重みフィルタの値が、負の値を有していない場合、又は正の値を有していない場合には、配線ILまたは配線ILBのいずれか1つを有していなくてもよい。
 配線IL[1]乃至配線IL[u]、及び配線ILB[1]乃至配線ILB[u]のそれぞれは、回路ILDに電気的に接続されている。また、配線OL[1]乃至配線OL[u]、及び配線OL[1]乃至配線OL[u]のそれぞれは、回路AFPに電気的に接続されている。なお、図71の演算回路110に含まれる回路ILD、及び回路AFPについては、図2の回路ILD、及び回路AFPのそれぞれの説明を参酌する。
 特に、配線OL[1]、及び配線OLB[1]は、回路AFPに含まれている回路ACTF[1]に電気的に接続されている。また、配線OL[h]、及び配線OLB[h]は、回路AFPに含まれている回路ACTF[h]に電気的に接続されている。また、配線OL[u]、及び配線OLB[u]は、回路AFPに含まれている回路ACTF[u]に電気的に接続されている。なお、図71の回路AFPに含まれる回路ACTF[1]乃至回路ACTF[u]は、図2の回路ACTF[1]乃至回路ACTF[n]の説明を参酌する。また、図71の回路ACTF[1]乃至回路ACTF[u]は、配線OLと配線OLBとに流れる電流量の差を電圧などの信号に変換する機能だけでなく、当該電流量の差、当該電圧などに対してReLU関数、シグモイド関数、tanh関数などの演算を行う機能を有してもよい。
 次に、図71の演算回路110のアレイ部ALPに含まれている回路MPについて説明する。
 アレイ部ALPの回路MPには、一例としては、重みフィルタのフィルタ値が保持される。重みフィルタのフィルタ値としては、例えば、上記実施の形態で説明したとおり、“0”、“+1”の2値、“−1”、“+1”の2値、“−1”、“0”、“+1”の3値、3値を超える多値、アナログ値などとすることができる。
 ここでは、アレイ部ALPの1列目の回路MPには、フィルタfilに含まれるフィルタ値が保持され、アレイ部ALPのh列目の回路MPには、フィルタfilに含まれるフィルタ値が保持され、アレイ部ALPのu列目の回路MPには、フィルタfilに含まれるフィルタ値が保持されるものとする。
 一例として、フィルタfilのv行w列(ここでのvは1以上t以下の整数であり、wは1以上s以下の整数である。)のフィルタ値をf[v,w]としたとき、アレイ部ALPの1行目1列目の回路MPにはf[1,1]が保持され、アレイ部ALPのs行目1列目の回路MPにはf[1,s]が保持され、アレイ部ALPの(t−1)s+1行目1列目の回路MPにはf[t,1]が保持され、アレイ部ALPのt×s行目1列目の回路MPにはf[t,s]が保持されるものとする。同様に、一例として、フィルタfilのv行w列のフィルタ値をf[v,w]としたとき、アレイ部ALPの1行目h列目の回路MPにはf[1,1]が保持され、アレイ部ALPのs行目h列目の回路MPにはf[1,s]が保持され、アレイ部ALPの(t−1)s+1行目h列目の回路MPにはf[t,1]が保持され、アレイ部ALPのt×s行目h列目の回路MPにはf[t,s]が保持されるものとする。同様に、一例として、フィルタfilのv行w列のフィルタ値をf[v,w]としたとき、アレイ部ALPの1行目u列目の回路MPにはf[1,1]が保持され、アレイ部ALPのs行目u列目の回路MPにはf[1,s]が保持され、アレイ部ALPの(t−1)s+1行目u列目の回路MPにはf[t,1]が保持され、アレイ部ALPのt×s行目u列目の回路MPにはf[t,s]が保持されるものとする。つまり、一例として、v行w列のフィルタfilは、合計でv×w個の値を有している。この値を、h列目において縦方向に並んで配置された合計v×w個の回路MPに、それぞれ保存することになる。なお、アレイ部ALPでの回路MPの列数が、フィルタfilの数よりも多い場合には、余った列の回路MPには、ゼロの値を保持しておけばよい。具体的には、回路MPから配線IL及び配線ILBのそれぞれに電流が流れないような電圧を保持すればよい。これにより、回路MPから配線IL及び配線ILBに電流が出力されないため、消費電力を低減することが出来る。
 アレイ部ALPの回路MPのそれぞれに、重みフィルタのフィルタ値が保持されているとき、配線XLS[1]乃至配線XLS[t×s]のそれぞれには、画像データとしてg[1,1]乃至g[n,m]のうち、畳み込み処理が行われるt×s個の画像データが入力される。
 一例として、配線XLS[1]乃至配線XLS[s]のそれぞれには、畳み込み処理の対象となる画像データの画素領域P[1,1]に含まれているg[1,1]乃至g[1,s]が入力される。また、配線XLS[(t−1)s+1]乃至配線XLS[t×s]のそれぞれには、g[t,1]乃至g[t,s]が入力される。つまり、配線XLS[1]乃至配線XLS[t×s]のそれぞれには、図68A及び図69で示した画素領域P[1,1]の画像データが入力される。
 上記実施の形態で説明したとおり、回路MPに第1データ(本説明におけるフィルタ値)が保持されているときに、配線XLSから第2データ(本説明における画像データ)が入力されることによって、第1データと第2データとの積和演算が行われる。また、当該積和演算の結果は、配線OLと配線OLBに流れる電流量の差分に応じて定められる。
 したがって、アレイ部ALPの1列目では、画像データの画素領域P[1,1]に含まれる画像データと、重みフィルタfil(f[1,1]乃至f[t,s])と、の積和演算が行われる。具体的には、アレイ部ALPの1列目に位置する回路MPから、配線OL[1]及び配線OLB[1]を介して、回路ACTF[1]に電流が流れる。なお、当該積和演算の結果をデータD[1,1]としたとき、データD[1,1]は、配線OL[1]及び配線OLB[1]のそれぞれに流れる電流量の差分に応じた値となる。また、データD[1,1]は、回路ACTF[1]に含まれる回路によって活性化関数の演算が施されてもよい。なお、図71では、活性化関数が施されたデータD[1,1]をAF(D[1,1])として、便宜上、回路ACTF[1]からAF(D[1,1])を出力する様子を示している。
 また、同様に、アレイ部ALPのh列目では、画像データの画素領域P[1,1]に含まれる画像データと、重みフィルタfil(f[1,1]乃至f[t,s])と、の積和演算が行われる。なお、当該積和演算の結果をデータD[1,1]としたとき、データD[1,1]は、配線OL[h]及び配線OLB[h]のそれぞれに流れる電流量の差分に応じた値となる。また、アレイ部ALPのu列目では、画像データの画素領域P[1,1]に含まれる画像データと、重みフィルタfil(f[1,1]乃至f[t,s])と、の積和演算が行われる。なお、当該積和演算の結果をデータD[1,1]としたとき、データD[1,1]は、配線OL[u]及び配線OLB[u]のそれぞれに流れる電流量の差分に応じた値となる。また、図71では、活性化関数が施されたデータD[1,1]、及びデータD[1,1]を、それぞれAF(D[1,1])、及びAF(D[1,1])とし、便宜上、回路ACTF[h]からAF(D[1,1])を出力し、回路ACTF[u]からAF(D[1,1])を出力する様子を示している。
 また、データD[1,1]乃至データD[1,1]のそれぞれは、式(4.2)を用いて表すことができる。このように、複数の重みフィルタに対して、画像データ1回分を入力することにより、同時に複数の積和演算を行うことが出来る。そのため、消費電力を小さくすることができ、かつ、高速に演算を行うことが出来る。
 ところで、図71に示す演算回路110では、回路XLDが、画素領域P[1,1]に含まれている画像データとしてg[1,1]乃至g[t,s]のそれぞれを、配線XLS[1]乃至配線XLS[t×s]に出力する例を示しているが、回路XLDは、画素領域Pを順次切り替えて、g[1,1]乃至g[t,s]とは異なる画像データを配線XLS[1]乃至配線XLS[t×s]に出力する構成としてもよい。
 例えば、図72に示す演算回路110を考える。図72の演算回路110では、図71の演算回路110において、アレイ部ALPにおけるh列目の回路MPのみを図示している。また、図72の演算回路110では、回路XLDが順次出力する画素領域Pに含まれている画像データについて図示している。
 回路XLDは、一例として、1回目の積和演算を行うとき、画素領域P[1,1]に含まれている画像データとして、g[1,1]乃至g[t,s]のそれぞれを配線XLS[1]乃至配線XLS[t×s]に出力する。これにより、演算回路110は、アレイ部ALPのh列目において、フィルタfilとg[1,1]乃至g[t,s]との積和演算の結果であるデータD[1,1]を生成する。また、同時に、アレイ部ALPの1列目において、重みフィルタfilとg[1,1]乃至g[t,s]との積和演算の結果であるデータD[1,1]を生成し、アレイ部ALPのu列目において、フィルタfilとg[1,1]乃至g[t,s]との積和演算の結果であるデータD[1,1]を生成する。なお、図72では、回路ACTF[h]からAF(D[1,1])を出力する様子を示している。
 続いて、2回目の積和演算を行うとき、回路XLDは、画素領域P[1,2]に含まれている画像データとして、g[1,2]乃至g[t,s+1]のそれぞれを配線XLS[1]乃至配線XLS[t×s]に出力する。これにより、演算回路110は、アレイ部ALPのh列目において、フィルタfilとg[1,2]乃至g[t,s+1]との積和演算の結果であるデータD[1,2]を生成する。同様に、演算回路110は、アレイ部ALPの1列目において、フィルタfilとg[1,2]乃至g[t,s+1]との積和演算の結果であるデータD[1,2]を生成し、演算回路110は、アレイ部ALPのu列目において、フィルタfilとg[1,2]乃至g[t,s+1]との積和演算の結果であるデータD[1,2]を生成する。
 つまり、積和演算を1回行うたびに、回路XLDから出力する画素領域を変更することによって、画素領域毎にフィルタfil乃至フィルタfilのそれぞれとの積和演算との結果を出力することができる。ここで、画像データg[1,1]乃至g[n,m]において、取り得る全ての画素領域P[1,1]乃至画素領域P[n−s+1,m−t+1]を、回路XLDから順次出力することによって、画素領域P[1,1]乃至画素領域P[n−s+1,m−t+1]のそれぞれに対して、フィルタfil乃至フィルタfilの畳み込み処理を行うことができる。これにより、演算回路110は、アレイ部ALPの1列目において、画素領域P[1,1]乃至画素領域P[n−s+1,m−t+1]のそれぞれと、フィルタfilと、の積和演算の結果であるデータD[1,1]乃至データD[n−s+1,m−t+1]を生成する。同様に、演算回路110は、アレイ部ALPのh列目において、画素領域P[1,1]乃至画素領域P[n−s+1,m−t+1]のそれぞれと、フィルタfilと、の積和演算の結果であるデータD[1,1]乃至データD[n−s+1,m−t+1]を生成し、また、アレイ部ALPのu列目において、画素領域P[1,1]乃至画素領域P[n−s+1,m−t+1]のそれぞれと、フィルタfilと、の積和演算の結果であるデータD[1,1]乃至データD[n−s+1,m−t+1]を生成する。
 これにより、図69に示した処理と同様に、画像データに含まれているg[1,1]乃至g[n,m]に対する畳み込み処理を行うことができる。なお、重みフィルタの値は、一旦決まれば、通常は、変更されることが少ない。そのため、一旦、回路MPに入力しておけば、その値を保存しておくことにより、書き換えを行う必要がない。そのため、消費電力を低減することが出来る。一方、画像データは、畳み込み処理を行う対象が変わるたびに、変更されることになる。例えば、動画の場合には、画像データは特定周期毎に変わることになる。
 なお、本実施の形態で扱われた画像データg[1,1]乃至g[n,m]は、ゼロパディングされたデータとしてもよい。ゼロパディングされたデータを用いることで、積和演算の回数が増えるため、画像データの周辺の部分において、特徴を抽出することができる。
 なお、上記実施の形態で説明した半導体装置では、回路XLDから送られる第2データは、負の値、“0”、正の値とすることができる。そのため、第2データとして画像データを送る場合、“0”は、画像データにおける基準値とすることができる。例えば、グレースケールの場合、最小値(負の値)を黒、最大値(正の値)を白として、中間に位置する灰色を“0”とすることができる。または、第2データとして画像データを送る場合、“0”は、画像データにおける最小値、または、最大値とすることができる。例えば、全体として暗い画像の場合、“0”を黒、最大値(正の値)を白とすることができる。その結果、負の値を用いないようにすることが出来る。その場合には、図40に示すような回路を用いることが出来る。なお、データは、“0”の場合には、電流が流れないため、消費電力を下げることが出来る。そのため、例えば、全体として明るい画像の場合、“0”を白、最小値(負の値)を黒とすることもできる。その結果、正の値を用いないようにすることが出来る。その場合にも、図40に示すような回路を用いることが出来る。
 また、上記実施の形態で説明した方法、例えば、図26乃至図35、図39などに示す回路MPを用いることによって、回路XLDから送られる第2データ(画像データ)を多値、又はアナログ値として扱うことができる。また、実施の形態3、図51乃至図53、図63乃至図65など、に記載したとおり、回路XLDから配線XLSに供給する信号の入力時間の長さを設定することでも、回路XLDから送られる第2データ(画像データ)を多値、又はアナログ値として扱うことができる。
 また、上記では、演算回路110のアレイ部ALPの回路MPに重みフィルタの値を保持し、回路XLDから、配線XLS[1]乃至配線XLS[t×s]に画像データを入力して、当該画像データに対する畳み込み処理を行う例について説明したが、本発明の一態様の半導体装置に係る動作方法は、これに限定されない。例えば、演算回路110で畳み込み処理を行う場合、演算回路110のアレイ部ALPの回路MPに画像データを保持し、回路XLDから、配線XLS[1]乃至配線XLS[t×s]に重みフィルタの値を入力して演算を行ってもよい。
 このような動作が行われる演算回路110を、図73に示す。図73の演算回路110のアレイ部ALPに含まれている回路MPは、例えば、列方向(縦方向)に少なくともt×s個配置されている。また、図73の演算回路110のアレイ部ALPの行方向(横方向)に配置される回路MPの個数は、一例として、畳み込み処理が行われる画像のサイズと畳み込み処理の条件(重みフィルタのサイズ、ストライドなど)によって定められる画素領域の個数とすることができる。例えば、図67A、図67B、図68A、図68B、図69に示す通り、画像の画素数がn×m個であり、重みフィルタがt行s列であり、ストライドが1である場合、アレイ部ALPの行方向に配置される回路MPの個数は、(n−t+1)×(m−s+1)個となる。なお、ここでは、(n−t+1)×(m−s+1)=Uとする。つまり、図73の演算回路110のアレイ部ALPに含まれている回路MPは、t×s行U列のマトリクス状に配置されることになる。
 したがって、図73の演算回路110は、アレイ部ALPがU列の回路MPを有する点で、図71の演算回路110と異なる。このため、図73の演算回路には、U本の配線ILと、U本の配線ILBと、U本の配線OLと、U本の配線OLBと、が設けられている。なお、図73では、U本の配線ILの一部として、配線IL[1]と、配線IL[H](ここでのHは、1以上U以下の整数である。)と、配線IL[U]と、を図示し、U本の配線ILBの一部として、配線ILB[1]と、配線ILB[H]と、配線ILB[U]と、を図示している。また、図71では、U本の配線OLの一部として、配線OL[1]と、配線OL[H]と、配線OL[U]と、を図示し、U本の配線OLBの一部として、配線OLB[1]と、配線OLB[H]と、配線OLB[U]と、を図示している。また、回路AFPには、U個の回路ACTFが含まれている。
 上述したとおり、アレイ部ALPの回路MPには、畳み込み処理される画像に含まれる画像データが保持される。
 ここでは、アレイ部ALPの1列目の回路MPには、画素領域P[1,1]に含まれる画像データg[1,1]乃至g[t,s]が保持され、アレイ部ALPのH列目の回路MPには、H番目の画素領域(図73ではPと表記している)に含まれる画像データが保持され、アレイ部ALPのU列目の回路MPには、画素領域P[n−t+1,m−s+1]に含まれる画像データg[n−t+1,m−s+1]乃至g[n,m]が保持されるものとする。
 一例として、アレイ部ALPの1行目1列目の回路MPにはg[1,1]が保持され、アレイ部ALPのs行目1列目の回路MPにはg[1,s]が保持され、アレイ部ALPの(t−1)s+1行目1列目の回路MPにはg[t,1]が保持され、アレイ部ALPのt×s行目1列目の回路MPにはg[t,s]が保持されるものとする。同様に、一例として、アレイ部ALPの1行目U列目の回路MPにはg[n−t+1,m−s+1]が保持され、アレイ部ALPのs行目U列目の回路MPにはg[n−t+1,m]が保持され、アレイ部ALPの(t−1)s+1行目U列目の回路MPにはg[n,m−s+1]が保持され、アレイ部ALPのt×s行目u列目の回路MPにはg[n,m]が保持されるものとする。
 アレイ部ALPの回路MPのそれぞれに、画像データが保持されているとき、配線XLS[1]乃至配線XLS[t×s]のそれぞれには、畳み込み処理に使われるフィルタfilに含まれるフィルタ値としてf[1,1]乃至f[t,s]が入力される。
 一例として、配線XLS[1]乃至配線XLS[s]のそれぞれには、畳み込み処理に使われるフィルタfilに含まれているf[1,1]乃至f[1,s]が入力される。また、配線XLS[(t−1)s+1]乃至配線XLS[t×s]のそれぞれには、f[t,1]乃至f[t,s]が入力される。つまり、配線XLS[1]乃至配線XLS[t×s]のそれぞれには、図68A及び図69の畳み込み処理で使われるフィルタfilに含まれているフィルタ値が入力される。
 上記実施の形態で説明したとおり、回路MPに第1データ(本説明における画像データ)が保持されているときに、配線XLSから第2データ(本説明におけるフィルタ値)が入力されることによって、第1データと第2データとの積和演算が行われる。また、当該積和演算の結果は、配線OLと配線OLBに流れる電流量の差分に応じて定められる。
 したがって、アレイ部ALPの1列目では、画像データの画素領域P[1,1]に含まれる画像データと、重みフィルタfil(f[1,1]乃至f[t,s])と、の積和演算が行われる。具体的には、アレイ部ALPの1列目に位置する回路MPから、配線OL[1]及び配線OLB[1]を介して、回路ACTF[1]に電流が流れる。なお、当該積和演算の結果をデータD[1,1]としたとき、データD[1,1]は、配線OL[1]及び配線OLB[1]のそれぞれに流れる電流量の差分に応じた値となる。なお、図73では、活性化関数が施されたデータD[1,1]をAF(D[1,1])として、便宜上、回路ACTF[1]からAF(D[1,1])を出力する様子を示している。
 また、同様に、アレイ部ALPのH列目では、画像データの画素領域Pに含まれる画像データと、重みフィルタfil(f[1,1]乃至f[t,s])と、の積和演算が行われる。なお、当該積和演算の結果をデータD[P]としたとき、データD[P]は、配線OL[H]及び配線OLB[H]のそれぞれに流れる電流量の差分に応じた値となる。また、アレイ部ALPのU列目では、画像データの画素領域P[n−t+1,m−s+1]に含まれる画像データと、重みフィルタfil(f[1,1]乃至f[t,s])と、の積和演算が行われる。なお、当該積和演算の結果をデータD[n−t+1,m−s+1]としたとき、データD[n−t+1,m−s+1]は、配線OL[U]及び配線OLB[U]のそれぞれに流れる電流量の差分に応じた値となる。また、図73では、活性化関数が施されたデータD[P]、及びデータD[n−t+1,m−s+1]を、それぞれAF(D[P])、及びAF(D[n−t+1,m−s+1])とし、便宜上、回路ACTF[h]からAF(D[P])を出力し、回路ACTF[u]からAF(D[n−t+1,m−s+1])を出力する様子を示している。
 また、データD[1,1]乃至データD[n−t+1,m−s+1]のそれぞれは、式(4.2)を用いて表すことができる。
 ところで、図73に示す演算回路110では、回路XLDが、重みフィルタfilに含まれているフィルタ値としてf[1,1]乃至f[t,s]のそれぞれを、配線XLS[1]乃至配線XLS[t×s]に出力する例を示しているが、回路XLDは、重みフィルタfilを別の重みフィルタに順次切り替えて、配線XLS[1]乃至配線XLS[t×s]に出力する構成としてもよい。
 例えば、図74に示す演算回路110を考える。図74の演算回路110では、図73の演算回路110において、アレイ部ALPにおけるH列目の回路MPのみを図示している。また、図74の演算回路110では、回路XLDが順次出力する重みフィルタfil乃至filに含まれているフィルタ値について図示している。
 回路XLDは、一例として、1回目の積和演算を行うとき、重みフィルタfilに含まれているフィルタ値として、f[1,1]乃至f[t,s]のそれぞれを配線XLS[1]乃至配線XLS[t×s]に出力する。これにより、演算回路110は、アレイ部ALPのH列目において、フィルタfilと画素領域Pに含まれている画像データとの積和演算の結果であるデータD[P]を生成する。また、同時に、アレイ部ALPの1列目において、重みフィルタfilとg[1,1]乃至g[t,s]との積和演算の結果であるデータD[1,1]を生成し、アレイ部ALPのU列目において、フィルタfilとg[n−t+1,m−s+1]乃至g[n,m]との積和演算の結果であるデータD[n−t+1,m−s+1]を生成する。
 続いて、2回目の積和演算を行うとき、回路XLDは、重みフィルタfil(図示しない)に含まれているフィルタ値として、f[1,1]乃至f[t,s]のそれぞれを配線XLS[1]乃至配線XLS[t×s]に出力する。これにより、演算回路110は、アレイ部ALPのH列目において、フィルタfilと画素領域Pに含まれている画像データとの積和演算の結果であるデータD[P]を生成する。同様に、演算回路110は、アレイ部ALPの1列目において、フィルタfilとg[1,1]乃至g[t,s]との積和演算の結果であるデータD[1,1]を生成し、演算回路110は、アレイ部ALPのU列目において、フィルタfilとg[n−t+1,m−s+1]乃至g[n,m]との積和演算の結果であるデータD[n−t+1,m−s+1]を生成する。
 つまり、積和演算を1回行うたびに、回路XLDから出力する重みフィルタを変更することによって、重みフィルタ毎に画素領域P[1,1]乃至画素領域P[n−s+1,m−t+1]のそれぞれとの積和演算との結果を出力することができる。ここで、重みフィルタfil乃至filを、回路XLDから順次出力することによって、画素領域P[1,1]乃至画素領域P[n−s+1,m−t+1]のそれぞれに対して、フィルタfil乃至フィルタfilの畳み込み処理を行うことができる。これにより、演算回路110は、アレイ部ALPの1列目において、画素領域P[1,1]と、フィルタfil乃至フィルタfilのそれぞれと、の積和演算の結果であるデータD[1,1]乃至データD[1,1]を生成する。同様に、演算回路110は、アレイ部ALPのH列目において、画素領域Pと、フィルタfil乃至フィルタfilのそれぞれと、の積和演算の結果であるデータD[P]乃至データD[P]を生成し、また、アレイ部ALPのU列目において、画素領域P[n−s+1,m−t+1]と、フィルタfil乃至フィルタfilと、の積和演算の結果であるデータD[n−s+1,m−t+1]乃至データD[n−s+1,m−t+1]を生成する。
 これにより、図69に示した処理と同様に、画像データに含まれているg[1,1]乃至g[n,m]に対する畳み込み処理を行うことができる。
<半導体装置の構成例>
 上記の動作例では、演算回路110を用いて畳み込み処理を行う動作について、説明したが、演算回路120、演算回路130、演算回路140、演算回路150、演算回路160、及び演算回路170を用いても、画像に対する畳み込み処理を行うことができる。
 また、上述した演算回路において、回路MPへの、重みフィルタのフィルタ値(又は画像データ)の保持は、実施の形態1で説明した、トランジスタM1のソース−ドレイン間に流れる電流量を設定する方法、実施の形態2で説明したSRAM、NOSRAMを用いた方法などとしてもよい。
 また、畳み込み処理、ニューラルネットワークなどの演算は、上記の実施の形態で説明した演算回路、及び当該演算回路に含まれる回路MP以外の回路を用いても行うことができる。ここでは、上記の実施の形態で扱った回路以外で、畳み込み処理、ニューラルネットワークなどの演算が可能な回路について説明する。
 図75Aは、上記実施の形態では説明していない回路MPの構成の一例である。図75Aに示す回路MPは、他の回路MPと同様に、第1データ(重み係数、又は重みフィルタのフィルタ値(又は画像データ))を保持することができる。また、図75Aに示す回路MPは、例えば、図2乃至図4、図12などの演算回路の回路MPに適用できる回路である。
 図75Aの回路MPにおいて、回路MCは、回路HCとトランジスタM3とトランジスタM4とを有する。また、回路HCは、負荷回路LCとトランジスタM8とを有する。
 図75Aの回路MPの回路MCにおいて、負荷回路LCの第1端子は、トランジスタM8の第2端子と、トランジスタM3の第1端子と、トランジスタM4の第1端子と、に電気的に接続され、負荷回路LCの第2端子は、配線VLに電気的に接続されている。また、トランジスタM8の第1端子は、配線ILに電気的に接続され、トランジスタM3の第2端子は、配線OLに電気的に接続され、トランジスタM4の第2端子は、配線OLBに電気的に接続されている。また、トランジスタM8のゲートは、配線WLに電気的に接続され、トランジスタM3のゲートは、配線X1Lに電気的に接続され、トランジスタM4のゲートは、配線X2Lに電気的に接続されている。
 図75Aに示す配線X1L、及び配線X2Lは、例えば、図3に示す演算回路120の配線X1L[i]、及び配線X2L[i]とすることができる。また、図75Aに示す配線WLは、例えば、図3に示す演算回路120の配線WLS[i]とすることができる。また、図75Aに示す配線IL、及び配線ILBは、例えば、図3に示す演算回路120の配線IL[j]、及び配線IL[j]とすることができる。また、図75Aに示す配線OL、及び配線OLBは、例えば、図3に示す演算回路120の配線OL[j]、及び配線OLB[j]とすることができる。
 なお、図75Aの回路MPの回路MCrは、回路MCとほぼ同様の回路構成となっている。そのため、回路MCrの有する回路素子には、回路MCの有する回路素子と区別をするため、符号に「r」を付している。また、トランジスタM8rの第1端子は、配線ILBに電気的に接続され、トランジスタM3rの第2端子は、配線OLBに電気的に接続され、トランジスタM4rの第2端子は、配線OLに電気的に接続されている。
 また、トランジスタM3、トランジスタM4、トランジスタM8、トランジスタM3r、トランジスタM4r、及びトランジスタM8rのそれぞれの構成については、別の個所に記載のトランジスタM3、トランジスタM4、トランジスタM8、トランジスタM3r、トランジスタM4r、及びトランジスタM8rの説明の記載を参酌する。
 ここでの配線VL、配線VLrは、定電圧VCNSを供給する配線として機能する。VCNSとしては、例えば、接地電位(GND)、又は負荷回路LCと負荷回路LCrを正常に動作させる範囲の低電位とすることができる。
 負荷回路LC、負荷回路LCrは、一例としては、第1端子と第2端子との間の抵抗値を変化することができる回路である。負荷回路LC、負荷回路LCrの第1端子と第2端子との間の抵抗値を変化することにより、負荷回路LC、負荷回路LCrの第1端子と第2端子との間に流れる電流量を変化させることができる。
 ここで、図75Aの回路MPにおいて、負荷回路LC、負荷回路LCrの第1端子と第2端子との間の抵抗値を変更する方法について説明する。初めに、配線X1L、配線X2Lのそれぞれに低レベル電位を入力してトランジスタM3、トランジスタM3r、トランジスタM4、トランジスタM4rをオフ状態にする。次に、配線WLに高レベル電位を入力してトランジスタM8、トランジスタM8rをオン状態にし、配線IL(配線ILB)の電位を変化させることで、負荷回路LC(負荷回路LCr)の第1端子と第2端子との間の抵抗値を設定する。例えば、配線IL(配線ILB)に、負荷回路LC(負荷回路LCr)の第1端子と第2端子との間の抵抗値をリセットするための電位を入力し、その後に、配線IL(配線ILB)に、負荷回路LC(負荷回路LCr)の第1端子と第2端子との間の抵抗値を所望の値となるような電位を入力する方法などがある。負荷回路LC(負荷回路LCr)の第1端子と第2端子との間の抵抗値を所望の値に設定したあとは、配線WLに低レベル電位を入力してトランジスタM8、トランジスタM8rをオフ状態にすればよい。
 負荷回路LC、及び負荷回路LCrとしては、例えば、図76Aに図示するように、ReRAM(Resistive Random Access Memory)などに含まれる抵抗変化素子VRを用いることができる。また、負荷回路LC、及び負荷回路LCrとしては、例えば、図76Bに図示するように、MRAM(Magnetoresistive Random Access Memory)などに含まれるMTJ(Magnetic Tunnel Junction)素子MRを含む負荷回路LCとすることができる。また、負荷回路LC、及び負荷回路LCrとしては、例えば、図76Cに図示するように、相変化メモリ(PCM)などに用いられる、相変化材料が含まれる抵抗素子(本明細書等では、便宜上、相変化メモリPCMと呼称する。)を用いることができる。
 また、負荷回路LC、及び負荷回路LCrとしては、例えば、図76Dに図示するように、FeRAM(Ferroelectric Random Access Memory)などに用いられる一対の電極によって挟まれた強誘電体キャパシタFECを用いることができる。図76Dでは、強誘電体キャパシタFECの第1端子は、配線VLに電気的に接続され、強誘電体キャパシタFECの第2端子は、トランジスタM8の第2端子と、トランジスタM3の第1端子(図76Dには図示せず、図75Aに図示されている。)と、トランジスタM4の第1端子(図76Dには図示せず、図75Aに図示されている。)に電気的に接続されている。
 なお、この場合、配線VLは、定電圧を供給する配線ではなく、強誘電体キャパシタの強誘電体膜を分極させる、又は強誘電体膜の分極を反転させるためのプレート線として機能する。
 強誘電体キャパシタFECに第1データを書き込む場合、一例として、トランジスタM8をオン状態にして、配線IL、及び配線VLに電圧を与えて、強誘電体キャパシタFECに含まれる強誘電体膜を分極させることによって書き込みが行われる。また、強誘電体キャパシタFECから第1データを読み出す場合、第2データに応じた電圧を配線X1L及び配線X2Lに入力して、トランジスタM3、及びトランジスタM4をオン状態、又はオフ状態にした後に、配線VLにパルス電圧を与えることによって読み出しが行われる。強誘電体キャパシタFECは、配線VLからのパルス電圧によって分極反転が起きたかどうかで、第1データが“0”か“1”かを判定する。強誘電体キャパシタFECは、強誘電体膜で分極反転が起きた時、トランジスタM3を介して配線OLに、又は、トランジスタM4を介して配線OLBに電流が流れる。配線OL、及び配線OLBに流れる電流の量は、例えば、積分回路(または、電流電荷(IQ)変換回路)の構成を有する回路ACTFを用いることによって取得することができる。
 以上より、図75Aの回路MPを用いることによって、上記実施の形態で説明した演算回路に含まれる回路MPと同様に、第1データと第2データとの積の結果を、配線OL及び配線OLBに電流量として出力することができる。また、上記実施の形態で説明した演算回路と同様に、複数の回路MPを配線OL、及び配線OLBに沿って電気的に接続することによって、複数の回路MPから出力された電流の総和が配線OL、及び配線OLBに流れる。配線OL、及び配線OLBに流れる電流量の差を取ることで、回路MPに保持された第1データと、回路MPに入力された第2データと、の積和の値を算出することができる。
 また、本発明の一態様に係る、負荷回路LC、及び負荷回路LCrを用いた回路MPは、図75Aに示した構成に限定されず、状況に応じて、図75Aの回路MPの構成を変更することができる。図75Aの回路MPの変更例としては、図75Aの回路MPに配線IL、配線ILBと、トランジスタM8と、トランジスタM8rと、を設けない回路構成とすることができる。図75Bは、当該回路構成を示した回路図であり、例えば、図7、図11、図14などに示した演算回路の回路MPに適用することができる。
 なお、本実施の形態は、本明細書で示す他の実施の形態と適宜組み合わせることができる。
(実施の形態5)
 本実施の形態では、上記実施の形態で説明した半導体装置の構成例、及び上記の実施の形態で説明した半導体装置に適用できるトランジスタの構成例について説明する。
<半導体装置の構成例>
 図77は、上記実施の形態で説明した半導体装置の一例であって、当該半導体装置は、トランジスタ300と、トランジスタ500と、容量素子600と、を有する。また、図78Aにはトランジスタ500のチャネル長方向の断面図、図78Bにはトランジスタ500のチャネル幅方向の断面図を示しており、図78Cにはトランジスタ300のチャネル幅方向の断面図を示している。
 トランジスタ500は、チャネル形成領域に金属酸化物を有するトランジスタ(OSトランジスタ)である。トランジスタ500は、オフ電流が小さく、また、高温でも電界効果移動度が変化しにくい特性を有する。トランジスタ500を、半導体装置、例えば、上記実施の形態で説明した演算回路110、演算回路120、演算回路130、演算回路140、演算回路150、演算回路160、演算回路170などに含まれるトランジスタに適用することにより、高温でも動作能力が低下しにくい半導体装置を実現できる。特に、オフ電流が小さい特性を利用して、トランジスタ500を、例えば、トランジスタM2、トランジスタM7、トランジスタM8、トランジスタM9などに適用することにより、回路HC、回路HCSなどに書き込んだ電位を長時間保持することができる。
 トランジスタ500は、例えば、トランジスタ300の上方に設けられ、容量素子600は、例えば、トランジスタ300、及びトランジスタ500の上方に設けられている。なお、容量素子600は、上記実施の形態で説明した演算回路110、演算回路120、演算回路130、演算回路140、演算回路150、演算回路160、演算回路170などに含まれる容量などとすることができる。なお、回路構成によっては、図77に示す容量素子600は必ずしも設けなくてもよい。
 トランジスタ300は、基板310上に設けられ、素子分離層312、導電体316、絶縁体315、基板310の一部からなる半導体領域313、ソース領域又はドレイン領域として機能する低抵抗領域314a、及び低抵抗領域314bを有する。なお、トランジスタ300は、例えば、上記実施の形態で説明した演算回路110、演算回路120、演算回路130、演算回路140、演算回路150、演算回路160、演算回路170などに含まれるトランジスタなどに適用することができる。具体的には、例えば、図5A乃至図5E、図6A乃至図6Eに示した回路ACTFが有する比較器CMPa、比較器CMPb、オペアンプOPa、オペアンプOPbなどに含まれているトランジスタとすることができる。なお、図77では、トランジスタ300のゲートが、容量素子600の一対の電極を介して、トランジスタ500のソース又はドレインの一方に電気的に接続されている構成を示しているが、演算回路110、演算回路120、演算回路130、演算回路140、演算回路150、演算回路160、演算回路170などの構成によっては、トランジスタ300のソース又はドレインの一方が、容量素子600の一対の電極を介して、トランジスタ500のソース又はドレインの一方に電気的に接続されている構成としてもよく、また、トランジスタ300のソース又はドレインの一方が、容量素子600の一対の電極を介して、トランジスタ500のゲートに電気的に接続されている構成としてもよく、また、トランジスタ300の各端子は、トランジスタ500の各端子、容量素子600の各端子のそれぞれに電気的に接続されない構成としてもよい。
 また、基板310としては、半導体基板(例えば単結晶基板又はシリコン基板)を用いることが好ましい。
 トランジスタ300は、図78Cに示すように、半導体領域313の上面及びチャネル幅方向の側面が絶縁体315を介して導電体316に覆われている。このように、トランジスタ300をFin型とすることにより、実効上のチャネル幅が増大することによりトランジスタ300のオン特性を向上させることができる。また、ゲート電極の電界の寄与を高くすることができるため、トランジスタ300のオフ特性を向上させることができる。
 なお、トランジスタ300は、pチャネル型、あるいはnチャネル型のいずれでもよい。
 半導体領域313のチャネルが形成される領域、その近傍の領域、ソース領域、又はドレイン領域となる低抵抗領域314a、及び低抵抗領域314bなどにおいて、シリコン系半導体などの半導体を含むことが好ましく、単結晶シリコンを含むことが好ましい。又は、Ge(ゲルマニウム)、SiGe(シリコンゲルマニウム)、GaAs(ガリウムヒ素)、GaAlAs(ガリウムアルミニウムヒ素)、GaN(窒化ガリウム)などを有する材料で形成してもよい。結晶格子に応力を与え、格子間隔を変化させることで有効質量を制御したシリコンを用いた構成としてもよい。又はGaAsとGaAlAs等を用いることで、トランジスタ300をHEMT(High Electron Mobility Transistor)としてもよい。
 低抵抗領域314a、及び低抵抗領域314bは、半導体領域313に適用される半導体材料に加え、ヒ素、リンなどのn型の導電性を付与する元素、又はホウ素などのp型の導電性を付与する元素を含む。
 ゲート電極として機能する導電体316は、ヒ素、リンなどのn型の導電性を付与する元素、もしくはホウ素などのp型の導電性を付与する元素を含むシリコンなどの半導体材料、金属材料、合金材料、又は金属酸化物材料などの導電性材料を用いることができる。
 なお、導電体の材料によって仕事関数が決まるため、当該導電体の材料を選択することで、トランジスタのしきい値電圧を調整することができる。具体的には、導電体に窒化チタン、窒化タンタルなどの材料を用いることが好ましい。さらに導電性と埋め込み性を両立するために導電体にタングステン、アルミニウムなどの金属材料を積層として用いることが好ましく、特にタングステンを用いることが耐熱性の点で好ましい。
 素子分離層312は、基板310上に形成されている複数のトランジスタ同士を分離するために設けられている。素子分離層は、例えば、LOCOS(Local Oxidation of Silicon)法、STI(Shallow Trench Isolation)法、メサ分離法などを用いて形成することができる。
 なお、図77に示すトランジスタ300は一例であり、その構造に限定されず、回路構成、駆動方法などに応じて適切なトランジスタを用いればよい。例えば、トランジスタ300は、図78Cに示すFIN型ではなく、プレーナ型の構造としてもよい。また、例えば、半導体装置をOSトランジスタのみの単極性回路とする場合、図79に示すとおり、トランジスタ300の構成を、酸化物半導体を用いているトランジスタ500と同様の構成にすればよい。なお、トランジスタ500の詳細については後述する。
 なお、図79において、トランジスタ300は、基板310A上に設けられているが、この場合、基板310Aとしては、図77の半導体装置の基板310と同様に半導体基板を用いてもよい。また、基板310Aとしては、例えば、SOI基板、ガラス基板、石英基板、プラスチック基板、サファイアガラス基板、金属基板、ステンレス・スチル基板、ステンレス・スチル・ホイルを有する基板、タングステン基板、タングステン・ホイルを有する基板、可撓性基板、貼り合わせフィルム、繊維状の材料を含む紙、又は基材フィルムなどを用いることができる。ガラス基板の一例としては、バリウムホウケイ酸ガラス、アルミノホウケイ酸ガラス、又はソーダライムガラスなどがある。可撓性基板、貼り合わせフィルム、基材フィルムなどの一例としては、以下のものがあげられる。例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリエーテルサルフォン(PES)、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)に代表されるプラスチックがある。または、一例としては、アクリル等の合成樹脂などがある。または、一例としては、ポリプロピレン、ポリエステル、ポリフッ化ビニル、又はポ塩化ビニルなどがある。または、一例としては、ポリアミド、ポリイミド、アラミド、エポキシ樹脂、無機蒸着フィルム、又は紙類などがある。
 図77に示すトランジスタ300には、絶縁体320、絶縁体322、絶縁体324、絶縁体326が、基板310側から順に積層して設けられている。
 絶縁体320、絶縁体322、絶縁体324、及び絶縁体326として、例えば、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、酸化アルミニウム、酸化窒化アルミニウム、窒化酸化アルミニウム、窒化アルミニウムなどを用いればよい。
 なお、本明細書中において、酸化窒化シリコンとは、その組成として窒素よりも酸素の含有量が多い材料を指し、窒化酸化シリコンとは、その組成として、酸素よりも窒素の含有量が多い材料を示す。また、本明細書中において、酸化窒化アルミニウムとは、その組成として窒素よりも酸素の含有量が多い材料を指し、窒化酸化アルミニウムとは、その組成として、酸素よりも窒素の含有量が多い材料を示す。
 絶縁体322は、絶縁体320及び絶縁体322に覆われているトランジスタ300などによって生じる段差を平坦化する平坦化膜としての機能を有していてもよい。例えば、絶縁体322の上面は、平坦性を高めるために化学機械研磨(CMP:Chemical Mechanical Polishing)法等を用いた平坦化処理により平坦化されていてもよい。
 また、絶縁体324には、基板310、又はトランジスタ300などから、トランジスタ500が設けられる領域に、水素、不純物などが拡散しないようなバリア性を有する膜を用いることが好ましい。
 水素に対するバリア性を有する膜の一例として、例えば、CVD法で形成した窒化シリコンを用いることができる。ここで、トランジスタ500等の酸化物半導体を有する半導体素子に、水素が拡散することで、当該半導体素子の特性が低下する場合がある。したがって、トランジスタ500と、トランジスタ300との間に、水素の拡散を抑制する膜を用いることが好ましい。水素の拡散を抑制する膜とは、具体的には、水素の脱離量が少ない膜とする。
 水素の脱離量は、例えば、昇温脱離ガス分析法(TDS)などを用いて分析することができる。例えば、絶縁体324の水素の脱離量は、TDS分析において、膜の表面温度が50℃から500℃の範囲において、水素原子に換算した脱離量が、絶縁体324の面積当たりに換算して、10×1015atoms/cm以下、好ましくは5×1015atoms/cm以下であればよい。
 なお、絶縁体326は、絶縁体324よりも誘電率が低いことが好ましい。例えば、絶縁体326の比誘電率は4未満が好ましく、3未満がより好ましい。また例えば、絶縁体326の比誘電率は、絶縁体324の比誘電率の0.7倍以下が好ましく、0.6倍以下がより好ましい。誘電率が低い材料を層間膜とすることで、配線間に生じる寄生容量を低減することができる。
 また、絶縁体320、絶縁体322、絶縁体324、及び絶縁体326には容量素子600、又はトランジスタ500と接続する導電体328、及び導電体330等が埋め込まれている。なお、導電体328、及び導電体330は、プラグ又は配線としての機能を有する。また、プラグ又は配線としての機能を有する導電体は、複数の構造をまとめて同一の符号を付与する場合がある。また、本明細書等において、配線と、配線と接続するプラグとが一体物であってもよい。すなわち、導電体の一部が配線として機能する場合、及び導電体の一部がプラグとして機能する場合もある。
 各プラグ、及び配線(導電体328、導電体330等)の材料としては、金属材料、合金材料、金属窒化物材料、又は金属酸化物材料などの導電性材料を、単層又は積層して用いることができる。耐熱性と導電性を両立するタングステン、モリブデンなどの高融点材料を用いることが好ましく、タングステンを用いることが好ましい。又は、アルミニウム、銅などの低抵抗導電性材料で形成することが好ましい。低抵抗導電性材料を用いることで配線抵抗を低くすることができる。
 絶縁体326、及び導電体330上に、配線層を設けてもよい。例えば、図77において、絶縁体350、絶縁体352、及び絶縁体354が、絶縁体326、及び導電体330の上方に、順に積層して設けられている。また、絶縁体350、絶縁体352、及び絶縁体354には、導電体356が形成されている。導電体356は、トランジスタ300と接続するプラグ、又は配線としての機能を有する。なお導電体356は、導電体328、及び導電体330と同様の材料を用いて設けることができる。
 なお、例えば、絶縁体350は、絶縁体324と同様に、水素、水などの不純物に対するバリア性を有する絶縁体を用いることが好ましい。また、絶縁体352、及び絶縁体354としては、絶縁体326と同様に、配線間に生じる寄生容量を低減するために、比誘電率が比較的低い絶縁体を用いることが好ましい。また、導電体356は、水素、水などの不純物に対するバリア性を有する導電体を含むことが好ましい。特に、水素に対するバリア性を有する絶縁体350が有する開口部に、水素に対するバリア性を有する導電体が形成される。当該構成により、トランジスタ300とトランジスタ500とは、バリア層により分離することができ、トランジスタ300からトランジスタ500への水素の拡散を抑制することができる。
 なお、水素に対するバリア性を有する導電体としては、例えば、窒化タンタル等を用いるとよい。また、窒化タンタルと導電性が高いタングステンを積層することで、配線としての導電性を保持したまま、トランジスタ300からの水素の拡散を抑制することができる。この場合、水素に対するバリア性を有する窒化タンタル層が、水素に対するバリア性を有する絶縁体350と接する構造であることが好ましい。
 また、絶縁体354、及び導電体356上には、絶縁体360と、絶縁体362と、絶縁体364が順に積層されている。
 絶縁体360は、絶縁体324などと同様に、水、水素などの不純物に対するバリア性を有する絶縁体を用いることが好ましい。そのため、絶縁体360としては、例えば、絶縁体324などに適用できる材料を用いることができる。
 絶縁体362、及び絶縁体364は、層間絶縁膜、及び平坦化膜としての機能を有する。また、絶縁体362、及び絶縁体364は、絶縁体324と同様に、水、水素などの不純物に対するバリア性を有する絶縁体を用いることが好ましい。このため、絶縁体362、及び/又は絶縁体364としては、絶縁体324に適用できる材料を用いることができる。
 また、絶縁体360、絶縁体362、及び絶縁体364のそれぞれの、一部の導電体356と重畳する領域に開口部が形成されて、当該開口部を埋めるように導電体366が設けられている。また、導電体366は、絶縁体362上にも形成されている。導電体366は、一例として、トランジスタ300と接続するプラグ、又は配線としての機能を有する。なお、導電体366は、導電体328、及び導電体330と同様の材料を用いて設けることができる。
 絶縁体364、及び導電体366上には絶縁体510、絶縁体512、絶縁体514、及び絶縁体516が、順に積層して設けられている。絶縁体510、絶縁体512、絶縁体514、及び絶縁体516のいずれかは、酸素、水素などに対してバリア性のある物質を用いることが好ましい。
 例えば、絶縁体510、及び絶縁体514には、例えば、基板310、又はトランジスタ300を設ける領域などから、トランジスタ500が設けられている領域に、水素、不純物などが拡散しないようなバリア性を有する膜を用いることが好ましい。したがって、絶縁体324と同様の材料を用いることができる。
 水素に対するバリア性を有する膜の一例として、CVD法で形成した窒化シリコンを用いることができる。ここで、トランジスタ500等の酸化物半導体を有する半導体素子に、水素が拡散することで、当該半導体素子の特性が低下する場合がある。したがって、トランジスタ500と、トランジスタ300との間に、水素の拡散を抑制する膜を用いることが好ましい。水素の拡散を抑制する膜とは、具体的には、水素の脱離量が少ない膜とする。
 また、水素に対するバリア性を有する膜として、例えば、絶縁体510、及び絶縁体514には、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、酸化タンタルなどの金属酸化物を用いることが好ましい。
 特に、酸化アルミニウムは、酸素、及びトランジスタの電気特性の変動要因となる水素、水分などの不純物、の両方に対して膜を透過させない遮断効果が高い。したがって、酸化アルミニウムは、トランジスタの作製工程中及び作製後において、水素、水分などの不純物のトランジスタ500への混入を防止することができる。また、トランジスタ500を構成する酸化物からの酸素の放出を抑制することができる。そのため、トランジスタ500に対する保護膜として用いることに適している。
 また、例えば、絶縁体512、及び絶縁体516には、絶縁体320と同様の材料を用いることができる。また、これらの絶縁体に、比較的誘電率が低い材料を適用することで、配線間に生じる寄生容量を低減することができる。例えば、絶縁体512、及び絶縁体516として、酸化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜などを用いることができる。
 また、絶縁体510、絶縁体512、絶縁体514、及び絶縁体516には、導電体518、及びトランジスタ500を構成する導電体(例えば、図78A、及び図78Bに示す導電体503)等が埋め込まれている。なお、導電体518は、容量素子600、又はトランジスタ300と接続するプラグ、又は配線としての機能を有する。導電体518は、導電体328、及び導電体330と同様の材料を用いて設けることができる。
 特に、絶縁体510、及び絶縁体514と接する領域の導電体518は、酸素、水素、及び水に対するバリア性を有する導電体であることが好ましい。当該構成により、トランジスタ300とトランジスタ500とは、酸素、水素、及び水に対するバリア性を有する層で、分離することができ、トランジスタ300からトランジスタ500への水素の拡散を抑制することができる。
 絶縁体516の上方には、トランジスタ500が設けられている。
 図78A、及び図78Bに示すように、トランジスタ500は、絶縁体514上の絶縁体516と、絶縁体514または絶縁体516に埋め込まれるように配置された導電体503(導電体503a、および導電体503b)と、絶縁体516上、および導電体503上の絶縁体522と、絶縁体522上の絶縁体524と、絶縁体524上の酸化物530aと、酸化物530a上の酸化物530bと、酸化物530b上の導電体542aと、導電体542a上の絶縁体571aと、酸化物530b上の導電体542bと、導電体542b上の絶縁体571bと、酸化物530b上の絶縁体552と、絶縁体552上の絶縁体550と、絶縁体550上の絶縁体554と、絶縁体554上に位置し、酸化物530bの一部と重なる導電体560(導電体560a、および導電体560b)と、絶縁体522、絶縁体524、酸化物530a、酸化物530b、導電体542a、導電体542b、絶縁体571a、および絶縁体571b上に配置される絶縁体544と、を有する。ここで、図78A、及び図78Bに示すように、絶縁体552は、絶縁体522の上面、絶縁体524の側面、酸化物530aの側面、酸化物530bの側面および上面、導電体542の側面、絶縁体571の側面、絶縁体544の側面、絶縁体580の側面、および絶縁体550の下面と接する。また、導電体560の上面は、絶縁体554の上部、絶縁体550の上部、絶縁体552の上部、および絶縁体580の上面と高さが概略一致するように配置される。また、絶縁体574は、導電体560の上面、絶縁体552の上部、絶縁体550の上部、絶縁体554の上部、および絶縁体580の上面の少なくともいずれかの一部と接する。
 絶縁体580、および絶縁体544には、酸化物530bに達する開口が設けられる。当該開口内に、絶縁体552、絶縁体550、絶縁体554、および導電体560が配置されている。また、トランジスタ500のチャネル長方向において、絶縁体571a、および導電体542aと、絶縁体571b、および導電体542bと、の間に導電体560、絶縁体552、絶縁体550、および絶縁体554が設けられている。絶縁体554は、導電体560の側面と接する領域と、導電体560の底面と接する領域と、を有する。
 酸化物530は、絶縁体524の上に配置された酸化物530aと、酸化物530aの上に配置された酸化物530bと、を有することが好ましい。酸化物530b下に酸化物530aを有することで、酸化物530aよりも下方に形成された構造物から、酸化物530bへの不純物の拡散を抑制することができる。
 なお、トランジスタ500では、酸化物530が、酸化物530a、および酸化物530bの2層を積層する構成について示しているが、本発明はこれに限られるものではない。例えば、酸化物530bの単層、または3層以上の積層構造を設ける構成にしてもよいし、酸化物530a、および酸化物530bのそれぞれが積層構造を有していてもよい。
 導電体560は、第1のゲート(トップゲートともいう。)電極として機能し、導電体503は、第2のゲート(バックゲートともいう。)電極として機能する。また、絶縁体552、絶縁体550、及び絶縁体554は、第1のゲート絶縁体として機能し、絶縁体522、および絶縁体524は、第2のゲート絶縁体として機能する。なお、ゲート絶縁体は、ゲート絶縁層、またはゲート絶縁膜と呼ぶ場合もある。また、導電体542aは、ソースまたはドレインの一方として機能し、導電体542bは、ソースまたはドレインの他方として機能する。また、酸化物530の導電体560と重畳する領域の少なくとも一部はチャネル形成領域として機能する。
 ここで、図78Aにおけるチャネル形成領域近傍の拡大図を図80Aに示す。酸化物530bに酸素が供給されることで、導電体542aと導電体542bの間の領域にチャネル形成領域が形成される。よって、図80Aに示すように、酸化物530bは、トランジスタ500のチャネル形成領域として機能する領域530bcと、領域530bcを挟むように設けられ、ソース領域またはドレイン領域として機能する領域530baおよび領域530bbと、を有する。領域530bcは、少なくとも一部が導電体560と重畳している。言い換えると、領域530bcは、導電体542aと導電体542bの間の領域に設けられている。領域530baは、導電体542aに重畳して設けられており、領域530bbは、導電体542bに重畳して設けられている。
 チャネル形成領域として機能する領域530bcは、領域530baおよび領域530bbよりも、酸素欠損(本明細書等では、金属酸化物中の酸素欠損をV(oxygen vacancy)と呼称する場合がある。)が少なく、または不純物濃度が低いため、キャリア濃度が低い高抵抗領域である。よって領域530bcは、i型(真性)または実質的にi型であるということができる。
 金属酸化物を用いたトランジスタは、金属酸化物中のチャネルが形成される領域に不純物または酸素欠損(V)が存在すると、電気特性が変動しやすく、信頼性が悪くなる場合がある。また、酸素欠損(V)近傍の水素が、酸素欠損(V)に水素が入った欠陥(以下、VHと呼称する場合がある。)を形成し、キャリアとなる電子を生成する場合がある。このため、酸化物半導体中のチャネルが形成される領域に酸素欠損が含まれていると、トランジスタはノーマリーオン特性(ゲート電極に電圧を印加しなくてもチャネルが存在し、トランジスタに電流が流れる特性)となりやすい。したがって、酸化物半導体中のチャネルが形成される領域では、不純物、酸素欠損、およびVHはできる限り低減されていることが好ましい。
 また、ソース領域またはドレイン領域として機能する領域530baおよび領域530bbは、酸素欠損(V)が多く、または水素、窒素、金属元素などの不純物濃度が高い、ことでキャリア濃度が増加し、低抵抗化した領域である。すなわち、領域530baおよび領域530bbは、領域530bcと比較して、キャリア濃度が高く、低抵抗なn型の領域である。
 ここで、チャネル形成領域として機能する領域530bcのキャリア濃度は、1×1018cm−3以下であることが好ましく、1×1017cm−3未満であることがより好ましく、1×1016cm−3未満であることがさらに好ましく、1×1013cm−3未満であることがさらに好ましく、1×1012cm−3未満であることがさらに好ましい。なお、チャネル形成領域として機能する領域530bcのキャリア濃度の下限値については、特に限定は無いが、例えば、1×10−9cm−3とすることができる。
 また、領域530bcと領域530baまたは領域530bbとの間に、キャリア濃度が、領域530baおよび領域530bbのキャリア濃度と同等、またはそれよりも低く、領域530bcのキャリア濃度と同等、またはそれよりも高い、領域が形成されていてもよい。つまり、当該領域は、領域530bcと領域530baまたは領域530bbとの接合領域として機能する。当該接合領域は、水素濃度が、領域530baおよび領域530bbの水素濃度と同等、またはそれよりも低く、領域530bcの水素濃度と同等、またはそれよりも高くなる場合がある。また、当該接合領域は、酸素欠損が、領域530baおよび領域530bbの酸素欠損と同等、またはそれよりも少なく、領域530bcの酸素欠損と同等、またはそれよりも多くなる場合がある。
 なお、図80Aでは、領域530ba、領域530bb、および領域530bcが酸化物530bに形成される例について示しているが、本発明はこれに限られるものではない。例えば、上記の各領域が酸化物530bだけでなく、酸化物530aまで形成されてもよい。
 また、酸化物530において、各領域の境界を明確に検出することが困難な場合がある。各領域内で検出される金属元素、ならびに水素、および窒素などの不純物元素の濃度は、領域ごとの段階的な変化に限らず、各領域内でも連続的に変化していてもよい。つまり、チャネル形成領域に近い領域であるほど、金属元素、ならびに水素、および窒素などの不純物元素の濃度が減少していればよい。
 トランジスタ500は、チャネル形成領域を含む酸化物530(酸化物530a、および酸化物530b)に、半導体として機能する金属酸化物(以下、酸化物半導体ともいう。)を用いることが好ましい。
 また、半導体として機能する金属酸化物は、バンドギャップが2eV以上、好ましくは2.5eV以上のものを用いることが好ましい。このように、バンドギャップの大きい金属酸化物を用いることで、トランジスタのオフ電流を低減することができる。
 酸化物530として、例えば、インジウム、元素Mおよび亜鉛を有するIn−M−Zn酸化物(元素Mは、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、錫、銅、バナジウム、ベリリウム、ホウ素、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、またはマグネシウムなどから選ばれた一種、または複数種)等の金属酸化物を用いるとよい。また、酸化物530として、In−Ga酸化物、In−Zn酸化物、インジウム酸化物を用いてもよい。
 ここで、酸化物530bに用いる金属酸化物における、元素Mに対するInの原子数比が、酸化物530aに用いる金属酸化物における、元素Mに対するInの原子数比より大きいことが好ましい。
 このように、酸化物530bの下に酸化物530aを配置することで、酸化物530aよりも下方に形成された構造物からの、酸化物530bに対する、不純物および酸素の拡散を抑制することができる。
 また、酸化物530aおよび酸化物530bが、酸素以外に共通の元素を有する(主成分とする)ことで、酸化物530aと酸化物530bの界面における欠陥準位密度を低くすることができる。酸化物530aと酸化物530bとの界面における欠陥準位密度を低くすることができるため、界面散乱によるキャリア伝導への影響が小さく、高いオン電流が得られる。
 酸化物530bは、結晶性を有することが好ましい。特に、酸化物530bとして、CAAC−OS(c−axis aligned crystalline oxide semiconductor)を用いることが好ましい。
 CAAC−OSは、結晶性の高い、緻密な構造を有しており、不純物、欠陥(例えば、酸素欠損(V)など)が少ない金属酸化物である。特に、金属酸化物の形成後に、金属酸化物が多結晶化しない程度の温度(例えば、400℃以上600℃以下)で加熱処理することで、CAAC−OSをより結晶性の高い、緻密な構造にすることができる。このようにして、CAAC−OSの密度をより高めることで、当該CAAC−OS中の不純物または酸素の拡散をより低減することができる。
 一方、CAAC−OSは、明確な結晶粒界を確認することが難しいため、結晶粒界に起因する電子移動度の低下が起こりにくいといえる。したがって、CAAC−OSを有する金属酸化物は、物理的性質が安定する。そのため、CAAC−OSを有する金属酸化物は熱に強く、信頼性が高い。
 酸化物半導体を用いたトランジスタは、酸化物半導体中のチャネルが形成される領域に不純物および酸素欠損が存在すると、電気特性が変動しやすく、信頼性が悪くなる場合がある。また、酸素欠損近傍の水素が、酸素欠損に水素が入った欠陥(VH)を形成し、キャリアとなる電子を生成する場合がある。このため、酸化物半導体中のチャネルが形成される領域に酸素欠損が含まれていると、トランジスタはノーマリーオン特性(ゲート電極に電圧を印加しなくてもチャネルが存在し、トランジスタに電流が流れる特性)となりやすい。したがって、酸化物半導体中のチャネルが形成される領域では、不純物、酸素欠損、およびVHはできる限り低減されていることが好ましい。言い換えると、酸化物半導体中のチャネルが形成される領域は、キャリア濃度が低減され、i型(真性化)または実質的にi型であることが好ましい。
 これに対して、酸化物半導体の近傍に、加熱により脱離する酸素(以下、過剰酸素と呼ぶ場合がある。)を含む絶縁体を設け、熱処理を行うことで、当該絶縁体から酸化物半導体に酸素を供給し、酸素欠損、およびVHを低減することができる。ただし、ソース領域またはドレイン領域に過剰な量の酸素が供給されると、トランジスタ500のオン電流の低下、または電界効果移動度の低下を引き起こすおそれがある。さらに、ソース領域またはドレイン領域に供給される酸素が基板面内でばらつくことで、トランジスタを有する半導体装置の特性にばらつきが出ることになる。
 よって、酸化物半導体中において、チャネル形成領域として機能する領域530bcは、キャリア濃度が低減され、i型または実質的にi型であることが好ましいが、ソース領域またはドレイン領域として機能する領域530baおよび領域530bbは、キャリア濃度が高く、n型であることが好ましい。つまり、酸化物半導体の領域530bcの酸素欠損、およびVHを低減し、領域530baおよび領域530bbには過剰な量の酸素が供給されないようにすることが好ましい。
 そこで、本実施の形態では、酸化物530b上に導電体542aおよび導電体542bを設けた状態で、酸素を含む雰囲気でマイクロ波処理を行い、領域530bcの酸素欠損、およびVHの低減を図る。ここで、マイクロ波処理とは、例えばマイクロ波を用いて高密度プラズマを発生させる電源を有する装置を用いた処理のことを指す。
 酸素を含む雰囲気でマイクロ波処理を行うことで、マイクロ波、またはRF等の高周波を用いて酸素ガスをプラズマ化し、当該酸素プラズマを作用させることができる。このとき、マイクロ波、またはRF等の高周波を領域530bcに照射することもできる。プラズマ、マイクロ波などの作用により、領域530bcのVHを分断し、水素Hを領域530bcから除去し、酸素欠損Vを酸素で補填することができる。つまり、領域530bcにおいて、「VH→H+V」という反応が起きて、領域530bcの水素濃度を低減することができる。よって、領域530bc中の酸素欠損、およびVHを低減し、キャリア濃度を低下させることができる。
 また、酸素を含む雰囲気でマイクロ波処理を行う際、マイクロ波、またはRF等の高周波、酸素プラズマなどの作用は、導電体542aおよび導電体542bに遮蔽され、領域530baおよび領域530bbには及ばない。さらに、酸素プラズマの作用は、酸化物530b、および導電体542を覆って設けられている、絶縁体571、および絶縁体580によって、低減することができる。これにより、マイクロ波処理の際に、領域530baおよび領域530bbで、VHの低減、および過剰な量の酸素供給が発生しないので、キャリア濃度の低下を防ぐことができる。
 また、絶縁体552となる絶縁膜の成膜後、または絶縁体550となる絶縁膜の成膜後に、酸素を含む雰囲気でマイクロ波処理を行うことが好ましい。このように絶縁体552、または絶縁体550を介して、酸素を含む雰囲気でマイクロ波処理を行うことで、効率よく領域530bc中へ酸素を注入することができる。また、絶縁体552を導電体542の側面、および領域530bcの表面と接するように配置することで、領域530bcへ必要量以上の酸素の注入を抑制し、導電体542の側面の酸化を抑制することができる。また、絶縁体550となる絶縁膜の成膜時に導電体542の側面の酸化を抑制することができる。
 また、領域530bc中に注入される酸素は、酸素原子、酸素分子、酸素ラジカル(Oラジカルともいう、不対電子をもつ原子または分子、あるいはイオン)など様々な形態がある。なお、領域530bc中に注入される酸素は、上述の形態のいずれか一または複数であればよく、特に酸素ラジカルであると好適である。このため、絶縁体552、および絶縁体550の膜質を向上させることができるので、トランジスタ500の信頼性が向上する。
 このようにして、酸化物半導体の領域530bcで選択的に酸素欠損、およびVHを除去して、領域530bcをi型または実質的にi型とすることができる。さらに、ソース領域またはドレイン領域として機能する領域530baおよび領域530bbに過剰な酸素が供給されるのを抑制し、n型を維持することができる。これにより、トランジスタ500の電気特性の変動を抑制し、基板面内でトランジスタ500の電気特性のばらつきを少なくすることができる。
 以上のような構成にすることで、トランジスタ特性のばらつきが少ない半導体装置を提供することができる。また、信頼性が良好な半導体装置を提供することができる。また、良好な電気特性を有する半導体装置を提供することができる。
 また、図78Bに示すように、トランジスタ500のチャネル幅方向の断面視において、酸化物530bの側面と酸化物530bの上面との間に、湾曲面を有してもよい。つまり、当該側面の端部と当該上面の端部は、湾曲してもよい(以下、ラウンド状ともいう。)。
 上記湾曲面での曲率半径は、0nmより大きく、導電体542と重なる領域の酸化物530bの膜厚より小さい、または、上記湾曲面を有さない領域の長さの半分より小さいことが好ましい。上記湾曲面での曲率半径は、具体的には、0nmより大きく20nm以下、好ましくは1nm以上15nm以下、さらに好ましくは2nm以上10nm以下とする。このような形状にすることで、絶縁体552、絶縁体550、絶縁体554、および導電体560の、酸化物530bへの被覆性を高めることができる。
 酸化物530は、化学組成が異なる複数の酸化物層の積層構造を有することが好ましい。具体的には、酸化物530aに用いる金属酸化物において、主成分である金属元素に対する元素Mの原子数比が、酸化物530bに用いる金属酸化物における、主成分である金属元素に対する元素Mの原子数比より、大きいことが好ましい。また、酸化物530aに用いる金属酸化物において、Inに対する元素Mの原子数比が、酸化物530bに用いる金属酸化物における、Inに対する元素Mの原子数比より大きいことが好ましい。また、酸化物530bに用いる金属酸化物において、元素Mに対するInの原子数比が、酸化物530aに用いる金属酸化物における、元素Mに対するInの原子数比より大きいことが好ましい。
 また、酸化物530bは、CAAC−OSなどの結晶性を有する酸化物であることが好ましい。CAAC−OSなどの結晶性を有する酸化物は、不純物、及び欠陥(酸素欠損など)が少なく、結晶性の高い、緻密な構造を有している。よって、ソース電極またはドレイン電極による、酸化物530bからの酸素の引き抜きを抑制することができる。これにより、熱処理を行っても、酸化物530bから酸素が引き抜かれることを低減できるので、トランジスタ500は、製造工程における高い温度(所謂サーマルバジェット)に対して安定である。
 ここで、酸化物530aと酸化物530bの接合部において、伝導帯下端はなだらかに変化する。換言すると、酸化物530aと酸化物530bの接合部における伝導帯下端は、連続的に変化または連続接合するともいうことができる。このようにするためには、酸化物530aと酸化物530bとの界面に形成される混合層の欠陥準位密度を低くするとよい。
 具体的には、酸化物530aと酸化物530bが、酸素以外に共通の元素を主成分として有することで、欠陥準位密度が低い混合層を形成することができる。例えば、酸化物530bがIn−M−Zn酸化物の場合、酸化物530aとして、In−M−Zn酸化物、M−Zn酸化物、元素Mの酸化物、In−Zn酸化物、インジウム酸化物などを用いてもよい。
 具体的には、酸化物530aとして、In:M:Zn=1:3:4[原子数比]もしくはその近傍の組成、またはIn:M:Zn=1:1:0.5[原子数比]もしくはその近傍の組成の金属酸化物を用いればよい。また、酸化物530bとして、In:M:Zn=1:1:1[原子数比]もしくはその近傍の組成、またはIn:M:Zn=4:2:3[原子数比]もしくはその近傍の組成の金属酸化物を用いればよい。なお、近傍の組成とは、所望の原子数比の±30%の範囲を含む。また、元素Mとして、ガリウムを用いることが好ましい。
 なお、金属酸化物をスパッタリング法により成膜する場合、上記の原子数比は、成膜された金属酸化物の原子数比に限られず、金属酸化物の成膜に用いるスパッタリングターゲットの原子数比であってもよい。
 また、図78Aなどに示すように、酸化物530の上面および側面に接して、酸化アルミニウムなどにより形成される絶縁体552を設けることにより、酸化物530と絶縁体552の界面およびその近傍に、酸化物530に含まれるインジウムが偏在する場合がある。これにより、酸化物530の表面近傍が、インジウム酸化物に近い原子数比、またはIn−Zn酸化物に近い原子数比になる。このように酸化物530、特に酸化物530bの表面近傍のインジウムの原子数比が大きくなることで、トランジスタ500の電界効果移動度を向上させることができる。
 酸化物530aおよび酸化物530bを上述の構成とすることで、酸化物530aと酸化物530bとの界面における欠陥準位密度を低くすることができる。そのため、界面散乱によるキャリア伝導への影響が小さくなり、トランジスタ500は大きいオン電流、および高い周波数特性を得ることができる。
 絶縁体512、絶縁体514、絶縁体544、絶縁体571、絶縁体574、絶縁体576、及び絶縁体581の少なくとも一は、水、水素などの不純物が、基板側から、または、トランジスタ500の上方からトランジスタ500に拡散するのを抑制するバリア絶縁膜として機能することが好ましい。したがって、絶縁体512、絶縁体514、絶縁体544、絶縁体571、絶縁体574、絶縁体576、および絶縁体581の少なくとも一は、水素原子、水素分子、水分子、窒素原子、窒素分子、酸化窒素分子(NO、NO、NOなど)、銅原子などの不純物の拡散を抑制する機能を有する(上記不純物が透過しにくい)絶縁性材料を用いることが好ましい。または、酸素(例えば、酸素原子、酸素分子などの少なくとも一)の拡散を抑制する機能を有する(上記酸素が透過しにくい)絶縁性材料を用いることが好ましい。
 なお、本明細書において、バリア絶縁膜とは、バリア性を有する絶縁膜のことを指す。本明細書において、バリア性とは、対応する物質の拡散を抑制する機能(透過性が低いともいう)とする。または、対応する物質を、捕獲、および固着する(ゲッタリングともいう)機能とする。
 絶縁体512、絶縁体514、絶縁体544、絶縁体571、絶縁体574、絶縁体576、および絶縁体581としては、水、水素などの不純物、および酸素の拡散を抑制する機能を有する絶縁体を用いることが好ましく、例えば、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化ハフニウム、酸化ガリウム、インジウムガリウム亜鉛酸化物、窒化シリコン、または窒化酸化シリコンなどを用いることができる。例えば、絶縁体512、絶縁体544、および絶縁体576として、より水素バリア性が高い、窒化シリコンなどを用いることが好ましい。また、例えば、絶縁体514、絶縁体571、絶縁体574、および絶縁体581として、水素を捕獲および水素を固着する機能が高い、酸化アルミニウムまたは酸化マグネシウムなどを用いることが好ましい。これにより、水、水素などの不純物が絶縁体512、および絶縁体514を介して、基板側からトランジスタ500側に拡散するのを抑制することができる。または、水、水素などの不純物が絶縁体581よりも外側に配置されている層間絶縁膜などから、トランジスタ500側に拡散するのを抑制することができる。または、絶縁体524などに含まれる酸素が、絶縁体512、および絶縁体514を介して基板側に、拡散するのを抑制することができる。または、絶縁体580などに含まれる酸素が、絶縁体574などを介してトランジスタ500より上方に、拡散するのを抑制することができる。この様に、トランジスタ500を、水、水素などの不純物、および酸素の拡散を抑制する機能を有する絶縁体512、絶縁体514、絶縁体571、絶縁体544、絶縁体574、絶縁体576、および絶縁体581で取り囲む構造とすることが好ましい。
 ここで、絶縁体512、絶縁体514、絶縁体544、絶縁体571、絶縁体574、絶縁体576、および絶縁体581として、アモルファス構造を有する酸化物を用いることが好ましい。例えば、AlO(xは0より大きい任意数)、またはMgO(yは0より大きい任意数)などの金属酸化物を用いることが好ましい。このようなアモルファス構造を有する金属酸化物では、酸素原子がダングリングボンドを有しており、当該ダングリングボンドで水素を捕獲または固着する性質を有する場合がある。このようなアモルファス構造を有する金属酸化物をトランジスタ500の構成要素として用いる、またはトランジスタ500の周囲に設けることで、トランジスタ500に含まれる水素、またはトランジスタ500の周囲に存在する水素を捕獲または固着することができる。特にトランジスタ500のチャネル形成領域に含まれる水素を捕獲または固着することが好ましい。アモルファス構造を有する金属酸化物をトランジスタ500の構成要素として用いる、またはトランジスタ500の周囲に設けることで、良好な特性を有し、信頼性の高いトランジスタ500、および半導体装置を作製することができる。
 また、絶縁体512、絶縁体514、絶縁体544、絶縁体571、絶縁体574、絶縁体576、および絶縁体581は、アモルファス構造であることが好ましいが、一部に多結晶構造の領域が形成されていてもよい。また、絶縁体512、絶縁体514、絶縁体544、絶縁体571、絶縁体574、絶縁体576、および絶縁体581は、アモルファス構造の層と、多結晶構造の層と、が積層された多層構造であってもよい。例えば、アモルファス構造の層の上に多結晶構造の層が形成された積層構造でもよい。
 絶縁体512、絶縁体514、絶縁体544、絶縁体571、絶縁体574、絶縁体576、および絶縁体581の成膜は、例えば、スパッタリング法を用いて行えばよい。スパッタリング法は、成膜ガスに水素を含む分子を用いなくてよいので、絶縁体512、絶縁体514、絶縁体544、絶縁体571、絶縁体574、絶縁体576、および絶縁体581の水素濃度を低減することができる。なお、成膜方法は、スパッタリング法に限られるものではなく、化学気相成長(CVD:Chemical Vapor Deposition)法、分子線エピタキシー(MBE:Molecular Beam Epitaxy)法、パルスレーザ堆積(PLD:Pulsed Laser Deposition)法、原子層堆積(ALD:Atomic Layer Deposition)法などを適宜用いてもよい。
 また、絶縁体512、絶縁体544、および絶縁体576の抵抗率を低くすることが好ましい場合がある。例えば、絶縁体512、絶縁体544、および絶縁体576の抵抗率を概略1×1013Ωcmとすることで、半導体装置作製工程のプラズマ等を用いる処理において、絶縁体512、絶縁体544、および絶縁体576が、導電体503、導電体542、導電体560などのチャージアップを緩和することができる場合がある。絶縁体512、絶縁体544、および絶縁体576の抵抗率は、好ましくは、1×1010Ωcm以上1×1015Ωcm以下とする。
 また、絶縁体516、絶縁体574、絶縁体580、および絶縁体581は、絶縁体514よりも誘電率が低いことが好ましい。誘電率が低い材料を層間膜とすることで、配線間に生じる寄生容量を低減することができる。例えば、絶縁体516、絶縁体580、および絶縁体581として、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、フッ素を添加した酸化シリコン、炭素を添加した酸化シリコン炭素および窒素を添加した酸化シリコン、空孔を有する酸化シリコンなどを適宜用いればよい。
 また、絶縁体581は、一例として、層間膜、平坦化膜などとして機能する絶縁体とすることが好ましい。
 導電体503は、酸化物530、および導電体560と、重なるように配置する。ここで、導電体503は、絶縁体516に形成された開口に埋め込まれて設けることが好ましい。また、導電体503の一部が絶縁体514に埋め込まれる場合がある。
 導電体503は、導電体503a、および導電体503bを有する。導電体503aは、当該開口の底面および側壁に接して設けられる。導電体503bは、導電体503aに形成された凹部に埋め込まれるように設けられる。ここで、導電体503bの上部の高さは、導電体503aの上部の高さおよび絶縁体516の上部の高さと概略一致する。
 ここで、導電体503aは、水素原子、水素分子、水分子、窒素原子、窒素分子、酸化窒素分子(NO、NO、NOなど)、銅原子などの不純物の拡散を抑制する機能を有する導電性材料を用いることが好ましい。または、酸素(例えば、酸素原子、酸素分子などの少なくとも一)の拡散を抑制する機能を有する導電性材料を用いることが好ましい。
 導電体503aに、水素の拡散を低減する機能を有する導電性材料を用いることにより、導電体503bに含まれる水素などの不純物が、絶縁体524等を介して、酸化物530に拡散するのを防ぐことができる。また、導電体503aに、酸素の拡散を抑制する機能を有する導電性材料を用いることにより、導電体503bが酸化して導電率が低下することを抑制することができる。酸素の拡散を抑制する機能を有する導電性材料としては、例えば、チタン、窒化チタン、タンタル、窒化タンタル、ルテニウム、酸化ルテニウムなどを用いることが好ましい。したがって、導電体503aとしては、上記導電性材料を単層または積層とすればよい。例えば、導電体503aは、窒化チタンを用いればよい。
 また、導電体503bは、タングステン、銅、またはアルミニウムを主成分とする導電性材料を用いることが好ましい。例えば、導電体503bは、タングステンを用いればよい。
 導電体503は、第2のゲート電極として機能する場合がある。その場合、導電体503に印加する電位を、導電体560に印加する電位と、連動させず、独立して変化させることで、トランジスタ500のしきい値電圧(Vth)を制御することができる。特に、導電体503に負の電位を印加することにより、トランジスタ500のVthをより大きくし、オフ電流を低減することが可能となる。したがって、導電体503に負の電位を印加したほうが、印加しない場合よりも、導電体560に印加する電位が0Vのときのドレイン電流を小さくすることができる。
 また、導電体503の電気抵抗率は、上記の導電体503に印加する電位を考慮して設計され、導電体503の膜厚は当該電気抵抗率に合わせて設定される。また、絶縁体516の膜厚は、導電体503とほぼ同じになる。ここで、導電体503の設計が許す範囲で導電体503および絶縁体516の膜厚を薄くすることが好ましい。絶縁体516の膜厚を薄くすることで、絶縁体516中に含まれる水素などの不純物の絶対量を低減することができるので、当該不純物が酸化物530に拡散するのを低減することができる。
 なお、導電体503は、上面から見て、酸化物530の導電体542aおよび導電体542bと重ならない領域の大きさよりも、大きく設けるとよい。特に、図78Bに示すように、導電体503は、酸化物530aおよび酸化物530bのチャネル幅方向の端部よりも外側の領域においても、延伸していることが好ましい。つまり、酸化物530のチャネル幅方向における側面の外側において、導電体503と、導電体560とは、絶縁体を介して重畳していることが好ましい。当該構成を有することで、第1のゲート電極として機能する導電体560の電界と、第2のゲート電極として機能する導電体503の電界によって、酸化物530のチャネル形成領域を電気的に取り囲むことができる。本明細書において、第1のゲート、および第2のゲートの電界によって、チャネル形成領域を電気的に取り囲むトランジスタの構造を、surrounded channel(S−channel)構造とよぶ。
 なお、本明細書等において、S−channel構造のトランジスタとは、一対のゲート電極の一方および他方の電界によって、チャネル形成領域を電気的に取り囲むトランジスタの構造を表す。また、本明細書等で開示するS−channel構造は、Fin型構造およびプレーナ型構造とは異なる。S−channel構造を採用することで、短チャネル効果に対する耐性を高める、別言すると短チャネル効果が発生し難いトランジスタとすることができる。
 また、図78Bに示すように、導電体503は延伸させて、配線としても機能させている。ただし、これに限られることなく、導電体503の下に、配線として機能する導電体を設ける構成にしてもよい。また、導電体503は、必ずしも各トランジスタに一個ずつ設ける必要はない。例えば、導電体503を複数のトランジスタで共有する構成にしてもよい。
 なお、トランジスタ500では、導電体503は、導電体503a、および導電体503bを積層する構成について示しているが、本発明はこれに限られるものではない。例えば、導電体503は、単層、または3層以上の積層構造として設ける構成にしてもよい。
 絶縁体522、および絶縁体524は、ゲート絶縁体として機能する。
 絶縁体522は、水素(例えば、水素原子、水素分子などの少なくとも一)の拡散を抑制する機能を有することが好ましい。また、絶縁体522は、酸素(例えば、酸素原子、酸素分子などの少なくとも一)の拡散を抑制する機能を有することが好ましい。例えば、絶縁体522は、絶縁体524よりも水素および酸素の一方または双方の拡散を抑制する機能を有することが好ましい。
 絶縁体522は、絶縁性材料であるアルミニウムおよびハフニウムの一方または双方の酸化物を含む絶縁体を用いるとよい。当該絶縁体として、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、アルミニウムおよびハフニウムを含む酸化物(ハフニウムアルミネート)などを用いることが好ましい。このような材料を用いて絶縁体522を形成した場合、絶縁体522は、酸化物530から基板側への酸素の放出、トランジスタ500の周辺部から酸化物530への水素等の不純物の拡散などを抑制する層として機能する。よって、絶縁体522を設けることで、水素等の不純物が、トランジスタ500の内側へ拡散することを抑制し、酸化物530中の酸素欠損の生成を抑制することができる。また、導電体503が、絶縁体524、酸化物530の少なくとも一が有する酸素と反応することを抑制することができる。
 または、上記絶縁体に、例えば、酸化アルミニウム、酸化ビスマス、酸化ゲルマニウム、酸化ニオブ、酸化シリコン、酸化チタン、酸化タングステン、酸化イットリウム、酸化ジルコニウムを添加してもよい。または、これらの絶縁体を窒化処理してもよい。また、絶縁体522は、これらの絶縁体に酸化シリコン、酸化窒化シリコンまたは窒化シリコンを積層して用いてもよい。
 また、絶縁体522は、例えば、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、酸化タンタル、酸化ジルコニウムなどの、いわゆるhigh−k材料を含む絶縁体を単層または積層で用いてもよい。トランジスタの微細化、および高集積化が進むと、ゲート絶縁体の薄膜化により、リーク電流などの問題が生じる場合がある。ゲート絶縁体として機能する絶縁体にhigh−k材料を用いることで、物理膜厚を保ちながら、トランジスタ動作時のゲート電位の低減が可能となる。また、絶縁体522として、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)、チタン酸ストロンチウム(SrTiO)、(Ba,Sr)TiO(BST)などの誘電率が高い物質を用いることができる場合もある。
 酸化物530と接する絶縁体524は、例えば、酸化シリコン、酸化窒化シリコンなどを適宜用いればよい。
 また、トランジスタ500の作製工程中において、酸化物530の表面が露出した状態で、加熱処理を行うと好適である。当該加熱処理は、例えば、100℃以上600℃以下、より好ましくは350℃以上550℃以下で行えばよい。なお、加熱処理は、窒素ガスもしくは不活性ガスの雰囲気、または酸化性ガスを10ppm以上、1%以上、もしくは10%以上含む雰囲気で行う。例えば、加熱処理は酸素雰囲気で行うことが好ましい。これにより、酸化物530に酸素を供給して、酸素欠損(V)の低減を図ることができる。また、加熱処理は減圧状態で行ってもよい。または、加熱処理は、窒素ガスもしくは不活性ガスの雰囲気で加熱処理した後に、脱離した酸素を補うために、酸化性ガスを10ppm以上、1%以上、または10%以上含む雰囲気で行ってもよい。または、酸化性ガスを10ppm以上、1%以上、または10%以上含む雰囲気で加熱処理した後に、連続して窒素ガスもしくは不活性ガスの雰囲気で加熱処理を行ってもよい。
 なお、酸化物530に加酸素化処理を行うことで、酸化物530中の酸素欠損を、供給された酸素により修復させる、別言すると「V+O→null」という反応を促進させることができる。さらに、酸化物530中に残存した水素に供給された酸素が反応することで、当該水素をHOとして除去する(脱水化する)ことができる。これにより、酸化物530中に残存していた水素が酸素欠損に再結合してVHが形成されるのを抑制することができる。
 なお、絶縁体522、および絶縁体524が、2層以上の積層構造を有していてもよい。その場合、同じ材料からなる積層構造に限定されず、異なる材料からなる積層構造でもよい。また、絶縁体524は、酸化物530aと重畳して島状に形成してもよい。この場合、絶縁体544が、絶縁体524の側面および絶縁体522の上面に接する構成になる。
 導電体542a、および導電体542bは酸化物530bの上面に接して設けられる。導電体542aおよび導電体542bは、それぞれトランジスタ500のソース電極またはドレイン電極として機能する。
 導電体542(導電体542a、および導電体542b)としては、例えば、タンタルを含む窒化物、チタンを含む窒化物、モリブデンを含む窒化物、タングステンを含む窒化物、タンタルおよびアルミニウムを含む窒化物、チタンおよびアルミニウムを含む窒化物などを用いることが好ましい。本発明の一態様においては、タンタルを含む窒化物が特に好ましい。また、例えば、酸化ルテニウム、窒化ルテニウム、ストロンチウムとルテニウムを含む酸化物、ランタンとニッケルを含む酸化物などを用いてもよい。これらの材料は、酸化しにくい導電性材料、または、酸素を吸収しても導電性を維持する材料であるため、好ましい。
 なお、酸化物530bなどに含まれる水素が、導電体542aまたは導電体542bに拡散する場合がある。特に、導電体542aおよび導電体542bに、タンタルを含む窒化物を用いることで、酸化物530bなどに含まれる水素は、導電体542aまたは導電体542bに拡散しやすく、拡散した水素は、導電体542aまたは導電体542bが有する窒素と結合することがある。つまり、酸化物530bなどに含まれる水素は、導電体542aまたは導電体542bに吸い取られる場合がある。
 また、導電体542の側面と導電体542の上面との間に、湾曲面が形成されないことが好ましい。当該湾曲面が形成されない導電体542とすることで、チャネル幅方向の断面における、導電体542の断面積を大きくすることができる。これにより、導電体542の導電率を大きくし、トランジスタ500のオン電流を大きくすることができる。
 絶縁体571aは、導電体542aの上面に接して設けられており、絶縁体571bは、導電体542bの上面に接して設けられている。絶縁体571は、少なくとも酸素に対するバリア絶縁膜として機能することが好ましい。したがって、絶縁体571は、酸素の拡散を抑制する機能を有することが好ましい。例えば、絶縁体571は、絶縁体580よりも酸素の拡散を抑制する機能を有することが好ましい。絶縁体571としては、例えば、窒化シリコンなどのシリコンを含む窒化物を用いればよい。また、絶縁体571は、水素などの不純物を捕獲する機能を有することが好ましい。その場合、絶縁体571としては、アモルファス構造を有する金属酸化物、例えば、酸化アルミニウムまたは酸化マグネシウムなどの絶縁体を用いればよい。特に、絶縁体571として、アモルファス構造の酸化アルミニウムを用いることで、より効果的に水素を捕獲または固着できる場合があるため好ましい。これにより、良好な特性を有し、信頼性の高いトランジスタ500、および半導体装置を作製することができる。
 絶縁体544は、絶縁体524、酸化物530a、酸化物530b、導電体542、および絶縁体571を覆うように設けられる。絶縁体544として、水素を捕獲および水素を固着する機能を有することが好ましい。その場合、絶縁体544としては、窒化シリコンまたは、アモルファス構造を有する金属酸化物、例えば、酸化アルミニウムまたは酸化マグネシウムなどの絶縁体を含むことが好ましい。また、例えば、絶縁体544として、酸化アルミニウムと、当該酸化アルミニウム上の窒化シリコンの積層膜を用いてもよい。
 上記のような絶縁体571および絶縁体544を設けることで、酸素に対するバリア性を有する絶縁体で導電体542を包み込むことができる。つまり、絶縁体524、および絶縁体580に含まれる酸素が、導電体542に拡散するのを防ぐことができる。これにより、絶縁体524、および絶縁体580に含まれる酸素によって、導電体542が直接酸化されて抵抗率が増大し、オン電流が低減するのを抑制することができる。
 絶縁体552は、ゲート絶縁体の一部として機能する。絶縁体552としては、酸素に対するバリア絶縁膜を用いることが好ましい。絶縁体552としては、上述の絶縁体574に用いることができる絶縁体を用いればよい。絶縁体552として、アルミニウムおよびハフニウムの一方または双方の酸化物を含む絶縁体を用いるとよい。当該絶縁体として、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、アルミニウムおよびハフニウムを含む酸化物(ハフニウムアルミネート)、ハフニウムおよびシリコンを含む酸化物(ハフニウムシリケート)などを用いることができる。本実施の形態では、絶縁体552として、酸化アルミニウムを用いる。この場合、絶縁体552は、少なくとも酸素と、アルミニウムと、を有する絶縁体となる。
 図78Bに示すように、絶縁体552は、酸化物530bの上面および側面、酸化物530aの側面、絶縁体524の側面、および絶縁体522の上面に接して設けられる。つまり、酸化物530a、酸化物530b、および絶縁体524の導電体560と重なる領域は、チャネル幅方向の断面において、絶縁体552に覆われている。これにより、熱処理などを行った際に、酸化物530aおよび酸化物530bで酸素が脱離するのを、酸素に対するバリア性を有する絶縁体552でブロックすることができる。よって、酸化物530aおよび酸化物530bに酸素欠損(Vo)が形成されるのを低減することができる。これにより、領域530bcに形成される、酸素欠損(Vo)、およびVHを低減することができる。よって、トランジスタ500の電気特性を良好にし、信頼性を向上させることができる。
 また、逆に、絶縁体580および絶縁体550などに過剰な量の酸素が含まれていても、当該酸素が酸化物530aおよび酸化物530bに過剰に供給されるのを抑制することができる。よって、領域530bcを介して、領域530baおよび領域530bbが過剰に酸化され、トランジスタ500のオン電流の低下、または電界効果移動度の低下を起こすのを抑制することができる。
 また、図78Aに示すように、絶縁体552は、導電体542、絶縁体571、および絶縁体580、それぞれの側面に接して設けられる。よって、導電体542の側面が酸化され、当該側面に酸化膜が形成されるのを低減することができる。これにより、トランジスタ500のオン電流の低下、または電界効果移動度の低下を起こすのを抑制することができる。
 また、絶縁体552は、絶縁体554、絶縁体550、および導電体560とともに、絶縁体580などに形成された開口に設ける必要がある。トランジスタ500の微細化を図るにあたって、絶縁体552の膜厚は薄いことが好ましい。絶縁体552の膜厚は、0.1nm以上、0.5nm以上、又は1.0nm以上とすることが好ましく、かつ1.0nm以下、3.0nm以下、又は5.0nm以下とすることが好ましい。なお、上述した下限値、及び上限値はそれぞれ組み合わせることができるものとする。この場合、絶縁体552は、少なくとも一部において、上記のような膜厚の領域を有していればよい。また、絶縁体552の膜厚は絶縁体550の膜厚より薄いことが好ましい。この場合、絶縁体552は、少なくとも一部において、絶縁体550より膜厚が薄い領域を有していればよい。
 絶縁体552を上記のように膜厚を薄く成膜するには、ALD法を用いて成膜することが好ましい。ALD法は、プリカーサ及びリアクタントの反応を熱エネルギーのみで行う熱ALD(Thermal ALD)法、プラズマ励起されたリアクタントを用いるPEALD(Plasma Enhanced ALD)法などがある。PEALD法では、プラズマを利用することで、より低温での成膜が可能となり好ましい場合がある。
 ALD法は、原子の性質である自己制御性を利用し、一層ずつ原子を堆積することができるので、極薄の成膜が可能、アスペクト比の高い構造への成膜が可能、ピンホールなどの欠陥の少ない成膜が可能、被覆性に優れた成膜が可能、低温での成膜が可能、などの効果がある。よって、絶縁体552を絶縁体580などに形成された開口の側面などに被覆性良く、上記のような薄い膜厚で成膜することができる。
 なお、ALD法で用いるプリカーサには炭素などを含むものがある。このため、ALD法により設けられた膜は、他の成膜法により設けられた膜と比較して、炭素などの不純物を多く含む場合がある。なお、不純物の定量は、二次イオン質量分析法(SIMS:Secondary Ion Mass Spectrometry)、またはX線光電子分光法(XPS:X−ray Photoelectron Spectroscopy)を用いて行うことができる。
 絶縁体550は、ゲート絶縁体の一部として機能する。絶縁体550は、絶縁体552の上面に接して配置することが好ましい。絶縁体550は、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、フッ素を添加した酸化シリコン、炭素を添加した酸化シリコン、炭素および窒素を添加した酸化シリコン、空孔を有する酸化シリコンなどを用いることができる。特に、酸化シリコン、および酸化窒化シリコンは熱に対し安定であるため好ましい。この場合、絶縁体550は、少なくとも酸素とシリコンと、を有する絶縁体となる。
 絶縁体550は、絶縁体524と同様に、絶縁体550中の水、水素などの不純物濃度が低減されていることが好ましい。絶縁体550の膜厚は、1nm以上、又は0.5nm以上とすることが好ましく、かつ15.0nm以下、又は20nm以下とすることが好ましい。なお、上述した下限値、及び上限値はそれぞれ組み合わせることができるものとする。この場合、絶縁体550は、少なくとも一部において、上記のような膜厚の領域を有していればよい。
 図78A、及び図78Bなどでは、絶縁体550を単層とする構成について示したが、本発明はこれに限られず、2層以上の積層構造としてもよい。例えば図80Bに示すように、絶縁体550を、絶縁体550aと、絶縁体550a上の絶縁体550bの2層の積層構造にしてもよい。
 図80Bに示すように、絶縁体550を2層の積層構造とする場合、下層の絶縁体550aは、酸素を透過しやすい絶縁体を用いて形成し、上層の絶縁体550bは、酸素の拡散を抑制する機能を有する絶縁体を用いて形成することが好ましい。このような構成にすることで、絶縁体550aに含まれる酸素が、導電体560へ拡散するのを抑制することができる。つまり、酸化物530へ供給する酸素量の減少を抑制することができる。また、絶縁体550aに含まれる酸素による導電体560の酸化を抑制することができる。例えば、絶縁体550aは、上述した絶縁体550に用いることができる材料を用いて設け、絶縁体550bは、アルミニウムおよびハフニウムの一方または双方の酸化物を含む絶縁体を用いるとよい。当該絶縁体として、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、アルミニウムおよびハフニウムを含む酸化物(ハフニウムアルミネート)、ハフニウムおよびシリコンを含む酸化物(ハフニウムシリケート)などを用いることができる。本実施の形態では、絶縁体550bとして、酸化ハフニウムを用いる。この場合、絶縁体550bは、少なくとも酸素と、ハフニウムと、を有する絶縁体となる。また、絶縁体550bの膜厚は、0.5nm以上、又は1.0nm以上とすることが好ましく、かつ3.0nm以下、又は5.0nm以下とすることが好ましい。なお、上述した下限値、及び上限値はそれぞれ組み合わせることができるものとする。この場合、絶縁体550bは、少なくとも一部において、上記のような膜厚の領域を有していればよい。
 なお、絶縁体550aに酸化シリコン、酸化窒化シリコンなどを用いる場合、絶縁体550bは、比誘電率が高いhigh−k材料である絶縁性材料を用いてもよい。ゲート絶縁体を、絶縁体550aと絶縁体550bとの積層構造とすることで、熱に対して安定、かつ比誘電率の高い積層構造とすることができる。したがって、ゲート絶縁体の物理膜厚を保持したまま、トランジスタ動作時に印加するゲート電位の低減化が可能となる。また、ゲート絶縁体として機能する絶縁体の等価酸化膜厚(EOT)の薄膜化が可能となる。よって、絶縁体550の絶縁耐圧を高くすることができる。
 絶縁体554は、ゲート絶縁体の一部として機能する。絶縁体554としては、水素に対するバリア絶縁膜を用いることが好ましい。これにより、導電体560に含まれる水素などの不純物が、絶縁体550、および酸化物530bに拡散するのを防ぐことができる。絶縁体554としては、上述の絶縁体576に用いることができる絶縁体を用いればよい。例えば、絶縁体554としてPEALD法で成膜した窒化シリコンを用いればよい。この場合、絶縁体554は、少なくとも窒素と、シリコンと、を有する絶縁体となる。
 また、絶縁体554が、さらに酸素に対するバリア性を有してもよい。これにより、絶縁体550に含まれる酸素が、導電体560へ拡散するのを抑制することができる。
 また、絶縁体554は、絶縁体552、絶縁体550、および導電体560とともに、絶縁体580などに形成された開口に設ける必要がある。トランジスタ500の微細化を図るにあたって、絶縁体554の膜厚は薄いことが好ましい。絶縁体554の膜厚は、0.1nm以上、0.5nm以上、又は1.0nm以上とすることが好ましく、かつ3.0nm以下、又は5.0nm以下とすることが好ましい。なお、上述した下限値、及び上限値はそれぞれ組み合わせることができるものとする。この場合、絶縁体554は、少なくとも一部において、上記のような膜厚の領域を有していればよい。また、絶縁体554の膜厚は絶縁体550の膜厚より薄いことが好ましい。この場合、絶縁体554は、少なくとも一部において、絶縁体550より膜厚が薄い領域を有していればよい。
 導電体560は、トランジスタ500の第1のゲート電極として機能する。導電体560は、導電体560aと、導電体560aの上に配置された導電体560bと、を有することが好ましい。例えば、導電体560aは、導電体560bの底面および側面を包むように配置されることが好ましい。また、図78Aおよび図78Bに示すように、導電体560の上部の高さの位置は、絶縁体550の上部の高さの位置と概略一致している。なお、図78Aおよび図78Bでは、導電体560は、導電体560aと導電体560bの2層構造として示しているが、単層構造でもよいし、3層以上の積層構造であってもよい。
 導電体560aは、水素原子、水素分子、水分子、窒素原子、窒素分子、酸化窒素分子、銅原子などの不純物の拡散を抑制する機能を有する導電性材料を用いることが好ましい。または、酸素(例えば、酸素原子、酸素分子などの少なくとも一)の拡散を抑制する機能を有する導電性材料を用いることが好ましい。
 また、導電体560aが酸素の拡散を抑制する機能を持つことにより、絶縁体550に含まれる酸素により、導電体560bが酸化して導電率が低下することを抑制することができる。酸素の拡散を抑制する機能を有する導電性材料としては、例えば、チタン、窒化チタン、タンタル、窒化タンタル、ルテニウム、酸化ルテニウムなどを用いることが好ましい。
 また、導電体560は、配線としても機能するため、導電性が高い導電体を用いることが好ましい。例えば、導電体560bは、タングステン、銅、またはアルミニウムを主成分とする導電性材料を用いることができる。また、導電体560bは積層構造としてもよく、例えば、チタン、または窒化チタンと上記導電性材料との積層構造としてもよい。
 また、トランジスタ500では、導電体560は、絶縁体580などに形成されている開口を埋めるように自己整合的に形成される。導電体560をこのように形成することにより、導電体542aと導電体542bとの間の領域に、導電体560を位置合わせすることなく確実に配置することができる。
 また、図78Bに示すように、トランジスタ500のチャネル幅方向において、絶縁体522の底面を基準としたときの、導電体560の、導電体560と酸化物530bとが重ならない領域の底面の高さは、酸化物530bの底面の高さより低いことが好ましい。ゲート電極として機能する導電体560が、絶縁体550などを介して、酸化物530bのチャネル形成領域の側面および上面を覆う構成とすることで、導電体560の電界を酸化物530bのチャネル形成領域全体に作用させやすくなる。よって、トランジスタ500のオン電流を増大させ、周波数特性を向上させることができる。絶縁体522の底面を基準としたときの、酸化物530aおよび酸化物530bと、導電体560とが、重ならない領域における導電体560の底面の高さと、酸化物530bの底面の高さと、の差は、0nm以上、3nm以上、又は5nm以上とすることが好ましく、かつ20nm以下、50nm以下、又は100nm以下とすることが好ましい。なお、上述した下限値、及び上限値はそれぞれ組み合わせることができるものとする。
 絶縁体580は、絶縁体544上に設けられ、絶縁体550、および導電体560が設けられる領域に開口が形成されている。また、絶縁体580の上面は、平坦化されていてもよい。
 層間膜として機能する絶縁体580は、誘電率が低いことが好ましい。誘電率が低い材料を層間膜とすることで、配線間に生じる寄生容量を低減することができる。絶縁体580は、例えば、絶縁体516と同様の材料を用いて設けることが好ましい。特に、酸化シリコンおよび酸化窒化シリコンは、熱的に安定であるため好ましい。特に、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、空孔を有する酸化シリコンなどの材料は、加熱により脱離する酸素を含む領域を容易に形成することができるため好ましい。
 絶縁体580は、絶縁体580中の水、水素などの不純物濃度は低減されていることが好ましい。例えば、絶縁体580は、酸化シリコン、酸化窒化シリコンなどのシリコンを含む酸化物を適宜用いればよい。
 絶縁体574は、水、水素などの不純物が、上方から絶縁体580に拡散するのを抑制するバリア絶縁膜として機能することが好ましく、水素などの不純物を捕獲する機能を有することが好ましい。また、絶縁体574は、酸素の透過を抑制するバリア絶縁膜として機能することが好ましい。絶縁体574としては、アモルファス構造を有する金属酸化物、例えば、酸化アルミニウムなどの絶縁体を用いればよい。この場合、絶縁体574は、少なくとも酸素と、アルミニウムと、を有する絶縁体となる。絶縁体512と絶縁体581に挟まれた領域内で、絶縁体580に接して、水素などの不純物を捕獲する機能を有する、絶縁体574を設けることで、絶縁体580などに含まれる水素などの不純物を捕獲し、当該領域内における、水素の量を一定値にすることができる。特に、絶縁体574として、アモルファス構造を有する酸化アルミニウムを用いることで、より効果的に水素を捕獲または固着できる場合があるため好ましい。これにより、良好な特性を有し、信頼性の高いトランジスタ500、および半導体装置を作製することができる。
 絶縁体576は、水、水素などの不純物が、上方から絶縁体580に拡散するのを抑制するバリア絶縁膜として機能する。絶縁体576は、絶縁体574の上に配置される。絶縁体576としては、窒化シリコンまたは窒化酸化シリコンなどの、シリコンを含む窒化物を用いることが好ましい。例えば、絶縁体576としてスパッタリング法で成膜された窒化シリコンを用いればよい。絶縁体576をスパッタリング法で成膜することで、密度が高い窒化シリコン膜を形成することができる。また、絶縁体576として、スパッタリング法で成膜された窒化シリコンの上に、さらに、PEALD法または、CVD法で成膜された窒化シリコンを積層してもよい。
 また、トランジスタ500の第1端子、又は第2端子の一方は、プラグとして機能する導電体540aに電気的に接続され、トランジスタ500の第1端子、又は第2端子の他方は、導電体540bに電気的に接続されている。なお、本明細書等では、導電体540a、及び導電体540bをまとめて導電体540と呼ぶこととする。
 導電体540aは、一例として、導電体542aと重畳する領域に設けられている。具体的には、導電体542aと重畳する領域において、図78Aに示す絶縁体571、絶縁体544、絶縁体580、絶縁体574、絶縁体576、及び絶縁体581、更に図77に示す絶縁体582、及び絶縁体586には開口部が形成されており、導電体540aは、当該開口部の内側に設けられている。また、導電体540bは、一例として、導電体542bと重畳する領域に設けられている。具体的には、導電体542bと重畳する領域において、図78Aに示す絶縁体571、絶縁体544、絶縁体580、絶縁体574、絶縁体576、及び絶縁体581、更に図77に示す絶縁体582、及び絶縁体586には開口部が形成されており、導電体540bは、当該開口部の内側に設けられている。なお、絶縁体582、及び絶縁体586については後述する。
 さらに、図78Aに示すとおり、導電体542aと重畳する領域の開口部の側面と導電体540aとの間には、不純物に対してバリア性を有する絶縁体として、絶縁体541aを設けてもよい。同様に、導電体542bと重畳する領域の開口部の側面と導電体540bとの間には、不純物に対してバリア性を有する絶縁体として、絶縁体541bを設けてもよい。なお、本明細書等では、絶縁体541a、及び絶縁体541bをまとめて絶縁体541と呼ぶこととする。
 導電体540aおよび導電体540bは、タングステン、銅、またはアルミニウムを主成分とする導電性材料を用いることが好ましい、また、導電体540aおよび導電体540bは積層構造としてもよい。
 また、導電体540を積層構造とする場合、絶縁体574、絶縁体576、絶縁体581、絶縁体580、絶縁体544、および絶縁体571の近傍に配置される第1の導電体には、水、水素などの不純物の透過を抑制する機能を有する導電性材料を用いることが好ましい。例えば、タンタル、窒化タンタル、チタン、窒化チタン、ルテニウム、酸化ルテニウムなどを用いることが好ましい。また、水、水素などの不純物の透過を抑制する機能を有する導電性材料は、単層または積層で用いてもよい。また、絶縁体576より上層に含まれる水、水素などの不純物が、導電体540aおよび導電体540bを通じて酸化物530に混入することを抑制することができる。
 絶縁体541aおよび絶縁体541bとしては、絶縁体544などに用いることができるバリア絶縁膜を用いればよい。例えば、絶縁体541aおよび絶縁体541bとして、窒化シリコン、酸化アルミニウム、窒化酸化シリコンなどの絶縁体を用いればよい。絶縁体541aおよび絶縁体541bは、絶縁体574、絶縁体576、および絶縁体571に接して設けられるので、絶縁体580などに含まれる水、水素などの不純物が、導電体540aおよび導電体540bを通じて酸化物530に混入するのを抑制することができる。特に、窒化シリコンは水素に対するブロッキング性が高いので好適である。また、絶縁体580に含まれる酸素が導電体540aおよび導電体540bに吸収されるのを防ぐことができる。
 絶縁体541aおよび絶縁体541bを、図78Aに示すように積層構造にする場合、絶縁体580などの開口の内壁に接する第1の絶縁体と、その内側の第2の絶縁体は、酸素に対するバリア絶縁膜と、水素に対するバリア絶縁膜を組み合わせて用いることが好ましい。
 例えば、第1の絶縁体として、ALD法で成膜された酸化アルミニウムを用い、第2の絶縁体として、PEALD法で成膜された窒化シリコンを用いればよい。このような構成にすることで、導電体540の酸化を抑制し、さらに、導電体540に水素が混入するのを低減することができる。
 なお、トランジスタ500では、絶縁体541の第1の絶縁体および絶縁体541の第2の絶縁体を積層する構成について示しているが、本発明はこれに限られるものではない。例えば、絶縁体541を単層、または3層以上の積層構造として設ける構成にしてもよい。また、トランジスタ500では、導電体540の第1の導電体および導電体540の第2の導電体を積層する構成について示しているが、本発明はこれに限られるものではない。例えば、導電体540を単層、または3層以上の積層構造として設ける構成にしてもよい。
 また、図77に示すとおり、導電体540aの上部、および導電体540bの上部に接して配線として機能する導電体610、導電体612などを配置してもよい。導電体610、導電体612は、タングステン、銅、またはアルミニウムを主成分とする導電性材料を用いることが好ましい。また、当該導電体は、積層構造としてもよく、例えば、チタン、または窒化チタンと上記導電性材料との積層としてもよい。なお、当該導電体は、絶縁体に設けられた開口に埋め込むように形成してもよい。
 なお、本発明の一態様の半導体装置に含まれるトランジスタの構造は、図77、図78A、図78B、及び図79に示したトランジスタ500に限定されない。本発明の一態様の半導体装置に含まれるトランジスタの構造は、状況に応じて、変更してもよい。
 例えば、図77、図78A、図78B、及び図79に示すトランジスタ500は、図81に示す構成としてもよい。図81のトランジスタは、酸化物543a、及び酸化物543bを有する点で、図77、図78A、図78B、及び図79に示すトランジスタ500と異なっている。なお、本明細書等では、酸化物543a、及び酸化物543bをまとめて酸化物543と呼ぶこととする。また、図81のトランジスタのチャネル幅方向の断面の構成については、図78Bに示すトランジスタ500の断面と同様の構成とすることができる。
 酸化物543aは、酸化物530bと導電体542aの間に設けられ、酸化物543bは、酸化物530bと導電体542bの間に設けられる。ここで、酸化物543aは、酸化物530bの上面、および導電体542aの下面に接することが好ましい。また、酸化物543bは、酸化物530bの上面、および導電体542bの下面に接することが好ましい。
 酸化物543は、酸素の透過を抑制する機能を有することが好ましい。ソース電極、又はドレイン電極として機能する導電体542と酸化物530bとの間に酸素の透過を抑制する機能を有する酸化物543を配置することで、導電体542と、酸化物530bとの間の電気抵抗が低減されるので好ましい。このような構成とすることで、トランジスタ500の電気特性、電界効果移動度、および信頼性を向上させることができる場合がある。
 また、酸化物543として、元素Mを有する金属酸化物を用いてもよい。特に、元素Mは、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、または錫を用いるとよい。また、酸化物543は、酸化物530bよりも元素Mの濃度が高いことが好ましい。また、酸化物543として、酸化ガリウムを用いてもよい。また、酸化物543として、In−M−Zn酸化物等の金属酸化物を用いてもよい。具体的には、酸化物に用いる金属酸化物において、Inに対する元素Mの原子数比が、酸化物530bに用いる金属酸化物における、Inに対する元素Mの原子数比より大きいことが好ましい。また、酸化物543の膜厚は、0.5nm以上、又は1nm以上であることが好ましく、かつ2nm以下、3nm以下、又は5nm以下であることが好ましい。なお、上述した下限値、及び上限値はそれぞれ組み合わせることができるものとする。また、酸化物543は、結晶性を有すると好ましい。酸化物543が結晶性を有する場合、酸化物530中の酸素の放出を好適に抑制することが出来る。例えば、酸化物543としては、六方晶などの結晶構造であれば、酸化物530中の酸素の放出を抑制できる場合がある。
 絶縁体581上には、絶縁体582が設けられ、絶縁体582上には絶縁体586が設けられている。
 絶縁体582は、酸素、水素などに対してバリア性のある物質を用いることが好ましい。したがって、絶縁体582には、絶縁体514と同様の材料を用いることができる。例えば、絶縁体582には、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、酸化タンタルなどの金属酸化物を用いることが好ましい。
 また、絶縁体586は、絶縁体320と同様の材料を用いることができる。また、これらの絶縁体に、比較的誘電率が低い材料を適用することで、配線間に生じる寄生容量を低減することができる。例えば、絶縁体586として、酸化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜などを用いることができる。
 続いて、図77、及び図79に示す半導体装置に含まれている容量素子600、及びその周辺の配線、又はプラグについて説明する。なお、図77、及び図79に示すトランジスタ500の上方には、容量素子600と、配線、及び/又はプラグが設けられている。
 容量素子600は、一例として、導電体610と、導電体620、絶縁体630とを有する。
 導電体540a又は導電体540bの一方、導電体546、及び絶縁体586上には、導電体610が設けられている。導電体610は、容量素子600の一対の電極の一方としての機能を有する。
 また、導電体540a、又は導電体540bの他方、及び絶縁体586上には、導電体612が設けられる。導電体612は、トランジスタ500と、上方に備えることができる回路素子、配線、端子などと、を電気的に接続するプラグ、配線、端子などとしての機能を有する。具体的には、例えば、導電体612は、上記実施の形態で説明した演算回路110などにおける配線IL、又は配線ILBとすることができる。
 なお、導電体612、及び導電体610は、同時に形成してもよい。
 導電体612、及び導電体610には、モリブデン、チタン、タンタル、タングステン、アルミニウム、銅、クロム、ネオジム、スカンジウムから選ばれた元素を含む金属膜、又は上述した元素を成分とする金属窒化物膜(窒化タンタル膜、窒化チタン膜、窒化モリブデン膜、窒化タングステン膜)等を用いることができる。又は、インジウム錫酸化物、酸化タングステンを含むインジウム酸化物、酸化タングステンを含むインジウム亜鉛酸化物、酸化チタンを含むインジウム酸化物、酸化チタンを含むインジウム錫酸化物、インジウム亜鉛酸化物、酸化ケイ素を添加したインジウム錫酸化物などの導電性材料を適用することもできる。
 図77では、導電体612、及び導電体610は単層構造を示したが、当該構成に限定されず、2層以上の積層構造でもよい。例えば、バリア性を有する導電体と導電性が高い導電体との間に、バリア性を有する導電体、及び導電性が高い導電体に対して密着性が高い導電体を形成してもよい。
 絶縁体586、導電体610上には、絶縁体630が設けられている。絶縁体630は、容量素子600の一対の電極に挟まれる誘電体として機能する。
 絶縁体630としては、例えば、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、酸化アルミニウム、酸化窒化アルミニウム、窒化酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸化ハフニウム、酸化窒化ハフニウム、窒化酸化ハフニウム、窒化ハフニウム、酸化ジルコニウムなどを用いればよく、積層または単層で設けることができる。
 また、例えば、絶縁体630には、酸化窒化シリコンなどの絶縁耐力が大きい材料と、高誘電率(high−k)材料との積層構造を用いてもよい。当該構成により、容量素子600は、高誘電率(high−k)の絶縁体を有することで、十分な容量を確保でき、絶縁耐力が大きい絶縁体を有することで、絶縁耐力が向上し、容量素子600の静電破壊を抑制することができる。
 なお、高誘電率(high−k)材料(高い比誘電率の材料)の絶縁体としては、酸化ガリウム、酸化ハフニウム、酸化ジルコニウム、アルミニウムおよびハフニウムを有する酸化物、アルミニウムおよびハフニウムを有する酸化窒化物、シリコンおよびハフニウムを有する酸化物、シリコンおよびハフニウムを有する酸化窒化物またはシリコンおよびハフニウムを有する窒化物などがある。
 または、絶縁体630は、例えば、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、酸化タンタル、酸化ジルコニウム、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)、チタン酸ストロンチウム(SrTiO)または(Ba、Sr)TiO(BST)などのhigh−k材料を含む絶縁体を単層または積層で用いてもよい。また、絶縁体630としては、ハフニウムと、ジルコニウムとが含まれる化合物などを用いても良い。半導体装置の微細化、および高集積化が進むと、ゲート絶縁体、および容量素子に用いる誘電体の薄膜化により、トランジスタ、容量素子のリーク電流などの問題が生じる場合がある。ゲート絶縁体、および容量素子に用いる誘電体として機能する絶縁体にhigh−k材料を用いることで、物理膜厚を保ちながら、トランジスタ動作時のゲート電位の低減、および容量素子の容量の確保が可能となる。
 絶縁体630を介して、導電体610と重畳するように、導電体620を設ける。導電体620は、容量素子600の一対の電極の他方としての機能を有する。また、例えば、導電体620は、上記実施の形態で説明した演算回路110などにおける配線XLSとすることができる。
 なお、導電体620は、金属材料、合金材料、又は金属酸化物材料などの導電性材料を用いることができる。耐熱性と導電性を両立するタングステン、モリブデンなどの高融点材料を用いることが好ましく、特にタングステンを用いることが好ましい。また、導電体などの他の構造と同時に形成する場合は、低抵抗金属材料であるCu(銅)、Al(アルミニウム)等を用いればよい。また、例えば、導電体620は、導電体610に適用できる材料を用いることができる。また、導電体620は、単層構造ではなく、2層以上の積層構造としてもよい。
 導電体620、及び絶縁体630上には、絶縁体640が設けられている。絶縁体640としては、例えば、トランジスタ500が設けられている領域に、水素、不純物が拡散しないようなバリア性を有する膜を用いることが好ましい。したがって、絶縁体324と同様の材料を用いることができる。
 絶縁体640上には、絶縁体650が設けられている。絶縁体650は、絶縁体320と同様の材料を用いて設けることができる。また、絶縁体650は、その下方の凹凸形状を被覆する平坦化膜として機能してもよい。そのため、絶縁体650としては、例えば、絶縁体322に適用できる材料とすることができる。
 ところで、図77、及び図79に示す容量素子600は、プレーナ型としているが、容量素子の形状はこれに限定されない。容量素子600は、プレーナ型ではなく、例えば、シリンダ型としてもよい。
 また、容量素子600の上方には、配線層を設けてもよい。例えば、図77において、絶縁体411、絶縁体412、絶縁体413、及び絶縁体414が、絶縁体650の上方に、順に設けられている。また、絶縁体411、絶縁体412、及び絶縁体413には、プラグ、又は配線として機能する導電体416が設けられている構成を示している。また、導電体416は、一例として、後述する導電体660に重畳する領域に設けることができる。
 また、絶縁体630、絶縁体640、及び絶縁体650には、導電体612と重畳する領域に開口部が設けられ、当該開口部を埋めるように導電体660が設けられている。導電体660は、上述した配線層に含まれている導電体416に電気的に接続するプラグ、配線として機能する。
 絶縁体411、及び絶縁体414は、例えば、絶縁体324などと同様に、水、水素などの不純物に対するバリア性を有する絶縁体を用いることが好ましい。そのため、絶縁体411、及び絶縁体414としては、例えば、絶縁体324などに適用できる材料を用いることができる。
 絶縁体412、及び絶縁体413は、例えば、絶縁体326と同様に、配線間に生じる寄生容量を低減するために、比誘電率が比較的低い絶縁体を用いることが好ましい。
 また、導電体612、及び導電体416は、例えば、導電体328、及び導電体330と同様の材料を用いて設けることができる。
 酸化物半導体を有するトランジスタを用いた半導体装置に、本実施の形態で説明した本構造を適用することにより、当該トランジスタの電気特性の変動を抑制するとともに、信頼性を向上させることができる。又は、酸化物半導体を有するトランジスタを用いた半導体装置において、微細化又は高集積化を図ることができる。
 なお、本実施の形態は、本明細書で示す他の実施の形態と適宜組み合わせることができる。
(実施の形態6)
 本実施の形態では、上記の実施の形態で説明したOSトランジスタに用いることができる金属酸化物(以下、酸化物半導体ともいう。)について説明する。
 金属酸化物は、少なくともインジウムまたは亜鉛を含むことが好ましい。特にインジウムおよび亜鉛を含むことが好ましい。また、それらに加えて、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、スズなどが含まれていることが好ましい。また、ホウ素、シリコン、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、マグネシウム、コバルトなどから選ばれた一種、または複数種が含まれていてもよい。
<結晶構造の分類>
 まず、酸化物半導体における、結晶構造の分類について、図82Aを用いて説明を行う。図82Aは、酸化物半導体、代表的にはIGZO(Inと、Gaと、Znと、を含む金属酸化物)の結晶構造の分類を説明する図である。
 図82Aに示すように、酸化物半導体は、大きく分けて「Amorphous(無定形)」と、「Crystalline(結晶性)」と、「Crystal(結晶)」と、に分類される。また、「Amorphous」の中には、completely amorphousが含まれる。また、「Crystalline」の中には、CAAC(c−axis−aligned crystalline)、nc(nanocrystalline)、及びCAC(Cloud−Aligned Composite)が含まれる(excluding single crystal and poly crystal)。なお、「Crystalline」の分類には、single crystal、poly crystal、及びcompletely amorphousは除かれる。また、「Crystal」の中には、single crystal、及びpoly crystalが含まれる。
 なお、図82Aに示す太枠内の構造は、「Amorphous(無定形)」と、「Crystal(結晶)」との間の中間状態であり、新しい境界領域(New crystalline phase)に属する構造である。すなわち、当該構造は、エネルギー的に不安定な「Amorphous(無定形)」、「Crystal(結晶)」とは全く異なる構造と言い換えることができる。
 なお、膜または基板の結晶構造は、X線回折(XRD:X−Ray Diffraction)スペクトルを用いて評価することができる。ここで、「Crystalline」に分類されるCAAC−IGZO膜のGIXD(Grazing−Incidence XRD)測定で得られるXRDスペクトルを図82Bに示す(横軸は2θ[deg.]とし、また、縦軸は強度(Intensity)を任意単位(a.u.)で表している)。なお、GIXD法は、薄膜法またはSeemann−Bohlin法ともいう。以降、図82Bに示すGIXD測定で得られるXRDスペクトルを、単にXRDスペクトルと記す。なお、図82Bに示すCAAC−IGZO膜の組成は、In:Ga:Zn=4:2:3[原子数比]近傍である。また、図82Bに示すCAAC−IGZO膜の厚さは、500nmである。
 図82Bに示すように、CAAC−IGZO膜のXRDスペクトルでは、明確な結晶性を示すピークが検出される。具体的には、CAAC−IGZO膜のXRDスペクトルでは、2θ=31°近傍に、c軸配向を示すピークが検出される。なお、図82Bに示すように、2θ=31°近傍のピークは、ピーク強度が検出された角度を軸に左右非対称である。
 また、膜または基板の結晶構造は、極微電子線回折法(NBED:Nano Beam Electron Diffraction)によって観察される回折パターン(極微電子線回折パターンともいう。)にて評価することができる。CAAC−IGZO膜の回折パターンを、図82Cに示す。図82Cは、電子線を基板に対して平行に入射するNBEDによって観察される回折パターンである。なお、図82Cに示すCAAC−IGZO膜の組成は、In:Ga:Zn=4:2:3[原子数比]近傍である。また、極微電子線回折法では、プローブ径を1nmとして電子線回折が行われる。
 図82Cに示すように、CAAC−IGZO膜の回折パターンでは、c軸配向を示す複数のスポットが観察される。
<<酸化物半導体の構造>>
 なお、酸化物半導体は、結晶構造に着目した場合、図82Aとは異なる分類となる場合がある。例えば、酸化物半導体は、単結晶酸化物半導体と、それ以外の非単結晶酸化物半導体と、に分けられる。非単結晶酸化物半導体としては、例えば、上述のCAAC−OS、及びnc−OSがある。また、非単結晶酸化物半導体には、多結晶酸化物半導体、擬似非晶質酸化物半導体(a−like OS:amorphous−like oxide semiconductor)、非晶質酸化物半導体、などが含まれる。
 ここで、上述のCAAC−OS、nc−OS、及びa−like OSの詳細について、説明を行う。
[CAAC−OS]
 CAAC−OSは、複数の結晶領域を有し、当該複数の結晶領域はc軸が特定の方向に配向している酸化物半導体である。なお、特定の方向とは、CAAC−OS膜の厚さ方向、CAAC−OS膜の被形成面の法線方向、またはCAAC−OS膜の表面の法線方向である。また、結晶領域とは、原子配列に周期性を有する領域である。なお、原子配列を格子配列とみなすと、結晶領域とは、格子配列の揃った領域でもある。さらに、CAAC−OSは、a−b面方向において複数の結晶領域が連結する領域を有し、当該領域は歪みを有する場合がある。なお、歪みとは、複数の結晶領域が連結する領域において、格子配列の揃った領域と、別の格子配列の揃った領域と、の間で格子配列の向きが変化している箇所を指す。つまり、CAAC−OSは、c軸配向し、a−b面方向には明らかな配向をしていない酸化物半導体である。
 なお、上記複数の結晶領域のそれぞれは、1つまたは複数の微小な結晶(最大径が10nm未満である結晶)で構成される。結晶領域が1つの微小な結晶で構成されている場合、当該結晶領域の最大径は10nm未満となる。また、結晶領域が多数の微小な結晶で構成されている場合、当該結晶領域の大きさは、数十nm程度となる場合がある。
 また、In−M−Zn酸化物(元素Mは、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、スズ、チタンなどから選ばれた一種、または複数種)において、CAAC−OSは、インジウム(In)、及び酸素を有する層(以下、In層)と、元素M、亜鉛(Zn)、及び酸素を有する層(以下、(M,Zn)層)とが積層した、層状の結晶構造(層状構造ともいう)を有する傾向がある。なお、インジウムと元素Mは、互いに置換可能である。よって、(M,Zn)層にはインジウムが含まれる場合がある。また、In層には元素Mが含まれる場合がある。なお、In層にはZnが含まれる場合もある。当該層状構造は、例えば、高分解能TEM像において、格子像として観察される。
 CAAC−OS膜に対し、例えば、XRD装置を用いて構造解析を行うと、θ/2θスキャンを用いたOut−of−plane XRD測定では、c軸配向を示すピークが2θ=31°またはその近傍に検出される。なお、c軸配向を示すピークの位置(2θの値)は、CAAC−OSを構成する金属元素の種類、組成などにより変動する場合がある。
 また、例えば、CAAC−OS膜の電子線回折パターンにおいて、複数の輝点(スポット)が観測される。なお、あるスポットと別のスポットとは、試料を透過した入射電子線のスポット(ダイレクトスポットともいう。)を対称中心として、点対称の位置に観測される。
 上記特定の方向から結晶領域を観察した場合、当該結晶領域内の格子配列は、六方格子を基本とするが、単位格子は正六角形とは限らず、非正六角形である場合がある。また、上記歪みにおいて、五角形、七角形などの格子配列を有する場合がある。なお、CAAC−OSにおいて、歪み近傍においても、明確な結晶粒界(グレインバウンダリー)を確認することはできない。即ち、格子配列の歪みによって、結晶粒界の形成が抑制されていることがわかる。これは、CAAC−OSが、a−b面方向において酸素原子の配列が稠密でないこと、金属原子が置換することで原子間の結合距離が変化することなどによって、歪みを許容することができるためと考えられる。
 なお、明確な結晶粒界が確認される結晶構造は、いわゆる多結晶(polycrystal)と呼ばれる。結晶粒界は、再結合中心となり、キャリアが捕獲されトランジスタのオン電流の低下、電界効果移動度の低下などを引き起こす可能性が高い。よって、明確な結晶粒界が確認されないCAAC−OSは、トランジスタの半導体層に好適な結晶構造を有する結晶性の酸化物の一つである。なお、CAAC−OSを構成するには、Znを有する構成が好ましい。例えば、In−Zn酸化物、及びIn−Ga−Zn酸化物は、In酸化物よりも結晶粒界の発生を抑制できるため好適である。
 CAAC−OSは、結晶性が高く、明確な結晶粒界が確認されない酸化物半導体である。よって、CAAC−OSは、結晶粒界に起因する電子移動度の低下が起こりにくいといえる。また、酸化物半導体の結晶性は不純物の混入、欠陥の生成などによって低下する場合があるため、CAAC−OSは不純物、及び欠陥(酸素欠損など)の少ない酸化物半導体ともいえる。従って、CAAC−OSを有する酸化物半導体は、物理的性質が安定する。そのため、CAAC−OSを有する酸化物半導体は熱に強く、信頼性が高い。また、CAAC−OSは、製造工程における高い温度(所謂サーマルバジェット)に対しても安定である。したがって、OSトランジスタにCAAC−OSを用いると、製造工程の自由度を広げることが可能となる。
[nc−OS]
 nc−OSは、微小な領域(例えば、1nm以上10nm以下の領域、特に1nm以上3nm以下の領域)において原子配列に周期性を有する。別言すると、nc−OSは、微小な結晶を有する。なお、当該微小な結晶の大きさは、例えば、1nm以上10nm以下、特に1nm以上3nm以下であることから、当該微小な結晶をナノ結晶ともいう。また、nc−OSは、異なるナノ結晶間で結晶方位に規則性が見られない。そのため、膜全体で配向性が見られない。したがって、nc−OSは、分析方法によっては、a−like OS、及び非晶質酸化物半導体と区別が付かない場合がある。例えば、nc−OS膜に対し、XRD装置を用いて構造解析を行うと、θ/2θスキャンを用いたOut−of−plane XRD測定では、結晶性を示すピークが検出されない。また、nc−OS膜に対し、ナノ結晶よりも大きいプローブ径(例えば50nm以上)の電子線を用いる電子線回折(制限視野電子線回折ともいう。)を行うと、ハローパターンのような回折パターンが観測される。一方、nc−OS膜に対し、ナノ結晶の大きさと近いかナノ結晶より小さいプローブ径(例えば1nm以上30nm以下)の電子線を用いる電子線回折(ナノビーム電子線回折ともいう。)を行うと、ダイレクトスポットを中心とするリング状の領域内に複数のスポットが観測される電子線回折パターンが取得される場合がある。
[a−like OS]
 a−like OSは、nc−OSと非晶質酸化物半導体との間の構造を有する酸化物半導体である。a−like OSは、鬆又は低密度領域を有する。即ち、a−like OSは、nc−OS及びCAAC−OSと比べて、結晶性が低い。また、a−like OSは、nc−OS及びCAAC−OSと比べて、膜中の水素濃度が高い。
<<酸化物半導体の構成>>
 次に、上述のCAC−OSの詳細について、説明を行う。なお、CAC−OSは材料構成に関する。
[CAC−OS]
 CAC−OSとは、例えば、金属酸化物を構成する元素が、0.5nm以上10nm以下、好ましくは、1nm以上3nm以下、またはその近傍のサイズで偏在した材料の一構成である。なお、以下では、金属酸化物において、一つまたは複数の金属元素が偏在し、該金属元素を有する領域が、0.5nm以上10nm以下、好ましくは、1nm以上3nm以下、またはその近傍のサイズで混合した状態をモザイク状、またはパッチ状ともいう。
 さらに、CAC−OSとは、第1の領域と、第2の領域と、に材料が分離することでモザイク状となり、当該第1の領域が、膜中に分布した構成(以下、クラウド状ともいう。)である。つまり、CAC−OSは、当該第1の領域と、当該第2の領域とが、混合している構成を有する複合金属酸化物である。
 ここで、In−Ga−Zn酸化物におけるCAC−OSを構成する金属元素に対するIn、Ga、およびZnの原子数比のそれぞれを、[In]、[Ga]、および[Zn]と表記する。例えば、In−Ga−Zn酸化物におけるCAC−OSにおいて、第1の領域は、[In]が、CAC−OS膜の組成における[In]よりも大きい領域である。また、第2の領域は、[Ga]が、CAC−OS膜の組成における[Ga]よりも大きい領域である。または、例えば、第1の領域は、[In]が、第2の領域における[In]よりも大きく、且つ、[Ga]が、第2の領域における[Ga]よりも小さい領域である。また、第2の領域は、[Ga]が、第1の領域における[Ga]よりも大きく、且つ、[In]が、第1の領域における[In]よりも小さい領域である。
 具体的には、上記第1の領域は、インジウム酸化物、インジウム亜鉛酸化物などが主成分である領域である。また、上記第2の領域は、ガリウム酸化物、ガリウム亜鉛酸化物などが主成分である領域である。つまり、上記第1の領域を、Inを主成分とする領域と言い換えることができる。また、上記第2の領域を、Gaを主成分とする領域と言い換えることができる。
 なお、上記第1の領域と、上記第2の領域とは、明確な境界が観察できない場合がある。
 例えば、In−Ga−Zn酸化物におけるCAC−OSでは、エネルギー分散型X線分光法(EDX:Energy Dispersive X−ray spectroscopy)を用いて取得したEDXマッピングにより、Inを主成分とする領域(第1の領域)と、Gaを主成分とする領域(第2の領域)とが、偏在し、混合している構造を有することが確認できる。
 CAC−OSをトランジスタに用いる場合、第1の領域に起因する導電性と、第2の領域に起因する絶縁性とが、相補的に作用することにより、スイッチングさせる機能(On/Offさせる機能)をCAC−OSに付与することができる。つまり、CAC−OSとは、材料の一部では導電性の機能と、材料の一部では絶縁性の機能とを有し、材料の全体では半導体としての機能を有する。導電性の機能と絶縁性の機能とを分離させることで、双方の機能を最大限に高めることができる。よって、CAC−OSをトランジスタに用いることで、高いオン電流(Ion)、高い電界効果移動度(μ)、および良好なスイッチング動作を実現することができる。
 酸化物半導体は、多様な構造をとり、それぞれが異なる特性を有する。本発明の一態様の酸化物半導体は、非晶質酸化物半導体、多結晶酸化物半導体、a−like OS、CAC−OS、nc−OS、CAAC−OSのうち、二種以上を有していてもよい。
<酸化物半導体を有するトランジスタ>
 続いて、上記酸化物半導体をトランジスタに用いる場合について説明する。
 上記酸化物半導体をトランジスタに用いることで、高い電界効果移動度のトランジスタを実現することができる。また、信頼性の高いトランジスタを実現することができる。
 トランジスタには、キャリア濃度の低い酸化物半導体を用いることが好ましい。例えば、酸化物半導体のキャリア濃度は1×1017cm−3以下、好ましくは1×1015cm−3以下、さらに好ましくは1×1013cm−3以下、より好ましくは1×1011cm−3以下、さらに好ましくは1×1010cm−3未満であり、1×10−9cm−3以上である。なお、酸化物半導体膜のキャリア濃度を低くする場合においては、酸化物半導体膜中の不純物濃度を低くし、欠陥準位密度を低くすればよい。本明細書等において、不純物濃度が低く、欠陥準位密度の低いことを高純度真性又は実質的に高純度真性と言う。なお、キャリア濃度の低い酸化物半導体を、高純度真性又は実質的に高純度真性な酸化物半導体と呼称する場合がある。
 また、高純度真性又は実質的に高純度真性である酸化物半導体膜は、欠陥準位密度が低いため、トラップ準位密度も低くなる場合がある。
 また、酸化物半導体のトラップ準位に捕獲された電荷は、消失するまでに要する時間が長く、あたかも固定電荷のように振る舞うことがある。そのため、トラップ準位密度の高い酸化物半導体にチャネル形成領域が形成されるトランジスタは、電気特性が不安定となる場合がある。
 従って、トランジスタの電気特性を安定にするためには、酸化物半導体中の不純物濃度を低減することが有効である。また、酸化物半導体中の不純物濃度を低減するためには、近接する膜中の不純物濃度も低減することが好ましい。不純物としては、水素、窒素、アルカリ金属、アルカリ土類金属、鉄、ニッケル、シリコン等がある。
<不純物>
 ここで、酸化物半導体中における各不純物の影響について説明する。
 酸化物半導体において、第14族元素の一つであるシリコン、又は炭素が含まれると、酸化物半導体において欠陥準位が形成される。このため、酸化物半導体におけるシリコン又は炭素の濃度と、酸化物半導体との界面近傍のシリコン、又は炭素の濃度(二次イオン質量分析法(SIMS:Secondary Ion Mass Spectrometry)により得られる濃度)を、2×1018atoms/cm以下、好ましくは2×1017atoms/cm以下とする。
 また、酸化物半導体にアルカリ金属又はアルカリ土類金属が含まれると、欠陥準位を形成し、キャリアを生成する場合がある。従って、アルカリ金属又はアルカリ土類金属が含まれている酸化物半導体を用いたトランジスタはノーマリーオン特性となりやすい。このため、SIMSにより得られる酸化物半導体中のアルカリ金属又はアルカリ土類金属の濃度を、1×1018atoms/cm以下、好ましくは2×1016atoms/cm以下にする。
 また、酸化物半導体において、窒素が含まれると、キャリアである電子が生じ、キャリア濃度が増加し、n型化しやすい。この結果、窒素が含まれている酸化物半導体を半導体に用いたトランジスタはノーマリーオン特性となりやすい。または、酸化物半導体において、窒素が含まれると、トラップ準位が形成される場合がある。この結果、トランジスタの電気特性が不安定となる場合がある。このため、SIMSにより得られる酸化物半導体中の窒素濃度を、5×1019atoms/cm未満、好ましくは5×1018atoms/cm以下、より好ましくは1×1018atoms/cm以下、さらに好ましくは5×1017atoms/cm以下にする。
 また、酸化物半導体に含まれる水素は、金属原子と結合する酸素と反応して水になるため、酸素欠損を形成する場合がある。該酸素欠損に水素が入ることで、キャリアである電子が生成される場合がある。また、水素の一部が金属原子と結合する酸素と結合して、キャリアである電子を生成することがある。従って、水素が含まれている酸化物半導体を用いたトランジスタはノーマリーオン特性となりやすい。このため、酸化物半導体中の水素はできる限り低減されていることが好ましい。具体的には、酸化物半導体において、SIMSにより得られる水素濃度を、1×1020atoms/cm未満、好ましくは1×1019atoms/cm未満、より好ましくは5×1018atoms/cm未満、さらに好ましくは1×1018atoms/cm未満にする。
 不純物が十分に低減された酸化物半導体をトランジスタのチャネル形成領域に用いることで、安定した電気特性を付与することができる。
 なお、本実施の形態は、本明細書で示す他の実施の形態と適宜組み合わせることができる。
(実施の形態7)
 本実施の形態は、上記実施の形態に示す半導体装置などが形成された半導体ウェハ、及び当該半導体装置が組み込まれた電子部品の一例を示す。
<半導体ウェハ>
 初めに、半導体装置などが形成された半導体ウェハの例を、図83Aを用いて説明する。
 図83Aに示す半導体ウェハ4800は、ウェハ4801と、ウェハ4801の上面に設けられた複数の回路部4802と、を有する。なお、ウェハ4801の上面において、回路部4802の無い部分は、スペーシング4803であり、ダイシング用の領域である。
 半導体ウェハ4800は、ウェハ4801の表面に対して、前工程によって複数の回路部4802を形成することで作製することができる。また、その後に、ウェハ4801の複数の回路部4802が形成された反対側の面を研削して、ウェハ4801の薄膜化してもよい。この工程により、ウェハ4801の反りなどを低減し、部品としての小型化を図ることができる。
 次の工程としては、ダイシング工程が行われる。ダイシングは、一点鎖線で示したスクライブラインSCL1及びスクライブラインSCL2(ダイシングライン、又は切断ラインと呼称する場合がある)に沿って行われる。なお、スペーシング4803は、ダイシング工程を容易に行うために、複数のスクライブラインSCL1が平行になるように設け、複数のスクライブラインSCL2が平行になるように設け、スクライブラインSCL1とスクライブラインSCL2が垂直になるように設けることが好ましい。
 ダイシング工程を行うことにより、図83Bに示すようなチップ4800aを、半導体ウェハ4800から切り出すことができる。チップ4800aは、ウェハ4801aと、回路部4802と、スペーシング4803aと、を有する。なお、スペーシング4803aは、極力小さくなるようにすることが好ましい。この場合、隣り合う回路部4802の間のスペーシング4803の幅が、スクライブラインSCL1の切りしろと、又はスクライブラインSCL2の切りしろとほぼ同等の長さであればよい。
 なお、本発明の一態様の素子基板の形状は、図83Aに図示した半導体ウェハ4800の形状に限定されない。例えば、矩形の形状の半導体ウェハあってもよい。素子基板の形状は、素子の作製工程、及び素子を作製するための装置に応じて、適宜変更することができる。
<電子部品>
 図83Cに電子部品4700および電子部品4700が実装された基板(実装基板4704)の斜視図を示す。図83Cに示す電子部品4700は、モールド4711内にチップ4800aを有している。なお、図83Cに示すとおり、チップ4800aは、回路部4802が積層された構成としてもよい。図83Cは、電子部品4700の内部を示すために、一部を省略している。電子部品4700は、モールド4711の外側にランド4712を有する。ランド4712は電極パッド4713と電気的に接続され、電極パッド4713はチップ4800aとワイヤ4714によって電気的に接続されている。電子部品4700は、例えばプリント基板4702に実装される。このような電子部品が複数組み合わされて、それぞれがプリント基板4702上で電気的に接続されることで実装基板4704が完成する。
 図83Dに電子部品4730の斜視図を示す。電子部品4730は、SiP(System in package)またはMCM(Multi Chip Module)の一例である。電子部品4730は、パッケージ基板4732(プリント基板)上にインターポーザ4731が設けられ、インターポーザ4731上に半導体装置4735、および複数の半導体装置4710が設けられている。
 電子部品4730では、半導体装置4710を有する。半導体装置4710としては、例えば、上記実施の形態で説明した半導体装置、広帯域メモリ(HBM:High Bandwidth Memory)などとすることができる。また、半導体装置4735は、CPU、GPU、FPGA、記憶装置などの集積回路(半導体装置)を用いることができる。
 パッケージ基板4732は、セラミック基板、プラスチック基板、またはガラスエポキシ基板などを用いることができる。インターポーザ4731は、シリコンインターポーザ、樹脂インターポーザなどを用いることができる。
 インターポーザ4731は、複数の配線を有し、端子ピッチの異なる複数の集積回路を電気的に接続する機能を有する。複数の配線は、単層または多層で設けられる。また、インターポーザ4731は、インターポーザ4731上に設けられた集積回路をパッケージ基板4732に設けられた電極と電気的に接続する機能を有する。これらのことから、インターポーザを「再配線基板」または「中間基板」と呼称する場合がある。また、インターポーザ4731に貫通電極を設けて、当該貫通電極を用いて集積回路とパッケージ基板4732を電気的に接続する場合もある。また、シリコンインターポーザでは、貫通電極として、TSV(Through Silicon Via)を用いることも出来る。
 インターポーザ4731としてシリコンインターポーザを用いることが好ましい。シリコンインターポーザでは能動素子を設ける必要が無いため、集積回路よりも低コストで作製することができる。一方で、シリコンインターポーザの配線形成は半導体プロセスで行なうことができるため、樹脂インターポーザでは難しい微細配線の形成が容易である。
 HBMでは、広いメモリバンド幅を実現するために多くの配線を接続する必要がある。このため、HBMを実装するインターポーザには、微細かつ高密度の配線形成が求められる。よって、HBMを実装するインターポーザには、シリコンインターポーザを用いることが好ましい。
 また、シリコンインターポーザを用いたSiP、MCMなどでは、集積回路とインターポーザ間の膨張係数の違いによる信頼性の低下が生じにくい。また、シリコンインターポーザは表面の平坦性が高いため、シリコンインターポーザ上に設ける集積回路とシリコンインターポーザ間の接続不良が生じにくい。特に、インターポーザ上に複数の集積回路を横に並べて配置する2.5Dパッケージ(2.5次元実装)では、シリコンインターポーザを用いることが好ましい。
 また、電子部品4730と重ねてヒートシンク(放熱板)を設けてもよい。ヒートシンクを設ける場合は、インターポーザ4731上に設ける集積回路の高さを揃えることが好ましい。例えば、本実施の形態に示す電子部品4730では、半導体装置4710と半導体装置4735の高さを揃えることが好ましい。
 電子部品4730を他の基板に実装するため、パッケージ基板4732の底部に電極4733を設けてもよい。図83Dでは、電極4733を半田ボールで形成する例を示している。パッケージ基板4732の底部に半田ボールをマトリクス状に設けることで、BGA(Ball Grid Array)実装を実現できる。また、電極4733を導電性のピンで形成してもよい。パッケージ基板4732の底部に導電性のピンをマトリクス状に設けることで、PGA(Pin Grid Array)実装を実現できる。
 電子部品4730は、BGAおよびPGAに限らず様々な実装方法を用いて他の基板に実装することができる。例えば、SPGA(Staggered Pin Grid Array)、LGA(Land Grid Array)、QFP(Quad Flat Package)、QFJ(Quad Flat J−leaded package)、またはQFN(Quad Flat Non−leaded package)などの実装方法を用いることができる。
 なお、本実施の形態は、本明細書で示す他の実施の形態と適宜組み合わせることができる。
(実施の形態8)
 本実施の形態では、上記実施の形態で説明した半導体装置を有する電子機器の一例について説明する。なお、図84には、当該半導体装置を有する電子部品4700が各電子機器に含まれている様子を図示している。
[携帯電話]
 図84に示す情報端末5500は、情報端末の一種である携帯電話(スマートフォン)である。情報端末5500は、筐体5510と、表示部5511と、を有しており、入力用インターフェースとして、タッチパネルが表示部5511に備えられ、ボタンが筐体5510に備えられている。
 情報端末5500は、上記実施の形態で説明した半導体装置を適用することで、人工知能を利用したアプリケーションを実行することができる。人工知能を利用したアプリケーションとしては、例えば、会話を認識してその会話内容を表示部5511に表示するアプリケーション、表示部5511に備えるタッチパネルに対してユーザが入力した文字、図形などを認識して、表示部5511に表示するアプリケーション、指紋、声紋などの生体認証を行うアプリケーションなどが挙げられる。また、例えば、情報端末5500に備えられる撮像装置(図示しない)によって画像を取得したとき、上記実施の形態で説明した半導体装置を用いることによって、当該画像に対して畳み込み処理を行うことができる。つまり、当該画像に対して、特徴抽出を行うことができる。
[ウェアラブル端末]
 また、図84には、ウェアラブル端末の一例として腕時計型の情報端末5900が図示されている。情報端末5900は、筐体5901、表示部5902、操作ボタン5903、操作子5904、バンド5905などを有する。
 ウェアラブル端末は、先述した情報端末5500と同様に、上記実施の形態で説明した半導体装置を適用することで、人工知能を利用したアプリケーションを実行することができる。人工知能を利用したアプリケーションとしては、例えば、ウェアラブル端末を装着した人の健康状態を管理するアプリケーション、目的地を入力することで最適な道を選択して誘導するナビゲーションシステムなどが挙げられる。
[情報端末]
 また、図84には、デスクトップ型情報端末5300が図示されている。デスクトップ型情報端末5300は、情報端末の本体5301と、ディスプレイ5302と、キーボード5303と、を有する。
 デスクトップ型情報端末5300は、先述した情報端末5500と同様に、上記実施の形態で説明した半導体装置を適用することで、人工知能を利用したアプリケーションを実行することができる。人工知能を利用したアプリケーションとしては、例えば、設計支援ソフトウェア、文章添削ソフトウェア、献立自動生成ソフトウェアなどが挙げられる。また、デスクトップ型情報端末5300を用いることで、新規の人工知能の開発を行うことができる。また、例えば、情報端末5500に備えられる撮像装置(図示しない)によって画像を取得したとき、上記実施の形態で説明した半導体装置を用いることによって、当該画像に対して畳み込み処理を行うことができる。つまり、当該画像に対して、特徴抽出を行うことができる。
 なお、上述では、電子機器としてスマートフォン、デスクトップ用情報端末、ウェアラブル端末を例として、それぞれ図84に図示したが、スマートフォン、デスクトップ用情報端末、ウェアラブル端末以外の情報端末を適用することができる。スマートフォン、デスクトップ用情報端末、ウェアラブル端末以外の情報端末としては、例えば、PDA(Personal Digital Assistant)、ノート型情報端末、ワークステーションなどが挙げられる。
[電化製品]
 また、図84には、電化製品の一例として電気冷凍冷蔵庫5800が図示されている。電気冷凍冷蔵庫5800は、筐体5801、冷蔵室用扉5802、冷凍室用扉5803等を有する。
 電気冷凍冷蔵庫5800に上記実施の形態で説明した半導体装置を適用することによって、人工知能を有する電気冷凍冷蔵庫5800を実現することができる。人工知能を利用することによって電気冷凍冷蔵庫5800は、電気冷凍冷蔵庫5800に保存されている食材、その食材の消費期限などを基に献立を自動生成する機能、電気冷凍冷蔵庫5800に保存されている食材に合わせた温度に自動的に調節する機能などを有することができる。
 本一例では、電化製品として電気冷凍冷蔵庫について説明したが、その他の電化製品としては、例えば、掃除機、電子レンジ、電気オーブン、炊飯器、湯沸かし器、IH(Induction Heating)調理器、ウォーターサーバ、エアーコンディショナーを含む冷暖房器具、洗濯機、乾燥機、オーディオビジュアル機器などが挙げられる。
[ゲーム機]
 また、図84には、ゲーム機の一例である携帯ゲーム機5200が図示されている。携帯ゲーム機5200は、筐体5201、表示部5202、ボタン5203等を有する。
 更に、図84には、ゲーム機の一例である据え置き型ゲーム機7500が図示されている。据え置き型ゲーム機7500は、本体7520と、コントローラ7522を有する。なお、本体7520には、無線または有線によってコントローラ7522を接続することができる。また、図84に示していないが、コントローラ7522は、ゲームの画像を表示する表示部、ボタン以外の入力インターフェースとなるタッチパネル、スティック、回転式つまみ、スライド式つまみなどを備えることができる。また、コントローラ7522は、図84に示す形状に限定されず、ゲームのジャンルに応じて、コントローラ7522の形状を様々に変更してもよい。例えば、FPS(First Person Shooter)などのシューティングゲームでは、トリガーをボタンとし、銃を模した形状のコントローラを用いることができる。また、例えば、音楽ゲームなどでは、楽器、音楽機器などを模した形状のコントローラを用いることができる。更に、据え置き型ゲーム機は、コントローラを使わず、代わりにカメラ、深度センサ、マイクロフォンなどを備えて、ゲームプレイヤーのジェスチャー、及び/又は音声によって操作する形式としてもよい。
 また、上述したゲーム機の映像は、テレビジョン装置、パーソナルコンピュータ用ディスプレイ、ゲーム用ディスプレイ、ヘッドマウントディスプレイなどの表示装置によって、出力することができる。
 携帯ゲーム機5200に上記実施の形態で説明した半導体装置を適用することによって、低消費電力の携帯ゲーム機5200を実現することができる。また、低消費電力により、回路からの発熱を低減することができるため、発熱によるその回路自体、周辺回路、及びモジュールへの影響を少なくすることができる。
 更に、携帯ゲーム機5200に上記実施の形態で説明した半導体装置を適用することによって、人工知能を有する携帯ゲーム機5200を実現することができる。
 本来、ゲームの進行、ゲーム上に登場する生物の言動、ゲーム上で発生する現象などの表現は、そのゲームが有するプログラムによって定められているが、携帯ゲーム機5200に人工知能を適用することにより、ゲームのプログラムに限定されない表現が可能になる。例えば、プレイヤーが問いかける内容、ゲームの進行状況、時刻、ゲーム上に登場する人物の言動が変化するといった表現が可能となる。
 また、携帯ゲーム機5200で複数のプレイヤーが必要なゲームを行う場合、人工知能によって擬人的にゲームプレイヤーを構成することができるため、対戦相手を人工知能によるゲームプレイヤーとすることによって、1人でもゲームを行うことができる。
 図84では、ゲーム機の一例として携帯ゲーム機を図示しているが、本発明の一態様の電子機器はこれに限定されない。本発明の一態様の電子機器としては、例えば、家庭用の据え置き型ゲーム機、娯楽施設(ゲームセンター、遊園地など)に設置されるアーケードゲーム機、スポーツ施設に設置されるバッティング練習用の投球マシンなどが挙げられる。
[移動体]
 上記実施の形態で説明した半導体装置は、移動体である自動車、及び自動車の運転席周辺に適用することができる。
 図84には移動体の一例である自動車5700が図示されている。
 自動車5700の運転席周辺には、スピードメーター、タコメーター、走行距離、燃料計、ギア状態、エアコンの設定などを表示することができるインストゥルメントパネルが備えられている。また、運転席周辺には、それらの情報を示す表示装置が備えられていてもよい。
 特に当該表示装置には、自動車5700に設けられた撮像装置(図示しない。)からの映像を映し出すことによって、ピラーなどで遮られた視界、運転席の死角などを補うことができ、安全性を高めることができる。すなわち、自動車5700の外側に設けられた撮像装置からの画像を表示することによって、死角を補い、安全性を高めることができる。
 上記実施の形態で説明した半導体装置は人工知能の構成要素として適用できるため、例えば、当該半導体装置を自動車5700の自動運転システムに用いることができる。また、当該半導体装置を道路案内、危険予測などを行うシステムに用いることができる。当該表示装置には、道路案内、危険予測などの情報を表示する構成としてもよい。
 なお、上述では、移動体の一例として自動車について説明しているが、移動体は自動車に限定されない。例えば、移動体としては、電車、モノレール、船、飛行体(ヘリコプター、無人航空機(ドローン)、飛行機、ロケット)なども挙げることができ、これらの移動体に本発明の一態様の半導体装置を適用して、人工知能を利用したシステムを付与することができる。
[カメラ]
 上記実施の形態で説明した半導体装置は、カメラに適用することができる。
 図84には、撮像装置の一例であるデジタルカメラ6240が図示されている。デジタルカメラ6240は、筐体6241、表示部6242、操作ボタン6243、シャッターボタン6244等を有し、また、デジタルカメラ6240には、着脱可能なレンズ6246が取り付けられている。なお、ここではデジタルカメラ6240を、レンズ6246を筐体6241から取り外して交換することが可能な構成としたが、レンズ6246と筐体6241とが一体となっていてもよい。また、デジタルカメラ6240は、ストロボ装置、ビューファインダー等を別途装着することができる構成としてもよい。
 デジタルカメラ6240に上記実施の形態で説明した半導体装置を適用することによって、低消費電力のデジタルカメラ6240を実現することができる。また、低消費電力により、回路からの発熱を低減することができるため、発熱によるその回路自体、周辺回路、及びモジュールへの影響を少なくすることができる。
 更に、デジタルカメラ6240に上記実施の形態で説明した半導体装置を適用することによって、人工知能を有するデジタルカメラ6240を実現することができる。人工知能を利用することによって、デジタルカメラ6240は、顔、物体など被写体を自動的に認識する機能、又は当該被写体に合わせたピント調節、環境に合わせて自動的にフラッシュを焚く機能、撮像した画像を調色する機能などを有することができる。また、例えば、デジタルカメラ6240によって画像を取得したとき、上記実施の形態で説明した半導体装置を用いることによって、当該画像に対して畳み込み処理を行うことができる。つまり、当該画像に対して、特徴抽出を行うことができる。
[ビデオカメラ]
 上記実施の形態で説明した半導体装置は、ビデオカメラに適用することができる。
 図84には、撮像装置の一例であるビデオカメラ6300が図示されている。ビデオカメラ6300は、第1筐体6301、第2筐体6302、表示部6303、操作キー6304、レンズ6305、接続部6306等を有する。操作キー6304及びレンズ6305は第1筐体6301に設けられており、表示部6303は第2筐体6302に設けられている。そして、第1筐体6301と第2筐体6302とは、接続部6306により接続されており、第1筐体6301と第2筐体6302の間の角度は、接続部6306により変更が可能である。表示部6303における映像を、接続部6306における第1筐体6301と第2筐体6302との間の角度に従って切り替える構成としてもよい。
 ビデオカメラ6300で撮影した映像を記録する際、データの記録形式に応じたエンコードを行う必要がある。人工知能を利用することによって、ビデオカメラ6300は、エンコードの際に、人工知能によるパターン認識を行うことができる。このパターン認識によって、連続する撮像画像データに含まれる人、動物、物体などの差分データを算出して、データの圧縮を行うことができる。また、例えば、撮像画像データに対して、上記実施の形態で説明した半導体装置を用いて、畳み込み処理を行ってもよい。
[PC用の拡張デバイス]
 上記実施の形態で説明した半導体装置は、PC(Personal Computer)などの計算機、情報端末用の拡張デバイスに適用することができる。
 図85Aは、当該拡張デバイスの一例として、持ち運びのできる、演算処理が可能なチップが搭載された、PCに外付けする拡張デバイス6100を示している。拡張デバイス6100は、例えば、USB(Universal Serial Bus)などでPCに接続することで、当該チップによる演算処理を行うことができる。なお、図85Aは、持ち運びが可能な形態の拡張デバイス6100を図示しているが、本発明の一態様に係る拡張デバイスは、これに限定されず、例えば、冷却用ファンなどを搭載した比較的大きい形態の拡張デバイスとしてもよい。
 拡張デバイス6100は、筐体6101、キャップ6102、USBコネクタ6103及び基板6104を有する。基板6104は、筐体6101に収納されている。基板6104には、上記実施の形態で説明した半導体装置などを駆動する回路が設けられている。例えば、基板6104には、チップ6105(例えば、上記実施の形態で説明した半導体装置、電子部品4700、メモリチップなど。)、コントローラチップ6106が取り付けられている。USBコネクタ6103は、外部装置と接続するためのインターフェースとして機能する。
 拡張デバイス6100をPCなど用いることにより、当該PCの演算処理能力を高くすることができる。これにより、処理能力の足りないPCでも、例えば、人工知能、動画処理などの演算を行うことができる。
[放送システム]
 上記実施の形態で説明した半導体装置は、放送システムに適用することができる。
 図85Bは、放送システムにおけるデータ伝送を模式的に示している。具体的には、図85Bは、放送局5680から送信された電波(放送信号)が、各家庭のテレビジョン受信装置(TV)5600に届くまでの経路を示している。TV5600は、受信装置を備え(図示しない。)、アンテナ5650で受信された放送信号は、当該受信装置を介して、TV5600に送信される。
 図85Bでは、アンテナ5650は、UHF(Ultra High Frequency)アンテナを図示しているが、アンテナ5650としては、BS・110°CSアンテナ、CSアンテナなども適用できる。
 電波5675A、電波5675Bは地上波放送用の放送信号であり、電波塔5670は受信した電波5675Aを増幅して、電波5675Bの送信を行う。各家庭では、アンテナ5650で電波5675Bを受信することで、TV5600で地上波放送を視聴することができる。なお、放送システムは、図85Bに示す地上波放送に限定せず、人工衛星を用いた衛星放送、光回線によるデータ放送などとしてもよい。
 上述した放送システムは、上記実施の形態で説明した半導体装置を適用して、人工知能を利用した放送システムとしてもよい。放送局5680から各家庭のTV5600に放送データを送信するとき、エンコーダによって放送データの圧縮が行われ、アンテナ5650が当該放送データを受信したとき、TV5600に含まれる受信装置のデコーダによって当該放送データの復元が行われる。人工知能を利用することによって、例えば、エンコーダの圧縮方法の一である動き補償予測において、表示画像に含まれる表示パターンの認識を行うことができる。また、人工知能を利用したフレーム内予測などを行うこともできる。また、例えば、解像度の低い放送データを受信して、解像度の高いTV5600で当該放送データの表示を行うとき、デコーダによる放送データの復元において、アップコンバートなどの画像の補間処理を行うことができる。
 上述した人工知能を利用した放送システムは、放送データの量が増大する超高精細度テレビジョン(UHDTV:4K、8K)放送に対して好適である。
 また、TV5600側における人工知能の応用として、例えば、TV5600に人工知能を有する録画装置を設けてもよい。このような構成にすることによって、当該録画装置にユーザの好みを人工知能に学習させることで、ユーザの好みにあった番組を自動的に録画することができる。
[認証システム]
 上記実施の形態で説明した半導体装置は、認証システムに適用することができる。
 図85Cは、掌紋認証装置を示しており、筐体6431、表示部6432、掌紋読み取り部6433、配線6434を有している。
 図85Cには、掌紋認証装置が手6435の掌紋を取得する様子を示している。取得した掌紋は、人工知能を利用したパターン認識の処理が行われ、当該掌紋が本人のものであるかどうかの判別を行うことができる。これにより、セキュリティの高い認証を行うシステムを構築することができる。また、本発明の一態様に係る認証システムは、掌紋認証装置に限定されず、指紋、静脈、顔、虹彩、声紋、遺伝子、体格などの生体情報を取得して生体認証を行う装置であってもよい。
 なお、本実施の形態は、本明細書で示す他の実施の形態と適宜組み合わせることができる。
ILD:回路、WLD:回路、XLD:回路、AFP:回路、ACTF:回路、MP:回路、MC:回路、MCr:回路、M1:トランジスタ、M1−2b:トランジスタ、M1−2br:トランジスタ、M1−3b:トランジスタ、M1−3br:トランジスタ、M1c:トランジスタ、M1cr:トランジスタ、M1p:トランジスタ、M1pr:トランジスタ、M1r:トランジスタ、M1s:トランジスタ、M1sr:トランジスタ、M1x:トランジスタ、M1xr:トランジスタ、M1x−2b:トランジスタ、M1x−2br:トランジスタ、M1x−3b:トランジスタ、M1x−3br:トランジスタ、M1−2x:トランジスタ、M1−2xr:トランジスタ、M1−3x:トランジスタ、M1−3xr:トランジスタ、M1−2x−2b:トランジスタ、M1−2x−2br:トランジスタ、M1−3x−2b:トランジスタ、M1−3x−2br:トランジスタ、M1−2x−3b:トランジスタ、M1−2x−3br:トランジスタ、M1−3x−3b:トランジスタ、M1−3x−3br:トランジスタ、M2:トランジスタ、M2r:トランジスタ、M2s:トランジスタ、M2sr:トランジスタ、M2−2b:トランジスタ、M2−2br:トランジスタ、M2−3b:トランジスタ、M2−3br:トランジスタ、M3:トランジスタ、M3p:トランジスタ、M3pr:トランジスタ、M3r:トランジスタ、M3s:トランジスタ、M3sr:トランジスタ、M3x:トランジスタ、M3−2b:トランジスタ、M3−2br:トランジスタ、M3−2x:トランジスタ、M3−2xr:トランジスタ、M3−3b:トランジスタ、M3−3br:トランジスタ、M3−3x:トランジスタ、M3−3xr:トランジスタ、M4:トランジスタ、M4p:トランジスタ、M4pr:トランジスタ、M4r:トランジスタ、M4s:トランジスタ、M4sr:トランジスタ、M4−2b:トランジスタ、M4−2br:トランジスタ、M4−2x:トランジスタ、M4−2xr:トランジスタ、M4−3b:トランジスタ、M4−3br:トランジスタ、M4−3x:トランジスタ、M4−3xr:トランジスタ、M5:トランジスタ、M5r:トランジスタ、M6:トランジスタ、M6r:トランジスタ、M6s:トランジスタ、M6sr:トランジスタ、M7:トランジスタ、M7r:トランジスタ、M7s:トランジスタ、M7sr:トランジスタ、M8:トランジスタ、M8r:トランジスタ、M9:トランジスタ、M9r:トランジスタ、M10:トランジスタ、M10r:トランジスタ、M11:トランジスタ、M12:トランジスタ、M12r:ランジスタ、M13:トランジスタ、M13r:トランジスタ、M20:トランジスタ、M20r:トランジスタ、MZ:ランジスタ、CC:容量、CE:容量、CEB:容量、C1:容量、C1r:容量、C1s:容量、C1sr:容量、C2:容量、C2r:容量、C3:容量、C3r:容量、C4:容量、n1:ノード、n1r:ノード、n2:ノード、n2r:ノード、n3:ノード、n3r:ノード、n4:ノード、n4r:ノード、ina:ノード、inb:ノード、outa:ノード、outb:ノード、S01a:スイッチ、S01b:スイッチ、S02a:スイッチ、S02b:スイッチ、S03:スイッチ、SWI:スイッチ、SWIB:スイッチ、SWO:スイッチ、SWOB:スイッチ、SWL:スイッチ、SWLB:スイッチ、SWH:スイッチ、SWHB:スイッチ、SWC1:スイッチ、SWC2:スイッチ、SWC3:スイッチ、AS3:アナログスイッチ、AS3r:アナログスイッチ、AS4:アナログスイッチ、AS4r:アナログスイッチ、TW[1]:切り替え回路、TW[j]:切り替え回路、TW[n]:切り替え回路、HC:回路、HCr:回路、HCs:回路、HCsr:回路、HC−2b:回路、HC−2br:回路、HC−3b:回路、HC−3br:回路、IV1:インバータ回路、IV1r:インバータ回路、IV2:インバータ回路、IV2r:インバータ回路、INV3:インバータ回路、IVR:インバータループ回路、IVRr:インバータループ回路、ISC:電流源回路、ISC1:定電流源回路、ISC2:定電流源回路、ISC3:定電流源回路、HCS:回路、HCS−2b:回路、HCS−3b:回路、HCSr:回路、HCS−2br:回路、HCS−3br:回路、TRF:変換回路、ADCa:アナログデジタル変換回路、ADCb:アナログデジタル変換回路、BS:回路、BSr:回路、BMC:回路、BMCr:回路、LC:負荷回路、LCr:負荷回路、TSa:端子、TSaB:端子、TSb:端子、TSb1:端子、TSb2:端子、TSb3:端子、TSbB:端子、TSbB1:端子、TSbB2:端子、TSbB3:端子、TSc:端子、TScB:端子、VinT:端子、VoutT:端子、VrefT:端子、IL:配線、IL[1]:配線、IL[j]:配線、IL[n]:配線、ILB:配線、ILB[1]:配線、ILB[j]:配線、ILB[n]:配線、OL:配線、OL[1]:配線、OL[j]:配線、OL[n]:配線、OLB:配線、OLB[1]:配線、OLB[j]:配線、OLB[n]:配線、WLS[1]:配線、WLS[i]:配線、WLS[m]:配線、XL:配線、XLS[1]:配線、XLS[i]:配線、XLS[m]:配線、WLBS:配線、WXBS:配線、VAL:配線、VA:配線、VAr:配線、VB:配線、VSO:配線、VCN:配線、VCN2:配線、VE:配線、VEr:配線、VEm:配線、VEmr:配線、VF:配線、VFr:配線、VrefL:配線、VL:配線、VLr:配線、VLs:配線、VLsr:配線、VLm:配線、VEH:配線、S1L:配線、S2L:配線、Vref1L:配線、Vref2L:配線、WL:配線、W1L:配線、W2L:配線、WL2b:配線、WL3b:配線、WXL:配線、WX1L:配線、WX1L2b:配線、WX1L3b:配線、WX1LB:配線、X1:配線、X1L:配線、X1L2b:配線、X1L2x:配線、X1L3b:配線、X1L3x:配線、X2L:配線、X2L2b:配線、X2L2x:配線、X2L3b:配線、X2L3x:配線、X2LB:配線、CVL:配線、SCL1:スクライブライン、SCL2:スクライブライン、100:ニューラルネットワーク、110:演算回路、120:演算回路、130:演算回路、140:演算回路、150:演算回路、160:演算回路、170:演算回路、300:トランジスタ、310:基板、310A:基板、312:素子分離層、313:半導体領域、314a:低抵抗領域、314b:低抵抗領域、315:絶縁体、316:導電体、320:絶縁体、322:絶縁体、324:絶縁体、326:絶縁体、328:導電体、330:導電体、350:絶縁体、352:絶縁体、354:絶縁体、356:導電体、360:絶縁体、362:絶縁体、364:絶縁体、366:導電体、411:絶縁体、412:絶縁体、413:絶縁体、414:絶縁体、416:導電体、500:トランジスタ、503:導電体、503a:導電体、503b:導電体、510:絶縁体、512:絶縁体、514:絶縁体、516:絶縁体、518:導電体、522:絶縁体、524:絶縁体、530:酸化物、530a:酸化物、530b:酸化物、530ba:領域、530bb:領域、530bc:領域、540a:導電体、540b:導電体、541a:絶縁体、541b:絶縁体、542a:導電体、542b:導電体、543a:酸化物、543b:酸化物、544:絶縁体、546:導電体、550:絶縁体、550a:絶縁体、550b:絶縁体、552:絶縁体、554:絶縁体、560:導電体、560a:導電体、560b:導電体、571a:絶縁体、571b:絶縁体、574:絶縁体、576:絶縁体、580:絶縁体、581:絶縁体、582:絶縁体、586:絶縁体、600:容量素子、610:導電体、612:導電体、620:導電体、630:絶縁体、640:絶縁体、650:絶縁体、660:導電体、4700:電子部品、4702:プリント基板、4704:実装基板、4710:半導体装置、4711:モールド、4712:ランド、4713:電極パッド、4714:ワイヤ、4730:電子部品、4731:インターポーザ、4732:パッケージ基板、4733:電極、4735:半導体装置、4800:半導体ウェハ、4800a:チップ、4801:ウェハ、4801a:ウェハ、4802:回路部、4803:スペーシング、4803a:スペーシング、5200:携帯ゲーム機、5201:筐体、5202:表示部、5203:ボタン、5300:デスクトップ型情報端末、5301:本体、5302:ディスプレイ、5303:キーボード、5500:情報端末、5510:筐体、5511:表示部、5600:TV、5650:アンテナ、5670:電波塔、5675A:電波、5675B:電波、5680:放送局、5700:自動車、5800:電気冷凍冷蔵庫、5801:筐体、5802:冷蔵室用扉、5803:冷凍室用扉、5900:情報端末、5901:筐体、5902:表示部、5903:操作ボタン、5904:操作子、5905:バンド、6100:拡張デバイス、6101:筐体、6102:キャップ、6103:USBコネクタ、6104:基板、6105:チップ、6106:コントローラチップ、6240:デジタルカメラ、6241:筐体、6242:表示部、6243:操作ボタン、6244:シャッターボタン、6246:レンズ、6300:ビデオカメラ、6301:第1筐体、6302:第2筐体、6303:表示部、6304:操作キー、6305:レンズ、6306:接続部、6431:筐体、6432:表示部、6433:掌紋読み取り部、6434:配線、6435:手、7500:据え置き型ゲーム機、7520:本体、7522:コントローラ

Claims (9)

  1.  第1回路と、第2回路と、を有し、
     前記第1回路は、第1保持部と、第1駆動トランジスタと、を有し、
     前記第2回路は、第2保持部と、第2駆動トランジスタと、を有し、
     前記第1回路は、第1入力配線と、第2入力配線と、第1配線と、第2配線と、に電気的に接続され、
     前記第2回路は、前記第1入力配線と、前記第2入力配線と、前記第1配線と、前記第2配線と、に電気的に接続され、
     前記第1保持部は、前記第1配線から前記第1駆動トランジスタのソース−ドレイン間に流れる第1電流に応じた第1電位を保持する機能を有し、
     前記第2保持部は、前記第2配線から前記第2駆動トランジスタのソース−ドレイン間に流れる第2電流に応じた第2電位を保持する機能を有し、
     前記第1回路は、
     前記第1入力配線に第1レベル電位が入力され、かつ前記第2入力配線に第2レベル電位が入力されたときに、前記第1電流を前記第1配線に出力する機能と、
     前記第1入力配線に前記第2レベル電位が入力され、かつ前記第2入力配線に前記第1レベル電位が入力されたときに、前記第1電流を前記第2配線に出力する機能と、
     前記第1入力配線に前記第2レベル電位が入力され、かつ前記第2入力配線に前記第2レベル電位が入力されたときに、前記第1電流を前記第1配線、及び前記第2配線に出力しない機能と、を有し、
     前記第2回路は、
     前記第1入力配線に前記第1レベル電位が入力され、かつ前記第2入力配線に前記第2レベル電位が入力されたときに、前記第2電流を前記第2配線に出力する機能と、
     前記第1入力配線に前記第2レベル電位が入力され、かつ前記第2入力配線に前記第1レベル電位が入力されたときに、前記第2電流を前記第1配線に出力する機能と、
     前記第1入力配線に前記第2レベル電位が入力され、かつ前記第2入力配線に前記第2レベル電位が入力されたときに、前記第2電流を前記第1配線、及び前記第2配線に出力しない機能と、を有し、
     前記第1電流と、前記第2電流と、のそれぞれの電流量は、畳み込み処理に用いられるフィルタに含まれるフィルタ値に応じた量であり、
     前記第1入力配線と、前記第2入力配線と、のそれぞれに入力される前記第1レベル電位、及び前記第2レベル電位は、前記畳み込み処理が施される画像データに応じて決められる、
     半導体装置。
  2.  第1回路と、第2回路と、を有し、
     前記第1回路は、第1保持部と、第1駆動トランジスタと、を有し、
     前記第2回路は、第2保持部と、第2駆動トランジスタと、を有し、
     前記第1回路は、第1入力配線と、第2入力配線と、第1配線と、第2配線と、に電気的に接続され、
     前記第2回路は、前記第1入力配線と、前記第2入力配線と、前記第1配線と、前記第2配線と、に電気的に接続され、
     前記第1保持部は、前記第1配線から前記第1駆動トランジスタのソース−ドレイン間に流れる第1電流に応じた第1電位を保持する機能を有し、
     前記第2保持部は、前記第2配線から前記第2駆動トランジスタのソース−ドレイン間に流れる第2電流に応じた第2電位を保持する機能を有し、
     前記第1駆動トランジスタは、前記第1駆動トランジスタのソース−ドレイン間において、保持された前記第1電位に応じた前記第1電流を流す機能を有し、
     前記第2駆動トランジスタは、前記第2駆動トランジスタのソース−ドレイン間において、保持された前記第2電位に応じた前記第2電流を流す機能を有し、
     前記第1回路は、
     第1期間に、前記第1入力配線に第1レベル電位が入力され、かつ前記第2入力配線に第2レベル電位が入力されたときに、前記第1電流を前記第1配線に出力する機能と、
     前記第1期間に、前記第1入力配線に前記第2レベル電位が入力され、かつ前記第2入力配線に前記第1レベル電位が入力されたときに、前記第1電流を前記第2配線に出力する機能と、
     前記第1期間に、前記第1入力配線に前記第2レベル電位が入力され、かつ前記第2入力配線に前記第2レベル電位が入力されたときに、前記第1電流を前記第1配線、及び前記第2配線に出力しない機能と、を有し、
     前記第2回路は、
     前記第1期間に、前記第1入力配線に前記第1レベル電位が入力され、かつ前記第2入力配線に前記第2レベル電位が入力されたときに、前記第2電流を前記第2配線に出力する機能と、
     前記第1期間に、前記第1入力配線に前記第2レベル電位が入力され、かつ前記第2入力配線に前記第1レベル電位が入力されたときに、前記第2電流を前記第1配線に出力する機能と、
     前記第1期間に、前記第1入力配線に前記第2レベル電位が入力され、かつ前記第2入力配線に前記第2レベル電位が入力されたときに、前記第2電流を前記第1配線、及び前記第2配線に出力しない機能と、を有し、
     前記第1電流と、前記第2電流と、のそれぞれの電流量は、畳み込み処理に用いられるフィルタに含まれるフィルタ値に応じた量であり、
     前記第1入力配線と、前記第2入力配線と、のそれぞれに入力される前記第1レベル電位、及び前記第2レベル電位と、前記第1期間の長さと、は、前記畳み込み処理が施される画像データに応じて決められる、
     半導体装置。
  3.  請求項2において、
     前記第1期間は、第2期間と、第3期間と、を有し、
     前記第1入力配線は、前記第2期間において、前記第1回路及び前記第2回路の両方に前記第1レベル電位又は前記第2レベル電位を与える機能を有し、
     前記第2入力配線は、前記第2期間において、前記第1回路及び前記第2回路の両方に前記第1レベル電位又は前記第2レベル電位を与える機能を有し、
     前記第1入力配線は、前記第3期間において、前記第1回路及び前記第2回路の両方に前記第1レベル電位又は前記第2レベル電位を与える機能を有し、
     前記第2入力配線は、前記第3期間において、前記第1回路及び前記第2回路の両方に前記第1レベル電位又は前記第2レベル電位を与える出力する機能を有し、
     前記第3期間の長さは、前記第2期間の長さの1.8倍以上2.2倍以下である、
     半導体装置。
  4.  請求項1乃至請求項3のいずれか一において、
     前記第1回路は、第1トランジスタと、第2トランジスタと、第3トランジスタと、第1容量と、を有し、
     前記第2回路は、第4トランジスタと、第5トランジスタと、第6トランジスタと、第2容量と、を有し、
     前記第1保持部は、前記第1トランジスタと、前記第1容量と、を有し、
     前記第2保持部は、前記第4トランジスタと、前記第2容量と、を有し、
     前記第1トランジスタの第1端子は、前記第1容量の第1端子と、前記第1駆動トランジスタのゲートに電気的に接続され、
     前記第1トランジスタの第2端子は、前記第1配線に電気的に接続され、
     前記第1駆動トランジスタの第1端子は、前記第2トランジスタの第1端子と、前記第3トランジスタの第1端子と、に電気的に接続され、
     前記第2トランジスタの第2端子は、前記第1配線に電気的に接続され、
     前記第2トランジスタのゲートは、前記第1入力配線に電気的に接続され、
     前記第3トランジスタの第2端子は、前記第2配線に電気的に接続され、
     前記第3トランジスタのゲートは、前記第2入力配線に電気的に接続され、
     前記第4トランジスタの第1端子は、前記第2容量の第1端子と、前記第2駆動トランジスタのゲートに電気的に接続され、
     前記第4トランジスタの第2端子は、前記第2配線に電気的に接続され、
     前記第2駆動トランジスタの第1端子は、前記第5トランジスタの第1端子と、前記第6トランジスタの第1端子と、に電気的に接続され、
     前記第5トランジスタの第2端子は、前記第2配線に電気的に接続され、
     前記第5トランジスタのゲートは、前記第1入力配線に電気的に接続され、
     前記第6トランジスタの第2端子は、前記第1配線に電気的に接続され、
     前記第6トランジスタのゲートは、前記第2入力配線に電気的に接続されている、
     半導体装置。
  5.  請求項4において、
     前記第1回路は、第7トランジスタを有し、
     前記第2回路は、第8トランジスタを有し、
     前記第7トランジスタの第1端子は、前記第1駆動トランジスタの第1端子と、前記第2トランジスタの第1端子と、前記第3トランジスタの第1端子と、に電気的に接続され、
     前記第7トランジスタの第2端子は、前記第1トランジスタの第1端子、又は第2端子の一方に電気的に接続され、
     前記第8トランジスタの第1端子は、前記第2駆動トランジスタの第1端子と、前記第5トランジスタの第1端子と、前記第6トランジスタの第1端子と、に電気的に接続され、
     前記第8トランジスタの第2端子は、前記第4トランジスタの第1端子、又は第2端子の一方に電気的に接続され、
     前記第1トランジスタのゲートは、前記第4トランジスタのゲートと、前記第7トランジスタのゲートと、前記第8トランジスタのゲートと、に電気的に接続されている、
     半導体装置。
  6.  請求項1乃至請求項3のいずれか一において、
     前記第1回路は、第1トランジスタと、第2トランジスタと、第3トランジスタと、第1容量と、を有し、
     前記第2回路は、第4トランジスタと、第5トランジスタと、第6トランジスタと、第2容量と、を有し、
     前記第1保持部は、前記第1トランジスタと、前記第1容量と、を有し、
     前記第2保持部は、前記第4トランジスタと、前記第2容量と、を有し、
     前記第1トランジスタの第1端子は、前記第1容量の第1端子と、前記第1駆動トランジスタのゲートと、に電気的に接続され、
     前記第1駆動トランジスタの第1端子は、前記第1トランジスタの第2端子と、前記第2トランジスタの第1端子と、前記第3トランジスタの第1端子と、に電気的に接続され、
     前記第2トランジスタの第2端子は、前記第1配線に電気的に接続され、
     前記第2トランジスタのゲートは、前記第1入力配線に電気的に接続され、
     前記第3トランジスタの第2端子は、前記第2配線に電気的に接続され、
     前記第3トランジスタのゲートは、前記第2入力配線に電気的に接続され、
     前記第4トランジスタの第1端子は、前記第2容量の第1端子と、前記第2駆動トランジスタのゲートに電気的に接続され、
     前記第2駆動トランジスタの第1端子は、前記第4トランジスタの第2端子と、前記第5トランジスタの第1端子と、前記第6トランジスタの第1端子と、に電気的に接続され、
     前記第5トランジスタの第2端子は、前記第2配線に電気的に接続され、
     前記第5トランジスタのゲートは、前記第1入力配線に電気的に接続され、
     前記第6トランジスタの第2端子は、前記第1配線に電気的に接続され、
     前記第6トランジスタのゲートは、前記第2入力配線に電気的に接続されている、
     半導体装置。
  7.  請求項1乃至請求項3のいずれか一において、
     前記第1回路は、第3保持部と、第3駆動トランジスタと、を有し、
     前記第2回路は、第4保持部と、第4駆動トランジスタと、を有し、
     前記第1回路は、第3配線に電気的に接続され、
     前記第2回路は、前記第3配線に電気的に接続され、
     前記第3保持部は、前記第1配線から前記第3駆動トランジスタのソース−ドレイン間に流れる第3電流に応じた第3電位を保持する機能を有し、
     前記第4保持部は、前記第2配線から前記第4駆動トランジスタのソース−ドレイン間に流れる第4電流に応じた第4電位を保持する機能を有し、
     前記第3駆動トランジスタは、前記第3駆動トランジスタのソース−ドレイン間において、保持された前記第3電位に応じた前記第3電流を流す機能を有し、
     前記第4駆動トランジスタは、前記第4駆動トランジスタのソース−ドレイン間において、保持された前記第4電位に応じた前記第4電流を流す機能を有し、
     前記第3配線に入力される信号に応じて、前記第1配線又は前記第2配線の一方に流れる前記第1電流を前記第3電流に切り替え、かつ前記第1配線又は前記第2配線の他方に流れる前記第2電流を前記第4電流に切り替える機能を有する、
     半導体装置。
  8.  請求項1乃至請求項7のいずれか一において、
     第3回路と、第4回路と、第5回路と、を有し、
     前記第3回路は、
     前記第1配線を介して、前記第1回路に、前記フィルタ値に応じた前記第1電流を供給する機能と、
     前記第2配線を介して、前記第2回路に、前記フィルタ値に応じた前記第2電流を供給する機能と、
     前記第4回路は、
     前記画像データに応じて、前記第1入力配線に、前記第1レベル電位又は前記第2レベル電位を入力する機能と、
     前記画像データに応じて、前記第2入力配線に、前記第1レベル電位又は前記第2レベル電位を入力する機能と、
     を有し、
     前記第5回路は、前記第1配線と、前記第2配線と、のそれぞれから流れる電流を比較して、前記第5回路の出力端子から、前記フィルタ値と前記画像データの積に応じた電位を出力する機能を有する半導体装置。
  9.  請求項1乃至請求項8のいずれか一の半導体装置と、筐体と、を有し、
     前記畳み込み処理によって、画像の特徴抽出が行われる電子機器。
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