WO2022009770A1 - 摺動部品 - Google Patents

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WO2022009770A1
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sliding
sliding surface
diameter side
side wall
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啓志 鈴木
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イーグル工業株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to a sliding component used in a rotating machine including an eccentric mechanism.
  • Machines with rotary drive used in various industrial fields include not only rotary machines that rotate while the central axis is held in place, but also rotary machines that rotate with eccentricity.
  • One of the rotating machines that rotates with eccentricity is a scroll compressor, etc.
  • This type of compressor has a fixed scroll with a spiral wrap on the surface of the end plate, and a spiral wrap on the surface of the end plate. It is equipped with a scroll compression mechanism consisting of a movable scroll, an eccentric mechanism that rotates the rotation axis eccentrically, etc., and by rotating the movable scroll relative to the fixed scroll with eccentric rotation, both scrolls can be used. It is a mechanism that pressurizes the fluid supplied from the low pressure chamber on the outer diameter side and discharges the high pressure fluid from the discharge hole formed in the center of the fixed scroll.
  • the scroll compressor shown in Patent Document 1 includes a thrust plate that slides relative to the movable scroll on the back side of the movable scroll, and is compressed by a scroll compression mechanism in a back pressure chamber formed on the back side of the thrust plate.
  • the present invention has been made focusing on such a problem, and an object of the present invention is to provide a sliding component capable of stably reducing frictional resistance between sliding surfaces accompanied by eccentric rotation.
  • the sliding parts of the present invention are A sliding component with a sliding surface that slides relative to each other with eccentric rotation.
  • a dynamic pressure generating groove is formed on the sliding surface, which extends in the circumferential direction and is partitioned by a side wall having a corrugated shape having an amplitude in the radial direction.
  • the side wall of the dynamic pressure generating groove extends in the circumferential direction with a waveform having an amplitude in the radial direction, it is possible to secure a plurality of intersecting surfaces that generate dynamic pressure regardless of the eccentric rotation angle.
  • the sliding surface can be separated from other sliding surfaces in a state where the inclination is reduced, and the frictional resistance between the sliding surfaces can be stably reduced.
  • the side walls on both sides in the radial direction of the dynamic pressure generating groove may have a wave shape having an amplitude. According to this, when the sliding surface slides relative to each other with eccentric rotation, dynamic pressure can be generated at a plurality of points in the circumferential direction on both the inner diameter side side wall and the outer diameter side side wall. The sliding surfaces are separated with a small inclination.
  • the dynamic pressure generation groove may be formed in an annular shape. According to this, dynamic pressure can be generated over the entire circumference of the sliding surface.
  • the side wall may have a wave shape having a fixed period. According to this, the dynamic pressure can be uniformly generated over the circumferential direction of the sliding surface.
  • the side wall may have a wavy shape having a curved surface. According to this, the movement of the fluid moving in the dynamic pressure generation groove becomes smooth, and the dynamic pressure can be stably generated.
  • FIG. 1 It is a schematic block diagram which shows the scroll compressor to which the side seal as the sliding component of Example 1 which concerns on this invention is applied. It is a figure which shows the sliding surface of the side seal of Example 1 of this invention. It is a cross-sectional view of AA. It is a figure which shows the relative sliding of the sliding surface of the side seal of Example 1 of this invention, and the sliding surface of a thrust plate. With (a) as the starting position, (b) is 90 degrees, (c) is 180 degrees, and (d) is the sliding surface of the side seal that slides relative to each other when the rotation axis rotates eccentrically up to 270 degrees. The positional relationship with the sliding surface of the thrust plate is shown.
  • the sliding component of the present invention is applied to a rotating machine including an eccentric mechanism, for example, a scroll compressor C that sucks, compresses, and discharges a refrigerant as a fluid used in an air conditioning system of an automobile or the like.
  • the refrigerant is a gas, and a mist-like lubricating oil is mixed therewith.
  • the scroll compressor C As shown in FIG. 1, the scroll compressor C is driven by a housing 1, a rotary shaft 2, an inner casing 3, a scroll compression mechanism 4, a side seal 7 as a sliding component, and a thrust plate 8. It is mainly composed of a motor M and.
  • the housing 1 is composed of a cylindrical casing 11 and a cover 12 that closes the opening of the casing 11.
  • the opening on the side opposite to the opening closed by the cover 12 in the casing 11 is closed by the drive motor M.
  • a low pressure chamber 20, a high pressure chamber 30, and a back pressure chamber 50 are formed inside the casing 11.
  • a low pressure refrigerant is supplied from a refrigerant circuit (not shown) through a suction port 10.
  • a high pressure refrigerant compressed by the scroll compression mechanism 4 is discharged.
  • the back pressure chamber 50 as an external space on the high pressure side, a part of the refrigerant compressed by the scroll compression mechanism 4 is supplied together with the lubricating oil.
  • the back pressure chamber 50 is formed inside the cylindrical inner casing 3 housed inside the casing 11.
  • the cover 12 is formed with a discharge communication passage 13.
  • the discharge communication passage 13 communicates a refrigerant circuit (not shown) with the high pressure chamber 30.
  • the cover 12 is formed with a part of the back pressure communication passage 14 connecting the high pressure chamber 30 and the back pressure chamber 50, which is branched from the discharge communication passage 13.
  • the discharge communication passage 13 is provided with an oil separator 6 that separates the lubricating oil from the refrigerant.
  • the inner casing 3 is fixed in a state where its axial end is in contact with the end plate 41a of the fixed scroll 41 constituting the scroll compression mechanism 4. Further, a suction communication passage 15 penetrating in the radial direction is formed on the side wall of the inner casing 3. That is, the low pressure chamber 20 is formed from the outside of the inner casing 3 to the inside of the inner casing 3 via the suction communication passage 15. The refrigerant supplied to the inside of the inner casing 3 through the suction communication passage 15 is sucked into the scroll compression mechanism 4.
  • the scroll compression mechanism 4 is mainly composed of a fixed scroll 41 and a movable scroll 42.
  • the fixed scroll 41 is hermetically fixed to the cover 12.
  • the movable scroll 42 is housed inside the inner casing 3.
  • the fixed scroll 41 is made of metal and has a spiral wrap 41b.
  • the spiral wrap 41b is projected from the surface of the disk-shaped end plate 41a, that is, the end plate 41a toward the movable scroll 42.
  • the fixed scroll 41 is formed with a recess 41c in which the back surface of the end plate 41a, that is, the inner diameter side of the end surface of the end plate 41a in contact with the cover 12 is recessed in the direction opposite to the cover 12.
  • the high pressure chamber 30 is defined from the recess 41c and the cover 12.
  • the movable scroll 42 is made of metal and has a spiral wrap 42b.
  • the spiral wrap 42b is projected from the surface of the disk-shaped end plate 42a, that is, the end plate 42a toward the fixed scroll 41.
  • the movable scroll 42 is formed with a boss 42c protruding from the center of the back surface of the end plate 42a.
  • An eccentric portion 2a formed on the rotation shaft 2 is fitted into the boss 42c so as to be relatively rotatable.
  • the eccentric portion 2a of the rotary shaft 2 and the counterweight portion 2b protruding from the rotary shaft 2 in the outer diameter direction constitute an eccentric mechanism for eccentric rotation of the rotary shaft 2.
  • the side seal 7 as a sliding component in this embodiment will be described.
  • the side seal 7 is made of resin and has a rectangular cross section and an annular shape in the axial direction. Further, the side seal 7 is fixed to the back surface of the end plate 42a of the movable scroll 42 (see FIG. 1). In addition, in FIG. 2, the sliding surface 7a of the side seal 7 is shown.
  • the side seal 7 is formed with a sliding surface 7a that abuts on the sliding surface 8a (see FIG. 1) formed on the thrust plate 8.
  • the sliding surface 7a of the side seal 7 includes a dynamic pressure generating groove 70 formed in an endless annular shape along the sliding surface 7a.
  • the dynamic pressure generation groove 70 is partitioned by an inner side wall 70a, an outer wall 70b, and a bottom surface 70c.
  • the inner side wall 70a is formed as a side wall on the inner side extending in the depth direction orthogonal to the flat surface 72a of the land 72 on the inner side.
  • the outer side wall 70b is formed as a side wall on the outer diameter side extending in the depth direction orthogonal to the flat surface 73a of the land 73 on the outer diameter side.
  • the bottom surface 70 extends in parallel with the surfaces 72a and 73a formed on the same surface, and is formed by connecting the ends of the inner side wall 70a and the outer wall 70b.
  • the inner side wall 70a and the outer wall 70b have a wave shape that extends in the circumferential direction and has an amplitude in the radial direction when viewed from the axial direction.
  • the inner side wall 70a and the outer wall 70b have a wave shape with a constant period and a constant amplitude.
  • the radial vertices in the amplitude of the inner side wall 70a are referred to as inner diameter side vertices 74 and outer diameter side vertices 75
  • the radial vertices in the amplitude of the outer wall 70b are referred to as inner diameter side vertices 76 and outer diameter side vertices. It is referred to as a radial apex 77.
  • intersection surface 701 a portion extending in an S shape from the inner diameter side apex 74 of the inner side wall 70a toward the outer diameter side apex 75 adjacent to the outer diameter side in the clockwise direction with respect to the center of the side seal 7 is referred to as an intersection surface 701.
  • intersection surface 702. a portion extending in an inverted S shape from the inner diameter side apex 74 toward the outer diameter side apex 75 adjacent to the outer diameter side in the counterclockwise direction with respect to the center of the side seal 7 is referred to as an intersection surface 702.
  • intersection surface 703 a portion extending in an S shape from the inner diameter side apex 76 of the outer wall 70b toward the outer diameter side apex 77 adjacent to the outer diameter side in the clockwise direction with respect to the center of the side seal 7 is referred to as an intersection surface 703. Further, a portion extending in an inverted S shape from the inner diameter side apex 76 toward the outer diameter side apex 77 adjacent to the outer diameter side in the counterclockwise direction with respect to the center of the side seal 7 is referred to as an intersection surface 704.
  • the inner diameter side apex 74, the outer diameter side apex 75, the inner diameter side apex 76, and the outer diameter side apex 77 are equally arranged in the circumferential direction, respectively.
  • the inner diameter side apex 74 and the outer diameter side apex 75 adjacent to each other on the inner side wall 70a have the same maximum amplitude L1a on the inner diameter side and the maximum amplitude L1b on the outer diameter side with reference to a virtual reference line ⁇ extending on the circumference.
  • these maximum amplitudes L1a and L1b are the same over the circumferential direction, respectively.
  • the inner diameter side apex 76 and the outer diameter side apex 77 adjacent to each other on the outer wall 70b have a maximum amplitude L2a on the inner diameter side and a maximum amplitude L2b on the outer diameter side with reference to a virtual reference line ⁇ extending on the circumference.
  • the same, and these maximum amplitudes L2a and L2b are the same over the circumferential direction, respectively.
  • the distance L3 (that is, the wavelength) in the circumferential direction between the adjacent inner diameter side apex 74 on the inner side wall 70a is constant over the circumferential direction, and the circumferential distance between the adjacent inner diameter side apex 76 on the outer wall 70b.
  • the distance L4 (ie, wavelength) is constant over the circumferential direction.
  • the circumferential distance between the outer diameter side apex 75s is the same as the distance L3, and the circumferential distance between the outer diameter side apex 77 is the same length as the distance L4.
  • the inner side wall 70a and the outer wall 70b have a curved wave shape.
  • the portions near the inner diameter side apex 74 and the inner diameter side apex 76 are curved surfaces forming a convex on the inner diameter side
  • the portions near the outer diameter side apex 75 and the outer diameter side apex 77 are on the outer diameter side. It is a curved surface that forms a convex.
  • the radial width dimension L5 (that is, the separation width between the inner side wall 70a and the outer wall 70b) of the dynamic pressure generating groove 70 is constant over the circumferential direction, and the dynamic pressure generating groove is constant. It is formed to be larger than the depth dimension L6 of 70 (L5> L6).
  • the radial width dimension L5 is constant over the entire circumference of the dynamic pressure generation groove 70. If the width dimension of the dynamic pressure generating groove 70 is formed larger than the depth dimension, the width dimension and the depth dimension of the dynamic pressure generating groove 70 can be freely changed, but the width dimension L5 is the depth dimension L6. It is preferably 10 times or more of. For convenience of explanation, FIG. 3 shows the depth dimension L6 of the dynamic pressure generation groove 70 deeper than it actually is.
  • the thrust plate 8 is made of metal and has an annular shape. Further, a seal ring 43 is fixed to the thrust plate 8. The seal ring 43 is in contact with the inner surface of the inner casing 3. As a result, the thrust plate 8 functions as a thrust bearing that receives an axial load of the movable scroll 42 via the side seal 7.
  • the side seal 7 and the seal ring 43 partition the low pressure chamber 20 formed on the outer diameter side of the movable scroll 42 and the back pressure chamber 50 formed on the back side of the movable scroll 42 inside the inner casing 3. is doing.
  • the back pressure chamber 50 is a closed space formed between the inner casing 3 and the rotating shaft 2.
  • the seal ring 44 is fixed to the inner circumference of the through hole 3a provided in the center of the other end of the inner casing 3 and is slidably in contact with the rotating shaft 2 inserted through the through hole 3a in a sealed manner.
  • the back pressure communication passage 14 that connects the high pressure chamber 30 and the back pressure chamber 50 is formed over the cover 12, the fixed scroll 41, and the inner casing 3.
  • the back pressure communication passage 14 is provided with an orifice (not shown) so that the refrigerant of the high pressure chamber 30 whose pressure reduction is adjusted by the orifice is supplied to the back pressure chamber 50 together with the lubricating oil separated by the oil separator 6. It has become. At this time, the pressure in the back pressure chamber 50 is adjusted to be higher than the pressure in the low pressure chamber 20.
  • the inner casing 3 is formed with a pressure relief hole 16 that penetrates in the radial direction and communicates the low pressure chamber 20 and the back pressure chamber 50. Further, a pressure adjusting valve 45 is provided in the pressure release hole 16. The pressure adjusting valve 45 is opened when the pressure in the back pressure chamber 50 exceeds a set value.
  • the boss 42c of the movable scroll 42 is inserted through the through hole 8b in the center of the thrust plate 8.
  • the through hole 8b is formed to have a diameter that allows eccentric rotation by the eccentric portion 2a of the rotating shaft 2 that is inserted into the boss 42c. That is, the sliding surface 7a of the side seal 7 can slide relative to the sliding surface 8a of the thrust plate 8 by the eccentric rotation of the rotating shaft 2 (see FIG. 4).
  • FIGS. 4 (a) to 4 (d) refer to FIG. 4 (a) in the clockwise direction among the rotation loci indicated by the black arrows of the boss 42c when viewed from the fixed scroll 41 side.
  • the boss 42c is rotated by 90 degrees, 180 degrees, and 270 degrees, respectively.
  • the sliding region between the sliding surface 7a of the side seal 7 and the sliding surface 8a of the thrust plate 8 is schematically shown by dots.
  • the rotating shaft 2 only the eccentric portion 2a inserted into the boss 42c is shown, and the counterweight portion 2b and the like constituting the eccentric mechanism are not shown.
  • the side seal 7 is a sliding component having a sliding surface 7a that slides relative to the sliding surface 8a of the thrust plate 8 with eccentric rotation.
  • FIG. 5 shows an aspect when the side seal 7 moves from the state of FIG. 4 (d) to the state of FIG. 4 (a). Further, in FIG. 5, the side seal 7 when the sliding surface 7a is viewed from the axial direction is shown, and the circles shown in the enlarged portions indicate the points where the pressure is high in the dynamic pressure generation groove 70. There is. Further, in the dynamic pressure generation groove 70, a fluid containing a refrigerant, lubricating oil and the like is stored even when the rotation is stopped.
  • the thrust plate 8 when the thrust plate 8 is regarded as an analog clock, the position directly above the paper surface is set to the 12 o'clock position, and at the 12 o'clock position in the dynamic pressure generation groove 70, the dynamic pressure is mainly generated at each intersection surface 701 in the inner side wall 70a. Occurs. Further, at the position of 3 o'clock in the dynamic pressure generation groove 70, dynamic pressure is mainly generated at each intersection surface 704 in the outer wall 70b. Further, at the 6 o'clock position in the dynamic pressure generation groove 70, dynamic pressure is mainly generated at each intersection surface 703 on the outer wall 70b. Further, at the 9 o'clock position in the dynamic pressure generation groove 70, dynamic pressure is mainly generated at each intersection surface 702 in the inner side wall 70a.
  • the inner side wall 70a and the outer wall 70b of the dynamic pressure generation groove 70 extend in the circumferential direction in a wavy shape, and have a plurality of intersection surfaces 701 to 704 that intersect with respect to the eccentric rotation of the side seal 7. Therefore, dynamic pressure can be generated by the intersecting surfaces 701 to 704 regardless of the eccentric rotation angle of the side seals 7, and the sliding surfaces 7a and 8a are separated from each other with the inclination reduced, and the sliding surfaces 7a and 8a are separated.
  • the frictional resistance can be stably reduced.
  • the intersection surfaces 701 and 703 hold the fluid in the dynamic pressure generation groove 70 that moves in the direction relatively opposite to the white arrow. Since it has a concave shape, the fluid in the vicinity of the intersections 701 and 703 is less likely to be dispersed in the circumferential direction, and dynamic pressure is likely to be generated. That is, at the 12 o'clock position and the 6 o'clock position in the dynamic pressure generation groove 70, a larger dynamic pressure is generated than in the 3 o'clock position and the 9 o'clock position in the dynamic pressure generation groove 70.
  • FIG. 5 the form when the side seal 7 moves from the state of FIG. 4D to the state of FIG. 4A has been described, but the side seal 7 is from the state of FIG. 4A.
  • the form is substantially the same as when moving from the state of FIG. 4 (b), the state of FIG. 4 (b) to the state of FIG. 4 (c), and the state of FIG. 4 (c) to the state of FIG. 4 (d). Since the dynamic pressure is generated in FIG. 4, the side seal 7 is from the state of FIG. 4 (a) to the state of FIG. 4 (b), from the state of FIG. 4 (b) to the state of FIG. 4 (c), and FIG. 4 (c). The description of the form when moving from the state of FIG. 4 (d) to the state of FIG. 4 (d) will be omitted.
  • the position where a large dynamic pressure is generated in the dynamic pressure generation groove 70 is determined according to the moving direction of the sliding surface 7a of the side seal 7. Since the dynamic pressure generating groove 70 continuously moves along the circumferential direction, it is possible to maintain a state in which the relative inclination between the sliding surfaces 7a and 8a is suppressed.
  • dynamic pressure generation groove 70 is formed in an annular shape, dynamic pressure can be generated over the entire circumference of the sliding surface 7a, and the sliding surface 7a, regardless of the eccentric rotation angle of the side seal 7.
  • the inclination of 8a can be reduced.
  • the inner side wall 70a and the outer wall 70b have a wave shape with a fixed period, dynamic pressure can be uniformly generated over the circumferential direction of the sliding surface 7a.
  • the inner side wall 70a and the outer wall 70b have a curved wave shape, the fluid moves smoothly in the dynamic pressure generation groove 70, and the dynamic pressure can be stably generated.
  • the back pressure chamber 50 extends to the inner diameter side of the sliding surfaces 7a, 8a, when the sliding surfaces 7a, 8a are separated from each other, the back pressure chamber 50 is formed from the inner diameter side of the sliding surfaces 7a, 8a.
  • the fluid inside is introduced.
  • the scroll compression mechanism 4 is driven, the pressure in the back pressure chamber 50 becomes high, and a high-pressure fluid is introduced between the back pressure chamber 50 and the sliding surfaces 7a and 8a.
  • the 7a and 8a can be further separated from each other.
  • the embodiment in which the radial width dimension L5 (that is, the separation width between the inner side wall 70a and the outer wall 70b) of the dynamic pressure generation groove 70 is constant over the entire circumference is illustrated. Not limited to this, they may be arranged so that the width dimension in the radial direction of the dynamic pressure generating groove is different at different positions in the circumferential direction of the dynamic pressure generating groove.
  • the inner side wall and the outer wall may be formed in a wave shape having different amplitudes.
  • a plurality of dynamic pressure generating grooves 170 extending in an arc shape in the circumferential direction are arranged apart from each other in the circumferential direction of the sliding surface 107a.
  • dynamic pressure can be generated at both ends 170d and 170e in the circumferential direction of each dynamic pressure generating groove 170.
  • the dynamic pressure generating grooves 170 are evenly arranged in the circumferential direction.
  • the inner side wall 270a has a wavy shape when viewed from the axial direction.
  • the outer wall 270b has a circular shape when viewed from the axial direction.
  • the dynamic pressure generating groove may have a wavy shape at least one of the inner side wall and the outer wall.
  • the inner side wall 270a has an outer diameter side apex 275 that tapers at an acute angle. Further, the inner side wall 270a has a wavy shape. According to this, since the width of the outer diameter side vertices 275 in the circumferential direction can be reduced, it is possible to secure a large arc-shaped intersection surface 271 formed between the adjacent outer diameter side vertices 275 and forming a convex shape on the inner diameter side. can.
  • the present invention is not limited to this, and the wave shape is rectangular, triangular, or the like when viewed from the axial direction. There may be.
  • the mode in which the side seal 7 as a sliding component is applied to the scroll compressor C used in the air conditioning system of an automobile or the like has been described, but the present invention is not limited to this, and includes an eccentric mechanism. If it is a rotary machine, it may be applied to, for example, a scroll expansion compressor having an expander and a compressor integrally.
  • the fluid existing in the space inside and outside the sliding surface of the sliding component may be a gas, a liquid, or a mixed state of a gas and a liquid, respectively.
  • the sliding component of the present invention has a sliding surface that slides relative to each other with eccentric rotation
  • the sliding component is not limited to an environment where there is a pressure difference between the inside and outside of the sliding surface, and the inside and outside of the sliding surface. It may be used in an environment where the pressure is the same. Further, the sliding component of the present invention does not need to function as a seal, and may be any as long as it can stably reduce the frictional resistance of the sliding surface.
  • the side seal having the sliding surface that slides relative to each other is described as being made of resin, and the thrust plate is made of metal.
  • the material of the sliding parts is free depending on the usage environment and the like. May be selected for.
  • the mode in which the dynamic pressure generating groove is formed on the sliding surface of the side seal has been described, but the present invention is not limited to this, and the sliding surface has a sliding surface that slides relative to each other with eccentric rotation.
  • a dynamic pressure generating groove may be formed in the sliding region (see FIG. 4) of the sliding surface of the thrust plate which is a sliding component. Further, a dynamic pressure generating groove may be formed on both the sliding surface of the side seal and the sliding surface of the thrust plate.
  • a dynamic pressure generating groove may be formed on a sliding surface that slides relative to each other with eccentric rotation.
  • a dynamic pressure generating groove may be formed on either or both of the sliding surface of the thrust plate as a sliding component and the back surface of the end plate of the movable scroll.
  • a dynamic pressure generating groove may be formed on the sliding surface of the side seal as a sliding component.
  • the side seal abuts on the inner peripheral surface of the inner casing and also functions as a thrust bearing that receives an axial load of the movable scroll.
  • the movable scroll does not have a side seal and a thrust plate, and the back surface of the end plate of the movable scroll abuts on the inner peripheral surface of the inner casing and functions as a thrust bearing that receives the axial load of the movable scroll, the movable scroll A dynamic pressure generating groove may be formed on the sliding surface formed on the back surface of the end plate.
  • the sliding surface may be provided with a conduction groove that conducts the external space on the inner diameter side or the outer diameter side of the sliding surface and the dynamic pressure generation groove.
  • the low pressure side external space exists on the outer diameter side of the side seal and the high pressure external space exists on the inner diameter side of the side seal
  • the low pressure side external space and the side are exemplified on the inner diameter side of the side seal.
  • a high-pressure external space may exist on the outer diameter side of the seal.

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Abstract

偏心回転を伴う摺動面間の摩擦抵抗を安定して低減することができる摺動部品を提供する。　偏心回転を伴って相対摺動する摺動面７ａを有する摺動部品７であって、摺動面７ａには、周方向に延び、径方向に振幅を有する波形の側壁７０ａ，７０ｂにより区画された動圧発生溝７０が形成されている。

Description

摺動部品
　本発明は、偏心機構を含む回転機械に用いられる摺動部品に関する。
　様々な産業分野で利用されている回転駆動を伴う機械は、中心軸が定位置に保持されたまま回動する回転機械だけではなく、中心軸が偏心を伴って回転する回転機械がある。偏心を伴って回転する回転機械の一つにスクロール圧縮機等があり、この種の圧縮機は、端板の表面に渦巻状のラップを備える固定スクロール、端板の表面に渦巻状のラップを備える可動スクロールからなるスクロール圧縮機構、回転軸を偏心回転させる偏心機構等を備え、可動スクロールを回転軸の回転により固定スクロールに対して偏心回転を伴わせながら相対摺動させることにより、両スクロールの外径側の低圧室から供給された流体を加圧し、固定スクロールの中央に形成される吐出孔から高圧の流体を吐出させる機構となっている。
　可動スクロールを固定スクロールに対して偏心回転を伴わせながら相対的に摺動させるメカニズムを利用したこれらスクロール圧縮機は、圧縮効率が高いだけではなく、低騒音であることから、例えば冷凍サイクル等多岐に利用されているが、両スクロール間の軸方向隙間からの冷媒漏れが発生するといった問題があった。特許文献１に示されるスクロール圧縮機は、可動スクロールの背面側において可動スクロールと相対摺動するスラストプレートを備え、このスラストプレートの背面側に形成される背圧室にスクロール圧縮機構により圧縮された冷媒の一部を供給し、可動スクロールを固定スクロールに向けて押圧することにより、冷媒の圧縮時において両スクロール間の軸方向隙間からの冷媒漏れを低減できるようになっている。
特開２０１６－６１２０８号公報（第５頁～第６頁、第１図）
　しかしながら、特許文献１に示されるスクロール圧縮機においては、スクロール圧縮機構により圧縮される冷媒の一部を利用しスラストプレートを介して可動スクロールを背面側から固定スクロールに向けて押圧させていることから、両スクロール間の軸方向隙間からの冷媒漏れを低減できるものの、両スクロール間、特に可動スクロールとスラストプレートとの偏心回転を伴う摺動面において、軸方向両側から押圧力が作用するため摩擦抵抗が大きくなり、可動スクロールの円滑な動作が阻害され圧縮効率を高められないといった問題があった。
　本発明は、このような問題点に着目してなされたもので、偏心回転を伴う摺動面間の摩擦抵抗を安定して低減することができる摺動部品を提供することを目的とする。
　前記課題を解決するために、本発明の摺動部品は、
　偏心回転を伴って相対摺動する摺動面を有する摺動部品であって、
　前記摺動面には、周方向に延び、径方向に振幅を有する波形の側壁により区画された動圧発生溝が形成されている。
　これによれば、動圧発生溝の側壁は径方向に振幅を有する波形で周方向に延びているので、偏心回転角度によらず動圧を発生させる交差面を複数確保することができる。これにより、摺動面は傾きを小さくした状態で他の摺動面から離間し、摺動面間の摩擦抵抗を安定して低減することができる。
　前記動圧発生溝の径方向両側の側壁が振幅を有する波形状であってもよい。
　これによれば、摺動面が偏心回転を伴って相対摺動したときに、内径側側壁と外径側側壁との両方で周方向に複数の箇所で動圧を発生させることができるため、摺動面は傾きを小さくした状態で離間する。
　前記動圧発生溝は、環状に形成されていてもよい。
　これによれば、摺動面の全周に亘って動圧を発生させることができる。
　前記側壁は、一定周期の波形状であってもよい。
　これによれば、摺動面の周方向に亘って均等に動圧を発生させることができる。
　前記側壁は、曲面状をなす波形状であってもよい。
　これによれば、動圧発生溝を移動する流体の移動が円滑となり、安定して動圧を発生させることができる。
本発明に係る実施例１の摺動部品としてのサイドシールが適用されるスクロール圧縮機を示す概略構成図である。 本発明の実施例１のサイドシールの摺動面を示す図である。 Ａ－Ａ断面図である。 本発明の実施例１のサイドシールの摺動面とスラストプレートの摺動面との相対摺動を示す図である。尚、（ａ）を開始位置として、（ｂ）は９０度、（ｃ）は１８０度、（ｄ）は２７０度まで回転軸が偏心回転したときに相対摺動するサイドシールの摺動面とスラストプレートの摺動面との位置関係を示している。 図４（ａ）から図４（ｂ）の状態に向かって偏心回転するサイドシールの摺動面において、動圧発生溝内に発生する動圧の発生箇所を示す図である。 本発明に係る実施例２の摺動部品としてのサイドシールの摺動面を示す図である。 本発明に係る実施例３の摺動部品としてのサイドシールの摺動面を示す図である。
　本発明に係る摺動部品を実施するための形態を実施例に基づいて以下に説明する。
　実施例１に係る摺動部品につき、図１から図５を参照して説明する。尚、説明の便宜上、図面において、摺動部品の摺動面に形成される溝等にドットを付している。
　本発明の摺動部品は、偏心機構を含む回転機械、例えば自動車等の空調システムに用いられる流体としての冷媒を吸入、圧縮、吐出するスクロール圧縮機Ｃに適用される。尚、本実施例において、冷媒は気体であり、ミスト状の潤滑油が混合した状態となっている。
　先ず、スクロール圧縮機Ｃについて説明する。図１に示されるように、スクロール圧縮機Ｃは、ハウジング１と、回転軸２と、インナーケーシング３と、スクロール圧縮機構４と、摺動部品としてのサイドシール７と、スラストプレート８と、駆動モータＭと、から主に構成されている。
　ハウジング１は、円筒状のケーシング１１と、ケーシング１１の開口を閉塞するカバー１２と、から構成されている。ケーシング１１におけるカバー１２により閉塞される開口とは軸方向反対側の開口は駆動モータＭにより閉塞されている。
　ケーシング１１の内部には低圧室２０と、高圧室３０と、背圧室５０と、が形成されている。低圧側の外部空間としての低圧室２０は、図示しない冷媒回路から吸入口１０を通して低圧の冷媒が供給されている。高圧室３０は、スクロール圧縮機構４により圧縮された高圧の冷媒が吐出されている。高圧側の外部空間としての背圧室５０は、スクロール圧縮機構４により圧縮された冷媒の一部が潤滑油と共に供給されている。尚、背圧室５０は、ケーシング１１の内部に収容される円筒状のインナーケーシング３の内部に形成されている。
　カバー１２には、吐出連通路１３が形成されている。吐出連通路１３は、図示しない冷媒回路と高圧室３０とを連通している。また、カバー１２には、高圧室３０と背圧室５０とを連通する背圧連通路１４の一部が吐出連通路１３から分岐して形成されている。尚、吐出連通路１３には、冷媒から潤滑油を分離するオイルセパレータ６が設けられている。
　インナーケーシング３は、その軸方向端部をスクロール圧縮機構４を構成する固定スクロール４１の端板４１ａに当接させた状態で固定されている。また、インナーケーシング３の側壁には、径方向に貫通する吸入連通路１５が形成されている。すなわち、低圧室２０は、インナーケーシング３の外部から吸入連通路１５を介してインナーケーシング３の内部まで形成されている。吸入連通路１５を通ってインナーケーシング３の内部まで供給された冷媒は、スクロール圧縮機構４に吸入される。
　スクロール圧縮機構４は、固定スクロール４１と、可動スクロール４２と、から主に構成されている。固定スクロール４１は、カバー１２に対して密封状に固定されている。可動スクロール４２は、インナーケーシング３の内部に収容されている。
　固定スクロール４１は、金属製であり、渦巻状のラップ４１ｂを備えている。渦巻状のラップ４１ｂは、円板状の端板４１ａの表面、すなわち端板４１ａから可動スクロール４２に向けて突設されている。また、固定スクロール４１には、端板４１ａの背面、すなわち端板４１ａのカバー１２に当接する端面の内径側が該カバー１２とは反対方向に凹む凹部４１ｃが形成されている。この凹部４１ｃとカバー１２とから高圧室３０が画成されている。
　可動スクロール４２は、金属製であり、渦巻状のラップ４２ｂを備えている。渦巻状のラップ４２ｂは、円板状の端板４２ａの表面、すなわち端板４２ａから固定スクロール４１に向けて突設されている。また、可動スクロール４２には、端板４２ａの背面の中央から突出するボス４２ｃが形成されている。ボス４２ｃには、回転軸２に形成される偏心部２ａが相対回転可能に挿嵌される。尚、本実施例においては、回転軸２の偏心部２ａと、回転軸２から外径方向に突出するカウンタウエイト部２ｂとにより、回転軸２を偏心回転させる偏心機構が構成されている。
　回転軸２が駆動モータＭにより回転駆動されると、偏心部２ａが偏心回転し、可動スクロール４２が固定スクロール４１に対して姿勢を保った状態で偏心回転を伴って相対摺動する。このとき、固定スクロール４１に対して可動スクロール４２は偏心回転し、この回転に伴いラップ４１ｂ、４２ｂの接触位置は回転方向に順次移動し、ラップ４１ｂ、４２ｂ間に形成される圧縮室４０が中央に向かって移動しながら次第に縮小していく。これにより、スクロール圧縮機構４の外径側に形成される低圧室２０から圧縮室４０に吸入された冷媒が圧縮されていき、最終的に固定スクロール４１の中央に設けられる吐出孔４１ｄを通して高圧室３０に高圧の冷媒が吐出される。
　次いで、本実施例における摺動部品としてのサイドシール７について説明する。図２および図３に示されるように、サイドシール７は、樹脂製であり、断面矩形状かつ軸方向視円環状を成している。また、サイドシール７は、可動スクロール４２の端板４２ａの背面に固定されている（図１参照）。尚、図２では、サイドシール７の摺動面７ａが図示されている。
　サイドシール７には、スラストプレート８に形成される摺動面８ａ（図１参照）に当接する摺動面７ａが形成されている。
　図２に示されるように、サイドシール７の摺動面７ａは、摺動面７ａに沿って無端環状に形成された動圧発生溝７０を備えている。
　図２及び図３に示されるように、動圧発生溝７０は、内側壁７０ａと、外側壁７０ｂと、底面７０ｃと、により区画されている。内側壁７０ａは、内径側のランド７２の平坦な表面７２ａに直交して深さ方向に延びる内径側の側壁として形成されている。外側壁７０ｂは、外径側のランド７３の平坦な表面７３ａに直交して深さ方向に延びる外径側の側壁として形成されている。底面７０は、同一面上に形成された表面７２ａ，７３ａと平行に延び、内側壁７０ａ及び外側壁７０ｂの端部同士を連結して形成されている。
　内側壁７０ａ及び外側壁７０ｂは、軸方向から見て、周方向に延び、且つ径方向に振幅を有する波形状を成している。この内側壁７０ａ及び外側壁７０ｂは、一定周期かつ一定振幅の波形状である。
　尚、以下、本実施例では、内側壁７０ａの振幅における径方向の頂点を内径側頂点７４、外径側頂点７５と称し、外側壁７０ｂの振幅における径方向の頂点を内径側頂点７６、外径側頂点７７と称する。
　さらに尚、内側壁７０ａの内径側頂点７４からサイドシール７の中央に対し、時計回り方向外径側に隣接する外径側頂点７５に向けてＳ字状に延びる部位を交差面７０１と称する。また、内径側頂点７４からサイドシール７の中央に対し、反時計回り方向外径側に隣接する外径側頂点７５に向けて反転Ｓ字状に延びる部位を交差面７０２と称する。また、外側壁７０ｂの内径側頂点７６からサイドシール７の中央に対し、時計回り方向外径側に隣接する外径側頂点７７に向けてＳ字状に延びる部位を交差面７０３と称する。また、内径側頂点７６からサイドシール７の中央に対し、反時計回り方向外径側に隣接する外径側頂点７７に向けて反転Ｓ字状に延びる部位を交差面７０４と称する。
　具体的には、図２に示されるように、内径側頂点７４、外径側頂点７５、内径側頂点７６、及び外径側頂点７７は、それぞれ周方向に等配されている。内側壁７０ａにおいて隣接する内径側頂点７４と外径側頂点７５とは、円周上に延びる仮想的な基準線αを基準として内径側の最大振幅Ｌ１ａ及び外径側の最大振幅Ｌ１ｂが同じ、かつこれら最大振幅Ｌ１ａ，Ｌ１ｂはそれぞれ周方向に亘って同じである。
　さらに、外側壁７０ｂにおいて隣接する内径側頂点７６と外径側頂点７７とは、円周上に延びる仮想的な基準線βを基準として内径側の最大振幅Ｌ２ａ及び外径側の最大振幅Ｌ２ｂが同じ、かつこれら最大振幅Ｌ２ａ，Ｌ２ｂはそれぞれ周方向に亘って同じである。尚、これら最大振幅Ｌ１ａ，Ｌ１ｂ及び最大振幅Ｌ２ａ，Ｌ２ｂは同じ長さとなっている（Ｌ１ａ，Ｌ１ｂ＝Ｌ２ａ，Ｌ２ｂ）。
　また、内側壁７０ａにおいて隣接する内径側頂点７４同士の周方向の距離Ｌ３（すなわち波長）は、周方向に亘って一定であるとともに、外側壁７０ｂにおいて隣接する内径側頂点７６同士の周方向の距離Ｌ４（すなわち波長）は周方向に亘って一定である。
　また、距離Ｌ３は距離Ｌ４と略同じ、厳密には距離Ｌ３よりも距離Ｌ４が僅かに長い、長さとなっている（Ｌ３＝Ｌ４）。尚、図示しないが、外径側頂点７５同士の周方向の距離は距離Ｌ３と同じ長さであり、外径側頂点７７同士の周方向の距離は距離Ｌ４と同じ長さである。
　また、内側壁７０ａ及び外側壁７０ｂは、曲面状をなす波形状である。具体的には、内径側頂点７４および内径側頂点７６の近傍の部位は、内径側に凸を成す曲面であり、外径側頂点７５および外径側頂点７７の近傍の部位は外径側に凸を成す曲面である。
　図３に示されるように、この動圧発生溝７０の径方向の幅寸法Ｌ５（すなわち、内側壁７０ａ及び外側壁７０ｂの離間幅）は、周方向に亘って一定であり、動圧発生溝７０の深さ寸法Ｌ６よりも大きく形成されている（Ｌ５＞Ｌ６）。この径方向の幅寸法Ｌ５は、動圧発生溝７０の全周に亘って一定となっている。尚、動圧発生溝７０の幅寸法は深さ寸法よりも大きく形成されていれば、動圧発生溝７０の幅寸法及び深さ寸法は自由に変更できるが、幅寸法Ｌ５は深さ寸法Ｌ６の１０倍以上であることが好ましい。尚、説明の便宜上、図３では、動圧発生溝７０の深さ寸法Ｌ６を実際よりも深く図示している。
　図１を参照し、スラストプレート８は、金属製であり、円環状を成している。また、スラストプレート８には、シールリング４３が固定されている。シールリング４３は、インナーケーシング３の内側面に当接している。これにより、スラストプレート８は、サイドシール７を介して可動スクロール４２の軸方向の荷重を受けるスラスト軸受として機能している。
　また、サイドシール７とシールリング４３は、インナーケーシング３の内部において、可動スクロール４２の外径側に形成される低圧室２０と可動スクロール４２の背面側に形成される背圧室５０とを区画している。背圧室５０は、インナーケーシング３と回転軸２の間に形成された密閉空間である。シールリング４４は、インナーケーシング３の他方の端の中央に設けられる貫通孔３ａの内周に固定され、貫通孔３ａに挿通される回転軸２に密封状に摺接する。また、高圧室３０と背圧室５０とを連通する背圧連通路１４は、カバー１２、固定スクロール４１、インナーケーシング３に亘って形成されている。また、背圧連通路１４には、図示しないオリフィスが設けられており、オリフィスにより減圧調整された高圧室３０の冷媒がオイルセパレータ６で分離された潤滑油と共に背圧室５０に供給されるようになっている。このとき、背圧室５０内の圧力は、低圧室２０内の圧力よりも高くなるように調整される。尚、インナーケーシング３には、径方向に貫通し、低圧室２０と背圧室５０とを連通する圧力抜き孔１６が形成されている。また、圧力抜き孔１６内には圧力調整弁４５が設けられている。圧力調整弁４５は、背圧室５０の圧力が設定値を上回ることで開放するようになっている。
　また、スラストプレート８の中央の貫通孔８ｂには、可動スクロール４２のボス４２ｃが挿通されている。貫通孔８ｂは、ボス４２ｃに挿嵌される回転軸２の偏心部２ａによる偏心回転を許容できる径の大きさに形成されている。すなわち、サイドシール７の摺動面７ａは、回転軸２の偏心回転によりスラストプレート８の摺動面８ａに対して偏心回転を伴って相対摺動できるようになっている（図４参照）。
　尚、図４においては、図４（ａ）～（ｄ）は、固定スクロール４１側から見た場合のボス４２ｃの黒矢印で示す回転軌跡のうち、図４（ａ）を時計周り方向の基準として、ボス４２ｃがそれぞれ９０度、１８０度、２７０度回転した状態を示している。また、サイドシール７の摺動面７ａとスラストプレート８の摺動面８ａとの摺動領域をドットにより模式的に示している。また、説明の便宜上、回転軸２については、ボス４２ｃに挿嵌される偏心部２ａのみを図示し、偏心機構を構成するカウンタウエイト部２ｂ等の図示を省略している。
　このように、サイドシール７は、スラストプレート８の摺動面８ａに対して偏心回転を伴って相対摺動する摺動面７ａを有する摺動部品である。
　次に、スラストプレート８に対するサイドシール７の相対摺動時における動圧の発生について、図５を参照して説明する。尚、図５では、サイドシール７が図４（ｄ）の状態から図４（ａ）の状態に向かって移動するときの態様を示している。また、図５では、摺動面７ａを軸方向から見た場合のサイドシール７が図示されており、拡大部に示される丸印は、動圧発生溝７０において圧力が高くなる箇所を示している。また、動圧発生溝７０内には、回転停止時であっても冷媒および潤滑油等を含む流体が貯留されている。
　図５に示されるように、サイドシール７が白矢印方向に移動しようとすると、動圧発生溝７０内の流体が白矢印に対して相対的に反対方向に向かって移動する。これにより、動圧発生溝７０を区画する内側壁７０ａ及び外側壁７０ｂで動圧が発生し、摺動面７ａ，８ａ同士がわずかに離間され、流体による流体膜が形成される。
　具体的には、スラストプレート８をアナログ時計に見立てた時、紙面直上を１２時の位置とし、動圧発生溝７０における１２時の位置では、内側壁７０ａにおける各交差面７０１で主に動圧が発生する。また、動圧発生溝７０における３時の位置では、外側壁７０ｂにおける各交差面７０４で主に動圧が発生する。また、動圧発生溝７０における６時の位置では、外側壁７０ｂにおける各交差面７０３で主に動圧が発生する。また、動圧発生溝７０における９時の位置では、内側壁７０ａにおける各交差面７０２で主に動圧が発生する。
　このように、動圧発生溝７０の内側壁７０ａ及び外側壁７０ｂは波形状で周方向に延びており、サイドシール７の偏心回転に対して交差する複数の交差面７０１～７０４を有しているので、交差面７０１～７０４によりサイドシール７の偏心回転角度によらず動圧を発生させることができ、摺動面７ａ，８ａの傾きを小さくした状態で離間させ、摺動面７ａ，８ａの摩擦抵抗を安定して低減することができる。
　また、動圧発生溝７０における１２時の位置、６時の位置では、交差面７０１，７０３が白矢印に対して相対的に反対方向に向かって移動する動圧発生溝７０内の流体を保持する凹形状をなしているので、交差面７０１，７０３近傍の流体が周方向に分散されにくく、動圧を発生させやすくなっている。すなわち、動圧発生溝７０における１２時の位置、６時の位置では、動圧発生溝７０における３時の位置、９時の位置よりも大きな動圧が発生している。
　尚、図５では、サイドシール７が図４（ｄ）の状態から図４（ａ）の状態に向かって移動するときの形態について説明したが、サイドシール７が図４（ａ）の状態から図４（ｂ）の状態、図４（ｂ）の状態から図４（ｃ）の状態、図４（ｃ）の状態から図４（ｄ）の状態に向かって移動するときと略同一の形態で動圧が発生することから、サイドシール７が図４（ａ）の状態から図４（ｂ）の状態、図４（ｂ）の状態から図４（ｃ）の状態、図４（ｃ）の状態から図４（ｄ）の状態に向かって移動するときの形態についての説明は省略する。
　また、スラストプレート８に対するサイドシール７の偏心回転を伴う相対摺動においては、サイドシール７の摺動面７ａの移動方向に応じて、動圧発生溝７０において大きな動圧が発生する位置が、該動圧発生溝７０の周方向に沿って連続的に移動するので、摺動面７ａ，８ａ同士の相対的な傾きを抑制した状態を維持できる。
　また、動圧発生溝７０は環状に形成されているため、摺動面７ａの全周に亘って動圧を発生させることができ、サイドシール７の偏心回転角度によらず摺動面７ａ，８ａの傾きを小さくできる。
　また、内側壁７０ａ及び外側壁７０ｂは一定周期の波形状であるため、摺動面７ａの周方向に亘って均等に動圧を発生させることができる。
　また、内側壁７０ａ及び外側壁７０ｂは、曲面状をなす波形状であるため、動圧発生溝７０内の流体の移動が円滑となり、安定して動圧を発生させることができる。
　また、背圧室５０は、摺動面７ａ，８ａの内径側まで延びているため、摺動面７ａ，８ａ同士が離間したときに、摺動面７ａ，８ａの内径側から背圧室５０内の流体が導入される。また、スクロール圧縮機構４の駆動時には、背圧室５０の圧力は高くなり、背圧室５０から摺動面７ａ，８ａ間に高圧の流体が導入されるため、該流体の圧力により摺動面７ａ，８ａ同士をさらに離間させることができる。
　また、本実施例では、動圧発生溝７０の径方向の幅寸法Ｌ５（すなわち、内側壁７０ａ及び外側壁７０ｂの離間幅）が全周に亘って一定となっている形態を例示したが、これに限られず、動圧発生溝の周方向の異なる位置で、該動圧発生溝の径方向の幅寸法が異なるように配置されていてもよい。例えば、内側壁と外側壁とが異なる振幅を有する波形状に形成されていてもよい。
　次に、実施例２に係るサイドシール１０７の動圧発生溝１７０につき、図６を参照して説明する。尚、前記実施例１と同一構成で重複する構成の説明を省略する。
　図６に示される実施例２のサイドシール１０７は、周方向に弧状に延びる動圧発生溝１７０が摺動面１０７ａの周方向に離間して複数配置されている。
　これによれば、各動圧発生溝１７０の内側壁１７０ａ及び外側壁１７０ｂに加えて、各動圧発生溝１７０の周方向両端部１７０ｄ，１７０ｅでも動圧を発生させることができる。尚、この場合、動圧発生溝１７０が周方向に等配されていることが好ましい。
　次に、実施例３に係るサイドシール２０７の動圧発生溝２７０につき、図７を参照して説明する。尚、前記実施例１と同一構成で重複する構成の説明を省略する。
　図７に示される実施例３のサイドシール２０７の動圧発生溝２７０は、内側壁２７０ａが軸方向からみて波形状をなしている。また、外側壁２７０ｂは軸方向からみて円形状をなしている。このように、動圧発生溝は、内側壁及び外側壁のうち少なくとも一方が波形状をなしていればよい。
　また、内側壁２７０ａは、鋭角に先細りする外径側頂点２７５を有している。また、内側壁２７０ａは、波形状をなしている。これによれば、外径側頂点２７５の周方向の幅を小さくできるので、隣接する外径側頂点２７５間に形成される内径側に凸を成す円弧状の交差面２７１を大きく確保することができる。
　以上、本発明の実施例を図面により説明してきたが、具体的な構成はこれら実施例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲における変更や追加があっても本発明に含まれる。
　例えば、前記実施例１～３では、内側壁及び外側壁が曲面状をなす波形状である形態を例示したが、これに限られず、軸方向から見て矩形状、三角形状などの波形状であってもよい。
　また、前記実施例１～３では、自動車等の空調システムに用いられるスクロール圧縮機Ｃに摺動部品としてのサイドシール７が適用される態様について説明したが、これに限らず、偏心機構を含む回転機械であれば、例えば膨張機と圧縮機を一体に備えたスクロール膨張圧縮機等に適用されてもよい。
　また、摺動部品の摺動面の内外の空間に存在する流体は、それぞれ気体、液体または気体と液体の混合状態のいずれであってもよい。
　また、本発明の摺動部品は、偏心回転を伴って相対摺動する摺動面を有するものであれば、摺動面の内外に圧力差がある環境に限らず、摺動面の内外の圧力が同一である環境で使用されてもよい。また、本発明の摺動部品には、シールとしての機能は必要なく、摺動面の摩擦抵抗を安定して低減できるものであればよい。
　また、前記実施例１～３では、相対摺動する摺動面を有するサイドシールが樹脂製、スラストプレートが金属製のものとして説明したが、摺動部品の材料は使用環境等に応じて自由に選択されてよい。
　また、前記実施例１～３では、サイドシールの摺動面に動圧発生溝が形成される態様について説明したが、これに限らず、偏心回転を伴って相対摺動する摺動面を有する摺動部品であるスラストプレートの摺動面の摺動領域（図４参照）に動圧発生溝が形成されていてもよい。また、サイドシールの摺動面とスラストプレートの摺動面の両方に動圧発生溝が形成されていてもよい。
　また、前記実施例前記実施例１～３では、サイドシールの摺動面と摺動部品としてのスラストプレートの摺動面とが偏心回転を伴って相対摺動する構成について説明したが、これに限らず、サイドシールとスラストプレートのいずれか一方のみを備え、偏心回転を伴って相対摺動する摺動面に動圧発生溝が形成されてもよい。例えば、スラストプレートのみを備える場合には、摺動部品としてのスラストプレートの摺動面と可動スクロールの端板の背面のいずれか一方または両方に動圧発生溝が形成されてもよい。また、サイドシールのみを備える場合には、摺動部品としてサイドシールの摺動面に動圧発生溝が形成されてもよい。この場合には、サイドシールがインナーケーシングの内周面に当接して可動スクロールの軸方向の荷重を受けるスラスト軸受としても機能する。
　また、サイドシールとスラストプレートを備えず、可動スクロールの端板の背面がインナーケーシングの内周面に当接して可動スクロールの軸方向の荷重を受けるスラスト軸受として機能する場合には、可動スクロールの端板の背面に形成される摺動面に動圧発生溝が形成されてもよい。
　また、摺動面には、摺動面の内径側または外径側の外部空間と動圧発生溝とを導通する導通溝が設けられていてもよい。
　また、サイドシールの外径側に低圧側の外部空間が存在し、サイドシールの内径側に高圧の外部空間が存在する形態を例示したが、サイドシールの内径側に低圧側の外部空間、サイドシールの外径側に高圧の外部空間が存在していてもよい。
４　　　　　　　　スクロール圧縮機構
７　　　　　　　　サイドシール（摺動部品）
７ａ　　　　　　　摺動面
８　　　　　　　　スラストプレート
８ａ　　　　　　　摺動面
２０　　　　　　　低圧室（外径側の外部空間）
３０　　　　　　　高圧室
４０　　　　　　　圧縮室
４１　　　　　　　固定スクロール
４２　　　　　　　可動スクロール
５０　　　　　　　背圧室（内径側の外部空間、高圧側の外部空間）
７０　　　　　　　動圧発生溝
７０ａ　　　　　　内側壁（内径側の側壁）
７０ｂ　　　　　　外側壁（外径側の側壁）
１０７　　　　　　サイドシール（摺動部品）
１０７ａ　　　　　摺動面
１７０　　　　　　動圧発生溝
１７０ａ　　　　　内側壁（内径側の側壁）
１７０ｂ　　　　　外側壁（外径側の側壁）
２０７　　　　　　サイドシール（摺動部品）
２７０ａ　　　　　内側壁（内径側の側壁）
２７０ｂ　　　　　外側壁（外径側の側壁）
２７１　　　　　　交差面
７０１～７０４　　交差面
Ｃ　　　　　　　　スクロール圧縮機
Ｍ　　　　　　　　駆動モータ

Claims (5)

  1. 　偏心回転を伴って相対摺動する摺動面を有する摺動部品であって、
    　前記摺動面には、周方向に延び、径方向に振幅を有する波形の側壁により区画された動圧発生溝が形成されている摺動部品。
  2. 　前記動圧発生溝の径方向両側の側壁が振幅を有する波形状である請求項１に記載の摺動部品。
  3. 　前記動圧発生溝は、環状に形成されている請求項１または２に記載の摺動部品。
  4. 　前記側壁は、一定周期の波形状である請求項１ないし３のいずれかに記載の摺動部品。
  5. 　前記側壁は、曲面状をなす波形状である請求項１ないし４のいずれかに記載の摺動部品。
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