WO2021244827A1 - Elektrische vorrichtung - Google Patents

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WO2021244827A1
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electrically conductive
accumulation
conductive material
conductor track
electrical device
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PCT/EP2021/062382
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Dirk Becker
Zeljko Pajkic
Thomas Kippes
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Ams Osram International GmbH
Original Assignee
Osram Opto Semiconductors GmbH
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    • G01R31/66—Testing of connections, e.g. of plugs or non-disconnectable joints
    • G01R31/67—Testing the correctness of wire connections in electric apparatus or circuits
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
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    • Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy

Definitions

  • the present invention relates to a method for producing an electrical device, in particular an optoelectronic device, as well as an electrical device, in particular an optoelectronic device and a method for testing the electrical device, in particular an optoelectronic device, with regard to its functionality.
  • conductor tracks made of a metal or a metal alloy including, for example, aluminum or copper, oxidize very quickly in contact with oxygen, electrical
  • Devices have the problem of producing an electrical connection between a conductor track and an electrical contact.
  • the oxide layer formed on the conductor tracks through contact with oxygen is usually a few nanometers thick and very dense.
  • mechanical pressure for example, can be applied to establish an electrical connection.
  • this can be done, for example, by ultrasonic bonding (US bonding) or an adhesive process with a combined mechanical treatment, such as thermal bonding.
  • US bonding ultrasonic bonding
  • an adhesive process with a combined mechanical treatment, such as thermal bonding.
  • the oxide layer on the conductor track is broken through by the mechanical application and for one electrical contact, unoxidized conductor track material is available.
  • a method for producing an electrical device comprises: providing a substrate with at least one conductor track located thereon; applying at least one accumulation of an electrically conductive material, in particular a bond material, to a surface of the conductor track; providing a carrier with at least one electrical contact located thereon; applying an electrically conductive adhesive to the at least one accumulation of the electrically conductive material and / or the at least one electrical contact; and arranging the substrate and of the carrier in such a way that the accumulation of an electrically conductive material and the at least one electrical contact are spaced apart from one another, the electrically conductive adhesive producing a mechanical and electrical connection between the accumulation of an electrically conductive material and the at least one electrical contact.
  • the material of the conductor track can be, for example, inexpensive materials such as aluminum, copper, metal alloys comprising aluminum or copper, or a comparable metal.
  • the conductor track can be designed in the form of at least one conductor loop, which has at least a first and a second end, and can be arranged on the substrate.
  • At least one accumulation of an electrically conductive material, in particular a bonding material, can be applied to the surface of the conductor track opposite the substrate.
  • the at least one accumulation of an electrically conductive material can expediently be arranged on the surface of the conductor track in the area of a first end of the conductor track.
  • the method according to the invention comprises
  • the term carrier should not be understood to be limiting to a flat carrier, but it is also possible for the carrier to have one or more cavities, one or more elevations, and one or more windows or interruptions.
  • the carrier can for example be made of a solderable material such as ceramic, a plastic, glass, a semiconductor material, or a
  • Composite material can be formed from at least two of the materials mentioned.
  • the at least one electrical contact located on the carrier can, for example, be a material such as gold, silver, or have a comparable material. It can also be possible for the material of the at least one electrical contact located on the carrier to differ from the material of the conductor track.
  • An electrically conductive adhesive is applied to the at least one accumulation of an electrically conductive material and / or to the at least one electrical contact.
  • the electrically conductive adhesive can either be applied to the at least one accumulation of an electrically conductive material or the at least one electrical contact, or the electrically conductive adhesive can be applied to the at least one accumulation of an electrically conductive material and the at least one electrical contact.
  • it can comprise electrically conductive particles, for example.
  • the substrate with the conductor track located thereon and the at least one accumulation of an electrically conductive material located thereon is arranged opposite the carrier with the at least one electrical contact located thereon such that the at least one accumulation of an electrically conductive material and the at least one electrical contact opposite to each other at a distance.
  • the distance between the at least one accumulation of an electrically conductive material and the at least one electrical contact should be as small as possible. However, the at least one accumulation of an electrically conductive material and the at least one electrical contact should preferably not touch each other directly.
  • the electrically conductive adhesive creates a mechanical connection between the substrate and the carrier and an electrical connection between the at least one accumulation of an electrically conductive material and the at least one electrical contact.
  • the at least one accumulation of one Electrically conductive material can serve as a lateral mechanical anchorage in the area of the electrically conductive adhesive and thus provide an improved mechanical connection between the substrate and the carrier.
  • the surface of the conductor track wetted with electrically conductive adhesive can be enlarged in order to provide an improved electrical connection between the conductor track and the at least one electrical contact.
  • the at least one accumulation of an electrically conductive material can have at least one of the following materials: gold, silver, copper, a combination of these materials and a metal that has a greater standard potential than a material of the conductor track.
  • the at least one accumulation has an electrically conductive material which has a lower redox potential than the material of the conductor track and thus a lower oxidation potential in contact with oxygen.
  • the surface of the conductor track can have an oxidized layer.
  • the oxidized layer can be removed and / or perforated in the area of the accumulation of an electrically conductive material.
  • the oxidized layer can be removed and / or broken through, for example, by applying the accumulation of an electrically conductive material in the area of the accumulation.
  • the accumulation of an electrically conductive material can have the shape of at least a drop, the shape of a tail, or the shape of a wedge. It is also possible for the accumulation to have a combination of at least two of at least one drop, a tail and a wedge.
  • the shape of a drop, a tail and / or a wedge can be produced by applying and / or melting an electrically conductive material to the surface of the conductor track and an excess of material protruding from the drop, tail and / or wedge at one point is torn off and / or sheared off immediately above the drop, tail and / or wedge.
  • the at least one accumulation of an electrically conductive material can be formed from at least two of a first drop, a tail, a second drop and a wedge, which are connected to one another via a bonding wire.
  • the first drop and / or tail and / or second drop and / or wedge can each be arranged directly on the surface of the conductor track.
  • "handles" can be formed from the at least two shapes connected to one another via a bonding wire.
  • Such a shape can be produced, for example, by means of a commercial wire bonding process and can be largely similar to a standard ball-wedge bond, tail-wedge Bond or wedge-wedge bond.
  • a bonding wire can be led out of a first drop, a tail, a second drop or a wedge and to one made of a first drop, a tail, a second drop or a wedge.
  • the application of the at least one accumulation of an electrically conductive material to the surface of the conductor track can be implemented by at least one of the following methods: ultrasonic bonding; Ultrasonic welding;
  • an oxidized layer that can be formed on the surface of the conductor tracks can be broken through and a mechanical and electrical connection can be created between the conductor track and the accumulation of an electrically conductive material.
  • the substrate can comprise an optoelectronic component.
  • an optoelectronic component can be formed, for example, by an LED or a laser diode.
  • the conductor track which is arranged on the substrate and can be designed, for example, as a conductor loop with two ends, can be used to check the functionality of the optically electronic
  • the carrier can be a
  • the present invention proposes a method in which at least one accumulation of an electrically conductive material is applied to a conductor track, for example by means of a mechanical method such as US welding, and the intermediate product thus created is applied to at least one electrical contact by means of an electrically conductive adhesive can be glued into a cavity of a carrier. This makes it possible to decouple a mechanical process and an adhesive process.
  • An electrical device comprises a substrate with at least one conductor track located thereon as well as a first accumulation of an electrically conductive material on a surface of the conductor track and a carrier with a first electrical contact. Furthermore, the electrical device according to the invention comprises an electrically conductive adhesive. The substrate and the carrier are arranged in such a way that the first accumulation of an electrically conductive material and the first electrical contact are spaced apart from one another. The electrically conductive adhesive is arranged between the first accumulation of an electrically conductive material and the first electrical contact in such a way that it electrically and mechanically connects the substrate to the carrier.
  • the at least one conductor track can be formed, for example, from a metal or a metal alloy comprising, for example, aluminum or copper, or a comparable material.
  • the first accumulation of an electrically conductive material can comprise at least one of the following materials: gold, silver, copper, a combination thereof and a metal that has a greater standard potential than a material of the conductor track.
  • the first accumulation has an electrically conductive material which, compared to the material of the conductor track, has a reduced redox potential and thus oxidizes more slowly in contact with oxygen.
  • the surface of the conductor track can have an oxidized layer.
  • the oxidized layer in the area of the first accumulation of an electrically conductive material can be removed and / or perforated.
  • the first accumulation of an electrically conductive material can be in direct contact with the material of the conductor track.
  • the first accumulation of an electrically conductive material can be designed in the form of a first drop and / or a tail and have a tear-off surface and / or a cut surface at a point directly above the first drop and / or tail.
  • the first accumulation of an electrically conductive material in the form of a first drop and / or a tail can be formed, for example, in that - as in a wire bonding process - an electrically conductive material is applied and / or melted onto the surface of the conductor track, this material is then bonded to the surface of the conductor track, for example by means of ultrasonic welding, and preventing another
  • Material inflow of the electrically conductive material of the Material inflow is torn off and / or sheared off immediately above the first drop and / or tails.
  • an electrically conductive material may be in the form of a first drop or a tail, from which a bond wire runs to a second drop or a wedge.
  • the second drop or wedge is also arranged on the conductor track at a distance from the first drop or tail. In this way, for example, a shape similar to a "handle" can develop.
  • the substrate prefferably includes an optoelectronic component.
  • the optoelectronic component can be formed by an LED or a laser diode.
  • the electrical device comprises a second accumulation of an electrically conductive material on the surface of the conductor track.
  • the second accumulation of an electrically conductive material can be opposite a second electrical contact of the carrier.
  • the electrically conductive adhesive is arranged at least also between the second accumulation of an electrically conductive material and the second electrical contact and connects these electrically and mechanically to one another.
  • the second accumulation of an electrically conductive material can correspondingly be arranged on the conductor track, which can be formed by a conductor loop with two ends, on a second end of the conductor loop and the first accumulation of an electrically conductive material can be arranged on a first end of the conductor track.
  • the conductor loop can be designed, for example, in the form of an open circle, an open rectangle, an open ellipse or a comparable shape.
  • a method for testing an electrical device with regard to its functionality comprises: applying a measuring sensor to the first and second electrical contacts of the carrier and measuring an electrical variable, in particular voltage drop, resistance, or electrical conductance, via the conductor track. On the basis of such a measured value, it may be possible to infer a possible malfunction of an electrical device.
  • Fig. 1 is a plan view of a
  • FIGS. 2A and 2B are sectional views through the substrate of two
  • 3A is a plan view of a
  • Fig. 3B is a sectional view of an embodiment example of an electrical device
  • Fig. 4 is yet another plan view of a
  • Embodiment of a substrate of an electrical device 5A and 5B are further sectional views through the
  • FIG. 7 shows a method for testing an electrical device according to the invention with regard to its functionality.
  • FIG. 1 shows a plan view of an exemplary embodiment of a substrate (2) of an electrical device (1) according to the invention.
  • a conductor track (3) in the form of a conductor loop is arranged on the substrate (2).
  • the conductor loop comprises a first end and a second end and, as shown in FIG. 1, is arranged, for example, in the form of an open rectangle on a, for example, square substrate (2).
  • the conductor track in the form of an open circle, in the form of an open ellipse or in a comparable shape on a surface of the substrate (2), which, for example, is also in the form of a circle, an ellipse or some other comparable shape can be.
  • the conductor track (3) is applied to a surface of the substrate (2) in the form of a thin layer, in particular thin in relation to the main direction of propagation of the conductor track (3). Furthermore, the conductor track (3) only partially covers a surface of the substrate (2), in some embodiments in particular less than 50%, less than 25%, less than 10%, or less than 5%.
  • a first accumulation of an electrically conductive material (4a) is arranged on its first end and a second accumulation of an electrically conductive material (4b) is arranged on its second end.
  • the first and second accumulations of an electrically conductive material (4a, 4b) only partially cover the first and second ends of the conductor track (3), respectively.
  • FIGS. 2A and 2B each show a sectional view along the dashed line AA in FIG. 1.
  • the two figures accordingly show a sectional or side view through the substrate (2), the conductor track (3) and the second accumulation of an electrically conductive material (4b).
  • An oxidized layer (9) is arranged on the surface (5) of the conductor track (3) opposite the substrate (2). In addition to the surface (5), the oxidized layer (9) is also arranged on the side walls of the conductor tracks (3).
  • the oxidized layer (9) is particularly thin compared to the thickness of the conductor track (3) and usually has a thickness of a few nanometers.
  • the oxidized layer (9) is in the area of the at least second accumulation of an electrically conductive material (4b) interrupted or pierced by at least the second accumulation of an electrically conductive material (4b).
  • at least in the area of the second accumulation of an electrically conductive material (4b) direct contact is realized between at least the second accumulation of an electrically conductive material (4b) and the conductor track (3).
  • the first and second accumulations of an electrically conductive material (4a, 4b) can be applied to the surface of the conductor track using a method similar to a wire bonding process, in particular a ball-wedge bonding process or a wedge-wedge bonding process will. However, this is not intended to be limiting to this, rather the first and second accumulations of an electrically conductive material (4a, 4b) can also be applied to the conductor track by means of a comparable process.
  • At least the second accumulation of an electrically conductive material (4b) is in the form of a drop.
  • at least the second accumulation of an electrically conductive material (4b) is designed in the form of a tail (ta), as shown in FIG. 2B.
  • the shape of a drop (tl) is designed largely in accordance with the shape of the ball of a ball-wedge bond process, that is to say a ball with a stump of material protruding therefrom.
  • the shape of a tail (ta) shown in FIG. 2B is designed largely corresponding to a tail of a wedge-wedge bonding process, i.e.
  • FIG. 3A shows an exemplary embodiment of an electrical device (1) according to the invention.
  • the substrate (2) with the conductor track (3) located thereon is arranged on a carrier (6) with the electrical contacts (7a, 7b) located thereon.
  • the substrate (2) with the conductor track (3) located thereon and the accumulations of an electrically conductive material (4a, 4b) located thereon and the carrier (6) are arranged in such a way that the first and second accumulations of an electrically conductive material ( 4a, 4b) and in each case an electrical contact (7a, 7b) are spaced apart from one another.
  • An electrically conductive adhesive (8) is also arranged between at least the first accumulation of an electrically conductive material (4a) and at least one of the electrical contacts (7a) according to the sectional view along the line B-B in FIG. 3B.
  • This electrically conductive adhesive (8) creates a mechanical connection between the substrate (2) and the carrier (6) and an electrical connection between at least the first accumulation of an electrically conductive material (4a, 4b) and at least one of the electrical contacts (7a ) provided.
  • the carrier (6) has a window (11) on which the substrate (2) and the one located thereon
  • the carrier can have a cavity (not shown) in which the substrate (2) with the conductor track (3) located thereon can be arranged. Due to the arrangement in the cavity, it may be possible, for example, that a connection by means of mechanical pressure, such as for example US welding, is made more difficult due to the space available. Accordingly, the present invention proposes a method in which an at least first and at least second accumulation of an electrically conductive material (4a, 4b), for example be applied to the conductor track (3) by means of a mechanical process, such as US welding, and the resulting intermediate product is glued to electrical contacts (7a, 7b) in a cavity of a carrier (6) by means of an electrically conductive adhesive (8) . This makes it possible to decouple a mechanical process and an adhesive process.
  • the electrically conductive adhesive is flat between the conductor track (3) and the electrical contacts (7a, 7b) and / or between the conductor track (3) and the carrier (6) and / or between the substrate (2) and the carrier (6) and / or between the substrate (2) and the electrical contacts (7a, 7b).
  • the electrical contacts (7a, 7b) can for example be made of a material such as gold, silver, or a comparable conductive material and can be designed to use the electrically conductive adhesive and the first and second accumulation of an electrically conductive material (4a, 4b ) to enable electrical contacting of the conductor track (3).
  • the electrically conductive adhesive (8) has electrically conductive particles (12). This makes it possible to provide an electrical connection between the first and second accumulations of an electrically conductive material (4a, 4b) and the electrical contacts (7a, 7b).
  • FIG. 4 shows a further exemplary embodiment of a substrate (2) of an electrical device (1) according to the invention.
  • the first and the second accumulation of an electrically conductive material (4a, 4b) have two mechanically with the
  • FIG. 5A shows, for example, a first or second accumulation of an electrically conductive material (4a, 4b) comprising a first drop (tl) and a wedge (w), which are connected to one another via a bonding wire (b).
  • FIG. 5B shows a first or second accumulation of an electrically conductive material (4a, 4b) comprising a tail (ta) and a wedge (w), which are also connected to one another via a bonding wire (b).
  • FIGS. 5A and 5B The forms of a first and second accumulation of an electrically conductive material (4a, 4b) shown in FIGS. 5A and 5B can thus be achieved, for example, by a commercial wire bonding process, in particular a ball-wedge bond process or a wedge-wedge bond Process, are generated. However, this is not intended to be limiting to this, but the shapes can also be applied to the conductor track using a comparable process.
  • FIG. 6 shows steps S1-S6 of a method according to the invention for producing an electrical device.
  • a substrate with at least one conductor track located thereon is provided.
  • the conductor track can be designed in the form of a conductor loop and, for example, in the form of an open rectangle, in the form of an open circle, in the form of an open ellipse, or a be carried out in a comparable form.
  • the material of the conductor track can be, for example, inexpensive materials such as aluminum, copper, a metal alloy comprising aluminum or copper, or a comparable material.
  • a step S2 at least one accumulation of an electrically conductive material is then applied to a surface of the conductor track, in particular to a surface of the conductor track opposite the substrate.
  • the application of the at least one accumulation of an electrically conductive material optionally includes the following steps: providing an electrically conductive material, for example in the form of a bonding wire, in particular an endless bonding wire; Arranging the electrically conductive material, in particular a part of the electrically conductive material, on the surface of the conductor track; A melting of the electrically conductive material, in particular part of the electrically conductive material; A connection of the electrically conductive material to the conductor track, the connection being realized by at least one of the following methods: ultrasonic bonding, ultrasonic welding, spot welding and wire bonding.
  • the optional step of connecting is implemented in particular by means of a mechanical method in order to break through an oxide layer possibly enveloping the conductor track and to provide direct contact between the conductor track and the at least one accumulation of an electrically conductive material.
  • the at least one accumulation of the electrically conductive material can have at least one of the following materials: gold, silver, copper, a combination of these materials and a metal that has a greater standard potential than a material of the conductor track.
  • a carrier with at least one electrical contact located thereon is provided.
  • the carrier can for example have a cavity and / or a window or an opening and the at least one electrical contact can have a material such as gold, silver, or a comparable material.
  • the material of the at least one electrical contact located on the carrier can differ from the material of the conductor track.
  • an electrically conductive adhesive is applied to at least one of the accumulation of the electrically conductive material and the at least one electrical contact.
  • the adhesive is also applied, for example, to the conductor track and / or the substrate and / or to the carrier.
  • a step S5 the substrate and the carrier are arranged with respect to one another in such a way that the at least one accumulation of the electrically conductive material and the at least one electrical contact lie opposite one another at a distance from one another.
  • the electrically conductive adhesive creates, in particular, a mechanical and electrical connection between the accumulation of the electrically conductive material and the at least one electrical contact.
  • FIG. 7 shows steps S6-S7 of a method according to the invention for testing one of the electrical devices described above.
  • a measuring sensor is applied to a first, second electrical contact of the carrier.
  • an electrical variable in particular the voltage drop, the resistance, or the electrical conductance, is then measured across the conductor track. On the basis of such a measured value, it can be converted into be possible in a further step to infer a possible malfunction of the electrical device

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer elektrischen Vorrichtung, insbesondere einer optoelektronischen Vorrichtung, sowie eine elektrische Vorrichtung, insbesondere eine optoelektronische Vorrichtung und ein Verfahren zum Testen der elektrischen Vorrichtung, insbesondere optoelektronischen Vorrichtung, hinsichtlich ihrer Funktionalität. Ein Verfahren zum Erzeugen einer elektrischen Vorrichtung umfasst dabei das Bereitstellen eines Substrats mit zumindest einer darauf befindlichen Leiterbahn; Das Aufbringen mindestens einer Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials, insbesondere eines Bondmaterials, auf eine Oberfläche der Leiterbahn; Das Bereitstellen eines Trägers mit zumindest einem elektrischen Kontakt; Das Aufbringen eines elektrisch leitfähigen Klebers auf zumindest einen aus der zumindest einen Anhäufung des elektrisch leitfähigen Materials und dem zumindest einen elektrischen Kontakt; Das Anordnen des Substrats und des Trägers derart, dass sich die Anhäufung des elektrisch leitfähigen Materials und der zumindest eine elektrische Kontakt beabstandet zueinander gegenüberliegen, wobei der elektrisch leitfähige Kleber eine mechanische und elektrische Verbindung zwischen der Anhäufung des elektrisch leitfähigen Materials und dem zumindest einen elektrischen Kontakt erzeugt.

Description

ELEKTRISCHE VORRICHTUNG
Die vorliegende Anmeldung nimmt die Priorität der deutschen Patentanmeldung Nr. 102020114 669.8 in Anspruch, deren Offenbarungsgehalt hiermit in die vorliegende Anmeldung aufgenommen wird.
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer elektrischen Vorrichtung, insbesondere einer optoelektronischen Vorrichtung, sowie eine elektrische Vorrichtung, insbesondere eine optoelektronische Vorrichtung und ein Verfahren zum Testen der elektrischen Vorrichtung, insbesondere optoelektronischen Vorrichtung, hinsichtlich ihrer Funktionalität.
HINTERGRUND
Da Leiterbahnen aus einem Metall oder einer Metalllegierung, umfassend beispielsweise Aluminium oder Kupfer, in Kontakt mit Sauerstoff sehr schnell oxidieren, besteht bei elektrischen
Vorrichtungen das Problem, dennoch eine elektrische Verbindung zwischen einer Leiterbahn und einem elektrischen Kontakt herzustellen. Die auf den Leiterbahnen durch Kontakt mit Sauerstoff entstanden Oxidschicht ist dabei üblicherweise einigen Nanometer dick und sehr dicht.
Um diese Oxidschicht auf der Leiterbahn zu durchdringen kann zum Herstellen einer elektrischen Verbindung beispielsweise mechanischer Druck aufgewendet werden. Dies kann für beispielsweise optoelektronische Vorrichtungen zum gegenwärtigen Zeitpunkt beispielsweise durch Ultraschall-Bonden (US-Bonden) oder ein Klebeverfahren mit einer kombinierten mechanischen Behandlung, wie beispielsweise Thermobonden, erfolgen. Die Oxidschicht auf der Leiterbahn wird dabei durch die mechanische Beauftragung durchbrochen und für einen elektrischen Kontakt steht unoxidiertes Leiterbahnmaterial zur Verfügung.
Gleichzeitig ist es aber möglich, dass ein solcher Kontaktierungsprozess aufgrund des zur Verfügung stehenden Platzes erschwert ist. So kann es zum Beispiel möglich sein, dass ein Bauteil mit einer darauf befindlichen Leiterbahn in einer Kavität angeordnet und mit einem elektrischen Kontakt verbunden werden soll. Ein auftretendes Problem kann dabei sein, dass für einen mechanischen Fügeprozess, wie beispielsweise US- Bonden, nicht genügend Platz zur Verfügung steht.
Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht nun darin, ein verbessertes Herstellungsverfahren bereitzustellen, welches diesem Problem vorbeugt.
Die Aufgabe wird gelöst durch ein Verfahren zum Erzeugen einer elektrischen Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 sowie einer elektrischen Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 12. Ausführungsformen und Weiterbildungen der Erfindung werden in den abhängigen Ansprüchen beschrieben.
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG Ein erfindungsgemäßes Verfahren zum Erzeugen einer elektrischen Vorrichtung umfasst: ein Bereitstellen eines Substrats mit zumindest einer darauf befindlichen Leiterbahn; ein Aufbringen mindestens einer Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials, insbesondere eines Bond-Materials, auf eine Oberfläche der Leiterbahn; ein Bereitstellen eines Trägers mit zumindest einem darauf befindlichen elektrischen Kontakt; ein Aufbringen eines elektrisch leitfähigen Klebers auf die zumindest eine Anhäufung des elektrisch leitfähigen Materials und/oder den zumindest einen elektrischen Kontakt; und ein Anordnen des Substrats und des Trägers derart, dass sich die Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials und der zumindest eine elektrische Kontakt beabstandet zueinander gegenüberliegen, wobei der elektrisch leitfähige Kleber eine mechanische und elektrische Verbindung zwischen der Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials und dem zumindest einen elektrischen Kontakt erzeugt.
Bei dem Material der Leiterbahn kann es sich beispielsweise um kostengünstige Materialien, wie Aluminium, Kupfer, Metalllegierungen umfassend Aluminium oder Kupfer, oder ein vergleichbares Metall handeln. Die Leiterbahn kann in Form zumindest einer Leiterschleife, die mindestens ein erstes und ein zweites Ende aufweist, ausgebildet sein und auf dem Substrat angeordnet sein. Auf die dem Substrat gegenüberliegende Oberfläche der Leiterbahn kann mindestens eine Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials, insbesondere eines Bondmaterials, aufgebracht werden. Die zumindest eine Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials kann dabei in zweckmäßiger Weise auf der Oberfläche der Leiterbahn im Bereich eines ersten Endes der Leiterbahn angeordnet sein.
Weiterhin umfasst das erfindungsgemäße Verfahren das
Bereitstellen eines Trägers mit zumindest einem darauf befindlichen elektrischen Kontakt. Der Begriff Träger soll dabei allerdings nicht limitierend auf einen ebenen Träger verstanden werden, sondern es ist auch möglich, dass der Träger ein oder mehrere Kavitäten, ein oder mehrere Erhebungen, sowie ein oder mehrere Fenster bzw. Unterbrechungen aufweist. Der Träger kann beispielsweise aus einem lötstabilen Material wie Keramik, einem Kunststoff, Glas, einem Halbleitermaterial, oder einem
Verbundwerkstoff aus mindestens zwei der genannten Materialien gebildet sein.
Der zumindest eine auf dem Träger befindliche elektrische Kontakt kann beispielsweise ein Material wie Gold, Silber, oder ein vergleichbares Material aufweisen. Ebenso kann es möglich sein, dass sich das Material des zumindest einen auf dem Träger befindliche elektrische Kontakts von dem Material der Leiterbahn unterscheidet. Auf die zumindest eine Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials und/oder auf den zumindest einen elektrischen Kontakt wird ein elektrisch leitfähiger Kleber aufgetragen. Entsprechend kann der elektrisch leitfähige Kleber entweder auf die zumindest eine Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials oder den zumindest einen elektrischen Kontakt aufgetragen werden, oder der elektrisch leitfähige Kleber kann auf die zumindest eine Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials und den zumindest einen elektrischen Kontakt aufgetragen werden. Zur besseren Leitfähigkeit des Klebers kann dieser beispielsweise elektrisch leitfähige Partikel umfassen.
Das Substrat mit der darauf befindlichen Leiterbahn und der wiederum darauf befindlichen mindestens einen Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials wird derart gegenüber dem Träger mit dem mindestens einen darauf befindlichen elektrischen Kontakt angeordnet, dass sich die mindestens eine Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials und der zumindest eine elektrische Kontakt beabstandet zueinander gegenüberliegen. Der Abstand zwischen der zumindest einen Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials und dem zumindest einen elektrischen Kontakt sollte dabei möglichst klein sein. Jedoch sollten sich die zumindest eine Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials und der zumindest eine elektrische Kontakt in bevorzugter Weise nicht direkt berühren.
Der elektrisch leitfähige Kleber erzeugt eine mechanische Verbindung zwischen dem Substrat und dem Träger sowie eine elektrische Verbindung zwischen der zumindest einen Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials und dem zumindest einen elektrischen Kontakt. Die zumindest eine Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials kann dabei einerseits als laterale mechanische Verankerung im Bereich des elektrisch leitfähigen Klebers dienen und somit eine verbesserte mechanische Verbindung zwischen dem Substrat und dem Träger bereitstellen. Andererseits kann durch die mindestens eine Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials die mit elektrisch leitfähigem Kleber benetzte Oberfläche der Leiterbahn vergrößert werden, um eine verbesserte elektrische Verbindung zwischen der Leiterbahn und dem zumindest einen elektrischen Kontakt bereitzustellen.
Die zumindest eine Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials kann zumindest eins der folgenden Materialien aufweisen: Gold, Silber, Kupfer, eine Kombination dieser Materialien und ein Metall, dass ein größeres Standardpotenzial als ein Material der Leiterbahn aufweist. Mit anderen Worten gesagt ist in einer Ausgestaltung vorgesehen, dass die zumindest eine Anhäufung ein elektrisch leitfähiges Material aufweist, welches ein gegenüber dem Material der Leiterbahn verringertes Redoxpotential und somit in Kontakt mit Sauerstoff eine geringeres Potential einer Oxidierung aufweist.
In einer weiteren Ausführungsform kann die Oberfläche der Leiterbahn eine oxidierte Schicht aufweisen. Die oxidierte Schicht kann dabei im Bereich der Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials entfernt und/oder durchbrochen sein. Die oxidierte Schicht kann beispielsweise durch das Aufbringen der Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials im Bereich der Anhäufung entfernt und/oder durchbrochen werden.
Die Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials kann die Form mindestens eines Tropfens, die Form eines Tails, oder die Form eines Wedges aufweisen. Ebenso ist es möglich, dass die Anhäufung eine Kombination aus mindestens zwei aus mindestens einem Tropfen, einem Tail und einem Wedge aufweist. Die Begriffe Tail und Wedge sind dabei im weitest gehenden entsprechend der Begrifflichkeit und der entsprechend zugehörigen Form aus dem Drahtbonden - Wedgebond (Wedge = englisch für Keil) und Tailbond (Tail = englisch für Schwanz) - zu verstehen. Ebenso gilt dies für den Begriff Tropfen, der im weitest gehenden entsprechend einem Ballbond (ball = englisch für Kugel) als Kugel mit einem daraus hervorstehenden Materialstumpf verstanden werden kann. Dies soll jedoch nicht beschränkend auf die aus dem Drahtbond- Prozess bekannten Formen sein, sondern es ist ebenso denkbar, dass die Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials auch eine andere vergleichbare Form aufweist.
Die Form eines Tropfens, eines Tails und/oder eines Wedges kann dabei derart erzeugt werden, indem ein elektrisch leitfähiges Material auf die Oberfläche der Leiterbahn aufgebracht und/oder aufgeschmolzen wird und ein aus dem Tropfen, Tail und/oder Wedges herausstehender Materialüberschuss an einer Stelle unmittelbar oberhalb des Tropfens, Tails und/oder Wedges abgerissen und/oder abgeschert wird.
Ebenso kann es möglich sein, dass die mindestens eine Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials aus mindestens zwei aus einem ersten Tropfen, einem Tail, einem zweiten Tropfen und einem Wedge gebildet ist, die über einen Bonddraht miteinander verbunden sind. Der erste Tropfen und/oder Tail und/oder zweite Tropfen und/oder Wedge können dabei jeweils direkt auf der Oberfläche der Leiterbahn angeordnet sein. Entsprechend können sich aus den mindestens zwei über einen Bonddraht miteinander verbundenen Formen jeweils „Henkel" ausbilden. Eine solche Form kann beispielsweise mittels einem kommerziellen Drahtbond- Prozess erzeugt werden und kann im weitestgehend ähnlich zu einem standartmäßigen Ball-Wedge-Bond, Tail-Wedge-Bond oder Wedge-Wedge-Bond sein. Entsprechend kann mit einem solchen Prozess ein Bonddraht aus einem aus einem ersten Tropfen, einem Tail, einem zweiten Tropfen oder einem Wedge herausgeführt werden und hin zu einen aus einem ersten Tropfen, einem Tail, einem zweiten Tropfen oder einem Wedge geführt werden.
Das Aufbringen der zumindest einen Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials auf die Oberfläche der Leiterbahn kann durch wenigstens eins der folgenden Verfahren realisiert werden: Ultraschall-Bonden; Ultraschall-Schweißen;
Punktschweißen; und Drahtbonding.
Mithilfe dieser Verfahren kann beispielsweise eine oxidierte Schicht, die auf der Oberfläche der Leiterbahnen ausgebildet sein kann, durchbrochen werden und eine mechanische sowie elektrische Verbindung zwischen der Leiterbahn und der Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials erzeugt werden.
In einem weiteren Ausführungsbeispiel kann das Substrat ein optoelektronisches Bauelement umfassen. Ein solches optoelektronisches Bauelement kann beispielsweise durch eine LED oder eine Laserdiode, gebildet sein. Die Leiterbahn, die auf dem Substrat angeordnet ist und beispielsweise als Leiterschleife mit zwei Enden ausgeführt sein kann, kann zur Überprüfung der Funktionalität des optisch elektronischen
Bauelements ausgestaltet sein. Für den Fall, dass das Substrat und entsprechend das optoelektronische Bauelement bricht, kann mithilfe eines Anlegens von beispielsweise einen Strom an die beiden Enden der Leiterschleife überprüft werden, ob eine über die Leiterschleife gemessene elektrische Größe wie beispielsweise Spannung, Widerstand oder Leitwert, einen zu erwartenden Wert übersteigt und es kann damit auf eine mögliche Fehlfunktion des optoelektronischen Bauelements geschlossen werden. In einem weiteren Ausführungsbeispiel kann der Träger eine
Kavität aufweisen, in der das Substrat mit der darauf befindlichen Leiterbahnen angeordnet sein kann. In einem solchen Fall kann es beispielsweise schwierig sein, mittels einem mechanischen Verfahren wie beispielsweise Ultraschall schweißen, die Leiterbahn und den mindestens einen auf dem Träger angeordnet elektrischen Kontakt aufgrund des geringen zur Verfügung stehenden Platzes elektrisch miteinander zu verbinden, und die möglicherweise auf der Leiterbahn befindliche oxidierte Schicht zu durchbrechen. Entsprechend schlägt die vorliegende Erfindung ein Verfahren vor, bei dem mindestens eine Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials beispielsweise mittels einem mechanischen Verfahren, wie beispielsweise US- Schweißen, auf eine Leiterbahn aufgebracht wird und das dadurch entstandenen Zwischenprodukt mittels eines elektrisch leitfähigen Klebers auf mindestens einen elektrischen Kontakt in eine Kavität eines Trägers geklebt werden kann. Dadurch ist es möglich einen mechanischen Prozess und einen Klebeprozess zu entkoppeln.
Eine erfindungsgemäße elektrische Vorrichtung umfasst ein Substrat mit zumindest einer darauf befindlichen Leiterbahn sowie eine erste Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials auf einer Oberfläche der Leiterbahn und einen Träger mit einem ersten elektrischen Kontakt. Weiterhin umfasst die erfindungsgemäße elektrische Vorrichtung einen elektrisch leitfähigen Kleber. Das Substrat und der Träger sind dabei derart angeordnet, dass sich die erste Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials und der erste elektrische Kontakt beabstandet zueinander gegenüberliegen. Der elektrisch leitfähige Kleber ist dabei derart zwischen der ersten Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials und dem ersten elektrischen Kontakt angeordnet, dass er das Substrat mit dem Träger elektrisch und mechanisch miteinander verbindet. Die zumindest eine Leiterbahn kann dabei beispielsweise aus einem Metall oder einer Metalllegierung umfassend beispielsweise Aluminium oder Kupfer, oder einem vergleichbaren Material, gebildet sein.
Die erste Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials kann wenigstens eins der folgenden Materialien aufweisen: Gold, Silber, Kupfer, eine Kombination hiervon und ein Metall, dass ein größeres Standardpotenzial als ein Material der Leiterbahn aufweist. Mit anderen Worten gesagt weist die erste Anhäufung ein elektrisch leitfähiges Material auf, welches gegenüber dem Material der Leiterbahn ein verringertes Redoxpotential aufweist und somit in Kontakt mit Sauerstoff langsamer oxidiert. Die Oberfläche der Leiterbahn hingegen kann eine oxidierte Schicht aufweisen. Die oxidierte Schicht im Bereich der ersten Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials kann entfernt und/oder durchbrochen sein. Entsprechend kann die erste Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials in direktem Kontakt mit dem Material der Leiterbahn stehen.
Die erste Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials kann in Form eines ersten Tropfens und/oder eines Tails ausgebildet sein und an eine Stelle unmittelbar oberhalb des ersten Tropfens und/oder Tails eine Abrissfläche und/oder eine Schnittfläche aufweisen. Die erste Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials in Form eines ersten Tropfens und/oder eines Tails kann beispielsweise dadurch gebildet werden, dass - wie bei einem Drahtbond-Prozess - ein elektrisch leitfähiges Material auf die Oberfläche der Leiterbahn aufgebracht und/oder aufgeschmolzen wird, dieses Material dann beispielsweise mittels Ultraschall-Schweißen auf die Oberfläche der Leiterbahn gebondet wird und unter Verhinderung eines weiteren
Materialzuflusses des elektrisch leitfähigen Material der Materialzuflusses unmittelbar oberhalb des ersten Tropfens und/oder Tails abgerissen und/oder abgeschert wird.
Weiterhin ist es möglich, dass die Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials in Form eines ersten Tropfens oder eines Tails ausgebildet ist, von dem einen Bond Draht zu einem zweiten Tropfen oder einem Wedge verläuft. Der zweite Tropfen oder Wedge ist dabei beabstandet zu dem ersten Tropfen oder Tail ebenfalls auf der Leiterbahn angeordnet. Dadurch kann sich beispielsweise eine Form ähnlich zu einem „Henkel" ausbilden.
In einem weiteren Ausführungsbeispiel ist es möglich, dass das Substrat ein optoelektronisches Bauelement umfasst. Das optoelektronische Bauelement kann dabei durch eine LED oder eine Laserdiode gebildet sein.
Es kann auch sein, dass die elektrische Vorrichtung eine zweite Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials auf der Oberfläche der Leiterbahn umfasst. Die zweite Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials kann dabei einem zweiten elektrischen Kontakt des Trägers gegenüberliegen. Der elektrisch leitfähige Kleber ist zumindest auch zwischen der zweiten Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials und dem zweiten elektrischen Kontakt angeordnet und verbindet diese elektrisch und mechanisch miteinander.
Die zweite Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials kann entsprechend auf der Leiterbahn, die durch eine Leiterschleife mit zwei Enden gebildet sein kann, auf einem zweiten Ende der Leiterschleife angeordnet sein und die erste Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials kann auf einem ersten Ende der Leiterbahn angeordnet. Die Leiterschleife kann beispielsweise in Form eines offenen Kreises, eines offenen Rechtecks, einer offenen Ellipse oder einer vergleichbaren Form ausgebildet sein. Ein Verfahren zum Testen einer elektrischen Vorrichtung hinsichtlich ihrer Funktionalität umfasset: Ein Anlegen eines Messfühlers an jeweils den erste und den zweiten elektrischen Kontakt des Trägers und ein Messen einer elektrischen Größe, insbesondere Spannungsabfall, Widerstand, oder elektrischer Leitwert, über die Leiterbahn. Auf Basis eines solch gemessenen Wertes kann es möglich sein, auf eine mögliche Fehlfunktion einer elektrischen Vorrichtung zu schließen. FIGURENBESCHREIBUNG
Im Folgenden werden Ausführungsbeispiele der Erfindung unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen, jeweils schematisch,
Fig. 1 eine Draufsicht auf ein
Ausführungsbeispiel eines Substrats einer elektrischen Vorrichtung, Fig. 2A und 2B Schnittansichten durch das Substrat zweier
Ausführungs-beispiele einer elektrischen Vorrichtung,
Fig. 3A eine Draufsicht auf ein
Ausführungsbeispiel einer elektrischen Vorrichtung,
Fig. 3B eine Schnittansicht eines Ausführungs beispiele einer elektrischen Vorrichtung,
Fig. 4 noch eine weitere Draufsicht auf ein
Ausführungsbeispiel eines Substrats einer elektrischen Vorrichtung, Fig. 5A und 5B weitere Schnittansichten durch das
Substrat zweier Ausführungsbeispiele einer elektrischen Vorrichtung,
Fig. 6 ein Verfahren zum Erzeugen einer erfindungsgemäßen elektrischen Vorrichtung, und
Fig. 7 ein Verfahren zum Testen einer erfindungsgemäßen elektrischen Vorrichtung hinsichtlich ihrer Funktionalität.
DETAILLIERTE BESCHREIBUNG
Figur 1 zeigt eine Draufsicht auf ein Ausführungsbeispiel eines Substrates (2) einer erfindungsgemäßen elektrischen Vorrichtung (1). Auf dem Substrat (2) ist eine Leiterbahn (3) in Form einer Leiterschleife angeordnet. Die Leiterschleife umfasst dabei ein erstes Ende und ein zweites Ende und ist wie in Figur 1 dargestellt beispielsweise in Form eines offenen Rechtecks auf einem beispielsweise quadratischen Substrat (2) angeordnet. Ebenso ist es jedoch möglich, die Leiterbahn in Form eines offenen Kreises, in Form einer offenen Ellipse oder in einer vergleichbaren Form auf einer Oberfläche des Substrates (2) anzuordnen, welches beispielsweise auch in Form eines Kreises, einer Ellipse oder einer sonstigen vergleichbaren Form ausgebildet sein kann.
Die Leiterbahn (3) ist in Form einer dünnen Schicht, insbesondere dünn gegenüber der Hauptausbreitungsrichtung der Leiterbahn (3), auf einer Oberfläche des Substrates (2) aufgebracht. Weiterhin bedeckt die Leiterbahn (3) eine Oberfläche des Substrates (2) nur teilweise, in einigen Ausführungen insbesondere zu weniger als 50 %, zu weniger als 25 %, zu weniger als 10 %, oder zu weniger als 5%. Auf der dem Substrat gegenüberliegenden Oberseite der Leiterbahn (3) ist auf deren ersten Ende eine erste Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials (4a) und auf deren zweiten Ende eine zweite Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials (4b) angeordnet.
Die erste und die zweite Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials (4a, 4b) bedecken jeweils das erste bzw. zweite Ende der Leiterbahn (3) nur zu Teilen. So kann es beispielsweise zweckmäßig sein, dass die erste und die zweite Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials (4a, 4b) in Draufsicht gesehen eine kleinere Fläche, insbesondere viel kleinere Fläche als die in Draufsicht gesehene Fläche der Leiterbahn (3) aufweisen. In einigen Ausführungen ist es jedoch auch möglich, die erste und die zweite Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials (4a, 4b) das erste bzw. zweite Ende der Leiterbahn (3) jeweils vollständig bedecken.
Die Figuren 2A und 2B zeigen, jeweils eine Schnittansicht entlang der gestrichelten Linie A-A der Figur 1. Die beiden Figuren zeigen entsprechend eine Schnitt- beziehungsweise Seitenansicht durch das Substrat (2), die Leiterbahn (3), sowie die zweite Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials (4b).
Auf der dem Substrat (2) gegenüberliegenden Oberfläche (5) der Leiterbahn (3) ist eine oxidierte Schicht (9) angeordnet. Neben der Oberfläche (5) ist die oxidierte Schicht (9) auch an den Seitenwänden der Leiterbahnen (3) angeordnet. Die oxidierte Schicht (9) ist dabei insbesondere dünn gegenüber der Dicke der Leiterbahn (3) ausgebildet und weist üblicherweise eine Dicke von einigen Nanometern auf.
Weiterhin ist die oxidierte Schicht (9) im Bereich der zumindest zweiten Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials (4b) unterbrochen bzw. von zumindest der zweiten Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials (4b) durchbrochen. Entsprechend ist zumindest im Bereich der zweiten Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials (4b) ein direkter Kontakt zwischen zumindest der zweiten Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials (4b) und der Leiterbahn (3) realisiert. Die erste und zweite Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials (4a, 4b) können beispielsweise mittels einem Verfahren ähnlich zu einem Drahtbond-Prozess, insbesondere einem Ball- Wedge-Bond-Prozess oder einem Wedge-Wedge-Bond-Prozess auf die Oberfläche der Leiterbahn aufgebracht werden. Jedoch soll dies nicht beschränkend darauf sein, sondern die erste und zweite Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials (4a, 4b) können auch mittels einem vergleichbaren Prozess auf die Leiterbahn aufgebracht werden.
Wie in Figur 2A gezeigt, ist zumindest die zweite Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials (4b) in Form eines Tropfens ausgebildet. Ebenso ist es jedoch auch möglich, dass zumindest die zweite Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials (4b) wie in Figur 2B gezeigt in Form eines Tails (ta) ausgebildet ist. Die Form eines Tropfens (tl) ist dabei weitestgehend entsprechend der Form des Balls eines Ball-Wedge- Bond-Prozesses ausgebildet, also einer Kugel mit einem daraus hervorstehenden Materialstumpf. Die in Figur 2B dargestellte Form eines Tails (ta) ist im weitestgehend entsprechend einem Tail eines Wedge-Wedge-Bond-Prozesses ausgebildet, also ein Draht, der in einem Bereich flach auf die Leiterbahn gedrückt und in einem diesem benachbarten Bereich einen daraus hervorstehenden Materialstumpf aufweist. Dies soll jedoch nicht beschränkend auf die aus dem Drahtbond-Prozess bekannten Formen sein, sondern es ist ebenso denkbar, dass die Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials auch andere vergleichbare Formen aufweist. Figur 3A zeigt ein erfindungsgemäßes Ausführungsbeispiel einer elektrischen Vorrichtung (1). Das Substrat (2) mit der darauf befindlichen Leiterbahn (3) ist auf einem Träger (6) mit den darauf befindlichen elektrischen Kontakten (7a, 7b) angeordnet. Das Substrat (2) mit der darauf befindlichen Leiterbahn (3) und den wiederum darauf befindlichen Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials (4a, 4b) und der Träger (6) sind derart angeordnet, dass sich die erste und zweite Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials (4a, 4b) und jeweils ein elektrischer Kontakt (7a, 7b) beabstandet zueinander gegenüberliegen.
Zwischen zumindest der ersten Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials (4a) und zumindest einem der elektrischen Kontakte (7a) ist entsprechend der Schnittansicht entlang der Linie B-B in Figur 3B weiterhin ein elektrisch leitfähiger Kleber (8) angeordnet. Mittels dieses elektrisch leitfähigen Klebers (8) wird eine mechanische Verbindung zwischen dem Substrat (2) und dem Träger (6) sowie eine elektrische Verbindung zwischen zumindest der ersten Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials (4a, 4b) und zumindest einem der elektrischen Kontakte (7a) bereitgestellt.
Der Träger (6) weist wie in Figur 3A gezeigt ein Fenster (11) auf, auf dem das Substrat (2) mit der darauf befindlichen
Leiterbahn (3) angeordnet ist. Weiterhin kann der Träger eine nicht dargestellte Kavität aufweisen, in der das Substrat (2) mit der darauf befindlichen Leiterbahn (3) angeordnet sein kann. Aufgrund der Anordnung in der Kavität kann es beispielsweise möglich sein, dass eine Verbindung mittels eines mechanischen Drucks, wie beispielsweise US-Schweißen, aufgrund des zu Verfügung stehenden Platzes erschwert ist. Entsprechend schlägt die vorliegenden Erfindung ein Verfahren vor, bei dem eine mindestens erste und eine mindestens zweite Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials (4a, 4b) beispielsweise mittels einem mechanischen Verfahrens, wie beispielsweise US- Schweißen, auf die Leiterbahn (3) aufgebracht werden und das dadurch entstandenen Zwischenprodukt mittels eines elektrisch leitfähigen Klebers (8) auf elektrische Kontakte (7a, 7b) in eine Kavität eines Trägers (6) geklebt wird. Dadurch ist es möglich, einen mechanischen Prozess und einen Klebeprozess zu entkoppeln.
In weiteren nicht dargestellten Ausführen ist es auch möglich, dass der elektrisch leitfähige Kleber flächig zwischen der Leiterbahn (3) und den elektrischen Kontakten (7a, 7b) und/oder zwischen der Leiterbahn (3) und dem Träger (6) und/oder zwischen dem Substrat (2) und dem Träger (6) und/oder zwischen dem Substrat (2) und den elektrischen Kontakten (7a, 7b) ausgebildet ist.
Die elektrischen Kontakte (7a, 7b) können beispielsweise aus einem Material wie Gold, Silber, oder einem vergleichbaren Leitfähigen Material gebildet sein und können dazu ausgebildet sein, über den elektrisch Leitfähigen Kleber und die erste und zweite Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials (4a, 4b) eine elektrische Kontaktierung der Leiterbahn (3) zu ermöglichen. Entsprechend der Figur 3B weist der elektrisch leitfähige Kleber (8) elektrisch leitfähige Partikel (12) auf. Dadurch ist es möglich eine elektrische Verbindung zwischen der ersten und zweiten Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials (4a, 4b) und den elektrischen Kontakten (7a, 7b) bereitzustellen. Durch eine Erhöhung der Konzentration der elektrisch leitfähigen Partikel (12) im elektrisch leitfähigen Kleber (8) ist es möglich eine verbesserte elektrische Verbindung zwischen der ersten und zweiten Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials (4a, 4b) und den elektrischen Kontakten (7a, 7b) bereitzustellen. Figur 4 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel eines Substrates (2) einer erfindungsgemäßen elektrischen Vorrichtung (1). Im Unterschied zu dem in Figur 1 gezeigten Ausführungsbeispiel weisen die ersten und die zweite Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials (4a, 4b) zwei mechanisch mit dem
Leiterrahmen verbundene Bereiche auf, die über einen Draht, beispielsweise einen Bonddraht miteinander verbunden sind. Dies ist in den Figuren 5A und 5B nochmals in einer Seiten- / Schnittansicht genauer gezeigt. Figur 5A zeigt beispielswiese eine erste bzw. zweite Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials (4a, 4b) umfassend einen ersten Tropfen (tl) und einen Wedge (w), die über einen Bonddraht (b) miteinander verbunden sind. Figur 5B zeigt im Gegensatz dazu eine erste bzw. zweite Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials (4a, 4b) umfassend einen Tail (ta) und einen Wedge (w), die ebenfalls über einen Bonddraht (b) miteinander verbunden sind. Die in den Figuren 5A und 5B gezeigten Formen einer ersten bzw. zweiten Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials (4a, 4b) können so beispielsweise durch einen kommerziellen Drahtbond-Prozess, insbesondere einem Ball-Wedge-Bond-Prozess oder einem Wedge-Wedge-Bond-Prozess, erzeugt werden. Jedoch soll dies nicht beschränkend darauf sein, sondern die Formen können auch mittels einem vergleichbaren Prozess auf die Leiterbahn aufgebracht werden.
Figur 6 zeigt die Schritte S1-S6 eines erfindungsgemäßen Verfahrens zum Erzeugen einer elektrischen Vorrichtung. In einem Schritt S1 wird ein Substrat mit zumindest einer darauf befindlichen Leiterbahn bereitgestellt. Die Leiterbahn kann dabei in Form einer Leiterschleife ausgebildet sein und beispielsweise in Form eines offenen Rechtecks, in Form eines offenen Kreises, in Form einer offenen Ellipse, oder einer vergleichbaren Form ausgeführt sein. Bei dem Material der Leiterbahn kann es sich beispielsweise um kostengünstige Materialien, wie Aluminium, Kupfer, einer Metalllegierung aufweisend Aluminium oder Kupfer, oder ein vergleichbares Material handeln.
In einem Schritt S2 wird anschließend auf eine Oberfläche der Leiterbahn, insbesondere auf eine dem Substrat gegenüberliegende Oberfläche der Leiterbahn, mindestens eine Anhäufung eines elektrisch Leitfähigen Materials aufgebracht. Das Aufbringen der mindestens einen Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials umfasst dabei optional die folgenden Schritte: Ein Bereitstellen eines elektrisch leitfähigen Materials beispielsweise in Form eines Bonddrahts, insbesondere endlosen Bonddrahts; Ein Anordnen des elektrisch leitfähigen Materials, insbesondere eines Teils des elektrisch leitfähigen Materials, auf der Oberfläche der Leiterbahn; Ein Aufschmelzen des elektrisch leitfähigen Materials, insbesondere eines Teils des elektrisch leitfähigen Materials; Ein Verbinden des elektrisch leitfähigen Materials mit der Leiterbahn, wobei das Verbinden durch wenigstens eins der folgenden Verfahren realisiert wird: Ultraschall-Bonden, Ultraschall-Schweißen, Punktschweißen und Drahtbonding.
Der optionlae Schritt des Verbindens ist dabei insbesondere mittels einem mechanischen Verfahren realisiert, um eine möglicherweise die Leiterbahn einhüllende Oxidschicht zu durchbrechen und einen direkten Kontakt zwischen der Leiterbahn und der mindestens einen Anhäufung eines elektrisch Leitfähigen Materials bereitzustellen.
Die zumindest eine Anhäufung des elektrisch leitfähigen Materials kann zumindest eins der folgenden Materialien aufweisen: Gold, Silber, Kupfer, eine Kombination dieser Materialien und ein Metall, dass ein größeres Standardpotenzial als ein Material der Leiterbahn aufweist. In einem Schritt S3 wird ein Träger mit zumindest einem darauf befindlichen elektrischen Kontakt bereitgestellt. Der Träger kann dabei beispielsweise eine Kavität und/oder ein Fenster oder einen Durchbruch aufweisen und der zumindest eine elektrische Kontakt kann ein Material wie Gold, Silber, oder ein vergleichbares Material aufweisen. Insbesondere kann es möglich sein, dass sich das Material des zumindest einen auf dem Träger befindliche elektrische Kontakts von dem Material der Leiterbahn unterscheidet.
In einem Schritt S4 wird auf zumindest einen aus der Anhäufung des elektrisch leitfähigen Materials und dem zumindest einen elektrischen Kontakt ein elektrisch leitfähiger Kleber aufgebracht. In weiteren Ausführungen wird der Kleber beispielsweise jedoch auch auf die Leiterbahn und/oder das Substrat und/oder auf den Träger aufgebracht.
In einem Schritt S5 werden das Substrat und der Träger derart zueinander angeordnet, dass sich die zumindest eine Anhäufung des elektrisch leitfähigen Materials und der zumindest eine elektrische Kontakt beabstandet zueinander gegenüberliegen. Der elektrisch leitfähige Kleber erzeugt dabei insbesondere eine mechanische und elektrische Verbindung zwischen der Anhäufung des elektrisch leitfähigen Materials und dem zumindest einen elektrischen Kontakt.
Figur 7 zeigt die Schritte S6-S7 eines erfindungsgemäßen Verfahrens zum Testen einer der im obigen beschriebenen elektrischen Vorrichtungen. In einem Schritt S6 wird dabei an einen ersten zweiten elektrischen Kontakt des Trägers jeweils ein Messfühler angelegt. In einem Schritt S7 wird anschließend eine elektrische Größe, insbesondere der Spannungsabfall, der Widerstand, oder der elektrische Leitwert, über die Leiterbahn gemessen. Auf Basis eines solch gemessenen Wertes kann es in einem weiteren Schritt möglich sein, auf eine mögliche Fehlfunktion der elektrischen Vorrichtung zu schließen
BEZUGSZEICHENLISTE
1 elektrische Vorrichtung
2 Substrat 3 Leiterbahn
4, 4a, 4b Anhäufung eines elektrisch leitfähigen Materials
5 Oberfläche der Leiterbahn
6 Träger 7, 7a, 7b elektrischer Kontakt
8 elektrisch leitfähiger Kleber
9 oxidierte Schicht
10 Kavität 11 Fenster 12 elektrisch leitfähige Partikel tl, t2 erster Tropfen, zweiter Tropfen ta Tail w Wedge b Bonddraht

Claims

PATENTANSPRÜCHE
1. Verfahren zum Erzeugen einer elektrischen Vorrichtung (1) umfassend:
Bereitstellen eines Substrats (2) mit zumindest einer darauf befindlichen Leiterbahn (3);
Aufbringen mindestens einer Anhäufung (4a, 4b) eines elektrisch leitfähigen Materials, insbesondere eines Bondmaterials, auf eine Oberfläche (5) der Leiterbahn (3);
Bereitstellen eines Trägers (6) mit zumindest einem elektrischen Kontakt (7a, 7b);
Aufbringen eines elektrisch leitfähigen Klebers (8) auf die zumindest eine Anhäufung (4a, 4b) des elektrisch leitfähigen Materials und/oder den zumindest einen elektrischen Kontakt (7a, 7b);
Anordnen des Substrats (2) und des Trägers (6) derart, dass sich die Anhäufung (4a, 4b) des elektrisch leitfähigen Materials und der zumindest eine elektrische Kontakt (7a, 7b) beabstandet zueinander gegenüberliegen, wobei der elektrisch leitfähige Kleber (8) eine mechanische und elektrische Verbindung zwischen der Anhäufung (4a, 4b) des elektrisch leitfähigen Materials und dem zumindest einen elektrischen Kontakt (7a, 7b) erzeugt.
2. Verfahren zum Erzeugen einer elektrischen Vorrichtung (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Leiterbahn (3) ein Metall, insbesondere Aluminium, aufweist.
3. Verfahren zum Erzeugen einer elektrischen Vorrichtung (1) nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Anhäufung (4a, 4b) des elektrisch leitfähigen
Materials wenigstens eins der folgenden Materialien aufweist:
Gold;
Silber;
Kupfer;
Kombinationen hiervon; und ein Metall, das eine größeres Standardpotential als ein Material der Leiterbahn (3) aufweist.
4. Verfahren zum Erzeugen einer elektrischen Vorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Oberfläche (5) der Leiterbahn (3) eine oxidierte Schicht (9) aufweist, wobei die oxidierte Schicht (9) im Bereich der Anhäufung (4a, 4b) des elektrisch leitfähigen Materials entfernt und/oder durchbrochen wird. 5. Verfahren zum Erzeugen einer elektrischen Vorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Anhäufung (4a, 4b) des elektrisch leitfähigen
Materials die Form mindestens eines Tropfens (tl, t2) und/oder eines Tails (ta) und/oder eines Wedges (w) aufweist.
6. Verfahren zum Erzeugen einer elektrischen Vorrichtung (1) nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die Form des mindestens einen Tropfens (tl, t2) und/oder Tails (ta) und/oder Wedges (w) derart realisiert wird, indem das elektrisch leitfähige Material auf die Oberfläche (5) der Leiterbahn aufgebracht und/oder aufgeschmolzen wird und ein aus dem mindestens einen Tropfen (tl, t2) und/oder Tail (ta) und/oder Wedge (w) herausstehender Materialüberschuss an einer Stelle unmittelbar oberhalb des mindestens einen Tropfens (tl, t2) und/oder Tails (ta) und/oder Wedges (w) abgerissen und/oder abgeschert wird.
7. Verfahren zum Erzeugen einer elektrischen Vorrichtung (1) nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens zwei aus dem mindestens einen Tropfen (tl, t2), Tail (ta) und Wedge (w) über einen Bonddraht (b) miteinander verbunden sind.
8. Verfahren zum Erzeugen einer elektrischen Vorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Aufbringen mindestens einer Anhäufung (4a, 4b) des elektrisch leitfähigen Materials auf die Oberfläche (5) der Leiterbahn (3) durch wenigstens eins der folgenden Verfahren realisiert wird:
Ultraschall-Bonden;
Ultraschall-Schweißen;
Punktschweißen; und Drahtbonding.
9. Verfahren zum Erzeugen einer elektrischen Vorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat (2) ein optoelektronisches Bauelement umfasst.
10. Verfahren zum Erzeugen einer elektrischen Vorrichtung (1) nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Leiterbahn (3) durch zumindest eine Leiterschleife mit zumindest zwei Enden gebildet wird, die zur Überprüfung der Funktionalität des optoelektronischen Bauelements ausgestaltet ist.
11. Verfahren zum Erzeugen einer elektrischen Vorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Träger (6) eine Kavität (10) aufweist, in der das Substrat (2) mit der darauf befindlichen Leiterbahn (3) angeordnet ist.
12. Elektrische Vorrichtung (1) umfassend: ein Substrat (2) mit zumindest einer darauf befindlichen Leiterbahn (3); eine erste Anhäufung (4a) eines elektrisch leitfähigen Materials auf einer Oberfläche (5) der Leiterbahn (3); ein Träger (6) mit einem ersten elektrischen Kontakt (7a); ein elektrisch leitfähiger Kleber (8); wobei das Substrat (2) und der Träger (6) derart angeordnet sind, dass sich die erste Anhäufung (4a, 4b) des elektrisch leitfähigen Materials und der erste elektrische Kontakt (7a) beabstandet zueinander gegenüberliegen, und wobei der elektrisch leitfähige Kleber (8) zwischen der ersten Anhäufung (4a) des elektrisch leitfähigen Materials und dem ersten elektrischen Kontakt (7a) angeordnet ist und der elektrisch leitfähige Kleber (8) das Substrat (2) mit dem Träger (6) elektrisch und mechanisch miteinander verbindet.
13. Elektrische Vorrichtung (1) nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Leiterbahn (3) ein Metall, insbesondere Aluminium, aufweist.
Elektrische Vorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 12 und 13, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Anhäufung (4a) des elektrisch leitfähigen Materials wenigstens eins der folgenden Materialien aufweist:
Gold;
Silber;
Kupfer;
Kombinationen hiervon; und ein Metall, das eine größeres Standardpotential als ein Material der Leiterbahn (3) aufweist.
Elektrische Vorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 12 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Oberfläche (5) der Leiterbahn (3) eine oxidierte Schicht (9) aufweist, wobei die oxidierte Schicht (9) im Bereich der ersten Anhäufung (4a) des elektrisch leitfähigen Materials entfernt und/oder durchbrochen ist.
Elektrische Vorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 12 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Anhäufung (4a) des elektrisch leitfähigen Materials in Form eines ersten Tropfens (tl) oder eines Tails (ta) ausgebildet ist und an einer Stelle unmittelbar oberhalb des ersten Tropfens (tl) oder Tails (ta) eine Abrissfläche und/oder eine Schnittfläche aufweist.
17. Elektrische Vorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 12 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Anhäufung (4a) des elektrisch leitfähigen Materials in Form eines ersten Tropfens (tl) oder eines Tails (ta) ausgebildet ist, von dem ein Bonddraht (b) zu einem zweiten Tropfen (t2) oder einem Wedge (w) verläuft, wobei der zweiten Tropfen (t2) oder Wedge (w) beabstandet zu dem ersten Tropfen (tl) oder Tail (ta) ebenfalls auf der Leiterbahn (3) angeordnet ist.
18. Elektrische Vorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 12 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat (2) ein optoelektronisches Bauelement umfasst.
19. Elektrische Vorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 12 bis 18 weiter umfassend: eine zweite Anhäufung (4b) eines elektrisch leitfähigen Materials auf der Oberfläche (5) der Leiterbahn (3), wobei die zweite Anhäufung (4b) eines elektrisch leitfähigen Materials einem zweiten elektrischen Kontakt (7b) des Trägers (6) gegenüberliegt, und wobei der elektrisch leitfähige Kleber (8) zumindest auch zwischen der zweiten Anhäufung (4b) des elektrisch leitfähigen Materials und dem zweiten elektrischen Kontakt (7b) angeordnet ist und diese elektrisch und mechanisch miteinander verbindet.
20. Elektrische Vorrichtung (1) nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, dass die Leiterbahn (3) durch zumindest eine Leiterschleife mit zumindest zwei Enden gebildet ist wobei die erste und die zweite Anhäufung (4a, 4b) des elektrisch leitfähigen Materials jeweils an einem Ende der Leiterbahn (3) angeordnet sind.
21. Verfahren zum Testen einer elektrischen Vorrichtung (1) nach Anspruch 20 umfassend:
Anlegen eines Messfühlers an jeweils den ersten und den zweiten elektrischen Kontakt (7a, 7b);
Messen einer elektrischen Größe, insbesondere Spannungsabfall, Widerstand, oder elektrischer Leitwert, über die Leiterbahn (3).
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20110003404A1 (en) * 2009-07-06 2011-01-06 Applied Materials, Inc. Dry high potential tester and solar simulator tool
US20120229156A1 (en) * 2009-09-03 2012-09-13 Applied Materials, Inc. Testing apparatus and relative method

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20110003404A1 (en) * 2009-07-06 2011-01-06 Applied Materials, Inc. Dry high potential tester and solar simulator tool
US20120229156A1 (en) * 2009-09-03 2012-09-13 Applied Materials, Inc. Testing apparatus and relative method

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