WO2021203707A1 - 一种激光干涉面形检测自动检测装置与方法 - Google Patents

一种激光干涉面形检测自动检测装置与方法 Download PDF

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张学军
胡海翔
程强
薛栋林
邓伟杰
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Abstract

一种激光干涉面形检测自动检测装置和方法，包括：激光干涉仪(4)、双目相机(1)、衍射光斑接收相机(3)、CGH、带中心通光孔的光斑接收屏、被测镜以及投影叉丝探测器(2)，其中，激光干涉仪(4)与双目相机(1)固连，衍射光斑接收相机(3)与CGH固连，被测镜与投影叉丝探测器(2)固连；CGH置于激光干涉仪(4)标准镜的焦点前方上远离激光干涉仪(4)方向；带中心通光孔的光斑接收屏可以在激光干涉仪(4)标准镜的焦点移除和放回。基于双目相机(1)、投影叉丝探测器(2)、衍射光斑接收相机(3)、干涉条纹像差解耦的激光干涉面形检测光路多级位姿自动调整方法，实现从mm级机械定位到亚μm级的光学定位，从而完成nm级的光学元件面形自动检测。

Description

一种激光干涉面形检测自动检测装置与方法 技术领域
本发明属于光学元件面形自动检测领域，具体的涉及一种激光干涉面形检测自动检测装置与方法。
背景技术
光学元件面形检测由于极高的精度要求，其检测过程往往需要经验丰富的专业人员参与，自动化程度很低。经典的高精度光学元件面形检测技术如轮廓扫描法、夏克-哈特曼检测法、相位偏折法、激光干涉检测法等，目前只有探头沿预设路径直接测量镜面各点矢高的轮廓扫描法可以实现扫描设备行程范围内的自动化检测。然而该方法的逐点检测所需时间长，且采样密度有限，无法反映镜面的中高频误差，检测精度也受限于扫描机构的性能与环境稳定性等因素。
激光干涉面形检测法是当前高精度光学检测的标准方法，Zygo公司研制的平面/球面干涉仪成为光学检测业界的标杆，其检测精度可优于3nm。但由于干涉测量法动态范围小，对于各类非球面、自由曲面均需配备相应的光学补偿元件进行检测，例如Offner补偿器、Dall补偿器、计算全息补偿器CGH(Computer Generated Hologram)等。然而光学补偿元件的加入大幅提升了激光干涉光路中各元件位姿调整的复杂度，对自动化检测提出了挑战，一般需要专业光学工程师来参与调整。
目前尚无全自动化的激光干涉面形检测自动检测装置与方法。
发明内容
基于上述技术问题，本发明提供了一种激光干涉面形检测自动检测装置与方法，用于实现全自动化的激光干涉检测。
本发明采用以下技术方案实现：激光干涉面形检测自动检测的方法包括如下步骤：(1)将激光干涉仪与双目相机固连、衍射光斑接收相机与CGH固连、投影叉丝探测器与被测镜固连；(2)在激光干涉仪标准镜的焦点附近放置带中心通光孔的光斑接收屏，该屏可沿垂直激光干涉仪光轴平面退出检测光路；(3)调整CGH的四维定位；(4)调整CGH与激光干涉仪的六维位姿；(5)对被测镜进行四维粗定位调整；(6)对被测镜进行四维位姿精调；(7)调整光斑使其移动至接收屏的中心通光孔处；(8)完成被测镜与激光干涉仪的六维位姿调整；(9)根据激光干涉仪此时的干涉条纹进行解析，输出被测镜面形。
进一步的，所述步骤(1)中激光干涉仪与双目相机的光轴近似平行，且由带叉丝标识的标准平面进行位姿标定；衍射光斑接收相机的视场可覆盖带中心通光孔的光斑接收屏的全部 画幅；使用三坐标仪等位置测量设备进行投影叉丝探测器与被测镜相对位置的标定。
进一步的，所述步骤(3)中调整CGH四维定位包括如下步骤：在激光干涉仪标准镜的焦点前方也即远离激光干涉仪方向上放置CGH补偿器；撤出带中心通光孔的光斑接收屏；利用双目相机采集CGH上刻划叉丝标识，计算CGH相对于激光干涉仪的位置；在X/Y向平移、X/Y平面内旋转及Z向距离上调整CGH位置。
进一步的，所述步骤(4)中CGH与激光干涉仪的六维位姿调整包括如下步骤：将带中心通光孔的光斑接收屏移回激光干涉仪标准镜的焦点处，该屏上将出现由CGH对准区12所反射的系列衍射光斑；衍射光斑接收相机采集光斑图像并经过计算分析找到预设级次的衍射光斑，调整CGH俯仰和扭摆使该光斑移动至接收屏的中心通光孔处；CGH对准区12的反射波前将进入激光干涉仪1，微量调整CGH俯仰和扭摆使得干涉条纹最为稀疏。
进一步的，所述步骤(5)中对被测镜四维粗定位调整包括如下步骤：按照被测镜的顶点曲率半径设计值放置被测镜；撤出带中心通光孔的光斑接收屏；利用双目相机采集位于被测镜附近的投影划叉丝标识，计算被测镜相对于激光干涉仪的位置，包括X/Y向平移、X/Y平面内旋转、Z向距离。
进一步的，所述步骤(6)中对被测镜的四维位姿精调包括如下步骤：依据三组投影叉丝判定被测镜相对理想位置的偏离情况：若三组叉丝均远离镜体，且叉丝相对设计基准图案稍大，则被测镜需沿Z轴向激光干涉仪移动；若三组叉丝均离镜体较近，且叉丝相对设计基准图案稍小，则被测镜需沿Z轴向远离激光干涉仪方向移动；三组叉丝彼此之间的相对位置接近设计值，但与被测镜之间有相对旋转或平移关系，则调整被测镜X、Y向旋转和平移至预设位置。
进一步的，所述步骤(7)调整光斑使其移动至接收屏的中心通光孔处包括如下步骤：将带中心通光孔的光斑接收屏移回激光干涉仪标准镜的焦点处，该屏上将出现由被测镜反射光线经CGH波前补偿区14所透射的系列衍射光斑；衍射光斑接收相机采集光斑图像并经过计算分析找到预设级次的衍射光斑，调整被测镜俯仰和扭摆。
进一步的，所述步骤(8)中完成被测镜与激光干涉仪的六维位姿调整的判断标准为：被测镜反射波前进入激光干涉仪，微量调整被测镜俯仰和扭摆使得干涉条纹最为稀疏。
另外，本发明还提供了一种激光干涉面形检测自动检测装置，包括：激光干涉仪、双目相机、衍射光斑接收相机、CGH、带中心通光孔的光斑接收屏、被测镜以及投影叉丝探测器2，其中，激光干涉仪与双目相机固连，衍射光斑接收相机与CGH固连，被测镜与投影叉丝探测器固连；CGH置于激光干涉仪标准镜的焦点前方上远离激光干涉仪方向；带中心通光孔 的光斑接收屏可以在激光干涉仪标准镜的焦点移除和放回。
进一步的，双目相机，其光轴与激光干涉仪光轴方向近似平行，用于完成干涉仪标准镜与CGH基准平面、与被测镜X/Y向平移、X/Y平面内旋转、Z向距离的粗定位；投影叉丝探测器位于被测镜附近，用于完成被测镜X/Y向平移、X/Y平面内旋转、Z向距离的精定位；衍射光斑接收相机位于CHG附近其能采集带中心通光孔的接收屏上的衍射光斑图像，用于完成被测镜的X/Y平面俯仰、扭摆的调整，直至光斑返回干涉仪视场内；根据干涉条纹解析的位姿精调，完成被测镜的位姿精调，直至干涉图样接近于零条纹。
本发明的技术方案具备如下有益效果：
本发明提出了基于双目相机、投影叉丝质心探测器、多级衍射光斑识别定位传感器、干涉条纹像差解耦的激光干涉面形检测光路多级位姿自动调整方法，实现从mm级机械定位到亚μm级的光学定位，从而完成nm级的光学元件面形自动检测。该方法一方面有助于降低实验室/工厂光学元件面形检测过程中的人工参与，提高检测效率，提升产线的品控能力；另一方面有望应用于空间站、月球、火星等无人操作工作环境中的光学制造/维护等科学探索，降低对航天员光学专业背景的需求，提升在轨应用技术可行性。
附图说明
图1为光学元件面形检测光路自动位姿调整传感器分布示意图；
图2为CGH位姿调整基准标识示意图；
图3为多级衍射光斑形状位置分布示意图；
图4(a)为被测镜定位基准投影示意图；
图4(b)为被测镜定位基准投影失配示意图
具体实施例
激光干涉面形自动检测方法包括如下步骤：(1)将激光干涉仪与双目相机固连、衍射光斑接收相机与CGH固连、投影叉丝探测器与被测镜固连；(2)在激光干涉仪标准镜的焦点附近放置带中心通光孔的光斑接收屏，该屏可沿垂直激光干涉仪光轴平面退出检测光路；(3)调整CGH的四维定位；(4)调整CGH与激光干涉仪的六维位姿；(5)对被测镜进行四维粗定位调整；(6)对被测镜进行四维位姿精调；(7)调整光斑使其移动至接收屏的中心通光孔处；(8)完成被测镜与激光干涉仪的六维位姿调整；(9)根据激光干涉仪此时的干涉条纹进行解析，输出被测镜面形。
具体的本发明的基本工作流程如下：
(1)激光干涉仪4与双目相机1固连，两者光轴近似平行，使用带叉丝标识的标准平面进行两者位姿标定；
(2)衍射光斑接收相机3与CGH固连，相机视场可覆盖带中心通光孔的光斑接收屏的全部画幅；
(3)投影叉丝探测器2与被测镜固连，使用三坐标仪等位置测量设备进行两者相对位置标定；
(4)在激光干涉仪标准镜的焦点附近放置带中心通光孔的光斑接收屏，该屏可沿垂直激光干涉仪光轴平面退出检测光路；
(5)在激光干涉仪标准镜的焦点前方(远离激光干涉仪方向)放置CGH补偿器，撤出带中心通光孔的光斑接收屏，利用双目相机采集CGH上刻划叉丝标识11(例如图2中所示四个不同大小形状的十字叉丝)，计算CGH相对于激光干涉仪的位置，包括X/Y向平移、X/Y平面内旋转、Z向距离，完成CGH的四维定位调整；
(6)将带中心通光孔的光斑接收屏移回激光干涉仪标准镜的焦点处，该屏上将出现由CGH对准区12所反射的系列衍射光斑；衍射光斑接收相机3采集光斑图像并经过计算分析找到预设级次的衍射光斑(例如图3中最右侧能量集中度最高的圆形光斑)，调整CGH俯仰和扭摆使该光斑移动至接收屏的中心通光孔处；此时CGH对准区12的反射波前将进入激光干涉仪1，微量调整CGH俯仰和扭摆使得干涉条纹最为稀疏；至此CGH与激光干涉仪的六维位姿调整完成；
(7)按照被测镜的顶点曲率半径设计值放置被测镜，撤出带中心通光孔的光斑接收屏，利用双目相机采集位于被测镜附近的投影划叉丝标识，计算被测镜相对于激光干涉仪的位置，包括X/Y向平移、X/Y平面内旋转、Z向距离；由于被测镜相较于CGH一般距离激光干涉仪更远，计算精度相对低1-2个数量级，此时被测镜仅完成了四维粗定位调整；
(8)经过粗定位调整后，投影叉丝标识已进入与被测镜固连的投影叉丝探测器2中，以图4为例，三组(可视镜体形状变化投影叉丝形状、个数及位置)投影叉丝可反映出被测镜相对理想位置的偏离情况：若三组叉丝均远离镜体，且叉丝相对设计基准图案稍大，则被测镜需沿Z轴向激光干涉仪移动；若三组叉丝均离镜体较近(甚至有部分进入镜面区域形成叉丝图案部分缺失)，且叉丝相对设计基准图案稍小，则被测镜需沿Z轴向远离激光干涉仪方向移动；三组叉丝彼此之间的相对位置接近设计值，但与被测镜之间有相对旋转或平移关系，则调整被测镜X、Y向旋转和平移至预设位置，此时被测镜完成了四维位姿精调；
(9)将带中心通光孔的光斑接收屏移回激光干涉仪标准镜的焦点处，该屏上将出现由被测镜反射光线经CGH波前补偿区14所透射的系列衍射光斑；衍射光斑接收相机3采集光斑图像并经过计算分析找到预设级次的衍射光斑(与图3相似，形状及能量分布更为复杂)，调整被测镜俯仰和扭摆使该光斑移动至接收屏的中心通光孔处；
(10)此时被测镜反射波前将进入激光干涉仪1，微量调整被测镜俯仰和扭摆使得干涉条纹最为稀疏；至此被测镜与激光干涉仪的六维位姿调整完成；
(11)根据激光干涉仪此时的干涉条纹进行解析，输出被测镜面形。
另外，本发明还提供了一种激光干涉面形检测自动检测装置，包括：激光干涉仪、双目相机、衍射光斑接收相机、CGH、带中心通光孔的光斑接收屏、被测镜以及投影叉丝探测器2，其中，激光干涉仪与双目相机固连，衍射光斑接收相机与CGH固连，被测镜与投影叉丝探测器固连；CGH补偿器置于激光干涉仪标准镜的焦点前方上远离激光干涉仪方向；带中心通光孔的光斑接收屏可以在激光干涉仪标准镜的焦点移除和放回。
本发明通过多级位姿联调实现干涉检测光路的位姿自动调整，其中的位姿调整传感器包括：
1)与激光干涉仪光轴方向近似平行的双目相机：完成干涉仪标准镜与CGH基准平面、与被测镜X/Y向平移、X/Y平面内旋转、Z向距离的粗定位；
2)位于被测镜附近的投影叉丝探测器：完成被测镜X/Y向平移、X/Y平面内旋转、Z向距离的精定位；
3)位于CGH附近的衍射光斑接收相机(采集带中心通光孔的接收屏上的衍射光斑图像)：完成CHG及被测镜的X/Y平面俯仰、扭摆的调整，直至光斑返回干涉仪视场内；
4)根据干涉条纹解析的位姿精调：完成被测镜的位姿精调，直至干涉图样接近于零条纹。
以上仅详细描述了本发明的较佳具体实施例，应当理解，本领域的普通技术人员无需创造性劳动就可以根据本发明的构思做出许多修改和变化，因此，凡是本领域技术人员依据本发明的构思在现有技术的基础上经过逻辑分析、推理或者有限的实验可以得到的技术方案，利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，皆应落在本申请权利要求所确定的保护范围内。

Claims (10)

  1. 一种激光干涉面形检测自动检测方法，其特征在于：包括如下步骤：(1)将激光干涉仪与双目相机固连、衍射光斑接收相机与CGH固连、投影叉丝探测器与被测镜固连；(2)在激光干涉仪标准镜的焦点附近放置带中心通光孔的光斑接收屏，该屏可沿垂直激光干涉仪光轴平面退出检测光路；(3)调整CGH的四维定位；(4)调整CGH与激光干涉仪的六维位姿；(5)对被测镜进行四维粗定位调整；(6)对被测镜进行四维位姿精调；(7)调整光斑使其移动至接收屏的中心通光孔处；(8)完成被测镜与激光干涉仪的六维位姿调整；(9)根据激光干涉仪此时的干涉条纹进行解析，输出被测镜面形。
  2. 根据权利要求1所述的激光干涉面形检测自动检测方法，其特征在于：所述步骤(1)中激光干涉仪与双目相机的光轴近似平行，且由带叉丝标识的标准平面进行位姿标定；衍射光斑接收相机的视场可覆盖带中心通光孔的光斑接收屏的全部画幅；使用三坐标仪等位置测量设备进行投影叉丝探测器与被测镜相对位置的标定。
  3. 根据权利要求1所述的激光干涉面形检测自动检测方法，其特征在于：所述步骤(3)中调整CGH四维定位包括如下步骤：在激光干涉仪标准镜的焦点前方也即远离激光干涉仪方向上放置CGH；撤出带中心通光孔的光斑接收屏；利用双目相机采集CGH上刻划叉丝标识，计算CGH相对于激光干涉仪的位置；在X/Y向平移、X/Y平面内旋转及Z向距离上调整CGH位置。
  4. 根据权利要求1所述的激光干涉面形检测自动检测方法，其特征在于：所述步骤(4)中CGH与激光干涉仪的六维位姿调整包括如下步骤：将带中心通光孔的光斑接收屏移回激光干涉仪标准镜的焦点处，该屏上将出现由CGH对准区12所反射的系列衍射光斑；衍射光斑接收相机采集光斑图像并经过计算分析找到预设级次的衍射光斑，调整CGH俯仰和扭摆使该光斑移动至接收屏的中心通光孔处；CGH对准区12的反射波前将进入激光干涉仪1，微量调整CGH俯仰和扭摆使得干涉条纹最为稀疏。
  5. 根据权利要求1所述的激光干涉面形检测自动检测方法，其特征在于：所述步骤(5)中对被测镜四维粗定位调整包括如下步骤：按照被测镜的顶点曲率半径设计值放置被测镜；撤出带中心通光孔的光斑接收屏；利用双目相机采集位于被测镜附近的投影划叉丝标识，计算被测镜相对于激光干涉仪的位置，包括X/Y向平移、X/Y平面内旋转、Z向距离。
  6. 根据权利要求1所述的激光干涉面形检测自动检测方法，其特征在于：所述步骤(6)中对被测镜的四维位姿精调包括如下步骤：依据三组投影叉丝判定被测镜相对理想位置的偏离情况：若三组叉丝均远离镜体，且叉丝相对设计基准图案稍大，则被测镜需沿Z轴向激光干涉仪移动；若三组叉丝均离镜体较近，且叉丝相对设计基准图案稍小，则被测镜需沿Z轴向远离激光干涉仪方向移动；三组叉丝彼此之间的相对位置接近设计值，但与被测镜之间有相对旋转或平移关系，则调整被测镜X、Y向旋转和平移至预设位置。
  7. 根据权利要求1所述的激光干涉面形检测自动检测方法，其特征在于：所述步骤(7)调整光斑使其移动至接收屏的中心通光孔处包括如下步骤：将带中心通光孔的光斑接收屏移回激光干涉仪标准镜的焦点处，该屏上将出现由被测镜反射光线经CGH波前补偿区14所透射的系列衍射光斑；衍射光斑接收相机采集光斑图像并经过计算分析找到预设级次的衍射光斑，调整被测镜俯仰和扭摆。
  8. 根据权利要求1所述的激光干涉面形检测自动检测方法，其特征在于：所述步骤(8)中完成被测镜与激光干涉仪的六维位姿调整的判断标准为：被测镜反射波前进入激光干涉仪，微量调整被测镜俯仰和扭摆使得干涉条纹最为稀疏。
  9. 一种激光干涉面形检测自动检测装置，其特征在于：所述自动检测装置包括：激光干涉仪、双目相机、衍射光斑接收相机、CGH、带中心通光孔的光斑接收屏、被测镜以及投影叉丝探测器，其中，激光干涉仪与双目相机固连，衍射光斑接收相机与CGH固连，被测镜与投影叉丝探测器固连；CGH置于激光干涉仪标准镜的焦点前方上远离激光干涉仪方向；带中心通光孔的光斑接收屏可以在激光干涉仪标准镜的焦点移除和放回。
  10. 根据权利要求9所述的一种激光干涉面形检测自动检测装置，其特征在于：双目相机，其光轴与激光干涉仪光轴方向近似平行，用于完成干涉仪标准镜与CGH基准平面、与被测镜X/Y向平移、X/Y平面内旋转、Z向距离的粗定位；投影叉丝探测器位于被测镜附近，用于完成被测镜X/Y向平移、X/Y平面内旋转、Z向距离的精定位；衍射光斑接收相机位于CGH附近其能采集带中心通光孔的接收屏上的衍射光斑图像，用于完成被测镜的X/Y平面俯仰、扭摆的调整，直至光斑返回干涉仪视场内；根据干涉条纹解析的位姿精调，完成被测镜的位姿精调，直至干涉图样接近于零条纹。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115037362A (zh) * 2022-05-30 2022-09-09 长春理工大学 一种多波长多视场大跨距的同轴度偏差检测装置
CN116296290A (zh) * 2023-03-21 2023-06-23 之江实验室 一种激光衍射发散角检测方法和装置

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111536896B (zh) * 2020-04-09 2022-06-07 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种激光干涉面形检测自动检测装置与方法
CN112517940B (zh) * 2020-11-19 2022-08-09 中国人民解放军国防科技大学 一种超精密车削加工在位检测装置及其应用方法
CN112577429B (zh) * 2020-12-11 2022-12-23 博炯(上海)精密机械科技有限公司 一种工件加工用测量影像仪校准装置
CN113702002B (zh) * 2021-08-27 2024-01-12 长光卫星技术股份有限公司 基于cgh补偿器的离轴三反相机的装调测试方法及系统
CN116026255B (zh) * 2023-02-15 2023-06-20 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种无像差点检测光路的粗调装置及粗调方法
CN116839505A (zh) * 2023-08-31 2023-10-03 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 拼接式空间光学望远镜主镜在轨实时检测方法、系统

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6244606A (ja) * 1985-08-22 1987-02-26 Tokyo Optical Co Ltd ホログラム原器のセッティング方法及びそのための装置
CN102889856A (zh) * 2012-09-28 2013-01-23 中国科学院光电技术研究所 一种基于cgh实现小孔中心定位的装置及其方法
CN107796329A (zh) * 2017-09-29 2018-03-13 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种凸非球面反射镜面形检测装置及检测方法
CN109724532A (zh) * 2018-12-17 2019-05-07 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种复杂光学曲面几何参量的精确测试装置及方法
CN110567393A (zh) * 2019-08-08 2019-12-13 华中科技大学 一种大曲率半径自由曲面镜面面形干涉测量装置及方法
CN111536896A (zh) * 2020-04-09 2020-08-14 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种激光干涉面形检测自动检测装置与方法

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4174179A (en) * 1977-08-24 1979-11-13 Guy Indebetouw Continuous feed holographic correlator for randomly oriented workpieces
JP3185901B2 (ja) * 1992-10-08 2001-07-11 富士写真光機株式会社 ホログラム干渉計による干渉縞の測定解析方法
US6643024B2 (en) * 2001-05-03 2003-11-04 Zygo Corporation Apparatus and method(s) for reducing the effects of coherent artifacts in an interferometer
CN1987342A (zh) * 2006-12-21 2007-06-27 中国船舶重工集团公司第七一一研究所 数字电子剪切散斑干涉仪
CN101709955B (zh) * 2009-11-24 2011-02-23 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 子孔径拼接干涉检测光学非球面面形的装置
CN102519388B (zh) * 2011-10-28 2013-11-27 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 大口径离轴凸非球面反射镜面形检测方法
CN103994731B (zh) * 2014-05-26 2017-03-15 上海大学 柱面干涉拼接测量装置及其调整方法
CN105486246A (zh) * 2015-11-04 2016-04-13 上海大学 球面干涉拼接测量装置及其调整方法
CN106918303B (zh) * 2017-03-14 2019-02-19 安徽大学 光学自由曲面自适应非零位干涉检测系统
CN106949849A (zh) * 2017-03-17 2017-07-14 衢州学院 基于激光干涉全息检测法的轴承球球形误差快速检测方法
CN109443234A (zh) * 2018-10-31 2019-03-08 许之敏 同步检测小微发光二极管三维形貌与光电性能的显微镜
CN110514142B (zh) * 2019-09-29 2020-09-08 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种面形检测装置及面形检测方法
CN110966954A (zh) * 2019-10-31 2020-04-07 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 大口径光学元件面形拼接检测方法及设备

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6244606A (ja) * 1985-08-22 1987-02-26 Tokyo Optical Co Ltd ホログラム原器のセッティング方法及びそのための装置
CN102889856A (zh) * 2012-09-28 2013-01-23 中国科学院光电技术研究所 一种基于cgh实现小孔中心定位的装置及其方法
CN107796329A (zh) * 2017-09-29 2018-03-13 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种凸非球面反射镜面形检测装置及检测方法
CN109724532A (zh) * 2018-12-17 2019-05-07 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种复杂光学曲面几何参量的精确测试装置及方法
CN110567393A (zh) * 2019-08-08 2019-12-13 华中科技大学 一种大曲率半径自由曲面镜面面形干涉测量装置及方法
CN111536896A (zh) * 2020-04-09 2020-08-14 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种激光干涉面形检测自动检测装置与方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115037362A (zh) * 2022-05-30 2022-09-09 长春理工大学 一种多波长多视场大跨距的同轴度偏差检测装置
CN115037362B (zh) * 2022-05-30 2023-07-14 长春理工大学 一种多波长多视场大跨距的同轴度偏差检测装置
CN116296290A (zh) * 2023-03-21 2023-06-23 之江实验室 一种激光衍射发散角检测方法和装置
CN116296290B (zh) * 2023-03-21 2024-02-20 之江实验室 一种激光衍射发散角检测方法和装置

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