WO2021193803A1 - コイル部品 - Google Patents

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WO2021193803A1
WO2021193803A1 PCT/JP2021/012477 JP2021012477W WO2021193803A1 WO 2021193803 A1 WO2021193803 A1 WO 2021193803A1 JP 2021012477 W JP2021012477 W JP 2021012477W WO 2021193803 A1 WO2021193803 A1 WO 2021193803A1
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coil conductor
coil
element body
exposed
electrode layer
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PCT/JP2021/012477
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建一 荒木
啓一 石田
穂 儀武
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株式会社村田製作所
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F27/00Details of transformers or inductances, in general
    • H01F27/28Coils; Windings; Conductive connections
    • H01F27/29Terminals; Tapping arrangements for signal inductances
    • H01F27/292Surface mounted devices
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F17/00Fixed inductances of the signal type 
    • H01F17/0006Printed inductances
    • H01F17/0013Printed inductances with stacked layers
    • HELECTRICITY
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    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
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    • H01F17/04Fixed inductances of the signal type  with magnetic core
    • HELECTRICITY
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    • H01F27/00Details of transformers or inductances, in general
    • H01F27/28Coils; Windings; Conductive connections
    • H01F27/2823Wires
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    • H01F17/04Fixed inductances of the signal type  with magnetic core
    • H01F2017/048Fixed inductances of the signal type  with magnetic core with encapsulating core, e.g. made of resin and magnetic powder

Definitions

  • the present invention relates to coil parts.
  • the external terminal electrode is formed by applying a resin electrode material to the end face and then metal-plating the resin electrode material.
  • the pair of external terminal electrodes are connected to a conductor pattern for a flat air-core coil.
  • the contact area between the conductor pattern for the flat air-core coil and the pair of external terminal electrodes becomes smaller, so that the connectivity between them is lowered. I am concerned. Further, there is a concern that the mechanical strength may decrease as well as the risk of increasing the electric resistance.
  • the main object of the present invention is to provide a highly reliable coil component by reducing the electric resistance and improving the joint strength at the connection portion between the coil conductor and the external electrode.
  • FIG. 14 It is a transmission perspective view of the magnetic body part in which the coil conductor is embedded in the coil component shown in FIG. (A) is a sectional view taken along line XVa-XVa of FIG. 14 showing a coil component according to the present invention, and FIG. 14B is an enlarged sectional view taken along line c.
  • FIG. 14 It is a manufacturing process diagram which shows the embodiment which manufactures the 1st molded article in the manufacturing method of a coil part. It is a manufacturing process diagram which shows the embodiment which manufactures the assembly substrate in the manufacturing method of a coil part.
  • the coil component 10 has a rectangular parallelepiped body 12 and an external electrode 40.
  • the element body 12 has a magnetic body portion 14 and a coil conductor 16 embedded in the magnetic body portion 14.
  • the element body 12 has a first main surface 12a and a second main surface 12b facing the pressurizing direction x, and a first side surface 12c and a second side surface facing the width direction y orthogonal to the pressurizing direction x. It has 12d and a first end face 12e and a second end face 12f facing the length direction z orthogonal to the pressurizing direction x and the width direction y.
  • the dimensions of the element body 12 are not particularly limited.
  • the magnetic material portion 14 contains metal magnetic material particles and a resin material.
  • the resin material is not particularly limited, and examples thereof include thermosetting resins, and organic materials such as epoxy resins, phenol resins, polyester resins, polyimide resins, and polyolefin resins.
  • the resin material may be only one kind or two or more kinds.
  • the metal magnetic particles preferably include the first metal magnetic particles and the second metal magnetic particles, but may be only the first metal magnetic particles.
  • the first metal magnetic particle has an average particle size of 10 ⁇ m or more.
  • the first metal magnetic particles preferably have an average particle size of 200 ⁇ m or less, more preferably 100 ⁇ m or less, and even more preferably 80 ⁇ m or less.
  • the average particle size means an average particle size D50 (particle size equivalent to a cumulative percentage of 50% on a volume basis).
  • the average particle size D50 can be measured by, for example, a dynamic light scattering type particle size analyzer (UPA manufactured by Nikkiso Co., Ltd.).
  • the first metal magnetic material particles and the second metal magnetic material particles are not particularly limited, and examples thereof include iron, cobalt, nickel or gadolinium, or alloys containing one or more of these.
  • the first metal magnetic particles and the second metal magnetic particles are iron or an iron alloy.
  • the iron alloy is not particularly limited, and examples thereof include Fe—Si, Fe—Si—Cr, Fe—Ni, and Fe—Si—Al.
  • the first metal magnetic particle and the second metal magnetic particle may be only one kind or two or more kinds.
  • the surfaces of the first metal magnetic particles and the second metal magnetic particles may be covered with an insulating film.
  • an insulating film By covering the surface of the metal magnetic particles with an insulating film, the resistance inside the magnetic material portion 14 can be increased. Further, since the surface of the metal magnetic particles is ensured to have an insulating property by an insulating film, it is possible to suppress a short-circuit defect with the coil conductor 16.
  • the thickness of the insulating film is not particularly limited, but may be preferably 5 nm or more and 500 nm or less, more preferably 5 nm or more and 100 nm or less, and further preferably 10 nm or more and 100 nm or less.
  • the thickness of the insulating film is not particularly limited, but may be preferably 5 nm or more and 500 nm or less, more preferably 5 nm or more and 100 nm or less, and further preferably 10 nm or more and 100 nm or less.
  • the content of the first metallic magnetic particle and the second metallic magnetic particle in the magnetic portion 14 is preferably 50% by volume or more, more preferably 60% by volume or more, and further, with respect to the entire magnetic material portion. It is preferably 70% by volume or more.
  • the content of the first metal magnetic particles and the second metal magnetic particles is preferably 99% by volume or less, more preferably 95% by volume or less, still more preferably 90% by volume, based on the entire magnetic material portion 14. It is less than or equal to the volume.
  • the region adjacent to the coil conductor 16 in the surface portion of the magnetic material portion 14 may be removed.
  • the gap between the magnetic material portion 14 and the coil conductor 16 becomes large, and the media easily penetrates during the barrel plating process, so that the coil conductor 16 A plating film is formed on a wider area of the. This is expected to improve the bonding strength and reduce the electrical resistance.
  • the coil conductor 16 includes a winding portion 20 formed by winding a conducting wire containing a conductive material in a coil shape, and a first drawing portion 22a drawn out to one side of the winding portion 20. It has a second drawing portion 22b that is pulled out to the other side of the winding portion 20.
  • the winding portion 20 is formed by being wound in two stages.
  • the coil conductor 16 is formed by winding a flat conductor wire into an ⁇ -wound shape.
  • the dimension of the flat conductor in the width direction y is 15 ⁇ m or more and 200 ⁇ m or less
  • the dimension of the pressurizing direction x is 50 ⁇ m or more and 500 ⁇ m.
  • the first drawer portion 22a is exposed from the first end surface 12e of the element body 12 to form the first exposed portion 24a
  • the second extraction portion 22b is exposed from the second end surface 12f of the element body 12.
  • a second exposed portion 24b is formed.
  • the exposed surface of the first drawer portion 22a is formed so as to intersect the stretching direction of the first drawer portion 22a.
  • the exposed surface of the second drawer portion 22b is formed so as to intersect the stretching direction of the second drawer portion 22b.
  • the coil conductor 16 is composed of a conducting wire such as a metal wire or a wire.
  • the conductive material of the coil conductor 16 is not particularly limited, but is, for example, a metal component composed of Ag, Au, Cu, Ni, Sn or an alloy thereof. Preferably, copper is mentioned as the conductive material.
  • the conductive material may be only one kind or two or more kinds.
  • the coil conductor 16 is composed of a plurality of crystal particles 17.
  • the average crystal grain size a of the crystal particles 17 constituting the coil conductor 16 is preferably larger than 2 ⁇ m and 10 ⁇ m or less.
  • the average crystal particle size a of the crystal particles 17 constituting the coil conductor 16 is a coil conductor 16 whose cross section is prepared by a convergent ion beam (FIB: Focused Ion Beam) or a cross section ion milling (CP: Cross-second Policer).
  • the cross section is a cross section of the coil conductor 16 in the vicinity of the connection portion with the external electrode 40. A cross section straddling both the coil conductor 16 and the external electrode 40 is more preferable. Since the shape of the crystal particles may be deformed in the vicinity of the surface of the coil conductor 16, it is excluded from the measurement target.
  • the surface of the conducting wire forming the coil conductor 16 is covered with an insulating substance to form an insulating film 18.
  • an insulating material By coating the conducting wires constituting the coil conductor 16 with an insulating material, the wound coil conductors 16 can be more reliably insulated from each other, and the coil conductor 16 and the magnetic body portion 14 can be more reliably insulated from each other.
  • the insulating film 18 is not formed on each of the first exposed portion 24a and the second exposed portion 24b of the conducting wire constituting the coil conductor 16. Therefore, it is easy to form the first base electrode layer 42a and the second base electrode layer 42b as the plating layer by the plating treatment. Further, since the coil conductor 16 and the first base electrode layer 42a and the second base electrode layer 42b can be connected over a wide area, the electric resistance can be further reduced and the bonding strength can be further improved. ..
  • the thickness of the insulating film 18 is preferably 2 ⁇ m or more and 10 ⁇ m or less.
  • a plurality of recesses 28 are formed on the surface 26b1 of the first main surface 12a and the surface 26b2 on the second main surface side of the second lead-out portion 22b of the conducting wire constituting the coil conductor 16, respectively.
  • the metal magnetic particles 15 and the insulating film 18 are arranged in the recesses 28.
  • only the metal magnetic particles 15 are arranged in the recess 28.
  • the metal magnetic particles 15 are on the surface 26b1 on the first main surface 12a side and the second main surface 12b side of the second drawer portion 22b.
  • the insulating film 18 formed on the surface 26b2 may be penetrated, but it is preferable that the insulating film 18 is not penetrated.
  • the insulating film 18 is not arranged on the exposed portions (exposed surfaces) on both end surfaces 12e and 12f of the element body 12 of the first exposed portion 24a and the second exposed portion 24b of the coil conductor 16.
  • the coil conductor 16 and the first base electrode layer 42a and the second base electrode layer 42b can be directly electrically connected to each other, so that the coil conductor 16 and the first base electrode layer 42a and the second base electrode layer 42a and the second base electrode layer 42b can be directly connected to each other.
  • the electrical resistance between the base electrode layer 42b and the base electrode layer 42b can be reduced.
  • the average thickness of the insulating film in contact with the external electrode 40 is smaller than the average thickness of the insulating film not in contact with the external electrode 40.
  • the structure around the exposed surface exposed on the surface of the element body 12 of the drawer portion of the coil conductor 16 may be configured as described below.
  • FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view showing a first modification of the structure around the drawer portion of the coil conductor 16.
  • the insulating film removing portion 30 having no insulating film 18 toward both end faces 12e and 12f of the element body 12 Is formed.
  • a plurality of recesses 28 are formed on the surface 26a1 on the first main surface 12a side and the surface 26a2 on the second main surface 12b side of the first lead-out portion 22a of the coil conductor 16, and the recesses 28 are made of metal.
  • Magnetic particles 15 are arranged.
  • a plurality of recesses 28 are formed on the surface 26b1 on the first main surface 12a side and the surface 26b2 on the second main surface 12b side of the second lead-out portion 22b of the coil conductor 16, and these recesses 28 are formed.
  • the metal magnetic particle 15 is arranged in the. Therefore, the metal magnetic particles 15 are directly arranged in the insulating film removing portion 30 with respect to the recess 28 without penetrating the insulating film 18.
  • the insulating film 18 acts as a cushion when the concave portion 28 is formed on the surface of the coil conductor 16 by the metal magnetic particles 15, and thus acts in a direction of inhibiting the formation of the concave portion 28.
  • FIG. 7 is an enlarged cross-sectional view showing a second modification of the structure around the drawer portion of the coil conductor 16.
  • the first lead-out portion of the coil conductor 16 is similar to the first modification of the structure around the lead-out portion of the coil conductor 16.
  • an insulating film removing portion 30 having no insulating film 18 is formed toward both end faces 12e and 12f of the element body 12.
  • minute uneven portions 32 are formed on the surfaces of the exposed portions on both end faces 12e and 12f of the element body 12 of the first exposed portion 24a and the second exposed portion 24b of the coil conductor 16.
  • the surface area in contact between the coil conductor 16 and the external electrode 40 can be increased, so that the bonding strength between the coil conductor 16 and the external electrode 40 can be further improved.
  • FIG. 8 is an enlarged cross-sectional view showing a third modification of the structure around the drawer portion of the coil conductor 16.
  • the first lead-out portion of the coil conductor 16 is similar to the first modification of the structure around the lead-out portion of the coil conductor 16.
  • an insulating film removing portion 30 having no insulating film 18 is formed toward both end faces 12e and 12f of the element body 12.
  • recessed portions 34 are formed in the element bodies 12 around the exposed portions on both end faces 12e and 12f of the element bodies 12 of the first exposed portion 24a and the second exposed portion 24b of the coil conductor 16. ..
  • the average distance between the coil conductor 16 and the magnetic material portion 14 increases in the direction in which the first drawer portion 22a and the second drawer portion 22b of the coil conductor 16 are pulled out to both end faces 12e and 12f. It is formed to be.
  • the external electrode 40 fills the recessed portion 34 formed in the peripheral portion of the exposed portion on both end faces 12e and 12f of the element body 12 of the first exposed portion 24a and the second exposed portion 24b of the coil conductor 16. Since it can be arranged so as to be formed, the bonding strength between the coil conductor 16 and the external electrode 40 can be further improved.
  • FIG. 9 is an enlarged cross-sectional view showing a fourth modification of the structure around the drawer portion of the coil conductor 16.
  • the first lead-out portion of the coil conductor 16 is similar to the first modification of the structure around the lead-out portion of the coil conductor 16.
  • an insulating film removing portion 30 having no insulating film 18 is formed toward both end faces 12e and 12f of the element body 12.
  • a groove 36 is formed in a predetermined width in the width direction y at the center of the pressurizing direction x.
  • the depth of the groove 36 with respect to the element body 12 is preferably 5 ⁇ m or more and 100 ⁇ m or less.
  • the external electrode 40 is exposed on both end faces 12e and 12f of the element body 12 and both end surfaces 12e and 12f of the element body 12 of the first exposed portion 24a and the second exposed portion 24b of the coil conductor 16. Since the groove portion 36 formed on the surface (exposed surface) can be arranged so as to be filled, the bonding strength between the coil conductor 16 and the external electrode 40 can be further improved.
  • the first external electrode 40a is arranged on the surface of the first end face 12e of the element body 12.
  • the first external electrode 40a extends from the first end surface 12e to form a part of each of the first main surface 12a, the second main surface 12b, the first side surface 12c, and the second side surface 12d. It may be formed so as to cover the first end surface 12e and the second main surface 12b, and is formed so as to cover a part of each of the first end surface 12e and the second main surface 12b. You may.
  • the first external electrode 40a is electrically connected to the first extraction portion 22a of the coil conductor 16.
  • the second external electrode 40b is arranged on the surface of the second end surface 12f of the element body 12.
  • the second external electrode 40b extends from the second end surface 12f to form a part of each of the first main surface 12a, the second main surface 12b, the first side surface 12c, and the second side surface 12d. It may be formed so as to cover, and is extended from the second end surface 12f to the second main surface 12b, and is formed so as to cover a part of each of the second end surface 12f and the second main surface 12b. You may.
  • the second external electrode 40b is electrically connected to the second extraction portion 22b of the coil conductor 16.
  • each of the first external electrode 40a and the second external electrode 40b is not particularly limited, but may be, for example, 1 ⁇ m or more and 50 ⁇ m or less, preferably 5 ⁇ m or more and 20 ⁇ m or less.
  • the first external electrode 40a includes a first base electrode layer 42a and a first plating layer 44a arranged on the surface of the first base electrode layer 42a.
  • the second external electrode 40b includes a second base electrode layer 42b and a second plating layer 44b arranged on the surface of the second base electrode layer 42b.
  • the first base electrode layer 42a is arranged on the surface of the first end surface 12e of the element body 12. Therefore, the first base electrode layer 42a is in direct contact with the first exposed portion 24a of the coil conductor 16.
  • the first base electrode layer 42a extends from the first end surface 12e and is a part of each of the first main surface 12a, the second main surface 12b, the first side surface 12c, and the second side surface 12d. It may be formed so as to cover a part of each of the first end surface 12e and the second main surface 12b by extending from the first end surface 12e.
  • the second base electrode layer 42b is arranged on the surface of the second end surface 12f of the element body 12. Therefore, the second base electrode layer 42b is in direct contact with the second exposed portion 24b of the coil conductor 16.
  • the second base electrode layer 42b extends from the second end surface 12f and is a part of each of the first main surface 12a, the second main surface 12b, the first side surface 12c, and the second side surface 12d. It may be formed so as to cover a part of the second end surface 12f and the second main surface 12b by extending from the second end surface 12f.
  • the first base electrode layer 42a and the second base electrode layer 42b are composed of a conductive material, preferably one or more metal materials selected from Au, Ag, Pd, Ni and Cu.
  • the first base electrode layer 42a and the second base electrode layer 42b are each formed as plating electrodes.
  • the first base electrode layer 42a and the second base electrode layer 42b may be formed by electrolytic plating or may be formed by electroless plating.
  • the first base electrode layer 42a and the second base electrode layer 42b are composed of a plurality of crystal particles 43.
  • the average crystal particle size b of the crystal particles 43 constituting the first base electrode layer 42a and the second base electrode layer 42b is preferably 100 nm or more and 2000 nm or less, more preferably 100 nm or more and 1000 nm or less, and further preferably. , 100 nm or more and 500 nm or less.
  • the average crystal particle size b of the crystal particles 43 constituting the first base electrode layer 42a and the second base electrode layer 42b is a convergent ion beam (FIB: Focused Ion Beam) or cross-sectional ion milling (CP: Cross-section).
  • the first plating layer 44a and the second plating layer 44b may be formed in a plurality of layers.
  • the first plating layer 44a has a two-layer structure of a first Ni plating layer 46a and a first Sn plating layer 48a formed on the surface of the first Ni plating layer 46a.
  • the second plating layer 44b has a two-layer structure of a second Ni plating layer 46b and a second Sn plating layer 48b formed on the surface of the second Ni plating layer 46b.
  • the average thickness of the first Ni plating layer 46a and the second Ni plating layer 46b is, for example, 5 ⁇ m.
  • the average thickness of the first Sn plating layer 48a and the second Sn plating layer 48b is, for example, 10 ⁇ m.
  • the first external electrode 40a and the second external electrode 40b may be provided with the following configuration.
  • the first base electrode layer 42a and the second base electrode layer 42b may be an Ag-containing resin electrode, or may be composed of an Ag sputtered layer by sputtering, a Cu sputtered layer, or a Ti sputtered layer.
  • the first base electrode layer 42a and the second base electrode layer 42b are composed of Ag-containing resin electrodes, glass frit may be contained.
  • the first base electrode layer 42a and the second base electrode layer 42b are formed by the sputter layer, the Cu sputter layer may be formed on the Ti sputter layer.
  • the outermost layers of the first plating layer 44a and the second plating layer 44b may be composed of only Sn plating layers 48a and 48b. Further, the Ag plating layer and the Ni plating layer may be formed on the element body 12 without forming the first base electrode layer 42a and the second base electrode layer 42b.
  • the average crystal grain size a of the crystal particles 17 constituting the coil conductor 16 and the first base electrode layer 42a and the second base electrode layer in direct contact with the coil conductor 16 Since the average crystal grain size b of the crystal particles 43 constituting 42b satisfies the relationship of a> b, the surface shape of the crystal particles 17 constituting the coil conductor 16 exposed on both end faces 12e and 12f has a shape. Since the crystal particles 43 of the base electrode layer 42a of No. 1 are easily arranged so as to follow, the electrical resistance between the coil conductor 16 and the first base electrode layer 42a and the second base electrode layer 42b is reduced. Can be done. Further, the bonding strength between the coil conductor 16 and the first base electrode layer 42a and the second base electrode layer 42b can be improved.
  • the average crystal grain size a of the crystal particles 17 constituting the coil conductor 16 and the crystal particles 43 constituting the first base electrode layer 42a and the second base electrode layer 42b is formed on the surface shape of the crystal particles 17 constituting the coil conductor 16 exposed on both end faces 12e and 12f. Since the crystal particles 43 of the electrode layer 42a can be arranged so as to follow them more, the coil conductor 16 and the first base electrode layer 42a and the second base electrode layer 42b are connected without forming a cavity. Therefore, the bonding strength between the coil conductor 16 and the first base electrode layer 42a and the second base electrode layer 42b can be further improved, and the electrical resistance can be reduced.
  • FIG. 10 is a transparent perspective view showing a first modification of the element body of the coil component according to the embodiment of the present invention.
  • the coil conductor 116 includes a winding portion 120 formed by winding a conducting wire containing a conductive material in a coil shape, a first drawing portion 122a drawn to one side of the winding portion 120, and the other of the winding portion 120. It has a second drawer portion 122b that is pulled out to the side.
  • the first drawer portion 122a is pulled out and exposed to the first main surface 112a of the element body 112 to form the first exposed portion 124a
  • the second extraction portion 122b is the first main surface of the element body 112. It is exposed from the surface 112a to form a second exposed portion 124b.
  • the exposed surface of the first drawer portion 122a is formed so as to intersect the stretching direction of the first drawer portion 122a. Further, in the second exposed portion 124b, the exposed surface of the second drawer portion 122b is formed so as to intersect the stretching direction of the second drawer portion 122b.
  • the coil conductor 116 is composed of the same conducting wire as the coil conductor 16, and the same conductive material can be used. Further, the coil conductor 116 is composed of a plurality of crystal particles. The average crystal grain size a of the crystal particles constituting the coil conductor 116 is preferably larger than 2 ⁇ m and 10 ⁇ m or less.
  • the first external electrode when the first extraction portion 122a of the coil conductor 116 is exposed from the first main surface 112a, although not shown, the first external electrode is a part of the first main surface 112a. It is formed so as to cover. In this case, the first external electrode is electrically connected to the first extraction portion 122a of the coil conductor 116. Further, as shown in FIG. 10, when the second extraction portion 122b of the coil conductor 116 is exposed from the first main surface 112a, although not shown, the second external electrode is on the first main surface 112a. It is formed so as to cover a part. In this case, the second external electrode is electrically connected to the second lead-out portion 122b of the coil conductor 116.
  • the first external electrode includes a first base electrode layer and a first plating layer arranged on the surface of the first base electrode layer.
  • the second external electrode includes a second base electrode layer and a second plating layer arranged on the surface of the second base electrode layer.
  • the first base electrode layer and the second base electrode layer are composed of a plurality of crystal particles.
  • the average crystal grain size b of the crystal particles constituting the first base electrode layer and the second base electrode layer is preferably 100 nm or more and 2000 nm or less, more preferably 100 nm or more and 1000 nm or less, and further preferably 100 nm or more. It is 500 nm or less.
  • the first plating layer is formed on the first main surface 112a. It is formed so as to cover the first base electrode layer to be arranged.
  • the second plating layer is formed on the first main surface 112a. It is formed so as to cover the second base electrode layer to be arranged.
  • FIGS. 5 to 9 the drawing portions 22a and 22b of the coil conductor 16 are pulled out on both end surfaces 12e and 12f.
  • the exposed configuration has been described, the structure is not limited to this, and as shown in FIG. 10, the structure around the exposed surface where the drawer portions 122a and 122b are exposed on the first main surface 112a side has the same structure. Has been done.
  • the coil conductor 216 is arranged on one side of the first magnetic body portion 214a, and is formed on one side of the winding portion 220 and the winding portion 220 formed by winding a conducting wire containing a conductive material in a coil shape. It has a first drawer portion 222a to be pulled out and a second drawer portion 222b to be pulled out to the other side of the winding portion 220.
  • the first drawer portion 222a is pulled out toward the first end surface 212e side of the second main surface 212b of the element body 212, and is in the extending direction of the first drawer portion 222a on the surface of the first drawer portion 222a.
  • At least a part of the surface parallel to the surface is exposed from the second main surface 212b of the element body 212 to form the first exposed portion 224a.
  • the second drawer portion 222b is pulled out toward the second end surface 212f side of the second main surface 212b of the element body 212, and is in the extending direction of the second drawer portion 222b on the surface of the second drawer portion 222b.
  • At least a part of the surface parallel to the surface is exposed from the second main surface 212b of the element body 212 to form the second exposed portion 224b.
  • a part of the surface of the first drawer portion 222a drawn out to the second main surface 212b may be buried in the element body 212, and the first surface of the second main surface 212b is embedded in the element body 212.
  • a plurality of recesses 28 may be formed on the surface of the drawer portion 222a of the above.
  • the recess 28 is preferably formed on the surfaces 26a3 and 26a4 of the first drawer portion 222a arranged perpendicularly to the second main surface 212b, and is perpendicular to the second main surface 212b.
  • the surface 26a3 and 26a4 of the arranged first drawer portion 222a and the surface 26a2 of the first drawer portion 222a arranged parallel to the stretching direction of the first drawer portion 222a are formed. ..
  • the metal magnetic particles 15 and the insulating film 18 may be arranged in the recesses 28. Alternatively, only the metal magnetic particles 15 may be arranged in the recess 28. At this time, when the metal magnetic particles 15 are arranged in the recess 28, the metal magnetic particles 15 may penetrate the insulating film 18 formed on the surfaces 26a2, 26a3, 26a4 of the first drawer portion 222a. However, it is preferable that it does not penetrate.
  • An insulating film removing portion 30 having no insulating film 18 may be formed on the surfaces 26a3 and 26a4 of the first drawing portion 222a embedded in the element body 212 on the second main surface 212b to remove the insulating film.
  • a plurality of recesses 28 may be formed on the surfaces 26a3 and 26a4 of the second drawer portion 222b in the portion 30.
  • the metal magnetic particles 15 may be arranged in the recesses 28. When the metal magnetic particles 15 are arranged in the recess 28 in this way, the peeling of the first drawer portion 222a from the second main surface 212b is suppressed by the anchor effect.
  • a part of the surface of the second drawer portion 222b drawn out on the second main surface 212b may be buried in the element body 212, and may be buried in the element body 212 on the second main surface 212b.
  • a plurality of recesses 28 may be formed on the surface of the second drawer portion 222b.
  • the recess 28 is preferably formed on the surfaces 26b3 and 26b4 of the second drawer portion 222b arranged perpendicularly to the second main surface 212b, and is perpendicular to the second main surface 212b.
  • the surface 26b3 and 26b4 of the arranged first drawer portion 222a and the surface 26b2 of the second drawer portion 222b arranged parallel to the stretching direction of the second drawer portion 222b are formed. ..
  • the metal magnetic particles 15 and the insulating film 18 may be arranged in the recesses 28. Alternatively, only the metal magnetic particles 15 may be arranged in the recess 28. At this time, when the metal magnetic particles 15 are arranged in the recess 28, the metal magnetic particles 15 may penetrate the insulating film 18 formed on the surfaces 26b2, 26b3, 26b4 of the second extraction portion 222b. However, it is preferable that it does not penetrate.
  • the insulating film removing portion 30 having no insulating film 18 may be formed on the surfaces 26b3 and 26b4 of the second drawing portion 222b buried in the element body 212 to remove the insulating film.
  • a plurality of recesses 28 may be formed on the surfaces 26b3 and 26b4 of the second drawer portion 222b in the portion 30.
  • the metal magnetic particles 15 may be arranged in the recesses 28. When the metal magnetic particles 15 are arranged in the recess 28 in this way, the peeling of the second drawer portion 222b from the second main surface 212b is suppressed by the anchor effect.
  • the coil conductor 216 is composed of the same conducting wire as the coil conductor 16, and the same conductive material can be used. Further, the coil conductor 216 is composed of a plurality of crystal particles. The average crystal grain size a of the crystal particles constituting the coil conductor 216 is preferably larger than 2 ⁇ m and 10 ⁇ m or less.
  • the first external electrode is the second main. It is formed so as to cover a part of the surface 212b. In this case, the first external electrode is electrically connected to the first extraction portion 222a of the coil conductor 216.
  • the second external electrode is the second. It is formed so as to cover a part of the main surface 212b of the. In this case, the second external electrode is electrically connected to the second extraction portion 222b of the coil conductor 216.
  • the first external electrode includes a first base electrode layer and a first plating layer arranged on the surface of the first base electrode layer.
  • the second external electrode includes a second base electrode layer and a second plating layer arranged on the surface of the second base electrode layer.
  • the first base electrode layer and the second base electrode layer are composed of a plurality of crystal particles.
  • the average crystal grain size b of the crystal particles of the crystal particles constituting the first base electrode layer and the second base electrode layer is preferably 100 nm or more and 2000 nm or less, more preferably 100 nm or more and 1000 nm or less, and further preferably. , 100 nm or more and 500 nm or less.
  • FIGS. 5 to 9 the drawing portions 22a and 22b of the coil conductor 16 are pulled out on both end surfaces 12e and 12f.
  • the exposed configuration has been described, the structure is not limited to this, and as shown in FIG. 11, the structure around the exposed surface where the drawer portions 222a and 222b are exposed on the second main surface 212b side has the same structure. Has been done.
  • FIG. 13 is an external perspective view schematically showing a second embodiment of the coil component of the present invention.
  • FIG. 14 is a transmission perspective view of a magnetic material portion in which a coil conductor is embedded in the coil component shown in FIG. 15 (a) is a sectional view taken along line XVa-XVa of FIG. 13 showing a coil component according to the present invention, and
  • FIG. 15 (b) is an enlarged sectional view taken along line c.
  • the element body 512 has a magnetic body portion 514 and a coil conductor 516 embedded in the magnetic body portion 514.
  • the element body 512 has a first main surface 512a and a second main surface 512b facing the height direction x, and a first side surface 512c and a second side surface facing the width direction y orthogonal to the height direction x. It has 512d and a first end face 512e and a second end face 512f facing the length direction z orthogonal to the height direction x and the width direction y.
  • the coil conductor 516 has a winding portion 520 formed by winding a conducting wire containing a conductive material in a coil shape, a first drawing portion 522a drawn to one side of the winding portion 520, and the other of the winding portion 520. It has a second drawer portion 522b that is pulled out to the side.
  • the first drawer portion 522a is exposed from the first end surface 512e of the element body 512 to form the first exposed portion 524a
  • the second extraction portion 522b is exposed from the second end surface 512f of the element body 512.
  • a second exposed portion 524b is formed.
  • the exposed surface of the first drawer portion 522a is arranged parallel to the stretching direction of the first drawer portion 522a.
  • the exposed surface of the second drawer portion 522b is arranged parallel to the stretching direction of the second drawer portion 522b.
  • the coil conductor 516 is composed of the same conducting wire as the coil conductor 16, and the same conductive material can be used. Further, the coil conductor 516 is composed of a plurality of crystal particles. The average crystal grain size a of the crystal particles constituting the coil conductor 516 is preferably larger than 2 ⁇ m and 10 ⁇ m or less.
  • the first external electrode 40a is on the surface of the first end surface 512e of the element body 512. Be placed.
  • the first external electrode 40a extends from the first end surface 512e to form a part of each of the first main surface 512a, the second main surface 512b, the first side surface 512c, and the second side surface 512d. It may be formed so as to cover, and is extended from the first end surface 512e to the second main surface 512b, and is formed so as to cover a part of each of the first end surface 512e and the second main surface 512b. You may. In this case, the first external electrode 40a is electrically connected to the first extraction portion 522a of the coil conductor 516.
  • the second external electrode 40b when the second extraction portion 522b of the coil conductor 516 is exposed from the second end surface 512f, the second external electrode 40b is the second end surface 512f of the element body 512. Placed on the surface.
  • the second external electrode 40b extends from the second end surface 512f to form a part of each of the first main surface 512a, the second main surface 512b, the first side surface 512c, and the second side surface 512d. It may be formed so as to cover, and is extended from the second end surface 512f to the second main surface 512b, and is formed so as to cover a part of each of the second end surface 512f and the second main surface 512b. You may. In this case, the second external electrode 40b is electrically connected to the second extraction portion 522b of the coil conductor 516.
  • a plurality of recesses are formed on the surface 26a1 on the first main surface 512a side and the surface 26a2 on the second main surface 512b side of the first lead-out portion 522a of the conducting wire constituting the coil conductor 516. 28 are formed respectively. Further, it is preferable that the recess 28 is formed on the surface 26a3 of the first drawer portion 522a arranged perpendicular to the second main surface 212b. Then, the metal magnetic particles 15 and the insulating film 18 are arranged in the recesses 28. Alternatively, only the metal magnetic particles 15 are arranged in the recess 28.
  • the metal magnetic particles 15 are on the surface 26a1 on the first main surface 512a side and the second main surface 512b side of the first drawer portion 522a.
  • the insulating film 18 formed on the surface 26a2 and the surface 26a3 on the second end surface 512f side of the first extraction portion 522a may be penetrated, but it is preferable that the insulating film 18 is not penetrated.
  • An insulating film removing portion 30 having no insulating film 18 may be formed on the surfaces 26a1, 26a2 of the first drawing portion 522a embedded in the element body 512 in the first end surface 512e, and the insulating film removing portion 30 may be formed.
  • a plurality of recesses 28 may be formed on the surfaces 26a1,26a2 of the first drawer portion 522a in 30. Further, the metal magnetic particles 15 may be arranged in the recesses 28. When the metal magnetic particles 15 are arranged in the recess 28 in this way, the peeling of the first drawer portion 522a from the first end surface 512e is suppressed by the anchor effect.
  • a plurality of recesses 28 are formed on the surface 26b1 on the first main surface 512a side and the surface 26b2 on the second main surface 512b side of the second lead-out portion 522b of the conducting wire constituting the coil conductor 516, respectively. .. Further, it is preferable that the recess 28 is formed on the surface 26b3 of the second drawer portion 522b arranged perpendicular to the second main surface 512b. Then, the metal magnetic particles 15 and the insulating film 18 are arranged in the recesses 28. Alternatively, only the metal magnetic particles 15 are arranged in the recess 28.
  • the metal magnetic particles 15 are on the surface 26b1 on the first main surface 512a side and the second main surface 512b side of the second drawer portion 522b.
  • the insulating film 18 formed on the surface 26b2 and the surface 26b3 on the first end surface 512e side of the second extraction portion 522b may be penetrated, but it is preferable that the insulating film 18 is not penetrated.
  • An insulating film removing portion 30 having no insulating film 18 may be formed on the surfaces 26b1, 26b2 of the second drawing portion 522b embedded in the element body 512 at the second end surface 512f, and the insulating film removing portion 30 may be formed.
  • a plurality of recesses 28 may be formed on the surfaces 26b1, 26b2 of the second drawer portion 522b in No. 30. Further, the metal magnetic particles 15 may be arranged in the recesses 28. When the metal magnetic particles 15 are arranged in the recess 28 in this way, the peeling of the second extraction portion 522b from the second end surface 512f is suppressed by the anchor effect.
  • the first external electrode 40a includes a first base electrode layer 42a and a first plating layer 44a arranged on the surface of the first base electrode layer 42a.
  • the second external electrode 40b includes a second base electrode layer 42b and a second plating layer 44b arranged on the surface of the second base electrode layer 42b.
  • the first base electrode layer 42a is the surface of the first end surface 512e of the element body 512. Is placed in. Therefore, the first base electrode layer 42a is in direct contact with the first exposed portion 524a of the coil conductor 516.
  • the first base electrode layer 42a extends from the first end surface 512e and is a part of each of the first main surface 512a, the second main surface 512b, the first side surface 512c, and the second side surface 512d. It may be formed so as to cover a part of each of the first end surface 512e and the second main surface 512b by extending from the first end surface 512e.
  • the second base electrode layer 42b is the second end surface 512f of the element body 512. Placed on the surface of. Therefore, the second base electrode layer 42b is in direct contact with the second exposed portion 524b of the coil conductor 516.
  • the second base electrode layer 42b extends from the second end surface 512f and is a part of each of the first main surface 512a, the second main surface 512b, the first side surface 512c, and the second side surface 512d. It may be formed so as to cover a part of the second end surface 512f and the second main surface 512b by extending from the second end surface 512f.
  • the first base electrode layer 42a and the second base electrode layer 42b are composed of a plurality of crystal particles.
  • the average crystal grain size b of the crystal particles constituting the first base electrode layer 42a and the second base electrode layer 42b is preferably 100 nm or more and 2000 nm or less, more preferably 100 nm or more and 1000 nm or less, and further preferably. It is 100 nm or more and 500 nm or less.
  • the first plating layer 44a covers the first base electrode layer 42a. It is located in. Specifically, the first plating layer 44a is arranged so as to cover the first base electrode layer 42a arranged on the first end surface 512e, and further extends from the first end surface 512e to form the first It may be arranged so as to cover the surface of the first base electrode layer 42a arranged on the main surface 512a, the second main surface 512b, the first side surface 512c and the second side surface 512d, and the first end surface. It may be arranged so as to extend from 512e and cover the first base electrode layer 42a which is arranged so as to cover a part of each of the first end surface 512e and the second main surface 512b.
  • minute uneven portions 32 are formed on the surfaces of the portions exposed on both end faces 512e and 512f of the element body 512 of the first exposed portion 524a and the second exposed portion 524b of the coil conductor 516.
  • the uneven portion 32 can be formed, for example, by irradiating the first exposed portion 524a and the second exposed portion 524b of the coil conductor 516 with a laser and making a plurality of holes.
  • FIGS. 5 to 9 Regarding the structure around the exposed surface exposed on the surface of the element body 12 of the drawing portion of the coil conductor 16, in FIGS. 5 to 9, the drawing portions 22a and 22b of the coil conductor 16 are pulled out on both end surfaces 12e and 12f.
  • the exposed configuration has been described, the structure is not limited to this, and as shown in FIG. 14, the structure around the exposed surface where the drawer portions 522a and 522b are exposed on both end surfaces 512e and 512f has the same structure. There is.
  • metal magnetic particles are prepared.
  • the metal magnetic particles are not particularly limited, and for example, Fe-based particles such as ⁇ -Fe, Fe-Si, Fe-Si-Cr, Fe-Si-Al, Fe-Ni, and Fe-Co are used.
  • Soft magnetic material powder can be used.
  • the material form of the metal magnetic particles is preferably amorphous having good soft magnetic properties, but is not particularly limited, and may be crystalline.
  • the metal magnetic particles coated with the insulating film and other filler components are mixed with the resin material to form a slurry, and then molded by using the doctor blade method or the like. It is processed and then dried to prepare a magnetic sheet having a thickness of 50 ⁇ m or more and 300 ⁇ m or less in which the filler component is dispersed in the resin material.
  • the element body 12 in which the coil conductor 16 is embedded is manufactured.
  • FIG. 16 is a manufacturing process diagram showing an embodiment of manufacturing a first molded body in a method of manufacturing coil parts.
  • FIG. 17 is a manufacturing process diagram showing an embodiment of manufacturing an aggregate substrate in a method of manufacturing a coil component.
  • a first mold 60 is prepared, and the coil conductors 16 are arranged in a matrix on the first mold 60.
  • the first molded body 72 in which the coil conductor 16 obtained by the primary press molding is embedded is separated from the second mold 62, and the first molded body 72 is separated from the second mold 62. Turn it over and place the first molded body 72 on the first mold 60. Then, another second magnetic material sheet 70b is superposed on the surface where the coil conductor 16 is exposed.
  • the third mold 64 is arranged on the upper surface side of the second magnetic sheet 70b. Then, as shown in FIG. 17C, the second magnetic sheet 70b is sandwiched between the first molded body 72 and the third mold 64 on the first mold 60, and the secondary press is performed. conduct.
  • the coil conductor 16 By irradiating the coil conductor 16 of the element body 12 covered with the protective layer 50 obtained above with a laser around the portion where the first exposed portion 24a and the second exposed portion 24b are arranged, the coil conductor 16 Removes the insulating film 18, the insulating film covering the metal magnetic particles 15 and the metal magnetic particles 15, and the protective layer 50 around the portion where the first exposed portion 24a and the second exposed portion 24b are arranged. Also, the metal magnetic particles 15 are melted. In addition to laser irradiation, the protective layer 50 can be removed by melting it with a chemical, heating it, peeling it off, blasting it, polishing it, or the like.
  • the first external electrode 40a is formed on the first end surface 12e of the element body 12, and the second external electrode 40b is formed on the second end surface 12f.
  • the element body 12 is Cu-plated by electrolytic barrel plating to form a base electrode layer as a plating layer. Subsequently, a Ni plating layer is formed on the surface of the base electrode layer by Ni plating, a Sn plating layer is further formed by Sn plating, and an external electrode 40 is formed. As a result, the first exposed portion 24a of the coil conductor 16 is electrically connected to the first external electrode 40a, and the second exposed portion 24b of the coil conductor 16 is electrically connected to the second external electrode 40b. Be connected.
  • the base electrode layer by Cu plating may be formed by electroless plating.
  • the average crystal grain size b of the crystal particles 43 constituting the base electrode layer is obtained from the average crystal grain size a of the crystal particles 17 constituting the coil conductor 16. Can also be made smaller.
  • the size of the crystal particles 43 constituting the base electrode layer can be reduced by reducing the size of the media or by lowering the current value to reduce the current density, which is desired.
  • the average crystal grain size b can be set.
  • the size of the crystal particles 43 is increased by containing an additive such as an organic carboxylic acid or an organic sulfonic acid in order to obtain a desired average crystal particle size b.
  • the particle size may be reduced.
  • the coil component 10 is manufactured.

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Abstract

コイル導体と外部電極との接続部における電気抵抗の低減と接合強度の向上により、信頼性の高いコイル部品を提供する。 この発明にかかるコイル部品10は、絶縁膜18により被覆された導線が巻回されて形成されるコイル導体16と、金属磁性体粒子15と樹脂とを含有する磁性体部14と、を備えた素体12と、コイル導体16の引出部22a,22bの素体12の表面に露出する露出面と電気的に接続されて素体12の表面に配置された外部電極40とを備える。そして、外部電極40は、少なくとも1層以上の層から構成され、コイル導体16を構成する結晶粒子17の平均結晶粒径をaとし、コイル導体16と直接接続される外部電極40の下地電極層を構成する結晶粒子43の平均結晶粒径をbとしたとき、a>bである。

Description

コイル部品
 本発明は、コイル部品に関する。
 従来のコイル部品として、直方体形状を呈する本体部と、本体部の対向する一対の端面を覆うようにして設けられた一対の外部端子電極とによって構成されたコイル部品が開示されている(たとえば、特許文献1を参照)。このコイル部品の本体部は、基板と基板の上下両面に設けられた平面空芯コイル用の導体パターンとを有するコイル部とを含む。
特開2016-103598号公報
 特許文献1に開示されるようなコイル部品では、外部端子電極は、端面に樹脂電極材料を塗布した後、その樹脂電極材料に金属めっきを施すことにより形成されている。そして、一対の外部端子電極は、平面空芯コイル用の導体パターンと接続されている。
 一方、現在、コイル部品に対して小型化が求められており、一対の外部端子電極と平面空芯コイル用の導体パターンとの接続性の向上が重要になってきている。特許文献1に開示されるようなコイル部品が小型化されると、平面空芯コイル用の導体パターンと一対の外部端子電極との接触面積が小さくなるため、それらの間の接続性の低下が懸念される。さらに、電気抵抗が高くなるリスクとともに、機械強度も低下するといった問題が懸念される。
 それゆえに、この発明の主たる目的は、コイル導体と外部電極との接続部における電気抵抗の低減と接合強度の向上により、信頼性の高いコイル部品を提供することである。
 この発明にかかるコイル部品は、絶縁膜により被覆された導線が巻き回されて形成されるコイル導体と、金属磁性体粒子と樹脂とを含有する磁性体部と、を備えた素体と、コイル導体の引出部の素体の表面に露出する露出面と電気的に接続されて素体の表面に配置された外部電極と、を備えるコイル部品であって、外部電極は、少なくとも1層以上の層から構成され、コイル導体を構成する結晶粒子の平均結晶粒径をaとし、コイル導体と直接接続される外部電極の層を構成する結晶粒子の平均結晶粒径をbとしたとき、a>bであることを特徴とする、コイル部品である。
 この発明にかかるコイル部品では、コイル導体を構成する結晶粒子の平均結晶粒径をaとし、コイル導体と直接接続される外部電極の層を構成する結晶粒子の平均結晶粒径をbとしたとき、a>bであるので、コイル導体の露出面を構成する結晶粒子の表面に外部電極の結晶粒子の表面の形状が追従するように配置され易いことから、コイル導体と外部電極間への樹脂や空洞の含有が抑制され、コイル導体と外部電極との間の電気抵抗を低減させることができ、さらに、接合強度も向上させることができる。
 この発明によれば、コイル導体と外部電極との接続部における電気抵抗の低減と接合強度の向上により、信頼性の高いコイル部品を提供することができる。
 この発明の上述の目的、その他の目的、特徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明を実施するための形態の説明から一層明らかとなろう。
この発明のコイル部品の第1の実施の形態を模式的に示す外観斜視図である。 図1に示すコイル部品におけるコイル導体が埋設された磁性体部の透過斜視図である。 この発明にかかるコイル部品を示す図1の線III-III断面図である。 この発明にかかるコイル部品を示す図1の線IV-IV断面図である。 (a)は、この発明にかかるコイル部品を示す図1の線V-V断面図であり、(b)は、a部の拡大断面図である。 コイル導体の引出部周辺の構造の第1の変形例を示す拡大断面図である。 コイル導体の引出部周辺の構造の第2の変形例を示す拡大断面図である。 コイル導体の引出部周辺の構造の第3の変形例を示す拡大断面図である。 (a)は、コイル導体の引出部周辺の構造の第4の変形例を示す拡大断面図であり、(b)は、外部電極を除き、素体の端面側からみたコイル導体の引出部周辺の構造の第4の変形例を示す拡大図である。 この発明の実施の形態のコイル部品の素体の第1の変形例を示す透過斜視図である。 (a)は、この発明の実施の形態のコイル部品の素体の第2の変形例を示す透過斜視図であり、(b)は下地電極層を除き、(a)とは異なる方向からみた透過斜視図である。 (a)は、この発明にかかるコイル部品を示す図11(b)の線XIIa-XIIa断面図であり、(b)は、b部の拡大断面図である。 この発明のコイル部品の第2の実施の形態を模式的に示す外観斜視図である。 図13に示すコイル部品におけるコイル導体が埋設された磁性体部の透過斜視図である。 (a)は、この発明にかかるコイル部品を示す図14の線XVa-XVa断面図であり、(b)は、c部の拡大断面図である。 コイル部品の製造方法において、第1の成形体を製造する実施の形態を示す製造工程図である。 コイル部品の製造方法において、集合基体を製造する実施の形態を示す製造工程図である。
1.コイル部品
 以下、本発明の第1の実施の形態にかかるコイル部品について、図面を参照しながら詳細に説明する。
 図1は、この発明のコイル部品の第1の実施の形態を模式的に示す外観斜視図である。図2は、図1に示すコイル部品におけるコイル導体が埋設された磁性体部の透過斜視図である。図3は、この発明にかかるコイル部品を示す図1の線III-III断面図である。図4この発明にかかるコイル部品を示す図1の線IV-IV断面図である。図5(a)は、この発明にかかるコイル部品を示す図1の線V-V断面図であり、図5(b)は、a部の拡大断面図である。
 コイル部品10は、直方体状の素体12と外部電極40とを有する。
(A)素体
 素体12は、磁性体部14と、磁性体部14に埋設されたコイル導体16とを有する。素体12は、加圧方向xに相対する第1の主面12aおよび第2の主面12bと、加圧方向xに直交する幅方向yに相対する第1の側面12cおよび第2の側面12dと、加圧方向xおよび幅方向yに直交する長さ方向zに相対する第1の端面12eおよび第2の端面12fとを有する。素体12の寸法は、特に限定されない。
(B)磁性体部
 磁性体部14は、金属磁性体粒子および樹脂材料を含む。
 樹脂材料は、特に限定されないが、例えば、熱硬化性樹脂が挙げられ、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリエステル樹脂、ポリイミド樹脂、ポリオレフィン樹脂などの有機材料が挙げられる。樹脂材料は、1種のみであっても、2種以上であってもよい。
 金属磁性体粒子は、第1の金属磁性体粒子および第2の金属磁性体粒子を含むのが好ましいが、第1の金属磁性体粒子のみであってもよい。
 第1の金属磁性体粒子は、10μm以上の平均粒径を有する。また、第1の金属磁性体粒子は、好ましくは、200μm以下、より好ましくは100μm以下、さらに好ましくは80μm以下の平均粒径を有する。第1の金属磁性体粒子の平均粒径を、10μm以上にすることにより、磁性体部の磁気的特性が向上する。
 第2の金属磁性体粒子は、第1の金属磁性体粒子の平均粒径よりも小さい平均粒径である。第2の金属磁性体粒子は、5μm以下の平均粒径を有する。このように、第2の金属磁性体粒子の平均粒径が第1の金属磁性体粒子の平均粒径よりも小さいことで、より磁性体部14における金属磁性体粒子の充填性が向上することにより、コイル部品10の磁気的特性を向上させることができる。
 ここで、平均粒径とは、平均粒径D50(体積基準の累積百分率50%相当粒径)を意味する。平均粒径D50は、例えば動的光散乱式粒度分析計(日機装株式会社製、UPA)により測定することができる。
 第1の金属磁性体粒子および第2の金属磁性体粒子としては、特に限定されないが、例えば、鉄、コバルト、ニッケルもしくはガドリニウム、またはこれらの1種または2種以上を含む合金が挙げられる。好ましくは、第1の金属磁性体粒子および第2の金属磁性体粒子は、鉄または鉄合金である。鉄合金としては、特に限定されないが、例えば、Fe-Si、Fe-Si-Cr、Fe-Ni、Fe-Si-Al等が挙げられる。第1の金属磁性体粒子および第2の金属磁性体粒子は、1種のみであっても、2種以上であってもよい。
 第1の金属磁性体粒子および第2の金属磁性体粒子の表面は、絶縁被膜により覆われていてもよい。金属磁性体粒子の表面を絶縁被膜により覆うことにより、磁性体部14の内部の抵抗を高くすることができる。また、金属磁性体粒子の表面を絶縁被膜により絶縁性が確保されるので、コイル導体16とのショート不良を抑制することができる。
 絶縁被膜の材料は、ケイ素の酸化物、リン酸系ガラス、ビスマス系ガラスなどが挙げられる。特に、金属磁性体粒子に対してメカノケミカル処理されたリン酸亜鉛ガラスによる絶縁被膜が好ましい。
 絶縁被膜の厚みは、特に限定されないが、好ましくは5nm以上500nm以下、より好ましくは5nm以上100nm以下、さらに好ましくは10nm以上100nm以下であり得る。絶縁被膜の厚みをより大きくすることにより、磁性体部14の抵抗をより高くすることができる。また、絶縁被膜の厚みをより小さくすることにより、磁性体部14中の金属磁性体粒子の量をより多くすることができ、磁性体部14の磁気的特性が向上する。
 磁性体部14における、第1の金属磁性体粒子および第2の金属磁性体粒子の含有量は、磁性体部全体に対して、好ましくは50体積%以上、より好ましくは60体積%以上、さらに好ましくは70体積%以上である。第1の金属磁性体粒子および第2の金属磁性体粒子の含有量をかかる範囲とすることにより、本発明のコイル部品の磁気的特性が向上する。また、第1の金属磁性体粒子および第2の金属磁性体粒子の含有量は、磁性体部14全体に対して、好ましくは99体積%以下、より好ましくは95体積%以下、さらに好ましくは90体積%以下である。第1の金属磁性体粒子および第2の金属磁性体粒子の含有量をかかる範囲とすることにより、磁性体部14の抵抗をより高くすることができる。
 磁性体部14の表面部分の内、コイル導体16と隣接する領域は、除去されていてもよい。コイル導体16と隣接する領域の磁性体部14を除去することにより、磁性体部14とコイル導体16との隙間が大きくなり、バレルめっき処理する際にメディアが浸入し易くなって、コイル導体16のより広い面積にめっき膜が形成される。これにより、接合強度の向上と電気抵抗の低減が期待される。
(C)コイル導体
 上記コイル導体16は、導電性材料を含む導線をコイル状に巻回して形成される巻回部20と、巻回部20の一方側に引き出される第1の引出部22aと巻回部20の他方側に引き出される第2の引出部22bとを有する。
 巻回部20は、2段に巻回されて形成されている。コイル導体16は、平角導線をα巻き形状に巻回して形成されている。例えば、平角導線の幅方向yの寸法は、15μm以上200μm以下であり、加圧方向xの寸法は、50μm以上500μmである。
 第1の引出部22aは、素体12の第1の端面12eから露出して第1の露出部24aを形成し、第2の引出部22bは、素体12の第2の端面12fから露出して第2の露出部24bを形成する。第1の露出部24aにおいて、第1の引出部22aの露出面は、第1の引出部22aの延伸方向に対して交差するように形成される。また、第2の露出部24bにおいて、第2の引出部22bの露出面は、第2の引出部22bの延伸方向に対して交差するように形成される。
 コイル導体16は、金属線、ワイヤなどの導線により構成されている。コイル導体16の導電性材料としては、特に限定されないが、例えば、Ag、Au、Cu、Ni、Snまたはそれらの合金からなる金属成分である。好ましくは、導電性材料として銅が挙げられる。導電性材料は、1種のみであっても、2種以上であってもよい。
 図5(b)に示すように、コイル導体16は複数の結晶粒子17により構成される。コイル導体16を構成する結晶粒子17の平均結晶粒径aは、2μmより大きく10μm以下であることが好ましい。
 このコイル導体16を構成する結晶粒子17の平均結晶粒径aは、収束イオンビーム(FIB:Focused Ion Beam)や断面イオンミリング(CP:Cross-section Polisher)にて断面作製した各コイル導体16を、透過型電子顕微鏡(TEM:Tunneling Electron Microscope)や走査型電子顕微鏡(SEM:Scanning Electron Microscope)にて1000倍以上の倍率で観察し、結晶粒子17を10個以上選択して、それぞれの結晶粒子17の円相当径の平均値で定義される。
 上記断面は、外部電極40との接続部近傍のコイル導体16の断面とする。コイル導体16と外部電極40の両方に跨っている断面がより好ましい。
 コイル導体16の表面近傍は結晶粒子の形状が変形している可能性があるため、測定対象から除外する。
 コイル導体16を構成する導線の表面には、絶縁性物質により被覆されて絶縁膜18が形成される。コイル導体16を構成する導線を絶縁性物質により被覆することにより、巻回されたコイル導体16同士と、コイル導体16と磁性体部14の絶縁をより確実にすることができる。
 なお、コイル導体16を構成する導線の第1の露出部24aおよび第2の露出部24bのそれぞれの部分には、絶縁膜18は形成されていない。したがって、めっき処理によりめっき層としての第1の下地電極層42aおよび第2の下地電極層42bを形成しやすい。また、コイル導体16と第1の下地電極層42aおよび第2の下地電極層42bとが、広い面積にわたって接続できるため、電気抵抗をより低減することができ、さらに接合強度を向上することができる。
 絶縁膜18の絶縁性物質としては、特に限定されないが、例えば、ポリウレタン樹脂、ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリイミド樹脂が挙げられる。好ましくは、絶縁膜18としては、ポリアミドイミド樹脂が挙げられる。
 絶縁膜18の厚みは、2μm以上10μm以下であることが好ましい。
 図5(b)に示すように、コイル導体16を構成する導線の第1の引出部22aの第1の主面12a側の表面26a1および第2の主面12b側の表面26a2に複数の凹部28がそれぞれ形成されている。そして、それら凹部28に、金属磁性体粒子15および絶縁膜18が配置されている。あるいは、凹部28には、金属磁性体粒子15のみが配置されている。このとき、凹部28に金属磁性体粒子15が配置される場合、金属磁性体粒子15は、第1の引出部22aの第1の主面12a側の表面26a1および第2の主面12b側の表面26a2に形成される絶縁膜18を貫通してもよいが、貫通していない方が好ましい。
 同様に、コイル導体16を構成する導線の第2の引出部22bの第1の主面12aの表面26b1および第2の主面側の表面26b2に複数の凹部28がそれぞれ形成されている。そして、それら凹部28に、金属磁性体粒子15および絶縁膜18が配置されている。あるいは、凹部28には、金属磁性体粒子15のみが配置されている。このとき、凹部28に金属磁性体粒子15が配置される場合、金属磁性体粒子15は、第2の引出部22bの第1の主面12a側の表面26b1および第2の主面12b側の表面26b2に形成される絶縁膜18を貫通してもよいが、貫通していない方が好ましい。
 また、コイル導体16の第1の露出部24aおよび第2の露出部24bの素体12の両端面12e,12fにおける露出部分(露出面)においては、絶縁膜18が配置されていない。これにより、コイル導体16と第1の下地電極層42aおよび第2の下地電極層42bとが、直接電気的に接続することができるので、コイル導体16と第1の下地電極層42aおよび第2の下地電極層42bとの間の電気抵抗を低減することができる。
 さらに、外部電極40と接触する金属磁性体粒子15において、外部電極40と接触している絶縁被膜の平均厚みが、外部電極40と接触していない絶縁被膜の平均厚みよりも小さいことが好ましい。これにより、外部電極40をめっき処理により形成する場合、素体12の第1の端面12eおよび第2の端面12fにおいて露出するコイル導体16の第1の引出部22aおよび第2の引出部22bの周辺に位置する金属磁性体粒子15に集中的に通電されてめっき成長させることができる。
 なお、コイル導体16の引出部の素体12の表面に露出する露出面周辺の構造は、以下に説明するような構造により構成されていてもよい。
 図6は、コイル導体16の引出部周辺の構造の第1の変形例を示す拡大断面図である。
 図6に示すように、コイル導体16の第1の引出部22aおよび第2の引出部22bにおいて、素体12の両端面12e,12fに向かって絶縁膜18を有さない絶縁膜除去部30が形成されている。コイル導体16の第1の引出部22aの第1の主面12a側の表面26a1および第2の主面12b側の表面26a2に複数の凹部28がそれぞれ形成されており、それら凹部28に、金属磁性体粒子15が配置されている。同様に、コイル導体16の第2の引出部22bの第1の主面12a側の表面26b1および第2の主面12b側の表面26b2に複数の凹部28がそれぞれ形成されており、それら凹部28に、金属磁性体粒子15が配置されている。したがって、金属磁性体粒子15は、絶縁膜除去部30では、凹部28に対して絶縁膜18を貫通することなく直接配置されている。
 このように、絶縁膜18は、金属磁性体粒子15によりコイル導体16の表面に凹部28を形成するときに、クッションとして作用するので、その凹部28の形成を阻害する方向に作用するが、絶縁膜18を除去することによって、コイル導体16の表面に対して容易に凹部28を形成することができる。
 また、絶縁膜除去部30には、外部電極40の一部が配置されることが好ましい。これにより、コイル導体16と外部電極40とが広い面積にわたって接続できるため、電気抵抗をより低減することができ、さらに接合強度をより向上させることができる。
 図7は、コイル導体16の引出部周辺の構造の第2の変形例を示す拡大断面図である。
 コイル導体16の引出部周辺の第2の変形例では、図7に示すように、コイル導体16の引出部周辺の構造の第1の変形例と同様に、コイル導体16の第1の引出部22aおよび第2の引出部22bにおいて、素体12の両端面12e,12fに向かって絶縁膜18を有さない絶縁膜除去部30が形成されている。そして、さらに、コイル導体16の第1の露出部24aおよび第2の露出部24bの素体12の両端面12e,12fに露出部分の表面において、微小な凹凸部32が形成されている。これにより、コイル導体16と外部電極40との接する表面積を増加させることができるので、コイル導体16と外部電極40との接合強度をより向上させることができる。
 図8は、コイル導体16の引出部周辺の構造の第3の変形例を示す拡大断面図である。
 コイル導体16の引出部周辺の第3の変形例では、図8に示すように、コイル導体16の引出部周辺の構造の第1の変形例と同様に、コイル導体16の第1の引出部22aおよび第2の引出部22bにおいて、素体12の両端面12e,12fに向かって絶縁膜18を有さない絶縁膜除去部30が形成されている。そして、さらに、コイル導体16の第1の露出部24aおよび第2の露出部24bの素体12の両端面12e,12fに露出部分の周辺の素体12において、窪み部34が形成されている。窪み部34は、コイル導体16と磁性体部14との平均距離が、コイル導体16の第1の引出部22aおよび第2の引出部22bが両端面12e,12fに引き出される方向に向かって大きくなるように形成されている。これにより、外部電極40が、コイル導体16の第1の露出部24aおよび第2の露出部24bの素体12の両端面12e,12fに露出部分の周辺部において形成される窪み部34に充填されるように配置させることができるので、コイル導体16と外部電極40との接合強度をより向上させることができる。
 図9は、コイル導体16の引出部周辺の構造の第4の変形例を示す拡大断面図である。
 コイル導体16の引出部周辺の第4の変形例では、図9に示すように、コイル導体16の引出部周辺の構造の第1の変形例と同様に、コイル導体16の第1の引出部22aおよび第2の引出部22bにおいて、素体12の両端面12e,12fに向かって絶縁膜18を有さない絶縁膜除去部30が形成されている。そして、さらに、素体12の両端面12e,12f、ならびにコイル導体16の第1の露出部24aおよび第2の露出部24bの素体12の両端面12e,12fに露出部分の表面(露出面)の加圧方向xの中央部において、幅方向yに所定の幅に溝部36が形成されている。溝部36の素体12に対する深さは、5μm以上100μm以下であることが好ましい。これにより、外部電極40が、素体12の両端面12e,12f、ならびにコイル導体16の第1の露出部24aおよび第2の露出部24bの素体12の両端面12e,12fに露出部分の表面(露出面)に形成される溝部36に充填されるように配置させることができるので、コイル導体16と外部電極40との接合強度をより向上させることができる。
(D)外部電極
 素体12の第1の端面12e側および第2の端面12f側には、外部電極40が配置される。外部電極40は、第1の外部電極40aおよび第2の外部電極40bを有する。
 第1の外部電極40aは、素体12の第1の端面12eの表面に配置される。なお、第1の外部電極40aは、第1の端面12eから延伸して第1の主面12a、第2の主面12b、第1の側面12cおよび第2の側面12dのそれぞれの一部を覆うように形成されていてもよく、第1の端面12eから第2の主面12bへと延伸され、第1の端面12eと第2の主面12bのそれぞれ一部を覆うように形成されていてもよい。この場合、第1の外部電極40aは、コイル導体16の第1の引出部22aと電気的に接続される。
 第2の外部電極40bは、素体12の第2の端面12fの表面に配置される。なお、第2の外部電極40bは、第2の端面12fから延伸して第1の主面12a、第2の主面12b、第1の側面12cおよび第2の側面12dのそれぞれの一部を覆うように形成されていてもよく、第2の端面12fから第2の主面12bへと延伸され、第2の端面12fと第2の主面12bのそれぞれ一部を覆うように形成されていてもよい。この場合、第2の外部電極40bは、コイル導体16の第2の引出部22bと電気的に接続される。
 第1の外部電極40aおよび第2の外部電極40bのそれぞれの厚みは、特に限定されないが、例えば1μm以上50μm以下、好ましくは5μm以上20μm以下であり得る。
 第1の外部電極40aは、第1の下地電極層42aと、第1の下地電極層42aの表面に配置される第1のめっき層44aとを含む。同様に、第2の外部電極40bは、第2の下地電極層42bと、第2の下地電極層42bの表面に配置される第2のめっき層44bとを含む。
 第1の下地電極層42aは、素体12の第1の端面12eの表面に配置される。従って、第1の下地電極層42aは、コイル導体16の第1の露出部24aと直接接している。なお、第1の下地電極層42aは、第1の端面12eから延伸して第1の主面12a、第2の主面12b、第1の側面12cおよび第2の側面12dのそれぞれの一部を覆うように形成されていてもよく、第1の端面12eから延伸して、第1の端面12eと第2の主面12bのそれぞれ一部を覆うように形成されていてもよい。
 また、第2の下地電極層42bは、素体12の第2の端面12fの表面に配置される。従って、第2の下地電極層42bは、コイル導体16の第2の露出部24bと直接接している。なお、第2の下地電極層42bは、第2の端面12fから延伸して第1の主面12a、第2の主面12b、第1の側面12cおよび第2の側面12dのそれぞれの一部を覆うように形成されていてもよく、第2の端面12fから延伸して、第2の端面12fと第2の主面12bのそれぞれ一部を覆うように形成されていてもよい。
 第1の下地電極層42aおよび第2の下地電極層42bは、導電性材料、好ましくはAu、Ag、Pd、NiおよびCuから選択される1種またはそれ以上の金属材料から構成される。第1の下地電極層42aおよび第2の下地電極層42bは、それぞれめっき電極として形成される。第1の下地電極層42aおよび第2の下地電極層42bは、電解めっきにより形成されてもよいし、無電解めっきにより形成されてもよい。
 また、第1の下地電極層42aおよび第2の下地電極層42bを構成する金属材料の主成分とコイル導体16を構成する金属材料の主成分とは同一組成であることが好ましい。これにより、コイル導体16と第1の下地電極層42aおよび第2の下地電極層42bとの間の金属結合がより強固となることから接合強度が高くなり、直流抵抗を低減させることができる。
 第1の下地電極層42aおよび第2の下地電極層42bの平均厚みは、たとえば、10μmである。
 第1の下地電極層42aおよび第2の下地電極層42bは、複数の結晶粒子43により構成される。第1の下地電極層42aおよび第2の下地電極層42bを構成する結晶粒子43の平均結晶粒径bは、100nm以上2000nm以下が好ましく、さらに好ましくは、100nm以上1000nm以下であり、さらに好ましくは、100nm以上500nm以下である。
 この第1の下地電極層42aおよび第2の下地電極層42bを構成する結晶粒子43の平均結晶粒径bは、収束イオンビーム(FIB:Focused Ion Beam)や断面イオンミリング(CP:Cross-section Polisher)にて断面作製した各第1の下地電極層42aおよび各第2の下地電極層42bを、透過型電子顕微鏡(TEM:Tunneling Electron Microscope)や走査型電子顕微鏡(SEM:Scanning Electron Microscope)にて1000倍以上の倍率で観察し、結晶粒子43を10個以上選択して、それぞれの結晶粒子43の円相当径の平均値で定義される。
 上記断面は、コイル導体16との接続部近傍の下地電極層42a,42bの断面とする。下地電極層42a,42bとコイル導体16の両方に跨っている断面がより好ましい。
 下地電極層42a,42bの表面近傍は結晶粒子の形状が変形している可能性があるため、測定対象から除外する。
 コイル導体16を構成する結晶粒子15の平均結晶粒径aと、第1の下地電極層42aおよび第2の下地電極層42bを構成する結晶粒子43の平均結晶粒径bとは、a>bの関係を満たす。また、コイル導体16を構成する結晶粒子17の平均結晶粒径aと、第1の下地電極層42aおよび第2の下地電極層42bを構成する結晶粒子43の平均結晶粒径bとは、0.5≧b/aの関係を満たすことがより好ましい。
 第1のめっき層44aは、第1の下地電極層42aを覆うように配置されている。具体的には、第1のめっき層44aは、第1の端面12eに配置される第1の下地電極層42aを覆うように配置され、さらに第1の端面12eから延伸して、第1の主面12a、第2の主面12b、第1の側面12cおよび第2の側面12dに配置される第1の下地電極層42aの表面を覆うように配置されていてもよく、第1の端面12eから延伸して第2の主面12bのそれぞれ一部を覆うように配置されている第1の下地電極層42aを覆うように配置されていてもよい。
 第2のめっき層44bは、第2の下地電極層42bを覆うように配置されている。具体的には、第2のめっき層44bは、第2の端面12fに配置される第2の下地電極層42bを覆うように配置され、さらに第2の端面12fから延伸して、第1の主面12a、第2の主面12b、第1の側面12cおよび第2の側面12dに配置される第2の下地電極層42bの表面を覆うように配置されていてもよく、第2の端面12fから延伸して第2の主面12bのそれぞれ一部を覆うように配置されている第2の下地電極層42bを覆うように配置されていてもよい。
 第1のめっき層44aおよび第2のめっき層44bの金属材料としては、たとえば、Cu、Ni、Ag、Sn、Pd、Ag-Pd合金またはAu等から選ばれる少なくとも1つを含む。
 第1のめっき層44aおよび第2のめっき層44bは、複数層に形成されてもよい。
 第1のめっき層44aは、第1のNiめっき層46aと第1のNiめっき層46aの表面に形成される第1のSnめっき層48aとの2層構造である。第2のめっき層44bは、第2のNiめっき層46bと第2のNiめっき層46bの表面に形成される第2のSnめっき層48bとの2層構造である。
 第1のNiめっき層46aおよび第2のNiめっき層46bの平均厚みは、たとえば、5μmである。
 また、第1のSnめっき層48aおよび第2のSnめっき層48bの平均厚みは、たとえば、10μmである。
 なお、第1の外部電極40aおよび第2の外部電極40bは、以下のような構成により設けられてもよい。
 たとえば、第1の下地電極層42aおよび第2の下地電極層42bは、Ag含有の樹脂電極でもよく、スパッタによるAgスパッタ層、Cuスパッタ層あるいはTiスパッタ層により構成されていてもよい。なお、第1の下地電極層42aおよび第2の下地電極層42bが、Ag含有の樹脂電極により構成される場合には、ガラスフリットが含有されていてもよい。また、第1の下地電極層42aおよび第2の下地電極層42bがスパッタ層により形成される場合、Tiスパッタ層上にCuスパッタ層が形成されるようにしてもよい。
 また、第1のめっき層44aおよび第2のめっき層44bは、最外層がSnめっき層48a,48bのみにより構成されてもよい。
 さらに、第1の下地電極層42aおよび第2の下地電極層42bを形成せず、素体12上に、Agめっき層やNiめっき層を形成するようにしてもよい。
(E)保護層
 本実施形態において、保護層50は、素体12の第1の端面12eに露出される第1の露出部24aおよび第2の端面12fに露出される第2の露出部24bを除く素体12の表面上に設けられている。保護層50は、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂等の電気絶縁性が高い樹脂材料から構成される。なお、本発明において、保護層50が設けられているが、これに限るものではなく、必ずしも設けられていなくてもよい。
 コイル部品10は、長さ方向zの寸法をL寸法とすると、L寸法は、1.0mm以上12.0mm以下が好ましい。コイル部品10の幅方向yの寸法をW寸法とすると、W寸法は、0.5mm以上12.0mm以下が好ましい。コイル部品10の加圧方向xの寸法をT寸法は、0.5mm以上6.0mm以下が好ましい。
 図1に示すコイル部品10によれば、コイル導体16を構成する結晶粒子17の平均結晶粒径aと、コイル導体16と直接接している第1の下地電極層42aおよび第2の下地電極層42bを構成する結晶粒子43の平均結晶粒径bとは、a>bの関係を満たすので、両端面12e,12fに露出しているコイル導体16を構成する結晶粒子17の表面の形状に第1の下地電極層42aの結晶粒子43が追従するように配置され易いことから、コイル導体16と第1の下地電極層42aおよび第2の下地電極層42bとの間における電気抵抗を低減させることができる。また、コイル導体16と第1の下地電極層42aおよび第2の下地電極層42bとの間における接合強度を向上させることができる。
 また、図1に示すコイル部品10において、コイル導体16を構成する結晶粒子17の平均結晶粒径aと、第1の下地電極層42aおよび第2の下地電極層42bを構成する結晶粒子43の平均結晶粒径bとが、0.5≧b/aの関係を満たすことにより、両端面12e,12fに露出しているコイル導体16を構成する結晶粒子17の表面の形状に第1の下地電極層42aの結晶粒子43をより追従するように配置させることができるので、コイル導体16と第1の下地電極層42aと第2の下地電極層42bとの間に空洞が形成されずに接続することができることから、コイル導体16と第1の下地電極層42aおよび第2の下地電極層42bとの間における接合強度をより向上させることができ、電気抵抗を低減させることができる。
 次に、この発明の実施の形態のコイル部品10の素体12の第1の変形例を示す。
 図10は、この発明の実施の形態のコイル部品の素体の第1の変形例を示す透過斜視図である。
 図10に示すように、第1の変形例にかかる素体112は、磁性体部114と、磁性体部114に埋設されたコイル導体116とを有する。素体112は、高さ方向xに相対する第1の主面112aおよび第2の主面112bと、高さ方向xに直交する幅方向yに相対する第1の側面112cおよび第2の側面112dと、高さ方向xおよび幅方向yに直交する長さ方向zに相対する第1の端面112eおよび第2の端面112fとを有する。
 コイル導体116は、導電性材料を含む導線をコイル状に巻回して形成される巻回部120と、巻回部120の一方側に引き出される第1の引出部122aと巻回部120の他方側に引き出される第2の引出部122bとを有する。
 第1の引出部122aは、素体112の第1の主面112aに引き出され露出して第1の露出部124aを形成し、第2の引出部122bは、素体112の第1の主面112aから露出して第2の露出部124bを形成する。第1の露出部124aにおいて、第1の引出部122aの露出面は、第1の引出部122aの延伸方向に対して交差するように形成される。また、第2の露出部124bにおいて、第2の引出部122bの露出面は、第2の引出部122bの延伸方向に対して交差するように形成される。
 コイル導体116は、コイル導体16と同様の導線により構成され、同様の導電性材料を用いることができる。また、コイル導体116は、複数の結晶粒子により構成される。コイル導体116を構成する結晶粒子の平均結晶粒径aは、2μmより大きく10μm以下であることが好ましい。
 図10に示すように、コイル導体116の第1の引出部122aが第1の主面112aから露出されている場合、図示しないが、第1の外部電極は第1の主面112aの一部を覆うように形成される。この場合、第1の外部電極は、コイル導体116の第1の引出部122aと電気的に接続される。
 また、図10に示すように、コイル導体116の第2の引出部122bが第1の主面112aから露出されている場合、図示しないが、第2の外部電極は第1の主面112aの一部を覆うように形成される。この場合、第2の外部電極は、コイル導体116の第2の引出部122bと電気的に接続される。
 第1の外部電極は、第1の下地電極層と、第1の下地電極層の表面に配置される第1のめっき層とを含む。同様に、第2の外部電極は、第2の下地電極層と、第2の下地電極層の表面に配置される第2のめっき層とを含む。
 コイル導体116が、図10に示すように、コイル導体116の第1の引出部122aが第1の主面112aから露出されている場合、図示しないが、第1の下地電極層は、コイル導体116の第1の引出部122aを覆うように、第1の主面112aの一部に形成される。
 また、図10に示すように、コイル導体116の第2の引出部122bが第1の主面112aから露出されている場合、図示しないが、第2の下地電極層は、コイル導体116の第2の引出部122bを覆うように、第1の主面112aの一部に形成される。
 このとき、第1の下地電極層および第2の下地電極層は、複数の結晶粒子により構成される。第1の下地電極層および第2の下地電極層を構成する結晶粒子の平均結晶粒径bは、100nm以上2000nm以下が好ましく、さらに好ましくは、100nm以上1000nm以下であり、さらに好ましくは、100nm以上500nm以下である。
 さらに、図10に示すように、コイル導体116の第1の引出部122aが第1の主面112aから露出されている場合、図示しないが、第1のめっき層は第1の主面112aに配置される第1の下地電極層を覆うように形成される。
 また、図10に示すように、コイル導体116の第2の引出部122bが第1の主面112aから露出されている場合、図示しないが、第2のめっき層は第1の主面112aに配置される第2の下地電極層を覆うように形成される。
 なお、コイル導体16の引出部の素体12の表面に露出する露出面周辺の構造について、図5ないし図9では、両端面12e,12fにコイル導体16の引出部22a,22bが引き出されて露出した構成について説明してきたが、これに限るものではなく、図10に示すように、第1の主面112a側に引出部122a,122bが露出する露出面周辺の構造についても同様の構造にされている。
 また、この発明の実施の形態のコイル部品10の素体12の第2の変形例を示す。
 図11(a)は、この発明の実施の形態のコイル部品の素体の第2の変形例を示す透過斜視図であり、図11(b)は(a)とは異なる方向からみた透過斜視図である。
 図11(a)および(b)に示すように、第2の変形例にかかる素体212は、磁性体部214と、磁性体部214に埋設されたコイル導体216とを含む。磁性体部214は、コイル導体216の磁心部に配置される凸部を有する第1の磁性体部214aと、第1の磁性体部214aとコイル導体216とを覆う第2の磁性体部214bとを有する。
 素体212は、略直方体形状に形成され、高さ方向xに相対する第1の主面212aおよび第2の主面212bと、高さ方向xに直交する幅方向yに相対する第1の側面212cおよび第2の側面212dと、高さ方向xおよび幅方向yに直交する長さ方向zに相対する第1の端面212eおよび第2の端面212fとを有する。
 コイル導体216は、第1の磁性体部214aの一方面側に配置され、導電性材料を含む導線をコイル状に巻回して形成される巻回部220と、巻回部220の一方側に引き出される第1の引出部222aと巻回部220の他方側に引き出される第2の引出部222bとを有する。第1の引出部222aは、素体212の第2の主面212bの第1の端面212e側に引き出され、第1の引出部222aの表面のうち、第1の引出部222aの延伸方向に対して平行な表面の少なくとも一部が素体212の第2の主面212bから露出して第1の露出部224aが形成されている。第2の引出部222bは、素体212の第2の主面212bの第2の端面212f側に引き出され、第2の引出部222bの表面のうち、第2の引出部222bの延伸方向に対して平行な表面の少なくとも一部が素体212の第2の主面212bから露出して第2の露出部224bが形成されている。
 このように、第1の引出部222aは、素体212の第2の主面212bにフォーミングされて配置されていてもよく、第2の引出部222bは、素体212の第2の主面212bにフォーミングされて配置される。素体212の第2の主面212bは実装面とされてよい。
 第2の主面212bに引き出された第1の引出部222aの表面の一部は、素体212中に埋まっていてもよく、第2の主面212bにおいて素体212中に埋まった第1の引出部222aの表面に複数の凹部28が形成されていてもよい。この凹部28は、第2の主面212bに対して垂直に配置された第1の引出部222aの表面26a3,26a4に形成されていることが好ましく、第2の主面212bに対して垂直に配置された第1の引出部222aの表面26a3,26a4かつ第1の引出部222aの延伸方向に対して平行に配置された第1の引出部222aの表面26a2に形成されていることがより好ましい。それら凹部28には、金属磁性体粒子15および絶縁膜18が配置されていてもよい。あるいは、凹部28には、金属磁性体粒子15のみが配置されていてもよい。このとき、凹部28に金属磁性体粒子15が配置される場合、金属磁性体粒子15は、第1の引出部222aの表面26a2,26a3,26a4に形成される絶縁膜18を貫通してもよいが、貫通していない方が好ましい。
 第2の主面212bにおいて素体212中に埋まった第1の引出部222aの表面26a3,26a4には絶縁膜18を有さない絶縁膜除去部30が形成されていてもよく、絶縁膜除去部30における第2の引出部222bの表面26a3,26a4には複数の凹部28が形成されていてもよい。また、それら凹部28には、金属磁性体粒子15が配置されていてもよい。
 このように、凹部28に金属磁性体粒子15が配置される場合、アンカー効果によって第2の主面212bからの第1の引出部222aの剥離が抑制される。
 同様に、第2の主面212bに引き出された第2の引出部222bの表面の一部は、素体212中に埋まっていてもよく、第2の主面212bにおいて素体212中に埋まった第2の引出部222bの表面に複数の凹部28が形成されていてもよい。この凹部28は、第2の主面212bに対して垂直に配置された第2の引出部222bの表面26b3,26b4に形成されていることが好ましく、第2の主面212bに対して垂直に配置された第1の引出部222aの表面26b3,26b4かつ第2の引出部222bの延伸方向に対して平行に配置された第2の引出部222bの表面26b2に形成されていることがより好ましい。それら凹部28には、金属磁性体粒子15および絶縁膜18が配置されていてもよい。あるいは、凹部28には、金属磁性体粒子15のみが配置されていてもよい。このとき、凹部28に金属磁性体粒子15が配置される場合、金属磁性体粒子15は、第2の引出部222bの表面26b2,26b3,26b4に形成される絶縁膜18を貫通してもよいが、貫通していない方が好ましい。
 第2の主面212bにおいて素体212中に埋まった第2の引出部222bの表面26b3,26b4には絶縁膜18を有さない絶縁膜除去部30が形成されていてもよく、絶縁膜除去部30における第2の引出部222bの表面26b3,26b4には複数の凹部28が形成されていてもよい。また、それら凹部28には、金属磁性体粒子15が配置されていてもよい。
 このように、凹部28に金属磁性体粒子15が配置される場合、アンカー効果によって第2の主面212bからの第2の引出部222bの剥離が抑制される。
 コイル導体216は、コイル導体16と同様の導線により構成され、同様の導電性材料を用いることができる。また、コイル導体216は、複数の結晶粒子により構成される。コイル導体216を構成する結晶粒子の平均結晶粒径aは、2μmより大きく10μm以下であることが好ましい。
 図11に示すように、コイル導体216の第1の引出部222aがフォーミングされて、第2の主面212bから露出している場合、図示しないが、第1の外部電極は、第2の主面212bの一部を覆うように形成される。この場合、第1の外部電極は、コイル導体216の第1の引出部222aと電気的に接続される。
 また、図11に示すように、コイル導体216の第2の引出部222bがフォーミングされて、第2の主面212bから露出している場合、図示しないが、第2の外部電極は、第2の主面212bの一部を覆うように形成される。この場合、第2の外部電極は、コイル導体216の第2の引出部222bと電気的に接続される。
 第1の外部電極は、第1の下地電極層と、第1の下地電極層の表面に配置される第1のめっき層とを含む。同様に、第2の外部電極は、第2の下地電極層と、第2の下地電極層の表面に配置される第2のめっき層とを含む。
 コイル導体216が、図11に示すように、コイル導体216の第1の引出部222aがフォーミングされて第2の主面212bから露出している場合、図示しないが、第1の下地電極層は、コイル導体216の第1の引出部222aを覆うように、第2の主面212bの一部に形成される。
 また、図11に示すように、コイル導体216の第2の引出部222bがフォーミングされて第2の主面212bから露出している場合、図示しないが、第2の下地電極層は、コイル導体216の第2の引出部222bを覆うように、第2の主面212bの一部に形成される。
 このとき、第1の下地電極層および第2の下地電極層は、複数の結晶粒子により構成される。第1の下地電極層および第2の下地電極層を構成する結晶粒子の結晶粒子の平均結晶粒径bは、100nm以上2000nm以下が好ましく、さらに好ましくは、100nm以上1000nm以下であり、さらに好ましくは、100nm以上500nm以下である。
 さらに、図11に示すように、コイル導体216の第1の引出部222aがフォーミングされて第2の主面212bに直接引き出される場合、図示しないが、第2の主面212bに配置される第1の下地電極層を覆うように形成されていてもよい。
 また、図11に示すように、コイル導体216の第2の引出部222bがフォーミングされて第2の主面212bに直接引き出される場合、図示しないが、第2の主面212bに配置される第2の下地電極層を覆うように形成されていてもよい。
 なお、コイル導体16の引出部の素体12の表面に露出する露出面周辺の構造について、図5ないし図9では、両端面12e,12fにコイル導体16の引出部22a,22bが引き出されて露出した構成について説明してきたが、これに限るものではなく、図11に示すように、第2の主面212b側に引出部222a,222bが露出する露出面周辺の構造についても同様の構造にされている。
 次に、この発明の第2の実施の形態のコイル部品510を示す。
 図13は、この発明のコイル部品の第2の実施の形態を模式的に示す外観斜視図である。図14は、図13に示すコイル部品におけるコイル導体が埋設された磁性体部の透過斜視図である。図15(a)は、この発明にかかるコイル部品を示す図13の線XVa-XVa断面図であり、図15(b)は、c部の拡大断面図である。
 図14に示すように、素体512は、磁性体部514と、磁性体部514に埋設されたコイル導体516とを有する。素体512は、高さ方向xに相対する第1の主面512aおよび第2の主面512bと、高さ方向xに直交する幅方向yに相対する第1の側面512cおよび第2の側面512dと、高さ方向xおよび幅方向yに直交する長さ方向zに相対する第1の端面512eおよび第2の端面512fとを有する。
 コイル導体516は、導電性材料を含む導線をコイル状に巻回して形成される巻回部520と、巻回部520の一方側に引き出される第1の引出部522aと巻回部520の他方側に引き出される第2の引出部522bとを有する。
 第1の引出部522aは、素体512の第1の端面512eから露出して第1の露出部524aを形成し、第2の引出部522bは、素体512の第2の端面512fから露出して第2の露出部524bを形成している。第1の露出部524aにおいて、第1の引出部522aの露出面は、第1の引出部522aの延伸方向に対して平行に配置される。また、第2の露出部524bにおいて、第2の引出部522bの露出面は、第2の引出部522bの延伸方向に対して平行に配置される。
 コイル導体516は、コイル導体16と同様の導線により構成され、同様の導電性材料を用いることができる。また、コイル導体516は、複数の結晶粒子により構成される。コイル導体516を構成する結晶粒子の平均結晶粒径aは、2μmより大きく10μm以下であることが好ましい。
 図14に示すように、コイル導体516の第1の引出部522aが第1の端面512eから露出されている場合、第1の外部電極40aは、素体512の第1の端面512eの表面に配置される。なお、第1の外部電極40aは、第1の端面512eから延伸して第1の主面512a、第2の主面512b、第1の側面512cおよび第2の側面512dのそれぞれの一部を覆うように形成されていてもよく、第1の端面512eから第2の主面512bへと延伸され、第1の端面512eと第2の主面512bのそれぞれ一部を覆うように形成されていてもよい。この場合、第1の外部電極40aは、コイル導体516の第1の引出部522aと電気的に接続される。
 また、図14に示すように、コイル導体516の第2の引出部522bが第2の端面512fから露出されている場合、第2の外部電極40bは、素体512の第2の端面512fの表面に配置される。なお、第2の外部電極40bは、第2の端面512fから延伸して第1の主面512a、第2の主面512b、第1の側面512cおよび第2の側面512dのそれぞれの一部を覆うように形成されていてもよく、第2の端面512fから第2の主面512bへと延伸され、第2の端面512fと第2の主面512bのそれぞれ一部を覆うように形成されていてもよい。この場合、第2の外部電極40bは、コイル導体516の第2の引出部522bと電気的に接続される。
 図15(b)に示すように、コイル導体516を構成する導線の第1の引出部522aの第1の主面512a側の表面26a1および第2の主面512b側の表面26a2に複数の凹部28がそれぞれ形成されている。また、この凹部28は、第2の主面212bに対して垂直に配置された第1の引出部522aの表面26a3に形成されていることが好ましい。そして、それら凹部28に、金属磁性体粒子15および絶縁膜18が配置されている。あるいは、凹部28には、金属磁性体粒子15のみが配置されている。このとき、凹部28に金属磁性体粒子15が配置される場合、金属磁性体粒子15は、第1の引出部522aの第1の主面512a側の表面26a1、第2の主面512b側の表面26a2および第1の引出部522aの第2の端面512f側の表面26a3に形成される絶縁膜18を貫通してもよいが、貫通していない方が好ましい。
 第1の端面512eにおいて素体512中に埋まった第1の引出部522aの表面26a1,26a2には絶縁膜18を有さない絶縁膜除去部30が形成されていてもよく、絶縁膜除去部30における第1の引出部522aの表面26a1,26a2には複数の凹部28が形成されていてもよい。また、それら凹部28には、金属磁性体粒子15が配置されていてもよい。
 このように、凹部28に金属磁性体粒子15が配置される場合、アンカー効果によって第1の端面512eからの第1の引出部522aの剥離が抑制される。
 同様に、コイル導体516を構成する導線の第2の引出部522bの第1の主面512a側の表面26b1および第2の主面512b側の表面26b2に複数の凹部28がそれぞれ形成されている。また、この凹部28は、第2の主面512bに対して垂直に配置された第2の引出部522bの表面26b3に形成されていることが好ましい。そして、それら凹部28に、金属磁性体粒子15および絶縁膜18が配置されている。あるいは、凹部28には、金属磁性体粒子15のみが配置されている。このとき、凹部28に金属磁性体粒子15が配置される場合、金属磁性体粒子15は、第2の引出部522bの第1の主面512a側の表面26b1、第2の主面512b側の表面26b2および第2の引出部522bの第1の端面512e側の表面26b3に形成される絶縁膜18を貫通してもよいが、貫通していない方が好ましい。
 第2の端面512fにおいて素体512中に埋まった第2の引出部522bの表面26b1,26b2には絶縁膜18を有さない絶縁膜除去部30が形成されていてもよく、絶縁膜除去部30における第2の引出部522bの表面26b1,26b2には複数の凹部28が形成されていてもよい。また、それら凹部28には、金属磁性体粒子15が配置されていてもよい。
 このように、凹部28に金属磁性体粒子15が配置される場合、アンカー効果によって第2の端面512fからの第2の引出部522bの剥離が抑制される。
 第1の外部電極40aは、第1の下地電極層42aと、第1の下地電極層42aの表面に配置される第1のめっき層44aとを含む。同様に、第2の外部電極40bは、第2の下地電極層42bと、第2の下地電極層42bの表面に配置される第2のめっき層44bとを含む。
 図15に示すように、コイル導体516の第1の引出部522aが第1の端面512eから露出されている場合、第1の下地電極層42aは、素体512の第1の端面512eの表面に配置される。従って、第1の下地電極層42aは、コイル導体516の第1の露出部524aと直接接している。なお、第1の下地電極層42aは、第1の端面512eから延伸して第1の主面512a、第2の主面512b、第1の側面512cおよび第2の側面512dのそれぞれの一部を覆うように形成されていてもよく、第1の端面512eから延伸して、第1の端面512eと第2の主面512bのそれぞれ一部を覆うように形成されていてもよい。
 また、図15に示すように、コイル導体516の第2の引出部522bが第2の端面512fから露出されている場合、第2の下地電極層42bは、素体512の第2の端面512fの表面に配置される。従って、第2の下地電極層42bは、コイル導体516の第2の露出部524bと直接接している。なお、第2の下地電極層42bは、第2の端面512fから延伸して第1の主面512a、第2の主面512b、第1の側面512cおよび第2の側面512dのそれぞれの一部を覆うように形成されていてもよく、第2の端面512fから延伸して、第2の端面512fと第2の主面512bのそれぞれ一部を覆うように形成されていてもよい。
 このとき、第1の下地電極層42aおよび第2の下地電極層42bは、複数の結晶粒子により構成される。第1の下地電極層42aおよび第2の下地電極層42bを構成する結晶粒子の平均結晶粒径bは、100nm以上2000nm以下が好ましく、さらに好ましくは、100nm以上1000nm以下であり、さらに好ましくは、100nm以上500nm以下である。
 さらに、図15に示すように、コイル導体516の第1の引出部522aが第1の端面512eから露出されている場合、第1のめっき層44aは、第1の下地電極層42aを覆うように配置されている。具体的には、第1のめっき層44aは、第1の端面512eに配置される第1の下地電極層42aを覆うように配置され、さらに第1の端面512eから延伸して、第1の主面512a、第2の主面512b、第1の側面512cおよび第2の側面512dに配置される第1の下地電極層42aの表面を覆うように配置されていてもよく、第1の端面512eから延伸して、第1の端面512eと第2の主面512bのそれぞれ一部を覆うように配置されている第1の下地電極層42aを覆うように配置されていてもよい。
 また、図15に示すように、コイル導体516の第2の引出部522bが第2の端面512fから露出されている場合、第2のめっき層44bは、第2の下地電極層42bを覆うように配置されている。具体的には、第2のめっき層44bは、第2の端面512fに配置される第2の下地電極層42bを覆うように配置され、さらに第2の端面512fから延伸して、第1の主面512a、第2の主面512b、第1の側面512cおよび第2の側面512dに配置される第2の下地電極層42bの表面を覆うように配置されていてもよく、第2の端面512fから延伸して、第2の端面512fと第2の主面512bのそれぞれ一部を覆うように配置されている第2の下地電極層42bを覆うように配置されていてもよい。
 また、コイル導体516の第1の露出部524aおよび第2の露出部524bの素体512の両端面512e,512fに露出している部分の表面において、微小な凹凸部32が形成されている。これにより、コイル導体516と外部電極40との接する表面積を増加させることができるので、コイル導体516と外部電極40との接合強度をより向上させることができる。凹凸部32は、例えば、コイル導体516の第1の露出部524aおよび第2の露出部524bに対してレーザーを照射し、複数の穴を開けることで形成することができる。
 なお、コイル導体16の引出部の素体12の表面に露出する露出面周辺の構造について、図5ないし図9では、両端面12e,12fにコイル導体16の引出部22a,22bが引き出されて露出した構成について説明してきたが、これに限るものではなく、図14に示すように、両端面512e,512fに引出部522a,522bが露出する露出面周辺の構造についても同様の構造にされている。
2.コイル部品の製造方法
 次に、コイル部品の製造方法について説明する。
(A)金属磁性体粒子の準備
 まず、金属磁性体粒子を準備する。ここで、金属磁性体粒子としては特に限定されるものではなく、例えば、α-Fe、Fe-Si、Fe-Si-Cr、Fe-Si-Al、Fe-Ni、Fe-Co等のFe系軟磁性材料粉末を使用することができる。また、金属磁性体粒子の材料形態についても、良好な軟磁性特性を有する非晶質が好ましいが特に限定されるものではなく、結晶質であってもよい。
 金属磁性体粒子の平均粒径も特に限定されるものではないが、平均粒径の異なる2種類以上の金属磁性体粒子を使用するのが好ましい。すなわち、金属磁性体粒子は樹脂材料中に分散される。したがって、金属磁性体粒子の充填効率を向上させる観点からは、例えば、平均粒径が10μm以上40μm以下の第1の金属磁性体粒子と、平均粒径が1μm以上20μm以下の第2の金属磁性体粒子と、異なる平均粒径を有する金属磁性体粒子を使用するのが好ましい。
(B)絶縁被膜の形成
 次に、金属磁性体粒子の表面を絶縁被膜で被覆する。ここで、機械的手法で絶縁被膜を形成する場合は、金属磁性体粒子と絶縁材料粉末とを回転容器に投入し、メカノケミカル処理により粒子複合化を行い、これにより磁性体粉末の表面に絶縁被膜を被覆形成することができる。
(C)磁性体シートの作製
 次に、樹脂材料を準備する。樹脂材料としては、特に限定されるものではなく、例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリエステル樹脂、ポリイミド樹脂、ポリオレフィン樹脂等を使用することができる。
 続いて、絶縁被膜で被覆された金属磁性体粒子及びその他のフィラー成分(ガラス材、セラミック粉末、フェライト粉末等)を樹脂材料と混合させてスラリー化し、次いで、ドクターブレード法等を使用して成形加工を施し、その後乾燥させ、これによりフィラー成分が樹脂材料中に分散した厚みが50μm以上300μm以下の磁性体シートを作製する。
(D)集合基体の作製
 次に、Cuをワイヤ導線とし、絶縁膜18で被覆された平角導線からなるα巻形状のコイル導体16を準備する。必要に応じて、コイル導体16の末端から50μmの領域の絶縁膜18を、ニッパー形状の挟みで除去する。これにより、コイル導体16の延伸方向を中心軸として環状に絶縁膜18で覆われていない部分である絶縁膜除去部30が形成される。なお、絶縁膜18の除去は、加熱による焼き飛ばしにより形成することができ、また、薬液やレーザーによる溶解であってもよい。このとき、コイル導体16の第1の引出部22aおよび第2の引出部22bに予め凹部28を設けておいてもよい。
 続いて、コイル導体16が埋設された素体12を製造する。
 図16はコイル部品の製造方法において、第1の成形体を製造する実施の形態を示す製造工程図である。図17はコイル部品の製造方法において、集合基体を製造する実施の形態を示す製造工程図である。
 まず、図16(a)に示すように、第1の金型60を用意し、その第1の金型60の上にコイル導体16をマトリックス状に配置する。
 次に、図16(b)に示すように、これらのコイル導体16上に、第1の金属磁性体粒子、第2の金属磁性体粒子および樹脂材料を含む混合物の第1の磁性体シート70aを重ね、次いで、図16(c)に示すように、第1の磁性体シート70aの上面側に、第2の金型62を配置させる。そして、図16(d)に示すように、第1の磁性体シート70aを第1の金型60上のコイル導体16と第2の金型62とで挟持させて1次プレス成形を行う。この1次プレス成形により、コイル導体16の少なくとも一部分は、上記シート中に埋め込まれ、コイル導体16の内部に混合物が充填されて、第1成形体72が作製される。
 次に、図17(a)に示すように、1次プレス成形により得られたコイル導体16が埋め込まれた第1成形体72を第2の金型62から離脱させ、第1成形体72を裏返し、第1の金型60の上に第1成形体72を配置させる。そして、コイル導体16が露出した面に別の第2の磁性体シート70bを重ねる。次いで、図17(b)に示すように、第2の磁性体シート70bの上面側に、第3の金型64を配置させる。そして、図17(c)に示すように、第2の磁性体シート70bを、第1の金型60上の第1成形体72と第3の金型64とで挟持させ、2次プレスを行う。
 なお、第3の金型64は、各引出部に対応する部分に凸部64a,64bが配置されていてもよい。凸部64a,64bが配置されていれば、2次プレス時に、この凸部64a,64bは、第2の磁性体シートを介して引出部周辺により圧力をかけうることができる。従って、これにより、図17(c)に示す2次プレスにおいて、コイル導体16の第1の引出部22aの表面および第2の引出部22bの表面に、金属磁性体粒子15および絶縁膜18をめり込ませることができる。
 なお、2次プレスにおいて、加圧時の圧力を調整する、または、引出部表面に予め凹部を設けておくことで、金属磁性体粒子をめり込ませるように配置させることもできる。
 続いて、2次プレス後に、図17(d)に示すように、第3の金型64を離脱させて、コイル導体16の全体が第1の磁性体シート70aおよび第2の磁性体シート70b中に埋め込まれた集合基体(第2成形体)74が作製される。
(E)素体の作製
 次に、第1の金型60および第3の金型64を離脱させ、図17(d)に示すように、集合基体74が作製された後、ダイサー等の切断具を使用し、集合基体74を切断線に沿って切断して個片化し、これによりコイル導体16の第1の露出部24aおよび第2の露出部24bが素体12の両端面から露出するようにコイル導体16が埋設された素体12を作製する。集合基体74の各素体12への分割は、ダイシングブレード、各種レーザー装置、ダイサー、各種刃物、金型を用いて行うことができる。好ましい態様において、各素体12の切断面は、バレル研磨される。
 次に、上記で得られた素体の全面に、保護層50を形成する。保護層50は、電着塗装、スプレー法、ディップ工法等により形成することができる。
 上記で得られた保護層50で被覆された素体12のコイル導体16における第1の露出部24aおよび第2の露出部24bが配置される箇所周辺にレーザーを照射することによって、コイル導体16における第1の露出部24aおよび第2の露出部24bが配置される箇所周辺の絶縁膜18、金属磁性体粒子15および金属磁性体粒子15を被覆している絶縁被膜、ならびに保護層50を除去し、また、金属磁性体粒子15を溶融させる。なお、保護層50の除去する方法は、レーザー照射以外に、薬品により溶融させたり、加熱したり、剥ぎ取ったり、ブラスト処理や研磨等を用いて除去することもできる。
(F)外部電極の形成
 次に、素体12の第1の端面12eに第1の外部電極40aが形成され、第2の端面12fに第2の外部電極40bが形成される。
 まず、素体12を電解バレルめっきによりCuめっきを行い、めっき層としての下地電極層が形成される。続いて、下地電極層の表面にNiめっきによりNiめっき層を形成し、さらにSnめっきによりSnめっき層が形成され、外部電極40が形成される。これにより、コイル導体16の第1の露出部24aは、第1の外部電極40aと電気的に接続され、コイル導体16の第2の露出部24bは、第2の外部電極40bと電気的に接続される。なお、Cuめっきによる下地電極層は、無電解めっきにより形成されてもよい。下地電極層が電解めっきあるいは無電解めっきにより形成されることで、下地電極層を構成する結晶粒子43の平均結晶粒径bを、コイル導体16を構成する結晶粒子17の平均結晶粒径aよりも小さくすることができる。電解バレルめっきにより形成する場合は、メディアを小さくするか、あるいは、電流値を低くすることで電流密度を低下させることで、下地電極層を構成する結晶粒子43の大きさを小さくし、所望の平均結晶粒径bとすることができる。また、電解めっきあるいは無電解めっきにより下地電極層を形成する場合、所望の平均結晶粒径bを得るために、有機カルボン酸や有機スルホン酸等の添加剤を含有させることで結晶粒子43の大きさを小さくしてもよい。
 上述のようにして、コイル部品10が製造される。
 なお、素体12の内部のコイル導体16の巻回部20における導線の表面に形成される凹部において、磁性体部14の金属磁性体粒子15が配置されてもよい。
 絶縁膜18を除去したコイル導体16の第1の露出部24aの表面および第2の露出部24bの表面に形成される凹部28に磁性体部14の金属磁性体粒子15が配置されることで、金属磁性体粒子15によるアンカー効果が生ずることにより、磁性体部14とコイル導体16との接合強度を向上させることができる。
 また、コイル導体16と外部電極40とが直接接合しているので、電気抵抗を低減させることができる。
 なお、以上のように、本発明の実施の形態は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
 すなわち、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施の形態に対し、機序、形状、材質、数量、位置又は配置等に関して、様々の変更を加えることができるものであり、それらは、本発明に含まれるものである。
 10、510 コイル部品
 12、112、212、512 素体
 12a、112a、212a、512a 第1の主面
 12b、112b、212b、512b 第2の主面
 12c、112c、212c、512c 第1の側面
 12d、112d、212d、512d 第2の側面
 12e、112e、212e、512e 第1の端面
 12f、112f、212f、512f 第2の端面
 14、114、214、514 磁性体部
 15 金属磁性体粒子
 16、116、216、516 コイル導体
 17 コイル導体を構成する結晶粒子
 18 絶縁膜
 20、120、220、520 巻回部
 22a、122a、222a、522a 第1の引出部
 22b、122b、222b、522b 第2の引出部
 24a、124a、224a、524a 第1の露出部
 24b、124b、224b、524b 第2の露出部
 26a1、26a2、26a3、26a4、26b1、26b2、26b3、26b4 表面
 28 凹部
 30 絶縁膜除去部
 32 凹凸部
 34 窪み部
 36 溝部
 40 外部電極
 40a 第1の外部電極
 40b 第2の外部電極
 42a 第1の下地電極層
 42b 第2の下地電極層
 43 下地電極層を構成する結晶粒子
 44a 第1のめっき層
 44b 第2のめっき層
 46a 第1のNiめっき層
 46b 第2のNiめっき層
 48a 第1のSnめっき層
 48b 第2のSnめっき層
 50 保護層
 60 第1の金型
 62 第2の金型
 64 第3の金型
 70a 第1の磁性体シート
 70b 第2の磁性体シート
 72 第1成形体
 74 集合基体
 a コイル導体を構成する結晶粒子の平均結晶粒径
 b 下地電極層を構成する結晶粒子の平均結晶粒径
 x 加圧方向(高さ方向)
 y 幅方向
 z 長さ方向

Claims (10)

  1.  絶縁膜により被覆された導線が巻回されて形成されるコイル導体と、
     金属磁性体粒子と樹脂とを含有する磁性体部と、
    を備えた素体と、
     前記コイル導体の引出部の前記素体の表面に露出する露出面と電気的に接続されて前記素体の表面に配置された外部電極と、
    を備えるコイル部品であって、
     前記外部電極は、少なくとも1層以上の層から構成され、
     前記コイル導体を構成する結晶粒子の平均結晶粒径をaとし、前記コイル導体と直接接続される前記外部電極の前記層を構成する結晶粒子の平均結晶粒径をbとしたとき、a>bであることを特徴とする、コイル部品。
  2.  前記コイル導体と直接接続される前記外部電極の前記層は、めっき層であることを特徴とする、請求項1に記載のコイル部品。
  3.  前記コイル導体を構成する金属成分と前記コイル導体と接続される前記外部電極の前記層を構成する金属成分との主成分が同一の組成の金属成分であることを特徴とする、請求項1または請求項2に記載のコイル部品。
  4.  0.5≧b/aであることを特徴とする、請求項1ないし請求項3のいずれかに記載のコイル部品。
  5.  前記コイル導体の引出部には、前記絶縁膜を有さない絶縁膜除去部が設けられており、
     前記絶縁膜除去部と前記外部電極とが、直接、接続されていることを特徴とする、請求項1ないし請求項4のいずれかに記載のコイル部品。
  6.  前記露出面の表面に凹凸部が形成されることを特徴とする、請求項1ないし請求項5のいずれかに記載のコイル部品。
  7.  前記露出面の周辺の前記素体に、前記コイル導体と前記磁性体部との平均距離が、前記コイル導体が前記素体の表面に引き出される方向に向かって大きくなるような窪み部が形成されることを特徴とする、請求項1ないし請求項6のいずれかに記載のコイル部品。
  8.  前記露出面に、深さ5μm以上100μm以下の溝部が形成されることを特徴とする、請求項1ないし請求項7のいずれかに記載のコイル部品。
  9.  前記コイル導体の引出部が前記素体の実装面に引き出され、
     前記コイル導体の引出部の表面のうち、前記素体の実装面に対して垂直に配置された表面に複数の凹部が形成され、
     前記凹部には前記金属磁性体粒子が配置されていることを特徴とする、請求項1ないし請求項8のいずれかに記載のコイル部品。
  10.  前記コイル導体の引出部が前記素体の実装面に引き出され、
     前記コイル導体の引出部の延伸方向が前記素体の実装面と平行であることを特徴とする、請求項1ないし請求項9のいずれかに記載のコイル部品。

     
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