WO2021166344A1 - センシングシステム、および、測距システム - Google Patents

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WO2021166344A1
WO2021166344A1 PCT/JP2020/042717 JP2020042717W WO2021166344A1 WO 2021166344 A1 WO2021166344 A1 WO 2021166344A1 JP 2020042717 W JP2020042717 W JP 2020042717W WO 2021166344 A1 WO2021166344 A1 WO 2021166344A1
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signal
pixels
synchronization
counters
counter
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PCT/JP2020/042717
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慶 中川
克彦 半澤
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ソニーグループ株式会社
ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社
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    • H04N25/70SSIS architectures; Circuits associated therewith
    • H04N25/76Addressed sensors, e.g. MOS or CMOS sensors
    • H04N25/77Pixel circuitry, e.g. memories, A/D converters, pixel amplifiers, shared circuits or shared components

Definitions

  • This technology is related to sensing systems. More specifically, the present invention relates to a sensing system and a distance measuring system that count the number of pulses.
  • SPAD Single Photon Avalanche Diode
  • This SPAD is an avalanche photodiode that is sensitive enough to detect one photon.
  • a solid-state image sensor in which a pixel that generates a pulse signal using SPAD and a counter that counts the number of the pulse signals within the exposure period are arranged has been proposed (see, for example, Patent Document 1).
  • the image quality is improved when the image is taken in a dark environment by detecting weak light using a high-sensitivity SPAD.
  • a distance measuring sensor using infrared rays or a laser for distance measurement because the power consumption and cost of the system will increase.
  • This technology was created in view of this situation, and aims to measure the distance to an object in a system that captures image data without adding a distance measuring sensor.
  • the present technology has been made to solve the above-mentioned problems, and the first aspect thereof is a light emitting unit that irradiates irradiation light in synchronization with a light emission control signal having a frequency higher than a predetermined vertical synchronization signal.
  • Each of which is a sensing system including a predetermined number of pixels for generating a pulse signal by photoelectric conversion, and a counting unit for counting the number of the pulse signals in synchronization with each of the light emission control signal and the vertical synchronization signal. .. This has the effect of performing imaging and ranging of image data.
  • the counting unit has a first counter that counts the pulse signal in synchronization with the light emission control signal and a second counter that counts the pulse signal in synchronization with the vertical synchronization signal. And may be provided. This has the effect that distance measurement is performed based on the count value of the counter.
  • the counting unit sequentially performs a process of counting the pulse signal in synchronization with the light emission control signal and a process of counting the pulse signal in synchronization with the vertical synchronization signal.
  • a 1 counter and a second counter that counts the pulse signal in synchronization with the vertical synchronization signal may be provided. This has the effect of reducing the number of counters.
  • the pixel array unit in which the predetermined number of pixels are arranged is divided into a plurality of pixel blocks, the counting unit is provided for each pixel block, and the first counter is described.
  • the logical sum of the pulse signals from each of the pixels in the pixel block may be counted. This has the effect of measuring the distance for each pixel block.
  • first counters and five second counters may be arranged for each pixel block. This has the effect that the distance is measured based on the four count values.
  • first counters and one second counter may be arranged for each pixel block. This has the effect of widening the distance range that can be measured.
  • the pixel array unit in which the predetermined number of pixels are arranged is divided into a plurality of pixel blocks, each of the plurality of pixel blocks is divided into a plurality of areas, and the counting unit is divided into a plurality of areas.
  • the first counter may be provided in association with each of the plurality of areas, and may count the logical sum of the pulse signals from each of the pixels in the corresponding area. This has the effect of measuring the distance from the count value for each area.
  • nine pixels may be arranged in each of the plurality of areas. This has the effect of counting the logical sum of the pulse signals for 9 pixels.
  • four pixels may be arranged in each of the plurality of areas. This has the effect of counting the logical sum of the pulse signals for four pixels.
  • four areas may be arranged in the pixel block. This has the effect of measuring the distance from the respective counts in the two areas.
  • two areas may be arranged in the pixel block. This has the effect that the distance is measured from the count values of each of the four areas.
  • the first counter may count the logical sum of the pulse signals of each of the set number of pixels among the pixels in the pixel block. This has the effect of changing the data size of the count value.
  • the counting unit sequentially performs a process of counting the pulse signal in synchronization with the light emission control signal and a process of counting the pulse signal in synchronization with the vertical synchronization signal. It may be provided with a number counter. This has the effect of reducing the number of counters.
  • the counting unit may include nine counters. This has the effect of measuring the distance from nine counts.
  • the counting unit may include four counters. This has the effect of measuring the distance from the four count values.
  • a pixel drive unit for supplying an enable signal in which each of a plurality of set values is sequentially set as a phase difference from the light emission control signal is further provided, and the counter serves as the enable signal.
  • the pulse signal may be supplied in synchronization. This has the effect of improving the distance measurement accuracy.
  • the second aspect of the present technology is a light emitting unit that irradiates irradiation light in synchronization with a light emission control signal having a frequency higher than that of a predetermined vertical synchronization signal, and a predetermined number of pixels that each generate a pulse signal by photoelectric conversion.
  • a counting unit that counts the number of pulse signals in synchronization with each of the light emission control signal and the vertical synchronization signal, and a ranging unit that measures the distance to an object based on the counting value of the counting unit. It is a distance measuring system provided. As a result, the image data is imaged, and the distance measurement is executed based on the counted value.
  • the third aspect of the present technology is a light emitting unit that irradiates irradiation light based on a light emission control signal, a plurality of pixels that each generate a pulse signal by photoelectric conversion, and a number of pulse signals of the plurality of pixels.
  • the counting unit is connected to a plurality of counters, the plurality of pixels, and the plurality of counters, and receives a plurality of pulse signals output from the plurality of pixels, and is arbitrarily provided.
  • the plurality of counters are provided with an output destination control circuit for distributing the plurality of pulse signals, the plurality of pixels are provided on the first chip, and the output control circuit and the counting unit are provided on the second chip. It is a sensing system that can be used. As a result, in the sensing system of the laminated structure, the image data is captured and the distance measurement is performed.
  • First Embodiment Example of counting in synchronization with a light emission control signal and a vertical synchronization signal
  • Second embodiment an example in which one counter counts in synchronization with a light emission control signal and a vertical synchronization signal
  • Third embodiment example in which all counters count in synchronization with the light emission control signal and the vertical synchronization signal
  • Fourth embodiment an example in which eight counters count in synchronization with a light emission control signal and a vertical synchronization signal
  • FIG. 1 is a block diagram showing a configuration example of the distance measuring system 100 according to the first embodiment of the present technology.
  • the ranging system 100 is for capturing and measuring image data.
  • the ranging system 100 includes a light emitting unit 110, a driver 120, a controller 130, a solid-state image sensor 200, a processor 140, and an application processor 150.
  • Each of the elements in the distance measuring system 100 may be arranged in one electronic device, or may be dispersedly arranged in a plurality of devices.
  • the light emitting unit 110, the driver 120, the controller 130, the solid-state image sensor 200, and the processor 140 are arranged in the image pickup device, and the application processor 150 is arranged in the image processing device. ..
  • the light emitting unit 110 emits light according to the light emission control signal LCLK from the driver 120 and irradiates the irradiation light.
  • the irradiation light For example, near-infrared light is used as the irradiation light.
  • the driver 120 generates a predetermined periodic signal as a light emitting control signal LCLK according to the control of the controller 130 and supplies it to the light emitting unit 110.
  • the controller 130 operates the driver 120 and the processor 140 in synchronization with each other.
  • the distance measuring system is set with a plurality of modes including a distance measuring mode for measuring the distance to an object and an imaging mode for capturing image data.
  • the controller 130 causes the driver 120 to generate the light emission control signal LCLK, and causes the processor 140 to generate the same signal as the light emission control signal LCLK as the light emission control signal LCLK'.
  • the controller 130 stops the driver 120 and causes the processor 140 to generate the vertical synchronization signal VSYNC.
  • the frequency of the vertical synchronization signal VSYNC is, for example, 30 hertz (Hz) or 60 hertz (Hz).
  • the frequency of the light emission control signal LCLK is higher than that of the vertical synchronization signal VSYNC, for example, 10 to 20 MHz (MHz).
  • the processor 140 controls the solid-state image sensor 200 and the application processor 150.
  • the processor 140 generates a light emission control signal LCLK'in the distance measuring mode, supplies it to the solid-state image sensor 200, and receives a depth map from the solid-state image sensor 200.
  • the processor 140 in the image pickup mode, the processor 140 generates a vertical synchronization signal VSYNC and supplies it to the solid-state image sensor 200, and receives image data from the solid-state image sensor 200. Then, the processor 140 supplies the depth map and the image data to the application processor 150.
  • the application processor 150 performs predetermined processing such as image recognition processing based on image data and depth map.
  • the solid-state image sensor 200 generates image data or a depth map by photoelectric conversion.
  • the solid-state image sensor 200 photoelectrically converts the reflected light with respect to the irradiation light in synchronization with the light emission control signal LCLK'to generate a depth map.
  • the solid-state image sensor 200 performs photoelectric conversion of the incident light in synchronization with the vertical synchronization signal VSYNC to generate image data.
  • the solid-state image sensor 200 supplies image data and a depth map to the processor 140.
  • the system including the solid-state image sensor 200 is an example of the sensing system described in the claims.
  • the solid-state image sensor 200 may have a part or all of the functions of the processor 140 and the application processor 150.
  • FIG. 2 is a diagram showing an example of a laminated structure of the solid-state image sensor 200 according to the first embodiment of the present technology.
  • the solid-state image sensor 200 includes a circuit chip 202 and a pixel chip 201 laminated on the circuit chip 202. These chips are electrically connected via a connection such as a via. In addition to vias, it can also be connected by Cu-Cu bonding or bumps. It can also be connected by these other methods (magnetic coupling, etc.). Further, although two chips are laminated, three or more layers can be laminated.
  • FIG. 3 is a block diagram showing a configuration example of the solid-state image sensor 200 according to the first embodiment of the present technology.
  • the solid-state image sensor 200 includes a pixel drive unit 210, a vertical scanning circuit 220, a pixel array unit 230, a column buffer 240, a signal processing circuit 250, and an output unit 260.
  • a plurality of pixels are arranged in a two-dimensional grid pattern in the pixel array unit 230. Further, the pixel array unit 230 is divided into a plurality of pixel blocks 300.
  • the pixel drive unit 210 drives the pixel block in the pixel array unit 230 in synchronization with the light emission control signal LCLK'to count the number of pulses.
  • the vertical scanning circuit 220 selects the rows of pixels in order in synchronization with the vertical synchronization signal VSYNC, and outputs the count value to the column buffer 240.
  • the column buffer 240 holds the count value for each pixel.
  • the signal processing circuit 250 performs predetermined signal processing on the data in which the count values are arranged. For example, in the distance measuring mode, the signal processing circuit 250 obtains the distance for each pixel block 300 based on the count value, and generates a depth map in which the data of those distances are arranged. Further, in the imaging mode, the signal processing circuit 250 uses the count value for each pixel as pixel data, generates image data in which they are arranged, and performs various image processing on the image data. Then, the signal processing circuit 250 supplies the depth map and the image data to the processor 140.
  • FIG. 4 is a block diagram showing a configuration example of the pixel block 300 according to the first embodiment of the present technology.
  • the pixel block 300 includes pixels 310, pixels 321 to 328, output destination control circuits 370, counters 331 to 343, and switches 351 to 363.
  • Pixel 310 generates a pulse signal using SPAD.
  • the pixel 310 supplies the pulse signal P1 to the output destination control circuit 370 and the counter 335.
  • the configuration of the pixels 321 to 328 is the same as that of the pixel 310.
  • These 9 pixels are arranged in, for example, 3 rows ⁇ 3 columns.
  • vertical signal lines 309 are wired for each row.
  • the vertical signal line in the n (n is an integer) column is 309-n.
  • Pixel 321 generates a pulse signal P2 and supplies it to the output destination control circuit 370 and the counter 336.
  • the pixel 322 generates a pulse signal P3 and supplies it to the output destination control circuit 370 and the counter 337.
  • the pixel 323 generates a pulse signal P4 and supplies it to the output destination control circuit 370 and the counter 338.
  • the pixel 324 generates a pulse signal P5 and supplies it to the output destination control circuit 370 and the counter 339.
  • the pixel 325 generates a pulse signal P6 and supplies it to the output destination control circuit 370 and the counter 340.
  • the pixel 326 generates a pulse signal P7 and supplies it to the output destination control circuit 370 and the counter 341.
  • the pixel 327 generates a pulse signal P8 and supplies it to the output destination control circuit 370 and the counter 342.
  • the pixel 328 generates the pulse signal P9 and supplies it to the output destination control circuit 370 and the counter 343.
  • the output destination control circuit 370 controls the output destinations of the pulse signals P1 to P9.
  • the output destination control circuit 370 generates a signal of the logical sum of the pulse signals P1 to P9 in synchronization with the enable signals EN1 to EN4 from the pixel drive unit 210, and inputs the signals to the counters 331 to 334.
  • the signal to the counter 331 is the input signal CIN1
  • the signal to the counter 332 is the input signal CIN2.
  • the signal to the counter 333 is referred to as an input signal CIN3
  • the signal to the counter 334 is referred to as an input signal CIN4.
  • no signal is output from the output destination control circuit 370 to the counter.
  • the counter 331 counts the number of input signals CIN1. Since the input signal CIN1 is the logical sum of the pulse signals of each pixel in the pixel block 300, the count value indicates the number of photons incident in the pixel block 300. The counter 331 outputs the count value as CNT 1 to the switch 351.
  • the configuration of the counters 332 to 334 is the same as that of the counter 331.
  • the counters 332 to 334 output the count values of the input signals CIN2 to CIN4 to the switches 352 to 354 as CNT2 to CNT4.
  • the counter 335 counts the number of pulse signals P1.
  • the counter 335 outputs the count value to the switch 355 as CNT5.
  • the configuration of the counters 336 to 343 is the same as that of the counter 335.
  • the counters 336 to 343 output the count values of the pulse signals P2 to P9 as CNTs 6 to 13 to the switches 356 to 363.
  • the reset signals RST1 to RST13 from the vertical scanning circuit 220 are input to the counters 331 to 343.
  • the count value of the counter is initialized by this reset signal.
  • the pixel drive unit 210 may supply the reset signal instead of the vertical scanning circuit 220.
  • the switch 351 outputs the count value CNT1 to the column buffer 240 via the vertical signal line 309-n according to the selection signal SELn from the vertical scanning circuit 220.
  • the configuration of switches 352 to 363 is the same as that of switch 351.
  • the switches 353, 355, 358 and 361 output the count value to the column buffer 240 via the vertical signal line 309-n according to the selection signal SELn, for example.
  • the switches 352, 356, 359 and 362 output the count value to the column buffer 240 via the vertical signal line 309- (n + 1) according to the selection signal SEL (n + 1), for example.
  • the switches 354, 357, 360 and 363 output the count value to the column buffer 240 via the vertical signal line 309- (n + 2) according to the selection signal SEL (n + 2), for example.
  • the number of pixels in the pixel block 300 is not limited to 9 pixels, and may be 4 pixels or the like as described later.
  • the counter is provided for each pixel, the counter can be arranged for each column. In this case, the vertical scanning circuit 220 selects the rows in order, and the counter group counts the pulse signals from the selected rows.
  • FIG. 5 is a circuit diagram showing a configuration example of the pixel 310 according to the first embodiment of the present technology.
  • the pixel 310 includes a SPAD 311 and a resistor 312 and an inverter 313.
  • SPAD311 generates a photocurrent by photoelectric conversion and avalanche amplifies it.
  • the resistor 312 and SPAD311 are connected in series between the power supply terminal and the ground terminal.
  • the inverter 313 inverts the potentials at the connection points of the resistor 312 and SPAD311 and outputs the pulse signal P1 to the output destination control circuit 370.
  • the SPAD 311 is provided on the pixel chip 201, and the resistor 312, the inverter 313, and the subsequent circuit (output destination control circuit 370 or the like) are provided on the circuit chip 202.
  • the entire pixel 310 may be provided on the pixel chip 201.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view showing a configuration example of the pixel 310 according to the first embodiment of the present technology. As illustrated in the figure, the light focused by the microlens 105 is input to each layer in the pixel 310.
  • the configuration of the region other than the microlens 105 is, for example, the same as that described in paragraphs 0024 to 0053 of JP-A-2018-88488.
  • FIG. 7 is a circuit diagram showing a configuration example of the output destination control circuit 370 according to the first embodiment of the present technology.
  • the output destination control circuit 370 includes OR (logical sum) gates 371 to 374 and AND (logical product) gates 381 to 384.
  • the OR gate 371 outputs the logical sum of the pulse signals P1 to P9 to the AND gate 381.
  • the OR gate 372 outputs the logical sum of the pulse signals P1 to P9 to the AND gate 382.
  • the OR gate 373 outputs the logical sum of the pulse signals P1 to P9 to the AND gate 383.
  • the OR gate 374 outputs the logical sum of the pulse signals P1 to P9 to the AND gate 384. If each of the pulse signals P1 to P9 is output at substantially the same time, the signal after the OR gate 371 is ORed becomes one, and a miscount occurs. Therefore, the number of inputs of the OR gate 371 may be reduced by wiring, such as only an even number (P2, P4, etc.), an odd number (P1, P3, etc.), or 1/3 pixel. The same applies to an OR gate such as an OR gate 372.
  • the AND gate 381 outputs the logical product of the signal from the OR gate 371 and the enable signal EN1 from the pixel drive unit 210 as an input signal CIN1 to the counter 331.
  • the AND gate 382 outputs the logical product of the signal from the OR gate 372 and the enable signal EN2 from the pixel drive unit 210 to the counter 332 as an input signal CIN2.
  • the AND gate 383 outputs the logical product of the signal from the OR gate 373 and the enable signal EN3 from the pixel drive unit 210 to the counter 333 as an input signal CIN3.
  • the AND gate 384 outputs the logical product of the signal from the OR gate 374 and the enable signal EN4 from the pixel drive unit 210 to the counter 334 as an input signal CIN4.
  • the enable signal EN1 is the same signal as the light emission control signal LCLK.
  • the enable signal EN2 is a signal in which the phase of the light emission control signal LCLK is shifted by 90 degrees.
  • the enable signal EN3 is a signal in which the phase of the light emission control signal LCLK is shifted by 180 degrees.
  • the enable signal EN4 is a signal in which the phase of the light emission control signal LCLK is shifted by 270 degrees.
  • the enable signals EN1 to EN4 are signals having a phase difference of 0 degrees, 90 degrees, 180 degrees, and 270 degrees from the light emission control signal LCLK.
  • the counter 331 can count the number of pulses (in other words, the number of photons) in the pixel block 300 in synchronization with the enable signal EN1 having a phase difference of 0 degrees. Further, the counter 332 can count the number of pulses in the pixel block 300 in synchronization with the enable signal EN2 having a phase difference of 90 degrees. The counter 333 can count the number of pulses in the pixel block 300 in synchronization with the enable signal EN3 having a phase difference of 180 degrees. The counter 334 can count the number of pulses in the pixel block 300 in synchronization with the enable signal EN3 having a phase difference of 270 degrees.
  • the signal processing circuit 250 obtains the distance by the following equation based on, for example, the count values CNT1 to CNT4 of the counters 331 to 334.
  • d (c / 4 ⁇ f) ⁇ tan -1 ⁇ ⁇ (CNT2-CNT4) / (CNT1-CNT3) ⁇ ... Equation 1
  • d is a distance and the unit is, for example, meters (m).
  • c is the speed of light, and the unit is, for example, meters per second (m / s).
  • tan -1 is the inverse of the tangent function.
  • the value of (CNT2-CNT4) / (CNT1-CNT3) indicates the phase difference between the irradiation light and the reflected light.
  • indicates the pi.
  • f is the frequency of the irradiation light, and the unit is, for example, megahertz (MHz).
  • the distance measuring method that calculates the distance based on the flight time of light is called the ToF (Time of Flight) method.
  • FIG. 8 is a diagram showing an example of the correspondence between the circuits provided in each of the pixel chip 201 and the circuit chip 202 in the first embodiment of the present technology. As illustrated in the figure, for each pixel block 300, 9 pixels of SPAD are arranged on the pixel chip 201. Further, 13 counters are arranged on the circuit chip 202 for each pixel block 300. In the figure, circuits other than the counter in the circuit chip 202 (output destination control circuit 370 and the like) are omitted.
  • FIG. 9 is a diagram for explaining the operation of the counter in the first embodiment of the present technology.
  • Counters # 1 to 4 in the figure indicate counters 331 to 334.
  • Counters # 5 to 13 indicate counters 335 to 343.
  • the counters # 1 to 4 count the number of pulses in the pixel block 300 in synchronization with the enable signals EN1 to EN4 having phase differences of 0 degrees, 90 degrees, 180 degrees, and 270 degrees.
  • the counters # 5 to 13 stop counting.
  • counters # 5 to 13 count the number of pulses of the corresponding pixel in synchronization with the vertical synchronization signal VSYNC.
  • the counters # 1 to 4 stop counting.
  • FIG. 10 is a timing chart showing an example of the operation of the distance measuring mode of the solid-state image sensor 200 according to the first embodiment of the present technology. It is assumed that the distance measuring mode is set at the timing T0.
  • the processor 140 stops the supply of the vertical synchronization signal VSYNC.
  • the vertical scanning circuit 220 supplies the reset signal RST to the counters 331 to 334 to initialize the count value.
  • the driver 120 starts supplying the light emission control signal LCLK, and the light emitting unit 110 emits light in synchronization with the signal.
  • the pixel drive unit 210 starts supplying the enable signal EN1 having a phase difference of 0 degrees from the light emission control signal LCLK.
  • the pixel drive unit 210 starts supplying the enable signal EN2 having a phase difference of 90 degrees.
  • the pixel drive unit 210 starts supplying the enable signal EN3 having a phase difference of 180 degrees.
  • the pixel drive unit 210 starts supplying the enable signal EN4 having a phase difference of 270 degrees.
  • the vertical scanning circuit 220 outputs the count value by the selection signal.
  • the signal processing circuit 250 calculates the distance for each pixel block 300 using Equation 1 based on the counted values.
  • FIG. 11 is a timing chart showing an example of the operation of the image pickup mode of the solid-state image pickup device 200 according to the first embodiment of the present technology. It is assumed that the imaging mode is set at the timing T10. The processor 140 starts supplying the vertical synchronization signal VSYNC after the timing T11.
  • the driver 120 stops the supply of the light emission control signal LCLK, and the pixel drive unit 210 stops the supply of the enable signals EN1 to EN4.
  • the vertical scanning circuit 220 supplies the reset signal RST to the counters 335 to 343 to initialize the count value. Then, during the exposure period of the timings T12 to T13 synchronized with the vertical synchronization signal VSYNC, the vertical scanning circuit 220 stops the supply of the reset signal RST. During this period, the counters 335 to 343 count the number of pulses, and the vertical scanning circuit 220 outputs the counted value by the selection signal.
  • the signal processing circuit 250 generates image data in which the count values are arranged.
  • FIG. 12 is an example of an overall view of the distance measuring system 100 according to the first embodiment of the present technology.
  • the pixel block 300 circuits other than the pixels 310 and the pixels 321 to 328 are arranged in the counting unit 330.
  • the light emitting unit 110 irradiates the irradiation light in synchronization with the light emission control signal LCLK having a higher frequency than the vertical synchronization signal VSYNC. Further, each of the pixels such as the pixel 310 generates a pulse signal by photoelectric conversion.
  • the output destination control circuit 370 supplies the logical sum of the pulse signals in the pixel block 300 to the counters 331 to 334 in synchronization with the enable signals EN1 to EN4.
  • the counters 331 to 334 count the signals of the OR.
  • the enable signal is a signal whose phase difference from the light emission control signal LCLK is a predetermined value (0 degree or 90 degree), so that the count values of the counters 331 to 334 are synchronized with the light emission control signal LCLK. It is the value obtained by counting the number of pulses.
  • the counters 331 to 334 are examples of the first counter described in the claims.
  • the counters 335 to 343 count the number of pulse signals of the corresponding pixels in synchronization with the vertical synchronization signal VSYNC.
  • the counters 335 to 343 are examples of the second counter described in the claims.
  • the counting unit 330 is provided with counters 335 to 343 that perform counting in synchronization with the vertical synchronization signal VSYNC, and counters 331 to 334 that perform counting in synchronization with the light emission control signal LCLK. ..
  • the solid-state image sensor 200 can perform distance measurement by the ToF method in addition to imaging image data. Further, since the solid-state image sensor 200 itself can measure the distance, it is not necessary to add a distance measuring sensor using infrared rays or a laser. Therefore, the power consumption and cost of the distance measuring system 100 can be suppressed as compared with the case where the distance measuring sensor is added separately.
  • FIG. 13 is a flowchart showing an example of the operation of the distance measuring system 100 according to the first embodiment of the present technology. This operation is started, for example, when an application for performing distance measurement and imaging is executed.
  • the distance measuring system 100 shifts to the distance measuring mode, and the light emitting unit 110 irradiates the irradiation light in synchronization with the light emission control signal LCLK (step S901). Further, the counters 331 to 334 count the number of pulses in synchronization with the light emission control signal LCLK (step S902). Then, the signal processing circuit 250 measures the distance based on the counted value and generates a depth map (step S903).
  • the ranging system 100 shifts to the imaging mode, and the solid-state imaging device 200 switches to the counters 335 to 343 and counts the number of pulses within the exposure period synchronized with the vertical synchronization signal (step S904).
  • the signal processing circuit 250 performs image processing such as face recognition based on the image data in which the count values are arranged (step S905). After step S905, the ranging system 100 ends its operation.
  • the solid-state image sensor 200 performs image pickup (step S904) after distance measurement (step S903), distance measurement may be performed after image pickup. It is also possible to perform distance measurement and imaging at the same time.
  • the counting unit 330 since the counting unit 330 counts the number of pulses in synchronization with each of the light emission control signal and the vertical synchronization signal, the pixels synchronize with the vertical synchronization signal. It is possible to measure the distance while capturing the image data.
  • the counters 331 to 334 for distance measurement and the counters 335 to 343 for imaging are provided for every 9 pixels, but the number of counters required as the number of pixels increases. Will increase, and the circuit scale will increase.
  • the solid-state image sensor 200 of the second embodiment is different from the first embodiment in that the number of counters is reduced by using a part of the counter for imaging for distance measurement.
  • FIG. 14 is a block diagram showing a configuration example of the pixel block 300 according to the second embodiment of the present technology.
  • the pixel block 300 of the second embodiment is different from the first embodiment in that the counters 340 to 343 and the switches 360 to 363 are not provided.
  • the output destination control circuit 370 of the second embodiment supplies the input signals CIN1 to CIN9 to the counters 331 to 339. Further, the switches 351 and 354 and 357 output the count value via the vertical signal line 309-n. The switches 352, 355 and 358 output the count value via the vertical signal line 309- (n + 1). The switches 353, 356 and 359 output the count value via the vertical signal line 309- (n + 2).
  • FIG. 15 is a circuit diagram showing a configuration example of the output destination control circuit 370 according to the second embodiment of the present technology.
  • the output destination control circuit 370 of the second embodiment is different from the first embodiment in that the selectors 391 to 394 are further provided.
  • the AND gate 381 of the second embodiment supplies the logical product to the selector 391, and the AND gate 382 supplies the logical product to the selector 392.
  • the AND gate 383 supplies the logical product to the selector 393, and the AND gate 384 supplies the logical product to the selector 394.
  • the selector 391 selects either the pulse signal P1 or the signal from the AND gate 381 according to the control signal CTRL1 and supplies it to the counter 331 as the input signal CIN1.
  • pulse signal P2 is directly input to the counter 332 as an input signal CIN2.
  • the selector 392 selects either the pulse signal P3 or the signal from the AND gate 382 according to the control signal CTRL2, and supplies it to the counter 333 as the input signal CIN3.
  • pulse signal P4 is directly input to the counter 334 as an input signal CIN4.
  • the pulse signals P5 and P6 are directly input to the counters 335 and 336 as input signals CIN5 and CIN6.
  • the selector 393 selects either the pulse signal P7 or the signal from the AND gate 383 according to the control signal CTRL3, and supplies it to the counter 337 as the input signal CIN7.
  • pulse signal P8 is directly input to the counter 338 as an input signal CIN8.
  • the selector 394 selects either the pulse signal P9 or the signal from the AND gate 384 according to the control signal CTRL4, and supplies it to the counter 339 as the input signal CIN9.
  • control signals CTRL1 to CTRL4 are supplied from, for example, the pixel drive unit 210.
  • the pixel drive unit 210 controls the selectors 391 to 394 by the control signals CTRL1 to CTRL4 to select the signals from the AND gates 381 to 384.
  • the counters 331, 333, 337 and 339 can count the number of pulses in synchronization with the enable signals EN1 to EN4 having phase differences of 0 degrees, 90 degrees, 180 degrees and 270 degrees. Then, the signal processing circuit 250 performs distance measurement based on those counted values.
  • the pixel drive unit 210 controls the selectors 391 to 394 by the control signals CTRL1 to CTRL4 to select the pulse signals P1, P3, P7 and P9.
  • the counters 331, 333, 337 and 339 together with the remaining counters, count the number of pulses of the corresponding pixel in synchronization with the vertical sync signal.
  • FIG. 16 is a diagram showing an example of the correspondence between the circuits provided in each of the pixel chip 201 and the circuit chip 202 in the second embodiment of the present technology. As illustrated in the figure, for each pixel block 300, 9 pixels of SPAD are arranged on the pixel chip 201. Further, nine counters are arranged on the circuit chip 202 for each pixel block 300.
  • the upper left, upper right, lower left, and lower right counters count the number of pulses in synchronization with the enable signals EN1 to EN4 with phase differences of 0 degrees, 90 degrees, 180 degrees, and 270 degrees. do.
  • each of the nine counters counts the number of pulses of the corresponding pixel in synchronization with the vertical synchronization signal.
  • the four counters used for distance measurement are arranged at the upper left, upper right, lower left and lower right, but the arrangement is not limited to this.
  • FIG. 17 is a diagram for explaining the operation of the counter in the second embodiment of the present technology.
  • Counters # 1 to 9 in the figure indicate counters 331 to 339.
  • the counters # 1, # 3, # 7 and # 9 are synchronized with the enable signals EN1 to EN4 (in other words, the light emission control signal LCLK) having phase differences of 0 degrees, 90 degrees, 180 degrees and 270 degrees. Then, the number of pulses in the pixel block 300 is counted. On the other hand, the remaining counters stop counting.
  • counters # 1 to 9 count the number of pulses of the corresponding pixel in synchronization with the vertical synchronization signal VSYNC.
  • the counters # 1, # 3, # 7 and # 9 synchronize with the light emission control signal LCLK to count the number of pulses in the pixel block 300 and the vertical synchronization signal VSYNC.
  • the process of counting the number of pulses is performed in order.
  • the remaining counters # 2, # 4, # 5, # 6 and # 8 count the number of pulses in synchronization with the vertical sync signal VSYNC.
  • 4 out of 9 counters used for imaging are also used for distance measurement. Therefore, the number of counters can be reduced as compared with the first embodiment in which the nine counters for imaging and the four counters for distance measurement are separately provided.
  • the counters # 1, # 3, # 7 and # 9 are examples of the first counter described in the claims, and the counters # 2, # 4, # 5, # 6 and # 8 are claims. This is an example of the second counter described in the range of.
  • the four counters perform a process of counting the number of pulses in synchronization with the light emission control signal and a process of counting the number of pulses in synchronization with the vertical synchronization signal. In order. This eliminates the need to separately provide a counter for imaging and a counter for distance measurement, so that the number of counters can be reduced.
  • the four counters count the number of pulses in synchronization with the enable signal having a phase difference of 0 to 270 degrees, but in this configuration, the range of the distance that can be measured is measured. May run short.
  • the solid-state image sensor 200 of the third embodiment is different from the second embodiment in that the range of the distance that can be measured is expanded by expanding the range of the phase difference.
  • FIG. 18 is a circuit diagram showing a configuration example of the output destination control circuit 370 according to the third embodiment of the present technology.
  • the output destination control circuit 370 of the third embodiment is different from the second embodiment in that it further includes OR gates 375 to 379, AND gates 385 to 389, and selectors 395 to 399.
  • connection configuration of the OR gates 375 to 379, the AND gates 385 to 389, and the selectors 395 to 399 is the same as that of the OR gate 371, the AND gate 381, and the selector 391.
  • Enable signals EN5 to EN9 are input to the AND gates 385 to 389.
  • the control signals CTRL5 to CRTRL9 are input to the selectors 395 to 399. Further, the selectors 391 to 399 select one of the pulse signals P1 to P9 and the signals from the AND gates 381 to 389, and supply them as input signals CIN1 to CIN9 to the counters 331 to 339.
  • the phase difference of each of the enable signals EN1 to EN9 is set to, for example, 0 degree, 360 degree, 90 degree, 450 degree, 720 degree, 630 degree, 270 degree, 540 degree and 180 degree.
  • the phase difference of the enable signal is set to 0 degrees to 720 degrees, the distance range that the signal processing circuit 250 can measure can be expanded as compared with the case where the phase difference is from 0 degrees to 270 degrees.
  • the signal processing circuit 250 obtains an approximate distance by, for example, a phase difference of 0 to 720 degrees, and then obtains an accurate distance by a phase difference of 0 to 540 degrees. By gradually narrowing the range of the phase difference in this way, the accuracy of the distance can be gradually improved.
  • FIG. 19 is a diagram showing an example of the correspondence between the circuits provided in each of the pixel chip 201 and the circuit chip 202 in the third embodiment of the present technology. As illustrated in the figure, for each pixel block 300, 9 pixels of SPAD are arranged on the pixel chip 201. Further, nine counters are arranged on the circuit chip 202 for each pixel block 300.
  • the upper left, upper right, lower left and lower right counters of the nine counters count the number of pulses in synchronization with the enable signals having phase differences of 0 degrees, 90 degrees, 180 degrees and 270 degrees.
  • the central counter also counts the number of pulses in synchronization with the enable signal with a phase difference of 720 degrees.
  • the central up, down, left, and right counters count the number of pulses in synchronization with enable signals with phase differences of 360, 540, 450, and 630 degrees.
  • FIG. 20 is a diagram for explaining the operation of the counter in the third embodiment of the present technology.
  • the counters # 1 to # 9 have pixels synchronized with enable signals having a phase difference of 0 degrees, 360 degrees, 90 degrees, 450 degrees, 720 degrees, 630 degrees, 270 degrees, 540 degrees, and 180 degrees.
  • the number of pulses in the block 300 is counted.
  • counters # 1 to 9 count the number of pulses of the corresponding pixel in synchronization with the vertical synchronization signal VSYNC.
  • the nine counters are synchronized with the four enable signals in order to count the number of pulses in synchronization with the nine enable signals having different phase differences.
  • the distance range that can be measured can be expanded as compared with the case of counting.
  • FIG. 21 is a circuit diagram showing a configuration example of the output destination control circuit 370 according to the fourth embodiment of the present technology.
  • the output destination control circuit 370 of the fourth embodiment is different from the third embodiment in that the OR gate 375, the AND gate 385, and the selector 395 are reduced. Further, the pulse signal P5 is directly supplied to the counter 335 as an input signal CIN5.
  • FIG. 22 is a diagram showing an example of the correspondence between the circuits provided in each of the pixel chip 201 and the circuit chip 202 in the fourth embodiment of the present technology.
  • the pixel block 300 of the fourth embodiment is different from the third embodiment in that the central counter does not count in the distance measuring mode.
  • FIG. 23 is a diagram for explaining the operation of the counter in the fourth embodiment of the present technology.
  • eight counters other than counter # 5 count the number of pulses in synchronization with the enable signal.
  • the number of counters used for distance measurement has been reduced from nine to eight.
  • the number of data used for distance measurement is reduced, and the processing amount of the signal processing circuit 250 is reduced.
  • the counter other than the counter # 5 is an example of the first counter described in the claims, and the counter # 5 is an example of the second counter described in the claims.
  • the eight counters count the number of pulses in synchronization with the enable signal
  • the nine counters count in synchronization with the enable signal. In comparison, the number of data used for distance measurement can be reduced.
  • the solid-state image sensor 200 of the fifth embodiment is different from the first embodiment in that the signal quality is improved by arranging two or more counters synchronized with the same enable signal.
  • FIG. 24 is a diagram showing an example of a circuit provided in the pixel block 300 according to the fifth embodiment of the present technology.
  • the pixel block 300 is divided into a plurality of areas.
  • the pixel block 300 is divided into a 0 degree area 410, a 90 degree area 420, a 180 degree area 430, and a 270 degree area 440.
  • the 0 degree area 410 nine counters such as the counter 411 are arranged in 3 rows ⁇ 3 columns.
  • the 90 degree area 420 nine counters such as the counter 421 are arranged in 3 rows ⁇ 3 columns.
  • the 180 degree area 430 nine counters such as the counter 431 are arranged in 3 rows ⁇ 3 columns.
  • the 270 degree area 440 nine counters such as the counter 441 are arranged in 3 rows ⁇ 3 columns.
  • the number of pixels for each area is the same as the number of counters (that is, 9).
  • the upper left, upper right, lower left and lower right counters count the number of pulses in the 0 degree area 410 in synchronization with the enable signal having a phase difference of 0 degree.
  • the upper left, upper right, lower left and lower right counters count the number of pulses in the 90 degree area 420 in synchronization with the enable signal having a phase difference of 90 degrees.
  • the 180 degree area 430 the upper left, upper right, lower left and lower right counters count the number of pulses in the 180 degree area 430 in synchronization with the enable signal having a phase difference of 180 degrees.
  • the upper left, upper right, lower left and lower right counters count the number of pulses in the 270 degree area 440 in synchronization with the enable signal with a phase difference of 270 degrees.
  • an output destination control circuit 370 is arranged in each of the 0 degree area 410, the 90 degree area 420, the 180 degree area 430, and the 270 degree area 440. In the figure, the output destination control circuit 370 is omitted. Further, the configuration of the output destination control circuit 370 of the fifth embodiment is the same as that of the second embodiment illustrated in FIG. However, the same enable signal is input to the four counters.
  • each pixel block 300 four count values counted in synchronization with enable signals having the same phase difference are generated.
  • the signal processing circuit 250 calculates the total value or the average value of these four count values, and performs distance measurement using the calculation result. By calculating the sum or average of the four count values, it is possible to reduce signal noise and improve signal quality.
  • the counters at the upper left, upper right, lower left, and lower right of each area are examples of the first counter described in the claims, and the other counters are examples of the second counter described in the claims. Is. Further, the number of areas for each pixel block 300 is not limited to four, and the number of pixels for each area is not limited to nine pixels.
  • each pixel block 300 four counters that count in synchronization with enable signals having the same phase difference are arranged for each pixel block 300, so that the total of the count values and the total of the counters are increased. Signal noise can be reduced by averaging.
  • ⁇ 6. 6th Embodiment> In the fifth embodiment described above, nine pixels are arranged for each area, but in this configuration, the number of pixels in the pixel block 300 is 36, and the resolution of the depth map may be insufficient.
  • the solid-state image sensor 200 of the sixth embodiment is different from the fifth embodiment in that the number of pixels for each area is reduced and the resolution of the depth map is improved.
  • FIG. 25 is a diagram showing an example of a circuit provided in the pixel block 300 according to the sixth embodiment of the present technology.
  • the pixel block 300 of the sixth embodiment is different from the fifth embodiment in that the number of pixels for each area is four.
  • the four pixels are arranged in 2 rows ⁇ 2 columns.
  • a counter that counts the number of pulses in synchronization with the enable signal is arranged in the upper left for each area.
  • the resolution of the depth map can be improved as compared with the fifth embodiment in which the number of pixels for each area is 9 pixels. ..
  • FIG. 26 is a block diagram showing a configuration example of the 0 degree area 410 according to the sixth embodiment of the present technology. Pixels 310, 321 to 323 and a counting unit 330 are arranged in the 0 degree area 410.
  • the output destination control circuit 370, the counters 411 to 414, and the switches 351 to 354 are arranged in the counting unit 330.
  • Pixels 310, 321 to 323 output pulse signals P1 to P4 to the output destination control circuit 370.
  • the output destination control circuit 370 supplies the input signals CIN1 to CIN4 to the counters 411 to 414.
  • the counters 411 to 414 supply the count values CNT1 to CNT4 to the switches 351 to 354.
  • the switches 351 and 353 supply the count value to the vertical signal line 309-n, and the switches 352 and 354 supply the count value to the vertical signal line 309- (n + 1).
  • the configurations of the 90-degree area 420, the 180-degree area 430, and the 270-degree area 440 are the same as those of the 0-degree area 410.
  • FIG. 27 is a circuit diagram showing a configuration example of the output destination control circuit 370 according to the sixth embodiment of the present technology.
  • An OR gate 371, an AND gate 381, and a selector 391 are arranged in the output destination control circuit 370.
  • the connection configuration of the OR gate 371, the AND gate 381, and the selector 391 of the sixth embodiment is the same as that of FIG. 15 of the second embodiment except that the output destination is the counter 411.
  • pulse signals P2 to P4 are directly supplied to the counters 412 to 414 as input signals CIN2 to CIN4.
  • the counter 411 is an example of the first counter described in the claims, and the counters 412 to 414 are an example of the second counter described in the claims.
  • the resolution of the depth map is improved as compared with the case where the number of pixels for each area is 9 pixels. Can be done.
  • Seventh Embodiment> In the sixth embodiment described above, four areas are arranged for each pixel block, but in this configuration, the number of pixels in the pixel block 300 is 16, and the resolution of the depth map may be insufficient.
  • the solid-state image sensor 200 of the seventh embodiment is different from the sixth embodiment in that the number of areas is reduced and the resolution of the depth map is improved.
  • FIG. 28 is a diagram showing an example of a circuit provided in the pixel block according to the seventh embodiment of the present technology.
  • the pixel block 300 of the seventh embodiment is different from the sixth embodiment in that the number of areas is two. For example, a 0-degree area 410 and a 180-degree area 430 are provided in the pixel block 300.
  • the size of the pixel block 300 can be reduced. This makes it possible to improve the resolution of the depth map.
  • FIG. 29 is a timing chart showing an example of the operation of the distance measuring mode of the solid-state image sensor 200 according to the seventh embodiment of the present technology. It is assumed that the distance measuring mode is set at the timing T0.
  • the processor 140 stops the supply of the vertical synchronization signal VSYNC.
  • the vertical scanning circuit 220 supplies the reset signal RST to the counters 331 to 334 to initialize the count value.
  • the driver 120 starts supplying the light emission control signal LCLK, and the light emitting unit 110 emits light in synchronization with the signal.
  • the pixel drive unit 210 starts supplying the enable signal EN1 having a phase difference of 0 degrees from the light emission control signal LCLK. Then, at the timing T2, the pixel drive unit 210 starts supplying the enable signal EN2 having a phase difference of 180 degrees.
  • the vertical scanning circuit 220 outputs the count value by the selection signal.
  • the signal processing circuit 250 obtains a distance for each pixel block 300 based on the counted values.
  • the resolution of the depth map can be improved as compared with the case where the number of areas is four. ..
  • the counter counts the number of pulses in synchronization with the enable signals having a phase difference of 0 degrees and 180 degrees, but since the enable signals of 90 degrees and 270 degrees are not used, the measurement is performed. The distance accuracy is reduced, and the distance range that can be measured is narrowed.
  • the solid-state image sensor 200 of the eighth embodiment counts the number of pulses in synchronization with the enable signals having a phase difference of 90 degrees and 270 degrees in addition to the enable signals having a phase difference of 0 degrees and 180 degrees. It differs from the seventh embodiment in that it is different from the seventh embodiment.
  • FIG. 30 is a diagram showing an example of a circuit provided in the pixel block 300 according to the eighth embodiment of the present technology.
  • the pixel block 300 of the eighth embodiment is different from the seventh embodiment in that the counters 411 to 414 are arranged without being divided into a plurality of areas. Further, four pixels are arranged in the pixel block 300.
  • circuits other than the counter (output destination control circuit 370 and the like) are omitted.
  • the counters 411 and 414 count the number of pulses in synchronization with the 0 degree and 180 degree enable signals, and the counters 412 and 413 pulse in synchronization with the 90 degree and 270 degree enable signals. Count the number.
  • FIG. 31 is a circuit diagram showing a configuration example of the output destination control circuit 370 according to the eighth embodiment of the present technology.
  • the output destination control circuit 370 of the eighth embodiment is provided with OR gates 371 to 374, AND gates 381 to 384, and selectors 391 to 394.
  • connection configuration of the OR gates 371 to 374, the AND gates 381 to 384, and the selectors 391 to 394 is the same as that of the OR gate 371, the AND gate 381, and the selector 391 of the second embodiment.
  • Enable signals EN1 to EN4 are input to the AND gates 381 to 384.
  • the control signals CTRL1 to CTRL4 are input to the selectors 391 to 394. Further, the selectors 391 to 394 select one of the pulse signals P1 to P4 and the signals from the AND gates 381 to 384 and supply them as input signals CIN1 to CIN4 to the counters 411 to 414.
  • FIG. 32 is a timing chart showing an example of the operation of the distance measuring mode of the solid-state image sensor 200 according to the eighth embodiment of the present technology. It is assumed that the distance measuring mode is set at the timing T0.
  • the processor 140 stops the supply of the vertical synchronization signal VSYNC.
  • the vertical scanning circuit 220 supplies the reset signal RST to the counters 331 to 334 to initialize the count value.
  • the driver 120 starts supplying the light emission control signal LCLK, and the light emitting unit 110 emits light in synchronization with the signal.
  • the pixel drive unit 210 starts supplying the enable signal EN1 and EN4 having a phase difference of 0 degrees from the light emission control signal LCLK.
  • the pixel drive unit 210 starts supplying the enable signals EN2 and EN3 having a phase difference of 90 degrees.
  • the vertical scanning circuit 220 outputs the count value by the selection signal.
  • the signal processing circuit 250 holds those count values.
  • the vertical scanning circuit 220 supplies the reset signal RST to the counters 331 to 334 to initialize the count value.
  • the pixel drive unit 210 starts supplying the enable signals EN1 and EN4 having a phase difference of 180 degrees from the light emission control signal LCLK.
  • the pixel drive unit 210 starts supplying the enable signals EN2 and EN3 having a phase difference of 270 degrees.
  • the vertical scanning circuit 220 outputs the count value by the selection signal.
  • the signal processing circuit 250 obtains a distance for each pixel block 300 based on the held count value and the output count value.
  • the pixel drive unit 210 supplies an enable signal in which each of a plurality of set values (90 degrees, 270 degrees, etc.) is sequentially set to a phase difference.
  • the counter counts the number of pulses in synchronization with the enable signal having a phase difference of 90 degrees and 270 degrees in addition to the enable signal having a phase difference of 0 degrees and 180 degrees. Can be done. Since the number of phase differences increases, the distance measurement accuracy can be improved and the distance range that can be measured can be expanded.
  • the pixel drive unit 210 sets each of the plurality of set values to the phase difference in order, so that the number of phase differences can be increased. As a result, the distance measurement accuracy can be improved and the distance range that can be measured can be expanded.
  • the pixel drive unit 210 switches the phase difference, but in this configuration, the distance measurement interval becomes longer as compared with the case where the phase difference is fixed, and the depth map frame. The rate drops.
  • the solid-state image sensor 200 of the ninth embodiment is different from the eighth embodiment in that the phase difference is fixed and the frame rate of the depth map is improved.
  • FIG. 33 is a diagram showing an example of a circuit provided in the pixel block 300 according to the ninth embodiment of the present technology.
  • Counters 411 to 414 are arranged in the pixel block 300 of the ninth embodiment as in the eighth embodiment.
  • the phase difference between the enable signals EN1 to EN4 is fixed in the distance measurement mode.
  • the counter 411 counts the number of pulses in synchronization with the 0 degree enable signal EN1
  • the counter 412 counts the number of pulses in synchronization with the 90 degree enable signal EN2.
  • the counter 413 counts the number of pulses in synchronization with the 180-degree enable signal EN3
  • the counter 414 counts the number of pulses in synchronization with the 270-degree enable signal EN4. Since the phase difference is fixed, the frame rate of the depth map is improved as compared with the eighth embodiment.
  • the pixel drive unit 210 fixes the phase difference of the enable signal, the frame rate of the depth map is improved as compared with the case of switching the phase difference. be able to.
  • the counter counts the number of pulses in units of four pixels in the distance measurement mode, but as the number of pixels to be counted increases, the maximum value of the count value increases. The data size of the counted value becomes large.
  • the solid-state image sensor 200 of the tenth embodiment is different from the ninth embodiment in that the number of pixels to be counted is switched between 4 pixels and 2 pixels and the data size is made variable.
  • FIG. 34 is a diagram showing an example of a circuit provided in the pixel block according to the tenth embodiment of the present technology.
  • a 0 degree area 410 and a 180 degree area 430 are provided in the pixel block 300 of the tenth embodiment.
  • 4 pixels and an output destination control circuit 370 are provided for each area.
  • one of the four counters in the area counts the number of pulses in synchronization with the enable signal.
  • each of the four counters counts the number of pulses in synchronization with the vertical sync signal.
  • FIG. 35 is a circuit diagram showing a configuration example of the output destination control circuit 370 according to the tenth embodiment of the present technology.
  • the output destination control circuit 370 of the tenth embodiment is provided with OR gates 371, 372 and 380, AND gates 381 and 382, and a selector 391.
  • the OR gate 371 supplies the logical sum of the pulse signals P1 and P2 to the AND gate 381.
  • the OR gate 372 supplies the logical sum of the pulse signals P3 and P4 to the AND gate 382.
  • the AND gate 381 supplies the OR gate 380 with the logical product of the signal from the OR gate 371 and the enable signal EN1a.
  • the AND gate 382 supplies the OR gate 380 with the logical product of the signal from the OR gate 372 and the enable signal EN1b.
  • the OR gate 380 outputs the logical sum of the signals from the AND gates 381 and 382 to the selector 391.
  • the selector 391 selects either the pulse signal P1 or the signal from the OR gate 380 according to the control signal CTRL and supplies it to the counter 411 as an input signal CIN1.
  • pulse signals P2 to P4 are supplied to the counters 412 to 414 as input signals CIN2 to CIN4 as they are.
  • the counter 411 is an example of the first counter described in the claims, and the counters 412 to 414 are an example of the second counter described in the claims.
  • FIG. 36 is a diagram for explaining the operation of the pixel drive unit 210 according to the tenth embodiment of the present technology.
  • the control in the figure corresponds to the 0 degree area 410.
  • either the 4-pixel addition mode or the 2-pixel addition mode is set as the distance measuring mode.
  • the 4-pixel addition mode is a mode in which the number of pixels to be counted in the pulse signal is 4 pixels
  • the 2-pixel addition mode is a mode in which the number of pixels to be counted in the pulse signal is 2 pixels.
  • the pixel drive unit 210 supplies signals having a phase difference of 0 degrees as enable signals EN1a and EN1b.
  • the pixel drive unit 210 supplies a signal having a phase difference of 0 degrees as one of the enable signals EN1a and EN1b.
  • the other of the enable signals EN1a and EN1b is not supplied.
  • the enable signal is not supplied in the imaging mode.
  • the control of the 180 degree area 430 is the same as that of the 0 degree area 410 illustrated in the figure except that the phase difference is set to 180 degrees.
  • the pixel drive unit 210 sets the control signal CTRL to "0" in the distance measurement mode, and causes the selector 391 to select the signal from the OR gate 380. On the other hand, in the imaging mode, the pixel drive unit 210 sets the control signal CTRL to "1" and causes the selector 391 to select the pulse signal P1.
  • the output destination control circuit 370 outputs the logical sum of the pulse signals of the set number (4 pixels or 2 pixels) of the 4 pixels in the pixel block 300. Then, the counter 411 counts the logical sum. As a result, the number of pixels to be counted can be switched between 4 pixels and 2 pixels, and the data size of the counting value can be changed.
  • the pixel drive unit 210 switches the number of pixels to be counted between 4 pixels and 2 pixels, but the configuration is not limited to this, and for example, it can be switched to 1 pixel or 3 pixels.
  • the counter 411 counts the logical sum of the pulse signals of the set number of pixels among the four pixels in the pixel block 300, so that the count value data You can change the size.
  • the technology according to the present disclosure can be applied to various products.
  • the technology according to the present disclosure is realized as a device mounted on a moving body of any kind such as an automobile, an electric vehicle, a hybrid electric vehicle, a motorcycle, a bicycle, a personal mobility, an airplane, a drone, a ship, and a robot. You may.
  • FIG. 37 is a block diagram showing a schematic configuration example of a vehicle control system, which is an example of a mobile control system to which the technique according to the present disclosure can be applied.
  • the vehicle control system 12000 includes a plurality of electronic control units connected via the communication network 12001.
  • the vehicle control system 12000 includes a drive system control unit 12010, a body system control unit 12020, an outside information detection unit 12030, an in-vehicle information detection unit 12040, and an integrated control unit 12050.
  • a microcomputer 12051, an audio image output unit 12052, and an in-vehicle network I / F (interface) 12053 are shown as a functional configuration of the integrated control unit 12050.
  • the drive system control unit 12010 controls the operation of the device related to the drive system of the vehicle according to various programs.
  • the drive system control unit 12010 provides a driving force generator for generating the driving force of the vehicle such as an internal combustion engine or a driving motor, a driving force transmission mechanism for transmitting the driving force to the wheels, and a steering angle of the vehicle. It functions as a control device such as a steering mechanism for adjusting and a braking device for generating a braking force of a vehicle.
  • the body system control unit 12020 controls the operation of various devices mounted on the vehicle body according to various programs.
  • the body system control unit 12020 functions as a keyless entry system, a smart key system, a power window device, or a control device for various lamps such as headlamps, back lamps, brake lamps, blinkers or fog lamps.
  • the body system control unit 12020 may be input with radio waves transmitted from a portable device that substitutes for the key or signals of various switches.
  • the body system control unit 12020 receives inputs of these radio waves or signals and controls a vehicle door lock device, a power window device, a lamp, and the like.
  • the vehicle outside information detection unit 12030 detects information outside the vehicle equipped with the vehicle control system 12000.
  • the imaging unit 12031 is connected to the vehicle exterior information detection unit 12030.
  • the vehicle outside information detection unit 12030 causes the image pickup unit 12031 to capture an image of the outside of the vehicle and receives the captured image.
  • the vehicle exterior information detection unit 12030 may perform object detection processing or distance detection processing such as a person, a vehicle, an obstacle, a sign, or a character on the road surface based on the received image.
  • the imaging unit 12031 is an optical sensor that receives light and outputs an electric signal according to the amount of the light received.
  • the image pickup unit 12031 can output an electric signal as an image or can output it as distance measurement information. Further, the light received by the imaging unit 12031 may be visible light or invisible light such as infrared light.
  • the in-vehicle information detection unit 12040 detects the in-vehicle information.
  • a driver state detection unit 12041 that detects the driver's state is connected to the vehicle interior information detection unit 12040.
  • the driver state detection unit 12041 includes, for example, a camera that images the driver, and the in-vehicle information detection unit 12040 determines the degree of fatigue or concentration of the driver based on the detection information input from the driver state detection unit 12041. It may be calculated, or it may be determined whether the driver is dozing.
  • the microcomputer 12051 calculates the control target value of the driving force generator, the steering mechanism, or the braking device based on the information inside and outside the vehicle acquired by the vehicle exterior information detection unit 12030 or the vehicle interior information detection unit 12040, and the drive system control unit.
  • a control command can be output to 12010.
  • the microcomputer 12051 realizes ADAS (Advanced Driver Assistance System) functions including vehicle collision avoidance or impact mitigation, follow-up driving based on inter-vehicle distance, vehicle speed maintenance driving, vehicle collision warning, vehicle lane deviation warning, and the like. It is possible to perform cooperative control for the purpose of.
  • ADAS Advanced Driver Assistance System
  • the microcomputer 12051 controls the driving force generator, the steering mechanism, the braking device, and the like based on the information around the vehicle acquired by the vehicle exterior information detection unit 12030 or the vehicle interior information detection unit 12040. It is possible to perform coordinated control for the purpose of automatic driving, etc., which runs autonomously without depending on the operation.
  • the microcomputer 12051 can output a control command to the body system control unit 12020 based on the information outside the vehicle acquired by the vehicle exterior information detection unit 12030.
  • the microcomputer 12051 controls the headlamps according to the position of the preceding vehicle or the oncoming vehicle detected by the external information detection unit 12030, and performs coordinated control for the purpose of anti-glare such as switching the high beam to the low beam. It can be carried out.
  • the audio image output unit 12052 transmits the output signal of at least one of the audio and the image to the output device capable of visually or audibly notifying the passenger or the outside of the vehicle of the information.
  • an audio speaker 12061, a display unit 12062, and an instrument panel 12063 are exemplified as output devices.
  • the display unit 12062 may include, for example, at least one of an onboard display and a heads-up display.
  • FIG. 38 is a diagram showing an example of the installation position of the imaging unit 12031.
  • the imaging unit 12031 includes imaging units 12101, 12102, 12103, 12104, 12105.
  • the imaging units 12101, 12102, 12103, 12104, 12105 are provided at positions such as the front nose, side mirrors, rear bumpers, back doors, and the upper part of the windshield in the vehicle interior of the vehicle 12100, for example.
  • the image pickup unit 12101 provided on the front nose and the image pickup section 12105 provided on the upper part of the windshield in the vehicle interior mainly acquire an image in front of the vehicle 12100.
  • the imaging units 12102 and 12103 provided in the side mirrors mainly acquire images of the side of the vehicle 12100.
  • the imaging unit 12104 provided on the rear bumper or the back door mainly acquires an image of the rear of the vehicle 12100.
  • the imaging unit 12105 provided on the upper part of the windshield in the vehicle interior is mainly used for detecting a preceding vehicle, a pedestrian, an obstacle, a traffic light, a traffic sign, a lane, or the like.
  • FIG. 38 shows an example of the photographing range of the imaging units 12101 to 12104.
  • the imaging range 12111 indicates the imaging range of the imaging unit 12101 provided on the front nose
  • the imaging ranges 12112 and 12113 indicate the imaging ranges of the imaging units 12102 and 12103 provided on the side mirrors, respectively
  • the imaging range 12114 indicates the imaging range of the imaging units 12102 and 12103.
  • the imaging range of the imaging unit 12104 provided on the rear bumper or the back door is shown. For example, by superimposing the image data captured by the imaging units 12101 to 12104, a bird's-eye view image of the vehicle 12100 as viewed from above can be obtained.
  • At least one of the imaging units 12101 to 12104 may have a function of acquiring distance information.
  • at least one of the image pickup units 12101 to 12104 may be a stereo camera composed of a plurality of image pickup elements, or may be an image pickup device having pixels for phase difference detection.
  • the microcomputer 12051 has a distance to each three-dimensional object within the imaging range 12111 to 12114 based on the distance information obtained from the imaging units 12101 to 12104, and a temporal change of this distance (relative velocity with respect to the vehicle 12100). By obtaining can. Further, the microcomputer 12051 can set an inter-vehicle distance to be secured in front of the preceding vehicle in advance, and can perform automatic braking control (including follow-up stop control), automatic acceleration control (including follow-up start control), and the like. In this way, it is possible to perform coordinated control for the purpose of automatic driving or the like in which the vehicle travels autonomously without depending on the operation of the driver.
  • automatic braking control including follow-up stop control
  • automatic acceleration control including follow-up start control
  • the microcomputer 12051 converts three-dimensional object data related to a three-dimensional object into two-wheeled vehicles, ordinary vehicles, large vehicles, pedestrians, utility poles, and other three-dimensional objects based on the distance information obtained from the imaging units 12101 to 12104. It can be classified and extracted and used for automatic avoidance of obstacles. For example, the microcomputer 12051 distinguishes obstacles around the vehicle 12100 into obstacles that can be seen by the driver of the vehicle 12100 and obstacles that are difficult to see. Then, the microcomputer 12051 determines the collision risk indicating the risk of collision with each obstacle, and when the collision risk is equal to or higher than the set value and there is a possibility of collision, the microcomputer 12051 via the audio speaker 12061 or the display unit 12062. By outputting an alarm to the driver and performing forced deceleration and avoidance steering via the drive system control unit 12010, driving support for collision avoidance can be provided.
  • At least one of the imaging units 12101 to 12104 may be an infrared camera that detects infrared rays.
  • the microcomputer 12051 can recognize a pedestrian by determining whether or not a pedestrian is present in the captured image of the imaging units 12101 to 12104.
  • pedestrian recognition includes, for example, a procedure for extracting feature points in an image captured by an imaging unit 12101 to 12104 as an infrared camera, and pattern matching processing for a series of feature points indicating the outline of an object to determine whether or not the pedestrian is a pedestrian. It is done by the procedure to determine.
  • the audio image output unit 12052 When the microcomputer 12051 determines that a pedestrian is present in the captured images of the imaging units 12101 to 12104 and recognizes the pedestrian, the audio image output unit 12052 outputs a square contour line for emphasizing the recognized pedestrian.
  • the display unit 12062 is controlled so as to superimpose and display. Further, the audio image output unit 12052 may control the display unit 12062 so as to display an icon or the like indicating a pedestrian at a desired position.
  • the above is an example of a vehicle control system to which the technology according to the present disclosure can be applied.
  • the technique according to the present disclosure can be applied to, for example, the imaging unit 12031 among the configurations described above.
  • the solid-state image sensor 200 of FIG. 3 can be applied to the image pickup unit 12031.
  • the processing procedure described in the above-described embodiment may be regarded as a method having these series of procedures, or as a program for causing a computer to execute these series of procedures or as a recording medium for storing the program. You may catch it.
  • this recording medium for example, a CD (Compact Disc), MD (MiniDisc), DVD (Digital Versatile Disc), memory card, Blu-ray Disc (Blu-ray (registered trademark) Disc) and the like can be used.
  • the present technology can have the following configurations.
  • a light emitting unit that irradiates irradiation light in synchronization with a light emission control signal having a frequency higher than a predetermined vertical synchronization signal.
  • a predetermined number of pixels each of which generates a pulse signal by photoelectric conversion
  • a sensing system including a counting unit that counts the number of pulse signals in synchronization with each of the light emission control signal and the vertical synchronization signal.
  • the counting unit is A first counter that counts the pulse signal in synchronization with the light emission control signal,
  • the counting unit is A first counter that sequentially performs a process of counting the pulse signal in synchronization with the light emission control signal and a process of counting the pulse signal in synchronization with the vertical synchronization signal.
  • the sensing system according to (1) above comprising a second counter that counts the pulse signal in synchronization with the vertical synchronization signal.
  • the pixel array portion in which the predetermined number of pixels are arranged is divided into a plurality of pixel blocks.
  • the counting unit is provided for each pixel block.
  • the pixel array portion in which the predetermined number of pixels are arranged is divided into a plurality of pixel blocks. Each of the plurality of pixel blocks is divided into a plurality of areas.
  • the counting unit is provided in association with each of the plurality of areas.
  • the sensing system according to any one of (7) to (9) above, wherein four areas are arranged in the pixel block.
  • (11) The sensing system according to any one of (7) to (9) above, wherein two areas are arranged in the pixel block.
  • (12) The first counter according to any one of (7) to (9) above, which counts the logical sum of the pulse signals of each of the set number of pixels among the pixels in the pixel block.
  • the counting unit includes a predetermined number of counters that sequentially perform a process of counting the pulse signal in synchronization with the light emission control signal and a process of counting the pulse signal in synchronization with the vertical synchronization signal.
  • a distance measuring system including a distance measuring unit that measures a distance to an object based on a counting value of the counting unit.
  • a light emitting unit that irradiates irradiation light based on a light emission control signal, Multiple pixels, each of which generates a pulse signal by photoelectric conversion
  • a counting unit that counts the number of pulse signals of the plurality of pixels, Equipped with The counting unit is connected between a plurality of counters, the plurality of pixels, and the plurality of counters, receives a plurality of pulse signals output from the plurality of pixels, and transmits the plurality of pulse signals to an arbitrary plurality of counters. Equipped with an output destination control circuit for distribution
  • the plurality of pixels are provided on the first chip, and the plurality of pixels are provided on the first chip.
  • the output control circuit and the counting unit are sensing systems provided on the second chip.

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Abstract

画像データを撮像するシステムにおいて、測距センサを追加することなく、物体までの距離を測定する。 センシングシステムは、発光部と、所定数の画素と、計数部とを具備する。この固体撮像素子において、発光部は、所定の垂直同期信号より周波数の高い発光制御信号に同期して照射光を照射する。また、所定数の画素は、それぞれが光電変換によりパルス信号を生成する。また、計数部は、発光制御信号および垂直同期信号のそれぞれに同期してパルス信号の個数を計数する。

Description

センシングシステム、および、測距システム
 本技術は、センシングシステムに関する。詳しくは、パルス数を計数するセンシングシステムおよび測距システムに関する。
 近年、非常に微弱な光信号を捉えて光通信、距離計測やフォトンカウントなどを実現するSPAD(Single Photon Avalanche Diode)と呼ばれるデバイスが開発および研究されている。このSPADは、1光子を検出することができるほど感度の高いアバランシェフォトダイオードである。例えば、SPADを用いてパルス信号を生成する画素と、そのパルス信号の個数を露光期間内に計数するカウンタとを配列した固体撮像素子が提案されている(例えば、特許文献1参照。)。
国際公開第2019/150785号公報
 上述の従来技術では、高感度のSPADを用いて微弱な光を検出することにより、暗い環境下で撮像した際の画質向上を図っている。しかしながら、上述の固体撮像素子では、撮像した画像内の物体までの距離の測定を行うことができない。測距を行うために、赤外線やレーザを用いる測距センサを追加した場合には、システムの消費電力やコストが増大してしまうため、好ましくない。
 本技術はこのような状況に鑑みて生み出されたものであり、画像データを撮像するシステムにおいて、測距センサを追加することなく、物体までの距離を測定することを目的とする。
 本技術は、上述の問題点を解消するためになされたものであり、その第1の側面は、所定の垂直同期信号より周波数の高い発光制御信号に同期して照射光を照射する発光部と、それぞれが光電変換によりパルス信号を生成する所定数の画素と、上記発光制御信号および上記垂直同期信号のそれぞれに同期して上記パルス信号の個数を計数する計数部とを具備するセンシングシステムである。これにより、画像データの撮像と測距とが実行されるという作用をもたらす。
 また、この第1の側面において、上記計数部は、上記発光制御信号に同期して上記パルス信号を計数する第1カウンタと、上記垂直同期信号に同期して上記パルス信号を計数する第2カウンタとを備えてもよい。これにより、カウンタの計数値に基づいて測距が実行されるという作用をもたらす。
 また、この第1の側面において、上記計数部は、上記発光制御信号に同期して上記パルス信号を計数する処理と上記垂直同期信号に同期して上記パルス信号を計数する処理とを順に行う第1カウンタと、上記垂直同期信号に同期して上記パルス信号を計数する第2カウンタとを備えてもよい。これにより、カウンタ数が削減されるという作用をもたらす。
 また、この第1の側面において、上記所定数の画素を配列した画素アレイ部は、複数の画素ブロックに分割され、上記計数部は、上記画素ブロックごとに設けられ、上記第1カウンタは、上記画素ブロック内の上記画素のそれぞれからの上記パルス信号の論理和を計数してもよい。これにより、画素ブロックごとに距離が測定されるという作用をもたらす。
 また、この第1の側面において、上記画素ブロックごとに4個の上記第1カウンタと5個の上記第2カウンタとが配置されてもよい。これにより、4個の計数値に基づいて距離が測定されるという作用をもたらす。
 また、この第1の側面において、上記画素ブロックごとに8個の上記第1カウンタと1個の上記第2カウンタとが配置されてもよい。これにより、測距可能な距離範囲が広くなるという作用をもたらす。
 また、この第1の側面において、上記所定数の画素を配列した画素アレイ部は、複数の画素ブロックに分割され、上記複数の画素ブロックのそれぞれは、複数のエリアに分割され、上記計数部は、上記複数のエリアのそれぞれに対応付けて設けられ、上記第1カウンタは、対応するエリア内の上記画素のそれぞれからの上記パルス信号の論理和を計数してもよい。これにより、エリアごとの計数値から距離が測定されるという作用をもたらす。
 また、この第1の側面において、上記複数のエリアのそれぞれには、9個の上記画素が配置されてもよい。これにより、9画素分のパルス信号の論理和が計数されるという作用をもたらす。
 また、この第1の側面において、上記複数のエリアのそれぞれには、4個の上記画素が配置されてもよい。これにより、4画素分のパルス信号の論理和が計数されるという作用をもたらす。
 また、この第1の側面において、上記画素ブロック内には、4つのエリアが配置されてもよい。これにより、2つのエリアのそれぞれの計数値から距離が測定されるという作用をもたらす。
 また、この第1の側面において、上記画素ブロック内には、2つのエリアが配置されてもよい。これにより、4つのエリアのそれぞれの計数値から距離が測定されるという作用をもたらす。
 また、この第1の側面において、上記第1カウンタは、上記画素ブロック内の上記画素のうち設定された個数の画素のそれぞれの上記パルス信号の論理和を計数してもよい。これにより、計数値のデータサイズが変更されるという作用をもたらす。
 また、この第1の側面において、上記計数部は、上記発光制御信号に同期して上記パルス信号を計数する処理と上記垂直同期信号に同期して上記パルス信号を計数する処理とを順に行う所定数のカウンタを備えてもよい。これにより、カウンタ数が削減されるという作用をもたらす。
 また、この第1の側面において、上記計数部は、9個の上記カウンタを備えてもよい。これにより、9個の計数値から距離が測定されるという作用をもたらす。
 また、この第1の側面において、上記計数部は、4個の上記カウンタを備えてもよい。これにより、4個の計数値から距離が測定されるという作用をもたらす。
 また、この第1の側面において、上記発光制御信号との位相差として複数の設定値のそれぞれが順に設定されるイネーブル信号を供給する画素駆動部をさらに具備し、上記カウンタは、上記イネーブル信号に同期して上記パルス信号を供給してもよい。これにより、測距精度が向上するという作用をもたらす。
 また、本技術の第2の側面は、所定の垂直同期信号より周波数の高い発光制御信号に同期して照射光を照射する発光部と、それぞれが光電変換によりパルス信号を生成する所定数の画素と、上記発光制御信号および上記垂直同期信号のそれぞれに同期して上記パルス信号の個数を計数する計数部と、上記計数部の計数値に基づいて物体までの距離を測定する測距部とを具備する測距システムである。これにより、画像データが撮像され、計数値に基づいて測距が実行されるという作用をもたらす。
 また、本技術の第3の側面は、発光制御信号に基づいて照射光を照射する発光部と、それぞれが光電変換によりパルス信号を生成する複数の画素と、前記複数の画素のパルス信号の個数を計数する計数部と、を具備し、前記計数部は複数のカウンタと、前記複数の画素と複数のカウンタの間に接続され、前記複数の画素から出力された複数のパルス信号を受け、任意の複数のカウンタに前記複数のパルス信号を振り分ける出力先制御回路とを備え、前記複数の画素は、第一のチップに設けられ、前記出力制御回路および前記計数部は、第二のチップに設けられるセンシングシステムである。これにより、積層構造のセンシングシステムにおいて、画像データの撮像と測距とが実行されるという作用をもたらす。
本技術の第1の実施の形態における測距システムの一構成例を示すブロック図である。 本技術の第1の実施の形態における固体撮像素子の積層構造の一例を示す図である。 本技術の第1の実施の形態における固体撮像素子の一構成例を示すブロック図である。 本技術の第1の実施の形態における画素ブロックの一構成例を示すブロック図である。 本技術の第1の実施の形態における画素の一構成例を示す回路図である。 本技術の第1の実施の形態における画素の一構成例を示す断面図である。 本技術の第1の実施の形態における出力先制御回路の一構成例を示す回路図である。 本技術の第1の実施の形態における画素チップおよび回路チップのそれぞれに設けられる回路の対応関係の一例を示す図である。 本技術の第1の実施の形態におけるカウンタの動作を説明するための図である。 本技術の第1の実施の形態における固体撮像素子の測距モードの動作の一例を示すタイミングチャートである。 本技術の第1の実施の形態における固体撮像素子の撮像モードの動作の一例を示すタイミングチャートである。 本技術の第1の実施の形態における測距システムの全体図の一例である。 本技術の第1の実施の形態における測距システムの動作の一例を示すフローチャートである。 本技術の第2の実施の形態における画素ブロックの一構成例を示すブロック図である。 本技術の第2の実施の形態における出力先制御回路の一構成例を示す回路図である。 本技術の第2の実施の形態における画素チップおよび回路チップのそれぞれに設けられる回路の対応関係の一例を示す図である。 本技術の第2の実施の形態におけるカウンタの動作を説明するための図である。 本技術の第3の実施の形態における出力先制御回路の一構成例を示す回路図である。 本技術の第3の実施の形態における画素チップおよび回路チップのそれぞれに設けられる回路の対応関係の一例を示す図である。 本技術の第3の実施の形態におけるカウンタの動作を説明するための図である。 本技術の第4の実施の形態における出力先制御回路の一構成例を示す回路図である。 本技術の第4の実施の形態における画素チップおよび回路チップのそれぞれに設けられる回路の対応関係の一例を示す図である。 本技術の第4の実施の形態におけるカウンタの動作を説明するための図である。 本技術の第5の実施の形態における画素ブロックに設けられる回路の一例を示す図である。 本技術の第6の実施の形態における画素ブロックに設けられる回路の一例を示す図である。 本技術の第6の実施の形態における0度エリアの一構成例を示すブロック図である。 本技術の第6の実施の形態における出力先制御回路の一構成例を示す回路図である。 本技術の第7の実施の形態における画素ブロックに設けられる回路の一例を示す図である。 本技術の第7の実施の形態における固体撮像素子の測距モードの動作の一例を示すタイミングチャートである。 本技術の第8の実施の形態における画素ブロックに設けられる回路の一例を示す図である。 本技術の第8の実施の形態における出力先制御回路の一構成例を示す回路図である。 本技術の第8の実施の形態における固体撮像素子の測距モードの動作の一例を示すタイミングチャートである。 本技術の第9の実施の形態における画素ブロックに設けられる回路の一例を示す図である。 本技術の第10の実施の形態における画素ブロックに設けられる回路の一例を示す図である。 本技術の第10の実施の形態における出力先制御回路の一構成例を示す回路図である。 本技術の第10の実施の形態における画素駆動部の動作を説明するための図である。 車両制御システムの概略的な構成例を示すブロック図である。 撮像部の設置位置の一例を示す説明図である。
 以下、本技術を実施するための形態(以下、実施の形態と称する)について説明する。説明は以下の順序により行う。
 1.第1の実施の形態(発光制御信号および垂直同期信号に同期して計数する例)
 2.第2の実施の形態(1つのカウンタが発光制御信号および垂直同期信号に同期して計数する例)
 3.第3の実施の形態(全カウンタが発光制御信号および垂直同期信号に同期して計数する例)
 4.第4の実施の形態(8個のカウンタが発光制御信号および垂直同期信号に同期して計数する例)
 5.第5の実施の形態(複数のエリアに分割し、発光制御信号および垂直同期信号に同期して計数する例)
 6.第6の実施の形態(エリア内の画素数を削減し、発光制御信号および垂直同期信号に同期して計数する例)
 7.第7の実施の形態(エリア数を削減し、発光制御信号および垂直同期信号に同期して計数する例)
 8.第8の実施の形態(位相差を切り替え、発光制御信号および垂直同期信号に同期して計数する例)
 9.第9の実施の形態(位相差を固定し、発光制御信号および垂直同期信号に同期して計数する例)
 10.第10の実施の形態(計数対象の画素数を切り替え、発光制御信号および垂直同期信号に同期して計数する例)
 11.移動体への応用例
 <1.第1の実施の形態>
 [測距システムの構成例]
 図1は、本技術の第1の実施の形態における測距システム100の一構成例を示すブロック図である。この測距システム100は、画像データの撮像と測距とを行うためのものである。測距システム100は、発光部110、ドライバ120、コントローラ130、固体撮像素子200、プロセッサ140およびアプリケーションプロセッサ150を備える。
 測距システム100内の素子のそれぞれは、1つの電子装置内に配置してもよいし、複数の装置に分散して配置してもよい。複数の装置に分散して配置する場合、例えば、発光部110、ドライバ120、コントローラ130、固体撮像素子200、プロセッサ140が撮像装置内に配置され、アプリケーションプロセッサ150は画像処理装置内に配置される。
 発光部110は、ドライバ120からの発光制御信号LCLKに従って発光し、照射光を照射するものである。例えば、照射光として近赤外光などが用いられる。
 ドライバ120は、コントローラ130の制御に従って、所定の周期信号を発光制御信号LCLKとして生成し、発光部110に供給するものである。
 コントローラ130は、ドライバ120およびプロセッサ140を同期して動作させるものである。ここで、測距システムには、物体までの距離を測定する測距モードと、画像データの撮像を行う撮像モードとを含む複数のモードが設定される。測距モードにおいてコントローラ130は、ドライバ120に発光制御信号LCLKを生成させるとともに、発光制御信号LCLKと同一の信号を発光制御信号LCLK'としてプロセッサ140に生成させる。一方、撮像モードにおいてコントローラ130は、ドライバ120を停止させ、プロセッサ140に垂直同期信号VSYNCを生成させる。
 ここで、垂直同期信号VSYNCの周波数は、例えば、30ヘルツ(Hz)や60ヘルツ(Hz)である。一方、発光制御信号LCLKの周波数は、垂直同期信号VSYNCよりも高く、例えば、10乃至20メガヘルツ(MHz)である。
 プロセッサ140は、固体撮像素子200およびアプリケーションプロセッサ150を制御するものである。このプロセッサ140は、測距モードにおいて発光制御信号LCLK'を生成して固体撮像素子200に供給し、固体撮像素子200からデプスマップを受け取る。一方、撮像モードにおいてプロセッサ140は、垂直同期信号VSYNCを生成して固体撮像素子200に供給し、固体撮像素子200から画像データを受け取る。そして、プロセッサ140は、デプスマップや画像データをアプリケーションプロセッサ150に供給する。
 アプリケーションプロセッサ150は、画像データやデプスマップに基づいて、画像認識処理などの所定の処理を行うものである。
 固体撮像素子200は、光電変換により画像データまたはデプスマップを生成するものである。この固体撮像素子200は、測距モードにおいて、発光制御信号LCLK'に同期して、照射光に対する反射光を光電変換し、デプスマップを生成する。一方、撮像モードにおいて固体撮像素子200は、垂直同期信号VSYNCに同期して、入射光を光電変換し、画像データを生成する。固体撮像素子200は、画像データやデプスマップをプロセッサ140に供給する。なお、固体撮像素子200を備えるシステムは、特許請求の範囲に記載のセンシングシステムの一例である。
 なお、プロセッサ140、アプリケーションプロセッサ150の機能の一部または全てを固体撮像素子200が有する構成であってもよい。
 [固体撮像素子の構成例]
 図2は、本技術の第1の実施の形態における固体撮像素子200の積層構造の一例を示す図である。この固体撮像素子200は、回路チップ202と、その回路チップ202に積層された画素チップ201とを備える。これらのチップは、ビアなどの接続部を介して電気的に接続される。なお、ビアの他、Cu-Cu接合やバンプにより接続することもできる。これらの他の方式(磁気結合など)により接続することもできる。また、2つのチップを積層しているが、3層以上を積層することもできる。
 図3は、本技術の第1の実施の形態における固体撮像素子200の一構成例を示すブロック図である。この固体撮像素子200は、画素駆動部210、垂直走査回路220、画素アレイ部230、カラムバッファ240、信号処理回路250および出力部260を備える。画素アレイ部230内には、複数の画素が二次元格子状に配列される。また、画素アレイ部230は、複数の画素ブロック300に分割される。
 画素駆動部210は、発光制御信号LCLK'に同期して画素アレイ部230内の画素ブロックを駆動し、パルス数の計数を行わせるものである。
 垂直走査回路220は、垂直同期信号VSYNCに同期して画素の行を順に選択し、計数値をカラムバッファ240へ出力させるものである。
 カラムバッファ240は、画素ごとの計数値を保持するものである。
 信号処理回路250は、計数値を配列したデータに対して所定の信号処理を行うものである。例えば、測距モードにおいて、信号処理回路250は、画素ブロック300ごとに計数値に基づいて距離を求め、それらの距離のデータを配列したデプスマップを生成する。また、撮像モードにおいて、信号処理回路250は、画素ごとの計数値を画素データとして、それらを配列した画像データを生成し、画像データに対して各種の画像処理を行う。そして、信号処理回路250は、デプスマップや画像データをプロセッサ140に供給する。
 [画素ブロックの構成例]
 図4は、本技術の第1の実施の形態における画素ブロック300の一構成例を示すブロック図である。画素ブロック300は、画素310と、画素321乃至328と、出力先制御回路370と、カウンタ331乃至343と、スイッチ351乃至363とを備える。
 画素310は、SPADを用いてパルス信号を生成するものである。画素310は、パルス信号P1を出力先制御回路370およびカウンタ335に供給する。画素321乃至328の構成は、画素310と同様である。これらの9画素は、例えば、3行×3列に配列される。また、画素アレイ部230内において、列ごとに垂直信号線309が配線される。n(nは整数)列目の垂直信号線を309-nとする。
 画素321は、パルス信号P2を生成し、出力先制御回路370およびカウンタ336に供給する。画素322は、パルス信号P3を生成し、出力先制御回路370およびカウンタ337に供給する。画素323は、パルス信号P4を生成し、出力先制御回路370およびカウンタ338に供給する。画素324は、パルス信号P5を生成し、出力先制御回路370およびカウンタ339に供給する。
 また、画素325は、パルス信号P6を生成し、出力先制御回路370およびカウンタ340に供給する。画素326は、パルス信号P7を生成し、出力先制御回路370およびカウンタ341に供給する。画素327は、パルス信号P8を生成し、出力先制御回路370およびカウンタ342に供給する。画素328は、パルス信号P9を生成し、出力先制御回路370およびカウンタ343に供給する。
 出力先制御回路370は、パルス信号P1乃至P9の出力先を制御するものである。測距モードにおいて、出力先制御回路370は、画素駆動部210からのイネーブル信号EN1乃至EN4に同期して、パルス信号P1乃至P9の論理和の信号を生成し、カウンタ331乃至334に入力する。カウンタ331への信号を入力信号CIN1とし、カウンタ332への信号を入力信号CIN2とする。また、カウンタ333への信号を入力信号CIN3とし、カウンタ334への信号を入力信号CIN4とする。一方、撮像モードにおいては、出力先制御回路370からカウンタへ信号が出力されない。
 カウンタ331は、入力信号CIN1の個数を計数するものである。この入力信号CIN1は、画素ブロック300内の各画素のパルス信号の論理和であるため、その計数値は、画素ブロック300内に入射された光子数を示す。カウンタ331は、計数値をCNT1としてスイッチ351に出力する。
 カウンタ332乃至334の構成は、カウンタ331と同様である。カウンタ332乃至334は、入力信号CIN2乃至CIN4の計数値をCNT2乃至CNT4としてスイッチ352乃至354に出力する。
 カウンタ335は、パルス信号P1の個数を計数するものである。このカウンタ335は、計数値をCNT5としてスイッチ355に出力する。カウンタ336乃至343の構成は、カウンタ335と同様である。カウンタ336乃至343は、パルス信号P2乃至P9の計数値をCNT6乃至13としてスイッチ356乃至363に出力する。
 また、カウンタ331乃至343には、垂直走査回路220からのリセット信号RST1乃至RST13が入力される。カウンタの計数値は、このリセット信号により初期化される。なお、垂直走査回路220の代わりに画素駆動部210がリセット信号を供給することもできる。
 スイッチ351は、垂直走査回路220からの選択信号SELnに従って垂直信号線309-nを介してカラムバッファ240へ計数値CNT1を出力するものである。スイッチ352乃至363の構成は、スイッチ351と同様である。スイッチ353、355、358および361は、例えば、選択信号SELnに従って垂直信号線309-nを介してカラムバッファ240へ計数値を出力する。スイッチ352、356、359および362は、例えば、選択信号SEL(n+1)に従って垂直信号線309-(n+1)を介してカラムバッファ240へ計数値を出力する。スイッチ354、357、360および363は、例えば、選択信号SEL(n+2)に従って垂直信号線309-(n+2)を介してカラムバッファ240へ計数値を出力する。
 なお、画素ブロック300内に9画素を配置しているが、画素ブロック300内の画素数は9画素に限定されず、後述するように4画素などであってもよい。また、画素ごとにカウンタを設けているが、カラムごとにカウンタを配置することもできる。この場合には、垂直走査回路220が行を順に選択し、カウンタ群は、選択された行からのパルス信号を計数する。
 [画素の構成例]
 図5は、本技術の第1の実施の形態における画素310の一構成例を示す回路図である。この画素310は、SPAD311、抵抗312およびインバータ313を備える。
 SPAD311は、光電変換により光電流を生成し、アバランシェ増幅するものである。抵抗312およびSPAD311は、電源端子と接地端子との間において直列に接続される。
 インバータ313は、抵抗312およびSPAD311の接続点の電位を反転し、パルス信号P1として出力先制御回路370へ出力するものである。
 また、例えば、SPAD311は、画素チップ201に設けられ、抵抗312およびインバータ313と、その後段の回路(出力先制御回路370など)とは、回路チップ202に設けられる。なお、画素310全体を画素チップ201に設けることもできる。
 図6は、本技術の第1の実施の形態における画素310の一構成例を示す断面図である。同図に例示するように、マイクロレンズ105により集光された光は、画素310内の各層に入力される。マイクロレンズ105以外の領域の構成は、例えば、特開2018-88488号公報の第0024乃至0053段落に記載のものと同様である。
 [出力先制御回路の構成例]
 図7は、本技術の第1の実施の形態における出力先制御回路370の一構成例を示す回路図である。この出力先制御回路370は、OR(論理和)ゲート371乃至374と、AND(論理積)ゲート381乃至384とを備える。
 ORゲート371は、パルス信号P1乃至P9の論理和をANDゲート381に出力するものである。ORゲート372は、パルス信号P1乃至P9の論理和をANDゲート382に出力するものである。ORゲート373は、パルス信号P1乃至P9の論理和をANDゲート383に出力するものである。ORゲート374は、パルス信号P1乃至P9の論理和をANDゲート384に出力するものである。なお、パルス信号P1乃至P9のそれぞれが、ほぼ同時に出力されると、ORゲート371の論理和後の信号は1つになり、ミスカウントが生じてしまう。そのため、ORゲート371の入力数を偶数(P2やP4など)のみ、奇数(P1やP3など)のみ、あるいは、1/3画素分など、配線で減らしてもよい。ORゲート372などのORゲートについても同様である。
 ANDゲート381は、ORゲート371からの信号と、画素駆動部210からのイネーブル信号EN1との論理積を入力信号CIN1としてカウンタ331に出力するものである。ANDゲート382は、ORゲート372からの信号と、画素駆動部210からのイネーブル信号EN2との論理積を入力信号CIN2としてカウンタ332に出力するものである。ANDゲート383は、ORゲート373からの信号と、画素駆動部210からのイネーブル信号EN3との論理積を入力信号CIN3としてカウンタ333に出力するものである。ANDゲート384は、ORゲート374からの信号と、画素駆動部210からのイネーブル信号EN4との論理積を入力信号CIN4としてカウンタ334に出力するものである。
 ここで、イネーブル信号EN1は、発光制御信号LCLKと同一の信号である。イネーブル信号EN2は、発光制御信号LCLKの位相を90度ずらした信号である。イネーブル信号EN3は、発光制御信号LCLKの位相を180度ずらした信号である。イネーブル信号EN4は、発光制御信号LCLKの位相を270度ずらした信号である。言い換えれば、イネーブル信号EN1乃至EN4は、発光制御信号LCLKとの位相差が0度、90度、180度、270度の信号である。
 同図に例示した構成により、カウンタ331は、位相差が0度のイネーブル信号EN1に同期して、画素ブロック300内のパルス数(言い換えれば、光子数)を計数することができる。また、カウンタ332は、位相差が90度のイネーブル信号EN2に同期して、画素ブロック300内のパルス数を計数することができる。カウンタ333は、位相差が180度のイネーブル信号EN3に同期して、画素ブロック300内のパルス数を計数することができる。カウンタ334は、位相差が270度のイネーブル信号EN3に同期して、画素ブロック300内のパルス数を計数することができる。
 信号処理回路250は、例えば、カウンタ331乃至334の計数値CNT1乃至CNT4に基づいて、次の式により、距離を求める。
  d=(c/4πf)×tan-1
     ×{(CNT2-CNT4)/(CNT1-CNT3)}…式1
上式において、dは距離であり、単位は、例えば、メートル(m)である。cは光速であり、単位は、例えば、メートル毎秒(m/s)である。tan-1は、正接関数の逆関数である。(CNT2-CNT4)/(CNT1-CNT3)の値は、照射光と反射光との位相差を示す。πは、円周率を示す。また、fは照射光の周波数であり、単位は、例えば、メガヘルツ(MHz)である。
 このように、光の飛行時間に基づいて距離を算出する測距方法は、ToF(Time of Flight)方式と呼ばれる。
 図8は、本技術の第1の実施の形態における画素チップ201および回路チップ202のそれぞれに設けられる回路の対応関係の一例を示す図である。同図に例示するように、画素ブロック300ごとに、9画素分のSPADが画素チップ201に配列される。また、画素ブロック300ごとに、13個のカウンタが回路チップ202に配列される。なお、同図において回路チップ202内のカウンタ以外の回路(出力先制御回路370など)は、省略されている。
 13個のカウンタのうち4個は、位相差が0度、90度、180度および270度のイネーブル信号に同期して画素ブロック300内のパルス数を計数する。同図において、カウンタの下部のカッコ内の値は、対応するイネーブル信号の位相差を示す。残りの9個のカウンタは、対応する1つの画素のパルス数を垂直同期信号VSYNCに同期して計数する。
 図9は、本技術の第1の実施の形態におけるカウンタの動作を説明するための図である。同図におけるカウンタ#1乃至4は、カウンタ331乃至334を示す。カウンタ#5乃至13は、カウンタ335乃至343を示す。
 測距モードにおいて、カウンタ#1乃至4は、位相差が0度、90度、180度および270度のイネーブル信号EN1乃至EN4に同期して画素ブロック300内のパルス数を計数する。一方、カウンタ#5乃至13は、計数を停止する。
 撮像モードにおいて、カウンタ#5乃至13は、垂直同期信号VSYNCに同期して対応する画素のパルス数を計数する。一方、カウンタ#1乃至4は、計数を停止する。
 [固体撮像素子の動作例]
 図10は、本技術の第1の実施の形態における固体撮像素子200の測距モードの動作の一例を示すタイミングチャートである。タイミングT0において、測距モードが設定されたものとする。プロセッサ140は、垂直同期信号VSYNCの供給を停止する。垂直走査回路220は、リセット信号RSTをカウンタ331乃至334に供給し、計数値を初期化する。
 また、タイミングT1において、ドライバ120は、発光制御信号LCLKの供給を開始し、その信号に同期して発光部110が発光する。また、タイミングT1において、画素駆動部210は、発光制御信号LCLKとの位相差が0度のイネーブル信号EN1の供給を開始する。そして、タイミングT2において、画素駆動部210は、位相差が90度のイネーブル信号EN2の供給を開始する。タイミングT3において、画素駆動部210は、位相差が180度のイネーブル信号EN3の供給を開始する。タイミングT4において、画素駆動部210は、位相差が270度のイネーブル信号EN4の供給を開始する。
 そして、一定期間が経過すると、垂直走査回路220は、選択信号により、計数値を出力させる。信号処理回路250は、それらの計数値に基づいて、式1を用いて画素ブロック300ごとに距離を求める。
 図11は、本技術の第1の実施の形態における固体撮像素子200の撮像モードの動作の一例を示すタイミングチャートである。タイミングT10において、撮像モードが設定されたものとする。プロセッサ140は、タイミングT11以降に垂直同期信号VSYNCの供給を開始する。
 また、ドライバ120は、発光制御信号LCLKの供給を停止し、画素駆動部210は、イネーブル信号EN1乃至EN4の供給を停止する。垂直走査回路220は、リセット信号RSTをカウンタ335乃至343に供給し、計数値を初期化する。そして、垂直同期信号VSYNCに同期したタイミングT12乃至T13の露光期間において、垂直走査回路220は、リセット信号RSTの供給を停止する。この期間内にカウンタ335乃至343は、パルス数を計数し、垂直走査回路220は、選択信号により、計数値を出力させる。信号処理回路250は、それらの計数値を配列した画像データを生成する。
 図12は、本技術の第1の実施の形態における測距システム100の全体図の一例である。画素ブロック300内において、画素310、画素321乃至328以外の回路は、計数部330内に配置される。
 発光部110は、垂直同期信号VSYNCより周波数の高い発光制御信号LCLKに同期して照射光を照射する。また、画素310等の画素のそれぞれは、光電変換によりパルス信号を生成する。
 測距モードにおいて、出力先制御回路370は、画素ブロック300内のパルス信号の論理和をイネーブル信号EN1乃至EN4に同期してカウンタ331乃至334に供給する。カウンタ331乃至334は、その論理和の信号を計数する。イネーブル信号は、前述したように、発光制御信号LCLKとの位相差が所定値(0度や90度)の信号であるため、カウンタ331乃至334の計数値は、発光制御信号LCLKに同期してパルス数を計数した値となる。なお、カウンタ331乃至334は、特許請求の範囲に記載の第1カウンタの一例である。
 一方、撮像モードにおいて、カウンタ335乃至343は、垂直同期信号VSYNCに同期して、対応する画素のパルス信号の個数を計数する。なお、カウンタ335乃至343は、特許請求の範囲に記載の第2カウンタの一例である。
 同図に例示するように、計数部330には、垂直同期信号VSYNCに同期して計数を行うカウンタ335乃至343と、発光制御信号LCLKに同期して計数を行うカウンタ331乃至334とが設けられる。これにより、固体撮像素子200は、画像データの撮像に加えて、ToF方式による測距を行うことができる。また、固体撮像素子200自身が測距を行うことができるため、赤外線やレーザを用いる測距センサを追加する必要がない。このため、測距センサを別途に追加する場合と比較して、測距システム100の消費電力やコストを抑制することができる。
 図13は、本技術の第1の実施の形態における測距システム100の動作の一例を示すフローチャートである。この動作は、例えば、測距および撮像を行うためのアプリケーションが実行されたときに開始される。
 測距システム100は、測距モードに移行し、発光制御信号LCLKに同期して発光部110が照射光を照射する(ステップS901)。また、カウンタ331乃至334は、発光制御信号LCLKに同期してパルス数を計数する(ステップS902)。そして、信号処理回路250は、計数値に基づいて測距し、デプスマップを生成する(ステップS903)。
 続いて測距システム100は、撮像モードに移行し、固体撮像素子200は、カウンタ335乃至343に切り替えて、垂直同期信号に同期した露光期間内にパルス数を計数する(ステップS904)。信号処理回路250は、計数値を配列した画像データに基づいて顔認識などの画像処理を行う(ステップS905)。ステップS905の後に、測距システム100は、動作を終了する。
 なお、固体撮像素子200は、測距(ステップS903)の後に撮像(ステップS904)を行っているが、撮像の後に測距を行ってもよい。また、測距と撮像とを同時に実行することもできる。
 このように、本技術の第1の実施の形態によれば、計数部330が、発光制御信号および垂直同期信号のそれぞれに同期してパルス数を計数するため、画素において垂直同期信号に同期して画像データを撮像しつつ、測距を行うことができる。
 <2.第2の実施の形態>
 上述の第1の実施の形態では、測距のためのカウンタ331乃至334と、撮像のためのカウンタ335乃至343とを9画素ごとに設けていたが、多画素化に伴って必要なカウンタ数が多くなり、回路規模が増大してしまう。この第2の実施の形態の固体撮像素子200は、撮像のためのカウンタの一部を測距にも用いることにより、カウンタ数を削減した点において第1の実施の形態と異なる。
 図14は、本技術の第2の実施の形態における画素ブロック300の一構成例を示すブロック図である。この第2の実施の形態の画素ブロック300は、カウンタ340乃至343とスイッチ360乃至363とが設けられない点において第1の実施の形態と異なる。
 また、第2の実施の形態の出力先制御回路370は、カウンタ331乃至339に、入力信号CIN1乃至CIN9を供給する。また、スイッチ351、354および357は、垂直信号線309-nを介して計数値を出力する。スイッチ352、355および358は、垂直信号線309-(n+1)を介して計数値を出力する。スイッチ353、356および359は、垂直信号線309-(n+2)を介して計数値を出力する。
 図15は、本技術の第2の実施の形態における出力先制御回路370の一構成例を示す回路図である。この第2の実施の形態の出力先制御回路370は、セレクタ391乃至394をさらに備える点において第1の実施の形態と異なる。
 また、第2の実施の形態のANDゲート381は、論理積をセレクタ391に供給し、ANDゲート382は、論理積をセレクタ392に供給する。ANDゲート383は、論理積をセレクタ393に供給し、ANDゲート384は、論理積をセレクタ394に供給する。
 セレクタ391は、パルス信号P1と、ANDゲート381からの信号とのいずれかを、制御信号CTRL1に従って選択し、入力信号CIN1としてカウンタ331に供給するものである。
 また、パルス信号P2は、そのまま入力信号CIN2としてカウンタ332に入力される。
 セレクタ392は、パルス信号P3と、ANDゲート382からの信号とのいずれかを、制御信号CTRL2に従って選択し、入力信号CIN3としてカウンタ333に供給するものである。
 また、パルス信号P4は、そのまま入力信号CIN4としてカウンタ334に入力される。パルス信号P5およびP6は、そのまま入力信号CIN5およびCIN6としてカウンタ335および336に入力される。
 セレクタ393は、パルス信号P7と、ANDゲート383からの信号とのいずれかを、制御信号CTRL3に従って選択し、入力信号CIN7としてカウンタ337に供給するものである。
 また、パルス信号P8は、そのまま入力信号CIN8としてカウンタ338に入力される。
 セレクタ394は、パルス信号P9と、ANDゲート384からの信号とのいずれかを、制御信号CTRL4に従って選択し、入力信号CIN9としてカウンタ339に供給するものである。
 上述の制御信号CTRL1乃至CTRL4は、例えば、画素駆動部210から供給される。測距モードにおいて画素駆動部210は、制御信号CTRL1乃至CTRL4により、セレクタ391乃至394を制御して、ANDゲート381乃至384からの信号を選択させる。これにより、カウンタ331、333、337および339は、位相差が0度、90度、180度および270度のイネーブル信号EN1乃至EN4に同期してパルス数を計数することができる。そして、信号処理回路250は、それらの計数値に基づいて測距を行う。
 一方、撮像モードにおいて画素駆動部210は、制御信号CTRL1乃至CTRL4により、セレクタ391乃至394を制御して、パルス信号P1、P3、P7およびP9を選択させる。これにより、カウンタ331、333、337および339は、残りのカウンタととともに、垂直同期信号に同期して、対応する画素のパルス数を計数する。
 図16は、本技術の第2の実施の形態における画素チップ201および回路チップ202のそれぞれに設けられる回路の対応関係の一例を示す図である。同図に例示するように、画素ブロック300ごとに、9画素分のSPADが画素チップ201に配列される。また、画素ブロック300ごとに、9個のカウンタが回路チップ202に配列される。
 測距モードにおいて9個のカウンタのうち左上、右上、左下および右下のカウンタは、位相差が0度、90度、180度および270度のイネーブル信号EN1乃至EN4に同期してパルス数を計数する。一方、撮像モードにおいて、9個のカウンタのそれぞれは、垂直同期信号に同期して、対応する画素のパルス数を計数する。
 なお、測距にも用いる4個のカウンタを左上、右上、左下および右下に配置しているが、この配置に限定されない。
 図17は、本技術の第2の実施の形態におけるカウンタの動作を説明するための図である。図におけるカウンタ#1乃至9は、カウンタ331乃至339を示す。
 測距モードにおいて、カウンタ#1、#3、#7および#9は、位相差が0度、90度、180度および270度のイネーブル信号EN1乃至EN4(言い換えれば、発光制御信号LCLK)に同期して画素ブロック300内のパルス数を計数する。一方、残りのカウンタは、計数を停止する。
 撮像モードにおいて、カウンタ#1乃至9は、垂直同期信号VSYNCに同期して対応する画素のパルス数を計数する。
 同図に例示するように、カウンタ#1、#3、#7および#9が、発光制御信号LCLKに同期して画素ブロック300内のパルス数を計数する処理と、垂直同期信号VSYNCに同期してパルス数を計数する処理とを順に行う。残りのカウンタ#2、#4、#5、#6および#8は、垂直同期信号VSYNCに同期してパルス数を計数する。言い換えれば、撮像に用いる9個のカウンタのうち4個が測距にも用いられる。このため、撮像のための9個のカウンタと、測距のための4個のカウンタとを別々に設ける第1の実施の形態と比較してカウンタ数を削減することができる。
 なお、カウンタ#1、#3、#7および#9は、特許請求の範囲に記載の第1カウンタの一例であり、カウンタ#2、#4、#5、#6および#8は、特許請求の範囲に記載の第2カウンタの一例である。
 このように、本技術の第2の実施の形態では、4個のカウンタが、発光制御信号に同期してパルス数を計数する処理と、垂直同期信号に同期してパルス数を計数する処理とを順に行う。これにより、撮像のためのカウンタと、測距のためのカウンタとを別々に設ける必要がなくなるため、カウンタ数を削減することができる。
 <3.第3の実施の形態>
 上述の第2の実施の形態では、4個のカウンタが位相差が0度乃至270度のイネーブル信号に同期してパルス数を計数していたが、この構成では、測距可能な距離の範囲が不足することがある。この第3の実施の形態の固体撮像素子200は、位相差の範囲を広げることにより、測距可能な距離範囲を拡大した点において第2の実施の形態と異なる。
 図18は、本技術の第3の実施の形態における出力先制御回路370の一構成例を示す回路図である。この第3の実施の形態の出力先制御回路370は、ORゲート375乃至379と、ANDゲート385乃至389と、セレクタ395乃至399とをさらに備える点において第2の実施の形態と異なる。
 ORゲート375乃至379と、ANDゲート385乃至389と、セレクタ395乃至399との接続構成は、ORゲート371、ANDゲート381およびセレクタ391と同様である。
 ANDゲート385乃至389には、イネーブル信号EN5乃至EN9が入力される。セレクタ395乃至399には、制御信号CTRL5乃至CRTRL9が入力される。また、セレクタ391乃至399は、パルス信号P1乃至P9と、ANDゲート381乃至389からの信号とのいずれかを選択し、入力信号CIN1乃至CIN9としてカウンタ331乃至339に供給する。
 イネーブル信号EN1乃至EN9のそれぞれの位相差は、例えば、0度、360度、90度、450度、720度、630度、270度、540度および180度に設定される。イネーブル信号の位相差を0度から720度までにすることにより、0度から270度までの場合と比較して、信号処理回路250が測距可能な距離範囲を拡大することができる。
 信号処理回路250は、測距モードにおいて、例えば、0乃至720度の位相差により大体の距離を求め、次に、0乃至540度などの位相差により、正確な距離を求める。このように位相差の範囲を徐々に狭くすることにより、距離の精度を徐々に向上させることができる。
 図19は、本技術の第3の実施の形態における画素チップ201および回路チップ202のそれぞれに設けられる回路の対応関係の一例を示す図である。同図に例示するように、画素ブロック300ごとに、9画素分のSPADが画素チップ201に配列される。また、画素ブロック300ごとに、9個のカウンタが回路チップ202に配列される。
 測距モードにおいて9個のカウンタのうち左上、右上、左下および右下のカウンタは、位相差が0度、90度、180度および270度のイネーブル信号に同期してパルス数を計数する。また、中央のカウンタは、位相差が720度のイネーブル信号に同期してパルス数を計数する。中央の上下左右のカウンタは、位相差が360度、540度、450度および630度のイネーブル信号に同期してパルス数を計数する。
 図20は、本技術の第3の実施の形態におけるカウンタの動作を説明するための図である。測距モードにおいて、カウンタ#1乃至#9は、位相差が0度、360度、90度、450度、720度、630度、270度、540度および180度のイネーブル信号に同期して画素ブロック300内のパルス数を計数する。
 撮像モードにおいて、カウンタ#1乃至9は、垂直同期信号VSYNCに同期して対応する画素のパルス数を計数する。
 このように、本技術の第3の実施の形態によれば、9個のカウンタが、位相差の異なる9個のイネーブル信号に同期してパルス数を計数するため、4個のイネーブル信号に同期して計数する場合と比較して、測距可能な距離範囲を拡大することができる。
 <4.第4の実施の形態>
 上述の第3の実施の形態では、9個のカウンタがイネーブル信号に同期してパルス数を計数していたが、この構成では、測距に用いるデータ数が増大し、信号処理回路250の処理量が増大するおそれがある。この第4の実施の形態の固体撮像素子200は、測距に用いるカウンタの個数を削減した点において第3の実施の形態と異なる。
 図21は、本技術の第4の実施の形態における出力先制御回路370の一構成例を示す回路図である。この第4の実施の形態の出力先制御回路370は、ORゲート375、ANDゲート385およびセレクタ395が削減された点において第3の実施の形態と異なる。また、パルス信号P5は、そのまま入力信号CIN5としてカウンタ335へ供給される。
 図22は、本技術の第4の実施の形態における画素チップ201および回路チップ202のそれぞれに設けられる回路の対応関係の一例を示す図である。この第4の実施の形態の画素ブロック300は、中央のカウンタが測距モードにおいて計数しない点において第3の実施の形態と異なる。
 図23は、本技術の第4の実施の形態におけるカウンタの動作を説明するための図である。測距モードにおいて、カウンタ#5以外の8個のカウンタが、イネーブル信号に同期してパルス数を計数する。言い換えれば、測距に用いられるカウンタが9個から8個に削減されている。これにより、測距に用いるデータ数が少なくなり、信号処理回路250の処理量が削減される。なお、カウンタ#5以外のカウンタは、特許請求の範囲に記載の第1カウンタの一例であり、カウンタ#5は、特許請求の範囲に記載の第2カウンタの一例である。
 このように、本技術の第4の実施の形態によれば、8個のカウンタがイネーブル信号に同期してパルス数を計数するため、9個のカウンタがイネーブル信号に同期して計数する場合と比較して測距に用いるデータ数を削減することができる。
 <5.第5の実施の形態>
 上述の第1の実施の形態では、画素ブロックごとに、位相差が0度のイネーブル信号に同期したカウンタを1つのみ配置していたが、この構成では、カウンタからの信号の品質が不足するおそれがある。この第5の実施の形態の固体撮像素子200は、同一のイネーブル信号に同期したカウンタを2つ以上配置することにより、信号品質を向上させた点において第1の実施の形態と異なる。
 図24は、本技術の第5の実施の形態における画素ブロック300に設けられる回路の一例を示す図である。画素ブロック300は、複数のエリアに分割される。例えば、画素ブロック300は、0度エリア410、90度エリア420、180度エリア430および270度エリア440に分割される。0度エリア410には、カウンタ411などの9個のカウンタが3行×3列で配列される。90度エリア420には、カウンタ421などの9個のカウンタが3行×3列で配列される。180度エリア430には、カウンタ431などの9個のカウンタが3行×3列で配列される。270度エリア440には、カウンタ441などの9個のカウンタが3行×3列で配列される。なお、エリアごとの画素数は、カウンタ数と同数(すなわち、9)である。
 0度エリア410において、左上、右上、左下および右下のカウンタは、位相差が0度のイネーブル信号に同期して0度エリア410内のパルス数を計数する。90度エリア420において、左上、右上、左下および右下のカウンタは、位相差が90度のイネーブル信号に同期して90度エリア420内のパルス数を計数する。180度エリア430において、左上、右上、左下および右下のカウンタは、位相差が180度のイネーブル信号に同期して180度エリア430内のパルス数を計数する。270度エリア440において、左上、右上、左下および右下のカウンタは、位相差が270度のイネーブル信号に同期して270度エリア440内のパルス数を計数する。
 また、0度エリア410、90度エリア420、180度エリア430および270度エリア440のそれぞれには、出力先制御回路370が配置される。同図において、出力先制御回路370は省略されている。また、第5の実施の形態の出力先制御回路370の構成は、図15に例示した第2の実施の形態のものと同様である。ただし、4個のカウンタには、同一のイネーブル信号が入力される。
 同図に例示するように、画素ブロック300ごとに、位相差が同一のイネーブル信号に同期して計数した計数値が4つ生成される。信号処理回路250は、これらの4つの計数値の合計値や平均値を演算し、演算結果を用いて測距を行う。4つの計数値の合計や平均を演算することにより、信号のノイズを低減して信号品質を向上させることができる。
 なお、各エリアの左上、右上、左下および右下のカウンタは、特許請求の範囲に記載の第1カウンタの一例であり、それ以外のカウンタは、特許請求の範囲に記載の第2カウンタの一例である。また、画素ブロック300ごとのエリア数は、4つに限定されず、エリアごとの画素数も9画素に限定されない。
 このように、本技術の第5の実施の形態によれば、位相差が同一のイネーブル信号に同期して計数するカウンタを画素ブロック300ごとに4つ配置するため、それらの計数値の合計や平均の演算により信号のノイズを低減することができる。
 <6.第6の実施の形態>
 上述の第5の実施の形態では、エリアごとに9画素を配置していたが、この構成では、画素ブロック300内の画素数が36画素となり、デプスマップの解像度が不足するおそれがある。この第6の実施の形態の固体撮像素子200は、エリアごとの画素数を削減し、デプスマップの解像度を向上させた点において第5の実施の形態と異なる。
 図25は、本技術の第6の実施の形態における画素ブロック300に設けられる回路の一例を示す図である。第6の実施の形態の画素ブロック300は、エリアごとの画素数が4画素である点において第5の実施の形態と異なる。4画素は、2行×2列で配列される。また、エリアごとに、イネーブル信号に同期してパルス数を計数するカウンタが左上に配置される。
 同図に例示したように、エリアごとの画素数を4画素に削減したため、エリアごとの画素数が9画素の第5の実施の形態と比較して、デプスマップの解像度を向上させることができる。
 図26は、本技術の第6の実施の形態における0度エリア410の一構成例を示すブロック図である。0度エリア410には、画素310、321乃至323と、計数部330とが配置される。計数部330には、出力先制御回路370と、カウンタ411乃至414と、スイッチ351乃至354とが配置される。
 画素310、321乃至323は、パルス信号P1乃至P4を出力先制御回路370に出力する。出力先制御回路370は、入力信号CIN1乃至CIN4をカウンタ411乃至414に供給する。カウンタ411乃至414は、計数値CNT1乃至CNT4をスイッチ351乃至354に供給する。スイッチ351および353は、計数値を垂直信号線309-nに供給し、スイッチ352および354は、計数値を垂直信号線309-(n+1)に供給する。
 なお、90度エリア420、180度エリア430および270度エリア440の構成は、0度エリア410と同様である。
 図27は、本技術の第6の実施の形態における出力先制御回路370の一構成例を示す回路図である。この出力先制御回路370には、ORゲート371、ANDゲート381、およびセレクタ391が配置される。第6の実施の形態のORゲート371、ANDゲート381、およびセレクタ391の接続構成は、出力先がカウンタ411である点以外は、第2の実施の形態の図15と同様である。
 また、パルス信号P2乃至P4は、そのまま入力信号CIN2乃至CIN4としてカウンタ412乃至414に供給される。
 なお、カウンタ411は、特許請求の範囲に記載の第1カウンタの一例であり、カウンタ412乃至414は、特許請求の範囲に記載の第2カウンタの一例である。
 このように、本技術の第6の実施の形態によれば、エリアごとの画素数を4画素に削減したため、エリアごとの画素数が9画素の場合よりも、デプスマップの解像度を向上させることができる。
 <7.第7の実施の形態>
 上述の第6の実施の形態では、画素ブロックごとに4エリアを配置していたが、この構成では、画素ブロック300内の画素数が16画素となり、デプスマップの解像度が不足するおそれがある。この第7の実施の形態の固体撮像素子200は、エリア数を削減し、デプスマップの解像度を向上させた点において第6の実施の形態と異なる。
 図28は、本技術の第7の実施の形態における画素ブロックに設けられる回路の一例を示す図である。第7の実施の形態の画素ブロック300は、エリア数が2つである点において第6の実施の形態と異なる。例えば、画素ブロック300内に、0度エリア410と180度エリア430とが設けられる。画素ブロック300内のエリア数を4つから2つに削減することにより、画素ブロック300のサイズを小さくすることができる。これにより、デプスマップの解像度を向上させることができる。
 図29は、本技術の第7の実施の形態における固体撮像素子200の測距モードの動作の一例を示すタイミングチャートである。タイミングT0において、測距モードが設定されたものとする。プロセッサ140は、垂直同期信号VSYNCの供給を停止する。垂直走査回路220は、リセット信号RSTをカウンタ331乃至334に供給し、計数値を初期化する。
 また、タイミングT1において、ドライバ120は、発光制御信号LCLKの供給を開始し、その信号に同期して発光部110が発光する。また、タイミングT1において、画素駆動部210は、発光制御信号LCLKとの位相差が0度のイネーブル信号EN1の供給を開始する。そして、タイミングT2において、画素駆動部210は、位相差が180度のイネーブル信号EN2の供給を開始する。
 そして、一定期間が経過すると、垂直走査回路220は、選択信号により、計数値を出力させる。信号処理回路250は、それらの計数値に基づいて、画素ブロック300ごとに距離を求める。
 このように、本技術の第7の実施の形態によれば、画素ブロック300ごとのエリア数を2つに削減したため、エリア数が4つの場合よりも、デプスマップの解像度を向上させることができる。
 <8.第8の実施の形態>
 上述の第7の実施の形態では、位相差が0度および180度のイネーブル信号に同期してカウンタがパルス数を計数していたが、90度および270度のイネーブル信号を用いないため、測距精度が低下し、測距可能な距離範囲が狭くなってしまう。この第8の実施の形態の固体撮像素子200は、位相差が0度および180度のイネーブル信号に加えて、位相差が90度および270度のイネーブル信号にも同期してパルス数を計数する点において第7の実施の形態と異なる。
 図30は、本技術の第8の実施の形態における画素ブロック300に設けられる回路の一例を示す図である。この第8の実施の形態の画素ブロック300は、複数のエリアに分割されず、カウンタ411乃至414が配置される点において第7の実施の形態と異なる。また、画素ブロック300には、4画素が配置される。同図においてカウンタ以外の回路(出力先制御回路370など)は、省略されている。
 また、測距モードにおいて、カウンタ411および414は、0度および180度のイネーブル信号に同期してパルス数を計数し、カウンタ412および413は、90度および270度のイネーブル信号に同期してパルス数を計数する。
 図31は、本技術の第8の実施の形態における出力先制御回路370の一構成例を示す回路図である。この第8の実施の形態の出力先制御回路370には、ORゲート371乃至374と、ANDゲート381乃至384と、セレクタ391乃至394とが設けられる。
 ORゲート371乃至374と、ANDゲート381乃至384と、セレクタ391乃至394との接続構成は、第2の実施の形態のORゲート371、ANDゲート381およびセレクタ391と同様である。
 ANDゲート381乃至384には、イネーブル信号EN1乃至EN4が入力される。セレクタ391乃至394には、制御信号CTRL1乃至CTRL4が入力される。また、セレクタ391乃至394は、パルス信号P1乃至P4と、ANDゲート381乃至384からの信号とのいずれかを選択し、入力信号CIN1乃至CIN4としてカウンタ411乃至414に供給する。
 図32は、本技術の第8の実施の形態における固体撮像素子200の測距モードの動作の一例を示すタイミングチャートである。タイミングT0において、測距モードが設定されたものとする。プロセッサ140は、垂直同期信号VSYNCの供給を停止する。垂直走査回路220は、リセット信号RSTをカウンタ331乃至334に供給し、計数値を初期化する。
 また、タイミングT1において、ドライバ120は、発光制御信号LCLKの供給を開始し、その信号に同期して発光部110が発光する。また、タイミングT1において、画素駆動部210は、発光制御信号LCLKとの位相差が0度のイネーブル信号EN1およいEN4の供給を開始する。そして、タイミングT2において、画素駆動部210は、位相差が90度のイネーブル信号EN2およびEN3の供給を開始する。
 そして、一定期間が経過すると、垂直走査回路220は、選択信号により、計数値を出力させる。信号処理回路250は、それらの計数値を保持しておく。
 次にタイミングT3において、垂直走査回路220は、リセット信号RSTをカウンタ331乃至334に供給し、計数値を初期化する。タイミングT4において画素駆動部210は、発光制御信号LCLKとの位相差が180度のイネーブル信号EN1およびEN4の供給を開始する。そして、タイミングT5において、画素駆動部210は、位相差が270度のイネーブル信号EN2およびEN3の供給を開始する。
 そして、一定期間が経過すると、垂直走査回路220は、選択信号により、計数値を出力させる。信号処理回路250は、保持した計数値と、出力された計数値とに基づいて、画素ブロック300ごとに距離を求める。
 同図に例示するように、画素駆動部210は、複数の設定値(90度および270度など)のそれぞれが順に位相差に設定されるイネーブル信号を供給する。このように位相差を切り替えることにより、カウンタは、位相差が0度および180度のイネーブル信号に加えて、位相差が90度および270度のイネーブル信号にも同期してパルス数を計数することができる。位相差の個数が多くなるため、測距精度を向上させ、測距可能な距離範囲を拡大することができる。
 なお、測距モードにおいて、4つのカウンタの全てが計数を行っているが、測距モードにおいて2つのカウンタ(カウンタ411および412など)のみが計数を行うこともできる。測距モード時に動作するカウンタ数を削減することにより、消費電力を削減することができる。
 このように、本技術の第8の実施の形態によれば、画素駆動部210が、複数の設定値のそれぞれを順に位相差に設定するため、位相差の個数を多くすることができる。これにより、測距精度を向上させ、測距可能な距離範囲を拡大することができる。
 <9.第9の実施の形態>
 上述の第8の実施の形態では、画素駆動部210が、位相差を切り替えていたが、この構成では、位相差を固定する場合と比較して測距の間隔が長くなり、デプスマップのフレームレートが低下してしまう。この第9の実施の形態の固体撮像素子200は、位相差を固定してデプスマップのフレームレートを向上させた点において第8の実施の形態と異なる。
 図33は、本技術の第9の実施の形態における画素ブロック300に設けられる回路の一例を示す図である。この第9の実施の形態の画素ブロック300には、第8の実施の形態と同様に、カウンタ411乃至414が配置される
 ただし、測距モードにおいてイネーブル信号EN1乃至EN4の位相差は、固定される。例えば、カウンタ411は、0度のイネーブル信号EN1に同期してパルス数を計数し、カウンタ412は、90度のイネーブル信号EN2に同期してパルス数を計数する。カウンタ413は、180度のイネーブル信号EN3に同期してパルス数を計数し、カウンタ414は、270度のイネーブル信号EN4に同期してパルス数を計数する。位相差を固定したため、第8の実施の形態と比較して、デプスマップのフレームレートが向上する。
 このように、本技術の第9の実施の形態によれば、画素駆動部210が、イネーブル信号の位相差を固定するため、位相差を切り替える場合と比較してデプスマップのフレームレートを向上させることができる。
 <10.第10の実施の形態>
 上述の第9の実施の形態では、カウンタは、測距モードにおいて4画素の単位でパルス数を計数していたが、計数対象の画素数が増大するほど、計数値の最大値が大きくなり、計数値のデータサイズが大きくなってしまう。この第10の実施の形態の固体撮像素子200は、計数対象の画素数を4画素と2画素とに切り替え、データサイズを可変にする点において第9の実施の形態と異なる。
 図34は、本技術の第10の実施の形態における画素ブロックに設けられる回路の一例を示す図である。第10の実施の形態の画素ブロック300内には、例えば、0度エリア410と180度エリア430とが設けられる。また、エリアごとに、4画素と出力先制御回路370とが設けられる。測距モードにおいてエリア内の4つのカウンタのうち1つはイネーブル信号に同期してパルス数を計数する。撮像モードにおいて、4つのカウンタのそれぞれは、垂直同期信号に同期してパルス数を計数する。
 図35は、本技術の第10の実施の形態における出力先制御回路370の一構成例を示す回路図である。この第10の実施の形態の出力先制御回路370には、ORゲート371、372および380と、ANDゲート381および382と、セレクタ391とが設けられる。
 ORゲート371は、パルス信号P1およびP2の論理和をANDゲート381に供給する。ORゲート372は、パルス信号P3およびP4の論理和をANDゲート382に供給する。
 ANDゲート381は、ORゲート371からの信号とイネーブル信号EN1aとの論理積をORゲート380に供給する。ANDゲート382は、ORゲート372からの信号とイネーブル信号EN1bとの論理積をORゲート380に供給する。
 ORゲート380は、ANDゲート381および382のそれぞれからの信号の論理和をセレクタ391に出力する。
 セレクタ391は、パルス信号P1と、ORゲート380からの信号とのいずれかを、制御信号CTRLに従って選択し、入力信号CIN1としてカウンタ411に供給する。
 また、パルス信号P2乃至P4は、そのまま入力信号CIN2乃至CIN4として、カウンタ412乃至414に供給される。
 なお、カウンタ411は、特許請求の範囲に記載の第1カウンタの一例であり、カウンタ412乃至414は、特許請求の範囲に記載の第2カウンタの一例である。
 図36は、本技術の第10の実施の形態における画素駆動部210の動作を説明するための図である。同図の制御は、0度エリア410に対応するものである。第10の実施の形態において、測距モードには、4画素加算モードと2画素加算モードとのいずれかが設定される。4画素加算モードは、パルス信号の計数対象の画素数を4画素とするモードであり、2画素加算モードは、パルス信号の計数対象の画素数を2画素とするモードである。
 4画素加算モードにおいて、画素駆動部210は、位相差が0度の信号をイネーブル信号EN1aおよびEN1bとして供給する。2画素加算モードにおいて、画素駆動部210は、位相差が0度の信号をイネーブル信号EN1aおよびEN1bの一方として供給する。イネーブル信号EN1aおよびEN1bの他方は供給されない。また、撮像モードにおいて、イネーブル信号は供給されない。なお、180度エリア430の制御は、位相差が180度に設定される点以外は、同図に例示した0度エリア410と同様である。
 また、画素駆動部210は、測距モードにおいて、制御信号CTRLを「0」にしてセレクタ391にORゲート380からの信号を選択させる。一方、撮像モードにおいて画素駆動部210は、制御信号CTRLを「1」にしてセレクタ391にパルス信号P1を選択させる。
 図35および図36に例示した構成により、出力先制御回路370は、画素ブロック300内の4画素のうち設定された個数(4画素または2画素)の画素のそれぞれのパルス信号の論理和を出力し、カウンタ411は、その論理和を計数する。これにより、計数対象の画素数を4画素と2画素とに切り替え、計数値のデータサイズを変更することができる。
 なお、画素駆動部210は、計数対象の画素数を4画素と2画素とに切り替えているが、この構成に限定されず、例えば、1画素や3画素などに切り替えることもできる。
 このように、本技術の第10の実施の形態によれば、画素ブロック300内の4画素のうち設定された個数の画素のパルス信号の論理和をカウンタ411が計数するため、計数値のデータサイズを変更することができる。
 <11.移動体への応用例>
 本開示に係る技術(本技術)は、様々な製品へ応用することができる。例えば、本開示に係る技術は、自動車、電気自動車、ハイブリッド電気自動車、自動二輪車、自転車、パーソナルモビリティ、飛行機、ドローン、船舶、ロボット等のいずれかの種類の移動体に搭載される装置として実現されてもよい。
 図37は、本開示に係る技術が適用され得る移動体制御システムの一例である車両制御システムの概略的な構成例を示すブロック図である。
 車両制御システム12000は、通信ネットワーク12001を介して接続された複数の電子制御ユニットを備える。図37に示した例では、車両制御システム12000は、駆動系制御ユニット12010、ボディ系制御ユニット12020、車外情報検出ユニット12030、車内情報検出ユニット12040、及び統合制御ユニット12050を備える。また、統合制御ユニット12050の機能構成として、マイクロコンピュータ12051、音声画像出力部12052、及び車載ネットワークI/F(interface)12053が図示されている。
 駆動系制御ユニット12010は、各種プログラムにしたがって車両の駆動系に関連する装置の動作を制御する。例えば、駆動系制御ユニット12010は、内燃機関又は駆動用モータ等の車両の駆動力を発生させるための駆動力発生装置、駆動力を車輪に伝達するための駆動力伝達機構、車両の舵角を調節するステアリング機構、及び、車両の制動力を発生させる制動装置等の制御装置として機能する。
 ボディ系制御ユニット12020は、各種プログラムにしたがって車体に装備された各種装置の動作を制御する。例えば、ボディ系制御ユニット12020は、キーレスエントリシステム、スマートキーシステム、パワーウィンドウ装置、あるいは、ヘッドランプ、バックランプ、ブレーキランプ、ウィンカー又はフォグランプ等の各種ランプの制御装置として機能する。この場合、ボディ系制御ユニット12020には、鍵を代替する携帯機から発信される電波又は各種スイッチの信号が入力され得る。ボディ系制御ユニット12020は、これらの電波又は信号の入力を受け付け、車両のドアロック装置、パワーウィンドウ装置、ランプ等を制御する。
 車外情報検出ユニット12030は、車両制御システム12000を搭載した車両の外部の情報を検出する。例えば、車外情報検出ユニット12030には、撮像部12031が接続される。車外情報検出ユニット12030は、撮像部12031に車外の画像を撮像させるとともに、撮像された画像を受信する。車外情報検出ユニット12030は、受信した画像に基づいて、人、車、障害物、標識又は路面上の文字等の物体検出処理又は距離検出処理を行ってもよい。
 撮像部12031は、光を受光し、その光の受光量に応じた電気信号を出力する光センサである。撮像部12031は、電気信号を画像として出力することもできるし、測距の情報として出力することもできる。また、撮像部12031が受光する光は、可視光であっても良いし、赤外線等の非可視光であっても良い。
 車内情報検出ユニット12040は、車内の情報を検出する。車内情報検出ユニット12040には、例えば、運転者の状態を検出する運転者状態検出部12041が接続される。運転者状態検出部12041は、例えば運転者を撮像するカメラを含み、車内情報検出ユニット12040は、運転者状態検出部12041から入力される検出情報に基づいて、運転者の疲労度合い又は集中度合いを算出してもよいし、運転者が居眠りをしていないかを判別してもよい。
 マイクロコンピュータ12051は、車外情報検出ユニット12030又は車内情報検出ユニット12040で取得される車内外の情報に基づいて、駆動力発生装置、ステアリング機構又は制動装置の制御目標値を演算し、駆動系制御ユニット12010に対して制御指令を出力することができる。例えば、マイクロコンピュータ12051は、車両の衝突回避あるいは衝撃緩和、車間距離に基づく追従走行、車速維持走行、車両の衝突警告、又は車両のレーン逸脱警告等を含むADAS(Advanced Driver Assistance System)の機能実現を目的とした協調制御を行うことができる。
 また、マイクロコンピュータ12051は、車外情報検出ユニット12030又は車内情報検出ユニット12040で取得される車両の周囲の情報に基づいて駆動力発生装置、ステアリング機構又は制動装置等を制御することにより、運転者の操作に拠らずに自律的に走行する自動運転等を目的とした協調制御を行うことができる。
 また、マイクロコンピュータ12051は、車外情報検出ユニット12030で取得される車外の情報に基づいて、ボディ系制御ユニット12020に対して制御指令を出力することができる。例えば、マイクロコンピュータ12051は、車外情報検出ユニット12030で検知した先行車又は対向車の位置に応じてヘッドランプを制御し、ハイビームをロービームに切り替える等の防眩を図ることを目的とした協調制御を行うことができる。
 音声画像出力部12052は、車両の搭乗者又は車外に対して、視覚的又は聴覚的に情報を通知することが可能な出力装置へ音声及び画像のうちの少なくとも一方の出力信号を送信する。図37の例では、出力装置として、オーディオスピーカ12061、表示部12062及びインストルメントパネル12063が例示されている。表示部12062は、例えば、オンボードディスプレイ及びヘッドアップディスプレイの少なくとも一つを含んでいてもよい。
 図38は、撮像部12031の設置位置の例を示す図である。
 図38では、撮像部12031として、撮像部12101,12102,12103,12104,12105を有する。
 撮像部12101,12102,12103,12104,12105は、例えば、車両12100のフロントノーズ、サイドミラー、リアバンパ、バックドア及び車室内のフロントガラスの上部等の位置に設けられる。フロントノーズに備えられる撮像部12101及び車室内のフロントガラスの上部に備えられる撮像部12105は、主として車両12100の前方の画像を取得する。サイドミラーに備えられる撮像部12102,12103は、主として車両12100の側方の画像を取得する。リアバンパ又はバックドアに備えられる撮像部12104は、主として車両12100の後方の画像を取得する。車室内のフロントガラスの上部に備えられる撮像部12105は、主として先行車両又は、歩行者、障害物、信号機、交通標識又は車線等の検出に用いられる。
 なお、図38には、撮像部12101ないし12104の撮影範囲の一例が示されている。撮像範囲12111は、フロントノーズに設けられた撮像部12101の撮像範囲を示し、撮像範囲12112,12113は、それぞれサイドミラーに設けられた撮像部12102,12103の撮像範囲を示し、撮像範囲12114は、リアバンパ又はバックドアに設けられた撮像部12104の撮像範囲を示す。例えば、撮像部12101ないし12104で撮像された画像データが重ね合わせられることにより、車両12100を上方から見た俯瞰画像が得られる。
 撮像部12101ないし12104の少なくとも1つは、距離情報を取得する機能を有していてもよい。例えば、撮像部12101ないし12104の少なくとも1つは、複数の撮像素子からなるステレオカメラであってもよいし、位相差検出用の画素を有する撮像素子であってもよい。
 例えば、マイクロコンピュータ12051は、撮像部12101ないし12104から得られた距離情報を基に、撮像範囲12111ないし12114内における各立体物までの距離と、この距離の時間的変化(車両12100に対する相対速度)を求めることにより、特に車両12100の進行路上にある最も近い立体物で、車両12100と略同じ方向に所定の速度(例えば、0km/h以上)で走行する立体物を先行車として抽出することができる。さらに、マイクロコンピュータ12051は、先行車の手前に予め確保すべき車間距離を設定し、自動ブレーキ制御(追従停止制御も含む)や自動加速制御(追従発進制御も含む)等を行うことができる。このように運転者の操作に拠らずに自律的に走行する自動運転等を目的とした協調制御を行うことができる。
 例えば、マイクロコンピュータ12051は、撮像部12101ないし12104から得られた距離情報を元に、立体物に関する立体物データを、2輪車、普通車両、大型車両、歩行者、電柱等その他の立体物に分類して抽出し、障害物の自動回避に用いることができる。例えば、マイクロコンピュータ12051は、車両12100の周辺の障害物を、車両12100のドライバが視認可能な障害物と視認困難な障害物とに識別する。そして、マイクロコンピュータ12051は、各障害物との衝突の危険度を示す衝突リスクを判断し、衝突リスクが設定値以上で衝突可能性がある状況であるときには、オーディオスピーカ12061や表示部12062を介してドライバに警報を出力することや、駆動系制御ユニット12010を介して強制減速や回避操舵を行うことで、衝突回避のための運転支援を行うことができる。
 撮像部12101ないし12104の少なくとも1つは、赤外線を検出する赤外線カメラであってもよい。例えば、マイクロコンピュータ12051は、撮像部12101ないし12104の撮像画像中に歩行者が存在するか否かを判定することで歩行者を認識することができる。かかる歩行者の認識は、例えば赤外線カメラとしての撮像部12101ないし12104の撮像画像における特徴点を抽出する手順と、物体の輪郭を示す一連の特徴点にパターンマッチング処理を行って歩行者か否かを判別する手順によって行われる。マイクロコンピュータ12051が、撮像部12101ないし12104の撮像画像中に歩行者が存在すると判定し、歩行者を認識すると、音声画像出力部12052は、当該認識された歩行者に強調のための方形輪郭線を重畳表示するように、表示部12062を制御する。また、音声画像出力部12052は、歩行者を示すアイコン等を所望の位置に表示するように表示部12062を制御してもよい。
 以上、本開示に係る技術が適用され得る車両制御システムの一例について説明した。本開示に係る技術は、以上説明した構成のうち、例えば、撮像部12031に適用され得る。具体的には、図3の固体撮像素子200は、撮像部12031に適用することができる。撮像部12031に本開示に係る技術を適用することにより、センサを追加せずに測距することができるため、車両制御システムの消費電力やコストを低減することができる。
 なお、上述の実施の形態は本技術を具現化するための一例を示したものであり、実施の形態における事項と、特許請求の範囲における発明特定事項とはそれぞれ対応関係を有する。同様に、特許請求の範囲における発明特定事項と、これと同一名称を付した本技術の実施の形態における事項とはそれぞれ対応関係を有する。ただし、本技術は実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において実施の形態に種々の変形を施すことにより具現化することができる。
 また、上述の実施の形態において説明した処理手順は、これら一連の手順を有する方法として捉えてもよく、また、これら一連の手順をコンピュータに実行させるためのプログラム乃至そのプログラムを記憶する記録媒体として捉えてもよい。この記録媒体として、例えば、CD(Compact Disc)、MD(MiniDisc)、DVD(Digital Versatile Disc)、メモリカード、ブルーレイディスク(Blu-ray(登録商標)Disc)等を用いることができる。
 なお、本明細書に記載された効果はあくまで例示であって、限定されるものではなく、また、他の効果があってもよい。
 なお、本技術は以下のような構成もとることができる。
(1)所定の垂直同期信号より周波数の高い発光制御信号に同期して照射光を照射する発光部と、
 それぞれが光電変換によりパルス信号を生成する所定数の画素と、
 前記発光制御信号および前記垂直同期信号のそれぞれに同期して前記パルス信号の個数を計数する計数部と
を具備するセンシングシステム。
(2)前記計数部は、
 前記発光制御信号に同期して前記パルス信号を計数する第1カウンタと、
 前記垂直同期信号に同期して前記パルス信号を計数する第2カウンタと
を備える前記(1)記載のセンシングシステム。
(3)前記計数部は、
 前記発光制御信号に同期して前記パルス信号を計数する処理と前記垂直同期信号に同期して前記パルス信号を計数する処理とを順に行う第1カウンタと、
 前記垂直同期信号に同期して前記パルス信号を計数する第2カウンタと
を備える前記(1)記載のセンシングシステム。
(4)前記所定数の画素を配列した画素アレイ部は、複数の画素ブロックに分割され、
 前記計数部は、前記画素ブロックごとに設けられ、
 前記第1カウンタは、前記画素ブロック内の前記画素のそれぞれからの前記パルス信号の論理和を計数する
前記(3)記載のセンシングシステム。
(5)前記画素ブロックごとに4個の前記第1カウンタと5個の前記第2カウンタとが配置される前記(4)記載のセンシングシステム。
(6)前記画素ブロックごとに8個の前記第1カウンタと1個の前記第2カウンタとが配置される前記(4)記載のセンシングシステム。
(7)前記所定数の画素を配列した画素アレイ部は、複数の画素ブロックに分割され、
 前記複数の画素ブロックのそれぞれは、複数のエリアに分割され、
 前記計数部は、前記複数のエリアのそれぞれに対応付けて設けられ、
 前記第1カウンタは、対応するエリア内の前記画素のそれぞれからの前記パルス信号の論理和を計数する
前記(3)記載のセンシングシステム。
(8)前記複数のエリアのそれぞれには、9個の前記画素が配置される
前記(7)記載のセンシングシステム。
(9)前記複数のエリアのそれぞれには、4個の前記画素が配置される
前記(7)記載のセンシングシステム。
(10)前記画素ブロック内には、4つのエリアが配置される
前記(7)から(9)のいずれかに記載のセンシングシステム。
(11)前記画素ブロック内には、2つのエリアが配置される
前記(7)から(9)のいずれかに記載のセンシングシステム。
(12)前記第1カウンタは、前記画素ブロック内の前記画素のうち設定された個数の画素のそれぞれの前記パルス信号の論理和を計数する
前記(7)から(9)のいずれかに記載のセンシングシステム。
(13)前記計数部は、前記発光制御信号に同期して前記パルス信号を計数する処理と前記垂直同期信号に同期して前記パルス信号を計数する処理とを順に行う所定数のカウンタを備える
前記(1)記載のセンシングシステム。
(14)前記計数部は、9個の前記カウンタを備える
前記(13)記載のセンシングシステム。
(15)前記計数部は、4個の前記カウンタを備える
前記(13)記載のセンシングシステム。
(16)前記発光制御信号との位相差として複数の設定値のそれぞれが順に設定されるイネーブル信号を供給する画素駆動部をさらに具備し、
 前記カウンタは、前記イネーブル信号に同期して前記パルス信号を供給する
前記(13)から(15)のいずれかに記載のセンシングシステム。
(17)所定の垂直同期信号より周波数の高い発光制御信号に同期して照射光を照射する発光部と、
 それぞれが光電変換によりパルス信号を生成する所定数の画素と、
 前記発光制御信号および前記垂直同期信号のそれぞれに同期して前記パルス信号の個数を計数する計数部と、
 前記計数部の計数値に基づいて物体までの距離を測定する測距部と
を具備する測距システム。
(18)発光制御信号に基づいて照射光を照射する発光部と、
 それぞれが光電変換によりパルス信号を生成する複数の画素と、
 前記複数の画素のパルス信号の個数を計数する計数部と、
を具備し、
 前記計数部は複数のカウンタと、前記複数の画素と複数のカウンタの間に接続され、前記複数の画素から出力された複数のパルス信号を受け、任意の複数のカウンタに前記複数のパルス信号を振り分ける出力先制御回路とを備え、
 前記複数の画素は、第一のチップに設けられ、
 前記出力制御回路および前記計数部は、第二のチップに設けられる
センシングシステム。
 100 測距システム
 105 マイクロレンズ
 110 発光部
 120 ドライバ
 130 コントローラ
 140 プロセッサ
 150 アプリケーションプロセッサ
 200 固体撮像素子
 201 画素チップ
 202 回路チップ
 210 画素駆動部
 220 垂直走査回路
 230 画素アレイ部
 240 カラムバッファ
 250 信号処理回路
 260 出力部
 300 画素ブロック
 310、321~328 画素
 311 SPAD
 312 抵抗
 313 インバータ
 330 計数部
 331~343、411~414、421、431、441 カウンタ
 351~363 スイッチ
 370 出力先制御回路
 371~380 OR(論理和)ゲート
 381~389 AND(論理積)ゲート
 391~399 セレクタ
 410 0度エリア
 420 90度エリア
 430 180度エリア
 440 270度エリア
 12031 撮像部

Claims (18)

  1.  所定の垂直同期信号より周波数の高い発光制御信号に同期して照射光を照射する発光部と、
     それぞれが光電変換によりパルス信号を生成する所定数の画素と、
     前記発光制御信号および前記垂直同期信号のそれぞれに同期して前記パルス信号の個数を計数する計数部と
    を具備するセンシングシステム。
  2.  前記計数部は、
     前記発光制御信号に同期して前記パルス信号を計数する第1カウンタと、
     前記垂直同期信号に同期して前記パルス信号を計数する第2カウンタと
    を備える請求項1記載のセンシングシステム。
  3.  前記計数部は、
     前記発光制御信号に同期して前記パルス信号を計数する処理と前記垂直同期信号に同期して前記パルス信号を計数する処理とを順に行う第1カウンタと、
     前記垂直同期信号に同期して前記パルス信号を計数する第2カウンタと
    を備える請求項1記載のセンシングシステム。
  4.  前記所定数の画素を配列した画素アレイ部は、複数の画素ブロックに分割され、
     前記計数部は、前記画素ブロックごとに設けられ、
     前記第1カウンタは、前記画素ブロック内の前記画素のそれぞれからの前記パルス信号の論理和を計数する
    請求項3記載のセンシングシステム。
  5.  前記画素ブロックごとに4個の前記第1カウンタと5個の前記第2カウンタとが配置される請求項4記載のセンシングシステム。
  6.  前記画素ブロックごとに8個の前記第1カウンタと1個の前記第2カウンタとが配置される請求項4記載のセンシングシステム。
  7.  前記所定数の画素を配列した画素アレイ部は、複数の画素ブロックに分割され、
     前記複数の画素ブロックのそれぞれは、複数のエリアに分割され、
     前記計数部は、前記複数のエリアのそれぞれに対応付けて設けられ、
     前記第1カウンタは、対応するエリア内の前記画素のそれぞれからの前記パルス信号の論理和を計数する
    請求項3記載のセンシングシステム。
  8.  前記複数のエリアのそれぞれには、9個の前記画素が配置される
    請求項7記載のセンシングシステム。
  9.  前記複数のエリアのそれぞれには、4個の前記画素が配置される
    請求項7記載のセンシングシステム。
  10.  前記画素ブロック内には、4つのエリアが配置される
    請求項7記載のセンシングシステム。
  11.  前記画素ブロック内には、2つのエリアが配置される
    請求項7記載のセンシングシステム。
  12.  前記第1カウンタは、前記エリア内の前記画素のうち設定された個数の画素のそれぞれの前記パルス信号の論理和を計数する
    請求項7記載のセンシングシステム。
  13.  前記計数部は、前記発光制御信号に同期して前記パルス信号を計数する処理と前記垂直同期信号に同期して前記パルス信号を計数する処理とを順に行う所定数のカウンタを備える
    請求項1記載のセンシングシステム。
  14.  前記計数部は、9個の前記カウンタを備える
    請求項13記載のセンシングシステム。
  15.  前記計数部は、4個の前記カウンタを備える
    請求項13記載のセンシングシステム。
  16.  前記発光制御信号との位相差として複数の設定値のそれぞれが順に設定されるイネーブル信号を供給する画素駆動部をさらに具備し、
     前記カウンタは、前記イネーブル信号に同期して前記パルス信号を供給する
    請求項13記載のセンシングシステム。
  17.  所定の垂直同期信号より周波数の高い発光制御信号に同期して照射光を照射する発光部と、
     それぞれが光電変換によりパルス信号を生成する所定数の画素と、
     前記発光制御信号および前記垂直同期信号のそれぞれに同期して前記パルス信号の個数を計数する計数部と、
     前記計数部の計数値に基づいて物体までの距離を測定する測距部と
    を具備する測距システム。
  18.  発光制御信号に基づいて照射光を照射する発光部と、
     それぞれが光電変換によりパルス信号を生成する複数の画素と、
     前記複数の画素のパルス信号の個数を計数する計数部と、
    を具備し、
     前記計数部は複数のカウンタと、前記複数の画素と複数のカウンタの間に接続され、前記複数の画素から出力された複数のパルス信号を受け、任意の複数のカウンタに前記複数のパルス信号を振り分ける出力先制御回路とを備え、
     前記複数の画素は、第一のチップに設けられ、
     前記出力制御回路および前記計数部は、第ニのチップに設けられる
    センシングシステム。
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