WO2021036043A1 - 测试薄膜封装性能的方法 - Google Patents

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WO2021036043A1
WO2021036043A1 PCT/CN2019/120469 CN2019120469W WO2021036043A1 WO 2021036043 A1 WO2021036043 A1 WO 2021036043A1 CN 2019120469 W CN2019120469 W CN 2019120469W WO 2021036043 A1 WO2021036043 A1 WO 2021036043A1
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film layer
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film
oxygen
water
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卢瑞
夏存军
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武汉华星光电半导体显示技术有限公司
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N15/08—Investigating permeability, pore-volume, or surface area of porous materials
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N15/08—Investigating permeability, pore-volume, or surface area of porous materials
    • G01N2015/086—Investigating permeability, pore-volume, or surface area of porous materials of films, membranes or pellicules

Definitions

  • the invention relates to the field of application technology, in particular to a method for testing the performance of film packaging.
  • OLED Light-Emitting Diode
  • TFE thin-film packaging
  • the existing OLED thin film encapsulation (TFE) design generally adopts an organic/inorganic film layer stack structure to achieve the purpose of blocking water and oxygen.
  • the main function of inorganic film is to isolate water and oxygen
  • the main function of organic film is to wrap particles and release stress.
  • the existing TFE structure can effectively block water and oxygen to a certain extent and guarantee the life of the OLED.
  • OLED luminescent materials often shrink due to the intrusion of edge water vapor, leading to package failure.
  • the non-luminous area of the OLED display screen is more prone to failure than the light-emitting area. This is mainly due to two reasons: First, because the organic film in the TFE has no water and oxygen blocking ability, there is no organic film in the non-light-emitting area to relieve stress.
  • the existing technical means can only detect the vertical water and oxygen blocking capacity of the film, and there is no effective detection method for the lateral water and oxygen blocking capacity of the film and the lateral water and oxygen blocking capacity between the films.
  • the vertical water and oxygen blocking ability of the film is equally important as the lateral water and oxygen blocking ability. Therefore, it is very necessary to develop a means to effectively detect the lateral water and oxygen blocking capacity of the film and the lateral water and oxygen blocking capacity between the films.
  • the existing technical means can only detect the vertical water and oxygen blocking capacity of the film, and there is no effective detection method for the lateral water and oxygen blocking capacity of the film and the lateral water and oxygen blocking capacity between the films.
  • the embodiment of the present invention provides a method for testing the performance of thin film packaging.
  • the method includes the steps of: providing a test cavity; depositing a first film layer on the bottom of the test cavity, and combining the first film
  • the middle of the film layer is set to be hollow; a second film layer is deposited in the middle of the first film layer, and part of the second film layer is covered on the first film layer.
  • the coating area of the second film layer is Smaller than the coating area of the first film layer, the second film layer is spaced apart from the side wall provided in the test cavity; and the lateral water-blocking oxygen value of the second film layer is obtained by a detector, And the lateral water blocking oxygen value is set to the first value.
  • the method further includes the steps of: depositing a first film layer on the bottom of the test cavity; and obtaining the vertical water-blocking oxygen value of the first film layer by the detector, and The vertical water blocking oxygen value is set to a second value.
  • the number of film layers of the second film layer is single.
  • the method further includes the steps of: depositing a second film layer on the bottom of the test cavity; and obtaining the vertical water-blocking oxygen value of the second film layer by the detector, and The vertical water blocking oxygen value is set to a third value.
  • the method further includes: comparing the first value with the second value and the third value respectively; When it is determined that the first value is less than the second value and the third value, it is determined that the second film layer has lateral water and oxygen blocking capability, otherwise it is determined that the second film layer does not have water and oxygen blocking capability. ability.
  • the number of film layers of the second film layer is multiple.
  • the method further includes the steps of: sequentially depositing the sub-layers of the second film layer on the bottom of the test cavity; and separately acquiring each of the second film layers by the detector.
  • the vertical water-blocking oxygen value of the sub-film layers, and the vertical water-blocking oxygen value of each sub-film layer are respectively set to a corresponding fourth value.
  • the method further includes: comparing the first value with the second value.
  • the numerical value is compared with the corresponding third numerical value; when it is judged that the first numerical value is less than the second numerical value and the corresponding third numerical value, it is judged that the second film layer has lateral water-blocking oxygen Otherwise, it is determined that the second film layer does not have the ability to block water and oxygen.
  • test cavity includes: a flexible carrier disposed above the detector and at the bottom of the first film layer; and the side wall is disposed on the periphery of the flexible carrier.
  • the material of the first film layer and the material of the second film layer are the same or different.
  • the advantage of the present invention is that by cleverly combining the films, the lateral water vapor intrusion paths of various films or packaging structures are formed, thereby obtaining an effective means to detect the lateral water and oxygen blocking ability of the film, and realizing the improvement of the film packaging structure.
  • the detection of lateral water and oxygen resistance provides an efficient detection method for display panel packaging
  • FIG. 1 is a flowchart of a method for testing the performance of a thin film package provided by an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a schematic diagram of a structure for testing the performance of the film packaging provided by an embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is a schematic diagram of a structure for testing a first film layer provided by an embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 is a schematic diagram of a structure for testing a second film layer provided by an embodiment of the present invention.
  • FIG. 5 is a schematic diagram of a structure for testing the performance of a thin film package according to another embodiment of the present invention.
  • FIG. 6 is a flowchart of testing the first film layer provided by an embodiment of the present invention.
  • FIG. 7 is a flowchart of testing the second film layer provided by an embodiment of the present invention.
  • FIG. 8 is a flowchart of testing the second film layer according to another embodiment of the present invention.
  • FIG. 9 is a flowchart of a method for testing film packaging performance provided by an embodiment of the present invention.
  • FIG. 10 is a flowchart of a method for testing the performance of a thin film package according to another embodiment of the present invention.
  • FIG. 11 is a schematic diagram of the structure of a test cavity provided by an embodiment of the present invention.
  • first and second are only used for descriptive purposes, and cannot be understood as indicating or implying relative importance or implicitly indicating the number of technical features indicated, thereby limiting the terms “first” and “The feature of “second” may explicitly or implicitly include one or more of the features.
  • “plurality” means two or more than two, unless otherwise specifically defined.
  • the flow chart of the method for testing the performance of thin film packaging provided by the embodiment of the present invention, referring to FIG. 2, in this embodiment, the number of layers of the second film layer 5 is single, including the following steps:
  • Step S100 Provide a test cavity 10.
  • the test cavity 10 includes: a flexible carrier 1, which is arranged above the detector 3 and at the bottom of the first film layer 4, and the side wall 2 is arranged on the periphery of the flexible carrier .
  • the flexible carrier 1 is a flexible polymer, but the material is not limited thereto, and the flexible carrier 1 does not have the ability to block water and oxygen.
  • the side wall 2 is used to isolate the external water and oxygen and fix the test film.
  • the detector 3 is a device for detecting water oxygen, which can detect the water oxygen content, convert it into a corresponding signal, and then present a corresponding value. The lower the value, the better, and the unit of the value is generally g/m2day.
  • Step S110 deposit a first film layer 4 on the bottom of the test cavity 10, and set the first film layer 4 to be hollow in the middle.
  • the first film layer 4 has a certain ability to block water and oxygen.
  • the hollow position in the middle of the first film layer 4 is a reserved position for the second film layer 5.
  • Step S120 deposit a second film layer in the middle of the first film layer, and cover part of the second film layer on the first film layer.
  • the coating area of the second film layer 5 is smaller than the coating area of the first film layer 4, wherein the coating area of the second film layer 5 refers to the projected area of the second film layer 5 on the first film layer 4 (Or the projected area on the flexible carrier 1), the coating area of the first film layer 4 refers to the projected area of the first film layer 4 on the flexible carrier 1.
  • the second film layer 5 is spaced apart from the side wall 2 provided in the test cavity 10, so the second film layer 5 will not be connected to the side wall (side wall 2) of the test cavity, so that the side of the second film layer 5 Exposure to the air, and then used for lateral detection of water and oxygen resistance.
  • Step S130 Obtain the lateral water-blocking oxygen value of the second film layer 5 by a detector 3, and set the lateral water-blocking oxygen value to a first value.
  • the lateral water-blocking oxygen value obtained by the detector 5 includes the water- and oxygen-blocking capacity of the side of the second film layer 5 and the water- and oxygen blocking capacity of the gap formed by the second film layer 5 and the first film layer 1.
  • Step S111 deposit the first film layer 1 on the bottom of the test cavity 10.
  • Step S112 Obtain the vertical water-blocking oxygen value of the first film layer 1 by the detector 3, and set the vertical water-blocking oxygen value to a second value.
  • step S111 and step S112 it is possible to obtain the vertical water and oxygen blocking capability of only the first membrane layer 1 in the test cavity.
  • Step S113 deposit a second film layer 5 on the bottom of the test cavity 10.
  • Step S114 Obtain the vertical water-blocking oxygen value of the second film layer 5 by the detector 3, and set the vertical water-blocking oxygen value to a third value.
  • step S113 and step S114 it is possible to obtain the vertical water and oxygen blocking capability of only the second film layer 5 in the test cavity.
  • the material of the first film layer 4 and the material of the second film layer 5 may be the same or different.
  • the material of the first film layer 4 is the same as the material of the second film layer 5, and the number of film layers of the second film layer 5 is single, then step S113 and step S113 can be omitted.
  • the second value obtained in step S112 is directly used as the third value.
  • step S140 compare the first value with the second value and the third value respectively.
  • the second film layer 5 When it is determined that the first value is less than the second value and the third value, it is determined that the second film layer 5 has a lateral water and oxygen blocking capability, otherwise it is determined that the second film layer 5 does not have a resistance. Water and oxygen capacity.
  • the number of film layers of the second film layer 5 is multiple, and the multiple film layers may be the same or different.
  • the second film layer includes two layers of a first sub film layer 6, a second sub film layer 7 and a third sub film layer 8.
  • the multiple film layers may be the same or different.
  • Step S100 Provide a test cavity 10.
  • the test cavity 10 includes: a flexible carrier 1, the flexible carrier 1 is arranged above the detector 3 and at the bottom of the first film layer 4, and the side wall 2 is arranged on the flexible carrier 1. ⁇ periphery.
  • the flexible carrier 1 is a flexible polymer, but the material is not limited to this.
  • the flexible carrier does not have the ability to block water and oxygen.
  • the side wall 2 is used to isolate the external water and oxygen and fix the test film.
  • 3 is a device for detecting water and oxygen, which can detect the water and oxygen content, and convert it into a corresponding signal, and then present the corresponding value. The lower the value, the better, and the unit of the value is generally g/m2day.
  • Step S110 deposit a first film layer 4 on the bottom of the test cavity 10, and set the first film layer 4 to be hollow in the middle.
  • the first film layer 4 has a certain ability to block water and oxygen.
  • the hollow position in the middle of the first film layer 4 is a reserved position for the second film layer 5.
  • Step S120 deposit a second film layer 5 in the middle of the first film layer 4, and cover a part of the second film layer 5 on the first film layer 4.
  • the coating area of the second film layer 5 is smaller than the coating area of the first film layer 4, wherein the coating area of the second film layer 5 refers to the projected area of the second film layer 5 on the first film layer 4 (In other words, the projected area on the flexible carrier 1), the coating area of the first film layer 4 refers to the projected area of the first film layer 4 on the flexible carrier 1.
  • the second film layer 5 is spaced apart from the side wall 2 arranged in the test cavity 10, so the second film layer 5 will not be connected to the side wall (side wall 2) of the test cavity 10, so that the second film layer 5 The side is exposed to the air, and then used for lateral detection of water and oxygen resistance.
  • Step S111 deposit the first film 4 on the bottom of the test cavity 10.
  • Step S112 Obtain the vertical water-blocking oxygen value of the first film layer 4 by the detector 3, and set the vertical water-blocking oxygen value to a second value.
  • step S111 and step S112 the vertical water and oxygen blocking capability of only the first film layer 4 in the test cavity can be obtained.
  • Step S115 Depositing the sub-film layers of the second film layer 4 (including: the first sub-film layer 6, the second sub-film layer 7 and the third sub-film layer 8) on the bottom of the test cavity 10 sequentially.
  • Step S116 Obtain the vertical water-blocking oxygen value of each sub-film layer of the second film layer 5 by the detector, and set the vertical water-blocking oxygen value of each sub-film layer as The corresponding fourth value.
  • step S115 and step S116 the vertical water and oxygen blocking capacity value of each film layer in the second film layer 5 can be obtained respectively.
  • step S141 compare the first value with the second value and the corresponding fourth value respectively.
  • the second film layer 5 When it is determined that the first value is less than the second value and the corresponding third value, it is determined that the second film layer 5 has lateral water and oxygen blocking capability, otherwise it is determined that the second film layer 5 is not Possesses the ability to block water and oxygen.
  • the advantage of the present invention is that by cleverly combining the films, the lateral water vapor intrusion paths of various films or packaging structures are formed, thereby obtaining an effective means to detect the lateral water and oxygen blocking ability of the film, and realizing the improvement of the film packaging structure.
  • the detection of lateral water and oxygen blocking capability provides an efficient detection method for the packaging of display panels.

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Abstract

一种测试薄膜封装性能的方法，其包括步骤：步骤S100：提供一测试腔（10）；步骤S110：在测试腔（10）的底部沉积第一膜层（4），并将第一膜层（4）中间设置为中空；步骤S120：在第一膜层（4）的中间沉积第二膜层（5），并且将部分第二膜层（5）覆盖在第一膜层（4）上；第二膜层（5）的镀膜面积小于第一膜层（4）的镀膜面积，第二膜层（5）与设置在测试腔（10）的侧壁（2）间隔设置；以及步骤S130：通过一检测仪（3）获取第二膜层（5）的侧向阻水氧值，并且将侧向阻水氧值设置为第一数值。通过不同的膜层组合设计以形成各种的薄膜或封装结构的侧向水汽入侵路径，从而具备检测薄膜的侧向阻水氧能力，进而为显示面板封装提供一种高效的检测手段。

Description

测试薄膜封装性能的方法
本申请要求于2019年08月26日提交中国专利局、申请号为201910787796.2、发明名称为“测试薄膜封装性能的方”的中国专利申请的优先权，其全部内容通过引用结合在本申请中。
技术领域
本发明涉及应用技术领域，尤其涉及一种测试薄膜封装性能的方法。
 背景技术
随着显示技术的发展，柔性显示器件因其重量轻、厚度薄、可弯曲、视角范围大等优点，有了更广泛的应用，而有机发光二极管（Organic Light-Emitting Diode, OLED）材料对水氧很敏感，少量的水氧入侵即会造成器件的快速衰减，影响OLED的寿命，为了保证柔性显示器件的使用寿命，其封装技术尤为重要。
为了实现OLED的柔性显示，一般采用薄膜封装（Thin-Film Encapsulation，TFE）实现对OLED的保护。现有的OLED薄膜封装（TFE）设计，一般采用有机/无机膜层堆叠结构来达到阻隔水氧的目的。其中，无机膜的主要作用是隔绝水氧，有机膜主要起包裹颗粒、缓释应力的作用。
现有的TFE结构在一定程度上能有效阻隔水氧，保障OLED的寿命。但在研究中发现，OLED发光材料常因边缘水汽入侵而产生内缩，导致封装失效。事实上，OLED显示屏的非发光区域较发光区域更易失效，这主要有两方面原因：其一，因TFE中的有机膜层无阻水氧能力，所以非发光区域无有机膜层来缓释应力、包裹颗粒，这就导致边缘区域的粒子易引起水氧入侵，引起失效；其二，边缘区域的水氧为侧向入侵，而发光区域的水氧为垂直入侵，有可能因为TFE与有机发光二极管层间的膜层粘附力不好，导致水汽更易从侧向入侵。
而现有的技术手段只能检测薄膜的垂直阻水氧能力，对于薄膜的侧向阻水氧能力及薄膜间的侧向阻水氧能力没有有效的检测手段。而为了保证OLED的有效封装，薄膜的垂直阻水氧能力和侧向阻水氧能力同等重要。故而，开发一种有效检测薄膜的侧向阻水氧能力和薄膜间的侧向阻水氧能力的手段十分有必要。
 技术问题
现有的技术手段只能检测薄膜的垂直阻水氧能力，对于薄膜的侧向阻水氧能力及薄膜间的侧向阻水氧能力没有有效的检测手段。
 技术解决方案
为解决上述问题，本发明实施例提供了一种测试薄膜封装性能的方法，所述方法包括步骤：提供一测试腔；在所述测试腔的底部沉积第一膜层，并将所述第一膜层中间设置为中空；在所述第一膜层的中间沉积第二膜层，并且将部分所述第二膜层覆盖在所述第一膜层上，所述第二膜层的镀膜面积小于所述第一膜层的镀膜面积，所述第二膜层与设置在所述测试腔的侧壁间隔设置；以及通过一检测仪获取所述第二膜层的侧向阻水氧值，并且将所述侧向阻水氧值设置为第一数值。
进一步地，在提供一测试腔的步骤之后，还包括步骤：在所述测试腔的底部沉积第一膜层；以及通过所述检测仪获取所述第一膜层的垂直阻水氧值，并且将所述垂直阻水氧值设置为第二数值。
进一步地，所述第二膜层的膜层数量为单个。
进一步地，在提供一测试腔的步骤之后，还包括步骤：在所述测试腔的底部沉积第二膜层；以及通过所述检测仪获取所述第二膜层的垂直阻水氧值，并且将所述垂直阻水氧值设置为第三数值。
进一步的，在通过所述检测仪获取所述第二膜层的垂直阻水氧值的步骤之后，还包括：将所述第一数值分别与所述第二数值和第三数值进行比对；当判断出所述第一数值均小于所述第二数值和所述第三数值时，则判定所述第二膜层具有侧向阻水氧能力，否则判定第二膜层未具备阻水氧能力。
进一步地，所述第二膜层的膜层数量为多个。
进一步地，在提供一测试腔的步骤之后，还包括步骤：在所述测试腔底部依次沉积第二膜层的子膜层；以及通过所述检测仪分别获取所述第二膜层的每一所述子膜层的垂直阻水氧值，并将每一所述子膜层的垂直阻水氧值分别设置为相应的第四数值。
进一步地，在通过所述检测仪分别获取所述第二膜层的每一所述子膜层的垂直阻水氧值的步骤之后，还包括：将所述第一数值分别与所述第二数值和相应的第三数值进行比对；当判断出所述第一数值均小于所述第二数值和相应的所述第三数值时，则判定所述第二膜层具有侧向阻水氧能力，否则判定第二膜层未具备阻水氧能力。
进一步地，所述测试腔包括：柔性载体，所述柔性载体设置在所述检测仪的上方且在所述第一膜层的底部；以及所述侧壁设置在所述柔性载体的周边。
进一步地，所述第一膜层的材料与所述第二膜层的材料为相同或不同。
 有益效果
本发明的优点在于，通过巧妙组合薄膜的方式，形成各种薄膜或封装结构的侧向水汽入侵路径，从而得到一种有效手段来检测薄膜的侧向阻水氧能力，实现了薄膜封装结构的侧向阻水氧能力的检测，为显示面板的封装提供了一种高效检测手段
 附图说明
图1为本发明实施例提供的测试薄膜封装性能的方法的流程图。
图2为本发明实施例提供测试薄膜封装性能的结构示意图。
图3为本发明实施例提供的测试第一膜层的结构示意图。
图4为本发明实施例提供的测试第二膜层的结构示意图。
图5为本发明另一实施例提供测试薄膜封装性能的结构示意图。
图6为本发明实施例提供的测试第一膜层的流程图。
图7为本发明实施例提供的测试第二膜层的流程图。
图8为本发明另一实施例提供的测试第二膜层的流程图。
图9为本发明实施例提供的测试薄膜封装性能的方法的流程图。
图10为本发明另一实施例提供的测试薄膜封装性能的方法的流程图。
图11为本发明实施例提供的测试腔结构示意图。
 本发明的实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本发明中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量，由此限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征，在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
如图1所示，本发明实施例提供的测试薄膜封装性能的方法的流程图，结合参阅图2，在本实施例中第二膜层5的膜层数量为单个，包括如下步骤：
结合参阅图11。
步骤S100：提供一测试腔10。
所述测试腔10包括：柔性载体1，所述柔性载体设置在所述检测仪3的上方且在所述第一膜层4的底部，以及所述侧壁2设置在所述柔性载体的周边。
所述柔性载体1为柔性聚合物，但材料不限于此，所述柔性载体1不具有阻水氧的能力。所述侧壁2用于隔绝外界水氧及固定测试薄膜的作用。所述检测仪3为一种用于侦测水氧的装置，其能够侦测到的水氧含量，并且将其转化为相应信号，进而呈现出相应的数值。所述数值越低越好，所述数值的单位一般为g/m2day。
步骤S110：在所述测试腔10的底部沉积第一膜层4，并将所述第一膜层4中间设置为中空。
所述第一膜层4具有一定的阻水氧能力。在所述第一膜层4的中间位置设置成中空是为了设置第二膜层5而预留的位置。
步骤S120：在所述第一膜层的中间沉积第二膜层，并且将部分所述第二膜层覆盖在所述第一膜层上。
所述第二膜层5的镀膜面积小于所述第一膜层4的镀膜面积，其中第二膜层5的镀膜面积是指第二膜层5在所述第一膜层4上的投影面积(或者说在所述柔性载体1上的投影面积)，第一膜层4的镀膜面积是指所述第一膜层4在所述柔性载体1上的投影面积。
第二膜层5与设置在所述测试腔10内的侧壁2间隔设置，因此第二膜层5不会与测试腔的侧壁（侧壁2）连接，使第二膜层5的侧面暴露在空气中，进而用于进行侧向阻水氧能力的检测。
步骤S130：通过一检测仪3获取所述第二膜层5的侧向阻水氧值，并且将所述侧向阻水氧值设置为第一数值。
通过检测仪5获取的侧向阻水氧值包括第二膜层5的侧面阻水氧能力以及第二膜层5与所述第一膜层1形成的间隙的阻水氧能力。
如图6所示，结合参阅图3。
步骤S111：在所述测试腔10的底部沉积第一膜层1。
步骤S112：通过所述检测仪3获取所述第一膜层1的垂直阻水氧值，并且将所述垂直阻水氧值设置为第二数值。
通过步骤S111和步骤S112，可以获得在测试腔内仅设置第一膜层1的垂直阻水氧能力。
如图7所示，结合参阅图4。
步骤S113：在所述测试腔10的底部沉积第二膜层5。
步骤S114：通过所述检测仪3获取所述第二膜层5的垂直阻水氧值，并且将所述垂直阻水氧值设置为第三数值。
通过步骤S113和步骤S114，可以获得在测试腔内仅设置第二膜层5的垂直阻水氧能力。
其中所述第一膜层4的材料与所述第二膜层5的材料可以是相同或不同。
在本发明的一个实施例中，第一膜层4的材料与所述第二膜层5材料相同，且所述第二膜层5的膜层数量为单个，则可以省去步骤S113及步骤S114的流程，使用步骤S112中得到的第二数值直接作为第三数值。
如图9所示，步骤S140：将所述第一数值分别与所述第二数值和第三数值进行比对。
当判断出所述第一数值均小于所述第二数值和所述第三数值时，则判定所述第二膜层5具有侧向阻水氧能力，否则判定第二膜层5未具备阻水氧能力。
如图5所示，结合参与图1，在另一个实施例中，所述第二膜层5的膜层数量为多个，且所述多个膜层可以是相同或不同。
所述第二膜层包括：两层第一子膜层6、第二子膜层7及第三子膜层8：且所述多个膜层可以是相同或不同。
步骤S100：提供一测试腔10。
所述测试腔10包括：柔性载体1，所述柔性载体1设置在所述检测仪3的上方且在所述第一膜层4的底部，以及所述侧壁2设置在所述柔性载体1的周边。
所述柔性载体1为柔性聚合物，但材料不限于此，所述柔性载体不具有阻水氧的能力，所述侧壁2用于隔绝外界水氧及固定测试薄膜的作用，所述检测仪3为一种用于侦测水氧的装置，其能够侦测到的水氧含量，并且将其转化为相应信号，进而呈现出相应的数值。所述数值越低越好，所述数值的单位一般为g/m2day。
步骤S110：在所述测试腔10的底部沉积第一膜层4，并将所述第一膜层4中间设置为中空。
所述第一膜层4具有一定的阻水氧能力。在所述第一膜层4的中间位置设置成中空是为了设置第二膜层5而预留的位置。
步骤S120：在所述第一膜层4的中间沉积第二膜层5，并且将部分所述第二膜层5覆盖在所述第一膜层4上。
所述第二膜层5的镀膜面积小于所述第一膜层4的镀膜面积，其中第二膜层5的镀膜面积是指第二膜层5在所述第一膜层4上的投影面积（或者说，在所述柔性载体1上的投影面积），第一膜层4的镀膜面积是指，所述第一膜层4在所述柔性载体1上的投影面积。
第二膜层5与设置在所述测试腔10内的侧壁2间隔设置，因此第二膜层5不会与测试腔10的侧壁（侧壁2）连接，使第二膜层5的侧面暴露在空气中，进而用于进行侧向阻水氧能力的检测。
如图6所示，结合参阅图3
步骤S111：在所述测试腔10的底部沉积第一膜层4。
步骤S112：通过所述检测仪3获取所述第一膜层4的垂直阻水氧值，并且将所述垂直阻水氧值设置为第二数值。
通过步骤S111和步骤S112，可以获得在测试腔内仅设置第一膜层4的垂直阻水氧能力。
如图8所示，结合参阅图5
步骤S115：在所述测试腔10底部依次沉积第二膜层4的子膜层（包括：第一子膜层6、第二子膜层7及第三子膜层8）。
步骤S116：通过所述检测仪分别获取所述第二膜层5的每一所述子膜层的垂直阻水氧值，并将每一所述子膜层的垂直阻水氧值分别设置为相应的第四数值。
通过步骤S115和步骤S116，可以分别得到第二膜层5中每一膜层的垂直阻水氧能力值。
如图10所示，步骤S141：将所述第一数值分别与所述第二数值和相应的第四数值进行比对。
当判断出所述第一数值均小于所述第二数值和相应的所述第三数值时，则判定所述第二膜层5具有侧向阻水氧能力，否则判定第二膜层5未具备阻水氧能力。
本发明的优点在于，通过巧妙组合薄膜的方式，形成各种薄膜或封装结构的侧向水汽入侵路径，从而得到一种有效手段来检测薄膜的侧向阻水氧能力，实现了薄膜封装结构的侧向阻水氧能力的检测，为显示面板的封装提供了一种高效检测手段。
综上所述，虽然本发明已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。

Claims (10)

  1. 一种测试薄膜封装性能的方法，其中所述方法包括步骤：
    提供一测试腔；
    在所述测试腔的底部沉积第一膜层，并将所述第一膜层中间设置为中空；
    在所述第一膜层的中间沉积第二膜层，并且将部分所述第二膜层覆盖在所述第一膜层上，所述第二膜层的镀膜面积小于所述第一膜层的镀膜面积，所述第二膜层与设置在所述测试腔的侧壁间隔设置；以及
    通过一检测仪获取所述第二膜层的侧向阻水氧值，并且将所述侧向阻水氧值设置为第一数值。
  2. 如权利要求1所述的测试薄膜封装性能的方法，其中在提供一测试腔的步骤之后，还包括步骤：
    在所述测试腔的底部沉积第一膜层；以及
    通过所述检测仪获取所述第一膜层的垂直阻水氧值，并且将所述垂直阻水氧值设置为第二数值。
  3. 如权利要求2所述的测试薄膜封装性能的方法，其中所述第二膜层的膜层数量为单个。
  4. 如权利要求3所述的测试薄膜封装性能的方法，其中在提供一测试腔的步骤之后，还包括步骤：
    在所述测试腔的底部沉积第二膜层；以及
    通过所述检测仪获取所述第二膜层的垂直阻水氧值，并且将所述垂直阻水氧值设置为第三数值。
  5. 根据权利要求4所述的测试薄膜封装性能的方法，其中在通过所述检测仪获取所述第二膜层的垂直阻水氧值的步骤之后，还包括：
    将所述第一数值分别与所述第二数值和第三数值进行比对；
    当判断出所述第一数值均小于所述第二数值和所述第三数值时，则判定所述第二膜层具有侧向阻水氧能力，否则判定第二膜层未具备阻水氧能力。
  6. 如权利要求2所述的测试薄膜封装性能的方法，其中所述第二膜层的膜层数量为多个。
  7. 如权利要求6所述的测试薄膜封装性能的方法，其中在提供一测试腔的步骤之后，还包括步骤：
    在所述测试腔底部依次沉积第二膜层的子膜层；以及
    通过所述检测仪分别获取所述第二膜层的每一所述子膜层的垂直阻水氧值，并将每一所述子膜层的垂直阻水氧值分别设置为相应的第四数值。
  8. 根据权利要求7所述的测试薄膜封装性能的方法，其中在通过所述检测仪分别获取所述第二膜层的每一所述子膜层的垂直阻水氧值的步骤之后，还包括：
    将所述第一数值分别与所述第二数值和相应的第四数值进行比对；
    当判断出所述第一数值均小于所述第二数值和相应的所述第三数值时，则判定所述第二膜层具有侧向阻水氧能力，否则判定第二膜层未具备阻水氧能力。
  9. 如权利要求1所述的测试薄膜封装性能的方法，其中所述测试腔包括：
    柔性载体，所述柔性载体设置在所述检测仪的上方且在所述第一膜层的底部；以及所述侧壁设置在所述柔性载体的周边。
  10. 如权利要求1所述的测试薄膜封装性能的方法，其中所述第一膜层的材料与所述第二膜层的材料为相同或不同。
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