WO2020158166A1 - 弾性体とそれを用いた力覚センサ - Google Patents

Abstract

力覚センサ１０は、第１構造体１６－１と、第２構造体１６－２と、複数の第３構造体１６－３と、複数の歪センサ１９を具備する。第１構造体１６－１は、６軸方向に変形可能な３つ以上の第１弾性部１６－４を有する。第２構造体１６－２は、６軸方向に変形可能な３つ以上の第２弾性部１６－５と、第２弾性部のそれぞれに接続され、６軸方向に変形可能な３つ以上の中継部１６－６を有する。複数の第３構造体１６－３は、第２構造体の前記中継部のそれぞれと第１構造体の第１弾性部のそれぞれとの間に設けられる。複数の歪センサ１９は、第１構造体と中継部のそれぞれとの間に設けられる。

Description

弾性体とそれを用いた力覚センサ

　本発明の実施形態は、例えばロボットアーム等に用いられる弾性体とそれを用いた力覚センサに関する。

　力覚センサは、例えばロボットアーム等に用いられ、直交する３軸（ｘ、ｙ、ｚ）に関して、力（Ｆｘ、Ｆｙ、Ｆｚ）とモーメント（Ｍｘ、Ｍｙ、Ｍｚ）を検出する（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１８－４８９１５号公報

　力覚センサは、６軸方向、例えば３軸方向及び３軸回り方向、に変形可能な弾性体を具備し、この弾性体に複数の歪センサが設けられている。各歪センサは、起歪体と、起歪体上に設けられた複数の歪ゲージを具備している。さらに、力覚センサは、弾性体や起歪体を外力から保護するため、ストッパを具備している。

　弾性体及び起歪体（以下、これらを合わせてセンサ体とも言う）の剛性が高く、６軸方向の変位量が非常に小さい場合、ストッパの構造に高い加工精度が要求され、ストッパの実現が困難となる。

　また、センサ体の剛性が、軸方向毎に大きく異なると、ストッパの設計が複雑となり、ストッパの実現が困難となる。

　一方、ストッパを設けずにセンサ体を設計した場合、弾性体及び起歪体の変位を大きくすることが困難であるため、大きなセンサ出力を得ることができない。したがって、ノイズなどの外乱に弱く、測定精度が低いセンサとなってしまう。

　本発明の実施形態は、十分なセンサ出力を得ることができ、測定精度を向上させることが可能な弾性体とそれを用いた力覚センサを提供するものである。

　本実施形態の弾性体は、６軸方向に変形可能な３つ以上の第１弾性部を有する第１構造体と、前記６軸方向に変形可能な３つ以上の第２弾性部と、前記第２弾性部のそれぞれに接続され、前記６軸方向に変形可能な３つ以上の中継部を有する第２構造体と、前記第２構造体の前記中継部のそれぞれと前記第１構造体の前記第１弾性部のそれぞれとの間に設けられた複数の第３構造体と、を具備する。

　本実施形態の力覚センサは、６軸方向に変形可能な３つ以上の第１弾性部を有する第１構造体と、前記６軸方向に変形可能な３つ以上の第２弾性部と、前記第２弾性部のそれぞれに接続され、前記６軸方向に変形可能な３つ以上の中継部を有する第２構造体と、前記第２構造体の前記中継部のそれぞれと前記第１構造体の前記第１弾性部のそれぞれとの間に設けられた複数の第３構造体と、前記第１構造体と前記中継部のそれぞれとの間に設けられた複数の歪センサと、を具備する。

本実施形態に係る力覚センサを示す斜視図。 図１に示す力覚センサを分解して示す斜視図。 図２に示す力覚センサの一部を組み立てた状態を示す斜視図。 図２に示す力覚センサの一部をさらに組み立てた状態を示す斜視図。 図２に示す力覚センサの一部をさらに分解して示す斜視図。 本実施形態に係る弾性体を取り出して示す平面図。 本実施形態に係る弾性体を模式的に示す図。 図６に示す弾性体が変形した場合の例を示すものであり、一部を取り出して示す平面図。 図６に示す弾性体が変形した場合の他の例を示すものであり、一部を取り出して示す平面図。 本実施形態に係る弾性体の変形の一例を示すものであり、一部を取り出して示す側断面図。 図１０Ａに示す変形に伴う起歪体の変形の例を示す斜視図。 参考例としての弾性体の変形の例を示すものであり、一部を取り出して示す側断面図。 図１０Ｃに示す変形に伴う起歪体の変形の例を示す斜視図。 弾性体の第１変形例を示す平面図。 弾性体の第２変形例を示すものであり、一部を取り出して示す斜視図。 弾性体の第３変形例を示すものであり、一部を取り出して示す平面図。 弾性体の第４変形例を模式的に示す図。 弾性体の第５変形例を模式的に示す平面図。 歪センサの一例を示す平面図。 ブリッジ回路の一例を示す回路図。 センサ体の６軸に対する変位量の一例を示す図。 本実施形態に係るストッパ部材の一例を示す斜視図。 本実施形態に係るストッパを示す正面図。 図２０Ａの一部を断面として示す側面図。 ストッパと治具の関係を示す斜視図。 ストッパの第１変形例を示す正面図。 ストッパの第２変形例を示す正面図。 ストッパの第３変形例を示す正面図。 ストッパの第４変形例を示す斜視図。 図２５Ａに示すＸＸＶＢ－ＸＸＶＢ線に沿った断面図。 ストッパの第５変形例を示す正面図。 ストッパの第６変形例を示す正面図。 ストッパの第７変形例を示す正面図。 ストッパの第８変形例を示す正面図。 図２９の一部を取り出して示す斜視図。 ストッパの第９変形例を示す正面図。

　以下、実施の形態について、図面を参照して説明する。図面において、同一部分には同一符号を付している。

　図１乃至図６を用いて、本実施形態に係る力覚センサ１０の構成について説明する。　
　力覚センサ１０は、例えばロボットアーム等に用いられ、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向の力（Ｆｘ、Ｆｙ、Ｆｚ）、及びＸ、Ｙ、Ｚ軸回りのトルク（モーメント：Ｍｘ、Ｍｙ、Ｍｚ）を検出する。

　図１、図２に示すように、力覚センサ１０は、円筒状の本体１１と、本体１１を覆う円筒状のカバー１２とを備えている。カバー１２の内部には、本体１１に対して動作可能な可動体としての取付けプレート１３が設けられ、取付けプレート１３は、複数のネジ１４によりカバー１２に固定される。カバー１２及び取付けプレート１３は、本体１１に対して動作可能に設けられる。

　本体１１は、図示せぬロボットアームの例えば本体に固定される。取付けプレート１３は、ロボットアームの例えばハンド部分に固定される。

　本体１１とカバー１２との間には、リング状のシール部材１５が設けられている。シール部材１５は、弾性材、例えばゴム製又は発泡部材により形成され、本体１１とカバー１２との間隙をシールするとともに、カバー１２が本体１１に対して動作可能としている。

　本体１１と取付けプレート１３との間には、弾性体１６が設けられる。弾性体１６は、例えば金属製であり、後述するように、１つの第１構造体１６－１と、複数に分かれた第２構造体１６－２と、第１構造体１６－１と第２構造体１６－２との間に設けられた複数の第３構造体１６－３等と、を具備する。複数の第２構造体１６－２は、第１構造体１６－１の周囲に等間隔に配置される。

　本実施形態において、弾性体１６は、例えば３つの第２構造体１６－２を具備している。しかし、第２構造体１６－２の数は３つに限定されるものではなく、３つ以上であってもよい。また、本実施形態を、力覚センサ以外の例えばトルクセンサに適用する場合、第２構造体１６－２の数は、２つであってもよい。

　図３に示すように、第１構造体１６－１は、その周囲に６つの第１弾性部１６－４を具備している。第１弾性部１６－４は、第１構造体１６－１の周囲に沿って配置され、直線状の形状を有している。

　第２構造体１６－２のそれぞれは、略Ｕ字状の２つの第２弾性部１６－５と、２つの第２弾性部１６－５の間に設けられ、２つの第２弾性部１６－５を繋ぐ直線上の中継部１６－６を具備している。

　第３構造体１６－３のそれぞれは、一端部が第１弾性部１６－４に接続され、他端部が中継部１６－６に接続される。第１構造体１６－１と１つの第２構造体１６－２との間に設けられた２つの第３構造体１６－３は、平行に配置される。

　第２構造体１６－２は、複数のネジ１７により本体１１に固定され、第１構造体１６－１は、図２、図４に示すように、複数のネジ１８により取付けプレート１３に固定される。

　図２、図３に示すように、歪センサ１９は、第１構造体１６－１と中継部１６－６との間に設けられる。具体的には、歪センサ１９の一端部は、固定プレート２０と第１弾性部１６－４の裏面に挿入されたネジ２１により、２つの第１弾性部１６－４の間の第１構造体１６－１に固定され、歪センサ１９の他端部は固定プレート２２と中継部１６－６の裏面に挿入されたネジ２３により、中継部１６－６の中央部に固定される。歪センサ１９は、後述するように、金属製の起歪体と、起歪体の表面に配置された複数の歪ゲージを具備している。

　取付けプレート１３及びカバー１２が外力により、本体１１に対して動作すると、第３構造体１６－３、第１弾性部１６－４、第２弾性部１６－５、及び中継部１６－６が変形する。これに伴い、歪センサ１９の起歪体が変形し、歪ゲージから電気信号が出力される。

　各歪センサ１９の各歪ゲージは、後述するように、ブリッジ回路を構成し、ブリッジ回路により、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向の力（Ｆｘ、Ｆｙ、Ｆｚ）、及びＸ、Ｙ、Ｚ軸回りのトルク（モーメント：Ｍｘ、Ｍｙ、Ｍｚ）が検出される。

　図２に示すように、本体１１には、弾性体１６を外力から保護する複数のストッパ３０が設けられている。各ストッパ３０は、円筒状のストッパ部材３１と、固定部材としてのネジ３２と、取付けプレート１３に設けられた複数の開口部１３ａと、により構成される。

　本実施形態は、３つのストッパ３０を具備する場合を示している。しかし、ストッパ３０の数は、３つに限定されるものではなく、３つ以上であってもよい。３つのストッパ３０は、３つの第２構造体１６－２の隣接する構造体１６－２の相互間にそれぞれ配置される。

　ストッパ３０を隣接する第２構造体１６－２の相互間に配置することにより、弾性体１６及び力覚センサ全体の直径及び外形の大型化を抑制することが可能である。

　本体１１の表面には複数の突起１１ａが設けられる。各突起１１ａは、隣接する第２構造体１６－２の相互間に配置されている。

　図４に示すように、ストッパ部材３１は、取付けプレート１３の開口部１３ａ内に挿入された状態で、ネジ３２により本体１１の突起１１ａに固定される。ストッパ部材３１の外径は、後述するように、開口部１３ａの内径より若干小さく設定されている。取付けプレート１３が本体１１に対して動作し、ストッパ部材３１の外面が開口部１３ａの内面に当接すると、取付けプレート１３の動作が阻止され、弾性体１６及び歪センサ１９の起歪体の破壊が防止される。

　図５に示すように、本体１１の裏面部には、印刷基板４１、複数のフレキシブル印刷基板４２、裏蓋４３、リード線アセンブリ４４、中空管４５が設けられている。印刷基板４１は、ブリッジ回路に電源を供給したり、ブリッジ回路の出力信号を処理したりする図示せぬ処理回路などを具備している。

　複数のフレキシブル印刷基板４２の一端部は、図２に示すように、本体１１の上面側に配置され、各歪センサ１９に接続される。複数のフレキシブル印刷基板４２の他端部は、印刷基板４１の裏面において、処理回路などに接続される。複数のフレキシブル印刷基板４２は、歪ゲージに電源を供給したり、歪ゲージからの信号を処理回路に供給したりする。

　リード線アセンブリ４４は、印刷基板４１に接続され、処理回路に電源を供給したり、処理回路からの信号を伝送したりする。裏蓋４３は、複数のネジにより本体１１に固定され、印刷基板４１をカバーする。

　本体１１、カバー１２、取付けプレート１３、及び弾性体１６の第１構造体１６－１、印刷基板４１、裏蓋４３の中央部には、開口部が連通して設けられており、中空管４５は、この開口部内に設けられる。

　図２、図３に示すように、中空管４５の一端部は、裏蓋４３、印刷基板４１、第１構造体１６－１を貫通し、第１構造体１６－１の表面に突出される。中空管４５の第１構造体１６－１の表面に突出された一端部には、リング状のシール部材２６が設けられる。このシール部材２６は、例えばゴム又は発泡材料により形成され、取付けプレート１３の開口部と中空管２５の一端部との間隙をシールする。これにより、カバー１２の外部から取付けプレート１３の内部に塵埃が侵入することが防止される。

　（弾性体の構成）
　図６は、弾性体１６と歪センサ１９を示している。前述したように、弾性体１６は、１つの第１構造体１６－１と、３つの第２構造体１６－２、複数の第３構造体１６－３、第１構造体１６－１に設けられた６つの第１弾性部１６－４、３つの第２構造体１６－２のそれぞれに設けられた２つの第２弾性部１６－５、及び２つの第２弾性部１６－５の間に設けられた中継部１６－６を具備している。

　第２弾性部１６－５は、略Ｕ字状であり、第２構造体１６－２に比べて低い曲げ又はねじれ剛性を有している。第１弾性部１６－４は、第２弾性部１６－５と同程度以下のねじれ剛性を有している。

　歪センサ１９は、２つの第１弾性部１６－４の間に位置する第１構造体１６－１と、中継部１６－６の中央部との間に設けられる。さらに、歪センサ１９は、２つの第３構造体１６－３の間に位置され、２つの第３構造体１６－３と平行に配置される。

　第１弾性部１６－４、第２弾性部１６－５、及び中継部１６－６の厚みは、第１構造体１６－１、第２構造体１６－２、第３構造体１６－３の厚みと等しく、第１弾性部１６－４、第２弾性部１６－５、及び中継部１６－６の幅Ｗは、第３構造体１６－３の幅と等しくされている。第２弾性部１６－５は、Ｕ字状部の長さＬ１及びＬ２が長い程、及びＵ字状部の幅Ｗが細い程、柔軟であり、第１弾性部１６－４及び中継部１６－６も、幅が細い程、柔軟である。

　歪センサ１９を構成する起歪体１９ａの厚みは、第１構造体１６－１、第２構造体１６－２、第３構造体１６－３、第１弾性部１６－４、第２弾性部１６－５、及び中継部１６－６の厚みより薄く、起歪体１９ａの幅は、第３構造体１６－３、第１弾性部１６－４、第２弾性部１６－５、及び中継部１６－６の幅より広い。但し、第１弾性部１６－４、第２弾性部１６－５、中継部１６－６、第３構造体１６－３の厚み、幅の寸法、及び大小関係は、必要に応じて変更できる。

　起歪体１９ａは、後述するように、厚みが薄い矩形状であり、平面の縦横比が大きい形状である。このため、起歪体１９ａが単体の場合、断面二次モーメントの相違により、起歪体１９ａは、Ｆｘ、Ｆｙ方向の力及びＭｚ方向のモーメントに対して変位が小さく、Ｍｘ、Ｍｙ方向のモーメント及びＦｚ方向の力に対して変位が大きい特性を有している。

　一方、弾性体１６の変位量が小さ過ぎる場合、上述したストッパ３０の構造に対して、高い加工精度が要求される。また、Ｆｘ、Ｆｙ方向の力及びＭｚ方向のモーメントに対する変位量と、Ｍｘ、Ｍｙ方向のモーメント及びＦｚ方向の力に対する変位量が大きい場合、ストッパ３０の構造が複雑となる。このため、簡単な構造のストッパで高精度な力覚センサを構成するためには、弾性体１６の各軸の変位量の差が小さいことが必要である。

　本実施形態に係る弾性体１６は、Ｘ－Ｙ平面（Ｘ軸、Ｙ軸を含む平面）に平行な方向への変位量を増加でき、起歪体１９ａは、僅かしか変位していないにも関わらず、センサ体としては、大きな変位量を実現することを可能とする。

　さらに、起歪体１９ａのＺ軸方向の剛性は、弾性体１６のＺ軸方向の剛性に比べて遥かに小さい。このため、力覚センサのＺ軸方向の曲げに係わる定格荷重を、起歪体１９ａ単体に印加することはできない。したがって、起歪体１９ａの変位量をコントロールする必要がある。

　したがって、弾性体１６に求められる機能は、（１）Ｘ－Ｙ平面内において、変位量が大きいこと。（２）Ｚ軸方向の負荷を受けて、起歪体１９ａの変位量をコントロールすることである。

　図７は、上述した本実施形態に係る弾性体１６の構成を模式的に示している。　
　第１構造体１６－１と中継部１６－６との間は、直列接続された第１弾性部１６－４と第３構造体１６－３とにより接続され、さらに、起歪体１９ａにより接続される。　
　中継部１６－６と第２構造体１６－２は、これらの間に設けられた第２弾性部１６－５により接続される。　
　ここで、第１弾性部１６－４及び第２弾性部１６－５は、Ｆｘ、Ｆｙ方向の力、Ｍｚ方向のモーメントに対して、弾性体１６の変位量を増加させる機能を有している。以下で、具体的に説明する。

　（第１弾性部１６－４の機能）
　（１）Ｍｚ系（Ｆｘ、Ｆｙ、Ｍｚ）の変形　
　図８に示すように、弾性体１６にＦｘ、Ｆｙ方向の力が印加された場合、及びＭｚ方向のモーメントが印加された場合、第１弾性部１６－４の第３構造体１６－３が接続された部分が、矢印で示すように変形する。このため、第１構造体１６－１に対する第２構造体１６－２の変位量が増加する。起歪体１９aは、第３構造体１６－３の幅と、起歪体１９aの幅、及び負荷に応じて変位し、起歪体１９aの変位量は、僅かである。すなわち、本実施形態の場合、起歪体１９ａの変位量に比べて、第１構造体１６－１に対する第２構造体１６－２の変位量を増加させることができる。

　（２）Ｆｚ系（Ｍｘ、Ｍｙ、Ｆｚ）の変形
　図９に示すように、弾性体１６にＦｚ方向の力が印加された場合、及びＭｘ、Ｍｙ方向のモーメントが印加された場合、第１弾性部１６－４の第３構造体１６－３が接続された部分が、矢印で示すように変形する。このため、第３構造体１６－３の厚み方向の変位量が増加し、起歪体１９ａの厚み方向の変位量を増加させることができる。このため、後述するように、第３構造体１６－３を略Ｓ字状に変形させることができ、ブリッジ回路の出力電圧を増加させることができる。

　図１０Ａは、本実施形態に係る弾性体１６の変形の一例を示している。

　第１構造体１６－１は、ねじれ剛性が第２弾性部１６－５と同程度以下の第１弾性部１６－４を有している。このため、弾性体１６に例えばＦｚ方向の力が印加された場合、第１弾性部１６－４が変形することにより第２弾性部１６－５の変形が減少し、中継部１６－６の吊り上げ量が低減される。このため、第３構造体１６－３は、略Ｓ字状に変形し、第１構造体１６－１と中継部１６－６との間に設けられた起歪体１９ａも、略Ｓ字状に変形される。

　図１０Ｂは、図１０Ａに示す弾性体１６の変形に伴う起歪体１９ａの変形を概略的に示している。起歪体１９ａの表面に複数の歪ゲージ５１～５４が図示のように配置されているものとする。

　弾性体１６の変形に伴い起歪体１９ａが略Ｓ字状に変形された場合、起歪体１９ａの表面に設けられた歪ゲージ５１、５２は、伸長され、歪ゲージ５３、５４は圧縮される。このため、歪ゲージ５１、５２の抵抗値と、歪ゲージ５３、５４の抵抗値との差が大きくなり、歪ゲージ５１～５４により構成されるブリッジ回路の出力電圧を増加させることができる。したがって、力覚センサの精度を向上させることができる。

　図１０Ｃは、比較例としての弾性体６０の変形の様子を示している。この弾性体６０は、本実施形態の弾性体１６から第１弾性部１６－４を除いたものである。第１弾性部１６－４が無い場合、弾性体６０に例えばＦｚ方向の力が印加されると、第２構造体１６－２に比べて低い剛性を有する第２弾性部１６－５の曲げ又はねじれ変形により、第３構造体１６－３が湾曲される。これに伴い、中継部１６－６が吊り上げられる。このため、第１構造体１６－１と中継部１６－６との間に設けられた起歪体１９ａも湾曲される。

　図１０Ｄは、図１０Ｃに示す弾性体６０の変形に伴う起歪体１９ａの変形を示している。弾性体６０の湾曲に伴い起歪体１９ａが湾曲された場合、起歪体１９ａの表面に設けられた歪ゲージ５１、５２、及び歪ゲージ５３、５４は共に伸長される。このため、歪ゲージ５１、５２の抵抗値と、歪ゲージ５３、５４の抵抗値との差が小さく、歪ゲージ５１～５４により構成されるブリッジ回路の出力電圧も小さい。したがって、力覚センサの精度を向上させることが困難である。

　（第２弾性部１６－５の機能）
　第２弾性部１６－５は、第２構造体１６－２に比べて曲げ又はねじれ剛性が低い。このため、弾性体１６にＦｘ、Ｆｙ方向の力が印加された場合、及びＭｚ方向のモーメントが印加された場合、第１構造体１６－１と中継部１６－６との間に設けられた起歪体１９ａが後述する第３構造体１６－３により制御された量しか変位しないにも関わらず、第１構造体１６－１に対する第２構造体１６－２の変位量を増加させることができる。

　具体的には、Ｕ字状の第２弾性部１６－５は、厚みに比べて幅が狭くされ、第２弾性部１６－５の断面二次モーメントが大きく異なっている。このため、第２弾性部１６－５は、Ｆｚ方向の力に対して剛性が高く、Ｍｚ方向のモーメントに対して剛性が低い。ねじれを考慮すると、第２弾性部１６－５は、Ｆｚ方向の力に対しても単純な曲げで想定している以上に柔軟性を有している。しかし、第２弾性部１６－５は、Ｍｚ方向のモーメントよりも、十分にＦｚ方向の力に対する剛性が高い。

　（第３構造体１６－３の機能）
　第３構造体１６－３は、第１弾性部１６－４と中継部１６－６との間に設けられ、且つ、歪センサ１９と平行に配置されている。このため、弾性体１６にＦｘ、Ｆｙ方向の力、及び／又はＭｚ方向のモーメントが印加された場合、歪センサ１９を構成する起歪体１９ａの厚み方向と幅方向の変位量を制御することができる。

　具体的には、第３構造体１６－３の厚みは、起歪体１９ａの厚みより厚くされ、第３構造体１６－３の幅は、起歪体１９ａの幅より狭くされている。したがって、第３構造体１６－３により、断面二次モーメントの異なる起歪体１９ａの厚み方向と幅方向の変位量を制御することが可能である。

　（弾性体１６及び力覚センサの効果）
　本実施形態の弾性体１６は、第１構造体１６－１と、複数の第２構造体１６－２と、第１構造体１６－１に設けられた複数の第１弾性部１６－４と、第２構造体１６－２のそれぞれに設けられた第２弾性部１６－５と、２つの第２弾性部１６－５の間に設けられた中継部１６－６と、中継部１６－６と第１弾性部１６－４との間に設けられた第３構造体１６－３とを具備し、第２弾性部１６－５の剛性は、第２構造体１６－２の剛性よりも低く、第１弾性部１６－４の剛性は第１構造体６－１の剛性以下である。このため、弾性体１６の全体的な剛性を、第１弾性部１６－４及び第２弾性部１６－５が無い場合に比べて低くすることができ、Ｆｘ、Ｆｙ方向の力に対して、弾性体１６の変位量を増加させることができる。したがって、Ｆｘ、Ｆｙ方向の力に対して、起歪体１９ａの僅な変形に比べて、弾性体１６の変位量を増加させることができる。

　また、本実施形態の弾性体１６は、第１弾性部１６－４、第２弾性部１６－５、及び中継部１６－６を具備することにより、６軸方向の変位量をほぼ同等とすることができる。しかも、Ｆｚ方向の力を受けて、第３構造体１６－３及び中継部１６－６の変形を抑制でき、第１弾性部１６－４、第３構造体１６－３及び中継部１６－６が略Ｓ字状に変形させることができる。これに伴い、起歪体１９ａをＳ字状に変形させることができるため、Ｆｚ方向の力に対して起歪体１９ａに十分な歪を与えることができる。したがって、大きなセンサ出力を得ることができ、高精度の力覚センサを構成することが可能である。

　さらに、第１弾性部１６－４の剛性が、第２弾性部１６－５の剛性以下である場合、Ｆｚ方向の力に対して起歪体１９ａにより大きな歪を与えることができ、一層大きなセンサ出力を得ることができる。尚、ここで、剛性とは、軸剛性、曲げ剛性、せん断剛性、及びねじり剛性を含んでいる。

　しかも、弾性体１６は、６軸方向の変位量がほぼ同等であり、全体的な剛性が低い。このため、簡単な構成のストッパ３０により、起歪体１９ａを保護することができる。

　具体的には、高い剛性を有する弾性体の場合、ストッパ３０のストッパ部材３１の側面と、取付けプレート１３の開口部１３ａの内面との隙間を例えば２０μｍ以下とする必要がある。このため、機械加工が困難である。しかし、本実施形態のように、弾性体１６の全体的な剛性が低い場合、定格荷重時の弾性体１６の変位量を例えば１００μｍ～２００μｍに増加させることができる。このため、ストッパ部材３１の側面と、取付けプレート１３の開口部１３ａの内面との間隔を広げることができるため、過負荷時のストッパ３０の設計が容易となり、ストッパ３０の機械加工が容易となる。

　さらに、過負荷時、剛性が高いストッパ３０によって、弾性体１６及び起歪体１９ａの変位を抑制することができるため、定格荷重の範囲において、起歪体１９ａに十分な歪を与えることが可能である。したがって、高いセンサ出力を得ることが可能である。仮に、ストッパ３０が無い場合、過負荷時も想定して、十分な安全率を見込んだ定格荷重を設定する必要がある。このため、起歪体に十分な歪を与えることができず、高いセンサ出力を取り出すことが困難である。

　（弾性体１６の変形例）
　（第１変形例）　
　図１１は、弾性体１６の第１変形例を示している。図１１に示す弾性体１６において、図６に示す弾性体１６と相違するのは、中継部１６－６が第２構造体１６－２に固定される点である。すなわち、中継部１６－６と第２構造体１６－２との間には、接続部７０が設けられ、中継部１６－６は、接続部７０により第２構造体１６－２に固定される。

　接続部７０の厚みは、第２構造体１６－２、中継部１６－６と同等であり、幅は、例えば第３構造体１６－３の幅と同等である。

　さらに、この場合、第１構造体１６－１の第１弾性部１６－４は、除かれる。　
　上記構成において、図１１に示す中継部１６－６の梁１６－６ａのねじれ剛性が、接続部７０の曲げ剛性に対して低く、第１構造体１６－１の第１弾性部１６－４が無い場合において、Ｆｚ方向の力により、第３構造体１６－３が変位された場合、中継部１６－６の表面は、接続部７０により第１構造体１６－１の表面と高さが異なるが、平行に近い姿勢に保持される。このため、起歪体１９ａは、図１０Ｂに示すように、Ｓ字状に変形することができ、ブリッジ回路の出力電圧を増加させることができる。

　（第２変形例）
　図１２は、弾性体１６の第２変形例を示している。図１２に示す弾性体１６と、図１１に示す弾性体１６との相違点は、図１２に示す弾性体１６において、第２弾性部１６－５が除去されていることである。さらに、中継部１６－６の梁１６－６ａを除いてもよい。

　この構成によっても、Ｆｚ方向の力により、第３構造体１６－３が変位された場合、中継部１６－６は、接続部７０により、第１構造体１６－１の表面と高さが異なるが、平行に近い姿勢に保持される。したがって、第２変形例によっても第１変形例と同様の効果を得ることができる。

　（第３変形例）
　図１３は、弾性体１６の第３変形例を示している。図２、図３、図６に示す弾性体１６において、第３構造体１６－３が設けられる第１弾性部１６－４は、１つの第３構造体１６－３にそれぞれ対応して設けられていた。

　これに対して、図１３に示す第３変形例の場合、２つの第３構造体１６－３に対して１つの第１弾性部１６－７が設けられている。起歪体１９ａの一端部は、２つの第３構造体１６－３の間に位置する第１弾性部１６－７に設けられる。

　上記構成によっても、Ｆｚ方向の力により、第３構造体１６－３が変位された場合、起歪体１９ａは、図１０Ｂに示すように、Ｓ字状に変形することができ、ブリッジ回路の出力電圧を増加させることができる。

　尚、第１弾性部１６－７に設けられる第３構造体の数は、２つに限らず３つ以上であってもよい。

　（第４変形例）
　図１４は、弾性体１６の第４変形例を模式的に示している。　
　弾性体１６は、Ｘ－Ｙ平面内において、起歪体１９ａの変位量に比べて、弾性体１６自身の変位量を増加でき、Ｚ軸方向の負荷を受けて、起歪体１９ａの変位量を制御できればよい。このため、上記実施形態では、図７に示すように、弾性体１６は、第１構造体１６－１の周囲に複数の第２構造体１６－２を配置し、第１構造体１６－１の第１弾性部１６－４と、第２構造体１６－２の中継部１６－６との間に第３構造体１６－３をそれぞれ配置し、第１構造体１６－１と中継部１６－６との間に起歪体１９ａをそれぞれ配置した。

　しかし、これに限らず、図１４に示すように、第２構造体１６－２の周囲に複数の第１構造体１６－１を配置し、第２構造体１６－２の中継部１６－６と、第１構造体１６－１の第１弾性部１６－４との間に第３構造体１６－３をそれぞれ配置し、中継部１６－６と第１構造体１６－１との間に起歪体１９ａをそれぞれ配置してもよい。

　この構成によっても、上記実施形態と同様の効果を得ることが可能である。　
　尚、上記実施形態及び各変形例において、弾性体１６の第１弾性部１６－４、第２弾性部１６－５の厚さ及び材料は、第３構造体１６－３と同一であるが、別の厚さ及び別の材料としてもよい。

　（第５変形例）
　図６及び図１１に示す例の場合、弾性体１６は、３つの第２構造体１６－２を具備している。しかし、ストッパ３０の配置を変更することにより、３つの第２構造体１６－２は、一体化することも可能である。

　図１５は、図６に示す弾性体１６の変形例を示している。第５変形例において、第２構造体１６－２は、リング状であり、１つの第２構造体１６－２の複数の箇所に、それぞれ複数の第２弾性部１６－５、及び中継部１６－６が設けられている。その他の構成は、図６と同様である。この構成の場合、複数のストッパ３０は、弾性体１６の例えば外側に配置すればよい。

　このような構成を有する弾性体１６によっても、図６に示す構成の弾性体と同様の効果を得ることが可能である。

　図１１に示す弾性体１６も、図１５に示すように、３つの第２構造体１６－２をリング状の１つの第２構造体１６－２にすることも可能である。この場合においても、図１１に示す弾性体１６と同様の効果を得ることが可能である。

　図１４に示す弾性体１６も、図１５に示すように、複数の第１構造体１６－１をリング状の１つの第１構造体１６－１とすることも可能である。この場合においても、図１４に示す弾性体１６と同様の効果を得ることが可能である。

　（歪センサの構成）
　図１６は、歪センサ１９の一例を示している。前述したように、歪センサ１９は、起歪体１９ａと、起歪体１９ａの表面に設けられた複数の歪ゲージＲ１～Ｒ８により構成される。起歪体１９ａは、金属により構成され、その厚みは、幅より薄くされている。このため、起歪体１９ａは、厚み方向に変形しやすく、幅方向に変形し難い。

　起歪体１９ａの一端部は第１構造体１６－１に設けられ、他端部は第２構造体１６－２の中継部１６－６に設けられる。歪ゲージＲ１、Ｒ３、Ｒ５、Ｒ８は、起歪体１９ａの一端部近傍に設けられ、歪ゲージＲ２、Ｒ４、Ｒ６、Ｒ７は、起歪体１９ａの他端部近傍に設けられる。

　図１７は、上記歪ゲージＲ１～Ｒ８を用いたブリッジ回路の一例を示している。歪ゲージＲ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４は、第１ブリッジ回路ＢＣ１を構成し、歪ゲージＲ５、Ｒ６、Ｒ７、Ｒ８は、第２ブリッジ回路ＢＣ２を構成する。

　第１ブリッジ回路ＢＣ１は、電源Ｖと接地ＧＮＤとの間に歪ゲージＲ２と歪ゲージＲ１の直列回路と、歪ゲージＲ４と歪ゲージＲ３の直列回路が配置される。歪ゲージＲ２と歪ゲージＲ１の接続ノードから出力電圧Ｖｏｕｔ＋が出力され、歪ゲージＲ４と歪ゲージＲ３の接続ノードから出力電圧Ｖｏｕｔ－が出力される。出力電圧Ｖｏｕｔ＋及び出力電圧Ｖｏｕｔ－は、演算増幅器ＯＰ１に供給され、演算増幅器ＯＰ１の出力端から出力電圧Ｖｏｕｔが出力される。

　第２ブリッジ回路ＢＣ２は、電源Ｖと接地ＧＮＤとの間に歪ゲージＲ６と歪ゲージＲ５の直列回路と、歪ゲージＲ８と歪ゲージＲ７の直列回路が配置される。歪ゲージＲ６と歪ゲージＲ５の接続ノードから出力電圧Ｖｏｕｔ＋が出力され、歪ゲージＲ８と歪ゲージＲ７の接続ノードから出力電圧Ｖｏｕｔ－が出力される。出力電圧Ｖｏｕｔ＋及び出力電圧Ｖｏｕｔ－は、演算増幅器ＯＰ２に供給され、演算増幅器ＯＰ２の出力端から出力電圧Ｖｏｕｔが出力される。

　前述したように、起歪体１９ａが例えばＦｚ方向の力により、Ｓ字状に変形されることにより、第１ブリッジ回路ＢＣ１及び第２ブリッジ回路ＢＣ２から大きな出力電圧を得ることができる。

　尚、起歪体１９ａに対する歪ゲージＲ１～Ｒ８の配置、及びブリッジ回路ＢＣ１、ＢＣ２の構成は、これに限定されるものではなく、変形可能である。

　（ストッパの構成）
　上記ストッパ３０について、さらに説明する。　
　一般に、ストッパは、円筒形のストッパ部材と、ストッパ部材が収容される円形の開口部が用いられる。この構成のストッパの場合、ストッパ部材の側面と開口部の内面との間の間隔が、各軸方向で均一である。このため、起歪体が設けられる弾性体の剛性が軸毎に異なる場合、剛性の高い軸において、ストッパの動作点が高荷重となり、起歪体の破壊を確実に防止することが困難となる。

　図１８は、センサ体（弾性体１６と起歪体１９ａ）の６軸に対する変位量の一例を示している。図１８に示すように、センサ体の定格における６軸の変位量に対して、それぞれ異なる安全率が設定されている場合、各軸の動作可能範囲が異なる。

　具体的には、Ｆｘ、Ｆｙ、Ｍｚ方向のセンサ体の動作可能範囲は、Ｆｚ、Ｍｘ、Ｍｙ方向のセンサ体の動作可能範囲に比べて小さい。換言すると、起歪体１９ａの幅方向の動作可能範囲が、起歪体１９ａの厚み方向の動作可能範囲に比べて小さい。

　このように、センサ体の各軸に対する動作可能範囲が異なる場合、円筒形のストッパ部材と、円形の開口部では、動作可能範囲の小さい方向において、ストッパの動作点が高荷重となり、起歪体を十分に保護することが困難である。

　図１９、図２０Ａ、図２０Ｂは、本実施形態に係るストッパ部材３１を示している。　
　ストッパ部材３１は、例えば直径の異なる第１の部分３１ａ、第２の部分３１ｂ、第３の部分３１ｃ、２つの突起３１ｄ、ネジ３２が挿入される開口部３１ｅ、及びスリット３１ｆを具備している。

　第１の部分３１ａは、第１の直径Ｄ１を有し、第２の部分３１ｂの直径は、第１の部分３１ａの直径より小さく、第３の部分３１ｃの直径は、第２の部分３１ｂの直径より小さい。第２の部分３１ｂには、２つの突起３１ｄが設けられている。これら突起３１ｄは、例えば弾性体１６（起歪体１９ａ）の動作可能範囲が小さい方向（Ｆｘ、Ｆｙ、Ｍｚ方向）に対応して第２の部分３１ｂの両側に設けられている。突起３１ｄの表面は、開口部１３ａの内面に沿って湾曲されている。

　図２０Ａ、図２０Ｂにおいて、Ｌ１１は、第１の部分３１ａと取付けプレート１３の開口部１３ａの内面との間の間隔（距離）を示している。この間隔Ｌ１１は、例えば弾性体１６の動作可能範囲の大きい方向（Ｆｚ、Ｍｘ、Ｍｙ方向、すなわち、起歪体１９ａの厚み方向）の間隔である。また、Ｌ１２は、突起３１ｄと開口部１３ａの内面との間の間隔を示している。この間隔Ｌ１２は、例えば弾性体６の動作可能範囲の小さい方向（Ｆｘ、Ｆｙ、Ｍｚ方向、すなわち、起歪体１９ａの幅方向）の間隔である。Ｌ１１とＬ１２との関係は、Ｌ１１＞Ｌ１２である。

　具体的には、図２０Ａ、図２０Ｂで示す例の場合、Ｌ１１は、例えば０．２１ｍｍ、Ｌ１２は、例えば０．１１ｍｍであることが好ましい。

　すなわち、起歪体１９ａの変形し難い方向（Ｆｘ、Ｆｙ、Ｍｚ方向）の間隔Ｌ１２が、変形異し易い方向（Ｆｚ、Ｍｘ、Ｍｙ方向）の間隔Ｌ１１より狭く設定されている。

　尚、ストッパ部材３１の間隔Ｌ１１に対応する部分は、開口部１３ａの内面に接触する第１の接触部（ＣＰ１）であり、間隔Ｌ１２に対応する部分は、開口部１３ａの内面に接触する第２の接触部（ＣＰ２）である。

　第３の部分３１ｃは、ストッパ部材３１と開口部１３ａとの間の間隔を調整するための円筒形の治具（図２に８０で示す）を装着する部分である。

　第３の部分３１ｃには、スリット３１ｆが設けられている。スリット３１ｆの中心は、２つの突起３１ｄの中心を結ぶ直線の中央に対応した位置に設けられる。

　図２、図４に示すように、取り付けプレート１３のストッパ３０と対応する位置には、スリット１３ｄが設けられている。スリット１３ｄは、開口部１３ａに連通し、さらに、ストッパ部材３１の第３の部分３１ｃに設けられたスリット３１ｆとも連通可能とされている。

　図２１は、ストッパ３０を拡大して示している。ストッパ部材３１と開口部１３ａとの間の間隔は、治具８０を用いて調整される。治具８０は、挿入部８０ａと、キー８０ｂと、つまみ８０ｃとを具備している。

　挿入部８０ａは、円筒形であり、円筒の厚みは、第３の部分３１ｃの側面と開口部１３ａの内面との間の距離にほぼ等しく製造されている。第３の部分３１ｃの側面と開口部１３ａの内面との間の距離は、第１の間隔Ｌ１１より広い。

　キー８０ｂは、挿入部８０ａ設けられ、治具８０の軸心に沿って配置されている。キー８０ｂは、ストッパ部材３１のスリット３１ｆと取り付けプレート１３のスリット１３ｄとを重ね合わせた形状とほぼ等しい形状を有している。

　つまみ８０ｃは、例えば円柱形状であり、軸心に沿って挿入部８０ａに貫通する穴８０ｄを具備している。この穴８０ｄ内には、ストッパ部材３１を固定するための、例えば図示せぬ六角レンチが挿入される。

　ストッパ部材３１と開口部１３ａとの間の間隔を調整する場合、図２、図２１に示すネジ３２が緩められ、ストッパ３０に治具８０が挿入される。具体的には、治具８０の挿入部８０ａがストッパ部材３１の第３の部分３１ｃと開口部１３ａとの間に挿入される。

　治具８０の挿入部８０ａの厚みは、第３の部分３１ｃの側面と開口部１３ａの内面との間の距離にほぼ等しいため、挿入部８０ａを第３の部分３１ｃと開口部１３ａとの間に挿入するだけで、図２０Ａに示す間隔Ｌ１１及びＬ１２を設定することができる。

　また、治具８０がストッパ３０に装入されることにより、治具８０のキー８０ｂは、ストッパ部材３１のスリット３１ｆと取り付けプレート１３のスリット１３ｄの中に挿入される。このため、ストッパ部材３１の突起３１ｄの位置をＸ－Ｙ平面と平行に設定することができる。

　治具８０をストッパ３０に装入した状態で、六角レンチを穴８０ｄに挿入し、ネジ３２を締めることにより、ストッパ部材３１が本体１１に固定され、ストッパ部材３１の調整が完了する。

　ストッパ部材３１がストッパとして機能する場合において、起歪体１９ａの変形し易い方向（Ｆｚ、Ｍｘ、Ｍｙ方向）に弾性体１６が変形した場合、ストッパ部材３１の第１の部分３１ａが開口部１３ａの内面に接触し、第２の部分３１ｂ、第３の部分３１ｃ、及び突起３１ｄは、開口部１３ａの内面に接触しない。

　また、起歪体１９ａの変形し難い方向（Ｆｘ、Ｆｙ、Ｍｚ方向）に弾性体１６が変形した場合、ストッパ部材３１の第１の部分３１ａ、第２の部分３１ｂ、及び第３の部分３１ｃは、開口部１３ａの内面に接触せず、突起３１ｄが開口部１３ａの内面に接触する。このため、起歪体１９ａが保護される。

　（ストッパの効果）
　上記構成によれば、ストッパ部材３１の第２の部分は、起歪体１９ａの動作可能範囲の小さい方向（Ｆｘ、Ｆｙ、Ｍｚ、起歪体１９ａの幅方向）に一対の突起３１ｄを有し、取付けプレート１３の開口部１３ａの内面と突起３１ｄとの間隔Ｌ１２が、ストッパ部材３１の第１の部分３１ａと取付けプレート１３の開口部１３ａの内面との間隔Ｌ１１より狭くされている。このため、起歪体１９ａの動作可能範囲の小さい方向において、ストッパの動作点が高荷重となることを防止でき、起歪体１９ａを十分に保護することができる。

　しかも、定格動作範囲内で起歪体１９ａを十分に変形させることができるため、大きなセンサ出力を得ることができる。したがって、高精度の力覚センサを実現することができる。

　また、本実施形態のストッパ３０を用いることにより、センサ体の６軸方向の剛性の不均一を許容することも可能である。センサ体の６軸方向の剛性を均一化しようとする場合、一般的には、弾性体１６及び起歪体１９ａの形状が大型化する。しかし、本実施形態のストッパ３０を用いることにより、センサ体の６軸方向の剛性の不均一を許容することが可能であるため、弾性体１６及び起歪体１９ａの大型化を防止でき、小型の力覚センサを実現することが可能である。

　（ストッパの変形例）
　上記ストッパ部材３１は、第２の部分３１ｂに２つの突起３１ｄを設けたが、ストッパ３０等の構造は、上記の例に限定されるものではない。

　（第１変形例）
　図２２は、ストッパ３０の第１変形例を示している。図２０Ａに示すストッパ３０は、ストッパ部材３１の第２の部分３１ｂに突起３１ｄを設けた。これに対して、第１変形例において、ストッパ部材３１の第２の部分３１ｂは、突起３１ｄを有さず、円筒形であり、第２の部分３１ｂに対応する開口部１３ａの内面に一対の突起１３ｂが設けられている。

　具体的には、一対の突起１３ｂは、開口部１３ａのＦｘ、Ｆｙ、Ｍｚ方向の対向面にそれぞれ設けられる。突起１３ｂは扁平な表面を有し、突起１３ｂの表面と第２の部分３１ｂの表面との間隔はＬ１２とされる。突起１３ｂが扁平な表面を有する理由は、ストッパ部材３１が開口部１３ａのＺ軸方向に移動した場合、突起１３ｂがストッパ部材３１の第２の部分３１ｂに接触することを回避するためである。

　（第２変形例）
　図２３は、ストッパ３０の第２変形例を示している。第２変形例において、開口部１３ａの形状は、図２０Ａと同様に円形であり、ストッパ部材３１の第２の部分３１ｂの形状が楕円形とされている。

　具体的には、楕円の長軸が、Ｆｘ、Ｆｙ、Ｍｚ方向に沿って配置され、長軸の一端部及び他端部と、開口部１３ａの内面との間隔がＬ１２に設定される。このため、楕円の長軸部分が突起３１ｄと同様の作用を行うことができる。

　（第３変形例）
　図２４は、ストッパ３０の第３変形例を示している。図２３に示す第２変形例は、ストッパ部材３１の第２の部分３１ｂの形状が楕円形とされた。これに対して、第３変形例において、ストッパ部材３１の第２の部分３１ｂの形状は、円形であり、ストッパ部材３１の第２の部分３１ｂに対応する開口部１３ａの部分１３ｃの形状が楕円形とされている。

　具体的には、開口部１３ａの部分１３ｃは、楕円形の短軸がＦｘ、Ｆｙ、Ｍｚ方向に配置され、ストッパ部材３１の第２の部分３１ｂと開口部１３ａの部分１３ｃの内面との間隔がＬ１２とされる。

　上記第１乃至第３変形例によっても、図１９、図２０Ａ、図２０Ｂに示す例と同様の効果を得ることが可能である。

　（第４変形例）
　図２５Ａ、２５Ｂは、ストッパ３０の第４変形例を示すものであり、ストッパ部材３１のみを示している。図１９に示すストッパ部材３１は、第１の部分３１ａ、第２の部分３１ｂ、及び第３の部分３１ｃを有し、一対の突起３１ｄは、第２の部分３１ｂに設けられている。このように、複数の段差を有する構成の場合、高精度の加工を容易に行うことができる。しかし、第２の部分３１ｂは、必ずしも必要ではない。

　図２５Ａ、２５Ｂに示すように、第４変形例において、ストッパ部材３１は、第２の部分３１ｂを具備しておらず、一対の突起３１ｄは、第１の部分３１ａに設けられている。

　図２５Ａ、２５Ｂに示す構造のストッパ部材３１によっても、図１９に示すストッパ部材３１と同様の機能及び効果を得ることができる。

　（第５変形例）
　図２６は、ストッパ３０の第５変形例を示している。第５変形例も第４変形例と同様に、ストッパ部材３１は、第２の部分３１ｂを具備しておらず、第１の部分３１ａは、一対の突起３１ｄを持たずに円筒状である。

　第１の部分３１ａに対応する開口部１３ａの内面は、一対の突起１３ｂを具備している。一対の突起１３ｂは、開口部１３ａのＦｘ、Ｆｙ、Ｍｚ方向の対向面にそれぞれ設けられ、突起１３ｂの表面は、扁平とされている。突起１３ｂの表面とストッパ部材３１の第１の部分３１ａとの間隔はＬ１２あり、突起１３ｂ以外の開口部１３ａの内面と第１の部分３１ａの側面との間隔はＬ１１である。

　（第６変形例）
　図２７は、ストッパ３０の第６変形例を示している。第６変形例も第４変形例と同様に、ストッパ部材３１は、第２の部分３１ｂを具備しておらず、第１の部分３１ａと第３の部分３１ｃを具備している。第１の部分３１ａは、楕円形である。楕円の長軸が、Ｆｘ、Ｆｙ、Ｍｚ方向に配置され、楕円の短軸が、Ｆｚ、Ｍｘ、Ｍｙ方向に配置されている。

　開口部１３ａは、円形である。第１の部分３１ａにおいて、楕円の長軸の一端部及び他端部と、開口部１３ａの内面との間隔はＬ１２であり、楕円の短軸の一端部及び他端部と、開口部１３ａの内面との間隔はＬ１１である。

　（第７変形例）
　図２８は、ストッパ３０の第７変形例を示している。第７変形例の第４変形例と同様に、ストッパ部材３１は、第２の部分３１ｂを具備しておらず、第１の部分３１ａと第３の部分３１ｃを具備している。第１の部分３１ａと第３の部分３１ｃは、円筒形である。

　開口部１３ａの第１の部分３１ａと対応する部分は、楕円形であり、楕円形の短軸がＦｘ、Ｆｙ、Ｍｚ方向に配置され、楕円の長軸がＦｚ、Ｍｘ、Ｍｙ方向に配置されている。楕円の短軸の一端部及び他端部と、開口部１３ａの内面との間隔はＬ１２であり、楕円の長軸の一端部及び他端部と、開口部１３ａの内面との間隔はＬ１１である。

　開口部１３ａの第３の部分３１ｃと対応する部分は、破線で示すように、円形である。しかし、治具８０の挿入部８０ａの外径を楕円形とすれば、開口部１３ａの全体を楕円形とすることも可能である。

　上記の第５乃至第７変形例によっても、図１９、図２０Ａ、図２０Ｂに示す例と同様の効果を得ることが可能である。

　上述したストッパ３０は、円筒形又は一部が楕円形のストッパ部材３１と、円形又は楕円形の開口部１３ａを具備している。しかし、ストッパ部材３１と、開口部１３ａの形状は、これに限定されるものではない。

　（第８変形例）
　図２９、図３０は、ストッパ３０の第８変形例を示している。第８変形例において、ストッパ部材３１の第１の部分３１ａは、Ｆｘ、Ｆｙ、Ｍｚ方向の辺の長さＥ１と、Ｆｚ、Ｍｘ、Ｍｙ方向の辺の長さＥ２が等しい例えば正方形である。

　第１の部分３１ａに対応する開口部１３ａの形状は、長方形である。長方形の短辺がＦｘ、Ｆｙ、Ｍｚ方向に配置され、長方形の長辺がＦｚ、Ｍｘ、Ｍｙ方向に配置されている。長方形の短辺と、ストッパ部材３１の第１の部分３１ａとの間隔はＬ１１であり、長方形の長辺と、ストッパ部材３１の第１の部分３１ａとの間隔はＬ１２である。

　開口部１３ａにおいて、ストッパ部材３１の第３の部分３１ｃに対応する部分は、破線で示すように、円形である。このため、治具８０を用いてストッパ部材３１の位置決めを行うことが可能である。

　（第９変形例）
　図３１は、ストッパ３０の第９変形例を示している。第９変形例において、ストッパ部材３１の第１の部分３１ａに対応する開口部１３ａの形状は、正方形である。ストッパ部材３１の第１の部分３１ａは、長方形であり、長方形のＦｘ、Ｆｙ、Ｍｚ方向の辺の長さＥ１が、Ｆｚ、Ｍｘ、Ｍｙ方向の辺の長さＥ２より長い。

　ストッパ部材３１において、長方形の短辺と、開口部１３ａの内面との間隔はＬ１２であり、長方形の長辺と、開口部１３ａの内面との間隔はＬ１１である。

　開口部１３ａにおいて、ストッパ部材３１の第３の部分３１ｃに対応する部分は、破線で示すように、円形である。このため、治具８０を用いてストッパ部材３１の位置決めを行うことが可能である。

　第８及び第９変形例によっても、第１乃至第７変形例と同様の効果を得ることができる。

　その他、本発明は上記各実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記各実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。

Claims (19)

1. 　６軸方向に変形可能な３つ以上の第１弾性部を有する第１構造体と、
   　前記６軸方向に変形可能な３つ以上の第２弾性部と、前記第２弾性部のそれぞれに接続され、前記６軸方向に変形可能な３つ以上の中継部を有する第２構造体と、
   　前記第２構造体の前記中継部のそれぞれと前記第１構造体の前記第１弾性部のそれぞれとの間に設けられた複数の第３構造体と、
   　を具備することを特徴とする弾性体。
2. 　前記第２構造体は、前記第２弾性部と前記中継部をそれぞれ有する３つ以上の部分に分かれていることを特徴とする請求項１記載の弾性体。
3. 　前記第２構造体の外形は、リングであることを特徴とする請求項１記載の弾性体。
4. 　６軸方向に変形可能な３つ以上の第１弾性部を有する第１構造体と、
   　前記６軸方向に変形可能な３つ以上の第２弾性部と、前記第２弾性部のそれぞれに接続され、前記６軸方向に変形可能な３つ以上の中継部を有する第２構造体と、
   　前記第２構造体の前記中継部のそれぞれと前記第１構造体の前記第１弾性部のそれぞれとの間に設けられた複数の第３構造体と、
   　前記第１構造体と前記中継部のそれぞれとの間に設けられた複数の歪センサと、
   　を具備することを特徴とする力覚センサ。
5. 　前記第２構造体は、前記第２弾性部と前記中継部をそれぞれ有する３つ以上の部分に分かれていることを特徴とする請求項４記載の力覚センサ。
6. 　前記第２構造体の外形は、リングであることを特徴とする請求項４記載の力覚センサ。
7. 　前記中継部のそれぞれは、前記第３構造体のそれぞれの長手方向と交差する方向に設けられることを特徴とする請求項４記載の力覚センサ。
8. 　前記第１構造体の前記第１弾性部のそれぞれは、前記第３構造体のそれぞれの長手方向と交差する方向に設けられることを特徴とする請求項４記載の力覚センサ。
9. 　前記第３構造体、前記第１弾性部、及び前記第２弾性部の厚みは等しく、前記第３構造体、前記第１弾性部、及び前記第２弾性部の幅は、前記厚みより狭いことを特徴とする請求項４記載の力覚センサ。
10. 　１つの前記第１弾性部は、１つの前記第３構造体に接続されることを特徴とする請求項４記載の力覚センサ。
11. 　１つの前記第１弾性部は、少なくとも２つの前記第３構造体に接続されることを特徴とする請求項４記載の力覚センサ。
12. 　前記第２弾性部は、Ｕ字状であり、前記中継部は、２つの前記第２弾性部の間に設けられることを特徴とする請求項４記載の力覚センサ。
13. 　第１構造体と、
    　第２構造体と、
    　６軸方向に変形可能な３つ以上の中継部と、
    　前記中継部のそれぞれと前記第１構造体との間に設けられた複数の第３構造体と、
    　前記第２構造体と前記中継部のそれぞれとを接続する複数の接続部と、
    　前記第１構造体と前記中継部のそれぞれとの間に設けられた複数の歪センサと、
    　を具備することを特徴とする力覚センサ。
14. 　前記第２構造体と前記中継部のそれぞれとを接続する複数の第２弾性部をさらに具備することを特徴とする請求項１３記載の力覚センサ。
15. 　前記第２構造体は、３つ以上部分に分けられ、前記第２弾性部のそれぞれと前記中継部のそれぞれは、前記３つ以上部分にそれぞれ設けられることを特徴とする請求項１４記載の力覚センサ。
16. 　前記第２構造体の外形は、リングであることを特徴とする請求項１４記載の力覚センサ。
17. 　６軸方向に変形可能な複数の第１弾性部を有する複数の第１構造体と、
    　６軸方向に変形可能な複数の第２弾性部と、前記第２弾性部のそれぞれに接続された複数の中継部とを有する第２構造体と、
    　複数の前記中継部と複数の前記第１弾性部との間に設けられた複数の第３構造体と、
    　複数の前記中継部と前記第１構造体の各部分との間に設けられた複数の歪センサと、
    を具備することを特徴とする力覚センサ。
18. 　前記歪センサは、起歪体と、前記起歪体に設けられた複数の歪ゲージを具備することを特徴とする請求項４、１３、１７のいずれかに記載の力覚センサ。
19. 　前記複数の歪センサは、複数の歪ゲージが設けられる起歪体を具備し、前記起歪体の厚みは、前記第１構造体、第２構造体、第３構造体の厚みより薄いことを特徴とする請求項１８記載の力覚センサ。

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