WO2019208895A1 - 인셀 터치표시장치 및 그 제조방법 - Google Patents

인셀 터치표시장치 및 그 제조방법 Download PDF

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WO2019208895A1
WO2019208895A1 PCT/KR2018/014927 KR2018014927W WO2019208895A1 WO 2019208895 A1 WO2019208895 A1 WO 2019208895A1 KR 2018014927 W KR2018014927 W KR 2018014927W WO 2019208895 A1 WO2019208895 A1 WO 2019208895A1
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박정유
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셀로코아이엔티 주식회사
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    • G06F2203/04102—Flexible digitiser, i.e. constructional details for allowing the whole digitising part of a device to be flexed or rolled like a sheet of paper
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    • G06F2203/04103—Manufacturing, i.e. details related to manufacturing processes specially suited for touch sensitive devices

Definitions

  • the present invention relates to an in-cell touch display device, and more particularly, to an in-cell touch display device using a touch electrode by patterning the cathode of the light emitting diode block by block and a method of manufacturing the same.
  • the organic light emitting diode (OLED) display one of the flat panel displays (FPDs), is a self-luminous type, so that a viewing angle and a contrast ratio are higher than those of a liquid crystal display (LCD). Because it is excellent and does not require backlight, it is possible to be light and thin and advantageous in terms of power consumption.
  • OLED organic light emitting diode
  • the touch display device is used as an output means for displaying an image and is used as an input means for inputting a user's command by touching a specific portion of the displayed image, and the touch panel of the touch display device according to the position information detection method. It may be classified into a decompression method, an electrostatic method, an infrared method, an ultrasonic method, and the like.
  • the touch display device may be manufactured by attaching a separate touch panel to the display panel or by forming a touch panel on a substrate of the display panel to integrate the touch panel.
  • a second electrode which is a cathode of the light emitting diode, is formed on the entire surface of the organic light emitting diode display panel, so that the touch panel is formed inside the display panel. cell) type is difficult to form.
  • the touch panel integrates the organic light emitting diode display panel and the touch panel in an on-cell type formed on the outer surface of the display panel.
  • the touch panel is disposed on the thin film encapsulation (TFE) on the outer surface of the display panel.
  • TFE thin film encapsulation
  • the present invention has been proposed to solve this problem, by applying a low potential voltage or a touch voltage to the cathode of the light emitting diode divided by blocks, it is driven in a time-capable self-cap (self-cap) method to improve the touch sensitivity
  • An object of the present invention is to provide a touch display device and a method of manufacturing the same.
  • Another object of the present invention is to provide a touch display device and a method of manufacturing the same, which simplify the manufacturing process and reduce the manufacturing cost by forming a cathode of the light emitting diode by dividing the light emitting diode into blocks by scanning a line-type laser beam. It is done.
  • a substrate comprising a plurality of pixels divided into a plurality of blocks; First and second wirings disposed between each of the plurality of pixels on the substrate and between the plurality of pixels on the substrate; An organic pattern disposed on each of the plurality of pixels on the first electrode and having first and second wiring contact holes respectively exposing the first and second wirings; Second electrodes formed on the plurality of blocks on the organic pattern, respectively, and connected to the first and second wirings through the first and second wiring contact holes; First and second switches connected to the first and second wires, respectively; An in-cell touch display including a driving unit applying a power supply voltage to the second electrode through the first switch and the first wiring and applying a touch voltage to the second electrode through the second switch and the second wiring Provide the device.
  • the plurality of blocks includes blocks of M rows N columns, the first wiring is connected to all of the second electrodes of N blocks of each row of the M rows N columns, and the second wiring is the M rows.
  • the second electrode of the N blocks of each row of the N columns may be connected 1: 1.
  • the first and second switches corresponding to the N blocks of the first row of the M rows and N columns are turned off and turned on during the first period of one frame according to the first and second switch signals, respectively.
  • the touch voltage is applied to the second electrodes of the N blocks of the first row, and the N blocks of the first row stop displaying the image and sense a touch, and the first of the M rows and N columns.
  • the first and second switches corresponding to the N blocks of a row are turned on and off for the remaining periods of one frame according to the first and second switch signals, respectively, and the power supply voltage is the first row.
  • the N blocks of the N blocks may be applied to the second electrodes, and the N blocks of the first row may stop touch sensing and display an image.
  • the gate signal of the light emitting thin film transistor disposed in the pixels of the N blocks of the first row and switching the voltage applied to the organic pattern may be synchronized with the first switch signal.
  • the first and second switches may each include at least one transistor, and the first and second switch signals may have an inverted form, and the at least one transistor of the first and second switches may be of the same type.
  • the first and second switch signals may be synchronized, and the at least one transistor of the first and second switches may be opposite types.
  • the in-cell touch display device may include a first bank opening disposed on the first electrode and the first and second wirings, the first bank opening exposing the first electrode, a second bank opening exposing the first wiring;
  • a bank layer may further include a third bank opening that exposes the second wiring, and a fourth bank opening that exposes the substrate at a boundary portion between the plurality of blocks.
  • the present invention comprises the steps of forming a first electrode on each of the plurality of pixels divided into a plurality of blocks on the substrate, and forming a first and second wiring between the plurality of pixels on the substrate; Forming an organic pattern having first and second wiring contact holes to expose the first and second wirings, respectively, in each of the plurality of pixels on the first electrode; Forming second electrodes formed on the plurality of blocks on the organic pattern, respectively, and connected to the first and second wirings through the first and second wiring contact holes; It provides a method of manufacturing an in-cell touch display device comprising forming first and second switches connected to the first and second wirings, respectively.
  • the forming of the organic material pattern may include forming an organic material layer on the first electrode and the first and second wirings;
  • the organic material layer is irradiated by irradiating a laser beam of the light source unit to the organic layer through the first optical mask and the suction unit while moving the light source unit and the suction unit of the laser patterning device relative to the first optical mask and the substrate of the laser patterning device. May optionally include removing.
  • the forming of the second electrode may include forming a second electrode layer on the organic pattern;
  • the laser beam is irradiated to the second electrode layer through the second optical mask and the suction part while the light source part and the suction part of the laser patterning device are moved relative to the second optical mask and the substrate of the laser patterning device. And selectively removing the second electrode layer.
  • the method for manufacturing the in-cell touch display device includes a first bank opening that exposes the first electrode and a second bank opening that exposes the first wire, on the first electrode and the first and second wires.
  • the method may further include forming a bank layer having a third bank opening that exposes the second wiring and a fourth bank opening that exposes the substrate at a boundary between the plurality of blocks.
  • the touch sensitivity is improved by being driven in a time-capable self-cap method.
  • the present invention is formed by dividing the cathode of the light emitting diode into blocks by scanning irradiation of a line-type laser beam, thereby simplifying the manufacturing process and reducing the manufacturing cost.
  • FIG 1 illustrates an in-cell touch display device according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a waveform diagram illustrating first and second switch signals of an in-cell touch display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is a plan view illustrating an in-cell touch display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
  • 4A to 4E are cross-sectional views taken along line IV-IV of FIG. 3 to illustrate a method of manufacturing an in-cell touch display device according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 illustrates an in-cell touch display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
  • the in-cell touch display device 110 provides a plurality of signals to the touch display panel 120 and the touch display panel 120 displaying an image and sensing a touch. It includes a driving unit 150 for supplying.
  • the touch display panel 120 includes a second electrode 146, a first wiring 134, a second wiring 136, a first switch SW1, a second switch SW2, a power wiring PL, and a touch.
  • the wiring TL is included.
  • the touch display panel 120 includes a substrate (130 of FIG. 4A) including a plurality of pixels (P of FIG. 3), and a gate wiring and a data wiring crossing each other to define the plurality of pixels (P). And a plurality of thin film transistors disposed in each of the plurality of pixels P.
  • the touch display panel 120 includes a first electrode (132 of FIG. 3) disposed on the plurality of pixels P on the plurality of thin film transistors, and an organic pattern disposed on the first electrode 132 (FIG. 3). 4e 142) may be further included.
  • the second electrode 146 is disposed on the organic pattern 142 and is divided into a plurality of blocks B and arranged in M rows and N columns, and may be used as a cathode of the light emitting diode (E of FIG. 4E).
  • each block B when each block B is formed to have a size of 4 mm x 4 mm, blocks B of 40 rows and 20 columns may be disposed on a 6-inch panel.
  • the first wiring 134 is disposed in the horizontal or vertical direction and is connected to all of the second electrodes 146 of the plurality of blocks B of each row or each column of the M rows N columns.
  • M first wires 134 are connected to the second electrodes 146 of the N blocks B in M rows, but in another embodiment, the M blocks B in the N columns are illustrated. N first wires 134 may be connected to the second electrode 146, respectively.
  • the second wiring 136 is disposed in the horizontal or vertical direction and is connected 1: 1 to each of the second electrodes 146 of the plurality of blocks B of each row or each column of the M row N columns.
  • N second wires 136 are connected to a second electrode 146 of N blocks B of each M row in a 1: 1 manner.
  • M second wires 136 may be connected 1: 1 to the second electrodes 146 of the M blocks B.
  • the second wiring 136 extends to the center at both ends of the plurality of blocks B in the M row N columns, but in another embodiment, the second wiring 136 has a plurality of M row N columns. It may extend from one end of the block (B) to the other end.
  • the first switch SW1 is connected between the first wiring 134 and the power wiring PL to connect the first wiring 134 and the power wiring PL according to the first switch signal SS1 of FIG. 2. To control.
  • the first switch SW1 is connected to both ends of the first wiring 134, but in another embodiment, the first switch SW1 may be connected to one end of the first wiring 134. .
  • the second switch SW2 is connected between the second wiring 136 and the touch wiring TL to connect the second wiring 136 and the touch wiring TL according to the second switch signal SS2 of FIG. 2. To control.
  • the second switch SW2 is connected to both ends of the second wiring 136, but in another embodiment, the second switch SW2 may be connected to one end of the second wiring 136. .
  • one second switch SW2 controls the connection of one second wiring 136 and one touch wiring TL.
  • a multiplexer MUX
  • a plurality of second wires 136 which are connected 1: 1 to each of the plurality of blocks B of each row or each column of the M rows and N columns, may be sequentially connected to one touch wiring TL using the.
  • Each of the first and second switches SW1 and SW2 may include at least one transistor, and at least one transistor of the first and second switches SW1 and SW2 may include a plurality of thin film transistors of each pixel P. It can be formed in the same process as.
  • the power wiring PL transfers the power supply voltage of the driving unit 150 to the second electrode 146
  • the touch wiring TL transfers the touch voltage of the driving unit 150 to the second electrode 146.
  • the driver 150 supplies a power supply voltage for image display and a touch voltage for touch detection.
  • the power supply voltage when the second electrode 146 is a cathode, the power supply voltage may be a low potential voltage VSS, and when the second electrode 146 is a cathode, the power supply voltage may be a high potential voltage VDD.
  • the driver 150 may apply a touch voltage to the second electrode 146, and then detect a change in the self cap from a change in the applied touch voltage to sense a touch.
  • the in-cell touch display device 110 may display an image by time division and sense a touch, which will be described with reference to the drawings.
  • FIG. 2 is a waveform diagram illustrating first and second switch signals of an in-cell touch display device according to an exemplary embodiment of the present invention, which will be described with reference to FIG. 1.
  • the first and second switch signals SS1 (eg, applied to the first and second switches SW1 and SW2 corresponding to the plurality of blocks B in the first row among the M rows N columns).
  • SS2 (1) has a low level and a high level during the first section TP1 of one frame F, which is a unit time for displaying an image, and has a high level and a low level for the remaining sections, respectively.
  • the first and second switch signals SS1 (1) and SS2 (1) have inverted forms.
  • the first and second switch signals SS1 (1 and SS2 (1) are inverted from each other and at least one transistor of the first and second switches SW1 and SW2 is the same type (first And the second switches SW1 and SW2 have an N type, respectively, or the first and second switches SW1 and SW2 have a P type, respectively.
  • SS1 (1) and SS2 (1) have a synchronized form and at least one transistor of the first and second switches SW1 and SW2 is opposite (first switch SW1 is N type and second switch SW2 may have a P type, or a first switch SW1 may have a P type, and a second switch SW2 may have an N type.
  • the first and second switches SW1 and SW2 are turned off and turned on, respectively, so that the low potential voltage VSS is
  • the plurality of blocks B of the first row stops displaying the image and the touch voltage is applied to the plurality of blocks B of the first row without being applied to the second electrodes 142 of the plurality of blocks B of the first row.
  • a plurality of blocks B of the first row are sequentially applied to the second electrode 146 of FIG.
  • light emission of the light emitting diodes is stopped by turning off the light emitting thin film transistors of the pixels P of the plurality of blocks B in the first row, and the gate signal of the light emitting thin film transistor is the first switch signal. It can be synchronized with the inverted signal of (SS1 (1)) and the second switch signal (SS2 (1)).
  • first and second switches SW1 and SW2 are turned on and turned off, respectively, during a period other than the first period TP1, so that the low potential voltage VSS is generated in a plurality of blocks in the first row ( It is applied simultaneously to the second electrode 146 of B) and the plurality of blocks B of the first row display an image, and the touch voltage is applied to the second electrodes 146 of the plurality of blocks B of the first row.
  • (2) has a low level and a high level during the second period TP2 spaced apart from the first section TP1 of one frame F, which is a unit time for displaying an image, respectively, and a high level for the remaining sections, respectively. And low level.
  • the first and second switches SW1 and SW2 are turned off and turned on, respectively, so that the low potential voltage VSS is
  • the plurality of blocks B of the second row stops displaying the image and the touch voltage is applied to the plurality of blocks B of the second row without being applied to the second electrodes 146 of the plurality of blocks B of the second row.
  • a plurality of blocks B of the second row are sequentially applied to the second electrode 146 of the second row and sense a touch.
  • light emission of the light emitting diodes E is stopped by turning off the light emitting thin film transistors of each pixel P of the plurality of blocks B in the second row.
  • the inverted signal of the first switch signal SS1 (2) and the second switch signal SS2 (2) may be synchronized.
  • first and second switches SW1 and SW2 are turned on and turned off, respectively, during a period other than the second period TP2, so that the low potential voltage VSS is reduced to a plurality of blocks in the second row ( It is applied simultaneously to the second electrode 146 of B) and the plurality of blocks B of the second row display an image, and the touch voltage is applied to the second electrodes 146 of the plurality of blocks B of the second row.
  • the plurality of blocks B in the M rows may display an image in time division and sense a touch.
  • the second electrode 146 of the in-cell touch display device 110 may be divided into a plurality of blocks B by using a laser patterning apparatus, which will be described with reference to the drawings.
  • FIG. 3 is a plan view illustrating an in-cell touch display device according to an exemplary embodiment of the present invention
  • FIGS. 4A to 4E are cut lines IV of FIG. 3 illustrating a method of manufacturing the in-cell touch display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
  • the substrate 130 includes a plurality of pixels P, and the plurality of pixels P are divided into a plurality of blocks B. As shown in FIG. 3 and FIG. 4A, the substrate 130 includes a plurality of pixels P, and the plurality of pixels P are divided into a plurality of blocks B. As shown in FIG. 3 and FIG. 4A, the substrate 130 includes a plurality of pixels P, and the plurality of pixels P are divided into a plurality of blocks B. As shown in FIG.
  • one block B corresponds to tens or hundreds of pixels P.
  • one block B is a pixel of 54 X 54 ( It may correspond to P).
  • the first electrode 132, the first wiring 134, and the second wiring 136 are formed on the substrate 130.
  • a power wiring PL and a touch wiring TL may be formed on the substrate 130.
  • the first electrode 132 is disposed in each pixel P, the first and second wirings 134 and 136 are disposed between the pixels P, and the power wiring PL and the touch wiring TL are substrates. 130 may be disposed at the edge portion.
  • the first electrode 132 is connected to the lower driving thin film transistor to receive a current corresponding to the data voltage, the first wiring 134 transfers a low potential voltage VSS, and the second wiring 136. May transmit a touch voltage.
  • the bank layer 138 is formed on the first electrode 132, the first wiring 134, and the second wiring 136.
  • the bank layer 138 covers the edge portion of the first electrode 132 and exposes the center portion of the first electrode 132 and the first bank opening portion 138a and the edge portion of the first wiring 134.
  • a second bank opening portion 138b exposing the central portion of the 134
  • a third bank opening portion 138c covering the edge portion of the second wiring 136 and exposing a central portion of the second wiring 136
  • an adjacent block A fourth bank opening 138d is formed to separate the block B by exposing the substrate 130 at the boundary between B).
  • the organic material layer 140 is formed on the entire surface of the substrate 130 on the bank layer 138.
  • the organic layer 140 is disposed on the first electrode 132, the first wiring 134, the second wiring 136, and the substrate 130 at the boundary portion, which is exposed through the bank layer 138 and the bank layer 138. Is formed.
  • the organic material layer 140 may include at least one of a hole injection layer, a hole transport layer, a light emitting material layer, an electron transport layer, an electron injection layer. In the embodiment, the organic material layer 140 includes a light emitting material layer. .
  • the organic material layer 140 is patterned using a laser patterning device including a light source unit 160, a first optical mask 162, and a suction unit 164.
  • the organic material layer 140 moves the laser beam LB of the light source unit 160 through the first optical mask 162 and the suction unit 164 while moving the light source unit 160 and the suction unit 164 in the scanning direction S.
  • the laser beam LB selectively passes through a first optical mask 162 having a blocking part (not shown), a transflective part (not shown), and a transmitting part (not shown), wherein the laser beam LB is a first optical It may be completely absorbed by the blocking portion of the mask 162 and pass through the transmission portion of the first optical mask 162 as it is, and may partially pass through the transflective portion of the first optical mask 162.
  • the organic material layer 140 corresponding to the transflective portion and the transmissive portion of the first optical mask 162 may be selectively removed by sublimation or evaporation by the laser beam LB.
  • the organic material layer 140 corresponding to the first wiring 134 and the second wiring 136 is selectively removed by the laser beam LB, so that the first wiring 134 and the second wiring are removed.
  • An organic pattern 142 having a first wiring contact hole 140a and a second wiring contact hole 140b exposing the wiring 136 is formed in each pixel P on the first electrode 132.
  • a second electrode layer 144 is formed on the entire surface of the substrate 130 on the organic pattern 142.
  • the second electrode layer 144 is formed of the first wiring contact hole 140a and the second wiring of the organic pattern 142.
  • the first wire 134 and the second wire 136 are contacted through the contact hole 140b.
  • the second electrode layer 144 is patterned using a laser patterning device including a light source unit 160, a second optical mask 168, and a suction unit 164.
  • the laser beam LB of the light source unit 160 is moved through the second optical mask 168 and the suction unit 164 while moving the light source unit 160 and the suction unit 164 in the scanning direction S. You can check at (144).
  • the laser beam LB selectively passes through a second optical mask 168 having a blocking part (not shown), a transflective part (not shown), and a transmitting part (not shown), and the laser beam LB is a second optical It may be completely absorbed by the blocking portion of the mask 168 and pass through the transmission portion of the second optical mask 168 as it is, and may partially pass through the transflective portion of the second optical mask 168.
  • the second electrode layer 144 corresponding to the transflective portion and the transmissive portion of the second optical mask 168 may be selectively removed by sublimation or evaporation by the laser beam LB.
  • the second electrode layer 144 can be easily removed.
  • the second electrode layer 144 corresponding to the fourth bank opening 138d of the bank layer 138 is selectively removed by the laser beam LB, and the adjacent block B is removed.
  • a second electrode 146 having electrode openings 144a exposing the substrate 130 at the boundary portion is formed in each block B on the organic pattern 142.
  • the first electrode 132, the organic pattern 142, and the second electrode 146 may constitute a light emitting diode E of each pixel P. Referring to FIG.
  • the second electrode of the light emitting diode is divided into blocks corresponding to a plurality of pixels and the low potential voltage is applied to the second electrode of the light emitting diode divided into blocks.
  • the touch panel is formed inside the display panel, and the touch sensitivity is improved by sensing the touch in a time division self-cap method.
  • the manufacturing process is simplified and the manufacturing cost is reduced.
  • the low potential wiring 354 by selectively removing the first and second organic material layers 362 and 368 using the laser beam LB.
  • a first light emitting material pattern 366 and a second light emitting material pattern exposing the sensing wiring 356 are formed on the second anode 358, and the low potential wiring 354 and the sensing wiring 356 are exposed.
  • the second light emitting material pattern may be formed on the first anode 352.
  • the laser beam LB is irradiated onto the organic material layer 262 while moving the light source unit 130 and the suction unit 124 at a synchronized speed, thereby preventing contamination and defects caused by the removed organic material.
  • substrate 132 first electrode
  • first wiring 136 second wiring
  • SW1, SW2 first and second switches 150: driver

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Abstract

본 발명은, 다수의 블록으로 구분되는 다수의 화소를 포함하는 기판과; 상기 기판 상부의 상기 다수의 화소 각각에 배치되는 제1전극과, 상기 기판 상부의 상기 다수의 화소 사이에 배치되는 제1 및 제2배선과; 상기 제1전극 상부의 상기 다수의 화소 각각에 배치되고, 상기 제1 및 제2배선을 각각 노출하는 제1 및 제2배선콘택홀을 갖는 유기물패턴과; 상기 유기물패턴 상부의 상기 다수의 블록에 각각 형성되고, 상기 제1 및 제2배선콘택홀을 통하여 상기 제1 및 제2배선에 연결되는 제2전극과; 상기 제1 및 제2배선에 각각 연결되는 제1 및 제2스위치와; 상기 제1스위치 및 상기 제1배선을 통하여 상기 제2전극에 전원전압을 인가하고, 상기 제2스위치 및 상기 제2배선을 통하여 상기 제2전극에 터치전압을 인가하는 구동부를 포함하는 인셀 터치표시장치를 제공한다.

Description

인셀 터치표시장치 및 그 제조방법
본 발명은 인셀 터치표시장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 발광다이오드의 음극을 블록 별로 패터닝 하여 터치전극으로 사용하는 인셀 터치표시장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.
평판표시장치(flat panel display: FPD) 중 하나인 유기발광다이오드(organic light emitting diode: OLED) 표시장치는, 자체 발광형이기 때문에 액정표시장치(liquid crystal display: LCD)에 비해 시야각, 대조비 등이 우수하며 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량박형이 가능하고, 소비전력 측면에서도 유리하다.
한편, 최근에는, 표시패널(display panel) 상에 터치패널(touch panel)을 부착한 터치 표시장치(또는 터치스크린)가 각광받고 있다.
터치표시장치는, 영상을 표시하는 출력수단으로 사용되는 동시에, 표시된 영상의 특정부위를 터치하여 사용자의 명령을 입력 받는 입력수단으로 사용되는 것으로, 터치표시장치의 터치패널은 위치정보 검출방식에 따라 감압방식, 정전방식, 적외선방식, 초음파방식 등으로 구분될 수 있다.
이러한 터치표시장치는, 별도의 터치패널을 표시패널에 부착하거나, 터치패널을 표시패널의 기판에 형성하여 일체화하는 형태로 제조될 수 있다.
그런데, 유기발광다이오드 표시패널 및 터치패널을 일체화 할 경우, 발광다이오드의 음극인 제2전극이 유기발광다이오드 표시패널의 전면에 형성되어 있으므로, 터치패널이 표시패널의 내부에 형성되는 인셀(in-cell) 타입으로 형성하기 어려운 문제가 있다.
이에 따라, 터치패널이 표시패널의 외면에 형성되는 온셀(on-cell) 타입으로 유기발광다이오드 표시패널 및 터치패널을 일체화 하는데, 표시패널 외면의 보호층(thin film encapsulation: TFE) 상부에 터치패널을 형성하여야 하므로, 플렉시블 터치표시장치를 제조하기 위해서는 고가의 전용장비와 복잡한 공정이 필요한 문제가 있다.
그리고, 뮤추얼캡(mutual cap) 방식으로 터치패널을 형성할 경우 신호잡음비(signal/noise ratio)가 낮아서 터치감도가 저하되고 오동작하는 문제가 있다.
본 발명은, 이러한 문제점을 해결하기 위하여 제시된 것으로, 블록 별로 분할되는 발광다이오드의 음극에 저전위전압 또는 터치전압을 인가함으로써, 시분할의 셀프캡(self cap) 방식으로 구동되어 터치감도가 개선되는 인셀 터치표시장치 및 그 제조방법을 제공하는 것으로 목적으로 한다.
그리고, 본 발명은, 라인타입의 레이저빔을 스캐닝 조사하여 발광다이오드의 음극을 블록 별로 분할되도록 형성함으로써, 제조공정이 단순화 되고 제조비용이 절감되는 터치표시장치 및 그 제조방법을 제공하는 것을 다른 목적으로 한다.
위와 같은 과제의 해결을 위해, 본 발명은, 다수의 블록으로 구분되는 다수의 화소를 포함하는 기판과; 상기 기판 상부의 상기 다수의 화소 각각에 배치되는 제1전극과, 상기 기판 상부의 상기 다수의 화소 사이에 배치되는 제1 및 제2배선과; 상기 제1전극 상부의 상기 다수의 화소 각각에 배치되고, 상기 제1 및 제2배선을 각각 노출하는 제1 및 제2배선콘택홀을 갖는 유기물패턴과; 상기 유기물패턴 상부의 상기 다수의 블록에 각각 형성되고, 상기 제1 및 제2배선콘택홀을 통하여 상기 제1 및 제2배선에 연결되는 제2전극과; 상기 제1 및 제2배선에 각각 연결되는 제1 및 제2스위치와; 상기 제1스위치 및 상기 제1배선을 통하여 상기 제2전극에 전원전압을 인가하고, 상기 제2스위치 및 상기 제2배선을 통하여 상기 제2전극에 터치전압을 인가하는 구동부를 포함하는 인셀 터치표시장치를 제공한다.
그리고, 상기 다수의 블록은 M행N열의 블록을 포함하고, 상기 제1배선은 상기 M행N열의 각 행의 N개의 블록의 상기 제2전극 모두에 연결되고, 상기 제2배선은 상기 M행N열의 각 행의 N개의 블록의 상기 제2전극에 1:1로 연결될 수 있다.
또한, 상기 M행N열 중 제1행의 N개의 블록에 대응되는 상기 제1 및 제2스위치는 제1 및 제2스위치신호에 따라 1프레임 중 제1구간 동안 각각 턴-오프 및 턴-온 되고, 상기 터치전압은 상기 제1행의 N개의 블록의 상기 제2전극에 인가되고, 상기 제1행의 N개의 블록은 영상표시를 중지하고 터치를 감지하고, 상기 M행N열 중 제1행의 N개의 블록에 대응되는 상기 제1 및 제2스위치는 상기 제1 및 제2스위치신호에 따라 1프레임 중 나머지 구간 동안 각각 턴-온 및 턴-오프 되고, 상기 전원전압은 상기 제1행의 N개의 블록의 상기 제2전극에 인가되고, 상기 제1행의 N개의 블록은 터치감지를 중지하고 영상을 표시할 수 있다.
그리고, 상기 제1행의 N개의 블록의 상기 화소에 배치되고 상기 유기물패턴에 전압 인가를 스위칭 하는 발광 박막트랜지스터의 게이트신호는 상기 제1스위치신호에 동기 될 수 있다.
또한, 상기 제1 및 제2스위치는 각각 적어도 하나의 트랜지스터를 포함하고, 상기 제1 및 제2스위치신호는 반전된 형태를 갖고 상기 제1 및 제2스위치의 상기 적어도 하나의 트랜지스터는 동일한 타입이거나, 상기 제1 및 제2스위치신호는 동기된 형태를 갖고 상기 제1 및 제2스위치의 상기 적어도 하나의 트랜지스터는 반대되는 타입일 수 있다.
그리고, 상기 인셀 터치표시장치는, 상기 제1전극과 상기 제1 및 제2배선 상부에 배치되고, 상기 제1전극을 노출하는 제1뱅크개구부, 상기 제1배선을 노출하는 제2뱅크개구부, 상기 제2배선을 노출하는 제3뱅크개구부, 상기 다수의 블록 사이의 경계부의 상기 기판을 노출하는 제4뱅크개구부를 갖는 뱅크층을 더 포함할 수 있다.
한편, 본 발명은, 기판 상부의 다수의 블록으로 구분되는 다수의 화소 각각에 제1전극을 형성하고, 상기 기판 상부의 상기 다수의 화소 사이에 제1 및 제2배선을 형성하는 단계와; 상기 제1전극 상부의 상기 다수의 화소 각각에 상기 제1 및 제2배선을 각각 노출하는 제1 및 제2배선콘택홀을 갖는 유기물패턴을 형성하는 단계와; 상기 유기물패턴 상부의 상기 다수의 블록에 각각 형성되고, 상기 제1 및 제2배선콘택홀을 통하여 상기 제1 및 제2배선에 연결되는 제2전극을 형성하는 단계와; 상기 제1 및 제2배선에 각각 연결되는 제1 및 제2스위치를 형성하는 단계를 포함하는 인셀 터치표시장치의 제조방법을 제공한다.
그리고, 상기 유기물패턴을 형성하는 단계는, 상기 제1전극과 상기 제1 및 제2배선 상부에 유기물층을 형성하는 단계와; 레이저 패터닝 장치의 광원부 및 흡입부를 상기 레이저 패터닝 장치의 제1광학마스크 및 상기 기판에 대하여 상대적으로 이동하면서 상기 광원부의 레이저빔을 상기 제1광학마스크 및 상기 흡입부를 통하여 상기 유기물층에 조사하여 상기 유기물층을 선택적으로 제거하는 단계를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제2전극을 형성하는 단계는, 상기 유기물패턴 상부에 제2전극층을 형성하는 단계와; 상기 레이저 패터닝 장치의 광원부 및 흡입부를 상기 레이저 패터닝 장치의 제2광학마스크 및 상기 기판에 대하여 상대적으로 이동하면서 상기 광원부의 레이저빔을 상기 제2광학마스크 및 상기 흡입부를 통하여 상기 제2전극층에 조사하여 상기 제2전극층을 선택적으로 제거하는 단계를 포함할 수 있다.
그리고, 상기 인셀 터치표시장치의 제조방법은, 상기 제1전극과 상기 제1 및 제2배선 상부에, 상기 제1전극을 노출하는 제1뱅크개구부, 상기 제1배선을 노출하는 제2뱅크개구부, 상기 제2배선을 노출하는 제3뱅크개구부, 상기 다수의 블록 사이의 경계부의 상기 기판을 노출하는 제4뱅크개구부를 갖는 뱅크층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명은, 블록 별로 분할되는 발광다이오드의 음극에 저전위전압 또는 터치전압을 인가함으로써, 시분할의 셀프캡(self cap) 방식으로 구동되어 터치감도가 개선되는 효과를 갖는다.
그리고, 본 발명은, 라인타입의 레이저빔을 스캐닝 조사하여 발광다이오드의 음극을 블록 별로 분할되도록 형성함으로써, 제조공정이 단순화 되고 제조비용이 절감되는 효과를 갖는다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 인셀 터치표시장치를 도시한 도면.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 인셀 터치표시장치의 제1 및 제2스위치신호를 도시한 파형도.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 인셀 터치표시장치를 도시한 평면도.
도 4a 내지 도 4e는 본 발명의 실시예에 따른 인셀 터치표시장치의 제조방법을 설명하기 위한 도 3의 절단선 IV-IV에 따른 단면도.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 인셀 터치표시장치 및 그 제조방법을 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 인셀 터치표시장치를 도시한 도면이다.
도 1에 도시한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 인셀 터치표시장치(110)는, 영상을 표시하고 터치를 감지하는 터치표시패널(120)과 터치표시패널(120)에 다수의 신호를 공급하는 구동부(150)를 포함한다.
터치표시패널(120)은, 제2전극(146), 제1배선(134), 제2배선(136), 제1스위치(SW1), 제2스위치(SW2), 파워배선(PL), 터치배선(TL)을 포함한다.
도시하지는 않았지만, 터치표시패널(120)은, 다수의 화소(도 3의 P)를 포함하는 기판(도 4a의 130)과, 서로 교차하여 다수의 화소(P)를 정의하는 게이트배선 및 데이터배선과, 다수의 화소(P) 각각에 배치되는 다수의 박막트랜지스터를 더 포함할 수 있다.
그리고, 터치표시패널(120)은, 다수의 박막트랜지스터 상부의 다수의 화소(P)에 각각 배치되는 제1전극(도 3의 132), 제1전극(132) 상부에 배치되는 유기물패턴(도 4e의 142)을 더 포함할 수 있다.
제2전극(146)은, 유기물패턴(142) 상부에 배치되는데, 다수의 블록(B)으로 분할되어 M행N열로 배열되며, 발광다이오드(도 4e의 E)의 음극으로 사용될 수 있다.
예를 들어, 각 블록(B)을 4mm X 4mm의 크기로 형성할 경우, 6인치 패널에 40행20열의 블록(B)을 배치할 수 있다.
제1배선(134)은, 가로방향 또는 세로방향으로 배치되어 M행N열의 각 행 또는 각 열의 다수의 블록(B)의 제2전극(146) 모두에 연결된다.
도 1에서는 M행의 N개의 블록(B)의 제2전극(146)에 M개의 제1배선(134)이 각각 연결되는 것을 예로 들었으나, 다른 실시예에서는 N열의 M개의 블록(B)의 제2전극(146)에 N개의 제1배선(134)이 각각 연결될 수도 있다.
제2배선(136)은, 가로방향 또는 세로방향으로 배치되어 M행N열의 각 행 또는 각 열의 다수의 블록(B)의 제2전극(146)에 1:1로 연결된다.
*도 1에서는 M행 각각의 N개의 블록(B)의 제2전극(146)에 N개의 제2배선(136)이 1:1로 연결되는 것을 예로 들었으나, 다른 실시예에서는 N열 각각의 M개의 블록(B)의 제2전극(146)에 M개의 제2배선(136)이 1:1로 연결될 수도 있다.
그리고, 도 1에서는 제2배선(136)이 M행N열의 다수의 블록(B)의 양단에서 중심으로 연장되는 것을 예로 들었으나, 다른 실시예에서는 제2배선(136)이 M행N열의 다수의 블록(B)의 일단에서 타단으로 연장될 수도 있다.
제1스위치(SW1)는, 제1배선(134) 및 파워배선(PL) 사이에 연결되어 제1스위치신호(도 2의 SS1)에 따라 제1배선(134) 및 파워배선(PL)의 연결을 제어한다.
도 1에서는 제1스위치(SW1)가 제1배선(134)의 양단에 각각 연결되는 것을 예로 들었으나, 다른 실시예에서는 제1스위치(SW1)가 제1배선(134)의 일단에 연결될 수도 있다.
제2스위치(SW2)는, 제2배선(136) 및 터치배선(TL) 사이에 연결되어 제2스위치신호(도 2의 SS2)에 따라 제2배선(136) 및 터치배선(TL)의 연결을 제어한다.
도 1에서는 제2스위치(SW2)가 제2배선(136)의 양단에 각각 연결되는 것을 예로 들었으나, 다른 실시예에서는 제2스위치(SW2)가 제2배선(136)의 일단에 연결될 수도 있다.
그리고, 도 1에서는 하나의 제2스위치(SW2)가 하나의 제2배선(136) 및 하나의 터치배선(TL)의 연결을 제어하는 것을 예로 들었으나, 다른 실시예에서는 멀티플렉서(multiplexer: MUX)을 이용하여 M행N열의 각 행 또는 각 열의 다수의 블록(B)에 1:1로 연결되는 다수의 제2배선(136)을 하나의 터치배선(TL)에 순차적으로 연결할 수도 있다.
제1 및 제2스위치(SW1, SW2)는 각각 적어도 하나의 트랜지스터를 포함할 수 있으며, 제1 및 제2스위치(SW1, SW2)의 적어도 하나의 트랜지스터는 각 화소(P)의 다수의 박막트랜지스터와 동일한 공정으로 형성될 수 있다.
파워배선(PL)은 구동부(150)의 전원전압을 제2전극(146)으로 전달하고, 터치배선(TL)은 구동부(150)의 터치전압을 제2전극(146)으로 전달한다.
구동부(150)는 영상표시를 위한 전원전압과 터치감지를 위한 터치전압을 공급한다.
예를 들어, 제2전극(146)이 음극인 경우 전원전압은 저전위전압(VSS)일 수 있고, 제2전극(146)이 양극인 경우 전원전압은 고전위전압(VDD)일 수 있다.
그리고, 구동부(150)는, 터치전압을 제2전극(146)에 인가한 후, 인가된 터치전압의 변화로부터 셀프캡의 변동을 검출하여 터치를 감지할 수 있다.
이러한 인셀 터치표시장치(110)는, 시분할로 영상을 표시하고 터치를 감지할 수 있는데, 이를 도면을 참조하여 설명한다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 인셀 터치표시장치의 제1 및 제2스위치신호를 도시한 파형도로서, 도 1을 함께 참조하여 설명한다.
도 2에 도시한 바와 같이, M행N열 중 제1행의 다수의 블록(B)에 대응되는 제1 및 제2스위치(SW1, SW2)에 인가되는 제1 및 제2스위치신호(SS1(1), SS2(1))는, 영상을 표시하는 단위시간인 1프레임(F) 중 제1구간(TP1) 동안 각각 로우레벨 및 하이레벨을 갖고, 나머지 구간 동안 각각 하이레벨 및 로우레벨을 갖는다. 즉, 제1 및 제2스위치신호(SS1(1), SS2(1))는 서로 반전된 형태를 갖는다.
도 2에서는 제1 및 제2스위치신호(SS1(1), SS2(1))가 서로 반전된 형태를 갖고 제1 및 제2스위치(SW1, SW2)의 적어도 하나의 트랜지스터가 동일한 타입(제1 및 제2스위치(SW1, SW2)는 각각 N타입, 또는 제1 및 제2스위치(SW1, SW2)는 각각 P타입)을 갖는 것을 예로 들었으나, 다른 실시예에서는 제1 및 제2스위치신호(SS1(1), SS2(1))가 동기된 형태를 갖고 제1 및 제2스위치(SW1, SW2)의 적어도 하나의 트랜지스터가 반대되는 타입(제1스위치(SW1)는 N타입이고 제2스위치(SW2)는 P타입, 또는 제1스위치(SW1)는 P타입이고 제2스위치(SW2)는 N타입)을 가질 수 있다.
이에 따라, 제1구간(TP1) 동안, 제1 및 제2스위치(SW1, SW2)가 각각 턴-오프(turn-off) 및 턴-온(turn-on) 되어, 저전위전압(VSS)은 제1행의 다수의 블록(B)의 제2전극(142)에 인가되지 않고 제1행의 다수의 블록(B)은 영상표시를 중지하고, 터치전압은 제1행의 다수의 블록(B)의 제2전극(146)에 순차적으로 인가되고 제1행의 다수의 블록(B)은 터치를 감지한다.
이때, 도시하지는 않았지만, 제1행의 다수의 블록(B)의 각 화소(P)의 발광 박막트랜지스터를 턴-오프 하여 발광다이오드의 발광을 중지하는데, 발광 박막트랜지스터의 게이트신호는 제1스위치신호(SS1(1)) 및 제2스위치신호(SS2(1))의 반전신호에 동기 될 수 있다.
그리고, 제1구간(TP1) 이외의 구간 동안, 제1 및 제2스위치(SW1, SW2)가 각각 턴-온 및 턴-오프 되어, 저전위전압(VSS)은 제1행의 다수의 블록(B)의 제2전극(146)에 동시에 인가되고 제1행의 다수의 블록(B)은 영상을 표시하고, 터치전압은 제1행의 다수의 블록(B)의 제2전극(146)에 인가되지 않고 제1행의 다수의 블록(B)은 터치감지를 중지한다.
이와 유사하게, M행N열 중 제2행의 다수의 블록(B)에 대응되는 제1 및 제2스위치(SW1, SW2)에 인가되는 제1 및 제2스위치신호(SS1(2), SS2(2))는, 영상을 표시하는 단위시간인 1프레임(F) 중 제1구간(TP1)과 이격되는 제2구간(TP2) 동안 각각 로우레벨 및 하이레벨을 갖고, 나머지 구간 동안 각각 하이레벨 및 로우레벨을 갖는다.
이에 따라, 제2구간(TP2) 동안, 제1 및 제2스위치(SW1, SW2)가 각각 턴-오프(turn-off) 및 턴-온(turn-on) 되어, 저전위전압(VSS)은 제2행의 다수의 블록(B)의 제2전극(146)에 인가되지 않고 제2행의 다수의 블록(B)은 영상표시를 중지하고, 터치전압은 제2행의 다수의 블록(B)의 제2전극(146)에 순차적으로 인가되고 제2행의 다수의 블록(B)은 터치를 감지한다.
이때, 도시하지는 않았지만, 제2행의 다수의 블록(B)의 각 화소(P)의 발광 박막트랜지스터를 턴-오프 하여 발광다이오드(E)의 발광을 중지하는데, 발광 박막트랜지스터의 게이트신호는 제1스위치신호(SS1(2)) 및 제2스위치신호(SS2(2))의 반전신호에 동기 될 수 있다.
그리고, 제2구간(TP2) 이외의 구간 동안, 제1 및 제2스위치(SW1, SW2)가 각각 턴-온 및 턴-오프 되어, 저전위전압(VSS)은 제2행의 다수의 블록(B)의 제2전극(146)에 동시에 인가되고 제2행의 다수의 블록(B)은 영상을 표시하고, 터치전압은 제2행의 다수의 블록(B)의 제2전극(146)에 인가되지 않고 제2행의 다수의 블록(B)은 터치감지를 중지한다.
이와 같은 방식으로, M행의 다수의 블록(B)은 시분할로 영상을 표시하고 터치를 감지할 수 있다.
이와 같은 인셀 터치표시장치(110)의 제2전극(146)은 레이저 패터닝 장치를 이용하여 다수의 블록(B)으로 분할 형성할 수 있는데, 이를 도면을 참조하여 설명한다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 인셀 터치표시장치를 도시한 평면도이고, 도 4a 내지 도 4e는 본 발명의 실시예에 따른 인셀 터치표시장치의 제조방법을 설명하기 위한 도 3의 절단선 IV-IV에 따른 단면도로서, 도 1을 함께 참조하여 설명한다.
도 3 및 도 4a에 도시한 바와 같이, 기판(130)은 다수의 화소(P)를 포함하고, 다수의 화소(P)는 다수의 블록(B)으로 구분된다.
즉, 하나의 블록(B)은 수십 내지 수백개의 화소(P)에 대응되는데, 예를 들어 6인치 FHD(full high definition: 1920X1080) 패널의 경우 하나의 블록(B)이 54 X 54의 화소(P)에 대응될 수 있다.
이후, 기판(130) 상부에 제1전극(132), 제1배선(134) 및 제2배선(136)을 형성한다.
도시하지는 않았지만, 기판(130) 상부에는 파워배선(PL) 및 터치배선(TL)이 형성될 수 있다.
제1전극(132)은 각 화소(P)에 배치되고, 제1 및 제2배선(134, 136)은 화소(P) 사이에 배치되고, 파워배선(PL) 및 터치배선(TL)은 기판(130) 가장자리부에 배치될 수 있다.
제1전극(132)은 하부의 구동 박막트랜지스터에 연결되어 데이터전압에 대응되는 전류를 공급받을 수 있고, 제1배선(134)은 저전위전압(VSS)을 전달하고, 제2배선(136)은 터치전압을 전달할 수 있다.
*이후, 제1전극(132), 제1배선(134) 및 제2배선(136) 상부에 뱅크층(138)을 형성한다.
뱅크층(138)은, 제1전극(132)의 가장자리부를 덮고 제1전극(132)의 중앙부를 노출하는 제1뱅크개구부(138a)와, 제1배선(134)의 가장자리부를 덮고 제1배선(134)의 중앙부를 노출하는 제2뱅크개구부(138b)와, 제2배선(136)의 가장자리부를 덮고 제2배선(136)의 중앙부를 노출하는 제3뱅크개구부(138c)와, 인접 블록(B) 사이의 경계부의 기판(130)을 노출하여 블록(B)을 구분하는 제4뱅크개구부(138d)를 갖는다.
*이후, 뱅크층(138) 상부의 기판(130) 전면에 유기물층(140)을 형성한다.
유기물층(140)은 뱅크층(138) 상부와 뱅크층(138)을 통하여 노출되는 제1전극(132), 제1배선(134), 제2배선(136) 및 경계부의 기판(130) 상부에 형성된다.
유기물층(140)은 정공주입층, 정공수송층, 발광물질층, 전자수송층, 전자주입층 중 적어도 하나를 포함할 수 있는데, 실시예에서는 유기물층(140)이 발광물질층을 포함하는 것으로 예로 들어 설명한다.
도 4b에 도시한 바와 같이, 광원부(160), 제1광학마스크(162) 및 흡입부(164)를 포함하는 레이저 패터닝 장치를 이용하여 유기물층(140)을 패터닝 한다.
여기서, 광원부(160) 및 흡입부(164)를 주사방향(S)으로 이동하면서 광원부(160)의 레이저빔(LB)을 제1광학마스크(162) 및 흡입부(164)를 통하여 유기물층(140)에 조사할 수 있다.
레이저빔(LB)은 차단부(미도시), 반투과부(미도시) 및 투과부(미도시)를 갖는 제1광학마스크(162)를 선택적으로 통과하는데, 레이저빔(LB)은, 제1광학마스크(162)의 차단부에 완전히 흡수되고 제1광학마스크(162)의 투과부를 그대로 통과할 수 있으며, 제1광학마스크(162)의 반투과부를 부분적으로 통과할 수 있다.
이에 따라, 제1광학마스크(162)의 반투과부와 투과부에 대응되는 유기물층(140)이 레이저빔(LB)에 의하여 승화 또는 증발되어 선택적으로 제거될 수 있다.
이때, 제거된 유기물질(166)은 흡입부(164)를 통하여 배기되어 제거되므로, 제거된 유기물질(166)에 의한 기판(130) 및 챔버의 오염이 방지된다,
도 4c에 도시한 바와 같이, 레이저빔(LB)에 의하여 제1배선(134) 및 제2배선(136)에 대응되는 유기물층(140)을 선택적으로 제거하여, 제1배선(134) 및 제2배선(136)을 각각 노출하는 제1배선콘택홀(140a) 및 제2배선콘택홀(140b)을 갖는 유기물패턴(142)을 제1전극(132) 상부의 각 화소(P)에 형성한다.
이후, 유기물패턴(142) 상부의 기판(130) 전면에 제2전극층(144)을 형성하는데, 제2전극층(144)은 유기물패턴(142)의 제1배선콘택홀(140a) 및 제2배선콘택홀(140b)을 통하여 제1배선(134) 및 제2배선(136)에 접촉된다.
도 4d에 도시한 바와 같이, 광원부(160), 제2광학마스크(168) 및 흡입부(164)를 포함하는 레이저 패터닝 장치를 이용하여 제2전극층(144)을 패터닝 한다.
여기서, 광원부(160) 및 흡입부(164)를 주사방향(S)으로 이동하면서 광원부(160)의 레이저빔(LB)을 제2광학마스크(168) 및 흡입부(164)를 통하여 제2전극층(144)에 조사할 수 있다.
레이저빔(LB)은 차단부(미도시), 반투과부(미도시) 및 투과부(미도시)를 갖는 제2광학마스크(168)를 선택적으로 통과하는데, 레이저빔(LB)은, 제2광학마스크(168)의 차단부에 완전히 흡수되고 제2광학마스크(168)의 투과부를 그대로 통과할 수 있으며, 제2광학마스크(168)의 반투과부를 부분적으로 통과할 수 있다.
이에 따라, 제2광학마스크(168)의 반투과부와 투과부에 대응되는 제2전극층(144)이 레이저빔(LB)에 의하여 승화 또는 증발되어 선택적으로 제거될 수 있다.
이때, 제거된 전극물질(170)은 흡입부(164)를 통하여 배기되어 제거되므로, 제거된 전극물질(170)에 의한 기판(130) 및 챔버의 오염이 방지된다.
그리고, 제거될 제2전극층(144)에 대응되어 뱅크층(138)이 미리 제거되어 제4뱅크개구부(138d)가 형성되어 있으므로, 제2전극층(144)을 용이하게 제거할 수 있다.
도 4e에 도시한 바와 같이, 레이저빔(LB)에 의하여 뱅크층(138)의 제4뱅크개구부(138d)에 대응되는 제2전극층(144)을 선택적으로 제거하여, 인접 블록(B) 사이의 경계부의 기판(130)을 각각 노출하는 전극개구부(144a)를 갖는 제2전극(146)을 유기물패턴(142) 상부의 각 블록(B)에 형성한다.
제1전극(132), 유기물패턴(142) 및 제2전극(146)은 각 화소(P)의 발광다이오드(E)를 구성할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 인셀 터치표시장치(110)에서는, 발광다이오드의 제2전극을 다수의 화소에 대응되는 블록 별로 분할하고 블록 별로 분할되는 발광다이오드의 제2전극에 저전위전압 또는 터치전압을 인가함으로써, 터치패널을 표시패널 내부에 형성하고 시분할의 셀프캡 방식으로 터치를 감지하여 터치감도가 개선된다.
그리고, 라인타입의 레이저빔을 스캐닝 조사하여 발광다이오드의 유기물패턴 및 제2전극을 패터닝 함으로써, 제조공정이 단순화되고 제조비용이 절감된다.
레이저 패터닝 장치(110)를 이용한 유기발광다이오드 표시장치의 제조방법에서는, 레이저빔(LB)을 이용하여 제1 및 제2유기물질층(362, 368)을 선택적으로 제거함으로써, 저전위배선(354) 및 센싱배선(356)을 노출하는 제1발광물질패턴(366) 및 제2발광물질패턴을 제2양극(358) 상부에 형성하고, 저전위배선(354) 및 센싱배선(356)을 노출하는 제2발광물질패턴을 제1양극(352) 상부에 형성할 수 있다.
이때, 광원부(130)의 라인타입의 레이저빔(LB)을 광학마스크(122) 및 흡입부(124)를 통하여 유기물질층(262)에 스캐닝 조사함으로써, 섀도우 마스크 사용을 생략하고 생산성 및 정밀도를 향상시킬 수 있다.
그리고, 광원부(130) 및 흡입부(124)를 동기된 속도로 이동시키면서 레이저빔(LB)을 유기물질층(262)에 조사함으로써, 제거된 유기물질에 의한 오염 및 불량을 방지할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
[부호의 설명]
110: 인셀 터치표시장치 120: 터치표시패널
130: 기판 132: 제1전극
142: 유기물패턴 146: 제2전극
134: 제1배선 136: 제2배선
SW1, SW2: 제1 및 제2스위치 150: 구동부

Claims (10)

  1. 다수의 블록으로 구분되는 다수의 화소를 포함하는 기판과;
    상기 기판 상부의 상기 다수의 화소 각각에 배치되는 제1전극과, 상기 기판 상부의 상기 다수의 화소 사이에 배치되는 제1 및 제2배선과;
    상기 제1전극 상부의 상기 다수의 화소 각각에 배치되고, 상기 제1 및 제2배선을 각각 노출하는 제1 및 제2배선콘택홀을 갖는 유기물패턴과;
    상기 유기물패턴 상부의 상기 다수의 블록에 각각 형성되고, 상기 제1 및 제2배선콘택홀을 통하여 상기 제1 및 제2배선에 연결되는 제2전극과;
    상기 제1 및 제2배선에 각각 연결되는 제1 및 제2스위치와;
    상기 제1스위치 및 상기 제1배선을 통하여 상기 제2전극에 전원전압을 인가하고, 상기 제2스위치 및 상기 제2배선을 통하여 상기 제2전극에 터치전압을 인가하는 구동부
    를 포함하는 인셀 터치표시장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 다수의 블록은 M행N열의 블록을 포함하고,
    상기 제1배선은 상기 M행N열의 각 행의 N개의 블록의 상기 제2전극 모두에 연결되고,
    상기 제2배선은 상기 M행N열의 각 행의 N개의 블록의 상기 제2전극에 1:1로 연결되는 인셀 터치표시장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 M행N열 중 제1행의 N개의 블록에 대응되는 상기 제1 및 제2스위치는 제1 및 제2스위치신호에 따라 1프레임 중 제1구간 동안 각각 턴-오프 및 턴-온 되고, 상기 터치전압은 상기 제1행의 N개의 블록의 상기 제2전극에 인가되고, 상기 제1행의 N개의 블록은 영상표시를 중지하고 터치를 감지하고,
    상기 M행N열 중 제1행의 N개의 블록에 대응되는 상기 제1 및 제2스위치는 상기 제1 및 제2스위치신호에 따라 1프레임 중 나머지 구간 동안 각각 턴-온 및 턴-오프 되고, 상기 전원전압은 상기 제1행의 N개의 블록의 상기 제2전극에 인가되고, 상기 제1행의 N개의 블록은 터치감지를 중지하고 영상을 표시하는 인셀 터치표시장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제1행의 N개의 블록의 상기 화소에 배치되고 상기 유기물패턴에 전압 인가를 스위칭 하는 발광 박막트랜지스터의 게이트신호는 상기 제1스위치신호에 동기 되는 인셀 터치표시장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제1 및 제2스위치는 각각 적어도 하나의 트랜지스터를 포함하고,
    상기 제1 및 제2스위치신호는 반전된 형태를 갖고 상기 제1 및 제2스위치의 상기 적어도 하나의 트랜지스터는 동일한 타입이거나, 상기 제1 및 제2스위치신호는 동기된 형태를 갖고 상기 제1 및 제2스위치의 상기 적어도 하나의 트랜지스터는 반대되는 타입인 인셀 터치표시장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1전극과 상기 제1 및 제2배선 상부에 배치되고, 상기 제1전극을 노출하는 제1뱅크개구부, 상기 제1배선을 노출하는 제2뱅크개구부, 상기 제2배선을 노출하는 제3뱅크개구부, 상기 다수의 블록 사이의 경계부의 상기 기판을 노출하는 제4뱅크개구부를 갖는 뱅크층을 더 포함하는 인셀 터치표시장치.
  7. 기판 상부의 다수의 블록으로 구분되는 다수의 화소 각각에 제1전극을 형성하고, 상기 기판 상부의 상기 다수의 화소 사이에 제1 및 제2배선을 형성하는 단계와;
    상기 제1전극 상부의 상기 다수의 화소 각각에 상기 제1 및 제2배선을 각각 노출하는 제1 및 제2배선콘택홀을 갖는 유기물패턴을 형성하는 단계와;
    상기 유기물패턴 상부의 상기 다수의 블록에 각각 형성되고, 상기 제1 및 제2배선콘택홀을 통하여 상기 제1 및 제2배선에 연결되는 제2전극을 형성하는 단계와;
    상기 제1 및 제2배선에 각각 연결되는 제1 및 제2스위치를 형성하는 단계
    를 포함하는 인셀 터치표시장치의 제조방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 유기물패턴을 형성하는 단계는,
    상기 제1전극과 상기 제1 및 제2배선 상부에 유기물층을 형성하는 단계와;
    레이저 패터닝 장치의 광원부 및 흡입부를 상기 레이저 패터닝 장치의 제1광학마스크 및 상기 기판에 대하여 상대적으로 이동하면서 상기 광원부의 레이저빔을 상기 제1광학마스크 및 상기 흡입부를 통하여 상기 유기물층에 조사하여 상기 유기물층을 선택적으로 제거하는 단계
    를 포함하는 인셀 터치표시장치의 제조방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 제2전극을 형성하는 단계는,
    상기 유기물패턴 상부에 제2전극층을 형성하는 단계와;
    상기 레이저 패터닝 장치의 광원부 및 흡입부를 상기 레이저 패터닝 장치의 제2광학마스크 및 상기 기판에 대하여 상대적으로 이동하면서 상기 광원부의 레이저빔을 상기 제2광학마스크 및 상기 흡입부를 통하여 상기 제2전극층에 조사하여 상기 제2전극층을 선택적으로 제거하는 단계
    를 포함하는 인셀 터치표시장치의 제조방법.
  10. 제 7 항에 있어서,
    상기 제1전극과 상기 제1 및 제2배선 상부에, 상기 제1전극을 노출하는 제1뱅크개구부, 상기 제1배선을 노출하는 제2뱅크개구부, 상기 제2배선을 노출하는 제3뱅크개구부, 상기 다수의 블록 사이의 경계부의 상기 기판을 노출하는 제4뱅크개구부를 갖는 뱅크층을 형성하는 단계를 더 포함하는 인셀 터치표시장치의 제조방법.
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