WO2019203086A1 - 流体チップ及び分析装置 - Google Patents

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WO2019203086A1
WO2019203086A1 PCT/JP2019/015601 JP2019015601W WO2019203086A1 WO 2019203086 A1 WO2019203086 A1 WO 2019203086A1 JP 2019015601 W JP2019015601 W JP 2019015601W WO 2019203086 A1 WO2019203086 A1 WO 2019203086A1
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WO
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flow path
opening
fluid chip
insulating film
film
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Application number
PCT/JP2019/015601
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English (en)
French (fr)
Inventor
池田　修二
橋本　直孝
Original Assignee
ティーイーアイソリューションズ株式会社
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C12—BIOCHEMISTRY; BEER; SPIRITS; WINE; VINEGAR; MICROBIOLOGY; ENZYMOLOGY; MUTATION OR GENETIC ENGINEERING
    • C12M—APPARATUS FOR ENZYMOLOGY OR MICROBIOLOGY; APPARATUS FOR CULTURING MICROORGANISMS FOR PRODUCING BIOMASS, FOR GROWING CELLS OR FOR OBTAINING FERMENTATION OR METABOLIC PRODUCTS, i.e. BIOREACTORS OR FERMENTERS
    • C12M1/00—Apparatus for enzymology or microbiology
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C12—BIOCHEMISTRY; BEER; SPIRITS; WINE; VINEGAR; MICROBIOLOGY; ENZYMOLOGY; MUTATION OR GENETIC ENGINEERING
    • C12N—MICROORGANISMS OR ENZYMES; COMPOSITIONS THEREOF; PROPAGATING, PRESERVING, OR MAINTAINING MICROORGANISMS; MUTATION OR GENETIC ENGINEERING; CULTURE MEDIA
    • C12N15/00—Mutation or genetic engineering; DNA or RNA concerning genetic engineering, vectors, e.g. plasmids, or their isolation, preparation or purification; Use of hosts therefor
    • C12N15/09—Recombinant DNA-technology
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C12—BIOCHEMISTRY; BEER; SPIRITS; WINE; VINEGAR; MICROBIOLOGY; ENZYMOLOGY; MUTATION OR GENETIC ENGINEERING
    • C12Q—MEASURING OR TESTING PROCESSES INVOLVING ENZYMES, NUCLEIC ACIDS OR MICROORGANISMS; COMPOSITIONS OR TEST PAPERS THEREFOR; PROCESSES OF PREPARING SUCH COMPOSITIONS; CONDITION-RESPONSIVE CONTROL IN MICROBIOLOGICAL OR ENZYMOLOGICAL PROCESSES
    • C12Q1/00—Measuring or testing processes involving enzymes, nucleic acids or microorganisms; Compositions therefor; Processes of preparing such compositions
    • C12Q1/68—Measuring or testing processes involving enzymes, nucleic acids or microorganisms; Compositions therefor; Processes of preparing such compositions involving nucleic acids
    • C12Q1/6869—Methods for sequencing

Definitions

  • the present invention relates to a fluid chip and an analyzer.
  • Patent Document 1 discloses an analyzer for analyzing a base sequence of DNA (Deoxyribonucleic Acid) using a silicon substrate in which nanopores having a diameter of several nm to several tens of nm are provided in a flow channel as a fluid chip. Is described.
  • the flow path penetrates the silicon substrate.
  • the inner wall of the flow path is inclined, and the opening on the front side of the silicon substrate is made smaller than the opening on the back side.
  • the silicon substrate is provided between a supply unit to which DNA is supplied and a recovery unit from which DNA is recovered.
  • the supply unit is connected to the flow path through an opening provided on the surface side of the silicon substrate.
  • the recovery unit is connected to the flow path through an opening provided on the back side of the silicon substrate.
  • the supply unit and the recovery unit are provided with electrode pairs for performing DNA electrophoresis. By applying a voltage to the electrode pair and measuring the change in the current value when DNA passes through the nanopore by electrophoresis, the DNA base sequence and the like are analyzed.
  • Patent Document 1 since the electrode pair is provided so as to sandwich the silicon substrate from both sides, it is necessary to provide the holding members for holding each electrode apart from each other, which becomes a barrier to downsizing the analyzer. Yes. Further, in Patent Document 1, since the opening on the back surface side must be enlarged in order to form a flow path that penetrates the silicon substrate, the size of the fluid chip increases and the design of the flow path and its opening The degree of freedom is limited.
  • the present invention is provided in an analyzer that analyzes a very small amount of sample.
  • the fluid chip can achieve downsizing of the analyzer and can reduce the size of the fluid chip itself and improve the degree of freedom in design.
  • An object of the present invention is to provide an analysis device including the fluid chip.
  • the fluid chip of the present invention is provided with a surface channel formed in a groove shape opening the surface of the substrate, an insulating film provided on the surface of the substrate, and one end of the surface channel.
  • An inflow opening that allows a sample to flow into the surface flow path, and an outflow opening that is provided at the other end of the surface flow path and allows the sample to flow out of the surface flow path. It is provided in the insulating film and is connected through the surface flow path.
  • the analyzer of the present invention includes the fluid chip, an upper sheet provided on the surface of the fluid chip, a supply unit to which the sample is supplied, and a recovery unit from which the sample is collected,
  • the sheet includes a first upper flow path for guiding the sample supplied to the supply section to the inflow opening, and a second upper flow path for guiding the sample flowing out from the inflow opening to the recovery section. And a flow path through which the sample flows is formed between the supply unit and the recovery unit.
  • Another analyzer of the present invention includes the fluid chip, a supply unit to which the sample is supplied, and a recovery unit to collect the sample, and the first upper flow path is connected to the supply unit.
  • the supplied sample is guided to the inflow opening, and the second upper channel guides the sample that has flowed out of the inflow opening to the recovery unit, and is provided between the supply unit and the recovery unit. And forming a distribution channel for distributing the sample.
  • the electrode pair can be arranged on the same surface of the substrate, so that the analyzer can be downsized, and the flow path Since the opening can be formed in a desired shape and size, the fluid chip itself can be downsized and the degree of design freedom can be improved.
  • the fluid chip 10 is used in an analyzer 11 for analyzing a trace amount of sample.
  • the analyzer 11 analyzes the sample by detecting a change in the current value when the sample liquid in which the sample is dispersed in the solution containing the electrolyte flows through the fluid chip 10. Specifically, by applying a voltage to the electrode pair 16 to be described later, an ionic current flowing through the internal space of the minimum opening portion having the smallest opening area is generated in the flow path of the sample flowing through the analyzer 11. .
  • the electrical resistance value of the minimum opening increases as the sample passes through the minimum opening. For this reason, the value of the ion current changes according to the volume of the sample passing through the minimum opening.
  • the analyzer 11 analyzes the size and shape of the sample based on the change in the current value.
  • the sample is DNA (Deoxyribonucleic Acid), protein, pollen, virus, cell, organic particle or inorganic particle, particulate matter such as PM (Particulate Matter) 2.5, and the like. In this example, it is DNA.
  • the analyzer 11 detects a change in current value when DNA passes through the inflow opening 22a. , Nucleobase molecules constituting DNA are identified, and DNA base sequences are analyzed. In the present specification, the drawing is enlarged for easy viewing.
  • the analysis device 11 includes a fluidic chip 10, a flow path sheet 12, a cover sheet 13, a supply unit 14, a recovery unit 15, and an electrode pair 16.
  • the plane shape of the analyzer 11 is, for example, a rectangle, and in the present embodiment, a square with a side length of 25 mm.
  • the flow path sheet 12 is provided on the surface of the fluid chip 10.
  • a material of the flow path sheet 12 for example, rubber or resin is used.
  • the flow path sheet 12 includes a first upper flow path 12a and a second upper flow path 12b.
  • the first upper flow path 12a and the second upper flow path 12b extend in directions orthogonal to each other.
  • the first upper flow path 12a extends in the Y direction
  • the second upper flow path 12b extends in the X direction.
  • the directions of the first upper flow path 12a and the second upper flow path 12b are not limited to directions orthogonal to each other, and can be designed as appropriate.
  • the flow path sheet 12 corresponds to an “upper sheet” recited in the claims.
  • the first upper flow path 12a guides the DNA supplied from the supply unit 14 described later to the fluid chip 10.
  • the first upper flow path 12a is narrower at one end in the longitudinal direction than at the other end.
  • the width of the first upper flow path 12a gradually increases from one end to the other end in the longitudinal direction.
  • the longitudinal direction of the first upper flow path 12a is the Y direction in FIG. 1, and the width direction of the first upper flow path 12a is the X direction in FIG.
  • the second upper flow path 12b guides the DNA from the fluid chip 10 to the recovery unit 15 described later.
  • the second upper flow path 12b is narrower at one end in the longitudinal direction than at the other end.
  • the width of the second upper flow path 12b gradually increases from one end to the other end in the longitudinal direction.
  • the longitudinal direction of the second upper flow path 12b is the X direction in FIG. 1, and the width direction of the second upper flow path 12b is the Y direction in FIG.
  • the cover sheet 13 is provided on the surface of the flow path sheet 12.
  • the cover sheet 13 constitutes the upper surface of the analyzer 11.
  • a material of the cover sheet 13 for example, rubber or resin is used.
  • the supply unit 14 and the collection unit 15 are provided on the same surface of the analyzer 11.
  • the supply unit 14 and the recovery unit 15 are provided on the cover sheet 13, that is, the upper surface of the analyzer 11.
  • the supply unit 14 is for supplying DNA to the fluid chip 10.
  • the supply unit 14 is provided at the other end of the first upper flow path 12a, and is connected to the fluid chip 10 via the first upper flow path 12a.
  • the recovery unit 15 is for recovering DNA from the fluid chip 10.
  • the recovery unit 15 is provided at the other end of the second upper flow path 12b, and is connected to the fluid chip 10 via the second upper flow path 12b.
  • the electrode pair 16 is provided in the supply unit 14 and the recovery unit 15.
  • the electrode pair 16 is connected to a power source and a current detection device (not shown).
  • the power source applies a voltage to the electrode pair 16.
  • DNA electrophoresis is performed, and the DNA passes through the fluid chip 10.
  • the supplied DNA may pass through the fluid chip 10 by pressure, or may pass through the fluid chip 10 using electrophoresis and pressure in combination.
  • the current detection device detects a change in the current value by utilizing the fact that the current value changes when DNA passes through the fluid chip 10.
  • the fluid chip 10 includes a substrate 21 and an insulating film 22.
  • the substrate 21 is a silicon substrate.
  • the thickness of the substrate 21 is 775 ⁇ m in this embodiment.
  • the thickness direction is the Z direction in FIG.
  • the rear surface of the substrate 21 constitutes the lower surface of the analyzer 11.
  • the substrate 21 is provided with a lower flow path 23.
  • the lower flow path 23 is formed in a groove shape that opens the surface of the substrate 21.
  • the lower flow path 23 corresponds to a “surface flow path” recited in the claims.
  • the lower channel 23 is narrower at one end in the longitudinal direction than at the other end.
  • the width of the lower flow path 23 increases stepwise from one end to the other end in the longitudinal direction.
  • the longitudinal direction of the lower flow path 23 is the X direction in FIG. 1, and the width direction of the lower flow path 23 is the Y direction in FIG.
  • One end of the lower flow path 23 is disposed below one end of the first upper flow path 12a.
  • the other end of the lower flow path 23 is disposed below the other end of the second upper flow path 12b.
  • the insulating film 22 is provided on the surface of the substrate 21.
  • the insulating film 22 is formed of, for example, a SiN film (silicon nitride film) or a SiO film (silicon oxide film).
  • the insulating film 22 is formed of a SiN film.
  • the thickness of the insulating film 22 is 50 nm in this embodiment.
  • the insulating film 22 is provided with an inflow opening 22a and an outflow opening 22b.
  • the inflow opening 22 a and the outflow opening 22 b are provided in the thickness direction of the fluid chip 10.
  • the inflow opening 22 a and the outflow opening 22 b are connected via the lower flow path 23.
  • the inflow opening 22a is provided at one end of the lower flow path 23, and connects the lower flow path 23 and the first upper flow path 12a.
  • the inflow opening 22 a allows DNA to flow from the first upper channel 12 a to the lower channel 23.
  • the planar shape of the inflow opening 22a is, for example, a circle.
  • the diameter of the inflow opening 22a is 200 nm. Note that the diameter of the inflow opening may be appropriately changed according to the sample.
  • the planar shape of the inflow opening is not limited to a circular shape, and may be an ellipse, a rectangle, a polygon, or the like.
  • the outflow opening 22b is provided at the other end of the lower channel 23, and connects the lower channel 23 and the second upper channel 12b.
  • the outflow opening 22b allows DNA to flow out from the lower channel 23 to the second upper channel 12b.
  • the outflow opening 22b is narrower at one end in the longitudinal direction than at the other end. In the present embodiment, the width of the outflow opening 22b gradually increases from one end to the other end in the longitudinal direction.
  • the longitudinal direction of the outflow opening 22b is the X direction in FIG. 1, and the width direction of the outflow opening 22b is the Y direction in FIG.
  • the analyzer 11 having the above configuration forms a distribution channel for distributing DNA between the supply unit 14 and the recovery unit 15.
  • a DNA distribution channel will be described with reference to FIGS. 3A is a cross-sectional view taken along the line AA in the Y direction passing through the inflow opening 22a in FIG. 2, and FIG. 3B is a cross-sectional view along the line B— in the X direction passing through the inflow opening 22a in FIG. It is sectional drawing along a B line.
  • a cross-sectional view along the Y-direction straight line passing through the inflow opening is referred to as a Y-direction cross-sectional view
  • a cross-sectional view along the X-direction straight line passing through the inflow opening is referred to as an X-direction cross-sectional view.
  • the DNA supplied to the supply unit 14 moves through the first upper channel 12a and flows into the lower channel 23 from the inflow opening 22a.
  • the DNA that has flowed into the lower flow path 23 flows out from the outflow opening 22 b to the second upper flow path 12 b and is recovered by the recovery section 15.
  • the analyzer 11 analyzes the DNA by detecting a change in the current value when the DNA passes through the inflow opening 22a.
  • the fluid chip 10 is manufactured by a lower flow path forming process, an oxide film embedding process, an opening forming process, and an embedded oxide film removing process. 4 to 7, (a) is a cross-sectional view in the Y direction, and (b) is a cross-sectional view in the X direction.
  • the lower flow path 23 is formed on the surface of the substrate 26.
  • a silicon substrate is used as the substrate 26.
  • the thickness of the substrate 26 is 775 ⁇ m in this embodiment.
  • a photoresist is applied on the surface of the substrate 26 to form a photoresist layer (not shown), and the photoresist layer is patterned by a photolithography technique.
  • a resist pattern having an opening corresponding to the lower flow path 23 is formed in the photoresist layer.
  • the surface of the substrate 26 is dry etched. The depth of dry etching is set based on the target depth of the lower flow path 23. Thereby, the lower flow path 23 is formed on the surface of the substrate 26.
  • the substrate 26 on which the lower flow path 23 is formed becomes the substrate 21 of the fluid chip 10.
  • an embedded oxide film 27 is formed by embedding an oxide film in the lower flow path 23 formed in the substrate 26.
  • an oxide film is formed on the surface of the substrate 26.
  • the oxide film is, for example, a SiO film (silicon oxide film) formed by a CVD (Chemical Vapor Deposition) method using TEOS (Tetraoxysilane) as a source gas.
  • TEOS Tetraoxysilane
  • an oxide film is formed on the surface of the substrate 26 and in the lower flow path 23.
  • the surface of the oxide film is planarized.
  • a CMP Chemical Mechanical Polishing
  • the planarization is preferably performed so that the surface of the substrate 26 is exposed.
  • the oxide film on the surface of the substrate 26 is removed, and the oxide film in the lower flow path 23 remains.
  • the oxide film remaining in the lower flow path 23 is the buried oxide film 27.
  • an inflow opening 22 a and an outflow opening 22 b are formed in the insulating film 28 provided on the surface of the substrate 26.
  • the insulating film 28 is formed on the surface of the substrate 26.
  • the insulating film 28 is formed by, for example, a CVD method using DCS (dichlorosilane) as a source gas.
  • the inflow opening 22 a and the outflow opening 22 b are formed in the insulating film 28.
  • the inflow opening 22a and the outflow opening 22b are formed by the same method as that of the lower flow path 23, for example.
  • the inflow opening 22a and the outflow opening 22b were formed by applying a photoresist on the surface of the insulating film 28 to form a photoresist layer (not shown), and patterning by a photolithography technique to form a resist pattern.
  • the insulating film 28 is formed by dry etching using the photoresist layer as a mask.
  • the insulating film 28 in which the inflow opening 22 a and the outflow opening 22 b are formed becomes the insulating film 22 of the fluid chip 10.
  • the buried oxide film removing step removes the buried oxide film 27 in the lower flow path 23.
  • wet etching is performed by immersing the substrate 26 that has undergone the opening forming step in a wet etching solution.
  • a wet etching solution For example, HF (hydrofluoric acid) is used as the wet etching solution.
  • the wet etching liquid enters from the inflow opening 22a and the outflow opening 22b, and the buried oxide film 27 is removed by isotropic etching, whereby the fluid chip 10 is obtained.
  • the analyzer 11 is configured by attaching the flow path sheet 12 and the cover sheet 13 in order to the surface of the fluid chip 10 manufactured through the above-described steps, and providing the electrode pair 16 in the supply unit 14 and the recovery unit 15. Produced.
  • the opening area of the inflow opening 22 a is sufficiently smaller than the respective opening areas of the channels other than the inflow opening 22 a in the flow path through which DNA flows. By doing so, the difference between the electric resistance value of the inflow opening 22a and the electric resistance value of the flow path other than the inflow opening 22a is sufficiently large, and the analysis can be performed more reliably.
  • the fluid chip 10 can provide the supply unit 14 and the recovery unit 15 on the same surface by providing the lower flow path 23 on the surface of the substrate 21.
  • the electrode pairs 16 can be arranged on the same plane, and the analyzer 11 can be downsized.
  • the fluid chip 10 has the first upper flow path 12a, the second upper flow path 12b, the lower flow path 23, the inflow opening 22a, the outflow opening 22b, and the like in a desired shape and size. Therefore, it is possible to reduce the size of the fluid chip 10 itself and improve the degree of design freedom.
  • the fluid chip 10 reduces the area of each of the first upper flow path 12a and the lower flow path 23 to form a flow path pair that forms a pair with the first upper flow path 12a and the lower flow path 23.
  • a plurality can be provided.
  • a plurality of lower flow paths 23 are intersected with one first upper flow path 12a, and an inflow opening 22a is provided at each intersection.
  • a plurality of first upper channels 12a may intersect with one lower channel 23, or a plurality of first upper channels 12a and a plurality of lower channels 23 intersect each other. You may let them. In this way, a plurality of flow channel pairs are formed in the fluid chip 10, and the inflow openings 22 a are provided at the intersections of the first upper flow channel 12 a and the lower flow channel 23. Analysis.
  • the first upper flow path 12a and the second upper flow path 12b are formed by pasting the flow path sheet 12 on the surface of the fluid chip 10, but in the second embodiment, The upper flow path is formed without using the flow path sheet 12.
  • the same members as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.
  • the analyzer 41 includes a cover sheet 13, a supply unit 14, a recovery unit 15, an electrode pair 16, and a fluid chip 40.
  • the cover sheet 13 is provided on the surface of the fluid chip 40.
  • 8A is a cross-sectional view in the Y direction
  • FIG. 8B is a cross-sectional view in the X direction.
  • the fluid chip 40 includes a substrate 21, an insulating film 22, and an upper flow path film 42.
  • the upper flow path film 42 is provided on the surface of the insulating film 22.
  • a material of the upper flow path film 42 for example, a material that can be patterned by a photolithography technique is used.
  • photosensitive polyimide is used as the material of the upper flow path film 42.
  • the upper flow path film 42 corresponds to a “first flow path film” recited in the claims.
  • a first upper channel 42a and a second upper channel 42b are formed.
  • the first upper channel 42a guides the DNA supplied from the supply unit 14 to the inflow opening 22a.
  • the second upper channel 42b guides the DNA flowing out from the outflow opening 22b to the recovery unit 15.
  • the first upper flow path 42a and the second upper flow path 42b extend in directions orthogonal to each other in plan view.
  • the directions of the first upper flow path 42a and the second upper flow path 42b are not limited to directions orthogonal to each other, and can be designed as appropriate.
  • the planar shapes of the first upper flow path 42a and the second upper flow path 42b are the same as the planar shapes of the first upper flow path 12a and the second upper flow path 12b.
  • the width is narrower than the width of the other end.
  • the analyzer 41 having the above-described configuration, as shown in FIG. 8A, the DNA supplied to the supply unit 14 moves through the first upper flow path 42a and passes through the lower flow path from the inflow opening 22a. 23 flows into. As shown in FIG. 8B, the DNA that has flowed into the lower flow path 23 flows out from the outflow opening 22b to the second upper flow path 42b, and is collected by the collection section 15. Thus, the analyzer 41 forms a distribution channel for distributing DNA between the supply unit 14 and the recovery unit 15.
  • a method for manufacturing the fluid chip 40 will be described with reference to FIGS. 9 and 10, (a) is a cross-sectional view in the Y direction, and (b) is a cross-sectional view in the X direction.
  • the fluid chip 40 is manufactured by a lower flow path forming process, an oxide film filling process, an opening forming process, an upper flow path forming process, and a buried oxide film removing process.
  • the manufacturing method of the fluid chip 40 is different from the manufacturing method of the fluid chip 10 of the first embodiment in that the upper flow path forming process is provided between the opening forming process and the buried oxide film removing process.
  • the lower flow path forming step, the oxide film embedding step, and the opening forming step are the same as the manufacturing method of the fluid chip 10 of the first embodiment. That is, in the lower flow path forming step, the lower flow path 23 is formed on the surface of the substrate 26 (see FIG. 4). In the oxide film embedding step, an embedded oxide film 27 is formed by embedding an oxide film in the lower flow path 23 formed in the substrate 26 (see FIG. 5). In the opening forming step, the inflow opening 22a and the outflow opening 22b are formed in the insulating film 28 provided on the surface of the substrate 26 (see FIG. 6).
  • a first upper flow path 42 a and a second upper flow path 42 b are formed on the upper flow path film 42 provided on the surface of the insulating film 28.
  • first, for example, positive photosensitive polyimide is applied to the surface of the insulating film 28 to form a photosensitive polyimide layer (not shown).
  • the photosensitive polyimide layer is exposed using an exposure device (not shown). The exposure device exposes portions of the photosensitive polyimide layer corresponding to the first upper flow path 42a and the second upper flow path 42b.
  • the exposure is performed using, for example, a photomask in which only portions corresponding to the first upper flow path 42a and the second upper flow path 42b are opened.
  • a photomask in which only portions corresponding to the first upper flow path 42a and the second upper flow path 42b are opened.
  • the buried oxide film 27 is removed by immersing the substrate 26 that has undergone the upper flow path forming step in a wet etchant and performing wet etching.
  • a wet etchant for example, HF is used as the wet etching solution.
  • the fluid chip 40 can form the upper channel film 42 on the surface of the insulating film 28 by photolithography. Therefore, the fluid chip 40 can form the first upper flow path 42a and the second upper flow path 42b on the surface of the insulating film 28 with good alignment accuracy. In the first embodiment, it is difficult to ensure the dimensional accuracy of the flow path sheet and the alignment accuracy in the step of attaching the flow path sheet, but in the second embodiment, the first upper flow path 42a and the second upper flow path The manufacturing process can be simplified while ensuring the dimensional accuracy and alignment accuracy of the flow path 42b. In addition, the fluid chip 40 is excellent in design flexibility because it can be finely processed in accordance with the application, for example, the upper channel film 42 has a mesh structure.
  • the upper flow path film 42 is not limited to the one obtained by exposing and developing the photosensitive polyimide layer as described above.
  • a film that becomes the material of the upper flow path film 42 is formed on the surface of the substrate 26, a photoresist layer is formed on the surface of the film, and the photoresist layer is patterned by a photolithography technique.
  • the upper flow path film 42 may be formed by etching the film using the photoresist layer on which the resist pattern is formed as a mask, and removing the photoresist layer.
  • the upper flow path film 42 is provided on the surface of the insulating film 28.
  • the upper flow path film is provided between the substrate and the insulating film.
  • the analyzer 51 includes a cover sheet 13, a supply unit 14, a recovery unit 15, an electrode pair 16, and a fluid chip 50.
  • (a) is a cross-sectional view in the Y direction
  • (b) is a cross-sectional view in the X direction.
  • the fluid chip 50 includes a substrate 21, an upper flow path film 52, and an insulating film 53.
  • the upper flow path film 52 is provided between the substrate 21 and the insulating film 53.
  • the upper flow path film 52 is preferably formed of a material having heat resistance to such an extent that it does not deteriorate during the formation of the insulating film 53 described later.
  • the upper flow path film 52 is formed of an inorganic film such as a SiN film or a SiO film, and is formed of a SiN film in the present embodiment.
  • the upper flow path film 52 corresponds to a “second flow path film” recited in the claims.
  • a first upper channel 52a and a second upper channel 52b are formed in the upper channel film 52.
  • the first upper flow path 52a is connected to the lower flow path 23 via an inflow opening 53a described later.
  • the second upper flow path 52 b is connected to the lower flow path 23.
  • the first upper flow path 52a and the second upper flow path 52b extend in directions orthogonal to each other in plan view. Note that the directions of the first upper flow path 52a and the second upper flow path 52b are not limited to directions orthogonal to each other, and can be appropriately designed.
  • the planar shapes of the first upper channel 52a and the second upper channel 52b are the same as the planar shapes of the first upper channel 42a and the second upper channel 42b of the first embodiment, respectively.
  • the width of one end in the longitudinal direction is narrower than the width of the other end.
  • the insulating film 53 is provided on the surface of the upper flow path film 52.
  • the insulating film 53 is formed of, for example, a SiN film.
  • a step portion 54 is formed in the insulating film 53 along the surface of the upper flow path film 52 and the surface of the substrate 21.
  • the insulating film 53 is provided with an inflow opening 53a and an outflow opening 53b.
  • the inflow opening 53 a is provided in the stepped portion 54 and connects the first upper flow path 52 a and the lower flow path 23.
  • the inflow opening 53a is the minimum opening.
  • the outflow opening 53b is provided in a portion corresponding to the second upper flow path 52b in the insulating film 53, and is connected to the lower flow path 23 via the second upper flow path 52b.
  • the DNA supplied to the supply unit 14 moves through the first upper channel 52a, and flows from the inflow opening 53a to the lower channel. 23 flows into.
  • the DNA that has flowed into the lower flow path 23 sequentially passes through the second upper flow path 52 b and the inflow opening 53 a and is recovered by the recovery section 15.
  • the analyzer 51 forms a distribution path for distributing DNA between the supply unit 14 and the recovery unit 15.
  • FIGS. 12 to 14 A method for manufacturing the fluid chip 50 will be described with reference to FIGS. In each of FIGS. 12 to 14, (a) is a cross-sectional view in the Y direction, and (b) is a cross-sectional view in the X direction.
  • the fluid chip 50 is manufactured by a lower flow path forming process, an oxide film filling process, an upper flow path forming process, an opening forming process, and a buried oxide film removing process.
  • the manufacturing method of the fluid chip 50 is different from the manufacturing method of the fluid chip 40 of the second embodiment in that an upper flow path forming process is provided between the oxide film embedding process and the opening forming process.
  • the lower flow path forming step and the oxide film embedding step are the same as the manufacturing method of the fluid chip 40 of the second embodiment. That is, in the lower flow path forming step, the lower flow path 23 is formed on the surface of the substrate 26 (see FIG. 4). In the oxide film embedding step, an embedded oxide film 27 is formed by embedding an oxide film in the lower flow path 23 formed in the substrate 26 (see FIG. 5).
  • a first upper flow path 52a and a second upper flow path 52b are formed on the inorganic film 56 provided on the surface of the substrate 21.
  • an SiN film is formed as the inorganic film 56 on the surface of the substrate 21.
  • the inorganic film 56 is formed by, for example, a CVD method using DCS as a source gas. Thereafter, the first upper flow path 52 a and the second upper flow path 52 b are formed in the inorganic film 56.
  • the first upper flow path 52a and the second upper flow path 52b are formed by, for example, applying a photoresist on the surface of the inorganic film 56 to form a photoresist layer (not shown), and patterning by a photolithography technique.
  • the inorganic film 56 is formed by dry etching using the photoresist layer on which the resist pattern is formed as a mask.
  • the inorganic film 56 in which the first upper flow path 52 a and the second upper flow path 52 b are formed becomes the upper flow path film 52 of the fluid chip 40.
  • an inflow opening 53 a and an outflow opening 53 b are formed in the insulating film 57 provided on the surface of the inorganic film 56.
  • an insulating film 57 is formed on the surface of the inorganic film 56.
  • the insulating film 57 is formed by, for example, a CVD method using DCS as a source gas.
  • a step portion 54 is formed in a portion of the insulating film 57 corresponding to the first upper flow path 52a.
  • an inflow opening 53 a and an outflow opening 53 b are formed in the insulating film 57.
  • the inflow opening 53a and the outflow opening 53b are formed by dry etching the insulating film 57 using a photoresist layer in which a resist pattern is formed by a photolithography technique as a mask.
  • the inflow opening 53 a is formed in the stepped portion 54.
  • the outflow opening 53b is formed in a portion of the insulating film 57 corresponding to the second upper flow path 52b.
  • the insulating film 57 in which the inflow opening 53 a and the outflow opening 53 b are formed becomes the insulating film 53 of the fluid chip 50.
  • the buried oxide film 27 is removed by immersing the substrate 26 that has undergone the opening forming step in a wet etching solution and performing wet etching.
  • a wet etching solution For example, HF is used as the wet etching solution.
  • the fluid chip 50 can form the upper channel film 52 on the surface of the substrate 21 by the photolithography technique, the first upper channel 52a and the second upper channel 52b can be formed in the same manner as the fluid chip 40. While ensuring dimensional accuracy and alignment accuracy, the manufacturing process can be simplified, and the degree of freedom in design is excellent.
  • the analysis device 61 includes a cover sheet 13, a supply unit 14, a recovery unit 15, an electrode pair 16, and a fluid chip 60.
  • 15A is a cross-sectional view in the Y direction
  • FIG. 15B is a cross-sectional view in the X direction.
  • the fluid chip 60 includes a substrate 62, an upper flow path film 52, and an insulating film 63.
  • the substrate 62 is a silicon substrate.
  • a first recess 64, a second recess 65, and a lower channel 66 are formed on the surface of the substrate 62.
  • the first recess 64 corresponds to the first upper flow path 52a.
  • the second recess 65 corresponds to the second upper flow path 52b.
  • the lower flow path 66 is provided in the first recess 64 and the second recess 65.
  • the insulating film 63 is provided on the surface of the upper flow path film 52.
  • the insulating film 63 is made of, for example, a SiN film.
  • the insulating film 63 has a stepped portion 67 formed along the surface of the upper flow path film 52 and the surface of the first recess 64.
  • the insulating film 63 is provided with an inflow opening 63a and an outflow opening 63b.
  • the inflow opening 63 a is provided in the stepped portion 67 in the insulating film 63.
  • the inflow opening 63a is the minimum opening.
  • the first upper flow path 52a and the lower flow path 66 are connected via the inflow opening 63a.
  • the outflow opening 63b is provided in a portion of the insulating film 63 corresponding to the second upper flow path 52b, and the lower flow path is interposed via the second upper flow path 52b and the second recess 65. 66.
  • the DNA supplied to the supply unit 14 moves through the first upper channel 52a and flows from the inflow opening 63a to the lower channel. 66.
  • the DNA that has flowed into the lower channel 66 passes through the second recess 65, the second upper channel 52 b, and the inflow opening 63 a in this order, and is recovered by the recovery unit 15.
  • the analyzer 61 forms a distribution channel for distributing DNA between the supply unit 14 and the recovery unit 15.
  • a method for manufacturing the fluid chip 60 will be described with reference to FIGS. 16 to 19, (a) is a cross-sectional view in the Y direction, and (b) is a cross-sectional view in the X direction.
  • the fluid chip 60 is manufactured by a lower channel forming step, an oxide film embedding step, an upper channel forming step, an upper channel adding process, an opening forming step, and an embedded oxide film removing step. Is done.
  • FIG. 16 shows a fluid chip that is being manufactured by sequentially performing the lower flow path forming step, the oxide film embedding step, and the upper flow path forming step.
  • the lower flow path forming step the lower flow path 66 is formed on the surface of the substrate 68.
  • the formation method of the lower flow path 66 is the same as the formation method of the lower flow path 23 except that the depth of dry etching is different.
  • the oxide film embedding step the buried oxide film 27 is formed by embedding an oxide film in the lower flow path 66 formed in the substrate 68.
  • the first upper flow path 52 a and the second upper flow path 52 b are formed on the inorganic film 56 provided on the surface of the substrate 68.
  • the first recess 64 and the second recess 65 are formed by over-etching the surface of the substrate 68.
  • the substrate 68 and the buried oxide film 27 are etched using the inorganic film 56 as a mask.
  • portions of the substrate 68 and the buried oxide film 27 corresponding to the first upper flow path 52a and the second upper flow path 52b are removed, and the first recess 64 and the second recess 65 are Is formed.
  • the substrate 68 in which the first recess 64, the second recess 65, and the lower flow path 66 are formed becomes the substrate 62 of the fluid chip 60.
  • a patterned photoresist layer for etching the inorganic film 56 in the upper channel formation process may be used as a mask. Thereby, the etching of the inorganic film 56 and the etching of the first concave portion 64 and the second concave portion 65 may be continuously performed.
  • an inflow opening 63 a and an outflow opening 63 b are formed in the insulating film 69 provided on the surface of the inorganic film 56.
  • the insulating film 69 is formed by, for example, a CVD method using DCS as a source gas.
  • a stepped portion 67 is formed in a portion of the insulating film 69 corresponding to the first upper flow path 52 a and the first recess 64.
  • an inflow opening 63 a and an outflow opening 63 b are formed in the insulating film 69.
  • the formation method of the inflow opening 63a and the outflow opening 63b is the same as that in the third embodiment.
  • the inflow opening 63a and the outflow opening 63b are formed by dry etching the surface of the insulating film 69 using a photoresist layer formed with a resist pattern by a photolithography technique as a mask.
  • the insulating film 69 in which the inflow opening 63 a and the outflow opening 63 b are formed becomes the insulating film 63 of the fluid chip 60.
  • the buried oxide film 27 is removed by performing wet etching by immersing the substrate 68 that has undergone the opening forming step in a wet etching solution.
  • a wet etching solution For example, HF is used as the wet etching solution.
  • the first concave portion 64 and the second concave portion 65 are formed on the surface of the substrate 62, and the lower flow path 66 is provided in the first concave portion 64 and the second concave portion 65. Sufficient channel height can be obtained. For this reason, the fluid chip 60 can distribute the sample smoothly even when analyzing a long sample.
  • the inflow opening as the minimum opening is provided in the thickness direction of the fluid chip.
  • the minimum opening is provided in a direction different from the thickness direction of the fluid chip.
  • the fluid chip 70 is provided in the analyzer 11 instead of the fluid chip 10 of the first embodiment, for example.
  • the fluid chip 70 includes an opening 72 in the flow path in addition to the substrate 21 and the insulating film 22.
  • 20A is a cross-sectional view in the Y direction
  • FIG. 20B is a cross-sectional view in the X direction.
  • the in-channel opening 72 is provided in the lower channel 23 between the inflow opening 22a and the outflow opening 22b.
  • the in-channel opening 72 is the minimum opening. That is, the opening area of the in-flow channel opening 72 is smaller than the opening areas of the inflow opening 22a and the outflow opening 22b.
  • the in-channel opening 72 is provided in a direction different from the thickness direction of the fluid chip 70, and is provided in a direction orthogonal to the thickness direction of the fluid chip 70 in this example.
  • the fluid chip 70 includes a lower flow path forming process, a first insulating film forming process, a groove forming process, a second insulating film forming process, an insulating film processing process, an oxide film embedding process, an opening forming process, an embedded oxide film Manufactured by sequentially performing the removal step.
  • the manufacturing method of the fluid chip 70 includes the first insulating film forming step, the groove forming step, the second insulating film forming step, and the insulating film processing step. Different.
  • the lower flow path forming step is the same as the manufacturing method of the fluid chip 10 of the first embodiment. That is, in the lower flow path forming step, the lower flow path 23 is formed on the surface of the substrate 26 by dry etching (see FIG. 4).
  • a first insulating film 75 is formed in the lower flow path 23.
  • the first insulating film 75 is formed, for example, by performing a CVD method using DCS as a source gas and planarization using a CMP apparatus.
  • the first insulating film 75 is formed of a SiN film.
  • a groove 76 is formed in the first insulating film 75.
  • the planar shape of the groove 76 is, for example, a rectangle.
  • the length of the short side of the groove 76 is the length in the width direction orthogonal to the thickness direction of the in-flow channel opening 72, that is, the width of the in-flow channel opening 72.
  • the depth of the groove 76 is the length of the opening 72 in the flow path in the thickness direction, that is, the height of the opening 72 in the flow path.
  • the trench 76 may be formed by applying a photoresist on the surface of the first insulating film 75 to form a photoresist layer (not shown), and patterning by a photolithography technique.
  • the first insulating film 75 is formed by dry etching as a mask.
  • a second insulating film 77 is formed in the trench 76.
  • the second insulating film 77 is formed, for example, by performing a CVD method using TEOS as a source gas and planarization using a CMP apparatus.
  • the second insulating film 77 is formed of a SiO film.
  • the first insulating film 75 and the second insulating film 77 are processed to form a plate-like body 78.
  • the planar shape of the plate-like body 78 is a rectangle.
  • the length of the short side of the plate-like body 78 is the length in the direction perpendicular to the thickness direction and the width direction in the flow passage opening 72, that is, the length of the flow passage opening 72. It becomes length.
  • dry etching is performed.
  • the oxide film embedding step, the opening forming step, and the embedded oxide film removing step are sequentially performed in the same manner as the manufacturing method of the fluid chip 10 of the first embodiment.
  • a buried oxide film 27 is formed in the lower flow path 23 by performing a CVD method using TEOS as a source gas and planarization using a CMP apparatus (not shown).
  • the insulating film 28 is formed on the surface of the substrate 26 by performing a CVD method using DCS as a source gas (not shown), and the inflow opening 22a and the insulating film 28 are formed using a photolithography technique.
  • the outflow opening 22b is formed (not shown).
  • the opening forming step is performed so that the opening areas of the inflow opening 22a and the outflow opening 22b are sufficiently larger than the opening area of the in-flow path opening 72.
  • wet etching using HF as a wet etching solution is performed.
  • the buried oxide film removing step the buried oxide film 27 is removed, the second insulating film 77 of the plate-like body 78 is removed, and the first insulating film 75 in the lower flow path 23 is removed. Remains.
  • the plate-like body 78 formed by the remaining first insulating film 75 becomes the in-channel opening 72.
  • the opening area of the in-channel opening 72 is determined by the length of the short side of the groove 76 and the depth of the groove 76. Of the length of the short side of the groove 76 and the depth of the groove 76, the depth of the groove 76 can be less than or equal to the minimum processing dimension of the photolithography technique. For this reason, the fluid chip 70 is excellent in the degree of freedom in designing the in-channel opening 72 as the minimum opening.
  • the opening 72 in the flow path is not limited to being provided in the lower flow paths 23 and 66, but can be provided in the first upper flow paths 12a, 42a, and 52a.
  • the in-flow channel opening 72 is provided upstream of the inflow opening 22a in the first upper flow channel 42a.
  • the first insulating film forming step, the groove forming step, the second insulating film forming step, the insulating film processing are performed between the upper flow path forming step and the buried oxide film removing step. By adding the steps in order, the in-channel opening 72 can be formed.
  • each planar shape of the first upper channel, the second upper channel, the outflow opening, and the lower channel has a stepwise width from one end to the other end in the longitudinal direction.
  • the present invention is not limited to this, and may be, for example, a linear shape.
  • the first upper channel, the second upper channel, and the lower channel may be mesh-structured channels.
  • the flow path is prevented from being blocked by the deflection of the cover sheet.
  • the supply unit and the recovery unit are not limited to being provided on the upper surface of the analyzer, but may be provided on the side surface of the analyzer.
  • the supply unit 14 and the recovery unit 15 may be provided on the same side of the side surfaces of the flow path sheet 12.
  • the flow path sheet 12 is connected to the other end of the first upper flow path 12a and the supply unit 14, the other end of the second upper flow path 12b, and the recovery unit 15. And a second connection groove for connecting the two.

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Abstract

微量な試料の分析を行う分析装置に設けられ、この分析装置の小型化を実現でき、かつ、流体チップ自体の小型化と設計の自由度の向上とを図ることができる流体チップ、及びこの流体チップを備えた分析装置を提供する。流体チップ１０は、基板２１の表面に開口する溝状の表面流路としての下側流路２３と、基板２１の表面上に設けられた絶縁膜２２と、下側流路２３の一端に設けられ、下側流路２３へ試料を流入させる流入開口部２２ａと、下側流路２３の他端に設けられ、下側流路２３から試料を流出させる流出開口部２２ｂと、を備え、流入開口部２２ａと流出開口部２２ｂとは、絶縁膜２２に設けられており、下側流路２３を介して接続することを特徴とする。

Description

流体チップ及び分析装置
　本発明は、流体チップ及び分析装置に関する。
　微量な試料の分析を行う分析装置として、ナノサイズの径の貫通孔（ナノポアともいう）を有する流路が設けられた流体チップを備えたものが知られている。例えば、特許文献１には、直径が数ｎｍ～数十ｎｍのナノポアが流路内に設けられたシリコン基板を流体チップとして用いて、ＤＮＡ（Deoxyribonucleic Acid）の塩基配列等の分析を行う分析装置が記載されている。流路は、シリコン基板を貫通する。また、流路は、内壁が傾斜しており、シリコン基板の表面側の開口部が、裏面側の開口部よりも小さくされている。
　特許文献１では、シリコン基板は、ＤＮＡが供給される供給部と、ＤＮＡが回収される回収部との間に設けられる。供給部は、シリコン基板の表面側に設けられた開口部を介して流路と接続する。回収部は、シリコン基板の裏面側に設けられた開口部を介して流路と接続する。供給部と回収部には、ＤＮＡの電気泳動を行うための電極対が設けられる。電極対に電圧が印加され、ＤＮＡが電気泳動によりナノポアを通過する際の電流値の変化を測定することにより、ＤＮＡの塩基配列等の分析が行われる。
特開２０１５－１９８６５２号公報
　しかしながら、特許文献１では、シリコン基板を両面から挟むように電極対が設けられるため、各電極を保持するための保持部材同士を離して設ける必要があり、分析装置の小型化の障壁となっている。また、特許文献１では、シリコン基板を貫通する流路を形成するために裏面側の開口部を大きくせざるを得ないため、流体チップのサイズが大きくなるとともに、流路とその開口部の設計の自由度が制限される。
　本発明は、微量な試料の分析を行う分析装置に設けられ、この分析装置の小型化を実現でき、かつ、流体チップ自体の小型化と設計の自由度の向上とを図ることができる流体チップ、及びこの流体チップを備えた分析装置を提供することを目的とする。
　本発明の流体チップは、基板の表面を開口する溝状に形成された表面流路と、前記基板の表面に設けられた絶縁膜と、前記表面流路の一端に設けられ、前記表面流路へ試料を流入させる流入開口部と、前記表面流路の他端に設けられ、前記表面流路から前記試料を流出させる流出開口部とを備え、前記流入開口部と前記流出開口部とは、前記絶縁膜に設けられており、前記表面流路を介して接続することを特徴とする。
　本発明の分析装置は、上記の流体チップと、前記流体チップの表面に設けられた上側シートと、前記試料が供給される供給部と、前記試料が回収される回収部とを備え、前記上側シートは、前記供給部に供給された前記試料を前記流入開口部へ案内する第１の上側流路と、前記流入開口部から流出した前記試料を前記回収部へ案内する第２の上側流路とを有し、前記供給部と前記回収部との間で前記試料を流通させる流通経路を形成することを特徴とする。
　本発明の別の分析装置は、上記の流体チップと、前記試料が供給される供給部と、前記試料が回収される回収部とを備え、前記第１の上側流路は、前記供給部に供給された前記試料を前記流入開口部へ案内し、前記第２の上側流路は、前記流入開口部から流出した前記試料を前記回収部へ案内し、前記供給部と前記回収部との間で前記試料を流通させる流通経路を形成することを特徴とする。
　本発明によれば、基板の表面に表面流路が設けられていることによって、電極対を基板の同一面に配置することができるため分析装置の小型化を図ることができ、かつ、流路とその開口部を所望の形状や大きさとすることができるため流体チップ自体の小型化と設計の自由度の向上とを図ることができる。
本発明を実施した分析装置を示す分解斜視図である。 本発明を実施した分析装置の平面図である。 分析装置における試料の流通経路を説明する説明図である。 下側流路形成工程を説明する説明図である。 酸化膜埋込工程を説明する説明図である。 開口部形成工程を説明する説明図である。 埋込酸化膜除去工程を説明する説明図である。 第２実施形態の流体チップを実装した分析装置を示す断面概略図である。 第２実施形態の上側流路形成工程を説明する説明図である。 第２実施形態の埋込酸化膜除去工程を説明する説明図である。 第３実施形態の流体チップを実装した分析装置を示す断面概略図である。 第３実施形態の上側流路形成工程を説明する説明図である。 第３実施形態の開口部形成工程を説明する説明図である。 第３実施形態の埋込酸化膜除去工程を説明する説明図である。 第４実施形態の流体チップを実装した分析装置を示す断面概略図である。 第４実施形態の上側流路形成工程を説明する説明図である。 第４実施形態の上側流路追加工工程を説明する説明図である。 第４実施形態の開口部形成工程を説明する説明図である。 第４実施形態の埋込酸化膜除去工程を説明する説明図である。 第５実施形態の流体チップを実装した分析装置を示す断面概略図である。 第１絶縁膜形成工程を説明する説明図である。 溝形成工程を説明する説明図である。 第２絶縁膜形成工程を説明する説明図である。 絶縁膜加工工程を説明する説明図である。
　［第１実施形態］
　図１に示すように、流体チップ１０は、微量の試料の分析を行うための分析装置１１に用いられる。分析装置１１は、電解質を含む溶液に試料が分散した試料液が内部を流れ、試料が流体チップ１０を通過する際の電流値の変化を検出することにより、試料の分析を行う。具体的には、後述する電極対１６に電圧を印加することによって、分析装置１１内を流通する試料の流通経路のうち、開口面積が最小の最小開口部の内部空間を流れるイオン電流を発生させる。最小開口部の電気抵抗値は、試料が最小開口部を通る際に増大する。このため、イオン電流の値は、最小開口部を通る試料の体積に応じて変化する。最小開口部の内部空間に大きい体積の試料が侵入した場合はイオン電流の値が大きく変化し、最小開口部の内部空間に小さい体積の試料が侵入した場合はイオン電流の値の変化が小さい。分析装置１１では、上記の電流値の変化に基づいて、試料の大きさや形状等の分析が行われる。試料は、ＤＮＡ（Deoxyribonucleic Acid）、たんぱく質、花粉、ウイルス、細胞、有機粒子または無機粒子、ＰＭ(Particulate Matter)２．５等の粒子状物質等であり、この例では、ＤＮＡである。本実施形態では、後述する流体チップ１０の流入開口部２２ａが最小開口部とされているため、分析装置１１は、ＤＮＡが流入開口部２２ａを通過する際の電流値の変化を検出することにより、ＤＮＡを構成する核酸塩基分子を識別し、ＤＮＡの塩基配列などの分析を行う。なお、本明細書では見やすさを考慮して図面を拡大して示している。
　分析装置１１は、流体チップ１０の他、流路シート１２と、カバーシート１３と、供給部１４と、回収部１５と、電極対１６とを備える。分析装置１１の平面形状は、例えば矩形であり、本実施形態では１辺の長さが２５ｍｍの正方形である。
　流路シート１２は、流体チップ１０の表面に設けられる。流路シート１２の材料としては、例えばゴムや樹脂等が用いられる。流路シート１２は、第１の上側流路１２ａと第２の上側流路１２ｂとを有する。第１の上側流路１２ａと第２の上側流路１２ｂとは、本実施形態では、互いに直交する方向に延びている。本図の場合、第１の上側流路１２ａがＹ方向に延び、第２の上側流路１２ｂがＸ方向に延びている。なお、第１の上側流路１２ａと第２の上側流路１２ｂの方向は、互いに直交する方向に限られず適宜設計することができる。流路シート１２は、特許請求の範囲に記載の「上側シート」に対応する。
　第１の上側流路１２ａは、後述する供給部１４から供給されたＤＮＡを流体チップ１０へ案内する。第１の上側流路１２ａは、長手方向における一端の幅が他端の幅よりも狭い。本実施形態では、第１の上側流路１２ａの幅は、長手方向における一端から他端へ向かって段階的に拡大している。第１の上側流路１２ａの長手方向は図１のＹ方向であり、第１の上側流路１２ａの幅方向は図１のＸ方向である。
　第２の上側流路１２ｂは、流体チップ１０からのＤＮＡを後述する回収部１５へ案内する。第２の上側流路１２ｂは、長手方向における一端の幅が他端の幅よりも狭い。本実施形態では、第２の上側流路１２ｂの幅は、長手方向における一端から他端へ向かって段階的に拡大している。第２の上側流路１２ｂの長手方向は図１のＸ方向であり、第２の上側流路１２ｂの幅方向は図１のＹ方向である。
　カバーシート１３は、流路シート１２の表面に設けられる。カバーシート１３は、分析装置１１の上面を構成する。カバーシート１３の材料としては、例えばゴムや樹脂等が用いられる。
　供給部１４と回収部１５とは、分析装置１１の同一面に設けられる。本実施形態では、供給部１４と回収部１５は、カバーシート１３、すなわち分析装置１１の上面に設けられている。
　供給部１４は、流体チップ１０にＤＮＡを供給するためのものである。供給部１４は、第１の上側流路１２ａの他端に設けられ、第１の上側流路１２ａを介して流体チップ１０と接続する。
　回収部１５は、流体チップ１０からＤＮＡを回収するためのものである。回収部１５は、第２の上側流路１２ｂの他端に設けられ、第２の上側流路１２ｂを介して流体チップ１０と接続する。
　電極対１６は、供給部１４と回収部１５に設けられる。電極対１６は、図示しない電源と電流検出装置とに接続する。電源は、電極対１６に対して電圧を印加する。電極対１６に電圧が印加されることにより、ＤＮＡの電気泳動が行われ、ＤＮＡが流体チップ１０を通過する。なお、供給したＤＮＡは、圧力により流体チップ１０を通過するようにしてもよく、電気泳動と圧力を併用して流体チップ１０を通過するようにしてもよい。電流検出装置は、ＤＮＡが流体チップ１０を通過する際に電流値が変化することを利用して、電流値の変化を検出する。
　流体チップ１０は、基板２１と絶縁膜２２とを備える。基板２１はシリコン基板である。基板２１の厚みは、本実施形態では７７５μｍである。厚み方向は、図１のＺ方向である。基板２１の裏面は、分析装置１１の下面を構成する。
　基板２１には下側流路２３が設けられている。下側流路２３は、基板２１の表面を開口する溝状に形成されている。下側流路２３は、特許請求の範囲に記載の「表面流路」に対応する。下側流路２３は、長手方向における一端の幅が他端の幅よりも狭い。本実施形態では、下側流路２３の幅は、長手方向における一端から他端へ向かって段階的に拡大する。下側流路２３の長手方向は図１のＸ方向であり、下側流路２３の幅方向は図１のＹ方向である。下側流路２３の一端は、第１の上側流路１２ａの一端の下方に配置される。下側流路２３の他端は、第２の上側流路１２ｂの他端の下方に配置される。
　絶縁膜２２は、基板２１の表面上に設けられる。絶縁膜２２は、例えばＳｉＮ膜（シリコン窒化膜）やＳｉＯ膜（シリコン酸化膜）等により形成される。本実施形態では、絶縁膜２２はＳｉＮ膜により形成される。絶縁膜２２の厚みは、本実施形態では５０ｎｍである。
　絶縁膜２２には、流入開口部２２ａと流出開口部２２ｂとが設けられている。本実施形態では、流入開口部２２ａと流出開口部２２ｂは、流体チップ１０の厚み方向に設けられている。流入開口部２２ａと流出開口部２２ｂとは、下側流路２３を介して接続する。
　流入開口部２２ａは、下側流路２３の一端に設けられ、下側流路２３と第１の上側流路１２ａとを接続する。流入開口部２２ａは、第１の上側流路１２ａから下側流路２３へＤＮＡを流入させる。流入開口部２２ａの平面形状は、例えば円形である。本実施形態では、流入開口部２２ａの直径は２００ｎｍである。なお、流入開口部の直径は、試料に応じて適宜変更してよい。流入開口部の平面形状は、円形の場合に限られず、楕円形、矩形、多角形等としてよい。
　流出開口部２２ｂは、下側流路２３の他端に設けられ、下側流路２３と第２の上側流路１２ｂとを接続する。流出開口部２２ｂは、下側流路２３から第２の上側流路１２ｂへＤＮＡを流出させる。流出開口部２２ｂは、長手方向における一端の幅が他端の幅よりも狭い。本実施形態では、流出開口部２２ｂの幅は、長手方向における一端から他端へ向かって段階的に拡大する。流出開口部２２ｂの長手方向は図１のＸ方向であり、流出開口部２２ｂの幅方向は図１のＹ方向である。
　図２に示すように、分析装置１１の平面視において、第１の上側流路１２ａの一端と下側流路２３の一端とは交差しており、この交差部分に流入開口部２２ａが設けられている。
　上記の構成を有する分析装置１１は、供給部１４と回収部１５との間でＤＮＡを流通させる流通経路を形成する。ＤＮＡの流通経路について、図２と図３を参照しながら説明する。図３（ａ）は図２の流入開口部２２ａを通るＹ方向のＡ－Ａ線に沿った断面図であり、図３（ｂ）は図２の流入開口部２２ａを通るＸ方向のＢ－Ｂ線に沿った断面図である。以降の説明では、流入開口部を通るＹ方向の直線に沿った断面図をＹ方向断面図と称し、流入開口部を通るＸ方向の直線に沿った断面図をＸ方向断面図と称する。
　図３（ａ）に示すように、供給部１４に供給されたＤＮＡは、第１の上側流路１２ａを移動し、流入開口部２２ａから下側流路２３へ流入する。図３（ｂ）に示すように、下側流路２３に流入したＤＮＡは、流出開口部２２ｂから第２の上側流路１２ｂへ流出し、回収部１５で回収される。本実施形態では流入開口部２２ａが最小開口部とされているため、分析装置１１は、ＤＮＡが流入開口部２２ａを通過する際の電流値の変化を検出することによりＤＮＡの分析を行う。
　以下、流体チップ１０の製造方法について図４～図７を参照して説明する。流体チップ１０は、下側流路形成工程と、酸化膜埋込工程と、開口部形成工程と、埋込酸化膜除去工程とにより製造される。図４～図７の各図において、（ａ）はＹ方向断面図であり、（ｂ）はＸ方向断面図である。
　図４に示すように、下側流路形成工程は、基板２６の表面に下側流路２３を形成する。基板２６としては、シリコン基板が用いられる。基板２６の厚みは、本実施形態では７７５μｍである。下側流路形成工程では、基板２６の表面上にフォトレジストを塗布してフォトレジスト層（図示なし）を形成し、フォトリソグラフィー技術によりフォトレジスト層をパターニングする。フォトレジスト層には、下側流路２３に対応する部分が開口するレジストパターンが形成される。レジストパターンが形成されたフォトレジスト層をマスクとして基板２６の表面をドライエッチングする。ドライエッチングの深さは、目的とする下側流路２３の深さに基づき設定される。これにより、基板２６の表面に下側流路２３が形成される。下側流路２３が形成された基板２６が、流体チップ１０の基板２１となる。
　図５に示すように、酸化膜埋込工程は、基板２６に形成された下側流路２３に酸化膜を埋め込むことにより、埋込酸化膜２７を形成する。酸化膜埋込工程では、まず、基板２６の表面に酸化膜を成膜する。酸化膜は、例えば、原料ガスとしてＴＥＯＳ（テトラエキシシラン）を用いたＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）法により形成されるＳｉＯ膜（シリコン酸化膜）である。これにより、基板２６の表面と下側流路２３内に酸化膜が成膜される。次に、酸化膜の表面を平坦化する。平坦化には、例えば、ＣＭＰ（Chemical Mechanical Polishing）装置が用いられる。平坦化は、基板２６の表面が露出するように行うことが好ましい。平坦化により、基板２６の表面上の酸化膜が除去され、下側流路２３内の酸化膜が残る。下側流路２３内に残った酸化膜が埋込酸化膜２７である。
　図６に示すように、開口部形成工程は、基板２６の表面に設けられた絶縁膜２８に流入開口部２２ａと流出開口部２２ｂとを形成する。開口部形成工程では、まず、基板２６の表面に絶縁膜２８を形成する。絶縁膜２８は、例えば、原料ガスとしてＤＣＳ（ジクロロシラン）を用いたＣＶＤ法により形成される。その後、絶縁膜２８に流入開口部２２ａと流出開口部２２ｂとを形成する。流入開口部２２ａと流出開口部２２ｂは、例えば下側流路２３と同様の方法により形成される。すなわち、流入開口部２２ａと流出開口部２２ｂは、絶縁膜２８の表面上にフォトレジストを塗布してフォトレジスト層（図示なし）を形成し、フォトリソグラフィー技術によりパターニングし、レジストパターンが形成されたフォトレジスト層をマスクとして絶縁膜２８をドライエッチングすることにより形成される。流入開口部２２ａと流出開口部２２ｂとが形成された絶縁膜２８が、流体チップ１０の絶縁膜２２となる。
　図７に示すように、埋込酸化膜除去工程は、下側流路２３内の埋込酸化膜２７を除去する。埋込酸化膜除去工程は、開口部形成工程を経た基板２６をウェットエッチング液に浸漬してウェットエッチングを行う。ウェットエッチング液としては、例えばＨＦ（フッ化水素酸）が用いられる。ウェットエッチング液が、流入開口部２２ａと流出開口部２２ｂとから入り込み、等方性エッチングにより埋込酸化膜２７が除去され、流体チップ１０が得られる。
　分析装置１１は、上記の工程を経て製造された流体チップ１０の表面に、流路シート１２とカバーシート１３とを順に貼り付けて、供給部１４と回収部１５に電極対１６を設けることにより作製される。分析装置１１は、ＤＮＡが流通する流通経路のうち、流入開口部２２ａの開口面積が、流入開口部２２ａ以外の流路の各開口面積よりも十分に小さいことが好ましい。こうすることで、流入開口部２２ａの電気抵抗値と、流入開口部２２ａ以外の流路の電気抵抗値との差が十分に大きくなり、より確実に分析を行うことができる。
　以上のように、流体チップ１０は、基板２１の表面に下側流路２３が設けられていることにより、供給部１４と回収部１５を同一面に設けることができる。このため、流体チップ１０では、電極対１６を同一面に配置することができ、分析装置１１の小型化が図れる。さらに、流体チップ１０は、第１の上側流路１２ａ、第２の上側流路１２ｂ、下側流路２３、流入開口部２２ａ、及び、流出開口部２２ｂなどを所望の形状や大きさとすることができるため、流体チップ１０自体の小型化と設計の自由度の向上とを図ることができる。
　流体チップ１０は、第１の上側流路１２ａと下側流路２３との各面積を小さくすることで、第１の上側流路１２ａと下側流路２３とで対を成す流路対を複数設けることができる。複数の流路対を形成する際は、例えば、１つの第１の上側流路１２ａに対して複数の下側流路２３を交差させ、各交差部分に流入開口部２２ａを設ける。また、１つの下側流路２３に対して複数の第１の上側流路１２ａを交差させてもよいし、複数の第１の上側流路１２ａと複数の下側流路２３とを互いに交差させてもよい。このように、流体チップ１０に複数の流路対を形成し、第１の上側流路１２ａと下側流路２３との各交差部分に流入開口部２２ａを設けることにより、複数の試料を効率的に分析することができる。
　［第２実施形態］
　上記第１実施形態では、流体チップ１０の表面に流路シート１２を貼り付けることにより第１の上側流路１２ａと第２の上側流路１２ｂを形成しているが、第２実施形態では、流路シート１２を用いずに上側流路を形成する。以下、上記第１実施形態と同じ部材については、同符号を付して説明を省略する。
　図８に示すように、分析装置４１は、カバーシート１３と、供給部１４と、回収部１５と、電極対１６と、流体チップ４０とを備える。第２実施形態では、カバーシート１３が流体チップ４０の表面に設けられる。図８において、（ａ）はＹ方向断面図であり、（ｂ）はＸ方向断面図である。
　流体チップ４０は、基板２１と、絶縁膜２２と、上側流路膜４２とを備える。上側流路膜４２は、絶縁膜２２の表面に設けられる。上側流路膜４２の材料としては、例えば、フォトリソグラフィー技術によりパターニングすることができる材料が用いられる。本実施形態では、上側流路膜４２の材料として感光性ポリイミドが用いられる。上側流路膜４２は、特許請求の範囲に記載の「第１の流路膜」に対応する。
　上側流路膜４２には、第１の上側流路４２ａと第２の上側流路４２ｂとが形成されている。第１の上側流路４２ａは、供給部１４から供給されたＤＮＡを流入開口部２２ａへ案内する。第２の上側流路４２ｂは、流出開口部２２ｂから流出したＤＮＡを回収部１５へ案内する。図示していないが、第１の上側流路４２ａと第２の上側流路４２ｂは、平面視において互いに直交する方向に延びる。なお、第１の上側流路４２ａと第２の上側流路４２ｂの方向は、互いに直交する方向に限られず、適宜設計することができる。第１の上側流路４２ａと第２の上側流路４２ｂの平面形状は、第１の上側流路１２ａと第２の上側流路１２ｂの平面形状と同様であり、それぞれ、長手方向における一端の幅が他端の幅よりも狭い。
　上記の構成を有する分析装置４１では、図８（ａ）に示すように、供給部１４に供給されたＤＮＡが、第１の上側流路４２ａを移動し、流入開口部２２ａから下側流路２３へ流入する。図８（ｂ）に示すように、下側流路２３に流入したＤＮＡは、流出開口部２２ｂから第２の上側流路４２ｂへ流出し、回収部１５で回収される。このように、分析装置４１は、供給部１４と回収部１５との間でＤＮＡを流通させる流通経路を形成する。
　流体チップ４０の製造方法について図９及び図１０を参照して説明する。図９及び図１０の各図において、（ａ）はＹ方向断面図であり、（ｂ）はＸ方向断面図である。流体チップ４０は、下側流路形成工程と、酸化膜埋込工程と、開口部形成工程と、上側流路形成工程と、埋込酸化膜除去工程とにより製造される。流体チップ４０の製造方法は、開口部形成工程と埋込酸化膜除去工程の間に上側流路形成工程を有することが、第１実施形態の流体チップ１０の製造方法とは異なる。
　下側流路形成工程、酸化膜埋込工程、及び、開口部形成工程は、第１実施形態の流体チップ１０の製造方法と同様である。すなわち、下側流路形成工程は、基板２６の表面に下側流路２３を形成する（図４参照）。酸化膜埋込工程は、基板２６に形成された下側流路２３に酸化膜を埋め込むことにより、埋込酸化膜２７を形成する（図５参照）。開口部形成工程は、基板２６の表面に設けられた絶縁膜２８に流入開口部２２ａと流出開口部２２ｂとを形成する（図６参照）。
　図９に示すように、上側流路形成工程は、絶縁膜２８の表面に設けられた上側流路膜４２に第１の上側流路４２ａと第２の上側流路４２ｂとを形成する。上側流路形成工程では、まず、絶縁膜２８の表面に例えばポジ型の感光性ポリイミドを塗布して感光性ポリイミド層（図示なし）を形成する。その後、図示しない露光装置を用いて感光性ポリイミド層を露光する。露光装置により、感光性ポリイミド層のうち、第１の上側流路４２ａと第２の上側流路４２ｂとに対応する部分が露光される。露光は、例えば、第１の上側流路４２ａと第２の上側流路４２ｂとに対応する部分のみが開口したフォトマスクを用いて行われる。露光後の感光性ポリイミド層を現像することにより、感光性ポリイミド層のうち、感光された部分、すなわち第１の上側流路４２ａと第２の上側流路４２ｂとに対応する部分が除去され、感光されていない部分が残る。現像後の感光性ポリイミド層は、絶縁膜２８の表面に形成されており、これが流体チップ４０の上側流路膜４２となる。
　図１０に示すように、埋込酸化膜除去工程は、上側流路形成工程を経た基板２６をウェットエッチング液に浸漬してウェットエッチングを行うことにより、埋込酸化膜２７を除去する。ウェットエッチング液としては、例えばＨＦが用いられる。埋込酸化膜２７を除去することにより、流体チップ４０が得られる。
　流体チップ４０は、フォトリソグラフィー技術により絶縁膜２８の表面に上側流路膜４２を形成することができる。このため、流体チップ４０は、絶縁膜２８の表面に、良好な合わせ精度で第１の上側流路４２ａと第２の上側流路４２ｂとを形成することができる。第１実施形態では、流路シートの寸法精度と、流路シートを貼り付ける工程における合わせ精度を確保することが難しいが、第２実施形態では、第１の上側流路４２ａと第２の上側流路４２ｂの寸法精度および合わせ精度を確保しつつ、製造工程の簡略化を図ることができる。また、流体チップ４０は、上側流路膜４２を例えばメッシュ構造とするなど用途に合わせて微細加工することができるため、設計の自由度に優れる。
　なお、上側流路形成工程では、上記のように感光性ポリイミド層を露光及び現像したものを上側流路膜４２とすることに限られない。例えば、上側流路形成工程では、基板２６の表面に上側流路膜４２の材料となる膜を形成し、その膜の表面にフォトレジスト層を形成し、フォトリソグラフィー技術によりフォトレジスト層をパターニングし、レジストパターンが形成されたフォトレジスト層をマスクとして膜をエッチングし、フォトレジスト層を除去することで、上側流路膜４２を形成してもよい。
　［第３実施形態］
　上記第２実施形態では、絶縁膜２８の表面上に上側流路膜４２が設けられているが、第３実施形態では、基板と絶縁膜との間に上側流路膜が設けられる。
　図１１に示すように、分析装置５１は、カバーシート１３と、供給部１４と、回収部１５と、電極対１６と、流体チップ５０とを備える。図１１において、（ａ）はＹ方向断面図であり、（ｂ）はＸ方向断面図である。
　流体チップ５０は、基板２１と、上側流路膜５２と、絶縁膜５３とを備える。上側流路膜５２は、基板２１と絶縁膜５３との間に設けられる。上側流路膜５２は、後述する絶縁膜５３の形成の際に変質等しない程度の耐熱性を有する材料で形成されることが好ましい。例えば、上側流路膜５２は、ＳｉＮ膜やＳｉＯ膜などの無機膜により形成され、本実施形態ではＳｉＮ膜により形成される。上側流路膜５２は、特許請求の範囲に記載の「第２の流路膜」に対応する。
　上側流路膜５２には、第１の上側流路５２ａと第２の上側流路５２ｂとが形成されている。第１の上側流路５２ａは、後述する流入開口部５３ａを介して、下側流路２３と接続する。第２の上側流路５２ｂは、下側流路２３と接続する。図示していないが、第１の上側流路５２ａと第２の上側流路５２ｂは、平面視において互いに直交する方向に延びる。なお、第１の上側流路５２ａと第２の上側流路５２ｂの方向は、互いに直交する方向に限られず適宜設計することができる。第１の上側流路５２ａと第２の上側流路５２ｂの平面形状は、第１実施形態の第１の上側流路４２ａと第２の上側流路４２ｂの平面形状と同様であり、それぞれ、長手方向における一端の幅が他端の幅よりも狭い。
　絶縁膜５３は、上側流路膜５２の表面に設けられる。絶縁膜５３は、例えばＳｉＮ膜により形成される。絶縁膜５３には、上側流路膜５２の表面と基板２１の表面に沿って段差部５４が形成されている。
　絶縁膜５３には、流入開口部５３ａと流出開口部５３ｂとが設けられている。流入開口部５３ａは、段差部５４に設けられており、第１の上側流路５２ａと下側流路２３とを接続する。第３実施形態では、流入開口部５３ａが最小開口部とされている。流出開口部５３ｂは、絶縁膜５３のうち第２の上側流路５２ｂに対応する部分に設けられ、第２の上側流路５２ｂを介して下側流路２３と接続する。
　上記の構成を有する分析装置５１では、図１１（ａ）に示すように、供給部１４に供給されたＤＮＡが、第１の上側流路５２ａを移動し、流入開口部５３ａから下側流路２３へ流入する。図１１（ｂ）に示すように、下側流路２３に流入したＤＮＡは、第２の上側流路５２ｂと流入開口部５３ａとを順に通過し、回収部１５で回収される。このように、分析装置５１は、供給部１４と回収部１５との間でＤＮＡを流通させる流通経路を形成する。
　流体チップ５０の製造方法について図１２～図１４を参照して説明する。図１２～図１４の各図において、（ａ）はＹ方向断面図であり、（ｂ）はＸ方向断面図である。流体チップ５０は、下側流路形成工程と、酸化膜埋込工程と、上側流路形成工程と、開口部形成工程と、埋込酸化膜除去工程とにより製造される。流体チップ５０の製造方法は、酸化膜埋込工程と開口部形成工程との間に上側流路形成工程を有することが、第２実施形態の流体チップ４０の製造方法とは異なる。
　下側流路形成工程と酸化膜埋込工程は、第２実施形態の流体チップ４０の製造方法と同様である。すなわち、下側流路形成工程は、基板２６の表面に下側流路２３を形成する（図４参照）。酸化膜埋込工程は、基板２６に形成された下側流路２３に酸化膜を埋め込むことにより、埋込酸化膜２７を形成する（図５参照）。
　図１２に示すように、上側流路形成工程は、基板２１の表面に設けられた無機膜５６に、第１の上側流路５２ａと第２の上側流路５２ｂとを形成する。上側流路形成工程では、まず、基板２１の表面に無機膜５６としてＳｉＮ膜を形成する。無機膜５６は、例えば、原料ガスとしてＤＣＳを用いたＣＶＤ法により形成される。その後、無機膜５６に第１の上側流路５２ａと第２の上側流路５２ｂとを形成する。第１の上側流路５２ａと第２の上側流路５２ｂは、例えば、無機膜５６の表面上にフォトレジストを塗布してフォトレジスト層（図示なし）を形成し、フォトリソグラフィー技術によりパターニングし、レジストパターンが形成されたフォトレジスト層をマスクとして無機膜５６をドライエッチングすることにより形成される。第１の上側流路５２ａと第２の上側流路５２ｂとが形成された無機膜５６が、流体チップ４０の上側流路膜５２となる。
　図１３に示すように、開口部形成工程は、無機膜５６の表面に設けられた絶縁膜５７に流入開口部５３ａと流出開口部５３ｂとを形成する。開口部形成工程では、まず、無機膜５６の表面に絶縁膜５７を形成する。絶縁膜５７は、例えば、原料ガスとしてＤＣＳを用いたＣＶＤ法により形成される。絶縁膜５７のうち、第１の上側流路５２ａに対応する部分には段差部５４が形成される。その後、絶縁膜５７に流入開口部５３ａと流出開口部５３ｂとを形成する。流入開口部５３ａと流出開口部５３ｂは、フォトリソグラフィー技術によりレジストパターンを形成したフォトレジスト層をマスクとして用いて、絶縁膜５７をドライエッチングすることにより形成される。流入開口部５３ａは、段差部５４に形成される。流出開口部５３ｂは、絶縁膜５７のうち第２の上側流路５２ｂに対応する部分に形成される。流入開口部５３ａと流出開口部５３ｂとが形成された絶縁膜５７が、流体チップ５０の絶縁膜５３となる。
　図１４に示すように、埋込酸化膜除去工程は、開口部形成工程を経た基板２６をウェットエッチング液に浸漬してウェットエッチングを行うことにより、埋込酸化膜２７を除去する。ウェットエッチング液としては、例えばＨＦが用いられる。埋込酸化膜２７を除去することにより、流体チップ５０が得られる。
　流体チップ５０は、フォトリソグラフィー技術により基板２１の表面に上側流路膜５２を形成することができるため、流体チップ４０と同様に、第１の上側流路５２ａと第２の上側流路５２ｂの寸法精度および合わせ精度を確保しつつ、製造工程の簡略化を図ることができ、かつ、設計の自由度に優れる。
　［第４実施形態］
　第４実施形態は、上側流路を形成する際に深さ方向にオーバーエッチングし、上側流路を第３実施形態よりも深くしたものである。
　図１５に示すように、分析装置６１は、カバーシート１３と、供給部１４と、回収部１５と、電極対１６と、流体チップ６０とを備える。図１５において、（ａ）はＹ方向断面図であり、（ｂ）はＸ方向断面図である。
　流体チップ６０は、基板６２と、上側流路膜５２と、絶縁膜６３とを備える。基板６２はシリコン基板である。基板６２の表面には、第１の凹部６４と、第２の凹部６５と、下側流路６６とが形成されている。第１の凹部６４は、第１の上側流路５２ａに対応する。第２の凹部６５は、第２の上側流路５２ｂに対応する。下側流路６６は、第１の凹部６４と第２の凹部６５に設けられている。
　絶縁膜６３は、上側流路膜５２の表面に設けられる。絶縁膜６３は、例えばＳｉＮ膜により形成される。絶縁膜６３は、上側流路膜５２の表面と第１の凹部６４の表面とに沿って形成された段差部６７を有する。
　絶縁膜６３には、流入開口部６３ａと流出開口部６３ｂとが設けられている。流入開口部６３ａは、絶縁膜６３のうちの段差部６７に設けられている。第４実施形態では、流入開口部６３ａが最小開口部とされている。流入開口部６３ａを介して、第１の上側流路５２ａと下側流路６６とが接続される。流出開口部６３ｂは、絶縁膜６３のうちの第２の上側流路５２ｂに対応する部分に設けられており、第２の上側流路５２ｂと第２の凹部６５を介して、下側流路６６と接続する。
　上記の構成を有する分析装置６１では、図１５（ａ）に示すように、供給部１４に供給されたＤＮＡが、第１の上側流路５２ａを移動し、流入開口部６３ａから下側流路６６へ流入する。図１５（ｂ）に示すように、下側流路６６に流入したＤＮＡは、第２の凹部６５、第２の上側流路５２ｂ、流入開口部６３ａを順に通過し、回収部１５で回収される。このように、分析装置６１は、供給部１４と回収部１５との間でＤＮＡを流通させる流通経路を形成する。
　流体チップ６０の製造方法について図１６～図１９を参照して説明する。図１６～図１９の各図において、（ａ）はＹ方向断面図であり、（ｂ）はＸ方向断面図である。流体チップ６０は、下側流路形成工程と、酸化膜埋込工程と、上側流路形成工程と、上側流路追加工工程と、開口部形成工程と、埋込酸化膜除去工程とにより製造される。
　図１６は、下側流路形成工程、酸化膜埋込工程、上側流路形成工程を順に実施して得られた製造途中の流体チップを示す。下側流路形成工程では、基板６８の表面に下側流路６６が形成される。下側流路６６の形成方法は、ドライエッチングの深さが異なること以外は、下側流路２３の形成方法と同様である。酸化膜埋込工程では、基板６８に形成された下側流路６６に酸化膜を埋め込むことにより、埋込酸化膜２７を形成する。上側流路形成工程では、基板６８の表面に設けられた無機膜５６に、第１の上側流路５２ａと第２の上側流路５２ｂとが形成される。
　図１７に示すように、上側流路追加工工程は、基板６８の表面をオーバーエッチングすることにより、第１の凹部６４と第２の凹部６５とを形成する。上側流路追加工工程では、例えば無機膜５６をマスクとして、基板６８と埋込酸化膜２７のエッチングを行う。これにより、基板６８と埋込酸化膜２７のうち、第１の上側流路５２ａと第２の上側流路５２ｂとに対応する部分が除去され、第１の凹部６４と第２の凹部６５とが形成される。第１の凹部６４と第２の凹部６５と下側流路６６とが形成された基板６８が、流体チップ６０の基板６２となる。なお、上側流路追加工工程では、無機膜５６をマスクとして用いる代わりに、上側流路形成工程において無機膜５６をエッチングするためにパターニングしたフォトレジスト層をマスクとして用いてもよい。これにより、無機膜５６のエッチングと、第１の凹部６４及び第２の凹部６５のエッチングとを連続して行うこととしてもよい。
　図１８に示すように、開口部形成工程は、無機膜５６の表面に設けられた絶縁膜６９に流入開口部６３ａと流出開口部６３ｂとを形成する。絶縁膜６９は、例えば、原料ガスとしてＤＣＳを用いたＣＶＤ法により形成される。絶縁膜６９のうち、第１の上側流路５２ａと第１の凹部６４に対応する部分には段差部６７が形成される。その後、絶縁膜６９に流入開口部６３ａと流出開口部６３ｂとを形成する。流入開口部６３ａと流出開口部６３ｂの形成方法は、第３実施形態と同様である。すなわち、流入開口部６３ａと流出開口部６３ｂは、フォトリソグラフィー技術によりレジストパターンを形成したフォトレジスト層をマスクとして用いて、絶縁膜６９の表面をドライエッチングすることにより形成される。流入開口部６３ａと流出開口部６３ｂとが形成された絶縁膜６９が、流体チップ６０の絶縁膜６３となる。
　図１９に示すように、埋込酸化膜除去工程は、開口部形成工程を経た基板６８をウェットエッチング液に浸漬してウェットエッチングを行うことにより、埋込酸化膜２７を除去する。ウェットエッチング液としては、例えばＨＦが用いられる。埋込酸化膜２７を除去することにより、流体チップ６０が得られる。
　流体チップ６０は、基板６２の表面に第１の凹部６４と第２の凹部６５とが形成され、第１の凹部６４と第２の凹部６５に下側流路６６が設けられているため、十分な流路高さが得られる。このため、流体チップ６０は、長い試料の分析を行う場合であっても、試料をスムーズに流通させることができる。
　［第５実施形態］
　上記各実施形態では、流体チップの厚み方向に最小開口部としての流入開口部が設けられているが、第５実施形態では、流体チップの厚み方向とは異なる方向に最小開口部が設けられる。
　図２０に示すように、流体チップ７０は、例えば第１実施形態の流体チップ１０の代わりに分析装置１１に設けられる。流体チップ７０は、基板２１と絶縁膜２２に加え、流路内開口部７２を備える。図２０において、（ａ）はＹ方向断面図であり、（ｂ）はＸ方向断面図である。
　流路内開口部７２は、下側流路２３のうち、流入開口部２２ａと流出開口部２２ｂとの間に設けられている。第５実施形態では、流路内開口部７２が最小開口部とされている。すなわち、流路内開口部７２の開口面積は、流入開口部２２ａと流出開口部２２ｂの各開口面積よりも小さい。流路内開口部７２は、流体チップ７０の厚み方向とは異なる方向に設けられており、この例では流体チップ７０の厚み方向と直交する方向に設けられている。
　図２１～図２４を参照し、流体チップ７０の製造方法の一例を説明する。図２１～図２４の各図において、（ａ）はＹ方向断面図であり、（ｂ）はＸ方向断面図である。流体チップ７０は、下側流路形成工程、第１絶縁膜形成工程、溝形成工程、第２絶縁膜形成工程、絶縁膜加工工程、酸化膜埋込工程、開口部形成工程、埋込酸化膜除去工程を順に実施することにより製造される。流体チップ７０の製造方法は、第１絶縁膜形成工程、溝形成工程、第２絶縁膜形成工程、及び、絶縁膜加工工程を有することが、第１実施形態の流体チップ１０の製造方法とは異なる。
　下側流路形成工程は、第１実施形態の流体チップ１０の製造方法と同様である。すなわち、下側流路形成工程は、ドライエッチングにより基板２６の表面に下側流路２３を形成する（図４参照）。
　図２１に示すように、第１絶縁膜形成工程は、下側流路２３に第１の絶縁膜７５を形成する。第１の絶縁膜７５は、例えば、原料ガスとしてＤＣＳを用いたＣＶＤ法と、ＣＭＰ装置を用いた平坦化とを行うことにより形成される。この例では、第１の絶縁膜７５は、ＳｉＮ膜により形成される。
　図２２に示すように、溝形成工程は、第１の絶縁膜７５に溝７６を形成する。溝７６の平面形状は、例えば長方形とされる。図２２（ａ）に示すように、溝７６の短辺の長さは、流路内開口部７２における厚み方向と直交する幅方向の長さ、すなわち流路内開口部７２の幅となる。溝７６の深さは、流路内開口部７２における厚み方向の長さ、すなわち流路内開口部７２の高さとなる。溝７６は、例えば、第１の絶縁膜７５の表面上にフォトレジストを塗布してフォトレジスト層（図示なし）を形成し、フォトリソグラフィー技術によりパターニングし、レジストパターンが形成されたフォトレジスト層をマスクとして第１の絶縁膜７５をドライエッチングすることにより形成される。
　図２３に示すように、第２絶縁膜形成工程は、溝７６に第２の絶縁膜７７を形成する。第２の絶縁膜７７は、例えば、原料ガスとしてＴＥＯＳを用いたＣＶＤ法と、ＣＭＰ装置を用いた平坦化とを行うことにより形成される。この例では、第２の絶縁膜７７は、ＳｉＯ膜により形成される。
　図２４に示すように、絶縁膜加工工程は、第１の絶縁膜７５と第２の絶縁膜７７とを加工して板状体７８を形成する。板状体７８の平面形状は、長方形とされる。図２４（ｂ）に示すように、板状体７８の短辺の長さは、流路内開口部７２における厚み方向および幅方向と直交する方向の長さ、すなわち流路内開口部７２の長さとなる。絶縁膜加工工程では、例えば、ドライエッチングが行われる。
　絶縁膜加工工程後、第１実施形態の流体チップ１０の製造方法と同様に、酸化膜埋込工程、開口部形成工程、埋込酸化膜除去工程を順に実施する。酸化膜埋込工程では、原料ガスとしてＴＥＯＳを用いたＣＶＤ法と、ＣＭＰ装置を用いた平坦化とを行うことにより、下側流路２３に埋込酸化膜２７を形成する（図示省略）。開口部形成工程では、原料ガスとしてＤＣＳを用いたＣＶＤ法を行うことにより基板２６の表面に絶縁膜２８を形成し（図示省略）、フォトリソグラフィー技術を用いて絶縁膜２８に流入開口部２２ａと流出開口部２２ｂを形成する（図示省略）。第５実施形態では、流入開口部２２ａと流出開口部２２ｂの各開口面積が流路内開口部７２の開口面積よりも十分に大きくなるように開口部形成工程を実施する。埋込酸化膜除去工程では、ウェットエッチング液としてＨＦを用いたウェットエッチングを行う。埋込酸化膜除去工程の実施により、埋込酸化膜２７が除去され、板状体７８のうちの第２の絶縁膜７７が除去され、下側流路２３内には第１の絶縁膜７５が残る。残った第１の絶縁膜７５により形成される板状体７８が、流路内開口部７２となる。流路内開口部７２の開口面積は、溝７６の短辺の長さと溝７６の深さとにより決定される。溝７６の短辺の長さと溝７６の深さとのうち、溝７６の深さはフォトリソグラフィー技術の最小加工寸法以下とすることができる。このため、流体チップ７０は、最小開口部としての流路内開口部７２の設計の自由度に優れる。
　なお、流路内開口部７２は、第４実施形態の流体チップ６０の下側流路６６に設けてもよい。流路内開口部７２は、下側流路２３，６６に設ける場合に限られず、第１の上側流路１２ａ，４２ａ，５２ａに設けることができる。例えば、第２実施形態の流体チップ４０の場合は、流路内開口部７２は、第１の上側流路４２ａのうち、流入開口部２２ａよりも上流に設けられる。この例では、流体チップ４０の製造方法として、上側流路形成工程と埋込酸化膜除去工程との間に、第１絶縁膜形成工程、溝形成工程、第２絶縁膜形成工程、絶縁膜加工工程を追加して順に実施することにより、流路内開口部７２を形成することができる。
　上記各実施形態では、第１の上側流路、第２の上側流路、流出開口部、及び、下側流路の各平面形状は、長手方向における一端から他端へ向かって幅が段階的に拡大する形状とされているが、これに限られず、例えば直線状としてもよい。
　第１の上側流路、第２の上側流路、及び、下側流路は、メッシュ構造の流路としてもよい。第１の上側流路と第２の上側流路とをメッシュ構造とした場合は、カバーシートのたわみによって流通経路が塞がれることが抑制される。
　供給部と回収部は、分析装置の上面に設けられる場合に限られず、分析装置の側面に設けてもよい。例えば、第１実施形態の分析装置１１において、供給部１４と回収部１５を流路シート１２の側面のうちの同一面に設けてもよい。この例では、流路シート１２に、第１の上側流路１２ａの他端と供給部１４とを接続する第１の接続溝と、第２の上側流路１２ｂの他端と回収部１５とを接続する第２の接続溝とを形成する。このように、供給部と回収部を分析装置の同一面に設けることにより、電極対を同一面に配置することができるので、分析装置の小型化が図れる。
　１０，４０，５０，６０，７０　流体チップ
　１１，４１，５１，６１　分析装置
　１２　流路シート
　１２ａ，４２ａ，５２ａ　第１の上側流路
　１２ｂ，４２ｂ，５２ｂ　第２の上側流路
　１３　カバーシート
　１４　供給部
　１５　回収部
　１６　電極対
　２１，２６，６２，６８　基板
　２２，２８，５３，５７，６３，６９　絶縁膜
　２２ａ，５３ａ，６３ａ　流入開口部
　２２ｂ，５３ｂ，６３ｂ　流出開口部
　２３，６６　下側流路
　２７　埋込酸化膜
　４２，５２　上側流路膜
　５４，６７　段差部
　５６　無機膜
　６４　第１の凹部
　６５　第２の凹部
　７２　流路内開口部

 

Claims (8)

  1. 　基板の表面を開口する溝状に形成された表面流路と、
    　前記基板の表面に設けられた絶縁膜と、
    　前記表面流路の一端に設けられ、前記表面流路へ試料を流入させる流入開口部と、
    　前記表面流路の他端に設けられ、前記表面流路から前記試料を流出させる流出開口部と
    　を備え、
    　前記流入開口部と前記流出開口部とは、前記絶縁膜に設けられており、前記表面流路を介して接続することを特徴とする流体チップ。
  2. 　前記流入開口部を介して前記表面流路と接続する第１の上側流路と、
    　前記流出開口部を介して前記表面流路と接続する第２の上側流路と
    　を備えることを特徴とする請求項１に記載の流体チップ。
  3. 　前記絶縁膜の表面に設けられた第１の流路膜を備え、
    　前記第１の上側流路と前記第２の上側流路は、前記第１の流路膜に形成されていることを特徴とする請求項２に記載の流体チップ。
  4. 　前記基板と前記絶縁膜との間に設けられた第２の流路膜を備え、
    　前記第１の上側流路と前記第２の上側流路は、前記第２の流路膜に形成されていることを特徴とする請求項２に記載の流体チップ。
  5. 　前記基板の表面には凹部が形成されており、
    　前記表面流路は、前記凹部に設けられていることを特徴とする請求項２～４のいずれか１項に記載の流体チップ。
  6. 　請求項１に記載の流体チップと、
    　前記流体チップの表面に設けられた上側シートと、
    　前記試料が供給される供給部と、
    　前記試料が回収される回収部と
    　を備え、
    　前記上側シートは、前記供給部に供給された前記試料を前記流入開口部へ案内する第１の上側流路と、前記流入開口部から流出した前記試料を前記回収部へ案内する第２の上側流路とを有し、
    　前記供給部と前記回収部との間で前記試料を流通させる流通経路を形成することを特徴とする分析装置。
  7. 　請求項２～５のいずれか１項に記載の流体チップと、
    　前記試料が供給される供給部と、
    　前記試料が回収される回収部と
    　を備え、
    　前記第１の上側流路は、前記供給部に供給された前記試料を前記流入開口部へ案内し、
    　前記第２の上側流路は、前記流入開口部から流出した前記試料を前記回収部へ案内し、
    　前記供給部と前記回収部との間で前記試料を流通させる流通経路を形成することを特徴とする分析装置。
  8. 　前記供給部と前記回収部とが同一面に設けられていることを特徴とする請求項６または７に記載の分析装置。

     
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