JP6054604B2 - マイクロ・ナノ流体解析デバイスおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
(1)電流測定により溶液に含有された試料を解析する流体解析デバイスであって、基板上に設けられた導電膜と、導電膜に電圧を印加する第1電極と、導電膜上に設けられた第1絶縁膜の第1領域から第2領域に至る上面が開放された溶液の流路となる溝部と、溝部の両側面に対峙して設けられた少なくとも一対の電極端子と、一対の電極端子のそれぞれに接続された配線に電圧を印加する第2および第3電極とを有し、溶液を溝部を通過させる際に、第2電極と第3電極との間に電圧を印加して、溶液に含有された試料を介して第2および第3電極間に流れる電気信号を測定することにより、試料を解析することを特徴とする。
(2)電流測定により溶液に含有された試料を解析する流体解析デバイスであって、基板と、基板上に設けられた溶液の流路となる溝部と、溝部の上面に溝部と交差する方向に設けられた導電膜と、導電膜に電圧を印加する第1電極とを備え、溝部は、その両側面が絶縁体で、その底面が前記基板で、その上面が前記導電膜で構成され、溶液を溝部を通過させる際に、第1電極と基板との間に電圧を印加して、溶液に含有された試料を介して第1電極および基板間に流れる電気信号を測定することにより、試料を解析することを特徴とする。
(3)溶液に含有された試料を流す流路と、該流路を通過する試料に電界を与える配線部とを含む流体解析デバイスの製造方法であって、基板上に第1の導電膜を堆積し基板電極を形成する工程と、基板電極上に第1絶縁膜を形成し、第1絶縁膜に所定の幅を有する第1開口部を形成する工程と、第1開口部および第1絶縁膜に第2の導電膜を堆積し平坦化技術を用いて第1開口部内に第2の導電膜を埋め込み配線部を形成する工程と、配線部の長手方向と交差する方向に所定の幅を有する第2開口部を第1絶縁膜に開口し流路を形成するとともに、配線部と交差する流路の側面に配線の端子部を形成する工程とを有することを特徴とする。
また、溶液流動の制御の観点から、流路部のうち、対向電極が存在する検出部以外の幅や深さを広く設計しても良い。
なお溶液流動の制御の観点から、流路部のうち、対向電極が存在する検出部以外の幅や深さを広く設計しても良い。
トンネル電流は、検出用電極104と基板の間に流れ、流路を通るDNAを検出する。
本手法らは、本明細書記載の実施例のデバイスおよび、それ以外の形態のデバイスにも適用可能である。
101…シリコン酸化膜(SiO2)、
102…シリコン窒化膜(SiN)、
103…レジスト、
104…検出用電極、
105…アモルファスシリコン膜、
106…基板側電極部、
107…DNA横方向制御電極、
108…DNAの進行方向、
109…溶液の送液方向、
110…水分子、その他分子、イオンによるDNA各塩基に働く力、
111…負電荷、DNAが受ける電界による力の向き、
112…溶液の入り口部および出口部、
113…信号検出部を備えた微細流路部、
114…DNAを泳動させる電界を作り出すための電極棒、
115…上部電極、
116,117…フリンジ電極、
118…蓋、
200…DNA、
201…DNA中の1塩基
202…ポア、
203…流路部分。
Claims (12)
- 電流測定により溶液に含有された試料を解析する流体解析デバイスであって、
基板上に設けられた導電膜と、
前記導電膜に電圧を印加する第1電極と、
前記導電膜上に設けられた第1絶縁膜の第1領域から第2領域に至る上面が開放された前記溶液の流路となる溝部と、
前記溝部の両側面に対峙して設けられた少なくとも一対の電極端子と、
前記一対の電極端子のそれぞれに接続された配線に電圧を印加する第2および第3電極と、を有し、
前記溶液を前記溝部に通過させる際に、前記溝部の入口に印加する電圧に対して正又は負の電圧を、前記第1電極に印加することにより、前記溝部中を通過する試料の前記溝部内での通過位置を、前記溝部底部側又は前記溝部上部側に制御し、前記第2電極と前記第3電極との間に電圧を印加して、前記溶液に含有された試料を介して前記第2および第3電極間に流れる電気信号を測定することにより、前記試料を解析することを特徴とする流体解析デバイス。 - 前記配線は、前記一対の電極端子の一方で終端する第1配線領域と、前記一対の電極端子の他方で終端する第2配線領域とで構成され、前記第1配線領域の延長線が前記溝部で交差し、該延長上に前記第2配線領域が配置されることを特徴とする請求項1に記載の流体解析デバイス。
- 前記溝部を覆うように前記第1絶縁膜上に設けられ第2絶縁膜で構成された蓋部を備えることを特徴とする請求項1に記載の流体解析デバイス。
- 前記配線表面と前記第1絶縁膜の表面の高低差が、前記配線の膜厚より小さいことを特徴とする請求項1に記載の流体解析デバイス。
- 前記配線の膜厚が前記第1絶縁膜の膜厚よりも小さく、前記配線が前記第1絶縁膜中に埋め込まれていることを特徴とする請求項1に記載の流体解析デバイス。
- 前記溝部を覆うように前記第1絶縁膜上に設けられた導電性材料からなる第4電極を、さらに有し、
前記第4電極は、前記導電膜と絶縁膜を介して絶縁され、
前記第4電極に電圧を印加することにより、前記溝部中を通過する試料の前記溝部内での通過位置を制御することを特徴とする請求項1に記載の流体解析デバイス。 - 前記溶液を前記溝部を通過させる際に、前記第1電極、もしくは前記第4電極の少なくとも一方に交流電圧を印加することを特徴とする請求項6に記載の流体解析デバイス。
- 前記溝部の少なくとも一部に電界を与えるための別の導電膜が、前記第1絶縁体上の前記配線の近傍に設けられ、
前記別の導電膜に接続された第5電極に電圧を印加することにより、
前記溝部中を通過する試料の前記溝部内での通過位置を、前記基板表面と水平な方向に制御することを特徴とする請求項1に記載の流体解析デバイス。 - 前記溝部の幅は、解析対象である前記試料の大きさと同程度の幅であることを特徴とする請求項2に記載の流体解析デバイス。
- 前記溝部の底部の下方に設けられ前記溝部にフリンジ電界を与えるフリンジ電極を少なくとも1つ、または、前記溝部の上部に設けられ前記溝部にフリンジ電界を与えるフリンジ電極を少なくとも1つを有することを特徴とする請求項1に記載の流体解析デバイス。
- 溶液に含有された試料を流す流路と、該流路を通過する試料に電界を与える配線部とを含む流体解析デバイスの製造方法であって、
基板上に第1の導電膜を堆積し基板電極を形成する工程と、
前記基板電極上に第1絶縁膜を形成し、前記第1絶縁膜に所定の幅を有する第1開口部を形成する工程と、
前記第1開口部および前記第1絶縁膜に第2の導電膜を堆積し平坦化技術を用いて前記第1開口部内に第2の導電膜を埋め込み前記配線部を形成する工程と、
前記配線部の長手方向と交差する方向に所定の幅を有する第2開口部を前記第1絶縁膜に開口し前記流路を形成するとともに、前記配線部と交差する前記流路の側面に前記配線の端子部を形成する工程とを有することを特徴とする流体解析デバイスの製造方法。 - 前記第2開口部を形成する工程は、
前記第2の導電膜上に堆積した第2絶縁膜を開口し開口部を設ける工程と、
前記開口部を含む第2絶縁膜上に第3の絶縁膜を堆積し、前記第3の絶縁膜を前記第2絶縁膜の上部表面に至るまでエッチバックし、
前記開口部の側面にサイドウォールとして残った前記第3の絶縁膜により該開口部の幅を狭め、前記サイドウォールとして残った第3の絶縁膜をエッチング用のマスクとして前記第1絶縁膜を加工することを特徴とする請求項11に記載の流体解析デバイスの製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011278286A JP6054604B2 (ja) | 2011-12-20 | 2011-12-20 | マイクロ・ナノ流体解析デバイスおよびその製造方法 |
PCT/JP2012/078021 WO2013094316A1 (ja) | 2011-12-20 | 2012-10-30 | マイクロ・ナノ流体解析デバイスおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011278286A JP6054604B2 (ja) | 2011-12-20 | 2011-12-20 | マイクロ・ナノ流体解析デバイスおよびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013130409A JP2013130409A (ja) | 2013-07-04 |
JP6054604B2 true JP6054604B2 (ja) | 2016-12-27 |
Family
ID=48668217
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011278286A Expired - Fee Related JP6054604B2 (ja) | 2011-12-20 | 2011-12-20 | マイクロ・ナノ流体解析デバイスおよびその製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6054604B2 (ja) |
WO (1) | WO2013094316A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111194408B (zh) * | 2017-09-29 | 2022-12-02 | 帕洛根公司 | 纳米孔设备及其制造方法 |
CN113145183B (zh) * | 2020-01-22 | 2022-12-06 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种生物芯片及其制作方法 |
EP3862087A1 (en) | 2020-02-10 | 2021-08-11 | diamond invention UG (haftungsbeschränkt) | Device and method for analyzing biological samples |
CN113546698B (zh) * | 2020-04-24 | 2022-08-23 | 京东方科技集团股份有限公司 | 微纳流控芯片及其制造方法、微纳流控系统 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2000079257A1 (en) * | 1999-06-22 | 2000-12-28 | President And Fellows Of Harvard College | Molecular and atomic scale evaluation of biopolymers |
EP1208240A4 (en) * | 1999-08-26 | 2006-10-04 | Univ Princeton | MICROFLUIDIC AND MACROFLUIDIC ELECTRONIC DEVICES FOR DETECTING CHANGES IN THE CAPACITY OF LIQUIDS AND METHOD FOR THEIR USE. |
US7282130B2 (en) * | 2003-01-31 | 2007-10-16 | Agilent Technologies, Inc. | Apparatus and method for control of biopolymer translocation through a nanopore |
US20060207880A1 (en) * | 2005-03-15 | 2006-09-21 | Joyce Timothy H | Microfluidic devices and methods of using microfluidic devices |
JP5076234B2 (ja) * | 2007-07-20 | 2012-11-21 | コバレントマテリアル株式会社 | マイクロ流路の垂直断面の粒子濃度の定性的な分布を計測する装置及び前記装置に用いられるマイクロ流路構造体の製造方法 |
WO2011067961A1 (ja) * | 2009-12-02 | 2011-06-09 | 独立行政法人科学技術振興機構 | 流路デバイス及びそれを含むサンプル処理装置 |
-
2011
- 2011-12-20 JP JP2011278286A patent/JP6054604B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2012
- 2012-10-30 WO PCT/JP2012/078021 patent/WO2013094316A1/ja active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2013094316A1 (ja) | 2013-06-27 |
JP2013130409A (ja) | 2013-07-04 |
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Legal Events
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RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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