WO2019181724A1

WO2019181724A1 - 感光性組成物、膜、パターンの形成方法、カラーフィルタ、固体撮像素子、および、画像表示装置

Info

Publication number: WO2019181724A1
Application number: PCT/JP2019/010520
Authority: WO
Inventors: 嶋田　和人; 祐継室
Original assignee: 富士フイルム株式会社
Priority date: 2018-03-20
Filing date: 2019-03-14
Publication date: 2019-09-26
Also published as: KR102442297B1; TW201940977A; JPWO2019181724A1; US20200393757A1; JP7075480B2; KR20200118108A

Abstract

有機溶剤を含む現像液で現像してネガ型パターンを形成するために用いられる感光性組成物であって、色材と、酸の作用により有機溶剤に対する溶解性が低下する樹脂と、光酸発生剤と、を含む感光性組成物。この感光性組成物を用いた膜、パターンの形成方法、カラーフィルタ、固体撮像素子、および、画像表示装置。

Description

感光性組成物、膜、パターンの形成方法、カラーフィルタ、固体撮像素子、および、画像表示装置

　本発明は、感光性組成物に関する。更に詳しくは、有機溶剤を含む現像液で現像してネガ型パターンを形成するために用いられる感光性組成物に関する。また、本発明は、前述の感光性組成物を用いた膜、パターンの形成方法、カラーフィルタ、固体撮像素子、および、画像表示装置に関する。

　近年、デジタルカメラ、カメラ付き携帯電話等の普及から、電荷結合素子（ＣＣＤ）イメージセンサなどの固体撮像素子の需要が大きく伸びている。ディスプレイや光学素子のキーデバイスとしてカラーフィルタが使用されている。

　カラーフィルタなどの色材を含む膜は、例えば、色材を含む感光性組成物を用いて、露光および現像を行ってパターン形成して製造されている（特許文献１、２参照）。

特開２０１７－１２６０４４号公報特開２０１１－０３９３１９号公報

　カラーフィルタなど色材を含む膜の製造に用いられる感光性組成物は、長期間保存したのち使用する場合がある。また、感光性組成物は、例えば、５℃以下の低温環境下で保管されることもある。

　また、カラーフィルタなどの色材を含む膜については、形成されるパターンの矩形性がよいこと、隣接する他の膜への光漏れ（クロストーク）が少ないことが望まれている。

　よって、本発明の目的は、感光性組成物を長期間保存した後も、矩形性が良好で、隣接する他の膜への光漏れが抑制されたパターンを形成できる感光性組成物を提供することにある。また、膜、パターンの形成方法、カラーフィルタ、固体撮像素子、および、画像表示装置を提供することにある。

　本発明者の検討によれば、以下の構成とすることにより上記目的を達成できることを見出し、本発明を完成するに至った。よって、本発明は以下を提供する。
　＜１＞　有機溶剤を含む現像液で現像してネガ型パターンを形成するために用いられる感光性組成物であって、
　色材と、酸の作用により有機溶剤に対する溶解性が低下する樹脂と、光酸発生剤と、を含む感光性組成物。
　＜２＞　感光性組成物の全固形分中における色材の含有量が５５質量％以上である、＜１＞に記載の感光性組成物。
　＜３＞　感光性組成物に含まれる樹脂の合計量中における酸の作用により有機溶剤に対する溶解性が低下する樹脂の含有量が４０質量％以上である、＜１＞または＜２＞に記載の感光性組成物。
　＜４＞　感光性組成物の全固形分中における酸の作用により有機溶剤に対する溶解性が低下する樹脂の含有量が１０～６０質量％である、＜１＞～＜３＞のいずれか１つに記載の感光性組成物。
　＜５＞　酸の作用により有機溶剤に対する溶解性が低下する樹脂は、酸の作用により分解して極性基を生じる基を含む、＜１＞～＜４＞のいずれか１つに記載の感光性組成物。
　＜６＞　酸の作用により有機溶剤に対する溶解性が低下する樹脂は、酸の作用により分解して脱離する基で極性基が保護された構造を有する、＜１＞～＜５＞のいずれか１つに記載の感光性組成物。
　＜７＞　酸の作用により分解して脱離する基は、式（Ｙ１）～（Ｙ４）のいずれかで表される基である、＜６＞に記載の感光性組成物；
　式（Ｙ１）：－Ｃ（Ｒ^３１）（Ｒ^３２）（Ｒ^３３）
　式（Ｙ２）：－Ｃ（＝Ｏ）ＯＣ（Ｒ^３１）（Ｒ^３２）（Ｒ^３３）
　式（Ｙ３）：－Ｃ（Ｒ^３６）（Ｒ^３７）（ＯＲ^３８）
　式（Ｙ４）：－Ｃ（Ｒｎ）（Ｈ）（Ａｒ）
　式（Ｙ１）、（Ｙ２）中、Ｒ^３１～Ｒ^３３は、各々独立にアルキル基を表し、Ｒ^３１～Ｒ^３３のうちの２つが結合して環を形成していてもよい；
　式（Ｙ３）中、Ｒ^３６およびＲ^３７は、各々独立に、水素原子、アルキル基またはアリール基を表し、Ｒ^３６およびＲ^３７の少なくとも一方がアルキル基またはアリール基であり、Ｒ^３８は、アルキル基またはアリール基を表し、Ｒ^３６またはＲ^３７と、Ｒ^３８とが結合して環を形成してもよい；
　式（Ｙ４）中、Ａｒは、芳香環基を表し、Ｒｎは、アルキル基またはアリール基を表す。ＲｎとＡｒとは互いに結合して環を形成してもよい。
　＜８＞　酸の作用により分解して脱離する基の式量が１７０以下である、＜６＞または＜７＞に記載の感光性組成物。
　＜９＞　更に、酸架橋剤を含む、＜１＞～＜８＞のいずれか１つに記載の感光性組成物。
　＜１０＞　感光性組成物の全固形分中における光ラジカル重合開始剤の含有量が４質量％以下である、＜１＞～＜９＞のいずれか１つに記載の感光性組成物。
　＜１１＞　感光性組成物の全固形分中におけるラジカル重合性モノマーの含有量が５質量％以下である、＜１＞～＜１０＞のいずれか１つに記載の感光性組成物。
　＜１２＞　＜１＞～＜１１＞のいずれか１つに記載の感光性組成物から得られる膜。
　＜１３＞　＜１＞～＜１１＞のいずれか１つに記載の感光性組成物を用いて支持体上に感光性組成物層を形成する工程と、
　感光性組成物層に対して、光を照射してパターン状に露光する工程と、
　未露光部の感光性組成物層を、有機溶剤を含む現像液を用いて除去して現像する工程と、を有するパターンの形成方法。
　＜１４＞　＜１３＞に記載のパターンの形成方法を用いて第１の画素を形成した後、
　＜１３＞に記載のパターンの形成方法を用いて第１の画素の抜け部に第２の画素を形成する、カラーフィルタの製造方法。
　＜１５＞　＜１２＞に記載の膜を有するカラーフィルタ。
　＜１６＞　＜１２＞に記載の膜を有する固体撮像素子。
　＜１７＞　＜１２＞に記載の膜を有する画像表示装置。

　本発明によれば、感光性組成物を長期間保存した後も、矩形性が良好で、隣接する他の膜への光漏れが抑制されたパターンを形成できる感光性組成物を提供することができる。また、前述の感光性組成物を用いた膜、パターンの形成方法、カラーフィルタ、固体撮像素子、および、画像表示装置を提供することができる。

　以下において、本発明の内容について詳細に説明する。
　本明細書において、「～」とはその前後に記載される数値を下限値および上限値として含む意味で使用される。
　本明細書における基（原子団）の表記において、置換および無置換を記していない表記は、置換基を有さない基（原子団）と共に置換基を有する基（原子団）をも包含する。例えば、「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基（無置換アルキル基）のみならず、置換基を有するアルキル基（置換アルキル基）をも包含する。
　本明細書において「露光」とは、特に断らない限り、光を用いた露光のみならず、電子線、イオンビーム等の粒子線を用いた描画も露光に含める。また、露光に用いられる光としては、水銀灯の輝線スペクトル、エキシマレーザに代表される遠紫外線、極紫外線（ＥＵＶ光）、Ｘ線、電子線等の活性光線または放射線が挙げられる。
　本明細書において、「（メタ）アクリレート」は、アクリレートおよびメタクリレートの双方、または、いずれかを表し、「（メタ）アクリル」は、アクリルおよびメタクリルの双方、または、いずれかを表し、「（メタ）アクリロイル」は、アクリロイルおよびメタクリロイルの双方、または、いずれかを表す。
　本明細書において、樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）、数平均分子量（Ｍｎ）、及び分散度（分子量分布ともいう）（Ｍｗ／Ｍｎ）は、ＧＰＣ（Ｇｅｌ　Ｐｅｒｍｅａｔｉｏｎ　Ｃｈｒｏｍａｔｏｇｒａｐｈｙ）装置（東ソー製ＨＬＣ－８１２０ＧＰＣ）によるＧＰＣ測定（溶媒：テトラヒドロフラン、流量（サンプル注入量）：１０μＬ、カラム：東ソー社製ＴＳＫ　ｇｅｌ　Ｍｕｌｔｉｐｏｒｅ　ＨＸＬ－Ｍ、カラム温度：４０℃、流速：１．０ｍＬ／分、検出器：示差屈折率検出器(Ｒｅｆｒａｃｔｉｖｅ　Ｉｎｄｅｘ　Ｄｅｔｅｃｔｏｒ）)によるポリスチレン換算値として定義される。
　本明細書において、全固形分とは、組成物の全成分から溶剤を除いた成分の総質量をいう。
　本明細書において「工程」との語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の作用が達成されれば、本用語に含まれる。

＜感光性組成物＞
　本発明の感光性組成物は、有機溶剤を含む現像液で現像してネガ型パターンを形成するために用いられる感光性組成物であって、
　色材と、酸の作用により有機溶剤に対する溶解性が低下する樹脂と、光酸発生剤と、を含むことを特徴とする。

　本発明によれば、感光性組成物を長期間保存した後も、矩形性が良好で、隣接する他の膜への光漏れが抑制されたパターンを形成できる感光性組成物を提供できる。すなわち、本発明の感光性組成物を、例えば支持体上に感光性組成物を適用して感光性組成物層を形成し、この感光性組成物層をパターン状に露光することで、露光部においては光酸発生剤からは発生した酸による作用によって、上述の樹脂の有機溶剤に対する溶解性を効果的に低下させることができ、露光部と未露光部との間で有機溶剤に対する溶解性に差をつけることができる。そして、露光後の感光性組成物層を、有機溶剤を含む現像液を用いて現像することで、未露光部の感光性組成物層が現像液によって除去されて露光部の感光性組成物層がパターン（ネガ型パターン）として残る。このため、矩形性の良いパターンを形成することができる。また、従来のネガ型の光硬化性感光性組成物を用いてネガ型パターンを形成した場合、得られるパターンの厚さは露光後から特に変動はないが、本件の感光性組成物の場合、現像後のパターンを加熱処理することにより、現像後のパターンに含まれる樹脂が分解するなどして、露光直後よりもパターンの厚さをより薄くでき、より厚みの薄いパターンを形成することができる。例えば、酸の作用により有機溶剤に対する溶解性が低下する樹脂が、酸の作用により分解して脱離する基（脱離基）で後述する極性基が保護された構造を有する樹脂である場合、露光後のパターンに含まれる樹脂中に残存している上記の脱離基が現像後の加熱処理などにより分解除去されることにより、露光直後よりもパターンの厚さをより薄くできる。得られるパターンの厚みが薄いほど光漏れなどを抑制し易い。このため、本発明によれば、隣接する他の膜への光漏れが抑制されたパターンを形成することができる。そして、本発明の感光性組成物は、長期間保管した場合であっても、矩形性が良好で、隣接する他の膜への光漏れが抑制されたパターンを形成できる。この様な効果が得られる理由としては、推測であるが、保管時において、組成物中で酸の作用により有機溶剤に対する溶解性が低下する樹脂と、光酸発生剤とが馴染み易くなるためであると推測される。

　本発明の感光性組成物は、着色画素、遮光膜、赤外線透過フィルタ層の画素などの形成用の組成物として好ましく用いられる。着色画素としては、赤色、青色、緑色、シアン色、マゼンタ色および黄色から選ばれる色相の画素が挙げられる。赤外線透過フィルタ層の画素としては、波長４００～６４０ｎｍの範囲における透過率の最大値が２０％以下（好ましくは１５％以下、より好ましくは１０％以下）であり、波長１１００～１３００ｎｍの範囲における透過率の最小値が７０％以上（好ましくは７５％以上、より好ましくは８０％以上）である分光特性を満たしているフィルタ層の画素などが挙げられる。また、赤外線透過フィルタ層の画素は、以下の（１）～（４）のいずれかの分光特性を満たしているフィルタ層の画素であることも好ましい。
　（１）：波長４００～６４０ｎｍの範囲における透過率の最大値が２０％以下（好ましくは１５％以下、より好ましくは１０％以下）であり、波長８００～１３００ｎｍの範囲における透過率の最小値が７０％以上（好ましくは７５％以上、より好ましくは８０％以上）であるフィルタ層の画素。
　（２）：波長４００～７５０ｎｍの範囲における透過率の最大値が２０％以下（好ましくは１５％以下、より好ましくは１０％以下）であり、波長９００～１３００ｎｍの範囲における透過率の最小値が７０％以上（好ましくは７５％以上、より好ましくは８０％以上）であるフィルタ層の画素。
　（３）：波長４００～８３０ｎｍの範囲における透過率の最大値が２０％以下（好ましくは１５％以下、より好ましくは１０％以下）であり、波長１０００～１３００ｎｍの範囲における透過率の最小値が７０％以上（好ましくは７５％以上、より好ましくは８０％以上）であるフィルタ層の画素。
　（４）：波長４００～９５０ｎｍの範囲における透過率の最大値が２０％以下（好ましくは１５％以下、より好ましくは１０％以下）であり、波長１１００～１３００ｎｍの範囲における透過率の最小値が７０％以上（好ましくは７５％以上、より好ましくは８０％以上）であるフィルタ層の画素。

　本発明の感光性組成物を赤外線透過フィルタ層の画素形成用の組成物として用いる場合、本発明の感光性組成物は、波長４００～６４０ｎｍの範囲における吸光度の最小値Ａｍｉｎと、波長１１００～１３００ｎｍの範囲における吸光度の最大値Ｂｍａｘとの比であるＡｍｉｎ／Ｂｍａｘが５以上である分光特性を満たしていることが好ましい。Ａｍｉｎ／Ｂｍａｘは、７．５以上であることがより好ましく、１５以上であることが更に好ましく、３０以上であることが特に好ましい。

　ある波長λにおける吸光度Ａλは、以下の式（１）により定義される。
Ａλ＝－ｌｏｇ（Ｔλ／１００）　　　・・・（１）
Ａλは、波長λにおける吸光度であり、Ｔλは、波長λにおける透過率（％）である。
　本発明において、吸光度の値は、溶液の状態で測定した値であってもよく、感光性組成物を用いて製膜した膜での値であってもよい。膜の状態で吸光度を測定する場合は、ガラス基板上にスピンコート等の方法により、乾燥後の膜の厚さが所定の厚さとなるように感光性組成物を塗布し、ホットプレートを用いて１００℃、１２０秒間乾燥して調製した膜を用いて測定することが好ましい。

　本発明の感光性組成物を赤外線透過フィルタ層の画素形成用の組成物として用いる場合、本発明の感光性組成物は、以下の（１１）～（１４）のいずれかの分光特性を満たしていることがより好ましい。
　（１１）：波長４００～６４０ｎｍの範囲における吸光度の最小値Ａｍｉｎ１と、波長８００～１３００ｎｍの範囲における吸光度の最大値Ｂｍａｘ１との比であるＡｍｉｎ１／Ｂｍａｘ１が５以上であり、７．５以上であることが好ましく、１５以上であることがより好ましく、３０以上であることが更に好ましい。この態様によれば、波長４００～６４０ｎｍの範囲の光を遮光して、波長７２０ｎｍ以上の光を透過可能な膜を形成することができる。
　（１２）：波長４００～７５０ｎｍの範囲における吸光度の最小値Ａｍｉｎ２と、波長９００～１３００ｎｍの範囲における吸光度の最大値Ｂｍａｘ２との比であるＡｍｉｎ２／Ｂｍａｘ２が５以上であり、７．５以上であることが好ましく、１５以上であることがより好ましく、３０以上であることが更に好ましい。この態様によれば、波長４００～７５０ｎｍの範囲の光を遮光して、波長８５０ｎｍ以上の光を透過可能な膜を形成することができる。
　（１３）：波長４００～８５０ｎｍの範囲における吸光度の最小値Ａｍｉｎ３と、波長１０００～１３００ｎｍの範囲における吸光度の最大値Ｂｍａｘ３との比であるＡｍｉｎ３／Ｂｍａｘ３が５以上であり、７．５以上であることが好ましく、１５以上であることがより好ましく、３０以上であることが更に好ましい。この態様によれば、波長４００～８５０ｎｍの範囲の光を遮光して、波長９４０ｎｍ以上の光を透過可能な膜を形成することができる。
　（１４）：波長４００～９５０ｎｍの範囲における吸光度の最小値Ａｍｉｎ４と、波長１１００～１３００ｎｍの範囲における吸光度の最大値Ｂｍａｘ４との比であるＡｍｉｎ４／Ｂｍａｘ４が５以上であり、７．５以上であることが好ましく、１５以上であることがより好ましく、３０以上であることが更に好ましい。この態様によれば、波長４００～９５０ｎｍの範囲の光を遮光して、波長１０４０ｎｍ以上の光を透過可能な膜を形成することができる。

　本発明の感光性組成物は、固体撮像素子用の感光性組成物として好ましく用いることができる。また、本発明の感光性組成物は、カラーフィルタ用の感光性組成物として好ましく用いることができる。具体的には、カラーフィルタの画素形成用の感光性組成物として好ましく用いることができ、固体撮像素子に用いられるカラーフィルタの画素形成用の感光性組成物としてより好ましく用いることができる。

　以下、本発明の感光性組成物に用いられる各成分について説明する。

＜＜色材＞＞
　本発明の感光性組成物は、色材を含む。色材としては、有彩色着色剤、黒色着色剤、赤外線吸収色材などが挙げられる。色材は顔料であってもよく、染料であってもよい。顔料の平均一次粒子径は、０．０１～０．１μｍが好ましく、０．０１～０．０５μｍがより好ましい。なお、顔料の平均一次粒子径は、透過型電子顕微鏡を用いて測定できる。透過型電子顕微鏡としては、例えば、日立ハイテクノロジーズ社製の透過型顕微鏡ＨＴ７７００を用いることができる。透過型電子顕微鏡を用いて得た粒子像の最大長（Ｄｍａｘ：粒子画像の輪郭上の２点における最大長さ）、および最大長垂直長（ＤＶ－ｍａｘ：最大長に平行な２本の直線で画像を挟んだ時、２直線間を垂直に結ぶ最短の長さ）を測長し、その相乗平均値（Ｄｍａｘ×ＤＶ－ｍａｘ）^１／２を粒子径とした。この方法で１００個の粒子の粒子径を測定し、その算術平均値を平均粒子径として、顔料の平均一次粒子径とした。本明細書の実施例における「平均一次粒子径」も上記の算術平均値と同じである。色材として顔料を用いた場合は、得られる膜について、耐熱性、耐光性といったいわゆる環境耐性をより向上させることができる。また、色材として染料を用いた場合は、より鮮明な色相の膜を形成しやすく、例えば、他の画素と色分離に優れた膜を形成しやすい。
　なお、本明細書において、色材は顔料誘導体とは異なる成分であることが好ましい。すなわち、本明細書において色材には顔料誘導体は含まれないことが好ましい。

（有彩色着色剤）
　有彩色着色剤としては、赤色着色剤、緑色着色剤、青色着色剤、黄色着色剤、紫色着色剤、オレンジ色着色剤などが挙げられる。有彩色着色剤は、顔料であってもよく、染料であってもよい。

　有彩色着色剤として用いられる顔料は、有機顔料であることが好ましい。有機顔料としては以下のものが挙げられる。
　カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｙｅｌｌｏｗ　１，２，３，４，５，６，１０，１１，１２，１３，１４，１５，１６，１７，１８，２０，２４，３１，３２，３４，３５，３５：１，３６，３６：１，３７，３７：１，４０，４２，４３，５３，５５，６０，６１，６２，６３，６５，７３，７４，７７，８１，８３，８６，９３，９４，９５，９７，９８，１００，１０１，１０４，１０６，１０８，１０９，１１０，１１３，１１４，１１５，１１６，１１７，１１８，１１９，１２０，１２３，１２５，１２６，１２７，１２８，１２９，１３７，１３８，１３９，１４７，１４８，１５０，１５１，１５２，１５３，１５４，１５５，１５６，１６１，１６２，１６４，１６６，１６７，１６８，１６９，１７０，１７１，１７２，１７３，１７４，１７５，１７６，１７７，１７９，１８０，１８１，１８２，１８５，１８７，１８８，１９３，１９４，１９９，２１３，２１４等（以上、黄色顔料）、
　Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｏｒａｎｇｅ　２，５，１３，１６，１７：１，３１，３４，３６，３８，４３，４６，４８，４９，５１，５２，５５，５９，６０，６１，６２，６４，７１，７３等（以上、オレンジ色顔料）、
　Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｒｅｄ　１，２，３，４，５，６，７，９，１０，１４，１７，２２，２３，３１，３８，４１，４８：１，４８：２，４８：３，４８：４，４９，４９：１，４９：２，５２：１，５２：２，５３：１，５７：１，６０：１，６３：１，６６，６７，８１：１，８１：２，８１：３，８３，８８，９０，１０５，１１２，１１９，１２２，１２３，１４４，１４６，１４９，１５０，１５５，１６６，１６８，１６９，１７０，１７１，１７２，１７５，１７６，１７７，１７８，１７９，１８４，１８５，１８７，１８８，１９０，２００，２０２，２０６，２０７，２０８，２０９，２１０，２１６，２２０，２２４，２２６，２４２，２４６，２５４，２５５，２６４，２７０，２７２，２７９等（以上、赤色顔料）、
　Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｇｒｅｅｎ　７，１０，３６，３７，５８，５９，６２，６３等（以上、緑色顔料）、
　Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｖｉｏｌｅｔ　１，１９，２３，２７，３２，３７，４２等（以上、紫色顔料）、
　Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｂｌｕｅ　１，２，１５，１５：１，１５：２，１５：３，１５：４，１５：６，１６，２２，６０，６４，６６，７９，８０等（以上、青色顔料）。
　これら有機顔料は、単独で若しくは種々組合せて用いることができる。

　また、黄色顔料として、下記式（Ｉ）で表されるアゾ化合物およびその互変異性構造のアゾ化合物から選ばれる少なくとも１種のアニオンと、２種以上の金属イオンと、メラミン化合物とを含む金属アゾ顔料を用いることもできる。

　式中、Ｒ^１およびＲ^２はそれぞれ独立して、－ＯＨまたは－ＮＲ^５Ｒ^６であり、Ｒ^３およびＲ^４はそれぞれ独立して、＝Ｏまたは＝ＮＲ^７であり、Ｒ^５～Ｒ^７はそれぞれ独立して、水素原子またはアルキル基である。Ｒ^５～Ｒ^７が表すアルキル基の炭素数は１～１０が好ましく、１～６がより好ましく、１～４が更に好ましい。アルキル基は、直鎖、分岐および環状のいずれであってもよく、直鎖または分岐が好ましく、直鎖がより好ましい。アルキル基は置換基を有していてもよい。置換基は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、アルコキシ基、シアノ基およびアミノ基が好ましい。

　式（Ｉ）において、Ｒ^１およびＲ^２は－ＯＨであることが好ましい。また、Ｒ^３およびＲ^４は＝Ｏであることが好ましい。

　金属アゾ顔料におけるメラミン化合物は、下記式（ＩＩ）で表される化合物であることが好ましい。

　式中Ｒ^１１～Ｒ^１３は、それぞれ独立して水素原子またはアルキル基である。アルキル基の炭素数は１～１０が好ましく、１～６がより好ましく、１～４が更に好ましい。アルキル基は、直鎖、分岐および環状のいずれであってもよく、直鎖または分岐が好ましく、直鎖がより好ましい。アルキル基は置換基を有していてもよい。置換基はヒドロキシ基が好ましい。Ｒ^１１～Ｒ^１３の少なくとも一つは水素原子であることが好ましく、Ｒ^１１～Ｒ^１３の全てが水素原子であることがより好ましい。

　上記の金属アゾ顔料は、上述した式（Ｉ）で表されるアゾ化合物およびその互変異性構造のアゾ化合物から選ばれる少なくとも１種のアニオンと、Ｚｎ^２＋およびＣｕ^２＋を少なくとも含む金属イオンと、メラミン化合物とを含む態様の金属アゾ顔料であることが好ましい。この態様においては、金属アゾ顔料の全金属イオンの１モルを基準として、Ｚｎ^２＋およびＣｕ^２＋を合計で９５～１００モル％含有することが好ましく、９８～１００モル％含有することがより好ましく、９９．９～１００モル％含有することが更に好ましく、１００モル％であることが特に好ましい。また、金属アゾ顔料中のＺｎ^２＋とＣｕ^２＋とのモル比は、Ｚｎ^２＋：Ｃｕ^２＋＝１９９：１～１：１５であることが好ましく、１９：１～１：１であることがより好ましく、９：１～２：１であることが更に好ましい。また、この態様において、金属アゾ顔料は、更にＺｎ^２＋およびＣｕ^２＋以外の二価もしくは三価の金属イオン（以下、金属イオンＭｅ１ともいう）を含んでいてもよい。金属イオンＭｅ１としては、Ｎｉ^２＋、Ａｌ^３＋、Ｆｅ^２＋、Ｆｅ^３＋、Ｃｏ^２＋、Ｃｏ^３＋、Ｌａ^３＋、Ｃｅ^３＋、Ｐｒ^３＋、Ｎｄ^２＋、Ｎｄ^３＋、Ｓｍ^２＋、Ｓｍ^３＋、Ｅｕ^２＋、Ｅｕ^３＋、Ｇｄ^３＋、Ｔｂ^３＋、Ｄｙ^３＋、Ｈｏ^３＋、Ｙｂ^２＋、Ｙｂ^３＋、Ｅｒ^３＋、Ｔｍ^３＋、Ｍｇ^２＋、Ｃａ^２＋、Ｓｒ^２＋、Ｍｎ^２＋、Ｙ^３＋、Ｓｃ^３＋、Ｔｉ^２＋、Ｔｉ^３＋、Ｎｂ^３＋、Ｍｏ^２＋、Ｍｏ^３＋、Ｖ^２＋、Ｖ^３＋、Ｚｒ^２＋、Ｚｒ^３＋、Ｃｄ^２＋、Ｃｒ^３＋、Ｐｂ^２＋、Ｂａ^２＋が挙げられ、Ａｌ^３＋、Ｆｅ^２＋、Ｆｅ^３＋、Ｃｏ^２＋、Ｃｏ^３＋、Ｌａ^３＋、Ｃｅ^３＋、Ｐｒ^３＋、Ｎｄ^３＋、Ｓｍ^３＋、Ｅｕ^３＋、Ｇｄ^３＋、Ｔｂ^３＋、Ｄｙ^３＋、Ｈｏ^３＋、Ｙｂ^３＋、Ｅｒ^３＋、Ｔｍ^３＋、Ｍｇ^２＋、Ｃａ^２＋、Ｓｒ^２＋、Ｍｎ^２＋およびＹ^３＋から選ばれる少なくとも１種であることが好ましく、Ａｌ^３＋、Ｆｅ^２＋、Ｆｅ^３＋、Ｃｏ^２＋、Ｃｏ^３＋、Ｌａ^３＋、Ｃｅ^３＋、Ｐｒ^３＋、Ｎｄ^３＋、Ｓｍ^３＋、Ｔｂ^３＋、Ｈｏ^３＋およびＳｒ^２＋から選ばれる少なくとも１種であることが更に好ましく、Ａｌ^３＋、Ｆｅ^２＋、Ｆｅ^３＋、Ｃｏ^２＋およびＣｏ^３＋から選ばれる少なくとも１種であることが特に好ましい。金属イオンＭｅ１の含有量は、金属アゾ顔料の全金属イオンの１モルを基準として、５モル％以下であることが好ましく、２モル％以下であることがより好ましく、０．１モル％以下であることが更に好ましい。

　上記の金属アゾ顔料については、特開２０１７－１７１９１２号公報の段落番号００１１～００６２、０１３７～０２７６、特開２０１７－１７１９１３号公報の段落番号００１０～００６２、０１３８～０２９５、特開２０１７－１７１９１４号公報の段落番号００１１～００６２、０１３９～０１９０、特開２０１７－１７１９１５号公報の段落番号００１０～００６５、０１４２～０２２２の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。

　また、赤色顔料として、芳香族環に酸素原子、硫黄原子または窒素原子が結合した基が導入された芳香環基がジケトピロロピロール骨格に結合した構造を有する化合物を用いることもできる。このような化合物としては、式（ＤＰＰ１）で表される化合物であることが好ましく、式（ＤＰＰ２）で表される化合物であることがより好ましい。

　上記式中、Ｒ^１１およびＲ^１３はそれぞれ独立して置換基を表し、Ｒ^１２およびＲ^１４はそれぞれ独立して水素原子、アルキル基、アリール基またはヘテロアリール基を表し、ｎ１１およびｎ１３はそれぞれ独立して０～４の整数を表し、Ｘ^１２およびＸ^１４はそれぞれ独立して酸素原子、硫黄原子または窒素原子を表し、Ｘ^１２が酸素原子または硫黄原子の場合は、ｍ１２は１を表し、Ｘ^１２が窒素原子の場合は、ｍ１２は２を表し、Ｘ^１４が酸素原子または硫黄原子の場合は、ｍ１４は１を表し、Ｘ^１４が窒素原子の場合は、ｍ１４は２を表す。Ｒ^１１およびＲ^１３が表す置換基としては、アルキル基、アリール基、ハロゲン原子、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、ヘテロアリールオキシカルボニル基、アミド基、シアノ基、ニトロ基、トリフルオロメチル基、スルホキシド基、スルホ基などが好ましい具体例として挙げられる。

　また、緑色顔料として、１分子中のハロゲン原子数が平均１０～１４個であり、臭素原子が平均８～１２個であり、塩素原子が平均２～５個であるハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料を用いることもできる。具体例としては、国際公開ＷＯ２０１５／１１８７２０号公報に記載の化合物が挙げられる。

　また、青色顔料として、リン原子を有するアルミニウムフタロシアニン化合物を用いることもできる。具体例としては、特開２０１２－２４７５９１号公報の段落００２２～００３０、特開２０１１－１５７４７８号公報の段落００４７に記載の化合物などが挙げられる。

　染料としては特に制限はなく、公知の染料が使用できる。例えば、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、トリアリールメタン系、アントラキノン系、アントラピリドン系、ベンジリデン系、オキソノール系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、シアニン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサンテン系、フタロシアニン系、ベンゾピラン系、インジゴ系、ピロメテン系等の染料が挙げられる。また、これらの染料の多量体を用いてもよい。また、特開２０１５－０２８１４４号公報、特開２０１５－３４９６６号公報に記載の染料を用いることもできる。

（黒色着色剤）
　黒色着色剤としては、無機黒色着色剤、有機黒色着色剤が挙げられる。

　無機黒色着色剤は、顔料（無機黒色顔料）であることが好ましい。無機黒色顔料としては、特に限定されず、公知のものを用いることができる。例えば、カーボンブラック、チタンブラック、グラファイト等が挙げられ、カーボンブラック、チタンブラックが好ましく、チタンブラックがより好ましい。チタンブラックとは、チタン原子を含有する黒色粒子であり、低次酸化チタンや酸窒化チタンが好ましい。チタンブラックは、分散性向上、凝集性抑制などの目的で必要に応じ、表面を修飾することが可能である。例えば、酸化珪素、酸化チタン、酸化ゲルマニウム、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、又は、酸化ジルコニウムでチタンブラックの表面を被覆することが可能である。また、特開２００７－３０２８３６号公報に表されるような撥水性物質での処理も可能である。無機黒色顔料として、具体的には、カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｂｌａｃｋ　１，７等が挙げられる。

　チタンブラックは、個々の粒子の一次粒子径及び平均一次粒子径のいずれもが小さいことが好ましい。具体的には、平均一次粒子径で１０ｎｍ～４５ｎｍの範囲のものが好ましい。

　チタンブラックの比表面積は特に制限されないが、ＢＥＴ（Ｂｒｕｎａｕｅｒ，　Ｅｍｍｅｔｔ，　Ｔｅｌｌｅｒ）法にて測定した値が５ｍ^２／ｇ以上１５０ｍ^２／ｇ以下であることが好ましく、２０ｍ^２／ｇ以上１２０ｍ^２／ｇ以下であることがより好ましい。チタンブラックの市販品の例としては、チタンブラック１０Ｓ、１２Ｓ、１３Ｒ、１３Ｍ、１３Ｍ－Ｃ、１３Ｒ－Ｎ、１３Ｍ－Ｔ（商品名：三菱マテリアル（株）製）、ティラック（Ｔｉｌａｃｋ）Ｄ（商品名：赤穂化成（株）製）などが挙げられる。

　チタンブラックは、分散物として用いることもできる。例えば、チタンブラック粒子とシリカ粒子とを含み、分散物中のＳｉ原子とＴｉ原子との含有比が０．２０～０．５０の範囲に調整した分散物などが挙げられる。上記分散物については、特開２０１２－１６９５５６号公報の段落００２０～０１０５の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。

　有機黒色着色剤としては、ビスベンゾフラノン化合物、アゾメチン化合物、ペリレン化合物、アゾ化合物などが挙げられ、ビスベンゾフラノン化合物、ペリレン化合物が好ましい。ビスベンゾフラノン化合物としては、特表２０１０－５３４７２６号公報、特表２０１２－５１５２３３号公報、特表２０１２－５１５２３４号公報などに記載の化合物が挙げられ、例えば、ＢＡＳＦ社製の「Ｉｒｇａｐｈｏｒ　Ｂｌａｃｋ」として入手可能である。ペリレン化合物としては、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｂｌａｃｋ　３１、３２などが挙げられる。アゾメチン化合物としては、特開平０１－１７０６０１号公報、特開平０２－０３４６６４号公報などに記載のものが挙げられ、例えば、大日精化社製の「クロモファインブラックＡ１１０３」として入手できる。

（赤外線吸収色材）
　赤外線吸収色材としては、波長７００～１３００ｎｍの範囲、より好ましくは波長７００～１０００ｎｍの範囲に極大吸収波長を有する化合物が好ましい。赤外線吸収色材は、顔料であってもよく、染料であってもよい。

　赤外線吸収色材は、ピロロピロール化合物、シアニン化合物、スクアリリウム化合物、フタロシアニン化合物、ナフタロシアニン化合物、クアテリレン化合物、メロシアニン化合物、クロコニウム化合物、オキソノール化合物、ジイモニウム化合物、ジチオール化合物、トリアリールメタン化合物、ピロメテン化合物、アゾメチン化合物、アントラキノン化合物及びジベンゾフラノン化合物から選ばれる少なくとも１種が好ましく、ピロロピロール化合物、シアニン化合物、スクアリリウム化合物、フタロシアニン化合物、ナフタロシアニン化合物およびジイモニウム化合物から選ばれる少なくとも１種がより好ましく、ピロロピロール化合物、シアニン化合物およびスクアリリウム化合物から選ばれる少なくとも１種が更に好ましく、ピロロピロール化合物が特に好ましい。

　ピロロピロール化合物としては、特開２００９－２６３６１４号公報の段落番号００１６～００５８に記載の化合物、特開２０１１－０６８７３１号公報の段落番号００３７～００５２に記載の化合物、国際公開ＷＯ２０１５／１６６８７３号公報の段落番号００１０～００３３に記載の化合物などが挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。

　スクアリリウム化合物としては、特開２０１１－２０８１０１号公報の段落番号００４４～００４９に記載の化合物、特許第６０６５１６９号公報の段落番号００６０～００６１に記載の化合物、国際公開ＷＯ２０１６／１８１９８７号公報の段落番号００４０に記載の化合物、国際公開ＷＯ２０１３／１３３０９９号公報に記載の化合物、国際公開ＷＯ２０１４／０８８０６３号公報に記載の化合物、特開２０１４－１２６６４２号公報に記載の化合物、特開２０１６－１４６６１９号公報に記載の化合物、特開２０１５－１７６０４６号公報に記載の化合物、特開２０１７－０２５３１１号公報に記載の化合物、国際公開ＷＯ２０１６／１５４７８２号公報に記載の化合物、特許５８８４９５３号公報に記載の化合物、特許６０３６６８９号公報に記載の化合物、特許５８１０６０４号公報に記載の化合物、特開２０１７－０６８１２０号公報に記載の化合物などが挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。

　シアニン化合物としては、特開２００９－１０８２６７号公報の段落番号００４４～００４５に記載の化合物、特開２００２－１９４０４０号公報の段落番号００２６～００３０に記載の化合物、特開２０１５－１７２００４号公報に記載の化合物、特開２０１５－１７２１０２号公報に記載の化合物、特開２００８－０８８４２６号公報に記載の化合物、特開２０１７－０３１３９４号公報に記載の化合物などが挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。

　ジイモニウム化合物としては、例えば、特表２００８－５２８７０６号公報に記載の化合物が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。フタロシアニン化合物としては、例えば、特開２０１２－０７７１５３号公報の段落番号００９３に記載の化合物、特開２００６－３４３６３１号公報に記載のオキシチタニウムフタロシアニン、特開２０１３－１９５４８０号公報の段落番号００１３～００２９に記載の化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。ナフタロシアニン化合物としては、例えば、特開２０１２－０７７１５３号公報の段落番号００９３に記載の化合物が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。

　本発明において、赤外線吸収色材には、タングステン化合物や金属ホウ素化合物を用いることもできる。タングステン化合物としては、酸化タングステン系化合物、ホウ化タングステン系化合物、硫化タングステン系化合物などが挙げられ、下記式（組成式）（Ｉ）で表される酸化タングステン系化合物が好ましい。

　Ｍ_ｘＷ_ｙＯ_ｚ・・・（Ｉ）
　Ｍは金属、Ｗはタングステン、Ｏは酸素を表す。
　０．００１≦ｘ／ｙ≦１．１
　２．２≦ｚ／ｙ≦３．０

　Ｍが表す金属としては、アルカリ金属、アルカリ土類金属、Ｍｇ、Ｚｒ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｒｕ、Ｃｏ、Ｒｈ、Ｉｒ、Ｎｉ、Ｐｄ、Ｐｔ、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｚｎ、Ｃｄ、Ａｌ、Ｇａ、Ｉｎ、Ｔｌ、Ｓｎ、Ｐｂ、Ｔｉ、Ｎｂ、Ｖ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｒｅ、Ｂｅ、Ｈｆ、Ｏｓ、Ｂｉなどが挙げられ、アルカリ金属であることが好ましく、ＲｂまたはＣｓであることがより好ましく、Ｃｓであることがさらに好ましい。Ｍが表す金属は１種でも２種以上でもよい。

　上記式（Ｉ）で表される酸化タングステン系化合物の具体例としては、Ｃｓ_０．３３ＷＯ_３、Ｒｂ_０．３３ＷＯ_３、Ｋ_０．３３ＷＯ_３、Ｂａ_０．３３ＷＯ_３などが挙げられ、Ｃｓ_０．３３ＷＯ_３またはＲｂ_０．３３ＷＯ_３であることが好ましく、Ｃｓ_０．３３ＷＯ_３であることがより好ましい。

　タングステン化合物は市販品として入手可能である。タングステン化合物が、例えば酸化タングステン系化合物である場合、酸化タングステン系化合物は、タングステン化合物を不活性ガス雰囲気または還元性ガス雰囲気中で熱処理する方法により得ることができる（特許第４０９６２０５号公報を参照）。また、酸化タングステン系化合物は、例えば、住友金属鉱山株式会社製のＹＭＦ－０２などのタングステン微粒子の分散物として入手可能である。

　金属ホウ化物としては、ホウ化ランタン（ＬａＢ_６）、ホウ化プラセオジウム（ＰｒＢ_６）、ホウ化ネオジウム（ＮｄＢ_６）、ホウ化セリウム（ＣｅＢ_６）、ホウ化イットリウム（ＹＢ_６）、ホウ化チタン（ＴｉＢ_２）、ホウ化ジルコニウム（ＺｒＢ_２）、ホウ化ハフニウム（ＨｆＢ_２）、ホウ化バナジウム（ＶＢ_２）、ホウ化タンタル（ＴａＢ_２）、ホウ化クロム（ＣｒＢ、ＣｒＢ_２）、ホウ化モリブデン（ＭｏＢ_２、Ｍｏ_２Ｂ_５、ＭｏＢ）、ホウ化タングステン（Ｗ_２Ｂ_５）などが挙げられ、ホウ化ランタン（ＬａＢ_６）が好ましい。金属ホウ化物は市販品として入手可能であり、例えば、住友金属鉱山株式会社製のＫＨＦ－７等の金属ホウ化物微粒子の分散物として入手可能である。

　感光性組成物の全固形分中における色材の含有量は４０質量％以上であることが好ましく、５０質量％以上であることがより好ましく、クロストークがより低減された膜が得られやすいという理由から５５質量％以上であることが更に好ましく、６０質量％以上であることが特に好ましい。上限は、製膜性の観点から８０質量％以下が好ましく、７５質量％以下がより好ましく、７０質量％以下が更に好ましい。上記色材の含有量の値は、顔料誘導体の含有量を含まない値であることが好ましい。

　本発明の感光性組成物に用いられる色材は、有彩色着色剤および黒色着色剤から選ばれる少なくとも１種を含むことが好ましい。また、色材の全質量中における有彩色着色剤および黒色着色剤の含有量は、３０質量％以上であることが好ましく、５０質量％以上であることがより好ましく、７０質量％以上であることが更に好ましい。上限は、１００質量％とすることができ、９０質量％以下とすることもできる。

　本発明の感光性組成物に用いられる色材は、色材の全質量中における顔料の含有量が５０質量％以上であることが好ましく、７０質量％以上であることがより好ましく、９０質量％以上であることが更に好ましい。

　本発明の感光性組成物を着色画素形成用の組成物として用いる場合においては、感光性組成物の全固形分中における有彩色着色剤の含有量は４０質量％以上であることが好ましく、５０質量％以上であることがより好ましく、５５質量％以上であることが更に好ましく、６０質量％以上であることが特に好ましい。また、色材の全質量中における有彩色着色剤の含有量は、５０質量％以上であることが好ましく、６０質量％以上であることがより好ましく、６５質量％以上であることが更に好ましい。上限は、１００質量％とすることができ、９５質量％以下とすることもできる。上記有彩色着色剤の含有量の値は、顔料誘導体の含有量を含まない値であることが好ましい。

　本発明の感光性組成物を遮光膜の形成用の組成物として用いる場合においては、感光性組成物の全固形分中における黒色着色剤（好ましくは無機黒色着色剤、より好ましくは無機黒色顔料）の含有量は４０質量％以上であることが好ましく、５０質量％以上であることがより好ましく、５５質量％以上であることが更に好ましく、６０質量％以上であることが特に好ましい。また、色材の全質量中における黒色着色剤の含有量は、５０質量％以上であることが好ましく、７０質量％以上であることがより好ましく、８０質量％以上であることが更に好ましい。上限は、１００質量％とすることができ、９５質量％以下とすることもできる。

　本発明の感光性組成物を赤外線透過フィルタ層の画素形成用の組成物として用いる場合、本発明で用いられる色材は、以下の（１）～（３）の少なくとも一つの要件を満たすことが好ましい。

（１）：２種類以上の有彩色着色剤を含み、２種以上の有彩色着色剤の組み合わせで黒色を形成している。赤色着色剤、青色着色剤、黄色着色剤、紫色着色剤および緑色着色剤から選ばれる２種類以上の着色剤の組み合わせで黒色を形成していることが好ましい。
（２）：有機黒色着色剤を含む。
（３）：上記（１）または（２）において、更に赤外線吸収色材を含む。

　上記（１）の態様の好ましい組み合わせとしては、例えば以下が挙げられる。
（１－１）赤色着色剤と青色着色剤とを含有する態様。
（１－２）赤色着色剤と青色着色剤と黄色着色剤とを含有する態様。
（１－３）赤色着色剤と青色着色剤と黄色着色剤と紫色着色剤とを含有する態様。
（１－４）赤色着色剤と青色着色剤と黄色着色剤と紫色着色剤と緑色着色剤とを含有する態様。
（１－５）赤色着色剤と青色着色剤と黄色着色剤と緑色着色剤とを含有する態様。
（１－６）赤色着色剤と青色着色剤と緑色着色剤とを含有する態様。
（１－７）黄色着色剤と紫色着色剤とを含有する態様。

　上記の（２）の態様においては、更に有彩色着色剤を含有することも好ましい。有機黒色着色剤と有彩色着色剤とを併用することで、優れた分光特性が得られ易い。有機黒色着色剤と組み合わせて用いる有彩色着色剤としては、例えば、赤色着色剤、青色着色剤、紫色着色剤などが挙げられ、赤色着色剤および青色着色剤が好ましい。これらは単独で使用してもよく、２種以上を併用してもよい。また、有彩色着色剤と有機黒色着色剤との混合割合は、有機黒色着色剤１００質量部に対して、有彩色着色剤が１０～２００質量部が好ましく、１５～１５０質量部がより好ましい。

　上記の（３）の態様においては、色材の全質量中における赤外線吸収色材の含有量は、５～４０質量％であることが好ましい。上限は、３０質量％以下が好ましく、２５質量％以下がより好ましい。下限は、１０質量％以上が好ましく、１５質量％以上がより好ましい。

＜＜樹脂＞＞
　本発明の感光性組成物は樹脂を含有する。樹脂は、例えば顔料などを組成物中で分散させる用途やバインダーの用途で配合される。なお、主に顔料などを分散させるために用いられる樹脂を分散剤ともいう。ただし、樹脂のこのような用途は一例であって、このような用途以外の目的で樹脂を使用することもできる。

　本発明においては、樹脂として酸の作用により有機溶剤に対する溶解性が低下する樹脂（以下、樹脂（Ａ）ともいう）を含有する。以下、樹脂（Ａ）について説明する。

　（樹脂（Ａ））
　樹脂（Ａ）としては、酸の作用により分解して極性基を生じる基（以下、「酸分解性基」とも言う）を有する樹脂であることが好ましい。また、樹脂（Ａ）は、酸分解性基を有する繰り返し単位を有することが好ましい。樹脂（Ａ）は、バインダーや分散剤として用いることができる。

　樹脂（Ａ）としては、公知の樹脂を適宜使用することができる。例えば、米国特許出願公開２０１６／０２７４４５８Ａ１号明細書の段落番号００５５～０１９１、米国特許出願公開２０１５／０００４５４４Ａ１号明細書の段落番号００３５～００８５、米国特許出願公開２０１６／０１４７１５０Ａ１号明細書の段落番号００４５～００９０に開示された公知の樹脂を樹脂（Ａ）として好適に使用できる。

　酸分解性基は、酸の作用により分解して脱離する基（脱離基）で極性基が保護された構造を有することが好ましい。

　極性基としては、カルボキシル基、フェノール性水酸基、フッ素化アルコール基、スルホ基、スルホンアミド基、スルホニルイミド基、（アルキルスルホニル）（アルキルカルボニル）メチレン基、（アルキルスルホニル）（アルキルカルボニル）イミド基、ビス（アルキルカルボニル）メチレン基、ビス（アルキルカルボニル）イミド基、ビス（アルキルスルホニル）メチレン基、ビス（アルキルスルホニル）イミド基、トリス（アルキルカルボニル）メチレン基、及びトリス（アルキルスルホニル）メチレン基等の酸性基（２．３８質量％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液中で解離する基）、ならびにアルコール性水酸基等が挙げられる。

　なお、アルコール性水酸基とは、炭化水素基に結合した水酸基であって、芳香環上に直接結合した水酸基（フェノール性水酸基）以外の水酸基をいい、水酸基としてα位がフッ素原子などの電子求引性基で置換された脂肪族アルコール基（例えば、ヘキサフルオロイソプロパノール基など）は除く。アルコール性水酸基としては、ｐＫａ（酸解離定数）が１２以上２０以下の水酸基であることが好ましい。

　好ましい極性基としては、カルボキシル基、フェノール性水酸基、フッ素化アルコール基（好ましくはヘキサフルオロイソプロパノール基）、及びスルホ基が挙げられる。

　酸分解性基としては、これらの基の水素原子を酸の作用により分解して脱離する基（脱離基）で置換した基が挙げられる。脱離基は、式（Ｙ１）～（Ｙ４）のいずれかで表される基であることが好ましい。なかでも、露光後の加熱処理（ベーク）で脱離基を膜中からできるだけ低い温度で脱離させ易いという理由から式（Ｙ１）が好ましい。

　式（Ｙ１）：－Ｃ（Ｒ^３１）（Ｒ^３２）（Ｒ^３３）
　式（Ｙ２）：－Ｃ（＝Ｏ）ＯＣ（Ｒ^３１）（Ｒ^３２）（Ｒ^３３）
　式（Ｙ３）：－Ｃ（Ｒ^３６）（Ｒ^３７）（ＯＲ^３８）
　式（Ｙ４）：－Ｃ（Ｒｎ）（Ｈ）（Ａｒ）

　式（Ｙ１）、（Ｙ２）中、Ｒ^３１～Ｒ^３３は、各々独立に、アルキル基を表す。アルキル基は、直鎖、分岐および環状のいずれでもよい。アルキル基の炭素数は１～１２であることが好ましく、１～６であることがより好ましく、１～４であることがさらに好ましい。Ｒ^３１～Ｒ^３３の全てがアルキル基（直鎖若しくは分岐）である場合、Ｒ^３１～Ｒ^３３のうち少なくとも２つはメチル基であることが好ましい。なかでも、Ｒ^３１～Ｒ^３３は、各々独立に、直鎖又は分岐のアルキル基を表すことが好ましく、直鎖のアルキル基を表すことがより好ましい。式（Ｙ１）、（Ｙ２）において、Ｒ^３１～Ｒ^３３の２つが結合して、環を形成してもよい。Ｒ^３１～Ｒ^３３が表すアルキル基としては、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基、ｔ－ブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、ノルボルニル基、テトラシクロデカニル基、テトラシクロドデカニル基、及び、アダマンチル基が好ましい。
　Ｒ^３１～Ｒ^３３の２つが結合して形成される環としては、シクロペンチル基、及び、シクロヘキシル基などの単環のシクロアルキル基、並びに、ノルボルニル基、テトラシクロデカニル基、テトラシクロドデカニル基、及び、アダマンチル基などの多環のシクロアルキル基が好ましく、炭素数５～６の単環のシクロアルキル基がより好ましい。上記のシクロアルキル基は、例えば、環を構成するメチレン基の１つが、酸素原子等のヘテロ原子、又は、カルボニル基等のヘテロ原子を有する基で置き換わっていてもよい。
　式（Ｙ１）又は（Ｙ２）で表される基は、例えば、Ｒ^３１がメチル基又はエチル基であり、Ｒ^３２とＲ^３３とが結合して上述のシクロアルキル基を形成している態様が好ましい。

　式（Ｙ３）中、Ｒ^３６およびＲ^３７は、各々独立に、水素原子、アルキル基またはアリール基を表し、Ｒ^３６およびＲ^３７の少なくとも一方がアルキル基またはアリール基であり、Ｒ^３８は、アルキル基またはアリール基を表し、Ｒ^３６またはＲ^３７と、Ｒ^３８とが結合して環を形成してもよい。アルキル基は、直鎖、分岐および環状のいずれでもよい。アルキル基の炭素数は１～１２であることが好ましく、１～６であることがより好ましく、１～４であることがさらに好ましい。Ｒ^３６およびＲ^３７の一方は水素原子であることが好ましい。
Ｒ^３６またはＲ^３７と、Ｒ^３８とが結合して形成される環としては、テトラヒドロフラニル基、テトラヒドロピラニル基等が挙げられる。

　式（Ｙ４）中、Ａｒは、芳香環基を表し、Ｒｎは、アルキル基またはアリール基を表す。ＲｎとＡｒとは互いに結合して環を形成してもよい。Ａｒが表す芳香環基はアリール基であることが好ましい。

　脱離基の式量は１７０以下であることが好ましく、１５０以下であることがより好ましく、１１０以下であることが更に好ましい。下限は５０以上であることが好ましい。脱離基の式量が１７０以下であれば、露光後の樹脂（Ａ）中に脱離基が残存していても、現像後の加熱処理などにより、樹脂（Ａ）から脱離基を分解除去させ易い。このため、より厚みの薄い膜を形成し易い。

　酸分解性基として、クミルエステル基、エノールエステル基、アセタールエステル基、又は第３級のアルキルエステル基等が好ましく、アセタール基、又は第３級アルキルエステル基がより好ましい。

　樹脂（Ａ）は、酸分解性基を有する繰り返し単位として、下記式（Ａ１ａ）または式（Ａ１ｂ）で表される繰り返し単位を有することが好ましい。

　上記式において、Ｘａ_１は水素原子またはアルキル基を表す。Ｔは、単結合又は２価の連結基を表す。Ｙは、酸分解性基を表す。

　Ｘａ_１が表すアルキル基の炭素数は１～３が好ましい。Ｘａ_１は、水素原子またはメチル基であることが好ましい。
　Ｔが表す２価の連結基としては、アルキレン基、－ＣＯＯ－Ｒｔ－基、－Ｏ－Ｒｔ－基等が挙げられる。Ｒｔは、炭素数１～５のアルキレン基を表す。Ｔは、単結合又は－ＣＯＯ－Ｒｔ－基が好ましく、単結合がより好ましい。Ｙは、式（Ｙ１）～（Ｙ４）で表される基のいずれかであることが好ましく、式（Ｙ１）で表される基であることがより好ましい。

　Ｙが表わす酸分解性基としては、式（Ｙ１）～（Ｙ４）で表される基のいずれかであることが好ましい。

　樹脂（Ａ）は、酸分解性基を有する繰り返し単位を１種のみ有していてもよく、２種以上有していてもよい。

　樹脂（Ａ）は、酸分解性基を有する繰り返し単位として、下記式（Ａ１ａ－１）または式（Ａ１ｂ－１）で表される繰り返し単位を有することが好ましい。

　上記式においてＸａ_１は水素原子またはアルキル基を表す。Ｔは、単結合又は２価の連結基を表す。Ｒｘ_１～Ｒｘ_３は、それぞれ独立に、アルキル基を表す。Ｒｘ_１～Ｒｘ_３のいずれか２つが結合して環構造を形成してもよい。

　Ｘａ_１が表すアルキル基の炭素数は１～３が好ましい。Ｘａ_１は、水素原子またはメチル基であることが好ましい。Ｔが表す２価の連結基としては、アルキレン基、－ＣＯＯ－Ｒｔ－基、－Ｏ－Ｒｔ－基等が挙げられる。Ｒｔは、炭素数１～５のアルキレン基を表す。Ｔは、単結合又は－ＣＯＯ－Ｒｔ－基が好ましく、単結合がより好ましい。

　Ｒｘ_１、Ｒｘ_２及びＲｘ_３のアルキル基としては、直鎖、分岐、環状のいずれでもよい。アルキル基の炭素数は、１～１０が好ましく、１～５がより好ましく、１～３が更に好ましい。Ｒｘ_１、Ｒｘ_２及びＲｘ_３のアルキル基は、炭素間結合の一部が二重結合であってもよい。また、環状のアルキル基としては、シクロペンチル基、及びシクロヘキシル基などの単環のシクロアルキル基、又はノルボルニル基、テトラシクロデカニル基、テトラシクロドデカニル基、及びアダマンチル基などの多環のシクロアルキル基が好ましい。

　Ｒｘ_１、Ｒｘ_２及びＲｘ_３の２つが結合して形成する環構造としては、シクロペンチル環、シクロヘキシル環、シクロヘプチル環、及びシクロオクタン環などの単環のシクロアルカン環、又はノルボルナン環、テトラシクロデカン環、テトラシクロドデカン環、及びアダマンタン環などの多環のシクロアルキル環が好ましい。シクロペンチル環、シクロヘキシル環、又はアダマンタン環がより好ましい。Ｒｘ_１、Ｒｘ_２及びＲｘ_３の２つが結合して形成する環構造としては、下記に示す構造も好ましい。

　式（Ａ１ａ）で表される繰り返し単位および式（Ａ１ｂ）で表される繰り返し単位の具体例としては、特開２０１７－１２６０４４号公報の段落番号００４７～００６７に記載の繰り返し単位が挙げられる。また、樹脂（Ａ）は、酸分解性基を有する繰り返し単位として、米国特許出願公開２０１６／００７０１６７Ａ１号明細書の段落番号０３３６～０３６９に記載の繰り返し単位を有することも好ましい。また、樹脂（Ａ）は、酸分解性基を有する繰り返し単位として、米国特許出願公開２０１６／００７０１６７Ａ１号明細書の段落番号０３６３～０３６４に記載された酸の作用により分解してアルコール性水酸基を生じる基を含む繰り返し単位を有していてもよい。

　樹脂（Ａ）は、酸分解性基を有する繰り返し単位を、１種単独で含んでもよく、２種以上を併用して含んでもよい。樹脂（Ａ）に含まれる酸分解性基を有する繰り返し単位の含有量（酸分解性基を有する繰り返し単位が複数存在する場合はその合計）は、樹脂（Ａ）の全繰り返し単位に対して、１０～９０モル％が好ましく、２０～８０モル％がより好ましく、３０～７０モル％が更に好ましい。

　樹脂（Ａ）は、ラクトン構造、スルトン構造、及びカーボネート構造からなる群から選択される少なくとも１種を有する繰り返し単位を有することが好ましい。

　ラクトン構造又はスルトン構造としては、ラクトン構造又はスルトン構造を有していればいずれでも用いることができるが、好ましくは５～７員環ラクトン構造又は５～７員環スルトン構造であり、５～７員環ラクトン構造にビシクロ構造、スピロ構造を形成する形で他の環構造が縮環しているもの、又は５～７員環スルトン構造にビシクロ構造、スピロ構造を形成する形で他の環構造が縮環しているもの、がより好ましい。下記式（ＬＣ１－１）～（ＬＣ１－２１）のいずれかで表されるラクトン構造、又は下記式（ＳＬ１－１）～（ＳＬ１－３）のいずれかで表されるスルトン構造を有する繰り返し単位を有することがさらに好ましい。また、ラクトン構造又はスルトン構造が繰り返し単位の主鎖に直接結合していてもよい。好ましい構造としては（ＬＣ１－１）、（ＬＣ１－４）、（ＬＣ１－５）、（ＬＣ１－８）、（ＬＣ１－１６）、（ＬＣ１－２１）、（ＳＬ１－１）である。

　ラクトン構造部分又はスルトン構造部分は、置換基（Ｒｂ_２）を有していても有していなくてもよい。好ましい置換基（Ｒｂ_２）としては、炭素数１～８のアルキル基、炭素数１～８のアルコキシ基、炭素数２～８のアルコキシカルボニル基、カルボキシル基、ハロゲン原子、水酸基、シアノ基、及び酸分解性基などが挙げられる。より好ましくは炭素数１～４のアルキル基、シアノ基、及び酸分解性基である。ｎ_２は、０～４の整数を表す。ｎ_２が２以上の時、複数存在する置換基（Ｒｂ_２）は、同一でも異なっていてもよい。また、複数存在する置換基（Ｒｂ_２）同士が結合して環を形成してもよい。

　ラクトン構造又はスルトン構造を有する繰り返し単位は、下記式（ＬＣ）で表される繰り返し単位であることが好ましい。

　上記式中、Ａは、エステル結合（－ＣＯＯ－で表される基）又はアミド結合（－ＣＯＮＨ－で表される基）を表す。ｎは、－Ｒ_０－Ｚ－で表される構造の繰り返し数であり、０～５の整数を表し、０又は１であることが好ましく、０であることがより好ましい。ｎが０である場合、－Ｒ_０－Ｚ－は存在せず、単結合となる。Ｒ_０は、アルキレン基、シクロアルキレン基、又はその組み合わせを表す。Ｒ_０は、複数個ある場合には各々独立にアルキレン基、シクロアルキレン基、又はその組み合わせを表す。
　Ｚは、単結合、エーテル結合、エステル結合、アミド結合、ウレタン結合又はウレア結合を表す。Ｚは、複数個ある場合には各々独立に、単結合、エーテル結合、エステル結合、アミド結合、ウレタン結合又はウレア結合を表す。
　Ｒ_８は、ラクトン構造又はスルトン構造を有する１価の有機基を表す。
　Ｒ_７は、水素原子、ハロゲン原子又は１価の有機基（好ましくはメチル基）を表す。

　Ｒ_０のアルキレン基又はシクロアルキレン基は置換基を有してもよい。Ｚは好ましくは、エーテル結合、又はエステル結合であり、より好ましくはエステル結合である。

　ラクトン構造又はスルトン構造を有する繰り返し単位の具体例としては、特開２０１７－１２６０４４号公報の段落番号００８８～００９１に記載の繰り返し単位が挙げられる。

　樹脂（Ａ）は、カーボネート構造を有する繰り返し単位を有していてもよい。カーボネート構造は、環状炭酸エステル構造であることが好ましい。環状炭酸エステル構造を有する繰り返し単位は、下記式（Ａ－１）で表される繰り返し単位であることが好ましい。

　式（Ａ－１）中、Ｒ_Ａ ^１は、水素原子、ハロゲン原子又は１価の有機基（好ましくはメチル基）を表す。ｎは０以上の整数を表す。Ｒ_Ａ ^２は、置換基を表す。Ｒ_Ａ ^２は、ｎが２以上の場合は各々独立して、置換基を表す。Ａは、単結合、又は２価の連結基を表す。Ｚは、式中の－Ｏ－Ｃ（＝Ｏ）－Ｏ－で表される基と共に単環構造又は多環構造を形成する原子団を表す。

　カーボネート構造を有する繰り返し単位の具体例としては、特開２０１７－１２６０４４号公報の段落番号０１０７～０１０８に記載の繰り返し単位が挙げられる。

　樹脂（Ａ）は、ラクトン構造、スルトン構造、及びカーボネート構造からなる群から選択される少なくとも１種を有する繰り返し単位として、米国特許出願公開２０１６／００７０１６７Ａ１号明細書の段落番号０３７０～０４１４に記載の繰り返し単位を有することも好ましい。

　樹脂（Ａ）は、ラクトン構造、スルトン構造、及びカーボネート構造からなる群から選択される少なくとも１種を有する繰り返し単位を、１種単独で含んでもよく、２種以上を併用して含んでもよい。樹脂（Ａ）に含まれるラクトン構造、スルトン構造、及びカーボネート構造からなる群から選択される少なくとも１種を有する繰り返し単位の含有量（ラクトン構造、スルトン構造、及びカーボネート構造からなる群から選択される少なくとも１種を有する繰り返し単位が複数存在する場合はその合計）は、樹脂（Ａ）の全繰り返し単位に対して、５～７０モル％であることが好ましく、１０～６５モル％であることがより好ましく、２０～６０モル％であることが更に好ましい。

　樹脂（Ａ）は、極性基を有する繰り返し単位を有することもできる。極性基としては、上述した基が挙げられ、水酸基、シアノ基、カルボキシル基、及びフッ素化アルコール基等が好ましい。また、極性基を有する繰り返し単位は、極性基で置換された脂環炭化水素構造を有する繰り返し単位であることが好ましい。また、極性基を有する繰り返し単位は、酸分解性基を有さないことが好ましい。極性基で置換された脂環炭化水素構造における、脂環炭化水素構造としては、アダマンチル基、又はノルボルナン基が好ましい。また、極性基を有する繰り返し単位の具体例としては、米国特許出願公開２０１６／００７０１６７Ａ１号明細書の段落番号０４１５～０４３３に開示された繰り返し単位が挙げられる。

　樹脂（Ａ）は、極性基を有する繰り返し単位を、１種単独で含んでもよく、２種以上を併用して含んでもよい。極性基を有する繰り返し単位の含有量は、樹脂（Ａ）中の全繰り返し単位に対して、５～４０モル％が好ましく、５～３０モル％がより好ましく、１０～２５モル％が更に好ましい。

　樹脂（Ａ）は、架橋性基を有する繰り返し単位を有することができる。樹脂（Ａ）が架橋性基を有する繰り返し単位を含むことにより、架橋密度の高い膜を形成でき、耐熱性、耐溶剤性、強度などの各種特性に優れた膜を形成し易い。架橋性基としては、エポキシ基、メチロール基、アルコキシメチロール基およびアシルオキシメチル基が挙げられ、エポキシ基、オキセタニル基、メチロール基およびアルコキシメチロール基が好ましく、エポキシ基、オキセタニル基がより好ましく、エポキシ基が更に好ましい。繰り返し単位ｂ２としては特開２０１４－２３８４３８号公報の段落番号００７６～００８７の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
　樹脂（Ａ）は、極性基を有する繰り返し単位を、１種単独で含んでもよく、２種以上を併用して含んでもよい。極性基を有する繰り返し単位の含有量は、樹脂（Ａ）中の全繰り返し単位に対して、５～４０モル％が好ましく、５～３０モル％がより好ましく、１０～２５モル％が更に好ましい。

　樹脂（Ａ）は、更に、酸分解性基、極性基および架橋性基のいずれも有さない繰り返し単位を有することができる。酸分解性基、極性基および架橋性基のいずれも有さない繰り返し単位としては、脂環炭化水素構造を有する繰り返し単位であることが好ましい。酸分解性基、極性基および架橋性基のいずれも有さない繰り返し単位の具体例としては、米国特許出願公開２０１６／００２６０８３Ａ１号明細書の段落番号０２３６～０２３７、米国特許出願公開２０１６／００７０１６７Ａ１号明細書の段落番号０４３３、特開２０１７－１２６０４４号公報の段落番号０１３５～０１３７に開示された繰り返し単位が挙げられる。

　樹脂（Ａ）は、酸分解性基、極性基および架橋性基のいずれも有さない繰り返し単位を、１種単独で含んでもよく、２種以上を併用して含んでもよい。酸分解性基、極性基および架橋性基のいずれも有さない繰り返し単位の含有量は、樹脂（Ａ）中の全繰り返し単位に対して、５～４０モル％が好ましく、５～３０モル％がより好ましく、５～２５モル％が更に好ましい。

　樹脂（Ａ）は、繰り返し単位のすべてが（メタ）アクリレート系繰り返し単位で構成されることが好ましい。この場合、繰り返し単位のすべてがメタクリレート系繰り返し単位であるもの、繰り返し単位のすべてがアクリレート系繰り返し単位であるもの、繰り返し単位のすべてがメタクリレート系繰り返し単位とアクリレート系繰り返し単位の両方を含むもののいずれのものでも用いることができるが、アクリレート系繰り返し単位が樹脂（Ａ）の全繰り返し単位に対して５０モル％以下であることが好ましい。

　樹脂（Ａ）の重量平均分子量は、３０００～２０００００が好ましい。下限は６０００以上が好ましく、８０００以上がより好ましく、１００００以上が更に好ましい。上限は、５００００以下が好ましく、２５０００以下がより好ましく、１５０００以下が更に好ましい。分散度（Ｍｗ／Ｍｎ）は、１．０～３．０が好ましく、１．０～２．６がより好ましく、１．０～２．０が更に好ましく、１．１～２．０が特に好ましい。

（樹脂（Ｂ））
　本発明の感光性組成物は、樹脂として上述した樹脂（Ａ）以外の樹脂（以下、樹脂（Ｂ）ともいう）を含有することができる。

　樹脂（Ｂ）としては、（メタ）アクリル樹脂、エン・チオール樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエーテル樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリフェニレン樹脂、ポリアリーレンエーテルホスフィンオキシド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリオレフィン樹脂、環状オレフィン樹脂、ポリエステル樹脂、スチレン樹脂などが挙げられる。環状オレフィン樹脂としては、耐熱性向上の観点からノルボルネン樹脂が好ましく用いることができる。ノルボルネン樹脂の市販品としては、例えば、ＪＳＲ（株）製のＡＲＴＯＮシリーズ（例えば、ＡＲＴＯＮ　Ｆ４５２０）などが挙げられる。また、樹脂は、国際公開ＷＯ２０１６／０８８６４５号公報の実施例に記載の樹脂を用いることもできる。

　本発明において、樹脂（Ｂ）として酸基を有する樹脂を用いることもできる。酸基としては、カルボキシル基、リン酸基、スルホ基、フェノール性水酸基などが挙げられ、カルボキシル基が好ましい。酸基を有する樹脂については、特開２０１２－２０８４９４号公報の段落番号０５５８～０５７１（対応する米国特許出願公開第２０１２／０２３５０９９号明細書の段落番号０６８５～０７００）の記載、特開２０１２－１９８４０８号公報の段落番号００７６～００９９の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。また、酸基を有する樹脂は市販品を用いることもできる。例えば、アクリベースＦＦ－４２６（藤倉化成（株）製）などが挙げられる。酸基を有する樹脂の酸価は、３０～２００ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましい。下限は、５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上が好ましく、７０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上がより好ましい。上限は、１５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下が好ましく、１２０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下がより好ましい。

　樹脂（Ｂ）は、重合性基を有していてもよい。重合性基としては、アリル基、メタリル基、（メタ）アクリロイル基等が挙げられる。重合性基を有する樹脂の市販品としては、ダイヤナールＮＲシリーズ（三菱レイヨン（株）製）、Ｐｈｏｔｏｍｅｒ６１７３（カルボキシル基含有ポリウレタンアクリレートオリゴマー、Ｄｉａｍｏｎｄ　Ｓｈａｍｒｏｃｋ　Ｃｏ．，Ｌｔｄ．製）、ビスコートＲ－２６４、ＫＳレジスト１０６（いずれも大阪有機化学工業株式会社製）、サイクロマーＰシリーズ（例えば、ＡＣＡ２３０ＡＡ）、プラクセル　ＣＦ２００シリーズ（いずれも（株）ダイセル製）、Ｅｂｅｃｒｙｌ３８００（ダイセルユーシービー（株）製）、アクリキュアーＲＤ－Ｆ８（（株）日本触媒製）などが挙げられる。

　樹脂（Ｂ）は、下記式（ＥＤ１）で示される化合物および／または下記式（ＥＤ２）で表される化合物（以下、これらの化合物を「エーテルダイマー」と称することもある。）を含むモノマー成分に由来する繰り返し単位を含むポリマーであることも好ましい。

　式（ＥＤ１）中、Ｒ^１およびＲ^２は、それぞれ独立して、水素原子または置換基を有していてもよい炭素数１～２５の炭化水素基を表す。

　式（ＥＤ２）中、Ｒは、水素原子または炭素数１～３０の有機基を表す。式（ＥＤ２）の具体例としては、特開２０１０－１６８５３９号公報の記載を参酌できる。

　エーテルダイマーの具体例としては、例えば、特開２０１３－０２９７６０号公報の段落番号０３１７を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。エーテルダイマーは、１種のみであってもよいし、２種以上であってもよい。

　樹脂（Ｂ）は、下記式（Ｘ）で示される化合物に由来する繰り返し単位を含んでいてもよい。

　式（Ｘ）において、Ｒ_１は、水素原子またはメチル基を表し、Ｒ_２は炭素数２～１０のアルキレン基を表し、Ｒ_３は、水素原子またはベンゼン環を含んでもよい炭素数１～２０のアルキル基を表す。ｎは１～１５の整数を表す。

　本発明の感光性組成物は、分散剤としての樹脂を含むこともできる。分散剤は、酸性分散剤（酸性樹脂）、塩基性分散剤（塩基性樹脂）が挙げられる。ここで、酸性分散剤（酸性樹脂）とは、酸基の量が塩基性基の量よりも多い樹脂を表す。酸性分散剤（酸性樹脂）は、酸基の量と塩基性基の量の合計量を１００モル％としたときに、酸基の量が７０モル％以上を占める樹脂が好ましく、実質的に酸基のみからなる樹脂がより好ましい。酸性分散剤（酸性樹脂）が有する酸基は、カルボキシル基が好ましい。酸性分散剤（酸性樹脂）の酸価は、４０～１０５ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましく、５０～１０５ｍｇＫＯＨ／ｇがより好ましく、６０～１０５ｍｇＫＯＨ／ｇがさらに好ましい。また、塩基性分散剤（塩基性樹脂）とは、塩基性基の量が酸基の量よりも多い樹脂を表す。塩基性分散剤（塩基性樹脂）は、酸基の量と塩基性基の量の合計量を１００モル％としたときに、塩基性基の量が５０モル％を超える樹脂が好ましい。塩基性分散剤が有する塩基性基は、アミノ基であることが好ましい。

　分散剤として用いる樹脂は、グラフト共重合体であることも好ましい。グラフト共重合体は、グラフト鎖によって溶剤との親和性を有するために、顔料の分散性、及び、経時後の分散安定性に優れる。グラフト共重合体の具体例としては下記構造の樹脂が挙げられる。また、グラフト共重合体の詳細は、特開２０１２－２５５１２８号公報の段落番号００２５～００９４の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。また、グラフト共重合体としては特開２０１２－２５５１２８号公報の段落番号００７２～００９４に記載の樹脂が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。

　分散剤として用いる樹脂は、主鎖及び側鎖の少なくとも一方に窒素原子を含むオリゴイミン系共重合体であることも好ましい。オリゴイミン系共重合体については、特開２０１２－２５５１２８号公報の段落番号０１０２～０１７４の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。分散剤は、市販品としても入手可能であり、そのような具体例としては、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ－１１１（ＢＹＫＣｈｅｍｉｅ社製）、ソルスパース７６５００（日本ルーブリゾール（株）製）などが挙げられる。また、特開２０１４－１３０３３８号公報の段落番号００４１～０１３０に記載された顔料分散剤を用いることもでき、この内容は本明細書に組み込まれる。

　感光性組成物の全固形分中における樹脂の含有量は１０～６０質量％であることが好ましい。上限は、５０質量％以下であることが好ましく、４０質量％以下であることがより好ましい。下限は、１５質量％以上であることが好ましく、２０質量％以上であることがより好ましい。

　感光性組成物に含まれる樹脂の合計量中における酸の作用により有機溶剤に対する溶解性が低下する樹脂（樹脂（Ａ））の含有量は、４０質量％以上であることが好ましく、５０質量％以上であることがより好ましく、６０質量％以上であることが更に好ましく、７０質量％以上であることがより一層好ましく、８０質量％以上であることが特に好ましく、９０質量％以上であることが最も好ましい。上限は、１００質量％とすることができる。

　感光性組成物の全固形分中における樹脂（Ａ）の含有量は１０～６０質量％であることが好ましい。上限は、５０質量％以下であることが好ましく、４０質量％以下であることがより好ましい。下限は、１５質量％以上であることが好ましく、２０質量％以上であることがより好ましい。

　感光性組成物の全固形分中における樹脂と色材の合計の含有量は５０～９９質量％であることが好ましい。上限は、９５質量％以下であることが好ましく、９０質量％以下であることがより好ましい。下限は、６０質量％以上であることが好ましく、７０質量％以上であることがより好ましい。

＜＜光酸発生剤＞＞
　本発明の感光性組成物は光酸発生剤を含有する。光酸発生剤は、活性光線又は放射線が照射されることにより酸を発生する化合物である。本発明で使用される光酸発生剤としては、活性光線又は放射線が照射されることによりｐＫａが４以下の酸を発生する化合物であることが好ましく、ｐＫａが３以下の酸を発生する化合物であることがより好ましく、２以下の酸を発生する化合物であることが更に好ましく、－１以下の酸を発生する化合物であることが特に好ましい。なお本発明において、ｐＫａは、基本的に２５℃の水中におけるｐＫａを指す。水中で測定できないものは、測定に適する溶剤に変更し測定したものを指す。具体的には、化学便覧等に記載のｐＫａが参考にできる。ｐＫａが４以下の酸としては、スルホン酸またはホスホン酸であることが好ましく、スルホン酸であることがより好ましい。

　光酸発生剤としては、オニウム塩化合物、トリクロロメチル－ｓ－トリアジン類、スルホニウム塩、ヨードニウム塩、第四級アンモニウム塩類、ジアゾメタン化合物、イミドスルホネート化合物、および、オキシムスルホネート化合物などが挙げることができる。これらの中でも、オニウム塩化合物、イミドスルホネート化合物、オキシムスルホネート化合物が好ましく、オニウム塩化合物、オキシムスルホネート化合物がより好ましく、オキシムスルホネート化合物が特に好ましい。光酸発生剤の詳細については、特開２０１１－２２１４９４号公報の段落番号００８２～０１７２、特開２０１６－１８９００６号公報の段落番号００８４～０１２２、国際公開ＷＯ２０１６／１３６４８１号公報の段落番号０４４０～０５０９、特開２０１６－２０６５０３号公報の段落番号００４８～００５５、特開２０１７－１２６０４４号公報の段落番号０２１０～０３２０の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。

　光酸発生剤の好適な態様としては、例えば、下記式（ＺＩ）、（ＺＩＩ）及び（ＺＩＩＩ）で表される化合物が挙げられる。

　上記式（ＺＩ）において、Ｒ_２０１、Ｒ_２０２及びＲ_２０３は各々独立に有機基を表す。Ｒ_２０１、Ｒ_２０２及びＲ_２０３が表す有機基の炭素数は１～３０が好ましく、１～２０がより好ましい。Ｒ_２０１、Ｒ_２０２及びＲ_２０３が表す有機基としては、アリール基、アルキル基などが挙げられる。Ｒ_２０１、Ｒ_２０２及びＲ_２０３のアリール基は、酸素原子、窒素原子、又は硫黄原子等を有する複素環構造を有するアリール基であってもよい。複素環構造を有するアリール基の骨格としては、例えば、ピロール、フラン、チオフェン、インドール、ベンゾフラン、及びベンゾチオフェン等を挙げることができる。Ｒ_２０１、Ｒ_２０２及びＲ_２０３のアルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよい。Ｒ_２０１、Ｒ_２０２及びＲ_２０３の有機基は、炭素数６～１４のアリール基、炭素数１～１５の直鎖アルキル基、炭素数３～１５の分岐アルキル基又は炭素数３～１５の環状アルキル基であることが好ましい。上述したアリール基およびアルキル基は、更に置換基を有していてもよい。置換基としては、ニトロ基、フッ素原子などのハロゲン原子、カルボキシル基、水酸基、アミノ基、シアノ基、アルコキシ基（好ましくは炭素数１～１５のアルコキシ基）、アルコキシカルボニル基（好ましくは炭素数２～７のアルコキシカルボニル基）、アシル基（好ましくは炭素数２～１２のアシル基）、アルコキシカルボニルオキシ基（好ましくは炭素数２～７のアルコキシカルボニルオキシ基）、チオアルキル基、チオアリール基等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。

　式（ＺＩ）において、Ｒ_２０１～Ｒ_２０３のうち２つが結合して環構造を形成してもよく、形成される環構造は、環内に酸素原子、硫黄原子、エステル結合、アミド結合、カルボニル基を含んでいてもよい。Ｒ_２０１～Ｒ_２０３の内の２つが結合して形成する基としては、アルキレン基（例えば、ブチレン基、ペンチレン基）を挙げることができる。式（ＺＩ）については、特開２０１７－１２６０４４号公報の段落番号０２１４～０２６７の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。

　式（ＺＩＩ）、及び（ＺＩＩＩ）中、Ｒ_２０４～Ｒ_２０７は、各々独立に、アリール基またはアルキル基を表す。Ｒ_２０４～Ｒ_２０７のアリール基としてはフェニル基、又はナフチル基が好ましく、フェニル基がより好ましい。Ｒ_２０４～Ｒ_２０７のアリール基は、酸素原子、窒素原子、又は硫黄原子等を有する複素環構造を有するアリール基であってもよい。複素環構造を有するアリール基の骨格としては、例えば、ピロール、フラン、チオフェン、インドール、ベンゾフラン、及びベンゾチオフェン等を挙げることができる。Ｒ_２０４～Ｒ_２０７のアルキル基としては、好ましくは、炭素数１～１０の直鎖アルキル基、炭素数３～１０の分岐アルキル基（例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、及びペンチル基）、炭素数３～１０の環状アルキル基（例えばシクロペンチル基、シクロヘキシル基、及びノルボルニル基）が挙げられる。

　Ｒ_２０４～Ｒ_２０７のアリール基およびアルキル基は、各々独立に置換基を有していてもよい。Ｒ_２０４～Ｒ_２０７のアリール基およびアルキル基が有していてもよい置換基としては、例えば、アルキル基、アリール基、アルコキシ基、ハロゲン原子、水酸基、及びフェニルチオ基等が挙げられる。

　式（ＺＩ）、式（ＺＩＩ）、において、Ｚ^－は、アニオンを表す。式（ＺＩ）におけるＺ^－および式（ＺＩＩ）におけるＺ^－は、非求核性アニオン（求核反応を起こす能力が著しく低いアニオン）であることが好ましい。非求核性アニオンとしては、例えば、スルホン酸アニオン（脂肪族スルホン酸アニオン、芳香族スルホン酸アニオン、カンファースルホン酸アニオンなど）、カルボン酸アニオン（脂肪族カルボン酸アニオン、芳香族カルボン酸アニオン、アラルキルカルボン酸アニオンなど）、スルホニルイミドアニオン、ビス（アルキルスルホニル）イミドアニオン、トリス（アルキルスルホニル）メチドアニオン等が挙げられる。

　脂肪族スルホン酸アニオン及び脂肪族カルボン酸アニオンにおける脂肪族部位は、アルキル基であることが好ましい。アルキル基は直鎖、分岐、環状のいずれでもよい。アルキル基の炭素数は１～３０が好ましい。

　芳香族スルホン酸アニオン及び芳香族カルボン酸アニオンにおける芳香族基としては、炭素数６～１４のアリール基が好ましい。具体例としては、フェニル基、トリル基、ナフチル基等が挙げられる。

　上記で挙げたアルキル基及びアリール基は、置換基を有していてもよい。置換基の具体例としては、ニトロ基、フッ素原子などのハロゲン原子、カルボキシル基、水酸基、アミノ基、シアノ基、アルコキシ基（好ましくは炭素数１～１５）、アリール基（好ましくは炭素数６～１４）、アルコキシカルボニル基（好ましくは炭素数２～７）、アシル基（好ましくは炭素数２～１２）、アルコキシカルボニルオキシ基（好ましくは炭素数２～７）、アルキルチオ基（好ましくは炭素数１～１５）、アルキルスルホニル基（好ましくは炭素数１～１５）、アルキルイミノスルホニル基（好ましくは炭素数１～１５）、アリールオキシスルホニル基（好ましくは炭素数６～２０）、アルキルアリールオキシスルホニル基（好ましくは炭素数７～２０）、アルキルオキシアルキルオキシ基（好ましくは炭素数５～２０）等が挙げられる。各基が有するアリール基及び環構造については、置換基として更にアルキル基（好ましくは炭素数１～１５）を挙げることができる。

　スルホニルイミドアニオンとしては、例えば、サッカリンアニオンを挙げることができる。

　ビス（アルキルスルホニル）イミドアニオン、トリス（アルキルスルホニル）メチドアニオンにおけるアルキル基は、炭素数１～５のアルキル基が好ましい。アルキル基は置換基を有していてもよい。置換基としてはハロゲン原子、ハロゲン原子で置換されたアルキル基、アルコキシ基、アルキルチオ基、アルキルオキシスルホニル基、アリールオキシスルホニル基、シクロアルキルアリールオキシスルホニル基等が挙げられ、フッ素原子又はフッ素原子で置換されたアルキル基が好ましい。また、ビス（アルキルスルホニル）イミドアニオンにおけるアルキル基は、互いに結合して環構造を形成してもよい。

　その他の非求核性アニオンとしては、例えば、弗素化燐（例えば、ＰＦ_６ ^－）、弗素化硼素（例えば、ＢＦ_４ ^－）、弗素化アンチモン（例えば、ＳｂＦ_６ ^－）等が挙げられる。

　非求核性アニオンとしては、スルホン酸の少なくともα位がフッ素原子で置換された脂肪族スルホン酸アニオン、フッ素原子又はフッ素原子を有する基で置換された芳香族スルホン酸アニオン、アルキル基がフッ素原子で置換されたビス（アルキルスルホニル）イミドアニオン、アルキル基がフッ素原子で置換されたトリス（アルキルスルホニル）メチドアニオンが好ましい。非求核性アニオンとして、より好ましくはパーフロロ脂肪族スルホン酸アニオン（好ましくは炭素数４～８）、フッ素原子を有するベンゼンスルホン酸アニオン、より好ましくはノナフロロブタンスルホン酸アニオン、パーフロロオクタンスルホン酸アニオン、ペンタフロロベンゼンスルホン酸アニオン、３，５－ビス（トリフロロメチル）ベンゼンスルホン酸アニオンである。また、非求核性アニオンについては、特開２０１７－１２６０４４号公報の段落番号０２６９～０３１０の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。

　式（ＺＩ）におけるスルホニウムカチオン、及び式（ＺＩＩ）におけるヨードニウムカチオンの好ましい例を以下に示す。

　式（ＺＩ）、式（ＺＩＩ）におけるアニオンＺ^－の好ましい例を以下に示す。

　上記のカチオン及びアニオンを任意に組みわせて光酸発生剤として使用することができる。光酸発生剤の具体例については、特開２０１７－１２６０４４号公報の段落番号０３１５～０３２０に記載された化合物が挙げられる。

　本発明において、光酸発生剤としてオキシムスルホネート化合物を用いることも好ましい。オキシムスルホネート化合物としては、下記式（ＯＳ－１）で表されるオキシムスルホネート構造を含む化合物が好ましいものとして例示できる。

式（ＯＳ－１）

　式（ＯＳ－１）中、Ｒ^２１は、アルキル基またはアリール基を表す。波線はオキシムスルホネート化合物を構成する他の基または原子との結合手を表す。

　式（ＯＳ－１）のＲ^２１が表すアルキル基およびアリール基は、置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。Ｒ^２１がアルキル基の場合、Ｒ^２１としては、炭素数１～１０の直鎖または分岐のアルキル基が好ましい。Ｒ^２１のアルキル基は、ハロゲン原子、炭素数６～１１のアリール基、炭素数１～１０のアルコキシ基、または、環状のアルキル基（７，７－ジメチル－２－オキソノルボルニル基などの有橋式脂環基を含む、好ましくはビシクロアルキル基等）で置換されてもよい。Ｒ^２１がアリール基を表す場合、Ｒ^２１としては、炭素数６～１１のアリール基が好ましく、フェニル基またはナフチル基がより好ましい。Ｒ^２１のアリール基は、アルキル基、アルコキシ基あるいはハロゲン原子で置換されてもよい。式（ＯＳ－１）で表されるオキシムスルホネート構造を含有する化合物の詳細については、国際公開ＷＯ２０１６／１７５２２０号公報の段落番号００６６～００９８を参照でき、この内容は本明細書に組み込まれる。

　本発明で用いられる光酸発生剤は、低分子化合物の形態であってもよく、重合体の一部に組み込まれた形態であってもよい。また、低分子化合物の形態と重合体の一部に組み込まれた形態が併存してもよい。光酸発生剤は、低分子化合物の形態であることが好ましい。光酸発生剤が、低分子化合物の形態である場合、分子量は３０００以下が好ましく、２０００以下がより好ましく、１０００以下が更に好ましい。

　感光性組成物の全固形分中における光酸発生剤の含有量は、０．１～２０質量％が好ましい。下限は、０．５質量％以上が好ましく、１質量％以上がより好ましく、２質量％以上が更に好ましい。上限は、１５質量％以下が好ましく、１０質量％以下がより好ましく、８質量％以下が更に好ましく、５質量％以下が特に好ましい。
　また、光酸発生剤の含有量は、上述した樹脂（Ａ）の１００質量部に対して０．１～５０質量部が好ましい。下限は、０．５質量部以上が好ましく、１質量部以上がより好ましく、２質量部以上が更に好ましい。上限は、４０質量部以下が好ましく、３０質量部以下がより好ましく、２０質量部以下が更に好ましい。
　また、本発明の感光性組成物が後述する酸架橋剤を含有する場合、光酸発生剤の含有量は、上述した樹脂（Ａ）と酸架橋剤との合計１００質量部に対して０．１～５０質量部が好ましい。下限は、０．５質量部以上が好ましく、１質量部以上がより好ましく、２質量部以上が更に好ましい。上限は、４０質量部以下が好ましく、３０質量部以下がより好ましく、２０質量部以下が更に好ましい。
　光酸発生剤は、１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。２種以上を併用する場合は、それらの合計量が上記範囲であることが好ましい。

＜＜酸拡散制御剤＞＞
　感光性組成物は、酸拡散制御剤を含有することができる。酸拡散制御剤は、露光時に光酸発生剤等から発生する酸をトラップし、余分な発生酸による、未露光部における上述した樹脂（Ａ）の反応を抑制するクエンチャーとして作用するものである。酸拡散制御剤としては、塩基性化合物、窒素原子を有し酸の作用により脱離する基を有する低分子化合物、活性光線又は放射線の照射により塩基性が低下又は消失する塩基性化合物、又は、光酸発生剤に対して相対的に弱酸となるオニウム塩を使用することができる。

　塩基性化合物としては、好ましくは、下記式（Ａ）～（Ｅ）で示される構造を有する化合物を挙げることができる。

　式（Ａ）及び（Ｅ）中、Ｒ^２００、Ｒ^２０１及びＲ^２０２は、同一でも異なってもよく、水素原子、アルキル基又はアリール基を表し、ここで、Ｒ^２０１とＲ^２０２は、互いに結合して環を形成してもよい。Ｒ^２０３、Ｒ^２０４、Ｒ^２０５及びＲ^２０６は、同一でも異なってもよく、炭素数１～２０個のアルキル基を表す。

　上記アルキル基について、置換基を有するアルキル基としては、炭素数１～２０のアミノアルキル基、炭素数１～２０のヒドロキシアルキル基、又は炭素数１～２０のシアノアルキル基が好ましい。
　これら一般式（Ａ）及び（Ｅ）中のアルキル基は、無置換であることがより好ましい。

　塩基性化合物の具体例としては、グアニジン、アミノピロリジン、ピラゾール、ピラゾリン、ピペラジン、アミノモルホリン、アミノアルキルモルフォリン、ピペリジン等が挙げられる。また、塩基性化合物としては、イミダゾール構造、ジアザビシクロ構造、オニウムヒドロキシド構造、オニウムカルボキシレート構造、トリアルキルアミン構造、アニリン構造又はピリジン構造を有する化合物、水酸基及び／又はエーテル結合を有するアルキルアミン誘導体、水酸基及び／又はエーテル結合を有するアニリン誘導体等が挙げられる。

　また、塩基性化合物は、フェノキシ基を有するアミン化合物、フェノキシ基を有するアンモニウム塩化合物、スルホン酸エステル基を有するアミン化合物及びスルホン酸エステル基を有するアンモニウム塩化合物を好ましく用いることができる。これらの詳細については、国際公開ＷＯ２０１６／１０４５６５号公報の段落番号０３０７～０３１１を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。

　感光性組成物が塩基性化合物を含有する場合、塩基性化合物の含有量は、感光性組成物の全固形分に対して０．００１～１０質量％であることが好ましく、０．０１～５質量％であることがより好ましい。また、光酸発生剤（複数種類有する場合はその合計）と塩基性化合物の感光性組成物中の割合は、モル比で、光酸発生剤／塩基性化合物＝２．５～３００であることが好ましい。感度、解像度の点から前述のモル比は２．５以上が好ましく、露光後加熱処理までの経時によるレジストパターンの太りによる解像度の低下抑制の点から３００以下が好ましい。前述のモル比は、より好ましくは５．０～２００であり、更に好ましくは７．０～１５０である。

　窒素原子を有し酸の作用により脱離する基を有する低分子化合物（以下、「化合物（Ｄ－１）」ともいう。）は、酸の作用により脱離する基を窒素原子上に有するアミン誘導体であることが好ましい。酸の作用により脱離する基として、アセタール基、カルボネート基、カルバメート基、３級エステル基、３級水酸基、ヘミアミナールエーテル基が好ましく、カルバメート基、ヘミアミナールエーテル基であることが特に好ましい。化合物（Ｄ－１）の分子量は、１００～１０００が好ましく、１００～７００がより好ましく、１００～５００が特に好ましい。

　化合物（Ｄ－１）は、窒素原子上に保護基を有するカルバメート基を有してもよい。カルバメート基を構成する保護基としては、下記式（ｄ－１）で表すことができる。

　式（ｄ－１）において、Ｒｂは、各々独立に、水素原子、アルキル基、アリール基、アラルキル基、又はアルコキシアルキル基を表す。Ｒｂは相互に連結して環を形成していてもよい。

　Ｒｂが示すアルキル基、アリール基およびアラルキル基は、ヒドロキシ基、シアノ基、アミノ基、ピロリジノ基、ピペリジノ基、モルホリノ基、オキソ基等の官能基、アルコキシ基、ハロゲン原子で置換されていてもよい。Ｒｂが示すアルコキシアルキル基についても同様である。Ｒｂとして好ましくは、アルキル基、アリール基である。より好ましくは、アルキル基である。２つのＲｂが相互に連結して形成する環としては、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基、複素環式炭化水素基若しくはその誘導体等が挙げられる。式（ｄ－１）で表される基の具体的な構造としては、米国特許出願公開２０１２／０１３５３４８Ａ１号明細書の段落番号０４６６に開示された構造を挙げることができ、この内容は本明細書に組み込まれる。

　化合物（Ｄ－１）は、下記式（６）で表される構造を有する化合物であることが好ましい。

　式（６）において、Ｒａは、水素原子、アルキル基、アリール基又はアラルキル基を表す。ｌが２のとき、２つのＲａは同じでも異なっていてもよく、２つのＲａは相互に連結して式中の窒素原子と共に複素環を形成していてもよい。複素環には式中の窒素原子以外のヘテロ原子を含んでいてもよい。Ｒｂは、上記式（ｄ－１）におけるＲｂと同義であり、好ましい例も同様である。ｌは０～２の整数を表し、ｍは１～３の整数を表し、ｌ＋ｍ＝３を満たす。式（６）において、Ｒａとしてのアルキル基、アリール基、アラルキル基は、Ｒｂとしてのアルキル基、アリール基、アラルキル基が置換されていてもよい基として前述した基と同様な基で置換されていてもよい。

　化合物（Ｄ－１）の具体例としては、米国特許出願公開２０１２／０１３５３４８Ａ１号明細書の段落番号０４７５に記載された化合物が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。

　式（６）で表される化合物は、特開２００７－２９８５６９号公報、特開２００９－１９９０２１号公報などに基づき合成することができる。

　活性光線又は放射線の照射により塩基性が低下又は消失する塩基性化合物（以下、「化合物（ＰＡ）」ともいう。）としては、プロトンアクセプター性官能基を有し、且つ、活性光線又は放射線の照射により分解して、プロトンアクセプター性が低下、消失、又はプロトンアクセプター性から酸性に変化する化合物が挙げられる。

　プロトンアクセプター性官能基とは、プロトンと静電的に相互作用し得る基或いは電子を有する官能基であって、例えば、環状ポリエーテル等のマクロサイクリック構造を有する官能基や、π共役に寄与しない非共有電子対をもった窒素原子を有する官能基を意味する。π共役に寄与しない非共有電子対を有する窒素原子とは、例えば、下記式に示す部分構造を有する窒素原子である。

　プロトンアクセプター性官能基の好ましい部分構造として、例えば、クラウンエーテル、アザクラウンエーテル、１～３級アミン、ピリジン、イミダゾール、ピラジン構造などを挙げることができる。

　化合物（ＰＡ）は、活性光線又は放射線の照射により分解してプロトンアクセプター性が低下、消失するか、又はプロトンアクセプター性から酸性に変化した化合物を発生する。ここでプロトンアクセプター性の低下、消失、又はプロトンアクセプター性から酸性への変化とは、プロトンアクセプター性官能基にプロトンが付加することに起因するプロトンアクセプター性の変化であり、具体的には、プロトンアクセプター性官能基を有する化合物（ＰＡ）とプロトンからプロトン付加体が生成する時、その化学平衡に於ける平衡定数が減少することを意味する。プロトンアクセプター性は、ｐＨ測定を行うことによって確認することができる。化合物（ＰＡ）については、国際公開ＷＯ２０１６／１０４５６５号公報の段落番号０３１２～０３２０の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。

　感光性組成物では、光酸発生剤に対して相対的に弱酸となるオニウム塩を酸拡散制御剤として使用することができる。光酸発生剤と、光酸発生剤から生じた酸に対して相対的に弱酸（好ましくはｐＫａが－１超の弱酸）である酸を発生するオニウム塩を混合して用いた場合、活性光線又は放射線の照射により光酸発生剤から生じた酸が未反応の弱酸アニオンを有するオニウム塩と衝突すると、塩交換により弱酸を放出して強酸アニオンを有するオニウム塩を生じる。この過程で強酸がより触媒能の低い弱酸に交換されるため、見かけ上、酸が失活して酸拡散の制御を行うことができる。これらの化合物については、特開２０１２－２４２７９９号公報の段落番号０１９１～０２１０、特開２０１３－６８２７号公報の段落番号００３７～００３９、特開２０１３－８０２０号公報の段落番号００２７～００２９、特開２０１２－１８９９７７号公報の段落番号００１２～００１３、特開２０１２－２５２１２４号公報の段落番号００２９～００３１の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。

　本発明の感光性組成物が酸拡散制御剤を含有する場合、酸拡散制御剤の含有量は、感光性組成物の全固形分中０．１～１０質量％であることが好ましい。下限は０．５質量％以上が好ましく、１質量％以上がより好ましい。上限は８質量％以下が好ましく、５質量％以下更に好ましい。

＜＜酸架橋剤＞＞
　本発明の感光性組成物は、酸架橋剤を含有することが好ましい。この態様によれば、架橋密度の高い膜を形成でき、耐熱性、耐溶剤性、強度などの各種特性に優れた膜を形成し易い。なお、本明細書において酸架橋剤とは、酸の作用によって架橋する架橋剤のことである。

　酸架橋剤としては、酸の作用によって架橋反応を起こし、膜硬化を行なえるものであれば特に限定はない。エポキシ基、メチロール基、アルコキシメチロール基およびアシルオキシメチル基から選ばれる少なくとも１種の基を１個以上有する化合物が挙げられ、エポキシ基を１個以上有する化合物が好ましい。

　エポキシ基を有する化合物としては、１分子内にエポキシ基を１つ以上有する化合物が挙げられ、エポキシ基を２つ以上有する化合物が好ましい。エポキシ基を１分子内に１～１００個有することが好ましい。エポキシ基の上限は、例えば、１０個以下とすることもでき、５個以下とすることもできる。エポキシ基の下限は、２個以上が好ましい。

　エポキシ基を有する化合物は、低分子化合物（例えば、分子量２０００未満、さらには、分子量１０００未満）でもよいし、高分子化合物（ｍａｃｒｏｍｏｌｅｃｕｌｅ）（例えば、分子量１０００以上、ポリマーの場合は、重量平均分子量が１０００以上）のいずれでもよい。エポキシ基を有する化合物の重量平均分子量は、２００～１０００００が好ましく、５００～５００００がより好ましい。重量平均分子量の上限は、１００００以下が好ましく、５０００以下がより好ましく、３０００以下が更に好ましい。

　エポキシ基を有する化合物が低分子化合物の場合、例えば、下記式（ＥＰ１）で表される化合物が挙げられる。

　式（ＥＰ１）中、Ｒ^ＥＰ１～Ｒ^ＥＰ３は、それぞれ、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基を表し、アルキル基は、環状構造を有するものであってもよく、また、置換基を有していてもよい。またＲ^ＥＰ１とＲ^ＥＰ２、Ｒ^ＥＰ２とＲ^ＥＰ３は、互いに結合して環構造を形成していてもよい。Ｑ^ＥＰは単結合若しくはｎ^ＥＰ価の有機基を表す。Ｒ^ＥＰ１～Ｒ^ＥＰ３は、Ｑ^ＥＰとも結合して環構造を形成していても良い。ｎ^ＥＰは２以上の整数を表し、好ましくは２～１０、更に好ましくは２～６である。但しＱ^ＥＰが単結合の場合、ｎ^ＥＰは２である。Ｒ^ＥＰ１～Ｒ^ＥＰ３、Ｑ^ＥＰの詳細について、特開２０１４－０８９４０８号公報の段落番号００８７～００８８の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。式（ＥＰ１）で表される化合物の具体例としては、特開２０１４－０８９４０８号公報の段落００９０に記載の化合物、特開２０１０－０５４６３２号公報の段落番号０１５１に記載の化合物が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。

　低分子化合物の市販品としては、（株）ＡＤＥＫＡ製のアデカグリシロールシリーズ（例えば、アデカグリシロールＥＤ－５０５など）、（株）ダイセル製のエポリードシリーズ（例えば、エポリードＧＴ４０１など）などが挙げられる。

　エポキシ基を有する化合物としては、エポキシ樹脂を好ましく用いることができる。エポキシ樹脂としては、例えばフェノール化合物のグリシジルエーテル化物であるエポキシ樹脂、各種ノボラック樹脂のグリシジルエーテル化物であるエポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、脂肪族系エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、グリシジルエステル系エポキシ樹脂、グリシジルアミン系エポキシ樹脂、ハロゲン化フェノール類をグリシジル化したエポキシ樹脂、エポキシ基をもつケイ素化合物とそれ以外のケイ素化合物との縮合物、エポキシ基を持つ重合性不飽和化合物とそれ以外の他の重合性不飽和化合物との共重合体等が挙げられる。エポキシ樹脂のエポキシ当量は、３１０～３３００ｇ／ｅｑであることが好ましく、３１０～１７００ｇ／ｅｑであることがより好ましく、３１０～１０００ｇ／ｅｑであることが更に好ましい。

　エポキシ樹脂の市販品としては、例えば、ＥＨＰＥ３１５０（（株）ダイセル製）、ＥＰＩＣＬＯＮ　Ｎ－６９５（ＤＩＣ（株）製）、マープルーフＧ－０１５０Ｍ、Ｇ－０１０５ＳＡ、Ｇ－０１３０ＳＰ、Ｇ－０２５０ＳＰ、Ｇ－１００５Ｓ、Ｇ－１００５ＳＡ、Ｇ－１０１０Ｓ、Ｇ－２０５０Ｍ、Ｇ－０１１００、Ｇ－０１７５８（以上、日油（株）製、エポキシ基含有ポリマー）等が挙げられる。

　エポキシ基を有する化合物としては、特開２０１３－０１１８６９号公報の段落番号００３４～００３６、特開２０１４－０４３５５６号公報の段落番号０１４７～０１５６、特開２０１４－０８９４０８号公報の段落番号００８５～００９２に記載された化合物、特開２０１７－１７９１７２号公報に記載された化合物を用いることもできる。これらの内容は、本明細書に組み込まれる。

　メチロール基を有する化合物（以下、メチロール化合物ともいう）としては、メチロール基が、窒素原子または芳香族環を形成する炭素原子に結合している化合物が挙げられる。また、アルコキシメチル基を有する化合物（以下、アルコキシメチル化合物ともいう）としては、アルコキシメチル基が、窒素原子または芳香族環を形成する炭素原子に結合している化合物が挙げられる。また、アシルオキシメチル基を有する化合物（以下、アシルオキシメチル化合物ともいう）としては、アシルオキシメチル基が、窒素原子または芳香族環を形成する炭素原子に結合している化合物が挙げられる。メチロール化合物、アルコキシメチル化合物およびアシルオキシメチル化合物としては、メチロール基、アルコキシメチル基およびアシルオキシメチル基から選ばれる少なくとも一つの基で置換された、メラミン化合物、グアナミン化合物、グリコールウリル化合物、ウレア化合物、フェノール化合物、ナフトール化合物およびヒドロキシアントラセン化合物などが挙げられる。

　前述の基で置換されたメラミン化合物は、前述の基を２～６個有するメラミン化合物であることが好ましく、前述の基を５～６個有するメラミン化合物であることが好ましい。前述の基で置換されたグリコールウリル化合物は、前述の基を２～４個有することが好ましく、前述の基を３～４個有することがより好ましい。前述の基で置換されたグアナミン化合物は、前述の基を２～４個有することが好ましく、前述の基を３～４個有することがさらに好ましい。前述の基で置換されたウレア化合物は、前述の基を２～４個有することが好ましく、前述の基を３～４個有することがさらに好ましい。前述の基で置換されたフェノール化合物は、骨格となるフェノール化合物の２位，４位の少なくとも一部が前述の基で置換されていることが好ましく、全てが前述の基で置換されていることがより好ましい。前述の基で置換されたナフトール化合物においては、ＯＨ基のオルト位、パラ位の少なくとも一部が前述の基で置換されていることが好ましく、全てが前述の基で置換されていることがより好ましい。前述の基で置換されたヒドロキシアントラセン化合物においては、ＯＨ基のオルト位、パラ位の少なくとも一部が前述の基で置換されていることが好ましく、全てが前述の基で置換されていることがより好ましい。

　メチロール化合物、アルコキシメチル化合物およびアシルオキシメチル化合物の詳細については、特開２０１１－３９３１９号公報の段落番号０１２６～０１３４の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。

　本発明の感光性組成物が酸架橋剤を含有する場合、酸架橋剤の含有量は、感光性組成物の全固形分中０．１～３０質量％であることが好ましい。下限は０．５質量％以上が好ましく、１質量％以上がより好ましい。上限は２５質量％以下が好ましく、２０質量％以下更に好ましい。
　また、酸架橋剤の含有量は、上述した樹脂（Ａ）の１００質量部に対して０．１～５０質量部が好ましい。下限は、０．５質量部以上が好ましく、１質量部以上がより好ましく、２質量部以上が更に好ましい。上限は、４０質量部以下が好ましく、３０質量部以下がより好ましく、２０質量部以下が更に好ましい。
　また、上述した樹脂（Ａ）と酸架橋剤の合計の含有量は、感光性組成物の全固形分中１０～６０質量％であることが好ましい。下限は１５質量％以上が好ましく、２０質量％以上がより好ましい。上限は５０質量％以下が好ましく、４０質量％以下更に好ましい。
　酸架橋剤を１種類のみ含んでいても良いし、２種類以上含んでいても良い。２種類以上含む場合は、それらの合計量が上記範囲となることが好ましい。

＜＜ラジカル重合性モノマー＞＞
　本発明の感光性組成物はラジカル重合性モノマーを含有してもよい。ラジカル重合性モノマーとしては、ラジカルの作用により重合可能な化合物であればよく、特に限定はない。ラジカル重合性モノマーとしては、エチレン性不飽和結合を有する基を１個以上有する化合物であることが好ましく、エチレン性不飽和結合を有する基を２個以上有する化合物であることがより好ましく、エチレン性不飽和結合を有する基を３個以上有する化合物であることが更に好ましい。エチレン性不飽和結合を有する基の個数の上限は、たとえば、１５個以下が好ましく、６個以下がより好ましい。エチレン性不飽和結合を有する基としては、ビニル基、（メタ）アリル基、（メタ）アクリロイル基などが挙げられ、（メタ）アクリロイル基が好ましい。ラジカル重合性モノマーは、３～１５官能の（メタ）アクリレート化合物であることが好ましく、３～６官能の（メタ）アクリレート化合物であることがより好ましい。

　ラジカル重合性モノマーの分子量は、２００～３０００であることが好ましい。分子量の上限は、２０００以下が好ましく、１５００以下が更に好ましい。分子量の下限は、２５０以上が好ましく、３００以上が更に好ましい。

　本発明の感光性組成物において、感光性組成物の全固形分中におけるラジカル重合性モノマーの含有量は５質量％以下であることが好ましく、４質量％以下であることがより好ましく、３質量％以下であることが更に好ましく、２質量％以下であることがより一層好ましく、１質量％以下であることが特に好ましい。また、本発明の感光性組成物は、ラジカル重合性モノマーを実質的に含まないことも好ましい。この態様によれば、未露光としたい部分に光漏れ等で露光光が達した場合であっても架橋がされにくくなり、より矩形性が向上するという効果が期待できる。なお、本発明の感光性組成物がラジカル重合性モノマーを実質的に含まない場合とは、ラジカル重合性モノマーの含有量が、感光性組成物の全固形分中０．５質量％以下であることを意味し、０．１質量％以下であることが好ましく、０．０１質量％以下であることがより好ましく、ラジカル重合性モノマーを含有しないことが更に好ましい。

＜＜光ラジカル重合開始剤＞＞
　本発明の感光性組成物は光ラジカル重合開始剤を含有してもよい。光ラジカル重合開始剤としては、例えば、トリハロメチルトリアジン化合物、ベンジルジメチルケタール化合物、α－ヒドロキシケトン化合物、α－アミノケトン化合物、アシルホスフィン化合物、ホスフィンオキサイド化合物、メタロセン化合物、オキシム化合物、トリアリールイミダゾールダイマー、オニウム化合物、ベンゾチアゾール化合物、ベンゾフェノン化合物、アセトフェノン化合物、シクロペンタジエン－ベンゼン－鉄錯体、ハロメチルオキサジアゾール化合物、クマリン化合物などが挙げられ、オキシム化合物、α－ヒドロキシケトン化合物、α－アミノケトン化合物、および、アシルホスフィン化合物が好ましく、オキシム化合物、α－アミノケトン化合物がより好ましい。光ラジカル重合開始剤の詳細については、特開２０１７－１２６０４４号公報の段落番号００１３～００３１を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。

　本発明の感光性組成物において、感光性組成物の全固形分中における光ラジカル重合開始剤の含有量は４質量％以下であることが好ましく、２質量％以下であることがより好ましく、１質量％以下であることが更に好ましく、０．５質量％以下であることがより一層好ましく、０．０５質量％以下であることが特に好ましい。また、本発明の感光性組成物は、光ラジカル重合開始剤を実質的に含まないことも好ましい。この態様によれば、未露光としたい部分に光漏れ等で露光光が達した場合であっても架橋がされにくくなり、より矩形性が向上するという効果が期待できる。なお、本発明の感光性組成物が光ラジカル重合開始剤を実質的に含まない場合とは、光ラジカル重合開始剤の含有量が、感光性組成物の全固形分中０．０１質量％以下であることを意味し、０．００５質量％以下であることが好ましく、０．００１質量％以下であることがより好ましく、光ラジカル重合開始剤を含有しないことが更に好ましい。

＜＜顔料誘導体＞＞
　本発明の感光性組成物は、顔料誘導体を含有することができる。顔料誘導体としては、発色団の一部分を、酸基、塩基性基またはフタルイミドメチル基で置換した構造を有する化合物が挙げられる。顔料誘導体を構成する発色団としては、キノリン系骨格、ベンゾイミダゾロン系骨格、ジケトピロロピロール系骨格、アゾ系骨格、フタロシアニン系骨格、アンスラキノン系骨格、キナクリドン系骨格、ジオキサジン系骨格、ペリノン系骨格、ペリレン系骨格、チオインジゴ系骨格、イソインドリン系骨格、イソインドリノン系骨格、キノフタロン系骨格、スレン系骨格、金属錯体系骨格等が挙げられ、キノリン系骨格、ベンゾイミダゾロン系骨格、ジケトピロロピロール系骨格、アゾ系骨格、キノフタロン系骨格、イソインドリン系骨格およびフタロシアニン系骨格が好ましく、アゾ系骨格およびベンゾイミダゾロン系骨格がより好ましい。顔料誘導体が有する酸基としては、スルホ基、カルボキシル基が好ましく、スルホ基がより好ましい。顔料誘導体が有する塩基性基としては、アミノ基が好ましく、三級アミノ基がより好ましい。顔料誘導体の具体例としては、例えば、特開２０１１－２５２０６５号公報の段落番号０１６２～０１８３の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。顔料誘導体の含有量は、顔料１００質量部に対し、１～３０質量部が好ましく、３～２０質量部がさらに好ましい。顔料誘導体は、１種のみを用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。

＜＜溶剤＞＞
　本発明の感光性組成物は、溶剤を含有することが好ましい。溶剤は有機溶剤が好ましい。有機溶剤としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサン、エチレンジクロライド、テトラヒドロフラン、トルエン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、アセチルアセトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、３－メトキシプロパノール、メトキシエタノール、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、３－メトキシプロピルアセテート、Ｎ，Ｎ－ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、γ－ブチロラクトン、酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、３－メトキシ－Ｎ，Ｎ－ジメチルプロパンアミド、３－ブトキシ－Ｎ，Ｎ－ジメチルプロパンアミドなどが挙げられるが、これらに限定されない。ただし溶剤としての芳香族炭化水素類（ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン等）は、環境面等の理由により低減したほうがよい場合がある（例えば、有機溶剤全量に対して、５０質量ｐｐｍ（ｐａｒｔｓ　ｐｅｒ　ｍｉｌｌｉｏｎ）以下、１０質量ｐｐｍ以下、あるいは１質量ｐｐｍ以下とすることができる）。

　有機溶剤を２種以上組み合わせて用いる場合、特に好ましくは、３－エトキシプロピオン酸メチル、３－エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、酢酸ブチル、３－メトキシプロピオン酸メチル、２－ヘプタノン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテル、およびプロピレングリコールメチルエーテルアセテートからなる群から選択される２種以上で構成される。

　本発明においては、金属含有量の少ない溶剤を用いることが好ましく、溶剤の金属含有量は、例えば１０質量ｐｐｂ（ｐａｒｔｓ　ｐｅｒ　ｂｉｌｌｉｏｎ）以下であることが好ましい。必要に応じて質量ｐｐｔ（ｐａｒｔｓ　ｐｅｒ　ｔｒｉｌｌｉｏｎ）レベルの溶剤を用いてもよく、そのような高純度溶剤は例えば東洋合成社が提供している（化学工業日報、２０１５年１１月１３日）。

　溶剤から金属等の不純物を除去する方法としては、例えば、蒸留（分子蒸留や薄膜蒸留等）やフィルタを用いたろ過を挙げることができる。ろ過に用いるフィルタのフィルタ孔径としては、１０μｍ以下が好ましく、５μｍ以下がより好ましく、３μｍ以下が更に好ましい。フィルタの材質は、ポリテトラフロロエチレン、ポリエチレンまたはナイロンが好ましい。

　溶剤には、異性体（原子数が同じであるが構造が異なる化合物）が含まれていてもよい。また、異性体は、１種のみが含まれていてもよいし、複数種含まれていてもよい。

　本発明において、有機溶剤は、過酸化物の含有率が０．８ｍｍｏｌ／Ｌ以下であることが好ましく、過酸化物を実質的に含まないことがより好ましい。

　感光性組成物中における溶剤の含有量は、１０～９５質量％であることが好ましい。下限は、２０質量％以上であることが好ましく、３０質量％以上であることがより好ましく、４０質量％以上であることが更に好ましく、５０質量％以上であることがより一層好ましく、６０質量％以上であることが更に一層好ましい。上限は、９０質量％以下であることが好ましく、８５質量％以下であることが更に好ましい。

　また、本発明の感光性組成物は、環境規制の観点から環境規制物質を実質的に含有しないことが好ましい。なお、本発明において、環境規制物質を実質的に含有しないとは、感光性組成物中における環境規制物質の含有量が５０質量ｐｐｍ以下であることを意味し、３０質量ｐｐｍ以下であることが好ましく、１０質量ｐｐｍ以下であることが更に好ましく、１質量ｐｐｍ以下であることが特に好ましい。環境規制物質は、例えばベンゼン；トルエン、キシレン等のアルキルベンゼン類；クロロベンゼン等のハロゲン化ベンゼン類等が挙げられる。これらは、ＲＥＡＣＨ（Ｒｅｇｉｓｔｒａｔｉｏｎ　Ｅｖａｌｕａｔｉｏｎ　Ａｕｔｈｏｒｉｚａｔｉｏｎ　ａｎｄ　Ｒｅｓｔｒｉｃｔｉｏｎ　ｏｆ　ＣＨｅｍｉｃａｌｓ）規則、ＰＲＴＲ（Ｐｏｌｌｕｔａｎｔ　Ｒｅｌｅａｓｅ　ａｎｄ　Ｔｒａｎｓｆｅｒ　Ｒｅｇｉｓｔｅｒ）法、ＶＯＣ（Ｖｏｌａｔｉｌｅ　Ｏｒｇａｎｉｃ　Ｃｏｍｐｏｕｎｄｓ）規制等のもとに環境規制物質として登録されており、使用量や取り扱い方法が厳しく規制されている。これらの化合物は、本発明の感光性組成物に用いられる各成分などを製造する際に溶媒として用いられることがあり、残留溶媒として感光性組成物中に混入することがある。人への安全性、環境への配慮の観点よりこれらの物質は可能な限り低減することが好ましい。環境規制物質を低減する方法としては、系中を加熱や減圧して環境規制物質の沸点以上にして系中から環境規制物質を留去して低減する方法が挙げられる。また、少量の環境規制物質を留去する場合においては、効率を上げる為に該当溶媒と同等の沸点を有する溶媒と共沸させることも有用である。また、ラジカル重合性を有する化合物を含有する場合、減圧留去中にラジカル重合反応が進行して分子間で架橋してしまうことを抑制するために重合禁止剤等を添加して減圧留去してもよい。これらの留去方法は、原料の段階、原料を反応させた生成物（例えば重合した後の樹脂溶液や多官能モノマー溶液）の段階、またはこれらの化合物を混ぜて作製した組成物の段階いずれの段階でも可能である。

＜＜界面活性剤＞＞
　本発明の感光性組成物は、界面活性剤を含有することができる。界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、シリコン系界面活性剤などの各種界面活性剤を使用することができる。界面活性剤については、国際公開ＷＯ２０１５／１６６７７９号公報の段落番号０２３８～０２４５を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。

　本発明において、界面活性剤はフッ素系界面活性剤であることが好ましい。感光性組成物にフッ素系界面活性剤を含有させることで液特性（特に、流動性）がより向上し、省液性をより改善することができる。また、厚みムラの小さい膜を形成することもできる。

　フッ素系界面活性剤中のフッ素含有率は、３～４０質量％が好ましく、５～３０質量％がより好ましく、７～２５質量％が更に好ましい。フッ素含有率が上記範囲内であるフッ素系界面活性剤は、塗布膜の厚さの均一性や省液性の点で効果的であり、感光性組成物中における溶解性も良好である。

　フッ素系界面活性剤としては、特開２０１４－０４１３１８号公報の段落番号００６０～００６４（対応する国際公開２０１４／０１７６６９号公報の段落番号００６０～００６４）等に記載の界面活性剤、特開２０１１－１３２５０３号公報の段落番号０１１７～０１３２に記載の界面活性剤が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。フッ素系界面活性剤の市販品としては、例えば、メガファックＦ１７１、Ｆ１７２、Ｆ１７３、Ｆ１７６、Ｆ１７７、Ｆ１４１、Ｆ１４２、Ｆ１４３、Ｆ１４４、Ｒ３０、Ｆ４３７、Ｆ４７５、Ｆ４７９、Ｆ４８２、Ｆ５５４、Ｆ７８０、ＥＸＰ、ＭＦＳ－３３０（以上、ＤＩＣ（株）製）、フロラードＦＣ４３０、ＦＣ４３１、ＦＣ１７１（以上、住友スリーエム（株）製）、サーフロンＳ－３８２、ＳＣ－１０１、ＳＣ－１０３、ＳＣ－１０４、ＳＣ－１０５、ＳＣ－１０６８、ＳＣ－３８１、ＳＣ－３８３、Ｓ－３９３、ＫＨ－４０（以上、旭硝子（株）製）、ＰｏｌｙＦｏｘ　ＰＦ６３６、ＰＦ６５６、ＰＦ６３２０、ＰＦ６５２０、ＰＦ７００２（以上、ＯＭＮＯＶＡ社製）等が挙げられる。

　フッ素系界面活性剤は、フッ素原子を含有する官能基を持つ分子構造で、熱を加えるとフッ素原子を含有する官能基の部分が切断されてフッ素原子が揮発するアクリル系化合物も好適に使用できる。このようなフッ素系界面活性剤としては、ＤＩＣ（株）製のメガファックＤＳシリーズ（化学工業日報、２０１６年２月２２日）（日経産業新聞、２０１６年２月２３日）、例えばメガファックＤＳ－２１が挙げられる。

　フッ素系界面活性剤として、フッ素化アルキル基またはフッ素化アルキレンエーテル基を有するフッ素原子含有ビニルエーテル化合物と、親水性のビニルエーテル化合物との重合体を用いることも好ましい。このようなフッ素系界面活性剤については、特開２０１６－２１６６０２号公報の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。

　フッ素系界面活性剤として、ブロックポリマーを用いることもできる。例えば特開２０１１－０８９０９０号公報に記載された化合物が挙げられる。フッ素系界面活性剤としては、フッ素原子を有する（メタ）アクリレート化合物に由来する繰り返し単位と、アルキレンオキシ基（好ましくはエチレンオキシ基、プロピレンオキシ基）を２以上（好ましくは５以上）有する（メタ）アクリレート化合物に由来する繰り返し単位と、を含む含フッ素高分子化合物も好ましく用いることができる。下記化合物も本発明で用いられるフッ素系界面活性剤として例示される。下記の式中、繰り返し単位の割合を示す％はモル％である。

　上記の化合物の重量平均分子量は、好ましくは３，０００～５０，０００であり、例えば、１４，０００である。

　フッ素系界面活性剤として、エチレン性不飽和基を側鎖に有する含フッ素重合体を用いることもできる。具体例としては、特開２０１０－１６４９６５号公報の段落番号００５０～００９０および段落番号０２８９～０２９５に記載された化合物が挙げられる。市販品としては、例えばＤＩＣ（株）製のメガファックＲＳ－１０１、ＲＳ－１０２、ＲＳ－７１８－Ｋ、ＲＳ－７２－Ｋ等が挙げられる。

　ノニオン系界面活性剤としては、グリセロール、トリメチロールプロパン、トリメチロールエタン並びにそれらのエトキシレートおよびプロポキシレート（例えば、グリセロールプロポキシレート、グリセロールエトキシレート等）、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル、プルロニックＬ１０、Ｌ３１、Ｌ６１、Ｌ６２、１０Ｒ５、１７Ｒ２、２５Ｒ２（ＢＡＳＦ社製）、テトロニック３０４、７０１、７０４、９０１、９０４、１５０Ｒ１（ＢＡＳＦ社製）、ソルスパース２００００（日本ルーブリゾール（株）製）、ＮＣＷ－１０１、ＮＣＷ－１００１、ＮＣＷ－１００２（富士フイルム和光純薬（株）製）、パイオニンＤ－６１１２、Ｄ－６１１２－Ｗ、Ｄ－６３１５（竹本油脂（株）製）、オルフィンＥ１０１０、サーフィノール１０４、４００、４４０（日信化学工業（株）製）などが挙げられる。

　カチオン系界面活性剤としては、オルガノシロキサンポリマーＫＰ３４１（信越化学工業（株）製）、（メタ）アクリル酸系（共）重合体ポリフローＮｏ．７５、Ｎｏ．９０、Ｎｏ．９５（共栄社化学（株）製）、Ｗ００１（裕商（株）製）等が挙げられる。

　アニオン系界面活性剤としては、Ｗ００４、Ｗ００５、Ｗ０１７（裕商（株）製）、サンデットＢＬ（三洋化成（株）製）等が挙げられる。

　シリコン系界面活性剤としては、例えば、トーレシリコーンＤＣ３ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ７ＰＡ、トーレシリコーンＤＣ１１ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２１ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２８ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２９ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ３０ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ８４００（以上、東レ・ダウコーニング（株）製）、ＴＳＦ－４４４０、ＴＳＦ－４３００、ＴＳＦ－４４４５、ＴＳＦ－４４６０、ＴＳＦ－４４５２（以上、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ社製）、ＫＰ３４１、ＫＦ６００１、ＫＦ６００２（以上、信越シリコーン株式会社製）、ＢＹＫ３０７、ＢＹＫ３２３、ＢＹＫ３３０（以上、ビックケミー社製）等が挙げられる。

　界面活性剤の含有量は、感光性組成物の全固形分中、０．００１～２．０質量％が好ましく、０．００５～１．０質量％がより好ましい。界面活性剤は、１種のみを用いてもよいし、２種以上を組み合わせてもよい。２種以上含む場合はそれらの合計量が上記範囲であることが好ましい。

＜＜シランカップリング剤＞＞
　本発明の感光性組成物は、シランカップリング剤を含有することができる。シランカップリング剤としては、一分子中に少なくとも２種の反応性の異なる官能基を有するシラン化合物が好ましい。シランカップリング剤は、ビニル基、エポキシ基、スチレン基、メタクリル基、アミノ基、イソシアヌレート基、ウレイド基、メルカプト基、スルフィド基、および、イソシアネート基から選ばれる少なくとも１種の基と、アルコキシ基とを有するシラン化合物が好ましい。シランカップリング剤の詳細については、特開２０１７－１２６０４４号公報の段落番号０４６７～０４７６の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。本発明の感光性組成物がシランカップリング剤を含有する場合、シランカップリング剤の含有量は、感光性組成物の全固形分中０．１～１０質量％が好ましい。下限は、０．５質量％以上が好ましく、１質量％以上がより好ましい。上限は８質量％以下が好ましく、５質量％以下がより好ましい。本発明の感光性組成物は、シランカップリング剤を、１種のみを含んでいてもよいし、２種以上含んでいてもよい。２種以上含む場合は、それらの合計量が上記範囲となることが好ましい。

＜＜紫外線吸収剤＞＞
　本発明の感光性組成物は、紫外線吸収剤を含有することができる。紫外線吸収剤としては、共役ジエン化合物、アミノブタジエン化合物、メチルジベンゾイル化合物、クマリン化合物、サリシレート化合物、ベンゾフェノン化合物、ベンゾトリアゾール化合物、アクリロニトリル化合物、ヒドロキシフェニルトリアジン化合物などを用いることができる。これらの詳細については、特開２０１２－２０８３７４号公報の段落番号００５２～００７２、特開２０１３－０６８８１４号公報の段落番号０３１７～０３３４の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。紫外線吸収剤の市販品としては、例えば、ＵＶ－５０３（大東化学（株）製）などが挙げられる。また、ベンゾトリアゾール化合物としてはミヨシ油脂製のＭＹＵＡシリーズ（化学工業日報、２０１６年２月１日）を用いてもよい。本発明の感光性組成物が紫外線吸収剤を含有する場合、紫外線吸収剤の含有量は、感光性組成物の全固形分中０．００１～１５質量％が好ましい。下限は、０．０１質量％以上が好ましく、０．１質量％以上がより好ましい。上限は、１０質量％以下が好ましく、５質量％以下がより好ましく、３質量％以下が更に好ましい。また、紫外線吸収剤は、１種のみを用いてもよく、２種以上を用いてもよい。２種以上を用いる場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。

＜＜重合禁止剤＞＞
　本発明の感光性着色組成物は、重合禁止剤を含有することができる。重合禁止剤としては、ハイドロキノン、ｐ－メトキシフェノール、ジ－ｔ－ブチル－ｐ－クレゾール、ピロガロール、ｔ－ブチルカテコール、ベンゾキノン、４，４’－チオビス（３－メチル－６－ｔ－ブチルフェノール）、２，２’－メチレンビス（４－メチル－６－ｔ－ブチルフェノール）、Ｎ－ニトロソフェニルヒドロキシアミン塩（アンモニウム塩、第一セリウム塩等）等が挙げられる。本発明の感光性組成物が重合禁止剤を含有する場合、重合禁止剤の含有量は、感光性組成物の全固形分中０．００１～５質量％が好ましい。本発明の感光性組成物は、重合禁止剤を１種のみを含んでいてもよいし、２種以上含んでいてもよい。２種以上含む場合は、それらの合計量が上記範囲となることが好ましい。

＜＜その他添加剤＞＞
　本発明の感光性組成物には、増感剤、共増感剤、架橋剤、硬化促進剤、フィラー、熱硬化促進剤、可塑剤、希釈剤、感脂化剤、導電性粒子、充填剤、消泡剤、難燃剤、レベリング剤、剥離促進剤、酸化防止剤、表面張力調整剤、連鎖移動剤等の添加剤を必要に応じて加えてもよい。これらの成分は、例えば、特開２０１２－００３２２５号公報の段落番号０１８３～０２２８（対応する米国特許出願公開第２０１３／００３４８１２号明細書の段落番号０２３７～０３０９）、特開２００８－２５００７４号公報の段落番号０１０１～０１０２、段落番号０１０３～０１０４、段落番号０１０７～０１０９、特開２０１３－１９５４８０号公報の段落番号０１５９～０１８４等の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。また、酸化防止剤としては、例えばフェノール化合物、リン系化合物（例えば特開２０１１－０９０１４７号公報の段落番号００４２に記載の化合物）、チオエーテル化合物などを用いることができる。市販品としては、例えば（株）ＡＤＥＫＡ製のアデカスタブシリーズ（ＡＯ－２０、ＡＯ－３０、ＡＯ－４０、ＡＯ－５０、ＡＯ－５０Ｆ、ＡＯ－６０、ＡＯ－６０Ｇ、ＡＯ－８０、ＡＯ－３３０など）が挙げられる。また、酸化防止剤として、国際公開ＷＯ２０１７／００６６００号公報に記載された多官能ヒンダードアミン酸化防止剤、国際公開ＷＯ２０１７／１６４０２４号公報に記載された酸化防止剤を用いることもできる。

　また、本発明の感光性組成物は、必要に応じて、潜在酸化防止剤を含有してもよい。潜在酸化防止剤としては、酸化防止剤として機能する部位が保護基で保護された化合物であって、１００～２５０℃で加熱するか、又は酸／塩基触媒存在下で８０～２００℃で加熱することにより保護基が脱離して酸化防止剤として機能する化合物が挙げられる。潜在酸化防止剤としては、国際公開ＷＯ２０１４／０２１０２３号公報、国際公開ＷＯ２０１７／０３０００５号公報、特開２０１７－００８２１９号公報に記載された化合物が挙げられる。市販品としては、アデカアークルズＧＰＡ－５００１（（株）ＡＤＥＫＡ製）等が挙げられる。

　本発明の感光性組成物は、膜面状（平坦性など）の調整、膜厚の調整などを目的として粘度を調整して用いることができる。粘度の値は必要に応じて適宜選択することができるが、例えば、２５℃において０．３～５０ｍＰａ・ｓが好ましく、０．５～２０ｍＰａ・ｓがより好ましい。粘度の測定は、例えば、東機産業製　粘度計　ＲＥ８５Ｌ（ローター：１°３４’×Ｒ２４、測定範囲０．６～１２００ｍＰａ・ｓ）を使用し、２５℃に温度調整を施した状態で行うことができる。

　本発明の感光性組成物の収容容器としては、特に限定はなく、公知の収容容器を用いることができる。また、収容容器として、原材料や感光性組成物中への不純物混入を抑制することを目的に、容器内壁を６種６層の樹脂で構成する多層ボトルや６種の樹脂を７層構造にしたボトルを使用することも好ましい。このような容器としては例えば特開２０１５－１２３３５１号公報に記載の容器が挙げられる。

＜感光性組成物の調製方法＞
　本発明の感光性組成物は、前述の成分を混合して調製できる。感光性組成物の調製に際しては、全成分を同時に溶剤に溶解または分散して感光性組成物を調製してもよいし、必要に応じては、各成分を適宜配合した２つ以上の溶液または分散液をあらかじめ調製し、使用時（塗布時）にこれらを混合して感光性組成物として調製してもよい。

　また、本発明の感光性組成物が顔料を含む場合、感光性組成物の調製に際しては、顔料を分散させるプロセスを含むことが好ましい。顔料を分散させるプロセスにおいて、顔料の分散に用いる機械力としては、圧縮、圧搾、衝撃、剪断、キャビテーションなどが挙げられる。これらプロセスを実施するための手段の具体例としては、ビーズミル、サンドミル、ロールミル、ボールミル、ペイントシェーカー、マイクロフルイダイザー、高速インペラー、サンドグラインダー、フロージェットミキサー、高圧湿式微粒化、超音波分散などが挙げられる。またサンドミル（ビーズミル）における顔料の粉砕においては、径の小さいビーズを使用する、ビーズの充填率を大きくする事等により粉砕効率を高めた条件で処理することが好ましい。また、粉砕処理後にろ過、遠心分離などで粗粒子を除去することが好ましい。また、顔料を分散させるプロセスおよび分散機については、「分散技術大全、株式会社情報機構発行、２００５年７月１５日」、「サスペンション（固／液分散系）を中心とした分散技術と工業的応用の実際　総合資料集、経営開発センター出版部発行、１９７８年１０月１０日」、特開２０１５－１５７８９３号公報の段落番号００２２に記載のプロセス及び分散機を使用することができる。また顔料を分散させるプロセスにおいては、ソルトミリング工程にて顔料を微細化処理してもよい。ソルトミリング工程に用いられる素材、機器、処理条件等は、例えば特開２０１５－１９４５２１号公報、特開２０１２－０４６６２９号公報の記載を参酌できる。

　感光性組成物の調製にあたり、異物の除去や欠陥の低減などの目的で、感光性組成物をフィルタでろ過することが好ましい。フィルタとしては、従来からろ過用途等に用いられているフィルタであれば特に限定されることなく用いることができる。例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等のフッ素樹脂、ナイロン（例えばナイロン－６、ナイロン－６，６）等のポリアミド系樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン（ＰＰ）等のポリオレフィン樹脂（高密度、超高分子量のポリオレフィン樹脂を含む）等の素材を用いたフィルタが挙げられる。これら素材の中でもポリプロピレン（高密度ポリプロピレンを含む）およびナイロンが好ましい。

　フィルタの孔径は、０．０１～７．０μｍが好ましく、０．０１～３．０μｍがより好ましく、０．０５～０．５μｍが更に好ましい。フィルタの孔径が上記範囲であれば、微細な異物をより確実に除去できる。フィルタの孔径値については、フィルタメーカーの公称値を参照することができる。フィルタは、日本ポール株式会社（ＤＦＡ４２０１ＮＩＥＹなど）、アドバンテック東洋株式会社、日本インテグリス株式会社（旧日本マイクロリス株式会社）および株式会社キッツマイクロフィルタ等が提供する各種フィルタを用いることができる。

　また、フィルタとしてファイバ状のろ材を用いることも好ましい。ファイバ状のろ材としては、例えばポリプロピレンファイバ、ナイロンファイバ、グラスファイバ等が挙げられる。市販品としては、ロキテクノ社製のＳＢＰタイプシリーズ（ＳＢＰ００８など）、ＴＰＲタイプシリーズ（ＴＰＲ００２、ＴＰＲ００５など）、ＳＨＰＸタイプシリーズ（ＳＨＰＸ００３など）が挙げられる。

　フィルタを使用する際、異なるフィルタ（例えば、第１のフィルタと第２のフィルタなど）を組み合わせてもよい。その際、各フィルタでのろ過は、１回のみでもよいし、２回以上行ってもよい。また、上述した範囲内で異なる孔径のフィルタを組み合わせてもよい。また、第１のフィルタでのろ過は、分散液のみに対して行い、他の成分を混合した後で、第２のフィルタでろ過を行ってもよい。

＜膜および膜の製造方法＞
　本発明の膜は、上述した本発明の感光性組成物から得られる膜である。本発明の膜は、着色画素、遮光膜、赤外線透過フィルタ層の画素などとして好ましく用いられる。

　着色画素としては、赤色、青色、緑色、シアン色、マゼンタ色および黄色から選ばれる色相の画素が挙げられる。

　赤外線透過フィルタ層の画素としては、波長４００～６４０ｎｍの範囲における透過率の最大値が２０％以下（好ましくは１５％以下、より好ましくは１０％以下）であり、波長１１００～１３００ｎｍの範囲における透過率の最小値が７０％以上（好ましくは７５％以上、より好ましくは８０％以上）である分光特性を満たしているフィルタ層の画素などが挙げられる。また、赤外線透過フィルタ層の画素は、以下の（１）～（４）のいずれかの分光特性を満たしているフィルタ層の画素であることも好ましい。
　（１）：波長４００～６４０ｎｍの範囲における透過率の最大値が２０％以下（好ましくは１５％以下、より好ましくは１０％以下）であり、波長８００～１３００ｎｍの範囲における透過率の最小値が７０％以上（好ましくは７５％以上、より好ましくは８０％以上）であるフィルタ層の画素。
　（２）：波長４００～７５０ｎｍの範囲における透過率の最大値が２０％以下（好ましくは１５％以下、より好ましくは１０％以下）であり、波長９００～１３００ｎｍの範囲における透過率の最小値が７０％以上（好ましくは７５％以上、より好ましくは８０％以上）であるフィルタ層の画素。
　（３）：波長４００～８３０ｎｍの範囲における透過率の最大値が２０％以下（好ましくは１５％以下、より好ましくは１０％以下）であり、波長１０００～１３００ｎｍの範囲における透過率の最小値が７０％以上（好ましくは７５％以上、より好ましくは８０％以上）であるフィルタ層の画素。
　（４）：波長４００～９５０ｎｍの範囲における透過率の最大値が２０％以下（好ましくは１５％以下、より好ましくは１０％以下）であり、波長１１００～１３００ｎｍの範囲における透過率の最小値が７０％以上（好ましくは７５％以上、より好ましくは８０％以上）であるフィルタ層の画素。

　遮光膜は、画像表示装置やセンサモジュール内の各種部材（例えば、赤外線カットフィルタの外周部、固体撮像素子の外周部、ウェハーレベルレンズの外周部、固体撮像素子の裏面など）に形成して用いることができる。遮光膜の反射率は、１０％以下が好ましく、８％以下がより好ましく、６％以下がさらに好ましく、４％以下が特に好ましい。なお、遮光膜の反射率は、遮光膜に、入射角度５°で４００～７００ｎｍの光を入射し、その反射率を分光器（日立ハイテクノロジーズ社製、ＵＶ４１００）により測定した値である。

　本発明の膜の厚さは、用途および目的に応じて適宜調整できる。例えば、膜厚は、２０μｍ以下が好ましく、１０μｍ以下がより好ましく、５μｍ以下がさらに好ましい。膜厚の下限は、０．１μｍ以上が好ましく、０．２μｍ以上がより好ましく、０．３μｍ以上がさらに好ましい。

＜パターン形成方法＞
　本発明のパターンの形成方法は、上述した本発明の感光性組成物を用いて支持体上に感光性組成物層を形成する工程と、
　感光性組成物層に対して、光を照射してパターン状に露光する工程と、
　未露光部の感光性組成物層を、有機溶剤を含む現像液を用いて除去して現像する工程と、を有する。さらに、必要に応じて、感光性組成物層を支持体上に形成した後であって露光する前にベークする工程（プリベーク工程）、および、現像されたパターンをベークする工程（ポストベーク工程）を設けてもよい。以下、各工程について説明する。

　感光性組成物層を形成する工程では、感光性組成物を用いて、支持体上に感光性組成物層を形成する。

　支持体としては、特に限定は無く、用途に応じて適宜選択できる。例えば、ガラス基板、固体撮像素子（受光素子）が設けられた固体撮像素子用基板、シリコン基板等が挙げられる。また、これらの基板上には、上部の層との密着改良、物質の拡散防止あるいは表面の平坦化のために下塗り層が設けられていてもよい。

　支持体上への感光性組成物の適用方法は、スリット塗布、インクジェット法、回転塗布、流延塗布、ロール塗布、スクリーン印刷法等の各種の方法を用いることができる。

　支持体上に形成した感光性組成物層は、乾燥（プリベーク）してもよい。低温プロセスによりパターンを形成する場合は、プリベークを行わなくてもよい。プリベークを行う場合、プリベーク温度は、１２０℃以下が好ましく、１１０℃以下がより好ましく、１０５℃以下が更に好ましい。下限は、例えば、５０℃以上とすることができ、８０℃以上とすることもできる。プリベーク時間は、１０～３００秒が好ましく、４０～２５０秒がより好ましく、８０～２２０秒がさらに好ましい。プリベークは、ホットプレート、オーブン等を用いて行うことができる。

　次に、感光性組成物層に対して、光を照射してパターン状に露光する（露光工程）。例えば、支持体上に形成した感光性組成物層に対し、ステッパー等の露光装置を用いて、所定のマスクパターンを有するマスクを介して露光することで、パターン露光することができる。これにより、露光部では光酸発生剤から発生した酸の作用により、樹脂の有機溶剤に対する溶解性を低下させることができる。この結果、露光部の感光性組成物層の有機溶剤に対する溶解性を低下させることができる。

　露光に際して用いることができる放射線（光）としては、ｇ線、ｉ線等が挙げられる。また、波長３００ｎｍ以下の光（好ましくは波長１８０～３００ｎｍの光）を用いることもできる。波長３００ｎｍ以下の光としては、ＫｒＦ線（波長２４８ｎｍ）、ＡｒＦ線（波長１９３ｎｍ）などが挙げられ、ＫｒＦ線（波長２４８ｎｍ）が好ましい。

　また、露光に際して、光を連続的に照射して露光してもよく、パルス的に照射して露光（パルス露光）してもよい。なお、パルス露光とは、短時間（例えば、ミリ秒レベル以下）のサイクルで光の照射と休止を繰り返して露光する方式の露光方法のことである。パルス露光の場合、パルス幅は、１００ナノ秒（ｎｓ）以下であることが好ましく、５０ナノ秒以下であることがより好ましく、３０ナノ秒以下であることが更に好ましい。パルス幅の下限は、特に限定はないが、１フェムト秒（ｆｓ）以上とすることができ、１０フェムト秒以上とすることもできる。周波数は、１ｋＨｚ以上であることが好ましく、２ｋＨｚ以上であることがより好ましく、４ｋＨｚ以上であることが更に好ましい。周波数の上限は５０ｋＨｚ以下であることが好ましく、２０ｋＨｚ以下であることがより好ましく、１０ｋＨｚ以下であることが更に好ましい。最大瞬間照度は、５０００００００Ｗ／ｍ^２以上であることが好ましく、１００００００００Ｗ／ｍ^２以上であることがより好ましく、２００００００００Ｗ／ｍ^２以上であることが更に好ましい。また、最大瞬間照度の上限は、１０００００００００Ｗ／ｍ^２以下であることが好ましく、８００００００００Ｗ／ｍ^２以下であることがより好ましく、５００００００００Ｗ／ｍ^２以下であることが更に好ましい。なお、パルス幅とは、パルス周期における光が照射されている時間のことである。また、周波数とは、１秒あたりのパルス周期の回数のことである。また、最大瞬間照度とは、パルス周期における光が照射されている時間内での平均照度のことである。また、パルス周期とは、パルス露光における光の照射と休止を１サイクルとする周期のことである。

　照射量（露光量）は、例えば、０．０３～２．５Ｊ／ｃｍ^２が好ましく、０．０５～１．０Ｊ／ｃｍ^２がより好ましい。露光時における酸素濃度については適宜選択することができ、大気下で行う他に、例えば酸素濃度が１９体積％以下の低酸素雰囲気下（例えば、１５体積％、５体積％、または、実質的に無酸素）で露光してもよく、酸素濃度が２１体積％を超える高酸素雰囲気下（例えば、２２体積％、３０体積％、または、５０体積％）で露光してもよい。また、露光照度は適宜設定することが可能であり、通常１０００Ｗ／ｍ^２～１０００００Ｗ／ｍ^２（例えば、５０００Ｗ／ｍ^２、１５０００Ｗ／ｍ^２、または、３５０００Ｗ／ｍ^２）の範囲から選択することができる。酸素濃度と露光照度は適宜条件を組み合わせてよく、例えば、酸素濃度１０体積％で照度１００００Ｗ／ｍ^２、酸素濃度３５体積％で照度２００００Ｗ／ｍ^２などとすることができる。

　次に、未露光部の感光性組成物層を、有機溶剤を含む現像液を用いて除去して現像する（現像工程）。これにより、未露光部の感光性組成物層が現像液によって除去されてマスクの開口部の形状に沿ったパターン（ネガ型パターン）が形成される。

　現像液に用いられる有機溶剤としては、ケトン系溶剤、エステル系溶剤、アルコール系溶剤、アミド系溶剤、エーテル系溶剤及び炭化水素系溶剤が挙げられ、ケトン系溶剤、エステル系溶剤、エーテル系溶剤が好ましく、ケトン系溶剤およびエステル系溶剤がより好ましく、エステル系溶剤が更に好ましい。

　ケトン系溶剤としては、例えば、１－オクタノン、２－オクタノン、１－ノナノン、２－ノナノン、アセトン、２－ヘプタノン（メチルアミルケトン）、４－ヘプタノン、１－ヘキサノン、２－ヘキサノン、ジイソブチルケトン、シクロヘキサノン、メチルシクロヘキサノン、フェニルアセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、アセチルアセトン、アセトニルアセトン、イオノン、ジアセトニルアルコール、アセチルカービノール、アセトフェノン、メチルナフチルケトン、イソホロン、及びプロピレンカーボネート等が挙げられる。

　エステル系溶剤としては、例えば、酢酸メチル、酢酸ブチル、酢酸エチル、酢酸イソプロピル、酢酸ペンチル、酢酸イソペンチル（酢酸イソアミル）、酢酸アミル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチルー３－エトキシプロピオネート、３－メトキシブチルアセテート、３－メチル－３－メトキシブチルアセテート、蟻酸メチル、蟻酸エチル、蟻酸ブチル、蟻酸プロピル、乳酸エチル、乳酸ブチル、乳酸プロピル、ブタン酸ブチル、２－ヒドロキシイソ酪酸メチル、酢酸イソアミル、イソ酪酸イソブチル、及びプロピオン酸ブチル等が挙げられる。

　アルコール系溶剤、アミド系溶剤、エーテル系溶剤、及び炭化水素系溶剤としては、米国特許出願公開第２０１６／００７０１６７Ａ１号明細書の段落０７１５～０７１８に記載された溶剤を使用できる。

　上記の溶剤は、複数混合してもよいし、上記以外の溶剤又は水と混合してもよい。現像液の含水率は、５０質量％未満が好ましく、２０質量％未満がより好ましく、１０質量％未満が更に好ましく、５質量％未満がより一層好ましく、実質的に水分を含有しないことが特に好ましい。

　現像液に用いられる有機溶剤のＳＰ値（Ｓｏｌｕｂｉｌｉｔｙ　Ｐａｒａｍｅｔｅｒ：溶解パラメータ）は、１４～２４ＭＰａ^１／２であることが好ましい。有機溶剤のＳＰ値の上限は２２ＭＰａ^１／２以下であることが好ましく、２０ＭＰａ^１／２以下であることがより好ましく、１８ＭＰａ^１／２以下であることが更に好ましい。有機溶剤のＳＰ値の下限は、１５ＭＰａ^１／２以上であることが好ましく、１６ＭＰａ^１／２以上であることがより好ましい。また、現像液に用いられる有機溶剤の沸点は１００～１４０℃であることが好ましい。

　また、現像液の蒸気圧は、２０℃において５ｋＰａ以下が好ましく、３ｋＰａ以下が更に好ましく、２ｋＰａ以下が特に好ましい。現像液の蒸気圧が５ｋＰａ以下であれば、優れた現像性が得られる。

　本発明において、現像液に用いられる有機溶剤としては、酢酸ブチル、２－ヘプタノン、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、酢酸イソペンチル（酢酸イソアミル）、乳酸エチル、シクロヘキサノンおよびイソ酪酸イソブチルが好ましく、酢酸ブチルがより好ましい。

　現像液の有機溶剤の含有量は、現像液の全量に対して、５０～１００質量％が好ましく、８０～１００質量％がより好ましく、９０～１００質量％が更に好ましく、９５～１００質量％が特に好ましい。また、現像液の酢酸ブチルの含有量は、現像液の全量に対して、５０～１００質量％が好ましく、８０～１００質量％がより好ましく、９０～１００質量％が更に好ましく、９５～１００質量％が特に好ましい。

　現像液は、界面活性剤、酸化防止剤、塩基性化合物、安定剤、消泡剤などを含有できる。

　現像方法としては、例えば、現像液が満たされた槽中に基板を一定時間浸漬する方法（ディップ法）、基板表面に現像液を表面張力によって盛り上げて一定時間静止する方法（パドル法）、基板表面に現像液を噴霧する方法（スプレー法）、又は一定速度で回転している基板上に一定速度で現像液吐出ノズルをスキャンしながら現像液を吐出しつづける方法（ダイナミックディスペンス法）等を適用することができる。処理時間（現像時間）は、未露光部の感光性組成物層が十分に溶解する時間であれば特に制限はない。例えば、１０～３００秒が好ましく、２０～１２０秒がより好ましい。現像液の温度は０～５０℃が好ましく、１５～３５℃がより好ましい。

　本発明のパターンの形成方法においては、上述した現像工程の後に、リンス液を用いて洗浄する工程（リンス工程）を含むことが好ましい。

　リンス液の蒸気圧は、２０℃において０．０５～５ｋＰａが好ましく、０．１～５ｋＰａがより好ましく、０．１２～３ｋＰａ以下がさらに好ましい。リンス液の蒸気圧が上記範囲であれば、支持体面内の温度均一性が向上し、更には、現像工程後のパターンについて、リンス液の浸透に起因した膨潤を抑制できる。

　リンス液としては、現像工程後のパターンを溶解しないものであれば特に制限はなく、一般的な有機溶剤を含む溶液を使用できる。リンス液に用いられる有機溶剤としては、炭化水素系溶剤、ケトン系溶剤、エステル系溶剤、アルコール系溶剤、アミド系溶剤およびエーテル系溶剤が挙げられる。

　リンス液の含水率は、１０質量％以下が好ましく、５質量％以下がより好ましく、３質量％以下が更に好ましい。リンス液の含水率が１０質量％以下であれば、良好な現像性が得られる。

　リンス液は、界面活性剤、酸化防止剤、塩基性化合物、安定剤、消泡剤などを含有できる。

　リンス液を用いた洗浄方法は特に限定されないが、例えば、一定速度で回転している支持体上にリンス液を吐出しつづける方法（回転塗布法）、リンス液が満たされた槽中に支持体を一定時間浸漬する方法（ディップ法）、又は支持体表面にリンス液を噴霧する方法（スプレー法）等を適用することができる。

　現像工程後（リンス工程を行った後はリンス工程後）、乾燥を施した後に加熱処理（ポストベーク）を行うことが好ましい。加熱温度は、例えば１００～２４０℃が好ましく、２００～２４０℃がより好ましい。ポストベークは、現像後の膜を、上記条件になるようにホットプレートやコンベクションオーブン（熱風循環式乾燥機）、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式あるいはバッチ式で行うことができる。

＜カラーフィルタ＞
　次に、本発明のカラーフィルタについて説明する。本発明のカラーフィルタは、上述した本発明の膜を有する。本発明のカラーフィルタにおいて、膜の膜厚は、目的に応じて適宜調整できる。膜厚は、２０μｍ以下が好ましく、１０μｍ以下がより好ましく、５μｍ以下がさらに好ましい。膜厚の下限は、０．１μｍ以上が好ましく、０．２μｍ以上がより好ましく、０．３μｍ以上が更に好ましい。本発明のカラーフィルタは、ＣＣＤ（電荷結合素子）やＣＭＯＳ（相補型金属酸化膜半導体）などの固体撮像素子や画像表示装置などに用いることができる。

＜カラーフィルタの製造方法＞
　次に、本発明のカラーフィルタの製造方法について説明する。本発明のカラーフィルタの製造方法は、上述した本発明のパターン形成方法を含む。本発明のカラーフィルタの製造方法は、上述した本発明のパターン形成方法を２回以上繰り返して行うことが好ましい。

　また、本発明のカラーフィルタの製造方法は、上述した本発明のパターンの形成方法を用いて第１の画素を形成した後、上述した本発明のパターンの形成方法を用いて第１の画素の抜け部に第２の画素を形成することが好ましい。この態様によれば、矩形性が良好で、光漏れの少ない画素を形成することができる。３種類以上の画素を形成する場合は、画素の種類ごとに上述した本発明のパターン形成方法を繰り返して行い、各画素の抜け部の目的の画素を形成することが好ましい。

＜固体撮像素子＞
　本発明の固体撮像素子は、上述した本発明の膜を有する。本発明の固体撮像素子の構成としては、本発明の膜を備え、固体撮像素子として機能する構成であれば特に限定はないが、例えば、以下のような構成が挙げられる。

　基板上に、固体撮像素子（ＣＣＤ（電荷結合素子）イメージセンサ、ＣＭＯＳ（相補型金属酸化膜半導体）イメージセンサ等）の受光エリアを構成する複数のフォトダイオードおよびポリシリコン等からなる転送電極を有し、フォトダイオードおよび転送電極上にフォトダイオードの受光部のみ開口した遮光膜を有し、遮光膜上に遮光膜全面およびフォトダイオード受光部を覆うように形成された窒化シリコン等からなるデバイス保護膜を有し、デバイス保護膜上に、カラーフィルタを有する構成である。更に、デバイス保護膜上であってカラーフィルタの下（基板に近い側）に集光手段（例えば、マイクロレンズ等。以下同じ）を有する構成や、カラーフィルタ上に集光手段を有する構成等であってもよい。また、カラーフィルタは、隔壁により例えば格子状に仕切られた空間に、各着色画素を形成する膜が埋め込まれた構造を有していてもよい。この場合の隔壁は各着色画素に対して低屈折率であることが好ましい。このような構造を有する撮像装置の例としては、特開２０１２－２２７４７８号公報、特開２０１４－１７９５７７号公報に記載の装置が挙げられる。本発明の固体撮像素子を備えた撮像装置は、デジタルカメラや、撮像機能を有する電子機器（携帯電話等）の他、車載カメラや監視カメラ用としても用いることができる。

＜画像表示装置＞
　本発明の膜は、液晶表示装置や有機エレクトロルミネッセンス表示装置などの、画像表示装置に用いることができる。画像表示装置の定義や各画像表示装置の詳細については、例えば「電子ディスプレイデバイス（佐々木昭夫著、（株）工業調査会、１９９０年発行）」、「ディスプレイデバイス（伊吹順章著、産業図書（株）平成元年発行）」などに記載されている。また、液晶表示装置については、例えば「次世代液晶ディスプレイ技術（内田龍男編集、（株）工業調査会、１９９４年発行）」に記載されている。本発明が適用できる液晶表示装置に特に制限はなく、例えば、上記の「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている色々な方式の液晶表示装置に適用できる。

　以下に実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り、適宜、変更することができる。従って、本発明の範囲は以下に示す具体例に限定されるものではない。

＜顔料分散液の調製＞
　下記表に記載の原料を０．３ｍｍ径のジルコニアビーズを使用し、ビーズミル（減圧機構付き高圧分散機ＮＡＮＯ－３０００－１０（日本ビーイーイー（株）製））で、３時間、混合および分散して、顔料分散液を調製した。下記に記載の配合量を表す数値は質量部である。

（色材）
　ＰＧ５８：　Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｇｒｅｅｎ５８
　ＰＧ７：　Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｇｒｅｅｎ７
　ＰＹ１８５：　Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｙｅｌｌｏｗ１８５
　ＰＹ１３９：　Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｙｅｌｌｏｗ１３９
　ＰＲ２５４：　Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｒｅｄ２５４

（樹脂）
　ｂ－１：以下の方法で合成した樹脂（酸の作用により有機溶剤に対する溶解性が低下する樹脂）
　窒素導入管および冷却管を取り付けた三口フラスコにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）の３２．６２ｇを入れ、８６℃に昇温した。ここに、ベンジルメタクリレート（ＢｚＭＡ）の１６．６５ｇと、テトラヒドロフラン－２－イル－アクリレート（ＴＨＦＡＡ）の１９．１９ｇと、ｔ－ブチルメタクリレート（ｔ－ＢｕＭＡ）の５．７６ｇとを加えた。この混合溶液に、ジメチル－２，２’－アゾビス（２－メチルプロピオネート）（Ｖ－６０１、富士フイルム和光純薬（株）製））の０．８０８２ｇ（モノマーに対して１．３０ｍｏｌ％）をＰＧＭＥＡの３２．６２ｇに溶解した溶液を２時間かけて滴下した。その後、反応液を２時間攪拌し、反応を終了させた。反応液をヘプタン中に再沈することで生じた白色粉体をろ過により回収することで、樹脂ｂ－１を得た。樹脂ｂ－１の重量平均分子量（Ｍｗ）は３０，０００であった。Ｍｗが１，０００以下の成分の量は３質量％であった。

　ｃｂ－１：下記構造の樹脂（Ｍｗ＝２４０００、主鎖に付記した数値はモル比であり、側鎖に付記した数値は繰り返し単位の数である。）

（顔料誘導体）
　ｄ－１：下記構造の化合物

（溶剤）
　ｓ－１：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート

　＜感光性組成物の調製＞
　下記表に記載の原料を混合して感光性組成物を調製した。下記表に記載の配合量を表す数値は質量部である。

　（光酸発生剤）
　ｃ－１～ｃ－５：下記構造の化合物（以下の構造式中のＴｓはトシル基を表す）

　（酸架橋剤）
　ｅ－１：ＥＨＰＥ３１５０（（株）ダイセル製）

＜評価＞
　各感光性組成物を、ガラス容器に入れて密封し、５℃で１０ヶ月間保管した後、室温に戻し、以下の評価１、評価２を行って性能評価を行った。

　（評価１）パターンの矩形性の評価
　下記表に記載の感光性組成物をそれぞれ、８インチ（２０．３２ｃｍ）のシリコン基板にスピンコート法で塗布し、１００℃のホットプレートを用いて１２０秒間加熱処理（プリベーク）を行い、厚さ０．９μｍの感光性組成物層を形成した。次いで、ｉ線ステッパー露光装置ＦＰＡ－３０００ｉ５＋（Ｃａｎｏｎ（株）製）を使用して１μｍ四方のパターンを有するマスクを介して露光（露光量５００ｍＪ／ｃｍ^２）した。次いで、露光後の感光性組成物層に対し、現像液として酢酸ブチル、２－ヘプタノン、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）、酢酸イソアミル、乳酸エチル、シクロヘキサノン、イソ酪酸イソブチル、またはアルカリ現像液（水酸化テトラメチルアンモニウム（ＴＭＡＨ）０．３質量％水溶液）を用いて、２３℃で６０秒間シャワー現像を行った。その後、純水を用いてスピンシャワーにてリンスを行った。次いで、２００℃のオーブンを用いて、１時間の熱処理（ポストベーク）を行うことにより、パターンを得た。
　シリコン基板の真上から、シリコン基板上に形成されたパターンの幅およびパターンの対角線の長さを、測長ＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）を用いて観察した。以下の基準で矩形性を評価した。（パターンの対角線の長さ／１．４１）×１００の値が１００に近いほど矩形性がよい。
　６：（パターンの対角線の長さ／１．４１）×１００の値が９９を超え１０１以下である。
　５：（パターンの対角線の長さ／１．４１）×１００の値が９８を超え９９以下であるか、あるいは、１０１を超え１０２以下である。
　４：（パターンの対角線の長さ／１．４１）×１００の値が９７を超え９８以下であるか、あるいは、１０２を超え１０３以下である。
　３：（パターンの対角線の長さ／１．４１）×１００の値が９６を超え９７以下であるか、あるいは、１０３を超え１０４以下である。
　２：（パターンの対角線の長さ／１．４１）×１００の値が９５を超え９６以下であるか、あるいは、１０４を超え１０５以下である。
　１：（パターンの対角線の長さ／１．４１）×１００の値が９５以下であるか、あるいは、１０５を超える。

　（評価２）光漏れ（クロストーク）の評価
　透明画素形成用の感光性組成物をガラス基板上にスピンコート法で塗布し、１００℃のホットプレートを用いて１２０秒間加熱処理（プリベーク）を行い、厚さ０．９μｍの感光性組成物層を形成した。なお、透明画素形成用の感光性組成物として、特開２０１４－６３１２５の段落番号０３５３に記載の高屈折率材料（二酸化チタン含有硬化性組成物Ｂ０１）を用いた。
　次いで、ｉ線ステッパー露光装置ＦＰＡ－３０００ｉ５＋（Ｃａｎｏｎ（株）製）を使用して１０μｍ四方のパターンを有するマスクを介して露光（露光量５００ｍＪ／ｃｍ^２）した。次いで、露光後の感光性組成物層に対し、現像液としてアルカリ現像液（水酸化テトラメチルアンモニウム（ＴＭＡＨ）０．３質量％水溶液）を用いて、２３℃で６０秒間シャワー現像を行った。その後、純水を用いてスピンシャワーにてリンスを行った。次いで、２００℃のオーブンを用いて、１時間の熱処理（ポストベーク）を行うことにより、透明画素のパターン（以下、パターン１ともいう）を得た。
　次に、パターン１が形成されたガラス基板上に、下記表に記載の感光性組成物をスピンコート法で塗布し、１００℃のホットプレートを用いて１２０秒間加熱処理（プリベーク）を行い、厚さ０．９μｍの感光性組成物層を形成した。次いで、ｉ線ステッパー露光装置ＦＰＡ－３０００ｉ５＋（Ｃａｎｏｎ（株）製）を使用して１０μｍ四方のパターンを有するマスクを介して露光（露光量５００ｍＪ／ｃｍ^２）した。次いで、露光後の感光性組成物層に対し、現像液として酢酸ブチル、２－ヘプタノン、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）、酢酸イソアミル、乳酸エチル、シクロヘキサノン、イソ酪酸イソブチル、またはアルカリ現像液（水酸化テトラメチルアンモニウム（ＴＭＡＨ）０．３質量％水溶液）を用いて、２３℃で６０秒間シャワー現像を行った。その後、純水を用いてスピンシャワーにてリンスを行った。次いで、２００℃のオーブンを用いて、１時間の熱処理（ポストベーク）を行うことにより、透明画素のパターンの抜け部に、下記表に記載の感光性組成物からなるパターン（以下、パターン２ともいう）を形成した。

　パターン２を透過して検出された光のうち、最大透過率の波長λｍａｘにおける光量をＡとし、パターン１を透過して検出された前述の波長λｍａｘにおける光量をＢとし、下記式に基づきパターン２の光漏れを評価した。
　Ｔ＝１００×Ｂ／Ａ
　６：Ｔの値が２未満である。
　５：Ｔの値が２以上４未満である。
　４：Ｔの値が４以上６未満である。
　３：Ｔの値が６以上１０未満である。
　２：Ｔの値が１０以上１２未満である。
　１：Ｔの値が１２以上である。

　各評価を下記表に記す。なお、下記の表のうち「全樹脂中の樹脂（Ａ）の含有量」の欄に記載の数値は、感光性組成物に含まれる樹脂の合計量中における酸の作用により有機溶剤に対する溶解性が低下する樹脂の含有量のことである。

　上記表に示すように、色材と、酸の作用により有機溶剤に対する溶解性が低下する樹脂と、光酸発生剤とを含む各実施例の感光性組成物を用いて、有機溶剤を含む現像液で現像してネガ型パターンを形成した各試験例は、矩形性（評価１）および光漏れ（評価２）の抑制されたパターンを形成することができた。

　なお、試験例Ｒ１－１～Ｒ１－３、試験例Ｒ２－１～Ｒ２－３については、パターンを形成できなかったため、矩形性（評価１）および光漏れ（評価２）を評価できなかった。

（試験例６）
　緑色画素形成用の感光性組成物を、８インチ（２０．３２ｃｍ）のガラス基板にスピンコート法で塗布し、１００℃のホットプレートを用いて１２０秒間加熱処理（プリベーク）を行い、厚さ０．９μｍの感光性組成物層を形成した。次いで、ｉ線ステッパー露光装置ＦＰＡ－３０００ｉ５＋（Ｃａｎｏｎ（株）製）を使用して３μｍ四方のパターンを有するマスクを介して露光（露光量５００ｍＪ／ｃｍ^２）した。次いで、露光後の感光性組成物層に対し、現像液として酢酸ブチルを用いて、２３℃で６０秒間シャワー現像を行った。その後、純水を用いてスピンシャワーにてリンスを行った。次いで、２００℃のオーブンを用いて、１時間の熱処理（ポストベーク）を行うことにより、緑色画素のパターンを形成した。
　次に、緑色画素のパターンが形成されたガラス基板上に、赤色画素形成用の感光性組成物をスピンコート法で塗布し、１００℃のホットプレートを用いて１２０秒間加熱処理（プリベーク）を行い、厚さ０．９μｍの感光性組成物層を形成した。次いで、ｉ線ステッパー露光装置ＦＰＡ－３０００ｉ５＋（Ｃａｎｏｎ（株）製）を使用して３μｍ四方のパターンを有するマスクを介して露光（露光量５００ｍＪ／ｃｍ^２）した。次いで、露光後の感光性組成物層に対し、現像液として酢酸ブチルを用いて、２３℃で６０秒間シャワー現像を行った。その後、純水を用いてスピンシャワーにてリンスを行った。次いで、２００℃のオーブンを用いて、１時間の熱処理（ポストベーク）を行うことにより、緑色画素のパターンの抜け部に、赤色画素のパターンを形成した。
　緑色画素および赤色画素のそれぞれの矩形性について、評価１に準拠して評価したところ、緑色画素および赤色画素の矩形性は、いずれも「６」の評価であった。
　また、緑色画素および赤色画素の分光を顕微分光装置を使用して隣の画素への光漏れ（クロストーク）を測定し、評価２に準拠して評価したところ、「６」の評価であった。
　なお、試験例６では、緑色画素形成用の感光性組成物として、実施例１－６の感光性組成物を用い、赤色画素形成用の感光性組成物として、実施例２－６の感光性組成物を用いた。

Claims

　有機溶剤を含む現像液で現像してネガ型パターンを形成するために用いられる感光性組成物であって、
　色材と、酸の作用により有機溶剤に対する溶解性が低下する樹脂と、光酸発生剤と、を含む感光性組成物。
　前記感光性組成物の全固形分中における前記色材の含有量が５５質量％以上である、請求項１に記載の感光性組成物。
　前記感光性組成物に含まれる樹脂の合計量中における前記酸の作用により有機溶剤に対する溶解性が低下する樹脂の含有量が４０質量％以上である、請求項１または２に記載の感光性組成物。
　前記感光性組成物の全固形分中における前記酸の作用により有機溶剤に対する溶解性が低下する樹脂の含有量が１０～６０質量％である、請求項１～３のいずれか１項に記載の感光性組成物。
　前記酸の作用により有機溶剤に対する溶解性が低下する樹脂は、酸の作用により分解して極性基を生じる基を含む、請求項１～４のいずれか１項に記載の感光性組成物。
　前記酸の作用により有機溶剤に対する溶解性が低下する樹脂は、酸の作用により分解して脱離する基で極性基が保護された構造を有する、請求項１～５のいずれか１項に記載の感光性組成物。
　前記酸の作用により分解して脱離する基は、式（Ｙ１）～（Ｙ４）のいずれかで表される基である、請求項６に記載の感光性組成物；
　式（Ｙ１）：－Ｃ（Ｒ^３１）（Ｒ^３２）（Ｒ^３３）
　式（Ｙ２）：－Ｃ（＝Ｏ）ＯＣ（Ｒ^３１）（Ｒ^３２）（Ｒ^３３）
　式（Ｙ３）：－Ｃ（Ｒ^３６）（Ｒ^３７）（ＯＲ^３８）
　式（Ｙ４）：－Ｃ（Ｒｎ）（Ｈ）（Ａｒ）
　式（Ｙ１）、（Ｙ２）中、Ｒ^３１～Ｒ^３３は、各々独立にアルキル基を表し、Ｒ^３１～Ｒ^３３のうちの２つが結合して環を形成していてもよい；
　式（Ｙ３）中、Ｒ^３６およびＲ^３７は、各々独立に、水素原子、アルキル基またはアリール基を表し、Ｒ^３６およびＲ^３７の少なくとも一方がアルキル基またはアリール基であり、Ｒ^３８は、アルキル基またはアリール基を表し、Ｒ^３６またはＲ^３７と、Ｒ^３８とが結合して環を形成してもよい；
　式（Ｙ４）中、Ａｒは、芳香環基を表し、Ｒｎは、アルキル基またはアリール基を表す；ＲｎとＡｒとは互いに結合して環を形成してもよい。
　前記酸の作用により分解して脱離する基の式量が１７０以下である、請求項６または７に記載の感光性組成物。
　更に、酸架橋剤を含む、請求項１～８のいずれか１項に記載の感光性組成物。
　前記感光性組成物の全固形分中における光ラジカル重合開始剤の含有量が４質量％以下である、請求項１～９のいずれか１項に記載の感光性組成物。
　前記感光性組成物の全固形分中におけるラジカル重合性モノマーの含有量が５質量％以下である、請求項１～１０のいずれか１項に記載の感光性組成物。
　請求項１～１１のいずれか１項に記載の感光性組成物から得られる膜。
　請求項１～１１のいずれか１項に記載の感光性組成物を用いて支持体上に感光性組成物層を形成する工程と、
　前記感光性組成物層に対して、光を照射してパターン状に露光する工程と、
　未露光部の感光性組成物層を、有機溶剤を含む現像液を用いて除去して現像する工程と、を有するパターンの形成方法。
　請求項１３に記載のパターンの形成方法を用いて第１の画素を形成した後、
　請求項１３に記載のパターンの形成方法を用いて第１の画素の抜け部に第２の画素を形成する、カラーフィルタの製造方法。
　請求項１２に記載の膜を有するカラーフィルタ。
　請求項１２に記載の膜を有する固体撮像素子。
　請求項１２に記載の膜を有する画像表示装置。