WO2019102894A1 - 静電霧化装置 - Google Patents

Abstract

静電霧化装置（１）は、液体（２）を収容するための第１液体槽（１０）と、液体（２）を噴出させるための複数の開口（２５）を有する噴出板（２０）と、複数の開口（２５）に対向して設けられた対向電極（３０）と、液体（２）と対向電極（３０）との間に所定の電圧を印加する電圧印加部（４０）とを備える。噴出板（２０）は、平板部（２１）と、平板部（２１）に支持された複数の筒状部（２４）とを有する。複数の筒状部（２４）の各々は、平板部（２１）から対向電極（３０）に向かって突出し、かつ、先端に開口（２５）を有する。複数の筒状部（２４）の各々の内面（２８）の、液体（２）に対する接触角は、９０°未満である。

Description

静電霧化装置

　本発明は、静電霧化装置に関する。

　従来、液体に高電圧を印加することで液体に生じる静電気力を利用して、液体を霧化して噴霧する技術が知られている（例えば、特許文献１及び２を参照）。例えば、特許文献１には、先端が尖状の複数の霧化部を備え、複数の霧化部の先端からミストを大量に生成する静電霧化装置が開示されている。

特開２０１１－６７７３９号公報 特開２００４－３５８３５９号公報

　しかしながら、上記従来技術では、ポンプを利用して複数の霧化部に液体を供給している。ポンプを利用した場合、複数の霧化部への送液速度のばらつきが大きいので、ミストの生成が不安定になるという問題がある。

　そこで、本発明は、十分な量の霧状の液体を安定して噴霧することができる静電霧化装置を提供することを目的とする。

　上記目的を達成するため、本発明の一態様に係る静電霧化装置は、液体を収容するための第１液体槽と、前記液体を噴出させるための複数の開口を有する噴出板と、前記複数の開口に対向して設けられた対向電極と、前記液体と前記対向電極との間に所定の電圧を印加する電圧印加部とを備え、前記噴出板は、平板部と、前記平板部に支持された複数の筒状部とを有し、前記複数の筒状部の各々は、前記平板部から前記対向電極に向かって突出し、かつ、先端に前記開口を有し、前記複数の筒状部の各々の内面の、前記液体に対する接触角は、９０°未満である。

　本発明に係る静電霧化装置によれば、十分な量の霧状の液体を安定して噴霧することができる。

図１は、実施の形態１に係る静電霧化装置の構成を示す斜視図である。 図２は、実施の形態１に係る静電霧化装置の複数の筒状部と対向電極との位置関係を示す断面図である。 図３は、実施の形態１に係る静電霧化装置の複数の筒状部の平面レイアウトを示す平面図である。 図４は、実施の形態１に係る静電霧化装置の筒状部と第１液体槽と第２液体槽との位置関係を示す断面図である。 図５は、実施の形態１に係る静電霧化装置の流路の壁面の接触角毎に、流路の径に対する液柱の高さを示す図である。 図６は、実施の形態２に係る静電霧化装置の構成を示す斜視図である。 図７は、実施の形態２に係る静電霧化装置の複数の放電電極と対向電極との位置関係を示す断面図である。 図８は、実施の形態２に係る静電霧化装置の複数の放電電極の平面レイアウトを示す平面図である。 図９は、実施の形態２に係る静電霧化装置の放電電極間の距離とテーラーコーンとの関係を示す図である。 図１０は、実施の形態２に係る静電霧化装置の放電電極間の距離と放電電極の本数の増大による電圧の勾配との関係を示す図である。 図１１は、実施の形態２に係る静電霧化装置の放電電極の本数と絶縁破壊電圧及び静電霧化電圧との関係を示す図である。 図１２は、実施の形態２に係る静電霧化電圧の電極間距離と絶縁破壊電圧及び静電霧化電圧との関係を示す図である。 図１３は、実施の形態２の変形例に係る静電霧化装置の複数の放電電極と対向電極との位置関係を示す断面図である。

　以下では、本発明の実施の形態に係る静電霧化装置について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施の形態は、いずれも本発明の一具体例を示すものである。したがって、以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置及び接続形態、ステップ、ステップの順序などは、一例であり、本発明を限定する趣旨ではない。よって、以下の実施の形態における構成要素のうち、独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。

　また、各図は、模式図であり、必ずしも厳密に図示されたものではない。したがって、例えば、各図において縮尺などは必ずしも一致しない。また、各図において、実質的に同一の構成については同一の符号を付しており、重複する説明は省略又は簡略化する。

　また、本明細書において、垂直又は一致などの要素間の関係性を示す用語、及び、円形又は正六角形などの要素の形状を示す用語、並びに、数値範囲は、厳格な意味のみを表す表現ではなく、実質的に同等な範囲、例えば数％程度の差異をも含むことを意味する表現である。

　（実施の形態１）
　［概要］
　まず、本実施の形態に係る静電霧化装置の概要について、図１及び図２を用いて説明する。

　図１は、本実施の形態に係る静電霧化装置１の構成を示す斜視図である。図１に示すように、本実施の形態に係る静電霧化装置１は、第１液体槽１０と、第２液体槽１１と、噴出板２０と、対向電極３０と、電圧印加部４０と、コントローラ５０とを備える。噴出板２０は、平板部２１と、複数の筒状部２４とを備える。

　なお、図１では、コントローラ５０を機能的なブロックとして表している。コントローラ５０は、例えばマイコン（マイクロコントローラ）などで実現され、静電霧化装置１の外殻筐体（図示せず）の内部に配置されている。コントローラ５０は、例えば第１液体槽１０又は第２液体槽１１の外側に取り付けられていてもよい。

　図２は、本実施の形態に係る静電霧化装置１の複数の筒状部２４と対向電極３０との位置関係を示す断面図である。具体的には、図２は、図１のＩＩ－ＩＩ線における断面であって、２つの筒状部２４の各々の中心軸Ｊを通る断面を示している。

　静電霧化装置１は、液体２を霧化して噴出する噴霧装置である。具体的には、静電霧化装置１は、液体２に高電圧を印加して静電気力を発生させ、発生させた静電気力によって液体２を微細化し霧化させる。

　本実施の形態では、図２に示すように、静電霧化装置１は、第１液体槽１０内に容れられた液体２を複数の筒状部２４の各々の先端へ導き、先端に設けられた開口２５から液体２を霧状にして噴出する。具体的には、電圧印加部４０が液体２と対向電極３０との間に高電圧を印加することで、複数の筒状部２４の各々の先端に電界が集中する。筒状部２４の内部の流路２７を通って開口２５から出た液体２は、電界によって形状が変化し、テーラーコーン３を形成する。テーラーコーン３の先端で液体２が微細化されることで、ミスト４が生成される。

　複数の筒状部２４の各々の先端で生成されたミスト４は、対向電極３０に向けて放出される。ミスト４を対向電極３０の前方に放出させるために、対向電極３０には貫通孔３１が設けられている。これにより、ミスト４は、貫通孔３１を介して対向電極３０の前方に放出される。なお、「前方」とは、ミスト４が放出される方向であって、対向電極３０を基準として筒状部２４とは反対側の方向である。図２に示すように、複数の筒状部２４の各々からミスト４が放出されるので、本実施の形態に係る静電霧化装置１は、十分な量の霧状の液体２（すなわち、ミスト４）を噴霧することができる。

　なお、液体２は、例えば機能水である。機能水は、人為的な処理によって再現性のある有用な機能を獲得した水溶液の中で、処理と機能とに関して科学的根拠が明らかにされたもの、及び、明らかにされようとしているものである。具体的には、機能水は、次亜塩素酸水などの電解水、又は、オゾン水などである。本実施の形態では、液体２は、電解質を含む水溶液であるが、これに限らない。液体２は、純水でもよく、アルコール溶液でもよい。液体２の電気伝導度は、例えば、１μＳ／ｃｍ以上１０^５μＳ／ｃｍ以下である。

　ミスト４は、例えばナノメートルオーダー又はマイクロメートルオーダーの径の微細な液体粒子の集合である。例えば、ミスト４を構成する液体粒子の径は、１０ｎｍ以上１μｍ以下である。

　本実施の形態に係る静電霧化装置１は、液体２の機能に応じて様々なデバイスに利用される。例えば、液体２が殺菌又は除菌性能を有する場合、静電霧化装置１は、殺菌装置又は除菌装置などに利用される。あるいは、静電霧化装置１は、加湿器などに利用されてもよい。

　以下では、静電霧化装置１が備える各構成要素の詳細について説明する。

　［液体槽］
　第１液体槽１０は、液体２を収容するための容器である。第１液体槽１０は、例えばステンレスなどの金属材料を用いて形成されているが、樹脂材料を用いて形成されていてもよい。このとき、第１液体槽１０は、液体２の性質に応じて、耐酸性若しくは耐アルカリ性又はこれらの両方の性質を有する材料を用いて形成されていてもよい。

　第１液体槽１０の形状は、例えば、上面が開放された直方体状であるが、これに限らない。第１液体槽１０の形状は、立方体又は円柱状でもよく、扁平なトレイ状でもよい。本実施の形態では、第１液体槽１０の開放された上面が噴出板２０によって覆われている。具体的には、第１液体槽１０と噴出板２０とが組み合わされて、筒状部２４の開口２５以外から液体２が漏れ出ないように密閉容器を形成している。

　本実施の形態では、第１液体槽１０には、配管１２を介して、機能水の貯水用の第２液体槽１１が接続されている。第１液体槽１０には、ポンプなどの液体を所定の圧力で供給する送液装置が接続されていない。つまり、本実施の形態に係る静電霧化装置１は、液体ポンプなどを備えない。第１液体槽１０は、配管１２及び複数の開口２５を除いて密閉されている。第１液体槽１０には、配管１２を介する以外に、内部に液体２を供給するための供給口が設けられていない。

　第２液体槽１１は、第１液体槽１０に液体２を供給するための容器である。第２液体槽１１は、配管１２を介して第１液体槽１０に接続されている。例えば、第２液体槽１１の容量は、第１液体槽１０の容量よりも大きい。

　第２液体槽１１は、例えばステンレスなどの金属材料を用いて形成されているが、樹脂材料を用いて形成されていてもよい。このとき、第２液体槽１１は、液体２の性質に応じて、耐酸性若しくは耐アルカリ性又はこれらの両方の性質を有する材料を用いて形成されていてもよい。

　第２液体槽１１の形状は、例えば、上面が開放された直方体状であるが、これに限らない。第２液体槽１１の形状は、立方体又は円柱状でもよく、扁平なトレイ状でもよい。第２液体槽１１には、機能水を生成する生成装置（例えば、次亜塩素酸水の生成器）が接続されていてもよい。

　［噴出板］
　噴出板２０は、液体２を噴出させるための複数の開口２５を有するマルチオリフィス型の噴出板である。具体的には、噴出板２０は、平板部２１と、複数の筒状部２４とを備える。複数の開口２５は、筒状部２４の各々の先端に設けられている。

　本実施の形態では、平板部２１と複数の筒状部２４とは一体的に形成されている。例えば、噴出板２０は、例えばステンレスなどの金属材料を用いて形成されているが、樹脂材料を用いて形成されていてもよい。このとき、噴出板２０は、液体２の性質に応じて、耐酸性若しくは耐アルカリ性又はこれらの両方の性質を有する材料を用いて形成されていてもよい。噴出板２０は、例えば金属材料又は樹脂材料を用いた射出成形により一体的に形成されている。

　平板部２１は、第１液体槽１０に固定されている。なお、平板部２１は、第１液体槽１０と同一の材料を用いて、第１液体槽１０と一体に形成されていてもよい。

　本実施の形態では、平板部２１は、互いに背向する２つの主面２２及び２３を有する。主面２２は、平板部２１の前面（すなわち、前方の面）である。主面２３は、平板部２１の後面（すなわち、後方の面）である。主面２２及び主面２３は、互いに平行である。つまり、平板部２１の板厚は、均等である。

　複数の筒状部２４は、平板部２１に支持されている。複数の筒状部２４の各々は、ミスト４を放出するノズルに相当する。複数の筒状部２４の各々は、平板部２１から対向電極３０に向かって突出している。複数の筒状部２４の各々は、先端に開口２５を有する。また、図２に示すように、複数の筒状部２４の各々は、後端に開口２６を有し、かつ、開口２６から開口２５に至る流路２７を有する。つまり、流路２７は、筒状部２４の内部に設けられている。

　なお、筒状部２４の先端とは、平板部２１から対向電極３０に向かう方向のプラス側である。つまり、筒状部２４の先端は、筒状部２４の最も対向電極３０に近い部分であり、前方の端部である。筒状部２４の後端は、先端とは反対側の端部である。

　複数の筒状部２４の各々は、平板部２１の主面２２に対して垂直に立設されている。主面２２は、平板部２１の対向電極３０に対向する面であり、液体２とは反対側の面である。本実施の形態では、筒状部２４は、外径Ｒに対する高さＨの比（以下、アスペクト比と記載する）が４以上である。すなわち、Ｈ≧４Ｒを満たしている。ここで、筒状部２４の高さＨは、図２に示すように、筒状部２４の先端から主面２２までの距離で表される。高さＨは、例えば２ｍｍ以上である。

　筒状部２４のアスペクト比が大きい程、筒状部２４の先端に電界が集中しやすくなる。このため、筒状部２４のアスペクト比は、６以上でもよい。本発明者らの検討により、アスペクト比が４以上であれば、テーラーコーン３の形状が安定し、ミスト４の噴霧量が安定することが確認された。一方で、アスペクト比が４より小さい場合、テーラーコーン３の形状が不安定となることが確認された。

　本実施の形態では、複数の筒状部２４は、互いに同じ構成を有する。筒状部２４の具体的な形状の一例については、後で説明する。ここでは、複数の筒状部２４の配置について、図３を用いて説明する。

　図３は、本実施の形態に係る静電霧化装置１の複数の筒状部２４の平面レイアウトを示す平面図である。図３では、複数の筒状部２４をその配置位置に応じて筒状部２４ａ～２４ｄとして表している。以下の説明において、筒状部２４ａ～２４ｄを特に区別しない場合は、筒状部２４として説明する。

　図３に示すように、静電霧化装置１は、１９本の筒状部２４を備える。なお、筒状部２４の本数は、特に限定されず、複数であればよい。筒状部２４の本数が多い程、静電霧化装置１が生成するミスト４の量を増加させることができる。例えば、筒状部２４の本数は、１２本以上である。

　図２に示すように、複数の筒状部２４のうち、隣り合う２つの筒状部２４間の距離ｐは、これらの２つの筒状部２４の各々の外径Ｒの１０倍以上である。すなわち、ｐ≧１０Ｒを満たしている。本実施の形態では、外径Ｒが０．５ｍｍであるので、距離ｐは、例えば、５ｍｍ以上である。なお、本実施の形態において、隣り合う２つの筒状部２４とは、１つの筒状部２４と、当該１つの筒状部２４に最も近い筒状部２４とである。

　ここで、距離ｐは、隣り合う２つの筒状部２４の中心間の距離である。例えば、距離ｐは、２本の中心軸Ｊ間の距離である。なお、中心軸Ｊは、円形の開口２５及び開口２６の各々の中心を通る仮想的な軸である。

　また、距離ｐは、外径Ｒの１６倍以上であってもよい。具体的には、外径Ｒが０．５ｍｍであるので、距離ｐは、例えば８ｍｍ以上であってもよい。例えば、距離ｐが８ｍｍ以上である場合、筒状部２４の本数によらず、安定したミスト４の生成が可能になる。

　本実施の形態では、複数の筒状部２４はそれぞれ、所定の位置と、当該位置を中心とする同心状の１以上の正六角形の頂点とにそれぞれ配置されている。具体的には、図３に示すように、筒状部２４ａが平板部２１の中心に位置している。残りの筒状部２４は、筒状部２４ａを中心として、その周りに環状に配置されている。

　具体的には、６つの筒状部２４ｂは、筒状部２４ａを中心とする仮想的な正六角形ｈｇ１の各頂点に配置されている。さらに、６つの筒状部２４ｃは、筒状部２４ａを中心とする正六角形ｈｇ２の各頂点に配置されている。６つの筒状部２４ｄは、正六角形ｈｇ２の各辺の中点に配置されている。

　正六角形ｈｇ１と正六角形ｈｇ２とは、筒状部２４ａを中心とする同心状の正多角形の一例である。正六角形ｈｇ２は、正六角形ｈｇ１より大きい。具体的には、正六角形ｈｇ２の一辺の長さは、正六角形ｈｇ１の一辺の長さの２倍である。正六角形ｈｇ１の一辺の長さは、図２に示す距離ｐに等しい。

　なお、筒状部２４の本数が２０本以上である場合、２０本目～３７本目の筒状部２４は、一辺の長さが距離ｐの３倍になる正六角形の頂点及び辺の三等分点に配置される。さらに、筒状部２４の本数が多くなる場合には、一辺の長さが距離ｐの４倍になる正六角形の頂点及び辺の四等分点に配置される。このように、本実施の形態では、複数の筒状部２４は、所定の位置と、当該位置を中心とする同心状のｎ個の正六角形であって、各々の一辺の長さが距離ｐの１～ｎ倍の正六角形の頂点及びｎ等分点に配置されている。

　図３に示すように、１９本の筒状部２４のうち、任意の１本の筒状部２４の周りには、距離ｐで等距離に位置する３本～６本の筒状部２４が位置している。つまり、任意の１本の筒状部２４に対して、隣り合う複数の筒状部２４は全て等距離に位置している。具体的には、複数の筒状部２４は、正六角形のハニカム構造の各頂点に位置している。これにより、平板部２１の平面視において、複数の筒状部２４は、局所的に集中せずに、面内で均一になるように分散して配置される。

　［対向電極］
　対向電極３０は、図１及び図２に示すように、複数の開口２５に対向して配置されている。対向電極３０は、複数の筒状部２４に一対一に対応する複数の貫通孔３１を有する。本実施の形態では、対向電極３０は、板厚が均一な平板であり、複数の筒状部２４の各々の中心軸Ｊを通る位置に貫通孔３１が設けられている。なお、対向電極３０は、湾曲板であってもよい。

　貫通孔３１の形状は、中心軸Ｊを中心とする扁平な円柱状である。貫通孔３１は、ミスト４を通過させるために設けられている。ミスト４は、図２に示すように、テーラーコーン３の先端から円錐状に広がって放出される。このため、貫通孔３１の開口径φが大きい程、ミスト４を通過させやすくなる。

　貫通孔３１が大きすぎる場合、筒状部２４と対向電極３０との距離が大きくなるので、筒状部２４の先端に高電界が印加されにくくなる。また、筒状部２４と対向電極３０とが近すぎる場合、対向電極３０と液体２との間での絶縁破壊が発生しやすくなる。貫通孔３１の開口径φは、例えば筒状部２４の外径Ｒの５倍以上１０倍以下である。

　本実施の形態では、貫通孔３１の開口径φは、例えば１ｍｍ以上２．２５ｍｍ以下の範囲である。また、電極間距離Ｌは、例えば３ｍｍ以上２５ｍｍ以下の範囲である。ここで、図２に示すように、複数の貫通孔３１の各々の開口端と、対応する筒状部２４の先端とを結ぶ線Ｋと、中心軸Ｊとがなす角度をαで表す。線Ｋは、中心軸Ｊを含む断面において、筒状部２４の先端の外周端と、貫通孔３１の下端側の開口端とを結ぶ線である。

　このとき、ｔａｎαは、以下の式（１）で表される範囲になる。

　１ｍｍ／２５ｍｍ＝０．０４≦ｔａｎα≦２．２５ｍｍ／３ｍｍ＝０．７５　（１）

　式（１）から、角度αは、３°以上３７°以下となる。

　対向電極３０は、導電性を有し、例えばステンレスなどの金属材料を用いて形成されている。このとき、対向電極３０は、液体２の性質に応じて、耐酸性若しくは耐アルカリ性又はこれらの両方の性質を有する材料を用いて形成されていてもよい。

　［電圧印加部］
　電圧印加部４０は、液体２と対向電極３０との間に所定の電圧を印加する。本実施の形態では、電圧印加部４０は、対向電極３０と第１液体槽１０とに接続されている。具体的には、第１液体槽１０が接地されており、液体２にグランド電位を与える。電圧印加部４０は、対向電極３０に正の電位を与えることで、対向電極３０と液体２との間に所定の電圧を印加する。

　なお、噴出板２０が導電性材料を用いて形成されている場合には、電圧印加部４０は、第１液体槽１０の代わりに噴出板２０に接続されていてもよい。このとき、電圧印加部４０は、平板部２１及び複数の筒状部２４の各々のいずれに接続されていてもよい。あるいは、電圧印加部４０は、導電性の第２液体槽１１に接続されていてもよい。

　また、電圧印加部４０は、液体２に接触する位置に設けられた電極（図示せず）に接続されていてもよい。また、例えば、第１液体槽１０の内部で液体２に接触する位置に金属製のメッシュを配置し、電圧印加部４０は、当該メッシュに接続されていてもよい。

　電圧印加部４０が印加する所定の電圧は、例えば、４．５ｋＶ以上１０ｋＶ以下の直流電圧である。あるいは、所定の電圧は、３．５ｋＶ以上８．５ｋＶ以下であってもよい。なお、所定の電圧は、パルス電圧、脈流電圧、又は、交流電圧でもよい。

　電圧印加部４０は、具体的には、コンバータなどを含む電源回路で実現される。例えば、電圧印加部４０は、商用電源などの外部電源から受けた電力に基づいて所定の電圧を生成して、液体２と対向電極３０との間に印加する。

　［コントローラ］
　コントローラ５０は、静電霧化装置１の全体的な動作を制御する。具体的には、コントローラ５０は、電圧印加部４０の動作を制御する。例えば、コントローラ５０は、電圧印加部４０を制御することで、対向電極３０と液体２との間に電圧を印加するタイミング、及び、電圧の大きさなどを制御する。

　コントローラ５０は、例えば、マイクロコントローラなどで実現される。具体的には、コントローラ５０は、プログラムが格納された不揮発性メモリ、プログラムを実行するための一時的な記憶領域である揮発性メモリ、入出力ポート、プログラムを実行するプロセッサなどで実現される。コントローラ５０は、各動作を実行する専用の電子回路で実現されてもよい。

　［筒状部の詳細な形状］
　続いて、筒状部２４の詳細な形状の一例について、図２及び図４を用いて説明する。

　図４は、本実施の形態に係る静電霧化装置１の筒状部２４と第１液体槽１０及び第２液体槽１１の位置関係を示す断面図である。なお、図４では、説明を分かりやすくするため、１本のみの筒状部２４を図示している。

　図２及び図４に示すように、筒状部２４の形状は、内径ｄ及び外径Ｒが均一な円筒状である。筒状部２４の内面２８は、流路２７を形成している。流路２７の入口は、筒状部２４の後端側の開口２６である。流路２７の出口は、筒状部２４の先端側の開口２５である。

　開口２５及び開口２６の形状はそれぞれ、円形である。内径ｄは、流路２７の径であり、例えば０．３ｍｍであるが、これに限らない。また、外径Ｒは、例えば０．５ｍｍであるが、これに限らない。例えば、外径Ｒは、０．５ｍｍ以上１．５ｍｍ以下の範囲でもよい。

　ここで、図４に示すように、筒状部２４の後端と平板部２１の主面２３との接続部分には、拡径部２９が設けられている。拡径部２９は、筒状部２４の内面２８の一部であり、筒状部２４の後端から先端に向かう方向に、漸次、内径ｄが小さくなる部分である。拡径部２９は、例えば、円錐台の側面形状を有する。

　なお、筒状部２４には、拡径部２９が設けられていなくてもよい。具体的には、開口２５及び開口２６の各々の面積は、互いに等しくてもよい。例えば、流路２７の形状は、流路面積が均一の円柱状であってもよい。

　あるいは、筒状部２４の内径ｄ及び外径Ｒの少なくとも一方は、後端から先端に向かって漸次小さくなってもよい。例えば、後端側の開口２６より先端側の開口２５が小さくてもよく、流路２７の形状は、円錐台状であってもよい。

　筒状部２４の後端は、液体２に接触する位置に位置している。具体的には、筒状部２４の後端は、平板部２１の主面２３と面一である。筒状部２４の後端は、第１液体槽１０の内部に位置している。これにより、液体２は、筒状部２４の後端側の開口２６から筒状部２４内の流路２７を通って先端側の開口２５まで導かれる。

　本実施の形態では、流路２７を形成している内面２８、すなわち、筒状部２４の内面２８は、親水化処理されている。つまり、内面２８は、親水性を有する。具体的には、内面２８の全体が親水化処理されている。

　親水化処理は、例えば、流路２７に薬液を流すことにより行われる。薬液によって内面２８の表面に微小凹凸が形成されることで、内面２８が親水化される。筒状部２４が例えばステンレスを用いて形成されている場合、薬液として、希塩酸などが用いられる。

　このとき、薬液に接触させた部分のみが親水化されるので、選択的な親水化が可能になる。例えば、拡径部２９を含む内面２８のみを親水化し、平板部２１の主面２３を撥水化してもよい。主面２３が撥水性を有することで、弾かれた液体２が流路２７に導かれやすくなる。また、拡径部２９は、親水化されていなくてもよい。なお、親水化処理は、プラズマ処理又はオゾン処理などで行われてもよい。

　筒状部２４の内面２８の、液体２に対する接触角は、９０°未満である。このとき、接触角は、８５°以下であってもよい。あるいは、接触角は、６５°以下であってもよい。接触角は、１０°以下でもよく、５°以下でもよい。内面２８は、超親水性を有してもよい。

　内面２８の接触角は、例えば、内面２８の全体で均等である。また、複数の筒状部２４の各々の内面２８の接触角は、互いに等しい。これにより、複数の筒状部２４の各々における毛細管力を均等になり、均等な速さで液体２を開口２５まで導くことができる。

　本実施の形態では、筒状部２４は、以下の式（２）を満たすような条件で形成されている。

　ｄ≦ｈ≦４Ｔｃｏｓθ／ρｇｄ　（２）

　ここで、ｈは、図４に示すように、筒状部２４の先端から後端までの距離である。ｄは、上述したように、筒状部２４の内径である。Ｔは、液体２の表面張力である。θは、液体２に対する内面２８の接触角である。ρは、液体２の密度である。ｇは、重力加速度である。

　上記式（２）の右辺は、毛細管現象によって液体２が鉛直上方に延びた場合に形成される液柱の高さの上限値を意味する。したがって、上記式（２）を満たすことで、流路２７が鉛直上方に向かって延びている場合であっても、毛細管現象によって液体２が高さｈまで、すなわち、開口２５まで到達する。このため、開口２５に到達した液体２がテーラーコーン３を形成し、ミスト４が生成される。

　［接触角と液柱の高さ］
　ここで、内面２８の接触角と液柱の高さとの関係を、図５を用いて説明する。

　図５は、本実施の形態に係る静電霧化装置１の流路２７の壁面（内面２８）の接触角毎に、流路２７の径ｄに対する液柱の高さを示す図である。図５において、横軸は、流路２７の径、すなわち、筒状部２４の内径ｄを示している。縦軸は、流路２７が鉛直上方に延びるときに液体２が流路２７を上昇することで形成される液柱の高さを示している。

　ここでは、筒状部２４の材料として、ガラス、ステンレス（ＳＵＳ）及びポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）の３種類を用意した。ガラス、ステンレス及びポリ塩化ビニルの各々の、次亜塩素酸水に対する接触角はそれぞれ、２０°、６３°及び８７°である。

　図５に示すように、流路２７の径が同じである場合、接触角が小さい程、液柱の高さが大きくなっている。つまり、接触角を小さくする程、流路２７の長さを大きくすることができる。例えば、筒状部２４の平板部２１からの突出量Ｈを大きくすることができるので、筒状部２４の先端に高電界を集中させやすくなる。

　例えば、流路２７の径、すなわち、内径ｄが０．３ｍｍである場合、液柱の高さは、ステンレスで４０ｍｍ以上、ガラスで８０ｍｍ以上になっている。このため、平板部２１の板厚（例えば１ｍｍ）を考慮したとしても、筒状部２４のアスペクト比を容易に４以上で確保することができる。

　一方で、内径ｄが０．３ｍｍである場合、ポリ塩化ビニルのときの液柱の高さは、３ｍｍ～５ｍｍ程度である。このため、筒状部２４のアスペクト比が４より小さくなる場合がある。

　しかしながら、ポリ塩化ビニルを用いて筒状部２４を形成した場合であっても、図５に示すように、流路の径（内径ｄ）を０．２ｍｍ以下にすることで、液柱の高さが上昇していることが分かる。したがって、筒状部２４のアスペクト比を４以上に確保することができる。

　図５から分かるように、接触角が８７°を下回り、例えば８５°以下になった場合、接触角が小さくなる程、同じ内径ｄに対する液柱の高さが大きくなることが分かる。特に、接触角が６５°以下である場合には、ステンレス（６３°）とポリ塩化ビニル（８７°）とを比較して分かるように、同じ内径ｄに対する液柱の高さが一層大きくなることが分かる。例えば、内径ｄが０．３ｍｍの場合には液柱の高さが１０倍以上大きくなっている。

　このように、本実施の形態に係る静電霧化装置１によれば、内面２８の接触角は、９０°未満であるが、８５°以下であることが好ましい。さらに、内面２８の接触角は、６５°以下であることが好ましい。接触角を小さくすることで、流路２７内を通って液体２が開口２５まで導かれ、かつ、開口２５で保持されやすくなる。

　なお、本実施の形態では、１本の筒状部２４の先端に、１時間当たり１０μＬ以上６０μＬ以下の液体２が供給されるように、内面２８の接触角及び流路２７の径などが調整されている。これにより、静電霧化装置１がＮ本の筒状部２４を備える場合に、静電霧化装置１の全体としては、１時間当たり１０×ＮμＬ以上６０×ＮμＬ以下のミスト４が生成されて放出される。

　［位置関係］
　ここで、本実施の形態に係る第１液体槽１０と第２液体槽１１との位置関係について、図１及び図４を用いて説明する。

　本実施の形態では、図４に示すように、第２液体槽１１に貯められた液体２の液面２ａは、筒状部２４の後端と先端との間に位置している。なお、図４には、液面２ａの仮想的な延長平面を破線で図示している。

　例えば、コントローラ５０は、第２液体槽１１内の液体２の液面２ａの高さを監視していてもよい。静電霧化装置１の動作中に、液面２ａが筒状部２４の後端より下回った場合に、コントローラ５０は、電圧印加部４０による電圧の印加を停止してもよい。あるいは、液面２ａが常に筒状部２４の後端と先端との間に位置するように、第２液体槽１１には外部から液体２が供給されていてもよい。

　［効果など］
　以上のように、本実施の形態に係る静電霧化装置１は、液体２を収容するための第１液体槽１０と、液体２を噴出させるための複数の開口２５を有する噴出板２０と、複数の開口２５に対向して設けられた対向電極３０と、液体２と対向電極３０との間に所定の電圧を印加する電圧印加部４０とを備える。噴出板２０は、平板部２１と、平板部２１に支持された複数の筒状部２４とを有する。複数の筒状部２４の各々は、平板部２１から対向電極３０に向かって突出し、かつ、先端に開口２５を有する。複数の筒状部２４の各々の内面２８の、液体２に対する接触角は、９０°未満である。

　これにより、複数の筒状部２４の各々の内面が親水性になるので、毛細管現象によって液体２が筒状部２４の内部を進行しやすくなる。したがって、ポンプなどの外部からの圧力を利用しなくても、筒状部２４の先端に設けられた開口２５まで液体２を導くことができる。

　このため、複数の筒状部２４の各々の流路２７を流れる液体２の速度を互いに同じにすることができ、複数の開口２５の各々に安定して液体２を導くことができる。したがって、複数の開口２５の各々でミスト４が安定して生成されるので、十分な量のミスト４を安定して噴霧することができる。また、静電霧化装置１は、ポンプを備えないので、小型で、かつ、軽量で、さらに安価に実現される。

　また、例えば、筒状部２４の先端から後端までの距離をｈ、筒状部２４の内径をｄ、液体２の表面張力をＴ、内面２８の液体２に対する接触角をθ、液体２の密度をρ、重力加速度をｇとした場合、ｄ≦ｈ≦４Ｔｃｏｓθ／ρｇｄを満たす。

　これにより、筒状部２４の突出方向が鉛直上方である場合においても、毛細管現象によって液体２を開口２５まで導くことができる。なお、鉛直上方だけでなく、様々な方向に十分な量のミスト４を安定して噴霧することができる。

　また、例えば、静電霧化装置１は、さらに、第１液体槽１０に接続され、第１液体槽１０に液体２を供給するための第２液体槽１１を備える。第２液体槽１１に貯められる液体２の液面２ａは、複数の筒状部２４の各々の先端と後端との間に位置している。

　これにより、第２液体槽１１に貯められる液体２の液面２ａが筒状部２４の後端より高い位置に位置しているので、液体２は、自重によって筒状部２４の後端まで達する。筒状部２４の後端側の開口２６に達した液体２は、毛細管現象によって筒状部２４内の流路２７を通って開口２５まで導かれる。このように、ポンプなどの外部からの圧力を利用しなくても、第２液体槽１１から第１液体槽１０に対して液体２を供給することができ、さらに、供給した液体２を開口２５まで導くことができる。したがって、複数の開口２５の各々でミスト４が安定して生成されるので、十分な量のミスト４を安定して噴霧することができる。

　また、例えば、筒状部２４は、金属材料を用いて形成されており、筒状部２４の内面２８は、親水化処理されている。

　これにより、親水化処理の態様に応じて内面２８の接触角を所望の値に調整することができる。したがって、開口２５に保持させる液体２の供給量を容易に調整することができるので、テーラーコーン３の形成を安定させ、ミスト４を安定して噴霧することができる。

　また、筒状部２４が金属材料を用いて形成されており、導電性を有するので、筒状部２４を放電電極として機能させることもできる。例えば、電圧印加部４０は、対向電極３０と筒状部２４とに接続されていてもよい。これにより、筒状部２４の先端に高電界を容易に発生させることができる。

　また、例えば、平板部２１と複数の筒状部２４の各々とは、金属材料を用いて一体的に形成されている。筒状部２４の後端は、平板部２１の主面２３と面一である。

　これにより、平板部２１と複数の筒状部２４とが一体的に形成されているので、平板部２１と複数の筒状部２４とを固定する工程が必要ではなく、当該工程における作業精度のばらつきなどを抑制することができる。例えば、複数の筒状部２４の各々の平板部２１からの突出量が均等になりやすく、ミスト４の生成の安定性を高めることができる。

　また、例えば、筒状部２４の内面２８の、液体２に対する接触角は、８５°以下である。

　これにより、接触角が小さくなる程、毛細管現象によって形成される液柱の高さが大きくなるので、液体２をより高い位置まで導くことができる。このため、平板部２１の主面２２からの筒状部２４の突出量を大きくすることができる。筒状部２４の突出量が大きくなる程、筒状部２４の先端に高電界が集中しやすくなる。したがって、筒状部２４の先端で形成されるテーラーコーン３の形状が安定し、ミスト４を安定して生成することができる。

　また、例えば、筒状部２４の内面２８の、液体２に対する接触角は、６５°以下である。

　これにより、毛細管現象によって形成される液柱の高さが更に大きくなるので、筒状部２４の突出量を更に大きくすることができる。したがって、筒状部２４の先端に電界が更に集中しやすくなり、テーラーコーン３の形状が更に安定する。このように、本実施の形態に係る静電霧化装置１によれば、十分な量のミスト４を安定して噴霧することができる。

　（実施の形態２）
　［概要］
　続いて、実施の形態２に係る静電霧化装置について説明する。

　本実施の形態では、十分な量の霧状の液体を安定して噴霧することができる静電霧化装置を提供する。

　本実施の形態に係る静電霧化装置は、液体を収容するための液体槽と、前記液体を噴出させるための複数の開口を有する噴出板と、前記複数の開口に対向して配置された対向電極と、前記液体と前記対向電極との間に所定の電圧を印加する電圧印加部とを備え、前記噴出板は、平板部と、前記平板部に支持された複数の筒状部とを有し、前記複数の筒状部の各々は、前記平板部から前記対向電極に向かって突出し、かつ、先端に前記開口を有し、前記複数の筒状部のうち、隣り合う２つの筒状部間の距離は、当該２つの筒状部の各々の外径の１０倍以上である。

　［構成］
　まず、本実施の形態に係る静電霧化装置の構成について、図６及び図７を用いて説明する。

　図６は、本実施の形態に係る静電霧化装置１０１の構成を示す斜視図である。図６に示すように、本実施の形態に係る静電霧化装置１０１は、液体槽１１０と、噴出板１２０と、対向電極３０と、電圧印加部４０と、ポンプ１６０と、コントローラ１５０とを備える。噴出板１２０は、電極支持板１２１と、複数の放電電極１２４とを備える。液体槽１１０には、液体２が収容されている。

　なお、図１では、コントローラ１５０を機能的なブロックとして表している。コントローラ１５０は、例えばマイコン（マイクロコントローラ）などで実現され、静電霧化装置１０１の外殻筐体（図示せず）の内部に配置されている。コントローラ１５０は、例えば液体槽１１０の外側に取り付けられていてもよい。

　対向電極３０、電圧印加部４０、及び液体２は、実施の形態１に係る対向電極３０、電圧印加部４０及び液体２と同じである。液体槽１１０、噴出板１２０及びコントローラ１５０は、実施の形態１に係る第１液体槽１０、噴出板２０及びコントローラ５０にそれぞれ対応している。以下では、本実施の形態と実施の形態１との相違点を中心に説明し、共通点の説明を省略又は簡略化する。

　図７は、本実施の形態に係る静電霧化装置１０１の複数の放電電極１２４と対向電極３０との位置関係を示す断面図である。具体的には、図７は、図６のＶＩＩ－ＶＩＩ線における断面であって、隣り合う２つの放電電極１２４の各々の中心軸Ｊを通る断面を示している。

　液体槽１１０は、液体２を収容するための容器であり、実施の形態１の第１液体槽１０と同様である。液体槽１１０には、配管１２の代わりに配管１６１が接続されている点が第１液体槽１０と相違している。具体的には、液体槽１１０には、ポンプ１６０及び配管１６１を介して、機能水の貯水槽又は生成装置（図示せず）などが接続されている。

　噴出板１２０は、液体２を噴出させるための複数の開口１２５を有する。具体的には、噴出板１２０は、平板部の一例である電極支持板１２１と、複数の筒状部の一例である複数の放電電極１２４とを備える。複数の開口１２５は、放電電極１２４の各々の先端に設けられている。

　電極支持板１２１は、複数の放電電極１２４を支持する板状の部材である。電極支持板１２１は、例えば樹脂材料を用いて形成されているが、金属材料を用いて形成されていてもよい。このとき、電極支持板１２１は、液体２の性質に応じて、耐酸性若しくは耐アルカリ性又はこれらの両方の性質を有する材料を用いて形成されていてもよい。

　電極支持板１２１には、複数の放電電極１２４が圧入されることで固定されている。例えば、電極支持板１２１には、複数の開口１２５を設けるべき位置にそれぞれ貫通孔が設けられ、当該貫通孔に放電電極１２４が挿入されて固定されている。電極支持板１２１は、板厚が均一な平板であるが、これに限らず、湾曲板であってもよい。

　電極支持板１２１は、液体槽１１０に固定されている。なお、電極支持板１２１は、液体槽１１０と同一の材料を用いて、液体槽１１０と一体に形成されていてもよい。

　複数の放電電極１２４は、電極支持板１２１に支持された複数の筒状部の一例である。複数の放電電極１２４の各々は、電極支持板１２１から対向電極３０に向かって突出している。複数の放電電極１２４の各々は、先端に開口１２５を有する。また、図７に示すように、複数の放電電極１２４の各々は、後端に開口１２６を有し、かつ、開口１２６から開口１２５に至る流路１２７を有する。

　なお、放電電極１２４の先端とは、電極支持板１２１から対向電極３０に向かう方向のプラス側である。つまり、放電電極１２４の先端は、放電電極１２４の最も対向電極３０に近い部分である。放電電極１２４の後端は、先端とは反対側の端部である。

　本実施の形態では、複数の放電電極１２４は、互いに同じ構成を有する。放電電極１２４の形状は、内径ｒ及び外径Ｒが均一な円筒状である。具体的には、開口１２５及び開口１２６の形状はそれぞれ、円形である。流路１２７の形状は、流路面積が均一の円柱状である。内径ｒは、例えば０．３ｍｍであり、外径Ｒは、例えば０．５ｍｍであるが、これに限らない。例えば、外径Ｒは、０．５ｍｍ以上１．５ｍｍ以下の範囲でもよい。

　なお、放電電極１２４の内径ｒ及び外径Ｒの少なくとも一方は、後端から先端に向かって漸次小さくなってもよい。例えば、後端側の開口１２６より先端側の開口１２５が小さくてもよく、流路１２７の形状は、円錐台状であってもよい。

　放電電極１２４の後端は、液体２に接触する位置に位置している。具体的には、放電電極１２４の後端は、液体槽１１０の内部に位置している。これにより、液体２は、放電電極１２４の後端側の開口１２６から放電電極１２４内の流路１２７を通って先端側の開口１２５まで導かれる。

　放電電極１２４は、電極支持板１２１の主面１２２に対して垂直に立設されている。主面１２２は、電極支持板１２１の対向電極３０に対向する面であり、液体２とは反対側の面である。本実施の形態では、放電電極１２４は、外径Ｒに対する高さｈの比（以下、アスペクト比と記載する）が４以上である。すなわち、ｈ≧４Ｒを満たしている。ここで、放電電極１２４の高さｈは、図７に示すように、放電電極１２４の先端から主面１２２までの距離で表される。高さｈは、例えば２ｍｍ以上である。

　放電電極１２４のアスペクト比が大きい程、放電電極１２４の先端に電界が集中しやすくなる。このため、放電電極１２４のアスペクト比は、６以上でもよい。本発明者らの検討により、アスペクト比が４以上であれば、テーラーコーン３の形状が安定し、ミスト４の噴霧量が安定することが確認された。一方で、アスペクト比が４より小さい場合、テーラーコーン３の形状が不安定となることが確認された。

　放電電極１２４は、導電性を有し、例えばステンレスなどの金属材料を用いて形成されている。このとき、放電電極１２４は、液体２の性質に応じて、耐酸性若しくは耐アルカリ性又はこれらの両方の性質を有する材料を用いて形成されていてもよい。

　図７に示すように、複数の放電電極１２４のうち、隣り合う２つの放電電極１２４間の距離ｐは、これらの２つの放電電極１２４の各々の外径Ｒの１０倍以上である。すなわち、ｐ≧１０Ｒを満たしている。本実施の形態では、外径Ｒが０．５ｍｍであるので、距離ｐは、例えば、５ｍｍ以上である。なお、本実施の形態において、隣り合う２つの放電電極１２４とは、１つの放電電極１２４と、当該１つの放電電極１２４に最も近い放電電極１２４とである。

　ここで、距離ｐは、隣り合う２つの放電電極１２４の中心間の距離である。図７には、放電電極１２４の中心軸Ｊを図示している。距離ｐは、２本の中心軸Ｊ間の距離である。なお、中心軸Ｊは、円形の開口１２５及び開口１２６の各々の中心を通る仮想的な軸である。

　また、距離ｐは、外径Ｒの１６倍以上であってもよい。具体的には、外径Ｒが０．５ｍｍであるので、距離ｐは、例えば８ｍｍ以上であってもよい。詳細については後述するが、距離ｐが８ｍｍ以上である場合、放電電極１２４の本数によらず、安定したミスト４の生成が可能になる。

　図８は、本実施の形態に係る静電霧化装置１０１の複数の放電電極１２４の平面レイアウトを示す平面図である。図８では、複数の放電電極１２４をその配置位置に応じて放電電極１２４ａ～１２４ｄとして表している。以下の説明において、放電電極１２４ａ～１２４ｄを特に区別しない場合は、放電電極１２４として説明する。

　図８に示すように、静電霧化装置１０１は、１９本の放電電極１２４を備える。なお、放電電極１２４の本数は、特に限定されず、複数であればよい。放電電極１２４の本数が多い程、静電霧化装置１０１が生成するミスト４の量を増加させることができる。例えば、放電電極１２４の本数は、１２本以上である。

　本実施の形態では、複数の放電電極１２４はそれぞれ、所定の位置と、当該位置を中心とする同心状の１以上の正六角形の頂点とにそれぞれ配置されている。具体的には、図８に示すように、放電電極１２４ａが電極支持板１２１の中心に位置している。残りの放電電極１２４は、放電電極１２４ａを中心として、その周りに環状に配置されている。なお、放電電極１２４ａは、第１筒状部の一例である。放電電極１２４ｂ～１２４ｄは、放電電極１２４ａを囲んで配置された複数の第２筒状部の一例である。複数の放電電極１２４の具体的な配置は、例えば、図８及び図３に示すように、実施の形態１に係る複数の筒状部２４の配置と同じである。

　ポンプ１６０は、貯水槽に貯められた機能水又は生成装置によって生成された機能水を、液体２として液体槽１１０に供給する送液装置の一例である。ポンプ１６０による液体槽１１０への機能水の供給量を調整することで、放電電極１２４内を通って開口１２５まで導く液体２の量が調整される。

　例えば、ポンプ１６０は、複数の放電電極１２４の各々の開口１２５に、１時間当たり１０μＬ以上６０μＬ以下の液体２が供給されるように、機能水の供給量を調整する。これにより、静電霧化装置１０１がＮ本の放電電極１２４を備える場合、静電霧化装置１０１の全体としては、１時間当たり１０×ＮμＬ以上６０×ＮμＬのミスト４が生成されて放出される。

　配管１６１は、機能水を液体２として液体槽１１０に供給するために設けられている。例えば、配管１６１は、液体槽１１０と、機能水の生成装置（図示せず）とを接続している。本実施の形態では、図１に示すように、配管１６１の途中にポンプ１６０が設けられている。

　配管１６１は、例えばステンレスなどの金属材料を用いて形成されている。このとき、配管１６１は、液体２の性質に応じて、耐酸性若しくは耐アルカリ性又はこれらの両方の性質を有する材料を用いて形成されていてもよい。

　なお、電圧印加部４０は、液体槽１１０の代わりに、導電性の配管１６１に接続されていてもよい。あるいは、電圧印加部４０は、複数の放電電極１２４の各々に接続されていてもよい。電極支持板１２１が導電性材料を用いて形成されている場合には、電圧印加部４０は、電極支持板１２１に接続されていてもよい。また、電圧印加部４０は、液体２に接触する位置に設けられた電極（図示せず）に接続されていてもよい。

　コントローラ１５０は、静電霧化装置１０１の全体的な動作を制御する。具体的には、コントローラ１５０は、電圧印加部４０及びポンプ１６０の動作を制御する。例えば、コントローラ１５０は、電圧印加部４０を制御することで、対向電極３０と液体２との間に電圧を印加するタイミング、及び、電圧の大きさなどを制御する。また、コントローラ１５０は、ポンプ１６０を制御することで、液体槽１１０に液体２として供給する機能水の量を制御する。

　コントローラ１５０は、例えば、マイクロコントローラなどで実現される。具体的には、コントローラ１５０は、プログラムが格納された不揮発性メモリ、プログラムを実行するための一時的な記憶領域である揮発性メモリ、入出力ポート、プログラムを実行するプロセッサなどで実現される。コントローラ１５０は、各動作を実行する専用の電子回路で実現されてもよい。

　［放電電極間の距離］
　ここで、隣り合う放電電極１２４間の距離ｐとミスト４の安定した生成との関係について、図９を用いて説明する。図９は、本実施の形態に係る静電霧化装置１０１の放電電極１２４間の距離ｐとテーラーコーン３との関係を示す図である。

　ミスト４の生成量は、テーラーコーン３の形状に依存する。具体的には、テーラーコーン３が安定した円錐状であれば、ミスト４も安定して生成される。

　図９に示すように、距離ｐが５ｍｍより短い場合、１２本の放電電極１２４のうち数本のテーラーコーンの形状が円錐から崩れている。このため、ｐ＜５ｍｍの場合は、ミスト４が安定して生成されない。なお、図９は、放電電極１２４の外径Ｒが０．５ｍｍの場合を示している。

　一方で、距離ｐが５ｍｍ以上である場合、１２本の放電電極１２４の全てでテーラーコーン３の形状が円錐で維持される。このため、ｐ≧５ｍｍ以上の場合、ミスト４が安定して生成される。

　なお、距離ｐが大きくなるにつれて、隣り合う放電電極１２４間での干渉が抑制される。このため、複数の放電電極１２４の各々の先端に高電界が生成されやすくなって、テーラーコーン３の形状が安定する。例えば、距離ｐが８ｍｍ以上である場合、放電電極１２４の個数によらず、テーラーコーン３の形状が安定し、ミスト４の生成量も安定する。

　［放電電極の本数］
　続いて、放電電極１２４の本数と隣り合う放電電極１２４間の距離ｐとの関係について、図１０及び図１１を用いて説明する。

　図１０は、本実施の形態に係る静電霧化装置１０１の放電電極１２４間の距離と放電電極１２４の本数の増大による電圧の勾配との関係を示す図である。図１０において、横軸は、隣り合う放電電極１２４間の距離ｐを示している。縦軸は、放電電極１２４の本数が増えた場合の静電霧化電圧の増大の勾配を示している。なお、静電霧化電圧は、静電霧化を行うのに必要な印加電圧であり、スプレー電圧ともいう。

　図１０に示すデータは、距離ｐが２．５ｍｍ（＝５Ｒ）、４．３ｍｍ（＝８．６Ｒ）、５．０ｍｍ（＝１０Ｒ）の３つの場合の各々において、放電電極１２４の本数を所定数（例えば１本）増やしたときの静電霧化電圧の変化を測定することで得られた。なお、外径Ｒが０．５ｍｍ、内径ｒが０．３ｍｍ、高さｈが３ｍｍ、電極間距離Ｌが６ｍｍであり、かつ、液体２の電気伝導度が０．４９ｍＳ／ｃｍの場合を示している。

　このとき、距離ｐを大きくすることで、静電霧化電圧の増大の勾配は、減少していることが分かる。３点の値に基づいて線形近似を行った場合、距離ｐが約８ｍｍである場合に、勾配が０になる。つまり、距離ｐが外径Ｒの約１６倍である場合に、放電電極１２４の本数を増やしたとしても、静電霧化電圧は増加しない。

　図１１は、本実施の形態に係る静電霧化装置１０１の放電電極１２４の本数と絶縁破壊電圧及び静電霧化電圧との関係を示す図である。図１１において、横軸は、放電電極１２４の本数を示しており、縦軸は、電圧を示している。

　図１１に示す例では、絶縁破壊電圧は、例えば９ｋＶである。つまり、対向電極３０と液体２との間に９ｋＶを超える電圧が印加された場合、電極間で絶縁破壊が生じ、ミスト４の生成が行われなくなる。

　なお、図１１に示すデータは、外径Ｒが０．５ｍｍ、内径ｒが０．３ｍｍ、高さｈが３ｍｍ、電極間距離Ｌが６ｍｍであり、かつ、液体２の電気伝導度が０．４９ｍＳ／ｃｍの場合を示している。放電電極１２４は、図８に示すように、その本数に応じて中心から正六角形状に広がるように配置した。

　図１１に示すように、隣り合う放電電極１２４間の距離ｐが外径Ｒの１０倍以上である場合、放電電極１２４の本数が増えるにつれて、静電霧化電圧が上昇している。具体的には、放電電極１２４の本数と静電霧化電圧とは、線形の関係を有する。放電電極１２４の本数が１５本以上の場合に、静電霧化電圧は、絶縁破壊電圧である９ｋＶを上回っている。このため、放電電極１２４の本数が１５本以上の場合、ミスト４の生成が困難になる。

　一方で、隣り合う放電電極１２４間の距離ｐが外径Ｒの１６倍以上である場合、放電電極１２４の本数によらず、静電霧化電圧は、５ｋＶで略一定である。これは、図１０を用いて説明した場合（すなわち、Ｒ＝０．５ｍｍに対するｐ＝８ｍｍ（＝１６Ｒ））と同様である。

　したがって、距離ｐを外径Ｒの１６倍以上にすることで、放電電極１２４の本数を無限に増やすことができ、静電霧化装置１０１の全体としてのミスト４の生成量を必要に応じて増やすことができる。

　［対向電極と放電電極との間の距離］
　続いて、本実施の形態に係る対向電極３０と放電電極１２４のとの間の距離Ｌについて、図１２を用いて説明する。

　なお、図１２に示すデータは、外径Ｒが０．５ｍｍ、内径ｒが０．３ｍｍ、高さｈが３ｍｍであり、かつ、液体２の電気伝導度が０．４９ｍＳ／ｃｍの場合を示している。放電電極１２４は、図１２に示すように、その本数に応じて中心から正六角形状に広がるように配置した。

　図１２は、本実施の形態に係る静電霧化装置１０１の電極間距離Ｌと絶縁破壊電圧及び静電霧化電圧との関係を示す図である。図１２において、横軸は、電極間距離Ｌを示しており、縦軸は、電圧を示している。

　図１２に示すように、電極間距離Ｌが大きくなる程、絶縁破壊電圧及び静電霧化電圧のいずれも大きくなっている。具体的には、電極間距離Ｌと絶縁破壊電圧及び静電霧化電圧の各々とは、線形の関係を有する。

　電極間距離Ｌが約３ｍｍより短い場合、絶縁破壊電圧が静電霧化電圧を下回っている。このため、静電霧化電圧を電圧印加部４０が印加した場合に、対向電極３０と放電電極１２４との間で絶縁破壊が発生する。したがって、この場合、ミスト４の生成が困難である。

　一方で、電極間距離Ｌが３ｍｍ以上である場合、絶縁破壊電圧が静電霧化電圧を上回っている。このため、電圧印加部４０が静電霧化電圧を印加したとしても、対向電極３０と放電電極１２４との間に絶縁破壊を発生させることなく、ミスト４の生成が可能となる。

　また、本実施の形態では、安全性及び消費電力の削減などの観点から、電圧印加部４０が印加可能な電圧の最大値は、１０ｋＶである。図１２に示すように、電極間距離Ｌが約２５ｍｍより大きい場合、静電霧化電圧が１０ｋＶを上回る。

　このため、本実施の形態では、電極間距離Ｌは、３ｍｍ以上２５ｍｍ以下の範囲である。当該範囲を角度αで表すと、上述したように、角度αは、３°以上３７°以下となる。

　電極間距離Ｌは、６ｍｍ以上２２ｍｍ以下であってもよい。電極間距離Ｌが６ｍｍ以上であることで、絶縁破壊電圧と静電霧化電圧との差を大きくすることができ、印加電圧の変動によって絶縁破壊が発生するのを抑制することができる。また、電極間距離Ｌが２２ｍｍ以下であることで、印加可能な電圧の上限値と静電霧化電圧との差を大きくすることができ、ミスト４の安定した生成が可能になる。なお、このときの角度αは、３°以上２１°以下となる。

　また、電極間距離Ｌは、８ｍｍ以上２０ｍｍ以下でもよい。これにより、ミスト４の生成を更に安定させることができる。なお、このときの角度αは、３°以上１６°以下となる。

　［効果など］
　以上のように、本実施の形態に係る静電霧化装置１０１は、液体２を収容するための液体槽１１０と、液体２を噴出させるための複数の開口１２５を有する噴出板１２０と、複数の開口１２５に対向して配置された対向電極３０と、液体２と対向電極３０との間に所定の電圧を印加する電圧印加部４０とを備える。噴出板１２０は、平板部の一例である電極支持板１２１と、電極支持板１２１に支持された複数の筒状部の一例である複数の放電電極１２４とを有する。複数の放電電極１２４の各々は、電極支持板１２１から対向電極３０に向かって突出し、かつ、先端に開口１２５を有する。複数の放電電極１２４のうち、隣り合う２つの放電電極１２４間の距離ｐは、当該２つの放電電極１２４の各々の外径Ｒの１０倍以上である。

　これにより、隣り合う２つの放電電極１２４間の距離ｐが外径Ｒの１０倍以上であるので、隣り合う２つの放電電極１２４間の干渉が抑制される。このため、放電電極１２４の先端で電界が集中しやすく、先端に形成されるテーラーコーン３の形状が安定する。テーラーコーン３の形状が安定することで、テーラーコーン３の先端での液体２の微細化（すなわち、霧化）が安定して行われ、ミスト４が安定して生成される。複数の放電電極１２４の各々から安定してミスト４が生成されるので、本実施の形態に係る静電霧化装置１０１によれば、十分な量の液体２をミスト４として安定して噴霧することができる。

　また、例えば、複数の放電電極１２４はそれぞれ、外径Ｒに対する高さｈの比が４以上である。

　これにより、複数の放電電極１２４の各々の先端で形成されるテーラーコーン３の形状をより安定させることができる。したがって、本実施の形態に係る静電霧化装置１０１によれば、十分な量の液体２をミスト４として、より安定して噴霧することができる。

　また、例えば、対向電極３０は、複数の放電電極１２４に一対一に対応する複数の貫通孔３１を有する。複数の貫通孔３１の各々の開口端と、対応する放電電極１２４の先端とを結ぶ線Ｋと、対応する放電電極１２４の中心軸Ｊとがなす角度αが３°以上３７°以下である。

　これにより、対向電極３０と放電電極１２４の先端とが離れすぎないようにしつつ、ミスト４が対向電極３０に捕らわれるのを抑制することができる。したがって、本実施の形態に係る静電霧化装置１０１によれば、より多くの量の液体２をミスト４として、安定して噴霧することができる。

　また、例えば、複数の放電電極１２４は、電極支持板１２１を平面視した場合に、所定の位置と、当該位置を中心とする同心状の１以上の正六角形の頂点とにそれぞれ配置されている。

　これにより、複数の放電電極１２４の互いの距離を確保しつつ、限られた面積の領域に、より多くの放電電極１２４を配置することができる。つまり、複数の放電電極１２４の互いの干渉を抑制しつつ、複数の放電電極１２４を密に配置することができる。したがって、本実施の形態に係る静電霧化装置１０１によれば、十分な量の液体２をミスト４として安定して噴霧することができるだけでなく、小型化を実現することができる。

　［変形例］
　続いて、実施の形態２の変形例について説明する。

　上記の実施の形態２では、対向電極と複数の放電電極との電極間距離Ｌが互いに等しい例について示したが、２つの放電電極の各々において電極間距離Ｌは異なっていてもよい。本変形例に係る静電霧化装置は、高さが互いに異なる複数の放電電極を備える。なお、以下では、実施の形態２との相違点を中心に説明する。特に説明しない点については、実施の形態２と同様である。

　図１３は、本変形例に係る静電霧化装置２０１の複数の放電電極２２４ａ～２２４ｃと対向電極３０との位置関係を示す断面図である。図１３は、図７と同様に、複数の放電電極２２４ａ～２２４ｃの各々の中心軸を通過する断面を示している。

　図１３に示すように、静電霧化装置２０１は、実施の形態２に係る静電霧化装置１０１と比較して、複数の放電電極１２４の代わりに、複数の放電電極２２４ａ～２２４ｃを備える。複数の放電電極２２４ａ～２２４ｃはそれぞれ、電極支持板１２１の主面１２２からの高さｈａ～ｈｃが異なる点を除いて、実施の形態２に係る放電電極１２４と同様である。

　放電電極２２４ａは、第１筒状部の一例である。放電電極２２４ａは、電極支持板１２１を平面視した場合に、複数の放電電極２２４ａ～２２４ｃのうち最も中央に近い位置に位置する放電電極である。例えば、放電電極２２４ａは、図８に示す放電電極１２４ａに相当する。

　放電電極２２４ｂ及び２２４ｃは、放電電極２２４ａを囲んで配置された複数の第２筒状部の一例である。放電電極２２４ｂ及び２２４ｃは、電極支持板１２１を平面視した場合に、放電電極２２４ａより外側に位置している。放電電極２２４ｃは、放電電極２２４ｂよりも外側に位置している。例えば、放電電極２２４ｂは、図８に示す放電電極１２４ｂに相当する。また、例えば、放電電極２２４ｃは、図８に示す放電電極１２４ｃに相当する。放電電極２２４ｃは、複数の放電電極２２４ａ～２２４ｃのうち、最も外側に位置する放電電極である。

　図１３に示すように、放電電極２２４ａの高さｈａは、放電電極２２４ｂ及び２２４ｃの高さｈｂ及びｈｃより高い。具体的には、ｈａ＞ｈｂ＞ｈｃを満たしている。例えば、ｈａとｈｂとの差、及び、ｈｂとｈｃとの差はそれぞれ、０．３ｍｍ以上１．０ｍｍ以下である。放電電極２２４ａ～２２４ｃの各々の外径がＲである場合、ｈａとｈｂとの差、及び、ｈｂとｈｃとの差はそれぞれ、外径Ｒの０．６倍以上２倍以下である。なお、ｈａ＞ｈｂ＝ｈｃでもよい。

　本変形例では、対向電極３０が平板状に構成されているので、対向電極３０と放電電極２２４ａとの間の距離Ｌａは、対向電極３０と放電電極１２６ｂ及び１２６ｃの各々のとの間の距離Ｌｂ及びＬｃより小さい。具体的には、Ｌａ＜Ｌｂ＜Ｌｃを満たしている。ＬａとＬｂとの差、及び、ＬｂとＬｃとの差はそれぞれ、ｈａとｈｂとの差、及び、ｈｂとｈｃとの差に等しい。なお、Ｌａ＜Ｌｂ＝Ｌｃでもよい。

　このとき、放電電極２２４ａ及び２２４ｂの高さｈａ及びｈｂが互いに等しく、放電電極２２４ｃの高さｈｃのみが高さｈａ及びｈｂより低くてもよい。すなわち、ｈａ＝ｈｂ＞ｈｃを満たしていてもよい。この場合、放電電極２２４ａ及び２２４ｂが、１以上の第１筒状部に相当し、放電電極２２４ｃが、第２筒状部に相当する。

　以上のように、本変形例に係る静電霧化装置２０１では、例えば、対向電極３０と放電電極２２４ａ～２２４ｃの各々との間の距離は、互いに異なっている。

　これにより、複数の放電電極２２４ａ～２２４ｃ間での電界のばらつきを抑制することができるので、複数の放電電極２２４ａ～２２４ｃの各々からのミスト４の量を略均等にすることができる。

　例えば、複数の放電電極２２４ａ～２２４ｃを密に配置した場合には、外周に配置された放電電極２２４ｃの先端に電界が集中しやすくなる。

　このため、例えば、複数の放電電極は、第１筒状部の一例である放電電極２２４ａと、放電電極２２４ａを囲んで配置された複数の第２筒状部の一例である放電電極２２４ｂ及び２２４ｃとを含んでいる。対向電極３０と放電電極２２４ａとの間の距離Ｌａは、対向電極３０と複数の放電電極２２４ｂ及び２２４ｃの各々との間の距離Ｌｂ及びＬｃより小さい。

　これにより、外周に配置された放電電極２２４ｃの電界集中を緩和し、複数の放電電極２２４ａ～２２４ｃの各々からのミスト４の量を略均等にすることができる。

　なお、本変形例では、放電電極の高さｈを平面視における配置位置に応じて異ならせたが、これに限らない。放電電極の高さｈは、平面視における配置位置に依らず一定でもよく、対向電極の形状が異なっていてもよい。例えば、対向電極は、平面視における位置が中心から離れる程、放電電極から離れるように、円錐側面形状に形成されていてもよい。あるいは、対向電極は、平面視における位置が中心から離れた部分程、放電電極から遠ざかるように階段状に形成されていてもよい。

　また、本変形例において、外側の放電電極程、対向電極との距離を近づけてもよい。これにより、電界が集中しやすい外側の放電電極の先端に、より高電界が印加されるようにすることができる。このため、外側の放電電極からのミストの生成量を増やすことができ、全体としてのミストの噴霧量を増やすことができる。

　（その他）
　以上、本発明に係る静電霧化装置について、上記の実施の形態及び変形例に基づいて説明したが、本発明は、上記の実施の形態に限定されるものではない。

　例えば、上記の実施の形態では、噴出板２０の平板部２１又は電極支持板１２１が液体２の上面を覆うように設けられ、複数の筒状部２４又は放電電極１２４が上方に向かって突出する例を示したが、これに限らない。例えば、平板部２１又は電極支持板１２１は、液体２の下面又は側面を覆っていてもよく、複数の筒状部２４又は放電電極１２４は、下方、側方又は斜め方向に突出していてもよい。静電霧化装置１又は１０１によるミスト４の噴霧方向は、上方に限らず、下方、側方又は斜め方向でもよい。

　また、例えば、第１液体槽１０、第２液体槽１１及び筒状部２４、並びに、液体槽１１０及び配管１６１などは、絶縁性の材料を用いて形成されてもよい。例えば、液体２に接地電位を供給することで、筒状部２４又は放電電極１２４などが導電性を有しなくても、筒状部２４又は放電電極１２４の先端でテーラーコーン３を形成することができ、ミスト４を安定して噴霧することができる。

　また、例えば、噴出板２０は、平板部２１と複数の筒状部２４とがそれぞれ別体で形成されていてもよい。例えば、樹脂製又は金属製の平板部２１に、複数の筒状部２４を圧入することで、噴出板２０が形成されてもよい。

　また、例えば、噴出板１２０は、電極支持板１２１と複数の放電電極１２４とが一体に形成されていてもよい。噴出板１２０は、例えば金属材料又は樹脂材料を用いた射出成形により一体的に形成されてもよい。

　また、例えば、噴出板１２０は、導電性の放電電極１２４の代わりに、絶縁性の材料を用いて形成された筒状のノズルを備えてもよい。例えば、液体２に接地電位を供給することで、ノズルが導電性を有しなくても、ノズルの先端でテーラーコーン３を形成することができ、ミスト４を安定して噴霧することができる。

　また、例えば、複数の放電電極１２４には、距離ｐが外径Ｒの１０倍より小さい２つの放電電極１２４が含まれてもよい。また、例えば、複数の放電電極１２４の各々の高さｈは、外径Ｒの４倍より小さくてもよい。

　また、例えば、対向電極３０は、平板状の電極でなくてもよく、例えば、滑らかに湾曲した電極板であってもよい。このとき、貫通孔３１は、厚み方向に電極板を貫通していてもよく、筒状部２４又は放電電極１２４の突出方向に電極板を貫通していてもよい。

　また、例えば、複数の筒状部２４又は放電電極１２４の配置の形状は、正六角形に限らず、正多角形でもよい。例えば、複数の筒状部２４又は放電電極１２４は、一辺の長さがｐ、２ｐ又は３ｐなどの正方形の頂点及び等分点に配置されていてもよい。また、例えば、複数の筒状部２４又は放電電極は、格子の各交点に配置されていてもよい。

　また、例えば、複数の筒状部２４の形状は互いに異なっていてもよい。例えば、図３において、複数の筒状部２４のうち外側に位置する筒状部２４ｃ及び２４ｄは、中央に位置する筒状部２４ａより高さが低くてもよい。あるいは、筒状部２４ｃ及び２４ｄは、筒状部２４ａより高さが高くてもよい。

　なお、複数の筒状部２４の高さが異なっており、流路２７の長さが異なる場合に、内面２８の接触角を異ならせてもよい。例えば、長い流路２７を形成している内面２８の接触角は、短い流路２７を形成している内面２８の接触角より小さくてもよい。

　また、例えば、複数の筒状部２４の後端は、平板部２１の主面２３よりも下方に位置していてもよい。具体的には、複数の筒状部２４は、平板部２１を貫通するように設けられていてもよい。

　また、静電霧化装置１は、第２液体槽１１を備えていなくてもよい。例えば、第１液体槽１０と噴出板２０とは着脱可能に固定されており、噴出板２０を取り外すことで、第１液体槽１０内に液体２が供給されてもよい。

　また、上記実施の形態において、コントローラ５０又は１５０などの構成要素の全部又は一部は、専用のハードウェアで構成されてもよく、あるいは、各構成要素に適したソフトウェアプログラムを実行することによって実現されてもよい。各構成要素は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）又はプロセッサなどのプログラム実行部が、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）又は半導体メモリなどの記録媒体に記録されたソフトウェアプログラムを読み出して実行することによって実現されてもよい。

　また、コントローラ５０又は１５０などの構成要素は、１つ又は複数の電子回路で構成されてもよい。１つ又は複数の電子回路は、それぞれ、汎用的な回路でもよいし、専用の回路でもよい。

　１つ又は複数の電子回路には、例えば、半導体装置、ＩＣ（Integrated Circuit）又はＬＳＩ（Large Scale Integration）などが含まれてもよい。ＩＣ又はＬＳＩは、１つのチップに集積されてもよく、複数のチップに集積されてもよい。ここでは、ＩＣ又はＬＳＩと呼んでいるが、集積の度合いによって呼び方が変わり、システムＬＳＩ、ＶＬＳＩ（Very Large Scale Integration）、又は、ＵＬＳＩ（Ultra Large Scale Integration）と呼ばれるかもしれない。また、ＬＳＩの製造後にプログラムされるＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）も同じ目的で使うことができる。

　また、本発明の全般的又は具体的な態様は、システム、装置、方法、集積回路又はコンピュータプログラムで実現されてもよい。あるいは、当該コンピュータプログラムが記憶された光学ディスク、ＨＤＤ若しくは半導体メモリなどのコンピュータ読み取り可能な非一時的記録媒体で実現されてもよい。また、システム、装置、方法、集積回路、コンピュータプログラム及び記録媒体の任意な組み合わせで実現されてもよい。

　その他、各実施の形態に対して当業者が思いつく各種変形を施して得られる形態や、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で各実施の形態における構成要素及び機能を任意に組み合わせることで実現される形態も本発明に含まれる。

１、１０１、２０１　静電霧化装置
２　液体
２ａ　液面
１０　第１液体槽
１１　第２液体槽
２０、１２０　噴出板
２１　平板部
２４、２４ａ、２４ｂ、２４ｃ、２４ｄ　筒状部
２５、１２５　開口
２８　内面
３０　対向電極
４０　電圧印加部
１１０　液体槽
１２１　電極支持板（平板部）
１２４　放電電極（筒状部）
１２４ａ、２２４ａ　放電電極（第１筒状部）
１２４ｂ、１２４ｃ、２２４ｄ、２２４ｂ、２２４ｃ　放電電極（第２筒状部）
 

Claims (13)

1. 　液体を収容するための第１液体槽と、
   　前記液体を噴出させるための複数の開口を有する噴出板と、
   　前記複数の開口に対向して設けられた対向電極と、
   　前記液体と前記対向電極との間に所定の電圧を印加する電圧印加部とを備え、
   　前記噴出板は、
   　平板部と、
   　前記平板部に支持された複数の筒状部とを有し、
   　前記複数の筒状部の各々は、前記平板部から前記対向電極に向かって突出し、かつ、先端に前記開口を有し、
   　前記複数の筒状部の各々の内面の、前記液体に対する接触角は、９０°未満である
   　静電霧化装置。
2. 　前記複数の筒状部のうち、隣り合う２つの筒状部間の距離は、当該２つの筒状部の各々の外径の１０倍以上である
   　請求項１に記載の静電霧化装置。
3. 　前記複数の筒状部はそれぞれ、外径に対する高さの比が４以上である
   　請求項１又は２に記載の静電霧化装置。
4. 　前記対向電極と前記２つの筒状部の各々との間の距離は、互いに異なっている
   　請求項１～３のいずれか１項に記載の静電霧化装置。
5. 　前記複数の筒状部は、
   　第１筒状部と、
   　前記第１筒状部を囲んで配置された複数の第２筒状部とを含み、
   　前記対向電極と前記第１筒状部との間の距離は、前記対向電極と前記複数の第２筒状部の各々との間の距離より小さい
   　請求項４に記載の静電霧化装置。
6. 　前記対向電極は、前記複数の筒状部に一対一に対応する複数の貫通孔を有し、
   　前記複数の貫通孔の各々の開口端と、対応する筒状部の先端とを結ぶ線と、対応する筒状部の中心軸とがなす角度が３°以上３７°以下である
   　請求項１～５のいずれか１項に記載の静電霧化装置。
7. 　前記複数の筒状部は、前記平板部を平面視した場合に、所定の位置と、当該位置を中心とする同心状の１以上の正六角形の頂点とにそれぞれ配置されている
   　請求項１～６のいずれか１項に記載の静電霧化装置。
8. 　前記筒状部の先端から後端までの距離をｈ、前記筒状部の内径をｄ、前記液体の表面張力をＴ、前記接触角をθ、前記液体の密度をρ、重力加速度をｇとした場合、
   　ｄ≦ｈ≦４Ｔｃｏｓθ／ρｇｄ
   　を満たす
   　請求項１～７のいずれか１項に記載の静電霧化装置。
9. 　さらに、前記第１液体槽に接続され、前記第１液体槽に前記液体を供給するための第２液体槽を備え、
   　前記第２液体槽に貯められる前記液体の液面は、前記複数の筒状部の各々の先端と後端との間に位置している
   　請求項１～８のいずれか１項に記載の静電霧化装置。
10. 　前記筒状部は、金属材料を用いて形成されており、
    　前記筒状部の内面は、親水化処理されている
    　請求項１～９のいずれか１項に記載の静電霧化装置。
11. 　前記平板部と前記複数の筒状部の各々とは、金属材料を用いて一体的に形成されており、
    　前記筒状部の後端は、前記平板部の後面と面一である
    　請求項１０に記載の静電霧化装置。
12. 　前記筒状部の内面の、前記液体に対する接触角は、８５°以下である
    　請求項１～１１のいずれか１項に記載の静電霧化装置。
13. 　前記筒状部の内面の、前記液体に対する接触角は、６５°以下である
    　請求項１～１１のいずれか１項に記載の静電霧化装置。
     
     
     
     

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