WO2019066019A1 - 液体吐出ヘッド、およびそれを用いた記録装置 - Google Patents

液体吐出ヘッド、およびそれを用いた記録装置 Download PDF

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common
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individual
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渉 池内
吉村　健一
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京セラ株式会社
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Definitions

  • the present disclosure relates to a liquid ejection head and a recording apparatus using the same.
  • a printing head for example, a liquid discharge head that performs various types of printing by discharging a liquid onto a printing sheet is known.
  • the liquid discharge head for example, a large number of discharge holes for discharging a liquid are two-dimensionally expanded. Printing is performed when the liquid discharged from each discharge hole is landed side by side on the printing paper (see, for example, Patent Document 1).
  • the liquid discharge head of the present disclosure includes a flow path member and a plurality of pressure parts.
  • the flow path member includes a plurality of discharge holes, a plurality of pressure chambers, one or more first common flow paths, one or more second common flow paths, a first flow path, and a second flow path. And.
  • the plurality of pressure chambers are respectively connected to the plurality of discharge holes.
  • the first common flow path is commonly connected to the plurality of pressure chambers.
  • the second common flow path is commonly connected to the plurality of pressure chambers.
  • the first flow path connects the pressurizing chamber and the first common flow path.
  • the second flow path connects the pressurizing chamber and the second common flow path.
  • the plurality of pressurizing units pressurize the plurality of pressurizing chambers, respectively.
  • the first flow path has a first connection flow path connecting the first common flow path and a plurality of first individual flow paths connected to one pressurizing chamber.
  • a plurality of sets of a first connection flow channel and a plurality of first individual flow channels are provided.
  • a recording apparatus is characterized by including the liquid discharge head, a transport unit that transfers a printing sheet to the liquid discharge head, and a control unit that controls the liquid discharge head.
  • FIG. 7 is a plan view of a portion of the flow path of another liquid discharge head of the present disclosure.
  • FIG. 7 is a plan view of a portion of the flow path of another liquid discharge head of the present disclosure.
  • FIG. 7 is an enlarged plan view of another liquid discharge head of the present disclosure.
  • FIG. 9A is a side view showing the main configuration of the printer 101 according to the modification.
  • FIG. 9B is a top view of the printer 101.
  • FIG. 1A is a schematic side view of a color inkjet printer 1 (which may simply be referred to as a printer hereinafter), which is a recording apparatus including a liquid discharge head 2 according to an embodiment of the present disclosure.
  • b) is a schematic plan view.
  • the printer 1 moves the print sheet P relative to the liquid discharge head 2 by transporting the print sheet P from the guide roller 82A to the transport roller 82B.
  • the control unit 88 controls the liquid discharge head 2 to discharge the liquid toward the printing paper P based on the data of the image and the characters, to land the droplets on the printing paper P, and print on the printing paper P Record etc.
  • the liquid discharge head 2 is fixed to the printer 1, and the printer 1 is a so-called line printer.
  • the recording apparatus an operation of recording while moving the liquid discharge head 2 by reciprocating the liquid discharge head 2 in a direction crossing the conveyance direction of the printing paper P, for example, a direction substantially orthogonal;
  • serial printer which alternately carries and conveys.
  • a flat head mounting frame 70 (hereinafter may be simply referred to as a frame) is fixed so as to be substantially parallel to the printing paper P.
  • the frame 70 is provided with 20 holes (not shown), and the 20 liquid discharge heads 2 are mounted in the respective holes, and the portion of the liquid discharge head 2 for discharging the liquid is the printing paper P It is supposed to face the
  • the distance between the liquid discharge head 2 and the printing paper P is, for example, about 0.5 to 20 mm.
  • the five liquid discharge heads 2 constitute one head group 72, and the printer 1 has four head groups 72.
  • the liquid discharge head 2 has an elongated shape elongated in the direction from the front to the rear of FIG. 1A and in the vertical direction of FIG. 1B.
  • the three liquid ejection heads 2 are arranged in a direction intersecting the conveyance direction of the printing paper P, for example, a direction substantially orthogonal, and the other two liquid ejection heads 2 are conveyed.
  • the three liquid discharge heads 2 are arranged one by one at positions shifted along the direction.
  • the liquid discharge heads 2 are arranged such that the printable range of each liquid discharge head 2 is connected in the width direction of the printing paper P, that is, in the direction intersecting the conveyance direction of the printing paper P, or the edges overlap. Thus, printing without gaps in the width direction of the printing paper P is possible.
  • the four head groups 72 are arranged in the conveyance direction of the printing paper P.
  • Each liquid discharge head 2 is supplied with liquid, for example, ink, from a liquid tank (not shown).
  • the liquid ejection heads 2 belonging to one head group 72 are supplied with the ink of the same color, and the four head groups 72 can print four colors of ink.
  • the colors of the ink ejected from each head group 72 are, for example, magenta (M), yellow (Y), cyan (C) and black (K). If such an ink is controlled by the control unit 88 and printed, a color image can be printed.
  • the number of the liquid discharge heads 2 mounted in the printer 1 may be one, so long as it can print a printable range by one liquid discharge head 2.
  • the number of liquid discharge heads 2 included in the head group 72 and the number of head groups 72 can be appropriately changed according to the object to be printed and the printing conditions. For example, the number of head groups 72 may be increased to print more colors. Further, by arranging a plurality of head groups 72 to be printed in the same color and alternately printing in the transport direction, the transport speed can be increased even if the liquid discharge head 2 having the same performance is used. This makes it possible to increase the print area per hour. In addition, a plurality of head groups 72 to be printed in the same color may be prepared and shifted in the direction intersecting the transport direction, and the resolution in the width direction of the printing paper P may be increased.
  • a liquid such as a coating agent may be printed to perform surface treatment of the printing paper P.
  • the printing paper P is in a state of being wound around the paper feed roller 80A before use, passes between the two guide rollers 82A, and then passes under the liquid discharge head 2 mounted on the frame 70. Thereafter, it passes between the two conveyance rollers 82B and is finally collected by the collection roller 80B.
  • the print paper P is transported at a constant speed by rotating the transport roller 82 B and printed by the liquid discharge head 2.
  • the collection roller 80B winds up the printing paper P sent out from the conveyance roller 82B.
  • the transport speed is, for example, 100 m / min.
  • Each roller may be controlled by the controller 88 or manually operated by a person.
  • a roll-shaped cloth or the like may be used as the printing target.
  • the printer 1 may be placed on the transport belt and transported. In such a case, a sheet, a cut cloth, a wood, a tile or the like can be printed.
  • the liquid discharge head 2 may discharge a liquid containing conductive particles to print the wiring pattern of the electronic device or the like.
  • the chemical may be produced by causing a predetermined amount of liquid chemical or liquid containing a chemical to be ejected from the liquid ejection head 2 to a reaction container or the like to cause a reaction.
  • a position sensor, a speed sensor, a temperature sensor, etc. may be attached to the printer 1, and the control unit 88 may control each part of the printer 1 according to the state of each part of the printer 1 known from the information from each sensor. .
  • the temperature of the liquid discharge head 2, the temperature of the liquid in the liquid tank, the pressure applied to the liquid discharge head 2 by the liquid in the liquid tank, etc. the drive signal for discharging the liquid may be changed according to the information.
  • FIG. 2A is a plan view showing a head main body 2a which is a main part of the liquid discharge head 2 shown in FIG.
  • FIG. 2B is a plan view of the head main body 2a with the second flow path member 6 removed.
  • FIG. 3 is an enlarged plan view of the head main body 2a in the range of the dashed dotted line in FIG. 2 (b).
  • FIG. 4 is an enlarged plan view of the head main body 2a in the range of dashed dotted line in FIG.
  • FIG. 5A is a schematic partial longitudinal sectional view of the head main body 2a.
  • FIG. 5A in order to show a state in which the flow paths are connected, the flow paths which do not exist in the same vertical cross section are drawn as if they exist in the same vertical cross section.
  • FIG. 5B is a longitudinal sectional view of another portion of the head body 2a.
  • FIG. 5 (b) shows a signal transfer unit 60 not drawn in FIG. 2 (a).
  • FIGS. 2 to 4 the flow paths and the like that are below the others and should be drawn by dashed lines are drawn by solid lines.
  • the pressurizing chamber main body 10 a, the second flow path 12, the individual electrode 44, and the connection electrode 46 are not illustrated on the left side of the central two-dot chain line dividing the drawing into right and left. Only the individual electrodes 44 and the connection electrodes 46 corresponding to the four pressure chambers 10 in the upper left portion of the figure are shown.
  • the head main body 2a includes a first flow path member 4, a second flow path member 6 for supplying a liquid to the first flow path member 4, and a piezoelectric actuator substrate 40 in which a displacement element 50 which is a pressing portion is built. And contains.
  • the head body 2a has a flat plate shape elongated in one direction, and this direction may be referred to as a longitudinal direction.
  • the second flow path member 6 plays a role of a support member for supporting the structure of the head main body 2a, and the head main body 2a is a frame 70 at each of both longitudinal end portions of the second flow path member 6 (see FIG. Fixed to 1).
  • the liquid discharge head 2 may include a housing, a driver IC, a wiring board, and the like in addition to the head body 2a.
  • the first flow path member 4 constituting the head main body 2a has a flat plate shape, and its thickness is about 0.5 to 2 mm.
  • a large number of pressure chambers 10 are arranged in the plane direction on a pressure chamber surface 4-1 which is one surface of the first flow path member 4.
  • the discharge holes 8 are respectively connected to the pressure chamber 10. In the following description, it is assumed that the pressure chamber surface 4-1 is located above the discharge hole surface 4-2.
  • a plurality of second common channels 20 and a plurality of first common channels 22 are arranged in the first channel member 4 so as to extend along the first direction.
  • the second common flow passage 20 and the first common flow passage 22 may be collectively referred to as a common flow passage.
  • the second common flow passage 20 and the first common flow passage 22 are disposed overlapping each other.
  • a direction intersecting the first direction is taken as a second direction.
  • the first direction is the same as the longitudinal direction of the head body 2a.
  • a direction opposite to the first direction is taken as a third direction
  • a direction opposite to the second direction is taken as a fourth direction.
  • the first to fourth directions are indicated by D1 to D4.
  • the pressure chamber 10 connected to the second common flow passage 20 and the first common flow passage 22 and the pressure chamber 10 are connected along both sides of the second common flow passage 20 and the first common flow passage 22.
  • the discharge holes 8 are lined up.
  • the pressurizing chambers 10 form four pressurizing chamber rows 11A, two rows on each side of the second common flow passage 20 and the first common flow passage 22, and the both sides thereof are combined.
  • the discharge holes 8 form two discharge hole rows 9A including two rows each on one side of the second common flow passage 20 and the first common flow passage 22, and the both sides thereof being combined. Since there are eight second common flow channels 20 and eight first common flow channels 22, there are a total of 32 rows of pressurizing chamber rows 11A and a total of 32 rows of discharge holes 9A.
  • the second common flow passage 20 and the four rows of pressurizing chambers 10 arranged on both sides thereof are connected via the second flow passage 12.
  • the first common flow channel 22 and the four rows of pressurizing chambers 10 arranged on both sides thereof are connected via the first flow channel 14.
  • the liquid supplied to the second common flow path 20 flows into the pressure chambers 10 arranged along the second common flow path 20. Part of the liquid flowing into the pressure chamber 10 is discharged from the discharge hole 8. The other part that has not been discharged flows into the first common flow channel 22 and is discharged from the first flow channel member 4 to the outside. The flow of liquid supply and recovery may be reversed.
  • the second common flow channel 20 is disposed to overlap on the first common flow channel 22.
  • the second common flow passage 20 is provided outside the first flow passage member 4 by the openings 20 b disposed at both ends in the first direction and the third direction outside the range in which the second flow passages 12 are connected. It is open to
  • the first common flow channel 22 is located outside the range in which the first flow channels 14 are connected and outside the opening 20 b of the second common flow channel 20 at both ends in the first direction and the third direction.
  • the first passage member 4 is opened to the outside by the disposed opening 22 b. Space efficiency improves because the opening 22b of the 1st common flow path 22 arrange
  • the discharge amounts of the liquid from the discharge holes 8 connected to one second common flow passage 20 and one first common flow passage 22 have various distributions. Become. When the discharge amount from the discharge holes 8 on the first direction side is large, the place where the flow becomes zero is the first direction side more than the center. Conversely, when the discharge amount from the discharge holes 8 on the third direction side is large, the place where the flow becomes zero is the third direction side of the center. In this way, the distribution of discharge changes depending on what is recorded, and the place where the flow becomes zero moves.
  • the pressure applied to the portion of the second flow passage 12 connected to the second common flow passage 20 on the second common flow passage 20 side causes the second flow passage 12 to be connected to the second common flow passage 20 due to the pressure loss.
  • the pressure applied to the portion on the first flow path 14 side connected to the first common flow path 22 is a position where the first flow path 14 is connected to the first common flow path 22 under the influence of the pressure loss (mainly It changes with the position in 1 direction). If the pressure of the liquid in one discharge hole 8 is made almost zero, the above-mentioned pressure change changes symmetrically, and the pressure of the liquid can be made almost zero in all the discharge holes 8.
  • the lower surface of the second common flow passage 20 is a damper 28A.
  • the surface of the damper 28A opposite to the surface facing the second common flow passage 20 faces the damper chamber 29A.
  • the damper chamber 29A contains a gas such as air, and its volume is changed by the pressure applied from the second common flow passage 20.
  • the damper 28A can vibrate when the volume of the damper chamber 29A changes, and the pressure fluctuation generated in the second common flow passage 20 can be damped by damping the vibration.
  • pressure fluctuations such as resonance of the liquid in the second common flow passage 20 can be reduced.
  • the lower surface of the first common flow channel 22 is a damper 28B.
  • the surface of the damper 28B opposite to the surface facing the first common flow channel 22 faces the damper chamber 29B.
  • pressure fluctuation such as resonance of the liquid in the first common flow channel 22 can be reduced by providing the damper 28B.
  • the discharge holes 8 are arranged at an interval of 50 dpi (about 25.4 mm / 50). There are 32 rows of discharge holes 9A, and the discharge holes 8 included in them are arranged mutually offset in the first direction, so that the discharge holes 8 are arranged at an interval of 1600 dpi as a whole.
  • the second flow passage member 6 is joined to the pressurizing chamber surface 4-1 of the first flow passage member 4, and is common to the first integrated flow passage 24 that supplies the liquid to the second common flow passage 20. And a second integrated channel 26 for recovering the liquid in the channel 22.
  • the thickness of the second flow path member 6 is thicker than the first flow path member 4 and is about 5 to 30 mm.
  • the second flow path member 6 is joined in a region of the pressure chamber surface 4-1 of the first flow path member 4 where the piezoelectric actuator substrate 40 is not connected. More specifically, they are bonded to surround the piezoelectric actuator substrate 40. By doing this, it is possible to suppress that a part of the discharged liquid adheres to the piezoelectric actuator substrate 40 as a mist. In addition, since the first flow path member 4 is fixed on the outer periphery so as to surround the piezoelectric actuator substrate 40, the first flow path member 4 vibrates along with the driving of the displacement element 50 to reduce the resonance that occurs. it can.
  • an opening 24 b opened to the upper surface of the second channel member 6 is disposed.
  • the first integrated channel 24 is divided into two on the way, one is connected to the opening 20b of the second common channel 20 on the third direction side, and the other is the second common channel on the first direction side It is connected to 20 openings 20b.
  • an opening 26b opened to the upper surface of the second flow passage member 6 is disposed.
  • the second integrated flow channel 26 is divided into two on the way, one is connected to the opening 22 b of the first common flow channel 22 on the first direction side, and the other is a first common flow channel on the third direction It is connected to the 22 openings 22b.
  • a signal transmission unit 60 such as a flexible printed circuit (FPC) that transmits a drive signal for driving the piezoelectric actuator substrate 40 is passed through the through hole 6 a.
  • FPC flexible printed circuit
  • the cross-sectional area of the first integrated flow path 24 is increased.
  • the flow passage resistance of the first integrated flow passage 24 may be 1/100 or less of that of the second common flow passage 20.
  • the flow path resistance of the first integrated flow path 24 refers to the flow path resistance of a range connected to the second common flow path 20 in the first integrated flow path 24 more precisely.
  • the cross-sectional area of the second integrated flow passage 26 is increased.
  • the flow passage resistance of the second integrated flow passage 26 may be 1/100 or less of that of the first common flow passage 22.
  • the flow passage resistance of the second integrated flow passage 26 is, more accurately, a flow passage resistance in a range connected to the first integrated flow passage 24 in the second integrated flow passage 26.
  • the first integrated channel 24 is disposed at one end of the second channel member 6 in the lateral direction
  • the second integrated channel 26 is disposed at the other end of the second channel member 6 in the lateral direction
  • Each flow path is directed to the first flow path member 4 side, and is connected to the second common flow path 20 and the first common flow path 22 respectively.
  • the cross-sectional areas of the first integrated flow channel 24 and the second integrated flow channel 26 can be increased, and the flow channel resistance can be reduced.
  • the outer periphery of the first flow path member 4 is fixed by the second flow path member 6, so the rigidity can be increased.
  • the through hole 6 a through which the signal transmission unit 60 passes can be provided.
  • a groove to be the first integrated flow passage 24 and a groove to be the second integrated flow passage 26 are disposed on the lower surface of the second flow passage member 6, a groove to be the first integrated flow passage 24 and a groove to be the second integrated flow passage 26 are disposed.
  • a part of the lower surface is closed by the upper surface of the channel member 4, and the other part of the lower surface is disposed on the upper surface of the channel member 4
  • the first integrated flow channel 26 is formed.
  • the groove to be the second integrated channel 26 of the second channel member 6 has a portion of the lower surface closed by the upper surface of the channel member 4 and the other portion of the lower surface is disposed on the upper surface of the channel member 4
  • the second integrated flow channel 26 is formed by being connected to the opening 22 a of the first common flow channel 22.
  • a damper may be provided in the first integrated flow channel 24 and the second integrated flow channel 26 so that the supply or discharge of the liquid is stabilized against the fluctuation of the discharge amount of the liquid. Further, by providing a filter between the inside of the first integrated flow passage 24 and the second integrated flow passage 26 and the second common flow passage 20 or the first common flow passage 22, the foreign matter and the air bubbles can be It may be difficult to enter the flow path member 4.
  • the upper surface of the second flow path member 6 is closed by a metal case or the like.
  • the signal transfer unit 60 is electrically connected to, for example, a wiring board housed in a housing.
  • the wiring board and the control unit 88 are electrically connected by a cable or the like.
  • a driver IC for driving the displacement element 50 may be mounted on the signal transfer unit 60. By contacting the driver IC with a metal case or a member whose heat is easily transmitted to the case, heat generated by the driver IC can be released to the outside.
  • a piezoelectric actuator substrate 40 including a displacement element 50 is bonded to a pressure chamber surface 4-1 which is an upper surface of the first flow path member 4 so that each displacement element 50 is positioned above the pressure chamber 10. It is arranged.
  • the piezoelectric actuator substrate 40 occupies a region of substantially the same shape as the pressure chamber group formed by the pressure chambers 10. Further, the openings of the pressure chambers 10 are closed by the piezoelectric actuator substrate 40 being bonded to the pressure chamber surface 4-1 of the flow path member 4.
  • the piezoelectric actuator substrate 40 has a rectangular shape elongated in the same direction as the head main body 2a.
  • the piezoelectric actuator substrate 40 is connected to a signal transmission unit 60 that supplies a signal to each displacement element 50.
  • the second flow path member 6 has a through hole 6 a penetrating in the vertical direction at the center, and the signal transmission unit 60 is electrically connected to the control unit 88 through the through hole 6 a.
  • the signal transfer unit 60 is formed so as to extend in the short direction from the end of one long side of the piezoelectric actuator substrate 40 to the end of the other long side, and the wiring disposed in the signal transfer unit 60 is in the short direction. By extending along the length and aligning in the longitudinal direction, the distance between the wires can be increased.
  • the individual electrodes 44 are disposed at positions on the upper surface of the piezoelectric actuator substrate 40 facing the pressure chambers 10 respectively.
  • the flow path member 4 has a stacked structure in which a plurality of plates are stacked.
  • the plate 4a is disposed on the pressure chamber surface 4-1 side of the flow path member 4, and the plates 4b to 4l are sequentially stacked below the plate 4a.
  • the plate 4a in which the hole serving as the side wall of the pressure chamber 10 is formed is referred to as a cavity plate 4a, and the plate 4e, f, i, j in which the hole serving as the side wall of the common flow passage is formed is the manifold plate 4e.
  • F, i, j, and the plate 4l in which the discharge holes 8 are opened may be called a nozzle plate 4l.
  • Each plate is formed with a number of holes and grooves.
  • the holes and grooves can be formed, for example, by etching each plate made of metal. By setting the thickness of each plate to about 10 to 300 ⁇ m, the formation accuracy of the holes to be formed can be enhanced.
  • the plates are aligned and stacked such that the holes communicate with each other to form a flow path such as the second common flow path 20.
  • a pressurizing chamber main body 10a is opened at the pressurizing chamber surface 4-1 of the flat flow path member 4, and a piezoelectric actuator substrate 40 is joined. Further, an opening 20a for supplying the liquid to the second common flow passage 20 and an opening 24a for collecting the liquid from the first common flow passage 22 are opened in the pressure chamber surface 4-1.
  • a discharge hole 8 is opened in a discharge hole surface 4-2 which is a surface of the flow path member 4 opposite to the pressure chamber surface 4-1.
  • the pressure chamber 10 includes a pressure chamber main body 10 a and a partial flow channel 10 b.
  • the pressure chamber main body 10 a is formed in the cavity plate 4 a and faces the displacement element 50.
  • the pressurizing chamber main body 10a has a substantially elliptical shape elongated in the second direction in plan view. The shape may not be elliptical, and may be rectangular or circular.
  • the partial flow path 10 b connects the pressurizing chamber main body 10 a and the discharge hole 8.
  • the partial flow path 10b is formed by overlapping holes formed in the plates 4b to 4k.
  • the lower end of the partial flow passage 10b is closed by the nozzle plate 4l except for the discharge hole 8. Therefore, the partial flow path 10 b extends in the thickness direction of the flow path member 14.
  • the second flow passage 12 connects the pressurizing chamber main body 10 a and the second common flow passage 20.
  • the second flow path 12 includes a circular hole passing through the plate 4b, an elongated through groove extending in the planar direction of the plate 4c, and a circular hole passing through the plate 4d.
  • the first flow path 14 connects the partial flow path 10 b and the first common flow path 22.
  • the first flow path 14 includes a first common flow path 22 and a first connection flow path 14 b that connects a plurality of first individual flow paths 14 a connected to one pressurizing chamber 10.
  • the first flow path 14 includes the first individual flow path 14a connected to only one pressurizing chamber 10A, the first individual flow path 14a connected to only the other pressurizing chamber 10B, and the two first individual flow paths. It has a first connection channel 14 b connecting the channel 14 a and the first common channel 22.
  • in the first connection flow channel 14b two first individual flow channels 14a respectively connected to the two pressure chambers 10A and 10B are combined (connected) and connected to the first common flow channel 22. There is.
  • the one first common flow channel 22 includes a plurality of sets 15 including the first connection flow channel 14 b and the plurality of first individual flow channels 14 a.
  • the term “pair” as used herein refers to one first flow path 14.
  • a plurality of first connection channels 14 b are connected to one first common channel 22.
  • the number of first connection channels 14 b connected to one first common channel 22 is half the number of pressurizing chambers 10 connected to one first common channel 22.
  • the space efficiency is improved by bundling the plurality of first individual flow channels 14 a into the first connection flow channel 14 b and connecting the plurality of first individual flow channels 14 a to the first common flow channel 22.
  • the number of first individual channels 14a connected to the first connection channel 14b may be three or more.
  • the first common flow channel 22 is formed by overlapping holes formed in the plates 4i and j, and further closing the upper side with the plate 4h and the lower side with the plate 4k.
  • the liquid supplied to the first integrated flow path 24 passes through the second common flow path 20 and the second flow path 12 sequentially into the pressurizing chamber 10, and a part of the liquid is discharged from the discharge hole It is discharged from 8.
  • the liquid that has not been discharged enters the first common flow path 22 through the first flow path 14, then enters the second integrated flow path 26, and is discharged to the outside of the head body 2a.
  • the piezoelectric actuator substrate 40 has a laminated structure including two piezoelectric ceramic layers 40a and 40b which are piezoelectric bodies.
  • the piezoelectric ceramic layers 40a and 40b each have a thickness of about 20 ⁇ m. That is, the thickness from the upper surface of the piezoelectric ceramic layer 40 a of the piezoelectric actuator substrate 40 to the lower surface of the piezoelectric ceramic layer 40 b is about 40 ⁇ m.
  • the thickness ratio of the piezoelectric ceramic layer 40a to the piezoelectric ceramic layer 40b is set to 3: 7 to 7: 3 and preferably 4: 6 to 6: 4.
  • Each of the piezoelectric ceramic layers 40 a and 40 b extends so as to straddle the plurality of pressure chambers 10.
  • the piezoelectric ceramic layers 40a, 40b may, for example, a ferroelectric, lead zirconate titanate (PZT) based, NaNbO 3 system, BaTiO 3 system, (BiNa) NbO 3 based ceramic material such BiNaNb 5 O 15 system It consists of
  • the piezoelectric ceramic layer 40b functions as a vibrating plate, and does not directly deform piezoelectrically.
  • a ceramic or metal plate or the like not having piezoelectricity may be used instead of the piezoelectric ceramic layer 40b.
  • the piezoelectric actuator substrate 40 has a common electrode 42 made of a metal material such as Ag—Pd system and an individual electrode 44 made of a metal material such as Au system.
  • the thickness of the common electrode 42 is about 2 ⁇ m, and the thickness of the individual electrode 44 is about 1 ⁇ m.
  • Each individual electrode 44 is disposed at a position on the upper surface of the piezoelectric actuator substrate 40 facing the pressure chamber main body 10 a.
  • the individual electrode 44 has an individual electrode main body 44a and an extraction electrode 44b.
  • the individual electrode main body 44a has a planar shape which is slightly smaller than the pressure chamber main body 10a, and has a shape substantially similar to the pressure chamber main body 10a.
  • the extraction electrode 44b is extracted from the individual electrode main body 44a.
  • a connection electrode 46 is formed at a portion of one end of the lead-out electrode 44 b which is drawn out of the region facing the pressure chamber 10.
  • the connection electrode 46 is a conductive resin containing conductive particles such as silver particles, for example, and is formed to a thickness of about 5 to 200 ⁇ m.
  • the connection electrode 46 is electrically joined to an electrode provided in the signal transmission unit 60.
  • a drive signal is supplied to the individual electrode 44 from the control unit 88 through the signal transfer unit 60.
  • the drive signal is supplied at a constant cycle in synchronization with the transport speed of the printing paper P.
  • the common electrode 42 is formed over substantially the entire surface in the region between the piezoelectric ceramic layer 40 a and the piezoelectric ceramic layer 40 b. That is, the common electrode 42 extends so as to cover all the pressure chambers 10 in the area facing the piezoelectric actuator substrate 40.
  • the common electrode 42 is a surface electrode (not shown) which is formed on the piezoelectric ceramic layer 40a at a position avoiding the electrode group consisting of the individual electrodes 44 via a penetrating conductor formed through the piezoelectric ceramic layer 40a. It is connected. Further, the common electrode 42 is grounded via the surface electrode, and is held at the ground potential. Similar to the individual electrodes 44, the surface electrodes are connected directly or indirectly to the control unit 88.
  • the portion of the piezoelectric ceramic layer 40a sandwiched between the individual electrode 44 and the common electrode 42 is polarized in the thickness direction, and becomes a displacement element 50 of a unimorph structure which is displaced when a voltage is applied to the individual electrode 44.
  • a displacement element 50 of a unimorph structure which is displaced when a voltage is applied to the individual electrode 44.
  • an electric field is applied to the piezoelectric ceramic layer 40a with the individual electrode 44 at a potential different from that of the common electrode 42, an active portion where a portion to which this electric field is applied is distorted by the piezoelectric effect Act as.
  • the displacement element 50 is driven (displaced) by a drive signal supplied to the individual electrode 44 through a driver IC or the like under the control of the control unit 88.
  • the liquid can be discharged by various drive signals, but here, a so-called pull driving method will be described.
  • the individual electrode 44 is previously set to a potential higher than the common electrode 42 (hereinafter referred to as a high potential), and each time the discharge request is made, the individual electrode 44 is once set to the same potential as the common electrode 42 (hereinafter referred to as a low potential) After that, a high potential is applied again at a predetermined timing. Thereby, at the timing when the individual electrode 44 becomes low potential, the piezoelectric ceramic layers 40a and 40b return to the original (flat) shape (start), and the volume of the pressure chamber 10 is in the initial state (potentials of both electrodes are different) Increase compared to the condition). As a result, negative pressure is applied to the liquid in the pressure chamber 10. Then, the liquid in the pressure chamber 10 starts to vibrate in the natural vibration cycle.
  • the volume of the pressure chamber 10 starts to increase, and the negative pressure gradually decreases.
  • the volume of the pressure chamber 10 is then maximized and the pressure is nearly zero.
  • the volume of the pressure chamber 10 then begins to decrease and the pressure becomes higher.
  • the individual electrode 44 is brought to a high potential at the timing when the pressure is almost maximum.
  • the first applied vibration and the second applied vibration then overlap and a greater pressure is applied to the liquid. This pressure propagates in the partial flow passage 10 b and discharges the liquid from the discharge hole 8.
  • droplets can be discharged by supplying a driving signal of a pulse which is set to a low potential for a fixed period with reference to the high potential to the individual electrode 44.
  • the pulse width is AL (Acoustic Length) which is a half of the natural vibration cycle of the liquid in the pressure chamber 10
  • AL Acoustic Length
  • the characteristic vibration period of the liquid in the pressure chamber 10 is largely influenced by the physical properties of the liquid and the shape of the pressure chamber 10, but in addition, the physical properties of the piezoelectric actuator substrate 40 and the flow path connected to the pressure chamber 10 Also affected by the characteristics of
  • the second common flow passage 20 is connected to the pressurizing chamber main body 10 a by the second flow passage 12, and the first common flow passage 22 is connected by the first flow passage 14 to discharge the liquid. While collecting and printing.
  • the discharge frequency differs for each pressure chamber. At this time, in the pressurizing chamber that requires continuous displacement, supply shortage may occur from the second common flow passage 20, and the discharge amount may be reduced. Further, in the pressure chamber having a low discharge frequency, there may be insufficient recovery from the first common flow path 22 and the discharge amount may increase.
  • the first flow path 12 connects the first common flow path 22 and the plurality of first individual flow paths 14 a connected to one pressure chamber 10. It has one connection flow channel 14b, and one first common flow channel 22 has a plurality of sets 15 consisting of the first connection flow channel 14b and the plurality of first individual flow channels 14a. That is, as shown in FIG. 4, a set 15 of first connection channels 14b connecting the first individual channels 14a connected to the pressure chamber 10A and the first individual channels 14a connected to the pressure chamber 10B is , And a plurality of first common channels 22 are connected.
  • the liquid not discharged flows into the first connection flow channel 14b through the 1 individual flow channel 14a connected to the pressure chamber 10B. Then, when being collected in the first common flow channel 22 through the first connection flow channel 14b, a part of the first individual flow channel 14a connected to the pressurizing chamber 10A is also subjected to the first connection due to the viscosity of the liquid. It will flow in the flow path 14b. As a result, a part of the liquid in the pressure chamber 10A is recovered, and it becomes difficult to increase the discharge amount of the liquid to be discharged next when the pressure chamber 10A is discharged. Thereby, high quality printing can be performed.
  • each set 15 to the first common flow path 22 is Since a plurality of recovery routes can be provided, recovery of the liquid can be performed smoothly.
  • the cross-sectional area should be large.
  • the cross-sectional area of the first common flow channel 22 should also be large to some extent.
  • the cross-sectional area of the common flow channel is increased, the width in the width direction of the head body 2a is increased, and the range in which the discharge holes 8 are distributed in the width direction is also increased.
  • the distribution range of the discharge holes 8 in the short direction is expanded, the printing accuracy is undesirably deteriorated when the installation angle of the liquid discharge head 2 is shifted so as to rotate in the planar direction.
  • the arrangement interval of the common flow channel may be reduced. If the space efficiency of the arrangement of the flow channels between the common flow channels is improved, the arrangement interval of the common flow channels can be reduced. Since the first flow path 14 is a flow path connected to the vicinity of the discharge hole 8 of the pressure chamber 10, if the space efficiency of the arrangement of the first flow path 14 is improved, the arrangement interval of the common flow path can be reduced.
  • the difference in the flow characteristics of the first flow passage 14 be smaller.
  • the cross-sectional area and length of the first flow path 14 should be approximately the same in design.
  • the first flow path 14 have a flow path characteristic suitable for discharge, and has a cross-sectional area and a length suitable for the flow path characteristic. For the purpose of simply improving space efficiency, for example, a straight flow path connecting the shortest distance may be provided, but it is difficult to provide such flow path characteristics in such a flow path. is there.
  • connection position of the first flow passage 14 with the pressure chamber 10 is a discharge hole than the connection position of the second flow passage 12 with the pressure chamber 10. It may be close to 8.
  • the space required for the arrangement of the flow paths can be made smaller than providing completely separate flow paths.
  • the discharge hole rows 9A farther from the first common flow passage 22 are connected.
  • the flow path length becomes long.
  • the first channels 14 connected from the discharge hole row 9A closer to the first common channel 22 may have a shorter channel length as long as they are simply connected, but in order to match the channel characteristics If the flow path length is substantially the same as the first flow path 14 connected to the discharge hole row 9A far from the first common flow path 22, in order to efficiently arrange the long flow path, the first After bundling in the connection flow channel 14 b, it is preferable to connect to the first common flow channel 22.
  • the first connection flow path 14 b may be longer than the first individual flow path 14 a.
  • the liquid in the first common flow channel 22 a part of the pressure which has been discharged is transmitted from the plurality of pressure chambers 10, and a complicated pressure vibration occurs. A part of the pressure vibration may be transmitted to the pressure chamber 10 and may affect the subsequent discharge. If the pressures from the two pressurizing chambers 10 are synthesized in the connection channel 14b before being transmitted to the first common channel 22, the complexity of the pressure oscillation in the first common channel 22 can be reduced. The influence on subsequent ejection can be reduced. It should be noted that if a complete cylindrical flow channel is filled with Newtonian fluid, the pressure waves will travel independently, but with real flow channel shapes and real liquids, the pressures will affect each other.
  • the first connection channel 14b may be longer than the first individual channel 14a so that the synthesis of pressure proceeds.
  • the pressure at the time of discharge generated in one pressurizing chamber 10 passes through the first individual channel 14 a connected to the pressurizing chamber 10 and then is connected to another pressurizing chamber 10. It may be transmitted to another pressurizing chamber 10 through the individual flow path 14a.
  • the flow path resistance of the first individual flow path 14a may be larger than the flow path resistance of the first connection flow path 14b.
  • the first common flow channel 22 extends in the first direction and is aligned in the second direction.
  • a region between the first common flow channels 22 adjacent in the second direction is a first region E1.
  • the second common flow path 20 extends in the first direction and is aligned in the second direction.
  • a region between the second common flow channels 20 adjacent in the second direction is a second region E2.
  • the first flow path 14 connected to the discharge hole 8 disposed in the first area E1 between the two first common flow paths 22 when viewed in plan view. May be disposed in the first area E1.
  • space efficiency can be improved by bundling the plurality of first individual flow channels 14 a and connecting them to the first connection flow channel 14 b and connecting them to the first common flow channel 22.
  • the first flow passage 14 connected to the discharge hole 8 disposed in the second area E2 between the two second common flow passages 20 when viewed in plan view. May be disposed in the second area E2.
  • space efficiency can be improved by bundling the plurality of first individual flow channels 14 a and connecting them to the first connection flow channel 14 b and connecting them to the first common flow channel 22.
  • the first common flow channel 22 and the first flow channel 14 are on the discharge hole surface 4-2 where the discharge holes 8 are opened more than the second common flow channel 20. It may be placed nearby.
  • the connection to the first common flow path 22 can improve space efficiency, and the first common flow path 22 and the first common flow path 22 can be combined.
  • the flow channel 14 can be disposed closer to the discharge hole surface 4-2 than the second common flow channel 20.
  • the first flow path 14 can be disposed closer to the discharge hole surface 4-2 than the second common flow path 20, and the first flow path 14 can be closer to the discharge hole 8 of the partial flow path 10b. It can be connected. As a result, the liquid in the vicinity of the discharge hole 8 is less likely to stay.
  • the first individual channel 14a includes a first portion 14aa and a second portion 14ab.
  • the first portion 14 aa is directly connected to the pressure chamber 10.
  • the second portion 14ab connects the first portion 14aa and the first connection channel 14b.
  • the first portion 14a is configured by closing a hole or a groove disposed in one plate 4k with flat portions of the other plates 4j and 4l.
  • the second portion 14ab is a flat portion of another plate 4i or 4k, which is a hole or a groove disposed in a plate 4j different from the plate 4k in which the hole or groove constituting the first portion 14aa is disposed. It is made up of blocks.
  • the flow passage resistance per unit length of the first portion 14 aa may be larger than the flow passage resistance per unit length of the second portion 14 ab.
  • the reflection of the pressure wave mainly occurs at the connection portion. Therefore, the pressure oscillation in the pressure chamber 10 is relatively simple, and it is relatively easy to perform the next discharge in response to the pressure oscillation. If there is a portion where the flow path resistance is high in the middle of the first individual flow path 14a, a large pressure wave is generated at two points of the connection portion between the pressurizing chamber 10 and the first individual flow path 14a The reflection occurs, the pressure oscillation in the pressure chamber 10 tends to be complicated, it is difficult to perform the next discharge in consideration of the pressure oscillation, and the discharge characteristic tends to fluctuate due to the pressure oscillation.
  • the thickness of the plate 4 in which the hole or groove is disposed is the plate in which the hole or groove is disposed, which is the first portion 14aa. It may be thicker than four. Specifically, the plate 4j is thicker than the plate 4k.
  • the required flow path characteristics such as flow path resistance are satisfied at the first portion 14aa, and the cross-sectional area is larger than that of the first portion 14aa, and the influence of the flow path characteristics in the first individual flow path 14a
  • the small second portion 14ab By connecting the points that need to be connected by the small second portion 14ab, it is possible to connect the points that need to be connected while giving the required flow path characteristics to the first individual flow path 14a.
  • the plate 4 j is a plate in which holes or grooves are disposed to be the first common flow channel 22, the number of required plates can be reduced. Further, by making the plate 4k thinner than the plate 4j, the AL of the pressure chamber 10 can be shortened, and the liquid discharge head 2 can be driven in a short cycle.
  • FIGS. 6 and 7 are plan views of a portion of a flow path member of a liquid discharge head according to another embodiment of the present disclosure.
  • the configuration other than the first channel is the same as that of the liquid discharge head 2 shown in FIGS.
  • pressurization room 10 grade the same numerals are attached to a figure and explanation is omitted.
  • the first flow passage 114 in FIG. 6 includes a first individual flow passage 114 a connected to only one pressurizing chamber 10 and a first connection flow passage 114 b. Two first individual channels 114 a are connected to one first connection channel 114 b.
  • the angle formed by the first individual flow paths 114a is the first The angle is larger than the angle formed by the individual flow passage 114a and the first connection flow passage 114b. Specifically, the angle formed by the first individual channels 114a is about 80 degrees. As shown in FIG. 5, the angle formed by the first individual flow passage 114a and the first connection flow passage 114b is connected such that the first connection flow passage 114b rises with respect to the first individual flow passage 114a. In practice, it is 90 degrees. Therefore, the magnitude relationship of those angles is as described above.
  • the above-described conditions are satisfied in both of the two first individual flow paths 114a, but only one first individual flow path 114a may be satisfied. If all the individual flow paths 114a connected to the first connection flow path 114b are filled, the above-described effect can be obtained for all the individual flow paths 114a.
  • the first flow passage 214 in FIG. 7 includes a first individual flow passage 214a and a first connection flow passage 214b. Two first individual channels 214a are connected to one first connection channel 214b.
  • the angle formed by the first individual flow paths 214a is the first The angle formed by the individual flow channel 214a and the first connection flow channel 214b is larger than the angle formed by the individual flow channel 214a. Specifically, an angle formed by the first individual flow channels 214a is about 80 degrees.
  • the angle between the first individual flow channel 214a and the first connection flow channel 214b is, as shown in FIG. 5, because the first connection flow channel 214b is connected to rise to the individual flow channel 214a. In fact, it is 90 degrees. Therefore, the magnitude relationship of those angles is as described above.
  • the pressure transmitted from one first individual flow channel 214a is more easily transmitted to the first connection flow channel 214b than to the other first individual flow channel 214a. Therefore, the pressure propagation generated between the pressure chambers 10 connected via the first flow path 214 can be reduced.
  • FIG. 8 shows another embodiment of the present disclosure and is a plan view corresponding to FIG.
  • the configuration of the second flow passage 312 is different from that shown in FIG.
  • the pressure chamber 10 includes pressure chambers 10A to 10C. Since the pressurizing chambers 10A to 10C have the same basic configuration, only the relationship between the pressurizing chamber 10A and the second flow passage 312 will be described.
  • the second flow passage 312 includes a second individual flow passage 312a and a second connection flow passage 312b.
  • the second individual flow passage 312a extends in the fourth direction from the pressure chamber 10A.
  • the second individual channel 312a includes a first portion 312aa and a second portion 312ab.
  • the first portion 312aa extends in the fourth direction from the lower side of the pressure chamber 10A.
  • the first portion 312aa is thinner than the hole flowing downward from the pressure chamber 10A.
  • the second portion 312ab is connected to the first portion 312aa.
  • the width of the second portion 312ab is wider than the width of the first portion 312aa.
  • the first portion 312aa and the second portion 312ab are formed on the same plate 4 (see FIG. 5).
  • the narrow groove and the wide groove are formed in the same plate 4, and the narrow groove forms the first portion 312aa, and the wide groove forms the second portion 312ab.
  • the thickness of the first flow path member 4 is unlikely to be thick.
  • the second connection channel 312b is located below the second portion 312ab, and in plan view, is located at the central portion of the second portion 312ab in the fourth direction.
  • the second connection flow channel 312 b is formed by a hole, and connects the second portion 312 ab and the second common flow channel 20.
  • the second connection channel connects the second portion 312ab of the second individual channel 312a of the pressurizing chamber 10A and the second portion 312ab of the second individual channel 312a of the pressurizing chamber 10B.
  • the second flow channel 312 includes a second connection flow channel 312 b that connects the second common flow channel 20 and the plurality of second individual flow channels 312 a connected to one pressurizing chamber 10, and 1
  • Each of the second common flow channels 20 includes a plurality of sets 315 of the second connection flow channel 312 b and the plurality of second individual flow channels 312 a.
  • the liquid lacking due to the discharge flows from the second common flow channel 20 through the second connection flow channel 312b to the second individual flow channel connected to the pressure chamber 10B. It flows into 312a.
  • the viscosity of the liquid causes a portion of the first individual flow passage 14a to be connected to the pressurizing chamber 10A.
  • the liquid flows into the second connection channel 312b.
  • a sufficient amount of liquid is supplied to the pressurizing chamber 10A. Therefore, the discharge amount of the liquid to be discharged when discharging from the pressure chamber 10A is unlikely to be insufficient. Thereby, high quality printing can be performed.
  • the first individual channel 14a connected to the pressure chamber 10A and the first individual channel 14a connected to the pressure chamber 10B are connected by the first connection channel 14b.
  • the second individual flow path 312a connected to the pressure chamber 10A and the second individual flow path 312a connected to the pressure chamber 10C are connected by the second connection flow path 312b.
  • the second individual flow channel 312a connected to the pressure chamber 10A and the second individual flow channel 312a connected to the pressure chamber 10B may not be connected by the second connection flow channel 312b.
  • FIG. 9A is a side view showing the main configuration of the printer 101 according to the modification.
  • FIG. 9B is a top view of the printer 101.
  • the printer 1 is illustrated so that the print sheet P moves from the right side to the left side of the sheet.
  • the printer 1 is illustrated so that the printing paper P is moved from the left side to the right side of the paper surface, contrary to FIGS. 1A and 1B. .
  • the coating agent may be printed by the head 2.
  • the coating agent may be uniformly applied by the applicator 82 controlled by the control unit 76 in addition to printing by the head 2 as in the present modification.
  • the print sheet P delivered from the transport roller 74 a passes between the two transport rollers 74 c of the moving unit 274 and then passes under the applicator 82.
  • the applicator 82 applies a coating agent to the printing paper P.
  • the printing paper P is transported to the lower side of the head 2.
  • the printer 101 has a head chamber 85 for housing the head 2.
  • the head chamber 85 is connected to the outside at a part such as a portion where the printing paper P enters and leaves, but is a space generally isolated from the outside.
  • control factors at least one
  • control factors such as temperature, humidity, and air pressure are controlled by the control unit 76 and the like as needed.
  • the influence of disturbance can be reduced as compared with the outside, so that the fluctuation range of the above-mentioned control factor can be made narrower than the outside.
  • the head mounting frame 270 on which the head 2 is mounted is roughly obtained by dividing the head mounting frame 70 of the embodiment into each head group 72, and is accommodated in the head chamber 85.
  • the head chamber 85 five guide rollers 74e are disposed, and the printing paper P is conveyed on the guide rollers 74e.
  • the five guide rollers 74e are arranged such that the center is convex toward the direction in which the head mounting frame 270 is arranged, as viewed from the side.
  • the print sheet P conveyed on the five guide rollers 74 e is in an arc shape as viewed from the side, and by applying tension to the print sheet P, the print sheet P between the guide rollers 74 e is To be flat.
  • One head mounting frame 270 is disposed between the two guide rollers 74e. The mounting angle of each head mounting frame 270 is gradually changed so as to be parallel to the printing paper P conveyed thereunder.
  • the printer 101 has a dryer 78.
  • the printing paper P coming out of the head chamber 85 passes between the two conveyance rollers 74f and passes through the dryer 78.
  • By drying the printing paper P with the dryer 78 it is possible to prevent the printing paper P to be stacked and taken up from adhering to each other or rubbing the undried liquid from occurring in the transport roller 74b.
  • the dryer 78 may sequentially dry by a plurality of drying methods, or may be combined and dried by a plurality of drying methods.
  • a drying method used in such a case there are, for example, spraying of warm air, irradiation of infrared rays, and contact with a heated roller.
  • infrared rays in a specific frequency range may be applied in order to accelerate drying while reducing damage to the printing paper P.
  • the time for heat transfer may be extended by transporting the printing paper P along the cylindrical surface of the roller.
  • the range of conveyance along the cylindrical surface of the roller is preferably 1 ⁇ 4 or more of the cylindrical surface of the roller, and more preferably 1 ⁇ 2 or more of the cylindrical surface of the roller.
  • a UV irradiation light source may be disposed instead of the dryer 78 or in addition to the dryer 78.
  • the UV irradiation light source may be disposed between each head mounting frame 270.
  • At least one of the applicator 82, the head chamber 85, and the dryer 78 may be combined with the head mounting frame 70 of the embodiment.
  • the printer 1 or 201 may include a cleaning unit that cleans the head 2.
  • the cleaning unit performs cleaning, for example, by wiping or capping.
  • wiping for example, a flexible wiper removes the liquid adhering to the surface of the portion to which the liquid is to be discharged, for example, by rubbing the discharge surface 2a.
  • the capping and washing are performed, for example, as follows. First, a cap is covered so as to cover the portion to which the liquid is to be discharged, for example, the discharge surface 2a (this is called capping), whereby the discharge surface 2a and the cap are substantially sealed to create a space.

Landscapes

  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
  • Ink Jet (AREA)

Abstract

本開示の液体吐出ヘッドは、複数の吐出孔８、複数の加圧室１０、第２共通流路２０、および第１共通流路２２を有する流路部材４と、複数の加圧部５０とを含んでいる液体吐出ヘッド２であって、加圧室１０と第１共通流路２２とを繋いでいる第１流路１４の加圧室１０側における接続位置は、加圧室１０と第２共通流路２０とを繋いでいる第２流路１２の加圧室１０側における接続位置よりも、吐出孔８の近くに配置されており、第１流路１４は、加圧室１０側に配置されていて、当該加圧室１０のみに繋がっている第１個別流路１４aと、第１共通流路２２に配置されている第１接続流路１４ｂとを含んでおり、第１接続流路１４ｂは、複数の第１個別流路１４aをそれぞれ介して、複数の加圧室１０に繋がっており、１つの第１共通流路２２には、複数の第１接続流路１４ｂが繋がっている。　

Description

液体吐出ヘッド、およびそれを用いた記録装置
　本開示は、液体吐出ヘッド、およびそれを用いた記録装置に関する。
　従来、印刷用ヘッドとして、例えば、液体を印刷用紙上に吐出することによって、各種の印刷を行なう液体吐出ヘッドが知られている。液体吐出ヘッドには、例えば、液体を吐出する吐出孔が二次元的に広がって多数配置されている。印刷用紙には、各吐出孔から吐出された液体が並んで着弾することにより、印刷が行なわれる（例えば、特許文献１を参照。）。
特開２００９－１４３１６８号公報
　本開示の液体吐出ヘッドは、流路部材と、複数の加圧部とを含んでいる。流路部材は、複数の吐出孔と、複数の加圧室と、１つ以上の第１共通流路と、１つ以上の第２共通流路と、第１流路と、第２流路と、を有する。複数の加圧室は、複数の吐出孔とそれぞれ繋がっている。第１共通流路は、複数の加圧室に共通して繋がっている。第２共通流路は、複数の加圧室に共通して繋がっている。第１流路は、加圧室と第１共通流路とを繋いでいる。第２流路は、加圧室と第２共通流路とを繋いでいる。複数の加圧部は、複数の加圧室をそれぞれ加圧する。第１流路は、第１共通流路と、１つの加圧室に繋がる複数の第１個別流路とを接続する第１接続流路を有する。１つの第１共通流路には、第１接続流路および複数の第１個別流路からなる組を複数有する。
　また、本開示の記録装置は、前記液体吐出ヘッドと、印刷用紙を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドを制御する制御部を備えていることを特徴とする。
（ａ）は、本開示の一形態に係る液体吐出ヘッドを含む記録装置の側面図であり、（ｂ）は平面図である。 （ａ）は、図１の液体吐出ヘッドの要部であるヘッド本体の平面図であり、（ｂ）は、（ａ）から第２流路部材を除いた平面図である。 図２（ｂ）の一部の拡大平面図である。 図２（ｂ）の一部の拡大平面図である。 （ａ）は、ヘッド本体の模式的な部分縦断面図であり、（ｂ）は、ヘッド本体の他の部分の縦断面図ある。 本開示の他の液体吐出ヘッドの流路の一部の平面図である。 本開示の他の液体吐出ヘッドの流路の一部の平面図である。 本開示の他の液体吐出ヘッドの拡大平面図である。 図９（ａ）は、変形例に係るプリンタ１０１の要部構成を示す側面図である。図９（ｂ）は、プリンタ１０１の上面図である。
　図１（ａ）は、本開示の一形態に係る液体吐出ヘッド２を含む記録装置であるカラーインクジェットプリンタ１（以下で単にプリンタと言うことがある）の概略の側面図であり、図１（ｂ）は、概略の平面図である。プリンタ１は、印刷用紙Ｐをガイドローラ８２Ａから搬送ローラ８２Ｂへと搬送することにより、印刷用紙Ｐを液体吐出ヘッド２に対して相対的に移動させる。制御部８８は、画像や文字のデータに基づいて、液体吐出ヘッド２を制御して、印刷用紙Ｐに向けて液体を吐出させ、印刷用紙Ｐに液滴を着弾させて、印刷用紙Ｐに印刷などの記録を行なう。
　本形態では、液体吐出ヘッド２はプリンタ１に対して固定されており、プリンタ１はいわゆるラインプリンタとなっている。記録装置の他の形態としては、液体吐出ヘッド２を、印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向、例えば、ほぼ直交する方向に往復させるなどして移動させながら記録する動作と、印刷用紙Ｐの搬送とを交互に行なう、いわゆるシリアルプリンタが挙げられる。
　プリンタ１には、印刷用紙Ｐとほぼ平行となるように平板状のヘッド搭載フレーム７０（以下で単にフレームと言うことがある）が固定されている。フレーム７０には図示しない２０個の孔が設けられており、２０個の液体吐出ヘッド２がそれぞれの孔の部分に搭載されていて、液体吐出ヘッド２の、液体を吐出する部位が印刷用紙Ｐに面するようになっている。液体吐出ヘッド２と印刷用紙Ｐとの間の距離は、例えば０．５～２０ｍｍ程度とされる。５つの液体吐出ヘッド２は、１つのヘッド群７２を構成しており、プリンタ１は、４つのヘッド群７２を有している。
　液体吐出ヘッド２は、図１（ａ）の手前から奥へ向かう方向、図１（ｂ）の上下方向に細長い長尺形状を有している。１つのヘッド群７２内において、３つの液体吐出ヘッド２は、印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向、例えば、ほぼ直交する方向に沿って並んでおり、他の２つの液体吐出ヘッド２は搬送方向に沿ってずれた位置で、３つの液体吐出ヘッド２の間にそれぞれ一つずつ並んでいる。液体吐出ヘッド２は、各液体吐出ヘッド２で印刷可能な範囲が、印刷用紙Ｐの幅方向、すなわち、印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向に繋がるように、あるいは端が重複するように配置されており、印刷用紙Ｐの幅方向に隙間のない印刷が可能になっている。
　４つのヘッド群７２は、印刷用紙Ｐの搬送方向に沿って配置されている。各液体吐出ヘッド２には、図示しない液体タンクから液体、例えば、インクが供給される。１つのヘッド群７２に属する液体吐出ヘッド２には、同じ色のインクが供給されるようになっており、４つのヘッド群７２で４色のインクが印刷できる。各ヘッド群７２から吐出されるインクの色は、例えば、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）およびブラック（Ｋ）である。このようなインクを、制御部８８で制御して印刷すれば、カラー画像が印刷できる。
　プリンタ１に搭載されている液体吐出ヘッド２の個数は、単色で、１つの液体吐出ヘッド２で印刷可能な範囲を印刷するのなら１つでもよい。ヘッド群７２に含まれる液体吐出ヘッド２の個数や、ヘッド群７２の個数は、印刷する対象や印刷条件により適宜変更できる。例えば、さらに多色の印刷をするためにヘッド群７２の個数を増やしてもよい。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数配置して、搬送方向に交互に印刷すれば、同じ性能の液体吐出ヘッド２を使用しても搬送速度を速くできる。これにより、時間当たりの印刷面積を大きくすることができる。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数準備して、搬送方向と交差する方向にずらして配置して、印刷用紙Ｐの幅方向の解像度を高くしてもよい。
　さらに、色のあるインクを印刷する以外に、印刷用紙Ｐの表面処理をするために、コーティング剤などの液体を印刷してもよい。
　印刷用紙Ｐは、使用前において給紙ローラ８０Ａに巻かれた状態になっており、２つのガイドローラ８２Ａの間を通った後、フレーム７０に搭載されている液体吐出ヘッド２の下側を通り、その後２つの搬送ローラ８２Ｂの間を通り、最終的に回収ローラ８０Ｂに回収される。印刷する際には、搬送ローラ８２Ｂを回転させることで印刷用紙Ｐは、一定の速度で搬送され、液体吐出ヘッド２によって印刷される。回収ローラ８０Ｂは、搬送ローラ８２Ｂから送り出された印刷用紙Ｐを巻き取る。搬送速度は、例えば、１００ｍ／分とされる。各ローラは、制御部８８によって制御されてもよいし、人によって手動で操作されてもよい。
　また、印刷対象としては、印刷用紙Ｐ以外に、ロール状の布などでもよい。また、プリンタ１は、印刷用紙Ｐを直接搬送する代わりに、搬送ベルト上に載せて搬送するものであってもよい。そのようにすれば、枚葉紙や裁断された布、木材、タイルなどを印刷対象とすることができる。さらに、液体吐出ヘッド２から導電性の粒子を含む液体を吐出するようにして、電子機器の配線パターンなどを印刷してもよい。またさらに、液体吐出ヘッド２から反応容器などに向けて所定量の液体の化学薬剤や化学薬剤を含んだ液体を吐出させて、反応させるなどして、化学薬品を作製してもよい。
　また、プリンタ１に、位置センサ、速度センサ、温度センサなどを取り付けて、制御部８８が、各センサからの情報から分かるプリンタ１各部の状態に応じて、プリンタ１の各部を制御してもよい。例えば、液体吐出ヘッド２の温度や液体タンクの液体の温度、液体タンクの液体が液体吐出ヘッド２に加えている圧力などが、吐出される液体の吐出特性、すなわち、吐出量や吐出速度などに影響を与えている場合などに、それらの情報に応じて、液体を吐出させる駆動信号を変えるようにしてもよい。
　次に、本開示の一形態の液体吐出ヘッド２について説明する。図２（ａ）は、図１に示された液体吐出ヘッド２の要部であるヘッド本体２ａを示す平面図である。図２（ｂ）は、ヘッド本体２ａから第２流路部材６を除いた状態の平面図である。図３は、図２（ｂ）の一点鎖線の範囲のヘッド本体２ａの拡大平面図である。図４は、図３の一点鎖線の範囲のヘッド本体２ａの拡大平面図である。図５（ａ）は、ヘッド本体２ａの、模式的な部分縦断面図である。図５（ａ）では、流路の繋がっている状態を示すために、実際には、同一の縦断面に存在しない流路を、同一の縦断面に存在するかのように描いている。より詳細には、プレート４ｇから上と、プレート４ｈから上とは別の部位の縦断面である。図５（ｂ）は、ヘッド本体２ａの、他の部分の縦断面図である。ただし、図５（ｂ）には、図２（ａ）には描いていない信号伝達部６０を示している。
　各図は、図面を分かり易くするために次のように描いている。図２～４では、他のものの下方にあって破線で描くべき流路などを実線で描いている。図４においては、図を左右に分けている中央の２点鎖線の左側では、加圧室本体１０ａ、第２流路１２、個別電極４４および接続電極４６を省略して描いている。個別電極４４および接続電極４６は図の左上部分の４つの加圧室１０に対応するもののみを示している。
　ヘッド本体２ａは、第１流路部材４と、第１流路部材４に液体を供給する第２流路部材６と、加圧部である変位素子５０が作り込まれている圧電アクチュエータ基板４０とを含んでいる。ヘッド本体２ａは、一方方向に長い平板形状を有しており、その方向を長手方向と言うことがある。また、第２流路部材６は、ヘッド本体２ａの構造を支持する支持部材の役割を果たしており、ヘッド本体２ａは、第２流路部材６の長手方向の両端部のそれぞれでフレーム７０（図１参照）に固定される。なお、液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体２ａ以外に、筐体、ドライバＩＣおよび配線基板などを含んでいてもよい。
　ヘッド本体２ａを構成する第１流路部材４は、平板状の形状を有しており、その厚さは０．５～２ｍｍ程度である。第１流路部材４の一つの面である加圧室面４－１には、加圧室１０が平面方向に多数並んで配置されている。第１流路部材４の、加圧室面４－１とは反対の面である吐出孔面４－２には、液体が吐出される吐出孔８が平面方向に多数並んで配置されている。吐出孔８は、それぞれ加圧室１０と繋がっている。以下では、加圧室面４－１は、吐出孔面４－２に対して、上方に位置しているとして説明をする。
　第１流路部材４には、複数の第２共通流路２０および複数の第１共通流路２２が、第１方向に沿って伸びるように配置されている。以下で、第２共通流路２０と第１共通流路２２とを合わせて、共通流路と言うことがある。第２共通流路２０と第１共通流路２２とは重なって配置されている。第１方向と交差する方向を第２方向とする。第２共通流路２０および第１共通流路２２は、それぞれ８本あり、第２方向に並んで配置されている。なお、第１方向は、ヘッド本体２ａの長手方向と同じ方向である。また、第１方向と反対の方向を第３方向とし、第２方向の反対の方向を第４方向とする。一部の図には、第１～４方向を、Ｄ１～４で示した。
　第２共通流路２０および第１共通流路２２の両側に沿って、第２共通流路２０および第１共通流路２２と繋がっている加圧室１０、および加圧室１０と繋がっている吐出孔８が並んでいる。加圧室１０は、第２共通流路２０および第１共通流路２２の片側にそれぞれ２行ずつ、両側を合わせて４行の加圧室行１１Ａを構成している。また、吐出孔８は、第２共通流路２０および第１共通流路２２の片側にそれぞれ２行ずつ、両側を合わせて４行の吐出孔行９Ａを構成している。第２共通流路２０および第１共通流路２２は８本あるので、加圧室行１１Ａは全体で３２行あり、吐出孔行９Ａも全体で３２行ある。
　第２共通流路２０とその両側に並んでいる４行の加圧室１０とは、第２流路１２を介して繋がっている。第１共通流路２２とその両側に並んでいる４行の加圧室１０とは、第１流路１４を介して繋がっている。
　以上のような構成により、第１流路部材４においては、第２共通流路２０に供給された液体は、第２共通流路２０に沿って並んでいる加圧室１０に流れ込む。加圧室１０に流れ込んだ液体の一部は、吐出孔８から吐出される。吐出されなかった他の一部は、第１共通流路２２に流れ込み、第１流路部材４から外部に排出される。なお、液体の供給および回収の流れは、逆にしてもよい。
　第２共通流路２０は、第１共通流路２２の上に重なるように配置されている。第２共通流路２０は、第２流路１２が繋がっている範囲の外側において、第１方向および第３方向の両方の端部に配置されている開口２０ｂで第１流路部材４の外部に開口している。第１共通流路２２は、第１流路１４が繋がっている範囲の外側で、かつ第２共通流路２０の開口２０ｂよりも外側において、第１方向および第３方向の両方の端部に配置されている開口２２ｂで第１流路部材４の外部に開口している。下側に配置されている第１共通流路２２の開口２２ｂが、上側に配置されている第２共通流路２０の開口２０ｂの外側に配置されていることで、空間効率がよくなる。なお、両端部を除いた第２共通流路本体２０ａの全体が、両端部を除いた第２共通流路本体２０ａ全体よりも下側に配置されている。
　第２共通流路２０の第１方向側の開口２０ａと第３方向側の開口２０ａとからは、ほぼ同量の液体が供給され、第２共通流路２０の中央に向かって流れていく。１つの第２共通流路２０および１つ第１共通流路２２に繋がっている吐出孔８からの液体の吐出量が、場所によらずほぼ一定の場合、第２共通流路２０の流れは、中央に向かうにしたがって遅くなり、ほぼ中央でゼロ（０）になる。第１共通流路２２における流れはこれと逆で、ほぼ中央でゼロであり、外側に向かうにしたがって流れは速くなる。
　液体吐出ヘッド２では、様々なものを記録するので、１つの第２共通流路２０および１つの第１共通流路２２に繋がっている吐出孔８からの液体の吐出量は、様々な分布になる。第１方向側の吐出孔８からの吐出量が多い場合、流れがゼロとなる場所は、中央よりも第１方向側になる。逆に、第３方向側の吐出孔８からの吐出量が多い場合、流れがゼロとなる場所は、中央よりも第３方向側になる。このように、記録するものによって吐出の分布が変わることにより、流れがゼロとなる場所が移動する。これにより、ある瞬間に、流れがゼロとなって液体が滞留したとしても、吐出の分布が変わることにより、その場所での滞留は解消されるので、同じ場所で液体が滞留し続けることによる、顔料の沈降や、液体の固着などを起き難くできる。
　第２共通流路２０に繋がっている第２流路１２の第２共通流路２０側の部分に加わる圧力は、圧力損失の影響で、第２流路１２が第２共通流路２０に繋がっている位置（主に第１方向における位置）により変わる。第１共通流路２２に繋がっている第１流路１４側の部分に加わる圧力は、圧力損失の影響で、第１流路１４が第１共通流路２２に繋がっている位置（主に第１方向における位置）により変わる。１つの吐出孔８における液体の圧力をほぼゼロにすれば、上述の圧力変化は対称に変化するので、すべての吐出孔８で液体の圧力をほぼゼロにできる。
　第２共通流路２０の下側の面はダンパ２８Ａになっている。ダンパ２８Ａの第２共通流路２０に面している面と反対側の面は、ダンパ室２９Ａに面している。ダンパ室２９Ａは、空気などの気体が入っており、その体積は、第２共通流路２０から加わる圧力によって変化する。ダンパ２８Ａは、ダンパ室２９Ａの体積が変わることで振動することができ、その振動が減衰することで、第２共通流路２０に生じた圧力変動を減衰させることできる。ダンパ２８Ａを設けることで、第２共通流路２０中の液体の共振等の圧力変動を小さくすることができる。
　第１共通流路２２の下側の面はダンパ２８Ｂになっている。ダンパ２８Ｂの第１共通流路２２に面している面と反対側の面は、ダンパ室２９Ｂに面している。第１共通流路の場合と同様に、ダンパ２８Ｂを設けることで、第１共通流路２２中の液体の共振等の圧力変動を小さくすることができる。
　１つの吐出孔行９Ａでは、吐出孔８は５０ｄｐｉ（約２５．４ｍｍ／５０）の間隔で配置されている。３２行の吐出孔行９Ａがあり、それらに含まれる吐出孔８が、第１方向に互いにずれて配置されていることにより、全体で１６００ｄｐｉの間隔で吐出孔８が配置されている。
　より具体的には、図３において、吐出孔８を第１方向と直交する方向に投影すると、仮想直線Ｒの範囲に３２個の吐出孔８が投影され、仮想直線Ｒ内で各吐出孔８は１２００ｄｐｉの間隔に並ぶ。これにより、仮想直線Ｒに直交する方向に印刷用紙Ｐを搬送して印刷すれば、１２００ｄｐｉの解像度で印刷できる。
　第２流路部材６は、第１流路部材４の加圧室面４－１に接合されており、第２共通流路２０に液体を供給する第１統合流路２４と、第１共通流路２２の液体を回収する第２統合流路２６とを有している。第２流路部材６の厚さは、第１流路部材４よりも厚く、５～３０ｍｍ程度である。
　第２流路部材６は、第１流路部材４の加圧室面４－１における、圧電アクチュエータ基板４０が接続されていない領域で接合されている。より具体的には、圧電アクチュエータ基板４０を囲むように接合されている。このようにすることで、圧電アクチュエータ基板４０に、吐出した液体の一部がミストとなって付着するのを抑制できる。また、圧電アクチュエータ基板４０を囲むように、第１流路部材４を外周で固定することになるので、第１流路部材４が変位素子５０の駆動にともなって振動して、起きる共振を小さくできる。
　第１統合流路２４の第３方向の端部には、第２流路部材６の上面に開口している開口２４ｂが配置されている。第１統合流路２４は途中で２つに分岐して、一方は第３方向側の第２共通流路２０の開口２０ｂに繋がっており、もう一方は第１方向側の第２共通流路２０の開口２０ｂに繋がっている。第２統合流路２６の第１方向の端部には、第２流路部材６の上面に開口している開口２６ｂが配置されている。第２統合流路２６は途中で２つに分岐して、一方は第１方向側の第１共通流路２２の開口２２ｂに繋がっており、もう一方は第３方向側の第１共通流路２２の開口２２ｂに繋がっている。印刷をする場合には、外部から第１統合流路２４の開口２４ｂに液体を供給し、吐出しなかった液体は、第２統合流路２６の開口２６ｂから回収する。
　また、第２流路部材６には、第２流路部材６を上下に貫通している貫通孔６ａが配置されている。貫通孔６ａには、圧電アクチュエータ基板４０を駆動する駆動信号を伝達するＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）などの信号伝達部６０が通される。
　第１統合流路２４を、第１流路部材４とは別の、第１流路部材４より厚い第２流路部材６に配置することで、第１統合流路２４の断面積を大きくすることができ、それにより第１統合流路２４と第２共通流路２０とが繋がっている位置の差による圧力損失の差を小さくできる。第１統合流路２４の流路抵抗は、第２共通流路２０の１／１００以下にしてもよい。ここで、第１統合流路２４の流路抵抗とは、より正確には第１統合流路２４のうちで、第２共通流路２０と繋がっている範囲の流路抵抗のことである。
　第２統合流路２６を、第１流路部材４とは別の、第１流路部材４より厚い第２流路部材６に配置することで、第２統合流路２６の断面積を大きくすることができ、それにより第２統合流路２６と第１共通流路２２とが繋がっている位置の差による圧力損失の差を小さくできる。第２統合流路２６の流路抵抗は、第１共通流路２２の１／１００以下にしてもよい。ここで、第２統合流路２６の流路抵抗とは、より正確には第２統合流路２６のうちで、第１統合流路２４と繋がっている範囲の流路抵抗のことである。
　第１統合流路２４を第２流路部材６の短手方向の一方の端に配置し、第２統合流路２６を第２流路部材６の短手方向の他方の端に配置し、それぞれの流路を第１流路部材４側に向かわせて、それぞれ第２共通流路２０および第１共通流路２２と繋げる構造にする。このような構造にすることで、第１統合流路２４および第２統合流路２６の断面積を大きくして、流路抵抗を小さくすることができる。また、このような構造にすることで、第１流路部材４は、外周が第２流路部材６で固定されるので剛性を高くできる。さらに、このような構造にすることで、信号伝達部６０の通る貫通孔６ａを設けることができる。
　第２流路部材６の下面には、第１統合流路２４となる溝と、第２統合流路２６となる溝が配置されている。第２流路部材６の第１統合流路２６となる溝は、下面の一部は流路部材４の上面で塞がれ、下面の他の部分は流路部材４の上面に配置されている、第２共通流路２０の開口２０ａと繋がることで、第１統合流路２６となっている。第２流路部材６の第２統合流路２６となる溝は、下面の一部は流路部材４の上面で塞がれる、下面の他の部分は流路部材４の上面に配置されている、第１共通流路２２の開口２２ａと繋がることで、第２統合流路２６となっている。
　第１統合流路２４および第２統合流路２６には、ダンパを設けて、液体の吐出量の変動に対して液体の供給、あるいは排出が安定するようにしてもよい。また、第１統合流路２４および第２統合流路２６の内部や、第２共通流路２０あるいは第１共通流路２２との間に、フィルタを設けることにより、異物や気泡が、第１流路部材４に入り込み難くしてもよい。
　第２流路部材６の上面は、金属製の筐体などで塞がれる。信号伝達部６０は、例えば筐体に収められた配線基板に電気的に接続される。配線基板と制御部８８とは、ケーブルなどで電気的に接続される。信号伝達部６０には変位素子５０を駆動するドライバＩＣを実装してもよい。ドライバＩＣを、金属製の筐体あるいはその筐体に熱が伝わりやすくしてある部材に接触させることで、ドライバＩＣで発生した熱を外部に放出することができる。
　第１流路部材４の上面である加圧室面４－１には、変位素子５０を含む圧電アクチュエータ基板４０が接合されており、各変位素子５０が加圧室１０上に位置するように配置されている。圧電アクチュエータ基板４０は、加圧室１０によって構成された加圧室群とほぼ同一の形状の領域を占有している。また、各加圧室１０の開口は、流路部材４の加圧室面４－１に圧電アクチュエータ基板４０が接合されることで閉塞される。圧電アクチュエータ基板４０は、ヘッド本体２ａと同じ方向に長い長方形状である。
　圧電アクチュエータ基板４０には、各変位素子５０に信号を供給する信号伝達部６０が接続されている。第２流路部材６には、中央で、上下に貫通している貫通孔６ａがあり、信号伝達部６０は貫通孔６ａを通って制御部８８と電気的に繋がれる。信号伝達部６０は、圧電アクチュエータ基板４０の一方の長辺の端から他方の長辺の端に向かうように短手方向に伸びる形状にし、信号伝達部６０に配置される配線が短手方向に沿って伸び、長手方向に並ぶようにすれば、配線間の距離を大きくできる。
　圧電アクチュエータ基板４０の上面における各加圧室１０に対向する位置には個別電極４４がそれぞれ配置されている。
　流路部材４は、複数のプレートが積層された積層構造を有している。流路部材４の加圧室面４－１側にはプレート４ａが配置されており、プレート４ａから下には、プレート４ｂ～４ｌが順に積層されている。なお、加圧室１０の側壁となる孔が形成されているプレート４ａをキャビティプレート４ａと呼び、共通流路の側壁となる孔が形成されているプレート４ｅ、ｆ、ｉ、ｊをマニホールドプレート４ｅ、ｆ、ｉ、ｊと呼び、吐出孔８が開口しているプレート４ｌをノズルプレート４ｌと呼ぶことがある。各プレートには多数の孔や溝が形成されている。孔や溝は、例えば、各プレートを金属で作製し、エッチングで形成できる。各プレートの厚さは１０～３００μｍ程度であることにより、形成する孔の形成精度を高くできる。各プレートは、これらの孔が互いに連通して第２共通流路２０などの流路を構成するように、位置合わせして積層されている。
　平板状の流路部材４の加圧室面４－１には、加圧室本体１０ａが開口しており、圧電アクチュエータ基板４０が接合されている。また、加圧室面４－１には、第２共通流路２０に液体を供給する開口２０ａ、および第１共通流路２２から液体を回収する開口２４ａが開口している。流路部材４の、加圧室面４－１と反対側の面である吐出孔面４－２には吐出孔８が開口している。
　液体を吐出する構造としては、加圧室１０と吐出孔８とがある。加圧室１０は、加圧室本体１０aと部分流路１０ｂとを含む。加圧室本体１０aは、キャビティプレート４ａに形成されており、変位素子５０に面している。加圧室本体１０aは、平面視して、第２方向に長い略楕円形状である。なお、楕円形上でなくてもよく、矩形状、円形状であってもよい。
　部分流路１０ｂは、加圧室本体１０aと吐出孔８とを繋いでいる。部分流路１０ｂは、プレート４ｂ～ｋに形成された孔が重ねられて形成されている。部分流路１０ｂの下端は、ノズルプレート４ｌで吐出孔８以外の部分を塞がれている。そのため、部分流路１０ｂは、流路部材１４の厚み方向に伸びている。
　第２流路１２は、加圧室本体１０aと第２共通流路２０とを繋いでいる。第２流路１２は、プレート４ｂを貫通する円形状の孔と、プレート４ｃを平面方向に伸びる細長い貫通溝と、プレート４ｄを貫通する円形状の孔とを含んでいる。
　第１流路１４は、部分流路１０ｂと、第１共通流路２２とを繋いでいる。第１流路１４は、第１共通流路２２と、１つの加圧室１０に繋がる複数の第１個別流路１４ａとを接続する第１接続流路１４ｂとを有している。換言すると、第１流路１４は、１つの加圧室１０Ａのみに繋がる第１個別流路１４ａと、他の加圧室１０Ｂのみに繋がる第１個別流路１４ａと、これら２つの第１個別流路１４ａと第１共通流路２２とを接続する第１接続流路１４ｂとを有している。図４において第１接続流路１４ｂは、２つの加圧室１０Ａ,１０Ｂにそれぞれ繋がっている２つの第１個別流路１４aが合わさって（繋がって）おり、第１共通流路２２に繋がっている。
　１つの第１共通流路２２には、第１接続流路１４ｂおよび複数の第１個別流路１４ａからなる組１５を複数有している。ここでいう「組」とは、１つの第１流路１４のことである。複数の第１接続流路１４ｂが、１つの第１共通流路２２に繋がっている。１つの第１共通流路２２に繋がっている第１接続流路１４ｂの数は、１つの第１共通流路２２に繋がっている加圧室１０の数に対しての半分である。複数の第１個別流路１４aを第１接続流路１４ｂに束ねた後で第１共通流路２２に繋げることで、空間効率をよくしている。なお、第１接続流路１４ｂに繋げる第１個別流路１４aの数は３以上でもよい。
　第２共通流路２０はプレート４ｅ、ｆに形成された孔が重ねられ、さらに上側をプレート４ｄで、下側をプレート４ｇで塞がれている。第１共通流路２２はプレート４ｉ、ｊに形成された孔が重ねられ、さらに上側をプレート４ｈで、下側をプレート４ｋで塞がれて成っている。
　液体の流れについてまとめると、第１統合流路２４に供給された液体は、第２共通流路２０および第２流路１２を順に通って加圧室１０に入り、一部の液体は吐出孔８から吐出される。吐出されなかった液体は、第１流路１４を通って、第１共通流路２２に入った後、第２統合流路２６に入り、ヘッド本体２ａの外部に排出される。
　圧電アクチュエータ基板４０は、圧電体である２枚の圧電セラミック層４０ａ、４０ｂからなる積層構造を有している。圧電セラミック層４０ａ、４０ｂはそれぞれ２０μｍ程度の厚さを有している。すなわち、圧電アクチュエータ基板４０の圧電セラミック層４０ａの上面から圧電セラミック層４０ｂの下面までの厚さは４０μｍ程度である。圧電セラミック層４０ａと圧電セラミック層４０ｂの厚さの比は、３：７～７：３、好ましく４：６～６：４にされる。
　圧電セラミック層４０ａ、４０ｂのいずれの層も複数の加圧室１０を跨ぐように延在している。圧電セラミック層４０ａ、４０ｂは、例えば、強誘電性を有する、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系、ＮａＮｂＯ3系、ＢａＴｉＯ3系、（ＢｉＮａ）ＮｂＯ3系、ＢｉＮａＮｂ5Ｏ15系などのセラミックス材料からなる。なお、圧電セラミック層４０ｂは、本形態では振動板として働くものであり、直接的に圧電変形はしない。振動板として、圧電性を持たないセラミックスあるいは金属板などを圧電セラミック層４０ｂの代わりに用いてもよい。
　圧電アクチュエータ基板４０は、Ａｇ－Ｐｄ系などの金属材料からなる共通電極４２およびＡｕ系などの金属材料からなる個別電極４４を有している。共通電極４２の厚さは２μｍ程度であり、個別電極４４の厚さは、１μｍ程度である。
　各個別電極４４は、圧電アクチュエータ基板４０の上面における各加圧室本体１０ａに対向する位置に、それぞれ配置されている。個別電極４４は、個別電極本体４４ａと、引出電極４４ｂとを有している。個別電極本体４４ａは、平面形状が加圧室本体１０ａより一回り小さく、加圧室本体１０ａとほぼ相似な形状を有している。引出電極４４ｂは、個別電極本体４４ａから引き出されている。引出電極４４ｂの一端の、加圧室１０と対向する領域外に引き出された部分には、接続電極４６が形成されている。接続電極４６は、例えば銀粒子などの導電性粒子を含んだ導電性樹脂であり、５～２００μｍ程度の厚さで形成されている。接続電極４６は、信号伝達部６０に設けられた電極と電気的に接合されている。
　個別電極４４には、制御部８８から信号伝達部６０を通じて駆動信号が供給される。駆動信号は、印刷用紙Ｐの搬送速度と同期して一定の周期で供給される。
　共通電極４２は、圧電セラミック層４０ａと圧電セラミック層４０ｂとの間の領域に面方向のほぼ全面にわたって形成されている。すなわち、共通電極４２は、圧電アクチュエータ基板４０に対向する領域内のすべての加圧室１０を覆うように延在している。共通電極４２は、圧電セラミック層４０ａ上に個別電極４４からなる電極群を避ける位置に形成されている表面電極（不図示）に、圧電セラミック層４０ａを貫通して形成された貫通導体を介して繋がっている。また、共通電極４２は、表面電極を介して接地され、グランド電位に保持されている。表面電極は、個別電極４４と同様に、制御部８８と直接あるいは間接的に接続されている。
　圧電セラミック層４０ａの個別電極４４と共通電極４２とに挟まれている部分は、厚さ方向に分極されており、個別電極４４に電圧を印加すると変位する、ユニモルフ構造の変位素子５０となっている。より具体的には、個別電極４４を共通電極４２と異なる電位にして圧電セラミック層４０ａに対してその分極方向に電界を印加したとき、この電界が印加された部分が、圧電効果により歪む活性部として働く。この構成において、電界と分極とが同方向となるように、制御部８８により個別電極４４を共通電極４２に対して正または負の所定電位にすると、圧電セラミック層４０ａの電極に挟まれた部分（活性部）が、面方向に収縮する。一方、非活性層の圧電セラミック層４０ｂは電界の影響を受けないため、自発的には縮むことがなく活性部の変形を規制しようとする。この結果、圧電セラミック層４０ａと圧電セラミック層４０ｂとの間で分極方向への歪みに差が生じて、圧電セラミック層４０ｂは加圧室１０側へ凸となるように変形（ユニモルフ変形）する。
　続いて、液体の吐出動作について、説明する。制御部８８からの制御でドライバＩＣなどを介して、個別電極４４に供給される駆動信号により、変位素子５０が駆動（変位）させられる。本形態では、様々な駆動信号で液体を吐出させることができるが、ここでは、いわゆる引き打ち駆動方法について説明する。
　あらかじめ個別電極４４を共通電極４２より高い電位（以下、高電位と称す）にしておき、吐出要求がある毎に個別電極４４を共通電極４２と一旦同じ電位（以下、低電位と称す）とし、その後所定のタイミングで再び高電位とする。これにより、個別電極４４が低電位になるタイミングで、圧電セラミック層４０ａ、４０ｂが元の（平らな）形状に戻り（始め）、加圧室１０の容積が初期状態（両電極の電位が異なる状態）と比較して増加する。これにより、加圧室１０内の液体に負圧が与えられる。そうすると、加圧室１０内の液体が固有振動周期で振動し始める。具体的には、最初、加圧室１０の体積が増加し始め、負圧は徐々に小さくなっていく。次いで加圧室１０の体積は最大になり、圧力はほぼゼロとなる。次いで加圧室１０の体積は減少し始め、圧力は高くなっていく。その後、圧力がほぼ最大になるタイミングで、個別電極４４を高電位にする。そうすると最初に加えた振動と、次に加えた振動とが重なり、より大きい圧力が液体に加わる。この圧力が部分流路１０ｂ内を伝搬し、吐出孔８から液体を吐出させる。
　つまり、高電位を基準として、一定期間低電位とするパルスの駆動信号を個別電極４４に供給することで、液滴を吐出できる。このパルス幅は、加圧室１０の液体の固有振動周期の半分の時間であるＡＬ（Acoustic Length）とすると、原理的には、液体の吐出速度および吐出量を最大にできる。加圧室１０の液体の固有振動周期は、液体の物性、加圧室１０の形状の影響が大きいが、それ以外に、圧電アクチュエータ基板４０の物性や、加圧室１０に繋がっている流路の特性からの影響も受ける。
　ここで、第２共通流路２０は、第２流路１２で加圧室本体１０ａに接続され、第１共通流路２２は、第１流路１４で接続されることにより、液体を吐出しつつ回収し、印刷を行なっている。印刷する画像が高画質である場合には、加圧室毎に吐出頻度が異なる。この際、連続した変位が必要となる加圧室は、第２共通流路２０から供給不足が生じ、吐出量が減少する場合がある。また、吐出頻度の少ない加圧室は、第１共通流路２２から回収不足が生じ、吐出量が増加する場合がある。
　これに対して、本形態の液体吐出ヘッド２は、第１流路１２が、第１共通流路２２と、１つの加圧室１０に繋がる複数の第１個別流路１４ａとを接続する第１接続流路１４ｂを有し、１つの第１共通流路２２には、第１接続流路１４ｂおよび複数の第１個別流路１４ａからなる組１５を複数有する。すなわち、図４で示すように、加圧室１０Ａに繋がる第１個別流路１４ａと、加圧室１０Ｂに繋がる第１個別流路１４ａとを接続する第１接続流路１４ｂからなる組１５が、第１共通流路２２に複数接続されている。
　それにより、例えば、加圧室１０Ａの吐出頻度が少ない場合であっても、吐出量が増加しにくい。
　具体的には、加圧室１０Ｂから吐出が行なわれると、吐出されなかった液体は、加圧室１０Ｂに繋がる１個別流路１４ａを通って、第１接続流路１４ｂに流れ込む。そして、第１接続流路１４ｂを通って第１共通流路２２に回収される際に、液体の粘性により、加圧室１０Ａに繋がる第１個別流路１４ａの一部の液体も第１接続流路１４ｂに流れることとなる。その結果、加圧室１０Ａの液体の一部が回収されることとなり、次に加圧室１０Ａから吐出が行なわれる場合に吐出される液体の吐出量が増加しにくくなる。それにより、高画質な印刷を行なえる。
　また、１つの第１共通流路２２には、第１接続流路１４ｂおよび複数の第１個別流路１４ａからなる組１５を複数有することから、各組１５から第１共通流路２２への回収ルートを複数有することができるため、液体の回収も円滑に行なえる。
　ここで、第２共通流路２０は、吐出する液体を供給するため、断面積は大きい方がよい。循環する液体を流すため、第１共通流路２２の断面積も、ある程度は大きい方がよい。他方、共通流路の断面積を大きくすると、ヘッド本体２ａの短手方向の幅が大きくなり、吐出孔８が短手方向に分布する範囲も大きくなる。吐出孔８の短手方向の分布範囲が広がると、液体吐出ヘッド２の設置角度が平面方向に回転するようにずれた際の、印刷精度の低下が大きくなるので望ましくない。
　ヘッド２ａの短手方向の幅をあまり大きくせずに、共通流路の断面積を大きくするには、共通流路の配置間隔を小さくすればよい。共通流路の間にある流路の配置の空間効率をよくすれば、共通流路の配置間隔を小さくできる。第１流路１４は、加圧室１０の吐出孔８付近に接続している流路なので、第１流路１４の配置の空間効率をよくすれば、共通流路の配置間隔を小さくできる。
　各吐出孔８から吐出される液滴の吐出特性の差を小さくするためには、第１流路１４の流路特性の差は小さい方がよい。そのためには、第１流路１４の断面積および長さは設計上ほぼ同じにするのがよい。また、第１流路１４は、吐出に適した流路特性にするのが望ましく、その流路特性にするのに適した断面積および長さがある。単に、空間効率をよくするためだけであれば、例えば、直線で最短距離を繋ぐ流路を設けてもよいが、そのような流路では上述のような流路特性を持たせるのは困難である。
　これに対して、本形態の液体吐出ヘッド２においては、第１流路１４の加圧室１０との接続位置は、第２流路１２の加圧室１０との接続位置よりも、吐出孔８に近くてもよい。
　これにより、それぞれ完全に個別の流路を設けるよりも、流路の配置に必要な空間を小さくできる。
　また、本形態のように、１つの第１共通流路２２の片側に２行以上の吐出孔行９Ａが配置されている場合、第１共通流路２２から遠い方の吐出孔行９Ａから繋がっている第１流路１４は、第１共通流路２２に繋げるために流路長が長くなる。第１共通流路２２に近い方の吐出孔行９Ａから繋がっている第１流路１４は、単に繋げるだけであれば、流路長を短くしてもよいが、流路特性を合わせるために、第１共通流路２２から遠い方の吐出孔行９Ａに繋がっている第１流路１４とほぼ同じ流路長にするのであれば、その長い流路を効率よく配置するには、第１接続流路１４ｂに束ねてから第１共通流路２２に繋げるのがよい。
　また、本形態の液体吐出ヘッド２においては、第１接続流路１４ｂが、第１個別流路１４aよりも長くてもよい。
　第１共通流路２２内の液体には、複数の加圧室１０から、吐出を行なった圧力の一部が伝わってきて、複雑な圧力振動が生じる。その圧力振動の一部は、加圧室１０に伝わっていき、その後の吐出に影響を与えるおそれがある。第１共通流路２２に伝わる前に、２つの加圧室１０からの圧力を接続流路１４ｂで合成してから伝えれば、第１共通流路２２内の圧力振動の複雑さが低減でき、その後の吐出に与える影響を小さくできる。なお、完全な円柱の流路でニュートン流体が満たされているのであれば、圧力波はそれぞれ独立したまま伝わるが、実際の流路形状および実在の液体であれば、圧力は互いに影響し合う。圧力の合成が進むように、第１接続流路１４ｂは、第１個別流路１４aよりも長くするのがよい。
　ここで、１つの加圧室１０で生じた吐出時の圧力は、その加圧室１０に繋がっている第１個別流路１４aを通った後、別の加圧室１０に繋がっている第１個別流路１４aを通って別の加圧室１０に伝わる場合がある。
　本形態の液体吐出ヘッド２においては、第１個別流路１４aの流路抵抗が、第１接続流路１４ｂの流路抵抗よりも大きくてもよい。
　これにより、図４で示すように、加圧室１０Ａで生じた吐出時の圧力が、第１個別流路１４ａに伝わりにくくなる。その結果、同じ組１５の加圧室１０Ｂに圧力伝播しにくくなる。
　図３に示すように、第１共通流路２２は、第１方向に伸びており、かつ第２方向に並んでいる。そして、第２方向に隣り合う第１共通流路２２の間の領域が第１領域Ｅ１となっている。また、第２共通流路２０は、第１方向に伸びており、かつ第２方向に並んでいる。そして、第２方向に隣り合う第２共通流路２０の間の領域が第２領域Ｅ２となっている。
　また、本形態の液体吐出ヘッド２においては、平面視したときに、２つの第１共通流路２２の間の第１領域Ｅ１に配置されている吐出孔８と繋がっている第１流路１４は、第１領域Ｅ１内に納まって配置されていてもよい。
　これにより、複数の第１個別流路１４aを束ねて第１接続流路１４ｂした後、第１共通流路２２に繋げることにより、空間効率をよくできる。
　また、本形態の液体吐出ヘッド２においては、平面視したときに、２つの第２共通流路２０の間の第２領域Ｅ２に配置されている吐出孔８と繋がっている第１流路１４は、第２領域Ｅ２内に納まって配置されていてもよい。
　これにより、複数の第１個別流路１４aを束ねて第１接続流路１４ｂした後、第１共通流路２２に繋げることにより、空間効率をよくできる。
　また、本形態の液体吐出ヘッド２においては、第１共通流路２２および第１流路１４は、第２共通流路２０よりも、吐出孔８が開口している吐出孔面４－２の近くに配置してもよい。
　これにより、複数の第１個別流路１４aを束ねて第１接続流路１４ｂとした後、第１共通流路２２に繋げることで、空間効率をよくでき、第１共通流路２２および第１流路１４を、第２共通流路２０よりも、吐出孔面４－２の近くに配置することができる。それにより、第１流路１４は、第２共通流路２０よりも吐出孔面４－２の近くに配置することができ、第１流路１４を部分流路１０ｂの吐出孔８の近くに繋げることができる。その結果、吐出孔８付近の液体が滞留しにくくなる。
　第１個別流路１４aは、第１部位１４ａａと、第２部位１４ａｂとを含んでいる。第１部位１４ａａは、加圧室１０に直接繋がっている。第２部位１４ａｂは、第１部位１４ａａと第１接続流路１４ｂとを繋いでいる。第１部位１４ａは、１つのプレート４ｋに配置されている孔あるいは溝を他のプレート４ｊ、４ｌの平面部分で塞いで構成されている。第２部位１４ａｂは、第１部位１４ａａを構成している孔あるいは溝が配置されているプレート４ｋとは別のプレート４ｊに配置されている孔あるいは溝を他のプレート４ｉ、４ｋの平面部分で塞いで構成されている。
　また、本形態の液体吐出ヘッド２においては、第１部位１４ａａの単位長さ当たりの流路抵抗は、第２部位１４ａｂの単位長さ当たりの流路抵抗よりも大きくてもよい。これにより加圧室１０からの圧力が第１流路１４に伝わりにくくなるとともに、加圧室１０内の圧力振動が複雑になりにくい。
　本液体吐出ヘッド２では、第１部位１４ａａが加圧室１０に直接接続しているため、圧力波の反射は、主にその接続部分で起こる。そのため、加圧室１０内の圧力振動が比較的に単純になり、その圧力振動に対応させて、次の吐出を行うことが比較的に容易になる。流路抵抗が高い部分が第１個別流路１４ａの途中にあると、加圧室１０と第１個別流路１４ａとの接続部分および流路抵抗が高い部分の２か所で大きな圧力波の反射が起こり、加圧室１０内の圧力振動が複雑になり易く、その圧力振動を考慮して次の吐出を行うことが難しくなり、圧力振動により吐出特性が変動し易くなってしまう。
　また、本形態の液体吐出ヘッド２においては、第２部位１４ａｂとなる、孔あるいは溝が配置されているプレート４の厚さは、第１部位１４ａａとなる、孔あるいは溝が配置されているプレート４の厚さよりも厚くてもよい。具体的には、プレート４ｊは、プレート４ｋよりも厚い。
　このような構成により、第１部位１４ａａで流路抵抗など、必要な流路特性を満たすようにし、第１部位１４ａａよりも断面積が大きく、第１個別流路１４aに占める流路特性の影響が小さい第２部位１４ａｂで繋ぐ必要がある地点同士を繋ぐことで、第１個別流路１４aに必要な流路特性を与えつつ、繋ぐ必要がある地点同士を繋ぐことができるようになる。
　プレート４ｊを第１共通流路２２となる、孔あるいは溝が配置されたプレートにすれば、必要なプレートの枚数を少なくできる。また、プレート４ｋを、プレート４ｊよりも薄くすることで、加圧室１０のＡＬを短くでき、液体吐出ヘッド２を短い周期で駆動できるようになる。
　図６および図７は、本開示の他の形態の液体吐出ヘッドの流路部材の一部の平面図である。第１流路以外の構成は、図２～５に示した液体吐出ヘッド２と同様であるため説明を省略する。第１共通流路２２および加圧室１０等については、図に同じ符号を付けて説明を省略する。
　図６の第１流路１１４は、１つの加圧室１０のみ繋がっている第１個別流路１１４ａと、第１接続流路１１４ｂとを含んでいる。１つの第１接続流路１１４ｂには、２つの第１個別流路１１４ａが繋がっている。
　また、本形態の液体吐出ヘッド２では、２つの第１個別流路１１４ａと第１接続流路１１４ｂとが接続している接続箇所において、第１個別流路１１４ａ同士が成す角度は、第１個別流路１１４ａと第１接続流路１１４ｂとが成す角度よりも大きくなっている。具体的には、第１個別流路１１４ａ同士が成す角度は、約８０度である。図５に示すように、第１個別流路１１４ａと第１接続流路１１４ｂとが成す角度は、第１接続流路１１４ｂが、第１個別流路１１４ａに対して、上昇するように繋がっているので、実施的に９０度である。したがって、それらの角度の大小関係は上述した通りになっている。
　このような角度の大小関係にすることで、１つの第１個別流路１１４ａから伝わってくる圧力が、別の第１個別流路１１４ａよりも、第１接続流路１１４ｂに伝わり易くなるので、第１流路１１４を介して繋がっている加圧室１０同士の間に生じる圧力伝搬を小さくできる。
　なお、本形態では、２つの第１個別流路１１４ａの両方において、上述の条件を満たしているが、１つの第１個別流路１１４ａだけが満たしていてもよい。第１接続流路１１４ｂに繋がるすべての個別流路１１４ａが満たしていれば、すべての個別流路１１４ａに関して、上述の効果を奏することができる。
　図７の第１流路２１４は、第１個別流路２１４ａと、第１接続流路２１４ｂとを含んでいる。１つの第１接続流路２１４ｂには、２つの第１個別流路２１４ａが繋がっている。
　また、本形態の液体吐出ヘッド２では、２つの第１個別流路２１４ａと第１接続流路２１４ｂとが接続している接続箇所において、第１個別流路２１４ａ同士が成す角度は、第１個別流路２１４ａと第１接続流路２１４ｂとが成す角度よりも大きくなっている。具体的には、第１個別流路２１４ａ同士が成す角度は、約８０度である。第１個別流路２１４ａと第１接続流路２１４ｂとが成す角度は、図５に示すように、第１接続流路２１４ｂが、個別流路２１４ａに対して、上昇するように繋がっているので、実施的に９０度である。したがって、それらの角度の大小関係は上述した通りになっている。
　このような角度の大小関係にすることで、１つの第１個別流路２１４ａから伝わってくる圧力が、別の第１個別流路２１４ａに伝わるよりも、第１接続流路２１４ｂに伝わり易くなるので、第１流路２１４介して繋がっている加圧室１０同士の間に生じる圧力伝搬を小さくできる。
　図８は、本開示の他の形態を示し、図４に対応する平面図である。なお、第２流路３１２の構成が図４に示した形態と異なっている。
　加圧室１０は、加圧室１０Ａ～１０Ｃを含んでいる。加圧室１０Ａ～１０Ｃは、互いに基本構成は同じため、加圧室１０Ａと第２流路３１２との関係のみ説明する。
　第２流路３１２は、第２個別流路３１２ａと第２接続流路３１２ｂとを含む。第２個別流路３１２ａは、加圧室１０Ａから第４方向に伸びている。第２個別流路３１２ａは、第１部位３１２ａａと第２部位３１２ａｂとを含んでいる。第１部位３１２ａａは、加圧室１０Ａの下方から第４方向に伸びている。平面視して、第１部位３１２ａａは、加圧室１０Ａから下方に向けて流れる孔よりも細い。第２部位３１２ａｂは、第１部位３１２ａａに接続されている。平面視して、第２部位３１２ａｂの幅は、第１部位３１２ａａの幅よりも広い。
　第１部位３１２ａａと第２部位３１２ａｂとは、同じプレート４（図５参照）に形成されている。換言すると、同じプレート４に幅の狭い溝と、幅の広い溝が形成されており、幅の狭い溝が第１部位３１２ａａを構成し、幅の広い溝が第２部位３１２ａｂを形成している。このように、第１部位３１２ａａと第２部位３１２ａｂとを同じプレート４に形成することにより、第１流路部材４の厚みが厚くなりにくい。
　第２接続流路３１２ｂは、第２部位３１２ａｂの下方に位置しており、平面視して、第２部位３１２ａｂの第４方向における中央部に位置している。第２接続流路３１２ｂは、孔により形成されており、第２部位３１２ａｂと第２共通流路２０とを接続している。第２接続流路は、加圧室１０Ａの第２個別流路３１２ａの第２部位３１２ａｂと、加圧室１０Ｂの第２個別流路３１２ａの第２部位３１２ａｂとを接続しており、組３１５を形成している。
　本形態では、第２流路３１２は、第２共通流路２０と、１つの加圧室１０に繋がる複数の第２個別流路３１２ａとを接続する第２接続流路３１２ｂを有し、１つの第２共通流路２０には、第２接続流路３１２ｂおよび複数の第２個別流路３１２ａからなる組３１５を複数有している。
　これにより、上述したように、加圧室１０毎に吐出頻度が異なった場合においても、例えば、加圧室１０Ａの吐出頻度が多い場合においても、加圧室１０Ｂの吐出頻度が少なければ、加圧室１０Ａの吐出の際に以下のことが生じる。
　加圧室１０Ａから吐出が行なわれると、吐出に伴って不足した分の液体は、第２共通流路２０から第２接続流路３１２ｂを通って、加圧室１０Ｂに繋がる第２個別流路３１２ａに流れ込む。この際に、第２接続流路３１２ｂから第２個別流路３１２ａに供給される液体が少なかった場合においても、液体の粘性により、加圧室１０Ａに繋がる第１個別流路１４ａの一部の液体が第２接続流路３１２ｂに流れることとなる。その結果、加圧室１０Ａに十分な量の液体が供給されることとなる。そのため、次に加圧室１０Ａから吐出が行なわれる場合に吐出される液体の吐出量が不足しにくくなる。それにより、高画質な印刷を行なえる。
　また、本形態の液体吐出ヘッド２においては、加圧室１０Ａに繋がる第１個別流路１４ａと、加圧室１０Ｂに繋がる第１個別流路１４ａとは、第１接続流路１４ｂにより接続されている。加圧室１０Ａに繋がる第２個別流路３１２ａと、加圧室１０Ｃに繋がる第２個別流路３１２ａとは、第２接続流路３１２ｂにより接続されている。そして、加圧室１０Ａに繋がる第２個別流路３１２ａと、加圧室１０Ｂに繋がる第２個別流路３１２ａとは、第２接続流路３１２ｂにより接続されていなくてもよい。
　それにより、他の加圧室１０の吐出頻度により、自身に繋がる第２個別流路３１２ａの液体を、他の加圧室１０に繋がる第２個別流路３１２ａへ供給または回収が集中しにくくなる。
　すなわち、加圧室１０に生じた供給不足あるいは回収不足に対して、２本の第１個別流路１４ａおよび２本の第２個別流路３１２ａで対応するよりも、多くの第１個別流路１４ａおよび第２個別流路３１２ａで、供給あるいは回収することが可能となる。それにより、加圧室１０に生じた供給不足あるいは回収不足に必要な液体を十分に確保することができる。
　なお、第１部位３１２ａａと第２部位３１２ａｂとを同じプレート４により形成する例を示したが、第１部位３１２ａａと第２部位３１２ａｂとを異なるプレート４に形成してもよい。
　図９（ａ）は、変形例に係るプリンタ１０１の要部構成を示す側面図である。図９（ｂ）は、プリンタ１０１の上面図である。以下では、基本的に、実施形態に係るプリンタ１との相違部分についてのみ説明する。特に言及がない事項については、プリンタ１と同様とされてよい。図１（ａ）及び図１（ｂ）では、紙面右側から紙面左側へ印刷用紙Ｐが移動するようにプリンタ１を図示した。図９（ａ）及び図９（ｂ）では、図１（ａ）及び図１（ｂ）とは逆に、紙面左側から紙面右側へ印刷用紙Ｐが移動するようにプリンタ１を図示している。
　実施形態において、ヘッド２によって、コーティング剤が印刷されてよいことを述べた。コーティング剤は、本変形例のように、ヘッド２で印刷する以外に、制御部７６が制御する塗布機８２で一様に塗布してもよい。搬送ローラ７４ａから送り出された印刷用紙Ｐは、移動部２７４の２つの搬送ローラ７４ｃの間を通った後、塗布機８２の下を通る。この際、塗布機８２は、印刷用紙Ｐに、コーティング剤を塗布する。その後、印刷用紙Ｐは、ヘッド２の下へ搬送される。
　変形例に係るプリンタ１０１は、ヘッド２を収納するヘッド室８５を有している。ヘッド室８５は、印刷用紙Ｐが出入りする部分などの一部において外部と繋がっているが、概略、外部と隔離された空間である。ヘッド室８５は、必要に応じて、制御部７６等によって、温度、湿度、および気圧等の制御因子（少なくとも１つ）が制御される。ヘッド室８５では、その外部と比較して、外乱の影響を少なくできるので、上述の制御因子の変動範囲を外部よりも狭くできる。
　ヘッド２が搭載されるヘッド搭載フレーム２７０は、概略、実施形態のヘッド搭載フレーム７０をヘッド群７２毎に分割したものであり、ヘッド室８５に収容されている。ヘッド室８５には、５個のガイドローラ７４ｅが配置されており、印刷用紙Ｐは、ガイドローラ７４ｅの上を搬送される。５個のガイドローラ７４ｅは、側面から見て、ヘッド搭載フレーム２７０が配置されている方向に向けて、中央が凸になるように配置されている。これにより、５個のガイドローラ７４ｅの上を搬送される印刷用紙Ｐは、側面から見て円弧状になっており、印刷用紙Ｐに張力を加えることで、各ガイドローラ７４ｅ間の印刷用紙Ｐが平面状になるように張られる。２つのガイドローラ７４ｅの間には、１つのヘッド搭載フレーム２７０が配置されている。各ヘッド搭載フレーム２７０は、その下を搬送される印刷用紙Ｐと平行になるように、設置される角度が少しずつ変えられている。
　変形例に係るプリンタ１０１は、乾燥機７８を有している。ヘッド室８５から外に出た印刷用紙Ｐは、２つの搬送ローラ７４ｆの間を通り、乾燥機７８の中を通る。乾燥機７８で印刷用紙Ｐを乾燥することにより、搬送ローラ７４ｂにおいて、重なって巻き取られる印刷用紙Ｐ同士が接着したり、未乾燥の液体が擦れることが起き難くできる。高速で印刷するためには、乾燥も速く行なう必要がある。乾燥を速くするため、乾燥機７８では、複数の乾燥方式により順番に乾燥してもよいし、複数の乾燥方式を併用して乾燥してもよい。そのような際に用いられる乾燥方式としては、例えば、温風の吹き付け、赤外線の照射、加熱したローラへの接触などがある。赤外線を照射する場合は、印刷用紙Ｐへのダメージを少なくしつつ乾燥を速くできるように、特定の周波数範囲の赤外線を当ててもよい。印刷用紙Ｐを加熱したローラに接触させる場合は、印刷用紙Ｐをローラの円筒面に沿って搬送させことで、熱が伝わる時間を長くしてもよい。ローラの円筒面に沿って搬送させる範囲は、ローラの円筒面の１／４周以上がよく、さらにローラの円筒面の１／２周以上にするのがよい。ＵＶ硬化インク等を印刷する場合には、乾燥機７８の代わりに、あるいは乾燥機７８に追加してＵＶ照射光源を配置してもよい。ＵＶ照射光源は、各ヘッド搭載フレーム２７０の間に配置してもよい。
　なお、塗布機８２、ヘッド室８５及び乾燥機７８の少なくとも一つは、実施形態のヘッド搭載フレーム７０と組み合わされても構わない。
　プリンタ１又は２０１は、ヘッド２をクリーニングするクリーニング部を備えていてもよい。クリーニング部は、例えば、ワイピングや、キャッピングして洗浄を行なう。ワイピングは、例えば、柔軟性のあるワイパーで、液体が吐出される部位の面、例えば吐出面２ａを擦ることで、その面に付着していた液体を取り除く。キャッピングしての洗浄は、例えば、次のように行なう。まず、液体を吐出される部位、例えば吐出面２ａを覆うようにキャップを被せる（これをキャッピングと言う）ことで、吐出面２ａとキャップとで、ほぼ密閉されて空間が作られる。そのような状態で、液体の吐出を繰り返すことで、ノズル３に詰まっていた、標準状態よりも粘度が高くなっていた液体や、異物等を取り除く。キャッピングしてあることで、洗浄中の液体がプリンタ１又は２０１に飛散し難く、液体が、印刷用紙Ｐやローラ等の搬送機構に付着し難くできる。洗浄を終えた吐出面２ａを、さらにワイピングしてもよい。ワイピングや、キャッピングしての洗浄は、プリンタ１又は２０１に取り付けられているワイパーやキャップを人が手動で操作して行なってもよいし、制御部７６によって自動で行なってもよい。
　１・・・カラーインクジェットプリンタ
　２・・・液体吐出ヘッド
　　２ａ・・・ヘッド本体
　４・・・（第１）流路部材
　　４ａ～ｌ・・・プレート
　　４－１・・・加圧室面
　　４－２・・・吐出孔面
　６・・・第２流路部材
　　６ａ・・・（第２流路部材の）貫通孔
　８・・・吐出孔
　９Ａ・・・吐出孔行
　１０・・・加圧室
　　１０ａ・・・加圧室本体
　　１０ｂ・・・部分流路
　１１Ａ・・・加圧室行
　１２、３１２・・・第２流路
　　３１２a・・・第２個別流路
　　３１２ａａ・・・（第２個別流路の）第１部位
　　３１２ａｂ・・・（第２個別流路の）第２部位
　　３１２ｂ・・・第２接続流路
　１４、１１４、２１４・・・第１流路
　　１４ａ、１１４ａ、２１４ａ・・・第１個別流路
　　１４aａ、１１４aａ、２１４aａ・・・（第１個別流路の）第１部位
　　１４aｂ、１１４aｂ、２１４aｂ・・・（第1個別流路の）第２部位
　　１４ｂ、１１４ｂ、２１４ｂ・・・接続流路
　２０・・・第２共通流路
　　２０ａ・・・第２共通流路本体
　　２０ｂ・・・（第２共通流路の）開口
　２２・・・第１共通流路
　　２２ａ・・・第１共通流路本体
　　２２ｂ・・・（第１共通流路の）開口
　２４・・・第１統合流路
　　２４ａ・・・第１統合流路本体
　　２４ｂ・・・（第１統合流路の）開口
　２６・・・第２統合流路
　　２６ａ・・・第２統合流路本体
　　２６ｂ・・・（第２統合流路の）開口
　２８Ａ、Ｂ・・・ダンパ
　２９Ａ、Ｂ・・・ダンパ室
　４０・・・圧電アクチュエータ基板
　　４０ａ・・・圧電セラミック層
　　４０ｂ・・・圧電セラミック層（振動板）
　４２・・・共通電極
　４４・・・個別電極
　　４４ａ・・・個別電極本体
　　４４ｂ・・・引出電極
　４６・・・接続電極
　５０・・・変位素子（加圧部）
　７０・・・ヘッド搭載フレーム
　７２・・・ヘッド群
　８０Ａ・・・給紙ローラ
　８０Ｂ・・・回収ローラ
　８２Ａ・・・ガイドローラ
　８２Ｂ・・・搬送ローラ
　８８・・・制御部
　Ｄ１・・・第１方向
　Ｄ２・・・第２方向
　Ｄ３・・・第３方向
　Ｄ４・・・第４方向
　Ｐ・・・印刷用紙

Claims (17)

  1. 　複数の吐出孔、
    　前記複数の吐出孔とそれぞれ繋がっている複数の加圧室、
    　前記複数の加圧室と共通して繋がっている１つ以上の第１共通流路、
    　前記複数の加圧室と共通して繋がっている１つ以上の第２共通流路、
    　前記加圧室と前記第１共通流路とを繋いでいる第１流路、
    　前記加圧室と前記第２共通流路とを繋いでいる第２流路、を有する流路部材と、
    　前記複数の加圧室をそれぞれ加圧する複数の加圧部と
    　を含んでいる液体吐出ヘッドであって、
    　前記第１流路は、
    　　前記第１共通流路と、１つの前記加圧室に繋がる複数の第１個別流路とを接続する第１接続流路を有し、
    　１つの前記第１共通流路には、前記第１接続流路および前記複数の第１個別流路からなる組を複数有する、液体吐出ヘッド。
  2. 　前記第１流路の前記加圧室との接続位置は、前記第２流路の前記加圧室との接続位置よりも、前記吐出孔に近い、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
  3. 　前記第１接続流路が、前記第１個別流路よりも長い、請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
  4. 　前記第１個別流路の流路抵抗が、前記第１接続流路の流路抵抗よりも大きい、請求項１から３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
  5. 　複数の前記第１個別流路と前記第１接続流路とが接続している接続箇所において、少なくとも１つの前記第１個別流路と他の前記第１個別流路とが成す角度は、当該第１個別流路と前記第１接続流路とが成す角度よりも大きい、請求項１から４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
  6. 　複数の前記第１個別流路と前記第１接続流路とが接続している接続箇所において、当該接続箇所で接続しているすべての前記第１個別流路について、当該第１個別流路と他の前記第１個別流路とが成す角度は、当該第１個別流路と前記第１接続流路とが成す角度よりも大きい、請求項５に記載の液体吐出ヘッド。
  7. 　前記第１共通流路は、複数存在しており、
    　前記第１共通流路は、第１方向に伸びており、かつ前記第１方向と交差する方向である第２方向に並んでおり、
    　平面視したときに、２つの前記第１共通流路の間の第１領域に配置されている前記吐出孔と繋がっている前記第１流路は、前記第１領域内に納まって配置されている、請求項１から６のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
  8. 　前記第１共通流路および前記第１流路は、前記第２共通流路よりも、前記吐出孔が開口している吐出孔面の近くに配置されている、請求項７に記載の液体吐出ヘッド。
  9. 　前記２共通流路は、複数存在しており、
    　前記第２共通流路は、前記第１方向に伸びており、かつ前記第２方向に並んでおり、
    　平面視してときに、前記第１共通流路と前記第２共通流路とが重なって配置されている、請求項７または８に記載の液体吐出ヘッド。
  10. 　平面視したときに、２つの前記第２共通流路の間の第２領域に配置されている前記吐出孔と繋がっている前記第１流路は、前記第２領域内に納まって配置されている、請求項９に記載の液体吐出ヘッド。
  11. 　前記流路部材の少なくとも一部は、孔および溝の少なくとも一方が配置されている、複数のプレートを積層して構成されており、
    　前記第１個別流路は、複数のプレートに配置されている、孔あるいは溝が繋がって構成されており、
    　前記第１個別流路は、
    　　前記加圧室に直接繋がっていて、１つの前記プレートに配置されている第１部位と、
    　　前記第１部位が配置されている前記プレートとは異なる他の前記プレートに配置されていて、前記第１部位と前記接続流路とを繋いでいる第２部位を有しており、
    　前記第１部位の単位長さ当たりの流路抵抗は、前記第２部位の単位長さ当たりの流路抵抗よりも大きい、請求項１から１０のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
  12. 　前記第２部位となる、孔あるいは溝が配置されている前記プレートの厚さは、前記第１部位となる、孔あるいは溝が配置されている前記プレートの厚さよりも厚い、請求項１１に記載の液体吐出ヘッド。
  13. 　　前記第２流路は、
    　　前記第２共通流路と、１つの前記加圧室に繋がる複数の第２個別流路とを接続する第２接続流路を有し、
    　１つの前記第２共通流路には、前記第２接続流路および前記複数の第２個別流路からなる組を複数有する、請求項１から１２のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
  14. 　第１加圧室、第２加圧室、および第３加圧室をさらに備え、
    　前記第１加圧室および前記第２加圧室は、前記第１接続流路にて接続されており、
    　前記第１加圧室および前記第３加圧室は、前記第２接続流路にて接続されており、
    　前記第１加圧室および前記第２加圧室は、前記第２接続流路にて接続されていない、請求項１３に記載の液体吐出ヘッド。
  15. 　請求項１から１４のいずれかに記載の液体吐出ヘッドと、印刷用紙を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドを制御する制御部を備えていることを特徴とする記録装置。
  16. 　請求項１から１４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドと、
    　印刷用紙にコーティング剤を塗布する塗布機と、
    　を有している記録装置。
  17. 　請求項１から１４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドと、
    　印刷用紙を乾燥させる乾燥機と、
    　を有している記録装置。
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