WO2019009440A1 - 반력보상모듈을 갖는 생산 장비 및 이를 이용한 진동 제어방법 - Google Patents

반력보상모듈을 갖는 생산 장비 및 이를 이용한 진동 제어방법 Download PDF

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compensation module
vibration
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김효영
김태곤
이석우
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Korea Institute of Industrial Technology KITECH
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D19/00—Control of mechanical oscillations, e.g. of amplitude, of frequency, of phase
    • G05D19/02—Control of mechanical oscillations, e.g. of amplitude, of frequency, of phase characterised by the use of electric means

Definitions

  • the present invention relates to a production equipment having a reaction force compensation module and a method for minimizing residual vibration of the inspection equipment. More particularly, the present invention relates to a method of minimizing residual vibration of an inspection equipment, The production equipment and the inspection equipment having the reaction force compensation module which not only removes the vibration generated during the initial operation but also compensates the fine position error that may occur after the operation, And a residual vibration control method.
  • the vibration caused by the operation of the equipment during machining or measurement may affect the machining or measurement results.
  • a vibration suppression apparatus mounts in a processing apparatus or a measuring apparatus requiring precise position control.
  • an active type vibration damping device in which a reactive force is directly applied to a vibration damping object to actively remove vibration.
  • Such an active type vibration damping device includes a vibration damping plate supported by a spring and a damper, The vibration is sensed by using a vibration sensing means that senses the vibration of the object to be vibration-damped, and the vibration of the actuator is controlled by controlling the controller according to the sensed vibration.
  • a base plate and a base plate are provided so as to be guided up and down via a stopper guide, A voice horizontal X-axis, a horizontal Y-axis and a vertical axis vibration actuator in which one end is supported by the base plate and the other end is supported on the bottom surface of the vibration table; A Y-axis and a vertical axis sensor installed at the lower portion of the vibration damping table to detect vibration of the Y-axis and vertical axis vibration actuators, and a vibration damping table according to a change in vertical position at four corners of the base plate and the vibration damping table.
  • a plurality of level detection sensors installed to detect the level of each corner of the vibration level sensor, A control unit for calculating a level deviation value with respect to the horizontal direction of the vibration damping table and outputting a level control signal corresponding to the level deviation value of the vibration damping table by comparing the level value of each corner of the vibration damping table with the reference setting value, And a horizontal level adjusting mechanism which is installed at four corners of the vibration damping table and horizontally maintains the level of the vibration damping table by vertically moving each corner portion of the vibration damping table by a level control signal provided by the control unit.
  • the first prior art 1 has a first problem that it is impossible to actively perform damping with respect to the initial driving because the damping is performed by sensing the state of the damping object device with each sensor during driving after the damping object device starts driving.
  • the above-mentioned prior art 1 has a second problem that a member acting as a vibration damping plate is not provided, and the reaction force direction is formed in one direction, so that the performance may be deteriorated with respect to a complex vibration or the like.
  • An operating module which is driven horizontally or vertically with respect to the upper surface of the base;
  • a reaction force compensation module that is installed in the other end of the base and compensates for the reaction force corresponding to the vibration generated by the reaction force of the base;
  • a controller for controlling a reaction force compensation direction or intensity of the reaction force compensation module, wherein a direction of a force transmitted by the reaction force compensation module is vertical or horizontal to one surface of the base, Provide production equipment with modules.
  • the controller may be configured to generate an initial signal that simultaneously enables the reaction force compensation module to remove the initial reaction force when the operation module on the base starts driving and a reaction force is generated, And a position compensation signal for allowing the reaction force compensation module to correct the position of the base when the module is in operation or in a stopped state.
  • the reaction force compensation module includes a driving unit including an actuator for generating a force capable of removing a reaction force, and a transmitting unit for transmitting a force generated by the driving unit to the base And a plurality of the driving units may be installed.
  • the direction of the force generated by the driving unit may be vertical or horizontal with respect to the direction of the reaction force generated by the operation module.
  • the transfer unit includes a first transfer material for transferring the force of the drive unit to the base, and a second transfer material for transferring the force of the drive unit to the base or the first transfer material can do.
  • the actuator may be any one selected from a voice coil motor (VCM), a piezoelectric element (PZT), and a linear motor.
  • VCM voice coil motor
  • PZT piezoelectric element
  • linear motor linear motor
  • the center of the base may correspond to the center of the base.
  • the base further includes a base supporting portion contacting the ground, and a mount coupled to a lower surface of the base and an upper surface of the base supporting portion to connect the base and the base supporting portion.
  • the mount may include a vertical driving unit that compensates for a position error or a reaction force against vibration that is perpendicular to the upper surface of the base.
  • the operating module includes a first operating portion that linearly reciprocates horizontally with respect to the upper surface of the base, and a second operating portion that linearly reciprocates horizontally or vertically with respect to the upper surface of the base May include, for example,
  • the base may include a guide for guiding the first actuating part.
  • the operation module may be combined with a device unit performing a predetermined operation.
  • the apparatus unit may be at least one equipment selected from a drilling machine, a water jet machine, a robot machine, an optical inspection equipment, a laser processing equipment, and a jig equipment.
  • the apparatus may further include at least one sensor selected from a position sensor, a velocity sensor, and an acceleration sensor for recognizing the motion state of the base.
  • an apparatus for driving an electric vehicle comprising: (i) an initial signal is transmitted from the control unit to the reaction force compensation module, Generating a force that initially removes a reaction force generated by the operating module; (ii) sensing a position error or vibration of the base by driving the operation module, and transmitting a sensing signal to the control unit; (iii) a position compensation signal is transmitted from the controller to the reaction force compensation module, and the driving unit corrects the position error or vibration of the base; And (iv) repeating the steps (i) and (iii).
  • the present invention also provides a vibration control method using a production equipment having a reaction force compensation module.
  • the present invention minimizes the initial reaction force generated by the operation module on the base, minimizes the change in the initial position of the base, and compensates the position of the base during or after operation of the operation module, It has the first effect.
  • the present invention has the second effect that the reaction force direction is formed in a plurality of directions, and a plurality of members functioning as vibration damping plates are provided for each reaction force direction, effectively reducing complex vibrations.
  • FIG. 1 is a perspective view of a production equipment having a reaction force compensation module according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a plan view of a production equipment having a reaction force compensation module according to an embodiment of the present invention.
  • FIG 3 is a perspective view of a reaction force compensation module according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 is a plan view of a reaction force compensation module according to an embodiment of the present invention.
  • a production equipment having a reaction force compensation module includes a base; An actuating module driven horizontally or vertically with respect to the upper surface of the base; A reaction force compensation module which is installed in the tread of the base and compensates the reaction force corresponding to the vibration generated by the reaction force of the base; And a controller for controlling a reaction force compensation direction or intensity of the reaction force compensation module so as to supply a force capable of eliminating the reaction force predicted at the start of the reaction force compensation object to the reaction force compensation object, It is possible to compensate the position error and the like by sensing the state of the reaction force compensation target during the driving main or stationary state and to compensate the position error and residual vibration during driving as well as the position error and residual vibration generated by the initial reaction force .
  • FIG. 1 is a perspective view of a production equipment having a reaction force compensation module 100 according to an embodiment of the present invention
  • FIG. 2 is a plan view of a production apparatus having a reaction force compensation module 100 according to an embodiment of the present invention
  • 3 is a perspective view of a reaction force compensation module 100 according to an embodiment of the present invention
  • 4 is a plan view of the reaction force compensation module 100 according to the embodiment of the present invention. (In Fig. 3, the transfer part is not shown.)
  • reaction force of the present invention may mean a force that generates a position error or vibration of the base 300.
  • the production equipment having the reaction force compensation module 100 of the present invention includes a base 300; An operation module 200 which is driven horizontally or vertically with respect to the upper surface of the base 300; A reaction force compensation module (100) installed in a tread of a base (300) and compensating a reaction force corresponding to a vibration generated by a reaction force of the base (300); And a controller for controlling the reaction force compensation direction or intensity of the reaction force compensation module 100.
  • the direction of the force transmitted by the reaction force compensation module 100 may be vertical or horizontal with respect to one surface of the base 300.
  • the production equipment having the reaction force compensation module 100 of the present invention can have a vibration direction in the x-axis direction, the y-axis direction, and the z-axis direction, Lt; / RTI >
  • the? Z rotational vibration direction may mean that it vibrates while forming a predetermined angle with the x axis direction or the y axis around the z axis.
  • the control unit may generate an initial signal for allowing the reaction force compensation module 100 to remove the initial reaction force when the operation module 200 on the base 300 starts driving the reaction force, To the reaction force compensation module 100, a position compensation signal for allowing the reaction force compensation module 100 to correct the position of the base 300 in the driving or stopping state. (The control unit is not shown).
  • the control unit may include a processor for processing data and a memory for storing data, and may store the vibration analysis data processed by analyzing vibration or position change of the base 300 by time, in a memory.
  • the driving for the operation may be repeated and performed in the same pattern.
  • the magnitude and direction of the average reaction force at the time point can be predicted.
  • the control unit can transmit a signal capable of eliminating the reaction force initially predicted to the reaction force compensation module 100 while the production equipment is driven Accordingly, the reaction force compensation module 100 can generate a force capable of removing the reaction force expected at the start of driving, and transmit the generated force to the base 300 to remove the reaction force.
  • the control unit transmits a position signal of the base 300 sensed by the sensor in real time to the reaction force compensation module 100 So that the reaction force compensation module 100 can compensate for the position error or vibration of the base 300 in real time.
  • the reaction force compensation module 100 may be installed to have a plurality of contact points or a plurality of contact surfaces on the base 100 to transmit a reaction force to the base 100.
  • the reaction force compensation module 100 may be installed to be coupled with the base support part 400 so as to be fixed to the base support part 400.
  • the reaction force compensation module 100 may include a driving unit 110 having an actuator for generating a reaction force and a transfer unit for transmitting the force generated by the driving unit 110 to the base 300.
  • a plurality of driving units 110 may be provided.
  • the direction of the force generated by the driving unit 110 may be vertical or horizontal with respect to the direction of the reaction force generated by the operation module 200.
  • the transmitting unit includes a first transmitting member 121 for transmitting the force of the driving unit 110 to the base 300 and a second transmitting member 121 for transmitting the force of the driving unit 110 to the base 300 or the first transmitting member 121.
  • a transfer material 122 is
  • the reaction force compensation module 100 may include a plurality of drivers 110 and a transmitter including a plurality of transmitters.
  • the two driving units 110 are arranged to transmit a force in the y-axis direction, and the driving units 110
  • the two driving units 110 may be disposed between the two driving units 110 arranged to transmit the force in the y-axis direction.
  • the driving unit 110 disposed to transmit the force in the x-axis direction is referred to as the x-axis east unit 111
  • the driving unit 110 arranged to transmit the force in the y-axis direction is referred to as the y- .
  • the direction of the force generated by one driving part and the direction of the force generated by the other driving part can be vertical or horizontal, and the directions of the forces generated in the respective driving parts are limited to vertical or horizontal
  • the efficiency can be maximized in the case of vertical or horizontal.
  • the driving unit 110 it is possible to compensate for the vibration or displacement error that occurs in the x axis and the y axis due to the reaction force of the operation module 200 on the base 300, According to the arrangement of the driving unit 110, it is also possible to compensate for the rotation in the? Z direction.
  • the first transmitting member 121 is brought into contact with the inside surface of the tread of the x-axis driving portion 111 and the base 300 in order to transmit the force of the x-axis driving portion 111 to the base 300, And a second transmitting member 122 is disposed between the x-axis driving portion 111 and the first transmitting member 121 so as to smoothly transmit the force of the x-axis driving portion 111 to the first transmitting member 121 Can be installed to be in contact with each other.
  • the second transmission member 122 may be installed so as to contact the inner surface of the tread of the base 300 in order to smoothly transmit the force of the y-axis soccer portion 112 to the base 300 have.
  • the first transmission material 121 may be formed of iron (Fe), stainless steel, aluminum (Al) alloy, or the like. As a result, the first transmission material 121 can be prevented from being damaged due to fatigue accumulation.
  • the second transmission material 122 may be formed of a synthetic resin such as rubber or urethane.
  • the actuator may be any one selected from a voice coil motor (VCM), a piezoelectric element (PZT), and a linear motor (Liner motor).
  • VCM voice coil motor
  • PZT piezoelectric element
  • Liner motor linear motor
  • the center of gravity of the base 300 may coincide with the center of the base 300.
  • the x-axis soccer portion 111 and the y-axis soccer portion 112 may be installed in a tread formed at the center of the base 300.
  • the x-axis moving part 111 and the y-axis moving part 112 are provided as described above, the position error or vibration generated by the reaction force of the entire base 300 can be compensated.
  • reaction force compensation module 100 In the embodiment of the present invention, one reaction force compensation module 100 is installed, but the present invention is not limited thereto. A plurality of reaction force compensation modules 100 may be provided on the base 300.
  • the production equipment having the reaction force compensation module 100 of the present invention includes a base support 400 contacting the ground and a base 300 coupled to a lower surface of the base 300 and an upper surface of the base support 400, And a mount 410 connecting the base supporter 400.
  • the mount 410 may have a vertical drive portion that compensates for a position error or a reaction force against vibration that is perpendicular to the upper surface of the base 300.
  • the base 300 may be formed of a material having a relatively large weight such as metal or stone and the driving of the operation module 200 may be performed by driving the base 300 on the x- Dimensional driving is mainly performed, the proportion of the reaction force compensation to the vibration in the z-axis direction can be relatively low. However, it is natural that the weight can be changed depending on the configuration of the production equipment.
  • the vertical driving unit may include an actuator such as the driving unit 110.
  • the actuator of the vertical driving unit may be a voice coil motor VCM, a piezoelectric element PZT, and a linear motor And can be any one selected.
  • the actuating module 200 includes a first actuating part 210 that linearly reciprocates horizontally with respect to the upper surface of the base 300, And a second actuating part 220 linearly reciprocating horizontally or vertically.
  • the base 300 may include a guide 310 for guiding the first actuating part 210.
  • the first actuating part 210 may be coupled with the guide 310 to perform a linear reciprocating motion in the y-axis direction, and may include a motor for linear reciprocating motion.
  • the second actuating part 220 performs a linear reciprocating motion in the x-axis direction or the z-axis direction, and can perform the linear reciprocating motion in the y-axis direction because it is engaged with the first actuating part 210.
  • the second actuating part 220 may also include a motor for linear reciprocating motion.
  • the vibration intensity in the y-axis direction may be stronger than the vibration intensity in the x-axis direction by driving the first actuating part 210 and the second actuating part 220. Therefore, as shown in Figs. 3 and 4, The number of the idle portions 112 may be greater than that of the x-
  • the operation module 200 can be combined with a device unit that performs a predetermined operation.
  • the apparatus section may be at least one apparatus selected from a drilling machine, a water jet machine, a robot machine, an optical inspection machine, a laser processing machine, and a jig machine.
  • the device unit may be coupled to the first actuating unit 210 or the second actuating unit 220 and may preferably be coupled to the second actuating unit 220 for easy operation.
  • various kinds of equipments can be used as the unit, and the production equipment having the reaction force compensation module 100 of the present invention can perform various operations.
  • the production equipment having the reaction force compensation module 100 of the present invention may further include one or more sensors selected from a position sensor, a speed sensor, or an acceleration sensor for recognizing the motion state of the base 300.
  • the acceleration sensor can perform the function of the vibration sensor.
  • the control unit may analyze the position error or vibration sensed by the sensor, and thereby generate an initial signal or a position compensation signal.
  • the operation module 200 can start driving in the stop state.
  • an initial signal is transmitted from the control unit to the reaction force compensation module 100, so that the driving unit 110 can generate a force for initially removing the reaction force generated by the operation module 200.
  • the position error or vibration of the base 300 by the operation of the operation module 200 may be sensed by the sensor, and the sensing signal may be transmitted to the control unit.
  • the position compensation signal is transmitted from the control unit to the reaction force compensation module 100, so that the driving unit 110 can correct the position error or vibration of the base 300.
  • the first to third steps may be repeatedly performed.
  • the initial signal and the position compensation signal may be the same as the initial signal and the position compensation signal.

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Abstract

본 발명의 일실시 예는 반력 보상 대상이 구동을 시작하는 시점에 예측되는 반력을 제거할 수 있는 힘을 반력 보상 대상에 공급하고, 반력 보상 대상이 구동 주 또는 정지상태 중에 반력 보상 대상의 상태를 센서로 센싱하여 위치오차 등을 보상하므로서, 초기 반력에 의해 발생되는 위치오차 및 잔류진동 뿐만 아니라, 구동 중 위치 오차 및 잔류진동도 보상할 수 있는 반력보상모듈을 갖는 생산장치 및 이를 이용한 잔류진동 최소화 제어방법을 제공한다. 본 발명의 실시 예에 따른 반력보상모듈을 갖는 생산 장비는 베이스; 베이스의 상부면에 대해 수평 또는 수직으로 구동하는 작동모듈; 베이스의 타공부에 인입하여 설치되고, 베이스의 반력에 의해 발생되는 진동에 대응하여 반력을 보상하는 반력보상모듈; 및 반력보상모듈의 반력 보상 방향 또는 강도를 제어하는 제어부;를 포함한다.

Description

반력보상모듈을 갖는 생산 장비 및 이를 이용한 진동 제어방법
본 발명은 반력보상모듈을 갖는 생산 장비 및 검사 장비의 잔류진동을 최소화하는 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반력 보상 대상에 별도의 구동기를 설치하여 반력이 발생하는 시점에 초기 반력을 제거하고, 초기 위치를 유지할 수 있도록 위치제어를 하므로, 초기 구동시 발생하는 진동을 제거할 뿐만 아니라, 구동 후 발생할 수 있는 미세 위치오차도 보상할 수 있는 반력보상모듈을 갖는 생산 장비 및 검사 장비, 그리고 이를 이용한 잔류진동 제어방법에 관한 것이다.
가공 장비나 측정 장비를 사용하는 경우, 가공 또는 측정 중 장비의 구동에 의해 발생하는 진동이 가공이나 측정 결과에 영향을 미치는 경우가 있다. 특히, 정밀한 위치 제어를 필요로하는 가공 장비나 측정 장비에서는, 제진 장치를 탑재하는 것이 일반적이다.
또한, 이러한 장비가 고속으로 구동하는 경우가 증가하고 있어, 진동 등 가공이나 측정 결과의 오차 발생 원인을 제거하려는 시도가 더욱 활성화되고 있는 실정이다.
최근에는, 반력을 피제진대상물에 직접 가하여 능동적으로 진동을 제거하는 능동형 제진장치가 사용되고 있으며, 이러한 능동형 제진 장치는 스프링과 댐퍼로 지지된 피제진대상물인 제진판을 액츄에이터(Actuator)에 연결하고, 피제진대상물의 진동을 감지하는 진동감지수단(Sensor)을 이용하여 진동을 감지하고 감지된 진동에 따른 각 액츄에이터의 구동을 제어기(Controller)제어함으로서 진동을 감쇄시킨다.
대한민국 등록특허 제10-1584700호(발명의 명칭: 능동형 제진장치, 이하 종래기술1이라 한다.)에서는, 베이스플레이트와, 상기 베이스플레이트의 상부에 스톱퍼가이드를 매개로 상하로 안내되도록 설치되어 제품을 올려놓도록 된 제진테이블과, 상기 베이스플레이트에 한 쪽 선단이 지지되고 제진테이블의 저면에 반대쪽 선단이 지지된 보이스수평X축과 수평Y축 및 수직축 제진엑츄에이터와, 각각의 상기 수평X축과 수평Y축 및 수직축 제진엑츄에이터 의 진동을 감지하도록 상기 제진테이블의 하부에 설치된 각각의 수평X축과 수평Y축 및 수직축 센서와, 상기 베이스플레이트와 제진테이블의 4모서리부에 상하위치변화에 따른 제진테이블의 각 모서리부의 레벨을 검출하도록 설치되는 복수개의 레벨감지센서와, 상기 각 레벨감지센서에서 검출한 제진테이블의 각 모서리부의 레벨값을 기준 설정값과 비교하여 제진테이블의 수평에 대한 레벨편차값를 연산하고, 그 제진테이블의 레벨편차값에 대응하는 레벨제어신호를 출력하는 제어부와, 상기 베이스플레이트와 제진테이블의 4모서리부에 설치되어 제어부에서 제공하는 레벨제어신호에 의해 제진테이블의 각 모서리부를 상하로 이동시켜 제진테이블의 레벨을 수평으로 유지시키는 수평레벨조절기구를 포함하는 능동형 제진장치가 개시되어 있다.
상기 종래기술1은, 제진 대상 장비가 구동을 시작한 후 구동 중에 제진 대상 장비의 상태를 각 센서로 센싱하여 제진을 실시하므로, 초기 구동에 대한 제진을 능동적으로 수행할 수 없다는 제1문제점을 갖는다.
그리고, 상기 종래기술1은, 별도로 제진판 기능을 하는 부재가 구비되지 않고, 반력 방향이 일방향으로 형성되어, 복합적인 진동 등에 대해 성능이 저하될 수 있다는 제2문제점을 갖는다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일실시 예는, 베이스; 상기 베이스의 상부면에 대해 수평 또는 수직으로 구동하는 작동모듈; 상기 베이스의 타공부에 인입하여 설치되고, 상기 베이스의 반력에 의해 발생되는 진동에 대응하여 반력을 보상하는 반력보상모듈; 및 상기 반력보상모듈의 반력 보상 방향 또는 강도를 제어하는 제어부;를 포함하여 이루어지며, 상기 반력보상모듈에 의해 전달되는 힘의 방향이 상기 베이스의 일면에 대해 수직 또는 수평인 것을 특징으로 하는 반력보상모듈을 갖는 생산 장비를 제공한다.
본 발명의 실시 예에 있어서, 상기 제어부는, 상기 베이스 위의 상기 작동모듈이 구동을 시작하여 반력이 발생하는 경우, 동시에 상기 반력보상모듈이 초기 반력을 제거할 수 있도록 하는 초기신호, 또는 상기 작동모듈이 구동 중 또는 정지상태인 경우, 상기 반력보상모듈이 상기 베이스의 위치를 보정할 수 있도록 하는 위치보상신호,를 상기 반력보상모듈에 전달할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 있어서, 상기 반력보상모듈은, 반력을 제거할 수 있는 힘을 생성하는 액츄에이터(actuator)를 구비하는 구동부, 및 상기 구동부에서 생성된 힘을 상기 베이스에 전달하는 전달부,를 포함하며, 상기 구동부는 복수 개 설치될 수 있다.
본 발명의 실시 예에 있어서, 상기 구동부에서 발생하는 힘의 방향은 상기 작동모듈이 발생하는 반력의 방향에 대해 수직 또는 수평일 수 있다.
본 발명의 실시 예에 있어서, 상기 전달부는, 상기 구동부의 힘을 상기 베이스에 전달하는 제1전달재, 및 상기 구동부의 힘을 상기 베이스 또는 상기 제1전달재에 전달하는 제2전달재를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 있어서, 상기 액츄에이터는, 보이스 코일 모터(Voice Coil Motor, VCM), 압전소자(piezoelectric element, PZT) 및 리니어 모터(Liner motor) 중 선택되는 어느 하나일 수 있다.
본 발명의 실시 예에 있어서, 상기 베이스의 타공부 중심은, 상기 베이스의 중심과 일치할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 있어서, 지면과 접촉하는 베이스지지부, 및 상기 베이스의 하부면과 상기 베이스지지부의 상부면에 결합하여 상기 베이스와 상기 베이스지지부를 연결하는 마운트,를 더 포함하여 이루어질 수 있다.
본 발명의 실시 예에 있어서, 상기 마운트는, 상기 베이스의 상부면과 수직 방향인 위치오차 또는 진동에 대해 반력을 보상하는 수직구동부를 구비할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 있어서, 상기 작동모듈은, 상기 베이스의 상부면에 대해 수평으로 직선 왕복운동하는 제1작동부, 및 상기 베이스의 상부면에 대해 수평 또는 수직으로 직선 왕복운동하는 제2작동부,를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 있어서, 상기 베이스는, 상기 제1작동부를 안내하는 가이드를 구비할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 있어서, 상기 작동모듈은, 소정의 작업을 수행하는 장치부와 결합할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 있어서, 상기 장치부는, 드릴링 머신, 워터젯(water jet) 머신, 로봇 머신, 광학검사장비, 레이저 가공 장비 및 지그(jig) 장비 중 선택되는 하나 이상의 장비일 수 있다.
본 발명의 실시 예에 있어서, 상기 베이스의 운동 상태를 인식하는 위치센서, 속도센서 또는 가속도센서 중 선택되는 하나 이상의 센서를 더 포함하여 이루어질 수 있다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일실시 예는, (i) 상기 작동모듈이 정지 상태에서 구동을 시작하고, 이와 동시에, 상기 제어부로부터 상기 반력보상모듈로 초기신호가 전달되어, 상기 구동부가 초기에 상기 작동모듈에 의해 발생되는 반력을 제거하는 힘을 생성하는 단계; (ii) 상기 작동모듈의 구동에 의한 상기 베이스의 위치오차 또는 진동이 센서에 의해 센싱되어, 센싱신호가 상기 제어부로 전달되는 단계; (iii) 상기 제어부로부터 상기 반력보상모듈로 위치보상신호가 전달되어, 상기 구동부가 상기 베이스의 위치오차 또는 진동을 보정하는 단계; 및 (iv) 상기 (i)단계 내지 상기 (iii)단계가 반복되어 수행되는 단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반력보상모듈을 갖는 생산 장비를 이용한 진동 제어방법을 제공한다.
본 발명은, 베이스 상부의 작동모듈에 의해 발생되는 초기 반력을 제거하여, 베이스의 초기 위치변화를 최소화하고, 작동모듈의 구동 중 또는 구동 후에도 베이스의 위치를 보상하므로, 잔류진동을 최소화 할 수 있다는 제 1효과를 갖는다.
그리고, 본 발명은, 반력 방향이 복수 개의 방향으로 형성되고, 제진판 기능을 하는 부재가 각 반력 방향에 대해 복수 개 설치되어, 복합적인 진동을 효과적으로 저감시킨다는 제2효과를 갖는다.
본 발명의 효과는 상기한 효과로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 상세한 설명 또는 특허청구범위에 기재된 발명의 구성으로부터 추론 가능한 모든 효과를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
도1은 본 발명의 실시 예에 따른 반력보상모듈을 갖는 생산 장비에 대한 사시도이다.
도2는 본 발명의 실시 예에 따른 반력보상모듈을 갖는 생산 장비에 대한 평면도이다.
도3은 본 발명의 실시 예에 따른 반력보상모듈에 대한 사시도이다.
도4는 본 발명의 실시 예에 따른 반력보상모듈에 대한 평면도이다.
본 발명의 실시 예에 따른 반력보상모듈을 갖는 생산 장비는 베이스; 베이스의 상부면에 대해 수평 또는 수직으로 구동하는 작동모듈; 베이스의 타공부에 인입하여 설치되고, 베이스의 반력에 의해 발생되는 진동에 대응하여 반력을 보상하는 반력보상모듈; 및 반력보상모듈의 반력 보상 방향 또는 강도를 제어하는 제어부;를 포함하여, 반력 보상 대상이 구동을 시작하는 시점에 예측되는 반력을 제거할 수 있는 힘을 반력 보상 대상에 공급하고, 반력 보상 대상이 구동 주 또는 정지상태 중에 반력 보상 대상의 상태를 센서로 센싱하여 위치오차 등을 보상하므로서, 초기 반력에 의해 발생되는 위치오차 및 잔류진동 뿐만 아니라, 구동 중 위치 오차 및 잔류진동도 보상할 수 있는 특징이 있다.
이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 따라서 여기에서 설명하는 실시 예로 한정되는 것은 아니다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결(접속, 접촉, 결합)"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 구비할 수 있다는 것을 의미한다.
본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 실시 예를 상세히 설명하기로 한다.
도1은 본 발명의 실시 예에 따른 반력보상모듈(100)을 갖는 생산 장비에 대한 사시도이고, 도2는 본 발명의 실시 예에 따른 반력보상모듈(100)을 갖는 생산장치에 대한 평면도이며, 도3은 본 발명의 실시 예에 따른 반력보상모듈 (100)에 대한 사시도이다. 그리고, 도4는 본 발명의 실시 예에 따른 반력보상모듈(100)에 대한 평면도이다. (도3에서, 전달부는 도시되어 있지 않다.)
본 발명의 용어 중 반력은, 베이스(300)의 위치오차 또는 진동을 발생시키는 힘을 의미할 수 있다.
도1 내지 도4에서 보는 바와 같이, 본 발명의 반력보상모듈(100)을 갖는 생산 장비는, 베이스(300); 베이스(300)의 상부면에 대해 수평 또는 수직으로 구동하는 작동모듈(200); 베이스(300)의 타공부에 인입하여 설치되고, 베이스(300)의 반력에 의해 발생되는 진동에 대응하여 반력을 보상하는 반력보상모듈(100); 및 반력보상모듈(100)의 반력 보상 방향 또는 강도를 제어하는 제어부;를 포함하여 이루어질 수 있다.
그리고, 반력보상모듈(100)에 의해 전달되는 힘의 방향이 베이스(300)의 일면에 대해 수직 또는 수평일 수 있다.
도1에서 보는 바와 같이, 본 발명의 반력보상모듈(100)을 갖는 생산 장비는, x축 방향, y축 방향 및 z축 방향의 진동 방향을 가질 수 있으며, 또한, θz 방향의 회전 진동 방향을 가질 수 있다.
여기서, θz 회전 진동 방향은, z축을 중심으로, x축 방향 또는 y축과 소정의 각을 형성하면서 진동하는 것을 의미할 수 있다.
제어부는, 베이스(300) 위의 작동모듈(200)이 구동을 시작하여 반력이 발생하는 경우, 동시에 반력보상모듈(100)이 초기 반력을 제거할 수 있도록 하는 초기신호, 또는 작동모듈(200)이 구동 중 또는 정지상태인 경우, 반력보상모듈(100)이 베이스(300)의 위치를 보정할 수 있도록 하는 위치보상신호,를 반력보상모듈(100)에 전달할 수 있다. (제어부는, 도시되어 있지 않다.)
제어부는, 데이터를 처리하는 프로세서와 데이터를 저장하는 메모리를 구비하고, 베이스(300)의 진동 또는 위치 변화를 시간 별로 분석하여 처리한 진동분석 데이터를 메모리에 저장할 수 있다.
본 발명의 반력보상모듈(100)을 갖는 생산 장비는, 정지 상태에서 소정의 작업을 수행하기 위해 구동하는 경우, 해당 작업을 위한 구동은 반복적이며 동일한 패턴으로 수행될 수 있다.
따라서, 본 발명의 반력보상모듈(100)을 갖는 생산 장비가 구동을 시작하는 경우, 해당 시점에 대한 평균적인 반력의 크기 및 방향이 예측 가능할 수 있다.
제어부는, 본 발명의 반력보상모듈(100)을 갖는 생산 장비가 구동을 시작하는 경우, 초기에 예측되는 반력을 제거할 수 있는 신호를 생산 장비가 구동하는 동시에 반력보상모듈(100)에 전달할 수 있고, 이에 따라, 반력보상모듈(100)은, 구동시작 시점에 예상되는 반력을 제거 할 수 있는 힘을 생성하여 베이스(300)에 전달하여 반력을 제거 할 수 있다.
그리고, 제어부는, 본 발명의 반력보상모듈(100)을 갖는 생산 장비가 구동 중 또는 정지상태에 있는 경우, 센서에 의해 실시간으로 센싱되는 베이스(300)의 위치신호를 반력보상모듈(100)에 전달할 수 있고, 이에 따라, 반력보상모듈(100)은 실시간으로 베이스(300)의 위치오차 또는 진동을 보상할 수 있다.
도1 및 도2에서 보는 바와 같이, 반력보상모듈(100)은, 베이스(100)에 반력을 전달하기 위해, 베이스(100)에 복수의 접촉점 또는 복수의 접촉면을 갖도록 설치될 수 있다. 그리고, 동시에, 반력보상모듈(100)은, 베이스지지부(400)에 고정되도록 베이스지지부(400)와 결합하여 설치될 수 있다.
반력보상모듈(100)은, 반력을 생성하는 액츄에이터(actuator)를 구비하는 구동부(110), 및 구동부(110)에서 생성된 힘을 베이스(300)에 전달하는 전달부,를 포함할 수 있다.
또한, 구동부(110)는 복수 개 설치될 수 있다.
반력보상모듈(100)에 있어서, 구동부(110)에서 발생하는 힘의 방향은 작동모듈(200)이 발생하는 반력의 방향에 대해 수직 또는 수평일 수 있다.
전달부는, 구동부(110)의 힘을 베이스(300)에 전달하는 제1전달재(121), 및 구동부(110)의 힘을 베이스(300) 또는 제1전달재(121)에 전달하는 제2전달재(122),를 포함할 수 있다.
도1 내지 도4에서 보는 바와 같이, 반력보상모듈(100)은 복수 개의 구동부(110)와 복수 개의 전달재로 구성되는 전달부를 포함할 수 있다.
그리고, 각각의 구동부(110)는 각각 다른 방향으로 반력을 전달하도록 배치되어 설치될 수 있고, 도2에서 보는 바와 같이, 2개의 구동부(110)가 y축 방향으로 힘을 전달하도록 배치되고, 1개의 구동부(110)가 y축 방향으로 힘을 전달하도록 배치된 2개의 구동부(110) 사이에 배치될 수 있다. (이하, x축 방향으로 힘을 전달하도록 배치된 구동부(110)를 x축구동부(111)라고 하고, y축 방향으로 힘을 전달하도록 배치된 구동부(110)를 y축구동부(112)라고 한다.)
이러한 배치에 의해, 하나의 구동부에서 발생되는 힘의 방향과 다른 구동부에서 발생되는 힘의 방향이 수직 또는 수평일 수 있으며, 각각의 구동부에서 발생되는 힘의 방향이 서로 수직 또는 수평을 이루는 것에 제한되는 것은 아니나, 수직 또는 수평인 경우 가장 효율이 증대될 수 있다.
상기와 같은 구동부(110)의 배치에 따라, 베이스(300) 위의 작동모듈(200)의 반력으로 인하여 x축과 y축에 복합적으로 발생하는 진동 또는 변위오차를 보상할 수 있고, 추가적으로 각각의 구동부(110)의 배치에 따라, θz 방향의 회전에 대한 보상도 할 수 있다.
도2에서 보는 바와 같이, x축구동부(111)의 힘을 베이스(300)로 전달하기 위해 제1전달재(121)가 x축구동부(111)와 베이스(300)의 타공부 내측면에 접촉하도록 설치될 수 있고, x축구동부(111)의 힘을 제1전달재(121)로 부드럽게 전달하기 위해 제2전달재(122)가 x축구동부(111)와 제1전달재(121)에 접촉하도록 설치될 수 있다. 그리고, y축구동부(112)의 힘을 베이스(300)로 부드럽게 전달하기 위해 제2전달재(122)가 y축구동부(112)와 베이스(300)의 타공부 내측면에 접촉하도록 설치될 수 있다.
제1전달재(121)는, 철(Fe), 스테인리스스틸(stainless steel) 또는 알루미늄(Al) 합금 등으로 형성될 수 있다. 이에 따라, 제1전달재(121)는, 피로누적에 의한 파손을 방지할 수 있다.
제2전달재(122)는, 고무 또는 우레탄과 같은 합성수지로 형성될 수 있다.
액츄에이터는, 보이스 코일 모터(Voice Coil Motor, VCM), 압전소자(piezoelectric element, PZT) 및 리니어 모터(Liner motor) 중 선택되는 어느 하나일 수 있다.
베이스(300)의 타공부 중심은, 베이스(300)의 중심과 일치할 수 있다.
도2에서 보는 바와 같이, x축구동부(111)와 y축구동부(112)는 베이스(300)의 중앙 부위에 타공된 타공부에 설치될 수 있다. 이와 같이, x축구동부(111)와 y축구동부(112)가 설치되는 경우, 베이스(300) 전체의 반력에 의해 발생되는 위치오차 또는 진동을 보상할 수 있다.
본 발명의 실시 예에서는, 하나의 반력보상모듈(100)이 설치되는 것으로 설명하고 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 베이스(300)에 반력보상모듈(100)이 복수 개 구비될 수 있다.
본 발명의 반력보상모듈(100)을 갖는 생산 장비는, 지면과 접촉하는 베이스지지부(400), 및 베이스(300)의 하부면과 베이스지지부(400)의 상부면에 결합하여 베이스(300)와 베이스지지부(400)를 연결하는 마운트(410),를 더 포함하여 이루어질 수 있다.
마운트(410)는, 베이스(300)의 상부면과 수직 방향인 위치오차 또는 진동에 대해 반력을 보상하는 수직구동부를 구비할 수 있다.
베이스(300)는, 금속 또는 석재(stone)와 같이 중량이 상대적으로 큰 소재로 형성될 수 있으며, 작동모듈(200)의 구동 또한 베이스(300)의 상부면의 x축, y축에 대한 2차원적인 구동이 주로 이루어지므로, z축 방향의 진동에 대한 반력 보상의 비중은 상대적으로 낮을 수 있다. 그러나, 생산 장비의 구성에 따라 비중이 변경될 수 있는 것은 당연하다.
수직구동부는, 구동부(110)와 같이 액츄에이터를 구비할 수 있으며, 수직구동부의 액츄에이터도, 보이스 코일 모터(Voice Coil Motor, VCM), 압전소자(piezoelectric element, PZT) 및 리니어 모터(Liner motor) 중 선택되는 어느 하나일 수 있다.
도1및 도2에서 보는 바와 같이, 작동모듈(200)은, 베이스(300)의 상부면에 대해 수평으로 직선 왕복운동하는 제1작동부(210), 및 베이스(300)의 상부면에 대해 수평 또는 수직으로 직선 왕복운동하는 제2작동부(220),를 포함할 수 있다.
그리고, 베이스(300)는, 제1작동부(210)를 안내하는 가이드(310)를 구비할 수 있다.
제1작동부(210)는, 가이드(310)와 결합하여 y축 방향으로 직선 왕복운동을 수행하며, 직선 왕복운동을 위한 모터를 구비할 수 있다.
제2작동부(220)는, x축 방향 또는 z축 방향으로 직선 왕복운동을 수행하며, 제1작동부(210)와 결합하므로 y축 방향의 직선 왕복운동도 수행할 수 있다. 그리고, 제2작동부(220)도 직선 왕복운동을 위한 모터를 구비할 수 있다.
제1작동부(210)와 제2작동부(220)의 구동에 의해 x축 방향의 진동 세기보다 y축 방향의 진동 세기가 더 강할 수 있으므로, 도3 및 도4에서 보는 바와 같이, y축구동부(112) 구비 수가 x축구동부(111) 구비 수 보다 많을 수 있다.
작동모듈(200)은, 소정의 작업을 수행하는 장치부와 결합할 수 있다.
구체적으로, 장치부는, 드릴링 머신, 워터젯(water jet) 머신, 로봇 머신, 광학검사장비, 레이저 가공 장비 및 지그(jig) 장비 중 선택되는 하나 이상의 장비일 수 있다.
장치부는, 제1작동부(210) 또는 제2작동부(220)와 결합할 수 있고, 용이한 작업을 위해 제2작동부(220)와 결합하는 것이 바람직할 것이다.
상기와 같이, 장치부로 다양한 종류의 장비를 이용할 수 있어, 본 발명의 반력보상모듈(100)을 갖는 생산 장비는, 다양한 작업을 수행할 수 있다.
본 발명의 반력보상모듈(100)을 갖는 생산 장비는, 베이스(300)의 운동 상태를 인식하는 위치센서, 속도센서 또는 가속도센서 중 선택되는 하나 이상의 센서를 더 포함하여 이루어질 수 있다. 여기서, 가속도센서는, 진동센서의 기능을 수행할 수 있다.
제어부는, 상기된 센서에 의해 센싱된 위치오차 또는 진동 등을 분석하고, 이에 따라, 초기신호 또는 위치보상신호를 생성할 수 있다.
이하, 본 발명의 반력보상모듈(100)을 갖는 생산 장비를 이용한 진동 제어방법에 대해 설명하기로 한다.
첫째 단계에서, 작동모듈(200)이 정지 상태에서 구동을 시작할 수 있다.
이와 동시에, 제어부로부터 반력보상모듈(100)로 초기신호가 전달되어, 구동부(110)가 초기에 작동모듈(200)에 의해 발생되는 반력을 제거하는 힘을 생성할 수 있다.
둘째 단계에서, 작동모듈(200)의 구동에 의한 베이스(300)의 위치오차 또는 진동이 센서에 의해 센싱되어, 센싱신호가 제어부로 전달될 수 있다.
셋째 단계에서, 제어부로부터 반력보상모듈(100)로 위치보상신호가 전달되어, 구동부(110)가 베이스(300)의 위치오차 또는 진동을 보정할 수 있다.
이 후, 첫째 단계 내지 셋째 단계가 반복되어 수행될 수 있다.
여기서, 초기신호 및 위치보상신호에 대한 사항은, 상기된 초기신호 및 위치보상신호에 대한 사항과 동일할 수 있다.
전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
<부호의 설명>
100 : 반력보상모듈
110 : 구동부
111 : x축구동부
112 : y축구동부
121 : 제1전달재
122 : 제2전달재
200 : 작동모듈
210 : 제1작동부
220 : 제2작동부
300 : 베이스
310 : 가이드
400 : 베이스지지부
410 : 마운트

Claims (15)

  1. 반력보상모듈을 갖는 생산 장비에 있어서,
    베이스;
    상기 베이스의 상부면에 대해 수평 또는 수직으로 구동하는 작동모듈;
    상기 베이스의 타공부에 인입하여 설치되고, 상기 베이스의 반력에 의해 발생되는 진동에 대응하여 반력을 보상하는 반력보상모듈; 및
    상기 반력보상모듈의 반력 보상 방향 또는 강도를 제어하는 제어부;
    를 포함하여 이루어지며,
    상기 반력보상모듈에 의해 전달되는 힘의 방향이 상기 베이스의 일면에 대해 수직 또는 수평인 것을 특징으로 하는 반력보상모듈을 갖는 생산 장비.
  2. 청구항1에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 베이스 위의 상기 작동모듈이 구동을 시작하여 반력이 발생하는 경우, 동시에 상기 반력보상모듈이 초기 반력을 제거할 수 있도록 하는 초기신호, 또는
    상기 작동모듈이 구동 중 또는 정지상태인 경우, 상기 반력보상모듈이 상기 베이스의 위치를 보정할 수 있도록 하는 위치보상신호,
    를 상기 반력보상모듈에 전달하는 것을 특징으로 하는 반력보상모듈을 갖는 생산 장비.
  3. 청구항1에 있어서,
    상기 반력보상모듈은,
    반력을 제거할 수 있는 힘을 생성하는 액츄에이터(actuator)를 구비하는 구동부, 및
    상기 구동부에서 생성된 힘을 상기 베이스에 전달하는 전달부,
    를 포함하며,
    상기 구동부는 복수 개 설치되는 것을 특징으로 하는 반력보상모듈을 갖는 생산 장비.
  4. 청구항3에 있어서,
    상기 구동부에서 발생하는 힘의 방향은 상기 작동모듈이 발생하는 반력의 방향에 대해 수직 또는 수평인 것을 특징으로 하는 반력보상모듈을 갖는 생산 장비.
  5. 청구항3에 있어서,
    상기 전달부는,
    상기 구동부의 힘을 상기 베이스에 전달하는 제1전달재, 및
    상기 구동부의 힘을 상기 베이스 또는 상기 제1전달재에 전달하는 제2전달재,
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 반력보상모듈을 갖는 생산 장비.
  6. 청구항3에 있어서,
    상기 액츄에이터는, 보이스 코일 모터(Voice Coil Motor, VCM), 압전소자(piezoelectric element, PZT) 및 리니어 모터(Liner motor) 중 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 반력보상모듈을 갖는 생산 장비.
  7. 청구항1에 있어서,
    상기 베이스의 타공부 중심은, 상기 베이스의 중심과 일치하는 것을 특징으로 하는 반력보상모듈을 갖는 생산 장비.
  8. 청구항1에 있어서,
    지면과 접촉하는 베이스지지부, 및
    상기 베이스의 하부면과 상기 베이스지지부의 상부면에 결합하여 상기 베이스와 상기 베이스지지부를 연결하는 마운트,
    를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반력보상모듈을 갖는 생산 장비.
  9. 청구항8에 있어서,
    상기 마운트는, 상기 베이스의 상부면과 수직 방향인 위치오차 또는 진동에 대해 반력을 보상하는 수직구동부를 구비하는 것을 특징으로 하는 반력보상모듈을 갖는 생산 장비.
  10. 청구항1에 있어서,
    상기 작동모듈은,
    상기 베이스의 상부면에 대해 수평으로 직선 왕복운동하는 제1작동부, 및
    상기 베이스의 상부면에 대해 수평 또는 수직으로 직선 왕복운동하는 제2작동부,
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 반력보상모듈을 갖는 생산 장비.
  11. 청구항10에 있어서,
    상기 베이스는, 상기 제1작동부를 안내하는 가이드를 구비하는 것을 특징으로 하는 반력보상모듈을 갖는 생산 장비.
  12. 청구항1에 있어서,
    상기 작동모듈은, 소정의 작업을 수행하는 장치부와 결합하는 것을 특징으로 하는 반력보상모듈을 갖는 생산 장비.
  13. 청구항12에 있어서,
    상기 장치부는, 드릴링 머신, 워터젯(water jet) 머신, 로봇 머신, 광학검사장비, 레이저 가공 장비 및 지그(jig) 장비 중 선택되는 하나 이상의 장비인 것을 특징으로 하는 반력보상모듈을 갖는 생산 장비.
  14. 청구항1에 있어서,
    상기 베이스의 운동 상태를 인식하는 위치센서, 속도센서 또는 가속도센서 중 선택되는 하나 이상의 센서를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반력보상모듈을 갖는 생산 장비.
  15. 청구항3의 반력보상모듈을 갖는 생산 장비를 이용한 진동 제어방법에 있어서,
    (i) 상기 작동모듈이 정지 상태에서 구동을 시작하고, 이와 동시에, 상기 제어부로부터 상기 반력보상모듈로 초기신호가 전달되어, 상기 구동부가 초기에 상기 작동모듈에 의해 발생되는 반력을 제거하는 힘을 생성하는 단계;
    (ii) 상기 작동모듈의 구동에 의한 상기 베이스의 위치오차 또는 진동이 센서에 의해 센싱되어, 센싱신호가 상기 제어부로 전달되는 단계;
    (iii) 상기 제어부로부터 상기 반력보상모듈로 위치보상신호가 전달되어, 상기 구동부가 상기 베이스의 위치오차 또는 진동을 보정하는 단계; 및
    (iv) 상기 (i) 단계 내지 상기 (iii) 단계가 반복되어 수행되는 단계;
    를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반력보상모듈을 갖는 생산 장비를 이용한 진동 제어방법.
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