WO2018146947A1 - Electronic circuit and electronic device - Google Patents

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治 小澤
誉博 内藤
達郎 黒岩
賢一 田湯
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ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社
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Abstract

An electronic circuit according to an embodiment of the present invention is provided with a MOS circuit unit and a stabilization element unit. The MOS circuit unit has a deep well. The stabilization element unit has a first element unit disposed between a power supply source and the deep well, and stabilizes the electrical potential of the deep well.

Description

電子回路及び電子機器Electronic circuit and electronic equipment
 本技術は、MOS(Metal-Oxide-Semiconductor)回路を含む電子回路、及び電子機器に関する。 This technology relates to an electronic circuit and an electronic device including a MOS (Metal-Oxide-Semiconductor) circuit.
 従来、N型(P型)MOSトランジスタや、CMOS(Complementary MOS)トランジスタ等を含むMOS回路が多く用いられている。例えば特許文献1には、NMOSトランジスタを入力トランジスタとする電圧電流変換回路が記載されている。この入力トランジスタでは、ディープNウェル層を用いて、基板領域P-subとトランジスタのウェル領域とが絶縁される。そしてウェル領域のバックゲート電圧を基板領域P-subの電圧とは独立して制御することで、入力電圧範囲に対する出力電流範囲が制御可能となっている。ディープNウェル層には、ディープウェル端子を介して電位が与えられるが、当該電位についての詳細は記載されていない(特許文献1の明細書段落[0014][0019][0020][0024]図1、2等)。 Conventionally, many MOS circuits including N-type (P-type) MOS transistors, CMOS (Complementary MOS) transistors, and the like have been used. For example, Patent Document 1 describes a voltage-current conversion circuit using an NMOS transistor as an input transistor. In this input transistor, the substrate region P-sub is insulated from the well region of the transistor by using the deep N well layer. By controlling the back gate voltage of the well region independently of the voltage of the substrate region P-sub, the output current range relative to the input voltage range can be controlled. A potential is applied to the deep N well layer through a deep well terminal, but details of the potential are not described (see paragraphs [0014], [0019], [0020], and [0024] in the specification of Patent Document 1). 1, 2 etc.).
特開2009-49872号公報JP 2009-49872 A
 近年、モバイル機器、ウェアラブル機器及びIoT(Internet of Things)機器等の小型のデバイスが広く普及しており、デバイスの低消費電力化が進められている。上記したようなディープウェルを含むMOS回路が搭載される場合も多い。微小電流で動作する回路は外来ノイズの影響を受けやすいため、ノイズ耐性を向上させるための技術が求められている。 In recent years, small devices such as mobile devices, wearable devices, and IoT (Internet of Things) devices have become widespread, and low power consumption of devices has been promoted. In many cases, a MOS circuit including a deep well as described above is mounted. Since a circuit that operates with a minute current is easily affected by external noise, a technique for improving noise resistance is required.
 以上のような事情に鑑み、本技術の目的は、ディープウェルを含むMOS回路が搭載されるデバイスでノイズ耐性が良好な電子回路及び電子機器を提供することにある。 In view of the circumstances as described above, an object of the present technology is to provide an electronic circuit and an electronic device having good noise resistance in a device on which a MOS circuit including a deep well is mounted.
 上記目的を達成するため、本技術の一形態に係る電子回路は、MOS回路部と、安定化素子部とを具備する。
 前記MOS回路部は、ディープウェルを有する。
 前記安定化素子部は、電力供給源と前記ディープウェルとの間に配置される第1の素子部を有し、前記ディープウェルの電位を安定化させる。
In order to achieve the above object, an electronic circuit according to an embodiment of the present technology includes a MOS circuit unit and a stabilization element unit.
The MOS circuit portion has a deep well.
The stabilizing element unit includes a first element unit disposed between a power supply source and the deep well, and stabilizes the potential of the deep well.
 この電子回路では、電力供給源とMOS回路部のディープウェルとの間に配置された第1の素子部を有する安定化素子部により、ディープウェルの電位を所望の電位に固定することが可能である。これにより例えばディープウェルと他のウェルとの間の寄生ダイオードに順方向の電位がかかって不要な電流が流れてしまうことを防止することが可能である。ディープウェルの電位を直接、電力供給源に接続しないことによって、電源ノイズがあってもディープウェル電位の揺らぎを小さくすることができ、ノイズ耐性を向上させることが出来る。 In this electronic circuit, it is possible to fix the potential of the deep well to a desired potential by the stabilizing element portion having the first element portion disposed between the power supply source and the deep well of the MOS circuit portion. is there. As a result, for example, it is possible to prevent an unnecessary current from flowing due to a forward potential applied to the parasitic diode between the deep well and the other well. By not connecting the potential of the deep well directly to the power supply source, fluctuation of the deep well potential can be reduced even if there is power supply noise, and noise resistance can be improved.
 前記MOS回路部は、ディープNウェルを有するCMOS回路を含んでもよい。
 これによりCMOS回路が搭載されたデバイスのノイズ耐性を向上させることが可能となる。
The MOS circuit unit may include a CMOS circuit having a deep N well.
As a result, it is possible to improve noise resistance of a device on which a CMOS circuit is mounted.
 前記MOS回路部は、サブスレッショルド領域で動作してもよい。
 これによりMOS回路部を流れる電流を十分に小さくすることが可能となる。この結果、低消費電力なデバイスではノイズ耐性が懸念事項であるが本構成により電源ノイズ耐性を向上させることが可能となる。
The MOS circuit unit may operate in a subthreshold region.
As a result, the current flowing through the MOS circuit section can be made sufficiently small. As a result, although noise tolerance is a concern in low power consumption devices, it is possible to improve power supply noise tolerance with this configuration.
 1nA以上100nA以下程度の電流により動作してもよい。
 これによりナノアンペアレベルの電流で動作するデバイスでも電源ノイズ起因での誤動作を抑制することが可能となる。
You may operate | move with the electric current about 1 nA or more and 100 nA or less.
This makes it possible to suppress malfunctions caused by power supply noise even in a device that operates with a current of nanoampere level.
 前記安定化素子部は、前記ディープウェルに所定の電圧を印加してもよい。
 これにより、例えばディープウェルを所定の電位に保持することが可能となる。この結果、デバイスのノイズ耐性を十分に向上させることが可能となる。
The stabilizing element unit may apply a predetermined voltage to the deep well.
Thereby, for example, the deep well can be held at a predetermined potential. As a result, the noise immunity of the device can be sufficiently improved.
 前記第1の素子部は、抵抗、キャパシタ、トランジスタ、及びインダクタのいずれか、又はこれらの任意の組み合わせにより構成されてもよい。
 これにより各回路素子を用いて第1の素子部を容易に構成することが可能となる。
The first element unit may be configured by any one of a resistor, a capacitor, a transistor, and an inductor, or any combination thereof.
Thus, the first element portion can be easily configured using each circuit element.
 前記MOS回路部は、前記ディープNウェルが形成されたP型基板と、前記ディープNウェルにより前記P型基板と電気的に分離されるPウェルとを有してもよい。この場合、前記安定化素子部は、前記ディープNウェルの電位を前記Pウェルの電位以上の値で保持してもよい。
 これによりディープNウェルとPウェルとの間に不要な電流が流れてしまうことを防止することが可能となり、MOS回路部の動作を安定化することが可能となる。この結果、デバイスのノイズ耐性を向上することが可能となる。
The MOS circuit unit may include a P-type substrate on which the deep N well is formed, and a P well that is electrically separated from the P-type substrate by the deep N well. In this case, the stabilization element unit may hold the potential of the deep N well at a value equal to or higher than the potential of the P well.
As a result, it is possible to prevent an unnecessary current from flowing between the deep N well and the P well, and it is possible to stabilize the operation of the MOS circuit portion. As a result, it is possible to improve noise resistance of the device.
 前記MOS回路部は、前記Pウェルに形成されたNMOSトランジスタを有してもよい。この場合、前記安定化素子部は、前記ディープNウェルを、前記NMOSトランジスタのゲート、ソース、及びドレインのいずれかと接続する配線部を有し、前記ディープNウェルの電位を前記NMOSトランジスタのゲート電位、ソース電位、及びドレイン電位のいずれかと同電位にしてもよい。
 これにより、NMOSトランジスタの各部の電位を利用して、ディープNウェルの電位を容易に安定化することが可能となる。
The MOS circuit unit may include an NMOS transistor formed in the P well. In this case, the stabilization element unit includes a wiring unit that connects the deep N well to any one of a gate, a source, and a drain of the NMOS transistor, and the potential of the deep N well is set to the gate potential of the NMOS transistor. , The source potential and the drain potential may be set to the same potential.
This makes it possible to easily stabilize the potential of the deep N well using the potential of each part of the NMOS transistor.
 前記MOS回路部は、前記ディープNウェルにより前記P型基板と電気的に分離される複数のPウェルと、前記複数のPウェルの各々に形成された複数のNMOSトランジスタを有してもよい。この場合、前記安定化素子部は、前記ディープNウェルを、前記複数のNMOSトランジスタの中の所定のNMOSトランジスタのゲート、ソース、及びドレインのいずれかと接続する配線部を有し、前記ディープNウェルの電位を前記所定のNMOSトランジスタのゲート電位、ソース電位、及びドレイン電位のいずれかと同電位にしてもよい。
 これにより、所定のNMOSトランジスタの各部の電位を利用して、ディープNウェル内に設けられた複数のNMOSトランジスタのノイズ耐性を容易に向上することが可能となる。
The MOS circuit unit may include a plurality of P wells electrically isolated from the P-type substrate by the deep N well, and a plurality of NMOS transistors formed in each of the plurality of P wells. In this case, the stabilization element portion includes a wiring portion that connects the deep N well to any one of a gate, a source, and a drain of a predetermined NMOS transistor among the plurality of NMOS transistors, and the deep N well May be the same as any of the gate potential, source potential, and drain potential of the predetermined NMOS transistor.
This makes it possible to easily improve the noise resistance of the plurality of NMOS transistors provided in the deep N well by using the potential of each part of the predetermined NMOS transistor.
 前記安定化素子部は、BGR(Band Gap Reference)回路であってもよい。
 これにより、バンドギャップ電圧等の安定な電圧を用いてディープウェルの電位を十分に安定化することが可能となる。
The stabilizing element unit may be a BGR (Band Gap Reference) circuit.
This makes it possible to sufficiently stabilize the deep well potential using a stable voltage such as a band gap voltage.
 前記安定化素子部は、グランドを基準とした電圧を生成する電圧回路であってもよい。
 これにより、グランドを基準とした電圧を用いてディープウェルの電位を十分に安定化することが可能となる。
The stabilizing element unit may be a voltage circuit that generates a voltage with respect to the ground.
This makes it possible to sufficiently stabilize the potential of the deep well using a voltage with respect to the ground.
 前記電圧回路は、サブスレッショルド領域で動作するNMOSトランジスタを含んでもよい。
 これにより、例えば電流の変化等に対して電圧の変化が小さい電圧回路を実現可能となる。この結果、ディープウェルの電位を十分に安定化することが可能となる。
The voltage circuit may include an NMOS transistor that operates in a subthreshold region.
Thereby, for example, it is possible to realize a voltage circuit with a small voltage change with respect to a current change or the like. As a result, the potential of the deep well can be sufficiently stabilized.
 前記安定化素子部は、グランドと前記ディープウェルとの間に配置される第2の素子部を有してもよい。
 これにより、例えばディープウェルの電位を直接グランド(GND)に接続しないことによって、GNDノイズ等があってもディープウェル電位の揺らぎを十分小さくすることが可能となる。また例えばディープウェルの電位がグランドを基準に設定可能となり、ディープウェルの電位を安定化可能となる。この結果、デバイスのノイズ耐性を向上することが可能となる。
The stabilizing element unit may include a second element unit disposed between a ground and the deep well.
Thereby, for example, by not directly connecting the potential of the deep well to the ground (GND), it is possible to sufficiently reduce the fluctuation of the deep well potential even if there is a GND noise or the like. For example, the potential of the deep well can be set with reference to the ground, and the potential of the deep well can be stabilized. As a result, it is possible to improve noise resistance of the device.
 本技術の一形態に係る電子機器は、電力供給源と、電子回路とを具備する。
 前記電子回路は、前記MOS回路部と、前記安定化素子部とを有する。
An electronic device according to an embodiment of the present technology includes a power supply source and an electronic circuit.
The electronic circuit includes the MOS circuit portion and the stabilization element portion.
 以上のように、本技術によれば、ディープウェルを含むMOS回路が搭載されるデバイスのノイズ耐性を向上させることが可能となる。なお、ここに記載された効果は必ずしも限定されるものではなく、本開示中に記載されたいずれかの効果であってもよい。 As described above, according to the present technology, it is possible to improve noise resistance of a device on which a MOS circuit including a deep well is mounted. Note that the effects described here are not necessarily limited, and may be any of the effects described in the present disclosure.
本技術を適用した電子回路の素子構造の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the element structure of the electronic circuit to which this technique is applied. 図1に示す電子回路の回路構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the circuit structure of the electronic circuit shown in FIG. ディープNウェルの電位を調整する安定化素子部、及び定電流回路の構成例を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the structural example of the stabilization element part which adjusts the electric potential of a deep N well, and a constant current circuit. 図3に示す電子回路の他の構成例を示す回路図である。FIG. 4 is a circuit diagram showing another configuration example of the electronic circuit shown in FIG. 3. 第1の実施形態に係る電子回路の構成例を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the structural example of the electronic circuit which concerns on 1st Embodiment. 図5Bに示す電子回路をより具体的に示した回路図である。It is the circuit diagram which showed the electronic circuit shown to FIG. 5B more concretely. 第2の実施形態に係る電子回路の構成例を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the structural example of the electronic circuit which concerns on 2nd Embodiment. 第3の実施形態に係る電子回路の構成例を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the structural example of the electronic circuit which concerns on 3rd Embodiment. 図8Bに示す電子回路について定電流回路に適用した時の一つの例を具体的に示した図である。It is the figure which concretely showed one example when it applies to a constant current circuit about the electronic circuit shown to FIG. 8B. 第4の実施形態に係る電子回路の構成例を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the structural example of the electronic circuit which concerns on 4th Embodiment. 図10Bに示す電子回路について定電流回路に適用した時の一つの例を具体的に示した図である。FIG. 10B is a diagram specifically showing one example when the electronic circuit shown in FIG. 10B is applied to a constant current circuit.
 以下、本技術に係る実施形態を、図面を参照しながら説明する。 Hereinafter, embodiments of the present technology will be described with reference to the drawings.
 <第1の実施形態>
 [MOS回路の構成]
 図1は、本技術を適用した電子回路の素子構造の一例を示す断面図である。電子回路100は、例えば携帯端末等のモバイル機器、身体に装着して使用されるウェアラブル機器、及びバッテリーで駆動されるIoT機器等の電子機器に搭載される。その他の用途に用いられる電子機器にも、本技術は適用可能である。
<First Embodiment>
[Configuration of MOS circuit]
FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating an example of an element structure of an electronic circuit to which the present technology is applied. The electronic circuit 100 is mounted on an electronic device such as a mobile device such as a portable terminal, a wearable device used by being worn on the body, and an IoT device driven by a battery. The present technology can also be applied to electronic devices used for other purposes.
 電子回路100は、P型基板10、MOS回路部20、ディープウェル電位安定化素子部30(以降、安定化素子部30と記載)、電源40、及びGND50を有する。また電子回路100は、psub給電配線60、pw給電配線61、及びdnw給電配線62を有する。 The electronic circuit 100 includes a P-type substrate 10, a MOS circuit unit 20, a deep well potential stabilizing element unit 30 (hereinafter referred to as a stabilizing element unit 30), a power supply 40, and a GND 50. The electronic circuit 100 also includes a psub power supply wiring 60, a pw power supply wiring 61, and a dnw power supply wiring 62.
 P型基板10は、MOS回路部20及び安定化素子部30が形成される半導体基板である。P型基板10としては、例えばホウ素等のP型不純物が添加されたシリコン基板等が用いられる。図1では、P型基板10はpsub(P-type substrate)と記載されている。 The P-type substrate 10 is a semiconductor substrate on which the MOS circuit unit 20 and the stabilizing element unit 30 are formed. As the P-type substrate 10, for example, a silicon substrate to which a P-type impurity such as boron is added is used. In FIG. 1, the P-type substrate 10 is described as psub (P-type substrate).
 P型基板10は基板コンタクト11を有する。基板コンタクト11としては、例えば、P型基板10の上層に形成された不純物(ホウ素)の濃度の濃い領域(図1ではP+と記載)が用いられる。基板コンタクト11は、P型基板10の電位を定めるための端子であり、例えばGND50等に接続される。基板コンタクト11(P型基板)の電位等は限定されず、例えばMOS回路部等を適正に動作させることが可能な任意の電位に適宜接続されてよい。 The P-type substrate 10 has a substrate contact 11. As the substrate contact 11, for example, a region (indicated as P + in FIG. 1) having a high impurity (boron) concentration formed in the upper layer of the P-type substrate 10 is used. The substrate contact 11 is a terminal for determining the potential of the P-type substrate 10 and is connected to, for example, the GND 50 or the like. The potential or the like of the substrate contact 11 (P-type substrate) is not limited, and may be appropriately connected to an arbitrary potential that can properly operate the MOS circuit portion or the like, for example.
 MOS回路部20は、Pウェル21、Nウェル22、及びディープNウェル23を有する。図1では、Pウェル21、Nウェル22、及びディープNウェル23は、pw(P-type well)、nw(N-type well)、及びdnw(deep N-type well)と記載されている。 The MOS circuit unit 20 has a P well 21, an N well 22, and a deep N well 23. In FIG. 1, the P well 21, N well 22, and deep N well 23 are described as pw (P-type (well), nw (N-type well), and dnw (deep 、 N-type well).
 Pウェル21は、P型基板10の上層に形成されるP型半導体の領域である。Pウェル21には、pwコンタクト24、ドレイン(Drain)25、及びソース(Source)26が形成される。Pウェル21の上部(P型基板10の表面付近)にはゲート(Gate)27が形成される。 The P well 21 is a P-type semiconductor region formed in the upper layer of the P-type substrate 10. In the P well 21, a pw contact 24, a drain 25, and a source 26 are formed. A gate 27 is formed above the P well 21 (near the surface of the P-type substrate 10).
 pwコンタクト24は、Pウェル21の電位を定めるための端子である。pwコンタクト24は、pw給電配線61に接続される。pwコンタクト24としては、Pウェル21の上層に形成された不純物濃度の濃い領域が用いられる。 The pw contact 24 is a terminal for determining the potential of the P well 21. The pw contact 24 is connected to the pw power supply wiring 61. As the pw contact 24, a region having a high impurity concentration formed in the upper layer of the P well 21 is used.
 ドレイン25及びソース26は、Pウェル21の上層に形成されるN型半導体の領域であり、リンや砒素等のN型不純物を注入して形成される。ドレイン25及びソース26が形成される領域は、例えば、後述するNウェルやディープNウェルよりも不純物濃度の濃い領域(図1ではN+と記載)である。 The drain 25 and the source 26 are N-type semiconductor regions formed in the upper layer of the P well 21 and are formed by implanting N-type impurities such as phosphorus and arsenic. The region where the drain 25 and the source 26 are formed is, for example, a region (described as N + in FIG. 1) having a higher impurity concentration than an N well and a deep N well described later.
 N型半導体の領域であるドレイン25及びソース26とPウェル21との間にはPN接合が形成される。このため、ドレイン25とPウェル21との間には、第1のPN接合ダイオード63が形成され、ソース26とPウェル21との間には第2のPN接合ダイオード64が形成される。 A PN junction is formed between the drain 25 and source 26, which are N-type semiconductor regions, and the P well 21. Therefore, a first PN junction diode 63 is formed between the drain 25 and the P well 21, and a second PN junction diode 64 is formed between the source 26 and the P well 21.
 ドレイン25及びソース26は、互いに隣り合うように所定の間隔(ゲート長L)をあけて設けられる。またドレイン25及びソース26には、Pウェル21の表面(P型基板10の表面)に設けられた配線が接続される。 The drain 25 and the source 26 are provided with a predetermined interval (gate length L) so as to be adjacent to each other. Further, wiring provided on the surface of the P well 21 (the surface of the P-type substrate 10) is connected to the drain 25 and the source 26.
 ゲート27は、Pウェル21表面に形成されたゲート絶縁膜(図示省略)を介してPウェル21の上部に設けられる。ゲート27は、ドレイン25及びソース26を跨ぐように形成され、P型基板10の表面に設けられた配線に接続される。このように、Pウェル21には、ドレイン25、ソース26、及びゲート27を有するNMOSトランジスタ70が形成される。 The gate 27 is provided above the P well 21 via a gate insulating film (not shown) formed on the surface of the P well 21. The gate 27 is formed so as to straddle the drain 25 and the source 26 and is connected to a wiring provided on the surface of the P-type substrate 10. Thus, the NMOS transistor 70 having the drain 25, the source 26, and the gate 27 is formed in the P well 21.
 Nウェル22は、Pウェル21の側面を覆うようにPウェル21の周りに設けられるN型半導体の領域である。図1に示す断面図では、Pウェル21の左右の側面を覆うNウェル22が模式的に図示されている。 The N well 22 is an N-type semiconductor region provided around the P well 21 so as to cover the side surface of the P well 21. In the cross-sectional view shown in FIG. 1, an N well 22 that covers the left and right side surfaces of the P well 21 is schematically illustrated.
 Nウェル22は、nwコンタクト28を有する。nwコンタクト28としては、Nウェル22の上層に形成された不純物濃度の濃い領域が用いられる。nwコンタクト28には、dnw給電配線62が接続される。 The N well 22 has an nw contact 28. As the nw contact 28, a region having a high impurity concentration formed in the upper layer of the N well 22 is used. A dnw power supply wiring 62 is connected to the nw contact 28.
 ディープNウェル23は、Pウェル21の表面とは反対の側に設けられるN型半導体の領域である。図1に示すように、ディープNウェル23は、Pウェル21が形成された領域を覆うように設けられる。またディープNウェル23は、Pウェル21の側面を囲むNウェル22と接続される。従ってPウェル21は、ディープNウェル23により、P型基板10と電気的に分離される。 The deep N well 23 is an N-type semiconductor region provided on the side opposite to the surface of the P well 21. As shown in FIG. 1, the deep N well 23 is provided so as to cover the region where the P well 21 is formed. The deep N well 23 is connected to the N well 22 surrounding the side surface of the P well 21. Therefore, the P well 21 is electrically separated from the P-type substrate 10 by the deep N well 23.
 図1に示す例では、ディープNウェル23は、Nウェル22及びnwコンタクト28を介してdnw給電配線62に接続される。従って、ディープNウェル23の電位は、dnw給電配線62に入力される電圧等を介して制御される。 In the example shown in FIG. 1, the deep N well 23 is connected to the dnw power supply wiring 62 via the N well 22 and the nw contact 28. Therefore, the potential of the deep N well 23 is controlled via a voltage or the like input to the dnw power supply wiring 62.
 ディープNウェル23とPウェル21との間には、第3のPN接合ダイオード65が形成される。またディープNウェル23とP型基板10との間には第4のPN接合ダイオード66が形成される。本実施形態では、ディープNウェル23は、MOS回路等に用いられるディープウェルのうち、N型のディープウェルに相当する。 A third PN junction diode 65 is formed between the deep N well 23 and the P well 21. A fourth PN junction diode 66 is formed between the deep N well 23 and the P-type substrate 10. In the present embodiment, the deep N well 23 corresponds to an N-type deep well among deep wells used in MOS circuits and the like.
 安定化素子部30は、第1の素子部31及び第2の素子部32を有する。第1の素子部31は、dnw給電配線62と電源(VDD)40との間に設けられる。第2の素子部32は、dnw給電配線62とGND(VSS)50との間に設けられる。図1では、P型基板10上に設けられた安定化素子部30が模式的に図示されている。本実施形態では、電源40及びGND50は、電力供給源及びグランドに相当する。 The stabilizing element unit 30 includes a first element unit 31 and a second element unit 32. The first element unit 31 is provided between the dnw power supply wiring 62 and the power supply (VDD) 40. The second element unit 32 is provided between the dnw power supply wiring 62 and the GND (VSS) 50. In FIG. 1, a stabilizing element unit 30 provided on the P-type substrate 10 is schematically illustrated. In the present embodiment, the power supply 40 and the GND 50 correspond to a power supply source and a ground.
 図1に示す例では、ディープNウェル23上に1つのNMOSトランジスタ70が形成された。これに限定されず、例えばディープNウェル23上に複数のNMOSトランジスタが設けられてもよい。またNMOSトランジスタ70に加えPMOSトランジスタが適宜設けられてもよい。すなわち、ディープNウェル23を有するCMOS回路が構成されてもよい。本技術は、電圧・電流源等のアナログ回路やロジックIC等のデジタル回路を含む任意のMOS回路に適用可能である。 In the example shown in FIG. 1, one NMOS transistor 70 is formed on the deep N well 23. For example, a plurality of NMOS transistors may be provided on the deep N well 23. In addition to the NMOS transistor 70, a PMOS transistor may be provided as appropriate. That is, a CMOS circuit having the deep N well 23 may be configured. The present technology can be applied to an arbitrary MOS circuit including an analog circuit such as a voltage / current source and a digital circuit such as a logic IC.
 図2は、図1に示す電子回路100の回路構成を示す模式図である。図2では、NMOSトランジスタ70(ドレイン25、ソース26、及びゲート27)が形成されたPウェル21の領域が模式的に図示されている。 FIG. 2 is a schematic diagram showing a circuit configuration of the electronic circuit 100 shown in FIG. FIG. 2 schematically shows a region of the P well 21 in which the NMOS transistor 70 (the drain 25, the source 26, and the gate 27) is formed.
 Pウェル21は、第1及び第2のPN接合ダイオード63及び64を介してドレイン25及びソース26にそれぞれ接続される。またPウェル21は、pwコンタクト24を介してpw給電配線61に接続される。 The P well 21 is connected to the drain 25 and the source 26 via the first and second PN junction diodes 63 and 64, respectively. The P well 21 is connected to the pw power supply wiring 61 through the pw contact 24.
 ディープNウェル23は、第3のPN接合ダイオード65を介してPウェル21に接続される。図2に示すように、第3のPN接合ダイオード65は、Pウェル21からディープNウェル23に向けて順方向に接続される。またディープNウェル23は、第4のPN接合ダイオード66を介してP型基板10に接続される。第4のPN接合ダイオード66は、P型基板10からディープNウェル23に向けて順方向に接続される。 The deep N well 23 is connected to the P well 21 through the third PN junction diode 65. As shown in FIG. 2, the third PN junction diode 65 is connected in the forward direction from the P well 21 to the deep N well 23. The deep N well 23 is connected to the P-type substrate 10 through a fourth PN junction diode 66. The fourth PN junction diode 66 is connected in the forward direction from the P-type substrate 10 toward the deep N well 23.
 安定化素子部30は、ディープNウェルの電位を安定化させる。図2に示すように、ディープNウェル23は、安定化素子部30の第1の素子部31を介して電源40に接続される。またディープNウェル23は、安定化素子部30の第2の素子部32を介してGND50に接続される。第1及び第2の素子部31及び32の構成を適宜設計することで、ディープNウェル23の電位を安定化させることが可能である。 The stabilizing element unit 30 stabilizes the potential of the deep N well. As shown in FIG. 2, the deep N well 23 is connected to the power supply 40 via the first element portion 31 of the stabilizing element portion 30. The deep N well 23 is connected to the GND 50 via the second element part 32 of the stabilization element part 30. By appropriately designing the configurations of the first and second element portions 31 and 32, the potential of the deep N well 23 can be stabilized.
 本実施形態では、安定化素子部30により、ディープNウェルの電位がPウェル21の電位以上の値で保持される。従って、第3のPN接合ダイオード65には逆バイアスが加えられる。また上記したように、P型基板10はGND等の低い電位に接続される。従ってディープNウェル23の電位はP型基板10の電位よりも高い値となり、第4のPN接合ダイオード66にも逆バイアスが加えられる。このため、ディープNウェル23と他のウェルとの間に不要な電流が流れてしまうことを防止することが可能となる。 In this embodiment, the stabilization element 30 holds the potential of the deep N well at a value equal to or higher than the potential of the P well 21. Accordingly, a reverse bias is applied to the third PN junction diode 65. Further, as described above, the P-type substrate 10 is connected to a low potential such as GND. Therefore, the potential of the deep N well 23 is higher than the potential of the P-type substrate 10, and a reverse bias is also applied to the fourth PN junction diode 66. For this reason, it is possible to prevent unnecessary current from flowing between the deep N well 23 and other wells.
 以下では、図1及び図2で説明したMOS回路を使った具体的な電子回路について説明する。 Hereinafter, a specific electronic circuit using the MOS circuit described in FIGS. 1 and 2 will be described.
 図3は、ディープNウェルの電位を調整する安定化素子部、及び定電流回路の構成例を示す回路図である。電子回路200は定電流回路として機能し、MOS回路部220、電流回路部280、及び安定化素子部230を有する。 FIG. 3 is a circuit diagram showing a configuration example of a stabilizing element unit for adjusting the potential of the deep N well and a constant current circuit. The electronic circuit 200 functions as a constant current circuit, and includes a MOS circuit unit 220, a current circuit unit 280, and a stabilization element unit 230.
 MOS回路部220は、第1のNMOSトランジスタ270a、第2のNMOSトランジスタ270b、及び抵抗素子275を有する。図3では、各NMOSトランジスタの下(Pウェルの下)に形成されたディープNウェル223の領域が模式的に図示されている。また図3では、各NMOSトランジスタのソースが下側に、ドレインが上側に図示されている。 The MOS circuit unit 220 includes a first NMOS transistor 270a, a second NMOS transistor 270b, and a resistance element 275. In FIG. 3, the region of the deep N well 223 formed under each NMOS transistor (under the P well) is schematically illustrated. In FIG. 3, the source of each NMOS transistor is shown on the lower side and the drain is shown on the upper side.
 第1のNMOSトランジスタ270aは、第1のPウェル221aに形成される。第1のNMOSトランジスタ270aでは、ドレインとゲートが接続される。また第1のNMOSトランジスタ270aのソースは、第1のPウェル221a及びGND50に接続される。従って第1のPウェル221aは第1のNMOSトランジスタ270aのソースと同じ電位となる。また第1のPウェル221aは、第1の接合ダイオード265aを介してディープNウェル223に接続される。 The first NMOS transistor 270a is formed in the first P well 221a. In the first NMOS transistor 270a, the drain and the gate are connected. The source of the first NMOS transistor 270a is connected to the first P well 221a and the GND 50. Therefore, the first P well 221a has the same potential as the source of the first NMOS transistor 270a. The first P well 221a is connected to the deep N well 223 via the first junction diode 265a.
 第2のNMOSトランジスタ270bは、第2のPウェル221bに形成される。第2のNMOSトランジスタ270bのゲートは、第1のNMOSトランジスタ270aのゲートに接続される。第2のNMOSトランジスタ270bのソースは、抵抗素子275を介してGND50に接続される。また第2のNMOSトランジスタ270bのソースは、第2のPウェル221bに接続される。従って第2のPウェル221bは第2のNMOSトランジスタ270bのソースと同じ電位となる。また第2のPウェル221bは、第2の接合ダイオード265bを介してディープNウェル223に接続される。 The second NMOS transistor 270b is formed in the second P well 221b. The gate of the second NMOS transistor 270b is connected to the gate of the first NMOS transistor 270a. The source of the second NMOS transistor 270 b is connected to the GND 50 via the resistance element 275. The source of the second NMOS transistor 270b is connected to the second P well 221b. Therefore, the second P well 221b has the same potential as the source of the second NMOS transistor 270b. The second P well 221b is connected to the deep N well 223 via the second junction diode 265b.
 本実施系形態では、MOS回路部220(第1及び第2のNMOSトランジスタ270a及び270b)は、サブスレッショルド領域で動作する。すなわち、第1及び第2のNMOSトランジスタ270a及び270bは、ゲート電圧Vgsを閾値電圧Vth以下で動作可能なように設計される。従ってMOS回路部220は、微小電流で駆動する低消費電力な回路として機能する。例えばMOS回路部220は、1nA以上100nA以下程度の電流により動作し、その消費電力は例えば数nWから数百nW以下となる。 In this embodiment, the MOS circuit unit 220 (first and second NMOS transistors 270a and 270b) operates in the subthreshold region. That is, the first and second NMOS transistors 270a and 270b are designed so that they can operate with the gate voltage Vgs equal to or lower than the threshold voltage Vth. Therefore, the MOS circuit unit 220 functions as a low power consumption circuit that is driven by a minute current. For example, the MOS circuit unit 220 operates with a current of about 1 nA or more and 100 nA or less, and its power consumption is, for example, several nW to several hundred nW or less.
 第1及び第2のNMOSトランジスタ270a及び270bの具体的な構成等は限定されず、サブスレッショルド領域で動作可能なように、ゲート長Lやゲート幅W等の各パラメータが適宜設定される。また第1及び第2のNMOSトランジスタ270a及び270bが使用される用途等に応じて、各パラメータ等が適宜設定されてもよい。 The specific configuration and the like of the first and second NMOS transistors 270a and 270b are not limited, and parameters such as the gate length L and the gate width W are appropriately set so that the first and second NMOS transistors 270a and 270b can operate in the subthreshold region. In addition, each parameter and the like may be set as appropriate according to the application in which the first and second NMOS transistors 270a and 270b are used.
 電流回路部280は、MOS回路部220に所定の電流を供給する回路である。図3に示すように、電流回路部280は、第1のNMOSトランジスタ270aのドレイン、及び第2のNMOSトランジスタ270bのドレインにそれぞれ接続される。そして各NMOSトランジスタの各ドレインに、互いに同様の電流がそれぞれ供給される。電流回路部280の具体的な構成等は限定されず、第1及び第2のNMOSトランジスタ270a及び270bに同様の電流を供給可能な回路が適宜構成されてよい(例えば図9の電流回路部1280参照)。 The current circuit unit 280 is a circuit that supplies a predetermined current to the MOS circuit unit 220. As shown in FIG. 3, the current circuit unit 280 is connected to the drain of the first NMOS transistor 270a and the drain of the second NMOS transistor 270b, respectively. The same current is supplied to each drain of each NMOS transistor. A specific configuration or the like of the current circuit unit 280 is not limited, and a circuit capable of supplying a similar current to the first and second NMOS transistors 270a and 270b may be appropriately configured (for example, the current circuit unit 1280 in FIG. 9). reference).
 サブスレッショルド(弱反転)領域でのMOSトランジスタを流れるドレイン電流IDは、ゲート電圧Vgs、閾値電圧Vth、ソースドレイン電圧Vdsを用いて以下の式で与えられる。 The drain current ID flowing through the MOS transistor in the subthreshold (weak inversion) region is given by the following equation using the gate voltage Vgs, threshold voltage Vth, and source / drain voltage Vds.
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000001
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000001
 ここで、ηはスロープファクターであり、Vtは、ボルツマン定数k、温度T、キャリアの電荷qで表される温度電圧である。またβはMOSトランジスタのゲート幅W、ゲート長L、キャリア移動度μ、及びゲート容量Coxで表されるMOSトランジスタのサイズ比である。 Here, η is a slope factor, and Vt is a temperature voltage represented by Boltzmann constant k, temperature T, and carrier charge q. Β is the size ratio of the MOS transistor expressed by the gate width W, the gate length L, the carrier mobility μ, and the gate capacitance C ox of the MOS transistor.
 ソースドレイン電圧Vdsが、温度電圧Vtよりも十分大きい場合、(数1)は以下のように近似される。 When the source / drain voltage Vds is sufficiently larger than the temperature voltage Vt, (Equation 1) is approximated as follows.
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000002
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000002
 (数2)から、ドレイン電流IDは、ゲート電圧Vgsに対して指数関数的に大きく増減することが分かる。換言すると、ドレイン電流IDの変化に対して、ゲート電圧Vgsは大きく変化しない。(数2)からゲート電圧Vgsは以下のように算出される。 (Equation 2) shows that the drain current ID greatly increases and decreases exponentially with respect to the gate voltage Vgs. In other words, the gate voltage Vgs does not change greatly with respect to the change in the drain current ID . From (Equation 2), the gate voltage Vgs is calculated as follows.
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000003
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000003
 図3に示すMOS回路部220において、第1及び第2のNMOSトランジスタ270a及び270bのアスペクト比(β1:β2)が1:Nに設定され、各NMOSトランジスタに同じ大きさの電流(ドレイン電流ID)が供給されるとする。この場合、第1及び第2のNMOSトランジスタ270a及び270bのゲート電圧Vgs1及びVgs2は、サイズの違いにより互いに異なる値となる。従って抵抗素子275には、各ゲート電圧の差であるΔVgsが印加される。ΔVgsは以下のように算出される。 In the MOS circuit unit 220 shown in FIG. 3, the aspect ratio (β1: β2) of the first and second NMOS transistors 270a and 270b is set to 1: N, and each NMOS transistor has the same current (drain current I D ) is supplied. In this case, the gate voltages Vgs1 and Vgs2 of the first and second NMOS transistors 270a and 270b have different values depending on the size. Therefore, ΔVgs which is a difference between the gate voltages is applied to the resistance element 275. ΔVgs is calculated as follows.
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000004
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000004
 従って抵抗素子275の抵抗値をRとすると、この電位差ΔVgsにより第1及び第2のNMOSトランジスタ270a及び270bに流れるドレイン電流IDは、以下のように算出される。 Accordingly, when the resistance value of the resistance element 275 is R, the drain current ID flowing through the first and second NMOS transistors 270a and 270b by this potential difference ΔVgs is calculated as follows.
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000005
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000005
 (数5)に示すように、ドレイン電流IDは、抵抗値R及び各NMOSトランジスタのサイズの比Nで定められ、電源電圧等に依存しない電流となる。このように、図3に示すMOS回路部220及び電流回路部280を用いることで、電源電圧の変動等に対して変動が小さく、一定な電流を生成する定電流源が構成される。なお、MOS回路部220の構成は図3に示す例に限定されず、回路の用途等に応じて適宜変更されてよい。 As shown in (Expression 5), the drain current ID is determined by the resistance value R and the size ratio N of each NMOS transistor, and is a current that does not depend on the power supply voltage or the like. As described above, by using the MOS circuit unit 220 and the current circuit unit 280 shown in FIG. 3, a constant current source that generates a constant current with a small variation with respect to a variation in the power supply voltage or the like is configured. Note that the configuration of the MOS circuit unit 220 is not limited to the example shown in FIG. 3, and may be changed as appropriate according to the use of the circuit.
 図4は、図3に示す電子回路200の他の構成例を示す回路図である。図4Aは、カスコード(多段積み)接続されたNMOSトランジスタを含む電子回路300の回路図である。図4Bは、コンポジットカスコード接続されたNMOSトランジスタを含む電子回路400の回路図である。 FIG. 4 is a circuit diagram showing another configuration example of the electronic circuit 200 shown in FIG. FIG. 4A is a circuit diagram of an electronic circuit 300 including NMOS transistors connected in cascode (multi-stage stack). FIG. 4B is a circuit diagram of an electronic circuit 400 that includes a composite cascode-connected NMOS transistor.
 図4Aに示す電子回路300は、MOS回路部320、電流回路部380、及び安定化素子部330を有する。電流回路部380及び安定化素子部330については、図3に示す電子回路200と同様に構成されてよい。 4A includes a MOS circuit portion 320, a current circuit portion 380, and a stabilizing element portion 330. The current circuit unit 380 and the stabilization element unit 330 may be configured similarly to the electronic circuit 200 shown in FIG.
 MOS回路部320は、第1~第4のNMOSトランジスタ370a~370bと、抵抗素子375とを有する。第1のNMOSトランジスタ370a、第2のNMOSトランジスタ370b、及び抵抗素子375は、図3に示す第1及び第2のNMOSトランジスタ270a及び270bと、抵抗素子375と同様に接続される。 The MOS circuit section 320 includes first to fourth NMOS transistors 370a to 370b and a resistance element 375. The first NMOS transistor 370a, the second NMOS transistor 370b, and the resistor element 375 are connected in the same manner as the resistor element 375 and the first and second NMOS transistors 270a and 270b shown in FIG.
 第3のNMOSトランジスタ370cは、第3のPウェル321cに形成される。第3のNMOSトランジスタ370cでは、ドレインとゲートが接続される。また第3のNMOSトランジスタ370cのソースは、第3のPウェル321c及び第1のNMOSトランジスタ370aのドレインに接続される。また、第3のPウェル321cは、第3の接合ダイオード365cを介してディープNウェル323に接続される。 The third NMOS transistor 370c is formed in the third P well 321c. In the third NMOS transistor 370c, the drain and the gate are connected. The source of the third NMOS transistor 370c is connected to the third P well 321c and the drain of the first NMOS transistor 370a. The third P well 321c is connected to the deep N well 323 through the third junction diode 365c.
 第4のNMOSトランジスタ370dは、第4のPウェル321dに形成される。第4のNMOSトランジスタ370dのゲートは、第3のNMOSトランジスタ370cのゲートに接続される。また第4のNMOSトランジスタ370dのソースは、第4のPウェル321d及び第2のNMOSトランジスタ370bのドレインに接続される。また、第4のPウェル321dは、第4の接合ダイオード365dを介してディープNウェル323に接続される。 The fourth NMOS transistor 370d is formed in the fourth P well 321d. The gate of the fourth NMOS transistor 370d is connected to the gate of the third NMOS transistor 370c. The source of the fourth NMOS transistor 370d is connected to the fourth P well 321d and the drain of the second NMOS transistor 370b. The fourth P well 321d is connected to the deep N well 323 through the fourth junction diode 365d.
 電流回路部380は、第3のNMOSトランジスタ370cのドレイン、及び第4のNMOSトランジスタ370dのドレインにそれぞれ接続され、互いに同様の電流を供給する。安定化素子部330は、ディープNウェル323に接続され、ディープNウェル323の電位を安定化する。 The current circuit unit 380 is connected to the drain of the third NMOS transistor 370c and the drain of the fourth NMOS transistor 370d, and supplies the same current to each other. The stabilizing element unit 330 is connected to the deep N well 323 and stabilizes the potential of the deep N well 323.
 このように、図4Aでは、第1及び第2のNMOSトランジスタ370a及び370bの上流(電流回路部380側)に第3及び第4のNMOSトランジスタ370c及び370dが設けられ、カスコード接続されたNMOSトランジスタ回路が構成される。なお、第1~第4のNMOSトランジスタ370a~370bの構成等は限定されない。例えば、MOS回路部320の用途等に応じて、各NMOSトランジスタのゲート幅W等のパラメータが適宜設定されてよい。 In this way, in FIG. 4A, the third and fourth NMOS transistors 370c and 370d are provided upstream of the first and second NMOS transistors 370a and 370b (on the current circuit unit 380 side), and are cascode-connected NMOS transistors. A circuit is constructed. The configuration of the first to fourth NMOS transistors 370a to 370b is not limited. For example, parameters such as the gate width W of each NMOS transistor may be appropriately set according to the use of the MOS circuit unit 320 and the like.
 例えば電源40の電圧が高い場合に、NMOSトランジスタに加わるソースドレイン電圧Vdsが大きくなり、インパクトイオン化による電流増加等の問題が生じる可能性がある。NMOSトランジスタをカスコード接続することで、複数のNMOSトランジスタにより電圧を分散することが可能となり、電流の増加等を抑制することが可能となる。 For example, when the voltage of the power supply 40 is high, the source / drain voltage Vds applied to the NMOS transistor increases, which may cause problems such as an increase in current due to impact ionization. By cascode-connecting NMOS transistors, it is possible to distribute the voltage by a plurality of NMOS transistors, and to suppress an increase in current.
 図4Bに示す電子回路400は、第1~第4のNMOSトランジスタ470a~470bがコンポジットカスコード接続された場合の構成例である。コンポジットカスコード接続では、例えば1段目(第1及び第2のNMOSトランジスタ470a及び470b)のアスペクト比に比べ、2段目(第3及び第4のNMOSトランジスタ470c及び470d)のアスペクト比が大きく設定される場合がある。これに限定されず、各NMOSトランジスタのサイズ等が適宜設定されてよい。 The electronic circuit 400 shown in FIG. 4B is a configuration example when the first to fourth NMOS transistors 470a to 470b are composite-cascode-connected. In the composite cascode connection, for example, the aspect ratio of the second stage (third and fourth NMOS transistors 470c and 470d) is set larger than the aspect ratio of the first stage (first and second NMOS transistors 470a and 470b). May be. The present invention is not limited to this, and the size and the like of each NMOS transistor may be set as appropriate.
 図5は、第1の実施形態に係る電子回路の構成例を示す回路図である。図5Aは、カスコード接続されたNMOSトランジスタを含む電子回路500の回路図である。図5Bは、コンポジットカスコード接続されたNMOSトランジスタを含む電子回路600の回路図である。 FIG. 5 is a circuit diagram showing a configuration example of the electronic circuit according to the first embodiment. FIG. 5A is a circuit diagram of an electronic circuit 500 that includes cascode-connected NMOS transistors. FIG. 5B is a circuit diagram of an electronic circuit 600 that includes a composite cascode-connected NMOS transistor.
 図5Aに示す電子回路500は、MOS回路部520、電流回路部580、及び安定化素子部530を有する。図5Aでは、互いに分離された第1及び第2のディープNウェル523a及び523bが形成される。 5A includes a MOS circuit portion 520, a current circuit portion 580, and a stabilizing element portion 530. In FIG. 5A, first and second deep N wells 523a and 523b separated from each other are formed.
 第1のディープNウェル523aは、第1及び第3のNMOSトランジスタ570a及び570c、すなわち第1及び第3のPウェル521a及び521cの領域を覆うように設けられる。従って、第1及び第3のPウェル521a及び521cは、第1及び第3のPN接合ダイオード565a及び565cを介して第1のディープNウェル523aに接続される。 The first deep N well 523a is provided so as to cover the regions of the first and third NMOS transistors 570a and 570c, that is, the first and third P wells 521a and 521c. Accordingly, the first and third P wells 521a and 521c are connected to the first deep N well 523a via the first and third PN junction diodes 565a and 565c.
 第2のディープNウェル523bは、第2及び第4のNMOSトランジスタ570b及び570d、すなわち第2及び第4のPウェル521b及び521dの領域を覆うように設けられる。従って、第2及び第4のPウェル521b及び521dは、第2及び第4のPN接合ダイオード565b及び565dを介して第2のディープNウェル523bに接続される。 The second deep N well 523b is provided so as to cover the regions of the second and fourth NMOS transistors 570b and 570d, that is, the second and fourth P wells 521b and 521d. Accordingly, the second and fourth P wells 521b and 521d are connected to the second deep N well 523b via the second and fourth PN junction diodes 565b and 565d.
 なお各ディープNウェルの数や設けられる領域等は限定されない。例えば、図4Aと同様に、第1~第4のNMOSトランジスタ570a~570dを覆う1つのディープNウェルが設けられてもよい。また各NMOSトランジスタの各々に対応するディープNウェルが個々に設けられてもよい。 It should be noted that the number of deep N wells and the area provided are not limited. For example, as in FIG. 4A, one deep N well covering the first to fourth NMOS transistors 570a to 570d may be provided. Further, a deep N well corresponding to each NMOS transistor may be provided individually.
 安定化素子部530は、第1の配線部533a及び第2の配線部533bを有する。図5Aに示すように、第1の配線部533aは、第1のNMOSトランジスタ570aのドレインと第1のディープNウェル523aとを接続する配線である。また第1の配線部533aは、第3のNMOSトランジスタ570cのソースと第1のディープNウェル523aとを接続する配線でもある。 The stabilizing element portion 530 includes a first wiring portion 533a and a second wiring portion 533b. As shown in FIG. 5A, the first wiring portion 533a is a wiring that connects the drain of the first NMOS transistor 570a and the first deep N well 523a. The first wiring portion 533a is also a wiring that connects the source of the third NMOS transistor 570c and the first deep N well 523a.
 第2の配線部533bは、第2のNMOSトランジスタ570bのドレインと第2のディープNウェル523bとを接続する配線である。また第2の配線部533bは、第4のNMOSトランジスタ570dのソースと第2のディープNウェル523bとを接続する配線でもある。 The second wiring portion 533b is a wiring that connects the drain of the second NMOS transistor 570b and the second deep N well 523b. The second wiring portion 533b is also a wiring that connects the source of the fourth NMOS transistor 570d and the second deep N well 523b.
 このように図5Aでは、安定化素子部530として機能する第1及び第2の配線部533a及び533bにより、第1及び第2のディープウェル523a及び523bの電位が定められる。以下、各ディープNウェルと、その上に設けられたPウェルとの電位を比較する。 Thus, in FIG. 5A, the potentials of the first and second deep wells 523a and 523b are determined by the first and second wiring portions 533a and 533b functioning as the stabilization element portion 530. Hereinafter, the potentials of each deep N well and the P well provided thereon are compared.
 第1のNMOSトランジスタ570aにおいて、ゲート、ソース、及びドレインのGND50に対する電位をそれぞれ、ゲート電位Vg1、ソース電位Vs1、及びドレイン電位Vd1と記載する。なお、第2~第4のNMOSトランジスタ570b~570dについても同様に記載する。 In the first NMOS transistor 570a, the gate, source, and drain potentials with respect to the GND 50 are referred to as a gate potential Vg1, a source potential Vs1, and a drain potential Vd1, respectively. The same applies to the second to fourth NMOS transistors 570b to 570d.
 図5Aに示すように、第1のPウェル521aの電位は、第1のNMOSトランジスタ570aのソース電位Vs1と同じであり、GND50と同電位である。一方、第1のディープNウェル523aの電位は、第1のNMOSトランジスタ570aのドレイン電位Vd1(ゲート電位Vg1)と同電位である。従って、第1のディープNウェル523aの電位は、第1のPウェル521aの電位より大きい値で保持される。 As shown in FIG. 5A, the potential of the first P well 521a is the same as the source potential Vs1 of the first NMOS transistor 570a and the same potential as the GND 50. On the other hand, the potential of the first deep N well 523a is the same as the drain potential Vd1 (gate potential Vg1) of the first NMOS transistor 570a. Accordingly, the potential of the first deep N well 523a is held at a value larger than the potential of the first P well 521a.
 第3のPウェル521cの電位は、第3のNMOSトランジスタ570cのソース電位Vs3と同じである。また、第1のディープNウェル523aの電位も、第3のNMOSトランジスタ570cのソース電位Vs3と同電位である。すなわち、第1のディープNウェル523aの電位は、第3のPウェル521cの電位と同じ値で保持される。 The potential of the third P well 521c is the same as the source potential Vs3 of the third NMOS transistor 570c. The potential of the first deep N well 523a is also the same as the source potential Vs3 of the third NMOS transistor 570c. That is, the potential of the first deep N well 523a is held at the same value as the potential of the third P well 521c.
 第2のPウェル521bの電位は、第2のNMOSトランジスタ570bのソース電位Vs2と同じである。一方、第2のディープNウェル523bの電位は、第2のNMOSトランジスタ570bのドレイン電位Vd2と同電位である。従って、第2のディープNウェル523bの電位は、第2のPウェル521bの電位より大きい値で保持される。 The potential of the second P well 521b is the same as the source potential Vs2 of the second NMOS transistor 570b. On the other hand, the potential of the second deep N well 523b is the same as the drain potential Vd2 of the second NMOS transistor 570b. Therefore, the potential of the second deep N well 523b is held at a value larger than the potential of the second P well 521b.
 第4のPウェル521dの電位は、第4のNMOSトランジスタ570dのソース電位Vs4と同じである。また、第2のディープNウェル523bの電位も、第4のNMOSトランジスタ570dのソース電位Vs4と同電位となる。すなわち、第2のディープNウェル523bの電位は、第4のPウェル521dの電位と同じ値で保持される。 The potential of the fourth P well 521d is the same as the source potential Vs4 of the fourth NMOS transistor 570d. The potential of the second deep N well 523b is also the same as the source potential Vs4 of the fourth NMOS transistor 570d. That is, the potential of the second deep N well 523b is held at the same value as the potential of the fourth P well 521d.
 従って安定化素子部530により、各ディープNウェルの電位は、各ディープNウェルの領域に設けられたPウェルの電位以上の値で保持される。これにより、第1~第4のPN接合ダイオード565a~565dに対して順方向にバイアス(電圧)がかかることが防止される。これにより、各NMOSトランジスタを適正に動作させることが可能である。 Therefore, the stabilization element portion 530 holds the potential of each deep N well at a value equal to or higher than the potential of the P well provided in each deep N well region. This prevents a bias (voltage) from being applied in the forward direction to the first to fourth PN junction diodes 565a to 565d. Thereby, each NMOS transistor can be appropriately operated.
 このように安定化素子部530により、1段目(第1及び第2のNMOSトランジスタ570a及び570b)のドレイン側の電位が、各ディープNウェルに接続される。1段目のドレイン側は、1段目のソース側と比べ、左右の電位差が小さく安定した電圧源として機能する。 As described above, the stabilization element portion 530 connects the drain side potential of the first stage (first and second NMOS transistors 570a and 570b) to each deep N well. The drain side of the first stage functions as a stable voltage source with a small left-right potential difference compared to the source side of the first stage.
 また2段目(第3及び第4のNMOSトランジスタ570c及び570d)のソース側の電位が、各ディープNウェルに接続される。2段目のソース側は、2段目のドレイン側(電流回路側)と比べ、電源40の電圧変動に対して安定な電圧源として機能する。これにより安定化素子部530は、各ディープNウェルの電位を十分に安定化させることが可能である。 Also, the potential on the source side of the second stage (third and fourth NMOS transistors 570c and 570d) is connected to each deep N well. The source side of the second stage functions as a voltage source that is stable against voltage fluctuations of the power supply 40 as compared with the drain side (current circuit side) of the second stage. Thereby, the stabilization element part 530 can fully stabilize the potential of each deep N well.
 この構成では、各NMOSトランジスタの電位を利用して、第1及び第2のディープNウェル523a及び523bの電位が定められる。すなわち、この構成ではNMOSトランジスタ自身を安定化素子部530の一部として機能させている。例えば、第3のNMOSトランジスタ570cは、電源40と第1のディープNウェル523aとの間に配置される第1の素子部31としても機能し、また第1のNMOSトランジスタ570aは、GND50と第1のディープNウェル523aとの間に配置される第2の素子部32として機能する。同様に第4及び第2のNMOSトランジスタ570b及び570dは、第2のディープNウェル523bから見て第1及び第2の素子部として機能する。 In this configuration, the potentials of the first and second deep N wells 523a and 523b are determined using the potential of each NMOS transistor. That is, in this configuration, the NMOS transistor itself functions as a part of the stabilizing element unit 530. For example, the third NMOS transistor 570c also functions as the first element unit 31 disposed between the power supply 40 and the first deep N well 523a, and the first NMOS transistor 570a includes the GND 50 and the first deep NMOS transistor 570a. It functions as the second element portion 32 arranged between the deep N well 523a. Similarly, the fourth and second NMOS transistors 570b and 570d function as first and second element portions when viewed from the second deep N well 523b.
 なお、第1及び第2の配線部533a及び533bが別の電位に接続されてもよい。例えば、2段目のゲート電位(第3のNMOSトランジスタのゲート電位Vg3)が電源40の電圧変動等に対して安定な場合、各配線部が2段目のゲート電位に接続される回路が構成されてもよい。 Note that the first and second wiring portions 533a and 533b may be connected to different potentials. For example, when the second-stage gate potential (gate potential Vg3 of the third NMOS transistor) is stable against voltage fluctuations of the power supply 40, etc., a circuit is configured in which each wiring portion is connected to the second-stage gate potential. May be.
 また、1段目及び2段目に加えて3段目のNMOSトランジスタ等が接続されてもよい。この場合、各ディープNウェルの電位が、各NMOSトランジスタが形成されるPウェルの電位以上の電位になるように、第1及び第2の配線部533a及び533b(安定化素子部530)が適宜設けられてよい。 In addition to the first and second stages, a third stage NMOS transistor or the like may be connected. In this case, the first and second wiring portions 533a and 533b (stabilizing element portion 530) are appropriately set so that the potential of each deep N well is equal to or higher than the potential of the P well in which each NMOS transistor is formed. May be provided.
 図5Bに示すコンポジットカスコード接続された電子回路600でも同様に、第1及び第2の配線部633a及び633bが設けられる。第1のディープNウェル623aは、第1の配線部633bにより、第1のNMOSトランジスタ670aのドレイン(第3のNMOSトランジスタ670cのソース)に接続される。第2のディープNウェル623bは、第2の配線部633bにより、第2のNMOSトランジスタ570bのドレイン(第4のNMOSトランジスタ570dのソース)に接続される。これにより第1及び第2のディープNウェル623a及び623bの電位を十分に安定化させることが可能となり、NMOSトランジスタの回路(MOS回路部620)を安定して動作させることが可能となる。 Similarly, the composite cascode-connected electronic circuit 600 shown in FIG. 5B is also provided with first and second wiring portions 633a and 633b. The first deep N well 623a is connected to the drain of the first NMOS transistor 670a (the source of the third NMOS transistor 670c) by the first wiring portion 633b. The second deep N well 623b is connected to the drain of the second NMOS transistor 570b (the source of the fourth NMOS transistor 570d) by the second wiring portion 633b. As a result, the potentials of the first and second deep N wells 623a and 623b can be sufficiently stabilized, and the NMOS transistor circuit (MOS circuit unit 620) can be stably operated.
 図6は、図5Bに示す電子回路をより具体的に示した回路図である。図6に示す電子回路700は、定電流回路781、電流コピー回路782、及びコピー配線783を有する。図6では、定電流回路781で生成された電流をコピー配線783を介して電流コピー回路782にコピーするカレントミラー回路が構成される。 FIG. 6 is a circuit diagram more specifically showing the electronic circuit shown in FIG. 5B. The electronic circuit 700 illustrated in FIG. 6 includes a constant current circuit 781, a current copy circuit 782, and a copy wiring 783. In FIG. 6, a current mirror circuit for copying the current generated by the constant current circuit 781 to the current copy circuit 782 via the copy wiring 783 is configured.
 定電流回路781は、図5Bに示す電子回路600と略同様の構成であり、MOS回路部720、電流回路部780、及び安定化素子部730を有する。電流回路部780は、4つのPMOSトランジスタ784により構成される。MOS回路部720は、コンポジットカスコード接続された第1~第4のNMOSトランジスタ770a~770dを含む。第3のNMOSトランジスタ770cのゲート及びドレインを接続する配線上には、第1のノード785aが設けられる。 The constant current circuit 781 has substantially the same configuration as the electronic circuit 600 shown in FIG. 5B, and includes a MOS circuit portion 720, a current circuit portion 780, and a stabilizing element portion 730. The current circuit unit 780 includes four PMOS transistors 784. The MOS circuit unit 720 includes first to fourth NMOS transistors 770a to 770d that are composite-cascode-connected. A first node 785a is provided over the wiring connecting the gate and drain of the third NMOS transistor 770c.
 安定化素子部730は、第1の配線部733a及び第2の配線部733bを有する。第1の配線部733aは、第1のNMOSトランジスタ770aのドレイン(第3のNMOSトランジスタ770cのソース)と第1のディープNウェル723aとを接続する。第2の配線部733bは、第2のNMOSトランジスタ770bのドレイン(第4のNMOSトランジスタ770dのソース)と第2のディープNウェル723bとを接続する。これにより第1及び第2のディープNウェル723a及び723bの電位が安定化される。 The stabilizing element portion 730 includes a first wiring portion 733a and a second wiring portion 733b. The first wiring portion 733a connects the drain of the first NMOS transistor 770a (the source of the third NMOS transistor 770c) and the first deep N well 723a. The second wiring portion 733b connects the drain of the second NMOS transistor 770b (the source of the fourth NMOS transistor 770d) and the second deep N well 723b. As a result, the potentials of the first and second deep N wells 723a and 723b are stabilized.
 電流コピー回路782は、第5及び第6のNMOSトランジスタ786及び787を有する。各NMOSトランジスタは、ディープNウェル788が形成された領域に設けられる。第5のNMOSトランジスタ786のソースはGND50に接続され、ドレインは第6のNMOSトランジスタ787のソースに接続される。第6のNMOSトランジスタ787のドレインは、図示しない負荷回路等に適宜接続される。各NMOSトランジスタのゲートは互いに接続され、ゲートを接続する配線上には第2のノード785bが設けられる。 The current copy circuit 782 includes fifth and sixth NMOS transistors 786 and 787. Each NMOS transistor is provided in a region where the deep N well 788 is formed. The source of the fifth NMOS transistor 786 is connected to the GND 50, and the drain is connected to the source of the sixth NMOS transistor 787. The drain of the sixth NMOS transistor 787 is appropriately connected to a load circuit or the like (not shown). The gates of the NMOS transistors are connected to each other, and a second node 785b is provided on the wiring connecting the gates.
 また電流コピー回路782では、ディープNウェル788と、第5のNMOSトランジスタ786のドレイン(第6のNMOSトランジスタ787のソース)とが配線部789(安定化素子部730)を介して接続される。従って、ディープNウェル788の電位は、第5及び第6のNMOSトランジスタ786及び787により安定化される。このように電流コピー回路782に対しても、本技術は適用可能である。 In the current copy circuit 782, the deep N well 788 and the drain of the fifth NMOS transistor 786 (source of the sixth NMOS transistor 787) are connected via the wiring portion 789 (stabilizing element portion 730). Accordingly, the potential of the deep N well 788 is stabilized by the fifth and sixth NMOS transistors 786 and 787. As described above, the present technology can also be applied to the current copy circuit 782.
 コピー配線783は、第1及び第2のノード785a及び785bを接続する。これにより定電流回路781を流れる電流が、電流コピー回路782にコピーされる。コピーされた電流は、例えば第6のNMOSトランジスタ787に接続された負荷回路等に供給される。なおこの電子回路700では、電流コピー回路782に設けられた2つのPMOSトランジスタ784により、電流回路部780の電流がコピーされる。 The copy wiring 783 connects the first and second nodes 785a and 785b. As a result, the current flowing through the constant current circuit 781 is copied to the current copy circuit 782. The copied current is supplied to, for example, a load circuit connected to the sixth NMOS transistor 787. In this electronic circuit 700, the current of the current circuit section 780 is copied by two PMOS transistors 784 provided in the current copy circuit 782.
 このように、図6に示す電子回路700では、電流のコピー元である定電流回路781と同様に、電流のコピー先である電流コピー回路782のディープNウェル788の電位が安定化される。これにより、カレントミラー回路等を用いて高い精度で電流をコピーすることが可能となる。なお電流コピー回路782に設けられる配線部789(安定化素子部)の構成として、他の構成が用いられてもよい。 As described above, in the electronic circuit 700 shown in FIG. 6, the potential of the deep N well 788 of the current copy circuit 782 that is the current copy destination is stabilized, similarly to the constant current circuit 781 that is the current copy source. This makes it possible to copy current with high accuracy using a current mirror circuit or the like. Note that other configurations may be used as the configuration of the wiring portion 789 (stabilization element portion) provided in the current copy circuit 782.
 以上、本実施形態に係る電子回路では、電源40とMOS回路部のディープNウェルとの間に配置された第1の素子部31を有する安定化素子部により、ディープNウェルの電位を所望の電位に固定する。これにより例えばディープNウェルとPウェルとの間の寄生ダイオードに順方向の電位がかかって不要な電流が流れてしまうことを防止することが可能である。ディープウェルの電位を直接、電源40やGND50に接続しないことによって、電源ノイズやGNDノイズがあってもディープウェル電位の揺らぎを小さくすることができ、ノイズ耐性を向上させることが出来る。 As described above, in the electronic circuit according to the present embodiment, the potential of the deep N well is set to a desired level by the stabilizing element unit having the first element unit 31 disposed between the power supply 40 and the deep N well of the MOS circuit unit. Fix to potential. As a result, for example, it is possible to prevent an unnecessary current from flowing due to a forward potential applied to the parasitic diode between the deep N well and the P well. By not connecting the potential of the deep well directly to the power supply 40 or the GND 50, fluctuations in the deep well potential can be reduced even if there is power supply noise or GND noise, and noise resistance can be improved.
 従来、ディープウェルを用いて、MOSトランジスタ等の素子が形成されるウェルの電位を基板の電位とは異なる電位に設定するウェル分離の手法が知られている。ディープウェルの電位を定めるために、電子回路の電源電圧にディープウェルを直接接続する方法がある。こうした構成では、電源電圧の変動に応じてディープウェルの電位が大きく変動する可能性がある。 Conventionally, a well separation technique is known in which a deep well is used to set the potential of a well in which an element such as a MOS transistor is formed to a potential different from the potential of the substrate. In order to determine the potential of the deep well, there is a method of directly connecting the deep well to the power supply voltage of the electronic circuit. In such a configuration, the potential of the deep well may fluctuate greatly according to the fluctuation of the power supply voltage.
 例えば、電子回路の電源として、VBAT(V battery)システムを用いる場合がある。VBATシステムは、バッテリーの電圧が低下した時にスーパーキャパシタ等に一時的に電源を切り替えて回路動作を維持するシステムである。VBATシステムにより、電源が切り替わる際には1V以上の電源電圧の変動が生じる可能性があり、電源に接続されたディープウェルの電位も大きく変化する可能性がある。 For example, a VBAT (V battery) system may be used as a power source for electronic circuits. The VBAT system is a system that maintains the circuit operation by temporarily switching the power source to a super capacitor or the like when the voltage of the battery drops. When the power supply is switched by the VBAT system, the power supply voltage may vary by 1 V or more, and the potential of the deep well connected to the power supply may change greatly.
 ディープウェルの電位が変化すると、電子回路の動作等が不安定になる可能性が生じる。例えば、素子が形成されるウェルとディープウェルとの間にはダイオード接合部(電気容量C)が形成される。このダイオード接合部にかかる電圧V(ウェルとディープウェルとの電位差)が変化した場合、ダイオード接合部には以下に示すAC電流iが流れる。 When the potential of the deep well changes, the operation of the electronic circuit may become unstable. For example, a diode junction (electric capacitance C) is formed between a well in which an element is formed and a deep well. When the voltage V (potential difference between the well and deep well) applied to the diode junction changes, an AC current i shown below flows through the diode junction.
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000006
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 ダイオード接合部の電気容量を200fF、電圧変化の傾きを1V/100μsとすると、ダイオード接合部には、電圧Vの変化にともない2nAのAC電流が流れることになる。従って、ディープウェルの電位が大きく変化した場合、ディープウェルとウェルとの間には、数ナノアンペアの不要な電流が流れることになる。 If the capacitance of the diode junction is 200 fF and the slope of the voltage change is 1 V / 100 μs, a 2 nA AC current flows through the diode junction as the voltage V changes. Therefore, when the potential of the deep well changes greatly, an unnecessary current of several nanoamperes flows between the deep well and the well.
 例えば、サブスレッショルド領域で動作するMOSトランジスタ等は、ナノアンペアオーダーの微小電流により駆動される。こうした低消費電力な電子回路では、ディープウェルの電位変化に伴う不要な電流により、電子回路の動作不良や誤動作等の問題が生じる恐れがある。 For example, a MOS transistor or the like that operates in the subthreshold region is driven by a minute current on the order of nanoamperes. In such a low power consumption electronic circuit, there is a possibility that problems such as malfunction or malfunction of the electronic circuit may occur due to an unnecessary current accompanying the potential change of the deep well.
 本実施形態に係る電子回路では、電源40とディープNウェルとが安定化素子部(第1の素子部31)を介して接続される。従って安定化素子部により、ディープNウェルの電位は、電源電圧の変動に対して大きく変化しないように十分に安定化される。これにより、電子回路の電源電圧変動耐性(ノイズ耐性)が向上され、デバイスの動作精度を向上することが可能となる。 In the electronic circuit according to the present embodiment, the power source 40 and the deep N well are connected via the stabilizing element part (first element part 31). Therefore, the potential of the deep N well is sufficiently stabilized by the stabilizing element portion so as not to change greatly with respect to the fluctuation of the power supply voltage. Thereby, the power supply voltage fluctuation tolerance (noise tolerance) of the electronic circuit is improved, and the operation accuracy of the device can be improved.
 また本実施形態に係る電子回路では、GND50とディープNウェルとが安定化素子部(第2の素子部32)を介して接続される。従って安定化素子部により、例えばGND50を基準とした安定な電位が、ディープNウェルに供給される。このように、第1及び第2の素子部31及び32を用いることで、安定化素子部はディープNウェルの電位を十分安定化することが可能となる。 Further, in the electronic circuit according to the present embodiment, the GND 50 and the deep N well are connected via the stabilizing element part (second element part 32). Therefore, for example, a stable potential with reference to GND 50 is supplied to the deep N well by the stabilizing element unit. As described above, by using the first and second element portions 31 and 32, the stabilizing element portion can sufficiently stabilize the potential of the deep N well.
 例えば、低電力LSI(Large-Scale integration)回路や低電力マイコン等では、バッテリー駆動時間を長くするために低い電圧(1.8V仕様等)に対応した広い電源電圧範囲(1.65V-5.5V)を有するVBATシステム等が用いられる。このような場合でも、安定化素子部を介してディープNウェルの電位を保持することで、例えば1.65Vから5.5Vまでの電源電圧変化に対応することが可能となる。この結果、低電力LSI回路等の低消費電力なデバイスのノイズ耐性を向上することが可能となる。 For example, in a low-power LSI (Large-Scale integration) circuit, a low-power microcomputer, etc., a wide power supply voltage range (1.65V-5. A VBAT system having 5V) is used. Even in such a case, by holding the potential of the deep N well via the stabilizing element portion, it is possible to cope with a power supply voltage change from 1.65 V to 5.5 V, for example. As a result, it is possible to improve noise resistance of a low power consumption device such as a low power LSI circuit.
 また時計・カレンダー機能等を有するRTC(Real-Time Clock)回路等は、スタンバイ状態でも電源40に接続される回路である。このような回路においても、電源電圧変動耐性が向上されるで、電源の切り替えに伴う誤作動の発生等を十分に防止することが可能となる。この結果、RTC回路を正確に動作させることが可能となる。 Further, an RTC (Real-Time Clock) circuit having a clock / calendar function or the like is a circuit connected to the power supply 40 even in a standby state. Even in such a circuit, the tolerance to fluctuations in the power supply voltage is improved, and it is possible to sufficiently prevent the occurrence of malfunctions associated with the switching of the power supply. As a result, the RTC circuit can be accurately operated.
 またサブスレッショルド領域で動作する電流回路や電圧回路等のアナログ回路を構成するNMOSトランジスタでは、素子サイズ(ゲート幅等)を大きくとる場合がある。例えば図5Bに示すようなコンポジットカスコード接続されるNMOSトランジスタでは、2段目(第3及び第4のNMOSトランジスタ670c及び670d)のアスペクト比を大きく取るために、素子サイズが大きく設定される。このような素子では、PウェルとディープNウェルとの間の接合面積が大きくなり、接合部の電気容量Cが大きくなる。 In addition, an NMOS transistor constituting an analog circuit such as a current circuit or a voltage circuit that operates in a subthreshold region may have a large element size (such as a gate width). For example, in a composite cascode-connected NMOS transistor as shown in FIG. 5B, the element size is set large in order to increase the aspect ratio of the second stage (the third and fourth NMOS transistors 670c and 670d). In such an element, the junction area between the P well and the deep N well is increased, and the capacitance C of the junction is increased.
 このような電気容量Cの大きいNMOSトランジスタに対しても、ディープNウェルの電位を安定に保つことで、ディープNウェル及びPウェルの間に不要な電流(ACノイズ等)が流れることを十分に防止することが可能となる。この結果、サブスレッショルド領域で動作するアナログ回路等のノイズ耐性を大幅に向上することが可能となる。 Even for such an NMOS transistor having a large capacitance C, it is sufficient that an unnecessary current (such as AC noise) flows between the deep N well and the P well by keeping the potential of the deep N well stable. It becomes possible to prevent. As a result, it is possible to significantly improve noise resistance of an analog circuit or the like that operates in the subthreshold region.
 また本実施形態では、ディープNウェルが、NMOSトランジスタのゲート、ソース、及びドレインのいずれかに接続される。これによりディープNウェルの電位として、例えば電源電圧に対して変動の小さいゲート電位、ソース電位、及びドレイン電位等を適宜用いることが可能となる。このように、NMOSトランジスタの各電位を利用することで、容易にデバイスのノイズ耐性を向上させることが可能となる。 In this embodiment, the deep N well is connected to one of the gate, source, and drain of the NMOS transistor. As a result, as the potential of the deep N well, for example, a gate potential, a source potential, a drain potential, and the like that are small in variation with respect to the power supply voltage can be appropriately used. As described above, by using each potential of the NMOS transistor, it is possible to easily improve noise resistance of the device.
 <第2の実施形態>
 本技術に係る第2の実施形態の電子回路について説明する。これ以降の説明では、上記の実施形態で説明した電子回路100~700における構成及び作用と同様な部分については、その説明を省略又は簡略化する。
<Second Embodiment>
An electronic circuit according to a second embodiment of the present technology will be described. In the following description, the description of the same parts as those of the electronic circuits 100 to 700 described in the above embodiment will be omitted or simplified.
 図7は、第2の実施形態に係る電子回路の構成例を示す回路図である。図7Aは、カスコード接続されたNMOSトランジスタを含む電子回路800の回路図である。図7Bは、コンポジットカスコード接続されたNMOSトランジスタを含む電子回路900の回路図である。 FIG. 7 is a circuit diagram showing a configuration example of an electronic circuit according to the second embodiment. FIG. 7A is a circuit diagram of an electronic circuit 800 including cascode-connected NMOS transistors. FIG. 7B is a circuit diagram of an electronic circuit 900 that includes a composite cascode-connected NMOS transistor.
 図7Aに示す電子回路800は、MOS回路部820、電流回路部880、及び安定化素子部830を有する。MOS回路部820は、図4Aに示すMOS回路部320と略同様の構成を有し、カスコード接続された第1~第4のNMOSトランジスタ870a~870dを含む。また各トランジスタは、ディープNウェル823上に設けられる。 7A has a MOS circuit portion 820, a current circuit portion 880, and a stabilizing element portion 830. MOS circuit portion 820 has substantially the same structure as MOS circuit portion 320 shown in FIG. 4A, and includes first to fourth NMOS transistors 870a to 870d that are cascode-connected. Each transistor is provided on a deep N well 823.
 第1~第4のNMOSトランジスタ870a~870dは、互いに分離された第1~第4のPウェル821a~821dにそれぞれ形成される。本実施形態では、第1~第4のPウェル821a~821dは、ディープNウェルによりP型基板と電気的に分離される複数のPウェルに相当する。また第1~第4のNMOSトランジスタ870a~870dは、複数のPウェルの各々に形成された複数のNMOSトランジスタに相当する。 The first to fourth NMOS transistors 870a to 870d are respectively formed in the first to fourth P wells 821a to 821d that are separated from each other. In the present embodiment, the first to fourth P wells 821a to 821d correspond to a plurality of P wells that are electrically separated from the P-type substrate by the deep N well. The first to fourth NMOS transistors 870a to 870d correspond to a plurality of NMOS transistors formed in each of the plurality of P wells.
 図7Aに示す回路図において、第1のNMOSトランジスタ870a(第3のNMOSトランジスタ870c)の下に位置するディープNウェル823の電位は、第1のノード881aの電位に相当する。また第2のNMOSトランジスタ870b(第4のNMOSトランジスタ870d)の下に位置するディープNウェル823の電位は、第2のノード881bの電位に相当する。第1及び第2のノード881a及び881bは1つのディープNウェル823上に設けられ、互いに略等しい電位となる。 In the circuit diagram shown in FIG. 7A, the potential of the deep N well 823 located under the first NMOS transistor 870a (third NMOS transistor 870c) corresponds to the potential of the first node 881a. The potential of the deep N well 823 located below the second NMOS transistor 870b (fourth NMOS transistor 870d) corresponds to the potential of the second node 881b. The first and second nodes 881a and 881b are provided on one deep N well 823 and have substantially the same potential.
 安定化素子部830は、第1及び第2の配線部833a及び833bを有する。第1の配線部833aは、第1のNMOSトランジスタ870aのドレインと、第1のノード881aとの間に設けられる。また第2の配線部833bは、第1のNMOSトランジスタ870aのドレインと、第2のノード881bとの間に設けられる。 The stabilizing element portion 830 includes first and second wiring portions 833a and 833b. The first wiring portion 833a is provided between the drain of the first NMOS transistor 870a and the first node 881a. The second wiring portion 833b is provided between the drain of the first NMOS transistor 870a and the second node 881b.
 ディープNウェル823は、第1及び第2の配線部833a及び833bにより、第1のNMOSトランジスタ870aのドレインに接続される。従ってディープNウェル823の電位は、第1のNMOSトランジスタ870aのドレイン電位Vd1と同電位となる。 The deep N well 823 is connected to the drain of the first NMOS transistor 870a by the first and second wiring portions 833a and 833b. Therefore, the potential of the deep N well 823 is the same as the drain potential Vd1 of the first NMOS transistor 870a.
 また図7Aに示すように、第1のNMOSトランジスタ870aは、ドレインとゲートが接続された構成を有する。このため、第1のNMOSトランジスタ870aのドレインに接続することは、そのゲートに接続することに相当する。従ってディープNウェル823は、第1のNMOSトランジスタ870aのゲートに接続され、ディープNウェル823の電位は第1のNMOSトランジスタ870aのゲート電位Vg1と同電位になるとも言える。 As shown in FIG. 7A, the first NMOS transistor 870a has a configuration in which a drain and a gate are connected. Therefore, connecting to the drain of the first NMOS transistor 870a corresponds to connecting to the gate thereof. Therefore, it can be said that the deep N well 823 is connected to the gate of the first NMOS transistor 870a, and the potential of the deep N well 823 is the same as the gate potential Vg1 of the first NMOS transistor 870a.
 このようにディープNウェル823は、4つのNMOSトランジスタのうち第1のNMOSトランジスタ870aのドレイン(ゲート)に接続され、ドレイン電位Vd1(ゲート電位Vd2)と同電位となる。図7Aに示す例において、第1のNMOSトランジスタ870aは、複数のNMOSトランジスタの中の所定のNMOSトランジスタに相当する。 Thus, the deep N well 823 is connected to the drain (gate) of the first NMOS transistor 870a among the four NMOS transistors, and has the same potential as the drain potential Vd1 (gate potential Vd2). In the example shown in FIG. 7A, the first NMOS transistor 870a corresponds to a predetermined NMOS transistor among the plurality of NMOS transistors.
 なお、第1のNMOSトランジスタ870aのドレインは、第3のNMOSトランジスタ870cのソースに接続される。従ってディープNウェル823は、第3のNMOSトランジスタ870cのソースに接続され、ディープNウェル823の電位は第3のNMOSトランジスタ870cのソース電位Vs3と同電位になるとも言える。すなわち、図7Aに示す例において、第3のNMOSトランジスタ870cは、所定のNMOSトランジスタとして機能するとも言える。 Note that the drain of the first NMOS transistor 870a is connected to the source of the third NMOS transistor 870c. Accordingly, it can be said that the deep N well 823 is connected to the source of the third NMOS transistor 870c, and the potential of the deep N well 823 is the same as the source potential Vs3 of the third NMOS transistor 870c. That is, in the example shown in FIG. 7A, it can be said that the third NMOS transistor 870c functions as a predetermined NMOS transistor.
 MOS回路部820は、例えば第1及び第3のNMOSトランジスタ870a及び870cの間の電位と、第2及び第4のNMOSトランジスタ870b及び870dの間の電位とが略同電位となるように動作する。従って、ディープNウェル823の電位は、各NMOSトランジスタが設けられるPウェルの電位以上の電位となる。これにより各NMOSトランジスタを適正に動作させることが可能となる。 The MOS circuit unit 820 operates so that, for example, the potential between the first and third NMOS transistors 870a and 870c and the potential between the second and fourth NMOS transistors 870b and 870d are substantially the same potential. . Therefore, the potential of the deep N well 823 is equal to or higher than the potential of the P well in which each NMOS transistor is provided. As a result, each NMOS transistor can be properly operated.
 この構成では、第3のNMOSトランジスタ870cは第1の素子部31として機能し、第1のNMOSトランジスタ870aは第2の素子部32として機能する。これにより、電源電圧の変動等に対してディープNウェル823の電位が大きく変化することを十分に防止することが可能となる。この結果、デバイスのノイズ耐性を向上させることが可能となる。 In this configuration, the third NMOS transistor 870 c functions as the first element unit 31, and the first NMOS transistor 870 a functions as the second element unit 32. Thereby, it is possible to sufficiently prevent the potential of the deep N well 823 from changing greatly with respect to fluctuations in the power supply voltage and the like. As a result, it is possible to improve noise resistance of the device.
 また1つのディープNウェル823に4つのNMOSトランジスタを設けることで、例えばペアとなるNMOSトランジスタ(例えば第1及び第2のNMOSトランジスタ870a及び870bのペア)に同じディープNウェル823の電位を設定することが可能となる。これにより回路動作を容易に安定化することが可能となる。また例えば複数のディープNウェルを形成する必要がなくなるため、複数のディープNウェルを分離するためのスペース等を確保する必要がなくなる。この結果、素子のレイアウト面積等を小さくすることが可能となり、小型のデバイスを構成することが可能となる。 Further, by providing four NMOS transistors in one deep N well 823, for example, the same potential of the deep N well 823 is set in a pair of NMOS transistors (for example, a pair of the first and second NMOS transistors 870a and 870b). It becomes possible. As a result, the circuit operation can be easily stabilized. Further, for example, since it is not necessary to form a plurality of deep N wells, it is not necessary to secure a space for separating the plurality of deep N wells. As a result, the layout area of the elements can be reduced, and a small device can be configured.
 図7Bに示すコンポジットカスコード接続された電子回路900でも同様に、第1及び第2の配線部933a及び933b(安定化素子部930)が設けられる。ディープNウェル923は、第1及び第2の配線部933a及び933bにより、第1のNMOSトランジスタ970aのドレイン(第3のNMOSトランジスタ970cのソース)に接続される。これによりディープNウェル923の電位を十分に安定化させることが可能となり、NMOSトランジスタの回路(MOS回路部920)を安定して動作させることが可能となる。 Similarly, the composite cascode-connected electronic circuit 900 shown in FIG. 7B is also provided with first and second wiring portions 933a and 933b (stabilizing element portion 930). The deep N well 923 is connected to the drain of the first NMOS transistor 970a (the source of the third NMOS transistor 970c) by the first and second wiring portions 933a and 933b. As a result, the potential of the deep N well 923 can be sufficiently stabilized, and the NMOS transistor circuit (MOS circuit portion 920) can be stably operated.
 <第3の実施形態>
 図8は、第3の実施形態に係る電子回路の構成例を示す回路図である。図8Aは、カスコード接続されたNMOSトランジスタを含む電子回路1000の回路図である。図8Bは、コンポジットカスコード接続されたNMOSトランジスタを含む電子回路1100の回路図である。
<Third Embodiment>
FIG. 8 is a circuit diagram illustrating a configuration example of an electronic circuit according to the third embodiment. FIG. 8A is a circuit diagram of an electronic circuit 1000 that includes cascode-connected NMOS transistors. FIG. 8B is a circuit diagram of an electronic circuit 1100 that includes a composite cascode-connected NMOS transistor.
 図8Aに示す電子回路1000は、図4Aに示す電子回路300と略同様のMOS回路部1020を有する。電子回路1000では、安定化素子部1030としてBGR(Band Gap Reference)回路1090が用いられる。 The electronic circuit 1000 shown in FIG. 8A has a MOS circuit portion 1020 that is substantially the same as the electronic circuit 300 shown in FIG. 4A. In the electronic circuit 1000, a BGR (Band Gap Reference) circuit 1090 is used as the stabilizing element unit 1030.
 BGR回路1090は、例えばシリコンのバンドギャップ電圧(~1.2V)等の基準電圧を生成する回路である。BGR回路1090により生成された基準電圧は、ディープNウェル1023に印加される。BGR回路1090の構成等は限定されず、例えば電子機器等に搭載される一般的な基準電圧生成回路等が適宜用いられる。本実施形態では、BGR回路1090により生成される基準電圧は、所定の電圧に相当する。 The BGR circuit 1090 is a circuit that generates a reference voltage such as a bandgap voltage (˜1.2 V) of silicon, for example. The reference voltage generated by the BGR circuit 1090 is applied to the deep N well 1023. The configuration and the like of the BGR circuit 1090 are not limited, and for example, a general reference voltage generation circuit mounted on an electronic device or the like is used as appropriate. In the present embodiment, the reference voltage generated by the BGR circuit 1090 corresponds to a predetermined voltage.
 図8Bに示す電子回路1100では、図4Bに示す電子回路400と略同様のMOS回路部1120を有する。電子回路1100では、安定化素子部1130としてBGR回路1190が用いられる。BGR回路1190により生成された基準電圧は、ディープNウェル1123に印加される。このようにコンポジットカスコード接続された電子回路1100でも、本技術は適用可能である。 The electronic circuit 1100 shown in FIG. 8B has a MOS circuit portion 1120 substantially the same as the electronic circuit 400 shown in FIG. 4B. In the electronic circuit 1100, a BGR circuit 1190 is used as the stabilizing element unit 1130. The reference voltage generated by the BGR circuit 1190 is applied to the deep N well 1123. The present technology can also be applied to the electronic circuit 1100 connected in composite cascode as described above.
 図9は、図8Bに示す電子回路1100について定電流回路に適用した時の一つの例を具体的に示した図である。図9に示す電子回路1200は、定電流回路1250及びBGR回路1290を有する。 FIG. 9 is a diagram specifically showing one example when the electronic circuit 1100 shown in FIG. 8B is applied to a constant current circuit. An electronic circuit 1200 illustrated in FIG. 9 includes a constant current circuit 1250 and a BGR circuit 1290.
 定電流回路1250は、図8Bに示す電子回路1100と略同様の構成であり、MOS回路部1220及び電流回路部1280を有する。電流回路部1280は、2つのPMOSトランジスタ1281により構成される。MOS回路部1220は、コンポジットカスコード接続された第1~第4のNMOSトランジスタ1270a~1270bを含む。 The constant current circuit 1250 has substantially the same configuration as the electronic circuit 1100 shown in FIG. 8B and includes a MOS circuit portion 1220 and a current circuit portion 1280. The current circuit unit 1280 includes two PMOS transistors 1281. The MOS circuit unit 1220 includes first to fourth NMOS transistors 1270a to 1270b that are composite-cascode-connected.
 BGR回路1290は、PMOSトランジスタ1291、抵抗素子1292、トランジスタ1293、及び出力点1294を有する。PMOSトランジスタ1291は、電流回路部1280を流れる電流をコピーするカレントミラー回路として機能する。PMOSトランジスタ1291のソース(上側)は電源40に接続され、ドレイン(下側)は、抵抗素子1292を介してトランジスタ1293のコレクタに接続される。トランジスタ1293のエミッタはGND50に接続され、ベースはコレクタに接続される。図9ではトランジスタ1293として、NPN接合型のバイポーラトランジスタが用いられる。また、PMOSトランジスタ1291と抵抗素子1292の間には、出力点1294が設けられる。 The BGR circuit 1290 includes a PMOS transistor 1291, a resistance element 1292, a transistor 1293, and an output point 1294. The PMOS transistor 1291 functions as a current mirror circuit that copies the current flowing through the current circuit portion 1280. The source (upper side) of the PMOS transistor 1291 is connected to the power supply 40, and the drain (lower side) is connected to the collector of the transistor 1293 via the resistance element 1292. The emitter of the transistor 1293 is connected to the GND 50, and the base is connected to the collector. In FIG. 9, an NPN junction bipolar transistor is used as the transistor 1293. An output point 1294 is provided between the PMOS transistor 1291 and the resistance element 1292.
 本実施形態では、PMOSトランジスタ1291は、第1の素子部31に相当する。また抵抗素子1292及びトランジスタ1293は、第2の素子部32に相当する。 In the present embodiment, the PMOS transistor 1291 corresponds to the first element unit 31. The resistance element 1292 and the transistor 1293 correspond to the second element portion 32.
 BGR回路1290は、基準電圧として、シリコンのバンドギャップ電圧(~1.2V)を出力点1294に出力する。出力点1294は、MOS回路部1220(第1~第4のNMOSトランジスタ1270a~1270b)が設けられたディープNウェル1223に接続される。これにより、ディープNウェル1223に、基準電圧が印加される。 The BGR circuit 1290 outputs a silicon band gap voltage (˜1.2 V) to the output point 1294 as a reference voltage. The output point 1294 is connected to a deep N well 1223 provided with a MOS circuit portion 1220 (first to fourth NMOS transistors 1270a to 1270b). As a result, the reference voltage is applied to the deep N well 1223.
 基準電圧は、例えばシリコンの物性等に応じて決まる電圧であり、プロセス、電源電圧、温度等のPVT(Process Voltage Temperature)変動に対して安定な電圧である。従ってディープNウェル1223に基準電圧を印加することで、ディープNウェル1223の電位を十分に安定に保つことが可能となる。これにより、デバイスのノイズ耐性を十分に向上することが可能となる。 The reference voltage is a voltage determined according to, for example, the physical properties of silicon, and is a voltage that is stable against PVT (Process Voltage Temperature) variations such as process, power supply voltage, and temperature. Therefore, by applying the reference voltage to the deep N well 1223, the potential of the deep N well 1223 can be kept sufficiently stable. As a result, the noise immunity of the device can be sufficiently improved.
 またLSI回路等では、予め基準電圧を発生するBGR回路等を搭載している場合がある。従って、すでに組み込まれているBGR回路を用いて、ディープNウェル1223の電位を容易に安定化することが可能である。これにより、製造コストの抑制や設計作業の効率化を図ることが可能となる。 Also, LSI circuits or the like may have a BGR circuit or the like that generates a reference voltage in advance. Therefore, the potential of the deep N well 1223 can be easily stabilized using the BGR circuit already incorporated. As a result, it is possible to reduce the manufacturing cost and increase the efficiency of the design work.
 なお、BGR回路1290は図9に示す構成に限定されず、例えば基準電圧を発生可能な任意の回路がBGR回路1290として用いられてよい。また、基準電圧の値も限定されず、例えばMOS回路部1220の用途や特性に応じて基準電圧の値が適宜設定されてよい。 Note that the BGR circuit 1290 is not limited to the configuration shown in FIG. 9, and for example, any circuit capable of generating a reference voltage may be used as the BGR circuit 1290. Further, the value of the reference voltage is not limited, and for example, the value of the reference voltage may be appropriately set according to the use and characteristics of the MOS circuit unit 1220.
 <第4の実施形態>
 図10は、第4の実施形態に係る電子回路の構成例を示す回路図である。図10Aは、カスコード接続されたNMOSトランジスタを含む電子回路1300の回路図である。図10Bは、コンポジットカスコード接続されたNMOSトランジスタを含む電子回路1400の回路図である。
<Fourth Embodiment>
FIG. 10 is a circuit diagram illustrating a configuration example of an electronic circuit according to the fourth embodiment. FIG. 10A is a circuit diagram of an electronic circuit 1300 that includes cascode-connected NMOS transistors. FIG. 10B is a circuit diagram of an electronic circuit 1400 that includes a composite cascode-connected NMOS transistor.
 図10Aに示す電子回路1300は、図4Aに示す電子回路300と略同様のMOS回路部1320を有する。電子回路1300では、安定化素子部1330として、電圧回路1390が用いられる。 The electronic circuit 1300 shown in FIG. 10A has a MOS circuit portion 1320 that is substantially the same as the electronic circuit 300 shown in FIG. 4A. In the electronic circuit 1300, a voltage circuit 1390 is used as the stabilization element portion 1330.
 電圧回路1390は、例えば第1~第4のNMOSトランジスタ1370a~1370bのソース電位よりも高い電圧(印加電圧)をGND50を基準として生成する回路である。電圧回路1390により生成された印加電圧は、ディープNウェル1323に印加される。 The voltage circuit 1390 is a circuit that generates a voltage (applied voltage) higher than the source potential of the first to fourth NMOS transistors 1370a to 1370b with reference to the GND 50, for example. The applied voltage generated by the voltage circuit 1390 is applied to the deep N well 1323.
 図10Bに示す電子回路1400は、図4Bに示す電子回路400と略同様のMOS回路部1420を有する。電子回路1400では、安定化素子部1430として電圧回路1490が用いられる。電圧回路1490により生成された印加電圧は、ディープNウェル1423に印加される。このようにコンポジットカスコード接続された電子回路1400でも、本技術は適用可能である。 The electronic circuit 1400 shown in FIG. 10B has a MOS circuit portion 1420 that is substantially the same as the electronic circuit 400 shown in FIG. 4B. In the electronic circuit 1400, a voltage circuit 1490 is used as the stabilization element portion 1430. The applied voltage generated by the voltage circuit 1490 is applied to the deep N well 1423. The present technology can also be applied to the electronic circuit 1400 connected in composite cascode as described above.
 図11は、図10Bに示す電子回路1400について定電流回路に適用した時の一つの例を具体的に示した図である。図11に示す電子回路1500は、定電流回路1550及び電圧回路1590を有する。 FIG. 11 is a diagram specifically showing one example when the electronic circuit 1400 shown in FIG. 10B is applied to a constant current circuit. An electronic circuit 1500 illustrated in FIG. 11 includes a constant current circuit 1550 and a voltage circuit 1590.
 定電流回路1550は、図10Bに示す電子回路1400と略同様の構成であり、MOS回路部1520及び電流回路部1580を有する。電流回路部1580は、2つのPMOSトランジスタ1581により構成される。MOS回路部1520は、コンポジットカスコード接続された第1~第4のNMOSトランジスタ1570a~1570bを含む。 The constant current circuit 1550 has substantially the same configuration as the electronic circuit 1400 shown in FIG. 10B and includes a MOS circuit portion 1520 and a current circuit portion 1580. The current circuit portion 1580 includes two PMOS transistors 1581. The MOS circuit portion 1520 includes first to fourth NMOS transistors 1570a to 1570b that are composite-cascode-connected.
 電圧回路1590は、PMOSトランジスタ1591、第5~第7のNMOSトランジスタ1570e~1570g、及び出力点1592を有する。PMOSトランジスタ1591は、電流回路部1580を流れる電流をコピーするカレントミラー回路として機能する。 The voltage circuit 1590 includes a PMOS transistor 1591, fifth to seventh NMOS transistors 1570e to 1570g, and an output point 1592. The PMOS transistor 1591 functions as a current mirror circuit that copies the current flowing through the current circuit portion 1580.
 第5~第7のNMOSトランジスタ1570e~1570gは、MOS回路部1520が形成されるディープNウェル1523上に形成される。第5~第7のNMOSトランジスタ1570e~1570gは、各々がダイオード接続された構成を有する。第5のNMOSトランジスタ1570eのソースは、GND50に接続される。第6のNMOSトランジスタ1570fのソースは、第5のNMOSトランジスタ1570eのドレインに接続される。第7のNMOSトランジスタ1570gのソースは、第6のNMOSトランジスタ1570fのドレインに接続される。また第7のNMOSトランジスタ1570gのドレインは、出力点1592を介してPMOSトランジスタ1591のドレインに接続される。図11に示すように、出力点1592は、ディープNウェル1523に接続される。 The fifth to seventh NMOS transistors 1570e to 1570g are formed on the deep N well 1523 where the MOS circuit portion 1520 is formed. The fifth to seventh NMOS transistors 1570e to 1570g have a configuration in which each is diode-connected. The source of the fifth NMOS transistor 1570e is connected to the GND 50. The source of the sixth NMOS transistor 1570f is connected to the drain of the fifth NMOS transistor 1570e. The source of the seventh NMOS transistor 1570g is connected to the drain of the sixth NMOS transistor 1570f. The drain of the seventh NMOS transistor 1570g is connected to the drain of the PMOS transistor 1591 through the output point 1592. As shown in FIG. 11, the output point 1592 is connected to the deep N well 1523.
 なお、電圧回路1590は図11に示す構成に限定されず、例えば印加電圧を発生可能な任意の回路が電圧回路1590として用いられてよい。本実施形態では、PMOSトランジスタ1591は、第1の素子部31に相当する。また第5~第7のNMOSトランジスタ1570e~1570gは、第2の素子部32として機能し得る。 Note that the voltage circuit 1590 is not limited to the configuration illustrated in FIG. 11, and an arbitrary circuit capable of generating an applied voltage may be used as the voltage circuit 1590, for example. In the present embodiment, the PMOS transistor 1591 corresponds to the first element unit 31. The fifth to seventh NMOS transistors 1570e to 1570g can function as the second element section 32.
 電圧回路1590では、1つのディープNウェル1523の上に第1~第7のNMOSトランジスタ1570a~1570gが設けられる。すなわち、ディープNウェル1523は、MOS回路部1520及び電圧回路1590の一部を覆うように設けられる。各NMOSトランジスタが形成されるPウェルは、PN接合ダイオードを介してディープNウェル1523にそれぞれ接続される。 In the voltage circuit 1590, first to seventh NMOS transistors 1570 a to 1570 g are provided on one deep N well 1523. That is, the deep N well 1523 is provided so as to cover a part of the MOS circuit portion 1520 and the voltage circuit 1590. The P well in which each NMOS transistor is formed is connected to a deep N well 1523 via a PN junction diode.
 また電圧回路1590では、第5のNMOSトランジスタ1570eのゲート電圧Vgs5と、第6のNMOSトランジスタ1570fのゲート電圧Vgs6と、第7のNMOSトランジスタ1570gのゲート電圧Vgs7との和(Vgs5+Vgs6+Vgs7)が、印加電圧として生成される。また図11に示すように、印加電圧はGND50を基準として生成される。本実施形態では、印加電圧は、グランドを基準とした電圧に相当する。 In the voltage circuit 1590, the sum of the gate voltage Vgs5 of the fifth NMOS transistor 1570e, the gate voltage Vgs6 of the sixth NMOS transistor 1570f, and the gate voltage Vgs7 of the seventh NMOS transistor 1570g (Vgs5 + Vgs6 + Vgs7) is applied voltage. Is generated as As shown in FIG. 11, the applied voltage is generated with reference to GND 50. In the present embodiment, the applied voltage corresponds to a voltage with respect to the ground.
 電圧回路1590は、印加電圧の値が、第1~第7のNMOSトランジスタ1570a~1570gのソース電位よりも高い値となるように構成される。例えば、所望の印加電圧を生成可能なように、第5~第7のNMOSトランジスタ1570e~1570gのゲート幅W等のパラメータが適宜設定される。 The voltage circuit 1590 is configured such that the value of the applied voltage is higher than the source potential of the first to seventh NMOS transistors 1570a to 1570g. For example, parameters such as the gate width W of the fifth to seventh NMOS transistors 1570e to 1570g are appropriately set so that a desired applied voltage can be generated.
 ここで印加電圧の変動量について説明する。電圧回路1590を流れる電流(ドレイン電流ID)は、カレントミラー回路として機能するPMOSトランジスタ1591により供給される。その電流値としては、数ナノアンペアオーダーが用いられ、第5~第7のNMOSトランジスタ1570e~1570gはサブスレッショルド領域で動作することになる。 Here, the fluctuation amount of the applied voltage will be described. A current (drain current I D ) flowing through the voltage circuit 1590 is supplied by a PMOS transistor 1591 that functions as a current mirror circuit. The current value is in the order of several nanoamperes, and the fifth to seventh NMOS transistors 1570e to 1570g operate in the subthreshold region.
 上記したように、ドレイン電流IDはゲート電圧Vgsの変化に応じて指数関数的に増減するが、ドレイン電流IDが変化してもゲート電圧Vgsの変化は非常に小さい(数2参照)。例えば(数3)を用いて、ドレイン電流IDの変化に対するゲート電圧Vgsの変化を算出することが可能である。ドレイン電流IDが10倍に増加したときゲート電圧の変動量(Sパラメータ)は、以下のように算出される。 As described above, the drain current ID increases and decreases exponentially according to the change in the gate voltage Vgs, but the change in the gate voltage Vgs is very small even if the drain current ID changes. For example, it is possible to calculate the change in the gate voltage Vgs with respect to the change in the drain current ID using (Equation 3). When the drain current ID is increased 10 times, the gate voltage fluctuation amount (S parameter) is calculated as follows.
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000007
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 Sパラメータは、室温では90mV程度となる。これはドレイン電流IDが10倍に変動しても、ゲート電圧Vgsの変動量は90mV程度になることを意味する。実際の定電流回路等での電流変動は数十%であるため、ゲート電圧Vgsの変動量は十分に小さくなる。 The S parameter is about 90 mV at room temperature. This means that even if the drain current ID fluctuates 10 times, the fluctuation amount of the gate voltage Vgs becomes about 90 mV. Since the current fluctuation in an actual constant current circuit or the like is several tens of percent, the fluctuation amount of the gate voltage Vgs is sufficiently small.
 このように、第5~第7のNMOSトランジスタ1570a~1570gのゲート電圧Vgs5~Vgs7の変動量は、ドレイン電流IDの変動に対して十分に小さく抑えられる。従って例えば、電源電圧等の変動に伴い、PMOSトランジスタ1591から供給されるドレイン電流IDが増減した場合であっても、電圧回路1590は、印加電圧を安定して生成することが可能となる。なお、本実施形態では、第5~第7のNMOSトランジスタ1570e~1570gは、サブスレッショルド領域で動作するNMOSトランジスタに相当する。 As described above, the fluctuation amount of the gate voltages Vgs5 to Vgs7 of the fifth to seventh NMOS transistors 1570a to 1570g can be suppressed to be sufficiently small with respect to the fluctuation of the drain current ID . Therefore, for example, the voltage circuit 1590 can stably generate the applied voltage even when the drain current ID supplied from the PMOS transistor 1591 increases or decreases due to fluctuations in the power supply voltage or the like. In the present embodiment, the fifth to seventh NMOS transistors 1570e to 1570g correspond to NMOS transistors that operate in the subthreshold region.
 電圧回路1590により生成された印加電圧は、ディープNウェル1523に印加される。これにより、ディープNウェル1523の電位を十分に安定に保つことが可能となる。この結果、デバイスのノイズ耐性を十分に向上することが可能となる。 The applied voltage generated by the voltage circuit 1590 is applied to the deep N well 1523. As a result, the potential of the deep N well 1523 can be kept sufficiently stable. As a result, the noise immunity of the device can be sufficiently improved.
 例えば基準電圧を発生するBGR回路等が設けられない場合でも、電位の安定したGND50を基準に印加電圧を生成することで、ディープNウェル1523の電位を十分に安定化することが可能となる。また電圧回路1590では、対象となる回路の特性や用途等に応じて印加電圧の値を任意に設定可能であり、例えば回路設計の自由度等を大幅に広げることが可能となる。 For example, even when a BGR circuit for generating a reference voltage or the like is not provided, the potential of the deep N well 1523 can be sufficiently stabilized by generating an applied voltage based on the GND 50 having a stable potential. In the voltage circuit 1590, the value of the applied voltage can be arbitrarily set according to the characteristics and application of the target circuit. For example, the degree of freedom in circuit design can be greatly increased.
 <その他の実施形態>
 本技術は、以上説明した実施形態に限定されず、他の種々の実施形態を実現することができる。
<Other embodiments>
The present technology is not limited to the embodiments described above, and other various embodiments can be realized.
 上記の実施形態では、第1の素子部として、NMOSトランジスタ及びPMOSトランジスタ等が用いられた。これに限定されず、第1の素子部は、抵抗、キャパシタ、トランジスタ、及びインダクタのいずれか、又はこれらの任意の組み合わせにより構成されてもよい。また第2の素子部が、抵抗、キャパシタ、トランジスタ、及びインダクタのいずれか、又はこれらの任意の組み合わせにより構成されてもよい。 In the above embodiment, an NMOS transistor, a PMOS transistor, or the like is used as the first element portion. Without being limited thereto, the first element unit may be configured by any one of a resistor, a capacitor, a transistor, and an inductor, or any combination thereof. Further, the second element portion may be configured by any one of a resistor, a capacitor, a transistor, and an inductor, or any combination thereof.
 例えば、第1の素子部として抵抗を用い、第2の素子部としてキャパシタ用いることで、例えば電源電圧が変化する際に生じる高周波成分等をカットするフィルタ(RCフィルタ)等が構成可能である。これによりディープウェルの電位を十分に安定化することが可能となる。もちろんこれに限定されず、例えばセパレータやアテネータといった任意の回路が適宜用いられてよい。 For example, by using a resistor as the first element part and using a capacitor as the second element part, for example, a filter (RC filter) that cuts a high-frequency component or the like generated when the power supply voltage changes can be configured. As a result, the potential of the deep well can be sufficiently stabilized. Of course, the present invention is not limited to this, and any circuit such as a separator or an attenuator may be used as appropriate.
 また例えば第1及び第2の素子部に抵抗等を用いることで、GNDを基準に電源電圧を分圧するといったことが可能である。これにより、電源電圧が変動した場合でもディープウェルの電位を安定して保持することが可能となり、デバイスの動作精度を向上させることが可能となる。この他にも、抵抗、キャパシタ、トランジスタ、及びインダクタ等を組み合わせることで、ディープウェルの電位を安定化させる任意の回路が適宜構成されてよい。 Further, for example, by using resistors or the like for the first and second element portions, it is possible to divide the power supply voltage with reference to GND. As a result, even when the power supply voltage fluctuates, the potential of the deep well can be stably held, and the operation accuracy of the device can be improved. In addition, an arbitrary circuit for stabilizing the potential of the deep well may be appropriately configured by combining a resistor, a capacitor, a transistor, an inductor, and the like.
 なお第1及び第2の素子部のいずれか一方のみで安定化素子部が構成されることもあり得る。例えば安定化素子部として、ディープウェルと電源との間に抵抗(第1の素子部)が配置された構成がとられてもよい。この場合、例えば抵抗により生じる電圧降下等により、電源電圧の変動に対してディープウェルの電位の変動量を小さくすること可能である。従って、第1の素子部として抵抗を用いることで、第1の素子部はディープウェルの電位を安定化する安定化素子部として機能することになる。これにより、デバイスのノイズ耐性を向上させることが可能となる。 It should be noted that the stabilizing element unit may be configured by only one of the first and second element units. For example, the stabilization element unit may be configured such that a resistor (first element unit) is disposed between the deep well and the power source. In this case, the amount of fluctuation of the deep well potential can be reduced with respect to the fluctuation of the power supply voltage due to, for example, a voltage drop caused by resistance. Therefore, by using a resistor as the first element portion, the first element portion functions as a stabilizing element portion that stabilizes the potential of the deep well. Thereby, it becomes possible to improve the noise tolerance of the device.
 上記では、ディープウェルとしてディープNウェルを例に挙げた。これに限定されず、ディープPウェル等の他のディープウェルにも本技術は適用可能である。 In the above, the deep N well is taken as an example of the deep well. The present technology is not limited to this, and the present technology can be applied to other deep wells such as a deep P well.
 以上説明した本技術に係る特徴部分のうち、少なくとも2つの特徴部分を組み合わせることも可能である。すなわち各実施形態で説明した種々の特徴部分は、各実施形態の区別なく、任意に組み合わされてもよい。また上記で記載した種々の効果は、あくまで例示であって限定されるものではなく、また他の効果が発揮されてもよい。 Of the characteristic parts according to the present technology described above, it is possible to combine at least two characteristic parts. That is, the various characteristic parts described in each embodiment may be arbitrarily combined without distinction between the embodiments. The various effects described above are merely examples and are not limited, and other effects may be exhibited.
 なお、本技術は以下のような構成も採ることができる。
(1)ディープウェルを有するMOS回路部と、
 電力供給源と前記ディープウェルとの間に配置される第1の素子部を有し、前記ディープウェルの電位を安定化させる安定化素子部と
 を具備する電子回路。
(2)(1)に記載の電子回路であって、
 前記MOS回路部は、ディープNウェルを有するCMOS回路を含む
 電子回路。
(3)(1)または(2)に記載の電子回路であって、
 前記MOS回路部は、サブスレッショルド領域で動作する
 電子回路。
(4)(1)から(3)のうちいずれか1つに記載の電子回路であって、
 1nA以上100nA以下程度の電流により動作する
 電子回路。
(5)(1)から(4)のうちいずれか1つに記載の電子回路であって、
 前記安定化素子部は、前記ディープウェルに所定の電圧を印加する
 電子回路。
(6)(1)から(5)のうちいずれか1つに記載の電子回路であって、
 前記第1の素子部は、抵抗、キャパシタ、トランジスタ、及びインダクタのいずれか、又はこれらの任意の組み合わせにより構成される
 電子回路。
(7)(2)から(6)のうちいずれか1つに記載の電子回路であって、
 前記MOS回路部は、前記ディープNウェルが形成されたP型基板と、前記ディープNウェルにより前記P型基板と電気的に分離されるPウェルとを有し、
 前記安定化素子部は、前記ディープNウェルの電位を前記Pウェルの電位以上の値で保持する
 電子回路。
(8)(7)に記載の電子回路であって、
 前記MOS回路部は、前記Pウェルに形成されたNMOSトランジスタを有し、
 前記安定化素子部は、前記ディープNウェルを、前記NMOSトランジスタのゲート、ソース、及びドレインのいずれかと接続する配線部を有し、前記ディープNウェルの電位を前記NMOSトランジスタのゲート電位、ソース電位、及びドレイン電位のいずれかと同電位にする
 電子回路。
(9)(7)に記載の電子回路であって、
 前記MOS回路部は、前記ディープNウェルにより前記P型基板と電気的に分離される複数のPウェルと、前記複数のPウェルの各々に形成された複数のNMOSトランジスタを有し、
 前記安定化素子部は、前記ディープNウェルを、前記複数のNMOSトランジスタの中の所定のNMOSトランジスタのゲート、ソース、及びドレインのいずれかと接続する配線部を有し、前記ディープNウェルの電位を前記所定のNMOSトランジスタのゲート電位、ソース電位、及びドレイン電位のいずれかと同電位にする
 電子回路。
(10)(1)から(7)のうちいずれか1つに記載の電子回路であって、
 前記安定化素子部は、BGR(Band Gap Reference)回路である
 電子回路。
(11)(1)から(7)のうちいずれか1つに記載の電子回路であって、
 前記安定化素子部は、グランドを基準とした電圧を生成する電圧回路である
 電子回路。
(12)(11)に記載の電子回路であって、
 前記電圧回路は、サブスレッショルド領域で動作するNMOSトランジスタを含む
 電子回路。
(13)(1)から(12)のうちいずれか1つに記載の電子回路であって、
 前記安定化素子部は、グランドと前記ディープウェルとの間に配置される第2の素子部を有する
 電子回路。
In addition, this technique can also take the following structures.
(1) a MOS circuit section having a deep well;
An electronic circuit comprising: a first element portion disposed between a power supply source and the deep well, and a stabilizing element portion that stabilizes the potential of the deep well.
(2) The electronic circuit according to (1),
The MOS circuit unit is an electronic circuit including a CMOS circuit having a deep N well.
(3) The electronic circuit according to (1) or (2),
The MOS circuit unit is an electronic circuit that operates in a subthreshold region.
(4) The electronic circuit according to any one of (1) to (3),
An electronic circuit that operates with a current of about 1 nA or more and 100 nA or less.
(5) The electronic circuit according to any one of (1) to (4),
The stabilization element unit is an electronic circuit that applies a predetermined voltage to the deep well.
(6) The electronic circuit according to any one of (1) to (5),
The first element unit is an electronic circuit including any one of a resistor, a capacitor, a transistor, and an inductor, or any combination thereof.
(7) The electronic circuit according to any one of (2) to (6),
The MOS circuit unit includes a P-type substrate on which the deep N well is formed, and a P well that is electrically separated from the P-type substrate by the deep N well,
The stabilization element unit is an electronic circuit that holds the potential of the deep N well at a value equal to or higher than the potential of the P well.
(8) The electronic circuit according to (7),
The MOS circuit unit includes an NMOS transistor formed in the P well,
The stabilizing element unit includes a wiring unit that connects the deep N well to any one of a gate, a source, and a drain of the NMOS transistor, and the potential of the deep N well is set to a gate potential and a source potential of the NMOS transistor. And an electronic circuit having the same potential as any of the drain potential.
(9) The electronic circuit according to (7),
The MOS circuit unit includes a plurality of P wells electrically isolated from the P-type substrate by the deep N well, and a plurality of NMOS transistors formed in each of the plurality of P wells.
The stabilizing element unit includes a wiring unit that connects the deep N well to any one of a gate, a source, and a drain of a predetermined NMOS transistor among the plurality of NMOS transistors, and the potential of the deep N well is set. An electronic circuit having the same potential as any of a gate potential, a source potential, and a drain potential of the predetermined NMOS transistor.
(10) The electronic circuit according to any one of (1) to (7),
The stabilizing element unit is an electronic circuit which is a BGR (Band Gap Reference) circuit.
(11) The electronic circuit according to any one of (1) to (7),
The stabilizing element section is a voltage circuit that generates a voltage with respect to a ground. Electronic circuit.
(12) The electronic circuit according to (11),
The voltage circuit includes an NMOS transistor that operates in a subthreshold region.
(13) The electronic circuit according to any one of (1) to (12),
The stabilization element unit includes an electronic circuit having a second element unit disposed between a ground and the deep well.
 20、220、320、520、620、720、820、920、1020、1120、1220、1320、1420、1520…MOS回路部
 23、223、323、823、923、1023、1123、1223、1324、1423、1523…ディープNウェル
 523a、623a、723a…第1のディープNウェル
 523b、623b、723b…第2のディープNウェル
 30、230、330、530、630、730、830、930、1030、1130、1330、1430、…安定化素子部
 31…第1の素子部
 32…第2の素子部
 40…電源
 50…GND
 70…NMOSトランジスタ
 270a、370a、470a、570a、670a、770a、870a、970a、1270a、1370a、1570a…第1のNMOSトランジスタ
 270b、370b、470b、570b、670b、770b、870b、970b、1270b、1370b、1570b…第2のNMOSトランジスタ
 370c、470c、570c、670c、770c、870c、970c、1270c、1370c、1570c…第3のNMOSトランジスタ
 370d、470d、570d、670d、770d、870d、970d、1270d、1370d、1570d…第4のNMOSトランジスタ
20, 220, 320, 520, 620, 720, 820, 920, 1020, 1120, 1220, 1320, 1420, 1520 ... MOS circuit parts 23, 223, 323, 823, 923, 1023, 1123, 1223, 1324, 1423 , 1523 ... Deep N well 523a, 623a, 723a ... First deep N well 523b, 623b, 723b ... Second deep N well 30, 230, 330, 530, 630, 730, 830, 930, 1030, 1130, 1330, 1430, ... Stabilizing element part 31 ... First element part 32 ... Second element part 40 ... Power supply 50 ... GND
70 ... NMOS transistors 270a, 370a, 470a, 570a, 670a, 770a, 870a, 970a, 1270a, 1370a, 1570a ... first NMOS transistors 270b, 370b, 470b, 570b, 670b, 770b, 870b, 970b, 1270b, 1370b , 1570b... Second NMOS transistor 370c, 470c, 570c, 670c, 770c, 870c, 970c, 1270c, 1370c, 1570c ... Third NMOS transistor 370d, 470d, 570d, 670d, 770d, 870d, 970d, 1270d, 1370d , 1570d ... Fourth NMOS transistor

Claims (14)

  1.  ディープウェルを有するMOS回路部と、
     電力供給源と前記ディープウェルとの間に配置される第1の素子部を有し、前記ディープウェルの電位を安定化させる安定化素子部と
     を具備する電子回路。
    A MOS circuit section having a deep well;
    An electronic circuit comprising: a first element portion disposed between a power supply source and the deep well, and a stabilizing element portion that stabilizes the potential of the deep well.
  2.  請求項1に記載の電子回路であって、
     前記MOS回路部は、ディープNウェルを有するCMOS回路を含む
     電子回路。
    The electronic circuit according to claim 1,
    The MOS circuit unit is an electronic circuit including a CMOS circuit having a deep N well.
  3.  請求項1に記載の電子回路であって、
     前記MOS回路部は、サブスレッショルド領域で動作する
     電子回路。
    The electronic circuit according to claim 1,
    The MOS circuit unit is an electronic circuit that operates in a subthreshold region.
  4.  請求項1に記載の電子回路であって、
     1nA以上100nA以下程度の電流により動作する
     電子回路。
    The electronic circuit according to claim 1,
    An electronic circuit that operates with a current of about 1 nA or more and 100 nA or less.
  5.  請求項1に記載の電子回路であって、
     前記安定化素子部は、前記ディープウェルに所定の電圧を印加する
     電子回路。
    The electronic circuit according to claim 1,
    The stabilization element unit is an electronic circuit that applies a predetermined voltage to the deep well.
  6.  請求項1に記載の電子回路であって、
     前記第1の素子部は、抵抗、キャパシタ、トランジスタ、及びインダクタのいずれか、又はこれらの任意の組み合わせにより構成される
     電子回路。
    The electronic circuit according to claim 1,
    The first element unit is an electronic circuit including any one of a resistor, a capacitor, a transistor, and an inductor, or any combination thereof.
  7.  請求項2に記載の電子回路であって、
     前記MOS回路部は、前記ディープNウェルが形成されたP型基板と、前記ディープNウェルにより前記P型基板と電気的に分離されるPウェルとを有し、
     前記安定化素子部は、前記ディープNウェルの電位を前記Pウェルの電位以上の値で保持する
     電子回路。
    An electronic circuit according to claim 2,
    The MOS circuit unit includes a P-type substrate on which the deep N well is formed, and a P well that is electrically separated from the P-type substrate by the deep N well,
    The stabilization element unit is an electronic circuit that holds the potential of the deep N well at a value equal to or higher than the potential of the P well.
  8.  請求項7に記載の電子回路であって、
     前記MOS回路部は、前記Pウェルに形成されたNMOSトランジスタを有し、
     前記安定化素子部は、前記ディープNウェルを、前記NMOSトランジスタのゲート、ソース、及びドレインのいずれかと接続する配線部を有し、前記ディープNウェルの電位を前記NMOSトランジスタのゲート電位、ソース電位、及びドレイン電位のいずれかと同電位にする
     電子回路。
    The electronic circuit according to claim 7,
    The MOS circuit unit includes an NMOS transistor formed in the P well,
    The stabilizing element unit includes a wiring unit that connects the deep N well to any one of a gate, a source, and a drain of the NMOS transistor, and the potential of the deep N well is set to a gate potential and a source potential of the NMOS transistor. And an electronic circuit having the same potential as any of the drain potential.
  9.  請求項7に記載の電子回路であって、
     前記MOS回路部は、前記ディープNウェルにより前記P型基板と電気的に分離される複数のPウェルと、前記複数のPウェルの各々に形成された複数のNMOSトランジスタを有し、
     前記安定化素子部は、前記ディープNウェルを、前記複数のNMOSトランジスタの中の所定のNMOSトランジスタのゲート、ソース、及びドレインのいずれかと接続する配線部を有し、前記ディープNウェルの電位を前記所定のNMOSトランジスタのゲート電位、ソース電位、及びドレイン電位のいずれかと同電位にする
     電子回路。
    The electronic circuit according to claim 7,
    The MOS circuit unit includes a plurality of P wells electrically isolated from the P-type substrate by the deep N well, and a plurality of NMOS transistors formed in each of the plurality of P wells.
    The stabilizing element unit includes a wiring unit that connects the deep N well to any one of a gate, a source, and a drain of a predetermined NMOS transistor among the plurality of NMOS transistors, and the potential of the deep N well is set. An electronic circuit having the same potential as any of a gate potential, a source potential, and a drain potential of the predetermined NMOS transistor.
  10.  請求項1に記載の電子回路であって、
     前記安定化素子部は、BGR(Band Gap Reference)回路である
     電子回路。
    The electronic circuit according to claim 1,
    The stabilizing element unit is an electronic circuit which is a BGR (Band Gap Reference) circuit.
  11.  請求項1に記載の電子回路であって、
     前記安定化素子部は、グランドを基準とした電圧を生成する電圧回路である
     電子回路。
    The electronic circuit according to claim 1,
    The stabilizing element section is a voltage circuit that generates a voltage with respect to a ground. Electronic circuit.
  12.  請求項11に記載の電子回路であって、
     前記電圧回路は、サブスレッショルド領域で動作するNMOSトランジスタを含む
     電子回路。
    The electronic circuit according to claim 11, comprising:
    The voltage circuit includes an NMOS transistor that operates in a subthreshold region.
  13.  請求項1に記載の電子回路であって、
     前記安定化素子部は、グランドと前記ディープウェルとの間に配置される第2の素子部を有する
     電子回路。
    The electronic circuit according to claim 1,
    The stabilization element unit includes an electronic circuit having a second element unit disposed between a ground and the deep well.
  14.  電力供給源と、
      ディープウェルを有するMOS回路部と、
      前記電力供給源と前記ディープウェルとの間に配置される第1の素子部を有し、前記ディープウェルの電位を安定化させる安定化素子部と
     を有する電子回路と
     を具備する電子機器。
    A power supply,
    A MOS circuit section having a deep well;
    An electronic circuit comprising: an electronic circuit including: a first element portion disposed between the power supply source and the deep well, and a stabilization element portion that stabilizes the potential of the deep well.
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