WO2018143228A1 - インクジェットヘッドの洗浄装置およびインクジェットヘッドの洗浄方法 - Google Patents

Abstract

ノズル面の寸法が長大化された大型のインクジェットヘッドに対して、ノズル面に液体のみを接触させる非接触洗浄を行う場合に、ノズル面の周囲にある部分に汚れや液体が付着、残存しないようにして、ノズル面の高品質の洗浄を確実に行うことが可能なインクジェットヘッドの洗浄装置と洗浄方法を提供する。具体的には、このインクジェットヘッド１の洗浄装置１００ａは、ノズル面１１の洗浄時に、ノズル面１１と対面して貯液空間Ｒを形成する上面３１と、上面３１で開口し、ノズル面１１の長手方向に沿って並ぶ複数の液体回収孔３２とを含む基台３と、上面３１に露出するように複数の液体回収孔３２に配置される回収促進部材４とを備える。各回収促進部材４の上端面４１は、基台３の上面３１から突出しており、その突出量は回収促進部材４全体で一様ではなく、突出量が最大となる回収促進部材４が少なくとも１つ存在する。

Description

インクジェットヘッドの洗浄装置およびインクジェットヘッドの洗浄方法

　この発明は、インクジェットヘッドの洗浄装置およびインクジェットヘッドの洗浄方法に関する。

　インクジェットヘッドは、微細な液滴状の塗布液を多数回にわたって繰り返して吐出するため、その安定稼働には、塗布液が吐出される吐出口を常に清浄に保って、塗布液が何にも妨げられない状態で吐出できることが必要となる。そのために、インクジェットヘッド塗布装置は、塗布液の吐出口とその周囲にあるノズル面に残留する汚れや液滴を除去する洗浄装置を必ず備えている。このようなインクジェットヘッド用の洗浄装置としては、例えば、インクジェットヘッドのノズル面に、清掃部材を摺動させたり押し当てたりせず、液体（洗浄液など）のみを接触させて汚れや液滴の除去を行う洗浄装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。

　特許文献１に開示されているインクジェットヘッドの洗浄装置では、洗浄液保持プレートに形成された洗浄液保持面が、インクジェットヘッドの撥液処理されたノズル面との間に、洗浄液を膜状に保持できるように配置される。そして、インクジェットヘッドのノズル面を、洗浄液保持面上に保持された洗浄液（液体）と接触させながら、洗浄液保持面の上方で水平移動させる。この時、吐出口やノズル面に付着した汚れや塗布液の残留液滴は、洗浄液に接触することにより、吐出口やノズル面から除去される。そしてインクジェットヘッドの移動速度が適切に制御されているなら、撥液性のあるノズル面は、除去された汚れや残留液滴を含む洗浄液（液体）が付着することなく離れていけるので、最終的にはインクジェットヘッドの吐出口やノズル面にあった汚れや残留液滴が除去されることになる。すなわち、インクジェットヘッドの吐出口やノズル面の洗浄が、洗浄液保持面と非接触で行える。なお、汚れや残留液滴を含む洗浄液（液体）は、ノズル面よりも濡れ性の高い洗浄液保持面に残留することになる。

特開２０１３－３１９６２号公報

　特許文献１に記載されたインクジェットヘッドの洗浄装置では、洗浄液保持プレートに対するインクジェットヘッドの水平移動により、原理的には、汚れや残留液滴を含む洗浄液は撥液処理されたノズル面には残留せず、より濡れ性の高い洗浄液保持面に残留すると考えられる。しかしながら、実際のインクジェットヘッドでは、撥液処理されたノズル面だけが際立って突き出ているのではなくて、ノズル面の周囲にもヘッドを構成する部分がノズル面と同一面上、あるいは数１０～数１００μｍの段差分離れた面上に存在する。ノズル面の周囲でインクジェットヘッドを構成する部分がある面をノズル周囲面と呼ぶことにすると、ノズル周囲面は通常は撥液処理されていない。したがって、液体と接触するノズル面が移動して、ノズル面の移動方向に隣り合うノズル周囲面が液体と接触すると、ノズル面には付着しなかった液体がノズル周囲面には付着して残留することになる。この場合に、ノズル周囲面に汚れを含んだ液体が残存したまま、インクジェットヘッドで塗布を行おうとすると、インクジェットヘッドのノズル面を基板に近接させた時に、ノズル周囲面に残存した液体を、基板に付着させてしまうおそれがある。

　また、実際のインクジェットヘッドの塗布装置では、多数のインクジェットヘッドを長手方向に密に1列状に並べて、広幅に対応して塗布できるようにしている。このような１列状に密に多数並んだインクジェットヘッドのノズル面に付着した汚れや塗布液の残留液滴を除去するために、上記特許文献１の手段を適用して、洗浄液保持プレートをインクジェットヘッドと同じ様に１列状に密に多数並べて、洗浄液保持プレートの洗浄液保持面上に保持された洗浄液に、インクジェットヘッドのノズル面を接触させながら水平移動させることが考えられる。しかしながら、水平移動によって一つのインクジェットヘッドのノズル面の洗浄を行えても、すぐに隣の洗浄液保持面上の汚れや残留液滴を含んだ洗浄液に接することになるので、ノズル周囲面に液滴が付着するし、ノズル面にも汚れが再付着する可能性が非常に高くなる。

　以上の特許文献１の手段による問題を回避するには、インクジェットヘッドを移動させることなく静止した状態で、ノズル面と洗浄液保持面に接触する洗浄液を回収することで、ノズル面の洗浄を行えるようにすればよいのであるが、それを実現する公知の手段はない。とりわけ塗布幅を大きくするためにノズル面の寸法が長手方向に長大化されたインクジェットヘッドにも適用できるものは皆無、というのが現状である。

　この発明は、上記の問題を解決するためになされたものであり、その主たる目的は、ノズル面の寸法が長手方向に長大化された大型のインクジェットヘッドや広幅に対応して１列状に多数配置されたインクジェットヘッドに対して、ノズル面に液体のみを接触させて行う非接触洗浄を行う場合に、ノズル面の周囲にある部分に汚れや液体が付着、残存しないようにして、ノズル面の高品質の洗浄を確実に行うことが可能なインクジェットヘッドの洗浄装置およびインクジェットヘッドの洗浄方法を提供することである。

　この第１の発明のインクジェットヘッドの洗浄装置は、インクジェットヘッドのノズル面の洗浄時に、ノズル面と対面して貯液空間を形成するよう近接して配置される上面と、上面で開口し、ノズル面の長手方向に沿って並ぶ複数の液体回収孔とを含む基台と、上面に露出するように複数の液体回収孔に配置され、液体回収孔内への液体の回収を促進する回収促進部材とを備え、各回収促進部材の上端面は、基台の上面から突出しており、その突出量は回収促進部材全体で一様ではなく、突出量が最大となる前記回収促進部材が少なくとも１つ存在する。

　このインクジェットヘッドの洗浄装置では、上記の構成により、液体回収孔から直接、貯液空間内の液体を回収することができる。それにより、従来のようにインクジェットヘッドを移動させることなく静止した状態で、対面するノズル面と上面で形成される貯液空間の液体をノズル面に残存しないようにして回収することができる。液体は貯液空間内でのみ回収するのであるから、ノズル面の周囲にあって貯液空間の範囲外となるノズル周囲面に、汚れや液体を付着、残存させることはない。これにより、広幅に対応して１列状に多数配置されたインクジェットヘッドに対してもノズル面の洗浄が可能となる。また、インクジェットヘッドが長手方向に長大化し、ノズル面が長手方向に長くなっても、液体回収孔と回収促進部材を適切な間隔と数で長手方向に配置することにより、ノズル面に付着していた汚れや残留液滴を含んだ貯液空間内の液体を回収することができる。この結果、インクジェットヘッドが長大化されたノズル面を有する場合でも、その洗浄を高品質で確実に行うことができる。

　上記の第１の発明のインクジェットヘッドの洗浄装置において、好ましくは、貯液空間からの液体回収が最終まで継続される液体回収孔に配置された回収促進部材の上端面が、それ以外の液体回収孔に配置された回収促進部材の上端面よりも上方の位置に、基台の上面から突出するように配置されている。このように構成すれば、液体回収が最終まで継続される箇所を任意に設定できる。

　上記の第１の発明のインクジェットヘッドの洗浄装置において、好ましくは、各回収促進部材の上端面の基台の上面からの突出量は、突出量が最大となる回収促進部材から離れるほど小さくなる。このように構成すれば、突出量が小さい回収促進部材４が挿入された液体回収孔から突出量が大きい回収促進部材４が挿入された液体回収孔の順に液体の回収が進行し、最後に突出量が最大の回収促進部材４が挿入された液体回収孔（最終液体回収孔）において液体が回収されるプロセスが滑らかに進展する。

　上記の第１の発明のインクジェットヘッドの洗浄装置において、好ましくは、基台の上面からの突出量が最大となる回収促進部材は、前記ノズル面の吐出口が配置されていない箇所と対向する。このように構成すれば、最後に液体が回収される最も突出量が大きい回収促進部材の上端面において仮に液体が残留したとしても、それが吐出口の吐出能力に影響することを防ぐことができる。

　上記の第１の発明のインクジェットヘッドの洗浄装置において、好ましくは、基台の上面からの突出量が最大となる回収促進部材は、複数並ぶ液体回収孔のうち略中央部の液体回収孔に備えられている。このように構成すれば、液体の界面の移動距離は最長でも基台の端から基台の中央部までの距離となるため、回収時間を短くすることができる。

　上記の第１の発明のインクジェットヘッドの洗浄装置において、好ましくは、基台の上面からの突出量が最大となる回収促進部材は、複数並ぶ液体回収孔のうち端部の液体回収孔に備えられている。このように構成すれば、ノズル面内の吐出口が配置されている領域から外れた箇所と対向する位置に容易に突出量が最大となる回収促進部材を配置することができ、最も突出量が大きい回収促進部材の上端面において仮に液体が残留したとしても、それが吐出口の吐出能力に影響することを防ぐことができる。

　上記の第１の発明のインクジェットヘッドの洗浄装置において、好ましくは、回収促進部材とは別個に設けられ、液体回収孔内に配置される流量調整部材をさらに備える。このように構成すれば、流量調整部材によって、液体回収孔からの液体の回収速度を調整することができる。これによって、回収速度が高すぎてノズル面に液滴を残存させたり、複数の液体回収孔からの回収速度が異なって液体が分断して貯液空間内に残存する、等の不都合を防止することができる。

　この場合、好ましくは、回収促進部材は、上端面から上下方向に液体が液体回収孔に通じる通路が形成された形状を有し、流量調整部材は、液体回収孔の内部において回収促進部材の内部に挿入され、挿入量に応じて液体の通過流量を調節する形状を有する。このように構成すれば、回収促進部材の上端面から液体回収孔に通じる通路によって、基台の上面上の液体を液体回収孔内に案内して、貯液空間内の液体を全て確実に回収することができる。また、流量調整部材の挿入量によって液体回収孔内での液体の通過流量を調節できるのであるから、容易に液体回収孔での回収速度を最適化して、ノズル面や貯液空間に液体を残留させることなく、液体を回収することができる。

　上記の第１の発明のインクジェットヘッドの洗浄装置において、好ましくは、貯液空間内に洗浄液を供給する洗浄液供給手段をさらに備える。この構成によって、貯液空間内に洗浄液を充満させてのノズル面の洗浄が可能となる。この場合、ノズル面の撥液性が劣化しても付着している汚れや液滴を確実に除去することができるとともに、ノズル面の撥液性の回復も可能となる。

　この場合、好ましくは、洗浄液供給手段は、液体回収孔のいずれかの内部にあって、洗浄液の供給が可能な供給部材を備える。このように構成すれば、いずれかの液体回収孔を、洗浄液の供給孔として使用することができる。その結果、液体回収孔の他に、別途洗浄液供給孔を基台に設ける必要がないため、装置構成を簡素化することができる。

　上記の第１の発明のインクジェットヘッドの洗浄装置において、好ましくは、洗浄時にインクジェットヘッドの一部と上下方向に当接するのに伴って、基台の上面とインクジェットヘッドのノズル面との間の間隙を定める一対の間隙調整部材を、基台の長手方向の一端側と他端側とにそれぞれ備える。このように構成すれば、一対の間隙調整部材によって、貯液空間を形成する基台の上面とノズル面との間の間隙を常に一定に維持することができる。これによって、毎回の洗浄ごとに同一の最適な条件で貯液空間内の液体を回収して洗浄ができるので、回数を重ねても安定して確実にノズル面の洗浄を行うことができる。

　この第２の発明のインクジェットヘッドの洗浄方法は、上記第１の発明のインクジェットヘッドの洗浄装置を用いた洗浄方法であって、インクジェットヘッドのノズル面と基台の上面とを近接して配置して貯液空間を形成するステップと、ノズル面と基台の上面との間に液体を供給して貯液空間に液体を充満させるステップと、複数の液体回収孔から貯液空間内の液体を回収するステップと、を含む。

　上記の第２の発明のインクジェットヘッドの洗浄方法では、上記したステップを実施することによって、従来のようにインクジェットヘッドを移動させることなく静止した状態で、貯液空間の液体をノズル面に残存しないようにして回収することができるので、ノズル面の周囲にあって貯液空間の範囲外となるノズル周囲面に、汚れや液体を付着、残存させることはない。これにより、広幅に対応して１列状に多数配置されたインクジェットヘッドに対してもノズル面の洗浄が可能となる。また、インクジェットヘッドが長大化されたノズル面を有する場合でも、貯液空間内のノズル面に付着していた汚れや残留液滴を含む液体を、液体回収孔から確実に回収することができる。これらの結果、ノズル面の寸法が長大化された大型のインクジェットヘッドに対して、ノズル面に液体のみを接触させる非接触洗浄を行う場合でも、ノズル面の周囲にある部分に汚れや液体が付着、残存しないようにして、ノズル面の高品質の洗浄を確実に行うことができる。

　上記の第２の発明のインクジェットヘッドの洗浄方法において、好ましくは、貯液空間内に洗浄液を供給する洗浄液供給手段により貯液空間内に洗浄液を供給してから、複数の液体回収孔から洗浄液を回収するステップをさらに含む。これによれば、貯液空間内に洗浄液を充満させてのノズル面の洗浄が可能となる。この場合、ノズル面の撥液性が劣化しても付着している汚れや液滴を確実に除去することができるとともに、ノズル面の撥液性の回復も可能となる。

　本発明のインクジェットヘッドの洗浄装置および洗浄方法によれば、従来のようにインクジェットヘッドを移動させることなく静止した状態で、貯液空間の液体をノズル面に残存しないようにして回収することができるので、ノズル面の周囲にあって貯液空間の範囲外となるノズル周囲面に、汚れや液体を付着、残存させることはない。これにより、広幅に対応して１列状に多数配置されたインクジェットヘッドに対してもノズル面の洗浄が可能となる。さらに、ノズル面の寸法が長大化された大型のインクジェットヘッドに対して、ノズル面に液体のみを接触させて行う非接触洗浄を行う場合でも、ノズル面の周囲にある部分に汚れや液体が付着、残存しないようにして、ノズル面の高品質の洗浄を確実に行うことができる。

本発明の第１実施形態によるインクジェットヘッドの洗浄装置を模式的に示した正面断面図である。 基台の上面を示した平面図である。 第１実施形態のインクジェットヘッドの洗浄方法をステップ的に示した説明図である。 図３に続けてインクジェットヘッドの洗浄方法をステップ的に示した説明図である。 第２実施形態によるインクジェットヘッドの洗浄装置を模式的に示した拡大正面断面図である。 第２実施形態の洗浄装置で貯液空間を形成する時の基台の上面とノズル面との相対位置関係を示す拡大正面断面図である。 第３実施形態によるインクジェットヘッドの洗浄装置を模式的に示した正面断面図である。 第３実施形態のインクジェットヘッドの洗浄方法をステップ的に示した説明図である。 図８に続けてインクジェットヘッドの洗浄方法をステップ的に示した説明図である。

　以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。

　［第１実施形態］
　（インクジェットの洗浄装置の構成）
　図１と図２を参照して、第１実施形態による洗浄装置１００ａの構成について説明する。図１は第１実施形態によるインクジェットヘッド１の洗浄装置１００ａの正面断面図、図２は基台３の上面３１を示した平面図、である。

　図１に示される洗浄装置１００ａは、塗布液となる液体を吐出口１２から吐出するインクジェットヘッド１の、吐出口１２を含む面となるノズル面１１を洗浄する装置であり、インクジェット塗布装置１００の一部として構成されている。たとえば、インクジェットヘッド１が、図示されていないインクジェット塗布装置１００の他の部分で塗布を行っていて、インクジェットヘッド１の下端面１３よりも撥液層の厚さだけ下方にあるノズル面１１に、塗布を妨げる汚れや液滴が付着して残留していれば、インクジェットヘッド１は洗浄装置１００ａの方に移動してくる。そして洗浄装置１００ａでノズル面１１の洗浄を行って汚れや残留液滴を除去した後に、インクジェットヘッド１はインクジェット塗布装置１００のもとの場所に戻って、塗布作業を継続する。なお下端面１３は、ノズル面１１の周囲にある部分であるノズル周囲面となる。またインクジェットヘッド１は、長手方向がＸ方向であり、これに対応して吐出口１２がＸ方向に多数配列されるノズル面１１は、Ｘ方向が長辺となる長方形状を有する。

　さて、インクジェットヘッド１の洗浄装置１００ａは、ブロック形状の基台３と、基台３の上面３１とインクジェットヘッド１のノズル面１１との間の間隙を定める間隙設定部５と、基台３から下方に落下する液体を回収する回収部９と、基台３と回収部９を支持して昇降させる支持昇降部７と、により構成されている。そして、洗浄動作は、インクジェット塗布装置１００の一部となる図示されていないコンピュータからなる制御装置により制御される。次に、洗浄装置１００ａを構成する各部分の詳細について、順に説明する。

　まず洗浄時にインクジェットヘッド１の直下にある基台３の上部には、上面３１が備えられている。上面３１は、略平坦に形成され、インクジェットヘッド１のノズル面１１と対面（対向）可能となっている。洗浄時には、インクジェットヘッド１のノズル面１１に上面３１が一定間隙まで近接して、両者間に液体を充満させる貯液空間Ｒ（図３参照）を形成する。すなわち上面３１は、インクジェットヘッド１のノズル面１１の洗浄時に、ノズル面１１と対面して貯液空間Ｒを形成するよう近接して配置される。

　また脚３６付きの支持板３５に支持されている基台３は、上面３１で開口し、ノズル面１１の長手方向（Ｘ方向）に沿って並ぶ複数の液体回収孔３２を有する。液体回収孔３２は、基台３を上下方向（Ｚ方向）に貫通し、上面３１の上下方向での反対側となる下面３３でも開口している。

　具体的にいうと液体回収孔３２は、長手方向（Ｘ方向）に沿って所定間隔を隔てて５個配置されている。また、両端の２個を除く３個の液体回収孔３２には、上面３１側から見えるように回収促進部材４が挿入されている。回収促進部材４は、上面３１上に液体がある場合、液体回収孔３２に液体を引き寄せるもので、液体回収孔３２内への液体の回収を促進する機能を有する。その機能を発現するために、回収促進部材４の上端面４１は基台３の上面３１よりも、ゼロ以上の突出量だけ上側に突出させる。具体的には、中央にある回収促進部材４の上端面４１は最も大きな突出量Ｈｆだけ突出させ、そのほかの回収促進部材４の上端面４１は突出量Ｈｆよりも小さな突出量Ｈだけ突出させている。このように回収促進部材４で突出量に差をつけるのは、中央の液体回収孔３２を、貯液空間Ｒからの液体回収が最終まで継続される液体回収孔（以降、「最終液体回収孔」と呼ぶ）にするためである。また、基台３の周囲の縁だけを支持する支持板３５には中央部に開口３４が設けられているので、回収促進部材４は基台３の下面３３から下側にも突き出せるようになっている。回収促進部材４の下側は、基台３の下側から突き出ていてもよいし、基台３の内部に収まっていてもよく、機能的な差はない。開口３４はまた、液体回収孔３２に回収された液体が、下方に落下できるような大きさと位置に設けられている。以上より回収促進部材４は、上面３１に露出するように複数の液体回収孔３２に配置され、液体回収孔３２内への液体の回収を促進する。そしてそのために、最終液体回収孔に配置された回収促進部材４の上端面４１が、それ以外の液体回収孔３２に配置された回収促進部材４の上端面４１よりも上方の位置に、基台３の上面３１から突出するように配置されている。

　次に図２を見ると、回収促進部材４を含む液体回収孔３２が一直線上に配置されているのが示されている。この配置は千鳥配置等の非直線状配置であってもよい。さらに図２では、回収促進部材４の上側から見た形状が示されている。回収促進部材４は、中空の円筒形状の本体に、４個のスリット４２を十字状に、上下方向の上側にある上端面４１から下側に向かって一定長さ設けたものである。この上下方向に長さがあって溝状になっているスリット４２と中央の貫通孔４３が、液体の通路となる。すなわちスリット４２と貫通孔４３は共に、上端面４１から上下方向に液体が液体回収孔３２に通じる通路となるよう形成された形状を有する。上側から見たスリット４２の幅Ｌｓは、好ましくは０．０５～１ｍｍ、より好ましくは０．１～０．５ｍｍである。このように狭いすきまを形成していると、毛細管現象により液体の流通が促進され、基台３の上面３１上にある液体が、スリット４２を通じて液体回収孔３２（回収促進部材４）の内部に引き込まれ、液体の回収が促進される。この液体の回収の促進のため、図１に示すスリット４２が基台３の上面３１から下方に、液体回収孔３２内で伸びる長さＬｅは、好ましくは０．１ｍｍ以上、より好ましくは５ｍｍ以上にする。さらに図２で上側から見て、スリット４２がＸ方向やＹ方向に略平行となるように回収促進部材４を配置してもよいし、スリット４２がＸ方向やＹ方向に対して一定角度傾斜するように回収促進部材４を配置してもよい。上側から見たスリット４２の個数と配置には特に制約はない。スリット４２が１個の場合は、上端面４１から下側まで貫通してもよい。

　再び図１を見ると、基台３は、これを支持する支持板３５の脚３６、回収部９の回収トレイ９１の底面９２を順に介して、支持昇降部７の支持昇降板７１に支持されている。支持昇降部７は、２本のエアーシリンダー７４ａ、７４ｂの伸縮するピストン７３ａ、７３ｂの上部と支持昇降板７１の下側部を回転自在に連結する上側連結体７５ａ、７５ｂ、エアーシリンダー７４ａの下部をベース７２と回転自在に連結する下側連結体７６ａ、エアーシリンダー７４ｂの下部をベース７２と締結により連結固定する下側連結体７６ｂ、とにより構成されている。この構成により、エアーシリンダー７４ａ、７４ｂを作動させれば、基台３と回収トレイ９１を、同時に上下方向に昇降させることができる。

　さらに基台３を支持する支持板３５上には、間隙設定部５を構成する一対の柱部５１ａ、５１ｂと、間隙調整部材５２ａ、５２ｂも設けられている。エアーシリンダー７４ａ、７４ｂにより支持昇降板７１を上昇させ、基台３の長手方向（Ｘ方向）の一端側と他端側とにそれぞれ備える一対の間隙調整部材５２ａ、５２ｂをインクジェットヘッド１の下端面１３に当接させることにより、基台３の上面３１とインクジェットヘッド１のノズル面１１との間の間隙Ｇ（図３参照）を、間隙調整部材５２ａ、５２ｂの高さＬｔに応じて設定することができる。すなわち一対の間隙調整部材５２ａ、５２ｂは、洗浄時にインクジェットヘッド１の一部と上下方向に当接するのに伴って、基台３の上面３１とインクジェットヘッド１のノズル面１１との間の間隙Ｇを定めるものである。なお間隙調整部材５２ａ、５２ｂの下端面１３との当接部は、円筒面（Ｒ面）となっている。また間隙調整部材５２ａ、５２ｂの高さをそれぞれＬｔａ、Ｌｔｂとそれぞれ異ならせる場合でも、支持昇降板７１、ピストン７３ａ、７３ｂ、ベース７２が、上側連結体７５ａ、７５ｂ、下側連結体７６ａによって回転自在に連結されているので、基台３が支持昇降板７１ごと傾斜した状態で、間隙調整部材５２ａ、５２ｂを下端面１３に当接させることができる。この結果、後述するように、上面３１とノズル面１１の間の間隙を、間隙調整部材５２ａ側の間隙Ｇａ（図６参照）、間隙調整部材５２ｂ側の間隙Ｇｂ（図６参照）、のように異ならせることができる（平行間隙ではなく、傾斜間隙となる）。

　また基台３や支持板３５は、回収部９を構成する回収トレイ９１の内側にある。したがって、基台３の上面３１の縁部からあふれて基台３の側面や支持板３５を伝わって落下する液体も、液体回収孔３２や回収促進部材４の内部を伝わって落下する液体も、回収トレイ９１に回収される。回収トレイ９１に溜まった液体は、図示しない排液経路を介して排出するか廃棄することが好ましい。

　（インクジェットヘッドの洗浄方法）
　次に、図３を参照して、インクジェットヘッド１の洗浄装置１００ａを用いた本発明のインクジェットヘッドの洗浄方法である、ノズル面１１の洗浄方法について、ステップＳＡ０～ＳＡ３をたどりながら説明する。この洗浄方法は、インクジェットヘッド１から塗布液を吐出して、それにノズル面１１の汚れや残留液滴を含ませて回収することで、ノズル面１１の洗浄を行うものである。図３（ａ）～（ｅ）および図４（ｆ）には、図１で示されるインクジェットヘッド１と基台３の一部とその周囲を拡大して示す正面断面図（Ｙ方向に見た図）が示されている。またステップＳＡ０～ＳＡ３が図３（ａ）～図４（ｆ）に対応していて、それぞれのステップの時の状況や各部の動作の結果が図示されている。ステップＳＡは数字の大きい方が時間的に後になる。

　図３と図４にその実行状況が示されるステップＳＡを実施することによって、インクジェットヘッド１のノズル面１１と基台３の上面３１とを近接して配置して貯液空間Ｒを形成するステップと、ノズル面１１と基台３の上面３１との間に液体を供給して貯液空間Ｒに液体を充満させるステップと、複数の液体回収孔３２から貯液空間Ｒ内の液体を回収するステップと、を含むインクジェットヘッドの洗浄方法が実現される。

　（ステップＳＡ０）（図３（ａ）の状況）
　ノズル面１１の洗浄の準備ステップで、貯液空間Ｒを形成するステップである。インクジェットヘッド１が塗布を終了し、汚れＤｉや塗布液の残留液滴Ｍが付着したノズル面１１の洗浄のために、基台３の上面３１の直上位置まで移動し一旦停止する。この時、ノズル面１１と上面３１は、ＸとＹ方向にほぼ重なる位置にあり、互いに上下方向に対面する。この状態で、エアーシリンダー７４ａ、７４ｂを作動させて基台３を上昇させ、インクジェットヘッド１の下端面１３と、同じ高さＬｔの間隙調整部材５２ａ、５２ｂとを当接させて、上面３１とノズル面１１との間に、平行な間隙Ｇの貯液空間Ｒを形成する。なお間隙Ｇは、貯液空間Ｒに液体を充満させるのが容易な点と、液体回収孔３２からの液体の回収が確実に行えることから、好ましくは０．１～３ｍｍ、より好ましくは０．５～２ｍｍにする。

　（ステップＳＡ１）（図３（ｂ）の状況）
　ステップＳＡ１は、貯液空間Ｒに塗布液を充満させるステップである。まず、インクジェットヘッド１へ塗布液を供給して吐出口１２から所定流量（単位時間の液体量）にて所定量の塗布液を吐出する。これによって、ノズル面１１と基台３の上面３１との間に形成される貯液空間Ｒに塗布液が供給され、すぐに塗布液が充満して塗布液塊２０となる。貯液空間Ｒの容積を越える余剰の塗布液は基台３の上面３１からもれ出し、最終的に回収トレイ９１に回収される。

　なお、塗布液が貯液空間Ｒに充満した時点から、液体回収孔３２による液体の回収は開始される。そのため、貯液空間Ｒの塗布液充満状態を所定時間維持するには、所定時間だけ塗布液を貯液空間Ｒに供給しつづけることが必要となる。貯液空間Ｒの塗布液充満状態を維持する時間で、ノズル面１１の汚れＤｉや残留液滴Ｍは、貯液空間Ｒ内の塗布液に含まれることになり、ノズル面１１からは離れる。貯液空間Ｒの塗布液充満状態を維持する時間は好ましくは０．１～１０秒、より好ましくは１～５秒である。

　（ステップＳＡ２）（図３（ｃ）～（ｅ）の状況）
　貯液空間Ｒ内の塗布液を、複数の液体回収孔３２から回収するステップである。貯液空間Ｒ内に塗布液が充満した時点から各液体回収孔３２からの液体の回収は開始しており、インクジェットヘッド１からの塗布液の吐出終了に伴い、貯液空間Ｒ内の塗布液（塗布液塊２０）の容積が減少していく。なお正確にいうと、中央の３個の液体回収孔３２については、回収促進部材４が挿入されているので、液体回収孔３２内にある回収促進部材４の貫通孔４３を通じて塗布液が回収される。このような塗布液の回収によって貯液空間Ｒの容積よりも塗布液塊２０の容積の方が小さくなると、ノズル面１１に撥液性があることもあって、塗布液は凝集して中央の方に寄っていく。この液体回収孔３２からの塗布液の回収による塗布液容積の減少に伴う塗布液の凝集によって、塗布液塊２０の左右にある境界２１ａ、２１ｂはともに両端側から中央に移動する。塗布液塊２０の境界２１ａ、２１ｂの移動は必ずしも左右対称とはならず、たとえば右側にある境界２１ｂの方が先に中央に寄る（図３（ｃ）に示される状態）。

　さらに塗布液塊２０に接している液体回収孔３２からの塗布液の回収が行われると、貯液空間Ｒ内の塗布液容積の減少に伴う塗布液の凝集はより進展する。その結果、塗布液塊２０の右側にある境界２１ｂが、先に中央の液体回収孔３２（最終液体回収孔）の回収促進部材４に近接して停止し、塗布液塊２０の左側にある境界２１ａが、中央の液体回収孔３２に移動してくるのを待つ（図３（ｄ）に示される状態）。中央の液体回収孔３２に挿入されている回収促進部材４の上端面４１は、基台３の上面３１より上に突出している突出量Ｈｆで、他の回収促進部材４の上端面４１の突出量Ｈよりも大きくしている。これによって突出量Ｈｆの回収促進部材４の表面張力により塗布液塊２０を保持する保持力は、突出量Ｈの回収促進部材４の保持力よりも大きくなる。そのため図３（ｄ）で示すように、中央の回収促進部材４とその左隣りの回収促進部材４が、各々の保持力で引き合っても、保持力の大きな中央の回収促進部材４の方に、塗布液塊２０を引き寄せることができる。これによって、塗布液塊２０の右側にある境界２１ｂは、中央にある回収促進部材４の右側に停止したままとなり、塗布液塊２０の左側にある境界２１ａが、液体回収孔３２からの液体回収進展に応じて中央の液体回収孔３２（最終液体回収孔）の方にやってくる（図３（ｅ）の状態）。以上のメカニズムにて、塗布液塊２０の右側にある境界２１ｂが左側にある境界２１ａよりも早く中央の回収促進部材４に近接しても、右側にある境界２１ｂをしっかり中央の回収促進部材４が保持して、左側にある境界２１ａが中央の回収促進部材４に近接するのを待つことができる。そして最終的に、ノズル面１１と中央の回収促進部材４の上端面４１の間の塗布液を回収して、回収を終了する。これでステップＳＡ２は完了する。貯液空間Ｒから全ての塗布液が回収された結果、ノズル面１１から、汚れＤｉと残留液滴Ｍとが、完全に除去され、洗浄が行えたことになる。

　（ステップＳＡ３）（図４（ｆ）の状況）
　洗浄の終了ステップである。エアーシリンダー７４ａ、７４ｂを逆側に作動させて、基台３をインクジェットヘッド１から引き離して、下方に移動する（図４（ｆ）で示される状態）。そしてインクジェットヘッド１は、次の塗布のために、所定場所に移動する。

　（第１実施形態の効果）
　以上説明した第１実施形態であるインクジェットヘッド１の洗浄装置１００ａは、複数の液体回収孔３２を備え、さらに液体を液体回収孔３２に引き寄せて液体の回収を促進させる回収促進部材４も備えている。その結果、液体回収孔３２から直接、貯液空間Ｒ内の液体を回収することができる。それにより、従来のようにインクジェットヘッド１を移動させることなく静止した状態で、貯液空間Ｒの液体をノズル面１１に残存しないようにして回収することができる。液体は貯液空間Ｒ内のみで移動させて回収するのであるから、ノズル面１１の周囲にあって貯液空間Ｒの範囲外となるノズル周囲面（下端面１３）に、汚れや液体を付着、残存させることはない。また、インクジェットヘッド１が長手方向に長大化し、ノズル面１１が長手方向に長くなっても、液体回収孔３２と回収促進部材４を適切な間隔と数で長手方向に配置することにより、ノズル面１１に付着していた汚れや残留液滴を含んだ貯液空間内の液体を回収することができる。この結果、インクジェットヘッド１が長大化されたノズル面１１を有する場合でも、その洗浄を高品質で確実に行うことができる。

　さらに、回収促進部材４の上端面４１は基台３の上面３１から突出しており、その突出量は回収促進部材４全体で一様ではなく、突出量が最大となる回収促進部材４を少なくとも１つ存在させている、さらに具体的には、貯液空間Ｒからの液体の回収が最終まで継続される液体回収孔３２（最終液体回収孔）に配置された回収促進部材４の上端面４１が、基台３の上面３１から最も長く突出する（突出量Ｈｆ）ようにしたので、液体の回収に伴い貯液空間Ｒ内で容積が減少して移動する液体の塊（塗布液塊２０）を着実に保持して、回収が最終まで継続される液体回収孔３２に導くことができる。これによって、貯液空間Ｒ内の液体を残留させることなく、すべて回収することができる。この結果として、貯液空間Ｒ内の液体に含まれるノズル面１１に付着していた汚れや残留液滴を、すべて回収することができる。

　以上の結果、第１実施形態のインクジェットヘッド１の洗浄装置１００ａによれば、ノズル面１１の寸法が長大化された大型のインクジェットヘッド１に対して、ノズル面１１に液体のみを接触させて行う非接触洗浄を行う場合に、ノズル面１１の周囲にある部分に汚れや液体が付着、残存しないようにして、ノズル面１１の高品質の洗浄を確実に行うことができる。

　また、基台３の上面３１からの突出量が最大となる回収促進部材４が配置された液体回収孔３２において液体の回収が最終まで継続されることを利用し、液体回収が最終まで継続される箇所を任意に設定できる。

　具体的には、図１のように基台３の上面３１からの突出量が最大となる回収促進部材４は、複数並ぶ液体回収孔３２のうち略中央部の液体回収孔３２に備えられているように構成すれば、液体の界面（境界２１ａ、境界２１ｂ）の移動距離は最長でも基台３の端から基台３の中央部までの距離となるため、液体の回収時間を短くすることができる。

　また、後に示す図５のように基台３の上面３１からの突出量が最大となる回収促進部材４は、複数並ぶ液体回収孔３２のうち端部の液体回収孔３２に備えられているように構成すれば、ノズル面１１内の吐出口１２が配置されている領域から外れた箇所と対向する位置に容易に突出量が最大となる回収促進部材４を配置することができる。このようにノズル面１１内の吐出口１２が配置されている領域から外れた箇所と対向する位置に突出量が最大となる回収促進部材４を配置することにより、最後に液体が回収される、最も突出量が大きい回収促進部材４の上端面４１において仮に液体が残留したとしても、それが吐出口１２の吐出能力に影響することを防ぐことができる。

　また、第１実施形態では、上記のように、回収促進部材４に、液体回収孔３２との間で上端面４１から上下方向に液体が液体回収孔３２に通じる通路であるスリット４２を形成しているので、基台３の上面３１上の液体を液体回収孔３２内に案内して、貯液空間Ｒ内の液体を全て確実に回収することができる。

　また、第１実施形態では、一対の長手方向両端にある間隙調整部材５２ａ、５２ｂをインクジェットヘッド１の一部である下端面１３に当接させて、貯液空間Ｒを形成する基台３の上面３１とノズル面１１との間の間隙を常に一定に維持するようにした。これによって、毎回の洗浄ごとに同一の最適な条件で貯液空間Ｒ内の液体を回収して洗浄ができるので、回数を重ねても安定して確実にノズル面１１の洗浄を行うことができる。

　また、第１実施形態のインクジェットヘッド１の洗浄方法では、上記したステップを実施することによって、インクジェットヘッド１を移動させることなく静止した状態で、貯液空間Ｒの液体をノズル面１１に残存しないようにして回収することができるので、ノズル面１１の周囲にあって貯液空間Ｒの範囲外となるノズル周囲面（下端面１３）に、汚れや液体を付着、残存させることはない。これにより、広幅に対応して１列状に多数配置されたインクジェットヘッド１に対してもノズル面１１の洗浄が可能となる。また、インクジェットヘッド１が長大化されたノズル面１１を有する場合でも、貯液空間Ｒ内のノズル面１１に付着していた汚れや残留液滴を含む液体を、液体回収孔３２から確実に回収することができる。これらの結果、ノズル面１１の寸法が長大化された大型のインクジェットヘッド１に対して、ノズル面１１に液体のみを接触させる非接触洗浄を行う場合でも、ノズル面１１の周囲にある部分に汚れや液体が付着、残存しないようにして、ノズル面１１の高品質の洗浄を確実に行うことができる。

　［第２実施形態］
　以下、図５と図６を参照して、本発明の第２実施形態によるインクジェットヘッド１の洗浄装置２００ａの構成について説明する。図５は、第２実施形態によるインクジェットヘッドの洗浄装置２００ａを模式的に示した拡大正面断面図、図６は、第２実施形態の洗浄装置２００ａで貯液空間Ｒを形成する時の基台３の上面３１とノズル面１１との相対位置関係を示す拡大正面断面図である。

　図５に示す第２実施形態の洗浄装置２００ａは、回収促進部材４に流量調整部材６を付加したことと、回収促進部材４の配置数と配置位置、および最終液体回収孔を変更した以外は、第１実施形態の洗浄装置１００ａと同じである。

　洗浄装置２００ａでは、流量調整部材６を挿入した回収促進部材４を、左端部にある液体回収孔３２以外の４個の液体回収孔３２に挿入している。

　右端部の液体回収孔３２を貯液空間Ｒからの液体回収が最終まで継続される液体回収孔３２（最終液体回収孔）とするために、右端部の液体回収孔３２に挿入した回収促進部材４の上端面４１を、最も大きな突出量Ｈｆだけ上面３１から突出させている。それ以外の３個の回収促進部材４の上端面４１については、突出量Ｈｆよりも小さな突出量Ｈだけ突出させている。

　また、流量調整部材６は、回収促進部材４とは別個に設けられ、液体回収孔３２内に配置されて、液体回収孔３２内を下方に流れる液体の通過流量（単位時間あたりの液体量）を調整するものである。これによって洗浄装置２００ａでは、貯液空間Ｒに充満した液体の回収速度や、回収時間を調整できることになる。

　図５に示す流量調整部材６は中空の円筒形状の部材で、その内径が回収促進部材４の内径（貫通孔４３の直径）よりも小さい。したがって、回収促進部材４への挿入量Ｌｉが大きいほど、内径のより小さい区間長が長くなって圧力損失が増加して液体の通過流量が小さくなる。その結果、液体回収孔３２からの液体回収速度を低くすることができる。すなわち、流量調整部材６の回収促進部材４への挿入量Ｌｉによって、液体回収孔３２での液体通過流量を調整できる。それによって、貯液空間Ｒに充満した液体の回収速度を随意に調整することができる。すなわち、流量調整部材６は、液体回収孔３２の内部において回収促進部材４の内部に挿入され、挿入量Ｌｉに応じて液体の通過流量を調節する形状を有する。なお図５では、流量調整部材６の回収促進部材４への挿入量Ｌｉは便宜上すべて同じにしているが、必要に応じて回収促進部材４ごとに挿入量Ｌｉを変えて、流量調整を行ってもよい。

　流量調整部材６の液体が通過する断面形状は、円形、矩形、多角形状など、いかなる形状であってもよい。さらには、回収促進部材４で、上端面４１から下側まで貫通する１個のスリット４２を備える断面形状を、そのまま流量調整部材６の断面形状に適用してもよい。

　さらにまた第２実施形態の洗浄装置２００ａでは、間隙調整部材５２ａ、５２ｂの高さを各々Ｌｔａ、Ｌｔｂとし、高さＬｔｂの方を高さＬｔａよりも小さくしている。これによって、基台３を上昇させて、間隙調整部材５２ａ、５２ｂをインクジェットヘッド１の下端面１３に当接させることにより形成される貯液空間Ｒでの間隙は、図６に示す通り、右端部の間隙Ｇｂの方が左端部の間隙Ｇａよりも小さくなる。すなわち、挿入されている回収促進部材４の上端面４１を最大の突出量Ｈｆだけ上面３１から突出させて、最終液体回収孔にしている右端部の液体回収孔３２の位置、すなわち右端部で、貯液空間Ｒの間隙が間隙Ｇｂと最も小さくなるようにしている。つまり、間隙が右端部に向かって漸減する傾斜間隙を設定するということである。なお小さい方の間隙Ｇｂは、好ましくは０．１～２ｍｍ、より好ましくは０．５～１．５ｍｍ、間隙差Ｇａ－Ｇｂは好ましくは０．１～１ｍｍ、より好ましくは０．２～０．７ｍｍにする。

　図６に示す配置状態で、間隙Ｇａ、Ｇｂを上記の好ましい範囲の大きさにして傾斜間隙を設けた貯液空間Ｒに、インクジェットヘッド１から塗布液を吐出して塗布液を充満させてみる。塗布液が充満した時点から各液体回収孔３２から塗布液が回収され、それが進展して貯液空間Ｒの容積よりも塗布液の容積の方が小さくなると、塗布液は凝集して間隙Ｇの小さい方に寄っていく。すなわち、貯液空間Ｒで最も小さい間隙Ｇｂとなっている右端部の液体回収孔３２（最終液体回収孔）に向かって、塗布液が移動する。これによって貯液空間Ｒに充満させた塗布液を最終的に、右端部の液体回収孔３２から確実に回収することができる。この時に、右端部の液体回収孔３２の液体回収速度が最も小さくなるように、右端部の液体回収孔３２内にある流量調整部材６の回収促進部材４への挿入量Ｌｉを定めるのが好ましい。右端部の液体回収孔３２の液体回収速度が大きいと、液体回収孔３２からの塗布液の回収による塗布液容積の減少に伴う塗布液の凝集がゆっくりな場合、すなわち塗布液の右側への移動が遅い場合には、塗布液が途中で分断する。この時、分断した右側の塗布液は右端部の液体回収孔３２から回収されるが、分断した左側の塗布液はそのまま貯液空間Ｒ内に残留する。したがって、図６の状態で、確実に貯液空間Ｒに充満した液体を回収するには、最終まで液体回収が継続する液体回収孔３２からの回収速度が最も小さくなるように、該当する流量調整部材６の回収促進部材４への挿入量Ｌｉを調整するのが好ましい。

　（第２実施形態の作用効果）
　第２実施形態では、上記のように、回収促進部材４とは別個に、液体回収孔３２内に配置される流量調整部材６を備える。これにより、流量調整部材６によって、液体回収孔３２での液体の通過流量を調整することで、液体回収孔３２からの液体回収速度を最適化することができる。これによって、回収速度が高すぎてノズル面に液滴を残存させたり、複数の液体回収孔からの回収速度が異なって液体が分断して貯液空間内に残存する、等の不都合を防止することができる。

　また、流量調整部材６は、回収促進部材４への挿入量Ｌｉによって液体回収孔３２内での液体の通過流量を調節できるのであるから、容易に液体回収孔３２からの回収速度を最適化して、ノズル面１１や貯液空間Ｒに液体を残留させることなく、液体を回収することができる。

　第２実施形態である洗浄装置２００ａにおいても、上記第１実施形態と同様に、ノズル面１１の寸法が長大化された大型のインクジェットヘッド１に対して、ノズル面１１に液体のみを接触させて行う非接触洗浄を行う場合に、ノズル面１１の周囲にある部分に汚れや液体が付着、残存しないようにして、ノズル面１１の高品質の洗浄を確実に行うことができる。

　また、第２実施形態では、ノズル面１１に吐出口１２が存在しない領域の直下にある右端部の液体回収孔３２を、貯液空間Ｒからの液体回収が最終まで継続される液体回収孔（最終液体回収孔）にしている。したがって、ノズル面１１の撥液性が劣化して、右端部の液体回収孔３２の直上に液体が残留しても、吐出口１２には干渉しないので、吐出口１２から塗布液を正常に吐出でき、その結果、インクジェットヘッド１の塗布作業を継続して行うことができる。

　［第３実施形態］
　以下、図７を参照して、本発明の第３実施形態によるインクジェットヘッド１の洗浄装置３００ａの構成について説明する。図７は、第３実施形態によるインクジェットヘッドの洗浄装置３００ａを模式的に示した正面断面図である。

　図７に示す第３実施形態の洗浄装置３００ａは、貯液空間Ｒ内に洗浄液を供給する洗浄液供給手段８をさらに備えて付加した以外は、第２実施形態の洗浄装置２００ａと全く同じである。

　洗浄液供給手段８は、左端部の液体回収孔３２内に挿入されて洗浄液を上向きに吐出する中空円筒形状の洗浄液供給管８１、洗浄液供給管８１の下側端部に接続されてポンプ８３から送液される洗浄液を洗浄液供給管８１に供給する洗浄液配管８２、洗浄液を貯蔵してポンプ８３に洗浄液を供給する貯蔵タンク８４、より構成される。以上より洗浄液供給管８１は、液体回収孔３２のいずれかの内部にあって、洗浄液の供給が可能な供給部材であり、洗浄液供給手段８に備えられている。

　洗浄液供給手段８はこの構成によって、基台３の上面３１がインクジェットヘッド１のノズル面１１に近接して形成される貯液空間Ｒに、随意のタイミングでポンプ８３から所定量の洗浄液を供給して充満させることができる。なお洗浄液供給管８１の上端面は、上面３１と同じ位置にあるか、上面３１より少し下の位置になるよう配置するのが好ましい。

　〈洗浄方法〉
　次に、洗浄装置３００ａを用いた別のインクジェットヘッドの洗浄方法について、図８および図９を参照して、ステップＳＢ０～ＳＢ５をたどりながら説明する。この洗浄方法は、インクジェットヘッド１から塗布液を吐出して、それにノズル面１１の汚れや残留液滴を含ませて回収してノズル面１１の洗浄を行った後に、仕上げのために洗浄液をさらに供給してノズル面１１を追加して洗浄するものである。図８および図９の（ａ）～（ｈ）には、図７で示されるインクジェットヘッド１と基台３の一部とその周囲を拡大して示す正面断面図が示されている。またステップＳＢ０～ＳＢ５が図８および図９の（ａ）～（ｈ）に対応していて、それぞれステップの時の状況や各部の動作の結果を時系列に沿って示している。ステップＳＢは数字の大きい方が時間的に後になる。

　図８および図９にその実行状況が示されるステップＳＢを実施することによって、インクジェットヘッド１のノズル面１１と基台３の上面３１とを近接して配置して貯液空間Ｒを形成するステップと、ノズル面１１と基台３の上面３１との間に液体を供給して貯液空間Ｒに液体を充満させるステップと、複数の液体回収孔３２から貯液空間Ｒ内の液体を回収するステップと、に加えて、貯液空間Ｒ内に洗浄液を供給する洗浄液供給手段８により貯液空間Ｒ内に洗浄液を供給してから、複数の液体回収孔３２から洗浄液を回収するステップをさらに含むインクジェットヘッドの洗浄方法が実現される。

　（ステップＳＢ０）（図８（ａ）の状況）
　ノズル面１１の洗浄の準備ステップで、貯液空間Ｒを形成するステップである。インクジェットヘッド１が塗布を終了し、汚れＤｉや塗布液の残留液滴Ｍが付着したノズル面１１の洗浄のために、基台３の上面３１の直上位置まで移動し一旦停止する。なおこの時点までに洗浄液供給手段８は、洗浄液供給管８１の上端面（基台３の上面３１より少し下方）までに洗浄液を満たすという準備作業を完了していて、いつでも洗浄液を供給できる。インクジェットヘッド１のノズル面１１と基台３の上面３１とが対面している状態で、エアーシリンダー７４ａ、７４ｂを作動させて基台３を上昇させ、インクジェットヘッド１の下端面１３と、異なる高さＬｔａ、Ｌｔｂ（Ｌｔａ＞Ｌｔｂ）の間隙調整部材５２ａ、５２ｂとを当接させて、上面３１とノズル面１１との間に、左端部の間隙Ｇａ、右端部の間隙Ｇｂ（Ｇａ＞Ｇｂ）で傾斜する空間となっている貯液空間Ｒを形成する。

　（ステップＳＢ１）（図８（ｂ）の状況）
　貯液空間Ｒに塗布液を充満させるステップである。まずインクジェットヘッド１へ塗布液を供給して吐出口１２から所定流量（単位時間の液体量）にて所定量の塗布液を吐出する。吐出口１２から吐出された塗布液は、貯液空間Ｒ内に充満して塗布液塊２０となる。そして、貯液空間Ｒの容積を越える余剰の塗布液は基台３の上面３１からもれ出し、最終的に回収トレイ９１に回収される。また貯液空間Ｒの塗布液充満状態を維持する時間で、ノズル面１１の汚れＤｉや残留液滴Ｍは、貯液空間Ｒ内の塗布液である塗布液塊２０に含まれることになり、ノズル面１１からは離れる。左端部の液体回収孔３２の上とその周囲にある洗浄液は、左端部から２番目の液体回収孔３２に引き寄せられてそこから一部回収される。

　（ステップＳＢ２）（図８（ｃ）、（ｄ）の状況）
　複数の液体回収孔３２から貯液空間Ｒ内の塗布液（塗布液塊２０）を回収するステップである。貯液空間Ｒ内に塗布液が充満した時点から、各液体回収孔３２からの液体の回収は開始している。左端部の液体回収孔３２の上とその周囲にある塗布液は、左端部の液体回収孔３２からは回収できないが、左端部から２番目の液体回収孔３２に引き寄せられてそこから一部回収される。さて、インクジェットヘッド１からの塗布液の吐出終了に伴い、貯液空間Ｒ内の塗布液塊２０の容積が減少していく。貯液空間Ｒの容積よりも塗布液塊２０の容積の方が小さくなると、表面張力の作用で塗布液は凝集し、塗布液塊２０は貯液空間Ｒの間隙Ｇが小さい方に寄っていく。すなわち塗布液塊２０の左側にある境界２１ａが、間隙Ｇが次第に減少する右方向に移動する。塗布液塊２０の右側にある境界２１ｂは、右端部の回収促進部材４の近傍にあって移動しない（図８（ｃ）に示される状態）。さらに塗布液塊２０に接している液体回収孔３２からの塗布液の回収が進展すると、貯液空間Ｒ内の塗布液塊２０の容積の減少に伴う塗布液の凝集もさらに進展し、塗布液塊２０の左側にある境界２１ａは右端部の液体回収孔３２（最終液体回収孔）に向かって移動する。そして右端部の液体回収孔３２からの液体の回収が最終まで継続されて、貯液空間Ｒ内の塗布液（塗布液塊２０）はすべて回収される（図８（ｄ）に示される状態）。

　（ステップＳＢ３）（図９（ｅ）の状況）
　洗浄液供給手段８により、貯液空間Ｒ内に洗浄液を供給して、充満させるステップである。まずポンプ８３を駆動し、洗浄液供給管８１から所定流量（単位時間の液体量）にて所定量の洗浄液を貯液空間Ｒに送液する。これにより、貯液空間Ｒに洗浄液を充満させる。この貯液空間Ｒ内に充満させた洗浄液が洗浄液塊２２となる。なお、洗浄液供給管８１の上端面が基台３の上面３１よりも低い位置で液体回収孔３２の内部にある場合、洗浄液供給管８１から洗浄液を送液開始する前は、洗浄液供給管８１の上端面上には塗布液がわずかに残留しているが、洗浄液の送液開始によって、残留している塗布液は貯液空間Ｒに送液され、最後は余剰の液体となって貯液空間Ｒ外に排出される。なお、ノズル面１１の撥液性低下に伴い、ノズル面１１に汚れＤｉや塗布液が残存している場合は、貯液空間Ｒ内に洗浄液の充満を維持する時間で、残存する汚れＤｉや塗布液が洗浄液に溶解されて洗浄液に含まれることになる。溶解された時点で、汚れＤｉや塗布液はノズル面１１からは離れる。

　（ステップＳＢ４）（図９（ｆ）、（ｇ）の状況）
　複数の液体回収孔３２から貯液空間Ｒ内の洗浄液を回収するステップである。貯液空間Ｒ内に洗浄液が充満した時点から、左端部以外のすべての液体回収孔３２から洗浄液の回収は開始している。左端部の液体回収孔３２の上とその周囲にある洗浄液は、左端部の液体回収孔３２からは回収できないが、左端部から２番目の液体回収孔３２に引き寄せられてそこから一部回収される。洗浄液供給管８１からの洗浄液の供給終了に伴い、液体回収孔３２からの回収が進展して、貯液空間Ｒ内の洗浄液塊２２の容積が減少していく。これによって洗浄液は凝集し、洗浄液塊２２の左側にある境界２３ａが、間隙Ｇが次第に減少する右方向に移動する。洗浄液塊２２の右側にある境界２３ｂは、右端部の液体回収孔３２（最終液体回収孔）に挿入されている回収促進部材４の近傍にあって移動しない（図９（ｆ）に示される状態）。さらに洗浄液塊２２に接している液体回収孔３２からの塗布液の回収が進展すると、貯液空間Ｒ内の洗浄液塊２２の容積の減少に伴う洗浄液の凝集もさらに進展し、洗浄液塊２２の左側にある境界２３ａは右端部の液体回収孔３２（最終液体回収孔）に向かってさらに移動する。そして右端部の液体回収孔３２からの洗浄液の回収が最終まで継続されて、貯液空間Ｒ内の洗浄液はすべて回収される。これに伴い、ノズル面１１には何も残存せず、ノズル面１１の洗浄が完了する（図９（ｇ）に示される状態）。

　（ステップＳＢ５）（図９（ｈ）の状況）
　洗浄の終了ステップである。エアーシリンダー７４ａ、７４ｂを逆側に作動させて、基台３をインクジェットヘッド１から引き離して、下方に移動する（図９（ｈ）で示される状態）。そしてインクジェットヘッド１は、次の塗布のために、一旦上昇してから、所定場所に移動する。

　以上のステップＳＢ０～ＳＢ５で示した洗浄方法は、ノズル面１１の撥液性が劣化した場合に有効である。すなわちステップＳＢ２まで実行した時点で、最初にノズル面１１に付着していた汚れＤｉや塗布液の残留液滴は除去できても、貯液空間Ｒに充満させた塗布液を回収する時点で、ノズル面１１の撥液性が劣化していると、回収する塗布液がノズル面１１に付着して残留することがある。さらにもっとノズル面１１の撥液性が劣化していると、最初にノズル面１１に付着していた汚れＤｉや塗布液の残留液滴も除去できないことがある。いずれにせよ、このように汚れや塗布液が残留していても、残りのステップＳＢ３～ＳＢ５を実行すれば、貯液空間Ｒ内に供給して充満させる洗浄液で、ノズル面１１に残留している汚れや塗布液を溶解して洗浄液中に含むことができ、汚れや残留塗布液を含んだ洗浄液をすべて回収できるのであるから、ノズル面１１に残留するものもなく、ノズル面１１の高品質の洗浄が確実に行える。

　さらに上記の洗浄方法は、ステップＳＢ０→ＳＢ３→ＳＢ４→ＳＢ１→ＳＢ２→ＳＢ５の順番に行ってもよい。この順番に洗浄を行うと、最初に貯液空間Ｒに供給して充満させる洗浄液で、ノズル面１１に付着している汚れＤｉや残留液滴を確実に除去することができる。さらにノズル面１１に異物が付着して撥液性が劣化している場合は、洗浄液によってその異物もノズル面１１から除去できるので、ノズル面１１の撥液性を回復させることが可能となる。

　また、ノズル面１１を洗浄液で洗浄すると、洗浄液が吐出口１２からインクジェットヘッド１の内部に入り込み、洗浄後のインクジェットヘッド１の塗布時に、内部に入り込んだ洗浄液が起因となって、塗布液を吐出できないことがある。上記のステップの順番で洗浄を行えば、ノズル面１１を洗浄液で洗浄後に、塗布液をインクジェットヘッド１から貯液空間Ｒに供給してそれを回収するのであるから、たとえ洗浄液が一旦インクジェットヘッド１の内部に入り込んでも、続くインクジェットヘッド１からの塗布液の吐出で、内部に入り込んだ洗浄液も外部に吐き出される。したがって、つづく塗布時での洗浄液起因のインクジェットヘッド１の塗布液吐出不良を皆無にすることができる。さらにまた最初の洗浄液によるノズル面１１の洗浄で、ノズル面１１の撥液性も回復させられるので、つづく貯液空間Ｒへの塗布液の供給、塗布液の回収を行っても、ノズル面１１に塗布液が残留することはなく、塗布液でもノズル面１１の洗浄が行えることになる。

　さらにまた上記の洗浄方法は、ステップＳＢ０→ＳＢ３→ＳＢ４→ＳＢ５の順番に行ってもよい。この順番に洗浄を行うと、最初に貯液空間Ｒに供給して充満させる洗浄液で、ノズル面１１に付着している汚れＤｉや残留液滴を確実に、短い時間で除去することができる。

　（第３実施形態の作用効果）
　洗浄装置３００ａでは、貯液空間Ｒ内に洗浄液を供給する洗浄液供給手段８を設けたので、貯液空間Ｒ内に洗浄液を充満させてのノズル面１１の洗浄が可能となる。この場合、ノズル面１１の撥液性が劣化しても付着している汚れや液滴を確実に除去することができるとともに、ノズル面１１の撥液性の回復も可能となる。

　また貯液空間Ｒ内に直接洗浄液を供給する洗浄液供給手段８の洗浄液供給管８１を、洗浄液の供給が可能な供給部材として液体回収孔３２内に設けたので、液体回収孔３２を洗浄液の供給孔としても使用することができる。その結果、液体回収孔３２の他に、別途専用の洗浄液供給孔を基台３に設ける必要がないため、装置構成を簡素化することができる。

　また第３実施形態である洗浄装置３００ａにおいても、上記第１、第２実施形態と同様に、ノズル面１１の寸法が長大化された大型のインクジェットヘッド１に対して、ノズル面１１に液体のみを接触させて行う非接触洗浄を行う場合に、ノズル面１１と上面３１を静止させてノズル面１１の周囲にある部分に汚れや液体が付着、残存しないようにして、ノズル面１１の高品質の洗浄を確実に行うことができる。

　本発明の洗浄装置ならびに洗浄方法が適用できる塗布液としては、インクジェットヘッドから吐出して塗布できる液体であるならば、すべて対象となる。たとえば、溶剤中に染料や顔料を溶解または分散させたインクの他、紫外線硬化樹脂その他の樹脂材料を含む液体にも好適に適用できる。

　また、基台３、回収促進部材４、流量調整部材６の材質については、金属、セラミックス、合成樹脂等いかなるものでもよい。塗布液や洗浄液を使用するために、それらへの耐性を有するものが好ましく、インクジェットヘッド用の塗布液や洗浄液によく使用される有機溶剤や水に対して、耐性と耐食性を有するステンレス鋼等が好ましく用いられる。

　基台３の上面３１の大きさについては、インクジェットヘッド１のノズル面１１と全く同じにするか、Ｘ方向とＹ方向に０．１～２ｍｍだけ上面３１の方を大きくするのが好ましい。安定して貯液空間Ｒに液体を充満させることができるためである。

　液体回収孔３２、回収促進部材４の配置間隔や配置数については、特に制約はない。インクジェットヘッド１の長手方向の長さに応じて、確実に貯液空間Ｒに充満した液体を回収できる配置間隔、配置数を選定すればよい。液体回収孔３２の直径は、好ましくはφ０．５～５ｍｍ、より好ましくはφ１～３ｍｍである。

　回収促進部材４の液体回収孔３２の内部側に液体を引き寄せる力は、液体が上面３１上からスリット４２を通って液体が流れ落ちることで発生する。したがって、回収促進部材４は、上面３１よりも上方に突出する部分から、液体回収孔３２内に液体が伝わって上下方向に流れる形状の部材であればよい。たとえば上下方向に長い板材にして、上側からの平面視で「一」の字状、三角形、台形、多角形、円状、楕円状、Ｕ字状、Ｖ字状、Ｙ字状、コの字状、井桁状等に形成したものでも、回収促進部材として機能する。回収促進部材４の上下方向の長さも特に制約はないが、液体が伝わって流れる長さがあることと設置のしやすさから、好ましくは１ｍｍ以上、３０ｍｍ以下、より好ましくは１０ｍｍ以上、２５ｍｍ以下にする。なお、回収促進部材が挿入されていない液体回収孔では、直上にある液体は回収できるが、液体回収孔の周囲にある液体は回収できない。回収促進部材が液体回収孔に挿入されていると、液体回収孔の周囲にある液体を液体回収孔の方に引き寄せて回収することができる。ただし、１個の回収促進部材が液体を引き寄せられる範囲の長さには限界があるので、長手方向に長大化したインクジェットヘッドに対しては、上記の液体を引き寄せられる範囲の長さに応じて、回収促進部材の設置間隔や個数を定めるのが好ましい。

　液体回収孔３２に挿入される回収促進部材４の上端面４１の上面３１からの突出量（Ｈ、Ｈｆ）については、回収促進部材４がある位置での貯液空間Ｒの間隙Ｇの好ましくは０～９０％、より好ましくは１０～８０％にする。最終液体回収孔以外の通常の液体回収孔３２に挿入される回収促進部材４の上端面４１の上面３１からの突出量についてはゼロ、すなわち上端面４１の位置が上面３１と略同一でもよい。回収促進部材４にはスリット４２が設けられており、スリット４２に液体が接触すれば毛細管現象によって液体が下方に輸送されるので、とぎれることなく周囲の液体を引き寄せることができる。

　［変形例］
　なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示される。さらに特許請求の範囲と均等の意味となる範囲内でのすべての変更（変形例）が含まれる。

　第１実施形態では、貯液空間Ｒからの液体回収が最終まで継続される液体回収孔（最終液体回収孔）を、長手方向の中央に設けた液体回収孔３２にした例を示し、第２実施形態ではそれを右端部の液体回収孔３２にした例を示したが、本発明はこれに限らず、いずれの液体回収孔３２にしてもよい。たとえば、突出量が最大となる回収促進部材４の本数を１本に限定せず、中央と右端部との間にある液体回収孔３２に突出量が最大となる回収促進部材４を挿入し、最終液体回収孔に選定してもよい。

　第１～第３実施形態では、最終液体回収孔以外の複数の液体回収孔３２に挿入される回収促進部材４の上端面４１の上面３１からの突出量を、すべて同じ突出量Ｈとしているが、回収促進部材４毎に異なる突出量にしてもよい。これらの突出量は、最終液体回収孔に挿入される回収促進部材４の上端面４１の上面３１からの突出量Ｈｆよりも小さくすることが、必要要件となる。また、この場合、各回収促進部材４の上端面４１の突出量は、最終液体回収孔に挿入される突出量が最大となる回収促進部材４から離れるほど小さくすることが好ましい。このような構成にすることにより、突出量が小さい回収促進部材４が挿入された液体回収孔から突出量が大きい回収促進部材４が挿入された液体回収孔の順に液体の回収が進行し、最後に突出量が最大の回収促進部材４が挿入された液体回収孔（最終液体回収孔）において液体が回収されるプロセスが滑らかに進展する。

　第１～第３実施形態では、一対の間隙調整部材５２ａ、５２ｂを下端面１３に当接させてノズル面１１と上面３１の相対位置を定めたが、間隙調整部材５２ａ、５２ｂを用いずに、ノズル面１１と上面３１の相対位置を定めてもよい。

　さらにまた、間隙調整部材５２ａ、５２ｂをインクジェットヘッド１の下端面１３に直接当接するのではなくて、厚さ一定の中間部材を介して下端面１３に当接させてもよい。この場合、中間部材は下端面１３を保護する機能を有する。さらに、中間部材の厚さを考慮して、貯液空間Ｒの所定の間隙Ｇａ、Ｇｂが得られるように、間隙調整部材５２ａ、５２ｂの高さＬｔａ、Ｌｔｂを定めることが好ましい。

　１　インクジェットヘッド
　３　基台
　４　回収促進部材
　５　間隙設定部
　６　流量調整部材
　７　支持昇降部
　８　洗浄液供給手段
　９　回収部
　１１　ノズル面
　１２　吐出口
　１３　下端面
　２０　塗布液塊
　２１ａ、２１ｂ　境界
　２２　洗浄液塊
　２３ａ、２３ｂ　境界
　３１　上面
　３２　液体回収孔
　３４　開口
　３５　支持板
　３６　脚
　４１　上端面
　４２　スリット（通路）
　５２ａ、５２ｂ　間隙調整部材
　７１　支持昇降板
　７４ａ、７４ｂ　エアーシリンダー
　８１　洗浄液供給管（供給部材）
　９１　回収トレイ
　１００　インクジェット塗布装置
　１００ａ、２００ａ、３００ａ　洗浄装置
　Ｇ、Ｇａ、Ｇｂ　間隙
　Ｒ　貯液空間

Claims (13)

1. 　インクジェットヘッドのノズル面の洗浄時に、前記ノズル面と対面して貯液空間を形成するよう近接して配置される上面と、前記上面で開口し、前記ノズル面の長手方向に沿って並ぶ複数の液体回収孔とを含む基台と、
   　前記上面に露出するように複数の前記液体回収孔に配置され、前記液体回収孔内への液体の回収を促進する回収促進部材とを備え、
   　各前記回収促進部材の上端面は、前記基台の前記上面から突出しており、その突出量は前記回収促進部材全体で一様ではなく、突出量が最大となる前記回収促進部材が少なくとも１つ存在する、インクジェットヘッドの洗浄装置。
2. 　インクジェットヘッドのノズル面の洗浄時に、前記ノズル面と対面して貯液空間を形成するよう近接して配置される上面と、前記上面で開口し、前記ノズル面の長手方向に沿って並ぶ複数の液体回収孔とを含む基台と、
   　前記上面に露出するように複数の前記液体回収孔に配置され、前記液体回収孔内への液体の回収を促進する回収促進部材とを備え、
   　前記貯液空間からの液体回収が最終まで継続される液体回収孔に配置された前記回収促進部材の上端面が、それ以外の液体回収孔に配置された前記回収促進部材の上端面よりも上方の位置に、前記基台の前記上面から突出するように配置されている、インクジェットヘッドの洗浄装置。
3. 　各前記回収促進部材の上端面の前記基台の前記上面からの突出量は、突出量が最大となる前記回収促進部材から離れるほど小さくなることを特徴とする、請求項１または２のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの洗浄装置。
4. 　前記基台の前記上面からの突出量が最大となる前記回収促進部材は、前記ノズル面の吐出口が配置されていない箇所と対向することを特徴とする、請求項１～３のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの洗浄装置。
5. 　前記基台の前記上面からの突出量が最大となる前記回収促進部材は、複数並ぶ前記液体回収孔のうち略中央部の前記液体回収孔に備えられていることを特徴とする、請求項１～４のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの洗浄装置。
6. 　前記基台の前記上面からの突出量が最大となる前記回収促進部材は、複数並ぶ前記液体回収孔のうち端部の前記液体回収孔に備えられていることを特徴とする、請求項１～４のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの洗浄装置。
7. 　前記回収促進部材とは別個に設けられ、前記液体回収孔内に配置される流量調整部材をさらに備える、請求項１～６のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの洗浄装置。
8. 　前記回収促進部材は、前記上端面から上下方向に液体が前記液体回収孔に通じる通路が形成された形状を有し、
   　前記流量調整部材は、前記液体回収孔の内部において前記回収促進部材の内部に挿入され、挿入量に応じて液体の通過流量を調節する形状を有する、請求項７に記載のインクジェットヘッドの洗浄装置。
9. 　前記貯液空間内に洗浄液を供給する洗浄液供給手段をさらに備える、請求項１～８のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの洗浄装置。
10. 　前記洗浄液供給手段は、前記液体回収孔のいずれかの内部にあって、洗浄液の供給が可能な供給部材を備える、請求項９に記載のインクジェットヘッドの洗浄装置。
11. 　洗浄時に前記インクジェットヘッドの一部と上下方向に当接するのに伴って、前記基台の前記上面と前記インクジェットヘッドのノズル面との間の間隙を定める一対の間隙調整部材を、前記基台の前記長手方向の一端側と他端側とにそれぞれ備える、請求項１～１０のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの洗浄装置。
12. 　請求項１～１１のいずれかに記載のインクジェットヘッドの洗浄装置を用いた洗浄方法であって、
    　前記インクジェットヘッドの前記ノズル面と前記基台の前記上面とを近接して配置して貯液空間を形成するステップと、
    　前記ノズル面と前記基台の前記上面との間に前記液体を供給して前記貯液空間に液体を充満させるステップと、
    　複数の前記液体回収孔から前記貯液空間内の前記液体を回収するステップと、を含む、インクジェットヘッドの洗浄方法。
13. 　前記貯液空間内に洗浄液を供給する洗浄液供給手段により前記貯液空間内に洗浄液を供給してから、複数の前記液体回収孔から洗浄液を回収するステップをさらに含む、請求項１２に記載のインクジェットヘッドの洗浄方法。

Images