WO2018088760A2 - Method and device for adjusting quality determination conditions for test body - Google Patents

Method and device for adjusting quality determination conditions for test body Download PDF

Info

Publication number
WO2018088760A2
WO2018088760A2 PCT/KR2017/012408 KR2017012408W WO2018088760A2 WO 2018088760 A2 WO2018088760 A2 WO 2018088760A2 KR 2017012408 W KR2017012408 W KR 2017012408W WO 2018088760 A2 WO2018088760 A2 WO 2018088760A2
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
error
determination
test
value
reference value
Prior art date
Application number
PCT/KR2017/012408
Other languages
French (fr)
Korean (ko)
Other versions
WO2018088760A3 (en
Inventor
구대성
김용
박기원
Original Assignee
주식회사 고영테크놀러지
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 고영테크놀러지 filed Critical 주식회사 고영테크놀러지
Priority to JP2019525739A priority Critical patent/JP2020500308A/en
Priority to EP21196822.7A priority patent/EP3961332B1/en
Priority to US16/349,802 priority patent/US11199503B2/en
Priority to CN202210685954.5A priority patent/CN115112663A/en
Priority to EP17869347.9A priority patent/EP3540412B1/en
Priority to CN201780070386.5A priority patent/CN109997028B/en
Publication of WO2018088760A2 publication Critical patent/WO2018088760A2/en
Publication of WO2018088760A3 publication Critical patent/WO2018088760A3/en
Priority to US16/713,886 priority patent/US11366068B2/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00Programme-control systems
    • G05B19/02Programme-control systems electric
    • G05B19/418Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
    • G05B19/41875Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM] characterised by quality surveillance of production
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/1717Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with a modulation of one or more physical properties of the sample during the optical investigation, e.g. electro-reflectance
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N2021/1765Method using an image detector and processing of image signal
    • G01N2021/177Detector of the video camera type
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G01N2021/8854Grading and classifying of flaws
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G01N2021/8854Grading and classifying of flaws
    • G01N2021/8858Flaw counting
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G01N2021/8887Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges based on image processing techniques
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N35/00Automatic analysis not limited to methods or materials provided for in any single one of groups G01N1/00 - G01N33/00; Handling materials therefor
    • G01N35/00584Control arrangements for automatic analysers
    • G01N35/00722Communications; Identification
    • G01N2035/00891Displaying information to the operator
    • G01N2035/0091GUI [graphical user interfaces]

Definitions

  • the present disclosure relates to a method and an apparatus for adjusting the acceptance judgment condition for a test object.
  • the inspection system can determine the quality of the inspection object by measuring the structure of the inspection object and determining whether the measured value is within a preset range. For example, the inspection system irradiates light on the specimen and receives light reflected from the specimen to obtain image data of the specimen. In addition, the inspection system obtains a measurement value of the inspection object based on the acquired image data, and derives an inspection result for determining whether the inspection object is Good or NG based on the measured value and a preset reference value. do.
  • the inspection result derived by the inspection system may include a determination error that determines whether the inspection body that is actually good (False Call) or escapes the inspection object that is actually bad (Escape).
  • the reference value used for the acceptance determination can be changed.
  • the measured value of the test object is simply displayed as a number on the display unit of the test system, and the reference value is often entered by the user directly.
  • the user wants to change the reference value there is a problem in that the measured value displayed on the display unit must be input to the new value.
  • the present disclosure provides a method and apparatus for graphically displaying a test result for a test object and more conveniently adjusting a reference value used for the quality judgment.
  • the present disclosure provides a method and apparatus capable of visually displaying the inspection result of the inspection object, the acceptance determination result, and the examination result for the acceptance determination.
  • the present disclosure provides a method and apparatus that can visually indicate the change of the acceptance determination result and the examination result for the acceptance determination according to the adjustment of the reference value.
  • the present disclosure provides a method and apparatus for making the user input for reducing the quality of an inspection object's acceptance determination error more intuitively and conveniently.
  • One aspect of the present disclosure provides a method for adjusting a condition for determining an object for a test object in a condition determining device including a database, a processor, a user input unit, and an output unit.
  • a method according to an exemplary embodiment includes the steps of obtaining, by a processing unit, measured values of structures of a plurality of test objects, and by the processing unit, comparing an error value of a measured value with respect to a design value of a structure and a predetermined reference value.
  • Determining good or bad for each test object of the plurality of test objects identifying, by the processing unit, one or more test objects in which a determination error has occurred among the plurality of test objects, and by the processing unit, a plurality according to the error value Generating a test result graph including the number of test subjects, a reference value, and the number of one or more test subjects in which a determination error occurred, and outputting the test result graph through an output unit, by the processing unit, one or more inspections in which a determination error occurred; Updating the reference value according to the graphical input through the user input on the test result graph, so as to reduce the number of sieves, and the processing unit
  • the determination error includes a first error in which the test object determined to be good is identified as bad and a second error in which the test object determined to be bad is identified as good.
  • the test result and the reference value for the test object are graphically displayed, and the displayed reference value may be adjusted by the user's graphical input.
  • the test result for the test object may be updated based on the reset reference value, and the updated test result may be displayed graphically.
  • the user can adjust the reference value used for determining the quality of the test object more efficiently and simply.
  • a graph showing the inspection result of the inspection object, the acceptance determination result, and the examination result for the acceptance determination is output, and an input for the user to reduce the acceptance determination error on the output graph.
  • the change in the result of the review on the acceptance judgment according to the user's input is visually shown on the graph. As a result, it is possible for the user to more conveniently and intuitively check whether or not the acceptance judgment error is reduced.
  • the updated reference value is not required to be re-measured. It is possible to carry out the trial of the inspector. As a result, the transfer judgment according to the update of the reference value can be executed quickly.
  • FIG. 1 is a view schematically showing an inspection system for determining an inspection object as good or defective according to an embodiment of the present disclosure.
  • FIG. 2 is a view schematically showing the configuration of a measuring device for measuring the structure of the test body according to an embodiment of the present disclosure.
  • FIG. 3 is a block diagram showing a detailed configuration of a good quality determination device for determining good quality of a test object according to an embodiment of the present disclosure.
  • FIG. 4 is a diagram illustrating a test result list including a determination error according to an embodiment of the present disclosure.
  • FIG. 5 is a diagram illustrating a graph of test results showing a result of acceptance judgment and a result of a decision review according to an exemplary embodiment of the present disclosure.
  • FIG. 6 is a diagram illustrating a reference value update on a test result graph according to an embodiment of the present disclosure.
  • FIG. 7 is a diagram illustrating a graph of test results in which a partial region is enlarged according to an exemplary embodiment of the present disclosure.
  • FIG. 8 is a diagram illustrating a graph of test results showing a result of a judgment determination result and a judgment review result according to an exemplary embodiment of the present disclosure.
  • FIG. 9 is a diagram illustrating a test result graph in which a reference value is updated according to an embodiment of the present disclosure.
  • FIG. 10 is a flowchart illustrating a method of adjusting the acceptance judgment condition for a test object according to an embodiment of the present disclosure.
  • Embodiments of the present disclosure are illustrated for the purpose of describing the present disclosure. Embodiments of the present disclosure may be embodied in various forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth below or the detailed description of these embodiments.
  • part refers to hardware components such as software, field-programmable gate arrays (FPGAs), and application specific integrated circuits (ASICs). However, “part” is not limited to hardware and software.
  • the “unit” may be configured to be in an addressable storage medium, and may be configured to play one or more processors.
  • parts means components such as software components, object-oriented software components, class components, and task components, and processors, functions, properties, procedures, subroutines, program code. Includes segments, drivers, firmware, microcode, circuits, data, databases, data structures, tables, arrays, and variables. Functions provided within a component and “part” may be combined into a smaller number of components and “parts” or further separated into additional components and “parts”.
  • the expression “based on” is used to describe one or more factors that affect the behavior or behavior of a decision or judgment described in the phrase in which the expression is included, which expression is used in the act of decision or judgment or It does not exclude additional factors that affect its behavior.
  • a component When a component is referred to herein as being “connected” or “connected” to another component, the component may be directly connected to or connected to the other component. It is to be understood that there may be new other components between the component and the other components.
  • FIG. 1 is a schematic diagram of an inspection system 10 for determining an inspection object as good or defective according to an embodiment of the present disclosure.
  • the inspection system 10 determines whether each of the plurality of inspection bodies 20 is a good product or a defective product, and classifies the product into the good storage device 30 or the defective product storage device 40 according to the determination result.
  • the test body 20 may be any manufactured article having a three-dimensional structure manufactured according to a predetermined design criterion.
  • the test body 20 may be a printed circuit board (PCB) on which electronic components are mounted.
  • PCB printed circuit board
  • the inspection system 10 may include the measurement apparatus 100, the acceptance determination apparatus 120, the determination review apparatus 140, and the classification apparatus 160.
  • the inspection system 10 may also include a network 180 that communicates with the connection between the measurement device 100, the acceptance determination device 120, the determination review device 140, and the classification device 160. As shown in FIG. 1, the inspection body 20 passes through the measurement device 100, the determination review device 140, and the classification device 160 along the direction of the arrow, and the good storage device 30 or the defective product storage device ( 40).
  • the inspection system 10 may be installed at a rear end of a manufacturing stage for manufacturing the specimen 20 or a processing stage for processing the specimen 20.
  • the inspection system 10 can determine whether the manufactured or processed inspection object 20 was manufactured according to a predetermined design criterion.
  • the inspection system 10 can classify the good inspection body 20 into the goods storage device 30 and classify the defective inspection body 20 into the defective goods storage device 40 according to a determination result. have.
  • the measuring device 100 may generate a measured value measuring the structure (eg, the three-dimensional structure) of the test body 20.
  • the measuring device 100 may measure the structure of the test object 20 using light.
  • the measuring device 100 irradiates structured light to the test body 20, receives light reflected from the test body 20, and measures the test body 20 based on the received light. Can generate image data.
  • the measuring device 100 may generate a measured value measuring the structure of the test object 20 based on the image data.
  • the measurement value generated by the measurement device 100 may be transmitted to the acceptance determination device 120 through the network 180. The configuration and operation of the measuring device 100 will be described in more detail with reference to FIG. 2.
  • the acceptance determination apparatus 120 may determine whether the test object 20 is good or bad.
  • the quality determining device 120 may determine whether the measured value generated by the measuring device 100 is within a predetermined range, and thereby determine whether the test object 20 is good or bad.
  • the acceptance determination device 120 may calculate an error value between the measured value and the design value of the structure of the test body 20.
  • the adequacy determination device 120 determines that the test object 20 whose error value is equal to or less than a predetermined reference value is good, and determines that the test object 20 whose error value exceeds the predetermined reference value is defective (NG). Can be.
  • the acceptance determination apparatus 120 may determine that a part of the test object 20 of the test object 20 whose error value is equal to or less than a predetermined reference value (that is, good) is warned. .
  • a predetermined reference value that is, good
  • the delivery judgment device 120 may determine the test object 20 as a warning.
  • the determination examination apparatus 140 can determine whether there is an error in the acceptance determination of the test object 20 by the acceptance determination apparatus 120. For example, there may be a case where the inspection object 20 determined as good by the delivery judgment device 120 is actually defective (Escape). In addition, the test body 20 judged to be defective by the acceptance determination apparatus 120 may actually be good (False Call). This determination error may occur when the reference value used for the acceptance determination in the acceptance determination apparatus 120 is not set appropriately. For example, when a predetermined reference value to be compared with an error value is set high, the affirmation determination device 120 can determine that the inspection object 20 that is actually defective is good, but the determination review device 140 determines such good judgment. This error can be determined. In addition, when the predetermined reference value compared with the error value is set low, the acceptance determination apparatus 120 can determine that the inspection body 20 which is actually good is defective, and the determination review apparatus 140 determines that such failure determination is an error. Can be judged.
  • the determination review device 140 may be implemented using a device capable of determining whether the test object 20 is actually good or bad.
  • the determination review device 140 may include a device that can more accurately measure the structure of the test object 20.
  • the determination review device 140 may include a device capable of confirming an electrical characteristic of the test object 20.
  • the determination reviewing apparatus 140 may determine whether a determination error occurs for a part of the inspection object 20 of the inspection object 20 in which the acceptance determination is made by the acceptance determination device 120. For example, the determination review apparatus 140 can determine whether there is a determination error with respect to the test object 20 that is determined to be warning or defective by the acceptance determination apparatus 120. In this case, the efficiency can be improved as compared with the case of determining whether a determination error for all the test object.
  • the determination review apparatus 140 may determine whether or not a determination error has been made for all the inspection objects 20 for which the acceptance determination has been made by the acceptance determination apparatus 120. In this case, the accuracy may be improved as compared with the case of determining whether a determination error for some of the inspection object.
  • the examination result by the determination review apparatus 140 may be transmitted to the acceptance determination apparatus 120 through the network 180.
  • the determination review apparatus 140 estimates the good error value range of the good specimens 20 from the distribution of the measured error values, and additionally, the bad specimens 20.
  • the range of defective error values can be estimated.
  • the error value of the physical property of the product produced according to a certain production process can be said to have a certain probability distribution.
  • the error values of the good specimens 20 produced through a given process may have a good error value distribution expressed by, for example, a gamma distribution curve.
  • the error values of the test specimens 20 that are defective due to problems outside the process may have a defective error value distribution expressed by, for example, a normal distribution curve.
  • the decision review apparatus 140 determines at least one probability distribution curve that fits most to the distribution of the measured error values, and selects a probability distribution curve closest to the origin among the determined probability distribution curves, with a good error. Value distributions can be considered and the remaining probability distribution curves (if any) can be regarded as bad error value distributions.
  • the vertical axis is the number of specimens that must be natural numbers. Therefore, one or more specimens exist only within the horizontal axis range where the graph has a vertical axis value of 1 or more. If it is out of the horizontal axis range, it can be considered that the specimen exists in less than one sample, that is, it is absent.
  • the user may regard only a range of error values in which the number of specimen samples is a predetermined number or more as a significant error value range.
  • a user may consider only a range of test sample samples that contain a certain proportion of test sample samples (e.g., 99.5% test sample samples in order of decreasing error value) to be a significant error range. Can be.
  • the good error value range or the bad error value range which the user considers to be significant in the good error value distribution curve or the bad error value distribution curve can be estimated, respectively.
  • a significant distribution of defective error values may not be obtained, and thus, a range of meaningful defective error values may not be estimated.
  • the decision review apparatus 140 may estimate the good error value distribution from a given distribution of sample error values using a predetermined probability distribution function and further estimate the bad error value distribution if necessary.
  • the judgment review device 140 may estimate a good error value range in which the number of samples is 1 or more, for example, in the good error value distribution, and a bad error value range in which the number of samples is 1 or more, for example, in the bad error value distribution (if any). Can be estimated.
  • the determination review apparatus 140 considers a point where the good error value distribution and the bad error value distribution overlap each other, and thus the shortened good error value range. And error ranges can be estimated again.
  • the determination review apparatus 140 may re-establish the integrated defective error value ranges so as to encompass all estimated defective error value ranges from the defective error value distributions. .
  • the determination examination apparatus 140 makes an error in the acceptance determination of the test body 20 by the acceptance determination apparatus 120 based on the estimated good error value range, and further based on the defective error value range (if present). It can be determined whether there is.
  • the judgment review device 140 determines the test object. Although 20 is determined to be bad by the reference value, it can be determined that it is actually a false call of the second type which is good, and it can be determined that the current reference value is too strict.
  • the determination review device 140 It can be determined that the test body 20 is an escape of the first type which is actually bad even though it is determined to be good by the reference value, and it can be determined that the current reference value is too relaxed.
  • the determination review apparatus 140 determines the number of the inspection objects 20 larger than the reference value while the error value is within the good error value range when the reference value of the good judgment is within the good error value range,
  • the number of the inspected objects that are the determination errors may be determined as the number of the inspected objects 20 that are smaller than the reference value while the error value is within the defective error value range.
  • the determination result by the determination review apparatus 140 may be transmitted to the acceptance determination apparatus 120 through the network 180.
  • the good error value distribution and the good error value range estimated by the determination review device 140 may also be transmitted to the positive determination device 120 through the network 180.
  • the defective error value distribution and the defective error value range estimated by the determination review apparatus 140 may also be transmitted to the contradictory determination apparatus 120 via the network 180.
  • the inspection objects which are strongly estimated to have a determination error ( 20) can be identified, and furthermore, the appropriateness of the current reference value can be determined.
  • the acceptance determination apparatus 120 adjusts the acceptance determination condition for the inspection object 20 so that the number of the inspection object 20 determined as the determination error by the determination review device 140 is reduced. Can be.
  • the acceptance determination apparatus 120 is based on the acceptance determination result for the inspection object 20 generated by the acceptance determination device 120 and the determination review result for the inspection object 20 generated by the determination review device 140.
  • the reference value compared with the error value can be updated. For example, when it is determined by the judgment review device 140 that a false call has occurred in at least a part of the test object 20, the fitness judgment device 120 may increase the reference value compared with the error value. have. In addition, when it is determined by the determination review device 140 that a determination error (Escape) has occurred in at least a part of the test object 20, the acceptance determination device 120 can lower the reference value compared with the error value.
  • the acceptance determination apparatus 120 may update the reference value compared with the error value according to the user input.
  • the acceptance determination apparatus 120 can graphically display the acceptance determination result, the determination examination result, and the reference value for the inspection object 20.
  • the user may provide the acceptance determination apparatus 120 with a graphic input for adjusting the reference value so that the number of the inspection objects in which the determination error has occurred is reduced, based on the acceptance determination result and the determination review result displayed graphically.
  • the acceptance determination apparatus 120 may update the reference value in response to the graphical input of the user.
  • the acceptance determination apparatus 120 may judge the good or bad of the test object 20 by comparing the updated reference value with the error value.
  • the pass / fail determination device 120 has an error in the judgment result of the inspection body 20 based on the determination review result generated by the determination review device 140 indicating whether the inspection body 20 is actually good or bad. It can be identified whether or not it has occurred. Accordingly, the acceptance determination apparatus 120 may graphically indicate the result of the acceptance judgment for the inspection object 20, the updated reference value and the number of inspection objects issued by the judgment error.
  • the acceptance determination apparatus 120 may be implemented using a computing device, for example, a server computer, a personal computer, a laptop computer, a smartphone, a tablet. The configuration and operation of the acceptance determination apparatus 120 will be described in more detail with reference to FIGS. 3 to 10.
  • the classification apparatus 160 may classify the test body 20 into the good storage device 30 or the defective product storage device 40.
  • the classification apparatus 160 stores the good inspection body 20 and the bad inspection object 20 based on the judgment result in the acceptance determination device 120, respectively. Can be classified as
  • the network 180 enables the connection and communication between the measurement apparatus 100, the acceptance determination apparatus 120, the determination review apparatus 140, and the classification apparatus 160.
  • the network 180 may be a wired network such as a local area network (LAN), a wide area network (WAN), or a value added network (VAN), a mobile radio communication network, a satellite, or the like. It can be implemented using any kind of wireless network such as a communication network, Bluetooth, Wireless Broadband Internet (Wibro), High Speed Downlink Packet Access (HSDPA), and the like.
  • each apparatus of the inspection system 10 is shown in FIG. 1 as a separate configuration, the present disclosure is not limited thereto, and any of the acceptance determination apparatus 120, the determination review apparatus 140, and the classification apparatus 160 may be used. At least some components of may be integrated into other devices. According to one embodiment, at least some components of the determination review apparatus 140 may be integrated into the acceptance determination apparatus 120. For example, the configuration of the determination review apparatus 140 that determines the acceptance determination error through estimation from the error value distribution may be implemented in the acceptance determination apparatus 120.
  • the measuring device 200 of FIG. 2 may include all technical features of the measuring device 100 of FIG. 1.
  • the measuring device 200 includes an illumination unit 210, an imaging unit 220, and an image processing unit 230.
  • the illumination unit 210 irradiates the inspection object 22 with pattern light to measure the inspection object 22 that is a part of the inspection object 20.
  • the test body 20 is a printed circuit board
  • the test object 22 is a solder formed on the printed circuit board or an electronic component mounted on the printed circuit board.
  • the test body 20 and the test target 22 according to the present disclosure are not limited thereto, and may be any manufactured product having a three-dimensional structure.
  • the lighting unit 210 includes a light source 211 for generating light, a grating element 212 for converting light from the light source 211 into pattern light, and a grating transfer for pitch conveying the grating element 212. And a projection lens 214 for projecting the patterned light converted by the instrument 213 and the grating element 212 onto the inspection object 22.
  • the grating element 212 is a predetermined distance (e.g., 2 ⁇ / N; N is a natural number of two or more) by a grating transfer mechanism 213 such as a PZT actuator for phase shifting of patterned light. Can be transported by number.
  • two lighting units 210 may be provided.
  • the lighting unit 210 according to the present disclosure is not limited thereto and may be provided with one or three or more.
  • the plurality of lighting units 210 may be installed to be spaced at a predetermined angle along a circumferential direction or a virtual polygonal plane, or at regular intervals along a direction perpendicular to the test body 20. It may be installed to be spaced apart.
  • the imaging unit 220 may receive the light reflected by the inspection target 22 to obtain image data of the inspection target 22.
  • the imaging unit 220 may be implemented using a charge coupled device (CCD) camera or a complementary metal oxide semiconductor (CMOS) camera, but is not limited thereto.
  • CMOS complementary metal oxide semiconductor
  • the imaging unit 220 may be installed at an upper position perpendicular to the test body 20.
  • the image processor 230 processes the image data acquired by the imaging unit 220 to generate a measurement value of the structure of the inspection object 22. For example, the image processor 230 measures a horizontal length, a vertical length, a height length, an area, a volume, and the like of the inspection object 22 from the image data of the inspection object 22.
  • the measurement value generated by the image processor 230 may be stored in the storage unit 232 of the image processor 230, or transmitted by the communicator 234 to the acceptance determination apparatus 120.
  • the acceptance determination apparatus 300 of FIG. 3 may include all technical features of the acceptance determination apparatus 160 of FIG. 1.
  • the determination unit 300 according to an embodiment of the present disclosure includes a communication unit 310, an input / output unit 320, a processing unit 330, and a database 340.
  • the communication unit 310 may communicate with other devices, for example, the measurement device 100, the determination review device 140, and the classification device 160 of FIG. 1.
  • the communication unit 310 subcomponents for communicating with these devices may be integrated into one hardware device.
  • the input / output unit 320 is a configuration for interfacing with a user and includes a user input unit 322 and an output unit 324.
  • the user input unit 322 may receive an input relating to the acceptance decision from the user.
  • the user input unit 322 may receive an input for adjusting the reference value used for the acceptance determination, an input for displaying the acceptance determination result, an input for selecting one of the acceptance determination result, and the like.
  • the user input unit 322 may include a keyboard, a mouse, a touch pad, a touch screen, and the like.
  • the output unit 324 provides an output related to the acceptance decision to the user.
  • the output unit 324 may display the result of the acceptance decision of the test object 20, the reference value used for the acceptance determination, and the like.
  • the output unit 324 may include a LCD (liduid crytal display), a light emitting diode (LED) display, an organic light emitting diode (OLED) display, and the like.
  • the processor 330 may process data related to the acceptance decision.
  • the processing unit 330 includes a quality determination unit 332, a determination result generation unit 334, and a determination reference adjustment unit 336.
  • the database 340 is a configuration for storing data related to good or bad judgment, and includes a design value DB 342, a measured value DB 344, an error value DB 346, a reference value DB 348, and a determination result DB ( 350 and the decision review result DB 352.
  • the design value DB 342 stores the design values for all the inspection objects 22 of the test object 20.
  • the design values include the width and length of the pad formed on the PCB, the volume and area of the solder placed on the pad, the height from the electronic component placed on the pad to the pad, and the like.
  • the design value DB 342 may be stored.
  • the measured value DB 344 the measured value about all the test
  • the measurement value stored in the measurement value DB 344 may correspond to the design value stored in the design value DB 342.
  • the measured value for the test body 20 may be generated by the measuring device 200 of FIG. 2.
  • the measurement value generated in the measurement device 200 may be stored in the measurement value DB 344 through the communication unit 234 of the measurement device 200 and the communication unit 310 of the acceptance determination device 300.
  • the acceptance determination unit 332 may calculate an error value of the measured value with respect to the design value of the inspection target 22 of the inspection object 20.
  • the adequacy determination unit 332 determines the design value of the inspection target 22 of the inspected object 20 stored in the design value DB 342 and the inspection object 22 of the inspected object 20 stored in the measured value DB 344. The difference between the measured values is calculated as an error value.
  • the calculated error value may be stored in the error value DB 346.
  • the acceptance determination unit 332 may determine whether the structure of the test object 20 satisfies a predetermined criterion.
  • the acceptance determination unit 332 may compare the error value stored in the error value DB 346 with the reference value stored in the reference value DB 348 to determine whether the specimen 20 is good or bad.
  • the acceptance determination unit 332 determines that the test object 20 is good if the error value of the test object 20 of the test object 20 is less than or equal to the reference value of the test object 20. When the error value exceeds the reference value, the test body 20 may be determined to be defective.
  • the positive determination unit 332 rejects the test object 20 having an error value of 0.6 mm with respect to the vertical length of the pad. It is determined that the test body 20 having an error value of 0.4 mm is good.
  • the acceptance determination result generated by the acceptance determination unit 332 may be stored in the determination result DB 350.
  • a decision examination result indicating whether or not there is an error in the acceptance determination of the acceptance determination unit 332 with respect to the inspection target 22 of the inspection object 20 is stored.
  • a 'decision error' may be displayed as a result of the determination review of the inspection object 22.
  • the determination error is a first type (Escape) in which the inspection target 22 determined as good by the acceptance determination unit 332 is actually defective, and the inspection target 22 determined as defective by the acceptance determination unit 332. ) Contains the second type (False Call) which is actually good.
  • the decision review result stored in the decision review result DB 352 may be generated by the decision review device 140 of FIG. 1.
  • the communication unit 310 may receive the determination review result generated by the determination review device 140 and store the result in the determination review result DB 352.
  • the communication unit 310 of the acceptance judgment device 300 also includes the good error value distribution, the good error value range, the bad error value distribution (if any), and the bad error value range (if any) estimated by the determination review device 140. ) Can be stored in the decision review result DB 352.
  • the determination result generator 334 may generate an inspection result graph indicating the number of inspection objects according to the error value.
  • the test result graph may be a two-dimensional graph, in which the horizontal axis may represent an error value, and the vertical axis may represent the number of test bodies 20 having the corresponding error value.
  • the determination result generation unit 334 may display, as a reference value, a graphical user interface (GUI) object that is movable by a user operation on the inspection result graph.
  • GUI graphical user interface
  • the GUI object representing the reference value may have a shape of a bar, an arrow, a line, a dot, a rectangle, or the like.
  • the determination result generation unit 334 can display the result of the determination of the quality of the inspection body 20 in the inspection result graph.
  • the determination result generator 334 may indicate good, warning, and bad as a result of the positive determination on the test result graph.
  • the determination result generation unit 334 displays a region where the error value is equal to or less than the reference value on the inspection result graph, and displays a region where the error value exceeds the reference value as defective.
  • the determination result generation unit 334 displays a predetermined area on the inspection result graph close to the reference value as a warning. In this case, the boundary of the area corresponding to the warning may be displayed on the test result graph.
  • the determination result generator 334 may indicate the number of the test bodies 20 corresponding to good, warning, and bad on the test result graph.
  • the determination result generation unit 334 may display the result of the examination on the result of the acceptance determination on the inspection result graph.
  • the determination result generator 334 may indicate an error of the first type (Escape) and an error of the second type (False Call) as the determination examination result on the inspection result graph.
  • the determination result generation unit 334 displays, as an error of the first type (Escape), an area to which the test object 20 determined as actually good among the areas where the error value exceeds the reference value on the inspection result graph.
  • the determination result generation unit 334 displays an area of the test object 20 to which the test object 20, which is determined to be actually defective, among the areas where the error value is equal to or less than the reference value, as an error of the second type.
  • determination errors such as an error of the first type and an error of the second type may be determined through detailed inspection by the decision review apparatus 140.
  • the determination examining device 140 may include a device capable of measuring the structure of the test body 20 more precisely, or a device capable of measuring the electrical characteristics of the test body 20.
  • the determination examination device 140 may determine whether the test body 20 is actually good or bad by measuring the structural electrical characteristics of the test body 20 more precisely. As a result, the determination examination apparatus 140 discriminates
  • determination errors may be determined through estimation from an error value distribution by the determination review apparatus 140.
  • the determination review apparatus 140 determines at least one probability distribution curve fitted to the error value distribution of the test object 20 measured by the measuring apparatus 100, and the probability distribution closest to the origin among the determined probability distribution curves. The curve can be considered a good error distribution and the remaining probability distribution curves (if any) can be considered a bad error distribution.
  • the determination review apparatus 140 may estimate the good error value range from the good error value distribution, and estimate the bad error value range from the bad error value distribution (if any).
  • the determination examination apparatus 140 can discriminate
  • the determination review apparatus 140 judges the acceptance determination error through estimation from the error value distribution, and the determination result generation unit 334 receives the acceptance determination error determined by the determination review apparatus 140.
  • produced is identified on the basis, this indication is not limited to this.
  • the determination result generation unit 334 may be implemented to determine whether the determination of the positive and negative determination by the estimation directly from the distribution of the error value, to identify the test object 20 in which the determination error.
  • the determination result generator 334 may determine the candidate reference value so that the reference value can be updated.
  • the determination result generator 334 may determine at least one candidate reference value for reducing or minimizing the number of the inspected objects 20 in which the determination error has occurred.
  • the determination result generation unit 334 is configured such that the area corresponding to the error of the first type (Escape) or the error of the second type (False Call) is reduced or eliminated by updating the reference value with the candidate reference value.
  • the candidate reference value can be determined.
  • the determination result generator 334 may display the determined at least one candidate reference value on the test result graph.
  • the candidate reference value may be represented by a dot, a line, a rectangle, an arrow, or the like.
  • the determination result generation unit 334 determines the candidate reference value based on the good error value range and the bad error value range (if any) of the test object 20 estimated by the determination review device 140. Can be. If there is a bad error value range, the determination result generator 334 may determine a candidate reference value from among values greater than or equal to the maximum value of the good error value range and less than or equal to the minimum value of the bad error value range. If there is no defective error value range, the determination result generator 334 may determine a candidate reference value among certain values greater than or equal to the maximum value of the good error value range.
  • the user may select a predetermined area on the test result graph through the user input unit 322.
  • the determination result generator 334 may enlarge the selected predetermined area and output the enlarged predetermined area through the output unit 324.
  • the enlarged predetermined area may be output to overlap the graph of the test result.
  • the determination result generator 334 may generate a test result list including at least one of a measured value, an error value, a positive judgment result, and a determination error review result for the test object 20.
  • the determination result generator 334 may output the inspection result graph and the inspection result list through the output unit 324.
  • the user may check the test result graph and the test result list through the output unit 324.
  • the user may select one test object 20 from the test result list through the user input unit 322.
  • the determination result generator 334 may display an error value of the selected test object 20 in the test result graph in response to a user input received through the user input unit 322.
  • the error value of the selected specimen 20 may be represented by a dot, a line, a rectangle, an arrow, or the like.
  • the test object 20 which has been most recently determined to be acceptable may be automatically selected. In this case, an error value of the test body 20 which has been judged most recently may appear on the test result graph.
  • the determination criterion adjusting unit 336 may update the reference value according to the input received from the user through the user input unit 322. According to an embodiment of the present disclosure, the determination criterion adjusting unit 336 may receive a graphic input from the user to move the position of the GUI object representing the reference value on the test result graph. For example, a user may use a mouse as the user input unit 322 to click and drag a movable bar-shaped GUI object indicating a reference value on a test result graph to a predetermined position. In this case, the decision criterion adjusting unit 336 may update the reference value to a value corresponding to the dragged predetermined position in response to the graphic input.
  • the determination criterion adjusting unit 336 may receive a graphic input for designating a predetermined position on the test result graph from the user. For example, the user may click a predetermined position on the test result graph by using a mouse as the user input unit 322. In this case, the decision criterion adjusting unit 336 may update the reference value to a value corresponding to the clicked predetermined position in response to the graphic input. The updated reference value may be stored in the reference value DB 348 by the determination reference adjustment unit 336.
  • the acceptance determination unit 332 may re-determine good or bad for the test object 20 based on the reference value updated by the determination reference adjustment unit 336. According to one embodiment, the acceptance determination unit 332 judges the inspection body 20 as good when the error value of the inspection object 20 with respect to the inspection object 22 is less than or equal to the updated reference value, and the error value is updated. In the case where the reference value is exceeded, the test body 20 may be determined to be defective.
  • the acceptor determination unit 332 may identify the inspector 20 in which the judgment error has occurred among the inspector 20. According to one embodiment, the acceptance determination unit 332 may identify the inspection body 20 in which the judgment error has occurred, based on the judgment result of the inspection body 20 and the determination review result stored in the determination review result DB 352. Can be. For example, the adequacy determination unit 332 judges that the inspection object 20 is actually bad but is judged to be a good first type (Escape) error, and judges that the inspection object 20 is actually good but is determined to be bad. It can be determined that the error is of the second type (False Call).
  • the adequacy determination unit 332 judges that the inspection object 20 is actually bad but is judged to be a good first type (Escape) error, and judges that the inspection object 20 is actually good but is determined to be bad. It can be determined that the error is of the second type (False Call).
  • the determination result generation unit 334 may display the reference value updated by the determination criterion adjustment unit 336, the result of the parliamentary judgment using the updated reference value, and the result of the examination review on the result of the parliamentary judgment in the test result graph. By checking the graph of the test result output through the output unit 324, the user may confirm that an error occurred in the pausing judgment using the updated reference value is reduced compared to an error occurred in the acceptance determination using the pre-update reference value.
  • the acceptance determination apparatus 300 graphically displays the acceptance determination result and the reference value for the test object, and may adjust the reference value by the graphical input of the user.
  • the acceptance judgment apparatus 300 may execute the acceptance judgment on the inspected object based on the reset reference value, examine whether the acceptance judgment is free of errors, and graphically display the results of the acceptance judgment and the determination review thereof. .
  • the user can adjust the reference value used for determining the quality of the test object more efficiently and simply.
  • the inspection result list 400 of FIG. 4 may be generated by the determination result generation unit 334 of FIG. 3 and output through the output unit 324.
  • the test result list 400 includes test result data 410, 420, 430, 440, 450, and 460 for each of the plurality of test objects.
  • Each test result data 410, 420, 430, 440, 450, and 460 shows an object ID, an object ID, an object to be tested, a measurement object, a measurement value, an error value, a good judgment result, and a judgment review for the test object. Include the result.
  • the test result data 410, 430, and 450 includes a measured value of a horizontal length of the 'pad 1' formed on the test object, and an error value of calculating a difference between the measured value and the design value 10.0 mm. It is assumed that the reference value used for determining whether the pad 1 has a horizontal length is set to 0.5 mm. Referring to the test result data 410, it is determined that the test object having the test piece ID '1' is good because the error value is 0.5 mm or less. On the other hand, referring to the inspection result data 430 and 450, the specimens having the specimen IDs '2' and '459' are determined to be defective because their error values exceed 0.5 mm.
  • the inspector having the inspector ID '459' has an error of the second type (False Call) as a result of the acceptance decision examination. For example, in a test piece whose test piece ID is "459", the horizontal length of the "pad 1" is poor according to a predetermined determination criterion, but actually has good characteristics.
  • the test result data 420, 440, and 460 include a measured value of measuring the longitudinal length of the 'pad 1' formed on the test object, and an error value of calculating a difference between the measured value and the design value of 10.0 mm. It is assumed that the reference value used for determining whether the pad 1 has a vertical length is set to 0.5 mm. Referring to the test result data 410, it is determined that the test piece having the test piece IDs '1', '2', and '459' is good because the error value is 0.5 mm or less. Among them, the inspector having the inspector ID '459' is judged to have an error of the first type (Escape) as a result of the acceptance judgment examination. For example, in a test piece whose test piece ID is "459", the vertical length of "Pad 1" is good according to a predetermined determination criterion, but actually has a bad characteristic.
  • Escape error of the first type
  • FIG. 5 is a diagram illustrating an inspection result graph 500 showing a result of a dissatisfaction determination and a determination review, according to an exemplary embodiment.
  • the test result graph 500 of FIG. 5 may be generated by the determination result generator 334 of FIG. 3 and output through the output unit 324.
  • the test result graph 500 of FIG. 5 may input an input for selecting any test result data (for example, test result data 450) from the test result list 400 of FIG. 4. It may be generated in response to receiving through the user input unit 322.
  • the horizontal axis of the test result graph 500 represents an error value
  • the vertical axis represents the number of test objects.
  • the test result graph 500 includes a curve 510 indicating the number of test objects having a corresponding error value.
  • the test result graph 500 includes a first reference value GUI 520 indicating the first reference value used for the determination of the quality of the test object, and a test object used to determine a test object corresponding to a warning among the test objects determined to be good.
  • a second reference value GUI 530 may be included that indicates the second reference value. For example, the second reference value may be set to 90% of the first reference value.
  • the test result graph 500 may include a sample error value indicator 540 indicating an error value p of a test sample of a particular test sample, for example, a user of particular interest.
  • the sample error value indicator 540 may indicate an error value of the test object selected from the test result list 400 of FIG. 4.
  • the sample error value indicator 540 may indicate an error value of the most recently inspected specimen.
  • the results of the acceptance determination and the determination review may be displayed.
  • the inspection result graph 500 may display an area corresponding to good, warning, and error as a result of the acceptance decision, and an area corresponding to defective as a result of the decision examination.
  • the test result graph 500 may also display the number of test objects corresponding to good, warning, error, and bad. As shown in FIG. 5, 352 specimens having an error value equal to or less than the first reference value b were judged as good, and 107 specimens having an error value exceeding the first reference value b were once determined to be defective.
  • test specimens between the first reference values b and c may be determined to be false calls of the second type. Indeed, to verify that such a determination is a second type of error, the user can select and examine a particular test object whose error value is p between the first reference value b and c.
  • the first reference value is maintained at b, even if the process problem that causes the abnormal error value between d and e is solved, the error value will naturally be distributed between 0 and c in the normal process. If product production continues, a significant amount of subsequent products will be judged defective, with an error value constantly between the first reference values b and c. That is, in the example of Figure 5, if the product production process itself is not wrong, the first reference value for determining good and bad may not be excessively set without reflecting the natural error distribution characteristics of the product production process.
  • the test result graph 500 may include a candidate reference value indicator 550 indicating a candidate reference value for minimizing the number of test objects in which a determination error has occurred.
  • the candidate reference value is a candidate of a reference value such that the number of specimens determined to be an error is minimum (eg, 0), and may be selected within a range in which an error value is between c and d.
  • the candidate reference value indicator 550 is indicated by a dot in FIG. 5, the present invention is not limited thereto and may be displayed in various forms such as an arrow, a line, and a rectangle.
  • the candidate reference value indicator 550 is shown in the singular in FIG. 5, the present invention is not limited thereto, and a plurality of candidate reference value indicators 550 may be displayed.
  • test result graph 600 is a diagram illustrating a test result graph 600 in which a reference value is updated according to an embodiment of the present disclosure.
  • the test result graph 600 of FIG. 6 may be a reference value updated from the test result graph 500 of FIG. 5.
  • the user may update the reference value through the user input unit 322 on the test result graph 600.
  • the user may drag the first reference value GUI 520 to the position of the candidate reference value indicator 550 on the test result graph 600 using the mouse as the user input unit 322.
  • the user may touch the position of the candidate reference value indicator 550 on the test result graph 600 using the touch pad.
  • the position of the first reference value GUI 520 is moved in the test result graph 600 by the graphic input through the user input unit 322.
  • the first reference value may also be updated. For example, as shown in FIG. 6, the first reference value is updated from b to b '.
  • the position of the second reference value GUI 530 may also be moved without a separate user input.
  • the second reference value GUI 530 may be moved to the right so that the second reference value is 90% of the updated first reference value.
  • the second reference value GUI 530 may be moved such that the second reference value is updated from a to 90% of b ′.
  • the second reference value 530 may be moved by the graphic input through the user input unit 322 on the test result graph 600 to move the position of the second reference value GUI 530.
  • the acceptance determination unit 332 determines the acceptance judgment for each of the specimens based on the updated first and second reference values. You can run The acceptance determination unit 332 may determine that the error value of each of the test objects is less than or equal to b ′, which is the first reference value, and determine that the error value is defective if the error value of each of the test objects is more than b ′. In addition, the acceptance determination unit 332 may determine as a warning when an error value of each of the test objects is greater than a 'and less than b' which is the second reference value. In addition, the transfer decision unit 332 may identify a test object in which a trial error occurs in the test object.
  • the examination result graph 600 may show the results of the paternity trial and the results of the trial review. As shown in FIG. 6, 399 specimens having an error value of b 'or less are' good ', 12 specimens having an error value of greater than a' and 'b' or less are 'warned', and 60 specimens having an error value of d or more and e or less. Each is judged as 'bad'.
  • the inspection result graph 500 of FIG. 5 the number of the test object which the error occurred with respect to the acceptance judgment changes from 47 in FIG. 5 to 0 in FIG. In other words, the first reference value used as the reference for the acceptance judgment of the test object is updated, thereby minimizing the error of the acceptance judgment.
  • the first reference value GUI 520 is moved by the graphical input of the user, so that the good determination device 300 can newly determine whether the inspection object according to the updated reference value. That is, unlike the conventional process in which the user has to visually check the measured value to determine a new reference value and input it as a numerical value, according to the present disclosure, the user can determine the new reference value while viewing the graph of the test result, and the graphic The reference value can be updated by positive input. As a result, since it is possible to change the first reference value by moving the first reference value GUI 520 in a state where the determination error is visually displayed, it is possible to correct the determination error quickly and conveniently. In addition, since the quality of the test object can be newly determined based on the updated reference value, user convenience can be attained.
  • the inspection result graph 700 of FIG. 7 is a graph showing the result of the inspection and the result of the examination of the inspection object, and may be the same as the inspection result graph 500 of FIG. 5.
  • the user may enlarge at least a portion of the test result graph 700 output through the output unit 324 using the user input unit 322.
  • the user may select a predetermined area 710 on the test result graph 700 by using a mouse as the user input unit 322.
  • the determination result generator 334 may generate an enlarged graph 720 in which the predetermined region 710 is enlarged.
  • the generated enlarged graph 720 may be output through the output unit 324.
  • the enlarged graph 720 may be output separately from the test result graph 700 or may be output to overlap on the test result graph 700.
  • test result graph 800 of FIG. 8 is a diagram illustrating a test result graph 800 showing a result of a judgment decision and a decision review result according to an exemplary embodiment of the present disclosure.
  • the test result graph 800 of FIG. 8 may be generated by the determination result generator 334 of FIG. 3 and output through the output unit 324.
  • the test result graph 800 of FIG. 8 may input an input for selecting any one test result data (eg, test result data 460) from the test result list 400 of FIG. 4. It may be generated in response to receiving through the user input unit 322.
  • the test result graph 800 includes a curve 810 indicating the number of test objects having a corresponding error value, and a reference value GUI 820 indicating a reference value used for determining whether the test object is successful.
  • 330 specimens having an error value equal to or less than the first reference value d are determined to be 'good', and 129 specimens having an error value between e and f greater than the first reference value d are determined to be 'bad'. It became.
  • 25 specimens with an error value between b and c were found to be good, but are outside the natural error distribution pattern (from 0 to a) in a given process. Some problems that do not belong to the process may be defective. Accordingly, twenty five specimens between b and c may be determined to be the first type of escape.
  • the first reference value d is maintained, even if an abnormal problem in the process causing an abnormal error value between e and f is solved, the error value will naturally be distributed only between 0 and a. If production continues, a significant amount of subsequent products will be judged to be good, while being actually defective and consistently showing an error value lower than the first reference value d. That is, in the example of Figure 8, if the product production process itself is not wrong, the first reference value for determining good and bad may not be excessively set without reflecting the natural error distribution characteristics of the product production process.
  • the test result graph 800 may include a candidate reference value indicator 830 indicating a candidate reference value for minimizing the number of test objects in which a determination error has occurred.
  • the candidate reference value is a candidate of the reference value such that the number of specimens determined to be an error is minimum (eg, 0), and may be selected within a range in which the error value is between a and b.
  • the candidate reference value indicator 830 is indicated by a dot, but is not limited thereto, and may be displayed in various forms such as an arrow, a line, and a rectangle.
  • the candidate reference value indicator 830 is singularly displayed in FIG. 8, the present invention is not limited thereto, and a plurality of candidate reference value indicators 830 may be displayed.
  • the inspection result graph 800 includes a GUI indicating a reference value used to determine an inspection object corresponding to a warning among inspection objects determined to be good, and a plurality of inspections. It may include an indicator indicating the error value of any one of the sieve.
  • test result graph 900 is a diagram illustrating a test result graph 900 in which a reference value is updated according to an embodiment of the present disclosure.
  • the test result graph 900 of FIG. 9 may be a reference value updated from the test result graph 800 of FIG. 8.
  • the user may update the reference value through the user input unit 322 on the test result graph 900.
  • the user may drag the reference value GUI 820 to the position of the candidate reference value indicator 830 on the test result graph 900 by using a mouse as the user input unit 322.
  • the user may touch the position of the candidate reference value indicator 830 on the test result graph 900 using the touch pad.
  • the position of the reference value GUI 820 is moved in the test result graph 900 by the graphic input through the user input unit 322.
  • the reference value may be updated as the position of the reference value GUI 820 is moved. For example, as shown in Fig. 9, the reference value is updated from d to d '.
  • the acceptance determination unit 332 may execute the acceptance judgment for each of the specimens based on the updated reference value.
  • the acceptance determination unit 332 may determine that the error value of each of the test objects is equal to or less than d ', which is a reference value, and determine that the error value is defective if the error value of each of the test objects is more than d'.
  • the transfer decision unit 332 may identify a test object in which a trial error occurs in the test object.
  • test result graph 900 the results of the paternity trial and the results of the trial review may be displayed.
  • 305 test objects having an error value of d 'or less are determined to be' good '
  • 154 test objects having an error value of more than d' are determined as 'bad'.
  • the number of the test object which the error occurred with respect to the acceptance judgment changes from 25 in FIG. 8 to 0 in FIG.
  • the reference value used as the reference for the acceptance decision of the test object is updated, thereby minimizing the error of the acceptance decision.
  • FIG. 10 is a flowchart illustrating a method of adjusting the acceptance judgment condition for a test object according to an embodiment of the present disclosure. At least some of the steps shown in FIG. 10 may be performed by the configurations shown in FIGS.
  • the acceptance determination apparatus 300 obtains the measured values of the structures of the plurality of test objects.
  • the measuring apparatus 100 may irradiate light onto the test object, receive light reflected from the test object, and generate image data of the test object based on the received light.
  • the measuring apparatus 100 may generate a measured value measuring the structure of the test object based on the image data.
  • the acceptance determination apparatus 300 may obtain the measurement value generated by the measurement apparatus 100 through the communication unit 310.
  • the acceptance determination unit 332 executes acceptance determination for each of the plurality of inspection objects. For example, the quality determining unit 332 may determine whether the measured value obtained in step S1000 is within a predetermined range, to determine whether the test object is good or bad. The acceptance determination unit 332 calculates an error value of the measured value with respect to the design value of the structure of the test object, and compares the calculated error value with a predetermined reference value. The acceptance determination unit 332 may determine that the test object whose error value is less than or equal to the predetermined reference value is good, and determine that the test object whose error value exceeds the predetermined reference value is defective (NG).
  • the quality determining unit 332 may determine whether the measured value obtained in step S1000 is within a predetermined range, to determine whether the test object is good or bad.
  • the acceptance determination unit 332 calculates an error value of the measured value with respect to the design value of the structure of the test object, and compares the calculated error value with a predetermined reference value.
  • the acceptance determination unit 332 may determine that the test
  • the determination result generation unit 334 identifies the inspection object in which a determination error has occurred among the plurality of inspection objects.
  • the determination result generation part 334 is a test
  • the determination error includes a first error in which the test object determined to be good is identified as actually defective, and a second error in which the test object determined to be bad is identified as actually good.
  • the determination review apparatus 140 determines the good error value distribution and the bad error value distribution (if any) based on the error value distribution of the test object 20 measured by the measuring device 100 and From the good error value distribution and the bad error value distribution (if any), the good error value range and the bad error value range (if any) can be estimated, respectively.
  • the determination examination apparatus 140 can discriminate
  • the determination result generation unit 334 can receive the determination examination result from the determination review apparatus 140 to identify the inspection object 20 in which the determination error has occurred.
  • the determination result generation unit 334 outputs the inspection result graph.
  • the determination result generation unit 334 generates a inspection result graph indicating the number of inspection objects according to the error value.
  • the test result graph is a two-dimensional graph, in which the horizontal axis represents an error value, and the vertical axis represents the number of test objects having the corresponding error value among the plurality of test objects.
  • the determination result generation unit 334 may display, as a reference value, a bar-shaped GUI object that is movable by a user operation on the inspection result graph.
  • the determination result generating unit 334 may indicate good, warning, and bad as a result of the positive determination on the inspection result graph.
  • the determination result generation unit 334 may display the result of the examination on the result of the acceptance determination on the inspection result graph. In addition, the determination result generation unit 334 may determine and display at least one candidate reference value for minimizing the number of one or more specimens having a determination error on the examination result graph.
  • the candidate reference value may be determined based on the good error value range and the bad error value range (if present) estimated in step S1020. If there is a range of bad error values, the candidate reference value may be selected from any values that are greater than or equal to the maximum value of the good error value range and less than or equal to the minimum value of the bad error value range. If there is no bad error value range, the candidate reference value may be selected from any values greater than or equal to the maximum value of the good error value range.
  • the determination criterion adjusting unit 336 updates the reference value according to the graphical input on the test result graph.
  • the user may provide a graphical input on the test result graph to reduce the number of one or more test objects for which a decision error occurred. For example, the user may drag a GUI representing a reference value on the test result graph 600 to a predetermined position by using a mouse as the user input unit 322.
  • the decision criterion adjusting unit 336 updates the reference value to the predetermined value in response to the graphical input of the user (that is, the movement of the GUI representing the reference value).
  • step S1050 the payment judgment unit 332 executes the transfer judgment for each of the plurality of test objects based on the updated reference value. For example, the acceptance determination unit 332 compares the reference value updated in step S1040 with the error value to judge good or bad for each test object of the plurality of test objects. In addition, the pass / fail determination unit 332 identifies a test object in which a trial error has occurred among the plurality of test objects. In addition, the determination result generation unit 336 shows the updated reference value and the number of the inspection bodies in which the judgment error occurred on the inspection result graph.
  • Computer-readable recording media include all kinds of recording devices that store data that can be read by a computer system.
  • the computer-readable recording medium may include a ROM, a RAM, a CD-ROM, a magnetic tape, a floppy disk, an optical data storage device, and the like.
  • the computer readable recording medium can also be distributed over network coupled computer systems so that the computer readable code is stored and executed in a distributed fashion.
  • functional programs, codes, and code segments for implementing the above embodiments can be easily inferred by programmers in the art to which the present disclosure belongs.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Quality & Reliability (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Image Analysis (AREA)
  • Image Processing (AREA)

Abstract

Disclosed are a method and a device for adjusting a quality determination conditions for a test body. The method for adjusting the quality determination conditions can include: a step for acquiring measurement values of the structures of a plurality of test bodies; a step for comparing error values of the measurement values with respect to design values of the structure with a prescribed reference value, and thereby determining for each of the plurality of test bodies, whether the test body is satisfactory or defective; a step for identifying one or more test bodies for which determination errors have occurred from among the plurality of test bodies; a step for generating and outputting a test result graph including the number of test bodies according to the error values, the reference value, and the number of the one or more test bodies for which the determination errors have occurred; a step for updating the reference value according to a graphical input on the test result graph so that the determination errors decrease; and a step for comparing the error values with the updated reference value and re-determining for each of the plurality of test bodies, whether the test body is satisfactory or defective.

Description

검사체에 대한 양부 판정 조건을 조정하는 방법 및 장치Method and apparatus for adjusting the conditions of acceptance judgment for the specimen
본 개시는 검사체에 대한 양부 판정 조건을 조정하기 위한 방법 및 장치에 관한 것이다.The present disclosure relates to a method and an apparatus for adjusting the acceptance judgment condition for a test object.
제조업자들은 제품의 생산 과정, 조립 과정, 중간 과정 및 최종 조립 과정에서 불량품을 제거하기 위한 노력을 기울이고 있다. 이 과정에서 제조업자들은 다양한 검사 시스템을 이용하여 제품의 양부(즉, 양호(GOOD) 또는 불량(NG) 여부)를 판정한다.Manufacturers are striving to eliminate defective products during the production, assembly, intermediate and final assembly of products. In this process, manufacturers use a variety of inspection systems to determine whether a product is good (ie GOOD or NG).
일 실시형태에 의하면, 검사 시스템은 검사체의 구조를 측정하고, 측정값이 기설정된 범위 내인지 여부를 판단함으로써 해당 검사체의 양부를 판정할 수 있다. 예를 들어, 검사 시스템은 검사체에 광을 조사하고, 검사체로부터 반사되는 광을 수신하여 검사체의 이미지 데이터를 획득한다. 또한, 검사 시스템은 획득된 이미지 데이터에 기초하여 검사체의 측정값을 획득하고, 측정값과 사전 설정된 기준값을 기초로 검사체가 양호(Good)인지 또는 불량(NG)인지를 판정하는 검사 결과를 도출한다.According to one embodiment, the inspection system can determine the quality of the inspection object by measuring the structure of the inspection object and determining whether the measured value is within a preset range. For example, the inspection system irradiates light on the specimen and receives light reflected from the specimen to obtain image data of the specimen. In addition, the inspection system obtains a measurement value of the inspection object based on the acquired image data, and derives an inspection result for determining whether the inspection object is Good or NG based on the measured value and a preset reference value. do.
검사 시스템에 의해 도출된 검사 결과에 있어서, 실제 양호인 검사체를 불량으로 판정하거나(False Call) 실제 불량인 검사체를 양호로 판정하는(Escape) 판정 오류가 포함될 수 있다. 이러한 판정 오류를 제거하기 위하여, 양부 판정에 사용되는 기준값을 변경할 수 있다. 다만, 종래에는 검사체에 대한 측정값이 검사 시스템의 표시부에 단순히 숫자로 표시되고, 기준값 역시 사용자가 직접 수치를 입력하는 경우가 많았다. 이로 인해, 사용자가 기준값을 변경하고자 하는 경우, 표시부에 표시된 측정값을 확인하여 기준값을 일일이 새로운 수치로 입력해야 하는 문제점이 있었다.The inspection result derived by the inspection system may include a determination error that determines whether the inspection body that is actually good (False Call) or escapes the inspection object that is actually bad (Escape). In order to eliminate this determination error, the reference value used for the acceptance determination can be changed. However, in the related art, the measured value of the test object is simply displayed as a number on the display unit of the test system, and the reference value is often entered by the user directly. Thus, when the user wants to change the reference value, there is a problem in that the measured value displayed on the display unit must be input to the new value.
본 개시는 검사체에 대한 검사 결과를 그래픽적으로 표시하고, 양부 판정에 사용되는 기준값을 보다 편리하게 조정할 수 있는 방법 및 장치를 제공한다.The present disclosure provides a method and apparatus for graphically displaying a test result for a test object and more conveniently adjusting a reference value used for the quality judgment.
또한, 본 개시는 검사체의 검사 결과, 양부 판정 결과, 및 양부 판정에 대한 검토 결과를 시각적으로 나타낼 수 있는 방법 및 장치를 제공한다.In addition, the present disclosure provides a method and apparatus capable of visually displaying the inspection result of the inspection object, the acceptance determination result, and the examination result for the acceptance determination.
또한, 본 개시는 기준값의 조정에 따른, 양부 판정 결과 및 양부 판정에 대한 검토 결과의 변화를 시각적으로 나타낼 수 있는 방법 및 장치를 제공한다.In addition, the present disclosure provides a method and apparatus that can visually indicate the change of the acceptance determination result and the examination result for the acceptance determination according to the adjustment of the reference value.
또한, 본 개시는 검사체의 양부 판정 오류를 감소시키기 위한 사용자 입력이 보다 직관적으로 편리하게 이루어지도록 하는 방법 및 장치를 제공한다.In addition, the present disclosure provides a method and apparatus for making the user input for reducing the quality of an inspection object's acceptance determination error more intuitively and conveniently.
본 개시의 일 측면은, 데이터베이스, 처리부, 사용자 입력부 및 출력부를 포함한 양부 판정 장치에서 검사체에 대한 양부 판정 조건을 조정하기 위한 방법을 제공한다. 예시적 실시예에 따른 방법은, 처리부에 의해, 데이터베이스로부터 복수의 검사체의 구조의 측정값을 획득하는 단계, 처리부에 의해, 구조의 설계값에 대한 측정값의 오차값과 소정의 기준값을 비교하여 복수의 검사체의 각 검사체에 대한 양호 또는 불량을 판정하는 단계, 처리부에 의해, 복수의 검사체 중 판정 오류가 발생한 하나 이상의 검사체를 식별하는 단계, 처리부에 의해, 오차값에 따른 복수의 검사체의 수, 기준값, 및 판정 오류가 발생한 하나 이상의 검사체의 수를 포함한 검사 결과 그래프를 생성하고, 출력부를 통해 검사 결과 그래프를 출력하는 단계, 처리부에 의해, 판정 오류가 발생한 하나 이상의 검사체의 수가 감소하도록, 검사 결과 그래프 상에서의 사용자 입력부를 통한 그래픽적 입력에 따라 기준값을 갱신하는 단계, 및 처리부에 의해, 오차값과 갱신된 기준값을 비교하여 복수의 검사체의 각 검사체에 대한 양호 또는 불량을 재판정하는 단계를 포함한다. 판정 오류는 양호라고 판정된 검사체가 불량으로 식별된 제 1 오류 및 불량이라고 판정된 검사체가 양호로 식별된 제 2 오류를 포함한다.One aspect of the present disclosure provides a method for adjusting a condition for determining an object for a test object in a condition determining device including a database, a processor, a user input unit, and an output unit. A method according to an exemplary embodiment includes the steps of obtaining, by a processing unit, measured values of structures of a plurality of test objects, and by the processing unit, comparing an error value of a measured value with respect to a design value of a structure and a predetermined reference value. Determining good or bad for each test object of the plurality of test objects, identifying, by the processing unit, one or more test objects in which a determination error has occurred among the plurality of test objects, and by the processing unit, a plurality according to the error value Generating a test result graph including the number of test subjects, a reference value, and the number of one or more test subjects in which a determination error occurred, and outputting the test result graph through an output unit, by the processing unit, one or more inspections in which a determination error occurred; Updating the reference value according to the graphical input through the user input on the test result graph, so as to reduce the number of sieves, and the processing unit By this, by comparing the error value and the updated reference value comprises the steps of a court good or bad for each test material of the plurality of inspection object. The determination error includes a first error in which the test object determined to be good is identified as bad and a second error in which the test object determined to be bad is identified as good.
본 개시의 적어도 하나의 실시예에 의하면, 검사체에 대한 검사 결과와 기준값이 그래픽적으로 표시되고, 표시된 기준값이 사용자의 그래픽적 입력에 의해 조정될 수 있다. 또한, 재설정된 기준값을 기초로 검사체에 대한 검사 결과가 갱신되고, 갱신된 검사 결과가 그래픽적으로 표시될 수 있다. 그 결과, 사용자가 보다 효율적이고 간편하게 검사체의 양부 판정에 사용되는 기준값을 조정할 수 있다.According to at least one embodiment of the present disclosure, the test result and the reference value for the test object are graphically displayed, and the displayed reference value may be adjusted by the user's graphical input. In addition, the test result for the test object may be updated based on the reset reference value, and the updated test result may be displayed graphically. As a result, the user can adjust the reference value used for determining the quality of the test object more efficiently and simply.
본 개시의 적어도 하나의 실시예에 의하면, 검사체의 검사 결과, 양부 판정 결과, 및 양부 판정에 대한 검토 결과가 나타난 그래프가 출력되고, 사용자로 하여금 출력된 그래프 상에서 양부 판정 오류를 감소시키기 위한 입력을 할 수 있도록 한다. 또한, 사용자의 입력에 따른 양부 판정에 대한 검토 결과의 변화가 그래프 상에서 시각적으로 나타난다. 그 결과, 사용자가 보다 편리하고 직관적으로 양부 판정 오류의 감소여부를 확인할 수 있다.According to at least one embodiment of the present disclosure, a graph showing the inspection result of the inspection object, the acceptance determination result, and the examination result for the acceptance determination is output, and an input for the user to reduce the acceptance determination error on the output graph. To do this. In addition, the change in the result of the review on the acceptance judgment according to the user's input is visually shown on the graph. As a result, it is possible for the user to more conveniently and intuitively check whether or not the acceptance judgment error is reduced.
본 개시의 적어도 하나의 실시예에 의하면, 검사체의 구조가 측정되어 갱신 전 기준값에 따라 양부 판정이 이루어진 경우, 사용자 입력에 따라 기준값이 갱신되더라도 검사체의 구조를 재측정할 필요 없이 갱신된 기준값으로 검사체의 양부 재판정을 실행할 수 있다. 그 결과, 기준값의 갱신에 따른 양부 재판정이 신속하게 실행될 수 있다.According to at least one embodiment of the present disclosure, when the structure of the test object is measured and the determination is made according to the pre-update reference value, even if the reference value is updated according to a user input, the updated reference value is not required to be re-measured. It is possible to carry out the trial of the inspector. As a result, the transfer judgment according to the update of the reference value can be executed quickly.
도 1은 본 개시의 일 실시예에 따라 검사체를 양품 또는 불량품으로 판정하는 검사 시스템을 개략적으로 나타낸 도면이다.1 is a view schematically showing an inspection system for determining an inspection object as good or defective according to an embodiment of the present disclosure.
도 2는 본 개시의 일 실시예에 따라 검사체의 구조를 측정하는 측정 장치의 구성을 개략적으로 나타낸 도면이다.2 is a view schematically showing the configuration of a measuring device for measuring the structure of the test body according to an embodiment of the present disclosure.
도 3은 본 개시의 일 실시예에 따라 검사체의 양부를 판정하는 양부 판정 장치의 상세 구성을 도시하는 블럭도이다.3 is a block diagram showing a detailed configuration of a good quality determination device for determining good quality of a test object according to an embodiment of the present disclosure.
도 4는 본 개시의 일 실시예에 따라 판정 오류가 포함된 검사 결과 리스트를 나타낸 도면이다.4 is a diagram illustrating a test result list including a determination error according to an embodiment of the present disclosure.
도 5는 본 개시의 일 실시예에 따라 양부 판정 결과 및 판정 검토 결과를 나타낸 검사 결과 그래프를 도시한 도면이다.FIG. 5 is a diagram illustrating a graph of test results showing a result of acceptance judgment and a result of a decision review according to an exemplary embodiment of the present disclosure.
도 6은 본 개시의 일 실시예에 따라 검사 결과 그래프 상에서의 기준값 갱신을 나타낸 도면이다.6 is a diagram illustrating a reference value update on a test result graph according to an embodiment of the present disclosure.
도 7은 본 개시의 일 실시예에 따라 일부 영역이 확대된 검사 결과 그래프를 나타낸 도면이다.7 is a diagram illustrating a graph of test results in which a partial region is enlarged according to an exemplary embodiment of the present disclosure.
도 8은 본 개시의 일 실시예에 따라 양부 판정 결과 및 판정 검토 결과를 나타낸 검사 결과 그래프를 나타낸 도면이다.FIG. 8 is a diagram illustrating a graph of test results showing a result of a judgment determination result and a judgment review result according to an exemplary embodiment of the present disclosure.
도 9는 본 개시의 일 실시예에 따라 기준값이 갱신된 검사 결과 그래프를 나타낸 도면이다.9 is a diagram illustrating a test result graph in which a reference value is updated according to an embodiment of the present disclosure.
도 10은 본 개시의 실시예에 따라 검사체에 대한 양부 판정 조건을 조정하는 방법을 나타낸 순서도이다.10 is a flowchart illustrating a method of adjusting the acceptance judgment condition for a test object according to an embodiment of the present disclosure.
본 개시의 실시예들은 본 개시를 설명하기 위한 목적으로 예시된 것이다. 본 개시의 실시예들은 다양한 형태로 실시될 수 있으며, 본 개시가 아래 제시된 실시예들이나 이들 실시예들에 대한 구체적 설명으로 한정되는 것으로 해석해서는 아니 된다.Embodiments of the present disclosure are illustrated for the purpose of describing the present disclosure. Embodiments of the present disclosure may be embodied in various forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth below or the detailed description of these embodiments.
본 명세서에서 사용되는 용어 "부"는 소프트웨어, FPGA(field-programmable gate array), ASIC(application specific integrated circuit)과 같은 하드웨어 구성요소를 의미한다. 그러나, "부"는 하드웨어 및 소프트웨어에 한정되는 것은 아니다. "부"는 어드레싱할 수 있는 저장 매체에 있도록 구성될 수도 있고, 하나 또는 그 이상의 프로세서들을 재생시키도록 구성될 수도 있다. 따라서, 일례로서 "부"는 소프트웨어 구성요소들, 객체지향 소프트웨어 구성요소들, 클래스 구성요소들 및 태스크 구성요소들과 같은 구성요소들과, 프로세서, 함수, 속성, 프로시저, 서브루틴, 프로그램 코드의 세그먼트, 드라이버, 펌웨어, 마이크로코드, 회로, 데이터, 데이터베이스, 데이터 구조, 테이블, 어레이 및 변수를 포함한다. 구성요소와 "부" 내에서 제공되는 기능은 더 작은 수의 구성요소 및 "부"로 결합되거나 추가적인 구성요소와 "부"로 더 분리될 수 있다.The term "part" as used herein refers to hardware components such as software, field-programmable gate arrays (FPGAs), and application specific integrated circuits (ASICs). However, "part" is not limited to hardware and software. The "unit" may be configured to be in an addressable storage medium, and may be configured to play one or more processors. Thus, as an example, "parts" means components such as software components, object-oriented software components, class components, and task components, and processors, functions, properties, procedures, subroutines, program code. Includes segments, drivers, firmware, microcode, circuits, data, databases, data structures, tables, arrays, and variables. Functions provided within a component and "part" may be combined into a smaller number of components and "parts" or further separated into additional components and "parts".
본 명세서에서 사용되는 모든 기술적 용어들 및 과학적 용어들은, 다르게 정의되어 있지 않는 한, 본 개시가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일반적으로 이해되는 의미를 갖는다. 본 명세서에서 사용되는 모든 용어들은 본 개시를 보다 명확히 설명하기 위한 목적으로 선택된 것이며 본 개시의 범위를 제한하기 위해 선택된 것이 아니다. All technical and scientific terms used herein have the meanings that are commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this disclosure belongs, unless otherwise defined. All terms used herein are selected for the purpose of more clearly describing the present disclosure and are not selected to limit the scope of the disclosure.
본원 명세서에서 기술된 단수형의 표현은 달리 언급하지 않는 이상 복수형의 표현도 함께 포함할 수 있으며, 이는 청구항에 기재된 단수형의 표현에도 마찬가지로 적용된다. As used herein, the singular forms "a", "an" and "the" are intended to include the plural forms as well, unless the context clearly indicates otherwise.
본 개시의 다양한 실시 예에서 사용된 "제1", "제2" 등의 표현들은 복수의 구성요소들을 상호 구분하기 위해 사용하는 것일 뿐 해당 구성요소들의 순서 또는 중요도를 한정하는 것이 아니다.Expressions such as “first” and “second” used in various embodiments of the present disclosure are used to distinguish a plurality of components from each other, but do not limit the order or importance of the components.
본 명세서에서 사용되는 "포함하는" 및 "갖는"과 같은 표현은, 해당 표현이 포함되는 문구 또는 문장에서 특별히 다르게 언급되지 않는 한, 다른 실시예를 포함할 가능성을 내포하는 개방형 용어(open-ended terms)로 이해되어야 한다.As used herein, expressions such as "comprising" and "having" are open-ended terms that include the possibility of including other embodiments unless specifically stated otherwise in the phrases or sentences in which the expressions are included. terms).
본 명세서에서 "~에 기초하여"라는 표현은, 해당 표현이 포함되는 문구에서 기술되는 결정 또는 판단의 행위 또는 동작에 영향을 주는 하나 이상의 인자를 기술하는데 사용되고, 이 표현은 결정 또는 판단의 행위 또는 동작에 영향을 주는 추가적인 인자를 배제하지는 않는다. As used herein, the expression "based on" is used to describe one or more factors that affect the behavior or behavior of a decision or judgment described in the phrase in which the expression is included, which expression is used in the act of decision or judgment or It does not exclude additional factors that affect its behavior.
본 명세서에서 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 상기 어떤 구성요소가 상기 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 상기 어떤 구성요소와 상기 다른 구성요소 사이에 새로운 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.When a component is referred to herein as being "connected" or "connected" to another component, the component may be directly connected to or connected to the other component. It is to be understood that there may be new other components between the component and the other components.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 개시의 실시예들을 상세하게 설명한다. 도면상의 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 사용하고 동일한 구성요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present disclosure will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The same reference numerals are used for the same elements in the drawings, and duplicate descriptions of the same elements are omitted.
도 1은 본 개시의 일 실시예에 따라 검사체를 양품 또는 불량품으로 판정하는 검사 시스템(10)을 개략적으로 나타낸 도면이다.1 is a schematic diagram of an inspection system 10 for determining an inspection object as good or defective according to an embodiment of the present disclosure.
본 개시의 일 실시예에 따른 검사 시스템(10)은 복수의 검사체(20) 각각이 양품인지 불량품인지 판정하고, 판정 결과에 따라 양품 보관 장치(30) 또는 불량품 보관 장치(40)로 분류할 수 있다. 여기서, 검사체(20)는 소정의 설계 기준에 따라 제조된 3차원 구조를 갖는 임의의 제조품일 수 있다. 예를 들어, 검사체(20)는 전자부품이 실장되어 있는 인쇄회로기판(PCB)일 수 있다. The inspection system 10 according to an exemplary embodiment of the present disclosure determines whether each of the plurality of inspection bodies 20 is a good product or a defective product, and classifies the product into the good storage device 30 or the defective product storage device 40 according to the determination result. Can be. Here, the test body 20 may be any manufactured article having a three-dimensional structure manufactured according to a predetermined design criterion. For example, the test body 20 may be a printed circuit board (PCB) on which electronic components are mounted.
검사 시스템(10)은 측정 장치(100), 양부 판정 장치(120), 판정 검토 장치(140) 및 분류 장치(160)을 포함할 수 있다. 또한, 검사 시스템(10)은 측정 장치(100), 양부 판정 장치(120), 판정 검토 장치(140) 및 분류 장치(160) 사이의 연결과 통신을 행하는 네트워크(180)를 포함할 수 있다. 도 1에 도시된 바와 같이, 검사체(20)는 화살표 방향을 따라 측정 장치(100), 판정 검토 장치(140) 및 분류 장치(160)를 거쳐, 양품 보관 장치(30) 또는 불량품 보관 장치(40)로 이송될 수 있다.The inspection system 10 may include the measurement apparatus 100, the acceptance determination apparatus 120, the determination review apparatus 140, and the classification apparatus 160. The inspection system 10 may also include a network 180 that communicates with the connection between the measurement device 100, the acceptance determination device 120, the determination review device 140, and the classification device 160. As shown in FIG. 1, the inspection body 20 passes through the measurement device 100, the determination review device 140, and the classification device 160 along the direction of the arrow, and the good storage device 30 or the defective product storage device ( 40).
일 실시예에 의하면, 검사 시스템(10)은 검사체(20)를 제조하는 제조 스테이지 또는 검사체(20)를 가공하는 가공 스테이지의 후단에 설치될 수 있다. 이 경우, 검사 시스템(10)은, 제조 또는 가공된 검사체(20)가 소정의 설계 기준에 따라 제조되었는지 여부를 판정할 수 있다. 또한, 검사 시스템(10)은, 판정 결과에 따라, 양호인 검사체(20)를 양품 보관 장치(30)로 분류하고, 불량인 검사체(20)를 불량품 보관 장치(40)로 분류할 수 있다.According to one embodiment, the inspection system 10 may be installed at a rear end of a manufacturing stage for manufacturing the specimen 20 or a processing stage for processing the specimen 20. In this case, the inspection system 10 can determine whether the manufactured or processed inspection object 20 was manufactured according to a predetermined design criterion. In addition, the inspection system 10 can classify the good inspection body 20 into the goods storage device 30 and classify the defective inspection body 20 into the defective goods storage device 40 according to a determination result. have.
측정 장치(100)는 검사체(20)의 구조(예를 들어, 3차원 구조)를 측정한 측정값을 생성할 수 있다. 일 실시예에 의하면, 측정 장치(100)는 광을 이용하여 검사체(20)의 구조를 측정할 수 있다. 예를 들어, 측정 장치(100)는 검사체(20)에 구조화 광(structured light)을 조사하고, 검사체(20)로부터 반사된 광을 수광하며, 수광된 광을 기초로 검사체(20)의 이미지 데이터를 생성할 수 있다. 또한, 측정 장치(100)는 이미지 데이터에 기초하여, 검사체(20)의 구조를 측정한 측정값을 생성할 수 있다. 측정 장치(100)에 의해 생성된 측정값은 네트워크(180)를 통해 양부 판정 장치(120)로 전달될 수 있다. 측정 장치(100)의 구성 및 동작과 관련해서는 도 2를 참조하여 더욱 자세하게 설명한다.The measuring device 100 may generate a measured value measuring the structure (eg, the three-dimensional structure) of the test body 20. According to an embodiment, the measuring device 100 may measure the structure of the test object 20 using light. For example, the measuring device 100 irradiates structured light to the test body 20, receives light reflected from the test body 20, and measures the test body 20 based on the received light. Can generate image data. In addition, the measuring device 100 may generate a measured value measuring the structure of the test object 20 based on the image data. The measurement value generated by the measurement device 100 may be transmitted to the acceptance determination device 120 through the network 180. The configuration and operation of the measuring device 100 will be described in more detail with reference to FIG. 2.
양부 판정 장치(120)는 검사체(20)가 양호인지 불량인지 여부를 판정할 수 있다. 양부 판정 장치(120)는 측정 장치(100)에 의해 생성된 측정값이 소정 범위 내인지 판단함으로써 검사체(20)의 양호 또는 불량을 판정할 수 있다. 일 실시예에 의하면, 양부 판정 장치(120)는 검사체(20)의 구조의 측정값과 설계값 간의 오차값을 산출할 수 있다. 양부 판정 장치(120)는 오차값이 소정의 기준값 이하인 검사체(20)를 양호(Good)라고 판정하고, 오차값이 소정의 기준값을 초과하는 검사체(20)를 불량(NG)이라고 판정할 수 있다.The acceptance determination apparatus 120 may determine whether the test object 20 is good or bad. The quality determining device 120 may determine whether the measured value generated by the measuring device 100 is within a predetermined range, and thereby determine whether the test object 20 is good or bad. According to one embodiment, the acceptance determination device 120 may calculate an error value between the measured value and the design value of the structure of the test body 20. The adequacy determination device 120 determines that the test object 20 whose error value is equal to or less than a predetermined reference value is good, and determines that the test object 20 whose error value exceeds the predetermined reference value is defective (NG). Can be.
일 실시예에 의하면, 양부 판정 장치(120)는 오차값이 소정의 기준값 이하인(즉, 양호인) 검사체(20) 중 일부의 검사체(20)에 대하여 경고(Warning)라고 판정할 수 있다. 예를 들어, 검사체(20)의 오차값이 소정의 기준값에 가까운 소정의 범위 내인 경우, 양부 판정 장치(120)는 해당 검사체(20)를 경고라고 판정할 수 있다.According to one embodiment, the acceptance determination apparatus 120 may determine that a part of the test object 20 of the test object 20 whose error value is equal to or less than a predetermined reference value (that is, good) is warned. . For example, when the error value of the test body 20 is in a predetermined range close to a predetermined reference value, the delivery judgment device 120 may determine the test object 20 as a warning.
판정 검토 장치(140)는 양부 판정 장치(120)에 의한 검사체(20)의 양부 판정에 오류가 있는지 여부를 판단할 수 있다. 예를 들어, 양부 판정 장치(120)에 의해 양호라고 판정된 검사체(20)가 실제로는 불량인 경우(Escape)가 있다. 또한, 양부 판정 장치(120)에 의해 불량이라고 판정된 검사체(20)가 실제로는 양호인 경우(False Call)가 있다. 이러한 판정 오류는 양부 판정 장치(120)에서 양부 판정에 이용된 기준값이 적절하게 설정되지 않았을 때에 발생할 수 있다. 예를 들어, 오차값과 비교되는 소정의 기준값이 높게 설정된 경우, 양부 판정 장치(120)는 실제 불량인 검사체(20)를 양호라고 판정할 수 있는데, 판정 검토 장치(140)는 이러한 양호 판정이 오류라고 판단할 수 있다. 또한, 오차값과 비교되는 소정의 기준값이 낮게 설정된 경우, 양부 판정 장치(120)는 실제 양호인 검사체(20)를 불량이라고 판정할 수 있는데, 판정 검토 장치(140)는 이러한 불량 판정이 오류라고 판단할 수 있다.The determination examination apparatus 140 can determine whether there is an error in the acceptance determination of the test object 20 by the acceptance determination apparatus 120. For example, there may be a case where the inspection object 20 determined as good by the delivery judgment device 120 is actually defective (Escape). In addition, the test body 20 judged to be defective by the acceptance determination apparatus 120 may actually be good (False Call). This determination error may occur when the reference value used for the acceptance determination in the acceptance determination apparatus 120 is not set appropriately. For example, when a predetermined reference value to be compared with an error value is set high, the affirmation determination device 120 can determine that the inspection object 20 that is actually defective is good, but the determination review device 140 determines such good judgment. This error can be determined. In addition, when the predetermined reference value compared with the error value is set low, the acceptance determination apparatus 120 can determine that the inspection body 20 which is actually good is defective, and the determination review apparatus 140 determines that such failure determination is an error. Can be judged.
판정 검토 장치(140)는 검사체(20)가 실제 양호인지 불량인지 판단할 수 있는 장치를 이용하여 구현될 수 있다. 일 예로서, 판정 검토 장치(140)는 검사체(20)의 구조를 보다 정밀하게 측정할 수 있는 장치를 포함할 수 있다. 다른 예로서, 판정 검토 장치(140)는 검사체(20)의 전기적 특성을 확인할 수 있는 장치를 포함할 수 있다.The determination review device 140 may be implemented using a device capable of determining whether the test object 20 is actually good or bad. As an example, the determination review device 140 may include a device that can more accurately measure the structure of the test object 20. As another example, the determination review device 140 may include a device capable of confirming an electrical characteristic of the test object 20.
일 실시예에 의하면, 판정 검토 장치(140)는 양부 판정 장치(120)에 의해 양부 판정이 이루어진 검사체(20) 중 일부의 검사체(20)에 대하여 판정 오류 여부를 판단할 수 있다. 예를 들어, 판정 검토 장치(140)는 양부 판정 장치(120)에 의해 경고 또는 불량이라고 판정된 검사체(20)에 대하여 판정 오류 여부를 판단할 수 있다. 이 경우, 모든 검사체에 대하여 판정 오류 여부를 판단하는 경우에 비해, 효율성이 향상될 수 있다. According to an exemplary embodiment, the determination reviewing apparatus 140 may determine whether a determination error occurs for a part of the inspection object 20 of the inspection object 20 in which the acceptance determination is made by the acceptance determination device 120. For example, the determination review apparatus 140 can determine whether there is a determination error with respect to the test object 20 that is determined to be warning or defective by the acceptance determination apparatus 120. In this case, the efficiency can be improved as compared with the case of determining whether a determination error for all the test object.
다른 실시예에 의하면, 판정 검토 장치(140)는 양부 판정 장치(120)에 의해 양부 판정이 이루어진 모든 검사체(20)에 대하여 판정 오류 여부를 판단할 수도 있다. 이 경우, 일부 검사체에 대하여 판정 오류 여부를 판단하는 경우에 비해, 정확성이 향상될 수 있다. 판정 검토 장치(140)에 의한 검토 결과는 네트워크(180)를 통해 양부 판정 장치(120)로 전달될 수 있다.According to another embodiment, the determination review apparatus 140 may determine whether or not a determination error has been made for all the inspection objects 20 for which the acceptance determination has been made by the acceptance determination apparatus 120. In this case, the accuracy may be improved as compared with the case of determining whether a determination error for some of the inspection object. The examination result by the determination review apparatus 140 may be transmitted to the acceptance determination apparatus 120 through the network 180.
또 다른 실시예에 의하면, 판정 검토 장치(140)는, 측정된 오차값들의 분포로부터, 양호인 검사체들(20)의 양호 오차값 범위를 추정하고, 추가적으로, 불량인 검사체들(20)의 불량 오차값 범위를 추정할 수 있다.According to another embodiment, the determination review apparatus 140 estimates the good error value range of the good specimens 20 from the distribution of the measured error values, and additionally, the bad specimens 20. The range of defective error values can be estimated.
일정한 생산 공정에 따라 생산되는 제품의 물리적인 속성의 오차값은 일정한 확률 분포를 가진다고 할 수 있다. 주어진 공정을 거쳐 생산된 양호인 검사체들(20)의 오차값은 예를 들어 감마 분포 곡선(Gamma distribution curve)으로 표현되는 양호 오차값 분포를 가질 수 있다. 공정 밖의 문제로 인해 불량이 된 검사체들(20)의 오차값은 예를 들어 정규 분포 곡선(Normal distribution curve)으로 표현되는 불량 오차값 분포를 가질 수 있다. The error value of the physical property of the product produced according to a certain production process can be said to have a certain probability distribution. The error values of the good specimens 20 produced through a given process may have a good error value distribution expressed by, for example, a gamma distribution curve. The error values of the test specimens 20 that are defective due to problems outside the process may have a defective error value distribution expressed by, for example, a normal distribution curve.
이를 이용하여, 판정 검토 장치(140)는 측정된 오차값들의 분포에 가장 피팅(fitting)되는 적어도 하나의 확률 분포 곡선을 결정하고, 결정된 확률 분포 곡선들 중 원점에 가장 가까운 확률 분포 곡선을 양호 오차값 분포로 간주하고, 나머지 확률 분포 곡선들은(만약 있다면) 불량 오차값 분포로 간주할 수 있다.Using this, the decision review apparatus 140 determines at least one probability distribution curve that fits most to the distribution of the measured error values, and selects a probability distribution curve closest to the origin among the determined probability distribution curves, with a good error. Value distributions can be considered and the remaining probability distribution curves (if any) can be regarded as bad error value distributions.
한편, 이러한 양호 오차값 분포 곡선과 불량 오차값 분포 곡선의 그래프들에서 세로축은 자연수여야 하는 검사체 샘플수이므로, 확률적으로 그래프의 세로축 값이 1 이상인 가로축 범위 내에서만 검사체가 1 샘플 이상 존재하고, 그 가로축 범위를 벗어나면 검사체가 1 샘플 미만으로 존재한다고, 다시 말해 부존재한다고 간주할 수 있다. 경우에 따라서, 사용자는 검사체 샘플수가 소정 개수 이상인 오차값의 범위만 유의미한 오차값 범위로 간주할 수 있다. 경우에 따라서, 사용자는 검사된 검사체 샘플들 중 소정 비율의 검사체 샘플들(예를 들어 오차값이 작은 순서대로 99.5%의 검사체 샘플들)을 포함하는 범위만 유의미한 오차값 범위로 간주할 수 있다. On the other hand, in the graphs of the good error distribution curve and the bad error distribution curve, the vertical axis is the number of specimens that must be natural numbers. Therefore, one or more specimens exist only within the horizontal axis range where the graph has a vertical axis value of 1 or more. If it is out of the horizontal axis range, it can be considered that the specimen exists in less than one sample, that is, it is absent. In some cases, the user may regard only a range of error values in which the number of specimen samples is a predetermined number or more as a significant error value range. In some cases, a user may consider only a range of test sample samples that contain a certain proportion of test sample samples (e.g., 99.5% test sample samples in order of decreasing error value) to be a significant error range. Can be.
이러한 관찰에 따라, 양호 오차값 분포 곡선 또는 불량 오차값 분포 곡선에서 사용자가 유의미하다고 간주하는 양호 오차값 범위 또는 불량 오차값 범위가 각각 추정될 수 있다. 상황에 따라서는 유의미한 불량 오차값 분포가 획득되지 않을 수 있고, 따라서 유의미한 불량 오차값 범위도 추정되지 않을 수도 있다.According to this observation, the good error value range or the bad error value range which the user considers to be significant in the good error value distribution curve or the bad error value distribution curve can be estimated, respectively. In some cases, a significant distribution of defective error values may not be obtained, and thus, a range of meaningful defective error values may not be estimated.
구체적으로, 판정 검토 장치(140)는 주어진 샘플 오차값들의 분포로부터 소정의 확률 분포 함수를 이용하여 양호 오차값 분포를 추정하고 필요하다면 불량 오차값 분포를 더 추정할 수 있다. 이때 판정 검토 장치(140)는 양호 오차값 분포에서 샘플수가 예를 들어 1 이상인 양호 오차값 범위를 추정할 수 있고, 불량 오차값 분포(만약 있다면)에서 샘플수가 예를 들어 1 이상인 불량 오차값 범위를 추정할 수 있다.Specifically, the decision review apparatus 140 may estimate the good error value distribution from a given distribution of sample error values using a predetermined probability distribution function and further estimate the bad error value distribution if necessary. At this time, the judgment review device 140 may estimate a good error value range in which the number of samples is 1 or more, for example, in the good error value distribution, and a bad error value range in which the number of samples is 1 or more, for example, in the bad error value distribution (if any). Can be estimated.
만약 일단 추정된 양호 오차값 범위와 불량 오차값 범위가 일부 중첩되는 경우에는, 판정 검토 장치(140)는 양호 오차값 분포와 불량 오차값 분포가 서로 중첩하는 지점을 고려하여 단축된 양호 오차값 범위와 불량 오차값 범위를 각각 다시 추정할 수 있다.If the estimated good error value range and the bad error value range partially overlap each other, the determination review apparatus 140 considers a point where the good error value distribution and the bad error value distribution overlap each other, and thus the shortened good error value range. And error ranges can be estimated again.
만약 두 개 이상의 불량 오차값 분포들이 추정된다면, 판정 검토 장치(140)는 불량 오차값 분포들로부터 각각 추정된 불량 오차값 범위들을 모두 포괄할 수 있도록 통합된 불량 오차값 범위를 다시 추정할 수 있다.If two or more defective error value distributions are estimated, the determination review apparatus 140 may re-establish the integrated defective error value ranges so as to encompass all estimated defective error value ranges from the defective error value distributions. .
판정 검토 장치(140)는 추정된 양호 오차값 범위에 기초하여, 그리고 추가로 불량 오차값 범위(만약 있다면)에 기초하여, 양부 판정 장치(120)에 의한 검사체(20)의 양부 판정에 오류가 있는지 여부를 판단할 수 있다.The determination examination apparatus 140 makes an error in the acceptance determination of the test body 20 by the acceptance determination apparatus 120 based on the estimated good error value range, and further based on the defective error value range (if present). It can be determined whether there is.
예를 들어, 만약 양부 판정의 기준값이 양호 오차값 범위 안에 있을 경우에, 어떤 검사체(20)의 오차값이 기준값보다 크지만 양호 오차값 범위 내에 있다면, 판정 검토 장치(140)는 그 검사체(20)가 비록 기준값에 의해 불량으로 판정되었지만 실제로는 양호인 제 2 타입의 오류(false call)임을 판단할 수 있고, 현재의 기준값이 너무 엄격하다고 판단할 수 있다. For example, if the reference value of the acceptance judgment is within the good error value range, and if the error value of any test object 20 is larger than the reference value but is within the good error value range, the judgment review device 140 determines the test object. Although 20 is determined to be bad by the reference value, it can be determined that it is actually a false call of the second type which is good, and it can be determined that the current reference value is too strict.
예를 들어, 만약 양부 판정의 기준값이 불량 오차값 범위 내에 있거나 그 범위를 초과하는 경우에, 어떤 검사체(20)의 오차값이 기준값보다 작지만 불량 오차값 범위 내에 있다면, 판정 검토 장치(140)는 그 검사체(20)가 기준값에 의해 비록 양호로 판정되었지만 실제로는 불량인 제 1 타입의 오류(escape)임을 판단할 수 있고, 현재의 기준값이 너무 여유롭다고 판단할 수 있다.For example, if the reference value of the acceptance judgment is within or exceeds the defective error value range, if the error value of a certain specimen 20 is smaller than the reference value but within the defective error value range, the determination review device 140 It can be determined that the test body 20 is an escape of the first type which is actually bad even though it is determined to be good by the reference value, and it can be determined that the current reference value is too relaxed.
이에 따라, 판정 검토 장치(140)는, 양부 판정의 기준값이 양호 오차값 범위 안에 있을 경우에 오차값이 양호 오차값 범위 내에 있으면서 기준값보다 큰 검사체들(20)의 수로써, 또는 양부 판정의 기준값이 불량 오차값 범위 내에 있거나 그 범위를 초과하는 경우에 오차값이 불량 오차값 범위 내에 있으면서 기준값보다 작은 검사체들(20)의 수로써, 판정 오류인 검사체들의 수를 판단할 수 있다.Accordingly, the determination review apparatus 140 determines the number of the inspection objects 20 larger than the reference value while the error value is within the good error value range when the reference value of the good judgment is within the good error value range, When the reference value is within or exceeds the range of the defective error value, the number of the inspected objects that are the determination errors may be determined as the number of the inspected objects 20 that are smaller than the reference value while the error value is within the defective error value range.
판정 검토 장치(140)에 의한 판단 결과는 네트워크(180)를 통해 양부 판정 장치(120)로 전달될 수 있다. 또한, 판정 검토 장치(140)에 의해 추정된 양호 오차값 분포 및 양호 오차값 범위도 네트워크(180)를 통해 양부 판정 장치(120)로 전달될 수 있다. 부가적으로, 판정 검토 장치(140)에 의해 추정된 불량 오차값 분포 및 불량 오차값 범위도 네트워크(180)를 통해 양부 판정 장치(120)로 전달될 수 있다.The determination result by the determination review apparatus 140 may be transmitted to the acceptance determination apparatus 120 through the network 180. In addition, the good error value distribution and the good error value range estimated by the determination review device 140 may also be transmitted to the positive determination device 120 through the network 180. In addition, the defective error value distribution and the defective error value range estimated by the determination review apparatus 140 may also be transmitted to the contradictory determination apparatus 120 via the network 180.
이러한 방식으로, 판정 검토 장치(140)는 불량 판정된 샘플들에 대해 실제로 정밀한 재검사를 하지 않더라도, 생산 초기의 샘플들에서 검출되는 오차값 분포로부터, 판정 오류가 있을 것으로 강하게 추정되는 검사체들(20)을 식별할 수 있고, 나아가 현재 기준값의 적절성을 판단할 수 있다. In this way, even if the judgment review device 140 does not actually perform a rigorous retest on the samples judged to be defective, from the error value distribution detected in the samples at the beginning of production, the inspection objects (which are strongly estimated to have a determination error) ( 20) can be identified, and furthermore, the appropriateness of the current reference value can be determined.
본 개시의 일 실시예에 의한 양부 판정 장치(120)는 판정 검토 장치(140)에 의해 판정 오류라고 판단된 검사체(20)의 수가 감소하도록, 검사체(20)에 대한 양부 판정 조건을 조정할 수 있다. 양부 판정 장치(120)는 양부 판정 장치(120)에 의해 생성된 검사체(20)에 대한 양부 판정 결과 및 판정 검토 장치(140)에 의해 생성된 검사체(20)에 대한 판정 검토 결과를 기초로, 오차값과 비교되는 기준값을 갱신할 수 있다. 예를 들어, 판정 검토 장치(140)에 의해 검사체(20)의 적어도 일부에 판정 오류(False call)가 발생했다고 판단된 경우, 양부 판정 장치(120)는 오차값과 비교되는 기준값을 높일 수 있다. 또한, 판정 검토 장치(140)에 의해 검사체(20)의 적어도 일부에 판정 오류(Escape)가 발생했다고 판단된 경우, 양부 판정 장치(120)는 오차값과 비교되는 기준값을 낮출 수 있다.The acceptance determination apparatus 120 according to an embodiment of the present disclosure adjusts the acceptance determination condition for the inspection object 20 so that the number of the inspection object 20 determined as the determination error by the determination review device 140 is reduced. Can be. The acceptance determination apparatus 120 is based on the acceptance determination result for the inspection object 20 generated by the acceptance determination device 120 and the determination review result for the inspection object 20 generated by the determination review device 140. The reference value compared with the error value can be updated. For example, when it is determined by the judgment review device 140 that a false call has occurred in at least a part of the test object 20, the fitness judgment device 120 may increase the reference value compared with the error value. have. In addition, when it is determined by the determination review device 140 that a determination error (Escape) has occurred in at least a part of the test object 20, the acceptance determination device 120 can lower the reference value compared with the error value.
양부 판정 장치(120)는 사용자 입력에 따라 오차값과 비교되는 기준값을 갱신할 수 있다. 양부 판정 장치(120)는 검사체(20)에 대한 양부 판정 결과, 판정 검토 결과 및 기준값을 그래픽적으로 나타낼 수 있다. 사용자는 그래픽적으로 나타난 양부 판정 결과 및 판정 검토 결과를 기초로, 판정 오류가 발생한 검사체의 수가 감소하도록 기준값을 조정하기 위한 그래픽적 입력을 양부 판정 장치(120)에 제공할 수 있다. 양부 판정 장치(120)는 사용자의 그래픽적 입력에 응답하여 기준값을 갱신할 수 있다.The acceptance determination apparatus 120 may update the reference value compared with the error value according to the user input. The acceptance determination apparatus 120 can graphically display the acceptance determination result, the determination examination result, and the reference value for the inspection object 20. The user may provide the acceptance determination apparatus 120 with a graphic input for adjusting the reference value so that the number of the inspection objects in which the determination error has occurred is reduced, based on the acceptance determination result and the determination review result displayed graphically. The acceptance determination apparatus 120 may update the reference value in response to the graphical input of the user.
양부 판정 장치(120)는 갱신된 기준값을 오차값과 비교하여 검사체(20)의 양호 또는 불량을 재판정할 수 있다. 또한, 양부 판정 장치(120)는, 검사체(20)가 실제 양호인지 불량인지 나타내는 판정 검토 장치(140)에 의해 생성된 판정 검토 결과에 기초하여, 검사체(20) 중 재판정 결과에 오류가 발생했는지 여부를 식별할 수 있다. 이에 따라, 양부 판정 장치(120)는 검사체(20)에 대한 양부 재판정 결과, 갱신된 기준값 및 재판정 오류가 발행한 검사체의 수를 그래픽적으로 나타낼 수 있다.The acceptance determination apparatus 120 may judge the good or bad of the test object 20 by comparing the updated reference value with the error value. In addition, the pass / fail determination device 120 has an error in the judgment result of the inspection body 20 based on the determination review result generated by the determination review device 140 indicating whether the inspection body 20 is actually good or bad. It can be identified whether or not it has occurred. Accordingly, the acceptance determination apparatus 120 may graphically indicate the result of the acceptance judgment for the inspection object 20, the updated reference value and the number of inspection objects issued by the judgment error.
양부 판정 장치(120)는, 예를 들어, 서버 컴퓨터, 개인용 컴퓨터, 랩탑 컴퓨터, 스마트폰, 태블릿과 같이 컴퓨팅 장치를 이용하여 구현될 수 있다. 양부 판정 장치(120)의 구성 및 동작과 관련해서는 도 3 내지 도 10를 참조하여 더욱 자세하게 설명한다.The acceptance determination apparatus 120 may be implemented using a computing device, for example, a server computer, a personal computer, a laptop computer, a smartphone, a tablet. The configuration and operation of the acceptance determination apparatus 120 will be described in more detail with reference to FIGS. 3 to 10.
분류 장치(160)는 검사체(20)를 양품 보관 장치(30) 또는 불량품 보관 장치(40)로 분류할 수 있다. 분류 장치(160)는 양부 판정 장치(120)에서의 재판정 결과에 기초하여, 양호인 검사체(20) 및 불량인 검사체(20)를 각각 양품 보관 장치(30) 및 불량품 보관 장치(40)로 분류할 수 있다.The classification apparatus 160 may classify the test body 20 into the good storage device 30 or the defective product storage device 40. The classification apparatus 160 stores the good inspection body 20 and the bad inspection object 20 based on the judgment result in the acceptance determination device 120, respectively. Can be classified as
네트워크(180)는 측정 장치(100), 양부 판정 장치(120), 판정 검토 장치(140) 및 분류 장치(160) 간의 연결 및 통신을 가능하게 있다. 네트워크(180)는 근거리 통신망(Local Area Network; LAN), 광역 통신망(Wide Area Network; WAN) 또는 부가가치 통신망(Value Added Network; VAN) 등과 같은 유선 네트워크나, 이동 통신망(mobile radio communication network), 위성 통신망, 블루투스(Bluetooth), Wibro(Wireless Broadband Internet), HSDPA(High Speed Downlink Packet Access) 등과 같은 모든 종류의 무선 네트워크를 이용하여 구현될 수 있다. The network 180 enables the connection and communication between the measurement apparatus 100, the acceptance determination apparatus 120, the determination review apparatus 140, and the classification apparatus 160. The network 180 may be a wired network such as a local area network (LAN), a wide area network (WAN), or a value added network (VAN), a mobile radio communication network, a satellite, or the like. It can be implemented using any kind of wireless network such as a communication network, Bluetooth, Wireless Broadband Internet (Wibro), High Speed Downlink Packet Access (HSDPA), and the like.
도 1에는 검사 시스템(10)의 각 장치들이 별개의 구성으로서 도시되어 있지만, 본 개시는 이에 한정되지 않고, 양부 판정 장치(120), 판정 검토 장치(140) 및 분류 장치(160) 중 어느 장치의 적어도 일부 구성이 다른 장치에 통합 구현될 수 있다. 일 실시예에 의하면, 판정 검토 장치(140)의 적어도 일부 구성은 양부 판정 장치(120)에 통합 구현될 수 있다. 예를 들어, 오차값 분포으로부터 추정을 통해 양부 판정 오류를 판단하는 판정 검토 장치(140)의 구성은 양부 판정 장치(120)에 구현될 수 있다.Although each apparatus of the inspection system 10 is shown in FIG. 1 as a separate configuration, the present disclosure is not limited thereto, and any of the acceptance determination apparatus 120, the determination review apparatus 140, and the classification apparatus 160 may be used. At least some components of may be integrated into other devices. According to one embodiment, at least some components of the determination review apparatus 140 may be integrated into the acceptance determination apparatus 120. For example, the configuration of the determination review apparatus 140 that determines the acceptance determination error through estimation from the error value distribution may be implemented in the acceptance determination apparatus 120.
도 2는 본 개시의 일 실시예에 따라 검사체의 구조를 측정하는 측정 장치(200)의 구성을 개략적으로 나타낸 도면이다. 복수의 실시 형태에 따르면, 도 2의 측정 장치(200)는 도 1의 측정 장치(100)의 모든 기술적 특징들을 포함할 수 있다. 도 2에 도시된 바와 같이, 측정 장치(200)는 조명부(210), 촬상부(220) 및 이미지 처리부(230)를 포함한다.2 is a view schematically showing the configuration of a measuring device 200 for measuring the structure of a test body according to an embodiment of the present disclosure. According to the plurality of embodiments, the measuring device 200 of FIG. 2 may include all technical features of the measuring device 100 of FIG. 1. As shown in FIG. 2, the measuring device 200 includes an illumination unit 210, an imaging unit 220, and an image processing unit 230.
조명부(210)는 검사체(20)의 일부인 검사 대상(22)을 측정하기 위해 패턴광을 검사 대상(22)에 조사한다. 예를 들어, 검사체(20)는 인쇄회로기판이고, 검사 대상(22)은 인쇄회로기판 상에 형성된 솔더 또는 인쇄회로기판 상에 실장된 전자부품이다. 다만, 본 개시에 따른 검사체(20) 및 검사 대상(22)은 이에 한정되는 것은 아니며, 3차원 구조를 갖는 임의의 제조품일 수 있다.The illumination unit 210 irradiates the inspection object 22 with pattern light to measure the inspection object 22 that is a part of the inspection object 20. For example, the test body 20 is a printed circuit board, and the test object 22 is a solder formed on the printed circuit board or an electronic component mounted on the printed circuit board. However, the test body 20 and the test target 22 according to the present disclosure are not limited thereto, and may be any manufactured product having a three-dimensional structure.
일 실시예에 있어서, 조명부(210)는 광을 생성하는 광원(211), 광원(211)으로부터의 광을 패턴광으로 변환하는 격자 소자(212), 격자 소자(212)를 피치 이송하는 격자 이송 기구(213) 및 격자 소자(212)에 의해 변환된 패턴광을 검사 대상(22)에 투영하는 투영 렌즈(214)를 포함한다. 예를 들면, 격자 소자(212)는 패턴광의 위상 천이를 위해 PZT 엑추에이터(piezo actuator)와 같은 격자 이송 기구(213)에 의해 소정의 거리(예를 들어, 2π/N; N은 2 이상의 자연수)만큼씩 이송될 수 있다.In one embodiment, the lighting unit 210 includes a light source 211 for generating light, a grating element 212 for converting light from the light source 211 into pattern light, and a grating transfer for pitch conveying the grating element 212. And a projection lens 214 for projecting the patterned light converted by the instrument 213 and the grating element 212 onto the inspection object 22. For example, the grating element 212 is a predetermined distance (e.g., 2π / N; N is a natural number of two or more) by a grating transfer mechanism 213 such as a PZT actuator for phase shifting of patterned light. Can be transported by number.
도 2에 도시된 바와 같이, 조명부(210)는 2개 구비될 수 있다. 다만, 본 개시에 따른 조명부(210)는 이에 한정되지 않고, 1개 또는 3개 이상 구비될 수 있다. 조명부(210)가 2개 이상 구비된 경우, 복수의 조명부(210)는 원주 방향이나 가상의 다각 평면을 따라 일정한 각도로 이격되도록 설치되거나, 검사체(20)와 수직한 방향을 따라 일정한 간격으로 이격되도록 설치될 수 있다.As shown in FIG. 2, two lighting units 210 may be provided. However, the lighting unit 210 according to the present disclosure is not limited thereto and may be provided with one or three or more. When two or more lighting units 210 are provided, the plurality of lighting units 210 may be installed to be spaced at a predetermined angle along a circumferential direction or a virtual polygonal plane, or at regular intervals along a direction perpendicular to the test body 20. It may be installed to be spaced apart.
촬상부(220)는 검사 대상(22)에 의해 반사된 광을 수신하여 검사 대상(22)의 이미지 데이터를 획득할 수 있다. 촬상부(220)는 CCD(charge coupled device) 카메라 또는 CMOS(complementary metal oxide semiconductor) 카메라를 이용하여 구현될 수 있지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 촬상부(220)는 검사체(20)로부터 수직한 상부 위치에 설치될 수 있다.The imaging unit 220 may receive the light reflected by the inspection target 22 to obtain image data of the inspection target 22. The imaging unit 220 may be implemented using a charge coupled device (CCD) camera or a complementary metal oxide semiconductor (CMOS) camera, but is not limited thereto. The imaging unit 220 may be installed at an upper position perpendicular to the test body 20.
이미지 처리부(230)는 촬상부(220)에 의해 획득된 이미지 데이터를 처리하여 검사 대상(22)의 구조의 측정값을 생성한다. 예를 들어, 이미지 처리부(230)는 검사 대상(22)의 이미지 데이터로부터 검사 대상(22)의 가로 길이, 세로 길이, 높이 길이, 면적, 부피 등을 측정한다. 이미지 처리부(230)에 의해 생성된 측정값은 이미지 처리부(230)의 저장부(232)에 저장되거나, 통신부(234)에 의해 양부 판정 장치(120)로 전송될 수 있다.The image processor 230 processes the image data acquired by the imaging unit 220 to generate a measurement value of the structure of the inspection object 22. For example, the image processor 230 measures a horizontal length, a vertical length, a height length, an area, a volume, and the like of the inspection object 22 from the image data of the inspection object 22. The measurement value generated by the image processor 230 may be stored in the storage unit 232 of the image processor 230, or transmitted by the communicator 234 to the acceptance determination apparatus 120.
도 3은 본 개시의 일 실시예에 따라 검사체의 양부를 판정하는 양부 판정 장치(300)의 상세 구성을 도시하는 블럭도이다. 복수의 실시 형태에 따르면, 도 3의 양부 판정 장치(300)는 도 1의 양부 판정 장치(160)의 모든 기술적 특징들을 포함할 수 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, 본 개시의 일 실시예에 따른 양부 판정 장치(300)는 통신부(310), 입출력부(320), 처리부(330) 및 데이터베이스(340)를 포함한다.3 is a block diagram showing a detailed configuration of a good quality determination device 300 for determining the quality of a test object according to an embodiment of the present disclosure. According to the plurality of embodiments, the acceptance determination apparatus 300 of FIG. 3 may include all technical features of the acceptance determination apparatus 160 of FIG. 1. As shown in FIG. 3, the determination unit 300 according to an embodiment of the present disclosure includes a communication unit 310, an input / output unit 320, a processing unit 330, and a database 340.
통신부(310)는 타 장치, 예를 들어, 도 1의 측정 장치(100), 판정 검토 장치(140) 및 분류 장치(160)와 통신할 수 있다. 통신부(310)에 있어서, 이들 장치와 통신하기 위한 하위 구성요소들은 하나의 하드웨어 장치로 통합 구성될 수 있다.The communication unit 310 may communicate with other devices, for example, the measurement device 100, the determination review device 140, and the classification device 160 of FIG. 1. In the communication unit 310, subcomponents for communicating with these devices may be integrated into one hardware device.
입출력부(320)는 사용자와 인터페이스하기 위한 구성으로서, 사용자 입력부(322) 및 출력부(324)를 포함한다. 사용자 입력부(322)는 사용자로부터 양부 판정과 관련한 입력을 수신할 수 있다. 예를 들어, 사용자 입력부(322)는 양부 판정에 사용된 기준값을 조정하기 위한 입력, 양부 판정 결과를 디스플레이하기 위한 입력, 양부 판정 결과 중 어느 하나를 선택하기 위한 입력 등을 수신할 수 있다. 사용자 입력부(322)는 키보드, 마우스, 터치 패드, 터치 스크린 등을 포함할 수 있다.The input / output unit 320 is a configuration for interfacing with a user and includes a user input unit 322 and an output unit 324. The user input unit 322 may receive an input relating to the acceptance decision from the user. For example, the user input unit 322 may receive an input for adjusting the reference value used for the acceptance determination, an input for displaying the acceptance determination result, an input for selecting one of the acceptance determination result, and the like. The user input unit 322 may include a keyboard, a mouse, a touch pad, a touch screen, and the like.
출력부(324)는 사용자에게 양부 판정과 관련한 출력을 제공한다. 예를 들어, 출력부(324)는 검사체(20)의 양부 판정 결과, 양부 판정에 사용된 기준값 등을 디스플레이할 수 있다. 출력부(324)는 LCD(liduid crytal display), LED(light emitting diode) 디스플레이, OLED(organic light emitting diode) 디스플레이 등을 포함할 수 있다.The output unit 324 provides an output related to the acceptance decision to the user. For example, the output unit 324 may display the result of the acceptance decision of the test object 20, the reference value used for the acceptance determination, and the like. The output unit 324 may include a LCD (liduid crytal display), a light emitting diode (LED) display, an organic light emitting diode (OLED) display, and the like.
처리부(330)는 양부 판정과 관련한 데이터를 처리할 수 있다. 처리부(330)는 양부 판정부(332), 판정 결과 생성부(334) 및 판정 기준 조정부(336)를 포함한다. 또한, 데이터베이스(340)는 양부 판정과 관련된 데이터를 저장하기 위한 구성으로서, 설계값 DB(342), 측정값 DB(344), 오차값 DB(346), 기준값 DB(348), 판정 결과 DB(350) 및 판정 검토 결과 DB(352)를 포함한다.The processor 330 may process data related to the acceptance decision. The processing unit 330 includes a quality determination unit 332, a determination result generation unit 334, and a determination reference adjustment unit 336. In addition, the database 340 is a configuration for storing data related to good or bad judgment, and includes a design value DB 342, a measured value DB 344, an error value DB 346, a reference value DB 348, and a determination result DB ( 350 and the decision review result DB 352.
설계값 DB(342)에는 검사체(20)의 모든 검사 대상(22)에 대한 설계값이 저장된다. 예를 들어, 검사체(20)가 PCB인 경우, PCB 상에 형성된 패드의 가로 길이와 세로 길이, 패드 위에 놓여진 솔더의 부피와 면적, 솔더 위에 놓여진 전자부품으로부터 패드까지의 높이 등이 설계값으로서 설계값 DB(342)에 저장될 수 있다. The design value DB 342 stores the design values for all the inspection objects 22 of the test object 20. For example, when the test body 20 is a PCB, the design values include the width and length of the pad formed on the PCB, the volume and area of the solder placed on the pad, the height from the electronic component placed on the pad to the pad, and the like. The design value DB 342 may be stored.
측정값 DB(344)에는 검사체(20)의 모든 검사 대상(22)에 대한 측정값이 저장된다. 측정값 DB(344)에 저장된 측정값은 설계값 DB(342)에 저장된 설계값에 대응될 수 있다. 일 실시예에 의하면, 검사체(20)에 대한 측정값은 도 2의 측정 장치(200)에 의해 생성된 것일 수 있다. 측정 장치(200)에 생성된 측정값은 측정 장치(200)의 통신부(234) 및 양부 판정 장치(300)의 통신부(310)를 통해 측정값 DB(344)에 저장될 수 있다.In the measured value DB 344, the measured value about all the test | inspection objects 22 of the test body 20 is stored. The measurement value stored in the measurement value DB 344 may correspond to the design value stored in the design value DB 342. According to an embodiment, the measured value for the test body 20 may be generated by the measuring device 200 of FIG. 2. The measurement value generated in the measurement device 200 may be stored in the measurement value DB 344 through the communication unit 234 of the measurement device 200 and the communication unit 310 of the acceptance determination device 300.
양부 판정부(332)는 검사체(20)의 검사 대상(22)의 설계값에 대한 측정값의 오차값을 산출할 수 있다. 양부 판정부(332)는 설계값 DB(342)에 저장된 검사체(20)의 검사 대상(22)의 설계값과 측정값 DB(344)에 저장된 검사체(20)의 검사 대상(22)의 측정값의 차를 오차값으로서 산출한다. 산출된 오차값은 오차값 DB(346)에 저장될 수 있다. The acceptance determination unit 332 may calculate an error value of the measured value with respect to the design value of the inspection target 22 of the inspection object 20. The adequacy determination unit 332 determines the design value of the inspection target 22 of the inspected object 20 stored in the design value DB 342 and the inspection object 22 of the inspected object 20 stored in the measured value DB 344. The difference between the measured values is calculated as an error value. The calculated error value may be stored in the error value DB 346.
양부 판정부(332)는 검사체(20)의 구조가 소정의 기준을 만족하는지 여부를 판정할 수 있다. 양부 판정부(332)는 오차값 DB(346)에 저장된 오차값과 기준값 DB(348)에 저장된 기준값을 비교하여 검사체(20)의 양호 또는 불량을 판정할 수 있다. 일 실시예에 의하면, 양부 판정부(332)는 검사체(20)의 검사 대상(22)에 대한 오차값이 해당 검사 대상(20)에 대한 기준값 이하인 경우 검사체(20)를 양호라고 판정하고, 해당 오차값이 해당 기준값 초과인 경우 검사체(20)를 불량이라고 판정할 수 있다. 예를 들어, 검사체(20)의 패드의 세로 길이에 대한 기준값이 0.5 mm로 설정된 경우, 양부 판정부(332)는 패드의 세로 길이에 대한 오차값이 0.6 mm인 검사체(20)를 불량이라고 판정하고, 오차값이 0.4 mm인 검사체(20)를 양호라고 판정한다. 양부 판정부(332)에 의해 생성된 양부 판정 결과는 판정 결과 DB(350)에 저장될 수 있다.The acceptance determination unit 332 may determine whether the structure of the test object 20 satisfies a predetermined criterion. The acceptance determination unit 332 may compare the error value stored in the error value DB 346 with the reference value stored in the reference value DB 348 to determine whether the specimen 20 is good or bad. According to one embodiment, the acceptance determination unit 332 determines that the test object 20 is good if the error value of the test object 20 of the test object 20 is less than or equal to the reference value of the test object 20. When the error value exceeds the reference value, the test body 20 may be determined to be defective. For example, when the reference value for the vertical length of the pad of the test object 20 is set to 0.5 mm, the positive determination unit 332 rejects the test object 20 having an error value of 0.6 mm with respect to the vertical length of the pad. It is determined that the test body 20 having an error value of 0.4 mm is good. The acceptance determination result generated by the acceptance determination unit 332 may be stored in the determination result DB 350.
판정 검토 결과 DB(352)에는 검사체(20)의 검사 대상(22)에 대한 양부 판정부(332)의 양부 판정에 오류가 있는지 여부를 나타내는 판정 검토 결과가 저장된다. 검사 대상(22)에 대한 양부 판정에 오류가 발생한 경우, 해당 검사 대상(22)에 대한 판정 검토 결과로서 '판정 오류'가 표시될 수 있다. 판정 오류는, 양부 판정부(332)에 의해 양호라고 판정된 검사 대상(22)이 실제로는 불량인 제 1 타입(Escape), 및 양부 판정부(332)에 의해 불량이라고 판정된 검사 대상(22)이 실제로는 양호인 제 2 타입(False Call)을 포함한다.In the decision examination result DB 352, a decision examination result indicating whether or not there is an error in the acceptance determination of the acceptance determination unit 332 with respect to the inspection target 22 of the inspection object 20 is stored. When an error occurs in the determination of the acceptance of the inspection object 22, a 'decision error' may be displayed as a result of the determination review of the inspection object 22. The determination error is a first type (Escape) in which the inspection target 22 determined as good by the acceptance determination unit 332 is actually defective, and the inspection target 22 determined as defective by the acceptance determination unit 332. ) Contains the second type (False Call) which is actually good.
일 실시예에 의하면, 판정 검토 결과 DB(352)에 저장된 판정 검토 결과는 도 1의 판정 검토 장치(140)에 의해 생성된 것일 수 있다. 통신부(310)는 판정 검토 장치(140)에 의해 생성된 판정 검토 결과를 수신하여 판정 검토 결과 DB(352)에 저장할 수 있다. 또한, 판정 검토 장치(140)에 의해 추정된 양호 오차값 분포, 양호 오차값 범위, 불량 오차값 분포(만약 있다면) 및 불량 오차값 범위(만약 있다면)도 양부 판정 장치(300)의 통신부(310)를 통해 판정 검토 결과 DB(352)에 저장될 수 있다.According to one embodiment, the decision review result stored in the decision review result DB 352 may be generated by the decision review device 140 of FIG. 1. The communication unit 310 may receive the determination review result generated by the determination review device 140 and store the result in the determination review result DB 352. In addition, the communication unit 310 of the acceptance judgment device 300 also includes the good error value distribution, the good error value range, the bad error value distribution (if any), and the bad error value range (if any) estimated by the determination review device 140. ) Can be stored in the decision review result DB 352.
판정 결과 생성부(334)는 오차값에 따른 검사체의 수를 나타내는 검사 결과 그래프를 생성할 수 있다. 일 실시예에 의하면, 검사 결과 그래프는 2차원 그래프로서, 가로축은 오차값을 나타내고, 세로축은 해당 오차값을 갖는 검사체(20)의 수를 나타낼 수 있다. 또한, 판정 결과 생성부(334)는 검사 결과 그래프 상에, 사용자 조작에 의해 이동 가능한 GUI(graphical user interface) 객체를 기준값으로서 나타낼 수 있다. 예를 들어, 기준값을 나타내는 GUI 객체는 바(bar), 화살표, 선, 점, 사각형 등의 형상을 가질 수 있다.The determination result generator 334 may generate an inspection result graph indicating the number of inspection objects according to the error value. According to an embodiment, the test result graph may be a two-dimensional graph, in which the horizontal axis may represent an error value, and the vertical axis may represent the number of test bodies 20 having the corresponding error value. In addition, the determination result generation unit 334 may display, as a reference value, a graphical user interface (GUI) object that is movable by a user operation on the inspection result graph. For example, the GUI object representing the reference value may have a shape of a bar, an arrow, a line, a dot, a rectangle, or the like.
판정 결과 생성부(334)는 검사체(20)의 양부 판정 결과를 검사 결과 그래프에 나타낼 수 있다. 일 실시예에 의하면, 판정 결과 생성부(334)는 검사 결과 그래프 상에 양부 판정 결과로서, 양호, 경고 및 불량을 나타낼 수 있다. 예를 들어, 판정 결과 생성부(334)는 검사 결과 그래프 상에서 오차값이 기준값 이하인 영역을 양호라고 표시하고, 오차값이 기준값 초과인 영역을 불량이라고 표시한다. 또한, 판정 결과 생성부(334)는 검사 결과 그래프 상에서 오차값이 기준값에 가까운 소정의 영역을 경고라고 표시한다. 이 경우, 검사 결과 그래프 상에는 경고에 해당하는 영역의 경계가 표시될 수 있다. 또한, 일 실시예에 의하면, 판정 결과 생성부(334)는 검사 결과 그래프 상에 양호, 경고 및 불량에 해당하는 검사체(20)의 수를 각각 나타낼 수 있다. The determination result generation unit 334 can display the result of the determination of the quality of the inspection body 20 in the inspection result graph. According to an exemplary embodiment, the determination result generator 334 may indicate good, warning, and bad as a result of the positive determination on the test result graph. For example, the determination result generation unit 334 displays a region where the error value is equal to or less than the reference value on the inspection result graph, and displays a region where the error value exceeds the reference value as defective. In addition, the determination result generation unit 334 displays a predetermined area on the inspection result graph close to the reference value as a warning. In this case, the boundary of the area corresponding to the warning may be displayed on the test result graph. In addition, according to an exemplary embodiment, the determination result generator 334 may indicate the number of the test bodies 20 corresponding to good, warning, and bad on the test result graph.
판정 결과 생성부(334)는 양부 판정 결과에 대한 검토 결과를 검사 결과 그래프에 나타낼 수 있다. 일 실시예에 의하면, 판정 결과 생성부(334)는 검사 결과 그래프 상에 판정 검토 결과로서, 제 1 타입(Escape)의 오류 및 제 2 타입(False Call)의 오류를 나타낼 수 있다. 예를 들어, 판정 결과 생성부(334)는 검사 결과 그래프 상에서 오차값이 기준값 초과인 영역 중 실제 양호로 판단된 검사체(20)가 속한 영역을 제 1 타입(Escape)의 오류로 표시한다. 또한, 판정 결과 생성부(334)는 검사 결과 그래프 상에서 오차값이 기준값 이하인 영역 중 실제 불량으로 판단된 검사체(20)가 속한 영역을 제 2 타입(False Call)의 오류로 표시한다.The determination result generation unit 334 may display the result of the examination on the result of the acceptance determination on the inspection result graph. According to an exemplary embodiment, the determination result generator 334 may indicate an error of the first type (Escape) and an error of the second type (False Call) as the determination examination result on the inspection result graph. For example, the determination result generation unit 334 displays, as an error of the first type (Escape), an area to which the test object 20 determined as actually good among the areas where the error value exceeds the reference value on the inspection result graph. In addition, the determination result generation unit 334 displays an area of the test object 20 to which the test object 20, which is determined to be actually defective, among the areas where the error value is equal to or less than the reference value, as an error of the second type.
일 실시예에 의하면, 제 1 타입의 오류, 제 2 타입의 오류와 같은 판정 오류들은 판정 검토 장치(140)에 의한 정밀 검사를 통해 판단될 수 있다. 판정 검토 장치(140)는 검사체(20)의 구조를 보다 정밀하게 측정할 수 있는 장치 또는 검사체(20)의 전기적 특성을 측정할 수 있는 장치를 포함할 수 있다. 판정 검토 장치(140)는 검사체(20)의 구조적 전기적 특성들을 보다 정밀하게 측정함으로써, 검사체(20)가 실제 양호인지 불량인지 판단할 수 있다. 그 결과, 판정 검토 장치(140)는 양호라고 판정된 검사체(20) 중 실제 불량인 검사체(20)와, 불량이라고 판정된 검사체(20) 중 실제 양호인 검사체(20)를 판별할 수 있다.According to an embodiment, determination errors such as an error of the first type and an error of the second type may be determined through detailed inspection by the decision review apparatus 140. The determination examining device 140 may include a device capable of measuring the structure of the test body 20 more precisely, or a device capable of measuring the electrical characteristics of the test body 20. The determination examination device 140 may determine whether the test body 20 is actually good or bad by measuring the structural electrical characteristics of the test body 20 more precisely. As a result, the determination examination apparatus 140 discriminates | determines the test body 20 which is a real defect among the test body 20 determined to be good, and the test body 20 which is actually good among the test body 20 judged to be bad. can do.
다른 실시예에 의하면, 판정 오류들은 판정 검토 장치(140)에 의한 오차값 분포로부터의 추정을 통해 판단될 수 있다. 판정 검토 장치(140)는 측정 장치(100)에 의해 측정된 검사체(20)의 오차값 분포에 피팅되는 적어도 하나의 확률 분포 곡선을 결정하고, 결정된 확률 분포 곡선들 중 원점에 가장 가까운 확률 분포 곡선을 양호 오차값 분포로 간주하고, 나머지 확률 분포 곡선들(만약 있다면)을 불량 오차값 분포로 간주할 수 있다. 판정 검토 장치(140)는 양호 오차값 분포로부터 양호 오차값 범위를 추정하고, 불량 오차값 분포(만약 있다면)로부터 불량 오차값 범위를 추정할 수 있다. 또한, 판정 검토 장치(140)는 양호 오차값 범위 및 불량 오차값 범위(만약 있다면)에 기초하여, 검사체(20) 중 판정 오류가 발생한 검사체(20)를 판별할 수 있다.According to another embodiment, determination errors may be determined through estimation from an error value distribution by the determination review apparatus 140. The determination review apparatus 140 determines at least one probability distribution curve fitted to the error value distribution of the test object 20 measured by the measuring apparatus 100, and the probability distribution closest to the origin among the determined probability distribution curves. The curve can be considered a good error distribution and the remaining probability distribution curves (if any) can be considered a bad error distribution. The determination review apparatus 140 may estimate the good error value range from the good error value distribution, and estimate the bad error value range from the bad error value distribution (if any). In addition, the determination examination apparatus 140 can discriminate | determine the test | inspection body 20 in which the determination error among the test body 20 based on the good error value range and the bad error value range (if present).
전술한 실시예에 의하면, 판정 검토 장치(140)는 오차값 분포로부터 추정을 통해 양부 판정 오류를 판단하고, 판정 결과 생성부(334)는 판정 검토 장치(140)에 의해 판단된 양부 판정 오류를 기초로 판정 오류가 발생한 검사체(20)를 식별하지만, 본 개시는 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, 판정 결과 생성부(334)가 직접 오차값 분포로부터 추정을 통해 양부 판정 오류를 판단하여, 판정 오류가 발생한 검사체(20)를 식별하도록 구현될 수 있다.According to the above-described embodiment, the determination review apparatus 140 judges the acceptance determination error through estimation from the error value distribution, and the determination result generation unit 334 receives the acceptance determination error determined by the determination review apparatus 140. Although the test | inspection body 20 which the determination error generate | occur | produced is identified on the basis, this indication is not limited to this. For example, the determination result generation unit 334 may be implemented to determine whether the determination of the positive and negative determination by the estimation directly from the distribution of the error value, to identify the test object 20 in which the determination error.
일 실시예에 의하면, 판정 결과 생성부(334)는 기준값이 갱신될 수 있도록 후보 기준값을 결정할 수 있다. 판정 결과 생성부(334)는 판정 오류가 발생한 검사체(20)의 수가 감소되거나 최소가 되도록 하는 적어도 하나의 후보 기준값을 결정할 수 있다. 예를 들어, 판정 결과 생성부(334)는, 기준값이 후보 기준값으로 갱신되는 것에 의해, 제 1 타입(Escape)의 오류 또는 제 2 타입(False Call)의 오류에 대응하는 영역이 감소하거나 없어지도록 하는 후보 기준값을 결정할 수 있다. 판정 결과 생성부(334)는 결정된 적어도 하나의 후보 기준값을 검사 결과 그래프 상에 나타낼 수 있다. 예를 들어, 후보 기준값은 점, 선, 사각형, 화살표 등으로 표시될 수 있다.According to an exemplary embodiment, the determination result generator 334 may determine the candidate reference value so that the reference value can be updated. The determination result generator 334 may determine at least one candidate reference value for reducing or minimizing the number of the inspected objects 20 in which the determination error has occurred. For example, the determination result generation unit 334 is configured such that the area corresponding to the error of the first type (Escape) or the error of the second type (False Call) is reduced or eliminated by updating the reference value with the candidate reference value. The candidate reference value can be determined. The determination result generator 334 may display the determined at least one candidate reference value on the test result graph. For example, the candidate reference value may be represented by a dot, a line, a rectangle, an arrow, or the like.
일 실시예에 의하면, 판정 결과 생성부(334)는 판정 검토 장치(140)에 의해 추정된 검사체(20)의 양호 오차값 범위 및 불량 오차값 범위(만약 있다면)에 기초로 후보 기준값을 결정할 수 있다. 만약 불량 오차값 범위가 있는 경우, 판정 결과 생성부(334)는 양호 오차값 범위의 최대값보다 크거나 같고, 불량 오차값 범위의 최소값보다 작거나 같은 어떤 값들 중에서 후보 기준값을 결정할 수 있다. 만약 불량 오차값 범위가 없는 경우, 판정 결과 생성부(334)는 양호 오차값 범위의 최대값보다 크거나 같은 어떤 값들 중에서 후보 기준값을 결정할 수 있다.According to one embodiment, the determination result generation unit 334 determines the candidate reference value based on the good error value range and the bad error value range (if any) of the test object 20 estimated by the determination review device 140. Can be. If there is a bad error value range, the determination result generator 334 may determine a candidate reference value from among values greater than or equal to the maximum value of the good error value range and less than or equal to the minimum value of the bad error value range. If there is no defective error value range, the determination result generator 334 may determine a candidate reference value among certain values greater than or equal to the maximum value of the good error value range.
일 실시예에 의하면, 사용자는 사용자 입력부(322)를 통해 검사 결과 그래프 상의 소정 영역을 선택할 수 있다. 판정 결과 생성부(334)는 사용자 입력부(322)를 통해 수신한 사용자의 입력에 응답하여, 선택된 소정 영역을 확대하여 확대된 소정 영역을 출력부(324)를 통해 출력할 수 있다. 예를 들어, 확대된 소정 영역은 검사 결과 그래프에 오버랩되도록 출력될 수 있다.According to an embodiment, the user may select a predetermined area on the test result graph through the user input unit 322. In response to the user input received through the user input unit 322, the determination result generator 334 may enlarge the selected predetermined area and output the enlarged predetermined area through the output unit 324. For example, the enlarged predetermined area may be output to overlap the graph of the test result.
일 실시예에 의하면, 판정 결과 생성부(334)는 검사체(20)에 대한 측정값, 오차값, 양부 판정 결과 및 판정 오류 검토 결과 중 적어도 하나를 포함한 검사 결과 리스트를 생성할 수 있다. 판정 결과 생성부(334)는 출력부(324)를 통해 검사 결과 그래프 및 검사 결과 리스트를 출력할 수 있다. 사용자는 출력부(324)를 통해 검사 결과 그래프 및 검사 결과 리스트를 확인할 수 있다.According to an exemplary embodiment, the determination result generator 334 may generate a test result list including at least one of a measured value, an error value, a positive judgment result, and a determination error review result for the test object 20. The determination result generator 334 may output the inspection result graph and the inspection result list through the output unit 324. The user may check the test result graph and the test result list through the output unit 324.
일 실시예에 의하면, 사용자는 사용자 입력부(322)를 통해 검사 결과 리스트에서 어느 하나의 검사체(20)를 선택할 수 있다. 판정 결과 생성부(334)는 사용자 입력부(322)를 통해 수신한 사용자의 입력에 응답하여, 선택된 검사체(20)의 오차값을 검사 결과 그래프에 나타낼 수 있다. 예를 들어, 선택된 검사체(20)의 오차값은 점, 선, 사각형, 화살표 등으로 표시될 수 있다. 다른 실시예에 의하면, 사용자로부터 검사체(20)의 선택에 관한 입력이 없는 경우, 가장 최근에 양부 판정이 이루어진 검사체(20)가 자동으로 선택될 수 있다. 이 경우, 가장 최근에 양부 판정이 이루어진 검사체(20)의 오차값이 검사 결과 그래프에 나타날 수 있다.According to an embodiment, the user may select one test object 20 from the test result list through the user input unit 322. The determination result generator 334 may display an error value of the selected test object 20 in the test result graph in response to a user input received through the user input unit 322. For example, the error value of the selected specimen 20 may be represented by a dot, a line, a rectangle, an arrow, or the like. According to another embodiment, when there is no input regarding the selection of the test object 20 from the user, the test object 20 which has been most recently determined to be acceptable may be automatically selected. In this case, an error value of the test body 20 which has been judged most recently may appear on the test result graph.
판정 기준 조정부(336)는 사용자로부터 사용자 입력부(322)를 통하여 수신된 입력에 따라 기준값을 갱신할 수 있다. 일 실시예에 의하면, 판정 기준 조정부(336)는 사용자로부터 검사 결과 그래프 상에서 기준값을 나타내는 GUI 객체의 위치를 이동시키는 그래픽적 입력을 수신할 수 있다. 예를 들어, 사용자는 사용자 입력부(322)로서 마우스를 이용하여, 검사 결과 그래프 상에서 기준값을 나타내는 이동 가능한 바 형상의 GUI 객체를 클릭하여 소정 위치까지 드래그할 수 있다. 이 경우, 판정 기준 조정부(336)는 이러한 그래픽적 입력에 응답하여, 기준값을 드래그된 소정 위치에 대응하는 값으로 갱신할 수 있다. 다른 실시예에 의하면, 판정 기준 조정부(336)는 사용자로부터 검사 결과 그래프 상에서 소정 위치를 지정하는 그래픽적 입력을 수신할 수 있다. 예를 들어, 사용자는 사용자 입력부(322)로서 마우스를 이용하여, 검사 결과 그래프 상에서 소정 위치를 클릭할 수 있다. 이 경우, 판정 기준 조정부(336)는 이러한 그래픽적 입력에 응답하여, 기준값을 클릭된 소정 위치에 대응하는 값으로 갱신할 수 있다. 갱신된 기준값은 판정 기준 조정부(336)에 의해 기준값 DB(348)에 저장될 수 있다.The determination criterion adjusting unit 336 may update the reference value according to the input received from the user through the user input unit 322. According to an embodiment of the present disclosure, the determination criterion adjusting unit 336 may receive a graphic input from the user to move the position of the GUI object representing the reference value on the test result graph. For example, a user may use a mouse as the user input unit 322 to click and drag a movable bar-shaped GUI object indicating a reference value on a test result graph to a predetermined position. In this case, the decision criterion adjusting unit 336 may update the reference value to a value corresponding to the dragged predetermined position in response to the graphic input. According to another exemplary embodiment, the determination criterion adjusting unit 336 may receive a graphic input for designating a predetermined position on the test result graph from the user. For example, the user may click a predetermined position on the test result graph by using a mouse as the user input unit 322. In this case, the decision criterion adjusting unit 336 may update the reference value to a value corresponding to the clicked predetermined position in response to the graphic input. The updated reference value may be stored in the reference value DB 348 by the determination reference adjustment unit 336.
양부 판정부(332)는 판정 기준 조정부(336)에 의해 갱신된 기준값을 기초로 검사체(20)에 대한 양호 또는 불량을 재판정할 수 있다. 일 실시예에 의하면, 양부 판정부(332)는 검사체(20)의 검사 대상(22)에 대한 오차값이 갱신된 기준값 이하인 경우 검사체(20)를 양호라고 재판정하고, 해당 오차값이 갱신된 기준값 초과인 경우 검사체(20)를 불량이라고 판정할 수 있다.The acceptance determination unit 332 may re-determine good or bad for the test object 20 based on the reference value updated by the determination reference adjustment unit 336. According to one embodiment, the acceptance determination unit 332 judges the inspection body 20 as good when the error value of the inspection object 20 with respect to the inspection object 22 is less than or equal to the updated reference value, and the error value is updated. In the case where the reference value is exceeded, the test body 20 may be determined to be defective.
또한, 양부 판정부(332)는 검사체(20) 중 재판정 오류가 발생한 검사체(20)를 식별할 수 있다. 일 실시예에 의하면, 양부 판정부(332)는 검사체(20)의 재판정 결과 및 판정 검토 결과 DB(352)에 저장된 판정 검토 결과를 기초로, 재판정 오류가 발생한 검사체(20)를 식별할 수 있다. 예를 들어, 양부 판정부(332)는 실제 불량이지만 양호로 재판정된 검사체(20)에 대하여 제 1 타입(Escape)의 오류라고 판단하고, 실제 양호이지만 불량으로 재판정된 검사체(20)에 대하여 제 2 타입(False Call)의 오류라고 판단할 수 있다.In addition, the acceptor determination unit 332 may identify the inspector 20 in which the judgment error has occurred among the inspector 20. According to one embodiment, the acceptance determination unit 332 may identify the inspection body 20 in which the judgment error has occurred, based on the judgment result of the inspection body 20 and the determination review result stored in the determination review result DB 352. Can be. For example, the adequacy determination unit 332 judges that the inspection object 20 is actually bad but is judged to be a good first type (Escape) error, and judges that the inspection object 20 is actually good but is determined to be bad. It can be determined that the error is of the second type (False Call).
판정 결과 생성부(334)는 판정 기준 조정부(336)에 의해 갱신된 기준값, 갱신된 기준값을 이용한 양부 재판정 결과, 및 양부 재판정 결과에 대한 판정 검토 결과를 검사 결과 그래프에 나타낼 수 있다. 사용자는 출력부(324)를 통해 출력된 검사 결과 그래프를 확인함으로써, 갱신 전 기준값을 이용한 양부 판정에서 발생한 오류에 비해 갱신된 기준값을 이용한 양부 재판정에서 발생한 오류가 감소한 것을 확인할 수 있다.The determination result generation unit 334 may display the reference value updated by the determination criterion adjustment unit 336, the result of the parliamentary judgment using the updated reference value, and the result of the examination review on the result of the parliamentary judgment in the test result graph. By checking the graph of the test result output through the output unit 324, the user may confirm that an error occurred in the pausing judgment using the updated reference value is reduced compared to an error occurred in the acceptance determination using the pre-update reference value.
전술한 바와 같이, 본 개시의 복수의 실시예에 의한 양부 판정 장치(300)는 검사체에 대한 양부 판정 결과와 기준값을 그래픽적으로 나타내고, 사용자의 그래픽적 입력에 의해 기준값을 조정할 수 있다. 또한, 양부 판정 장치(300)는 재설정된 기준값을 기초로 검사체에 대한 양부 재판정을 실행하고, 양부 재판정에 오류가 없는지 검토하며, 양부 재판정 결과 및 이에 대한 판정 검토 결과를 그래픽적으로 나타낼 수 있다. 그 결과, 사용자가 보다 효율적이고 간편하게 검사체의 양부 판정에 사용되는 기준값을 조정할 수 있다.As described above, the acceptance determination apparatus 300 according to the plurality of embodiments of the present disclosure graphically displays the acceptance determination result and the reference value for the test object, and may adjust the reference value by the graphical input of the user. In addition, the acceptance judgment apparatus 300 may execute the acceptance judgment on the inspected object based on the reset reference value, examine whether the acceptance judgment is free of errors, and graphically display the results of the acceptance judgment and the determination review thereof. . As a result, the user can adjust the reference value used for determining the quality of the test object more efficiently and simply.
도 4는 본 개시의 일 실시예에 따른 검사 결과 리스트(400)를 나타낸 도면이다. 복수의 실시 형태에 따르면, 도 4의 검사 결과 리스트(400)는 도 3의 판정 결과 생성부(334)에 의해 생성되어 출력부(324)를 통해 출력될 수 있다.4 is a diagram illustrating a test result list 400 according to an exemplary embodiment of the present disclosure. According to some embodiments, the inspection result list 400 of FIG. 4 may be generated by the determination result generation unit 334 of FIG. 3 and output through the output unit 324.
도 4에 도시된 바와 같이, 검사 결과 리스트(400)는 복수의 검사체 각각에 대한 검사 결과 데이터(410, 420, 430, 440, 450, 460)를 포함한다. 각각의 검사 결과 데이터(410, 420, 430, 440, 450, 460)는 해당 검사체에 대한 검사체 ID, 검사체 ID, 검사 대상, 측정 대상, 측정값, 오차값, 양부 판정 결과 및 판정 검토 결과를 포함한다. As shown in FIG. 4, the test result list 400 includes test result data 410, 420, 430, 440, 450, and 460 for each of the plurality of test objects. Each test result data 410, 420, 430, 440, 450, and 460 shows an object ID, an object ID, an object to be tested, a measurement object, a measurement value, an error value, a good judgment result, and a judgment review for the test object. Include the result.
검사 결과 데이터(410, 430, 450)에는 검사체 상에 형성된 '패드 1'의 가로 길이를 측정한 측정값 및 측정값과 설계값 10.0 mm과의 차가 계산된 오차값이 포함되어 있다. '패드 1'의 가로 길이의 양부 판정에 이용된 기준값은 0.5 mm로 설정된 것을 가정한다. 검사 결과 데이터(410)를 참조하면, 검사체 ID가 '1'인 검사체는 오차값이 0.5 mm 이하이므로 양호라고 판정된다. 반면, 검사 결과 데이터(430, 450)를 참조하면, 검사체 ID가 '2', '459'인 검사체는 오차값이 0.5 mm를 초과하였으므로 불량으로 판정된다. 이 중, 검사체 ID가 '459'인 검사체는 양부 판정 검토 결과 제 2 타입(False Call)의 오류가 발생한 것으로 판단된다. 예를 들어, 검사체 ID가 '459'인 검사체에 있어서, '패드 1'의 가로 길이는 기설정된 판정 기준에 의하면 불량이지만, 실제로는 양호한 특성을 갖는다.The test result data 410, 430, and 450 includes a measured value of a horizontal length of the 'pad 1' formed on the test object, and an error value of calculating a difference between the measured value and the design value 10.0 mm. It is assumed that the reference value used for determining whether the pad 1 has a horizontal length is set to 0.5 mm. Referring to the test result data 410, it is determined that the test object having the test piece ID '1' is good because the error value is 0.5 mm or less. On the other hand, referring to the inspection result data 430 and 450, the specimens having the specimen IDs '2' and '459' are determined to be defective because their error values exceed 0.5 mm. Among them, it is determined that the inspector having the inspector ID '459' has an error of the second type (False Call) as a result of the acceptance decision examination. For example, in a test piece whose test piece ID is "459", the horizontal length of the "pad 1" is poor according to a predetermined determination criterion, but actually has good characteristics.
검사 결과 데이터(420, 440, 460)에는 검사체 상에 형성된 '패드 1'의 세로 길이를 측정한 측정값 및 측정값과 설계값 10.0 mm과의 차가 계산된 오차값이 포함되어 있다. '패드 1'의 세로 길이의 양부 판정에 이용된 기준값은 0.5 mm로 설정된 것을 가정한다. 검사 결과 데이터(410)를 참조하면, 검사체 ID가 '1', '2', '459'인 검사체는 오차값이 0.5 mm 이하이므로 양호라고 판정된다. 이 중, 검사체 ID가 '459'인 검사체는 양부 판정 검토 결과 제 1 타입(Escape)의 오류가 발생한 것으로 판단된다. 예를 들어, 검사체 ID가 '459'인 검사체에 있어서, '패드 1'의 세로 길이는 기설정된 판정 기준에 의하면 양호이지만, 실제로는 불량한 특성을 갖는다.The test result data 420, 440, and 460 include a measured value of measuring the longitudinal length of the 'pad 1' formed on the test object, and an error value of calculating a difference between the measured value and the design value of 10.0 mm. It is assumed that the reference value used for determining whether the pad 1 has a vertical length is set to 0.5 mm. Referring to the test result data 410, it is determined that the test piece having the test piece IDs '1', '2', and '459' is good because the error value is 0.5 mm or less. Among them, the inspector having the inspector ID '459' is judged to have an error of the first type (Escape) as a result of the acceptance judgment examination. For example, in a test piece whose test piece ID is "459", the vertical length of "Pad 1" is good according to a predetermined determination criterion, but actually has a bad characteristic.
도 5는 본 개시의 일 실시예에 따라 양부 판정 결과 및 판정 검토 결과를 나타낸 검사 결과 그래프(500)를 도시한 도면이다. 복수의 실시 형태에 따르면, 도 5의 검사 결과 그래프(500)는 도 3의 판정 결과 생성부(334)에 의해 생성되어 출력부(324)를 통해 출력될 수 있다. 일 실시 형태에 따르면, 도 5의 검사 결과 그래프(500)는, 도 4의 검사 결과 리스트(400)에서 어느 하나의 검사 결과 데이터(예를 들어, 검사 결과 데이터(450))를 선택하는 입력을 사용자 입력부(322)를 통해 수신하는 것에 응답하여 생성된 것일 수 있다.FIG. 5 is a diagram illustrating an inspection result graph 500 showing a result of a dissatisfaction determination and a determination review, according to an exemplary embodiment. According to the plurality of embodiments, the test result graph 500 of FIG. 5 may be generated by the determination result generator 334 of FIG. 3 and output through the output unit 324. According to an exemplary embodiment, the test result graph 500 of FIG. 5 may input an input for selecting any test result data (for example, test result data 450) from the test result list 400 of FIG. 4. It may be generated in response to receiving through the user input unit 322.
도 5에 도시된 바와 같이, 검사 결과 그래프(500)의 가로축은 오차값을 나타내고, 세로축은 검사체의 수를 나타낸다. 검사 결과 그래프(500)는 해당 오차값을 갖는 검사체의 수를 나타내는 커브(510)를 포함한다. 또한, 검사 결과 그래프(500)에는 검사체의 양부 판정에 이용된 제 1 기준값을 나타내는 제 1 기준값 GUI(520), 및 양호로 판정된 검사체 중 경고에 해당하는 검사체를 판정하는 데 이용된 제 2 기준값을 나타내는 제 2 기준값 GUI(530)가 포함될 수 있다. 예를 들어, 제 2 기준값은 제 1 기준값의 90%로 설정될 수 있다.As shown in FIG. 5, the horizontal axis of the test result graph 500 represents an error value, and the vertical axis represents the number of test objects. The test result graph 500 includes a curve 510 indicating the number of test objects having a corresponding error value. In addition, the test result graph 500 includes a first reference value GUI 520 indicating the first reference value used for the determination of the quality of the test object, and a test object used to determine a test object corresponding to a warning among the test objects determined to be good. A second reference value GUI 530 may be included that indicates the second reference value. For example, the second reference value may be set to 90% of the first reference value.
또한, 검사 결과 그래프(500)에는 검사체 중 어느 특정한 한 검사체, 예를 들어 사용자가 특별히 관심을 두고 있는 검사체의 오차값 p을 나타내는 샘플 오차값 인디케이터(540)가 포함될 수 있다. 일 예로서, 샘플 오차값 인디케이터(540)는 도 4의 검사 결과 리스트(400)에서 선택된 검사체의 오차값을 나타낼 수 있다. 다른 예로서, 샘플 오차값 인디케이터(540)는 검사체 중 가장 최근에 검사된 검사체의 오차값을 나타낼 수 있다.In addition, the test result graph 500 may include a sample error value indicator 540 indicating an error value p of a test sample of a particular test sample, for example, a user of particular interest. For example, the sample error value indicator 540 may indicate an error value of the test object selected from the test result list 400 of FIG. 4. As another example, the sample error value indicator 540 may indicate an error value of the most recently inspected specimen.
검사 결과 그래프(500)에는 양부 판정 결과 및 판정 검토 결과가 나타날 수 있다. 검사 결과 그래프(500)에는 양부 판정 결과로서 양호, 경고 및 오류 각각에 해당하는 영역과, 판정 검토 결과로서 불량에 해당하는 영역이 표시될 수 있다. 또한, 검사 결과 그래프(500)에는 양호, 경고, 오류 및 불량 각각에 해당하는 검사체의 수도 표시될 수 있다. 도 5에 도시된 바와 같이, 오차값이 제 1 기준값 b 이하인 352개의 검사체는 양호로 판정되었고, 오차값이 제 1 기준값 b를 초과하는 107개의 검사체는 일단 불량으로 판정되었다. 특히, 양호인 352개의 검사체 중에서도 오차값이 제2 기준값 a과 제1 기준값 b 사이에 있는 57개의 검사체는 양호로 판정되기는 했지만 제1 기준값에 근접하므로 경고로 분류되었다. 한편, 오차값이 d와 e 사이에 있는 60개의 검사체들은 주어진 공정 상의 자연적인 오차 분포 양상을 벗어나 있으므로 주어진 공정에 속하지 않는 어떤 문제로 인해 불량이 발생한 것으로 판단될 수 있다. 하지만 오차값이 제 1 기준값 b와 c 사이에 있는 47개의 검사체들의 오차 분포는 양호인 352개의 검사체들의 자연적인 오차 분포에 일관적이므로, 불량으로 판정된 b와 c 사이에 있는 47개의 검사체들은 주어진 공정에 따른 정상적인 결과로서 실제로는 양호할 수 있다. 이에 따라, 제 1 기준값 b와 c 사이에 있는 47개의 검사체들은 제 2 타입의 오류(false call)로 판정될 수 있다. 실제로 그러한 판정이 제 2 타입의 오류인지 검증하기 위해 사용자는 오차값이 제 1 기준값 b와 c 사이의 p인 특정한 검사체를 선택하여 조사할 수 있다.In the inspection result graph 500, the results of the acceptance determination and the determination review may be displayed. The inspection result graph 500 may display an area corresponding to good, warning, and error as a result of the acceptance decision, and an area corresponding to defective as a result of the decision examination. In addition, the test result graph 500 may also display the number of test objects corresponding to good, warning, error, and bad. As shown in FIG. 5, 352 specimens having an error value equal to or less than the first reference value b were judged as good, and 107 specimens having an error value exceeding the first reference value b were once determined to be defective. In particular, among the 352 specimens that were good, 57 specimens having an error value between the second reference value a and the first reference value b were classified as warning because they were determined to be good, but close to the first reference value. On the other hand, since the sixty test specimens having an error value between d and e deviate from the natural error distribution pattern in a given process, it may be determined that a defect has occurred due to a problem not belonging to a given process. However, since the error distribution of the 47 specimens whose error value is between the first reference value b and c is consistent with the natural error distribution of the 352 specimens that are good, the 47 specimens between b and c that were determined to be bad These may actually be good as a normal result of a given process. Accordingly, 47 test specimens between the first reference values b and c may be determined to be false calls of the second type. Indeed, to verify that such a determination is a second type of error, the user can select and examine a particular test object whose error value is p between the first reference value b and c.
만약 제 1 기준값을 b에서 유지한다면, d와 e 사이의 비정상적인 오차값을 유발하는 공정 상의 비정상적인 문제가 해소되더라도, 정상적인 공정으로는 오차값이 0부터 c 사이에서 자연스럽게 분포할 것이므로, 이러한 공정에 따라 제품 생산이 계속 진행된다면, 이후에 생산되는 제품들의 상당량은 지속적으로 제 1 기준값 b와 c 사이의 오차값을 가지면서 불량으로 판정될 것이다. 즉, 도 5의 예시에서는, 제품 생산 공정 자체가 잘못되지 않았다면, 양호와 불량을 판정하기 위한 제 1 기준값이 제품 생산 공정의 자연적인 오차 분포 특성을 반영하지 못하고 과도하게 엄격하게 설정된 것일 수 있다.If the first reference value is maintained at b, even if the process problem that causes the abnormal error value between d and e is solved, the error value will naturally be distributed between 0 and c in the normal process. If product production continues, a significant amount of subsequent products will be judged defective, with an error value constantly between the first reference values b and c. That is, in the example of Figure 5, if the product production process itself is not wrong, the first reference value for determining good and bad may not be excessively set without reflecting the natural error distribution characteristics of the product production process.
검사 결과 그래프(500)에는 판정 오류가 발생한 검사체의 수가 최소가 되도록 하는 후보 기준값을 나타내는 후보 기준값 인디케이터(550)가 포함될 수 있다. 후보 기준값은 오류로 판단된 검사체의 수가 최소(예를 들어, 0)가 되도록 하는 기준값의 후보로서, 오차값이 c와 d 사이인 범위 내에서 선택될 수 있다. 도 5에는 후보 기준값 인디케이터(550)가 점으로 표시되어 있으나, 이에 한정되지는 않고, 화살표, 선, 사각형 등 다양한 형태로 표시될 수 있다. 또한, 도 5에는 후보 기준값 인디케이터(550)가 단수 표시되어 있으나, 이에 한정되지는 않고, 복수 표시되거나, 범위로 표시될 수 있다.The test result graph 500 may include a candidate reference value indicator 550 indicating a candidate reference value for minimizing the number of test objects in which a determination error has occurred. The candidate reference value is a candidate of a reference value such that the number of specimens determined to be an error is minimum (eg, 0), and may be selected within a range in which an error value is between c and d. Although the candidate reference value indicator 550 is indicated by a dot in FIG. 5, the present invention is not limited thereto and may be displayed in various forms such as an arrow, a line, and a rectangle. In addition, although the candidate reference value indicator 550 is shown in the singular in FIG. 5, the present invention is not limited thereto, and a plurality of candidate reference value indicators 550 may be displayed.
도 6은 본 개시의 일 실시예에 따라 기준값이 갱신된 검사 결과 그래프(600)를 나타낸 도면이다. 일 실시예에 의하면, 도 6의 검사 결과 그래프(600)은 도 5의 검사 결과 그래프(500)로부터 기준값이 갱신된 것일 수 있다.6 is a diagram illustrating a test result graph 600 in which a reference value is updated according to an embodiment of the present disclosure. According to an embodiment, the test result graph 600 of FIG. 6 may be a reference value updated from the test result graph 500 of FIG. 5.
일 실시 형태에 따르면, 사용자는 검사 결과 그래프(600) 상에서 사용자 입력부(322)를 통해 기준값을 갱신할 수 있다. 일 예로서, 사용자는 사용자 입력부(322)로서 마우스를 이용하여 검사 결과 그래프(600) 상에서 제 1 기준값 GUI(520)를 후보 기준값 인디케이터(550)의 위치까지 드래그할 수 있다. 다른 예로서, 사용자는 터치 패드를 이용하여 검사 결과 그래프(600) 상에서 후보 기준값 인디케이터(550)의 위치를 터치할 수 있다. 이와 같이, 사용자 입력부(322)를 통한 그래픽적 입력에 의해, 검사 결과 그래프(600)에서 제 1 기준값 GUI(520)의 위치가 이동된다. 또한, 제 1 기준값 GUI(520)의 위치가 이동됨에 따라 제 1 기준값도 갱신될 수 있다. 예를 들어, 도 6에 도시된 바와 같이, 제 1 기준값이 b에서 b'로 갱신된다.According to an embodiment, the user may update the reference value through the user input unit 322 on the test result graph 600. As an example, the user may drag the first reference value GUI 520 to the position of the candidate reference value indicator 550 on the test result graph 600 using the mouse as the user input unit 322. As another example, the user may touch the position of the candidate reference value indicator 550 on the test result graph 600 using the touch pad. As such, the position of the first reference value GUI 520 is moved in the test result graph 600 by the graphic input through the user input unit 322. In addition, as the position of the first reference value GUI 520 is moved, the first reference value may also be updated. For example, as shown in FIG. 6, the first reference value is updated from b to b '.
일 실시예에 의하면, 제 1 기준값 GUI(520)의 위치가 이동됨에 따라, 제 2 기준값 GUI(530)의 위치도 별도의 사용자 입력 없이, 이동될 수 있다. 예를 들어, 제 1 기준값에 대한 제 2 기준값의 비율이 90%로 설정된 경우, 제 2 기준값이 갱신된 제 1 기준값의 90%가 되도록 제 2 기준값 GUI(530)가 우측으로 이동될 수 있다. 도 6에 도시된 바와 같이, 제 1 기준값 GUI(520)의 이동에 의하여, 제 2 기준값이 a에서 b'의 90%인 a'로 갱신되도록 제 2 기준값 GUI(530)가 이동될 수 있다. 다른 실시예에 의하면, 제 2 기준값(530)은 검사 결과 그래프(600) 상에서 사용자 입력부(322)를 통한 그래픽적 입력에 의해 제 2 기준값 GUI(530)의 위치가 이동될 수 있다.According to an embodiment, as the position of the first reference value GUI 520 is moved, the position of the second reference value GUI 530 may also be moved without a separate user input. For example, when the ratio of the second reference value to the first reference value is set to 90%, the second reference value GUI 530 may be moved to the right so that the second reference value is 90% of the updated first reference value. As shown in FIG. 6, by moving the first reference value GUI 520, the second reference value GUI 530 may be moved such that the second reference value is updated from a to 90% of b ′. According to another exemplary embodiment, the second reference value 530 may be moved by the graphic input through the user input unit 322 on the test result graph 600 to move the position of the second reference value GUI 530.
일 실시예에 의하면, 제 1 및 제 2 기준값 GUI(520, 530)이 이동되는 것에 응답하여, 양부 판정부(332)는 갱신된 제 1 및 제 2 기준값을 기초로 검사체 각각에 대한 양부 재판정을 실행할 수 있다. 양부 판정부(332)는 검사체 각각의 오차값이 제 1 기준값인 b' 이하인 경우 양호로 판정하고, 검사체 각각의 오차값이 b'초과인 경우 불량으로 판정할 수 있다. 또한, 양부 판정부(332)는 검사체 각각의 오차값이 제 2 기준값인 a' 초과 b' 이하인 경우 경고로 판정할 수 있다. 또한, 양부 판정부(332)는 검사체 중 재판정 오류가 발생한 검사체를 식별할 수 있다.According to one embodiment, in response to the movement of the first and second reference values GUI 520, 530, the acceptance determination unit 332 determines the acceptance judgment for each of the specimens based on the updated first and second reference values. You can run The acceptance determination unit 332 may determine that the error value of each of the test objects is less than or equal to b ′, which is the first reference value, and determine that the error value is defective if the error value of each of the test objects is more than b ′. In addition, the acceptance determination unit 332 may determine as a warning when an error value of each of the test objects is greater than a 'and less than b' which is the second reference value. In addition, the transfer decision unit 332 may identify a test object in which a trial error occurs in the test object.
검사 결과 그래프(600)에는 양부 재판정 결과 및 재판정 검토 결과가 나타날 수 있다. 도 6에 도시된 바와 같이, 오차값이 b' 이하인 399개의 검사체가 '양호', 오차값이 a' 초과 b' 이하인 12개의 검사체가 '경고', 오차값이 d 이상 e 이하인 60개의 검사체가 '불량'으로 각각 판단된다. 도 5의 검사 결과 그래프(500)와 비교하면, 양부 판정에 대하여 오류가 발생한 검사체의 수가 도 5의 47개에서 도 6의 0개로 변화된다. 다시 말해, 검사체의 양부 판정의 기준으로 이용되는 제 1 기준값이 갱신됨으로써 양부 판정의 오류가 최소화된다.The examination result graph 600 may show the results of the paternity trial and the results of the trial review. As shown in FIG. 6, 399 specimens having an error value of b 'or less are' good ', 12 specimens having an error value of greater than a' and 'b' or less are 'warned', and 60 specimens having an error value of d or more and e or less. Each is judged as 'bad'. Compared with the inspection result graph 500 of FIG. 5, the number of the test object which the error occurred with respect to the acceptance judgment changes from 47 in FIG. 5 to 0 in FIG. In other words, the first reference value used as the reference for the acceptance judgment of the test object is updated, thereby minimizing the error of the acceptance judgment.
이와 같이, 사용자의 그래픽적 입력에 의해 제 1 기준값 GUI(520)이 이동됨으로써, 양부 판정 장치(300)은 갱신된 기준값에 따라 검사체의 양부를 새로이 판정할 수 있다. 즉, 사용자가 일일이 측정값을 육안으로 확인하여 새로운 기준값을 결정하고 이를 수치로 입력하여야 했던 종래의 프로세스와는 달리, 본 개시에 의하면, 사용자가 검사 결과 그래프를 보면서 새로운 기준값을 결정할 수 있고, 그래픽적 입력에 의해 기준값을 갱신할 수 있다. 그 결과, 판정 오류가 시각적으로 나타난 상태에서 제 1 기준값 GUI(520)를 이동시킴으로써 제 1 기준값을 변경하는 것이 가능하므로, 판정 오류를 신속하고 편리하게 정정하는 것이 가능하다. 또한, 갱신된 기준값에 기초하여 검사체의 양부를 새로이 판정할 수 있으므로, 사용자 편의성이 도모될 수 있다. In this way, the first reference value GUI 520 is moved by the graphical input of the user, so that the good determination device 300 can newly determine whether the inspection object according to the updated reference value. That is, unlike the conventional process in which the user has to visually check the measured value to determine a new reference value and input it as a numerical value, according to the present disclosure, the user can determine the new reference value while viewing the graph of the test result, and the graphic The reference value can be updated by positive input. As a result, since it is possible to change the first reference value by moving the first reference value GUI 520 in a state where the determination error is visually displayed, it is possible to correct the determination error quickly and conveniently. In addition, since the quality of the test object can be newly determined based on the updated reference value, user convenience can be attained.
도 7은 본 개시의 일 실시예에 따라 일부 영역이 확대된 검사 결과 그래프를 나타낸 도면이다. 도 7의 검사 결과 그래프(700)는 검사체의 양부 판정 결과 및 판정 검토 결과를 나타낸 그래프로서, 도 5의 검사 결과 그래프(500)와 동일한 것일 수 있다.7 is a diagram illustrating a graph of test results in which a partial region is enlarged according to an exemplary embodiment of the present disclosure. The inspection result graph 700 of FIG. 7 is a graph showing the result of the inspection and the result of the examination of the inspection object, and may be the same as the inspection result graph 500 of FIG. 5.
일 실시예에 의하면, 사용자는 출력부(324)를 통해 출력된 검사 결과 그래프(700)의 적어도 일부를 사용자 입력부(322)를 이용하여 확대할 수 있다. 일 예로서, 사용자는 사용자 입력부(322)로서 마우스를 이용하여 검사 결과 그래프(700) 상에서 소정 영역(710)을 선택할 수 있다. 소정 영역(710)을 선택하는 것에 응답하여, 판정 결과 생성부(334)는 소정 영역(710)을 확대한 확대 그래프(720)를 생성할 수 있다. 생성된 확대 그래프(720)는 출력부(324)를 통해 출력될 수 있다. 확대 그래프(720)는 검사 결과 그래프(700)와 별도로 출력되거나, 검사 결과 그래프(700) 상에 오버랩되도록 출력될 수 있다.According to an embodiment, the user may enlarge at least a portion of the test result graph 700 output through the output unit 324 using the user input unit 322. As an example, the user may select a predetermined area 710 on the test result graph 700 by using a mouse as the user input unit 322. In response to selecting the predetermined region 710, the determination result generator 334 may generate an enlarged graph 720 in which the predetermined region 710 is enlarged. The generated enlarged graph 720 may be output through the output unit 324. The enlarged graph 720 may be output separately from the test result graph 700 or may be output to overlap on the test result graph 700.
도 8은 본 개시의 일 실시예에 따라 양부 판정 결과 및 판정 검토 결과를 나타낸 검사 결과 그래프(800)를 나타낸 도면이다. 복수의 실시 형태에 따르면, 도 8의 검사 결과 그래프(800)는 도 3의 판정 결과 생성부(334)에 의해 생성되어 출력부(324)를 통해 출력될 수 있다. 일 실시 형태에 따르면, 도 8의 검사 결과 그래프(800)는, 도 4의 검사 결과 리스트(400)에서 어느 하나의 검사 결과 데이터(예를 들어, 검사 결과 데이터(460))를 선택하는 입력을 사용자 입력부(322)를 통해 수신하는 것에 응답하여 생성된 것일 수 있다.8 is a diagram illustrating a test result graph 800 showing a result of a judgment decision and a decision review result according to an exemplary embodiment of the present disclosure. According to the plurality of embodiments, the test result graph 800 of FIG. 8 may be generated by the determination result generator 334 of FIG. 3 and output through the output unit 324. According to an embodiment, the test result graph 800 of FIG. 8 may input an input for selecting any one test result data (eg, test result data 460) from the test result list 400 of FIG. 4. It may be generated in response to receiving through the user input unit 322.
검사 결과 그래프(800)에는 해당 오차값을 갖는 검사체의 수를 나타내는 커브(810) 및 검사체의 양부 판정에 이용된 기준값을 나타내는 기준값 GUI(820)이 포함되어 있다. 도 8에 도시된 바와 같이, 오차값이 제 1 기준값 d 이하인 330개의 검사체가 '양호'로 판정되고, 오차값이 제 1 기준값 d보다 큰 e에서 f 사이인 129 개의 검사체가 '불량'으로 판정되었다. 이때, 양호인 330개의 검사체 중에서도 오차값이 b와 c 사이에 있는 25개의 검사체는 양호로 판정되기는 했지만, 주어진 공정 상의 자연적인 오차 분포 양상(0부터 a까지)을 벗어나 있으므로, 실제로는 주어진 공정에 속하지 않는 어떤 문제로 인해 불량일 수 있다. 이에 따라, b와 c 사이에 있는 25개의 검사체들은 제 1 타입의 오류(escape)로 판정될 수 있다.The test result graph 800 includes a curve 810 indicating the number of test objects having a corresponding error value, and a reference value GUI 820 indicating a reference value used for determining whether the test object is successful. As shown in FIG. 8, 330 specimens having an error value equal to or less than the first reference value d are determined to be 'good', and 129 specimens having an error value between e and f greater than the first reference value d are determined to be 'bad'. It became. At this time, among the 330 specimens that were good, 25 specimens with an error value between b and c were found to be good, but are outside the natural error distribution pattern (from 0 to a) in a given process. Some problems that do not belong to the process may be defective. Accordingly, twenty five specimens between b and c may be determined to be the first type of escape.
만약 제 1 기준값 d를 유지한다면, e와 f 사이의 비정상적인 오차값을 유발하는 공정 상의 비정상적인 문제가 해소되더라도, 정상적인 공정으로는 오차값이 0부터 a 사이에서만 자연스럽게 분포할 것이므로, 이러한 공정에 따라 제품 생산이 계속 진행된다면, 이후에 생산되는 제품들의 상당량은 실제로는 불량이면서 지속적으로 제 1 기준값 d보다 낮은 오차값을 보이면서 양호로 판정될 것이다. 즉, 도 8의 예시에서는, 제품 생산 공정 자체가 잘못되지 않았다면, 양호와 불량을 판정하기 위한 제 1 기준값이 제품 생산 공정의 자연적인 오차 분포 특성을 반영하지 못하고 과도하게 여유롭게 설정된 것일 수 있다. If the first reference value d is maintained, even if an abnormal problem in the process causing an abnormal error value between e and f is solved, the error value will naturally be distributed only between 0 and a. If production continues, a significant amount of subsequent products will be judged to be good, while being actually defective and consistently showing an error value lower than the first reference value d. That is, in the example of Figure 8, if the product production process itself is not wrong, the first reference value for determining good and bad may not be excessively set without reflecting the natural error distribution characteristics of the product production process.
검사 결과 그래프(800)에는 판정 오류가 발생한 검사체의 수가 최소가 되도록 하는 후보 기준값을 나타내는 후보 기준값 인디케이터(830)가 포함될 수 있다. 후보 기준값은 오류로 판단된 검사체의 수가 최소(예를 들어, 0)가 되도록 하는 기준값의 후보로서, 오차값이 a와 b 사이인 범위 내에서 선택될 수 있다. 도 8에는 후보 기준값 인디케이터(830)가 점으로 표시되어 있으나, 이에 한정되지는 않고, 화살표, 선, 사각형 등 다양한 형태로 표시될 수 있다. 또한, 도 8에는 후보 기준값 인디케이터(830)가 단수 표시되어 있으나, 이에 한정되지는 않고, 복수 표시되거나, 범위로 표시될 수 있다. 또한, 도 8에는 도시되어 있지 않지만, 일 실시예에 의한 검사 결과 그래프(800)는 양호로 판정된 검사체 중 경고에 해당하는 검사체를 판정하는 데 이용된 기준값을 나타내는 GUI, 및 복수의 검사체 중 어느 하나의 오차값을 나타내는 인티케이터를 포함할 수 있다. The test result graph 800 may include a candidate reference value indicator 830 indicating a candidate reference value for minimizing the number of test objects in which a determination error has occurred. The candidate reference value is a candidate of the reference value such that the number of specimens determined to be an error is minimum (eg, 0), and may be selected within a range in which the error value is between a and b. In FIG. 8, the candidate reference value indicator 830 is indicated by a dot, but is not limited thereto, and may be displayed in various forms such as an arrow, a line, and a rectangle. In addition, although the candidate reference value indicator 830 is singularly displayed in FIG. 8, the present invention is not limited thereto, and a plurality of candidate reference value indicators 830 may be displayed. In addition, although not shown in FIG. 8, the inspection result graph 800 according to an embodiment includes a GUI indicating a reference value used to determine an inspection object corresponding to a warning among inspection objects determined to be good, and a plurality of inspections. It may include an indicator indicating the error value of any one of the sieve.
도 9는 본 개시의 일 실시예에 따라 기준값이 갱신된 검사 결과 그래프(900)를 나타낸 도면이다. 일 실시예에 의하면, 도 9의 검사 결과 그래프(900)는 도 8의 검사 결과 그래프(800)로부터 기준값이 갱신된 것일 수 있다.9 is a diagram illustrating a test result graph 900 in which a reference value is updated according to an embodiment of the present disclosure. According to an embodiment, the test result graph 900 of FIG. 9 may be a reference value updated from the test result graph 800 of FIG. 8.
일 실시 형태에 따르면, 사용자는 검사 결과 그래프(900) 상에서 사용자 입력부(322)를 통해 기준값을 갱신할 수 있다. 일 예로서, 사용자는 사용자 입력부(322)로서 마우스를 이용하여 검사 결과 그래프(900) 상에서 기준값 GUI(820)를 후보 기준값 인디케이터(830)의 위치까지 드래그할 수 있다. 다른 예로서, 사용자는 터치 패드를 이용하여 검사 결과 그래프(900) 상에서 후보 기준값 인디케이터(830)의 위치를 터치할 수 있다. 이와 같이, 사용자 입력부(322)를 통한 그래픽적 입력에 의해, 검사 결과 그래프(900)에서 기준값 GUI(820)의 위치가 이동된다. 또한, 기준값 GUI(820)의 위치가 이동됨에 따라 기준값도 갱신될 수 있다. 예를 들어, 도 9에 도시된 바와 같이, 기준값이 d에서 d'로 갱신된다.According to an embodiment, the user may update the reference value through the user input unit 322 on the test result graph 900. As an example, the user may drag the reference value GUI 820 to the position of the candidate reference value indicator 830 on the test result graph 900 by using a mouse as the user input unit 322. As another example, the user may touch the position of the candidate reference value indicator 830 on the test result graph 900 using the touch pad. As such, the position of the reference value GUI 820 is moved in the test result graph 900 by the graphic input through the user input unit 322. In addition, the reference value may be updated as the position of the reference value GUI 820 is moved. For example, as shown in Fig. 9, the reference value is updated from d to d '.
일 실시예에 의하면, 기준값 GUI(820)가 이동되는 것에 응답하여, 양부 판정부(332)는 갱신된 기준값을 기초로 검사체 각각에 대한 양부 재판정을 실행할 수 있다. 양부 판정부(332)는 검사체 각각의 오차값이 기준값인 d' 이하인 경우 양호로 판정하고, 검사체 각각의 오차값이 d' 초과인 경우 불량으로 판정할 수 있다. 또한, 양부 판정부(332)는 검사체 중 재판정 오류가 발생한 검사체를 식별할 수 있다.According to one embodiment, in response to the reference value GUI 820 being moved, the acceptance determination unit 332 may execute the acceptance judgment for each of the specimens based on the updated reference value. The acceptance determination unit 332 may determine that the error value of each of the test objects is equal to or less than d ', which is a reference value, and determine that the error value is defective if the error value of each of the test objects is more than d'. In addition, the transfer decision unit 332 may identify a test object in which a trial error occurs in the test object.
검사 결과 그래프(900)에는 양부 재판정 결과 및 재판정 검토 결과가 나타날 수 있다. 도 9에 도시된 바와 같이, 오차값이 d' 이하인 305개의 검사체가 '양호', 오차값이 d' 초과인 154개의 검사체가 '불량'으로 각각 판단된다. 도 8의 검사 결과 그래프(800)와 비교하면, 양부 판정에 대하여 오류가 발생한 검사체의 수가 도 8의 25개에서 도 9의 0개로 변화된다. 다시 말해, 검사체의 양부 판정의 기준으로 이용되는 기준값이 갱신됨으로써 양부 판정의 오류가 최소화된다.In the test result graph 900, the results of the paternity trial and the results of the trial review may be displayed. As shown in FIG. 9, 305 test objects having an error value of d 'or less are determined to be' good ', and 154 test objects having an error value of more than d' are determined as 'bad'. Compared with the inspection result graph 800 of FIG. 8, the number of the test object which the error occurred with respect to the acceptance judgment changes from 25 in FIG. 8 to 0 in FIG. In other words, the reference value used as the reference for the acceptance decision of the test object is updated, thereby minimizing the error of the acceptance decision.
도 10은 본 개시의 실시예에 따라 검사체에 대한 양부 판정 조건을 조정하는 방법을 나타낸 순서도이다. 도 10에 도시된 단계들의 적어도 일부는 도 1 내지 도 3에 도시된 구성들에 의해 수행될 수 있다.10 is a flowchart illustrating a method of adjusting the acceptance judgment condition for a test object according to an embodiment of the present disclosure. At least some of the steps shown in FIG. 10 may be performed by the configurations shown in FIGS.
먼저, 단계(S1000)에서, 양부 판정 장치(300)는 복수의 검사체의 구조의 측정값을 획득한다. 예를 들어, 측정 장치(100)는 검사체에 광을 조사하고, 검사체로부터 반사된 광을 수광하며, 수광된 광을 기초로 검사체의 이미지 데이터를 생성할 수 있다. 또한, 측정 장치(100)는 이미지 데이터에 기초하여, 검사체의 구조를 측정한 측정값을 생성할 수 있다. 양부 판정 장치(300)는 통신부(310)를 통해 측정 장치(100)에 의해 생성된 측정값을 획득할 수 있다.First, in step S1000, the acceptance determination apparatus 300 obtains the measured values of the structures of the plurality of test objects. For example, the measuring apparatus 100 may irradiate light onto the test object, receive light reflected from the test object, and generate image data of the test object based on the received light. In addition, the measuring apparatus 100 may generate a measured value measuring the structure of the test object based on the image data. The acceptance determination apparatus 300 may obtain the measurement value generated by the measurement apparatus 100 through the communication unit 310.
다음으로, 단계(S1010)에서, 양부 판정부(332)는 복수의 검사체 각각에 대한 양부 판정을 실행한다. 예를 들어, 양부 판정부(332)는 단계(S1000)에서 획득된 측정값이 소정 범위 내인지 판단함으로써 검사체의 양호 또는 불량을 판정할 수 있다. 양부 판정부(332)는 검사체의 구조의 설계값에 대한 측정값의 오차값을 산출하고, 산출된 오차값과 소정의 기준값을 비교한다. 양부 판정부(332)는 오차값이 소정의 기준값 이하인 검사체를 양호(Good)라고 판정하고, 오차값이 소정의 기준값을 초과하는 검사체를 불량(NG)이라고 판정할 수 있다.Next, in step S1010, the acceptance determination unit 332 executes acceptance determination for each of the plurality of inspection objects. For example, the quality determining unit 332 may determine whether the measured value obtained in step S1000 is within a predetermined range, to determine whether the test object is good or bad. The acceptance determination unit 332 calculates an error value of the measured value with respect to the design value of the structure of the test object, and compares the calculated error value with a predetermined reference value. The acceptance determination unit 332 may determine that the test object whose error value is less than or equal to the predetermined reference value is good, and determine that the test object whose error value exceeds the predetermined reference value is defective (NG).
다음으로, 단계(S1020)에서, 판정 결과 생성부(334)는 복수의 검사체 중 판정 오류가 발생한 검사체를 식별한다. 예를 들어, 판정 결과 생성부(334)는 단계(S1010)에서 얻어진 검사체의 양부 판정 결과 및 판정 검토 장치(140)에 의한 판정 검토 결과를 기초로, 복수의 검사체 중 판정 오류가 발생한 검사체를 식별한다. 여기서, 판정 오류는 양호라고 판정된 검사체가 실제 불량으로 식별된 제 1 오류, 및 불량이라고 판정된 검사체가 실제 양호로 식별된 제 2 오류를 포함한다.Next, in step S1020, the determination result generation unit 334 identifies the inspection object in which a determination error has occurred among the plurality of inspection objects. For example, the determination result generation part 334 is a test | inspection which the determination error of the some test body generate | occur | produced based on the quality determination result of the test object obtained in step S1010, and the determination examination result by the determination review apparatus 140. Identifies the sieve. Here, the determination error includes a first error in which the test object determined to be good is identified as actually defective, and a second error in which the test object determined to be bad is identified as actually good.
일 실시예에 의하면, 판정 검토 장치(140)는 측정 장치(100)에 의해 측정된 검사체(20)의 오차값 분포를 기초로 양호 오차값 분포 및 불량 오차값 분포(만약 있다면)를 결정하고, 양호 오차값 분포 및 불량 오차값 분포(만약 있다면)로부터 양호 오차값 범위 및 불량 오차값 범위(만약 있다면)를 각각 추정할 수 있다. 또한, 판정 검토 장치(140)는 양호 오차값 범위 및 불량 오차값 범위(만약 있다면)에 기초하여, 검사체(20) 중 판정 오류가 발생한 검사체(20)를 판별할 수 있다. 또한, 판정 결과 생성부(334)는 판정 검토 장치(140)로부터 이러한 판정 검토 결과를 수신하여 판정 오류가 발생한 검사체(20)를 식별할 수 있다.According to one embodiment, the determination review apparatus 140 determines the good error value distribution and the bad error value distribution (if any) based on the error value distribution of the test object 20 measured by the measuring device 100 and From the good error value distribution and the bad error value distribution (if any), the good error value range and the bad error value range (if any) can be estimated, respectively. In addition, the determination examination apparatus 140 can discriminate | determine the test | inspection body 20 in which the determination error among the test body 20 based on the good error value range and the bad error value range (if present). In addition, the determination result generation unit 334 can receive the determination examination result from the determination review apparatus 140 to identify the inspection object 20 in which the determination error has occurred.
다음으로, 단계(S1030)에서, 판정 결과 생성부(334)는 검사 결과 그래프를 출력한다. 예를 들어, 판정 결과 생성부(334)는 오차값에 따른 검사체의 수를 나타내는 검사 결과 그래프를 생성한다. 검사 결과 그래프는 2차원 그래프로서, 가로축은 오차값을 나타내고, 세로축은 복수의 검사체 중 해당 오차값을 갖는 검사체의 수를 나타낸다. 판정 결과 생성부(334)는 검사 결과 그래프 상에, 사용자 조작에 의해 이동 가능한 바(bar) 형상의 GUI 객체를 기준값으로써 나타낼 수 있다. 또한, 판정 결과 생성부(334)는 검사 결과 그래프 상에 양부 판정 결과로서, 양호, 경고 및 불량을 나타낼 수 있다. 또한, 판정 결과 생성부(334)는 양부 판정 결과에 대한 검토 결과를 검사 결과 그래프에 나타낼 수 있다. 또한, 판정 결과 생성부(334)는 판정 오류가 발생한 하나 이상의 검사체의 수가 최소가 되도록 하는 적어도 하나의 후보 기준값을 결정하여 검사 결과 그래프 상에 나타낼 수 있다.Next, in step S1030, the determination result generation unit 334 outputs the inspection result graph. For example, the determination result generation unit 334 generates a inspection result graph indicating the number of inspection objects according to the error value. The test result graph is a two-dimensional graph, in which the horizontal axis represents an error value, and the vertical axis represents the number of test objects having the corresponding error value among the plurality of test objects. The determination result generation unit 334 may display, as a reference value, a bar-shaped GUI object that is movable by a user operation on the inspection result graph. In addition, the determination result generating unit 334 may indicate good, warning, and bad as a result of the positive determination on the inspection result graph. In addition, the determination result generation unit 334 may display the result of the examination on the result of the acceptance determination on the inspection result graph. In addition, the determination result generation unit 334 may determine and display at least one candidate reference value for minimizing the number of one or more specimens having a determination error on the examination result graph.
일 실시예에 의하면, 후보 기준값은 단계(S1020)에서 추정된 양호 오차값 범위 및 불량 오차값 범위(만약 있다면)에 기초하여 결정될 수 있다. 만약 불량 오차값 범위가 있는 경우, 후보 기준값은 양호 오차값 범위의 최대값보다 크거나 같고, 불량 오차값 범위의 최소값보다 작거나 같은 어떤 값들 중에서 선택될 수 있다. 만약 불량 오차값 범위가 없는 경우, 후보 기준값은 양호 오차값 범위의 최대값보다 크거나 같은 어떤 값들 중에서 선택될 수 있다.According to an embodiment, the candidate reference value may be determined based on the good error value range and the bad error value range (if present) estimated in step S1020. If there is a range of bad error values, the candidate reference value may be selected from any values that are greater than or equal to the maximum value of the good error value range and less than or equal to the minimum value of the bad error value range. If there is no bad error value range, the candidate reference value may be selected from any values greater than or equal to the maximum value of the good error value range.
다음으로, 단계(S1040)에서, 판정 기준 조정부(336)는 검사 결과 그래프 상에서의 그래픽적 입력에 따라 기준값을 갱신한다. 사용자는 판정 오류가 발생한 하나 이상의 검사체의 수가 감소하도록 검사 결과 그래프 상에서 그래픽적 입력을 제공할 수 있다. 예를 들어, 사용자는 사용자 입력부(322)로서 마우스를 이용하여 검사 결과 그래프(600) 상에서 기준값을 나타내는 GUI를 소정 위치까지 드래그할 수 있다. 판정 기준 조정부(336)는 사용자의 그래픽적 입력(즉, 기준값을 나타내는 GUI의 이동)에 응답하여 기준값을 소정값으로 갱신한다.Next, in step S1040, the determination criterion adjusting unit 336 updates the reference value according to the graphical input on the test result graph. The user may provide a graphical input on the test result graph to reduce the number of one or more test objects for which a decision error occurred. For example, the user may drag a GUI representing a reference value on the test result graph 600 to a predetermined position by using a mouse as the user input unit 322. The decision criterion adjusting unit 336 updates the reference value to the predetermined value in response to the graphical input of the user (that is, the movement of the GUI representing the reference value).
다음으로, 단계(S1050)에서, 양부 판정부(332)는 갱신된 기준값을 기초로 복수의 검사체 각각에 대한 양부 재판정을 실행한다. 예를 들어, 양부 판정부(332)는 단계(S1040)에서 갱신된 기준값과 오차값을 비교하여 복수의 검사체의 각 검사체에 대한 양호 또는 불량을 재판정한다. 또한, 양부 판정부(332)는 복수의 검사체 중 재판정 오류가 발생한 검사체를 식별한다. 또한, 판정 결과 생성부(336)는 갱신된 기준값 및 재판정 오류가 발생한 검사체의 수를 검사 결과 그래프에 나타낸다.Next, in step S1050, the payment judgment unit 332 executes the transfer judgment for each of the plurality of test objects based on the updated reference value. For example, the acceptance determination unit 332 compares the reference value updated in step S1040 with the error value to judge good or bad for each test object of the plurality of test objects. In addition, the pass / fail determination unit 332 identifies a test object in which a trial error has occurred among the plurality of test objects. In addition, the determination result generation unit 336 shows the updated reference value and the number of the inspection bodies in which the judgment error occurred on the inspection result graph.
도 10에 도시된 단계들에 있어서, 일부 단계가 생략되거나, 둘 이상의 단계가 동시에 실행되거나, 단계들 간의 실행 순서가 변경될 수 있다. 또한, 검사체에 대한 양부 판정 조건을 조정하는 방법은 특정 실시예들을 통하여 설명되었지만, 상기 방법은 또한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체에 컴퓨터가 읽을 수 있는 코드로서 구현하는 것이 가능하다. 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록매체는 컴퓨터 시스템에 의해 읽혀질 수 있는 데이터가 저장되는 모든 종류의 기록장치를 포함한다. 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록매체는 ROM, RAM, CD-ROM, 자기 테이프, 플로피 디스크, 광 데이터 저장장치 등을 포함할 수 있다. 또한, 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록매체는 네트워크로 연결된 컴퓨터 시스템에 분산되어, 분산방식으로 컴퓨터가 읽을 수 있는 코드가 저장되고 실행될 수 있다. 그리고, 상기 실시예들을 구현하기 위한 기능적인(functional) 프로그램, 코드 및 코드 세그먼트들은 본 개시가 속하는 기술분야의 프로그래머들에 의해 용이하게 추론될 수 있다.In the steps illustrated in FIG. 10, some steps may be omitted, two or more steps may be executed simultaneously, or an order of execution between the steps may be changed. In addition, although the method of adjusting the acceptance determination condition for the test object has been described through specific embodiments, the method may also be embodied as computer readable code on a computer readable recording medium. Computer-readable recording media include all kinds of recording devices that store data that can be read by a computer system. The computer-readable recording medium may include a ROM, a RAM, a CD-ROM, a magnetic tape, a floppy disk, an optical data storage device, and the like. The computer readable recording medium can also be distributed over network coupled computer systems so that the computer readable code is stored and executed in a distributed fashion. In addition, functional programs, codes, and code segments for implementing the above embodiments can be easily inferred by programmers in the art to which the present disclosure belongs.
본 개시는 바람직한 실시예를 통해 설명되고 예시되었으나, 당업자라면 첨부한 청구범위의 사항 및 범주를 벗어나지 않고 여러 가지 변형 및 변경이 이루어질 수 있음을 알 수 있을 것이다.While the present disclosure has been described and illustrated by way of preferred embodiments, those skilled in the art will recognize that various modifications and changes can be made without departing from the spirit and scope of the appended claims.

Claims (20)

  1. 데이터베이스, 처리부, 사용자 입력부 및 출력부를 포함한 양부 판정 장치에서 검사체에 대한 양부 판정 조건을 조정하기 위한 방법에 있어서,A method for adjusting the acceptance judgment condition for an inspection object in a delivery determination device including a database, a processing unit, a user input unit and an output unit,
    상기 처리부에 의해, 상기 데이터베이스로부터 복수의 검사체의 구조의 측정값을 획득하는 단계;Acquiring, by the processing unit, measured values of structures of a plurality of test objects from the database;
    상기 처리부에 의해, 상기 구조의 설계값에 대한 상기 측정값의 오차값과 소정의 기준값을 비교하여 상기 복수의 검사체의 각 검사체에 대한 양호 또는 불량을 판정하는 단계;Judging, by the processing unit, good or bad for each test object of the plurality of test objects by comparing an error value of the measured value with respect to a design value of the structure and a predetermined reference value;
    상기 처리부에 의해, 상기 복수의 검사체 중 판정 오류가 발생한 하나 이상의 검사체를 식별하는 단계 - 상기 판정 오류는 상기 양호라고 판정된 검사체가 불량으로 식별된 제 1 오류 및 상기 불량이라고 판정된 검사체가 양호로 식별된 제 2 오류를 포함함 -;Identifying, by the processing unit, one or more inspected objects in which a determination error has occurred among the plurality of inspected objects, wherein the determination error includes a first error in which the inspection object determined to be good is identified as defective and an inspection object determined to be defective. Includes a second error identified as good;
    상기 처리부에 의해, 상기 오차값에 따른 상기 복수의 검사체의 수, 상기 기준값, 및 상기 판정 오류가 발생한 하나 이상의 검사체의 수를 포함한 검사 결과 그래프를 생성하고, 상기 출력부를 통해 상기 검사 결과 그래프를 출력하는 단계;The processing unit generates a test result graph including the number of the plurality of test objects according to the error value, the reference value, and the number of one or more test objects in which the determination error occurred, and through the output unit, the test result graph Outputting;
    상기 처리부에 의해, 상기 판정 오류가 발생한 하나 이상의 검사체의 수가 감소하도록, 상기 검사 결과 그래프 상에서의 상기 사용자 입력부를 통한 그래픽적 입력에 따라 상기 기준값을 갱신하는 단계; 및Updating, by the processing unit, the reference value according to a graphical input through the user input unit on the inspection result graph such that the number of one or more inspection objects in which the determination error occurred is reduced; And
    상기 처리부에 의해, 상기 오차값과 상기 갱신된 기준값을 비교하여 상기 복수의 검사체의 각 검사체에 대한 양호 또는 불량을 재판정하는 단계를 포함하는, 방법.And judging, by the processing unit, the good or bad for each specimen of the plurality of specimens by comparing the error value with the updated reference value.
  2. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1,
    상기 재판정하는 단계는,The judging step,
    상기 복수의 검사체 중 재판정 오류가 발생한 검사체를 식별하는 단계; 및Identifying a specimen in which a trial error has occurred among the plurality of specimens; And
    상기 갱신된 기준값 및 상기 재판정 오류가 발생한 검사체의 수를 상기 검사 결과 그래프에 나타내는 단계를 포함하는, 방법.Displaying the updated reference value and the number of specimens in which the judicial error has occurred in the examination result graph.
  3. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1,
    상기 하나 이상의 검사체를 식별하는 단계는, 상기 복수의 검사체에 상기 제 1 오류 또는 상기 제 2 오류가 있는지 여부를 나타내는 판정 검토 결과를 수신하는 단계를 포함하는, 방법.Identifying the one or more inspected objects includes receiving a decision review result indicating whether the plurality of inspected objects has the first error or the second error.
  4. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1,
    상기 하나 이상의 검사체를 식별하는 단계는, Identifying the one or more specimens,
    상기 오차값의 분포를 기초로 양호 오차값 분포를 결정하는 단계;Determining a good error value distribution based on the distribution of the error values;
    상기 양호 오차값 분포로부터 양호 오차값 범위를 추정하는 단계; 및Estimating a good error value range from the good error value distribution; And
    상기 양호 오차값 범위에 기초하여 상기 제 1 오류 또는 상기 제 2 오류를 식별하는 단계를 포함하는, 방법.Identifying the first error or the second error based on the good error value range.
  5. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1,
    상기 기준값을 갱신하는 단계는, 상기 검사 결과 그래프 상에서 상기 기준값을 나타내는 GUI 객체의 위치를 이동시키는 상기 그래픽적 입력, 또는 상기 검사 결과 그래프 상에서 상기 갱신된 기준값의 위치를 지정하는 상기 그래픽적 입력을 수신하는 단계를 포함하는, 방법.The updating of the reference value may include receiving the graphic input for moving the position of the GUI object representing the reference value on the test result graph, or the graphic input for designating the position of the updated reference value on the test result graph. Comprising the steps of:
  6. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1,
    상기 검사 결과 그래프를 출력하는 단계는,The outputting the test result graph may include:
    가로축은 상기 오차값을 나타내고, 세로축은 상기 복수의 검사체 중 해당 오차값을 갖는 검사체의 수를 나타내는 2차원 그래프를 상기 검사 결과 그래프로써 출력하는 단계; 및Outputting a two-dimensional graph as the inspection result graph, the horizontal axis representing the error value, and the vertical axis representing the number of test objects having a corresponding error value among the plurality of test objects; And
    상기 검사 결과 그래프 상에, 사용자 조작에 의해 이동 가능한 바(bar) 형상의 GUI 객체를 상기 기준값으로써 나타내는 단계를 포함하는, 방법.Displaying, on the inspection result graph, a bar-shaped GUI object that is movable by a user manipulation as the reference value.
  7. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1,
    상기 검사 결과 그래프를 출력하는 단계는,The outputting the test result graph may include:
    상기 판정 오류가 발생한 하나 이상의 검사체의 수가 최소가 되도록 하는 적어도 하나의 후보 기준값을 결정하는 단계; 및Determining at least one candidate reference value such that the number of one or more specimens in which the determination error has occurred is minimized; And
    상기 후보 기준값을 상기 검사 결과 그래프 상에 나타내는 단계를 포함하는, 방법.Displaying the candidate reference value on the test result graph.
  8. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein
    상기 후보 기준값을 결정하는 단계는, 상기 데이터베이스에 저장된 양호 오차값 범위를 기초로, 상기 양호 오차값 범위의 최대값보다 크거나 같은 값들 중 적어도 하나를 상기 후보 기준값으로 결정하는 단계를 포함하고,The determining of the candidate reference value includes determining, as the candidate reference value, at least one of values greater than or equal to the maximum value of the good error value range based on the good error value range stored in the database.
    상기 양호 오차값 범위는 판정 검토 장치에 의해 상기 오차값의 분포를 기초로 추정된 것인, 방법.And the good error value range is estimated based on the distribution of the error values by a judgment review device.
  9. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein
    상기 후보 기준값을 결정하는 단계는, 상기 데이터베이스에 저장된 양호 오차값 범위 및 불량 오차값 범위를 기초로, 상기 양호 오차값 범위의 최대값보다 크거나 같고, 상기 불량 오차값 범위의 최소값보다 작거나 같은 값들 중 적어도 하나를 상기 후보 기준값으로 결정하는 단계를 포함하고,The determining of the candidate reference value may include greater than or equal to the maximum value of the good error value range and less than or equal to the minimum value of the bad error value range based on the good error value range and the bad error value range stored in the database. Determining at least one of the values as the candidate reference value,
    상기 양호 오차값 범위 및 상기 불량 오차값 범위는 판정 검토 장치에 의해 상기 오차값의 분포를 기초로 추정된 것인, 방법.And the good error value range and the bad error value range are estimated by the determination review apparatus based on the distribution of the error values.
  10. 컴퓨터 상에서 수행하기 위한 프로그램을 기록한 비일시적 컴퓨터 판독 가능한 기록매체에 있어서, 상기 프로그램은, 프로세서에 의한 실행 시, 상기 프로세서가,A non-transitory computer readable recording medium having recorded thereon a program for execution on a computer, wherein the program is executed by the processor when executed by the processor.
    데이터베이스로부터 복수의 검사체의 구조의 측정값을 획득하는 단계;Obtaining measurement values of structures of the plurality of test objects from a database;
    상기 구조의 설계값에 대한 상기 측정값의 오차값과 소정의 기준값을 비교하여 상기 복수의 검사체의 각 검사체에 대한 양호 또는 불량을 판정하는 단계;Comparing the error value of the measured value with respect to the design value of the structure and a predetermined reference value to determine good or bad for each test object of the plurality of test objects;
    상기 복수의 검사체 중 판정 오류가 발생한 하나 이상의 검사체를 식별하는 단계 - 상기 판정 오류는 상기 양호라고 판정된 검사체가 불량으로 식별된 제 1 오류 및 상기 불량이라고 판정된 검사체가 양호로 식별된 제 2 오류를 포함함 -;Identifying one or more inspected objects in which a determination error has occurred among the plurality of inspected objects, wherein the determination error is a first error in which the inspection object determined to be good is identified as defective and a specimen in which the inspection object determined to be defective is identified as good; Contains 2 errors-;
    상기 오차값에 따른 상기 복수의 검사체의 수, 상기 기준값, 및 상기 판정 오류가 발생한 하나 이상의 검사체의 수를 포함한 검사 결과 그래프를 생성하고, 상기 출력부를 통해 상기 검사 결과 그래프를 출력하는 단계;Generating a test result graph including the number of the plurality of test objects according to the error value, the reference value, and the number of one or more test objects in which the determination error occurs, and outputting the test result graph through the output unit;
    상기 판정 오류가 발생한 하나 이상의 검사체의 수가 감소하도록, 상기 검사 결과 그래프 상에서의 상기 사용자 입력부를 통한 그래픽적 입력에 따라 상기 기준값을 갱신하는 단계; 및Updating the reference value according to a graphical input through the user input unit on the inspection result graph such that the number of one or more inspected objects in which the determination error occurs is reduced; And
    상기 오차값과 상기 갱신된 기준값을 비교하여 상기 복수의 검사체의 각 검사체에 대한 양호 또는 불량을 재판정하는 단계Judging good or bad for each specimen of the plurality of specimens by comparing the error value and the updated reference value
    를 수행하도록 하는 실행 가능한 명령을 포함하는 컴퓨터 판독가능 기록매체.And a computer readable medium comprising executable instructions for causing the computer to perform the operation.
  11. 검사체에 대한 양부 판정 조건을 조정하기 위한 장치에 있어서,In the apparatus for adjusting the conditions of acceptance judgment for the test object,
    복수의 검사체의 구조의 설계값 및 측정값이 저장된 데이터베이스;A database storing design values and measured values of structures of a plurality of test objects;
    상기 설계값에 대한 상기 측정값의 오차값과 소정의 기준값을 비교하여 상기 복수의 검사체의 각 검사체에 대한 양호 또는 불량을 판정하는 양부 판정부;A determination unit for comparing the error value of the measured value with respect to the design value with a predetermined reference value to determine good or bad for each test object of the plurality of test objects;
    상기 복수의 검사체 중 판정 오류가 발생한 하나 이상의 검사체를 식별하고, 상기 오차값에 따른 상기 복수의 검사체의 수, 상기 기준값, 및 상기 판정 오류가 발생한 하나 이상의 검사체의 수를 포함한 검사 결과 그래프를 출력하는 판정 결과 생성부 - 상기 판정 오류는 상기 양호라고 판정된 검사체가 불량으로 식별된 제 1 오류 및 상기 불량이라고 판정된 검사체가 양호로 식별된 제 2 오류를 포함함 -; 및A test result identifying one or more test objects in which a determination error has occurred among the plurality of test objects, and including a number of the plurality of test objects according to the error value, the reference value, and the number of one or more test objects in which the determination error occurred; A determination result generating unit for outputting a graph, wherein the determination error includes a first error in which the test object determined to be good is identified as defective and a second error in which the test object determined to be defective is identified as good; And
    상기 판정 오류가 발생한 하나 이상의 검사체의 수가 감소하도록, 상기 검사 결과 그래프 상에서의 그래픽적 입력에 따라 상기 기준값을 갱신하는 판정 기준 조정부을 포함하되,A determination criterion adjusting unit for updating the reference value according to a graphical input on the inspection result graph such that the number of one or more inspection objects in which the determination error has occurred is reduced;
    상기 양부 판정부는, 상기 오차값과 상기 갱신된 기준값을 비교하여 상기 복수의 검사체의 양호 또는 불량을 재판정하는, 장치.And the acceptance judgment unit compares the error value with the updated reference value to judge good or bad of the plurality of test objects.
  12. 제 11 항에 있어서,The method of claim 11,
    상기 양부 판정부는, 상기 복수의 검사체 중 재판정 오류가 발생한 검사체를 식별하고,The acceptance determination unit identifies a test object in which a trial error has occurred among the plurality of test objects,
    상기 판정 결과 생성부는, 상기 갱신된 기준값 및 상기 재판정 오류가 발생한 검사체의 수를 상기 검사 결과 그래프에 나타내는, 장치.And the determination result generation unit displays the updated reference value and the number of inspection objects in which the judging error has occurred in the inspection result graph.
  13. 제 11 항에 있어서,The method of claim 11,
    상기 복수의 검사체에 상기 제 1 오류 또는 상기 제 2 오류가 있는지 여부를 나타내는 판정 검토 결과를 수신하는 통신부를 더 포함하는, 장치.And a communication unit which receives a determination review result indicating whether the plurality of test objects have the first error or the second error.
  14. 제 11 항에 있어서,The method of claim 11,
    상기 판정 결과 생성부는,The determination result generation unit,
    상기 오차값의 분포를 기초로 양호 오차값 분포를 결정하고,Determine a good error value distribution based on the distribution of the error values,
    상기 양호 오차값 분포로부터 양호 오차값 범위를 추정하고,Estimate a good error value range from the good error value distribution,
    상기 양호 오차값 범위에 기초하여 상기 제 1 오류 또는 상기 제 2 오류를 식별하는, 장치.And identify the first error or the second error based on the good error value range.
  15. 제 11 항에 있어서,The method of claim 11,
    상기 판정 기준 조정부는, 상기 검사 결과 그래프 상에서 상기 기준값을 나타내는 GUI 객체의 위치를 이동시키는 상기 그래픽적 입력, 또는 상기 검사 결과 그래프 상에서 상기 갱신된 기준값의 위치를 지정하는 상기 그래픽적 입력에 응답하여 상기 기준값을 갱신하는, 장치.The determination criterion adjusting unit is configured to respond to the graphical input for moving the position of the GUI object representing the reference value on the inspection result graph or the graphical input for specifying the position of the updated reference value on the inspection result graph. Device for updating the reference value.
  16. 제 11 항에 있어서,The method of claim 11,
    상기 판정 결과 생성부는, 가로축은 상기 오차값을 나타내고, 세로축은 상기 복수의 검사체 중 해당 오차값을 갖는 검사체의 수를 나타내는 2차원 그래프를 상기 검사 결과 그래프로써 출력하고,The determination result generation unit outputs a two-dimensional graph as the inspection result graph, in which the horizontal axis represents the error value, and the vertical axis represents the number of inspection objects having the corresponding error value among the plurality of inspection objects.
    상기 검사 결과 그래프 상에, 사용자 조작에 의해 이동 가능한 바(bar) 형상의 GUI 객체를 상기 기준값으로써 표현하는, 장치.And a bar-shaped GUI object movable on the graph of the inspection result as the reference value.
  17. 제 11 항에 있어서,The method of claim 11,
    상기 판정 결과 생성부는, 상기 판정 오류가 발생한 하나 이상의 검사체의 수가 최소가 되도록 하는 적어도 하나의 후보 기준값을 상기 검사 결과 그래프 상에 나타내는, 장치.And the determination result generation unit displays at least one candidate reference value on the inspection result graph such that the number of one or more inspection objects in which the determination error occurred is minimized.
  18. 제 17 항에 있어서,The method of claim 17,
    상기 데이터베이스에는 양호 오차값 범위가 더 저장되어 있고,The database further stores a good error value range,
    상기 판정 결과 생성부는, 상기 데이터베이스에 저장된 상기 양호 오차값 범위를 기초로, 상기 양호 오차값 범위의 최대값보다 크거나 같은 값들 중 적어도 하나를 상기 후보 기준값으로 결정하고,The determination result generator determines, based on the good error value range stored in the database, at least one of values greater than or equal to the maximum value of the good error value range as the candidate reference value.
    상기 양호 오차값 범위는 판정 검토 장치에 의해 상기 오차값의 분포를 기초로 추정된 것인, 장치.And said good error value range is estimated by the determination review apparatus based on the distribution of said error values.
  19. 제 17 항에 있어서,The method of claim 17,
    상기 데이터베이스에는 양호 오차값 범위 및 불량 오차값 범위가 더 저장되어 있고,The database further stores a good error range and a bad error range,
    상기 판정 결과 생성부는, 상기 데이터베이스에 저장된 상기 양호 오차값 범위 및 상기 불량 오차값 범위를 기초로, 상기 양호 오차값 범위의 최대값보다 크거나 같고, 상기 불량 오차값 범위의 최소값보다 작거나 같은 값들 중 적어도 하나를 상기 후보 기준값으로 결정하고,The determination result generation unit may be greater than or equal to the maximum value of the good error value range and less than or equal to the minimum value of the bad error value range based on the good error value range and the bad error value range stored in the database. Determining at least one of the candidate reference values,
    상기 양호 오차값 범위 및 상기 불량 오차값 범위는 판정 검토 장치에 의해 상기 오차값의 분포를 기초로 추정된 것인, 장치.And the good error value range and the bad error value range are estimated by the determination review apparatus based on the distribution of the error values.
  20. 제 11 항에 있어서,The method of claim 11,
    상기 판정 결과 생성부는, 상기 검사 결과 그래프 상에 소정 영역을 설정하는 입력에 응답하여 상기 소정 영역을 확대하여 출력하는, 장치.And the determination result generating unit enlarges and outputs the predetermined region in response to an input for setting a predetermined region on the inspection result graph.
PCT/KR2017/012408 2016-11-14 2017-11-03 Method and device for adjusting quality determination conditions for test body WO2018088760A2 (en)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019525739A JP2020500308A (en) 2016-11-14 2017-11-03 Method and apparatus for adjusting pass / fail judgment conditions for inspection object
EP21196822.7A EP3961332B1 (en) 2016-11-14 2017-11-03 Method and device for adjusting quality determination conditions for test body
US16/349,802 US11199503B2 (en) 2016-11-14 2017-11-03 Method and device for adjusting quality determination conditions for test body
CN202210685954.5A CN115112663A (en) 2016-11-14 2017-11-03 Method and apparatus for adjusting condition for determining whether or not a test object is good
EP17869347.9A EP3540412B1 (en) 2016-11-14 2017-11-03 Method and device for adjusting quality determination conditions for test body
CN201780070386.5A CN109997028B (en) 2016-11-14 2017-11-03 Method and apparatus for adjusting determination condition of whether or not inspection object is good
US16/713,886 US11366068B2 (en) 2016-11-14 2019-12-13 Inspection apparatus and operating method thereof

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160151400A KR20180054063A (en) 2016-11-14 2016-11-14 Method and apparatus for adjusting condition of quality decision for inspection target
KR10-2016-0151400 2016-11-14

Related Child Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
US16/349,802 A-371-Of-International US11199503B2 (en) 2016-11-14 2017-11-03 Method and device for adjusting quality determination conditions for test body
US16/713,886 Continuation-In-Part US11366068B2 (en) 2016-11-14 2019-12-13 Inspection apparatus and operating method thereof

Publications (2)

Publication Number Publication Date
WO2018088760A2 true WO2018088760A2 (en) 2018-05-17
WO2018088760A3 WO2018088760A3 (en) 2018-08-16

Family

ID=62110763

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/KR2017/012408 WO2018088760A2 (en) 2016-11-14 2017-11-03 Method and device for adjusting quality determination conditions for test body

Country Status (6)

Country Link
US (1) US11199503B2 (en)
EP (2) EP3961332B1 (en)
JP (2) JP2020500308A (en)
KR (1) KR20180054063A (en)
CN (2) CN109997028B (en)
WO (1) WO2018088760A2 (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11366068B2 (en) * 2016-11-14 2022-06-21 Koh Young Technology Inc. Inspection apparatus and operating method thereof
KR20180054063A (en) * 2016-11-14 2018-05-24 주식회사 고영테크놀러지 Method and apparatus for adjusting condition of quality decision for inspection target
US11113140B2 (en) * 2019-05-20 2021-09-07 Alibaba Group Holding Limited Detecting error in executing computation graph on heterogeneous computing devices

Family Cites Families (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5555316A (en) * 1992-06-30 1996-09-10 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Inspecting apparatus of mounting state of component or printing state of cream solder in mounting line of electronic component
JPH11258180A (en) * 1998-03-11 1999-09-24 Seiko Epson Corp Method and system for visual inspection
KR20010101697A (en) * 1999-11-29 2001-11-14 기시모토 마사도시 Defect inspecting system
JP2001183307A (en) * 1999-12-27 2001-07-06 Nagoya Electric Works Co Ltd Method and apparatus for automatically adjusting criteria in apparatus for inspecting packaged printed circuit board
US6853920B2 (en) * 2000-03-10 2005-02-08 Smiths Detection-Pasadena, Inc. Control for an industrial process using one or more multidimensional variables
US6825856B1 (en) * 2000-07-26 2004-11-30 Agilent Technologies, Inc. Method and apparatus for extracting measurement information and setting specifications using three dimensional visualization
US6898305B2 (en) * 2001-02-22 2005-05-24 Hitachi, Ltd. Circuit pattern inspection method and apparatus
WO2003056300A2 (en) * 2001-12-21 2003-07-10 The Government Of The United States Of America As Represented By The Secretary, Department Of Health Systems and methods for automated quantitative analyses of digitized spectra
JP3733094B2 (en) * 2002-08-22 2006-01-11 トヨタ自動車株式会社 Pass / fail judgment device, pass / fail judgment program, and pass / fail judgment method
JP2005092466A (en) * 2003-09-16 2005-04-07 Toshiba Corp Diagnostic process supporting method and its program
JP3705296B1 (en) * 2004-04-30 2005-10-12 オムロン株式会社 Quality control apparatus and control method therefor, quality control program, and recording medium recording the program
US7729789B2 (en) * 2004-05-04 2010-06-01 Fisher-Rosemount Systems, Inc. Process plant monitoring based on multivariate statistical analysis and on-line process simulation
CA2567280A1 (en) * 2004-05-21 2005-12-01 Pressco Technology Inc. Graphical re-inspection user setup interface
JP4453503B2 (en) * 2004-09-28 2010-04-21 オムロン株式会社 Substrate inspection device, substrate inspection method, inspection logic generation device and inspection logic generation method for substrate inspection device
US7844100B2 (en) * 2004-11-29 2010-11-30 Applied Materials Israel, Ltd. Method for filtering nuisance defects
JP4552749B2 (en) * 2005-05-12 2010-09-29 オムロン株式会社 Inspection standard setting device and method, and process inspection device
JP4694272B2 (en) * 2005-06-07 2011-06-08 アンリツ株式会社 Printed solder inspection apparatus and printed solder inspection method
JP4645422B2 (en) * 2005-11-18 2011-03-09 オムロン株式会社 Determination device, determination device control program, and recording medium recording determination device control program
US20090073440A1 (en) * 2006-09-30 2009-03-19 Timothy Tiemeyer System and method for detecting surface features on a semiconductor workpiece surface
JP2009267099A (en) * 2008-04-25 2009-11-12 Omron Corp Board inspection method, and inspection result confirmation system of automatic visual inspection
JP5572293B2 (en) * 2008-07-07 2014-08-13 株式会社日立ハイテクノロジーズ Defect inspection method and defect inspection apparatus
JP2010230452A (en) 2009-03-26 2010-10-14 Panasonic Electric Works Co Ltd Method for inspecting defect and defect inspection system
US9124810B2 (en) * 2010-04-14 2015-09-01 Koh Young Technology Inc. Method of checking an inspection apparatus and method of establishing a measurement variable of the inspection apparatus
JP5625935B2 (en) * 2011-01-18 2014-11-19 オムロン株式会社 Method for determining suitability of judgment reference value, method for specifying proper value thereof, method for changing to proper value, component mounting board inspection system, simulation method and simulation system at production site
JP2013108798A (en) * 2011-11-18 2013-06-06 Keyence Corp Image processing device and determination threshold setting method to be used in the same
JP5390652B2 (en) * 2012-03-01 2014-01-15 株式会社明治 Non-defective product judgment standard setting method and non-defective product judgment standard setting device in inspection apparatus
KR101614061B1 (en) * 2012-03-29 2016-04-20 주식회사 고영테크놀러지 Apparatus for joint inspection
US9715723B2 (en) * 2012-04-19 2017-07-25 Applied Materials Israel Ltd Optimization of unknown defect rejection for automatic defect classification
JP5877908B2 (en) * 2012-10-24 2016-03-08 東京エレクトロン株式会社 Correction value calculation apparatus, correction value calculation method, and computer program
US20160189055A1 (en) * 2014-12-31 2016-06-30 Applied Materials Israel Ltd. Tuning of parameters for automatic classification
JP6253860B1 (en) * 2016-03-28 2017-12-27 三菱電機株式会社 Quality control device, quality control method and quality control program
KR102084535B1 (en) * 2016-03-30 2020-03-05 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈 Defect inspection device, defect inspection method
KR20180054063A (en) * 2016-11-14 2018-05-24 주식회사 고영테크놀러지 Method and apparatus for adjusting condition of quality decision for inspection target
US11366068B2 (en) * 2016-11-14 2022-06-21 Koh Young Technology Inc. Inspection apparatus and operating method thereof
JP7006567B2 (en) * 2018-11-09 2022-01-24 オムロン株式会社 Shooting method and shooting equipment

Also Published As

Publication number Publication date
JP2021128174A (en) 2021-09-02
JP7302131B2 (en) 2023-07-04
EP3540412A2 (en) 2019-09-18
EP3540412A4 (en) 2020-07-15
CN115112663A (en) 2022-09-27
EP3540412B1 (en) 2021-11-24
US11199503B2 (en) 2021-12-14
WO2018088760A3 (en) 2018-08-16
EP3961332C0 (en) 2024-03-13
EP3961332B1 (en) 2024-03-13
EP3961332A1 (en) 2022-03-02
US20190376906A1 (en) 2019-12-12
JP2020500308A (en) 2020-01-09
CN109997028A (en) 2019-07-09
CN109997028B (en) 2022-07-05
KR20180054063A (en) 2018-05-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10445875B2 (en) Pattern-measuring apparatus and semiconductor-measuring system
WO2018088760A2 (en) Method and device for adjusting quality determination conditions for test body
WO2016038982A1 (en) Defect quantification method, defect quantification device, and defect evaluation value display device
JP5583766B2 (en) Method, system, and computer-readable medium for monitoring time-varying defect classification performance
WO2014163375A1 (en) Method for inspecting for foreign substance on substrate
US20130108147A1 (en) Inspection method and device therefor
JP2008145226A (en) Apparatus and method for defect inspection
TW200944784A (en) Inspection detecting method
WO2018061480A1 (en) Pattern evaluation device and computer program
JPWO2007074770A1 (en) Defect inspection equipment that performs defect inspection by image analysis
JP2004177139A (en) Support program for preparation of inspection condition data, inspection device, and method of preparing inspection condition data
JPWO2019131742A1 (en) Inspection processing equipment, inspection processing methods, and programs
US11255798B1 (en) Method of detecting lens cleanliness using out-of-focus differential flat field correction
US11300527B1 (en) Method for detecting lens cleanliness using spectral differential flat field correction
KR102070858B1 (en) Method and apparatus for adjusting condition of quality decision for inspection target
KR102167558B1 (en) Method and apparatus for adjusting condition of quality decision for inspection target
KR101241036B1 (en) Apparatus for inspecting pcb
JP2007184364A (en) Inspection device and method of pattern defect
JP2011002280A (en) Flaw inspection method
KR100249597B1 (en) Apparatus for inspecting optical uniformity and method therefor
CN114112323B (en) Detection method and detection device for display uniformity of display panel
JP2019139104A (en) Pattern inspection method and device
US11268880B1 (en) Method of detecting the cleanliness of a lens using differential flat field correction of pupil incidence
JP2010210635A (en) Method and apparatus for determining accuracy of processing for determining conforming articles in an inspection apparatus
KR20230028469A (en) Methods and Systems for Non-Destructive Testing (NDT) with Trained Artificial Intelligence Based Processing

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 17869347

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A2

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2019525739

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2017869347

Country of ref document: EP