WO2018030250A1 - アクチュエータ、アクチュエータモジュール、内視鏡、内視鏡モジュールおよび制御方法 - Google Patents

Abstract

アクチュエータは、筒状のアクチュエータ素子と、アクチュエータ素子の内周面を支持する支持体とを備える。アクチュエータ素子の内圧が、アクチュエータ素子の外圧よりも高い。

Description

アクチュエータ、アクチュエータモジュール、内視鏡、内視鏡モジュールおよび制御方法

　本技術は、アクチュエータ、アクチュエータモジュール、内視鏡、内視鏡モジュールおよび制御方法に関する。

　張力を与えた誘電エラストマソフトアクチュエータをばねに巻き付け、電圧印加で伸縮や屈曲変形をするアクチュエータが提案されている（例えば特許文献１参照）。このアクチュエータは、小型軽量で大きな変位を生み出すことができるといった特徴を有している。

特表２００６－５２０１８０号公報

　しかしながら、上記のアクチュエータは、絶縁破壊を引き起こす虞がある。

　本技術の目的は、絶縁耐性の向上できるアクチュエータ、アクチュエータモジュール、内視鏡、内視鏡モジュールおよび制御方法を提供することにある。

　上述の課題を解決するために、第１の技術は、筒状のアクチュエータ素子と、アクチュエータ素子の内周面を支持する支持体とを備え、アクチュエータ素子の内圧が、アクチュエータ素子の外圧よりも高いアクチュエータである。

　第２の技術は、第１の技術のアクチュエータを備える内視鏡である。

　第３の技術は、筒状のアクチュエータ素子、およびアクチュエータ素子の内周面を支持する支持体を有するアクチュエータと、アクチュエータの駆動を制御する制御部と、アクチュエータの内部空間を加圧する加圧部とを備えるアクチュエータモジュールである。

　第４の技術は、第３の技術のアクチュエータモジュールを備える内視鏡モジュールである。

　第５の技術は、アクチュエータ素子と、アクチュエータ素子を支持する支持体とを備え、アクチュエータ素子の内圧が、アクチュエータ素子の外圧よりも高いアクチュエータである。

　第６の技術は、アクチュエータの内部空間の圧力を検出し、検出結果に基づき、アクチュエータの内部空間を加圧することを含む制御方法である。

　本技術によれば、アクチュエータの絶縁耐性の向上できる。

図１Ａは、本技術の第１の実施形態に係るアクチュエータの構成を示す断面図である。図１Ｂは、図１Ａの一部を表す拡大図である。 図２Ａは、アクチュエータ素子の構成を示す側面図である。図２Ｂは、図２ＡのIIＢ－IIＢ線に沿った断面図である。 図３は、支持体の変形例を示す断面図である。 図４Ａは、支持体の変形例を示す断面図である。図４Ｂは、図４Ａの一部を表す拡大図である。 図５Ａは、支持体の変形例を示す断面図である。図５Ｂは、図５Ａの一部を表す拡大図である。 図６Ａは、支持体の変形例を示す断面図である。図６Ｂは、図６Ａの一部を表す拡大図である。 図７Ａは、支持体の変形例を示す断面図である。図７Ｂは、図７Ａの一部を表す拡大図である。 図８は、支持体の変形例を示す断面図である。 図９は、支持体の変形例を示す断面図である。 図１０Ａ、図１０Ｂはそれぞれ、アクチュエータの製造方法の変形例を説明するための工程図である。 図１１は、本技術の第２の実施形態に係る内視鏡モジュールの構成を示す断面図である。 図１２は、先端部の構成を示す平面図である。 図１３は、電源投入時の内圧制御方法を説明するためのフローチャートである。 図１４は、操作時の内圧制御方法を説明するためのフローチャートである。 図１５は、本技術の第２の実施形態の変形例に係る内視鏡モジュールの構成を示す断面図である。 図１６は、本技術の第３の実施形態に係る内視鏡モジュールの構成を示す断面図である。 図１７は、本技術の第４の実施形態に係るアクチュエータの構成を示す斜視図である。 図１８は、本技術の第５の実施形態の変形例に係るアクチュエータの構成を示す斜視図である。

　本技術の実施形態について以下の順序で説明する。
　１　第１の実施形態（アクチュエータの例）
　２　第２の実施形態（内視鏡モジュールの例）
　３　第３の実施形態（内視鏡モジュールの例）
　４　第４の実施形態（アクチュエータの例）
　５　第５の実施形態（アクチュエータの例）

＜１　第１の実施形態＞
［概要］
　本発明者らは、絶縁破壊を引き起こす要因を解明すべく、筒状のアクチュエータ素子と、このアクチュエータ素子の内周面を支持するコイルスプリング（支持体）とを備えるアクチュエータについて、ＦＥＭ（Finite Element Methode）解析を行った。その結果、以下のことを見出すに至った。すなわち、上記構成のアクチュエータでは、コイルスプリングの側面を覆うアクチュエータ素子が、コイルスプリングの隙間に食い込み、アクチュエータ素子の側面にくびれが発生する虞がある。このようなくびれが発生すると、アクチュエータ素子の厚さが不均一になり、厚さが薄いところで絶縁破壊が発生しやすくなる。

　そこで、本発明者らは、アクチュエータ素子の側面に発生するくびれを抑制すべく鋭意検討を行った。その結果、アクチュエータの内圧をアクチュエータの外圧よりも高くする構成を見出すに至った。以下では、このような構成を有するアクチュエータについて説明する。

［アクチュエータの構成］
　本技術の第１の実施形態に係るアクチュエータ１０は、いわゆる電歪型アクチュエータであり、図１Ａに示すように、円筒状のアクチュエータ素子１１と、アクチュエータ素子１１の内周面を支持する円筒状のコイルスプリング１２と、アクチュエータ素子１１の両端の開口部を閉鎖する封止部材１３、１４とを備える。アクチュエータ１０が、アクチュエータ素子１１の外周面を覆う、図示しない円筒状の保護層をさらに備えるようにしてもよい。

　アクチュエータ１０は、内視鏡などの医療用器具、工業用器具、電子機器、スピーカ、人工筋肉、ロボット、ロボットスーツなどに用いて好適なものである。アクチュエータ１０は、継続的に使用可能なものであってもよいし、使い捨てのものであってもよい。アクチュエータ１０を内視鏡などの医療用器具に適用する場合、衛生上の観点から、アクチュエータ１０は使い捨てのものであることが好ましい。

　アクチュエータ１０は、密閉された円柱状の内部空間を有し、この内部空間にコイルスプリング１２が設けられている。内部空間は、流体としての気体により満たされている。気体は、例えば、空気、希ガスおよび二酸化炭素などのうちの少なくとも１種である。アクチュエータ１０の内圧は、アクチュエータ１０の外圧に比べて高くなっている。このため、図１Ｂ中に二点鎖線で示すようなくびれがアクチュエータ素子１１の周面に発生することを抑制できるので、アクチュエータ１０の絶縁耐性の向上できる。本明細書では、アクチュエータ１０の内部空間の圧力をアクチュエータ１０の内圧といい、アクチュエータ素子１１の外部空間の圧力をアクチュエータ１０の外圧という。

　以下、アクチュエータ１０が備えるアクチュエータ素子１１、コイルスプリング１２、封止部材１３、１４および保護層について順次説明する。

（アクチュエータ素子）
　アクチュエータ素子１１は、シート状を有している。アクチュエータ素子１１は、予め円筒状に形成されたものであってもよいし、コイルスプリング１２に巻き付けられて円筒状となったものであってもよい。

　アクチュエータ素子１１は、いわゆる誘電エラストマアクチュエータ素子であり、図２Ａ、図２Ｂに示すように、円筒状の誘電体層１１ａと、誘電体層１１ａの内周面に設けられた複数の電極（第１の電極）１１ｂと、誘電体層１１ａの外周面に設けられた複数の電極（第２の電極）１１ｃとを備える。電極１１ｂは誘電体層１１ａの内周面に直接形成されていてもよいし、接着層を介して貼り合わされていてもよい。また、電極１１ｃは誘電体層１１ａの外周面に直接形成されていてもよいし、接着層を介して貼り合わされていてもよい。ここでは、粘着層は接着層の一種と定義される。

（誘電体層）
　誘電体層１１ａは、伸縮性を有するシートである。誘電体層１１ａは、例えば、絶縁性伸縮材料として絶縁性エラストマを含んでいる。誘電体層１１ａは、必要に応じて添加剤を含んでいてもよい。添加剤としては、例えば、架橋剤、可塑剤、老化防止剤、界面活性剤、粘度調整剤、補強剤および着色剤などのうちの１種以上を用いることができる。絶縁性エラストマとしては、例えば、アクリルゴム、シリコーンゴム、エチレン－プロピレン－ジエン三元共重合体（ＥＰＤＭ）、天然ゴム（ＮＲ）、ブチルゴム（ＩＩＲ）、イソプレンゴム（ＩＲ）、アクリロニトリル－ブタジエン共重合ゴム（ＮＢＲ）、水素化アクリルニトリル－ブタジエン共重合ゴム（Ｈ－ＮＢＲ）、ヒドリン系ゴム、クロロプレンゴム（ＣＲ）、フッ素ゴムおよびウレタンゴムなどのうちの１種以上を含むエラストマを用いることができる。誘電体層１１ａには、プレストレインがかけられていてもよい。

（電極）
　電極１１ｂ、１１ｃは、誘電体層１１ａを介して対向する共に、アクチュエータ素子１１の高さ方向に延設されている。複数の電極１１ｂ、１１ｃは、誘電体層１１ａの周方向に等間隔で配置されている。図２Ａ、図２Ｂでは、４つの電極１１ｂ、１１ｃが、誘電体層１１ａの周方向に等間隔で配置された例が示されている。電極１１ｂ、１１ｃには図示しない配線が接続されており、誘電体層１１ａを介して対向する電極１１ｂ、１１ｃ間には電圧が印加されるようになっている。

　電極１１ｂ、１１ｃは、伸縮性を有する薄膜である。電極１１ｂ、１１ｃが伸縮性を有することで、電極１１ｂ、１１ｃが誘電体層１１ａの変形に追従して変形することが可能になる。電極１１ｂ、１１ｃは、ドライプロセスおよびウエットプロセスのいずれで作製された薄膜のいずれあってもよい。電極１１ｂ、１１ｃは、導電性材料と、必要に応じてバインダ（結着剤）とを含んでいる。電極１１ｂ、１１ｃは、必要に応じて添加剤をさらに含んでいてもよい。

　導電性材料は、導電性粒子であってもよい。導電性粒子の形状としては、例えば、球状、楕円体状、針状、板状、鱗片状、チューブ状、ワイヤー状、棒状（ロッド状）、不定形状などが挙げられるが、特にこれらに限定されるものではない。なお、上記形状の粒子を２種以上組み合わせて用いてもよい。

　導電性材料としては、金属、金属酸化物、炭素材料および導電性ポリマーのうちの１種以上を用いることができる。ここで、金属には、半金属が含まれるものと定義する。金属としては、例えば、銅、銀、金、白金、パラジウム、ニッケル、錫、コバルト、ロジウム、イリジウム、鉄、ルテニウム、オスミウム、マンガン、モリブデン、タングステン、ニオブ、タンタル、チタン、ビスマス、アンチモン、鉛などの金属、またはこれらの合金などが挙げられるが、これに限定されるものではない。金属酸化物としては、例えば、インジウム錫酸化物（ＩＴＯ）、酸化亜鉛、酸化インジウム、アンチモン添加酸化錫、フッ素添加酸化錫、アルミニウム添加酸化亜鉛、ガリウム添加酸化亜鉛、シリコン添加酸化亜鉛、酸化亜鉛－酸化錫系、酸化インジウム－酸化錫系、酸化亜鉛－酸化インジウム－酸化マグネシウム系などが挙げられるが、これに限定されるものではない。

　炭素材料としては、例えば、カーボンブラック、ポーラスカーボン、炭素繊維、フラーレン、グラフェン、カーボンナノチューブ、カーボンマイクロコイル、ナノホーンなどが挙げられるが、これに限定されるものではない。導電性ポリマーとしては、例えば、直鎖共役系、芳香族共役系、混合型共役系、複素環共役系、含ヘテロ原子共役系、複鎖型共役系、二次元共役系などの導電性ポリマーが挙げられるが、これに限定されるものではない。

　バインダとしては、エラストマ、ゲルおよびオイルのうちの少なくとも１種を用いることが好ましい。電極１１ｂ、１１ｃに伸縮性を付与することができるからである。エラストマとしては、例えば、シリコーン系、アクリル系、ウレタン系およびスチレン系エラストマなどのうちの１種以上用いることができる。添加剤としては、例えば、架橋剤、可塑剤、老化防止剤、界面活性剤、粘度調整剤、補強剤および着色剤などのうちの１種以上を用いることができる。

　電極１１ｂ、１１ｃは、導電性ポリマーとブロックコポリマーとのコンポジット材料を含んでいてもよい。コンポジット材料の具体例としては、ポリアニリンとＳＥＢＳ（スチレン－エチレン・ブチレン－スチレン共重合体とのコンポジット材料が挙げられる。また、電極１１ｂ、１１ｃは、ポリマーゲル材料と電解質とを含んでいてもよい。これらの材料の組み合わせの具体例としては、ポリアクリルアミドゲルとＬｉＦ水溶液との組み合わせが挙げられる。

（コイルスプリング）
　コイルスプリング１２は、任意の方向に湾曲可能であり、かつ弾性変形可能な支持体の一例である。コイルスプリング１２は、金属線などの線状部材が円筒状の螺旋に巻かれたコイル状のバネであり、線状部材間には隙間が形成されている。このため、コイルスプリング１２は、アクチュエータ素子１１の内周面をアクチュエータ素子１１の高さ方向に離散的に支持している。このようにアクチュエータ素子１１の内周面が支持されることで、アクチュエータ素子１１が変形しやすくなり、アクチュエータ１０が伸縮動作や屈曲動作しやすくなる。ここで、“アクチュエータ素子１１の内周面をアクチュエータ素子１１の高さ方向に離散的に支持している”とは、アクチュエータ素子１１の高さ方向にとびとびの位置で、アクチュエータ素子１１の内周面を支持していることを意味する。ここで、とびとびの位置の間隔は一定であってもよいし、変化してもよい。

（封止部材）
　封止部材１３、１４は、円盤状を有している。封止部材１３、１４は、金属または高分子材料を含んでいる。封止部材１３、１４が、エラストマなどを含み、弾性変形可能であってもよい。封止部材１３、１４は、アクチュエータ１０の端部に設けられるデバイス（例えばカメラなどの電子機器）、またはアクチュエータ１０の操作部であってもよい。

（保護層）
　保護層は、電極１１ｃを保護するためのものであり、伸縮性を有するシートである。保護層は、絶縁性を有する高分子樹脂を含んでいる。高分子樹脂としては、例えば塩化ビニルを用いることができる。第１の実施形態に係るアクチュエータ１０では、アクチュエータ素子１１にくびれが発生することが抑制されているので、アクチュエータ素子１１の外周面と保護層との間に空気が入りこむことを抑制できる。

［アクチュエータの動作］
　以下に、本技術の第１の実施形態に係るアクチュエータ１０の動作の一例について説明する。

　誘電体層１１ａを介して対向する電極１１ｂ、１１ｃ間に駆動電圧が印加されると、両電極１１ｂ、１１ｃにクーロン力による引力が作用する。このため、両電極１１ｂ、１１ｃ間に配置された誘電体層１１ａは、その厚さ方向に押圧されて薄くなると共に、伸張する。

　一方、誘電体層１１ａを介して対向する電極１１ｂ、１１ｃ間に印加された駆動電圧が解除されると、両電極１１ｂ、１１ｃにクーロン力による引力が作用しなくなる。このため、誘電体層１１ａの復元力により誘電体層１１ａは元の厚さに戻ると共に、収縮して元の大きさに戻る。

　誘電体層１１ａを介して対向する複数の組の電極１１ｂ、１１ｃのうち、１つの組の電極１１ｂ、１１ｃに駆動電圧が印加された場合には、その電極１１ｂ、１１ｃ間に配置された誘電体層１１ａの伸張によって、アクチュエータ１０が屈曲する。１つの組の電極１１ｂ、１１ｃに印加された駆動電圧が解除されると、アクチュエータ１０は元の円柱形状に戻る。

［アクチュエータの製造方法］
　次に、アクチュエータ１０の製造方法について説明する。まず、コイルスプリング１２の周面に、矩形状のアクチュエータ素子１１を巻き付け筒状にするか、または予め筒状に形成されたアクチュエータ素子１１の内側にコイルスプリング１２を挿入する。上記巻き付け後または挿入後のアクチュエータ素子１１の周面にはくびれが発生している。

　次に、封止部材１３をアクチュエータ素子１１の一方の開口部に嵌め合わせるなどして、アクチュエータ素子１１の一方の開口部を閉鎖する。次に、封止部材１４をアクチュエータ素子１１の他方の開口部に嵌め合わせるなどして、アクチュエータ素子１１の他方の開口部を閉鎖する。これにより、密閉された内部空間を有するアクチュエータ１０が得られる。次に、注射器などの気体注入手段を封止部材１３、１４のいずれかに突き刺し、アクチュエータ１０の内部空間に気体を注入し、アクチュエータ１０の内圧を外圧よりも高くした後、気体注入手段を引き抜く。これにより、アクチュエータ素子１１の周面のくびれが抑制された、図１Ａに示すアクチュエータ１０が得られる。

［効果］
　第１の実施形態に係るアクチュエータ１０では、アクチュエータ１０の内圧がアクチュエータ１０の外圧よりも高くなっているので、アクチュエータ素子１１にくびれが発生することを抑制できる（図１Ｂ参照）。これにより、アクチュエータ素子１１の厚さが不均一になることを抑制できる。したがって、アクチュエータ１０の絶縁耐性を向上できる。

　また、アクチュエータ素子１１のくびれ抑制により、以下の効果も得られる。
　アクチュエータ１０の電界強度あたりの変形量（屈曲量）を向上できる。
　アクチュエータ１０の側面がより平滑になるため、使用時にアクチュエータ１０の側面が周囲に引っかかり難くなる。したがって、アクチュエータ１０を内視鏡に適用した場合には、内視鏡を人体などに挿入しやすくなるなど、内視鏡の操作性が向上する。
　アクチュエータ素子１１の側面にスプレーコートなどによる表面処理を施す場合には、表面処理をより均一に行うことができる。
　重量を有した部品を追加することなく、アクチュエータ素子１１のくびれ抑制できるため、アクチュエータ１０の屈曲性を低下させずに上記効果を得ることができる。

［変形例］
（支持体の変形例）
　第１の実施形態では、支持体としてコイルスプリング１２を用いた構成について説明したが、支持体はコイルスプリング１２に限定されるものではなく、アクチュエータ素子１１の内周面をアクチュエータ素子１１の高さ方向に離散的に支持可能であるものであれば用いることができる。以下、コイルスプリング１２以外の支持体の例について説明する。

　図３に示すように、アクチュエータ１０が、コイルスプリング１２に代えて、複数の支持部２１ａと、複数のジョイント機構部２１ｂとを有する連結体２１を備えるようにしてもよい。複数の支持部２１ａは、アクチュエータ素子１１の内周面をアクチュエータ素子１１の高さ方向に離散的に支持する。ジョイント機構部２１ｂは、例えば球状の形状を有し、隣接する支持部２１ａを任意の方向に回転可能に連結している。なお、ジョイント機構部２１ｂが、支持部２１ａの一部であってもよい。

　図４Ａ、図４Ｂに示すように、アクチュエータ１０が、コイルスプリング１２に代えて、円盤状を有する複数の支持部２２ａと、複数のボールジョイント機構部２２ｂとを有する連結体２２を備えるようにしてもよい。複数のボールジョイント機構部２２ｂは、隣接する支持部２２ａを任意の方向に回転可能に連結している。複数の支持部２２ａは、所定の間隔離して設けられ、アクチュエータ素子１１の内周面をアクチュエータ素子１１の高さ方向に離散的に支持する。支持部２２ａの一方の面の中心に軸部２２ｃが垂直に立てられ、その先端に球状部（いわゆるボールスタッド）２２ｄが設けられている。一方、支持部２２ａの他方の面の中心に軸部２２ｅが垂直に立てられ、その先端には球状部２２ｄと球面接触するソケット２２ｆが設けられている。ソケット２２ｆは、球状部２２ｄと球面接触し、任意の方向に回転可能に球状部２２ｄを支持している。球状部２２ｄとソケット２２ｆとによりボールジョイント機構部２２ｂが構成される。アクチュエータ素子１１の両端の開口部は、支持部２２ａにより閉鎖されている。

　図５Ａ、図５Ｂに示すように、アクチュエータ１０が、コイルスプリング１２に代えて、円盤状を有する複数の支持部２３ａと、人体の関節構造を模した複数のジョイント機構部２３ｂとを有する連結体２３を備えるようにしてもよい。複数のジョイント機構部２３ｂは、隣接する支持部２３ａを任意の方向に回転可能に連結している。複数の支持部２３ａは、所定の間隔離して設けられ、アクチュエータ素子１１の内周面をアクチュエータ素子１１の高さ方向に離散的に支持する。支持部２３ａの一方の面の中心に軸部２３ｃが垂直に立てられ、その先端に球状部（いわゆるボールスタッド）２３ｄが設けられている。一方、支持部２３ａの他方の面の中心にも軸部２３ｅが垂直に立てられ、その先端に球状部（いわゆるボールスタッド）２３ｆが設けられている。球状部２３ｄ、２３ｆは、任意の方向に回転可能に突き合わされている。このように球状部２３ｄ、２３ｆを突き合わせた構成を採用することで、回転時の摩擦を低減できる。また、突き合わされた球状部２３ｄ、２３ｆは膜２３ｇにより覆われている。このように膜２３ｇで球状部２３ｄ、２３ｆを覆うことで、突き合わされた球状部２３ｄ、２３ｆ同士がずれることを抑制できる。膜２３ｇ内が液体またはゲルなどにより満たされていてもよい。球状部２３ｄ、２３ｆおよび膜２３ｇによりジョイント機構部２３ｂが構成される。アクチュエータ素子１１の両端の開口部は、支持部２３ａにより閉鎖されている。

　図６Ａ、図６Ｂに示すように、アクチュエータ１０が、コイルスプリング１２に代えて、円盤状を有する複数の支持部２４ａと、昆虫の関節構造を模したジョイント機構部２４ｂとを有する連結体２４を備えるようにしてもよい。ジョイント機構部２４ｂは、隣接する支持部２４ａを任意の方向に回転可能に連結している。複数の支持部２４ａは、所定の間隔離して設けられ、アクチュエータ素子１１の内周面をアクチュエータ素子１１の高さ方向に離散的に支持する。支持部２４ａの一方の面の中心に軸部２４ｃが垂直に立てられ、支持部２４ａの他方の面の中心にも軸部２４ｄが垂直に立てられている。軸部２４ｃ、２４ｄの先端は、所定の間隔離されており、軸部２４ｃ、２４ｄの先端同士は、弾性体２４ｅにより連結されている。このため、軸部２４ｃ、２４ｄは、任意の方向に回転可能である。弾性体２４ｅは、エラストマ、クッション材またはバネなどの剛性が低い材料（柔軟性の高い材料）により構成されている。軸部２４ｃ、２４ｄおよび弾性体２４ｅによりジョイント機構部２４ｂが構成される。アクチュエータ素子１１の両端の開口部は、支持部２４ａにより閉鎖されている。

　図７Ａ、図７Ｂに示すように、アクチュエータ１０が、コイルスプリング１２に代えて、円盤状を有する複数の支持部２５ａと、人体の関節構造を模した複数のジョイント機構部２５ｂとを有する連結体２５を備えるようにしてもよい。複数のジョイント機構部２５ｂは、隣接する支持部２５ａを任意の方向に回転可能に連結している。複数の支持部２５ａは、所定の間隔離して設けられ、アクチュエータ素子１１の内周面をアクチュエータ素子１１の高さ方向に離散的に支持する。隣接する支持部２５ａの間には、一端に球状部２５ｄを有し、他端に球状部２５ｅを有する棒状の軸部２５ｃが設けられている。軸部２５ｃは、球状部２５ｄの側がＮ極となり、球状部２５ｅの側がわＳ極となる磁石である。球状部２５ｄは支持部２５ａの一方の面の中央に位置し、球状部２５ｅは支持部２５ａの他方の面の中央に位置している。極性の異なる球状部２５ｅ、２５ｄ同士は、支持部２５ａを介して引き合っている。このため、支持部２５ａを介して隣り合う軸部２５ｃは、任意の方向に回転可能である。球状部２５ｅ、２５ｄを膜２５ｆにより覆っていてもよいが、このジョイント機構部２５ｂは、図５に示したジョイント機構部２３ｂとは異なり、球状部２５ｅ、２５ｄ同士が磁力により引き合うので、球状部２５ｅ、２５ｄを膜２５ｆにより覆っていなくてもよい。アクチュエータ素子１１の両端の開口部は、支持部２５ａにより閉鎖されている。

　図８に示すように、アクチュエータ１０が、コイルスプリング１２に代えて、筒状のアクチュエータ素子１１内に収容された複数の球体２６ａにより構成された支持体２６を備えるようにしてもよい。複数の球体２６ａは、アクチュエータ素子１１の高さ方向に隣接する球体２６ａ同士が接触するようにアクチュエータ素子１１内に収容されている。これにより、アクチュエータ素子１１の内周面は複数の球体２６ａによりアクチュエータ素子１１の高さ方向に離散的に支持され、アクチュエータ１０は任意の方向に回転可能となっている。

　アクチュエータ１０が、コイルスプリング１２に代えて、アクチュエータ素子１１の内周面をアクチュエータ素子１１の高さ方向に離散的に支持可能であり、高分子樹脂を含む支持体を備えるようにしてもよい。高分子樹脂の具体例としては、例えば、誘電体層１１ａと同様の絶縁性エラストマが挙げられる。

　図９に示すように、高分子樹脂を含む支持体２７は、複数の支持部２７ａと複数の軸部２７ｂとを有するものであってもよい。支持部２７ａと軸部２７ｂとは、高分子樹脂により一体的に成形されている。支持部２７ａは、円盤状を有し、その外周部によってアクチュエータ素子１１の内周面を支持する。軸部２７ｂは、アクチュエータ素子１１の高さ方向に隣接する支持部２７ａ同士を連結する。封止部材１３、１４と支持体２７とが、高分子樹脂により一体的に成形されていてもよい。

（アクチュエータの製造方法の変形例）
　アクチュエータ１０を以下のようにして製造するようにしてもよい。まず、図１０Ａに示すように、コイルスプリング１２が伸張された状態でアクチュエータ１０を組み立てる。この際、アクチュエータ１０の内部空間の体積は、最終的に得られるアクチュエータ１０の内部空間の体積よりも大きく、またアクチュエータ素子１１の側面にくびれが発生した状態である。次に、図１０Ｂに示すように、コイルスプリング１２の伸張を開放して、アクチュエータ１０の内部空間の体積を低減させることにより、アクチュエータ１０の内圧を増加させる。これにより、アクチュエータ素子１１の周面のくびれが抑制された、目的とするアクチュエータ１０が得られる。

　なお、コイルスプリング１２が伸縮されていない状態でアクチュエータ１０を組み立てた後、アクチュエータ１０の一端または両端を押圧して、アクチュエータ１０の高さを低くすることにより、アクチュエータ１０の内部空間の体積を低減させ、アクチュエータ１０の内圧を増加させるようにしてもよい。

（その他の変形例）
　アクチュエータ素子１１が、積層されたシート状の誘電エラストマアクチュエータ素子により構成されていてもよい。この場合、予め円筒状に形成された複数の誘電エラストマアクチュエータ素子が、コイルスプリング１２の周りに同心状に積層されていてもよいし、帯状を有する１枚の誘電エラストマアクチュエータ素子がコイルスプリング１２の周りに巻回されて積層されていてもよい。第１の実施形態にて説明したように、アクチュエータ素子１１の周面にくびれが発生することが抑制されているので、誘電エラストマアクチュエータ素子が積層された場合に、積層された誘電エラストマアクチュエータ素子間に空気が入りこむことが抑制される。

　アクチュエータ１０が、電極１１ａ、１１ｂに代えて、誘電体層１１ａの両面の全体またはほぼ全体に設けられた第１、第２の電極を備えるようにしてもよい。

　第１の実施形態ではアクチュエータ素子１１およびコイルスプリング１２が円筒状を有する構成を例として説明したが、アクチュエータ素子１１およびコイルスプリング１２が四角筒状などの角筒状を有していてもよい。

　アクチュエータ１０の内部空間が、気体に代えて液体または固体により満たされていてもよい。ここで、液体は、例えば水または食塩水などである。また、固体は、例えばゾルまたはゲルなどである。

＜２　第２の実施形態＞
［内視鏡モジュールの構成］
　本技術の第２の実施形態に係る内視鏡モジュールは、図１１に示すように、内視鏡３０と、制御部４１と、屈曲駆動回路４２と、内圧検出回路４３と、加圧部４４と、減圧部４５とを備える。制御部４１は電源４６に接続される。なお、第２の実施形態において第１の実施形態と同様の箇所には同一の符号を付して説明を省略する。

　内視鏡３０は、操作部３１と、支持部３２と、屈曲部であるアクチュエータ３３と、先端部３４、感圧センサ３５とを備える。アクチュエータ３３と、感圧センサ３５と、制御部４１と、屈曲駆動回路４２と、内圧検出回路４３と、加圧部４４と、減圧部４５とによりアクチュエータモジュールが構成される。感圧センサ３５と内圧検出回路４３とにより、アクチュエータ３３の内部空間の圧力を検出する検出部が構成される。

　操作部３１には、内視鏡を操作するためのものボタンやノブなどが設けられている。支持部３２は、操作部３１とアクチュエータ３３との間に設けられ、アクチュエータ３３を支持する。支持部３２は、剛性を有し、内部に加圧部４４とアクチュエータ３３とを繋ぐ通気孔を有している。

　アクチュエータ３３は、アクチュエータ素子１１とコイルスプリング１２とを備え、アクチュエータ３３の内部空間は密閉されている。アクチュエータ素子１１の一方の開口部は先端部３４により閉鎖され、他端の開口部は支持部３２により閉鎖されている。先端部３４の先端面には、図１２に示すように、照明レンズ３４ａおよび対物レンズ３４ｂが設けられている。先端部３４の表面のうち照明レンズ３４ａおよび対物レンズ３４ｂの部分は、例えばステンレス鋼などにより構成されている。照明レンズ３４ａおよび対物レンズ３４ｂは、例えばガラスレンズである。照明レンズ３４ａの内側には照明装置が設けられ、対物レンズ３４ｂの内側にはＣＣＤCharge Coupled Device）またはＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）などの撮像素子が設けられている。撮像素子は、図示しない画像処理部を介して図示しない表示装置に接続されている。

　先端部３４と操作部３１とは、アクチュエータ３３の内部空間に配置されたケーブルにより接続されており、このケーブルを介して操作信号が操作部３１から先端部３４に供給される。また、先端部３４と画像処理部とは、アクチュエータ３３の内部空間に配置されたケーブルにより接続されており、このケーブルを介して先端部３４から画像処理部に映像信号が供給される。但し、操作部３１が無線により操作信号を先端部３４に供給するようにしてもよいし、先端部３４が無線により映像信号を画像処理部に供給するようにしてもよい。

　感圧センサ３５は、先端部３４のうちアクチュエータ素子１１の一端の開口部を閉鎖する部分に配置されている。但し、感圧センサ３５の配置位置は、アクチュエータ３３の内圧を検出する検出可能な位置であればよく、これに限定されるものではない。感圧センサ３５は、アクチュエータ３３の内圧に応じた電気信号を内圧検出回路４３に出力する。感圧センサ３５としては、例えばダイアフラムゲージなどを用いることができる。

　内圧検出回路４３は、感圧センサ３５から供給される電気信号に基づき、アクチュエータ３３の内圧を検出し、制御部４１に供給する。加圧部４４は、ポンプまたはレギュレータなどであり、制御部４１の制御に基づき、アクチュエータ３３の内部空間に気体を供給し、アクチュエータ３３の内部空間を加圧する。気体は、例えば、空気、希ガスおよび二酸化炭素などのうちの少なくとも１種である。減圧部４５は、ダイアフラムバルブなどの電磁弁であり、制御部４１の制御に基づき、アクチュエータ３３の内部空間の気体を排気し、アクチュエータ３３の内部空間を減圧する。

　制御部４１は、操作部３１から供給される制御信号に基づき、屈曲駆動回路４２および加圧部４４を制御する。制御部４１は、内圧検出回路４３から供給される内圧に基づき、アクチュエータ３３の内圧が規定の圧力となるように、加圧部４４および減圧部４５をフィードバック制御する。ここで、規定の圧力とは、アクチュエータ３３のくびれ発生が抑制される圧力である。なお、アクチュエータ３３の内圧があまりに高すぎると、アクチュエータ素子１１に膨れが発生する虞があるので、アクチュエータ３３の内圧の上限値は、アクチュエータ素子１１に膨れが発生しない圧力であることが好ましい。屈曲駆動回路４２は、制御部４１から供給される制御信号に基づき、アクチュエータ３３を屈曲駆動させる。

［電源投入時の内圧制御方法］
　次に、図１３を参照して、電源投入時の内圧制御方法について説明する。まず、ステップＳ１１において電源４６が投入されると、ステップＳ１２において、制御部４１は加圧部４４を駆動し、アクチュエータ３３を加圧し、アクチュエータ３３の内圧を上昇させる。次に、ステップＳ１３において、内圧検出回路４３が、感圧センサ３５から供給される電気信号に基づきアクチュエータ３３の内圧を検出し、検出結果を制御部４１に供給する。

　次に、ステップＳ１４において、制御部４１は、内圧検出回路４３から供給された内圧に基づき、アクチュエータ３３の内圧が規定の圧力に到達したか否かを判断する。ステップＳ１４にてアクチュエータ３３の内圧が規定の圧力に到達したと判断された場合には、ステップＳ１５において、制御部４１は加圧部４４を停止し、ステップＳ１６において、制御部４１は内視鏡３０に対する操作待ちの状態となる。一方、ステップＳ１４にてアクチュエータ３３の内圧が規定の圧力に到達していないと判断された場合には、制御部４１は処理をステップＳ１２に戻す。

［操作時の内圧制御方法］
　次に、図１４を参照して、操作時の内圧制御方法について説明する。まず、ステップＳ２１において内視鏡３０の操作が開始されると、ステップＳ２２において、内圧検出回路４３が、感圧センサ３５から供給される電気信号に基づきアクチュエータ３３の内圧を検出し、検出結果を制御部４１に供給する。次に、ステップＳ２３において、制御部４１は、内圧検出回路４３から供給された内圧に基づき、アクチュエータ３３の内圧が規定の圧力より低いか否かを判断する。

　ステップＳ２３にてアクチュエータ３３の内圧が規定の圧力より低いと判断された場合には、ステップＳ２４において、制御部４１は加圧部４４を駆動し、アクチュエータ３３内を加圧し、アクチュエータ３３の内圧を上昇させる。次に、ステップＳ２５において、内圧検出回路４３が、感圧センサ３５から供給される電気信号に基づきアクチュエータ３３の内圧を検出し、検出結果を制御部４１に供給する。

　次に、ステップＳ２６において、制御部４１は、内圧検出回路４３から供給された内圧に基づき、アクチュエータ３３の内圧が規定の圧力に到達したか否かを判断する。ステップＳ２６にてアクチュエータ３３の内圧が規定の圧力に到達したと判断された場合には、ステップＳ２７において、制御部４１は加圧部４４を停止し、処理をステップＳ２２に戻す。一方、ステップＳ２６にてアクチュエータ３３の内圧が規定の圧力に到達していないと判断された場合には、制御部４１は処理をステップＳ２４に戻す。

　ステップＳ２３にてアクチュエータ３３の内圧が規定の圧力より低くないと判断された場合には、ステップＳ２８において、制御部４１は、内圧検出回路４３から供給された内圧に基づき、アクチュエータ３３の内圧が規定の圧力より高いか否かを判断する。ステップＳ２８にてアクチュエータ３３の内圧が規定の圧力より高いと判断された場合には、ステップＳ２９において、制御部４１は減圧部４５を駆動し、アクチュエータ３３内を減圧し、アクチュエータ３３の内圧を低下させる。一方、ステップＳ２８にてアクチュエータ３３の内圧が規定の圧力より高くないと判断された場合には、制御部４１は処理をステップＳ２２に戻す。

　次に、ステップＳ３０において、内圧検出回路４３が、感圧センサ３５から供給される電気信号に基づきアクチュエータ３３の内圧を検出し、検出結果を制御部４１に供給する。次に、ステップＳ３１において、制御部４１は、内圧検出回路４３から供給された内圧に基づき、アクチュエータ３３の内圧が規定の圧力に到達したか否かを判断する。ステップＳ３１にてアクチュエータ３３の内圧が規定の圧力に到達したと判断された場合には、ステップＳ３２において、制御部４１は減圧部４５を停止し、処理をステップＳ２２に戻す。一方、ステップＳ３１にてアクチュエータ３３の内圧が規定の圧力に到達していないと判断された場合には、制御部４１は処理をステップＳ２９に戻す。

［効果］
　第２の実施形態に係る内視鏡モジュールでは、アクチュエータ３３の内圧を増加させる加圧部４４を備えるので、アクチュエータ３３の内圧をアクチュエータ３３の外圧よりも高くできる。したがって、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。

　また、アクチュエータ３３の内圧を増加させる加圧部４４とアクチュエータ３３の内圧を減少させる減圧部４５とを備えるので、内視鏡モジュールの操作時にアクチュエータ３３の内圧を規定の圧力に調整することができる。

［変形例］
　図１５に示すように、内視鏡モジュールが、加圧部４４に代えて、加熱部４７を備えるようにしてもよい。加熱部４７としては、例えば赤外線ヒータなどを用いることができる。制御部４１ａは、加熱部４７を制御して、アクチュエータ３３の内部空間を加熱し、気体を膨張させることにより、アクチュエータ３３の内圧を上昇させる。

　内視鏡モジュールが、加圧部４４と加熱部４７との両方を備えるようにしてもよい。この場合、加圧部４４と加熱部４７との両方を同時に動作させてもよいし、加圧部４４と加熱部４７とをモード切り替えにより選択的に動作させてもよい。

　内視鏡モジュールが減圧部４５を備えていなくてもよい。この場合、制御部４１は、図１４に示したフローチャートにおいて、アクチュエータ３３の内圧を増加させる動作のみを実行する。

　図１４に示したステップＳ２２、Ｓ２５、Ｓ３０の圧力検出動作は、内視鏡モジュールの操作時に所定の時間間隔で繰り返し行われるようにしてもよい。

＜３　第３の実施形態＞
［内視鏡モジュールの構成］
　本技術の第３の実施形態に係る内視鏡モジュールは、図１６に示すように、内視鏡３０と、制御部４１ｂと、屈曲駆動回路４２と、屈曲角度検出回路４８と、内圧検出回路４３ｂと、加圧部４４と、減圧部４５とを備える。制御部４１ｂは電源４６に接続される。なお、第３の実施形態において第２の実施形態と同様の箇所には同一の符号を付して説明を省略する。

　アクチュエータ素子１１が有する誘電体層１１ａの内周面、外周面にそれぞれ設けられた電極１１ｂ、１１ｃ（図２Ａ、図２Ｂ参照）は、アクチュエータ３３の屈曲や内圧変化によって変形する。内圧検出回路４３ｂは、誘電体層１１ａを介して対向する電極１１ｂ、１１ｃ間の静電容量変化（距離変化）からアクチュエータ３３の内圧を検出し、検出結果を制御部４１ｂに供給する。屈曲角度検出回路４８は、電極１１ｂ、１１ｃの変形による電気抵抗変化からアクチュエータ３３の屈曲角度を検出し、検出結果を制御部４１ｂに供給する。制御部４１ｂは、内圧検出回路４３ｂから供給される内圧、および屈曲角度検出回路４８から供給される屈曲角度に基づき、アクチュエータ３３の内圧が規定の圧力となるように、加圧部４４および減圧部４５をフィードバック制御する。

［効果］
　第３の実施形態に係る内視鏡モジュールは、アクチュエータ３３の内圧および屈曲角度に基づき、アクチュエータ３３の内圧が規定の圧力となるように、加圧部４４および減圧部４５をフィードバック制御する。このため、第２の実施形態に係る内視鏡モジュールよりも、アクチュエータ３３の操作時においてアクチュエータ３３の内圧を適切に制御することが可能である。

［変形例］
　内視鏡モジュールが、加圧部４４に代えて加熱部４７を備えるようにしてもよいし、加圧部４４と共に加熱部４７を備えるようにしてもよい。また、内視鏡モジュールが減圧部４５を備えていなくてもよい。

＜４　第４の実施形態＞
［アクチュエータの構成］
　本技術の第４の実施形態に係るアクチュエータ５０は、密閉された構造を有するスピーカであり、図１７に示すように、円筒状のアクチュエータ素子５１と、アクチュエータ素子１１の両端部を支持する支持体５２とを備える。アクチュエータ５０の内圧は、アクチュエータ５０の外圧に比べて高くなっている。

　円筒状のアクチュエータ素子５１は、円筒状の誘電体層と、誘電体層の内周面に設けられた第１の電極と、誘電体層の外周面に設けられた第２の電極とを備える。第１、第２の電極は、誘電体層の内周面、外周面に所定のパターンで設けられていてもよいし、誘電体層の内周面、外周面の全体またはほぼ全体に設けられていてもよい。支持体５２は、軸部５２ａと、軸部５２ａの両端に設けられた円盤状の支持部５２ｂ、５２ｃとを備える。

［効果］
　第４の実施形態に係るアクチュエータ５０では、アクチュエータ５０の内圧がアクチュエータ５０の外圧よりも高くなっているので、第１の実施形態に係るアクチュエータ１０と同様の効果を得ることができる。

［変形例］
　アクチュエータ素子１１が四角筒状などの角筒状を有し、支持部５２ｂ、５２ｃが四角形などの多角形状を有していてもよい。

　第４の実施形態におけるアクチュエータ５０と、第２の実施形態における感圧センサ３５と、制御部４１と、内圧検出回路４３と、加圧部４４と、減圧部４５とによりアクチュエータモジュールを構成するようにしてもよい。この場合、アクチュエータモジュールが、加圧部４４に代えて加熱部４７を備えるようにしてもよいし、加圧部４４と共に加熱部４７を備えるようにしてもよい。また、アクチュエータモジュールが減圧部４５を備えていなくてもよい。

＜５　第５の実施形態＞
［アクチュエータの構成］
　本技術の第５の実施形態に係るアクチュエータ６０は、密閉された構造を有するスピーカであり、図１８に示すように、矩形状のアクチュエータ素子６１と、アクチュエータ素子６１の周縁部を支持する支持体６２とを備える。アクチュエータ６０の内圧は、アクチュエータ６０の外圧に比べて高くなっている。

　矩形状のアクチュエータ素子６１は、矩形状の誘電体層と、誘電体層の一方の面に設けられた第１の電極と、誘電体層の他方の面に設けられた第２の電極とを備える。第１、第２の電極は、誘電体層の両面に所定のパターンで設けられていてもよいし、誘電体層の両面の全体またはほぼ全体に設けられていてもよい。支持体６２は、アクチュエータ素子６１を凸状に湾曲した状態に支持する。

［効果］
　第５の実施形態に係るアクチュエータ６０では、アクチュエータ６０の内圧がアクチュエータ６０の外圧よりも高くなっているので、第１の実施形態に係るアクチュエータ１０と同様の効果を得ることができる。

［変形例］
　アクチュエータ６０が、第４の実施形態の変形例と同様にアクチュエータモジュールを構成するようにしてもよい。

　以上、本技術の実施形態について具体的に説明したが、本技術は、上述の実施形態に限定されるものではなく、本技術の技術的思想に基づく各種の変形が可能である。

　例えば、上述の実施形態において挙げた構成、方法、工程、形状、材料および数値などはあくまでも例に過ぎず、必要に応じてこれと異なる構成、方法、工程、形状、材料および数値などを用いてもよい。

　また、上述の実施形態の構成、方法、工程、形状、材料および数値などは、本技術の主旨を逸脱しない限り、互いに組み合わせることが可能である。

　また、本技術は以下の構成を採用することもできる。
（１）
　筒状のアクチュエータ素子と、
　前記アクチュエータ素子の内周面を支持する支持体と
　を備え、
　前記アクチュエータ素子の内圧が、前記アクチュエータ素子の外圧よりも高いアクチュエータ。
（２）
　前記支持体は、前記アクチュエータ素子の内周面を前記アクチュエータ素子の高さ方向に離散的に支持している（１）に記載のアクチュエータ。
（３）
　前記支持体は、コイルスプリング、複数の支持部がジョイント機構部により連結された連結体、または複数の球体である（１）または（２）に記載のアクチュエータ。
（４）
　前記アクチュエータ素子の内側の空間を満たす気体または液体をさらに備える（１）から（３）のいずれかに記載のアクチュエータ。
（５）
　前記アクチュエータ素子は、誘電エラストマアクチュエータ素子である（１）から（４）のいずれかに記載のアクチュエータ。
（６）
　　前記誘電エラストマアクチュエータ素子は、積層されている（５）に記載のアクチュエータ。
（７）
　前記アクチュエータ素子は、筒状の誘電体層と、前記誘電体層の内周面に設けられた第１の電極と、前記誘電体層の外周面に設けられた第２の電極とを備える（５）または（６）に記載のアクチュエータ。
（８）
　前記アクチュエータ素子は、筒状の誘電体層と、前記誘電体層の内周面に設けられた複数の第１の電極と、前記誘電体層の外周面に設けられた複数の第２の電極とを備え、
　前記第１の電極および前記第２の電極は、前記誘電体層を介して対向すると共に、前記アクチュエータ素子の高さ方向に延設されている（５）または（６）に記載のアクチュエータ。
（９）
　（１）から（８）のいずれかに記載のアクチュエータを備える内視鏡。
（１０）
　筒状のアクチュエータ素子、および前記アクチュエータ素子の内周面を支持する支持体を有するアクチュエータと、
　前記アクチュエータの駆動を制御する制御部と、
　前記アクチュエータの内部空間を加圧する加圧部と
　を備えるアクチュエータモジュール。
（１１）
　前記内部空間の圧力を検出する検出部をさらに備え、
　前記制御部は、前記検出部の検出結果に応じて、前記加圧部を制御する（１０）に記載のアクチュエータモジュール。
（１２）
　前記内部空間を減圧する減圧部をさらに備え、
　前記制御部は、前記検出部の検出結果に応じて、前記減圧部を制御する（１１）に記載のアクチュエータモジュール。
（１３）
　前記加圧部は、前記内部空間に気体または液体を供給することで、前記アクチュエータの内部空間を加圧する（１０）から（１２）のいずれかに記載のアクチュエータモジュール。
（１４）
　（１０）から（１３）のいずれかに記載のアクチュエータモジュールを備える内視鏡モジュール。
（１５）
　アクチュエータ素子と、
　前記アクチュエータ素子を支持する支持体と
　を備え、
　前記アクチュエータ素子の内圧が、前記アクチュエータ素子の外圧よりも高いアクチュエータ。
（１６）
　前記アクチュエータ素子は、筒状を有し、
　前記支持体は、前記アクチュエータ素子の両端部を支持している（１５）に記載のアクチュエータ。
（１７）
　前記支持体は、前記アクチュエータ素子の周縁部を支持している（１５）または（１６）に記載のアクチュエータ。
（１８）
　アクチュエータの内部空間の圧力を検出し、
　前記検出の結果に基づき、前記アクチュエータの内部空間を加圧または減圧する
　ことを含む制御方法。

　１０、３３、５０、６０　　アクチュエータ
　１１、５１、６１　　アクチュエータ素子１１
　１２　　コイルスプリング（支持体）
　１３、１４　　封止部材
　２１、２２、２３、２４、２５　　連結体（支持体）
　２６、２７、５２、６２　　支持体
　２６ａ　　球体
　３５　　感圧センサ
　４１、４１ａ、４１ｂ　　制御部
　４２　　屈曲駆動回路
　４３　　内圧検出回路
　４４　　加圧部
　４５　　減圧部

Claims (18)

1. 　筒状のアクチュエータ素子と、
   　前記アクチュエータ素子の内周面を支持する支持体と
   　を備え、
   　前記アクチュエータ素子の内圧が、前記アクチュエータ素子の外圧よりも高いアクチュエータ。
2. 　前記支持体は、前記アクチュエータ素子の内周面を前記アクチュエータ素子の高さ方向に離散的に支持している請求項１に記載のアクチュエータ。
3. 　前記支持体は、コイルスプリング、複数の支持部がジョイント機構部により連結された連結体、または複数の球体である請求項１に記載のアクチュエータ。
4. 　前記アクチュエータ素子の内側の空間を満たす気体または液体をさらに備える請求項１に記載のアクチュエータ。
5. 　前記アクチュエータ素子は、誘電エラストマアクチュエータ素子である請求項１に記載のアクチュエータ。
6. 　前記誘電エラストマアクチュエータ素子は、積層されている請求項５に記載のアクチュエータ。
7. 　前記アクチュエータ素子は、筒状の誘電体層と、前記誘電体層の内周面に設けられた第１の電極と、前記誘電体層の外周面に設けられた第２の電極とを備える請求項５に記載のアクチュエータ。
8. 　前記アクチュエータ素子は、筒状の誘電体層と、前記誘電体層の内周面に設けられた複数の第１の電極と、前記誘電体層の外周面に設けられた複数の第２の電極とを備え、
   　前記第１の電極および前記第２の電極は、前記誘電体層を介して対向すると共に、前記アクチュエータ素子の高さ方向に延設されている請求項５に記載のアクチュエータ。
9. 　請求項１に記載のアクチュエータを備える内視鏡。
10. 　筒状のアクチュエータ素子、および前記アクチュエータ素子の内周面を支持する支持体を有するアクチュエータと、
    　前記アクチュエータの駆動を制御する制御部と、
    　前記アクチュエータの内部空間を加圧する加圧部と
    　を備えるアクチュエータモジュール。
11. 　前記内部空間の圧力を検出する検出部をさらに備え、
    　前記制御部は、前記検出部の検出結果に応じて、前記加圧部を制御する請求項１０に記載のアクチュエータモジュール。
12. 　前記内部空間を減圧する減圧部をさらに備え、
    　前記制御部は、前記検出部の検出結果に応じて、前記減圧部を制御する請求項１１に記載のアクチュエータモジュール。
13. 　前記加圧部は、前記内部空間に気体または液体を供給することで、前記アクチュエータの内部空間を加圧する請求項１０に記載のアクチュエータモジュール。
14. 　請求項１０に記載のアクチュエータモジュールを備える内視鏡モジュール。
15. 　アクチュエータ素子と、
    　前記アクチュエータ素子を支持する支持体と
    　を備え、
    　前記アクチュエータ素子の内圧が、前記アクチュエータ素子の外圧よりも高いアクチュエータ。
16. 　前記アクチュエータ素子は、筒状を有し、
    　前記支持体は、前記アクチュエータ素子の両端部を支持している請求項１５に記載のアクチュエータ。
17. 　前記支持体は、前記アクチュエータ素子の周縁部を支持している請求項１５に記載のアクチュエータ。
18. 　アクチュエータの内部空間の圧力を検出し、
    　前記検出の結果に基づき、前記アクチュエータの内部空間を加圧または減圧する
    　ことを含む制御方法。

Images