WO2017208453A1

WO2017208453A1 - 除電装置

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Publication number: WO2017208453A1
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Inventors: 忠睦安田
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Filing date: 2016-06-03
Publication date: 2017-12-07
Anticipated expiration: 2018-12-03

Abstract

　作業エリアを汚染することなく、放電針を清掃することができると共に、放電針の清掃の手間と時間とを削減することができる除電装置を提供する。　複数組の放電針と、放電する為の電圧を１組の前記放電針に印加する電圧回路と、該電圧回路が前記電圧を１組の前記放電針に印加する時間を計時するタイマと、該タイマが所定時間を計時したときに、前記電圧回路が前記電圧を印加する放電針の組を切替える放電針切替部とを備えている。

Description

除電装置

　本発明は、高電圧を放電針に印加して、放電針から放電させ、帯電した物体の静電気を中和除去する除電装置に関するものである。

　製造工場では、製造設備及び製造物等が帯電すると、不具合の原因となるので、除電装置を使用して、製造設備及び製造物等の静電気を中和除去している。除電装置では、放電針に高電圧を印加して放電させ、放電により発生したイオンを含む空気を対象物に吹き付けて、対象物の静電気を中和除去する。

　特許文献１には、放電針の交換を可能とし、メンテナンス性を向上させる除電装置が開示されている。対向電極が設けられた筒状部及びボス部を有する整流ダクトと、筒状部に着脱自在に装着される放電モジュールとを有しており、放電モジュールはボス部に嵌合されるホルダーと、このホルダーに取り付けられ、対向電極に向けて徑方向外方に突出する複数の放電電極とを有している。放電電極の先端に異物等が付着した場合、及び放電電極が劣化した場合には、放電モジュールはボス部から取り外される。

　特許文献２には、複数グループの放電針を設置し、プラスとマイナスのイオンを発生させ除電能力を向上させる除電装置が開示されている。第１の電極針グループに高圧の交番電圧を印加する第１の電源回路と、第２の電極針グループに高圧の交番電圧を印加する第２の電源回路とを備え、第１及び第２の電源回路は互いにその極性が反転した交番電圧を出力する。

特開２００６－１９６３８０号公報特開２０１５－０１５２３４号公報

　上述した除電装置では、使用しているうちに、空気中に浮遊している塵挨が帯電して、放電針に引き寄せられて付着し、除電能力が低下する為、定期的に放電針の清掃を行う必要があり、手間と時間が必要であるという問題がある。
　このような問題に対して、稼働中に自動的にブラシを使用して清掃する除電装置が存在するが、稼働中に清掃した場合、放電針に付着していた塵挨が、ファンの気流によって作業エリアに撒き散らされ汚染してしまう問題がある。

　本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、作業エリアを汚染することなく、放電針を清掃することができると共に、放電針の清掃の手間と時間とを削減することができる除電装置を提供することを目的とする。

　本発明に係る除電装置は、複数組の放電針と、放電する為の電圧を１組の前記放電針に印加する電圧回路と、該電圧回路が前記電圧を１組の前記放電針に印加する時間を計時するタイマと、該タイマが所定時間を計時したときに、前記電圧回路が前記電圧を印加する放電針の組を切替える放電針切替部とを備えることを特徴とする。

　本発明に係る除電装置によれば、作業エリアを汚染することなく、放電針を清掃することができると共に、放電針の清掃の手間と時間とを削減することができる除電装置を実現することができる。

実施例１に係る除電装置の外観構成を示す分解斜視図である。放電針ユニットの外観構成を拡大して示す拡大斜視図である。実施例１に係る除電装置の回路構成の例を示すブロック図である。実施例１に係る除電装置の動作を示すフローチャートである。実施例２に係る除電装置の外観構成を示す分解斜視図である。実施例２に係る除電装置の回路構成の例を示すブロック図である。実施例３に係る除電装置の外観構成を示す斜視図である。実施例３に係る除電装置の回路構成の例を示すブロック図である。実施例４に係る除電装置の外観構成を示す斜視図である。

　以下に、本発明の実施例について図面に基づいて説明する。

　図１は、実施例１に係る除電装置１の外観構成を示す分解斜視図である。図２は、放電針ユニット７の外観構成を拡大して示す拡大斜視図である。

　図１に示すように、除電装置１は、筺体２、ファン６、ファンモータ６ａ、放電針ユニット７、放電針切替用モータ８、歯車機構９、電源回路部４及び制御回路部５を備えている。除電装置１は、方形の筺体２に収納されている。筺体２の正面の上部及び裏面のカバー３の上部には、円形の開口部２ａ及び３ａが設けられている。開口部２ａ，３ａには、それぞれ放射状の金網が嵌められている。筺体２下部には、筺体２の正面を上下方向に回動可能に支持する脚部１７が取付られている。開口部２ａ，３ａの間には、裏面側から正面側への空気の流れを起こすファン６が設けられている。ファン６は、ファンモータ６ａにより駆動される。

　ファン６の正面側には、放電針ユニット７が設けられる。放電針ユニット７の放電により発生したイオンは、ファン６の気流に乗って、開口部２ａから吐き出される。ファン６は、筺体２の正面下部に設けられたファン調整用ボリューム１０により、その回転速度を変更可能であり、ファン６の気流量を調整することができる。放電針ユニット７は、図２の拡大斜視図に示すように、８本のスポークを有する車輪形状の絶縁体であり、スポークの各中間において外周部に支持され中心方向へ向けて突設された８本の放電針を備えている。

　８本の放電針は、交互に配置された放電針７ａ及び７ｂに組分けされており、１組の放電針７ａ又は７ｂは、筺体２側に固定された４つの通電用電極２４を介してそれぞれ高電圧が印加される。放電針７ａ，７ｂは、例えばタングステン又はステンレス等の金属製である。

　本実施例において、放電針ユニット７には、外周部に図示しない歯車（又は部分歯車）が設けられ、放電針切替用モータ８には、回転軸に歯車が固定されている。図１に示す歯車機構９は、放電針ユニット７の外周部の歯車（又は部分歯車）、放電針切替用モータ８の回転軸の歯車、及び両歯車に噛み合う歯車を含む。放電針切替用モータ（放電針切替部）８は、歯車機構（放電針切替部）９を介して放電針ユニット７を４５度回転させることにより、４本の放電針７ａと４つの通電用電極２４との接続を、４本の放電針７ｂと４つの通電用電極２４との接続に切替える。

　開口部２ａの中央部には、放電針ユニット７に連結され、手動で放電針ユニット７を４５度回転させて、放電針７ａ及び通電用電極２４の接続を、放電針７ｂ及び通電用電極２４の接続に切替える為の放電針切替ハンドル１１が設けられている。電源回路部４は、商用交流電圧を高電圧に昇圧する高圧回路１９（図３）と、商用交流電力を降圧して整流する直流電源２２（図３）とを備えている。制御回路部５は、制御部２０（図３）を備えており、操作を受付け、受付けた操作に従って除電装置１の各部を制御する。除電装置１には、安全機構が設けられている。例えば、筺体２のカバー３は、放電針ユニット７が清掃又は交換される際に取り外されるが、安全機構は、カバー３が放電中に取り外されたときに、強制的に放電を停止する。

　筺体２の上面には、電源スイッチ１２、タイマ調整スイッチ１３、アラーム用スピーカ１４、タイマリセットスイッチ１５及びタイマ表示部１６が設けられている。電源スイッチ１２は、除電装置１の電源をオン又はオフにする為のスイッチである。タイマ調整スイッチ１３は、１組の放電針７ａ又は７ｂがその使用開始から切替えまでに稼働する時間（以下、設定稼働時間という）（所定時間）を設定する為のスイッチである。設定稼働時間としては、例えば、１組の放電針７ａ又は７ｂがその使用が開始されてから塵埃に汚染されて放電効率が低下し始めるまでに要すると想定される時間が設定される。

　アラーム用スピーカ（報知部）１４は、タイマ調整スイッチ１３で設定された設定稼働時間の放電針７ａ，７ｂの組数分（ここでは２）稼働したとき、放電針７ａ，７ｂの清掃を促す為の報知を行う。また、アラーム用スピーカ１４は、異常時にも発報する。本実施例における報知は、アラームを鳴動させることにより行うが、これに代えて、例えばＬＥＤランプを点灯させることにより行っても良い。

　タイマ表示部１６は、タイマ調整スイッチ１３を介して設定された設定値（設定稼働時間）、又はカウントアップ／カウントダウンの数値（後述する実稼働時間）を表示する。電源スイッチ１２がオフにされても、カウントアップ／カウントダウンされた実稼働時間は記憶されている。タイマリセットスイッチ１５は、放電針ユニット７が清掃又は交換されたときに、操作により、それ迄に計時されタイマ表示部１６に表示された実稼働時間をリセット（０に）する。

　図３は、実施例１に係る除電装置１の回路構成の例を示すブロック図である。

　除電装置１は、ファンモータ６ａ、放電針切替用モータ８、ファン調整用ボリューム１０、電源スイッチ１２、アラーム用スピーカ１４、（タイマ）表示部１６、高圧回路１９、制御部２０、操作部２１、直流電源２２、駆動回路２３、４つの通電用電極２４、及びスイッチ２５を備えている。尚、ここでは、４つの通電用電極２４にそれぞれ接続される放電針は、図示を省略している。

　操作部２１は、筺体２（図１）の上面に設けられた電源スイッチ１２、タイマ調整スイッチ１３及びタイマリセットスイッチ１５を備えている。操作部２１における操作に基づき、電源スイッチ１２は、商用交流電源１８と高圧回路１９及び直流電源２２との接続をオン又はオフする。電源スイッチ１２は、オフに操作されたときは、遅延時間（例えば１秒間）を経て、商用交流電源１８を高圧回路１９及び直流電源２２から遮断し、また、オンに操作されたときは、遅延なく作動する。高圧回路（電圧回路）１９は、制御部２０から制御されて、商用交流電源１８の電圧を放電針７ａ，７ｂが放電可能な高電圧に昇圧して、４つの通電用電極２４に印加する。

　直流電源２２は、商用交流電源１８の電力を降圧、整流して直流電力に変換し、スイッチ２５及びファン調整用ボリューム１０を通じて変換後の直流電力をファンモータ６ａに与える。スイッチ２５は、操作部２１における操作に応じて、制御部２０がオン又はオフにする。直流電源２２が変換した直流電力は、制御部２０及び駆動回路２３へも与えられる。駆動回路（放電針切替部）２３は、制御部（放電針切替部）２０から制御されて、放電針切替用モータ８を駆動する。

　制御部２０は、マイクロコンピュータ等で構成されており、タイマ２６と、フラッシュメモリ等の不揮発性メモリ２７とを備えている。タイマ２６は、高圧回路１９が１組の放電針７ａ又は７ｂに電圧を印加する時間、すなわち１組の放電針７ａ又は７ｂが実際に稼働した時間（以下、実稼働時間という）を計時する。不揮発性メモリ２７は、除電装置１の電源オフ時におけるタイマ２６の途中計時時間等、制御に必要なデータを記憶する。除電装置１の電源オン時には、タイマ２６は、不揮発性メモリ２７が記憶している途中計時時間から実稼働時間の計時を再開する。制御部２０は、また、上述したアラーム用スピーカ１４の発報、及びタイマ表示部１６の表示を制御し、除電装置１の電源オフ時には、除電対象である外部機器に停止信号を発信する。

　以下に、このような構成の除電装置１の動作を、図４のフローチャートを参照しながら説明する。

　電源スイッチ１２がオンに操作されると（Ｓ１）、高圧回路１９が通電用電極２４を通じて高電圧を４つの放電針７ａに印加し、制御部２０がスイッチ２５をオンにして、ファンモータ６ａを駆動させて、除電ブロア（ファン６及び放電針ユニット７）を起動させる（Ｓ３）。次いで、制御部２０は、タイマ２６に実稼働時間の計時を開始させる（Ｓ５）。

　制御部２０は、次に、タイマ２６が計時した実稼働時間が設定稼働時間に到達したか否かを判定し続ける（Ｓ７）。タイマ２６が計時した実稼働時間が設定稼働時間（所定時間）に到達したときは（Ｓ７：ＹＥＳ）、未使用の放電針が有るか否かを判定する（Ｓ９）。制御部２０は、未使用の放電針が有ると判定したときは（Ｓ９：ＹＥＳ）、タイマ２６をリセット、つまりタイマ２６が計時した実稼働時間を０に設定する（Ｓ１１）。

　ここで、未使用の放電針の有無は、制御部２０が、不揮発性メモリ２７にフラグが立っているか否かで判定する。制御部２０は、後述する放電針を切替えたときに（Ｓ１５）、不揮発性メモリ２７にフラグを立てておき（Ｓ１７）、未使用の放電針の有無を判定するときに（Ｓ９）、フラグが立っていれば、未使用の放電針が無いと判定し、フラグが立っていなければ、未使用の放電針が有ると判定する。不揮発性メモリ２７は、放電針ユニット７が清掃又は交換され、タイマリセットスイッチ１５が操作されて、タイマ表示部１６に表示された実稼働時間がリセット（０に）されたときに、フラグもリセットされる。

　尚、放電針がＮ（≧３）組存在する場合は、制御部２０は、放電針を切替える都度、不揮発性メモリ２７に記憶された変数（初期値は０）に１を加算するようにしておけば良い。すなわち、この変数の値は、放電針の切り替えを行った回数を示している。制御部２０は、未使用の放電針の有無を判定するときに、不揮発性メモリ２７の上記変数の値（放電針の切り替え回数）がＮ－１（放電針の全組数から１を減算した値）となった場合に、未使用の放電針が無くなったと判定する。一方、制御部２０は、不揮発性メモリ２７の上記変数の値がＮ－１よりも小さければ、未使用の放電針が未だ残っていると判定する。不揮発性メモリ２７の上記変数の値は、放電針ユニット７が清掃又は交換され、タイマリセットスイッチ１５が操作されて、タイマ表示部１６に表示された実稼働時間がリセットされたときに、リセット（０に）される。

　制御部２０は、タイマ２６をリセットした後（Ｓ１１）、高圧回路１９及びファンモータ６ａを停止させて、除電ブロアを停止させる（Ｓ１３）。次いで、制御部２０は、駆動回路２３に放電針切替用モータ８を駆動させて、放電針ユニット７を４５度回転させ、通電用電極２４及び４つの放電針７ｂを接続させて、放電針を切替える（Ｓ１５）。制御部２０は、次に、フラグを立てて不揮発性メモリ２７を更新し（Ｓ１７）、高圧回路１９を起動して高電圧を４つの放電針７ｂに印加し、ファンモータ６ａを駆動させて、除電ブロアを起動させる（Ｓ３）。

　制御部２０は、未使用の放電針が無いと判定したときは（Ｓ９：ＮＯ）、アラーム用スピーカ１４を発報させて、放電針ユニット７の清掃又は交換が必要であることを報知させる（Ｓ１９）。制御部２０は、次いで、電源スイッチ１２がオフに操作されると（Ｓ２１：ＹＥＳ）、除電対象である外部機器に停止信号を発信した後（Ｓ２３）、除電装置１の電源をオフにして停止する（Ｓ２５）。このとき、電源スイッチ１２は、オフに操作されると、遅延時間を経て、商用交流電源１８を遮断する。

　除電装置１が停止した場合は（Ｓ２５）、放電針ユニット７が取り付けられた状態で、放電針の塵挨を拭き取る等の清掃が行われるか、新品又は清掃済みの放電針ユニット７と交換される。

　このように、本実施例１の除電装置１は、所定の設定稼働時間（１組の放電針７ａ又は７ｂがその使用が開始されてから塵埃に汚染されて放電効率が低下し始めるまでに要すると想定される時間）が経過した場合に、自動で放電針を切替える。従って、設定稼働時間が経過した場合であっても未使用の放電針が残っていれば、除電装置１は、清掃せずに稼働し続けることができ、除電装置１を清掃なしで連続して稼働できる時間を引き延ばすことができる。よって、放電針７ａ，７ｂが塵埃により汚染されるごと（設定稼働時間が経過するごと）に清掃するといった煩雑な作業を回避でき、放電針７ａ，７ｂの清掃の手間と時間とを削減することができる。また、除電装置１は自動清掃しないので、クリーンルーム（作業エリア）の清浄度を保つことができる。

　図５は、実施例２に係る除電装置１ａの外観構成を示す分解斜視図である。

　除電装置１ａは、図１で示す除電装置１の構成から、放電針切替用モータ８及び歯車機構９を省いた構成であり、放電針ユニット７には歯車は設けられておらず、また、放電針切替ハンドル１１は機能しない。除電装置１ａのその他の構成は、図１で説明した除電装置１の構成と同様であるので、説明を省略する。

　図６は、実施例２に係る除電装置１ａの回路構成の例を示すブロック図である。

　除電装置１ａは、図３で示す除電装置１の回路構成から、放電針切替用モータ８及び駆動回路２３を省き、４つの通電用電極２４に代えて、４つの通電用電極２４ａ及び４つの通電用電極２４ｂを備えている。４つの通電用電極２４ａは、図２に示す放電針ユニット７の４本の放電針７ａにそれぞれ接続し、４つの通電用電極２４ｂは、放電針ユニット７の４本の放電針７ｂにそれぞれ接続している。

　４本の放電針７ａと高圧回路１９との接続、及び４本の放電針７ｂと高圧回路１９との接続の切替えは、制御部２０によってその切替えが制御される切替スイッチ２８により行われる。除電装置１ａのその他の回路構成は、図３で説明した除電装置１の回路構成と同様であるので、説明を省略する。

　このような構成の除電装置１ａの動作は、図４のフローチャートで説明した除電装置１の動作では、放電針を切替える際に（Ｓ１５）、通電用電極２４と放電針７ａ，７ｂとの接続を切替えるのに対して、除電装置１ａでは、電気回路の切替スイッチ２８により接続を切替える点が異なっている。除電装置１ａのその他の動作は、図４のフローチャートで説明した除電装置１の動作と同様であるので、説明を省略する。本実施例２の除電装置１ａでは、構造を単純化でき、放電針切替え時に、除電を停止しないことも可能である。

　図７は、実施例３に係る除電装置１ｂの外観構成を示す斜視図である。

　除電装置１ｂは、バー型除電装置であり、細長い方形の筺体２ｂの上面に、放電針ユニット２９が４つ等間隔に並べて設置されている。放電針ユニット２９は、円筒形状のカバー内で３本の放電針２９ａ，２９ｂ，２９ｃが正三角形の各頂点に配置されている。３本の放電針２９ａ，２９ｂ，２９ｃは、一括して交換することが可能である。

　除電装置１ｂは、筺体２ｂに図示しない圧縮空気の配管が接続されており、圧縮空気を利用して、除電用のイオンを拡散する。筺体２ｂの側面には、実施例１に係る除電装置１と同等の機能を有する電源スイッチ１２、タイマ調整スイッチ１３、アラーム用スピーカ１４、タイマリセットスイッチ１５及びタイマ表示部１６が設けられている。

　図８は、実施例３に係る除電装置１ｂの回路構成の例を示すブロック図である。

　除電装置１ｂは、図３で示す除電装置１の回路構成から、放電針切替用モータ８、駆動回路２３、及び直流電源２２を含むファンモータ６ａ関係の回路を省き、４つの通電用電極２４に代えて、４つの通電用電極２４ｃ、４つの通電用電極２４ｄ、及び４つの通電用電極２４ｅを備えている。４つの通電用電極２４ｃは、放電針ユニット２９の４本の放電針２９ａにそれぞれ接続し、４つの通電用電極２４ｄは、放電針ユニット２９の４本の放電針２９ｂにそれぞれ接続し、４つの通電用電極２４ｅは、放電針ユニット２９の４本の放電針２９ｃにそれぞれ接続している。

　４本の放電針２９ａと高圧回路１９との接続、４本の放電針２９ｂと高圧回路１９との接続，及び４本の放電針２９ｃと高圧回路１９との接続の切替えは、制御部２０によってその切替えが制御される切替スイッチ２８ａにより行われる。各放電針ユニット２９（図７）は、円筒形状のカバーごと抜き差し可能なコネクタに構成されており、差し込まれた状態で、放電針２９ａ，２９ｂ，２９ｃと、筺体２ｂ側の通電用電極２４ｃ，２４ｄ，２４ｅとがそれぞれ接続される。除電装置１ｂのその他の回路構成は、図３で説明した除電装置１の回路構成と同様であるので、説明を省略する。

　このような構成の除電装置１ｂの動作は、図４のフローチャートで説明した除電装置１の動作では、放電針を切替える際に（Ｓ１５）、通電用電極２４と放電針７ａ，７ｂとの接続を切替えるのに対して、除電装置１ｂでは、電気回路の切替スイッチ２８ａにより接続を切替える点が異なっている。また、接続を切替える回数が異なり（実施例１の場合は１回であるが、本実施例では２回）、除電ブロア起動（Ｓ３）及び除電ブロア停止（Ｓ１３）において、ファンモータ６ａが存在しない点が異なっている。

　除電装置１ｂのその他の動作は、図４のフローチャートで説明した除電装置１の動作と同様であるので、説明を省略する。本実施例３の除電装置１ｂでは、放電針ユニットに複数の放電針を設置することにより、使用期限に達した放電針から未使用の放電針に電気回路で切替えることで、除電装置１ｂを停止することなく、放電針を切替えることもでき、放電針の清掃時間を短縮することができる。

　図９は、実施例４に係る除電装置１ｃの外観構成を示す斜視図である。

　除電装置１ｃは、スポット型除電装置であり、蒲鉾形の筺体２ｃの上部に、放電針ユニット２９ｄが設置されている。放電針ユニット２９ｄは、筺体２ｃ上部を形成する円筒内で３本の放電針２９ａ，２９ｂ，２９ｃが正三角形の各頂点に配置されており、空気の流れを絞る漏斗形状のカバー３ｃにより覆われている。３本の放電針２９ａ，２９ｂ，２９ｃは、一括して交換することが可能である。

　除電装置１ｃは、筺体２ｃに図示しない圧縮空気の配管が接続されており、圧縮空気を利用して、除電用のイオンを拡散する。筺体２ｃの側面には、実施例１に係る除電装置１と同等の機能を有する電源スイッチ１２、タイマ調整スイッチ１３、アラーム用スピーカ１４、タイマリセットスイッチ１５及びタイマ表示部１６が設けられている。

　除電装置１ｃは、図８で示す除電装置１ｂの回路構成において、通電用電極２４ｃ，２４ｄ，２４ｅをそれぞれ１つずつ備えている。通電用電極２４ｃは、放電針ユニット２９ｄの放電針２９ａに接続し、通電用電極２４ｄは、放電針ユニット２９ｄの放電針２９ｂに接続し、通電用電極２４ｅは、放電針ユニット２９ｄの放電針２９ｃに接続している。

　放電針２９ａと高圧回路１９との接続、放電針２９ｂと高圧回路１９との接続，及び放電針２９ｃと高圧回路１９との接続の切替えは、制御部２０によってその切替えが制御される切替スイッチ２８ａにより行われる。放電針ユニット２９ｄ（図９）は、放電針２９ａ，２９ｂ，２９ｃを固定する円板ごと、筺体２ｃの背面側から差込まれ、円筒内に固定される。

　例えば、円板の外周部に放電針２９ａ，２９ｂ，２９ｃの各電極を個別に露出させておき、円筒の内周部に通電用電極２４ｃ，２４ｄ，２４ｅを個別に露出させておけば、円板が円筒内に固定された状態で、各放電針と各通電用電極とを接続することが可能である。その他、円板が円筒内に固定された状態で、コネクタにより各放電針と各通電用電極とを接続することも可能である。除電装置１ｃのその他の回路構成は、図８で説明した除電装置１ｂの回路構成と同様であるので、説明を省略する。

　このような構成の除電装置１ｃの動作は、図４のフローチャートで説明した除電装置１の動作では、放電針を切替える際に（Ｓ１５）、通電用電極２４と放電針７ａ，７ｂとの接続を切替えるのに対して、除電装置１ｃでは、電気回路の切替スイッチ２８ａにより接続を切替える点が異なっている。また、接続を切替える回数が異なり（実施例１の場合は１回であるが、本実施例では２回）、除電ブロア起動（Ｓ３）及び除電ブロア停止（Ｓ１３）において、ファンモータ６ａが存在しない点が異なっている。

　除電装置１ｃのその他の動作は、図４のフローチャートで説明した除電装置１の動作と同様であるので、説明を省略する。本実施例４の除電装置１ｃでは、放電針ユニットに複数の放電針を設置することにより、使用期限に達した放電針から未使用の放電針に電気回路で切替えることで、除電装置１ｃを停止することなく、放電針を切替えることもでき、放電針の清掃時間を短縮することができる。

　以上、本発明の幾つかの実施例について説明した。このように、実施例に係る除電装置は、複数組の放電針７と、放電する為の電圧を１組の前記放電針７に印加する電圧回路１９と、該電圧回路１９が前記電圧を１組の前記放電針７に印加する時間を計時するタイマ２６と、該タイマ２６が所定時間を計時したときに、前記電圧回路１９が前記電圧を印加する放電針７の組を切替える放電針切替部８，９，２０，２３（又は２０，２８又は２０，２８ａ）とを備える。

　上記構成によれば、除電装置は、所定時間（例えば、１組の放電針がその使用が開始されてから塵埃に汚染されて放電効率が低下し始めるまでに要すると想定される時間）が経過した場合に、自動で放電針を切替える。従って、所定時間が経過した場合であっても未使用の放電針が残っていれば、除電装置は、清掃せずに稼働し続けることができ、除電装置を清掃なしで連続して稼働できる時間を引き延ばすことができる。よって、放電針が塵埃により汚染されるごと（所定時間が経過するごと）に清掃するといった煩雑な作業を回避でき、放電針の清掃の手間と時間とを削減することができる。また、除電装置は自動清掃しないので、クリーンルーム（作業エリア）の清浄度を保つことができる。

　上記実施例に係る除電装置において、前記タイマ２６が、前記複数組分の前記所定時間を計時したときに、放電針の清掃を促す為の報知を行う報知部１４を更に備えてもよい。

　上記実施例に係る除電装置において、前記複数組の放電針７は、一括して着脱可能に設けられていてもよい。

　本実施例１～４は、全ての点で例示であって制限的なものではないと考えるべきである。本発明の範囲は上述の説明ではなく請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。

　１，１ａ，１ｂ，１ｃ　除電装置
　２，２ｂ，２ｃ　筺体
　３，３ｃ　カバー
　４　電源回路部
　５　制御回路部
　６　ファン
　６ａ　ファンモータ
　７，２９，２９ｄ　放電針ユニット
　７ａ，７ｂ，２９ａ，２９ｂ，２９ｃ　放電針
　８　放電針切替用モータ（放電針切替部）
　９　歯車機構（放電針切替部）
　１１　放電針切替ハンドル
　１４　アラーム用スピーカ（報知部）
　１９　高圧回路（電圧回路）
　２０　制御部（放電針切替部）
　２１　操作部
　２３　駆動回路（放電針切替部）
　２４，２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄ，２４ｅ　通電用電極
　２６　タイマ
　２８，２８ａ　切替スイッチ（放電針切替部）

Claims

　複数組の放電針と、
　放電する為の電圧を１組の前記放電針に印加する電圧回路と、
　該電圧回路が前記電圧を１組の前記放電針に印加する時間を計時するタイマと、
　該タイマが所定時間を計時したときに、前記電圧回路が前記電圧を印加する放電針の組を切替える放電針切替部と
　を備えることを特徴とする除電装置。
　前記タイマが、前記複数組分の前記所定時間を計時したときに、放電針の清掃を促す為の報知を行う報知部を更に備える請求項１に記載の除電装置。
　前記複数組の放電針は、一括して着脱可能に設けられている請求項１又は２に記載の除電装置。