WO2017187803A1 - 処理装置 - Google Patents

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WO2017187803A1
WO2017187803A1 PCT/JP2017/009138 JP2017009138W WO2017187803A1 WO 2017187803 A1 WO2017187803 A1 WO 2017187803A1 JP 2017009138 W JP2017009138 W JP 2017009138W WO 2017187803 A1 WO2017187803 A1 WO 2017187803A1
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mounting table
mounting
replacement position
housing
disposed
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PCT/JP2017/009138
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English (en)
French (fr)
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賢俊 赤羽
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Nidec Instruments Corp
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Nidec Sankyo Corp
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells

Definitions

  • the present invention relates to a processing apparatus for processing a predetermined processing object.
  • an inspection apparatus for inspecting a liquid crystal panel is known (for example, see Patent Document 1).
  • the inspection apparatus described in Patent Document 1 is incorporated in the middle of a liquid crystal panel manufacturing process.
  • the inspection apparatus includes a prober that performs a lighting inspection of the liquid crystal panel, a carry-in conveyor that conveys the liquid crystal panel before the inspection toward the prober, a carry-in mechanism that carries the liquid crystal panel carried by the carry-in conveyor into the prober, A carry-out mechanism for carrying out the liquid crystal panel after inspection from the prober and a carry-out conveyor for carrying the liquid crystal panel carried out by the carry-out mechanism are provided.
  • the prober includes a work table on which the liquid crystal panel is placed, a backlight that irradiates the liquid crystal panel with light from the back surface of the liquid crystal panel, and a screen on which an image of the surface of the liquid crystal panel is projected. And an optical system disposed between the work table and the screen, and these configurations are disposed in the housing.
  • the housing is provided with a shutter that opens and closes when the liquid crystal panel is carried in by the carry-in mechanism, and a shutter that opens and closes when the liquid crystal panel is carried out by the carry-out mechanism.
  • the inspection apparatus described in Patent Document 1 when the shutter is closed, the inside of the housing becomes a sealed space and becomes a dark room where light from the outside is blocked.
  • the liquid crystal panel lighting inspection is performed in a case where the shutter is closed (that is, performed inside the case in a dark room).
  • the shutter is opened.
  • the liquid crystal panel after the inspection is carried out from the work table, and the liquid crystal panel before the inspection is carried into the work table.
  • the shutter is closed, and the next liquid crystal panel lighting inspection is performed inside the casing that has become a dark room. That is, in the inspection apparatus described in Patent Document 1, the lighting inspection of the liquid crystal panel and the replacement of the liquid crystal panel with respect to the work table are alternately performed.
  • the time required for the inspection process for performing the lighting inspection inside the casing that is a dark room is shorter Is preferred. That is, in this production system, it is preferable that the time required for the inspection process for performing the lighting inspection in the sealed space is short.
  • the inspection apparatus described in Patent Document 1 since the lighting inspection of the liquid crystal panel and the replacement of the liquid crystal panel with respect to the work table are alternately performed, the time required for the inspection process for performing the lighting inspection in the sealed space is required. become longer.
  • an object of the present invention is to reduce the time required for a processing step for processing a processing object in the sealed space even when a predetermined processing is performed on the processing object in the sealed space.
  • An object of the present invention is to provide a processing apparatus capable of performing the above.
  • a processing apparatus includes a plurality of mounting tables on which a processing object is mounted, a rotary table on which the plurality of mounting tables are mounted so as to be movable up and down, and an axis of rotation in the vertical direction.
  • a rotating drive mechanism that rotates the rotating table as a direction
  • a lifting mechanism that raises the mounting table with respect to the rotating table
  • a housing that houses the mounting table, the rotating table, the rotating drive mechanism, and the lifting mechanism.
  • Some of the mounting tables are arranged at a processing position where the processing object is processed, and some of the plurality of mounting tables are configured to carry out the processing object from the mounting table and
  • the rotating table is arranged at a replacement position where at least one of supply of the processing object to the mounting table is performed, the rotating table moves the mounting table between the processing position and the replacement position, and the casing is at the replacement position.
  • the ascending mechanism is disposed below the placing table disposed at the replacement position, and the placing table disposed at the replacement position is provided by the lifting mechanism. When lifted, the opening is closed from the inside of the housing and the inside of the housing becomes a sealed space, and the processing object is placed inside the opening and exposed outside the housing.
  • some of the plurality of mounting tables are arranged at a processing position where the processing object is processed, and some of the plurality of mounting tables are mounted. It is arrange
  • the opening through which the object to be processed can pass is formed in the housing, and when the mounting table placed at the replacement position is lifted by the lifting mechanism, the opening is blocked from the inside of the housing. As a result, the interior of the housing becomes a sealed space, and the object to be processed is disposed in the opening and exposed to the outside of the housing.
  • the processing object placed on the mounting table placed at the processing position is processed in the sealed space while the casing is placed on the mounting table placed at the replacement position. It becomes possible to replace the processing object exposed to the outside. That is, in the present invention, it is possible to perform the processing of the processing object in the sealed space and the replacement of the processing object with respect to the mounting table together. Therefore, in the present invention, even when a process target is processed in a sealed space, it is possible to reduce the time required for the processing step for processing the process target in the sealed space. .
  • the processing object is an inspection object to be inspected for lighting
  • some of the plurality of mounting tables are inspection positions as processing positions at which the lighting inspection of the inspection object is performed.
  • Some of the plurality of mounting tables are disposed at the replacement position, and the rotary table moves the mounting table between the inspection position and the replacement position, and is disposed at the replacement position.
  • the mounting table is lifted by the lifting mechanism, the opening is closed and the inside of the housing becomes a dark room.
  • the inspection object placed on the placement table placed at the inspection position is exposed to the outside of the casing with respect to the placement table placed at the replacement position while being inspected for lighting in the dark room. It becomes possible to replace the inspection object.
  • the processing object is an irradiation object to be irradiated with ultraviolet rays
  • some of the plurality of mounting tables are irradiated as processing positions at which the irradiation object is irradiated with ultraviolet rays. It is arrange
  • the processing object is carried out from the mounting table and supplied to the mounting table at the replacement position. If comprised in this way, compared with the case where the exchange position where supply of the processing object to a mounting base is performed, and the replacement position where unloading of the processing object from a mounting base are separated, processing It becomes possible to simplify the configuration of the apparatus.
  • an annular convex portion that protrudes downward is formed at the edge of the opening, and an annular seal member that contacts the upper surface of the mounting table is attached to the lower end surface of the convex portion. It is preferable. If comprised in this way, when the mounting base arrange
  • a through hole penetrating in the vertical direction is formed in the mounting table, and a closing member that closes the through hole is attached to the lifting mechanism, and the mounting table disposed at the replacement position is lifted by the lifting mechanism. Then, the through hole is closed by the closing member, and the opening is closed by the mounting table and the closing member.
  • the inside of the housing can be made a sealed space.
  • the opening when the mounting table arranged at the replacement position is lifted by the lifting mechanism, the opening may be blocked by the mounting table.
  • the processing apparatus of the present invention includes a plurality of mounting tables on which a through hole penetrating in the vertical direction is formed and a processing object is mounted, and a plurality of mounting tables.
  • a rotary table that rotates the rotary table with the vertical direction as the axis direction of rotation, a closing member that closes the through hole from the lower side of the mounting table, a closing member lifting mechanism that lifts and lowers the closing member, and a mounting table
  • Some of the mounting tables are arranged at a processing position where the processing object is processed, and some of the plurality of mounting tables are configured to carry out the processing object from the mounting table and Processing to the mounting table Arranged at a replacement position where at least one of the supply of the object is performed, the rotary table moves the mounting table between the processing position and the replacement position, and the elevating member has an opening through which the conveyance object can pass Is formed on the inner peripheral side and is disposed on the upper side of the mounting table disposed at the replacement position, and the closing member is disposed on the lower side of the mounting table disposed at the replacement position.
  • the opening is closed from the inside of the housing. Is a sealed space, and the processing object is disposed in the opening and exposed to the outside of the housing.
  • some of the plurality of mounting tables are arranged at a processing position where the processing object is processed, and some of the plurality of mounting tables are mounted. It is arrange
  • the opening part which a process target can pass is formed in the raising / lowering member, and the raising / lowering member descend
  • the opening is closed from the inside of the housing and the inside of the housing is sealed, and the object to be processed is placed in the opening. Exposed outside.
  • the processing object placed on the mounting table placed at the processing position is processed in the sealed space while the casing is placed on the mounting table placed at the replacement position. It becomes possible to replace the processing object exposed to the outside. That is, in the present invention, it is possible to perform the processing of the processing object in the sealed space and the replacement of the processing object with respect to the mounting table together. Therefore, in the present invention, even when a process target is processed in a sealed space, it is possible to reduce the time required for the processing step for processing the process target in the sealed space. .
  • the processing object is an inspection object to be inspected for lighting
  • some of the plurality of mounting tables are inspection positions as processing positions at which the lighting inspection of the inspection object is performed.
  • Some of the plurality of mounting tables are arranged at the replacement position, and the rotary table moves the mounting table between the inspection position and the replacement position, and the closing member moves up to be replaced.
  • the through hole of the mounting table placed at the position is closed and the elevating member descends and comes into contact with the mounting table placed at the replacement position, the opening is closed and the inside of the housing becomes a dark room.
  • the inspection object placed on the placement table placed at the inspection position is exposed to the outside of the casing with respect to the placement table placed at the replacement position while being inspected for lighting in the dark room.
  • the housing has a housing-side through hole in which the lower end portion of the elevating member is disposed, and the elevating member is attached to the lower end surface of the elevating member and contacts the upper surface of the mounting table It is preferable that an annular second seal member that contacts the upper end portion of the lowered elevating member is attached to the edge of the housing-side through hole.
  • the processing apparatus of the present invention includes a plurality of mounting tables on which processing objects are mounted, a rotary table on which the plurality of mounting tables are mounted, and an axial direction in which the vertical direction is rotated.
  • a rotary drive mechanism that rotates the rotary table, a housing in which the mounting table, the rotary table, and the rotary drive mechanism are accommodated, a lift member that is held up and down by the housing, and a lift member lift mechanism that lifts and lowers the lift member
  • the at least one of carrying out the object and supplying the processing object to the mounting table is disposed at a replacement position, the rotary table moves the mounting table between the processing position and the replacement position, and the lifting member is , Transport object
  • the elevating member descends and comes into contact with the mounting table disposed at the replacement position
  • the opening is closed from the inside of the housing to form a sealed space, and the object to be processed is disposed in the opening and exposed to the outside of the housing.
  • some of the plurality of mounting tables are arranged at a processing position where the processing object is processed, and some of the plurality of mounting tables are mounted. It is arrange
  • maintained at the housing so that raising / lowering is possible is arrange
  • an opening through which the object to be processed can pass is formed in the elevating member, and when the elevating member descends and comes into contact with the mounting table placed at the replacement position, the opening is closed from the inside of the housing. As a result, the inside of the housing is sealed and the processing object is placed in the opening and exposed to the outside of the housing.
  • the processing object placed on the mounting table placed at the processing position is processed in the sealed space while the casing is placed on the mounting table placed at the replacement position. It becomes possible to replace the processing object exposed to the outside. That is, in the present invention, it is possible to perform the processing of the processing object in the sealed space and the replacement of the processing object with respect to the mounting table together. Therefore, in the present invention, even when a process target is processed in a sealed space, it is possible to reduce the time required for the processing step for processing the process target in the sealed space. .
  • the processing apparatus of the present invention even when a predetermined process is performed on a processing target in a sealed space, the time required for the processing step for processing the processing target in the sealed space. Can be shortened.
  • FIG. 1 is a plan view of a part of a production system in which a processing apparatus according to a first embodiment of the present invention is incorporated.
  • 2 is a cross-sectional view taken along the line EE of FIG. It is an enlarged plan view of the mounting table and the rotary table shown in FIG. It is an enlarged view of the F section of FIG. It is an enlarged view of the G section of FIG.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view taken along the line HH in FIG. 3.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view of a portion of the JJ cross section of FIG. It is a partial expanded sectional view of the processing apparatus concerning Embodiment 2 of this invention. It is an enlarged view of the K section of FIG.
  • FIG. 1 is a plan view of a part of a production system in which a processing apparatus 1 according to a first embodiment of the present invention is incorporated.
  • 2 is a cross-sectional view taken along the line EE of FIG.
  • the processing apparatus 1 of this embodiment is an inspection apparatus for inspecting an inspection object 2 that is a processing object.
  • the inspection object 2 of the present embodiment is a liquid crystal panel
  • the processing device 1 is an inspection device for inspecting the liquid crystal panel for lighting. Therefore, hereinafter, the processing apparatus 1 of this embodiment is referred to as “inspection apparatus 1”, and the inspection object 2 is referred to as “liquid crystal panel 2”.
  • the liquid crystal panel 2 is formed in a rectangular flat plate shape.
  • the liquid crystal panel 2 is a small liquid crystal panel used for, for example, a portable terminal.
  • the liquid crystal panel 2 of this embodiment is a glass substrate on which a glass substrate or a polarizing plate is attached, and a backlight is not attached to the liquid crystal panel 2.
  • the inspection device 1 is used by being incorporated in the production system of the liquid crystal panel 2.
  • This production system includes a plurality of inspection apparatuses 1.
  • two inspection apparatuses 1 are arranged with two conveyors 3 and two conveyors 4 formed in a straight line in between.
  • the conveyors 3 and 4 are belt conveyors, for example.
  • the inspection apparatus 1 is provided with a robot 5 that conveys the liquid crystal panel 2 between a mounting table 8 (described later) that constitutes the inspection apparatus 1 and the conveyors 3 and 4.
  • the robot 5 sucks the liquid crystal panel 2 before inspection at the tip of the hand and conveys it from the conveyor 3 to the mounting table 8, and sucks the liquid crystal panel 2 after inspection at the tip of the hand and conveys it from the mounting table 8 to the conveyor. Transport to 4.
  • the liquid crystal panel 2 before the inspection may be conveyed by the conveyor 4, and the liquid crystal panel 2 after the inspection may be conveyed by the conveyor 3.
  • the inspection apparatus 1 includes a plurality of mounting tables 8 on which the liquid crystal panel 2 is mounted, a rotary table 9 on which the plurality of mounting tables 8 are mounted so as to be movable up and down, a rotation drive mechanism 10 that rotates the rotary table 9, and a rotation.
  • An air cylinder 11 as a raising mechanism that raises the mounting table 8 with respect to the table 9, a backlight 12 that emits light from the back surface of the liquid crystal panel 2, a mounting table 8, a rotary table 9, a rotary drive mechanism 10, an air And a casing 13 in which the cylinder 11 and the backlight 12 are accommodated.
  • the inspection apparatus 1 according to this embodiment includes four mounting tables 8. As shown in FIG. 2, the inspection apparatus 1 is installed on a gantry 14.
  • the conveyance direction of the liquid crystal panel 2 by the conveyors 3 and 4 (X direction in FIG. 1 and the like) is referred to as “left and right direction”, and the direction perpendicular to the vertical direction and the left and right direction (Y direction in FIG. 1 and the like). Let it be the “front-rear direction”.
  • the front-rear direction is a direction in which the two inspection devices 1 are arranged to face each other with the conveyors 3 and 4 sandwiched therebetween.
  • the side where the conveyors 3 and 4 are arranged (Y1 direction side in FIG. 2 and the like) is referred to as the “front” side, and the opposite side (Y2 direction in FIG. 2 and the like). Side) is the “rear (back)” side.
  • FIG. 3 is an enlarged plan view of the mounting table 8 and the rotary table 9 shown in FIG.
  • FIG. 4 is an enlarged view of a portion F in FIG.
  • FIG. 5 is an enlarged view of a portion G in FIG.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view taken along the line HH of FIG.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view of a portion of the JJ cross section of FIG.
  • the turntable 9 is formed in a substantially rectangular flat plate shape.
  • the turntable 9 is arranged so that the thickness direction of the turntable 9 matches the vertical direction.
  • a rotation drive mechanism 10 is connected to the center of the rotary table 9.
  • the rotation drive mechanism 10 is disposed below the rotary table 9.
  • the rotation drive mechanism 10 includes a motor 17 and rotates the turntable 9 with the vertical direction as the axis direction of rotation.
  • the motor 17 is connected to the rotary table 9 via a speed reducer 18, for example.
  • a central portion of the rotary table 9 is fixed to the output shaft of the speed reducer 18 via a fixed plate 19 disposed on the upper side of the rotary table 9.
  • the central portion of the rotary table 9 may be directly fixed to the output shaft of the motor 17.
  • the motor 17 is, for example, a servo motor.
  • Rotational drive mechanism 10 rotates rotary table 9 by 180 °. Specifically, the rotary table 9 is stopped in a state where the long side direction and the front-rear direction of the rotary table 9 formed in a substantially rectangular shape coincide with each other, and the rotary drive mechanism 10 rotates in this state. The table 9 is rotated 180 ° in one direction and stopped. Further, the rotary drive mechanism 10 stops the rotary table 9 that has been stopped by rotating 180 ° in one direction by rotating 180 ° in the opposite direction. For example, the rotary drive mechanism 10 stops the rotary table 9 in the state shown in FIG. 3 by rotating it 180 degrees clockwise (clockwise) and rotating it 180 degrees clockwise. 9 is turned 180 ° counterclockwise and stopped.
  • the rotary table 9 has four through holes 9a penetrating in the vertical direction.
  • the through hole 9a is formed in a substantially rectangular shape.
  • the through hole 9 a is larger than the outer shape of the liquid crystal panel 2.
  • the through hole 9a is formed so that the long side direction of the turntable 9 formed in a substantially rectangular shape matches the long side direction of the through hole 9a formed in a substantially rectangular shape. Yes.
  • two through holes 9a are formed on each of both end sides of the turntable 9 in the long side direction.
  • Two through-holes 9 a formed on both ends of the turntable 9 in the long side direction are arranged adjacent to each other in the short side direction of the turntable 9. That is, the four through holes 9a are arranged along the rotation direction of the turntable 9 when viewed from the up and down direction.
  • a pair of through holes 9 a are formed at a 180 ° pitch with respect to the center of the turntable 9 (that is, the rotation center of the turntable 9). The distances between the centers of the four through holes 9a and the center of the turntable 9 are equal to each other.
  • the mounting table 8 is formed in a substantially rectangular flat plate shape.
  • the mounting table 8 is arranged so that the thickness direction of the mounting table 8 matches the vertical direction.
  • the outer shape of the mounting table 8 is larger than the through hole 9a.
  • a through hole 8 a that penetrates in the vertical direction is formed at the center of the mounting table 8.
  • the through hole 8a is formed in a substantially rectangular shape.
  • the through hole 8a is formed so that the long side direction of the mounting table 8 formed in a substantially rectangular shape matches the long side direction of the through hole 8a formed in a substantially rectangular shape.
  • the through hole 8 a is slightly smaller than the outer shape of the liquid crystal panel 2.
  • a plurality of suction holes are formed for sucking and holding the liquid crystal panel 2 mounted on the mounting table 8.
  • An air suction hole connected to the suction hole is formed inside the mounting table 8, and one end of a pipe 21 is connected to the suction hole via a joint 20 (see FIG. 3). The other end of the pipe 21 is connected to an air suction mechanism such as a vacuum pump.
  • the mounting table 8 is mounted on the rotary table 9 so that the center of the through hole 9a of the rotary table 9 and the center of the through hole 8a coincide with each other when viewed from above and below.
  • the rotary table 9 is disposed along the rotational direction.
  • a pair of mounting tables 8 are arranged at a 180 ° pitch with respect to the center of the rotary table 9 (that is, the rotation center of the rotary table 9).
  • the distances between the centers of the four mounting tables 8 (centers of the through holes 8a) and the centers of the rotary table 9 (rotation center of the rotary table 9) are equal to each other.
  • Guide pins 22 protruding downward are fixed to two corners on one diagonal line of the mounting table 8 formed in a substantially rectangular shape.
  • a lower end portion of the guide pin 22 is inserted into a guide bush 23 that is fixed to the rotary table 9.
  • the upper end portion of the guide bush 23 is inserted and fixed in a fixing hole formed in the rotary table 9, and the lower end portion of the guide bush 23 protrudes downward from the rotary table 9.
  • the guide pin 22 and the guide bush 23 constitute a guide mechanism 24 that guides the mounting table 8 in the vertical direction with respect to the rotary table 9, and the mounting table 8 moves up and down with respect to the rotary table 9. It is possible.
  • a spring holding pin 25 is fixed to the mounting table 8 so as to be adjacent to the guide pin 22 (see FIG. 6).
  • the spring holding pin 25 protrudes downward from the mounting table 8.
  • a flange portion 25 a is formed at the lower end of the spring holding pin 25.
  • the lower end of the compression coil spring 26 is in contact with the upper surface of the flange portion 25a.
  • the upper end portion of the compression coil spring 26 is disposed in a recess formed on the lower surface of the turntable 9.
  • the mounting table 8 is urged downward by the urging force of the compression coil spring 26.
  • the spring holding pin 25 and the compression coil spring 26 constitute a biasing mechanism 27 that biases the mounting table 8 downward.
  • the turntable 9 is stopped in a state where the long side direction of the turntable 9 and the front-rear direction coincide with each other.
  • two of the four mounting tables 8 are arranged at the inspection position 8A as a processing position where the lighting inspection of the liquid crystal panel 2 is performed, and the remaining ones.
  • the two mounting tables 8 are arranged at a replacement position 8B where the liquid crystal panel 2 is unloaded from the mounting table 8 and the liquid crystal panel 2 is supplied to the mounting table 8.
  • the position of the mounting table 8 when it is arranged behind the rotational drive mechanism 10 is the inspection position 8A, and the position of the mounting table 8 when it is arranged ahead of the rotational drive mechanism 10. Is the replacement position 8B.
  • the mounting table 8 rotates around the center of the turntable 9 and moves between the inspection position 8A and the replacement position 8B. That is, when the turntable 9 rotates, the two mounting tables 8 arranged at the inspection position 8A among the four mounting tables 8 move to the replacement position 8B, and the remaining two arranged at the replacement position 8B. The individual mounting tables 8 move to the inspection position 8A.
  • the piping 21 is routed so as not to hinder the rotation of the mounting table 8.
  • the air cylinder 11 is disposed below each of the two mounting tables 8 disposed at the replacement position 8B. That is, as shown in FIG. 7, the inspection device 1 includes two air cylinders 11. The two air cylinders 11 are fixed to the housing 13 via a fixing bracket 29. The air cylinder 11 is arranged so that the rod of the air cylinder 11 protrudes upward. A blocking member 30 that closes the through hole 8 a of the mounting table 8 is attached to the tip (upper end) of the rod of the air cylinder 11 via a predetermined attachment member 31.
  • the closing member 30 is formed in a substantially rectangular flat plate shape.
  • the closing member 30 is arranged so that the thickness direction of the closing member 30 matches the vertical direction, and the long side direction of the closing member 30 formed in a substantially rectangular shape matches the front-rear direction. It is attached to the tip of the rod of the cylinder 11.
  • a substantially quadrangular annular projecting portion 30 a that projects upward is formed on the outer peripheral end of the closing member 30.
  • the protruding portion 30 a is formed so as to slightly protrude from the upper surface of the closing member 30 to the upper side.
  • the outer shape of the closing member 30 is larger than the through hole 8a. Further, the outer shape of the closing member 30 is smaller than the through hole 9 a of the turntable 9. When viewed from the top-bottom direction, the center of the through hole 8a of the mounting table 8 arranged at the replacement position 8B and the center of the closing member 30 coincide. As shown in FIG. 5, a truncated cone-shaped recess 30 b is formed on the lower surface of the central portion of the closing member 30 so that the inner diameter gradually decreases toward the upper side. Further, on the upper surface side of the central portion of the mounting member 31, a convex curved portion 31a having an outer diameter gradually decreasing toward the upper side is formed, and the convex portion 31a is in contact with the concave portion 30b. . Therefore, it is possible to adjust the inclination of the closing member 30 with respect to the rod of the air cylinder 11 using the concave portion 30b and the convex portion 31a.
  • the backlight 12 is disposed below the mounting table 8 disposed at the inspection position 8A. Specifically, the backlight 12 is disposed below the through holes 8a and 9a. On the upper side of the mounting table 8 arranged at the inspection position 8A, various devices for lighting inspection such as a plurality of cameras are arranged.
  • the housing 13 is formed in a hollow box shape.
  • the height of the rear portion of the housing 13 is higher than the height of the front portion of the housing 13.
  • the housing 13 includes a bottom surface portion 13 a that forms the bottom surface of the housing 13, two side surface portions 13 b that form the left and right side surfaces of the housing 13, and a first top surface that forms the top surface of the front portion of the housing 13.
  • Part 13c, second upper surface part 13d constituting the upper surface of the rear side part of housing 13, rear surface part 13e constituting the rear surface of housing 13, front end side of bottom surface part 13a and front end of first upper surface part 13c
  • a first front surface portion 13g that connects the rear end of the first upper surface portion 13c and the front end of the second upper surface portion 13d.
  • the first upper surface portion 13c and the second upper surface portion 13d are formed in a flat plate shape orthogonal to the vertical direction.
  • the first upper surface portion 13c is disposed below the second upper surface portion 13d. Further, the first upper surface portion 13 c is disposed slightly above the mounting table 8 mounted on the rotary table 9.
  • the mounting table 8 at the replacement position 8B is disposed below the first upper surface portion 13c.
  • the mounting table 8 at the inspection position 8A is disposed below the second upper surface portion 13d, and various lighting inspection devices such as the backlight 12 and the camera are disposed below the second upper surface portion 13d.
  • Equipment is arranged. That is, the portion of the housing 13 where the second upper surface portion 13d is disposed is an inspection portion where a lighting inspection is performed, and the portion where the first upper surface portion 13c is disposed is replaced with the liquid crystal panel 2. It is a replacement department.
  • a through hole 13h penetrating in the vertical direction is formed in the first upper surface portion 13c.
  • the through hole 13h is formed in a substantially rectangular shape.
  • the through hole 13h is formed so that the long side direction of the through hole 13h formed in a substantially rectangular shape matches the front-rear direction.
  • the through hole 13h is formed on the upper side of each of the two mounting tables 8 arranged at the replacement position 8B. That is, two through holes 13h are formed in the first upper surface portion 13c.
  • the through hole 13 h is smaller than the outer shape of the mounting table 8. Further, the through hole 13 h is larger than the through hole 8 a of the mounting table 8.
  • the housing 13 includes two guide members 34 formed in a substantially rectangular tube shape with a flat hook.
  • the guide member 34 includes a substantially square tubular portion 34a and a flange portion 34b connected to the upper end of the tubular portion 34a.
  • the guide member 34 is fixed to the first upper surface portion 13c in a state where the tube portion 34a is inserted into the through hole 13h and the lower surface of the flange portion 34b is in contact with the upper surface of the first upper surface portion 13c. That is, the guide member 34 is fixed to the first upper surface portion 13c so as to border the through hole 13h.
  • the inner peripheral side of the guide member 34 is a substantially rectangular opening 34c.
  • the guide member 34 is arranged so that the long side direction of the opening 34c formed in a substantially rectangular shape coincides with the front-rear direction.
  • the opening 34 c is larger than the through hole 8 a of the mounting table 8. Further, the opening 34c is larger than the outer shape of the liquid crystal panel 2, and the liquid crystal panel 2 can pass through the opening 34c in the vertical direction.
  • the opening part 34c is arrange
  • the guide member 34 has a function of guiding the liquid crystal panel 2 to the mounting table 8.
  • the lower end portion of the cylindrical portion 34a is a quadrangular annular convex portion 34d that projects downward from the lower surface of the first upper surface portion 13c (see FIG. 5). That is, a convex portion 34d that protrudes downward is formed at the edge of the opening 34c. A concave portion formed in a substantially square ring shape is formed on the lower end surface of the convex portion 34d.
  • An annular seal member 35 that comes into contact with the upper surface of the mounting table 8 lifted by the air cylinder 11 is attached to the recess (see FIG. 5).
  • the seal member 35 is an O-ring.
  • the protrusion 30a of the closing member 30 and the seal member 35 overlap each other when viewed from the up-down direction.
  • the air cylinder 11 is raised and the mounting table 8 disposed at the replacement position 8 ⁇ / b> B is lifted.
  • the protrusion 30 a of the closing member 30 that has passed through the through hole 9 a contacts the lower surface of the mounting table 8 to lift the mounting table 8, and the upper surface of the mounting table 8 is a sealing member.
  • the protruding portion 30 a lifts the mounting table 8 until it comes into contact with 35.
  • the closing member 30 closes the through hole 8a of the mounting table 8, and the mounting table 8 and the closing member 30 close the opening 34c.
  • the inside of the housing 13 becomes a sealed space, and the inside of the housing 13 Becomes a darkroom. That is, when the mounting table 8 arranged at the replacement position 8B is lifted by the air cylinder 11, the opening 34c is closed from the inside of the housing 13, and the inside of the housing 13 becomes a sealed space. Further, when the mounting table 8 disposed at the replacement position 8B is lifted by the air cylinder 11, the opening 34c is closed from the inside of the housing 13, and the inside of the housing 13 becomes a dark room.
  • the lighting test of the liquid crystal panel 2 is performed in a state where the inside of the housing 13 is a dark room. At this time, the backlight 12 irradiates light through the through holes 8a and 9a to the liquid crystal panel 2 mounted on the mounting table 8 disposed at the inspection position 8A.
  • the liquid crystal panel 2 mounted on the mounting table 8 disposed at the replacement position 8B is disposed in the opening 34c. It is exposed outside the housing 13.
  • the robot 5 is the liquid crystal panel 2 after the lighting inspection disposed in the opening 34c (the placement table disposed at the replacement position 8B).
  • the liquid crystal panel 2) placed on 8 is adsorbed and placed on the carry-out conveyor 4. Further, the robot 5 sucks and conveys the liquid crystal panel 2 before the inspection on the conveyor 3, and places it on the mounting table 8 after the liquid crystal panel 2 after the lighting inspection is carried out.
  • the air cylinder 11 When the lighting inspection of the liquid crystal panel 2 is completed inside the housing 13 and the replacement of the liquid crystal panel 2 with respect to the mounting table 8 disposed at the replacement position 8B is completed, the air cylinder 11 is lowered. When the air cylinder 11 is lowered, the mounting table 8 disposed at the replacement position 8B is lowered by the urging force of the compression coil spring 26. When the mounting table 8 disposed at the replacement position 8B is lowered, the motor 17 is activated, the rotary table 9 rotates, and the mounting table 8 disposed at the inspection position 8A is moved to the replacement position 8B, and is moved to the replacement position 8B. The placed mounting table 8 moves to the inspection position 8A.
  • the turntable 9 rotates and the mounting table 8 moves between the inspection position 8A and the replacement position 8B, similarly, the mounting table 8 placed at the replacement position 8B is lifted to close the opening 34c, and the inspection is performed.
  • the lighting inspection of the liquid crystal panel 2 placed on the placing table 8 placed at the position 8A and the replacement of the liquid crystal panel 2 placed on the placing table 8 placed at the replacement position 8B are performed.
  • the closing member 30 is lowered to a position where it does not interfere with the rotating rotary table 9.
  • the opening 34c through which the liquid crystal panel 2 can pass is formed in the first upper surface portion 13c of the housing 13, but the mounting table 8 disposed at the replacement position 8B is lifted. Then, the opening 34c is closed from the inside of the housing 13, and the inside of the housing 13 becomes a sealed space, and the inside of the housing 13 becomes a dark room. Further, in this embodiment, when the mounting table 8 disposed at the replacement position 8B is lifted, the liquid crystal panel 2 mounted on the mounting table 8 disposed at the replacement position 8B is disposed in the opening 34c. It is exposed outside the housing 13.
  • the seal member 35 is attached to the lower end surface of the projection 34d formed at the edge of the opening 34c, and the upper surface of the mounting table 8 lifted by the air cylinder 11 contacts the seal member 35. Therefore, in this embodiment, when the mounting table 8 arranged at the replacement position 8B is lifted by the air cylinder 11, it is possible to improve the sealing property of the space inside the housing 13.
  • the protrusion 30a of the closing member 30 and the seal member 35 overlap each other when viewed from above and below, so that the adhesion between the seal member 35 and the upper surface of the mounting table 8 can be improved.
  • the closing member 30 is attached to the tip of the rod of the air cylinder 11, and when the mounting table 8 arranged at the replacement position 8 ⁇ / b> B is lifted by the air cylinder 11, the through-hole of the mounting table 8 is opened by the closing member 30. 8a is blocked. Therefore, in this embodiment, even if the through hole 8a is formed in the mounting table 8, the inside of the housing 13 can be a sealed space and the inside of the housing 13 can be a dark room.
  • FIG. 8 is an enlarged cross-sectional view of a part of the processing apparatus 1 according to the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 9 is an enlarged view of a portion K in FIG.
  • the processing apparatus 1 of this embodiment is also an inspection apparatus for inspecting the liquid crystal panel 2. Therefore, hereinafter, the processing apparatus 1 of the present embodiment is referred to as “inspection apparatus 1”.
  • the plurality of mounting tables 8 are mounted on the rotary table 9 so as to be movable up and down. However, in the present embodiment, the plurality of mounting tables 8 are mounted and fixed on the rotary table 9, and the inspection apparatus 1. Does not include the guide mechanism 24 and the biasing mechanism 27.
  • the guide member 34 is fixed to the housing 13. However, in this embodiment, the guide member 34 is held by the housing 13 so as to be movable up and down. An air cylinder 41 for raising and lowering the member 34 is provided.
  • FIG. 8 and FIG. 9 the same reference numerals are given to the configurations common to the configuration of the inspection apparatus 1 of the first embodiment. In the following, description of the configuration common to the configuration of the inspection apparatus 1 of the first embodiment is omitted or simplified.
  • a plurality of mounting tables 8 are mounted on the rotary table 9 and fixed.
  • the air cylinder 11 is provided below each of the two mounting tables 8 arranged at the replacement position 8B as in the first embodiment. Has been placed.
  • a closing member 30 that closes the through hole 8 a from the lower side of the mounting table 8 is attached to the tip (upper end) of the rod of the air cylinder 11 via an attachment member 31. That is, the closing member 30 is disposed below the mounting table 8 disposed at the replacement position 8B, and the closing member 30 is accommodated in the housing 13.
  • the air cylinder 11 of this embodiment is a closing member lifting mechanism that lifts and lowers the closing member 30.
  • the guide member 34 is held by the housing 13 so as to be movable up and down. Specifically, the guide member 34 is held on the first upper surface portion 13c of the housing 13 so as to be movable up and down.
  • the cylindrical portion 34a of the guide member 34 formed in a substantially square tube shape with a flat hook is inserted into a through hole 13h formed in the first upper surface portion 13c.
  • the through hole 13h is slightly larger than the outer shape of the cylindrical portion 34a.
  • the flange portion 34b of the guide member 34 is disposed on the upper side of the first upper surface portion 13c.
  • the guide member 34 of this embodiment is an elevating member that is held by the housing 13 so as to be movable up and down, and the through hole 13h is a housing side through hole in which a lower end side portion of the guide member 34 that is the elevating member is disposed.
  • a guide pin 42 protruding downward is fixed to two corners on one diagonal line of the flange 34b.
  • the lower end portion of the guide pin 42 is inserted through a guide bush 43 that is fixed to the first upper surface portion 13c.
  • the lower end portion of the guide bush 43 is inserted and fixed in a fixing hole formed in the first upper surface portion 13c.
  • the guide pin 42 and the guide bush 43 constitute a guide mechanism 44 that guides the guide member 34 in the vertical direction with respect to the first upper surface portion 13c.
  • the air cylinder 41 is fixed to the front surface of the second front surface portion 13 g and is disposed outside the housing 13.
  • the air cylinder 41 is disposed so that the rod of the air cylinder 41 protrudes downward.
  • the tip (lower end) of the rod of the air cylinder 41 is fixed to the upper surface of the flange portion 34b.
  • the tip of the rod of the air cylinder 41 is fixed to each of the two guide members 34. That is, the inspection apparatus 1 includes two air cylinders 41.
  • the air cylinder 41 of this embodiment is a lifting member lifting mechanism that lifts and lowers a guide member 34 that is a lifting member. Note that the tips of the rods of one air cylinder 41 may be fixed to the two guide members 34 via predetermined members.
  • the inner peripheral side of the guide member 34 is a substantially rectangular opening 34c.
  • the opening 34 c is larger than the through hole 8 a of the mounting table 8. Further, the opening 34c is larger than the outer shape of the liquid crystal panel 2, and the liquid crystal panel 2 can pass through the opening 34c in the vertical direction.
  • the opening part 34c is arrange
  • the guide member 34 includes a seal member 45 attached to the lower end surface of the guide member 34 (that is, the lower end surface of the cylindrical portion 34a) (see FIG. 9). Specifically, a concave portion formed in a substantially square ring shape is formed on the lower end surface of the cylindrical portion 34a, and an annular seal member 45 is attached in the concave portion.
  • the seal member 45 is an O-ring. The seal member 45 contacts the upper surface of the mounting table 8 when the guide member 34 is lowered.
  • a concave portion formed in a substantially square ring shape is formed on the edge of the through hole 13h on the upper surface of the first upper surface portion 13c, and in this concave portion, the flange portion 34b (that is, the lowered guide member 34)
  • a seal member 46 as a second seal member that contacts the upper end portion of the guide member 34 is attached (see FIG. 9). That is, the seal member 46 is attached to the edge of the through hole 13h on the upper surface of the first upper surface portion 13c.
  • the seal member 46 is an O-ring.
  • the rod of the air cylinder 11 is raised and the rod of the air cylinder 41 is lowered. That is, when the lighting inspection of the liquid crystal panel 2 is performed, the closing member 30 is lifted to close the through hole 8a of the mounting table 8 placed at the replacement position 8B, and the guide member 34 is lowered to be placed at the replacement position 8B.
  • the mounting table 8 is contacted. Specifically, as shown in FIG. 9, the protruding portion 30a of the closing member 30 contacts the lower surface of the mounting table 8 to close the through hole 8a, and a seal member 45 attached to the lower end surface of the cylindrical portion 34a is mounted. It contacts the upper surface of the mounting table 8. When the guide member 34 is lowered, the seal member 46 comes into contact with the lower surface of the flange portion 34b.
  • the seal member 45 attached to the lower end surface of the cylindrical portion 34a contacts the upper surface of the mounting table 8, and the seal member 46 contacts the lower surface of the flange portion 34b.
  • the inside of the housing 13 is a sealed space, and the inside of the housing 13 is a dark room. That is, when the closing member 30 is lifted to close the through hole 8a of the mounting table 8 disposed at the replacement position 8B, and the guide member 34 is lowered to contact the mounting table 8 disposed at the replacement position 8B, the mounting table 8 and the closing member 30 close the opening 34c from the inside of the housing 13, and the inside of the housing 13 becomes a sealed space and a dark room.
  • the lighting inspection of the liquid crystal panel 2 is performed in a state where the inside of the housing 13 is a dark room.
  • the replacement position is reached.
  • the liquid crystal panel 2 mounted on the mounting table 8 disposed in 8B is disposed in the opening 34c and exposed outside the housing 13.
  • the robot 5 is the liquid crystal panel 2 after the lighting inspection disposed in the opening 34c (the placement table disposed at the replacement position 8B).
  • the liquid crystal panel 2) placed on 8 is adsorbed and placed on the carry-out conveyor 4. Further, the robot 5 sucks and conveys the liquid crystal panel 2 before the inspection on the conveyor 3, and places it on the mounting table 8 after the liquid crystal panel 2 after the lighting inspection is carried out.
  • the rod of the air cylinder 11 is lowered and the closing member 30 is moved.
  • the rod descends, the rod of the air cylinder 41 rises, and the guide member 34 rises.
  • the motor 17 is activated, the rotary table 9 rotates, the mounting table 8 disposed at the inspection position 8A moves to the replacement position 8B, and the mounting table 8 disposed at the replacement position 8B moves to the inspection position 8A.
  • the closing member 30 rises to close the through hole 8a of the mounting table 8 disposed at the replacement position 8B, and the guide member 34 descends to contact the mounting table 8 disposed at the replacement position 8B. Then, the inside of the housing 13 becomes a sealed space to become a dark room, and the liquid crystal panel 2 placed on the placing table 8 placed at the replacement position 8B is placed in the opening 34c and placed in the housing. Since it is exposed to the outside of the body 13, it is possible to perform lighting inspection of the liquid crystal panel 2 in a dark room and replacement of the liquid crystal panel 2 with respect to the mounting table 8 together.
  • the mounting table 8 since the mounting table 8 is fixed to the rotary table 9, the mounting table disposed at the inspection position 8 ⁇ / b> A as compared with the case where the mounting table 8 is mounted on the rotary table 9 so as to be movable up and down. Accordingly, it is possible to suppress a relative position shift between the liquid crystal panel 2 placed on the apparatus 8 and various devices for lighting inspection. Therefore, in this embodiment, it is possible to improve the accuracy of the lighting inspection of the liquid crystal panel 2. Further, since the mounting table 8 is fixed to the rotary table 9, the pipe 21 does not move up and down together with the mounting table 8.
  • the configuration of the inspection apparatus 1 is complicated as compared with the first embodiment.
  • the configuration of the inspection apparatus 1 is complicated as compared with the first embodiment.
  • the seal member 45 since the seal member 45 needs to be brought into contact with the upper surface of the mounting table 8 and the seal member 46 needs to be brought into contact with the lower surface of the flange portion 34b, the seal member 45 is relatively low in hardness and easily deforms elastically. 46 need to be used.
  • the through hole 8a is formed in the mounting table 8.
  • the through hole 8a is formed in the mounting table 8. May not be formed.
  • the closing member 30 may not be attached to the tip of the rod of the air cylinder 11. In this case, when the mounting table 8 disposed at the replacement position 8B is lifted by the air cylinder 11, the mounting table 8 closes the opening 34c.
  • the inspection device 1 may not include the air cylinder 11 and the closing member 30. In this case, when the guide member 34 descends and comes into contact with the mounting table 8 disposed at the replacement position 8B, the opening 34c is blocked from the inside of the housing 13 by the mounting table 8.
  • a seal member similar to the seal member 35 may be attached to the upper end surface of the protrusion 30a.
  • the seal member 35 may not be attached to the lower end surface of the convex portion 34d.
  • the seal member 45 may not be attached to the lower end surface of the cylindrical portion 34a, and the seal member 46 is attached to the edge of the through hole 13h on the upper surface of the first upper surface portion 13c. It is not necessary.
  • the raising mechanism that raises the mounting table 8 may be a motor as a drive source, for example.
  • the closing member lifting mechanism that lifts and lowers the closing member 30 may be, for example, a motor as a drive source.
  • the urging mechanism 27 may not be provided. In this case, when the air cylinder 11 is lowered, the mounting table 8 is lowered by its own weight.
  • the pair of mounting tables 8 are arranged at a pitch of 180 ° with respect to the rotation center of the rotary table 9.
  • the mounting tables 8 may be arranged at a 180 ° pitch, or three or more mounting tables 8 and the three or more mounting tables 8 may be arranged at a 180 ° pitch.
  • the number of guide members 34 corresponding to the number of the mounting tables 8 is installed, and the number of openings 34 c corresponding to the number of the mounting tables 8 is formed in the housing 13.
  • the number of air cylinders 11 corresponding to the number of mounting tables 8 is installed.
  • the number of air cylinders 41 corresponding to the number of mounting tables 8 is installed.
  • the pair of mounting tables 8 are arranged at two positions with a 180 ° pitch with respect to the rotation center of the rotary table 9. It may be arranged at three or more places at a predetermined angular pitch.
  • the pair of mounting tables 8 may be arranged at a 120 ° pitch with respect to the rotation center of the rotary table 9. In this case, for example, the turntable 9 rotates by 120 ° and stops. In this case, the replacement position where the liquid crystal panel 2 is unloaded from the mounting table 8 and the replacement position where the liquid crystal panel 2 is supplied to the mounting table 8 may be different.
  • the pair of mounting tables 8 includes an inspection position 8A, a replacement position where the liquid crystal panel 2 is unloaded from the mounting table 8, and a liquid crystal panel to the mounting table 8 when the rotary table 9 rotates 120 °. 2 sequentially move to the replacement position where the supply of 2 is performed.
  • the configuration of the inspection apparatus 1 is simplified. It becomes possible. Further, when the pair of mounting tables 8 are disposed at three or more positions at a predetermined angular pitch with respect to the rotation center of the turntable 9, the mounting tables are not disposed at either the inspection position 8A or the replacement position. There may be eight.
  • the lighting inspection of the liquid crystal panel 2 is performed in the dark room inside the housing 13, but the lighting inspection of an inspection object other than the liquid crystal panel 2 may be performed in the dark room inside the housing 13.
  • the processing apparatus 1 is an inspection apparatus for inspecting lighting of the liquid crystal panel 2
  • the processing apparatus to which the present invention is applied processes a predetermined processing object other than the inspection apparatus. It may be a device.
  • the processing apparatus to which the present invention is applied may be an ultraviolet irradiation apparatus.
  • the processing target to be processed by the ultraviolet irradiation device is an irradiation target irradiated with ultraviolet rays.
  • the same position as the inspection position 8A in the above-described form is an irradiation position at which the irradiation target is irradiated with ultraviolet rays, and the rotary table 9 is placed between the irradiation position and the replacement position 8B.
  • an irradiation unit for irradiating ultraviolet rays is disposed inside the housing 13 and above the mounting table 8 disposed at the irradiation position. Further, in this case, in the first embodiment, the mounting table 8 disposed at the replacement position 8B is lifted and the opening 34c so that the ultraviolet rays irradiated to the irradiation target do not leak outside the housing 13.
  • the irradiation target is irradiated with ultraviolet rays in a state where the inside of the housing 13 is a sealed space.
  • the through-hole 8a of the mounting table 8 that is disposed at the replacement position 8B is raised by the closing member 30 so that the ultraviolet rays irradiated to the irradiation target do not leak outside the housing 13. Irradiation is performed in a state where the guide member 34 is lowered and comes into contact with the mounting table 8 disposed at the replacement position 8B to close the opening 34c, and the inside of the housing 13 becomes a sealed space.
  • the object is irradiated with ultraviolet rays.
  • the irradiation object exposed outside the housing 13 is replaced with respect to the mounting table 8 disposed at the replacement position 8B while irradiating the irradiation object disposed at the irradiation position with ultraviolet rays. It becomes possible to do. That is, it is possible to perform irradiation of ultraviolet rays onto the irradiation object in the sealed space and replacement of the irradiation object with respect to the mounting table 8 together. Therefore, even when the irradiation object is irradiated with ultraviolet rays in the sealed space, the time required for the irradiation process of the ultraviolet rays onto the irradiation object can be shortened.

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Abstract

この処理装置は、たとえば、処理対象物２が載置される複数の載置台８と、複数の載置台８が搭載される回転テーブル９と、載置台８等が収容される筐体１３とを備え、いくつかの載置台８は、処理対象物２の処理が行われる処理位置８Ａに配置され、いくつかの載置台８は、処理対象物８の入替が行われる入替位置８Ｂに配置されている。筐体１３には、入替位置８Ｂに配置される載置台８の上側に配置される開口部３４ｃが形成され、入替位置８Ｂに配置される載置台８の下側には、載置台８を上昇させる上昇機構１１が配置されている。入替位置８Ｂに配置される載置台８が持ち上げられると、開口部３４ｃが塞がれて筐体１３の内部が密閉された空間になるとともに、処理対象物２が筐体１３の外側に露出する。

Description

処理装置
　本発明は、所定の処理対象物を処理する処理装置に関する。
　従来、液晶パネルの検査を行う検査装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の検査装置は、液晶パネルの製造処理工程の途中に組み込まれている。この検査装置は、液晶パネルの点灯検査を行うプローバと、検査前の液晶パネルをプローバに向かって搬送する搬入側コンベヤと、搬入側コンベヤで搬送された液晶パネルをプローバに搬入する搬入機構と、検査後の液晶パネルをプローバから搬出する搬出機構と、搬出機構によって搬出された液晶パネルを搬送する搬出側コンベヤとを備えている。
　特許文献１に記載の検査装置では、プローバは、液晶パネルが載置されるワークテーブルと、液晶パネルの背面から液晶パネルに光を照射するバックライトと、液晶パネルの表面の映像が映し出されるスクリーンと、ワークテーブルとスクリーンとの間に配置される光学系等を備えており、これらの構成は、筐体の中に配置されている。筐体には、搬入機構による液晶パネルの搬入を行う際に開閉するシャッタと、搬出機構による液晶パネルの搬出を行う際に開閉するシャッタとが設けられている。
　特許文献１に記載の検査装置では、シャッタが閉まると、筐体の内部が密閉された空間となり、外部からの光が遮断された暗室になる。液晶パネルの点灯検査は、シャッタが閉じている状態の筐体の中で行われ（すなわち、暗室となっている筐体の内部で行われ）、液晶パネルの点灯検査が終了すると、シャッタが開いて、検査後の液晶パネルがワークテーブルから搬出されるとともに、検査前の液晶パネルがワークテーブルに搬入される。また、検査前の液晶パネルがワークテーブルに搬入されるとシャッタが閉じ、暗室となった筐体の内部で、次の液晶パネルの点灯検査が行われる。すなわち、特許文献１に記載の検査装置では、液晶パネルの点灯検査と、ワークテーブルに対する液晶パネルの入替とが交互に行われている。
特開２００７－１０７９７３号公報
　特許文献１に記載の検査装置が組み込まれる液晶パネルの生産システムでは、液晶パネルの生産効率を高めるために、暗室となっている筐体の内部で点灯検査を行う検査工程に要する時間が短い方が好ましい。すなわち、この生産システムでは、密閉空間の中で点灯検査を行う検査工程に要する時間は短い方が好ましい。しかしながら、特許文献１に記載の検査装置では、液晶パネルの点灯検査とワークテーブルに対する液晶パネルの入替とが交互に行われているため、密閉空間の中で点灯検査を行う検査工程に要する時間が長くなる。
　そこで、本発明の課題は、密閉空間の中で処理対象物に対して所定の処理を行う場合であっても、密閉空間の中で処理対象物を処理する処理工程に要する時間を短縮することが可能な処理装置を提供することにある。
　上記の課題を解決するため、本発明の処理装置は、処理対象物が載置される複数の載置台と、複数の載置台が昇降可能に搭載される回転テーブルと、上下方向を回転の軸方向として回転テーブルを回転させる回転駆動機構と、回転テーブルに対して載置台を上昇させる上昇機構と、載置台、回転テーブル、回転駆動機構および上昇機構が収容される筐体とを備え、複数の載置台のうちのいくつかの載置台は、処理対象物の処理が行われる処理位置に配置され、複数の載置台のうちのいくつかの載置台は、載置台からの処理対象物の搬出および載置台への処理対象物の供給の少なくともいずれか一方が行われる入替位置に配置され、回転テーブルは、処理位置と入替位置との間で載置台を移動させ、筐体には、入替位置に配置される載置台の上側に配置されるとともに処理対象物が通過可能な開口部が形成され、上昇機構は、入替位置に配置される載置台の下側に配置され、入替位置に配置される載置台が上昇機構によって持ち上げられると、筺体の内部から開口部が塞がれて筐体の内部が密閉された空間になるとともに、処理対象物が開口部の中に配置されて筐体の外側に露出することを特徴とする。
　本発明の処理装置では、複数の載置台のうちのいくつかの載置台は、処理対象物の処理が行われる処理位置に配置され、複数の載置台のうちのいくつかの載置台は、載置台からの処理対象物の搬出および載置台への処理対象物の供給の少なくともいずれか一方が行われる入替位置に配置されている。また、本発明では、処理対象物が通過可能な開口部が筐体に形成されており、入替位置に配置される載置台が上昇機構によって持ち上げられると、筺体の内部から開口部が塞がれて筐体の内部が密閉された空間になるとともに、処理対象物が開口部の中に配置されて筐体の外側に露出する。
　そのため、本発明では、処理位置に配置された載置台に載置される処理対象物に対して密閉空間の中で処理を行いながら、入替位置に配置される載置台に対して、筐体の外側に露出する処理対象物の入替を行うことが可能になる。すなわち、本発明では、密閉空間の中での処理対象物の処理と、載置台に対する処理対象物の入替とを一緒に行うことが可能になる。したがって、本発明では、密閉空間の中で処理対象物に対して処理を行う場合であっても、密閉空間の中で処理対象物を処理する処理工程に要する時間を短縮することが可能になる。
　本発明において、たとえば、処理対象物は、点灯検査される検査対象物であり、複数の載置台のうちのいくつかの載置台は、検査対象物の点灯検査が行われる処理位置としての検査位置に配置され、複数の載置台のうちのいくつかの載置台は、入替位置に配置され、回転テーブルは、検査位置と入替位置との間で載置台を移動させ、入替位置に配置される載置台が上昇機構によって持ち上げられると、開口部が塞がれて、筐体の内部が暗室になる。この場合には、検査位置に配置された載置台に載置される検査対象物を暗室の中で点灯検査しながら、入替位置に配置される載置台に対して、筐体の外側に露出する検査対象物の入替を行うことが可能になる。すなわち、暗室の中での検査対象物の点灯検査と、載置台に対する検査対象物の入替とを一緒に行うことが可能になる。したがって、暗室の中で検査対象物の点灯検査を行う場合であっても、検査対象物の検査工程に要する時間を短縮することが可能になる。
　本発明において、たとえば、処理対象物は、紫外線が照射される照射対象物であり、複数の載置台のうちのいくつかの載置台は、照射対象物に紫外線が照射される処理位置としての照射位置に配置され、複数の載置台のうちのいくつかの載置台は、入替位置に配置され、回転テーブルは、照射位置と入替位置との間で載置台を移動させる。この場合には、照射位置に配置された載置台に載置される照射対象物に対して紫外線を照射しながら、入替位置に配置される載置台に対して、筐体の外側に露出する照射対象物の入替を行うことが可能になる。すなわち、密閉空間の中での照射対象物への紫外線の照射と、載置台に対する照射対象物の入替とを一緒に行うことが可能になる。したがって、密閉空間の中で照射対象物への紫外線の照射を行う場合であっても、照射対象物への紫外線の照射工程に要する時間を短縮することが可能になる。
　本発明において、入替位置では、載置台からの処理対象物の搬出および載置台への処理対象物の供給が行われることが好ましい。このように構成すると、載置台への処理対象物の供給が行われる入替位置と、載置台からの処理対象物の搬出が行われる入替位置とが別々になっている場合と比較して、処理装置の構成を簡素化することが可能になる。
　本発明において、開口部の縁には、下側に向かって突出する環状の凸部が形成され、凸部の下端面には、載置台の上面に接触する環状のシール部材が取り付けられていることが好ましい。このように構成すると、入替位置に配置される載置台が上昇機構によって持ち上げられたときに、筐体の内部の空間の密閉性を高めることが可能になる。
　本発明において、たとえば、載置台には、上下方向に貫通する貫通穴が形成され、上昇機構には、貫通穴を塞ぐ閉塞部材が取り付けられ、入替位置に配置される載置台が上昇機構によって持ち上げられると、閉塞部材によって貫通穴が塞がれるとともに、載置台と閉塞部材とによって開口部が塞がれる。この場合には、上下方向に貫通する貫通穴が載置台に形成されていても、筐体の内部を密閉された空間にすることが可能になる。
　本発明において、入替位置に配置される載置台が上昇機構によって持ち上げられると、載置台によって開口部が塞がれても良い。
　また、上記の課題を解決するため、本発明の処理装置は、上下方向に貫通する貫通穴が形成されるとともに処理対象物が載置される複数の載置台と、複数の載置台が搭載される回転テーブルと、上下方向を回転の軸方向として回転テーブルを回転させる回転駆動機構と、載置台の下側から貫通穴を塞ぐ閉塞部材と、閉塞部材を昇降させる閉塞部材昇降機構と、載置台、回転テーブル、回転駆動機構、閉塞部材および閉塞部材昇降機構が収容される筐体と、筺体に昇降可能に保持される昇降部材と、昇降部材を昇降させる昇降部材昇降機構とを備え、複数の載置台のうちのいくつかの載置台は、処理対象物の処理が行われる処理位置に配置され、複数の載置台のうちのいくつかの載置台は、載置台からの処理対象物の搬出および載置台への処理対象物の供給の少なくともいずれか一方が行われる入替位置に配置され、回転テーブルは、処理位置と入替位置との間で載置台を移動させ、昇降部材は、搬送対象物が通過可能な開口部を内周側に有する筒状に形成されるとともに、入替位置に配置される載置台の上側に配置され、閉塞部材は、入替位置に配置される載置台の下側に配置され、閉塞部材が上昇して入替位置に配置される載置台の貫通穴を塞ぐとともに昇降部材が下降して入替位置に配置される載置台に接触すると、筺体の内部から開口部が塞がれて筐体の内部が密閉された空間になるとともに、処理対象物が開口部の中に配置されて筐体の外側に露出することを特徴とする。
　本発明の処理装置では、複数の載置台のうちのいくつかの載置台は、処理対象物の処理が行われる処理位置に配置され、複数の載置台のうちのいくつかの載置台は、載置台からの処理対象物の搬出および載置台への処理対象物の供給の少なくともいずれか一方が行われる入替位置に配置されている。また、本発明では、載置台に形成される貫通穴を載置台の下側から塞ぐ閉塞部材が、入替位置に配置される載置台の下側に配置され、筺体に昇降可能に保持される昇降部材が、入替位置に配置される載置台の上側に配置されている。さらに、本発明では、処理対象物が通過可能な開口部が昇降部材に形成されており、閉塞部材が上昇して入替位置に配置される載置台の貫通穴を塞ぐとともに昇降部材が下降して入替位置に配置される載置台に接触すると、筺体の内部から開口部が塞がれて筐体の内部が密閉された空間になるとともに、処理対象物が開口部の中に配置されて筐体の外側に露出する。
　そのため、本発明では、処理位置に配置された載置台に載置される処理対象物に対して密閉空間の中で処理を行いながら、入替位置に配置される載置台に対して、筐体の外側に露出する処理対象物の入替を行うことが可能になる。すなわち、本発明では、密閉空間の中での処理対象物の処理と、載置台に対する処理対象物の入替とを一緒に行うことが可能になる。したがって、本発明では、密閉空間の中で処理対象物に対して処理を行う場合であっても、密閉空間の中で処理対象物を処理する処理工程に要する時間を短縮することが可能になる。
　本発明において、たとえば、処理対象物は、点灯検査される検査対象物であり、複数の載置台のうちのいくつかの載置台は、検査対象物の点灯検査が行われる処理位置としての検査位置に配置され、複数の載置台のうちのいくつかの載置台は、入替位置に配置され、回転テーブルは、検査位置と入替位置との間で載置台を移動させ、閉塞部材が上昇して入替位置に配置される載置台の貫通穴を塞ぐとともに昇降部材が下降して入替位置に配置される載置台に接触すると、開口部が塞がれて、筐体の内部が暗室になる。この場合には、検査位置に配置された載置台に載置される検査対象物を暗室の中で点灯検査しながら、入替位置に配置される載置台に対して、筐体の外側に露出する検査対象物の入替を行うことが可能になる。すなわち、暗室の中での検査対象物の点灯検査と、載置台に対する検査対象物の入替とを一緒に行うことが可能になる。したがって、暗室の中で検査対象物の点灯検査を行う場合であっても、検査対象物の検査工程に要する時間を短縮することが可能になる。
　本発明において、筐体には、昇降部材の下端側部分が配置される筐体側貫通穴が形成され、昇降部材は、昇降部材の下端面に取り付けられ載置台の上面に接触する環状のシール部材を備え、筐体側貫通穴の縁には、下降した昇降部材の上端側部分に接触する環状の第２のシール部材が取り付けられていることが好ましい。このように構成すると、閉塞部材が上昇して入替位置に配置される載置台の貫通穴を塞ぐとともに昇降機構が下降して入替位置に配置される載置台に接触したときに、筐体の内部の空間の密閉性を高めることが可能になる。
　さらに、上記の課題を解決するため、本発明の処理装置は、処理対象物が載置される複数の載置台と、複数の載置台が搭載される回転テーブルと、上下方向を回転の軸方向として回転テーブルを回転させる回転駆動機構と、載置台、回転テーブルおよび回転駆動機構が収容される筐体と、筺体に昇降可能に保持される昇降部材と、昇降部材を昇降させる昇降部材昇降機構とを備え、複数の載置台のうちのいくつかの載置台は、処理対象物の処理が行われる処理位置に配置され、複数の載置台のうちのいくつかの載置台は、載置台からの処理対象物の搬出および載置台への処理対象物の供給の少なくともいずれか一方が行われる入替位置に配置され、回転テーブルは、処理位置と入替位置との間で載置台を移動させ、昇降部材は、搬送対象物が通過可能な開口部を内周側に有する筒状に形成されるとともに、入替位置に配置される載置台の上側に配置され、昇降部材が下降して入替位置に配置される載置台に接触すると、筺体の内部から開口部が塞がれて筐体の内部が密閉された空間になるとともに、処理対象物が開口部の中に配置されて筐体の外側に露出することを特徴とする。
　本発明の処理装置では、複数の載置台のうちのいくつかの載置台は、処理対象物の処理が行われる処理位置に配置され、複数の載置台のうちのいくつかの載置台は、載置台からの処理対象物の搬出および載置台への処理対象物の供給の少なくともいずれか一方が行われる入替位置に配置されている。また、本発明では、筺体に昇降可能に保持される昇降部材が、入替位置に配置される載置台の上側に配置されている。さらに、本発明では、処理対象物が通過可能な開口部が昇降部材に形成されており、昇降部材が下降して入替位置に配置される載置台に接触すると、筺体の内部から開口部が塞がれて筐体の内部が密閉された空間になるとともに、処理対象物が開口部の中に配置されて筐体の外側に露出する。
　そのため、本発明では、処理位置に配置された載置台に載置される処理対象物に対して密閉空間の中で処理を行いながら、入替位置に配置される載置台に対して、筐体の外側に露出する処理対象物の入替を行うことが可能になる。すなわち、本発明では、密閉空間の中での処理対象物の処理と、載置台に対する処理対象物の入替とを一緒に行うことが可能になる。したがって、本発明では、密閉空間の中で処理対象物に対して処理を行う場合であっても、密閉空間の中で処理対象物を処理する処理工程に要する時間を短縮することが可能になる。
　以上のように、本発明の処理装置では、密閉空間の中で処理対象物に対して所定の処理を行う場合であっても、密閉空間の中で処理対象物を処理する処理工程に要する時間を短縮することが可能になる。
本発明の実施の形態１にかかる処理装置が組み込まれる生産システムの一部分の平面図である。 図２は、図１のＥ－Ｅ断面の断面図である。 図１に示す載置台および回転テーブルの拡大平面図である。 図２のＦ部の拡大図である。 図４のＧ部の拡大図である。 図３のＨ－Ｈ断面の断面図である。 図２のＪ－Ｊ断面の一部分の断面図である。 本発明の実施の形態２にかかる処理装置の一部分の拡大断面図である。 図８のＫ部の拡大図である。
　以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。
　［実施の形態１］
　（処理装置の概略構成）
　図１は、本発明の実施の形態１にかかる処理装置１が組み込まれる生産システムの一部分の平面図である。図２は、図１のＥ－Ｅ断面の断面図である。
　本形態の処理装置１は、処理対象物である検査対象物２を検査するための検査装置である。具体的には、本形態の検査対象物２は、液晶パネルであり、処理装置１は、液晶パネルを点灯検査するための検査装置である。したがって、以下では、本形態の処理装置１を「検査装置１」とし、検査対象物２を「液晶パネル２」とする。液晶パネル２は、長方形の平板状に形成されている。この液晶パネル２は、たとえば、携帯端末等に使用される小型の液晶パネルである。なお、本形態の液晶パネル２は、ガラス基板または偏光板が貼り付けられたガラス基板であり、液晶パネル２にはバックライトが取り付けられていない。
　検査装置１は、液晶パネル２の生産システムに組み込まれて使用される。この生産システムは、複数の検査装置１を備えている。また、この生産システムでは、図１に示すように、２個の検査装置１が、直線状に形成される２個のコンベヤ３および２個のコンベヤ４を挟んだ状態で配置されている。コンベヤ３、４は、たとえば、ベルトコンベヤである。
　コンベヤ３では、たとえば、検査装置１で検査される前の液晶パネル２が搬送され、コンベヤ４では、検査装置１で検査された後の液晶パネル２が搬送される。２個のコンベヤ３は、２個のコンベヤ４の間に挟まれている。また、検査装置１には、検査装置１を構成する後述の載置台８とコンベヤ３、４との間で液晶パネル２を搬送するロボット５が取り付けられている。ロボット５は、検査前の液晶パネル２をハンドの先端部で吸着してコンベヤ３から載置台８まで搬送するとともに、検査後の液晶パネル２をハンドの先端部で吸着して載置台８からコンベヤ４まで搬送する。なお、検査前の液晶パネル２がコンベヤ４で搬送され、検査後の液晶パネル２がコンベヤ３で搬送されても良い。
　検査装置１は、液晶パネル２が載置される複数の載置台８と、複数の載置台８が昇降可能に搭載される回転テーブル９と、回転テーブル９を回転させる回転駆動機構１０と、回転テーブル９に対して載置台８を上昇させる上昇機構してのエアシリンダ１１と、液晶パネル２の背面から光を照射するバックライト１２と、載置台８、回転テーブル９、回転駆動機構１０、エアシリンダ１１およびバックライト１２が収容される筐体１３とを備えている。本形態の検査装置１は、４個の載置台８を備えている。また、図２に示すように、検査装置１は、架台１４の上に設置されている。
　以下の説明では、コンベヤ３、４による液晶パネル２の搬送方向（図１等のＸ方向）を「左右方向」とし、上下方向と左右方向とに直交する方向（図１等のＹ方向）を「前後方向」とする。前後方向は、２個の検査装置１がコンベヤ３、４を挟んだ状態で対向配置される方向である。また、以下では、説明の便宜上、前後方向のうちの、コンベヤ３、４が配置される側（図２等のＹ１方向側）を「前」側とし、その反対側（図２等のＹ２方向側）を「後（後ろ）」側とする。
　（載置台、回転テーブル、回転駆動機構および上昇機構等の構成）
　図３は、図１に示す載置台８および回転テーブル９の拡大平面図である。図４は、図２のＦ部の拡大図である。図５は、図４のＧ部の拡大図である。図６は、図３のＨ－Ｈ断面の断面図である。図７は、図２のＪ－Ｊ断面の一部分の断面図である。
　回転テーブル９は、略長方形の平板状に形成されている。この回転テーブル９は、回転テーブル９の厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されている。回転テーブル９の中心には、回転駆動機構１０が連結されている。回転駆動機構１０は、回転テーブル９の下側に配置されている。図４に示すように、回転駆動機構１０は、モータ１７を備えており、上下方向を回転の軸方向として回転テーブル９を回転させる。モータ１７は、たとえば、減速機１８を介して回転テーブル９に連結されている。回転テーブル９の中心部分は、回転テーブル９の上側に配置される固定板１９を介して減速機１８の出力軸に固定されている。なお、回転テーブル９の中心部分は直接、モータ１７の出力軸に固定されても良い。また、モータ１７は、たとえば、サーボモータである。
　回転駆動機構１０は、回転テーブル９を１８０°回転させる。具体的には、回転テーブル９は、略長方形状に形成される回転テーブル９の長辺方向と前後方向とが一致している状態で停止しており、回転駆動機構１０は、この状態の回転テーブル９を一方向へ１８０°回転させて停止させる。また、回転駆動機構１０は、一方向へ１８０°回転して停止している回転テーブル９を反対方向へ１８０°回転させて停止させる。たとえば、回転駆動機構１０は、図３に示す状態の回転テーブル９を時計回りの方向（時計方向）へ１８０°回転させて停止させるとともに、時計方向へ１８０°回転して停止している回転テーブル９を反時計回りの方向へ１８０°回転させて停止させる。
　回転テーブル９には、上下方向に貫通する４個の貫通穴９ａが形成されている。貫通穴９ａは、略長方形状に形成されている。この貫通穴９ａは、液晶パネル２の外形よりも大きくなっている。図３に示すように、貫通穴９ａは、略長方形状に形成される回転テーブル９の長辺方向と略長方形状に形成される貫通穴９ａの長辺方向とが一致するように形成されている。
　また、貫通穴９ａは、回転テーブル９の長辺方向の両端側のそれぞれに２個ずつ形成されている。回転テーブル９の長辺方向の両端側のそれぞれに形成される２個の貫通穴９ａは、回転テーブル９の短辺方向で隣接するように配置されている。すなわち、４個の貫通穴９ａは、上下方向から見たときに、回転テーブル９の回転方向に沿って配置されている。また、一対の貫通穴９ａが、回転テーブル９の中心（すなわち、回転テーブル９の回転中心）に対して１８０°ピッチで形成されている。４個の貫通穴９ａのそれぞれの中心と回転テーブル９の中心との距離は互いに等しくなっている。
　載置台８は、略長方形の平板状に形成されている。この載置台８は、載置台８の厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されている。載置台８の外形は、貫通穴９ａよりも大きくなっている。載置台８の中心には、上下方向に貫通する貫通穴８ａが形成されている。貫通穴８ａは、略長方形状に形成されている。また、貫通穴８ａは、略長方形状に形成される載置台８の長辺方向と略長方形状に形成される貫通穴８ａの長辺方向とが一致するように形成されている。貫通穴８ａは、液晶パネル２の外形よりもわずかに小さくなっている。
　載置台８の上面には、載置台８に載置される液晶パネル２を吸着して把持するための複数の吸着穴が形成されている。載置台８の内部には、この吸着穴に繋がる空気の吸引穴が形成されており、この吸引穴には、継手２０を介して配管２１の一端が接続されている（図３参照）。配管２１の他端は、真空ポンプ等の空気の吸引機構に接続されている。
　載置台８は、上下方向から見たときに、回転テーブル９の貫通穴９ａの中心と貫通穴８ａの中心とが一致するように回転テーブル９に搭載されており、４個の載置台８は、上下方向から見たときに、回転テーブル９の回転方向に沿って配置されている。また、一対の載置台８が回転テーブル９の中心（すなわち、回転テーブル９の回転中心）に対して１８０°ピッチで配置されている。４個の載置台８の中心（貫通穴８ａの中心）のそれぞれと回転テーブル９の中心（回転テーブル９の回転中心）との距離は互いに等しくなっている。
　略長方形状に形成される載置台８の、一方の対角線上の２個の角部には、下側に向かって突出するガイドピン２２が固定されている。ガイドピン２２の下端側部分は、回転テーブル９に固定されるガイドブッシュ２３に挿通されている。ガイドブッシュ２３の上端側部分は、回転テーブル９に形成される固定孔に挿入されて固定され、ガイドブッシュ２３の下端側部分は、回転テーブル９から下側へ突出している。本形態では、ガイドピン２２とガイドブッシュ２３とによって、回転テーブル９に対して載置台８を上下方向に案内するガイド機構２４が構成されており、載置台８は、回転テーブル９に対して昇降可能となっている。
　また、載置台８には、ガイドピン２２に隣接するようにバネ保持ピン２５が固定されている（図６参照）。バネ保持ピン２５は、載置台８から下側に向かって突出している。図６に示すように、バネ保持ピン２５の下端には、鍔部２５ａが形成されている。鍔部２５ａの上面には、圧縮コイルバネ２６の下端が当接している。圧縮コイルバネ２６の上端側部分は、回転テーブル９の下面に形成される凹部の中に配置されている。載置台８は、圧縮コイルバネ２６の付勢力によって下側に付勢されている。本形態では、バネ保持ピン２５と圧縮コイルバネ２６とによって載置台８を下側へ付勢する付勢機構２７が構成されている。
　上述のように、回転テーブル９は、回転テーブル９の長辺方向と前後方向とが一致している状態で停止しており、この状態から１８０°回転して停止する。回転テーブル９が停止している状態では、４個の載置台８のうちの２個の載置台８は、液晶パネル２の点灯検査が行われる処理位置としての検査位置８Ａに配置され、残りの２個の載置台８は、載置台８からの液晶パネル２の搬出および載置台８への液晶パネル２の供給が行われる入替位置８Ｂに配置されている。本形態では、回転駆動機構１０よりも後ろ側に配置されているときの載置台８の位置が検査位置８Ａであり、回転駆動機構１０よりも前側に配置されているときの載置台８の位置が入替位置８Ｂである。
　また、回転テーブル９が回転すると、載置台８は、回転テーブル９の中心を回転中心にして回転し、検査位置８Ａと入替位置８Ｂとの間で移動する。すなわち、回転テーブル９が回転すると、４個の載置台８のうちの検査位置８Ａに配置された２個の載置台８は、入替位置８Ｂに移動し、入替位置８Ｂに配置された残りの２個の載置台８は、検査位置８Ａに移動する。なお、配管２１は、載置台８の回転に支障が出ないように引き回されている。
　エアシリンダ１１は、入替位置８Ｂに配置される２個の載置台８のそれぞれの下側に配置されている。すなわち、図７に示すように、検査装置１は、２個のエアシリンダ１１を備えている。２個のエアシリンダ１１は、固定用のブラケット２９を介して筐体１３に固定されている。また、エアシリンダ１１は、エアシリンダ１１のロッドが上側に突出するように配置されている。エアシリンダ１１のロッドの先端（上端）には、載置台８の貫通穴８ａを塞ぐ閉塞部材３０が所定の取付部材３１を介して取り付けられている。
　閉塞部材３０は、略長方形の平板状に形成されている。この閉塞部材３０は、閉塞部材３０の厚さ方向と上下方向とが一致するように、かつ、略長方形状に形成される閉塞部材３０の長辺方向と前後方向とが一致するように、エアシリンダ１１のロッドの先端に取り付けられている。閉塞部材３０の外周端には、上側に向かって突出する略四角環状の突出部３０ａが形成されている。突出部３０ａは、閉塞部材３０の上面から上側へわずかに突出するように形成されている。
　閉塞部材３０の外形は、貫通穴８ａよりも大きくなっている。また、閉塞部材３０の外形は、回転テーブル９の貫通穴９ａよりも小さくなっている。上下方向から見たときに、入替位置８Ｂに配置される載置台８の貫通穴８ａの中心と閉塞部材３０の中心とが一致している。なお、図５に示すように、閉塞部材３０の中心部分の下面には、上側に向かうにしたがって内径が次第に小さくなる円錐台状の凹部３０ｂが形成されている。また、取付部材３１の中心部分の上面側には、上側に向かうにしたがって外径が次第に小さくなる凸曲面状の凸部３１ａが形成されており、凸部３１ａは、凹部３０ｂに接触している。そのため、凹部３０ｂと凸部３１ａとを利用してエアシリンダ１１のロッドに対する閉塞部材３０の傾きを調整することが可能になっている。
　バックライト１２は、検査位置８Ａに配置される載置台８の下側に配置されている。具体的には、バックライト１２は、貫通穴８ａ、９ａの下側に配置されている。検査位置８Ａに配置される載置台８の上側には、複数のカメラ等の点灯検査用の各種の機器が配置されている。
　（筐体の構成）
　筐体１３は、中空の箱状に形成されている。筐体１３の後ろ側部分の高さは、筐体１３の前側部分の高さよりも高くなっている。筐体１３は、筐体１３の底面を構成する底面部１３ａと、筐体１３の左右の側面を構成する２個の側面部１３ｂと、筐体１３の前側部分の上面を構成する第１上面部１３ｃと、筐体１３の後ろ側部分の上面を構成する第２上面部１３ｄと、筐体１３の後面を構成する後面部１３ｅと、底面部１３ａの前端側と第１上面部１３ｃの前端と繋ぐ第１前面部１３ｆと、第１上面部１３ｃの後端と第２上面部１３ｄの前端とを繋ぐ第２前面部１３ｇとを備えている。第１上面部１３ｃおよび第２上面部１３ｄは、上下方向に直交する平板状に形成されている。
　第１上面部１３ｃは、第２上面部１３ｄよりも下側に配置されている。また、第１上面部１３ｃは、回転テーブル９に搭載される載置台８よりもわずかに上側に配置されている。第１上面部１３ｃの下側には、入替位置８Ｂにある載置台８が配置されている。また、第２上面部１３ｄの下側には、検査位置８Ａにある載置台８が配置されており、第２上面部１３ｄの下側には、バックライト１２やカメラ等の点灯検査用の各種の機器が配置されている。すなわち、筺体１３の、第２上面部１３ｄが配置された部分は、点灯検査が行われる検査部となっており、第１上面部１３ｃが配置された部分は、液晶パネル２の入替が行われる入替部となっている。
　第１上面部１３ｃには、上下方向に貫通する貫通穴１３ｈが形成されている。貫通穴１３ｈは、略長方形状に形成されている。また、貫通穴１３ｈは、略長方形状に形成される貫通穴１３ｈの長辺方向と前後方向とが一致するように形成されている。また、貫通穴１３ｈは、入替位置８Ｂに配置される２個の載置台８のそれぞれの上側に形成されている。すなわち、第１上面部１３ｃには、２個の貫通穴１３ｈが形成されている。貫通穴１３ｈは、載置台８の外形よりも小さくなっている。また、貫通穴１３ｈは、載置台８の貫通穴８ａよりも大きくなっている。
　また、筐体１３は、扁平な鍔付きの略四角筒状に形成される２個のガイド部材３４を備えている。ガイド部材３４は、略四角筒状の筒部３４ａと筒部３４ａの上端に繋がる鍔部３４ｂとを備えている。このガイド部材３４は、筒部３４ａが貫通穴１３ｈに挿通されるとともに鍔部３４ｂの下面が第１上面部１３ｃの上面に接触した状態で、第１上面部１３ｃに固定されている。すなわち、ガイド部材３４は、貫通穴１３ｈを縁取るように第１上面部１３ｃに固定されている。
　ガイド部材３４の内周側は、略長方形状の開口部３４ｃとなっている。ガイド部材３４は、略長方形状に形成される開口部３４ｃの長辺方向と前後方向とが一致するように配置されている。開口部３４ｃは、載置台８の貫通穴８ａよりも大きくなっている。また、開口部３４ｃは、液晶パネル２の外形よりも大きくなっており、液晶パネル２は、開口部３４ｃを上下方向へ通過可能となっている。開口部３４ｃは、入替位置８Ｂに配置される２個の載置台８のそれぞれの上側に配置されている。すなわち、筐体１３には、入替位置８Ｂに配置される載置台８の上側に配置される開口部３４ｃが形成されている。上下方向から見たときに、開口部３４ｃの中心と載置台８の貫通穴８ａの中心とは一致している。ガイド部材３４は、載置台８に液晶パネル２を案内する機能を果たしている。
　筒部３４ａの下端側部分は、第１上面部１３ｃの下面よりも下側へ突出する四角環状の凸部３４ｄとなっている（図５参照）。すなわち、開口部３４ｃの縁には、下側に向かって突出する凸部３４ｄが形成されている。凸部３４ｄの下端面には、略四角環状に形成される凹部が形成されている。この凹部の中には、エアシリンダ１１によって持ち上げられた載置台８の上面に接触する環状のシール部材３５が取り付けられている（図５参照）。シール部材３５は、Ｏリングである。本形態では、上下方向から見たときに、閉塞部材３０の突出部３０ａとシール部材３５とが重なっている。
　（検査装置の動作）
　検査装置１において、液晶パネル２の点灯検査を行うときには、エアシリンダ１１が上昇して、入替位置８Ｂに配置される載置台８を持ち上げる。具体的には、図５に示すように、貫通穴９ａを通過した閉塞部材３０の突出部３０ａが載置台８の下面に接触して載置台８を持ち上げるとともに、載置台８の上面がシール部材３５に接触するまで突出部３０ａが載置台８を持ち上げる。入替位置８Ｂに配置される載置台８が持ち上げられると、閉塞部材３０によって載置台８の貫通穴８ａが塞がれるとともに、載置台８と閉塞部材３０とによって開口部３４ｃが塞がれる。
　閉塞部材３０によって貫通穴８ａが塞がれるとともに、載置台８と閉塞部材３０とによって開口部３４ｃが塞がれると、筐体１３の内部は密閉された空間となって、筐体１３の内部は暗室になる。すなわち、入替位置８Ｂに配置される載置台８がエアシリンダ１１によって持ち上げられると、筺体１３の内部から開口部３４ｃが塞がれて、筐体１３の内部が密閉された空間になる。また、入替位置８Ｂに配置される載置台８がエアシリンダ１１によって持ち上げられると、筺体１３の内部から開口部３４ｃが塞がれて、筐体１３の内部は暗室になる。液晶パネル２の点灯検査は、筐体１３の内部が暗室となっている状態で行われる。このときには、検査位置８Ａに配置された載置台８に載置される液晶パネル２に、貫通穴８ａ、９ａを介してバックライト１２が光を照射する。
　また、入替位置８Ｂに配置される載置台８がエアシリンダ１１によって持ち上げられると、入替位置８Ｂに配置された載置台８に載置される液晶パネル２は、開口部３４ｃの中に配置されて筐体１３の外側に露出する。ロボット５は、筐体１３の内部で液晶パネル２の点灯検査が行われているときに、開口部３４ｃの中に配置される点灯検査後の液晶パネル２（入替位置８Ｂに配置された載置台８に載置される液晶パネル２）を吸着して搬出しコンベヤ４に載置する。また、ロボット５は、コンベヤ３上の検査前の液晶パネル２を吸着して搬送し、点灯検査後の液晶パネル２が搬出された後の載置台８に載置する。
　筐体１３の内部で液晶パネル２の点灯検査が終了するとともに、入替位置８Ｂに配置される載置台８に対する液晶パネル２の入替が終了すると、エアシリンダ１１が下降する。エアシリンダ１１が下降すると、入替位置８Ｂに配置される載置台８は圧縮コイルバネ２６の付勢力で下降する。入替位置８Ｂに配置される載置台８が下降すると、モータ１７が起動して、回転テーブル９が回転し、検査位置８Ａに配置された載置台８は入替位置８Ｂに移動し、入替位置８Ｂに配置された載置台８は検査位置８Ａに移動する。
　回転テーブル９が回転して検査位置８Ａと入替位置８Ｂとの間で載置台８が移動すると、同様にして、入替位置８Ｂに配置される載置台８を持ち上げて、開口部３４ｃを塞ぎ、検査位置８Ａに配置された載置台８に載置される液晶パネル２の点灯検査と、入替位置８Ｂに配置された載置台８に載置される液晶パネル２の入替を行う。なお、エアシリンダ１１が下降しているときには、閉塞部材３０は、回転する回転テーブル９と干渉しない位置まで下降している。
　（本形態の主な効果）
　以上説明したように、本形態では、液晶パネル２が通過可能な開口部３４ｃが筐体１３の第１上面部１３ｃに形成されているが、入替位置８Ｂに配置される載置台８が持ち上げられると、筺体１３の内部から開口部３４ｃが塞がれ、筐体１３の内部が密閉された空間となって、筐体１３の内部が暗室になる。また、本形態では、入替位置８Ｂに配置される載置台８が持ち上げられると、入替位置８Ｂに配置された載置台８に載置される液晶パネル２は、開口部３４ｃの中に配置されて筐体１３の外側に露出する。
　そのため、本形態では、筐体１３の内部の暗室で液晶パネル２の点灯検査が行いながら、筐体１３の外側に露出する液晶パネル２の入替を行うことが可能になる。すなわち、本形態では、暗室の中での液晶パネル２の点灯検査と、載置台８に対する液晶パネル２の入替とを一緒に行うことが可能になる。したがって、本形態では、密閉空間である暗室の中で液晶パネル２の点灯検査を行う場合であっても、液晶パネル２の検査工程に要する時間を短縮することが可能になる。
　本形態では、開口部３４ｃの縁に形成される凸部３４ｄの下端面にシール部材３５が取り付けられており、エアシリンダ１１で持ち上げられた載置台８の上面がシール部材３５に接触する。そのため、本形態では、入替位置８Ｂに配置される載置台８がエアシリンダ１１で持ち上げられたときに、筐体１３の内部の空間の密閉性を高めることが可能になる。特に本形態では、上下方向から見たときに、閉塞部材３０の突出部３０ａとシール部材３５とが重なっているため、シール部材３５と載置台８の上面との密着性を高めることが可能になるとともに、突出部３０ａと載置台８の下面との密着性を高めることが可能になる。したがって、本形態では、筐体１３の内部の空間の密閉性を効果的に高めることが可能になる。
　本形態では、エアシリンダ１１のロッドの先端に閉塞部材３０が取り付けられており、入替位置８Ｂに配置される載置台８がエアシリンダ１１で持ち上げられると、閉塞部材３０によって載置台８の貫通穴８ａが塞がれる。そのため、本形態では、載置台８に貫通穴８ａが形成されていても、筐体１３の内部を密閉された空間にして、筐体１３の内部を暗室にすることが可能になる。
　［実施の形態２］
　図８は、本発明の実施の形態２にかかる処理装置１の一部分の拡大断面図である。図９は、図８のＫ部の拡大図である。
　実施の形態１と同様に、本形態の処理装置１も液晶パネル２を検査するための検査装置である。したがって、以下では、本形態の処理装置１を「検査装置１」とする。実施の形態１では、複数の載置台８が回転テーブル９に昇降可能に搭載されているが、本形態では、複数の載置台８が回転テーブル９に搭載されて固定されており、検査装置１は、ガイド機構２４および付勢機構２７を備えていない。また、実施の形態１では、ガイド部材３４は、筐体１３に固定されているが、本形態では、ガイド部材３４は、筐体１３に昇降可能に保持されており、検査装置１は、ガイド部材３４を昇降させるエアシリンダ４１を備えている。これらの点が、本形態の検査装置１と実施の形態１の検査装置１との主な相違点である。
　以下、この相違点を中心に本形態の検査装置１の構成および動作を説明する。なお、図８、図９では、実施の形態１の検査装置１の構成と共通する構成については同一の符号を付している。また、以下では、実施の形態１の検査装置１の構成と共通する構成についてはその説明を省略または簡略化する。
　上述のように、本形態では、複数の載置台８が回転テーブル９に搭載されて固定されている。一方で、本形態においても、載置台８の貫通穴８ａを塞ぐため、実施の形態１と同様に、入替位置８Ｂに配置される２個の載置台８のそれぞれの下側にエアシリンダ１１が配置されている。また、エアシリンダ１１のロッドの先端（上端）には、載置台８の下側から貫通穴８ａを塞ぐ閉塞部材３０が取付部材３１を介して取り付けられている。すなわち、入替位置８Ｂに配置される載置台８の下側には、閉塞部材３０が配置されており、閉塞部材３０は、筐体１３に収容されている。本形態のエアシリンダ１１は、閉塞部材３０を昇降させる閉塞部材昇降機構である。
　また、上述のように、本形態では、ガイド部材３４は、筐体１３に昇降可能に保持されている。具体的には、ガイド部材３４は、筐体１３の第１上面部１３ｃに昇降可能に保持されている。扁平な鍔付きの略四角筒状に形成されるガイド部材３４の筒部３４ａは、第１上面部１３ｃに形成される貫通穴１３ｈに挿通されている。貫通穴１３ｈは、筒部３４ａの外形よりもわずかに大きくなっている。また、ガイド部材３４の鍔部３４ｂは、第１上面部１３ｃの上側に配置されている。本形態のガイド部材３４は、筐体１３に昇降可能に保持される昇降部材であり、貫通穴１３ｈは、昇降部材であるガイド部材３４の下端側部分が配置される筐体側貫通穴である。
　鍔部３４ｂの、一方の対角線上の２個の角部には、下側に向かって突出するガイドピン４２が固定されている。ガイドピン４２の下端側部分は、第１上面部１３ｃに固定されるガイドブッシュ４３に挿通されている。ガイドブッシュ４３の下端側部分は、第１上面部１３ｃに形成される固定孔に挿入されて固定されている。本形態では、ガイドピン４２とガイドブッシュ４３とによって、第１上面部１３ｃに対してガイド部材３４を上下方向に案内するガイド機構４４が構成されている。
　エアシリンダ４１は、第２前面部１３ｇの前面に固定されており、筐体１３の外部に配置されている。また、エアシリンダ４１は、エアシリンダ４１のロッドが下側に突出するように配置されている。エアシリンダ４１のロッドの先端（下端）は、鍔部３４ｂの上面に固定されている。本形態では、２個のガイド部材３４のそれぞれにエアシリンダ４１のロッドの先端が固定されている。すなわち、検査装置１は、２個のエアシリンダ４１を備えている。本形態のエアシリンダ４１は、昇降部材であるガイド部材３４を昇降させる昇降部材昇降機構である。なお、１個のエアシリンダ４１のロッドの先端が所定の部材を介して２個のガイド部材３４に固定されていても良い。
　実施の形態１と同様に、ガイド部材３４の内周側は、略長方形状の開口部３４ｃとなっている。開口部３４ｃは、載置台８の貫通穴８ａよりも大きくなっている。また、開口部３４ｃは、液晶パネル２の外形よりも大きくなっており、液晶パネル２は、開口部３４ｃを上下方向へ通過可能となっている。開口部３４ｃは、入替位置８Ｂに配置される２個の載置台８のそれぞれの上側に配置されている。すなわち、ガイド部材３４は、入替位置８Ｂに配置される２個の載置台８のそれぞれの上側に配置されている。
　ガイド部材３４は、ガイド部材３４の下端面（すなわち、筒部３４ａの下端面）に取り付けられるシール部材４５を備えている（図９参照）。具体的には、筒部３４ａの下端面に、略四角環状に形成される凹部が形成されており、この凹部の中に環状のシール部材４５が取り付けられている。シール部材４５は、Ｏリングである。シール部材４５は、ガイド部材３４が下降したときに、載置台８の上面に接触する。
　第１上面部１３ｃの上面の、貫通穴１３ｈの縁には、略四角環状に形成される凹部が形成されており、この凹部の中には、下降したガイド部材３４の鍔部３４ｂ（すなわち、ガイド部材３４の上端側部分）に接触する第２のシール部材としてのシール部材４６が取り付けられている（図９参照）。すなわち、第１上面部１３ｃの上面の、貫通穴１３ｈの縁には、シール部材４６が取り付けられている。シール部材４６は、Ｏリングである。
　以上のように構成された検査装置１において、液晶パネル２の点灯検査を行うときには、エアシリンダ１１のロッドが上昇するとともに、エアシリンダ４１のロッドが下降する。すなわち、液晶パネル２の点灯検査を行うときには、閉塞部材３０が上昇して入替位置８Ｂに配置される載置台８の貫通穴８ａを塞ぐとともに、ガイド部材３４が下降して入替位置８Ｂに配置される載置台８に接触する。具体的には、図９に示すように、閉塞部材３０の突出部３０ａが載置台８の下面に接触して貫通穴８ａを塞ぐとともに、筒部３４ａの下端面に取り付けられるシール部材４５が載置台８の上面に接触する。また、ガイド部材３４が下降すると、シール部材４６が鍔部３４ｂの下面に接触する。
　閉塞部材３０によって貫通穴８ａが塞がれるとともに、筒部３４ａの下端面に取り付けられるシール部材４５が載置台８の上面に接触し、かつ、シール部材４６が鍔部３４ｂの下面に接触すると、筐体１３の内部は密閉された空間となって、筐体１３の内部は暗室になる。すなわち、閉塞部材３０が上昇して入替位置８Ｂに配置される載置台８の貫通穴８ａを塞ぐとともに、ガイド部材３４が下降して入替位置８Ｂに配置される載置台８に接触すると、載置台８と閉塞部材３０とによって筺体１３の内部から開口部３４ｃが塞がれて、筐体１３の内部が密閉された空間になるとともに、暗室になる。実施の形態１と同様に、液晶パネル２の点灯検査は、筐体１３の内部が暗室となっている状態で行われる。
　また、閉塞部材３０が上昇して入替位置８Ｂに配置される載置台８の貫通穴８ａを塞ぐとともに、ガイド部材３４が下降して入替位置８Ｂに配置される載置台８に接触すると、入替位置８Ｂに配置された載置台８に載置される液晶パネル２は、開口部３４ｃの中に配置されて筐体１３の外側に露出する。ロボット５は、筐体１３の内部で液晶パネル２の点灯検査が行われているときに、開口部３４ｃの中に配置される点灯検査後の液晶パネル２（入替位置８Ｂに配置された載置台８に載置される液晶パネル２）を吸着して搬出しコンベヤ４に載置する。また、ロボット５は、コンベヤ３上の検査前の液晶パネル２を吸着して搬送し、点灯検査後の液晶パネル２が搬出された後の載置台８に載置する。
　筐体１３の内部で液晶パネル２の点灯検査が終了するとともに、入替位置８Ｂに配置される載置台８に対する液晶パネル２の入替が終了すると、エアシリンダ１１のロッドが下降して閉塞部材３０が下降し、エアシリンダ４１のロッドが上昇してガイド部材３４が上昇する。その後、モータ１７が起動して、回転テーブル９が回転し、検査位置８Ａに配置された載置台８は入替位置８Ｂに移動し、入替位置８Ｂに配置された載置台８は検査位置８Ａに移動する。回転テーブル９が回転して検査位置８Ａと入替位置８Ｂとの間で載置台８が移動すると、同様にして、閉塞部材３０が上昇するとともにガイド部材３４が下降し、検査位置８Ａに配置された載置台８に載置される液晶パネル２の点灯検査と、入替位置８Ｂに配置された載置台８に載置される液晶パネル２の入替とが行われる。
　本形態においても、実施の形態１と同様に効果を得ることができる。たとえば、本形態では、閉塞部材３０が上昇して入替位置８Ｂに配置される載置台８の貫通穴８ａを塞ぐとともに、ガイド部材３４が下降して入替位置８Ｂに配置される載置台８に接触すると、筐体１３の内部が密閉された空間になって暗室になるとともに、入替位置８Ｂに配置された載置台８に載置される液晶パネル２は、開口部３４ｃの中に配置されて筐体１３の外側に露出するため、暗室の中での液晶パネル２の点灯検査と、載置台８に対する液晶パネル２の入替とを一緒に行うことが可能になる。また、ガイド部材３４が下降すると、筒部３４ａの下端面に取り付けられるシール部材４５が載置台８の上面に接触し、かつ、シール部材４６が鍔部３４ｂの下面に接触するため、筐体１３の内部の空間の密閉性を高めることが可能になる。
　また、本形態では、載置台８が回転テーブル９に固定されているため、載置台８が回転テーブル９に昇降可能に搭載されている場合と比較して、検査位置８Ａに配置された載置台８に載置される液晶パネル２と、点灯検査用の各種の機器との相対位置のずれを抑制することが可能になる。したがって、本形態では、液晶パネル２の点灯検査の精度を高めることが可能になる。また、載置台８が回転テーブル９に固定されているため、配管２１が載置台８と一緒に上下動することはない。
　ただし、本形態では、エアシリンダ１１に加えてエアシリンダ４１も必要になるため、実施の形態１と比較して、検査装置１の構成が複雑になる。また、本形態では、２個のシール部材４５、４６が必要になるため、実施の形態１と比較して、検査装置１の構成が複雑になる。さらに、本形態では、シール部材４５を載置台８の上面に接触させるとともに、シール部材４６を鍔部３４ｂの下面に接触させる必要があるため、硬度が比較的低く、弾性変形しやすいシール部材４５、４６を使用する必要がある。
　［他の実施の形態］
　上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
　上述した形態では、載置台８に貫通穴８ａが形成されているが、たとえば、バックライトが取り付けられた液晶パネル２の点灯検査を検査装置１で行う場合には、載置台８に貫通穴８ａが形成されていなくても良い。実施の形態１において、載置台８に貫通穴８ａが形成されていない場合には、エアシリンダ１１のロッドの先端に閉塞部材３０が取り付けられていなくても良い。また、この場合には、入替位置８Ｂに配置される載置台８がエアシリンダ１１によって持ち上げられると、載置台８によって開口部３４ｃが塞がれる。
　また、実施の形態２において、載置台８に貫通穴８ａが形成されていない場合には、検査装置１は、エアシリンダ１１および閉塞部材３０を備えていなくても良い。この場合には、ガイド部材３４が下降して入替位置８Ｂに配置される載置台８に接触すると、載置台８によって、筺体１３の内部から開口部３４ｃが塞がれる。
　上述した形態において、突出部３０ａの上端面に、シール部材３５と同様のシール部材が取り付けられても良い。また、実施の形態１において、凸部３４ｄの下端面にシール部材３５が取り付けられていなくても良い。また、実施の形態２において、筒部３４ａの下端面にシール部材４５が取り付けられていなくても良いし、第１上面部１３ｃの上面の、貫通穴１３ｈの縁にシール部材４６が取り付けられていなくても良い。
　上述した形態において、エアシリンダ１１に代えて、たとえば、モータを駆動源とする駆動機構が配置されても良い。すなわち、実施の形態１において、載置台８を上昇させる上昇機構は、たとえば、モータを駆動源とするものであっても良い。また、実施の形態２において、閉塞部材３０を昇降させる閉塞部材昇降機構は、たとえば、モータを駆動源とするものであっても良い。また、実施の形態１において、付勢機構２７が設けられていなくても良い。この場合には、エアシリンダ１１が下降すると、載置台８が自重で下降する。
　上述した形態では、一対の載置台８が回転テーブル９の回転中心に対して１８０°ピッチで配置されているが、回転テーブル９の回転中心に対して、１個の載置台８と１個の載置台８とが１８０°ピッチで配置されても良いし、３個以上の載置台８と３個以上の載置台８とが１８０°ピッチで配置されても良い。この場合には、載置台８の数に応じた数のガイド部材３４が設置されて、載置台８の数に応じた数の開口部３４ｃが筐体１３に形成される。また、載置台８の数に応じた数のエアシリンダ１１が設置される。また、この場合には、実施の形態２では、載置台８の数に応じた数のエアシリンダ４１が設置される。
　また、上述した形態では、一対の載置台８が回転テーブル９の回転中心に対して１８０°ピッチで２箇所に配置されているが、一対の載置台８が回転テーブル９の回転中心に対して所定の角度ピッチで３箇所以上に配置されても良い。たとえば、一対の載置台８が回転テーブル９の回転中心に対して１２０°ピッチで配置されても良い。この場合には、たとえば、回転テーブル９は、１２０°回転して停止する。また、この場合には、載置台８からの液晶パネル２の搬出が行われる入替位置と、載置台８への液晶パネル２の供給が行われる入替位置とが別々になっていても良い。この場合には、一対の載置台８は、回転テーブル９が１２０°回転すると、検査位置８Ａと、載置台８からの液晶パネル２の搬出が行われる入替位置と、載置台８への液晶パネル２の供給が行われる入替位置とに順次移動する。
　なお、上述した形態のように、１箇所の入替位置８Ｂで、載置台８からの液晶パネル２の搬出と載置台８への液晶パネル２の供給とが行われる場合には、載置台８からの液晶パネル２の搬出が行われる入替位置と、載置台８への液晶パネル２の供給が行われる入替位置とが別々になっている場合と比較して、検査装置１の構成を簡素化することが可能になる。また、一対の載置台８が回転テーブル９の回転中心に対して所定の角度ピッチで３箇所以上に配置されている場合には、検査位置８Ａおよび入替位置のいずれにも配置されていない載置台８があっても良い。
　上述した形態では、筐体１３の内部の暗室で液晶パネル２の点灯検査を行っているが、筐体１３の内部の暗室で液晶パネル２以外の検査対象物の点灯検査を行って良い。また、上述した形態では、処理装置１は、液晶パネル２を点灯検査するための検査装置であるが、本発明が適用される処理装置は、検査装置以外の、所定の処理対象物を処理する装置であっても良い。たとえば、本発明が適用される処理装置は、紫外線照射装置であっても良い。この場合、紫外線照射装置で処理される処理対象物は、紫外線が照射される照射対象物である。
　また、この場合には、上述した形態の検査位置８Ａと同じ位置が、照射対象物に紫外線が照射される照射位置となり、回転テーブル９は、この照射位置と入替位置８Ｂとの間で載置台８を移動させる。この場合には、筺体１３の内部であって、照射位置に配置された載置台８の上側には、紫外線を照射する照射ユニットが配置されている。また、この場合には、照射対象物に照射される紫外線が筐体１３の外部に漏れないように、実施の形態１では、入替位置８Ｂに配置される載置台８が持ち上げられて開口部３４ｃが塞がれ、筐体１３の内部が密閉された空間となった状態で、照射対象物に紫外線が照射される。また、照射対象物に照射される紫外線が筐体１３の外部に漏れないように、実施の形態２では、閉塞部材３０が上昇して入替位置８Ｂに配置される載置台８の貫通穴８ａが塞がれるとともにガイド部材３４が下降して入替位置８Ｂに配置される載置台８に接触して開口部３４ｃが塞がれ、筐体１３の内部が密閉された空間となった状態で、照射対象物に紫外線が照射される。
　この場合には、照射位置に配置された照射対象物に対して紫外線を照射しながら、入替位置８Ｂに配置される載置台８に対して、筐体１３の外側に露出する照射対象物の入替を行うことが可能になる。すなわち、密閉空間の中での照射対象物への紫外線の照射と、載置台８に対する照射対象物の入替とを一緒に行うことが可能になる。したがって、密閉空間の中で照射対象物への紫外線の照射を行う場合であっても、照射対象物への紫外線の照射工程に要する時間を短縮することが可能になる。
　１　検査装置（処理装置）
　２　液晶パネル（処理対象物、検査対象物）
　８　載置台
　８Ａ　検査位置（処理位置）
　８Ｂ　入替位置
　８ａ　貫通穴
　９　回転テーブル
　１０　回転駆動機構
　１１　エアシリンダ（上昇機構、閉塞部材昇降機構）
　１３　筐体
　１３ｈ　貫通穴（筐体側貫通穴）
　３０　閉塞部材
　３４　ガイド部材（昇降部材）
　３４ｃ　開口部
　３４ｄ　凸部
　３５　シール部材
　４１　エアシリンダ（昇降部材昇降機構）
　４５　シール部材
　４６　シール部材（第２のシール部材）

Claims (11)

  1. 　処理対象物が載置される複数の載置台と、複数の前記載置台が昇降可能に搭載される回転テーブルと、上下方向を回転の軸方向として前記回転テーブルを回転させる回転駆動機構と、前記回転テーブルに対して前記載置台を上昇させる上昇機構と、前記載置台、前記回転テーブル、前記回転駆動機構および前記上昇機構が収容される筐体とを備え、
    　複数の前記載置台のうちのいくつかの前記載置台は、前記処理対象物の処理が行われる処理位置に配置され、複数の前記載置台のうちのいくつかの前記載置台は、前記載置台からの前記処理対象物の搬出および前記載置台への前記処理対象物の供給の少なくともいずれか一方が行われる入替位置に配置され、
    　前記回転テーブルは、前記処理位置と前記入替位置との間で前記載置台を移動させ、
    　前記筐体には、前記入替位置に配置される前記載置台の上側に配置されるとともに前記処理対象物が通過可能な開口部が形成され、
    　前記上昇機構は、前記入替位置に配置される前記載置台の下側に配置され、
    　前記入替位置に配置される前記載置台が前記上昇機構によって持ち上げられると、前記筺体の内部から前記開口部が塞がれて前記筐体の内部が密閉された空間になるとともに、前記処理対象物が前記開口部の中に配置されて前記筐体の外側に露出することを特徴とする処理装置。
  2. 　前記処理対象物は、点灯検査される検査対象物であり、
    　複数の前記載置台のうちのいくつかの前記載置台は、前記検査対象物の点灯検査が行われる前記処理位置としての検査位置に配置され、複数の前記載置台のうちのいくつかの前記載置台は、前記入替位置に配置され、
    　前記回転テーブルは、前記検査位置と前記入替位置との間で前記載置台を移動させ、
    　前記入替位置に配置される前記載置台が前記上昇機構によって持ち上げられると、前記開口部が塞がれて、前記筐体の内部が暗室になることを特徴とする請求項１記載の処理装置。
  3. 　前記処理対象物は、紫外線が照射される照射対象物であり、
    　複数の前記載置台のうちのいくつかの前記載置台は、前記照射対象物に紫外線が照射さ
    れる前記処理位置としての照射位置に配置され、複数の前記載置台のうちのいくつかの前記載置台は、前記入替位置に配置され、
    　前記回転テーブルは、前記照射位置と前記入替位置との間で前記載置台を移動させることを特徴とする請求項１記載の処理装置。
  4. 　前記入替位置では、前記載置台からの前記処理対象物の搬出および前記載置台への前記処理対象物の供給が行われることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の処理装置。
  5. 　前記開口部の縁には、下側に向かって突出する環状の凸部が形成され、
    　前記凸部の下端面には、前記載置台の上面に接触する環状のシール部材が取り付けられていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の処理装置。
  6. 　前記載置台には、上下方向に貫通する貫通穴が形成され、
    　前記上昇機構には、前記貫通穴を塞ぐ閉塞部材が取り付けられ、
    　前記入替位置に配置される前記載置台が前記上昇機構によって持ち上げられると、前記閉塞部材によって前記貫通穴が塞がれるとともに、前記載置台と前記閉塞部材とによって前記開口部が塞がれることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の処理装置。
  7. 　前記入替位置に配置される前記載置台が前記上昇機構によって持ち上げられると、前記載置台によって前記開口部が塞がれることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の処理装置。
  8. 　上下方向に貫通する貫通穴が形成されるとともに処理対象物が載置される複数の載置台と、複数の前記載置台が搭載される回転テーブルと、上下方向を回転の軸方向として前記回転テーブルを回転させる回転駆動機構と、前記載置台の下側から前記貫通穴を塞ぐ閉塞部材と、前記閉塞部材を昇降させる閉塞部材昇降機構と、前記載置台、前記回転テーブル、前記回転駆動機構、前記閉塞部材および前記閉塞部材昇降機構が収容される筐体と、前記筺体に昇降可能に保持される昇降部材と、前記昇降部材を昇降させる昇降部材昇降機構とを備え、
    　複数の前記載置台のうちのいくつかの前記載置台は、前記処理対象物の処理が行われる処理位置に配置され、複数の前記載置台のうちのいくつかの前記載置台は、前記載置台からの前記処理対象物の搬出および前記載置台への前記処理対象物の供給の少なくともいずれか一方が行われる入替位置に配置され、
    　前記回転テーブルは、前記処理位置と前記入替位置との間で前記載置台を移動させ、
    　前記昇降部材は、前記搬送対象物が通過可能な開口部を内周側に有する筒状に形成されるとともに、前記入替位置に配置される前記載置台の上側に配置され、
    　前記閉塞部材は、前記入替位置に配置される前記載置台の下側に配置され、
    　前記閉塞部材が上昇して前記入替位置に配置される前記載置台の前記貫通穴を塞ぐとともに前記昇降部材が下降して前記入替位置に配置される前記載置台に接触すると、前記筺体の内部から前記開口部が塞がれて前記筐体の内部が密閉された空間になるとともに、前記処理対象物が前記開口部の中に配置されて前記筐体の外側に露出することを特徴とする処理装置。
  9. 　前記処理対象物は、点灯検査される検査対象物であり、
    　複数の前記載置台のうちのいくつかの前記載置台は、前記検査対象物の点灯検査が行われる前記処理位置としての検査位置に配置され、複数の前記載置台のうちのいくつかの前記載置台は、前記入替位置に配置され、
    　前記回転テーブルは、前記検査位置と前記入替位置との間で前記載置台を移動させ、
    　前記閉塞部材が上昇して前記入替位置に配置される前記載置台の前記貫通穴を塞ぐとともに前記昇降部材が下降して前記入替位置に配置される前記載置台に接触すると、前記開口部が塞がれて、前記筐体の内部が暗室になることを特徴とする請求項８記載の処理装置。
  10. 　前記筐体には、前記昇降部材の下端側部分が配置される筐体側貫通穴が形成され、
    　前記昇降部材は、前記昇降部材の下端面に取り付けられ前記載置台の上面に接触する環状のシール部材を備え、
    　前記筐体側貫通穴の縁には、下降した前記昇降部材の上端側部分に接触する環状の第２のシール部材が取り付けられていることを特徴とする請求項８または９記載の処理装置。
  11. 　処理対象物が載置される複数の載置台と、複数の前記載置台が搭載される回転テーブルと、上下方向を回転の軸方向として前記回転テーブルを回転させる回転駆動機構と、前記載置台、前記回転テーブルおよび前記回転駆動機構が収容される筐体と、前記筺体に昇降可能に保持される昇降部材と、前記昇降部材を昇降させる昇降部材昇降機構とを備え、
    　複数の前記載置台のうちのいくつかの前記載置台は、前記処理対象物の処理が行われる処理位置に配置され、複数の前記載置台のうちのいくつかの前記載置台は、前記載置台からの前記処理対象物の搬出および前記載置台への前記処理対象物の供給の少なくともいずれか一方が行われる入替位置に配置され、
    　前記回転テーブルは、前記処理位置と前記入替位置との間で前記載置台を移動させ、
    　前記昇降部材は、前記搬送対象物が通過可能な開口部を内周側に有する筒状に形成されるとともに、前記入替位置に配置される前記載置台の上側に配置され、
    　前記昇降部材が下降して前記入替位置に配置される前記載置台に接触すると、前記筺体の内部から前記開口部が塞がれて前記筐体の内部が密閉された空間になるとともに、前記処理対象物が前記開口部の中に配置されて前記筐体の外側に露出することを特徴とする処理装置。
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000100892A (ja) * 1998-09-18 2000-04-07 Olympus Optical Co Ltd 基板検査装置
JP2004115160A (ja) * 2002-09-24 2004-04-15 Kyoshin Engineering:Kk 加工装置の扉開閉装置
JP2009058630A (ja) * 2007-08-30 2009-03-19 Ulvac Japan Ltd 光照射装置
JP2009103660A (ja) * 2007-10-25 2009-05-14 Sharp Corp 表示パネル検査治具

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000100892A (ja) * 1998-09-18 2000-04-07 Olympus Optical Co Ltd 基板検査装置
JP2004115160A (ja) * 2002-09-24 2004-04-15 Kyoshin Engineering:Kk 加工装置の扉開閉装置
JP2009058630A (ja) * 2007-08-30 2009-03-19 Ulvac Japan Ltd 光照射装置
JP2009103660A (ja) * 2007-10-25 2009-05-14 Sharp Corp 表示パネル検査治具

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