WO2017099551A1 - 반도체 전공정, 의료 장비 및 이화학기기용 스핀장치 - Google Patents

반도체 전공정, 의료 장비 및 이화학기기용 스핀장치 Download PDF

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WO2017099551A1
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이현재
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이현재
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    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
    • B05C11/02—Apparatus for spreading or distributing liquids or other fluent materials already applied to a surface ; Controlling means therefor; Control of the thickness of a coating by spreading or distributing liquids or other fluent materials already applied to the coated surface
    • B05C11/08—Spreading liquid or other fluent material by manipulating the work, e.g. tilting
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor
    • G03F7/162—Coating on a rotating support, e.g. using a whirler or a spinner
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
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    • B05D1/002—Processes for applying liquids or other fluent materials the substrate being rotated
    • B05D1/005—Spin coating
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    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping

Definitions

  • the present invention relates to a spin device for semiconductor preprocessing, medical equipment and physicochemical equipment.
  • a spin coater refers to a device for uniformly coating any liquid on the object by causing the liquid on the object to be pushed out by centrifugal force through the rotation of the object.
  • the spin coater is driven according to the set speed of the spin coater, so that the user can obtain a result at a desired speed.
  • spin coaters are used in photolithography and the like in semiconductor processes.
  • Korean Patent Laid-Open Publication No. 2005-0106562 discloses a spin coater and a method of manufacturing a semiconductor device using the same.
  • the conventional spin coater is driven only at a set speed, it is difficult to provide driving information of a motor that can vary according to a user's needs.
  • the driving information of the spin coater motor is not provided to the user in real time, the user may not actively control the position and speed of the spin coater.
  • the present invention provides a spin device for semiconductor preprocessing, medical equipment, and physicochemical equipment, which stores the speed of a motor represented by a graphic or a number as a file and provides the form of an attached file.
  • the present invention aims to provide a spin device for semiconductor preprocessing, medical equipment, and physicochemical equipment that allows the motor to be driven through a reverse rotation function in the spin device.
  • the technical problem to be achieved by the present embodiment is not limited to the technical problems as described above, and other technical problems may exist.
  • an embodiment of the present invention is a mounting portion for mounting the wafer on the upper surface, a control unit for generating a control signal for driving the motor, the wafer is seated based on the control signal
  • a motor for rotating a seating unit and a display unit for displaying the drive data for each section of the motor and the real-time drive information of the motor, wherein the section-specific drive data is a data setting the number of revolutions to be driven by the motor at least one section
  • the real-time driving information may provide a spin apparatus that is information displayed in association with driving data for each section as the motor is driven.
  • the display unit may be configured to display the driving data for each section in a graph and to display the real-time driving information in a straight line moving on the graph.
  • the display unit may display the linear bar to move in one direction in parallel with at least one axis of the graph as the motor is driven.
  • the control unit sets the rotational speed per unit time of the motor and the driving time of the motor as the vertical axis and the horizontal axis of the graph, respectively, and the display unit counts the driving time of the motor by driving the motor.
  • the linear bar is displayed to move in one direction in parallel with the vertical axis of the graph, and as the linear bar moves, the point where the graph and the linear bar meet is the rotational speed per unit time of the motor at the point where the linear bar is located. It may be meant.
  • control unit may generate a control signal for driving the motor in the forward or reverse direction, and the motor may be configured to rotate the seating unit in the forward or reverse direction based on the control signal.
  • the display unit when the motor is driven in the reverse direction, the display unit may be configured to display the drive data for each section and the real-time driving information of the motor separately from the case where the motor is driven in the forward direction.
  • the display unit displays the rotation speed per unit time of the motor when the motor is driven in the positive direction in a positive graph, and the rotation speed per unit time of the motor when the motor is driven in the reverse direction Can be configured to display a negative graph.
  • generating a control signal for driving the motor rotating the motor based on the control signal and displaying the drive data for each section of the motor and the real-time driving information of the motor
  • the driving data for each section is data for setting the rotation speed at which the motor is to be driven for at least one or more sections
  • the real time driving information is information displayed in association with the driving data for each section as the motor is driven. It is possible to provide a spin device driving method.
  • a spin device for semiconductor preprocessing, medical equipment and physicochemical equipment that displays the speed of the motor in real time graphically and numerically.
  • a spin device for a semiconductor preprocess, a medical device, and a physicochemical device which stores the speed of a motor represented by a graphic or a number as a file and provides it in the form of an attached file.
  • a spin device for semiconductor preprocessing, medical equipment, and physicochemical equipment that allows the motor to be driven through a reverse rotation function in the spin device.
  • FIG. 1 is a diagram illustrating a spin device for a semiconductor preprocess, a medical device, and a chemical device according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is an exemplary diagram showing section setting data set in a spin apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • 3A to 3D are exemplary diagrams for describing a process of displaying driving data for each section of a motor and real-time driving information of the motor through movement of a straight bar according to a section set in a spin apparatus according to an embodiment of the present invention; to be.
  • FIG. 4 is a flowchart illustrating a method of displaying driving data for each section of a motor and real-time driving information of the motor in a spin apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • the term 'unit' includes a unit realized by hardware, a unit realized by software, and a unit realized by both.
  • one unit may be realized using two or more pieces of hardware, and two or more units may be realized by one piece of hardware.
  • Some of the operations or functions described as being performed by a terminal or a device in the present specification may instead be performed in a server connected to the terminal or device. Similarly, some of the operations or functions described as being performed by the server may be performed by a terminal or a device connected to the server.
  • the spin apparatus 1 for semiconductor preprocessing, medical equipment, and physicochemical device may include a seating unit 110, a controller 120, a motor 130, and a display unit 140.
  • the mounting unit 110 may mount the wafer on the upper surface. At this time, the seating unit 110 may be rotated by the driving of the motor 130 to rotate the wafer.
  • the controller 120 may generate a control signal for driving the motor 130. At this time, the controller 120 may generate a control signal for driving the motor 130 in the forward or reverse direction. For example, the controller 120 may drive the motor 130 in the forward direction, and generate a control signal set to RPM: 1,000 / driving time: 10 seconds.
  • the controller 120 displays the rotational speed per unit time of the motor 130 and the driving time of the motor 130 required for displaying the driving data for each section of the motor 130 and the real-time driving information of the motor 130, respectively.
  • the controller 120 sets the horizontal axis of the graph to display 0 to 5,000 RPM in units of revolutions per unit time of the motor 130, and 0 to 60 sec based on the driving time of the motor 130. You can set the vertical axis of the graph to display up to.
  • the motor 130 may rotate the seating portion 110 on which the wafer is seated based on the control signal. At this time, the motor 130 may rotate the seating portion 110 in the forward or reverse direction based on the control signal.
  • various types of motors may be used as the motor 130, such as an AC, DC, or brushless dc (BLDC) motor.
  • the display unit 140 may display driving data for each section of the motor 130 and real time driving information of the motor 130 on the display.
  • the drive data for each section is data that sets the number of revolutions at which the motor 130 is to be driven for at least one or more sections
  • the real-time drive information is information displayed in association with the drive data for each section as the motor 130 is driven.
  • the driving data for each section may be stored in the form of a file, and may be provided to the user in the form of an attached file.
  • the display unit 140 may display the driving data for each section of the motor 130 and the real time driving information of the motor 130 on a display.
  • the display unit 140 may display driving data for each section in a graph, and display real-time driving information with a straight line moving on the graph.
  • the display unit 140 may display the linear bar to move in one direction in parallel with at least one axis of the graph as the motor 130 is driven.
  • the point where the graph and the straight bar meet as the straight bar is moved may mean the rotational speed per unit time of the motor 130 at the time when the straight bar is located.
  • the display unit 140 may display the linear bar to move in one direction in parallel with the vertical axis of the graph.
  • the display unit 140 may display the linear bar to move in one direction in parallel with the vertical axis of the graph.
  • the display unit 140 may display the drive data for each section and the real-time drive information of the motor 130 to distinguish from the case where the motor 130 is driven in the forward direction.
  • the rotation speed per unit time of the motor 130 when the motor 130 is driven in the forward direction is displayed in a positive graph
  • the unit time of the motor 130 when the motor 130 is driven in the reverse direction The number of revolutions can be displayed as a negative graph.
  • FIG. 2 is an exemplary diagram showing section setting data set in a spin apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • the spin apparatus 1 may receive RPM information and time for each section by a manager, and may be driven to rotate the seating unit 110 based on the set section data.
  • the spin apparatus 1 may be configured by the user in the first section 210 to RPM: 100 / hour: 5.0 sec, the second section 220 to RPM: 2,000 / hour: 20.0 sec, and the third section. 230 may be set to RPM: 500 / hour: 10.0 sec, and the fourth section 240 may be set to RPM: 3,000 / hour: 20.0 sec.
  • the spin apparatus 1 may generate a control signal differently according to each section, and the motor 130 may include a seating unit 110 in which a wafer is seated according to the generated control signal based on the set section data. It is possible to rotate.
  • 3A to 3D are exemplary diagrams for describing a process of displaying driving data for each section of a motor and real-time driving information of the motor through movement of a straight bar according to a section set in a spin apparatus according to an embodiment of the present invention; to be.
  • the spin apparatus 1 may display driving data for each section of the motor 130 and real time driving information of the motor 130.
  • the drive data for each section is data that sets the number of revolutions at which the motor 130 is to be driven for at least one or more sections
  • the real-time drive information is information displayed in association with the drive data for each section as the motor 130 is driven. Can be.
  • the spin apparatus 1 may set the rotational speed per unit time of the motor 130 and the driving time of the motor 130 to the vertical and horizontal axes of the graph, respectively.
  • the spin apparatus 1 may set the vertical axis of the graph to the rotational speed per unit time of the motor 130 based on the rotational speed per unit time of the motor 130 and the driving time of the motor 130 set in each section.
  • the display may be set, and the horizontal axis of the graph may be set to display the driving time of the motor 130.
  • the spin apparatus 1 may display the linear bar to move in one direction in parallel with the vertical axis of the graph as the driving time of the motor 130 is counted.
  • FIG. 3A is an exemplary diagram showing driving data of each section of the motor 130 and real-time driving information of the motor 130 for the first section in the spin apparatus. 2 and 3A, when the first section of the spin apparatus 1 is set by the user to RPM: 100 / hour: 5.0 sec, the spin apparatus 1 is sectioned for a driving time of 0 to 5.0 sec. Star driving data can be displayed as RPM: 100. At this time, the spin apparatus 1 may display the real-time driving information for the first section through the movement of the straight bar.
  • 3B is an exemplary diagram showing real-time driving information of the motor 130 and the section-specific drive data of the motor 130 for the second section in the spin apparatus.
  • the spin apparatus 1 when the second section of the spin apparatus 1 is set by the user to RPM: 2,000 / hour: 20.0 sec, the spin apparatus 1 is sectioned for a driving time of 5.0 to 25.0 sec. Star drive data can be displayed as RPM: 2,000. At this time, the spin apparatus 1 may display the real-time driving information for the second section through the movement of the straight bar.
  • FIG. 3C is an exemplary diagram showing driving data of each section of the motor 130 and real-time driving information of the motor 130 for the third section in the spin apparatus. 2 and 3C, when the third section of the spin apparatus 1 is set by the user to RPM: 500 / hour: 10.0 sec, the spin apparatus 1 is sectioned for a driving time of 25.0 to 35.0 sec. Star driving data can be displayed as RPM: 500. At this time, the spin apparatus 1 may display the real-time driving information for the third section through the movement of the straight bar.
  • 3D is an exemplary diagram showing real-time driving information of the motor 130 and the section-specific drive data of the motor 130 for the fourth section in the spin apparatus.
  • the spin apparatus 1 when the fourth section of the spin apparatus 1 is set by the user to RPM: 3,000 / hour: 20.0 sec, the spin apparatus 1 is sectioned for a driving time of 35.0 to 55.0 sec.
  • Star drive data can be displayed as RPM: 3,000.
  • the spin apparatus 1 may display real-time driving information for the fourth section through the movement of the straight bar.
  • FIG. 4 is a flowchart illustrating a method of displaying driving data for each section of a motor and real-time driving information of the motor in a spin apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • the method for displaying the drive data for each section of the motor and the real-time driving information of the motor performed by the spin apparatus 1 according to the embodiment shown in FIG. 4 is the spin apparatus according to the embodiment shown in FIGS. Steps 1) are processed in time series. Therefore, even if omitted below, the contents already described with respect to the spin apparatus 1 according to the exemplary embodiment illustrated in FIGS. 1 to 3D are described. The same applies to a method of displaying real time driving information.
  • the spin apparatus 1 may generate a control signal for driving the motor.
  • the spin apparatus 1 may generate a control signal for driving the motor in the forward or reverse direction.
  • the spin apparatus 1 may rotate the motor based on the control signal.
  • the spin apparatus 1 can rotate the motor in the forward or reverse direction based on the control signal.
  • the spin apparatus 1 may display driving data for each section of the motor and real-time driving information of the motor.
  • the driving data for each section may be data that sets the rotation speed at which the motor is to be driven for at least one or more sections
  • the real time driving information may be information displayed in association with the driving data for each section as the motor is driven.
  • the spin apparatus 1 may display driving data for each section in a graph and display real-time driving information with a straight line moving on the graph.
  • steps S410 to S430 may be further divided into additional steps or combined into fewer steps, according to an embodiment of the invention.
  • some steps may be omitted as necessary, and the order between the steps may be changed.
  • the spin device for semiconductor preprocessing, medical equipment, and physicochemical apparatus described with reference to FIGS. Can be.
  • the spin device for semiconductor preprocessing, medical equipment, and physicochemical apparatus described with reference to FIGS. 1 to 4 may be implemented in the form of a computer program stored in a medium executed by a computer.
  • Computer readable media can be any available media that can be accessed by a computer and includes both volatile and nonvolatile media, removable and non-removable media.
  • computer readable media may include both computer storage media and communication media.
  • Computer storage media includes both volatile and nonvolatile, removable and non-removable media implemented in any method or technology for storage of information such as computer readable instructions, data structures, program modules or other data.
  • Communication media typically includes computer readable instructions, data structures, program modules, or other data in a modulated data signal such as a carrier wave, or other transmission mechanism, and includes any information delivery media.

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Abstract

스핀 장치는 상면에 웨이퍼를 안착시키는 안착부, 모터 구동을 위한 제어 신호를 생성하는 제어부, 제어 신호에 기초하여 웨이퍼가 안착된 안착부를 회전시키는 모터 및 모터의 구간별 구동 데이터 및 모터의 실시간 구동 정보를 표시하는 표시부를 포함하고, 구간별 구동 데이터는 모터가 적어도 하나 이상의 구간 별로 구동될 회전수를 설정한 데이터이고, 실시간 구동 정보는 모터가 구동됨에 따라 구간별 구동 데이터와 연계되어 표시되는 정보일 수 있다.

Description

반도체 전공정, 의료 장비 및 이화학기기용 스핀장치
본 발명은 반도체 전공정, 의료 장비 및 이화학기기용 스핀장치에 관한 것이다.
스핀코터(spin-coater)란 물체의 회전을 통해 물체 위에 올려진 액체를 원심력을 이용하여 밖으로 밀려나게 함으로써, 물체에 임의의 액체를 균일하게 코팅시키는 장치를 말한다. 스핀코터는 설정된 스핀코터의 스피드에 따라 구동됨으로써, 사용자가 원하는 스피드에서의 결과를 획득할 수 있게 된다. 이러한 스핀코터는 반도체 공정 중 포토 도포 공정등에 이용되고 있다.
이와 관련하여, 선행기술인 한국공개특허 제 2005-0106562호는 스핀 코터 및 이를 이용한 반도체 소자의 제조방법에 대해 개시하고 있다.
종래의 스핀 코터는 설정된 스피드로만 구동됨으로써, 사용자의 필요에 따라 변동 가능한 모터의 구동 정보를 제공하기 어려웠다. 또한, 스핀 코터 모터의 구동 정보를 사용자에게 실시간으로 제공하지 않아, 사용자는 스핀 코터의 위치 제어 및 속도 제어를 능동적으로 할 수 없다는 단점을 가지고 있다.
모터의 속도를 실시간으로 그래픽과 숫자로 표시하는 반도체 전공정, 의료 장비 및 이화학기기용 스핀장치를 제공하고자 한다. 또한, 그래픽 또는 숫자로 표시된 모터의 속도를 파일로 저장하여, 첨부파일의 형태로 제공하는 반도체 전공정, 의료 장비 및 이화학기기용 스핀 장치를 제공하고자 한다. 스핀장치에서 역방향 회전 기능을 통해 모터의 구동할 수 있도록 하는 반도체 전공정, 의료 장비 및 이화학기기용 스핀 장치를 제공하고자 한다. 다만, 본 실시예가 이루고자 하는 기술적 과제는 상기된 바와 같은 기술적 과제들로 한정되지 않으며, 또 다른 기술적 과제들이 존재할 수 있다.
상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 기술적 수단으로서, 본 발명의 일 실시예는 상면에 웨이퍼를 안착시키는 안착부, 모터 구동을 위한 제어 신호를 생성하는 제어부, 상기 제어 신호에 기초하여 상기 웨이퍼가 안착된 안착부를 회전시키는 모터 및 상기 모터의 구간별 구동 데이터 및 상기 모터의 실시간 구동 정보를 표시하는 표시부를 포함하고, 상기 구간별 구동 데이터는 상기 모터가 적어도 하나 이상의 구간 별로 구동될 회전수를 설정한 데이터이고, 상기 실시간 구동 정보는 상기 모터가 구동됨에 따라 상기 구간별 구동 데이터와 연계되어 표시되는 정보인 것인 스핀 장치를 제공할 수 있다.
본 실시예의 일례에 따르면, 상기 표시부는 상기 구간별 구동 데이터를 그래프로 표시하고, 상기 실시간 구동 정보를 상기 그래프 상에서 이동하는 직선바로 표시하도록 구성될 수 있다.
본 실시예의 일례에 따르면, 상기 표시부는 상기 모터가 구동됨에 따라 상기 직선바를 상기 그래프의 적어도 하나의 축과 평행하게 한방향으로 이동하도록 표시할 수 있다.
본 실시예의 일례에 따르면, 상기 제어부는 상기 모터의 단위 시간당 회전수 및 상기 모터의 구동 시간을 각각 상기 그래프의 세로축 및 가로축으로 설정하고, 상기 표시부는 상기 모터가 구동됨으로써 상기 모터의 구동 시간이 카운트됨에 따라 상기 직선바를 상기 그래프의 세로축과 평행하게 한방향으로 이동하도록 표시하고, 상기 직선바가 이동함에 따라 상기 그래프 및 상기 직선바가 만나는 지점은 상기 직선바가 위치하는 시점에서의 상기 모터의 단위 시간당 회전수를 의미하는 것일 수 있다.
본 실시예의 일례에 따르면, 상기 제어부는 정방향 또는 역방향으로 상기 모터를 구동시키는 제어 신호를 생성하고, 상기 모터는 상기 제어 신호에 기초하여 상기 안착부를 정방향 또는 역방향으로 회전시키도록 구성될 수 있다.
본 실시예의 일례에 따르면, 상기 표시부는 상기 모터가 역방향으로 구동되는 경우, 상기 모터가 정방향으로 구동되는 경우와 구별하여 상기 구간별 구동 데이터 및 상기 모터의 실시간 구동 정보를 표시하도록 구성될 수 있다.
본 실시예의 일례에 따르면, 상기 표시부는 상기 모터가 정방향으로 구동되는 경우의 상기 모터의 단위 시간당 회전수를 양의 그래프로 표시하고, 상기 모터가 역방향으로 구동되는 경우의 상기 모터의 단위 시간당 회전수를 음의 그래프로 표시하도록 구성될 수 있다.
본 발명의 다른 실시예는, 모터 구동을 위한 제어 신호를 생성하는 단계, 상기 제어 신호에 기초하여 모터를 회전시키는 단계 및 상기 모터의 구간별 구동 데이터 및 상기 모터의 실시간 구동 정보를 표시하는 단계를 포함하고, 상기 구간별 구동 데이터는 상기 모터가 적어도 하나 이상의 구간 별로 구동될 회전수를 설정한 데이터이고, 상기 실시간 구동 정보는 상기 모터가 구동됨에 따라 상기 구간별 구동 데이터와 연계되어 표시되는 정보인 것인 스핀 장치 구동 방법을 제공할 수 있다.
상술한 과제 해결 수단은 단지 예시적인 것으로서, 본 발명을 제한하려는 의도로 해석되지 않아야 한다. 상술한 예시적인 실시예 외에도, 도면 및 발명의 상세한 설명에 기재된 추가적인 실시예가 존재할 수 있다.
전술한 본 발명의 과제 해결 수단 중 어느 하나에 의하면, 모터의 속도를 실시간으로 그래픽과 숫자로 표시하는 반도체 전공정, 의료 장비 및 이화학기기용 스핀장치를 제공할 수 있다. 또한, 그래픽 또는 숫자로 표시된 모터의 속도를 파일로 저장하여, 첨부파일의 형태로 제공하는 반도체 전공정, 의료 장비 및 이화학기기용 스핀 장치를 제공할 수 있다. 스핀장치에서 역방향 회전 기능을 통해 모터의 구동할 수 있도록 하는 반도체 전공정, 의료 장비 및 이화학기기용 스핀 장치를 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 전공정, 의료 장비 및 이화학기기용 스핀장치를 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 스핀장치에 설정된 구간별 설정 데이터를 도시한 예시적인 도면이다.
도 3a 내지 도 3d는 본 발명의 일 실시예에 따른 스핀장치에서 설정된 구간에 따라 직선바의 이동을 통해 모터의 구간별 구동 데이터 및 모터의 실시간 구동 정보를 표시하는 과정을 설명하기 위한 예시적인 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 스핀장치에서 모터의 구간별 구동 데이터 및 모터의 실시간 구동 정보를 표시하는 방법을 도시한 순서도이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "전기적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미하며, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
본 명세서에 있어서 '부(部)'란, 하드웨어에 의해 실현되는 유닛(unit), 소프트웨어에 의해 실현되는 유닛, 양방을 이용하여 실현되는 유닛을 포함한다. 또한, 1 개의 유닛이 2 개 이상의 하드웨어를 이용하여 실현되어도 되고, 2 개 이상의 유닛이 1 개의 하드웨어에 의해 실현되어도 된다.
본 명세서에 있어서 단말 또는 디바이스가 수행하는 것으로 기술된 동작이나 기능 중 일부는 해당 단말 또는 디바이스와 연결된 서버에서 대신 수행될 수도 있다. 이와 마찬가지로, 서버가 수행하는 것으로 기술된 동작이나 기능 중 일부도 해당 서버와 연결된 단말 또는 디바이스에서 수행될 수도 있다.
이하 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 일 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 전공정, 의료 장비 및 이화학기기용 스핀장치를 도시한 도면이다. 도 1을 참조하면, 반도체 전공정, 의료 장비 및 이화학기기용 스핀장치(1)는 안착부(110), 제어부(120), 모터(130) 및 표시부(140)를 포함할 수 있다.
안착부(110)는 상면에 웨이퍼를 안착시킬 수 있다. 이 때, 안착부(110)는 모터(130)의 구동에 의해 회전됨으로써, 웨이퍼를 회전시킬 수 있다.
제어부(120)는 모터(130) 구동을 위한 제어 신호를 생성할 수 있다. 이 때, 제어부(120)는 정방향 또는 역방향으로 모터(130)를 구동시키는 제어 신호를 생성할 수 있다. 예를 들어, 제어부(120)는 모터(130)의 구동을 정방향으로 하며, RPM: 1,000/구동시간: 10초로 설정된 제어 신호를 생성할 수 있다.
제어부(120)는 모터(130)의 구간별 구동 데이터 및 모터(130)의 실시간 구동 정보의 표시에 필요한 모터(130)의 단위 시간당 회전수 및 모터(130)의 구동 시간을 각각 그래프의 세로축 및 가로축으로 설정할 수 있다. 예를 들어, 제어부(120)는 모터(130)의 단위 시간당 회전수를 단위로 하여 0~5,000RPM까지 표시하도록 그래프의 가로축을 설정하고, 모터(130)의 구동 시간을 단위로 하여 0~60sec까지 표시하도록 그래프의 세로축을 설정할 수 있다.
모터(130)는 제어 신호에 기초하여 웨이퍼가 안착된 안착부(110)를 회전시킬 수 있다. 이 때, 모터(130)는 제어 신호에 기초하여 안착부(110)를 정방향 또는 역방향으로 회전시킬 수 있다. 이러한 모터(130)는 예를 들어, AC, DC, BLDC(Brushless dc) 모터 등과 같이 다양한 종류의 모터가 이용될 수 있다.
표시부(140)는 모터(130)의 구간별 구동 데이터 및 모터(130)의 실시간 구동 정보를 디스플레이에 표시할 수 있다. 여기서, 구간별 구동 데이터는 모터(130)가 적어도 하나 이상의 구간 별로 구동될 회전수를 설정한 데이터이고, 실시간 구동 정보는 모터(130)가 구동됨에 따라 구간별 구동 데이터와 연계되어 표시되는 정보일 수 있다. 이 때, 구간별 구동 데이터는 파일 형태로 저장할 수 있으며, 사용자에게 첨부 파일의 형태로 제공될 수 있다.
예를 들어, 표시부(140)는 모터(130)의 구간별 구동 데이터 및 모터(130)의 실시간 구동 정보를 텍스트화하여 디스플레이에 표시할 수 있다. 다른 예를 들어, 표시부(140)는 구간별 구동 데이터를 그래프로 표시하고, 실시간 구동 정보를 그래프 상에서 이동하는 직선바로 표시할 수 있다. 이 때, 표시부(140)는 모터(130)가 구동됨에 따라 직선바를 그래프의 적어도 하나의 축과 평행하게 한방향으로 이동하도록 표시할 수 있다. 여기서, 직선바가 이동함에 따라 그래프 및 직선바가 만나는 지점은 직선바가 위치하는 시점에서의 모터(130)의 단위 시간당 회전수를 의미할 수 있다.
표시부(140)는 모터가 구동됨으로써 모터의 구동 시간이 카운트됨에 따라 직선바를 그래프의 세로축과 평행하게 한방향으로 이동하도록 표시할 수 있다. 이 때, 모터(130)가 역방향으로 구동되는 경우, 모터(130)가 정방향으로 구동되는 경우와 구별하여 구간별 구동 데이터 및 모터(130)의 실시간 구동 정보를 표시할 수 있다. 예를 들어, 모터(130)가 정방향으로 구동되는 경우의 모터(130)의 단위 시간당 회전수를 양의 그래프로 표시하고, 모터(130)가 역방향으로 구동되는 경우의 모터(130)의 단위 시간당 회전수를 음의 그래프로 표시할 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 스핀장치에 설정된 구간별 설정 데이터를 도시한 예시적인 도면이다. 도 2를 참조하면, 스핀장치(1)는 관리자에 의해 각 구간에 대한 RPM 정보 및 시간을 설정받을 수 있으며, 설정된 구간별 데이터에 기초하여 안착부(110)를 회전시키도록 구동될 수 있다.
예를 들어, 스핀장치(1)는 사용자에 의해 제 1 구간(210)을 RPM: 100/시간: 5.0 sec으로, 제 2 구간(220)을 RPM: 2,000/시간: 20.0 sec으로, 제 3 구간(230)을 RPM: 500/ 시간: 10.0 sec으로, 제 4 구간(240)을 RPM: 3,000/시간: 20.0 sec으로 설정받을 수 있다. 이 때, 스핀장치(1)는 각각의 구간에 따라 제어 신호를 다르게 생성할 수 있으며, 모터(130)는 설정된 구간별 데이터에 기초하여 생성된 제어신호에 따라 웨이퍼가 안착된 안착부(110)를 회전시킬 수 있게 된다.
도 3a 내지 도 3d는 본 발명의 일 실시예에 따른 스핀장치에서 설정된 구간에 따라 직선바의 이동을 통해 모터의 구간별 구동 데이터 및 모터의 실시간 구동 정보를 표시하는 과정을 설명하기 위한 예시적인 도면이다.
스핀장치(1)는 모터(130)의 구간별 구동 데이터 및 모터(130)의 실시간 구동 정보를 표시할 수 있다. 여기서, 구간별 구동 데이터는 모터(130)가 적어도 하나 이상의 구간 별로 구동될 회전수를 설정한 데이터이고, 실시간 구동 정보는 모터(130)가 구동됨에 따라 구간별 구동 데이터와 연계되어 표시되는 정보일 수 있다.
이를 위해, 스핀장치(1)는 모터(130)의 단위 시간당 회전수(RPM) 및 모터(130)의 구동 시간을 각각 그래프의 세로축 및 가로축으로 설정할 수 있다. 예를 들어, 스핀장치(1)는 각각의 구간에 설정된 모터(130)의 단위 시간당 회전수 및 모터(130)의 구동 시간에 기초하여, 그래프의 세로축을 모터(130)의 단위 시간당 회전수를 표시하도록 설정하고, 그래프의 가로축을 모터(130)의 구동 시간을 표시하도록 설정할 수 있다.
스핀장치(1)는 모터(130)가 구동되면, 모터(130)의 구동 시간이 카운트됨에 따라 직선바를 그래프의 세로축과 평행하게 한방향으로 이동하도록 표시할 수 있다.
도 3a는 스핀장치에서 제 1 구간에 대한 모터(130)의 구간별 구동 데이터 및 모터(130)의 실시간 구동 정보를 표시한 예시적인 도면이다. 도 2 및 도 3a를 참조하면, 스핀장치(1)의 제 1 구간이 사용자에 의해 RPM: 100/시간: 5.0 sec으로 설정된 경우, 스핀장치(1)는 0~5.0sec의 구동 시간에 대해 구간별 구동 데이터를 RPM: 100으로 표시할 수 있다. 이 때, 스핀장치(1)는 제 1 구간에 대한 실시간 구동 정보를 직선바의 이동을 통해 표시할 수 있다.
도 3b는 스핀장치에서 제 2 구간에 대한 모터(130)의 구간별 구동 데이터 및 모터(130)의 실시간 구동 정보를 표시한 예시적인 도면이다. 도 2 및 도 3b를 참조하면, 스핀장치(1)의 제 2 구간이 사용자에 의해 RPM: 2,000/시간: 20.0 sec으로 설정된 경우, 스핀장치(1)는 5.0~25.0sec의 구동 시간에 대해 구간별 구동 데이터를 RPM: 2,000으로 표시할 수 있다. 이 때, 스핀장치(1)는 제 2 구간에 대한 실시간 구동 정보를 직선바의 이동을 통해 표시할 수 있다.
도 3c는 스핀장치에서 제 3 구간에 대한 모터(130)의 구간별 구동 데이터 및 모터(130)의 실시간 구동 정보를 표시한 예시적인 도면이다. 도 2 및 도 3c를 참조하면, 스핀장치(1)의 제 3 구간이 사용자에 의해 RPM: 500/시간: 10.0 sec으로 설정된 경우, 스핀장치(1)는 25.0~35.0sec의 구동 시간에 대해 구간별 구동 데이터를 RPM: 500으로 표시할 수 있다. 이 때, 스핀장치(1)는 제 3 구간에 대한 실시간 구동 정보를 직선바의 이동을 통해 표시할 수 있다.
도 3d는 스핀장치에서 제 4 구간에 대한 모터(130)의 구간별 구동 데이터 및 모터(130)의 실시간 구동 정보를 표시한 예시적인 도면이다. 도 2 및 도 3d를 참조하면, 스핀장치(1)의 제 4 구간이 사용자에 의해 RPM: 3,000/시간: 20.0 sec으로 설정된 경우, 스핀장치(1)는 35.0~55.0sec의 구동 시간에 대해 구간별 구동 데이터를 RPM: 3,000으로 표시할 수 있다. 이 때, 스핀장치(1)는 제 4 구간에 대한 실시간 구동 정보를 직선바의 이동을 통해 표시할 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 스핀장치에서 모터의 구간별 구동 데이터 및 모터의 실시간 구동 정보를 표시하는 방법을 도시한 순서도이다. 도 4에 도시된 실시예에 따른 스핀장치(1)에 의해 수행되는 모터의 구간별 구동 데이터 및 모터의 실시간 구동 정보를 표시하는 방법은 도 1 내지 도 3d에 도시된 실시예에 따른 스핀장치(1)에서 시계열적으로 처리되는 단계들을 포함한다. 따라서, 이하 생략된 내용이라고 하더라도 도 1 내지 도 3d에 도시된 실시예에 따른 스핀장치(1)에 관하여 이미 기술된 내용은 도 4에 도시된 실시예에 따른 모터의 구간별 구동 데이터 및 모터의 실시간 구동 정보를 표시하는 방법에도 적용된다.
단계 S410에서 스핀장치(1)는 모터 구동을 위한 제어 신호를 생성할 수 있다. 예를 들어, 스핀장치(1)는 정방향 또는 역방향으로 모터를 구동시키는 제어 신호를 생성할 수 있다. 단계 S420에서 스핀장치(1)는 제어 신호에 기초하여 모터를 회전시킬 수 있다. 예를 들어, 스핀장치(1)는 제어 신호에 기초하여 모터를 정방향 또는 역방향으로 회전시킬 수 있다. 단계 S430에서 스핀장치(1)는 모터의 구간별 구동 데이터 및 모터의 실시간 구동 정보를 표시할 수 있다. 여기서, 구간별 구동 데이터는 모터가 적어도 하나 이상의 구간 별로 구동될 회전수를 설정한 데이터이고, 실시간 구동 정보는 모터가 구동됨에 따라 구간별 구동 데이터와 연계되어 표시되는 정보일 수 있다. 예를 들어, 스핀장치(1)는 구간 별 구동 데이터를 그래프로 표시하고, 실시간 구동 정보를 그래프 상에서 이동하는 직선바로 표시할 수 있다.
상술한 설명에서, 단계 S410 내지 S430은 본 발명의 구현예에 따라서, 추가적인 단계들로 더 분할되거나, 더 적은 단계들로 조합될 수 있다. 또한, 일부 단계는 필요에 따라 생략될 수도 있고, 단계 간의 순서가 변경될 수도 있다.
도 1 내지 도 4를 통해 설명된 반도체 전공정, 의료 장비 및 이화학기기용 스핀장치는 컴퓨터에 의해 실행되는 매체에 저장된 컴퓨터 프로그램 또는 컴퓨터에 의해 실행 가능한 명령어를 포함하는 기록 매체의 형태로도 구현될 수 있다. 또한, 도 1 내지 도 4를 통해 설명된 반도체 전공정, 의료 장비 및 이화학기기용 스핀장치는 컴퓨터에 의해 실행되는 매체에 저장된 컴퓨터 프로그램의 형태로도 구현될 수 있다. 컴퓨터 판독 가능 매체는 컴퓨터에 의해 액세스될 수 있는 임의의 가용 매체일 수 있고, 휘발성 및 비휘발성 매체, 분리형 및 비분리형 매체를 모두 포함한다. 또한, 컴퓨터 판독가능 매체는 컴퓨터 저장 매체 및 통신 매체를 모두 포함할 수 있다. 컴퓨터 저장 매체는 컴퓨터 판독가능 명령어, 데이터 구조, 프로그램 모듈 또는 기타 데이터와 같은 정보의 저장을 위한 임의의 방법 또는 기술로 구현된 휘발성 및 비휘발성, 분리형 및 비분리형 매체를 모두 포함한다. 통신 매체는 전형적으로 컴퓨터 판독가능 명령어, 데이터 구조, 프로그램 모듈, 또는 반송파와 같은 변조된 데이터 신호의 기타 데이터, 또는 기타 전송 메커니즘을 포함하며, 임의의 정보 전달 매체를 포함한다.
전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

Claims (10)

  1. 스핀 장치에 있어서,
    상면에 웨이퍼를 안착시키는 안착부;
    모터 구동을 위한 제어 신호를 생성하는 제어부;
    상기 제어 신호에 기초하여 상기 웨이퍼가 안착된 안착부를 회전시키는 모터; 및
    상기 모터의 구간별 구동 데이터 및 상기 모터의 실시간 구동 정보를 표시하는 표시부
    를 포함하고,
    상기 구간별 구동 데이터는 상기 모터가 적어도 하나 이상의 구간 별로 구동될 회전수를 설정한 데이터이고,
    상기 실시간 구동 정보는 상기 모터가 구동됨에 따라 상기 구간별 구동 데이터와 연계되어 표시되는 정보인 것인, 스핀 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 표시부는 상기 구간별 구동 데이터를 그래프로 표시하고, 상기 실시간 구동 정보를 상기 그래프 상에서 이동하는 직선바로 표시하도록 구성되는 것인, 스핀 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 표시부는 상기 모터가 구동됨에 따라 상기 직선바를 상기 그래프의 적어도 하나의 축과 평행하게 한방향으로 이동하도록 표시하는 것인, 스핀 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 모터의 단위 시간당 회전수 및 상기 모터의 구동 시간을 각각 상기 그래프의 세로축 및 가로축으로 설정하고,
    상기 표시부는 상기 모터가 구동됨으로써 상기 모터의 구동 시간이 카운트됨에 따라 상기 직선바를 상기 그래프의 세로축과 평행하게 한방향으로 이동하도록 표시하고,
    상기 직선바가 이동함에 따라 상기 그래프 및 상기 직선바가 만나는 지점은 상기 직선바가 위치하는 시점에서의 상기 모터의 단위 시간당 회전수를 의미하는 것인, 스핀 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제어부는 정방향 또는 역방향으로 상기 모터를 구동시키는 제어 신호를 생성하고,
    상기 모터는 상기 제어 신호에 기초하여 상기 안착부를 정방향 또는 역방향으로 회전시키도록 구성되는 것인, 스핀 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 표시부는 상기 모터가 역방향으로 구동되는 경우, 상기 모터가 정방향으로 구동되는 경우와 구별하여 상기 구간별 구동 데이터 및 상기 모터의 실시간 구동 정보를 표시하도록 구성되는 것인, 스핀 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 표시부는 상기 모터가 정방향으로 구동되는 경우의 상기 모터의 단위 시간당 회전수를 양의 그래프로 표시하고, 상기 모터가 역방향으로 구동되는 경우의 상기 모터의 단위 시간당 회전수를 음의 그래프로 표시하도록 구성되는 것인, 스핀 장치.
  8. 스핀 장치를 구동시키는 방법에 있어서,
    모터 구동을 위한 제어 신호를 생성하는 단계;
    상기 제어 신호에 기초하여 모터를 회전시키는 단계; 및
    상기 모터의 구간별 구동 데이터 및 상기 모터의 실시간 구동 정보를 표시하는 단계
    를 포함하고,
    상기 구간별 구동 데이터는 상기 모터가 적어도 하나 이상의 구간 별로 구동될 회전수를 설정한 데이터이고,
    상기 실시간 구동 정보는 상기 모터가 구동됨에 따라 상기 구간별 구동 데이터와 연계되어 표시되는 정보인 것인, 스핀 장치 구동 방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 표시하는 단계는 상기 구간 별 구동 데이터를 그래프로 표시하고, 상기 실시간 구동 정보를 상기 그래프 상에서 이동하는 직선바로 표시하는 것인, 스핀 장치 구동 방법.
  10. 제 8 항에 있어서,
    상기 제어 신호를 생성하는 단계는 정방향 또는 역방향으로 상기 모터를 구동시키는 제어 신호를 생성하고,
    상기 모터를 회전시키는 단계는 상기 제어 신호에 기초하여 상기 모터를 정방향 또는 역방향으로 회전시키는 것인, 스핀 장치 구동 방법.
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