WO2017094571A1

WO2017094571A1 - 支持装置

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Inventors: 重伸和田
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Abstract

支持装置（１０）は、可動体（１１）の移動範囲の中で隣り合うリンク機構部（２０，３０，４０）のリンク同士（２３，３３，４３）のなす角度が９０度をなすとき、各リンク機構部（２０，３０，４０）のアーム（２２，３２，４２）とリンク（２３，３３，４３）とがなす角度が９０度を取り得るように構成されている。さらに、Ｚ軸リンク機構部（４０）は、３本のリンク（４３）を有している。よって、可動体（１１）に加わる各軸方向の外力を、各軸のリンク（２３，３３，４３）及びアーム（２２，３２，４２）によって受承し易くなる。そして、例えば、従来技術のように、Ｚ軸リンク機構部（４０）を構成するリンク（４３）が２本である場合に比べて、３本のリンク（４３）によって、ビット（１１ｃ）を対象物に押し付ける押し付け力を維持する剛性が高められる。

Description

支持装置

　本発明は、可動体を支持する支持装置に関する。

　支持装置は、例えば、電動ドライバや電動ドリル等の回転工具（保持対象物）を保持する可動体を支持している。このような支持装置として、例えば特許文献１のものがある。特許文献１の支持装置は、可動体の移動範囲の中で、Ｚ軸と一致する方向（Ｚ軸方向）に可動体を支持可能な第１のリンク機構部、Ｘ軸と一致する方向（Ｘ軸方向）に可動体を支持可能な第２のリンク機構部、及びＹ軸と一致する方向（Ｙ軸方向）に可動体を支持可能な第３のリンク機構部を有する。第１～第３のリンク機構部はそれぞれ、駆動源を構成する第１～第３のサーボモータのうちの１つと、可動体の移動範囲の中で各軸に一致可能に互いに平行に延びる各２本の第１～第３のリンクのうちの１つとを有する。第１～第３の各リンクの一端は、第１～第３のサーボモータのうちの対応する１つに揺動可能に連結されるとともに、他端は可動体に揺動可能に連結されている。各２本の第１～第３のリンクは、可動体の移動範囲の中で隣り合うリンク機構部のリンク同士のなす角度が９０度を取り得るように構成されている。

　そして、第１～第３のサーボモータがそれぞれ駆動すると、第１～第３のリンクは、第１～第３のサーボモータに対して揺動して、第１～第３のリンクがＺ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向にそれぞれ移動する。その結果、可動体は、Ｚ軸回り、Ｘ軸回り及びＹ軸回りの回転がそれぞれ規制された状態で、水平な状態に姿勢を維持しながらＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向へ移動する。この可動体の移動に伴って、回転工具が可動体と一体的に移動する。

特開２０１２－２４０１６７号公報

　ところで、特許文献１の支持装置において、回転工具の出力軸の軸方向が、例えばＺ軸方向に一致した状態で、回転工具が可動体に保持されている場合を考える。回転工具を用いたねじ締めやドリル加工は、回転工具の出力軸に取り付けられるビットやドリル等の先端工具をねじ締めやドリル加工の対象物に対してＺ軸方向に押し付けながら行われる。このとき、２本の第１のリンクでは、先端工具を対象物（押し付け対象物）に押し付ける押し付け力を維持するための剛性が弱く、回転工具を用いたねじ締めやドリル加工を行い難い場合があった。よって、この場合、Ｚ軸方向のリンクの剛性を十分に確保したいという要望がある。

　本発明の目的は、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向のうち少なくとも一方向のリンクの剛性を十分に確保することができる支持装置を提供することにある。

　上記の目的を達成するべく本発明の一態様では、可動体の移動範囲の中で、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向のいずれかの方向にそれぞれ対応して前記可動体をそれぞれ支持可能な３つのリンク機構部を有する支持装置が提供され、各リンク機構部は、駆動部に連結されるアームと、前記アームに一端が連結されるとともに前記可動体に他端が連結され、前記可動体の移動範囲の中で前記Ｘ軸、前記Ｙ軸及び前記Ｚ軸のいずれかに一致可能に延びるリンクと、を有し、支持装置は、前記可動体の移動範囲の中で隣り合うリンク機構部のリンク同士のなす角度が９０度を取り得るように構成されており、前記可動体の移動範囲の中で隣り合うリンク機構部のリンク同士のなす角度が９０度をなすとき、各リンク機構部の前記アームと前記リンクとがなす角度が９０度を取り得るように構成されており、前記３つのリンク機構部のうちのいずれか１つにはリンクが３本以上設けられており、前記３本以上のリンクが設けられたリンク機構部のアームは、前記可動体の移動範囲の中で、前記可動体の姿勢を一定な状態に維持し、且つ前記３本以上のリンクを互いに平行な状態を維持したまま移動させる。

　上記支持装置において、前記アームは、前記駆動部である駆動軸に揺動可能に連結されており、前記リンク機構部は、前記駆動軸と平行に延びる回転軸と、前記回転軸に接続されるとともに前記回転軸の軸方向に平行な平面内で前記回転軸に対して揺動可能な接続部と、を有し、前記リンクは、前記接続部に接続されており、前記アームに対して、前記回転軸を揺動中心として揺動可能であり、且つ前記平面内で前記回転軸に対して前記接続部を介して揺動可能であることが好ましい。

　上記支持装置において、前記３本以上のリンクが設けられたリンク機構部のアームは、前記駆動部である駆動軸に揺動可能に連結される一対の揺動部と、固定軸に揺動可能に連結される一対の揺動部と、一体の連結部とを含む平行四辺形リンク機構を構成する一対のアーム部を有し、そのアーム部の一辺が前記駆動軸と前記固定軸とからなり、対辺が前記連結部からなり、前記連結部を介して前記３本以上のリンクが接続されていることが好ましい。

　上記支持装置において、前記３本以上のリンクが設けられたリンク機構部のアームは、前記一対のアーム部の間に延びる延設部を有し、前記延設部の先端部に、前記３本以上のリンクのうちの１本が二方向に揺動可能に連結されていることが好ましい。

　上記支持装置において、前記３つのリンク機構部のうちのいずれか１つにはリンクが３本設けられており、前記３本のリンクにおける前記可動体に対する接続位置を、前記３本のリンクが一致可能な前記Ｘ軸、前記Ｙ軸及び前記Ｚ軸のいずれかの方向から見たとき、各接続位置が二等辺三角形を構成する位置にあることが好ましい。

　上記支持装置において、前記３本のリンクが設けられたリンク機構部とは異なる２つのリンク機構部のうちの少なくとも１つのリンクにおける前記可動体に対する接続位置を、前記３本のリンクが一致可能な前記Ｘ軸、前記Ｙ軸及び前記Ｚ軸のいずれかの方向から見たとき、前記接続位置が前記二等辺三角形の内部に位置していることが好ましい。

　この発明によれば、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向のうち少なくとも一方向のリンクの剛性を十分に確保することができる。

本発明の実施形態における支持装置の全体を示す斜視図。支持装置を部分的に拡大した斜視図。支持装置を部分的に拡大した斜視図。支持装置を部分的に拡大した斜視図。支持装置を部分的に拡大した斜視図。支持装置を部分的に拡大した斜視図。支持装置を部分的に拡大した斜視図。支持装置を部分的に拡大した斜視図。（ａ）は支持装置をＹ軸方向から見た状態を模式的に示す側面図、（ｂ）は可動体に対する各リンクの接続位置を模式的に示す模式図。可動体に対する各リンクの接続位置を模式的に示す模式図。（ａ）は本発明の別の実施形態における支持装置をＹ軸方向から見た状態を模式的に示す側面図、（ｂ）は可動体に対する各リンクの接続位置を模式的に示す模式図。本発明の別の実施形態における支持装置をＹ軸方向から見た状態を模式的に示す側面図。（ａ）及び（ｂ）は本発明の別の実施形態における支持装置をＹ軸方向から見た状態を模式的に示す側面図。（ａ）及び（ｂ）は本発明の別の実施形態における支持装置をＹ軸方向から見た状態を模式的に示す側面図。（ａ）及び（ｂ）は本発明の別の実施形態における支持装置をＹ軸方向から見た状態を模式的に示す側面図。（ａ）及び（ｂ）は本発明の別の実施形態における支持装置をＹ軸方向から見た状態を模式的に示す側面図。本発明の別の実施形態における支持装置の全体を示す斜視図。

　以下、可動体を支持する支持装置を具体化した本発明の一実施形態を図１～図１０にしたがって説明する。
　図１に示すように、支持装置１０は、可動体１１を支持している。可動体１１は、回転工具（保持対象物）である電動ドライバ１１ａを保持している。支持装置１０は、可動体１１の移動範囲の中で、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向のいずれかの方向にそれぞれ対応して可動体１１をそれぞれ支持可能な３つのリンク機構部２０，３０，４０を有している。そして、支持装置１０は、３つのリンク機構部２０，３０，４０を用いて、可動体１１におけるＺ軸回り、Ｘ軸回り及びＹ軸回りの回転がそれぞれ規制された状態で、可動体１１の姿勢を一定な状態に維持しながら、所定の移動範囲内において移動可能に支持している。なお、以下の説明では、説明の便宜上、Ｘ軸方向に可動体１１を支持可能なリンク機構部を「Ｘ軸リンク機構部２０」とし、Ｙ軸方向に可動体１１を支持可能なリンク機構部を「Ｙ軸リンク機構部３０」とし、Ｚ軸方向に可動体１１を支持可能なリンク機構部を「Ｚ軸リンク機構部４０」と記載することもある。

　支持装置１０は、ＸＹ平面に沿って延びる略四角枠状の土台フレーム１２と、土台フレーム１２からＺ軸方向に立設される複数の立設部１３と、各立設部１３に支持される略四角箱状の筐体１４とを備えている。筐体１４におけるＸＺ平面に沿って延びる側面１４ａからは、駆動源であるＸ軸用サーボモータ（図示せず）の駆動部である駆動軸２１がＹ軸方向に沿って突出している。駆動軸２１は、側面１４ａにおいて、立設部１３寄りの角部に位置している。駆動軸２１は、Ｘ軸用サーボモータの駆動によって回転して、Ｘ軸リンク機構部２０を揺動させる。

　筐体１４におけるＹＺ平面に沿って延びる側面１４ｂからは、駆動源であるＹ軸用サーボモータ（図示せず）の駆動部である駆動軸３１がＸ軸方向に沿って突出している。駆動軸３１は、側面１４ｂにおいて、立設部１３寄りに位置している。また、駆動軸３１は、Ｚ軸方向において、Ｘ軸用サーボモータの駆動軸２１よりも立設部１３から離れた位置に配置されている。駆動軸３１は、Ｙ軸用サーボモータの駆動によって回転して、Ｙ軸リンク機構部３０を揺動させる。

　さらに、筐体１４の側面１４ａからは、駆動源であるＺ軸用サーボモータ（図示せず）の駆動部である駆動軸４１がＹ軸方向に沿って突出している。駆動軸４１は、側面１４ａにおいて、立設部１３とは反対側の縁部寄りに位置している。駆動軸４１は、Ｚ軸用サーボモータの駆動によって回転して、Ｚ軸リンク機構部４０を揺動させる。

　Ｘ軸用サーボモータの駆動軸２１は、支持装置１０のＸ軸方向の最端部に設けられている。Ｙ軸用サーボモータの駆動軸３１は、支持装置１０のＹ軸方向の最端部に設けられている。Ｚ軸用サーボモータの駆動軸４１は、支持装置１０のＺ軸方向の最端部に設けられている。各駆動軸２１，３１，４１は、一つの筐体１４にまとめて設けられている。可動体１１は、支持装置１０の各軸方向において、各駆動軸２１，３１，４１とは反対側の最端部に配置されている。

　次に、Ｘ軸リンク機構部２０について説明する。
　図２に示すように、Ｘ軸リンク機構部２０は、駆動軸２１に連結されるアーム２２と、アーム２２に一端が連結されるとともに可動体１１に他端が連結され、可動体１１の移動範囲の中でＸ軸に一致可能に延びる２本のリンク２３とを有している。具体的には、アーム２２は、駆動軸２１に固定されており、駆動軸２１の回転に伴って、駆動軸２１の中心軸線を揺動中心として駆動軸２１と一体的に揺動する。２本のリンク２３は同じ長さである。アーム２２は、直線状に延びるとともに一端が駆動軸２１を揺動中心として揺動可能に駆動軸２１に連結される揺動部２２ａと、揺動部２２ａの他端から二股に枝分かれして互いに離間する方向へ延びる一対の支持部２２ｂとから構成されている。各支持部２２ｂの端部には、円孔状の貫通孔２２ｃが形成されている。両支持部２２ｂの貫通孔２２ｃ同士は、Ｙ軸方向において互いに向き合っている。

　また、Ｘ軸リンク機構部２０は、駆動軸２１と平行に延びる回転軸２４を有している。回転軸２４は、両支持部２２ｂの貫通孔２２ｃに挿通されており、両支持部２２ｂに回転可能に両持ち支持されている。回転軸２４の両端部は、一対の平面部２４ａを有する二面幅形状になっている。回転軸２４の両端部において、一対の平面部２４ａには、回転軸２４の軸方向に平行な平面（ＸＹ平面）内で回転軸２４に対して揺動可能な板状の接続部２５が接続されている。２本のリンク２３のうちの１本の一端は、回転軸２４の一端部に接続された２枚の接続部２５に挟み込まれた状態で各接続部２５に接続されている。２本のリンク２３の残りの１本の一端は、回転軸２４の他端部に接続された２枚の接続部２５に挟み込まれた状態で各接続部２５に接続されている。

　図３に示すように、Ｘ軸リンク機構部２０は、可動体１１に回転可能に支持された一対の回転軸２６を有している。各回転軸２６は、駆動軸２１と平行に延びている。各回転軸２６の両端部は、一対の平面部２６ａを有する二面幅形状になっている。各回転軸２６の一対の平面部２６ａには、回転軸２６の軸方向に平行な平面（ＸＹ平面）内で回転軸２６に対して揺動可能な板状の接続部２７がそれぞれ接続されている。２本のリンク２３のうちの１本の他端は、一対の回転軸２６の一方の端部に接続された２枚の接続部２７に挟み込まれた状態で各接続部２７に接続されている。２本のリンク２３の残りの１本の他端は、一対の回転軸２６の他方の端部に接続された２枚の接続部２７に挟み込まれた状態で各接続部２７に接続されている。

　各リンク２３は、アーム２２に対して、回転軸２４を揺動中心として揺動可能であり、且つＸＹ平面内で回転軸２４に対して接続部２５を介して揺動可能である。２本のリンク２３は、互いに平行な状態を維持しながら移動する。

　次に、Ｙ軸リンク機構部３０について説明する。
　図４に示すように、Ｙ軸リンク機構部３０は、駆動軸３１に連結されるアーム３２と、アーム３２に一端が連結されるとともに可動体１１に他端が連結され、可動体１１の移動範囲の中でＹ軸に一致可能に延びる１本のリンク３３とを有している。具体的には、アーム３２は、駆動軸３１に固定されており、駆動軸３１の回転に伴って、駆動軸３１の中心軸線を揺動中心として駆動軸３１と一体的に揺動する。アーム３２は、直線状に延びるとともに一端が駆動軸３１を揺動中心として揺動可能に駆動軸３１に連結される揺動部３２ａと、揺動部３２ａの他端から二股に枝分かれして互いにＺ軸方向に沿って延びる一対の支持部３２ｂとから構成されている。各支持部３２ｂの端部には、円孔状の貫通孔３２ｃが形成されている。両支持部３２ｂの貫通孔３２ｃ同士は、Ｘ軸方向において互いに向き合っている。

　また、Ｙ軸リンク機構部３０は、駆動軸３１と平行に延びる回転軸３４を有している。回転軸３４は、両支持部３２ｂの貫通孔３２ｃに挿通されており、両支持部３２ｂに回転可能に両持ち支持されている。回転軸３４の中央部は、一対の平面部３４ａを有する二面幅形状になっている。一対の平面部３４ａには、回転軸３４の軸方向に平行な平面（ＸＹ平面）内で回転軸３４に対して揺動可能な板状の接続部３５が接続されている。１本のリンク３３の一端は、２枚の接続部３５に挟み込まれた状態で各接続部３５に接続されている。

　図３に示すように、Ｙ軸リンク機構部３０は、可動体１１に回転可能に支持された回転軸３６を有している。回転軸３６は、駆動軸３１と平行に延びている。回転軸３６の中央部は、一対の平面部３６ａを有する二面幅形状になっている。一対の平面部３６ａには、回転軸３６の軸方向に平行な平面（ＸＹ平面）内で回転軸３６に対して揺動可能な板状の接続部３７が接続されている。リンク３３の他端は、２枚の接続部３７に挟み込まれた状態で各接続部３７に接続されている。リンク３３は、アーム３２に対して、回転軸３４を揺動中心として揺動可能であり、且つＸＹ平面内で回転軸３４に対して接続部３５を介して揺動可能である。

　次に、Ｚ軸リンク機構部４０について説明する。
　図５、図６及び図７に示すように、Ｚ軸リンク機構部４０は、駆動軸４１に連結されるアーム４２と、アーム４２に一端が連結されるとともに可動体１１に他端が連結され、可動体１１の移動範囲の中でＺ軸に一致可能に延びる３本のリンク４３とを有している。３本のリンク４３は同じ長さである。アーム４２は、後述する固定軸４４、連繋部４５、一対の揺動部４７、回転軸４８、一対の揺動部４９、回転軸５０、連結部５１を含む。

　固定軸４４は、筐体１４の側面１４ａからＹ軸方向に沿って突出し、駆動軸４１と平行に延びている。固定軸４４における側面１４ａからの突出位置は、駆動軸４１の側面１４ａからの突出位置と、Ｚ軸方向で同一直線上に位置している。連繋部４５は、駆動軸４１の突出方向の端部と固定軸４４の突出方向の端部とを繋ぐ。駆動軸４１は、連繋部４５に対して回転可能に支持されている。よって、連繋部４５は、駆動軸４１の軸受けとして機能している。連繋部４５は、支持部４６を介して筐体１４の側面１４ａに支持されている。そして、支持部４６を介して筐体１４の側面１４ａに支持された連繋部４５を介して駆動軸４１及び固定軸４４が連結されているため、駆動軸４１及び固定軸４４における軸方向の剛性が高められており、互いに平行な状態が維持されている。

　一対の揺動部４７は、直線状に延びるとともに一端が駆動軸４１に連結されている。一対の揺動部４７は、駆動軸４１に固定されており、駆動軸４１の回転に伴って、駆動軸４１の中心軸線を揺動中心として駆動軸４１と一体的に揺動する。一対の揺動部４７は互いに平行に延びている。各揺動部４７の他端には、貫通孔４７ａが形成されている。一対の揺動部４７の貫通孔４７ａ同士は、Ｙ軸方向において互いに向き合っている。Ｙ軸方向において、連繋部４５と一対の揺動部４７のうち連繋部４５側の揺動部４７との間には、円筒状のスリーブ４５ａが設けられている。このスリーブ４５ａによって連繋部４５と揺動部４７が離間した状態に維持されている。

　回転軸４８は、駆動軸４１と平行に延びて、両揺動部４７の貫通孔４７ａに挿通され、両揺動部４７に回転可能に両持ち支持されている。一対の揺動部４９は、直線状に延びるとともに一端が固定軸４４の中心軸線を揺動中心として揺動可能に固定軸４４に連結されている。一対の揺動部４９は互いに平行に延びている。各揺動部４９の他端には、貫通孔４９ａが形成されている。一対の揺動部４９の貫通孔４９ａ同士は、Ｙ軸方向において互いに向き合っている。回転軸５０は、駆動軸４１（固定軸４４）と平行に延びて、両揺動部４９の貫通孔４９ａに挿通され、両揺動部４９に回転可能に両持ち支持されている。

　連結部５１は、両回転軸４８，５０同士を連結している。連結部５１は、両回転軸４８，５０における一対の揺動部４７，４９の一方寄りの部位同士を繋ぐ第１連繋部５１ａと、両回転軸４８，５０における一対の揺動部４７，４９の他方寄りの部位同士を繋ぐ第２連繋部５１ｂと、第１連繋部５１ａと第２連繋部５１ｂとを繋ぐ第３連繋部５１ｃとを有する。第３連繋部５１ｃは、両回転軸４８，５０の間でＹ軸方向に沿って延びている。連結部５１はＸ軸方向から見るとＨ型である。両回転軸４８，５０は、第１連繋部５１ａ及び第２連繋部５１ｂに対して回転可能に支持されている。

　Ｙ軸方向において、第１連繋部５１ａと一対の揺動部４７のうち第１連繋部５１ａ側の揺動部４７との間、及び第２連繋部５１ｂと一対の揺動部４７のうち第２連繋部５１ｂ側の揺動部４７との間には、円筒状のスリーブ４７ｂがそれぞれ設けられている。このスリーブ４７ｂによって第１連繋部５１ａと揺動部４７との間、及び第２連繋部５１ｂと揺動部４７との間がそれぞれ離間した状態に維持されている。

　Ｙ軸方向において、第１連繋部５１ａと一対の揺動部４９のうち第１連繋部５１ａ側の揺動部４９との間、及び第２連繋部５１ｂと一対の揺動部４９のうち第２連繋部５１ｂ側の揺動部４９との間には、円筒状のスリーブ４９ｂがそれぞれ設けられている。このスリーブ４９ｂによって第１連繋部５１ａと揺動部４９との間、及び第２連繋部５１ｂと揺動部４９との間がそれぞれ離間した状態に維持されている。

　駆動軸４１の中心軸線と回転軸４８の中心軸線との距離と、固定軸４４の中心軸線と回転軸５０の中心軸線との距離とが一致し、且つ、両回転軸４８，５０の中心軸線の間の距離と、駆動軸４１の中心軸線と固定軸４４の中心軸線との距離とが一致するように、両回転軸４８，５０が第１連繋部５１ａ及び第２連繋部５１ｂによって連結されている。さらに、第３連繋部５１ｃによって互いが連結された第１連繋部５１ａ及び第２連繋部５１ｂを介して両回転軸４８，５０が連結されているため、両回転軸４８，５０における軸方向の剛性が高められており、互いに平行な状態が維持されている。

　駆動軸４１、固定軸４４及び連繋部４５は、Ｘ軸方向から見ると、長方形を構成しており、この長方形の変形剛性を高めている。両回転軸４８，５０、第１連繋部５１ａ及び第２連繋部５１ｂは、Ｘ軸方向から見ると、長方形を構成しており、この長方形の変形剛性を高めている。一対の揺動部４７，４９、連繋部４５及び連結部５１は、Ｙ軸方向から見ると、平行四辺形（長方形）を構成している。さらに、駆動軸４１、一対の揺動部４７及び回転軸４８は、Ｚ軸方向から見ると、長方形を構成しており、この長方形の変形剛性を高めている。また、固定軸４４、一対の揺動部４９及び回転軸５０は、Ｚ軸方向から見ると、長方形を構成しており、この長方形の変形剛性を高めている。

　そして、一対の揺動部４７，４９、連繋部４５、連結部５１、固定軸４４、両回転軸４８，５０によって、駆動軸４１に揺動可能に連結される平行四辺形リンク機構を構成する一対のアーム部４２Ａが構成されている。アーム部４２Ａは、その一辺が駆動軸４１と固定軸４４とからなり、対辺が一体の連結部５１からなり、３本のリンク４３は連結部５１を介して接続されている。よって、アーム４２は、一対のアーム部４２Ａを有している。一対のアーム部４２Ａは、それぞれのアーム部４２Ａの一部を構成する連結部５１を介して一体になっている。

　連結部５１は、一対のアーム部４２Ａの間に延びる延設部５２を有している。延設部５２は、第３連繋部５１ｃに一体的に設けられている。よって、延設部５２を含む連結部５１は、Ｙ軸方向及びＺ軸方向から見るとＴ型である。延設部５２の先端部には、Ｘ軸方向に沿って延びる回転軸５３が設けられている。回転軸５３は、延設部５２に対して回転可能に支持されている。回転軸５３の先端部は、一対の平面部５３ａを有する二面幅形状になっている。一対の平面部５３ａには、回転軸５３の軸方向に平行な平面（ＸＺ平面）内で回転軸５３に対して揺動可能な板状の接続部５４が接続されている。３本のリンク４３のうちの１本である第１のＺ軸リンク４３ａの一端は、２枚の接続部５４に挟まれた状態で各接続部５４に接続されている。

　また、回転軸４８の両端部は、一対の平面部４８ａを有する二面幅形状になっている。回転軸４８の両端部において、一対の平面部４８ａには、回転軸４８の軸方向に平行な平面（ＹＺ平面）内で回転軸４８に対して揺動可能な板状の接続部５５が接続されている。３本のリンク４３のうち残りの２本のうちの１本である第２のＺ軸リンク４３ｂの一端は、回転軸４８の一端部に接続された２枚の接続部５５に挟み込まれた状態で各接続部５５に接続されている。３本のリンク４３のうち残りの１本である第３のＺ軸リンク４３ｃの一端は、回転軸４８の他端部に接続された２枚の接続部５５に挟み込まれた状態で各接続部５５に接続されている。

　図８に示すように、Ｚ軸リンク機構部４０は、可動体１１に回転可能に支持されるとともに、Ｚ軸方向において回転軸５３に対向配置される回転軸５６を有している。両回転軸５３，５６は互いに平行に延びている。回転軸５６の端部は、一対の平面部５６ａを有する二面幅形状になっている。一対の平面部５６ａには、回転軸５６の軸方向に平行な平面（ＸＺ平面）内で回転軸５６に対して揺動可能な板状の接続部５７が接続されている。第１のＺ軸リンク４３ａの他端は、２枚の接続部５７に挟み込まれた状態で各接続部５７に接続されている。

　また、Ｚ軸リンク機構部４０は、可動体１１に回転可能に支持されるとともに、Ｚ軸方向において回転軸４８の両端部にそれぞれ対向配置される一対の回転軸５８を有している。各回転軸５８は、駆動軸４１と平行に延びている。各回転軸５８の端部は、一対の平面部５８ａを有する二面幅形状になっている。各回転軸５８の一対の平面部５８ａには、回転軸５８の軸方向に平行な平面（ＹＺ平面）内で回転軸５８に対して揺動可能な板状の接続部５９がそれぞれ接続されている。第２のＺ軸リンク４３ｂの他端は、一対の回転軸５８の一方の端部に接続された２枚の接続部５９に挟み込まれた状態で各接続部５９に接続されている。第３のＺ軸リンク４３ｃの他端は、一対の回転軸５８の他方の端部に接続された２枚の接続部５９に挟み込まれた状態で各接続部５９に接続されている。

　３本のリンク４３（第１のＺ軸リンク４３ａ、第２のＺ軸リンク４３ｂ及び第３のＺ軸リンク４３ｃ）は、アーム４２に対して、回転軸４８を揺動中心として第２のＺ軸リンク４３ｂ及び第３のＺ軸リンク４３ｃが揺動すると、第１のＺ軸リンク４３ａがＸＺ平面内で回転軸５３に対して接続部５４を介して揺動可能である。また、第２のＺ軸リンク４３ｂ及び第３のＺ軸リンク４３ｃが、ＹＺ平面内で回転軸４８に対して接続部５５を介して揺動すると、第１のＺ軸リンク４３ａが、回転軸５３が回転することにより回転軸５３を揺動中心として揺動可能である。よって、延設部５２の先端部に、回転軸５３を介して揺動可能に連結された３本のリンクのうちの１本である第１のＺ軸リンク４３ａが、回転軸５３を介して二方向に揺動可能に連結されている。アーム４２は、３本のリンク４３を互いに平行な状態を維持したまま移動させる。３本のリンク４３は、回転軸５０，５３を介して連結部５１に接続されているため、連結部５１が姿勢を維持した動きをすることから、各リンク４３におけるアーム４２に対する接続位置の相対位置関係を維持したまま移動する。

　図９（ａ）及び（ｂ）に示すように、Ｚ軸方向において、第１のＺ軸リンク４３ａにおけるアーム４２に対する接続位置は、第２のＺ軸リンク４３ｂ及び第３のＺ軸リンク４３ｃにおけるアーム４２に対する接続位置よりも可動体１１寄りである。そして、３本のリンク４３は同じ長さであるため、Ｚ軸方向において、第１のＺ軸リンク４３ａにおける可動体１１に対する接続位置は、第２のＺ軸リンク４３ｂ及び第３のＺ軸リンク４３ｃにおける可動体１１に対する接続位置よりもアーム４２とは離れた位置にある。

　また、Ｘ軸リンク機構部２０の２本のリンク２３における可動体１１に対する接続位置それぞれは、第２のＺ軸リンク４３ｂ及び第３のＺ軸リンク４３ｃの接続位置それぞれと、Ｚ軸方向で同一直線上に位置し、且つ第２のＺ軸リンク４３ｂ及び第３のＺ軸リンク４３ｃの接続位置それぞれに対して、Ｚ軸方向において筐体１４とは反対側に位置している。

　図１０に示すように、Ｚ軸リンク機構部４０の３本のリンク４３における可動体１１に対する接続位置を、Ｚ軸方向から見たとき、各接続位置が二等辺三角形Ｔ１を構成する位置にある。また、Ｙ軸リンク機構部３０のリンク３３における可動体１１に対する接続位置を、Ｚ軸方向から見たとき、接続位置が二等辺三角形Ｔ１の内部に位置している。電動ドライバ１１ａは、電動ドライバ１１ａの出力軸１１ｂの軸方向がＺ軸方向に一致した状態で、可動体１１に保持されている。出力軸１１ｂは、Ｚ軸方向から見たとき、二等辺三角形Ｔ１の辺上に位置しており、本実施形態では、第２のＺ軸リンク４３ｂにおける可動体１１に対する接続位置と第３のＺ軸リンク４３ｃにおける可動体１１に対する接続位置とを結ぶ直線上に位置している。

　支持装置１０は、可動体１１の移動範囲の中で隣り合うリンク機構部２０，３０，４０のリンク２３，３３，４３のなす角度が９０度を取り得るように構成されている。そして、例えば、図１に示すように、可動体１１の移動範囲の中で隣り合うリンク機構部２０，３０，４０のリンク２３，３３，４３のなす角度が９０度をなすとき、各リンク機構部２０，３０，４０のアーム２２，３２，４２（揺動部２２ａ，３２ａ，４７）とリンク２３，３３，４３とがなす角度が９０度を取り得るように構成されている。

　支持装置１０において、図示しないコンピュータに対し、可動体１１を移動させる位置情報が入力されると、その情報に応じた指令信号がコントローラからＸ軸用サーボモータ、Ｙ軸用サーボモータ及びＺ軸用サーボモータへ出力される。すると、指令信号に基づいて、各駆動軸２１，３１，４１が回転し、各リンク機構部２０，３０，４０のアーム２２，３２，４２がそれぞれ駆動軸２１，３１，４１に対して揺動する。そして、アーム２２，３２，４２の揺動に連動して、各リンク２３，３３，４３が、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向にそれぞれ移動する。その結果、可動体１１は、Ｘ軸回り、Ｙ軸回り及びＺ軸回りの回転がそれぞれ規制された状態で、可動体１１の姿勢を一定な状態に維持しながらＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向へ移動する。この可動体１１の移動に伴って、電動ドライバ１１ａが可動体１１と一体的に移動する。本実施形態では、電動ドライバ１１ａの出力軸１１ｂの軸方向がＺ軸方向に一致した状態を維持しながら、可動体１１が所定の移動範囲を移動可能になっている。本実施形態において、Ｚ軸リンク機構部４０のアーム４２は、可動体１１の移動範囲の中で、可動体１１の姿勢を一定な状態に維持し、且つ３本のリンク４３を互いに平行な状態を維持したまま移動させる移動機構を構成している。

　次に、本実施形態の作用について説明する。
　ところで、電動ドライバ１１ａを用いたねじ締め作業は、電動ドライバ１１ａの出力軸１１ｂに取り付けられるビット１１ｃ（先端工具）をねじ締めの対象物に対してＺ軸方向に押し付けながら行われる。このとき、例えば、従来技術のように、Ｚ軸リンク機構部４０を構成するリンク４３が２本である場合に比べて、駆動軸４１側の接続部位の互いの姿勢が維持された３本のリンク４３によって、ビット１１ｃを対象物に押し付ける押し付け力を維持する剛性が高められている。具体的には、３本のリンク４３によって、可動体１１を３点で面支持することになるため、受け面の支持剛性が高まる。Ｚ軸方向から見ると、３本のリンクにおける可動体１１に対する接続位置が三角形となり、３本の平行なリンク４３による三角柱（３つの四角形）が構成され、Ｘ軸、Ｙ軸に回転する力をＺ軸の３本のリンク４３のみで剛性高く保持できる。

　さらに、３本のリンク４３は、アーム４２のアーム部４２Ａを構成する連結部５１により位置決めされるとともに、姿勢維持されるため、剛性高く保持される。より詳細には、２本のリンク４３ｂ，４３ｃは一対の揺動部４７で受承される。１本のリンク４３ａは連結部５１の延設部５２に作用する。各リンク４３ａ，４３ｂ，４３ｃ間での力の差異は、連結部５１へのモーメントとして作用するが、アーム部４２Ａの揺動部４７の引張り、及び揺動部４９の圧縮に変換され、力の平衡によりキャンセルされる。このように３本のリンク４３の互いの位置関係が変動することなく維持される。したがって、Ｚ軸方向のリンク４３の剛性が十分に確保されている。

　可動体１１に加わるＸ軸方向の外力は、Ｘ軸リンク機構部２０の２本のリンク２３及びアーム２２で直接受承される。アーム２２とリンク２３とがなす角度は、可動体１１の移動範囲の中で隣り合うリンク機構部２０，３０，４０のリンク２３，３３，４３のなす角度が９０度をなすとき、９０度を取り得る。このため、可動体１１に加わるＸ軸方向の外力は、Ｘ軸リンク機構部２０の２本のリンク２３及びアーム２２で受承し易くなっている。

　可動体１１に加わるＹ軸方向の外力は、Ｙ軸リンク機構部３０の１本のリンク３３及びアーム３２で直接受承される。アーム３２とリンク３３とがなす角度は、可動体１１の移動範囲の中で隣り合うリンク機構部２０，３０，４０のリンク２３，３３，４３のなす角度が９０度をなすとき、９０度を取り得る。このため、可動体１１に加わるＹ軸方向の外力は、Ｙ軸リンク機構部３０の１本のリンク３３及びアーム３２で受承し易くなっている。

　可動体１１に加わるＺ軸方向の外力は、Ｚ軸リンク機構部４０の３本のリンク４３及びアーム４２で直接受承される。アーム４２とリンク４３とがなす角度は、可動体１１の移動範囲の中で隣り合うリンク機構部２０，３０，４０のリンク２３，３３，４３のなす角度が９０度をなすとき、９０度を取り得る。このため、可動体１１に加わるＺ軸方向の外力は、Ｚ軸リンク機構部４０の３本のリンク４３及びアーム４２で受承し易くなっている。

　上記実施形態では以下の効果を得ることができる。
　（１）支持装置１０は、可動体１１の移動範囲の中で隣り合うリンク機構部２０，３０，４０のリンク２３，３３，４３のなす角度が９０度をなすとき、各リンク機構部２０，３０，４０のアーム２２，３２，４２とリンク２３，３３，４３とがなす角度が９０度を取り得るように構成されている。さらに、Ｚ軸リンク機構部４０は、３本のリンク４３を有している。アーム４２は、可動体１１の移動範囲の中で、可動体１１の姿勢を一定な状態に維持し、且つ、３本のリンク４３を互いに平行な状態を維持したまま移動させる。これによれば、可動体１１に加わる各軸方向の外力を、各軸のリンク２３，３３，４３及びアーム２２，３２，４２によって受承し易くなる。そして、例えば、従来技術のように、Ｚ軸リンク機構部４０を構成するリンク４３が２本である場合に比べて、３本のリンク４３によって、面で支持することにより、ビット１１ｃを対象物に押し付ける押し付け力を維持する剛性を高めることができる。また、３本のリンク４３の駆動軸４１側の接続部位は、位置関係と姿勢が維持されて移動する機構である。したがって、Ｚ軸方向のリンク４３の剛性を十分に確保することができる。

　（２）リンク２３，３３は、アーム２２，３２に対して、回転軸２４，３４を揺動中心として揺動可能であり、且つ回転軸２４，３４の軸方向に平行な平面内で回転軸２４，３４に対して接続部２５，３５を介して揺動可能である。これによれば、可動体１１の移動を精度良く行うことができる。また、３本のリンク４３のうち、第２のＺ軸リンク４３ｂ及び第３のＺ軸リンク４３ｃは、アーム４２に対して、回転軸４８を揺動中心として揺動可能であり、且つ回転軸４８の軸方向に平行な平面内で回転軸４８に対して接続部５５を介して揺動可能である。これによれば、駆動軸４１からの駆動力がアーム４２を介して第２のＺ軸リンク４３ｂ及び第３のＺ軸リンク４３ｃに直接作用するため、回転モーメント等の外乱となる力が生じず、保持剛性を高くすることができる。これにより、高精度の移動や、大きな負荷への対応が可能となる。

　（３）Ｚ軸リンク機構部４０のアーム４２は、駆動軸４１に連結される平行四辺形リンク機構を構成する一対のアーム部４２Ａを有する。一対のアーム部４２Ａは連結部５１を介して一体になっている。これによれば、一対のアーム部４２Ａを一体として立体的に構成することができ、さらには、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向のいずれの方向から見ても強固な四角形構造を構成するため、高い保持剛性を実現できるとともに、Ｚ軸方向のリンク４３の移動の精度を向上させることができる。よって、アーム４２とリンク４３との接続部位での捩じりに対する剛性、特に、Ｚ軸方向に垂直な面内での捩じりに対する剛性が高まる。このため、重量のある電動ドライバ１１ａを動かしたり、高い移動精度を実現したりすることができる。

　（４）Ｚ軸リンク機構部４０のアーム４２は、一対のアーム部４２Ａの間に延びる延設部５２を有する。延設部５２の先端部には、回転軸５３を介して揺動可能に連結された３本のリンクのうちの１本である第１のＺ軸リンク４３ａが、回転軸５３を介して二方向に揺動可能に連結されている。これによれば、平行四辺形リンク機構を構成するアーム部４２Ａにより、連結部５１が一定姿勢を保ったまま移動し、第３連繋部５１ｃにより一体となった延設部５２も同じ姿勢を保ったまま移動する。３本のリンク４３の駆動軸４１側の接続部位は、三角形の位置関係を保ったまま移動できる。

　（５）Ｚ軸リンク機構部４０の３本のリンク４３における可動体１１及びアーム４２に対する接続位置は、Ｚ軸方向から見たとき、各接続位置が二等辺三角形Ｔ１を構成する位置にある。これによれば、支持装置１０をコンパクトにすることができるとともに、Ｚ軸方向のリンク４３の剛性を十分に確保し易くなる。

　（６）Ｙ軸リンク機構部３０のリンク３３における可動体１１に対する接続位置は、Ｚ軸方向から見たとき、接続位置が二等辺三角形Ｔ１の内部に位置している。これによれば、Ｙ軸リンク機構部３０のリンク３３における可動体１１に対する接続位置が、Ｚ軸方向から見たときに、二等辺三角形Ｔ１の外部に位置している場合に比べて、支持装置１０をコンパクトにすることができる。また、Ｚ軸方向のリンク４３の剛性を確保し易くなる。

　（７）Ｘ軸リンク機構部２０の２本のリンク２３における可動体１１に対する接続位置それぞれは、第２のＺ軸リンク４３ｂ及び第３のＺ軸リンク４３ｃの接続位置それぞれと、Ｚ軸方向で同一直線上に位置し、且つ第２のＺ軸リンク４３ｂ及び第３のＺ軸リンク４３ｃの接続位置それぞれに対して、Ｚ軸方向において筐体１４とは反対側に位置している。これによれば、支持装置１０をコンパクトにすることができるとともに、Ｚ軸方向のリンク４３の剛性を十分に確保し易くなる。

　（８）電動ドライバ１１ａの出力軸１１ｂは、Ｚ軸方向から見たとき、第２のＺ軸リンク４３ｂにおける可動体１１に対する接続位置と第３のＺ軸リンク４３ｃにおける可動体１１に対する接続位置とを結ぶ直線上に位置している。これによれば、ビット１１ｃを対象物に押し付ける押し付け力を維持するための剛性を確保し易くすることができる。特に、ビット１１ｃを対象物に押し付ける押し付け力の反力が、第２のＺ軸リンク４３ｂ及び第３のＺ軸リンク４３ｃを介してアーム４２に直接伝わり、第１のＺ軸リンク４３ａが姿勢を保つ役割をするため、高い剛性を実現することができる。

　（９）３本のリンク４３によって、可動体１１を３点で面支持することになるため、受け面の支持剛性が高まる。Ｚ軸方向から見ると、３本のリンクにおける可動体１１に対する接続位置が三角形となり、３本の平行なリンク４３による三角柱（３つの四角形）が構成され、Ｘ軸、Ｙ軸に回転する力をＺ軸の３本のリンク４３のみで剛性高く保持できる。

　（１０）３本のリンク４３は、アーム４２のアーム部４２Ａを構成する連結部５１により位置決めされる。これによれば、３本のリンク４３が姿勢維持されるため、剛性高く保持される。より詳細には、２本のリンク４３ｂ，４３ｃは一対の揺動部４７で受承される。１本のリンク４３ａは連結部５１の延設部５２に作用する。各リンク４３ａ，４３ｂ，４３ｃ間での力の差異は、連結部５１へのモーメントとして作用するが、アーム部４２Ａの揺動部４７の引張り、及び揺動部４９の圧縮に変換され、力の平衡によりキャンセルされる。このように３本のリンク４３の互いの位置関係が変動することなく維持される。

　なお、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
　・　図１１（ａ）及び（ｂ）に示すように、駆動軸４１と固定軸４４との位置関係が逆であってもよい。そして、延設部５２を含む連結部５１が、Ｙ軸方向から見るとＬ型であってもよい。Ｚ軸方向において、第１のＺ軸リンク４３ａにおけるアーム４２に対する接続位置は、第２のＺ軸リンク４３ｂ及び第３のＺ軸リンク４３ｃにおけるアーム４２に対する接続位置と同じ位置にある。３本のリンク４３は同じ長さであるため、Ｚ軸方向において、第１のＺ軸リンク４３ａにおける可動体１１に対する接続位置は、第２のＺ軸リンク４３ｂ及び第３のＺ軸リンク４３ｃにおける可動体１１に対する接続位置と同じ位置にある。

　・　図１２に示すように、延設部５２が、一対のアーム部４２Ａの間とは反対側（支持装置１０の外側）に延びていてもよい。なお、図１２に示す実施形態では、延設部５２を含む連結部５１が、Ｙ軸方向から見るとＬ型である構成を一例として挙げているが、連結部５１は、Ｙ軸方向から見るとＴ型である構成であってもよい。

　・　図１３（ａ）及び（ｂ）に示すように、Ｚ軸リンク機構部４０は、駆動部であるステージ６０を有していてもよい。ステージ６０は、駆動源からの駆動力によってＺ軸方向に直線運動する。Ｚ軸リンク機構部４０は、ステージ６０に連結されるアーム４２を有する。３本のリンク４３は、ステージ６０が直線運動することにより、互いに平行な状態を維持したままＺ軸方向へ移動可能である。

　・　図１４（ａ）及び（ｂ）に示すように、固定軸４４に代えて、回転軸４４Ａを設け、駆動軸４１と回転軸４４Ａとを、例えば、タイミングベルトやチェーン等の連結部材６１により連結し、駆動軸４１と回転軸４４Ａとの回転を、連結部材６１を介して機械的に同期させることにより、各揺動部４７，４９を揺動させるようにしてもよい。

　・　図１５（ａ）及び（ｂ）に示すように、各揺動部４７，４９を連結リンク６２により連結し、各揺動部４７，４９の揺動を、連結リンク６２を介して同期させるようにしてもよい。

　・　図１６（ａ）及び（ｂ）に示すように、揺動部４９がサーボモータの駆動軸６３に連結されており、各駆動軸４１，６３の回転を同期させるように、各駆動軸４１，６３のサーボモータを電気的に制御することにより、各揺動部４７，４９を揺動させるようにしてもよい。

　・　図１７に示すように、支持装置１０を二つ設け、二つの支持装置１０を、それぞれの可動体１１が近接して１箇所に集約して配置可能となるように、ＹＺ平面に対して面対称に設置するようにしてもよい。これによれば、各可動体１１に保持された回転工具による作業を１箇所で集中して行うことが可能となる。その結果として、同じ種類の回転工具を両方に保持して効率を上げたり、異なる種類の回転工具や把持機構を保持して複雑な作業を可能としたりすることができる。

　・　実施形態において、電動ドライバ１１ａが、電動ドライバ１１ａの出力軸１１ｂの軸方向が、例えば、Ｘ軸方向に一致した状態で、可動体１１に保持されていてもよい。この場合、Ｘ軸リンク機構部２０が、３本のリンク２３を有する必要がある。要は、３つのリンク機構部２０，３０，４０のうちのいずれかのリンク２３，３３，４３が３本以上設けられていればよい。これによれば、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向のうち少なくとも一方向のリンク２３，３３，４３の剛性を十分に確保することができる。

　・　実施形態において、Ｘ軸リンク機構部２０のリンク２３が、１本であってもよいし、３本以上設けられていてもよい。要は、Ｘ軸リンク機構部２０のリンク２３は、１本以上設けられていればよい。

　・　実施形態において、Ｙ軸リンク機構部３０のリンク３３が、２本以上設けられていてもよい。要は、Ｙ軸リンク機構部３０のリンク３３は、１本以上設けられていればよい。

　・　実施形態において、Ｚ軸リンク機構部４０のリンク４３が、４本以上設けられていてもよい。要は、Ｚ軸リンク機構部４０のリンク４３は、３本以上設けられていればよい。

　・　実施形態において、例えば、Ｘ軸リンク機構部２０のリンク２３が１本であり、Ｙ軸リンク機構部３０のリンク３３が１本であり、Ｚ軸リンク機構部４０のリンク４３が３本である構成であってもよい。この場合、Ｘ軸リンク機構部２０のリンク２３における可動体１１に対する接続位置と、Ｙ軸リンク機構部３０のリンク３３における可動体１１に対する接続位置とを、Ｚ軸方向から見たとき、二等辺三角形Ｔ１の内部に位置していることが好ましい。これによれば、可動体１１に加わる各軸方向の外力を、各軸のリンク２３，３３，４３によって受承し易くなる。

　・　実施形態において、電動ドライバ１１ａの出力軸１１ｂが、Ｚ軸方向から見たとき、第２のＺ軸リンク４３ｂにおける可動体１１に対する接続位置と第３のＺ軸リンク４３ｃにおける可動体１１に対する接続位置とを結ぶ直線上に位置していなくてもよい。例えば、電動ドライバ１１ａの出力軸１１ｂが、Ｚ軸方向から見たとき、二等辺三角形Ｔ１の内部に位置していてもよい。

　・　実施形態において、Ｘ軸リンク機構部２０の２本のリンク２３における可動体１１に対する接続位置それぞれが、第２のＺ軸リンク４３ｂ及び第３のＺ軸リンク４３ｃの接続位置それぞれと、Ｚ軸方向で同一直線上に位置していなくてもよい。

　・　実施形態において、Ｙ軸リンク機構部３０のリンク３３における可動体１１に対する接続位置が、Ｚ軸方向から見たときに、二等辺三角形Ｔ１の外部に位置していてもよい。

　・　実施形態において、Ｚ軸リンク機構部４０の３本のリンク４３における可動体１１に対する接続位置を、Ｚ軸方向から見たとき、各接続位置が二等辺三角形Ｔ１を構成する位置になくてもよい。

　・　実施形態において、例えば、アーム２２，３２，４２とリンク２３，３３，４３とをボールジョイントによって接続する構成にしてもよい。実施形態のリンク本数の構成（３本以上、２本以上、１本以上）においては、アーム２２，３２，４２とリンク２３，３３，４３とを接続する構成は、特に限定されるものではない。

　・　実施形態において、可動体１１の保持対象物が、例えば、電動ドリル等の他の回転工具や、半田鏝等の加熱工具等といった非回転の工具であってもよい。要は、可動体１１の保持対象物は特に限定されるものではない。

　本発明は、例示したものに限定されるものではない。例えば、例示した特徴が本発明にとって必須であると解釈されるべきでなく、むしろ、本発明の主題は、開示した特定の実施形態の全ての特徴より少ない特徴に存在することがある。本発明は、請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。

　１０…支持装置、１１…可動体、２０，３０，４０…リンク機構部、２１，３１，４１…駆動部である駆動軸、２２，３２，４２…アーム、２３，３３，４３…リンク、２４，２６，３４，３６，４８，５０，５８…回転軸、２５，２７，３５，３７，５５，５９…接続部、４２Ａ…一対のアーム部、４４…固定軸、４７，４９…揺動部、５１…連結部、５２…延設部、６０…駆動部であるステージ。

Claims

　可動体の移動範囲の中で、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向のいずれかの方向にそれぞれ対応して前記可動体をそれぞれ支持可能な３つのリンク機構部を有する支持装置であって、
　各リンク機構部は、駆動部に連結されるアームと、前記アームに一端が連結されるとともに前記可動体に他端が連結され、前記可動体の移動範囲の中で前記Ｘ軸、前記Ｙ軸及び前記Ｚ軸のいずれかに一致可能に延びるリンクと、を有し、
　支持装置は、前記可動体の移動範囲の中で隣り合うリンク機構部のリンク同士のなす角度が９０度を取り得るように構成されており、
　前記可動体の移動範囲の中で隣り合うリンク機構部のリンク同士のなす角度が９０度をなすとき、各リンク機構部の前記アームと前記リンクとがなす角度が９０度を取り得るように構成されており、
　前記３つのリンク機構部のうちのいずれか１つにはリンクが３本以上設けられており、前記３本以上のリンクが設けられたリンク機構部のアームは、前記可動体の移動範囲の中で、前記可動体の姿勢を一定な状態に維持し、且つ前記３本以上のリンクを互いに平行な状態を維持したまま移動させることを特徴とする支持装置。
　前記アームは、前記駆動部である駆動軸に揺動可能に連結されており、
　前記リンク機構部は、前記駆動軸と平行に延びる回転軸と、前記回転軸に接続されるとともに前記回転軸の軸方向に平行な平面内で前記回転軸に対して揺動可能な接続部と、を有し、
　前記リンクは、前記接続部に接続されており、前記アームに対して、前記回転軸を揺動中心として揺動可能であり、且つ前記平面内で前記回転軸に対して前記接続部を介して揺動可能であることを特徴とする請求項１に記載の支持装置。
　前記３本以上のリンクが設けられたリンク機構部のアームは、前記駆動部である駆動軸に揺動可能に連結される一対の揺動部と、固定軸に揺動可能に連結される一対の揺動部と、一体の連結部とを含む平行四辺形リンク機構を構成する一対のアーム部を有し、そのアーム部の一辺が前記駆動軸と前記固定軸とからなり、対辺が前記連結部からなり、前記連結部を介して前記３本以上のリンクが接続されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の支持装置。
　前記３本以上のリンクが設けられたリンク機構部のアームは、前記一対のアーム部の間に延びる延設部を有し、
　前記延設部の先端部に、前記３本以上のリンクのうちの１本が二方向に揺動可能に連結されていることを特徴とする請求項３に記載の支持装置。
　前記３つのリンク機構部のうちのいずれか１つにはリンクが３本設けられており、
　前記３本のリンクにおける前記可動体に対する接続位置を、前記３本のリンクが一致可能な前記Ｘ軸、前記Ｙ軸及び前記Ｚ軸のいずれかの方向から見たとき、各接続位置が二等辺三角形を構成する位置にあることを特徴とする請求項１～請求項４のいずれか一項に記載の支持装置。
　前記３本のリンクが設けられたリンク機構部とは異なる２つのリンク機構部のうちの少なくとも１つのリンクにおける前記可動体に対する接続位置を、前記３本のリンクが一致可能な前記Ｘ軸、前記Ｙ軸及び前記Ｚ軸のいずれかの方向から見たとき、前記接続位置が前記二等辺三角形の内部に位置していることを特徴とする請求項５に記載の支持装置。