OPTOELEKTRONISCHE ANORDNUNG UND TIEFENERFASSUNGSSYSTEM BESCHREIBUNG Die vorliegende Erfindung betrifft eine optoelektronische An¬ ordnung gemäß Patentanspruch 1 sowie ein Tiefenerfassungssys¬ tem gemäß Patentanspruch 20.
Diese Patentanmeldung beansprucht die Prioritäten der deut- sehen Patentanmeldungen DE 10 2015 108 413.9 und DE 10 2015 122 627.8, deren Offenbarungsgehalt hiermit durch Rückbezug aufgenommen wird.
Optoelektronische Anordnungen zur Erzeugung eines Lichtmus- ters, beispielsweise eines Musters von Lichtpunkten, sind be¬ kannt und werden beispielsweise in Tiefenerfassungssystemen eingesetzt, um anhand von rückgestreutem Licht des Lichtmus¬ ters Tiefeninformationen zu gewinnen. Bekannte optoelektronische Anordnungen zur Erzeugung von Lichtmustern können bei- spielsweise Laserlichtquellen und diffraktive optische Ele¬ mente oder abschattende Blendenstrukturen aufweisen.
Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine optoelektronische Anordnung zur Erzeugung eines Lichtmusters bereitzustellen. Diese Aufgabe wird durch eine optoelektronische Anordnung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, ein Tiefenerfassungssystem bereitzustellen. Diese Aufgabe wird durch ein Tiefenerfassungssystem mit den Merkmalen des An- spruchs 20 gelöst. In den abhängigen Ansprüchen sind verschiedene Weiterbildungen angegeben.
Eine optoelektronische Anordnung zur Erzeugung eines Licht¬ musters umfasst einen Leuchtdiodenchip, der ausgebildet ist, an seiner Oberseite elektromagnetische Strahlung abzustrah¬ len, die an der Oberseite des Leuchtdiodenchips ein erstes zweidimensionales Muster bildet. Die optoelektronische Anord¬ nung umfasst außerdem ein optisch abbildendes Element, das
ausgebildet ist, von dem Leuchtdiodenchip abgestrahlte elekt¬ romagnetische Strahlung in eine Umgebung der optoelektronischen Anordnung abzubilden. Vorteilhafterweise wird bei dieser optoelektronischen Anord¬ nung ein Leuchtdiodenchip als Lichtquelle genutzt, wodurch die optoelektronische Anordnung kostengünstig herstellbar, mit geringem Aufwand skalierbar und einfach handhabbar ist. Insbesondere müssen bei dieser optoelektronischen Anordnung durch den Verzicht auf eine Laserlichtquelle keine Maßnahmen zur Augensicherheit getroffen werden. Die optoelektronische Anordnung weist vorteilhafterweise einen einfachen Aufbau mit einer geringen Anzahl einzelner Komponenten auf, wodurch die optoelektronische Anordnung kompakte äußere Abmessungen auf- weisen kann.
In einer Ausführungsform der optoelektronischen Anordnung ist das erste Muster so ausgebildet, dass sich entlang einer an der Oberseite des Leuchtdiodenchips angeordneten Geraden min- destens zwei Strahlungsemittierende Abschnitte und zwei nicht-strahlungsemittierende Abschnitte abwechseln. Vorteil¬ hafterweise wird hierdurch sichergestellt, dass das durch die optoelektronische Anordnung erzeugbare Lichtmuster ausrei¬ chend komplex ist, um das durch die optoelektronische Anord- nung erzeugbare Lichtmuster beispielsweise in einem Tiefenerfassungssystem zur Ermittlung von Tiefeninformationen zu nutzen .
In einer Ausführungsform der optoelektronischen Anordnung ist das erste Muster ein zweidimensionales Punktmuster. Das
Punktmuster kann dabei ein regelmäßiges oder ein unregelmäßi¬ ges Punktmuster sein. Zweidimensionale Punktmuster haben sich als gut geeignet für eine Verwendung in Systemen zur Tiefenerfassung erwiesen.
In einer Ausführungsform der optoelektronischen Anordnung ist das erste Muster ein Streifenmuster. Auch Streifenmuster eignen sich zur Verwendung in Systemen zur Tiefenerfassung und
ermöglichen vorteilhafterweise eine besonders einfache Aus¬ wertung .
In einer Ausführungsform der optoelektronischen Anordnung ist der Leuchtdiodenchip ausgebildet, elektromagnetische Strah¬ lung mit einer Wellenlänge aus dem infraroten Spektralbereich zu emittieren. Vorteilhafterweise ist das von der optoelekt¬ ronischen Anordnung erzeugbare Lichtmuster dadurch nicht sichtbar und wird somit von einem Anwender nicht als störend empfunden .
In einer Ausführungsform der optoelektronischen Anordnung weist der Leuchtdiodenchip eine epitaktisch gewachsene
Schichtenfolge auf. Dabei ist ein Bereich der Schichtenfolge in lateraler Richtung gemäß dem ersten Muster strukturiert.
Vorteilhafterweise wird dadurch erreicht, dass der Leuchtdio¬ denchip nur in jenen Bereichen elektromagnetische Strahlung erzeugt, in denen an der Oberseite des Leuchtdiodenchips elektromagnetische Strahlung abgestrahlt werden soll. Dadurch ist es nicht erforderlich, elektromagnetische Strahlung in jenen Bereichen an der Oberseite des Leuchtdiodenchips, die keine elektromagnetische Strahlung abstrahlen sollen, abzu¬ schatten. Dadurch kann die optoelektronische Anordnung vorteilhafterweise eine hohe Effizienz aufweisen.
In einer Ausführungsform der optoelektronischen Anordnung weist die Schichtenfolge einen pn-Übergang auf, der lateral strukturiert ist. Vorteilhafterweise wird dadurch erreicht, dass im Leuchtdiodenchip der optoelektronischen Anordnung elektromagnetische Strahlung nur in den Bereichen erzeugt werden soll, in denen an der Oberseite des Leuchtdiodenchips elektromagnetische Strahlung abgestrahlt werden soll.
In einer Ausführungsform der optoelektronischen Anordnung um- fasst das optisch abbildende Element eine optische Linse. Die optische Linse kann dabei beispielsweise als Zerstreuungslin¬ se ausgebildet sein. Vorteilhafterweise eignet sich das op¬ tisch abbildende Element dadurch dazu, von dem Leuchtdioden-
chip der optoelektronischen Anordnung abgestrahlte elektromagnetische Strahlung in eine Umgebung der optoelektronischen Anordnung abzubilden.
In einer Ausführungsform der optoelektronischen Anordnung ist über der Oberseite des Leuchtdiodenchips ein Blendenelement angeordnet, das über Strahlungsemittierenden Abschnitten der Oberseite Öffnungen aufweist. Vorteilhafterweise kann durch das Blendenelement eine zumindest teilweise Parallelisierung der von dem Leuchtdiodenchip abgestrahlten elektromagnetischen Strahlung erreicht werden. Dabei wird unter einem gegenüber der Normalen stark abweichenden Winkel emittierte elektromagnetische Strahlung in den Öffnungen des Blendenele¬ ments absorbiert.
In einer Ausführungsform der optoelektronischen Anordnung ist mindestens eine der Öffnungen so eng bemessen, dass nur eine Grundmode der elektromagnetischen Strahlung durch die Öffnung gelangen kann. Die Öffnung kann dabei beispielsweise einen Durchmesser von weniger als 10 ym aufweisen. Die Grundmode weist vorteilhafterweise einen engen Abstrahlwinkel auf, so dass die abgestrahlte elektromagnetische Strahlung stark ge¬ richtet ist und eine hohe Strahlungsintensität in zur Ober¬ seite des Leuchtdiodenchips senkrechte Richtung aufweist. Dies ermöglicht vorteilhafterweise eine effiziente Einkopp- lung in das optisch abbildende Element der optoelektronischen Anordnung. Außerdem weist das durch die optoelektronische An¬ ordnung erzeugte Lichtmuster dadurch einen hohen Kontrast auf .
In der Ausführungsform der optoelektronischen Anordnung ist über mindestens einem Strahlungsemittierenden Abschnitt der Oberseite des Leuchtdiodenchips ein Fokussierelement angeord¬ net, das dazu vorgesehen ist, an dem Strahlungsemittierenden Abschnitt emittierte elektromagnetische Strahlung zumindest teilweise zu parallelisieren . Vorteilhafterweise kann das Fo¬ kussierelement die teilweise Parallelisierung der elektromag¬ netischen Strahlung durch Brechung und Ablenkung der elektro-
magnetischen Strahlung erreichen, wodurch Verluste durch Absorption reduziert werden können. Dadurch kann die optoelektronische Anordnung eine besonders hohe Effizienz aufweisen. In einer Ausführungsform der optoelektronischen Anordnung um- fasst das Fokussierelement ein Mikroprisma. Beispielsweise können über den Strahlungsemittierenden Abschnitten der Oberseite des Leuchtdiodenchips als Mikroprismenarray ausgebilde¬ te Fokussierelemente angeordnet sein. Vorteilhafterweise ist das Fokussierelement dadurch einfach und kostengünstig her¬ stellbar .
In einer Ausführungsform der optoelektronischen Anordnung ist der Leuchtdiodenchip ausgebildet, an seiner Oberseite elekt- romagnetische Strahlung abzustrahlen, die an der Oberseite des Leuchtdiodenchips ein von dem ersten Muster verschiedenes zweites zweidimensionales Muster bildet. Der Leuchtdiodenchip ist in dieser Ausführungsform der optoelektronischen Anordnung somit ausgebildet, mindestens zwei verschiedene Licht- muster zu erzeugen. Diese beiden Lichtmuster können beispielsweise sequenziell nacheinander erzeugt werden. Vorteil¬ hafterweise eignet sich die optoelektronische Anordnung dadurch besonders gut zur Verwendung in einem System zur Tiefenerfassung und ermöglicht eine Tiefenerfassung mit beson- ders hoher Genauigkeit.
In einer Ausführungsform der optoelektronischen Anordnung sind das erste Muster und das zweite Muster so ausgebildet, dass die das erste Muster bildenden Strahlungsemittierenden Abschnitte der Oberseite des Leuchtdiodenchips und die das zweite Muster bildenden Strahlungsemittierenden Abschnitte der Oberseite des Leuchtdiodenchips disjunkt sind. Dies be¬ deutet, dass sich die das erste Muster bildenden Strahlungse¬ mittierenden Abschnitte der Oberseite des Leuchtdiodenchips und die das zweite Muster bildenden Strahlungsemittierenden Abschnitte der Oberseite des Leuchtdiodenchips nicht überla¬ gern. Vorteilhafterweise können das erste Muster und das
zweite Muster dadurch besonders einfach mit nur einem Leuchtdiodenchip erzeugt werden.
In einer Ausführungsform der optoelektronischen Anordnung weist der Leuchtdiodenchip eine Mehrzahl elektrischer Kontakte auf. Dabei ist der Leuchtdiodenchip ausgebildet, abhängig davon, welcher elektrische Kontakt mit elektrischem Strom beaufschlagt wird, das erste Muster oder das zweite Muster ab¬ zustrahlen. Der Leuchtdiodenchip der optoelektronischen An- Ordnung kann in dieser Ausführungsform der optoelektronischen Anordnung also mindestens zwei integrierte Diodenstrukturen aufweisen. Dadurch lässt sich der Leuchtdiodenchip vorteilhafterweise besonders einfach ansteuern. In einer Ausführungsform der optoelektronischen Anordnung ist der Leuchtdiodenchip ausgebildet, an seiner Oberseite elekt¬ romagnetische Strahlung abzustrahlen, die an der Oberseite des Leuchtdiodenchips ein von dem ersten Muster und von dem zweiten Muster verschiedenes drittes zweidimensionales Muster bildet. Vorteilhafterweise eignet sich die optoelektronische Anordnung in dieser Ausführungsform somit zur Erzeugung mindestens dreier unterschiedlicher Lichtmuster, die beispielsweise sequenziell nacheinander erzeugt werden können. Bei Verwendung der optoelektronischen Anordnung in einem System zur Tiefenerfassung wird dadurch vorteilhafterweise eine Tie- fenerfassung mit besonders hoher Genauigkeit ermöglicht.
In einer Ausführungsform der optoelektronischen Anordnung ist der Leuchtdiodenchip mit einem optischen Resonator oder als Superlumineszenzdiode ausgebildet. Vorteilhafterweise kann der Leuchtdiodenchip dadurch eine Erzeugung elektromagnetischer Strahlung mit einer Wellenlänge aus einem engen Spektralbereich ermöglichen, was bei Verwendung der optoelektronischen Anordnung in einem System zur Tiefenerfassung auf De- tektorseite eine Verwendung eines Filters mit engem Durch¬ lassspektrum ermöglicht, wodurch sich eine geringe Störanfäl¬ ligkeit und eine hohe Signalqualität ergeben können. Ein wei¬ terer Vorteil kann darin bestehen, dass ein mit einem opti-
sehen Resonator oder als Superlumineszenzdiode ausgebildeter Leuchtdiodenchip eine engwinklige Abstrahlcharakteristik aufweisen kann, wodurch das durch die optoelektronische Anord¬ nung erzeugbare Lichtmuster einen hohen Kontrast und eine ho- he Intensität aufweisen kann.
In einer Ausführungsform der optoelektronischen Anordnung ist über mindestens einem Strahlungsemittierenden Abschnitt der Oberseite des Leuchtdiodenchips ein optisches Element ange- ordnet, das nur elektromagnetische Strahlung transmittiert , die in einen festgelegten Winkelbereich um eine zur Oberseite des Leuchtdiodenchips senkrechte Richtung abgestrahlt wird. Vorteilhafterweise weist die von der optoelektronischen Anordnung abgestrahlte elektromagnetische Strahlung dann eine hohe Parallelität und eine geringe Divergenz auf, wodurch das durch die optoelektronische Anordnung erzeugbare Lichtmuster einen hohen Kontrast aufweisen kann. Von dem optischen Element nicht transmittierte elektromagnetische Strahlung kann zu dem Leuchtdiodenchip reflektiert und dadurch rezykliert werden. Beispielsweise kann an dem optischen Element reflektierte elektromagnetische Strahlung in dem Leuchtdiodenchip reabsorbiert werden. Ebenfalls möglich ist, dass an dem opti¬ schen Element reflektierte elektromagnetische Strahlung an dem Leuchtdiodenchip erneut reflektiert und dabei in eine zur Oberseite des Leuchtdiodenchips im Wesentlichen senkrechte Richtung abgestrahlt wird.
In einer Ausführungsform der optoelektronischen Anordnung ist das optische Element als photonischer Kristall ausgebildet. Vorteilhafterweise transmittiert das optische Element dann nur elektromagnetische Strahlung, die in einen festgelegten Winkelbereich um eine zur Oberseite des Leuchtdiodenchips senkrechte Richtung abgestrahlt wird. Ein Tiefenerfassungssystem umfasst eine optoelektronische An¬ ordnung der vorgenannten Art. Das Tiefenerfassungssystem kann beispielsweise dazu vorgesehen sein, Abstände von in einem Zielbereich angeordneten Personen und/oder Gegenständen zu
ermitteln. Das Tiefenerfassungssystem kann sich beispielsweise auch dazu eignen, Abstände einzelner Körperteile einer o- der mehrerer Personen von der optoelektronischen Anordnung des Tiefenerfassungssystems zu ermitteln. Dabei kann das Tie- fenerfassungssystem die Tiefeninformation beispielsweise anhand von reflektiertem Licht des durch die optoelektronische Anordnung des Tiefenerfassungssystems erzeugbaren Lichtmus¬ ters gewinnen. Die oben beschriebenen Eigenschaften, Merkmale und Vorteile dieser Erfindung sowie die Art und Weise, wie diese erreicht werden, werden klarer und deutlicher verständlich im Zusammenhang mit der folgenden Beschreibung der Ausführungsbeispiele, die im Zusammenhang mit den Zeichnungen näher erläu- tert werden. Dabei zeigen in jeweils schematisierter Darstellung :
Fig. 1 eine erste optoelektronische Anordnung; Fig. 2 eine Aufsicht auf eine Oberseite eines Leuchtdio¬ denchips der ersten optoelektronischen Anordnung;
Fig. 3 eine zweite optoelektronische Anordnung; Fig. 4 eine dritte optoelektronische Anordnung;
Fig. 5 ein Tiefenerfassungssystem;
Fig. 6 eine vierte optoelektronische Anordnung;
Fig. 7 ein schematisches Ersatzschaltbild des Leuchtdio¬ denchips der vierten optoelektronischen Anordnung;
Fig. 8 eine fünfte optoelektronische Anordnung;
Fig. 9 eine sechste optoelektronische Anordnung;
Fig. 10 eine siebte optoelektronische Anordnung; und
Fig. 11 eine achte optoelektronische Anordnung.
Fig. 1 zeigt eine stark schematisierte geschnittene Seitenan- sieht einer optoelektronischen Anordnung 10. Die optoelektronische Anordnung 10 ist zur Erzeugung und Abstrahlung eines Lichtmusters vorgesehen.
Die optoelektronische Anordnung 10 umfasst einen Leuchtdio- denchip 100. Der Leuchtdiodenchip 100 kann auch als LED-Chip bezeichnet werden. Der Leuchtdiodenchip 100 ist zur Emission elektromagnetischer Strahlung 200 ausgebildet. Die durch den Leuchtdiodenchip 100 emittierbare elektromagnetische Strah¬ lung 200 kann eine Wellenlänge aus dem sichtbaren Spektralbe- reich oder eine Wellenlänge aus einem nicht-sichtbaren Spektralbereich aufweisen, beispielsweise eine Wellenlänge aus dem infraroten Spektralbereich. In beiden Fällen kann die durch den Leuchtdiodenchip 100 emittierbare elektromagnetische Strahlung 200 auch als Licht bezeichnet werden.
Der Leuchtdiodenchip 100 weist eine Oberseite 110 auf. Die Oberseite 110 bildet eine Strahlungsemissionsfläche des
Leuchtdiodenchips 100. Die durch den Leuchtdiodenchip 100 emittierbare elektromagnetische Strahlung 200 wird an der Oberseite 110 des Leuchtdiodenchips 100 abgestrahlt.
Fig. 2 zeigt eine schematische Aufsicht auf die Oberseite 110 des Leuchtdiodenchips 100 der optoelektronischen Anord¬ nung 10. Die durch den Leuchtdiodenchip 100 emittierbare elektromagnetische Strahlung 200 wird nicht an der gesamten
Oberseite 110 des Leuchtdiodenchips 100 abgestrahlt. Vielmehr weist die Oberseite 110 des Leuchtdiodenchips 100 Strahlungs¬ emittierende Abschnitte 111 und nicht-strahlungsemittierende Abschnitte 112 auf. Im Betrieb des Leuchtdiodenchips 100 wird elektromagnetische Strahlung 200 lediglich an den Strahlungs¬ emittierenden Abschnitten 111 der Oberseite 110 des Leuchtdiodenchips 100 abgestrahlt.
Die strahlungsemittierenden Abschnitte 111 der Oberseite 110 des Leuchtdiodenchips 100 bilden ein zweidimensionales Mus¬ ter. Dadurch bildet auch die von dem Leuchtdiodenchip 100 an der Oberseite 110 abgestrahlte elektromagnetische Strah- lung 200 an der Oberseite 110 des Leuchtdiodenchips 100 ein zweidimensionales Muster 210. Das zweidimensionale Muster 210 ist dabei so ausgebildet, dass sich entlang einer an der Oberseite 110 des Leuchtdiodenchips 100 angeordneten Geraden 113 mindestens zwei Strahlungsemittierende Abschnitte 111 und zwei nicht-strahlungsemittierende Abschnitte 112 abwechseln.
Im in Fig. 2 dargestellten Beispiel bilden die strahlungsemittierenden Abschnitte 111 ein regelmäßiges zweidimensiona¬ les Punktmuster. Die strahlungsemittierenden Abschnitte 111 könnten aber auch ein unregelmäßiges Punktmuster, ein Gittermuster oder ein anderes Muster bilden.
Der Leuchtdiodenchip 100 weist eine epitaktisch gewachsene Schichtenfolge 120 auf. Die Schichtenfolge 120 umfasst einen pn-Übergang 130. Im Bereich des pn-Übergangs 130 der Schichtenfolge 120 wird im Betrieb des Leuchtdiodenchips 100 der optoelektronischen Anordnung 10 die elektromagnetische Strahlung 200 erzeugt. Der pn-Übergang 130 ist in lateraler Richtung, also parallel zur Oberseite 110 des Leuchtdiodenchips 100, entsprechend dem zweidimensionalen Muster 210 strukturiert. Dadurch wird erreicht, dass im Betrieb des Leuchtdiodenchips 100 nur in je¬ nen lateralen Bereichen der Schichtenfolge 120 elektromagne- tische Strahlung 200 erzeugt wird, die in zur Oberseite 110 des Leuchtdiodenchips 100 senkrechter Richtung unterhalb strahlungsemittierender Abschnitte 111 der Oberseite 110 des Leuchtdiodenchips 100 angeordnet sind. Unterhalb der nicht- strahlungsemittierenden Abschnitte 112 der Oberseite 110 des Leuchtdiodenchips 100 wird keine elektromagnetische Strahlung 200 erzeugt. Dadurch entsteht das zweidimensionale Muster 210 der durch den Leuchtdiodenchip 100 abstrahlbaren elektromagnetischen Strahlung 200 bereits bei der Erzeugung der elekt-
romagnetischen Strahlung 200 in der Schichtenfolge 120 des Leuchtdiodenchips 100.
Fig. 1 zeigt, dass die optoelektronische Anordnung 100 zu- sätzlich ein optisch abbildendes Element 300 umfasst. Das op¬ tisch abbildende Element 300 ist dazu vorgesehen, die von dem Leuchtdiodenchip 100 der optoelektronischen Anordnung 10 emittierte elektromagnetische Strahlung 200 in eine Umge¬ bung 310 der optoelektronischen Anordnung 10 abzubilden.
Hierzu ist das optisch abbildende Element 300 derart angeord¬ net, dass die durch den Leuchtdiodenchip 100 emittierte elektromagnetische Strahlung 200 durch das optisch abbildende Element 300 verläuft. Das optisch abbildende Element 300 kann beispielsweise eine optische Linse umfassen. Die optische Linse kann beispiels¬ weise als Zerstreuungslinse ausgebildet sein. Das optisch ab¬ bildende Element 300 kann auch mehr als eine optische Kompo¬ nente umfassen, beispielsweise mehrere optische Linsen, die im Lichtweg hintereinander angeordnet sind.
Fig. 3 zeigt eine stark schematisierte geschnittene Seitenan¬ sicht einer optoelektronischen Anordnung 11 gemäß einer zweiten Ausführungsform. Die optoelektronische Anordnung 11 weist große Übereinstimmungen mit der optoelektronischen Anordnung 10 der Fig. 1 auf. Komponenten der optoelektronischen Anordnung 11, die bei der optoelektronischen Anordnung 10 vorhandenen Komponenten entsprechen, sind in Fig. 3 mit denselben Bezugszeichen versehen wie in Fig. 1. Die nachfolgende Beschreibung konzentriert sich auf die Unterschiede zwischen der optoelektronischen Anordnung 11 der Fig. 3 und der optoelektronischen Anordnung 10 der Fig. 1. Im Übrigen ist die Beschreibung der optoelektronischen Anordnung 10 auch für die optoelektronische Anordnung 11 zutreffend.
Die optoelektronische Anordnung 11 weist ein Blendenele¬ ment 400 auf, das zwischen der Oberseite 110 des Leuchtdio¬ denchips 100 und dem optisch abbildenden Element 300 angeord-
net ist. Das Blendenelement 400 kann unmittelbar an der Ober¬ seite 110 des Leuchtdiodenchips 100 anliegen. Das Blendenele¬ ment 400 kann auch als Aperturelement bezeichnet werden. Das Blendenelement 400 weist Öffnungen 410 auf. Die die Öff¬ nungen 410 des Blendenelements 400 umgebenden Abschnitte des Blendenelements 400 sind opak ausgebildet. Es ist zweckmäßig, dass die die Öffnungen 410 des Blendenelements 400 umgebenden Abschnitte des Blendenelements 400 nicht oder nur in geringem Maße reflektierend ausgebildet sind. Die Öffnungen 410 des Blendenelements 400 sind an den Strahlungsemittierenden Abschnitten 111 der Oberseite 110 des Leuchtdiodenchips 100 ausgerichtet. Dadurch kann ein Teil der an den Strahlungse¬ mittierenden Abschnitten 111 der Oberseite 110 des Leuchtdio- denchips 100 emittierten elektromagnetischen Strahlung 200 durch die Öffnungen 410 des Blendenelements 400 zu dem op¬ tisch abbildenden Element 300 der optoelektronischen Anordnung 11 gelangen. Allerdings kann nur solche elektromagnetische Strahlung, die senkrecht oder fast senkrecht zur Oberseite 110 des Leuchtdi¬ odenchips 100 abgestrahlt wird, durch die Öffnungen 410 des Blendenelements 400 gelangen. Elektromagnetische Strahlung 200, die an der Oberseite 110 des Leuchtdiodenchips 100 in eine Richtung abgestrahlt wird, die gegenüber einer senkrecht zur Oberseite 110 des Leuchtdiodenchips 100 orientierten Nor¬ malen einen Winkel aufweist, der größer als ein geometrisch festgelegter Grenzwinkel ist, wird an dem Blendenelement 400 oder den Wandungen der Öffnungen 410 absorbiert.
Hierdurch ist die an der dem optisch abbildenden Element 300 zugewandten Seite des Blendenelements 400 aus den Öffnun¬ gen 410 des Blendenelements 400 austretende elektromagneti¬ sche Strahlung 200 im Wesentlichen senkrecht zur Obersei- te 110 des Leuchtdiodenchips 100 orientiert und somit zumin¬ dest teilweise parallelisiert .
Die durch das Blendenelement 400 bewirkte teilweise Paralle- lisierung der elektromagnetischen Strahlung 200 kann dazu dienen, störende Rückreflexionen von elektromagnetischer Strahlung 200 innerhalb der optoelektronischen Anordnung 11 zu reduzieren und die Qualität der durch das optisch abbil¬ dende Element 300 erzeugten Abbildung des zweidimensionalen Musters 210 der elektromagnetischen Strahlung 200 zu erhöhen.
Fig. 4 zeigt eine stark schematisierte geschnittene Seitenan- sieht einer optoelektronischen Anordnung 12 gemäß einer dritten Ausführungsform. Die optoelektronische Anordnung 12 weist große Übereinstimmungen mit der in Fig. 3 dargestellten optoelektronischen Anordnung 11 auf. Komponenten der optoelektronischen Anordnung 12, die bei der optoelektronischen Anord- nung 11 vorhandenen Komponenten entsprechen, sind in Fig. 4 mit denselben Bezugszeichen versehen wie in Fig. 3. Die nachfolgende Beschreibung beschränkt sich auf die Unterschiede zwischen der optoelektronischen Anordnung 12 und der optoelektronischen Anordnung 11. Im Übrigen gilt die Beschreibung der optoelektronischen Anordnung 10 der Fig. 1 und der optoelektronischen Anordnung 11 der Fig. 3 auch für die optoelektronische Anordnung 12 der Fig. 4.
Die optoelektronische Anordnung 12 umfasst zusätzlich zu dem Blendenelement 400 eine Mehrzahl von Fokussierelementen 500. Die Fokussierelemente 500 sind über den strahlungsemittierenden Abschnitten 111 der Oberseite 110 des Leuchtdiodenchips 100 in den Öffnungen 410 des Blendenelements 400 ange¬ ordnet. Die Fokussierelemente 500 sind dazu vorgesehen, an den strahlungsemittierenden Abschnitten 111 der Oberseite 110 des Leuchtdiodenchips 100 emittierte elektromagnetische
Strahlung 200 zumindest teilweise zu parallelisieren . Hierdurch kann ein Anteil der elektromagnetischen Strahlung 200, der an den Wandungen der Öffnungen 410 des Blendenele- ments 400 absorbiert wird, reduziert werden. Hierdurch kann sich der nutzbare Anteil der durch den Leuchtdiodenchip 100 emittierten elektromagnetischen Strahlung 200 erhöhen.
Die Fokussierelemente 500 können beispielsweise Mikroprismen umfassen. Insbesondere können die Fokussierelemente 500 bei¬ spielsweise durch ein Mikroprismenarray gebildet sein. Es ist möglich, die optoelektronische Anordnung 12 mit den Fokussierelementen 500, jedoch ohne das Blendenelement 400 auszubilden. In diesem Fall wird die durch den Leuchtdiodenchip 100 abgestrahlte elektromagnetische Strahlung 200 nur durch die Fokussierelemente 500 teilweise parallelisiert .
Fig. 5 zeigt eine stark schematisierte Darstellung eines Tie¬ fenerfassungssystems 20. Das Tiefenerfassungssystem 20 ist dazu vorgesehen, eine räumliche Tiefe von in einem zu untersuchenden Raumbereich angeordneten Gegenständen und/oder Kör- pern zu ermitteln, also einen Abstand dieser Gegenstände und/oder Körper von dem Tiefenerfassungssystem 20.
Das Tiefenerfassungssystem 20 umfasst die optoelektronische Anordnung 10 der Fig. 1. Anstelle der optoelektronischen An- Ordnung 10 könnte das Tiefenerfassungssystem 20 allerdings auch die optoelektronische Anordnung 11 der Fig. 3 oder die optoelektronische Anordnung 12 der Fig. 4 umfassen. Die optoelektronische Anordnung 10 ist dazu vorgesehen, ein zweidi¬ mensionales Muster 210 elektromagnetischer Strahlung 200 in den zu untersuchenden Raumbereich abzustrahlen.
Das Tiefenerfassungssystem 20 umfasst außerdem einen Detektor 30. Der Detektor 30 kann beispielsweise als Kamera ausge¬ bildet sein, insbesondere beispielsweise als CCD-Kamera.
Das von der optoelektronischen Anordnung 10 des Tiefenerfassungssystems 20 abgestrahlte zweidimensionale Muster 210 elektromagnetischer Strahlung 200 wird durch die Körper und/oder Gegenstände in dem zu untersuchenden Raumbereich zu- mindest teilweise reflektiert. Die reflektierte elektromagne¬ tische Strahlung wird durch den Detektor 30 des Tiefenerfas¬ sungssystems 20 erfasst und durch das Tiefenerfassungssys¬ tem 20 ausgewertet. Aus dem Muster der reflektierten Strah-
lung kann das Tiefenerfassungssystem 20 die räumliche Tiefe der im zu untersuchenden Raumbereich angeordneten Gegenstände und/oder Körper ermitteln. Fig. 6 zeigt eine schematische Aufsicht auf die Oberseite 110 des Leuchtdiodenchips 100 einer optoelektronischen Anord¬ nung 13 gemäß einer vierten Ausführungsform. Die optoelektronische Anordnung 13 weist große Übereinstimmungen mit der optoelektronischen Anordnung 10 der Fig. 1 auf. Komponenten der optoelektronischen Anordnung 13, die bei der optoelektronischen Anordnung 10 vorhandenen Komponenten entsprechen, sind in Fig. 6 mit denselben Bezugszeichen versehen wie in Fig. 1. Die nachfolgende Beschreibung konzentriert sich auf die Unterschiede zwischen der optoelektronischen Anordnung 13 der Fig. 6 und der optoelektronischen Anordnung 10 der
Fig. 1. Im Übrigen ist die Beschreibung der optoelektronischen Anordnung 10 auch für die optoelektronische Anord¬ nung 13 zutreffend. Die Oberseite 110 des Leuchtdiodenchips 100 weist bei der optoelektronischen Anordnung 13 streifenförmige erste Abschnitte 114, streifenförmige zweite Abschnitte 115 und streifenförmige dritte Abschnitte 116 auf. Die streifenförmi¬ gen Abschnitte 114, 115, 116 überlagern einander nicht, sind also disjunkt. Die streifenförmigen Abschnitte 114, 115, 116 sind derart nebeneinander angeordnet, dass entlang einer senkrecht zu den streifenförmigen Abschnitten 114, 115, 116 orientierten Geraden 113 an der Oberseite 110 des Leuchtdio¬ denchips 100 stets ein erster Abschnitt 114, ein zweiter Ab- schnitt 115 und ein dritter Abschnitt 116 aufeinander folgen. Anschließend folgen wieder ein erster Abschnitt 114, ein zweiter Abschnitt 115 und ein dritter Abschnitt 116. Dieses Muster kann sich vielmals wiederholen, beispielsweise einige Dutzend Mal oder einige Hundert Mal.
Der Leuchtdiodenchip 100 der optoelektronischen Anordnung 13 lässt sich so betreiben, dass die ersten Abschnitte 114 der Oberseite 110 des Leuchtdiodenchips 100 strahlungsemittieren-
de Abschnitte 111 bilden, während die zweiten Abschnitte 115 und die dritten Abschnitte 116 der Oberseite 110 des Leucht¬ diodenchips 100 nicht-strahlungsemittierende Abschnitte 112 bilden. Die an den ersten Abschnitten 114 der Oberseite 110 des Leuchtdiodenchips 100 abgestrahlte elektromagnetische
Strahlung 200 bildet dann an der Oberseite 110 des Leuchtdio¬ denchips 100 das zweidimensionale Muster 210, das in diesem Fall ein Streifenmuster ist. Der Leuchtdiodenchip 100 der optoelektronischen Anordnung 13 lässt sich aber auch so betreiben, dass die zweiten Abschnitte 115 der Oberseite 110 des Leuchtdiodenchips 100 strah- lungsemittierende Abschnitte 111 bilden, während die ersten Abschnitte 114 und die dritten Abschnitte 116 der Oberseite 110 des Leuchtdiodenchips 100 nicht-strahlungsemittierende
Abschnitte 112 bilden. Die an den Strahlungsemittierenden Abschnitten 111 der Oberseite 110 des Leuchtdiodenchips 100 emittierte elektromagnetische Strahlung 200 bildet dann an der Oberseite 110 des Leuchtdiodenchips 100 ein zweites zwei- dimensionales Muster 220. Das zweite zweidimensionale Muster 220 ist ebenfalls als Streifenmuster ausgebildet, gegenüber dem zweidimensionalen Muster 210 jedoch seitlich verschoben beziehungsweise phasenverschoben . Außerdem lässt sich der Leuchtdiodenchip 100 der optoelektronischen Anordnung 13 so betreiben, dass die dritten Abschnitte 116 der Oberseite 110 des Leuchtdiodenchips 100 strah- lungsemittierende Abschnitte 111 bilden, während die ersten Abschnitte 114 und die zweiten Abschnitte 115 der Oberseite 110 des Leuchtdiodenchips 100 nicht-strahlungsemittierende Abschnitte 112 bilden. An den Strahlungsemittierenden Abschnitten 111 der Oberseite 110 des Leuchtdiodenchips 100 emittierte elektromagnetische Strahlung 200 bildet dann an der Oberseite 110 des Leuchtdiodenchips 100 ein drittes zwei- dimensionales Muster 230. Das dritte zweidimensionale Muster 230 ist ebenfalls als Streifenmuster ausgebildet. Das dritte zweidimensionale Muster 230 ist gegenüber dem zweidimensiona-
len Muster 210 und dem zweiten zweidimensionalen Muster 220 seitlich verschoben beziehungsweise phasenverschoben.
Fig. 7 zeigt ein stark schematisiertes Ersatzschaltbild des Leuchtdiodenchips 100 der optoelektronischen Anordnung 13 der Fig. 6. Der Leuchtdiodenchip 100 der optoelektronischen Anordnung 13 weist intern eine erste Diodenstruktur 101, eine zweite Diodenstruktur 102 und eine dritte Diodenstruktur 103 auf .
An seiner Oberseite 110 weist der Leuchtdiodenchip 100 der optoelektronischen Anordnung 13 einen ersten elektrischen Oberseitenkontakt 141, einen zweiten elektrischen Oberseitenkontakt 142 und einen dritten elektrischen Oberseitenkon- takt 143 auf. An einer der Oberseite 110 gegenüberliegenden Rückseite weist der Leuchtdiodenchip 100 der optoelektronischen Anordnung 13 einen elektrischen Rückseitenkontakt 140 auf. Der Rückseitenkontakt 140 ist elektrisch leitend mit der ersten Diodenstruktur 101, der zweiten Diodenstruktur 102 und der dritten Diodenstruktur 103 verbunden. Der erste Oberseitenkontakt 141 ist lediglich mit der ersten Diodenstruktur 101 verbunden. Der zweite Oberseitenkontakt 142 ist le¬ diglich mit der zweiten Diodenstruktur 102 verbunden. Der dritte Oberseitenkontakt 143 ist lediglich mit der dritten Diodenstruktur 103 verbunden. Die Oberseitenkontakte 141,
142, 143 ermöglichen es damit, die Diodenstrukturen 101, 102, 103 des Leuchtdiodenchips 100 der optoelektronischen Anord¬ nung 13 unabhängig voneinander anzusteuern. Die erste Diodenstruktur 101 des Leuchtdiodenchips 100 ist dazu vorgesehen, das zweidimensionale Muster 210 elektromag¬ netischer Strahlung 200 an den ersten Abschnitten 114 der Oberseite 110 des Leuchtdiodenchips 100 abzustrahlen. Die zweite Diodenstruktur 102 des Leuchtdiodenchips 100 der opto- elektronischen Anordnung 13 ist dazu vorgesehen, das zweite zweidimensionale Muster 220 elektromagnetischer Strahlung 200 an den zweiten Abschnitten 115 der Oberseite 110 des Leuchtdiodenchips 100 abzustrahlen. Die dritte Diodenstruktur 103
des Leuchtdiodenchips 100 ist dazu vorgesehen, das dritte zweidimensionale Muster 230 elektromagnetischer Strahlung 200 an den dritten Abschnitten 116 der Oberseite 110 des Leuchtdiodenchips 100 abzustrahlen.
Die optoelektronische Anordnung 13 kann beispielsweise ausge¬ bildet sein, das zweidimensionale Muster 210, das zweite zweidimensionale Muster 220 und das dritte zweidimensionale Muster 230 elektromagnetischer Strahlung 200 sequenziell zeitlich nacheinander abzustrahlen.
Es ist möglich, den Leuchtdiodenchip 100 der optoelektronischen Anordnung 13 so auszubilden, dass er lediglich zwei zweidimensionale Muster 210, 220 oder mehr als drei zweidi- mensionale Muster 210, 220, 230 elektromagnetischer Strahlung 200 abstrahlen kann.
Fig. 8 zeigt eine schematische Aufsicht auf die Oberseite 110 des Leuchtdiodenchips 100 einer optoelektronischen Anord- nung 14 gemäß einer fünften Ausführungsform. Die optoelektronische Anordnung 14 weist große Übereinstimmungen mit der optoelektronischen Anordnung 13 der Fig. 6 auf. Nachfolgend sind lediglich die Unterschiede zwischen der optoelektronischen Anordnung 13 und der optoelektronischen Anordnung 14 beschrieben.
Bei der optoelektronischen Anordnung 14 bilden die ersten Abschnitte 114, die zweiten Abschnitte 115 und die dritten Ab¬ schnitte 116 der Oberseite 110 des Leuchtdiodenchips 100 je- weils zweidimensionale Punktmuster. In der schematischen Darstellung der Fig. 8 sind lediglich Teile der ersten Abschnitte 114, der zweiten Abschnitte 115 und der dritten Abschnitte 116 der Oberseite 110 des Leuchtdiodenchips 100 dargestellt. Die ersten Abschnitte 114, die zweiten Abschnitte 115 und die dritten Abschnitte 116 sind jeweils disjunkt ausgebildet, überlappen einander also nicht.
Da die ersten Abschnitte 114, die zweiten Abschnitte 115 und die dritten Abschnitte 116 der Oberseite 110 des Leuchtdio¬ denchips 100 der optoelektronischen Anordnung 14 jeweils als zweidimensionale Punktmuster ausgebildet sind, sind auch das an den ersten Abschnitten 114 abgestrahlte zweidimensionale Muster 210 elektronischer Strahlung 200, das an den zweiten Abschnitten 115 abgestrahlte zweite zweidimensionale Mus¬ ter 220 elektromagnetischer Strahlung 200 und das an den dritten Abschnitten 116 der Oberseite 110 des Leuchtdioden- chips 100 abgestrahlte dritte zweidimensionale Muster 230 elektromagnetischer Strahlung 200 als zweidimensionale Punkt¬ muster ausgebildet.
Fig. 9 zeigt eine stark schematisierte geschnittene Seitenan- sieht einer optoelektronischen Anordnung 15 gemäß einer sechsten Ausführungsform. Die optoelektronische Anordnung 15 weist große Übereinstimmungen mit der optoelektronischen Anordnung 11 der Fig. 3 auf. Nachfolgend werden lediglich die Unterschiede zwischen der optoelektronischen Anordnung 11 der Fig. 3 und der optoelektronischen Anordnung 15 der Fig. 9 beschrieben. Im Übrigen ist die Beschreibung der optoelektronischen Anordnung 11 auch für die optoelektronische Anord¬ nung 15 zutreffend. Bei der optoelektronischen Anordnung 15 ist der Leuchtdiodenchip 100 mit einem optischen Resonator 121 ausgebildet. Der optische Resonator 121 kann auch als resonant cavity bezeichnet werden. Dadurch kann die von dem Leuchtdiodenchip 100 der optoelektronischen Anordnung 15 abgestrahlte elektromagneti- sehe Strahlung 200 Wellenlängen aus einem engen Spektralbereich aufweisen. Wird die optoelektronische Anordnung 15 in dem Tiefenerfassungssystem 20 eingesetzt, so kann der Detektor 30 des Tiefenerfassungssystems 20 einen schmalbandigen Filter aufweisen, der nur elektromagnetische Strahlung aus diesem engen Spektralbereich passieren lässt. Dadurch kann die Erfassungsqualität in dem Tiefenerfassungssystem 20 verbessert werden.
In einer weiteren Ausführungsform der optoelektronischen Anordnung kann der Leuchtdiodenchip 100 dazu ausgebildet sein, im Superlumineszenzmodus, also als Superlumineszenzdiode, be¬ trieben zu werden. Dies kann den Vorteil bieten, dass die von dem Leuchtdiodenchip 100 an den Strahlungsemittierenden Abschnitten 111 der Oberseite 110 des Leuchtdiodenchips 100 ab¬ gestrahlte elektromagnetische Strahlung 200 in einen engen Raumwinkelbereich um eine zur Oberseite 110 des Leuchtdiodenchips 100 senkrechte Richtung abgestrahlt wird.
Fig. 16 zeigt eine stark schematisierte geschnittene Seiten¬ ansicht einer optoelektronischen Anordnung 16 gemäß einer siebten Ausführungsform. Die optoelektronische Anordnung 16 der Fig. 10 weist große Übereinstimmungen mit der optoelekt- ronischen Anordnung 11 der Fig. 3 auf. Nachfolgend werden lediglich die Unterschiede zwischen der optoelektronischen Anordnung 11 und der optoelektronischen Anordnung 16 beschrieben. Im Übrigen trifft die Beschreibung der optoelektronischen Anordnung 11 auch auf die optoelektronische Anord- nung 16 zu.
Bei der optoelektronischen Anordnung 16 sind über den strah- lungsemittierenden Abschnitten 111 der Oberseite 110 des Leuchtdiodenchips 100 jeweils optische Elemente 600 angeord- net. Die optischen Elemente 600 sind ausgebildet, nur elekt¬ romagnetische Strahlung 200 zu transmittieren, die in einen festgelegten Winkelbereich 610 um eine zur Oberseite 110 des Leuchtdiodenchips 100 der optoelektronischen Anordnung 16 senkrechte Richtung abgestrahlt wird. Der Winkelbereich 610 kann dabei eng sein.
Elektromagnetische Strahlung 200, die unter einem größeren Winkel auf das optische Element 600 fällt, wird durch das op¬ tische Element 600 reflektiert. Durch das optische Element 600 reflektierte elektromagnetische Strahlung kann beispiels¬ weise im pn-Übergang 130 des Leuchtdiodenchips 100 re¬ absorbiert und dadurch wiederverwendet (rezykliert) werden, oder kann an der Oberseite 110 des Leuchtdiodenchips 100 oder
an dem Blendenelement 400 erneut reflektiert werden, und da¬ bei eine weitere Gelegenheit erhalten, innerhalb des Winkel¬ bereichs 610 auf das optische Element 600 zu treffen und durch das optische Element 600 transmittiert zu werden.
Die optischen Elemente 600 bewirken, dass von der optoelekt¬ ronischen Anordnung 16 elektromagnetische Strahlung nur in den Winkelbereich 610 um die zur Oberseite 110 des Leuchtdio¬ denchips 100 senkrechte Richtung abgestrahlt wird.
Es ist möglich, dass über jedem Strahlungsemittierenden Abschnitt 111 der Oberseite 110 des Leuchtdiodenchips 100 der optoelektronischen Anordnung 16 ein eigenes optisches Element 600 angeordnet ist. Es kann aber auch ein ausgedehntes einzelnes optisches Element 600 vorgesehen sein, das sich über alle Strahlungsemittierenden Abschnitte 111 der Oberseite 110 des Leuchtdiodenchips 100 erstreckt.
Das optische Element 600 kann beispielsweise als photonischer Kristall ausgebildet sein. Alternativ kann das optische Ele¬ ment 600 auch aus einem transparenten Material ausgebildet sein, das eine Mikrostrukturierung aufweist, beispielsweise eine Strukturierung mit mikroskaligen Konus-, Prisma- oder Zylinderstrukturen .
Fig. 11 zeigt eine schematische geschnittene Seitenansicht einer optoelektronischen Anordnung 17 gemäß einer achten Ausführungsform. Die optoelektronische Anordnung 17 weist große Übereinstimmungen mit der optoelektronischen Anordnung 11 der Fig. 3 auf. Nachfolgend werden lediglich die Unterschiede zwischen der optoelektronischen Anordnung 17 und der optoelektronischen Anordnung 11 beschrieben.
Bei der optoelektronischen Anordnung 17 weisen die Öffnun- gen 410 des Blendenelements 400 Durchmesser 411 auf, die so klein bemessen sind, dass nur eine Grundmode 240 der durch den Leuchtdiodenchip 100 der optoelektronischen Anordnung 17 emittierten elektromagnetischen Strahlung 200 durch die Öff-
nungen 410 des Blendenelements 400 gelangen kann. Die Durch¬ messer 411 der Öffnungen 410 des Blendenelements 400 können hierzu beispielsweise bei weniger als 10 ym liegen. Die Grundmode 240 der elektromagnetischen Strahlung 200 weist einen definierten engen Abstrahlwinkel auf. Dadurch, dass die Durchmesser 411 der Öffnungen 410 des Blendenelements 400 so gering bemessen sind, dass nur die Grundmode 240 der elektro¬ magnetischen Strahlung 200 die Öffnungen 410 passieren kann, weist die durch die Öffnungen 410 des Blendenelements 400 von der optoelektronischen Anordnung 17 abgestrahlte elektromagnetische Strahlung 200 einen engen Abstrahlwinkel auf, der um eine zur Oberseite 110 des Leuchtdiodenchips 100 der opto¬ elektronischen Anordnung 17 senkrechte Richtung zentriert ist. Hierdurch kann die durch die optoelektronische Anord¬ nung 17 abgestrahlte elektromagnetische Strahlung 200 einfach und effizient in das optisch abbildende Element 300 eingekop¬ pelt werden. In einer weiteren Ausführungsform der optoelektronischen Anordnung weist das Blendenelement 400 anstelle der als Durch¬ brüche ausgebildeten Öffnungen 410 Öffnungen auf, die mit einem Material gefüllt sind, dessen Brechungsindex sich von dem Brechungsindex des übrigen Blendenelements 400 unterscheidet.
Die anhand der Figuren 6 bis 11 beschriebenen optoelektronischen Anordnungen 13, 14, 15, 16, 17 können anstelle der optoelektronischen Anordnung 10 in dem anhand der Fig. 5 beschriebenen Tiefenerfassungssystem 20 eingesetzt werden. Die anhand der Figuren 6 bis 11 beschriebenen Merkmale der opto¬ elektronischen Anordnungen 13, 14, 15, 16, 17 können miteinander kombiniert werden.
Die Erfindung wurde anhand der bevorzugten Ausführungsbei- spiele näher illustriert und beschrieben. Dennoch ist die Er¬ findung nicht auf die offenbarten Beispiele eingeschränkt. Vielmehr können hieraus andere Variationen vom Fachmann abge-
leitet werden, ohne den Schutzumfang der Erfindung zu verlas¬ sen .
BEZUGSZEICHENLISTE optoelektronische Anordnung 10 optoelektronische Anordnung 11 optoelektronische Anordnung 12 optoelektronische Anordnung 13 optoelektronische Anordnung 14 optoelektronische Anordnung 15 optoelektronische Anordnung 16 optoelektronische Anordnung 17
Tiefenerfassungssystem 20
Detektor 30
Leuchtdiodenchip 100 erste Diodenstruktur 101 zweite Diodenstruktur 102 dritte Diodenstruktur 103
Oberseite 110 strahlungsemittierender Abschnitt 111 nicht-strahlungsemittierender Abschnitt 112
Gerade 113 erster Abschnitt 114 zweiter Abschnitt 115 dritter Abschnitt 116
Schichtenfolge 120 optischer Resonator 121 pn-Übergang 130
Rückseitenkontakt 140 erster Oberseitenseitenkontakt 141 zweiter Oberseitenseitenkontakt 142 dritter Oberseitenseitenkontakt 143 elektromagnetische Strahlung 200 zweidimensionales Muster 210 zweites zweidimensionales Muster 220 drittes zweidimensionales Muster 230
Grundmode 240
optisch abbildendes Element 300
Umgebung 310
Blendenelement 400
Öffnung 410
Durchmesser 411
Fokussierelement 500 optisches Element 600
Winkelbereich 610