WO2016159088A1 - 小型流体制御弁の流路構造 - Google Patents

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WO2016159088A1
WO2016159088A1 PCT/JP2016/060404 JP2016060404W WO2016159088A1 WO 2016159088 A1 WO2016159088 A1 WO 2016159088A1 JP 2016060404 W JP2016060404 W JP 2016060404W WO 2016159088 A1 WO2016159088 A1 WO 2016159088A1
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WO
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flow path
valve
valve body
opening
hole
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PCT/JP2016/060404
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English (en)
French (fr)
Inventor
克憲 廣瀬
西田　成伸
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CKD Corp
Original Assignee
CKD Corp
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
    • F16K27/02—Construction of housing; Use of materials therefor of lift valves

Definitions

  • the present invention relates to a flow path structure of a small fluid control valve that controls a fluid.
  • Patent Document 1 Conventionally, a valve chamber and a first flow path and a second flow path that open on the lower surface are formed inside the valve body of the fluid control valve, and the first flow path and the second flow path are communicated with the valve chamber.
  • the fluid control valve described in Patent Document 1 is a small fluid control valve having a width of about 10 mm in order to reduce the occupied area when a plurality of valves are integrated.
  • an annular recess for arranging the seal member is formed around the openings of the first flow path and the second flow path.
  • the shape and dimensions of the first channel are limited. Therefore, in the small fluid control valve described in Patent Document 1, the flow path area of the first flow path and the flow path area of the connection portion between the first flow path and the valve chamber cannot be sufficiently secured. The maximum flow rate of the fluid that can flow through the control valve is limited.
  • the present invention has been made to solve these problems, and a main object of the present invention is to provide a flow path structure of a small fluid control valve capable of suppressing the restriction of the maximum flow rate.
  • the first means is a flow path structure of a small fluid control valve including a valve body having a valve chamber formed therein, and the vertical width of the valve main body is narrower than the horizontal width when viewed from above. Inside the main body, there are formed a first flow path and a second flow path that are respectively open in the width direction on the lower surface of the valve main body, and the lower surface of the opening of the first flow path is formed on the lower surface.
  • annular first annular recess is formed in the periphery, and an annular second annular recess is formed around the opening of the second channel on the lower surface, and the first channel and the The second flow paths are respectively connected to the valve chambers, and the valve main body is formed with a through hole penetrating from the end surface in the lateral width direction to the valve chamber, and at the end surface of the through hole, A closing member for closing the opening.
  • the small fluid control valve includes the valve body, and the valve chamber is formed inside the valve body.
  • the vertical width of the valve body is narrower than the horizontal width. That is, the vertical width of the valve main body is narrowed in order to reduce the area occupied by the small fluid control valve.
  • first flow path and a second flow path that open in the width direction on the lower surface of the valve body.
  • annular first annular recess is formed around the opening of the first channel
  • annular second annular recess is formed around the opening of the second channel.
  • the valve main body is formed with a through hole penetrating from the end face in the width direction to the valve chamber, and is provided with a second closing member that closes the opening at the end face of the through hole. For this reason, the space in the valve chamber can be expanded by the through hole, and the fluid can be easily circulated in the valve chamber. Moreover, the valve body is cut from the end face in the width direction to form a through hole, and the opening at the end face of the through hole is closed by the second closing member, so that the valve chamber can be easily shaped and dimensioned freely. Can be enlarged.
  • an annular valve seat is formed around an opening in the valve chamber of the second flow path, and the through hole extends from the end surface in the lateral width direction. It penetrates to the first flow path through the valve chamber.
  • the flow area of the connection portion between the first flow path and the valve chamber can be enlarged by the through hole.
  • the third means is a flow path structure of a small fluid control valve including a valve body in which a valve chamber is formed, and the vertical width of the valve body is narrower than the horizontal width when viewed from above. Inside the main body, there are formed a first flow path and a second flow path that are respectively open in the width direction on the lower surface of the valve main body, and the lower surface of the opening of the first flow path is formed on the lower surface.
  • annular first annular recess is formed in the periphery, and an annular second annular recess is formed around the opening of the second channel on the lower surface, and the first channel and the The second flow path is connected to the valve chamber, and the valve body has a through-hole penetrating from the end surface in the vertical width direction to the valve chamber, and the end surface of the through-hole A closing member that closes the opening at.
  • the valve main body is formed with the through hole penetrating from the end face in the vertical width direction to the valve chamber, and includes the second closing member that closes the opening at the end face of the through hole. .
  • the space in the valve chamber can be expanded by the through hole, and the fluid can be easily circulated in the valve chamber.
  • the valve body can be easily formed into a free shape and size by forming a through hole by cutting from the end face in the longitudinal direction of the valve body and closing the opening at the end face of the through hole with the second closing member. Can be expanded.
  • an annular valve seat is formed around the opening of the second flow path in the valve chamber, and the through hole is connected to the first flow path. ing.
  • the flow area of the connection portion between the first flow path and the valve chamber can be enlarged by the through hole.
  • an annular valve seat is formed around the opening of the first flow path in the valve chamber, and the through hole is connected to the second flow path. ing.
  • the flow path area of the connection portion between the second flow path and the valve chamber can be enlarged by the through hole.
  • the end surface is a first end surface, and the through hole penetrates from the first end surface in the longitudinal width direction to the second end surface through the valve chamber, A closing member for closing the opening at the second end surface is provided.
  • the through hole penetrates from the first end surface in the longitudinal width direction of the valve body to the second end surface through the valve chamber.
  • the opening in the said 1st end surface and 2nd end surface of a through-hole is obstruct
  • the through hole is formed in a range including the position of the valve seat in the height direction of the valve body.
  • the through hole is formed in a range including the position of the valve seat in the height direction of the valve body, the space around the valve seat can be enlarged in the valve chamber. For this reason, it becomes easy to distribute
  • the first flow path is connected to the first vertical flow path extending from the first annular recess in a direction perpendicular to the lower surface, and the first connection connecting the first vertical flow path and the valve chamber.
  • a second flow path extending from the second annular recess in a direction perpendicular to the lower surface, and a second connection for connecting the second vertical flow path and the valve chamber.
  • the first connecting flow path includes a groove-shaped first groove-shaped recess that opens on an end face in the longitudinal direction of the valve body, and a closing member that blocks the opening of the first groove-shaped recess. 1st end surface flow path formed by these.
  • the ninth means is a flow path structure of a small fluid control valve provided with a valve body having a valve chamber formed therein, and the vertical width of the valve body is narrower than the horizontal width when viewed from above.
  • a first flow path and a second flow path that open in the width direction on the lower surface of the valve body, and the lower surface of the first flow path is formed with the first flow path.
  • An annular first annular recess is formed around the opening, and an annular second annular recess is formed around the opening of the second flow path on the lower surface, and the first flow path is formed.
  • first vertical channel extending from the first annular recess in a direction perpendicular to the lower surface, a first connection channel connecting the first vertical channel and the valve chamber, and the second channel.
  • a second vertical flow path extending in a direction perpendicular to the lower surface from the second annular recess, and the second A second connecting flow path connecting the DC path and the valve chamber, wherein the first connecting flow path is a groove-shaped first groove-shaped recess opening in an end surface in the longitudinal width direction in the valve body, and A first end face channel formed by a first closing member that closes the opening of the first groove-shaped recess.
  • the first flow path includes a first vertical flow path extending in a direction perpendicular to the lower surface of the valve body from the first annular recess, and the second flow path extends from the second annular recess.
  • a second vertical flow path extending in a direction perpendicular to the lower surface of the valve body is included.
  • the channel area of the connection portion between the annular recess, the first channel, and the second channel is increased. be able to.
  • the first vertical flow path and the valve chamber are connected by the first connection flow path, and the second vertical flow path and the valve chamber are connected by the second connection flow path.
  • the first connection flow path is formed by a groove-shaped first groove-shaped recess opening on the end surface in the longitudinal width direction in the valve body and a first closing member closing the opening of the first groove-shaped recess.
  • the first end face channel is formed by cutting the end face in the vertical width direction into a groove shape in the valve body to form a first groove-like recess, and closing the opening of the first groove-like recess with the first closing member, It can be easily formed into a free shape and size.
  • the opening of the first groove-like recess is closed by the first closing member by welding or bonding the first closing member to the opening of the first groove-like recess. Accordingly, even if the first flow path and the second flow path are connected vertically to the annular recess, the flow area of the first connection flow path is ensured by forming the first end face flow path. be able to. As a result, it is possible to suppress the maximum flow rate from being limited in the small fluid control valve.
  • the second connection flow path closes the opening of the groove-shaped second groove-shaped recess and the second groove-shaped recess opened on the end surface in the longitudinal direction of the valve body.
  • a 2nd connection flow path is a groove-shaped 2nd groove-shaped recessed part opened to the end surface of the length direction in a valve main body, and the 1st obstruction
  • the formed 2nd end surface flow path is included. For this reason, it becomes easy to ensure the flow path area of the 2nd connection flow path, and the freedom degree which arrange
  • a three-port fluid control valve including two first flow paths and one second flow path can be manufactured.
  • the channel area can be ensured.
  • the valve chamber is a first valve chamber
  • a second valve chamber is formed inside the valve body
  • the first connection channel is the first vertical channel
  • the first valve chamber and the second valve chamber are connected.
  • the first valve chamber and the second valve chamber are formed inside the valve body, and the first connection channel is the first vertical channel, the first valve chamber, and the second valve chamber. Is connected. For this reason, the flow path area of each flow path is securable in a merging valve and a diversion valve provided with a 1st valve chamber and a 2nd valve chamber.
  • two second flow paths are formed in the valve body.
  • a three-port fluid control valve having one first flow path and two second flow paths can be manufactured.
  • the channel area can be ensured.
  • the length in the height direction of the valve body in the first end face flow path is longer than the length in the width direction of the valve body in the first end face flow path. It is possible to adopt a configuration such as According to such a configuration, the first connection channel can be extended in the height direction of the valve body while ensuring the channel area of the first connection channel, and the arrangement of the first connection channel is facilitated. Can do.
  • valve body in which an annular valve seat is formed around an opening in the valve chamber of the second connection flow path. Can do. According to such a configuration, the second flow path and the valve chamber can be shut off and communicated with each other by contacting and separating the valve body of the fluid control valve with respect to the valve seat. The two flow paths and the first flow path can be blocked and communicated.
  • the first end face flow path is opened in the valve chamber.
  • the first connection flow path can be easily connected to the valve chamber, and the connection between the first connection flow path and the valve chamber is possible.
  • the channel area of the part can be easily secured.
  • the length in the width direction of the valve body in the first end face channel is longer than the length in the height direction of the valve body in the first end face channel. It is possible to adopt a configuration such as According to such a configuration, it is possible to extend the first connection channel in the lateral width direction of the valve body while ensuring the channel area of the first connection channel, and to facilitate the arrangement of the first connection channel. it can.
  • a configuration is adopted in which an annular valve seat is formed around the opening in the valve chamber of the first connection flow path in the valve body. Can do.
  • the first flow path and the valve chamber can be shut off and communicated with each other by contacting and separating the valve body of the fluid control valve with respect to the valve seat. The first flow path and the second flow path can be blocked and communicated.
  • the second connection flow path closes the opening of the groove-shaped second groove-shaped recess and the second groove-shaped recess that open on the end surface in the longitudinal width direction in the valve body.
  • a second end face channel formed by a closing member, and the second end face channel is opened in the valve chamber.
  • the second connection flow path can be easily connected to the valve chamber, and the second connection flow path and the valve chamber are connected to each other.
  • the channel area of the part can be easily secured.
  • the valve main body is formed with a through hole penetrating from the end face in the longitudinal direction to the valve chamber, and the second closing member for closing the opening at the end face of the through hole.
  • the through hole is connected to the first connection flow path.
  • the through hole penetrates from the end face in the longitudinal direction of the valve body to the valve chamber, and is connected to the first connection flow path. For this reason, the flow path area of the connection part of a 1st connection flow path and a valve chamber can be expanded by a through-hole.
  • the valve main body is formed with a through hole penetrating from the end face in the vertical width direction to the valve chamber, and the second closing member that closes the opening at the end face of the through hole.
  • the through hole is connected to the second connection flow path.
  • the through hole penetrates from the end face in the vertical width direction of the valve body to the valve chamber and is connected to the second connection flow path. For this reason, the flow path area of the connection part of a 2nd connection flow path and a valve chamber can be expanded by a through-hole.
  • the end surface is a first end surface, and the through hole penetrates from the first end surface in the longitudinal width direction to the second end surface through the valve chamber, A second closing member for closing the opening at the second end face;
  • the through hole penetrates from the first end surface in the longitudinal width direction of the valve body to the second end surface through the valve chamber.
  • the opening in the said 1st end surface and 2nd end surface of a through-hole is obstruct
  • the valve main body is formed with a through hole penetrating from the end face in the lateral width direction to the first connection flow path through the valve chamber, and the through hole at the end face A second closing member for closing the opening is provided.
  • the through hole penetrates from the end face in the lateral width direction of the valve body to the valve chamber, and penetrates to the first connection flow path through the valve chamber. For this reason, the flow path area of the connection part of a 1st connection flow path and a valve chamber can be expanded by a through-hole.
  • the valve body is formed with a through hole penetrating from an end face in the longitudinal direction to the valve chamber, and the through hole is formed in the valve seat in the height direction of the valve body. It is formed in the range including the position.
  • the through hole is formed in a range including the position of the valve seat in the height direction of the valve body, the space around the valve seat can be enlarged in the valve chamber. For this reason, it becomes easy to distribute
  • Sectional drawing which shows the valve part of the fluid control valve which concerns on 1st Embodiment.
  • the top view which shows a valve main body among the valve parts of FIG. FIG. 3 is a cross-sectional view of the valve portion of FIG. 1 taken along line 3-3. Sectional drawing which shows the valve part of the fluid control valve which concerns on 2nd Embodiment.
  • the top view which shows a valve main body among the valve parts of FIG. Sectional drawing which shows the valve part of the fluid control valve which concerns on 4th Embodiment.
  • FIG. 11 is a sectional view taken along line 11-11 in FIG. 10;
  • FIG. 12 is a sectional view taken along line 12-12 of FIG.
  • the rear view of the valve main body of FIG. The front view which shows the valve main body of the fluid control valve which concerns on 6th Embodiment.
  • FIG. 15 is a sectional view taken along line 15-15 in FIG. 14;
  • FIG. 16 is a sectional view taken along line 16-16 in FIG. 15;
  • the front view which shows the valve main body of the fluid control valve which concerns on 7th Embodiment. 18 is a cross-sectional view taken along line 18-18 in FIG.
  • FIG. 19 is a cross-sectional view taken along line 19-19 of FIG.
  • the rear view of the valve main body of FIG. The front view which shows the valve main body of the fluid control valve which concerns on 8th Embodiment.
  • FIG. 22 is a sectional view taken along line 22-22 in FIG.
  • FIG. 23 is a sectional view taken along line 23-23 in FIG. 22;
  • a front view showing a valve main part of a fluid control valve concerning an 11th embodiment The front view which shows the valve main body of the fluid control valve which concerns on 12th Embodiment.
  • FIGS. 1 is a cross-sectional view showing a valve portion 10 of a fluid control valve according to the present embodiment
  • FIG. 2 is a top view showing a valve main body 11 of the valve portion 10 in FIG. 1
  • FIG. 3 is 3 of the valve portion 10 in FIG. FIG.
  • the fluid control valve includes a valve unit 10 that controls fluid and an actuator unit (not shown) that applies a driving force to the valve unit 10.
  • an actuator unit a pneumatic device, an electromagnetic solenoid, a piezoelectric element, a motor, or the like can be used.
  • An actuator unit is connected to the valve unit 10 via an adapter (not shown).
  • the valve unit 10 includes a valve body 11, a holder 41, a stem 42, a compression spring 43, a valve body 45, a bellows 48, and the like.
  • the valve body 11 is formed in a block shape (generally a rectangular parallelepiped shape). In the top view shown in FIG. 2, the vertical width (vertical width in FIG. 2) of the valve body 11 is narrower than the horizontal width (horizontal width in FIG. 2).
  • the valve body 11 has a vertical width of about 10 mm and a horizontal width of about 33 mm.
  • Bolt holes 11b are formed at both ends of the valve body 11 in the width direction. Bolts or the like that connect the valve body 11 to other flow path blocks or devices are inserted into the bolt holes 11b.
  • a valve chamber 12 is formed inside the valve body 11.
  • the valve chamber 12 extends upward from the middle of the valve body 11 in the height direction (vertical direction in FIG. 1), and is a cylindrical space.
  • the valve chamber 12 is formed in the center in the vertical width direction and in the center in the horizontal width direction in a top view shown in FIG.
  • the upper end of the valve chamber 12 opens at the upper surface of the valve body 11.
  • a first flow path 21 and a second flow path 31 are formed, each opening at the lower surface 11 a of the valve body 11.
  • the first channel 21 and the second channel 31 are formed side by side in the lateral width direction of the valve body 11.
  • the opening 21 a on the lower surface 11 a of the first flow path 21 and the opening 31 a on the lower surface 11 a of the second flow path 31 are formed side by side in the lateral width direction of the valve body 11.
  • an annular first annular recess 22 is formed around the opening 21a of the first flow path 21.
  • an annular second annular recess 32 is formed around the opening 31a of the second flow path 31.
  • the first flow path 21 and the second flow path 31 are each connected to the valve chamber 12.
  • the first flow path 21 is connected to the outer peripheral edge of the valve chamber 12 from the bottom to the middle of the valve chamber 12.
  • the second flow path 31 is connected to the center of the bottom of the valve chamber 12.
  • an annular valve seat 13 is formed around the opening 31 b in the valve chamber 12 of the second flow path 31.
  • the valve seat 13 is formed in the bottom part of the valve chamber 12, and is formed in parallel with the lower surface 11a.
  • the holder 41 is fixed to the upper part of the valve body 11 by welding.
  • a welded portion 41 a between the valve body 11 and the holder 41 is sealed between the valve body 11 and the holder 41.
  • the holder 41 is formed in a cylindrical shape.
  • a cylindrical stem 42 is inserted into the holder 41.
  • the stem 42 is slidably supported by the inner peripheral surface of the holder 41.
  • a valve body holding portion 42 a is provided at the lower portion of the stem 42.
  • the valve body 45 is held by the valve body holding part 42a.
  • the valve body 45 is formed in a disk shape from a fluorine resin having chemical resistance.
  • the valve body 45 can also be formed of an elastic body or the like.
  • the valve body 45 faces the second flow path 31 and the valve seat 13.
  • An annular convex portion is formed at a portion of the valve body 45 facing the valve seat 13.
  • a compression spring 43 is held on the top of the holder 41.
  • One end of the compression spring 43 is supported on the upper portion of the holder 41, and the other end is supported by a spring presser 43 a attached to the stem 42.
  • the compression spring 43 biases the stem 42 in a direction in which the stem 42 is separated from the valve seat 13.
  • the outer periphery of the cylindrical portion 42 b of the stem 42 and the cylindrical portion 41 b of the holder 41 is covered with a bellows 48.
  • One end of the bellows 48 is connected to the upper portion of the cylindrical portion 41b of the holder 41, and the other end of the bellows 48 is connected to the lower portion of the column portion 42b of the stem 42, specifically, the valve body holding portion 42a.
  • the bellows 48 blocks the cylindrical portion 42 b of the stem 42 and the cylindrical portion 41 b of the holder 41 from the valve chamber 12.
  • a driving force is applied to the stem 42 by the actuator unit.
  • the stem 42 is reciprocated in the direction of the valve seat 13 by the driving force and the biasing force of the compression spring 43.
  • the valve body 45 is brought into contact with and separated from the valve seat 13.
  • the valve body 45 comes into contact with the valve seat 13
  • the second flow path 31 and the valve chamber 12 are blocked, and as a result, the second flow path 31 and the first flow path 21 are blocked.
  • the valve body 45 is separated from the valve seat 13
  • the second flow path 31 and the valve chamber 12 are communicated, and as a result, the second flow path 31 and the first flow path 21 are communicated via the valve chamber 12. .
  • One of the first channel 21 and the second channel 31 is a fluid inflow channel, and the other is a fluid outflow channel.
  • Either the first channel 21 or the second channel 31 may be used as a fluid inflow channel.
  • the fluid may be a gas or a liquid.
  • As the gas reactive gas, nitrogen, air, or the like can be employed.
  • As the liquid a chemical solution, water, oil or the like can be used.
  • the 1st flow path 21 and the 2nd flow path 31 are connected, the fluid flows in into the valve chamber 12 from one side used as an inflow flow path, and from the other used as an outflow flow path via the valve chamber 12 Fluid flows out.
  • the first flow path 21 and the second flow path 31 are blocked, the fluid flow is stopped.
  • the valve main body 11 is formed with a through hole 51 penetrating from the end surface 11c in the lateral width direction to the valve chamber 12.
  • the through hole 51 penetrates from the end surface 11 c to the first flow path 21 through the valve chamber 12.
  • the cross section of the through hole 51 is circular.
  • the through hole 51 is connected to the upper end portion of the first flow path 21 (first connection flow path). That is, at the upper end portion of the first flow path 21, the first flow path 21, the valve chamber 12, and the through hole 51 are connected to each other.
  • the diameter of the through hole 51 is larger than the diameter of the first flow path 21, and the cross-sectional area of the through hole 51 is larger than the cross-sectional area of the first flow path 21.
  • the opening 51c in the end surface 11c of the through hole 51 is closed by a lid 55 (a closing member, a second closing member). Specifically, the opening 51c is closed by the lid 55 by welding the lid 55 to the opening 51c. The opening 51c can be closed by the lid 55 by adhering the lid 55 to the opening 51c with an adhesive or the like.
  • the lid 55 is formed of a plate material similar to the cross-sectional shape of the through-hole 51, that is, a circular plate material. The lid 55 is attached to the end surface 11c.
  • the through-hole 51 is formed by cutting the valve body 11 from the end face 11c in the lateral width direction. After the valve body 11 is cut to a position that penetrates the valve chamber 12, the valve body 11 is further cut to a position that penetrates the first flow path 21, thereby forming the through hole 51. Thereafter, the opening 51 c of the through hole 51 is closed by the lid 55. Note that either the valve chamber 12 or the through hole 51 may be formed in the valve body 11 first.
  • valve body 11 a through hole 51 penetrating from the lateral end face 11c to the valve chamber 12 is formed, and provided with a lid 55 for closing the opening 51c in the end face 11c of the through hole 51. For this reason, the space in the valve chamber 12 can be expanded by the through hole 51, and the fluid can be easily circulated in the valve chamber 12.
  • the valve body 11 is cut from the end surface 11c in the width direction to form the through hole 51, and the opening 51c at the end surface 11c of the through hole 51 is closed by the lid 55, so that the valve chamber 12 can be freely shaped or Can be easily expanded to dimensions.
  • the space around the bellows 48 can be enlarged by the through hole 51. For this reason, the fluid can be easily circulated around the bellows 48.
  • the through hole 51 penetrates from the end face 11c in the width direction of the valve body 11 to the valve chamber 12, and penetrates to the first flow path 21 through the valve chamber 12. For this reason, the flow path area of the connection portion between the first flow path 21 and the valve chamber 12 can be enlarged by the through hole 51.
  • the diameter of the through hole 51 is larger than the diameter of the first flow path 21, and the cross-sectional area of the through hole 51 is larger than the cross-sectional area of the first flow path 21. For this reason, the flow path area of the connection part of the 1st flow path 21 and the valve chamber 12 can be expanded easily.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view showing the valve portion 10 of the fluid control valve according to the present embodiment
  • FIG. 5 is a top view showing the valve body 111 of the valve portion 10 of FIG.
  • the description is abbreviate
  • the schematic shape of the valve body 111 is the same as that of the valve body 11 of the first embodiment, but the end surface 111c in the lateral width direction is formed in a curved shape.
  • a through hole 151 is formed in the valve body 111 instead of the through hole 51 of the first embodiment.
  • a lid 155 is provided instead of the lid 55 of the first embodiment.
  • Other configurations are basically the same as those of the first embodiment.
  • the valve body 111 is formed with a through hole 151 that penetrates from the first end surface 111 d in the longitudinal width direction of the valve body 111 to the valve chamber 12.
  • the through hole 151 penetrates from the first end surface 111d to the second end surface 111e via the valve chamber 12.
  • the cross section of the through hole 151 is circular.
  • the through hole 151 is connected to the upper end portion of the first flow path 21 (first connection flow path). That is, at the upper end portion of the first flow path 21, the first flow path 21, the valve chamber 12, and the through hole 151 are connected to each other.
  • the diameter of the through hole 151 is larger than the diameters of the first flow path 21 and the valve chamber 12, and the cross sectional area of the through hole 151 is larger than the cross sectional areas of the first flow path 21 and the valve chamber 12.
  • Each opening 151c in the first end surface 111d and the second end surface 111e of the through hole 151 is closed by a lid 155 (a closing member, a second closing member).
  • the lid 155 is formed of a plate material similar to the cross-sectional shape of the through-hole 151, that is, a circular plate material.
  • the lid 155 is attached to the first end surface 111d and the second end surface 111e, respectively.
  • the through-hole 151 is formed by cutting the valve body 111 from the first end surface 111d in the vertical width direction. After the valve body 111 is cut to a position penetrating the valve chamber 12, the valve body 111 is further cut to a position penetrating the second end face 111e, whereby the through hole 151 is formed. Thereafter, the opening 151 c of the through hole 151 is closed by the lid 155. Note that either the valve chamber 12 or the through hole 151 may be formed in the valve body 111 first.
  • the valve body 111 has a through-hole 151 penetrating from the first end surface 111d in the vertical width direction to the valve chamber 12, and includes a lid 155 that closes the opening 151c at the first end surface 111d of the through-hole 151. ing. For this reason, the space in the valve chamber 12 can be expanded by the through-hole 151, and the fluid can be easily circulated in the valve chamber 12.
  • the valve body 111 is cut from the first end surface 111 d in the longitudinal direction to form the through hole 151, and the opening 151 c at the first end surface 111 d of the through hole 151 is closed by the lid 155, so that the valve chamber 12 is formed. Can be easily expanded to a free shape and size.
  • the through hole 151 penetrates from the first end surface 111 d in the vertical width direction of the valve body 111 to the valve chamber 12 and is connected to the first flow path 21. For this reason, the flow path area of the connection part of the 1st flow path 21 and the valve chamber 12 can be expanded by the through-hole 151.
  • the through hole 151 penetrates from the first end surface 111d in the vertical width direction of the valve body 111 to the second end surface 111e via the valve chamber 12. And the opening in the 1st end surface 111d and the 2nd end surface 111e of the through-hole 151 is obstruct
  • the diameter of the through hole 51 is larger than the diameter of the first flow path 21 and the valve chamber 12, and the cross-sectional area of the through hole 51 is larger than the cross-sectional area of the first flow path 21 and the valve chamber 12. . For this reason, the flow path area of the connection part of the 1st flow path 21 and the valve chamber 12 and the flow path area of the valve chamber 12 can be expanded easily.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view showing the valve portion 10 of the fluid control valve according to the present embodiment
  • FIG. 7 is a top view showing the valve body 211 of the valve portion 10 of FIG.
  • the description is abbreviate
  • the schematic shape of the valve body 211 is the same as that of the valve body 11 of the first embodiment, but the end surface 111c in the lateral width direction is formed in a curved surface shape.
  • a through hole 251 is formed in the valve body 211 instead of the through hole 51 of the first embodiment.
  • a through hole 251 is formed instead of the through hole 151 of the second embodiment.
  • a lid 255 is provided instead of the lid 55 of the first embodiment.
  • a lid 255 is provided instead of the lid 155 of the second embodiment.
  • Other configurations are basically the same as those of the first embodiment.
  • the valve body 211 is formed with a through hole 251 penetrating from the end surface 211 d in the vertical width direction of the valve body 211 to the valve chamber 12.
  • the cross section of the through hole 251 is an oval.
  • the through hole 251 is formed in a range including the position of the valve seat 13 in the height direction of the valve body 211.
  • the through hole 251 is formed at the same position as the valve chamber 12 and the valve seat 13 in the lateral width direction of the valve body 211.
  • the long diameter of the through hole 251 is substantially equal to the diameter of the valve chamber 12.
  • the opening 251c at the end surface 211d of the through hole 251 is closed by a lid 255 (a closing member, a second closing member).
  • the lid 255 is formed of a plate similar to the cross-sectional shape of the through-hole 251, that is, an oval plate.
  • the lid 255 is attached to the end surface 211d.
  • the through hole 251 is formed by cutting the valve body 211 from the end surface 211d in the vertical width direction.
  • the through hole 251 is formed by cutting the valve main body 211 to a position penetrating the valve chamber 12. Thereafter, the opening 251 c of the through hole 251 is closed by the lid 255. Note that either the valve chamber 12 or the through hole 251 may be formed in the valve body 211 first.
  • the through hole 251 is formed in a range including the position of the valve seat 13 in the height direction of the valve body 211, the space around the valve seat 13 in the valve chamber 12 can be enlarged. For this reason, it becomes easy to circulate the fluid around the valve seat 13, and as a result, it becomes easy to circulate the fluid between the second flow path 31 and the valve chamber 12 that open inside the valve seat 13.
  • FIG. 8 is a cross-sectional view showing the valve portion 10 of the fluid control valve according to the present embodiment
  • FIG. 9 is a top view showing the valve body 311 in the valve portion 10 of FIG.
  • the description is abbreviate
  • the general shape of the valve body 311 is the same as that of the valve body 11 of the first embodiment, but the end surface 111c in the lateral width direction is formed in a curved surface shape.
  • a through hole 351 is formed in the valve body 311 instead of the through hole 51 of the first embodiment.
  • a through hole 351 is formed instead of the through hole 251 of the third embodiment.
  • a lid 355 is provided instead of the lid 55 of the first embodiment.
  • a lid 355 is provided instead of the lid 255 of the third embodiment.
  • Other configurations are basically the same as those of the first embodiment.
  • the valve body 311 is formed with a through-hole 351 that penetrates from the end surface 311 d in the vertical width direction of the valve body 311 to the valve chamber 12.
  • the cross section of the through hole 351 is circular.
  • the through hole 351 is formed in a range including the position of the valve seat 13 in the height direction of the valve body 311.
  • the through hole 351 is formed at a position opposite to the first flow path 21 of the valve chamber 12 and the valve seat 13. That is, the first flow path 21 and the through hole 351 are opposed to each other with the bellows 48 and the valve chamber 12 interposed therebetween.
  • the opening 351c at the end surface 311d of the through hole 351 is closed by a lid 355 (a closing member, a second closing member).
  • the lid 355 is formed of a plate material similar to the cross-sectional shape of the through hole 351, that is, a circular plate material.
  • the lid 355 is attached to the end surface 311d.
  • the through hole 351 is formed by cutting the valve body 311 from the end surface 311d in the vertical width direction.
  • the through hole 351 is formed by cutting the valve main body 311 to a position penetrating part of the valve chamber 12 and the valve seat 13. Thereafter, the opening 351 c of the through hole 351 is closed by the lid 355. Note that either the valve chamber 12 or the through hole 351 may be formed in the valve body 311 first.
  • the first flow path 21 and the through hole 351 are opposed to each other with the bellows 48 and the valve chamber 12 interposed therebetween. For this reason, when the 1st flow path 21 turns into an inflow flow path, the space of the part which the fluid on the opposite side to the 1st flow path 21 cannot flow through the bellows 48 can be expanded. Therefore, it is easy to circulate the fluid around the valve seat 13 to the portion opposite to the first flow path 21. As a result, the fluid is circulated between the second flow path 31 opened inside the valve seat 13 and the valve chamber 12. It becomes easy.
  • FIG. 10 is a front view showing the valve body 411 of the fluid control valve according to the present embodiment
  • FIG. 11 is a sectional view taken along the line 11-11 in FIG. 10
  • FIG. 12 is a sectional view taken along the line 12-12 in FIG.
  • FIG. 13 is a rear view of the valve body 411 of FIG.
  • the description is abbreviate
  • valve body 411 Schematic shape of the valve body 411 is the same as that of the valve body 11 of the first embodiment.
  • the valve body 411 is not formed with the through hole 51 of the first embodiment, and the first flow path 21 and the second flow path of the first embodiment.
  • the configuration of 31 has been changed.
  • Other configurations are basically the same as those of the first embodiment.
  • a first vertical flow path 123 (first flow path) and a second vertical flow path 133 (second flow path) are formed, each opening at the lower surface 11a of the valve main body 411.
  • the first vertical channel 123 and the second vertical channel 133 extend from the first annular recess 22 and the second annular recess 32 in a direction perpendicular to the lower surface 11a, respectively.
  • the first vertical channel 123 and the second vertical channel 133 are formed side by side in the lateral width direction of the valve body 411.
  • the opening 121a on the lower surface 11a of the first vertical channel 123 and the opening 131a on the lower surface 11a of the second vertical channel 133 are formed side by side in the lateral width direction of the valve body 411.
  • annular first annular recess 22 is formed around the opening 121a of the first vertical flow path 123.
  • annular second annular recess 32 is formed around the opening 131a of the second vertical flow path 133.
  • the first vertical flow path 123 and the second vertical flow path 133 are connected to the valve chamber 12 by a first connection flow path and a second connection flow path, respectively.
  • the first connection flow path includes a first end face flow path formed by the first groove-shaped recess 126 and the lid 129 (first closing member).
  • the first groove-shaped recess 126 is a groove-shaped recess, and opens in the first end surface 411d in the vertical width direction in the valve body 411.
  • the length in the height direction of the valve body 411 in the first groove-shaped recess 126 (first end surface flow path) is longer than the length in the width direction of the valve body 411 in the first groove-shaped recess 126.
  • the first groove-shaped recess 126 is connected to the first vertical flow path 123 by a first horizontal flow path 124 that extends in the vertical width direction (horizontal direction) in the valve body 411.
  • the first groove-shaped recess 126 is opened in the valve chamber 12.
  • the first groove-shaped recess 126 is connected to the outer peripheral edge of the valve chamber 12 from the bottom to the middle of the valve chamber 12.
  • the opening 126a at the first end surface 411d of the first groove-shaped recess 126 is closed by a lid 129.
  • the opening 126a is closed by the lid 129 by welding the lid 129 to the opening 126a.
  • the lid 129 is formed of a plate material similar to the shape of the opening 126a of the first groove-shaped recess 126, that is, an oval plate material.
  • the lid 129 is attached to the first end surface 411d.
  • the first groove-shaped recess 126 is formed by cutting the valve body 411 from the first end surface 411d in the vertical width direction. After forming the first groove-shaped recess 126, the first horizontal flow path 124 is formed by cutting the valve body 411 in the vertical width direction. Thereafter, the opening 126 a of the first groove-shaped recess 126 is closed by the lid 129. Note that any of the valve chamber 12, the first vertical flow path 123, the first groove-shaped recess 126, and the first horizontal flow path 124 may be formed in the valve body 411 first.
  • the second connection flow path includes a second end face flow path formed by the second groove-shaped recess 136 and the lid 139 (first closing member).
  • the second groove-shaped recess 136 is a groove-shaped recess and opens in the second end surface 411 e in the longitudinal width direction in the valve body 411.
  • the length in the width direction of the valve body 411 in the second groove-shaped recess 136 (second end surface flow path) is longer than the length in the height direction of the valve body 411 in the second groove-shaped recess 136.
  • the second groove-shaped recess 136 is connected to the second vertical flow path 133 by a second horizontal flow path 134 that extends in the longitudinal width direction (horizontal direction) in the valve body 411.
  • the second groove-shaped recess 136 is connected to a third horizontal flow path 137 extending in the longitudinal width direction (horizontal direction) in the valve body 411.
  • the third horizontal channel 137 is connected to a third vertical channel 138 that extends in a direction perpendicular to the lower surface 11 a and opens to the valve chamber 12.
  • the third vertical flow path 138 opens at the bottom of the valve chamber 12.
  • an annular valve seat 13 is formed around the opening of the third vertical flow path 138 in the valve chamber 12.
  • the opening 136 a at the second end surface 411 e of the second groove-shaped recess 136 is closed by a lid 139.
  • the lid 139 is formed of a plate material similar to the shape of the opening 136a of the second groove-shaped recess 136, that is, an oval plate material.
  • the lid 139 is attached to the second end surface 411e.
  • the second groove-shaped recess 136 is formed by cutting the valve body 411 from the second end surface 411e in the vertical width direction. After the second groove-shaped recess 136 is formed, the second horizontal flow path 134 and the third horizontal flow path 137 are formed by cutting the valve body 411 in the vertical width direction. Further, the third vertical flow path 138 is formed by cutting the valve body 411 in the height direction. Thereafter, the opening 136 a of the second groove-shaped recess 136 is closed by the lid 139. Note that any of the second groove-shaped recess 136, the second horizontal flow path 134, the third horizontal flow path 137, and the third vertical flow path 138 may be formed in the valve body 411 first.
  • the 1st flow path is comprised by the 1st vertical flow path 123, the 1st horizontal flow path 124, and the 1st end surface flow path (The 1st groove-shaped recessed part 126 and the lid
  • the first horizontal flow path 124 and the first end face flow path constitute a first connection flow path.
  • the second horizontal flow path 134, the second end face flow path, the third horizontal flow path 137, and the third vertical flow path 138 constitute a second connection flow path.
  • the first channel includes a first vertical channel 123 extending from the first annular recess 22 in a direction perpendicular to the lower surface 11a of the valve body 411, and the second channel extends from the second annular recess 32 to the valve body 411.
  • a second vertical flow path 133 extending in a direction perpendicular to the lower surface 11a is included. For this reason, the first flow path and the second flow path can be vertically connected to the annular recesses 22 and 32, respectively, and the annular recesses 22 and 32 interfere with the first flow path and the second flow path, respectively. This can be suppressed.
  • the channel area of the part can be increased.
  • the first connection flow path includes a groove-shaped first groove-shaped recess 126 that opens to the first end surface 411d in the longitudinal direction of the valve body 411, and a lid 129 that closes the opening 126a of the first groove-shaped recess 126.
  • the first end face flow path is formed by cutting the first end face 411d in the longitudinal direction of the valve body 411 into a groove shape to form the first groove-like recess 126, and the opening 126a of the first groove-like recess 126 is formed by the lid 129.
  • By closing it can be easily formed into a free shape and size. Therefore, even if the first channel and the second channel are vertically connected to the annular recesses 22 and 32, the channel area of the first connection channel is formed by forming the first end surface channel. Can be secured. As a result, it is possible to suppress the maximum flow rate from being limited in the small fluid control valve.
  • the second connection flow path is formed by a groove-shaped second groove-shaped recess 136 that opens to the second end surface in the longitudinal direction of the valve body 411 and a lid 139 that closes the opening 136a of the second groove-shaped recess 136.
  • a second end face flow path For this reason, it becomes easy to ensure the flow path area of the 2nd connection flow path, and the freedom degree which arrange
  • the length in the height direction of the valve body 411 in the first end face flow path is longer than the length in the width direction of the valve body 411 in the first end face flow path. For this reason, the first connection channel can be extended in the height direction of the valve body 411 while ensuring the channel area of the first connection channel, and the arrangement of the first connection channel can be facilitated. .
  • the first end face flow path is opened in the valve chamber 12, the first connection flow path can be easily connected to the valve chamber 12, and the connection portion between the first connection flow path and the valve chamber 12 The channel area can be easily secured.
  • FIG. 14 is a front view showing a valve main body 511 of the fluid control valve according to the present embodiment
  • FIG. 15 is a sectional view taken along line 15-15 of FIG. 14
  • FIG. 16 is a sectional view taken along line 16-16 of FIG. is there.
  • the description is abbreviate
  • first vertical flow paths 223 first flow paths
  • second flow path 231 are formed, each opening on the lower surface 11a of the valve main body 511.
  • the first vertical channel 223 and the second channel 231 extend in a direction perpendicular to the lower surface 11a from the first annular recess 22 and the second annular recess 32, respectively.
  • the two first vertical channels 223 and the second channel 231 are formed side by side in the lateral direction of the valve body 511.
  • the opening 221 a on the lower surface 11 a of the two first vertical channels 223 and the opening 231 a on the lower surface 11 a of the second channel 231 are formed side by side in the lateral width direction of the valve body 511.
  • annular first annular recesses 22 are formed around the openings 221a of the two first vertical flow paths 223, respectively.
  • annular second annular recess 32 is formed around the opening 231 a of the second flow path 231.
  • the two first vertical channels 223 are each connected to the valve chamber 12 by a first connection channel.
  • the first connection flow path includes a first end face flow path formed by the first groove-shaped recess 226 and the lid 229 (first closing member).
  • the first groove-like recess 226 is a groove-like recess, and is open to the first end surface 511d in the longitudinal direction of the valve body 511.
  • the length in the height direction of the valve body 511 in the first groove-shaped recess 226 (first end surface flow path) is longer than the length in the width direction of the valve body 511 in the first groove-shaped recess 226.
  • the first groove-shaped recess 226 is connected to the first vertical flow path 223 by a first horizontal flow path 224 that extends in the longitudinal width direction (horizontal direction) in the valve body 511.
  • the first groove-shaped recess 226 is connected to the valve chamber 12 by a fourth horizontal flow path 227 that extends in the valve body 511 in the direction of the valve chamber 12 (horizontal direction).
  • the second flow path 231 (second connection flow path) is open at the bottom of the valve chamber 12.
  • an annular valve seat 13 is formed around the opening of the second flow path 231 in the valve chamber 12.
  • the first flow path is constituted by the first vertical flow path 223, the first horizontal flow path 224, the first end face flow path (the first groove-shaped recess 226 and the lid 229), and the fourth horizontal flow path 227. Yes.
  • the first horizontal flow path 224, the first end face flow path, and the fourth horizontal flow path 227 constitute a first connection flow path.
  • One of the two first flow paths can also be regarded as the second flow path.
  • a three-port fluid control valve including two first flow paths and one second flow path 231 can be manufactured. In each of the three channels, the channel area can be ensured.
  • FIG. 17 is a front view showing a valve main body 611 of the fluid control valve according to the present embodiment
  • FIG. 18 is a sectional view taken along line 18-18 in FIG. 17
  • FIG. 19 is a sectional view taken along line 19-19 in FIG.
  • FIG. 20 is a rear view of the valve body 611 of FIG.
  • the description is abbreviate
  • valve body 611 is formed with two valve chambers 12 (first valve chamber and second valve chamber) and two second flow paths,
  • the configuration of the first flow path of the fifth embodiment is changed.
  • Other configurations are basically the same as those of the fifth embodiment.
  • a first vertical flow path 323 (first flow path) and two second vertical flow paths 333 (second flow paths) are formed in the valve main body 611 and open on the lower surface 11a of the valve main body 611. .
  • the first vertical channel 323 and the second vertical channel 333 extend in a direction perpendicular to the lower surface 11a from the first annular recess 22 and the second annular recess 32, respectively.
  • the first vertical flow path 323 and the two second vertical flow paths 333 are formed side by side in the lateral width direction of the valve body 611.
  • the opening 321a on the lower surface 11a of the first vertical channel 323 and the opening 331a on the lower surface 11a of the two second vertical channels 333 are formed side by side in the lateral width direction of the valve body 611.
  • annular first annular recess 22 is formed around the opening 321a of the first vertical flow path 323.
  • annular second annular recesses 32 are formed around the openings 331a of the two second vertical flow paths 333, respectively.
  • the first vertical channel 323 and the second vertical channel 333 are connected to the valve chamber 12 by a first connection channel and a second connection channel, respectively.
  • the first connection flow path includes a first end face flow path formed by the first groove-shaped recess 326 and the lid 329 (first closing member).
  • the first groove-shaped recess 326 is a groove-shaped recess, and opens in the second end surface 611 e in the vertical width direction in the valve body 611.
  • the length of the valve body 611 in the width direction of the first groove-shaped recess 326 (first end surface flow path) is longer than the length of the valve body 611 in the height direction of the first groove-shaped recess 326.
  • the first groove-shaped recess 326 extends to the same position as the valve seats 13 of the two valve chambers 12 in the lateral width direction of the valve body 611.
  • the central portion of the first groove-shaped recess 326 in the horizontal width direction of the valve body 611 is connected to the first vertical flow path 323 by a first horizontal flow path 324 extending in the vertical width direction (horizontal direction) in the valve body 611. .
  • the first groove-shaped recess 326 is connected to two second horizontal flow paths 327 extending in the longitudinal width direction (horizontal direction) in the valve body 611.
  • the second horizontal flow paths 327 are connected to third vertical flow paths 328 that extend in a direction perpendicular to the lower surface 11a and open to the two valve chambers 12, respectively.
  • the opening 326a in the second end surface 611e of the first groove-shaped recess 326 is closed by a lid 329.
  • the lid 329 is formed of a plate material similar to the shape of the opening 326a of the first groove-shaped recess 326, that is, an oval plate material.
  • the lid 329 is attached to the second end surface 611e.
  • 1st groove-shaped recessed part 326 is formed by cutting the valve main body 611 from the 2nd end surface 611e to the vertical width direction. After the first groove-shaped recess 326 is formed, the first horizontal flow path 324 is formed by cutting the valve main body 611 in the vertical width direction, and the second horizontal flow path 327 cuts the valve main body 611 in the vertical width direction. Is formed. Thereafter, the opening 326 a of the first groove-shaped recess 326 is closed by the lid 129. Note that any one of the valve chamber 12, the first vertical flow path 323, the first groove-shaped recess 326, the first horizontal flow path 324, and the second horizontal flow path 327 may be formed in the valve body 611 first. .
  • the 2nd connection channel is formed in valve body 611 like the 1st connection channel of a 5th embodiment.
  • the second connection flow paths are respectively formed corresponding to the two valve chambers 12.
  • the first flow path is constituted by the first vertical flow path 323, the first horizontal flow path 324, the first end face flow path (the first groove-shaped recess 326 and the lid 329), and the second horizontal flow path 327. Yes.
  • the first horizontal flow path 324, the first end surface flow path, and the second horizontal flow path 327 constitute a first connection flow path.
  • the second vertical flow path 333, the second horizontal flow path 334, and the second end face flow path (the second groove-shaped recess 336 and the lid 339) constitute a second flow path.
  • the second horizontal flow path 334 and the second end face flow path constitute a second connection flow path.
  • Two valve chambers 12 are formed inside the valve body 611, and the first connection flow path is the first vertical flow path 323 and the two valve chambers 12. Is connected. For this reason, in the merging valve or the diversion valve provided with the two valve chambers 12, the flow area of each flow path can be ensured.
  • a three-port fluid control valve including one first flow path and two second flow paths can be manufactured. In each of the three channels, the channel area can be ensured.
  • the length of the valve body 611 in the width direction in the first end face flow path is longer than the length in the height direction of the valve body 611 in the first end face flow path. For this reason, the first connection channel can be extended in the lateral width direction of the valve body 611 while ensuring the channel area of the first connection channel, and the arrangement of the first connection channel can be facilitated.
  • the second connection flow path can be easily connected to the valve chamber 12, and the connection portion between the second connection flow path and the valve chamber 12 The channel area can be easily secured.
  • FIG. 21 is a front view showing a valve body 711 of the fluid control valve according to the present embodiment
  • FIG. 22 is a sectional view taken along line 22-22 of FIG. 21
  • FIG. 23 is a sectional view taken along line 23-23 of FIG. is there.
  • the description is abbreviate
  • valve body 711 is formed with two valve chambers 12 (first valve chamber and second valve chamber) and two second flow paths,
  • the configuration of the first flow path of the sixth embodiment is changed corresponding to the two valve chambers 12.
  • Other configurations are basically the same as those of the sixth embodiment.
  • the first vertical channel 423 is connected to the two valve chambers 12 by the first connection channel.
  • the first connection flow path includes a first end face flow path formed by the first groove-shaped recess 426 and the lid 429 (first closing member).
  • the first groove-shaped recess 426 is a groove-shaped recess, and is open to the first end surface 711 d in the vertical width direction in the valve body 711.
  • the length in the height direction of the valve body 711 in the first groove-shaped recess 426 (first end surface flow path) is longer than the length in the width direction of the valve body 711 in the first groove-shaped recess 426.
  • the first groove-shaped recess 426 is connected to the first vertical flow path 423 by a first horizontal flow path 424 that extends in the longitudinal width direction (horizontal direction) in the valve body 711.
  • the first groove-like recesses 426 are respectively connected to the two valve chambers 12 by fourth horizontal flow paths 427 extending in the direction (horizontal direction) of the two valve chambers 12 in the valve body 711.
  • the second flow path 431 (second connection flow path) opens at the bottom of the valve chamber 12.
  • annular valve seat 13 is formed around the opening of the second flow path 431 in the valve chamber 12.
  • the first flow path is constituted by the first vertical flow path 423, the first horizontal flow path 424, the first end face flow path (the first groove-shaped recess 426 and the lid 429), and the fourth horizontal flow path 427. Yes.
  • the first horizontal flow path 424, the first end face flow path, and the fourth horizontal flow path 427 constitute a first connection flow path.
  • Two valve chambers 12 are formed inside the valve main body 711, and the first connection channel is the first vertical channel 423 and the two valve chambers 12. Is connected. For this reason, in the merging valve or the diversion valve provided with the two valve chambers 12, the flow area of each flow path can be ensured.
  • FIG. 24 is a front view showing a valve body 811 of the fluid control valve according to the present embodiment.
  • the description is abbreviate
  • the flow path structure of the small fluid control valve of the present embodiment is the same as the flow path structure of the fifth embodiment, in which the through hole 51 of the first embodiment is formed and the opening 51c of the through hole 51 is closed by the lid 55. is there. Therefore, this embodiment has the same advantages as the first embodiment and the fifth embodiment.
  • FIG. 25 is a front view showing a valve main body 911 of the fluid control valve according to the present embodiment.
  • the description is abbreviate
  • the flow path structure of the small fluid control valve of the present embodiment is the same as the flow path structure of the fifth embodiment, in which the through hole 151 of the second embodiment is formed, and the opening 151c of the through hole 151 and the first groove-shaped recess 126 are formed.
  • the opening 126a is closed with a lid 529. Therefore, this embodiment has the same advantages as those of the second and fifth embodiments.
  • FIG. 26 is a front view showing the valve main body 1011 of the fluid control valve according to the present embodiment.
  • the description is abbreviate
  • the flow path structure of the small fluid control valve of the present embodiment is the same as the flow path structure of the seventh embodiment, in which the through hole 151 of the second embodiment is formed, and the opening 151c of the through hole 151 and the first groove-shaped recess 326 are formed.
  • the opening 326a is closed by a lid 529. Therefore, this embodiment has the same advantages as the second embodiment and the seventh embodiment.
  • this embodiment has the following advantages. Here, only advantages different from the above-described embodiments will be described.
  • the through hole 151 penetrates from the end face 1011d in the longitudinal direction of the valve body 1011 to the valve chamber 12, and is connected to the second connection flow path. For this reason, the flow path area of the connection part of a 2nd connection flow path and the valve chamber 12 can be expanded by a through-hole.
  • FIG. 27 is a front view showing a valve main body 1111 of the fluid control valve according to the present embodiment.
  • the description is abbreviate
  • the flow path structure of the small fluid control valve of the present embodiment is the same as the flow path structure of the fifth embodiment, in which the through hole 251 of the third embodiment is formed, and the opening 251c of the through hole 251 and the first groove-shaped recess 126
  • the opening 126 a is closed by a lid 629.
  • the through hole 251 and the first groove-like recess 126 are formed from the end surface 1111d on the same side in the longitudinal width direction of the valve body 1111. Therefore, this embodiment has the same advantages as the third and fifth embodiments.
  • FIG. 28 is a front view showing a valve main body 1211 of the fluid control valve according to the present embodiment.
  • the description is abbreviate
  • the flow path structure of the small fluid control valve of the present embodiment is obtained by applying the flow path structure of the fifth embodiment to a diaphragm type small fluid control valve.
  • This fluid control valve includes a diaphragm 148 instead of the bellows 48 and the valve body 45 of FIG.
  • the periphery of the valve seat 13 is a valve chamber 12 in a space below the diaphragm 148. According to such a configuration, there is an advantage according to the fifth embodiment.
  • the first end face flow path is not limited to a structure extending perpendicularly to the lower surface 11a of the valve body, but may be a structure extending slightly inclined with respect to the lower surface 11a.

Landscapes

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Abstract

小型流体制御弁の流路構造であって、上面視において弁本体（１１）の縦幅は横幅よりも狭くなっており、弁本体（１１）の内部には、弁本体（１１）の下面（１１ａ）で横幅の方向に並んでそれぞれ開口する第１流路（２１）及び第２流路（３１）が形成されており、下面（１１ａ）において、第１流路（２１）の開口（２１ａ）の周囲には環状の第１環状凹部（２２）が形成されており、下面（１１ａ）において、第２流路（３１）の開口（３１ａ）の周囲には環状の第２環状凹部（３２）が形成されており、第１流路（２１）及び第２流路（３１）は、弁室（１２）にそれぞれ接続されており、弁本体（１１）には、横幅の方向の端面（１１ｃ）から弁室（１２）まで貫通する貫通孔（５１）が形成されており、貫通孔（５１）の端面（１１ｃ）での開口（５１ｃ）を閉塞する閉塞部材（５５）を備える。

Description

小型流体制御弁の流路構造
　本発明は、流体を制御する小型流体制御弁の流路構造に関する。
　従来、流体制御弁の弁本体の内部に、弁室と、下面で開口する第１流路及び第２流路とを形成し、第１流路及び第２流路を弁室に連通させたものがある（特許文献１参照）。特許文献１に記載の流体制御弁は、複数の弁を集積した場合の占有面積を小さくするために、幅１０ｍｍ程度の小型流体制御弁となっている。
特開２０１１－１２７００号公報
　ところで、特許文献１に記載の流体制御弁では、第１流路及び第２流路の開口の周囲に、シール部材を配置するための環状の凹部を形成している。例えば、第１流路と環状の凹部とが干渉しないように、第１流路及び環状の凹部を形成する必要があるため、第１流路の形状や寸法が制限される。したがって、特許文献１に記載の小型流体制御弁では、第１流路の流路面積や、第１流路と弁室との接続部の流路面積を十分に確保することができず、流体制御弁を流通可能な流体の最大流量が制限されることとなる。
　本発明は、こうした課題を解決するためになされたものであり、その主たる目的は、最大流量が制限されることを抑制することのできる小型流体制御弁の流路構造を提供することにある。
　以下、上記課題を解決するための手段、及びその作用効果について記載する。
　第１の手段は、弁室が内部に形成された弁本体を備える小型流体制御弁の流路構造であって、上面視において前記弁本体の縦幅は横幅よりも狭くなっており、前記弁本体の内部には、前記弁本体の下面で前記横幅の方向に並んでそれぞれ開口する第１流路及び第２流路が形成されており、前記下面において、前記第１流路の前記開口の周囲には環状の第１環状凹部が形成されており、前記下面において、前記第２流路の前記開口の周囲には環状の第２環状凹部が形成されており、前記第１流路及び前記第２流路は、前記弁室にそれぞれ接続されており、前記弁本体には、前記横幅の方向の端面から前記弁室まで貫通する貫通孔が形成されており、前記貫通孔の前記端面での開口を閉塞する閉塞部材を備える。
　上記構成によれば、小型流体制御弁は弁本体を備え、弁本体の内部に弁室が形成されている。上面視において、弁本体の縦幅は横幅よりも狭くなっている。すなわち、小型流体制御弁の占有面積を小さくするために、弁本体の縦幅が狭くなっている。
　弁本体の内部には、弁本体の下面で横幅の方向に並んでそれぞれ開口する第１流路及び第２流路が形成されている。弁本体の下面において、第１流路の開口の周囲には環状の第１環状凹部が形成されており、第２流路の開口の周囲には環状の第２環状凹部が形成されている。このため、小型流体制御弁を流体の流路や他の機器に接続する際に、第１環状凹部及び第２環状凹部にシール部材を配置することができる。
　弁本体には、横幅の方向の端面から弁室まで貫通する貫通孔が形成されており、貫通孔の前記端面での開口を閉塞する第２閉塞部材を備えている。このため、貫通孔により弁室内の空間を拡大することができ、弁室内において流体を流通させ易くすることができる。しかも、弁本体において横幅の方向の端面から切削して貫通孔を形成し、貫通孔の前記端面での開口を第２閉塞部材により閉塞することで、弁室を自由な形状や寸法に容易に拡大することができる。
　第２の手段では、前記弁本体において、前記第２流路の前記弁室での開口の周囲には環状の弁座が形成されており、前記貫通孔は、前記横幅の方向の端面から前記弁室を介して前記第１流路まで貫通している。
　上記構成によれば、第１流路と弁室との接続部の流路面積を、貫通孔により拡大することができる。
　第３の手段は、弁室が内部に形成された弁本体を備える小型流体制御弁の流路構造であって、上面視において前記弁本体の縦幅は横幅よりも狭くなっており、前記弁本体の内部には、前記弁本体の下面で前記横幅の方向に並んでそれぞれ開口する第１流路及び第２流路が形成されており、前記下面において、前記第１流路の前記開口の周囲には環状の第１環状凹部が形成されており、前記下面において、前記第２流路の前記開口の周囲には環状の第２環状凹部が形成されており、前記第１流路及び前記第２流路は、前記弁室にそれぞれ接続されており、前記弁本体には、前記縦幅の方向の端面から前記弁室まで貫通する貫通孔が形成されており、前記貫通孔の前記端面での開口を閉塞する閉塞部材を備える。
　上記構成によれば、弁本体には、縦幅の方向の端面から弁室まで貫通する貫通孔が形成されており、貫通孔の前記端面での開口を閉塞する第２閉塞部材を備えている。このため、貫通孔により弁室内の空間を拡大することができ、弁室内において流体を流通させ易くすることができる。しかも、弁本体において縦幅の方向の端面から切削して貫通孔を形成し、貫通孔の前記端面での開口を第２閉塞部材により閉塞することで、弁室を自由な形状や寸法に容易に拡大することができる。
　第４の手段では、前記弁本体において、前記第２流路の前記弁室での開口の周囲には環状の弁座が形成されており、前記貫通孔は、前記第１流路に接続されている。
　上記構成によれば、第１流路と弁室との接続部の流路面積を、貫通孔により拡大することができる。
　第５の手段では、前記弁本体において、前記第１流路の前記弁室での開口の周囲には環状の弁座が形成されており、前記貫通孔は、前記第２流路に接続されている。
　上記構成によれば、第２流路と弁室との接続部の流路面積を、貫通孔により拡大することができる。
　第６の手段では、前記端面は第１端面であり、前記貫通孔は、前記縦幅の方向の前記第１端面から前記弁室を介して第２端面まで貫通しており、前記貫通孔の前記第２端面での開口を閉塞する閉塞部材を備える。
　上記構成によれば、貫通孔は、弁本体の縦幅方向の第１端面から弁室を介して第２端面まで貫通している。そして、貫通孔の前記第１端面及び第２端面での開口が、それぞれ閉塞部材により閉塞されている。このため、弁本体において縦幅方向の一方の端面から他方の端面まで切削することで、貫通孔を容易に形成することができるとともに、両端面付近において弁室を拡大することができる。
　第７の手段では、前記貫通孔は、前記弁本体の高さ方向において前記弁座の位置を含む範囲に形成されている。
　上記構成によれば、貫通孔は、弁本体の高さ方向において弁座の位置を含む範囲に形成されているため、弁室において弁座の周囲の空間を拡大することができる。このため、弁座の周囲に流体を流通させ易くなり、ひいては弁座の内側で開口する流路と弁室とで流体を流通させ易くなる。
　第８の手段は、前記第１流路は、前記第１環状凹部から前記下面に垂直な方向へ延びる第１垂直流路と、前記第１垂直流路及び前記弁室を接続する第１接続流路とを含み、前記第２流路は、前記第２環状凹部から前記下面に垂直な方向へ延びる第２垂直流路と、前記第２垂直流路及び前記弁室を接続する第２接続流路とを含み、前記第１接続流路は、前記弁本体において前記縦幅の方向の端面に開口する溝状の第１溝状凹部と前記第１溝状凹部の開口を閉塞する閉塞部材とで形成された第１端面流路、を含む。
　また、第９の手段は、弁室が内部に形成された弁本体を備える小型流体制御弁の流路構造であって、上面視において前記弁本体の縦幅は横幅よりも狭くなっており、前記弁本体の内部には、前記弁本体の下面で前記横幅の方向に並んでそれぞれ開口する第１流路及び第２流路が形成されており、前記下面において、前記第１流路の前記開口の周囲には環状の第１環状凹部が形成されており、前記下面において、前記第２流路の前記開口の周囲には環状の第２環状凹部が形成されており、前記第１流路は、前記第１環状凹部から前記下面に垂直な方向へ延びる第１垂直流路と、前記第１垂直流路及び前記弁室を接続する第１接続流路とを含み、前記第２流路は、前記第２環状凹部から前記下面に垂直な方向へ延びる第２垂直流路と、前記第２垂直流路及び前記弁室を接続する第２接続流路とを含み、前記第１接続流路は、前記弁本体において前記縦幅の方向の端面に開口する溝状の第１溝状凹部と前記第１溝状凹部の開口を閉塞する第１閉塞部材とで形成された第１端面流路、を含む。
　第８、第９手段によれば、第１流路は、第１環状凹部から弁本体の下面に垂直な方向へ延びる第１垂直流路を含み、第２流路は、第２環状凹部から弁本体の下面に垂直な方向へ延びる第２垂直流路を含んでいる。このため、環状凹部に対して第１流路及び第２流路をそれぞれ垂直に接続することができ、環状凹部と第１流路及び第２流路とが干渉することを抑制することができる。したがって、環状凹部に対して第１流路及び第２流路を斜めに接続する構造と比較して、環状凹部と第１流路及び第２流路との接続部の流路面積を大きくすることができる。そして、第１垂直流路と弁室とが第１接続流路により接続され、第２垂直流路と弁室とが第２接続流路により接続されている。
　ここで、環状凹部に対して第１流路及び第２流路をそれぞれ垂直に接続するためには、第１接続流路及び第２接続流路の一方、例えば第１接続流路の形状や寸法が制限されるおそれがある。この点、第１接続流路は、弁本体において縦幅の方向の端面に開口する溝状の第１溝状凹部と第１溝状凹部の開口を閉塞する第１閉塞部材とで形成された第１端面流路、を含んでいる。第１端面流路は、弁本体において縦幅の方向の端面を溝状に切削して第１溝状凹部を形成し、第１溝状凹部の開口を第１閉塞部材により閉塞することで、自由な形状や寸法に容易に形成することができる。例えば、第１溝状凹部の開口に第１閉塞部材を溶接したり、接着したりすることで、第１溝状凹部の開口を第１閉塞部材により閉塞する。したがって、環状凹部に対して第１流路及び第２流路をそれぞれ垂直に接続する構造であっても、第１端面流路を形成することにより第１接続流路の流路面積を確保することができる。その結果、小型流体制御弁において、最大流量が制限されることを抑制することができる。
　第１０の手段では、前記第２接続流路は、前記弁本体において前記縦幅の方向の端面に開口する溝状の第２溝状凹部と前記第２溝状凹部の開口を閉塞する第１閉塞部材とで形成された第２端面流路、を含む。
　上記構成によれば、第２接続流路は、弁本体において縦幅の方向の端面に開口する溝状の第２溝状凹部と第２溝状凹部の開口を閉塞する第１閉塞部材とで形成された第２端面流路、を含んでいる。このため、第２接続流路の流路面積を確保することが容易となり、第１流路及び第２流路を配置する自由度を向上させることができる。
　第１１の手段では、前記弁本体には、前記第１流路が２つ形成されている。
　上記構成によれば、第１流路が２つ形成されているため、２つの第１流路と１つの第２流路とを備える３ポートの流体制御弁を製造することができる。そして、３つの流路において、それぞれ流路面積を確保することができる。
　第１２の手段では、前記弁室は第１弁室であり、前記弁本体の内部には第２弁室が形成されており、前記第１接続流路は、前記第１垂直流路、前記第１弁室、及び前記第２弁室を接続している。
　上記構成によれば、弁本体の内部には第１弁室及び第２弁室が形成されており、第１接続流路は、第１垂直流路、第１弁室、及び第２弁室を接続している。このため、第１弁室及び第２弁室を備える合流弁や分流弁において、それぞれの流路の流路面積を確保することができる。
　第１３の手段では、前記弁本体には、前記第２流路が２つ形成されている。
　上記構成によれば、第２流路が２つ形成されているため、１つの第１流路と２つの第２流路とを備える３ポートの流体制御弁を製造することができる。そして、３つの流路において、それぞれ流路面積を確保することができる。
　具体的には、第１４の手段のように、前記第１端面流路における前記弁本体の高さ方向の長さは、前記第１端面流路における前記弁本体の横幅方向の長さよりも長くなっているといった構成を採用することができる。こうした構成によれば、第１接続流路の流路面積を確保しつつ、弁本体の高さ方向に第１接続流路を延ばすことができ、第１接続流路の配置を容易化することができる。
　具体的には、第１５の手段のように、前記弁本体において、前記第２接続流路の前記弁室での開口の周囲には環状の弁座が形成されているといった構成を採用することができる。こうした構成によれば、弁座に対して流体制御弁の弁体を当接及び離間させることにより、第２流路と弁室とを遮断及び連通させることができ、ひいては弁室を介して第２流路と第１流路とを遮断及び連通させることができる。
　第１６の手段では、前記第１端面流路は、前記弁室で開口している。
　上記構成によれば、第１端面流路は弁室で開口しているため、第１接続流路を弁室に容易に接続することができるとともに、第１接続流路と弁室との接続部の流路面積を容易に確保することができる。
　具体的には、第１７の手段のように、前記第１端面流路における前記弁本体の横幅方向の長さは、前記第１端面流路における前記弁本体の高さ方向の長さよりも長くなっているといった構成を採用することができる。こうした構成によれば、第１接続流路の流路面積を確保しつつ、弁本体の横幅方向に第１接続流路を延ばすことができ、第１接続流路の配置を容易化することができる。
　具体的には、第１８の手段のように、前記弁本体において、前記第１接続流路の前記弁室での開口の周囲には環状の弁座が形成されているといった構成を採用することができる。こうした構成によれば、弁座に対して流体制御弁の弁体を当接及び離間させることにより、第１流路と弁室とを遮断及び連通させることができ、ひいては弁室を介して第１流路と第２流路とを遮断及び連通させることができる。
　第１９の手段では、前記第２接続流路は、前記弁本体において前記縦幅の方向の端面に開口する溝状の第２溝状凹部と前記第２溝状凹部の開口を閉塞する第１閉塞部材とで形成された第２端面流路、を含み、前記第２端面流路は、前記弁室で開口している。
　上記構成によれば、第２端面流路は弁室で開口しているため、第２接続流路を弁室に容易に接続することができるとともに、第２接続流路と弁室との接続部の流路面積を容易に確保することができる。
　第２０の手段では、前記弁本体には、前記縦幅の方向の端面から前記弁室まで貫通する貫通孔が形成されており、前記貫通孔の前記端面での開口を閉塞する第２閉塞部材を備え、前記貫通孔は、前記第１接続流路に接続されている。
　上記構成によれば、貫通孔は、弁本体の縦幅の方向の端面から弁室まで貫通しており、且つ第１接続流路に接続されている。このため、第１接続流路と弁室との接続部の流路面積を、貫通孔により拡大することができる。
　第２１の手段では、前記弁本体には、前記縦幅の方向の端面から前記弁室まで貫通する貫通孔が形成されており、前記貫通孔の前記端面での開口を閉塞する第２閉塞部材を備え、前記貫通孔は、前記第２接続流路に接続されている。
　上記構成によれば、貫通孔は、弁本体の縦幅の方向の端面から弁室まで貫通しており、且つ第２接続流路に接続されている。このため、第２接続流路と弁室との接続部の流路面積を、貫通孔により拡大することができる。
　第２２の手段では、前記端面は第１端面であり、前記貫通孔は、前記縦幅の方向の前記第１端面から前記弁室を介して第２端面まで貫通しており、前記貫通孔の前記第２端面での開口を閉塞する第２閉塞部材を備える。
　上記構成によれば、貫通孔は、弁本体の縦幅方向の第１端面から弁室を介して第２端面まで貫通している。そして、貫通孔の前記第１端面及び第２端面での開口が、それぞれ第２閉塞部材により閉塞されている。このため、弁本体において縦幅方向の一方の端面から他方の端面まで切削することで、貫通孔を容易に形成することができるとともに、両端面付近において弁室を拡大することができる。
　第２３の手段では、前記弁本体には、前記横幅の方向の端面から前記弁室を介して前記第１接続流路まで貫通する貫通孔が形成されており、前記貫通孔の前記端面での開口を閉塞する第２閉塞部材を備える。
　上記構成によれば、貫通孔は、弁本体の横幅の方向の端面から弁室まで貫通しており、且つ弁室を介して第１接続流路まで貫通している。このため、第１接続流路と弁室との接続部の流路面積を、貫通孔により拡大することができる。
　第２４の手段では、前記弁本体には、前記縦幅の方向の端面から前記弁室まで貫通する貫通孔が形成されており、前記貫通孔は、前記弁本体の高さ方向において前記弁座の位置を含む範囲に形成されている。
　上記構成によれば、貫通孔は、弁本体の高さ方向において弁座の位置を含む範囲に形成されているため、弁室において弁座の周囲の空間を拡大することができる。このため、弁座の周囲に流体を流通させ易くなり、ひいては弁座の内側で開口する流路と弁室とで流体を流通させ易くなる。
第１実施形態に係る流体制御弁の弁部を示す断面図。 図１の弁部のうち弁本体を示す上面図。 図１の弁部の３－３線断面図。 第２実施形態に係る流体制御弁の弁部を示す断面図。 図４の弁部のうち弁本体を示す上面図。 第３実施形態に係る流体制御弁の弁部を示す断面図。 図６の弁部のうち弁本体を示す上面図。 第４実施形態に係る流体制御弁の弁部を示す断面図。 図８の弁部のうち弁本体を示す上面図。 第５実施形態に係る流体制御弁の弁本体を示す正面図。 図１０の１１－１１線断面図。 図１１の１２－１２線断面図。 図１０の弁本体の背面図。 第６実施形態に係る流体制御弁の弁本体を示す正面図。 図１４の１５－１５線断面図。 図１５の１６－１６線断面図。 第７実施形態に係る流体制御弁の弁本体を示す正面図。 図１７の１８－１８線断面図。 図１８の１９－１９線断面図。 図１７の弁本体の背面図。 第８実施形態に係る流体制御弁の弁本体を示す正面図。 図２１の２２－２２線断面図。 図２２の２３－２３線断面図。 第９実施形態に係る流体制御弁の弁本体を示す正面図。 第１０実施形態に係る流体制御弁の弁本体を示す正面図。 第１１実施形態に係る流体制御弁の弁本体を示す正面図。 第１２実施形態に係る流体制御弁の弁本体を示す正面図。 第１３実施形態に係る流体制御弁の弁本体を示す正面図。
　（第１実施形態）
　以下、半導体製造装置等に用いられる小型流体制御弁として具体化した第１実施形態について、図１～３を参照して説明する。図１は本実施形態に係る流体制御弁の弁部１０を示す断面図、図２は図１の弁部１０のうち弁本体１１を示す上面図、図３は図１の弁部１０の３－３線断面図である。
　流体制御弁は、流体を制御する弁部１０と、弁部１０に駆動力を作用させるアクチュエータ部（図示略）とを備えている。アクチュエータ部として、空圧機器、電磁ソレノイド、ピエゾ素子、モータ等を採用することができる。弁部１０に、アダプタ（図示略）を介してアクチュエータ部が連結される。
　弁部１０は、弁本体１１、ホルダ４１、ステム４２、圧縮ばね４３、弁体４５、ベローズ４８等を備えている。
　弁本体１１は、ブロック状（概略として直方体状）に形成されている。図２に示す上面視において、弁本体１１の縦幅（図２の上下方向の幅）は、横幅（図２の左右方向の幅）よりも狭くなっている。弁本体１１の縦幅は略１０ｍｍであり、横幅は略３３ｍｍである。弁本体１１の横幅方向の両端には、ボルト孔１１ｂが形成されている。ボルト孔１１ｂには、弁本体１１を他の流路ブロックや機器に接続するボルト等が挿通される。
　弁本体１１の内部には、弁室１２が形成されている。弁室１２は、弁本体１１の高さ方向（図１の上下方向）の中間から上方へ延びており、円柱状の空間となっている。弁室１２は、図２に示す上面視において、縦幅方向の中央、且つ横幅方向の中央に形成されている。弁室１２の上端は、弁本体１１の上面で開口している。
　弁本体１１の内部には、弁本体１１の下面１１ａでそれぞれ開口する第１流路２１及び第２流路３１が形成されている。第１流路２１と第２流路３１とは、弁本体１１の横幅方向に並んで形成されている。第１流路２１の下面１１ａでの開口２１ａと、第２流路３１の下面１１ａでの開口３１ａとは、弁本体１１の横幅方向に並んで形成されている。下面１１ａにおいて、第１流路２１の開口２１ａの周囲には、環状の第１環状凹部２２が形成されている。下面１１ａにおいて、第２流路３１の開口３１ａの周囲には環状の第２環状凹部３２が形成されている。
　第１流路２１及び第２流路３１は、それぞれ弁室１２に接続されている。第１流路２１は、弁室１２の底部から中間部にわたって、弁室１２の外周縁部に接続されている。第２流路３１は、弁室１２の底部の中央に接続されている。弁本体１１を他の流路ブロックや機器に接続する際に、第１環状凹部２２及び第２環状凹部３２には、それぞれＯリングやガスケット等のシール部材が配置される。
　弁本体１１において、第２流路３１の弁室１２での開口３１ｂの周囲には、環状の弁座１３が形成されている。弁座１３は、弁室１２の底部に形成されており、下面１１ａに対して平行に形成されている。
　弁本体１１の上部には、ホルダ４１が溶接により固定されている。弁本体１１とホルダ４１との溶接部４１ａにより、弁本体１１とホルダ４１との間が密封されている。ホルダ４１は、円筒状に形成されている。ホルダ４１の内部には、円柱状のステム４２が挿通されている。ステム４２は、ホルダ４１の内周面により摺動可能に支持されている。ステム４２の下部には、弁体保持部４２ａが設けられている。弁体保持部４２ａにより、弁体４５が保持されている。弁体４５は、耐薬品を有するフッ素樹脂等により、円板状に形成されている。なお、弁体４５を弾性体等により形成することもできる。弁体４５は、第２流路３１及び弁座１３に対向している。弁体４５において弁座１３に対向する部分には、環状の凸部が形成されている。
　ホルダ４１の上部には、圧縮ばね４３が保持されている。圧縮ばね４３の一端は、ホルダ４１の上部に支持されており、他端はステム４２に取り付けられたばね押さえ４３ａにより支持されている。こうした構成により、圧縮ばね４３は、ステム４２を弁座１３から離間させる方向へ付勢する。ステム４２の円柱部４２ｂ及びホルダ４１の円筒部４１ｂの外周は、ベローズ４８により覆われている。ベローズ４８の一端はホルダ４１の円筒部４１ｂの上部に接続されており、ベローズ４８の他端はステム４２の円柱部４２ｂの下部、詳しくは弁体保持部４２ａに接続されている。ベローズ４８は、ステム４２の円柱部４２ｂ及びホルダ４１の円筒部４１ｂと、弁室１２とを遮断している。
　上記構成において、アクチュエータ部によりステム４２へ駆動力が作用させられる。この駆動力と圧縮ばね４３の付勢力により、ステム４２は弁座１３の方向へ往復動させられる。これにより、弁体４５が弁座１３に対して当接及び離間する。弁体４５が弁座１３に当接すると、第２流路３１と弁室１２とが遮断され、ひいては第２流路３１と第１流路２１とが遮断される。一方、弁体４５が弁座１３から離間すると、第２流路３１と弁室１２とが連通され、ひいては弁室１２を介して第２流路３１と第１流路２１とが連通される。
　第１流路２１及び第２流路３１は、一方が流体の流入流路となり、他方が流体の流出流路となる。第１流路２１及び第２流路３１のいずれを流体の流入流路としてもよい。また、流体は、気体でもよいし、液体でもよい。気体としては、反応ガスや、窒素、空気等を採用することができる。液体としては、薬液、水、油等を採用することができる。そして、第１流路２１と第２流路３１とが連通された場合に、流入流路となる一方から流体が弁室１２へ流入し、弁室１２を介して流出流路となる他方から流体が流出する。第１流路２１と第２流路３１とが遮断された場合に、流体の流通が停止される。
　本実施形態の小型流体制御弁の流路構造では、弁本体１１には、横幅方向の端面１１ｃから弁室１２まで貫通する貫通孔５１が形成されている。貫通孔５１は、端面１１ｃから弁室１２を介して第１流路２１まで貫通している。貫通孔５１の断面は円形となっている。貫通孔５１は、第１流路２１（第１接続流路）の上端部に接続されている。すなわち、第１流路２１の上端部では、第１流路２１、弁室１２、及び貫通孔５１が互いに接続されている。貫通孔５１の径は第１流路２１の径よりも大きくなっており、貫通孔５１の断面積は第１流路２１の断面積よりも大きくなっている。
　貫通孔５１の端面１１ｃでの開口５１ｃは、蓋５５（閉塞部材、第２閉塞部材）により閉塞されている。詳しくは、開口５１ｃに蓋５５を溶接することにより、開口５１ｃが蓋５５により閉塞されている。なお、開口５１ｃに接着剤等により蓋５５を接着することにより、開口５１ｃを蓋５５により閉塞することもできる。蓋５５は、貫通孔５１の断面形状と相似形の板材、すなわち円形の板材により形成されている。蓋５５は、端面１１ｃに取り付けられている。
　貫通孔５１は、弁本体１１を端面１１ｃから横幅方向に切削することにより形成される。弁室１２に貫通する位置まで弁本体１１を切削した後、さらに第１流路２１に貫通する位置まで弁本体１１を切削することで、貫通孔５１が形成される。その後、貫通孔５１の開口５１ｃが蓋５５により閉塞される。なお、弁室１２と貫通孔５１とは、どちらが先に弁本体１１に形成されていてもよい。
　以上詳述した本実施形態は、以下の利点を有する。
　・弁本体１１には、横幅方向の端面１１ｃから弁室１２まで貫通する貫通孔５１が形成されており、貫通孔５１の端面１１ｃでの開口５１ｃを閉塞する蓋５５を備えている。このため、貫通孔５１により弁室１２内の空間を拡大することができ、弁室１２内において流体を流通させ易くすることができる。しかも、弁本体１１において横幅の方向の端面１１ｃから切削して貫通孔５１を形成し、貫通孔５１の端面１１ｃでの開口５１ｃを蓋５５により閉塞することで、弁室１２を自由な形状や寸法に容易に拡大することができる。
　・弁室１２においてベローズ４８の周囲の空間を、貫通孔５１により拡大することができる。このため、ベローズ４８の周囲に流体を流通させ易くすることができる。
　・貫通孔５１は、弁本体１１の横幅の方向の端面１１ｃから弁室１２まで貫通しており、且つ弁室１２を介して第１流路２１まで貫通している。このため、第１流路２１と弁室１２との接続部の流路面積を、貫通孔５１により拡大することができる。
　・貫通孔５１の径は第１流路２１の径よりも大きくなっており、貫通孔５１の断面積は第１流路２１の断面積よりも大きくなっている。このため、第１流路２１と弁室１２との接続部の流路面積を、容易に拡大することができる。
　（第２実施形態）
　以下、第２実施形態について、第１実施形態との相違点を中心に説明する。図４は本実施形態に係る流体制御弁の弁部１０を示す断面図であり、図５は図４の弁部１０のうち弁本体１１１を示す上面図である。第１実施形態と同一の部材については、同一の符号を付すことにより、その説明を省略する。
　弁本体１１１の概略形状は、第１実施形態の弁本体１１と同様であるが、横幅方向の端面１１１ｃが曲面状に形成されている。本実施形態の小型流体制御弁の流路構造では、弁本体１１１には、第１実施形態の貫通孔５１に代えて、貫通孔１５１が形成されている。そして、第１実施形態の蓋５５に代えて、蓋１５５が設けられている。その他の構成は、基本的に第１実施形態と同一である。
　弁本体１１１には、弁本体１１１の縦幅方向の第１端面１１１ｄから弁室１２まで貫通する貫通孔１５１が形成されている。貫通孔１５１は、第１端面１１１ｄから弁室１２を介して第２端面１１１ｅまで貫通している。貫通孔１５１の断面は円形となっている。貫通孔１５１は、第１流路２１（第１接続流路）の上端部に接続されている。すなわち、第１流路２１の上端部では、第１流路２１、弁室１２、及び貫通孔１５１が互いに接続されている。貫通孔１５１の径は第１流路２１及び弁室１２の径よりも大きくなっており、貫通孔１５１の断面積は第１流路２１及び弁室１２の断面積よりも大きくなっている。
　貫通孔１５１の第１端面１１１ｄ及び第２端面１１１ｅでのそれぞれの開口１５１ｃは、蓋１５５（閉塞部材、第２閉塞部材）によりそれぞれ閉塞されている。蓋１５５は、貫通孔１５１の断面形状と相似形の板材、すなわち円形の板材により形成されている。蓋１５５は、第１端面１１１ｄ及び第２端面１１１ｅにそれぞれ取り付けられている。
　貫通孔１５１は、弁本体１１１を第１端面１１１ｄから縦幅方向に切削することにより形成される。弁室１２に貫通する位置まで弁本体１１１を切削した後、さらに第２端面１１１ｅに貫通する位置まで弁本体１１１を切削することで、貫通孔１５１が形成される。その後、貫通孔１５１の開口１５１ｃが蓋１５５により閉塞される。なお、弁室１２と貫通孔１５１とは、どちらが先に弁本体１１１に形成されていてもよい。
　以上詳述した本実施形態は、以下の利点を有する。ここでは、第１実施形態と相違する利点のみを述べる。
　・弁本体１１１には、縦幅方向の第１端面１１１ｄから弁室１２まで貫通する貫通孔１５１が形成されており、貫通孔１５１の第１端面１１１ｄでの開口１５１ｃを閉塞する蓋１５５を備えている。このため、貫通孔１５１により弁室１２内の空間を拡大することができ、弁室１２内において流体を流通させ易くすることができる。しかも、弁本体１１１において縦幅の方向の第１端面１１１ｄから切削して貫通孔１５１を形成し、貫通孔１５１の第１端面１１１ｄでの開口１５１ｃを蓋１５５により閉塞することで、弁室１２を自由な形状や寸法に容易に拡大することができる。
　・貫通孔１５１は、弁本体１１１の縦幅方向の第１端面１１１ｄから弁室１２まで貫通しており、且つ第１流路２１に接続されている。このため、第１流路２１と弁室１２との接続部の流路面積を、貫通孔１５１により拡大することができる。
　・貫通孔１５１は、弁本体１１１の縦幅方向の第１端面１１１ｄから弁室１２を介して第２端面１１１ｅまで貫通している。そして、貫通孔１５１の第１端面１１１ｄ及び第２端面１１１ｅでの開口が、それぞれ蓋１５５により閉塞されている。このため、弁本体１１１において縦幅方向の一方の端面から他方の端面まで切削することで、貫通孔１５１を容易に形成することができるとともに、両端面１１１ｄ，１１１ｅ付近において弁室１２を拡大することができる。
　・貫通孔５１の径は第１流路２１及び弁室１２の径よりも大きくなっており、貫通孔５１の断面積は第１流路２１及び弁室１２の断面積よりも大きくなっている。このため、第１流路２１と弁室１２との接続部の流路面積、及び弁室１２の流路面積を、容易に拡大することができる。
　（第３実施形態）
　以下、第３実施形態について、第１実施形態との相違点を中心に説明する。図６は本実施形態に係る流体制御弁の弁部１０を示す断面図であり、図７は図６の弁部１０のうち弁本体２１１を示す上面図である。第１実施形態と同一の部材については、同一の符号を付すことにより、その説明を省略する。
　弁本体２１１の概略形状は、第１実施形態の弁本体１１と同様であるが、横幅方向の端面１１１ｃが曲面状に形成されている。本実施形態の小型流体制御弁の流路構造では、弁本体２１１には、第１実施形態の貫通孔５１に代えて、貫通孔２５１が形成されている。換言すれば、第２実施形態の貫通孔１５１に代えて、貫通孔２５１形成されている。そして、第１実施形態の蓋５５に代えて、蓋２５５が設けられている。換言すれば、第２実施形態の蓋１５５に代えて、蓋２５５が設けられている。その他の構成は、基本的に第１実施形態と同一である。
　弁本体２１１には、弁本体２１１の縦幅方向の端面２１１ｄから弁室１２まで貫通する貫通孔２５１が形成されている。貫通孔２５１の断面は長円形となっている。貫通孔２５１は、弁本体２１１の高さ方向において弁座１３の位置を含む範囲に形成されている。貫通孔２５１は、弁本体２１１の横幅方向において弁室１２及び弁座１３と同じ位置に形成されている。貫通孔２５１の長径は弁室１２の径と略等しくなっている。
　貫通孔２５１の端面２１１ｄでの開口２５１ｃは、蓋２５５（閉塞部材、第２閉塞部材）により閉塞されている。蓋２５５は、貫通孔２５１の断面形状と相似形の板材、すなわち長円形の板材により形成されている。蓋２５５は、端面２１１ｄに取り付けられている。
　貫通孔２５１は、弁本体２１１を端面２１１ｄから縦幅方向に切削することにより形成される。弁室１２に貫通する位置まで弁本体２１１を切削することで、貫通孔２５１が形成される。その後、貫通孔２５１の開口２５１ｃが蓋２５５により閉塞される。なお、弁室１２と貫通孔２５１とは、どちらが先に弁本体２１１に形成されていてもよい。
　以上詳述した本実施形態は、以下の利点を有する。ここでは、上述した各実施形態と相違する利点のみを述べる。
　・貫通孔２５１は、弁本体２１１の高さ方向において弁座１３の位置を含む範囲に形成されているため、弁室１２において弁座１３の周囲の空間を拡大することができる。このため、弁座１３の周囲に流体を流通させ易くなり、ひいては弁座１３の内側で開口する第２流路３１と弁室１２とで流体を流通させ易くなる。
　（第４実施形態）
　以下、第４実施形態について、第１実施形態との相違点を中心に説明する。図８は本実施形態に係る流体制御弁の弁部１０を示す断面図であり、図９は図８の弁部１０のうち弁本体３１１を示す上面図である。第１実施形態と同一の部材については、同一の符号を付すことにより、その説明を省略する。
　弁本体３１１の概略形状は、第１実施形態の弁本体１１と同様であるが、横幅方向の端面１１１ｃが曲面状に形成されている。本実施形態の小型流体制御弁の流路構造では、弁本体３１１には、第１実施形態の貫通孔５１に代えて、貫通孔３５１が形成されている。換言すれば、第３実施形態の貫通孔２５１に代えて、貫通孔３５１形成されている。そして、第１実施形態の蓋５５に代えて、蓋３５５が設けられている。換言すれば、第３実施形態の蓋２５５に代えて、蓋３５５が設けられている。その他の構成は、基本的に第１実施形態と同一である。
　弁本体３１１には、弁本体３１１の縦幅方向の端面３１１ｄから弁室１２まで貫通する貫通孔３５１が形成されている。貫通孔３５１の断面は円形となっている。貫通孔３５１は、弁本体３１１の高さ方向において弁座１３の位置を含む範囲に形成されている。弁本体３１１の横幅方向において、貫通孔３５１は、弁室１２及び弁座１３の第１流路２１と反対側の位置に形成されている。すなわち、第１流路２１と貫通孔３５１とは、ベローズ４８及び弁室１２を挟んで対向している。
　貫通孔３５１の端面３１１ｄでの開口３５１ｃは、蓋３５５（閉塞部材、第２閉塞部材）により閉塞されている。蓋３５５は、貫通孔３５１の断面形状と相似形の板材、すなわち円形の板材により形成されている。蓋３５５は、端面３１１ｄに取り付けられている。
　貫通孔３５１は、弁本体３１１を端面３１１ｄから縦幅方向に切削することにより形成される。弁室１２及び弁座１３の一部に貫通する位置まで弁本体３１１を切削することで、貫通孔３５１が形成される。その後、貫通孔３５１の開口３５１ｃが蓋３５５により閉塞される。なお、弁室１２と貫通孔３５１とは、どちらが先に弁本体３１１に形成されていてもよい。
　以上詳述した本実施形態は、以下の利点を有する。ここでは、上述した各実施形態と相違する利点のみを述べる。
　・第１流路２１と貫通孔３５１とは、ベローズ４８及び弁室１２を挟んで対向している。このため、第１流路２１が流入流路となる場合に、ベローズ４８を挟んで第１流路２１と反対側の流体が流通しにくい部分の空間を拡大することができる。したがって、弁座１３の周囲において第１流路２１と反対側の部分に流体を流通させ易くなり、ひいては弁座１３の内側で開口する第２流路３１と弁室１２とで流体を流通させ易くなる。
　（第５実施形態）
　以下、第５実施形態について、第１実施形態との相違点を中心に説明する。図１０は本実施形態に係る流体制御弁の弁本体４１１を示す正面図であり、図１１は図１０の１１－１１線断面図であり、図１２は図１１の１２－１２線断面図であり、図１３は図１０の弁本体４１１の背面図である。第１実施形態と同一の部材については、同一の符号を付すことにより、その説明を省略する。
　弁本体４１１の概略形状は、第１実施形態の弁本体１１と同様である。本実施形態の小型流体制御弁の流路構造では、弁本体４１１には、第１実施形態の貫通孔５１が形成されておらず、第１実施形態の第１流路２１及び第２流路３１の構成が変更されている。その他の構成は、基本的に第１実施形態と同一である。
　弁本体４１１の内部には、弁本体４１１の下面１１ａでそれぞれ開口する第１垂直流路１２３（第１流路）及び第２垂直流路１３３（第２流路）が形成されている。第１垂直流路１２３及び第２垂直流路１３３は、第１環状凹部２２及び第２環状凹部３２からそれぞれ下面１１ａに垂直な方向へ延びている。第１垂直流路１２３と第２垂直流路１３３とは、弁本体４１１の横幅方向に並んで形成されている。第１垂直流路１２３の下面１１ａでの開口１２１ａと、第２垂直流路１３３の下面１１ａでの開口１３１ａとは、弁本体４１１の横幅方向に並んで形成されている。下面１１ａにおいて、第１垂直流路１２３の開口１２１ａの周囲には、環状の第１環状凹部２２が形成されている。下面１１ａにおいて、第２垂直流路１３３の開口１３１ａの周囲には環状の第２環状凹部３２が形成されている。
　第１垂直流路１２３及び第２垂直流路１３３は、それぞれ第１接続流路及び第２接続流路により弁室１２に接続されている。
　第１接続流路は、第１溝状凹部１２６と蓋１２９（第１閉塞部材）とで形成された第１端面流路を含んでいる。第１溝状凹部１２６は、溝状の凹部であり、弁本体４１１において縦幅の方向の第１端面４１１ｄに開口している。第１溝状凹部１２６（第１端面流路）における弁本体４１１の高さ方向の長さは、第１溝状凹部１２６における弁本体４１１の横幅方向の長さよりも長くなっている。第１溝状凹部１２６は、弁本体４１１において縦幅方向（水平方向）に延びる第１水平流路１２４により第１垂直流路１２３に接続されている。第１溝状凹部１２６は、弁室１２で開口している。第１溝状凹部１２６は、弁室１２の底部から中間部にわたって、弁室１２の外周縁部に接続されている。
　第１溝状凹部１２６の第１端面４１１ｄでの開口１２６ａは、蓋１２９により閉塞されている。詳しくは、開口１２６ａに蓋１２９を溶接することにより、開口１２６ａが蓋１２９により閉塞されている。蓋１２９は、第１溝状凹部１２６の開口１２６ａの形状と相似形の板材、すなわち長円形の板材により形成されている。蓋１２９は、第１端面４１１ｄに取り付けられている。
　第１溝状凹部１２６は、弁本体４１１を第１端面４１１ｄから縦幅方向に切削することにより形成される。第１溝状凹部１２６を形成した後、第１水平流路１２４が弁本体４１１を縦幅方向に切削することにより形成される。その後、第１溝状凹部１２６の開口１２６ａが蓋１２９により閉塞される。なお、弁室１２、第１垂直流路１２３、第１溝状凹部１２６、及び第１水平流路１２４は、いずれが先に弁本体４１１に形成されていてもよい。
　第２接続流路は、第２溝状凹部１３６と蓋１３９（第１閉塞部材）とで形成された第２端面流路を含んでいる。第２溝状凹部１３６は、溝状の凹部であり、弁本体４１１において縦幅の方向の第２端面４１１ｅに開口している。第２溝状凹部１３６（第２端面流路）における弁本体４１１の横幅方向の長さは、第２溝状凹部１３６における弁本体４１１の高さ方向の長さよりも長くなっている。第２溝状凹部１３６は、弁本体４１１において縦幅方向（水平方向）に延びる第２水平流路１３４により第２垂直流路１３３に接続されている。第２溝状凹部１３６は、弁本体４１１において縦幅方向（水平方向）に延びる第３水平流路１３７に接続されている。第３水平流路１３７は、下面１１ａに垂直な方向へ延びて弁室１２に開口する第３垂直流路１３８に接続されている。第３垂直流路１３８は、弁室１２の底部で開口している。弁本体４１１において、第３垂直流路１３８の弁室１２での開口の周囲には環状の弁座１３が形成されている。
　第２溝状凹部１３６の第２端面４１１ｅでの開口１３６ａは、蓋１３９により閉塞されている。蓋１３９は、第２溝状凹部１３６の開口１３６ａの形状と相似形の板材、すなわち長円形の板材により形成されている。蓋１３９は、第２端面４１１ｅに取り付けられている。
　第２溝状凹部１３６は、弁本体４１１を第２端面４１１ｅから縦幅方向に切削することにより形成される。第２溝状凹部１３６を形成した後、第２水平流路１３４及び第３水平流路１３７が弁本体４１１を縦幅方向に切削することにより形成される。また、弁本体４１１を高さ方向に切削することにより、第３垂直流路１３８が形成される。その後、第２溝状凹部１３６の開口１３６ａが蓋１３９により閉塞される。なお、第２溝状凹部１３６、第２水平流路１３４、第３水平流路１３７、及び第３垂直流路１３８は、いずれが先に弁本体４１１に形成されていてもよい。
　なお、第１垂直流路１２３、第１水平流路１２４、及び第１端面流路（第１溝状凹部１２６及び蓋１２９）により、第１流路が構成されている。第１水平流路１２４、及び第１端面流路により、第１接続流路が構成されている。また、第２垂直流路１３３、第２水平流路１３４、第２端面流路（第２溝状凹部１３６及び蓋１３９）、第３水平流路１３７、及び第３垂直流路１３８により、第２流路が構成されている。第２水平流路１３４、第２端面流路、第３水平流路１３７、及び第３垂直流路１３８により、第２接続流路が構成されている。
　以上詳述した本実施形態は、以下の利点を有する。ここでは、第１実施形態と相違する利点のみを述べる。
　・第１流路は、第１環状凹部２２から弁本体４１１の下面１１ａに垂直な方向へ延びる第１垂直流路１２３を含み、第２流路は、第２環状凹部３２から弁本体４１１の下面１１ａに垂直な方向へ延びる第２垂直流路１３３を含んでいる。このため、環状凹部２２，３２に対して第１流路及び第２流路をそれぞれ垂直に接続することができ、環状凹部２２，３２と第１流路及び第２流路とがそれぞれ干渉することを抑制することができる。したがって、環状凹部２２，３２に対して第１流路及び第２流路を斜めに接続する構造と比較して、環状凹部２２，２３と第１流路及び第２流路とのそれぞれの接続部の流路面積を大きくすることができる。
　・環状凹部２２，３２に対して第１流路及び第２流路をそれぞれ垂直に接続するためには、第１接続流路及び第２接続流路の一方、例えば第１接続流路の形状や寸法が制限されるおそれがある。この点、第１接続流路は、弁本体４１１において縦幅の方向の第１端面４１１ｄに開口する溝状の第１溝状凹部１２６と第１溝状凹部１２６の開口１２６ａを閉塞する蓋１２９とで形成された第１端面流路、を含んでいる。第１端面流路は、弁本体４１１において縦幅の方向の第１端面４１１ｄを溝状に切削して第１溝状凹部１２６を形成し、第１溝状凹部１２６の開口１２６ａを蓋１２９により閉塞することで、自由な形状や寸法に容易に形成することができる。したがって、環状凹部２２，３２に対して第１流路及び第２流路をそれぞれ垂直に接続する構造であっても、第１端面流路を形成することにより第１接続流路の流路面積を確保することができる。その結果、小型流体制御弁において、最大流量が制限されることを抑制することができる。
　・第２接続流路は、弁本体４１１において縦幅の方向の第２端面に開口する溝状の第２溝状凹部１３６と第２溝状凹部１３６の開口１３６ａを閉塞する蓋１３９とで形成された第２端面流路、を含んでいる。このため、第２接続流路の流路面積を確保することが容易となり、第１流路及び第２流路を配置する自由度を向上させることができる。
　・第１端面流路における弁本体４１１の高さ方向の長さは、第１端面流路における弁本体４１１の横幅方向の長さよりも長くなっている。このため、第１接続流路の流路面積を確保しつつ、弁本体４１１の高さ方向に第１接続流路を延ばすことができ、第１接続流路の配置を容易化することができる。
　・第１端面流路は弁室１２で開口しているため、第１接続流路を弁室１２に容易に接続することができるとともに、第１接続流路と弁室１２との接続部の流路面積を容易に確保することができる。
　（第６実施形態）
　以下、第６実施形態について、第５実施形態との相違点を中心に説明する。図１４は本実施形態に係る流体制御弁の弁本体５１１を示す正面図であり、図１５は図１４の１５－１５線断面図であり、図１６は図１５の１６－１６線断面図である。第１実施形態及び第５実施形態と同一の部材については、同一の符号を付すことにより、その説明を省略する。
　本実施形態の小型流体制御弁の流路構造では、弁本体５１１には、第１流路が２つ形成されており、第５実施形態の第１流路及び第２流路の構成が変更されている。その他の構成は、基本的に第５実施形態と同一である。
　弁本体５１１の内部には、弁本体５１１の下面１１ａでそれぞれ開口する２つの第１垂直流路２２３（第１流路）及び第２流路２３１が形成されている。第１垂直流路２２３及び第２流路２３１は、第１環状凹部２２及び第２環状凹部３２からそれぞれ下面１１ａに垂直な方向へ延びている。２つの第１垂直流路２２３と第２流路２３１とは、弁本体５１１の横幅方向に並んで形成されている。２つの第１垂直流路２２３の下面１１ａでの開口２２１ａと、第２流路２３１の下面１１ａでの開口２３１ａとは、弁本体５１１の横幅方向に並んで形成されている。下面１１ａにおいて、２つの第１垂直流路２２３の開口２２１ａの周囲には、環状の第１環状凹部２２がそれぞれ形成されている。下面１１ａにおいて、第２流路２３１の開口２３１ａの周囲には環状の第２環状凹部３２が形成されている。
　２つの第１垂直流路２２３は、それぞれ第１接続流路により弁室１２に接続されている。第１接続流路は、第１溝状凹部２２６と蓋２２９（第１閉塞部材）とで形成された第１端面流路を含んでいる。第１溝状凹部２２６は、溝状の凹部であり、弁本体５１１において縦幅の方向の第１端面５１１ｄに開口している。第１溝状凹部２２６（第１端面流路）における弁本体５１１の高さ方向の長さは、第１溝状凹部２２６における弁本体５１１の横幅方向の長さよりも長くなっている。第１溝状凹部２２６は、弁本体５１１において縦幅方向（水平方向）に延びる第１水平流路２２４により第１垂直流路２２３に接続されている。第１溝状凹部２２６は、弁本体５１１において弁室１２の方向（水平方向）に延びる第４水平流路２２７により弁室１２に接続されている。
　第２流路２３１（第２接続流路）は、弁室１２の底部で開口している。弁本体５１１において、第２流路２３１の弁室１２での開口の周囲には環状の弁座１３が形成されている。
　なお、第１垂直流路２２３、第１水平流路２２４、第１端面流路（第１溝状凹部２２６及び蓋２２９）、及び第４水平流路２２７により、第１流路が構成されている。第１水平流路２２４、第１端面流路、及び第４水平流路２２７により、第１接続流路が構成されている。また、２つの第１流路のうちの一方を、第２流路と捉えることもできる。
　以上詳述した本実施形態は、以下の利点を有する。ここでは、上述した各実施形態と相違する利点のみを述べる。
　・第１流路が２つ形成されているため、２つの第１流路と１つの第２流路２３１とを備える３ポートの流体制御弁を製造することができる。そして、３つの流路において、それぞれ流路面積を確保することができる。
　（第７実施形態）
　以下、第７実施形態について、第５実施形態との相違点を中心に説明する。図１７は本実施形態に係る流体制御弁の弁本体６１１を示す正面図であり、図１８は図１７の１８－１８線断面図であり、図１９は図１８の１９－１９線断面図であり、図２０は図１７の弁本体６１１の背面図である。第１実施形態及び第５実施形態と同一の部材については、同一の符号を付すことにより、その説明を省略する。
　本実施形態の小型流体制御弁の流路構造では、弁本体６１１には、２つの弁室１２（第１弁室、第２弁室）と２つの第２流路とが形成されており、第５実施形態の第１流路の構成が変更されている。その他の構成は、基本的に第５実施形態と同一である。
　弁本体６１１の内部には、弁本体６１１の下面１１ａでそれぞれ開口する第１垂直流路３２３（第１流路）及び２つの第２垂直流路３３３（第２流路）が形成されている。第１垂直流路３２３及び第２垂直流路３３３は、第１環状凹部２２及び第２環状凹部３２からそれぞれ下面１１ａに垂直な方向へ延びている。第１垂直流路３２３と２つの第２垂直流路３３３とは、弁本体６１１の横幅方向に並んで形成されている。第１垂直流路３２３の下面１１ａでの開口３２１ａと、２つの第２垂直流路３３３の下面１１ａでの開口３３１ａとは、弁本体６１１の横幅方向に並んで形成されている。下面１１ａにおいて、第１垂直流路３２３の開口３２１ａの周囲には、環状の第１環状凹部２２が形成されている。下面１１ａにおいて、２つの第２垂直流路３３３の開口３３１ａの周囲にはそれぞれ環状の第２環状凹部３２が形成されている。
　第１垂直流路３２３及び第２垂直流路３３３は、それぞれ第１接続流路及び第２接続流路により弁室１２に接続されている。
　第１接続流路は、第１溝状凹部３２６と蓋３２９（第１閉塞部材）とで形成された第１端面流路を含んでいる。第１溝状凹部３２６は、溝状の凹部であり、弁本体６１１において縦幅の方向の第２端面６１１ｅに開口している。第１溝状凹部３２６（第１端面流路）における弁本体６１１の横幅方向の長さは、第１溝状凹部３２６における弁本体６１１の高さ方向の長さよりも長くなっている。第１溝状凹部３２６は、弁本体６１１の横幅方向において２つの弁室１２のそれぞれの弁座１３と同じ位置まで延びている。
　弁本体６１１の横幅方向において第１溝状凹部３２６の中央部は、弁本体６１１において縦幅方向（水平方向）に延びる第１水平流路３２４により、第１垂直流路３２３に接続されている。第１溝状凹部３２６は、弁本体６１１において縦幅方向（水平方向）に延びる２つの第２水平流路３２７にそれぞれ接続されている。第２水平流路３２７は、下面１１ａに垂直な方向へ延びて２つの弁室１２にそれぞれ開口する第３垂直流路３２８にそれぞれ接続されている。
　第１溝状凹部３２６の第２端面６１１ｅでの開口３２６ａは、蓋３２９により閉塞されている。蓋３２９は、第１溝状凹部３２６の開口３２６ａの形状と相似形の板材、すなわち長円形の板材により形成されている。蓋３２９は、第２端面６１１ｅに取り付けられている。
　第１溝状凹部３２６は、弁本体６１１を第２端面６１１ｅから縦幅方向に切削することにより形成される。第１溝状凹部３２６を形成した後、第１水平流路３２４が弁本体６１１を縦幅方向に切削することにより形成され、第２水平流路３２７が弁本体６１１を縦幅方向に切削することにより形成される。その後、第１溝状凹部３２６の開口３２６ａが蓋１２９により閉塞される。なお、弁室１２、第１垂直流路３２３、第１溝状凹部３２６、第１水平流路３２４、及び第２水平流路３２７は、いずれが先に弁本体６１１に形成されていてもよい。
　第２接続流路は、第５実施形態の第１接続流路と同様に弁本体６１１に形成されている。第２接続流路は、２つの弁室１２に対応してそれぞれ形成されている。
　なお、第１垂直流路３２３、第１水平流路３２４、第１端面流路（第１溝状凹部３２６及び蓋３２９）、及び第２水平流路３２７により、第１流路が構成されている。第１水平流路３２４、第１端面流路、及び第２水平流路３２７により、第１接続流路が構成されている。また、第２垂直流路３３３、第２水平流路３３４、第２端面流路（第２溝状凹部３３６及び蓋３３９）により、第２流路が構成されている。第２水平流路３３４、第２端面流路により、第２接続流路が構成されている。
　以上詳述した本実施形態は、以下の利点を有する。ここでは、上述した各実施形態と相違する利点のみを述べる。
　・弁本体６１１の内部には２つの弁室１２（第１弁室、第２弁室）が形成されており、第１接続流路は、第１垂直流路３２３、及び２つの弁室１２を接続している。このため、２つの弁室１２を備える合流弁や分流弁において、それぞれの流路の流路面積を確保することができる。
　・第２流路が２つ形成されているため、１つの第１流路と２つの第２流路とを備える３ポートの流体制御弁を製造することができる。そして、３つの流路において、それぞれ流路面積を確保することができる。
　・第１端面流路における弁本体６１１の横幅方向の長さは、第１端面流路における弁本体６１１の高さ方向の長さよりも長くなっている。このため、第１接続流路の流路面積を確保しつつ、弁本体６１１の横幅方向に第１接続流路を延ばすことができ、第１接続流路の配置を容易化することができる。
　・第２端面流路は弁室１２で開口しているため、第２接続流路を弁室１２に容易に接続することができるとともに、第２接続流路と弁室１２との接続部の流路面積を容易に確保することができる。
　（第８実施形態）
　以下、第８実施形態について、第６実施形態との相違点を中心に説明する。図２１は本実施形態に係る流体制御弁の弁本体７１１を示す正面図であり、図２２は図２１の２２－２２線断面図であり、図２３は図２２の２３－２３線断面図である。第１実施形態及び第６実施形態と同一の部材については、同一の符号を付すことにより、その説明を省略する。
　本実施形態の小型流体制御弁の流路構造では、弁本体７１１には、２つの弁室１２（第１弁室、第２弁室）と２つの第２流路とが形成されており、第６実施形態の第１流路の構成が２つの弁室１２に対応して変更されている。その他の構成は、基本的に第６実施形態と同一である。
　第１垂直流路４２３は、第１接続流路により２つの弁室１２にそれぞれ接続されている。第１接続流路は、第１溝状凹部４２６と蓋４２９（第１閉塞部材）とで形成された第１端面流路を含んでいる。第１溝状凹部４２６は、溝状の凹部であり、弁本体７１１において縦幅の方向の第１端面７１１ｄに開口している。第１溝状凹部４２６（第１端面流路）における弁本体７１１の高さ方向の長さは、第１溝状凹部４２６における弁本体７１１の横幅方向の長さよりも長くなっている。第１溝状凹部４２６は、弁本体７１１において縦幅方向（水平方向）に延びる第１水平流路４２４により第１垂直流路４２３に接続されている。第１溝状凹部４２６は、弁本体７１１において２つの弁室１２の方向（水平方向）にそれぞれ延びる第４水平流路４２７により２つの弁室１２にそれぞれ接続されている。
　第２流路４３１（第２接続流路）は、弁室１２の底部で開口している。弁本体７１１において、第２流路４３１の弁室１２での開口の周囲には環状の弁座１３が形成されている。
　なお、第１垂直流路４２３、第１水平流路４２４、第１端面流路（第１溝状凹部４２６及び蓋４２９）、及び第４水平流路４２７により、第１流路が構成されている。第１水平流路４２４、第１端面流路、及び第４水平流路４２７により、第１接続流路が構成されている。
　以上詳述した本実施形態は、以下の利点を有する。ここでは、上述した各実施形態と相違する利点のみを述べる。
　・弁本体７１１の内部には２つの弁室１２（第１弁室、第２弁室）が形成されており、第１接続流路は、第１垂直流路４２３、及び２つの弁室１２を接続している。このため、２つの弁室１２を備える合流弁や分流弁において、それぞれの流路の流路面積を確保することができる。
　（第９実施形態）
　以下、第９実施形態について、第１及び第５実施形態との相違点を中心に説明する。図２４は本実施形態に係る流体制御弁の弁本体８１１を示す正面図である。第１及び第５実施形態と同一の部材については、同一の符号を付すことにより、その説明を省略する。
　本実施形態の小型流体制御弁の流路構造は、第５実施形態の流路構造において、第１実施形態の貫通孔５１を形成して蓋５５により貫通孔５１の開口５１ｃを閉塞したものである。したがって、本実施形態は、第１実施形態及び第５実施形態と同様の利点を有する。
　（第１０実施形態）
　以下、第１０実施形態について、第２及び第５実施形態との相違点を中心に説明する。図２５は本実施形態に係る流体制御弁の弁本体９１１を示す正面図である。第２及び第５実施形態と同一の部材については、同一の符号を付すことにより、その説明を省略する。
　本実施形態の小型流体制御弁の流路構造は、第５実施形態の流路構造において、第２実施形態の貫通孔１５１を形成して、貫通孔１５１の開口１５１ｃ及び第１溝状凹部１２６の開口１２６ａを蓋５２９により閉塞したものである。したがって、本実施形態は、第２実施形態及び第５実施形態と同様の利点を有する。
　（第１１実施形態）
　以下、第１１実施形態について、第２及び第７実施形態との相違点を中心に説明する。図２６は本実施形態に係る流体制御弁の弁本体１０１１を示す正面図である。第２及び第７実施形態と同一の部材については、同一の符号を付すことにより、その説明を省略する。
　本実施形態の小型流体制御弁の流路構造は、第７実施形態の流路構造において、第２実施形態の貫通孔１５１を形成して、貫通孔１５１の開口１５１ｃ及び第１溝状凹部３２６の開口３２６ａを蓋５２９により閉塞したものである。したがって、本実施形態は、第２実施形態及び第７実施形態と同様の利点を有する。
　さらに、本実施形態は、以下の利点を有する。ここでは、上述した各実施形態と相違する利点のみを述べる。
　・貫通孔１５１は、弁本体１０１１の縦幅の方向の端面１０１１ｄから弁室１２まで貫通しており、且つ第２接続流路に接続されている。このため、第２接続流路と弁室１２との接続部の流路面積を、貫通孔により拡大することができる。
　（第１２実施形態）
　以下、第１２実施形態について、第３及び第５実施形態との相違点を中心に説明する。図２７は本実施形態に係る流体制御弁の弁本体１１１１を示す正面図である。第３及び第５実施形態と同一の部材については、同一の符号を付すことにより、その説明を省略する。
　本実施形態の小型流体制御弁の流路構造は、第５実施形態の流路構造において、第３実施形態の貫通孔２５１を形成して、貫通孔２５１の開口２５１ｃ及び第１溝状凹部１２６の開口１２６ａを蓋６２９により閉塞したものである。ただし、貫通孔２５１及び第１溝状凹部１２６は、弁本体１１１１の縦幅方向において同じ側の端面１１１１ｄから形成されている。したがって、本実施形態は、第３実施形態及び第５実施形態と同様の利点を有する。
　（第１３実施形態）
　以下、第１３実施形態について、第５実施形態との相違点を中心に説明する。図２８は本実施形態に係る流体制御弁の弁本体１２１１を示す正面図である。第５実施形態と同一の部材については、同一の符号を付すことにより、その説明を省略する。
　本実施形態の小型流体制御弁の流路構造は、第５実施形態の流路構造を、ダイアフラム式の小型流体制御弁に適用したものである。この流体制御弁は、図１のベローズ４８及び弁体４５に代えてダイアフラム１４８を備えている。そして、ダイアフラム１４８よりも下側の空間において弁座１３の周囲が弁室１２となっている。こうした構成によれば、第５実施形態に準じた利点を有する。
　なお、上記各実施形態を以下のように変更して実施することもできる。
　・貫通孔５１が第１接続流路まで貫通しておらず、弁室１２のみに貫通している流路構造を採用することもできる。
　・第１端面流路が、弁本体の下面１１ａに対して垂直に延びる構造に限らず、下面１１ａに対して若干傾いて延びる構造であってもよい。
　１１…弁本体，１１ａ…下面、１１ｃ…端面、１２…弁室、２１…第１流路、２１ａ…開口、２２…第１環状凹部、３１…第２流路、３１ａ…開口、３２…第２環状凹部、５１…貫通孔、５１ｃ…開口、５５…閉塞部材。

Claims (24)

  1. 　弁室が内部に形成された弁本体を備える小型流体制御弁の流路構造であって、
    　上面視において前記弁本体の縦幅は横幅よりも狭くなっており、
    　前記弁本体の内部には、前記弁本体の下面で前記横幅の方向に並んでそれぞれ開口する第１流路及び第２流路が形成されており、
    　前記下面において、前記第１流路の前記開口の周囲には環状の第１環状凹部が形成されており、
    　前記下面において、前記第２流路の前記開口の周囲には環状の第２環状凹部が形成されており、
    　前記第１流路及び前記第２流路は、前記弁室にそれぞれ接続されており、
    　前記弁本体には、前記横幅の方向の端面から前記弁室まで貫通する貫通孔が形成されており、
    　前記貫通孔の前記端面での開口を閉塞する閉塞部材を備える、小型流体制御弁の流路構造。
  2. 　前記弁本体において、前記第２流路の前記弁室での開口の周囲には環状の弁座が形成されており、
    　前記貫通孔は、前記横幅の方向の端面から前記弁室を介して前記第１流路まで貫通している請求項１に記載の小型流体制御弁の流路構造。
  3. 　弁室が内部に形成された弁本体を備える小型流体制御弁の流路構造であって、
    　上面視において前記弁本体の縦幅は横幅よりも狭くなっており、
    　前記弁本体の内部には、前記弁本体の下面で前記横幅の方向に並んでそれぞれ開口する第１流路及び第２流路が形成されており、
    　前記下面において、前記第１流路の前記開口の周囲には環状の第１環状凹部が形成されており、
    　前記下面において、前記第２流路の前記開口の周囲には環状の第２環状凹部が形成されており、
    　前記第１流路及び前記第２流路は、前記弁室にそれぞれ接続されており、
    　前記弁本体には、前記縦幅の方向の端面から前記弁室まで貫通する貫通孔が形成されており、
    　前記貫通孔の前記端面での開口を閉塞する閉塞部材を備える、小型流体制御弁の流路構造。
  4. 　前記弁本体において、前記第２流路の前記弁室での開口の周囲には環状の弁座が形成されており、
    　前記貫通孔は、前記第１流路に接続されている請求項３に記載の小型流体制御弁の流路構造。
  5. 　前記弁本体において、前記第１流路の前記弁室での開口の周囲には環状の弁座が形成されており、
    　前記貫通孔は、前記第２流路に接続されている請求項３に記載の小型流体制御弁の流路構造。
  6. 　前記端面は第１端面であり、
    　前記貫通孔は、前記縦幅の方向の前記第１端面から前記弁室を介して第２端面まで貫通しており、
    　前記貫通孔の前記第２端面での開口を閉塞する閉塞部材を備える請求項３～５のいずれか１項に記載の小型流体制御弁の流路構造。
  7. 　前記貫通孔は、前記弁本体の高さ方向において前記弁座の位置を含む範囲に形成されている請求項２、４、５のいずれか１項に記載の小型流体制御弁の流路構造。
  8. 　前記第１流路は、前記第１環状凹部から前記下面に垂直な方向へ延びる第１垂直流路と、前記第１垂直流路及び前記弁室を接続する第１接続流路とを含み、
    　前記第２流路は、前記第２環状凹部から前記下面に垂直な方向へ延びる第２垂直流路と、前記第２垂直流路及び前記弁室を接続する第２接続流路とを含み、
    　前記第１接続流路は、前記弁本体において前記縦幅の方向の端面に開口する溝状の第１溝状凹部と前記第１溝状凹部の開口を閉塞する閉塞部材とで形成された第１端面流路、を含む、請求項１～７のいずれか１項に記載の小型流体制御弁の流路構造。
  9. 　弁室が内部に形成された弁本体を備える小型流体制御弁の流路構造であって、
    　上面視において前記弁本体の縦幅は横幅よりも狭くなっており、
    　前記弁本体の内部には、前記弁本体の下面で前記横幅の方向に並んでそれぞれ開口する第１流路及び第２流路が形成されており、
    　前記下面において、前記第１流路の前記開口の周囲には環状の第１環状凹部が形成されており、
    　前記下面において、前記第２流路の前記開口の周囲には環状の第２環状凹部が形成されており、
    　前記第１流路は、前記第１環状凹部から前記下面に垂直な方向へ延びる第１垂直流路と、前記第１垂直流路及び前記弁室を接続する第１接続流路とを含み、
    　前記第２流路は、前記第２環状凹部から前記下面に垂直な方向へ延びる第２垂直流路と、前記第２垂直流路及び前記弁室を接続する第２接続流路とを含み、
    　前記第１接続流路は、前記弁本体において前記縦幅の方向の端面に開口する溝状の第１溝状凹部と前記第１溝状凹部の開口を閉塞する第１閉塞部材とで形成された第１端面流路、を含む、小型流体制御弁の流路構造。
  10. 　前記第２接続流路は、前記弁本体において前記縦幅の方向の端面に開口する溝状の第２溝状凹部と前記第２溝状凹部の開口を閉塞する第１閉塞部材とで形成された第２端面流路、を含む請求項９に記載の小型流体制御弁の流路構造。
  11. 　前記弁本体には、前記第１流路が２つ形成されている請求項９又は１０に記載の小型流体制御弁の流路構造。
  12. 　前記弁室は第１弁室であり、
    　前記弁本体の内部には第２弁室が形成されており、
    　前記第１接続流路は、前記第１垂直流路、前記第１弁室、及び前記第２弁室を接続している請求項９又は１０に記載の小型流体制御弁の流路構造。
  13. 　前記弁本体には、前記第２流路が２つ形成されている請求項１２に記載の小型流体制御弁の流路構造。
  14. 　前記第１端面流路における前記弁本体の高さ方向の長さは、前記第１端面流路における前記弁本体の横幅方向の長さよりも長くなっている請求項９～１２のいずれか１項に記載の小型流体制御弁の流路構造。
  15. 　前記弁本体において、前記第２接続流路の前記弁室での開口の周囲には環状の弁座が形成されている請求項９～１２、１４のいずれか１項に記載の小型流体制御弁の流路構造。
  16. 　前記第１端面流路は、前記弁室で開口している請求項９、１４、１５のいずれか１項に記載の小型流体制御弁の流路構造。
  17. 　前記第１端面流路における前記弁本体の横幅方向の長さは、前記第１端面流路における前記弁本体の高さ方向の長さよりも長くなっている請求項９、１０、１２、１３のいずれか１項に記載の小型流体制御弁の流路構造。
  18. 　前記弁本体において、前記第１接続流路の前記弁室での開口の周囲には環状の弁座が形成されている請求項９、１０、１２、１３、１７のいずれか１項に記載の小型流体制御弁の流路構造。
  19. 　前記第２接続流路は、前記弁本体において前記縦幅の方向の端面に開口する溝状の第２溝状凹部と前記第２溝状凹部の開口を閉塞する第１閉塞部材とで形成された第２端面流路、を含み、
    　前記第２端面流路は、前記弁室で開口している請求項９、１０、１２、１３、１７、１８のいずれか１項に記載の小型流体制御弁の流路構造。
  20. 　前記弁本体には、前記縦幅の方向の端面から前記弁室まで貫通する貫通孔が形成されており、
    　前記貫通孔の前記端面での開口を閉塞する第２閉塞部材を備え、
    　前記貫通孔は、前記第１接続流路に接続されている請求項１５又は１６に記載の小型流体制御弁の流路構造。
  21. 　前記弁本体には、前記縦幅の方向の端面から前記弁室まで貫通する貫通孔が形成されており、
    　前記貫通孔の前記端面での開口を閉塞する第２閉塞部材を備え、
    　前記貫通孔は、前記第２接続流路に接続されている請求項１８又は１９に記載の小型流体制御弁の流路構造。
  22. 　前記端面は第１端面であり、
    　前記貫通孔は、前記縦幅の方向の前記第１端面から前記弁室を介して第２端面まで貫通しており、
    　前記貫通孔の前記第２端面での開口を閉塞する第２閉塞部材を備える請求項２０又は２１に記載の小型流体制御弁の流路構造。
  23. 　前記弁本体には、前記横幅の方向の端面から前記弁室を介して前記第１接続流路まで貫通する貫通孔が形成されており、
    　前記貫通孔の前記端面での開口を閉塞する第２閉塞部材を備える請求項１５又は１６に記載の小型流体制御弁の流路構造。
  24. 　前記弁本体には、前記縦幅の方向の端面から前記弁室まで貫通する貫通孔が形成されており、
    　前記貫通孔は、前記弁本体の高さ方向において前記弁座の位置を含む範囲に形成されている請求項１５又は１８に記載の小型流体制御弁の流路構造。
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