WO2016124367A1 - Verfahren und vorrichtung zur überprüfung einer optoelektronischen komponente - Google Patents

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WO2016124367A1
WO2016124367A1 PCT/EP2016/050691 EP2016050691W WO2016124367A1 WO 2016124367 A1 WO2016124367 A1 WO 2016124367A1 EP 2016050691 W EP2016050691 W EP 2016050691W WO 2016124367 A1 WO2016124367 A1 WO 2016124367A1
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coil
optoelectronic component
electromagnetic
connection carrier
resonant circuit
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PCT/EP2016/050691
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Robert Schulz
Anton Vogl
Roland Zeisel
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Ams Osram International GmbH
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Osram Opto Semiconductors GmbH
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Publication date
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
    • G01R31/2607—Circuits therefor
    • G01R31/2632—Circuits therefor for testing diodes
    • G01R31/2635—Testing light-emitting diodes, laser diodes or photodiodes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/282—Testing of electronic circuits specially adapted for particular applications not provided for elsewhere
    • G01R31/2831—Testing of materials or semi-finished products, e.g. semiconductor wafers or substrates

Definitions

  • the invention relates to a method and a device for checking a device arranged on a connection carrier
  • optoelectronic component specified The measurement of electrooptical properties of optoelectronic components is usually carried out according to the prior art by applying a DC voltage to the optoelectronic component.
  • optoelectronic components are present, at least temporarily, in a form in which their connections are short-circuited, that is to say in which there is a negligible ohmic resistance between their terminals. This is especially the case when
  • Optoelectronic components are arranged on a connection carrier, for example during manufacture
  • Leadframe composite mounted, whereby the contacts of the optoelectronic components are short-circuited with respect to DC voltages. These can therefore not be operated with direct current, in order to
  • a galvanization step can no longer be used.
  • a method for measuring at least one arranged on a connection carrier optoelectronic component is known, which is the excitation of at least one electromagnetic resonant circuit which is formed by the at least one optoelectronic component and the connection carrier, so that the at least one optoelectronic component for emitting electromagnetic Radiation is excited, and measuring at least one electro-optical property of at least one optoelectronic component comprising.
  • the exciting of the electromagnetic resonant circuit can be done by inducing an electrical AC voltage in the electromagnetic resonant circuit by generating a time-varying alternating electromagnetic field.
  • the inductive excitation has the advantage that the excitation
  • Electromagnetic alternating field can be generated for example by an inductive element, in particular a coil with one or more windings.
  • Electromagnetic resonant circuit can be induced.
  • optoelectronic component in which a selective excitation of optoelectronic components is improved compared to the prior art.
  • the first method for checking at least one optoelectronic component arranged on a connection carrier comprises
  • Oscillatory circuit which by the at least one
  • the exciting of the electromagnetic includes
  • connection carrier and the two coils can vary using the method, but is preferably kept constant.
  • the two coils can be guided at a constant distance from the connection carrier over regions of different optoelectronic components.
  • the invention is not based on exciting a single electromagnetic resonant circuit with a single one
  • the excited electromagnetic resonant circuit may also comprise two or more optoelectronic components whose
  • electro-optical property can be measured or observed.
  • several electromagnetic waves can be measured or observed.
  • Oscillation circuits each having a single optoelectronic component or a plurality of electromagnetic resonant circuits each having a plurality of optoelectronic components are excited.
  • the electromagnetic resonant circuits can
  • Optoelectronic component (s) also be spaced apart.
  • An optoelectronic component can in this case in particular be an optoelectronic component or an element which is present after execution of further manufacturing steps as an optoelectronic component.
  • Optoelectronic component comprises at least one component which can be excited to emit electromagnetic radiation, in particular due to luminescence or phosphorescence.
  • the two coils are moved relative to the terminal carrier, i. relative to this moves to selectively different on the
  • connection carrier arranged optoelectronic components.
  • the optoelectronic component is a light-emitting diode (LED), a laser diode, a semiconductor diode or a semiconductor chip, or it comprises a light-emitting diode (LED), a laser diode, a semiconductor diode or a semiconductor chip.
  • LED light-emitting diode
  • the optoelectronic component comprises a light-emitting diode (LED), a laser diode, a semiconductor diode or a semiconductor chip.
  • Laser diode is a semiconductor diode which emits laser radiation.
  • the emission of electromagnetic radiation in the optoelectronic component is preferably due to luminescence or phosphorescence.
  • An electromagnetic resonant circuit is a circuit which is inductive and / or capacitive
  • an electromagnetic resonant circuit may comprise both inductive and capacitive elements.
  • the absolute value of the total impedance when excited at a certain frequency becomes minimum.
  • the optoelectronic component comprises a
  • III-V semiconductor materials are for generating radiation in the ultraviolet (Al x In y Ga x - y N) through the visible (Al x In y Ga x - y N, in particular for blue to green radiation, or Al x In y Gai - x - y P, in particular for yellow to red radiation) to the infrared (Al x In y Gai- x - y As) spectral range is particularly suitable.
  • connection carrier is a leadframe composite, in particular a metal frame composite.
  • Connection carrier can be a variety of optoelectronic
  • connection carrier can be any suitable connection carrier.
  • each connecting conductor region in each case an optoelectronic component can be arranged.
  • Connecting conductor area is an area in which connection conductors are formed.
  • connecting conductors can be formed in the connection conductor region, which during a manufacturing process of the
  • At least one electro-optical property of the at least one optoelectronic component is measured.
  • the electro-optical property of the optoelectronic component is the brightness, the color locus or the spectrum of the electromagnetic radiation emitted by the optoelectronic component. Due to the measured electro-optical property can more
  • Properties of the optoelectronic component can be determined. For example, at least one lifetime of at least one type of charge carriers in the
  • the first coil and the second coil are arranged laterally spaced from one another. Under one
  • the lateral direction is in particular a direction perpendicular to an axis of symmetry of the first and / or second coil and in particular to an axis of symmetry of a magnetic field generated by the first and / or second coil
  • a distance between a central axis of the first coil and a central axis of the second coil in the lateral direction is between 1 mm and 10 cm, preferably between 1 cm and 5 cm.
  • the two fall
  • a current flowing through the first coil is proportional to a current flowing through the second coil.
  • the first coil and the second coil are connected to each other in series, so that the current flowing through the first coil is equal to the second coil
  • the first coil and the second coil are respectively flowed through by an alternating current.
  • an alternating voltage is applied to each of the two coils.
  • the AC voltage is a
  • the frequency of the high-frequency voltage is, for example, 1 MHz to 10 GHz, preferably 10 MHz to 1 GHz, and particularly preferably 25 MHz to 500 MHz.
  • the magnetic field is inside the first coil for more than 90 ⁇ 6 of a time period of the one used in the two coils
  • Period i. at any time during the execution of the process, antiparallel directed to a magnetic field inside the second coil.
  • a portion of the alternating electromagnetic field which is in phase opposition to the second coil is thereby generated by the first coil.
  • connection carrier two opposing streams, preferably two streams of the two coils in the connection carrier
  • connection carrier excited the first and second coil in this
  • Embodiment the same number of windings.
  • an electro-optical Property of a single optoelectronic component can be measured or observed without adjacent optoelectronic components, which are arranged for example on the same connection carrier, are also excited to emit electromagnetic radiation.
  • suitable placement of the two coils can be achieved in particular that add the voltages induced by the two coils just so that exactly one optoelectronic component can be made to glow.
  • a magnetic field in the interior of the first coil is directed parallel to a magnetic field in the interior of the second coil.
  • this property may be limited to certain limited time intervals.
  • the magnetic field is inside the first coil for more than 90% of a time period of the alternating current used in the two coils, more preferably throughout
  • Period i. at any time during the execution of the process, directed in parallel to a magnetic field inside the second coil. In this way, preference is given in the first coil in comparison to the second coil
  • Connection carrier two synchronously flowing currents, preferably two currents with the same direction of rotation, induced.
  • This will be an electromagnetic resonant circuit or
  • connection carrier Surface area of the connection carrier with the exception of a central area excited. In the central region, no electromagnetic resonant circuit is excited, or only one which has insufficient current an optoelectronic arranged in the central area
  • the first and second coils may have a different number of windings.
  • Property of several, for example, annularly arranged, optoelectronic components can be measured or observed, while at least one centrally arranged component selectively remains inactive.
  • variable alternating electromagnetic field which is generated by the first coil, and a second portion of the time-varying electromagnetic
  • the voltage induced by one of the two coils may be less than a flux voltage of the optoelectronic component.
  • the first coil and / or the second coil are each in the form of a flat coil
  • the first and / or second coil have concentric windings. Different In terms of manufacturing tolerance, each winding of the corresponding coil then has the same center or center of gravity.
  • the windings of a coil can, for
  • Windings also vary, for example continuously decrease between each adjacent windings.
  • the first coil and / or the second coil are offset relative to one another
  • the corresponding coil comprises n windings, where n is an integer greater than one.
  • the center or center of gravity of each m-th winding, with 1 ⁇ m ⁇ n, is then shifted, for example, with respect to the center or center of gravity of the m-l-th winding in a lateral direction by a distance ⁇ .
  • ⁇ is between 1 mm and 10 mm inclusive.
  • the circumference of each inner winding is smaller than the circumference of each ml-th winding. That is, the circumference of the windings decreases continuously.
  • the circumference of each m-th winding is at most 90% or at most 70% or at most 50% of the circumference of the ml-th winding.
  • the circumference decreases from one winding to the next winding including 2 mm and 20 mm from.
  • the winding density in the one region is at least 3 times or at least 5 times or at least 10 times or at least 20 times as large as in the opposite region. This can be achieved, for example, in that the centers or centers of gravity of the windings are shifted from one another and at the same time the circumference of the windings decreases.
  • both the first coil and the second coil have mutually displaced windings.
  • both the first coil and the second coil each have a region with an increased and a region with a lower winding density.
  • the regions of the first and second coil with higher winding density are preferably facing each other, the regions of lower winding density are preferably facing away from each other. In this way, it can lead to a further reduction of the area in the connection carrier, in which an electromagnetic resonant circuit excited becomes .
  • this comprises
  • Oscillatory circuit which by the at least one
  • the exciting of the electromagnetic includes
  • the flat coil typically has the shape of an Archimedean spiral, at least in some areas.
  • the flat coil preferably has at least two windings, in particular
  • the flat coil may, for example, have an area of more than 1 cm 2 , preferably of more than 10 cm 2 .
  • the flat coil may have a ferrite core.
  • optically electronic components can be inductively excited to emit light, for which the field strengths and densities of coils with a conventional
  • Winding geometry are not sufficient. Likewise, a reduction of the required excitation power can be achieved by the stronger field concentration, in many cases to about 10%.
  • the flat coil may be formed by a wound metal wire. Alternatively, it may be formed by a structured printed circuit board. Flat coils on
  • PCB base are easier to manufacture, can be produced cheaply in smaller quantities and are more customizable to the geometry of the connection carrier, in particular the lead frame composite. Furthermore, the reproducibility is significantly higher than at
  • At least one electro-optical property of the at least one optoelectronic component is measured.
  • the electro-optical property of the optoelectronic component is the brightness, the color locus or the spectrum of the electromagnetic radiation emitted by the optoelectronic component. Due to the measured electro-optical property can more
  • Properties of the optoelectronic component can be determined. For example, at least one lifetime of at least one type of charge carriers in the
  • the invention further relates to a method for optimizing an optoelectronic component.
  • the method comprises carrying out one of the two methods according to the invention for checking an optoelectronic component, comparing the at least one measured electro-optical property of
  • the modifying may include adjusting the electro-optic property to the desired value.
  • the method can be sorted optoelectronic components based on the measured
  • electro-optical property include.
  • the method may further adapt a manufacturing step based on the comparison of
  • the manufacturing step may in particular be the application of a conversion material to an LED, in particular white light-generating LEDs.
  • the LED may, for example, a housing, a blue semiconductor chip, a conversion material and optionally further
  • Potting materials include.
  • optoelectronic component preferably the color locus of the emitted from the optoelectronic component
  • the color locus can be determined by the method according to the invention
  • the optoelectronic component can be provided, for example, with a housing or an optical element. If a plurality of optoelectronic components are arranged on the connection carrier, then the composite of connection carrier and optoelectronic can subsequently
  • connection carrier is divided into a plurality of connection carrier, so that the finished optoelectronic components each have a connection carrier.
  • the invention further relates to a device for
  • the device comprises a connection carrier, on which at least one optoelectronic component is arranged, and means for exciting an electromagnetic resonant circuit, which comprises the connection carrier and the at least one optoelectronic component.
  • the means comprise a flat coil or a first coil and a second coil.
  • the device also comprises a
  • Measuring device which is designed to measure at least one electro-optical property of the optoelectronic component.
  • FIG. 1 shows a plan view of a first exemplary embodiment of a connection carrier to which a method for checking an optoelectronic component is applicable
  • FIG. 2 shows a plan view of a second exemplary embodiment of a connection carrier to which a method for checking an optoelectronic component is applicable
  • FIG. 3 shows a first embodiment of a method for checking an optoelectronic component
  • FIGS. 4 and 6 show the portions of a magnetic field generated by two coils
  • FIGS. 7 and 8 each show a flat coil for use in a further embodiment of a method for checking an optoelectronic component
  • Time is directed into the plane of the drawing.
  • the magnetic fields used herein are variable with time, and a magnetic field directed into the plane of the drawing at a certain time may be directed out of the plane of the drawing at another time. Only the relevant magnetic field lines are shown.
  • FIG. 1 shows a plan view of a first exemplary embodiment of a total designated 100
  • Terminal carrier to which a method for checking an opoelectronic component is applicable.
  • Connection carrier 100 for example, a
  • connection carrier 100 comprises three connecting conductor regions 12, which are in regular
  • Connecting conductor regions 12 comprises a central region 14 and first to fourth connecting conductors 16, 18, 20, 22, which each have the same width, wherein in each case the first connecting conductor 16 and the second connecting conductor 18 are arranged on a first side of the central region 14 and the third terminal conductor 20 and the fourth terminal conductor 22 are disposed on a second side of the central area 14 opposite the first side. Between the first and second connection conductors 16, 18 on the first side of the central region 14 there is in each case a first intermediate space 24, and between the third and fourth connection conductors 20, 22 on the second side of the middle region 14 there is a second one in each case
  • Gap 28 separated from the central region 14; the first to third connection conductors 16, 18, 20 each directly adjoin the central region 14.
  • the connecting conductor regions 12 are separated from each other by four intermediate spaces 30.
  • the width of the third spaces 28 is less than the width of the first and second spaces 24, 26, and the width of the first and second spaces 24, 26 is less than the width of the fourth spaces 30.
  • the terminal support 100 further includes a first bridging area 32 and a second bridging region 34 disposed on opposite sides of the lead portions 12. At each
  • Terminal lead portion 12 the first and second terminal conductors 16, 18 on the first side of the central area 14 are connected to the first bridging area 32, respectively, and the third and fourth terminal conductors 20, 22 on the second side of the middle area 14 are connected to the second bridging area 34 connected.
  • the first and second bridging regions 32, 34 thus form a conductive one
  • connection conductor areas 12 connection between the connecting conductor areas 12.
  • an optoelectronic component 10 is arranged on the middle region 14 of each connection conductor region 12, one of the connections being in direct electrical contact with the central region 14.
  • the middle region 14 thus acts as a first connection region for the connection of the optoelectronic component.
  • a second connection of the optoelectronic component is in each case connected to the fourth connection conductor via a bonding wire via the third intermediate space.
  • Terminal conductor 22 thus acts as a second
  • connection region for the connection of the optoelectronic component 10.
  • the bonding wire 36, the fourth connection conductor 22, a part of the second bridging region 34, the third connection conductor 20 and a part of the central region 14 form an electromagnetic resonant circuit 38 in that the electromagnetic resonant circuit 38 is rotated around the second
  • Gap 26 is formed around, which is in the
  • time-varying magnetic field 40 may in the
  • electromagnetic resonant circuit 38 an electrical
  • FIG. 1 shows purely by way of example a second one
  • connection carrier 100 which includes two adjacent optoelectronic components 10. This should make it clear that, depending on the geometry of the connection carrier 100 and the optoelectronic arranged thereon
  • the electromagnetic resonant circuit 39 may be formed by a plurality of connection conductors and parts of the bridging regions. Similar to the electromagnetic resonant circuit 38 is in the
  • Resonant circuit 39 used. By one in the second
  • Gap 26 available temporally variable
  • FIG. 2 shows a plan view of a total of 100
  • connection carrier to which the method according to the invention is applicable.
  • connection carrier 100 which is also a lead frame composite, for example made of metal, again optoelectronic components 10 are arranged. in the
  • connection carrier 100 has a different geometry.
  • each of the lead portions 12 includes two leads 16, 18 formed as laterally spaced apart lead frames.
  • the edge region of the connection carrier which may be designed as a frame, for example, is not shown in FIG. However, this can also be part of the resonant circuit, ie it can take place current flow through it.
  • FIG. 3 schematically shows a first embodiment of a method for checking an optoelectronic
  • Connection carrier 100 above or below which a double coil is arranged, which comprises a first coil 42 and a second coil 44.
  • the arrangement of the double coil 42, 44 is shown only schematically.
  • the double coil 42, 44 generates a time-varying electromagnetic
  • Alternating field which induces an alternating electrical voltage in a local area of the connection carrier 100 and thereby excites an electromagnetic resonant circuit.
  • the excitation of the electromagnetic resonant circuit is similar to that already explained in connection with FIG.
  • the first coil 42 and the second coil 44 are laterally spaced from one another, more specifically in a direction parallel to a main plane of extension of the terminal carrier 100 and perpendicular to the central axes or symmetry axes of the two coils 42, 44
  • Central axis of the first coil 42 and the central axis of the second coil 44 in the lateral direction is in this case between 1 mm and 10 cm, preferably between 1 cm and 5 cm.
  • the first coil 42 and the second coil 44 are connected in series with each other and are respectively flowed through by the same alternating current during operation.
  • the first coil 42 and the second coil 44 are each wound around a ferrite core to achieve better magnetic field concentration (not shown).
  • the distance between the central axis of the first coil 42 and the center axis of the second coil 44 is substantially twice the width B of one of
  • Connecting conductor areas 12 This makes it possible to arrange the two coils 42, 44 under two connecting conductor areas 12 such that an interposed therebetween
  • Coils 42, 44 is located.
  • the optoelectronic component arranged therein can thus be selective for emission
  • FIG. 4 schematically shows a second embodiment of a method for checking an optoelectronic
  • Figures 5 and 6 show schematically the two
  • Coils 42, 44 generated portions of the magnetic field 43, 45.
  • the two coils 42, 44 are wound in an opposite direction of rotation, so that the magnetic field 43 in the interior of the first coil 42 is always anti-parallel to the magnetic field 45 in
  • Figure 7 shows schematically a flat coil 52 for use in a third embodiment of a method for
  • Flat coil 52 is formed by a wound metal wire, has the shape of an Archimedean spiral and in the present case has four windings. By a higher number of windings can be done even better field bundling. Alternatively or additionally, an enlargement of the generated field strength can also be achieved by the arrangement of a ferrite core 54 in the center of the flat coil 52 (see FIG. 8).
  • FIGS. 9 to 11 show embodiments in which the flat coil 52 is formed by a structured printed circuit board. Such an arrangement can in particular by
  • Connection carrier is made possible by that two
  • the windings may in this case have a circular or rectangular basic shape.
  • the windings of the flat coils 52-1 and 52-2 and the current flow through them during operation for example, either parallel or
  • two flat coils 52-1, 52-2 are shown, each having shifted windings.
  • the centers of gravity of the windings are each arranged alongside one another along a straight line.
  • the circumference of the windings in the two flat coils 52-1, 52-2 decreases along the straight line. It is thereby achieved that the flat coils 52-1, 52-2 each have a region with a higher winding density and a region with a lower winding density.
  • Flat coils 52-1, 52-2 are facing each other, the lower winding density areas are facing away from each other. Unlike shown in Figure 12, the two coils with shifted windings need not be flat coils but may also be coils with conventional winding technology.

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Abstract

Es wird ein Verfahren zur Überprüfungmindestens einer auf einem Anschlussträger (100) angeordneten optoelektronischen Komponente (10) beschrieben. Das Verfahren umfasst Anregen eines elektromagnetischen Schwingkreises (38, 39), welcher durch die optoelektronische Komponente(10) und den Anschlussträger (100) gebildet ist, so dass die optoelektronische Komponente(10) zur Emission elektromagnetischer Strahlung (70) angeregt wird. Das Anregen des elektromagnetischen Schwingkreises (38, 39) umfasst Induzieren einer elektrischen Wechselspannung in dem elektromagnetischen Schwingkreis (38, 39) durch Erzeugen eines zeitlich veränderlichen elektromagnetischen Wechselfeldes (40) durch eine Flachspule (52) oder eine Doppelspule (42, 44).

Description

Beschreibung
Verfahren und Vorrichtung zur Überprüfung einer
optoelektronischen Komponente
Es werden ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Überprüfung einer auf einem Anschlussträger angeordneten
optoelektronischen Komponente angegeben. Die Messung elektrooptischer Eigenschaften optoelektronischer Komponenten erfolgt gemäß dem Stand der Technik gewöhnlich durch Anlegen einer Gleichspannung an die optoelektronische Komponente. Mitunter liegen optoelektronische Komponenten zumindest zwischenzeitlich in einer Form vor, in der ihre Anschlüsse kurzgeschlossen sind, das heißt, in der zwischen ihren Anschlüssen ein vernachlässigbarer ohmscher Widerstand besteht. Dies ist insbesondere dann der Fall, wenn
optoelektronische Komponenten auf einem Anschlussträger angeordnet sind, beispielsweise während der Fertigung
optoelektronischer Komponenten. Beispielsweise werden
optoelektronische Komponenten in einem metallischen
Leiterrahmenverbund (Leadframeverbund) montiert, wodurch die Kontakte der optoelektronischen Komponenten in Bezug auf Gleichspannungen kurzgeschlossen sind. Diese können somit nicht mit Gleichstrom betrieben werden, um zur
Prozesskontrolle und/oder Prozesssteuerung ihre
elektrooptischen Eigenschaften zu bestimmen.
Während die optoelektronischen Komponenten am Ende des
Fertigungsprozesses vereinzelt und mit einzeln
kontaktierbaren Anschlüssen versehen werden, kann es
vorteilhaft sein, sie zumindest während Teilschritten des Fertigungsprozesses noch nicht zu vereinzeln und/oder noch nicht einzeln kontaktierbar zu machen. Es ist jedoch
wünschenswert, auch in einem solchen Zustand elektrooptische Eigenschaften der optoelektronischen Komponenten messen oder zumindest beobachten zu können, beispielsweise um die
optoelektronischen Komponenten vorzusortieren oder zu
optimieren und/oder um weitere Fertigungsschritte an die gemessenen elektrooptischen Eigenschaften anzupassen. Dadurch wird der Ausschuss reduziert, und es ergibt sich eine Zeit- und Kostenersparnis.
Insbesondere kann die Zeit, die langwierige
Fertigungsschritte wie beispielsweise das Aushärten eines Konversionsmaterials erfordern, besser genutzt werden. Bei der Erzeugung von Leuchtdioden, beispielsweise von
Leuchtdioden, die aufgrund von Volumenkonversion weißes Licht emittieren, unterliegt die Konzentration und Füllmenge des Konversionsmaterials aufgrund derzeitiger Fertigungsverfahren unterschiedlich starken Schwankungen. Derzeit wird
stichprobenartig eine optoelektronische Komponente nach dem Vergießen und Ausheizen des Materials vereinzelt und
vermessen und kann für weitere Fertigungsschritte wie
beispielsweise einen Galvanisierungsschritt nicht mehr verwendet werden. Aus der DE 102013102322.3 ist ein Verfahren zur Vermessung mindestens einer auf einem Anschlussträger angeordneten optoelektronischen Komponente bekannt, welches das Anregen mindestens eines elektromagnetischen Schwingkreises, welcher durch die mindestens eine optoelektronische Komponente und den Anschlussträger gebildet ist, so dass die mindestens eine optoelektronische Komponente zur Emission elektromagnetischer Strahlung angeregt wird, sowie Messen mindestens einer elektrooptischen Eigenschaft der mindestens einen optoelektronischen Komponente, umfasst. Das Anregen des elektromagnetischen Schwingkreises kann durch Induzieren einer elektrischen Wechselspannung in dem elektromagnetischen Schwingkreis durch Erzeugen eines zeitlich veränderlichen elektromagnetischen Wechselfeldes erfolgen. Die induktive Anregung hat hierbei den Vorteil, dass die Anregung
kontaktlos erfolgen kann. Das zeitlich veränderliche
elektromagnetische Wechselfeld kann beispielsweise durch ein induktives Element, insbesondere eine Spule mit einer oder mehreren Windungen erzeugt werden.
Mittels des in der DE 102013102322.3 beschriebenen Verfahrens können kurzgeschlossene optoelektronische Komponenten im Leiterrahmenverbund zum Leuchten angeregt werden. Sind nun aber wie für viele Bauformen typisch viele optoelektronischen Komponenten parallel verbunden, so leuchten bei einer
induktiven Anregung mit einem klassischen Spulendesign mehrere optoelektronische Komponenten gleichzeitig. Eine selektive Messung, z.B. der Farbe, einzelner
optoelektronischer Komponenten ist somit nicht möglich.
Bei anderen Bauformen sind die zu vermessenden
optoelektronischen Komponenten vergleichsweise kleinen
Bereichen zugeordnet, in denen mittels des in der
DE 102013102322.3 beschriebenen Verfahrens ein
elektromagnetischer Schwingkreis induziert werden kann.
Hierbei werden vergleichsweise hohe Magnetfelddichten
benötigt, um die einzelnen optoelektronischen Komponenten zur Lichtemission anzuregen. Mit Drahtspulen, die im Hinblick auf ihre Wicklung eine konventionelle Geometrie aufweisen, kann die benötigte Felddichte in vielen Fällen nur sehr schwer erreicht werden. Außerdem ist ein Spulendesign gewünscht, bei welchem die Spulen auch bei nur geringen Stückzahlen
reproduzierbar und günstig gefertigt werden können.
Es ist daher zumindest eine Aufgabe der vorliegenden
Erfindung, ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Überprüfung einer auf einem Anschlussträger angeordneten
optoelektronischen Komponente anzugeben, bei welchen eine selektive Anregung von optoelektronischen Komponenten im Vergleich zum Stand der Technik verbessert wird.
Diese Aufgabe wird durch zwei Verfahren und eine Vorrichtung gemäß den unabhängigen Patentansprüchen gelöst. Vorteilhafte Ausführungsformen und Weiterbildungen des Verfahrens und der Vorrichtung sind in den abhängigen Ansprüchen angegeben und gehen weiterhin aus der nachfolgenden Beschreibung und den Zeichnungen hervor.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des ersten Verfahrens zur Überprüfung mindestens einer auf einem Anschlussträger angeordneten optoelektronischen Komponente umfasst das
Verfahren Anregen mindestens eines elektromagnetischen
Schwingkreises, welcher durch die mindestens eine
optoelektronische Komponente und den Anschlussträger gebildet ist, so dass die mindestens eine optoelektronische Komponente zur Emission elektromagnetischer Strahlung angeregt wird. Hierbei umfasst das Anregen des elektromagnetischen
Schwingkreises ein Induzieren einer elektrischen
Wechselspannung in dem elektromagnetischen Schwingkreis durch Erzeugen eines zeitlich veränderlichen elektromagnetischen Wechselfeldes durch eine erste Spule und durch eine zweite Spule . Dadurch, dass das Erzeugen eines zeitlich veränderlichen elektromagnetischen Wechselfeldes durch eine erste Spule und durch eine zweite Spule erfolgt, wird vorteilhaft eine
Verbesserung der selektiven Anregung von optoelektronischen Komponenten im Vergleich zur Verwendung einer einfachen
Drahtspule, die im Hinblick auf ihre Wicklung eine
konventionelle Geometrie aufweist, erreicht. Der Abstand zwischen dem Anschlussträger und den beiden Spulen kann bei Anwendung des Verfahrens variieren, wird jedoch bevorzugt konstant gehalten. Beispielsweise können die beiden Spulen in einem konstanten Abstand vom Anschlussträger über Bereiche verschiedener optoelektronischer Komponenten geführt werden.
Die Erfindung ist nicht auf das Anregen eines einzigen elektromagnetischen Schwingkreises mit einer einzigen
optoelektronischen Komponente beschränkt. Vielmehr kann der angeregte elektromagnetische Schwingkreis auch zwei oder mehrere optoelektronische Komponenten umfassen, deren
elektrooptische Eigenschaft gemessen oder beobachtet werden kann. Außerdem können mehrere elektromagnetische
Schwingkreise mit jeweils einer einzigen optoelektronischen Komponente oder mehrere elektromagnetische Schwingkreise mit jeweils mehreren optoelektronischen Komponenten angeregt werden. Die elektromagnetischen Schwingkreise können
unabhängig voneinander oder auch miteinander gekoppelt sein. Auch ist nicht erforderlich, dass die Anregung des
elektromagnetischen Schwingkreises bzw. der
elektromagnetischen Schwingkreise in unmittelbarer örtlicher Nähe der optoelektronischen Komponente oder Komponenten erfolgt. Vielmehr können die Bereiche der Anregung und der Emission elektromagnetischer Strahlung durch die
optoelektronische Komponente (n) auch voneinander beabstandet sein. Eine optoelektronische Komponente kann hierbei insbesondere ein optoelektronisches Bauelement sein oder ein Element, welches nach Ausführung weiterer Fertigungsschritten als ein optoelektronisches Bauelement vorliegt. Die
optoelektronische Komponente umfasst mindestens ein Bauteil, welches zur Emission von elektromagnetischer Strahlung, insbesondere aufgrund von Lumineszenz oder Phosphoreszenz, angeregt werden kann. Bevorzugt werden die beiden Spulen in Bezug auf den Anschlussträger verfahren, d.h. relativ zu diesem bewegt, um selektiv verschiedene auf dem
Anschlussträger angeordnete optoelektronische Komponenten anzuregen .
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Verfahrens ist die optoelektronische Komponente eine Leuchtdiode (LED) , eine Laserdiode, eine Halbleiterdiode oder ein Halbleiterchip, oder sie umfasst eine Leuchtdiode (LED) , eine Laserdiode, eine Halbleiterdiode oder ein Halbleiterchip. Bei einer
Laserdiode handelt es sich um eine Halbleiterdiode, welche Laserstrahlung emittiert. Die Emission elektromagnetischer Strahlung in der optoelektronischen Komponente erfolgt vorzugsweise aufgrund von Lumineszenz oder Phosphoreszenz.
Bei einem elektromagnetischen Schwingkreis handelt es sich um einen Stromkreis, welcher induktive und/oder kapazitive
Elemente umfasst. Die Gesamtimpedanz eines solchen
Stromkreises ist im Allgemeinen komplexwertig . Insbesondere kann ein elektromagnetischer Schwingkreis sowohl induktive als auch kapazitive Elemente umfassen. In diesem Fall nimmt der Absolutbetrag der Gesamtimpedanz bei Anregung mit einer bestimmten Frequenz ein Minimum an. Der elektromagnetische
Schwingkreis kann vorzugsweise mit dieser bestimmten Frequenz angeregt werden. Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Verfahrens umfasst die optoelektronische Komponente eine
Halbleiterschichtenfolge. Vorzugsweise enthält die
optoelektronische Komponente ein III-V- Verbindungshalbleitermaterial. III-V-Halbleitermaterialien sind zur Strahlungserzeugung im ultravioletten (Alx Iny Gai-x-y N ) über den sichtbaren (Alx Iny Gai-x-y N , insbesondere für blaue bis grüne Strahlung, oder Alx Iny Gai-x-y P, insbesondere für gelbe bis rote Strahlung) bis in den infraroten (Alx Iny Gai-x-y As) Spektralbereich besonders geeignet. Hierbei gilt jeweils O ^ x ^ l, O ^ y ^ l und x + y < 1, insbesondere mit x Φ 1, y Φ 1, x Φ 0 und/oder y Φ 0.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Verfahrens handelt es sich bei dem Anschlussträger um einen Leiterrahmenverbund, insbesondere um einen Metallrahmenverbund. Auf dem
Anschlussträger kann eine Vielzahl optoelektronischer
Komponenten angeordnet sein. Der Anschlussträger kann
mindestens einen Anschlussleiterbereich umfassen, wobei in jedem Anschlussleiterbereich jeweils eine optoelektronische Komponente angeordnet sein kann. Bei einem
Anschlussleiterbereich handelt es sich um einen Bereich, in dem Anschlussleiter ausgebildet sind. Insbesondere können in dem Anschlussleiterbereich Anschlussleiter ausgebildet sein, die während eines Herstellungsprozesses der
optoelektronischen Komponente und/oder nach Fertigstellung der optoelektronischen Komponente als Anschlüsse zur
elektrischen Verschaltung der optoelektronischen Komponente dienen können.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Verfahrens wird mindestens eine elektrooptische Eigenschaft der mindestens einen optoelektronischen Komponente gemessen. Beispielsweise handelt es sich bei der elektrooptischen Eigenschaft der optoelektronischen Komponente um die Helligkeit, den Farbort oder das Spektrum der von der optoelektronischen Komponente emittierten elektromagnetischen Strahlung. Aufgrund der gemessenen elektrooptischen Eigenschaft können weitere
Eigenschaften der optoelektronischen Komponente bestimmt werden. Beispielsweise kann mindestens eine Lebensdauer mindestens einer Art von Ladungsträgern in der
optoelektronischen Komponente oder in mindestens einem Teil der optoelektronischen Komponente bestimmt werden. Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Verfahrens ist vorgesehen, dass die erste Spule und die zweite Spule lateral voneinander beabstandet angeordnet sind. Unter einer
lateralen Richtung wird hierbei insbesondere eine Richtung senkrecht zu einer Symmetrieachse der ersten und/oder zweiten Spule und insbesondere zu einer Symmetrieachse eines von der ersten und/oder zweiten Spule erzeugten Magnetfelds
verstanden .
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Verfahrens ist vorgesehen, dass ein Abstand zwischen einer Mittelachse der ersten Spule und einer Mittelachse der zweiten Spule in lateraler Richtung zwischen 1mm und 10 cm, bevorzugt zwischen 1 cm und 5 cm, beträgt. Bevorzugt fallen die beiden
Mittelachsen jeweils mit den Symmetrieachsen der beiden
Spulen zusammen.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Verfahrens ist vorgesehen, dass ein die erste Spule durchfließender Strom proportional zu einem die zweite Spule durchfließenden Strom ist. Bevorzugt sind die erste Spule und die zweite Spule miteinander in Serie geschaltet, so dass der die erste Spule durchfließende Strom gleich dem die zweite Spule
durchfließenden Strom ist. Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Verfahrens ist vorgesehen, dass die erste Spule und die zweite Spule jeweils durch einen Wechselstrom durchflössen wird. Beispielsweise wird an die beiden Spulen jeweils eine Wechselspannung angelegt. Vorzugsweise ist die Wechselspannung eine
Hochfrequenzspannung. Die Frequenz der Hochfrequenzspannung beträgt beispielsweise 1 MHz bis 10 GHz, bevorzugt 10 MHz bis 1 GHz, und besonders bevorzugt 25 MHz bis 500 MHz. Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Verfahrens ist vorgesehen, dass ein Magnetfeld im Inneren der ersten Spule antiparallel zu einem Magnetfeld im Inneren der zweiten Spule gerichtet ist. Diese Eigenschaft kann auf bestimmte begrenzte Zeitintervalle beschränkt sein. Bevorzugt ist das Magnetfeld im Inneren der ersten Spule während mehr als 90 ~6 einer zeitlichen Periode des in den beiden Spulen verwendeten
Wechselstroms, besonders bevorzugt während der gesamten
Periode, d.h. zu jedem Zeitpunkt während der Ausführung des Verfahrens, antiparallel zu einem Magnetfeld im Inneren der zweiten Spule gerichtet. Bevorzugt wird hierdurch durch die erste Spule ein im Vergleich zur zweiten Spule gegenphasiger Anteil des elektromagnetischen Wechselfelds erzeugt.
Hierdurch werden von den beiden Spulen im Anschlussträger zwei gegenläufige Ströme, bevorzugt zwei Ströme mit
entgegengesetztem Drehsinn, induziert. Dabei wird ein
elektromagnetischer Schwingkreis bzw. werden
elektromagnetische Schwingkreise lediglich in einem
reduzierten Flächenbereich des Anschlussträgers angeregt. Bevorzugt weisen die erste und zweite Spule in dieser
Ausführungsform die gleiche Zahl von Wicklungen auf.
Durch das örtlich begrenzte Anregen des elektromagnetischen Schwingkreises wird erreicht, dass eine elektrooptische Eigenschaft einer einzelnen optoelektronischen Komponente gemessen oder beobachtet werden kann, ohne dass benachbarte optoelektronische Komponenten, die beispielsweise auf demselben Anschlussträger angeordnet sind, ebenfalls zur Emission elektromagnetischer Strahlung angeregt werden. Durch geeignete Platzierung der beiden Spulen kann insbesondere erreicht werden, dass sich die durch die beiden Spulen induzierten Spannungen gerade so addieren, dass genau eine optoelektronische Komponente zum Leuchten gebracht werden kann.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Verfahrens ist vorgesehen, dass ein Magnetfeld im Inneren der ersten Spule parallel zu einem Magnetfeld im Inneren der zweiten Spule gerichtet ist. Auch diese Eigenschaft kann auf bestimmte begrenzte Zeitintervalle beschränkt sein. Bevorzugt ist das Magnetfeld im Inneren der ersten Spule während mehr als 90 % einer zeitlichen Periode des in den beiden Spulen verwendeten Wechselstroms, besonders bevorzugt während der gesamten
Periode, d.h. zu jedem Zeitpunkt während der Ausführung des Verfahrens, parallel zu einem Magnetfeld im Inneren der zweiten Spule gerichtet. Bevorzugt wird hierdurch in der ersten Spule ein im Vergleich zur zweiten Spule
gleichphasiger Anteil des elektromagnetischen Wechselfelds erzeugt. Hierdurch werden von den beiden Spulen im
Anschlussträger zwei synchron verlaufende Ströme, bevorzugt zwei Ströme mit gleichem Drehsinn, induziert. Dabei wird ein elektromagnetischer Schwingkreis bzw. werden
elektromagnetische Schwingkreise in einem vergrößerten
Flächenbereich des Anschlussträgers mit Ausnahme eines zentralen Bereichs angeregt. In dem zentralen Bereich wird kein elektromagnetischer Schwingkreis angeregt bzw. lediglich ein solcher, der einen unzureichend hohen Strom aufweist, um eine im zentralen Bereich angeordnete optoelektronische
Komponente zur Emission elektromagnetischer Strahlung
anzuregen. In dieser Ausführungsform können die erste und zweite Spule eine unterschiedliche Zahl von Wicklungen aufweisen.
Durch das örtlich begrenzte Anregen des elektromagnetischen Schwingkreises wird erreicht, dass eine elektrooptische
Eigenschaft mehrerer, beispielsweise ringförmig angeordneter, optoelektronischen Komponenten gemessen oder beobachtet werden kann, während mindestens eine zentral angeordnete Komponente gezielt inaktiv bleibt.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Verfahrens ist vorgesehen, dass ein erster Anteil des zeitlich
veränderlichen elektromagnetischen Wechselfeldes, welcher durch die erste Spule erzeugt wird, und ein zweiter Anteil des zeitlich veränderlichen elektromagnetischen
Wechselfeldes, welcher durch die zweite Spule erzeugt wird, jeweils nicht geeignet ist, um die optoelektronische
Komponente bzw. ein der optoelektronischen Komponenten zur Emission elektromagnetischer Strahlung anzuregen.
Beispielsweise kann die jeweils von einer der beiden Spulen induzierte Spannung geringer als eine Flusspannung der optoelektronischen Komponente sein.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform sind die erste Spule und/oder die zweite Spule jeweils als Flachspule,
beispielsweise als eine im Folgenden beschriebene Flachspule, ausgebildet.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform weisen die erste und/oder zweite Spule konzentrische Wicklungen auf. Anders ausgedrückt weist jede Wicklung der entsprechenden Spule dann im Rahmen der Herstellungstoleranz denselben Mittelpunkt oder Schwerpunkt auf. Die Wicklungen einer Spule können, zum
Beispiel wenn es sich um eine Drahtspule handelt, alle den gleichen Umfang haben. Alternativ kann der Umfang der
Wicklungen auch variieren, zum Beispiel zwischen jeweils benachbarten Wicklungen kontinuierlich abnehmen.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform weisen die erste Spule und/oder die zweite Spule gegeneinander verschobene
Wicklungen auf. Beispielsweise liegen im Rahmen der
Herstellungstoleranz die Mittelpunkte oder Schwerpunkte der entsprechenden Wicklungen nebeneinander auf einer in
lateraler Richtung verlaufenden Geraden. Zum Beispiel umfasst die entsprechende Spule n Wicklungen, wobei n eine ganze Zahl größer Eins ist. Der Mittelpunkt oder Schwerpunkt jeder m-ten Wicklung, mit 1 < m < n, ist dann beispielsweise gegenüber dem Mittelpunkt oder Schwerpunkt der m-l-ten Wicklung in eine lateraler Richtung um eine Strecke Δχ verschoben. Der
Mittelpunkt oder Schwerpunkt der m+l-ten Wicklung ist
bevorzugt gegenüber dem Mittelpunkt oder Schwerpunkt der in¬ ten Wicklung in die gleiche laterale Richtung, besonders bevorzugt um die gleiche Strecke Δχ, verschoben.
Beispielsweise beträgt Δχ zwischen einschließlich 1 mm und 10 mm.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform ist der Umfang jeder inten Wicklung kleiner als der Umfang jeder m-l-ten Wicklung. Das heißt der Umfang der Wicklungen nimmt kontinuierlich ab. Beispielsweise beträgt der Umfang jeder m-ten Wicklung höchstens 90 % oder höchstens 70 % oder höchstens 50 % des Umfangs der m-l-ten Wicklung. Beispielsweise nimmt der Umfang von einer Wicklung zu der nächsten Wicklung zwischen einschließlich 2 mm und 20 mm ab.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform weist die erste
und/oder zweite Spule einen Bereich mit höherer oder
maximaler Wicklungsdichte und einen in lateraler Richtung gegenüberliegenden Bereich mit niedrigerer oder minimaler Wicklungsdichte auf. Bevorzugt ist die Wicklungsdichte in dem einen Bereich zumindest 3-mal oder zumindest 5-mal oder zumindest 10-mal oder zumindest 20-mal so groß wie in dem gegenüberliegenden Bereich. Dies kann beispielsweise dadurch erreicht sein, dass die Mittelpunkte oder Schwerpunkte der Wicklungen gegeneinander verschoben sind und gleichzeitig der Umfang der Wicklungen abnimmt. Entlang der Geraden in
lateralen Richtung, entlang der die Mittelpunkte oder
Schwerpunkte zueinander verschoben sind, kann dann die
Wicklungsdichte zunehmen oder abnehmen. Die Gerade
durchschneidet beispielsweise den Bereich mit höherer
Wicklungsdichte und den Bereich mit niedrigerer
Wicklungsdichte .
Gemäß zumindest einer Ausführungsform weisen sowohl die erste Spule als auch die zweite Spule gegeneinander verschobene Wicklungen auf. Bevorzugt liegen die Mittelpunkte oder
Schwerpunkte der Wicklungen beider Spulen auf einer
gemeinsamen Geraden in lateraler Richtung. Bevorzugt weisen sowohl die erste Spule als auch die zweite Spule jeweils einen Bereich mit erhöhter und einen Bereich mit niedrigerer Wicklungsdichte auf. Die Bereiche der ersten und zweiten Spule mit höherer Wicklungsdichte sind bevorzugt einander zugewandt, die Bereiche mit niedrigerer Wicklungsdichte sind bevorzugt einander abgewandt. Auf diese Weise kann es zu einer weiteren Reduzierung der Fläche im Anschlussträger kommen, in dem ein elektromagnetischer Schwingkreis angeregt wird .
Beispielsweise ist der Mittelpunkt oder Schwerpunkt der
Wicklung mit dem kleinsten Umfang der ersten Spule von dem Mittelpunkt oder Schwerpunkt der Wicklung mit dem kleinsten Umfang der zweiten Spule zwischen einschließlich 0,5 mm und 5 mm beabstandet.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des zweiten Verfahrens zur Überprüfung mindestens einer auf einem Anschlussträger angeordneten optoelektronischen Komponente umfasst das
Verfahren Anregen mindestens eines elektromagnetischen
Schwingkreises, welcher durch die mindestens eine
optoelektronische Komponente und den Anschlussträger gebildet ist, so dass die mindestens eine optoelektronische Komponente zur Emission elektromagnetischer Strahlung angeregt wird. Hierbei umfasst das Anregen des elektromagnetischen
Schwingkreises ein Induzieren einer elektrischen
Wechselspannung in dem elektromagnetischen Schwingkreis durch Erzeugen eines zeitlich veränderlichen elektromagnetischen Wechselfeldes durch eine Flachspule.
Die Flachspule weist typischerweise zumindest bereichsweise die Form einer archimedischen Spirale auf. Bevorzugt weist die Flachspule mindestens zwei Wicklungen, besonders
bevorzugt mindestens fünf Wicklungen auf. Die Flachspule kann beispielsweise eine Fläche von mehr als 1 cm2, bevorzugt von mehr als 10 cm2 aufweisen. Optional kann die Flachspule einen Ferritkern aufweisen.
Durch die Verwendung einer Flachspule lassen sich höhere Feldstärken und eine bessere Bündelung des zeitlich
veränderlichen elektromagnetischen Wechselfeldes erreichen. Es können somit optisch elektronische Komponenten induktiv zur Lichtemission angeregt werden, für die die Feldstärken und -dichten von Spulen mit einer konventionellen
Wicklungsgeometrie nicht ausreichend sind. Ebenso kann durch die stärkere Feldbündelung eine Reduktion der erforderlichen Anregungsleistung erreicht werden, in vielen Fällen auf etwa 10%.
Die Flachspule kann durch einen gewickelten Metalldraht gebildet sein. Alternativ kann sie durch eine strukturierte Leiterplatte gebildet sein. Flachspulen auf
Leiterplattenbasis sind einfacher in der Fertigung, lassen sich günstig auch in kleineren Stückzahlen fertigen und sind individueller auf die Geometrie des Anschlussträgers, insbesondere des Leiterrahmenverbunds anpassbar. Des Weiteren ist die Reproduzierbarkeit deutlich höher als bei
handgewickelten Spulen.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Verfahrens wird mindestens eine elektrooptische Eigenschaft der mindestens einen optoelektronischen Komponente gemessen. Beispielsweise handelt es sich bei der elektrooptischen Eigenschaft der optoelektronischen Komponente um die Helligkeit, den Farbort oder das Spektrum der von der optoelektronischen Komponente emittierten elektromagnetischen Strahlung. Aufgrund der gemessenen elektrooptischen Eigenschaft können weitere
Eigenschaften der optoelektronischen Komponente bestimmt werden. Beispielsweise kann mindestens eine Lebensdauer mindestens einer Art von Ladungsträgern in der
optoelektronischen Komponente oder in mindestens einem Teil der optoelektronischen Komponente bestimmt werden. Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zur Optimierung einer optoelektronischen Komponente. Gemäß zumindest einer Ausführungsform umfasst das Verfahren Ausführen eines der beiden erfindungsgemäßen Verfahren zur Überprüfung einer optoelektronischen Komponente, Vergleichen der mindestens einen gemessenen elektrooptischen Eigenschaft der
optoelektronischen Komponente mit einem Sollwert sowie
Modifizieren der optoelektronischen Komponente aufgrund des Vergleichs. Das Modifizieren kann insbesondere Anpassen der elektrooptischen Eigenschaft an den Sollwert umfassen.
Wahlweise oder zusätzlich kann das Verfahren Sortieren optoelektronischer Bauteile aufgrund der gemessenen
elektrooptischen Eigenschaft umfassen.
Wahlweise oder zusätzlich kann das Verfahren ferner Anpassen eines Fertigungsschrittes aufgrund des Vergleichs der
gemessenen elektrooptischen Eigenschaft mit dem Sollwert umfassen. Bei dem Fertigungsschritt kann es sich insbesondere um das Aufbringen eines Konversionsmaterials auf eine LED, insbesondere weißes Licht erzeugende LED handeln. Die LED kann beispielsweise ein Gehäuse, einen blauen Halbleiterchip, ein Konversionsmaterial und gegebenenfalls weitere
Vergussmaterialien umfassen.
Dabei ist die elektrooptische Eigenschaft der
optoelektronischen Komponente vorzugsweise der Farbort der von der optoelektronischen Komponente emittierten
elektromagnetischen Strahlung. Vorzugsweise wird beim
Aufbringen des Konversionsmaterials die Menge des
Konversionsmaterials und/oder die Konzentration eines darin enthaltenen Konversionsstoffes in Abhängigkeit von dem gemessenen Farbort angepasst, um gewünschte Farbeigenschaften der fertigen LED zu erreichen und/oder eine engere Farbverteilung zu realisieren. Obgleich das Spektrum der von einer LED emittierten elektromagnetischen Strahlung eine leichte Temperaturabhängigkeit aufweist und sich die LED aufgrund der Anregung mit einer Hochfrequenzspannung erwärmt, kann der Farbort durch das erfindungsgemäße Verfahren
hinreichend genau bestimmt werden. Nach dem Aufbringen des Konversionsmaterials kann die optoelektronische Komponente beispielsweise mit einem Gehäuse oder einem optischen Element versehen werden. Sind mehrere optoelektronische Komponenten auf dem Anschlussträger angeordnet, so kann anschließend der Verbund aus Anschlussträger und optoelektronischen
Komponenten vereinzelt werden. Hierbei wird der gemeinsame Anschlussträger in mehrere Anschlussträger zerteilt, so dass die fertigen optoelektronischen Komponenten jeweils einen Anschlussträger aufweisen.
Die Erfindung betrifft ferner eine Vorrichtung zur
Überprüfung einer optoelektronischen Komponente. Gemäß zumindest einer Ausführungsform umfasst die Vorrichtung einen Anschlussträger, auf dem mindestens eine optoelektronische Komponente angeordnet ist, sowie Mittel zum Anregen eines elektromagnetischen Schwingkreises, der den Anschlussträger und die mindestens eine optoelektronische Komponente umfasst. Hierbei umfassen die Mittel eine Flachspule oder eine erste Spule und eine zweite Spule.
Bevorzugt umfasst die Vorrichtung außerdem eine
Messvorrichtung, welche dazu ausgelegt ist, mindestens eine elektrooptische Eigenschaft der optoelektronischen Komponente zu messen.
Die beschriebenen Vorrichtungen sind zur Ausführung der weiter oben beschriebenen Verfahren besonders geeignet. Im Zusammenhang mit den Verfahren ausgeführte Merkmale können daher auch für die Vorrichtungen herangezogen werden und umgekehrt .
Weitere Vorteile, vorteilhafte Ausführungsformen und
Weiterbildungen ergeben sich aus den im Folgenden in
Verbindung mit den Figuren beschriebenen
Ausführungsbeispielen .
Es zeigen:
Figur 1 eine Draufsicht eines ersten Ausführungsbeispiels eines Anschlussträgers, auf den ein Verfahren zur Überprüfung einer optoelektronischen Komponente anwendbar ist,
Figur 2 eine Draufsicht eines zweiten Ausführungsbeispiels eines Anschlussträgers, auf den ein Verfahren zur Überprüfung einer optoelektronischen Komponente anwendbar ist,
Figur 3 eine erste Ausführungsform eines Verfahrens zur Überprüfung einer optoelektronischen Komponente,
Figur 4 eine zweite Ausführungsform eines Verfahrens zur Überprüfung einer optoelektronischen Komponente, die Figuren 5 und 6 die von zwei Spulen erzeugten Anteile eines Magnetfelds, die Figuren 7 und 8 jeweils eine Flachspule zur Verwendung bei einer weiteren Ausführungsform eines Verfahrens zur Überprüfung einer optoelektronischen Komponente,
die Figuren 9 bis 12 weitere Ausführungsformen der
Flachspule . Gleiche, gleichartige oder gleich wirkende Elemente sind in den Figuren mit den gleichen Bezugszeichen versehen. Die Figuren und die Größenverhältnisse der in den Figuren
dargestellten Elemente untereinander sind nicht als
maßstäblich zu betrachten. Vielmehr können einzelne Elemente zur besseren Darstellbarkeit und/oder für eine bessere
Verständlichkeit übertrieben groß dargestellt sein.
Ein mit einem Kreis umschlossenes Kreuz in einer Zeichnung zeigt ein Magnetfeld an, welches zu einem bestimmten
Zeitpunkt in die Zeichnungsebene hinein gerichtet ist. Die vorliegend eingesetzten Magnetfelder sind jedoch zeitlich veränderlich, und ein zu einem bestimmten Zeitpunkt in die Zeichnungsebene hinein gerichtetes Magnetfeld kann zu einem anderen Zeitpunkt aus der Zeichnungsebene heraus gerichtet sein. Nur die maßgeblich beteiligten Magnetfeldlinien sind dargestellt .
Figur 1 zeigt eine Draufsicht eines insgesamt mit 100 bezeichneten ersten Ausführungsbeispiels eines
Anschlussträgers, auf den ein Verfahren zur Überprüfung einer opoelektronischen Komponente anwendbar ist. Auf dem
Anschlussträger 100, der beispielsweise ein
Leiterrahmenverbund aus Metall ist, sind optoelektronische Komponenten 10 angeordnet. Der Anschlussträger 100 umfasst drei Anschlussleiterbereiche 12, die in regelmäßigen
Abständen voneinander angeordnet sind und jeweils dieselbe Struktur und Ausrichtung aufweisen. Jeder der
Anschlussleiterbereiche 12 umfasst einen mittleren Bereich 14 sowie erste bis vierte Anschlussleiter 16, 18, 20, 22, welche jeweils dieselbe Breite aufweisen, wobei jeweils der erste Anschlussleiter 16 und der zweite Anschlussleiter 18 auf einer ersten Seite des mittleren Bereichs 14 angeordnet sind und der dritte Anschlussleiter 20 und der vierte Anschlussleiter 22 auf einer zweiten, der ersten Seite gegenüberliegenden Seite des mittleren Bereichs 14 angeordnet sind. Zwischen den ersten und zweiten Anschlussleitern 16, 18 auf der ersten Seite des mittleren Bereichs 14 besteht jeweils ein erster Zwischenraum 24, und zwischen den dritten und vierten Anschlussleitern 20, 22 auf der zweiten Seite des mittleren Bereichs 14 besteht jeweils ein zweiter
Zwischenraum 26, welcher dieselbe Breite aufweist wie der erste Zwischenraum 24. In jedem Anschlussleiterbereich 12 ist ferner jeweils der vierte Anschlussleiter 22 auf der zweiten Seite des mittleren Bereichs 14 durch einen dritten
Zwischenraum 28 von dem mittleren Bereich 14 getrennt; die ersten bis dritten Anschlussleiter 16, 18, 20 schließen jeweils unmittelbar an den mittleren Bereich 14 an.
Die Anschlussleiterbereiche 12 sind ingesamt durch vierte Zwischenräume 30 voneinander getrennt. Die Breite der dritten Zwischenräume 28 ist geringer als die Breite der ersten und zweiten Zwischenräume 24, 26, und die Breite der ersten und zweiten Zwischenräume 24, 26 ist geringer als die Breite der vierten Zwischenräume 30. Der Anschlussträger 100 umfasst ferner einen ersten Überbrückungsbereich 32 und einen zweiten Überbrückungsbereich 34, die auf gegenüberliegenden Seiten der Anschlussleiterbereiche 12 angeordnet sind. Bei jedem
Anschlussleiterbereich 12 sind jeweils der erste und zweite Anschlussleiter 16, 18 auf der ersten Seite des mittleren Bereichs 14 mit dem ersten Überbrückungsbereich 32 verbunden, und der dritte und vierte Anschlussleiter 20, 22 auf der zweiten Seite des mittleren Bereichs 14 sind mit dem zweiten Überbrückungsbereich 34 verbunden. Die ersten und zweiten Überbrückungsbereiche 32, 34 bilden somit eine leitende
Verbindung zwischen den Anschlussleiterbereichen 12. Auf dem mittleren Bereich 14 jedes Anschlussleiterbereichs 12 ist jeweils eine optoelektronische Komponente 10 angeordnet, dessen einer Anschluss in direktem elektrischem Kontakt mit dem mittleren Bereich 14 steht. Der mittlere Bereich 14 wirkt somit als ein erster Anschlussbereich für den Anschluss der optoelektronischen Komponente 10. Ein zweiter Anschluss der optoelektronischen Komponente 10 ist jeweils durch einen Bonddraht 36 über den dritten Zwischenraum 28 hinweg mit dem vierten Anschlussleiter 22 verbunden. Der vierte
Anschlussleiter 22 wirkt somit als ein zweiter
Anschlussbereich für den Anschluss der optoelektronischen Komponente 10. Somit bilden jeweils die optoelektronische Komponente 10, der Bonddraht 36, der vierte Anschlussleiter 22, ein Teil des zweiten Überbrückungsbereichs 34, der dritte Anschlussleiter 20 und ein Teil des mittleren Bereichs 14 einen elektromagnetischen Schwingkreis 38. Dadurch, dass der elektromagnetische Schwingkreis 38 um den zweiten
Zwischenraum 26 herum ausgebildet ist, wird die in der
Umgebung des zweiten Zwischenraums 26 vorhandene Induktivität und Kapazität für den elektromagnetischen Schwingkreis 38 genutzt. Durch ein in dem zweiten Zwischenraum 26 vorhandenes zeitlich veränderliches Magnetfeld 40 kann in dem
elektromagnetischen Schwingkreis 38 eine elektrische
Wechselspannung induziert werden.
In Figur 1 ist außerdem rein exemplarisch ein zweiter
elektromagnetischer Schwingkreis 39 eingezeichnet, welcher durch einen weiteren Bereich des Anschlussträgers 100 gebildet wird, welcher zwei benachbarte optoelektronische Komponenten 10 einschließt. Dadurch soll kenntlich gemacht werden, dass abhängig von der Geometrie des Anschlussträgers 100 und der darauf angeordneten optoelektronischen
Komponenten 10 einerseits und der räumlichen Verteilung der Magnetfeldstärke sowie der Frequenz des Wechselfeldes
andererseits mehrere optoelektronische Komponenten 10 zur Emission elektromagnetischer Strahlung angeregt werden können. Hierbei kann die Intensität der jeweils emittierten Strahlung zwischen den optoelektronischen Komponenten 10 stark variieren. Beispielsweise kann der elektromagnetische Schwingkreis 39 durch mehrere Anschlussleiter und Teile der Überbrückungsbereiche gebildet sein. Ähnlich wie bei dem elektromagnetischen Schwingkreis 38 wird die in der
(weiteren) Umgebung des zweiten Zwischenraums 26 vorhandene Induktivität und Kapazität für den elektromagnetischen
Schwingkreis 39 genutzt. Durch ein in dem zweiten
Zwischenraum 26 vorhandenes zeitlich veränderliches
Magnetfeld 40 kann in dem elektromagnetischen Schwingkreis 39 wiederum eine elektrische Wechselspannung induziert werden. Hierdurch können die beiden eingeschlossenen benachbarten optoelektronischen Komponenten 10 zur Emission
elektromagnetischer Strahlung angeregt werden. Figur 2 zeigt eine Draufsicht eines insgesamt mit 100
bezeichneten zweiten Ausführungsbeispiels eines
Anschlussträgers, auf den das erfindungsgemäße Verfahren anwendbar ist. Auf dem Anschlussträger 100, der ebenfalls ein Leiterrahmenverbund beispielsweise aus Metall ist, sind wiederum optoelektronische Komponenten 10 angeordnet. Im
Vergleich zu dem in Figur 1 dargestellten Ausführungsbeispiel weist der Anschlussträger 100 eine andere Geometrie auf.
Genauer umfasst jeder der Anschlussleiterbereiche 12 zwei Anschlussleiter 16, 18, welche als lateral voneinander beabstandete Leiterrahmen ausgebildet sind. Der Randbereich des Anschlussträgers, welcher beispielsweise rahmenförmig ausgebildet sein kann, ist in Figur 2 nicht dargestellt. Dieser kann jedoch ebenfalls Teil des Schwingkreises sein, d.h. es kann Stromfluss durch ihn hindurch stattfinden.
Figur 3 zeigt schematisch eine erste Ausführungsform eines Verfahrens zur Überprüfung einer optoelektronischen
Komponente. Sie zeigt den in Figur 2 dargestellten
Anschlussträger 100, über oder unter welchem eine Doppelspule angeordnet ist, welche eine erste Spule 42 und eine zweite Spule 44 umfasst. Die Anordnung der Doppelspule 42, 44 ist lediglich schematisch dargestellt. Die Doppelspule 42, 44 erzeugt ein zeitlich veränderliches elektromagnetisches
Wechselfeld, welches eine elektrische Wechselspannung in einem lokalen Bereich des Anschlussträgers 100 induziert und hierdurch einen elektromagnetischen Schwingkreis anregt. Die Anregung des elektromagnetischen Schwingkreises erfolgt hierbei ähnlich wie bereits in Verbindung mit der Figur 1 erläutert. Die erste Spule 42 und die zweite Spule 44 sind lateral voneinander beabstandet, genauer in einer Richtung parallel zu einer Haupterstreckungsebene des Anschlussträgers 100 und senkrecht zu den Mittelachsen bzw. Symmetrieachsen der beiden Spulen 42, 44. Ein Abstand zwischen der
Mittelachse der ersten Spule 42 und der Mittelachse der zweiten Spule 44 in lateraler Richtung beträgt hierbei zwischen 1 mm und 10 cm, bevorzugt zwischen 1 cm und 5cm.
Die erste Spule 42 und die zweite Spule 44 sind miteinander in Reihe geschaltet und werden im Betrieb jeweils durch den gleichen Wechselstrom durchflössen. Optional sind die erste Spule 42 und die zweite Spule 44 jeweils um einen Ferritkern gewickelt, um eine bessere Magnetfeldbündelung zu erreichen (nicht dargestellt) . Bevorzugt entspricht der Abstand zwischen der Mittelachse der ersten Spule 42 und der Mittelachse der zweiten Spule 44 im Wesentlichen dem Doppelten einer Breite B eines der
Anschlussleiterbereiche 12. Hierdurch ist es möglich, die beiden Spulen 42, 44 unter zwei Anschlussleiterbereichen 12 derart anzuordnen, dass ein dazwischen angeordneter
Anschlussleiterbereich in der Mitte zwischen den beiden
Spulen 42, 44 liegt. Die darin angeordnete optoelektronische Komponente kann somit selektiv zur Emission
elektromagnetischer Strahlung angeregt oder selektiv inaktiv sein, je nachdem, ob ein Magnetfeld im Inneren der ersten Spule 42 parallel oder antiparallel zu einem Magnetfeld im Inneren der zweiten Spule 44 gerichtet ist. Figur 4 zeigt schematisch eine zweite Ausführungsform eines Verfahrens zur Überprüfung einer optoelektronischen
Komponente. Bei dieser Ausführungsform sind zusätzlich zu den Spulen 42, 44 elektrische Kontakte 46, beispielsweise
Nadelkontakte oder Federkontakte, vorgesehen, welche derart angeordnet sind, dass Kurzschlusspfade im Anschlussträger 100 erzeugt werden. Hierdurch werden definierte Strompfade erhalten und beispielsweise ungewünschte Leckstrompfade reduziert . Die Figuren 5 und 6 zeigen schematisch die von den beiden
Spulen 42, 44 erzeugten Anteile des Magnetfelds 43, 45. Die beiden Spulen 42, 44 sind in einem einander entgegengesetzten Drehsinn gewickelt, sodass das Magnetfeld 43 im Inneren der ersten Spule 42 stets antiparallel zum Magnetfeld 45 im
Inneren der zweiten Spule 44 gerichtet ist. Hierdurch werden von den beiden Spulen im Anschlussträger zwei Spannungen 48, 50 mit einander entgegengesetztem Drehsinn induziert, welche sich in einem Bereich in der Mitte zwischen den beiden Spulen 42, 44 addieren. Dabei wird ein elektromagnetischer
Schwingkreis bzw. werden elektromagnetische Schwingkreise lediglich in einem reduzierten Flächenbereich des
Anschlussträgers angeregt bzw. nur dort mit induzierten
Spannungen, die geeignet sind, die optoelektronischen
Komponenten zur Emission elektromagnetischer Strahlung anzuregen .
Figur 7 zeigt schematisch eine Flachspule 52 zur Verwendung bei einer dritten Ausführungsform eines Verfahrens zur
Überprüfung einer optoelektronischen Komponente. Die
Flachspule 52 ist durch einen gewickelten Metalldraht gebildet, weist die Form einer archimedischen Spirale auf und hat im vorliegenden Fall vier Wicklungen. Durch eine höhere Anzahl von Wicklungen kann eine noch bessere Feldbündelung erfolgen. Alternativ oder zusätzlich kann eine Vergrößerung der erzeugten Feldstärke auch durch die Anordnung eines Ferritkerns 54 im Zentrum der Flachspule 52 erreicht werden (siehe Figur 8 ) .
Die Figuren 9 bis 11 zeigen Ausführungsformen, in welchen die Flachspule 52 durch eine strukturierte Leiterplatte gebildet ist. Eine solche Anordnung kann insbesondere durch
photochemisches Ätzen einer Leiterplatte hergestellt wurden. Je nach Bauteilgröße und verfügbaren Platz ist auch die
Verwendung eines ferromagnetischen Elements zur zusätzlichen Feldbündelung denkbar.
Die Figuren 10 und 11 zeigen hierbei besondere
Ausführungsformen, in denen eine selektive Anregung eines oder weniger optoelektronischer Komponenten auf dem
Anschlussträger dadurch ermöglicht wird, dass zwei
Flachspulen 52-1 und 52-2 durch die strukturierte Leiterplatte gebildet sind. Die Wicklungen können hierbei eine kreisförmige oder rechteckige Grundform aufweisen. Je nach Drehsinn der Wicklungen der Flachspulen 52-1 und 52-2 und dem Stromfluss durch sie während des Betriebes können beispielsweise entweder zueinander parallele oder
antiparallele Magnetfelder in ihrem Inneren erzeugt werden.
In Figur 12 sind zwei Flachspulen 52-1, 52-2 gezeigt, die jeweils verschobene Wicklungen aufweisen. Dabei sind die Schwerpunkte der Wicklungen jeweils entlang einer Geraden nebeneinander angeordnet. Zusätzlich nimmt jeweils der Umfang der Wicklungen in den beiden Flachspulen 52-1, 52-2 entlang der Geraden ab. Dadurch ist erreicht, dass die Flachspulen 52-1, 52-2 jeweils einen Bereich mit höherer Wicklungsdichte und einen Bereich mit niedrigerer Wicklungsdichte aufweisen. Die Bereiche mit höherer Wicklungsdichte der beiden
Flachspulen 52-1, 52-2 sind einander zugewandt, die Bereiche niedrigerer Wicklungsdichte sind einander abgewandt. Anders als in Figur 12 gezeigt, müssen die beiden Spulen mit verschobenen Wicklungen nicht Flachspulen sein sondern können auch Spulen mit konventioneller Wicklungstechnik sein.
Die Erfindung ist nicht durch die Beschreibung anhand der Ausführungsbeispiele auf diese beschränkt. Vielmehr umfasst die Erfindung jedes neue Merkmal sowie jede Kombination von Merkmalen, was insbesondere jede Kombination von Merkmalen in den Patentansprüchen beinhaltet, auch wenn dieses Merkmal oder diese Kombination selbst nicht explizit in den
Patentansprüchen oder Ausführungsbeispielen angegeben ist. Diese Patentanmeldung beansprucht die Priorität der deutschen Patentanmeldung 10 2015 101 671.0, deren Offenbarungsgehalt hiermit durch Rückbezug aufgenommen wird.

Claims

Verfahren zur Überprüfung mindestens einer auf einem Anschlussträger (100) angeordneten optoelektronischen Komponente (10), umfassend
Anregen mindestens eines elektromagnetischen
Schwingkreises (38, 39), welcher durch die mindestens eine optoelektronische Komponente (10) und den
Anschlussträger (100) gebildet ist, so dass die
mindestens eine optoelektronische Komponente (10) zur Emission elektromagnetischer Strahlung angeregt wird, wobei das Anregen des elektromagnetischen
Schwingkreises (38, 39) Induzieren einer elektrischen Wechselspannung in dem elektromagnetischen Schwingkreis (38, 39) durch Erzeugen eines zeitlich veränderlichen elektromagnetischen Wechselfeldes (40) durch eine erste Spule (42) und durch eine zweite Spule (44) umfasst.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei die erste Spule (42) und die zweite Spule (44) lateral voneinander
beabstandet angeordnet sind.
Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei ein Abstand zwischen einer Mittelachse der ersten Spule (42) und einer Mittelachse der zweiten Spule (44) in lateraler Richtung zwischen 1 mm und 10 cm beträgt.
Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei ein die erste Spule (42) durchfließender Strom
proportional zu einem die zweite Spule (44)
durchfließenden Strom ist. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei die erste Spule (42) und die zweite Spule (44) durch einen Wechselstrom durchflössen wird.
Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei ein Magnetfeld im Inneren der ersten Spule (42) antiparallel zu einem Magnetfeld im Inneren der zweiten Spule (44) gerichtet ist.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei ein Magnetfeld im Inneren der ersten Spule (42) parallel zu einem Magnetfeld im Inneren der zweiten Spule (44) gerichtet ist.
Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei ein erster Anteil des zeitlich veränderlichen
elektromagnetischen Wechselfeldes, welcher durch die erste Spule (42) erzeugt wird, und ein zweiter Anteil des zeitlich veränderlichen elektromagnetischen
Wechselfeldes, welcher durch die zweite Spule (44) erzeugt wird, jeweils nicht geeignet ist, um die optoelektronische Komponente zur Emission
elektromagnetischer Strahlung anzuregen.
Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei
- jede der beiden Spulen (42, 44) einen Bereich mit höherer Wicklungsdichte und einen in lateraler
Richtung gegenüberliegenden Bereich mit niedrigerer Wicklungsdichte aufweist,
- die Bereiche der beiden Spulen (42, 44) mit höherer Wicklungsdichte einander zugewandt sind und die
Bereiche der beiden Spulen (42, 44) mit niedrigerer Wicklungsdichte einander abgewandt sind. Verfahren zur Überprüfung mindestens einer auf einem Anschlussträger (100) angeordneten optoelektronischen Komponente (10), umfassend
- Anregen mindestens eines elektromagnetischen
Schwingkreises (38, 39), welcher durch die mindestens eine optoelektronische Komponente (10) und den Anschlussträger (100) gebildet ist, so dass die mindestens eine optoelektronische Komponente (10) zur Emission elektromagnetischer Strahlung angeregt wird, und
- Messen mindestens einer elektrooptischen Eigenschaft der mindestens einen optoelektronischen Komponente (10) ,
wobei das Anregen des elektromagnetischen
Schwingkreises (38, 39) Induzieren einer elektrischen Wechselspannung in dem elektromagnetischen
Schwingkreis (38, 39) durch Erzeugen eines zeitlich veränderlichen elektromagnetischen Wechselfeldes (40) durch eine Flachspule (52) umfasst.
Verfahren nach Anspruch 10, wobei die Flachspule (52) zumindest bereichsweise die Form einer archimedischen Spirale aufweist.
Verfahren nach Anspruch 10 oder 11, wobei die
Flachspule (52) mindestens zwei Wicklungen aufweist.
13. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 12, wobei die Flachspule (52) einen Ferritkern aufweist. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 13, wobei die Flachspule (52) durch einen gewickelten Metalldraht gebildet ist.
Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 14, wobei die Flachspule (52) durch eine strukturierte Leiterplatte gebildet ist.
Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei mindestens eine elektrooptische Eigenschaft der
mindestens einen optoelektronischen Komponente (10) gemessen wird.
Vorrichtung zur Überprüfung einer optoelektronischen Komponente (10), umfassend
- einen Anschlussträger (100), auf dem die zu
vermessende optoelektronische Komponente (10) angeordnet ist, und
- Mittel (42, 44, 52) zum Anregen eines
elektromagnetischen Schwingkreises (38, 39), der den Anschlussträger (100) und die mindestens eine optoelektronische Komponente (10) umfasst, wobei die Mittel eine erste Spule (42) und eine zweite Spule (44) umfassen.
Vorrichtung nach Anspruch 17, wobei die erste Spule (42) und die zweite Spule (44) jeweils als Flachspule ausgebildet sind. 19. Vorrichtung zur Überprüfung einer optoelektronischen Komponente (10), umfassend - einen Anschlussträger (100), auf dem die zu
vermessende optoelektronische Komponente (10) angeordnet ist, und
- Mittel (42, 44, 52) zum Anregen eines
elektromagnetischen Schwingkreises (38, 39), der den Anschlussträger (100) und die mindestens eine
optoelektronische Komponente (10) umfasst, wobei die Mittel eine Flachspule (52) umfassen.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 17 bis 19, wobei die erste Spule (42) und die zweite Spule (44) oder die Flachspule (52) durch eine strukturierte Leiterplatte gebildet ist/sind.
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