WO2016071406A1 - Gasbehälter - Google Patents

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WO2016071406A1
WO2016071406A1 PCT/EP2015/075726 EP2015075726W WO2016071406A1 WO 2016071406 A1 WO2016071406 A1 WO 2016071406A1 EP 2015075726 W EP2015075726 W EP 2015075726W WO 2016071406 A1 WO2016071406 A1 WO 2016071406A1
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gas
gas container
container
layers
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PCT/EP2015/075726
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Peter Adam
Wilhelm Bayerl
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Linde Aktiengesellschaft
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    • F17C2223/0123—Single phase gaseous, e.g. CNG, GNC
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    • F17C2223/03—Handled fluid before transfer, i.e. state of fluid when stored in the vessel or before transfer from the vessel characterised by the pressure level
    • F17C2223/036—Very high pressure (>80 bar)

Definitions

  • the invention relates to a gas container, in particular for filling with high purity
  • Gases are usually in special containers, usually pressure vessels, so-called.
  • Gas bottles transported. When transporting and storing special gases, such as those of particularly high purity or calibration gases, particularly high demands are placed on the containers.
  • the containers must be made of materials that ensure compatibility with the gases in question. This compatibility is significantly influenced by chemical reactions of the gases with the container material. Due to such chemical reactions, for example, the concentration of particularly reactive components in a gas mixture may decrease over time, which can significantly shorten the maximum storage time. In the case of high-purity gases, on the other hand, the purity decreases with time.
  • the container material can be specially selected and the container can then undergo a special process.
  • the container material then come in particular aluminum or aluminum alloys and stainless steel in question, since they are particularly resistant to reaction.
  • the container then undergoes a special pre-treatment with heating, evacuation and rinsing to remove water and other contaminants.
  • a passivation of the inner wall of the container ie there is a protective layer formed there with the gas to be filled by adhering gas atoms or gas molecules.
  • a new evacuation is performed and the container can be filled with the gas to be filled.
  • a similar process can be performed.
  • an additional step namely rinsing the cylinder with an acid
  • a disadvantage of the process described above and commonly used is that it is particularly complicated and expensive.
  • the process must be repeated when refilling, especially when filling with another gas.
  • the process is specially adapted to the gas to be filled.
  • it is not possible or at least not always the appropriate gas to be selected for passivation.
  • a container material is not equally suitable for all components of a gas mixture.
  • WO 2014/033359 A1 discloses, for example, a method in which a protective layer is applied inside a pump by means of an ALD method.
  • a gas container having the features of the independent claims.
  • Advantageous embodiments are the subject of the dependent claims and the following description.
  • An inventive gas container such as, for example, a gas cylinder or a "constant pressure (Piston) Cylinder * has on its inside a directly applied to a base material of the gas container coating.
  • the coating comprises several monomolecular layers of at least one
  • Coating material and, in each case substantially directly in the respective layer adjacent molecules.
  • This coating corresponds to a coating comprising a plurality of layers of at least one coating material produced by an ALD process, since precisely and only by an AL D process, i. a method for atomic layer deposition, monomolecular layers of coating material can be produced, wherein the individual molecules of a layer are substantially immediately adjacent.
  • each layer is produced individually by means of an ALD process.
  • a first reactant is brought into contact with the surface of a material to be coated, whereupon a monomolecular layer of the first reactant on the
  • a rinse process removes the excess non-surface-bound reactant.
  • a second reactant is brought into contact with the surface-bound first reactant.
  • the surface-bound molecules of the first reactant react with molecules of the second reactant to form molecules of the desired one
  • Coating material The excess second reactant is also removed by means of a rinse.
  • the result is a monomolecular, dense and homogeneous layer of the desired coating material on the surface of the material to be coated.
  • the operations mentioned can be repeated until a desired thickness of the coating of the surface has been reached.
  • Coating method ALD ie Atomic Layer Deposition
  • ALD ie Atomic Layer Deposition
  • Coating material is not related to the gas to be filled.
  • a gas container according to the invention can thus be used for various gases.
  • the at least one coating material is selected from Al 2 O 3, SiO 2, ⁇ O 2, Ta 2 O 5 and HfO 2.
  • these coating materials are relatively easy to produce by means of an ALD process and, on the other hand, provide particularly good protection against chemical reactions of filling gases with the base material of the gas container.
  • At least two of the multiple layers are formed of different Be Anlagenungsmatenalen.
  • a corrosion resistance can be increased because of different
  • the multiple layers are formed alternately from two different coating materials, in particular from Al 2 O 3 and ⁇ O 2. This increases the effect of different matehals, especially the
  • Molecules of the filling gas provided is applied. It may be a so-called passivation, which is an additional
  • the coating preferably has a thickness of at most 500 nm, in particular of at most 100 nm. This causes on the one hand as fast as possible
  • an indefinite thickness depends on the roughness of the base material. In this case, “sharp edges" of the base material must be completely covered.
  • the base material of the gas container comprises steel, in particular chromium-molybdenum steel, further, in particular 34CrMo4 steel.
  • steel is a cost-effective material, in itself for the above-mentioned pure gases or reactive gas mixtures, however, little suitable, since reactions take place particularly easily, which can lead to contamination of the filling gas. Due to the coating according to the invention, however, steel can now also be used as the base material for the gas container, since the undesired reactions are prevented.
  • 34CrMo4 steel is one commonly used for
  • the gas container is formed substantially z linder- or bottle-shaped.
  • This is a commonly used form of gas containers for filling with gas, as the gas container is thus particularly stable and easy to transport.
  • the gas container is designed as a gas pressure container, in particular as a high-pressure container. This allows a particularly effective filling of the gas container with gas and thus a reduction in the size of the gas
  • FIG. 1 shows schematically a gas container according to the invention.
  • Figure 2 shows a section of a wall of a gas container according to the invention with a coating in a preferred embodiment.
  • FIG. 3 shows a detail of a wall of a gas container according to the invention with a coating in a further preferred embodiment.
  • FIG. 1 schematically shows a gas container 100 designed as a gas cylinder according to the invention.
  • the gas cylinder 100 comprises a main body 101 with a substantially cylindrical shape and a closure cap 102.
  • the detail of the left lower corner of the wall of the gas container 100, designated A, is shown in more detail in FIG.
  • the wall comprises a base material 110, which is steel, preferably a 34CrMo steel commonly used for gas cylinders.
  • the thickness of the base material 110 is a few millimeters (about 4 mm to 8 mm) and does not differ in this respect from a conventional gas cylinder made of steel.
  • a coating 120 is now applied.
  • the coating 120 is at least one of several layers produced by means of an ALD process
  • Coating material such as AI 203 or ⁇ 02. Further detailing of the container wall, in particular of the coating 120, is shown in FIG. 3, which comprises the cutout designated B.
  • FIG. 3 which comprises the cutout designated B.
  • the detail B of the wall of the gas container of Figure 2 is larger and shown in more detail.
  • the coating 120 applied to the base material 110 consists of several layers. By way of example only three layers 130, 131 and 132 are shown. Depending on the desired embodiment, however, the coating may, for example, comprise up to 50 or 100 layers.
  • Each individual layer has the thickness of the diameter of a molecule of the respective coating material, which is in the range of a few nanometers. Furthermore, the molecules of a layer are homogeneous and close to each other, which is effected by the ALD method.
  • the coating 120 thus forms a very corrosion-resistant protective layer, whereby the gas container 100 according to the invention is very good for filling with
  • the coating 120 consists of layers of different coating materials.
  • the layers 130 and 132 consist of a first Be Anlagenungsmateriai, preferably AI203, and the intermediate layer 131 of a second Be Anlagenungsmateriai, preferably ⁇ 02.
  • This arrangement can be continued accordingly with a larger number of layers, so that the two coating materials alternate with each layer. This increases the protective effect, i. the corrosion resistance of the coating 120.
  • Coating materials and / or a different arrangement of the layers possible For example. For example, two or three layers of a coating material may be superimposed before one or more layers of another

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Abstract

Die Erfindung betrifft einen Gasbehälter (100), dessen Innenseite eine unmittelbar auf einem Grundmaterial (110) des Gasbehälters (100) aufgebrachte Beschichtung (120) aufweist, wobei die Beschichtung (120) mehrere durch ein ALD-Verfahren hergestellte Lagen (130, 131, 132) wenigstens eines Beschichtungsmaterials umfasst.

Description

ßeschreibgng
Gasbehälter
Die Erfindung betrifft einen Gasbehälter, insbesondere zur Befüllung mit hochreinem
Gas oder einem Gasgemisch mit reaktiven Komponenten.
Stand der Technik
Gase werden üblicherweise in speziellen Behältern, meist Druckbehältern, sog.
Gasflaschen, transportiert. Beim Transport und bei der Speicherung von speziellen Gasen, wie bspw. solcher von besonders hoher Reinheit oder Kalibriergasen, werden dabei besonders hohe Anforderungen an die Behälter gestellt. Die Behälter müssen aus Materialien hergesteilt sein, die eine Kompatibilität mit den ensprechenden Gasen gewährleisten. Diese Kompatibilität wird dabei wesentlich von chemischen Reaktionen der Gase mit dem Behältermaterial beeinflusst. Aufgrund solcher chemischer Reaktionen kann bspw. die Konzentration besonders reaktiver Komponenten in einem Gasgemisch über die Zeit abnehmen, was die maximale Lagerzeit deutlich verkürzen kann. Bei hochreinen Gasen hingegen nimmt die Reinheit mit der Zeit ab.
Um trotzdem die Konzentration eines Gases bzw. der Komponenten eines
Gasgemisches über längere Zeit sicherzustellen, kann bspw. das Behältermaterial speziell ausgewählt werden und der Behälter anschließend einen speziellen Prozess durchlaufen. Für das Behältermaterial kommen dann insbesondere Aluminium bzw. Aluminiumlegierungen und Edelstahl in Frage, da diese besonders reaktionsresistent sind. Der Behälter durchläuft dann eine besondere Vorbehandlung mit Aufheizen, Evakuieren und Spülen, um Wasser und andere Kontaminierungen zu entfernen. Anschließend erfolgt eine Passivierung der Innenwand des Behälters, d.h. es wird dort eine Schutzschicht mit dem zu befüllenden Gas durch anhaftende Gasatome bzw. Gasmoleküle gebildet. Schließlich wird eine erneute Evakuierung durchgeführt und der Behälter kann mit dem zu befüllenden Gas befüllt werden. Auch zur Erhaltung der Reinheit von Gasen kann ein vergleichbarer Prozess durchgeführt werden. Teilweise kann auch ein zusätzlicher Schritt, nämlich ein Spülen des Zylinders mit einer Säure, nötig sein. Nachteilig an dem oben beschriebenen und üblicherweise verwendeten Prozess ist jedoch, dass er besonders aufwändig und teuer ist. Außerdem muss der Prozess bei erneuter Befüllung, insbesondere bei Befüllung mit einem anderen Gas, erneut durchgeführt werden. Davon abgesehen ist der Prozess speziell an das zu befüllende Gas anzupassen. Insbesondere bei Gasgemischen kann jedoch nicht oder zumindest nicht immer das passende Gas zur Passivierung ausgewählt werden. Weiterhin kann es vorkommen, dass ein Behältermaterial nicht für alle Komponenten eines Gasgemisches gleich gut geeignet ist.
Aus der EP 2 628 817 A1 ist bspw. ein Verfahren zum Aufbringen einer Schutzschicht mittels eines ALD (Atomic Layer Deposition) -Verfahrens auf ein bereits mittels eines PVD (Physical Vapor Deposition) - oder CVD (Chemical Vapor Deposition) -Verfahrens beschichtetes Stahlstück bekannt.
Die WO 2014/033359 A1 offenbart bspw. ein Verfahren, bei dem im Inneren einer Pumpe mittels eines ALD-Verfahrens eine Schutzschicht aufgebracht wird.
Es stellt sich daher die Aufgabe, einen Behälter, der zur Befüllung mit Gas, insbesondere hochreinem Gas und/oder reaktiven Gasgemischen, vorgesehen ist, bereitzustellen, der kostengünstig herzustellen und insbesondere vielseitig verwendbar ist.
Offenbarung der Erfindung
Diese Aufgabe wird gelöst durch einen Gasbehälter mit den Merkmalen der unabhängigen Patentansprüche. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind Gegenstand der Unteransprüche sowie der nachfolgenden Beschreibung. Vorteile der Erfindung Ein erfindungsgemäßer Gasbehälter wie bspw, eine Gasflasche oder ein„Constant Pressure (Piston) Cylinder* weist auf dessen Innenseite eine unmittelbar auf einem Grundmaterial des Gasbehälters aufgebrachte Beschichtung auf. Die Beschichtung umfasst dabei mehrere monomolekulare Lagen wenigstens eines
Beschichtungsmaterials und mit jeweils im Wesentlichen unmittelbar in der jeweiligen Lage nebeneinanderliegenden Molekülen.
Diese Beschichtung entspricht dabei einer Beschichtung, die mehrere durch ein ALD- Verfahren hergestellte Lagen wenigstens eines Beschichtungsmaterials umfasst, da genau und nur durch ein AL D-Verfahren, d.h. einem Verfahren zur Atomic Layer Deposition, monomolekulare Lagen von Beschichtungsmaterial hergestellt werden können, wobei die einzelnen Moleküle einer Lage im Wesentlichen unmittelbar nebeneinander liegen. Insbesondere wird dabei jede Lage einzeln mittels eines ALD- Verfahrens hergestellt.
Das ALD-Verfahren zur Herstellung solcher Lagen ist an sich bekannt, daher sei im Folgenden nur kurz auf das wesentliche Prinzip eingegangen. Zunächst wird ein erster Reaktant mit der Oberfläche eines zu beschichtenden Materials in Kontakt gebracht, woraufhin sich eine monomolekulare Schicht des ersten Reaktanten auf der
Oberfläche bildet. Durch einen Spülvorgang wird der überschüssige, nicht an der Oberfläche gebundene Reaktant entfernt. Anschließend wird ein zweiter Reaktant in Kontakt mit dem auf der Oberfläche gebundenen ersten Reaktanten gebracht. Dabei reagieren die an der Oberfläche gebundenen Moleküle des ersten Reaktanten mit Molekülen des zweiten Reaktanten zu Molekülen des gewünschten
Beschichtungsmaterials. Der überschüssige zweite Reaktant wird ebenfalls mittels eines Spülvorgangs entfernt. Das Ergebnis ist eine monomolekulare, dichte und homogene Lage aus dem gewünschten Beschichtungsmaterial auf der Oberfläche des zu beschichtenden Materials. Die genannten Vorgänge können bis zum Erreichen einer gewünschten Dicke der Beschichtung der Oberfläche wiederholt werden.
Der Vollständigkeit halber sei noch erwähnt, dass zwar der Name des
Beschichtungsverfahrens ALD, also Atomic Layer Deposition, eine Beschichtung mit einzelnen Atomen vermuten lässt. Allerdings ist hinlänglich bekannt, dass es sich bei der Beschichtung meist um Moleküle handelt und der Name für einen Fachmann daher verständlich ist.
Wird nun ein Gasbehälter mit einer sochen bzw. auf diese Weise hergestellten Beschichtung auf seiner Innenseite mit hochreinem Gas oder einem reaktiven Gasgemisch befüllt, so verhindert diese dichte und gleichmäßige Beschichtung chemische Reaktionen des Gases mit dem Grundmaterial des Gasbehälters. Dabei wurde erkannt, dass die erfindungsgemäße Beschichtung bzw. das
Beschichtungsmaterial nicht in Zusammenhang mit dem zu befüllenden Gas stehen. Insbesondere kann ein erfindunsgemäßer Gasbehälter somit für verschiedene Gase verwendet werden.
Vorzugsweise ist das wenigstens eine Beschichtungsmaterial aus AI203, Si02, ΤΊ02, Ta205 und Hf02 ausgewählt. Diese Beschichtungsmaterialien sind einerseits relativ einfach mittels eines ALD-Verfahrens herzustellen und liefern andererseits besonders guten Schutz gegen chemische Reaktionen von Füllgasen mit dem Grundmaterial des Gasbehälters.
Vorteilhafterweise sind wenigstens zwei der mehreren Lagen aus verschiedenen Beschichtungsmatenalen gebildet. Durch verschiedene Beschichtungsmaterialien kann bspw. eine Korrosionsbeständigkeit erhöht werden, da durch verschiedene
Moleküigrößen in verschiedenen Lagen der Beschichtung eine Angriffsfläche für ein in den Gasbehälter eingefülltes Gas reduziert wird. Besonders vorteilhaft ist, wenn die mehreren Lagen abwechselnd aus zwei verschiedenen Beschichtungsmaterialien, insbesondere aus AI203 und ΤΊ02, gebildet sind. Dies erhöht den Effekt verschiedener Matehalen, insbesondere die
Korrosionsbeständgikeit und die Glättung der Oberfäche. Es ist von Vorteil, wenn auf die Beschichtung eine zusätzliche Beschichtung, die
Moleküle des zur Befüllung vorgesehenen Gases umfasst, aufgebracht ist. Dabei kann es sich um eine sogenannte Passivierung handeln, welche eine zusätzliche
Schutz Wirkung erzielt. Dies eignet sich besonders bei der Befüllung mit reinen Gasen. Vorzugsweise weist die Beschichtung eine Dicke von höchstens 500 nm, insbesondere von höchstens 100 nm, auf. Dies bewirkt zum einen eine möglichst schnelle
Herstellung und zum anderen eine gewisse Flexibilität der Beschichtung. Eine indestdicke hingegen hängt von der Rauigkeit des Grundmaterials ab. Dabei müssen "scharfe Kanten" des Grundmaterials vollständig bedeckt sein.
Es ist von Vorteil, wenn das Grundmaterial des Gasbehälters Stahl, insbesondere Chrom-Molybdän-Stahl, weitere insbesondere 34CrMo4-Stahl, umfasst. Stahl ist zwar ein kostengünstiges Material, an sich für die eingangs erwähnten reinen Gase oder reaktiven Gasgemische allerdings wenig geeignet, da hier besonders leicht Reaktionen stattfinden, die zur Verunreinigung des Füllgases führen können. Durch die erfindungsgemäße Beschichtung kann nun jedoch auch Stahl als Grundmaterial für den Gasbehälter verwendet werden, da die unerwünschten Reaktionen verhindert werden. Bei 34CrMo4-Stahl handelt es sich bspw. um eine üblicherweise für
Gasflaschen {dann jedoch nicht zur Befüllung mit reinen Gasen oder aktiven
Gasgemischen) verwendeten Stahl und ist daher leicht verfügbar und kostengünstig.
Vorzugsweise ist der Gasbehälter im Wesentlichen z linder- oder flaschenförmig ausgebildet. Dabei handelt es sich um eine üblicherweise verwendete Form von Gasbehältern zur Befüllung mit Gas, da der Gasbehälter dadurch besonders stabil und leicht transportierbar ist.
Vorteilhafterweise ist der Gasbehälter als Gasdruckbehälter, insbesondere als Hochdruckbehälter, ausgebildet. Dies ermöglicht eine besonders effektive Befüllung des Gasbehälters mit Gas und somit auch eine Reduzierung der Größe des
Gasbehälters.
Weitere Vorteile und Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus der
Beschreibung und der beiliegenden Zeichnung.
Es versteht sich, dass die vorstehend genannten und die nachfolgend noch zu erläuternden Merkmale nicht nur in der jeweils angegebenen Kombination, sondern auch in anderen Kombinationen oder in Alleinstellung verwendbar sind, ohne den Rahmen der vorliegenden Erfindung zu verlassen. Die Erfindung ist anhand eines Ausführungsbeispieis in der Zeichnung schematisch dargestellt und wird im Folgenden unter Bezugnahme auf die Zeichnung ausführlich beschrieben. Kurze Beschreibung der Zeichnungen
Figur 1 zeigt schematisch einen erfindungsgemäßen Gasbehälter.
Figur 2 zeigt einen Ausschnitt einer Wand eines erfindungsgemäßen Gasbehälters mit einer Beschichtung in einer bevorzugten Ausführungsform.
Figur 3 zeigt einen Ausschnitt einer Wand eines erfindungsgemäßen Gasbehälters mit einer Beschichtung in einer weiteren bevorzugten Ausführungsform. Ausführungsform der Erfindung
In Figur 1 ist ein als Gasflasche ausgebildeter erfindungsgemäßer Gasbehälter 100 schematisch dargestellt. Vorliegend umfasst die Gasflasche 100 einen Grundkörper 101 mit im Wesentlichen zylindrischer Form sowie eine Verschlusskappe 102. Der mit A bezeichnete Ausschnitt der linken unteren Ecke der Wand des Gasbehälters 100 ist in Figur 2 detaillierter dargestellt.
In Figur 2 ist der Ausschnitt A der Wand des Gasbehälters 100 aus Figur 1 größer dargestellt. Die Wand umfasst ein Grundmaterial 1 10, bei welchem es sich um Stahl, vorzugsweise einem für Gasflaschen üblicherweise verwendeten 34CrMo -Stahl, handelt. Die Dicke des Grundmaterials 110 beträgt dabei einige Millimeter (ca. 4 mm bis 8 mm) und unterscheidet sich insoweit nicht von einer herkömmlichen Gasflasche aus Stahl. Umittelbar auf dem Grundmaterial 110 ist nun jedoch eine Beschichtung 120 aufgebracht.
Wie bereits eingangs beschrieben, handelt es sich bei der Beschichtung 120 um mehrere mittels eines ALD-Verfahrens hergestellte Lagen wenigstens eines
Beschich tungsmaterials wie bspw. AI 203 oder ΤΊ02. Eine weitere Detaillierung der Behälterwand, insbesondere der Beschichtung 120 ist in Figur 3 gezeigt, welche den mit B bezeichneten Ausschnitt umfasst. In Figur 3 ist der Ausschnitt B der Wand des Gasbehälters aus Figur 2 größer und detaillierter dargestellt. Es ist zu erkennen, dass die auf das Grundmaterial 110 aufgebrachte Beschichtung 120 aus mehreren Lagen besteht. Beispielhaft sind nur drei Lagen 130, 131 und 132 dargestellt. Je nach gewünschter Ausführungsform umfasst die Beschichtung jedoch bspw. bis zu 50 oder 100 Lagen.
Jede einzelne Lage hat die Dicke des Duchmessers eines Moleküls des jeweiligen Beschichtungsmaterials, welche im Bereich von wenigen Nanometern liegt. Weiterhin sind die Moleküle einer Lage homogen und dicht aneinander angeordnet, was durch das ALD-Verfahren bewirkt wird.
Insbesondere ist in Figur 3 zu erkennen, dass die einzelnen Lagen an die
Oberflächenstruktur des Grundmaterials 10 angepasst sind. Insgesamt bildet die Beschichtung 120 somit eine sehr korrosionsresistente Schutzschicht, wodurch sich der erfindungsgemäße Gasbehälter 100 sehr gut für die Befüllung mit
reaktionsfreudigen Gasen oder Gasgemischen eignet.
Weiterhin ist der Figur 3 zu entnehmen, dass die Beschichtung 120 aus Lagen unterschiedlicher Beschichtungsmaterialien besteht. Vorliegend bestehen die Lagen 130 und 132 aus einem ersten Beschichtungsmateriai, bevorzugt AI203, und die dazwischen liegende Lage 131 aus einem zweiten Beschichtungsmateriai, bevorzugt ΤΊ02. Diese Anordnung kann bei einer größeren Anzahl an Lagen entsprechend weitergeführt sein, so dass sich die beiden Beschichtungsmaterialien mit jeder Lage abwechseln. Dies erhöht die Schutz Wirkung, d.h. die Korrosionsbeständigkeit, der Beschichtung 120.
Der Vollständigkeit halber sei jedoch angemerkt, dass bereits eine Beschichtung aus nur einem Beschichtungsmateriai eine deutliche Schutzwirkung erzielt. Andererseits sind auch andere Kombinationen, wie bspw. mehr als zwei verschiedene
Beschichtungsmaterialien und/oder eine andere Anordnung der Lagen möglich. Bspw. können auch zwei oder drei Lagen eines Beschichtungsmaterials übereinander aufgebracht sein, bevor eine oder mehrere Lagen eines anderen
Beschichtungsmaterials folgen. Weiterhin sei noch erwähnt, dass auch eine zusätzliche Passivienjng der Beschichtung 120 mit einem zu befüllenden Gas erfolgen kann, wodurch die Schutzwirkung weiter erhöht wird. Dies ist insbesondere bei Befüllung mit reinen Gasen vorteilhaft und sinnvoll . Bei einer Befüllung mit weniger reaktiven Gasen oder Gasgemischen (bspw. CO, NO, S02) kann diese Passivierung jedoch auch weggelassen werden.

Claims

Patentansprüche
1. Gasbehälter (100), dessen Innenseite eine unmittelbar auf einem Grundmaterial (110) des Gasbehälters (100) aufgebrachte Beschichtung (120) aufweist,
dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung (120) mehrere
monomolekulare Lagen (130, 131 , 132) wenigstens eines Beschichtungsmaterials und mit jeweils im Wesentlichen unmittelbar in der jeweiligen Lage (130, 131 , 132) nebeneinanderliegenden Molekülen umfasst.
2. Gasbehälter (100), dessen Innenseite eine unmittelbar auf einem Grundmateria! (110) des Gasbehälters (100) aufgebrachte Beschichtung (120) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung (120) mehrere durch ein ALD-Verfahren hergestellte Lagen (130, 131 , 132) wenigstens eines
Beschichtungsmaterials umfasst.
3. Gasbehälter (100) nach Anspruch 1 oder 2, wobei das wengistens eine
Beschichtungsmaterial aus AI203, Si02, ΤΊ02, Ta205 und Hf02 ausgewählt ist.
4. Gasbehälter (100) nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei wenigstens zwei der mehreren Lagen (130, 131 ) aus verschiedenen Beschichtungsmaterialen gebildet sind.
5. Gasbehälter (100) nach Anspruch 4, wobei die mehreren (130, 131 , 132) Lagen abwechselnd aus zwei verschiedenen Beschichtungsmaterialien gebildet sind.
6. Gasbehälter (100) nach Anspruch 5, wobei die zwei verschiedenen
Beschichtungsmaterialien AI203 und ΤΊ02 umfassen.
7. Gasbehälter (100) nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei auf die
Beschichtung (120) eine zusätzliche Beschichtung, die Moleküle des zur Befüllung vorgesehenen Gases umfasst, aufgebracht ist.
8. Gasbehälter (100) nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei die
Beschichtung (120) eine Dicke von höchstens 500 nm, insbesondere von höchstens 100 nm, aufweist.
9. Gasbehälter (100) nach einem der vorstehenen Ansprüche, wobei das Grundmaterial (110) des Gasbehälters Stahl, insbesondere Chrom-Moiybdän- Stahl, weitere insbesondere 3 CrMo4-Stahl, umfasst.
10. Gasbehälter (100) nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei der
Gasbehälter im Wesentlichen zylinder- oder flaschenförmig ausgebildet ist.
1 1 . Gasbehälter (100) nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei der Gasbehälter als Gasdruckbehälter, insbesondere als Hochdruckbehälter, ausgebildet ist.
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