WO2016056544A1 - 走査光学系及び投受光装置 - Google Patents

走査光学系及び投受光装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2016056544A1
WO2016056544A1 PCT/JP2015/078325 JP2015078325W WO2016056544A1 WO 2016056544 A1 WO2016056544 A1 WO 2016056544A1 JP 2015078325 W JP2015078325 W JP 2015078325W WO 2016056544 A1 WO2016056544 A1 WO 2016056544A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
light
mirror surface
mirror
reflected
angle
Prior art date
Application number
PCT/JP2015/078325
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
亮太 石川
将司 古後
Original Assignee
コニカミノルタ株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by コニカミノルタ株式会社 filed Critical コニカミノルタ株式会社
Priority to EP15849446.8A priority Critical patent/EP3206074A4/en
Priority to JP2016553112A priority patent/JP6618042B2/ja
Priority to US15/518,200 priority patent/US10162171B2/en
Publication of WO2016056544A1 publication Critical patent/WO2016056544A1/ja

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10Scanning systems
    • G02B26/12Scanning systems using multifaceted mirrors
    • G02B26/129Systems in which the scanning light beam is repeatedly reflected from the polygonal mirror
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/48Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
    • G01S7/481Constructional features, e.g. arrangements of optical elements
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/48Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
    • G01S7/481Constructional features, e.g. arrangements of optical elements
    • G01S7/4817Constructional features, e.g. arrangements of optical elements relating to scanning
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10Scanning systems
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10Scanning systems
    • G02B26/12Scanning systems using multifaceted mirrors
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10Scanning systems
    • G02B26/12Scanning systems using multifaceted mirrors
    • G02B26/125Details of the optical system between the polygonal mirror and the image plane
    • G02B26/126Details of the optical system between the polygonal mirror and the image plane including curved mirrors
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/0025Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for optical correction, e.g. distorsion, aberration
    • G02B27/0031Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for optical correction, e.g. distorsion, aberration for scanning purposes
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/08Mirrors
    • G02B5/09Multifaceted or polygonal mirrors, e.g. polygonal scanning mirrors; Fresnel mirrors

Definitions

  • the present invention relates to a scanning optical system and a light projecting / receiving device suitable for use in a light projecting / receiving device that detects an object by irradiating a laser beam or the like.
  • a laser radar which is a distance measuring device using optical scanning.
  • a general laser radar scans a wide range by projecting a light beam emitted from a laser light source onto a mirror or a polygon mirror, and rotating or swinging the polygon mirror to scatter from a light projection object Shape measurement and distance measurement are performed by receiving light by a light receiving element.
  • Patent Document 1 discloses a technique related to a polygon mirror that has an even number of planar reflecting surfaces and performs scanning by reflecting a light beam an even number of times.
  • the present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide a scanning optical system and a light projecting / receiving device capable of obtaining reflected light having a sufficient intensity with respect to a wide range of measurement objects.
  • a scanning optical system reflecting one aspect of the present invention is provided.
  • a mirror unit having a first mirror surface and a second mirror surface inclined with respect to the rotation axis;
  • the light beam emitted from the light source is reflected by the first mirror surface of the mirror unit, then reflected by the second mirror surface, and scans the object in the main scanning direction according to the rotation of the mirror unit.
  • the length in the orthogonal direction is long.
  • the rotation angle change of the cross section shape (beam profile) in the traveling direction in the scanning range It is possible to perform floodlighting that is unlikely to occur. Therefore, when a virtual plane is set in a range including the object, the cross-sectional shape when the light beam reflected by the second mirror surface enters the virtual plane is less likely to change according to the main scanning angle.
  • the cross-sectional shape of the projected light beam is maintained such that the length perpendicular to the main scanning direction (sub-scanning direction) is longer than the length in the main scanning direction, whereby the sub-scanning is performed in one scan. Since light can be projected over a wide range in the direction, an object in a wide measurement range can be measured even though the number of scans is small.
  • FIG. 1 It is a figure which shows the scanning optical system of a comparative example. It is a figure which shows the scanning optical system of a comparative example. It is the schematic which shows the scanning optical system of a comparative example, and is the figure seen from the front. It is the schematic which shows the scanning optical system of a comparative example, and is a figure which shows the state rotated. It is a graph which shows the relationship between the main scanning angle and spot rotation angle in the scanning optical system of a comparative example. It is a figure which shows a mode that inclination changes with the position of a main scanning direction in the spot light projected on the virtual plane containing a measurement target object from the scanning optical system of a comparative example.
  • FIG. 6 is a diagram illustrating a relationship between a main scanning angle and longitudinal distortion in a scanning optical system according to a modified example.
  • the main scanning angle is the azimuth angle at the center of the rotation axis of the projected light beam deflected by the mirror unit
  • the sub-scanning angle is the elevation of the projected light beam with respect to the plane orthogonal to the rotation axis.
  • the depression angle and the spot rotation angle are the angle of the direction of the light beam rotating around the light projection direction
  • the vertical distortion is the sub-scanning direction angle when scanned in the vicinity with respect to the sub-scanning direction angle at the center of the main scanning angle.
  • one reflection surface RM1 is inclined 45 ° with respect to the rotation axis RO, and a light beam LB emitted from the light source OPS is incident along the rotation axis RO direction.
  • a comparative example in which the reflecting surface RM1 is rotated.
  • the optical axis of the light source OPS (or the light projecting system composed of the light source OPS and a lens or prism) and the optical path in the light projecting direction from the reflecting surface RM1 can be orthogonalized, it is possible to project light over a wide range. .
  • the light beam LB continuously moves in the main scanning direction, so that the measurement object can be scanned without exception regardless of the light beam shape.
  • the range in which the light beam LB is projected in one scan is limited to the length of the light beam in the sub-scanning direction. It can be said that it is desirable to make the length in the sub-scanning direction as long as possible in the cross-sectional shape orthogonal to the traveling direction of the light beam toward the measurement object.
  • a mirror unit MU provided with a plurality of reflecting surfaces RM1 and RM2 having different angles ( ⁇ 1, ⁇ 2) with respect to the rotation axis RO.
  • the emission angles of the light beams LB and LB ′ projected from the reflection surfaces RM1 and RM2 at different angles are changed, and the light beams LB and LB ′ are changed to different sub-scanning ranges.
  • a two-dimensional measurement range can be obtained.
  • 3 and 4 show a scanning optical system of a comparative example.
  • a scanning optical system of a comparative example in which a laser beam (hereinafter referred to as spot light) emitted from the light projecting system LPS is reflected only once and directed to the measurement object is used, the following problems occur.
  • the mirror unit MU having the reflecting surface RM1 inclined with respect to the rotation axis RO is rotated around the rotation axis RO. It is assumed that the spot light SL emitted in the direction along the rotation axis RO from the light source OPS of the light projecting system LPS has different aspect ratios.
  • the spot light SL reflected by the reflecting surface RM1 and traveling toward the object travels in the direction perpendicular to the paper surface, but its traveling direction orthogonal cross section (shown by hatching) is a virtual plane away from the reflecting surface RM1.
  • the length is a rectangular cross section in which the length in the main scanning angle direction (left and right direction in the figure) is a and the length in the sub scanning angle direction (up and down direction in the figure) is b (> a).
  • the mirror unit MU shown in FIG. 3 rotates, the light beam LB reflected by the reflecting surface RM1 moves in the left-right direction as shown in FIG. As a result, the range where the measurement object exists is scanned, but spot rotation occurs in the spot light SL. Further, when the light beam LB enters the reflecting surface RM1 non-parallel to the rotation axis RO, longitudinal distortion also occurs (spot rotation is different from the case of parallel incidence). Specifically, the vertical distortion is a phenomenon in which the spot light SL is distorted in the sub-scanning angle direction, thereby narrowing the intervals between the scanning lines or opening the intervals. In FIG.
  • This shift amount is represented by an angle shift ( ⁇ ) in the sub-scanning angle direction.
  • angle shift
  • the spot light interval is reduced or the interval is increased by rotating the spot light.
  • FIG. 4 it refers to a phenomenon in which the spot light SL rotates as indicated by the alternate long and short dash line with respect to the original posture direction (solid line).
  • the rotation angle ⁇ is referred to as a spot rotation angle.
  • FIG. 5 is a diagram showing the relationship between the main scanning angle and the spot rotation angle when a light beam is incident parallel to the rotation axis on the reflection surface inclined by 45 ° with respect to the rotation axis shown in FIG.
  • the main scanning angle is the same as the rotation angle.
  • the spot rotation angle ⁇ increases as the rotation angle ⁇ of the reflecting surface RM1 increases.
  • FIG. 6 shows the inclination of the spot light projected from the scanning optical system onto the virtual plane VP including the measurement object (here, the surface orthogonal to the central direction of the main scanning angle) depending on the position in the main scanning direction.
  • the measurement object here, the surface orthogonal to the central direction of the main scanning angle
  • FIG. 6 a surface on which the spot light SL is scanned is defined as a scanning surface SR.
  • the spot light SL heading toward the center of the reflecting surface RM1 has a spot rotation angle ⁇ of zero and stands with respect to the main scanning direction, whereas the spot light SL toward the periphery of the reflecting surface RM1.
  • the light SL increases in the spot rotation angle ⁇ , that is, the inclination increases toward the periphery.
  • the range that can be covered by one main scan is wide in the sub-scanning direction at the center of the scanning surface SR, whereas the range that can be covered by one main scanning is in the sub-scanning direction at both ends of the scanning surface SR.
  • the measurement will be narrowed, that is, the measurement of the object will be leaked.
  • the light beam width in the sub-scanning direction cannot be made longer than the light beam width in the main scanning direction. That is, there is no problem when the cross-sectional shape of the spot light SL is, for example, a circle or an aspect ratio of the main scanning angle direction and the sub-scanning angle direction is approximate, but it is a problem when they are different. .
  • FIG. 7 is a cross-sectional view along the rotation axis RO showing the scanning optical system of the present embodiment.
  • FIG. 8A is a front view of the scanning optical system of the present embodiment
  • FIG. 8B is a view seen in the direction of the rotation axis, showing a state at the center of the main scanning angle.
  • FIG. 9A is a front view of the scanning optical system of the present embodiment
  • FIG. 9B is a view seen in the direction of the rotation axis, showing a state around the main scanning angle.
  • the mirror unit MU and the light projecting system LPS constitute a scanning optical system. Further, it is assumed that the cross-section perpendicular to the traveling direction of the spot light is the same as that in the comparative example.
  • a light projecting system LPS having a semiconductor laser LD as a light source and a collimating lens CL is provided for the rotation axis RO of the mirror unit MU having the first mirror surface M1 and the second mirror surface M2. It arrange
  • the first mirror surface M1 is tilted by ⁇ 45 degrees with respect to the optical axis direction of the light projecting system LPS from a plane orthogonal to the rotation axis RO, and the second mirror surface M2 is projected from the plane orthogonal to the rotation axis RO. It is tilted +45 degrees in the optical axis direction of the LPS.
  • the rotational position of the mirror unit MU is set so that the optical axis SO of the light projecting system LPS is in a plane including the normal lines of the first mirror surface M1 and the second mirror surface M2.
  • the light beam LB emitted from the light projecting system LPS is reflected by the first mirror surface M1 and travels in parallel with the rotation axis RO.
  • the light is reflected by the second mirror surface M2.
  • the reflected light beam LB is projected from the second mirror surface M2 onto the object.
  • the optical axis SO of the light projecting system LPS may be shifted left and right from the rotation axis RO.
  • FIG. 10 shows the relationship of longitudinal distortion (indicated by the sub-scanning angle) with respect to the main scanning angle ⁇ in this case
  • FIG. 11 shows the relationship of the spot rotation angle with respect to the main scanning angle ⁇ .
  • FIG. 12 shows the spot light projected from the scanning optical system of the present embodiment onto the virtual plane VP including the measurement object (here, the surface orthogonal to the central direction of the main scanning angle) depending on the position in the main scanning direction. It is a figure which shows that an inclination does not change, and shows the example which has four subscanning directions.
  • a surface on which the spot light SL is scanned is a scanning surface SR.
  • the spot light SL has a substantially longer cross-sectional shape in the sub-scanning direction than in the main scanning direction regardless of the main scanning angle. It is possible to irradiate a luminous flux.
  • the spot lights SL arranged in the sub-scanning direction are in contact with each other or overlapped with each other, so that measurement without further leakage can be performed in the sub-scanning direction.
  • the mirror unit MU shown in FIG. 7 or the like is actually used by a radar, the measurement range may not be 0 ° or the incident angle may not match the sub-scanning angle. Furthermore, since the length in the sub-scanning direction in the cross section orthogonal to the traveling direction of the spot light is limited, there is a situation that the measurement range where the object exists must be divided in the sub-scanning direction. Therefore, the mirror unit MU is provided with a plurality of pairs of the first mirror surface and the second mirror surface, and the light beam passing through each mirror pair is shifted in the sub-scanning angle direction and scanned at different sub-scanning angle direction positions. It is desirable to shift the angle formed by the first mirror surface and the second mirror surface from 90 ° so as to be able to do so.
  • FIG. 13 shows the relationship between the main scanning angle and the longitudinal distortion when the tilt angle of the first mirror surface M1 is changed.
  • FIG. 14 shows the relationship between the main scanning angle and the spot rotation angle when the tilt angle of the first mirror surface M1 is changed. From the state of FIG. 7, the first mirror surface M1 is tilted by ⁇ 45 degrees, ⁇ 46 degrees, and ⁇ 47 degrees from the plane orthogonal to the rotation axis RO to the light projection system side, and all the second mirror surfaces M2 are 45 degrees on the contrary.
  • the longitudinal distortion and the spot rotation angle when tilted are as shown in FIGS.
  • the angle formed by the first mirror surface M1 and the second mirror surface M2 changes, the degree of longitudinal distortion and the change in the spot rotation angle changes, but as can be seen from FIG. Therefore, there is no gap.
  • the angle of the first mirror surface and the individual angle of the second mirror surface can be arbitrarily set. Further, it is not necessary to rotate at a constant speed as in the case of a laser printer, and when it is desired to project light only in a specific direction, it may be rotated by a necessary angle and stopped or reciprocally swung.
  • the projected light beam has a cross section with a short length in the sub-scanning direction
  • a declination means for tilting the light projection in the sub-scanning direction is necessary, and scanning is required many times.
  • the mirror unit of the present embodiment can suppress spot rotation, the light beam cross section is made longer in the sub-scanning direction than in the main scanning direction in the light projection range, so that the density of the light beam is increased while performing a single scan.
  • Light can be projected over a wide range in the sub-scanning direction.
  • the vertical distortion is small, there is also an advantage that the projection angle deviation in the sub-scanning direction hardly occurs between the center and the periphery.
  • the spot rotation and the longitudinal distortion are symmetrical with respect to the center of the main scanning angle, the spot rotation angle and the sub-scanning angle are equal if the left and right main scanning angles are the same.
  • the light projecting system includes at least one light source (LD (Laser Diode), LED (Light Emitting Diode) or fiber laser).
  • the cross-sectional shape orthogonal to the traveling direction of the light beam itself emitted from the light source may be different between the direction along the rotation axis of the mirror unit and the direction orthogonal thereto, or a cylindrical lens, anamorphic lens, beam shaper, special
  • the distribution of the circular cross-section light beam emitted from the light source is changed by passing through an optical element such as a prism, and the cross-sectional shape of the traveling direction is different between the direction along the rotation axis of the mirror unit and the direction orthogonal thereto.
  • the cross-sectional shape of the light beam emitted from the second mirror surface when entering the virtual plane is larger than the length in the main scanning direction.
  • the length in the sub-scanning direction orthogonal to the direction is longer means that the cross section perpendicular to the traveling direction of the light beam immediately after reflection from the second mirror surface as viewed from the light-projecting direction is shorter in the sub-scanning direction than in the main scanning direction.
  • the spread angle of the light beam is wider in the sub-scanning direction than in the main scanning direction, and it is sufficient that the length in the sub-scanning direction orthogonal to the main scanning direction is longer when entering the virtual plane.
  • the cross-sectional length of the light beam is a half width or a length of 1 / e 2 with respect to the light intensity of the peak intensity in the light beam. Note that a plurality of light sources may be used to superimpose the respective light beams at the end portions, and the length in the sub-scanning direction orthogonal to the main scanning direction may be apparently increased.
  • Distance measurement with TOF can be performed by using pulsed LEDs or lasers as radar light sources.
  • the resolution change is small with a wide main scanning angle, so that it is possible to provide a radar with a wide viewing angle that can be used effectively.
  • the light receiving system has at least one light receiving element such as a charge coupled device (CCD), a complementary metal-oxide semiconductor (CMOS), and a photo diode (PD), and includes optical components such as a lens, a mirror, and a prism. It is preferable that information such as the object shape and distance can be obtained by condensing the reflected light from the object onto the light receiving element.
  • CMOS complementary metal-oxide semiconductor
  • PD photo diode
  • FIG. 15A is a perspective view showing a schematic configuration of the laser radar LR according to the present embodiment, but the shape, length, etc. of the components may be different from the actual ones.
  • the laser radar LR includes, for example, a semiconductor laser LD as a light source, a collimator lens CL that converts divergent light from the semiconductor laser LD into parallel light, and a laser beam that is collimated by the collimator lens CL by a rotating reflecting surface.
  • a mirror unit MU that scans and projects light toward the object side and reflects reflected light from the scanned and projected object, and a lens LS that collects reflected light from the object reflected by the mirror unit MU.
  • a photodiode PD that receives light collected by the lens LS.
  • the semiconductor laser LD and the collimating lens CL constitute a light projecting system LPS
  • the lens LS and the photodiode PD constitute a light receiving system RPS.
  • the shape of the light emitting surface LDa of the semiconductor laser LD is a rectangular shape as shown in FIG. 15B, and the length B in the direction along the rotation axis RO is longer than the length A in the direction orthogonal thereto. It has become.
  • the luminous flux after being emitted from the light projecting system LPS and reflected by the second mirror surface M2 has a cross-sectional shape that is orthogonal to the traveling direction and is longer in the sub-scanning direction than in the main scanning direction (see FIG. 5).
  • the substantially square cylindrical mirror unit MU is made of resin, and is rotatably held around the rotation axis RO that is an axis, and four trapezoidal first mirror surfaces M1 are arranged on the outer periphery of the lower part. Oppositely, four trapezoidal second mirror surfaces M2 are arranged on the upper outer periphery.
  • the crossing angles of the first mirror surface M1 and the second mirror surface M2 that are paired vertically are different.
  • the first mirror surface M1 is inclined by ⁇ 45 ° with respect to the plane orthogonal to the rotation axis RO
  • the second mirror surface M2 has a first mirror pair of 60 °, a second mirror pair of 55 °, respectively.
  • the third mirror pair is inclined at 50 ° and the fourth mirror pair is inclined at 45 °.
  • FIG. 16 shows the longitudinal distortion in this case
  • FIG. 17 shows the spot rotation angle.
  • the first mirror surface M1 and the second mirror surface M2 are formed by attaching a reflective film, a metal polishing mirror, a film mirror, or the like by vapor deposition, coating, or plating.
  • the optical axes of the light projecting system LPS and the light receiving system RPS are orthogonal to the rotational axis RO of the mirror unit MU, and the light projecting system LPS is arranged farther in the direction of the rotational axis RO than the light receiving system RPS. It should be noted that the light projecting system LPS and the light receiving system RPS may be arranged opposite to the drawing.
  • the light intensity distribution in the light beam is not constant, the amount of return light may increase or decrease depending on the measurement point, and the measurement distance may be shortened depending on the location. is there. For this reason, when a normal single mode laser is used as the light source, it is necessary to use a plurality of optical systems such as lenses and prisms, resulting in a complicated optical system.
  • the luminance distribution of the light source can be obtained even when the light flux from the light source goes far from the measurement range. Since the projection is performed as it is, it is possible to obtain a light amount distribution close to the top hat distribution.
  • the divergent light emitted intermittently in pulses from the semiconductor laser LD is converted into a parallel light beam by the collimator lens CL, is incident on the first mirror surface M1 of the rotating mirror unit MU, is reflected there, and is further reflected by the second. It is reflected by the mirror surface M2 and scanned and projected to the object (not shown) side.
  • the crossing angles are different from each other in four types. Therefore, when one rotation is performed, four different sub-scanning directions can be scanned on the object side.
  • the laser light is sequentially reflected by the first mirror surface M1 and the second mirror surface M2 that rotate and move. First, the first pair of the first mirror surface M1 and the second mirror surface. The laser beam reflected by M2 is scanned from left to right in the horizontal direction in the uppermost region of the scanning surface in accordance with the rotation of the mirror unit MU.
  • the laser light reflected by the second pair of the first mirror surface M1 and the second mirror surface M2 moves horizontally from left to right in the second region from the top of the scanning surface according to the rotation of the mirror unit MU. Is scanned.
  • the object side can be scanned two-dimensionally.
  • the laser beam reflected and reflected by the object out of the projected light beam is incident again on the second mirror surface M2 of the mirror unit MU as shown by the dotted line in FIG.
  • the light is reflected by one mirror surface M1, collected by the lens LS, and detected by the light receiving surface of the photodiode PD.
  • the object can be detected on the object range.
  • FIG. 18 is a cross-sectional view showing a modification of the present embodiment.
  • the crossing angles are all constant (90 °) in a plurality of pairs of the first mirror surface M1 and the second mirror surface M2 of the mirror unit MU.
  • a reflecting mirror BE is used to reflect the light beam LB from the light projecting system LPS so as to be reflected by the first mirror surface M1 and then reflected by the second mirror surface M2.
  • the reflecting mirror BE is rotatable around an axis PV extending in the direction perpendicular to the paper surface.
  • FIG. 19 shows the incident angle on the first mirror surface M1 using the reflecting mirror BE in the state where the crossing angle between the first mirror surface M1 and the second mirror surface M2 is 90 ° in the scanning optical system shown in FIG. It is a diagram showing the relationship between the main scanning angle and the longitudinal distortion when changed (orthogonal to the rotation axis, orthogonal to the rotation axis + 2 °, orthogonal to the rotation axis + 4 °). It turns out that it does not change.
  • the deflecting element is not limited to a reflecting mirror, and an acousto-optic element or a MEMS mirror can be used.
  • the mirror unit has a plurality of pairs of the first mirror surface and the second mirror surface, and the crossing angles of the first mirror surface and the second mirror surface in each pair are different. Different crossing angles between the first mirror surface and the second mirror surface, which are a plurality of pairs, enable not only scanning of one line but also scanning of a plurality of lines shifted in the sub-scanning direction, enabling a wider range of light projection. Become. Also, since the mirror unit can make the main scanning angle larger than the rotation angle, the rotation angle required for one mirror unit to scan can be made smaller than that of the conventional method, and the number of scanning lines with different sub-scanning angles can be increased. I can do it.
  • the mirror unit has a plurality of pairs of the first mirror surface and the second mirror surface, and the plurality of pairs have the same intersection angle between the first mirror surface and the second mirror surface. And at least a pair whose crossing angle is different from the at least two pairs of crossing angles.
  • the frame rate and the like can be improved.
  • the frame rate is more important than the viewing angle because the host vehicle and other environments change rapidly.
  • the frame rate can be partially improved while securing the field of view in the direction of the rotation axis. Further, considering the case where there are three pairs of the first mirror surface and the second mirror surface, the first pair and the second pair have the same first intersection angle, and the third pair is different from the first intersection angle. By configuring the second intersection angle, it is suitable for detecting a white line or a center line on a road surface that does not require a high frame rate.
  • the deflecting element that changes the traveling direction of the light beam emitted from the light source is provided between the light source and the mirror unit.
  • the longitudinal distortion and the spot rotation angle increase as the crossing angle between the first mirror surface and the second mirror surface of the mirror unit increases from 90 degrees. Therefore, by using a deflecting element as shown in FIG. 18, the mirror pair having a crossing angle of about 90 degrees that can suppress the longitudinal distortion and the spot rotation angle by changing the incident angle of the light beam to the mirror unit in the sub-scanning direction is used.
  • the scanning lines can be shifted in the sub-scanning direction.
  • the deflection element is used to correct the incident angle in the sub-scanning direction when the entire projection system is tilted or in the initial position correction of the radar. It may be used.
  • the light emitting surface shape of the light source is longer in the direction length along the rotation axis than the length orthogonal to the rotation axis.
  • the cross-sectional shape orthogonal to the traveling direction of the light beam emitted from the light source is a circle or a square, it is difficult to use as it is. Therefore, a light beam emitted from an LD or LED having a different aspect ratio on the light emitting surface is converted into parallel light through a collimator lens, thereby obtaining a light beam having a desired length in the main scanning direction and the sub-scanning direction.
  • a general-purpose semiconductor laser or the like includes a light source that does not satisfy a required aspect ratio, a necessary light beam spread angle may be corrected by an anamorphic lens or an expander.
  • a light projecting / receiving device having a scanning optical system and a light receiving system including a light receiving element that receives reflected light reflected from an object.
  • a light receiving system it is preferable that reflected light reflected from the object is reflected by the second mirror surface, further reflected by the first mirror surface, and then received by the light receiving element.
  • This configuration can be used as a laser radar.
  • the reflected light from the object is directly directed to the light receiving element which is a two-dimensional sensor (CMOS, CCD) through the lens. It is difficult to receive the light because the required object-side aperture diameter cannot be obtained. Even if light can be received, the use of a large-diameter lens may change the resolution at the main scanning center and the periphery due to the distortion. Therefore, as shown in FIG. 15A, the light receiving system RPS reflects the reflected light reflected from the object on the second mirror surface M2, and further reflects on the first mirror surface M1, and then receives the light on the light receiving element PD.
  • CMOS two-dimensional sensor
  • the light receiving can have a wide scanning range.
  • the light receiving system RPS can obtain the effect of the low spot rotation angle and the low vertical distortion of the mirror unit MU in the range of the total main scanning angle of 180 degrees. It is also possible to increase the aperture of the light receiving system RPS.
  • the optical axes of the light receiving system RPS and the light projecting system LPS are parallel, but the light axes may be shifted by a lens or a free-form surface mirror.
  • the light receiving element can have a higher resolution by having a plurality of elements in a direction in which the cross section perpendicular to the traveling direction of the received light beam is long.
  • the light receiving system when the light receiving system is arranged to receive light after being reflected by the scanning reflecting mirror in the scanning with the single reflection mirror, the optical surface of the light receiving system may be directly exposed to sunlight. In that case, the noise increases due to the stray light of the light receiving optical system, and the S / N may be deteriorated.
  • the light receiving system arrangement of the mirror unit is arranged in parallel to the light projecting system so as to receive the light after reflecting the mirror, so that the light receiving system reflects the light reflected on the mirror without incident sunlight. Only light can be received.
  • the S / N is not always deteriorated, but the S / N is deteriorated only when the light reflected by the mirror enters the light receiving system.
  • the possibility of S / N deterioration due to the influence of the omnidirectional scanning range and sunlight is improved.
  • the present invention is not limited to the embodiments described in the present specification, and includes other embodiments and modifications based on the embodiments and technical ideas described in the present specification. It is obvious to The description and the embodiments are for illustrative purposes only, and the scope of the present invention is indicated by the following claims. For example, the contents of the present invention described with reference to the drawings can be applied to the embodiments.
  • the light source is not limited to a laser, and an LED may be used.

Abstract

 広範囲な測定対象物に対して、十分な強度の反射光を得ることができる走査光学系及びレーダーを提供する。光源から出射した光束を、第1ミラー面と第2ミラー面とで2回反射させているので、走査範囲において進行方向直交断面形状(ビームプロファイル)の回転角変化が発生しにくい投光が可能となる。従って、対象物を含む範囲に仮想平面を設定したときに、第2ミラー面で反射された光束が、この仮想平面に入射する際における断面形状が、主走査角に応じて変化しにくくなるので、主走査方向の長さよりも主走査方向に直交する方向(副走査方向)長さの方が長いという投光光束の断面形状が維持されることとなり、これにより、1回の走査で副走査方向に広い範囲に対して投光が可能になるため、走査回数が少ないにもかかわらず、広範な測定範囲の対象物を測定できる。

Description

走査光学系及び投受光装置
 本発明は、レーザー光等を照射して物体を検出する投受光装置に用いると好適な走査光学系及び投受光装置に関する。
 近年、自動車や警備ロボット、或いは無人ヘリコプターなどの分野で、衝突防止の目的で進行方向の障害物検知を精度良く行いたいとの要望が多くなっている。障害物検知の手段として、光走査を利用した距離測定装置であるレーザーレーダーが知られている。一般的なレーザーレーダーは、レーザー光源から出射した光束を、ミラーまたはポリゴンミラー等へ投射しつつ、かかるポリゴンミラー等を回転又は揺動させることで広い範囲を走査し、被投光物体からの散乱光を受光素子により受光することで形状測定や距離測定を行っている。
 特許文献1には、偶数個の平面状反射面を有し,光線を偶数回反射して走査を行うポリゴンミラーに関する技術が開示されている。
特開昭50-109737号公報
 ところで、レーザーレーダーにより遠方の物体を測定対象物とする場合において、物体に照射されるレーザー光束の密度が高いほど、その反射光量が増大するので、物体の形状や物体までの距離を精度良く得ることが可能になる。一方、レーザー光源から出射される光束を、光学素子等を介して絞れば、その密度を上げることはできるが、その分だけ照射されるスポット径が小さくなり、一度に測定できる範囲が狭まって測定効率が低下する。つまり、レーザー光源の出射強度が限られていることを前提に、光束の密度と測定効率とは一般的にはトレードオフの関係になるといえる。一方で、なるべく広範囲の対象物を測定したいという要請もある。しかしながら特許文献1に開示されたポリゴンミラーは、本来的にテレビ画像等の画面走査に用いられるものであり、レーダーにかかる上述の問題を解決するための技術は開示されていない。
 本発明は、上記事情に鑑みなされたものであり、広範囲な測定対象物に対して、十分な強度の反射光を得ることができる走査光学系及び投受光装置を提供することを目的とする。
 上述した目的のうち少なくとも一つを実現するために、本発明の一側面を反映した走査光学系は、
 回転軸に対して傾いた第1ミラー面と第2ミラー面を備えたミラーユニットと、
 前記第1ミラー面に向けて光束を出射する少なくとも1つの光源を含む投光系と、を有し、
 前記光源から出射された光束は、前記ミラーユニットの前記第1ミラー面で反射した後、前記第2ミラー面で反射され、前記ミラーユニットの回転に応じ、対象物に対して主走査方向に走査されつつ投光されるようになっており、
 前記対象物を含む範囲に仮想平面を設定したときに、前記第2ミラー面で反射された光束の前記仮想平面に入射する際における断面形状は、前記主走査方向の長さより前記主走査方向に直交する方向の長さが長いことを特徴とする。
 この走査光学系によれば、光源から出射した光束を、第1ミラー面と第2ミラー面とで2回反射させているので、走査範囲において進行方向直交断面形状(ビームプロファイル)の回転角変化が発生しにくい投光が可能となる。従って、対象物を含む範囲に仮想平面を設定したときに、第2ミラー面で反射された光束が、この仮想平面に入射する際における断面形状が、主走査角に応じて変化しにくくなるので、主走査方向の長さよりも主走査方向に直交する方向(副走査方向)長さの方が長いという投光光束の断面形状が維持されることとなり、これにより、1回の走査で副走査方向に広い範囲に対して投光が可能になるため、走査回数が少ないにもかかわらず、広範な測定範囲の対象物を測定できる。
 本発明によれば、広範囲な測定対象物に対して、十分な強度の反射光を得ることができる走査光学系及びレーダーを提供することができる。
比較例の走査光学系を示す図である。 比較例の走査光学系を示す図である。 比較例の走査光学系を示す概略図であり、正面から見た図である。 比較例の走査光学系を示す概略図であり、回転した状態を示す図である。 比較例の走査光学系における主走査角とスポット回転角との関係を示すグラフである。 比較例の走査光学系から測定対象物を含む仮想平面上に投射されるスポット光において主走査方向の位置によって傾きが変化する様を示す図である。 本実施形態にかかる走査光学系を、回転軸を含む面で切断して示す図である。 (a)は、本実施形態にかかるにかかる走査光学系の正面図であり、(b)は回転軸方向に見た図であって、主走査角中心の状態を示す。 (a)は、本実施形態にかかるにかかる走査光学系の正面図であり、(b)は回転軸方向に見た図であって、主走査角周辺の状態を示す。 本実施形態にかかる走査光学系の縦歪曲を示すグラフである。 本実施形態にかかる走査光学系の主走査角とスポット回転角との関係を示すグラフである。 本実施形態にかかる走査光学系から測定対象物を含む仮想平面上に投射されるスポット光において主走査方向の位置によって傾きが変化しない様を示す図である。 第1ミラー面M1の傾き角度を変えたときの主走査角と縦歪曲との関係を示す図である。 第1ミラー面M1の傾き角度を変えたときの主走査角とスポット回転角との関係を示す図である。 (a)は、本実施形態にかかるレーザーレーダーLRの概略構成図であり、(b)は、半導体レーザーの発光面形状を示す斜視図である。 本実施形態にかかるレーザーレーダーLRの縦歪曲を示す図である。 本実施形態にかかるレーザーレーダーLRのスポット回転角を示す図である。 本実施形態の走査光学系の変形例を示す断面図である。 変形例の走査光学系において、主走査角と縦歪曲との関係を示す図である。
 以下の説明では、主走査角とは、ミラーユニットによって偏角される投光光束の回転軸中心の方位角、副走査角とは、回転軸に直交する面を基準とした投光光束の仰俯角、スポット回転角とは、投光方向を中心に回転する光束の向きの角度、縦歪曲とは、主走査角中心の副走査方向の角度に対し、周辺に走査したときの副走査方向の角度のズレを言う。
 以下、添付した図面を参照しながら、本実施形態を説明する。まず、図1に示すように、回転軸ROに対し1枚の反射面RM1を45°傾けて、回転軸RO方向に沿って光源OPSから出射された光束LBを入射させつつ、回転軸RO回りに反射面RM1を回転させる比較例を考える。かかる比較例では、光源OPSを変位させることなく、反射面RM1から光束LBをある角度範囲にわたって投光することが可能となる。これを走査といい、反射面RM1の回転に伴って光束LBが移動する方向を主走査方向という。光源OPS(または光源OPSとレンズやプリズムからなる投光系)の光軸と、反射面RM1からの投光方向の光路とを直交させることができるため、広範囲に投光することが可能である。
 図1に示す反射面RM1を使用した場合、主走査方向に関しては光束LBが連続的に移動するので、光束形状にかかわらず、測定対象物をもれなく走査することができる。一方、主走査方向に直交する副走査方向においては、1回の走査で光束LBを投光される範囲が光束の副走査方向の長さに限られるため、測定可能範囲を広げるためには、測定対象物へと向かう光束の進行方向直交断面形状において、副走査方向の長さをなるべく長くすることが望ましいといえる。しかるに、光束断面における副走査方向の長さを長くすることには限界がある。そこで、図2に示すように、例えば回転軸ROに対して角度(θ1,θ2)を異ならせた複数の反射面RM1、RM2を設置したミラーユニットMUを設けることを考える。このミラーユニットMUを回転軸RO回りに回転させることで、異なる角度の反射面RM1、RM2より投光される光束LB、LB’の出射角度を変え、異なる副走査範囲に光束LB及びLB’を投光することで、2次元的な測定範囲にできる。
 ここで、光源から出射された光束を、ミラー面で1回のみ反射させて測定対象物へと向かわせる場合における問題について説明する。図3、4に比較例の走査光学系を示す。投光系LPSから出射されたレーザー光束(以下、スポット光とする)が、1回だけ反射して測定対象物へと向かう比較例の走査光学系を用いた場合、以下に述べる問題が生じる。図3において、回転軸ROに対して傾いた反射面RM1を有するミラーユニットMUを、回転軸RO回りに回転させている。投光系LPSの光源OPSから回転軸ROに沿った方向に出射されたスポット光SLは、縦横比が異なるものとする。従って、図3において、反射面RM1で反射し、対象物に向かうスポット光SLは、紙面垂直方向に進行するが、その進行方向直交断面(ハッチングで示す)は、反射面RM1から離れた仮想平面上において、主走査角方向(図で左右方向)の長さがa、副走査角方向(図で上下方向)の長さがb(>a)の矩形断面となっているものとする。
 この図3に示すミラーユニットMUが回転した場合、反射面RM1で反射した光束LBは、図4に示すように左右方向へと移動する。これにより測定対象物が存在する範囲を走査することとなるが、スポット光SLにおいてスポット回転が生じる。又、反射面RM1に対し光束LBが回転軸ROに非平行に入射した場合、縦歪曲も生じる(スポット回転は、平行入射の場合と異なる)。具体的には、縦歪曲は、スポット光SLが副走査角方向に歪むことで、走査ラインの間隔が詰まったり、間隔が開いたりするものであり、図4では、スポット光SLが本来向かう方向(実線)に対して、回転軸ROの軸線方向にシフトする(点線で図示)現象をいう。このシフト量は、副走査角方向の角度ずれ(ε)で表す。一方、スポット光SLの断面形状において、主走査角方向と副走査角方向とで異なる場合、スポット光が回転することで、スポット光間隔が詰まったり、間隔が開いたりする。図4では、スポット光SLが本来の姿勢方向(実線)に対して、一点鎖線で示すように回転する現象をいう。その回転角γを、スポット回転角という。
 図5は、図1に示す回転軸に対して45°傾いた反射面に対し回転軸と平行に光束を入射させた場合における、主走査角とスポット回転角との関係を示す図である。尚、反射面RMに対し回転軸と平行に光束を入射させた場合、主走査角は回転角と同じになる。図5に示すように、スポット回転角γは、反射面RM1の回転角αが増大するにつれ増大する。
 図6は、このような走査光学系から測定対象物を含む仮想平面VP(ここでは主走査角中心方向に対して直交する面)上に投射されるスポット光において、主走査方向の位置によって傾きが変化する様を示す図であり、1走査毎に副走査方向にシフトした例を示すが、ここでは縦歪曲については無視している。図6において、スポット光SLが走査される面を走査面SRとする。図6から明らかなように、反射面RM1の中央に向かうスポット光SLは、スポット回転角γがゼロであり、主走査方向に対して立っているのに対し、反射面RM1の周辺に向かうスポット光SLは、スポット回転角γが増大し、つまり周辺に向かうにつれて傾きが大きくなる。これにより、走査面SRの中央では、1回の主走査でカバーできる範囲が副走査方向に広いのに対し、走査面SRの両端では、1回の主走査でカバーできる範囲が副走査方向に狭くなり、すなわち対象物の測定洩れが生じる恐れがある。このため、広角度に走査する場合、主走査方向の光束幅に対し副走査方向の光束幅を長くすることができなかった。つまり、スポット光SLの断面形状が、たとえば円形や主走査角方向と副走査角方向の縦横比が近似している場合は問題とはならないが、異なっている場合に問題となるということである。
 かかる問題を解消する本実施形態について、以下に説明する。図7は、本実施形態の走査光学系を示す回転軸ROに沿った断面図である。図8(a)は、本実施形態の走査光学系の正面図であり、図8(b)は回転軸方向に見た図であって、主走査角中心の状態を示す。図9(a)は、本実施形態の走査光学系の正面図であり、図9(b)は回転軸方向に見た図であって、主走査角周辺の状態を示す。尚、ミラーユニットMUと投光系LPSとで走査光学系を構成する。又、スポット光の進行方向直交断面は比較例と同様であるものとする。
 図7に示すように、第1ミラー面M1と第2ミラー面M2を有するミラーユニットMUの回転軸ROに対して、光源としての半導体レーザーLDとコリメートレンズCLとを有する投光系LPSをその光軸SOが直交するように配置する。このとき、第1ミラー面M1と第2ミラー面M2とのなす交差角頂点を基準に、投光系LPSは第1ミラー面M1側に配置される。ここでは、第1ミラー面M1を回転軸ROと直交する平面から投光系LPSの光軸方向に対して-45度傾け、第2ミラー面M2を回転軸ROと直交する平面から投光系LPSの光軸方向に+45度傾けて配置している。
 図8(a)(b)に示すように、ミラーユニットMUの回転位置が、投光系LPSの光軸SOが第1ミラー面M1と第2ミラー面M2の法線を含む面内に位置する角度となったとき(光軸SOは主走査角中心に向いた状態)、投光系LPSから出射した光束LBは、第1ミラー面M1で反射し、回転軸ROと平行に進行し、次いで第2ミラー面M2で反射される。反射した光束LBは、第2ミラー面M2から対象物へ投光される。このとき、図8(a)に示すように、投光方向からミラーユニットMUを見た場合、投光系LPSの光軸SOを回転軸ROから左右にズラしてもよい。
 更に図9(a)(b)に示すように、ミラーユニットMUを主走査角中心(図8の状態)から回転角α=45度だけ回転軸RO回りに回転させた場合、第2ミラー面M2で反射後における光束LBと、投光系から出た直後の光束LBとの相対角度差としての、主走査角(図9(b)に示すように回転軸ROから見たときに、投光系LPSの光軸SOと、ミラーユニットMUから出射する光束LBとのなす角δ)が90度になる。つまり、回転角(α=45°)に対し、2倍の主走査角(δ=90°)を得られていることが分かる。
 この場合における主走査角δに対する縦歪曲(副走査角で示す)の関係を図10に示し、主走査角δに対するスポット回転角の関係を図11に示す。このように第1ミラー面M1と第2ミラー面M2とのなす角が90°である場合、主走査角δが変化しても縦歪曲及びスポット回転角のいずれも変化しない。従って、進行方向直交断面が副走査方向に長いスポット光を対象物に平行移動で投光して、理想的に走査することができる。すなわち、第1ミラー面M1と第2ミラー面M2で2回反射させることでスポット回転を抑えることができることを示している。このようなミラーユニットMUを用いることで、主走査角全域でスポット回転が生じないレーザーレーダーを実現できる。
 図12は、本実施形態の走査光学系から測定対象物を含む仮想平面VP(ここでは主走査角中心方向に対して直交する面)上に投射されるスポット光において、主走査方向の位置によって傾きが変化しない様を示す図であり、4つの副走査方向を有する例を示す。図12において、スポット光SLが走査される面を走査面SRとする。図12から明らかであるが、スポット光SLは、主走査角に関わらず、主走査方向よりも副走査方向に長い断面形状が、ほぼ維持されるので、走査面のいずれに存在する測定対象物にも光束を照射できることとなる。ここで、副走査方向に並んだスポット光SLは互いに接しているか重畳していると好ましく、これにより副走査方向に更に洩れのない測定を行える。
 次に、縦歪曲の影響について考察する。図7等に示すミラーユニットMUをレーダーで実際に用いる場合、測定範囲が副走査角0°でないことや、入射角と副走査角が一致しないこともある。さらに、スポット光の進行方向直交断面における副走査方向の長さが限定されるため、対象物が存在する測定範囲を副走査方向に分割しなければならないという実情がある。従って、ミラーユニットMUには、複数対の第1ミラー面と第2ミラー面とを設け、各ミラー対を通過する光束毎に副走査角方向にシフトして、異なる副走査角方向位置で走査できるように、第1ミラー面と第2ミラー面のなす角を90°からずらすことが望ましい。
 ここで、縦歪曲とスポット回転角について検討する。図13に、第1ミラー面M1の傾き角度を変えたときの主走査角と縦歪曲との関係を示す。図14に、第1ミラー面M1の傾き角度を変えたときの主走査角とスポット回転角との関係を示す。図7の状態から、第1ミラー面M1を回転軸ROと直交する平面から投光系側に-45度、-46度、-47度傾け、第2ミラー面M2は全て逆に45度で傾いている場合の縦歪曲とスポット回転角は、図13、14に示す通りである。第1ミラー面M1と第2ミラー面M2とのなす角度が変わると、縦歪曲とスポット回転角の変化の度合いが変わるが、図13から分かるとおり、周辺での各ラインが近づく方向に縦歪曲がでるため、隙間がでることがない。第1ミラー面の角度と第2ミラー面の個々の角度は、任意に設定できる。また、レーザープリンタのように一定速度で回転している必要はなく、ある特定の方向のみ投光したい場合は、必要な角度回転させて止めたり、往復揺動させてもよい。
 投光光束が副走査方向における長さの短い断面を持つと、副走査方向に投光を傾けるための偏角手段が必要になり、また何度も走査する必要が生じるので好ましくない。本実施形態のミラーユニットは、スポット回転を抑えることができるので、投光範囲で主走査方向よりも副走査方向に光束断面を長くすることで、光束の密度を高めつつも1回の走査で副走査方向に広い範囲に投光することが可能になる。また、縦歪曲が小さいため中心と周辺で副走査方向の投光角度ズレを起こしにくいというメリットもある。また、スポット回転と縦歪曲は、主走査角中心に対し対称性が得られるので、左右の主走査角が同じであればスポット回転角と副走査角が同等になる。
 本実施形態において、投光系としては、少なくともの1つの光源(LD(Laser Diode)、LED(Light Emitting Diode)やファイバーレーザー)を含む。光源から出射される光束自体の進行方向直交断面形状が、ミラーユニットの回転軸に沿った方向と、それに直交する方向とで異なるようにしても良く、或いはシリンドリカルレンズ、アナモフィックレンズ、ビームシェイパー、特殊プリズムなどの光学素子を介することで光源から出射された円形断面光束の分布を変化させ、その進行方向直交断面形状が、ミラーユニットの回転軸に沿った方向と、それに直交する方向とで異なるようにしても良い。ここで、「対象物を含む範囲に仮想平面を設定したときに、第2ミラー面から出射された光束の、仮想平面に入射する際における断面形状が、主走査方向の長さよりも、主走査方向に直交する副走査方向の長さの方が長い」とは、投光方向から見た第2ミラー面の反射直後における光束の進行方向直交断面が、主走査方向よりも副走査方向が短くても、光束の広がり角が主走査方向よりも副走査方向のほうが広くなっており、仮想平面に入射する際に主走査方向に直交する副走査方向の長さの方が長ければよい。光束の断面長さとは、光束におけるピーク強度の光量に対し、半値幅または1/e2の強度となる長さとする。なお、複数の光源を用いてそれぞれの光束を端部で重畳させ、見かけ上、主走査方向に直交する副走査方向の長さを長くしたものであってもよい。
 レーダーの光源として、パルス発光するLEDやレーザーを使うことでTOF(Time of flight)での距離測定を行うことが出来る。従来のTOFを使うレーダーに使われていた走査光学系に比べ、広い主走査角で分解能変化が少ないため、有効に使える広い視野角を持ったレーダーを提供することが出来る。
 本実施形態において、受光系は、少なくとも一つのCCD(Charge Coupled Device)、CMOS(Complementary Metal-Oxide Semiconductor),PD(Photo Diode)などの受光素子を持ち、レンズやミラーやプリズムなどの光学部品を介して物体からの反射光を受光素子へ集光することで、物体形状や距離などの情報を得られるものであると好ましい。
 図15(a)は、本実施形態にかかるレーザーレーダーLRの概略構成を示す斜視図であるが、構成要素の形状や長さ等、実際と異なる場合がある。レーザーレーダーLRは、例えば、光源としての半導体レーザーLDと、半導体レーザーLDからの発散光を平行光に変換するコリメートレンズCLと、コリメートレンズCLで平行とされたレーザー光を、回転する反射面により対象物側に向かって走査投光すると共に、走査投光された対象物からの反射光を反射させるミラーユニットMUと、ミラーユニットMUで反射された対象物からの反射光を集光するレンズLSと、レンズLSにより集光された光を受光するフォトダイオードPDとを有する。
 半導体レーザーLDと、コリメートレンズCLとで投光系LPSを構成し、レンズLSと、フォトダイオードPDとで受光系RPSを構成する。半導体レーザーLDの発光面LDaの形状は、図15(b)に示すように矩形形状であって、回転軸ROに沿った方向の長さBが,それに直交する方向の長さAよりも長くなっている。投光系LPSから出射され第2ミラー面M2で反射された後の光束は、進行方向直交断面形状が主走査方向よりも副走査方向に長くなっている(図5参照)。
 略四角筒状のミラーユニットMUは樹脂製であり、軸線である回転軸RO回りに回転可能に保持されており、下部外周に、4枚の台形状の第1ミラー面M1を配置しており、それに対向して、上部外周に、4枚の台形状の第2ミラー面M2を配置している。それぞれ上下に対になった第1ミラー面M1と第2ミラー面M2との交差角は、異なっている。一例として、回転軸ROの直交面に対して、第1ミラー面M1は全て-45°で傾き、第2ミラー面M2は、それぞれ第1ミラー対が60°、第2ミラー対が55°、第3ミラー対が50°、第4ミラー対が45°で逆側に傾いている。この場合の縦歪曲を図16、スポット回転角を図17に示す。第1ミラー面M1と第2ミラー面M2は、蒸着、塗布、メッキによる反射膜や金属研磨ミラー、フィルムミラー等を張り付けてなる。
 投光系LPS、受光系RPSの光軸は、ミラーユニットMUの回転軸ROに対して直交しており、投光系LPSは受光系RPSよりも回転軸RO方向に遠く配置されている。なお、投光系LPSと受光系RPSは、図とは逆の配置であってもよい。
 レーザーレーダーでは、光束内の光量分布が一定でないと、測定点によって戻り光の光量に増減が生じ、場所によっては測定距離が短くなる可能性があるため、物体に当てる光量を一定にする必要がある。このため、光源に通常のシングルモードのレーザーを使用すると、レンズやプリズムなどの複数光学系の使用が必要となり、複雑な光学系になってしまう。これに対し、本実施形態によれば、図15(b)のような発光面LDaが縦長の光源を使うことで、光源からの光束が測定範囲の遠方に行ったとしても、光源の輝度分布そのままに投影をすることになるため、トップハット分布に近い光量分布を得ることが可能になる。
 次に、レーザーレーダーLRの測距動作について説明する。半導体レーザーLDからパルス状に間欠的に出射された発散光は、コリメートレンズCLで平行光束に変換され、回転するミラーユニットMUの第1ミラー面M1に入射し、ここで反射され、更に第2ミラー面M2で反射して対象物(不図示)側に走査投光される。
 ミラーユニットMUの第1ミラー面M1と第2ミラー面M2の組み合わせにおいて、それぞれ交差角が4種に異なっているので、1回転すると対象物側で異なる4つの副走査方向を走査できる。図12を参照して、レーザー光は、回転移動する第1ミラー面M1と第2ミラー面M2にて、順次反射してゆくが、まず1番対の第1ミラー面M1と第2ミラー面M2にて反射したレーザー光は、ミラーユニットMUの回転に応じて、走査面の一番上の領域を水平方向に左から右へと走査される。次に、2番対の第1ミラー面M1と第2ミラー面M2で反射したレーザー光は、ミラーユニットMUの回転に応じて、走査面の上から二番目の領域を水平方向に左から右へと走査される。以下同様に繰り返されることで、対象物側を2次元的に走査することができる。
 走査投光された光束のうち対象物に当たって反射したレーザー光は、図15(a)に点線で示すように、再びミラーユニットMUの第2ミラー面M2に入射し、ここで反射され、更に第1ミラー面M1で反射して、レンズLSにより集光され、それぞれフォトダイオードPDの受光面で検知されることとなる。これにより対象物範囲上で、対象物の検出を行える。
 図18は本実施形態の変形例を示す断面図である。図18に示す変形例では、ミラーユニットMUの第1ミラー面M1と第2ミラー面M2の複数対において、交差角は全て一定(90°)である。又、偏向素子の一例として反射鏡BEを用いて、投光系LPSからの光束LBを反射して、第1ミラー面M1で反射させ、その後第2ミラー面M2で反射するようにしている。反射鏡BEは、紙面垂直方向に延在する軸線PV回りに回転可能となっている。
 図18(a)、(b)を比較すると明らかであるが、第1ミラー面M1と第2ミラー面M2の各対が通過する毎に、偏向素子として反射鏡BEを軸線PV回りに回転させることで、反射鏡BEから反射した光束LBの第1ミラー面M1への入射角βが変化する(図18(a)ではβ=0)。つまり、第1ミラー面M1と第2ミラー面M2の各対が通過する毎に、反射鏡BEを軸線PV回りに回転させるようにすれば、第1ミラー面M1から反射した光束LBの方向が変わり、更に、第2ミラー面M2から反射した光束LBの方向が副走査角方向において変わることになるので、上述した実施形態と同様に副走査方向への走査を行える効果がある。図19は、図18に示す走査光学系において、第1ミラー面M1と第2ミラー面M2の交差角が90°の状態で、反射鏡BEを用いて第1ミラー面M1への入射角を変更(回転軸に対し直交、回転軸に直交+2°、回転軸に直交+4°)した場合における主走査角と縦歪曲との関係を示す図であるが、縦歪曲が主走査角中心と周辺とで変化しないことが分かる。尚、偏向素子としては、反射鏡に限定されず、音響光学素子やMEMSミラーを用いることができる。
 本発明の一態様によれば、ミラーユニットは、第1ミラー面と第2ミラー面とを複数対有し、各対における第1ミラー面と第2ミラー面との交差角は異なっている。複数対ある第1ミラー面と第2ミラー面の交差角が異なることで、1ラインの走査だけでなく、副走査方向にずらした複数ラインの走査が可能になり、より広範囲の投光可能になる。又、ミラーユニットは回転角よりも主走査角を大きくすることが出来るため、1つのミラーユニットが走査に必要になる回転角度を従来方式よりも小さくでき、副走査角が異なる走査ライン数を多くすることが出来る。このようなミラーユニットを回転させるだけで、回転軸と直交方向に全角180度より多く走査でき、且つ副走査方向に異なる走査ラインで投光可能である。広く主走査方向をカバーする必要がない場合には、第1ミラー面と第2ミラー面の対数を増やすことで,副走査方向の走査ライン数を増やすことが可能になる。これによりミラーユニットを1回転させるだけで、広範囲に投光可能である。
 本発明の一態様によれば、ミラーユニットは、第1ミラー面と第2ミラー面とを複数対有し、それらの複数対は、第1ミラー面と第2ミラー面との交差角が同じである少なくとも二対を含み、かつ、交差角がそれら少なくとも二対の交差角と異なる少なくとも一対を含む。これにより、フレームレート等を改善できる。例えば、自動車などで使用する場合、自車と他の環境が目まぐるしく変化するため、視野角よりもフレームレートが重要視される。例えば、第1ミラー面と第2ミラー面との対が4つの場合を考えると、第1対と第3対(対向面)で同じ第1の交差角度、かつ、第2対と第4対(対向面)で同じ第2の交差角度(第1の交差角度とは異なる)に構成することで、回転軸方向の視野を確保しつつ、部分的にフレームレートも改善できる。また、第1ミラー面と第2ミラー面との対が3つの場合を考えると、第1対と第2対が同じ第1の交差角度、かつ、第3対が第1の交差角度と異なる第2の交差角度となるように構成することで、フレームレートがさほど要求されない路面の白線や中央線の検知に適する。
 本発明の一態様によれば、光源とミラーユニットとの間に、光源から出射された光束の進行方向を変更する偏向素子を有する。図13、14を用いて説明したように、ミラーユニットの第1ミラー面と第2ミラー面との交差角が90度から離れるほど、縦歪曲やスポット回転角が大きくなる。そこで、図18に示すような偏向素子を用いて、ミラーユニットに対する光束の入射角を副走査方向に変化させることで、縦歪曲とスポット回転角を抑えられる交差角90度付近のミラー対を使用しつつ、副走査方向へ走査ラインをずらせることが可能になる。また、ミラーユニットへの光束の入射角のずれは、副走査角に影響するため、投光系全体が傾いたとき、或いはレーダーの初期位置補正において、副走査方向の入射角補正に偏向素子を用いても良い。
 本発明の一態様によれば、光源の発光面形状は回転軸に沿った方向長さが回転軸に直交する長さより長い。光源から出射された光束の進行方向直交断面形状が円または正方形形状である場合、そのままでは使いにくい。そこで、元々発光面のアスペクト比が異なるLDやLEDから出射した光束を、コリメートレンズを通し平行光にすることで、主走査方向と副走査方向の長さが所望の比となる光束を得ることができる。但し、汎用の半導体レーザーなどには、必要なアスペクト比を満たさない光源もあるため、アナモフィックレンズやエキスパンダーなどで、必要な光束の広がり角を補正してもよい。
 本発明の一態様によれば、走査光学系と、対象物から反射した反射光を受光する受光素子を備えた受光系と、を有する投受光装置である。かかる受光系は、対象物から反射した反射光を第2ミラー面で反射し、更に第1ミラー面で反射した後、受光素子で受光すると好ましい。この構成はレーザーレーダーとして用いることができる。
 投光系とミラーユニットにより全角180度以上の広い範囲を投光することも可能であるが、物体からの反射光を、レンズを介して2次元センサー(CMOS、CCD)である受光素子にダイレクトに受光することは、必要な物体側開口径を得ることができないため困難である。また例え受光出来たとしても、大口径のレンズを用いることで、その歪曲により主走査中心と周辺での分解能が変化する恐れがある。そこで、図15(a)に示すように、受光系RPSが、対象物から反射した反射光を第2ミラー面M2で反射し、更に第1ミラー面M1で反射した後、受光素子PDで受光すると、投光と同様に受光も走査範囲を広くとれ、例えば全主走査角180度の範囲で、受光系RPSもミラーユニットMUの低スポット回転角及び低縦歪曲の効果を得ることが出来る。また受光系RPSの開口を大きくすることも可能である。受光系RPSと投光系LPSの光軸が平行であることが理想であるが、レンズや自由曲面ミラーによって光軸をずらして受光しても良い。又、受光素子は、受光される光束の進行方向直交断面が長い方向に複数の素子を持つことで、分解能を上げることも可能である。
 また、1回反射ミラーでの走査において受光系を走査反射ミラーで反射後に受光するように配置する構成とした場合、太陽光に直接、受光系の光学面が曝される可能性がある。その場合、受光光学系の迷光により、ノイズが多くなり、S/Nが悪化するおそれがある。これに対し、ミラーユニットの受光系配置を、投光系に対し並列配置し、ミラー反射後に受光するように配置することで、受光系は、太陽光が入射することなく、ミラーに反射した光のみ受光可能になる。かかる配置によれば、走査反射ミラーに当たった光の場合、常にS/Nが悪化するわけでなく、ミラーで反射した光が受光系に入る場合にのみS/Nが悪化するため、1枚ミラーの走査方式と比べ、走査範囲全方位・太陽光の影響などでS/Nが悪化する可能性が改善される。
 本発明は、本明細書に記載の実施形態に限定されるものではなく、他の実施形態・変形例を含むことは、本明細書に記載された実施形態や技術思想から本分野の当業者にとって明らかである。明細書の記載及び実施形態は、あくまでも例証を目的としており、本発明の範囲は後述するクレームによって示されている。例えば、図面を用いて説明した本発明の内容は、全て実施形態に適用できる。例えば光源はレーザーに限られず、LEDを用いたものでも良い。
BE       反射鏡
CL       コリメートレンズ
LB、LB’   レーザー光束
LD       半導体レーザー
LPS      投光系
LR       レーザーレーダー
LS       レンズ
M1       第1ミラー面
M2       第2ミラー面
MU       ミラーユニット
OPS      光源
PD       フォトダイオード(受光素子)
PV       軸線
RM1、RM2  反射面
RO       回転軸
RPS      受光系
SL       スポット光
SO       光軸
SR       走査面
VP       仮想平面

Claims (7)

  1.  回転軸に対して傾いた第1ミラー面と第2ミラー面を備えたミラーユニットと、
     前記第1ミラー面に向けて光束を出射する少なくとも1つの光源を含む投光系と、を有し、
     前記光源から出射された光束は、前記ミラーユニットの前記第1ミラー面で反射した後、前記第2ミラー面で反射され、前記ミラーユニットの回転に応じ、対象物に対して主走査方向に走査されつつ投光されるようになっており、
     前記対象物を含む範囲に仮想平面を設定したときに、前記第2ミラー面で反射された光束の前記仮想平面に入射する際における断面形状は、前記主走査方向の長さより前記主走査方向に直交する方向の長さが長いことを特徴とする走査光学系。
  2.  前記ミラーユニットは、前記第1ミラー面と前記第2ミラー面とを複数対有し、各対における前記第1ミラー面と前記第2ミラー面との交差角は異なっている請求項1に記載の走査光学系。
  3.  前記ミラーユニットは、前記第1ミラー面と前記第2ミラー面とを複数対有し、前記複数対は、前記第1ミラー面と前記第2ミラー面との交差角が同じである少なくとも二対を含み、かつ、前記交差角が前記少なくとも二対の交差角と異なる少なくとも一対を含む請求項1に記載の走査光学系。
  4.  前記光源と前記ミラーユニットとの間に、前記光源から出射された光束の進行方向を変更する偏向素子を有する請求項1~3のいずれかに記載の走査光学系。
  5.  前記光源の発光面形状は前記回転軸に沿った方向の長さが前記回転軸に直交する方向の長さより長い請求項1~4のいずれかに記載の走査光学系。
  6.  請求項1~5のいずれかに記載の走査光学系と、前記対象物から反射した反射光を受光する受光素子を備えた受光系と、を有することを特徴とする投受光装置。
  7.  前記受光系は、前記対象物から反射した反射光を前記第2ミラー面で反射し、更に前記第1ミラー面で反射した後、前記受光素子で受光する請求項6に記載の投受光装置。
PCT/JP2015/078325 2014-10-09 2015-10-06 走査光学系及び投受光装置 WO2016056544A1 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP15849446.8A EP3206074A4 (en) 2014-10-09 2015-10-06 Scanning optical system and light projection and reception device
JP2016553112A JP6618042B2 (ja) 2014-10-09 2015-10-06 投受光装置
US15/518,200 US10162171B2 (en) 2014-10-09 2015-10-06 Scanning optical system and light projecting and receiving apparatus

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014207854 2014-10-09
JP2014-207854 2014-10-09

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2016056544A1 true WO2016056544A1 (ja) 2016-04-14

Family

ID=55653155

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2015/078325 WO2016056544A1 (ja) 2014-10-09 2015-10-06 走査光学系及び投受光装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US10162171B2 (ja)
EP (1) EP3206074A4 (ja)
JP (1) JP6618042B2 (ja)
WO (1) WO2016056544A1 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020060408A (ja) * 2018-10-09 2020-04-16 パイオニア株式会社 投光装置及び測距装置
CN112997099A (zh) * 2018-11-13 2021-06-18 纽诺有限公司 用于车辆盲点检测的光检测与测距
WO2022043988A1 (en) * 2020-08-31 2022-03-03 Arc-Y-Tec Ltd. A multi-directional pattern projector and a hyper-resolution pattern projector

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2017135224A1 (ja) * 2016-02-03 2018-11-29 コニカミノルタ株式会社 光走査型の対象物検出装置
US10502949B2 (en) * 2018-04-04 2019-12-10 Irvine Sensors Corp. Multi-polygon laser scanner comprising pyramidal timing polygon
US20210364605A1 (en) * 2020-05-19 2021-11-25 Gm Cruise Holdings Llc Polygon scanning mirror for lidar beam scanning

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52154248U (ja) * 1976-05-18 1977-11-22
JPH01315716A (ja) * 1988-06-16 1989-12-20 Fujitsu Ltd 走査光学系
JP2014006110A (ja) * 2012-06-22 2014-01-16 Konica Minolta Inc レーザレーダ
WO2014168137A1 (ja) * 2013-04-11 2014-10-16 コニカミノルタ株式会社 走査光学系及びレーダー
WO2015122095A1 (ja) * 2014-02-13 2015-08-20 コニカミノルタ株式会社 ミラーユニット、測距装置及びレーザレーダ、並びにこれらを有する移動体及び固定物

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS50109737A (ja) 1974-02-04 1975-08-29
JPS5162964A (ja) 1974-11-29 1976-05-31 Citizen Watch Co Ltd Ondohoshosuishohatsushinkairo
JPS63311320A (ja) 1987-06-15 1988-12-20 Canon Inc 光走査装置
JP2771593B2 (ja) * 1989-04-20 1998-07-02 富士通株式会社 光走査装置
DE202005005448U1 (de) 2004-04-06 2005-07-07 Endoscan Gmbh Bilderzeugende Abtastvorrichtung zur Erfassung von Hohlräumen
CN101965579B (zh) * 2008-02-05 2013-04-24 雷利恩特技术有限责任公司 使用展像段的光学图案生成器

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52154248U (ja) * 1976-05-18 1977-11-22
JPH01315716A (ja) * 1988-06-16 1989-12-20 Fujitsu Ltd 走査光学系
JP2014006110A (ja) * 2012-06-22 2014-01-16 Konica Minolta Inc レーザレーダ
WO2014168137A1 (ja) * 2013-04-11 2014-10-16 コニカミノルタ株式会社 走査光学系及びレーダー
WO2015122095A1 (ja) * 2014-02-13 2015-08-20 コニカミノルタ株式会社 ミラーユニット、測距装置及びレーザレーダ、並びにこれらを有する移動体及び固定物

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP3206074A4 *

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020060408A (ja) * 2018-10-09 2020-04-16 パイオニア株式会社 投光装置及び測距装置
CN112997099A (zh) * 2018-11-13 2021-06-18 纽诺有限公司 用于车辆盲点检测的光检测与测距
WO2022043988A1 (en) * 2020-08-31 2022-03-03 Arc-Y-Tec Ltd. A multi-directional pattern projector and a hyper-resolution pattern projector

Also Published As

Publication number Publication date
US10162171B2 (en) 2018-12-25
JP6618042B2 (ja) 2019-12-11
JPWO2016056544A1 (ja) 2017-07-27
EP3206074A1 (en) 2017-08-16
EP3206074A4 (en) 2018-03-14
US20170293138A1 (en) 2017-10-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2016056545A1 (ja) 走査光学系及び投受光装置
US10989794B2 (en) Scanning optical system and radar
JP6618042B2 (ja) 投受光装置
JP2015180956A5 (ja)
US20140036071A1 (en) Optical measurement device and vehicle
JP2014020889A (ja) 物体検出装置
JP2014145744A (ja) 物体検出装置
JP2014032149A (ja) 物体検出装置
US10649071B2 (en) Scanning optical system and radar
WO2017135224A1 (ja) 光走査型の対象物検出装置
WO2017135225A1 (ja) 光走査型の対象物検出装置
KR102038549B1 (ko) 16채널형 라이다
JP7099514B2 (ja) 走査型光学系、およびライダー
US10048492B2 (en) Scanning optical system and radar
JP6676974B2 (ja) 対象物検出装置
WO2017065048A1 (ja) 光走査型の対象物検出装置
KR102038547B1 (ko) 16채널형 라이다
WO2017065049A1 (ja) 光走査型の対象物検出装置
WO2016059948A1 (ja) 走査光学装置
WO2017126356A1 (ja) 対象物検出装置
JP6812776B2 (ja) 測距センサ

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 15849446

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2016553112

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

REEP Request for entry into the european phase

Ref document number: 2015849446

Country of ref document: EP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2015849446

Country of ref document: EP

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 15518200

Country of ref document: US