WO2016008114A1 - 模斑转换器以及用于光传导的装置 - Google Patents

模斑转换器以及用于光传导的装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2016008114A1
WO2016008114A1 PCT/CN2014/082308 CN2014082308W WO2016008114A1 WO 2016008114 A1 WO2016008114 A1 WO 2016008114A1 CN 2014082308 W CN2014082308 W CN 2014082308W WO 2016008114 A1 WO2016008114 A1 WO 2016008114A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
waveguide
converter
width
optical
kerf
Prior art date
Application number
PCT/CN2014/082308
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
涂鑫
付红岩
Original Assignee
华为技术有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 华为技术有限公司 filed Critical 华为技术有限公司
Priority to CN201480077367.1A priority Critical patent/CN106461866B/zh
Priority to JP2017502585A priority patent/JP6302130B2/ja
Priority to PCT/CN2014/082308 priority patent/WO2016008114A1/zh
Priority to EP14897866.1A priority patent/EP3159719B1/en
Publication of WO2016008114A1 publication Critical patent/WO2016008114A1/zh

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B6/122—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
    • G02B6/1228—Tapered waveguides, e.g. integrated spot-size transformers
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B6/122—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
    • G02B6/125—Bends, branchings or intersections
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/26—Optical coupling means
    • G02B6/30—Optical coupling means for use between fibre and thin-film device
    • G02B6/305—Optical coupling means for use between fibre and thin-film device and having an integrated mode-size expanding section, e.g. tapered waveguide
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B2006/12083—Constructional arrangements
    • G02B2006/121—Channel; buried or the like

Definitions

  • Embodiments of the present invention relate to the field of optical communication technologies, and, more particularly, to a stencil transducer and a device for light transmission. Background technique
  • the optical waveguide can be a silicon-based photonic integrated circuit (PIC) chip.
  • PIC photonic integrated circuit
  • the optical signal needs to be coupled from a single mode fiber to a silicon based PIC chip.
  • the cross-sectional dimensions of silicon-based PIC chips are on the order of submicron, while the diameters of common single-mode fibers are on the order of micrometers or even ten micrometers, that is, the cross-sectional dimensions of silicon-based PIC chips are smaller than those of ordinary single-mode fibers.
  • the core diameter is much smaller.
  • the refractive index of the silicon waveguide core layer in the silicon-based PIC chip is relatively high. That is to say, the die size and the effective refractive index between the silicon-based PIC chip and the ordinary single-mode fiber are mismatched, and this mode field mismatch causes a large coupling loss between the two.
  • optical waveguide and the fiber are also very difficult, and the end-to-end coupling loss between the two may even be greater than 26 dB.
  • the optical input and light output issues of silicon-based PIC chips are a serious challenge.
  • end face coupling is to design and fabricate a variogram converter at the edge of the silicon-based PIC chip. It can also be understood as adding a plaque converter between the optical waveguide and the optical fiber.
  • the stencil in the variogram converter is coupled to the mode field in the external single mode fiber and is also capable of changing the size of the stencil in the stencil converter.
  • the commonly used stencil converters are: forward tapered smear converter, reverse cone stencil converter, multi-stage cone stencil converter, multi-waveguide stencil converter and three-dimensional cone mode Spot converters, etc.
  • forward tapered smear converter reverse cone stencil converter
  • multi-stage cone stencil converter multi-waveguide stencil converter
  • three-dimensional cone mode Spot converters etc.
  • Embodiments of the present invention provide a scalar converter capable of reducing coupling loss between an optical waveguide and an optical fiber.
  • a plaque converter is provided, the kerf converter comprising: a substrate layer;
  • first cover layer disposed above the substrate layer, the first cover layer being coated with a first material; an isolation layer disposed between the substrate layer and the first cover layer, the spacer layer being used Second material;
  • a waveguide disposed in the first cover layer, the waveguide being symmetrical along a central axis, the waveguide using a third material;
  • the waveguide comprises a first waveguide of equal width, a second waveguide of equal width, and a third waveguide, the first end of the third waveguide being connected to the first end of the first waveguide, and the third a first end of the waveguide is connected to the first end of the second waveguide, and the first waveguide, the second waveguide and the third waveguide are formed in a ⁇ shape;
  • a width of the third waveguide gradually increases from the first waveguide a second end to a first end of the first waveguide, a distance between the first waveguide and the second waveguide in a second direction, the second direction being located in a plane where the waveguide is located And the second direction is perpendicular to the first direction;
  • An absolute value of a difference between a refractive index of the second material and a refractive index of the first material is less than a first threshold, and a difference between a refractive index of the third material and a refractive index of the first material is greater than a second Wide value.
  • the cross-sectional shape of the substrate layer is concave
  • the cross-sectional shape of the isolation layer is concave
  • the first cover layer The cross-sectional shape is a rectangle
  • the variogram converter further includes:
  • the waveguide further includes a fourth waveguide disposed above the third waveguide,
  • a width of the fourth waveguide is gradually increased, and in any cross section between the first end of the third waveguide and the second end of the third waveguide, The width of the fourth waveguide is smaller than the width of the third waveguide.
  • the third possible implementation in the first aspect In a current mode, the shape of the third waveguide is an isosceles trapezoid, the shape of the fourth waveguide is an isosceles triangle, and the shapes of the first waveguide and the second waveguide are S-shaped.
  • the length of the fourth waveguide is equal to the length of the third waveguide, the fourth waveguide is aligned with the third waveguide at a second end of the third waveguide, and the fourth waveguide is in the isosceles triangle
  • the width of one end of the bottom edge is equal to the width of the second end of the third waveguide.
  • the length of the waveguide is L1
  • the length of the third waveguide and the fourth waveguide is L2
  • the thickness of the first waveguide, the second waveguide and the third waveguide is HI
  • the thickness of the fourth waveguide is H2
  • W1 the width of the second end of the third waveguide
  • W2 the distance between the waveguide and the bottom surface of the isolation layer
  • the second end of the first waveguide and the second end of the second waveguide The distance between them is greater than ⁇ and less than 10 ⁇ .
  • the waveguide further includes a bifurcated bifurcation waveguide
  • the yoke bifurcated waveguide is coupled to a first end of the third waveguide, the yoke bifurcated waveguide being aligned with the first waveguide, wherein ⁇ is a positive integer.
  • the material for the substrate layer is silicon, and the first material is dioxide Silicon, the second material is an engine oil, and the third material is silicon or silicon nitride.
  • a device for light transmission comprising: the scalar converter and the optical waveguide according to the first aspect or any of the possible implementations of the first aspect, the plaque conversion A device is used to couple an optical signal input from the optical fiber into the optical waveguide.
  • the zonal converter is coupled to the optical waveguide through a second end of the third waveguide, and the third waveguide Two The width of the end is equal to the width of the optical waveguide.
  • the thickness and the fourth thickness of the third waveguide of the foregoing zebra converter including the fourth waveguide The sum of the thicknesses of the waveguides is equal to the thickness of the optical waveguide.
  • a kerf converter comprising a first waveguide, a second waveguide and a third waveguide forming a Y shape.
  • the scalpel converter can be used to convert the size of the pattern between the optical fiber and the optical waveguide, and the scalar converter can reduce the coupling loss between the optical fiber and the optical waveguide.
  • Figure 1 is a schematic illustration of a stencil converter in accordance with one embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a plan view of a waveguide in a stencil converter according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is a schematic illustration of a variogram converter in accordance with another embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 is a plan view of a waveguide of a kerf converter according to another embodiment of the present invention.
  • Figure 5 is an end elevational view showing the cross section of a-a' of the kerf switch according to another embodiment of the present invention.
  • Figure 6 is an end elevational view showing the cross section of b-b' of the variogram converter of another embodiment of the present invention.
  • Figure 7 is an end elevational view showing the cross section of c-c' of the kerf converter according to another embodiment of the present invention.
  • Figure 8 is a schematic illustration of a light field distribution in accordance with one embodiment of the present invention.
  • Figure 9 is a graph showing coupling loss versus wavelength for one embodiment of the present invention.
  • Figure 10 is a graph showing the relationship between coupling loss and alignment tolerance of a TE mode in accordance with one embodiment of the present invention.
  • Figure 11 is a graph showing the relationship between coupling loss and alignment tolerance of the TM mode of one embodiment of the present invention.
  • Figure 12 is a plan view of a waveguide in a stencil converter according to another embodiment of the present invention.
  • Figure 13 is a schematic illustration of an apparatus for light conduction in accordance with one embodiment of the present invention.
  • Figure 14 is a plan view of a waveguide in an apparatus for light conduction according to an embodiment of the present invention. detailed description
  • FIG. 1 is a schematic illustration of a stencil converter in accordance with one embodiment of the present invention.
  • the variogram converter 200 shown in Fig. 1 includes:
  • Substrate layer 201 Substrate layer 201 ;
  • first cover layer 202 disposed above the substrate layer 201, the first cover layer is made of a first material; the isolation layer 203 is disposed between the substrate layer 201 and the first cover layer 202, and the spacer layer is made of a second material;
  • a waveguide 204 is disposed within the first cover layer, the waveguide 204 is symmetrical along a central axis, and the waveguide 204 is etched with a third material.
  • the waveguide 204 can be as shown in Fig. 2, and the central axis is indicated by a dotted line.
  • the waveguide 204 includes a first waveguide 301 of equal width, a second waveguide 302 of equal width, and a third waveguide 303, the first end of the third waveguide 303 and the first end of the first waveguide 301 and the second waveguide 302 The first end is connected, and the first waveguide 301, the second waveguide 302, and the third waveguide 303 are formed in a Y shape.
  • the width of the third waveguide 303 gradually increases, the distance between the first waveguide 301 and the second waveguide 302 in the second direction gradually decreases, and the second direction is perpendicular to the first direction
  • the absolute value of the difference between the refractive index of the second material and the refractive index of the first material is less than the first threshold, and the difference between the refractive index of the third material and the refractive index of the first material is greater than the second threshold.
  • a kerf converter comprising a first waveguide, a second waveguide and a third waveguide forming a Y shape.
  • the scalpel converter can be used to convert the size of the pattern between the optical fiber and the optical waveguide, and the scalar converter can reduce the coupling loss between the optical fiber and the optical waveguide.
  • the variogram converter can be attached to one end of the optical waveguide.
  • the louver converter can be coupled to the optical waveguide through the second end of the third waveguide.
  • the embodiment of the present invention does not limit the connection manner between the variogram converter and the optical waveguide.
  • the second end of the third waveguide may be directly connected to the optical waveguide, or the second end of the third waveguide may be connected to the optical waveguide through a rectangular waveguide, which is not limited in the present invention.
  • the optical waveguide has a rectangular cross section, and the width of the optical waveguide is W4, height is H4.
  • the cross section means a section perpendicular to the longitudinal direction. It is also understood that the cross section is a section perpendicular to the first direction.
  • the cross-sectional shape of the substrate layer 201 is concave
  • the cross-sectional shape of the isolation layer 203 is concave
  • the cross-sectional shape of the first cover layer 202 is rectangular.
  • the kerf converter 200 may further include a second cover layer 205 disposed above the substrate layer 201, the second cover layer 205 being disposed outside the isolation layer 203, and the second cover layer 205 utilising the first material.
  • the isolation layer 203 can be formed by deep etching a U-shaped groove and filling the U-shaped groove with the second material.
  • the length of the isolation layer 203 may be less than or equal to the length of the substrate layer 201, which is not limited in the present invention.
  • first cover layer 202 and the second cover layer 205 may collectively constitute a U-shape and a cantilever portion.
  • the length of the isolation layer 203 is equal to the length of the substrate layer 201.
  • the Oxz coordinate system is also shown in Fig. 2, and it can be understood that the first direction is the positive direction of the z-axis. And the width of the third waveguide 303 in the positive direction of the z-axis is gradually increased.
  • the shape of the first waveguide 301 and the second waveguide 302 may be a straight line or a curved line, which is not limited in the present invention.
  • it may be C-shaped or S-shaped.
  • the shape of the third waveguide 303 is an isosceles trapezoid.
  • the contour of the third waveguide 303 along the z-axis direction may also be an arc, which is not limited in the present invention.
  • the length of the waveguide 204 is L1
  • the length of the third waveguide 303 is L2.
  • the width of the first waveguide 301 and the second waveguide 302 is W1
  • the width of the second end of the third waveguide 303 is W2.
  • the thicknesses of the first waveguide 301, the second waveguide 302, and the third waveguide 303 are both H1.
  • the distance between the waveguide 204 and the bottom surface of the isolation layer is H3.
  • the length is the dimension in the z-axis direction of the coordinate axis
  • the width is the dimension in the X-axis direction of the coordinate axis
  • the thickness is in the y-axis direction of the coordinate axis (ie, the figure The size of the 2 out direction).
  • the range of each of the above parameters may be: ⁇ 3>5 ⁇ , 0 ⁇ Hl ⁇ 400nm,
  • the distance between the second end of the first waveguide 301 and the second end of the second waveguide 302 may be several micrometers or ten micrometers, which is not limited in the present invention. Alternatively, the distance may be greater than 0.5 ⁇ m and less than 10 ⁇ m.
  • the macro separation can be 1.2 ⁇ m.
  • the waveguide 204 may further include a bifurcated bifurcated waveguide connected to the first end of the third waveguide, and the bifurcated bifurcated waveguide is aligned with the first waveguide 301.
  • ⁇ is a positive integer.
  • the length of the yoke bifurcated waveguide is equal to the length of the first waveguide 301.
  • the bifurcated bifurcated waveguide is of equal width, and the width of the bifurcated bifurcated waveguide may be equal to the width of the first waveguide 301.
  • the material of the substrate layer 201 may be silicon dioxide, the second material may be oil, and the third material may be silicon or nitride. silicon.
  • the second material may be other lubricating oil or the like.
  • the embodiment of the present invention does not limit the size of the first threshold and the second threshold.
  • the first threshold is smaller than the second threshold.
  • the first threshold may be 0.3 and the second threshold may be 1.8.
  • the invention is not limited thereto.
  • the substrate layer 201 is used to support the waveguide 204.
  • the first cover layer 202 is used to limit the light mode in the waveguide 204.
  • the isolation layer 203 is used to ensure that the light pattern in the waveguide 204 is away from the substrate 201.
  • the thickness of the substrate layer 201, the thickness of the first cap layer 202, the thickness of the second cap layer 205, and the thickness of the spacer layer 203 are not specifically limited in the embodiment of the present invention.
  • the length of the substrate layer 201 is equal to the length of the cover layer 202, and the length of the substrate layer 201 may be equal to the length of the waveguide 204.
  • the waveguide 204 may be formed by processing a piece of material.
  • the waveguide 204 may be formed by forming a third material by a photolithography process.
  • the optical energy when the output optical signal of the optical fiber is input from the cantilever portion to the kerf converter 200, the optical energy can be distributed between the first waveguide 301 and the second waveguide 302. The light energy can then slowly enter into the third waveguide 303 and further output the optical signal into the rear optical waveguide.
  • the waveguide 204 may further include a fourth waveguide.
  • FIG. 3 it is a schematic diagram of a stencil converter according to another embodiment of the present invention.
  • the kerf converter 300 shown in FIG. 3 includes a substrate layer 201; a first cover layer 202 disposed above the substrate layer 201, the first cover layer is made of a first material; and the substrate layer 201 and the first cover layer 202 are disposed.
  • the spacer layer 203, the spacer layer is made of a second material, the waveguide 204 is disposed in the first cover layer, the waveguide 204 is symmetric along the central axis, and the waveguide 204 is made of a third material.
  • the waveguide 204 can be as shown in FIG. 4, and the central axis is indicated by a dotted line.
  • the waveguide 204 includes a first waveguide 301 of equal width, a second waveguide 302 and a third waveguide 303 of equal width, a first end of the third waveguide 303 and a first end of the first waveguide 301 and a second waveguide 302. The first end is connected, and the first waveguide 301, the second waveguide 302, and the third waveguide 303 are formed in a Y shape.
  • the width of the third waveguide 303 gradually increases, the distance between the first waveguide 301 and the second waveguide 302 in the second direction gradually decreases, and the second direction is perpendicular to the first direction
  • the absolute value of the difference between the refractive index of the second material and the refractive index of the first material is less than the first threshold, and the difference between the refractive index of the third material and the refractive index of the first material is greater than the second threshold.
  • the waveguide 204 also includes a fourth waveguide 304 disposed above the third waveguide 303.
  • the width of the fourth waveguide 304 is gradually increased, and in any cross section between the first end of the third waveguide 303 and the second end of the third waveguide 303, the fourth waveguide 304 The width is smaller than the width of the third waveguide 303.
  • the mode converter 300 can be connected to the optical waveguide through the second end of the third waveguide 303 and the second end of the fourth waveguide 304.
  • the embodiment of the present invention does not limit the connection manner between the variogram converter and the optical waveguide.
  • the shape of the fourth waveguide 304 may be an isosceles triangle.
  • the length of the fourth waveguide 304 may be less than or equal to the length of the third waveguide 303.
  • One end of the base of the isosceles triangle of the fourth waveguide 304 is aligned with the second end of the third waveguide 303, and the width of the end of the fourth waveguide 304 at the bottom of the isosceles triangle may be equal to the third of the third waveguide 303. The width of the two ends.
  • the optical waveguide has a rectangular cross section, and the optical waveguide has a width of W4 and a height of H4.
  • the length of the waveguide 204 is L1
  • the length of the third waveguide 303 is L2.
  • the first waveguide The width of the 301 and second waveguides 302 is W1
  • the width of the second end of the third waveguide 303 is W2.
  • the thicknesses of the first waveguide 301, the second waveguide 302, and the third waveguide 303 are both H1.
  • the thickness of the fourth waveguide is H2.
  • the distance between the waveguide 204' and the bottom surface of the isolation layer is H3.
  • the length is the dimension in the z-axis direction of the coordinate axis
  • the width is the dimension in the X-axis direction of the coordinate axis
  • the thickness is in the y-axis direction of the coordinate axis (ie, the figure The size of the 2 out direction).
  • the fourth waveguide 304 is the first end of the fourth waveguide 304 at the smaller width end, and the fourth waveguide 304 is assumed to be the second end of the fourth waveguide 304 at the wider end, then the fourth waveguide 304
  • the width of the second end can be W2.
  • each parameter may be: ⁇ 3>5 ⁇ , 0 ⁇ HKH1+H2 ⁇ 400nm, 0 ⁇ 1 ⁇ 500 ⁇ , 0 ⁇ 2 ⁇ 200 ⁇ , and L2 ⁇ L1, 0 ⁇ Wl ⁇ 300nm, 200nm ⁇ W2 ⁇ 600nm .
  • the distance between the second end of the first waveguide 301 and the second end of the second waveguide 302 may be several micrometers or ten micrometers, which is not limited in the present invention. Alternatively, the distance may be greater than 0.5 ⁇ m and less than 10 ⁇ m. For example, the large separation can be 1.2 ⁇ m.
  • the waveguide 204 shown in FIG. 4 may be formed by performing photolithography on the third material a plurality of times.
  • an end view of the cross section of the embossed converter 300 of Figs. 5 to 7 is shown.
  • the end view shown in Fig. 5 is an end view taken along the cross section of a-a' in Fig. 3.
  • the first waveguide 301 and the second waveguide 302 have a thickness HI, a width W1, and a distance H3 from the bottom surface of the isolation layer.
  • the plane of the cross section is the xy plane
  • the Oxy coordinate system is also shown in FIG. 5, wherein the first waveguide 301 and the second waveguide 302 are symmetric with respect to the y-axis, and the X-axis is the symmetry of the first waveguide.
  • the axis, the X axis is the axis of symmetry of the second waveguide.
  • the end view shown in Fig. 6 is an end view along the cross section of b-b' in Fig. 3.
  • the thickness of the third waveguide 303 is HI
  • the distance from the bottom surface of the isolation layer is H3.
  • the thickness of the fourth waveguide 304 is H2.
  • Fig. 7 is an end view along the cross section of c-c' in Fig. 3.
  • the thickness of the waveguide 204' is shown as H4
  • the distance from the bottom surface of the isolation layer is H3
  • the width is W2.
  • H4 H1+H2.
  • the parameters of the variogram converter 300 in FIG. 3 to FIG. 7 may be as shown in Table 1. .
  • embodiments of the present invention provide a scalpel converter that includes a first waveguide, a second waveguide, and a third waveguide that form a Y-shape, and a fourth waveguide that is disposed over the third waveguide.
  • the scalpel converter can be used to convert the size of the plaque between the optical fiber and the optical waveguide, and the zonal converter can be used to reduce the coupling loss between the optical fiber and the optical waveguide.
  • the optical signal output from the optical fiber can be coupled to the kerf converter 300 at the first waveguide and the second waveguide. There is a light field distribution between them, and then the optical signal can be coupled into the third waveguide and the fourth waveguide, further coupled into the rear optical waveguide.
  • each parameter of the scalpel converter uses a value as shown in Table 1, and FIG. 8 is a schematic diagram of a light field distribution obtained by using a Finite Difference Time Domain (FDTD) method.
  • the fiber 501 is a SMF-28 single mode fiber, and the SMF-28 single mode fiber has an outer diameter of 125 ⁇ m and an inner diameter of 8.2 ⁇ m.
  • the mode field of the optical signal output from the optical fiber 501 is as shown in Fig. 8(a), and can also be understood as the mode field of the input optical signal of the variogram converter 300, the diameter of which is about 10 ⁇ m. It should be noted that the light field distribution of the cross section of the optical fiber 501 is shown in Fig. 8(a).
  • Figure 8(b) shows the light field distribution in the waveguide 204' of the variogram converter 300. Wherein the intensity of the light field between the first waveguide and the second waveguide is weaker than the intensity of the light field in the third waveguide and the fourth waveguide. It should be noted that Fig. 8(b) shows the light field distribution of the longitudinal section of the waveguide 204'.
  • Figure 8 (c) is a mode field of the input optical signal of the rear optical waveguide 502 connected to the variogram converter 300. It can also be understood that the mode field of the output optical signal of the variogram converter 300 is approximately the size of the louver.
  • the micron-sized plaque in the optical fiber 501 is converted into a sub-micron-sized stencil in the optical waveguide.
  • variogram converter 300 of Figure 8 is only schematically represented by a waveguide 204.
  • Figure 9 shows a plot of coupling loss versus wavelength.
  • the wavelength range is C band, which is 1.53 ⁇ -1.565 ⁇ .
  • the coupling loss for the electric field transverse wave (Transverse Electric, TE) is less than 1.2dB, and the coupling loss for the transverse magnetic field (Transverse Magnetic, TM) is less than 1.5dB.
  • the alignment tolerance of the scalar converter is large.
  • the alignment tolerance is the offset between the axis of the fiber and the coordinate axis shown in Figure 5.
  • the alignment tolerance can also be called the fiber alignment tolerance.
  • Fig. 10 is a graph showing the relationship between the coupling loss and the alignment tolerance for the ⁇ mode at a wavelength of 1.547 ⁇ m.
  • Figure 11 shows the relationship between coupling loss and alignment tolerance for the ⁇ mode at a wavelength of 1.547 ⁇ .
  • the scallop converter provided by the embodiment of the present invention has a large alignment tolerance. That is to say, by using the scalpel converter provided by the embodiment of the present invention, the alignment requirement between the optical fiber and the spot mode converter can be reduced.
  • the waveguide 204 or the waveguide 204' in the variogram converter has a symmetrical structure, and the symmetry plane is a plane perpendicular to the width direction. It is also understood that the symmetry plane is a y-z plane.
  • 204 in the above embodiment may further include an N-branch waveguide connected to the first end of the third waveguide 303, the N-branch waveguide being aligned with the first waveguide 301.
  • N is a positive integer.
  • the length of the N-branch waveguide is equal to the length of the first waveguide 301.
  • the N-branch waveguide is of equal width, and the width of the N-branch waveguide may be equal to the width of the first waveguide 301.
  • Figure 13 is a diagram of an apparatus for light conduction according to an embodiment of the present invention, and the apparatus shown in Figure 13 includes a kerf converter 1401 and an optical waveguide 1402.
  • the variogram converter 1401 is for coupling an optical signal input from the optical fiber into the optical waveguide 1402.
  • the variogram converter 1401 may be a embossed converter of any of the foregoing embodiments, and may be, for example, a stencil converter 200 or a stencil converter 300.
  • an embodiment of the present invention provides a device for light conduction, the device comprising a scalar converter and an optical waveguide, wherein the louver converter couples an optical signal input from an external optical fiber into the optical waveguide, and the coupling loss is small.
  • the alignment tolerance of the device and the optical fiber is relatively large.
  • the kerf converter 1401 includes a waveguide including at least a first waveguide, a second waveguide, and a third waveguide.
  • the variogram converter 1401 is connectable to the optical waveguide 1402 through the second end of the third waveguide, and the width of the second end of the third waveguide is equal to the width of the optical waveguide 1402.
  • the thickness of the waveguide of the kerf converter 1401 may be equal to the thickness of the optical waveguide 1402.
  • the kerf converter 1401 is the kerf converter 200 of the previous embodiment.
  • the kerf converter 1401 further includes a fourth waveguide disposed above the third waveguide, and the sum of the thickness of the third waveguide of the kerf converter 1401 and the thickness of the fourth waveguide may be Equal to the thickness of the optical waveguide 1402, for example, the kerf converter 1401 is the kerf converter 300 in the foregoing embodiment.
  • Fig. 14 is a plan view showing a waveguide in the apparatus for light conduction according to an embodiment of the present invention. It will be understood that Figure 14 includes the waveguide 204 in the kerf converter 300, as well as the optical waveguide 1402.
  • the optical waveguide 1402 is the same as the material used for the waveguide in the variogram converter 1401, and is a third material.
  • the third material can be silicon or silicon nitride.
  • the disclosed systems, devices, and methods may be implemented in other ways.
  • the device embodiments described above are merely illustrative.
  • the division of the unit is only a logical function division.
  • there may be another division manner for example, multiple units or components may be combined or Can be integrated into another system, or some features can be ignored, or not executed.
  • the mutual coupling or direct connection or communication connection shown or discussed may be an indirect coupling or communication connection through some interface, device or unit, and may be in electrical, mechanical or other form.
  • the components displayed for the unit may or may not be physical units, ie may be located in one place, or may be distributed over multiple network units. Some or all of the units may be selected according to actual needs to achieve the objectives of the solution of the embodiment.
  • each functional unit in each embodiment of the present invention may be integrated into one processing unit, or each unit may exist physically separately, or two or more units may be integrated into one unit.
  • the functions, if implemented in the form of software functional units and sold or used as separate products, may be stored in a computer readable storage medium.
  • the technical solution of the present invention which is essential or contributes to the prior art, or a part of the technical solution, may be embodied in the form of a software product, which is stored in a storage medium, including
  • the instructions are used to cause a computer device (which may be a personal computer, server, or network device, etc.) to perform all or part of the steps of the methods described in various embodiments of the present invention.
  • the foregoing storage medium includes: a U disk, a mobile hard disk, an ead-only memory (ROM), a random access memory (RAM), a disk or an optical disk, and the like, which can store program codes. .

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Optical Integrated Circuits (AREA)

Abstract

一种模斑转换器（200），包括衬底层（201）；设置在衬底层（201）上方的第一覆盖层（202）；设置在衬底层（201）与第一覆盖层（202）之间的隔离层（203）；设置在第一覆盖层（202）内的波导（204），波导（204）沿中心轴线对称；其中，波导（204）包括等宽度的第一波导（301）、等宽度的第二波导（302）和第三波导（303），第三波导（303）的第一端与第一波导（301）的第一端和第二波导（302）的第一端连接，第一波导（301）、第二波导（302）和第三波导（303）构成的形状为Y形，并且沿着中心轴线的第一方向，第三波导（303）的宽度逐渐增加，第一波导（301）和第二波导（302）在第二方向之间的距离逐渐减小。该模斑转换器（200）能够用于实现光纤与光波导之间的模斑的大小的转换，并且使用该模斑转换器（200），能够减小光纤与光波导之间的耦合损耗。

Description

模斑转换器以及用于光传导的装置 技术领域
本发明实施例涉及光通信技术领域， 并且更具体地， 涉及一种模斑转换 器以及用于光传导的装置。 背景技术
随着高速率、 大容量的光通信技术的发展， 在光集成器件中的一个关键 技术是实现光波导和光纤的有效辆合。 例如， 光波导可以是硅基光子集成回 路（ Photonic Integrated Circuit, PIC ) 芯片。
光信号需要从单模光纤耦合到硅基 PIC芯片中。但是， 硅基 PIC芯片的 横截面尺寸在亚微米量级， 而普通的单模光纤的直径在微米甚至十微米量 级， 也即， 硅基 PIC芯片的横截面尺寸比普通的单模光纤的芯径小很多。 再 者， 硅基 PIC芯片中的硅波导芯层的折射率比较高。 也就是说， 硅基 PIC芯 片与普通的单模光纤之间的模斑尺寸及有效折射率都是失配的， 这种模场失 配会导致两者之间的巨大的耦合损耗。
光波导和光纤之间的对准难度也很大， 这两者之间的端对端的耦合损耗 甚至可能大于 26dB。 这样， 硅基 PIC芯片的光输入和光输出问题是一个严 峻的挑战。
目前， 为减小光波导与光纤之间的耦合损耗的一种方式是端面耦合。 端 面耦合是在硅基 PIC芯片的边缘设计并制作模斑转换器，也可以理解为是在 光波导和光纤之间加接一个模斑转换器。模斑转换器中的模斑与外部的单模 光纤中的模场耦合， 并且还能够将该模斑转换器中的模斑的尺寸改变。
目前， 通常釆用的模斑转换器有： 正向锥形模斑转换器、 反向锥形模斑 转换器、多级锥形模斑转化器、多波导模斑转换器和三维锥形模斑转换器等。 但是， 釆用这些结构的模斑转换器， 硅基 PIC芯片与单模光纤之间的耦合损 耗仍然比较大。 发明内容
本发明实施例提供了一种模斑转换器， 能够减小光波导与光纤之间的耦 合损耗。 第一方面， 提供了一种模斑转换器， 所述模斑转换器包括： 衬底层；
设置在所述衬底层上方的第一覆盖层， 所述第一覆盖层釆用第一材料； 设置在所述衬底层与所述第一覆盖层之间的隔离层， 所述隔离层釆用第 二材料；
设置在所述第一覆盖层内的波导， 所述波导沿中心轴线对称， 所述波导 釆用第三材料；
其中，所述波导包括等宽度的第一波导、等宽度的第二波导和第三波导， 所述第三波导的第一端与所述第一波导的第一端连接， 并且所述第三波导的 第一端与所述第二波导的第一端连接， 所述第一波导、 所述第二波导和所述 第三波导构成的形状为 γ形；
并且沿着所述中心轴线的第一方向，从所述第三波导的第一端至所述第 三波导的第二端， 所述第三波导的宽度逐渐增加， 从所述第一波导的第二端 至所述第一波导的第一端， 所述第一波导和所述第二波导在第二方向之间的 距离逐渐减小， 所述第二方向位于所述波导所在的平面内且所述第二方向与 所述第一方向垂直；
所述第二材料的折射率与所述第一材料的折射率之差的绝对值小于第 一阔值， 所述第三材料的折射率与所述第一材料的折射率之差大于第二阔 值。
结合第一方面， 在第一方面的第一种可能的实现方式中， 所述衬底层的 横截面形状为凹形， 所述隔离层的横截面形状为凹形， 所述第一覆盖层的横 截面形状为长方形， 所述模斑转换器还包括：
设置在所述衬底层的上方的第二覆盖层， 所述第二覆盖层设置在所述隔 离层的外侧， 且所述第二覆盖层釆用第一材料。
结合第一方面或者第一方面的第一种可能的实现方式，在第一方面的第 二种可能的实现方式中， 所述波导还包括设置在所述第三波导上方的第四波 导，
沿着所述第一方向， 所述第四波导的宽度逐渐增加， 并且在所述第三波 导的第一端至所述第三波导的第二端之间的任一横截面上， 所述第四波导的 宽度小于所述第三波导的宽度。
结合第一方面的第二种可能的实现方式，在第一方面的第三种可能的实 现方式中， 所述第三波导的形状为等腰梯形， 所述第四波导的形状为等腰三 角形， 所述第一波导和所述第二波导的形状为 S形，
所述第四波导的长度等于所述第三波导的长度， 所述第四波导与所述第 三波导在所述第三波导的第二端对齐， 所述第四波导在所述等腰三角形的底 边所在的一端的宽度等于所述第三波导的第二端的宽度。
结合第一方面的第二种可能的实现方式或者第一方面的第三种可能的 实现方式， 在第一方面的第四种可能的实现方式中， 所述波导的长度为 Ll， 所述第三波导和所述第四波导的长度为 L2， 所述第一波导、 所述第二波导 和所述第三波导的厚度为 HI， 所述第四波导的厚度为 H2， 所述第一波导和 所述第二波导的宽度为 Wl， 所述第三波导的第二端的宽度为 W2， 所述波 导与所述隔离层的底面之间的距离为 H3， 其中，
0<ί1≤500μπι ， 0<ί2≤200μπι ， 0<H1<H1+H2<400nm ， Η3>5μπι ， 0<Wl<300nm, 200nm≤W2≤600nm。
结合第一方面的第四种可能的实现方式，在第一方面的第五种可能的实 现方式中， Ll=30(^m， L2=10(^m， Hl=120nm, H2=100nm, Wl=180nm, W2=500nmo
结合第一方面或者上述第一方面的任一可能的实现方式，在第一方面的 第六种可能的实现方式中， 所述第一波导的第二端和所述第二波导的第二端 之间的距离大于 Ιμπι且小于 10μπι。
结合第一方面或者上述第一方面的任一可能的实现方式，在第一方面的 第七种可能的实现方式中， 所述波导还包括 Ν支分叉波导，
所述 Ν支分叉波导与所述第三波导的第一端连接， 所述 Ν支分叉波导 与所述第一波导对齐， 其中， Ν为正整数。
结合第一方面或者上述第一方面的任一可能的实现方式，在第一方面的 第八种可能的实现方式中， 所述衬底层釆用的材料为硅， 所述第一材料为二 氧化硅， 所述第二材料为机油， 所述第三材料为硅或氮化硅。
第二方面， 提供了一种用于光传导的装置， 所述装置包括： 如第一方面 或者第一方面的任一可能的实现方式所述的模斑转换器和光波导， 所述模斑 转换器用于将从光纤输入的光信号耦合至所述光波导中。
结合第二方面， 在第二方面的第一种可能的实现方式中， 所述模斑转换 器通过所述第三波导的第二端与所述光波导连接， 并且所述第三波导的第二 端的宽度等于所述光波导的宽度。
结合第二方面或者第二方面的第一种可能的实现方式，在第二方面的第 二种可能的实现方式中， 前述包括第四波导的模斑转换器的第三波导的厚度 与第四波导的厚度之和等于所述光波导的厚度。
本发明实施例，提供了一种模斑转换器，该模斑转换器包括形成 Y形的 第一波导、 第二波导和第三波导。 该模斑转换器能够用于实现光纤与光波导 之间的模斑的大小的转换， 并且使用该模斑转换器， 能够减小光纤与光波导 之间的耦合损耗。 附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案， 下面将对实施例或现有技 术描述中所需要使用的附图作简单地介绍， 显而易见地， 下面描述中的附图 仅仅是本发明的一些实施例， 对于本领域普通技术人员来讲， 在不付出创造 性劳动性的前提下， 还可以根据这些附图获得其他的附图。
图 1是本发明一个实施例的模斑转换器的示意图。
图 2是本发明一个实施例的模斑转换器中的波导的平面图。
图 3是本发明另一个实施例的模斑转换器的示意图。
图 4是本发明另一个实施例的模斑转换器的波导的平面图。
图 5是本发明另一个实施例的模斑转换器的 a-a'所在横截面的端面图。 图 6是本发明另一个实施例的模斑转换器的 b-b'所在横截面的端面图。 图 7是本发明另一个实施例的模斑转换器的 c-c'所在横截面的端面图。 图 8是本发明一个实施例的光场分布的示意图。
图 9是本发明一个实施例的耦合损耗与波长的关系曲线图。
图 10是本发明一个实施例的 TE模式的耦合损耗与对准容差的关系曲线 图。
图 11是本发明一个实施例的 TM模式的耦合损耗与对准容差的关系曲 线图。
图 12是本发明另一个实施例的模斑转换器中的波导的平面图。
图 13是本发明一个实施例的用于光传导的装置的示意图。
图 14是本发明一个实施例的用于光传导的装置中的波导的平面图。 具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行 清楚、 完整地描述， 显然， 所描述的实施例是本发明一部分实施例， 而不是 全部的实施例。 基于本发明中的实施例， 本领域普通技术人员在没有作出创 造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例， 都属于本发明保护的范围。
图 1是本发明一个实施例的模斑转换器的示意图。 图 1所示的模斑转换 器 200包括：
衬底层 201 ;
设置在衬底层 201上方的第一覆盖层 202， 第一覆盖层釆用第一材料； 设置在衬底层 201与第一覆盖层 202之间的隔离层 203， 隔离层釆用第 二材料；
设置在第一覆盖层内的波导 204， 波导 204沿中心轴线对称， 波导 204 釆用第三材料。
其中， 波导 204可如图 2所示， 中心轴线以点画线表示。 具体地， 波导 204包括等宽度的第一波导 301、等宽度的第二波导 302和第三波导 303，第 三波导 303的第一端与第一波导 301的第一端和第二波导 302的第一端连接， 第一波导 301、 第二波导 302和第三波导 303构成的形状为 Y形。 并且沿着 所述中心轴线的第一方向， 第三波导 303的宽度逐渐增加， 第一波导 301和 第二波导 302在第二方向之间的距离逐渐减小， 第二方向与第一方向垂直； 第二材料的折射率与第一材料的折射率之差的绝对值小于第一阔值， 第三材 料的折射率与第一材料的折射率之差大于第二阔值。
本发明实施例，提供了一种模斑转换器，该模斑转换器包括形成 Y形的 第一波导、 第二波导和第三波导。 该模斑转换器能够用于实现光纤与光波导 之间的模斑的大小的转换， 并且使用该模斑转换器， 能够减小光纤与光波导 之间的耦合损耗。
本发明实施例中， 模斑转换器可加接在光波导的一端。 具体地， 模斑转 换器可通过第三波导的第二端与光波导连接。本发明实施例对模斑转换器与 光波导之间的连接方式不作限定。 例如， 可以将第三波导的第二端与光波导 直接连接， 或者也可以通过一个长方形波导将第三波导的第二端与光波导连 接， 本发明对此不作限定。
本发明实施例中， 假设光波导的横截面为长方形， 且光波导的宽度为 W4， 高度为 H4。
应注意， 本发明实施例中， 横截面是指与长度方向垂直的截面。 也可理 解横截面是与第一方向垂直的截面。
可选地， 本发明实施例中， 如图 1所示， 衬底层 201的横截面形状为凹 形， 隔离层 203的横截面形状为凹形， 第一覆盖层 202的横截面形状为长方 形， 模斑转换器 200还可包括设置在衬底层 201的上方的第二覆盖层 205， 第二覆盖层 205设置在隔离层 203的外侧，且第二覆盖层 205釆用第一材料。
可理解， 隔离层 203可以是深刻蚀一个 U形槽， 并在该 U形槽填充第 二材料所形成的。其中隔离层 203的长度可以小于或者等于衬底层 201的长 度， 本发明对此不作限定。
当隔离层 203的长度小于衬底层 201的长度时， 可理解第一覆盖层 202 第二覆盖层 205可共同构成 U形和悬臂部分。
具体地， 图 1中所示的斑模转换器 200中， 隔离层 203的长度等于衬底 层 201的长度。
为描述方便， 图 2中同时示出了 Oxz坐标系， 可理解第一方向为 z轴的 正方向。 并且第三波导 303沿着 z轴正方向的宽度逐渐增加。
可选地， 第一波导 301和第二波导 302的形状可以是直线， 也可以是曲 线， 本发明对此不作限定。 例如， 可以是 C形或 S形。
可选地， 如图 2所示， 第三波导 303的形状为等腰梯形。 或者， 可选地， 第三波导 303沿 z轴方向的轮廓也可以是弧线， 本发明对此不作限定。
另外， 假设波导 204的长度为 Ll， 第三波导 303的长度为 L2。 假设第 一波导 301和第二波导 302的宽度为 Wl， 第三波导 303的第二端的宽度为 W2。 假设第一波导 301、 第二波导 302和第三波导 303的厚度均为 Hl。 假 设波导 204距离隔离层的底面之间的距离为 H3。 可理解， 本发明实施例中， 长度是在坐标轴的 z轴方向上的尺寸，宽度是在坐标轴的 X轴方向上的尺寸， 相应地， 厚度是在坐标轴的 y轴方向 （即图 2的出面方向）上的尺寸。
那么， 可理解， 对图 1和图 2中的波导 204， 第三波导 303的第二端的 宽度 W2可等于光波导的宽度 W4， 即 W2=W4。 第三波导 303的厚度 HI可 等于光波导的厚度 H4， 即 H1=H4。
其中， 上述各个参数的范围可以为： Η3>5μπι， 0<Hl<400nm，
0<ί1≤500μπι， 0<ί2≤200μπι， 且 L2<L1， 0<Wl<300nm, 200nm≤W2≤600nm。 另外， 第一波导 301的第二端和第二波导 302的第二端之间的距离可以 为几微米或十几微米，本发明对此不作限定。可选地，该距离可以大于 0.5μπι 且小于 10μπι。 例如， 该 巨离可以为 1.2μπι。
可选地， 波导 204还可包括 Ν支分叉波导， 该 Ν支分叉波导与第三波 导的第一端连接， 并且该 Ν支分叉波导与第一波导 301对齐。 其中， Ν为正 整数。 可理解， 该 Ν支分叉波导的长度等于第一波导 301的长度。 可选地， 该 Ν支分叉波导是等宽度的，且该 Ν支分叉波导的宽度可等于第一波导 301 的宽度。
可选地， 图 1中所示的模斑转换器 200中， 衬底层 201釆用的材料可以 第一材料可以为二氧化硅， 第二材料可以为机油， 第三材料可以为硅或者氮 化硅。
或者， 第二材料也可以为其他的润滑油等。
应注意，本发明实施例对第一阔值和第二阔值的大小不作限定，一般地， 第一阔值小于第二阔值。 例如第一阔值可以为 0.3， 第二阔值可以为 1.8。 本 发明对此不作限定。
本发明实施例中， 衬底层 201用于支撑波导 204。 第一覆盖层 202用于 限制波导 204中的光模式。 隔离层 203用于保证波导 204中的光模式远离衬 底层 201。
应注意， 本发明实施例对衬底层 201的厚度、 第一覆盖层 202的厚度、 第二覆盖层 205的厚度和隔离层 203的厚度不作具体限定。
可选地， 本发明实施例中， 衬底层 201的长度等于覆盖层 202的长度， 且衬底层 201的长度可以等于波导 204的长度。
可理解，本发明实施例中，波导 204可以是对一块材料进行加工形成的， 例如， 波导 204可以是对第三材料通过光刻工艺成型加工而成的。
这样， 对于如图 1所示的模斑转换器 200， 当光纤的输出光信号从悬臂 部分输入该模斑转换器 200时，光能量可分布在第一波导 301和第二波导 302 之间， 随后光能量可緩慢地辆合进入第三波导 303， 并进一步将光信号输出 至后方的光波导中。
同样地， 对于如图 1所示的模斑转换器 200， 当光波导的输出光信号从 第三波导 303输入该模斑转换器 200时，可通过第一波导 301和第二波导 302 之间的光场， 将光信号输出至光纤中。 在图 1所示的模斑转换器 200的基础上，其中的波导 204还可进一步包 括第四波导。 如图 3所示， 是本发明另一个实施例的模斑转换器的示意图。 图 3所示的模斑转换器 300包括衬底层 201 ; 设置在衬底层 201上方的第一 覆盖层 202，第一覆盖层釆用第一材料；设置在衬底层 201与第一覆盖层 202 之间的隔离层 203， 隔离层釆用第二材料；设置在第一覆盖层内的波导 204，， 波导 204，沿中心轴线对称， 波导 204，釆用第三材料。
其中， 波导 204，可如图 4所示， 中心轴线以点画线表示。 具体地， 波导 204，包括等宽度的第一波导 301、 等宽度的第二波导 302和第三波导 303， 第三波导 303的第一端与第一波导 301的第一端和第二波导 302的第一端连 接， 第一波导 301、 第二波导 302和第三波导 303构成的形状为 Y形。 并且 沿着所述中心轴线的第一方向，第三波导 303的宽度逐渐增加，第一波导 301 和第二波导 302在第二方向之间的距离逐渐减小，第二方向与第一方向垂直； 第二材料的折射率与第一材料的折射率之差的绝对值小于第一阔值， 第三材 料的折射率与第一材料的折射率之差大于第二阔值。
波导 204，还包括设置在第三波导 303上方的第四波导 304。 沿着所述第 一方向， 第四波导 304的宽度逐渐增加， 并且在第三波导 303的第一端至第 三波导 303的第二端之间的任一横截面上， 第四波导 304的宽度小于第三波 导 303的宽度。
这样， 本发明实施例中， 斑模转换器 300可通过第三波导 303的第二端 以及第四波导 304的第二端与光波导连接。本发明实施例对模斑转换器与光 波导之间的连接方式不作限定。
应注意， 本发明实施例中， 为避免重复， 与图 1和图 2中具有相同标号 的部分， 这里不再赘述。
可选地， 本发明实施例中， 第四波导 304的形状可以为等腰三角形。 该 第四波导 304的长度可以小于或等于第三波导 303的长度。第四波导 304的 等腰三角形的底边所在的一端与第三波导 303的第二端对齐， 并且第四波导 304在等腰三角形的底边所在的一端的宽度可以等于第三波导 303的第二端 的宽度。
另外， 假设光波导的横截面为长方形， 且光波导的宽度为 W4， 高度为 H4。
假设波导 204，的长度为 Ll， 第三波导 303的长度为 L2。 假设第一波导 301和第二波导 302的宽度为 Wl， 第三波导 303的第二端的宽度为 W2。假 设第一波导 301、第二波导 302和第三波导 303的厚度均为 Hl。假设第四波 导的厚度为 H2。假设波导 204'距离隔离层的底面之间的距离为 H3。可理解， 本发明实施例中， 长度是在坐标轴的 z轴方向上的尺寸， 宽度是在坐标轴的 X轴方向上的尺寸， 相应地， 厚度是在坐标轴的 y轴方向 （即图 2的出面方 向）上的尺寸。
如果假设第四波导 304在宽度较小的一端为第四波导 304的第一端，假 设第四波导 304在宽度较大的一端为第四波导 304的第二端， 那么， 第四波 导 304的第二端的宽度可以为 W2。
那么， 可理解， 对图 3和图 4中的波导 204，， 第三波导 303的第二端的 宽度 W2可等于光波导的宽度 W4， 即 W2=W4。 第三波导 303的厚度 HI与 第四波导 304的厚度 H2之后可等于光波导的厚度 H4， 即 H1+H2=H4。
其中， 上述各个参数的范围可以为： Η3>5μπι， 0<HKH1+H2<400nm, 0<ί1≤500μπι， 0<ί2≤200μπι， 且 L2<L1， 0<Wl<300nm, 200nm≤W2≤600nm。
另外， 第一波导 301的第二端和第二波导 302的第二端之间的距离可以 为几微米或十几微米，本发明对此不作限定。可选地，该距离可以大于 0.5μπι 且小于 10μπι。 例如， 该 巨离可以为 1.2μπι。
可选地， 图 4所示的波导 204，可以是对第三材料进行多次光刻形成的。 为了进一步清楚地描述本发明实施例中的模斑转换器 300， 图 5至图 7 模斑转换器 300的横截面的端面图。
图 5所示的端面图是沿图 3中的 a-a'所在横截面的端面图。 其中， 示出 了第一波导 301和第二波导 302的厚度为 HI， 宽度为 Wl， 与隔离层的底面 的距离为 H3。 并且， 假设 a-a， 所在横截面的平面为 x-y平面， 图 5中还示 出了 Oxy坐标系，其中第一波导 301和第二波导 302相对于 y轴对称， 并且 X轴为第一波导的对称轴， X轴为第二波导的对称轴。
图 6所示的端面图是沿图 3中的 b-b'所在横截面的端面图。 其中， 示出 了第三波导 303的厚度为 HI， 与隔离层的底面的距离为 H3。 第四波导 304 的厚度为 H2。
图 7所示的端面图是沿图 3中的 c-c'所在横截面的端面图。 其中， 示出 了波导 204'的厚度为 H4， 与隔离层的底面的距离为 H3， 宽度为 W2。 并且 H4=H1+H2。 可理解， c-c，所在横截面为第三波导 303 的第二端和第四波导 304的第二端所在的横截面。
可选地， 作为一个实施例， 当光波导的宽度 W4=500nm且光波导的厚 度 H4=220nm时， 图 3至图 7中的模斑转换器 300的各个参数可以取值如表 一所示。
Figure imgf000012_0001
Figure imgf000012_0002
这样， 本发明实施例提供了一种模斑转换器， 该模斑转换器包括形成 Y 形的第一波导、第二波导和第三波导，以及设置在第三波导上方的第四波导。 该模斑转换器能够用于实现光纤与光波导之间的模斑的大小的转换， 并且使 用该模斑转换器， 能够减小光纤与光波导之间的耦合损耗。
举例来说， 若将图 3所示的模斑转换器 300置于光纤与光波导之间， 那 么从光纤输出的光信号可耦合至模斑转换器 300中，在第一波导和第二波导 之间有光场分布， 随后光信号可耦合至第三波导和第四波导中， 进一步再耦 合至后方的光波导中。
可选地， 作为一例， 模斑转换器的各个参数釆用如表一所示的值， 图 8 所示为釆用时域有限差分 ( Finite Difference Time Domain, FDTD )方法得到 的光场分布的示意图。 其中光纤 501为 SMF-28单模光纤， 该 SMF-28单模 光纤的外径大小为 125μπι， 内径大小为 8.2μπι。
从光纤 501输出的光信号的模场如图 8(a)所示， 也可理解是模斑转换器 300的输入光信号的模场， 其模斑的直径约为 10μπι。 应注意， 图 8(a)所示的 为光纤 501的横截面的光场分布。
图 8(b)为模斑转换器 300的波导 204'中的光场分布。 其中， 第一波导和 第二波导之间的光场强度比第三波导和第四波导中的光场强度弱。 应注意， 图 8(b)所示的为波导 204'的纵截面的光场分布。
图 8(c)为与模斑转换器 300连接的后方光波导 502的输入光信号的模场， 也可理解是模斑转换器 300 的输出光信号的模场， 其模斑的尺寸约为
500nmx220nm。 应注意， 图 8(c)所示的为光波导 502的横截面的光场分布。 这样， 通过模斑转换器 300， 将光纤 501中微米量级的模斑转换为光波 导中亚微米量级的模斑。
应注意， 图 8中的模斑转换器 300只示意性地以波导 204，表示。
并且， 使用该模斑转换器能够减小光纤与光波导之间的耦合损耗。 图 9 示出了耦合损耗与波长的关系曲线图。 其中波长范围为 C 波段， 即 1.53μπι-1.565μπι。 对电场横波（Transverse Electric , TE ) 的耦合损耗小于 1.2dB , 对磁场横波（Transverse Magnetic, TM ) 的耦合损耗小于 1.5dB。
同时， 使用该模斑转换器的对准容差较大。 具体地， 对准容差是光纤的 轴线与图 5所示的坐标轴之间的偏移。 其中， 对准容差也可称为光纤对准容 差。
具体地， 图 10示出了波长为 1.547μπι时， 针对 ΤΕ模式的耦合损耗与 对准容差的关系曲线图。 图 11示出了波长为 1.547μπι时， 针对 ΤΜ模式的 耦合损耗与对准容差的关系曲线图。
从图 10和图 11可以看出，耦合损耗小于 3dB时的对准容差范围如表二 所示。 其中， 对准容差均大于 3μπι。
Figure imgf000013_0001
Figure imgf000013_0002
可见， 釆用本发明实施例提供的模斑转换器， 具有较大的对准容差。 也 就是说， 釆用本发明实施例提供的模斑转换器， 能够减小光纤与斑模转换器 之间的对准要求。
可理解， 在上述实施例中，模斑转换器中的波导 204或波导 204'为对称 结构， 对称面为与宽度方向垂直的平面， 也可理解对称面为 y-z平面。 可选 地， 上述实施例中的 204，还可包括与第三波导 303的第一端连接的 N支分 叉波导，该 N支分叉波导与第一波导 301对齐。其中， N为正整数。可理解， 该 N支分叉波导的长度等于第一波导 301的长度。 可选地， 该 N支分叉波 导是等宽度的， 且该 N支分叉波导的宽度可等于第一波导 301的宽度。
例如， 图 12示出了另一实施例的波导的纵截面示意图。 包括 N=2支分 叉波导： 第五波导 305和第六波导 306。其中，第五波导 305和第六波导 306 相对于 y轴对称。 其中 y轴为图 12的出面方向， 与图 5中的 y轴一致。
图 13是本发明一个实施例的用于光传导的装置， 图 13所示的装置包括 模斑转换器 1401和光波导 1402。
模斑转换器 1401用于将从光纤输入的光信号耦合至光波导 1402中。其 中模斑转换器 1401 可以是前述任一实施例模斑转换器， 例如可以是模斑转 换器 200或者模斑转换器 300。
这样， 本发明实施例提供了一种用于光传导的装置， 该装置包括模斑转 换器和光波导， 其中模斑转换器将从外部光纤输入的光信号耦合至光波导 中， 并且耦合损耗较小。
并且， 该装置与光纤的对准容差比较大， 具体描述可参见前述实施例， 为避免重复， 这里不再赘述。
参见前述实施例， 模斑转换器 1401 包括波导， 该波导至少包括第一波 导、 第二波导和第三波导。 模斑转换器 1401 可通过所述第三波导的第二端 与光波导 1402连接， 并且所述第三波导的第二端的宽度等于光波导 1402的 宽度。
可选地， 作为一个实施例， 模斑转换器 1401 的波导的厚度可等于光波 导 1402的厚度，例如，模斑转换器 1401为前述实施例中的模斑转换器 200。
可选地， 作为另一个实施例， 模斑转换器 1401还包括设置在第三波导 上方的第四波导， 此时模斑转换器 1401 的第三波导的厚度与第四波导的厚 度之和可等于光波导 1402的厚度， 例如， 模斑转换器 1401为前述实施例中 的模斑转换器 300。
假设模斑转换器 1401为前述实施例中的模斑转换器 300， 图 14示出了 本发明一个实施例的用于光传导的装置中的波导的平面图。 可理解， 图 14 包括模斑转换器 300中的波导 204，以及光波导 1402。
本发明实施例中， 光波导 1402与模斑转换器 1401中的波导釆用的材料 相同， 均为第三材料。 例如， 第三材料可以为硅或者氮化硅。
应注意， 本发明只给出了模斑转换器的部分实施例， 本领域普通技术人 员在上述实施例的基础上， 所获得的其他实施例， 也应在本发明的保护范围 之内。
本领域普通技术人员可以意识到， 结合本文中所公开的实施例描述的各 示例的单元及算法步骤， 能够以电子硬件、 或者计算机软件和电子硬件的结 合来实现。 这些功能究竟以硬件还是软件方式来执行， 取决于技术方案的特 定应用和设计约束条件。 专业技术人员可以对每个特定的应用来使用不同方 法来实现所描述的功能， 但是这种实现不应认为超出本发明的范围。
所属领域的技术人员可以清楚地了解到， 为描述的方便和简洁， 上述描 述的系统、 装置和单元的具体工作过程， 可以参考前述方法实施例中的对应 过程， 在此不再赘述。
在本申请所提供的几个实施例中， 应该理解到， 所揭露的系统、 装置和 方法， 可以通过其它的方式实现。 例如， 以上所描述的装置实施例仅仅是示 意性的， 例如， 所述单元的划分， 仅仅为一种逻辑功能划分， 实际实现时可 以有另外的划分方式， 例如多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个 系统， 或一些特征可以忽略， 或不执行。 另一点， 所显示或讨论的相互之间 的耦合或直接辆合或通信连接可以是通过一些接口， 装置或单元的间接耦合 或通信连接， 可以是电性， 机械或其它的形式。 为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元， 即可以位于一个地方， 或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或 者全部单元来实现本实施例方案的目的。
另外， 在本发明各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理单元 中， 也可以是各个单元单独物理存在， 也可以两个或两个以上单元集成在一 个单元中。
所述功能如果以软件功能单元的形式实现并作为独立的产品销售或使 用时， 可以存储在一个计算机可读取存储介质中。 基于这样的理解， 本发明 的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分或者该技术方案的部 分可以以软件产品的形式体现出来， 该计算机软件产品存储在一个存储介质 中， 包括若干指令用以使得一台计算机设备（可以是个人计算机， 服务器， 或者网络设备等）执行本发明各个实施例所述方法的全部或部分步骤。 而前 述的存储介质包括： U盘、移动硬盘、只读存储器（ ead-Only Memory, ROM )、 随机存取存储器（Random Access Memory, RAM ), 磁碟或者光盘等各种可 以存储程序代码的介质。
以上所述， 仅为本发明的具体实施方式， 但本发明的保护范围并不局限 于此， 任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内， 可轻易 想到变化或替换， 都应涵盖在本发明的保护范围之内。 因此， 本发明的保护 范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims

权利要求
1. 一种模斑转换器， 其特征在于， 所述模斑转换器包括：
衬底层；
设置在所述衬底层上方的第一覆盖层， 所述第一覆盖层釆用第一材料； 设置在所述衬底层与所述第一覆盖层之间的隔离层， 所述隔离层釆用第 二材料；
设置在所述第一覆盖层内的波导， 所述波导沿中心轴线对称， 所述波导 釆用第三材料；
其中，所述波导包括等宽度的第一波导、等宽度的第二波导和第三波导， 所述第三波导的第一端与所述第一波导的第一端连接， 并且所述第三波导的 第一端与所述第二波导的第一端连接， 所述第一波导、 所述第二波导和所述 第三波导构成的形状为 γ形；
并且沿着所述中心轴线的第一方向，从所述第三波导的第一端至所述第 三波导的第二端， 所述第三波导的宽度逐渐增加， 从所述第一波导的第二端 至所述第一波导的第一端， 所述第一波导和所述第二波导在第二方向之间的 距离逐渐减小， 所述第二方向位于所述波导所在的平面内且所述第二方向与 所述第一方向垂直；
所述第二材料的折射率与所述第一材料的折射率之差的绝对值小于第 一阔值， 所述第三材料的折射率与所述第一材料的折射率之差大于第二阔 值。
2. 根据权利要求 1 所述的模斑转换器， 其特征在于， 所述衬底层的横 截面形状为凹形， 所述隔离层的横截面形状为凹形， 所述第一覆盖层的横截 面形状为长方形， 所述模斑转换器还包括：
设置在所述衬底层的上方的第二覆盖层， 所述第二覆盖层设置在所述隔 离层的外侧， 且所述第二覆盖层釆用第一材料。
3. 根据权利要求 1或 2所述的模斑转换器， 其特征在于， 所述波导还 包括设置在所述第三波导上方的第四波导，
沿着所述第一方向， 所述第四波导的宽度逐渐增加， 并且在所述第三波 导的第一端至所述第三波导的第二端之间的任一横截面上， 所述第四波导的 宽度小于所述第三波导的宽度。
4. 根据权利要求 3所述的模斑转换器， 其特征在于， 所述第三波导的 形状为等腰梯形， 所述第四波导的形状为等腰三角形， 所述第一波导和所述 第二波导的形状为 S形，
所述第四波导的长度等于所述第三波导的长度， 所述第四波导与所述第 三波导在所述第三波导的第二端对齐， 所述第四波导在所述等腰三角形的底 边所在的一端的宽度等于所述第三波导的第二端的宽度。
5. 根据权利要求 3或 4所述的模斑转换器， 其特征在于， 所述波导的 长度为 Ll， 所述第三波导和所述第四波导的长度为 L2， 所述第一波导、 所 述第二波导和所述第三波导的厚度为 HI， 所述第四波导的厚度为 H2， 所述 第一波导和所述第二波导的宽度为 Wl， 所述第三波导的第二端的宽度为 W2, 所述波导与所述隔离层的底面之间的距离为 H3， 其中，
0<ί1≤500μπι ， 0<ί2≤200μπι ， 0<H1<H1+H2<400nm ， Η3>5μπι ， 0<Wl<300nm, 200nm≤W2≤600nm。
6. 根据权利要求 5所述的模斑转换器， 其特征在于，
Ll=30(^m， L2=10(^m， Hl=120nm， H2=100nm， Wl=180nm， W2=500nm。
7. 根据权利要求 1至 6任一项所述的模斑转换器， 其特征在于， 所述 第一波导的第二端和所述第二波导的第二端之间的距离大于 Ιμπι 且小于 ΙΟμπΐο
8. 根据权利要求 1至 7任一项所述的模斑转换器， 其特征在于， 所述 波导还包括 Ν支分叉波导，
所述 Ν支分叉波导与所述第三波导的第一端连接， 所述 Ν支分叉波导 与所述第一波导对齐， 其中， Ν为正整数。
9. 根据权利要求 1至 8任一项所述的模斑转换器， 其特征在于， 所述 衬底层釆用的材料为硅， 所述第一材料为二氧化硅， 所述第二材料为机油， 所述第三材料为硅或氮化硅。
10. 一种用于光传导的装置， 其特征在于， 所述装置包括： 如权利要求
1至 9任一项所述的模斑转换器和光波导，
所述模斑转换器用于将从光纤输入的光信号耦合至所述光波导中。
11. 根据权利要求 10所述的装置， 其特征在于， 所述模斑转换器通过 所述第三波导的第二端与所述光波导连接， 并且所述第三波导的第二端的宽 度等于所述光波导的宽度。
12. 根据权利要求 10或 11所述的装置， 其特征在于， 权利要求 3至 6 任一项所述的第三波导的厚度与第四波导的厚度之和等于所述光波导的厚 度。
PCT/CN2014/082308 2014-07-16 2014-07-16 模斑转换器以及用于光传导的装置 WO2016008114A1 (zh)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201480077367.1A CN106461866B (zh) 2014-07-16 2014-07-16 模斑转换器以及用于光传导的装置
JP2017502585A JP6302130B2 (ja) 2014-07-16 2014-07-16 光伝送のためのスポットサイズ変換器および装置
PCT/CN2014/082308 WO2016008114A1 (zh) 2014-07-16 2014-07-16 模斑转换器以及用于光传导的装置
EP14897866.1A EP3159719B1 (en) 2014-07-16 2014-07-16 Spotsize converter and apparatus for optical conduction

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/CN2014/082308 WO2016008114A1 (zh) 2014-07-16 2014-07-16 模斑转换器以及用于光传导的装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2016008114A1 true WO2016008114A1 (zh) 2016-01-21

Family

ID=55077812

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/CN2014/082308 WO2016008114A1 (zh) 2014-07-16 2014-07-16 模斑转换器以及用于光传导的装置

Country Status (4)

Country Link
EP (1) EP3159719B1 (zh)
JP (1) JP6302130B2 (zh)
CN (1) CN106461866B (zh)
WO (1) WO2016008114A1 (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109696725A (zh) * 2017-10-23 2019-04-30 中兴光电子技术有限公司 一种模斑变换器及其制造方法
CN114859464A (zh) * 2021-01-20 2022-08-05 中国科学院微电子研究所 一种基模模场转换器及其构建方法
CN115113329A (zh) * 2022-08-29 2022-09-27 上海羲禾科技有限公司 一种光波导模斑转换装置及其制造方法

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109283619B (zh) * 2018-11-13 2024-02-06 苏州易缆微光电技术有限公司 基于双层聚合物波导的模斑转换器及其制备方法
US20220260785A1 (en) * 2019-05-29 2022-08-18 Corning Incorporated Mode expansion waveguide and spot size converter comprising such for direct coupling with fiber
CN111367016B (zh) * 2020-04-10 2021-11-30 联合微电子中心有限责任公司 一种模斑转换器及其制备方法
CN111562650A (zh) * 2020-06-04 2020-08-21 上海交通大学 基于双三叉戟亚波长光栅结构的端面耦合器
US11860421B2 (en) * 2020-11-13 2024-01-02 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Multi-tip optical coupling devices

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1212529C (zh) * 2003-06-24 2005-07-27 浙江大学 平面光波导与光纤的低损耗连接方法
US20060204175A1 (en) * 2003-08-19 2006-09-14 Christian Laurent-Lund Integrated optics spot size converter and manufacturing method
JP2007093743A (ja) * 2005-09-27 2007-04-12 Hitachi Cable Ltd スポットサイズ変換導波路及びその製造方法
CN101055338A (zh) * 2006-04-13 2007-10-17 中国科学院半导体研究所 一种集成有光场模斑变换器的波导光开关阵列及其方法
CN101408646B (zh) * 2008-11-07 2010-12-01 浙江大学 基于狭缝波导的数字型硅光波导开关
CN203241564U (zh) * 2013-05-30 2013-10-16 青岛海信宽带多媒体技术有限公司 光纤波导模斑转换器及光耦合器

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3434986B2 (ja) * 1996-09-13 2003-08-11 日本電信電話株式会社 光合分波回路
US6310995B1 (en) * 1998-11-25 2001-10-30 University Of Maryland Resonantly coupled waveguides using a taper
JP2006517673A (ja) * 2001-12-05 2006-07-27 ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ，エル．エル．シー． 垂直モードおよび水平モード形状を有する光導波路終端装置
US7088890B2 (en) * 2004-11-30 2006-08-08 Intel Corporation Dual “cheese wedge” silicon taper waveguide
JP2010085564A (ja) * 2008-09-30 2010-04-15 Oki Electric Ind Co Ltd 光導波路回路及び光回路装置
CN101533128B (zh) * 2008-12-19 2010-11-10 中国科学院微电子研究所 一种硅纳米光波导与光纤的耦合封装方法
WO2010082673A1 (ja) * 2009-01-16 2010-07-22 日本碍子株式会社 分岐型光導波路、光導波路基板および光変調器
JP5232672B2 (ja) * 2009-01-23 2013-07-10 日東電工株式会社 発光素子付光導波路および光学式タッチパネル
CN101546015B (zh) * 2009-04-30 2010-08-04 浙江大学 基于狭缝结构的硅光波导偏振分离器
SG181770A1 (en) * 2009-12-23 2012-07-30 Agency Science Tech & Res Optical converter and method of manufacturing the same
US8326100B2 (en) * 2010-09-27 2012-12-04 Alcatel Lucent Low loss broadband fiber coupler to optical waveguide

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1212529C (zh) * 2003-06-24 2005-07-27 浙江大学 平面光波导与光纤的低损耗连接方法
US20060204175A1 (en) * 2003-08-19 2006-09-14 Christian Laurent-Lund Integrated optics spot size converter and manufacturing method
JP2007093743A (ja) * 2005-09-27 2007-04-12 Hitachi Cable Ltd スポットサイズ変換導波路及びその製造方法
CN101055338A (zh) * 2006-04-13 2007-10-17 中国科学院半导体研究所 一种集成有光场模斑变换器的波导光开关阵列及其方法
CN101408646B (zh) * 2008-11-07 2010-12-01 浙江大学 基于狭缝波导的数字型硅光波导开关
CN203241564U (zh) * 2013-05-30 2013-10-16 青岛海信宽带多媒体技术有限公司 光纤波导模斑转换器及光耦合器

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109696725A (zh) * 2017-10-23 2019-04-30 中兴光电子技术有限公司 一种模斑变换器及其制造方法
CN114859464A (zh) * 2021-01-20 2022-08-05 中国科学院微电子研究所 一种基模模场转换器及其构建方法
CN114859464B (zh) * 2021-01-20 2024-04-16 中国科学院微电子研究所 一种基模模场转换器及其构建方法
CN115113329A (zh) * 2022-08-29 2022-09-27 上海羲禾科技有限公司 一种光波导模斑转换装置及其制造方法
CN115113329B (zh) * 2022-08-29 2022-11-08 上海羲禾科技有限公司 一种光波导模斑转换装置及其制造方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN106461866A (zh) 2017-02-22
EP3159719B1 (en) 2018-05-30
JP6302130B2 (ja) 2018-03-28
JP2017526954A (ja) 2017-09-14
CN106461866B (zh) 2019-04-19
EP3159719A4 (en) 2017-06-28
EP3159719A1 (en) 2017-04-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2016008114A1 (zh) 模斑转换器以及用于光传导的装置
CN108885307B (zh) 用于光子芯片的具有可控模场的光学边缘耦合器
KR101591847B1 (ko) 효율적인 실리콘-온-인슐레이터 격자 결합기
JP5659866B2 (ja) スポットサイズ変換器
JP5772927B2 (ja) 光変換器およびその製造方法
JP4886627B2 (ja) 光結合デバイス
US7088890B2 (en) Dual “cheese wedge” silicon taper waveguide
US8913860B2 (en) Optical waveguide structure and optical waveguide device
CN107290824B (zh) 波导结构及制备方法
US8000565B2 (en) Buried dual taper waveguide for passive alignment and photonic integration
CN108983352B (zh) 一种端面耦合器及其制备方法
CN109407229B (zh) 一种端面耦合器
WO2016172970A1 (zh) 一种偏振旋转器及光信号处理方法
WO2015157645A1 (en) Suspended ridge oxide waveguide
JP6262597B2 (ja) スポットサイズ変換器
EP3494424B1 (en) An optical beam spot size convertor
CN210123485U (zh) 硅基光耦合结构、硅基单片集成光器件
JP2010139629A (ja) スポットサイズ変換器
JP2006201298A (ja) 光導波路と、それを用いた光通信部品
JP6112606B2 (ja) 平面光導波路の製造方法及びモード合分波器
CN107924024B (zh) 一种锥形波导及硅基芯片
JP2010085564A (ja) 光導波路回路及び光回路装置
JP2013238708A (ja) スポットサイズ変換器およびその製造方法
JP2015191029A (ja) スポットサイズ変換器
JP2004240064A (ja) スポットサイズ変換光導波路、光モジュールおよび導波路型光回路

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 14897866

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2017502585

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

REEP Request for entry into the european phase

Ref document number: 2014897866

Country of ref document: EP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2014897866

Country of ref document: EP