WO2015125395A1 - Système de contrôle radiographique par rayons x, procédé de commande, programme de commande et dispositif de commande - Google Patents

Système de contrôle radiographique par rayons x, procédé de commande, programme de commande et dispositif de commande Download PDF

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康敏 梅原
克治 門沢
一郎 波岡
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東京エレクトロン株式会社
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Abstract

Un mode de réalisation de la présente invention concerne un système (10) de contrôle radiographique par rayons X qui comprend un dispositif (100) de contrôle radiographique par rayons X et un dispositif de commande (200). Le dispositif de commande (200) comprend les éléments suivants : une unité de mémoire de fonction de transformation qui mémorise une mise en correspondance entre un paramètre de forme représentant une forme et les fonctions de transformation ; une unité de génération d'image (231) qui, en fonction des informations radiographiques obtenues par le dispositif (100) de contrôle radiographique par rayons X, génère une première image radiographique et une seconde image radiographique qui est la première image radiographique avec une résolution plus élevée ; une première unité de calcul de forme (232) qui, à l'aide d'une fonction de transformation donnée destinée à calculer un paramètre de forme à partir de données d'image, calcule un paramètre de forme qui représente la forme d'un sujet de contrôle dans la première image radiographique générée par l'unité de génération d'image (231) ; et une seconde unité de calcul de forme (233) qui utilise le paramètre de forme calculé par la première unité de calcul de forme (232) pour sélectionner une fonction de transformation mémorisée dans l'unité de mémoire de fonction de transformation et utilise la fonction de transformation sélectionnée pour calculer un paramètre de forme à partir de la seconde image radiographique.
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