WO2015090768A1 - Verfahren zur druckmessung mit einem rohrdruckmittler und rohrdruckmittler für vakuumanwendungen - Google Patents
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- G01L19/0007—Fluidic connecting means
- G01L19/0023—Fluidic connecting means for flowthrough systems having a flexible pressure transmitting element
Definitions
- Pipe seals are generally used to a process pressure, which prevails in a pipeline by means of a
- Pipe pressure mediators are described for example in EP 0 629 846 B1, EP 0 242 813 A2, DE 203 13 930 U1 and
- the present invention has for its object to provide a method which allows the pressure measurement in vacuum processes at high temperatures, and to provide a Rohrdruckmittler for it.
- Pressure transducer communicates to pressurize a sensor element of the pressure transducer with a pressure prevailing in the annular chamber, wherein the annular chamber and the hydraulic path are filled with a transfer fluid, which acts on the tube membrane with a pressure that causes a deflection of the tube membrane, that this at the half pipe length at all
- Pressure transmitter exceeds the pressure in the pipe, and wherein the pressure in the annular chamber for all temperatures in the working range of the pressure transmitter is greater than the vapor pressure of the transmission fluid.
- the pressure p in the annular chamber has a temperature dependence at constant pressure in the pipeline, for which
- the pipe diaphragm seal according to the invention comprises: a pipe diaphragm having a cylindrical shape in an equilibrium state; and a support tube, wherein the tube membrane is disposed in the support tube and pressure-tightly connected to the support tube at both ends, wherein the tube membrane between the
- the annular chamber Surrounding the tubular membrane and the carrier tube formed annular chamber, wherein the annular chamber has a connection for a hydraulic path for communicating with a pressure transducer, wherein the annular chamber and the hydraulic path are filled with a quantity of transmission fluid, which causes a deflection of the tube membrane, wherein the tube membrane at the half pipe length I / 2 at all operating temperatures above 300 K has a cross section whose angle-dependent radius R ((p) can be described as
- ⁇ fo ß 0 + ⁇ ( ⁇ ) ⁇ cos ( ⁇ - ⁇ ), where the a, (T) are temperature-dependent coefficients and the ⁇ , phase angles, and where the pressure in the annular chamber for all temperatures in a working range of the pressure transmitter, in particular with 300K ⁇ T ⁇ 470 K, is greater than the vapor pressure of the transfer fluid.
- the pressure p in the annular chamber has a temperature dependence at constant pressure in the pipeline for which
- the pressure in the annular chamber for T> 300 K is greater than the pressure in the pipeline due to the deflection of the tube membrane by a pressure difference ⁇ , wherein for 300K ⁇ T ⁇ 470K the pressure difference is not more than 200 mbar, in particular not more than 150 mbar and preferably not more than 120 mbar.
- the method according to the invention and the pipe diaphragm seal according to the invention are based on the consideration that it is not important for a pressure measurement with a pressure transmitter that the pressure difference caused by a deflection of the pipe membrane has an absolutely low value, but only that this pressure difference is higher than the pressure difference Working range of the diaphragm seal only low and especially monotonously changed.
- Transfer fluids is, especially at elevated temperatures within the work area. This is an outgassing of the transmission fluid, which reliably leads to the destruction of the pipe diaphragm seal, or for the falsification of the pressure measurement.
- Fig. 1 a Rohrmennbranen a pipe diaphragm seal according to the invention.
- FIG. 2 shows a longitudinal section through a pipe diaphragm seal according to the invention.
- Pipe-pressure mediator has a membrane body 10, wherein the membrane body, for example, a length in the flow direction, which of the X-axis in
- Coordinate system corresponds, of about 120 mm, and wherein diameter of the membrane body ten in a cylindrical shape in the equilibrium position about one inch, ie about 25 mm.
- the membrane body has in particular stainless steel, for example of the alloy 1 .44 35, wherein the material thickness is about 50 ⁇ to 100 ⁇ .
- the tube membrane 1 has below
- Pressurization from the outside in a middle plane that is perpendicular to the flow direction and corresponds to the YZ-plane coordinate system has a deformation pattern whose modulation can be described, for example, as cos (4 (p).)
- This pattern has bulges 12 and indentations 14 This is accompanied by a reduction in the cross-sectional area of the tube membrane one in the middle plane, which cross-sectional area change results in a variable volume integrated over the length of the tube membrane, the utility of which will now be discussed in connection with FIG.
- the diaphragm seal 100 shown in Figure 2 comprises a membrane body 1 10 made of stainless steel with a wall thickness of for example 50 to 100 ⁇ and a support tube 120, wherein the membrane body 1 10 at both ends by soldering or welding along annular circumferential joints 1 16 with the support tube 120 is joined, whereby between the membrane body ten and the support tube 120, an annular chamber 124 is formed, which surrounds the tube membrane.
- the longitudinal section shown in Figure 2 is selected in such a plane, the Rohrmennbran has a recess 1 14. As mentioned before, the
- Pipe pressure averager 100 for example, has a working volume of a few 1000 ⁇ , wherein the internal pressure of the annular chamber is increased at room temperature due to the deflection of the tube membranes by a pressure difference of about 100 mbar, and wherein the pressure difference at 470 K is not more than about 120 mbar.
- the pressure prevailing in the annular chamber 124 pressure can be tapped via a connection opening 126 by means of a hydraulic path and fed to a pressure transducer.
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Abstract
Ein Verfahren zum Messen eines Drucks eines Mediums in einer Rohrleitung unterhalb von 100 mbar, bei Temperaturen oberhalb von 370 K mit einem Rohrdruckmittler mit einer Rohrmembran, wobei die Rohrmembran von einer Ringkammer umgeben ist, die mit einem Druckmesswandler kommuniziert, wobei die Ringkammer mit einer Menge an Übertragungsflüssigkeit gefüllt ist, welche eine Auslenkung der Rohrmembran in der Weise bewirkt, dass diese bei allen Betriebstemperaturen oberhalb von 300 K einen Querschnitt aufweist, dessen winkelabhängiger Radius (R(φ)) beschrieben werden kann als Formule (I), wobei der Dampfdruck der Übertragungsflüssigkeit im Arbeitsbereich des Druckmittlers den Druck in der Rohrleitung übersteigt, und wobei der Druck in der Ringkammer für alle Temperaturen im Arbeitsbereich des Druckmittlers größer ist als der Dampfdruck der Übertragungsflüssigkeit.
Description
Verfahren zur Druckmessung mit einem Rohrdruckmittler und Rohrdruckmittler für Vakuumanwendungen
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Druckmessung mit einem
Rohrdruckmittler, insbesondere zur Druckmessung bei so genannten Vakuumprozessen, beispielsweise bei Drücken von weniger als 100 mbar, bei erhöhter Temperatur. Weiterhin betrifft die Erfindung einen Rohrdruckmittler für
Druckmessungen in Vakuumprozessen. Rohrdruckmittler dienen im Allgemeinen dazu, einen Prozessdruck, der in einer Rohrleitung herrscht mittels einer
Übertragungsflüssigkeit zu einem Druckmessaufnehmer zu übertragen. Auf diese Weise wird der Druckmessaufnehmer beispielsweise vor abrasiven oder korrosiven Medien oder einer hohen Medientemperatur geschützt. Rohrdruckmittler sind beispielsweise in EP 0 629 846 B1 , EP 0 242 813 A2, DE 203 13 930 U1 und
DE 74 33 978 U1 beschrieben. Dabei ist es grundsätzlich erstrebenswert, dass eine Rohrmembran des Druckmittlers einen Druck eines Prozessmediums möglichst wenig verfälscht, der durch die Rohrmembran auf eine Druckmittlerflüssigkeit zu übertragen ist. Daher gibt es ein Bestreben, Rohrmembranen möglichst weich zu gestalten. Dies kann aber gerade bei Vakuumprozessen und hohen
Prozesstemperaturen zu Problemen führen, wenn nämlich der Dampfdruck einer Druckmittlerflüssigkeit den Druck in einer Ringkammer des Druckmittlers, welche durch die Rohrmembranen begrenzt wird, übersteigt. In einer solchen Situation kann die Druckmittlerflüssigkeit ausgasen, wodurch sich die Übertragungsfunktion des Druckmittlers irreversibel verändern kann.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zu Grunde ein Verfahren anzugeben, welches die Druckmessung in Vakuumsprozessen bei hohen Temperaturen ermöglicht, und einen Rohrdruckmittler dafür bereitzustellen.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch das Verfahren gemäß dem unabhängigen Patentanspruch 1 und den Rohrdruckmittler gemäß dem
unabhängigen Patentanspruch 8.
Das erfindungsgemäße Verfahren zum Messen eines Drucks eines Mediums in einer Rohrleitung unterhalb von 100 mbar, insbesondere unterhalb 50 mbar, bei
Temperaturen oberhalb von 370 K, insbesondere oberhalb von 400 K, wobei ein Abschnitt der Rohrleitung einen Rohrdruckmittler umfasst, wobei der
Rohrdruckmittler eine Rohrmembran aufweist, die in einem Gleichgewichtszustand eine zylindrische Form aufweist, wobei die Rohrmembran von einer Ringkammer umgeben ist, wobei die Ringkammer über einen hydraulischen Pfad mit einem
Druckmesswandler kommuniziert, um ein Sensorelement des Druckmesswandlers mit einem in der Ringkammer herrschenden Druck zu beaufschlagen, wobei die Ringkammer und der hydraulische Pfad mit einer Übertragungsflüssigkeit gefüllt sind, welche die Rohrmembran mit einem Druck beaufschlagt, der eine Auslenkung der Rohrmembran bewirkt, dass diese bei der halben Rohrlänge bei allen
Betriebstemperaturen oberhalb von 300 K einen Querschnitt aufweist, dessen winkelabhängiger Radius R((p) beschrieben werden kann als ß(<p) = R0 +
aiCO■ cos(i■ Ψ ~ δΰ· wobei die a,(T) temperaturabhängige Koeffizienten und die δ, Phasenwinkel sind, wobei der Dampfdruck der Übertragungsflüssigkeit im Arbeitsbereich des
Druckmittlers den Druck in der Rohrleitung übersteigt, und wobei der Druck in der Ringkammer für alle Temperaturen im Arbeitsbereich des Druckmittlers größer ist als der Dampfdruck der Übertragungsflüssigkeit.
In einer Weiterbildung der Erfindung weist der Druck p in der Ringkammer bei konstantem Druck in der Rohrleitung eine Temperaturabhängigkeit auf, für die gilt |(p(T) - p(300K)) / p(T)| < 0,15 insbesondere < 0,1 , für 300K < T < 470K.
In einer Weiterbildung der Erfindung gilt für mindestens ein a,(T): a,(T) / R0 < 0,2 insbesondere ai(T) / R0 < 0,1 , für T = 300 K.
In einer Weiterbildung der Erfindung gilt für mindestens ein ai(T): a,(T) / R0 > 0,05 insbesondere ai(T) / R0 > 0,1 , für T = 300 K.
In einer Weiterbildung der Erfindung gilt: wobei N = 2, 3 oder 4, insbesondere
N = 2.
In einer Weiterbildung der Erfindung beträgt der Druck in der Ringkammer für T > 300 K unabhängig vom Druck in der Rohrleitung nicht weniger als 50 mbar, insbesondere nicht weniger als 80 mbar und bevorzugt nicht weniger als 100 mbar.
In einer Weiterbildung der Erfindung ist der Druck in der Ringkammer für T > 300 K aufgrund der Auslenkung der Rohrmembran um eine Druckdifferenz Δρ größer als der Druck in der Rohrleitung wobei für 300K < T < 470K die Druckdifferenz nicht mehr als 200 mbar, insbesondere nicht mehr als 150 mbar und bevorzugt nicht weniger als 120 mbar beträgt.
Der erfindungsgemäße Rohrdruckmittler, umfasst: eine Rohrmembran, die in einem Gleichgewichtszustand eine zylindrische Form aufweist; und ein Trägerrohr, wobei die Rohrmembran in dem Trägerrohr angeordnet und mit dem Trägerrohr an beiden Enden druckdicht verbunden ist wobei die Rohrmembran zwischen der
Rohrmembran und dem Trägerrohr gebildeten Ringkammer umgeben ist, wobei die Ringkammer einen Anschluss für einen hydraulischen Pfad zum Kommunizieren mit einem Druckmesswandler aufweist, wobei die Ringkammer und der hydraulische Pfad mit einer Menge Übertragungsflüssigkeit gefüllt sind, welche eine Auslenkung der Rohrmembran bewirkt, wobei die Rohrmembran bei der halben Rohrlänge I/2 bei allen Betriebstemperaturen oberhalb von 300 K einen Querschnitt aufweist, dessen winkelabhängiger Radius R((p) beschrieben werden kann als
Äfo = ß0 +
έ(Γ)■ cos (ί - <ρ), wobei die a,(T) temperaturabhängige Koeffizienten und die δ, Phasenwinkel sind, und wobei der Druck in der Ringkammer für alle Temperaturen in einem Arbeitsbereich des Druckmittlers, der insbesondere mit 300K < T < 470 K umfasst, größer ist als der Dampfdruck der Übertragungsflüssigkeit.
In einer Weiterbildung der Erfindung weist der Druck p in der Ringkammer bei konstantem Druck in der Rohrleitung eine Temperaturabhängigkeit auf für die gilt |(p(T) - p(300K)) / p(T)| < 0,15 insbesondere < 0,1 , für 300K < T < 470K.
In einer Weiterbildung der Erfindung gilt für mindestens ein ai(T): ai(T) / R0 < 0,2 insbesondere ai(T) / R0 < 0,1 , für T = 300 K.
In einer Weiterbildung der Erfindung gilt für mindestens ein ai(T): ai(T) / R0 > 0,05 insbesondere aj(T) / R0 > 0,1 für T = 300 K.
In einer Weiterbildung der Erfindung gilt N = 2, 3 oder 4, insbesondere N = 2.
In einer Weiterbildung der Erfindung beträgt der Druck in der Ringkammer für T > 300 K unabhängig vom Druck in der Rohrleitung nicht weniger als 50 mbar, insbesondere nicht weniger als 80 mbar und bevorzugt nicht weniger als 100 mbar.
In einer Weiterbildung der Erfindung beträgt der Druck in der Ringkammer für T > 300 K aufgrund der Auslenkung der Rohrmembran um eine Druckdifferenz Δρ größer ist als der Druck in der Rohrleitung, wobei für 300K < T < 470K die Druckdifferenz nicht mehr als 200 mbar, insbesondere nicht mehr als 150 mbar und bevorzugt nicht mehr als 120 mbar beträgt.
Dem erfindungsgemäßen Verfahren und dem erfindungsgemäßen Rohrdruckmittlern liegt die Überlegung zu Grunde, dass für eine Druckmessung mit einem Druckmittler es nicht darauf ankommt, dass die durch eine Auslenkung der Rohrmembran verursachte Druckdifferenz einen absolut niedrigen Wert aufweist, sondern nur darauf, dass diese Druckdifferenz sich über den Arbeitsbereich des Druckmittlers nur gering und insbesondere monoton verändert. Die Auslenkung einer zylindrischen Rohrmembran durch eine Druckbeaufschlagung von der Außenseite der
Rohrmembran her in einem solchen Maße, dass die Rohrmembran die
anspruchsgemäße Verformung aufweist bewirkt gerade eine solche Druckdifferenz, die dann über den Arbeitsbereich eines Rohrdruckmittlers nur um einige wenige Prozent variiert. Gleichzeitig ist die Druckdifferenz so, dass der durch diese
Druckdifferenz verursachte minimale absolute Druck in der Ringkammer um die Rohrmembran stets oberhalb des Dampfdrucks der gängigen
Übertragungsflüssigkeiten liegt, insbesondere auch bei erhöhten Temperaturen innerhalb des Arbeitsbereiches. Damit ist ein Ausgasen der Übertragungsflüssigkeit,
welches zur Zerstörung des Rohrdruckmittlers, bzw. zur Verfälschung der Druckmessung führen würde zuverlässig verhindert.
Die Erfindung wird nun anhand der in den Zeichnungen dargestellten
Ausführungsbeispiele näher erläutert. Es zeigt:
Fig. 1 : eine Rohrmennbranen eines erfindungsgemäßen Rohrdruckmittlers; und
Fig. 2: einen Längsschnitt durch einen erfindungsgemäßen Rohrdruckmittler.
Die in Figur 1 dargestellte Rohrmembran eins eines erfindungsgemäßen
Rohrdruckmittlers weist einen Membrankörper 10 auf, wobei der Membrankörper beispielsweise eine Länge in Strömungsrichtung, welche der X-Achse im
Koordinatensystem entspricht, von etwa 120 mm aufweist, und wobei Durchmesser des Membrankörpers zehn bei einer zylindrischen Gestalt in der Gleichgewichtslage etwa einen Zoll, also ca. 25 mm beträgt. Der Membrankörper weist insbesondere Edelstahl auf, beispielsweise von der Legierung 1 .44 35, wobei die Materialstärke etwa 50 μιτι bis 100 μιτι beträgt. Die Rohrmembran 1 weist unter
Druckbeaufschlagung von der Außenseite her in einer mittleren Ebene, die senkrecht zur Strömungsrichtung verläuft und im Koordinatensystem der Y-Z-Ebene entspricht, ein Verformungsmuster auf, dessen Modulation beispielsweise mit cos(4(p) beschrieben werden kann. Dieses Muster weist Wölbungen 12 und Einbuchtungen 14 auf, welche mit einer Verringerung der Querschnittsfläche der Rohrmembran eins in der mittleren Ebene einhergehen. Diese Querschnittsflächenveränderung führt, integriert über die Länge der Rohrmembran zu einem veränderlichen Volumen, dessen Nutzen nun im Zusammenhang mit Figur 2 diskutiert wird.
Der in Figur 2 dargestellte Rohrdruckmittler 100 umfasst einen Membrankörper 1 10 aus Edelstahl mit einer Wandstärke von beispielsweise 50 bis 100 μιτι und ein Trägerrohr 120, wobei der Membrankörper 1 10 an beiden Stirnseiten durch Löten oder Schweißen entlang von ringförmig umlaufenden Fügestellen 1 16 mit dem Trägerrohr 120 gefügt ist, wodurch zwischen dem Membrankörper zehn und dem Trägerrohr 120 eine Ringkammer 124 gebildet ist, welche die Rohrmembran umgibt. Der in Figur 2 dargestellte Längsschnitt ist in einer solchen Ebene gewählt, der die
Rohrmennbran eine Einbuchtung 1 14 aufweist. Wie zuvor erwähnt führt die
Auslenkung der Rohrmennbran mit Einbuchtungen und Wölbungen zu einem reduzierten von der Rohrmembran umschlossenen Volumen, was im Umkehrschluss bedeutet, dass das Volumen der Ringkammer 124 mit zunehmender Auslenkung der Rohrmembran 1 10 zunimmt, so dass die Ringkammer 124 einen durch
Temperaturschwankungen verursachten Volumenhub der Übertragungsflüssigkeit ohne größere Druckschwankungen aufnehmen kann. Der beschriebene
Rohrdruckmittler 100 weist beispielsweise ein Arbeitsvolumen von einigen 1000 μΙ auf, wobei der Innendruck der Ringkammer bei Raumtemperatur aufgrund der Auslenkung der Rohrmembranen um eine Druckdifferenz von etwa 100 mbar erhöht wird, und wobei die Druckdifferenz bei 470 K nicht mehr als etwa 120 mbar beträgt. Der in der Ringkammer 124 herrschende Druck kann über eine Anschlussöffnung 126 mittels eines hydraulischen Pfades abgegriffen und einem Druckmessaufnehmer zugeführt werden.
Der Vollständigkeit halber sei noch erwähnt, dass der Rohrdruckmittler 100
Prozessanschlussaufweist, mit denen er in eine Rohrleitung eingebaut werden kann, im Ausführungsbeispiel in Figur 2 sind diese Prozessanschlüsse als Flansche 122 realisiert, grundsätzlich sind aber beliebige andere Prozessanschlüsse möglich, da diese keine Auswirkungen auf die Erfindung haben.
Claims
Patentansprüche
Verfahren zum Messen eines Drucks eines Mediums in einer Rohrleitung unterhalb von 100 mbar, insbesondere unterhalb 50 mbar, bei Temperaturen oberhalb von 370 K, insbesondere oberhalb von 400 K, wobei ein Abschnitt der Rohrleitung einen Rohrdruckmittler umfasst, wobei der Rohrdruckmittler eine Rohrmembran aufweist, die in einem Gleichgewichtszustand eine zylindrische Form aufweist, wobei die Rohrmembran von einer Ringkammer umgeben ist, wobei die Ringkammer über einen hydraulischen Pfad mit einem
Druckmesswandler kommuniziert, um ein Sensorelement des
Druckmesswandlers mit einem in der Ringkammer herrschenden Druck zu beaufschlagen, wobei die Ringkammer und der hydraulische Pfad mit einer Menge an Übertragungsflüssigkeit gefüllt sind, welche eine Auslenkung der Rohrmembran in der Weise bewirkt, dass diese bei der halben Rohrlänge bei allen Betriebstemperaturen oberhalb von 300 K einen Querschnitt aufweist, dessen winkelabhängiger Radius R((p) beschrieben werden kann als
Äfo = ß0 +
έ(Γ) - cos(i - <p), wobei die ai(T) temperaturabhängige Koeffizienten und die δ, Phasenwinkel sind, wobei der Dampfdruck der Übertragungsflüssigkeit im Arbeitsbereich des
Druckmittlers den Druck in der Rohrleitung übersteigt, und wobei der Druck in der Ringkammer für alle Temperaturen im Arbeitsbereich des Druckmittlers größer ist als der Dampfdruck der Übertragungsflüssigkeit.
Verfahren nach Anspruch 1 , wobei der Druck p in der Ringkammer bei konstantem Druck in der Rohrleitung eine Temperaturabhängigkeit aufweist für die gilt |(p(T) - p(300K)) / p(T)| < 0,15 insbesondere < 0,1 , für 300K < T < 470K.
Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei für mindestens ein a,(T), gilt: a,(T) / Ro < 0,2 insbesondere ai(T) / R0 < 0,1 , für T = 300 K.
Verfahren nach Anspruch 1 , 2 oder 3, wobei für mindestens ein ai(T), gilt: a,(T) / Ro > 0,05 für T = 300 K.
5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei N = 2, 3 oder 4, insbesondere gilt N = 2.
6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Druck in der Ringkammer für T > 300 K unabhängig vom Druck in der Rohrleitung nicht weniger als 50 mbar, insbesondere nicht weniger als 80 mbar und bevorzugt nicht weniger als 100 mbar beträgt.
7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Druck in der Ringkammer für T > 300 K aufgrund der Auslenkung der Rohrmembran um eine Druckdifferenz Δρ größer ist als der Druck in der Rohrleitung wobei für 300K < T < 470K die Druckdifferenz nicht mehr als 200 mbar, insbesondere nicht mehr als 150 mbar und bevorzugt nicht mehr als 120 mbar beträgt.
8. Rohrdruckmittler, umfassend: eine Rohrmembran, die in einem Gleichgewichtszustand eine zylindrische Form aufweist; und ein Trägerrohr, wobei die Rohrmembran in dem Trägerrohr angeordnet und mit dem Trägerrohr an beiden Enden druckdicht verbunden ist wobei die Rohrmembran zwischen der Rohrmembran und dem Trägerrohr gebildeten Ringkammer umgeben ist, wobei die Ringkammer eine
Anschlussöffnung für einen hydraulischen Pfad zum kommunizieren mit einem Druckmesswandler aufweist, wobei die Ringkammer und der hydraulische Pfad mit einer Menge Übertragungsflüssigkeit gefüllt sind, welche eine Auslenkung der Rohrmembran bewirkt, wobei die Rohrmembran bei der halben Rohrlänge I/2 bei allen Betriebstemperaturen oberhalb von 300 K einen Querschnitt aufweist, dessen winkelabhängiger Radius R((p) beschrieben werden kann als
Äfo = ß0 + έ(Γ) - cos(i - <p),
wobei die a,(T) temperaturabhängige Koeffizienten und die δ, Phasenwinkel sind, und wobei der Druck in der Ringkammer für alle Temperaturen in einem
Arbeitsbereich des Druckmittlers, der insbesondere mit 300K < T < 470 K umfasst, größer ist als der Dampfdruck der Übertragungsflüssigkeit, wobei der Dampfdruck der Übertragungsflüssigkeit im Arbeitsbereich des Druckmittlers den Druck in der Rohrleitung übersteigt, und wobei der Druck in der
Ringkammer für alle Temperaturen im Arbeitsbereich des Druckmittlers größer ist als der Dampfdruck der Übertragungsflüssigkeit.
9. Rohrdruckmittler nach Anspruch 8, wobei der Druck p in der Ringkammer bei konstantem Druck in der Rohrleitung eine Temperaturabhängigkeit aufweist für die gilt |(p(T) - p(300K)) / p(T)| < 0,15 insbesondere < 0,1 , für 300K < T < 470K.
10. Rohrdruckmittler nach Anspruch 8 oder 9, wobei für mindestens ein a,(T) gilt: a,(T) / R0 < 0,2 insbesondere ai(T) / R0 < 0,1 , für T = 300 K.
1 1 . Rohrdruckmittler nach Anspruch 8 bis 10, wobei für mindestens ein a,(T) gilt: aj(T) / R0 > 0,05 für T = 300 K.
12. Rohrdruckmittler nach einem der Ansprüche 8 bis 1 1 , wobei N = 2, 3 oder 4, insbesondere gilt N = 2.
13. Rohrdruckmittler nach einem der Ansprüche 8 bis 12, wobei der Druck in der Ringkammer für T > 300 K unabhängig vom Druck in der Rohrleitung nicht weniger als 50 mbar, insbesondere nicht weniger als 80 mbar und bevorzugt nicht weniger als 100 mbar beträgt.
14. Rohrdruckmittler nach einem der Ansprüche 8 bis 13, wobei der Druck in der Ringkammer für T > 300 K aufgrund der Auslenkung der Rohrmembran um eine Druckdifferenz Δρ größer ist als der Druck in der Rohrleitung, wobei für 300K < T < 470K die Druckdifferenz nicht mehr als 200 mbar, insbesondere nicht mehr als 150 mbar und bevorzugt nicht mehr als 120 mbar beträgt.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE102013114740.2A DE102013114740A1 (de) | 2013-12-20 | 2013-12-20 | Verfahren zur Druckmessung mit einem Rohrdruckmittler und Rohrdruckmittler für Vakuumanwendungen |
| DE102013114740.2 | 2013-12-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| WO2015090768A1 true WO2015090768A1 (de) | 2015-06-25 |
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ID=51947328
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| PCT/EP2014/074652 WO2015090768A1 (de) | 2013-12-20 | 2014-11-14 | Verfahren zur druckmessung mit einem rohrdruckmittler und rohrdruckmittler für vakuumanwendungen |
Country Status (2)
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2013
- 2013-12-20 DE DE102013114740.2A patent/DE102013114740A1/de not_active Withdrawn
-
2014
- 2014-11-14 WO PCT/EP2014/074652 patent/WO2015090768A1/de active Application Filing
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| SILVESTRE: "Generalised beam theory to analyse the buckling behaviour of circular cylindrical shells and tubes", THIN-WALLED STRUCTURES, ELSEVIER, AMSTERDAM, NL, vol. 45, no. 2, 20 April 2007 (2007-04-20), pages 185 - 198, XP022036573, ISSN: 0263-8231, DOI: 10.1016/J.TWS.2007.02.001 * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE102013114740A1 (de) | 2015-06-25 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| 121 | Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application |
Ref document number: 14802372 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |
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| NENP | Non-entry into the national phase |
Ref country code: DE |
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| 122 | Ep: pct application non-entry in european phase |
Ref document number: 14802372 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |