WO2015083957A1 - 기체투과도 측정 장치 및 기체투과도 측정 방법 - Google Patents

기체투과도 측정 장치 및 기체투과도 측정 방법 Download PDF

Info

Publication number
WO2015083957A1
WO2015083957A1 PCT/KR2014/011111 KR2014011111W WO2015083957A1 WO 2015083957 A1 WO2015083957 A1 WO 2015083957A1 KR 2014011111 W KR2014011111 W KR 2014011111W WO 2015083957 A1 WO2015083957 A1 WO 2015083957A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
chamber
conductance
gas
sample
measuring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/KR2014/011111
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
성대진
신용현
임인태
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Korea Research Institute of Standards and Science
Original Assignee
Korea Research Institute of Standards and Science
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Korea Research Institute of Standards and Science filed Critical Korea Research Institute of Standards and Science
Priority to CN201480064197.3A priority Critical patent/CN105765365A/zh
Publication of WO2015083957A1 publication Critical patent/WO2015083957A1/ko
Priority to US15/169,067 priority patent/US20160274018A1/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N15/08—Investigating permeability, pore-volume, or surface area of porous materials
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N15/08—Investigating permeability, pore-volume, or surface area of porous materials
    • G01N15/082—Investigating permeability by forcing a fluid through a sample
    • G01N15/0826—Investigating permeability by forcing a fluid through a sample and measuring fluid flow rate, i.e. permeation rate or pressure change
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N15/08—Investigating permeability, pore-volume, or surface area of porous materials
    • G01N15/0806—Details, e.g. sample holders, mounting samples for testing
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N7/00—Analysing materials by measuring the pressure or volume of a gas or vapour
    • G01N7/10—Analysing materials by measuring the pressure or volume of a gas or vapour by allowing diffusion of components through a porous wall and measuring a pressure or volume difference

Definitions

  • the present invention relates to an apparatus for measuring gas permeability, and more particularly, to an apparatus for measuring gas permeability which reduces errors caused by parasitic conductance.
  • the differential pressure method introduces a gas into one side of the sample, and when the other side is kept in vacuum, the pressure difference between the orifices (through holes) known as conductance is measured by the amount of pressure increase on the vacuum side by the permeated gas. Gas permeability is determined by measuring with.
  • One technical problem to be solved of the present invention is to provide a precise gas permeability measurement method.
  • Gas permeability measuring device comprises a first chamber filled with a measuring gas and maintained at a constant pressure; A second chamber connected in series with the first chamber; A third chamber connected in series with the second chamber; A separation plate including a through hole and separating the second chamber and the third chamber from each other; A conductance adjustment unit disposed at a connection portion of the second chamber and the third chamber to adjust the conductance passing through the through hole of the separation plate; A vacuum pump connected to the third chamber to exhaust the third chamber; and a differential pressure gauge measuring a differential pressure between the second chamber and the third chamber.
  • the sample is disposed at a connection portion between the first chamber and the second chamber, the measurement gas passes through the sample and is delivered to the second chamber, and the conductance adjusting part sequentially provides at least two different conductances. .
  • the pressure gauge is connected to the first chamber; An auxiliary vacuum pump connected to the first chamber; A first valve disposed between the first chamber and the auxiliary vacuum pump to exhaust the first chamber; A gas cylinder for storing the measurement gas; And a second valve disposed between the gas cylinder and the first chamber to deliver the measurement gas stored in the gas cylinder to the first chamber.
  • the conductance adjustment unit includes a rotating plate including orifices of different radii arranged on a circumference having a predetermined radius in the central axis; A rotating shaft that fixes the rotating plate to the separating plate and provides a rotational movement of the rotating plate; An auxiliary rotating plate having teeth which are coupled to the teeth formed on the outer surface of the rotating plate to transmit rotational force; And it may include an auxiliary rotary shaft for providing a rotational motion to the auxiliary rotating plate.
  • the auxiliary rotation shaft may be fixed to the second chamber.
  • Gas permeability measuring device comprises a first chamber filled with a measuring gas and maintained at a constant pressure; A second chamber connected in series with the first chamber; A third chamber connected in series with the second chamber; A separation plate including a through hole and separating the second chamber and the third chamber from each other; A conductance adjustment unit disposed at a connection portion of the second chamber and the third chamber to adjust the conductance passing through the through hole of the separation plate; A vacuum pump connected to the third chamber to exhaust the third chamber; An upper manometer for measuring the pressure in the second chamber; A lower manometer for measuring the pressure in the third chamber; And a processing unit calculating a gas permeability of the sample by using the measurement signal of the upper manometer and the measurement signal of the lower manometer.
  • the sample is disposed at a connection portion between the first chamber and the second chamber, the measurement gas is transmitted through the sample to the second chamber, and the conductance adjuster provides at least two different conductances.
  • Gas permeability measuring method comprises the steps of mounting a sample between the first chamber and the second chamber connected in series; Exhausting the first chamber, the second chamber, and the third chamber; Filling the first chamber with a measuring gas to maintain a constant pressure; Providing the measurement gas filled in the first chamber to the second chamber through the sample; Delivering the measurement gas delivered to the second chamber to the third chamber through a first orifice having a first conductance between the second chamber and the third chamber; Measuring a first differential pressure between the second chamber and the third chamber by the first orifice; Delivering the measurement gas delivered to the second chamber to the third chamber through a second orifice having a second conductance between the second chamber and the third chamber; Measuring a second differential pressure between the second chamber and the third chamber by the second orifice; And calculating gas permeability of the sample using the first differential pressure, the second differential pressure, the first conductance, and the second conductance.
  • Gas permeability measurement method can calculate the precise gas permeability by removing the parasitic conductance.
  • FIG. 1 is a view illustrating a gas permeability measuring device according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is an exploded perspective view illustrating the conductance adjustment unit of FIG. 1.
  • FIG. 3 is a view for explaining a gas permeability measuring apparatus according to a modified embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 is a view illustrating a gas permeability measuring device according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is an exploded perspective view illustrating the conductance adjustment unit of FIG. 1.
  • the gas permeability measuring apparatus 100 is filled with a measuring gas and maintained at a constant pressure in a first chamber 110 and a second chamber 120 connected in series with the first chamber 110.
  • a separation plate 140 including a third chamber 130 and a through hole 142 connected in series with the second chamber and separating the second chamber 120 and the third chamber 130 from each other.
  • the conductance control unit 150 and the third chamber 130 are disposed at a connection portion between the second chamber 120 and the third chamber 130 to adjust the conductance passing through the through-hole 142 of the separation plate.
  • a vacuum pump 160 connected to exhaust the third chamber 130, and a differential pressure gauge 170 for measuring a differential pressure between the second chamber 120 and the third chamber 130.
  • the sample 10 is disposed at a connection portion between the first chamber 110 and the second chamber 120, the measurement gas is transmitted to the second chamber 120 through the sample 10.
  • the conductance adjuster provides at least two different conductances.
  • the gas permeability K of the sample 10 is defined from the following.
  • Q is the flow rate per unit time
  • A is the area of the sample
  • K is the gas permeability of the sample
  • L is the thickness of the sample
  • C is the conductance of the orifice
  • Pex is the pressure outside the sample
  • P1 is the orifice
  • n is the degree of dissociation of the gas molecules.
  • N 2 for metal permeation of hydrogen.
  • Pex can be set to atmospheric pressure and P1 can be set to low pressure. Accordingly, Pex-P1 can be approximated to Pex.
  • the gas that has passed through the sample may be provided to the second chamber, and the gas of the second chamber may be exhausted to the third chamber through an orifice having a predetermined conductance.
  • the flow rate Q may be given as follows.
  • Equation 1 the gas permeability of the sample can be measured.
  • gas permeability is calculated by measuring the differential pressure across the orifice when the pressure Pex applied to the outside of the sample is 1 atmosphere.
  • the conductance of the orifice is precisely defined, but in practice the effective conductance can be influenced by several complex factors. Thus, the accuracy of gas permeability is reduced.
  • c is the parasitic conductance associated with the measurement system and C1 is the first conductance of the first orifice.
  • the first conductance is defined by the geometry.
  • ⁇ P1 is the pressure difference on both sides of the first orifice.
  • C1 and ⁇ P1 are correct values. Specifically, C1 is a mathematically defined and calculated value, and ⁇ P1 is the measured pressure difference on both sides of the first orifice.
  • the unknown same flow rate Q can be given as follows.
  • C2 is the conductance of the second orifice.
  • c is the parasitic conductance associated with the measurement system, and ⁇ P2 is the pressure difference on both sides of the second orifice.
  • Equation 1 an accurate flow rate Q can be calculated. Accordingly, the gas permeability K can be calculated using Equation 1.
  • the first chamber 110 may have a cylindrical structure.
  • the material of the first chamber 110 may be a metal material.
  • the pressure gauge 112 may measure the pressure of the first chamber 110.
  • the first valve 114 may be disposed between the first chamber 110 and the auxiliary vacuum pump 116. When the first valve is opened, the auxiliary vacuum pump 116 may exhaust the first chamber 110 to the extreme vacuum. In a state where the first chamber 110 is exhausted to the extreme vacuum, the first valve 114 may be closed.
  • the gas cylinder 118 may store the measurement gas.
  • the measurement gas may be nitrogen gas or argon gas.
  • the second valve 116 may be disposed between the gas cylinder 118 and the first chamber 110 to deliver the measurement gas stored in the gas cylinder to the first chamber.
  • the second valve 116 may be opened while the first chamber 110 is maintained at the extreme vacuum. Accordingly, the first chamber may be filled with the measurement gas.
  • the first valve 114 and the second valve 116 are closed, the first chamber 110 may be maintained at a constant pressure (eg, atmospheric pressure).
  • the sample support 119 may be disposed at a connection portion between the first chamber 110 and the second chamber 120.
  • the sample support 119 may spatially separate the first chamber 110 and the second chamber 120 and mount the sample 10.
  • the sample may be a metal plate, a film, or a dielectric.
  • the sample may be fixed and sealed to the sample support. Thus, the measurement gas can only pass through the sample and be delivered to the second chamber.
  • the pressure of the first chamber 110 may be maintained at atmospheric pressure or a high pressure in a torr unit, and the pressure of the second chamber 120 may be maintained at a level of 10 ⁇ 6 torr.
  • the second chamber 120 may be cylindrical.
  • the second chamber 120 may be formed of a metal material.
  • the diameter of the upper end of the second chamber 120 may be larger than the diameter of the first chamber 110.
  • the diameter of the lower end of the second chamber 120 may be larger than the upper end of the second chamber 120.
  • the third chamber 130 may have a cylindrical shape.
  • the third chamber 130 may be formed of a metal material.
  • the diameter of the upper end of the third chamber 130 may be the same as the diameter of the lower end of the second chamber 120.
  • the diameter of the lower end of the third chamber 130 may be smaller than the diameter of the upper end of the third chamber 130.
  • the separator plate 140 may be disposed at a connection portion between the second chamber 120 and the third chamber 130.
  • the separation plate 140 may spatially separate the second chamber 120 and the third chamber 130.
  • the separator plate 140 may include a through hole 142 at the center thereof. The measurement gas may move by diffusion from the second chamber 120 to the third chamber 130 through the through hole 142.
  • the conductance adjusting unit 150 may be disposed at the lower end of the second chamber 120.
  • the conductance adjustment unit 150 may adjust the conductance by blocking a part of the through hole of the separation plate 140.
  • the conductance adjusting unit 150 includes a rotating plate 152 including orifices 153a to 153d having different radii arranged on a circumference having a predetermined radius from a central axis, and the rotating plate 152.
  • Auxiliary rotary plate 156 having a tooth for transmitting a rotational force by coupling to the rotary shaft 154 fixed to the separation plate 140 and providing a rotary motion of the rotary plate 152, the teeth formed on the outer surface of the rotary plate 152
  • the auxiliary rotating plate 156 may include a secondary rotating shaft 154 to provide a rotational motion.
  • the auxiliary rotation shaft 158 may rotate in a state of being fixed to the second chamber 120.
  • the rotating plate 152 may be in the form of a disc. It may include a plurality of orifices (153a ⁇ 153d) of the rotating plate 152. The orifices 153a to 153d may be aligned with the through holes of the separation plate 140. Accordingly, the conductance between the second chamber 120 and the third chamber 130 may be adjusted.
  • the orifices 153a to 153d may be circular.
  • the orifices 153a to 153d may be disposed at regular intervals on a circumference of a constant radius at the center of the rotating plate 152.
  • the rotating shaft 154 may be connected to the central axis of the rotating plate 152.
  • the rotation shaft 154 may be fixed to the separation plate 140.
  • the rotating plate 152 may rotate about the rotating shaft 154. Thus, depending on the diameter of the orifice being aligned, the conductance can be changed.
  • the auxiliary rotating plate 156 may be in the form of a disc.
  • the auxiliary rotating plate 156 may provide rotation to the rotating plate 152.
  • the layout plane of the auxiliary rotating plate 156 may be the same as the layout plane of the rotating plate 152.
  • a tooth may be formed on an outer surface of the rotating plate 152.
  • a tooth may be formed on an outer surface of the auxiliary rotating plate 156.
  • the rotating plate 152 may rotate by gear coupling.
  • An auxiliary rotation shaft 154 may be disposed on the central axis of the auxiliary rotation plate 156.
  • the auxiliary rotating shaft 158 may be connected to the central axis of the auxiliary rotating plate 156.
  • the auxiliary rotation shaft 158 may protrude to the outside of the second chamber 120. As the auxiliary rotating shaft 158 rotates, the rotating plate 152 may rotate.
  • the conductance adjusting unit 150 may be disposed at the upper end of the third chamber 130.
  • the means for adjusting the conductance between the second chamber and the third chamber may be modified in the form of a camera aperture.
  • the lower end of the third chamber 130 may be connected to the vacuum pump 160.
  • the vacuum pump 160 may exhaust the third chamber 130 and the second chamber 120 in an extreme vacuum.
  • the differential pressure gauge 170 may measure the differential pressure between the second chamber 120 and the third chamber 130.
  • the external pressure of the pressure gauge 112 and the differential pressure signal of the differential pressure gauge 170 may be provided to the processor 180.
  • the processor 180 may calculate the gas permeability of the sample by processing the differential pressure signal according to the external pressure and the conductance.
  • Gas permeability measurement method can be carried out as follows.
  • the sample 10 is mounted on the sample support 119.
  • the sample support 119 is disposed between the first chamber 110 and the second chamber 120 connected in series. Subsequently, in the state where the first valve 114 is opened and the second valve 116 is closed, the first chamber 110, the second chamber 120, and the third chamber 130 are exhausted. When the pressure of the first chamber 110, the second chamber 120, and the third chamber 130 reaches extreme vibration, the first valve 114 may be closed. Subsequently, the second valve 116 may be opened, and the measurement gas may be provided to the first chamber 110. When the first chamber 110 reaches a constant pressure, the second valve 116 may be closed.
  • the measurement gas may pass through the sample 10 and be provided to the second chamber 120.
  • the conductance adjuster 150 may provide a first orifice of the first conductance. In a state where the first orifice is mounted, the first differential pressure of the second chamber 120 and the third chamber 130 may be measured.
  • the conductance adjusting unit 150 may provide a second orifice of the second conductance.
  • a second differential pressure between the second chamber 120 and the third chamber 130 may be measured.
  • the processor 180 may calculate the gas permeability of the sample using the first differential pressure, the second differential pressure, the first conductance, and the second conductance.
  • FIG. 3 is a view for explaining a gas permeability measuring apparatus according to a modified embodiment of the present invention. Descriptions overlapping with those described in FIG. 1 will be omitted.
  • the gas permeability measuring apparatus 100a includes a first chamber 110 filled with a measuring gas and maintained at a constant pressure, a second chamber 120 connected in series with the first chamber 110, and the first chamber 110.
  • Third chamber 130 connected in series with the second chamber 120, a separation plate 140 including a through-hole and separating the second chamber and the third chamber from each other, the second chamber 120 and the first
  • a conductance adjusting unit 150 disposed at a connection portion of the three chambers 130 to adjust conductance passing through the through hole of the separator plate, and connected to the third chamber 130 to exhaust the third chamber 130.
  • Vacuum pump 160 to measure the upper pressure gauge 171a for measuring the pressure of the second chamber 120, the lower pressure gauge 171b for measuring the pressure of the third chamber 130, and the upper pressure gauge 171a
  • a processor 180 that calculates a gas permeability of the sample by using the measured signal and the measured signal of the lower pressure gauge 171b. It includes.
  • the sample 10 is disposed at a connection portion between the first chamber 110 and the second chamber 120, and the measurement gas passes through the sample 10 and is delivered to the second chamber 120.
  • the conductance adjusting unit 150 provides at least two different conductances.
  • the upper manometer 171a may measure the pressure of the second chamber according to the conductance of the conductance adjuster.
  • the lower manometer 171b may measure the pressure of the third chamber according to the conductance of the conductance adjuster.

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Measuring Volume Flow (AREA)

Abstract

본 발명은 기체투과도 측정장치 및 기체투과도 측정 방법을 제공한다. 이 기체투과도 측정 장치는 측정가스로 채워지고 일정한 압력으로 유지되는 제1 챔버; 제1 챔버와 직렬 연결된 제2 챔버; 상기 제2 챔버와 직렬 연결된 제3 챔버; 관통홀을 포함하고 상기 제2 챔버와 상기 제3 챔버를 서로 분리하는 분리판; 상기 제2 챔버와 상기 제3 챔버의 연결부위에 배치되어 상기 분리판의 관통홀을 통과하는 컨덕턴스를 조절하는 컨덕턴스 조절부; 상기 제3 챔버에 연결되어 상기 제3 챔버를 배기시키는 진공 펌프;및 상기 제2 챔버와 상기 제3 챔버의 차압을 측정하는 차압계를 포함한다. 시료는 상기 제1 챔버와 상기 제2 챔버의 연결 부위에 배치되고, 상기 측정 가스는 상기 시료를 투과하여 상기 제2 챔버로 전달되고, 상기 컨덕턴스 조절부는 적어도 2 개의 서로 다른 컨덕턴스를 순차적으로 제공한다.

Description

기체투과도 측정 장치 및 기체투과도 측정 방법
본 발명은 기체투과도 측정 장치에 관한 것으로, 더 구체적으로, 기생 컨덕턴스에 의한 에러를 감소시킨 기체투과도 측정 장치에 관한 것이다.
기체투과성의 측정방법 중에서 차압법은 시료의 한 쪽에 기체를 도입하고, 반대측을 진공으로 유지할 때, 투과된 기체에 의한 진공측의 압력증가량를 컨덕탄스가 알려진 오리피스(관통홀) 양단의 차압을 압력 센서로 측정하여 기체투과도를 결정하는 방법이다.
그러나, 이러한 차압법은 진공측의 기생 컨덕턴스에 의하여 정밀한 투과도 측정에 한계가 있다.
본 발명의 해결하고자 하는 일 기술적 과제는 정밀한 기체투과도 측정 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기체투과도 측정 장치는 측정가스로 채워지고 일정한 압력으로 유지되는 제1 챔버; 제1 챔버와 직렬 연결된 제2 챔버; 상기 제2 챔버와 직렬 연결된 제3 챔버; 관통홀을 포함하고 상기 제2 챔버와 상기 제3 챔버를 서로 분리하는 분리판; 상기 제2 챔버와 상기 제3 챔버의 연결부위에 배치되어 상기 분리판의 관통홀을 통과하는 컨덕턴스를 조절하는 컨덕턴스 조절부; 상기 제3 챔버에 연결되어 상기 제3 챔버를 배기시키는 진공 펌프;및 상기 제2 챔버와 상기 제3 챔버의 차압을 측정하는 차압계를 포함한다. 시료는 상기 제1 챔버와 상기 제2 챔버의 연결 부위에 배치되고, 상기 측정 가스는 상기 시료를 투과하여 상기 제2 챔버로 전달되고, 상기 컨덕턴스 조절부는 적어도 2 개의 서로 다른 컨덕턴스를 순차적으로 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 챔버에 연결된 압력계; 상기 제1 챔버에 연결된 보조 진공 펌프; 상기 제1 챔버를 배기하기 위하여 상기 제1 챔버와 상기 보조 진공 펌프 사이에 배치되는 제1 밸브; 상기 측정 가스를 저장하는 가스통; 및 상기 가스통에 저장된 측정 가스를 상기 제1 챔버에 전달하기 위하여 상기 가스통과 상기 제1 챔버 사이를 배치되는 제2 밸브;를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 컨덕턴스 조절부는 중심축에서 일정간 반경을 가진 원주 상에 배치된 서로 다른 반경의 오리피스들을 포함하는 회전판; 상기 회전판을 상기 분리판에 고정하고 상기 회전판의 회전 운동을 제공하는 회전축; 상기 회전판의 외측면에 형성된 톱니와 결합하여 회전력을 전달하는 톱니를 가진 보조 회전판; 및 상기 보조 회전판에 회전 운동을 제공하는 보조 회전축을 포함할 수 있다. 상기 보조 회전축은 상기 제2 챔버에 고정될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기체투과도 측정 장치는 측정가스로 채워지고 일정한 압력으로 유지되는 제1 챔버; 상기 제1 챔버와 직렬 연결된 제2 챔버; 상기 제2 챔버와 직렬 연결되는 제3 챔버; 관통홀을 포함하고 상기 제2 챔버와 상기 제3 챔버를 서로 분리하는 분리판; 상기 제2 챔버와 상기 제3 챔버의 연결부위에 배치되어 상기 분리판의 관통홀을 통과하는 컨덕턴스를 조절하는 컨덕턴스 조절부; 상기 제3 챔버에 연결되어 상기 제3 챔버를 배기시키는 진공 펌프; 상기 제2 챔버의 압력을 측정하는 상부 압력계; 상기 제3 챔버의 압력을 측정하는 하부 압력계; 및 상기 상부 압력계의 측정 신호와 상기 하부 압력계의 측정 신호를 이용하여 상기 시료의 기체 투과도를 산출하는 처리부를 포함한다. 상기 시료는 상기 제1 챔버와 상기 제2 챔버의 연결 부위에 배치되고, 상기 측정 가스는 상기 시료를 투과하여 상기 제2 챔버로 전달되고, 상기 컨덕턴스 조절부는 적어도 2 개의 서로 다른 컨덕턴스를 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기체투과도 측정 방법은 시료를 직렬 연결된 제1 챔버와 제2 챔버 사이에 장착하는 단계; 제1 챔버, 제2 챔버, 제3 챔버를 배기하는 단계; 측정 가스를 상기 제1 챔버에 충진하여 일정한 압력으로 유지하는 단계; 상기 제1 챔버에 충진된 상기 측정가스를 상기 시료를 투과시켜 제2 챔버에 제공하는 단계; 상기 제2 챔버와 상기 제3 챔버 사이에 제1 컨덕턴스를 가진 제1 오리피스를 통하여 제2 챔버에 전달된 상기 측정 가스를 상기 제3 챔버에 전달하는 단계; 상기 제1 오리피스에 의한 상기 제2 챔버와 상기 제3 챔버 사이의 제1 차압을 측정하는 단계; 상기 제2 챔버와 상기 제3 챔버 사이에 제2 컨덕턴스를 가진 제2 오리피스를 통하여 제2 챔버에 전달된 상기 측정 가스를 상기 제3 챔버에 전달하는 단계; 상기 제2 오리피스에 의한 상기 제2 챔버와 상기 제3 챔버 사이의 제2 차압을 측정하는 단계; 및 상기 제1 차압, 제2 차압, 제1 컨덕턴스, 및 제2 컨덕턴스를 이용하여 상기 시료의 기체 투과도를 산출하는 단계를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기체 투과도 측정 방법은 기생 컨덕턴스를 제거하여 정밀한 기체투과도를 산출할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기체투과도 측정 장치를 설명하는 도면이다.
도 2는 도 1의 컨덕턴스 조절부를 설명하는 분해 사시도이다.
도 3은 본 발명의 변형된 실시예에 따른 기체투과도 측정 장치를 설명하는 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예들에 대하여 보다 상세히 설명한다. 이하의 도면들에서 동일한 참조부호는 동일한 구성요소를 지칭하며, 도면상에서 각 구성요소의 크기는 설명의 명료성과 편의상 과장되어 있을 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기체투과도 측정 장치를 설명하는 도면이다.
도 2는 도 1의 컨덕턴스 조절부를 설명하는 분해 사시도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 기체투과도 측정 장치(100)는 측정가스로 채워지고 일정한 압력으로 유지되는 제1 챔버(110), 상기 제1 챔버(110)와 직렬 연결된 제2 챔버(120), 상기 제2 챔버와 직렬 연결된 제3 챔버(130), 관통홀(142)을 포함하고 상기 제2 챔버(120)와 상기 제3 챔버(130)를 서로 분리하는 분리판(140), 상기 제2 챔버(120)와 상기 제3 챔버(130)의 연결부위에 배치되어 상기 분리판의 관통홀(142)을 통과하는 컨덕턴스를 조절하는 컨덕턴스 조절부(150), 상기 제3 챔버(130)에 연결되어 상기 제3 챔버(130)를 배기시키는 진공 펌프(160),및 상기 제2 챔버(120)와 상기 제3 챔버(130)의 차압을 측정하는 차압계(170)를 포함한다. 시료(10)는 상기 제1 챔버(110)와 상기 제2 챔버(120)의 연결 부위에 배치되고, 상기 측정 가스는 상기 시료(10)를 투과하여 상기 제2 챔버(120)로 전달되고, 상기 컨덕턴스 조절부는 적어도 2 개의 서로 다른 컨덕턴스를 제공한다.
상기 시료(10)의 기체투과도(K)는 다음으로부터 정의된다.
수학식 1
Figure PCTKR2014011111-appb-M000001
Q는 단위 시간당 투과하는 흐름률이고, A는 시료의 면적이고, K는 시료의 기체투과도이고, L은 시료의 두께이고, C는 오리피스의 컨덕턴스이고, Pex은 시료 외부의 압력이고, P1은 오리피스 상부의 압력이고, P2는 오리피스 하부의 압력이고, n은 기체 분자의 해리도이다. 비금속인 경우, n은 1이다. 수소의 금속투과인 경우 n=2이다.
Pex은 대기압으로 설정될 수 있고, P1은 저압으로 설정될 수 있다. 이에 따라, Pex - P1은 Pex로 근사될 수 있다.
상기 시료를 투과한 기체는 제2 챔버에 제공되고, 상기 제2 챔버의 기체는 소정의 컨덕턴스를 가진 오리피스를 통과하여 제3 챔버로 배기될 수 있다. 이 경우, 상기 흐름률 Q은 다음과 같이 주어질 수 있다.
수학식 2
Figure PCTKR2014011111-appb-M000002
여기서, C는 오리피스(orifice)의 컨덕턴스(conductance)이고, ΔP=P1-P2이다.
수학식 1과 수학 2를 이용하면, 시료의 기체투과도가 측정될 수 있다.
통상적으로, 기체 투과도는 시료 외부에 가하는 압력(Pex)이 1 기압 일때 오리피스 양단의 차압을 측정하여 계산한다. 이 경우, 오리피스의 컨덕턴스는 정확히 정의되지만, 실제 적용시 여러 복합적인 요소에 의하여 유효 컨덕턴스는 영향받을 수 있다. 이에 따라, 기체투과도의 정확도가 감소한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 오리피스의 직경 또는 컨턱턴스를 변화시키면서, 동일한 흐름률 Q을 측정하면, 기체투과도의 정확한 측정이 가능하다.
만일, 오리피스의 컨덕턴스가 각각 C1과 C2인 경우, 서로 다른 컨덕턴스를 가진 두개의 오리피스를 사용하면, 미지의 동일한 흐름률이 결정될 수 있다.
수학식 3
Figure PCTKR2014011111-appb-M000003
여기서, c는 측정 시스템에 관련된 기생 컨덕턴스이고, C1은 제1 오리피스의 제1 컨덕턴스이다. 제1 컨덕턴스는 기하학적 구조에 의하여 정해진다. ΔP1는 제1 오리피스의 양측의 압력차이다. C1과 ΔP1은 정확한 값이다. 구체적으로, C1은 수학적으로 정의되어 계산된 값이며, ΔP1는 제1 오리피스의 양측의 측정된 압력차이다.
기하학적 구조에 의하여 정해진 컨덕터스 C2를 가진 제2 오리피스를 사용한 경우, 미지의 동일한 흐름률 Q은 다음과 같이 주어질 수 있다.
수학식 4
Figure PCTKR2014011111-appb-M000004
여기서, C2는 제2 오리피스의 컨덕턴스이다. c는 측정 시스템에 관련된 기생 컨덕턴스이고, ΔP2는 제2 오리피스의 양측의 압력차이다.
구하려는 기체투과량은 수학식 3 및 수학식 4를 이용하여 다음과 같이 주어질 수 있다.
수학식 5
Figure PCTKR2014011111-appb-M000005
따라서, 정확한 흐름률 Q이 산출될 수 있다. 이에 따라, 수학식 1을 사용하여 기체 투과도 K가 산출될 수 있다.
제1 챔버(110)는 원통 구조일 수 있다. 상기 제1 챔버(110)의 재질은 금속 재질일 수 있다. 압력계(112)는 상기 제1 챔버(110)의 압력을 측정할 수 있다. 제1 밸브(114)는 상기 제1 챔버(110)와 상기 보조 진공 펌프(116) 사이에 배치될 수 있다. 상기 제1 밸브가 개방된 경우, 상기 보조 진공 펌프(116)는 상기 제1 챔버(110)를 극진공으로 배기할 수 있다. 상기 제1 챔버(110)가 극진공으로 배기된 상태에서, 상기 제1 밸브(114)는 폐쇄될 수 있다.
가스통(118)은 상기 측정 가스를 저장할 수 있다. 측정 가스는 질소 가스 또는 아르곤 가스일 수 있다. 제2 밸브(116)는 상기 가스통에 저장된 측정 가스를 상기 제1 챔버에 전달하기 위하여 상기 가스통(118)과 상기 제1 챔버(110) 사이를 배치될 수 있다. 상기 제1 챔버(110)를 상기 측정 가스로 충진하기 위하여, 상기 제1 챔버(110)가 극진공으로 유지된 상태에서, 상기 제2 밸브(116)는 개방될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1 챔버는 상기 측정 가스로 채워질 수 있다. 상기 제1 밸브(114) 및 상기 제2 밸브(116)가 폐쇄된 경우, 상기 제1 챔버(110)는 일정한 압력(예를 들어, 대기압)으로 유지될 수 있다.
상기 제1 챔버(110)와 상기 제2 챔버(120)의 연결부위에 시료 지지대(119)가 배치될 수 있다. 상기 시료 지지대(119)는 상기 제1 챔버(110)와 상기 제2 챔버(120)를 공간적으로 분리하고, 상기 시료(10)를 장착할 수 있다. 상기 시료는 금속판, 필름, 또는 유전체일 수 있다. 상기 시료는 상기 시료 지지대에 고정되고 실링될 수 있다. 이에 따라, 측정 기체는 오직 상기 시료를 투과하여 상기 제2 챔버로 전달될 수 있다.
상기 제1 챔버(110)의 압력은 대기압 또는 토르 단위의 고압으로 유지되고, 상기 제2 챔버(120)의 압력은 10-6 토르 수준으로 유지될 수 있다.
제2 챔버(120)는 원통형태일 수 있다. 상기 제2 챔버(120)는 금속재질로 형성될 수 있다. 상기 제2 챔버(120)의 상단부의 직경은 상기 제1 챔버(110)의 직경보다 클 수 있다. 상기 제2 챔버(120)의 하단부의 직경은 상기 제2 챔버(120)의 상단부보다 클 수 있다.
상기 제3 챔버(130)는 원통형태일 수 있다. 상기 제3 챔버(130)는 금속재질로 형성될 수 있다. 상기 제3 챔버(130)의 상단부의 직경은 상기 제2 챔버(120)의 하단부의 직경과 동일할 수 있다. 상기 제3 챔버(130)의 하단부의 직경은 상기 제3 챔버(130)의 상단부의 직경보다 작일 수 있다.
상기 제2 챔버(120)와 상기 제3 챔버(130)의 연결 부위에 분리판(140)이 배치될 수 있다. 상기 분리판(140)은 상기 제2 챔버(120)와 상기 제3 챔버(130)를 공간적으로 분리할 수 있다. 상기 분리판(140)은 중심에 관통홀(142)을 포함할 수 있다. 상기 관통홀(142)을 통하여 측정 가스는 제2 챔버(120)에서 제3 챔버(130)로 확산에 의하여 이동할 수 있다.
상기 제2 챔버(120)의 하단부에 컨덕턴스 조절부(150)가 배치될 수 있다. 상기 컨덕턴스 조절부(150)는 상기 분리판(140)의 관통홀을 일부를 막아 컨덕턴스를 조절할 수 있다. 구체적으로, 상기 컨덕턴스 조절부(150)는 중심축에서 일정간 반경을 가진 원주 상에 배치된 서로 다른 반경의 오리피스들(153a~153d)을 포함하는 회전판(152), 상기 회전판(152)을 상기 분리판(140)에 고정하고 상기 회전판(152)의 회전 운동을 제공하는 회전축(154), 상기 회전판(152)의 외측면에 형성된 톱니와 결합하여 회전력을 전달하는 톱니를 가진 보조 회전판(156), 및 상기 보조 회전판(156)에 회전 운동을 제공하는 보조 회전축(154)을 포함할 수 있다. 상기 보조 회전축(158)은 상기 제2 챔버(120)에 고정된 상태에서 회전할 수 있다.
상기 회전판(152)은 원판 형태일 수 있다. 상기 회전판(152)의 복수의 오리피스들(153a~153d)을 포함할 수 있다. 상기 오리피스(153a~153d)는 상기 분리판(140)의 관통홀과 정렬될 수 있다. 이에 따라, 상기 제2 챔버(120)와 상기 제3 챔버(130) 사이의 컨턱턴스가 조절될 수 있다.
상기 오리피스들(153a~153d)은 원형일 수 있다. 상기 오리피스들(153a~153d)은 상기 회전판(152)의 중심에서 일정한 반경의 원주상에 일정한 간격을 가지고 배치될 수 있다.
회전축(154)은 상기 회전판(152)의 중심축에 연결될 수 있다. 상기 회전축(154)은 상기 분리판(140)에 고정될 수 있다. 상기 회전판(152)은 상기 회전축(154)을 중심으로 회전할 수 있다. 이에 따라, 정렬되는 오리피스의 직경에 따라, 컨덕턴스가 변경될 수 있다.
보조 회전판(156)은 원판 형태일 수 있다. 상기 보조 회전판(156)은 상기 회전판(152)에 회전을 제공할 수 있다. 상기 보조 회전판(156)의 배치 평면은 상기 회전판(152)의 배치 평면과 동일할 수 있다. 상기 회전판(152)의 외측면에는 톱니가 형성될 수 있다. 또한, 상기 보조 회전판(156)의 외측면에는 톱니가 형성될 수 있다. 상기 보조 회전판(156)이 회전함에 따라, 기어 결합하여 상기 회전판(152)이 회전할 수 있다.
상기 보조 회전판(156)의 중심축에 보조 회전축(154)이 배치될 수 있다. 상기 보조 회전축(158)은 상기 보조 회전판(156)의 중심축에 연결될 수 있다. 상기 보조 회전축(158)은 상기 제2 챔버(120)의 외부로 돌출될 수 있다. 상기 보조 회전축(158)이 회전함에 따라, 상기 회전판(152)이 회전할 수 있다.
본 발명의 변형된 실시예에 따르면, 상기 제3 챔버(130)의 상단부에 컨덕턴스 조절부(150)가 배치될 수 있다.
본 발명의 변형된 실시예에 따르면, 상기 제2 챔버와 제3 챔버 사이의 컨덕턴스를 조절하는 수단은 카메라 조리개 형태로 변형될 수 있다.
상기 제3 챔버(130)의 하단부는 진공 펌프(160)에 연결될 수 있다. 상기 진공 펌프(160)는 상기 제3 챔버(130) 및 제2 챔버(120)를 극진공으로 배기할 수 있다.
차압계(170)는 상기 제2 챔버(120)와 상기 제3 챔버(130)의 차압을 측정할 수 있다.
상기 압력계(112)의 외부 압력, 상기 차압계(170)의 차압 신호는 처리부(180)에 제공될 수 있다. 상기 처리부(180)는 상기 외부 압력과 컨던턴스에 따른 상기 차압 신호를 처리하여 상기 시료의 기체투과도를 산출할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기체투과도 측정 방법은 다음과 같이 수행될 수있다.
시료(10)는 시료 지지대(119)에 장착된다. 상기 시료 지지대(119)는 직렬 연결된 제1 챔버(110)와 제2 챔버(120) 사이에 배치된다. 이어서, 제1 밸브(114)를 개방하고 제2 밸브(116)를 폐쇄한 상태에서, 제1 챔버(110), 제2 챔버(120), 및 제3 챔버(130)는 배기된다. 제1 챔버(110), 상기 제2 챔버(120), 및 제3 챔버(130)의 압력이 극진동에 도달한 경우, 제1 밸브(114)는 폐쇄될 수 있다. 이어서, 상기 제2 밸브(116)가 개방되고, 측정 가스는 상기 제1 챔버(110)에 제공될 수 있다. 상기 제1 챔버(110)가 일정한 압력에 도달한 경우, 상기 제2 밸브(116)는 폐쇄될 수 있다.
상기 측정 가스는 상기 시료(10)를 투과하여 상기 제2 챔버(120)에 제공될 수 있다. 컨덕턴스 조절부(150)는 제1 컨턱턴스의 제1 오리피스를 제공할 수 있다. 상기 제1 오리피스가 장착된 상태에서, 제2 챔버(120)와 제3 챔버(130)의 제1 차압이 측정될 수 있다.
이어서, 상기 컨덕턴스 조절부(150)는 제2 컨덕턴스의 제2 오리피스를 제공할 수 있다. 상기 제2 오리피스가 장착된 상태에서, 제2 챔버(120)와 제3 챔버(130)의 제2 차압이 측정될 수 있다.
처리부(180)는 상기 제1 차압, 제2 차압, 제1 컨덕턴스, 및 제2 컨덕턴스를 이용하여 상기 시료의 기체 투과도를 산출할 수 있다.
도 3은 본 발명의 변형된 실시예에 따른 기체투과도 측정 장치를 설명하는 도면이다. 도 1에서 설명한 것과 중복되는 설명은 생략한다.
도 3을 참조하면, 기체투과도 측정 장치(100a)는 측정가스로 채워지고 일정한 압력으로 유지되는 제1 챔버(110), 상기 제1 챔버(110)와 직렬 연결된 제2 챔버(120), 상기 제2 챔버(120)와 직렬 연결되는 제3 챔버(130), 관통홀을 포함하고 상기 제2 챔버와 상기 제3 챔버를 서로 분리하는 분리판(140), 상기 제2 챔버(120)와 상기 제3 챔버(130)의 연결부위에 배치되어 상기 분리판의 관통홀을 통과하는 컨덕턴스를 조절하는 컨덕턴스 조절부(150), 상기 제3 챔버(130)에 연결되어 상기 제3 챔버(130)를 배기시키는 진공 펌프(160), 상기 제2 챔버(120)의 압력을 측정하는 상부 압력계(171a), 상기 제3 챔버(130)의 압력을 측정하는 하부 압력계(171b), 및 상기 상부 압력계(171a)의 측정 신호와 상기 하부 압력계(171b)의 측정 신호를 이용하여 상기 시료의 기체 투과도를 산출하는 처리부(180)를 포함한다. 상기 시료(10)는 상기 제1 챔버(110)와 상기 제2 챔버(120)의 연결 부위에 배치되고, 상기 측정 가스는 상기 시료(10)를 투과하여 상기 제2 챔버(120)로 전달되고, 상기 컨덕턴스 조절부(150)는 적어도 2 개의 서로 다른 컨덕턴스를 제공한다.
상부 압력계(171a)는 컨덕턴스 조절부의 컨덕턴스에 따라 제2 챔버의 압력을 측정할 수 있다. 하부 압력계(171b)는 컨덕턴스 조절부의 컨덕턴스에 따라 제3 챔버의 압력을 측정할 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.

Claims (5)

  1. 측정가스로 채워지고 일정한 압력으로 유지되는 제1 챔버;
    제1 챔버와 직렬 연결된 제2 챔버;
    상기 제2 챔버와 직렬 연결된 제3 챔버;
    관통홀을 포함하고 상기 제2 챔버와 상기 제3 챔버를 서로 분리하는 분리판;
    상기 제2 챔버와 상기 제3 챔버의 연결부위에 배치되어 상기 분리판의 관통홀을 통과하는 컨덕턴스를 조절하는 컨덕턴스 조절부;
    상기 제3 챔버에 연결되어 상기 제3 챔버를 배기시키는 진공 펌프;및
    상기 제2 챔버와 상기 제3 챔버의 차압을 측정하는 차압계를 포함하고,
    시료는 상기 제1 챔버와 상기 제2 챔버의 연결 부위에 배치되고,
    상기 측정 가스는 상기 시료를 투과하여 상기 제2 챔버로 전달되고,
    상기 컨덕턴스 조절부는 적어도 2 개의 서로 다른 컨덕턴스를 순차적으로 제공하는 것을 특징으로 하는 기체투과도 측정 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 챔버에 연결된 압력계;
    상기 제1 챔버에 연결된 보조 진공 펌프;
    상기 제1 챔버를 배기하기 위하여 상기 제1 챔버와 상기 보조 진공 펌프 사이에 배치되는 제1 밸브;
    상기 측정 가스를 저장하는 가스통; 및
    상기 가스통에 저장된 측정 가스를 상기 제1 챔버에 전달하기 위하여 상기 가스통과 상기 제1 챔버 사이를 배치되는 제2 밸브;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기체투과도 측정 장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 컨덕턴스 조절부는:
    중심축에서 일정간 반경을 가진 원주 상에 배치된 서로 다른 반경의 오리피스들을 포함하는 회전판;
    상기 회전판을 상기 분리판에 고정하고 상기 회전판의 회전 운동을 제공하는 회전축;
    상기 회전판의 외측면에 형성된 톱니와 결합하여 회전력을 전달하는 톱니를 가진 보조 회전판; 및
    상기 보조 회전판에 회전 운동을 제공하는 보조 회전축을 포함하고,
    상기 보조 회전축은 상기 제2 챔버에 고정되는 것을 특징으로 하는 기체투과도 측정 장치.
  4. 측정가스로 채워지고 일정한 압력으로 유지되는 제1 챔버;
    상기 제1 챔버와 직렬 연결된 제2 챔버;
    상기 제2 챔버와 직렬 연결되는 제3 챔버;
    관통홀을 포함하고 상기 제2 챔버와 상기 제3 챔버를 서로 분리하는 분리판;
    상기 제2 챔버와 상기 제3 챔버의 연결부위에 배치되어 상기 분리판의 관통홀을 통과하는 컨덕턴스를 조절하는 컨덕턴스 조절부;
    상기 제3 챔버에 연결되어 상기 제3 챔버를 배기시키는 진공 펌프;
    상기 제2 챔버의 압력을 측정하는 상부 압력계;
    상기 제3 챔버의 압력을 측정하는 하부 압력계; 및
    상기 상부 압력계의 측정 신호와 상기 하부 압력계의 측정 신호를 이용하여 상기 시료의 기체 투과도를 산출하는 처리부를 포함하고,
    상기 시료는 상기 제1 챔버와 상기 제2 챔버의 연결 부위에 배치되고,
    상기 측정 가스는 상기 시료를 투과하여 상기 제2 챔버로 전달되고,
    상기 컨덕턴스 조절부는 적어도 2 개의 서로 다른 컨덕턴스를 제공하는 것을 특징으로 하는 기체투과도 측정 장치.
  5. 시료를 직렬 연결된 제1 챔버와 제2 챔버 사이에 장착하는 단계;
    제1 챔버, 제2 챔버, 제3 챔버를 배기하는 단계;
    측정 가스를 상기 제1 챔버에 충진하여 일정한 압력으로 유지하는 단계;
    상기 제1 챔버에 충진된 상기 측정가스를 상기 시료를 투과시켜 제2 챔버에 제공하는 단계;
    상기 제2 챔버와 상기 제3 챔버 사이에 제1 컨덕턴스를 가진 제1 오리피스를 통하여 제2 챔버에 전달된 상기 측정 가스를 상기 제3 챔버에 전달하는 단계;
    상기 제1 오리피스에 의한 상기 제2 챔버와 상기 제3 챔버 사이의 제1 차압을 측정하는 단계;
    상기 제2 챔버와 상기 제3 챔버 사이에 제2 컨덕턴스를 가진 제2 오리피스를 통하여 제2 챔버에 전달된 상기 측정 가스를 상기 제3 챔버에 전달하는 단계;
    상기 제2 오리피스에 의한 상기 제2 챔버와 상기 제3 챔버 사이의 제2 차압을 측정하는 단계; 및
    상기 제1 차압, 제2 차압, 제1 컨덕턴스, 및 제2 컨덕턴스를 이용하여 상기 시료의 기체 투과도를 산출하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기체투과도 측정 방법.
PCT/KR2014/011111 2013-12-02 2014-11-19 기체투과도 측정 장치 및 기체투과도 측정 방법 Ceased WO2015083957A1 (ko)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201480064197.3A CN105765365A (zh) 2013-12-02 2014-11-19 气体透过率测量装置和气体透过率测量方法
US15/169,067 US20160274018A1 (en) 2013-12-02 2016-05-31 Gas permeability measurement apparatus and gas permeability measurement method

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130148357A KR101537661B1 (ko) 2013-12-02 2013-12-02 기체투과도 측정 장치 및 기체투과도 측정 방법
KR10-2013-0148357 2013-12-02

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
US15/169,067 Continuation US20160274018A1 (en) 2013-12-02 2016-05-31 Gas permeability measurement apparatus and gas permeability measurement method

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2015083957A1 true WO2015083957A1 (ko) 2015-06-11

Family

ID=53273670

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/KR2014/011111 Ceased WO2015083957A1 (ko) 2013-12-02 2014-11-19 기체투과도 측정 장치 및 기체투과도 측정 방법

Country Status (4)

Country Link
US (1) US20160274018A1 (ko)
KR (1) KR101537661B1 (ko)
CN (1) CN105765365A (ko)
WO (1) WO2015083957A1 (ko)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106769796A (zh) * 2017-03-21 2017-05-31 大连理工大学 一种测量大气颗粒物室内外穿透系数的实验装置及其实验方法
CN112394020B (zh) * 2020-11-20 2025-09-16 济南兰光机电技术有限公司 一种薄膜渗透检测的多腔测试结构、系统及方法
KR102479085B1 (ko) * 2021-03-11 2022-12-16 경상국립대학교산학협력단 비등방성 유동 투과율 측정 방법 및 이를 이용한 비등방성 유동 투과율 측정 장치
KR20220170707A (ko) 2021-06-23 2022-12-30 주식회사 성진에스이 침전물을 지속적으로 제거 가능한 액체 탱크 장치

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07128209A (ja) * 1993-10-29 1995-05-19 Ulvac Japan Ltd ガス分析装置
JP2010160098A (ja) * 2009-01-09 2010-07-22 Yamagata Promotional Organization For Industrial Technology 透湿度・気体透過度測定装置
KR20110048092A (ko) * 2009-11-02 2011-05-11 한국표준과학연구원 탈기체 측정 장치 및 그 측정 방법
JP2011185760A (ja) * 2010-03-09 2011-09-22 Yamagata Promotional Organization For Industrial Technology 透湿度・気体透過度測定装置

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2148326Y (zh) * 1993-02-03 1993-12-01 万昭志 新型气体透过率测定装置
IT1283445B1 (it) * 1996-07-18 1998-04-21 Getters Spa Procedimento per misurare la permeabilita' gassosa ed apparecchio che realizza tale procedimento
JP4230674B2 (ja) * 2001-03-01 2009-02-25 株式会社日立製作所 欠陥検査装置およびその方法
JP2005043237A (ja) * 2003-07-23 2005-02-17 Nok Corp アウトガス評価装置
CN101246095B (zh) * 2008-01-07 2011-03-30 电子科技大学 阻隔材料气体渗透率的测量装置
KR101298043B1 (ko) * 2012-06-22 2013-08-20 부산대학교 산학협력단 판상형 시편의 개스 투과율 측정장치
CN103115858B (zh) * 2013-01-24 2015-03-18 电子科技大学 一种测量材料气体渗透率的测量装置和测量方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07128209A (ja) * 1993-10-29 1995-05-19 Ulvac Japan Ltd ガス分析装置
JP2010160098A (ja) * 2009-01-09 2010-07-22 Yamagata Promotional Organization For Industrial Technology 透湿度・気体透過度測定装置
KR20110048092A (ko) * 2009-11-02 2011-05-11 한국표준과학연구원 탈기체 측정 장치 및 그 측정 방법
JP2011185760A (ja) * 2010-03-09 2011-09-22 Yamagata Promotional Organization For Industrial Technology 透湿度・気体透過度測定装置

Also Published As

Publication number Publication date
KR101537661B1 (ko) 2015-07-17
US20160274018A1 (en) 2016-09-22
KR20150063693A (ko) 2015-06-10
CN105765365A (zh) 2016-07-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2015083957A1 (ko) 기체투과도 측정 장치 및 기체투과도 측정 방법
US8862420B2 (en) Multi-axis tilt sensor for correcting gravitational effects on the measurement of pressure by a capacitance diaphragm gauge
US11415475B2 (en) Directional differential pressure detector with improved reliability
US11733116B2 (en) Directional differential pressure detector
US11415594B2 (en) Directional differential pressure detector for indicating potential or actual directional air flow
US20200378854A1 (en) Directional differential pressure detector
WO2012074225A1 (ko) 자이로 센서와 수준센서가 구비된 롤 간 평행 및 수평도 정밀 측정장치 및 이를 이용한 롤 얼라이먼트 측정방법법
AU2020284116A1 (en) Directional differential pressure detector
JPH0566538B2 (ko)
CN105136252B (zh) 一种具有计量修正的双气室型气体计量装置
CN110133325A (zh) 一种加速度计的重力场动态校准方法
WO2019143082A1 (ko) 보정 기능을 포함하는 경피 수분 손실량 측정장치
WO2019000397A1 (zh) 无人飞行器及无人飞行器的组装方法
CN107085434A (zh) 一种基于双向角度校正的无人机及校正控制方法
CN218885027U (zh) 实时在线动态调整取压结构及肺功能测试装置
CN218330468U (zh) 泄漏测试标准器及泄漏测试系统
CN215984984U (zh) 一种用于压阻式压力传感器的测试结构
CN211838489U (zh) 一种具有防沉积结构的薄膜传感器
CN113654492A (zh) 气压微距法内径测量装置及其控制方法
JPH01285832A (ja) 差圧測定装置
CN119779244A (zh) 水平顶进结构高差测量装置及其使用方法
CN213180491U (zh) 一种活塞式真空压力计
CN211060933U (zh) 一种飞机备份电子仪表惯性测量单元结构体
KR200439759Y1 (ko) 벨로즈형 차압계
CN113975492A (zh) 一种引流液体积计量装置及方法

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 14867245

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 14867245

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1