WO2015083222A1 - Multilayer substrate and manufacturing method for same - Google Patents

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善洋 福島
浩二 加本
昭一 山田
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Definitions

  • Flexible wiring boards or rigid flexible wiring boards are thin and soft characteristics that can be bent or broken, and thus enable three-dimensional wiring and movable part wiring in equipment. For this reason, flexible wiring boards or rigid flexible wiring boards are widely used in familiar electronic devices, and are indispensable for reducing the size and weight of electronic devices such as mobile phones and liquid crystal televisions. .
  • the multilayer structure may be stacked by a bump build-up method without performing a plating process.
  • thermosetting resin 604 when it is desired to form a flexible wiring portion 609 described later, an opening is provided in the thermosetting resin 604, and a polyimide film or the like is disposed as the spacer 605 in the opening so that peeling can be performed after lamination. Keep it.
  • an opening is provided in the thermosetting resin 604, the conductor 602 (conductive layer LY2), and the conductor 602 (conductive layer LY3) shown in FIG. 7B described later.

Abstract

The purpose of the present invention is to provide a multilayer substrate which can accommodate next-generation high-speed transmission methods, and is thinner than at present in order to conserve space regardless of whether a flexible circuit board or rigid circuit board is used. This multilayer substrate, in which a conducting layer and an insulating layer are alternately stacked, has a multilayer structure in which a thermoplastic resin as an insulating layer and a thermosetting dielectric resin are alternately sequentially stacked.

Description

多層基板、及び、その製造方法Multilayer substrate and method of manufacturing the same
 本発明は、多層基板、及び、その製造方法に関し、特に、次世代高速伝送に対応でき、薄型の多層基板、及び、その製造方法に関する。 The present invention relates to a multilayer substrate and a method of manufacturing the same, and more particularly to a thin multilayer substrate that can handle next-generation high-speed transmission and a method of manufacturing the same.
 フレキシブルプリント配線板(FPC:Flexible Printed Circuit)は、薄い絶縁材を使用し、曲げることができる構造のプリント配線板(基板)である。一方、一般的に基板という場合には、リジッド配線板(硬質基板)を指す。リジッド配線板は、部品を実装して回路形成を行う硬いボードであり、曲がらない構造である。また、リジット配線板とフレキシブル配線板とを組み合わせた、リジットフレキシブル配線板も存在する。 A flexible printed circuit board (FPC: Flexible Printed Circuit) is a printed circuit board (substrate) having a structure that can be bent using a thin insulating material. On the other hand, generally speaking, a substrate refers to a rigid wiring board (hard substrate). The rigid wiring board is a hard board on which components are mounted to form a circuit, and has a structure that does not bend. There is also a rigid flexible wiring board in which a rigid wiring board and a flexible wiring board are combined.
 フレキシブル配線板、あるいは、リジットフレキシブル配線板は、曲げることや折ることができる薄くて柔らかい特性なので、機器内の三次元配線や可動部配線を可能にする。このため、フレキシブル配線板、あるいは、リジットフレキシブル配線板は、身近な電子機器に数多く使用されており、携帯電話や液晶テレビなどの電子機器の小型・軽量化には欠かせない存在となっている。 Flexible wiring boards or rigid flexible wiring boards are thin and soft characteristics that can be bent or broken, and thus enable three-dimensional wiring and movable part wiring in equipment. For this reason, flexible wiring boards or rigid flexible wiring boards are widely used in familiar electronic devices, and are indispensable for reducing the size and weight of electronic devices such as mobile phones and liquid crystal televisions. .
 次世代PC向けに10層で、厚さt=0.5mm以下、信号周波数10GHz以上対応の基板の要求がある。これは、近年の電子機器の薄型化に伴い、メイン基板を配置する占有スペースが減少しているので、製品を薄型化する上でメイン基板を薄型化する必要があるからである。また、さらに、次世代高速伝送モジュール、例えば、光通信用モジュール(20GHz以上)や、ミリ波(60GHz以上)の高速伝送に対応する必要があること等による。 There is a demand for a substrate that has a thickness t of 0.5 mm or less and a signal frequency of 10 GHz or more for 10 layers for the next-generation PC. This is because, with the recent reduction in thickness of electronic devices, the occupied space for arranging the main substrate is reduced, so that it is necessary to reduce the thickness of the main substrate in order to reduce the thickness of the product. Furthermore, it is necessary to cope with high-speed transmission of a next-generation high-speed transmission module, for example, an optical communication module (20 GHz or more) or millimeter wave (60 GHz or more).
特許4038206号公報Patent No. 4038206 特許2788701号公報Patent 2788701 gazette
 現在、リジット配線板では、10層で、標準厚さStd.t=0.8mm、最薄で0.68mm程度が限界である。また、フレキシブル配線板では、ベース基材に液晶ポリマーを使用する方法が存在するが(特許文献1参照)、液晶ポリマーは、熱可塑性樹脂であるので、順次積層が困難であり、薄型化が困難であるという問題がある。 Currently, rigid wiring boards have 10 layers and a standard thickness Std. The limit is t = 0.8 mm, the thinnest at around 0.68 mm. In addition, in the case of a flexible wiring board, there is a method of using a liquid crystal polymer as a base material (see Patent Document 1), but since the liquid crystal polymer is a thermoplastic resin, it is difficult to sequentially laminate and thin There is a problem of being
 その他のフレキシブル配線板として、ベース基材としてポリイミド系樹脂を使用し、接着シートとしてポリイミド系接着シートを使用する多層配線板も知られている(特許文献2参照)。高速伝送用フレキシブル配線板とするためには、高周波信号の優れた伝送特性、安定した低いリアクタンス、インピーダンスおよび伝送損失による優れた電気信号の伝達・伝導特性が求められる。このためには、高周波領域で安定して優れた電気特性(例えば低誘電率(ε)、低誘電正接(tanδ)、低吸湿)を有する材料が必要になってくる。しかしながら、ポリイミド系樹脂では、これを達成するのが難しいという問題があった。 As another flexible wiring board, a multilayer wiring board is also known which uses a polyimide-based resin as a base material and uses a polyimide-based adhesive sheet as an adhesive sheet (see Patent Document 2). In order to make a flexible wiring board for high-speed transmission, excellent transmission characteristics of high frequency signals, stable low reactance, excellent transmission and conduction characteristics of electrical signals due to impedance and transmission loss are required. For this purpose, materials having stable and excellent electrical characteristics (for example, low dielectric constant (ε), low dielectric loss tangent (tan δ), low moisture absorption) in a high frequency region are required. However, polyimide resins have a problem that it is difficult to achieve this.
 従って、本発明は、次世代高速伝送に対応でき、現在より薄型の多層基板、及び、その製造方法を提供することを目的とする。 Therefore, an object of the present invention is to provide a multi-layer substrate which is thinner than the current one capable of coping with next-generation high-speed transmission, and a method of manufacturing the same.
 上記課題を解決するために、本発明の多層基板は、導電層と、絶縁層とを交互に積層する多層基板であって、上記絶縁層として熱可塑性樹脂と、熱硬化性絶縁樹脂とを交互に順次積層させる多層構造を有することを特徴とする。 In order to solve the above problems, the multilayer substrate of the present invention is a multilayer substrate in which conductive layers and insulating layers are alternately stacked, and thermoplastic resin and thermosetting insulating resin are alternately used as the insulating layers. It is characterized in that it has a multilayer structure in which layers are sequentially laminated.
 また、複数の上記熱可塑性樹脂の両面に上記導体層を形成し、2層基板を複数作成し、複数の上記2層基板の間に上記熱硬化性絶縁樹脂を接着層として、積層することにより上記多層構造を作成するものとしてもよい。 Further, the conductor layers are formed on both sides of a plurality of the thermoplastic resins, a plurality of two-layer substrates are formed, and the thermosetting insulating resin is laminated as a bonding layer between the plurality of two-layer substrates. The above multilayer structure may be created.
 また、上記熱可塑性樹脂として、液晶ポリマーを使用するものとしてもよい。 In addition, a liquid crystal polymer may be used as the thermoplastic resin.
 また、上記多層構造は、メッキ工程を行わず、バンプビルドアップ工法により積層されるものとしてもよい。 In addition, the multilayer structure may be stacked by a bump build-up method without performing a plating process.
 上記課題を解決するために、本発明の多層プリント配線板は、上記多層構造を有することを特徴とする。 In order to solve the said subject, the multilayer printed wiring board of this invention is characterized by having the said multilayer structure.
 上記課題を解決するために、本発明の多層フレキシブル配線板は、上記多層構造を有することを特徴とする。 In order to solve the said subject, the multilayer flexible wiring board of this invention is characterized by having the said multilayer structure.
 上記課題を解決するために、本発明の多層リジットフレキシブル配線板は、上記多層構造を有することを特徴とする。 In order to solve the above-mentioned subject, a multilayer rigid flexible wiring board of the present invention is characterized by having the above-mentioned multilayer structure.
 また、上記多層リジットフレキシブル配線板に開口部を設け、当該開口部にポリイミドまたは液晶ポリマーのカバーレイを設け、上記導体層を複数有するフレキシブル構造を形成するものとしてもよい。 In addition, an opening may be provided in the multilayer rigid flexible wiring board, a cover lay of polyimide or liquid crystal polymer may be provided in the opening, and a flexible structure having a plurality of the conductor layers may be formed.
 上記課題を解決するために、本発明の多層基板の製造方法は、導電層と、絶縁層とを交互に積層する多層基板の製造方法であって、上記絶縁層として熱可塑性樹脂と、熱硬化性絶縁樹脂とを交互に順次積層させることを特徴とする。 In order to solve the above-mentioned subject, a manufacturing method of a multilayer board of the present invention is a manufacturing method of a multilayer board which laminates an electric conduction layer and an insulating layer by turns, and thermoplastics as thermosetting resin and thermosetting. It is characterized in that the conductive insulating resin is alternately laminated sequentially.
 また、複数の上記熱可塑性樹脂の両面に上記導体層を形成し、2層基板を複数作成し、複数の上記2層基板の間に上記熱硬化性絶縁樹脂を接着層として、積層することにより上記多層基板を作成するものとしてもよい。 Further, the conductor layers are formed on both sides of a plurality of the thermoplastic resins, a plurality of two-layer substrates are formed, and the thermosetting insulating resin is laminated as a bonding layer between the plurality of two-layer substrates. The multilayer substrate may be formed.
 また、上記多層基板に開口部を設け、当該開口部にポリイミドまたは液晶ポリマーのカバーレイを設け、上記導体層を複数有するフレキシブル構造を形成するものとしてもよい。 Alternatively, an opening may be provided in the multilayer substrate, a cover lay of polyimide or liquid crystal polymer may be provided in the opening, and a flexible structure having a plurality of the conductor layers may be formed.
 本発明によれば、高周波領域で安定して優れた電気特性(例えば低誘電率(ε)、低誘電正接(tanδ)、低吸湿)を有する材料を使用することにより、高速伝送に対応でき、また、これらの材料をビルドアップ工法により積層することにより、現在より薄型の多層基板、及び、その製造方法を提供することができる。 According to the present invention, high speed transmission can be coped with by using a material having stable and excellent electric characteristics (for example, low dielectric constant (ε), low dielectric loss tangent (tan δ), low moisture absorption) in a high frequency region, In addition, by laminating these materials by a build-up method, it is possible to provide a multilayer substrate thinner than currently and a method for manufacturing the same.
本発明の多層基板の製造方法の概念図である。It is a conceptual diagram of the manufacturing method of the multilayer substrate of this invention. 本発明の多層基板の製造方法の概念図である。It is a conceptual diagram of the manufacturing method of the multilayer substrate of this invention. 本発明の多層基板の製造方法の概念図である。It is a conceptual diagram of the manufacturing method of the multilayer substrate of this invention. 本発明の多層基板の製造方法の概念図である。It is a conceptual diagram of the manufacturing method of the multilayer substrate of this invention. 本発明の多層基板の一実施形態として、10層のリジットフレキシブル配線板の模式図である。It is a schematic diagram of a rigid flexible wiring board of 10 layers as one embodiment of a multilayer board of the present invention. 本発明の多層基板の製造方法の一実施形態を説明する図である。It is a figure explaining one Embodiment of the manufacturing method of the multilayer substrate of this invention. 本発明の多層基板の製造方法の一実施形態を説明する図である。It is a figure explaining one Embodiment of the manufacturing method of the multilayer substrate of this invention. 本発明の多層基板の製造方法の一実施形態を説明する図である。It is a figure explaining one Embodiment of the manufacturing method of the multilayer substrate of this invention. 本発明の多層基板の製造方法の一実施形態を説明する図である。It is a figure explaining one Embodiment of the manufacturing method of the multilayer substrate of this invention. 本発明の多層基板の製造方法の一実施形態を説明する図である。It is a figure explaining one Embodiment of the manufacturing method of the multilayer substrate of this invention. 本発明の多層基板の製造方法の一実施形態を説明する図である。It is a figure explaining one Embodiment of the manufacturing method of the multilayer substrate of this invention. 本発明の多層基板の製造方法の一実施形態を説明する図である。It is a figure explaining one Embodiment of the manufacturing method of the multilayer substrate of this invention. 本発明の多層基板の製造方法の一実施形態を説明する図である。It is a figure explaining one Embodiment of the manufacturing method of the multilayer substrate of this invention.
 本発明の実施形態を、図面を参照して説明する。 Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
 図1乃至図4は、本発明の多層基板の製造方法の一例の概念図である。 1 to 4 are conceptual views of an example of a method of manufacturing a multilayer substrate according to the present invention.
 図1において、まず、導体102上に、バンプ103を印刷することにより、内部回路のうち、2層の配線層を接続する配線パターンを形成する。 In FIG. 1, first, bumps 103 are printed on the conductor 102 to form a wiring pattern connecting two wiring layers in the internal circuit.
 2層以上の配線層を有する基板の所望の層にある配線パターンを相互に接続するための構造として、スルーホールとビアと呼ばれる2つがある。この2つは本質的に異なるものではなく、一般に、基板全体を貫通する孔を介する接続をスルーホール、多層板の層間について孔を介して接続する構造をビアと呼んでいる。従って、バンプもビアの一種であり、ここでは、製造工程ではバンプと呼び、製造後はビアと呼ぶ。また、図1において、バンプ103として、一般にAg系導電性樹脂が使用され、導体102として、一般に銅が使用されるが、これには限定されない。 There are two structures called through holes and vias as structures for interconnecting wiring patterns in desired layers of a substrate having two or more wiring layers. The two are not essentially different, and in general, a connection through a hole penetrating the entire substrate is called a through hole, and a structure connecting through a layer between multilayer plates is called a via. Therefore, the bumps are also a kind of vias, and in this case, they are called bumps in the manufacturing process and are called vias after manufacturing. Further, in FIG. 1, an Ag-based conductive resin is generally used as the bump 103, and copper is generally used as the conductor 102, but the invention is not limited thereto.
 次に、図1において、上述の導体102上に、バンプ103を印刷したものの上に、熱可塑性樹脂101と、もう1方の導体102を同時に積層し、両面基板の原型(不図示)を作成する。 Next, in FIG. 1, the thermoplastic resin 101 and the other conductor 102 are simultaneously laminated on the printed conductor of the bump 103 on the above-mentioned conductor 102 to create a prototype (not shown) of a double-sided board. Do.
 熱可塑性樹脂101として、液晶ポリマー(LCP:Liquid Crystal Polymer(CTZ:株式会社クラレ製))を使用しているが、これには限定されない。高速伝送対応とするためには、高周波信号の優れた伝送特性、安定した低いリアクタンス、インピーダンスおよび伝送損失による優れた電気信号の伝達・伝導特性が求められる。このためには、高周波領域で安定して優れた電気特性(例えば低誘電率(ε)、低誘電正接(tanδ)、低吸湿)を有する材料が必要になってくる。このため、熱可塑性樹脂101として、このような特性を満足するものであれば、上述の材料には、限定されない。 Although a liquid crystal polymer (LCP: Liquid Crystal Polymer (CTZ: manufactured by Kuraray Co., Ltd.)) is used as the thermoplastic resin 101, the invention is not limited thereto. In order to support high-speed transmission, excellent transmission characteristics of high frequency signals, stable low reactance, excellent transmission and conduction characteristics of electrical signals due to impedance and transmission loss are required. For this purpose, materials having stable and excellent electrical characteristics (for example, low dielectric constant (ε), low dielectric loss tangent (tan δ), low moisture absorption) in a high frequency region are required. Therefore, the thermoplastic resin 101 is not limited to the above-mentioned materials as long as it satisfies such characteristics.
 図1において、上述の両面基板の原型の一点鎖線で示される一方の導体102をエッチングし、回路パターン102´を形成し、2層の基本の積層ユニット100を作成する。なお、積層する際に内側になる面の導体102には、積層する前にエッチングを行い、積層する際に外側になる面の導体102には、積層後にエッチングを行う。以下の工程でも同様である。 In FIG. 1, one of the conductors 102 indicated by the one-dot-and-dash line of the above-mentioned double-sided substrate prototype is etched to form a circuit pattern 102 ', and a two-layer basic lamination unit 100 is produced. Note that the conductor 102 on the inner side when being laminated is etched before being laminated, and the conductor 102 on the outer side when being laminated is etched after being laminated. The same applies to the following steps.
 次に、図1において、積層ユニット100と同様の工程を行い、別の積層ユニット(不図示)を作成した後、エッチングした面における回路パターン102´にバンプ103を印刷して、2層の積層ユニット110を作成する。 Next, in FIG. 1, the same process as the lamination unit 100 is performed to form another lamination unit (not shown), and then the bumps 103 are printed on the circuit pattern 102 ′ on the etched surface to laminate two layers. Create a unit 110.
 次に、積層ユニット100と、積層ユニット110との間に、接着層として熱硬化性樹脂104を挟んで積層し、4層の積層ユニットを作成する。熱硬化性樹脂104として、接着用熱硬化性絶縁樹脂フィルム(ADFLEMA(登録商標):ナミックス株式会社製)を使用しているが、低誘電率、低誘電正接、低吸湿の特性を有する熱硬化性樹脂であれば、他のものでも使用可能である。 Next, a thermosetting resin 104 is sandwiched between the lamination unit 100 and the lamination unit 110 as an adhesive layer to form a lamination unit of four layers. Although a thermosetting insulating resin film for bonding (ADFLEMA (registered trademark): made by Namix Co., Ltd.) is used as the thermosetting resin 104, a thermosetting resin having characteristics of low dielectric constant, low dielectric loss tangent, and low moisture absorption Other resins can also be used as long as they are resinous.
 図2において、積層ユニット100と、積層ユニット110とを積層して作成した4層の積層ユニットの積層する際に内側になる面の導体102をエッチングし、回路パターン102´を形成し、4層の積層ユニット220を作成する。 In FIG. 2, the conductor 102 on the inner side is etched when laminating the four-layered lamination unit created by laminating the lamination unit 100 and the lamination unit 110, to form a circuit pattern 102 ', and four layers are formed. The lamination unit 220 of
 次に、積層ユニット110と同様の工程を行い、回路パターンが異なる別の2層の積層ユニット230を作成する。続いて、4層の積層ユニット220と、2層の積層ユニット230との間に、接着層として熱硬化性樹脂104を挟んで積層し、6層の積層ユニットを作成する。 Next, the same process as the stacking unit 110 is performed to create another two-layer stacking unit 230 having different circuit patterns. Subsequently, the thermosetting resin 104 is laminated as an adhesive layer between the four-layer stacking unit 220 and the two-layer stacking unit 230 to form a six-layer stacking unit.
 図3において、4層の積層ユニット220と、2層の積層ユニット230とを積層して作成した6層の積層ユニットの積層する際に内側になる面の導体102をエッチングし、回路パターン102´を形成し、6層の積層ユニット340を作成する。 In FIG. 3, the conductor 102 on the inner surface is etched when laminating a six-layered lamination unit made by laminating four-layered lamination units 220 and two-layered lamination units 230, and a circuit pattern 102 '. To form a six-layer stacked unit 340.
 次に、図3において、4層の積層ユニット220と同様の工程を行い、回路パターンが異なる別の4層の積層ユニットを作成し、その積層する際に内側になる面の回路パターン102´上にバンプ103を印刷し、積層ユニット350を作成する。 Next, in FIG. 3, the same process as the four-layer stacking unit 220 is performed to create another four-layer stacking unit having a different circuit pattern, and the circuit pattern 102 'on the inner surface when stacking is performed. The bumps 103 are printed on the substrate to make a lamination unit 350.
 図4において、6層の積層ユニット340と、4層の積層ユニット350との間に、接着層として熱硬化性樹脂104を挟んで積層し、10層の積層ユニット460を作成する。 In FIG. 4, a thermosetting resin 104 is sandwiched and laminated as an adhesive layer between a six-layer lamination unit 340 and a four-layer lamination unit 350 to form a ten-layer lamination unit 460.
 この後、最も外側の面になった、1層目と10層目の導体102にエッチングを行い、回路パターン102´を形成し、最後に表面にカバーコートやめっき処理などを行い、10層の積層基板の製造が終了する。 After that, the first and tenth layers of the conductor 102, which became the outermost surface, are etched to form a circuit pattern 102 ', and finally, a surface is coated with a cover, plating, etc. The manufacture of the laminated substrate is completed.
 なお、積層の順序は、この例に限らず、2層、4層、及び、4層の積層ユニットをそれぞれ作成し、それを同時に積層するものとしても、2層、及び、8層の積層ユニットをそれぞれ作成し、それを積層するものとしても、2層ずつ順番に積層してもよく、これらの例にも限定されない。 In addition, the order of lamination is not limited to this example, and two, four, and four layers of lamination units are prepared, and two and eight layers of lamination units may be simultaneously laminated. Each of the layers may be prepared and laminated, or two layers may be sequentially laminated, and the invention is not limited to these examples.
 このように、バンプビルドアップ工法により積層基板を作成することにより、レーザービア、スルーホール等の工法で必要なメッキ工程が不要となるので、メッキ層のない薄型の多層基板を作成することができる。 As described above, by forming the laminated substrate by the bump build-up method, the plating step necessary for the method such as the laser via and the through hole becomes unnecessary, so that a thin multilayer substrate without a plating layer can be formed. .
 また、熱硬化性樹脂は、ガラス転移温度が積層プレス温度より高いので、熱硬化性樹脂を使用することにより、積層の繰り返し(順次積層)による熱履歴によるダメージを少なくすることができるとともに、各層を薄くしても信頼性を高く保つことができ、従ってビルドアップ工法による多層基板の薄型化を達成することができる。 In addition, since the thermosetting resin has a glass transition temperature higher than the lamination pressing temperature, the use of the thermosetting resin makes it possible to reduce the damage due to the heat history due to the repetition of lamination (sequential lamination), and Even if it is made thinner, the reliability can be kept high, and therefore, thinning of the multilayer substrate by the build-up method can be achieved.
 また、一般に熱硬化性樹脂は、難燃性が低いので、熱硬化性樹脂だけで絶縁層を構成するとUL(Underwriters Laboratories)等の難燃性の規格を満足することが難しいが、難燃性の低い熱硬化性樹脂のみではなく難燃性の高い熱可塑性樹脂を交互に積層することによりUL等の難燃性の規格を満足することができる。 Also, since thermosetting resins generally have low flame retardancy, it is difficult to satisfy the standards of flame retardancy such as UL (Underwriters Laboratories) if the insulating layer is composed only of thermosetting resins, but the flame retardancy is low. By alternately laminating not only a low thermosetting resin but also a highly flame retardant thermoplastic resin, it is possible to satisfy the flame retardancy standard such as UL.
 また、熱可塑性樹脂101、及び、熱硬化性樹脂104は、双方、高周波領域で安定して優れた電気特性(例えば、低誘電率、低誘電正接、低吸湿)を有するので、次世代高速伝送にも対応することができる。 Also, since both the thermoplastic resin 101 and the thermosetting resin 104 have stable and excellent electric characteristics (for example, low dielectric constant, low dielectric loss tangent, low moisture absorption) in a high frequency region, the next generation high speed transmission Can also respond.
 図5は、本発明の多層基板の一実施形態として、10層のリジットフレキシブル配線板500の模式図である。 FIG. 5 is a schematic view of a 10-layer rigid flexible wiring board 500 as an embodiment of the multilayer board of the present invention.
 図5において、10層のリジットフレキシブル配線板500は、導電層LY1~LY10の10層の導体502と、隣接する導電層LY1、LY2等の導体502相互間に積層された熱可塑性樹脂501、及び、隣接する導電層LY2、LY3等の相互間に積層された熱硬化性樹脂504と、各導体を接続するビア503とを備えている。熱可塑性樹脂501と、熱硬化性樹脂504は、導体502の間に交互に積層されている。ここでは、熱可塑性樹脂501として、液晶ポリマーが使用されるが、これには限定されない。また、熱硬化性樹脂504として、接着用熱硬化性絶縁樹脂フィルムが使用されるが、これには限定されない。 In FIG. 5, a ten-layer rigid flexible wiring board 500 includes a ten-layer conductor 502 of conductive layers LY1 to LY10 and a thermoplastic resin 501 laminated between conductors 502 such as adjacent conductive layers LY1 and LY2. A thermosetting resin 504 laminated between the adjacent conductive layers LY2, LY3 and the like, and a via 503 connecting the conductors are provided. The thermoplastic resin 501 and the thermosetting resin 504 are alternately stacked between the conductors 502. Here, a liquid crystal polymer is used as the thermoplastic resin 501, but is not limited thereto. Moreover, although the thermosetting insulating resin film for adhesion | attachment is used as the thermosetting resin 504, it is not limited to this.
 リジットフレキシブル配線板500には、導体502(導電層LY1~LY3)と、導体502(導電層LY8~LY10)に開口部506、507が形成される。開口部506、507の表面には、熱可塑性樹脂501がカバーレイ508として露出され、フレキシブル配線部509が形成されている。また、開口部以外の導体502(導電層LY1、LY10)の表面には、カバーコート505が積層され、リジット配線部510が形成されている。なお、カバーレイ508とは、フレキシブルプリント配線部509の表面保護用の柔らかいフィルムのことであり、ここでは、開口部506、507の表面に露出された熱可塑性樹脂501かあるいは、開口部506、507に後から貼り付けられたポリイミドなどが使用される。熱硬化性樹脂504は、一般に難燃性が低いため、カバーレイ508として使用できない。 In the rigid flexible wiring board 500, openings 506 and 507 are formed in the conductor 502 (conductive layers LY1 to LY3) and the conductor 502 (conductive layers LY8 to LY10). The thermoplastic resin 501 is exposed as a cover lay 508 on the surface of the openings 506 and 507, and a flexible wiring portion 509 is formed. Further, a cover coat 505 is stacked on the surface of the conductor 502 (conductive layers LY1 and LY10) other than the opening, and a rigid wiring portion 510 is formed. The cover lay 508 is a soft film for protecting the surface of the flexible printed wiring portion 509. Here, the thermoplastic resin 501 exposed on the surface of the openings 506 and 507 or the opening 506, Polyimide or the like attached to 507 later is used. The thermosetting resin 504 can not generally be used as the coverlay 508 because the flame retardancy is low.
 このように、本発明の多層基板は、リジットフレキシブル配線板のリジット配線部と、フレキシブル配線部を自由に形成できるので設計上の自由度が高められる。このため、本発明の多層基板は、上述の作成方法を選択することによりリジット配線板やフレキシブル配線板としても使用することができる。また、バンプによるビルドアップ工法で作成するため、層数を変更することもできる。 As described above, in the multilayer substrate of the present invention, since the rigid wiring portion and the flexible wiring portion of the rigid flexible wiring board can be freely formed, the degree of freedom in design is enhanced. For this reason, the multilayer board of the present invention can be used also as a rigid wiring board or a flexible wiring board by selecting the above-mentioned production method. In addition, the number of layers can be changed because the build-up method using bumps is used.
 図6乃至図10は、本発明の多層基板の製造方法の一実施形態を説明する図である。 6 to 10 are views for explaining one embodiment of a method of manufacturing a multilayer substrate according to the present invention.
 図6において、まず、熱可塑性樹脂601の両面に導体602(導電層LY3、LY4)を形成して、積層ユニット600を作成する。なお、熱可塑性樹脂601の内部には、バンプ603が印刷され、2層(導電層LY3、LY4等)の配線層を接続する配線パターンが形成される。このバンプ印刷の工程は、図1乃至図4で示した工程と同様の方法で行われる。また、積層する際に内側になる面の導体602には、積層する前にエッチングを行い、積層する際に外側になる面の導体602には、積層後にエッチングを行うが、ここでは、説明を省略する。 In FIG. 6, first, conductors 602 (conductive layers LY3 and LY4) are formed on both sides of a thermoplastic resin 601 to form a stacked unit 600. Bumps 603 are printed inside the thermoplastic resin 601 to form a wiring pattern for connecting two wiring layers (conductive layers LY 3, LY 4, etc.). The bump printing process is performed in the same manner as the processes shown in FIGS. 1 to 4. In addition, the conductor 602 on the inner side during lamination is etched before lamination, and the conductor 602 on the outer side during lamination is etched after lamination, but here the description will be described. I omit it.
 次に、熱可塑性樹脂601の両面に導体602(導電層LY5、LY6)を形成し、導体602(導電層LY5)側の面にバンプ603を印刷して、積層ユニット610を作成する。 Next, the conductors 602 (conductive layers LY5 and LY6) are formed on both surfaces of the thermoplastic resin 601, and the bumps 603 are printed on the surface on the conductor 602 (conductive layer LY5) side to form a stacked unit 610.
 図7Aにおいて、熱可塑性樹脂601の両面に導体602(導電層LY1、LY2)を形成して、導体602(導電層LY2)の表面に接着用の熱硬化性樹脂604を配置し、積層ユニット720を作成する。 In FIG. 7A, conductors 602 (conductive layers LY1 and LY2) are formed on both sides of a thermoplastic resin 601, and a thermosetting resin 604 for bonding is disposed on the surface of the conductor 602 (conductive layer LY2). Create
 なお、図7Aにおいて、後述するフレキシブル配線部609を成形したい場合は、熱硬化性樹脂604に開口部を設け、その開口部にスペーサ605としてポリイミドフィルムなどを配置して、積層後に剥離できるようにしておく。ここでは、熱硬化性樹脂604、導体602(導電層LY2)、および、後述する図7Bに示す導体602(導電層LY3)に開口部を設ける。 7A, when it is desired to form a flexible wiring portion 609 described later, an opening is provided in the thermosetting resin 604, and a polyimide film or the like is disposed as the spacer 605 in the opening so that peeling can be performed after lamination. Keep it. Here, an opening is provided in the thermosetting resin 604, the conductor 602 (conductive layer LY2), and the conductor 602 (conductive layer LY3) shown in FIG. 7B described later.
 次に、図7Bにおいて、上述の積層ユニット600、610を接着用の熱硬化性樹脂604で挟んで積層し、導体602(導電層LY3)側の面にバンプ603を印刷して、積層ユニット730を作成する。 Next, in FIG. 7B, the above-mentioned lamination unit 600, 610 is sandwiched between the thermosetting resin 604 for adhesion and laminated, and the bump 603 is printed on the surface on the side of the conductor 602 (conductive layer LY3). Create
 同様に、図7Cにおいて、熱可塑性樹脂601の両面に導体602(導電層LY7、LY8)を形成し、導体602(導電層LY8)側の面にバンプ603を印刷して、積層ユニット740を作成する。 Similarly, in FIG. 7C, the conductor 602 (conductive layers LY7 and LY8) is formed on both sides of the thermoplastic resin 601, and the bumps 603 are printed on the surface on the conductor 602 (conductive layer LY8) side to create a stacked unit 740. Do.
 次に、図7Dにおいて、熱可塑性樹脂601の両面に導体602(導電層LY9、LY10)を形成して、導体602(導電層LY9)の表面に接着用の熱硬化性樹脂604を配置し、積層ユニット750を作成する。上述のように、フレキシブル配線部609を成形したい場合は、熱硬化性樹脂604に熱可塑性樹脂601の表面が露出するように開口部を設け、その開口部にスペーサ605としてポリイミドフィルムなどを配置して、積層後に剥離できるようにしておく。ここでは、熱硬化性樹脂604、および、導体602(導電層LY9)、および、上述の図7Cに示した導体602(導体層LY8)に開口部を設ける。 Next, in FIG. 7D, conductors 602 (conductive layers LY9 and LY10) are formed on both sides of the thermoplastic resin 601, and a thermosetting resin 604 for bonding is disposed on the surface of the conductor 602 (conductive layer LY9), The lamination unit 750 is created. As described above, when it is desired to form the flexible wiring portion 609, an opening is provided in the thermosetting resin 604 so that the surface of the thermoplastic resin 601 is exposed, and a polyimide film or the like is disposed as the spacer 605 in the opening. And allow them to peel off after lamination. Here, an opening is provided in the thermosetting resin 604, the conductor 602 (conductive layer LY9), and the conductor 602 (conductor layer LY8) illustrated in FIG. 7C described above.
 図8において、積層ユニット720と、積層ユニット730とを積層し、積層ユニット860を作成する。同様に、積層ユニット740と積層ユニット750とを積層し、導体602(導電層LY7)の表面にバンプ603を印刷し、積層ユニット870を作成する。 In FIG. 8, the lamination unit 720 and the lamination unit 730 are laminated to form a lamination unit 860. Similarly, the lamination unit 740 and the lamination unit 750 are laminated, and the bumps 603 are printed on the surface of the conductor 602 (conductive layer LY7) to form a lamination unit 870.
 図9において、積層ユニット860と積層ユニット870とを接着用の熱硬化性樹脂604を挟んで積層し、10層の積層ユニット980を作成する。フレキシブル配線部609を設ける場合は、外形加工前にフレキシブル開口部にスリット加工を施し、蓋取りを行えるようにする。 In FIG. 9, the lamination unit 860 and the lamination unit 870 are laminated with the thermosetting resin 604 for bonding interposed therebetween, to form a 10-layer lamination unit 980. In the case where the flexible wiring portion 609 is provided, the flexible opening is slitted before outer shape processing so that lid removal can be performed.
 図10において、最後にカバーコートやめっき処理を行い、その後蓋取りを行い、フレキシブル配線部609を露出させ、10層のリジットフレキシブル配線板1090を完成させる。なお、フレキシブル配線部609の表面には、カバーレイ608として熱可塑性樹脂601、ポリイミドなどが使用できる。また、フレキシブル配線部609以外の部分は、リジット配線部610となる。 In FIG. 10, finally, a cover coat and plating treatment are performed, and then lid removal is performed to expose the flexible wiring portion 609, and a rigid flexible wiring board 1090 of 10 layers is completed. A thermoplastic resin 601, polyimide, or the like can be used as the cover lay 608 on the surface of the flexible wiring portion 609. Further, portions other than the flexible wiring portion 609 become the rigid wiring portion 610.
 以上のように、本発明によれば、高周波領域で安定して優れた電気特性(例えば低誘電率、低誘電正接、低吸湿)を有する材料を使用することにより、高速伝送に対応でき、また、これらの材料をビルドアップ工法により積層することにより、現在より薄型の多層基板、および、その製造方法を提供することができる。 As described above, according to the present invention, high speed transmission can be supported by using a material having stable and excellent electric characteristics (for example, low dielectric constant, low dielectric loss tangent, low moisture absorption) in a high frequency region, and By laminating these materials by the build-up method, it is possible to provide a thinner multilayer substrate and a method of manufacturing the same.
 100、110、220、230、340、350、460、600、610、720、730、740、750、860、870、980 積層ユニット
 101、501、601 熱可塑性樹脂
 102、502、602 導体
 103、503、603 バンプ(ビア)
 104、504、604 熱硬化性樹脂
 500、1090 積層基板
 505 カバーコート
 506、507 開口部
 508、608 カバーレイ
 509、609 フレキシブル配線部
 510、610 リジット配線部
 605 スペーサ
100, 110, 220, 230, 340, 350, 460, 600, 610, 720, 730, 740, 750, 860, 870, 980 Laminated unit 101, 501, 601 Thermoplastic resin 102, 502, 602 Conductor 103, 503 , 603 bumps (vias)
104, 504, 604 thermosetting resin 500, 1090 laminated substrate 505 cover coat 506, 507 opening 508, 608 cover lay 509, 609 flexible wiring portion 510, 610 rigid wiring portion 605 spacer

Claims (11)

  1.  導電層と、絶縁層とを交互に積層する多層基板であって、
     前記絶縁層として熱可塑性樹脂と、熱硬化性絶縁樹脂とを交互に順次積層させる多層構造を有する多層基板。
    A multilayer substrate in which conductive layers and insulating layers are alternately stacked,
    A multilayer substrate having a multilayer structure in which a thermoplastic resin and a thermosetting insulating resin are alternately and sequentially laminated as the insulating layer.
  2.  複数の前記熱可塑性樹脂の両面に前記導体層を形成し、2層基板を複数作成し、複数の前記2層基板の間に前記熱硬化性絶縁樹脂を接着層として、積層することにより前記多層構造を作成することを特徴とする請求項1に記載の多層基板。 The conductor layer is formed on both sides of a plurality of the thermoplastic resins, a plurality of two-layer substrates are formed, and the thermosetting insulating resin is laminated between the plurality of two-layer substrates as an adhesive layer, thereby forming the multilayer The multilayer substrate according to claim 1, wherein a structure is created.
  3.  前記熱可塑性樹脂として、液晶ポリマーを使用することを特徴とする請求項1に記載の多層基板。 The multilayer substrate according to claim 1, wherein a liquid crystal polymer is used as the thermoplastic resin.
  4.  前記多層構造は、メッキ工程を行わず、バンプビルドアップ工法により積層されることを特徴とする請求項1に記載の多層基板。 The multilayer substrate according to claim 1, wherein the multilayer structure is stacked by a bump build-up method without performing a plating process.
  5.  前記請求項1乃至4のうちのいずれかに記載の多層構造を有する多層プリント配線板。 The multilayer printed wiring board which has a multilayer structure in any one of the said Claims 1 thru | or 4.
  6.  前記請求項1乃至4のうちのいずれかに記載の多層構造を有する多層フレキシブル配線板。 The multilayer flexible wiring board which has a multilayer structure in any one of the said Claims 1 thru | or 4.
  7.  前記請求項1乃至4のうちのいずれかに記載の多層構造を有する多層リジットフレキシブル配線板。 The multilayer rigid flexible wiring board which has a multilayer structure in any one of the said Claim 1 thru | or 4.
  8.  前記多層リジットフレキシブル配線板に開口部を設け、当該開口部にポリイミドまたは液晶ポリマーのカバーレイを設け、前記導体層を複数有するフレキシブル構造を形成することを特徴とする請求項7に記載の多層リジットフレキシブル配線板。 The multilayer rigid body according to claim 7, characterized in that an opening is provided in the multilayer rigid flexible wiring board, a cover lay of polyimide or liquid crystal polymer is provided in the opening, and a flexible structure having a plurality of the conductor layers is formed. Flexible wiring board.
  9.  導電層と、絶縁層とを交互に積層する多層基板の製造方法であって、
     前記絶縁層として熱可塑性樹脂と、熱硬化性絶縁樹脂とを交互に順次積層させることを特徴とする多層基板の製造方法。
    A method of manufacturing a multilayer substrate in which conductive layers and insulating layers are alternately stacked,
    A manufacturing method of a multilayer substrate comprising laminating alternately a thermoplastic resin and a thermosetting insulating resin as said insulating layer.
  10.  複数の前記熱可塑性樹脂の両面に前記導体層を形成し、2層基板を複数作成し、複数の前記2層基板の間に前記熱硬化性絶縁樹脂を接着層として、積層することにより前記多層基板を作成することを特徴とする請求項9に記載の多層基板の製造方法。 The conductor layer is formed on both sides of a plurality of the thermoplastic resins, a plurality of two-layer substrates are formed, and the thermosetting insulating resin is laminated between the plurality of two-layer substrates as an adhesive layer, thereby forming the multilayer The method of manufacturing a multilayer substrate according to claim 9, wherein the substrate is formed.
  11.  前記多層基板に開口部を設け、当該開口部にポリイミドまたは液晶ポリマーのカバーレイを設け、前記導体層を複数有するフレキシブル構造を形成することを特徴とする請求項9に記載の多層基板の製造方法。 The method for manufacturing a multilayer substrate according to claim 9, characterized in that an opening is provided in the multilayer substrate, a cover lay of polyimide or liquid crystal polymer is provided in the opening, and a flexible structure having a plurality of the conductor layers is formed. .
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