WO2015068608A1 - 板ガラスの切断方法 - Google Patents

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WO2015068608A1
WO2015068608A1 PCT/JP2014/078558 JP2014078558W WO2015068608A1 WO 2015068608 A1 WO2015068608 A1 WO 2015068608A1 JP 2014078558 W JP2014078558 W JP 2014078558W WO 2015068608 A1 WO2015068608 A1 WO 2015068608A1
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WO
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slow cooling
plate glass
laser
cooling laser
glass
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Application number
PCT/JP2014/078558
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English (en)
French (fr)
Inventor
尚利 稲山
Original Assignee
日本電気硝子株式会社
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B25/00—Annealing glass products
    • C03B25/02—Annealing glass products in a discontinuous way
    • C03B25/025—Glass sheets
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00—Severing cooled glass
    • C03B33/08—Severing cooled glass by fusing, i.e. by melting through the glass
    • C03B33/082—Severing cooled glass by fusing, i.e. by melting through the glass using a focussed radiation beam, e.g. laser
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C23/00—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments
    • C03C23/0005—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments by irradiation
    • C03C23/0025—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments by irradiation by a laser beam

Definitions

  • the present invention relates to laser fusing that cuts a sheet glass by irradiating the sheet glass with laser and removing molten glass melted by heating with the laser.
  • Laser fusing is known as one method of cutting plate glass.
  • This laser fusing is a method of cutting a plate glass by irradiating the plate glass to be cut with a laser and removing the molten glass melted by heating with the laser by spraying an assist gas or the like.
  • the plate glass is cut by this laser fusing, there are the following difficulties. That is, when cutting progresses, the plate glass is rapidly heated by the heat of the laser and then rapidly cooled by natural cooling, so that residual strain is generated at the cut end portion formed in the plate glass by cutting. Due to this, when a defect occurs in the cut end due to an impact or the like, the plate glass may be broken due to cracking or the like.
  • Patent Document 1 A method for solving such a problem caused by residual strain is disclosed in Patent Document 1.
  • the sheet glass is cut by a fusing laser focused on the plate glass, and the defocused grading is performed so as to include the irradiation region of the fusing laser and straddle the irradiation region before and after the cutting progress direction.
  • a method for irradiating a plate glass with a cooling laser is disclosed.
  • Patent Document 1 Even the method disclosed in Patent Document 1 still has the following problems to be solved.
  • the defocused slow cooling laser L2 irradiated on the plate glass G heats the periphery of the irradiation region of the fusing laser L1 focused on the plate glass G. Further, since the slow cooling laser L2 is irradiated from the upper surface Ga side of the plate glass G, the upper surface Ga side of the upper and lower surfaces Ga and Gb of the plate glass G receives heat energy from the slow cooling laser L2 more than the lower surface Gb side. Absorb much.
  • the glass L is irradiated with the defocused fusing laser L1.
  • the amount of molten glass that is melted by heating by the fusing laser L1 becomes excessive, the shape of the cut end is deteriorated, the heat energy for cutting is insufficient, and cutting of the plate glass G itself is not performed. There was a problem that could be possible.
  • the present invention made in view of the above circumstances is a smooth plate glass that suppresses deformation of the plate glass when the plate glass is cut by the fusing laser and the annealing laser is irradiated to the region including the irradiation region of the fusing laser. It is a technical problem to enable cutting of the substrate.
  • the present invention which was created to solve the above problems, irradiates a cutting glass by irradiating a cutting laser along a planned cutting line, and irradiates a region including the irradiation region of the fusing laser with a slow cooling laser.
  • the sheet glass cutting method is characterized by irradiating the first slow cooling laser from one side of the surface of the plate glass and irradiating the second slow cooling laser from the other side.
  • the plate glass is heated from both one side and the other side by the first slow cooling laser and the second slow cooling laser. For this reason, compared with the case where a plate glass is heated only from the single side
  • the area of the overlapping region where the irradiation region of the first slow cooling laser and the irradiation region of the second slow cooling laser overlap each other through the plate glass is, It is preferably 20% or more of the area of the wider region.
  • the area of the overlapping region where the irradiation region of the first slow cooling laser and the irradiation region of the second slow cooling laser overlap each other through the plate glass is ensured. This makes it easy to equalize the degree of thermal expansion of the plate glass between the one side and the other side of the plate glass. Accordingly, it is possible to more suitably suppress the deformation of the plate glass.
  • the optical axis of the first slow cooling laser is A separation distance S at which the intersection point with one surface of the plate glass and the intersection point between the optical axis of the second slow cooling laser and the other surface of the plate glass are separated along the surface of the plate glass is 0 ⁇ (2S /(D1+D2)) ⁇ 0.3 is preferably satisfied.
  • the “diameter in the irradiation region of the first (second) slow cooling laser” means the diameter of a circle having an area equal to the area of the irradiation region of the first (second) slow cooling laser.
  • the shape of the irradiation region of the first (second) slow cooling laser is an ellipse, it means the diameter of a circle having the same area as the ellipse.
  • the ratio of the outputs of the two slow cooling lasers (P1 / P2) is 0. It is preferable to satisfy 5 ⁇ (P1 / P2) ⁇ 2.0. Furthermore, it is preferable that the value of the ratio of the diameters of the two irradiation areas (D2 / D1) satisfies 0.5 ⁇ (D2 / D1) ⁇ 2.0.
  • the plate glass is melted into a product part and a non-product part with the planned cutting line as a boundary, and an irradiation area of the first slow cooling laser and an irradiation area of the second slow cooling laser Is preferably biased toward the product part side rather than the non-product part side.
  • the residual strain can be reliably reduced at the cut end formed in the product part by cutting. Is possible.
  • the irradiation region of the first slow cooling laser and the irradiation region of the second slow cooling laser are elongated in a direction perpendicular to the planned cutting line.
  • the optical axis of the first slow cooling laser and the optical axis of the second slow cooling laser are inclined with respect to the surface of the plate glass.
  • the optical axis of the first slow cooling laser and the optical axis of the second slow cooling laser are not on the same straight line.
  • the laser light emitted from one side is formed on the plate glass by the light transmitted through the plate glass or by the progress of cutting. It is possible to avoid the occurrence of a situation in which light that has passed through the opening including the cutting groove (the portion from which the molten glass has been removed) enters the other. Therefore, these irradiators can be prevented from being damaged.
  • the present invention when a plate glass is cut by a fusing laser, deformation of the plate glass can be suppressed when a region including the irradiation region of the fusing laser is irradiated with a slow cooling laser. Therefore, it becomes possible to cut the flat glass smoothly.
  • the plate glass cutting method described below is preferably used for cutting plate glass having a thickness of 10 ⁇ m to 500 ⁇ m. Further, it is more preferably used for cutting a plate glass having a thickness of 10 [ ⁇ m] to 300 [ ⁇ m], and most preferably used for cutting a plate glass having a thickness of 10 [ ⁇ m] to 200 [ ⁇ m].
  • FIG. 1 is a front view showing a sheet glass fusing device
  • FIG. 2 is a plan view showing an irradiation mode of each laser irradiated on the plate glass to be cut (in FIG. 2, a plate glass fusing device). (The illustration of the components is omitted).
  • the sheet glass fusing device is a cutting line CL (extending in a direction perpendicular to the paper surface in FIG. 1) serving as a boundary between the product part G1 and the non-product part G2 of the sheet glass G.
  • an assist gas injector 3 for injecting an assist gas A toward the irradiation region V of the fusing laser L1, and a process (not shown) for moving the placed plate glass G in parallel with the planned cutting line CL
  • the stand is the main element.
  • the processing table is composed of two movable tables arranged in parallel to each other. Each of the two movable tables supports an end portion of the plate glass G parallel to the planned cutting line CL from below. And it is the structure which moves the plate glass G mounted on the table in parallel with the cutting projected line CL. Note that the plate glass G may be moved by a conveyor belt or the like instead of the processing table.
  • the laser irradiator 1 for fusing is installed on the upper surface Ga side of the plate glass G in a fixed state.
  • a carbon dioxide gas laser with a wavelength of 10.6 [ ⁇ m] is used as the fusing laser L1
  • the output of the fusing laser L1 is the processing speed (cutting speed) and thickness of the plate glass G. What is necessary is just to adjust according to the beam diameter etc. of the laser L1 for fusing.
  • the fusing laser L1 emitted from the fusing laser irradiator 1 is irradiated so that its optical axis Z1 extends perpendicularly to the surface (upper surface Ga and lower surface Gb) of the plate glass G.
  • the focal point F1 of the fusing laser L1 is positioned within the thickness range of the plate glass G, and the fusing laser L1 is focused on the plate glass G.
  • the processing table on which the plate glass G is placed in parallel with the planned cutting line CL as shown in FIG. 2, the irradiation region V of the fusing laser L1 is relatively aligned along the planned cutting line CL.
  • the glass is sequentially melted along the planned cutting line CL by heating with the laser L1 for fusing, and the glass sheet G is cut into the product part G1 and the non-product part G2 by removing the molten glass. (Fused out).
  • Each of the slow cooling laser irradiators 21 and 22 is installed in a state of being fixed to a fixed point in the same manner as the fusing laser irradiator 1.
  • the slow cooling laser irradiator 21 is disposed on the upper surface Ga side of the plate glass G
  • the slow cooling laser irradiator 22 is disposed on the lower surface Gb side of the plate glass G.
  • carbon dioxide gas lasers having a wavelength of 10.6 [ ⁇ m] are used as the first slow cooling laser L21 and the second slow cooling laser L22.
  • the outputs P1 and P2 of the slow cooling lasers L21 and L22 may be adjusted according to the processing speed (cutting speed) and thickness of the plate glass G, the beam diameter of each of the slow cooling lasers L21 and L22, and the like. .
  • the first slow cooling laser L21 irradiated from the slow cooling laser irradiator 21 has its optical axis Z21 inclined at an angle ⁇ a with respect to the upper surface Ga of the plate glass G and orthogonal to the planned cutting line CL in plan view. Irradiated to extend in the direction of.
  • the second slow cooling laser L22 irradiated from the slow cooling laser irradiator 22 has its optical axis Z22 inclined at an angle ⁇ b with respect to the lower surface Gb of the glass sheet G, and a planned cutting line in plan view. Irradiation extends in a direction perpendicular to CL.
  • the inclination angle ⁇ a at which the optical axis Z21 is inclined with respect to the upper surface Ga of the plate glass G is preferably 20 [°] to 80 [°].
  • the inclination angle ⁇ b at which the optical axis Z22 is inclined with respect to the lower surface Gb of the glass sheet G is preferably 20 [°] to 80 [°].
  • the focal point F21 of the first slow cooling laser L21 is located between the slow cooling laser irradiator 21 and the plate glass G, and the focal point F22 of the second slow cooling laser L22 is the slow cooling laser irradiator. 22 and the glass sheet G. That is, the focal points F21 and F22 of the two slow cooling lasers L22 are positioned so as to be out of the thickness range of the plate glass G, unlike the focal point F1 of the fusing laser L1.
  • the defocused both slow cooling lasers L21 and L22 are irradiated onto the plate glass G, and the irradiation areas Wa and Wb of both the slow cooling lasers L21 and L22 are long in a direction perpendicular to the planned cutting line CL. It is formed in an oval shape.
  • the laser irradiators 21 and 22 for both slow cooling are irradiated with the laser L1 for fusing each of the irradiation region Wa of the first slow cooling laser L21 and the irradiation region Wb of the second slow cooling laser L22.
  • the glass plate G is irradiated with both the slow cooling lasers L21 and L22 so as to include the region V. That is, the irradiation region Wa and the irradiation region Wb have an overlapping region that overlaps each other via the plate glass G, and the overlapping region includes the irradiation region V of the fusing laser L1.
  • the laser irradiators 21 and 22 for both slow cooling use both the lasers L21 and Sb for the slow cooling so that each of the irradiation regions Wa and Wb is biased to the product part G1 side rather than the non-product part G2 side of the plate glass G.
  • the sheet glass G is irradiated with L22.
  • intersection Ta between the optical axis Z21 of the first slow cooling laser L21 and the upper surface Ga of the plate glass G and the intersection Tb between the optical axis Z22 of the second slow cooling laser L22 and the lower surface Gb of the plate glass G are: Are separated along the surface (upper surface Ga and lower surface Gb).
  • the irradiation area Wb is biased toward the product part G1 by the distance S between the intersection Ta and the intersection Tb with respect to the irradiation area Wa.
  • the processing table on which the glass sheet G is placed moves in parallel with the planned cutting line CL, so that the irradiation areas Wa and Wb of the lasers L21 and L22 for both slow cooling become the planned cutting line as shown in FIG. It moves in the X direction relatively along CL.
  • fusing) by the laser L1 for fusing is annealed.
  • the focal points F21 and F22 of the slow cooling lasers L21 and L22 are both positioned between the slow cooling laser irradiators 21 and 22 and the glass sheet G. Absent. It is good also as a structure which arrange
  • the area of the overlapping region where the irradiation region Wa of the first slow cooling laser L21 and the irradiation region Wb of the second slow cooling laser L22 overlap with each other via the plate glass G is the two irradiation regions Wa, It is preferable that it is 20% or more of the area of the wider region of Wb.
  • the separation distance S separated along the surface of the glass sheet G preferably satisfies the relationship 0 ⁇ (2S / (D1 + D2)) ⁇ 0.3, and 0 ⁇ (2S / (D1 + D2)) ⁇ 0.15. Is more preferable, and it is most preferable that the relationship 0 ⁇ (2S / (D1 + D2)) ⁇ 0.1 is satisfied.
  • the “diameter D1 (D2) in the irradiation region Wa (Wb)” means the diameter of a circle having an area equal to the area of the irradiation region Wa (Wb) (hereinafter the same). That is, in the present embodiment, it means the diameter of a circle having an area equal to the area of the irradiation area Wa (Wb) having an elliptical shape.
  • the ratio of the diameter (D2 / D1) between the diameter D1 in the irradiation region Wa of the first slow cooling laser L21 and the diameter D2 in the irradiation region Wb of the second slow cooling laser L22 is 0.5 ⁇ It is preferable to satisfy (D2 / D1) ⁇ 2.0, more preferably 0.7 ⁇ (D2 / D1) ⁇ 1.5, and 0.9 ⁇ (D2 / D1) ⁇ 1.1. Most preferred.
  • the ratio of the output (P1 / P2) between the output P1 of the first slow cooling laser L21 and the output P2 of the second slow cooling laser L22 is 0.5 ⁇ (P1 / P2) ⁇ 2. 0.0, preferably 0.7 ⁇ (P1 / P2) ⁇ 1.5, and most preferably 0.9 ⁇ (P1 / P2) ⁇ 1.1.
  • the assist gas injector 3 is installed in a fixed state in the same manner as the fusing laser irradiator 1 and the slow cooling laser irradiators 21 and 22.
  • the nozzle of the assist gas injector 3 is installed in parallel with the upper surface Ga of the plate glass G and extends in a direction perpendicular to the planned cutting line CL.
  • the assist gas A injected from the assist gas injector 3 is injected from the product part G1 side of the plate glass G toward the non-product part G2 side along the upper surface Ga of the plate glass G, and the laser L1 for fusing It passes over the irradiation area V. Thereby, the molten glass melted in the irradiation region V of the fusing laser L1 is scattered to the non-product part G2 side, and the cutting (melting) of the plate glass G is assisted.
  • the injection amount of the assist gas A is preferably 10 [l / min] to 100 [l / min].
  • the structure installed in both the upper surface Ga side and the lower surface Gb side may be sufficient as the assist gas injector 3.
  • the plate glass G has the same degree of ease of thermal energy accumulation between the upper surface Ga side and the lower surface Gb side due to the cutting mode of the plate glass G, the surrounding environment, and the like. It may be different. That is, the plate glass G has (1) the case where the easiness of thermal expansion is comparable between the upper surface Ga side and the lower surface Gb side, and (2) the upper surface Ga side is more likely to thermally expand, There are cases where the Ga side is easily deformed so as to be convex, and (3) the lower surface Gb side is likely to be thermally expanded, and the lower surface Gb side is likely to be deformed.
  • the assist gas A is injected from the assist gas injector 3 only on the upper surface Ga side. Therefore, the upper surface Ga side is more easily cooled by the assist gas A than the lower surface Gb side, so that heat energy is difficult to accumulate, and the plate glass G is placed in a state where it is easily deformed so that the lower surface Gb side is convex. (Corresponding to the case of (3) above).
  • the outputs P1 and P2 of the lasers L21 and L22 for both slow cooling and the diameters D1 and D2 of the irradiation areas Wa and Wb are substantially equal between the lasers L21 and L22 for both slow cooling. Therefore, it is preferable to make the values uniform.
  • the output value of the slow cooling laser arranged on the side that tends to be convex and the value of the diameter of the irradiation region of the slow cooling laser It is preferable to make at least one smaller than the side that is difficult to be convex.
  • the ratio of the outputs of the lasers L21 and L22 for slow cooling (P1 / P2) and the ratio of the diameters of the irradiation areas Wa and Wb (D2 / D1) are within the above-described preferable values. Adjust to fit inside.
  • the plate glass G can only be deformed so that the upper surface Ga side is convex, or (5) the lower surface In some cases, the deformation can be made only so that the Gb side is convex. In other words, in the case of the above (4), even if both the slow cooling lasers L21 and L22 are irradiated to the plate glass G under the condition that the lower surface Gb side is intentionally deformed, the lower surface Gb side is Does not deform convexly.
  • the sheet glass fusing device when the plate glass G is placed on a surface plate instead of the processing table, the lower surface Gb side of the plate glass G is deformed to be convex due to the presence of the surface plate. Therefore, even if the plate glass G is deformed, the plate glass G is placed in a state where it can only be deformed so that the upper surface Ga side is convex (corresponding to the case of (4) above).
  • the ratio of the outputs of the lasers L21 and L22 for slow cooling (P1 / P2) and the ratio of the diameters of the irradiation areas Wa and Wb (D2 / D1) are within the above-described preferable values. Adjust to fit inside. *
  • the glass sheet G is heated from both the upper surface Ga side and the lower surface Gb side by the first slow cooling laser L21 and the second slow cooling laser L22. For this reason, compared with the case where the plate glass G is heated only from the upper surface Ga side or the lower surface Gb side, it becomes difficult to produce a difference in the degree of thermal expansion of the plate glass G between the upper surface Ga side and the lower surface Gb side. .
  • the deformation of the plate glass G is suppressed in the irradiation regions Wa and Wb of the laser annealing lasers L21 and L22 including the irradiation region V of the fusing laser L1, the focal point F1 of the fusing laser L1 and the plate glass G are reduced. It is possible to suppress the occurrence of a situation where the positional relationship changes unjustly.
  • the area of the overlapping region where the irradiation region Wa of the first slow cooling laser L21 and the irradiation region Wb of the second slow cooling laser L22 overlap each other through the plate glass G is defined as both irradiation regions Wa and Wb.
  • the area of the wider region is 20% or more, a large area of the overlapping region is secured. Therefore, it becomes easy to equalize the degree of thermal expansion of the plate glass G between the upper surface Ga side and the lower surface Gb side of the plate glass G. Accordingly, it is possible to more suitably suppress the deformation of the plate glass G.
  • the plate glass G is cut by the fusing laser L1, and the region including the irradiation region V of the fusing laser L1 includes the upper surface Ga side and the lower surface Gb side.
  • the deformation of the glass sheet G can be suppressed by irradiating the slow cooling lasers L21 and L22 from both.
  • disconnection of the plate glass G is attained.
  • this cutting method of plate glass the following effects can be further obtained.
  • both slow cooling lasers L21 and L22 are applied to the plate glass G so that each of the irradiation regions Wa and Wb is biased toward the product part G1 side rather than the non-product part G2 side of the plate glass G. Therefore, the product part G1 side is preferentially cooled by both slow cooling lasers L21 and L22, so that residual strain can be reliably reduced at the cut end Gc formed in the product part G1 by cutting. It becomes. This effect is further enhanced by the fact that the irradiation regions Wa and Wb of the slow cooling lasers L21 and L22 are elongated in the direction orthogonal to the planned cutting line CL.
  • both the optical axis Z21 of the first slow cooling laser L21 and the optical axis Z22 of the second slow cooling laser L22 are inclined with respect to the surface (upper surface Ga and lower surface Gb) of the plate glass G.
  • the light of the lasers L21 and L22 for both slow cooling irradiated to the plate glass G is reflected by the surface of the plate glass G, and the laser irradiators 21 and 22 for both slow cooling which have irradiated these lasers L21 and L22. It is possible to avoid the occurrence of a situation where the light is incident on the screen. For this reason, it becomes possible to prevent suitably that both the irradiation devices 21 and 22 are damaged.
  • the optical axis Z21 of the first slow cooling laser L21 and the optical axis Z22 of the second slow cooling laser L22 do not exist on the same straight line. For this reason, out of the laser light irradiated from one of the laser irradiators 21 and 22 for both slow cooling, the light transmitted through the plate glass G or the cutting groove formed in the plate glass G by the progress of cutting It is possible to avoid the occurrence of a situation in which light that has passed through the included opening (the portion from which the molten glass has been removed) is incident on the other. As a result, it is possible to more suitably prevent both of the slow cooling laser irradiators 21 and 22 from being damaged.
  • the cutting method of the plate glass according to the present invention is not limited to the aspect described in the above embodiment.
  • the plate glass G in the state which fixed the position of the laser irradiation device 1 for fusing, the laser irradiation devices 21 and 22 for both slow cooling, and the assist gas injector 3, the plate glass G is moved and the said glass plate G is cut
  • this is not a limitation.
  • the cutting glass irradiator 1, the two slow cooling laser irradiators 21, 22, and the assist gas injector 3 move in synchronization with the plate glass G whose position is fixed, thereby cutting the plate glass G. It is good also as a mode which performs.
  • the fusing laser L1 is irradiated from the upper surface Ga side of the glass sheet G, but may be irradiated from the lower surface Gb side.
  • the optical axis Z1 of the fusing laser L1 extends vertically with respect to the surface of the plate glass G. However, it may be inclined with respect to the surface of the plate glass G.
  • the optical axis Z1 may extend in any direction as long as it points to the planned cutting line CL.
  • both laser irradiators 21 and 22 for slow cooling are arrange
  • the optical axes Z21 and Z22 of the lasers for slow cooling L21 and L22 extend in a direction perpendicular to the planned cutting line CL in plan view, but this is not a limitation. As long as the slow cooling lasers L21 and L22 are irradiated to the region including the irradiation region V of the fusing laser L1, each of the optical axes Z21 and Z22 may extend in an arbitrary direction.
  • the glass sheet G is cut by the fusing laser L1, and the regions Wa and Wb including the irradiation region V of the fusing laser L1 are irradiated with the slow cooling lasers L21 and L22. did. And in each test, it verified about the curvature (deformation) which generate
  • the glass sheet G to be cut As the glass sheet G to be cut, OA-10G (thickness: 100 mm [ ⁇ m]) manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd. was used.
  • the power of the fusing laser L1 was 21.5 [W]
  • the diameter of the irradiation region V of the fusing laser L1 was 120 [ ⁇ m].
  • the speed (processing speed) at which the irradiation region V of the fusing laser L1 moves in the X direction relative to the plate glass G was set to 60 [mm / s].
  • the injection amount of the assist gas A was 20 [l / min].
  • the quality was judged visually. As shown in Tables 1 to 3 below, the determination of warpage was performed in four stages of ⁇ , ⁇ , ⁇ , and ⁇ in order from the one with the best result.
  • the output P1 of the first slow cooling laser L21 was set to 70 [W].
  • the angle ⁇ a at which the optical axis Z21 of the first slow cooling laser L21 is inclined with respect to the surface of the plate glass G is 45 [°].
  • the shape of the irradiation region Wa of the first slow cooling laser L21 was an ellipse having a major axis ⁇ minor axis of 14 [mm] ⁇ 9 [mm]. That is, the diameter D1 in the irradiation region Wa is the diameter of a circle having the same area as this ellipse.
  • the output P2 of the second slow cooling laser L22 was 70 [W].
  • the diameter D2 in the irradiation region Wb (circular shape) of the second slow cooling laser L22 was 12 [mm].
  • the “downstream side deviation” means that the position of the intersection point Tb is displaced by the separation distance S in the rear in the X direction with respect to the position of the intersection point Ta.
  • “Product side deviation” means that the position of the intersection Tb is shifted from the position of the intersection Ta by the separation distance S toward the product part G1 in the direction orthogonal to the X direction.
  • “Non-product side deviation” means that the position of the intersection point Tb is displaced from the position of the intersection point Ta by the separation distance S toward the non-product part G2 in the direction orthogonal to the X direction.
  • the angle ⁇ a at which the optical axis Z21 of the first slow cooling laser L21 was inclined with respect to the surface of the plate glass G was 45 [°].
  • the shape of the irradiation region Wa of the first slow cooling laser L21 was an ellipse having a major axis ⁇ minor axis of 14 [mm] ⁇ 9 [mm].
  • the diameter D2 of the irradiation region Wb (circular) of the second slow cooling laser L22 was set to 12 [mm].
  • the glass sheet G is changed while changing the output P1 of the first slow cooling laser L21 and the output P2 of the second slow cooling laser L22.
  • the meaning of this deviation mode is as follows. “Upper large” means that the output P1 of the first slow cooling laser L21 is larger than the output P2 of the second slow cooling laser L22. “Same as upper and lower” means that the output P1 of the first slow cooling laser L21 is equal to the output P2 of the second slow cooling laser L22. “Lower large” means that the output P2 of the second slow cooling laser L22 is larger than the output P1 of the first slow cooling laser L21.
  • the output P1 of the first slow cooling laser L21 was 70 [W].
  • the angle ⁇ a at which the optical axis Z21 of the first slow cooling laser L21 is inclined with respect to the surface of the plate glass G is 45 [°].
  • the shape of the irradiation region Wa of the first slow cooling laser L21 was an ellipse having a major axis ⁇ minor axis of 14 [mm] ⁇ 9 [mm].
  • “Small” means that the diameter D2 in the irradiation region Wb is smaller than the diameter D1 in the irradiation region Wa.
  • the energy density shown in Table 3 represents the energy density on the lower surface Gb of the plate glass G of the second slow cooling laser L22.
  • Tables 1, 2, and 3 below show the results of the first, second, and third tests, respectively.
  • the intersection Ta between the optical axis Z21 and the upper surface Ga of the plate glass G and the intersection Tb between the optical axis Z22 and the lower surface Gb of the plate glass G are separated along the surface of the plate glass G. It can be seen that good results are obtained when the separation distance S satisfies the relationship of 0 ⁇ (2S / (D1 + D2)) ⁇ 0.3. It can also be seen that particularly good results are obtained when the separation distance S satisfies the relationship of 0 ⁇ (2S / (D1 + D2)) ⁇ 0.1.

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Abstract

　切断予定線ＣＬに沿って溶断用レーザーＬ１を照射して板ガラスＧを溶断し、且つ溶断用レーザーＬ１の照射領域Ｖを含む領域に徐冷用レーザーを照射する板ガラスの切断方法において、板ガラスＧの表面における上面Ｇａ側から第一徐冷用レーザーＬ２１を照射すると共に、下面Ｇｂ側から第二徐冷用レーザーＬ２２を照射するようにした。

Description

板ガラスの切断方法
　本発明は、板ガラスにレーザーを照射すると共に、レーザーによる加熱で溶融した溶融ガラスを除去することで板ガラスを切断するレーザー溶断に関する。
　板ガラスを切断する方法の一つとして、レーザー溶断が知られている。このレーザー溶断は、切断の対象となる板ガラスにレーザーを照射すると共に、レーザーによる加熱で溶融した溶融ガラスをアシストガスの噴射等によって除去することで、板ガラスを切断する方法である。
　ところで、このレーザー溶断によって板ガラスを切断した場合には、以下のような難点がある。すなわち、切断が進行する際、板ガラスがレーザーの熱で急加熱された後、自然冷却によって急冷されるため、切断により板ガラスに形成される切断端部に残留歪が生じる。これに起因して、切断端部に衝撃等によって欠陥が生じた場合には、割れが発生する等して板ガラスが破損することがある。
　このような残留歪に起因した不具合を解消するための方法が、特許文献１に開示されている。同文献には、板ガラスに集光させた溶断用レーザーによって当該板ガラスを切断すると共に、溶断用レーザーの照射領域を含み、且つ当該照射領域を切断進行方向の前後に跨ぐように、デフォーカスした徐冷用レーザーを板ガラスに照射する方法が開示されている。
　特許文献１に開示された方法によれば、図３に示すように、徐冷用レーザーの照射領域Ｗのうち、溶断用レーザーの照射領域Ｖに対し、切断進行方向Ｘの前方に存する領域Ｗ１によって板ガラスＧが予熱されるため、当該板ガラスＧの急加熱が防止される。さらに、切断進行方向Ｘの後方に存する領域Ｗ２によって板ガラスＧが徐冷されるため、当該板ガラスＧの急冷が防止される。これにより、切断端部Ｇｃにおける残留歪の発生を好適に回避することができる。
特開２０１３－７５８１７号公報
　しかしながら、特許文献１に開示された方法によっても、下記のような未だ解決すべき問題が残存している。
　すなわち、図４に示すように、板ガラスＧに照射されるデフォーカスした徐冷用レーザーＬ２は、板ガラスＧに集光させた溶断用レーザーＬ１の照射領域の周辺を加熱する。さらに、徐冷用レーザーＬ２は、板ガラスＧの上面Ｇａ側から照射されるため、板ガラスＧの上下面Ｇａ，Ｇｂのうち、上面Ｇａ側が下面Ｇｂ側よりも徐冷用レーザーＬ２からの熱エネルギーを多く吸収する。
　これにより、徐冷用レーザーＬ２の照射領域において、板ガラスＧの上面Ｇａ側と下面Ｇｂ側との間に温度差が生じ、両側間で板ガラスＧの熱膨張の程度に差異が発生する（上面Ｇａ側が下面Ｇｂ側よりも膨張する）。この差異に起因して、同図に二点鎖線で示すように平坦な状態にあった板ガラスＧが、上面Ｇａ側が凸となるように湾曲した状態へと変形してしまう。そして、この板ガラスＧの変形により、溶断用レーザーＬ１の焦点Ｆ１と板ガラスＧとの位置関係が不当に変化してしまう場合がある。
　このような事態が発生すると、デフォーカスした溶断用レーザーＬ１が板ガラスＧに照射されることとなる。その結果、溶断用レーザーＬ１による加熱で溶融する溶融ガラスの量が過多となって、切断端部の形状が悪化したり、切断のための熱エネルギーが不足して、板ガラスＧの切断自体が不可能となったりする問題があった。
　上記事情に鑑みなされた本発明は、溶断用レーザーによって板ガラスを切断すると共に、溶断用レーザーの照射領域を含む領域に徐冷用レーザーを照射する場合に、板ガラスの変形を抑制して円滑な板ガラスの切断を可能とすることを技術的課題とする。
　上記課題を解決するために創案された本発明は、切断予定線に沿って溶断用レーザーを照射して板ガラスを溶断し、且つ前記溶断用レーザーの照射領域を含む領域に徐冷用レーザーを照射する板ガラスの切断方法において、前記板ガラスの表面における一方面側から第一徐冷用レーザーを照射すると共に、他方面側から第二徐冷用レーザーを照射することに特徴付けられる。
　このような方法によれば、第一徐冷用レーザーと第二徐冷用レーザーとにより、板ガラスが一方面側と他方面側との双方から加熱される。このため、板ガラスが片面側からのみ加熱される場合と比較して、一方面側と他方面側との間で板ガラスの熱膨張の程度に差異が生じにくくなる。これにより、溶断用レーザーの照射領域を含む徐冷用レーザーの照射領域において、板ガラスの変形が抑えられるため、溶断用レーザーの焦点と板ガラスとの位置関係が不当に変化するような事態の発生を抑制できる。その結果、板ガラスを円滑に切断することが可能となる。
　上記の方法において、前記第一徐冷用レーザーの照射領域と前記第二徐冷用レーザーの照射領域とが、前記板ガラスを介して相互に重なった重複領域の面積が、両照射領域のうち、広い方の領域の面積の２０％以上であることが好ましい。
　このようにすれば、第一徐冷用レーザーの照射領域と第二徐冷用レーザーの照射領域とが、板ガラスを介して相互に重なった重複領域の面積が大きく確保される。これにより、板ガラスの一方面側と他方面側との間で、板ガラスの熱膨張の程度について、均等化を図りやすくなる。従って、板ガラスの変形をより好適に抑制することが可能となる。
　上記の方法において、前記第一徐冷用レーザーの照射領域における直径をＤ１とし、前記第二徐冷用レーザーの照射領域における直径をＤ２としたとき、前記第一徐冷用レーザーの光軸と前記板ガラスの一方面との交点と、前記第二徐冷用レーザーの光軸と前記板ガラスの他方面との交点とが、前記板ガラスの表面に沿って離間した離間距離Ｓが、０≦（２Ｓ／（Ｄ１＋Ｄ２））≦０．３の関係を満たすことが好ましい。ここで、「第一（第二）徐冷用レーザーの照射領域における直径」とは、第一（第二）徐冷用レーザーの照射領域の面積と等しい面積を有する円の直径を意味する。例えば、第一（第二）徐冷用レーザーの照射領域の形状が楕円であった場合、この楕円と等しい面積を有する円の直径を意味する。
　また、前記第一徐冷用レーザーの出力をＰ１とし、前記第二徐冷用レーザーの出力をＰ２としたとき、両徐冷用レーザーの出力の比（Ｐ１／Ｐ２）の値が、０．５≦（Ｐ１／Ｐ２）≦２．０を満たすことが好ましい。さらに、両照射領域の直径の比（Ｄ２／Ｄ１）の値が、０．５≦（Ｄ２／Ｄ１）≦２．０を満たすことが好ましい。
　このようにすれば、板ガラスの一方面側と他方面側との間で、板ガラスの熱膨張の程度について、より一層均等化を図ることができる（詳しくは、後述の実施例を参照）。
　上記の方法において、前記板ガラスを、前記切断予定線を境界として製品部と非製品部とに溶断すると共に、前記第一徐冷用レーザーの照射領域と前記第二徐冷用レーザーの照射領域とを、前記非製品部側よりも前記製品部側に偏らせることが好ましい。
　このようにすれば、第一及び第二徐冷用レーザーによって製品部側が優先的に徐冷されるため、切断により製品部に形成される切断端部おいて、残留歪を確実に低減することが可能となる。
　上記の方法において、前記第一徐冷用レーザーの照射領域と前記第二徐冷用レーザーの照射領域とを、前記切断予定線と直交する方向に長尺とすることが好ましい。
　このようにすれば、切断により板ガラスに形成される切断端部において、残留歪をさらに確実に低減することができる。
　上記の方法において、前記第一徐冷用レーザーの光軸と前記第二徐冷用レーザーの光軸とを、前記板ガラスの表面に対して傾斜させることが好ましい。
　このようにすれば、板ガラスに照射された両徐冷用レーザーの光が、当該板ガラスの表面で反射して、これらのレーザーを照射するための照射器に入射してしまうような事態の発生を回避できるため、当該照射器が傷むことを好適に防止することが可能となる。
　上記の方法において、前記第一徐冷用レーザーの光軸と前記第二徐冷用レーザーの光軸とが、同一直線上にないことが好ましい。
　このようにすれば、両徐冷用レーザーを照射するための照射器のうち、一方から照射されたレーザーの光のうち、板ガラスを透過してきた光、或いは、切断の進行によって板ガラスに形成される切断溝を含めた開口部（溶融ガラスが除去された部位）を通過してきた光が、他方に入射するような事態の発生を回避することが可能となる。そのため、これらの照射器が傷むことを防止することができる。
　以上のように、本発明によれば、溶断用レーザーによって板ガラスを切断すると共に、溶断用レーザーの照射領域を含む領域に徐冷用レーザーを照射する場合に、板ガラスの変形を抑制することができるため、円滑な板ガラスの切断が可能となる。
本発明の実施形態に係る板ガラスの切断方法に用いる板ガラスの溶断装置を示す正面図である。 切断の対象となる板ガラスに照射される各レーザーの照射態様を示す平面図である。 従来における板ガラスの切断方法を示す平面図である。 従来における板ガラスの切断方法を示す正面図である。
　以下、本発明の実施形態に係る板ガラスの切断方法について、添付の図面を参照して説明する。なお、以下に説明する板ガラスの切断方法は、その厚みが１０[μｍ]～５００[μｍ]の板ガラスの切断に用いることが好ましい。さらには、厚みが１０[μｍ]～３００[μｍ]の板ガラスの切断に用いることがより好ましく、厚みが１０[μｍ]～２００[μｍ]の板ガラスの切断に用いることが最も好ましい。
　まず、図１及び図２を参照して、本発明の実施形態に係る板ガラスの切断方法に用いる板ガラスの溶断装置の構成について説明する。図１は、板ガラスの溶断装置を示す正面図であり、図２は、切断の対象となる板ガラスに照射される各レーザーの照射態様を示す平面図である（図２においては、板ガラスの溶断装置の構成要素について図示を省略している）。
　図１，図２に示すように、板ガラスの溶断装置は、板ガラスＧの製品部Ｇ１と非製品部Ｇ２との境界となる切断予定線ＣＬ（図１において紙面に鉛直な方向に延びている）に沿って板ガラスＧに溶断用レーザーＬ１を照射する溶断用レーザー照射器１と、デフォーカスした第一徐冷用レーザーＬ２１、第二徐冷用レーザーＬ２２を板ガラスＧに照射する徐冷用レーザー照射器２１，２２と、溶断用レーザーＬ１の照射領域Ｖに向かってアシストガスＡを噴射するアシストガス噴射器３と、載置された板ガラスＧを切断予定線ＣＬと平行に移動させる図示省略の加工台とを主要な要素として構成されている。
　加工台は、互いに平行に配置された二台の可動テーブルで構成されている。この二台の可動テーブルの各々が、切断予定線ＣＬに平行な板ガラスＧの端部を下方から支持する。そして、テーブル上に載置された板ガラスＧを切断予定線ＣＬと平行に移動させる構成となっている。なお、加工台に代えてコンベアベルト等で板ガラスＧを移動させる構成としてもよい。
　溶断用レーザー照射器１は、定点に固定された状態で板ガラスＧの上面Ｇａ側に設置されている。なお、本実施形態においては、溶断用レーザーＬ１として、波長１０．６[μｍ]の炭酸ガスレーザーを使用しており、溶断用レーザーＬ１の出力は、板ガラスＧの加工速度（切断速度）や厚み、溶断用レーザーＬ１のビーム径等に応じて調節すればよい。　　
　この溶断用レーザー照射器１から照射される溶断用レーザーＬ１は、その光軸Ｚ１が板ガラスＧの表面（上面Ｇａ及び下面Ｇｂ）に対して鉛直に延びるように照射される。また、溶断用レーザーＬ１の焦点Ｆ１は、板ガラスＧの厚みの範囲内に位置しており、溶断用レーザーＬ１が板ガラスＧに集光するようになっている。
　そして、板ガラスＧを載置する加工台が、切断予定線ＣＬと平行に移動することで、図２に示すように、溶断用レーザーＬ１の照射領域Ｖが、切断予定線ＣＬに沿って相対的にＸ方向へと移動する。これにより、溶断用レーザーＬ１による加熱で、切断予定線ＣＬに沿ってガラスが順次に溶融されると共に、溶融ガラスが除去されることで、板ガラスＧが製品部Ｇ１と非製品部Ｇ２とに切断（溶断）される。
　徐冷用レーザー照射器２１，２２の各々は、溶断用レーザー照射器１と同様に定点に固定された状態で設置されている。そして、徐冷用レーザー照射器２１が板ガラスＧの上面Ｇａ側に配置されると共に、徐冷用レーザー照射器２２が板ガラスＧの下面Ｇｂ側に配置されている。なお、本実施形態においては、第一徐冷用レーザーＬ２１、第二徐冷用レーザーＬ２２として、共に波長１０．６[μｍ]の炭酸ガスレーザーを使用している。そして、両徐冷用レーザーＬ２１，Ｌ２２の出力Ｐ１，Ｐ２は、板ガラスＧの加工速度（切断速度）や厚み、両徐冷用レーザーＬ２１，Ｌ２２の各々におけるビーム径等に応じて調節すればよい。
　徐冷用レーザー照射器２１から照射される第一徐冷用レーザーＬ２１は、その光軸Ｚ２１が、板ガラスＧの上面Ｇａに対して角度θａだけ傾斜し、且つ平面視で切断予定線ＣＬと直交する方向に延びるように照射される。同様に、徐冷用レーザー照射器２２から照射される第二徐冷用レーザーＬ２２は、その光軸Ｚ２２が、板ガラスＧの下面Ｇｂに対して角度θｂだけ傾斜し、且つ平面視で切断予定線ＣＬと直交する方向に延びるように照射される。なお、光軸Ｚ２１が板ガラスＧの上面Ｇａに対して傾斜した傾斜角度θａは、２０[°]～８０[°]であることが好ましい。また、光軸Ｚ２２が板ガラスＧの下面Ｇｂに対して傾斜した傾斜角度θｂは、２０[°]～８０[°]であることが好ましい。
　また、第一徐冷用レーザーＬ２１の焦点Ｆ２１は、徐冷用レーザー照射器２１と板ガラスＧとの間に位置すると共に、第二徐冷用レーザーＬ２２の焦点Ｆ２２は、徐冷用レーザー照射器２２と板ガラスＧとの間に位置している。すなわち、両徐冷用レーザーＬ２２の焦点Ｆ２１，Ｆ２２は、溶断用レーザーＬ１の焦点Ｆ１とは異なり、板ガラスＧの厚みの範囲内から外れるように位置している。
　これにより、デフォーカスした両徐冷用レーザーＬ２１，Ｌ２２が板ガラスＧに照射されると共に、両徐冷用レーザーＬ２１，Ｌ２２の照射領域Ｗａ，Ｗｂが切断予定線ＣＬと直交する方向に長尺な楕円形に形成される。
　加えて、両徐冷用レーザー照射器２１，２２は、第一徐冷用レーザーＬ２１の照射領域Ｗａと、第二徐冷用レーザーＬ２２の照射領域Ｗｂとの各々が、溶断用レーザーＬ１の照射領域Ｖを含むように、両徐冷用レーザーＬ２１，Ｌ２２を板ガラスＧに照射する。すなわち、照射領域Ｗａと照射領域Ｗｂとは、板ガラスＧを介して相互が重なった重複領域を有し、この重複領域に溶断用レーザーＬ１の照射領域Ｖが含まれる。
　また、両徐冷用レーザー照射器２１，２２は、両照射領域Ｗａ，Ｗｂの各々が、板ガラスＧの非製品部Ｇ２側よりも製品部Ｇ１側に偏るように、両徐冷用レーザーＬ２１，Ｌ２２を板ガラスＧに照射する。
　さらに、第一徐冷用レーザーＬ２１の光軸Ｚ２１と板ガラスＧの上面Ｇａとの交点Ｔａと、第二徐冷用レーザーＬ２２の光軸Ｚ２２と板ガラスＧの下面Ｇｂとの交点Ｔｂとは、板ガラスの表面（上面Ｇａ及び下面Ｇｂ）に沿って離間している。これにより、照射領域Ｗｂは、照射領域Ｗａに対して、交点Ｔａと交点Ｔｂとの離間距離Ｓだけ製品部Ｇ１側に偏っている。なお、本実施形態においては、交点Ｔａと交点Ｔｂとが離間する構成となっているが、両交点Ｔａ，Ｔｂが板ガラスＧを介して重なる構成（離間距離Ｓ＝０）としてもよい。
　そして、板ガラスＧを載置する加工台が、切断予定線ＣＬと平行に移動することで、図２に示すように、両徐冷用レーザーＬ２１，Ｌ２２の照射領域Ｗａ，Ｗｂが、切断予定線ＣＬに沿って相対的にＸ方向へと移動する。これにより、溶断用レーザーＬ１による切断（溶断）で板ガラスＧ（製品部Ｇ１及び非製品部Ｇ２）に形成される切断端部Ｇｃを徐冷する。
　なお、本実施形態においては、両徐冷用レーザーＬ２１，Ｌ２２の焦点Ｆ２１，Ｆ２２は、いずれも徐冷用レーザー照射器２１，２２と板ガラスＧとの間に位置しているが、この限りではない。両徐冷用レーザー照射器２１，２２と、これらの焦点Ｆ２１，Ｆ２２との間に板ガラスＧを配置して、デフォーカスした両徐冷用レーザーＬ２１，Ｌ２２を板ガラスＧに照射する構成としてもよい。また、両徐冷用レーザーＬ２１，Ｌ２２の光軸Ｚ２１，Ｚ２２は、必ずしも板ガラスＧの表面に対して傾斜させる必要はない。
　ここで、第一徐冷用レーザーＬ２１の照射領域Ｗａと、第二徐冷用レーザーＬ２２の照射領域Ｗｂとが、板ガラスＧを介して相互に重なった重複領域の面積は、両照射領域Ｗａ，Ｗｂのうち、広い方の領域の面積の２０％以上であることが好ましい。
　また、照射領域Ｗａにおける直径をＤ１、照射領域Ｗｂにおける直径をＤ２としたとき、光軸Ｚ２１と板ガラスＧの上面Ｇａとの交点Ｔａと、光軸Ｚ２２と板ガラスＧの下面Ｇｂとの交点Ｔｂとが、板ガラスＧの表面に沿って離間した離間距離Ｓは、０≦（２Ｓ／（Ｄ１＋Ｄ２））≦０．３の関係を満たすことが好ましく、０≦（２Ｓ／（Ｄ１＋Ｄ２））≦０．１５の関係を満たすことがより好ましく、０≦（２Ｓ／（Ｄ１＋Ｄ２））≦０．１の関係を満たすことが最も好ましい。なお、「照射領域Ｗａ（Ｗｂ）における直径Ｄ１（Ｄ２）」とは、照射領域Ｗａ（Ｗｂ）の面積と等しい面積を有する円の直径を意味する（以下、同じ）。つまり、本実施形態においては、楕円形をなす照射領域Ｗａ（Ｗｂ）の面積と等しい面積を有する円の直径を意味している。
　さらに、第一徐冷用レーザーＬ２１の照射領域Ｗａにおける直径Ｄ１と、第二徐冷用レーザーＬ２２の照射領域Ｗｂにおける直径Ｄ２との直径の比（Ｄ２／Ｄ１）の値は、０．５≦（Ｄ２／Ｄ１）≦２．０を満たすことが好ましく、０．７≦（Ｄ２／Ｄ１）≦１．５を満たすことがより好ましく、０．９≦（Ｄ２／Ｄ１）≦１．１を満たすことが最も好ましい。
　加えて、第一徐冷用レーザーＬ２１の出力Ｐ１と、第二徐冷用レーザーＬ２２の出力Ｐ２との出力の比（Ｐ１／Ｐ２）の値は、０．５≦（Ｐ１／Ｐ２）≦２．０を満たすことが好ましく、０．７≦（Ｐ１／Ｐ２）≦１．５を満たすことがより好ましく、０．９≦（Ｐ１／Ｐ２）≦１．１を満たすことが最も好ましい。
　アシストガス噴射器３は、溶断用レーザー照射器１、及び両徐冷用レーザー照射器２１，２２と同様に定点に固定された状態で設置されている。このアシストガス噴射器３のノズルは、板ガラスＧの上面Ｇａと平行に設置されると共に、切断予定線ＣＬと直交する方向に延びる構成とされている。
　そして、アシストガス噴射器３から噴射されたアシストガスＡは、板ガラスＧの上面Ｇａに沿って、当該板ガラスＧの製品部Ｇ１側から非製品部Ｇ２側に向かって噴射され、溶断用レーザーＬ１の照射領域Ｖ上を通過する。これにより、溶断用レーザーＬ１の照射領域Ｖで溶融した溶融ガラスを非製品部Ｇ２側へと飛散させ、板ガラスＧの切断（溶断）を補助する。なお、アシストガスＡの噴射量としては、１０[ｌ／ｍｉｎ]～１００[ｌ／ｍｉｎ]であることが好ましい。また、アシストガス噴射器３は、上面Ｇａ側と下面Ｇｂ側との双方に設置される構成であってもよい。
　ここで、板ガラスＧは、当該板ガラスＧの切断の態様や周辺環境等の影響によって、上面Ｇａ側と下面Ｇｂ側との間で、熱エネルギーの蓄積のしやすさが同程度である場合と、異なる場合とがある。すなわち、板ガラスＧは、（１）上面Ｇａ側と下面Ｇｂ側との間で、熱膨張のしやすさが同程度である場合と、（２）上面Ｇａ側の方が熱膨張しやすく、上面Ｇａ側が凸となるように変形しやすい場合と、（３）下面Ｇｂ側の方が熱膨張しやすく、下面Ｇｂ側が凸となるように変形しやすい場合とがある。
　例えば、本実施形態においては、上面Ｇａ側でのみ、アシストガス噴射器３からアシストガスＡが噴射される態様となっている。従って、上面Ｇａ側は、下面Ｇｂ側と比較してアシストガスＡによって冷却されやすいため、熱エネルギーが蓄積しにくく、板ガラスＧは、下面Ｇｂ側が凸となるように変形しやすい状態下に置かれている（上記（３）の場合に該当する）。
　そして、上記（１）の場合には、両徐冷用レーザーＬ２１，Ｌ２２の出力Ｐ１，Ｐ２や、照射領域Ｗａ，Ｗｂの直径Ｄ１，Ｄ２を、両徐冷用レーザーＬ２１，Ｌ２２の間で実質的に均等な値とすることが好ましい。また、上記（２）、或いは、（３）の場合には、凸となりやすい側に配置された徐冷用レーザーの出力の値と、当該徐冷用レーザーの照射領域の直径の値とのうち、少なくとも一方を、凸となりにくい側と比較して小さくすることが好ましい。ただし、この場合においても、両徐冷用レーザーＬ２１，Ｌ２２の出力の比（Ｐ１／Ｐ２）、両照射領域Ｗａ，Ｗｂの直径の比（Ｄ２／Ｄ１）の値は、上述した好ましい値の範囲内に収まるように調節する。
　また、板ガラスＧは、当該板ガラスＧの切断の態様や周辺環境等の影響により、板ガラスＧが変形するとしても、（４）上面Ｇａ側が凸となるようにしか変形できない場合や、（５）下面Ｇｂ側が凸となるようにしか変形できない場合がある。換言すれば、上記（４）の場合には、意図的に下面Ｇｂ側が凸となる変形を生じるような条件で、両徐冷用レーザーＬ２１，Ｌ２２を板ガラスＧに照射しても、下面Ｇｂ側が凸に変形しない。同様に、上記（５）の場合には、意図的に上面Ｇａ側が凸となる変形を生じるような条件で、両徐冷用レーザーＬ２１，Ｌ２２を板ガラスＧに照射しても、上面Ｇａ側が凸に変形しない。　
　例えば、本実施形態に係る板ガラスの溶断装置において、加工台に代えて、定盤に板ガラスＧを載置するような場合、板ガラスＧの下面Ｇｂ側は、定盤の存在により凸となる変形が阻害されるため、板ガラスＧは変形するとしても、上面Ｇａ側が凸となるようにしか変形できない状態下に置かれる（上記（４）の場合に該当する）。
　そして、上記（４）、或いは（５）の場合には、凸に変形できない側に配置された徐冷用レーザーの出力の値と、当該徐冷用レーザーの照射領域の直径の値とのうち、少なくとも一方を、凸に変形できる側と比較して大きくしてもよい。ただし、この場合においても、両徐冷用レーザーＬ２１，Ｌ２２の出力の比（Ｐ１／Ｐ２）、両照射領域Ｗａ，Ｗｂの直径の比（Ｄ２／Ｄ１）の値は、上述した好ましい値の範囲内に収まるように調節する。　
　次に、上記板ガラスの溶断装置を用いた本発明の実施形態に係る板ガラスの切断方法の作用・効果について説明する。
　この板ガラスの切断方法によれば、第一徐冷用レーザーＬ２１と第二徐冷用レーザーＬ２２とにより、板ガラスＧが上面Ｇａ側と下面Ｇｂ側との双方から加熱される。このため、板ガラスＧが上面Ｇａ側、或いは、下面Ｇｂ側からのみ加熱される場合と比較して、上面Ｇａ側と下面Ｇｂ側との間で板ガラスＧの熱膨張の程度に差異が生じにくくなる。これにより、溶断用レーザーＬ１の照射領域Ｖを含む両徐冷用レーザーＬ２１，Ｌ２２の照射領域Ｗａ，Ｗｂにおいて、板ガラスＧの変形が抑えられるため、溶断用レーザーＬ１の焦点Ｆ１と板ガラスＧとの位置関係が不当に変化するような事態の発生を抑制できる。
　また、第一徐冷用レーザーＬ２１の照射領域Ｗａと、第二徐冷用レーザーＬ２２の照射領域Ｗｂとが、板ガラスＧを介して相互に重なった重複領域の面積を、両照射領域Ｗａ，Ｗｂのうち、広い方の領域の面積の２０％以上とした場合には、当該重複領域の面積が大きく確保される。そのため、板ガラスＧの上面Ｇａ側と下面Ｇｂ側との間で、板ガラスＧの熱膨張の程度について、均等化を図りやすくなる。従って、板ガラスＧの変形をより好適に抑制することが可能となる。
　さらに、（１）光軸Ｚ２１と板ガラスＧの上面Ｇａとの交点Ｔａと、光軸Ｚ２２と板ガラスＧの下面Ｇｂとの交点Ｔｂとが、板ガラスＧの表面に沿って離間した離間距離Ｓと、（２）第一徐冷用レーザーＬ２１の照射領域Ｗａにおける直径Ｄ１と、第二徐冷用レーザーＬ２２の照射領域Ｗｂにおける直径Ｄ２との直径の比（Ｄ２／Ｄ１）と、（３）第一徐冷用レーザーＬ２１の出力Ｐ１と、第二徐冷用レーザーＬ２２の出力Ｐ２との出力の比（Ｐ１／Ｐ２）との（１）～（３）について、上述のような好ましい値とすれば、より一層、板ガラスＧの変形を抑制することができる（詳しくは、後述の実施例を参照）。
　以上のことから、本実施形態に係る板ガラスの切断方法によれば、溶断用レーザーＬ１によって板ガラスＧを切断すると共に、溶断用レーザーＬ１の照射領域Ｖを含む領域に、上面Ｇａ側と下面Ｇｂ側との双方から徐冷用レーザーＬ２１，Ｌ２２を照射することで、板ガラスＧの変形を抑制することができる。これにより、円滑な板ガラスＧの切断が可能となる。また、この板ガラスの切断方法によれば、さらに以下のような効果をも得ることができる。
　すなわち、両照射領域Ｗａ，Ｗｂの各々が、板ガラスＧの非製品部Ｇ２側よりも製品部Ｇ１側に偏るように、両徐冷用レーザーＬ２１，Ｌ２２が板ガラスＧに照射される。そのため、両徐冷用レーザーＬ２１，Ｌ２２によって製品部Ｇ１側が優先的に徐冷されるため、切断により製品部Ｇ１に形成される切断端部Ｇｃおいて、残留歪を確実に低減することが可能となる。なお、この効果は、両徐冷用レーザーＬ２１，Ｌ２２の照射領域Ｗａ，Ｗｂが切断予定線ＣＬと直交する方向に長尺となっていることで、より高められる。
　また、第一徐冷用レーザーＬ２１の光軸Ｚ２１と、第二徐冷用レーザーＬ２２の光軸Ｚ２２との双方が板ガラスＧの表面（上面Ｇａ及び下面Ｇｂ）に対して傾斜している。これにより、板ガラスＧに照射された両徐冷用レーザーＬ２１，Ｌ２２の光が、当該板ガラスＧの表面で反射して、これらのレーザーＬ２１，Ｌ２２を照射した両徐冷用レーザー照射器２１，２２に入射してしまうような事態の発生を回避できる。このため、両照射器２１，２２が傷むことを好適に防止することが可能となる。
　加えて、第一徐冷用レーザーＬ２１の光軸Ｚ２１と、第二徐冷用レーザーＬ２２の光軸Ｚ２２とが、同一直線上に存在していない。このため、両徐冷用レーザー照射器２１，２２のうち、一方から照射されたレーザーの光のうち、板ガラスＧを透過してきた光、或いは、切断の進行によって板ガラスＧに形成される切断溝を含めた開口部（溶融ガラスが除去された部位）を通過してきた光が、他方に入射するような事態の発生を回避することが可能となる。その結果、両徐冷用レーザー照射器２１，２２が傷むことを、さらに好適に防止することができる。
　ここで、本発明に係る板ガラスの切断方法は、上述の実施形態で説明した態様に限定されるものではない。上記の実施形態では、溶断用レーザー照射器１、両徐冷用レーザー照射器２１，２２、及びアシストガス噴射器３の位置を固定した状態で、板ガラスＧを移動させて当該板ガラスＧの切断を行う態様となっているが、この限りではない。例えば、位置が固定された板ガラスＧに対し、溶断用レーザー照射器１、両徐冷用レーザー照射器２１，２２、及びアシストガス噴射器３が同期した状態で移動することで、板ガラスＧの切断を行う態様としてもよい。また、板ガラスＧと、溶断用レーザー照射器１、両徐冷用レーザー照射器２１，２２、及びアシストガス噴射器３とを共に移動させて、板ガラスＧの切断を行う態様としてもよい。
　また、上記の実施形態では、溶断用レーザーＬ１を板ガラスＧの上面Ｇａ側から照射する態様となっているが、下面Ｇｂ側から照射する態様としてもよい。また、上記の実施形態では、溶断用レーザーＬ１の光軸Ｚ１が板ガラスＧの表面に対して鉛直に延びる態様となっているが、板ガラスＧの表面に対して傾斜する態様としてよいし、板ガラスＧの切断予定線ＣＬを指向する限りで光軸Ｚ１が任意の方向に延びる態様としてよい。
　さらに、上記の実施形態では、両徐冷用レーザー照射器２１，２２が板ガラスＧの切断予定線ＣＬを基準として製品部Ｇ１側に配置される態様となっているが、非製品部Ｇ２側に配置してもよいし、両徐冷用レーザー照射器２１，２２のうちの一方を製品部Ｇ１側、他方を非製品部Ｇ２側に配置してもよい。また、上記の実施形態では、両徐冷用レーザーＬ２１，Ｌ２２の光軸Ｚ２１，Ｚ２２は、平面視で切断予定線ＣＬと直交する方向に延びる態様となっているが、この限りではなく、両徐冷用レーザーＬ２１，Ｌ２２を溶断用レーザーＬ１の照射領域Ｖを含む領域に照射する限りで、各々の光軸Ｚ２１，Ｚ２２が任意の方向に延びる態様としてよい。
　以下、本発明の実施例を示す。なお、実施例の説明において、上述した実施形態に係る板ガラスの切断方法で既に説明した要素と同一の機能、又は形状を有する要素については、実施例について説明するための説明文に同一の符号を付すことにより、重複する説明を省略している。
　本発明の実施例として、３種類の試験を行い、溶断用レーザーＬ１によって板ガラスＧを切断すると共に、溶断用レーザーＬ１の照射領域Ｖを含む領域Ｗａ，Ｗｂに徐冷用レーザーＬ２１，Ｌ２２を照射した。そして、各試験において、切断が進行する際に板ガラスＧに発生する反り（変形）について検証を行った。
　まず、３種類の試験の全てに共通する実施条件について説明する。
　各試験の実施例に使用した板ガラスの溶断装置は、上述した実施形態に係る板ガラスの切断方法に用いた板ガラスの溶断装置と以下の点でのみ構成が相違している。すなわち、第二徐冷用レーザーＬ２２の光軸Ｚ２２が、板ガラスＧの下面Ｇｂに対して鉛直に延びている（θｂ＝９０[°]）。これにより、第二徐冷用レーザーＬ２２の照射領域Ｗｂの形状が楕円形ではなく、円形となる。その他の構成については、実施形態に係る板ガラスの切断方法に用いた板ガラスの溶断装置と全て同一となっている。また、各試験の比較例では、実施例に使用したものと同じ構成の板ガラスの溶断装置を、第二徐冷用レーザーＬ２２を板ガラスＧに照射することなく使用した。
　切断の対象となる板ガラスＧとしては、日本電気硝子社製ＯＡ－１０Ｇ（厚み：１００ [μｍ]）を使用した。溶断用レーザーＬ１の出力は２１．５[Ｗ]とし、溶断用レーザーＬ１の照射領域Ｖの直径は１２０[μｍ]とした。さらに、溶断用レーザーＬ１の照射領域Ｖが、板ガラスＧに対して相対的にＸ方向へと移動する速度（加工速度）は６０[ｍｍ／ｓ]とした。アシストガスＡの噴射量は２０[ｌ／ｍｉｎ]とした。
　切断が進行する際に板ガラスＧに発生する反りについては、目視で良否を判定した。なお、下記の表１～表３に示すように、反りの判定は、結果の良いものから順番に◎、○、△、×の四段階で判定を行った。
　次に、３種類の試験のそれぞれに固有の実施条件について説明する。
　第一の試験において、第一徐冷用レーザーＬ２１の出力Ｐ１は７０[Ｗ]とした。また、第一徐冷用レーザーＬ２１の光軸Ｚ２１が、板ガラスＧの表面に対して傾斜した角度θａは４５[°]とした。さらに、第一徐冷用レーザーＬ２１の照射領域Ｗａの形状は、長径×短径が１４[ｍｍ]×９[ｍｍ]の楕円形とした。つまり、照射領域Ｗａにおける直径Ｄ１は、この楕円と等しい面積を有する円の直径となる。また、第二徐冷用レーザーＬ２２の出力Ｐ２は７０[Ｗ]とした。また、第二徐冷用レーザーＬ２２の照射領域Ｗｂ（円形）における直径Ｄ２は１２[ｍｍ]とした。
　そして、第一の試験においては、下記の表１におけるズレモードに示すように、光軸Ｚ２１と板ガラスＧの上面Ｇａとの交点Ｔａの位置に対して、光軸Ｚ２２と板ガラスＧの下面Ｇｂとの交点Ｔｂがとる位置を変更しながら板ガラスＧの切断を行った。このズレモードの意味するところは以下の通りである。「ズレなし」とは、交点Ｔａと交点Ｔｂとが、板ガラスＧの表面に沿って離間した離間距離ＳがＳ＝０[ｍｍ]であることを意味する（交点Ｔａと交点Ｔｂとが板ガラスＧを介して重なっている）。「上流側ズレ」とは、交点Ｔａの位置に対して、交点Ｔｂの位置がＸ方向の前方に離間距離Ｓだけズレていることを意味する。「下流側ズレ」とは、交点Ｔａの位置に対して、交点Ｔｂの位置がＸ方向の後方に離間距離Ｓだけズレていることを意味する。「製品側ズレ」とは、交点Ｔａの位置に対して、交点Ｔｂの位置が、Ｘ方向と直交する方向において製品部Ｇ１側に離間距離Ｓだけズレていることを意味する。「非製品側ズレ」とは、交点Ｔａの位置に対して、交点Ｔｂの位置が、Ｘ方向と直交する方向において非製品部Ｇ２側に離間距離Ｓだけズレていることを意味する。
　第二の試験において、第一徐冷用レーザーＬ２１の光軸Ｚ２１が、板ガラスＧの表面に対して傾斜した角度θａは４５[°]とした。また、第一徐冷用レーザーＬ２１の照射領Ｗａの形状は、長径×短径が１４[ｍｍ]×９[ｍｍ]の楕円形とした。さらに、第二徐冷用レーザーＬ２２の照射領域Ｗｂ（円形）の直径Ｄ２は１２[ｍｍ]とした。さらに、光軸Ｚ２１と板ガラスＧの上面Ｇａとの交点Ｔａと、光軸Ｚ２２と板ガラスＧの下面Ｇｂとの交点Ｔｂとが板ガラスＧの表面に沿って離間した離間距離ＳをＳ＝０[ｍｍ]とした（交点Ｔａと交点Ｔｂとが板ガラスＧを介して重なっている）。
　そして、第二の試験においては、下記の表２におけるズレモードに示すように、第一徐冷用レーザーＬ２１の出力Ｐ１と、第二の徐冷用レーザーＬ２２の出力Ｐ２とを変更しながら板ガラスＧの切断を行った。このズレモードの意味するところは以下の通りである。「上側大」とは、第一徐冷用レーザーＬ２１の出力Ｐ１が、第二徐冷用レーザーＬ２２の出力Ｐ２よりも大きいことを意味する。「上下同」とは、第一徐冷用レーザーＬ２１の出力Ｐ１と、第二徐冷用レーザーＬ２２の出力Ｐ２とが等しいことを意味する。「下側大」とは、第二徐冷用レーザーＬ２２の出力Ｐ２が、第一徐冷用レーザーＬ２１の出力Ｐ１よりも大きいことを意味する。
　第三の試験において、第一徐冷用レーザーＬ２１の出力Ｐ１は７０[Ｗ]とした。また、第一徐冷用レーザーＬ２１の光軸Ｚ２１が、板ガラスＧの表面に対して傾斜した角度θａは４５[°]とした。さらに、第一徐冷用レーザーＬ２１の照射領Ｗａの形状は、長径×短径が１４[ｍｍ]×９[ｍｍ]の楕円形とした。加えて、光軸Ｚ２１と板ガラスＧの上面Ｇａとの交点Ｔａと、光軸Ｚ２２と板ガラスＧの下面Ｇｂとの交点Ｔｂとが板ガラスＧの表面に沿って離間した離間距離ＳをＳ＝０[ｍｍ]とした（交点Ｔａと交点Ｔｂとが板ガラスＧを介して重なっている）。
　そして、第三の試験においては、下記の表３におけるズレモードに示すように、第一徐冷用レーザーＬ２１の照射領域Ｗａにおける直径Ｄ１の大きさに対して、第二徐冷用レーザーＬ２２の照射領域Ｗｂにおける直径Ｄ２の大きさを変更しながら板ガラスＧの切断を行った。このズレモードの意味するところは以下の通りである。「等しい」とは、照射領域Ｗａにおける直径Ｄ１と、照射領域Ｗｂにおける直径Ｄ２との大きさが実質的に等しいことを意味する。「大きい」とは、照射領域Ｗｂにおける直径Ｄ２が、照射領域Ｗａにおける直径Ｄ１よりも大きいことを意味する。「小さい」とは、照射領域Ｗｂにおける直径Ｄ２が、照射領域Ｗａにおける直径Ｄ１よりも小さいことを意味する。なお、表３に示すエネルギー密度とは、第二徐冷用レーザーＬ２２の板ガラスＧの下面Ｇｂにおけるエネルギー密度を表している。
　下記の表１、表２、表３のそれぞれに、第一、第二、第三の試験の結果を示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000003
　表１～表３に示すように、第一～第三のいずれの試験においても実施例は、比較例に対して良好な結果が得られていることが分かる。比較例においては、板ガラスＧが上面Ｇａ側からのみ加熱されるのに対し、実施例においては、第一徐冷用レーザーとＬ２１第二徐冷用レーザーＬ２２とにより、板ガラスＧが上面Ｇａ側と下面Ｇｂ側との双方から加熱される。これにより、上面Ｇａ側と下面Ｇｂ側との間で板ガラスＧの熱膨張の程度に差異が生じにくくなるため、このような結果が得られたものと推認される。
　また、第一の試験の結果より、光軸Ｚ２１と板ガラスＧの上面Ｇａとの交点Ｔａと、光軸Ｚ２２と板ガラスＧの下面Ｇｂとの交点Ｔｂとが、板ガラスＧの表面に沿って離間した離間距離Ｓが、０≦（２Ｓ／（Ｄ１＋Ｄ２））≦０．３の関係を満たす場合には、良好な結果が得られていることが分かる。また、離間距離Ｓが、０≦（２Ｓ／（Ｄ１＋Ｄ２））≦０．１の関係を満たす場合には、特に良好な結果が得られていることが分かる。
　また、第二の試験の結果より、第一徐冷用レーザーＬ２１の出力Ｐ１と、第二徐冷用レーザーＬ２２の出力Ｐ２との出力の比（Ｐ１／Ｐ２）の値が、０．５≦（Ｐ１／Ｐ２）≦２．０を満たす場合には、良好な結果が得られていることが分かる。
　また、第三の試験の結果より、第一徐冷用レーザーＬ２１の照射領域Ｗａにおける直径Ｄ１と、第二徐冷用レーザーＬ２２の照射領域Ｗｂにおける直径Ｄ２との直径の比（Ｄ２／Ｄ１）の値が、０．９≦（Ｄ２／Ｄ１）≦１．１を満たす場合には、特に良好な結果が得られていることが分かる。
　ＣＬ　　　　切断予定線
　Ｇ　　　　　板ガラス
　Ｇ１　　　　板ガラスの製品部
　Ｇ２　　　　板ガラスの非製品部
　Ｇａ　　　　板ガラスの上面
　Ｇｂ　　　　板ガラスの下面
　Ｌ１　　　　溶断用レーザー
　Ｖ　　　　　溶断用レーザーの照射領域
　Ｌ２１　　　第一徐冷用レーザー
　Ｐ１　　　　第一徐冷用レーザーの出力
　Ｗａ　　　　第一徐冷用レーザーの照射領域
　Ｄ１　　　　第一徐冷用レーザーの照射領域の直径
　Ｚ２１　　　第一徐冷用レーザーの光軸
　Ｔａ　　　　第一徐冷用レーザーの光軸と板ガラスの上面との交点
　Ｌ２２　　　第二徐冷用レーザー
　Ｐ２　　　　第二徐冷用レーザーの出力
　Ｗｂ　　　　第二徐冷用レーザーの照射領域
　Ｄ２　　　　第二徐冷用レーザーの照射領域の直径
　Ｚ２２　　　第二徐冷用レーザーの光軸
　Ｔｂ　　　　第二徐冷用レーザーの光軸と板ガラスの上面との交点
　Ｓ　　　　　離間距離

Claims (9)

  1. 　切断予定線に沿って溶断用レーザーを照射して板ガラスを溶断し、且つ前記溶断用レーザーの照射領域を含む領域に徐冷用レーザーを照射する板ガラスの切断方法において、
    　前記板ガラスの表面における一方面側から第一徐冷用レーザーを照射すると共に、他方面側から第二徐冷用レーザーを照射することを特徴とする板ガラスの切断方法。
  2. 　前記第一徐冷用レーザーの照射領域と前記第二徐冷用レーザーの照射領域とが、前記板ガラスを介して相互に重なった重複領域の面積が、両照射領域のうち、広い方の領域の面積の２０％以上であることを特徴とする請求項１に記載の板ガラスの切断方法。
  3. 　前記第一徐冷用レーザーの照射領域における直径をＤ１とし、前記第二徐冷用レーザーの照射領域における直径をＤ２としたとき、
    　前記第一徐冷用レーザーの光軸と前記板ガラスの一方面との交点と、前記第二徐冷用レーザーの光軸と前記板ガラスの他方面との交点とが、前記板ガラスの表面に沿って離間した離間距離Ｓが、０≦（２Ｓ／（Ｄ１＋Ｄ２））≦０．３の関係を満たすことを特徴とする請求項１又は２に記載の板ガラスの切断方法。
  4. 　前記第一徐冷用レーザーの出力をＰ１とし、前記第二徐冷用レーザーの出力をＰ２としたとき、両徐冷用レーザーの出力の比（Ｐ１／Ｐ２）の値が、０．５≦（Ｐ１／Ｐ２）≦２．０を満たすことを特徴とする請求項１～３のいずれかに記載の板ガラスの切断方法。
  5. 　前記第一徐冷用レーザーの照射領域における直径をＤ１とし、前記第二徐冷用レーザーの照射領域における直径をＤ２としたとき、両照射領域の直径の比（Ｄ２／Ｄ１）の値が、０．５≦（Ｄ２／Ｄ１）≦２．０を満たすことを特徴とする請求項１～４のいずれかに記載の板ガラスの切断方法。
  6. 　前記板ガラスを、前記切断予定線を境界として製品部と非製品部とに溶断すると共に、前記第一徐冷用レーザーの照射領域と前記第二徐冷用レーザーの照射領域とを、前記非製品部側よりも前記製品部側に偏らせることを特徴とする請求項１～５のいずれかに記載の板ガラスの切断方法。
  7. 　前記第一徐冷用レーザーの照射領域と前記第二徐冷用レーザーの照射領域とを、前記切断予定線と直交する方向に長尺とすることを特徴とする請求項１～６のいずれかに記載の板ガラスの切断方法。
  8. 　前記第一徐冷用レーザーの光軸と前記第二徐冷用レーザーの光軸とを、前記板ガラスの表面に対して傾斜させることを特徴とする請求項１～７のいずれかに記載の板ガラスの切断方法。
  9. 　前記第一徐冷用レーザーの光軸と前記第二徐冷用レーザーの光軸とが、同一直線上にないことを特徴とする請求項１～８のいずれかに記載の板ガラスの切断方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6931918B2 (ja) * 2017-08-31 2021-09-08 三星ダイヤモンド工業株式会社 ガラス基板の端面処理方法及びガラス基板の端面処理装置
JP6889922B2 (ja) * 2017-08-31 2021-06-18 三星ダイヤモンド工業株式会社 ガラス基板の残留応力低減方法及びガラス基板の残留応力低減装置
JP6931919B2 (ja) * 2017-08-31 2021-09-08 三星ダイヤモンド工業株式会社 ガラス基板の残留応力低減方法及びガラス基板の残留応力低減装置
KR102022102B1 (ko) * 2017-12-21 2019-09-17 주식회사 넵시스 레이저 빔을 이용한 절단 장치
KR102474254B1 (ko) 2022-07-14 2022-12-06 최호림 판유리 절단장치 및 그를 위한 판유리 절단기구

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013011877A1 (ja) * 2011-07-20 2013-01-24 旭硝子株式会社 板ガラス、その製造方法、および、その製造装置
WO2013039230A1 (ja) * 2011-09-15 2013-03-21 日本電気硝子株式会社 ガラス板切断方法

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60251138A (ja) * 1984-05-28 1985-12-11 Hoya Corp ガラスの切断方法
JP4256840B2 (ja) * 2004-12-24 2009-04-22 株式会社日本製鋼所 レーザ切断方法及びその装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013011877A1 (ja) * 2011-07-20 2013-01-24 旭硝子株式会社 板ガラス、その製造方法、および、その製造装置
WO2013039230A1 (ja) * 2011-09-15 2013-03-21 日本電気硝子株式会社 ガラス板切断方法

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