WO2015067464A1 - Transport device for flat substrates - Google Patents

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WO2015067464A1
WO2015067464A1 PCT/EP2014/072542 EP2014072542W WO2015067464A1 WO 2015067464 A1 WO2015067464 A1 WO 2015067464A1 EP 2014072542 W EP2014072542 W EP 2014072542W WO 2015067464 A1 WO2015067464 A1 WO 2015067464A1
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feed carrier
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Stefan Rapp
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Gebr. Schmid Gmbh
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Definitions

  • ion spray bars above and / or below the substrate transport plane.
  • Such ionic spray bars can not be permanently used under some environmental conditions, such as those found in printed circuit board processing, such as in ambient air polluted with chemicals and in elevated temperature environments, such as prevalent in drying modules.
  • the substrates could also be protected from electrostatic charging by the fact that the transport rollers are made metallic not only with their wave, but also with their substrates contacting the substrate contact area, but this can easily lead to damage to the surface of the substrates, which for example in circuit boards radio - Can cause breakdown losses due to damage to their fine interconnect structures.
  • metallic materials such as stainless steel or titanium, due to their limited chemical resistance for use in printed circuit board production facilities are only partially suitable.
  • the invention solves this problem by providing a transport device having the features of claim 1.
  • the transport roller substrate contact area and the slide bearing area of the feed carrier consist of an electrically conductive plastic material.
  • an electrical discharge path is provided, with which the transport roller substrate contact region and / or the feed carrier plain bearing region is electrically conductively connected.
  • the electrically conductive plastic material for the transport roller substrate contact region or the feed carrier plain bearing region is an electrically conductive PP material or PE material or PVDF material or polyetherketone material. ton (PEEK) material. These materials have proven to be well suited for the present purpose.
  • the electrically conductive plastic material for providing the desired electrical conductivity includes a preferably particulate introduced filler made of a carbon black or graphite or palladium material.
  • the electrical discharge path is designed for an ohmic leakage resistance in the range from 0.1 ⁇ to 2 ⁇ .
  • the electrical discharge path provides a defined high-resistance electrical resistance, as it is particularly suitable for the targeted derivation of possibly occurring, unwanted electrostatic charges.
  • the shaft of the respective transport roller is formed from a metal material, which may in particular be a stainless steel material.
  • the feed carrier on a metallic rail which is electrically connected to the sliding bearing region of the respective transport roller and is electrically connected to a discharge line.
  • the metallic rail can thereby serve as current busbars of the electrical discharge path, with which in the case of multiple transport rollers, the electrostatic charges of these transport rollers or their sliding bearings can be collected collected to the discharge line.
  • the metallic rail can fulfill a mechanical stabilization function for the feed carrier.
  • the rollers 3 can also be made of this electrically conductive plastic material otherwise.
  • the cylinder surface of the transport rollers 1 b functioning as a substrate contact region consists of such an electrically conductive and preferably thermoplastic plastic material, again depending on requirements and application, the cylinder part of these transport rollers 1 b also made of this electrically conductive plastic material or alternatively of another material consists.
  • the shafts 2 of the transport rollers 1 are preferably made of precious metal or other metal material. It is understood that the shafts 2 may alternatively consist of one of said electrically conductive plastic materials, if appropriate.
  • the plain bearing areas 8 of the feed carrier 6 are made of an electrically conductive plastic material, in particular one of the materials mentioned above.
  • an electrically conductive PE material or PEEK material is used here.
  • the use of PEEK material is preferably limited to the sliding bearing region 8, while the feed carrier 6, moreover, ie its base body 7, is then preferably made of a metallic material, eg a titanium or stainless steel material.
  • Figs. 4 and 5 illustrate a variant of the transport device of Figs. 1 to 3, wherein the same reference numerals are used to facilitate understanding of identical and functionally equivalent elements and insofar reference can be made to the above description of the transport device of Figs. 1 to 3.

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Abstract

The invention relates to a transport device for flat substrates, in particular for transporting printed circuit boards and similar electronic substrates or electrical engineering substrates, such as structured and unstructured semiconductor wafers and thin-layer components used in electronics and electrical engineering. The transport device has one or preferably more transport rollers (1) which are arranged one behind the other in a transport direction and/or at least one pair of which is arranged one over the other perpendicularly to a transport direction and between which a substrate transport gap (5) is formed. Each transport roller contains a shaft (2) and a substrate contact region (4') which is rotationally fixed to the shaft. Furthermore, the transport device comprises an advancing support (6) with sliding bearings (9), in which a respective end-face journal (10) of each transport roller is rotatably supported on one side or preferably on both sides. According to the invention, the transport roller substrate contact region (4') and a sliding bearing region (8) of the advancing support consist of an electrically conductive plastic material. Additionally, the transport device has an electric discharge path to which the transport roller substrate contact region and/or the advancing support sliding bearing region is connected in an electrically conductive manner. The invention also relates to the use of said transport device for example for transporting printed circuit boards in the production of printed circuit boards.

Description

Transportvorrichtung für flache Substrate  Transport device for flat substrates
Die Erfindung bezieht sich auf eine Transportvorrichtung für flache Substrate, insbesondere für den Transport von Leiterplatten und ähnlichen Elektronik-Substraten bzw. Elektrotechnik- Substraten, wie strukturierte und unstrukturierte Halbleiterwafer und in der Elektronik und Elekt- rotechnik verwendete Dünnschichtbauelemente. Die Transportvorrichtung weist eine oder vorzugsweise mehrere Transportwalzen auf, die in einer Transportrichtung hintereinander angeordnet sind und/oder von denen mindestens zwei als Paar senkrecht zu einer Transportrichtung übereinander angeordnet sind und zwischen sich einen Substrattransportspalt bilden. Die jeweilige Transportwalze beinhaltet eine Welle und einen mit der Welle drehfesten Substratkontakt- bereich. Des Weiteren umfasst die Transportvorrichtung einen Vorschubträger mit Gleitlagern, in denen die jeweilige Transportwalze einseitig oder vorzugsweise beidseitig mit einem jeweiligen endseitigen Wellenzapfen drehbeweglich gelagert ist. The invention relates to a transport device for flat substrates, in particular for the transport of printed circuit boards and similar electronic substrates or electrical engineering substrates, such as structured and unstructured semiconductor wafers and thin-film components used in electronics and electrical engineering. The transport device has one or preferably a plurality of transport rollers, which are arranged one behind the other in a transport direction and / or of which at least two are arranged as a pair perpendicular to a transport direction one above the other and form a substrate transporting gap between them. The respective transport roller includes a shaft and a substrate contact area which is non-rotatable with the shaft. Furthermore, the transport device comprises a feed carrier with plain bearings, in which the respective transport roller is rotatably mounted on one side or preferably on both sides with a respective end-side shaft journal.
Derartige Transportvorrichtungen sind in verschiedenen Ausführungen gebräuchlich. So offenbart die Offenlegungsschrift DE 101 28 386 A1 eine Transportvorrichtung dieser Art, bei der die Gleitlager für die Transportwalzen speziell von Einsätzen gebildet sind, die in entsprechende Aufnahmen des Vorschubträgers auswechselbar eingesetzt sind. Die Wellen der Transportwalzen bestehen typischerweise aus Titan, Edelstahl oder Polytetrafluorethylen (PTFE). Der Vorschubträger mit den Gleitlagern besteht typischerweise aus einem Kunststoffmaterial wie Polyethylen (PE), Polypropylen (PP), Polyvinylchlorid (PVC) oder Polyvinylidenfluorid (PVDF). Für Leiterplatten und ähnliche Substrate besteht häufig der Bedarf bzw. die Anforderung, sie vor elektrostatischen Aufladungen zu schützen. In Transportstrecken, in denen die Substrate eine Behandlung mit einer Flüssigkeit erfahren, verhindert diese in aller Regel solche unerwünschten elektrostatischen Aufladungen. Auf Transportstrecken ohne Flüssigkeitsbehandlung ist dieser Schutzmechanismus nicht gegeben. Solche„trockenen" Transportstrecken sind z.B. typische Einlaufmodule, Kontrollmodule, Trocknungsmodule und Auslaufmodule von modularen Substratbehandlungssystemen. Such transport devices are common in various designs. Thus, published patent application DE 101 28 386 A1 discloses a transport device of this type, in which the slide bearings for the transport rollers are specially formed by inserts which are interchangeable inserted into corresponding receptacles of the feed carrier. The shafts of the transport rollers are typically made of titanium, stainless steel or polytetrafluoroethylene (PTFE). The feed carrier with the slide bearings is typically made of a plastic material such as polyethylene (PE), polypropylene (PP), polyvinyl chloride (PVC) or polyvinylidene fluoride (PVDF). For printed circuit boards and similar substrates there is often a need or requirement to protect them from electrostatic charges. In transport routes, in which the substrates undergo a treatment with a liquid, this usually prevents such unwanted electrostatic charges. On transport routes without liquid treatment, this protection mechanism is not given. Such "dry" transport lines are, for example, typical run-in modules, control modules, drying modules and run-off modules of modular substrate treatment systems.
Es ist bekannt, elektrostatischen Aufladungen in solchen trockenen Transportstrecken durch den Einsatz eines lonen-Sprühstabs oberhalb und/oder unterhalb der Substrattransportebene entgegenzuwirken. Solche lonen-Sprühstäbe lassen sich aber unter manchen Umgebungsbe- dingungen, wie sie z.B. für die Leiterplattenbehandlung vorhanden sind, nicht dauerhaft beständig einsetzen, wie in mit Chemikalien verunreinigter Umgebungsluft und in Umgebungen mit erhöhten Temperaturen, wie sie z.B. in Trocknungsmodulen vorherrschen. Zwar könnten die Substrate auch dadurch vor elektrostatischer Aufladung geschützt werden, dass die Transportwalzen nicht nur mit ihrer Welle, sondern auch mit ihrem die Substrate kontaktierenden Substratkontaktbereich metallisch ausgeführt werden, dies kann aber leicht zu Schädigungen der Oberfläche der Substrate führen, was beispielsweise bei Leiterplatten Funk- tionsausfälle durch Schädigung ihrer feinen Leiterbahnstrukturen verursachen kann. Zudem sind typischerweise für Transportwalzen eingesetzte metallische Werkstoffe, wie Edelstahl oder Titan, aufgrund ihrer eingeschränkten chemischen Beständigkeit zur Verwendung in Leiterplatten-Produktionsanlagen nur bedingt tauglich. It is known to counteract electrostatic charges in such dry transport routes by the use of an ion spray bar above and / or below the substrate transport plane. Such ionic spray bars, however, can not be permanently used under some environmental conditions, such as those found in printed circuit board processing, such as in ambient air polluted with chemicals and in elevated temperature environments, such as prevalent in drying modules. Although the substrates could also be protected from electrostatic charging by the fact that the transport rollers are made metallic not only with their wave, but also with their substrates contacting the substrate contact area, but this can easily lead to damage to the surface of the substrates, which for example in circuit boards radio - Can cause breakdown losses due to damage to their fine interconnect structures. In addition, typically used for transport rollers metallic materials such as stainless steel or titanium, due to their limited chemical resistance for use in printed circuit board production facilities are only partially suitable.
Der Erfindung liegt als technisches Problem die Bereitstellung einer Transportvorrichtung der eingangs genannten Art zugrunde, mit der sich transportierte flache Substrate, wie Leiterplatten, während des Transports in verbesserter Weise vor elektrostatischen Aufladungen schützen lassen. The invention is based on the technical problem of providing a transport device of the type mentioned above, with which transported flat substrates, such as printed circuit boards, can be protected during the transport in an improved manner from electrostatic charges.
Die Erfindung löst dieses Problem durch die Bereitstellung einer Transportvorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 . Bei dieser Transportvorrichtung bestehen der Transportwalzen- Substratkontaktbereich und der Gleitlagerbereich des Vorschubträgers aus einem elektrisch leitfähigen Kunststoffmaterial. Zudem ist ein elektrischer Entladungspfad vorgesehen, mit dem der Transportwalzen-Substratkontaktbereich und/oder der Vorschubträger-Gleitlagerbereich elektrisch leitend verbunden ist. The invention solves this problem by providing a transport device having the features of claim 1. In this transport device, the transport roller substrate contact area and the slide bearing area of the feed carrier consist of an electrically conductive plastic material. In addition, an electrical discharge path is provided, with which the transport roller substrate contact region and / or the feed carrier plain bearing region is electrically conductively connected.
Die erfindungsgemäße Transportvorrichtung sorgt auf diese Weise für eine ausreichende Ab- führung elektrischer Ladungen von den transportierten flachen Substraten bzw. von den Transportwalzen und dem Vorschubträger über den elektrischen Entladungspfad, so dass sich keine unerwünschten elektrostatischen Aufladungen bilden können, die zu einer Schädigung der Substrate führen könnten. Aufladungen im Gleitlagerbereich des Vorschubträgers können direkt abgeführt werden, ohne die Substrate zu erreichen. Aufladungen, die sich im Kontaktbereich der Transportwalzen mit den Substraten bilden, können über die Transportwalzen und den Vorschubträger abgeführt werden. Die Substrate werden vom aus elektrisch leitfähigem Kunststoffmaterial bestehenden Substratkontaktbereich der Transportwalzen kontaktiert, wodurch ein Kontakt der transportierten Substrate mit metallischen Transportwalzenbereichen vermieden wird. In this way, the transport device according to the invention ensures sufficient discharge of electrical charges from the transported flat substrates or from the transport rollers and the feed carrier via the electrical discharge path, so that no undesirable electrostatic charges can form which lead to damage of the substrates could. Charges in the slide bearing area of the feed carrier can be removed directly without reaching the substrates. Charges that form in the contact area of the transport rollers with the substrates can be removed via the transport rollers and the feed carrier. The substrates are contacted by the existing of electrically conductive plastic material substrate contact area of the transport rollers, whereby contact of the transported substrates with metallic transport roller areas is avoided.
In einer Weiterbildung der Erfindung ist das elektrisch leitfähige Kunststoffmaterial für den Transportwalzen-Substratkontaktbereich bzw. den Vorschubträger-Gleitlagerbereich ein elektrisch leitfähiges PP-Material oder PE-Material oder PVDF-Material oder Polyetherke- ton(PEEK)-Material. Diese Materialien haben sich als für den vorliegenden Verwendungszweck gut geeignet erwiesen. In one development of the invention, the electrically conductive plastic material for the transport roller substrate contact region or the feed carrier plain bearing region is an electrically conductive PP material or PE material or PVDF material or polyetherketone material. ton (PEEK) material. These materials have proven to be well suited for the present purpose.
In einer Weiterbildung der Erfindung beinhaltet das elektrisch leitfähige Kunststoffmaterial zur Bereitstellung der gewünschten elektrischen Leitfähigkeit einen vorzugsweise partikelförmig eingebrachten Füllstoff aus einem Ruß- oder Graphit- oder Palladium-Material. In one development of the invention, the electrically conductive plastic material for providing the desired electrical conductivity includes a preferably particulate introduced filler made of a carbon black or graphite or palladium material.
In einer Weiterbildung der Erfindung ist der elektrische Entladungspfad auf einen ohmschen Ableitwiderstand im Bereich von 0,1 ΜΩ bis 2ΜΩ ausgelegt. Damit stellt der elektrische Entladungspfad einen definierten hochohmigen elektrischen Widerstand bereit, wie er zum gezielten Ableiten von eventuell auftretenden, unerwünschten elektrostatischen Aufladungen besonders geeignet ist. In one development of the invention, the electrical discharge path is designed for an ohmic leakage resistance in the range from 0.1 Ω to 2 Ω. Thus, the electrical discharge path provides a defined high-resistance electrical resistance, as it is particularly suitable for the targeted derivation of possibly occurring, unwanted electrostatic charges.
In einer Weiterbildung der Erfindung ist die Welle der jeweiligen Transportwalze aus einem Metallmaterial gebildet, bei dem es sich insbesondere um ein Edelstahlmaterial handeln kann. In a further development of the invention, the shaft of the respective transport roller is formed from a metal material, which may in particular be a stainless steel material.
In einer Weiterbildung der Erfindung beinhaltet der Vorschubträger einen metallischen Grundkörper und einen an diesem angebrachten Gleitlagereinsatz, der den Gleitlagerbereich des Vorschubträgers umfasst und entsprechend aus dem für diesen vorgesehenen leitfähigen Kunststoffmaterial besteht. In a further development of the invention, the feed carrier includes a metallic base body and a slide bearing insert attached thereto, which comprises the sliding bearing region of the feed carrier and accordingly consists of the conductive plastic material provided for this purpose.
In einer Weiterbildung der Erfindung weist der Vorschubträger eine metallische Schiene auf, die elektrisch mit dem Gleitlagerbereich der jeweiligen Transportwalze verbunden ist und mit der elektrisch eine Entladungsleitung verbunden ist. Die metallische Schiene kann dadurch als Stromsammeischiene des elektrischen Entladungspfades dienen, mit der im Fall mehrerer Transportwalzen die elektrostatischen Ladungen dieser Transportwalzen bzw. deren Gleitlagerungen gesammelt zur Entladungsleitung abgeführt werden können. Zudem kann die metallische Schiene eine mechanische Stabilisierungsfunktion für den Vorschubträger erfüllen. In a further development of the invention, the feed carrier on a metallic rail which is electrically connected to the sliding bearing region of the respective transport roller and is electrically connected to a discharge line. The metallic rail can thereby serve as current busbars of the electrical discharge path, with which in the case of multiple transport rollers, the electrostatic charges of these transport rollers or their sliding bearings can be collected collected to the discharge line. In addition, the metallic rail can fulfill a mechanical stabilization function for the feed carrier.
Vorteilhafte Ausführungsformen der Erfindung sind in den Zeichnungen dargestellt und werden nachfolgend beschrieben. Hierbei zeigen: Advantageous embodiments of the invention are illustrated in the drawings and will be described below. Hereby show:
Fig. 1 eine ausschnittweise Draufsicht auf eine Leiterplatten-Transportvorrichtung mit mehreren in Transportrichtung hintereinander und quer zur Transportrichtung paarweise übereinander angeordneten Transportwalzen, 1 is a fragmentary plan view of a printed circuit board transport device with several in the transport direction one behind the other and transversely to the transport direction in pairs stacked transport rollers,
Fig. 2 eine Schnittansicht längs einer Linie I I-I I von Fig. 1 , Fig. 3 eine Schnittansicht längs einer Linie II I-I I I von Fig. 1 , 2 is a sectional view taken along a line I II I of Fig. 1, 3 is a sectional view taken along a line II II II of Fig. 1,
Fig. 4 eine Draufsicht entsprechend Fig. 1 für eine Variante der Transportvorrichtung der Fig. 4 is a plan view corresponding to FIG. 1 for a variant of the transport device of FIG.
1 bis 3 und  1 to 3 and
Fig. 5 eine Schnittansicht längs einer Linie V-V von Fig. 4. Die Figuren 1 bis 3 zeigen eine Transportvorrichtung, mit der sich Leiterplatten oder ähnliche flache Substrate, wie sie insbesondere in der Elektronikindustrie und der elektrotechnischen Industrie Verwendung finden, längs einer Transportrichtung T auf einer z.B. horizontalen Transportstrecke transportieren lassen. Dazu weist die Transportvorrichtung mehrere Transportwalzen 1 auf, die untereinander je nach Bedarf identisch oder unterschiedlich ausgeführt sein kön- nen. Im gezeigten Beispiel ist letzteres der Fall. In der Ausschnittansicht der Fig. 1 bis 3 sind ein Paar von Transportwalzen 1 a eines Rollentyps und ein Paar von Transportwalzen 1 b eines Zylindertyps zu erkennen, wobei die beiden Walzenpaare in Transportrichtung T hintereinander angeordnet sind und die beiden Transportwalzen des jeweiligen Paares senkrecht zur Transportrichtung T übereinanderliegend angeordnet sind. Alle Transportwalzen 1 a, 1 b sind mit zuei- nander parallelen Längsachsen angeordnet. Fig. 5 is a sectional view taken along a line VV of Fig. 4. Figures 1 to 3 show a transport device with which printed circuit boards or similar flat substrates, such as those used in the electronics industry and the electrical industry, along a transport direction T. one example transport horizontal transport route. For this purpose, the transport device has a plurality of transport rollers 1, which can be designed to be identical or different from one another as required. In the example shown, the latter is the case. In the sectional view of Fig. 1 to 3, a pair of transport rollers 1 a of a roll type and a pair of transport rollers 1 b of a cylinder type can be seen, wherein the two pairs of rollers in the transport direction T are arranged one behind the other and the two transport rollers of the respective pair perpendicular to the transport direction T are arranged one above the other. All transport rollers 1 a, 1 b are arranged with mutually parallel longitudinal axes.
Die Transportwalzen 1 a vom Rollentyp beinhalten eine Welle 2, auf der mit axialem Abstand voneinander eine Mehrzahl von Rollen 3 drehfest gehalten ist. Bei den Transportwalzen 1 b vom Zylindertyp ist an der Welle drehfest ein Walzenzylinder 3' gehalten, dessen Mantelfläche 4 einen Substratkontaktbereich bildet, mit dem diese Transportwalzen 1 b die Substrate kontaktie- ren und durch die Walzendrehbewegung transportieren. Bei den Transportwalzen 1 a vom Rollentyp ist der Substratkontaktbereich von einer Umfangsfläche 4' der Rollen 3 gebildet. Wie aus den Fig. 2 und 3 zu erkennen, bilden die jeweils paarig übereinander angeordneten Transportwalzen 1 a, 1 b vom Rollentyp bzw. Zylindertyp zwischen sich einen Substrattransportspalt 5 durch den hindurch die Substrate in Transportrichtung T transportiert werden, wozu sich die beiden Transportwalzen 1 jedes Paares gegensinnig und die auf gleicher Höhe in Transportrichtung T hintereinanderliegenden Transportwalzen 1 gleichsinnig drehen. The transport rollers 1 a roll type include a shaft 2, on the axial distance from each other a plurality of rollers 3 is rotatably held. In the case of the cylinder-type transport rollers 1b, a roll cylinder 3 'is fixedly held on the shaft, whose lateral surface 4 forms a substrate contact region with which these transport rollers 1b contact the substrates and transport them by the rolling rotational movement. In the transport rollers 1 a of the roller type, the substrate contact area is formed by a peripheral surface 4 'of the rollers 3. As can be seen from FIGS. 2 and 3, the respective paired transport rollers 1 a, 1 b of roller type or cylinder type form between them a substrate transporting gap 5 through which the substrates are transported in the transport direction T, for which purpose the two transport rollers 1 each pair in opposite directions and at the same height in the transport direction T consecutive transport rollers 1 rotate in the same direction.
Zur Lagerung und zum Antrieb der Transportwalzen 1 besitzt die Transportvorrichtung einen Vorschubträger, der im gezeigten Beispiel zwei seitliche Vorschubträgereinheiten 6a, 6b an den Seiten der Transportwalzen 1 beinhaltet. Die jeweilige Vorschubträgereinheit 6a, 6b weist einen sich parallel zur Transportrichtung T länglich unterhalb der Transportwalzen T erstreckenden Grundkörper 7 und davon senkrecht zur Transportrichtung und zu den Transportwalzen- Längsachsen nach oben abstehende Gleitlagerbereiche 8 auf. Der jeweilige Gleitlagerbereich 8 beinhaltet Gleitlager 9, in denen die Wellen 2 der Transportwalzen 1 mit einem jeweiligen Wellenende bzw. Wellenzapfen 10 drehbeweglich gehalten sind. For storage and to drive the transport rollers 1, the transport device has a feed carrier, which includes two lateral feed carrier units 6a, 6b on the sides of the transport rollers 1 in the example shown. The respective feed carrier unit 6a, 6b has a base body 7 which extends parallel to the transport direction T longitudinally below the transport rollers T and has plain bearing regions 8 projecting upwards perpendicularly to the transport direction and to the transport roller longitudinal axes. The respective plain bearing area 8 includes plain bearings 9, in which the shafts 2 of the transport rollers 1 are rotatably held with a respective shaft end or shaft journal 10.
Auf einer Seite, hier auf der in den Fig. 1 bis 3 rechten Seite, auf der sich die Vorschubträgereinheit 6a befindet, umfasst der Vorschubträger 6 einen Walzenantrieb 1 1 von einer übli- chen Bauart mit einer in Transportrichtung durchgehenden Antriebswelle, an die über Kegelradgetriebe die einzelnen Transportwalzen 1 angekoppelt sind. On one side, here on the right side in FIGS. 1 to 3, on which the feed carrier unit 6a is located, the feed carrier 6 comprises a roller drive 1 1 of a conventional design with a drive shaft passing through in the transport direction, to the bevel gear the individual transport rollers 1 are coupled.
Des Weiteren beinhaltet die Transportvorrichtung einen elektrischen Entladungspfad, mit dem die Transportwalzen-Substratkontaktbereiche 4, 4' und die Vorschubträger-Gleitlagerbereiche 8 elektrisch leitend verbunden sind. Alternativ können z.B. auch nur die Gleitlagerbereiche 8 elektrisch an diesen Entladungspfad angekoppelt sein. Der Entladungspfad beinhaltet je eine von der jeweiligen Vorschubträgereinheit 6a, 6b abführende elektrische Entladungsleitung 12a, 12b, die mittels einer zugehörigen Schraubverbindung elektrisch kontaktierend an der Vorschubträgereinheit 6a, 6b angebracht ist. Mit der gleichen Schraubverbindung ist im gezeigten Beispiel je eine durchgehende, elektrisch leitfähige und vorzugsweise metallische Schiene 13a, 13b im unteren Bereich der Vorschubträgereinheit 6a, 6b mit elektrischem Kontakt zu diesem und zur Entladungsleitung 12a, 12b angebracht. Die beiden Schienen 13a, 13b haben eine mechanische Stabilisierungsfunktion für die jeweilige Vorschubträgereinheit 6a, 6b und dienen als Sammelschiene zum Abführen elektrischer Ladungen von den Gleitlagerbereichen 8, die den verschiedenen Transportwalzen 1 zugeordnet sind, zur zugehörigen Entladungsleitung 12a, 12b. Furthermore, the transport device includes an electrical discharge path to which the transport roller substrate contact regions 4, 4 'and the feed carrier plain bearing regions 8 are electrically conductively connected. Alternatively, e.g. Also, only the plain bearing areas 8 to be electrically coupled to this discharge path. The discharge path includes one each of the respective feed carrier unit 6a, 6b laxative electrical discharge line 12a, 12b, which is mounted by means of an associated screw electrically contacting the feed carrier unit 6a, 6b. In the example shown, a continuous, electrically conductive and preferably metallic rail 13a, 13b is mounted in the lower region of the feed carrier unit 6a, 6b with electrical contact to the same and to the discharge line 12a, 12b with the same screw connection. The two rails 13a, 13b have a mechanical stabilizing function for the respective feed carrier unit 6a, 6b and serve as a busbar for discharging electrical charges from the plain bearing areas 8, which are assigned to the various transport rollers 1, to the associated discharge line 12a, 12b.
Die als Substratkontaktbereich fungierenden Umfangsflächen 4' der Walzenrollen 3 bestehen aus einem elektrisch leitfähigen Kunststoffmaterial, vorzugsweise aus einem PP-Material, einem PVDF-Material oder einem PEEK-Material, das durch einen Partikel-Füllstoff aus Ruß-, Graphit- oder Palladium-Material in einem gewünschten, vorgebbaren Maß elektrisch leitfähig gemacht ist. Je nach Bedarf und Anwendungsfall können die Rollen 3 auch im Übrigen aus diesem elektrisch leitfähigen Kunststoffmaterial gefertigt sein. Ebenso besteht die als Substratkontaktbereich fungierende Mantelfläche 4 der zylindrischen Transportwalzen 1 b aus einem solchen elektrisch leitfähigen und vorzugsweise thermoplastischen Kunststoffmaterial, wobei auch hier wiederum je nach Bedarf und Anwendungsfall der Zylinderteil dieser Transportwalzen 1 b ebenfalls aus diesem elektrisch leitfähigen Kunststoffmaterial oder alternativ aus einem anderen Material besteht. Die Wellen 2 der Transportwalzen 1 bestehen vorzugsweise aus Edelmetall oder einem anderen Metallmaterial. Es versteht sich, dass die Wellen 2 alternativ aus einem der genannten elektrisch leitfähigen Kunststoffmaterialien bestehen können, wenn dies zweckmäßig erscheint. Ebenso sind die Gleitlagerbereiche 8 des Vorschubträgers 6 aus einem elektrisch leitfähigen Kunststoffmaterial gefertigt, insbesondere eines der hierzu oben genannten Materialien. Bevorzugt kommt hier ein elektrisch leitfähiges PE-Material oder PEEK-Material zum Einsatz. Die Verwendung von PEEK-Material wird bevorzugt auf den Gleitlagerbereich 8 beschränkt, wäh- rend der Vorschubträger 6 im Übrigen, d.h. sein Grundkörper 7, dann vorzugsweise aus einem metallischen Material gefertigt ist, z.B. einem Titan- oder Edelstahl-Material. Alternativ kann auch der Vorschubträger-Grundkörper 7 aus dem für den Gleitlagerbereich 8 genutzten, elektrisch leitfähigen Kunststoffmaterial bestehen, wobei dann auch eine einstückige Realisierung der jeweiligen Vorschubträgereinheit 6a, 6b möglich ist. Die Verwendung von PEEK- Material ist insbesondere für Anwendungen zweckmäßig, bei denen relativ hohe Umgebungstemperaturen auftreten, wie beispielsweise in Trocknungsmodulen, in denen Umgebungstemperaturen von z.B. bis zu 90°C herrschen. The peripheral surfaces 4 'of the roller rollers 3, which act as a substrate contact region, consist of an electrically conductive plastic material, preferably a PP material, a PVDF material or a PEEK material, which is made of carbon black, graphite or palladium material through a particle filler is made electrically conductive in a desired, predeterminable degree. Depending on requirements and application, the rollers 3 can also be made of this electrically conductive plastic material otherwise. Likewise, the cylinder surface of the transport rollers 1 b functioning as a substrate contact region consists of such an electrically conductive and preferably thermoplastic plastic material, again depending on requirements and application, the cylinder part of these transport rollers 1 b also made of this electrically conductive plastic material or alternatively of another material consists. The shafts 2 of the transport rollers 1 are preferably made of precious metal or other metal material. It is understood that the shafts 2 may alternatively consist of one of said electrically conductive plastic materials, if appropriate. Likewise, the plain bearing areas 8 of the feed carrier 6 are made of an electrically conductive plastic material, in particular one of the materials mentioned above. Preferably, an electrically conductive PE material or PEEK material is used here. The use of PEEK material is preferably limited to the sliding bearing region 8, while the feed carrier 6, moreover, ie its base body 7, is then preferably made of a metallic material, eg a titanium or stainless steel material. Alternatively, the feed carrier base body 7 may consist of the electrically conductive plastic material used for the sliding bearing region 8, wherein then also an integral realization of the respective feed carrier unit 6a, 6b is possible. The use of PEEK material is particularly useful for applications where relatively high ambient temperatures occur, such as in drying modules where ambient temperatures of, for example, up to 90 ° C prevail.
In jeder der genannten Ausführungsvarianten ist sichergestellt, dass eine zum Abführen etwaiger elektrostatischer Aufladungen ausreichende, durchgehende elektrische Verbindung von den Transportwalzen-Substratkontaktbereichen 4, 4' bis zu den Entladungsleitungen 12a, 12b besteht. Der betreffende elektrische Entladungspfad ist hierbei vorzugsweise auf einen ohmschen Ableitwiderstand im Bereich von 0,1 ΜΩ bis 2ΜΩ ausgelegt, was insbesondere durch entsprechende Einstellung der elektrischen Leitfähigkeit des oder der verwendeten elektrisch leitfähigen Kunststoffmaterialien bewerkstelligt wird. Auf diese Weise wird bei der Transportvorrichtung zuverlässig vermieden, dass die von ihr transportierten Substrate bzw. Leiterplatten übermäßigen elektrostatischen Aufladungen ausgesetzt werden, wenn sich durch den rotierenden Betrieb der Transportwalzen 1 derartige Aufladungen im Kontaktbereich der Walzen 1 zu den Substraten und in den Gleitlagerbereichen 8 der Vorschubträgereinheiten 6a, 6b bilden. Derartige elektrostatische Aufladungen werden bei der erfindungsgemäßen Transportvorrichtung zu- verlässig über den elektrischen Entladungspfad und deren Entladungsleitungen 12a, 12b abgeführt. In each of the mentioned embodiments, it is ensured that there is a sufficient continuous electrical connection from the transport roller substrate contact areas 4, 4 'to the discharge lines 12a, 12b for discharging any electrostatic charges. The relevant electrical discharge path is in this case preferably designed for an ohmic leakage resistance in the range of 0.1 Ω to 2 Ω, which is accomplished in particular by appropriate adjustment of the electrical conductivity of the one or more electrically conductive plastic materials used. In this way, it is reliably avoided in the transport device that the substrates or printed circuit boards transported by it are exposed to excessive electrostatic charges when such charges in the contact area of the rollers 1 to the substrates and in the sliding bearing areas 8 of the rotating operation of the transport rollers 1 Feed carrier units 6a, 6b form. Such electrostatic charges are discharged reliably in the transport device according to the invention via the electrical discharge path and the discharge lines 12a, 12b.
Die Fig. 4 und 5 veranschaulichen eine Variante der Transportvorrichtung der Fig. 1 bis 3, wobei zum leichteren Verständnis für identische und funktionell äquivalente Elemente gleiche Bezugszeichen verwendet sind und insoweit auf die obige Beschreibung der Transportvorrichtung der Fig. 1 bis 3 verwiesen werden kann. Figs. 4 and 5 illustrate a variant of the transport device of Figs. 1 to 3, wherein the same reference numerals are used to facilitate understanding of identical and functionally equivalent elements and insofar reference can be made to the above description of the transport device of Figs. 1 to 3.
Die Transportvorrichtung der Fig. 4 und 5 unterscheidet sich von derjenigen der Fig. 1 bis 3 vor allem darin, dass die Gleitlagerbereiche 8 der beiden Vorschubträgereinheiten 6a, 6b als vom jeweiligen Grundkörper 7 separate Bauteile gefertigt und als Gleitlagereinsätze in entsprechende Aufnahmen der Vorschubträgereinheiten 6a, 6b eingesetzt sind. Dies lässt eine einfache Materialentkopplung der Gleitlagerbereiche 8 einerseits und des Grundkörpers 7 andererseits zu und ermöglicht bei Bedarf eine leichte Austauschbarkeit der verschleißanfälligeren Gleitlagerbereiche 8 unter Beibehaltung des Grundkörpers 7. Der Grundkörper 7 kann in diesem Fall z.B. aus einem Edelstahl-Material gefertigt sein, während die Gleitkörpereinsätze bei Bedarf aus elektrisch leitfähigem PEEK-Material gefertigt sein können. The transport device of FIGS. 4 and 5 differs from that of FIGS. 1 to 3 above all in that the slide bearing regions 8 of the two feed carrier units 6a, 6b are manufactured as separate components from the respective main body 7 and as sliding bearing inserts into corresponding receptacles of the feed carrier units 6a, 6b are used. This leaves a simple one Material decoupling of the sliding bearing areas 8 on the one hand and the base body 7 on the other hand and allows easy replacement of the wear-susceptible sliding bearing areas 8 while maintaining the body 7. The main body 7 may be made in this case, for example, from a stainless steel material, while the Gleitkörpereinsätze if necessary electrically conductive PEEK material can be made.
Durch die oben erläuterte Wahl der jeweils geeigneten Materialien für die verschiedenen erwähnten Bestandteile der Transportvorrichtung kann zudem sichergestellt werden, dass alle Vorrichtungsbestandteile die erforderliche chemische Beständigkeit und Temperaturfestigkeit besitzen, die für diese verschiedenen Vorrichtungskomponenten je nach Anwendungsfall gefor- dert ist. By the above-mentioned choice of suitable materials for the various mentioned components of the transport device can also be ensured that all device components have the required chemical resistance and temperature resistance, which is required for these different device components depending on the application.
Es versteht sich, dass in alternativen Ausführungsformen die erfindungsgemäße Transportvorrichtung eine andere Anzahl und Anordnung sowie eine andersartige Gestaltung der Transportwalzen beinhalten kann, je nach der Art der zu transportierenden Substrate und dem Einsatzort bzw. den Umgebungsbedingungen. In jedem Fall ist jedoch ein elektrischer Entladungspfad vorhanden, durch den elektrostatische Aufladungen im Transportwalzen- Substratkontaktbereich und/oder im Vorschubträger-Gleitlagerbereich zuverlässig abgeleitet und dadurch vermieden werden können, ohne dass dies andererseits zu Lasten einer verringerten chemischen oder thermischen Beständigkeit der Vorrichtung geht. It is understood that in alternative embodiments, the transport device according to the invention may include a different number and arrangement and a different design of the transport rollers, depending on the nature of the substrates to be transported and the place of use or the environmental conditions. In any event, however, there is an electrical discharge path through which electrostatic charges in the transport roller substrate contact area and / or in the slide carrier journal area can be reliably dissipated and thereby avoided without, on the other hand, being at the expense of reduced chemical or thermal resistance of the device.

Claims

Patentansprüche claims
1 . Transportvorrichtung für flache Substrate, insbesondere Leiterplatten, mit 1 . Transport device for flat substrates, in particular printed circuit boards, with
- einer oder mehreren in einer Transportrichtung hintereinander angeordneten Transportwalzen (1 ) und/oder mindestens einem Paar von quer zu einer Transportrichtung übereinander angeordneten, zwischen sich einen Substrattransportspalt bildenden Transportwalzen (1 ), wobei die jeweilige Transportwalze eine Welle (2) und einen mit der Welle drehfesten Substratkontaktbereich (4, 4') aufweist, und  - One or more arranged in a transport direction successively transport rollers (1) and / or at least one pair of transversely to a transport direction arranged one above the other, a substrate transporting gap forming transport rollers (1), wherein the respective transport roller a shaft (2) and one with the Shaft rotationally fixed substrate contact region (4, 4 '), and
- einem Vorschubträger (6) mit Gleitlagern (9), in denen die jeweilige Transportwalze mit einem endseitigen Wellenzapfen (10) drehbeweglich gelagert ist,  - A feed carrier (6) with plain bearings (9), in which the respective transport roller is rotatably mounted with an end-side shaft journal (10),
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, d a s s  d a d u r c h e s e n c i n e s, d a s s
- der Transportwalzen-Substratkontaktbereich (4, 4') und ein Gleitlagerbereich (8) des Vorschubträgers (6) aus einem elektrisch leitfähigen Kunststoffmaterial bestehen und - The transport roller substrate contact area (4, 4 ') and a sliding bearing area (8) of the feed carrier (6) made of an electrically conductive plastic material and
- ein elektrischer Entladungspfad vorgesehen ist, mit dem der Transportwalzen- Substratkontaktbereich und/oder der Vorschubträger-Gleitlagerbereich elektrisch leitend verbunden ist. an electrical discharge path is provided, to which the transport roller substrate contact area and / or the feed carrier plain bearing area is electrically conductively connected.
2. Transportvorrichtung nach Anspruch 1 , weiter dadurch gekennzeichnet, dass das elektrisch leitfähige Kunststoffmaterial ein elektrisch leitfähiges PP-Material oder PE- Material oder PVDF-Material oder PEEK-Material ist. 2. Transport device according to claim 1, further characterized in that the electrically conductive plastic material is an electrically conductive PP material or PE material or PVDF material or PEEK material.
3. Transportvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, weiter dadurch gekennzeichnet, dass das elektrisch leitfähige Kunststoffmaterial einen elektrisch leitfähigen Füllstoff aus Ruß- oder Graphit- oder Palladium-Material enthält. 3. Transport device according to claim 1 or 2, further characterized in that the electrically conductive plastic material contains an electrically conductive filler of carbon black or graphite or palladium material.
4. Transportvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, weiter dadurch gekennzeichnet, dass der elektrische Entladungspfad auf einen ohmschen Ableitwiderstand im Bereich von 0,1 ΜΩ bis 2ΜΩ ausgelegt ist. 4. Transport device according to one of claims 1 to 3, further characterized in that the electrical discharge path is designed for an ohmic leakage resistance in the range of 0.1 Ω to 2 Ω.
5. Transportvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, weiter dadurch gekennzeichnet, dass die Welle der jeweiligen Transportwalze aus einem Metallmaterial, insbesondere Edelstahl, gebildet ist. 5. Transport device according to one of claims 1 to 4, further characterized in that the shaft of the respective transport roller of a metal material, in particular stainless steel, is formed.
6. Transportvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, weiter dadurch gekennzeichnet, dass der Vorschubträger einen Grundkörper (7) aus einem Metallmaterial, insbe- sondere Edelstahl, und einen am Grundkörper angebrachten, den Gleitlagerbereich beinhaltenden Gleitlagereinsatz (8) aus dem leitfähigen Kunststoffmaterial aufweist. 6. Transport device according to one of claims 1 to 5, further characterized in that the feed carrier comprises a base body (7) made of a metal material, in particular special stainless steel, and a mounted on the base body, the sliding bearing area containing slide bearing insert (8) made of the conductive plastic material.
Transportvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, weiter dadurch gekennzeichnet, dass der Vorschubträger eine metallische Schiene (13a, 13b) aufweist, die elektrisch mit dem Gleitlagerbereich der jeweiligen Transportwalze verbunden ist und mit der elektrisch eine Entladungsleitung verbunden ist. Transport device according to one of claims 1 to 6, further characterized in that the feed carrier has a metallic rail (13a, 13b) which is electrically connected to the sliding bearing region of the respective transport roller and to which a discharge line is electrically connected.
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