WO2014184233A1 - VORRICHTUNG ZUR BEAUFSCHLAGUNG DER AUßENSEITE EINES ROTATIONSSYMMETRISCHEN BAUTEILS MIT LASERSTRAHLUNG - Google Patents

VORRICHTUNG ZUR BEAUFSCHLAGUNG DER AUßENSEITE EINES ROTATIONSSYMMETRISCHEN BAUTEILS MIT LASERSTRAHLUNG Download PDF

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WO2014184233A1
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Definitions

  • the present invention relates to a device for
  • laser beam In the propagation direction of the laser radiation means the mean propagation direction of the laser radiation, especially if this is not a plane wave or at least partially divergent.
  • laser beam, light beam, sub-beam or beam is, unless expressly stated otherwise, not an idealized beam of geometric optics meant, but a real light beam, such as a laser beam with a Gaussian profile or a modified Gaussian profile or a top Hat profile, which has no infinitesimal small, but an extended beam cross-section.
  • Diode laser used.
  • two methods or device types are used.
  • a beam is moved around the component, or the component rotates in a laser beam.
  • the disadvantage of such a device is based on the fact that parts must be moved and the welding does not take place simultaneously. This can have a negative effect on the quality of the weld.
  • a plurality of, for example, divergent beam sources illuminate the component from an annular arrangement.
  • 4 shows schematically such Device in which five laser beams 1 impinge on a rotationally symmetrical component 2 from five different directions.
  • the disadvantage of such devices is based on the fact that the angles at which the component 2 is irradiated on the surface of the component 2 are different. Reflection and absorption thus vary over the component. Furthermore, a defined illumination can only be achieved for a fixed diameter of the component (see FIG. 4). With a larger diameter of the component 2 ', parts 3 of the surface are not exposed to laser radiation (see FIG. 5). With a smaller diameter of the component 2 ", a part 4 of the laser radiation passes the component 2" (see FIG. 6).
  • the problem underlying the present invention is to provide a device of the type mentioned, in which the application of laser radiation is relatively independent of the diameter of the component and / or in which the incident on the outside of the component laser radiation is a homogeneous
  • the device a
  • Focus is located on each of the lenses.
  • Angular distribution can on the one hand ensure that the outside of the component in the circumferential direction homogeneous with laser radiation
  • Angle distribution of laser radiation help ensure that components with different diameters optimally with laser radiation
  • the device comprises homogenizer means which control the laser radiation before passing through the laser beam
  • Homogenizer means in a number of lenses smaller eight are designed such that the laser radiation has a top hat intensity distribution with decreasing intensity to the edges cos 2 ( ⁇ ), and that the homogenizer means in a number of lenses greater than or equal to eight designed are that the laser radiation has a linear top hat intensity distribution.
  • the homogenizer means comprise one, preferably two lens arrays or a light guide.
  • the homogenizer means comprise a waveguide with an at least sections
  • a first extension of the light-conducting region which extends between an entry surface and an exit surface of the is greater than a second and / or a third, perpendicular to the first extension extent of the photoconductive region, preferably by a factor of
  • the device can be constructed coaxially to the axis of symmetry of the component, making it easier to a homogeneous
  • the device comprises at least one laser light source, preferably a plurality of laser light sources, which can generate laser radiation for the application of the component.
  • one of each of the lenses may have one
  • Laser light source can be assigned. Suitable laser light sources are, for example, laser diode bars or fiber-coupled diode lasers.
  • the device comprises optical means which can act on at least one or each of the lenses with laser radiation, in particular with the emanating from the at least one laser light source laser radiation.
  • the optical means may comprise, for example, imaging or focusing lenses.
  • the optical means may comprise the homogenizer means.
  • Homogenizer means be designed such that the entrance surface of each of the lenses with a homogeneous spatial distribution
  • the homogenous spatial distribution results in a homogeneous angular distribution.
  • the optical means and / or the homogenizer means are designed such that the entrance surface of each of the lenses with a to the design of the lens
  • Laser radiation is applied.
  • slightly sloping spatial intensity distributions may be applied to the lenses, which may contribute to an even more homogeneous intensity distribution on the component.
  • slightly sloping spatial intensity distributions may be applied to the lenses, which may contribute to an even more homogeneous intensity distribution on the component.
  • Local distributions of the laser radiation are applied to the lenses.
  • the optical means comprise collimator means, in particular at least one lens for collimation, which are designed and arranged in the device in such a way that the laser radiation with no or as little divergence as possible
  • the collimation of the laser radiation impinging on the lenses also contributes to increasing the homogeneity of the intensity distribution impinging on the component. It is possible that at least one or each of the lenses are cylindrical lenses whose cylinder axes are parallel to the symmetry axis of the component. In this way, an annular direction in the direction of the symmetry axis of the component corresponding to the length of the cylinder axes of the lenses is formed
  • Intensity distribution can, for example, under a
  • At least one or each of the lenses have a rotationally symmetric curvature and, in particular, spherical lenses.
  • a very narrow annular intensity distribution arises on the outside of the component. This intensity distribution can, for example, in the context of a processing process in the direction of
  • Symmetry axis of the component to be moved Furthermore, this intensity distribution can also be used to generate a local circumferential weld.
  • Symmetryeachse of the component in the circumferential direction are arranged side by side, in particular adjacent to each other. In this way it can be ensured with simple means that over the entire circumference of the component a uniform
  • At least one or each of the lenses can be arranged such that the direction in which the laser radiation propagates after passing through the at least one or each of the lenses is both a radial, with respect to the symmetry axis of the component. as well as an axial component having. It can thereby be achieved that none of the laser light sources can be damaged by laser radiation reflected at the component or by laser radiation passing past the component.
  • the device has a jet trap which can absorb portions of the laser radiation which are reflected by the component and / or past the component and / or transmitted through the component, the beam trap being in particular ring-shaped. It can also be achieved by such a beam trap that none of the laser light sources can be damaged by laser radiation reflected by the component or by laser radiation passing past the component or by laser radiation passing through a partially transparent component.
  • Fig. 1 is a schematic representation of an inventive
  • FIG. 2 shows a representation corresponding to FIG. 1 with a second rotationally symmetrical component
  • Fig. 3 is a Fig. 1 corresponding representation with a third
  • FIG. 5 a representation corresponding to FIG. 4 with a second rotationally symmetrical component
  • Fig. 6 is a Fig.4 corresponding representation with a third
  • Fig. 7 is a representation corresponding to Fig.1 a
  • Fig. 10 is a perspective view of a third embodiment of homogenizer means
  • FIG. 12 shows a detailed view of a device according to the invention with the third embodiment of homogenizer means
  • Fig. 13 is a schematic illustration of the
  • Fig. 14 is a schematic illustration of one of the
  • Fig. 15 is a schematic illustration of the
  • Device comprises five lenses 10. These lenses 10 are only schematically in the figures by a respective line indicated.
  • the lenses 10 may be, for example, plano-convex or biconvex or concave-convex lenses.
  • the five lenses 10 are arranged on the sides of a regular pentagon parallel to these sides so that the lenses 10 adjoin one another at the corners of the pentagon. It is the
  • Focal length of each of the lenses 10 is the same size and chosen so that the focus or the focal point or the focal line of all lenses is arranged in the same place.
  • the arrangement is changed accordingly, so that, for example, four lenses are arranged on the sides of a square. With only two lenses they are arranged parallel to each other and opposite each other and spaced from each other.
  • the lenses 10 as
  • Cylindrical lenses may be formed, whose cylinder axes are parallel to each other and extend into the plane of the drawing.
  • each of the lenses 10 has a focal line or focus line.
  • the lenses 10 each have a rotationally symmetrical curvature and, in particular, are spherical lenses.
  • each of the lenses 10 has a focal point or a focal point.
  • a rotationally symmetrical component 11 in particular a circular cylinder is arranged (see FIG. 1), which extends without cross-sectional change in the plane of the drawing of FIG.
  • the component 11 is arranged so that the foci of the lenses 10 on the symmetry axis 12
  • the device may further comprise at least one, preferably one of the number of lenses corresponding number of laser light sources and optical means which can apply the outgoing laser light from the laser light sources 13 to the lenses.
  • the optical means may in particular comprise collimating means, for example comprising a plurality of lenses for collimation, which are designed and arranged in the device such that the
  • FIG. 1 shows, by way of example, five laser radiations 13, each of which is perpendicular to the side facing away from the component
  • Laser radiation 13 indicated only schematically.
  • the laser radiations 13 on the entry surfaces of the lenses 10 should each have a homogeneous spatial distribution or spatial intensity distribution.
  • the laser beams 13 are respectively transformed by the lenses 10 in such a way that the laser radiations 13 each have a homogeneous angular distribution after emerging from the exit surfaces of the lenses 10 facing the component. This has the consequence that the same laser power is applied to each peripheral portion of the outside of the component 11, wherein the impact angle are equal.
  • Fig. 2 shows the device of Fig. 1, in which between the lenses 10, a component 11 'is arranged with an axis of symmetry 12', the has a larger diameter than the component 11. It turns out that even with this component 11 ', the outside is homogeneously illuminated.
  • FIG. 3 shows the device from FIG. 1, in which a component 11 "with an axis of symmetry 12", which has a smaller diameter than the component 11, is arranged between the lenses 10. It turns out that even in this component 11 ", the outside is homogeneously illuminated, and furthermore, in contrast to FIG.
  • NA numerical aperture
  • the numerical aperture of the lenses can be determined as follows:
  • At least four lenses 10 are likely to be realistic in number because lenses with very large numerical aperture (NA> 0.8) are difficult to manufacture.
  • the lenses 10 should be illuminated with a homogeneous spatial distribution.
  • the slow-axis distribution of laser diode bars is suitable. Accordingly, laser diode sources can therefore be selected as laser light sources.
  • the slow axis distribution can also be additionally homogenized. Appropriate Homogenizer means will be described in more detail below with reference to FIGS. 7 to 12.
  • Another good source of laser light is a fiber-coupled one
  • Diode lasers Diode lasers.
  • the fiber near field which is often relatively homogeneous, can be imaged onto the lenses 10.
  • Azylinders can be chosen as the lenses with a large numerical aperture, in special cases also round aspheres or cylindrical Fresnel lenses.
  • any antireflection coatings on the lenses have a similarly good transmission for all angles.
  • laser radiation 13 From the divergence of the incident on the lenses 10 laser radiation 13 can be closed to the smallest diameter d of the component 11, 11 ', 11 ", in which all laser radiation 13 on the surface of the component 11, 11', 11" hits.
  • the diameter can be chosen so large that the outside of the component 11, 11', 11" adjoins the exit surfaces of the lenses 10 pounds.
  • the maximum diameter may be made slightly smaller to prevent too much dirt from impinging on the lenses 10 during processing. It is possible that at least one or each of the lenses 10 are arranged so that the direction in which the laser radiation 13 propagates after passing through the at least one or each of the lenses 10, with respect to
  • Symmetryeachse 12, 12 ', 12 are inclined, so that the laser radiation 13 after passing through the lenses 10 not in the
  • a non-illustrated beam trap which may be formed in particular annular. This beam trap can absorb components of the laser radiation reflected from and / or transmitted by the component 11, 11 ', 11 ".
  • FIG. 7 shows a device according to the invention, in which the lenses 10 are designed, for example, as plano-convex lenses.
  • the lenses 10 are designed, for example, as plano-convex lenses.
  • five lenses 10 are arranged on the sides of a regular pentagon.
  • the lenses 10 are arranged so that adjacent lenses 10 contact each other or abut each other.
  • FIG. 8 shows a first embodiment of homogenizer means 14 which comprise two lens arrays 15, 16 and a lens 17 which is indicated only schematically.
  • the lens 17 is in the
  • the focal lengths f 5i 6 of the individual lenses of the lens arrays 15, 16 are significantly smaller than the focal length fi 7 of the lens 17.
  • the lens arrays 15, 16 can be
  • Cylindrical lens arrays whose cylinder axes are in the
  • the lens 17 may also be a cylindrical lens whose cylinder axis extends into the plane of the drawing of FIG. 8.
  • Laser radiation 13 is exemplified only one. However, it should be one of the number of lenses 10 corresponding number of
  • Homogenizer means 14 may be provided, that is, for example, six lenses 10 and six associated therewith homogenizer 14 or, for example, eight lenses 10 and eight of these
  • assigned homogenizer means 14 may be provided.
  • FIG. 9 shows a second embodiment of homogenizer means 18, which comprise an optical fiber 19 and a lens 20 which is only indicated schematically. It emerges from the end of the
  • Optical fiber 19 the comparatively homogeneous light of a
  • the lens 20 may be a cylindrical lens whose cylinder axis extends into the plane of the drawing of FIG.
  • the distance between the end of the optical fiber 19 and the lens 20 is equal to the focal length f 2 o of the lens 20.
  • the divergence angle ⁇ of the exiting light is shown comparatively large for better representability. realistic
  • Divergence angles ⁇ are between 12 ° and 26 °.
  • Laser radiation 13 is exemplified only one. However, it should be one of the number of lenses 10 corresponding number of
  • Homogenizer means 18 may be provided, that is, for example, six lenses 10 and six associated therewith homogenizer 18 or, for example, eight lenses 10 and eight of these
  • associated homogenizer means 18 may be provided.
  • FIG. 12 shows a third embodiment of homogenizer means 21 which comprise a schematically indicated waveguide 22 and a telescope consisting of two lenses 23, 24.
  • the lenses 23, 24 may be cylindrical lenses whose cylinder axes extend into the plane of the drawing of FIG. 9.
  • the waveguide 22 is shown in greater detail in FIG. 10 and corresponds to a waveguide already disclosed in WO 2014/001277.
  • WO 2014/001277 is incorporated by reference into a part of the present application.
  • Intensity angle distribution emerge, which corresponds at least in one direction a convex top hat profile 25, as it is exemplified in Fig. 11.
  • This shows the intensity I as a function of an angle ⁇ , where the angle ⁇ 0 ° of the middle
  • Propagation direction of the light corresponds.
  • the waveguide 22 has a light-conducting region 26, which is cuboid.
  • the light-conducting region 26 only has a rectangular shape in sections, in particular only in one or more planes perpendicular to the central propagation direction Z of the light has a rectangular shape.
  • photoconductive region 26 is greater than the second and / or the third extent D 2 , D 3 of the photoconductive region 26, preferably by a factor of at least 3, in particular at least 7,
  • FIG. 12 also shows a lens 27 which transmits the laser light 13 emanating from a laser light source into the light-conducting
  • Region 26 of the waveguide 22 introduces.
  • the focal lengths f 2 3, f 2 4 of the lenses 23, 24 are in a ratio of 1: 2 to each other, so that the exit surface of the photoconductive region 26 enlarged by a factor of 2 on the entrance surface of the lens 10 is mapped.
  • Laser radiation 13 is exemplified only one. However, it should be one of the number of lenses 10 corresponding number of
  • Homogenizer means 21 may be provided, that is, for example, six lenses 10 and six associated therewith homogenizer 21 or, for example, eight lenses 10 and eight of these
  • assigned homogenizer means 21 may be provided.
  • FIG. 13 illustrates the intensity I of the laser radiation on the component 11 as a function of the angle ⁇ for an ideal lens used as a lens 10 when it is exposed to collimated light and a linear top hat distribution.
  • the illustrated intensity distribution 28 shows that for the edge regions of the respective lens 10 applied portion of the component 11, the incident intensity is greater than for the central regions, which are arranged near the optical axis.
  • FIG. 14 shows a spatial intensity distribution 29 or local distribution on the lens 10 in relative units, wherein the magnitude of the intensity I in the region of the optical axis is set at 1.
  • the intensity I falls to the edges to about 80% of the value of the optical axis.
  • the spatial intensity distribution 29 could be generated, for example, with the homogenizer means 21 depicted in FIG. 12.
  • Fig. 15 illustrates the intensity I of the laser radiation on the component 11 as a function of the angle ⁇ for an ideal lens used as a lens 10, although with collimated light, but not with a linear top hat distribution, but with the distribution 29 is acted upon in FIG. 14. It turns out that in this case the obtained intensity distribution 30 on the component 11 has the same intensity I in all angular ranges. In this way, a very uniform admission of the
  • the shape of the spatial intensity distribution 29 on the lens 10 must be adapted to its deviation from an ideal lens.
  • Laser diode bars can be achieved. So if you want to dispense with the use of homogenizers, is recommended in a number of the lenses 10 smaller eight, the loading of the entrance surfaces of the lenses 10 with the slow-axis distribution of
  • the slow axis should be arranged parallel to the circumferential direction of the component 11 or be arranged parallel to the direction in which the lenses 10 adjoin one another.
  • a uniform intensity distribution on the component 11 can also be achieved by a linear top hat distribution or by a non-decreasing intensity distribution, as they are

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Abstract

Vorrichtung zur Beaufschlagung der Außenseite eines rotationssymmetrischen Bauteils (11) mit Laserstrahlung (13), umfassend eine Mehrzahl von Linsen (10), die derart gestaltet und/oder angeordnet sind, dass sich die Symmetrieachse (12) des Bauteils (11) im Fokus einer jeder der Linsen (10) befindet.

Description

„Vorrichtung zur Beaufschlagung der Außenseite eines rotationssymmetrischen Bauteils mit Laserstrahlung"
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur
Beaufschlagung der Außenseite eines rotationssymmetrischen
Bauteils mit Laserstrahlung.
Definitionen : In Ausbreitungsrichtung der Laserstrahlung meint die mittlere Ausbreitungsrichtung der Laserstrahlung, insbesondere wenn diese keine ebene Welle ist oder zumindest teilweise divergent ist. Mit Laserstrahl, Lichtstrahl, Teilstrahl oder Strahl ist, wenn nicht ausdrücklich etwas anderes angegeben ist, kein idealisierter Strahl der geometrischen Optik gemeint, sondern ein realer Lichtstrahl, wie beispielsweise ein Laserstrahl mit einem Gauß-Profil oder einem modifizierten Gauß-Profil oder einem Top-Hat-Profil, der keinen infinitesimal kleinen, sondern einen ausgedehnten Strahlquerschnitt aufweist.
Beim Verschweißen von rotationssymmetrischen, insbesondere kreiszylindrischen Kunststoffteilen von außen werden häufig
Diodenlaser benutzt. Dabei kommen typischerweise zwei Verfahren beziehungsweise Vorrichtungstypen zum Einsatz. Bei einer ersten vorbekannten Vorrichtung wird ein Strahl um das Bauteil bewegt, beziehungsweise das Bauteil dreht sich in einem Laserstrahl. Der Nachteil derartiger Vorrichtung beruht darauf, dass Teile bewegt werden müssen und die Verschweißung nicht simultan stattfindet. Das kann sich negativ auf die Qualität der Schweißnaht auswirken.
Bei einer zweiten vorbekannten Vorrichtung beleuchten mehrere beispielsweise divergente Strahlquellen das Bauteil aus einer ringförmigen Anordnung. Fig.4 zeigt schematisch eine derartige Vorrichtung, bei der fünf Laserstrahlungen 1 aus fünf verschiedenen Richtungen auf ein rotationssymmetrisches Bauteil 2 auftreffen.
Der Nachteil derartiger Vorrichtungen beruht darauf, dass die Winkel, unter denen das Bauteil 2 bestrahlt wird, auf der Oberfläche des Bauteils 2 unterschiedlich sind. Reflexion und Absorption schwanken also über das Bauteil. Weiterhin kann eine definierte Beleuchtung nur für einen festen Durchmesser des Bauteils erreicht werden (siehe Fig. 4). Bei einem größeren Durchmessers des Bauteils 2' werden Teile 3 der Oberfläche nicht mit Laserstrahlung beaufschlagt (siehe Fig. 5). Bei einem kleineren Durchmessers des Bauteils 2" verläuft ein Teil 4 der Laserstrahlung am Bauteil 2" vorbei (siehe Fig. 6).
Das der vorliegenden Erfindung zugrunde liegende Problem ist die Schaffung einer Vorrichtung der eingangs genannten Art, bei der die Beaufschlagung mit Laserstrahlung vergleichsweise unabhängig vom Durchmesser des Bauteils ist und/oder bei der die auf die Außenseite des Bauteils auftreffende Laserstrahlung eine homogenere
Winkelverteilung aufweist.
Dies wird erfindungsgemäß durch eine gattungsgemäße Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 erreicht. Die Unteransprüche betreffen bevorzugte Ausgestaltungen der Erfindung.
Gemäß Anspruch 1 ist vorgesehen, dass die Vorrichtung eine
Mehrzahl von Linsen umfasst, die derart gestaltet und/oder
angeordnet sind, dass sich die Symmetrieachse des Bauteils im
Fokus einer jeder der Linsen befindet. Durch eine derartige
Anordnung kann gewährleistet werden, dass eine durch die Linsen hindurchgetretene und auf das Bauteil auftreffende Laserstrahlung eine homogene Winkelverteilung aufweist. Diese homogene
Winkelverteilung kann einerseits gewährleisten, dass die Außenseite des Bauteils in Umfangsrichtung homogen mit Laserstrahlung
beaufschlagt wird, wobei sich aufgrund der gleichen Auftreffwinkel auch die Absorption und die Reflexion der Laserstrahlung über den Umfang nicht ändert. Andererseits kann die homogene
Winkelverteilung der Laserstrahlung dazu beitragen, dass Bauteile mit unterschiedlichen Durchmessern optimal mit Laserstrahlung
beaufschlagt werden können.
Es besteht die Möglichkeit, dass die Vorrichtung Homogenisatormittel umfasst, die die Laserstrahlung vor dem Hindurchtritt durch die
Linsen homogenisieren können. Auf diese Weise wird eine große Homogenität der auf das Bauteil auftreffenden Winkelverteilung der Laserstrahlung gewährleistet.
Dabei kann beispielsweise vorgesehen sein, dass die
Homogenisatormittel bei einer Anzahl der Linsen kleiner acht derart gestaltet sind, dass die Laserstrahlung eine Top-Hat- Intensitätsverteilung mit zu den Rändern entsprechend cos2 (φ) abfallender Intensität aufweist, und dass die Homogenisatormittel bei einer Anzahl der Linsen größer oder gleich acht derart gestaltet sind, dass die Laserstrahlung eine lineare Top-Hat-Intensitätsverteilung aufweist.
Es besteht die Möglichkeit, dass die Homogenisatormittel ein, vorzugsweise zwei Linsenarrays oder einen Lichtleiter aufweisen.
Alternativ besteht die Möglichkeit, dass die Homogenisatormittel einen Wellenleiter mit einem zumindest abschnittsweise
quaderförmigen lichtleitenden Bereich aufweisen.
Dabei kann eine erste Ausdehnung des lichtleitenden Bereichs, die sich zwischen einer Eintrittsfläche und einer Austrittsfläche des lichtleitenden Bereichs erstreckt, größer ist als eine zweite und/oder eine dritte, zu der ersten Ausdehnung senkrechte Ausdehnung des lichtleitenden Bereichs, vorzugsweise um einen Faktor von
mindestens 3, insbesondere mindestens 7, beispielsweise mindestens 10 größer ist, und/oder vorzugsweise um einen Faktor von höchstens 100, insbesondere höchstens 50, beispielsweise höchstens 40 größer ist. Durch diese Gestaltung kann beispielsweise eine homogene, jedoch zum Rand leicht abfallende, beispielsweise wie cos2 (φ) abfallende Intensitätsverteilung geschaffen werden.
Es kann vorgesehen sein, dass mindestens zwei oder eine jede der Linsen die gleiche Brennweite aufweisen. Durch diese Maßnahme kann die Vorrichtung koaxial zur Symmetrieachse des Bauteils aufgebaut werden, wodurch es einfacher wird, eine homogene
Winkelverteilung der auf das Bauteil auftreffenden Laserstrahlung zu erzielen.
Es besteht die Möglichkeit, dass die Vorrichtung mindestens eine Laserlichtquelle, vorzugsweise eine Mehrzahl von Laserlichtquellen umfasst, die Laserstrahlung für die Beaufschlagung des Bauteils erzeugen kann. Insbesondere kann einer jeder der Linsen eine
Laserlichtquelle zugeordnet werden. Als Laserlichtquellen eignen sich beispielsweise Laserdiodenbarren oder fasergekoppelte Diodenlaser.
Es kann vorgesehen sein, dass die Vorrichtung Optikmittel umfasst, die mindestens eine oder eine jede der Linsen mit Laserstrahlung, insbesondere mit der von der mindestens einen Laserlichtquelle ausgehenden Laserstrahlung beaufschlagen können. Die Optikmittel können beispielsweise abbildende oder fokussierende Linsen umfassen. Weiterhin können die Optikmittel die Homogenisatormittel umfassen. Beispielsweise können die Optikmittel und/oder die
Homogenisatormittel derart gestaltet sein, dass die Eintrittsfläche einer jeder der Linsen mit einer homogenen Ortsverteilung
beziehungsweise einer homogenen räumlichen Intensitätsverteilung der Laserstrahlung beaufschlagt wird. Durch die Linsen wird aus der homogenen Ortsverteilung eine homogene Winkelverteilung.
Alternativ kann vorgesehen sein, dass die Optikmittel und/oder die Homogenisatormittel derart gestaltet sind, dass die Eintrittsfläche einer jeder der Linsen mit einer an die Gestaltung der Linse
angepassten Ortsverteilung beziehungsweise einer an die Gestaltung der Linse angepassten räumlichen Intensitätsverteilung der
Laserstrahlung beaufschlagt wird. Beispielsweise können bei Linsen, die idealen Linsen gleichen, zu den Rändern leicht abfallende räumliche Intensitätsverteilungen auf die Linsen aufgebracht werden, die zu einer noch homogeneren Intensitätsverteilung auf dem Bauteil beitragen können. Bei anderen Gestaltungen der Linsen,
beispielsweise bei realen Linsen oder F-Theta-Linsen können andere geeignete räumliche Intensitätsverteilungen beziehungsweise
Ortsverteilungen der Laserstrahlung auf die Linsen aufgebracht werden.
Es besteht die Möglichkeit, dass die Optikmittel Kollimatormittel, insbesondere mindestens eine Linse zur Kollimation, umfassen, die derart gestaltet und in der Vorrichtung angeordnet sind, dass die Laserstrahlung mit keiner oder möglichst geringer Divergenz
beziehungsweise zumindest weitgehend kollimiert auf die Linsen auftrifft. Auch die Kollimierung der auf die Linsen auftreffenden Laserstrahlung trägt zur Erhöhung der Homogenität der auf das Bauteil auftreffenden Intensitätsverteilung bei. Es besteht die Möglichkeit, dass mindestens eine oder eine jede der Linsen Zylinderlinsen sind, deren Zylinderachsen parallel zu der Symmetrieachse des Bauteils sind. Auf diese Weise entsteht eine in Richtung der Symmetrieachse des Bauteils entsprechend der Länge der Zylinderachsen der Linsen ausgedehnte ringförmige
Intensitätsverteilung auf der Außenseite des Bauteils. Diese
Intensitätsverteilung kann beispielsweise im Rahmen eines
Bearbeitungsprozesses in Richtung der Symmetrieachse des Bauteils bewegt werden.
Es besteht alternativ die Möglichkeit, dass mindestens eine oder eine jede der Linsen eine rotationssymmetrische Krümmung aufweisen und insbesondere sphärische Linsen sind. Auf diese Weise entsteht eine sehr schmale ringförmige Intensitätsverteilung auf der Außenseite des Bauteils. Auch diese Intensitätsverteilung kann beispielsweise im Rahmen eines Bearbeitungsprozesses in Richtung der
Symmetrieachse des Bauteils bewegt werden. Weiterhin kann diese Intensitätsverteilung auch zur Erzeugung einer lokalen umlaufenden Schweißnaht verwendet werden.
Es kann vorgesehen sein, dass die Linsen hinsichtlich der
Symmetrieachse des Bauteils in Umfangsrichtung nebeneinander angeordnet sind, insbesondere aneinander angrenzen. Auf diese Weise kann mit einfachen Mitteln gewährleistet werden, dass über den gesamten Umfang des Bauteils eine gleichmäßige
Intensitätsverteilung der Laserstrahlung vorliegt.
Es besteht weiterhin die Möglichkeit, dass mindestens eine oder eine jede der Linsen so angeordnet sind, dass die Richtung, in die sich die Laserstrahlung nach dem Hindurchtritt durch die mindestens eine oder eine jede der Linsen ausbreitet, hinsichtlich der Symmetrieachse des Bauteils sowohl eine radiale, als auch eine axiale Komponente aufweist. Dadurch kann erreicht werden, dass von an dem Bauteil reflektierter Laserstrahlung oder von neben dem Bauteil vorbei laufender Laserstrahlung keine der Laserlichtquellen beschädigen werden kann.
Alternativ oder zusätzlich kann vorgesehen sein, dass die Vorrichtung eine Strahlfalle aufweist, die von dem Bauteil reflektierte und/oder neben dem Bauteil vorbei laufende und/oder durch das Bauteil transmittierte Anteile der Laserstrahlung auffangen kann, wobei die Strahlfalle insbesondere ringförmig ausgebildet ist. Auch durch eine derartige Strahlfalle kann erreicht werden, dass von an dem Bauteil reflektierter Laserstrahlung oder von neben dem Bauteil vorbei laufender Laserstrahlung oder von durch ein teilweise transparentes Bauteil hindurchtretender Laserstrahlung keine der Laserlichtquellen beschädigen werden kann.
Weitere Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden deutlich anhand der nachfolgenden Beschreibung bevorzugter
Ausführungsbeispiele unter Bezugnahme auf die beiliegenden
Abbildungen. Darin zeigen
Fig. 1 eine schematische Darstellung einer erfindungsgemäßen
Vorrichtung mit einem ersten rotationssymmetrischen
Bauteil;
Fig. 2 eine Fig. 1 entsprechende Darstellung mit einem zweiten rotationssymmetrischen Bauteil;
Fig. 3 eine Fig. 1 entsprechende Darstellung mit einem dritten
rotationssymmetrischen Bauteil;
Fig.4 eine schematische Darstellung einer Vorrichtung gemäß dem Stand der Technik mit einem ersten
rotationssymmetrischen Bauteil;
Fig. 5 eine Fig.4 entsprechende Darstellung mit einem zweiten rotationssymmetrischen Bauteil;
Fig. 6 eine Fig.4 entsprechende Darstellung mit einem dritten
rotationssymmetrischen Bauteil
Fig. 7 eine Fig.1 entsprechende Darstellung einer
erfindungsgemäßen Vorrichtung mit Linsen, die als plankonvexe Linsen ausgebildet sind;
Fig. 8 eine Detailansicht einer erfindungsgemäßen Vorrichtung mit einer ersten Ausführungsform von Homogenisatormitteln; Fig. 9 eine Detailansicht einer erfindungsgemäßen Vorrichtung mit einer zweiten Ausführungsform von Homogenisatormitteln;
Fig. 10 eine perspektivische Ansicht einer dritten Ausführungsform von Homogenisatormitteln;
Fig. 11 eine beispielhafte Intensitätsverteilung des aus den dritten
Homogenisatormitteln austretenden Lichts;
Fig. 12 eine Detailansicht einer erfindungsgemäßen Vorrichtung mit der dritten Ausführungsform von Homogenisatormitteln;
Fig. 13 eine schematische Veranschaulichung der
Intensitätsverteilung der Laserstrahlung auf dem Bauteil für eine ideale Linse, die mit einer linearen Top-Hat-Verteilung beaufschlagt wird;
Fig. 14 eine schematische Veranschaulichung einer zu den
Rändern abfallenden Intensitätsverteilung der
Laserstrahlung auf der idealen Linse;
Fig. 15 eine schematische Veranschaulichung der
Intensitätsverteilung der Laserstrahlung auf dem Bauteil für eine ideale Linse, die mit einer Intensitätsverteilung gemäß Fig. 15 beaufschlagt wird;.
In den Figuren sind gleiche oder funktional gleiche Teile mit gleichen Bezugszeichen versehen.
Die in Fig. 1 bis Fig. 3 abgebildete Ausführungsform einer
erfindungsgemäßen Vorrichtung umfasst fünf Linsen 10. Diese Linsen 10 sind in den Figuren nur schematisch durch jeweils eine Linie angedeutet. Bei den Linsen 10 kann es sich beispielsweise um plankonvexe oder bikonvexe oder konkavkonvexe Linsen handeln.
Es besteht die Möglichkeit, weniger als fünf Linsen, insbesondere zwei oder drei oder vier Linsen, oder mehr als fünf Linsen
vorzusehen.
Die fünf Linsen 10 sind auf den Seiten eines regelmäßigen Fünfecks parallel zu diesen Seiten so angeordnet, dass die Linsen 10 an den Ecken des Fünfecks aneinander anschließen. Dabei ist die
Brennweite einer jeder der Linsen 10 gleich groß und so gewählt, dass der Fokus beziehungsweise der Brennpunkt oder die Brennlinie sämtlicher Linsen an der gleichen Stelle angeordnet ist.
Bei mehr oder weniger Linsen wird die Anordnung entsprechend geändert, so dass beispielsweise bei vier Linsen diese auf den Seiten eines Quadrats angeordnet sind. Bei lediglich zwei Linsen werden diese parallel zueinander sowie einander gegenüberliegend und zueinander beabstandet angeordnet.
Im abgebildeten Ausführungsbeispiel können die Linsen 10 als
Zylinderlinsen ausgebildet sein, deren Zylinderachsen parallel zueinander sind und sich in die Zeichenebene hinein erstrecken. In diesem Fall weist jede der Linsen 10 eine Brennlinie oder Fokuslinie auf. Es besteht aber auch die Möglichkeit, dass die Linsen 10 jeweils eine rotationssymmetrische Krümmung aufweisen und insbesondere sphärische Linsen sind. In diesem Fall weist jede der Linsen 10 einen Brennpunkt oder einen Fokuspunkt auf.
In der Mitte zwischen den Linsen 10 ist ein rotationssymmetrisches Bauteil 11, insbesondere ein Kreiszylinder angeordnet (siehe Fig. 1), der sich ohne Querschnittsveränderung in die Zeichenebene der Fig. 1 hinein erstreckt. Dabei ist das Bauteil 11 so angeordnet, dass sich die Fokusse der Linsen 10 auf der Symmetrieachse 12
beziehungsweise Zylinderachse des Bauteils 11 befinden.
Die Vorrichtung kann weiterhin mindestens eine, vorzugsweise eine der Zahl Linsen entsprechende Zahl von Laserlichtquellen sowie Optikmittel umfassen, die die von den Laserlichtquellen ausgehende Laserstrahlung 13 auf die Linsen aufbringen kann. Die Optikmittel können insbesondere Kollimationsmittel umfassen, beispielsweise eine Mehrzahl von Linsen zur Kollimation umfassen, die derart gestaltet und in der Vorrichtung angeordnet sind, dass die
Laserstrahlung mit keiner oder möglichst geringer Divergenz
beziehungsweise zumindest weitgehend kollimiert auf die Linsen 10 auftrifft.
Fig. 1 zeigt beispielhaft fünf Laserstrahlungen 13, die jeweils von außen senkrecht auf die von dem Bauteil abgewandten
Eintrittsflächen der Linsen 10 auftreffen. Dabei sind die
Laserstrahlungen 13 lediglich schematisch angedeutet. Insbesondere sollen die Laserstrahlungen 13 auf den Eintrittsflächen der Linsen 10 jeweils eine homogene Ortsverteilung beziehungsweise räumliche Intensitätsverteilung aufweisen.
Durch die Linsen 10 werden die Laserstrahlungen 13 jeweils so transformiert, dass die Laserstrahlungen 13 nach dem Austritt aus den dem Bauteil zugewandten Austrittsflächen der Linsen 10 jeweils eine homogene Winkelverteilung aufweisen. Dies hat zur Folge, dass auf jeden Umfangsabschnitt der Außenseite des Bauteils 11 die gleiche Laserleistung aufgebracht wird, wobei auch die Auftreffwinkel gleich sind.
Fig. 2 zeigt die Vorrichtung aus Fig. 1, bei der zwischen den Linsen 10 ein Bauteil 11' mit einer Symmetrieachse 12' angeordnet ist, das einen größeren Durchmesser als das Bauteil 11 aufweist. Es zeigt sich, dass auch bei diesem Bauteil 11' die Außenseite homogen ausgeleuchtet wird.
Fig. 3 zeigt die Vorrichtung aus Fig. 1, bei der zwischen den Linsen 10 ein Bauteil 11" mit einer Symmetrieachse 12" angeordnet ist, das einen kleineren Durchmesser als das Bauteil 11 aufweist. Es zeigt sich, dass auch bei diesem Bauteil 11" die Außenseite homogen ausgeleuchtet wird. Weiterhin tritt auch, im Gegensatz zu dem
Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 6, keine Laserstrahlung an dem Bauteil 11" vorbei.
Die numerische Apertur (NA) der Linsen 10 und deren Ausleuchtung werden so gewählt, dass mit der gewählten Anzahl der Linsen 10 der gesamte Winkelraum des Umfangs des Bauteils 11, 11', 11"
beleuchtet wird. Dabei kann die Numerische Apertur der Linsen wie folgt bestimmt werden:
NA = sin(cc/2) mit =360°/Anzahl der Linsen.
In der Praxis sind daher wahrscheinlich mindestens vier Linsen 10 als Anzahl realistisch, weil Linsen mit sehr großer Numerischer Apertur (NA>0,8) schwierig herzustellen sind.
Um zu gewährleisten, dass nach dem Durchtritt durch die Linsen 10 eine homogene Winkelverteilung der einzelnen Laserstrahlungen 13 vorliegt, sollten die Linsen 10 mit einer homogenen Ortsverteilung ausgeleuchtet werden. Dazu eignet sich die Slow-Axis-Verteilung von Laserdiodenbarren. Entsprechend können also als Laserlichtquellen Laserdiodenbarren gewählt werden. Die Slow-Axis-Verteilung kann auch noch zusätzlich homogenisiert werden. Entsprechende Homogenisatormittel werden im Nachfolgenden noch detaillierter unter Bezugnahme auf die Fig. 7 bis Fig. 12 beschrieben.
Eine andere gute Laserlichtquelle ist ein fasergekoppelter
Diodenlaser. Dabei kann beispielsweise das Fasernahfeld, das häufig relativ homogen ist, auf die Linsen 10 abgebildet werden.
Als Linsen mit großer Numerischer Apertur können Azylinder gewählt werden, in speziellen Fällen auch runde Asphären oder zylindrische Fresnellinsen.
In sämtlichen Varianten ist es vorteilhaft, wenn eventuell auf den Linsen befindliche Antireflexionsbeschichtungen für alle Winkel eine ähnlich gute Transmission aufweisen.
Aus der Divergenz der auf die Linsen 10 auftreffenden Laserstrahlung 13 kann auf den kleinsten Durchmesser d des Bauteils 11, 11', 11" geschlossen werden, bei dem sämtliche Laserstrahlung 13 auf die Oberfläche des Bauteils 11, 11', 11" trifft. In guter F-Theta-Näherung ergibt sich der kleinste Durchmesser d zu d = 0 f wobei Θ dem vollen Divergenzwinkel der einfallenden Laserstrahlung und f der Brennweite der Linsen 10 entspricht.
Der größte für das Bauteil 11, 11', 11" wählbare Durchmesser wird durch den zwischen den Linsen 10 verfügbaren Raum vorgegeben. Der Durchmesser kann so groß gewählt werden, dass die Außenseite des Bauteils 11, 11', 11 " an die Austrittsflächen der Linsen 10 stößt. In der Praxis kann der maximale Durchmesser etwas kleiner gewählt werden, um zu verhindern, dass bei der Bearbeitung zu viel Schmutz auf die Linsen 10 auftrifft. Es besteht die Möglichkeit, dass mindestens eine oder eine jede der Linsen 10 so angeordnet sind, dass die Richtung, in die sich die Laserstrahlung 13 nach dem Hindurchtritt durch die mindestens eine oder eine jede der Linsen 10 ausbreitet, hinsichtlich der
Symmetrieachse 12, 12', 12" des Bauteils 11, 11', 11" sowohl eine radiale, als auch eine axiale Komponente aufweist.
Dies kann dadurch erreicht werden, dass die Linsen 10 zur
Symmetrieachse 12, 12', 12" geneigt sind, so dass die Laserstrahlung 13 nach dem Hindurchtritt durch die Linsen 10 nicht in der
Zeichenebene der Fig. 1 bis Fig. 3 verläuft, sondern um wenige
Winkelgrade nach oben oder nach unten geneigt zu der Zeichenebene verläuft. Dies hat den Vorteil, dass an dem Bauteil 11, 11', 11" reflektierte Laserstrahlung 13 oder neben dem Bauteil 11, 11', 11" vorbei laufende Laserstrahlung 13 nicht eine der Laserlichtquellen beschädigen kann.
Es kann weiterhin eine nicht abgebildete Strahlfalle vorgesehen sein, die insbesondere ringförmig ausgebildet sein kann. Diese Strahlfalle kann von dem Bauteil 11, 11', 11" reflektierte und/oder durch das Bauteil transmittierte Anteile der Laserstrahlung auffangen.
In Fig. 7 ist eine erfindungsgemäßen Vorrichtung abgebildet, bei der die Linsen 10 beispielhaft als plankonvexe Linsen ausgebildet sind. Es sind wie in dem in Fig. 1 abgebildeten Beispiel fünf Linsen 10 auf den Seiten eines regelmäßigen Fünfecks angeordnet. Es besteht jedoch wie bereits erwähnt die Möglichkeit, weniger als fünf Linsen 10, insbesondere zwei oder drei oder vier Linsen 10, oder mehr als fünf Linsen 10, wie beispielsweise sechs, sieben, acht, neun oder zehn oder mehr Linsen 10 vorzusehen, wobei jeweils eine
regelmäßige Anordnung der Linsen 10, beispielsweise auf einem Quadrat, einem regelmäßigen Sechseck oder auf einem regelmäßigen Achteck erfolgt. Weiterhin sind dabei die Linsen 10 so angeordnet, dass benachbarte Linsen 10 einander kontaktieren beziehungsweise aneinander anstoßen.
Fig. 8 zeigt eine erste Ausführungsform von Homogenisatormitteln 14, die zwei Linsenarrays 15, 16 sowie eine lediglich schematisch angedeutete Linse 17 umfassen. Die Linse 17 ist so in der
Vorrichtung angeordnet, dass in der eingangsseitigen Brennebene der Linse 17 die Austrittsfläche des zweiten Linsenarrays 16 und in der ausgangsseitigen Brennebene der Linse 17 die Eintrittsfläche der Linse 10 angeordnet ist. Dabei sind die Brennweiten f 5i 6 der einzelnen Linsen der Linsenarrays 15, 16 deutlich kleiner als die Brennweite f-i 7 der Linse 17. Die Linsenarrays 15, 16 können
Zylinderlinsenarrays sein, deren Zylinderachsen sich in die
Zeichenebene der Fig. 8 hinein erstrecken. Weiterhin kann auch die Linse 17 eine Zylinderlinse sein, deren Zylinderachse sich in die Zeichenebene der Fig. 8 hinein erstreckt.
Von den Linsen 10 zur Beaufschlagung des Bauteils 11 mit
Laserstrahlung 13 ist beispielhaft lediglich eine abgebildet. Es sollen jedoch eine der Zahl der Linsen 10 entsprechende Zahl von
Homogenisatormitteln 14 vorgesehen sein, also bei beispielsweise sechs Linsen 10 auch sechs diesen zugeordnete Homogenisatormittel 14 oder bei beispielsweise acht Linsen 10 auch acht diesen
zugeordnete Homogenisatormittel 14 vorgesehen sein.
Fig. 9 zeigt eine zweite Ausführungsform von Homogenisatormitteln 18, die eine Lichtleitfaser 19 sowie eine lediglich schematisch angedeutete Linse 20 umfassen. Dabei tritt aus dem Ende der
Lichtleitfaser 19 das vergleichsweise homogene Licht eines
fasegekoppelten Lasers aus. Diese homogene Verteilung wird von der Linse 20 kollimiert und verläuft von dieser auf die Eintrittsfläche der Linse 10. Die Linse 20 kann eine Zylinderlinse sein, deren Zylinderachse sich in die Zeichenebene der Fig. 9 hinein erstreckt.
Der Abstand zwischen dem Ende der Lichtleitfaser 19 und der Linse 20 beträgt entspricht dabei der Brennweite f2o der Linse 20. In der Fig. 9 ist der Divergenzwinkel Θ des austretenden Lichts zur besseren Darstellbarkeit vergleichsweise groß dargestellt. Realistische
Divergenzwinkel Θ liegen zwischen 12° und 26°.
Von den Linsen 10 zur Beaufschlagung des Bauteils 11 mit
Laserstrahlung 13 ist beispielhaft lediglich eine abgebildet. Es sollen jedoch eine der Zahl der Linsen 10 entsprechende Zahl von
Homogenisatormitteln 18 vorgesehen sein, also bei beispielsweise sechs Linsen 10 auch sechs diesen zugeordnete Homogenisatormittel 18 oder bei beispielsweise acht Linsen 10 auch acht diesen
zugeordnete Homogenisatormittel 18 vorgesehen sein.
Fig. 12 zeigt eine dritte Ausführungsform von Homogenisatormitteln 21, die einen schematisch angedeuteten Wellenleiter 22 sowie ein aus zwei Linsen 23, 24 bestehendes Teleskop umfassen. Die Linsen 23, 24 können Zylinderlinsen sein, deren Zylinderachsen sich in die Zeichenebene der Fig. 9 hinein erstrecken. Der Wellenleiter 22 ist in Fig. 10 detaillierter abgebildet und entspricht einem bereits in der WO 2014/001277 offenbarten Wellenleiter. Die WO 2014/001277 wird durch Bezugnahme zu einem Teil der vorliegenden Anmeldung gemacht.
Aus dem in Fig. 10 abgebildeten Wellenleiter 22 kann bei bestimmten Verhältnissen seiner Abmessungen Licht mit einer
Intensitätswinkelverteilung austreten, die zumindest in einer Richtung einem konvexen Top-Hat-Profil 25 entspricht, wie es beispielhaft in Fig. 11 abgebildet ist. Diese zeigt die Intensität I in Abhängigkeit von einem Winkel φ, wobei der Winkel φ=0° der mittleren
Ausbreitungsrichtung des Lichts entspricht.
Der Wellenleiter 22 weist einen lichtleitende Bereich 26 auf, der quaderförmig ist. Es besteht jedoch durchaus die Möglichkeit, dass der lichtleitende Bereich 26 nur abschnittsweise eine Quaderform aufweist, insbesondere nur in einer oder mehreren Ebenen senkrecht zur mittleren Ausbreitungsrichtung Z des Lichts eine rechteckige Form aufweist.
Um das vorgenannte konvexen Top-Hat-Profil 25 zu erzielen, kann insbesondere vorgesehen sein, dass die Ausdehnung Di des
lichtleitenden Bereichs 26 größer ist als die zweite und/oder die dritte Ausdehnung D2, D3 des lichtleitenden Bereichs 26, vorzugsweise um einen Faktor von mindestens 3, insbesondere mindestens 7,
beispielsweise mindestens 10, und/oder vorzugsweise um einen Faktor von höchstens 100, insbesondere höchstens 50,
beispielsweise höchstens 40.
In Fig. 12 ist weiterhin eine Linse 27 abgebildet, die das von einer Laserlichtquelle ausgehende Laserlicht 13 in den lichtleitenden
Bereich 26 des Wellenleiters 22 einbringt. Die Brennweiten f23, f24 der Linsen 23, 24 stehen in einem Verhältnis 1 :2 zueinander, so dass die Austrittsfläche des lichtleitenden Bereichs 26 um einen Faktor 2 vergrößert auf die Eintrittsfläche der Linse 10 abgebildet wird.
Es besteht jedoch durchaus die Möglichkeit, andere
Brennweitenverhältnisse zu wählen um eine andere Vergrößerung zu erreichen. Beispielsweise sind auch eine zehnfache oder eine zwanzigfache Vergrößerung möglich. Von den Linsen 10 zur Beaufschlagung des Bauteils 11 mit
Laserstrahlung 13 ist beispielhaft lediglich eine abgebildet. Es sollen jedoch eine der Zahl der Linsen 10 entsprechende Zahl von
Homogenisatormitteln 21 vorgesehen sein, also bei beispielsweise sechs Linsen 10 auch sechs diesen zugeordnete Homogenisatormittel 21 oder bei beispielsweise acht Linsen 10 auch acht diesen
zugeordnete Homogenisatormittel 21 vorgesehen sein.
Der Abfall der Intensitätswinkelverteilung 25 zu den Rändern
entspricht in etwa einem Abfall proportional zu cos2 (φ). Es zeigt sich, dass bei einer Anzahl der Linsen 10 kleiner acht eine derart
homogenisierte, insbesondere mit cos2 (φ) zu den Rändern abfallende räumliche Intensitätsverteilung beziehungsweise Ortsverteilung des Lichts auf einer jeden der Linsen zu einer sehr gleichmäßigen
Intensitätsverteilung auf dem Bauteil 11 führt. Es soll an dieser Stelle angemerkt werden, dass der Abfall zu den Rändern in einer Richtung erfolgt, der der Umfangsrichtung des Bauteils 11 entspricht,
beziehungsweise in der Richtung erfolgt, in der die Linsen 10 aneinander anschließen.
Die Gründe für die Wahl einer zu den Rändern abfallenden räumlichen Intensitätsverteilung beziehungsweise Ortsverteilung des Lichts sollen im Nachfolgenden unter Bezugnahme auf die Fig. 13 bis 15 erläutert werden.
Fig. 13 veranschaulicht die Intensität I der Laserstrahlung auf dem Bauteil 11 in Abhängigkeit von dem Winkel φ für eine als Linse 10 verwendete ideale Linse, wenn diese mit kollimiertem Licht und einer linearen Top-Hat-Verteilung beaufschlagt wird. Dabei entspricht φ=0° dem im Bereich der optischen Achse der Linse 10 auf das Bauteil 11 auftreffenden Lichtanteil. Die dargestellte Intensitätsverteilung 28 zeigt, dass für die Randbereiche des von der jeweiligen Linse 10 beaufschlagten Abschnitts des Bauteils 11 die auftreffende Intensität größer ist als für die mittleren Bereiche, die nahe der optischen Achse angeordnet sind.
Fig. 14 zeigt eine räumliche Intensitätsverteilung 29 beziehungsweise Ortsverteilung auf der Linse 10 in relativen Einheiten, wobei die Größe der Intensität I im Bereich der optischen Achse mit 1 angesetzt ist. Die Intensität I fällt bis zu den Rändern auf etwa 80% des Werts der optischen Achse ab. Die räumliche Intensitätsverteilung 29 könnte beispielsweise mit den in Fig. 12 abgebildeten Homogenisatormitteln 21 erzeugt werden.
Fig. 15 veranschaulicht die Intensität I der Laserstrahlung auf dem Bauteil 11 in Abhängigkeit von dem Winkel φ für eine als Linse 10 verwendete ideale Linse, wenn diese zwar mit kollimiertem Licht, jedoch nicht mit einer linearen Top-Hat-Verteilung, sondern mit der Verteilung 29 gemäß Fig. 14 beaufschlagt wird. Es zeigt sich, dass in diesem Fall die erhaltene Intensitätsverteilung 30 auf dem Bauteil 11 in sämtlichen Winkelbereichen die gleiche Intensität I aufweist. Auf diese Weise wird eine sehr gleichmäßige Beaufschlagung des
Bauteils 11 mit Laserstrahlung gewährleistet.
Wenn die für die Darstellung verwendete ideale Linse für die Linse 10 durch eine reale Linse oder eine F-Theta-Linse ersetzt wird, muss die Form der räumlichen Intensitätsverteilung 29 auf der Linse 10 an deren Abweichung von einer idealen Linse angepasst werden.
Eine ebenfalls vergleichsweise gut homogenisierte, im Wesentlichen mit cos2 (φ) zu den Rändern abfallende Intensitätsverteilung kann durch die bereits erwähnte Slow-Axis-Verteilung von
Laserdiodenbarren erreicht werden. Wenn also auf die Verwendung von Homogenisatormitteln verzichtet werden soll, empfiehlt sich bei einer Anzahl der Linsen 10 kleiner acht die Beaufschlagung der Eintrittsflächen der Linsen 10 mit der Slow-Axis-Verteilung von
Laserdiodenbarren. Auch hier sollte die Slow-Axis parallel zu der Umfangsrichtung des Bauteils 11 angeordnet sein beziehungsweise parallel zu der Richtung angeordnet sein, in der die Linsen 10 aneinander anschließen.
Bei einer Anzahl der Linsen 10 größer oder gleich acht kann eine gleichmäßige Intensitätsverteilung auf dem Bauteil 11 auch durch eine lineare Top-Hat-Verteilung beziehungsweise durch eine nicht abfallende Intensitätsverteilung erreicht werden, wie sie
beispielsweise mit den Homogenisatormitteln 14, 18 gemäß Fig. 8 und Fig. 9 erzielbar ist.

Claims

Patentansprüche:
1. Vorrichtung zur Beaufschlagung der Außenseite eines
rotationssymmetrischen Bauteils (11, 11', 11") mit
Laserstrahlung (13), umfassend eine Mehrzahl von Linsen (10), durch die die Laserstrahlung (13) hindurchtreten kann und die derart gestaltet und/oder angeordnet sind, dass sich die
Symmetrieachse (12, 12', 12") des Bauteils (11, 11', 11") im Fokus einer jeder der Linsen (10) befindet.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung Homogenisatormittel (14, 18, 21) umfasst, die die Laserstrahlung (13) vor dem Hindurchtritt durch die Linsen (10) homogenisieren können.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Homogenisatormittel (14, 18, 21) bei einer Anzahl der Linsen (10) kleiner acht derart gestaltet sind, dass die Laserstrahlung (13) eine Top-Hat-Intensitätsverteilung mit zu den Rändern entsprechend cos2 (φ) abfallender Intensität aufweist, und dass die Homogenisatormittel (14, 18, 21) bei einer Anzahl der Linsen (10) größer oder gleich acht derart gestaltet sind, dass die Laserstrahlung (13) eine lineare Top-Hat- Intensitätsverteilung aufweist.
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 oder 3, dadurch
gekennzeichnet, dass die Homogenisatormittel (14, 18) ein, vorzugsweise zwei Linsenarrays (15, 16) oder einen Lichtleiter (19) aufweisen.
5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 oder 3, dadurch
gekennzeichnet, dass die Homogenisatormittel (21) einen Wellenleiter (23) mit einem zumindest abschnittsweise
quaderförmigen lichtleitenden Bereich (26) aufweisen.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass eine erste Ausdehnung (D-i) des lichtleitenden Bereichs (26), die sich zwischen einer Eintrittsfläche und einer Austrittsfläche des lichtleitenden Bereichs (26) erstreckt, größer ist als eine zweite und/oder eine dritte, zu der ersten Ausdehnung (D-ι) senkrechte Ausdehnung (D2, D3) des lichtleitenden Bereichs (26),
vorzugsweise um einen Faktor von mindestens 3, insbesondere mindestens 7, beispielsweise mindestens 10 größer ist, und/oder vorzugsweise um einen Faktor von höchstens 100, insbesondere höchstens 50, beispielsweise höchstens 40 größer ist.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch
gekennzeichnet, dass eine jede der Linsen (10) eine von dem Bauteil (11, 11', 11") abgewandte Eintrittsfläche und eine dem Bauteil (11, 11', 11") zugewandte Austrittsfläche für
Laserstrahlung (13) aufweist.
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch
gekennzeichnet, dass mindestens zwei oder eine jede der Linsen (10) die gleiche Brennweite (f) aufweisen.
9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch
gekennzeichnet, dass die Vorrichtung mindestens eine
Laserlichtquelle, vorzugsweise eine Mehrzahl von
Laserlichtquellen umfasst, die Laserstrahlung (13) für die
Beaufschlagung des Bauteils (11, 11', 11") erzeugen kann.
10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch
gekennzeichnet, dass die Vorrichtung Optikmittel umfasst, die mindestens eine oder eine jede der Linsen (10) mit Laserstrahlung (13), insbesondere mit der von der mindestens einen Laserlichtquelle ausgehenden Laserstrahlung (13), beaufschlagen können.
11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 10, dadurch
gekennzeichnet, dass die Optikmittel und/oder die
Homogenisatormittel (14, 18, 21) derart gestaltet sind, dass die Eintrittsfläche einer jeder der Linsen (10) mit einer homogenen Ortsverteilung beziehungsweise einer homogenen räumlichen Intensitätsverteilung der Laserstrahlung (13) beaufschlagt wird.
12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 10, dadurch
gekennzeichnet, dass die Optikmittel und/oder die
Homogenisatormittel (14, 18, 21) derart gestaltet sind, dass die Eintrittsfläche einer jeder der Linsen (10) mit einer an die
Gestaltung der Linse (10) angepassten Ortsverteilung
beziehungsweise einer an die Gestaltung der Linse (10) angepassten räumlichen Intensitätsverteilung der
Laserstrahlung (13) beaufschlagt wird.
13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 12, dadurch
gekennzeichnet, dass die Homogenisatormittel (14, 18, 21) von den Optikmitteln umfasst sind.
14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 13, dadurch
gekennzeichnet, dass die Optikmittel Kollimatormittel,
insbesondere mindestens eine Linse zur Kollimation, umfassen, die derart gestaltet und in der Vorrichtung angeordnet sind, dass die Laserstrahlung mit keiner oder möglichst geringer Divergenz beziehungsweise zumindest weitgehend kollimiert auf die Linsen (10) auftrifft.
15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine oder eine jede der Linsen (10) Zylinderlinsen sind, deren Zylinderachsen parallel zu der Symmetrieachse (12, 12', 12") des Bauteils (11, 11',
11 ") sind.
16. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch
gekennzeichnet, dass mindestens eine oder eine jede der Linsen (10) eine rotationssymmetrische Krümmung aufweisen und insbesondere sphärische Linsen (10) sind.
17. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch
gekennzeichnet, dass die Linsen (10) hinsichtlich der
Symmetrieachse (12, 12', 12") des Bauteils (11, 11', 11") in Umfangsrichtung nebeneinander angeordnet sind, insbesondere aneinander angrenzen.
18. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 17, dadurch
gekennzeichnet, dass mindestens eine oder eine jede der Linsen (10) so angeordnet sind, dass die Richtung, in die sich die Laserstrahlung (13) nach dem Hindurchtritt durch die mindestens eine oder eine jede der Linsen (10) ausbreitet, hinsichtlich der Symmetrieachse (12, 12', 12") des Bauteils (11, 11', 11") sowohl eine radiale, als auch eine axiale Komponente aufweist.
19. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 18, dadurch
gekennzeichnet, dass die Vorrichtung eine Strahlfalle aufweist, die von dem Bauteil (11, 11', 11") reflektierte und/oder neben dem Bauteil vorbei laufende und/oder durch das Bauteil (11, 11', 11") transmittierte Anteile der Laserstrahlung (13) auffangen kann, wobei die Strahlfalle insbesondere ringförmig ausgebildet ist.
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