EP1725902A1 - Vorrichtung zur homogenisierung von licht sowie anordnung zur beleuchtung oder fokussierung mit einer derartigen vorrichtung - Google Patents

Vorrichtung zur homogenisierung von licht sowie anordnung zur beleuchtung oder fokussierung mit einer derartigen vorrichtung

Info

Publication number
EP1725902A1
EP1725902A1 EP04764309A EP04764309A EP1725902A1 EP 1725902 A1 EP1725902 A1 EP 1725902A1 EP 04764309 A EP04764309 A EP 04764309A EP 04764309 A EP04764309 A EP 04764309A EP 1725902 A1 EP1725902 A1 EP 1725902A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
laser light
arrangement
homogenizer
array
lenses
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP04764309A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Thomas Mitra
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Focuslight Germany GmbH
Original Assignee
Hentze-Lissotschenko & Co KG GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from DE102004034253A external-priority patent/DE102004034253A1/de
Application filed by Hentze-Lissotschenko & Co KG GmbH filed Critical Hentze-Lissotschenko & Co KG GmbH
Priority to EP04764309A priority Critical patent/EP1725902A1/de
Priority claimed from PCT/EP2004/009325 external-priority patent/WO2005085935A1/de
Publication of EP1725902A1 publication Critical patent/EP1725902A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Definitions

  • the present invention relates to a device for
  • a device of the aforementioned type is known from US Patent 4,733,944.
  • the device for homogenization described therein comprises two homogenizer means spaced apart from one another, each of the homogenizer means comprising two optically functional interfaces through which the light to be homogenized passes.
  • An array of cylindrical lenses is arranged on each of these four interfaces that contribute to homogenization.
  • Each of the two spaced-apart homogenizer means has two arrays of crossed cylindrical lenses.
  • a cylindrical lens array with cylinder axes in the vertical is formed on an entry surface and a cylindrical lens array with cylinder axes in the horizontal is formed on the exit surface.
  • Such a device for homogenization can thus be used to homogenize a laser beam, such as a beam emanating from an excimer laser or a laser beam emanating from a laser diode bar, both in a first direction and in a second direction perpendicular thereto.
  • a laser beam such as a beam emanating from an excimer laser or a laser beam emanating from a laser diode bar
  • a homogenization takes place both in the so-called fast axis and in the so-called slow axis.
  • the aforementioned device known from the prior art is designed as a so-called two-stage device for homogenization, because the beam to be homogenized is homogenized in each of the homogenizer means.
  • the two-stage design of the device achieves substantially better homogeneity than that of single-stage homogenizers.
  • Homogenizer means must be precisely adjusted with respect to a total of six axes.
  • the focal lengths of the cylindrical lenses of the arrays cannot be freely selected, since for each of the two directions that can be homogenized independently of one another, such as the slow axis and the fast axis, there is an optimal distance between the cylindrical lenses.
  • two-stage devices for homogenization which operate in two mutually independent directions, react very sensitively to focal length errors of the cylindrical lenses, since the two directions are generally not independent of one another.
  • the problem on which the present invention is based is the creation of a device of the type mentioned at the outset which is easier to adjust. Furthermore, an arrangement for illuminating a surface and an arrangement for focusing the
  • Light from a laser light source can be specified in a line-like focus area.
  • This is according to the invention with regard to the device by a device of the type mentioned with the characterizing features of claim 1, with regard to the arrangement for illuminating a surface by an arrangement of the type mentioned with the characterizing features of claim 9 and with regard to an arrangement for focusing the light a laser light source in a line-like focus area achieved by an arrangement of the type mentioned with the characterizing features of claim 13.
  • the subclaims relate to preferred developments of the invention.
  • the cylinder axes of the cylinder lenses of the at least one homogenizer means are aligned parallel to one another.
  • the at least one as for example
  • Homogenizing agent formed on the substrate thus fulfills the function of a two-stage homogenizer.
  • a homogenizer means acts on an axis or a direction, for example only on the slow motion.
  • the device comprises a first homogenizer means and a second homogenizer means, each having an entrance surface and an exit surface for the light to be homogenized.
  • the first homogenizer means each have an array of cylindrical lenses on the entry surface or in the vicinity of the entry surface and an array of cylindrical lenses on the exit surface or in the vicinity of the exit surface, the
  • Cylinder axes are aligned parallel to each other.
  • the second homogenizer means has an array of cylindrical lenses on the entry surface or in the vicinity of the entry surface or an array of cylindrical lenses on the exit surface or in the vicinity of the exit surface.
  • the second homogenizer means each have an array of cylindrical lenses on the entry surface or in the vicinity of the entry surface and an array of cylindrical lenses on the exit surface or in the vicinity of the exit surface, the cylinder axes of which are aligned parallel to one another.
  • the cylinder axes of the cylinder lenses of the first homogenizer means are aligned perpendicular to the cylinder axes of the cylinder lenses of the second homogenizer means.
  • the two directions or axes of the laser light are homogenized separately from one another in the two homogenizer means, which are in particular spaced apart.
  • the two homogenizer means no longer have to be adjusted to one another, because the adjustment of those acting, for example, on one of the two axes
  • Cylinder lenses are achieved through the reproducible manufacture of the homogenizer agent at any time within the manufacturing tolerances. In this way, the beam properties are always the same within the aforementioned manufacturing tolerances. Furthermore, there is no influence on the two axes, such as the slow
  • the cylindrical lenses are designed as concave and / or as convex lenses or as GRIN lenses (gradient index lenses).
  • the device used in the arrangement is a device according to the invention for homogenization.
  • Focusing device used is also a device according to the invention for homogenization.
  • the device for homogenization is designed such that it
  • 1 a is a plan view of an arrangement for lighting according to the invention.
  • FIG. 1 b shows a side view of the arrangement according to FIG. 1 a;
  • FIG. 2a shows a plan view of an arrangement according to the invention for focusing
  • FIG. 2b shows a side view of the arrangement according to FIG. 2a
  • Fig. 3 is a perspective view of a device according to the invention.
  • an arrangement according to the invention comprises a semiconductor laser bar 1 which has a number of emitters arranged next to one another and spaced apart in the X direction.
  • the semiconductor laser bar 1 is shown in Fig.
  • 1 a, 1 b, 2a and 2b are only schematically represented by a rectangle.
  • the divergence in the so-called fast axis ie in the Y direction or the direction perpendicular to the direction in which the emitters are arranged next to one another, is significantly greater than in the so-called slow axis or the X direction.
  • 1 a and 1 b show that in the direction of propagation Z of the laser light emerging from the individual emitters of the semiconductor laser bar 1, fast-axis collimation means 2 connect to the semiconductor laser bar 1.
  • the fast-axis collimation means 2 are designed, for example, as a plano-convex cylindrical lens, the cylinder axis of which extends in the X direction. By means of such a cylindrical lens, the laser light emerging from the individual emitters can be collimated in terms of diffraction with respect to the Y direction or with respect to the fast axis.
  • the Fast Axis the so-called fast axis
  • Collimating means 2 serving cylindrical lens have an aspherical surface.
  • a cylindrical lens with a convexly curved entry side can also be used.
  • beam transformation means 3 adjoin the fast-axis collimation means 2.
  • Beam transformation means 3 the incident light is rotated through an angle of 90 ° or the divergence of the fast axis (Y direction) is exchanged with that of the slow axis (X direction), so that after exiting the beam transformation means 3, the divergence in Y direction is greater than the divergence in the X direction.
  • the beam transformation means 3 can be an essentially cuboid block made of a transparent material, on which a number of cylindrical lens segments serving as beam transformation elements are arranged parallel to one another both on the entry side and on the exit side.
  • the axes of the beam transformation elements can also the base side of the cuboid beam transformation means 3, which extends in the X direction, enclose an angle ⁇ of 45 °.
  • the beam transformation means 3 are followed by further collimation means 4, so that, for example, a beam of 10 mm ⁇ 10 mm with divergence in the Y direction of about 1 1 mrad and divergence in the X direction of about 3 mrad can be achieved can.
  • the numerical values for divergence and beam diameter refer to the full width of the beam at half the maximum intensity (FWHM).
  • the collimation means 4 are designed as a plano-convex cylindrical lens with a cylinder axis extending in the X direction. Due to the rotation of the laser light in the beam transformation means 3, the collimation means 4 thus have the same orientation as the fast-axis collimation means 2. Like the fast-axis collimation means 2, the collimation means 4 can also be designed differently. In particular, both the entry and exit surfaces can be provided with a convex and / or concave curvature.
  • first homogenizer means 5 In the direction of propagation Z, the collimation means 4 are followed by first homogenizer means 5 and then by second homogenizer means 6.
  • the homogenizer means 5 have an array of cylindrical lenses 9 on their entry surface 7, the cylindrical axes of which extend in the X direction (see also FIG. 3). Furthermore, the first homogenizer means 5 have their
  • the arrangement comprises second ones
  • Homogenizer means 6 each have a cylindrical lens array with cylindrical lenses 9 on their entry surface 7 and on their exit surface 8, which extend in the Y direction (see also FIG. 3). Through the cylindrical lens arrays on the entry and exit surface 7, 8 of the second
  • Homogenizing means 6 the laser light that has passed through the second homogenizing means 6 is very effectively superimposed on one another in the X direction. Due to this effective superimposition, which is illustrated in FIG. 1 a by the focus areas visible behind the second homogenizer means 6, one can
  • the device for homogenization comprises the first and the second homogenizer means 5, 6. Overall, the laser light is thus homogenized in two directions or axes in the device according to the invention, the second stage acting only on the X direction and the first stage only on the Y-direction.
  • the cylindrical lenses 9 of the homogenizer means 5, 6 can be designed as convex (see for example FIG. 3) and / or as concave cylindrical lenses.
  • the cylindrical lenses can be designed as GRIN lenses (gradient index lenses).
  • the cylindrical lenses are not arranged on the entry or exit surface but in the vicinity of the entry or exit surface in the interior of the respective
  • Homoganizer means 5, 6 formed substrate by a changing refractive index of the substrate.
  • the laser light emerges from the second homogenizer means 6 in a largely homogenized manner and can be used to illuminate an area distant from the device.
  • FIGS. 2a and 2b likewise comprises a semiconductor laser bar 1 with a plurality of emitters.
  • the arrangement further comprises fast-axis collimation means 2, which can be designed like the fast-axis collimation means 2 according to FIG. 1 a and FIG. 1 b. It can be provided that the distance between the semiconductor laser and the fast-axis collimating means 2 is chosen to be comparatively large, so that the laser light in the Y direction after it has passed through the fast-axis
  • Collimation means 2 has a comparatively large extent.
  • the arrangement according to the invention comprises slow-axis collimation means 10, which in the exemplary embodiment shown are designed as an array of cylindrical lenses on the entry and exit sides of the slow-axis collimation means 10.
  • the cylinder axes of the cylindrical lenses of the slow-axis collimation means 10 extend in the Y direction.
  • the slow-axis collimation means can be arranged such that in each of the
  • Each of these partial beams is collimated by the corresponding cylindrical lenses with regard to the slow axis or with respect to the X direction.
  • the embodiment of slow-axis collimation means 10 shown in FIGS. 2a and 2b represents a telescope arrangement. However, there is also the possibility of using slow-axis collimation means 10 as one on only one side, for example the entry side or the exit side arranged array of cylindrical lenses to perform.
  • FIGS. 2a and 2b further comprises, in the direction of propagation behind the slow-axis collimation means 10, homogenizer means 6.
  • these homogenizer means 6 correspond exactly to the second homogenizer means 6 of the arrangement according to FIGS 1 b.
  • Cylindrical lenses 9 on the entry surface 7 and the exit surface 8 extend in the Y direction, so that the laser radiation 3 is influenced by the cylinder lenses 9 only with regard to the slow axis direction.
  • the individual partial beams of the laser light are very effectively superimposed on one another in the slow axis direction or in the X direction.
  • the laser light emerging from the homogenizer means 6 can be from in
  • the focusing means 1 1 are designed as a rotationally symmetrical plano-convex lens.
  • the focusing means 1 1 can also be formed by other designs, for example by a biconvex lens or by several interacting lenses.
  • This lens can laser radiation 10 focus with respect to the fast axis or the Y direction and at the same time serve as a field lens for the homogenizer means 6 which only act on the slow axis or X direction. In doing so, the focus of the lens serving as focusing means 1 1 can be practically related to the fast axis in one
  • Plane lie in which the field of laser light in the slow axis direction is homogenized by the lens serving as a field lens.
  • the laser radiation that has passed through the homogenizer means 10 is only shown unstructured.
  • each of the cylindrical lenses 9 refracts the light passing through them in a variety of different directions.
  • the plano-convex spherical lens serving as the focusing means 11 or field lens deflects each partial beam striking the field lens at the same angle in a line-like focus area so that the portions of the laser light originating from individual partial beams of the original laser light are deflected in the focus area are evenly distributed across its width in the X direction or in the slow axis direction.
  • the focusing means 1 1 focus the laser light into a line-like focus area which extends in the X direction and has a very small extent in the Y direction. For example, there is a possibility that the expansion of the
  • Focus area in the Y direction or in the fast axis direction is less than 1 mm or less than 0.5 mm.
  • the width of the line-like focus area in the X direction or in the slow axis direction is greater than 5 mm or greater than 20 mm.
  • the distance d between the exit surface of the focusing means 1 1 and the line-like focus area can be comparatively large, for example larger than 50, in particular larger than 200 mm.

Abstract

Vorrichtung zur Homogenisierung von Licht, umfassend mindestens ein Homogenisatormittel (5, 6) mit einer Eintrittsfläche (7) und einer Austrittsfläche (8) für das zu homogenisierende Licht sowie jeweils ein Array von Zylinderlinsen (9) auf der Eintrittsfläche (7) und ein Array von Zylinderlinsen (9) auf der Austrittsfläche (8) des mindestens einen Homogenisatormittels (5, 6), wobei die Zylinderachsen der Zylinderlinsen (9) des mindestens einen Homogenisatormittels (5, 6) parallel zueinander ausgerichtet sind. Die Erfindung betrifft weiterhin eine Anordnung zur Beleuchtung einer Fläche und eine Anordnung zur Fokussierung des Lichts einer Laserlichtquelle in einen linienartigen Fokusbereichs.

Description

Vorrichtung zur Homogenisierung von Licht sowie Anordnung zur Beleuchtung oder Fokussierung mit einer derartigen Vorrichtung
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur
Homogenisierung von Licht gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 , eine Anordnung zur Beleuchtung einer Fläche gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 9 und eine Anordnung zur Fokussierung des Lichts einer Laserlichtquelle in einen linienartigen Fokusbereichs gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 13.
Eine Vorrichtung der vorgenannten Art ist aus dem US-Patent 4,733,944 bekannt. Die darin beschriebene Vorrichtung zur Homogenisierung umfasst zwei voneinander beabstandete Homogenisatormittel, wobei ein jedes der Homogenisatormittel zwei optisch funktionale Grenzflächen umfasst, durch die das zu homogenisierende Licht hindurchtritt. Auf jeder dieser vier zur Homogenisierung beitragenden Grenzflächen ist jeweils ein Array von Zylinderlinsen angeordnet. Dabei weist ein jedes der beiden voneinander beabstandeten Homogenisatormittel zwei Arrays von zueinander gekreuzten Zylinderlinsen auf. Beispielsweise ist bei einem der Homogenisatormittel auf einer Eintrittsfläche ein Zylinderlinsenarray mit Zylinderachsen in der Vertikalen und auf der Austrittsfläche ein Zylinderlinsenarray mit Zylinderachsen in der Horizontalen ausgebildet.
Mittels einer derartigen Vorrichtung zur Homogenisierung kann somit ein Laserstrahl, wie beispielsweise ein von einem Excimer-Laser ausgehender Strahl oder ein von einem Laserdiodenbarren ausgehendes Laserstrahlbündel sowohl in einer ersten Richtung als auch in einer dazu senkrechten zweiten Richtung homogenisiert werden. Beispielsweise kann bei einem Laserdiodenbarren durch eine derartige Vorrichtung zur Homogenisierung eine Homogenisierung sowohl in der sogenannten Fast-Axis als auch in der sogenannten Slow-Axis stattfinden. Weiterhin ist die vorgenannte aus dem Stand der Technik bekannte Vorrichtung als sogenannte zweistufige Vorrichtung zur Homogenisierung ausgebildet, weil der zu homogenisierende Strahl in einem jeden der Homogenisatormittel eine Homogenisierung erfährt. Durch die zweistufige Ausbildung der Vorrichtung wird eine wesentlich bessere Homogenität erzielt als durch einstufige Homogenisierer.
Als nachteilig bei derartigen aus dem Stand der Technik bekannten zweistufigen Vorrichtungen zur Homogenisierung erweist sich zum einen die ausgesprochen schwierig durchführbare Justage der beiden Homogenisatormittel. Diese Homogenisatormittel müssen zueinander sehr exakt positioniert werden, wobei ein jedes der
Homogenisatormittel bezüglich insgesamt sechs Achsen exakt justiert werden muss. Weiterhin sind die Brennweiten der Zylinderlinsen der Arrays nicht frei wählbar, da für jede der beiden unabhängig voneinander homogenisierbaren Richtungen, wie beispielsweise der Slow-Axis und der Fast-Axis ein optimaler Abstand der Zylinderlinsen zueinander gegeben ist. Insbesondere reagieren zweistufige Vorrichtungen zur Homogenisierung, die in beiden zueinander unabhängigen Richtungen arbeiten, sehr empfindlich auf Brennweitenfehler der Zylinderlinsen, da in der Regel die beiden Richtungen nicht unabhängig voneinander sind.
Das der vorliegenden Erfindung zugrunde liegende Problem ist die Schaffung einer Vorrichtung der eingangs genannten Art, die einfacher justierbar ist. Weiterhin soll eine Anordnung zur Beleuchtung einer Fläche und eine Anordnung zur Fokussierung des
Lichts einer Laserlichtquelle in einen linienartigen Fokusbereich angegeben werden. Dies wird erfindungsgemäß hinsichtlich der Vorrichtung durch eine Vorrichtung der eingangs genannten Art mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 1 , hinsichtlich der Anordnung zur Beleuchtung einer Fläche durch eine Anordnung der eingangs genannten Art mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 9 und hinsichtlich einer Anordnung zur Fokussierung des Lichts einer Laserlichtquelle in einen linienartigen Fokusbereich durch eine Anordnung der eingangs genannten Art mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 13 erreicht. Die Unteransprüche betreffen bevorzugte Weiterbildungen der Erfindung.
Gemäß Anspruch 1 ist vorgesehen, dass die Zylinderachsen der Zylinderlinsen des mindestens einen Homogenisatormittels parallel zueinander ausgerichtet sind. Das mindestens eine als beispielsweise
Substrat ausgebildetes Homogenisatormittel erfüllt somit die Funktion eines zweistufigen Homogenisierers. Beispielsweise bei der Homogenisierung des von einem Laserdiodenbarren ausgehenden Laserlichtes wirkt somit ein Homogenisatormittel auf eine Achse beziehungsweise eine Richtung also beispielsweise nur auf die Slow-
Axis oder nur auf die Fast-Axis.
Gemäß Anspruch 2 besteht die Möglichkeit, dass die Vorrichtung ein erstes Homogenisatormittel und ein zweites Homogenisatormittel umfasst, die jeweils eine Eintrittsfläche und eine Austrittsfläche für das zu homogenisierende Licht aufweisen. Dabei kann gemäß Anspruch 3 vorgesehen sein, dass das erste Homogenisatormittel jeweils ein Array von Zylinderlinsen auf der Eintrittsfläche oder in der Nähe der Eintrittsfläche und ein Array von Zylinderlinsen auf der Austrittsfläche oder in der Nähe der Austrittsfläche aufweist, deren
Zylinderachsen parallel zueinander ausgerichtet sind. Gemäß Anspruch 4 kann vorgesehen sein, dass das zweite Homogenisatormittel ein Array von Zylinderlinsen auf der Eintrittsfläche oder in der Nähe der Eintrittsfläche oder ein Array von Zylinderlinsen auf der Austrittsfläche oder in der Nähe der Austrittsfläche aufweist. Alternativ kann gemäß Anspruch 5 vorgesehen sein, dass das zweite Homogenisatormittel jeweils ein Array von Zylinderlinsen auf der Eintrittsfläche oder in der Nähe der Eintrittsfläche und ein Array von Zylinderlinsen auf der Austrittsfläche oder in der Nähe der Austrittsfläche aufweist, deren Zylinderachsen parallel zueinander ausgerichtet sind.
Insbesondere kann gemäß Anspruch 6 vorgesehen sein, dass die Zylinderachsen der Zylinderlinsen der ersten Homogenisatormittel senkrecht zu den Zylinderachsen der Zylinderlinsen der zweiten Homogenisatormittel ausgerichtet sind. Auf diese Weise werden die beiden Richtungen beziehungsweise Achsen des Laserlichtes getrennt voneinander in den beiden insbesondere voneinander beabstandeten Homogenisatormitteln homogenisiert. Die beiden Homogenisatormittel müssen nicht mehr zueinander justiert werden, weil die Justage der beispielsweise auf eine der beiden Achsen einwirkenden
Zylinderlinsen durch die jederzeit innerhalb der Fertigungstoleranzen reproduzierbare Fertigung des Homogenisatormittels erreicht wird. Auf diese Weise sind die Strahleigenschaften im Rahmen der vorgenannten Fertigungstoleranzen immer dieselben. Weiterhin findet keine Beeinflussung der beiden Achsen, wie beispielsweise der Slow-
Axis und der Fast-Axis bei einem Halbleiterlaserbarren, durch Brennweitentoleranzen der jeweils anderen Strahlachse statt. Weiterhin besteht die Möglichkeit, bei der Homogenisierung des Laserlichtes hinsichtlich beider Achsen die Brennweiten der Zylinderlinsen für eine jede der Achsen frei und unabhängig von der jeweils anderen Achse zu wählen. Gemäß Anspruch 7 besteht weiterhin die Möglichkeit, dass die Brennebenen der auf der Austrittsfläche oder in der Nähe der Austrittsfläche angeordneten Zylinderlinsen in der Eintrittsfläche oder in der Nähe der Eintrittsfläche angeordnet sind. Auf diese Weise wird die Homogenisierung des zu homogenisierenden Lichtes optimiert.
Gemäß Anspruch 8 kann vorgesehen sein, dass die Zylinderlinsen als konkave und/oder als konvexe Linsen oder als GRIN-Linsen (Gradientenindex-Linsen) ausgebildet sind.
Gemäß Anspruch 9 ist vorgesehen, dass die in der Anordnung verwendete Vorrichtung eine erfindungsgemäße Vorrichtung zur Homogenisierung ist.
Gemäß Anspruch 13 ist vorgesehen, dass die in der Anordnung zur
Fokussierung verwendete Vorrichtung ebenfalls eine erfindungsgemäße Vorrichtung zur Homogenierung ist.
Dabei kann gemäß Anspruch 14 insbesondere vorgesehen sein, dass die Vorrichtung zur Homogenisierung derart gestaltet ist, dass sie das
Laserlicht nur hinsichtlich der Slow-Axis-Richtung homogenisiert.
Weitere Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden deutlich anhand der nachfolgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele unter Bezugnahme auf die beiliegenden Abbildungen. Darin zeigen
Fig. 1 a eine Draufsicht auf eine erfindungsgemäße Anordnung zur Beleuchtung;
Fig. 1 b eine Seitenansicht der Anordnung gemäß Fig. 1 a;
Fig. 2a eine Draufsicht auf eine erfindungsgemäße Anordnung zur Fokussierung;
Fig. 2b eine Seitenansicht der Anordnung gemäß Fig. 2a;
Fig. 3 eine perspektivische Ansicht einer erfindungsgemäßen Vorrichtung.
In einigen der Figuren sind zur besseren Übersichtlichkeit kartesische Koordinatensysteme eingezeichnet.
Wie aus Fig. 1 a und Fig. 1 b ersichtlich ist, umfasst eine erfindungsgemäße Anordnung einen Halbleiterlaserbarren 1 , der eine Anzahl von in X-Richtung nebeneinander und beabstandet zueinander angeordneter Emittern aufweist. Der Halbleiterlaserbarren 1 ist in Fig.
1 a, Fig. 1 b Fig. 2a und Fig. 2b lediglich schematisch durch ein Rechteck dargestellt. Bei Halbleiterlaserbarren ist die Divergenz in der sogenannten Fast-Axis, d. h. in der Y-Richtung oder der Richtung senkrecht zu der Richtung, in der die Emitter nebeneinander angeordnet sind, deutlich größer als in der sogenannten Slow-Axis bzw. der X-Richtung. Aus Fig. 1 a und Fig. 1 b ist ersichtlich, dass sich in Ausbreitungsrichtung Z des aus den einzelnen Emittern des Halbleiterlaserbarrens 1 austretenden Laserlichtes an den Halbleiterlaserbarren 1 Fast-Axis-Kollimationsmittel 2 anschließen. Die Fast-Axis-Kollimationsmittel 2 sind beispielsweise als plankonvexe Zylinderlinse ausgebildet, deren Zylinderachse sich in X- Richtung erstreckt. Durch eine derartige Zylinderlinse kann das aus den einzelnen Emittern austretende Laserlicht hinsichtlich der Y- Richtung bzw. hinsichtlich der Fast-Axis beugungsbegrenzt kollimiert werden. Um dies zu erreichen, kann die als Fast-Axis-
Kollimationsmittel 2 dienende Zylinderlinse eine asphärische Oberfläche aufweisen. Anstelle der abgebildeten Zylinderlinse, die lediglich auf ihrer Austrittsweise eine konvexe Krümmung aufweist, kann auch eine Zylinderlinse mit einer konvex gekrümmten Eintrittsseite verwendet werden. Alternativ dazu besteht auch die
Möglichkeit, sowohl die Eintrittsseite als auch die Austrittsseite konvex und/oder konkav zu krümmen.
In Ausbreitungsrichtung Z schließen sich an die Fast-Axis- Kollimationsmittel 2 Strahltransformationsmittel 3 an. In den
Strahltransformationsmitteln 3 wird das einfallende Licht um einen Winkel von 90° rotiert beziehungsweise die Divergenz der Fast-Axis (Y-Richtung) mit der der Slow-Axis (X-Richtung) getauscht, so dass nach dem Austritt aus den Strahltransformationsmitteln 3 die Divergenz in Y-Richtung größer ist als die Divergenz in X-Richtung.
Bei den Strahltransformationsmitteln 3 kann es sich um einen im wesentlichen quaderförmigen Block aus einem transparentem Material handeln, auf dem sowohl auf der Eintrittsseite als auch auf der Austrittsseite eine Anzahl von als Strahltransformationselementen dienenden Zylinderlinsensegmenten parallel zueinander angeordnet ist. Die Achsen der Strahltransformationselemente können dabei mit der Basisseite der quaderförmigen Strahltransformationsmittel 3, die in X-Richtung verläuft, einen Winkel α von 45° einschließen.
In Ausbreitungsrichtung Z des Laserlichtes schließen sich an die Strahltransformationsmittel 3 weitere Kollimationsmittel 4 an, so dass beispielsweise ein Strahl von 10 mm x 10 mm mit Divergenz in Y- Richtung von etwa 1 1 mrad und Divergenz in X-Richtung von etwa 3 mrad erreicht werden kann. Die Zahlenwerte für Divergenz und Strahldurchmesser beziehen sich auf die volle Breite des Strahles bei der Hälfte der maximalen Intensität (FWHM). Die Kollimationsmittel 4 sind als plankonvexe Zylinderlinse mit sich in X-Richtung erstreckender Zylinderachse ausgebildet. Aufgrund der Drehung des Laserlichtes in den Strahltransformationsmitteln 3 haben somit die Kollimationsmittel 4 die gleiche Ausrichtung wie die Fast-Axis- Kollimationsmittel 2. Ebenso wie die Fast-Axis-Kollimationsmittel 2 können auch die Kollimationsmittel 4 anders gestaltet werden. Insbesondere können sowohl Eintritts- als auch Austrittsfläche mit einer konvexen und/oder konkaven Krümmung versehen werden.
In Ausbreitungsrichtung Z schließen sich an die Kollimationsmittel 4 erste Homogenisatormittel 5 und daran anschließend zweite Homogenisatormittel 6 an. Die Homogenisatormittel 5 weisen auf ihrer Eintrittsfläche 7 ein Array von Zylinderlinsen 9 auf, deren Zylinderachsen sich in X-Richtung erstrecken (siehe dazu auch Fig. 3). Weiterhin weisen die ersten Homogenisatormittel 5 auf ihrer
Austrittsfläche 8 ein Array von Zylinderachsen 9 auf, deren Zylinderachsen sich ebenfalls in X-Richtung erstrecken. Durch die Zylinderlinsenarrays auf der Eintritts- und Austrittsfläche 7, 8 der ersten Homogenisatormittel wird das durch die ersten Homogenisatormittel 5 hindurchgetretene Laserlicht sehr effektiv in Y-
Richtung miteinander überlagert. Durch diese effektive Überlagerung, die aus Fig. 1 b durch die hinter den ersten Homogenisatormitteln 5 ersichtlichen Fokusbereiche verdeutlicht ist, kann eine Homogenisierung des Laserlichtes in Y-Richtung erreicht werden.
In Strahlausbreitungsrichtung Z hinter den ersten Homogenisatormitteln 5 umfasst die Anordnung zweite
Homogenisatormittel 6. Diese zweiten Homogenisatormittel 6 weisen auf ihrer Eintrittsfläche 7 und auf ihrer Austrittsfläche 8 jeweils ein Zylinderlinsenarray mit Zylinderlinsen 9 auf, die sich in Y-Richtung erstrecken (siehe dazu auch Fig. 3). Durch die Zylinderlinsenarrays auf der Eintritts- und Austrittsfläche 7, 8 der zweiten
Homogenisatormittel 6 wird das durch die zweiten Homogenisatormittel 6 hindurchgetretene Laserlicht sehr effektiv in X- Richtung miteinander überlagert. Durch diese effektive Überlagerung, die aus Fig. 1 a durch die hinter den zweiten Homogenisatormitteln 6 ersichtlichen Fokusbereiche verdeutlicht ist, kann eine
Homogenisierung des Laserlichtes in X-Richtung erreicht werden.
Die Vorrichtung zur Homogenisierung umfasst dabei die ersten und die zweiten Homogenisatormittel 5, 6. Insgesamt wird somit in der erfindungsgemäßen Vorrichtung das Laserlicht in zwei Richtungen oder Achsen homogenisiert, wobei die zweite Stufe nur auf die X- Richtung wirkt und die erste Stufe nur auf die Y-Richtung.
Die Zylinderlinsen 9 der Homogenisatormittel 5, 6 können als konvexe (siehe beispielsweise Fig. 3) und/oder als konkave Zylinderlinsen ausgebildet sein. Alternativ dazu besteht die Möglichkeit, die Zylinderlinsen als GRIN-Linsen (Gradientenindex-Linsen) auszubilden. In diesem Fall sind die Zylinderlinsen nicht auf der Eintritts- oder Austrittsfläche angeordnet sondern in der Nähe der Eintritts- oder Austrittsfläche im Inneren des jeweils die
Homoganisatormittel 5, 6 bildenden Substrats durch einen sich ändernden Brechungsindex des Substrats ausgebildet. Aus den zweiten Homogenisatormitteln 6 tritt das Laserlicht weitestgehend homogenisiert aus und kann zur Ausleuchtung einer von der Vorrichtung entfernten Fläche verwendet werden.
Die in Fig. 2a und Fig. 2b abgebildete Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Anordnung umfasst ebenfalls einen Halbleiterlaserbarren 1 mit einer Mehrzahl von Emittern.
Die Anordnung umfasst weiterhin Fast-Axis-Kollimationsmittel 2, die wie die Fast-Axis-Kollimationsmittel 2 gemäß Fig. 1 a und Fig. 1 b ausgebildet sein können. Es kann dabei vorgesehen sein, den Abstand zwischen dem Halbleiterlaser und den Fast-Axis- Kollimationsmitteln 2 vergleichsweise groß zu wählen, so dass das Laserlicht in Y-Richtung nach dem Hindurchtritt durch die Fast-Axis-
Kollimationsmittel 2 eine vergleichsweise große Ausdehnung aufweist.
In Strahlrichtung hinter den Fast-Axis-Kollimationsmitteln 2 umfasst die erfindungsgemäße Anordnung Slow-Axis-Kollimationsmittel 10, die in dem abgebildeten Ausführungsbeispiel als Array von Zylinderlinsen auf der Eintritts- und der Austrittsseite der Slow-Axis- Kollimationsmittel 10 ausgebildet sind. Die Zylinderachsen der Zylinderlinsen der Slow-Axis-Kollimationsmittel 10 erstrecken sich dabei in Y-Richtung. Insbesondere können die Slow-Axis- Kollimationsmittel derart angeordnet sein, dass in jede der
Zylinderlinsen auf der Eintrittsseite einer der von jeweils einem der Emitter ausgehenden Teilstrahlen des Laserlichtes eintritt. Jeder dieser Teilstrahlen wird von den entsprechenden Zylinderlinsen hinsichtlich der Slow-Axis beziehungsweise hinsichtlich der X- Richtung kollimiert. Die in Fig. 2a und Fig. 2b abgebildete Ausführungsform der Slow- Axis-Kollimationsmittel 10 stellt eine Teleskopanordnung dar. Es besteht aber auch die Möglichkeit, die Slow-Axis-Kollimationsmittel 10 als ein nur an einer Seite, beispielsweise der Eintrittsseite oder der Austrittsseite angeordnetes Array von Zylinderlinsen auszuführen.
Weiterhin besteht die Möglichkeit, mehr als zwei optisch funktionale, insbesondere gekrümmte zylinderlinsenähnliche Flächen für das Slow-Axis-Kollimationsmittel 10 zu verwenden.
Die in Fig. 2a und Fig. 2b abgebildete Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Anordnung umfasst weiterhin in Ausbreitungsrichtung hinter den Slow-Axis-Kollimationsmitteln 10 Homogenisatormittel 6. Diese Homogenisatormittel 6 entsprechen hinsichtlich ihres Aufbaus genau den zweiten Homogenisatormitteln 6 der Anordnung gemäß Fig. 1 a und Fig. 1 b. Die Achsen der
Zylinderlinsen 9 auf der Eintrittsfläche 7 und der Austrittsfläche 8 erstrecken sich dabei in Y-Richtung, so dass durch die Zylinderlinsen 9 die Laserstrahlung 3 nur hinsichtlich der Slow-Axis-Richtung beeinflusst wird.
Durch den Hindurchtritt durch die Zylinderlinsen 9 der Homogenisatormittel 6 werden die einzelnen Teilstrahlen des Laserlichtes sehr effektiv in Slow-Axis-Richtung beziehungsweise in X-Richtung miteinander überlagert. Das aus den Homogenisatormitteln 6 austretende Laserlicht kann von in
Ausbreitungsrichtung Z hinter den Homogenisatormitteln 6 angeordneten Fokussiermitteln 1 1 fokussiert werden. In dem abgebildeten Ausführungsbeispiel sind die Fokussiermittel 1 1 als rotationssymmetrische plankonvexe Linse ausgebildet. Die Fokussiermittel 1 1 können auch durch andere Gestaltungen gebildet sein, beispielsweise durch eine bikonvexe Linse oder durch mehrere zusammenwirkende Linsen. Diese Linse kann die Laserstrahlung 10 hinsichtlich der Fast-Axis beziehungsweise der Y-Richtung fokussieren und gleichzeitig als Feldlinse für die nur auf die Slow-Axis beziehungsweise X-Richtung wirkenden Homogenisatormittel 6 dienen. Dabei kann praktischer Weise der Fokus der als Fokussiermittel 1 1 dienenden Linse hinsichtlich der Fast-Axis in einer
Ebene liegen, in der das Feld des Laserlichtes in Slow-Axis-Richtung durch die als Feldlinse dienende Linse homogenisiert ist.
In Fig. 2a und Fig. 2b ist die durch die Homogenisatormittel 10 hindurchgetretene Laserstrahlung lediglich unstrukturiert dargestellt.
Durch jede der Zylinderlinsen 9 wird jedoch das durch sie hindurchtretende Licht in eine Vielzahl unterschiedlicher Richtungen gebrochen. Durch die als Fokussiermittel 1 1 beziehungsweise Feldlinse dienende plankonvexe sphärische Linse wird ein jeder unter dem gleichen Winkel auf die Feldlinse auftreffender Teilstrahl in einem linienartigen Fokusbereich an die gleiche Stelle abgelenkt, so dass die aus einzelnen Teilstrahlen des ursprünglichen Laserlichtes entstammenden Anteile des Laserlichtes in dem Fokusbereich gleichmäßig über dessen Breite in X-Richtung beziehungsweise in Slow-Axis-Richtung verteilt sind.
Die Fokussiermittel 1 1 fokussieren das Laserlicht in einen linienartigen Fokusbereich, der sich in X-Richtung erstreckt und in Y- Richtung eine sehr geringe Ausdehnung aufweist. Es besteht beispielsweise die Möglichkeit, dass die Ausdehnung des
Fokusbereichs in Y-Richtung beziehungsweise in Fast-Axis-Richtung kleiner ist als 1 mm oder kleiner ist als 0,5 mm. Weiterhin besteht die Möglichkeit, dass die Breite des linienartigen Fokusbereichs in X- Richtung beziehungsweise in Slow-Axis-Richtung größer ist als 5 mm oder größer ist als 20 mm. Der Abstand d zwischen der Austrittsfläche der Fokussiermittel 1 1 und dem linienartigen Fokusbereich kann vergleichsweise groß sein, beispielsweise größer als 50, insbesondere größer als 200 mm.

Claims

Patentansprüche:
1 . Vorrichtung zur Homogenisierung von Licht, umfassend mindestens ein Homogenisatormittel (5, 6) mit einer Eintrittsfläche (7) und einer Austrittsfläche (8) für das zu homogenisierende Licht; jeweils ein Array von Zylinderlinsen (9) auf der Eintrittsfläche (7) oder in der Nähe der Eintrittsfläche (7) und ein Array von Zylinderlinsen (9) auf der Austrittsfläche (8) oder in der Nähe der Austrittsfläche (8) des mindestens einen Homogenisatormittels (5, 6); dadurch gekennzeichnet, dass die Zylinderachsen der Zylinderlinsen (9) des mindestens einen Homogenisatormittels (5, 6) parallel zueinander ausgerichtet sind.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung ein erstes Homogenisatormittel (5) und ein zweites Homogenisatormittel (6) umfasst, die jeweils eine Eintrittsfläche (7) und eine Austrittsfläche (8) für das zu homogenisierende Licht aufweisen.
3. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Homogenisatormittel (5) jeweils ein Array von Zylinderlinsen (9) auf der Eintrittsfläche (7) oder in der Nähe der Eintrittsfläche (7) und ein Array von Zylinderlinsen (9) auf der Austrittsfläche (8) oder in der Nähe der Austrittsfläche (8) aufweist, deren Zylinderachsen parallel zueinander ausgerichtet sind.
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass das zweite Homogenisatormittel (6) ein Array von Zylinderlinsen (9) auf der Eintrittsfläche (7) oder in der Nähe der Eintrittsfläche (7) oder ein Array von Zylinderlinsen (9) auf der Austrittsfläche (8) oder in der Nähe der Austrittsfläche (8) aufweist.
5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass das zweite Homogenisatormittel (6) jeweils ein Array von Zylinderlinsen (9) auf der Eintrittsfläche (7) oder in der Nähe der Eintrittsfläche (7) und ein Array von Zylinderlinsen (9) auf der Austrittsfläche (8) oder in der Nähe der Austrittsfläche (8) aufweist, deren Zylinderachsen parallel zueinander ausgerichtet sind.
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Zylinderachsen der Zylinderlinsen (9) der ersten Homogenisatormittel (5) senkrecht zu den Zylinderachsen der Zylinderlinsen (9) der zweiten Homogenisatormittel (6) ausgerichtet sind.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Brennebenen der auf der Austrittsfläche (8) oder in der Nähe der Austrittsfläche (8) angeordneten Zylinderlinsen (9) in der Eintrittsfläche (7) oder in der Nähe der Eintrittsfläche (7) angeordnet sind.
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Zylinderlinsen als konkave und/oder als konvexe Linsen oder als GRIN-Linsen (Gradientenindex- Linsen) ausgebildet sind.
9. Anordnung zur Beleuchtung einer Fläche, umfassend: mindestens einen Halbleiterlaserbarren (1 ) mit einer Mehrzahl von Emittern, die in einer ersten Richtung (X) nebeneinander und beabstandet zueinander angeordnet sind, wobei die Divergenz des aus den einzelnen Emittern austretenden Laserlichts hinsichtlich der ersten Richtung (X) kleiner ist als die Divergenz des Laserlichts (9) hinsichtlich einer zu der ersten Richtung (X) senkrechten zweiten Richtung (Y);
Kollimationsmittel (2, 4) für die zumindest teilweise Kollimation des aus den Emittern austretenden Laserlichts;
Strahltransformationsmittel (3) zur Transformation des aus den Emittern austretenden Laserlichts, die derart ausgebildet und im Strahlengang des aus den Emittern austretenden Laserlichts angeordnet sind, dass sie die Divergenz des Laserlichts hinsichtlich der ersten Richtung (X) mit der Divergenz hinsichtlich der zweiten Richtung (Y) tauschen können; eine Vorrichtung zur Homogenisierung des aus den Emittern austretenden Laserlichts; dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung zur Homogenisierung eine Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8 ist.
10. Anordnung für die Beleuchtung einer Fläche nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung zur Homogenisierung mehrstufig ausgebildet ist.
1 1 . Anordnung für die Beleuchtung einer Fläche nach einem der Ansprüche 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Kollimationsmittel (2, 4) Fast-Axis-Kollimationsmittel (2) umfassen, die zur Kollimierung des aus den Emittern austretenden Laserlichtes hinsichtlich der zweiten Richtung (Y) dienen.
12. Anordnung für die Beleuchtung einer Fläche nach einem der Ansprüche 9 bis 1 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die Kollimationsmittel (2, 4) Kollimationsmittel (4) umfassen, die zur Kollimierung des aus den Emittern austretenden Laserlichtes hinsichtlich der ersten Richtung (X) dienen.
13. Anordnung zur Fokussierung des Lichts einer Laserlichtquelle in einen linienartigen Fokusbereichs, umfassend: mindestens einen Halbleiterlaserbarren (1 ) mit mindestens einem emittierenden Abschnitt, wobei die Divergenz des von diesem mindestens einen emittierenden Abschnitt ausgehenden Laserlichtes in der Fast-Axis-Richtung (Y) größer ist als in der dazu senkrechten Slow-Axis-Richtung (X);
Fast-Axis-Kollimationsmittel (2) für die Kollimierung des aus dem mindestens einen emittierenden Abschnitt austretenden Laserlichtes hinsichtlich der Fast-Axis-Richtung (Y); eine Vorrichtung zur Homogenisierung des von den Fast- Axis-Kollimationsmitteln (2) kollimierten Laserlichtes;
Fokussiermittel (1 1 ) zur Fokussierung des von der Vorrichtung zur Homogenisierung ausgehenden Laserlichtes in einen linienartigen Fokusbereich; dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung zur Homogenisierung eine Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8 ist.
14. Anordnung zur Fokussierung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung zur Homogenisierung derart gestaltet ist, dass sie das Laserlicht nur hinsichtlich der Slow-Axis-Richtung (X) homogenisiert.
15. Anordnung zur Fokussierung nach einem der Ansprüche 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Anordnung Slow-Axis- Kollimationsmittel (4) aufweist, die insbesondere zwischen den Fast-Axis-Kollimationsmitteln (2) und der Vorrichtung zur Homogenisierung angeordnet sind.
16. Anordnung zur Fokussierung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Slow-Axis-Kollimationsmittel (4) als SIow-Axis-Kollimatorarray oder Slow-Axis-Teleskoparray ausgebildet sind.
17. Anordnung zur Fokussierung nach einem der Ansprüche 13 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass die Fokussiermittel (1 1 ) mindestens eine im Wesentlichen rotationssymmetrische Linse umfassen, wobei diese Linse insbesondere als Feldlinse für die Vorrichtung zur Homogenisierung in Slow-Axis-Richtung (X) dienen kann.
EP04764309A 2004-03-06 2004-08-20 Vorrichtung zur homogenisierung von licht sowie anordnung zur beleuchtung oder fokussierung mit einer derartigen vorrichtung Withdrawn EP1725902A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP04764309A EP1725902A1 (de) 2004-03-06 2004-08-20 Vorrichtung zur homogenisierung von licht sowie anordnung zur beleuchtung oder fokussierung mit einer derartigen vorrichtung

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102004011074 2004-03-06
DE102004034253A DE102004034253A1 (de) 2004-07-14 2004-07-14 Vorrichtung für die Beleuchtung einer Fläche
EPPCT/EP04/08944 2004-08-10
EP04764309A EP1725902A1 (de) 2004-03-06 2004-08-20 Vorrichtung zur homogenisierung von licht sowie anordnung zur beleuchtung oder fokussierung mit einer derartigen vorrichtung
PCT/EP2004/009325 WO2005085935A1 (de) 2004-03-06 2004-08-20 Vorrichtung zur homogenisierung von licht sowie anordnung zur beleuchtung oder fokussierung mit einer derartigen vorrichtung

Publications (1)

Publication Number Publication Date
EP1725902A1 true EP1725902A1 (de) 2006-11-29

Family

ID=37136737

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP04764309A Withdrawn EP1725902A1 (de) 2004-03-06 2004-08-20 Vorrichtung zur homogenisierung von licht sowie anordnung zur beleuchtung oder fokussierung mit einer derartigen vorrichtung

Country Status (1)

Country Link
EP (1) EP1725902A1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102008024589A1 (de) 2008-05-21 2009-11-26 Limo Patentverwaltung Gmbh & Co. Kg Vorrichtung zur Formung eines Laserstrahls

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See references of WO2005085935A1 *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102008024589A1 (de) 2008-05-21 2009-11-26 Limo Patentverwaltung Gmbh & Co. Kg Vorrichtung zur Formung eines Laserstrahls

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE19645150C2 (de) Optische Anordnung zur Symmetrierung der Strahlung von Laserdioden
DE102006047941B4 (de) Vorrichtung zur Homogenisierung von Strahlung mit nicht regelmäßigen Mikrolinsenarrays
EP0803075B1 (de) Optische anordnung zur verwendung bei einer laserdiodenanordnung
DE502007012156C5 (de) Vorrichtung zur strahlformung
EP1528425B1 (de) Anordnung und Vorrichtung zur optischen Strahlbündeltransformation
DE102007057868B4 (de) Vorrichtung zur Erzeugung einer linienförmigen Intensitätsverteilung
EP1617275A1 (de) Vorrichtung für die Beleuchtung einer Fläche mit einem Halbleiterlaserbarren und Strahltransformationsmitteln
WO2005085935A1 (de) Vorrichtung zur homogenisierung von licht sowie anordnung zur beleuchtung oder fokussierung mit einer derartigen vorrichtung
DE102009021251A1 (de) Vorrichtung zur Formung von Laserstrahlung sowie Laservorrichtung mit einer derartigen Vorrichtung
EP3214477A2 (de) Vorrichtung zur formung von laserstrahlung
DE102010053781A1 (de) Vorrichtung zur Umwandlung von Laserstrahlung in Laserstrahlung mit einem M-Profil
WO2005085934A1 (de) Vorrichtung zur erzeugung eines linearen fokusbereichs einer laserlichtquelle
EP1062540B1 (de) Vorrichtung und verfahren zur optischen strahltransformation
WO2010097198A1 (de) Vorrichtung zur homogenisierung von laserstrahlung
WO2008006460A1 (de) Vorrichtung zur homogenisierung von licht sowie laservorrichtung zur erzeugung einer linienförmigen intensitätsverteilung in einer arbeitsebene
DE102008027229B4 (de) Vorrichtung zur Strahlformung
EP3084497B1 (de) Vorrichtung zur formung von laserstrahlung
EP2976672B1 (de) Vorrichtung zur homogenisierung eines laserstrahls
WO2002084377A2 (de) Anordnung zur kollimierung des von einer laserlichtquelle ausgehenden lichts sowie strahltransformationsvorrichtung für eine derartige anordnung
EP1725902A1 (de) Vorrichtung zur homogenisierung von licht sowie anordnung zur beleuchtung oder fokussierung mit einer derartigen vorrichtung
DE19820154A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur optischen Strahltransformation
WO2021069441A1 (de) Laservorrichtung zur erzeugung von laserstrahlung sowie 3d-druck-vorrichtung mit einer derartigen laservorrichtung
DE102010045620B4 (de) Vorrichtung zur Erzeugung einer linienförmigen Intensitätsverteilung in einer Arbeitsebene
EP1176450A2 (de) Anordnung und Vorrichtung zur optischen Strahltransformation
DE102021130604B3 (de) Vorrichtung zur Formung einer Laserstrahlung und Laservorrichtung

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

17P Request for examination filed

Effective date: 20061006

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR

17Q First examination report despatched

Effective date: 20061227

RAP1 Party data changed (applicant data changed or rights of an application transferred)

Owner name: HENTZE-LISSOTSCHENKO PATENTVERWALTUNGS GMBH & CO.K

DAX Request for extension of the european patent (deleted)
RAP1 Party data changed (applicant data changed or rights of an application transferred)

Owner name: LIMO PATENTVERWALTUNG GMBH & CO. KG

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: THE APPLICATION IS DEEMED TO BE WITHDRAWN

18D Application deemed to be withdrawn

Effective date: 20081230